FR 3098906 A1 20210122 FR 1908169 A 20190718 Description Titre de l'invention : Matrice de pixels d'un capteur de motif thermique, capteur associé avec lignes de chauffe en serpentin [0001] DOMAINE TECHNIQUE GENERAL [0002] L'invention concerne un capteur de motif thermique, par exemple un capteur d'empreintes digitales, réalisant une détection thermique active et comprenant une matrice de pixels. L'invention concerne plus particulièrement une matrice passive de pixels pour un tel capteur, c'est-à-dire sans élément actif de sélection ou d'amplification (comme une diode ou un transistor) pour chaque pixel, mais peut également s'appliquer à une matrice active de pixel. Technique antérieure [0003] Un capteur d'empreintes digitales comporte des moyens de détection thermique. Ces moyens de détection thermique peuvent correspondre à des éléments pyroélectriques, des diodes, des thermistances ou tout autre élément sensible à la température permettant de convertir une variation de température en une variation de potentiel ou de courant électrique. [0004] On connaît des documents US 6 091 837, EP 2 385 486 Al et WO 2018/020176 des capteurs d'empreintes digitales dits « actifs » réalisant une détection thermique active et comprenant une matrice passive de pixels. 100051 Comme illustré sur la figure 1, un capteur d'empreintes digitales comprend clas- siquement une surface sensible constituée d'une matrice I de pixels disposée sur un support S comprenant une surface inférieure So et une surface supérieure S 1. 100061 Chaque pixel comprend une capacité pyroélectrique formée de deux électrodes conductrices entre lesquelles une portion de matériau pyroélectrique est disposée, et un élément chauffant. Cet élément chauffant dissipe une certaine quantité de chaleur dans le pixel et l'échauffement du pixel est mesuré au bout d'un certain temps d'acquisition, appelé temps d'intégration, en présence du doigt sur le capteur. Cela permet de distinguer, au niveau de chaque pixel, la présence d'une crête ou d'une vallée de l'empreinte détectée suivant que la chaleur est absorbée par la peau (pixel en présence d'une crête de l'empreinte) ou conservée dans le pixel (pixel en présence d'une vallée de l'empreinte). Cela conduit à une température finale plus faible dans le cas d'un pixel en présence d'une crête, où la chaleur est absorbée par la peau, par rapport à un pixel en présence d'une vallée. 100071 La figure 2 illustre une vue de dessus d'une matrice de pixels, formant une matrice de plusieurs lignes et de plusieurs colonnes, les lignes étant connectées à la masse. 100081 Dans ce contexte, pour réaliser la lecture des pixels, on a donc des colonnes Ei pour 2 collecter le signal et des lignes LI, L2, L3, L4 pour chauffer le matériau pyroélectrique en appliquant un potentiel à la ligne. En particulier, les lignes LI, L,, L3, L4 sont chauffées les unes après les autres pour reconstituer toute l'image de l'empreinte : une ligne est chauffée et la lecture de toutes les colonnes est effectuée et ainsi de suite. [0009] Pour piloter les lignes et lire les signaux électriques sur chaque colonne, le capteur comprend un circuit intégré 2 tel qu'un ASTC (en anglais, « Application-Specific Integrated Circuit »). [0010] Le circuit intégré 2 est généralement disposé sous la surface sensible sur la surface opposée du support sur lequel est disposée la surface sensible (c'est-à-dire sur la surface inférieure SO). Ainsi, pour connecter le circuit 2 intégré à l'élément sensible il faut réaliser des vias à travers le support S pour envoyer et récupérer les signaux. De manière classique, la matrice de pixels comprend 128 lignes et 128 colonnes (soit une matrice de 128x128 pixels). [0011] Par conséquent, pour connecter la matrice pixels au circuit 2 intégré, il faut dessiner des lignes de routage depuis les différentes lignes ou colonne de la matrice de pixels qui doivent tenir sur la surface du support S. [0012] Ceci n'est pas sans problème, car la place disponible sur le support S est limitée et il faut