FR 2954021 A1 20110617 FR 0905974 A 20091210 Micro/Nano-résonateur compensé à détection capacitive améliorée et procédé d'élaboration Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un résonateur comportant : un élément oscillant, 1 o des première et deuxième électrodes d'excitation de l'élément oscillant ayant chacune une face principale au moins partiellement en regard de l'élément oscillant, des moyens pour faire osciller l'élément oscillant par l'intermédiaire des électrodes d'excitation de manière que l'élément oscillant se rapprochant 15 d'une des électrodes d'excitation, il s'éloigne de l'autre électrode d'excitation. L'invention est également relative à un oscillateur et à un procédé de réalisation d'un tel résonateur excité au moyen de première et deuxième 20 électrodes. Etat de la technique Afin de pouvoir continuer la course à la miniaturisation, les circuits 25 microélectroniques doivent intégrer de nouvelles fonctions tout en minimisant la surface des circuits. Un des principaux domaines d'étude est l'intégration de dispositifs résonants à l'intérieur des puces. En effet, dans de nombreux domaines, tels que les bases de temps (les références temporelles), les capteurs chimiques en phase gazeuse, les capteurs de force moléculaire ou 30 encore les spectromètres de masse, il est intéressant que le circuit intégré comporte au moins un oscillateur électromécanique. Les concepteurs5 travaillent à remplacer l'oscillateur qui est un composant discret supplémentaire par un oscillateur électromécanique (à base de microsystème résonant) intégré. En intégrant cet oscillateur, on peut alors espérer, en plus du gain en surface ou en volume du dispositif, un gain en énergie consommée et une amélioration des performances. De manière conventionnelle, le résonateur comporte un élément oscillant qui se met en mouvement, à une fréquence donnée, autour d'une position fixe. Ce mouvement est maximal à la fréquence de résonance et quasi-nul en ~o dehors. Le résonateur comporte également une électrode d'excitation qui applique la force nécessaire au mouvement de l'élément oscillant. Le résonateur comporte également une électrode de détection qui est influencée par la position de l'élément oscillant et qui produit un signal électrique représentatif de l'oscillation (signal maximal à la résonance et quasi-nul en 15 dehors). Le résonateur est caractérisé par un certain nombre de grandeurs représentatives du dispositif et de sa technologie de réalisation. Les résonateurs sont caractérisés par leur fréquence de résonance fo qui dépend 20 des paramètres géométriques de l'élément oscillant et des matériaux qui le constituent. Le résonateur est également caractérisé par son facteur de qualité Q lié aux pertes énergétiques à l'intérieur du résonateur (plus les pertes sont faibles et plus le facteur de qualité est grand). 25 Dans le cas d'une détection capacitive du mouvement de l'élément oscillant, le comportement du résonateur (l'élément oscillant et les parties fixes) peut être modélisé au moyen d'un circuit de type RLC et d'une capacité parasite Cpa connectée en parallèle. Lorsque l'élément oscillant se déplace à la fréquence de résonance, les valeurs de la capacité et de l'inductance 30 s'annulent mutuellement et il ne reste dans le circuit RLC que la résistance dite motionnelle, notée RM. Cette résistance motionnelle permet de caractériser la performance électromécanique du résonateur (plus la résistance motionnelle est petite et plus le résonateur est performant au sens où pour une tension d'excitation donnée, le résonateur va générer plus de courant). Quelle que soit la structure mécanique utilisée, il existe toujours un couplage capacitif Cpa entre l'électrode d'excitation et l'électrode de détection. Ce couplage parasite induit un signal électrique, communément appelé « signal de fond », en l'occurrence un courant parasite de fond, noté ip. Ce signal ~o parasite est présent sur toute la plage de fréquence utilisée par le résonateur. Ce signal parasite se superpose au signal électrique de résonance qui provient du résonateur, en l'occurrence, le courant motionnel noté iM. 15 Selon les cas de figure, le signal parasite peut partiellement ou totalement masquer le signal de résonance. De manière générale, l'influence néfaste d'une capacité parasite de couplage trop importante se traduit par quatre composantes (i) il existe un pic d'antirésonance qui est décalé par rapport au pic de 20 résonance mécanique, (ii) le gain relatif du signal du résonateur par rapport au signal de fond est diminué, (iii) le changement de phase à la résonance est diminué car (iv) le signal de fond est augmenté. 