FR 2924815 A1 20090612 FR 0708515 A 20071206 -1- Dispositif et procédé de nettoyage à ultrasons des pointes de contact des cartes de test de circuits intégrés ou des cartes de circuits imprimés. La présente invention concerne un dispositif et un procédé de nettoyage des pointes de contact des cartes de test destinées au contrôle de circuits intégrés ou des cartes de circuits imprimés. L'invention concerne plus particulièrement un procédé de nettoyage des pointes de cartes de test suivant lequel on procède à l'élimination des impuretés ou particules de contamination accumulées sur l'extrémité desdites pointes en utilisant un liquide de nettoyage exposé à des vibrations ultrasoniques. Dans l'industrie de la microélectronique, les cartes de test couramment appelées � probe cards � sont utilisées afin de vérifier le bon fonctionnement et les performances électriques des circuits intégrés ou des cartes de circuits imprimés. Les cartes de test comportent, à cet effet, des pointes métalliques, destinées à effectuer le contact électrique entre ladite carte de test et le circuit intégré ou la carte du circuit imprimé dont le bon fonctionnement et les performances sont à vérifier. Le contact électrique entre les pointes de contact de ladite carte de test et ledit circuit contrôlé s'effectue en appliquant lesdites pointes sur des points de contact métalliques situés sur ledit circuit. En pratique, après plusieurs opérations de test, les performances de la carte de test utilisée se dégradent, jusqu'à rendre celle-ci inutilisable, ceci étant dû à une accumulation de particules de contamination, provenant du frottement des points de contact des circuits testés, sur l'extrémité des pointes de contact de ladite carte. Les particules accumulées sur l'extrémité des pointes de contact altèrent la qualité du contact électrique et il devient difficile de réaliser les tests prévus sur le circuit intégré ou la carte de circuit imprimé, de manière fiable. Par conséquent, compte tenu du coût élevé de ces cartes de test, diverses méthodes de nettoyage de celles-ci sont couramment utilisées afin de débarrasser leurs pointes de contact des impuretés qui s'y sont accumulées et de les rendre réutilisables. -2- Par exemple, lorsque l'opérateur constate un fonctionnement défectueux de la carte de test, une méthode de nettoyage manuelle consiste à brosser les pointes de contact de ladite carte avec un produit de nettoyage, à l'aide d'un pinceau ou instrument analogue, et d'effectuer ensuite une vérification visuelle sous microscope du résultat obtenu. Si le premier nettoyage effectué apparaît insuffisant, les étapes de nettoyage manuel et de vérification visuelle sont réitérées, autant de fois qu'il est nécessaire. Cette méthode présente plusieurs inconvénients. D'une part, elle nécessite un temps considérable et ne garantit pas un nettoyage de grande qualité permettant d'éliminer complètement les particules accumulées sur les pointes de contact. D'autre part, elle ne permet de réutiliser la carte de test qu'un nombre de fois limité : le nettoyage manuel étant réalisé à l'aide d'un pinceau, les pointes de contact peuvent, en effet, être facilement abîmées, ce qui nécessite ensuite d'effectuer une réparation coûteuse. Le document EP-0 766 829 décrit une méthode de nettoyage de l'extrémité des pointes de contact des cartes de test à l'aide d'un dispositif utilisant une solution aqueuse de décapage contenant soit du fluorure d'hydrogène, soit de l'iode et de l'iodure de potassium. Seule, l'extrémité des pointes est plongée dans la solution de nettoyage grâce à un ajustement manuel de la position du support de la carte de test, cette dernière étant placée au-dessus d'une cuve contenant la solution de nettoyage. La cuve est alimentée en solution de nettoyage, de manière continue, par une pompe reliée à un réservoir contenant ladite solution. Elle est équipée, en partie supérieure, d'une ouverture de trop plein, de sorte que la solution de nettoyage introduite dans la cuve déborde de ladite partie supérieure et retourne au réservoir, ce qui permet de faire circuler la solution de nettoyage et de garder ladite solution à un niveau constant, délimité par les bords de la cuve. Un inconvénient de cette méthode nécessitant l'utilisation de produits de décapage, est qu'elle conduit à réaliser, après l'étape de nettoyage effectuée à l'aide d'un premier dispositif, une