FR 3077879 A1 20190816 FR 1800141 A 20180215 PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICROBOLOMETRE A MATERIAU SENSIBLE A BASE D'OXYDE DE VANADIUM DOMAINE TECHNIQUE [on] Le domaine de l'invention est celui des dispositifs de détection d'un rayonnement électromagnétique, par exemple infrarouge ou térahertz, comportant au moins un détecteur thermique résistif comprenant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium. L'invention s'applique notamment au domaine de l'imagerie infrarouge et de la thermographie. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE [002] Un dispositif de détection de rayonnement électromagnétique peut comporter une matrice de détecteurs thermiques résistifs, également appelés microbolomètres, chaque microbolomètre comportant une portion absorbante apte à absorber le rayonnement électromagnétique à détecter. [3] Dans le but d'assurer l'isolation thermique du matériau sensible des microbolomètres, les portions absorbantes se présentent habituellement sous la forme de membranes suspendues au-dessus du substrat par des piliers d'ancrage, et sont isolées thermiquement de celui-ci par des bras de maintien et d'isolation thermique. Ces piliers d'ancrage et bras d'isolation thermique présentent également une fonction électrique en reliant électriquement les membranes suspendues à un circuit de lecture généralement disposé dans le substrat. [4] La membrane absorbante comporte un matériau sensible dont la résistivité électrique p varie en fonction de la température du matériau. Le matériau sensible est caractérisé par la valeur pa de la résistivité électrique à température ambiante ainsi que par son coefficient a (ou TCR), lequel est défini par la relation a = 1/p . dp/dT. Le matériau sensible peut être un matériau semiconducteur choisi habituellement parmi le silicium amorphe et un oxyde de vanadium VOx. [0os] Le choix du matériau sensible dépend notamment de sa compatibilité avec les étapes classiques de dépôt et de gravure habituellement utilisées dans la microélectronique, et notamment dans la technologie silicium. Cependant, il 2 apparaît qu'un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium est susceptible de voir ses propriétés électriques dégradées à la suite du procédé de fabrication du microbolomètre. EXPOSÉ DE L'INVENTION [6] L'invention a pour objectif de remédier au moins en partie aux inconvénients de l'art antérieur, et plus particulièrement de proposer un procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium dont les propriétés électriques sont préservées au cours du procédé de 10 fabrication. [7] Pour cela, l'objet de l'invention est un procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium comportant au moins un élément chimique additionnel choisi parmi le bore, le carbone, à l'exception de l'azote, comportant les étapes suivantes : 15 j. détermination d'une quantité dite efficace non nulle de l'élément chimique additionnel à partir de laquelle le matériau sensible, ayant subi une étape d'exposition à une température Tr pendant une durée Atr prédéterminées, présente une résistivité électrique palr à température ambiante, supérieure ou égale à 50% de la valeur native pa dudit matériau sensible à température 20 ambiante ; ii. réalisation du matériau sensible en couche mince ayant une quantité de l'élément chimique additionnel supérieure ou égale à la quantité efficace préalablement déterminée; exposition du matériau sensible à une température supérieure à la température 25 ambiante et inférieure ou égale à Tr pendant une durée inférieure ou égale Atr. [8] Certains aspects préférés, mais non limitatifs de ce procédé de fabrication sont les suivants. [9] Le procédé de fabrication peut comporter une étape préalable de détermination de la valeur native pa de la résistivité électrique à température 30 ambiante du matériau sensible contenant la quantité non nulle considérée de l'élément chimique additionnel. 3 [0010] L'étape iii d'exposition du matériau sensible peut comprendre une étape de dépôt d'une couche de protection recouvrant le matériau sensible. [0011] L'étape iii d'exposition du matériau sensible peut comprendre une étape de dépôt d'une couche d'encapsulation transparente au rayonnement 5 électromagnétique à détecter destinée à définir une cavité dans laquelle est situé le microbolomètre. [0012] La température Tr peut être supérieure ou égale à 280°C. [0013] La durée àtr peut être supérieure ou égale à 9omin. [0014] Lors de l'étape iii), l'étape d'exposition peut être effectuée à la température Tr 10 pendant la durée At, [0015] L'invention porte également sur un microbolomètre comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium, ledit matériau sensible comportant au moins un élément chimique additionnel choisi parmi le bore et le carbone, à l'exception de l'azote, dont la quantité est supérieure ou égale à une quantité dite efficace conférant 15 au matériau sensible une valeur pair de résistivité électrique à température ambiante, après exposition à une température de 280°C pendant 9omin, au moins égale à 50% de la valeur native pa dudit matériau sensible à température ambiante. [0016] Le matériau sensible peut comporter une quantité de bore, définie comme le rapport du nombre d'atomes de bore sur celui de vanadium, au moins égale à 0,097. 