FR 3085541 A1 20200306 FR 1857694 A 20180828 7244 1 DESCRIPTION TITRE : PIXEL A OBTURATEUR GLOBAL EN MODE DE TENSION Domaine de l'invention [0001] La présente description concerne de façon générale le domaine des capteurs d'image, et en particulier un 5 circuit de pixel d'un capteur d'image et son procédé de fabrication. Exposé de l'art antérieur [0002] Les capteurs d'image capables de réaliser un fonctionnement à obturateur global comprennent en général des 10 circuits de pixels qui mémorisent localement un ou plusieurs signaux capturés par une ou plusieurs photodiodes jusqu'à ce que les signaux puissent être lus. La mémorisation desdits un ou plusieurs signaux dans chaque circuit de pixel peut en général être obtenue en utilisant soit un mode de tension soit un mode de 15 charge. Dans le mode de charge, les signaux capturés sont représentés par des quantités de charge stockées sur des condensateurs dans chaque circuit de pixel. Dans le mode de tension, les signaux capturés sont représentés par des tensions présentes aux bornes de condensateurs dans chaque circuit de 20 pixel. La mémorisation en mode de tension présente des avantages en ce qui concerne la dynamique du signal et la sensibilité à la lumière parasite. [0003] La non-uniformité de la photo-réponse (PRNU) dans une matrice de pixels est une mesure de la non-uniformité non 25 souhaitable entre les pixels d'un capteur d'image, et en particulier de la non-uniformité du gain entre la puissance optique reçue et la tension de sortie résultante générée par un chemin de lecture de chaque pixel. Par exemple, le PRNU peut être calculé comme étant l'écart type du gain, exprimé sous forme d'un 317244 2 pourcentage par rapport à la plage dynamique totale du signal de sortie des pixels. [0004] Il serait souhaitable de prévoir un capteur d'image comprenant des pixels en mode de tension ayant des chemins 5 de lecture ayant un PRNU relativement faible. Résumé de l'invention [0005] Un objet de modes de réalisation de la présente description est de répondre au moins partiellement à un ou plusieurs problèmes de l'art antérieur. 10 [0006] Selon un aspect, on prévoit un circuit de lecture de pixel comprenant un condensateur de fixation de niveau ayant une première borne couplée à un noeud de sortie d'un circuit de pixel ; un premier chemin de lecture comprenant un premier transistor de sélection et un premier condensateur de lecture pour 15 mémoriser un premier niveau de tension capturé par le circuit de pixel ; un deuxième chemin de lecture comprenant un deuxième transistor de sélection et un deuxième condensateur de lecture pour mémoriser un deuxième niveau de tension capturé par le circuit de pixel ; et un transistor à source suiveuse ayant son 20 noeud de commande couplé à une deuxième borne du condensateur de fixation de niveau, un premier de ses noeuds de conduction principaux couplé à un premier rail de tension d'alimentation, et un deuxième de ses noeuds de conduction principaux couplé aux premier et deuxième chemins de lecture. 25 [0007] Selon un mode de réalisation, le circuit de lecture de pixel comprend en outre un troisième transistor couplant la deuxième borne du condensateur de fixation de niveau à un deuxième rail de tension d'alimentation. [0008] Selon un mode de réalisation, le circuit de 30 lecture de pixel comprend en outre une source de courant couplée entre le deuxième noeud de conduction principal du transistor à source suiveuse et le deuxième rail de tension d'alimentation. [0009] Selon un mode de réalisation, le condensateur de fixation de niveau est d'un premier type, et chacun des premier 317244 3 et deuxième condensateurs de lecture est d'un deuxième type différent du premier type. [0010] Selon un mode de réalisation, le condensateur de fixation de niveau est un condensateur métal-isolant métal. [0011] Selon un mode de réalisation, les premier et deuxième condensateurs de lecture sont des condensateurs à tranchées capacitives. [0012] Selon un mode de réalisation, le premier chemin de lecture comprend en outre un transistor à source suiveuse ayant son noeud de commande couplé à un premier noeud de mémorisation connecté à une première borne du premier condensateur de lecture, le transistor à source suiveuse du premier chemin de lecture ayant l'un de ses noeuds de conduction principaux couplé à une ligne de colonne par l'intermédiaire d'un premier transistor de lecture ; et le deuxième chemin de lecture comprend en outre un transistor à source suiveuse ayant son noeud de commande couplé à un deuxième noeud de mémorisation connecté à une première borne du deuxième condensateur de lecture, le transistor à source suiveuse du deuxième chemin de lecture ayant l'un de ses noeuds de conduction principaux couplé à la ligne de colonne par l'intermédiaire d'un deuxième transistor de lecture. [0013] Selon un mode de réalisation, le circuit de lecture de pixel comprend en outre un ou plusieurs autres chemins de lecture couplés au deuxième noeud de conduction principal du 25 transistor à source suiveuse. [0014] Selon un autre aspect, on prévoit un capteur d'image comprenant un premier niveau comprenant une matrice de circuits de pixels agencée pour fonctionner dans un mode d'obturateur global, et un deuxième niveau comprenant, pour chaque 30 circuit de pixel, au moins une partie du circuit de lecture de pixel susmentionné. [0015] Selon un mode de réalisation, le deuxième niveau comprend, pour chaque circuit de pixel, le circuit de lecture de pixel susmentionné, chaque circuit de lecture de pixel étant 35 couplé au noeud de sortie de l'un correspondant des circuits de B17244 4 pixels par l'intermédiaire d'une connexion inter-niveau correspondante. [0016] Selon