FR 2937792 A1 20100430 FR 0805921 A 20081024 Dispositif d'imagerie multispectral à base de multi-puits quantiques Le domaine de l'invention est celui des dispositifs d'imagerie thermique multispectraux et notamment ceux à structure à multi-puits 5 quantiques, particulièrement adaptés au domaine infrarouge. Les progrès rapides de la croissance par épitaxie sur substrat de type GaAs ont permis le développement d'une nouvelle classe de détecteurs d'ondes électromagnétiques utilisant l'absorption d'un rayonnement autour d'une longueur d'onde lambda, correspondant à la transition d'électrons 10 entre différents niveaux d'énergie au sein d'une même bande d'énergie. Le schéma de la figure 1 illustre ce type de transition. L'évolution récente des performances de ce type de composants est liée en particulier à la réalisation relativement facile de structures multicouches de semiconducteurs dans le système standard de l'épitaxie par 15 jets moléculaires (MBE), c'est-à-dire le système GaAs/Ga(l_x)AIXAs. En ajustant les paramètres de croissance, l'épaisseur des puits quantiques et le pourcentage x en Aluminium dans les barrières imposant le potentiel de confinement, on peut choisir de centrer une bande étroite (environ 1 micron) de détection sur une longueur d'onde donnée. 20 Ce type de structure présente l'intérêt de fournir de très bonnes sensibilités en raison de la discrétisation des niveaux d'énergie au sein des bandes de conduction des matériaux photoconducteurs utilisés. Ainsi les détecteurs à multi-puits quantiques se sont imposés comme une très bonne solution technique pour la réalisation de matrices sensibles 25 au rayonnement infrarouge dans la bande 8-12 pm. Dans le contexte des transitions intersousbandes, pour que ce type de transition soit possible il est nécessaire que le champ électrique de l'onde électromagnétique incidente ait une composante le long de la direction de croissance des couches, direction perpendiculaire au plan des couches. 30 La conséquence de cet effet physique est qu'un détecteur présente peu d'absorption dans le cas d'une illumination à incidence normale. Il a déjà été proposé d'utiliser des moyens de couplage de type réseau de diffraction (cf Goossen et Lyon, APL 47(1985), p1257-1259) pour générer ladite composante perpendiculaire en créant des rayonnements 35 diffractés. On peut ainsi graver sur chaque pixel un réseau de diffraction fonctionnant en réflexion (les détecteurs sont éclairés en face arrière) comme décrit dans l'article "Grating-coupled quantum-well infrared detectors: Theory and performance", J. Y. Anderson and L. Lundqvist, J. Appl. Phys. 71, 3600 (1992) et illustré en figure 2 qui met en évidence l'utilisation de réseaux de plots permettant de coupler le rayonnement incident quelle que soit sa polarisation, au travers d'une vue réalisée par microscope électronique de pixels d'environ 20 microns de largeur, lesdits pixels comportant en surface des réseaux de diffraction, l'anneau supérieur n'étant qu'un élément de fixation sur une matrice de circuits de lecture sur silicium. L'ensemble constitué par la matrice de pixels réalisés au sein de la structure à multi-puits quantiques et par les réseaux de diffraction est dénommé ci-après plan focal. Généralement, la structure à multi-puits quantiques permet d'élaborer des couches sensibles et donc des détecteurs dans des gammes de longueurs d'onde très étroites de l'ordre de 10% (soit une variation de longueurs d'onde AÀ/À de l'ordre de 10 %)). Ce type de structure active ne permet néanmoins pas d'élaborer des dispositifs d'imagerie susceptibles de fonctionner dans des spectres larges de longueurs d'onde malgré la très bonne sensibilité qu'ils permettent d'atteindre par ailleurs. C'est pourquoi il est proposé dans la présente invention de remplacer la couche active standard, qui comporte généralement un empilement de couches semiconductrices permettant d'élaborer la structure à multi-puits quantiques sensible généralement dans une gamme de longueur d'onde très étroite et présentant typiquement une largeur de bande spectrale d'environ 10%, par une couche active large bande obtenue en alternant des puits quantiques différents. Il est ainsi possible de fabriquer des plans focaux multispectraux. Plus précisément la présente invention a pour objet un dispositif d'imagerie multispectrale comprenant une structure à multi-puits quantiques fonctionnant sur des transitions intersousbandes par absorption d'un rayonnement à une longueur d'onde lambda comprise dans un ensemble de longueurs d'ondes auxquelles est sensible ladite structure, ladite structure comportant une matrice de pixels élémentaires de détection caractérisé en ce que la matrice est organisée en sous-ensembles de quatre pixels élémentaires, un premier pixel de détection comportant un premier réseau diffractif sensible à un premier sous-ensemble de longueurs d'onde, un second pixel de détection