20 [0017] Le matériau sensible peut comporter une quantité de carbone, définie comme le rapport du nombre d'atomes de carbone sur celui de vanadium, au moins égale à 0,063. [0018] L'invention porte également sur un dispositif de détection d'un rayonnement électromagnétique, comportant une matrice de microbolomètres selon l'une 25 quelconque des caractéristiques précédentes. [0019] Chaque microbolomètre peut être disposé dans une cavité hermétique distincte délimitée par une structure d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter, la structure d'encapsulation comportant au moins une couche réalisée en silicium amorphe. [0020] Chaque matériau sensible peut être recouvert par une couche de protection en nitrure de silicium. 4 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS [0021] D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en 5 référence aux dessins annexés sur lesquels : les figures ILA et 1B sont des vues schématiques et partielles, respectivement en perspective et en coupe suivant le plan A-A, d'un microbolomètre selon un mode de réalisation, comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium ; la figure 2A et 2B sont des graphes illustrant l'évolution de la résistivité électrique 10 pair à température ambiante du matériau sensible à base d'oxyde de vanadium, après exposition dudit matériau à une température TT pendant une durée iltr, pour différentes quantités d'un élément chimique additionnel, ce dernier étant le bore (fig.2A), le carbone (fig.2B). 15 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS [0022] Sur les figures et dans la suite de la description, les mêmes références représentent les éléments identiques ou similaires. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l'échelle de manière à privilégier la clarté des figures. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns 20 des autres et peuvent être combinés entre eux. Sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « de l'ordre de » signifient à 10% près. [0023] Les indications relatives à la composition chimique d'un composé sont exprimées par sa formule chimique brute, exprimée conventionnellement par rapport à un (1) atome de vanadium. Ainsi, pour un composé VOxBy, mentionné ici 25 à titre purement illustratif, la valeur x de la quantité d'oxygène est le nombre d'atomes d'oxygène pour i atome de vanadium, et la valeur y de la quantité de bore est le nombre d'atomes de bore pour i atome de vanadium. La valeur de la quantité de l'élément chimique est donnée à 10% près. Par ailleurs, la proportion atomique de chaque élément chimique dans le composé VOxBy est de 1/(11-x+y) pour le 30 vanadium, de x/(1-Fx+y) pour l'oxygène, et de y/(1-Fx+y) pour le bore. 5 [0024] L'invention porte notamment sur un procédé de fabrication d'au moins un détecteur thermique résistif, également appelé microbolomètre, comportant un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium VO. Le microbolomètre peut être 5 adapté à détecter un rayonnement infrarouge ou térahertz. Le matériau sensible comporte une quantité suffisante non nulle d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi le bore B, le carbone C, à l'exception de l'azote N. De plus, le procédé de fabrication met en oeuvre au moins une étape dans laquelle le matériau sensible est exposé à une température supérieure à la température ambiante et 10 inférieure ou égale à la température Tr, pendant une durée inférieure ou égale à Atr, par exemple à 300°C pendant lomin, 3omin, voire 90min ou davantage. La température Tr d'exposition thermique est donc supérieure à la température ambiante. [0025] Cette étape d'exposition thermique peut correspondre au dépôt à 300°C 15 environ d'une couche de protection, par exemple réalisée en un nitrure de silicium SiN ou en un oxyde de silicium SiO, recouvrant le matériau sensible dans le but de le protéger de toute contamination ultérieure par des éléments chimiques éventuellement présents. Elle peut également correspondre à la réalisation d'une couche d'encapsulation en silicium amorphe, ladite couche étant destinée à définir 20 une cavité hermétique dans laquelle est situé le microbolomètre. Il peut également s'agir d'une activation à 300°C environ d'un matériau getter situé dans la cavité hermétique, ce matériau getter étant destiné à réagir avec du gaz résiduel éventuellement présent dans la cavité pour maintenir celle-ci à un niveau de vide suffisant. 25 [0026] Ces exemples sont donnés à titre illustratif. L'étape d'exposition thermique à la température Tr pendant la durée Atr peut être mise en oeuvre, d'une manière générale, dans le cadre d'étapes technologiques de fabrication du microbolomètre effectuées après la réalisation du matériau sensible, voire dans le cadre d'étapes technologiques de fabrication du dispositif de détection après la réalisation du ou 30 des microbolomètres, notamment pour l'intégration de fonctionnalités additionnelles au niveau de la puce de détection. 