un mode de réalisation, les premier et deuxième condensateurs de lecture font partie du premier niveau, 5 le premier condensateur de lecture étant couplé à une partie d'un circuit de lecture correspondant par l'intermédiaire d'une première connexion inter-niveau et le deuxième condensateur de lecture étant couplé à une partie d'un circuit de lecture correspondant par l'intermédiaire d'une deuxième connexion inter-10 niveau. [0017] Selon un mode de réalisation, le deuxième niveau comprend en outre un autre transistor à source suiveuse ayant sa grille couplée au noeud de lecture du circuit de pixel et l'une de ses bornes de conduction principales couplée à la première borne 15 du condensateur de fixation de niveau. [0018] Selon un autre aspect, on prévoit un procédé de lecture d'une valeur de pixel en utilisant un circuit de lecture de pixel, le procédé comprenant : contrôler un premier transistor de sélection d'un premier chemin de lecture du circuit de lecture 20 de pixel pour coupler un noeud de lecture d'un circuit de pixel à un premier condensateur de lecture du premier chemin de lecture par l'intermédiaire d'un condensateur de fixation de niveau et par l'intermédiaire d'un transistor à source suiveuse ayant son noeud de commande couplé à une borne du condensateur de fixation de niveau ; et contrôler un deuxième transistor de sélection d'un deuxième chemin de lecture du circuit de lecture de pixel pour coupler un noeud de lecture du circuit de pixel à un deuxième condensateur de lecture du deuxième chemin de lecture par l'intermédiaire du condensateur de fixation de niveau et du transistor à source suiveuse. Brève description des dessins [0019] Les caractéristiques et avantages susmentionnés aussi bien que d'autres seront décrits en détail dans la description détaillée suivante de modes de réalisation, donnés à 317244 5 titre d'illustration et non de limitation, en faisant référence aux dessins joints dans lesquels : [0020] [Figure 1] La figure 1 est un schéma de circuit illustrant un exemple d'une partie d'un capteur d'image ; 5 [0021] [Figure 2] La figure 2 est un chronogramme représentant un exemple de signaux dans le circuit de la figure 1 ; [0022] [Figure 3] La figure 3 est un schéma d'un circuit de lecture de pixels d'un capteur d'image selon un exemple de 10 réalisation de la présente description ; [0023] [Figure 4] La figure 4 est un schéma de circuit d'un rapport de condensateurs dans le circuit de la figure 1 ; [0024] [Figure 5] La figure 5 est un schéma de circuit d'un rapport de condensateurs dans le circuit de la figure 3 ; 15 [0025] [Figure 6] La figure 6 est une vue en coupe d'un condensateur de fixation de niveau et d'une partie du circuit de lecture de la figure 3 selon un exemple de réalisation ; [0026] [Figure 7] La figure 7 est un schéma de circuit illustrant une partie d'un capteur d'image selon un exemple de 20 réalisation de la présente description ; [0027] [Figure 8] La figure 8 est une vue en coupe d'un pixel d'un capteur d'image ; et [0028] [Figure 9] La figure 9 est un graphique représentant un exemple de mesures de gain dans les circuits des 25 figures 1 et 3. Description détaillée [0029] Des éléments similaires ont été désignés par des références similaires dans les diverses figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels qui sont communs dans 30 les divers modes de réalisation peuvent avoir les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. [0030] Sauf mention contraire, lorsqu'il est fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie qu'il 35 y a une connexion directe sans éléments intermédiaires autres que 317244 6 des conducteurs, et lorsqu'il est fait référence à deux éléments reliés ou couplés entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés directement, ou peuvent être connectés par l'intermédiaire d'un ou plusieurs autres éléments. 5 [0031] Dans la description suivante, sauf mention contraire, lorsqu'il est fait référence à des qualificatifs de position absolue, comme les termes "avant", "arrière", "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou à des qualificatifs de position relative, comme les termes "au-dessus", "en dessous", 10 "supérieur", "inférieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, comme "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence à l'orientation représentée dans les figures. [0032] Sauf mention contraire, les expressions "autour de", "approximativement", "sensiblement" et "de l'ordre de" 15 signifient à 10 ; près, et de préférence à 5 ; près. [0033] La figure 1 est un schéma de circuit d'une partie d'un capteur d'image selon un exemple. [0034] Dans l'exemple de la figure 1, le capteur d'image est mis en oeuvre dans deux niveaux T1 et T2 d'un circuit 3D. Le 20 niveau T1, qui est par exemple un niveau supérieur du capteur d'image, comprend une matrice de circuits de pixels 100, dont l'un est représenté en figure 1. Le niveau T2, qui est par exemple un niveau inférieur du capteur d'image, comprend par exemple une matrice de circuits de lecture 102, dont l'un est représenté en 25 figure 1, un circuit de lecture 102 étant prévu pour chaque circuit de pixel 100. [0035] Le circuit de pixel 100 dans l'exemple de la figure 1 comprend quatre photodiodes PD1, PD2, PD3 et PD4, ces photodiodes étant par exemple des photodiodes pincées (de 30 l'anglais "pinned photodiode") ayant leur anode couplée à un rail de masse (GND), et leur cathode couplée à un noeud de détection correspondant DN1, DN2, DN3, DN4. Chacun des noeuds de détection a une capacité, représentée par des condensateurs C PD1, C PD2, C PD3 et C PD4 respectivement, qui peuvent correspondre à des B17244 7 capacités parasites et/ou