FR 3087533 A1 20200424 FR 1859680 A 20181019 CAPTEUR PYROELECTRIQUE AVEC REVÊTEMENT AMÉLIORÉ DE RÉSISTANCE CONTRE L'ABRASION. DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention se rapporte à un capteur de motifs thermiques de type capteur pyroélectrique. Un tel capteur forme par exemple un capteur d'empreinte papillaire, notamment un capteur d'empreinte digitale. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Un capteur pyroélectrique exploite les propriétés de pyroélectricité d'un matériau, c'est-à-dire sa capacité à générer des charges électriques en réponse à une variation de température. Un tel capteur comporte des capacités pyroélectriques, formant chacune un transducteur pour traduire une variation temporelle de température en un signal électrique. Chaque capacité pyroélectrique comporte une portion en matériau pyroélectrique, disposée entre une électrode inférieure et une électrode supérieure. L'une des électrodes est mise à un potentiel constant, et forme une électrode de référence. L'autre électrode, nommée électrode de collecte de charges, collecte des charges pyroélectriques générées par le matériau pyroélectrique en réponse à une variation de température. L'électrode de collecte de charges est connectée à un circuit de lecture, pour mesurer la quantité de charges collectée. En fonctionnement, un objet est appuyé contre une surface de contact du capteur. La détection peut exploiter simplement une différence de température entre cet objet et ladite surface de contact. Le capteur réalise alors une détection de type passif. Dans le cas d'une détection d'empreinte digitale, le doigt est appuyé contre la surface de contact du capteur. 2 Au niveau des crêtes de l'empreinte, la peau est en contact physique direct avec le capteur. Un transfert thermique entre la peau et la surface de contact du capteur s'effectue par conduction, ce qui conduit à une première variation temporelle de température. Au niveau des vallées de l'empreinte, la peau n'est pas en contact physique direct avec le capteur. Un transfert thermique entre la peau et la surface de contact du capteur s'effectue à travers l'air. L'air présente des propriétés d'isolant thermique, ce qui conduit à une seconde variation temporelle de température, moins importante. La différence entre ces deux variations temporelles de température se traduit par 10 une différence entre les signaux mesurés par les capacités pyroélectriques, selon qu'elles se trouvent sous une vallée ou sous une crête de l'empreinte. L'image de l'empreinte présente alors un contraste qui dépend de cette différence. Après quelques secondes, la température du doigt et la température de la surface de contact s'homogénéisent, et il n'est plus possible d'obtenir un contraste satisfaisant. 15 Pour pallier à cet inconvénient, on ajoute des moyens de chauffage sous la surface de contact, pour dissiper une certaine quantité de chaleur dans chaque pixel du capteur. La variation de température mesurée dans chaque pixel du capteur se rapporte alors à la mesure dans laquelle cette quantité de chaleur est évacuée du pixel. Cela permet d'améliorer et de conserver au cours du temps, le contraste d'une image acquise à l'aide 20 dudit capteur. Le capteur réalise alors une détection de type actif. Un tel capteur est décrit par exemple dans la demande de brevet EP 2 385 486. Dans le cas d'une détection d'empreinte digitale, la variation de température est importante au niveau des vallées de l'empreinte, où la chaleur n'est transférée au doigt qu'à travers l'air, et plus faible au niveau des crêtes de l'empreinte, où la chaleur est 25 transférée efficacement au doigt, par conduction. Quel que soit le type de détection mis en oeuvre, un capteur pyroélectrique comporte avantageusement un revêtement de protection contre l'abrasion, pour protéger des couches ou étages inférieurs à l'égard de l'usure mécanique liée aux contacts répétés avec les objets à imager, notamment des empreintes dans le cas d'un capteur d'empreinte papillaire. 