FR 3098905 A1 20210122 FR 1908145 A 20190718 Description Titre de l'invention : CAPTEUR ET PROCEDE DE CAPTURE DE MOTIF THERMIQUE A DOUBLE INTEGRATION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR [0001] L'invention concerne un capteur de motif thermique, ainsi qu'un procédé de capture de motif thermique. L'invention est avantageusement utilisée pour réaliser une capture d'empreinte digitale par détection thermique. [0002] 11 est connu de réaliser un capteur d'empreinte digitale comportant des moyens de détection thermique. Ces moyens de détection thermique peuvent correspondre à des capacités pyroélectriques, des diodes, des thermistances, ou plus généralement tout élément thermosensible convertissant une variation de température subie par l'élément thermosensible en une variation d'un paramètre électrique de l'élément thermosensible tel qu'un potentiel électrique aux bornes de l'élément thermosensible, un courant électrique généré par l'élément thermosensible ou encore une variation de la résistance électrique de l'élément thermosensible. 100031 La détection d'empreinte digitale peut être réalisée par des capteurs dits « passifs qui exploitent une différence de température entre le doigt et le capteur, comme décrit dans les documents US 4 394 773, US 4 429 413 et US 6 289 114. Ces capteurs ont toutefois pour inconvénient de réaliser une mesure qui dépend uniquement de cette différence de température. H peut donc arriver que le niveau du signal obtenu en sortie soit nul lorsque le doigt et le capteur sont à la même température, ou que le contraste des images capturées varie, ce qui pose alors des problèmes lors du traitement numérique ultérieur des images capturées. 100041 Pour éliminer ces problèmes posés par les capteurs thermiques passifs, et également pour pouvoir réaliser une acquisition statique où le doigt ne bouge pas, des capteurs dits « actifs » ont été proposés, comme par exemple celui décrit dans les documents US 6 091 837 et EP 2 385 486 A 1. 100051 Dans un tel capteur actif, chaque pixel comporte une capacité pyroélectrique formée de deux électrodes conductrices entre lesquelles une portion de matériau pyroélectrique est disposée, et un élément chauffant. Cet élément chauffant dissipe une certaine quantité de chaleur dans le pixel (notamment dans la portion de matériau pyroélectrique), et l'échauffement du pixel est mesuré au bout d'un certain temps d'acquisition en présence du doigt sur le capteur. 100061 Au niveau de chaque pixel, il est possible de distinguer la présence d'une crête ou d'une vallée de l'empreinte capturée suivant que la chaleur apportée par l'élément chauffant est absorbée par la peau (pixel en présence d'une crête de l'empreinte) ou 2 conservée dans le pixel (pixel en présence d'une vallée de l'empreinte). A l'issue du temps d'acquisition, la température d'un pixel en présence d'une crête, où la chaleur est absorbée par la peau, est plus faible que celle d'un pixel en présence d'une vallée, où la chaleur n'est pas absorbée par la peau et reste dans le pixel. [0007] Au premier ordre, un tel capteur permet de mesurer la capacité calorifique, également appelée chaleur massique ou capacité thermique massique, d'un élément (le doigt lors d'une capture d'empreinte digitale) en contact avec les pixels du capteur. Les mesures obtenues dépendent également de la conductivité thermique entre les pixels du capteur et la partie de l'élément (crête ou vallée dans le cas d'une empreinte digitale) en présence sur chaque pixel. [0008] Lors d'une capture d'un motif thermique par un capteur à détection thermique actif, tous les pixels du capteur sont lus de la même manière, et de manière régulière à la même cadence, c'est-à-dire avec une durée de mesure fixe identique pour tous les pixels. Cette durée de mesure, qui correspond à une durée pendant laquelle un pixel réalise la mesure thermique de l'élément se trouvant en contact avec lui, est généralement ajustée de manière à obtenir un bon contraste entre les crêtes et les vallées de l'empreinte digitale, c'est-à-dire est suffisamment longue pour obtenir un niveau de signal important par rapport au bruit. Cette durée de mesure doit toutefois ne pas être trop longue pour que la durée totale de la capture reste acceptable par l'utilisateur et que la mesure ne soit pas perturbée par des mouvements du doigt sur la surface du capteur. [0009] La lecture des pixels réalisée dans un capteur à détection thermique actif peut cor- respondre par exemple à une mesure des charges générées dans chaque pixel, qui est mise en oeuvre avec un intégrateur de charges, mais d'autres méthodes sont possibles en fonction des moyens de détection thermique utilisés [0010] Un capteur thermique actif est sensible aux variations de température provoquées par le chauffage, mais reste également sensible à celles induites par la différence de température entre le doigt présent sur le capteur et le capteur. Les deux signaux générés par ces deux types de variations se superposent. Le capteur est généralement configuré pour avoir un signal dit « actif », correspondant aux variations de température provoquées par le chauffage, bien supérieur au signal dit « passif » qui correspond à la différence de température entre le doigt et le capteur. En d'autres termes, la variation de température induite par le chauffage est bien supérieure à la variation de température due à la différence de température initiale entre le doigt et le capteur (et qui pourrait être quasiment nulle si le capteur est par exemple à la même température que le doigt). [0011] La figure 1 représente plusieurs images successives obtenues lors de la lecture d'une empreinte digitale d'un doigt posé puis retiré d'un capteur thermique actif. Les images 3 visibles sur la figure 1 sont numérotées de 1 à 12 et correspondent à des captures successives chacune espacée d'une durée de 40 ms par rapport à la capture de l'image précédente. Sur ces images, la couleur grise est