FR 2928033 A1 20090828 FR 0851142 A 20080222 COMPOSANT DE CONNEXION MUNI D'INSERTS CREUX DOMAINE DE L'INVENTION Le domaine technique auquel se rapporte l'invention est celui de la microélectronique, et plus spécifiquement celui de la fabrication, sur tranches de composants semi-conducteurs, de motifs métalliques de forme creuse, avantageusement biseautés, facilitant par exemple la connexion verticale (mieux connue sous l'expression anglo-saxonne �flip-chip �) de deux composants. La présente invention peut être appliquée à toutes sortes de dispositifs requérant des interconnexions de motifs métalliques à très petit pas, notamment pour la fabrication d'imageurs de très grande dimension à très petits pas. ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE Actuellement, on connaît principalement deux possibilités pour assembler, selon la technique �flip chip par thermocompression�, deux composantes nécessitant un grand nombre de liaisons électriques verticales à très petit pas : - La première technique de thermocompression consiste à presser, en température, deux billes l'une sur l'autre de manière à les lier par déformation plastique (Fig. 1A). 25 - La seconde technique, développée pour les pas d'interconnexion les plus fins, permet de travailler à une température plus basse que les températures mises en oeuvre dans la première technique : il s'agit de remplacer l'une des billes thermocompressées par une protubérance � dure � qui casse l'oxyde natif de la soudure à basse température en réduisant la section d'appui (Figure 1B), et 30 permettant ainsi : . de réduire la température d'assemblage et la pression d'assemblage ; de contrôler l'écrasement. Cette seconde technique a fait l'objet de la demande de brevet W02006/054005 et des 35 inserts adaptés sont décrits dans le document US 6,179,198 (Fig. 1C).20 La présente invention s'inscrit dans le cadre de cette deuxième technique, appelée thermocompression par insertion, et tend à résoudre les limitations qui y sont liées, essentiellement au nombre de deux. Le premier problème est lié aux forces de thermocompression. En effet, la section de l'insert dans le plan (X, Y) est souhaitée la plus faible possible de manière à limiter la force d'insertion. Si le nombre de colonnes à insérer augmente, la force d'insertion à exercer sur la pièce à assembler est proportionnelle au nombre N de connexions à réaliser, ainsi qu'à la surface de leur section S, selon la formule suivante : Fhyb= k* S *N De ce fait, cette technique est limitée pour les composants à très grand nombre de connexions, sachant par exemple qu'une force de 4 tonnes devrait être envisagée pour l'hybridation d'une matrice de 4 millions de pixels (1 g/bump). Le problème lié à ces forces peut être exacerbé en raison de la sensibilité des composants assemblés. Ainsi, certains matériaux à assembler sont très sensibles aux contraintes locales, ce qui entraîne la création de dislocations destructrices lors de l'hybridation par thermocompression. Alternativement, les forces mises en jeu ne sont plus compatibles avec les précisions d'assemblage requises. En effet, le déplacement maximal latéral requis après hybridation doit être inférieur à 1 micromètre. 30 Le deuxième problème technique important soulevé par la technique de thermocompression par insertion est lié au mode de réalisation des inserts. En effet, la réalisation de protubérances dans une fonderie semiconducteur peut devenir un problème pour des pas très réduits. Si l'on réduit la section des inserts, les techniques 35 classiques de réalisation peuvent s'avérer difficiles à mettre en oeuvre, de par la finesse des inserts souhaités.25 Cette limitation est donc liée à la notion de finesse minimale de photolithogravure. Ainsi, il n'est pas possible de réduire la section d'un insert classique plein, pour une résolution photolithographique technologique donnée D, en deçà de la valeur 7t*D2/4. EXPOSE DE L'INVENTION Ayant analysé l'ensemble de ces contraintes spécifiques, le Demandeur propose une solution technique particulière qui consiste à réduire la section d'insertion dans les caissons de soudure, sans toutefois réduire la surface de contact insert/soudure. Ainsi et selon un premier aspect, la présente invention concerne un composant, avantageusement une puce, comportant un ensemble d'inserts conducteurs 1 destinés à être connectés électriquement avec un autre composant, lesdits inserts étant creux. 