à des condensateurs effectifs formés au niveau de ces noeuds. [0036] Les noeuds de détection DN1 à DN4 sont couplés respectivement à un noeud de lecture SN du circuit de pixel 100 5 par l'intermédiaire de portes de transfert Tgl, Tg2, Tg3 et Tg4, contrôlées respectivement par des signaux de porte de transfert TG1, TG2, TG3 et TG4. [0037] Bien sûr, bien qu'il soit prévu en figure 1 un exemple de circuit de pixel comportant quatre photodiodes, dans 10 des variantes de réalisation il pourrait y avoir une pluralité quelconque de photodiodes, chacune couplée au noeud de lecture ON par l'intermédiaire d'une porte de transfert correspondante. [0038] Le noeud de lecture ON comporte par exemple une capacité représentée par un condensateur C SN, qui résulte par 15 exemple de capacités parasites ou pourrait être mis en oeuvre par un condensateur couplé entre le noeud de lecture ON et le rail de masse. [0039] Le noeud de lecture SN est par exemple couplé à un rail de tension de réinitialisation VRST par l'intermédiaire 20 d'un transistor de réinitialisation 104 contrôlé par un signal de réinitialisation RST. Le noeud de lecture SN est en outre couplé au noeud de commande d'un transistor à source suiveuse 106, ayant ses noeuds de conduction principaux couplés respectivement à un rail de tension d'alimentation VSF et à un noeud de sortie 108 du 25 circuit de pixel 100. Dans certains modes de réalisation, le transistor à source suiveuse 106 est polarisé par un transistor 110 contrôlé par un signal BIAS et couplé entre le noeud de sortie 108 et le rail de masse. [0040] Le noeud de sortie 108 est par exemple couplé au 30 circuit de lecture correspondant 102 par l'intermédiaire d'une connexion inter-niveau 3D 112, qui est par exemple un via ou une connexion à liaison hybride Cu-Cu. [0041] Le niveau T1 comprend en outre par exemple un circuit de commande (CTRL) 113 générant les signaux de commande 35 TG1 à TG4, RST et BIAS. B17244 8 [0042] Le circuit de lecture 102 comprend par exemple un condensateur de fixation de niveau 114 ayant l'une de ses bornes couplée au noeud de sortie 108 du circuit de pixel 100 par l'intermédiaire de la connexion inter-niveau 112, et son autre 5 borne couplée à un noeud commun 116 du circuit de lecture. Le noeud commun 116 est par exemple couplé à un rail de tension de référence VREF par l'intermédiaire d'un transistor 118, contrôlé au niveau de son noeud de commande par un signal CLAMP. Le noeud commun 116 est en outre couplé à quatre chemins de lecture R01, R02, R03 et 10 R04. De manière plus générale, le nombre de chemins de lecture est par exemple égal au nombre de photodiodes dans le circuit de pixel 100. [0043] Chaque chemin de lecture R01 à R04 comprend par exemple respectivement un transistor de sélection TS1 à T54 15 couplant le noeud commun 116 à un noeud de mémorisation STN1 à STN4 de chaque chemin de lecture R01 à R04 respectivement, les transistors TS1 à TS4 étant contrôlés respectivement par des signaux de commande SH1 à SH4. Chaque noeud de mémorisation STN1 à STN4 a une capacité assurée par un condensateur de lecture 20 respectif C SHI à C SH4, chaque condensateur de lecture ayant par exemple l'une de ses bornes couplée à la masse. Les noeuds de mémorisation STN1 à STN4 sont en outre couplés à des bornes de commande de transistors à source suiveuse SF1 à SF4 des chemins de lecture RO1 à R04, respectivement. Les transistors SF1 à SF4 25 ont chacun l'un de leurs noeuds de conduction principaux couplé à un rail de tension d'alimentation VDD, et leur autre noeud de conduction principal couplé, par l'intermédiaire d'un transistor de lecture correspondant TR1 à TR4 des chemins de lecture RO1 a R04, à une ligne de colonne de sortie COL n, ou n est le numéro 30 de colonne, avec par exemple deux ou plusieurs colonnes dans la matrice. La ligne de colonne COL n fournit un signal de tension de sortie Vx. Les transistors de lecture TR1 à TR4 sont contrôlés par des signaux de commande RD1 à RD4 respectivement. [0044] Bien que cela ne soit pas illustré en figure 1, 35 le circuit de lecture 102 peut en outre comprendre un circuit de 317244 9 commande pour générer des signaux de commande CLAMP, SH1 à SH4 et RD1 à RD4. [0045] Les transistors du circuit de pixel 100 et du circuit de lecture 102 sont par exemple tous des transistors NMOS. 5 Toutefois, dans des variantes de réalisation, il serait également possible de mettre en oeuvre le circuit de pixel et/ou le circuit de lecture 102 en utilisant seulement des transistors WOS, ou un mélange de transistors NMOS et PMOS. [0046] L'avantage de positionner le condensateur de 10 fixation de niveau 114 entre le circuit de pixel 100 et le circuit de lecture 102 est qu'il peut être utilisé afin de réaliser un double échantillonnage du circuit de pixel, connu aussi dans la technique sous le nom d'échantillonnage double corrélé, comme cela apparaîtra clairement dans la description suivante du fonction- 15 nement du circuit de pixel 100 et du circuit de lecture 102 faite en référence à la figure 2. [0047] La figure 2 est un chronogramme illustrant des exemples des signaux de la figure 1 TG1, RST, Vpx au niveau du noeud de sortie 108, CLAMP, SH1 et Vshl au niveau du noeud STN1 20 selon un exemple de réalisation. [0048] Les signaux TG1, RST et CLAMP sont initialement à l'état haut, ce qui provoque la réinitialisation du noeud de détection DN1 à la tension de réinitialisation du rail d'alimentation VRST et amène les noeuds 108 et 116 à des tensions 25 hautes. Une période d'intégration Mil démarre à un instant t1 lorsque le signal TG1 passe à l'état bas, isolant le noeud de détection DN1 du noeud de lecture SN1. [0049] À un instant t2, le signal de réinitialisation