FR 3087886 A1 20200501 FR 1859809 A 20181024 DD19134 - IC6090292 1 PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICROBOLOMETRE A MATERIAU THERMISTANCE A BASE D'OXYDE DE VANADIUM PRÉSENTANT DES PERFORMANCES AMELIOREES DOMAINE TECHNIQUE [001] Le domaine de l'invention est celui des dispositifs de détection d'un rayonnement électromagnétique, par exemple infrarouge ou térahertz, comportant au moins un détecteur thermique résistif comprenant un matériau thermistance à base d'oxyde de vanadium. L'invention s'applique notamment au domaine de l'imagerie infrarouge, de la thermographie ou de la détection de gaz. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE [002] Un dispositif de détection de rayonnement électromagnétique peut comporter une matrice de détecteurs thermiques résistifs, également appelés microbolomètres, chaque microbolomètre comportant une portion absorbante apte à absorber le rayonnement électromagnétique à détecter. [3] La figure 1 est une vue en perspective d'un exemple de microbolomètre 1 selon Part antérieur, ici adapté à absorber un rayonnement électromagnétique infrarouge de la bande spectrale LW1R (Long Wavelength Infrared, en anglais) dont la longueur d'onde est comprise entre 8tim et mum environ. [4] On définit ici et pour la suite de la description un repère direct tridimensionnel orthogonal XVZ, où le plan XV est sensiblement parallèle au plan du substrat 2 sur lequel repose le microbolomètre 1, l'axe Z étant orienté vers la membrane absorbante 10 suivant un axe sensiblement orthogonal au plan du substrat 2. Par ailleurs, les termes « inférieur » et « supérieur » s'entendent comme étant relatifs à un positionnement croissant lorsqu'on s'éloigne du substrat 2 suivant la direction +Z. [5] Le microbolomètre 1 comporte une membrane absorbante 10 suspendue au-dessus d'un substrat de lecture 2 par des piliers d'ancrage 4 et isolée thermiquement de celui-ci par des bras d'isolation thermique 5. Ces piliers d'ancrage 4 et bras d'isolation thermique 5 présentent également une fonction électrique en reliant électriquement les membranes absorbantes 10 à un circuit de lecture généralement disposé dans le substrat 2. [6] La membrane 10 comporte ici un absorbeur adapté à absorber le rayonnement électromagnétique à détecter et un matériau thermistance 14 en contact thermique avec l'absorbeur. Le matériau thermistance 14 est un matériau présentant une résistance DD19134 - ICG090292 2 électrique qui varie avec son échauffement. Il peut s'agir de silicium amorphe ou d'un oxyde de vanadium. La membrane absorbante lo est espacée du substrat 2, et en particulier d'une couche réflectrice 3, d'une distance non nulle, laquelle est de préférence ajustée de manière à former une cavité interférentielle quart d'onde optimisant l'absorption par la membrane 5 absorbante lo du rayonnement électromagnétique à détecter. [7] Les performances du microbolomètre 1 sont notamment limitées par le bruit associé au matériau thermistance 14. Ainsi, de manière connue, le bruit total i -ittot associé au matériau thermistance (ici le courant de bruit) est la somme du bruit de Johnson issu des fluctuations thermiques des porteurs de charges, du bruit de flicker en 1/f (bruit basse 10 fréquence) issu notamment des fluctuations de mobilité et/ou de densité des porteurs, et du bruit issu des fluctuations de température de la membrane 10. [8] 11 existe un besoin permanent d'améliorer les performances du microbolomètre, notamment de diminuer le bruit associé au matériau thermistance. 15 EXPOSÉ DE L'INVENTION [9] L'invention a pour objectif de remédier au moins en partie aux inconvénients de l'art antérieur, et plus particulièrement de proposer tin procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre comportant une membrane destinée à être suspendue au-dessus d'un substrat et comportant un matériau thermistance à base d'oxyde de vanadium, permettant 20 d'obtenir un microbolomètre à performances améliorées. [0010] Pour cela, l'objet de l'invention est un procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre, comportant les étapes suivantes : o réalisation d'une membrane destinée à être suspendue au-dessus d'un substrat et contenant : 25 - deux électrodes de polarisation, - une couche isolante dite intermédiaire recouvrant partiellement les électrodes de polarisation et présentant deux ouvertures débouchant sur les électrodes de polarisation, - un matériau thermistance, réalisé en un premier composé à base d'oxyde de 30 vanadium, formé continûment d'une portion dite centrale recouvrant la couche isolante intermédiaire et de deux portions dites latérales venant au contact des électrodes de polarisation au travers des ouvertures. Le premier composé est aussi appelé 'composé de base'. [0011] Selon l'invention, le procédé comporte en outre les étapes suivantes : DD19134 - ICG090292 3 o détermination d'une quantité dite efficace non nulle d'au moins un élément chimique additionnel incorporé par implantation ionique dans le premier composé, formant ainsi un composé dit modifié, pour lequel la résistivité électrique pi, à température ambiante est inférieure ou égale à lo% de la résistivité électrique p, à température 5 ambiante dudit premier composé ; o incorporation localisée, par implantation ionique, dans les portions latérales du matériau thermistance, d'une quantité de ledit élément chimique additionnel supérieure ou égale à la quantité efficace. [0012] Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce procédé de fabrication sont les 10 suivants. [0013] L'élément chimique additionnel est avantageusement choisi parmi l'azote, le carbone, le silicium, le phosphore, le germanium et l'arsenic. L'élément chimique additionnel est de préférence choisi parmi l'azote, le carbone. L'élément chimique additionnel est de préférence l'azote. 