FR 2966307 A1 20120420 FR 1058404 A 20101015 Filtre à ondes acoustiques comprenant un guidage acoustique intégré Le domaine de l'invention est celui des dispositifs électromécaniques exploitant la propagation d'ondes acoustiques dans des couches piézoélectriques ou électrostrictif en vue de réaliser des fonctions de filtre électrique et d'assurer en plus une isolation électrique entre l'entrée et la sortie du composant. De tels dispositifs présentent des fréquences de fonctionnement de l'ordre de quelques centaines de MHz à quelques GHz, et sont utilisés dans des circuits de transmission radiofréquence (téléphone portable, liaison radio, échange de données sans fil,...), de traitement du signal ou dans des 1 o systèmes de capteurs. Plus précisément, le domaine de la présente invention concerne l'isolation électrique entre l'entrée et la sortie d'un composant en vue de réaliser principalement une conversion d'impédance et/ou de mode dans des filtres acoustiques, donc des filtres utilisant des résonateurs acoustiques, 15 principalement des résonateurs à ondes de volume (Bulk Acoustic Wave ou BAW). Ces filtres sont localisés à l'étage radiofréquence de systèmes de transmission radio, notamment pour les systèmes de téléphonie mobile. La figure 1 présente un schéma de principe d'un étage RF. Le signal issu de l'antenne Is est dirigé vers deux voies, filtré sur une première voie dite de 20 réception par un filtre passe-bande 1, puis amplifié par un amplificateur faible bruit 2 (LNA, pour Low Noise Amplifier), et bloqué sur une seconde voie en parallèle dite d'émission par un filtre 3 de manière à ne pas interférer avec le signal émis en direction de l'antenne. Le signal issu de l'antenne est par construction référencé à la masse, et donc asymétrique. Par contre, afin de 25 limiter le bruit apporté au signal par l'étage d'amplification, les LNA disposent habituellement d'accès différentiels, où le signal n'est plus référencé à la masse, mais se propage plutôt sous deux versions déphasées de 180° l'une par rapport à l'autre le long des lignes de transmission. Pour assurer la liaison entre la partie référencée à la masse de la 30 chaine et la partie différentielle, il est possible de passer par un élément externe au filtre, inséré entre filtre et amplificateur, ou entre antenne et filtre, appelé balun (pour Balanced / Unbalanced). Les baluns sont des systèmes très coûteux en place et apportant des pertes. Ils sont en effet réalisables en utilisant des sections de ligne de transmission qui devraient présenter des dimensions centimétriques aux fréquences habituellement employées pour la téléphonie mobile (de l'ordre de quelques GHz), ou plus communément en utilisant des enroulements magnétiques proches de transformateurs, donc nécessitant de grandes surfaces (quelques mm2) et présentant des pertes résistives non négligeables. Il a déjà été proposé des filtres CRF (Coupled Resonator Filter), filtres couplés acoustiquement, permettant la conversion de mode G.G. Fattinger, J. Kaitila, R. Aigner and W. Nessler, Single-to-balanced Filters for Mobile Phones using Coupled Resonator BAW Technology, 2004 IEEE Ultrasonics Symposium, pp. 416-419, car par construction l'entrée et la sortie du filtre sont isolées électriquement : R. Thalhammer, M. M. Handtmann, J. Kaitila, W. Nessler, L. Elbrecht, Appartus with acoustically coupled BAW resonators and a method for matching impedances, brevet US 2009 / 0096549 A1, Avr. 2009 Les figures 2a et 2b représentent un filtre à conversion à la fois de mode et d'impédance en technologie CRF, la figure 2b mettant en évidence les connections électriques des résonateurs. La conversion d'impédance est obtenue par le montage des deux résonateurs d'entrée Rei et Reg et de deux résonateurs de sortie, tête bêche, de manière à apporter un facteur 4 à l'impédance d'entrée du filtre. La réalisation technologique est cependant très lourde, car elle nécessite l'empilement de deux résonateurs l'un sur l'autre et par conséquent une technologie requérant le dépôt d'une quinzaine de couches et une douzaine de niveaux de masques : C. Billard, N. Buffet, A. Reinhardt, G. Parat, S. Joblot and P. Bar, 200mm Manufacturing Solution for Coupled Resonator Filters, Proceedings of the 39th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC 2009), pp. 133-136. De même il est possible d'empiler des résonateurs R1 et R2 d'épaisseurs différentes M.L. Franck, R.C. Ruby, T. Jamneala, Bulk Acoustic Resonator Electrical Impedance Transformers, brevet US 2009 / 0273415 A1, Nov. 2009, comme indiqué dans la figure 3. Ces résonateurs sont couplés acoustiquement par la (ou les) couche(s) Cc situées entre eux. Ils sont empilés au dessus d'une membrane réalisée au dessus d'une cavité Ça réalisée à la surface d'un