3 Le revêtement de protection contre l'abrasion peut être constitué d'une couche de résine résistante à l'abrasion. Afin d'offrir une protection suffisante, la couche de résine présente généralement une épaisseur supérieure à 20 [lm. Un inconvénient d'une telle couche de résine est cependant qu'elle ralentit les échanges de chaleur entre les capacités pyroélectriques et un objet à imager, du fait de la forte épaisseur de matériau à traverser, et provoque une perte de résolution du fait de la conduction latérale de la chaleur vers les pixels voisins. La lecture des pixels du capteur est donc ralentie, ce qui peut poser des difficultés notamment pour des capteurs de grandes dimensions, avec beaucoup de pixels. 10 Une solution connue consiste à réaliser le revêtement de protection contre l'abrasion en DLC (diamond like carbon). Ce matériau présente en effet une très forte résistance à l'abrasion, de sorte qu'il offre une protection suffisante même en épaisseur réduite. Une couche de DLC d'épaisseur inférieure à 1 ûm, notamment entre 200 nm et 300 nm, offre par exemple une protection suffisante. Cette gamme d'épaisseurs donne 15 accès à des vitesses élevées de transmission de la chaleur à travers le revêtement de protection contre l'abrasion. En revanche, il reste technologiquement difficile et coûteux de maîtriser avec autant de précision l'épaisseur déposée de DLC, et les températures de dépôt sont difficilement compatibles avec certains composés constituant le capteur pyroélectrique (en particulier le PVDF). 20 Un objectif de la présente invention est de proposer une solution pour protéger un capteur pyroélectrique à l'égard de l'usure mécanique liée aux contacts répétés avec les objets à imager, qui offre une vitesse élevée de transmission de la chaleur et une diffusion latérale réduite, et dont la mise en oeuvre ne présente pas de difficulté technologique particulière. 25 EXPOSÉ DE L'INVENTION Cet objectif est atteint avec un capteur de motifs thermiques comportant plusieurs pixels disposés sur un substrat, chaque pixel comportant au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique disposée 4 entre au moins une électrode inférieure et au moins une électrode supérieure, avec l'électrode inférieure disposée entre le substrat et la portion de matériau pyroélectrique, le capteur comportant un revêtement externe dit de protection contre l'abrasion, situé du côté opposé au substrat. Les piliers forment des structures de hauteur sensiblement égale à l'épaisseur de la couche de résistance à l'abrasion, par exemple à 20% près, voire à 5% près, avec des faces inférieures respectives de chacun des piliers réparties de préférence dans un même plan parallèle au plan du substrat. Les piliers prennent par exemple chacun la forme d'un cylindre, ou d'un empilement de cylindres, de hauteur sensiblement égale à l'épaisseur 10 de la couche de résistance à l'abrasion. Le diamètre des piliers, dans un plan parallèle au substrat, est avantageusement inférieur à un pas de pixel du capteur de motifs thermiques, et de préférence inférieur à la moitié de ce pas. Selon l'invention, le revêtement de protection contre l'abrasion comprend une couche dite couche de résistance à l'abrasion, et une pluralité de piliers répartis dans la 15 couche de résistance à l'abrasion, les piliers présentant une conductivité thermique strictement supérieure à celle de la couche de résistance à l'abrasion. En d'autres termes, les piliers présentent une conductivité thermique élevée, et s'étendent dans une couche présentant une faible conductivité thermique. Dit encore autrement, le revêtement de protection contre l'abrasion présente une structure hétérogène constituée de piliers 20 hautement conducteurs de chaleur entourés d'un matériau faiblement conducteur de chaleur. Un rapport entre la conductivité thermique des piliers et la conductivité thermique de la couche de résistance à l'abrasion est avantageusement supérieur ou égal à 2, voire supérieure ou égal à 5. Ce rapport peut même atteindre 10, 100 et même 1000. Les piliers sont entourés latéralement par le matériau de la couche de résistance à 25 l'abrasion. En particulier, ils sont entièrement entourés par le matériau de ladite couche, dans des plans parallèles au plan du substrat. La couche de résistance à l'abrasion présente une fonction de protection à l'égard de l'abrasion. L'abrasion désigne ici une usure mécanique, par frottement. La résistance à l'abrasion désigne la capacité à résister à cette usure mécanique. 