FR 2942680 A1 20100903 FR 0900905 A 20090227 Oscillateur à base de séries de quatre nanofils Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un oscillateur comportant au moins un résonateur électromécanique, des moyens d'excitation du résonateur et des moyens de détection du mouvement du résonateur. État de la technique Afin de pourvoir continuer la course à la miniaturisation, les circuits microélectroniques doivent intégrer de nouvelles fonctions tout en minimisant 15 la surface des circuits. Un des principaux domaines d'étude est l'intégration de dispositifs résonnants à l'intérieur des puces. En effet, dans de nombreux domaines, tels que les capteurs chimiques en phase gazeuse, les capteurs de force moléculaire ou encore les spectromètres de masse, il est intéressant que le circuit intégré comporte au moins un oscillateur. Les 20 concepteurs travaillent à remplacer l'oscillateur qui est un composant discret supplémentaire par un oscillateur intégré. En intégrant cet oscillateur, on peut alors espérer, en plus du gain en surface ou en volume du dispositif, un gain en énergie consommée et une amélioration des performances. 25 De nombreuses publications traitent de résonateurs électromécaniques de taille micrométrique ou nanométrique, c'est-à-dire des résonateurs ayant des dimensions compatibles avec celles des circuits intégrés. Cependant, si l'obtention du résonateur à une taille raisonnable est un point important, il est nécessaire que la partie électronique qui lui est associée, afin de transformer 30 un résonateur en un oscillateur, soit également compatible avec le cahier des charges très strict du circuit intégré, ce qui est actuellement très difficile.10 Objet de l'invention L'invention à pour objet l'obtention d'un oscillateur qui soit extrêmement compact et qui soit facile à mettre en oeuvre. L'oscillateur selon l'invention est caractérisé en ce qu'il comporte au moins une première série d'un multiple de quatre sous-ensembles comportant chacun une borne d'excitation et une borne de sortie, les sous-ensembles étant montés en série en boucle fermée, la borne de sortie de chaque sous-ensemble étant connectée à la borne d'excitation du sous-ensemble suivant, l'oscillateur comportant une borne de sortie constituée par une borne de sortie d'un des sous-ensembles, chaque sous-ensemble comportant les moyens d'excitation et au moins un nanofil constituant le résonateur électromécanique, une première borne du nanofil étant connectée à une première tension d'alimentation, une seconde borne du nanofil constituant la borne de sortie, une borne d'entrée des moyens d'excitation constituant la borne d'excitation du sous-ensemble, la borne de sortie de chaque sous- ensemble est connectée à la masse par l'intermédiaire d'un circuit résistif correspondant. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : 2 30 la figure 1 représente un premier mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention, la figure 2 représente un second mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention, la figure 3 représente un troisième mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention, les figures 4 et 5 représentent un quatrième mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention. Description d'un mode préférentiel de l'invention Comme illustré à la figure 1, l'oscillateur comporte une première série de quatre sous-ensembles 1 (la, lb, 1c et 1d) qui sont montés ensemble en série pour former une boucle fermée. Chaque sous-ensemble 1 de la première série comporte des bornes d'excitation 2 et de sortie 3 et est connecté à deux autres sous-ensembles 1 adjacents. Si l'on considère que la première série comporte des premier 1 a, second 1 b, troisième 1c et quatrième 1d sous-ensembles, le second sous-ensemble 1 b est connecté au premier la et au troisième 1c sous-ensembles. Le troisième sous-ensemble 1c est également connecté au quatrième sous-ensemble 1d qui est lui-même connecté au premier sous-ensemble 1 a. Chaque sous-ensemble 1 comporte un résonateur 4, des moyens 5 d'excitation du résonateur et des moyens de détection du mouvement du résonateur. Dans chaque sous-ensemble 1, un nanofil 4 constitue un résonateur électromécanique. Le mouvement du nanofil 4 est converti en un signal électrique représentatif par un moyen de