substrat S. La conversion d'impédance est réalisée par la différence d'épaisseurs, les résonateurs inférieur et supérieur présentant, pour une même surface, des valeurs de capacités, et donc d'impédance, différentes. Cette solution pose les mêmes problèmes de fabrication que les CRF, à savoir qu'elle nécessite l'empilement de nombreuses couches et l'utilisation de nombreux niveaux de masques. De plus les épaisseurs sont fixées dans une certaine limite par l'acoustique (les fréquences voulues, la bande passante, les coefficients de couplage des modes utilisés,...), ne permettant pas tous les rapports de conversion voulus. Par ailleurs, afin de fournir un filtre possédant une sélectivité suffisante, il est souvent nécessaire d'utiliser deux sections de filtres qui, 1 o pour des raisons de complexité technologique, sont souvent reliées au niveau des résonateurs inférieurs comme représenté en figure 4 et utilisant deux types d'empilements comprenant des matériaux piézoélectriques Epiezol et Epiezo2, isolés par des structures de miroirs de Bragg MR1 et MR2, l'ensemble des empilements étant réalisé à la surface d'un substrat S. Les 15 surfaces de ces sections sont alors définies par les impédances respectivement d'entrée et de sortie, tandis que les épaisseurs des résonateurs inférieurs et supérieurs sont définies par des considérations acoustiques, comme précisé précédemment. Ainsi, les deux résonateurs inférieurs ne possèdent-ils pas la même impédance, celle-ci étant définie par 20 la formule z = res e piezo 2 piezoSresfo (1) où epiezo est l'épaisseur de la couche piézoélectrique, £piezo la constante diélectrique du matériau piézoélectrique employé, fo la fréquence centrale du filtre, toutes ces grandeurs étant communes aux résonateurs 25 inférieurs et Sres la surface respective de chaque résonateur. Il se crée de ce fait des réflexions électriques internes au filtre qui dégradent sa transmission et donc ses performances. Dans ce contexte, la présente invention a pour objet une solution 30 permettant la conversion d'impédance et/ou la conversion de mode en utilisant un couplage acoustique des résonateurs. Cette conversion est obtenue en assurant une isolation électrique entre l'entrée et la sortie du filtre, l'isolation étant elle-même obtenue par la propagation des ondes acoustiques entre les résonateurs du filtre. Selon l'invention, le guidage desdites ondes permet ainsi une meilleure canalisation des ondes et donc d'utiliser des résonateurs de géométries différentes. La conversion selon l'invention permet ainsi d'éviter de recourir à la complexité technologique d'un filtre CRF, et ce en autorisant une plus large latitude dans les rapports d'impédance qu'il est possible d'attendre tout en limitant les risques de réflexions électriques internes dans le cas de filtres d'ordre élevé. Plus précisément la présente invention a pour objet un filtre à ondes acoustiques comprenant aux moins un premier résonateur d'entrée à ondes acoustiques présentant une face de sortie et un second résonateur de sortie 1 o à ondes acoustiques présentant une face d'entrée, lesdits résonateurs étant couplés entre eux selon une direction déterminée, les faces d'entrée et de sortie étant sensiblement en regard, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une première structure de cristal phononique entre lesdits résonateurs d'entrée et de sortie et/ou une deuxième structure de cristal 15 phononique en périphérie desdits résonateurs de manière à guider les ondes acoustiques générées par ledit résonateur d'entrée, vers ledit résonateur de sortie selon ladite direction déterminée. Selon une variante de l'invention, chaque résonateur comporte au moins une couche de matériau piézoélectrique ou de matériau électrostrictif 20 et au moins une électrode. Selon une variante de l'invention, les faces d'entrée et de sortie respectivement desdits second et premier résonateurs sont perpendiculaires à la direction déterminée, cette variante étant particulièrement avantageuse pour optimiser le couplage entre les résonateurs. 25 Selon une variante de l'invention, ladite face de sortie dudit résonateur d'entrée est de dimension différente de celle de ladite face d'entrée dudit résonateur de sortie. Les première et/ou seconde structures de cristal phononique permettent de faire converger ou diverger (et donc guider) les ondes 30 acoustiques d'une des faces vers l'autre en fonction de leurs dimensions respectives. Selon une variante de l'invention, le filtre comprend un premier ensemble de résonateurs d'entrée et un second ensemble de résonateurs de sortie, une première structure de cristal phononique étant disposée entre 35 chaque ensemble. Selon une variante de l'invention, le filtre comprend plus de deux résonateurs couplés, une