15 Le fait de remplacer les inserts pleins, décrits dans l'art antérieur, par des inserts creux selon l'invention permet en effet de réduire la section d'insertion. Ainsi, les inserts creux selon l'invention présentent une section annulaire (notamment ronde ou ovale) ou parallélépipédique (en particulier carré ou rectangle). Avantageusement, cette section présente une épaisseur e, dite épaisseur de peau. Cette nouvelle forme d'inserts permet de fabriquer ces peaux en mettant en oeuvre des techniques de dépôt de couche mince dérivées des techniques utilisées dans le domaine de 25 la microélectronique et non plus, comme dans l'art antérieur, la technique de la photolithographie, dont les inconvénients ont été mentionnés ci-dessus. Pour illustrer plus avant ce propos, la photolithographie définit une ouverture limitée d'une résine qui va définir la section du futur insert. Ainsi et à titre d'exemple, si D est la 30 limite de résolution de la technologie de photolithogravure, on peut : - définir un trou qu'on peut remplir par le matériau de l'insert par croissance électrolytique ou par dépôt �lift off�, l'insert résultant ayant un diamètre égal au diamètre minimum du trou ouvert (minimum D) ; - déposer une couche du matériau de l'insert et la graver, cette technique étant 35 également limitée par la limite de résolution minimale D. 20 Il apparaît clairement que la section � efficace � d'un insert suivant l'art antérieur est égale à la surface maximum insérée dans le caisson, soit par exemple en cas d'insert en forme de cylindre de diamètre D : S = . D2/4 avec D : la limite de résolution photolithographique. Dans le cadre de l'invention, pour une section d'insert équivalente, à savoir un diamètre externe D, et pour la même résolution photolithographique, la surface d'insertion est définie par la formule suivante : dans laquelle e définit l'épaisseur de la peau de l'insert et est très inférieure à D. Le rapport des surfaces S et S', et donc des forces d'insertion F et F', est au final : 15 F'/F = kS'N/kSN=S'/S soit F'/F= 4*e/D (e�D) Par ailleurs et comme déjà précisée, la surface de contact doit être maintenue, voire augmentée. Or, selon la configuration de l'invention, la surface de contact soudure/insert est de facto multipliée par environ deux, puisque aussi bien les surfaces externes qu'internes de l'insert creux sont en contact électrique. En revanche et pour un insert plein, seule la surface externe assure ce contact. Plus précisément et de manière avantageuse, la protubérance définie dans le cadre de l'invention se présente sous la forme d'un tube ou d'un quadrilatère fermé à la base par un socle reposant sur le composant, avantageusement une puce. De manière privilégiée, ce socle est strictement de même composition que le corps de l'insert. 30 L'insert creux selon l'invention est réalisé à base de métal pour assurer sa fonction de conduction électrique. Il s'agit avantageusement d'un matériau de dureté supérieure à celle du matériau dans lequel il sera inséré. Par exemple, il peut s'agir de cuivre, de titane, de tungstène, de WSi, de chrome ou d'un multicouche de ces matériaux. Dans ce cas, et de 35 manière avantageuse, l'une des couches fait office de couche barrière de diffusion du matériau dans lequel il est inséré : par exemple Ni, Pd, Pt, WN, TiN S' = . (D2ù D02)/4 = n*2*e*2*D/4 soit *e*D S' = 20 25 De manière privilégiée, les surfaces interne et externe de l'insert sont recouvertes d'une couche de métal protégeant de l'oxydation, avantageusement de l'or. Selon un mode de réalisation avantageux, un tel insert creux présente, comme caractéristique additionnelle, une extrémité supérieure biseautée. On entend ici par extrémité supérieure, la partie située à l'opposé