FR 3088777 A1 20200522 FR 1860520 A 20181115 SOURCE LASER A SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE D'EMISSION AVEC CETTE SOURCE LASER [001] L'invention concerne une source laser à semi-conducteur et un procédé d'émission d'un signal optique à une longueur d'onde 24,; proche d'une longueur d'onde Às; souhaitée. [002] Des sources lasers connues à semi-conducteur comportent : - un ensemble de guides d'onde optiquement couplés les uns aux autres et formant io une cavité optique apte à faire résonner un signal optique à plusieurs fréquences de résonance possibles, les longueurs d'onde possibles AR; de ces fréquences de résonance possibles étant régulièrement espacées les unes des autres par un intervalle AÀR, cet ensemble comportant : - au moins un guide d'onde dans lequel est réalisé un filtre passe-bande, le 15 spectre de transmission de ce filtre passe-bande comportant une bande passante apte à sélectionner, parmi les différentes longueurs d'onde ÀRj possibles, la longueur d'onde ki la plus proche de la longueur d'onde ksi, et - au moins un guide d'onde à gain apte à générer du gain optique à chaque longueur d'onde ki sélectionnée par le filtre passe-bande, ce guide d'onde à 20 gain comportant un matériau à gain III-V. [3] Par exemple, une telle source laser connue est divulguée dans la demande US2018261976A. [4] Il est connu que la longueur d'onde ki d'une source laser à semi-conducteur varie en fonction de la température. Il est souhaitable de limiter autant que possible 25 cette variation. De nombreuses solutions ont déjà été proposées pour limiter cette variation. Par exemple, dans la demande US2018261976A, le filtre passe-bande de la source laser est réalisé en nitrure de silicium pour limiter autant que possible cette variation. Toutefois, la fabrication du filtre passe-bande dans du nitrure de silicium complexifie la fabrication de la source laser. 30 [005] Il est également souhaitable de limiter autant que possible l'encombrement de tel source laser à semi-conducteur et de simplifier leur réalisation. [6] L'invention vise à proposer une architecture pour la source laser qui minimise la longueur de la cavité résonnante sans pour autant réduire la puissance du signal optique émis. En tant qu'objectif secondaire, l'invention vise également à proposer 35 une source laser dont les variations de la longueur d'onde ki d'émission en fonction de la température sont limitées sans que pour cela il soit nécessaire de réaliser le filtre passe-bande dans un autre matériau que du silicium. [7] Elle a donc pour objet une source laser à semi-conducteur dans laquelle : - le filtre passe-bande comporte un filtre primaire contenant un interféromètre de 40 Mach-Zehnder, cet interféromètre comportant : 2 - un premier et un second bras, - un premier embranchement au niveau duquel le signal optique est réparti entre le premier et le second bras, et - un second embranchement au niveau duquel les signaux optiques du premier 5 et du second bras sont combinés ensemble, - chacun du premier et second bras étant divisés en plusieurs sections consécutives immédiatement contiguës les unes aux autres, chaque section comportant un coeur apte à guider le signal optique et chaque section présentant un indice effectif à la longueur d'onde Às1, l'indice effectif de chaque section située immédiatement après io une section précédente étant différent de l'indice effectif de cette section précédente, - les premier et second bras comportent chacun une section à gain, les coeurs de chacune de ces sections à gain étant réalisés à partir du même matériau à gain III-V et les dimensions transversales des coeurs de ces sections à gain étant identiques, ces sections à gain formant ainsi, respectivement, un premier et un second guides 15 d'onde à gain, - la source laser comporte des sources d'alimentation aptes, lors de l'émission du signal optique, à injecter des premier et second courants continus à travers, respectivement, les premier et second guides d'onde à gain, les intensités de ces premier et second courants continus étant constantes et différentes et telles que la 20 condition suivante est vérifiée lors de l'émission du signal optique : N2 N1 ff2 n= I où : - kt est un nombre entier prédéterminé supérieur ou égal à 1, - N1 et N2 sont les nombres de sections, respectivement, dans les premier et second bras, 25 - Li,' et L2,' sont les longueurs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras, - neffu, et neff2.' sont les indices effectifs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras, les indices effectifs des sections à gain étant fonction des intensités des premier et second 30 courants continus. [008] Les modes de réalisation de cette source laser peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : - - le filtre primaire comporte un filtre secondaire dont le spectre de transmission comporte une bande passante étroite située à l'intérieur d'une bande passante 3 plus large de l'interféromètre, ce filtre secondaire présentant un coefficient dÀcF2/dT supérieur à1_,',x, où : - ÀCF2 est la longueur d'onde correspondant à un maximum du spectre de transmission du filtre secondaire, 5 - le coefficient dÀ -CF2/dT est la variation de la longueur d'onde À0F2 en fonction de la température, et - L,', ). [0021] Par filtre « athermique », on désigne le fait que le coefficient dÀcFx/dT associé à ce filtre est compris entre Lin et L,,,ax, OÙ : - ÀCFX est la longueur d'onde correspond à un maximum dans le spectre de io transmission du filtre, - le coefficient dÀ -CFX/dT est la variation de la longueur d'onde X -CFX en fonction de la température, - est égale à -50 pm/°C et, de préférence, égale à -15 pm/°C ou -7 pm/°C, et - Lmax est égale à +50 pm/°C et, de préférence, égale à +15 pm/°C ou +7 pm/°C. -CFX 15 [0022] Pour un filtre donné, le coefficient clÀ /dT peut être déterminé expérimentalement ou par simulation numérique. Par exemple, la variation de la longueur d'onde k-)( en fonction de la température est mesurée ou simulée sur une plage de température allant de 20°C à 100°C. Typiquement, la longueur d'onde ÀcFx varie approximativement linéairement en fonction de la température sur cette plage zo de températures. Il est donc possible d'approximer la relation qui relie la longueur d'onde À la température T sur cette plage à l'aide de la relation linéaire suivante : -CFX - ÀcFx = aT +b, où les coefficients a et b sont des constantes. Les valeurs des coefficients a et b sont établies en déterminant la droite qui minimise les écarts, par exemple au sens des moindres carrés, entre cette droite et chaque point mesuré ou 25 simulé. Chaque point mesuré ou simulé a pour abscisse une température et pour ordonnée la longueur d'onde ÀcFx mesurée ou obtenue par simulation pour cette température. La valeur du coefficient dÀcFx/dT est alors prise égale à la valeur du coefficient a. [0023] Le coefficient thermo-optique d'un matériau est le coefficient dnr/dT, où : 30 - Or est l'indice de réfraction de ce matériau à la longueur d'onde Àsh et - dnr/dT est la variation de l'indice de réfraction n, en fonction de la température sur une plage de température allant de 20°C à 100°C. De façon similaire à ce qui a été indiqué pour le coefficient dÀcFx/dT, le coefficient dn,/dT est approximé par une constante sur la plage de températures allant de 20°C à 35 100°C. [0024] Chapitre Il: Exemples de modes de réalisation [0025] La figure 1 représente schématiquement l'architecture générale d'une source laser 10 à semi-conducteur qui émet à au moins une longueur d'onde Au aussi proche que possible d'une longueur d'onde Às, souhaitée. La longueur d'onde Às, est 40 constante et soit réglée une fois pour toute lors de la conception de la source laser 9 soit réglable par un utilisateur. Dans tous les cas, une fois réglée, la longueur d'onde Às; reste constante tant que les réglages de la source laser ne sont pas modifiés. [0026] Par la suite, seules les particularités de la source laser 10 sont décrites en détail. Pour des informations générales sur la réalisation et le fonctionnement d'une 5 source laser à semi-conducteur utilisant des guides d'onde en silicium et en matériau à gain III-V, le lecteur peut consulter l'article suivant : B. Ben Bakir et al., « Hybrid Si/III-V lasers with adiabatic coupling », 2011. [0027] La source laser 10 comporte un réflecteur arrière 12 et un réflecteur avant 14 qui définissent les extrémités d'une cavité résonante de Fabry-Pérot. A l'intérieur de io cette cavité un signal optique peut résonner, en absence de filtre passe-bande, à plusieurs longueur d'onde possibles ÀRJ. Les longueurs d'onde AR; sont régulièrement espacées les unes des autres par un intervalle AÀR. Dans ce mode de réalisation, l'intervalle AR qui contient toutes les longueur d'onde XR, est égale à la bande réfléchissante des réflecteurs 12 et 14. 