FR 3099573 A1 20210205 FR 1908688 A 20190730 Description Titre de l'invention : Procédé de fabrication d'un microbolomètre comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium Domaine technique [0001] Le domaine de l'invention est celui des dispositifs de détection d'un rayonnement électromagnétique, par exemple infrarouge ou térahertz, comportant au moins un détecteur thermique résistif comprenant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium. L'invention s'applique notamment au domaine de l'imagerie infrarouge et de la thermographie. Technique antérieure [0002] Un dispositif de détection de rayonnement électromagnétique peut comporter une matrice de détecteurs thermiques résistifs, également appelés microbolomètres, chaque microbolomètre comportant une portion absorbante apte à absorber le rayonnement électromagnétique à détecter. [0003] Dans le but d'assurer l'isolation thermique du matériau sensible des microbo- lomètres, les portions absorbantes se présentent habituellement sous la forme de membranes suspendues au-dessus du substrat par des piliers d'ancrage, et sont isolées thermiquement de celui-ci par des bras de maintien et d'isolation thermique. Ces piliers d'ancrage et bras d'isolation thermique présentent également une fonction électrique en reliant électriquement les membranes suspendues à un circuit de lecture généralement disposé dans le substrat. [0004] La membrane absorbante comporte un matériau sensible dont la résistivité électrique p varie en fonction de la température du matériau. Le matériau sensible est caractérisé par la valeur ria de la résistivité électrique à température ambiante ainsi que par son coefficient u (ou TCR), lequel est défini par la relation u = 1/p x dp/dT. Le matériau sensible peut être un matériau semiconducteur choisi habituellement parmi le silicium amorphe et un oxyde de vanadium VOx. [0005] Le choix du matériau sensible dépend notamment de sa compatibilité avec les étapes classiques de dépôt et de gravure habituellement utilisées dans la microélectronique, et notamment dans la technologie silicium. Cependant, il apparaît qu'un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium est susceptible de voir ses propriétés électriques dégradées à la suite du procédé de fabrication du microbolomètre. Exposé de l'invention [0006] L'invention a pour objectif de remédier au moins en partie aux inconvénients de l'art antérieur, et plus particulièrement de proposer un procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium dont les 2 propriétés électriques sont préservées au cours du procédé de fabrication, et plus précisément dont les risques de dégradation du bruit en 1/f du matériau sensible, à la suite du procédé de fabrication, sont limités voire écartés. [0007] Pour cela, l'objet de l'invention est un procédé de fabrication d'au moins un micro- bolomètre comportant un matériau sensible, le procédé permettant de limiter une dégradation d'un bruit associé audit matériau sensible. Le matériau sensible est formé d'un premier composé à base d'oxyde de vanadium (VO',) et d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic (As), le germanium (Ge), le silicium (Si), et le phosphore (P), à l'exception de l'azote (N). Le procédé comporte les étapes suivantes : une étape de réalisation dudit matériau sensible en couche mince ; une étape d'exposition du matériau sensible à une température T, supérieure à la température ambiante pendant une durée At, effectuée ultérieurement à l'étape de réalisation du matériau sensible, la température T, et la durée At, étant telles que ledit premier composé, étant amorphe et présentant une valeur native de résistivité électrique à température ambiante comprise entre 1 52.cm et 30 Q.cm, ayant subi une étape d'exposition à la température T, pendant la durée At, présente une résistivité électrique à température ambiante inférieure ou égale à 10% de sa valeur native. [0008] Le procédé comporte en outre les étapes suivantes : détermination d'une quantité dite efficace non nulle de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si, P) ajouté audit premier composé (VO'), formant ainsi un composé modifié, à partir de laquelle le composé modifié, ayant subi une étape d'exposition à la température T, pendant la durée At,-, présente une résistivité électrique pair à température ambiante supérieure à 10% de sa valeur native p' ; lors de ladite étape de réalisation du matériau sensible en couche mince, celui-ci est formé dudit composé modifié ayant une quantité de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si, P) supérieure ou égale à la quantité efficace préalablement déterminée, le matériau sensible étant amorphe, présentant une valeur native pa de résistivité électrique à température ambiante comprise entre 0.1 52.cm et 30 52.cm ainsi qu'une composition chimique homogène ; de sorte que, à la suite de ladite étape d'exposition du matériau sensible à la température T, pendant la durée At, ledit matériau sensible présente alors un bruit dont la dégradation a été limitée [0009] Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce procédé de fabrication sont les suivants. [0010] L'élément chimique additionnel est de préférence choisi parmi l'arsenic, le 3 germanium, et le silicium, et est de préférence l'arsenic. [0011] L'étape d'exposition du matériau sensible peut comprendre une étape de dépôt d'une couche de protection recouvrant le matériau sensible. [0012] L'étape d'exposition du matériau sensible peut comprendre une étape de dépôt d'une couche d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter destinée à définir une cavité dans laquelle est situé le microholomètre. [0013] La température T, est de préférence supérieure ou égale à 330°C, voire égale à 350°C à 5°C près. [0014] La durée At, est de préférence supérieure ou égale à 90min. [0015] Le matériau sensible est de préférence réalisé à une température inférieure à la tem- pérature Ti.. [0016] L'invention porte également sur un microholomètre comportant un matériau sensible en un premier composé à hase d'oxyde de vanadium (VO) et d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic, le germanium, le silicium et le phosphore, à l'exception de l'azote. Le matériau sensible est amorphe ; présente une résistivité électrique à température ambiante