FR 2955443 A1 20110722 FR 1050330 A 20100119 Structure de haut-parleur électrodynamique à technologie MEMS La présente invention concerne une structure de haut-parleur électrodynamique à technologie MEMS. Plus particulièrement l'invention concerne une telle structure qui comporte des moyens formant stator, des moyens formant diaphragme et des moyens élastiquement déformables, de liaison de ces moyens. On connaît déjà dans l'état de la technique des structures de haut-parleur de ce type comme celle décrite par exemple dans le document IEEE « Transactions on Biomédical Circuits and Systems », volume 3, No. 5, Octobre 2009, pour «A Compact and Low-Cost MEMS Loudspeaker for Digital Hearing Aids », de Sang-Soo Je et al. Dans ce document, les moyens formant diaphragme se présentent sous la forme d'une membrane en polyimide associée à des moyens formant stator réalisés sur la base d'une pastille de silicium Cette structure de moyens formant diaphragme présente cependant un certain nombre d'inconvénients notamment au niveau de sa complexité de réalisation, de sa limitation en puissance et de son rendement. Le but de l'invention est donc de résoudre ces problèmes. A cet effet l'invention à pour objet une structure de haut-parleur électrodynamique à technologie MEMS du type comportant des moyens formant stator, des moyens formant diaphragme et des moyens élastiquement déformables, de liaison de ces moyens, caractérisée en ce que les moyens formant stator, les moyens formant membrane et les moyens de liaison sont formés d'une seule pièce par usinage d'une pastille de silicium. Selon d'autres aspects de l'invention, la structure de haut-parleur comprend l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : - les moyens de liaison comprennent des bras de liaison régulièrement répartis entre les moyens formant stator et les moyens formant diaphragme, - au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme comporte des moyens de rigidification de ceux-ci, - les moyens de rigidification comprennent des nervures, - les moyens de rigidification comprennent des nervures radiales, - les moyens formant diaphragme présentent une épaisseur croissante vers leur périphérie, - au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme comprend des moyens en forme de bobine,35 2 - les moyens en forme de bobine comportent des portions de raccordement électriques portées par les moyens de liaison, - les moyens en forme de bobine sont réalisés en cuivre, - au moins l'une des faces des moyens formant stator comprend des moyens en matériau magnétique dur, - les moyens en matériau magnétique dur se présentent sous la forme d'un anneau disposé autour des moyens formant diaphragme, - les moyens en matériau magnétique dur sont réalisés dans un alliage de Samarium-Cobalt ou de Fer-Néodyme-Bore, - au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme comprend des perçages borgnes, - la masse des moyens en forme de bobine est égale ou à peu près égale à la masse des moyens formant diaphragme, - la pastille de silicium dans laquelle sont usinés les différents moyens de la structure, est à base de technologie SOI, et - la pastille est en silicium monocristallin. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés, sur lesquels : - la figure 1 représente une vue en perspective avec une portion arrachée d'une structure de haut-parleur selon l'invention, - la figure 2 représente une vue en perspective à échelle agrandie d'une portion de cette structure, - les figures 3 et 4 représentent des vues en perspective de la face arrière d'une telle structure, - la figure 5 illustre l'usinage d'une pastille de silicium monocristallin pour obtenir une structure selon l'invention, - les figures 6 et 7 représentent des vues de derrière de différentes variantes de réalisation d'une structure selon l'invention, et - les figures 8 à 11 représentent des vues en perspective illustrant différentes variantes de réalisation d'une structure de haut-parleur selon l'invention. On a en effet illustré sur ces figures et en particulier sur les figures 1 et 2, une structure de haut-parleur électrodynamique à technologie MEMS qui est désignée par la référence générale 1. De façon générale, une telle structure comporte des moyens formant stator désignés par la référence générale 2, des moyens formant diaphragme désignés par la référence générale 3 et des moyens élastiquement déformables, de liaison de ces moyens, ces moyens élastiquement déformables de liaison étant désignés par la référence générale 4. En fait et comme cela est illustré, les moyens formant stator, les moyens formant membrane et les moyens de liaison sont formés d'une seule pièce par micro- structuration/usinage d'une pastille de silicium par exemple monocristallin, cette pastille de silicium étant par exemple à base de technologie SOI pour « Silicium On Isolant », comme cela est illustré. Du silicium polycristallin peut également être envisagé. Comme on peut le voir sur les différentes figures 1 à 5 et de façon plus claire sur la figure 5, les moyens de liaison désignés par la référence 4 comprennent en fait des bras de liaison régulièrement répartis entre les moyens formant stator 2 et les moyens