étape supplémentaire de rinçage des pointes de contact avec de l'eau. -3- Un autre inconvénient est que le nettoyage peut se révéler insuffisant car seule l'extrémité des pointes est simplement plongée dans une solution de décapage agissant de manière statique sur lesdites pointes de contact, de sorte que l'on doit prévoir une durée de trempage relativement longue pour obtenir un résultat satisfaisant, lequel n'est cependant pas garanti. Le document US- 6 474 350 décrit un dispositif de nettoyage des pointes de contact des cartes de test à l'aide d'une installation comprenant : - un poste de nettoyage comportant une première cuve contenant une solution aqueuse de décapage ; un poste de post-traitement comportant une deuxième cuve contenant un liquide de traitement tel que de l'alcool ; - un poste de séchage. Les postes de nettoyage et de post-traitement sont équipés de moyens de chauffage des liquides de traitement, de moyens permettant de soumettre lesdits liquides de traitement à des vibrations ultrasoniques, des moyens de réception des cartes de test, des moyens permettant de déplacer verticalement lesdits moyens de réception en direction des liquides de traitement ou en sens contraire et des moyens permettant, d'une part, de calculer la distance comprise entre la surface supérieure du liquide de traitement et la surface inférieure de la carte de test reposant sur le moyen de réception en position haute, et, d'autre part, de régler la course de descente desdits moyens de réception, de sorte que seules les extrémités actives des pointes de contact se trouvent plongées dans le bain de traitement. L'installation décrite dans le document US- 6 474 350 comporte encore des moyens permettant de déplacer les moyens de réception des cartes de test, d'un poste à l'autre de ladite installation. Un premier inconvénient de cette installation est qu'elle comporte deux unités de traitement à bain, ce qui influe défavorablement sur son prix de revient et sur le coût de son entretien. Un autre inconvénient de cette installation est sa -4- mise en oeuvre complexe, nécessitant au moins deux étapes successives de nettoyage, et, par conséquent, une durée de traitement relativement longue. Un autre inconvénient des procédés décrits dans le document US- 6 474 350 et dans le document EP-0 766 829, est que leur mise en oeuvre nécessite la manipulation de produits toxiques, nuisibles pour l'environnement. L'invention se propose de remédier aux inconvénients susmentionnés avec un dispositif et un procédé de nettoyage des pointes de contact des cartes de test, simplifié, rapide, sans effets nocifs sur les personnes et l'environnement , et permettant d'obtenir un nettoyage efficace desdites pointes de contact. Le dispositif de nettoyage des pointes de contact des cartes de test selon l'invention comprend une cuve destinée à recevoir un liquide de nettoyage et comportant un bord supérieur horizontal, un réservoir de liquide de nettoyage, des moyens permettant le remplissage et le débordement permanent de ladite cuve, un adaptateur pourvu d'une ouverture centrale permettant de positionner une carte de test au-dessus et à distance du bord supérieur de ladite cuve, et des moyens permettant de générer des vibrations ultrasoniques et de les transmettre au liquide de nettoyage, contenu dans la cuve, et, de préférence, des moyens permettant de chauffer ledit liquide de nettoyage, ledit dispositif étant notamment remarquable en ce qu'il comprend des moyens permettant de positionner la surface inférieure de l'adaptateur et les pointes de contact d'une carte de test supportée par ce dernier, à une distance réduite prédéterminée, du niveau de remplissage maximum de la cuve, de telle sorte que l'envoi de vibrations ultrasoniques dans ledit liquide de nettoyage entraîne la formation, au-dessus dudit niveau de remplissage, d'une bulle de liquide de nettoyage qui adhère à la surface inférieure dudit adaptateur, en comblant l'espace ménagé entre ladite surface inférieure et le niveau de remplissage maximum de la cuve, de sorte que les pointes de contact de la carte de test se trouvent automatiquement et sûrement immergées dans le liquide de nettoyage. -5- De manière avantageuse, la hauteur de l'espace ménagé entre la surface inférieure de l'adaptateur et le niveau de remplissage maximum de la cuve, est comprise entre 3 mm et 9 mm et, de préférence, cette hauteur