de l'extrémité formée par le socle et servant de base d'appui sur le composant. La partie biseautée correspond donc à celle qui est engagée dans l'hybridation avec le second composant, via son insertion dans un plot de connexion. En effet, il a été constaté dans le cadre de la présente invention que l'introduction des protubérances creuses dans les plots pouvait entraîner l'emprisonnement de poches d'air au fond de l'insert. Une première solution pour remédier à cet inconvénient est de réaliser l'hybridation sous vide. Une seconde solution avantageuse, proposée dans le cadre de la présente invention, est de 20 réaliser un insert creux dont la partie supérieure ou extrémité libre est taillée en biais, formant ainsi un biseau. En d'autres termes, la hauteur H varie aux différents points de la circonférence de l'insert. Selon une variante de l'invention, l'insert est inséré dans un autre insert du même type que 25 celui précédemment décrit, et déposé sur l'autre composant avec lequel la connexion est recherchée. Avec un tel dispositif, un procédé d'hybridation particulier est mis en oeuvre : - dans une étape de pré-insertion, les inserts creux et biseautés portés par le premier 30 composant sont introduits partiellement dans les plots de connexion du second composant à hybrider. Cette étape est réalisée à l'aide d'une machine de placement standard, ne comportant pas d'appareillage à vide. Elle se déroule avantageusement à température ambiante ; - l'insertion finale collective est réalisée sous vide dans un simple équipement de 35 pressage, dépourvu de fonctions d'alignement.15 Ce procédé en deux temps permet d'éviter la mise en oeuvre de machines et de technologie complexes et coûteuses. Par ailleurs et comme déjà mentionné, les forces d'insertion mises en jeu sont notablement réduites en raison de l'aspect creux des inserts. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES La manière dont l'invention peut être réalisée et les avantages qui en découlent ressortiront mieux de l'exemple de réalisation qui suit, donné à titre indicatif et non limitatif, à l'appui des figures annexées parmi lesquelles : La figure 1 illustre les différents systèmes de connexion substrat/puce selon l'art antérieur. La figure 2 schématise une vue en section d'un insert creux selon l'invention reposant, via un socle, sur le composant. La figure 3 schématise l'hybridation de deux composants via l'insertion d'une protubérance creuse selon l'invention dans le caisson ductile correspondant et illustre l'augmentation de la surface de contact. La figure 4 schématise les différentes étapes de fabrication d'un composant selon l'invention. La figure 5 illustre les deux étapes supplémentaires mises en oeuvre lorsque la technique de remplissage û planarisation (mieux connue sous l'expression anglo-saxonne �gap fil/ �) est mise en oeuvre. La figure 6 schématise une vue en section d'un insert creux et biseauté selon l'invention. La figure 7 schématise un premier mode de fabrication de composants dotés d'inserts creux biseautés selon l'invention. La figure 8 schématise un second mode de fabrication de composants dotés d'inserts creux biseautés selon l'invention. La figure 9 détaille le procédé d'hybridation dans le cas d'un composant doté d'inserts creux et biseautés. MODES DE REALISATION DE L'INVENTION Un composant doté d'inserts présentant la configuration décrite dans le cadre de la présente invention peut être obtenu à l'aide du procédé illustré à la figure 4. Il s'agit typiquement d'un wafer CMOS (� Complementary Metal-Oxide Semiconductor �), issu d'une fonderie silicium. La première étape (Fig. 4A) consiste à déposer une couche dite �martyr�, d'épaisseur el et réalisée à l'aide d'une résine. Cette couche est ensuite soumise à une photolithographie standard. Cette étape permet de créer des ouvertures du diamètre souhaité pour les tubes qui serviront d'inserts. Plus généralement, c'est lors de cette étape que la future forme de l'insert est fixée (hauteur, forme de l'ouverture...). La seconde étape (Fig. 4B) correspond au dépôt du métal, éventuellement