15 [0014] Le matériau thermistance peut comporter une quantité x d'oxygène sensiblement identique dans les portions centrale et latérales, x étant la proportion d'oxygène par rapport au vanadium. [0015] Le matériau thermistance peut comporter une quantité x d'oxygène telle que la résistivité électrique à température ambiante du premier composé du matériau 20 thermistance dans la portion centrale est comprise entre 5 Q.cm et 5o S?..cm, x étant la proportion d'oxygène par rapport au vanadium. La quantité x d'oxygène est de préférence comprise entre 1,6 et 2,2. [0016] Le composé modifié du matériau thermistance peut comporter une quantité y de l'élément chimique additionnel supérieure ou égale à 0,045, y étant la proportion de 25 l'élément chimique additionnel par rapport au vanadium. [0017] L'étape d'implantation ionique peut comporter un dépôt d'une résine photosensible sur le matériau thermistance, présentant deux ouvertures d'implantation situées en regard des ouvertures de la couche isolante intermédiaire, la résine photosensible présentant une épaisseur adaptée de manière à éviter une incorporation de l'élément chimique additionnel 30 dans la portion centrale. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS [0018] D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de DD19134 - ICG090292 4 celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : la figure 1, déjà décrite, est une vue en perspective, schématique et partielle, d'un exemple de microbolomètre selon l'art antérieur ; 5 les figures 2A et 2B sont des vues en coupe, schématiques et partielles, de deux exemples de membranes absorbantes de microbolomètre selon un mode de réalisation ; la figure 3 illustre un exemple d'évolution de la résistivité électrique PL à température ambiante du composé modifié VO,A), du matériau thermistance rapportée à la résistivité électrique p,, de son composé de base VO', pour différentes valeurs y de la quantité d'élément 10 chimique additionnel A; la figure 4 illustre un schéma électrique équivalent modélisant le matériau thermistance du microbolomètre selon un mode de réalisation. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS 15 [0019] Sur les figures et dans la suite de la description, les mêmes références représentent les éléments identiques ou similaires. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l'échelle de manière à privilégier la clarté des figures. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent être combinés entre eux. Sauf indication contraire, les termes « sensiblement », 20 « environ », « de l'ordre de » signifient à 10% près, et de préférence à 5% près. Par ailleurs, l'expression « comportant un » doit être comprise comme « comportant au moins un » et non pas comme « comportant un unique », sauf indication contraire. [0020] Les indications relatives à la composition chimique d'un composé sont exprimées par sa formule chimique brute, exprimée conventionnellement par rapport à un (1) atome 25 de vanadium. Ainsi, pour un composé VOXAY, mentionné ici à titre purement illustratif, où A est un élément chimique additionnel, la valeur x est le nombre d'atomes d'oxygène pour 1 atome de vanadium (proportion relative d'oxygène par rapport au vanadium), et la valeur y est le nombre d'atomes de l'élément A pour 1 atome de vanadium (proportion relative de l'élément A par rapport au vanadium). La valeur de la quantité de l'élément chimique est 30 donnée à to% près. Par ailleurs, la proportion atomique de chaque élément chimique dans le composé VOXAY est de 1/(1+x+y) pour le vanadium, de x/(1+x+y) pour l'oxygène, et de y/(i+x+y) pour l'élément A. DD19134 - ICG090292 5 [0021] L'invention porte sur un procédé de fabrication d'au moins un détecteur thermique résistif, également appelé microbolomètre, comportant un matériau thermistance à base d'oxyde de vanadium VO'. Le microbolomètre peut être adapté à détecter un rayonnement infrarouge ou térahertz. 11 est, dans la suite de la description, particulièrement adapté à 5 détecter un rayonnement infrarouge de la gamme LW1R (Long Wavelength Infrared, en anglais) dont la longueur d'onde est comprise entre 8trm et rem environ. [0022] Le microbolomètre comporte une membrane suspendue au-dessus d'un substrat de lecture et avantageusement isolée de celui-ci par des bras d'isolation thermique. La membrane comporte un matériau thermistance, c'est-à-dire un matériau dont la résistance 10 électrique varie avec son échauffement. [0023] Dans le cadre de l'invention, le matériau thermistance est à base d'oxyde de vanadium VON, c'est-à-dire qu'il est un composé comportant un oxyde de vanadium VO' ainsi que, localement, au moins un élément chimique additionnel noté A. Autrement dit, dans le cadre de l'invention, le matériau thermistance comporte une première portion dite 15 centrale réalisée à base de VO' sans l'élément chimique additionnel A, et des deuxièmes portions dites latérales, distinctes l'une de l'autre et réalisées à base de VO,A, c'est-à-dire à base de VO' et avec une quantité y non nulle de l'élément chimique additionnel A. [0024] Dans la suite de la description, on nomme 'composé de base' le matériau thermistance situé dans la portion centrale et ne comportant donc pas l'élément chimique 20 additionnel A incorporé par implantation ionique. TI peut comporter d'autres éléments chimiques que le vanadium et l'oxygène qui auraient été incorporés à la croissance. il peut ainsi comporter l'élément chimique additionnel A, qui aurait alors été incorporé à la croissance du composé de base. Par ailleurs, on nomme 'composé modifié' le matériau thermistance situé dans les portions latérales, et formé du composé de base et de l'élément 25 chimique additionnel A incorporé par implantation ionique. [0025] Le matériau thermistance est de préférence choisi de sorte que le composé de base présente une résistivité électrique à température ambiante comprise entre 5 S.2.cm et 5o 5-2.cm environ, de préférence comprise entre 7 n.cm et 3o E2.cm environ. Pour cela, la proportion relative x d'oxygène vis-à-vis du vanadium est comprise entre 1.6 et 2.2 environ, 30 et de préférence comprise entre 1.8 et 2.0. 