FR 2949226 A1 20110225 FR 0955744 A 20090821 SUBSTRAT MUNI D'UN EMPILEMENT A PROPRIETES THERMIQUES, EN PARTICULIER POUR REALISER UN VITRAGE CHAUFFANT L'invention concerne un substrat transparent notamment en un matériau rigide minéral comme le verre, ledit substrat étant revêtu d'un empilement de couches minces comprenant plusieurs couches fonctionnelles pouvant agir sur le rayonnement solaire et/ou le rayonnement infrarouge de grande longueur d'onde. L'invention concerne plus particulièrement un substrat, notamment un substrat verrier transparent, muni d'un empilement de couches minces comportant une alternance de � n � couches fonctionnelles métalliques, notamment de couches fonctionnelles à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et de � (n + 1) � revêtements antireflet, avec n nombre entier > 3, de manière à ce que chaque couche fonctionnelle soit disposée entre deux revêtements antireflet. Chaque revêtement comporte au moins une couche antireflet et chaque revêtement étant, de préférence, composé d'une pluralité de couches, dont une couche au moins, voire chaque couche, est une couche antireflet. L'invention concerne plus particulièrement l'utilisation de tels substrats pour fabriquer des vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire. Ces vitrages peuvent être destinés aussi bien à équiper les bâtiments que les véhicules, en vue notamment de diminuer l'effort de climatisation et/ou d'empêcher une surchauffe excessive (vitrages dits � de contrôle solaire �) et/ou diminuer la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur (vitrages dits bas émissifs �) entraînée par l'importance toujours croissante des surfaces vitrées dans les bâtiments et les habitacles de véhicules. Ces substrats peuvent en particulier être intégrés dans des dispositifs électroniques et l'empilement peut alors servir d'électrode pour la conduction d'un courant (dispositif éclairant, dispositif d'affichage, panneau voltaïque, vitrage électrochrome, ...) ou peuvent être intégrés dans des vitrages -2- présentant des fonctionnalités particulières, comme par exemple des vitrages chauffants et en particulier des pare-brise chauffants de véhicule. Au sens de la présente invention, un empilement à plusieurs couches 5 fonctionnelles s'entend d'un empilement comportant au moins trois couches fonctionnelles. Des empilements de couches à plusieurs couches fonctionnelles sont connus. Dans ce type d'empilement, chaque couche fonctionnelle se trouve 10 disposée entre deux revêtements antireflet comportant chacun en général plusieurs couches antireflet qui sont chacune en un matériau du type nitrure et notamment nitrure de silicium ou d'aluminium et/ou du type oxyde. Du point de vue optique, le but de ces revêtements qui encadrent la couche fonctionnelle est � d'antirefléter � cette couche fonctionnelle. 15 Un revêtement de blocage très fin est toutefois intercalé parfois entre un ou chaque revêtement antireflet et une couche fonctionnelle adjacente, le revêtement de blocage disposé sous la couche fonctionnelle en direction du substrat et le revêtement de blocage disposé sur la couche fonctionnelle à l'opposé du substrat protège cette couche d'une éventuelle dégradation lors 20 du dépôt du revêtement antireflet supérieur et lors d'un éventuel traitement thermique à haute température, du type bombage et/ou trempe. L'art antérieur connaît par exemple de la demande internationale de brevet N° WO 2005/051858 des empilements à plusieurs couches 25 fonctionnelles. Dans les empilements à trois ou quatre couches fonctionnelles présentés dans ce document, les épaisseurs de toutes les couches fonctionnelles sont sensiblement identiques, c'est-à-dire que l'épaisseur de la première couche fonctionnelle, la plus proche du substrat, est sensiblement identique à 30 l'épaisseur de la deuxième couche fonctionnelle qui est sensiblement identique à l'épaisseur de la troisième couche fonctionnelle, voire qui est -3- sensiblement identique à l'épaisseur de la quatrième couche fonctionnelle lorsqu'il y a une quatrième couche fonctionnelle. Voir par exemples les exemples 11 et 12 de ce document. Ce document présente par ailleurs un exemple, l'exemple 14, dans lequel l'épaisseur de la première couche fonctionnelle, la plus proche du substrat, est inférieure à l'épaisseur de la deuxième couche fonctionnelle qui est