prévoir des vias très petits et des lignes de routage très fines (plus fines que les lignes ou colonnes dont ils sont issus). [0013] Toutefois, avoir des vias de petite taille, nécessite un besoin d'alignement précis entre les deux surfaces du substrat pour que les pistes issues des lignes et des colonnes et celles qui vont vers le circuit intégré soient bien les unes en face des autres. Un tel besoin d'alignement augmente le coût de fabrication du capteur et diminue le rendement (le production du capteur. [0014] En outre, si les vias sont petits (150 pin) cela impose d'avoir des lignes de routage plus fines que les lignes ou colonnes dont elles sont issues. Ceci peut être problématique notamment pour le chauffage. Exposé de l'invention [0015] L'invention pallie à au moins un des inconvénients pré-cités. [0016] A cet effet, l'invention propose, selon un premier aspect, une matrice de pixels d'un capteur de motif thermique comprenant plusieurs lignes et plusieurs colonnes de pixels, ladite matrice comprenant : [0017] - un élément thermique actif formé par un matériau thermosensible disposé entre une couche inférieure et une couche supérieure, la couche inférieure étant constituée d'une pluralité de premières pistes en matériau électriquement conducteur et s'étendant selon une première direction, lesdites premières pistes formant des colonnes de pixels ; [0018] - un élément chauffant, disposé sur l'élément thermique actif et formant un tracé en 3 forme de serpentin, ledit élément chauffant étant constitué par une pluralité de deuxièmes pistes en matériau électriquement conducteur et des tronçons de connexion en matériau électriquement conducteur connectées aux extrémités des deuxièmes pistes, lesdites deuxièmes pistes s'étendant dans une deuxième direction différente de la première direction et formant des lignes de pixels, les deuxièmes pistes étant connectées à l'exception des première et dernière deuxième pistes, par leurs extrémités respectives à une des extrémités d'une deuxième piste précédente et d'une deuxième piste suivante par l'intermédiaire dédits tronçons de connexion, la première et dernière deuxième pistes ayant une extrémité libre connectée à un tronçon de connexion. [0019] L'invention, selon le premier aspect de l'invention, est avantageusement complétée par les caractéristiques suivantes, prises seules ou en une quelconque de leur combinaison techniquement possible : [0020] - la deuxième direction est perpendiculaire à la première direction. [0021] - la matrice comprend les couches successives suivantes, déposées sur un substrat : une première couche en matériau électriquement conducteur comprenant les premières pistes constituant la première électrode ; une deuxième couche en matériau thermosensible recouvrant les premières pistes et laissant libre au moins une partie des premières pistes ; une troisième couche en matériau électriquement conducteur superposée à la deuxième couche, ladite troisième couche constituant la deuxième électrode ; une quatrième couche en matériau diélectrique superposée à la troisième couche ; une cinquième couche en matériau électriquement conducteur comprenant l'élément chauffant constituée par la pluralité de deuxièmes pistes et les tronçons de connexion ; une sixième couche de protection. [0022] - l'élément thermique actif est une capacité pyroélectrique, ledit matériau thermo- sensible étant un matériau pyroélectrique, la couche inférieure formant une électrode inférieure et la couche supérieure formant une électrode supérieure. [0023] - l'élément thermique actif est constitué de diodes ou de thermistances. [0024] L'invention concerne selon un deuxième aspect, un capteur de motif thermique comportant : un support ; une matrice de pixels selon le premier aspect de l'invention disposée sur le support ; un circuit intégré disposé sous le support, ledit circuit de commande étant connecté à la matrice de pixels par des lignes de routage en matériau électriquement conducteur s'étendant depuis chacun des