utilisée comme couleur neutre reflétant l'absence de charges générées, et le noir et le blanc reflètent la génération de charges positives ou négatives respectivement selon que l'élément se trouvant sur le capteur soit plus ou moins chaud que le capteur. [0012] Au moment où le doigt est posé sur le capteur, que le capteur soit de type thermique actif ou passif, si la différence de température entre le doigt et le capteur est non nulle, alors des charges positives ou négatives (suivant que le doigt est plus ou moins chaud que le capteur et suivant le sens de polarisation du matériau pyroélcctrique) sont générées dans les régions où le doigt entre en contact avec le capteur. Ainsi, sur les images 2 et 3 de la figure 1, les crêtes de l'empreinte qui apparaissent en noir correspondent à une partie du doigt qui vient d'entrer en contact avec le capteur. Ce contraste important reflète la différence de température importante qui existe à ce moment entre le doigt et le capteur. [0013] Les charges générées par la présence du doigt sur le capteur apparaissent sur les images capturées plus ou moins rapidement et avec plus ou moins de contraste en fonction de la vitesse de lecture du capteur et de la vitesse avec laquelle le doigt se pose sur le capteur. Après la lecture de ces charges par l'imageur, elles disparaissent et ne sont donc plus visibles sur les images suivantes. Le contraste du motif lié à ces charges diminue alors sur les images suivantes. [0014] Un autre phénomène se produit juste après le contact du doigt sur le capteur. Sur l'image 3 de la figure 1, une partie des crêtes de l'empreinte qui étaient déjà visibles sur l'image 2 sont devenues blanches et non grises. En effet, au moment du contact du doigt sur le capteur, les pixels ont fortement chauffés. Cela se voit bien sur l'image 2, avec les crêtes qui apparaissent en noir car la température de la peau est supérieure à celle du capteur lors de la capture de cette image L'ensemble doigt-capteur refroidit ensuite, et ce refroidissement se traduit par une génération de charges négatives pour les pixels en contact avec les crêtes qui apparaissent alors en blanc. [0015] Une température d'équilibre est ensuite atteinte, comme cela est visible sur les figures 5 et 6. [0016] Le phénomène inverse se produit au moment où le doigt est retiré car le capteur a tendance à revenir à sa température initiale, si son substrat possède une masse thermique supérieure à celle du doigt et qu'il n'a alors pas eu le temps de chauffer Cela est visible sur les images 7 et 8 de la figure 1 sur lesquelles les crêtes de l'empreinte deviennent blanches. [0017] En outre, l'utilisateur n'est pas totalement stable lorsqu'il pose son doigt sur le capteur, et ce phénomène d'alternance contact/non contact passif reste visible à la pé- riphérie de l'empreinte (voir l'image 4 sur laquelle les parties des crêtes de l'empreinte présentes en périphérie restent noires et non grises comme les autres parties des crêtes de l'empreinte). [0018] Le même phénomène se produit lorsque le doigt glisse sur le capteur : du fait de la présence des crêtes et des vallées, la peau est contact puis n'est plus en contact vu d'un pixel particulier, et des variations sont induites dans le capteur. [0019] Il existe également d'autres phénomènes parasites générant des charges dans le capteur, par exemple par effet piézoélectrique avec les variations de la pression appliquée par le doigt sur le capteur, ou bien les charges apportées par couplage capacitif à travers le doigt (par exemple des signaux de fréquence égale à 50 Hz générés par l'environnement électromagnétique). Ces charges générées par ces phénomènes parasites vont s'additionner aux charges générées par l'effet thermique « actif » et donc perturber l'acquisition d'images. [0020] Pour limiter l'impact des phénomènes parasites sur la capture, il est possible d'augmenter la puissance de chauffage réalisée dans le capteur, de manière à rendre ces signaux négligeables vis-à-vis du signal utile. Toutefois, une telle solution n'est pas adaptée à certaines applications, comme par exemple lorsque les capteurs font partie de cartes à puce ou d'objets connectés qui ne disposent que de peu de puissance pour alimenter les éléments chauffants du capteur, ce qui ne permet pas d'augmenter suffisamment la puissance du chauffage au point de limiter significativement l'impact des phénomènes parasites. [0021] Une autre solution consiste à réduire les durées de mesure, c'est-à-dire les temps d'intégration des charges. Les variations lentes devant le chauffage actif verront leurs effets réduits car c'est la variation de température entre le début et la fin de la mesure qui compte. Cette solution n'est toutefois pas non plus satisfaisante car cela se traduit par une baisse du contraste obtenu. [0022] Il est également possible d'augmenter la durée du chauffage réalisé. Là encore, cette solution n'est pas satisfaisante car les signaux issus des phénomènes parasites vont augmenter en même temps que la durée du chauffage. [0023] Une autre solution consiste à ne pas conserver les premières et dernières images d'une capture lorsque trop d'effets parasites sont constatés. Cette solution n'est pas non plus satisfaisante car de l'énergie a été gaspillée inutilement pour capturer ces premières et dernières images. Exposé de l'invention [0024] Un but de la présente invention est de proposer un capteur et un procédé de capture d'un motif thermique limitant ou supprimant l'impact des phénomènes parasites sur les captures réalisées. [0025] Pour cela, la présente invention propose un procédé de capture d'un motif thermique par un capteur comportant plusieurs pixels comprenant chacun au moins un élément de mesure thermosensible, le capteur comprenant en outre : [0026] - au moins un élément chauffant configuré pour chauffer l'élément de mesure ther- mosensible d'au moins un pixel lors d'une mesure par l'élément de mesure thermosensible dudit au moins un pixel ; [0027] - au moins un circuit de lecture configure pour lire des charges électriques délivrées par ledit au moins un pixel lors de la mesure par l'élément de mesure thermosensible dudit au moins un pixel ; [0028] le procédé comportant, pour chaque pixel, au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes : [0029] - chauffage de l'élément de mesure thermosensible du pixel pendant une durée de chauffage débutant à un instant to et s'achevant à un instant t, postérieur à l'instant to ; [0030] - première lecture des charges électriques délivrées par le pixel pendant une première durée de mesure débutant à un instant t, et s'achevant à un instant t3 postérieur à l'instant tl, et donnant une première valeur de mesure x, correspondant aux charges électriques lues pendant la première durée de mesure t3- ti ; [0031] - deuxième lecture des charges électriques délivrées par le pixel pendant une deuxième durée de mesure débutant à un instant tu postérieur à l'instant t3, et s'achevant à un instant t postérieur à l'instant t4, et donnant une deuxième valeur de mesure x2 correspondant aux charges électriques lues pendant la seconde durée de mesure ts- t4 [0032] - calcul d'une différence x, - cx.x2, avec a correspondant à un nombre réel positif, [0033] et dans lequel plus de la moitié de la durée de chauffage est mise en oeuvre pendant la première durée de mesure et moins de la moitié de la durée de chauffage est mise en oeuvre pendant dans la deuxième durée de mesure. [0034] Dans ce procédé, la première lecture des charges électriques est mise en oeuvre pendant plus de la moitié de la phase de chauffage de l'élément de mesure thermosensible du pixel lu. Par contre, la deuxième lecture des charges électriques est mise en oeuvre pendant moins de la moitié de la phase de chauffage, et donc au moins en partie pendant le refroidissement du pixel lu. Pendant le refroidissement, un pixel en contact avec la peau refroidit plus vite qu'un pixel sans contact avec la peau, à l'inverse du chauffage, et ce à partir d'un certain temps qui dépend de l'inertie thermique du pixel. La différence calculée ensuite permet de cumuler les charges positives et négatives obtenues lors des première et deuxième lectures, et ainsi augmenter le signal de mesure obtenu à l'issue du procédé. Un meilleur contraste est donc obtenu entre les pixels qui sont en contact avec les parties de différente conductivité thermique de l'élément dont le motif thermique est capturé, par exemple entre les pixels en contact avec les crêtes 6 du doigt dont l'empreinte digitale est capturée et les pixels se trouvant en regard des vallées du doigt dont l'empreinte digitale est capturée. [0035] Dc plus, la différence calculée à partir des deux valeurs de mesure obtenues permet de réduire voire supprimer les signaux dus aux phénomènes parasites dont la contribution est identique au cours de deux lectures de charges de durées identiques. [0036] L'instant t, peut être compris entre les instants t1 et t3. Dans ce cas, le chauffage est stoppé pendant la première lecture, et la deuxième lecture est entièrement mise en oeuvre pendant une phase de refroidissement du pixel. [0037] Dc manière avantageuse, le procédé et le capteur peuvent être configurés pour réaliser une capture d'une empreinte digitale en contact avec une surface de capture du capteur. [0038] a peut être égal à la valeur du rapport de la première durée de mesure sur la deuxième durée de mesure. Le coefficient a permet dans ce cas de compenser une différence entre les première et deuxième durées de mesure. [0039] Dc manière avantageuse, la première durée de mesure peut être égale à la deuxième durée de mesure. Ce cas est avantageux car la contribution des phénomènes parasites est alors identique dans chacune des première et deuxième lectures des charges électriques. Ces phénomènes parasites sont donc complètement annulés grâce au calcul de la différence xl- x2 (a = 1 dans ce cas lorsque a est égal à la valeur du rapport de la première durée de mesure sur la deuxième durée de mesure). [0040] Le procédé peut comporter en outre, après le calcul de la différence xi - a.x2 pour chacun des pixels, une étape de calcul d'une image du motif thermique capturé à partir des valeurs des différences xi - a.x., calculées pour chaque pixel du capteur. [0041] Le procédé peut comporter en outre, entre les première et deuxième lectures, une ré- initialisation du circuit de lecture, ou une réinitialisation du pixel. [0042] Le procédé peut être tel que : [0043] - la valeur de la durée du chauffage t, - t0 est comprise entre environ 60 ps et 5000 ps, ou entre 200 ps et 5000 ms (par exemple pour un capteur réalisant une lecture des pixels ligne par ligne), ou entre 60 ps et 200 ps (par exemple pour un capteur réalisant une lecture pixel par pixel), et/ou [0044] - chacune des première et deuxième durées de mesure a une valeur comprise entre environ 60 ms et 5000 ps, ou entre 250 ps et 5000 ps (par exemple pour un capteur réalisant une lecture des pixels ligne par ligne), ou entre 60 ps et 300 ps (par exemple pour un capteur réalisant une lecture pixel par pixel), et/ou [0045] - les instants to et t1 sont choisis tels que la durée entre le début du chauffage et le début de la première lecture soit comprise entre environ 0 et 200 ms (par exemple pour un capteur réalisant une lecture des pixels ligne par ligne), ou entre 0 et 100 ps (par exemple pour un capteur réalisant une lecture pixel par pixel). 