elle-même inférieure à l'épaisseur de la troisième couche fonctionnelle, suivant en cela l'enseignement de la demande de brevet européen N° EP 645 352. Cette demande de brevet européen N° EP 645 352 enseigne qu'un empilement à trois couches fonctionnelles métalliques qui sont disposées avec leur épaisseur croissante en partant du substrat permet d'obtenir une couleur en réflexion extérieure (c'est-à-dire sur un côté du substrat opposé à celui qui porte l'empilement de couches minces) qui soit neutre. Toutefois, il apparaît que la configuration de l'exemple 14 de la demande N° WO 2005/051858 ne donne pas entièrement satisfaction pour un vitrage feuilleté. Il apparaît que positionner trois couches fonctionnelles métalliques avec leur épaisseur croissante en partant du substrat permet effectivement d'obtenir une couleur en réflexion extérieure plus neutre, mais il apparaît par ailleurs que la résistance surfacique de l'empilement, tant de l'exemple 14 que des exemples 11 et 12, à épaisseur totale d'argent identique, pourrait être améliorée et que par conséquent les propriétés associées pourrait être améliorée (réflexion énergétique augmentée, en particulier à transmission lumineuse constante, résistance par carré de l'empilement augmentée) . Le but de l'invention est ainsi de fournir un empilement qui présente une très faible résistance par carré afin en particulier que le vitrage intégrant cet empilement puisse présenter une haute réflexion énergétique et/ou une très basse émissivité et/ou être chauffé par application d'un courant entre deux bus-barres électriquement raccordées à l'empilement, ainsi qu'une -4- transmission lumineuse élevée et une couleur relativement neutre, en particulier en configuration feuilletée, et que ces propriétés soient de préférence obtenues après un (ou des) traitement(s) thermique(s) à haute température du type bombage et/ou trempe et/ou recuit, voire que ces propriétés soient conservées dans une plage restreinte que l'empilement subisse ou non un (ou de) tel(s) traitement(s) thermique(s). L'invention a ainsi pour objet, dans son acception la plus large, un substrat, notamment substrat verrier transparent, muni d'un empilement de couches minces comportant une alternance de � n � couches fonctionnelles métalliques, notamment de couches fonctionnelles à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et de � (n + 1) � revêtements antireflet, avec n nombre entier > 3, chaque revêtement antireflet comportant au moins une couche antireflet, de manière à ce que chaque couche fonctionnelle soit disposée entre deux revêtements antireflet, caractérisé en ce que l'épaisseur ex de chaque couche fonctionnelle est inférieure à l'épaisseur de la couche fonctionnelle précédente en direction du substrat et est telle que : ex = a eX_1, avec x qui est le rang de la couche fonctionnelle en partant du substrat, x-1 qui est le rang de la couche fonctionnelle précédente en direction du substrat et a qui est un nombre tel que 0,5 a De préférence, l'épaisseur de la première couche métallique fonctionnelle en partant du substrat est telle que : 8 e, 20 en nm, voire 10 e, 18 en nm et de préférence encore 11 e, 15 en nm. De préférence, la valeur de a est différente (d'au moins 0,02) pour toutes les couches fonctionnelles de rang 2 et plus de l'empilement auxquelles 30 ont applique la formule ci-dessus. -5- Il est important de constater ici que la décroissance dans la distribution des épaisseurs qui fait l'objet de l'invention n'est pas une décroissance dans la distribution de toutes les couches de l'empilement (en prenant en compte les couches antireflet), mais uniquement une décroissance dans la distribution des épaisseurs des couches fonctionnelles. A l'intérieur de l'empilement selon l'invention à épaisseur de couches fonctionnelles décroissantes en partant du substrat, toutes les couches fonctionnelles présentent des épaisseurs différentes ; toutefois, la distribution dans l'épaisseur des couches fonctionnelles à l'intérieur de l'empilement permet, d'une manière complètement surprenante, d'obtenir une meilleure résistance par carré que dans la configuration à épaisseur de couches fonctionnelles constantes ou à épaisseur de couches fonctionnelles croissantes en partant du substrat. Sauf mention contraire, les épaisseurs évoquées dans le présent document sont des épaisseurs