tronçons. [0025] L'invention, selon le deuxième aspect de l'invention, est avantageusement complétée par les caractéristiques suivantes, prises seules ou en une quelconque de leur combinaison techniquement possible : [0026] - les lignes de routage et les tronçons de connexion sont disposés sur des couches dif- férentes, le contact entre les lignes de routage et les tronçons de connexion étant réalisé par des vias ; 100271 - les lignes de roulage et les tronçons de connexion sont réalisés sur la même couche ; [0028] - le circuit intégré est configuré pour mettre chacune des lignes de routage à un potentiel nul, c'est-à-dire à la niasse, ou +Vcc afin de permettre le chauffage d'une ou plusieurs deuxième pistes à la fois. [0029] - le circuit intégré est configuré pour permettre de chauffer une ligne après l'autre en appliquant un premier même potentiel au premier tronçon correspondant à la ligne dans le sens du tracé du serpentin et aux tronçons au-dessus et en appliquant un deuxième potentiel, de préférence différent du premier, aux tronçons en dessous. [0030] - le circuit intégré est configuré pour laisser s'écouler une durée T entre deux ali- mentations de deux tronçons successifs, durée T pendant laquelle tous les tronçons sont mis au même potentiel. [0031] Les avantages de l'invention sont multiples : [0032] . en ayant la possibilité de placer les vias tout autour de la matrice de pixels on peut plus facilement router les signaux vers la périphérie de la puce silicium ÀSIC placée en face inférieure, puisque les signaux viennent déjà des 4 côtés (par exemple en plaçant r ASIC au centre du capteur) ; [0033] . il est possible de tester la continuité du serpentin et donc de tester toutes les lignes de manière simplifiée ; [0034] . les contraintes sur la taille des vias sont relâchées, des vias plus gros que ceux utilisés habituellement peuvent être utilisés. Ces vias sont en outre moins coûteux [0035] . les contraintes d'alignement entre les niveaux métalliques sont relâchées. Cela permet d'utiliser des substrats d'une stabilité dimensionnelle modérée et/ou présentant des dimensions plus grandes que ceux habituellement utilisés. Par exemple pour garantir un alignement à 30 pm sur une feuille de 300 mm de long, il faut utiliser un substrat ayant des déformations inférieures à 0,1 pour mille lors des étapes de réalisation de l'empilement, et en particulier les recuits. Ceci ne peut être réalisé que sur verre ou avec des polymères particulièrement stables (le plus souvent des polyimides stabilisés thernaiquement) laminés sur des feuilles de verre. Si l'on relâche ces contraintes, on alors peut utiliser des substrats moins couteux en PEN (PolyEthylène Naphtalate), Polylmide ou Polycarbonate par exemple, ou encore manipuler les films sans les coller sur une feuille de verre. Brève description des dessins [0036] [fig.1] [0037] [fig.2] [0038] D'autres caractéristiques, buts et avantages de l'invention ressortiront de la des- cription qui suit, qui est purement illustrative et non limitative, et qui doit être lue en reeard des dessins annexés sur lesquels, outre les figures 1 à 2 déjà discutées : [0039] [fig.3] [0040] [fig.3'] [0041] [fig.3"] [0042] - les figures 3, 3' et 3" illustrent une matrice de pixels selon différents modes de réa- lisation de l'invention ; [0043] [fig.4] [0044] [fig.5] [0045] - les figures 4 et 5 illustrent deux exemples d'agencement de vias et de lignes de routage d'un capteur selon l'invention ; [0046] [fig.6] [0047] - la figure 6 illustre un empilement de couches d'un capteur selon l'invention. [0048] Sur l'ensemble des figures les éléments similaires portent des références identiques. Description des modes de réalisation [0049] Un capteur selon l'invention présente la même structure que celle en introduction et comprend un support S comprenant une surface inférieure So et une surface supérieure SI. Un tel support S est par exemple un substrat en PET ou PEN ou PI ou encore du type CIU (ABF, FR4) ou encore en verre. [0050] Sur la surface supérieure SI est disposée