FR 3092588 A1 20200814 FR 1901338 A 20190211 Description Titre de l'invention : Revêtement anti-multipactor déposé sur composant métallique RF ou MW, Procédé de réalisation par tex- turation laser d'un tel revêtement. Domaine technique 100011 La présente invention a pour objet un revêtement anti-mullipactor déposé sur un composant métallique et son procédé de réalisation. 100021 Par « revêtement anti-multipactor », on entend ici et dans le cadre de l'invention, un revêtement dont la fonction est de supprimer à tout le moins réduire très fortement l'effet dit « multipactor ». 100031 L'invention s'applique à tout composant d'un dispositif destiné à assurer la transmission et/ou réception de signaux radio-fréquences (RF) ou dans L gamme des micro-ondes (MW) pour des télécommunications spatiales, tels par exemple des connecteurs, des commutateurs. 100041 L'invention peut également s'appliquer au domaine nucléaire, et de façon générale à toute application où il existe un risque d'effet multipactor. 100051 L'invention peut s'appliquer en particulier aux contacts de connecteurs, de com- mutateurs coaxiaux ou en guide d'ondes, aux antennes. Technique antérieure [0006] L'effet multipactor est un phénomène de décharge électronique résonante clans le vide, qui se produit lorsque des électrons primaires sous l'effet d'un champ électrique alternatif viennent arracher des électrons secondaires à la paroi d'un composant radioélectrique, tel qu'un guide d'onde ou un contact. [0007] Ces électrons secondaires émis sont accélérés à leur tour par le champ électrique al- ternatif appliqué, et. viennent également arracher de nouveaux électrons secondaires, sur la paroi opposée du composant. [0008] Sous certaines conditions, en particulier sous vide spatial, un effet multiplicateur ou d'avalanche se met en place, conduisant à une décharge électronique ou un claquage dans le gaz résiduel à faible pression, qui peut endommager les structures. [0009] En particulier, dans les dispositifs de transmission de grande puissance, un effet mul- tipactor peut se produire dans la connectique ou instrumentation spatiale de micro-ondes (MW) et de radiofréquences (RF), comme dans les structures de grands systèmes de plasma toroïdal thermo-nucléaire. [0010] Dans les accélérateurs de particules, qui utilisent une grande variété de géométries et fonctionnent dans une fréquence allant du MHz à des dizaines de GHz, l'effet multipactor limite la puissance maximale pouvant être transmise dans ces appareils de 2 forte puissance qui fonctionnent dans des conditions de vide. [0011] De fait, dans tous les dispositifs de connectique de grande puissance RF destinés à aller dans l'espace, les grands accélérateurs de particules, les klystrons et autres tubes à vide de haute puissance RF, l'effet multipactor peut avoir un impact néfaste important. [0012] Une solution connue pour supprimer à tout le moins réduire au maximum cet effet multipactor consiste à déposer un revêtement adapté sur les surfaces des pièces concernées. [0013] Un tel revêtement, dit anti-multipactor, doit présenter une conductivité électrique surfacique suffisante, afin de minimiser les pertes RF, une grande résistance à l'exposition à l'air et une faible capacité à réémettre des électrons secondaires. [0014] Cc dernier point est connu sous la dénomination de rendement d'électrons se- condaires (SEY acronyme anglais pour « Secondary Electron Yield »). [0015] Ainsi, un revêtement anti-multipactor doit réduire au maximum le SEY. [0016] Une des solutions consiste à créer une surface irrégulière et non plane au niveau des zones qui sont susceptibles d'émettre ces électrons secondaires. Ces électrons sont alors piégés en partie dans ce relief irrégulier. [0017] La demande de brevet US2017/0292190 propose un revêtement anti-multipactor déposé sur un substrat métallique par voie chimique qui nécessite notamment l'utilisation d'un acide pour la mise en oeuvre une étape de gravure. Le revêtement divulgué présente des performances qui sont loin d'être parfaites. Par ailleurs, le procédé chimique de gravure est réalisé par immersion dans un ou plusieurs bains chimiques et il ne permet pas d'une part de pouvoir réellement, ou au prix de