physiques, ou réelles (et non pas des épaisseurs optiques). Par ailleurs, lorsqu'il est fait état d'un positionnement vertical d'une couche (ex. : en dessous /au-dessus), c'est toujours en considérant que le substrat porteur est positionné horizontalement, en bas, avec l'empilement au-dessus de lui ; Lorsqu'il est précisé qu'une couche est déposée directement sur une autre, cela signifie qu'il ne peut y avoir une (ou plusieurs) couche(s) intercalée(s) entre ces deux couches. Le rang des couches fonctionnelles est ici toujours défini en partant du substrat porteur de l'empilement (substrat sur la face duquel est déposé l'empilement). La couche antireflet qui est au minimum comprise dans chaque revêtement antireflet, comme défini ci-avant, présente un indice optique mesuré à 550 nm compris entre 1,8 et 2,5 en incluant ces valeurs, ou, de préférence, entre 1,9 et 2,3 en incluant ces valeurs, c'est-à-dire un indice optique que l'on peut considérer comme haut. Dans une variante particulière, la dernière couche du premier revêtement antireflet sous-jacent à la première couche fonctionnelle en -6- partant du substrat est une couche de mouillage à base d'oxyde cristallisé (i.e. : non amorphe), notamment à base d'oxyde de zinc, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium et ce premier revêtement antireflet sous-jacent à la première couche fonctionnelle comporte une couche de lissage, en un oxyde mixte non cristallisé, ladite couche de lissage étant en contact avec ladite couche de mouillage sus-jacente. Dans cette variante particulière, l'épaisseur de ladite couche de lissage représente, de préférence, environ 1 /6e de l'épaisseur dudit premier revêtement antireflet et environ la moitié de l'épaisseur de ladite première couche fonctionnelle. Dans une autre variante particulière, lesdits revêtements antireflet comportent chacun au moins une couche à base de nitrure de silicium, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium, et de préférence chaque revêtement antireflet comportent chacun au moins une couche à base de nitrure de silicium, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium. Dans cette autre variante particulière, la dernière couche de chaque revêtement antireflet sous-jacent à une couche fonctionnelle est une couche de mouillage à base d'oxyde cristallisé, notamment à base d'oxyde de zinc, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium. Toutefois, dans cette autre variante particulière, au moins un revêtement antireflet sous-jacent à une couche fonctionnelle, et de préférence chaque revêtement antireflet sous-jacent à une couche fonctionnelle, comprend au moins une couche de lissage, en un oxyde mixte non cristallisé, ladite couche de lissage étant en contact avec une couche de mouillage sus-jacente. L'épaisseur de chaque couche fonctionnelle est, de préférence, comprise 30 entre 8 et 20 nm en incluant ces valeurs, voire entre 10 et 18 en nm en -7- incluant ces valeurs, et de préférence encore entre 11 et 15 en nm en incluant ces valeurs. L'empilement selon l'invention est un empilement à basse résistance par carré de telle sorte que sa résistance par carré R en ohms par carré est, de préférence, égale ou inférieure à 1 ohm par carré après un éventuel traitement thermique du type bombage, trempe ou recuit, voire même égale ou inférieure à 1 ohm avant traitement thermique car tel traitement a en général pour effet de diminuer la résistance par carré. La présente invention se rapporte par ailleurs au vitrage incorporant au moins un substrat selon l'invention, éventuellement associé à au moins un autre substrat et notamment vitrage multiple du type double-vitrage ou triple vitrage ou vitrage feuilleté et en particulier vitrage feuilleté comportant des moyens pour la connexion électrique de l'empilement de couches minces afin de permettre de réaliser un vitrage feuilleté chauffant, ledit substrat porteur de l'empilement pouvant être bombé et/ou trempé. Chaque substrat du vitrage peut être clair ou coloré. Un des substrats au moins notamment peut être en verre coloré dans la masse. Le choix du type de coloration va dépendre du niveau de transmission lumineuse et/ou de l'aspect colorimétrique recherchés pour le vitrage une fois sa fabrication achevée. Le vitrage selon l'invention peut présenter une structure feuilletée, associant notamment au moins deux