11 peut cependant présenter une proportion relative x différente. A titre illustratif, le composé de formule chimique brute VO2 comporte 2 atomes d'oxygène pour 1 atome de vanadium (x=2), le composé V,03 comporte 3 atomes d'oxygène pour 2 atomes de vanadium (x=1,5), et le composé V,05 comporte 5 atomes d'oxygène pour 2 atomes de vanadium (x=2,5). Le matériau thermistance peut être un matériau amorphe ou un matériau cristallin présentant une ou plusieurs phases cristallines. DD19134 - 106090292 6 Il peut également se présenter sous la forme d'un mélange d'une phase amorphe et d'une ou plusieurs phases cristallines. [0026] L'élément chimique additionnel A est défini comme étant un élément chimique ajouté volontairement, par implantation ionique et de manière locale, au matériau 5 thermistance, et permettant de diminuer la résistivité électrique à température ambiante du matériau thermistance d'au moins un rapport 10. [0027] Plus précisément, le composé modifié VO,Ay situé dans les portions latérales comporte une quantité y de l'élément chimique additionnel A supérieure ou égale à une quantité dite efficace yeff pour laquelle sa résistivité électrique pi, à température ambiante 10 est inférieure ou égale à lo% de la résistivité électrique pe à température ambiante du composé de base situé dans la portion centrale. Autrement dit, pi, est inférieure ou égale à Win environ, de préférence inférieure ou égale à p,'/5o environ, et de préférence inférieure ou égale à flic/2o° environ. La température ambiante peut être comprise, par exemple, entre 20°C et 30°C. Ainsi, pour une résistivité électrique pe à température ambiante du composé 15 de base VO, égale à to 0.cm environ, le composé modifié VO,Ay comporte une quantité y de l'élément chimique additionnel A telle que la résistivité électrique pi, à température ambiante est inférieure ou égale à 1 Q.cm, de préférence inférieure ou égale à 0,2 Q.cm, et de préférence encore inférieure ou égale à 0,05 Q.cm. 20 [0028] Les figures 2A et 2B sont des vues schématiques et partielles, en coupe suivant le plan A-A illustré sur la figrt, de deux variantes d'une membrane absorbante 10 suspendue au-dessus d'un substrat de lecture, selon un mode de réalisation du microbolomètre 1. Le repère XYZ a été défini précédemment. [0029] En référence à la fig.2A, la membrane absorbante 10 peut comporter une couche 25 isolante inférieure 11 sur laquelle reposent deux électrodes de polarisation 12. La couche isolante inférieure n est ici réalisée en un matériau diélectrique, par exemple en un matériau d'oxyde de silicium, tin nitrure de silicium ou un oxynitrure de silicium, d'une épaisseur par exemple comprise entre tonm et toonm, de préférence comprise entre 3onm et 5onm. Elle peut participer à assurer la rigidification des bras d'isolation thermique. 30 [0030] Les électrodes de polarisation 12 sont réalisées en un matériau électriquement conducteur, par exemple en un métal choisi parmi le Ti, TiN, TaN, WN ou autre, et présente une épaisseur par exemple comprise entre 5nm et 2onm. Elles sont ici avantageusement réalisées en un matériau absorbant vis-à-vis du rayonnement électromagnétique à détecter et forment ainsi l'absorbeur. Les électrodes de polarisation 12 sont coplanaires et sont 35 physiquement distinctes et électriquement isolées l'une de l'autre. Elles sont DD19134 - ICG090292 7 avantageusement dimensionnées en épaisseur de sorte qu'elles présentent une résistance de couche sensiblement égale à 37752/carré, permettant ainsi d'optimiser l'absorption du rayonnement électromagnétique à détecter. [0031] Les électrodes de polarisation 12 sont revêtues partiellement par une couche isolante 5 intermédiaire 13 réalisée ici en un matériau diélectrique, par exemple en un matériau identique ou similaire à celui de la couche isolante inférieure 11, et peut également présenter une épaisseur de l'ordre de quelques dizaines de nanomètres, par exemple comprise entre ionm et nonm, de préférence comprise entre 3onm et 5 onm environ. Elle peut participer à assurer, avec la couche isolante inférieure 11, la rigidification des bras d'isolation 10 thermique. [0032] La couche isolante intermédiaire 13 est structurée pour présenter deux ouvertures 13a débouchant sur les électrodes de polarisation 12. Les ouvertures 13a présentent ainsi une hauteur suivant Faxe Z correspondant à l'épaisseur de la couche isolante intermédiaire 13. Elles sont délimitées par les flancs latéraux de la couche isolante intermédiaire 13, qui 15 s'étendent verticalement de manière sensiblement parallèle à l'axe Z. Elles peuvent présenter une dimension transversale, ou largeur, dans le plan XY, compris entre 2oonm et woonm, par exemple égale à 5oonm environ. [0033] Un matériau thermistance 14 à base d'oxyde de vanadium VO:, recouvre au moins partiellement la couche isolante intermédiaire 13, et vient au contact de chacune des deux 20 électrodes de polarisation 12 au travers des ouvertures 13a. Il présente une épaisseur par exemple comprise entre 2onm et 2oonm, de préférence comprise entre 4onm et 8 onm. De préférence, la proportion relative d'oxygène x est telle que la résistivité électrique du matériau thermistance 14 à température ambiante est comprise entre 5 Si.cm et 5o Slcm, et de préférence comprise entre 7 .Q.cm et 3o ç.',2.cm. 25 [0034] Le matériau thermistance 14 est donc formé continûment d'une portion centrale 14.1 et d'au moins deux portions latérales 14.2. La portion centrale 14.1 s'étend de manière sensiblement plane sur la couche isolante intermédiaire 13, et les deux portions latérales 14.2 s'étendent à partir de la portion centrale 14.1 jusqu'à venir au contact des électrodes de polarisation 12, au travers des ouvertures 13a pratiquées dans la couche isolante 30 intermédiaire 13. La portion centrale 14.1 présente ainsi une topologie essentiellement bidimensionnelle alors que les portions latérales 14.2 présentent une topologie essentiellement tridimensionnelle. [0035] Enfin, le matériau thermistance 14 est ici avantageusement recouvert d'une couche supérieure de protection 15, réalisée par exemple en un nitrure de silicium SiN ou un oxyde 35 de silicium SiO, d'une épaisseur typique de ionm environ, laquelle permet d'éviter toute DD19134 - ICG090292 8 contamination ou dégradation du matériau thermistance 14, notamment lors de la suppression