mesures très contraignantes, des revêtements localisés uniquement dans certaines zones de composants. D'autre part il ne permet pas de mettre en oeuvre un revêtement à base d'or, un des métaux des plus inertes chimiquement, mais qui consiste pourtant un des candidats idéaux pour l'effet anti-multipactor recherché. En outre, le procédé peut générer des revêtements dont la texture n'est pas uniforme, et qui peut laisser des zones mal texturées et donc qui peut être source d'une augmentation du SEY. [0018] Il existe donc un besoin d'améliorer les revêtements anti-multipactor et leur procédé de réalisation, notamment pour obtenir un faible SEY, une conductivité électrique surfacique suffisante, une grande résistance à l'exposition à l'air, et ce, afin de conserver au mieux les performances électriques de transmission des signaux RF par des composants métalliques qui en sont munis. [0019] Le but de l'invention est de résoudre au moins partiellement ce besoin. Exposé de l'invention [0020] Pour ce faire, l'invention a pour objet un substrat dont au moins une partie de sa surface est revêtue d'un revêtement anti-multipactor dont le matériau constitutif est 3 choisi parmi les métaux de la colonne 10 ou colonne 11 du tableau de Mendeleïev ou un alliage de ces métaux et dont la texture comprend un ou plusieurs motifs répétés, à intervalles réguliers de cavités. [0021] Avantageusement, le matériau constitutif du revêtement anti-multipactor est choisi parmi l'or, l'argent, un alliage d'argent, un alliage d'or de préférence, un alliage or-nickel ou or-cobalt. [0022] Selon une variante de réalisation avantageuse, il peut être prévu une couche d'accroche entre le revêtement anti-multipactor et la partie de surface revêtue. [0023] Avantageusement, on peut envisager l'une et/ou l'autre des caractéristiques suivantes: - le pas d'intervalle entre deux cavités adjacentes est compris entre 0 et 100 jun ; [0024] - le diamètre d'ouverture de chaque cavité est compris entre 2 et 50pm, de préférence entre 2 et 30 pm ; 2 et 50pm, de préférence entre 2 et 30 pm. [0025] Selon un mode de réalisation avantageux, le revêtement anti-multipactor est lui- même revêtu d'au moins une couche mince déposée selon une technique de dépôt physique en phase vapeur (PVD). [0026] Selon ce mode, la couche mince est de préférence de l'or. [0027] L'invention a également pour objet un composant radiofréquence (RF) ou micro- ondes (MW) dont au moins une partie de la surface de la partie active est constituée par un substrat métallique est revêtue du revêtement anti-multipactor, tel que décrit précédemment. [0028] Le composant peut constituer avantageusement un connecteur RF, un commutateur RF de type coaxial ou un guide d'onde. [0029] L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un revêtement anti- multipactor sur un substrat métallique, comprenant les étapes suivantes : (a) dépôt d'un revêtement en un matériau constitutif choisi les métaux de la colonne 10 ou colonne 11 du tableau de Mendeleïev ou un alliage de ces métaux, sur au moins une partie de surface du substrat métallique, (b) traitement par laser du revêtement déposé selon l'étape (a), de sorte à obtenir une texturation du revêtement déposé, avec un ou plusieurs motifs répétés à intervalles réguliers de cavités. [0030] Le cas échéant, au préalable de l'étape (a), le procédé peut comprendre une étape de dépôt d'une couche d'accroche du revêtement. [0031] Avantageusement, le matériau constitutif du revêtement déposé selon l'étape (a) est choisi parmi l'or, l'argent, un alliage d'argent, un alliage d'or de préférence, un alliage or-nickel ou or-cobalt. [0032] Selon une variante de réalisation avantageuse, l'étape (b) est réalisée au moyen d'un laser femtoseconde. On rappelle ici qu'à l'inverse d'un laser conventionnel, qui produit habituellement un rayonnement continu, un laser femtoseconde produit des flashs très brefs de lumière, soit des impulsions. Chaque impulsion dure de préférence de quelques fs à 100 fs,lfs étant égal à 10-1,s. [0033] Un des avantages d'un laser femtoseconde est d'avoir une zone affectée ther- miquement, par son impact qui est très faible. En outre, un laser femtoseconde permet d'obtenir des motifs de