FR 2936648 A1 20100402 FR 0856522 A 20080929 1 TUBE MICRO-ONDES COMPACT DE FORTE PUISSANCE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne les tubes micro-ondes compacts de forte puissance aptes à fonctionner de manière répétitive. Par forte puissance, on entend une puissance supérieure ou égale à environ 100 MW. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Les tubes micro-ondes de forte puissance performants existants, aptes à fonctionner de manière répétitive, sont notamment les klystrons relativistes et les tubes connus sous la dénomination commerciale de Reltron. Ces tubes à vide produisent des micro-ondes à partir de faisceaux d'électrons intenses relativistes. L'accélération des électrons dans le corps du tube est telle qu'ils atteignent des vitesses proches de celle de la lumière. Ces faisceaux d'électrons sont produits par la cathode d'un canon à électrons comprenant également une anode et se propagent dans le corps du tube qui fait suite au canon, le corps du tube comportant des structures électromagnétiques appropriées et un collecteur pour récupérer les électrons en fin de course une fois qu'ils ont cédé une grande partie de leur énergie. Les paramètres principaux des faisceaux d'électrons, à savoir leur énergie, leur courant et le taux de 2 répétition des salves d'électrons produits dépendent fortement de la source d'énergie qui alimente le canon à électrons appelée également générateur électrotechnique. Les ordres de grandeur de ces paramètres sont les suivants : 200 keV à 1 MeV pour l'énergie, 500 A à 20 kA pour le courant et quelques dizaines de Hertz pour le taux de répétition. Dans tous les cas, pour obtenir ces performances, il faut mettre les électrons du faisceau en paquets à la fréquence désirée. Cette fréquence peut être comprise dans la bande allant de 2 à 5 GHz. Cette mise en paquets se fait dans les structures électromagnétiques se trouvant dans le corps du tube. Actuellement les klystrons relativistes utilisent de moyens de focalisation du faisceau d'électrons qui sont formés avec des solénoïdes pour produire un champ magnétique pulsé nécessaire à la propagation du faisceau électronique dans le corps du tube. Le champ magnétique varie par exemple entre 0,5 et 1 Tesla suivant la valeur du courant électrique à propager. Mais, avec ce type de moyens de focalisation, on ne peut produire le champ magnétique en régime pulsé que pendant des temps très courts, de l'ordre de la milliseconde, si on ne veut pas être obligé de prévoir des moyens de refroidissement et une alimentation très encombrante. Ces temps sont incompatibles avec le fonctionnement récurrent, sur plusieurs secondes, recherché. On pourrait utiliser des moyens de focalisation de type solénoïde supraconducteur mais 3 dans ce cas, le coût et l'encombrement seraient rédhibitoires. En ce qui concerne le Reltron, on peut se reporter au brevet américain US 5 101 168 qui décrit un tel tube fonctionnant en mode amplificateur. Le faisceau électronique est plein et pas creux et il traverse une structure résonante qui permet sa mise en paquets. Le faisceau électronique, depuis sa formation par le canon et sa propagation dans le corps, traverse un certain nombre de grilles à qui il cède de l'énergie. Cela conduit à la destruction de ces grilles par échauffement, à la pollution du tube et à l'arrêt de son fonctionnement. On s'aperçoit qu'un tel tube ne peut fonctionner à des fréquences de répétition supérieures à environ quelques Hertz. EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention a justement comme but de proposer un tube micro-ondes compact, de forte puissance, apte à fonctionner en régime récurrent et qui ne présente pas les inconvénients mentionnés ci dessus. Un but de l'invention est donc de fournir un tube micro-ondes de puissance capable de fonctionner à des fréquences de répétition supérieures à la centaine de Hertz et ce pendant plusieurs secondes voire plusieurs dizaines de secondes. Un autre but de l'invention est de fournir un tube micro-ondes de puissance qui est relativement léger, compact et bon marché. 