de couches sacrificielles utilisées pour la fabrication du détecteur thermique. [0036] La fig.2B illustre une membrane absorbante 10 selon une variante de réalisation. La membrane se distingue de celle décrite en référence à la fig.2A essentiellement en ce que les 5 électrodes de polarisation 12 n'assurent pas la fonction optique d'absorbeur. Cependant, comme décrit précédemment, le matériau thermistance 14 recouvre une couche isolante intermédiaire 13 au niveau de sa portion centrale 14.1 et vient au contact des électrodes de polarisation 12 par ses deux portions latérales 14.2. [0037] Dans cet exemple, la couche isolante intermédiaire 13 est réalisée en un matériau 10 semiconducteur et non pas en un matériau diélectrique, par exemple en silicium amorphe. De préférence, la couche isolante inférieure 11 est réalisée en un matériau semiconducteur identique ou similaire, en termes de résistivité électrique, à celui de la couche isolante intermédiaire 13. Un tel matériau présente habituellement une faible conductivité thermique, ce qui permet d'améliorer l'isolation thermique de la membrane absorbante 10, 15 en particulier lorsque les couches isolantes inférieure 11 et intermédiaire 13 s'étendent dans les bras d'isolation thermique. Les couches isolantes 11, 13 peuvent ainsi être réalisées en silicium amorphe de résistivité électrique supérieure ou égale à 1000 Q.cm environ et d'une épaisseur égale à 4onm environ. [0038] Les deux électrodes de polarisation 12 sont espacées latéralement l'une de l'autre 20 d'une distance de l'ordre de la distance qui sépare les ouvertures 13a en prévoyant toutefois une garde (lao à 5 oonm) de manière à garantir que l'ouverture ma ne soit pas à cheval sur le bord des électrodes 12, de manière à assurer l'isolation électrique des deux électrodes de polarisation 12 l'une vis-à-vis de l'autre. Pour compenser la réduction de l'absorption du rayonnement électromagnétique par les électrodes de polarisation 12, une couche 25 supplémentaire d'absorption 16, par exemple du TiN d'une épaisseur de 8nm, est déposée sur la couche supérieure de protection 15 à la perpendiculaire de l'espacement latéral entre les deux électrodes de polarisation 12. Une couche supplémentaire de protection 17 recouvre avantageusement la couche d'absorption 16. 30 [0039] Les inventeurs ont constaté que, dans cette configuration où le matériau thermistance 14 vient localement au contact des électrodes de polarisation 12 au travers des ouvertures 13a, le détecteur thermique présente un bruit en i/f excédentaire lorsque le matériau thermistance 14 est réalisé à base d'oxyde de vanadium VO,. Comme indiqué précédemment, le bruit en i/f, également appelé bruit de flicker ou bruit basse fréquence, 35 provient notamment des fluctuations de mobilité et/ou de densité des porteurs libres. ll apparaît en effet qu'un tel bruit en 1/f excédentaire n'est sensiblement pas présent lorsque DD19134 - ICG090292 9 le matériau thermistance 14 est réalisé en d'autres matériaux thermistance, par exemple en silicium amorphe. De plus, il apparaît également qu'un tel bruit en i/f excédentaire n'est sensiblement pas présent lorsque le matériau thermistance 14 à base d'oxyde de vanadium VO, s'étend de manière sensiblement plane. Il en ressort que ce bruit en r/f excédentaire est 5 associé essentiellement aux portions latérales 14.2 du matériau thermistance 14 à base d'oxyde de vanadium VO,. [0040] Ainsi, le bruit total Lut associé au matériau thermistance 14 (ici le courant de bruit) comporte une première composante in, associée à la portion centrale 14.1, et une deuxième composante inr, associée aux portions latérales 14.2. Cette composante inr, de forte valeur 10 entraîne une dégradation des performances du microbolomètre 1. [0041] Pour améliorer les performances du microbolomètre 1, et en particulier s'affranchir du bruit en r/f excédentaire du matériau thermistance 14, le procédé de fabrication du microbolomètre 1 prévoit d'incorporer dans les portions latérales 14.2, par implantation ionique, au moins un élément chimique additionnel A de sorte que la résistivité électrique 15 pL à température ambiante du composé modifié VO,A), situé dans les portions latérales 14.2 soit inférieure ou égale à ro% de la résistivité électrique pe à température ambiante du composé de base VO, situé dans la portion centrale 14.1. En effet, comme explicité en détail plus loin, la faible résistivité électrique pL des portions latérales 14.2 vis-à-vis de la résistivité électrique pe de la portion centrale 14.1 permet de s'affranchir du bruit en 1/f excédentaire 20 présent dans les portions latérales 14.2, et ainsi d'améliorer les performances du microbolomètre 1. [0042] L'élément chimique supplémentaire A est de préférence choisi parmi l'azote N, le carbone C, le silicium Si, le phosphore P, germanium Ge, Arsenic As. En effet, les inventeurs ont constaté que l'implantation ionique d'au moins l'un de ces éléments chimiques 25 additionnels dans le composé de base VO, pour obtenir le composé modifié VO'A, permet de réduire fortement la résistivité électrique à température ambiante. Les inventeurs ont observé qu'une telle diminution de la résistivité électrique à température ambiante n'est pas obtenue lorsque l'élément chimique supplémentaire A est incorporé à la croissance du matériau thermistance 14, lorsque la proportion relative d'oxygène x reste inchangée. Par 30 ailleurs, d'autres éléments chimiques incorporés par implantation ionique ne permettent pas d'obtenir une telle diminution de la résistivité électrique à température ambiante, comme par exemple le bore B. [0043] A ce titre, les inventeurs ont ainsi observé que l'implantation ionique d'azote dans un composé de base d'oxyde de vanadium VO, avec x=1,8 environ, et avec une proportion 35 atomique d'azote de l'ordre de 4%, conduit à former un composé modifié V0i,8A0,, présentant une résistivité électrique à température ambiante de l'ordre de 0,05 Q.cm, bien DD19134 - ICG090292 10 inférieure à la résistivité électrique égale à to C1.cm environ du composé de base V01,8. En comparaison, l'incorporation d'une même proportion atomique d'azote lors de la croissance du matériau thermistance 14 conduit à une résistivité électrique à température ambiante de l'ordre de 10 51.cm, soit sensiblement égale à la résistivité électrique du composé de base 5 V048. L'incorporation d'azote à la croissance petit être réalisée en déposant le matériau en milieu réactif en injectant une faible pression d'azote moléculaire No dans le réacteur de dépôt. L'implantation ionique d'un tel élément chimique additionnel A dans le composé de base VO, permet donc, de manière surprenante, d'obtenir une forte diminution de la résistivité électrique du matériau, ce que ne permet pas l'incorporation à la croissance. 