cavités parfaitement répétitifs à intervalles réguliers, ce que l'on recherche dans le cadre de l'invention. [0034] De préférence, l'étape (a) est réalisée selon une technique de traitement de surface électrochimique (revêtement chimique ou électrolytique). [0035] L'invention a enfin pour objet l'utilisation d'un composant RF ou MW comme ci- dessus, pour la transmission de signaux depuis ou vers un satellite. Il peut par exemple s'agir de commutateurs en guides d'ondes en émission et/ou réception dans les bandes P, S, L, C ou X ou encore de commutateurs coaxiaux en émission et/ou réception dans toutes les bandes de fréquence du spectre électromagnétique. [0036] Ainsi, l'invention consiste essentiellement en un revêtement anti-multipactor, de préférence en or ou en argent ou un alliage de ces métaux, qui est texture avec des cavités de géométrie calibrée et répétée de manière régulière sur la partie de surface du composant métallique qui en est muni. [0037] Les cavités agissent comme des pièges à électrons primaires très efficaces, ce qui permet d'avoir un SEY réduit. En plus, le fait d'avoir ces motifs de cavités répétés à intervalles réguliers implique une texture de revêtement uniforme, ce qui favorise aussi un SEY réduit. [0038] Grâce au revêtement anti-multipactor selon l'invention, les performances en termes de puissance de transmission des signaux HF ou MW peuvent être considérablement améliorées comparativement à un revêtement métallique conducteur, notamment en or ou en argent réalisé uniquement par dépôt selon une technique de traitement de surface de type dépôt électrochimique (chimique ou électrolytique) par exemple, sans pour autant dégrader de façon notable les performances RF ou MW, tels que le niveau de pertes RF lors de la transmission d'un signal RF. [0039] De plus, l'utilisation d'un laser pour texturer la surface du revêtement déposé, permet de maitriser aisément et d'ajuster le type de texturation (taille et profondeur des cavités, périodicité du motif) et de traiter seulement localement les surfaces du substrat, susceptibles d'émettre des électrons secondaires, à la différence d'une gravure chimique selon l'état de l'art qui est appliquée dans un bain dans lequel est immergée la pièce à traiter. [0040] Enfin, la texturation par laser permet de modifier aisément la surface d'un revêtement d'or, ce qui est difficile voire impossible par attaque chimique. [0041] D'autres avantages et caractéristiques de l'invention ressortiront mieux à la lecture de la description détaillée d'exemples de mise en oeuvre de l'invention faite à titre illustrait(' et non limitatif en référence aux fleures suivantes. Brève description des dessins [0042] [fig.l1 est une reproduction photographique d'un revêtement anti-multipactor conforme à l'invention; [0043] [fig.2A] est une vue schématique de dessus de motifs répétés de cavités d'un re- vêtement anti-multipactor conforme à l'invention; [0044] [fig.2B1 est une vue schématique en coupe longitudinale d'une cavité d'un re- vêtement anti-multipactor conforme à l'invention; [0045] [fig.31 est une visualisation, obtenue par microscope confocal à balayage laser 3D de la topographie d'un revêtement anti-multipactor à motifs répétés à intervalles réguliers de cavités conforme à l'invention; [0046] [fig.41 est une vue en perspective d'un connecteur coaxial de type TNC mis en oeuvre pour tester un revêtement anti-multipactor selon l'invention; [0047] [fig.51 est une vue en perspective d'une douille mise en oeuvre pour tester un re- vêtement anti-multipactor selon l'invention; [0048] [fig.61 est une vue en perspective d'une demi-coquille mise en oeuvre pour tester un revêtement anti-multipactor selon l'invention; [0049] [fig.71 est une vue en perspective d'un système de connexion comprenant deux connecteurs TNC tels que montrés en figure 4 entre lesquels unc douille de connexion selon la figure 5 est connectée et entourée de deux demi-coquilles selon la figure 6, l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles étant recouverte d'un revêtement anti-multipactor en argent conforme à11' invention; [0050] [fig.81 est une vue en perspective du système de connexion selon la figure 7 tels