4 Pour y parvenir, le tube micro-ondes comporte un canon à électrons produisant un faisceau d'électrons creux et une structure résonante à deux cavités couplées qui met en paquets le faisceau d'électrons à la fréquence du mode résonant n de la structure résonante. Plus précisément, l'invention concerne plus particulièrement un tube micro-ondes comportant : - un canon à électrons susceptible de produire un faisceau d'électrons en forme de cylindre de révolution creux en régime répétitif, - un corps dans lequel le faisceau est destiné à se propager, le corps se terminant par un collecteur et étant pourvu de moyens d'application d'un champ magnétique axial de guidage du faisceau et en amont du collecteur d'une structure résonante traversée par le faisceau. La structure résonante est destinée à regrouper les électrons en une succession de paquets, et est formée de deux cavités couplées qui se suivent le long de l'axe du faisceau, le couplage se faisant par l'intermédiaire d'une région intercavité traversée par le faisceau d'électrons, cette structure résonante présentant une symétrie axiale dont l'axe est celui du faisceau et étant dimensionnée de manière à ce que la mise en paquets des électrons se fasse à une fréquence qui est celle du mode résonant n de la structure résonante. Les deux cavités sont avantageusement de type boîte à pilules. Les deux cavités peuvent être accolées et avoir une paroi commune équipée d'un iris sensiblement centré sur l'axe du faisceau d'électrons pour laisser passer le faisceau d'électrons, le couplage entre les deux cavités se faisant par l'iris. Il est avantageux que le canon à électrons 5 soit de type diode avec une cathode annulaire et une anode montée sensiblement de manière coaxiale autour de la cathode. Ainsi, le faisceau n'a pas à traverser d'anode de type grille. L'anode peut être une portion d'une enceinte à vide du tube englobant le corps. Le faisceau d'électrons peut ainsi se propager depuis le canon à électrons et dans le corps du tube sans rencontrer d'obstacle de type grille ou feuille. Le corps comporte un circuit de sortie à partir duquel de l'énergie micro-ondes du faisceau d'électrons peut être extraite, placé entre le collecteur et la structure résonante. Pour augmenter l'énergie du faisceau d'électrons au niveau du circuit de sortie, il est préférable que le corps présente un tronçon de post accélération des électrons du faisceau d'électrons placé entre la structure résonante et le circuit de sortie. Les moyens d'application du champ magnétique axial de guidage peuvent comporter un ou plusieurs solénoïdes ou un ou plusieurs aimants permanents tubulaires. La structure résonante peut être équipée de moyens pour faire varier sa fréquence de résonance, visant à ajuster au moins localement l'espace entre le 6 faisceau d'électrons et une paroi latérale d'au moins une cavité de la structure résonante. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : la figure 1 montre schématiquement en coupe longitudinale un premier exemple d'un tube micro-ondes conforme à l'invention ; les figures 2A, 2B montrent schématiquement la structure résonante et le champ électrique 15 instantané qui s'établit dedans ; la figure 3A montre schématiquement la structure résonante et la figure 3B présente, à la position A, le courant d'électrons en fonction du temps, après filtrage. 20 la figure 4A montre la variation du courant du faisceau d'électrons mis en paquets en fonction du courant du faisceau d'électrons injecté dans le corps du tube et la figure 4B la variation du courant moyen Ioout et du courant modulé Ifrout au niveau du circuit 25 de sortie en fonction de l'induction magnétique axiale ; la figure 5 représente schématiquement une coupe longitudinale d'un autre exemple du tube micro-ondes selon l'invention équipé d'un tronçon de post- 30 accélération ; 10 7 les figures 6A et 6B montrent en trois dimensions et en coupe la structure résonante équipée de moyens pour faire varier sa fréquence de résonance. Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci-après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d'une figure à l'autre. Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On va maintenant se référer à la figure 1 qui montre très schématiquement un premier exemple de tube micro-ondes de puissance objet de l'invention. Seule une moitié du tube est représentée. Le tube micro-ondes objet de l'invention est construit autour d'un axe Z. Il comporte dans une enceinte à vide 5 englobant un canon à électrons 1 de type diode avec une cathode annulaire 2 centrée sur l'axe Z et une anode 3 composée d'une armature tubulaire montée sensiblement de manière coaxiale autour de la cathode 2. L'anode 3 peut être formée d'une portion de l'enceinte à vide 5 du tube comme on le verra ultérieurement. Le canon à électrons 1 est susceptible de produire un faisceau d'électrons 4 en forme de cylindre de révolution creux lorsqu'une différence de potentiel appropriée est appliquée entre sa cathode 2 et son anode 3. Le cylindre a pour axe l'axe Z. La cathode 2 8 est portée à un potentiel -V1 plus négatif que le potentiel VO auquel est portée l'anode 3. Le potentiel VO de l'anode 3 est la masse dans la mesure où l'anode est constituée d'une portion de l'enceinte à vide 5 du tube. Le canon à électrons 1 est destiné à être commandé en impulsions et pour cela il est destiné à être relié électriquement à un générateur électrotechnique répétitif G qui délivre les potentiels précédents. Le tube micro-ondes comporte en outre un corps 6 qui fait suite au canon à électrons 1. L'application à la cathode 2 du potentiel négatif -V1 par rapport à celui de l'anode 3 provoque l'émission du faisceau d'électrons creux 4 qui se propage dans le corps 6 et plus particulièrement dans un tunnel 10 pour le faisceau d'électrons, le corps 6 se terminant par un collecteur 7 qui récupère les électrons en fin de course. Ainsi le tunnel 10 s'étend dans le corps 6 entre le canon à électrons 1 et le collecteur 7. Le corps 6 comporte de plus en amont du collecteur 7 une structure résonante 9 à symétrie axiale (axe Z) à deux cavités couplées 9.1, 9.2, ouvertes sur le tunnel à faisceau d'électrons 10, ce qui permet une interaction entre le faisceau d'électrons 4 et la structure résonante 9. Le couplage entre les deux cavités 9.1, 9.2 se fait par l'intermédiaire d'une région intercavité traversée par le faisceau d'électrons 4. Cette structure résonante 9 est destinée à mettre en paquets P les électrons du faisceau 4 à la fréquence du mode de résonance de la 9 structure résonante 9 à deux cavités couplées. Cela signifie que le champ électrique instantané qui s'établit dans l'une des cavités 9.1 est en opposition de phase avec celui qui s'établit dans l'autre cavité 9.2. On peut se référer aux figures 2A et 2B qui illustrent la structure résonante 9 d'une part et la variation du champ électrique instantané qui s'établit dans le tunnel au niveau de la structure résonante 9. Dans l'exemple représenté, la structure résonante 9 est formée de deux cavités accolées 9.1, 9.2 par une paroi médiane 90 dotée d'un iris 91 centré sur l'axe Z. Le faisceau d'électrons 4 franchit l'iris 91. Les cavités sont de type boîte à pilules. Le couplage entre les deux cavités 9.1, 9.2 se fait par l'iris 91, qui correspond à la région intercavité. Pour obtenir le meilleur couplage possible, on cherche à ce que les cavités soient les plus proches possibles. Les deux cavités 9.1, 9.2 sont sensiblement identiques. La paroi médiane 90 est sensiblement normale à l'axe Z. On suppose que l'iris 91 a sensiblement les dimensions d'une section droite du tunnel 10. Le corps du tube 6 est en outre pourvu de moyens d'application d'un champ magnétique 8 longitudinal selon l'axe Z de guidage du faisceau d'électrons 4 pour focaliser le faisceau d'électrons 4 ainsi produit et l'empêcher de diverger dans le corps 6 en amont du collecteur 7. Ces moyens d'application du champ magnétique 8 entourent l'enveloppe 5. Enfin, le tube micro-ondes comporte un circuit de sortie 11 situé en amont du collecteur 7, il est destiné à extraire de l'énergie micro-ondes cédée 10 par les électrons avant leur capture par le collecteur 7. Ce circuit de sortie 11 comporte au moins une cavité. Ce type de cavité de sortie est bien connu de l'homme du métier spécialiste des tubes micro-ondes. Les électrons voient leur énergie cinétique convertie en énergie électromagnétique au niveau du circuit de sortie 11 avant d'atteindre le collecteur 7 et c'est cette énergie électromagnétique