première structure de cristal phononique étant disposée entre chaque couple de résonateurs. Selon une variante de l'invention, la première structure de cristal phononique est une structure de lentille acoustique, ladite première structure assurant alors une fonction de guidage et une fonction de couplage. Selon une variante de l'invention, la seconde structure de cristal phononique assure une fonction miroir pour lesdites ondes acoustiques. Selon une variante de l'invention, la première structure de cristal 1 o phononique est une structure de couplage d'ondes acoustiques, le coefficient de transmission des ondes acoustiques de la seconde structure de cristal phononique étant beaucoup plus faible que celui de la première structure de cristal phononique. Selon une variante de l'invention, le filtre comporte au moins un 15 résonateur d'entrée connecté à un premier potentiel et à la masse, un premier résonateur de sortie connecté à un second potentiel et à la masse et un second résonateur de sortie connecté à l'inverse du second potentiel et à la masse, de manière à assurer une conversion d'impédance et de modes acoustiques entre le résonateur d'entrée et les résonateurs de sortie. 20 Selon une variante de l'invention, la structure de cristal phononique est située dans la couche de matériau piézoélectrique ou électrostrictif. Selon une variante de l'invention, la structure de cristal phononique comporte des motifs en surface de la couche de matériau piézoélectrique ou électrostrictif. 25 Selon une variante de l'invention, les motifs de la structure phononique sont réalisés avec au moins l'un des matériaux suivants : SiO2, SiN, Mo, W, AIN . Selon une variante de l'invention, la structure de cristal phononique est unidimensionnelle ou bidimensionnelle ou encore tridimensionnelle. 30 Selon une variante de l'invention, le matériau piézoélectrique est un matériau parmi AIN, LiNbO3, ZnO, PZT, quartz... Selon une variante de l'invention, le matériau électrostrictif est un matériau choisi parmi BaSrTiO3, SrTiO3, BaTiO3. Selon une variante de l'invention, la structure de cristal phononique 35 comporte des inclusions atomiques et/ou des espèces diffusées. Selon une variante de l'invention, les inclusions sont obtenues par implantation d'atomes d'hydrogène. Selon une variante de l'invention, la structure de cristal phononique comporte des trous. Selon une variante de l'invention, le filtre comportant plusieurs premières structures de cristal phononique, certaines des premières structures de cristal phononique du filtre présentent des coefficients d'atténuation des ondes acoustiques différents des autres premières structures. 1 o Selon une variante de l'invention, les résonateurs sont des résonateurs à ondes de volume. Selon une variante de l'invention, les résonateurs sont des résonateurs à ondes de Lamb et comprennent une électrode supérieure et une électrode inférieure. 15 Selon une variante de l'invention, les résonateurs sont des résonateurs à ondes de surface et comprennent des électrodes positionnées à la surface du matériau piézoélectrique. 20 L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles : - la figure 1 illustre un schéma de principe d'un étage radiofréquence de système de transmission ou réception ; 25 - les figures 2a et 2b illustrent le schéma d'un filtre à conversion d'impédance et de modes selon l'art connu ainsi que les réseaux de connexion mis en jeu ; - la figure 3 illustre un filtre de type FBAR à conversion d'impédance selon l'art connu utilisant des résonateurs empilés ; 30 - la figure 4 illustre un filtre de type CRF à conversion d'impédance selon l'art connu utilisant quatre résonateurs ; - la figure 5 illustre une vue de dessus d'un filtre à conversion d'impédance selon l'invention comportant deux structures de cristal phononique dont une assure une fonction de guidage et 35 l'autre une fonction de couplage ; la figure 6 illustre une vue de dessus d'un filtre à conversion d'impédance selon l'invention comportant une structure de cristal phononique assurant une fonction de lentille acoustique permettant de coupler les ondes acoustiques depuis le résonateur d'entrée vers le résonateur de sortie ; - la figure 7 illustre une vue de dessus d'un filtre à conversion d'impédance selon l'invention comportant plusieurs résonateurs d'entrée et de sortie et plusieurs structures de cristal phononique ; - la figure 8 illustre une vue de dessus d'un filtre à conversion d'impédance et de mode selon l'invention comportant un résonateur d'entrée et deux résonateurs de sortie vers lesquels sont guidées les ondes acoustiques ; - la figure 9 illustre une variante de l'invention utilisant des résonateurs à ondes de surface (variante peu intéressante); - la figure 10 illustre l'admittance de résonateurs