6 [0027] Les figures rA et rB sont des vues schématiques et partielles, respectivement en perspective et en coupe suivant le plan A-A, d'un microbolomètre ro d'un dispositif de détection 1 d'un rayonnement électromagnétique, le microbolomètre io comportant un matériau sensible 15 à base d'oxyde de vanadium VON. 5 [0028] Le microbolomètre lo comporte une membrane absorbante ri à matériau sensible 15 à base d'oxyde de vanadium VON, suspendue au-dessus d'un substrat 2 par des piliers d'ancrage 12 et des bras d'isolation thermique 13, ainsi qu'un circuit électronique de commande et de lecture (non représenté) situé dans le substrat 2. Le microbolomètre ro est ici adapté à absorber un rayonnement infrarouge compris 10 dans la bande de longueurs d'onde infrarouges longues (dite LWIR), allant de 8itrn à rem environ. [0029] On définit ici et pour la suite de la description un repère direct tridimensionnel orthogonal (X,Y,Z), où le plan XY est sensiblement parallèle au plan d'un substrat 2, l'axe Z étant orienté suivant une direction sensiblement orthogonale 15 au plan du substrat 2. Par ailleurs, les termes « inférieur » et « supérieur » s'entendent comme étant relatifs à un positionnement croissant lorsqu'on s'éloigne du substrat 2 suivant la direction +Z. [0030] Le microbolomètre 10 comporte un substrat 2, réalisé dans cet exemple à base de silicium, comportant un circuit électronique (non représenté) permettant la 20 commande et la lecture du microbolomètre. Le circuit électronique comporte des portions de lignes conductrices, par exemple métalliques, séparées les unes des autres par un matériau diélectrique, par exemple un matériau minéral à base de silicium tel qu'un oxyde de silicium SiO, un nitrure de silicium SiN, ou leurs alliages. Il peut comporter à cet effet des éléments électroniques actifs, par exemple des 25 diodes, transistors, condensateurs, résistances..., connectés par des interconnexions électriques au microbolomètre ro d'une part, et à un plot d'interconnexion (non représenté) d'autre part, ce dernier étant destiné à relier électriquement le dispositif de détection 1 à un dispositif électronique externe. [0031] La face supérieure du substrat 2 peut être revêtue d'une couche de protection 30 (non représentée) notamment lorsque la membrane absorbante est réalisée sur une couche sacrificielle minérale, laquelle est ensuite éliminée par attaque chimique en milieu acide. Elle peut recouvrir ou être recouverte par une couche réflectrice 14 disposée sous la membrane absorbante 11. Lorsqu'elle revêt la couche réflectrice 14, 7 elle est réalisée en un matériau au moins partiellement transparent au rayonnement électromagnétique à détecter. La couche de protection présente une fonction d'arrêt de gravure, et est adaptée à assurer une protection du substrat et des couches diélectriques inter-métal lorsqu'elles sont réalisées en un matériau minéral vis-à-vis 5 d'une attaque chimique, par exemple une attaque chimique en milieu acide HF (acide fluorhydrique) mise en oeuvre ultérieurement pour graver la couche sacrificielle minérale utilisée lors de la réalisation de la membrane absorbante. Cette couche de protection forme ainsi une couche hermétique et chimiquement inerte. Elle est électriquement isolante pour éviter tout court-circuit entre les portions de 10 ligne métallique. Elle peut ainsi être réalisée en alumine A1203, voire en nitrure ou fluorure d'aluminium. Elle peut présenter une épaisseur comprise entre quelques dizaines et quelques centaines de nanomètres, par exemple comprise entre ronm et 50onm, de préférence comprise entre ronm et 3onm. [0032] Le microbolomètre 10 comporte une membrane absorbante 11 intégrant un 15 matériau sensible 15 à base d'oxyde de vanadium V0x, suspendue au-dessus du substrat 2 par des piliers d'ancrage 12 et des bras d'isolation thermique 13. Les piliers d'ancrage 12 sont électriquement conducteurs, et traversent localement la couche de protection pour assurer un contact électrique avec le circuit électronique. La membrane absorbante 11 est espacée du substrat 2, et en particulier de la couche 20 réflectrice 14, d'une distance non nulle. Cette distance est de préférence ajustée de manière à former une cavité quart d'onde optimisant l'absorption du rayonnement électromagnétique à détecter par la membrane suspendue il. [0033] Comme l'illustre la fig.1B, la membrane absorbante 11 peut comporter une couche inférieure de support 20 réalisée en un matériau électriquement isolant sur 25 laquelle reposent deux électrodes 21.1, 21.2 distinctes l'une de l'autre, réalisées par exemple en TiN qui présente une forte absorption du rayonnement infrarouge. Une couche mince du matériau sensible 15 repose sur la couche support 20 et vient au contact de chacune des deux électrodes 21.1, 21.2. Le matériau sensible 15 est ici recouvert d'une couche de protection 22, réalisée par exemple en un nitrure de 30 silicium SiN ou un oxyde de silicium SiO, laquelle permet d'éviter toute contamination ultérieure du matériau sensible 15. Cet exemple est donné à titre purement illustratif et d'autres agencements des électrodes et du matériau sensible sont possibles. 