25 II en résulte que l'obtention d'un oscillateur en boucle fermée à partir d'une détection capacitive des oscillations d'un tel résonateur est rendue difficile car le gain et le changement de phase sont diminués. Tout ceci provient du fait que la forme et l'information provenant du signal de détection capacitive sont modifiées voire gommées par la capacité parasite Cpa. Accessoirement, 30 le fait d'avoir un signal de fond avec une amplitude importante (un signal de forte intensité) peut aboutir à la saturation du circuit électronique réalisant l'amplification du signal. Différentes configurations de mesure ont été proposées afin de limiter l'influence du signal parasite lors de l'utilisation du résonateur à détection capacitive. Palaniapan et al. (« Micromechanical resonator with ultra-high quality factor », Electronics Letters, vol.43, n°20, September 2007) ont proposé une structure à détection différentielle qui atténue l'effet de la capacité parasite Cpa: 10 Comme illustré à la figure 1, le résonateur comporte un élément oscillant 1, des première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation, des troisième 4 et quatrième 5 électrodes de détection et une électrode additionnelle 6 qui est interconnectée à l'élément oscillant 1. Le résonateur comporte également un 15 bloc de conversion 15 qui transforme un signal unique en deux signaux en opposition de phase, ce bloc 15 est connecté aux première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation. Ce bloc de conversion 15 applique sur les première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation des tensions de même amplitude mais en opposition de phase. 20 Un montage similaire est réalisé au niveau des électrodes de détection 4 et 5 afin d'obtenir le signal représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant 1. Les troisième 4 et quatrième 5 électrodes sont connectées à un autre bloc de conversion 16 qui est différent et ressort un signal représentant la 25 soustraction des signaux provenant des troisième 4 et quatrième 5 électrodes. Une tension de polarisation Vp est appliquée à l'électrode additionnelle 6 qui est interconnectée électriquement avec l'élément oscillant 1. 30 Cette configuration de mesure apporte une réponse toute théorique à l'atténuation de l'effet de la capacité parasite Cpa sur les caractéristiques du résonateur. En effet, pour réaliser l'élimination de la composante parasite, il est nécessaire que cette architecture comporte quatre électrodes exactement de même longueur, quatre entrefers électrode-résonateur exactement de même dimension. II est également nécessaire que les pointes de test et/ou les lignes de connexions soient identiques en tous points. Dans la mesure où une telle architecture n'est pas réalisable d'un point de vue technologique ni d'un point de vue de l'instrumentation, la problématique de l'effet de la capacité parasite sur les caractéristiques du signal de sortie reste posée. Objet de l'invention L'invention a pour objet un résonateur qui permet la réduction voire l'élimination de l'effet des capacités parasites sur les caractéristiques de sortie du résonateur tout en ayant une mise en oeuvre facile. Le résonateur selon l'invention est caractérisé en ce qu'une électrode additionnelle est connectée électriquement à l'élément oscillant en un point tel que les influences capacitives des électrodes d'excitation s'égalisent, un signal représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant est fourni par l'intermédiaire de l'électrode additionnelle, en ce qu'une différence de potentiels entre l'élément oscillant et les électrodes d'excitation est appliquée via les électrodes d'excitation ou l'électrode additionnelle et en ce qu'il comporte une troisième électrode de polarisation connectée à une première source de tension continu. L'invention a également pour objet un procédé qui soit facile à mettre en oeuvre et qui assure l'obtention d'un résonateur symétrique d'un point de vue du fonctionnement malgré la dissymétrie intrinsèque à la réalisation. Le procédé selon l'invention est caractérisé en ce qu'il comporte : - l'application d'une première tension continue de polarisation à une troisième électrode pour placer l'élément oscillant à équidistance de la première électrode d'excitation et de la deuxième électrode d'excitation, l'application d'une différence de potentiels alternative entre l'élément oscillant et les électrodes d'excitation, l'application d'une troisième tension sur une électrode additionnelle connectée électriquement à l'élément oscillant et les électrodes d'excitation, la mesure d'un signal de sortie au niveau de l'électrode additionnelle. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : la figure 1 représente, de manière schématique, un résonateur selon l'art antérieur, - la figure 2 représente, de manière schématique, un résonateur selon l'invention, les figures 3 à 5, représentent, de manière schématique, différents modes de réalisation d'un résonateur, et différents modes de vibration de l'élément oscillant, la figure 6 représente, de manière schématique, un oscillateur obtenu au moyen d'un résonateur selon l'invention la figure 7 représente, de manière schématique, un mode de réalisation d'un oscillateur obtenu au moyen d'un résonateur selon l'invention. 2954021 Description d'un mode de réalisation préférentiel de l'invention Comme illustré à la figure 2, le résonateur comporte un élément oscillant 1 et une pluralité d'électrodes disposées à distance de l'élément oscillant 1. s L'élément oscillant est dans un matériau conducteur, ou semi-conducteur, par exemple un semi-conducteur dopé, qui peut être actionné par des forces capacitives. L'élément oscillant est solidaire du substrat par des points d'ancrage formés dans ou sur le substrat de support. Le résonateur est de taille micrométrique ou nanométrique et peut ainsi être réalisé au moyen des ~o techniques conventionnelles de l'industrie de la microélectronique. Un premier jeu d'électrodes d'excitation est formé au moins par une paire d'électrodes d'excitation, ici des première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation de l'élément oscillant 1. Selon les modes de réalisation, les 15 première et seconde électrodes d'excitation peuvent être en regard ou non, mais les électrodes d'excitation sont toujours au moins partiellement en regard de l'élément oscillant 1. Dans une variante de réalisation, il est possible d'avoir une pluralité de premières électrodes d'excitation et/ou une pluralité de secondes électrodes d'excitation (électrodes 3 de la figure 2). 