comprise entre 0.1 Q.cm et 30 Q.cm ; présente une composition chimique homogène ; et comporte une quantité de l'élément chimique additionnel, définie comme le rapport du nombre d'atomes l'élément chimique additionnel sur celui de vanadium, au moins égale à 0.012 dans le cas de l'arsenic, au moins égale à 0.04 dans le cas du germanium et du silicium, et au moins égale à 0.12 dans le cas du phosphore. [0017] La quantité d'oxygène, définie comme le rapport du nombre d'atomes d'oxygène sur celui de vanadium, peut être comprise entre 1.42 et 1.94, à plus ou moins 0.05 près. [0018] Le matériau sensible peut être recouvert par une couche de protection en nitrure de silicium. [0019] L'invention porte également sur un dispositif de détection d'un rayonnement électro- magnétique, comportant une matrice de microbolomètres selon l'une quelconque des caractéristiques précédentes, les microbolomètres étant disposés dans au moins une cavité hermétique délimitée par une structure d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter, la structure d'encapsulation comportant au moins une couche réalisée en silicium amorphe. [0020] Le dispositif de détection peut comporter un matériau getter situé dans la cavité hermétique. Brève description des dessins [0021] D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : les figures l A et 1B sont des vues schématiques et partielles, respectivement en perspective et en coupe suivant le plan A-A', d'un microbolometre selon un mode de réalisation, comportant un matériau sensible à hase d'oxyde de vanadium ; les figures 2A à 2C illustrent, respectivement : un exemple d'évolution, en fonction d'une température T, d'exposition thermique, de la résistivité électrique à température ambiante d'un composé de hase réalisé à partir d'oxyde de vanadium (dit premier composé), ne contenant pas d'élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic, le germanium, le silicium et le phosphore ; un exemple de valeurs du coefficient TCR pour des composés de hase VO, en fonction de leur résistivité électrique, sans exposition thermique, et après exposition thermique à 310°C pendant 90min ; un exemple de valeurs d'un paramètre représentatif du bruit en 1/f pour des composés de hase VO' en fonction de leur résistivité électrique, sans exposition thermique, et après exposition thermique à 310°C pendant 90min ; les figures 3A et 3B sont des exemples de spectres Raman pour des composés de hase VO' sans exposition thermique, et après exposition thermique pendant 90min à différentes températures ; les figures 4A à 4D sont des graphes illustrant l'évolution de la résistivité électrique p',' à température ambiante du matériau sensible à base d'oxyde de vanadium, après exposition dudit matériau à une température T, pendant une durée At,' pour différentes quantités d'un élément chimique additionnel, ce dernier étant l'arsenic (fig.4A), le germanium (fig.4B), le silicium (fig.4C), et le phosphore (fig.4D). EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS [0022] Sur les figures et dans la suite de la description, les mêmes références représentent les éléments identiques ou similaires. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l'échelle de manière à privilégier la clarté des figures. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent être combinés entre eux. Sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « de l'ordre de » signifient à 10% près, et de préférence à 5% près, et, en ce qui concerne les températures, à 10°C près et de préférence à 5°C près. Par ailleurs, l'expression « comportant un » doit être comprise comme « comportant au moins un », sauf indication contraire. [0023] Les indications relatives à la composition chimique d'un composé sont exprimées par sa formule chimique brute, exprimée conventionnellement par rapport à un (1) atome de vanadium. Ainsi, pour un composé VO'Asy, mentionné ici à titre purement illustratif, la valeur x de la quantité d'oxygène est le nombre d'atomes d'oxygène pour 1 atome de vanadium, et la valeur y de la quantité d'arsenic est le nombre d'atomes d'arsenic pour 1 atome de vanadium. La valeur de la quantité de l'élément chimique est donnée à 10% près. Par ailleurs, la proportion atomique de chaque élément chimique dans le composé VO,As, est de 1/(1+x+y) pour le vanadium, de x/(1+x+y) pour l'oxygène, et de y/(1+x+y) pour l'arsenic. [0024] L'invention porte notamment sur un procédé de fabrication d'au moins un détecteur thermique résistif, également appelé microbolomètre, comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium VO,ti. Le microbolomètre peut être adapté à détecter un rayonnement infrarouge ou térahertz. Le matériau sensible comporte une quantité suffisante non nulle d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic As, le germanium Ge, le silicium Si et le phosphore P, à l'exception de l'azote (N), permettant d'améliorer la stabilité thermique du matériau sensible. Dans la suite de la description, on appelle 'composé de base' un composé à base de VO, ne contenant pas l'élément chimique additionnel, et on appelle 'composé modifié' le composé de base dans lequel l'élément chimique additionnel a été ajouté. [0025] Le procédé de fabrication met en oeuvre au moins une étape dans laquelle le matériau sensible est exposé à une température supérieure à la température ambiante, et inférieure ou égale à une température Tr, pendant une durée inférieure ou égale à Atr, par exemple à 330°C ou à 350°C, voire à 390°C, pendant 10min, 30min, voire 90min ou davantage. La température Tr d'exposition thermique est donc supérieure à la température ambiante. [0026] Cette étape d'exposition thermique peut correspondre au dépôt à 330°C environ d'une couche de protection, par exemple réalisée en un nitrure de silicium SiN ou en un oxyde de silicium SiO, recouvrant le matériau sensible dans le but de le protéger de toute contamination ultérieure par des éléments chimiques éventuellement présents. Elle peut également correspondre à la réalisation d'une couche d'encapsulation en silicium amorphe, ladite couche étant destinée à définir une cavité hermétique dans laquelle est situé le rnicrobolomètre. Il peut également s'agir d'une activation à 330°C environ d'un matériau getter situé dans la cavité hermétique, ce matériau getter étant destiné à réagir avec du gaz résiduel éventuellement présent dans la cavité pour maintenir celle-ci à un niveau de vide suffisant. [0027] Ces exemples sont donnés à titre illustratif. L'étape d'exposition thermique à la tem- pérature Tr pendant la durée At, peut être mise en oeuvre, d'une manière générale, dans le cadre d'étapes technologiques de fabrication du microbolomètre effectuées après la réalisation du matériau sensible, voire dans le cadre d'étapes technologiques de fabrication du dispositif de détection après la réalisation du ou des microbolomètres, notamment pour l'intégration de fonctionnalités additionnelles au niveau de la puce de détection. 