8 [0034] Par ailleurs, le microbolomètre 10 peut être situé dans une cavité hermétique définie par une structure d'encapsulation (non représentée), comme le décrit notamment la publication de Dumont et al. intitulé Current progress on pixel level packaging for uncooled IRFPA, SPIE Proceedings Vol.8353 (2012). La structure 5 d'encapsulation peut être formée d'un empilement de différentes couches minces, telles qu'une couche d'encapsulation par exemple réalisée en silicium amorphe déposé par CVD ou iPVD, recouverte d'une couche de scellement et d'antireflet, par exemple réalisée en différentes sous-couches de germanium et de sulfure de zinc, déposées par exemple par EBPVD, IBS ou autre. Une telle structure d'encapsulation 10 est notamment décrite dans la demande de brevet EP3067675. [0035] Le matériau sensible 15 est à base d'oxyde de vanadium VO,, c'est-à-dire qu'il est un composé d'oxyde de vanadium VOx comportant au moins un élément chimique additionnel choisi parmi le bore B, le carbone C, à l'exception de l'azote N. 15 Le matériau sensible 15 ne comporte donc pas d'azote : la quantité d'azote dans le matériau sensible 15 est donc nulle ou quasi-nulle, c'est-à-dire est inférieure ou égale à o,1% en proportion atomique. L'élément chimique additionnel B, C est défini comme un élément chimique ajouté volontairement au composé de base qu'est l'oxyde de vanadium. Le composé de base peut être choisi parmi le V02, le V205, le 20 V305, voire peut présenter une autre valeur du rapport stoechiométrique du nombre d'atomes d'oxygène sur le nombre d'atomes de vanadium. Comme précisé précédemment, le composé de formule chimique brute V205 comporte ici 5 atomes d'oxygène pour 2 atomes de vanadium, et le composé V305 comporte 5 atomes d'oxygène pour 3 atomes de vanadium. Le matériau sensible 15 correspond alors à 25 un composé modifié, c'est-à-dire qu'il correspond au composé de base qui a été modifié par l'addition au moins un élément chimique choisi parmi le bore B et le carbone C. Le matériau sensible 15 peut être un matériau amorphe, ou être un matériau cristallin présentant une ou plusieurs phases cristallines. Il peut également se présenter sous la forme d'un mélange d'une phase amorphe et d'une ou plusieurs 30 phases cristallines. [0036] La quantité d'élément chimique additionnel B, C, à savoir le nombre d'atomes de bore et/ou de carbone sur celui de vanadium, est choisie de manière à conférer au matériau sensible, lequel a été exposé à la température Tr pendant la durée &tr, 9 une résistivité électrique pair à température ambiante au moins égale à 50% de sa valeur native pa. Par au moins égal, on entend supérieur ou égal. La valeur native pa de la résistivité électrique est celle du matériau sensible avant qu'il ait été exposé à la température Tr pendant Atr. Le matériau sensible présente une résistivité 5 électrique à température ambiante comprise de préférence entre 1 et 2o2.cm environ, voire moins. [0037] La quantité d'élément chimique additionnel B, C est alors supérieure ou égale à une valeur dite efficace, ou quantité efficace. La quantité efficace est la quantité minimale, non nulle, de l'élément chimique additionnel B, C à partir de laquelle le 10 matériau sensible, ayant subi une étape d'exposition à la température Tr pendant la durée Atr, présente une résistivité électrique pair à température ambiante, au moins égale à 5o% de la valeur native pa dudit matériau sensible à température ambiante. La température ambiante peut être égale à 30°C. La température Tr est supérieure à la température ambiante, et est de préférence supérieure ou égale à 280°C, et de 15 préférence supérieure ou égale à 300°C. Elle peut être inférieure ou égale à 400°C. La durée Atr est de préférence supérieure ou égale à quelques minutes ou dizaines de minutes, voire à quelques heures. [0038] Autrement dit, lorsque le matériau sensible, dont la quantité de bore et/ou de carbone est supérieure ou égale à la quantité efficace, n'a pas été exposé à la 20 température Tr pendant la durée Atr, sa résistivité électrique à température ambiante présente la valeur native pa. Après exposition thermique à Tr pendant AL., le matériau sensible présente alors une résistivité électrique pair à température ambiante au moins égale à 50% de la valeur native pa. [0039] La quantité efficace dépend notamment du composé de base considéré, ainsi 25 que des valeurs choisies de la température Tr et de la durée Atr de l'exposition thermique. L'homme du métier est à même de déterminer la quantité efficace, c'est-à-dire la quantité minimale de bore et/ou de carbone, à ajouter au composé de base pour que le matériau sensible présente une résistance