RST passe à l'état bas, ce qui provoque, en raison d'un couplage 30 capacitif, une légère chute de la tension Vpx à un niveau VBLK correspondant à une tension de référence du noeud de lecture SN. Cela correspond par conséquent à un échantillonnage du niveau de référence du noeud de lecture SN. Le noeud 116 étant couplé à la tension VREF via le transistor 118, le condensateur 114 est chargé à une tension VBLK-VREF. 317244 10 [0050] À un instant t3, le signal SH1 passe à l'état haut, ce qui amène la tension Vshl sur le noeud STN1 à être mise à la tension de référence VREF. [0051] À un instant t4, le signal CLAMP passe à l'état 5 bas, et le signal TG1 passe à l'état haut peu de temps après pour lancer une phase de transfert TRSF1, ce qui provoque le transfert de la charge au niveau du noeud DN1 vers le noeud de lecture SN. Cela provoque une diminution de la tension au niveau du noeud de lecture SN, et provoque aussi une chute correspondante de la 10 tension Vpx au niveau du noeud de sortie 108, et une chute correspondante de la tension au niveau du noeud commun 116 et une chute correspondante de la tension Vshl au niveau du noeud de mémorisation STN1. Cela correspond à un deuxième échantillonnage du noeud de lecture SN, cette fois après que le signal de tension 15 capturé a été transféré vers le noeud de lecture. Ainsi le noeud 108 tombe à un niveau VSIG, et le noeud STN1 tombe à un niveau V1. Puisque le condensateur 114 était précédemment chargé à VBLK-VREF et le condensateur d'échantillonnage C SH1 chargé à VREF, la tension résultante V1 présente sur le noeud de mémorisation STN1 20 est égale à VREF moins la différence entre les tensions VBLK et VSIG, atténuée par le rapport de capacités ACL. Ainsi la tension V1 est par exemple égale à VREF-(VSIG-VELK)*ACL, où le rapport de capacités ACL est par exemple égal à C CL/(C CL+C SH1), où C CL est la capacité du condensateur 114. 25 [0052] À un instant t5, le signal TG1 passe de nouveau à l'état bas. À un instant t6, les signaux RST et CLAMP sont amenés à l'état haut. À un instant t7 le signal SH1 est amené à l'état bas, de sorte que la tension V1 est mémorisée au niveau du noeud de mémorisation STN1. La séquence de lecture entre les 30 instants t2 et t7 est ensuite par exemple répétée pour la photodiode PD2, et de nouveau pour la photodiode PD3 et puis encore pour la photodiode PD4. Les périodes d'intégration pour les photodiodes PD2, PD3 et PD4 commencent chacune par exemple avec un décalage choisi de telle façon que les périodes 35 d'intégration pour chacune des photodiodes du circuit de pixel B17244 11 aient sensiblement la même durée. La tension V1 mémorisée au niveau de chacun des noeuds de mémorisation STN1 à STN4 est ensuite par exemple lue séquentiellement par l'intermédiaire de la ligne de colonne commune COL n et des transistors à sources suiveuses 5 SF1 à SF4, chacun activé par son transistor de lecture respectif TR1 à TR4. Une double lecture classique peut être réalisée afin de soustraire "VREF de Vl. La deuxième opération de lecture est par exemple utilisée pour obtenir VREF en activant le signal CLAMP et le signal respectif SH1 à SH4. Ainsi on mesure : 10 [0053] VREF-V1=VREF-(VREF-(VSIG-"VELK)*ACL)=(VSIG-VBLK)*ACL [0054] On notera que même si l'intégration dans chaque circuit de pixel 100 et la lecture par chaque circuit de lecture 102 correspond à un type de fonctionnement d'obturateur en 15 rouleau, l'intervalle de temps entre les lectures de chaque pixel va être très court. En outre, les périodes d'intégration pour la photodiode PD1 de chaque circuit de pixel 100 de la matrice sont par exemple synchronisées entre elles, et de même pour les photodiodes PD2, pour les photodiodes PD3 et pour les photodiodes 20 PD4. Ainsi, le fonctionnement correspond à celui d'un obturateur global. [0055] Le présent inventeur a trouvé que le circuit de lecture 102 de la figure 1 amène un PRNU relativement élevé, par exemple supérieur à 1 pourcent, résultant des variations de 25 processus entre le condensateur 114 et chacun des condensateurs C SHI à C SH4. Ce problème est particulièrement notable lorsque le condensateur 114 est d'un type différent de celui des condensateurs C SH1 à C SH4. En effet, dans un tel cas, les variations de processus de fabrication entre les condensateurs 30 vont être non corrélées. Étant donné que le condensateur 114 devra généralement être choisi considérablement supérieur à chacun des condensateurs C SHI à C SH4 afin d'obtenir un facteur d'atténuation ACL relativement élevé, il serait souhaitable que le condensateur 114 soit un condensateur MIM (métal-isolant- 35 métal), alors que les condensateurs C SHI à C SH4 sont par exemple B17244 12 mis en oeuvre par la grille de transistors MOS ayant leurs sources et leurs drains connectés entre eux, ou par des condensateurs à tranchées capacitives comme cela est décrit plus en détail ci-après. Ainsi le rapport entre la capacité du condensateur 114 et 5 celle de chacun des condensateurs C SH1 à C SH4 va être variable, ce qui conduit à un gain de pixel à pixel non uniforme dans un même circuit de lecture. [0056] La figure 3 est un schéma d'un circuit de lecture 300 selon un exemple de réalisation de la présente description. 