de type BAW utilisés dans un filtre de l'invention ; - les figures 11a, 11 b et 11c illustrent des exemples de configurations de résonateurs et de structures de cristal phononique pouvant être utilisés dans un exemple de filtre selon l'invention ; - les figures 12a à 12e illustrent les différentes étapes de réalisation d'un premier exemple selon l'invention en vue en coupe et de dessus ; - les figures 13a à 13f illustrent les différentes étapes de réalisation d'un second exemple selon l'invention en vue en coupe et de dessus ; - les figures 14a à 14f illustrent les différentes étapes de réalisation d'un troisième exemple selon l'invention en vue en coupe et de dessus. Pour réaliser le filtre de la présente invention, il est proposé de venir placer des résonateurs acoustiques d'entrée et de se sortie de type : ondes de Lamb ou de type SAW (Surface Acoustic Wave), ou de type BAW (Bulk Acoustic Wave) tel que des SMR (Solidly Mounted Resonator) ou FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator) ou encore HBAR (High-overtone Bulk Acoustic Resonator), côte à côte sur un même substrat. De façon générale, on entend par résonateur acoustique, une cavité acoustique résonante qui comporte ou non une ou plusieurs électrodes. Lorsqu'une cavité résonante n'est pas associée à une électrode, on enlève une ou plusieurs inclusion(s) dans le cristal phononique à des endroits déterminés pour générer les ondes acoustiques désirées. Pour réaliser une fonction de filtre et assurer une conversion d'impédance et/ou de mode acoustique, on peut avantageusement coupler acoustiquement deux résonateurs de tailles différentes. Le couplage acoustique réalisé ainsi n'entraine alors pas d'effet de réflexions électriques internes et les performances du filtre obtenu s'en trouvent améliorées. Il est par ailleurs proposé d'introduire entre au moins un résonateur d'entrée et un résonateur de sortie, une structure de cristal phononique, afin de maîtriser la quantité d'énergie échangée entre les deux résonateurs, et par conséquent la largeur de bande du composant final. Selon une première variante d'invention, on place un cristal phononique qui couple les résonateurs entre eux et on guide les ondes à l'aide d'un autre cristal phononique conçu pour réfléchir quasi totalement les ondes et ainsi confiner ces dernières dans ou entre les résonateurs, comme illustré en figure 5. Typiquement le résonateur d'entrée RIE et le résonateur de sortie RIS n'ont pas les mêmes dimensions et donc les mêmes impédances (dépendantes de leurs dimensions). Une première structure de cristal phononique CP1 est intégrée entre les deuxdits résonateurs RIE et Ris, au niveau de la couche de matériau piézoélectrique P1eu,. Une seconde structure de cristal phononique CP2 est prévue en périphérie des résonateurs d'entrée et de sortie, de manière à pouvoir confiner les ondes acoustiques, 3o cette seconde structure assurant un effet miroir vis-à-vis des ondes acoustiques. Le cristal CP1 doit présenter un coefficient de transmission déterminé par la bande passante recherchée et le cristal phononique CP2 doit présenter un coefficient de réflexion maximal. Selon une seconde variante de l'invention, il est possible de configurer la première structure de cristal phononique pour lui conférer une fonction de lentille vis-à-vis des ondes acoustiques, une telle structure de lentille est illustrée en figure 6, qui illustre une configuration d'une telle structure CPIL réalisé au niveau de la couche de matériau piézoélectrique Piezo, ne nécessitant plus l'emploi de structure guidante de part et d'autre des deux résonateurs d'entrée et de sortie, de telles configurations de cristal phononique à effet de lentille sont notamment décrites dans les articles suivants : A.C. Hladky-Hennion, J. Vasseur, B. Dubus, B. Djafari-Rouhani, D. 1 o Ekeom and B. Morvan, Numerical analysis of negative refraction of transverse waves in an elastic mater/al, Journal of Applied Physics, 104, n° 064906, 2008, M.H. Lu, L. Feng and Y.F. Chen, Phononic crystals and acoustic metamaterials, Materials Today, 12, 12, pp. 34-42, 2009. 15 Selon une troisième variante de l'invention, le filtre peut comprendre avantageusement des résonateurs couplés. L'ajout de résonateurs supplémentaires permet d'améliorer la sélectivité du filtre. La figure 7 illustre à ce titre une configuration comportant deux premiers résonateurs RIE et R2E, et de deux seconds résonateurs Ris et R2S, chaque résonateur étant 20 séparé d'un résonateur adjacent par une structure de cristal phononique : une première structure de conversion CP1 entre les deux résonateurs RIE et Ris, une seconde structure de cristal phononique guidante CP2 et des troisièmes structures de cristal phononique CP3 permettant d'améliorer la sélectivité du filtre. 