10 [0044] Ainsi, le procédé de fabrication du microbolomètre 1 selon un mode de réalisation comporte une première étape de réalisation de la membrane destinée à être suspendue au-dessus d'un substrat et contenant deux électrodes de polarisation 12 revêtue de la couche isolante intermédiaire 13 qui présente deux ouvertures 13a débouchant sur les électrodes de 15 polarisation 12, le matériau thermistance 14 à base d'oxyde de vanadium recouvrant la couche isolante intermédiaire 13 et venant au contact des électrodes de polarisation 12 au travers des ouvertures 13a. Les étapes de réalisation sont ici similaires ou identiques à celles décrites notamment dans le brevet US9933309. Les étapes suivantes sont ici relatives à la fabrication de la membrane absorbante to illustrée sur la fig.2A. 20 [0045] Pour cela, on dépose la couche isolante inférieure 11 sur une couche sacrificielle recouvrant le substrat de lecture, au travers de laquelle s'étendent des piliers d'ancrage. La couche isolante inférieure 11 peut être réalisée en nitrure de silicium d'une épaisseur comprise entre 3onm et 5onm. [0046] On dépose ensuite une couche conductrice destinée à former notamment les 25 électrodes de polarisation 12. La couche conductrice est réalisée par exemple en TiN, et présente une épaisseur par exemple comprise entre 5nm et 2onm. La couche conductrice est ensuite structurée par photolithographie et gravure, de manière à former les deux électrodes de polarisation 12. Celles-ci sont distinctes et électriquement isolées l'une de l'autre par un espacement latéral dans le plan XY. 30 [0047] On dépose ensuite la couche isolante intermédiaire 13 de manière à recouvrir la couche isolante inférieure 11 et les électrodes de polarisation 12. Elle s'étend ainsi dans l'espacement latéral des électrodes de polarisation 12. Elle est réalisée de préférence en un matériau diélectrique identique à celui de la couche isolante inférieure 11 et présente une épaisseur de préférence comprise entre 3onm et 5onm. DD19134 - ICG090292 11 [0048] On forme ensuite les ouvertures 13a au travers de la couche isolante intermédiaire 13, par photolithographie et gravure localisée, de sorte qu'elles débouchent sur les électrodes de polarisation 12. Les ouvertures 13a sont alors délimitées transversalement par les flancs latéraux de la couche isolante intermédiaire 13. 5 [0049] On dépose ensuite le composé de base VO, du matériau thermistance 14, de manière à recouvrir la couche isolante intermédiaire 13 et à venir au contact des électrodes de polarisation 12 au travers des ouvertures 13a. Le matériau thermistor est ici réalisé par pulvérisation par faisceau d'ions (1BS, pour Ion Beam Sputtering, en anglais), par exemple en pulvérisant une cible de vanadium sous atmosphère oxydante à une pression partielle 10 d'oxygène. Il présente une épaisseur permettant de former continûment une portion centrale 14.1 qui repose sur la couche isolante intermédiaire 13, et deux portions latérales 14.2 qui s'étendent à partir de la portion centrale 14.1 dans les ouvertures 138 jusqu'à venir au contact des électrodes de polarisation 12. Les portions latérales 14.2 sont disposées de part et d'autre de la portion centrale 14.1. L'épaisseur du matériau thermistance 14 est 15 comprise entre 2onm et 2oonm, de préférence entre 4onm et 8onm. [0050] Ace stade, le matériau thermistance 14 est formé du composé de base, ici du VO,, et ne comporte pas d'élément chimique additionnel A. La proportion relative d'oxygène x est avantageusement comprise entre 1,8 et 2,0 environ de sorte que la résistivité électrique à température ambiante soit de l'ordre de 10 acm à 20 Q.cm. Le matériau thermistance 14 20 présente ainsi une résistivité électrique à température ambiante sensiblement homogène au sein du matériau. Comme mentionné précédemment, la portion centrale 14.1 présente une résistance électrique Re et un bruit in,, faible (topologie plane), et les portions latérales 14.2 présentent une résistance électrique RL inférieure à Re, par exemple 5 à 10 fois inférieure, et un bruit iiLL élevé (topologie tridimensionnelle). 25 [0051] On dépose ensuite, de préférence, une couche supérieure de protection 15 de manière à recouvrir le matériau thermistance 14, par exemple du nitrure de silicium d'une épaisseur de ionm environ. Cette couche de protection permet de préserver les propriétés du matériau thermistance 14 lors d'une étape ultérieure de suppression des couches sacrificielles. 30 [0052] Le procédé comporte par ailleurs une étape de détermination de la quantité efficace yeff de l'élément chimique additionnel A à incorporer dans les portions latérales 14.2 du matériau thermistance 14 par implantation ionique, de sorte que la résistivité électrique pl du composé modifié situé dans les portions latérales 14.2 soit inférieure ou égale à 10% de 35 la résistivité électrique pe du composé de base situé dans la portion centrale 14.1. DD19134 - 106090292 12 [0053] Ainsi, la quantité efficace yeff peut être déterminée par des essais expérimentaux. Ainsi, la figure 3 illustre un exemple d'évolution de la résistivité électrique pl, du matériau thermistance 14 VOXNV, où l'élément chimique additionnel A incorporé par implantation ionique dans le composé de base est de l'azote, pour différentes valeurs de la quantité y 5 d'azote. Dans cet exemple, les valeurs de la résistivité électrique pl, sont rapportées à la valeur pe