FR 2944274 A1 20101015 FR 0901794 A 20090410 DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE PIEZOELECTRIQUE L'invention porte sur un dispositif microélectromécanique dont le fonctionnement est basé sur un effet piézoélectrique. Plus particulièrement, elle porte sur un dispositif microélectromécanique constitué au moins en partie par un matériau semiconducteur et comportant un transistor à effet de champ fonctionnant comme capteur de contraintes mécaniques. De préférence, un dispositif microélectromécanique selon l'invention peut être réalisé en matériaux semi-conducteurs piézoélectriques, tels que des semi-conducteurs de type III-N (nitrures d'éléments du groupe III) ou les semi- conducteurs à base de GaAs. Les dispositifs et systèmes microélectromécaniques (dits �MEMS � pour Micro-Electro-Mechanical Systems �) ont connu un développement important dans les dernières décennies. Fabriqués à l'aide de techniques empruntées à la microélectronique, ces dispositifs comportent typiquement des éléments mécaniques de dimensions submillimétriques (poutres encastrées, membranes...), ainsi que des actionneurs pour mettre en mouvement lesdits éléments mécaniques et/ou des capteurs pour détecter le mouvement desdits éléments mécaniques. Lorsque les dimensions caractéristiques des éléments mécaniques sont inférieures au micromètre, on parle parfois de dispositifs et systèmes nanoélectromécaniques (dits � NEMS � pour Nano-Electro-Mechanical Systems �). Dans la suite, les expressions � MEMS � et � dispositif micromécaniques � seront utilisées dans un sens large, incluant les dispositifs et systèmes nanoélectromécaniques (NEMS). La détection du mouvement à l'échelle micromécanique se heurte encore à des difficultés importantes, qui limitent les potentialités des systèmes microélectromécaniques. Cela est particulièrement vrai pour les applications à haute fréquence, c'est à dire pour la détection d'oscillations ou vibrations à des fréquences supérieures ou égales à 100 kHz environ, voire jusqu'à quelques GHz. Les difficultés technologiques sont essentiellement dues au fait que l'énergie mécanique transmise par un élément micromécanique à un capteur est généralement très petite. En outre, la valeur du � facteur de jauge �, quantifiant le couplage mécanique û électrique obtenu à l'aide d'effets capacitifs ou piézoélectriques (les plus couramment utilisés), est généralement faible, de l'ordre de 10-6. Dans ces conditions, les signaux générés par les capteurs sont souvent très faibles par rapport au bruit et aux couplages parasites. Par exemple, dans le cas d'un MEMS de type résonant comportant un actionneur forçant l'oscillation d'un élément vibrant, il est parfois difficile d'assurer que le signal provenant d'un capteur associé audit élément vibrant soit réellement représentatif du mouvement de ce dernier, et ne soit pas dû principalement à un couplage parasite, de nature électrique ou électromagnétique, entre le capteur et l'actionneur. Le concept de transistor à grille résonante, connu de l'article de H. C. Nathanson et al. � The resonant gate transistor �, IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. ED-14, N°3, pages 117 (1967) permet d'amplifier le couplage mécanique û électrique, en convertissant un déplacement mécanique en une variation du courant drain-source d'un transistor à effet de champ. Cependant, l'utilisation de ce principe est limitée par des difficultés technologiques liées au contrôle des états électroniques de surface. Cela est dû au fait que le dispositif est basé sur un entrefer (espace rempli d'air) entre le canal et la grille mobile. De part et d'autre de l'entrefer peuvent se trouver des charges de surface qui sont dépendantes de l'environnement. Les matériaux III-V évitent ce problème car les interactions piézoélectriques misent en jeu restent à l'intérieur de la matière. Les matériaux de type III-N, c'est à dire les nitrures des éléments du groupe III, et en particulier AIGaN et GaN, sont particulièrement intéressants pour des applications microélectromécaniques car ils sont à la fois semi-conducteurs et piézoélectriques. L'article de Y. Cordier et al. � AIGaN/GaN HEMTs on resistive si(111) substrate grown by gas-source MBE �, Electronics Letters, Vol. 38, N°2, pages 91-92, 17 janvier 2002, décrit la fabrication d'une hétérostructure par dépôt de couches épitaxiales de AIGaN/GaN sur un substrat de silicium, et l'intégration d'un transistor à haute mobilité électronique (HEMT : � Highelectron mobility transistor �) dans une telle hétérostructure. Les articles : - V. Cimalla, J. Pezoldt et O. Ambacher, � Croup III nitride and SiC based MEMS and NEMS : materials properties, technologies and applications �, Journal of Physics D : Applied Physics, 40 (2007), pages 6386 û 6434 ; et - F. Niebelschütz et al. � AIGaN/GaN-based MEMS with two-dimensional electron gas for novel sensor applications �, Physica Status 10 Solidi (c) Volume 5 Issue 6, 2008, pages 1914 û 1916 ; ainsi que les documents WO2004/083110 et US2007/0176211 divulguent des MEMS de type à micro-poutre vibrante, réalisés en hétérostructure AIGaN/GaN, dans lesquels les mouvements oscillatoires de la micro-poutre sont détectés à l'aide d'un transistor de type 15 HEMT intégré à I'hétérostructure. L'invention vise à modifier l'architecture de ces dispositifs micromécaniques connus de l'art antérieur de manière à optimiser leurs performances, notamment en termes de facteur de jauge et d'impédance, en particulier dans des applications à hautes fréquences 20 L'invention repose en particulier sur l'utilisation une structure d'interconnexion du transistor de détection ayant une géométrie inhabituelle, de type tridimensionnel. De préférence, cette structure d'interconnexion comporte un guide d'onde coplanaire constituée par trois pistes conductrices reliées à des électrodes de drain et de source dudit transistor. 