5 Dans le revêtement de résistance à l'abrasion, la chaleur se propage rapidement à travers les piliers, et lentement à travers la couche de résistance à l'abrasion. On peut ainsi combiner, dans le revêtement de protection contre l'abrasion, des transferts thermiques rapides selon un axe orthogonal au plan du substrat, et des transferts thermiques lents dans un plan parallèle au plan du substrat. Le rapport des vitesses de transferts thermiques est par exemple supérieur ou égal à 2, voire supérieur ou égal à 10 ou même supérieur ou égal à 100. L'invention permet ainsi de limiter la diffusion latérale de chaleur au sein du revêtement de protection à l'abrasion, puisque les transferts de chaleur se font 10 principalement par l'intermédiaire des piliers et que ces derniers sont noyés dans la couche de résistance à l'abrasion, de faible conductivité thermique. On évite ainsi des transferts de chaleur d'un pixel à l'autre du capteur pyroélectrique (diathermie), lors de la traversée du revêtement de protection à l'abrasion. De tels transferts de chaleur empêchent qu'un motif thermique sur la surface de contact du capteur pyroélectrique 15 soit reproduit fidèlement au niveau des portions en matériau pyroélectrique. Ils pourraient se présenter avec un revêtement de protection contre l'abrasion constitué d'une couche épaisse d'un matériau bon conducteur thermique. En particulier, le matériau des piliers peut présenter de bonnes propriétés de résistance à l'abrasion (par exemple lorsque les piliers sont en titane ou en tungstène ou en DLC). Une solution 20 évidente consisterait à utiliser une pleine couche du matériau des piliers, pour réaliser la protection à l'abrasion. Une telle solution entraînerait cependant une forte diathermie liée à la traversée du revêtement de résistance à l'abrasion. L'invention permet, en augmentant la vitesse des transferts thermiques à travers le revêtement de protection contre l'abrasion et en limitant les transferts thermiques latéraux, d'améliorer le 25 contraste d'une image du motif thermique appliqué sur la surface de contact du capteur. En complément ou en variante, l'invention permet de réduire la consommation électrique du capteur de motifs thermiques, en réduisant la quantité de chauffage apportée par les éléments de chauffage dans le cas d'un capteur à détection de type actif. En effet, l'augmentation de la vitesse verticale des transferts thermiques (selon un axe 30 orthogonal au plan du substrat) permet qu'une quantité moindre de chaleur apportée par 6 les éléments de chauffage engendre une même variation de température au niveau des capacités pyroélectriques, pour une même durée d'acquisition, en comparaison avec l'art antérieur. L'augmentation de la vitesse verticale des transferts thermiques a également pour conséquence de réduire une durée nécessaire pour chauffer les capacités pyroélectriques à raide des éléments de chauffage puis ramener celles-ci à température ambiante, dans un capteur à détection de type thermique actif avec un adressage passif des pixels (sans transistors de sélection). On peut ainsi réduire une durée de lecture des pixels du capteur de motifs thermiques, jusqu'à la diviser d'un facteur 10 en comparaison avec l'art 10 antérieur. Puisque les transferts thermiques ont majoritairement lieu par l'intermédiaire des piliers, la couche de résistance à l'abrasion peut présenter une épaisseur élevée sans que cela n'impacte la vitesse des transferts thermiques. Cette dernière peut présenter par exemple une épaisseur supérieure à quelques micromètres, par exemple supérieure ou 15 égale à 3µm voire supérieure ou égale à 10 jtm. Cette épaisseur est avantageusement supérieure ou égale à 5% d'un pas de pixel du capteur de motifs thermiques, voire supérieure ou égale à 10% et même supérieure ou égale à 100% de ce pas de pixel. On s'affranchit ainsi des contraintes technologiques liées au dépôt d'une couche ultra-mince d'épaisseur inférieure au micromètre, en comparaison avec l'art antérieur 20 utilisant une fine couche de DLC. En particulier, il n'est plus nécessaire de contrôler très précisément l'épaisseur déposée pour être certain que la protection contre l'abrasion est suffisante en chaque point de la surface de contact du capteur. Le même allègement de contraintes s'applique de la même manière à une éventuelle surépaisseur de la couche de résistance à l'abrasion, dépassant au-dessus des piliers et pouvant servir à protéger les 25 piliers si ces derniers ne sont pas suffisamment résistant à l'abrasion. En levant les contraintes relatives à l'épaisseur de la couche de résistance à l'abrasion, l'invention donne accès à une large gamme de matériaux pour réaliser cette dernière. On peut notamment utiliser des matériaux nécessitant d'être déposés en couche épaisse pour pouvoir offrir une protection suffisante contre l'abrasion. On peut 30 notamment utiliser des matériaux moins chers et/ou plus faciles à déposer. 