de la résistivité électrique du composé de base. [0054] Dans cet exemple, le composé de base VO' du matériau thermistance 14 a été réalisé par pulvérisation par faisceau d'ions (IBS) en pulvérisant une cible de vanadium sous atmosphère oxydante à une pression partielle d'oxygène. La proportion relative x d'oxygène 10 est égale à 1,8 environ, de sorte que la résistivité électrique pe à température ambiante du composé de base VO,,s est égale à 10 Q.cm environ. L'épaisseur du composé de base VOi.s est égale à 8onm environ, et le composé de base VO,,s est revêtu d'une couche de nitrure de silicium de tonm. Le composé modifié VO,,,sN, est ensuite obtenu en incorporant de l'azote par implantation ionique dans le composé de base VO,,s. Quatre échantillons du composé 15 modifié VO,,sNy sont obtenus pour différentes doses d'implantation d'azote avec une énergie d'implantation de 25keV (ici dans le cas où le composé de base est revêtu d'une couche de protection en nitrure de silicium de ionm d'épaisseur), à savoir ix1015 cm-2, 3x10'5 cm-2, lx lolô cm-2 et 3 x1016 cm-2 (déterminées à partir d'un logiciel du type Athena de la société Sivaco). La proportion relative d'azote y est respectivement égale à 0.004, 0.011, 0.036 et 20 0.112 environ (correspondant respectivement à une proportion atomique de 0.13%, 0.4%, 1.3%, 4%). [0055] Ces essais expérimentaux permettent de déterminer ici la quantité efficace yeff d'azote nécessaire pour que la résistance électrique pl, du composé modifié V0181\42 soit inférieure ou égale à 10% de la résistivité électrique pe du composé de base V01,8. Il apparaît 25 que pour y=o.004 et y=o.on, la résistivité électrique pi, est supérieure ou égale à la résistivité électrique ID,. Cependant, pour y=o,o36, la résistivité électrique pl, est sensiblement égale à pc/5. Et pour y=0,112, la résistivité électrique pl, est sensiblement égale à pc/200. Ainsi, on peut déterminer par interpolation que la quantité efficace y& d'azote à partir de laquelle la résistivité électrique est inférieure ou égale à pe/io, est sensiblement 30 égale à 0,045. [0056] Par ailleurs, il apparaît que l'élément chimique additionnel peut être choisi parmi l'azote N, le carbone C, le silicium Si, le phosphore P, germanium Ge, Arsenic As, dans la mesure où ils permettent tous d'obtenir un composé modifié VOXAV présentant une résistance électrique pi. inférieure ou égale à io% de la résistivité électrique pe du composé 35 de base VO'. Cette forte diminution de la résistivité électrique est ainsi observée pour ces éléments incorporés par implantation ionique dans le composé de base. DD19134 - ICG090292 13 [0057] A titre d'exemple, le tableau ci-dessous indique la valeur de la résistivité électrique pi à température ambiante pour différents échantillons de composé modifié VOxAy, où la proportion relative d'oxygène x est égale à 1,8 environ. La dose d'implantation de l'élément chimique additionnel A est égale à 3 x1016 cm -2 et l'énergie d'implantation est également 5 indiquée (ici dans le cas d'une couche de base en VOx de 8onm d'épaisseur revêtue d'une couche de protection de ionm en nitrure de silicium). Elément Azote Carbone Silicium Phosphore Germanium Arsenic A Energie 25 keV 21 keV 47 keV 48 keV 95 keV 98 keV PL / Pc 1/200 1/10 1/50 1/15 1/90 1/24 [0058] L'élément chimique additionnel A peut être avantageusement choisi parmi l'azote, le silicium et le germanium, et de préférence parmi l'azote et le germanium dans la mesure où ces éléments permettent d'obtenir une résistivité électrique particulièrement faible. 10 [0059] En variante, l'élément chimique additionnel A peut être avantageusement choisi parmi l'azote et le carbone dans la mesure où ces éléments permettent d'obtenir une faible résistivité électrique avec une énergie d'implantation moindre. De plus, ces éléments étant des atomes légers, ils n'entraînent sensiblement pas de modification des propriétés physicochimiques de la résine photosensible utilisée lors de l'implantation ionique pour 15 définir les zones d'implantation, permettant alors de ne pas complexifier la suppression (stripping, en anglais) de la résine photosensible. En effet, sous un fort bombardement ionique, la résine photosensible peut être modifiée en surface rendant alors plus complexe sa suppression. [0060] De préférence, l'élément chimique additionnel A est de l'azote. En effet, il apparaît 20 que l'azote implanté permet de réduire fortement la résistivité électrique pi tout en permettant une suppression simple de la résine photosensible utilisée lors de l'implantation ionique. [0061] La dose d'implantation de l'élément chimique additionnel A peut être adaptée de sorte que la résistance électrique pl, du composé modifié VOXAV soit sensiblement égale à 25 io% de la résistivité électrique pe du composé de base VO,, voire moins. Ce peut être le cas notamment de l'azote, mais également du silicium et du germanium. En effet, outre le fait que l'étape d'incorporation par implantation ionique présente alors une durée et donc un coût moindres, la résine photosensible utilisée pour définir les zones d'implantation présente une modification moindre de ses propriétés physicochimiques, simplifiant ainsi 30 l'étape de suppression de la résine (stripping). DD19134 - ICG090292 14 [0062] Le procédé comporte ensuite une étape d'incorporation par implantation ionique de l'élément chimique additionnel A dans les portions latérales 14.2 du matériau thermistance 14, et non pas dans la portion centrale 14.1, d'une quantité supérieure ou égale à la quantité efficace yeff, par exemple d'azote de sorte que la proportion relative y d'azote dans les 5 portions latérales 14.2 soit supérieure ou égale à 0,045. [0063] Pour cela, on dépose une résine photosensible sur le matériau thermistance 14, et plus précisément, sur la couche supérieure de protection 15, que l'on structure par photolithographie pour définir des ouvertures d'implantation situées en regard des ouvertures 13a de la couche isolante intermédiaire 13. La largeur des ouvertures 10 d'implantation de la résine photosensible est supérieure ou égale à celle