un élément sensible 1' dont une vue de dessus est illustré sur la figure 3 et est constitué par une matrice de pixels comprenant plusieurs lignes et plusieurs colonnes de pixels. [0051 Sur la surface inférieure SO sont disposés un circuit intégré 2' tel qu'un ASIC, un élément 4 (optionnel) et éventuellement des contacts 3 permettant de connecter le capteur aux contacts d'une carte à puce lorsqu'un tel capteur est disposé sur une telle carte. Bien entendu, il peut être connecté à d'autres système (téléphone, terminal de contrôle d'accès, etc.). [0052] L'invention ici décrite vise, notamment, à remplacer la matrice de pixels 1 des figures I et 2 par la matrice de pixels 1' qui va être ci-dessous décrite et ce, notamment, afin de faciliter la connexion de la matrice de pixels en évitant d'avoir des lignes de routage complexes. Une telle matrice de pixels 1' est illustrée sur la figure 3. [0053] La matrice illustrée sur la figure 3 comprend en particulier les éléments suivants. [0054] Un élément thermique actif formé par un matériau thermosensible 20 disposé entre une couche inférieure 10 et une couche supérieure 30. De préférence l'élément thermique actif est une capacité pyroélectrique formée par un matériau pyroélectrique disposé entre une électrode inférieure cl, e2, c4, cN et une électrode supérieure, Es. [0055] L'électrode inférieure c1, c,, cN est constituée d'une pluralité de premières pistes en matériau électriquement conducteur qui s'étendent selon une première 6 direction. Ces premières pistes forment des colonnes de pixels. [0056] Un élément chauffant Ec qui forme un tracé en forme de serpentin et qui est constitué par une pluralité de deuxièmes pistes Ll, L2, L3, L4, L5, L6 en matériau électriquement conducteur et des tronçons wl, w2, w3, w4, w5, w6 de connexion en matériau électriquement conducteur connectés aux extrémités des deuxièmes pistes Ll, L2, L3, L4, L5, L6. [0057] Les premières pistes Ll, L2, L3, L4, L5, L6 s'étendent dans une deuxième direction, différente à la première direction et forment des lignes de pixels. Dc manière avantageuse, la deuxième direction est perpendiculaire à la première direction. En outre, comme on y reviendra plus loin, l'élément chauffant Ec est au-dessus du matériau pyroélectrique et n'est donc pas au niveau que celui de l'électrode inférieure cl, c2, c3, c4, cf'. En outre, les lignes sont ici droites mais cela n'est pas obligatoire, d'autres formes, par exemple en zig-zag peuvent être envisagées. [0058] C'est le tracé en forme de serpentin de l'élément chauffant qui permet de faciliter la connexion. [0059] En effet, ce serpentin est réalisé en connectant deux à deux les lignes, à l'exception des premières et dernières lignes de la matrice de pixels 1'. [0060] En particulier, les lignes sont connectées à l'exception des première et dernière, par leurs extrémités respectives à une des extrémités d'une ligne précédente et d'une ligne suivante par l'intermédiaire des tronçons de connexion wl, w2, w3, w4, w5, w6, les première et dernière lignes ayant une extrémité libre connectée à un tronçon de connexion. [0061] Par exemple sur l'exemple de la figure 3 : [0062] . L'extrémité gauche de la ligne LI est connectée seule à un tronçon wl ; [0063] . L'extrémité droite de la ligne LI est connectée avec l'extrémité droite de la ligne L2 à un tronçon w2 ; [0064] . L'extrémité gauche de la ligne L2 est connectée avec l'extrémité gauche de la ligne L3 à un tronçon w3 : [0065] . L'extrémité droite de la ligne L3 est connectée avec l'extrémité droite de la ligne L4 à un tronçon w4 ; [0066] . L'extrémité gauche de la ligne L4 est connecté avec l'extrémité gauche la ligne L5 à un tronçon w5 ; [0067] . L'extrémité droite de la ligne L5 est connectée avec l'extrémité droite de la ligne L6 à un tronçon w6 ; [0068] . L'extrémité gauche de la ligne L6 est connectée seule à un tronçon w7. [0069] Ainsi, il apparait que de chaque côté de la matrice, le pas entre deux tronçons adjacents est le double de celui des lignes. Par conséquent, la connexion de la matrice est donc facilitée car moins dense que si toutes les lignes devaient être connectées. 