15 [0028] Par exemple, le réflecteur 12 présente un facteur de réflexion strictement supérieur à celui du réflecteur 14. Le facteur de réflexion est égal au rapport entre la puissance du signal optique réfléchi par le réflecteur sur la puissance du signal optique incident sur ce réflecteur. Typiquement, le facteur de réflexion du réflecteur 12 est supérieur ou égal à 90 % ou 95 % pour la longueur d'onde Àu. Le facteur de 20 réflexion du réflecteur 14 est généralement compris entre 30 % et 80 °A et vaut typiquement 50 %. [0029] Les réflecteurs 12 et 14 sont des réflecteurs large bande. Dans ce mode de réalisation, cela signifie que la largeur de la bande réfléchissante des réflecteurs 12 et 14 est supérieure à une limite inférieure prédéterminée. Cette limite inférieure est ici : 25 - égale à AX, + DT.(clAcR/dT) si le filtre passe-bande est agencé pour sélectionner uniquement une seule longueur d'onde Àu, et - égale à AÀf + max { DT.(cRcR/dT) ; N.dsFRI + DT.(eci/dT) } si le filtre passe-bande est agencé pour sélectionner N longueurs d'onde Àu, où : 30 - AÀfest la largeur de la bande passante du filtre passe-bande de la source laser, - DT est la largeur d'une gamme prédéterminée de températures de fonctionnement pour la source laser, - clÀ0R/dT est la variation de la longueur d'onde centrale ÀcR des réflecteurs en fonction de la température exprimée en nm/°C, 35 - dÀci/dT est la variation de la longueur d'onde centrale Xci du filtre passe-bande en fonction de la température exprimée en nm/°C, - N est un nombre entier supérieur ou égal à deux, - dsFRI est l'intervalle entre deux bandes passantes successives du filtre passe-bande exprimée en nanomètre, 10 - le symbole «. » désigne dans cette description l'opération de multiplication scalaire, et - max{...} est la fonction qui retourne le plus grand des éléments situés entre les accolades et séparés les uns des autres par un point virgule. 5 Différents modes de réalisation du filtre passe-bande de la source laser sont décrits plus loin. [0030] La gamme de températures de fonctionnement d'une source laser est souvent choisie supérieure à 10°C ou 30°C. Ici la gamme de températures de fonctionnement est choisie comme étant comprise entre +20°C et +100°C. La largeur DT est donc ici io égale à 80 °C. Par la suite, la plus petite et la plus grande températures de la gamme de températures de fonctionnement sont notées, respectivement, Tmk, et Tmax. Dans ce mode de réalisation, les réflecteurs 12 et 14 sont réalisés dans un guide d'onde dont le coeur est en silicium. Ainsi, la variation acR/dT est ici égale à 0,07 nm/°C. Typiquement, la largeur de la bande réfléchissante est supérieure à 6 nm ou 15 nm 15 ou 30 nm. [0031] Les réflecteurs 12 et 14 sont également conçus pour que, à la température Train, la longueur d'onde XI; soit plus proche de la borne supérieure ÀRmax de la bande réfléchissante des réflecteurs 12 et 14 que de sa borne inférieure ARmin. Par exemple, à la température Trin, la longueur d'onde 2'Li est comprise entre 0,9 ARmax et 2%Rmax. 20 Cette contrainte peut être relâchée si la largeur de la bande réfléchissante est très supérieure à sa limite inférieure telle que définie précédemment. [0032] Ici, les réflecteurs 12 et 14 sont par exemple des réseaux de Bragg. [0033] Entre les réflecteurs 12 et 14, la source laser comporte successivement les composants photoniques suivants en allant du réflecteur 12 vers le réflecteur 14 : 25 - un guide d'onde optique 15 en silicium dans lequel est réalisé le réflecteur 12, - un filtre passe-bande 22 apte à sélectionner la longueur d'onde 2'Li de fonctionnement de la source laser 10 parmi les différentes longueurs d'onde ÀRj possibles à l'intérieur de la cavité de Fabry-Pérot, - un coupleur 26 qui raccorde optiquement le guide d'onde 15 à une entrée d'un guide 30 d'onde 28 en matériau à gain III-V, - un amplificateur optique 30 à semi-conducteur plus connu sous l'acronyme SOA (« Semiconductor Optical Amplifier ») réalisé dans le guide d'onde 28 et apte à générer et à amplifier le signal optique résonant à l'intérieur de la cavité de FabryPérot à chaque longueur d'onde ÀRj: 35 - un coupleur 32 qui raccorde optiquement une sortie du guide d'onde 28 à un guide d'onde 25, et - le guide d'onde optique 25 en silicium dans lequel est réalisé le réflecteur 14. [0034] Ici, par guide d'onde en silicium, on désigne un guide d'onde dont le coeur est réalisé en silicium. Par exemple, la gaine des guides d'onde en silicium est réalisée 40 dans un autre matériau comme, typiquement, de l'oxyde de silicium. 11 [0035] Les coupleurs 26 et 32 sont par exemple des coupleurs adiabatiques. Pour une description détaillée d'un coupleur adiabatique, le lecteur est renvoyé à l'article suivant : Amnon Yariv et al., « Supermode Si/III-V hybrid Lasers, optical amplifiers and modulators: proposal and analysis » Optics Express 9147, vol. 14, No. 15, 5 23/07/2007. [0036] Un tel coupleur adiabatique est, par exemple, obtenu en modifiant la largeur du guide d'onde en silicium par rapport à la largeur du guide d'onde en matériau à gain III-V. Typiquement pour un couplage adiabatique d'un guide d'onde en silicium vers un guide d'onde en matériau III-V, la largeur du guide d'onde en silicium est io progressivement réduite à l'approche du guide d'onde en matériau III-V. En sens inverse, pour transférer par couplage adiabatique un signal optique du guide d'onde en matériau III-V vers un guide d'onde en silicium, la largeur du guide d'onde en silicium est par exemple progressivement augmentée. De plus, typiquement vers le milieu du coupleur adiabatique, les dimensions des sections transversales des guides 15 d'onde en silicium et en matériau III-V sont généralement telles que leurs indices effectifs respectifs sont égaux. Ceci est aussi vrai pour un couplage adiabatique entre des guides d'onde hybrides Si! matériau III-V. [0037] De préférence, l'amplificateur 30 est un amplificateur large bande, c'est-à-dire capable de générer et d'amplifier une plage importante de longueurs d'onde. Cette 20 plage comprend la longueur d'onde Àsi. Typiquement, elle est centrée sur cette longueur d'onde Às; à la température (Tm.+T.;;,)/2. La largeur de cette plage de longueur d'onde à -3 dB est par exemple d'au moins 10 nm ou 25 nm ou 35nm et reste large avec l'augmentation de température. Par exemple, les matériaux III-V constituant l'amplificateur 30 sont ceux décrits dans l'article suivant : Dimitris Fitsios 25 et al. « High-gain 1,3 pm GaInNAs semiconductor optical amplifier with enchanced temperature stability for all-optical processing at 10 Gb/s », Applied optics, may 2015 vol. 54, n°1, 1er janvier 2015. Le fait de réaliser l'amplificateur 30 comme décrit dans cet article permet en plus d'obtenir un amplificateur large bande stable en température. Cela améliore le fonctionnement de la source laser et notamment cela 30 permet de maintenir une puissance émise par la source laser presque constante dans toute la gamme de températures de fonctionnement [Tinin ; Tmax]. Dans ce cas, le guide d'onde 28 et l'amplificateur 30 se présentent sous la forme d'un empilement 34 (Figure 2) de sous-couches en alternance en GaInNAs et en GaNAs interposées entre une sous-couche inférieure 35 (Figure 2) et une sous-couche supérieure 36 35 (Figure 2) en GaAs dopé P. La sous-couche 35 est une sous-couche en matériau III-V de dopage opposé à la sous couche supérieure 36. Ici, il s'agit d'une sous-couche en GaAs dopé N. [0038] L'amplificateur 30 comporte, en plus du guide d'onde 28, une prise 37 (Figure 2) directement en contact mécanique et électrique avec la portion de la sous-couche 40 35. La sous-couche 36 est en contact mécanique et électrique avec une prise 38 12 (Figure 2) pour raccorder électriquement la partie inférieure de l'amplificateur 30 à un potentiel. Lorsqu'un courant continu, appelé « courant d'injection », supérieur au courant de seuil du laser est appliqué entre les prises 37 et 38, l'amplificateur 30 génère et amplifie le signal optique qui résonne à l'intérieur de la cavité de Fabry- 5 Pérot. [0039] Dans ce mode de réalisation, le filtre 22 comporte seulement un filtre primaire athermique 40. Le filtre 40 est ici composé d'un interféromètre 42 de Mach-Zehnder. [0040] L'interféromètre 