électrique pair à température ambiante au moins égale à 50% de la valeur native pa. La quantité efficace peut être 30 choisie, le cas échéant, de sorte que la valeur pair soit supérieure à 50%, par exemple au moins égale à 75%, voire au moins égale à 90% de la valeur native pa. [0040] La résistivité électrique à température ambiante du matériau sensible peut être déterminée par une technique de mesure conventionnelle à quatre pointes, et 10 la composition atomique du matériau sensible, et partant, la quantité de l'élément chimique additionnel, peut être notamment déterminée par NRA (Nuclear Reaction Analysis), par RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy), par SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry), par XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy), 5 en utilisant les étalons adaptés. [0041] Il est connu que la résistivité électrique à température ambiante d'un matériau sensible constitué d'oxyde de vanadium VO, peut présenter une chute de sa valeur lorsqu'il a été exposé à une température de 300°C ou de 400°C, en particulier sous atmosphère inerte (sous azote), comme le décrit la publication de 10 Venkatasubramanian et al. intitulée Correlation of temperature response and structure of annealed VO x thin films for IR detector applications, J. Vac. Sci. Technol. A 27(4), 2009, 956-961. Ainsi, un matériau sensible constitué d'oxyde de vanadium, donc sans élément chimique additionnel tel que le bore et le carbone, présente une résistivité électrique pair à température ambiante du même ordre de 15 grandeur que sa valeur native pa après exposition à une température de l'ordre de 200°C sous atmosphère inerte. Cependant, la résistivité électrique pair chute d'un ordre de grandeur, voire de plusieurs ordres de grandeur, lorsque le matériau sensible a été exposé à une température de 300°C ou de 400°C pendant lomin ou 3omin sous atmosphère inerte. 20 [0042] Cependant, les inventeurs ont constaté que l'addition, dans un matériau sensible à base d'oxyde de vanadium, d'une quantité suffisante d'au moins un élément chimique additionnel choisi parmi le bore et le carbone, permet d'améliorer, de manière surprenante, la stabilité thermique du matériau sensible lors d'une exposition thermique à des températures élevées, par exemple de l'ordre 25 de 300°C voire davantage, pendant plusieurs dizaines de minutes. [0043] Le matériau sensible à base d'oxyde de vanadium, avec addition suffisante d'un ou plusieurs des éléments chimiques additionnels mentionnés précédemment, présente alors une résistivité électrique pair à température ambiante au moins égale à 50% de la valeur native pa. La quantité suffisante de bore et/ou de carbone est une 30 quantité supérieure ou égale à la quantité efficace déterminée Un tel matériau sensible ne présente alors pas de dégradation significative de ses propriétés électriques, et notamment de dégradation de sa résistivité électrique à température ambiante, à la suite du procédé de fabrication du microbolomètre qui comporte au 11 moins une étape d'exposition du matériau sensible à Tr pendant Atr, comme des étapes de dépôt de couches minces, d'encapsulation du microbolomètre dans une cavité hermétique, voire d'activation d'un matériau getter. [0044] Un tel matériau sensible est alors particulièrement avantageux dans le cadre 5 d'un procédé de fabrication collective d'une matrice de microbolomètres d'un dispositif de détection du rayonnement électromagnétique. En effet, lors d'une étape d'exposition thermique, le champ de température peut présenter des inhomogénéités spatiales au sein d'un réacteur de dépôt de couches minces ou d'un four de recuit, ce qui peut se traduire par une dispersion des propriétés électriques 10 des microbolomètres. Ainsi, par l'utilisation du matériau sensible à quantité suffisante de bore et/ou de carbone, les microbolomètres présentent une meilleure stabilité thermique lors de l'exposition thermique à la température Tr, réduisant ainsi la dispersion des propriétés électriques des microbolomètres. [0045] Par ailleurs, le matériau sensible peut comporter en outre un métal de 15 transition appartenant à la période 4 du tableau périodique des éléments, c'est-à-dire du scandium Sc, du titane Ti, du chrome Cr, du manganèse Mn, du fer Fe, du cobalt Co, du nickel Ni, du cuivre Cu et/ou du zinc Zn. [0046] La figure 2A illustre des exemples d'évolution de la résistivité électrique pair 20 à température ambiante du matériau sensible en fonction de la température Tr d'exposition thermique, pour différentes quantités de bore ajouté. Ces exemples mettent ainsi en évidence l'augmentation de la plage de stabilité thermique que présente le matériau sensible lorsqu'il comporte une quantité suffisante de bore. [0047] Dans ces exemples, l'échantillon de matériau sensible VOx a été réalisé par 25 une technique de dépôt par pulvérisation par faisceau d'ions (IBS, pour Ion Beam Sputtering en anglais), par exemple en pulvérisant une cible de vanadium sous atmosphère oxydante à une pression