substrats rigides du type verre par au moins une feuille de polymère thermoplastique, afin de présenter une structure de type verre/empilement de couches minces/feuille(s)/verre. Le polymère peut notamment être à base de polyvinylbutyral PVB, éthylène vinylacétate EVA, polyéthylène téréphtalate PET, polychlorure de vinyle PVC. Le vitrage peut alors présenter une structure de type : verre/empilement de couches minces/feuille(s) de polymère/verre. -8- Les vitrages selon l'invention sont aptes à subir un traitement thermique sans dommage pour l'empilement de couches minces. Ils sont donc éventuellement bombés et/ou trempés. Le vitrage peut être bombé et/ou trempé en étant constitué d'un seul substrat, celui muni de l'empilement. Il s'agit alors d'un vitrage dit monolithique �. Dans le cas où ils sont bombés, notamment en vue de constituer des vitrages pour véhicules, l'empilement de couches minces se trouve de préférence sur une face au moins partiellement non plane. Le vitrage peut aussi être un vitrage multiple, notamment un double- vitrage, au moins le substrat porteur de l'empilement pouvant être bombé et/ou trempé. Il est préférable dans une configuration de vitrage multiple que l'empilement soit disposé de manière à être tourné du côté de la lame de gaz intercalaire. Dans une structure feuilletée, le substrat porteur de l'empilement peut être en contact avec la feuille de polymère. Le vitrage peut aussi être un triple vitrage constitué de trois feuilles de verre séparée deux par deux par une lame de gaz. Dans une structure en triple vitrage, le substrat porteur de l'empilement peut être en face 2 et/ou en face 5, lorsque l'on considère que le sens incident de la lumière solaire traverse les faces dans l'ordre croissant de leur numéro. Lorsque le vitrage est monolithique ou multiple du type double-vitrage, triple vitrage ou vitrage feuilleté, au moins le substrat porteur de l'empilement peut être en verre bombé ou trempé, ce substrat pouvant être bombé ou trempé avant ou après le dépôt de l'empilement. L'invention concerne en outre l'utilisation du substrat selon l'invention, pour réaliser un vitrage à haute réflexion énergétique et/ou un vitrage à très basse émissivité et /ou un vitrage chauffant avec un revêtement transparent chauffant par effet Joule. L'invention concerne en outre l'utilisation du substrat selon l'invention, pour réaliser une électrode transparente d'un vitrage électrochrome ou d'un -9- dispositif d'éclairage ou d'un dispositif de visualisation ou d'un panneau photovoltaïque. Le substrat selon l'invention peut-être en particulier utilisé pour réaliser un substrat à haute réflexion énergétique et/ou un substrat à très basse émissivité et /ou un revêtement transparent chauffant d'un vitrage chauffant. Le substrat selon l'invention peut-être en particulier utilisé pour réaliser une électrode transparente d'un vitrage électrochrome (ce vitrage étant monolithique ou étant multiple du type double-vitrage ou triple vitrage ou vitrage feuilleté) ou d'un dispositif d'éclairage ou d'un écran de visualisation ou d'un panneau photovoltaïque. (� transparent � est à comprendre ici dans ces précédents paragraphes comme � non opaque �). L'empilement selon l'invention permet, à épaisseur totale de couche fonctionnelle identique, d'obtenir une résistance par carrée plus faible que lorsque les épaisseurs des couches fonctionnelles sont toutes à peu près identiques dans l'empilement ou que lorsque les épaisseurs des couches fonctionnelles sont disposées dans un ordre d'épaisseurs croissant en partant du substrat. En effet, il est apparu que l'apport de chaque couche fonctionnelle dans la résistance complète de l'empilement n'est pas uniforme ; d'une manière surprenante, il a été découvert que la première couche fonctionnelle contribue pour près de la moitié à la résistance complète de l'empilement. Plus la première couche fonctionnelle est épaisse, plus la résistance par carré de l'empilement sera faible comparativement à des empilements ayant la même épaisseur totale de couche fonctionnelle. C'est la raison pour laquelle a 0,5, et de préférence a > 0,55, voire a > 0,6. Les détails et caractéristiques avantageuses de l'invention ressortent des exemples non limitatifs suivants, illustrés à l'aide des figures ci-jointes illustrant en figure 1, un empilement à trois fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle n'étant pas pourvue d'un revêtement de sous-blocage mais étant pourvue d'un revêtement de sur-blocage et l'empilement étant en outre pourvu d'un revêtement de protection optionnel ; et en figure 2, un empilement à quatre fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sous-blocage mais pas d'un revêtement de sur-blocage et l'empilement étant en outre pourvu d'un revêtement de protection optionnel. Dans les figures 1 et 2, les proportions entre les épaisseurs des différentes couches ne sont pas rigoureusement respectées afin de faciliter leur lecture. La figure 1 illustre une structure d'empilement à trois couches fonctionnelles 40, 80, 120, cette structure étant déposée sur un substrat 10 verrier, transparent. Chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120, est disposée entre deux revêtements antireflet 20, 60, 100, 140, de telle sorte que la première couche fonctionnelle 40 en partant du substrat est disposée entre les revêtements antireflet 20, 60 ; la deuxième couche fonctionnelle 80 est disposée entre les -11- revêtements antireflet 60, 100 et la troisième couche fonctionnelle 120 est disposée entre les revêtements antireflet 100, 140. Ces revêtements antireflet 20, 60, 100, 140, comportent chacun au moins une couche diélectrique 24, 26, 28 ; 62, 64, 66, 68 ; 102, 104, 106, 108 ; 142, 144. Eventuellement, d'une part chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120, peut être déposée sur un revêtement de sous-blocage (non illustré) disposé entre le revêtement antireflet sous-jacent et la couche fonctionnelle et d'autre part chaque couche fonctionnelle peut être déposée directement sous un revêtement de sur-blocage 55, 95, 135 disposé entre la couche fonctionnelle et le revêtement antireflet sus-jacent à cette couche. Un premier exemple a été réalisé en suivant l'exemple 14 de la demande internationale de brevet N° WO 2005/051858 et en utilisant par ailleurs l'enseignement de la demande internationale de brevet N° WO 2007/101964, avec une couche de lissage 26 en oxyde mixte de zinc et d'étain insérée dans le premier revêtement antireflet 20 en partant du substrat 10, le revêtement sous-jacent à la première couche fonctionnelle métallique, entre d'une part une couche barrière (référencée 24) en nitrure de silicium qui se trouve être ici déposée directement sur le substrat 10 et une couche de mouillage 28 en oxyde de zinc. Trois exemples ont été réalisés, numérotées de 1 à 3 ci-après. Ils ont tous les trois été incorporés dans un vitrage feuilleté de structure : substrat en verre porteur de l'empilement / feuille intercalaire en PVB / substrat en verre. Le tableau 1 suivant résume les matériaux et les épaisseurs de chaque couche et de chaque élément de la structure feuilletée en fonction de sa position vis-à-vis du substrat porteur de l'empilement (dernière ligne du tableau) ; les numéros de la 2e colonne correspondent aux références de la figure 1. 2949226 - 12 - Intercalaire Substrat N° 0,76 mm 2,1 mm Ex. 1 Ex. 2 Ex. 3 2,1 mm 2,1 mm 0,76 mm 0,76 mm Si3N4 144 28 28 32 ZnO 142 7 7 7 ZnO 108 7 7 7 SnZnO 106 7 7 7 Si3N4 104 50 59 52 NiCr 135 SnZnO Si3N4 Si3N4 NiCr NiCr ZnO ZnO ZnO ZnO 102 95 68 64 62 28 26 24 55 0,5 0,5 7 7 59 50 7 7 0,5 0,5 7 7 7 7 28 28 7 7 0,5 0,5 42 66 7 7 7 7 7 Substrat 10 1,6 mm 1,6 mm 1,6 mm Tableau 1 Dans tous les exemples ci-après l'empilement de couches minces est déposé sur un substrat en verre sodo-calcique clair d'une épaisseur de 1,6 mm, distribué par la société SAINT-GOBAIN. 5 Chaque revêtement antireflet 20, 60, 100 sous-jacent à une couche fonctionnelle 40, 80, 120 comporte une dernière couche de mouillage 28, 68, 108 à base d'oxyde de zinc cristallisé, dopé à l'aluminium et qui est au contact de la couche fonctionnelle 40, 80, 120 déposée juste au-dessus. 