une multicouche de métal, correspondant au tube. C'est l'épaisseur de ce dépôt qui dictera l'épaisseur e de l'insert creux. Le métal est avantageusement du cuivre, du titane, du tungstène, du WSi, du chrome ou un multicouche de ces matériaux. Les diamètres d'ouverture sont maîtrisables à des valeurs inférieures à 1 micromètre et les hauteurs supérieures à 3 micromètres. Les épaisseurs des métaux sont réglables et contrôlées jusqu'à des valeurs inférieures à 0,1 micromètres. Il est possible de modifier, ou simplement compléter le dépôt métal habituel par une couche complémentaire d'un métal mouillable, avantageusement de l'or, du platine ou du cuivre. Ceci a pour avantage de faciliter la soudure ultérieure et la création des interfaces intermétalliques nécessaires lors de la soudure finale. Dans un mode de réalisation privilégiée, l'insert creux prend une forme finale de �tube �, correspondant à une ouverture circulaire. Toutefois, toute autre forme peut être réalisée par une conception adaptée du masque d'ouverture : triangle carré, polygone, ... Avantageusement, la forme en creux peut présenter une section de taille variable, et par exemple en forme de cône ou de tronc de cône. Il suffit pour ce faire de jouer sur l'anisotropie de la gravure de la résine martyre. Il est également possible de combiner des formes différentes sur une même plaque de fabrication et/ou sur une même puce à hybrider. La troisième étape (Fig. 4C) consiste à retirer la couche métal située sur le plan supérieur 35 de la résine martyre. Deux techniques de gravure de la face métal supérieure peuvent être utilisées :30 / Technique de � gravure damascène � Cette étape peut être réalisée de la même manière que les gravures damascène utilisées dans l'industrie du semiconducteur. On réalise un polissage mécanique ou mécanochimique de la face supérieure du substrat, la couche métal et une partie de la couche martyre de surface sont retirées, la partie du tube située dans l'ouverture n'étant gravée que sur une portion faible de sa hauteur. 2/ Technique �gapfil/ � (Figure 5) La plaque issue de l'étape précédente est couverte d'une résine fluide qui vient planariser l'ensemble de la surface et combler les ouvertures, comme illustré à la figure 5A. La résine est ensuite gravée uniformément sur la plaque (pleine) jusqu'à atteindre la 15 surface de métal supérieure (Fig. 5B). Une détection de fin d'attaque peut aisément être réalisée par analyse optique, analyse de gaz résiduel, .... La figure 5B montre que les trous restent remplis de résine en final, du fait de leur forte profondeur et du bon contrôle de l'épaisseur de résine gravée pleine plaque. Cette configuration est celle présente en sortie d'un masquage classique : on peut réaliser une gravure standard du métal �affleurant�, le métal en fond d'ouverture étant toujours protégé par la résine de remplissage. 25 Un délaquage final de la résine encore présente au fond des ouvertures est ensuite effectué. La dernière étape (Fig. 4D) correspond au retrait de la couche martyre. Il s'agit d'une étape parfaitement connue de délaquage. 30 A l'issue de ce procédé, il est possible de compléter la finition interne et externe des inserts par un dépôt de type �electroless �, qui permet de garantir une non-oxydation postérieure de la surface du métal de l'insert. De l'or est préférentiellement utilisé dans cette étape. A noter que l'or dit � electroless � croît sur les zones métalliques exposées des 35 inserts par le phénomène de dépôt � chimique � connu de l'homme du métier. 8 20 Ainsi et à titre d'exemple, sachant que la limite de résolution photolithographique d'une fabrique de semiconducteur est de 3 micromètres, pour une épaisseur de résine de 4 micromètres, il est possible de réaliser des tubes présentant les dimensions suivantes : - hauteur (H) = 3�m ; -diamètre (D) = 3 �m ; - pas = 5�m; - épaisseur de la peau (e = épaisseur métal couche mince déposée) = 150nm (T i+T iN+Au). Un composant doté d'un tel insert est représenté à la figure 2. Il est possible de calculer le gain en force d'insertion par rapport à un insert cylindrique de même diamètre : F'/F = 4*e/D = 4*0, 15/3 = 0,2. La force d'insertion par insert est donc divisée par 5, en comparaison avec un insert classique de type �cylindre plein �. En d'autres termes, il est possible de multiplier par 5 le nombre de connexions, à force de thermocompression égale. 