7 [0046] De manière avantageuse, t1 est postérieur à to, c'est-à-dire que le chauffage débute avant le début de la première lecture. Toutefois, il est possible que to soit postérieur à t1 ou soit égal à tl, c'est-à-dire que le chauffage débute après le début de la première lecture ou simultanément au début de la première lecture. [0047] Les valeurs données ci-dessus sont fournies à titre indicatif. Les valeurs des dif- férentes durées indiquées ci-dessus dépendent des caractéristiques du capteur, et notamment de la sensibilité du circuit dc lecture, de la taille dc chaque pixel, ainsi que des diverses épaisseurs des couches et des matériaux présents dans le capteur. [0048] Le procédé peut être tel que : [0049] - les première et deuxième valeurs de mesure x, et x2 sont mémorisées dans le circuit de lecture, et la différence x1 - a.x, est calculée dans le circuit de lecture puis le résultat de cette différence est délivré en sortie du circuit de lecture, ou [0050] - les première et deuxième valeurs de mesure x, et x2 sont délivrées successivement en sortie du circuit de lecture, et la différence xi - a.x2 est calculée en dehors du circuit de lecture. [0051] Le calcul de la différence xi - a.x2 peut être réalisé à l'extérieur du circuit de lecture, c'est-à-dire après avoir réalisé une conversion analogique - numérique de chacune des valeurs de mesure xi et [0052] En variante, il est possible, après avoir réalisé la première mesure, de conserver la valeur de mesure xi analogique dans le circuit de lecture, par exemple dans une première capacité du circuit de lecture. Après avoir réalisé la deuxième mesure, la valeur de mesure x2 analogique est également conservée dans le circuit de lecture, par exemple dans une deuxième capacité du circuit de lecture. Les valeurs de mesure analogiques sont ensuite soustraites via le calcul de la différence xi - a.x2, puis le résultat de cette soustraction est converti numériquement et délivré par le circuit de lecture. Cette variante évite de faire le calcul de la soustraction à l'extérieur du circuit de lecture, et divise par deux le nombre de données à sortir, pour le prix d'une banque de capacités de la taille du nombre de pixels lus en même temps. [0053] Chaque élément de mesure thermosensible peut comporter au moins une capacité py- roélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique disposée entre des première et deuxième électrodes. [0054] Dans ce cas, l'une des première et deuxième électrodes de la capacité pyroélectrique de chaque pixel peut être formée par une portion électriquement conductrice commune à tous les pixels de la ligne à laquelle appartient ledit pixel. [0055] De plus, la portion électriquement conductrice formant l'une des première et deuxième électrodes de tous les pixels d'une même ligne peut former également l'élément chauffant des pixels de la ligne. [0056] En outre, l'autre des première et deuxième électrodes de la capacité pyroélectrique de 8 chaque pixel peut être formée par une portion électriquement conductrice commune à tous les pixels de la colonne à laquelle appartient ledit pixel. [0057] En variante, chaque élément de mesure thermosensible peut comporter au moins une thermistance ou au moins une diode, et/ou dans chaque pixel, l'élément de mesure thermosensible peut former l'élément chauffant. [0058] Le circuit de lecture peut comporter au moins un amplificateur, par exemple un am- plificateur différentiel monté en intégrateur. Le circuit de lecture peut comporter au moins un élément réalisant un CDS (« Correlated Double Sampling ») pour diminuer le bruit de lecture. [0059] L'élément chauffant peut être apte à chauffer par effet Joule l'élément de mesure thermosensible de chaque pixel, et/ou l'élément chauffant peut être apte à émettre un rayonnement lumineux destiné à chauffer l'élément de mesure thermosensible des pixels. [0060] L'invention porte également sur un capteur de motif thermique comportant plusieurs pixels comprenant chacun au moins un élément de mesure thermosensible, le capteur comprenant en outre : [0061] - au moins un élément chauffant configuré pour chauffer l'élément de mesure ther- mosensible d'au moins un pixel lors d'une mesure par l'élément de mesure thermosensible dudit au moins un pixel ; [0062] - au moins un circuit de lecture configuré pour lire des charges électriques délivrées par ledit au moins un pixel lors de la mesure par l'élément de mesure thermosensible dudit au moins un pixel ; [0063] - des moyens de commande configurés pour mettre en oeuvre un procédé de capture tel que décrit précédemment. Brève description des dessins [0064] La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : [0065] [fig.1] représente plusieurs images successives obtenues lors de la lecture d'une empreinte digitale d'un doigt posé puis retiré d'un capteur thermique actif de l'art antérieur ; [0066] [fig.2] représente schématiquement un capteur de motif thermique, objet de la présente invention ; [0067] [fig.3] représente un premier exemple de réalisation d'un circuit de lecture d'un capteur de motif thermique, objet de la présente invention ; [0068] [fig.4A] représente deux pixels d'un capteur de motif thermique, objet de la présente invention ; 9 [0069] [fig.4B] représente des signaux obtenus en sortie des deux pixels visibles sur la figure 4A, pendant et après une phase de chauffage des pixels ; [0070] [fig.5] représente la différence de signal obtenu entre un pixel sur lequel se trouve une vallée de l'empreinte et un pixel sur lequel se trouve une crête de l'empreinte, pendant et après un chauffage du pixel ; [0071] [fig.6] représente les charges électriques obtenues en sortie d'un pixel au cours d'un procédé de capture, objet de la présente invention ; [0072] [fig.7] représente, sous la forme d'un chronogramme, les différentes étapes mises en oeuvre au cours d'un procédé de capture, objet de la présente invention ; [0073] [fig.8A] [0074] [fig.8B] [0075] [fig.8C] [0076] [fig.9A] [0077] [fig.9B] [0078] [fig.9C] représentent des images obtenues respectivement en considérant les résultats de la première lecture uniquement, de la deuxième lecture uniquement, et en soustrayant les résultats de la deuxième lecture à ceux de la première lecture ; [0079] [fig.10] [0080] [fig.11] représentent des fonctions de filtrage réalisées lors de la mise en oeuvre d'un procédé de capture, objet de la présente invention ; [0081] [fig.12] représente un deuxième exemple de réalisation d'un circuit