42 comporte : - deux bras 44 et 46 aptes chacun à guider le signal optique résonnant, et 10 - deux embranchements 48 et 50. [0041] Dans le sens de propagation F (Figure 1) du signal optique qui va du réflecteur 12 vers le réflecteur 14, l'embranchement 48 répartit à parts égales le signal optique réfléchi par le réflecteur 12 dans les bras 44 et 46. [0042] Sur la figure 1 et les suivantes, la direction verticale est représentée par une 15 direction Z d'un repère orthogonal XYZ, où X et Y sont des directions horizontales. Ici, la direction X est essentiellement parallèle au sens F de propagation du signal optique. [0043] Dans le sens F, l'embranchement 50 combine les signaux optiques issus des bras 44 et 46 entre eux pour obtenir un signal optique qui se propage dans le guide 20 d'onde 25 vers le réflecteur 14. Dans le sens de propagation opposé au sens F, les rôles des embranchements 48 et 50 sont intervertis. Par exemple, les embranchements 48 et 50 sont des MM I (Multi-Mode Interferometers). [0044] Le bras 44 est divisé en trois sections Sn, S12 et S1,3 consécutives en allant dans le sens F. Par la suite, on désigne par Sr',,, la section n du bras m, où : 25 - l'indice m est un identifiant du bras de l'interféromètre, et - l'indice n est un identifiant de la section de ce bras. [0045] Dans ce texte, lorsque l'indice m est égal à 1, cela désigne le bras inférieur 44. Lorsque l'indice m est égal à 2, cela désigne le bras supérieur 46. L'indice n est le numéro d'ordre de la section en partant de l'embranchement 48 et en allant dans le 30 sens F. Ainsi, un indice n égal à 1 correspond à la première section rencontrée après l'embranchement 48, l'indice n égal à 2 correspond à la deuxième section rencontrée en partant de l'embranchement 48 et ainsi de suite. [0046] Chaque section Srn est un guide d'onde. Chacune de ces sections présente donc un indice effectif Neff,,,' et une longueur Ln non nulle. Typiquement, chaque 35 section diffère de la section qui la précède et de la section qui la suit par : - les dimensions de sa section transversale, - le ou les matériaux utilisés pour réaliser son coeur, et/ou - le ou les matériaux utilisés pour réaliser sa gaine. [0047] L'indice effectif d'un guide d'onde dépend des matériaux utilisés pour former le 40 coeur et la gaine de ce guide d'onde et aussi des dimensions du coeur et notamment 13 de la largeur et de l'épaisseur du coeur. Les indices effectifs de deux sections successives dans le sens F sont donc différents. Ici, l'indice effectif Neff,,,,, de chaque section Sm,n est considéré comme constant sur toute sa longueur [0048] L'indice effectif d'un guide d'onde peut être déterminé, pour une température 5 donnée et pour une longueur d'onde donnée, par simulation numérique ou expérimentalement. Ici, lorsque les indices effectifs de différentes sections sont comparés, il s'agit des indices effectifs déterminés pour la même température et la même longueur d'onde. Typiquement, cette longueur d'onde est égale à À. [0049] L'indice effectif d'un guide d'onde varie en fonction de la température de ce io guide d'onde. Par la suite, on note dneff,,,,,,/dT le coefficient qui exprime le taux de variation de l'indice neffrn,n de la section Srn,n en fonction de la température. En première approximation, sur la plage de températures DT, ce coefficient dneff,'/dT est considéré comme constant. [0050] Ici, la section S1,1 s'étend de l'embranchement 48 jusqu'au coupleur 26. La 15 section S1.1 est un guide d'onde en silicium. [0051] La section 51,2 s'étend du coupleur 26 jusqu'au coupleur 32. La section S1.2 correspond donc au guide d'onde 28 en matériaux à gain III-V dans lequel est réalisé l'amplificateur 30. La section 51,2 est appelée ici « section à gain » car elle a la capacité d'amplifier le signal optique. zo [0052] La section 51,3 s'étend du coupleur 32 jusqu'à l'embranchement 50. La section 51,3 est un guide d'onde en silicium identique au guide d'onde en silicium de la section Sn sauf que la longueur L1.3 peut être différente de la longueur L1,1. [0053] Le bras 46 est divisé en quatre sections consécutives S2.1, 52,2, S2,3 et 52,4 en allant dans le sens F. Les sections 52,1 et 52,2 sont identiques, respectivement, aux 25 sections S1.1 et S12. Le bras 46 comporte donc, comme le bras 44 : - un coupleur optique 52 qui raccorde optiquement le guide d'onde 15 à une entrée d'un guide d'onde 54 en matériaux à gain III-V, - un amplificateur optique 56 réalisé dans le guide d'onde 54, et - un coupleur optique 58 qui raccorde optiquement une sortie du guide d'onde 54 au 30 guide d'onde 25. [0054] Les coupleurs 52, 58, le guide d'onde 54 et l'amplificateur 56 sont identiques, respectivement, aux coupleurs 26, 32, au guide d'onde 28 et à l'amplificateur 30. De plus, le courant d'injection qui traverse l'amplificateur 56 présente ici systématiquement la même intensité que le courant d'injection qui traverse au même 35 instant l'amplificateur 30. Par exemple, pour cela, les sous-couches inférieure 35 et supérieure 36 de l'amplificateur 30 et de l'amplificateur 56 sont communes à ces deux amplificateurs ou directement raccordées électriquement l'une à l'autre. Dans ces conditions, les indices neff1,2 et neff2.2 sont identiques et les coefficients dneff22/dT et dneff2,2/dT sont également identiques. 14 [0055] La section S24 est identique à la section 523 sauf que sa longueur L2,4 est supérieure à la longueur L1.3. Sur la figure 1, le fait que la longueur L2,4 est supérieure à la longueur L1,3 est représenté schématiquement par un zigzag. [0056] La section S2,3 présente un coefficient dneff2,3/dT inférieur au 5 coefficient dneff2,1dT, dneff2,2/dT et dneff2.4/dT. Pour cela, selon une première solution, la section S2,3 est un guide d'onde en silicium dont la largeur du coeur est inférieure à la largeur du coeur des sections S22 et S24. Selon une deuxième solution, la section 52.3 est un guide d'onde dont le coeur est réalisé dans un matériau différent du silicium comme, par exemple, en nitrure de silicium. Dans ce cas, les dimensions du coeur de io la section S2,3 peuvent être identiques aux dimensions des coeurs en silicium des sections S2,1 et S2,4. Une troisième solution consiste à utiliser un autre matériau pour la gaine de la section 52.3 différent de celui utilisé pour la gaine des sections 522 et S2,4. De plus, il est possible de combiner ces différentes solutions pour obtenir le coefficient dneff2,3/dT souhaité. 15 [0057] Pour que l'interféromètre 42 présente une bande passante qui permette de sélectionner la longueur d'onde Au, les sections S,,,, sont configurée pour vérifier la condition (1) suivante : L, n=1 n= 1 où : - kt est un nombre entier prédéterminé supérieur ou égal à 1, 20 - N1 et N2 sont les nombres de sections, respectivement, dans les bras 44, 46, - L1., et I-2,n sont les longueurs des n-ièmes sections, respectivement, des bras 44, 46, - neft.' et neff2,,, sont les indices effectifs des n-ièmes sections, respectivement, des bras 44, 46. [0058] Un grand nombre de longueurs Lm,n et d'indices Neffm.' permettent de satisfaire 25 la condition (1). [0059] Ici, le filtre 40 est également conçu pour être athermique. Ainsi son coefficient dÀcF1/dT est proche de zéro, c'est-à-dire compris compris entre LIrIfl et Lax. Par la suite, on note X -CF1 une longueur d'onde correspondant à un maximum du spectre de transmission du filtre primaire 40. A cet effet, les sections Sm,' sont configurés pour 30 satisfaire également la condition (2) suivante : où dneffi,n/dT et dneff2,,/dT sont les variations des indices effectifs des n-ièmes sections, respectivement, des bras 44 et 46. [0060] Par exemple, ici, les longueurs L..,, et les coefficients dneffm,n/dT satisfont la condition (2) avec [min = -7 pm/°C et Lmax = +7 pm/°C et, de préférence, avec Lm, = 5 -2 pm/°C et Lmax = +2 pm/°C. [0061] Il existe un grand nombre de jeux de valeurs pour les longueurs L m,n et les indices neffrn.,, qui satisfont à la fois les conditions (1) et (2) ci-dessus. Ici, parmi l'ensemble de ces jeux, c'est le jeu de valeurs ou l'un des jeux de valeurs qui permet en plus d'obtenir une largeur Akio pour la bande passante du filtre primaire 40 10 supérieure à AAR qui est retenu. [0062] Dans ces conditions, à cause du fait que l'interféromètre 42 satisfait la condition (2), la bande passante du filtre 22 ne se déplace pas ou pratiquement pas en fonction de la température. Par contre, dans ce mode de réalisation, les longueurs d'onde AR; se déplacent en fonction de la température. En particulier, la variation de la 