6 [0028] Les figures 1 A et 1B sont des vues schématiques et partielles, respectivement en perspective et en coupe suivant le plan A-A', d'un microbolometre 10 d'un dispositif de détection 1 d'un rayonnement électromagnétique, le microholomètrc 10 comportant un matériau sensible 15 à base d'oxyde de vanadium VO,. [0029] Le microbolornetrc 10 comporte une membrane absorbante 11 à matériau sensible 15 à hase d'oxyde de vanadium VO,, suspendue au-dessus d'un substrat 2 par des piliers d'ancrage 12 et des bras d'isolation thermique 13, ainsi qu'un circuit électronique de commande et de lecture (non représenté) situé dans le substrat 2. Le microholomètrc 10 est ici adapté à absorber un rayonnement infrarouge compris dans la bande de longueurs d'onde infrarouges longues (dite LWIR), allant de 81.im à 14pm environ. [0030] On définit ici et pour la suite de la description un repère direct tridimensionnel or- thogonal (X,Y,Z), où le plan XY est sensiblement parallèle au plan d'un substrat 2, l'axe Z étant orienté suivant une direction sensiblement orthogonale au plan du substrat 2. Par ailleurs, les termes « inférieur » et « supérieur » s'entendent comme étant relatifs à un positionnement croissant lorsqu'on s'éloigne du substrat 2 suivant la direction +Z. [0031] Le microbolornetrc 10 comporte un substrat 2, réalisé dans cet exemple à hase de silicium, comportant un circuit électronique (non représenté) permettant la commande et la lecture du microholomètre. Le circuit électronique comporte des portions de lignes conductrices, par exemple métalliques, séparées les unes des autres par un matériau diélectrique, par exemple un matériau minéral à hase de silicium tel qu'un oxyde de silicium SiO, un nitrure de silicium SiN, ou leurs alliages. Il peut comporter à cet effet des éléments électroniques actifs, par exemple des diodes, transistors, condensateurs, résistances..., connectés par des interconnexions électriques au micro-bolomètre 10 d'une part, et à un plot d'interconnexion (non représenté) d'autre part, ce dernier étant destiné à relier électriquement le dispositif de détection 1 à un dispositif électronique externe. [0032] La face supérieure du substrat 2 peut être revêtue d'une couche de protection (non re- présentée) notamment lorsque la membrane absorbante est réalisée sur une couche sacrificielle minérale, laquelle est ensuite éliminée par attaque chimique en milieu acide. Elle peut recouvrir ou être recouverte par une couche réflectrice 14 disposée sous la membrane absorbante 11. Lorsqu'elle revêt la couche réflectrice 14, elle est réalisée en un matériau au moins partiellement transparent au rayonnement électromagnétique à détecter. La couche de protection présente une fonction d'arrêt de gravure, et est adaptée à assurer une protection du substrat et des couches diélectriques inter-métal lorsqu'elles sont réalisées en un matériau minéral vis-à-vis d'une attaque chimique, par exemple une attaque chimique en milieu acide HF (acide fluorhydrique) mise en oeuvre ultérieurement pour graver la couche sacrificielle minérale utilisée lors de la réalisation de la membrane absorbante. Cette couche de protection forme ainsi une couche 7 hermétique et chimiquement inerte. Elle est électriquement isolante pour éviter tout court-circuit entre les portions de ligne métallique. Elle peut ainsi être réalisée en alumine AI,03, voire en nitrure ou fluorure d'aluminium. Elle peut présenter une épaisseur comprise entre quelques dizaines et quelques centaines de nanomètres, par exemple comprise entre lOnm et 500nm, de préférence comprise entre lOnm et 30nm. [0033] Le microbolornetre 10 comporte une membrane absorbante 11 intégrant un matériau sensible 15 à hase d'oxyde de vanadium VO' suspendue au-dessus du suhstrat 2 par des piliers d'ancrage 12 et des bras d'isolation thermique 13. Les piliers d'ancrage 12 sont électriquement conducteurs, et traversent localement la couche de protection pour assurer un contact électrique avec le circuit électronique. La membrane absorbante 11 est espacée du suhstrat 2, et en particulier de la couche réflectrice 14, d'une distance non nulle. Cette distance est de préférence ajustée de manière à former une cavité quart d'onde optimisant l'absorption du rayonnement électromagnétique à détecter par la membrane suspendue 11. [0034] Comme l'illustre la fig.1B, la membrane absorbante 11 peut comporter une couche inférieure de support 20 réalisée en un matériau électriquement isolant sur laquelle reposent deux électrodes 21.1, 21.2 distinctes l'une de l'autre, réalisées par exemple en TiN qui présente une forte absorption du rayonnement infrarouge. Une couche mince du matériau sensible 15 repose sur la couche support 20 et vient au contact de chacune des deux électrodes 21.1, 21.2. Le matériau sensible 15 est ici recouvert d'une couche de protection 22, réalisée par exemple en un nitrure de silicium SiN ou un oxyde de silicium SiO, laquelle permet d'éviter toute contamination ultérieure du matériau sensible 15. Cet exemple est donné à titre purement illustratif et d'autres agencements des électrodes et du matériau sensible sont possibles. [0035] Par ailleurs, le microbolomètre 10 peut être situé dans une cavité hermétique définie par une structure d'encapsulation (non représentée), comme le décrit notamment la publication de Dumont et al. intitulé Current progress on pixel level packaging for uncooled IRFPA, SPIE Proceedings Vol.8353 (2012). La structure d'encapsulation peut être formée d'un empilement de différentes couches minces, telles qu'une couche d'encapsulation par exemple réalisée en silicium amorphe déposé par CVD ou iPVD, recouverte