de lecture d'un capteur de motif thermique, objet de la présente invention. [0082] Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci- après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d'une figure à l'autre. [0083] Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. [0084] Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n'étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner entre elles. [0085] EXPOSÉ DETAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS [0086] Le procédé de capture de motif thermique est mis en oeuvre en utilisant un capteur 100 de motif thermique tel que représenté schématiquement sur la figure 2. [0087] Le capteur 100 comprend plusieurs pixels 102, chaque pixel 102 comprenant un élément de détection thermique, ou élément de mesure thermosensible. [0088] Selon une première configuration du capteur 100, chaque pixel 102 comporte une capacité pyroélectrique 104 (visible sur la figure 3) qui forme l'élément de mesure thermosensible du pixel 102. [0089] Le capteur 100 peut être réalisé à partir d'un substrat de verre, notamment lorsque le capteur 100 comporte des transistors TFT. En variante, le capteur 100 peut être réalisé à partir d'un substrat en semi-conducteur, par exemple en silicium, notamment lorsque le capteur 100 comporte des transistors réalisés en technologie MOS. Selon une autre variante, le substrat utilisé peut être un substrat souple, par exemple à hase de polyimide ou de PEN (polyéthylène naphtalate) ou de PET (polyéthylène téréphtalatc), sur lequel les éléments du capteur 100 sont avantageusement réalisés par technologie imprimée. [0090] Les pixels 102 du capteur 100 peuvent être disposés en formant une matrice de plusieurs lignes et plusieurs colonnes de pixels 102, comme c'est le cas sur le schéma de la figure 2. Le pas des pixels 102, c'est-à-dire la distance entre les centres de deux pixels 102 voisins, est par exemple compris entre environ 25 pm et 100 pm. [0091] La figure 3 décrit l'exemple d'un pixel 102 utilisant une capacité pyroélectrique 104 comportant une portion de matériau pyroélectrique 106 disposée entre une électrode inférieure 108 et une électrode supérieure 110. Le matériau pyroélectrique de la portion 106 est avantageusement du polyfluorure de vinylidène ou PVDF, ou du polyfluorure de vinylidène-trifluoroéthylène ou P(VDF-TrFE). En variante, le matériau pyroélectrique peut être de l'AIN ou du PZT, ou tout autre matériau pyroélectrique adapté pour former la capacité pyroélectrique 104. L'épaisseur de la portion 106 de matériau pyroélectrique est par exemple comprise entre environ 500 nm et 10 pm. [0092] Les électrodes 108, 110 comportent chacune au moins un matériau électriquement conducteur, par exemple un matériau métallique tel que du titane d'épaisseur égale à environ 0,2 pm, et/ou du molybdène et/ou de l'aluminium et/ou un oxyde conducteur tel que de l'ITO (oxyde d'indium et d'étain) et/ou un polymère conducteur tel que du PEDOT:PSS. L'une des électrodes, avantageusement l'électrode supérieure 110, ou chacune des deux électrodes 108, 110, peut être formée par un empilement de plusieurs matériaux électriquement conducteurs, par exemple un empilement Ti / TiN / A1Cu. L'épaisseur de chacune des électrodes 108, 110 est par exemple comprise entre environ 0,05 pm et 1 pm. [0093] Le capteur 100 comporte également des éléments chauffants 112 dissipant une certaine quantité de chaleur dans les pixels 102, et notamment dans la portion 106 de matériau pyroélectrique. Ces éléments chauffants 112 sont par exemple des éléments conducteurs rapportés à côté ou au-dessus des capacités pyroélectriques 104, formés avantageusement à partir de l'une des couches conductrices servant à la réalisation de l'une des électrodes 108, 110 des capacités pyroélectriques 104. [0094] Une couche de protection, correspondant par exemple à une couche d'AIN ou de tout autre matériau adapté à la réalisation de cette couche, est disposée au-dessus des électrodes supérieures 110 des pixels 102. L'épaisseur de la couche de protection peut être comprise entre environ 100 nm et environ 100 pm. Une face supérieure de la 11 couche de protection correspond à la surface de capture du capteur 100 au-dessus de laquelle se trouve le motif thermique destiné à être détecté, par exemple un doigt dont l'empreinte est destinée à être détectée et qui est en contact avec la surface de capture du capteur 100. [0095] Selon une variante de réalisation avantageuse, l'une des électrodes 108, 110 de la capacité pyroélectrique 104 de chacun des pixels 102 d'une même ligne de la matrice est formée par une même portion électriquement conductrice qui est donc commune à tous les pixels 102 de cette ligne. De plus, il est également possible que ces portions électriquement conductrices communes aux pixels d'une même ligne forment également les éléments chauffants 112 des pixels 102. Des détails de réalisation d'un tel capteur sont décrits dans le document WO 2017/093179 Al. [0096] De plus, il est possible que le capteur 100 comporte une matrice de pixels 102 dite « passive », c'est-à-dire ne comportant pas de transistor au sein de pixels 102, et avec dans ce cas l'autre des première et deuxième électrodes 108, 110 de la capacité pyroélectrique de chaque pixel 102 qui est formée par une portion électriquement conductrice commune à tous les pixels de la colonne à laquelle appartient ledit pixel. Des détails de réalisation d'un tel capteur sont décrits dans le document WO 2018/020176 Al. [0097] L'élément chauffant 112 est par exemple apte à chauffer par effet Joule l'élément de mesure thermosensible de chaque pixel 102. Le chauffage de la portion 106 de matériau pyroélectrique est obtenu dans ce cas en faisant circuler un courant dans l'élément conducteur formant l'élément chauffant 112. L'intensité du chauffage obtenu dépend notamment de l'intensité du courant parcourant l'élément conducteur. [0098] La valeur de la tension de chauffage appliquée sur