25 La présente invention permet d'envisager la conversion d'impédance et de mode en même temps. En effet, il est possible de guider les ondes vers deux résonateurs plutôt qu'un seul. Selon la technologie utilisée, il est aussi possible de connecter électriquement les deux résonateurs de sortie, en 30 direct ou en inversé comme illustré plus précisément en figure 8 qui montre les potentiels auxquels sont connectés les résonateurs d'entrée et de sortie. Un résonateur d'entrée RIE est prévu connecté d'une part à un premier potentiel V1 et d'autre part à la masse. Au niveau de la sortie, il est prévu selon cette variante, un premier résonateur de sortie RIS et un second 35 résonateur de sortie R2S, le premier résonateur de sortie étant connecté à la masse et à un second potentiel V2, le second résonateur de sortie étant connecté en différentiel à la masse et à un potentiel -V2. Avantageusement les géométries des résonateurs sont déterminées afin de mieux diriger les ondes latérales en direction des résonateurs de sortie. Il est rappelé que la présente invention peut être appliquée tout aussi bien à des résonateurs à ondes de volume, qu'à des résonateurs à ondes de Lamb ou des résonateurs à ondes de surface. A cet effet, des exemples de réalisation, sont donnés ci-après. 1 o Dans le cadre de résonateurs à ondes de surface et dans le cadre de la seconde variante de l'invention précédemment décrite, la figure 9 illustre une configuration de résonateurs à ondes de surface, montrant une première série d'électrodes interdigitées E;E pour réaliser le résonateur d'entrée à ondes de surface, ainsi que deux séries d'électrodes interdigitées E;S1 et E;s2 15 définissant deux résonateurs à ondes de surface de sortie. Le résonateur d'entrée est séparé des résonateurs des sorties par une première structure de cristal phononique CP1. Il est rappelé que quelle que soit la variante de l'invention, il est possible d'utiliser des cristaux phononiques à une, deux ou trois dimensions 20 indifféremment, tant que la première structure de cristal phononique utilisée assure sa fonction de miroir ou lentille acoustique. La présente invention permet ainsi de réaliser la conversion d'impédance sans la conversion de mode. Elle est aussi moins coûteuse en place (et probablement en pertes) que la technique par balun (couplage 25 électrique). Par rapport aux CRF, la technologie de fabrication est fortement simplifiée. En effet on peut réaliser de tels dispositifs avec seulement quatre niveaux de masques. Il est à noter que dans le cadre de la présente invention, et ce en différentiation avec l'art antérieur, il est notamment proposé d'exploiter des 30 variations de surface des résonateurs et non plus des variations d'épaisseurs, paramètre plus facile à maîtriser. Nous allons décrire ci-après des exemples de réalisation de filtre selon la présente invention. 35 Premier exemple de filtre selon l'invention : Selon cet exemple, le filtre comporte des résonateurs BAW composés d'une couche de 2 lm de nitrure d'aluminium (AIN) entre deux électrodes en molybdène (Mo) d'une épaisseur chacune de 200 nm. Cette couche d'AIN est suspendue sur un substrat conventionnel de silicium permettant de réaliser plus précisément des résonateurs de type FBAR (Film 1 o Bulk Acoustic Resonator). La figure 10 illustre l'admittance de tels résonateurs calculés à partir d'un modèle 1 D basé sur les équations de Mason, montrant une résonance aux alentours de 1.6 GHz. En cherchant à avoir une impédance de 50 0 pour le résonateur d'entrée et de 100 0 pour les résonateurs de sortie, on peut calculer les 15 surfaces des résonateurs en se basant sur l'équation suivante : Z= 1 CCÛ Avec : Z l'impédance du résonateur C la capacité du résonateur w la pulsation de résonance du résonateur 20 On sait par ailleurs que : w=27fet C=£S e Avec : f la fréquence de résonance (soit dans le cas présent : 1.6 GHz) s la permittivité du matériau (soit dans le cas présent de l'AIN, 25 8,26.10-$) S la surface du résonateur e l'épaisseur de la couche piézoélectrique (ici 2 µm) Pour avoir une impédance de 50 0 , il convient donc d'avoir une capacité C = 2 pF et par voie de conséquence une surface S = 48 600 µm2. 