7 Le revêtement de protection contre l'abrasion selon l'invention, nommé également étage de protection contre l'abrasion, ou simplement couche de protection, forme ainsi une solution pour protéger un capteur pyroélectrique à l'égard de l'usure mécanique liée aux contacts répétés avec les objets à imager, offrant à la fois : 5 - des transferts thermiques rapides selon un axe orthogonal au plan du substrat, grâce aux piliers de conductivité thermique élevée ; et - une mise en oeuvre simple, puisque ces piliers peuvent s'étendre dans une couche de résistance à l'abrasion de forte épaisseur, dont la réalisation ne présente pas de difficulté technologique particulière. 10 De préférence, le revêtement de protection contre l'abrasion présente une épaisseur supérieure ou égale 5% d'un pas de répétition des pixels du capteur de motifs thermiques. Le revêtement de protection contre l'abrasion peut présenter une épaisseur supérieure ou égale à 3 [lm. 15 Avantageusement, l'épaisseur du revêtement de protection contre l'abrasion est supérieure ou égale à la hauteur des piliers, avec ladite épaisseur et ladite hauteur définies chacune selon un axe orthogonal au plan du substrat, et une différence entre l'épaisseur du revêtement de protection contre l'abrasion et la hauteur des piliers est inférieure ou égale à 10 %, voire inférieure ou égale à 5% de la hauteur des piliers. 20 De préférence, chaque pixel du capteur comporte une portion du revêtement de protection contre l'abrasion, ladite portion comportant un unique pilier. Les piliers du revêtement de protection contre l'abrasion présentent avantageusement une conductivité thermique au moins dix fois supérieure à celle de la couche de résistance à l'abrasion. 25 Les piliers du revêtement de protection contre l'abrasion peuvent comprendre un métal ou du graphène. La couche de résistance à l'abrasion peut comprendre un matériau à base de benzocyclo-butène. La couche de résistance à l'abrasion est avantageusement en matériau 30 électriquement isolant. 8 Selon un mode de réalisation avantageux, les pixels du capteur sont agencés en lignes et en colonnes, chaque pixel comporte en outre un élément de chauffage, apte à chauffer par effet Joule la portion en matériau pyroélectrique dudit pixel, et : - les éléments de chauffage d'une même ligne de pixels sont formés ensemble d'un seul tenant, en une même bande de chauffage ; - dans chaque pixel, l'une parmi l'électrode supérieure et l'électrode inférieure forme une électrode de collecte de charges, et les électrodes de collecte de charges d'une même colonne de pixels sont formées ensemble d'un seul tenant en une macro-électrode de collecte de charges ; et 10 - chaque pilier du revêtement de protection contre l'abrasion s'étend à travers une région d'intersection entre une projection orthogonale d'une bande de chauffage et une projection orthogonale d'une macro-électrode de collecte de charges, dans un plan parallèle au plan du substrat. Les piliers du revêtement de protection contre l'abrasion sont avantageusement 15 constitués chacun de plusieurs piliers élémentaires, superposés selon un axe orthogonal au plan du substrat. L'invention couvre également un procédé de réalisation du revêtement de protection contre l'abrasion d'un capteur selon l'invention, dans lequel une étape de réalisation des piliers comprend l'utilisation d'une encre à base de particules de métal 20 et/ou de graphène. L'étape de réalisation des piliers peut comprendre un ou plusieurs dépôts localisés de l'encre, à l'aide d'une imprimante à jet d'encre. De préférence, la réalisation du revêtement de protection contre l'abrasion comprend les étapes suivantes : 25 - réalisation de la couche de résistance à l'abrasion, munie d'ouvertures traversantes réparties selon un plan parallèle au plan du substrat ; et - remplissage des ouvertures traversantes par l'encre à base de particules de métal et/ou de graphène. 