25 Une structure d'interconnexion selon l'invention comporte au moins deux pistes conductrices, connectées à deux électrodes respectives du transistor de détection, qui se chevauchent sans contact électrique entre elles. Le chevauchement de pistes connectées à des électrodes respectives d'un même transistor est généralement considéré comme une erreur de 30 conception en microélectronique, en raison des couplages capacitifs parasites qu'il introduit. Cependant, les présents inventeurs se sont rendu compte du fait qu'une telle géométrie présente des avantages importants dans l'application considérée ici, en raison des contraintes géométriques particulières imposées par la présence d'un élément micromécanique suspendu (micro-poutre ou membrane), tandis que, d'une manière inattendue, les couplages capacitifs peuvent être maintenus à des niveaux tout à fait acceptables. Un objet de l'invention est donc un dispositif microélectromécanique comportant : un substrat ; une première couche d'un matériau piézoélectrique, déposée sur une surface dudit substrat ; une deuxième couche d'un matériau semiconducteur, déposée sur ladite première couche ; au moins un élément suspendu, formé par des prolongements desdites couches s'étendant au-delà d'un bord dudit substrat ; et un transistor à effet de champ intégré à ladite deuxième couche et à son prolongement, ayant au moins un canal s'étendant au moins en partie à l'intérieur dudit élément suspendu, comportant des électrodes connectées à des pistes conductrices s'étendant au-dessus de ladite deuxième couche et dont au moins une passe par-dessus ledit bord du substrat ; caractérisé en ce qu'au moins deux pistes conductrices connectées à deux électrodes respectives du transistor à effet de champ se chevauchent, sans contact électrique entre elles, de manière à former une structure d'interconnexion tridimensionnelle. De préférence, en particulier dans les applications à haute fréquence, au moins une électrode de drain et une électrode de source dudit transistor à effet de champ peuvent être connectées à des pistes électriques formant un guide d'onde de type coplanaire ou microstrip. Selon différents modes de réalisation de l'invention : - Ledit élément suspendu peut comporter un axe de symétrie qui est aussi un axe de symétrie pour les pistes d'interconnexion s'étendant sur ledit élément suspendu. - Le dispositif microélectromécanique peut comporter également une troisième couche, réalisée en un troisième matériau diélectrique, recouvrant au moins partiellement ladite deuxième couche et sur laquelle sont déposées lesdites pistes électriques, des vias étant pratiqués dans ladite troisième couche pour permettre l'interconnexion desdites pistes électriques avec les électrodes du transistor à effet de champ. - Ledit élément suspendu peut présenter une forme choisie entre : une poutre, un disque ou une plaque. Plus particulièrement il peut présenter une forme choisie entre : une poutre encastrée à ses deux extrémités et un disque ou plaque encastré sur tout son périmètre, ledit transistor à effet de champ étant formé au niveau d'une partie d'encastrement dudit élément. - Le dispositif microélectromécanique peut comporter également un actionneur réalisé au niveau d'une partie dudit élément suspendu io autre que celle portant ledit transistor, ledit actionneur étant adapté pour exciter un mode de vibration de l'élément suspendu dans une direction perpendiculaire à la surface dudit substrat. Avantageusement, cet actionneur peut comporter des électrodes en contact électrique avec deux faces opposées de ladite deuxième couche, si cette dernière est réalisée en matériau semi-conducteur 15 piézoélectrique. Au moins une desdites électrodes de l'actionneur peut être connectée à une piste conductrice passant au-dessus des pistes conductrices d'interconnexion des électrodes du transistor. II n'est pas essentiel que l'actionneur soit disposé à proximité de la région d'encastrement de l'élément suspendu. 20 - Ladite première couche peut présenter une épaisseur supérieure à celle de ladite deuxième couche. - Ladite première couche peut être réalisée en un matériau semiconducteur piézoélectrique différent de celui constituant la deuxième couche, de telle manière que l'interface entre la première et la deuxième 25 couche forme une hétérostructure semiconductrice. Ladite deuxième couche peut également être réalisée en matériau semiconducteur piézoélectrique, différent de celui constituant la première couche. Dans ce cas, un gaz bidimensionnel de porteurs peut être formé à l'interface entre la première et la deuxième couche. Plus particulièrement, la première et la deuxième couches 30 peuvent être réalisées en des matériaux semi-conducteurs piézoélectriques différents, de type III-N, tels que AIGaN et GaN. - Le transistor à effet de champ d'un dispositif microélectromécanique selon un premier mode de réalisation de l'invention comporte : une première électrode de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, connectée à une piste conductrice centrale d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; deux deuxièmes électrodes de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, disposées de part et d'autre de la première électrode et connectées à des pistes conductrice latérales respectives dudit