qui est extraite du circuit de sortie pour être exploitée. On cherche à ce que tous les électrons du faisceau d'électrons 4 soient mis en paquets le plus rapidement possible, pour cela cette mise en paquets totale doit avoir lieu dans le tunnel 10, le plus près possible de la sortie de la structure résonante 9. Le temps de mise en paquets de tous les électrons à partir de la mise en route du canon 1 dépend bien sûr des dimensions de la structure résonante 9 mais aussi de l'intensité du courant d'injection IO généré par le canon à électrons 1. Le courant d'injection IO correspond au courant moyen émis pendant une impulsion. La figure 3A représente l'allure du faisceau d'électrons dans le tunnel 10 au niveau de la structure résonante 9 et dans son voisinage amont et aval. La mise en paquets des électrons en sortie de la structure résonante 9 est bien visible et est totale à partir de la position A à quelques centimètres de la sortie de la structure résonante 9. La figure 3B représente d'ailleurs l'allure du courant du faisceau d'électrons mis en paquets Irf (appelé encore courant modulé) en fonction du temps, au niveau de la position A, dans le tunnel 10. Ce courant Irf se superpose au 11 courant injecté I0. Il faut attendre environ 40 ns à partir du début de l'injection des électrons dans le tunnel 10 pour que tous les électrons soient mis en paquets. Ces résultats sont obtenus en simulant le comportement des électrons, des champs électriques et magnétiques à l'aide d'un algorithme de type PIC (particle in cell soit particule dans cellule) commercialisé sous la dénomination de MAGIC. Le faisceau d'électrons, le canon et le tunnel ont les caractéristiques suivantes : • Tension du faisceau injecté : Vinj=200 kV, elle correspond à la différence des tensions anode cathode •Courant du faisceau injecté : Io=1000 A • Rayon externe du faisceau : re=20 nm • Rayon interne du faisceau : ri=18 nm • Rayon interne du tunnel : rt=24 nm • Distance parcourue par les électrons pour traverser la structure résonante : d=6,2 cm • longueur de chacune des cavités : 3 cm On s'aperçoit que pour un courant injecté Io de 1 kA, le temps pour que tous les électrons soient modulés en vitesse est de l'ordre de 40 ns. Dans l'exemple étudié l'espacement entre les deux cavités est de 0,2 cm ce qui correspond à l'épaisseur de la paroi médiane. Des simulations ont été réalisées avec des espacements allant jusqu'à environ 3 centimètres mais avec des résultats moins satisfaisants. 12 La figure 4A illustre l'allure du courant modulé Irf du faisceau d'électrons mis en paquets en fonction du courant injecté Io, on s'aperçoit qu'il faut injecter un courant d'au minimum 900 A pour obtenir une mise en paquets de tous les électrons du faisceau. Avec ce type de tube micro-ondes, on s'aperçoit que le champ magnétique produit par les moyens d'application du champ magnétique 8 n'a pas besoin d'être aussi important que dans les klystrons relativistes pour une même énergie du faisceau d'électrons en sortie. On le règle pour que le faisceau d'électrons mis en paquets se propage sans se disperser jusqu'au circuit de sortie 11. La figure 4B illustre la variation d'une part du courant moyen Ioout et du courant modulé Irfout au niveau du circuit de sortie 11 en fonction de l'induction Bz le long de l'axe Z. On s'aperçoit que le seuil de champ magnétique nécessaire pour propager le faisceau d'électrons en paquets sans qu'il ne se disperse a une valeur d'induction magnétique supérieure à 0,2 Tesla. Dans les klystrons relativistes, il fallait produire des inductions magnétiques supérieures de l'ordre de 0,5 à 1 Tesla voire plus. Les moyens d'application du champ magnétique 8 peuvent être réalisés par au moins un solénoïde 80 entourant le corps 6. Ce solénoïde 80 peut n'être alimenté en énergie que pendant le temps où le canon à électrons produit des électrons. On peut se référer à la figure 1A. 13 En variante, on peut utiliser une succession d'aimants annulaires 81 comme schématisé sur la figure 1B, ces aimants 81 peuvent être disponibles dans le commerce, si la fréquence de résonance de la structure résonante 9 n'est pas trop basse. Les aimants annulaires conviennent par exemple si la