formant diaphragme 3. Ces bras peuvent par exemple être au nombre de quatre comme cela est illustré sur la figure 5. Il va de soi bien entendu qu'un autre nombre et des formes différentes de bras peuvent être envisagés comme cela sera décrit plus en détail par la suite. Sur cette figure 5, les différents bras sont désignés par les références 5, 6, 7 et 8 respectivement. Comme cela est également illustré sur ces figures, au moins l'une des faces comme par exemple la face arrière des moyens formant diaphragme 3 comporte des moyens de rigidification de ceux-ci. Ces moyens de rigidification sont désignés par la référence générale 9 sur ces figures et ils sont formés par exemple comme cela est visible plus clairement sur les figures 3 et 4, par des nervures de rigidification de préférence radiales dont l'une est par exemple désignée par la référence générale 10. En fait, cette rigidification des moyens formant diaphragme 3 peut être obtenue par d'autres moyens comme par exemple en prévoyant une épaisseur croissante de ces moyens formant diaphragme, du centre vers leur périphérie. L'autre face par exemple de ces moyens formant diaphragme 3 comporte des moyens en forme de bobine désignés par la référence générale 11 sur les figures 1 et 2. Ces moyens en forme de bobine 11 comportent des portions de raccordement électriques portées par les moyens de liaison tels que par exemple la portion désignée par la référence générale 12 sur la figure 1, cette portion étant par exemple portée par le bras de liaison 6. Ces moyens en forme de bobine 11 peuvent par exemple être réalisés en cuivre mais il va de soi bien entendu que d'autres modes de réalisation peuvent être envisagés. Enfin au moins l'une des faces de moyens formant stator comprend des moyens en matériau magnétique dur qui se présentent par exemple sous la forme d'un anneau disposé autour des moyens formant diaphragme 3. Ces moyens en matériau magnétique dur peuvent être réalisés dans un alliage de Samarium-Cobalt ou de Fer-Néodyme-Bore ou autre. Dans l'exemple de réalisation illustré sur les figures 1 et 2, les deux faces des moyens formant stator comprennent de tels anneaux, ces anneaux étant désignés par les références générales 13 et 14 respectivement. Ces anneaux sont alors disposés de part et d'autre de la pastille SOI, une entretoise par exemple 15 pouvant être associée à l'anneau 13 de manière à ce que ces anneaux soient disposés symétriquement de part et d'autre de cette pastille. On notera également que, comme cela est illustré sur les figures 6 et 7, au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme 3 peut comporter des perçages borgnes tels que par exemple le perçage désigné par la référence générale 16 sur la figure 6 ou le perçage 17 sur la figure 7, ces perçages pouvant présenter des formes diverses. En fait, ces perçages sont destinés à permettre un allègement de ces moyens formant diaphragme. Enfin, on notera que la masse des moyens en forme de bobine est égale ou à peu près égale à la masse des moyens formant diaphragme pour optimiser le rendement de cette structure. On conçoit alors que cette structure de haut-parleur est réalisée de façon collective sur un substrat en silicium. Plusieurs centaines de ces structures peuvent être fabriquées simultanément sur une pastille « WAFER », c'est-à-dire un disque circulaire de silicium traditionnellement utilisé pour la réalisation des composants électroniques semi- conducteurs. Les moyens formant diaphragme sont formés par une surface plane circulaire suspendue par des bras de liaison aux moyens formant stator. Les différentes formes sont « micro-structurées/usinées » sur le substrat. Le silicium donne d'une part une grande rigidité à la face parlante, c'est-à-dire la face mobile émettant l'onde sonore, et permet d'autre part une déformation des bras de liaison, sans subir de fatigue mécanique. Les moyens en forme de bobine sont déposés « en spirale » sur la face mobile, les liaisons électriques se faisant par les bras de liaison. Un anneau de matériau magnétique dur fixé ou déposé sur les moyens formant stator crée un champ magnétique radial. L'ensemble réalise un circuit magnétique sans fer et permet une grande qualité acoustique. Tout ou partie du traitement électrique et de l'amplification du signal pour l'alimentation de cette structure de haut-parleur peut être réalisé sur la même puce de silicium, ce qui permet notamment un pilotage en courant du bobinage mobile. La réalisation de la partie mobile, diaphragme et bras de liaison, est faite à l'aide de techniques d'usinage du silicium déjà mises en oeuvre pour la réalisation de micro-capteurs de type accéléromètre par exemple. Le diaphragme est un disque de silicium de diamètre compris entre 5 et 15 millimètres et d'épaisseur de 20 à 400 microns par exemple. Dans le cas d'un diaphragme épais, ce dernier est allégé par des perçages non débouchants. Cet allègement peut représenter jusqu'à 90 % de la masse initiale. La masse mobile est un critère prépondérant pour le rendement. La partie mobile doit être la plus légère possible, mais la surface émissive c'est-à-dire le diaphragme, doit être la plus rigide possible. De façon préférentielle, le premier