guide d'onde, deux canaux du transistor étant délimités par la première et les deuxièmes électrodes ; et deux électrodes de grille de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu au dessus de canaux respectifs du transistor, séparés de ces derniers par des couche isolantes et connectées à au moins une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins la piste centrale et une piste latérale dudit guide d'onde. - Le transistor à effet de champ d'un dispositif microélectromécanique selon un deuxième mode de réalisation de l'invention comporte : une première électrode de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, connectée à une piste conductrice centrale d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; deux deuxièmes électrodes, formées sur une portion de la deuxième couche qui s'étend au-dessus de la surface du substrat à proximité de l'élément suspendu, connectées à des pistes conductrice latérales respectives dudit guide d'onde, deux canaux du transistor étant délimités par la première et les deuxièmes électrodes ; et deux électrodes de grille de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu au dessus de canaux respectifs du transistor, séparés de ces derniers par des couche isolantes et connectées à au moins une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins la piste centrale et une piste latérale dudit guide d'onde. - Le transistor à effet de champ d'un dispositif microélectromécanique selon un troisième mode de réalisation de l'invention comporte : une première électrode, réalisée sur l'élément suspendu, connectée à la piste conductrice centrale dudit guide d'onde; et une deuxième électrode formée sur une portion de la deuxième couche qui s'étend au-dessus de la surface du substrat à proximité de l'élément suspendu, connectée à deux pistes conductrices latérales d'un guide d'onde, un canal du transistor étant délimité par lesdites première et deuxième électrodes. Avantageusement, ce transistor à effet de champ peut comporter également une électrode de grille située entre lesdites première et deuxième électrodes, s'étendant au-dessus du canal du transistor et connectée à une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins la piste centrale dudit guide d'onde. - Le transistor à effet de champ d'un dispositif microélectromécanique selon un quatrième mode de réalisation de l'invention comporte : une pluralité de premières électrodes réalisées sur l'élément suspendu, alignées dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, et connectées à une piste conductrice centrale d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; une pluralité de deuxièmes électrodes réalisées sur l'élément suspendu, alignées dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat de manière alternée avec les premières électrodes, et connectées aux pistes conductrices latérales d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; et une pluralité d'électrodes de grille situées entre des paires respectives desdites première et deuxième électrodes et connectées à une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins une piste conductrice dudit guide d'onde. L'élément suspendu d'un dispositif microélectromécanique selon l'invention peut comporter un mode fondamental de vibration de la poutre dans une direction perpendiculaire à la surface dudit substrat dont la fréquence de résonance est comprise entre 10 MHz et 1 GHz, et de préférence entre 1 MHz et 100 MHz. On parle dans ce cas de dispositif opérant à haute fréquence. Un dispositif microélectromécanique selon l'invention peut être utilisé en tant qu'oscillateur mécanique pour des applications très diverses : réalisation de filtres ou oscillateurs à radiofréquences, capteurs chimiques ou biologiques, capteurs inertiels, sondes de microscopie à force atomique, etc. Dans la plupart de ces applications, il peut être utile de disposer d'un moyen de réglage de la fréquence d'oscillation de l'élément suspendu du dispositif microélectromécanique. Les présents inventeurs ont découvert qu'un tel réglage en fréquence peut être obtenu par l'application d'une première différence de potentiel de valeur appropriée entre aux moins deux électrodes du transistor de détection, dont l'une constitue un drain et l'autre une source. L'application d'une telle différence de potentiel permet en même temps de polariser le transistor pour détecter les oscillations mécaniques par la détection de la composante alternative du courant traversant le canal dudit transistor. II est également avantageux d'appliquer une deuxième différence de potentiel entre au moins une électrode de grille et ladite électrode de source dudit transistor, les valeurs desdites première et deuxième différences de potentiel étant déterminées de manière à maximiser le rapport entre le courant drain-source dudit transistor et l'amplitude des vibrations dudit élément suspendu. En outre, lorsque ledit actionneur est constitué par une première électrode située au-dessus de la deuxième couche et par une deuxième électrode permettant d'appliquer une différence de potentiel à un gaz bidimensionnel de porteurs formé à l'interface entre la première et la deuxième couche, l'application d'une différence de potentiel entre les deux électrodes de l'actionneur permet un réglage d'une amplitude d'une oscillation dudit élément suspendu excitée par ledit actionneur ; les oscillations mécaniques dudit élément suspendu sont ensuite détectées par mesure d'un courant électrique traversant un canal dudit transistor. Le réglage en fréquence et en amplitude des oscillations ne