20 Le résonateur comporte au moins une troisième électrode 4 de polarisation. A titre d'exemple illustré à la figure 2, un deuxième jeu d'électrodes de polarisation est formé ici par des troisième 4 et quatrième 5 électrodes. Les troisième 4 et quatrième 5 électrodes de polarisation sont au moins 25 partiellement en regard de l'élément oscillant et servent à créer dans l'élément oscillant un courant non nul pouvant être utilisé en sortie du résonateur. Chaque électrode sert également à déplacer l'élément oscillant, via la force électrostatique qu'elle impose, dans la direction perpendiculaire à son propre axe, et ceci afin de tendre à égaliser les forces électrostatiques 30 des électrodes d'excitation par modification des entrefers (dues aux déplacements induits). Chaque électrode de polarisation est associée à une source de tension distincte. Le résonateur comporte également une électrode additionnelle 6 ou un jeu d'électrodes additionnelles 6a, 6b (figure 3) qui sont connectées électriquement à l'élément oscillant 1 et qui fournissent en sortie du résonateur un signal électrique représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant 1 (VOUTa et VOUTb). L'électrode additionnelle 6 est en un point tel que les influences capacitives des électrodes d'excitation s'égalisent et donc se 1 o neutralisent vue la nature différentielle de l'excitation. L'électrode additionnelle et sa connexion électrique, telle que sa piste métallique et/ou des fils de connexion, sont disposées de manière que les influences capacitives des électrodes d'excitation s'égalisent. L'influence de la première électrode d'excitation est identique à l'influence de la seconde électrode 15 d'excitation. S'il existe un plan de symétrie entre les premières et seconde électrodes d'excitation, l'électrode additionnelle est localisée sur cette axe de symétrie et sa connexion électrique suit cette axe afin d'avoir des influences 20 équivalentes ou égales de la part des premières et secondes électrodes d'excitation. S'il n'existe pas de plan de symétrie, par exemple, car il n'y a pas le même nombre de premières et secondes électrodes d'excitation, ou la même 25 disposition des électrode, ou la même surface en regard, la position de l'électrode additionnelle se décale par rapport au plan de symétrie défini précédemment afin de compenser les influences capacitives sur l'électrode additionnelle 6. De manière générale, l'électrode additionnelle 6 est réalisée par tout moyen adaptée, par un moyen de conduction placé sur l'élément oscillant et qui permet de faire sortir le signal de sortie. Dans un mode de réalisation particulier, le signal de sortie VOUT du résonateur, c'est-à-dire le signal représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant 1, est mesuré par l'intermédiaire d'un des points d'ancrage mécanique de l'élément oscillant 1. Ce point d'ancrage mécanique forme l'électrode additionnelle 6 et il doit être conducteur électriquement. io L'électrode additionnelle est le point d'ancrage ou un des points d'ancrage situé dans le plan de symétrie ou à proximité du plan de symétrie s'il n'existe pas de point d'ancrage dans le plan de symétrie. L'utilisation du point d'ancrage en tant qu'électrode additionnelle 6 permet de simplifier la structure et de faciliter la sortie du signal VouT. La connexion électrique à 15 partir du point d'ancrage pour transmettre le signal de sortie est orientée de préférence selon l'axe de symétrie s'il existe sinon il est orienté de manière à compenser les influences capacitives des première et seconde électrodes d'excitation. 20 L'élément oscillant 1 est, par exemple, de type plaque, de type disque ou de type poutre encastrée-encastrée ou encastrée-libre. L'architecture du résonateur, c'est-à-dire au moins de l'élément oscillant 1 et des électrodes d'excitation 2 et 3 est telle que lorsque l'élément oscillant se rapproche de la première électrode d'excitation 2, il s'éloigne simultanément de la seconde 25 électrode d'excitation. Avantageusement, lorsque l'élément oscillant 1 se rapproche d'une certaine distance d'une des électrodes d'excitation, il s'éloigne de la même distance de l'autre électrode d'excitation. L'oscillation de l'élément oscillant est réalisée par tout moyen 7 pour faire 3o osciller l'élément oscillant 1 par l'intermédiaire des électrodes d'excitation 2, 3 de manière à ce que l'élément oscillant 1 se rapprochant d'une des électrodes d'excitation, il s'éloigne de l'autre électrode d'excitation. Ce type d'oscillation peut être obtenu, par exemple, en appliquant des forces (ou des pressions selon la configuration) de même amplitude mais en opposition de phase en deux endroits distincts de l'élément oscillant 1. De manière classique, l'oscillation de l'élément oscillant est réalisée en disposant de manière judicieuse les électrodes d'excitation 2, 3 par rapport aux points d'ancrage. A titre d'exemple illustré aux figures 2 à 7, l'oscillation peut être obtenue au 10 moyen d'un dispositif de génération de deux signaux en opposition de phase 7, ici un coupleur directif (power splitter en anglais) est connecté aux première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation. Le dispositif de génération de signaux délivre sur les première 2 et deuxième 3 électrodes respectivement des premier et second signaux de même amplitude et en 15 opposition de phase. De manière classique, le dispositif de génération des signaux en opposition de phase et de même amplitude n'est pas parfait et il peut exister des décalages que le résonateur (via son montage électrique) est en mesure de compenser. 