fréquence est supérieure à 2 GHz. Les aimants annulaires sont représentés sur la figure 5 décrite ci-dessous. Les simulations montrent que dans la bande S (2-4 GHz) le tube fonctionne avec un faisceau d'électrons ayant une énergie de l'ordre de 200 keV et un courant injecté Io de l'ordre ou supérieur à 1 kA. Le tube peut également fonctionner dans une bande plus large 1,5-5 GHz. Pour accroître l'énergie fournie par le tube micro-ondes objet de l'invention, il est possible d'inclure dans le corps 6 un tronçon de post-accélération 12. Ce tronçon de post-accélération 12 est disposé entre la structure résonante 9 et le circuit de sortie 11 comme illustré sur la figure 5. La présence de ce tronçon de post-accélération 12 fait que le circuit de sortie 11 est sans contact électrique avec l'anode 3. On prévoit alors des moyens 13 pour appliquer au circuit de sortie 11 un potentiel plus positif que celui de l'anode 3. Une différence de potentiel d'environ 800 kV peut être appliquée entre l'anode 3 et le circuit de sortie 11. Ce tronçon de post-accélération 12 peut être formé de la même manière que dans le tube Reltron. Il est raccordé d'un côté à la structure résonante 9 et de l'autre au circuit de sortie 11. 14 Il est possible que la structure résonante 9 soit équipée d'un dispositif d'accord 14 de la fréquence de résonance de la structure résonante 9. On se réfère aux figures 6A et 6B. Ce dispositif d'accord 14 peut être formé par au moins un élément de type plongeur 14.1 actionnable depuis l'extérieur du tube par un dispositif de commande approprié de manière à modifier le volume de la structure résonante 9. Le dispositif de commande peut être une tige. La modification du volume de la structure résonante 9 peut consister à déplacer au moins une portion d'une paroi latérale 92, 93 d'au moins une des cavités 9. 1, 9.2 de manière à la rapprocher ou à l'éloigner du faisceau d'électrons 4. Dans l'exemple décrit aux figures 6A et 6B, chaque élément de type plongeur 14.1 déplace une portion de paroi latérale, ce qui correspond à une portion de la circonférence d'une cavité 9.1 ou 9.2. Le déplacement se fait sensiblement normalement à l'axe Z, ce qui fait que le rayon intérieur de la cavité 9.1 ou 9.2 varie localement. Sur la figure 6A, on a représenté en trois dimensions la structure résonante 9. Elle possède une forme extérieure sensiblement en parallélépipède rectangle et intérieurement sensiblement en cylindre de révolution d'axe Z. Elle possède une paroi médiane 90 dotée d'un iris 91 centré sur l'axe Z pour le passage du faisceau d'électrons 4. Cette paroi médiane sépare les deux cavités 9.1, 9.2 accolées qui sont également en cylindre de révolution. En fait sur la figure 6A seule la cavité 9.1 est visible ainsi que la paroi latérale 92. La paroi médiane 90 est sensiblement 15 normale à l'axe Z. Chaque cavité 9.1, 9.2 comporte une paroi extrême 920, 930 visible sur la figure 6B, cette paroi extrême 920, 930 étant également sensiblement transversale à l'axe Z. Ces deux parois extrêmes 920, 930 forment respectivement la paroi d'entrée et la paroi de sortie de la structure résonante 9. Le faisceau d'électrons 4 rentre et sort de la structure résonante 9 en franchissant ces parois extrêmes 920, 930. Dans l'exemple décrit, on a placé deux éléments de type plongeur 14.1 par cavité 9.1, 9.2, ils diamétralement opposés. Les éléments de type plongeur 14.1 sont mobiles à la manière d'un tiroir par rapport à la paroi médiane 90 et aux parois extrêmes 920, 930. Un tel dispositif d'accord 14 en fréquence est aisé à réaliser, il est mécaniquement plus simple que celui du Reltron. En effet, dans le tube Reltron le dispositif d'accord est plus difficile à mettre en oeuvre car dans la structure résonante le couplage se fait par une cavité déportée et éloignée de l'axe du faisceau d'électrons et il ne permet d'obtenir qu'une variation de la fréquence réduite. Il faut noter que le canon à électrons et le tunnel qui lui fait suite sont dépourvus d'obstacles de type grille ou feuille mince métallique que le faisceau d'électrons doit franchir. Cela permet d'éviter les problèmes de pollution que l'on rencontre dans les Reltrons. Avec ce type de tube, la limitation du