10 Comme visible dans le tableau 1, le premier revêtement antireflet 20 sous-jacent à la première couche fonctionnelle 40 et le 3e revêtement antireflet 100 sous-jacent à la 3e couche fonctionnelle 120 comporte une couche de lissage 26, 106, en un oxyde mixte non cristallisé, chaque couche de lissage 26, 106 étant en contact avec chaque couche de mouillage 28, 108 15 sus-jacente. - 13 - L'épaisseur e26 de la couche de lissage 26 représente environ 1 /6e de l'épaisseur dudit premier revêtement antireflet 20 et environ la moitié de l'épaisseur de ladite première couche fonctionnelle 40. L'épaisseur e106 de la couche de lissage 106 est identique à l'épaisseur e26 de la couche de lissage 26. L'autre revêtement antireflet 60, sous-jacent à une couche fonctionnelle 80, pourrait aussi comprendre au moins une couche de lissage 66, en un oxyde mixte non cristallisé, en contact avec une couche de mouillage 68, 108 sus-jacente, comme en figure 1 ; mais ce n'est pas le cas pour les exemples 1 à 3 pour des raisons de disponibilité d'emplacement de cathode dans le bâti de dépôt utilisé. Chaque revêtement antireflet 20, 60, 100, 140 comporte une couche 24, 64, 104, 144 à base de nitrure de silicium, dopé à l'aluminium. Ces couches sont importantes pour obtenir l'effet barrière à l'oxygène lors du traitement thermique. Sur la figure 1 on constate que l'empilement se termine par une couche de protection optionnelle 200, qui n'est pas présente pour les exemples 1 à 3. Pour chacun des trois exemples, les conditions de dépôt des couches, qui ont été déposées par pulvérisation (pulvérisation dite � cathodique Couche Cible employée Pression de dépôt Gaz Si3N4 Si:Al à 92:8 % wt 1,5.10-3 mbar Ar /(Ar + N2) à 45 % SnZnO SnZn:Sb à 34:65:1 wt 2.10-3 mbar Ar /(Ar + 02) à 58 % magnétron �), sont les suivantes : % ZnO Zn:Al à 98:2 % wt 2.10-3 mbar Ar /(Ar + 02) à 52 % NiCr NiCr à 80:20 wt 2.10-3 mbar Ar à 100 % Ag Ag 2.10-3 mbar Ar à 100 Tableau 2 L'exemple 1 est un exemple selon l'invention car la distribution de l'épaisseur des couches fonctionnelles est décroissante en partant du substrat porteur : e1 > e2 > e3, avec e2 = a e1 et e3 = a' e2. a = 0,87 et a' = 0,85 ; ils sont ici sensiblement différents à 0,02 près. - 14 - L'exemple 2 n'est pas un exemple selon l'invention car la distribution de l'épaisseur des couches fonctionnelles est croissante en partant du substrat porteur : e, L'exemple 3 n'est pas non plus un exemple selon l'invention car la distribution de l'épaisseur des couches fonctionnelles est constante dans l'empilement : e, = e2 = e3. Ces trois empilements présentent de plus l'avantage d'être trempables. La somme des épaisseurs de toutes les couches fonctionnelles de l'exemple 1 est identique à la somme des épaisseurs de toutes les couches fonctionnelles de l'exemple 2 et de l'exemple 3 : e, + e2 + e3 de l'exemple 1 = e, + e2 + e3 de l'exemple 2 ou de l'exemple 3 = 39 nm. Ces trois exemples présentant la même épaisseur totale de couche fonctionnelle, ils devraient présenter, normalement, les mêmes résistances par carré et conséquemment les mêmes caractéristiques de réflexion énergétique et de transmission énergétique. Toutefois, ce n'est pas ce qui a été constaté. Le tableau 3 résume pour les exemples 1 à 3la résistance par carré mesurée pour chaque substrat porteur de l'empilement après traitement thermique (bombage à 640 °) et les principales caractéristiques optiques mesurées pour le vitrage feuilleté complet intégrant le substrat porteur de l'empilement : R TL (() RL (~) aR0* bRO* aR60* bR60* (Ohm/carré) Ex. 1 0,98 73,3 12,4 -4,1 -5,1 -5,5 -0,2 Ex. 2 1,05 67,8 12,5 -5,8 -5,7 -3,7 -1,7 Ex. 3 1 69,3 16,7 -4,9 -5,6 -7,2 +0,2 Tableau 3 Pour ces substrats, - R indique : la résistance par carré de l'empilement, en ohms par carré 25 après traitement thermique (bombage) ; - 15 - - TL indique : la transmission lumineuse dans le visible en %, mesurée selon l'illuminant A à 10° Observateur ; - aRo* et bRo* indiquent les couleurs en réflexion a* et b* dans le système LAB mesurées selon l'illuminant D65 à 10° Observateur et mesurées ainsi 5 sensiblement perpendiculairement au vitrage ; - aR60* et bR60* indiquent les couleurs en réflexion a* et b* dans le système LAB mesurées selon l'illuminant D65 à 10° Observateur et mesurées sensiblement avec un angle de 60 ° par rapport à la perpendiculaire au vitrage. 