dépendent pas directement de l'utilisation d'une structure d'interconnexion tridimensionnelle. D'autres caractéristiques, détails et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description faite en référence aux dessins annexés donnés à titre d'exemple et qui représentent, respectivement : - Les figures 1A et 1B, respectivement une vue en coupe et une vue en plan d'un dispositif microélectromécanique d'un type connu de l'art antérieur ; - La figure 2, une vue en coupe d'un dispositif microélectromécanique selon le principe de l'invention ; - Les figures 3A, 3B et 3C, respectivement, une vue en plan et deux vues en coupe d'un dispositif microélectromécanique selon un premier mode de réalisation de l'invention ; - La figure 4, une vue en plan d'un dispositif microélectromécanique selon un deuxième mode de réalisation de l'invention - Les figures 5A, 5B et 5C, respectivement, une vue en plan et deux vues en coupe d'un dispositif microélectromécanique selon un 20 troisième mode de réalisation de l'invention ; - La figure 6, une vue en plan d'un dispositif microélectromécanique selon un quatrième mode de réalisation de l'invention - La figure 7, une vue en coupe d'un dispositif 25 microélectromécanique selon un cinquième mode de réalisation de l'invention - La figure 8, une vue en coupe correspondant à celle de la figure 3B, mettant en évidence les capacités parasites introduites par la structure d'interconnexion de l'invention ; 30 - Les figures 9A, 9B, 9C et 9D, des graphiques montrant les courbes de résonance du transistor de détection d'un dispositif 15 i0 microélectromécanique selon l'invention pour différents points de fonctionnement ; - La figure 10, un graphique illustrant l'accordabilité en amplitude de vibration d'un dispositif microélectromécanique selon 5 l'invention ; et - Les figures 11A et 11B, un graphique illustrant l'accordabilité en fréquence de vibration d'un dispositif microélectromécanique selon l'invention. La figure 1A montre une vue en coupe d'un dispositif 10 micromécanique connu de l'art antérieur, basé sur l'utilisation de matériaux semi-conducteurs piézoélectriques de type III-N, et plus précisément de AIGaN et de GaN. Le dispositif est fabriqué à partir d'un substrat SS, qui peut être réalisé en Si, SiC, verre, ou tout autre matériau adapté, sur lequel sont 15 déposées deux couches épitaxiales CI et C2, respectivement en GaN et en AIGaN (plus précisément, en AIxGaN1_x avec 0 La figure 3A montre une vue en plan d'un dispositif selon un premier mode de réalisation de l'invention ; les figures 3B et 3C montrent des vues en coupe, selon les lignes B-B et C-C respectivement, de ce même dispositif. Le transistor FET (représenté en gris foncé) de ce dispositif comporte une structure symétrique avec une électrode de drain D centrale, deux électrodes de source Si et S2 disposées de part et d'autre de ce drain, définissant donc deux canaux de transistor, et deux électrodes de grille Ci et G2 au-dessus de ces canaux. Toutes les électrodes sont orientées selon une direction parallèle à l'axe longitudinal de la poutre ES, c'est à dire perpendiculaire au bord B du substrat. Les électrodes de drain et de source se prolongent par des pistes conductrices D, Psi, PS2 qui forment, au dessus du substrat SS, un guide d'onde coplanaire (non représenté sur la figure). Ces pistes conductrices sont déposées directement au-dessus de la deuxième couche conductrice. Les électrodes de grille G1, G2 sont reliées, par l'intermédiaire de vias ou puits V, à une piste conductrice PCC déposée au-dessus de la couche de passivation C3 et chevauchant les pistes D et Psi û ce qui donne à la structure d'interconnexion son caractère tridimensionnel. La figure 4 montre une vue en plan d'un deuxième mode de réalisation de l'invention, qui se présente comme une variante du premier mode qui vient d'être décrit. Dans ce mode de réalisation, les électrodes de 2944274 m source SI, S2 sont réalisées sur une portion de la deuxième couche qui s'étend au-dessus de la surface du substrat à proximité de l'élément suspendu, et seul l'électrode de drain est réalisée sur ce dernier. Les électrodes de grille présentent une surface plus importante que dans le cas 5 des figures 3A û 3C. La figure 5A montre une vue en plan d'un dispositif selon un troisième mode de réalisation de l'invention ; les figures 5B et 5C montrent des vues en coupe, selon les lignes B1-B2 et C1-C2 respectivement, de ce même dispositif. 10 Dans ce mode de réalisation de l'invention, la direction drain û source est parallèle à l'axe longitudinal de la poutre ce qui, comme expliqué plus haut, est optimal en termes de facteur de jauge. Grâce à la structure d'interconnexion de l'invention, la largeur du canal est sensiblement égale à celle de la poutre ES, ce qui permet de minimiser sa résistance. 15 L'électrode de drain D est réalisée sur la poutre. Elle est connectée, par l'intermédiaire d'un via V, à une piste conductrice PCD déposée au-dessus de la couche de passivation C3 et chevauchant l'électrode de grille G. Cette piste conductrice PCD constitue le conducteur central d'un guide d'onde coplanaire, dont les conducteurs latéraux, PCsi et 20 PCS2 sont connectés à deux électrodes de source respectifs SI et S2, réalisés à proximité du point d'encastrement de la poutre (c'est à dire du bord B du substrat). On peut remarquer sur la figure 5A que le bord B du substrat SS n'est pas rectiligne, mais forme un angle obtus au niveau de l'élément 25 suspendu ES. Cela permet de ménager la place pour une piste conductrice de grille PCG orientée en biais par rapport aux autres pistes conductrices. En variante, ladite piste conductrice de grille PCG pourrait être déposée au-dessus de la couche de passivation C3 et chevaucher la piste conductrice de source PCS1, comme dans le mode de réalisation de la figure 6. 