partielle d'oxygène par exemple de l'ordre de rom Torr environ. Les échantillons de matériau sensible VOxBy ont été obtenus par implantation de bore dans un matériau VO x réalisé préalablement par pulvérisation 30 IBS. D'autres techniques de réalisation du matériau sensible VOxBy peuvent être utilisées. La résistivité électrique pair du matériau sensible est mesurée à température ambiante, ici à 30°C, après exposition du matériau sensible pendant 9omin à une température Tr comprise entre 230°C et 390°C. 12 [0048] Ainsi, la courbe Ci illustre l'évolution de la résistivité électrique pair en fonction de la température Tr pour un matériau sensible constitué d'oxyde de vanadium VO, ne contenant pas d'élément chimique additionnel B, C. Dans cet exemple, la valeur x de la quantité d'oxygène, à savoir le rapport du nombre 5 d'atomes d'oxygène sur celui de vanadium, est égale à 1,94. La courbe Ci montre que la résistivité électrique pair du VO x sans bore ajouté présente une transition à une température Tthi, ici de l'ordre de 250°C: en effet, jusqu'à la valeur seuil Tthi, la résistivité électrique pair est sensiblement constante et est au moins égale à 50% de la valeur native Pa, ici de l'ordre de 23fL.cm. Puis, au-delà de la valeur seuil Tthi, la 10 résistivité électrique pair diminue fortement à mesure que la température I', augmente. Elle perd ainsi environ trois ordres de grandeur après que le matériau VO x ait été exposé à 310°C pendant 9omin. [0049] Les courbes C2 à C5 illustrent l'évolution de la résistivité électrique pair en fonction de la température Tr pour un matériau sensible de type VOxBy, où la 15 quantité y de bore, à savoir le rapport du nombre d'atomes de bore sur celui de vanadium, est ici égale à 0,012 (C2), 0,024 (C3), 0,048 (C4), et 0,097 (C5), ce qui correspond respectivement à une proportion atomique de bore égale à 0,4% (C2), 0,8% (C3), 1,6% (C4) et 3,2% (C5). La quantité x d'oxygène reste identique à celle de la courbe Ci. Il apparaît que la température seuil Tth, à laquelle la résistivité 20 électrique pair est au moins égale à 50% de la valeur native pa, augmente à mesure qu'augmente la quantité y de bore dans le matériau sensible. Ainsi, elle passe de 275°C pour le VOxB0.012 et 277°C pour le VOxB0.024, à 290°C pour le VOxB0.048, et est supérieure à 370°C pour le V0030.097. [0oso] Le tableau ci-dessous rassemble les valeurs seuil Tth de température 25 d'exposition thermique en fonction des différentes valeurs y de la quantité de bore dans le matériau sensible : Quantité y de bore ajouté Température seuil Tth C5 : VOxBy avec y= 0,o97 > 370°C C4: VOxBy avec y=0,048 290°C C3: VOxBy avec y=0,024 277°C C2: VOxBy avec y= o,012 275°C Cl: VO, avec x=1,94 ; y= o 257°C [0051] Ainsi, la quantité efficace de bore pour que le matériau sensible présente au moins 50% de sa valeur native après avoir été exposé à 310°C pendant 9omin est ici 13 supérieure à 0.048 et inférieure à 0.097. Aussi, il est particulièrement avantageux que le matériau sensible à base d'oxyde de vanadium comporte une quantité y de bore au moins égale à 0.097, pour qu'il présente une stabilité thermique importante lui permettant d'être exposé à des températures allant jusqu'à 370°C pendant au 5 plus 9omin, tout en ayant ses propriétés électriques préservées. [0052] De plus, il apparaît que le matériau sensible V0x130,097 présente une variation relative de la résistivité électrique pair en fonction de la température Tr particulièrement faible, ici inférieure à o,2%/°C, lorsque la température d'exposition thermique est inférieure ou égale à sa valeur seuil Tth. Cela permet alors 10 de limiter la dispersion de propriétés électriques des microbolomètres issue d'éventuelles inhomogénéités spatiales du champ de température au sein du réacteur de dépôt ou du four de recuit. [0053] La figure 2B illustre des exemples d'évolution de la résistivité électrique pair 15 à température ambiante du matériau sensible en fonction de la température Tr d'exposition thermique, pour différentes quantités de carbone ajouté. Ces exemples mettent ainsi en évidence l'augmentation de la plage de stabilité thermique que présente le matériau sensible lorsqu'il comporte une quantité suffisante de carbone. [0054] Dans ces exemples, l'échantillon du matériau sensible VOx est obtenu de 20 manière identique à celle décrite précédemment. Les échantillons du matériau sensible V0xCz ont été obtenus de manière similaire, c'est-à-dire par implantation de carbone dans un matériau VOx obtenu préalablement par pulvérisation IBS. [0055] La courbe Cr est identique à celle décrite précédemment. Les courbes C2' à C5' illustrent l'évolution de la résistivité électrique pair en fonction de la température 25 Tr pour un matériau sensible de type V0xCz, où la quantité z de carbone, c'est-à-dire le nombre d'atomes de carbone sur celui de vanadium, est ici égale à o,008 (C2'), 0,016 (C3'), 0,033 (C4'), et 0,063 (C5'), ce qui correspond respectivement à une proportion atomique de carbone égal à 0,27% (C2'), 0,53% (C3'), 1,1% (C4') et 2,1% (C5'). La quantité x d'oxygène reste identique à celle de la courbe Ci. Il apparaît que 30 la température seuil Tth, à laquelle la résistivité électrique Pair est au moins égale à 50% de la valeur native pa, augmente à mesure qu'augmente la quantité z de carbone dans le matériau sensible. Ainsi, elle passe de 290°C pour le V0xC0,008 et 282°C pour le V0xC0,016, à 294°C pour le V0xC0,033, et à 316°C pour le V0xC0,063. 