d'une couche de scellement et d'antireflet, par exemple réalisée en différentes sous-couches de germanium et de sulfure de zinc, déposées par exemple par EBPVD, IBS ou autre. Une telle structure d'encapsulation est notamment décrite dans la demande de brevet EP3067675. [0036] Le matériau sensible 15 est à base d'oxyde de vanadium VO' c'est-à-dire qu'il est formé d'un 'composé de base' réalisé à partir d'un oxyde de vanadium VO, dans lequel a été ajouté un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic, le germanium, le silicium, et le phosphore à l'exception de l'azote. Le matériau sensible 8 15 ne comporte donc pas d'azote : la quantité d'azote dans le matériau sensible 15 est donc nulle ou quasi-nulle, c'est-à-dire est inférieure ou égale à 0.1% en proportion atomique. Un élément chimique additionnel est un élément chimique ajouté volontairement au composé de hase qu'est l'oxyde de vanadium. Le matériau sensible 15 est amorphe, c'est-à-dire qu'il ne contient sensiblement pas de phases cristallines. Par ailleurs, il présente une résistivité électrique comprise entre 0.1 Q.cm et 30 52.em, ce qui correspond par exemple à une quantité d'oxygène x, définie comme le rapport entre le nombre d'atomes d'oxygène sur le nombre d'atomes de vanadium, comprise entre 1.42 et 1.94 à plus ou moins 0.05 près. Plus précisément, le composé de hase présente une résistivité électrique comprise entre 1 Q.cm et 30 Q.cm. Le composé modifié, correspondant au composé de hase dans lequel a été ajouté l'élément chimique additionnel présente une résistivité électrique comprise entre 0.1 Q.cm et 30 Q.cm. La quantité x d'oxygène est identique dans le composé de hase et le composé modifié. De plus, il présente une composition chimique homogène, c'est-à-dire que sa composition chimique telle qu'elle est définie dans un volume élémentaire de l'ordre de 3nm de diamètre est invariante à grande échelle (dans au moins 90%, 95%, voire 99% de son volume). [0037] Le composé de hase est amorphe et est réalisé à hase de VO, avec x compris entre 1.42 et 1.94, à plus ou moins 0.05 près, et de préférence compris entre 1.56 et 1.94, à 0.05 près. Il ne présente pas une forme stoechiométrique. 11 se distingue ainsi des composés stoechiométriques du type V02, le V205, le V305. Comme précisé précédemment, le composé de formule chimique brute V20s comporte ici 5 atomes d'oxygène pour 2 atomes de vanadium (x=5/2), et le composé V30s comporte 5 atomes d'oxygène pour 3 atomes de vanadium (x=5/3). Notons ici que le composé stoechiométrique V305 est un composé qui ne peut être obtenu dans les conditions de réalisation usuelles d'un tel composé de base VO, de microbolomètre (température habituellement inférieure au budget thermique maximal du circuit de lecture situé dans le substrat 2, i.e. inférieure à 400°C). Aussi, le matériau sensible VO, selon l'invention peut présenter une quantité x égale à 1.67 sans pour autant qu'il corresponde à la forme stoechiométrique V305. Par ailleurs, en ce qui concerne le composé stoechiométrique V2 QI, la probabilité est quasi nulle qu'un tel composé de base, c'est-à-dire amorphe et présentant une résistivité électrique comprise entre 1 52.cm et 30 Q.cm environ, puisse former après recuit à la température T, une unique phase cristalline stoechiométrique 05. Aussi, même pour un composé de base amorphe ayant une quantité d'oxygène à 1.5 environ, donc à 0.05 près, plusieurs phases cristallines stoechiométriques différentes par leur quantité d'oxygène sont donc susceptibles d'être formées après recuit à T' dont la phase cristalline V203. Quoi qu'il en soit, dans le cas où la quantité d'oxygène du composé de base amorphe est comprise entre 1.56 et 1.94, à 0.05 près, 9 une unique phase cristalline stoechiométrique V,03 ne peut se former après recuit à Tr. Notons par ailleurs que, dans le cas où le composé de hase ou le matériau sensible présente une quantité d'oxygène x comprise entre 1.56 et 1.94, à 0.05 près, la résistivité électrique native est alors comprise entre 2 Q.cm et 30 Q.cm environ. [0038] Le matériau sensible 15 correspond alors à un composé modifié, c'est-à-dire qu'il correspond au composé de hase qui a été modifié par l'addition d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic As, le germanium Ge, le silicium Si et le phosphore P. Comme détaillé plus loin, il est de préférence choisi parmi l'arsenic, le germanium et le silicium, et est de préférence l'arsenic. [0039] La quantité d'élément chimique additionnel, à savoir le nombre d'atomes d'arsenic As, de germanium Ge, de silicium Si ou de phosphore P, sur celui de vanadium, est choisie de manière à conférer au matériau sensible, lequel a été exposé à la température T,. pendant la durée Atr, une stabilité thermique améliorée, plus précisément une résistivité électrique pair à température ambiante supérieure à 10% de sa valeur native p', et de préférence supérieure ou égale à 50% de sa valeur native. Par au moins égal, on entend supérieur ou égal. La valeur native pa de la résistivité électrique est celle du matériau sensible avant qu'il ait été exposé à la température T' pendant At' [0040] Les valeurs de la température T' et de la durée At, sont telles que le premier composé à base de VO. (donc sans l'élément chimique additionnel) présente une résistivité électrique à température ambiante inférieure ou égale à 10% de sa valeur native. Il s'agit de valeurs de température et de durée de l'exposition thermique à laquelle le matériau sensible 15 sera susceptible d'être soumis lors des étapes ultérieures de fabrication du microbolomètre. [0041] La quantité d'élément chimique additionnel (As, Ge, Si et/ou P) est alors supérieure ou égale à une valeur dite efficace, dite quantité efficace. La quantité efficace est la quantité minimale, non nulle, de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si et/ou P) à partir de laquelle le matériau sensible, ayant subi une étape d'exposition à la température T' pendant la durée At,, présente une résistivité électrique p',' à température ambiante, supérieure à 10% de la valeur native p' dudit matériau sensible à température ambiante, et de préférence supérieure ou égale à 50% de la valeur native pa. La température ambiante peut être égale à 30°C. La température T, est supérieure à la température