15 température peut être tel qu'une longueur d'onde ÀRj précédemment située à l'intérieur de la bande passante du filtre 22 se déplace et sort de cette bande passante. Dans ce cas, puisque la largeur AÀ40 est égale ou supérieure à l'intervalle AAR, lorsqu'une longueur d'onde AR; sort de la bande passante du filtre 22, une autre longueur d'onde ÀRj-1 ou ÀRj+1 rentre à l'intérieur de cette bande passante. Ainsi, dans 20 ce mode de réalisation, il n'est pas nécessaire de mettre en oeuvre un dispositif d'accord qui déplace les longueurs d'onde AR; de manière à ce qu'il existe en permanence une longueur d'onde ÀRj située au centre de la bande passante du filtre 22. [0063] Pour configurer les sections Sm,n de manière à ce qu'elles satisfassent les 25 différentes conditions précédentes, une solution consiste, lors d'une première étape, à choisir les dimensions transversales de chaque section et les matériaux utilisés pour le coeur et la gaine de chaque section. Ainsi, les indices effectifs neff,,,,, et les coefficients dneffin,,,/dT de chaque section sont déterminés. Ensuite, lors d'une seconde étape, les longueurs permettant de satisfaire les différentes conditions 30 précédentes sont recherchées. S'il s'avère impossible de trouver des longueurs satisfaisantes, alors le procédé retourne à la première étape pour modifier les indices effectifs d'une ou plusieurs sections. Le dimensionnement de tels sections est par exemple réalisé en s'inspirant de l'enseignement donné, dans un contexte différent, dans l'article suivant : Biswajeet Guha et AI: « Minimizing temperature sensitivity of =1 in- dT n= dT 15 d ti 16 silicon Mach-Zehnder interferometers », Optics Express, 15/01/2010, pages 18791887. [0064] La figure 2 représente la source laser 10 selon une coupe verticale passant par le bras 44. Sur cette figure, le trajet suivi par le signal optique entre les réflecteurs 5 12 et 14 est représenté par une flèche à double sens. [0065] La source laser 10 comporte un substrat 70 qui s'étend principalement dans un plan horizontal appelé « plan du substrat ». L'épaisseur du substrat 70 est par exemple supérieure à 500 p.m. [0066] Une couche 72 de silicium monocristallin encapsulé dans de l'oxyde de io silicium est empilée sur la face supérieure du substrat 70. Les réflecteurs 12 et 14, les guides d'onde 15 et 25 et les sections S2,1, S1,2, S2,1, S2.3 et S2,4 ainsi que les parties inférieures des coupleurs 26, 32, 52 et 58 sont réalisés dans le silicium encapsulé de cette couche 72. [0067] Une fine couche 74, par exemple en oxyde de silicium, est déposée sur la 15 couche 72. Enfin, la source laser 10 comporte une couche 76 en matériau à gain encapsulé dans, par exemple, de l'oxyde de silicium. Les guides d'onde 28 et 54, les amplificateurs 30 et 56 et les parties supérieures des coupleurs 26, 32, 52 et 58 sont réalisés dans cette couche 76. [0068] La figure 3 représente le spectre 80 de transmission du filtre primaire 40. L'axe 20 des ordonnées représente le taux de transmission du filtre 40 et l'axe des abscisses la longueur d'onde associée à ce taux de transmission. Sur cette figure et les autres figures représentant un spectre de transmission, le taux de transmission du filtre est représenté en échelle logarithmique. Ainsi, un maximum du spectre de transmission correspond à la valeur 0 ou proche de la valeur 0 sur ces graphiques. Dans cet 25 exemple, la largeur AÀ40 d'une bande passante du filtre 40 est par exemple de 5 nm. Puisque cette largeur A2^40 est supérieure à l'intervalle AÀR, la source laser 10 est multimode. [0069] La figure 4 représente une source laser 100 identique à la source laser 10, sauf que le filtre 22 est remplacé par un filtre 102. Le filtre 102 est identique au 30 filtre 22, sauf que le filtre primaire 40 est remplacé par un filtre primaire 104 qui comporte un interféromètre 106 à la place de l'interféromètre 42. L'interféromètre 106 est identique à l'interféromètre 42 sauf que le bras 46 est remplacé par un bras 108. [0070] Le bras 108 est identique au bras 46 sauf qu'il comporte seulement trois sections S2,1, S2,2 et S2.3. La section S2,1 du bras 108 est identique à la section S1.1 du 35 bras 44. La section S2,2 est identique à la section S2,2 de l'interféromètre 42 sauf que l'amplificateur 56 est remplacé par un amplificateur 110 plus court que l'amplificateur 30. Ainsi, la longueur L2,2 de la section S2,2 du bras 108 est inférieure à la longueur L1.2. La section S2,3 est identique à la section S1.3 sauf que la longueur L2.3 est supérieure ou égale à la longueur L1.3. 17 [0071] Comme dans le précédent mode de réalisation, les différentes sections sont agencées pour que les longueurs Lm, et les indices neffm,', satisfassent à la fois les conditions (1) et (2) précédemment décrites. Cette source laser 100 fonctionne comme la source laser 10 mais sans pour cela qu'il soit nécessaire d'implémenter 5 une section supplémentaire dans l'un des bras dont l'indice effectif est inférieur aux indices nen et neff2,2. [0072] La figure 5 représente une source laser 130 identique à la source laser 10, sauf que le filtre 22 est remplacé par un filtre 132 qui comporte un filtre primaire 134 à la place du filtre primaire 40. Le filtre 134 comporte un interféromètre 136 de Mach-10 Zehnder et un filtre secondaire 138. [0073] Le filtre 138 est un filtre passe-bande comportant typiquement plusieurs bandes passantes. La largeur aÀ138 de chacune de ces bandes passantes est inférieure ou égale à l'intervalle AAR. Ici, la largeur L01138 est égale à AÀR. Ce filtre 138 présente un coefficient dneffuR/dT supérieur à zéro et généralement supérieur à 15 15 pm/°C ou 50 pm/°C, où neffm, est l'indice effictif du guide d'onde dans lequel est réalisé le filtre 138. Ici, le filtre 138 est formé dans un guide d'onde en silicium. Ainsi, son coefficient dneff138/dT est supérieur à 50 pm/°C. [0074] Dans ce mode de réalisation, le filtre 138 comporte un anneau résonnant 140. L'anneau 140 est couplé optiquement à la section S2,3 du bras 46 par l'intermédiaire zo d'un couplage optique 142. Ainsi, une partie du signal optique qui traverse le bras 46 traverse également le filtre 138. Le couplage 142 est par exemple un couplage évanescent. [0075] La figure 6 représente le spectre 150 de transmission du filtre 138. Ce spectre 150 comporte plusieurs bandes passantes régulièrement espacées les unes 25 des autres par la distance dEsR138. La figure 6 représente également le spectre 152 de transmission de l'interféromètre 136. Le spectre 152 présente plusieurs maximums de transmission régulièrement espacés les uns des autres par la distance dFSR135. [0076] Ici, le filtre 138 est agencé de manière à ce que la distance d8138 est telle qu'à un instant donné, à l'intérieur de l'intervalle AR, il ne peut exister qu'une seule bande 30 passante du filtre 138 centrée sur un maximum de transmission du spectre 152. Pour cela soit le filtre 138 est configuré pour que la distance d,8R138 soit supérieure AR soit le filtre 138 est configuré pour que la distance d FSR138 soit un multiple non-entier de la distance dFSR136 comme représenté sur la figure 6. Sur la figure 6, cette bande du filtre 138 centrée sur un maximum de transmission du spectre 152 est entourée par un 35 rectangle 154. Dans ces conditions, le filtre 132 sélectionne une seule longueur d'onde ALI contenue à l'intérieur de la bande passante entourée par le rectangle 154. La source laser 130 est donc une source laser monomode. [0077] Ici, l'interféromètre 136 est identique à l'interféromètre 42 sauf que les différentes sections Sm' sont agencées de manière à vérifier la condition (1) et la 40 condition (3) suivante : 18 [0078] Dans ce mode de réalisation, la condition (2) est remplacée par la condition (3) ci-dessus. Lorsque les conditions (1) et (3) sont satisfaites, l'interféromètre 136 compense une grande partie le déplacement du spectre de transmission du filtre 138 dû aux variations de température. Le filtre 134 qui combine cet interféromètre 136 et 5 le filtre 138 est donc athermique. Le dimensionnement de tels sections est par exemple réalisé en s'inspirant de l'enseignement donné, dans un contexte différent, dans l'article suivant : Biswajeet Guha et AI: « CMOS-compatible athermal silicon microring resonators », Optics Express, 3/02/2010, pages 3487-3493. [0079] Ici, le filtre 134 comporte aussi un dispositif 144 de réglage de la position des to bandes passantes du filtre 138 par rapport au maximum de transmission du spectre 152. Par exemple, le dispositif 144 est une chaufferette apte à chauffer