des ouvertures, et de préférence légèrement supérieure pour se prémunir d'un éventuel désalignement entre les ouvertures d'implantation et les ouvertures 13a. L'épaisseur de la résine photosensible est définie de manière à éviter toute incorporation d'azote dans la portion centrale 14.1. La largeur des zones d'implantation est délimitée par les traits en pointillé sur les fig.2A et 2B, 15 définissant ainsi latéralement les portions latérales 14.2 formées du composé modifié VO'Ay. [0064] L'incorporation de l'azote est effectuée par implantation ionique dans les portions latérales 14.2 du matériau thermistance 14. Les paramètres opérationnels de l'implantation ionique sont définis de sorte que le pic de la gaussienne d'implantation soit situé au milieu 20 de l'épaisseur des portions latérales 14.2. A titre d'exemple, une dose d'implantation de 3x10'6' cm-. à 25keV permet d'obtenir une proportion atomique d'azote de 4% environ (y=0,112) dans un composé VO' d'une épaisseur de 8onm environ revêtu d'une couche de SiN de ionm environ. Du fait de l'épaisseur de la résine photosensible, les propriétés de la portion centrale 14.1 ne sont ainsi sensiblement pas modifiées. Il en résulte alors, comme 25 mentionné précédemment, que la portion centrale 14.1 présente une résistance électrique R, et un bruit faible, identiques aux valeurs avant l'étape d'implantation ionique, alors que les portions latérales 14.2 présentent une résistance électrique RL très inférieure à R0, par exemple 1500 fois inférieure, et garde un bruit in,L élevé. Comme expliqué plus loin, du fait de la forte diminution de la résistivité électrique pi, et donc de la résistance électrique 30 RL, le bruit in,L n'impacte sensiblement plus les performances du microbolomètre 1. [0065] On supprime ensuite la résine photosensible (stripping). La couche supérieure de protection 15 peut être gardée, voire être remplacée par une nouvelle couche de protection. [0066] On structure ensuite la couche de protection ainsi que le matériau thermistance 14, par photolithographie et gravure, de manière à obtenir une membrane absorbante 10 35 destinée à être suspendue. DD19134 - ICG090292 15 [0067] Par la suite, le procédé comporte les étapes suivantes classiques de fabrication du microbolomètre 1, telles que la structuration des bras d'isolation thermique (qui, en variante, peut être réalisée à une étape antérieure), une éventuelle réalisation d'une structuration d'encapsulation définissant une cavité avantageusement hermétique et 5 logeant un ou plusieurs microbolomètres 1, la suppression des couches sacrificielles, la mise sous vide, etc. Ces étapes sont notamment décrites dans le brevet U59933309 et ne sont pas détaillées ici. [0068] Ainsi, on obtient un matériau thermistance 14 dont les portions latérales 14.2 sont 10 réalisées en le composé modifié VOXAV avec y non nul, et la portion centrale 14.1 est réalisée en le composé de base VO,. La proportion relative x d'oxygène est sensiblement homogène dans le matériau thermistance 14, c'est-à-dire qu'elle est sensiblement identique dans la portion centrale 14.1 et dans les portions latérales 14.2. Aussi, le composé modifié VOXAY présente une résistivité électrique pL au moins inférieure ou égale au dixième de la résistivité 15 électrique pe du composé de base VO'. [0069] Le fait que le matériau thermistance 14 présente des portions latérales 14.2 au contact des électrodes de polarisation 12 de faible résistivité électrique pL par rapport à celle pe de la portion centrale 14.1 permet d'améliorer les performances du microbolomètre 1. En effet, du fait de la faible résistivité électrique pL du matériau thermistance 14 dans les 20 portions latéral es 14.2, il apparaît que le bruit excédentaire présent associé dans les portions latérales 14.2, et notamment le bruit en excédentaire, n'impacte pas ou quasiment pas les performances du microbolomètre 1. [0070] Pour illustrer cela, la figure 4 représente un schéma électrique équivalent modélisant le matériau thermistance 14 dans le cadre de l'invention. 25 [0071] Le matériau thermistance 14 peut en effet être modélisé par un montage en série de deux blocs électrique. Chaque bloc électrique est formé d'un terme R de résistance électrique en parallèle avec un terme in de bruit (ici le courant de bruit). Ainsi, le premier bloc électrique correspond à la portion centrale 14.1 du matériau thermistance 14, et est caractérisé par une résistance électrique Re élevée (résistivité électrique par exemple de 30 l'ordre de 10 nem) et un bruit faible i,, dans la mesure où la portion centrale 14.1 est plane. Le deuxième bloc électrique correspond aux portions latérales 14.2 du matériau thermistance 14, et est caractérisé par une résistance électrique RL très faible (résistivité électrique par exemple de l'ordre de 0,05 Q.cm) et un bruit élevé LI. dans la mesure où les portions latérales 14.2 présentent une topologie tridimensionnelle. 35 [0072] Le bruit total in,ror résultant de ces deux zones de bruit peut s'écrire : DD19134 - ICG090292 16 In, to t l2 RL \ 2 Re + RLIn Re + RLIn ") [0073] La résistance électrique Ri, est négligeable devant la résistance électrique Re, pour au moins deux raisons : d'une part, la résistivité électrique pi, est inférieure ou égale à to% de la résistivité électrique pc, par exemple égale à pc/2oo environ dans le cas de l'azote 5 implanté ; d'autre part, la longueur de la portion centrale 14.1 dans le sens de circulation du courant électrique est supérieure à celle des portions latérales 14.2, par exemple de 10 à 20 fois supérieure. Il en résulte que le rapport Re/Ri, entre les résistances électriques peut être compris entre 1000 et 2000 environ, en particulier dans le cas de l'azote implanté. [0074] A titre d'exemple, dans le cas d'un rapport Re/Ri, égal à 1500, l'équation précédente 10 devient : , tn,tot = ,j(6,67. 