9 En variante, réalisation des piliers peut comprendre les étapes suivantes : - réalisation de la couche de résistance à l'abrasion, sans ouverture ; et - insolations locales de la couche de résistance à l'abrasion, pour modifier localement sa conductivité thermique et former ainsi les piliers. 5 Le procédé selon l'invention, de fabrication d'un mode de réalisation du capteur tel que mentionné ci-dessus avec des bandes de chauffage et des macro-électrodes de collecte de charges, comporte avantageusement les étapes suivantes : - dépôt d'une couche photosensible, sur un empilement comprenant le substrat, les capacités pyroélectriques et les éléments de chauffage ; 10 - illumination de la couche photosensible depuis le côté du substrat, à l'aide d'un faisceau lumineux de gravure dont la puissance est adaptée pour qu'il traverse ledit empilement excepté là où une bande de chauffage et une macro-électrode de collecte de charges sont superposées ; et - remplissage des ouvertures gravées dans la couche photosensible par le matériau 15 de la couche de résistance à l'abrasion. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant 20 référence aux dessins annexés sur lesquels : - les figures 1A et 1B illustrent de manière schématique un premier mode de réalisation d'un capteur de motifs thermiques selon l'invention ; - la figure 1C illustre une variante du mode de réalisation des figures lA et 1B ; - les figures 2A et 2B illustrent un comparatif des performances thermiques d'un 25 capteur de motifs thermiques selon l'art antérieur ou selon l'invention ; - les figures 3A et 3B illustrent de manière schématique un deuxième mode de réalisation d'un capteur de motifs thermiques selon l'invention ; - la figure 3C illustre une variante du mode de réalisation des figures 3A et 3B ; et 10 - les figures 4 à 6 illustrent de manière schématique différents modes de réalisation d'un procédé de fabrication d'un capteur de motifs thermiques selon l'invention. 5 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Pour plus de clarté, on a représenté sur les figures les axes (Ox), (Oy) et/ou (Oz) d'un repère orthonormé. Les échelles ne sont pas respectées sur les figures, en particulier, les épaisseurs de chacun(e) des couches et/ou étages et/ou revêtement. Les figures 1A et 1B illustrent de manière schématique un premier mode de 10 réalisation d'un capteur de motifs thermiques 100 selon l'invention. La figure lA est une vue schématique de dessus, dans un plan parallèle au plan (x0y). La figure 1B est une vue en coupe dans un plan AA' parallèle au plan (yOz). Le capteur de motifs thermiques 100 comporte, superposés au-dessus d'un substrat 110, selon l'axe (Oz) orthogonal à une face supérieure ou inférieure dudit substrat : 15 - un étage 120 nommé étage d'électrodes inférieures ; - un étage 130 comprenant un matériau pyroélectrique ; - un étage 140 de blindage électromagnétique, formant ici en outre une électrode supérieure commune aux pixels du capteur 100; - une couche d'isolation électrique 160 ; 20 - un étage de chauffage 170 ; et - un revêtement de protection contre l'abrasion 180. Cet empilement forme une matrice de pixels, dans laquelle chaque pixel comporte une capacité pyroélectrique, formée par une portion en matériau pyroélectrique disposée 25 entre une électrode inférieure, du côté du substrat, et une électrode supérieure, du côté opposé au substrat. Ici, mais de manière non limitative, les électrodes inférieures forment des électrodes de collecte de charges telles que décrites en introduction, et l'au moins une électrode supérieure forme une électrode de référence telle que décrite en introduction. 