30 De même pour obtenir une impédance de 100 0 on cherche à obtenir les mêmes caractéristiques divisées par 2 , soit une capacité C = 1 pF et une surface S = 24 300 µm2. La figure 11 a illustre un exemple de configuration permettant d'obtenir ces paramètres physiques et ce avec les dimensions suivantes : - pour le résonateur d'entrée : les côtes suivantes : a1E =180 pm et a2E = 90 Pm ; - pour les résonateurs de sortie : les côtes suivantes : B1R=B2R= 270 pm, b1R = b2R = 180 pm et H1R=H2R=90 pm. Pour réaliser la structure de cristal phononique CP1 comme illustré sur la figure 11 b, on peut réaliser une structure comportant des trous cylindriques dans une membrane en AIN. Les trous sont organisés selon une 1 o maille carrée avec un paramètre de maille a = 2.22 µm et le diamètre des trous est de : d = 1.28 µm, l'épaisseur d'AIN étant 2 µm. Dans ce cas le cristal phononique présente une bande d'arrêt entre 1.57 et 1.64 GHz. Avantageusement, ce filtre peut comprendre une seconde structure 15 CP2 de cristal phononique comme illustré en figure 11 c, et ce afin d'obtenir une meilleure réflexion autour des résonateurs d'entrée et de sortie pour éviter les pertes. Cette seconde structure peut être notamment réalisée en opérant des trous cylindriques dans l'AIN, selon une organisation hexagonale en nid d'abeille. Avec un paramètre de maille de 1,43 µm et un rayon de 0,69 20 pm et en conservant une épaisseur de 2 µm, on obtient une bande d'arrêt entre 1,34 et 1,83 GHz. Il est également possible avec cet exemple de filtre, de réaliser une conversion de mode en réalisant des connections électriques entre les électrodes inférieures et supérieures des deux résonateurs de droite. 25 Premier exemple de procédé de fabrication de filtre selon l'invention : Le premier exemple est un filtre composé de résonateurs SMR (Solidly Mounted Resonators) sur miroir de Bragg couplés par une lentille 30 acoustique consistant en un cristal phononique à deux dimensions constitué de plots de silice disposés dans l'espace entre les résonateurs au-dessus de la couche piézoélectrique. On pourrait aussi placer les plots de silice en-dessous et avantageusement au-dessus et en-dessous de la couche piézoélectrique. Comme illustré sur la figure 12a, à partir d'un substrat de silicium S, on procède à une opération d'oxydation thermique dudit substrat en SiO2 sur une épaisseur de 1 µm, puis on procède à des dépôts successifs de : - nitrure de silicium SiN sur une épaisseur de l'ordre de 0.8 lm ; - oxycarbure de silicium ou silicium poreux SiOC sur une épaisseur d'environ 1 pm ; - SiN sur une épaisseur d'environ 0.5 lm ; - SiOC sur une épaisseur d'environ 1 lm ; - SiN sur une épaisseur d'environ 0.5 lm et - SiO2 sur une épaisseur d'environ 0.6 lm de manière à définir une structure de miroir de Bragg MR. La figure 12b illustre la formation des deux électrodes inférieures Ei1 et Ei2 par le dépôt d'une couche de molybdène Mo sur une épaisseur de 0.3 pm puis par lithographie, gravure et retrait de résine appelé « stripping ». La figure 12c illustre la formation du cristal phononique à la surface du matériau piézoélectrique PiéZo, grâce aux opérations successives suivantes : - le dépôt de la couche de matériau piézoélectrique PiéZo en AIN sur une épaisseur de 1,7 lm ; - le dépôt d'une couche en SiO2 d'épaisseur de l'ordre de 0,5 pm permettant la réalisation de cristal phononique CP1, suivie d'une étape de lithographie, de gravure et du retrait local de la couche de SiO2 ; - la gravure et le retrait local de la couche d'AIN pour ouvrir les reprises de contact. La figure 12d illustre la réalisation des électrodes supérieures Est et Est par le dépôt d'une couche de molybdène Mo sur une épaisseur de 0.3 pm puis par lithographie, gravure et « stripping ». Il est ainsi nécessaire d'avoir quatre niveaux de masques. Le cristal phononique pourrait aussi être constitué de plots de molybdène pour éviter quelques étapes technologiques, mais il faudrait alors faire attention à ce qu'il n'y ait pas de couplage électrique entre les plots métalliques et les résonateurs. La figure 12e illustre une vue de dessus de cet exemple de filtre, les électrodes Ei1 et Est définissant un résonateur d'entrée RE et les électrodes 35 Ei2 et Est définissant un résonateur de sortie RS. Une variante du premier exemple consiste à réaliser la conversion d'impédance en jouant conjointement sur la surface et l'épaisseur des résonateurs de manière à limiter l'encombrement. Par exemple, en diminuant l'épaisseur de la couche piézoélectrique, la surface nécessaire pour parvenir à une impédance donnée serait plus faible, ce qui induirait une minimisation de la surface occupée par le composant. Cette diminution peut se faire par l'insertion d'étapes de lithographie, gravure de l'AIN et « stripping » entre le dépôt d'AIN et la gravure des accès à l'électrode inférieure. Second exemple de procédé de fabrication de filtre selon l'invention : Selon cet exemple, le filtre permet la conversion d'impédance et de mode, avec une sortie branchée en anticroisement. Les résonateurs sont couplés par un cristal phononique à deux dimensions constitué d'inclusions cylindriques d'air (trous) dans une membrane en nitrure d'aluminium (AIN) et réalisé en suivant le procédé développé par l'équipe de G. Piazza : N.K. Kuo, C.J. Zuo, G. Piazza, Demonstration of Inverse