mode propre de déformation de la face parlante doit être de fréquence supérieure à la fréquence la plus aigue de la bande passante de la structure. Les bras de liaison sont usinés pour permettre le mouvement et le débattement souhaités du diaphragme. La largeur de l'usinage de l'espace entre les organes est suffisamment petite pour limiter les fuites acoustiques entre face avant et face arrière de la structure. Les moyens en forme de bobine sont déposés par exemple en cuivre sur l'une des faces du diaphragme selon un procédé connu. La continuité électrique vers la partie mobile est obtenue à l'aide de pistes déposées sur les bras de liaison. L'extrémité centrale de ces moyens en forme de bobine rejoint un bras par la face opposée du diaphragme, en utilisant une technique connue des composants électroniques. Ces bras de liaison peuvent avoir une épaisseur inférieure à celle du diaphragme, afin de les rendre plus souples. Le mouvement de la partie mobile doit donc être une image fidèle du signal électrique qui alimente cette bobine et ce signal est amplifié afin de lui conférer la puissance nécessaire pour mettre le diaphragme en mouvement. Pour obtenir une puissance acoustique donnée, il faut qu'un volume d'air donné soit mis en mouvement et donc que le diaphragme se déplace de façon suffisamment importante. Les dimensionnements électriques et mécaniques sont ainsi faits dans ce but, afin d'obtenir une source acoustique de qualité supérieure à celle obtenue avec les systèmes de l'état de la technique et permettre une reproduction fidèle de musique notamment, y compris dans les basses fréquences, ce qui n'est pas le cas aujourd'hui. Une telle structure trouve de nombreuses applications en raison des tensions considérées et des autonomies requises, notamment dans les téléphones, baladeurs, lecteurs de musique divers, etc. Il va de soi bien entendu que différents modes de réalisation peuvent être envisagés comme cela est illustré sur les figures 8 à 11, différentes formes de moyens formant stator, de moyens formant diaphragme, bobine et bras pouvant être envisagées. REVENDICATIONS1.- Structure de haut-parleur électrodynamique à technologie MEMS, du type comportant des moyens formant stator (2), des moyens formant diaphragme (3) et des moyens élastiquement déformables (4), de liaison de ces moyens, caractérisée en ce que les moyens formant stator (2), les moyens formant membrane (3) et les moyens de liaison (4) sont formés d'une seule pièce par usinage d'une pastille de silicium. 2.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens de liaison (4) comprennent des bras de liaison (5, 6, 7, 8) régulièrement répartis entre les moyens formant stator (2) et les moyens formant diaphragme (3). 3.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme (3) comporte des moyens de rigidification (9, 10) de ceux-ci. 4.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 3, caractérisée en ce que les moyens de rigidification comprennent des nervures (10). 5.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 4, caractérisée en ce que les moyens de rigidification comprennent des nervures radiales (10). 25 6.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que les moyens formant diaphragme (3) présentent une épaisseur croissante vers leur périphérie. 7.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des 30 revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme (3) comprend des moyens en forme de bobine (11). 8.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 7, caractérisée en ce que les moyens en forme de bobine (11) comportent des portions de 35 raccordement électriques (12) portées par les moyens de liaison (4).20 9.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 7 ou 8, caractérisée en ce que les moyens en forme de bobine (11) sont réalisés en cuivre. 10.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins l'une des faces des moyens formant stator (2) comprend des moyens en matériau magnétique dur (13, 14). 11.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 10, caractérisé en ce que les moyens en matériau magnétique dur se présentent sous la forme d'un anneau (13, 14) disposé autour des moyens formant diaphragme (3). 12.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 10 ou 11, caractérisé en ce que les moyens en matériau magnétique dur (13, 14) sont réalisés dans un alliage de Samarium-Cobalt ou de Fer-Néodyme-Bore. 13.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins l'une des faces des moyens formant diaphragme comprend des perçages borgnes (16, 17). 20 14.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon la revendication 7 et l'une quelconque des revendications 8 à 13, caractérisée en ce que la masse des moyens en forme de bobine (11) est égale ou à peu près égale à la masse des moyens formant diaphragme (3). 25 15.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que la pastille de silicium dans laquelle sont usinés les différents moyens de la structure, est à base de technologie SOI. 16.- Structure de haut-parleur électrodynamique selon l'une quelconque des 30 revendications précédentes, caractérisée en ce que la pastille est en silicium monocristallin.15