ambiante, et est de préférence supérieure ou égale à 330°C, et de préférence supérieure ou égale à 350°C. Elle peut être inférieure ou égale à 400°C. La durée At' est de préférence supérieure ou égale à quelques minutes ou dizaines de minutes, voire à quelques hem-es. [0042] Autrement dit, lorsque le matériau sensible, dont la quantité de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si et/ou P) est supérieure ou égale à la quantité efficace, n'a pas été exposé à la température Tr pendant la durée Atr, sa résistivité électrique à tem- pérature ambiante présente la valeur native pa. Après exposition thermique à T, pendant At', le matériau sensible présente alors une résistivité électrique pair à température ambiante supérieure à 10% de la valeur native p' et de préférence supérieure ou égale à 50% de la valeur native pa. [0043] La quantité efficace dépend notamment du composé de hase considéré, ainsi que des valeurs choisies de la température T, et de la durée At' de l'exposition thermique. L'homme du métier est à même de déterminer la quantité efficace, c'est-à-dire la quantité minimale de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si et/ou P), à ajouter au composé de hase pour que le matériau sensible présente une résistance électrique pair à température ambiante supérieure à 10% de la valeur native pu. La quantité efficace peut être choisie, le cas échéant, de sorte que la valeur p',' soit supérieure à 10%, par exemple au moins égale à 50%, voire au moins égale à 90% de la valeur native pa. [0044] La résistivité électrique à température ambiante du matériau sensible peut être dé- terminée par une technique de mesure conventionnelle à quatre pointes, et la composition atomique du matériau sensible, et partant, la quantité de l'élément chimique additionnel, peut être notamment déterminée par NRA (Nuclear Reaction Analysis), par RBS (Rutherford Backscauering Spectroscopy), par STIVIS (Secondary Ion Mass Spectrotnetry), par XPS (X-ray Phoutelectron Spectroscopy), en utilisant les étalons adaptés. [0045] Il est connu que la résistivité électrique à température ambiante d'un matériau sensible constitué d'oxyde de vanadium VO, peut présenter une chute de sa valeur lorsqu'il a été exposé à une température de 300°C ou de 400°C, en particulier sous atmosphère inerte (sous azote), comme le décrit la publication de Venkatasubramanian et al. intitulée Correlation of temperature response and structure of annealed VO x thin films ,for IR detector applications, J. Vac. Sci. Technol. A 27(4), 2009, 956-961 Ainsi, un matériau sensible constitué d'oxyde de vanadium, donc sans élément chimique additionnel tel que l'arsenic, le germanium, le silicium et le phosphore, présente une résistivité électrique pal, à température ambiante du même ordre de grandeur que sa valeur native p' après exposition à une température de l'ordre de 200°C sous atmosphère inerte. Cependant, la résistivité électrique Rd, chute d'un ordre de grandeur, voire de plusieurs ordres de grandeur, lorsque le matériau sensible a été exposé à une température de 300°C ou de 400°C pendant 10min ou 30min sous atmosphère inerte. [0046] Cependant, les inventeurs ont constaté que l'addition d'une quantité suffisante d'un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic, le germanium, le silicium et le phosphore, dans un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium permet d'améliorer, de manière surprenante, la stabilité thermique du matériau sensible lors d'une exposition thermique à des températures élevées, par exemple de l'ordre de 330°C voire davantage, pendant plusieurs dizaines de minutes, et plus précisément de limiter voire 11 écarter une éventuelle dégradation du bruit en 1/f du matériau sensible à la suite de l'étape d'exposition thermique. [0047] Le matériau sensible à hase d'oxyde de vanadium, avec addition d'une quantité suffisante de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si et/ou P), présente alors une résistivité électrique pal, à température ambiante supérieure à 10% de la valeur native La quantité effective ajouté dans le premier composé en VO, est une quantité supérieure ou égale à la quantité efficace déterminée. Un tel matériau sensible ne présente alors pas de dégradation significative de ses propriétés électriques, et notamment ne présente pas de dégradation significative de sa résistivité électrique à température ambiante ni de son bruit en 1/f, à la suite du procédé de fabrication du microbolomètre qui comporte au moins une étape d'exposition du matériau sensible à au plus T, pendant au plus At, comme des étapes de dépôt de couches minces, d'encapsulation du microbolornetre dans une cavité hermétique, voire d'activation d'un matériau piler. [0048] Plus précisément, il apparaît qu'une exposition d'un composé à base de VO, lorsqu'il est amorphe et présente unc résistivité électrique native pa à température ambiante comprise entre 1 Q.cm et 30 Q.cm, à une température T, pendant une durée At telles que sa résistivité électrique p',, est au moins inférieure à 50% de sa valeur native pa, provoque également une dégradation du bruit en 1/f, sans pour autant que le coefficient TCR soit affecté. Rappelons que le bruit en 11f, également appelé bruit de flicker ou bruit basse fréquence, provient notamment des fluctuations de mobilité et/ou de densité des porteurs libres. [0049] Par ailleurs, un composé amorphe à base d'un oxyde de vanadium VO' pour lequel la résistivité électrique est comprise entre 1 Q.cm et 30 Q.cm, n'est pas susceptible de former une phase cristalline stoechiométrique unique, après recuit à T' dans les conditions usuelles de réalisation d'un tel composé (le base VO, d'un microbolomètre (température inférieure à 400°C). Dans une telle gamme de résistivité électrique, le composé de base présente une quantité d'oxygène x de l'ordre de 1.42 à 1.94 environ. Par environ, on entend ici que l'incertitude absolue est de ±0.05. Comme indiqué précédemment, la résistivité électrique du composé de base peut être comprise entre 2 52.cm et 30 52.cm, sa quantité d'oxygène x étant alors comprise entre 1.56 et 1.94, à 0.05 près. [0050] Les inventeurs ont constaté que l'évolution du bruit en 1/f d'un tel composé de base en fonction de la température T. d'exposition thermique pour une durée At, donnée est