taux de répétition ne dépend plus des différents composants du tube, mais dépend du générateur électrotechnique que 16 l'on utilise pour alimenter en énergie son canon à électrons. Ce taux de répétition peut être de l'ordre de plusieurs centaines de Hertz voire plus. Le fait d'utiliser un faisceau d'électrons creux permet de propager un courant plus intense que s'il était plein à champ magnétique de guidage constant. Le tube électronique selon l'invention ayant les caractéristiques données plus haut est particulièrement compact, sa longueur est de l'ordre d'une quarantaine de centimètres pour un diamètre inférieur à environ une vingtaine de centimètres, ce diamètre étant conditionné par la fréquence centrale utile de la structure résonante. Bien que plusieurs modes de réalisation de la présente invention aient été représentés et décrits de façon détaillée, on comprendra que différents changements et modifications puissent être apportés sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS1. Tube micro-ondes comportant : - un canon à électrons (1) susceptible de produire un faisceau d'électrons (4) en forme de cylindre de révolution creux en régime répétitif, - un corps (6) dans lequel le faisceau (4) est destiné à se propager, le corps (6) se terminant par un collecteur (7) et étant pourvu de moyens d'application d'un champ magnétique (8) axial de guidage du faisceau (4) et, en amont du collecteur (7), d'une structure résonante (9) traversée par le faisceau (4), destinée à regrouper les électrons en une succession de paquets (P), caractérisé en ce que la structure résonante (9) est formée de deux cavités couplées (9.1, 9.2) qui se suivent le long de l'axe (Z) du faisceau (4), le couplage se faisant par l'intermédiaire d'une région intercavité traversée par le faisceau (4), cette structure (9) présentant une symétrie axiale dont l'axe est celui du faisceau (4) et étant dimensionnée de manière à ce que la mise en paquets des électrons se fasse à une fréquence qui est celle du mode résonant TL de la structure résonante (9). 2. Tube micro-ondes selon la revendication 1, dans lequel les deux cavités (9.1, 9.2) sont de type boîte à pilules. 3. Tube micro-ondes selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel les deux cavités (9.1, 9.2) sont accolées et ont une paroi commune (90) 18 équipée d'un iris (91) sensiblement centré sur l'axe (Z) du faisceau (4) pour laisser passer le faisceau, le couplage entre les deux cavités se faisant grâce à l'iris (91). 4. Tube micro-ondes selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le canon à électrons (1) est de type diode avec une cathode annulaire (2) et une anode (3) montée sensiblement de manière coaxiale autour de la cathode (2). 5. Tube micro-ondes selon la revendication 4, dans lequel l'anode (3) est une portion d'une enceinte à vide (5) du tube englobant le corps (6). 6. Tube micro-ondes selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le canon à électrons (1) et le corps du tube (6) en amont du collecteur (7) sont dépourvus d'obstacles de type grille ou feuille pour le faisceau d'électrons (4). 7. Tube micro-ondes selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le corps (6) comporte un circuit de sortie (11) à partir duquel de l'énergie micro-ondes du faisceau d'électrons (4) peut être extraite, placé entre le collecteur (7) et la structure résonante (9). 8. Tube micro-ondes selon la revendication 30 7, dans lequel le corps (6) du tube comporte un tronçon de post-accélération (12) des électrons du faisceau 19 électronique (4) placé entre la structure résonante (9) et le circuit de sortie (11). 9. Tube micro-ondes selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les moyens d'application du champ magnétique (8) axial de guidage comportent un ou plusieurs solénoïdes (80) ou un ou plusieurs aimants permanents (81). 10. Tube micro-ondes selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la structure résonante (9) est équipée de moyens (14) pour faire varier sa fréquence de résonance, visant à ajuster au moins localement l'espace entre le faisceau d'électrons (4) et une paroi latérale (92, 93) d'au moins une cavité (9.1, 9.2) de la structure résonante (9).