localement l'anneau 140 sans chauffer les bras 44 et 46 de l'interféromètre 136. Comme illustré sur la figure 7, ce dispositif 144 permet de déplacer le spectre 150 par rapport au spectre 152 jusqu'à ce que ce soit une autre bande passante du filtre 138 15 qui soit centrée sur un maximum de transmission du spectre 152. Cela permet, avec un faible déplacement du spectre 150, de changer de façon importante la valeur de la longueur d'onde Às, souhaitée de la source laser 130. Sur l'exemple des figures 6 et 7, un déplacement de moins de 4 nm du spectre 150 permet de faire varier la valeur de la longueur d'onde Às, d'environ 10 nm. 20 [0080] La figure 8 représente une source laser 150 identique à la source laser 10, sauf que le filtre 22 est remplacé par un filtre 152 qui comporte en plus du filtre primaire 40, un filtre tertiaire 154 optiquement raccordé en série avec le filtre 40. Pour simplifier la figure 8, les détails du filtre 40 n'ont pas été représentés à nouveau. [0081] Le filtre 154 est un filtre athermique dont le spectre 156 (figure 9) de 25 transmission comporte plusieurs bandes passantes régulièrement espacées les unes des autres par une distance dsFRJ254. De préférence, le filtre 154 est agencé pour que la distance dSFR154 soit égale à p.dsFR40, où p est un nombre entier supérieur ou égal à 2. [0082] De plus, le filtre 154 est agencé pour qu'au moins un maximum de 30 transmission de son spectre 156 soit confondu avec un maximum de transmission du spectre 80 du filtre 40. Dans ces conditions, la distance entre deux maximums consécutifs du spectre 158 de transmission (figure 9) du filtre 152 est égale à la distance dsFR154. La largeur AM52 de la bande passante du filtre 152 reste égale à la largeur aÀ40 d'une bande passante du filtre 40. Ainsi, l'utilisation du filtre 154 permet 35 d'espacer les bandes passantes du filtre 152 sans augmenter la largeur de ces 19 bandes passantes. Cela permet donc de sélectionner un nombre de longueurs d'onde 7^Li inférieur au nombre de longueurs d'onde 7^Li sélectionné par le filtre 22 de la source laser 10. Grâce à cela, la source laser 150 peut être rendue monomode. [0083] Ici, le filtre 154 est un interféromètre de Mach-Zehnder athermique. Par 5 exemple, le filtre 154 est identique au filtre 40 sauf que : - il est dépourvu de section à gain comportant un coeur en matériau à gain, - les différentes sections sont ajustés pour vérifier les conditions (1) et (2) et en plus pour obtenir une distance dSFR154 égale à p fois la distance dSFR40. [0084] Ainsi, le bras 44 du filtre 154 comporte une seule section S1,1 entre les to embranchements 48 et 50. Cette section S1,1 est un guide d'onde dont le coeur est en silicium. Cette section Sm est identique, par exemple, à la concaténation des sections 51.1 et 51,3 du filtre 40. Le bras 46 du filtre 154 comporte trois sections consécutives S2.1, 52,2 et S2,3. Les sections S2,1, 52.2 et 52,3 du filtre 154 sont par exemple identiques, respectivement, aux sections 52,1, 52,3 et 52,4 du filtre 40. 15 [0085] La figure 10 représente une source laser 170 identique à la source laser 10, sauf que les réflecteurs 12 et 14 sont remplacés, respectivement, par des réflecteurs 172 et 174. Les réflecteurs 172 et 174 sont des réflecteurs dont les bandes réfléchissantes sont étroites et plus étroites que les bandes réfléchissantes des réflecteurs 12 et 14. Ici, la largeur des bandes réfléchissantes des réflecteurs 172 zo et 174 est comprise entre .8,7^R et dSFR40. Ainsi, les réflecteurs 172 et 174 autorisent seulement des longueurs d'onde ÀRj contenues à l'intérieur d'une seule bande passante du filtre 22. Les réflecteurs 172 et 174 sont, par exemple, des réseaux de Bragg. La réalisation de tels réflecteurs à bande réfléchissante étroite est par exemple décrite dans l'article suivant : G. H. Duan et al. : « Hybrid III-V on Silicon 25 Lasers for Photonic Integrated Circuits on Silicon », Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Vol. 20, n°4, 07/2014, pages 1-13. [0086] De préférence, les réflecteurs 172 et 174 sont également peu sensibles aux variations de température. Par exemple, à cet effet, le coeur des réflecteurs 172 et 174 est réalisé dans un matériau à faible coefficient thermo-optique comme du nitrure 30 de silicium. [0087] La figure 11 représente une source laser 180 identique à la source laser 10, sauf que le filtre 22 est remplacé par un filtre 182 dans laquelle le filtre primaire 40 est remplacé par un filtre primaire 184. Le filtre 184 est identique au filtre 40 sauf que l'interféromètre 42 est remplacé par un interféromètre 186. L'interféromètre 186 est 35 identique à l'interféromètre 42 sauf que le bras 46 est structurellement identique au bras 44. Ainsi, le bras 46 comporte seulement trois sections consécutives S2,1, S22 et $2,3. Ces sections S2,1, 52,2 et S2,3 de l'interféromètre 186 sont identiques, respectivement, aux sections S1,1, S1.2 et S1.3 du bras 44 de ce même interféromètre. Dans ces conditions, les longueurs totales des bras 44 et 46 sont égales. De plus, les dimensions transversales des coeurs des sections S1,2 et S2,2 sont identiques. Ici, par 20 « dimensions transversales », on désigne les dimensions dans un plan orthogonal à la direction de propagation du signal optique. Il s'agit donc en particulier de la largeur et de la hauteur du coeur. [0088] Par contre, dans ce mode de réalisation, les courants d'injection IL et 12 qui 5 traversent, respectivement, les amplificateurs 30 et 56 ne sont pas identiques. A cet effet, ici, les prises 37 des amplificateurs 30 et 56 sont électriquement raccordées à des sources d'alimentation respectives 190 et 192. Dans ces conditions, même si structurellement les sections S1.2 et 52,2 sont identiques, leurs indices effectifs neff12 et neff2,2 sont différents. En effet, puisque les intensités des courants 1]. et 12 sont 10 différentes, les températures des amplificateurs 30, 56 sont différentes et donc leurs indices effectifs sont différentes. Ici, les sources 190 et 192 sont réglées pour que la condition (1) soit satisfaite. Dans le cas particulier de la source laser 180, la condition (1) s'écrit alors sous la forme suivante : L neff 2,2 1,2 neff où les longueurs L2,2 et L1.2 sont égales. 15 [0089] Puisque les sections 51,2 et S2.2 sont structurellement identiques, les coefficients dneff1,2/dT et dneff2,2/dT sont égaux. Ainsi, la condition (2) précédemment décrite est aussi satisfaite dès que les longueurs L2,2 et L1,2 sont égales. Par conséquent, le filtre primaire 184 est également athermique. Le fonctionnement de la source laser 180 se déduit des explications données pour la source laser 10. zo [0090] Plus précisément, comme représenté sur la figure 12, lors d'une étape 200 d'émission d'un signal optique à la longueur d'onde AL; proche de la longueur d'onde Às; souhaitée, les sources 190 et 192 injectent les courants IL et 12 d'intensités différentes à travers, respectivement, les amplificateurs 30 et 56. [0091] La figure 13 représente une source laser 220 identique à la source laser 130 25 sauf que le filtre passe-bande 132 est remplacé par un filtre passe-bande 222. Le filtre 222 est identique au filtre 132 sauf que le filtre primaire 134 est remplacé par un filtre primaire 224. Le filtre primaire 224 est identique au filtre primaire 134 sauf que le filtre secondaire 138 est remplacé par un filtre secondaire 228. Le filtre 228 est identique au filtre 138 sauf que l'anneau 140 est remplacé par un anneau 230. 30 L'anneau 230 est configure pour que: - la largeur AX --228 de chaque bande passante du filtre 228 soit égale à AAR, - un maximum du spectre 234 (Figure 14) de transmission du filtre 228 coïncide avec un maximum du spectre 152 de transmission de l'interféromètre 136, et - la distance CIF5R228 entre deux maximums consécutifs du spectre 234 (Figure 14) soit 35 égale à P.dsFR136, où p est un nombre entier. 21 [0092] La figure 14 représente les spectres 152 et 234 de transmission dans le cas particulier où p est égal à 1. Comme illustré sur cette figure 14, le filtre 222 sélectionne simultanément plusieurs longueurs d'ondes ki séparées les unes des autres par la distance dFSR228. La source laser 220 est donc multimode. 