corrélée à celle de la résistivité électrique, mais ne l'est pas à celle du coefficient TCR. [0051] Ainsi, la figure 2A illustre un exemple d'évolution de la résistivité électrique pair d'un composé de base en VO, .g (ne contenant pas d'arsenic, de germanium, de silicium ni de phosphore) en fonction de la température T. pour une durée At, égale à 90 min. Ainsi, 12 la résistivité électrique pair reste constante et égale à 10 Q.cm environ jusqu'à la température T, de 280°C environ. Ensuite, elle présente une forte diminution, en particulier entre 300°C et 325°C. [0052] Par ailleurs, il apparaît que, lorsque la résistivité électrique se dégrade suite à l'exposition thermique à T, pendant At', le coefficient thermique de résistance (TCR, pour Temperature Coefficient of Resistwice, en anglais) ne subit sensiblement pas de dégradation. [0053] Ainsi, la figure 2B illustre les valeurs de différentes mesures du coefficient TCR (en unités arbitraires) d'un composé de base en VQ,, dont la résistivité électrique est comprise entre 5 Q.cm et 15 Q.cm, en fonction de la résistivité électrique pair après un recuit de 310°C pendant une durée At,. de 90 min (losanges pleins). Des valeurs du coefficient TCR pour ce même type de composé de hase VO, sans recuit à la température Tr sont également indiquées (ronds vides). Il apparaît que le coefficient TCR d'un tel composé de hase VO' reste sensiblement constant, ceci que le composé de hase ait été ou non soumis à une exposition thermique de haute température T. de 310°C. Les valeurs de résistivité électrique indiquées sur la fig.2B concernant les composés de hase VO, avec recuit (losanges pleins) correspondent à la résistivité électrique dégradée à la suite du recuit. Les valeurs natives de la résistivité électrique sont plus élevées et ne sont pas indiquées sur la figure. De plus, les valeurs de résistivité électrique concernant les composés de base VO' sans recuit (ronds vides) correspondent à la résistivité électrique native des composés correspondants. Les valeurs dégradées après recuit sont plus faibles mais ne sont pas indiquées sur la figure. [0054] En revanche, il apparaît que le bruit en 1/f associé à ce type de composé de base VO, présente une augmentation qui est concomitante à la diminution de la résistivité électrique p'1, lorsque celle-ci est due à l'exposition thermique à la température T, pendant la durée At,. [0055] Ainsi, la figure 2C illustre les valeurs de différentes mesures d'un paramètre Nuf re- présentatif du bruit en 1/f des composés de base en VO' de la fig.2B en fonction de la résistivité électrique p'1, après un recuit de 310°C pendant une durée At, de 90 min (losanges pleins). Des valeurs de ce paramètre de bruit en 1/f pour ces composés de base VO, sans recuit à la température T, sont également indiquées (ronds vides). Alors que le bruit en 1/f reste sensiblement constant quelle que soit la valeur de la résistivité électrique pour ces composés de base VO, sans recuit à T, (ronds vides), il apparaît qu'un recuit des composés de base VO, à une température de 310°C pendant 90 min provoque une augmentation sensible du bruit en 1/f (losanges pleins). [0056] Le paramètre Nu représentatif du bruit en 1/f est estimé ici à partir de l'analyse spectrale d'un courant électrique de référence qui circule dans le matériau sensible. Pour cela, on polarise le matériau sensible avec une source de tension continue (DC) 13 réglée de manière à imposer le courant de référence dans le matériau sensible. On utilise en outre une source de tension de très faible bruit pour ne pas biaiser la mesure du bruit du matériau sensible. Ainsi le courant de référence est entaché du seul courant de bruit du matériau sensible. Ce courant est alors amplifié par un amplificateur transimpédance qui délivre un signal de sortie en tension qui est l'image du courant d'entrée. Le signal en tension est échantillonné, numérisé et traité numériquement (transformée de Fourrier) pour obtenir son spectre. L'amplitude du bruit en 1/f peut être obtenue en relevant un point particulier du spectre, par exemple à 1 Hz ou par une méthode de calcul des moindres carrés sur la partie basse fréquence du spectre où la manifestation du bruit en 1/f est la plus marquée. [0057] Aussi, il ressort qu'une exposition d'un composé de hase VQ' amorphe et présentant une résistivité électrique native p, à température ambiante comprise entre 1 Q.cm et 30 Q.cm (i.c. forme non stoechiométrique), à une température T, pendant une durée At, telles que sa résistivité électrique pd, chute par rapport à sa valeur native p', provoque également une dégradation du bruit en 1/f, sans pour autant que le coefficient TCR ne soit affecté. [0058] Cette augmentation du bruit en 1/f d'un tel composé de hase VO' peut être la conséquence d'un début de cristallisation du composé, dans laquelle des phases cristallines distinctes apparaissent, qui diffèrent entre elles par la quantité d'oxygène, ces phases cristallines étant alors des formes stoechiométriques. Ainsi, à titre d'exemple, la cristallisation au moins partielle d'un composé de base VO, initialement amorphe avec x de l'ordre de 1.8 se traduit par l'apparition de différentes phases cristallines stoechiométriques, parmi lesquelles VO2 et V20., (i.e. x=2.5). L'augmentation du bruit en lit pourrait ainsi être lié à l'apparition de plusieurs phases cristallines stoechiométriques, différentes entre elles par la quantité d'oxygène, et donc par la perte du caractère homogène de la composition chimique du matériau sensible, et donc de ses propriétés électriques locales. [0059] A ce titre, les figures 3A et 3B illustrent des exemples de spectres Raman d'un composé de base VOx (donc sans As, Ge, Si ou P ajouté), initialement amorphe, avec x égal à 1.85 environ, pour différentes expositions à une température T, pendant une durée At, de 90min. Les spectres Raman de la figure 3A sont centrés sur une gamme de déplacement Raman (Raman shift, en anglais) allant de 100 à 300 cm' environ, et ceux de la figure 3B le sont sur une gamme de déplacement Raman allant de 700 à 950 cm' environ. La courbe Ao correspond au spectre Raman d'un composé VOi 85 sans recuit, et la courbe A, à celle du support sur lequel repose le composé en question. Les courbes AI, A2, A3 et A4 correspondent au spectre Raman du