30 Le mode de réalisation de la figure 6 se caractérise par l'utilisation d'électrodes de drain et de source (et donc de canaux de transistor) multiples, ce qui permet d'augmenter l'intensité du signal de détection des contraintes mécaniques. Les différentes électrodes de source sont connectées entre elles par un � pont � Ps constitué par une piste conductrice déposée au-dessus de la couche de passivation C3, c'est à dire au même niveau que les pistes conductrices de drain et de grille. Jusqu'ici on a toujours considéré le cas d'un dispositif microélectromécanique dont le seul élément mécanique est une poutre encastrée à l'une de ses extrémités, et libre à l'autre extrémité, et dont le seul élément électrique ou électronique est un transistor de détection. De tels dispositifs peuvent être utilisés, par exemple, en tant qu'accéléromètres, mais il s'agit là d'une application qui est généralement à � basse fréquence �, alors que la mise en oeuvre de l'invention s'avère avantageuse surtout à haute fréquence. L'invention s'applique également à des dispositifs microélectromécaniques différents, et en particulier à des dispositifs de type résonant à poutre doublement encastrée. Ces dispositifs comportent un élément micromécanique suspendu en forme de poutre, reliée au substrat à ses deux extrémités. L'une desdites extrémités porte un capteur, tel qu'un transistor de détection, et l'autre un actionneur qui permet d'exciter un mode de vibration de la poutre à sa fréquence de résonance. L'actionneur peut exploiter les propriétés piézoélectriques de la deuxième couche épitaxiale C2, en AIGaN, et être constitué par deux électrodes en contact électrique avec deux faces opposées de cette couche. Plus précisément, une électrode supérieure peut être constituée par une métallisation réalisée au-dessus de la couche C2 avant le dépôt de la couche de passivation C3 (voir la référence EA sur la figure 7); et une électrode inférieure peut être constituée par le gaz bidimensionnel de porteurs 2DEG, dont le potentiel est fixé par un contact électrique réalisé par l'intermédiaire d'un via ou d'un contact ohmique traversant ladite deuxième couche. D'une manière connue en soi, un MEMS résonant de ce type peut servir comme oscillateur électromécanique pour générer une base de temps, comme filtre dans des applications radio-électroniques, ou comme sonde pour microscopie à force atomique. Il peut également être utilisé comme capteur chimique ou biologique ; pour ce faire, il est nécessaire de fonctionnaliser une surface du levier, de manière à ce que des analytes puissent s'y fixer et modifier sa masse, et donc sa fréquence de résonance. La figure 7 montre une vue en coupe d'un dispositif de ce type, dans lequel l'électrode supérieur EA de l'actionneur piézoélectrique est connecté à une piste PCEA qui forme un troisième niveau de métallisation et passe au-dessus du transistor de détection FET et de la piste conductrice de source PCS. Une telle structure présente l'avantage de permettre d'accéder à l'actionneur et au capteur par un même côté du dispositif. Avantageusement, la piste conductrice de source PCs est reliée à la masse, ce qui permet d'éviter tout couplage capacitif direct entre l'actionneur et le détecteur. L'existence de couplages capacitifs parasites est justement la raison pour laquelle l'utilisation d'une structure d'interconnexion selon l'invention semblerait, de prime abord, à proscrire. Cet effet sera étudié plus en détail ci-après, à l'aide de la figure 8 qui se rapporte à la structure des figures 5A û C. La figure 8 montre qu'il existe une capacité distribué C entre la piste conductrice de drain PCD et le plan conducteur formé par le gaz bidimensionnel de porteurs 2DEG à l'intérieur du canal du transistor, supposé localisé à l'interface C1-C2, même si en réalité il se trouve à quelques dizaines de nanomètres (typiquement 20 û 50 nm) de cette interface. La valeur de la capacité C est donnée par : C= E0S eSiO2 + eAIGaN SiO2 EAlGaN où: es;02 est l'épaisseur de la couche de passivation C3, supposée égale à 100 nm ; ss;O2 est la constante diélectrique relative du SiO2 constituant ladite couche de passivation C3, égale à 3,9 environ ; eAIGaN est l'épaisseur de la deuxième couche C2, supposée égale à 20 nm ; - SO2 Elest la constante diélectrique relative du AIGaN constituant ladite deuxième couche C2, égale à 9,5 environ ; - Eo est la constante diélectrique du vide, égale à 8,85.10-12 F/m ; - S est la surface de la partie de la piste conductrice PCD qui se trouve directement au-dessus du canal du transistor et qui contribue de ce fait à la capacité (on néglige les effets de bord) ; on considère une piste de l pm de largeur et de 9 pm de longueur, ce qui donne S=9 lame. Avec ces valeurs, C= 3 fF = 3.10-15 F. Le canal du transistor présente une largeur de 4 pm, et on peut estimer sa résistance Rc à 1 ka Dans ces conditions, le comportement résistif de la structure est dominant, par rapport au comportement capacitif, jusqu'à une fréquence f=1/(27tRcC) = 50 GHz. Les effets capacitifs peuvent donc être négligés jusqu'à des fréquences de l'ordre de 1 GHz, bien supérieures à celles usuellement mises en oeuvre dans le domaine des dispositifs microélectromécaniques résonants. Pour le mode de réalisation de la figure 6, on obtient des résultats comparables. Dans ce cas, la surface S à prendre