7 Ceci est vrai quel que soit le type de connexion retenu : contact avec les pistes de routage si celles-ci sont réalisées à un autre niveau (les besoins d'alignement et/ou de résolution de cet autre niveau sont relâchés) ou avec des vias vers un niveau métallique sur une face du substrat qui n'est pas celle directement en contact avec la matrice. S'agissant des colonnes cl, c2, e3. e4, c,, elles sont quant à elles connectées chacune à des lignes de routages. [0070] Sur la figure 3, les tronçons de connexion sont connectés à des lignes de routage Ir elles-mêmes connectées à des vias v qui sont de préférence alignés. [0071] Toujours sur cette figure 3, les vias associés à chaque colonne sont du môme côté de la matrice niais bien entendu, on peut prévoir qu'ils soient alternativement d'un côté ou de l'autre. Ou bien encore répartis de manière non régulière d'un côté ou de l'autre de la matrice en fonction des contraintes liées à la connexion de la matrice. [0072] Dc cette façon les vias sont répartis de chaque côté de la matrice de pixels et non pas d'un seul côté comme cela pouvait être le cas notamment dans le cas de la matrice de pixels de la figure 2, où tous les vias étaient nécessairement du côté de l'extrémité libre de la ligne de chaque élément chauffant. [0073] Dc manière alternative, comme cela est illustré sur les figures 3' et 3", le circuit intégré 2' est placé sur la même face que la matrice de pixels 1' et de préférence à côté de la matrice de pixels 1'. Dans ce cas, il est favorable que le circuit intégré 2' soit assemblé par technologie flip chip sur un niveau métallique unique, par exemple le niveau réalisant les colonnes (couche 10). Il est alors toujours nécessaire de réaliser des contacts entre le niveau métallique réalisant les lignes constituant l'élément chauffat (couche 50) et les tronçons de connexion et des lignes de routage situées sur la même couche que les colonnes (couche 10). [0074] En remplacement des lignes de routage et des vias de la figure 3, on prévoit ici des éléments de routage zm situés sur la même couche que les colonnes c2, c3, c4, c, qui sont en contact avec les tronçons métalliques. [0075] Une telle configuration permet de relâcher des contraintes sur les tolérances d'alignement qui sont inférieures que lorsque des lignes de routage et des vias sont utilisés. [0076] On a illustré sur la figure 4, un exemple d'agencement des lignes de routage depuis les tronçons de connexion de l'élément chauffant et des vias qui s'étendent depuis les lignes de routage. Il y a une alternance de lignes de routage de dimension différentes, les vias sont quant à eux de dimensions identiques. Avec un tel agencement, on peut prévoir des vias d'un diamètre de 150 pm et des lignes de routage d'épaisseur 60 pin. En outre, la matrice présente typiquement un pas de 80 pm. [0077] On a illustré sur la figure 5 un autre exemple d'agencement sur lequel les vias ont un diamètre de 130 pm avec un espacement de 30 pm. A la différence de l'agencement de 8 la figure 4 les vias sont alignés avec un pas de 160 pm, c'est-à-dire deux fois le pas de 80 p.m des lignes de l'élément chauffant (épaisseur de 40 p.m et espacement de 40 pm). [0078] Afin de piloter les différentes lignes de l'élément chauffant pour les chauffer, il faut prévoir une logique de pilotage tenant compte de la connexion deux à deux des lignes. Pour ce faire, le circuit intégré est programmé pour mettre chacune des lignes à un potentiel nul ou +Vcc afin de permettre le chauffage d'une ou plusieurs lignes à la fois. En outre, entre deux chauffages de lignes, le circuit intégré est de préférence programmé pour laisser un temps de refroidissement qui est supérieur à la durée pendant laquelle les lignes sont chauffées. Pour ce faire, le circuit 2' intégré est configuré pour laisser s'écouler une durée T entre deux alimentations de deux tronçons successifs, durée T pendant laquelle tous