20 La figure 3 illustre, en outre, l'augmentation de surface de contact qui a lieu à la fois via les surfaces externes de l'insert, mais également via ses surfaces internes. Selon un second mode de réalisation, l'insert creux est biseauté dans sa partie supérieure, comme illustré à la figure 6. 25 Deux procédés, dérivés de celui décrit ci-dessus, permettent d'obtenir un tel biseau. 1/Fabrication du biseau par gravure 30 Les première et seconde étapes se déroulent comme décrit plus haut (Fig. 7A et 7B). En revanche, le procédé est modifié lors l'étape de retrait de la couche métal, couche située sur le plan supérieur et sur le flan. Cette étape est réalisée par gravure � usinage ionique � (ou gravure RIE directive) ou toute autre gravure � directionnelle �. 35 En pratique, le support plaque est incliné d'un angle contrôlé par rapport à l'angle de gravure. Ainsi et comme illustré à la Fig. 7C, le métal situé en surface et le métal situé dans le trou, mais non occulté par son flanc, sont gravés. Le métal du trou situé � â l'ombre � du cône de gravure est conservé. Par exemple, en cas d'usinage ionique, il ne voit pas le faisceau ionique de gravure. C'est l'angle plaque / direction de gravure qui définit le biseau. Le retrait de la couche martyre se fait alors de manière classique pour donner la configuration illustrée à la Figure 7D. 2/Fabrication du biseau par dépôt La première étape reste inchangée (Fig. 8A). En revanche, lors du dépôt du métal (ou du multicouche métal), le support plaque est incliné d'un angle contrôlé par rapport à l'angle d'émission de la source métallique (Fig. 8B). Le dépôt est réalisé par pulvérisation ou évaporation. De fait, la partie du trou située � â l'ombre � du cône de dépôt ne voit pas de dépôt. L'angle plaque / direction du dépôt définit le biseau. Dans l'étape suivante (Fig. 8C), le retrait de la couche métal située sur le plan supérieur est réalisé par photolithographie, par procédé CMP damascène, ou procédé � gap fill � comme décrit ci-dessus. 30 Enfin, dans une ultime étape (Fig. 8D), on réalise le retrait de la couche martyre. Cette configuration particulière des inserts permet de procéder à l'hybridation des deux composants à connecter électriquement et mécaniquement, en évitant toute formation de bulles d'air. Un tel procédé se décompose en deux étapes: 35 1/ Prépositionnement précis, rapide, à faible force (Fig. 9A) Dans un premier temps, il s'agit de positionner toutes les puces à assembler, par préinsertion à faible force des tubes biseautés, dans les plots de soudure présents sur une 5 face du second composant, à savoir le substrat. Cette opération peut être réalisée à température ambiante et sous atmosphère standard. Les puces à assembler sont rendues solidaires de la plaque mère (substrat) par assemblage 10 C2W / � chie to wafer � (multihybridation de plusieurs puces sur une même plaque). La force d'insertion est calculée pour que les tubes ne s'insèrent que partiellement en vue de laisser un passage pour un dégazage ultérieur. 2/ Insertion finale sous vide, à grande force (Fig. 9B) La plaque sur laquelle sont disposés des circuits préinsérés est ensuite sousmise à une grande force d'insertion, sous vide, afin de permettre l'introduction complète des inserts biseautés creux dans les plots de connexion correspondants. 20 Les avantages de la présente invention ressortent clairement de la présente demande. Elle permet de réaliser des hybridations par insertion avec de très faibles forces d'insertion et une surface de contact significativement augmentée (doublée) par rapport à un insert classique. Ceci permet de réaliser des inserts de très grand rapport de forme inscrits dans des pas d'interconnexion très fins, tout en utilisant des technologies parfaitement maîtrisées dans l'industrie du semi conducteur. 