est de 6 mm. Selon une autre disposition caractéristique, le dispositif comprend des moyens permettant de régler la position en hauteur et/ou l'horizontalité de l'adaptateur. Selon une autre disposition caractéristique, l'adaptateur est amovible et le dispositif comprend un jeu de plusieurs adaptateurs interchangeables dont les ouvertures centrales sont différemment dimensionnées et/ou conformées pour recevoir des cartes de test de dimensions et/ou conformations différentes. Selon l'invention, le procédé de nettoyage des pointes de contact des cartes de test, comprend les phases suivantes : remplissage d'une cuve à bord supérieur horizontal avec un liquide de nettoyage et mise en circulation de ce liquide de nettoyage dans un circuit fermé, de sorte à obtenir un débordement constant de la cuve, -positionnement d'une carte de test, au moyen d'un adaptateur, au-dessus du bord supérieur de la cuve déterminant le niveau de remplissage maximum de cette cuve et à une faible distance prédéterminée dudit niveau, de telle sorte que les pointes de contact de la carte de test soient orientées vers la surface dudit liquide et à ménager un espace de faible hauteur entre la surface inférieure de l'adaptateur supportant la carte de test et la surface du liquide de nettoyage, de préférence, chauffage du liquide de nettoyage, application de vibrations ultrasoniques au liquide de nettoyage, de sorte à entraîner la formation, au-dessus de la surface du liquide de nettoyage débordant de la cuve, d'une bulle de liquide de nettoyage qui adhère à la surface inférieure de l'adaptateur en comblant l'espace ménagé entre ladite surface inférieure et le niveau de remplissage maximum de la cuve, en raison de la distance réduite les séparant, de manière que les pointes de contact de 10 20 2924815 -6- la carte de test sont nécessairement plongées dans le liquide de nettoyage constituant ladite bulle. Selon un mode de mise en oeuvre préféré de ce procédé, le liquide de 5 nettoyage est de l'eau déminéralisée. Selon une autre disposition caractéristique, la hauteur de l'espace ménagée entre la surface inférieure de l'adaptateur et le niveau de remplissage maximum de la cuve, est comprise entre 3 et 9 mm, de préférence de 6 mm. Les buts, caractéristiques et avantages ci-dessus, et d'autres encore, ressortiront mieux de la description qui suit et des dessins annexés dans lesquels : 15 La figure 1 est une vue de face, à caractère schématique, d'un exemple de réalisation du dispositif de nettoyage selon l'invention. La figure 2 est une vue de détail, à plus grande échelle, de la partie supérieure de ce dispositif. La figure 3 est une vue de face comparable à la figure 1 et montrant le dispositif dans une phase de fonctionnement. La figure 4 est une vue de détail, à plus grande échelle, de la partie 25 supérieure du dispositif représentée en phase de fonctionnement et montrant les pointes d'une carte de test plongées dans la bulle de liquide de nettoyage formée au-dessus du niveau de remplissage de la cuve. La figure 5 est une vue en perspective illustrant un exemple de configuration d'une machine ou installation de nettoyage de pointes de contact 30 de cartes de test équipée du dispositif selon l'invention. Les figures 6A et 6B sont des vues en perspective illustrant deux exemples de conformations d'adaptateurs destinés à la réception de deux cartes de test présentant une configuration différente. -7- On se réfère auxdits dessins pour décrire des exemples intéressants, bien que nullement limitatifs, de réalisation du dispositif et de mise en oeuvre du procédé de nettoyage selon l'invention. Selon l'exemple illustré, ce dispositif comprend une cuve 1 destinée à contenir le liquide de nettoyage 2, et comportant une ouverture supérieure dont le bord la doit être positionné rigoureusement horizontalement, l'horizontalité dudit bord supérieur pouvant être réglée par tout mécanisme approprié, connu en soi. Le liquide de nettoyage 2 est introduit dans la cuve 1, par exemple au moyen d'une pompe (non représentée) raccordée à un réservoir 9 contenant ledit liquide. La cuve 1 est appelée à être remplie sans interruption, en cours de fonctionnement, de sorte à provoquer un débordement constant du liquide de nettoyage à la partie supérieure de ladite cuve. Le liquide de nettoyage circule donc en circuit fermé du réservoir 9 à la cuve 1 et vice-versa. Le liquide de