14 [0056] Le tableau ci-dessous rassemble les valeurs seuil Till de température d'exposition thermique en fonction des différentes valeurs z de la quantité de carbone contenu dans le matériau sensible : Quantité z de carbone ajouté Température seuil Tth C5' : V0xCz avec z=o,o63 316°C C4' : Vaez avec z=0,033 294°C C3' : V0xCz avec z=0,016 282°C C2' : V0xC2 avec z=0,008 290°C Ci: VO, avec x=1,94 ; z=o 257°C [0057] Ainsi, la quantité efficace de carbone pour que le matériau sensible présente 5 au moins 50% de sa valeur native après avoir été exposé à 310°C pendant 90min est ici supérieure à 0,033 et inférieure à 0,063. Aussi, il est particulièrement avantageux que le matériau sensible à base d'oxyde de vanadium comporte au moins une quantité z de carbone au moins égale à 0,063, pour qu'il présente une stabilité thermique importante lui permettant d'être exposé à des températures au plus 10 égales à 316°C pendant au plus 9omin, tout en ayant ses propriétés électriques préservées. [0058] De plus, il apparaît que le matériau sensible V0xC0,063 présente une variation relative de la résistivité électrique pair en fonction de la température Tr particulièrement faible, ici inférieure à 1,2%/°C, lorsque la température d'exposition 15 thermique est inférieure ou égale à sa valeur seuil Tth. Cela permet alors de limiter la dispersion de propriétés électriques des microbolomètres issue d'éventuelles inhomogénéités spatiales du champ de température au sein du réacteur de dépôt ou du four de recuit. 20 [0059] Ainsi, un aspect de l'invention porte sur un procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre 10, et de manière avantageuse, sur un procédé de fabrication collective d'une matrice de bolomètres 10 d'un dispositif de détection 1. [0oso] Le procédé de fabrication comporte au moins une étape au cours de laquelle le matériau sensible 15 des microbolomètres 10 est soumis à une température Tr 25 pendant la durée Atr. [0061] Le procédé de fabrication comporte alors une étape préalable de détermination de la valeur efficace de quantité d'au moins un élément chimique 15 additionnel choisi parmi le bore et le carbone à partir de laquelle le matériau sensible 15, ayant subi une exposition à la température Tr pendant la durée Atr, présente une résistivité électrique pair à température ambiante, au moins égale à 50% de sa valeur native pa. 5 [0062] Lors d'une étape de réalisation de la membrane absorbante, le matériau sensible 15 est déposé en couche mince sur la couche support 20, laquelle repose sur une couche sacrificielle. Il comporte une quantité suffisante d'au moins l'un desdits éléments chimiques additionnels B, C, c'est-à-dire une quantité de bore et/ou de carbone supérieure ou égale à la valeur efficace déterminée. Il peut présenter une 10 épaisseur de l'ordre de quelques dizaines à quelques centaines de nanomètres, par exemple comprise entre ronm et 5 oonm, par exemple égale à 8onm. [0063] Le matériau sensible 15 peut être obtenu par implantation ionique d'au moins l'un des éléments chimiques additionnels B, C dans une couche mince du composé de base (oxyde de vanadium VOX) préalablement déposée. L'atmosphère est 15 oxydante lors de la réalisation de la couche mince de VO, et la pression partielle d'oxygène peut être de l'ordre de 10-5 à 10-4 Torr environ, par exemple égale à 6.10-5 Torr, selon la valeur native souhaitée de la résistivité électrique du matériau sensible. La valeur de la pression partielle d'oxygène ainsi que la teneur en élément chimique additionnel de la cible peuvent être issues de courbes d'étalonnage 20 préalablement obtenues. D'autres techniques de réalisation peuvent être utilisées, telles que le dépôt ALD (Atomie Layer Deposition), ou le dépôt du matériau sensible par pulvérisation cathodique en mode réactif avec une cible métallique ou en oxyde de vanadium, suivie d'une implantation de l'élément chimique additionnel. [0064] Il est possible de recouvrir ensuite le composé de base de la couche de 25 protection en nitrure de silicium, d'une épaisseur par exemple de ronm déposée par PECVD. L'addition de l'élément chimique, par exemple le bore, peut ensuite être effectuée en réalisant plusieurs implantations successives. Ainsi, pour une couche mince du composé de base VOx de 8onm d'épaisseur recouverte de la couche de protection de SiN de ronm d'épaisseur, trois implantations successives de bore 30 peuvent être effectuées, à partir de doses de l'ordre de 1016 at/cm2 et pour des énergies d'implantations de l'ordre de la dizaine à quelques dizaines de KeV. D'autres techniques de réalisation du