11 Le substrat 110 est par exemple en verre, en silicium, en un plastique tel que le poly(téréphtalate d'éthylène) (PET), en poly(naphtalate d'éthylène) (PEN), en polyimide (film Kapton), etc. Il s'agit de préférence d'un substrat souple, par exemple un substrat en polyimide de 5 Rm à 10 Rm d'épaisseur, ou en un plastique tel que le PET. Il présente une face supérieure et une face inférieure parallèles entre elles, et parallèles au plan (xOy). Dans la suite, le plan du substrat désigne un plan parallèle à ces faces inférieure et supérieure. L'étage d'électrodes inférieures 120 comporte ici une matrice d'électrodes de collecte de charges 121, disposées en lignes et en colonnes selon les axes (Ox) et (Oy). Les 10 électrodes de collecte de charges sont constituées d'un métal tel que l'or ou l'argent, ou tout autre matériau électriquement conducteur. Elles sont réparties selon les axes (Ox) et (Oy), selon un pas de répétition inférieur ou égal à 150 p.m. Le pas de répétition est par exemple de 80 (lm environ, ou 90 (lm, ou 50,8 Rm. L'étage 130 comprenant un matériau pyroélectrique est constitué ici d'une pleine 15 couche constituée de poly(fluorure de vinylidène) (PVDF) ou l'un de ses dérivés (notamment le copolymère PVDF-TrFE, TrFE pour Tri-fluoro-éthylène). En variante, la couche 130 comprend du nitrure d'aluminium (AIN), du titanate de baryum (BaTiO3), du Titano-Zirconate de Plomb (PZT), ou tout autre matériau pyroélectrique. La couche 130 s'étend ici, mais de manière non limitative, d'un seul tenant, et sans ouverture, en 20 recouvrant l'ensemble des électrodes de collecte de charges 121 de l'étage 120. L'étage 140 de blindage électromagnétique forme un étage électriquement conducteur, apte à être connecté à une source de potentiel constant, par exemple à la masse. Il est constitué par exemple d'une fine couche d'un matériau électriquement et thermiquement conducteur, tel qu'un mélange de poly(3,4-éthylènedioxythiophène) et 25 de poly(styrène sulfonate) de sodium, nommé PEDOT : PSS. L'étage 140 de blindage électromagnétique forme un étage distinct de l'étage 180 de protection contre l'abrasion. Le cas échéant, il peut présenter une structure hétérogène constituée de plots thermiquement conducteurs dans une couche électriquement conductrice et thermiquement isolante. 12 Ici, l'étage 140 forme également une électrode de référence, commune à tous les pixels de la matrice de pixels. Les pixels sont donc délimités latéralement par les électrodes de collecte de charge 121 seules. Chaque portion de la couche 130, située au regard d'une électrode de collecte de charges 121, forme la portion en matériau pyroélectrique d'un pixel. De la même manière, chaque portion de l'étage 140, située au regard d'une électrode de collecte de charges 121, forme l'électrode de référence d'un pixel. La couche d'isolation électrique 160 est constituée d'un matériau diélectrique, par exemple du polyimide. Elle présente de préférence une épaisseur inférieure à 5µm, par 10 exemple égale à 1 wn. Selon le mode de réalisation des figures 1A et 1B, chaque pixel de la matrice de pixels comporte en outre un élément de chauffage 171. Tous les éléments de chauffage 171 sont situés dans l'étage de chauffage 170. Les éléments de chauffage 171 sont aptes à recevoir un courant de chauffage, pour fournir un chauffage par effet Joule, de manière 15 à réaliser une détection de type actif. Ils sont constitués de préférence d'un métal, par exemple de l'or ou de l'argent. Le revêtement de protection contre l'abrasion, 180, ou étage de protection contre l'abrasion, forme l'étage le plus externe du capteur. Une face supérieure 181 de ce revêtement, du côté opposé au substrat 110, forme une surface de contact du capteur. 20 En fonctionnement, un objet à imager est appliqué contre ladite surface de contact 181, de manière à réaliser des échanges thermiques avec l'étage 130 comprenant un matériau pyroélectrique. Le revêtement de protection contre l'abrasion 180 a pour fonction de protéger les couches inférieures (entre la surface de contact 181 et le substrat 110) de l'usure liée à des contacts répétés avec un objet à imager, notamment avec la peau. Selon 25 l'invention, le revêtement 180 de protection contre l'abrasion est constitué par : - une couche de résistance à l'abrasion, 182, en matériau mauvais conducteur thermique ; et - une pluralité de piliers 183 en matériau bon conducteur thermique. 