nettoyage débordant de l'ouverture supérieure de la cuve 1 est recueilli autour de cette dernière et acheminé par gravité jusqu'au réservoir 9 par exemple par un passage annulaire ménagé autour de ladite cuve. Le dispositif comporte également des moyens de chauffage permettant de maintenir le liquide de nettoyage 2 à la température désirée, par exemple comprise entre 35°C et 40°C, pour obtenir le meilleur résultat recherché. Ces moyens de chauffage sont, par exemple constitués par des résistances chauffantes ventilées 5 appliquées contre la partie basse de la paroi latérale 1 b de la cuve 1. Le système de chauffage comprend encore des moyens, connus en soi, de contrôle et de réglage de la température du liquide de nettoyage, ces moyens comportant, par exemple, une sonde ou capteur de température. Le dispositif comporte aussi des moyens 6 permettant de générer des vibrations ultrasoniques et de les transmettre au liquide de nettoyage contenu dans la cuve 1. Ces générateurs de vibrations ultrasoniques sont, par exemple, constitués par des systèmes piézo-électriques à ultrasons, placés sous la cuve 1. Ces générateurs d'ultrasons 6 peuvent produire des vibrations ultrasoniques à une fréquence, de préférence comprise entre 20kHz et 70 kHz. Par exemple, lesdits moyens 6 peuvent être constitués par trois systèmes piézo-électriques générateurs d'ultra-sons, à une fréquence de 40 kHz. Le dispositif comprend encore au moins un adaptateur 3 de préférence de forme circulaire présentant une surface inférieure plane 3a et dont la surface supérieure est munie d'une cavité 3b conformée pour la réception et le positionnement d'une carte de test 4. Cet adaptateur est disposé au-dessus et à distance de l'ouverture de la cuve 1, c'est-à-dire au-dessus du niveau N de remplissage maximum ou niveau de débordement de ladite cuve. II est par exemple installé sur la paroi supérieure 7a d'une armoire compartimentée 7 dans laquelle sont logés les différents organes nécessaires au 20 fonctionnement de la machine de nettoyage, incluant le dispositif de l'invention. L'adaptateur 3 est pourvu d'une ouverture centrale 3c permettant le passage des pointes de contact 4a de la carte de test 4 positionnée dans ledit adaptateur. Il est disposé au-dessus d'une ouverture 7b ménagée dans la paroi 25 7a et sa position est réglable en hauteur. L'adaptateur 3 est, par exemple, soutenu, périphériquement, par des plots-supports 8, réglables en hauteur, et, de préférence, régulièrement espacées, par exemple, par trois plots à vis 8 espacés de 120° et grâce auxquels il est possible de régler, de manière très précise, le niveau et la planéité dudit adaptateur et, par conséquent, la distance comprise 30 entre, d'une part, la face inférieure de ce dernier et la face inférieure de la carte de test munie des pointes de contact et, d'autre part, le bord supérieur 1 a de la cuve 1 déterminant le niveau N de remplissage maximum ou niveau de débordement de cette dernière. 30 -9- Cette distance ou espace E est étudiée pour entraîner la formation d'une bulle de liquide 2a au-dessus de la surface du liquide de nettoyage 2 débordant de la cuve 1, lorsque des vibrations ultrasoniques sont appliquées au contenu de ladite cuve, cette bulle de liquide 2a adhérant à la surface inférieure 3a de l'adaptateur 3, en comblant ainsi l'espace E ménagé entre ladite surface inférieure 3a et le niveau de remplissage maximum N de la cuve, en raison de l'espace réduit les séparant, de manière que les pointes de contact 4a de la carte de test 4 se trouvent automatiquement immergées, dans les meilleures conditions, dans le liquide de nettoyage 2. De manière avantageuse, le dispositif selon l'invention comprend une pluralité d'adaptateurs amovibles et interchangeables 3 dont les cavités réceptrices 3b sont conformées et/ou dimensionnées pour permettre le positionnement de cartes de test présentant des formes et/ou dimensions différentes. Pour la mise en oeuvre du procédé de l'invention, la carte de test à nettoyer 4 est positionnée sur l'adaptateur 3, au-dessus de l'ouverture supérieure de la cuve 1, de telle sorte que les pointes de contact 4a de la carte se trouvent orientées en direction de ladite ouverture et qu'il existe un espace réduit E entre la surface inférieure 3a dudit adaptateur et le bord supérieur la de la cuve déterminant le niveau de remplissage maximum N de cette dernière. Cette distance