composé VO, 85 ayant subi une exposition pendant 90min aux températures T, de 300°C, 310°C, 320°C et 330°C, respectivement. Il apparaît que le pic à 149 cm-1 apparaît et augmente en 14 intensité lorsque la température Ti_ augmente, ce pic étant associé à la phase cristalline stoechiométrique V205 (x=2.5). De même, les pics à 197 cm-1 et 224 cm-1 associés à la phase cristalline stoechiométrique VO, apparaissent et augmente en intensité avec la température Tr. Corrélativement, le pic à 860 cm-1 associé au caractère amorphe du composé de hase diminue à mesure que la température T, augmente. [0060] Ainsi, il apparaît que l'exposition à haute température d'un composé de hase réalisé à partir de VO, et ne contenant pas d'arsenic, de germanium, de silicium ni de phosphore, initialement amorphe, et dont la résistivité électrique native est comprise entre 1 Q.cm et 30 Q.cm conduit à une cristallisation au moins partielle du matériau sensible, qui se traduit par une chute dc sa résistivité électrique et par une augmentation du bruit en 1/f. Autrement dit, la résistivité électrique à température ambiante est un paramètre représentatif du caractère amorphe ou non du composé, ainsi que du bruit en 11f. Aussi, par le fait d'ajouter une quantité suffisante d'arsenic, germanium, dc silicium ou de phosphore comme élément chimique additionnel dans le composé de hase (ou 'premier composé') pour obtenir un composé modifié, il est possible de limiter la cristallisation voire de repousser le seuil de cristallisation du composé modifié, et donc de limiter voire écarter la dégradation du bruit en 1/f. [0061] Comme mentionné précédemment, le procédé de fabrication comporte alors une étape d'ajout dans le composé de hase d'un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic, le germanium, le silicium et le phosphore, de manière à obtenir un composé modifié. La résistivité électrique native est comprise entre 0.1 52.cm et 30 52.cm, ce qui correspond à une quantité d'oxygène x non stoechiométrique. La quantité d'oxygène x du composé de base n'a pas été modifiée par l'ajout de l'élément chimique additionnel. Ainsi, dans le cas où l'élément chimique additionnel est de l'arsenic, on détermine la quantité d'arsenic à ajouter dans le composé de base de sorte que le composé ainsi modifié, lorsqu'il est exposé à la température T, pendant la durée At, déterminées préalablement, présente une résistivité électrique Pd, supérieure ou égale à 10% de sa valeur native. Ainsi, on limite la cristallisation partielle du composé modifié faisant apparaître des phases cristallines stoechiométriques différentes entre elles par la quantité d'oxygène x, et on limite également la dégradation du bruit en 11f. Ainsi, on améliore la stabilité thermique des propriétés du matériau sensible lorsqu'il sera ultérieurement exposé à la température T, pendant la durée At,. [0062] Un tel matériau sensible est alors particulièrement avantageux dans le cadre d'un procédé de fabrication collective d'une matrice de microbolomètres d'un dispositif de détection du rayonnement électromagnétique. En effet, lors d'une étape d'exposition thermique, le champ de température peut présenter des inhomogénéités spatiales au sein d'un réacteur de dépôt de couches minces ou d'un four de recuit, ce qui peut se traduire par une dispersion des propriétés électriques des microbolomètres. Ainsi, par l'utilisation du matériau sensible à quantité suffisante d'arsenic, de germanium, de silicium et/ou de phosphore, les rnicrobolomètres présentent une meilleure stabilité thermique lors de l'exposition thermique à la température il, réduisant ainsi la dispersion des propriétés électriques des microbolomètres. [0063] Par ailleurs, le matériau sensible peut comporter en outre un métal de transition ap- partenant à la période 4 du tableau périodique des éléments, c'est-à-dire du scandium Se, du titane Ti, du chrome Cr, du manganèse Mn, du fer Fe, du cobalt Co, du nickel Ni, du cuivre Cu et/ou du zinc Zn. Il peut également comporter d'autres éléments chimiques, par exemple l'yttrium Y, le niobium Nb, le molybdène Mo, le tantale Ta, le tungstène W, entre autres. [0064] La figure 4A illustre des exemples d'évolution de la résistivité électrique pair à tem- pérature ambiante du matériau sensible en fonction de la température T, d'exposition thermique, pour différentes quantités d'arsenic As ajouté au premier composé VO, pour une durée At, de 90min. Ces exemples mettent en évidence une amélioration de la stabilité thermique du matériau sensible lorsqu'il comporte la quantité sensible d'arsenic. [0065] Dans ces exemples, les échantillons du composé modifié VO,Asy du matériau sensible ont été réalisés par une technique de dépôt du premier composé VO, par pulvérisation par faisceau d'ions (IBS, pour Ion Benin Spunering en anglais), par exemple en pulvérisant une cible de vanadium sous atmosphère oxydante à une pression partielle d'oxygène par exemple de l'ordre de 104 TOIT environ, suivie d'une implantation d'arsenic dans le premier composé VO,. On obtient ainsi le composé modifié VO,Asy. D'autres techniques de réalisation du composé modifié VO,As' peuvent être utilisées. La résistivité électrique pal, du matériau sensible est mesurée à température ambiante, ici à 30°C, après exposition du matériau sensible pendant 90min à des températures de 270°C. 310°C, 330°C, 350°C. 370°C et 390°C. Différentes quantités y d'arsenic ont été ajoutées, à savoir ici 0.004, 0.012, 0.04 et 0.12. Dans ces exemples, la quantité x d'oxygène est égale à 1.9 à 0.14 près, et le premier composé V01.9 présente une résistivité native de 20 52.cm environ. [0066] 11 apparaît que, pour la quantité y d'arsenic de 0.004, la résistivité électrique PA_ présente une chute d'un rapport 10 par rapport à sa résistivité native p' à partir d'une première température seuil 11,1', égale à 330°C environ. Autrement dit, la résistivité électrique p'1, est inférieure ou égale à 10% de la valeur native pa pour y = 0.004. [0067] En revanche, il apparaît que, pour les quantités y d'arsenic de 0.012, 0.04 et 0.12, à cette température Ttu égale à 330°C, la résistivité électrique pair est supérieure à 10% de la résistivité native pa respective. Aussi, à partir de y=0.012 d'arsenic, qui est alors la quantité efficace, le matériau sensible présente