5 [0093] La figure 15 représente une source laser 240 qui est une combinaison des modes de réalisation des figures 5 et 11. La source laser 240 est identique à la source laser 130 sauf que le filtre passe-bande 132 est remplacé par un filtre passe-bande 242. Le filtre 242 est identique au filtre 132 sauf que le filtre primaire 134 est remplacé par un filtre primaire 244. Le filtre primaire 244 est identique au filtre io primaire 134 sauf que l'interféromètre 136 est remplacé par un interféromètre 246. [0094] L'interféromètre 246 est identique à l'interféromètre 186 sauf que les longueurs L1,2 et L2,2 sont différentes. Comme précédemment décrit en référence à la figure 11, les intensités des courants continus 11 et 12 sont différentes. Ainsi, les indices effectifs neff1,2 et neff2,2 sont différents. Par contre les coefficients dneffm/dT et dneff2,2/dT sont 15 égaux puisque les matériaux et la section transversale des coeurs des sections S1.2 et 52.2 sont identiques. Dans ce cas particulier, la condition (1) s'écrit alors sous la forme suivante : neff 2,2 L12neff 1,2 [0095] La condition (3) pour que le filtre primaire 244 soit athermique s'écrit sous la forme simplifiée suivante : L, dneffj d neff 2 2 dneff d neff 138 ' dr dr dr 20 où les coefficient dneff1.2/c1T et dneff2,2/dT sont égaux. [0096] Pour trouver les intensités des courants L et 12 et les longueurs L1.2 et L2,2 qui satisfont les conditions (1) et (3) précédentes, il est possible, par exemple, de fixer d'abord les intensités des courants l et 12 puis de rechercher les longueurs L1.2 et L2.2 qui satisfont les conditions précédentes. Il est aussi possible de procéder en sens 25 inverse, c'est-à-dire que des longueurs L1,2 et L2,2 sont d'abord fixées puis les intensités des courants L et 12 sont recherchées. [0097] Dans le mode de réalisation de la figure 15, le dispositif 144 d'accord est omis. [0098] Chapitre III : variantes : [0099] Variantes du filtre passe-bande : 22 [00100] En variante, la source laser comporte plusieurs filtres primaires raccordés en série les uns derrière les autres. [00101] Dans un autre mode de réalisation, le filtre primaire n'est pas athermique. Dans ce cas, les différentes sections Srn,n n'ont pas besoin d'être 5 agencées pour vérifier la condition (2) ou (3). Si le filtre primaire n'est pas athermique et que ce filtre primaire est raccordé en série avec un filtre tertiaire, ce filtre tertiaire n'est pas lui non plus athermique. Plus précisément, dans ce cas, le filtre tertiaire est agencé pour que son coefficient dÀcF3/dT soit égal ou pratiquement égal au coefficient acFildT du filtre primaire. 10 [00102] Le couplage optique 142 entre l'anneau 140 et le bras 46 peut être réalisé ailleurs. Par exemple, en variante, ce couplage optique est réalisé entre la section S2,1 OU S2,4 et l'anneau 140, voire même entre la section S22 et l'anneau 140. [00103] Un filtre tertiaire tel que le filtre 154 peut être implémenté dans les autres modes de réalisation décrits ici et, en particulier, dans les modes de réalisation 15 des figures 1, 4, 5, 10, 11 et 13. [00104] D'autres modes de réalisation du filtre tertiaire sont possibles. Par exemple, en variante, le filtre tertiaire est identique au filtre primaire 134 mais les sections 51,2 et 52,2 comportant des matériaux à gain sont omises. Dans un autre exemple de réalisation, le filtre tertiaire est rendu athermique non pas à l'aide d'un 20 interféromètre de Mach-Zehnder mais par d'autres moyens. Par exemple, le coeur du filtre tertiaire est réalisé dans un matériau dont le coefficient thermo-optique est faible, c'est-à-dire au moins deux fois plus faible que le coefficient thermo-optique du silicium. Ainsi, dans un autre exemple, le filtre tertiaire est un anneau résonnant formé dans un guide d'onde en nitrure de silicium et couplé au guide d'onde 15 ou 25. 25 [00105] D'autres modes de réalisation du filtre secondaire 138 sont possibles. Plus précisément, tout autre filtre présentant un spectre de transmission similaire au spectre 150 et susceptible d'être couplé optiquement à l'une des sections du bras 46 peut être employé. [00106] Le filtre secondaire peut aussi être réalisé dans des guides d'onde dont 30 le coeur est réalisé dans un matériau dont le coefficient thermo-optique est faible. Par exemple, en variante, le filtre 138 est réalisé dans un guide d'onde dont le coeur est réalisé en nitrure de silicium et la gaine en oxyde de silicium. [00107] Autres variantes : [00108] Le fait d'injecter des courants l et 12 d'intensités différentes dans les 35 amplificateurs 30 et 56 peut être mis en oeuvre dans tous les modes de réalisation décrits ici. En particulier, des courants l et 12 d'intensités différentes peuvent être injectés à travers les amplificateurs 30 et 56 des modes de réalisation des figures 1, 4, 5, 8, 10 et 13. Dans ce cas, les autres sections des bras 44 et 46 sont agencées pour que les conditions (1) et (2) ou les conditions (1) et (3) soient vérifiées. Le 40 fonctionnement de ces variantes est alors le même que celui de la source laser 180. 23 [00109] Dans la source laser 180, il n'est pas nécessaire que les sections S1.1 et S1.3 soient identiques, respectivement, aux sections 52.1 et 52.3. Par exemple, en variante la section S1,1 est plus longue que la section S2,1 et, en contre partie, la section S1,3 est plus courte que la section 52,3. En fait, il suffit que la condition (4) 5 suivante soit vérifiée pour que la source laser 180 fonctionne correctement : Li.ineffn + L1,3neff1,3 = L2,1neff2,1 + L2,3neff2,3. Cette condition (4) se généralise sans difficulté au cas où chaque bras comporte plus de trois sections [00110] Dans la source laser 180, s'il n'est pas nécessaire que le filtre passe- bande soit athermique, alors il n'est pas non plus nécessaire que les longueur L12 et 10 L2,2 soient égales. Dans ce cas, la source laser 180 fonctionne correctement à partir du moment où les sections S12 et S2,2 sont configurées pour que la condition suivante soit vérifiée : La condition ci-dessus peut être satisfaite même avec des longueurs L1,2 et L2.2 5 différentes. [00111] Le coeur des sections à gain telles que les sections 512 et 52,2 peut être réalisé en utilisant d'autres matériaux. Par exemple, l'empilement 34 peut aussi être un empilement de sous-couches en alternance en InP et InGaAsP. En variante, le matériau à gain est directement déposé sur un prolongement en silicium du guide zo d'onde 15 ou 25. Cette superposition du matériau à gain sur le prolongement en silicium forme alors le coeur d'un guide d'onde à gain optique. Dans ce cas, le guide d'onde à gain optique comporte du matériau III-V mais aussi du silicium. [00112] Il existe aussi d'autres modes de réalisation de la cavité résonnante et, en particulier, des modes de réalisation dépourvus de réflecteur. Par exemple, la 25 cavité peut prendre la forme d'un anneau dans lequel le signal optique tourne en traversant à chaque tour le matériau à gain de l'interféromètre. Par exemple, cela revient à remplacer les réflecteurs 12 et 14 par un guide d'onde supplémentaire qui raccorde l'extrémité gauche à l'extrémité droite de la cavité résonnante sans passer par l'intermédiaire des matériaux à gain. Dans ce cas, le guide d'onde supplémentaire 30 est, par exemple, réalisé dans la couche 72. [00113] Quel que soit le mode de réalisation décrit ici, pour limiter les conséquences du décalage de la bande réfléchissante des réflecteurs en fonction de la température, ces réflecteurs peuvent être réalisés dans un matériau à faible coefficient thermo-optique comme en nitrure de silicium. 35 [00114] Les réflecteurs ne sont pas nécessairement des réseaux de Bragg. Par exemple, un réflecteur peut également être réalisé à l'aide d'une boucle de Sagnac. 