comportant un second réseau diffractif sensible à un second sous-ensemble de longueurs d'onde, un troisième pixel de détection comportant un troisième réseau diffractif sensible à un troisième sous-ensemble de longueur d'ondes, un quatrième pixel ne comportant pas de réseau diffractif sélectif en longueur d'onde, les premier, second et troisième sous-ensembles de longueurs d'onde appartenant à l'ensemble de longueurs d'onde auxquels est sensible ladite structure. Selon une variante de l'invention, le quatrième pixel ne comporte pas de réseau diffractif. Selon une variante de l'invention, le quatrième pixel comporte une structure de couplage optique non sélective en longueur d'onde. Selon une variante de l'invention, le dispositif comporte en outre des 15 moyens de traitement des signaux récupérés au niveau des pixels élémentaires de détection. Selon une variante de l'invention, les moyens de traitement des signaux comprennent des moyens de sommation des signaux issus respectivement des premier, second, troisième pixels élémentaires de 20 détection et des moyens de soustraction du signal issu du quatrième pixel élémentaire de détection. Selon une variante de l'invention, les premier, second et troisième réseaux de diffractions sont des réseaux à une dimension comportant des motifs lamellaires. 25 Selon une variante de l'invention, le dispositif comprend un empilement de couches réalisé à la surface d'un substrat, ledit empilement comprenant la structure à multi-puits quantiques et des couches externes, des motifs périodiques étant gravés au sein d'une couche externe de manière à réaliser les différents réseaux. 30 Selon une variante de l'invention, la structure à multi-puits quantiques comporte un ensemble de sous-structures d'empilements variables de couches semiconductrices de manière à rendre ladite structure sensible à un ensemble de longueurs d'ondes. Selon une variante de l'invention, l'empilement des couches est un empilement de couches de type GaAs, GaAlAs dopées, le substrat étant de type GaAS non dopé. Selon une variante de l'invention, la structure à multi-puits quantiques est composée d'un empilement de couches GaAs ou InGaAs dopé (constituant les puits) et AlGaAs ou InAlAs non dopé (constituant les barrières), le substrat étant de type GaAs ou InP non dopé, les couches externes étant des couches de contact ohmique à base de GaAs plus fortement dopées que celles constitutives de la structure à multi-puits quantiques . Selon une variante de l'invention, le dispositif comprend un substrat transparent à la longueur d'onde du rayonnement incident et une couche réflectrice à ladite longueur d'onde, ladite couche réflectrice étant à la surface des réseaux de diffraction, de manière à faire fonctionner le détecteur en réflexion. Selon une variante de l'invention, le dispositif comporte en outre des moyens de micro-balayage permettant d'effectuer une série d'images contenant des informations spectrales différentes. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles : la figure 1 illustre une structure à multi-puits quantiques selon l'art connu ; la figure 2 illustre une structure d'imageur comportant un réseau 2D les figures 3a et 3b illustrent respectivement les courbes d'absorption obtenues avec un plan focal comportant une structure à multi-puits quantiques sans réseau de diffraction sélectif et respectivement avec réseau de diffraction sélectif ; la figure 4 illustre un sous-ensemble Eij comportant quatre pixels élémentaires de détection ; la figure 5 illustre un exemple de plan focal utilisé dans un dispositif d'imagerie selon l'invention ; la figure 6 illustre une vue en coupe d'un plan focal selon l'invention tel que celui représenté en figure 5 ; la figure 7 illustre une structure de bande obtenue avec des puits quantiques et des barrières utilisés dans exemple d'empilement 5 de couches d'un dispositif d'imagerie selon l'invention. Le dispositif de l'invention est un dispositif d'imagerie comportant une structure absorbante dans une gamme de longueurs d'onde et comportant 10 des ensembles élémentaires de réseaux diffractifs permettant de sélectionner une longueur d'onde donnée au niveau d'un pixel élémentaire donné grâce à un réseau diffractif et la sélection des différentes longueurs d'onde est obtenue en modifiant la période spatiale du réseau de couplage. Le dispositif d'imagerie de l'invention comporte ainsi une architecture 15 de plan focal compatible notamment avec l'imagerie à trois longueurs d'onde contenues dans une bande spectrale relativement étroite et optimisée du point de vue du recouvrement spectral comme décrit notamment dans l'article "Spectral cross-talk in dual-band quantum well infrared detectors", A. Nedelcu, X. Marcadet, O. Huet, P. Bois, Appl. Phys. Lett. 88, 191113 (2006). 