30 13 La conductivité thermique des piliers 183 est au moins dix fois supérieure à celle de la couche de résistance à l'abrasion 182, et même au moins cent fois, voire au moins mille fois supérieure. Ce rapport entre les conductivités thermiques se retrouve dans un rapport entre les vitesses de transfert thermique, via les piliers respectivement via la couche de résistance à l'abrasion. En fonctionnement, la chaleur circule rapidement à travers le revêtement 180 de protection contre l'abrasion, selon l'axe (Oz) orthogonal au plan du substrat 110, en passant préférentiellement par les piliers 183. En revanche, la chaleur circule difficilement d'un pilier 183 à l'autre, en passant par 10 la couche de résistance à l'abrasion 182. Par conséquent, la chaleur circule lentement dans le revêtement 180 de protection contre l'abrasion, dans un plan (Oxy) parallèle au plan du substrat 110. La couche de résistance à l'abrasion 182 doit être à la fois mauvais conducteur thermique, et mauvais conducteur électrique pour éviter de court-circuiter les éléments 15 de chauffage 171. Cela offre une grande liberté dans le choix du matériau constituant la couche de résistance à l'abrasion 182. En outre, cette dernière peut être constituée d'un matériau qui nécessite d'être en épaisseur importante pour offrir une résistance suffisante à l'égard de l'abrasion, sans préjudice de la vitesse des transferts thermiques selon (Oz). 20 En outre, et puisque la couche de résistance à l'abrasion 182 est en matériau mauvais conducteur thermique, la chaleur reste confinée dans un pilier 183, et passe difficilement d'un pilier 183 au pilier voisin, et donc d'un pixel au pixel voisin. On limite ainsi une diffusion latérale de la chaleur dans le revêtement de protection contre l'abrasion 180, qui sinon nuirait à la qualité de l'image acquise au niveau des capacités 25 pyroélectriques. Les piliers 183 sont constitués par exemple d'un matériau présentant une conductivité thermique supérieure ou égale à 50 W.m-1K-1, et même supérieure ou égale à 100 W.m-1K-1, par exemple entre 100 W.m-1K-1 et 500 W.m-1K-1. Les piliers 183 comprennent par exemple un métal tel que l'argent, l'or, le cuivre, 30 l'aluminium, etc. Ils sont par exemple réalisés à l'aide d'une encre à base d'un métal, en 14 particulier une encre à base d'argent. Lorsque les piliers sont réalisés à l'aide d'une encre à base d'un métal, ils sont constitués de particules de métal accolées les unes aux autres, avec un pourcentage d'occupation volumique par le métal plus ou moins élevé. Les piliers présentent alors une conductivité thermique inférieure à celle du métal pur. Dans sa forme pure, l'argent présente une conductivité thermique de 429W.m-1K-1. Des piliers réalisés à l'aide d'une encre à base d'argent présentent une conductivité thermique inférieure à 429W.m 11 REVENDICATIONS1. Capteur (100; 100' ; 200; 200') de motifs thermiques comportant plusieurs pixels disposés sur un substrat (110; 110'; 210; 210' ; 410; 510; 610), chaque pixel comportant au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique disposée entre au moins une électrode inférieure et au moins une électrode supérieure, avec l'électrode inférieure disposée entre le substrat et la portion de matériau pyroélectrique, ledit capteur comprenant un revêtement externe dit de protection contre l'abrasion (180; 180' ; 280; 280'), situé du côté opposé au substrat, caractérisé en ce que le revêtement de protection contre l'abrasion (180; 180' ; 280; 280') comprend une couche dite couche de résistance à l'abrasion, et une pluralité de piliers (183 ; 183' ; 283 ; 483) répartis dans la couche de résistance à l'abrasion (182; 182'), les piliers présentant une conductivité thermique strictement supérieure à celle de la couche de résistance à l'abrasion. 2. Capteur (100; 100' ; 200; 200') selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement de protection contre l'abrasion (180; 180' ; 280 ; 280') présente une épaisseur (h) supérieure ou égale 5% d'un pas de répétition des pixels du capteur (100; 100' ; 200 ; 200') de motifs thermiques. 3. Capteur (100; 100'; 200; 200') selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le revêtement de protection contre l'abrasion (180; 180' ; 280; 280') présente une épaisseur (h) supérieure ou égale à 3 ilm. 4. Capteur (100') selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'épaisseur du revêtement de protection contre l'abrasion (180') est supérieure ou égale à la hauteur (hA) des piliers (183'), avec ladite épaisseur et ladite hauteur définies chacune selon un axe orthogonal au plan du substrat (110'), et en ce qu'une différence 27 entre l'épaisseur (h) du revêtement de protection contre l'abrasion et la hauteur (hA) des piliers est inférieure ou égale à 5 % de la hauteur (hA) des piliers . 