10 Ce circuit de lecture 300 remplace par exemple le circuit de lecture 102 de la figure 1, et est par exemple mis en oeuvre dans une matrice d'un niveau T2 d'un capteur d'image, comme le circuit 102. Un avantage de mettre en oeuvre le capteur d'image sur deux niveaux est que la technologie de transistors utilisée dans chaque 15 niveau peut être différente. Par exemple, les circuits de pixels 100 (non représentés en figure 3) peuvent être mis en oeuvre dans la technologie de transistors connue dans la technique sous le nom de 002, appelée aussi "à oxyde épais", en raison des oxydes de grille plus épais des transistors par rapport à ceux du niveau 20 T2. La technologie GO2 est compatible avec des tensions d'alimentation relativement élevées couramment utilisées pour des technologies de photodiodes pincées, par exemple jusqu'à sensiblement 3 V. Grâce à la présence du condensateur en série 114, les circuits de lecture 300 peuvent être mis en oeuvre dans 25 la technologie de transistors connue dans la technique sous le nom de G01, qui est compatible avec des tensions d'alimentation relativement faibles par exemple jusqu'à sensiblement 1,2 V. Dans des variantes de réalisation, le circuit de lecture 300 pourrait être mis en oeuvre dans un capteur d'image 2D ou à un seul niveau. 30 [0057] Le circuit de lecture 300 comporte de nombreux éléments communs avec le circuit de lecture 102 de la figure 1, et ces éléments portent les mêmes références numériques et ne seront pas décrits de nouveau en détail. Par rapport au circuit de lecture 102, le circuit 300 comprend en plus un autre transistor 35 302 ayant son noeud de commande couplé à un noeud 304, qui à son D17244 13 tour est connecté à une borne du condensateur de fixation de niveau 114. Le transistor 302 est couplé par ses noeuds de conduction principaux entre le rail d'alimentation VDD et le noeud commun 116. Dans certains modes de réalisation, une source de 5 courant, par exemple mise en oeuvre par un autre transistor 306, est couplée entre le noeud 116 et le rail de masse, et contrôlée par une tension de polarisation BIAS'. Cette tension amène par exemple le transistor 306 à laisser passer un courant qui sature le transistor 302 et ainsi amène le transistor 302 à fonctionner 10 dans sa région de fonctionnement linéaire. [0058] Dans l'exemple de la figure 3, les transistors du circuit de lecture 300 sont tous des transistors NMOS. De facon plus générale, chacun des transistors du circuit de lecture 300 pourrait être mis en oeuvre par un transistor NMOS ou un transistor 15 FMOS, exceptés les transistors 302 et 306, qui sont par exemple tous les deux mis en oeuvre par des transistors NMOS, ou tous les deux mis en oeuvre par des transistors PMOS. [0059] Un circuit de commande (CTRL) 308 génère par exemple le signal CLAMP, les signaux de commande SH1 à SH4 et RD1 20 à RD4, et le signal de polarisation BIAS', ces signaux étant par exemple communs pour une rangée de circuits de lecture. [0060] Le fonctionnement du circuit de lecture 300 est par exemple similaire à celui du circuit de lecture 102 décrit précédemment, et le chronogramme de la figure 2 s'applique par 25 exemple également au circuit de la figure 3. [0061] En particulier, un procédé de lecture d'une valeur de pixel utilisant le circuit de lecture de pixel 300 implique par exemple les opérations suivantes : - mémorisation d'un premier niveau de tension capturé 30 par le circuit de pixel sur le condensateur de lecture C SH1 par l'intermédiaire du condensateur de fixation de niveau 114, du transistor 302 et du transistor de sélection TS1 du chemin de lecture R01 ; et - mémorisation d'un deuxième niveau de tension capturé 35 par le circuit de pixel sur le condensateur de lecture C SH2 par B17244 14 l'intermédiaire du condensateur de fixation de niveau 114, du transistor 302 et du transistor de sélection TS2 du chemin de lecture R02. [0062] Un avantage de prévoir le transistor 302 dans une 5 configuration à source suiveuse entre le condensateur de fixation de niveau 114 et le noeud commun 116 est que cela amène une amélioration significative du PRNU, comme on va le décrire maintenant en faisant référence aux figures 4 et 5. [0063] La figure 4 est un schéma de circuit d'un rapport 10 de condensateurs dans le circuit de la figure 1 entre le condensateur de fixation de niveau 114 et le condensateur de lecture C SH1. Si on appelle C CL la capacité du condensateur 114 et C SH la capacité du condensateur C SH1, le gain est égal à C CL/(C CL+C SH). 15 [0064] La figure 5 est un schéma de circuit d'un rapport de condensateurs dans le circuit de la figure 3. Le gain de ce circuit est maintenant basé sur le rapport entre la capacité du condensateur de fixation de niveau 114 et la capacité parasite du transistor 302. Si on appelle C GS cette dernière capacité, le 20 gain devient égal à ASF*C CL/(C CL+C GS), où ASF est l'atténuation introduite par la configuration à source suiveuse, typiquement égale à environ 0,9. La capacité C GS étant typiquement nettement plus petite que la capacité C SH, cela conduit à une forte augmentation du gain. En outre, le gain ne dépend plus de la 25 capacité C SH, ce qui signifie qu'il ne varie plus avec les variations des capacités entre les condensateurs de lecture. [0065] La figure 6 est une vue en coupe d'une partie du circuit de lecture 300 comprenant le condensateur 114 selon un exemple de réalisation dans lequel le condensateur est un 30 condensateur MIM. [0066] La structure comprend par exemple un substrat 602 sur lequel est formée une couche de dispositifs 604 comprenant des dispositifs de transistors 605. L'un de ces dispositifs correspond par exemple au transistor à source suiveuse 302 du 35 circuit de lecture 300. Une couche d'interconnexion métallique B17244 15 606 est formée sur la couche de dispositifs 604, et comprend des couches 608 de métal interconnectées par des vias 610 par exemple en cuivre. Le condensateur MIM 114 est par exemple formé au-dessus de la couche d'interconnexion métallique 606, et comprend par 5 exemple des plaques métalliques 612 et 614 prenant en sandwich une couche isolante 616 constituée par exemple d'oxyde. La plaque