20 L'invention peut être appliquée à tous les détecteurs à multi-puits quantiques, dans l'ensemble du spectre infrarouge 3-20 pm. Elle présente un intérêt maximum lorsque les trois longueurs d'onde détectées sont proches. En remplaçant la couche active standard (largeur de bande spectrale 25 10%) par une couche active large bande (obtenue en alternant des puits quantiques différents), il est possible de fabriquer des plans focaux multispectraux. La sélection des différentes longueurs d'onde est obtenue en modifiant la période spatiale du réseau de couplage. Les figures 3a et 3b illustrent à ce titre respectivement l'absorption intrinsèque d'une structure 30 multi-puits quantiques et celle obtenue en utilisant deux réseaux de périodes différentes. Plus précisément, la figure 3b met en évidence par une courbe 3b1 l'absorption obtenue avec un réseau 2D de période 2,7 microns et par une courbe 3b2 l'absorption obtenue avec un réseau 2D de période 3 microns. La courbe 3bl montre une sensibilité accrue à 8,8 microns, la courbe 3b2 mettant en évidence une sensibilité accrue à 9,8 microns. De manière générale, le plan focal réalisé selon l'invention et utilisé dans un dispositif de l'invention comporte une structure à multi-puits quantiques couramment dénommés par l'acronyme � MPQ � comprenant un ensemble d'éléments de détection à la surface desquels sont réalisés des réseaux de diffraction sensibles sélectivement en longueur d'onde. Plus précisément, cet ensemble comporte des sous-ensembles Eij constitués de quatre pixels élémentaires Pm, PÀ2, P,,3 et PàÀ comportant respectivement chacun un premier réseau de diffraction RAI sensible dans un premier sous-ensemble de longueurs d'onde centré sur une première longueur d'onde À1, un second réseau de diffraction RÀ2 sensible dans un second sous-ensemble de longueurs d'onde centré sur une première longueur d'onde À2, un troisième réseau de diffraction RÀ3 sensible dans un premier sous-ensemble de longueurs d'onde centré sur une troisième longueur d'onde À3 et un pixel élémentaire Pop, large bande spectrale comme illustré en figure 4. Les premier, second et troisième réseaux RAI, Ru et Rua comportent 20 respectivement des pas de réseaux AI, A2 et A3 différents. Le quatrième pixel élémentaire de détection n'est pas muni de structure de couplage optique et présente une réponse large bande, due au couplage optique par les bords du pixel. Pour conserver la résolution de l'image on utilise un système de 25 micro-balayage. Quatre trames vidéo sont nécessaires pour construire quatre images contenant des informations spectrales différentes. La couche active est optimisée pour permettre un fonctionnement à haute cadence trame (200 Hz, temps d'intégration de 5 ms), ce qui autorise une cadence proche de 50 Hz après traitement, les paramètres d'optimisation étant 30 notamment les taux de dopage des couches, les épaisseurs, le nombre de puits quantiques et les moyens de couplage optique. Avantageusement le dispositif d'imagerie multispectral comporte en outre des moyens de traitement du signal permettant de soustraire le signal du pixel élémentaire ne comportant pas de réseau diffractif en longueur 35 d'onde. On parvient ainsi à soustraire typiquement la courbe de la figure 3a des courbes illustrées en figure 3b, permettant par la même de réduire le recouvrement spectral et d'augmenter le contraste entre les trois canaux relatifs aux informations récupérées au niveau respectivement des premier, second et troisième pixels élémentaires. La figure 5 illustre ainsi une vue de dessus d'un plan focal selon l'invention comportant une matrice de sous-ensemble Eij. De manière connue, le dispositif d'imagerie de l'invention peut être réalisé à la surface d'un substrat en matériau semiconducteur S. A la surface de ce matériau semiconducteur, on procède à un assemblage de couches constituant un contact ohmique dit inférieur Ci en matériau semiconducteur fortement dopé est déposé à la surface du substrat. Ce contact ohmique supporte l'ensemble des couches semiconductrices constitutives de la structure à multi-puits quantiques MPQ, celle-ci est en contact avec un assemblage de couches constituant un contact ohmique dit supérieur Cs, la détection étant assurée entre les deux contacts ohmiques. Avantageusement les réseaux diffractifs constitués de motifs périodiques peuvent être gravés dans la couche de contact ohmique comme illustré en figure 6 qui représente une vue en coupe selon l'axe AA' représenté en figure 5. Exemple de réalisation d'un dispositif d'imaqerie selon l'invention Nous allons décrire un exemple de dispositif d'imagerie fonctionnant dans un ensemble de longueurs d'onde comprises entre 8 pm et 11 pm selon l'invention, fonctionnant dans le domaine infrarouge et plus particulièrement adapté aux domaines 8-11 microns. Le tableau ci-dessous décrit l'empilement de couches utilisé dans cet exemple de réalisation. Le facteur 10 indique que le motif décrit est répété 10 fois. L'empilement est décrit depuis le substrat jusqu'à la couche supérieure, les contacts ohmiques étant réalisés dans du GaAs dopé à hauteur de 1098 cm-3, le substrat étant en GaAs. AIXGa1_xAs Barrière XAI =26% non dopé 35 nm AIXGa1_xAs Puits XA1=3% dopé Si 5.5 nm 2.1011 cm-2 X10 AIxGa1_XAs Barrière XA, =26% non dopé 35 nm Puits dopé Si 5 nm GaAs 2. 