transduction adapté constitué par les moyens de détection du sous-ensemble. Avantageusement, les moyens de détection sont de type piézorésistif et sont réalisés directement par le nanofil 4 qui présente un effet piézorésistif géant comme cela est décrit dans l'article de He et al. (� Giant piezoresistance effect in silicon nanowires � nature nanotechnology, vol. 1, October 2006, pp42-46). Chaque sous-ensemble 1 comporte donc des moyens 5 d'excitation du nanofil 4. Chaque sous-ensemble comporte au moins un nanofil, c'est-à-dire un nanofil comme dans les modes de réalisations illustrés aux figures 1 à 3, ou une pluralité de nanofils comme dans les modes de réalisation illustrés aux figures 4 et 5. Dans chaque sous-ensemble 1 de la première série, une première borne du nanofil 4 est connectée à une première tension d'alimentation (VDC1), une deuxième borne du nanofil 4 constitue la borne de sortie 3 du sous-ensemble 1. Une borne d'entrée des moyens 5 d'excitation constitue la borne d'excitation 2 du sous-ensemble 1. La borne de sortie 3 de chaque sous-ensemble 1 est connectée à la masse GND par l'intermédiaire d'un circuit résistif 6 correspondant. Pour former une boucle fermée, la borne de sortie 3 de chaque sous-ensemble 1 est connectée à la borne d'excitation 2 du sous-ensemble 1 suivant. Ainsi, on considère que le sens de transit des données dans un sous-ensemble 1 est depuis une borne d'excitation 2 vers une borne de sortie 3. L'oscillateur comporte une borne de sortie qui est constituée par la borne de sortie 3 d'un des sous-ensembles 1. L'oscillateur comporte également une borne d'entrée qui est constituée par la borne d'excitation 2 du sous-ensemble qui suit le sous-ensemble comportant la borne de sortie de l'oscillateur. Le circuit résistif 6 peut être formé par une résistance, un transistor à effet de champ ou bipolaire, un pont résistif ou tout autre élément capable de convertir une variation de courant en une variation de tension.30 A titre d'exemple, si la borne de sortie du signal représentatif de l'oscillateur est constituée par la borne de sortie 3 du quatrième sous-ensemble 1d, la borne d'entrée d'un signal électrique dans l'oscillateur est constituée par la borne d'excitation 2 du premier sous-ensemble 1 a. De cette manière, chaque sous-ensemble 1 transmet un signal représentatif du mouvement de son nanofil 4 sur les moyens d'excitation 5 du sous-ensemble 1 suivant ce qui contrôle l'actionnement du nanofil 4 suivant. La tension aux bornes du circuit résistif 6 associé à la borne de sortie de l'oscillateur, ici le circuit résistif 6 associé au quatrième sous-ensemble 1d, est représentative du courant délivré par le quatrième nanofil 4. Le signal émis par les moyens de détection est converti en une tension au moyen du circuit résistif 6 pour générer une force d'actionnement sur le nanofil 4 suivant et ainsi remplir les conditions d'oscillation. La dynamique des quatre nanofils 4 de la première série permet de remplir la condition de phase nécessaire à l'obtention d'un oscillateur sans qu'un élément déphaseur externe ne soit ajouté. D'autre part, l'effet piézorésistif géant observé dans les nanofils permet d'atteindre des valeurs de gain nécessaires à la mise en oscillation. Chaque sous-ensemble réalisant un déphasage à 90°, l'utilisation d'une première série de quatre sous-ensembles 1 se traduit par un déphasage global de 0° nécessaire au maintien des oscillations des résonateurs dans l'oscillateur. Il est également envisageable de réaliser un oscillateur comportant un multiple de quatre sous-ensembles 1 de manière à obtenir un déphasage global de 0°. La première série de sous-ensembles peut donc contenir, à titre d'exemple, quatre, huit, douze, seize ou plus de sous-ensembles. L'excitation de chaque nanofil 4 est réalisée indépendamment par des 30 moyens d'excitation 5 de type capacitif ou magnétique voire éventuellement thermique. Dans le cas d'une excitation capacitive, la force électrostatique des moyens d'excitation 5 est obtenue au moyen de la différence de potentiel qui existe entre la tension d'alimentation VDC appliquée au nanofil 4 (une tension continue) et la tension de sortie des moyens de détection du sous-ensemble 1 précédent (une tension alternative). La tension de sortie des moyens de détection du sous-ensemble 