10 On constate ainsi que si l'exemple 3 donne satisfaction en termes de résistance par carré de l'empilement et de transmission lumineuse, sa réflexion lumineuse est relativement élevée et il ne présente pas une stabilité de couleur en réflexion et en angle : la différence entre les valeurs de 15 couleurs mesurées à 0° et les valeurs de couleurs mesurées à 60 ° est trop importante et la valeur de aR60* est trop élevée. L'exemple 2 présente de meilleurs caractéristiques optiques que l'exemple 3 avec en particulier une couleur en réflexion à 60 ° moins marquée (aR60* moins élevé), mais la transmission lumineuse s'est dégradée et surtout la 20 résistance par carré est supérieure à 1 Ohm/carré, ce qui n'est pas acceptable. L'exemple 1 présente une résistance par carré de l'empilement et de transmission lumineuse améliorées par rapport à celles de l'exemple 3 et bien sûr de l'exemple 2, une réflexion lumineuse plus faible que celle de l'exemple 25 3 et une meilleure stabilité de la couleur en réflexion en fonction de l'angle que l'exemple 3. Il a été mesuré que la couche fonctionnelle 40 de chacun de ces exemples est de meilleure qualité que les autres couches fonctionnelles 80, 120, ... : elle présente une rugosité plus faible et est mieux cristallisée que les 30 autres. - 16 - Du fait de l'épaisseur totale importante des couches d'argent (et donc de la faible résistance par carré obtenue) ainsi que des bonnes propriétés optiques (en particulier la transmission lumineuse dans le visible), il est possible, par ailleurs d'utiliser le substrat revêtu de l'empilement selon l'invention pour réaliser un substrat électrode transparent. Ce substrat électrode transparent peut convenir pour un dispositif électroluminescent organique, en particulier en remplaçant la couche 144 en nitrure de silicium de l'exemple 1 par une couche conductrice (avec en particulier une résistivité inférieur à 105 Q.cm) et notamment une couche à base d'oxyde. Cette couche peut être par exemple en oxyde d'étain ou à base d'oxyde de zinc éventuellement dopé Al ou Ga, ou à base d'oxyde mixte et notamment d'oxyde d'Indium et d'étain ITO, d'oxyde d'Indium et de zinc IZO, d'oxyde d'étain et de zinc SnZn éventuellement dopé (par exemple avec Sb, F). Ce dispositif électroluminescent organique peut être utilisé pour réaliser un dispositif d'éclairage ou un dispositif de visualisation (écran). La figure 2 illustre une structure d'empilement à quatre couches fonctionnelles 40, 80, 120, 160, cette structure étant déposée sur un substrat 10 verrier, transparent. Chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120, 160, est disposée entre deux revêtements antireflet 20, 60, 100, 140, 180, de telle sorte que la première couche fonctionnelle 40 en partant du substrat est disposée entre les revêtements antireflet 20, 60 ; la deuxième couche fonctionnelle 80 est disposée entre les revêtements antireflet 60, 100 ; la troisième couche fonctionnelle 120 est disposée entre les revêtements antireflet 100, 140 ; et la quatrième couche fonctionnelle 160 est disposée entre les revêtements antireflet 140, 180. Ces revêtements antireflet 20, 60, 100, 140, 180, comportent chacun au moins une couche diélectrique 24, 26, 28 ; 62, 64, 66, 68 ; 102, 104, 106, 108 ; 144, 146, 148 ; 182, 184. -17- Eventuellement, d'une part chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120, 160, peut être déposée sur un revêtement de sous-blocage 35, 75, 115, 155, disposé entre le revêtement antireflet sous-jacent et la couche fonctionnelle et d'autre part chaque couche fonctionnelle peut être déposée directement sous un revêtement de sur-blocage (non illustré) disposé entre la couche fonctionnelle et le revêtement antireflet sus-jacent. Sur la figure 2 on constate que l'empilement se termine par une couche de protection optionnelle 200, en particulier à base d'oxyde, notamment sous stoechiométrique en oxygène. Chaque revêtement antireflet 20, 60, 100, 140 sous-jacent à une couche fonctionnelle 40, 80, 120, 160 comporte une dernière couche de mouillage 28, 68, 108, 148 à base d'oxyde de zinc cristallisé, dopé à l'aluminium et qui est au contact de la couche fonctionnelle 40, 80, 120, 160 déposée juste au-dessus. Chaque revêtement antireflet 20, 60, 100, 140 sous-jacent à une couche fonctionnelle 40, 80, 120, 160 peut par ailleurs comporter une couche de lissage 26, 66, 106, 146, en un oxyde mixte non cristallisé, chaque couche de lissage 26, 66, 106, 146 étant en contact avec chaque couche de mouillage 28, 68, 108, 148 sus-jacente. Chaque revêtement antireflet 20, 60, 100, 140, 180 comporte une couche 24, 64, 104, 144, 184 à base de nitrure de silicium, dopé à l'aluminium. Ces couches sont importantes pour obtenir l'effet barrière à l'oxygène lors du traitement thermique. D'une manière générale, le substrat électrode transparent peut convenir comme substrat chauffant pour un vitrage chauffant et en particulier un pare-brise feuilleté chauffant. Il peut aussi convenir comme substrat électrode transparent pour tout vitrage électrochrome, tout écran de visualisation, ou encore pour une cellule photovoltaïque et notamment pour une face avant ou une face arrière de cellule photovoltaïque transparente. 