20 Le dispositif de génération de deux signaux est par exemple un diviseur de puissance ou un coupleur directif 7 ayant une borne d'entrée et au moins des première 7a et seconde 7b bornes de sortie. Les première 7a et seconde 7b bornes de sortie sont respectivement connectées aux première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation. Un signal original d'excitation VIN est 25 appliqué sur la borne d'entrée du diviseur de puissance 7. En sortie, le diviseur de puissance 7 délivre des premier et second signaux d'excitation respectivement sur les première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation. Les premier et second signaux d'excitation sont en opposition de phase, c'est-à-dire que leur différence de phase est égale à 180°. Les premier et second 30 signaux présentent la même amplitude. Les première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation ont pour but d'actionner de manière capacitive l'élément oscillant 1 qui vibre alors autour d'une position fixe. Avantageusement, l'élément oscillant vibre dans un mode de Lamé pour un élément oscillant de type plaque illustré à la figure 3, ou dans un mode de type elliptique (Wine-glass en anglais) pour un élément oscillant de type disque illustré à la figure 4 ou dans un mode en flexion pour une poutre encastrée-encastrée illustré à la figure 5. Pour un élément oscillant de type plaque ou disque qui vibre selon les modes ci-dessus, les première et seconde électrodes d'excitation ne sont en regard et elles sont to avantageusement perpendiculaires entre elles. Pour un élément oscillant de type poutre encastrée-encastrée ou encastrée-libre, les première et deuxième électrodes d'excitation sont de part et d'autre de l'élément oscillant et de préférence en regard. 15 Chacune des électrodes de polarisation, ici les troisième 4 et quatrième 5 électrode comporte une borne d'application d'une tension de polarisation. Une première tension continue de polarisation VI.1 est appliquée sur la troisième électrode 4 et une seconde tension continue de polarisation Vp2 est appliquée sur la quatrième électrode 5. Ainsi, une première source de 20 tension 8 continue est connectée à la troisième électrode 4 et une seconde source de tension 9 continue est connectée à la quatrième électrode 5. L'électrode de polarisation ou les électrodes de polarisation permettent de créer un courant dans l'élément oscillant et de déplacer la structure comme expliqué précédemment. Ce courant induit dans l'élément oscillant est 25 ensuite mesuré par l'électrode additionnelle 6 et sert à la détection du pic de résonance. Afin de faciliter l'intégration du résonateur dans un circuit intégré, le signal de sortiepeut être modifié par un circuit 10 de mise en forme qui isole tout ou 30 partie du signal de sortie. Le circuit 10 de mise en forme est avantageusement formé dans le circuit intégré ou en même temps que le résonateur pour faciliter l'analyse du signal de sortie par le circuit 10 et conserver ainsi un résonateur compact. Avantageusement, le circuit de mise en forme 10 ne fournit que la composante alternative du signal VOUT délivré par l'élément oscillant 1 au moyen de l'électrode additionnelle 6. Le circuit 10 de mise en forme peut être un T de polarisation (bias tee en anglais) ou un circuit actif connecté à l'électrode additionnelle 6. Le circuit 10 de mise en forme délivre alors le signal de sortie VOUT du résonateur. Le circuit actif est par exemple un amplificateur opérationnel qui comporte une 10 résistance connectée en contre-réaction. La résistance utilisée a une valeur égale ou sensiblement égale à celle de la résistance motionnelle du résonateur. Dans le cas idéal où l'architecture obtenue est symétrique, les capacités qui 15 existent entre une face de l'élément oscillant 1 et chacune des électrodes de détection 2 et 3 et des deux autres électrodes 4 et 5 sont identiques en valeur. Elles sont toute égales à la capacité nominale dite « statique » qui existe quand l'élément oscillant 1 est au repos. Si la troisième tension continue Vb est non nulle, les forces électrostatiques dynamiques 20 d'excitation qui sont appliquées sur l'élément oscillant 1 sont de la forme générale F(t) . gsVbVin( t) 25 avec Vb : la composante continue de la différence de potentiels qui existe entre les électrodes d'excitation et l'élément oscillant, Vin(t) : le signal alternatif d'excitation, S : la surface en regard entre une face de l'élément oscillant et une des électrodes d'excitation (en supposant que les surfaces sont identiques pour toutes les faces), g2 : l'entrefer entre une face de l'élément oscillant et une des électrodes d'excitation (en supposant que les entrefers sont identiques pour toutes les faces), so : la constante diélectrique du milieu entre les électrodes et l'élément oscillant. 