10-4 x In,L)2 + (9,99.10-1 x 2 [0075] Aussi, dans le cas où le bruit Li dans les portions latérales 14.2 est compris entre 1 à 100 fois le bruit in, dans la portion centrale 14.1, cela conduit à ce que le bruit total i1 101 associé au matériau thermistance 14 est sensiblement égal au bruit in., de la portion centrale 15 14.1 à 2,2%o près. [0076] 11 apparaît donc que le fait de réduire fortement la résistivité électrique pl, à température ambiante des portions latérales 14.2 du matériau thermistance 14 permet de s'affranchir du bruit excédentaire issu des portions latérales 14.2. Ce bruit excédentaire n'est physiquement pas supprimé, mais la faible résistivité électrique pl, permet de rendre son 20 impact sur le bruit total quasiment inexistant. Cela est ainsi obtenu au moyen de l'implantation ionique localisée de l'élément chimique additionnel A dans le matériau thermistance 14, et non pas par incorporation à la croissance de cet élément chimique A. Les performances du microbolomètre 1 sont alors améliorées. [0077] De plus, les portions centrale et latérales de résistivités électriques différentes sont 25 obtenues à partir d'un même matériau thermistance 14 et non pas par différentes étapes de dépôt de deux matériaux thermistances distincts ayant des résistivités électriques différentes et connectés électriquement l'un à l'autre, simplifiant ainsi le procédé de fabrication. [0078] Par ailleurs, il apparaît que la forte diminution d'une décade de la résistivité 30 électrique pl, du matériau thermistance 14 dans les portions latérales 14.2 est obtenue directement après l'étape d'implantation ionique, sans qu'il soit nécessaire de réaliser un recuit de guérison des défauts d'implantation. Un tel recuit peut entraîner une modification non souhaitée des propriétés du matériau thermistance 14. DD19134 - ICG090292 17 [0079] Il apparaît également qu'il est possible de réaliser des ouvertures 13a dans la couche isolante intermédiaire 13 de plus grande hauteur, jusqu'à induire un bruit dans les portions latérales 14.2 de l'ordre de 220 fois le bruit in, de la portion centrale 14.1. 11 en résulte alors que le bruit total i'tni associé au matériau thermistance 14 est égal à 1,01 fois 5 environ le bruit i'' de la portion centrale 14.1. Cela est notamment avantageux lorsque la couche isolante intermédiaire 13 s'étend au niveau des bras d'isolation thermique et participe, avec la couche isolante inférieure n, à encapsuler une couche électriquement conductrice. TI est alors possible de réaliser une couche isolante intermédiaire 13 de plus grande épaisseur permettant d'améliorer la rigidité des bras d'isolation thermique, voire 10 d'une épaisseur sensiblement égale à celle de la couche isolante inférieure il dans le but d'améliorer la stabilité mécanique des bras d'isolation thermique. [0080] Des modes de réalisation particuliers viennent d'être décrits. Différentes variantes et modifications apparaîtront à l'homme REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre (i), comportant les étapes suivantes : o réalisation d'une membrane (io) destinée à être suspendue au-dessus d'un substrat (2) et contenant : - deux électrodes de polarisation (12), - une couche isolante (13) dite intermédiaire recouvrant partiellement les électrodes de polarisation (12) et présentant deux ouvertures (13a) débouchant sur les électrodes de polarisation (12), - un matériau thermistance (14), réalisé en un premier composé (V0x) à base d'oxyde de vanadium, formé continûment d'une portion dite centrale (14.1) recouvrant la couche isolante intermédiaire (13) et de deux portions dites latérales (4.2) venant au contact des électrodes de polarisation (12) au travers des ouvertures (13a) ; caractérisé en ce qu'il comporte en outre les étapes suivantes : o détermination d'une quantité dite efficace non nulle (yeff) d'au moins un élément chimique additionnel (A) incorporé par implantation ionique dans le premier composé, formant ainsi un composé dit modifié (VO'A,), pour lequel la résistivité électrique pl, à température ambiante est inférieure ou égale à io% de la résistivité électrique pc à température ambiante dudit premier composé (V0,) ; o incorporation localisée, par implantation ionique, dans les portions latérales (14.2) du matériau thermistance (14), d'une quantité (y) de ledit élément chimique additionnel (A) supérieure ou égale à la quantité efficace (yeff). 2. Procédé de fabrication selon la revendication 1, dans lequel l'élément chimique additionnel (A) est choisi parmi l'azote, le carbone, le silicium, le phosphore, le germanium et l'arsenic. 3. Procédé de fabrication selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'élément chimique additionnel (A) est choisi parmi l'azote, le carbone. 4. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l'élément chimique additionnel est l'azote. 5. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel le matériau thermistance (14) comporte une quantité x d'oxygène sensiblement identique DD19134 - ICG090292 19 dans les portions centrale (14.1) et latérales (14.2), x étant la proportion d'oxygène par rapport au vanadium. 6. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel le matériau thermistance (14) comporte une quantité x d'oxygène telle que la résistivité 5 électrique à température ambiante du premier composé du matériau thermistance (14) dans la portion centrale (14.1) est comprise entre 5 0.cm et 5o Q.cm, x étant la proportion d'oxygène par rapport au vanadium. 7. Procédé de fabrication selon la revendication 6, dans lequel la quantité x d'oxygène est comprise entre 1,6 et 2,2. 10 8. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le composé modifié (VOXAY) du matériau thermistance (14) comporte une quantité y de l'élément chimique additionnel (A) supérieure ou égale à 0,045, y étant la proportion de l'élément chimique additionnel (A) par rapport au vanadium. 9. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel 15 l'étape d'implantation ionique comporte un dépôt d'une résine photosensible sur le matériau thermistance (14), présentant deux ouvertures d'implantation situées en regard des ouvertures (13a) de la couche isolante intermédiaire (13), la résine photosensible présentant une épaisseur adaptée de manière à éviter une incorporation de l'élément chimique additionnel (A) dans la portion centrale (14.1). 20