les tronçons sont mis au même potentiel. [0079] On décrit ci-après une logique de pilotage selon plusieurs configurations de chauffage. [0080] Pour chauffer une seule ligne il faut que, dans le sens du tracé du serpentin, le premier tronçon correspondant à la ligne à chauffer soit à un premier potentiel (par exemple +Vcc) ainsi que les tronçons précédents tandis que les tronçons suivants soient à un deuxième potentiel (par exemple à la masse). [0081] Selon cette logique il est donc possible de chauffer chaque ligne l'une après l'autre selon une sorte de vague de tension qui se propage selon le tracé du serpentin (de haut en bas sur la figure 3). [0082] La logique peut être la suivante : [0083] . arrêt : tout à la masse ; [0084] . ligne LI : wl = Vcc, w2 w3 w4 w5 w6 w7 = masse ; [0085] . ligne L2 : wl w2 = Vcc, w3 w4 w5 w6 w7 = masse ; [0086] . ligne L3 : wl w2 w3 = Vcc, w4 w5 w6 w7 = masse ; [0087] . ligne L4 : wl w2 w3 w4 = Vcc, w5 w6 w7 = masse ; [0088] . ligne L5 : wl w2 w3 w4 w5 = Vcc, w6 w7 = masse ; [0089] . ligne L6 : w1,2,3,4,5,6 = Vcc, w7 = masse ; [0090] . arrêt : tout à la masse ou tout à Vcc. [0091] Lorsque toutes les lignes sauf chauffées les unes après les autres, il peut être avantageux de laisser refroidir la ligne qui vient d'être chauffée avant de chauffer la suivante. [0092] La logique peut donc être la suivante : [0093] . arrêt : tout à la masse. [0094] . ligne LI : wl = Vcc, w2 w3 w4 w5 w6 w7 = masse pendant 1 ms (par exemple) [0095] . arrêt : tout à la masse pendant 3 ms (par exemple) [0096] . ligne L2 : wl w2 = Vcc, w3 w4 w5 w6 w7 = masse [0097] .arrêt : tout à la masse. 9 [0098] . ligne L3 : wl w2 w3 = Vcc, w4 w5 w6 w7 = masse [0099] . arrêt : tout à la masse. [0100] . ligne L4 : wl w2 w3 w4 = Vcc w5 w6 w7 = masse [0101] . arrêt : tout à la masse. [0102] . ligne L5 : wl w2 w3 w4 w5 = Vcc, w6 w7 = masse [0103] . arrêt : tout à la masse. [0104] . ligne L6 : wl w2 w3 w4 w5 w6 = Vcc, w7 = masse [0105] . arrêt : tout à la masse (on peut repasser à la ligne 1 pour recommencer) [0106] L'ordre de chauffage des lignes n'est pas limitatif et il est possible de chauffer les lignes dans le désordre. Ceci est intéressant surtout dans le cas d'une matrice active (avec des éléments de sélection et/ou d'amplification dans chaque pixel). [0107] Pour chauffer plusieurs lignes à la fois, une logique peut être la suivante, s'agissant de chauffer les lignes Ll et L3 à la fois : [0108] wl = Vcc [0109] w2 = masse [0110] w3 = masse [0111] w4 w5 w6 w7 = Vcc. [0112] Selon cette logique on a un changement de tension aux bornes de toute la ligne qui doit chauffer. Ainsi, le point de départ est une extrémité (par exemple wl) avec une tension arbitraire (par exemple Vcc ou masse) et si la première doit être chauffée alors la tension pour le tronçon suivant est changée (w2 est à la masse si wl est à Vcc par exemple) sinon la même tension est conservée et ainsi de suite pour les lignes suivantes. [0113] Pour chauffer toutes les lignes à la fois on applique un premier même potentiel à tous les tronçons situés d'un même côté de la matrice de pixels et en appliquant un deuxième potentiel différent à tous les tronçons situés d'un même côté opposé à celui où est appliqué le premier même potentiel. [0114] Par exemple, en relation avec la figure 3, on met tous les tronçons pairs (à droite) à Vcc, et tous les impairs (à gauche) à la masse. [0115] 11 est aussi possible de mettre dernier tronçon w7 à la masse et le premier tronçon wl à Vcc (ou bien une tension plus élevée) en ayant pris soin de mettre tous les autres tronçons en « haute impédance », c'est-à-dire qu'aucun potentiel n'est appliqué (il faut utiliser des drivers 3 états : soit la masse, soit Vcc, soit rien (les 2 transistors de l'inverseur de sortie qui pilote les tronçons de connexion ne sont pas conducteurs). [0116] Cette configuration permet de vérifier la continuité du serpentin et donc de toutes les lignes en une seule mesure (alors qu'avec la structure précédente de la figure 2, il convenait de tester chaque