E, qui peut être préréglée par l'opérateur, est comprise entre 3 mm et 9 mm ; de préférence, elle est de 6 mm. Selon le procédé de nettoyage de l'invention, on remplit la cuve 1 avec un liquide de nettoyage 2 qui peut être avantageusement de l'eau déminéralisée, c'est-à-dire au moyen d'un liquide naturel et économique, ne présentant aucun risque pour les personnes ou l'environnement. Le liquide est mis en circulation continue, en circuit fermé, de sorte à obtenir un débordement constant de la cuve 1. -10- La surface du liquide de nettoyage est déterminée par le bord horizontal la de la cuve 1, permettant le débordement dudit liquide de nettoyage qui s'écoule en permanence par-dessus ledit bord 1 a ; le liquide de nettoyage 2 étant maintenu à un niveau constant, correspondant au niveau déterminé par le bord de la cuve déterminant le niveau de remplissage maximum N de cette dernière. De préférence, le liquide de nettoyage est porté et/ou maintenu à une température constante, de préférence comprise entre 35°C et 40°C. Selon l'exemple illustré, le chauffage est réalisé par les résistances chauffantes 5. Ce chauffage du liquide de nettoyage permet d'obtenir une meilleure efficacité du procédé de reconditionnement des pointes de contact 4a. Selon le procédé de nettoyage de l'invention, des vibrations ultrasoniques sont appliquées au liquide de nettoyage 2, au moyen des générateurs de vibrations ultrasoniques 6 précédemment décrits. Ces vibrations ultrasoniques sont destinées à provoquer une excitation des molécules du liquide de nettoyage. L'excitation des molécules du liquide de nettoyage provoquée par les vibrations ultrasoniques entraîne une augmentation du volume de liquide de nettoyage contenu dans la cuve 1, et, d'autre part, la formation d'une bulle 2a de liquide au-dessus du bord supérieur la de la cuve. Cette bulle 2a de liquide de nettoyage vient combler l'espace E compris entre le niveau initial de la surface du liquide de nettoyage introduit dans la cuve 1 et la face inférieure 3a de l'adaptateur 3 et de la partie 4b de la carte de test traversant l'ouverture centrale dudit adaptateur. II en résulte une immersion complète automatique des pointes de contact 4a sur toute leur longueur dans la bulle de liquide de nettoyage 2. La phase de nettoyage proprement dite, c'est-à-dire la phase pendant laquelle les molécules d'eau, excitées par les vibrations ultrasoniques, éliminent les impuretés, nécessite seulement quelques minutes ; généralement, 2 à 3 minutes suffisent pour l'obtention d'un nettoyage efficace. -11- Un filtre (non représenté) est disposé sur le trajet de retour du liquide de traitement, entre le débordement de la cuve 1 et le réservoir 9, de sorte à retenir et éliminer les impuretés détachées des pointes de contact 4a. Le liquide de nettoyage est donc constamment épuré durant l'action de traitement. Le dispositif selon l'invention est logé dans l'un des compartiments d'une armoire ou carter 7. Comme illustré, sur la figure 6, cette armoire peut être équipée de pieds réglables 10. Outre un compartiment 7A dans lequel sont logés les différents éléments du dispositif selon l'invention, l'armoire ou carter 7 peut comporter un compartiment de rangement 7B pourvu d'étagères et un compartiment 7C dans lequel peuvent être logés un coffret électrique 11 renfermant les différents organes et circuits électriques et électroniques assurant la commande et la gestion du fonctionnement de l'installation, ainsi qu'une soufflerie d'air chaud disposée au-dessous d'un poste de séchage 13 des cartes de test nettoyées, installé sur la paroi supérieure 7a de l'armoire, à proximité du poste de nettoyage. L'installation est pilotée par un automate programmable permettant de paramétrer chaque fonction (température, temps de nettoyage et de séchage). Le contrôle s'effectue à partir d'un pupitre 12 équipé de voyants lumineux signalant les éventuels défauts (niveau d'eau, température, ultrason....). REVENDICATIONS 1. Dispositif de nettoyage à ultrasons des pointes de contact des cartes de test de circuits intégrés ou des cartes de circuits imprimés, du genre comprenant une cuve (1) destinée à recevoir un liquide de nettoyage (2) et comportant un bord supérieur horizontal (la), un réservoir (9) de liquide de nettoyage (2), des moyens permettant le remplissage et le débordement permanent de ladite cuve, un adaptateur (3) pourvu d'une