métallique 614 est par exemple connectée, par un via 618 formé dans une couche d'interconnexion supérieure 620, à la connexion inter-niveau 112, qui est par exemple une liaison en cuivre de 10 tranche à tranche. [0067] Un avantage de la configuration de circuit de la figure 3 est que la connexion inter-niveau 112 est connectée directement au condensateur MIM, sans descendre d'abord vers la surface du substrat. Cela rend possible une mise en oeuvre comme 15 celle de la figure 6, dans laquelle la couche d'interconnexion métallique 606 n'est pas utilisée pour connecter l'interconnexion 112 au condensateur MIM 114, évitant ainsi une perte de surface et permettant au condensateur MIM 114 d'être relativement gros. [0068] La figure 7 est un schéma de circuit d'une partie 20 d'un capteur d'image selon un autre exemple de réalisation. Le circuit de la figure 7 met en oeuvre un circuit de pixel similaire au circuit 100 de la figure 1 et un circuit de lecture similaire au circuit de la figure 3. Toutefois, il y a une distribution différente des composants entre les niveaux T1 et T2, comme on va 25 le décrire maintenant plus en détail (pour faciliter l'illustration, les capacités des photodiodes C PD1 à C PD4 et les circuits de commande 113 et 308 ne sont pas représentés en figure 7). [0069] Le circuit de la figure 7 est par exemple fabriqué 30 en utilisant une disposition en couches séquentielle 3D, cette technique étant décrite plus en détail ci-après en référence à la figure 8. [0070] La figure 8 est une vue en coupe d'un pixel d'un capteur d'image et reproduit sensiblement la figure 4 du brevet 35 US publié sous le numéro US 7 417 268 au nom de STMicroelectronics B17244 16 SA. Bien que le circuit de ce pixel ne soit pas le même que celui de la figure 7, le processus utilisé pour former le capteur d'image de la figure 8 peut être appliqué au circuit de la figure 7. [0071] Le capteur d'image de la figure 8 comprend un 5 substrat semi-conducteur inférieur 800 et un substrat semiconducteur supérieur 801 séparés entre eux par une couche isolante intermédiaire 802. Les deux substrats sont par exemple dopés de type P et connectés à la masse GND. Le pixel comprend une photodiode 803 et une porte de transfert 804 formées dans un 10 niveau Tl, et trois transistors de lecture formés dans un niveau T2. La photodiode 803 comprend une région de type P fortement dopée 805 disposée au niveau de la surface du substrat inférieur 800, et une région enterrée dopée de type N 806 disposée en dessous de la région P+ 805. Une région de contact de type N fortement 15 dopée 821 est disposée sur un côté de la porte de transfert 804. La région de contact 821 est connectée à une région de source/drain de l'un des transistors du niveau T2 par l'intermédiaire d'une connexion inter-niveau formée par une métallisation 850 comprenant une portion passant à travers une ouverture dans la couche 20 isolante 802 et dans le substrat supérieur 801, et une portion formée dans une couche isolante 860 couvrant le substrat supérieur 801, cette portion correspondant par exemple à une partie d'une couche métallique standard. [0072] Bien que cela ne soit pas représenté, une ligne 25 de rangée RL connectée à la porte de transfert 804 est par exemple couplée à une couche métallique du niveau T2 par l'intermédiaire d'une métallisation similaire à la métallisation 850. [0073] Pour augmenter la sensibilité d'un capteur d'image, une région de type P fortement dopée 870 au niveau de la 30 surface inférieure du substrat inférieur 800 peut être prévue. En outre, des portions de filtrage 880 qui autorisent des photons incidents dans les plages de longueurs d'onde verte, bleue ou rouge, peuvent être placées contre la région P+ 870 sur la surface inférieure du substrat inférieur 800. 317244 17 [0074] Un capteur d'image comprenant des pixels comme celui représenté en figure 8 peut être obtenu selon le procédé de fabrication suivant. [0075] Les portes de transfert et les photodiodes sont 5 d'abord formées au-dessus d'un substrat inférieur. Une implantation ionique d'éléments dopants de type N est réalisée pour former des régions enterrées de type N 806 des photodiodes. Des entretoises isolantes peuvent être formées sur les côtés de la porte de transfert selon un procédé classique. Une implantation 10 ionique d'éléments dopants de type P est ensuite réalisée pour former au niveau de la surface du substrat inférieur des régions de type P fortement dopées 805 du substrat inférieur. Une implantation ionique d'éléments dopants de type N est ensuite réalisée pour former au niveau de la surface du substrat des 15 régions de contact de type N fortement dopées 821. Le substrat inférieur et les portes de transfert sont ensuite recouverts d'une couche isolante sur laquelle une couche semiconductrice est déposée pour former un substrat supérieur. Le substrat supérieur peut être obtenu par le dépôt d'une couche de liaison 20 semiconductrice, par exemple en silicium, sur la couche isolante intermédiaire, puis par croissance épitaxiale d'une couche semiconductrice sur cette couche de liaison dans un four d'épitaxie. [0076] Les transistors de lecture sont ensuite formés 25 de façon classique dans et au-dessus du substrat supérieur. Finalement, le substrat supérieur et les transistors de lecture sont recouverts de la couche isolante supérieure 860. [0077] Les métallisations connectant les transistors d'accès et le transistor de lecture peuvent être formées de 30 diverses façons. Une façon comprend, après les étapes décrites précédemment, la formation d'ouvertures dans la couche isolante supérieure, dans le substrat supérieur et dans la couche isolante intermédiaire séparant les deux substrats, et