24 [00115] Enfin, le système permettant de limiter les variations de la longueur d'onde )^Li en fonction de la température n'est pas nécessairement un système passif comme décrit dans les précédents modes de réalisation. Ainsi, en variante, la source laser peut comporter : 5 - un dispositif d'accord apte à déplacer les longueurs d'onde ÀRi en fonction d'un signal électrique de commande, - un capteur apte à mesurer une grandeur physique représentative de l'écart entre la longueur d'onde ÀCf du filtre passe-bande et la plus proche des longueurs d'onde ÀRJ, et 10 - un circuit électronique apte à générer le signal électrique de commande de manière à maintenir en permanence une des longueurs d'onde AR; au centre de la bande passante du filtre passe-bande. La longueur d'onde ÀCf du filtre passe-bande correspond à un maximum du spectre de transmission de ce filtre. Des modes de réalisation et d'implémentation de ces 15 différents composants dans une source laser sont, par exemple, identiques à ceux décrits dans la demande US20180261976A. [00116] Chapitre IV : Avantages des modes de réalisation : [00117] Le fait de réaliser le guide d'onde à gain dans chacun des bras d'un l'interféromètre permet de diminuer de façon substantielle la longueur de la cavité 20 résonnante par rapport au cas d'une cavité résonnante permettant de générer un signal optique identique et de même puissance, mais dans laquelle le guide d'onde à gain est situé en dehors du filtre passe-bande. En effet, ici, les fonctions de filtrage et d'amplification du signal optique sont imbriquées et réalisées par un même composant à savoir un interféromètre de Mach-Zehnder. Ainsi, à caractéristique égale 25 et, en particulier à puissance égale, la cavité résonnante des sources lasers décrites ici est beaucoup plus courte. Cela permet donc, à caractéristique égale, de réduire l'encombrement de la source laser. [00118] Le fait d'utiliser un interféromètre de Mach-Zehnder agencé de manière à satisfaire la condition (2) ou (3) permet de limiter le déplacement de la bande 30 passante de ce filtre en fonction de la température. Ceci limite les variations de la longueur d'onde XL, en fonction de la température. En particulier, cette limitation est obtenue sans qu'il soit nécessaire pour cela de réaliser une partie de ce filtre passe-bande dans des matériaux à faible coefficient thermo-optique comme le nitrure de silicium. La réalisation de ce filtre passe-bande est donc plus simple. De plus, la 35 limitation du déplacement de la bande passante du filtre en fonction de la température qui peut être obtenue est meilleure que celle qu'il est possible d'obtenir en réalisant, au moins en partie, le filtre passe-bande dans des matériaux à faible coefficient thermo-optique. [00119] Lorsque les bras de l'interféromètre ne comportent aucun couplage 40 optique avec un filtre secondaire tel que le filtre 138 et que cet interféromètre est 25 agencé pour vérifier la condition (2), son spectre de transmission varie très peu en fonction de la température. Par conséquent, la position de la bande passante de son spectre de transmission est pratiquement constante. Grâce à cela, il est possible de limiter les variations de la longueur d'onde Au de la source laser en fonction de la 5 température. [00120] Lorsque le bras de l'interféromètre comporte un couplage optique avec un filtre secondaire tel que le filtre 138 et que cet interféromètre est agencé pour satisfaire la condition (3), le filtre primaire obtenu est aussi athermique. Ainsi, ce mode de réalisation du filtre passe-bande permet lui aussi de limiter les variations de io la longueur d'onde XI; en fonction de la température. De plus, le filtre secondaire permet de réduire la largeur de la ou des bandes passantes du filtre passe-bande ou de limiter certaines bandes passantes par rapport au cas où ce filtre passe-bande serait dépourvu d'un tel filtre secondaire. Cela permet donc d'obtenir une source laser monomode. 15 [00121] Le fait que le filtre secondaire soit un anneau résonnant permet de diminuer l'encombrement de la source laser. [00122] L'utilisation d'un filtre tertiaire athermique raccordé en série avec le filtre primaire permet d'espacer les bandes passantes du filtre passe-bande tout en conservant de faibles variations de la longueur d'onde À1_, en fonction de la zo température. [00123] L'utilisation d'un interféromètre de Mach-Zehnder athermique pour réaliser le filtre tertiaire permet d'obtenir un filtre tertiaire dont le spectre varie très peu en fonction de la température et donc de limiter de façon très efficace les variations de la longueur d'onde Ag; en fonction de la température. 25 [00124] Le fait que la largeur de la bande passante du filtre passe-bande soit inférieure ou égale à l'intervalle AÀR permet d'obtenir une source laser monomode. A l'inverse, le fait que la largeur de la bande passante du filtre passe-bande soit supérieure à l'intervalle AÀR permet d'obtenir une source laser multimode. [00125] L'utilisation de réflecteurs dont la bande réfléchissante est étroite 30 permet d'obtenir une source laser monomode. [00126] La présence dans le spectre de transmission du filtre passe-bande de plusieurs bandes passantes espacées les unes des autres par un intervalle égal à un multiple entier de l'intervalle AÀR permet d'obtenir une source laser multimode. [00127] Le fait que la bande passante du filtre passe-bande ait une largeur 35 sensiblement identique à l'intervalle AAR permet d'obtenir une stabilisation thermique passive de la longueur d'onde Au. En effet, si suite à un échauffement de la cavité résonnante, la longueur d'onde ÀRi sélectionnée par le filtre passe-bande se déplace et sort de cette bande passante, dans le même temps, la longueur d'onde précédente ARj-1 ou la longueur d'onde suivante ÀRfri rentre à l'intérieur de cette bande 40 passante. Ainsi, même en l'absence de composant actif pour maintenir l'une des 26 longueurs d'onde )41 au centre de la bande passante du filtre passe-bande, les variations de la longueur d'onde ki en fonction de la température sont limitées. [00128] Avantages des courants li et la d'intensités différentes : [00129] Le fait d'injecter des courants l et 12 d'intensités différentes dans les 5 amplificateurs 30 et 56 permet d'obtenir des sections S1.2 et 522 dont les indices effectifs sont différents sans pour cela avoir à jouer sur les dimensions transversales de ces sections ou sur les matériaux qui les composent. Cela simplifie donc la réalisation du filtre passe-bande. [00130] Si, en plus, les bras 44 et 46 sont structurellement identiques et que ces io bras ne sont pas couplés à un filtre secondaire, alors le simple fait de vérifier la condition (1) entraîne nécessairement le fait que la condition (2) est vérifiée. Cela facilite donc la réalisation d'un REVENDICATIONS1. Source laser à semi-conducteur apte à émettre à une longueur d'onde ÀLT proche d'une longueur d'onde Às, souhaitée,cette source laser comportant : - un ensemble de guides d'onde (15, 25, 28, 54) optiquement couplés les uns aux autres et formant une cavité optique apte à faire résonner un signal optique à plusieurs fréquences de résonance possibles, les longueurs d'onde possibles AR; de ces fréquences de résonance possibles étant régulièrement espacées les unes des autres par un intervalle akt, cet ensemble comportant : - au moins un guide d'onde dans lequel est réalisé un filtre passe-bande (182 ; 242), le spectre de transmission de ce filtre passe-bande comportant une bande passante apte à sélectionner, parmi les différentes longueurs d'onde AR; possibles, la longueur d'onde XL, la plus proche de la longueur d'onde Xsi, et - au moins un guide d'onde (28, 54) à gain apte à générer du gain optique à chaque longueur d'onde ?V, sélectionnée par le filtre passe-bande, ce guide d'onde à gain comportant un matériau à gain III-V, caractérisé en ce que : - le filtre passe-bande (182 ; 242) comporte un filtre primaire (184 ; 244) contenant un interféromètre de Mach-Zehnder (186 ; 246), cet interféromètre comportant : - un premier et un second bras (44, 46), - un premier embranchement (48) au niveau duquel le signal optique est réparti entre le premier et le second bras, et - un second embranchement (50) au niveau duquel les signaux optiques du premier et du second bras sont combinés ensemble, - chacun du premier et second bras étant divisés en plusieurs sections consécutives (Sr',,,) immédiatement contiguës les unes aux autres, chaque section comportant un coeur apte à guider le signal optique et chaque section présentant un indice effectif à la longueur d'onde Xsi, l'indice effectif de chaque section située immédiatement après une section précédente étant différent de l'indice effectif de cette section précédente, - les premier et second bras comportent chacun une section à gain (512, S22), les coeurs de chacune de ces sections à gain étant réalisés à partir du même matériau à gain III-V et les dimensions transversales des coeurs de ces sections à gain étant identiques, ces sections à gain formant ainsi, respectivement, un premier et un second guides d'onde à gain, - la source laser comporte des sources (190, 192) d'alimentation aptes, lors de l'émission du signal optique, à injecter des premier et second courants continus à travers, respectivement, les premier et second guides d'onde à gain, les intensités de ces premier et second courants continus étant constantes et différentes et telles que la condition suivante est vérifiée lors de l'émission du signal optique : 28 neff n= 1 n= 1 où : - k, est un nombre entier prédéterminé supérieur ou égal à 1, - N1 et NA sont les nombres de sections, respectivement, dans les premier et second bras, 5 - Ll,' et L2,' sont les longueurs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras, - neffi,' et neff2,' sont les indices effectifs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras, les indices effectifs des sections à gain (S12, S22) étant fonction des intensités des premier et 10 second courants continus. 