en compte est celle des portions des pistes conductrices PCD, PCs et du � pont � Ps qui se superposent aux électrodes D, S, G et à la piste conductrice � enterrée � PCs. Dans le cas de la figure 4, la capacité parasite est plus faible d'un facteur 2 environ, ce qui donne f 100 GHz. Après avoir décrit plusieurs structures d'interconnexion selon l'invention, on peut considérer plus en détail le fonctionnement du transistor de détection FET. On considère un MEMS comportant un élément suspendu en forme de poutre constitué par une première couche C1 et une deuxième couche C2 piézoélectriques (plus, éventuellement, une troisième couche de passivation qui sera ignorée par la suite). Un mode de vibration de la poutre dans une direction perpendiculaire à la surface du substrat et des couches CI et C2, à une fréquence f, est excité. Soit x la direction de l'axe longitudinal de la poutre, y la direction transversale et z la direction de vibration. Les deux couches piézoélectriques sont soumises, du fait de la vibration de la poutre, à une même déformation mécanique E(f), mais la différence entre leurs propriétés piézoélectrique engendre une variation A de la charge de surface présente à leur interface (si les matériaux sont semi- conducteurs, une charge de surface à l'interface est présente même en l'absence de déformation mécanique) : AG = [(EX (f)+ Ey (f))J• [e31A1GaN ù e31GaN )+ Ez (f). [e33A1GaN ù e33GaN où : E;(f) est la composante le long de la direction i (i=x, y, z) de la 15 déformation mécanique ; e;iGaN est la composante ij (i,j= 1 û 3) du tenseur piézoélectrique de la première couche (supposée réalisée en GaN) ; et eiiAlGaN est la composante ij (i,j= 1 û 3) du tenseur piézoélectrique de la deuxième couche (supposée réalisée en AIGaN). En outre, une charge de volume Ap(f) apparaît dans la première couche en GaN, plus épaisse : AP(f)=ùdiv(APPZ)=e31GaN •/aEâ(f)+aEy(f)ùe33GaN aEz(f) az aZ où AP1 est la polarisation en volume induite par l'effet piézoélectrique. Les équations ci-dessus permettent de comprendre qu'il n'est pas essentiel que les deux matériaux constituant les couches CI et C2 soient à la fois semi-conducteurs et piézoélectriques, bien qu'il s'agisse là d'un mode de réalisation préféré de l'invention. II suffit que la première couche soit 20 25 piézoélectrique, et la deuxième semiconductrice (de préférence monocristalline, pour présenter des bonnes propriétés électroniques). Le tableau ci-après montre des couples de matériaux pouvant convenir à la réalisation des couches CI et C2 : Cl C2 ZnO Si SiC Si GaN AIGaN GaAs AlGaAs ZnO ZnMgO GaN ZnO Par ailleurs, les deux couches CI et C2 ne forment pas nécessairement une hétérostructure, et le transistor FET n'est pas nécessairement de type HEMT. Si la couche piézoélectrique CI est isolante, le transistor FET sera réalisé entièrement à l'intérieur de la couche semiconductrice (piézoélectrique ou pas) C2. En particulier, cette dernière peut être constituée d'un empilement de sous-couches semi-conductrices, concentrant les porteurs dans la partie inférieure de la couche, éventuellement sous la forme d'un gaz bidimensionnel. L'utilisation d'une première couche C~ piézoélectrique mais non semi-conductrice (isolante) et d'une deuxième couche C2 semi-conductrice mais non piézoélectrique, ou très faiblement piézoélectrique, peut s'avérer avantageuse dans certains cas. En effet, cela peut permettre une meilleure optimisation des propriétés, respectivement piézoélectrique et électroniques, des matériaux. La première couche pourrait également être optimisée du point de vue de ses propriétés mécaniques et/ou thermiques sans que son choix soit contraint par l'utilisation d'un semiconducteur piézoélectrique. Les graphiques des figures 9A û 9D permettent d'apprécier l'avantage apporté par l'utilisation d'un transistor de détection par rapport à un simple capteur de contraintes piézoélectrique. Ces graphiques se rapportent au cas d'un MEMS de type résonant, à poutre doublement encastré, comportant un actionneur piézoélectrique à l'une de ses extrémités et un transistor FET de détection à l'extrémité opposée, et montrent la dépendance de la transconductance Y21 du dispositif en fonction de la fréquence f et du point de fonctionnement du transistor FET, caractérisé par la tension grille-source (Vgs) et drain-source (Vds). La transconductance Y21 exprime le rapport entre le courant drain-source du transistor FET et la tension alternative, à la fréquence f, appliquée aux bornes de l'actionneur piézoélectrique ; elle exprime donc la réponse électromécanique du dispositif. Les courbes 9A û 9D permettent de déterminer le point de fonctionnement du transistor FET maximisant le signal de détection, aussi bien dans le cas de vibrations forcées que dans celui des vibrations libres (sans actionneur) de l'élément suspendu. On peut observer que, dans les conditions optimales de fonctionnement (Vds= 5V ; Vgs compris entre 0 et -2 V, le signe �-� indiquant que la jonction Schottky de grille est polarisée inversement) la transconductance Y21 est de plusieurs pS. Cette valeur est supérieure de deux ordres de grandeur à celle obtenue en utilisant, pour la détection des vibrations de la poutre, un simple capteur piézoélectrique identique à l'actionneur. La comparaison des différents graphiques 9A û 9D montre que la fréquence de résonance fres varie en fonction de la tension drain-source Vds. Cet effet, mis en évidence sur les figures 11A et 11B, rend possible une accordabilité de ladite fréquence de résonance. II est important de noter que l'on peut accorder la fréquence tout en