ligne). [0117] La matrice de ci-dessus présentée comprend, comme illustré sur la figure 6, plusieurs couches successives, disposées sur la surface supérieure S1 du support S, qui est de préférence un substrat en PET, PEN, PI ou encore du type CITJ (ABFn, FR4, ...) ou encore en verre. [0118] Le support S présente une épaisseur comprise entre 75 et 200 pm lorsqu'il est en PET, PEN. Lorsqu'il est en PI, l'épaisseur du support S peut être comprise entre 20 et 100 pm, typiquement 25 pm. Lorsqu'il est en verre, l'épaisseur du support S est typiquement comprise entre 300 et 700 pm. [0119] Une première couche 10 est constituée par un motif en matériau conducteur électrique (par exemple, Au, Ag, Al ou Cu) comportant les colonnes. Une deuxième couche 20 est constituée d'un matériau pyroélectrique composé d'un copolymère P(VDF-TrFE) (en anglais « Poly(vinylidene fluoridc - co - trifluoroethylene)» pour copolymère de fluorure de vinylidene et de trifluoroéthylène) qui recouvre les colonnes de la première couche 10. La troisième couche 30 est en matériau conducteur électrique (par exemple, Au, Ag, Al ou Cu). La quatrième couche 40 est en matériau diélectrique. La cinquième couche 50 est constituée par un motif en matériau conducteur électrique dessinant l'élément chauffant (par exemple, Au, Ag, Al ou Cu). La sixième couche 60 est une couche de protection en matériau polymère (exemple acrylate ou siloxane) éventuellement chargé de particules inorganiques (ex : SiO2 ou TiO2), ou une couche inorganique comme du DLC (Diamond-like carbon), du SiO2 ou de r A1203 ou un empilement de plusieurs couches. De manière avantageuse, les différentes couches présentent les épaisseurs suivantes : [0120] Première couche 10 : inférieure à 1 typiquement entre 50 nm et 250 nm ou bien comprise entre 3 pm et 15 pm. [0121] Deuxième couche 20 : comprise entre 2 et 5 pm [0122] Troisième couche 30 : inférieure à 1 typiquement comprise entre 50 nm et 700 nm [0123] Quatrième couche 40 : comprise entre 0,5 nm et 1,5 pm [0124] Cinquième couche comprise entre 50 nm et 3 pm ; [0125] Sixième couche entre 1 et 25 pm ou 50 pm ou 100 gn. [0126] Les deuxième, troisième, quatrième cinquième et sixième couches sont considérées comme des couches minces compte tenu de leur épaisseur et permettent d'assurer un transfert rapide de la chaleur selon un axe vertical de la matrice. En outre, lorsque la couche présente une épaisseur inférieure à 1 pm alors cette couche est considérée comme mince ce qui facilite la réalisation de la matrice. [0127] La première couche 10 (électrode inférieure), la deuxième couche 20 et la troisième couche 30 (électrode supérieure) constituent la capacité pyroélectrique et la cinquième couche 50 constitue l'élément chauffant. [0128] De manière alternative, les troisième et cinquième couche peuvent être échangées ou 11 alors confondues (dans cas la quatrième couche 40 entre les deux est supprimée). [0129] Bien entendu, la matrice et le capteur ici décrits ne sont pas limités à ceux basés sur le PVDF niais peuvent être adaptés à d'autres types de capteur thermiques. 12 REVENDICATIONS[Revendication 1] Matrice de pixels d'un capteur (1) de motif thermique comprenant plusieurs lignes et plusieurs colonnes de pixels, ladite matrice comprenant : - un élément thermique actif (10, 20, 30) formé par un matériau thermosensible (20) disposé entre une couche inférieure (10, cl, e,, c3, c4, cr,) et une couche supérieure (30, Es), la couche inférieure (10, cl, cz, c,, c4, cN) étant constituée d'une pluralité de premières pistes en matériau électriquement conducteur et s'étendant selon une première direction, lesdites premières pistes formant des colonnes de pixels ; - un élément chauffant (50), disposé sur l'élément thermique actif (10, 20, 30) et formant un tracé en forme de serpentin, ledit élément chauffant étant constitué par une pluralité de deuxièmes pistes (Ll, L2, L3, L4, L5, L6) en matériau électriquement conducteur et des tronçons (wl, w2, w3, w4, w5, w6) de connexion en matériau électriquement