l'élément conducteur, et donc l'intensité du courant circulant dans l'élément conducteur, est ajustée par rapport à la résistivité du matériau conducteur utilisé afin de produire l'énergie thermique désirée dans les pixels 102. La puissance dissipée par pixel peut avantageusement être comprise entre environ 0,05 mW et 1 mW. [0099] En variante, des éléments chauffants 112 autres que des éléments résistes peuvent être utilisés, comme par exemple des éléments de chauffage optique. Par exemple, une ou plusieurs LED telles que des diodes laser, peuvent émettre un rayonnement qui est transmis par le substrat et absorbé par le matériau pyroélectrique des pixels 102, et/ou par l'une des électrodes 108, 110 des pixels 102, et/ou par une couche d'absorption spécifique, par exemple composée d'ITO partiellement oxydé, de carbone, de chrome oxydé, ou encore d'un polymère chargé de pigment coloré, ajoutée à proximité de l'une des électrodes 108, 110 ou directement sur l'une des électrodes 108, 110. Par exemple, dans le cas d'un chauffage par rayonnement infrarouge, des électrodes 108, 110 en titane et/ou en ITO peuvent être avantageusement utilisées pour absorber ce 12 rayonnement. De manière avantageuse, le rayonnement peut être absorbé par la couche de protection. [0100] Tl est possible que l'une des électrodes 108, 110 de tous les pixels 102, par exemple l'électrode supérieur 110 de tous les pixels 102, forment ensemble une couche électriquement conductrice continue qui soit isolée des éléments chauffants 112 par une couche diélectrique. Cette couche électriquement conductrice continue forme dans cc cas une couche de blindage qui a pour avantage de permettre d'allumer ou éteindre le chauffage pendant que les éléments de mesure thermosensible réalisent une intégration de charges électriques, sans perturber cette intégration de charges. Une telle couche de blindage limite aussi les perturbations subies par le capteur 100, notamment celles de fréquence égale à 50 Hz. [0101] En variante, cette couche de blindage peut être distinctes des électrodes 108, 110 des pixels 102, et est par exemple disposée entre les éléments de mesure thermosensibles du capteur 100 et la surface de capture du capteur 100. [0102] Selon d'autres configurations du capteur 100, il est possible que les éléments de mesure thermosensibles du capteur 100 ne correspondent pas à des capacités pyroélectriques, mais correspondent par exemple à des thermistances, des diodes, ou tout autre élément thermosensible adapté. [0103] Outre les éléments de mesure thermosensibles, le capteur 100 comporte également des moyens de commande 114 permettant de commander le chauffage et les phases de lecture des pixels 102. [0104] Le capteur 100 comporte également un circuit de lecture 116 permettant de lire les charges électriques délivrées en sortie de chaque pixel 102, et donc lire le motif thermique détecté par le capteur 100. [0105] En variante, le capteur 100 peut comporter un circuit de commande et de lecture 116 externe au plan dans lequel se trouve la matrice de pixels 102. [0106] La figure 3 représente un premier exemple de réalisation d'une partie du circuit de lecture 116, et plus précisément des éléments électroniques permettant de lire les charges électriques délivrées par la capacité pyroélectrique 104 de l'un des pixels 102 du capteur 100. [0107] Le pixel 102 représenté sur la figure 3 comporte la capacité pyroélectrique 104 formée par la portion 106 de matériau pyroélectrique disposée entre les deux électrodes 108, 110. L'électrode inférieure 108 est reliée à la masse et l'électrode supérieure 110 forme une électrode de lecture du pixel 102 et est reliée à un noeud actif 118 du pixel 102. [0108] Lorsque l'élément de mesure thermosensible est par exemple une thermistance, ou tout autre élément de mesure thermosensible dont le courant varie avec la température, cet élément comporte également une borne reliée au noeud actif 118 du pixel 102. 13 [0109] Le noeud actif 118 est relié à une entrée du circuit de lecture 116 se trouvant en pied de colonne de la matrice de pixels 102. Dans l'exemple décrit ici, les capacités pyroélectriques 104 de tous les pixels 102 d'une môme colonne sont reliées en parallèle à une même entrée du circuit de lecture 116. Cette entrée du circuit de lecture 116 correspond à l'entrée inverscuse d'un amplificateur de lecture 120 correspondant par exemple à un amplificateur différentiel tel qu'un amplificateur opérationnel. Un potentiel électrique de polarisation V, est appliqué sur l'entrée non inverscuse de l'amplificateur 120. La sortie de l'amplificateur 120 est rebouclée sur son entrée in-verseuse par l'intermédiaire d'une capacité 122. Un interrupteur, ou commutateur, 124 est relié en parallèle à la capacité 122 et permet de court-circuiter la capacité 122 pour réaliser la remise à zéro de l'intégrateur et décharger la capacité 122. La sortie de l'amplificateur de lecture 120 est également reliée à l'entrée d'un circuit 126 pouvant réaliser une opération de type CDS, puis une amplification du signal obtenu et ensuite une conversion analogique/numérique. [0110] Lorsque les éléments de mesure thermosensibles du capteur 100 correspondent à des thermistances, les thermistances de tous les pixels 102 d'une môme colonne peuvent être reliées en série à une même entrée du circuit de lecture 116. Ce circuit de lecture 116 est dans ce cas adapté pour réaliser une lecture du courant délivré. Ce circuit de lecture 116 comporte par exemple une résistance qui est traversé par le courant délivré. Le courant peut être lu via une lecture de la tension aux bornes de cette résistance. Un tel circuit de lecture 116 peut également être utilisé lorsque les éléments de mesure thermosensibles du capteur 100 correspondent à des diodes. [0111] L'intégrateur de courant formé par l'amplificateur 120, la capacité 122, et l'interrupteur 124 sont communs à tous les pixels 102 d'une même colonne. Le circuit 126 peut être commun