1 précédent est appliquée sur une électrode des moyens d'excitation. Une utilisation de moyens d'excitation magnétiques a été décrite par Feng et al. � Very High Frequency Silicon Nanowire Electromechanical Resonators � Nano Letters 2007, Vol. 7, N° 7. pp1953-1957. Si le gain de la transduction piézorésistive réalisée par les nanofils 4 est insuffisant, il est avantageux d'utiliser au moins une série additionnelle de quatre sous-ensembles 1 (figures 2 et 3). Ces sous-ensembles sont identiques, dans leur construction, à ceux de la première série. Dans la série additionnelle, les nanofils sont connectés à une tension d'alimentation additionnelle VDCn spécifique. Dans un mode de réalisation particulier, la tension d'alimentation additionnelle VDCn est identique à la première tension d'alimentation VDC1. L'utilisation d'au moins une série additionnelle de quatre sous-ensembles 1 permet d'augmenter le gain en transduction afin de satisfaire à la condition globale d'oscillation des résonateurs 4. 25 Dans une utilisation particulière, l'ajustement de la tension d'alimentation VDC des différentes séries de sous-ensembles permet d'obtenir un oscillateur contrôlé en tension. Dans une première variante de réalisation, illustrée à la figure 2, une pluralité 30 de séries additionnelles comportant chacune quatre sous-ensembles 1 est intégrée à l'oscillateur. Dans cette variante de réalisation, un sous-ensemble20 1 de chaque série additionnelle est connecté en parallèle aux bornes d'excitation 2 et de sortie 3 d'un sous-ensemble 1 correspondant de la première série. Il en résulte que l'oscillateur comporte quatre colonnes (Ca, Cb, Cc et Cd) de sous-ensembles 1 et que toutes les colonnes présentent le même nombre de sous-ensembles 1. Ainsi, schématiquement, toutes les bornes d'excitation 2 des sous-ensembles d'une même colonne sont connectées à un même point électrique car elles reçoivent toutes le même signal, c'est-à-dire le même potentiel. Il en va de même de toutes les bornes de sortie 3 des sous-ensembles 1 d'une même colonne. En effet, les courants débités par les nanofils d'une même colonne créent aux bornes du circuit résistif 6 associé à cette colonne, une tension qui est représentative de la somme des courants débités. Cette tension de sortie est alors appliquée à tous les moyens d'excitation 5 de la colonne suivante. Dans le mode de réalisation particulier de la figure 2, seules trois séries de sous- ensembles sont illustrées, chaque série ayant sa propre tension d'alimentation VDC1, VDC2, VDC3. Chaque série est représentée sur la figure 2 par une ligne (L1, L2 et L3) de sous-ensembles qui comporte en plus sa propre tension d'alimentation. Dans une seconde variante de réalisation, illustrée à la figure 3, une pluralité de séries additionnelles comportant chacune quatre sous-ensembles 1 a, 1 b, 1c et 1d est également intégrée à l'oscillateur. Dans chaque série additionnelle, la connexion des sous-ensembles 1 entre eux est sensiblement identique à celle de la première série. La borne de sortie 3 de trois sous-ensembles consécutifs est connectée à la masse GND par l'intermédiaire d'un circuit résistif 6 correspondant. Chaque série est représentée sur la figure 3 par une ligne (L1, L2 et L3) de sous-ensembles qui comporte en plus sa propre tension d'alimentation. so Ainsi, la borne de sortie 3 d'un des sous-ensembles étant connectée à la borne de sortie de l'oscillateur, les bornes de sortie 3 des sous-ensembles de la série additionnelles qui ne sont pas connectées à la sortie de l'oscillateur sont connectées à la masse GND par l'intermédiaire d'un circuit résistif 6 correspondant. Dans l'exemple illustré à la figure 3, les premier, second et troisième sous-ensembles 1 sont connectés à la masse par l'intermédiaire de leur borne de sortie 3 et d'un circuit résistif 6 tandis que la borne de sortie 3 du quatrième sous-ensemble 1d est directement connectée à la borne de sortie 3 du quatrième sous-ensemble de la première série. Comme dans le mode de réalisation précédent, la figure 3 n'illustre qu'une réalisation particulière comportant trois séries de sous-ensembles ayant leur propre 1 o tension d'alimentation VDCn. Dans ce mode de réalisation, comme dans le précédent, la tension aux bornes du circuit résistif 6 associé à la borne de sortie de