ouverture centrale (3c) permettant de positionner une carte de test (4) au-dessus et à distance du to bord supérieur (la) de la cuve (1) et des moyens (6) permettant de générer des vibrations ultrasoniques et de les transmettre au liquide de nettoyage (2), caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (8) permettant de positionner la surface inférieure de l'adaptateur (3) et les pointes de contact (4a) de la carte de test (4) supportée par ce dernier, à une distance (E) déterminée du niveau 15 de remplissage maximum (N) de la cuve (1), de telle sorte que l'envoi de vibrations ultrasoniques dans ledit liquide de nettoyage entraîne la formation au-dessus dudit niveau de remplissage (N), d'une bulle (2a) de liquide de nettoyage qui adhère à la surface inférieure dudit adaptateur en comblant l'espace (E) ménagé entre ladite surface inférieure et le niveau de 20 remplissage maximum de la cuve, de manière que les pointes de contact de la carte de test se trouvent automatiquement et sûrement immergées dans le liquide de nettoyage. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la hauteur de l'espace (E) ménagé entre la surface inférieure (3a) de l'adaptateur (3) et le 25 niveau de remplissage (N) de la cuve (1), est comprise entre 3 mm et 9 mm. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que la hauteur de l'espace (E) ménagé entre la surface inférieure (3a) de l'adaptateur (3) et le niveau de remplissage (N) de la cuve (1) est de 6 mm. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce 30 que la position de l'adaptateur est réglable en hauteur. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'adaptateur est soutenu périphériquement, par des plots-supports (8) réglables en hauteur et, de préférence, régulièrement espacés.-13- 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comprend un jeu de plusieurs adaptateurs interchangeables (3A, 3B ) dont les ouverture centrales (3c) sont différemment dimensionnées et/ou conformées pour recevoir des cartes de test de dimensions et/ou conformations différentes. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de chauffage (5) permettant de porter et/ou de maintenir le liquide de nettoyage (2) contenu dans la cuve (1) à la température désirée. 8. Procédé de nettoyage à ultrasons des pointes de contact des cartes de test de circuits intégrés ou des cartes de circuits imprimés, comprenant les phases ci-après : remplissage d'une cuve (1) à bord supérieur horizontal (la) avec un liquide de nettoyage (2) et mise en circulation de ce liquide de nettoyage dans un circuit fermé, de sorte à obtenir un débordement constant de la cuve, - positionnement d'une carte de test (4), au moyen d'un adaptateur (3), au-dessus du bord supérieur (la) de la cuve (1) déterminant le niveau de remplissage maximum (N) de cette cuve et à une faible distance prédéterminée dudit niveau, de telle sorte que les pointes de contact (4a) de la carte de test (4) soient orientées vers la surface dudit liquide et à ménager un espace (E) de faible hauteur entre la surface inférieure de l'adaptateur (3) supportant la carte de test (4) et le niveau de remplissage maximum (N) de la cuve 1. - application de vibrations ultrasoniques au liquide de nettoyage, de sorte à entraîner la formation, au-dessus de la surface du liquide de nettoyage (2) débordant de la cuve (1), d'une bulle de liquide de nettoyage (2a) qui adhère à la surface inférieure (3a) de l'adaptateur (3) en comblant l'espace (E) ménagé entre ladite surface inférieure et ledit niveau de remplissage maximum (N) de la cuve, en raison de la distance réduite les séparant, de manière que les pointes de contact (4a) de la carte de test (4) se trouvent nécessairement plongées dans le liquide de nettoyage constituant ladite bulle. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé, en ce que le liquide de nettoyage (2) utilisé est de l'eau déminéralisée. 2924815 -14- 10. Procédé suivant l'une des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que le liquide de nettoyage (2) est porté et/ou maintenu à une température constante pendant l'opération de nettoyage, de préférence à une température comprise entre 35°C et 40°C. 5 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que les vibrations ultrasoniques sont appliquées au liquide de nettoyage (2) à une fréquence comprise entre 20 kHz et 70 kHz, de préférence à une fréquence de 40 kHz. io