matériau sensible peuvent être utilisées, voire d'autres variantes des techniques de dépôt mentionnées précédemment. Ainsi, pour 16 l'addition de carbone, il est possible de pulvériser une cible contenant uniquement du vanadium, sous atmosphère oxydante contenant du CO ou du CO2. [0065] Le procédé de fabrication comporte ensuite au moins une étape à laquelle le matériau sensible est exposé à une température supérieure à la température 5 ambiante, et inférieure ou égale à Ti. pendant une durée inférieure ou égale à At. La température d'exposition peut être égale à Tr et être comprise entre 300°C et 400°C, et la durée peut être égale à Atr et être de l'ordre de quelques minutes à quelques heures. Cette étape d'exposition thermique peut être effectuée sous atmosphère inerte ou sous vide. 10 [0066] Il peut ainsi s'agir du dépôt de la couche mince de protection 22 en nitrure de silicium par PECVD, le dépôt d'au moins l'une des couches minces formant la structure d'encapsulation qui définit la cavité hermétique, l'élimination de la couche sacrificielle ou des couches sacrificielles utilisées pour réaliser la membrane suspendue ou la structure d'encapsulation, voire l'activation d'un matériau getter 15 disposé dans ladite cavité hermétique. [0067] Des modes de réalisation particuliers viennent d'être décrits. Différentes variantes et modifications apparaîtront à l'homme REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'au moins un microbolomètre (io) comportant un matériau sensible (15) à base d'oxyde de vanadium (V0,) comportant au moins un 5 élément chimique additionnel choisi parmi le bore (B), le carbone (C), à l'exception de l'azote (N), comportant les étapes suivantes : j. détermination d'une quantité dite efficace non nulle de l'élément chimique additionnel (B, C) à partir de laquelle le matériau sensible (15), ayant subi une étape d'exposition à une température Tr pendant une durée Atr 10 prédéterminées, présente une résistivité électrique pair à température ambiante, supérieure ou égale à 50% de la valeur native pa dudit matériau sensible (15) à température ambiante ; ii. réalisation du matériau sensible (15) en couche mince ayant une quantité de l'élément chimique additionnel (B, C) supérieure ou égale à la quantité efficace 15 préalablement déterminée ; iii. exposition du matériau sensible (15) à une température supérieure à la température ambiante et inférieure ou égale à Tr pendant une durée inférieure ou égale Atr. 2. Procédé de fabrication selon la revendication 1, dans lequel l'étape iii 20 d'exposition du matériau sensible (15) comprend une étape de dépôt d'une couche de protection (22) recouvrant le matériau sensible. 3. Procédé de fabrication selon la revendication i ou 2, dans lequel l'étape iii d'exposition du matériau sensible (15) comprend une étape de dépôt d'une couche d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter 25 destinée à définir une cavité dans laquelle est situé le microbolomètre. 4. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la température Tr est supérieure ou égale à 280°C. 5. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel la durée Atr est supérieure ou égale à 9 omin. 18 6. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel, lors de l'étape iii), l'étape d'exposition est effectuée à la température Tr pendant la durée Atr. 7. Microbolomètre (10) comportant un matériau sensible (15) à base d'oxyde de 5 vanadium (VO), ledit matériau sensible (15) comportant au moins un élément chimique additionnel choisi parmi le bore (B) et le carbone (C), à l'exception de l'azote (N), dont la quantité est supérieure ou égale à une quantité dite efficace conférant au matériau sensible (15) une valeur pair de résistivité électrique à température ambiante, après exposition à une température de 280°C pendant 10 9omin, au moins égale à 50% de la valeur native pa dudit matériau sensible (15) à température ambiante. 8. Microbolomètre (10) selon la revendication 7, dans lequel le matériau sensible (15) comporte une quantité de bore, définie comme le rapport du nombre d'atomes de bore sur celui de vanadium, au moins égale à 0,097. 15 9. Microbolomètre (10) selon la revendication 7 ou 8, dans lequel le matériau sensible (15) comporte une quantité de carbone, définie comme le rapport du nombre d'atomes de carbone sur celui de vanadium, au moins égale à 0,063. 10. Dispositif de détection (1) d'un rayonnement électromagnétique, comportant une matrice de microbolomètres selon l'une quelconque des revendications 7â 9. 20 11. Dispositif de détection (I) selon la revendication io, chaque microbolomètre (10) étant disposé dans une cavité hermétique distincte délimitée par une structure d'encapsulation transparente au rayonnement électromagnétique à détecter, la structure d'encapsulation comportant au moins une couche réalisée en silicium amorphe. 25 12. Dispositif de détection (1) selon la revendication io ou 11, chaque matériau sensible (15) étant recouvert par une couche de protection (22) en nitrure de silicium.