l'oscillateur est représentative de la somme des courant débités par la pluralité de séries de 15 sous-ensembles (la première série et les séries additionnelles). Le gain de transduction des nanofils est donc multiplié par le nombre de séries de sous-ensembles intégrées dans l'oscillateur. Il est avantageux d'utiliser la première variante de réalisation en lieu et place 20 de la seconde variante car la première variante utilise moins de circuits résistifs ce qui permet de réduire la surface utilisée. Les nanofils 4 qui constituent les résonateurs et les moyens de détection peuvent présenter une section carrée, rectangulaire ou circulaire. Les 25 dimensions du nanofil dans cette section sont typiquement inférieures à 100nm, par exemple entre 10 et 40nm. A titre d'exemple, si le diamètre du nanofil est égal à 10nm et que la longueur est égale à 1,15�m, la fréquence de résonance doit être égale à 50MHz. Si sa longueur est égale à 600nm, la fréquence de résonance est alors égale à 200MHz. Si le nanofil a une 30 section carrée, une épaisseur égale à 20nm et une longueur égale à 1,30�m, la fréquence de résonance est égale à 100MHz. Si l'épaisseur est égale à 40nm et la longueur est égale à 1,90�m la fréquence de résonance est égale à 100MHz. Avantageusement, la résistance équivalente du circuit résistif 6 est choisie égale à la résistance statique du nanofil 4 avec lequel elle est associée. Dans un mode de réalisation particulier, le circuit résistif 6 est constitué par une résistance et dans un mode de réalisation encore plus particulier, la résistance constituant le circuit résistif est réalisée par un nanofil identique à celui du sous-ensemble associé mais qui n'est pas libéré de son substrat de support afin d'empêcher son oscillation, le nanofil est dit fixe. Le circuit résistif 6 peut être également un transistor qui est utilisé comme une résistance. Il est également possible d'ajuster la valeur de la résistance équivalente du circuit résistif afin de diminuer les fuites du courant issu des nanofils ce qui a également pour effet de modifier la valeur du gain lié à la transduction par les nanofils. Les nanofils sont réalisés dans des matériaux électriquement conducteurs, par exemple dans des matériaux semi-conducteurs tels que le silicium, le germanium ou les alliages de silicium-germanium. Pour des nanofils en matériau semi-conducteur, il est nécessaire de réaliser un dopage. Typiquement, pour un nanofil en silicium, un dopage égale à 1019cm-3 (avec du bore) permet d'obtenir un gain de transduction supérieur à l'unité. Si un niveau de dopage plus faible est utilisé, la résistance statique du nanofil augmentant, il peut être nécessaire de prévoir des séries additionnelles de sous-ensembles. A titre d'exemple, pour un dopage de nanofils en silicium de l'ordre de 30 1017cm-3 (avec du bore), il est nécessaire d'utiliser environ dix séries additionnelles de sous-ensembles. Pour un dopage de l'ordre de 10'scm-3, une centaine de séries additionnelles peuvent être nécessaires. Dans le mode de réalisation illustré à la figure 2, lorsque plusieurs séries de sous-ensembles 1 sont intégrées dans un même oscillateur, les différents moyens d'excitation 5 d'une même colonne reçoivent tous le même signal. Ils actionnent tous les nanofils 4 de la même manière. Comme illustré aux figures 4 et 5, il est avantageux de placer les nanofils selon un réseau bidimensionnel ou tridimensionnel et d'utiliser un moyen d'excitation 5 commun à tous les nanofils 4 d'une même colonne. Les nanofils d'une même colonne peuvent alors être adressés collectivement, par exemple, au moyen d'une série de pistes métalliques ou de zones dopées en surface ou encore par un réseau d'interconnexions métalliques tridimensionnelles. Dans ce cas de figure, les bornes d'excitation 2 et de sortie 3 des différents sous- ensembles 1 d'une même colonne sont physiquement confondues car à chaque nanofil est associé un sous-ensemble. A titre d'exemple, le nanofil ou les nanofils d'une même colonne sont formés sur un substrat de type SOI et reposent, par exemple, sur l'oxyde enterré. Les nanofils sont, par exemple, formés par photolithographie et gravure ou alors par dépôt chimique en phase vapeur. L'oxyde enterré est ensuite éliminé de manière contrôlée sous une partie des nanofils afin de rendre