à tous les pixels 102 du capteur 100, moyennant l'ajout d'éléments électroniques de multiplexage entre les sorties des amplificateurs de lecture 120 et le circuit 126. [0112] Afin de faciliter la compréhension du procédé de capture mis en oeuvre ici, on décrit ci-dessous, en lien avec les figures 4A et 4B, les températures de deux pixels 102a, 102b pendant et après une phase de chauffage simultané des deux pixels 102a, 102b. La courbe 10a visible sur la figure 4B correspond au signal délivré par le premier pixel 102a sur lequel se trouve une crête 2 d'une empreinte digitale, et la courbe 10b correspond au signal délivré par le second pixel 102b lorsqu'une vallée 4 de l'empreinte digitale est présente en face, ou en regard, du second pixel 102b. Il n'y a donc pas de contact entre la peau et ce second pixel 102b. Les deux pixels 102a, 102b correspondent à deux des pixels 102 du capteur 100. Les courbes 10a et 10b représentent les températures obtenues lorsque le chauffage débute à un instant égal à 50 ps et est stoppé à un instant égal à 1050 ps. 14 [0113] Pendant le chauffage, des charges sont générées dans les deux pixels 102a, 102b. Du fait que la tension aux bornes de la capacité pyroélectrique de chaque pixel 102a, 102h est maintenue constante par les intégrateurs de courant des circuits de lecture 116a, 116h, les charges sont copiées sur les capacités 122 et donc les tensions aux bornes des capacités 122 augmentent. De plus, du fait que de la chaleur est absorbée par la peau de la crête 2 de l'empreinte présente sur le premier pixel 102a, la valeur de la tension de la capacité 122 du premier pixel 102a augmente de manière moins importante que celle du second pixel 102h qui est en face de la vallée 4 et n'est donc pas en contact avec la peau. [0114] La courbe visible sur la figure 5 correspond à la différence entre les valeurs des signaux de mesure obtenus entre le pixel 102h et le pixel 102a, qui est représentative du contraste entre les deux pixels 102a, 102h. [0115] En raison du temps de propagation de la chaleur dans un pixel qui est chauffé, il existe une certaine inertie thermique dans ce pixel. Ce phénomène s'illustre sur la figure 5 par le fait que la différence de signal augmente encore après l'arrêt du chauffage (qui se produit à t = 1050 ps), jusqu'à une durée égale à 2000 ps sur l'exemple de la figure 5. Ensuite, on constate que la pente de cette courbe devient négative : le premier pixel 102a refroidit moins vite que le second pixel 102h, et donc la différence entre les signaux délivrés par les deux pixels 102a, 102h diminue. [0116] On décrit ci-dessous, en lien avec les figures 6 et 7, le procédé de capture mis en oeuvre selon un mode de réalisation particulier. [0117] La courbe 14a visible sur la figure 6 correspond au signal délivré par le premier pixel 102a sur lequel se trouve une crête 2 d'une empreinte, et la courbe 14b correspond au signal délivré par le second pixel 102b en regard duquel se trouve une vallée 4 de l'empreinte, lors de la mise en oeuvre du procédé. La figure 7 représente, sous la forme d'un chronogramme, les différentes étapes mises en oeuvre au cours du procédé. [0118] Le procédé décrit ci-dessous est mis en oeuvre ligne par ligne, c'est-à-dire mis en oeuvre simultanément pour tous les pixels 102 d'une même ligne du capteur. Les étapes sont répétées pour chacune des lignes de pixels du capteur. D'autres variantes de mise en oeuvre sont toutefois possibles, par exemple en réalisant une lecture pixel par pixel, ou groupe de pixels par groupe de pixels avec des groupes de pixels qui ne correspondent pas à une seule ligne de pixels. [0119] Pour un circuit de lecture 116 tel que représenté sur la figure 3, les interrupteurs 124 sont préalablement fermés. Les capacités d'intégration 122 sont alors déchargées, le potentiel à leurs bornes devient nul et le potentiel en sortie de l'intégrateur de charge devient donc égal à Vref. [0120] Le chauffage de l'élément de mesure thermosensible des pixels 102 de la ligne lue débute à un instant t0 (t0 = 50 ps sur la figure 6), en faisant passer un courant dans les éléments chauffants 112 des pixels 102 lus. [0121] Une première lecture des charges électriques délivrées par les pixels 102 de la ligne lue est ensuite mise en oeuvre pendant une première durée de mesure débutant à un instant ti correspondant à l'instant auquel les interrupteurs 124 des pixels 102 de la ligne lue s'ouvrent (t1 = to = 50 ps dans l'exemple décrit ici) et se terminant à l'instant t où la valeur de la tension des capacités 122 est lue. L'intégration des charges électriques générées dans les capacités pyroélectriques des pixels 102 de la ligne lue est réalisée pendant une première durée de mesure. Du fait que les interrupteurs 124 soient ouverts, les charges électriques générées par les capacités pyroélectriques des pixels 102 lus s'écoulent vers les capacités 122 auxquelles les pixels 102 lus sont reliés. [0122] De manière avantageuse, le chauffage débute avant le début de la première lecture des charges électriques afin de limiter les perturbations électroniques engendrées par la commutation des éléments réalisant le chauffage. De plus, la différence entre les signaux de mesure des deux pixels 102a, 102b est négligeable en début d'intégration, la chaleur n'ayant pas cu le temps d'atteindre la surface du capteur 100, les deux pixels 102a, 102b ayant donc un comportement similaire. Toutefois, il est envisageable que le chauffage débute après le début de la première lecture des charges électriques (avec dans ce cas t1 REVENDICATIONS[Revendication 1] Procédé de capture d'un motif thermique par un capteur (100) comportant plusieurs pixels (102) comprenant chacun au moins un élément de mesure thermosensible (104), le capteur (100) comprenant en outre : - au moins un élément chauffant (112) configuré pour chauffer l'élément de mesure thermosensible (104) d'au moins un pixel (102) lors d'une mesure par l'élément de mesure