Acoustic Band Gap Structures in AIN and Integration with Piezoelectric Contour Mode Wideband Transducers, 2009 Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems symposium, pp.10-13, 2009, N. Sinha, R. Mahameed, C. Zuo, M.B. Pisani, C.R. Perez and G. Piazza, Dual-beam actuation of piezoelectric AIN RF MEMS switches monolithically integrated with AIN contour-mode resonators, Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop, Hilton Head Island, pp. 22-25, June 1-5, 2008. Comme illustré sur la figure 13a, à partir d'un substrat de silicium S, typiquement d'épaisseur de l'ordre de 700 pm, on réalise un dépôt « Low Strees Nitride » (LSN) d'épaisseur de l'ordre de 300 nm. On réalise à la surface, un dépôt métallique de platine de 200 nm d'épaisseur, et par lithographie et procédé lift-off, on vient définir la géométrie des électrodes inférieures des résonateurs : Eh et Ei2. On procède alors au dépôt de la couche de matériau piézoélectrique Fiez, en nitrure d'aluminium sur une épaisseur d'environ 2 pm. On procède alors à une opération de gravure humide de la couche 35 de matériau piézoélectrique, l'AIN, par du KOH afin de définir les accès aux électrodes inférieures, comme illustré en figure 13b. On réalise ensuite les structures de cristal phononique par gravure sèche de l'AIN comme représenté en figure 13c. On procède alors à la réalisation des électrodes supérieures ES1 et ES2 comme illustré en figure 13d par dépôt d'une couche de platine d'environ 5 200 nm d'épaisseur, procédé de lithographie et procédé lift-off. On réalise enfin la libération de la membrane pour définir des résonateurs de type FBAR, par attaque au difluorure de xénon (XeF2), comme illustré en figure 13e. La figure 13f illustre une vue de dessus du filtre ainsi réalisé et des 1 o structures de résonateurs définies par la géométrie des électrodes : un résonateur d'entrée RE1 et deux résonateurs de sortie RS1 et RS2. Troisième exemple de procédé de fabrication de filtre selon l'invention : 15 Le troisième exemple est un filtre à conversion d'impédance constitué de résonateurs FBAR réalisés sur une couche mince d'oxyde de zinc (ZnO). La propagation des ondes est réalisée dans une membrane en silicium. Les cristaux phononiques sont constitués de trous d'air dans la membrane en silicium. Le procédé est basé sur le procédé de réalisation de 20 cristaux phononiques développé par Mohammadi : S. Mohammadi, A.A. Eftekhar, A. Adibi, brevet US 2009/0295505 A1, Dec. 2009. Selon une première étape, à partir d'un substrat SOI (Silicon On Insulator) composé d'un substrat en silicium S comprenant une couche en SiO2, So enterrée et donc recouverte d'une couche de silicium S', 25 d'épaisseur de Si de 15 pm, on procède au dépôt d'une couche Mi, d'or de 100 nm d'épaisseur et on définit dans cette couche les électrodes inférieures des résonateurs par procédé de lithographie, comme illustré en figure 14a. Dans une seconde étape, on procède au dépôt d'une couche de matériau piézoélectrique P;ézo en ZnO d'un micron d'épaisseur, sur laquelle 30 on réalise par lithographie, gravure et «stripping », la définition de motifs comme illustré en figure 14b. Dans une troisième étape, on vient déposer une seconde couche de métallisation MS d'aluminium de 200 nm d'épaisseur et l'on définit les motifs d'électrodes supérieures par lithographie, comme illustré en figure 14c. On vient réaliser les structures de cristal phononique CP1 et CP2, au sein du silicium par lithographie, gravure et stripping, comme illustré en figure 14d. On procède enfin à la libération en face arrière de la membrane afin de réaliser un filtre de type FBAR, par un procédé de gravure pouvant avantageusement être un procédé de type DRIE « Deep Reactive lonic Etching », comme illustré en figure 14e. La figure 14f illustre une vue de dessus d'un tel filtre FBAR, montrant les différentes structures de cristal phononiques CP1 et CP2, réalisées lors 1 o de l'étape précédente. REVENDICATIONS1. Filtre à ondes acoustiques comprenant aux moins un premier résonateur d'entrée (RIE) à ondes acoustiques présentant une face de sortie et un second résonateur de sortie (R2s) à ondes acoustiques présentant une face d'entrée, lesdits résonateurs étant couplés entre eux selon une direction déterminée, les faces d'entrée et de sortie étant sensiblement en regard, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une première structure de cristal phononique (CP1) entre lesdits résonateurs d'entrée et de sortie et /ou une deuxième structure de cristal phononique (CP2) en périphérie desdits résonateurs de manière à guider les ondes acoustiques générées par ledit 1 o résonateur d'entrée, vers ledit résonateur de sortie selon ladite direction déterminée. 2. Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque résonateur comporte au moins une couche de matériau piézoélectrique 15 (Pieu)) ou de matériau électrostrictif et au moins une électrode. 3. Filtre selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les faces d'entrée et de sortie respectivement desdits second et premier résonateurs sont perpendiculaires à la direction déterminée. 20 4. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comprend au moins ledit résonateur d'entrée présentant une face de sortie et ledit résonateur de sortie présentant une face d'entrée, ladite face de sortie dudit résonateur d'entrée est de 25 dimension différente de celle de ladite face d'entrée dudit résonateur de sortie. 5. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend un premier ensemble de résonateurs (R;E) 30 d'entrée et un second ensemble de résonateurs de sortie (RAS), une première structure de cristal phononique (CP1) étant disposée entre chaque ensemble. 6. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend plus de deux résonateurs couplés, une première structure de cristal phononique (CP1) étant disposée entre chaque couple de résonateurs. 7. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la première structure de cristal phononique (CP1) est une structure de lentille acoustique. 10 8. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la seconde structure de cristal phononique (CP2) assure une fonction miroir pour lesdites ondes acoustiques. 9. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 15 précédentes, caractérisé en ce que la première structure de cristal phononique est une structure de couplage d'ondes acoustiques et le coefficient de transmission des ondes acoustiques des secondes structures de cristal phononique est beaucoup plus faible que celui des premières structures de cristal phononique. 20 10. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un résonateur d'entrée connecté à un premier potentiel (V1) et à la masse, un premier résonateur de sortie connecté à un second potentiel (+V2) et à la masse et 25 un second résonateur de sortie connecté à l'inverse du second potentiel (-V2) et à la masse, de manière à assurer une conversion d'impédance et de modes acoustiques entre le résonateur d'entrée et les résonateurs de sortie. 11. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 2 à 30 10, caractérisé en ce que la structure de cristal phononique est située dans la couche de matériau piézoélectrique ou électrostrictif. 12. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 2 à 10, caractérisé en ce que la structure de cristal phononique (CP1, CP2) comporte 35 des motifs en surface de la couche de matériau piézoélectrique ou5électrostrictif. 13. Filtre à ondes acoustiques selon la revendication 12, caractérisé en ce que les motifs de la structure phononique (CP1 ou CP2) sont réalisés 5 avec au moins l'un des matériaux suivants : SiO2, SiN, Mo, W, AIN . 14. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que la structure de cristal phononique est unidimensionnelle ou bidimensionnelle ou encore tridimensionnelle. 15. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 2 à 14, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est un matériau parmi AIN, LiNbO3, ZnO, PZT, quartz. 15 16. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 2 à 14, caractérisé en ce que le matériau électrostrictif est un matériau choisi parmi BaSrTiO3, SrTiO3, BaTiO3. 17. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 20 précédentes, caractérisé en ce que la structure de cristal phononique comporte des inclusions atomiques et/ou des espèces diffusées. 18. Filtre à ondes acoustiques selon la revendication 17, caractérisé en ce que les inclusions sont obtenues par implantation d'atomes 25 d'hydrogène. 19. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la structure de cristal phononique comporte des trous. 30 20. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 19, caractérisé en ce que, ledit filtre comportant plusieurs premières structures de cristal phononique, certaines desdites premières structures (CP1) présentent des coefficients d'atténuation des ondes acoustiques différents 35 des autres premières structures. 19 10 21. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 20, caractérisé en ce que les résonateurs sont des résonateurs à ondes de volume. 22. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 20, caractérisé en ce que les résonateurs sont des résonateurs à ondes de Lamb et comprennent une électrode supérieure et une électrode inférieure. 10 23. Filtre à ondes acoustiques selon l'une des revendications 1 à 20, caractérisé en ce que les résonateurs sont des résonateurs à ondes de surface et comprennent des électrodes positionnées à la surface du matériau piézoélectrique. 15