qu'assemblé; [0051] [fig.9A] est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x 250 d'un revêtement anti-multipactor en argent selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles; [0052] [fig.9131 est unc vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x 1000 d'un revêtement anti-multipactor en argent selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles; [0053] [fig.9C1 est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement X 5000 d'un revêtement anti-multipactor en argent selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles, ce grossissement permettant de visualiser une cavité; [0054] [fig.9D] est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x7500 d'un revêtement anti-multipactor en argent selon l'invention qui 6 recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles, ce grossissement permettant de voir avec plus de précision la cavité de la figure 9C; [0055] [fig.10] est une vue en perspective d'un système de connexion comprenant deux connecteurs TNC tels que montrés en figure 4 entre lesquels une douille de connexion selon la figure 5 est connectée et entourée de deux demi-coquilles selon la figure 6, l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles étant recouverte d'un revêtement anti-multipactor en or conforme à l'invention; [0056] [fig.11A] est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x550 d'un revêtement anti-multipactor en or selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles; [0057] [fig.1 113] est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x1000 d'un revêtement anti-multipactor en or selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles; [0058] [fig.11C] est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x6000 d'un revêtement anti-multipactor en or selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles, ce grossissement permettant de visualiser une cavité; [0059] [fig.11D] est une vue d'un microscope à balayage électronique (MEB) avec un gros- sissement x7500 d'un revêtement anti-multipactor en or selon l'invention qui recouvre l'extérieur de la douille et l'intérieur des demi-coquilles, ce grossissement permettant de voir avec plus de précision la cavité de la figure 11C; [0060] [fig.12] est un graphe sous forme d'histogrammes montrant le gain en puissance de transmission apporté par un revêtement anti-multipactor en argent et en or selon l'invention comparativement à un revêtement respectivement en argent et en or selon l'état de l'art, obtenu uniquement par traitement de surface électrochimique, sans texturation. Description détaillée [0061] On a illustré à la figure 1, un revêtement anti-multipactor, globalement désigné par la référence 1, selon l'invention. [0062] Ce revêtement 1 est en argent, or ou un alliage de l'un ou l'autre de ces métaux et sa texture comprend un ou plusieurs motifs répétés, à intervalles réguliers de cavités 10. [0063] Une schématisation de motifs répétés et de cavités 10 est montré en figures 2A à 2B : les cavités 10 sont sensiblement jointives et ont chacune une ouverture circulaire et une forme générale en coupe substantiellement selon une gaussienne. A titre d'exemple indicatif, le diamètre unitaire des cavités 10 est de l'ordre de 20 µm et leur profondeur (hauteur) h est de l'ordre de 4 pm. [0064] La topographie répétitive à intervalles réguliers de ces cavités 10 est bien visible en 7 figure 3. [0065] Pour obtenir le revêtement anti-multipactor 1 selon l'invention sur au moins une partie de surface d'un composant métallique RF ou MW, les inventeurs ont procédé de la manière suivante. [0066] Etape a): On réalise un dépôt par traitement de surface de type dépôt électrochimique par exemple d'un revêtement en or ou en argent, ou en un alliage de l'un ou l'autre de ces métaux, sélectivement sur la surface concernée du composant métallique. [0067] Cc dépôt est de l'ordre de quelques pm, voire quelques dizaines de !lm. Par exemple, l'épaisseur de dépôt peut être comprise entre 1 et 15pm pour l'argent et 1 et 7pm pour l'or pur. [0068] Etape h): on effectue un traitement par laser du revêtement déposé, de sorte à obtenir une texturation du revêtement déposé, avec un ou plusieurs motifs répétés à intervalles réguliers