thermosensible (104) dudit au moins un pixel (102) ; - au moins un circuit de lecture (116) configuré pour lire des charges électriques délivrées par ledit au moins un pixel (102) lors de la mesure par l'élément de mesure thermosensible (104) dudit au moins un pixel (102) ; le procédé comportant, pour chaque pixel (102), au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes : - chauffage de l'élément de mesure thermosensible (104) du pixel (102) pendant une durée de chauffage débutant à un instant to et s'achevant à un instant t2 postérieur à l'instant to ; - première lecture des charges électriques délivrées par le pixel (102) pendant une première durée de mesure débutant à un instant t, et s'achevant à un instant t3 postérieur à l'instant th et donnant une première valeur de mesure x, correspondant aux charges électriques lues pendant la première durée de mesure t3- t, ; - deuxième lecture des charges électriques délivrées par le pixel (102) pendant une deuxième durée de mesure débutant à un instant t4 postérieur à l'instant t3, et s'achevant à un instant t5 postérieur à l'instant t4, et donnant une deuxième valeur de mesure x, correspondant aux charges électriques lues pendant la seconde durée de mesure t5- t.4 ; - calcul d'une différence x1 - cc.x,, avec a correspondant à un nombre réel positif, et dans lequel plus de la moitié de la durée de chauffage est mise en oeuvre pendant la première durée de mesure et. moins de la moitié de la durée de chauffage est mise en oeuvre pendant. la deuxième durée de mesure. [Revendication 2] Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'instant t2 est compris entre les instants t1 et t3. [Revendication 3] Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le 24 procédé et le capteur (100) sont configurés pour réaliser une capture d'une empreinte digitale en contact avec une surface de capture du capteur (100). [Revendication 4] Procédé selon une des revendications précédentes, dans lequel a est égal à la valeur du rapport de la première durée de mesure sur la deuxième durée de mesure. [Revendication 5] Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la première durée de mesure est égale à la deuxième durée de mesure. [Revendication 6] Procédé selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre, entre les première et deuxième lectures, une réinitialisation du circuit de lecture, ou une réinitialisation du pixel. [Revendication 7] Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel : - les première et deuxième valeurs de mesure x1 et x, sont mémorisées dans le circuit de lecture (116), et la différence x, - a.x2 est calculée dans le circuit de lecture (116) puis le résultat de cette différence est délivré en sortie du circuit de lecture (116), ou - les première et deuxième valeurs de mesure xl et xn sont délivrées successivement en sortie du circuit de lecture (116), et la différence x, - a.x 2 est calculée en dehors du circuit de lecture (116). [Revendication 8] Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel : - la valeur de la durée du chauffage t2 - tr, est comprise entre environ 60 ms et 5000 ps, et/ou - chacune des première et deuxième durées de mesure a une valeur comprise entre environ 60 ms et 5000 ms, et/ou - les instants tr, et t1 sont choisis tels que la durée entre le début du chauffage et le début de la première lecture soit comprise entre environ 0 et 200 ps. [Revendication 9] Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel chaque élément de mesure thermosensible (104) comporte au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique (106) disposée entre des première et deuxième électrodes (108, 110). [Revendication 10] Procédé selon la revendication 9, dans lequel l'une des première et deuxième électrodes (108, 110) de la capacité pyroélectrique de chaque pixel (102) est formée par une portion électriquement conductrice commune à tous les pixels (102) de la ligne à laquelle appartient ledit pixel (102). [Revendication 11] Procédé selon la revendication 10, dans lequel la portion électriquement 25 [Revendication 12] [Revendication 13] [Revendication 14] [Revendication 15] conductrice formant l'une des première et deuxième électrodes (108, 110) de tous les pixels (102) d'une même ligne forme également l'élément chauffant (112) des pixels (102) de la ligne. Procédé selon l'une des revendications 10 ou 11, dans lequel l'autre des première et deuxième électrodes (108, 110) de la capacité pyroélectrique de chaque pixel (102) est formée par une portion électriquement conductrice commune à tous les pixels (102) de la colonne à laquelle appartient ledit pixel (102). Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel chaque élément de mesure thermosensible (104) comporte au moins une thermistance ou au moins une diode, et/ou dans chaque pixel (102), l'élément de mesure thermosensible (104) forme l'élément chauffant (112). Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'élément chauffant (112) est apte à chauffer par effet Joule l'élément de mesure thermosensible (104) de chaque pixel (102), et/ou dans lequel l'élément chauffant (112) est apte à émettre un rayonnement lumineux destiné à chauffer l'élément de mesure thermosensible (104) des pixels (102). Capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) comprenant chacun au moins un élément de mesure thermosensible (106), le capteur (100) comprenant en outre : - au moins un élément chauffant (112) configuré pour chauffer l'élément de mesure thermosensible (104) d'au moins un pixel (102) lors d'une mesure par l'élément de mesure thermosensible (104) dudit au moins un pixel (102) ; - au moins un circuit de lecture (116) configuré pour lire des charges électriques délivrées par ledit au moins un pixel (102) lors de la mesure par l'élément de mesure thermosensible (104) dudit au moins un pixel (102) ; - des moyens de commande (114) configurés pour mettre en oeuvre un procédé de capture selon l'une des revendications précédentes.