conservant la même amplitude du signal, simplement en imposant une valeur de tension drain-source Vds assez haute pour assurer le fonctionnement du transistor en régime de saturation. La figure 10 montre qu'un réglage d'un facteur 10 environ de l'amplitude normalisée A/Amax de l'oscillation de la poutre peut être obtenue en appliquant à l'actionneur piézoélectrique une polarisation stationnaire Vdc-act. Pour obtenir des oscillations de grande amplitude, il est préférable de polariser l'actionneur piézoélectrique avec une tension continue de l'ordre de Vp/2, Vp étant la tension de pincement du gaz bidimensionnel de porteurs, et d'appliquer audit actionneur une tension alternative Vac-act, à la fréquence de résonance de la poutre, ayant également une amplitude de l'ordre de Vp/2. Pour diminuer l'amplitude des oscillations, il est possible de diminuer tant Vdc-act que Vac-act. REVENDICATIONS1. Dispositif microélectromécanique comportant : - un substrat (SS) ; une première couche (CI) d'un matériau piézoélectrique, 5 déposée sur une surface dudit substrat ; une deuxième couche (C2) d'un matériau semiconducteur, déposée sur ladite première couche ; - au moins un élément suspendu (ES), formé par des prolongements desdites couches s'étendant au-delà d'un bord (B) dudit 10 substrat ; - un transistor à effet de champ (FET) intégré à ladite deuxième couche et à son prolongement, ayant au moins un canal s'étendant au moins en partie à l'intérieur dudit élément suspendu, comportant des électrodes (D, S, G) connectées à des pistes conductrices (PCO3 PCS, PCC) 15 s'étendant au-dessus de ladite deuxième couche et dont au moins une passe par-dessous ledit bord du substrat ; caractérisé en ce que : - au moins deux pistes conductrices connectées à deux électrodes respectives du transistor à effet de champ se chevauchent, sans 20 contact électrique entre elles, de manière à former une structure d'interconnexion tridimensionnelle. 2. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 1, dans lequel au moins une électrode de drain et une électrode de source dudit transistor à effet de champ sont connectées à des pistes électriques formant 25 un guide d'onde. 3. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, comportant également une troisième couche (C3), réalisée en un troisième matériau diélectrique, recouvrant au moins partiellement ladite deuxième couche et sur laquelle sont déposées lesdites 30 pistes électriques, des vias (V) étant pratiqués dans ladite troisième couche pour permettre l'interconnexion desdites pistes électriques avec les électrodes du transistor à effet de champ. 4. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ledit élément suspendu comporte un axe de symétrie qui est aussi un axe de symétrie pour les pistes d'interconnexion s'étendant sur ledit élément suspendu. 5. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ledit élément suspendu présente une forme choisie entre: une poutre, un disque ou une plaque. 6. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 5, dans lequel ledit élément présente une forme choisie entre : une poutre encastrée à ses deux extrémités ; et - un disque ou plaque encastré sur tout son périmètre, ledit transistor à effet de champ étant formé au niveau d'une partie d'encastrement dudit élément. 7. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 6, 15 comportant également un actionneur (EA) réalisé au niveau d'une partie dudit élément suspendu autre que celle portant ledit transistor, ledit actionneur étant adapté pour exciter un mode de vibration de l'élément suspendu dans une direction perpendiculaire à la surface dudit substrat. 8. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 7, 20 dans lequel ledit actionneur comporte des électrodes en contact électrique avec deux faces opposées de ladite deuxième couche, qui est réalisée en matériau semi-conducteur piézoélectrique. 9. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 8, dans lequel au moins une desdites électrodes de l'actionneur est connectée à 25 une piste conductrice (PCEA) passant au-dessus des pistes conductrices d'interconnexion des électrodes du transistor. 10. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ladite première couche présente une épaisseur supérieure à celle de ladite deuxième couche. 30 11. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ladite première couche est réalisée en un matériau semiconducteur piézoélectrique différent de celui constituant 10la deuxième couche, de telle manière que l'interface entre la première et la deuxième couche forme une hétérostructure semiconductrice. 12. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 11, dans lequel ladite deuxième couche est également réalisée en matériau semiconducteur piézoélectrique, différent de celui constituant la première couche. 13. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications 11 et 12, dans lequel un gaz bidimensionnel de porteurs (2DEG) 10 est formé à l'interface entre la première et la deuxième couche. 14. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 13, dans lequel la première et la deuxième couches sont réalisées en des matériaux semi-conducteurs piézoélectriques différents, de type III-N, tels que AIGaN et GaN. 15 15. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le transistor à effet de champ comporte : - une première électrode (D) de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit 20 bord du substrat, connectée à une piste conductrice centrale d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; - deux deuxièmes électrodes (S1, S2) de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, disposées de part et d'autre de la 25 première électrode et connectées à des pistes conductrice latérales respectives dudit guide d'onde, deux canaux du transistor étant délimités par la première et les deuxièmes électrodes ; et - deux électrodes de grille (G1, G2) de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu au dessus de canaux respectifs du transistor, 3o séparés de ces derniers par des couche isolantes et connectées à au moins une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins la piste centrale et une piste latérale dudit guide d'onde. 16. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel le transistor à effet de champ comporte :- une première électrode de forme allongée (D), s'étendant sur l'élément suspendu dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, connectée à une piste conductrice centrale d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; - deux deuxièmes électrodes (SI, S2), formées sur une portion de la deuxième couche qui s'étend au-dessus de la surface du substrat à proximité de l'élément suspendu, connectées à des pistes conductrice latérales respectives dudit guide d'onde, deux canaux du transistor étant délimités par la première et les deuxièmes électrodes ; et - deux électrodes de grille (G1, G2) de forme allongée, s'étendant sur l'élément suspendu au dessus de canaux respectifs du transistor, séparés de ces derniers par des couche isolantes et connectées à au moins une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins la piste centrale et une piste latérale dudit guide d'onde. 17. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications 1 à 14 dans lequel le transistor à effet de champ comporte : - une première électrode (D), réalisée sur l'élément suspendu, connectée à la piste conductrice centrale dudit guide d'onde; et - une deuxième électrode (SI, S2) formée sur une portion 20 de la deuxième couche qui s'étend au-dessus de la surface du substrat à proximité de l'élément suspendu, connectée à deux pistes conductrices latérales d'un guide d'onde, un canal du transistor étant délimité par lesdites première et deuxième électrodes. 18. Dispositif microélectromécanique selon la revendication 25 17, dans lequel le transistor à effet de champ comporte également une électrode de grille (G) située entre lesdites première et deuxième électrodes, s'étendant au-dessus du canal du transistor et connectée à une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins la piste centrale dudit guide d'onde. 30 19. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications 1 à 14 dans lequel le transistor à effet de champ comporte : 10 15- une pluralité de premières électrodes (DI, D2) réalisées sur l'élément suspendu, alignées dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat, et connectées à une piste conductrice centrale d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; - une pluralité de deuxièmes électrodes (SI, S2) réalisées sur l'élément suspendu, alignées dans une direction sensiblement perpendiculaire à celle dudit bord du substrat de manière alternée avec les premières électrodes, et connectées aux pistes conductrices latérales d'un guide d'onde s'étendant au-dessus de la deuxième couche ; et - une pluralité d'électrodes de grille (G1, G2) situées entre des paires respectives desdites première et deuxième électrodes et connectées à une piste conductrice chevauchant, sans contact électrique, au moins une piste conductrice dudit guide d'onde. 20. Dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ledit élément (ES) suspendu comporte un mode fondamental de vibration de la poutre dans une direction perpendiculaire à la surface dudit substrat dont la fréquence de résonance est comprise entre 10 MHz et 1 GHz, et de préférence entre 1 MHz et 100 MHz. 21. Procédé d'utilisation d'un dispositif microélectromécanique selon l'une des revendications précédentes en tant qu'oscillateur mécanique, comportant : - l'application d'une première différence de potentiel (Vds) entre aux moins deux électrodes dudit transistor, dont l'une constitue un drain et l'autre une source, la valeur de ladite différence de potentiel étant choisie de manière à permettre un réglage d'une fréquence de résonance dudit oscillateur ; et - la détection d'oscillations mécaniques dudit élément suspendu par mesure d'un courant électrique traversant un canal dudit 30 transistor. 22. Procédé selon la revendication 21 comportant également l'application d'une deuxième différence de potentiel (Vgs) entre au moins uneélectrode de grille et ladite électrode de source dudit transistor, les valeurs desdites première et deuxième différences de potentiel étant déterminées de manière à maximiser le rapport entre le courant drain-source dudit transistor et l'amplitude des vibrations dudit élément suspendu. 23. Procédé d'utilisation d'un dispositif microélectromécanique selon la revendication 7, dans lequel ledit actionneur est constitué par une première électrode située au-dessus de la deuxième couche et par une deuxième électrode permettant d'appliquer une différence de potentiel à un gaz bidimensionnel de porteurs formé à l'interface entre la première et la deuxième couche, comportant : l'application d'une différence de potentiel (Vdc-act) entre les deux électrodes de l'actionneur de manière à permettre un réglage d'une amplitude d'une oscillation dudit élément suspendu excitée par ledit actionneur ; et la détection d'oscillations mécaniques dudit élément suspendu par mesure d'un courant électrique traversant un canal dudit transistor.