30 Ainsi, la solution proposée permet de multiplier le nombre de points hybridés, à force d'insertion constante, tout en améliorant en parallèle la résistance d'accès pixel (d'un facteur 2 pour la même limite de résolution photolithographique). En outre, les inserts biseautés écartent tout risque de formation de bulles d'air au niveau 35 de la connexion lors de l'hybridation. 15 25 Cette forme d'insert peut également être utilisée pour le composant à connecter. En effet, il existe trois types de connexion : ^ l'insert est inséré dans une zone enterrée de l'autre composant ; ^ l'insert est inséré dans une protubérance à la surface de l'autre composant ; ^ l'insert est inséré dans une protubérance creuse de forme similaire à la sienne. Il suffit alors que les diamètres respectifs soient adaptés : le diamètre intérieur de la protubérance est supérieur au diamètre extérieur de l'insert, ou réciproquement, mais les diamètres respectifs étant cependant suffisamment proches pour assurer le contact, notamment en suite de l'introduction en force de l'insert dans la protubérance. Afin d'éviter le risque de destruction des inserts en raison de ce mode d'introduction, il est avantageux d'appliquer les principes d'assemblages mécaniques standards. De fait, on préférera des formes complémentaires de type cône/cône, cône/cône inversé, cône/tube. L'assemblage peut ainsi être réversible (connexion/déconnexion). La présente invention trouve de nombreuses applications, notamment : -pour les matrices de détection hétérogènes, de grande taille, à grand nombre de connexions par insertion (IRCMOS, CMT refroidis, détecteurs X, etc...) ; - pour les matrices sensibles à la température hybridées à � froid� ; - pour les matrices sensibles aux contraintes mécaniques. REVENDICATIONS 1. Composant de connexion (2) comportant, sur une face, un ensemble d'inserts conducteurs (1) destinés à être connectés électriquement avec un autre composant, 5 lesdits inserts (1) étant creux. 2. Composant de connexion selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'insert conducteur (1) présente une section annulaire, notamment ronde ou ovale, ou parallélépipédique, en particulier carré ou rectangle. 3. Composant de connexion selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'insert conducteur (1) présente un diamètre D et une épaisseur e, e étant très inférieure à D. 4. Composant de connexion selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en 15 ce que l'insert conducteur (1) est fermé à sa base à l'aide d'un socle reposant à la surface du composant (2), ledit socle présentant avantageusement la même composition que le corps de l'insert. 5. Composant de connexion selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en 20 ce que le matériau constitutif de l'insert a une dureté supérieure à celle du matériau dans lequel il est destiné à être inséré. 6. Composant de connexion selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau constitutif de l'insert comprend une couche faisant fonction de 25 barrière de diffusion contre le matériau dans lequel il est destiné à être inséré. 7. Composant de connexion selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les surfaces internes et externes de l'insert conducteur (1) sont recouvertes d'or. 8. Composant de connexion selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'insert conducteur (1) présente une extrémité libre biseautée. 9. Composant de connexion selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en 35 ce que l'insert est inséré dans un autre insert conforme à la revendication 1, disposé sir l'autre composant avec lequel la connexion est recherchée. 13 10 30 10. Procédé d'hybridation entre un composant selon la revendication 8 et un second composant doté de plots de connexion, comprenant les étapes suivantes : - alignement et insertion partielle, à faible force, des inserts (1) dans les plots, avantageusement réalisés à température ambiante ; - insertion finale à force élevée, avantageusement réalisée sous vide.