de cavités. [0069] Le laser utilisé est de préférence un laser femtoseconde. Chaque cavité 10 est créée par une impulsion produite le laser, d'une durée de quelques fs à 100 fs. [0070] Pour prouver l'efficacité du revêtement anti-multipactor 1 selon l'invention, les in- venteurs ont réalisé des essais sur un véhicule de test RF, dont une partie des composants métalliques est revêtue dudit revêtement. [0071] Le système de connexion utilisé 5 lors des essais comprend deux connecteurs coaxiaux 4 de type TNC, tels que montrés en figure 4, entre lesquels une douille en 3 montrée en figure 5 est connectée et autour de laquelle deux demi-coquilles 4 comme selon la figure 6 sont assemblées en définissant un espace annulaire autour. [0072] Le système de connexion 5 assemblé et en configuration de fonctionnement est montré en figure 8. [0073] Dans chacun des exemples considérés ci-après, les conditions des essais ont été les suivantes : [0074] douille 3 en cuivre béryllium (CuBe2) et demi-coquille 4 en aluminium; fréquence du signal transmis par le système de connexion 5 : 1GHz; espace annulaire entre l'extérieur de la douille 3 et l'intérieur du cylindre défini par les deux demi-coquilles 4 assemblées: 2mm; puissance de transmission du signal: jusqu'à obtenir la décharge multipactor. [0075] Exemple 1: L'extérieur de la douille 3 et l'intérieur des demi-coquilles 4 est revêtu d'un revêtement anti-multipactor 1 en argent et texturé conformément à l'invention, i.e. selon les étapes a) et b) du procédé décrit ci-dessus. [0076] Exemple 1 comparatif: L'extérieur de la douille 3 et l'intérieur des demi-coquilles 4 est revêtu d'un revêtement 1 en argent mais sans aucune texturation, i.e. uniquement selon l'étape a) du procédé décrit ci-dessus. [0077] Exemple 2: L'extérieur de la douille 3 et l'intérieur des demi-coquilles 4 est revêtu 8 d'un revêtement anti-multipactor 2 en or et texturé conformément à l'invention, i.e. selon les étapes a) et b) du procédé décrit ci-dessus. [0078] Exemple 2 comparatif: L'extérieur de la douille 3 et l'intérieur des demi-coquilles 4 est revêtu d'un revêtement 2 en or mais sans aucune texturation, i.c. uniquement selon l'étape a) du procédé décrit ci-dessus. [0079] Exemple 3 comparatif : la douille 3 et les demi-coquilles 4 sont dépourvues de re- vêtement. [0080] Les mesures de puissance du signal ont été faites selon la norme citée en référence ci- après. [0081] Les résultats des essais sont montrés sur la figure 12 et résumés dans le tableau 1 ci- dessous. [0082] [Tableaux 1] Exemple Puissance (W) Exemple 1 390 Exemple comparatif ,:. Exem le 2 750 Exemple 2 comparatif 153 Exemple 3 80 100831 On constate que le meilleur résultat est obtenu avec un revêtement 1 en or texturé selon l'invention, avec un gain d'un facteur de l'ordre de 4,9 par rapport à un revêtement uniquement plaqué en or, ce qui est déjà considérable, et un gain d'un facteur de l'ordre de 9,38 comparativement à des composants métalliques sans revêtement, ce qui est très important. 100841 Un revêtement 1 en argent texturé selon l'invention amène quant à lui un gain avec un facteur d'environ 2,95 par rapport à un revêtement uniquement plaqué en argent. [0085] D'autres variantes et avantages de l'invention peuvent être réalisés sans pour autant sortir du cadre de l'invention. [0086] Par exemple, si dans l'exemple illustré, le revêtement anti-multipactor selon l'invention est réalisé sur une douille formant un contact central d'une connectique RF, l'invention s'applique également à toute autre partie électriquement conductrice d'un dispositif RF ou MW, notamment pour transmission de puissance élevée, d'un commutateur, tel qu'un commutateur coaxial ou un commutateur en guide d'ondes. [0087] L'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits ; on peut notamment combiner entre elles des caractéristiques des exemples illustrés au sein de variantes non illustrées. Liste des documents cités 9 [0088] EC SS-E-20-01 A (REV-1), SPACE ENGINEERING: MULTIPACTION DESIGN AND TEST (01-MAR-2013) [Revendication 1] [Revendication 2] [Revendication 3] [Revendication 4] [Revendication 5] [Revendication 6] [Revendication 7] [Revendication 8] [Revendication 9] [Revendication 10]