1011 cm-2 AIXGa1_xAs Barrière XA,=26°/o non dopé 35 nm L La structure de bande obtenue avec ces exemples de puits quantiques et de barrières, associée à une période (2 puits) est illustrée en figure 7 qui montre les niveaux d'énergie intersousbandes et ce pour un taux x dans l'alliage Al Ga1_XAs égal à 0,26. REVENDICATIONS1. Dispositif d'imagerie multispectrale comprenant une structure à multi-puits quantiques fonctionnant sur des transitions intersousbandes par absorption d'un rayonnement à une longueur d'onde lambda comprise dans un ensemble de longueurs d'ondes auxquelles est sensible ladite structure, ladite structure comportant une matrice de pixels élémentaires de détection caractérisé en ce que la matrice est organisée en sous-ensembles de quatre pixels élémentaires de détection (Eij), un premier pixel élémentaire de détection (Pm) comportant un premier réseau diffractif (RAI) sensible à un premier sous-ensemble de longueurs d'onde, un second pixel élémentaire de détection (PA2) comportant un second réseau diffractif (RA2) sensible à un second sous-ensemble de longueurs d'onde, un troisième pixel élémentaire de détection (PA3) comportant un troisième réseau diffractif (RA3) sensible à un troisième sous-ensemble de longueur d'ondes, un quatrième pixel élémentaire de détection (Pop,) ne comportant pas de réseau diffractif sélectif en longueur d'onde, les premier, second et troisième sous-ensemble de longueurs d'onde appartenant à l'ensemble de longueurs d'onde auquel est sensible ladite structure. 2. Dispositif d'imagerie multispectrale selon la revendication 1, caractérisé en ce que le quatrième pixel élémentaire de détection ne comporte pas de réseau diffractif. 3. Dispositif d'imagerie multispectrale selon la revendication 1, caractérisé en ce que le quatrième pixel élémentaire de détection comporte une structure de couplage optique non sélective en longueur d'onde. 4. Dispositif d'imagerie multispectrale selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de traitement des signaux récupérés au niveau des pixels élémentaires de détection. 5. Dispositif d'imagerie multispectrale selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens de traitement des signaux comprennent des moyens de sommation des signaux issus respectivement des premier, second, troisième pixels élémentaires de détection et des moyens de soustraction du signal issu du quatrième pixel élémentaire de détection. 6. Dispositif d'imagerie multispectrale selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les premier, second et troisième réseaux de diffractions sont des réseaux à une dimension comportant des motifs lamellaires. 7. Dispositif d'imagerie multispectrale selon la revendications 6, caractérisé en ce qu'il comprend un empilement de couches réalisé à la surface d'un substrat, ledit empilement comprenant la structure à multi- puits quantiques et des couches externes, des motifs périodiques étant gravés au sein d'une couche externe de manière à réaliser les différents réseaux. 8. Dispositif d'imagerie multispectrale selon la revendication 7, caractérisé en ce que la structure à multi-puits quantiques comporte un ensemble de sous-structures d'empilements variables de couches semiconductrices de manière à rendre ladite structure sensible à un ensemble de longueurs d'ondes. 9. Dispositif d'imagerie multispectrale selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que l'empilement des couches est un empilement de couches de type GaAs ou InGaAs dopé constituant les puits, de couches de type AlGaAs ou InAlAs non dopé constituant les barrières, le substrat étant de type GaAs ou InP non dopé. 10. Dispositif d'imagerie multispectrale selon la revendication 9, caractérisé en ce que la structure à multi-puits quantiques est composée d'un empilement de couches de GaAs dopé et de couches de GaAlAs non dopé, les couches externes étant des couches de contact ohmique à base de GaAs plus fortement dopées que celles constitutives de la structure à multi- puits quantiques . 11. Dispositif d'imagerie multispectrale selon l'une des revendications 9 à 10, caractérisé en ce qu'il comprend un substrat transparent à la longueur d'onde du rayonnement incident et une couche réflectrice à ladite longueur d'onde, ladite couche réflectrice étant à la surface des réseaux de diffraction, de manière à faire fonctionner le détecteur en réflexion. 12. Dispositif d'imagerie multispectrale selon l'une des ~o revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de micro-balayage permettant d'effectuer une série d'images contenant des informations spectrales différentes.