2. Source selon la revendication 1, dans laquelle : - le filtre primaire (244) comporte un filtre secondaire (138) dont le spectre de transmission comporte une bande passante étroite située à l'intérieur d'une bande 15 passante plus large de l'interféromètre, ce filtre secondaire présentant un coefficient dXcF2/dT supérieur à où : - x -CF2 est la longueur d'onde correspondant à un maximum du spectre de transmission du filtre secondaire, - le coefficient dk-2-2/dT est la variation de la longueur d'onde À,-2-2 en fonction de 20 la température, et - Lrna' est égal à 50 pm/°C ou 15 pm/°C, - l'un des premier et second bras de l'interféromètre comporte un couplage optique (142) avec le filtre secondaire, et - les longueurs des différentes sections des premier et second bras sont telles qu'un 25 coefficient dÀ,2m21dT est compris entre -dÀ,2F2/dT + Lr',' et -dÀLF2/dT + L,'', où : - ÀCMZI est une longueur d'onde correspondant à un maximum du spectre de transmission de l'interféromètre, - le coefficient dX /dT est la variation de la longueur d'onde X ..cmzi en fonction _cmzi de la température, 30 - Lm, est égale à -50 pm/°C ou -15 pm/°C, et - Lmax est égale à +50 pm/°C ou +15 pm/°C. 29 3. Source selon la revendication 2, dans laquelle le filtre secondaire comporte un anneau résonnant (140) optiquement couplé à l'un des premier et second bras de l'interféromètre (246), la bande passante étroite du spectre de transmission de cet anneau résonnant étant centrée sur la longueur d'onde À _cmzi et ayant une largeur AÀF2 5 inférieure ou égale à l'intervalle AÀR. 4. Source selon la revendication 1, dans laquelle : - aucun des bras de l'interféromètre ne comporte un couplage optique avec un filtre secondaire, 10 - les longueurs des différentes sections des premier et second bras sont telles qu'un coefficient dÀcma/dT est compris entre 1_,Fin et Lm.. sur une plage de températures allant de 20° à 100°, où : - À _cmzi est une longueur d'onde correspondant à un maximum du spectre de transmission de l'interféromètre, 15 - le coefficient clÀ ..cmzi/dT est la variation de la longueur d'onde Àcmzi en fonction de la température, - Ln est égale à -50 pm/°C ou -15 pm/°C, et - L',,,_, est égale à +50 pm/°C ou +15 pm/°C. zo 5. Source selon la revendication 4, dans laquelle les longueurs des sections des premier et second bras vérifient la condition d'athermicité suivante pour la longueur d'onde Às; et sur une plage de températures allant de 20° à 100°C : d n t12 L1 d ne ft di ri= 1 où dneff,'/dT et dneff2,/dT sont les variations des indices effectifs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras. 25 6. Source selon l'une quelconque des revendications 4 à 5, dans laquelle les premier et second bras (44, 46) sont structurellement identiques. 7. Source selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle : 30 - le filtre passe-bande (152) comporte un filtre tertiaire (154) optiquement raccordé en série avec le filtre primaire, le spectre de transmission de ce filtre tertiaire comportant plusieurs bandes passantes espacées les unes des autres par une distance d8FR154 au moins deux fois plus grande qu'une distance dSFR40, où la distance dsFR40 est la 30 distance qui sépare les unes des autres les bandes passantes du spectre de transmission de l'interféromètre (186 ; 246) du filtre primaire, - ce filtre tertiaire (154) présente un coefficient dÀcFs/dT compris entre Li, et LE',,,, où : - ÀCF:; est une longueur d'onde correspondant à un maximum du spectre de 5 transmission du filtre tertiaire, - le coefficient ecF3/dT est la variation de la longueur d'onde ÀcF3 en fonction de la température, - Lniin est égale à -50 pm/°C ou -15 pm/°C, et ^ est égale à +50 pm/°C ou +15 pin/1'C. 10 8. Source selon la revendication 2 ou 7, dans laquelle : - les bandes passantes du filtre secondaire (138) ou tertiaire (154) sont séparées les unes des autres par une distance telle qu'il n'existe, à l'intérieur d'un intervalle AR, qu'une seule bande passante du filtre secondaire ou tertiaire centrée sur un 15 maximum de transmission du spectre de transmission de l'interféromètre du filtre primaire, où l'intervalle AR est la plus petite plage de longueurs d'onde contenant toutes les longueurs d'onde ÀR; possibles autorisées par la cavité résonnante, et - la largeur de la bande passante du filtre secondaire ou tertiaire centrée sur le maximum de transmission du spectre de transmission de l'interféromètre du filtre 20 primaire est inférieure ou égale à l'intervalle AÀR. 9. Source selon la revendication 2 ou 7, dans laquelle : - les bandes passantes du filtre secondaire (228) ou tertiaire (154) sont séparées les unes des autres par une distance égale à un multiple entier de l'intervalle AXR et 25 inférieur à un intervalle AIR, où l'intervalle AR est la plus petite plage de longueurs d'onde contenant toutes les longueurs d'onde ÀR, possibles autorisées par la cavité résonnante, et - une bande passante du filtre secondaire ou tertiaire est centrée sur un maximum de transmission du spectre de transmission de l'interféromètre du filtre primaire. 30 10. Procédé d'émission d'un signal optique à une longueur d'onde ÀL, proche d'une longueur d'onde Às, souhaitée, ce procédé comportant : a) la fourniture d'une source laser comportant : - un ensemble de guides d'onde (15, 25, 28, 54) optiquement couplés les uns 35 aux autres et formant une cavité optique apte à faire résonner un signal optique à plusieurs fréquences de résonance possibles, les longueurs d'onde possibles ÀR, de ces fréquences de résonance possibles étant régulièrement espacées les unes des autres par un intervalle AÀR, cet ensemble comportant : 31 - au moins un guide d'onde dans lequel est réalisé un filtre passe-bande (182 ; 242), le spectre de transmission de ce filtre passe-bande comportant une bande passante apte à sélectionner, parmi les différentes longueurs d'onde AR; possibles, la longueur d'onde Ab la plus 5 proche de la longueur d'onde Àsi, et - au moins un guide d'onde (28, 54) à gain apte à générer du gain optique à chaque longueur d'onde ÀLÎ sélectionnée par le filtre passe-bande, ce guide d'onde à gain comportant un matériau à gain III-V, dans lequel : 10 - le filtre passe-bande (182 ; 242) comporte un filtre primaire (184 ; 244) contenant un interféromètre de Mach-Zehnder (186, 246), cet interféromètre comportant : - un premier et un second bras (44, 46), - un premier embranchement (48) au niveau duquel le signal optique est 15 réparti entre le premier et le second bras, et - un second embranchement (50) au niveau duquel les signaux optiques du premier et du second bras sont combinés ensemble, - chacun du premier et second bras étant divisés en plusieurs sections consécutives (S) immédiatement contiguës les unes aux autres, chaque 20 section comportant un coeur apte à guider le signal optique et chaque section présentant un indice effectif à la longueur d'onde Àsi, l'indice effectif de chaque section située immédiatement après une section précédente étant différent de l'indice effectif de cette section précédente, - les premier et second bras comportent chacun une section à gain (S1,2, S2,2), 25 les coeurs de chacune de ces sections à gain étant réalisés à partir du même matériau à gain III-V et les dimensions transversales des coeurs de ces sections à gain étant identiques, ces sections à gain formant ainsi, respectivement, un premier et un second guides d'onde à gain, b) lors de l'émission du signal optique, un premier et un second courants continus 30 sont injectés (200) à travers, respectivement, les premier et second guides d'onde à gain, les intensités de ces premier et second courants étant constantes et différentes et telles que la condition suivante est vérifiée : n=1 n= 1 où : - kt est un nombre entier prédéterminé supérieur ou égal à 1, 32 - N1 et N2 sont les nombres de sections, respectivement, dans les premier et second bras, - L, et L2,11 sont les longueurs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras, - neffi,' et neff2,' sont les indices effectifs des n-ièmes sections, respectivement, des premier et second bras, les indices effectifs des sections à gain (S12, S2,2) étant fonction des intensités des premier et second courants continus.