10 Les forces provenant des première et deuxième électrodes d'excitation évoluent dans le temps et sont de signes opposées à cause de l'opposition de phase des signaux reçus par chacune des électrodes d'excitation. On remarque qu'il est important d'avoir une composante continue Vb non 15 nulle de la différence de potentiels qui existe entre les électrodes d'excitation 2, 3 et l'élément oscillant 1 pour pouvoir appliquer une force électrostatique nécessaire à l'actionnement de l'élément oscillant et linéaire avec le signal d'excitation Vin. Cette ,différence de potentiels Vb qui représente la composante continue de la différence de potentiels doit exister entre les 20 électrodes d'excitation et l'élément oscillant et doit être ajoutée à la composant alternative provenant du moyen 7 pour faire osciller l'élément oscillant 1. L'électrode additionnelle 6 étant connectée électriquement à l'élément 25 oscillant 1, il est possible dans un premier mode de réalisation particulier de polariser le résonateur par rapport aux électrodes d'excitation à une tension continue prédéfinie. L'électrode additionnelle continue de récupérer le signal électrique (c'est-à-dire un courant) produit par l'élément oscillant. 30 Dans un autre mode de réalisation particulier, une même tension continue additionnelle Vb' est appliquée sur les première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation, en plus des premier et second signaux d'excitation, tandis que l'élément oscillant est polarisé à un potentiel continu différent de Vb' par l'intermédiaire de l'élément 6. Ces deux modes de réalisation permettent d'appliquer la différence de potentiel recherchée entre les électrodes d'excitation et l'élément oscillant 1, mais il est également possible de les combiner afin que la différence de potentiels provienne partiellement de la tension appliquée sur les électrodes d'excitation 2, 3 et de la tension appliquée sur l'élément oscillant 1. De manière avantageuse, les courants induits dans le résonateur par les première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation s'annulent car, entre autres, les forces appliquées sont en parfaite opposition de phase ce qui va de pair avec le mode de vibration utilisé. 15 Les courants induits dans le résonateur par les troisième 4 et quatrième 5 électrodes se somment. Si la forme du mode de résonnance, comme décrit ci-dessus, est tel que lorsque le résonateur se rapproche d'une électrode de polarisation, il 20 s'éloigne de l'autre, on peut écrire en première approximation que le courant est de la forme i4 + i5 ~9 (VPl -Vp2) ddtt) avec, i4 et i5 étant respectivement les courants induits par les troisième 4 et quatrième 5 électrodes, 25 Vpi et VP2 étant respectivement les tensions de polarisation appliquées sur les troisième et quatrième électrodes, dc(t) représentant la variation de la capacité électrique induite autour de la dt valeur au repos dans le temps. Cette formule, qui ne comprend qu'un seul terme (celui de résonance) 30 indique qu'il n'y a plus de signal de fond. 10 Si le mouvement du résonateur par rapport à chaque électrode de polarisation est dans le même sens, alors on a i4 + i5 2C0 dVou, (t) + (VP1 + VP2 ù 2Vb) dc(t) dt dt Or, en première approximation, on peut montrer que le signal de sortie, la tension alternative, VouT est très faible et donc que le même courant, que le courant lié au signal de fond est négligeable par rapport au courant lié à la 10 résonance. Les courants induits par les capacités parasites qui proviennent des couplages parasites entrée/sortie entre les électrodes d'excitation et l'électrode additionnelle 6 se somment et le courant est de la forme dV,n(t) dV,n(t) 15 1PA1 + 1PA2 CPA1 dt -CPA2 dt avec, ipA1 et ipA2 respectivement les courants induits par les première CpA1 et seconde CPA2 capacités parasites, CpA1 et CPA2 respectivement les valeurs de capacité électrique des première et seconde capacités parasites, dV. (t) 20 dt représentant la variation du signal d'excitation dans le temps De manière générale, la somme des courants induits par les première et seconde capacités parasites est non nulle et de valeur positive ou négative. Si la somme iPA1 + iPA2 est positive, la réponse fréquentielle présente un pic 25 d'antirésonance placé après le pic de résonance dans le spectre fréquentiel, ce qui correspond théoriquement à la fonction de transfert d'un circuit RLC ayant une capacitance parasite CPA connectée en parallèle (comportement parasite de type capacitif). Si la somme est négative, la réponse fréquentielle présente un pic d'antirésonance placé avant le pic de résonance dans le . 16 spectre fréquentiel, ce qui correspond théoriquement à la fonction de transfert d'un circuit RLC ayant une capacitance parasite CPA virtuellement négative connectée en parallèle (comportement parasite de type inductif). De manière générale, il y a au moins autant de capacités parasites qu'il existe d'électrodes d'excitation. Le courant de sortie total ib qui passe par l'électrode additionnelle 6 est la somme des courants induits par les électrodes d'excitation (ici les première 2 et deuxième 3 électrodes), par les électrodes de polarisation (ici les troisième 4 et quatrième 5 électrodes) et par les capacités parasites. Le courant de sortie total ib est en première approximation égal à la somme des trois courants précédents, c'est-à-dire : dc(t) dVinli) dVin(t) v' - v') dt + CPAl dt ù CPA2 dt Ce courant comporte alors une composante liée à la résonance et qui provient des électrodes de détection et une composante liée aux capacités parasites. 