une meilleure stabilité thermique. Plus précisément : 16 En ce qui concerne les quantités y d'arsenic égales à 0.012 et 0.04, il apparaît que la résistivité électrique présente une chute d'un rapport 10 par rapport aux résistivités natives p, respectives à partir d'une deuxième température seuil T da., égale à 360°C environ. Il en ressort donc qu'ajouter une quantité d'arsenic au moins égale à 0.012 au composé de hase VO, confère au moins 30°C environ de stahilité thermique supplémentaire au matériau sensible. En ce qui concerne la quantité y d'arsenic égale à 0.12, il apparaît que, jusqu'à au moins 390°C, la résistivité électrique ne présente pas de chute d'un rapport 10 par rapport à sa résistivité native pu. Aussi, ajouter une quantité d'arsenic au moins égale à 0.12 confère au moins 60°C environ de stahilité thermique supplémentaire au matériau sensible. [0068] Notons enfin que l'ajout dans le composé de hase VO, d'une quantité d'arsenic allant jusqu'à 0.12 conduit à une diminution au plus d'un rapport 60 environ de la résistivité électrique native du composé modifié VO,Asy REVENDICATIONSProcédé dc fabrication d'au moins un microbolomètre (10) comportant un matériau sensible (15), le procédé permettant de limiter une dégradation d'un bruit associé audit matériau sensible (15), ledit matériau sensible (15) étant formé d'un premier composé à base d'oxyde dc vanadium (V0,) et d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic (As), le germanium (Ge), le silicium (Si), ct le phosphore (P), à l'exception dc l'azote (N), le procédé comportant les étapes suivantes : - une étape de réalisation dudit matériau sensible (15) en couche mince ; - une étape d'exposition du matériau sensible (15) à une température T, supérieure à la température ambiante pendant une durée Atr, effectuée ultérieurement à l'étape de réalisation du matériau sensible (15), la température T, et la durée At, étant telles que ledit premier composé, étant amorphe et présentant une valeur native de résistivité électrique à température ambiante comprise entre 1 Q.cm et 30 52.cm, ayant subi une étape d'exposition à la température T' pendant la durée At' présente une résistivité électrique à température ambiante inférieure ou égale à 10% de sa valeur native ; le procédé comportant en outre les étapes suivantes : détermination d'une quantité dite efficace non nulle de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si, P) ajouté audit premier composé (V0x), formant ainsi un composé modifié, à partir de laquelle le composé modifié, ayant subi une étape d'exposition à la température Tr pendant la durée Atr, présente une résistivité électrique pair à température ambiante supérieure à 10% de sa valeur native pa ; lors de ladite étape de réalisation du matériau sensible (15) en couche mince, celui-ci est formé dudit - composé modifié ayant une quantité de l'élément chimique additionnel (As, Ge, Si, P) supérieure ou égale à la quantité efficace préalablement déterminée, le matériau sensible (15) étant amorphe, présentant une valeur native P, de résistivité électrique à température ambiante comprise entre 0.1 52.cm et 30 52.cm ainsi qu'une composition chimique homogène ; de sorte que, à la suite de ladite étape d'exposition du matériau sensible (15) à la température T, pendant la durée Atr, ledit matériau sensible (15) présente alors un bruit dont la dégradation a été limitée. [Revendication 2] Procédé de fabrication selon la revendication 1, l'élément chimique ad- ditionnel étant choisi parmi l'arsenic, le germanium, et le silicium, et est de préférence l'arsenic. [Revendication 3] Procédé de fabrication selon la revendications 1 ou 2, dans lequel l'étape d'exposition du matériau sensible (15) comprend une étape de dépôt d'une couche de protection (22) recouvrant le matériau sensible. [Revendication 4] Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l'étape d'exposition du matériau sensible (15) comprend une étape de dépôt d'une couche d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter destinée à définir une cavité dans laquelle est situé le microbolomètre. [Revendication 5] Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel la température T. est supérieure ou égale à 330°C, voire égale à 350°C à 5°C près. [Revendication 6] Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la durée At, est supérieure ou égale à 90min [Revendication 7] Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le matériau sensible (15) est réalisé à une température inférieure à la température Tr. [Revendication 8] Microbolomètre (10) comportant un matériau sensible (15) en un premier composé à base d'oxyde de vanadium (VOx) et d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi l'arsenic, le germanium, le silicium et le phosphore, à l'exception de l'azote, caractérisé en ce que le matériau sensible (15) : 23 est amorphe, présente une résistivité électrique à température ambiante comprise entre 0.1 Q.cm et 30 Qcm, présente une composition chimique homogène, et comporte une quantité de l'élément chimique additionnel, définie comme le rapport du nombre d'atomes l'élément chimique additionnel sur celui de vanadium, au moins égale à 0.012 dans le cas de l'arsenic, au moins égale à 0.04 dans le cas du germanium et du silicium, et au moins égale à 0.12 dans le cas du phosphore. [Revendication 9] [Revendication 10] [Revendication 11] [Revendication 12] Microbolornètre (10) selon la revendication 8, dans lequel la quantité d'oxygène, définie comme le rapport du nombre d'atomes d'oxygène sur celui de vanadium, est comprise entre 1.42 et 1.94, à plus ou moins 0.05 près. Microbolornètre (10) selon la revendication 8 ou 9, dans lequel le matériau sensible (15) est recouvert par une couche de protection (22) en nitrure de silicium. Dispositif de détection (1) d'un rayonnement électromagnétique, comportant une matrice de microbolomètres selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, les microbolomètres (10) étant disposés dans au moins une cavité hermétique délimitée par une structure d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter, la structure d'encapsulation comportant au moins une couche réalisée en silicium amorphe. Dispositif de détection (1) selon la revendication 11, comportant un matériau getter situé dans la cavité hermétique.