le remplissage des ouvertures avec un matériau conducteur. En variante, les 35 métallisations pourraient être formées dans des étapes à la suite B17244 18 de la formation de chacun de la couche isolante 802, du substrat 801 et de la couche isolante 860. [0078] Une fois que la couche isolante supérieure a été déposée, le substrat inférieur peut être aminci, par exemple, 5 suivant un procédé de polissage mécano-chimique. Une région de type P fortement dopée est ensuite formée par implantation ionique sur le côté de la face inférieure du substrat inférieur, après quoi un dépôt de filtres selon un procédé classique est réalisé. [0079] Un processus 3D séquentiel est aussi décrit plus 10 en détail dans la publication de Perceval Coudrain et al. intitulée "Investigation of a Sequential Three-Dimensional Process for Back-Illuminated CMOS Image Sensors With Miniaturized Pixels", IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 56, No. 11, Novembre 2009. 15 [0080] En faisant de nouveau référence à la figure 7, le niveau Tl du capteur comprend seulement des portes de transfert, des photodiodes et des condensateurs, les transistors 104, 106 et 110 ayant été déplacés vers le niveau T2. En outre, les condensateurs C SH1 à C SH4 du circuit de lecture 300 sont 20 par exemple mis en oeuvre dans le niveau Tl. [0081] Dans l'exemple de la figure 7, il y a quatorze connexions inter-niveaux 701 à 714, qui sont par exemple formées par des métallisations similaires à la métallisation 850 de la figure 8. Les connexions inter-niveaux 701 à 704 couplent 25 respectivement les portes de transfert Tgl à Tg4 du niveau de capteur au niveau de lecture T2. Les connexions inter-niveaux 705 à 708 fournissent respectivement les signaux de commande TG1 à TG4 aux portes de transfert Tgl à Tg4. En effet, dans le mode de réalisation de la figure 7, le circuit de commande 113 est par 30 exemple mis en oeuvre dans le niveau T2. Les connexions inter-niveaux 709 à 712 connectent respectivement les noeuds de mémorisation STN1 à STN4 aux condensateurs correspondants C SH1 à C SH4. Les connexions inter-niveaux 713 et 714 sont par exemple utilisées pour connecter le substrat du niveau T1 à une source de 317244 19 tension fixe ou à la masse pour assurer un collecteur ou une source de drain pour l'évacuation de porteurs libres. [0082] Dans l'exemple de la figure 7, les transistors 106, 110, 302 et 306 sont mis en oeuvre par des transistors PMOS, 5 mais pourraient être des transistors NMOS dans des variantes de réalisation. [0083] Un avantage de former les condensateurs C SH1 à C SH4 dans le niveau Tl est que la technologie utilisée dans ce niveau permet par exemple de former une densité de condensateurs 10 relativement élevée, par exemple du type CDTI (isolation par tranchées profondes capacitives). En outre, grâce à la technologie d'empilement séquentielle, les vias mettant en oeuvre les connexions inter-niveaux peuvent par exemple être de dimensions notablement plus petites par rapport à l'interconnexion 112 de la 15 figure 1, par exemple de l'ordre de 90 nm à comparer à environ 2 pin dans le cas de l'interconnexion 112. [0084] La figure 9 est un graphique représentant un exemple de mesures de gain simulées dans les circuits des figures 1 et 3. La performance du circuit de la figure 7 est similaire à 20 celle de la figure 3. L'axe x représente la tension d'entrée VIN, correspondant à la tension présente sur le noeud de lecture SN, tandis que l'axe y représente la tension de sortie VOUT, correspondant à la tension mémorisée sur le noeud de mémorisation. Une région 902 dans graphique représente des mesures simulées dans 25 le circuit de la figure 1, tandis qu'une région 904 représente des mesures simulées dans le circuit de la figure 3. On peut voir que la région 904 ne correspond pas seulement à des gains plus élevés par rapport à ceux de la région 902, mais aussi que la dispersion 906 du gain dans la région 904 pour une tension d'entrée 30 donnée est notablement inférieure à la dispersion 908 du gain dans la région 902 pour la tension d'entrée correspondante. La quantité de dispersion de gain est une mesure du PRNU, et ainsi le circuit de la figure 3 conduit à un PRNU notablement inférieur à celui du circuit de la figure 1. 317244 20 [0085] Divers modes de de réalisation et diverses variantes ont été décrits. L'homme de l'art comprendra que certains éléments de ces modes de réalisation peuvent être combinés et d'autres variantes apparaîtront facilement à l'homme 5 de l'art. Par exemple, il apparaîtra clairement à l'homme de l'art que bien qu'on ait décrit des circuits mis en oeuvre en utilisant la technologie de transistors MOS, dans des variantes de réalisation on pourrait utiliser d'autres technologies de transistors. En outre, un ou plusieurs des transistors NMOS dans 10 les divers circuits pourraient être mis en oeuvre par des transistors PMOS dans des variantes de réalisation, et un ou plusieurs des transistors PMOS dans les divers modes de réalisation pourraient être mis en oeuvre par des transistors NMOS. [0086] Enfin, la mise en oeuvre pratique des modes de 15 réalisation et variantes décrits ici est dans les capacités de l'homme de l'art sur la base de la description fonctionnelle susmentionnée. En particulier, l'homme de l'art saura comment mettre en oeuvre le circuit de pixel 100, REVENDICATIONS1. Circuit de lecture de pixel, comprenant : - un condensateur de fixation de niveau (114) ayant une première borne couplée à un noeud de sortie (108) d'un circuit de pixel (100) ; - un premier chemin de lecture (R01) comprenant un premier transistor de sélection (TS1) et un premier condensateur de lecture (C SH1) pour mémoriser un premier niveau de tension capturé par le circuit de pixel (100) ; - un deuxième chemin de lecture (R02) comprenant un 10 deuxième transistor de sélection (TS2) et un deuxième condensateur de lecture (C SH2) pour mémoriser un deuxième niveau de tension capturé par le circuit de pixel (100) ; et - un transistor à source suiveuse (302) ayant son noeud de commande couplé à une deuxième borne du condensateur de 15 fixation de niveau (114), un premier de ses noeuds de conduction principaux couplé à un premier rail de tension d'alimentation (VDD, GND), et un deuxième de ses noeuds de conduction principaux couplé aux premier et deuxième chemins de lecture (R01, R02). 