20 Dans le cas idéal où l'architecture du résonateur est symétrique, le système est équilibré, les capacités formées par l'élément oscillant 1 et les première 2, deuxième 3, troisième 4 et quatrième 5 électrodes sont identiques. Le courant lié au fond ip disparaît et il ne reste plus que la courant de résonance. 25 Cependant, dans la pratique, l'architecture du résonateur est asymétrique car au moins une des capacités formées par les première, deuxième, troisième et quatrième électrodes et l'élément oscillant présente une valeur différente de celles des autres.15 L'architecture proposée, la configuration de mesure, est particulièrement avantageuse pour apporter une solution à l'utilisation d'un dispositif non symétrique. Grâce à cette architecture, il est possible de compenser les écarts à la symétrie provenant du procédé de fabrication au moyen des première VP1 et seconde VP2 tensions continues de polarisation et de la troisième tension continue Vb. En effet, suite aux variations inhérentes aux procédés de fabrication utilisés, l'architecture du résonateur est souvent asymétrique, les capacités statiques des quatre électrodes ne sont pas identiques, ce qui peut provenir d'un décalage dans l'entrefer ou dans les surfaces en regard. Il est également envisageable que les deux capacités parasites identifiées ne soient pas parfaitement identiques. La modulation des valeurs des première VP1 et seconde VP2 tensions continues de polarisation et de la troisième tension continue Vb permet de re-symétriser la structure. De cette manière, il est possible d'obtenir une architecture symétrique favorable à l'élimination de l'effet du signal de fond au moyen d'une compensation électrique des écarts dimensionnels existant et des écarts liés à l'instrumentation tels que par exemple des pointes de mesures, des fils de collages ou de liaison non orientés idéalement comme décrit précédemment et qui génèrent ainsi des capacités parasites ou des tensions d'excitation appliquées sur les électrodes 2 et 3 qui ne sont pas de même amplitude ou avec un déphasage égal exactement à 180°. En pratique, un résonateur dit symétrique n'est obtenu qu'après une étape de réglage qui permet de compenser les différences d'entrefer, les différences de surface en regard et les différences de tension d'excitation Vin. L'étape de réglage est décrite plus loin. Lorsqu'une tension est appliquée sur une électrode de polarisation, il y a création d'une force qui va déplacer la position au repos de l'élément oscillant. De cette manière, les électrodes de polarisation, par exemple les troisième 4 et quatrième 5 électrodes de polarisation, permettent de moduler la distance qui sépare, au repos, l'élément oscillant 1 des première 2 et deuxième 3 électrodes d'excitation. L'électrode ou les électrodes de polarisation ont la double fonction d'assurer un courant induit non nul dans l'élément oscillant 1 et de moduler l'entrefer entre l'élément oscillant 1 et au moins une des électrodes d'excitation 2, 3. Si le résonateur est symétrique ou sensiblement symétrique avant l'application d'une tension de polarisation sur une des électrodes de polarisation, il est avantageux de conserver cette symétrie en appliquant la même force continue suivant les deux directions d'oscillation définies par les électrodes d'excitation. II peut également être envisagé d'utiliser une même électrode qui présente une ou des surfaces en regard de deux surfaces de l'élément oscillant. Dans un mode de réalisation particulier, la troisième tension continue Vb (appliquée par exemple au circuit de mise en forme) est fixée ainsi que la première VP1 ou la seconde VP2 tension de polarisation. La tension restante VP2 ou VP1 est ensuite ajustée par rapport à un critère prédéfini. Le critère prédéfini peut être, par exemple, l'élimination complète du pic d'antirésonance ou le fait d'atteindre une certaine valeur d'amplitude et de changement de phase à la résonance. A titre d'exemple, la troisième tension continue Vb et la première tension de polarisation VP1 sont fixées, la seconde tension de polarisation VP2 est ensuite ajustée par rapport à un critère prédéfinie. La force électrostatique statique appliquée sur la troisième électrode 4 est proportionnelle au carré de la différence (Vb-VP1)2 entre la troisième tension continue Vb et la première tension de polarisation VP1. Cette force électrostatique va déplacer la position d'équilibre statique de l'élément oscillant 1 dans la direction perpendiculaire à la surface de la troisième électrode 4 ce qui revient à modifier la distance effective qui sépare l'élément oscillant 1 de la première électrode 2 de détection et de la troisième électrode 4. De la même manière, la seconde tension de polarisation VP2 modifie la position d'équilibre statique de l'élément oscillant 1 dans la direction perpendiculaire à la surface de la quatrième électrode 5. Ainsi, au moyen de cette structure, il est possible de régler aisément la phase du résonateur. Comme montré précédemment, selon le signe de la somme (ipA1+ipA2), la réponse fréquentielle capacitive du résonateur comporte un signal de fond de nature soit capacitive (influence de la capacité parallèle parasite), soit de nature inductive (influence d'une pseudoinductance, en d'autres termes une capacité virtuellement négative, parallèle parasite). II est alors possible de faire que le résonateur soit dans un régime soit dans l'autre en modifiant le déphasage, typiquement en intervertissant les pôles de sortie du moyen 7. Dans un autre mode de réalisation, l'écart entre entrefers est corrigé selon deux directions orthogonales, c'est-à-dire selon la direction reliant la première électrode 2 de détection et la troisième électrode 4 et selon la direction reliant la seconde électrode 3 de détections et la quatrième électrode 5. La valeur de la troisième tension continue Vb est fixée et on fait ensuite varier les valeurs des première VP1 et seconde VP2 tensions. Durant la variation de ces tensions, on peut choisir de maintenir une différence constante de potentiel entre les première VP1 et seconde VP2 tensions de polarisation. La valeur de la différence de potentiels est choisie de manière à obtenir une certaine valeur donnée de résistance motionnelle équivalente. En effet, si l'on veut construire un auto-oscillateur à partir de ce résonateur, la résistance motionnelle du résonateur doit être inférieure à une valeur maximale seuil de résistance motionnelle, un gain doit être supérieur à une valeur seuil et le changement de phase doit également être supérieur à une valeur seuil. En ajustant la troisième tension continue Vb et la différence de potentiels entre les première VP1 et seconde Vp2 tensions de polarisation, on joue alors sur des différences de potentiel entre la troisième tension continue Vb et la première tension de polarisation VP1 d'une part et entre la troisième tension continue Vb et la seconde tension de polarisation VP2 d'autre part. On obtient le gain et le changement de phase désirés pour remplir les conditions d'auto-oscillation. Par ailleurs, il faut noter qu'au moyen de cette architecture, le calcul de la résistance motionnelle Rm est modifié. Dans ce cas de figure, la résistance motionnelle Rm est proportionnelle à l'inverse du produit de la différence de potentiels entre les première VP1 et seconde VP2 tensions de polarisation par la troisième tension continue Vb appliquée sur le circuit 10 de mise en forme R 1 contrairement à l'art antérieur où il n'y a qu'une tension de M Vb (Vi n ù VP 2 , polarisation Vp et donc Rm V2 . La résistance est donc fonction de trois p tensions de polarisation VP1 et VP2, et Vb. Ceci représente un avantage très important dans la mesure où il n'y a aucune relation imposée entre la troisième tension continue Vb et les deux tensions de polarisation VP1 et VP2. Il est donc possible d'obtenir une faible valeur de la résistance motionnelle Rm en modulant judicieusement la valeur des différentes tensions utilisées. Si l'on souhaite travailler avec une résistance motionnelle prédéfinie, il est alors avantageux de diminuer la valeur de la troisième tension continue Vb et de compenser cette baisse au moyen de la différence de potentiels entre les première VP1 et seconde VP2 tensions de polarisation. La diminution de la troisième tension continue Vb permet de faire fonctionner le résonateur uniquement dans son régime mécanique linéaire ce qui est requis pour maintenir un bon bruit de phase et de ne pas conduire le résonateur au collage contre une des électrodes à cause d'une trop forte excitation. Dans l'architecture présentée, le signe de la somme des courants parasites a une influence sur la réponse fréquentielle capacitive du résonateur. Selon le signe de cette somme des courants, la nature du signal de fond peut être soit capacitive (signe positif), soit inductive (signe négatif). Dans les deux cas, cela résulte de l'influence des capacités parallèles parasites mais tout dépend de leur valeur respective. De manière générale, une architecture symétrique, c'est-à-dire une architecture qui permet d'éliminer l'influence des capacités parasites, est obtenue par l'application de première, seconde et troisième tensions continues qui ont pour effet de déplacer la position de l'élément oscillant 1 par rapport aux différentes électrodes présentes. Cette modification de la position de l'élément oscillant permet de modifier la valeur des condensateurs et leur répartition afin de compenser les capacités parasites. Dans un mode de réalisation particulier illustré à la figure 6, le résonateur est intégré pour former un oscillateur. Il est nécessaire d'ajouter des éléments supplémentaires afin que le circuit satisfasse aux conditions de Barkhausen en terme de gain et de phase. L'oscillateur comporte un circuit de réglage 11 du gain et du déphasage connecté aux moyens 7. Le réglage de phase qui est critique pour obtenir un oscillateur à partir d'un résonateur est facile à obtenir avec ce type de résonateur car, comme expliqué précédemment, il est possible d'obtenir aisément les conditions de phases nécessaire à l'obtention d'un oscillateur en choisissant sur quelles sorties du moyen 7 sont connectées les première 2 et seconde 3 électrodes d'excitation et en ajustant le déphasage au moyen des tensions appliquées sur les électrodes de polarisation. L'oscillateur comporte un circuit d'asservissement 10, 11 et 7 qui permet de fournir le gain et le déphasage nécessaires à la mise en auto-oscillation du résonateur. Le circuit d'asservissement permet de délivrer en sortie deux tensions de même amplitude et en opposition de phase. Le circuit d'asservissement peut être réalisé par exemple par un amplificateur associé à un diviseur ou séparateur de puissance (power splitter en anglais). Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux car cette architecture permet un meilleur équilibrage mécanique du résonateur notamment pour l'obtention d'entrefers identiques pour les électrodes d'excitation. Dans un mode de réalisation particulier illustré à la figure 7, l'électrode additionnelle 6 est connectée à une première entrée d'un amplificateur 12 qui fait partie du circuit 10 de mise en forme. Une résistance 13 ayant une valeur au moins égale à celle de la résistance motionnelle Rm est connectée en contre réaction, c'est-à-dire entre la borne de sortie et la borne d'entrée connectée à l'électrode additionnelle 6. La troisième tension continue de polarisation Vb est appliquée sur la seconde entrée de l'amplificateur 11. La borne de sortie est connectée aux première et deuxième électrodes d'excitation de manière à fournir des signaux en opposition de phase et de même amplitude. Dans le mode de réalisation illustré, ceci est obtenu au moyen d'une connexion directe entre la borne de sortie et une des électrodes d'excitation alors que l'autre électrode d'excitation est connectée à la borne de sortie de l'amplificateur par l'intermédiaire d'un inverseur 14. Dans ce cas, l'association de l'inverseur 14 et de l'amplificateur 12 forme le moyen 7 et le circuit 10 de mise en forme.25 Revendications1. Résonateur comportant : un élément oscillant (1), des première et deuxième électrodes (2, 3) d'excitation de l'élément oscillant (1) ayant chacune une face principale au moins partiellement en regard de l'élément oscillant, ~o des moyens pour faire osciller l'élément oscillant (1) par l'intermédiaire des électrodes (2, 3) d'excitation de manière que l'élément oscillant (1) se rapprochant d'une des électrodes d'excitation (2), il s'éloigne de l'autre électrode d'excitation (3), résonateur caractérisé en ce qu'une électrode additionnelle (6) est connectée 15 électriquement à l'élément oscillant (1) en un point tel que les influences capacitives des électrodes d'excitation s'égalisent, un signal (VOUT) représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant (1) est fourni par l'intermédiaire de l'électrode additionnelle (6), en ce qu'une différence de potentiels (Vb) entre l'élément oscillant (1) et les électrodes d'excitation (2, 3) 20 est appliquée via les électrodes d'excitation (2, 3) ou l'électrode additionnelle (6) et en ce qu'il comporte une troisième électrode (4, 5) de polarisation connectée à une première source de tension continu. 2. Résonateur selon la revendication 1 caractérisé en ce que le signal 25 représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant (1) est fourni par l'intermédiaire d'un circuit de mise en forme (10) connecté à l'électrode additionnelle (6). 3. Résonateur selon la revendication 2 caractérisé en ce qu'une troisième 30 source de polarisation est connectée au circuit de mise en forme (10) pour 23appliquer une différence de potentiels (Vb) continue entre l'élément oscillant (1) et les électrodes d'excitation (2, 3). 4. Résonateur selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que le circuit de mise en forme (10) est un T de polarisation. 5. Résonateur selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que le circuit de mise en forme (10) est un amplificateur comportant une résistance montée en contre-réaction, la résistance ayant un valeur au moins 10 égale à la résistance motionnelle de l'élément oscillant (1). 6. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte une pluralité de premières électrodes (2) d'excitation et/ou une pluralité de secondes électrodes (3) d'excitation, les premières 15 électrodes (2) d'excitation et les secondes électrodes (3) d'excitation étant toutes respectivement dans des premier et second plans. 7. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte un plan de symétrie entre les premières (2) et secondes 20 (3) électrodes d'excitation, l'électrode additionnelle (6) est le long du plan de symétrie. 8. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'électrode additionnelle est formée par un des points d'ancrage de 25 l'élément oscillant (1). 9. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte une pluralité d'électrodes de polarisation (4, 5). 30 10. Oscillateur comportant un résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il comporte un circuitd'asservissement (10, 11, 7) relié d'une part aux électrode d'excitation (2, 3) et d'autre part à l'électrode additionnelle (6). 11. Procédé de réalisation d'un résonateur comportant un élément oscillant s (1) excité au moyen de première (2) et deuxième (3) électrodes, procédé caractérisé en ce qu'il comporte l'application d'une première tension (VP1) continue de polarisation à une troisième électrode (4) pour placer l'élément oscillant (1) à équidistance de la première électrode (2) d'excitation et de la deuxième électrode o d'excitation (3), l'application d'une différence de potentiels alternative entre l'élément oscillant et les électrodes d'excitation (2, 3), l'application d'une troisième tension (Vb) sur une électrode additionnelle (6) connectée électriquement à l'élément oscillant (1) et les électrodes 15 d'excitation (2, 3), la mesure d'un signal de sortie (Voit) au niveau de l'électrode additionnelle (6). 20