2949226 - 18 - La présente invention est décrite dans ce qui précède à titre d'exemple. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l'invention sans pour autant sortir du cadre du brevet tel que 5 défini par les revendications. REVENDICATIONS1. Substrat (10), notamment substrat verrier transparent, muni d'un empilement de couches minces comportant une alternance de � n � couches fonctionnelles (40, 80, 120) métalliques, notamment de couches fonctionnelles à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et de � (n + 1) � revêtements antireflet (20, 60, 100, 140), avec n nombre entier > 3, chaque revêtement antireflet comportant au moins une couche antireflet (24, 64, 104, 144), de manière à ce que chaque couche fonctionnelle (40, 80, 120) soit disposée entre deux revêtements antireflet (20, 60, 100, 140), caractérisé en ce que l'épaisseur ex de chaque couche fonctionnelle (40, 80, 120) est inférieure à l'épaisseur de la couche fonctionnelle précédente en direction du substrat (10) et est telle que : ex = a eX_1, avec x qui est le rang de la couche fonctionnelle en partant du substrat (10), x-1 qui est le rang de la couche fonctionnelle précédente en direction du substrat (10) et a qui est un nombre tel que 0,5 a 2. Substrat (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la valeur de a est différent pour toutes les couches fonctionnelles de rang 2 et plus. 3. Substrat (10) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la dernière couche du premier revêtement antireflet (20) sous-jacent à la première couche fonctionnelle (40) en partant du substrat (10) est une couche de mouillage (28) à base d'oxyde cristallisé, notamment à base d'oxyde de zinc, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium et en ce que ce premier revêtement antireflet (20) sous-jacent à la première couche fonctionnelle (40) comporte une couche de lissage (26), en un oxyde mixte non cristallisé, ladite couche de lissage (26) étant en contact avec ladite couche de mouillage (28) sus-jacente. 4. Substrat (10) selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'épaisseur e26 de ladite couche de lissage (26) représente environ 1 /6e de- 20 - l'épaisseur dudit premier revêtement antireflet (20) et environ la moitié de l'épaisseur de ladite première couche fonctionnelle (40). 5. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que lesdits revêtements antireflet (20, 60, 100, 140) comportent chacun au moins une couche (24, 64, 104, 144) à base de nitrure de silicium, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium. 6. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la dernière couche de chaque revêtement antireflet sous-jacent à une couche fonctionnelle (40, 80, 120) est une couche de mouillage (28, 68, 108) à base d'oxyde cristallisé, notamment à base d'oxyde de zinc, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium. 7. Substrat (10) selon la revendication 6, caractérisé en ce que au moins un revêtement antireflet sous-jacent à une couche fonctionnelle (40, 80, 120) comprend au moins une couche de lissage (26, 66, 106), en un oxyde mixte non cristallisé, ladite couche de lissage (26, 66, 106) étant en contact avec une couche de mouillage (28, 68, 108) sus-jacente. 8. Vitrage incorporant au moins un substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, éventuellement associé à au moins un autre substrat et notamment vitrage multiple du type double-vitrage ou triple vitrage ou vitrage feuilleté et en particulier vitrage feuilleté comportant des moyens pour la connexion électrique de l'empilement de couches minces afin de permettre de réaliser un vitrage feuilleté chauffant, ledit substrat porteur de l'empilement pouvant être bombé et/ou trempé. 9. Utilisation du substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, pour réaliser un revêtement transparent chauffant d'un vitrage chauffant ou une électrode transparente d'un vitrage électrochrome ou d'un dispositif d'éclairage ou d'un dispositif de visualisation ou d'un panneau photovoltaïque.30