2. Circuit de lecture de pixel selon la revendication 20 1, comprenant en outre un troisième transistor (118) couplant la deuxième borne du condensateur de fixation de niveau (114) à un deuxième rail de tension d'alimentation (GND, VDD). 3. Circuit de lecture de pixel selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre une source de courant (306) couplée 25 entre le deuxième noeud de conduction principal du transistor à source suiveuse (302) et le deuxième rail de tension d'alimentation (GND, VDD). 4. Circuit de lecture de pixel selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le condensateur de fixation 30 de niveau (114) est d'un premier type, et chacun des premier et deuxième condensateurs de lecture (C SH1, C SH2) est d'un deuxième type différent du premier type. 317244 22 5. Circuit de lecture de pixel selon la revendication 4, dans lequel le condensateur de fixation de niveau (114) est un condensateur métal-isolant métal (MIM). 6. Circuit de lecture de pixel selon la revendication 4 5 ou 5, dans lequel les premier et deuxième condensateurs de lecture (C SH1, C SH2) sont des condensateurs à tranchées capacitives. 7. Circuit de lecture de pixel selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel : - le premier chemin de lecture (R01) comprend en outre un transistor à source suiveuse (SF1) ayant son noeud de commande couplé à un premier noeud de mémorisation (STN1) connecté à une première borne du premier condensateur de lecture (C SH1), le transistor à source suiveuse (SF1) du premier chemin de lecture ayant l'un de ses noeuds de conduction principaux couplé à une ligne de colonne (COL n) par l'intermédiaire d'un premier transistor de lecture (TR1) ; et - le deuxième chemin de lecture (RO2) comprend en outre un transistor à source suiveuse (SF2) ayant son noeud de commande couplé à un deuxième noeud de mémorisation (STN2) connecté à une première borne du deuxième condensateur de lecture (C SH2), le transistor à source suiveuse (SF2) du deuxième chemin de lecture ayant l'un de ses noeuds de conduction principaux couplé à la ligne de colonne (COL n) par l'intermédiaire d'un deuxième transistor de lecture (TR2). 8. Circuit de lecture de pixel selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant en outre un ou plusieurs autres chemins de lecture (R01, RO2) couplés au deuxième noeud de conduction principal (304) du transistor à source suiveuse (302). 9. Capteur d'image comprenant : - un premier niveau (Tl) comprenant une matrice de circuits de pixels (100) agencée pour fonctionner dans un mode d'obturateur global ; et - un deuxième niveau (T2) comprenant, pour chaque circuit de pixel (100), au moins une partie du circuit de lecture 35 de pixel (102) de l'une quelconque des revendications 1 à 8. 317244 23 10. Capteur d'image selon la revendication 9, dans lequel le deuxième niveau comprend, pour chaque circuit de pixel (100), le circuit de lecture de pixel (102) de l'une quelconque des revendications 1 à 8, chaque circuit de lecture de pixel étant 5 couplé au noeud de sortie (108) de l'un correspondant des circuits de pixels (100) par l'intermédiaire d'une connexion inter-niveau correspondante (112). 11. Capteur d'image selon la revendication 9, dans lequel les premier et deuxième condensateurs de lecture (C SH1, 10 C SH2) font partie du premier niveau (T1), le premier condensateur de lecture (C SH1) étant couplé à une partie d'un circuit de lecture correspondant (102) par l'intermédiaire d'une première connexion inter-niveau (709) et le deuxième condensateur de lecture (C SH2) étant couplé à une partie d'un circuit de lecture 15 correspondant (102) par l'intermédiaire d'une deuxième connexion inter-niveau (710). 12. Capteur d'image selon la revendication 9 ou 11, dans lequel le deuxième niveau comprend en outre un autre transistor à source suiveuse (106) ayant sa grille couplée au noeud de lecture 20 du circuit de pixel (100) et l'une de ses bornes de conduction principales couplée à la première borne du condensateur de fixation de niveau. 13. Procédé de lecture d'une valeur de pixel en utilisant un circuit de lecture de pixel (300), le procédé 25 comprenant : - contrôler un premier transistor de sélection (TS1) d'un premier chemin de lecture (R01) du circuit de lecture de pixel (300) pour coupler un noeud de lecture (SN) d'un circuit de pixel (100) à un premier condensateur de lecture (C SHI) du 30 premier chemin de lecture (R01) par l'intermédiaire d'un condensateur de fixation de niveau (114) et par l'intermédiaire d'un transistor à source suiveuse (302) ayant son noeud de commande couplé à une borne du condensateur de fixation de niveau (114) ; et B17244 24 - contrôler un deuxième transistor de sélection (TS2) d'un deuxième chemin de lecture (R02) du circuit de lecture de pixel (300) pour coupler un noeud de lecture (SN) du circuit de pixel (100) à un deuxième condensateur de lecture (C SH2) du 5 deuxième chemin de lecture (R02) par l'intermédiaire du condensateur de fixation de niveau (114) et du transistor à source suiveuse (302).