5. Capteur (100; 100'; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que chaque pixel du capteur comporte une portion du revêtement de protection contre l'abrasion (180; 180' ; 280; 280'), ladite portion comportant un unique pilier (183 ; 183' ; 283 ; 483). 6. Capteur (100; 100'; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, 10 caractérisé en ce que les piliers (183; 183'; 283; 483) du revêtement de protection contre l'abrasion présentent une conductivité thermique au moins dix fois supérieure à celle de la couche de résistance à l'abrasion (182 ; 182'). 7. Capteur (100; 100'; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, 15 caractérisé en ce que les piliers (183; 183'; 283; 483) du revêtement de protection contre l'abrasion comprennent un métal ou du graphène. 8. Capteur (100; 100'; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la couche de résistance à l'abrasion (182 ; 182') comprend un 20 matériau à base de benzo-cyclo-butène. 9. Capteur (100; 100'; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la couche de résistance à l'abrasion (182 ; 182') est en matériau électriquement isolant. 25 10. Capteur (200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que les pixels du capteur sont agencés en lignes et en colonnes, en ce que chaque pixel comporte en outre un élément de chauffage, apte à chauffer par effet Joule la portion en matériau pyroélectrique dudit pixel, et en ce que : 28 - les éléments de chauffage d'une même ligne de pixels sont formés ensemble d'un seul tenant, en une même bande de chauffage (271); - dans chaque pixel, l'une parmi l'électrode supérieure et l'électrode inférieure forme une électrode de collecte de charges, et les électrodes de collecte de charges d'une même colonne de pixels sont formées ensemble d'un seul tenant en une macro-électrode de collecte de charges (221) ; et - chaque pilier (283) du revêtement de protection contre l'abrasion s'étend à travers une région d'intersection entre une projection orthogonale d'une bande de chauffage (271) et une projection orthogonale d'une macro-électrode de 10 collecte de charges (221), dans un plan parallèle au plan du substrat. 11. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que les piliers (483) du revêtement de protection contre l'abrasion sont constitués chacun de plusieurs piliers élémentaires (483A, 183B, 483C), superposés selon un axe orthogonal au 15 plan du substrat. 12. Procédé de réalisation du revêtement de protection contre l'abrasion (180 ; 180' ; 280; 280') d'un capteur (100; 100' ; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'une étape de réalisation des piliers (183; 20 183' ; 283 ; 483) comprend l'utilisation d'une encre à base de particules de métal et/ou de graphène. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'étape de réalisation des piliers (483) comprend un ou plusieurs dépôts localisés de l'encre, à l'aide d'une 25 imprimante à jet d'encre. 14. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que la réalisation du revêtement de protection contre l'abrasion (180; 180'; 280; 280') comprend les étapes suivantes : 29 - réalisation de la couche de résistance à l'abrasion (182 ; 182'), munie d'ouvertures traversantes réparties selon un plan parallèle au plan du substrat ; et - remplissage des ouvertures traversantes par l'encre à base de particules de métal et/ou de graphène. 5 15. Procédé selon la revendication 14, de fabrication d'un capteur (200; 200') selon la revendication 10, caractérisé en ce que ce qu'il comporte les étapes suivantes : - dépôt d'une couche photosensible (585), sur un empilement (501) comprenant le substrat, les capacités pyroélectriques et les éléments de chauffage ; 10 - illumination de la couche photosensible (585) depuis le côté du substrat (510), à l'aide d'un faisceau lumineux de gravure (586) dont la puissance est adaptée pour qu'il traverse ledit empilement excepté là où une bande de chauffage (271) et une macro-électrode de collecte de charges (221) sont superposées ; et - remplissage des ouvertures gravées dans la couche photosensible par le matériau 15 de la couche de résistance à l'abrasion.