conducteur connectées aux extrémités des deuxièmes pistes (Ll, L2, L3, L4, L5, L6), lesdites deuxièmes pistes (Ll, L2, L3, L4, L5, L6) s'étendant dans une deuxième direction différente de la première direction et formant des lignes de pixels, les deuxièmes pistes étant connectées à l'exception des première et dernière deuxième pistes (L1, L2, L3, L4, L5, L6), par leurs extrémités respectives à une des extrémités d'une deuxième piste précédente et d'une deuxième piste suivante par l'intermédiaire dédits tronçons (wl, w2, w3, w4, w5, w6) de connexion, la première et dernière deuxième pistes ayant une extrémité libre connectée à un tronçon de connexion. [Revendication 2] Matrice selon la revendication 1, dans laquelle la deuxième direction est perpendiculaire à la première direction. [Revendication 3] Matrice selon l'une des revendications précédentes, comprenant les couches successives suivantes, déposées sur un substrat (S), - une première couche (10) en matériau électriquement conducteur comprenant les premières pistes constituant la première électrode ; - une deuxième couche (20) en matériau thermosensible recouvrant les premières pistes et laissant. libre au moins une partie des premières pistes ; - une troisième couche (30) en matériau électriquement conducteur superposée à la deuxième couche, ladite troisième couche constituant la deuxième électrode ; 13 [Revendication 4] [Revendication 5] [Revendication 6] [Revendication 7] [Revendication 8] [Revendication 9] [Revendication 10] - une quatrième couche (40) en matériau diélectrique superposée à la troisième couche ; - un cinquième couche (50) en matériau électriquement conducteur comprenant l'élément chauffant constituée par la pluralité de deuxièmes pistes et les tronçons de connexion ; - une sixième couche (60) de protection. Matrice selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'élément thermique actif est une capacité pyroélectrique, ledit matériau thermosensible étant un matériau pyroélectrique (20), la couche inférieure (10) formant une électrode inférieure et la couche supérieure formant une électrode supérieure. Matrice selon l'une des revendications 1 à 3, dans laquelle l'élément thermique actif est constitué de diodes ou de thermistances. Capteur de motif thermique comportant : - un support (S) ; - une matrice (1') de pixels selon l'une des revendications précédentes disposée sur le support (S) ; - un circuit intégré (2') disposé sous le support (S), ledit circuit de commande étant connecté à la matrice (1') de pixels par des lignes de routage (lm zm) en matériau électriquement conducteur s'étendant depuis chacun des tronçons. Capteur de motif thermique selon la revendication 6, dans lequel les lignes de routage (1r) et les tronçons de connexion sont disposés sur des couches différentes, le contact entre les lignes de routage et les tronçons de connexion étant réalisé par des vias. Capteur de motif thermique selon la revendication 6, dans lequel les lignes de routage et les tronçons de connexion sont réalisés sur la même couche. Capteur de motif thermique selon l'une des revendications 6 à 8, dans lequel le circuit (2') intégré est configuré pour mettre chacune des lignes de routage à un potentiel nul, c'est-à-dire à la masse, ou +Vcc afin de permettre le chauffage d'une ou plusieurs deuxième pistes à la fois. Capteur de motif thermique selon l'une des revendications 6 à 8, dans lequel le circuit (2') intégré est configuré pour permettre de chauffer une ligne après l'autre en appliquant un premier même potentiel au premier tronçon correspondant à la ligne dans le sens du tracé du serpentin et aux tronçons au-dessus et en appliquant un deuxième potentiel, de préférence différent du premier, aux tronçons en dessous. 14 [Revendication 11] Capteur de motif thermique selon la revendication 10, dans lequel le circuit (2') intégré est configure pour laisser s'écouler une durée T entre deux alimentations de deux tronçons successifs, durée T pendant laquelle tous les tronçons sont mis au même potentiel.