possible leur mouvement. Les nanofils sont alors suspendus au-dessus du substrat situé sous l'oxyde enterré et l'application d'un potentiel variable entre le nanofil et le substrat permet aux moyens d'excitation d'appliquer des forces électrostatiques capables de faire résonner le nanofil. Ainsi, dans chaque sous-ensemble, les moyens d'excitation 5 comportent au moins une électrode qui est disposée en regard du ou des nanofils. L'électrode ou les électrodes sont alors connectées à la borne d'excitation des moyens d'excitation du sous-ensemble. Dans l'oscillateur, il n'y a pas de boucle de réaction constituée par un circuit électronique ce qui permet la réalisation d'un oscillateur purement électromécanique extrêmement compact. Le seul apport d'énergie dans l'oscillateur est effectué par la tension d'alimentation VDC qui est une tension continue appliquée sur chaque nanofil. La tension d'alimentation VDC permet de contrôler l'amplitude des oscillations des nanofils. Revendications1. Oscillateur comportant au moins un résonateur électromécanique (4), des moyens d'excitation (5) du résonateur et des moyens de détection du mouvement du résonateur, oscillateur caractérisé en ce qu'il comporte au moins une première série d'un multiple de quatre sous-ensembles (1) comportant chacun une borne d'excitation (2) et une borne de sortie (3), les sous-ensembles (1) étant montés en série en boucle fermée, la borne de sortie (3) de chaque sous-ensemble (1) étant connectée à la borne d'excitation (2) du sous-ensemble (1) suivant, l'oscillateur comportant une borne de sortie constituée par une borne de sortie (3) d'un des sous-ensembles (1), chaque sous-ensemble (1) comportant les moyens d'excitation (5) et au moins un nanofil constituant le résonateur électromécanique (4), une première borne du nanofil (4) étant connectée à une première tension d'alimentation (VDC1), une seconde borne du nanofil (4) constituant la borne de sortie (3), une borne d'entrée des moyens d'excitation (5) constituant la borne d'excitation (2) du sous-ensemble, la borne de sortie (3) de chaque sous-ensemble (1) est connectée à la masse (GND) par l'intermédiaire d'un circuit résistif (6) correspondant. 2. Oscillateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le nanofil (4) constitue les moyens de détection du mouvement, les moyens de détection étant de type piézorésistif. 3. Oscillateur selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que chaque sous-ensemble (1) comporte une pluralité de nanofils (4) connectés en parallèles entre la première tension d'alimentation (VDC1) et la borne de sortie (3) du sous-ensemble (1). 12 30 4. Oscillateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le circuit résistif (6) est une résistance. 5. Oscillateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une série additionnelle de quatre sous-ensembles (1), le nanofil (4) de chaque sous-ensemble (1) de la série additionnelle étant connecté à une tension d'alimentation additionnelle (VDCn), un sous-ensemble (1) de la série additionnelle étant connecté en parallèle aux bornes d'excitation (2) et de sortie (3) d'un sous-ensemble (1) correspondant de la première série. 6. Oscillateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une série additionnelle de quatre sous-ensembles (1), le nanofil (4) de chaque sous-ensemble (1) de la série additionnelle étant connecté à une tension d'alimentation additionnelle (VDCn), la borne de sortie (3) de chaque sous-ensemble (1) de la série additionnelle étant connectée à la borne d'excitation (2) du sous-ensemble (1) suivant, la borne de sortie (3) d'un des sous-ensembles (1) étant connectée à la borne de sortie de l'oscillateur, la borne de sortie (3) des sous-ensembles (1) de la série additionnelle non connectée à la borne de sortie (3) de l'oscillateur étant connectée à la masse (GND) par l'intermédiaire d'un circuit résistif (6) correspondant. 7. Oscillateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé 25 en ce que le circuit résistif (6) est constitué par au moins un nanofil fixe. 8. Oscillateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les moyens d'excitation de chaque sous-ensemble comportent au moins une électrode en regard du ou des nanofils, chaque électrode étant 30 reliée à la borne d'excitation (2) desdits moyens.