FR 2925682 A1 20090626 FR 0708955 A 20071220 Dispositif de mesure du fluage d'un film mince, intercalé entre deux substrats rigides, avec une extrémité encastrée et procédé d'utilisation Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un dispositif et un procédé de mesure des propriétés viscoélastiques d'un film intercalé entre deux substrats rigides 10 formant un échantillon comportant une première extrémité fixe, le dispositif comportant des moyens d'application d'une force sur une zone prédéterminée de l'échantillon. 15 État de la technique L'étude des propriétés viscoélastiques des matériaux et notamment du fluage est couramment réalisée au moyen d'appareils d'analyse mécanique dynamique. Le document EP-B-0793088 décrit un appareil d'analyse 20 mécanique dynamique qui peut être utilisé pour caractériser les propriétés viscoélastiques d'un grand nombre de matériaux. Au moyen de ce type de dispositif, il est possible de réaliser sur différents échantillons, de multiples sollicitations, par exemple, des essais de flexion 3 25 points ou des études de flexion simple/double cantilever. L'échantillon est alors structuré afin de former une éprouvette aux dimensions compatibles avec l'objet de l'étude. L'éprouvette est alors sollicitée et les mesures de contraintes et des déformations qui en résultent permettent sa caractérisation viscoélastique et notamment la détermination de son fluage. 30 Cependant, ces méthodes sont adaptées à des échantillons assez épais, typiquement de quelques microns à quelques millimètres d'épaisseur, et qui sont solides à température ambiante et non cassants. Ainsi, à température ambiante, les matériaux vitreux dont la tenue mécanique est faible, les matériaux qui possèdent une température de transition vitreuse inférieure à la température ambiante et les matériaux à l'état liquide ne sont pas analysables. L'article de Carlier et al. � Supported dynamic mechanical analysis : an easy, powerful and very sensitive technique to assess thermal properties of polymer, coating and even nanocoating �, Polymer (42), pp5327-5335, 2001, décrit (figure 1) l'utilisation d'un dispositif de mesure des propriété viscoélastique d'un ensemble de films 2 en résine polymère, qui est inséré entre deux plaques rigides 3 (figure 2) pour former un échantillon 1. L'échantillon 1 est encastré, par des mors 4, à chacune de ses extrémités, constituant ainsi un montage en flexion double cantilever. Il est sollicité, au moyen d'une force périodique appliquée entre les deux mors et illustré par des flèches sur la figure 1. Avec ce montage, la majeure partie des propriétés viscoélastiques du film 2 est accessible à la mesure. Cependant, bien que le film 2 soit cisaillé, il est impossible de mesurer, de manière correcte, le fluage du film de résine. En effet dans le signal mesuré, les plaques rigides ont un effet majoritaire comparé à la résine, ce qui rend la mesure impossible ou fausse. De plus, l'empilement comporte un très grand nombre de substrats afin d'augmenter la quantité de matière et ainsi obtenir un signal mesurable. Objet de l'invention30 L'objet de l'invention consiste à réaliser un dispositif et un procédé de mesure du fluage permettant de mesurer les caractéristiques de fluage d'un film mince, la mesure étant rapide et facile à mettre en oeuvre. Le dispositif selon l'invention est caractérisé en ce que ladite zone d'application de la force est constituée par une extrémité libre de l'échantillon et en ce que la propriété viscoélastique mesurée est le fluage du film. Le procédé selon l'invention est caractérisé en ce qu'il comporte : -l'application d'une force prédéterminée à une extrémité libre de l'échantillon, - la mesure du cisaillement du film, - la détermination, à partir de la mesure de cisaillement, du fluage du film. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre d'un mode particulier de réalisation de l'invention donné à titre d'exemple non limitatif et représenté aux dessins annexés, dans lesquels : La figure 1 représente une vue schématique, en coupe, d'un dispositif selon l'art antérieur. La figure 2 représente une vue schématique, en coupe d'un échantillon selon l'art antérieur. La figure 3 représente une vue schématique, en coupe, d'un dispositif selon l'invention. Description d'un mode de réalisation préférentiel de l'invention30 Comme illustré à la figure 3, l'échantillon 1 à analyser est constitué d'un film 2 mince, à caractériser, intercalé entre deux substrats rigides 3. Les substrats rigides inférieur et supérieur 3, sensiblement parallèles, sont choisis, avantageusement, dans le même matériau afin de faciliter l'analyse des propriétés viscoélastiques du film 2 mince. Le film 2 mince a, de préférence une épaisseur inférieure à 111m ce qui l'empêche d'être tenu à ses extrémités sans se déformer. Les substrats 3 rigides sont choisis inertes dans la gamme de température dans laquelle l'échantillon 1 est sollicité. Par ailleurs, les substrats 3 sont également suffisamment élastiques pour supporter la déformation du film 2 mince. L'échantillon 1 a avantageusement la forme d'un parallélépipède rectangle dont la longueur est nettement supérieure à la largeur et à la hauteur. A titre d'exemple, l'échantillon 1 a une longueur de 3,5cm avec une largeur de 1,5cm, l'épaisseur étant de préférence entre 0,1 et 1 mm avec des substrats de 750�m d'épaisseur. Le film 2 est par exemple une résine lithographique dont l'épaisseur est comprise entre quelques dixièmes de nanomètres et un millimètre, typiquement entre 1 mm et 0,1nm. Les substrats rigides 3 sont avantageusement en silicium, par exemple des substrats massifs en silicium. Le film 2 est déposé sur l'un des substrats rigides 3 par toute technique adaptée, par exemple par dépôt à la tournette (� spin coating � en anglais), puis le deuxième substrat rigide 3 est déposé sur le film 2. 25 L'échantillon 1 est fixé à une seule extrémité, par tout moyen de fixation adapté et présente ainsi une extrémité fixe et une extrémité libre. L'échantillon est alors sensiblement horizontal, hors sollicitation, c'est-à-dire que, dans l'échantillon, l'empilement des substrats rigides 3 et du film d'étude 2 est vertical. 30 L'échantillon 1 est avantageusement maintenu à son extrémité fixe par un mors rigide 4 qui assure l'encastrement. L'autre extrémité, qui est libre, est ensuite soumise à des moyens d'application d'une force qui se traduisent par l'application d'une force verticale schématisée par la flèche 5 sur la figure 3. Par ailleurs, la force à appliquer dépend du substrat et non du film 2. Ce cas de figure est alors analogue à celui d'une poutre homogène encastrée à une extrémité et étudiée en flexion. Quand la couche de polymère atteint sa température de transition vitreuse, ses propriétés élastiques changent et elle se cisaille, ce qui lui permet de suivre la déformation du substrat. Le cisaillement du film 2 induit le déplacement vertical de l'extrémité libre du substrat 3 et la variation de ce déplacement avec la température de l'échantillon permet de déterminer les différents événements thermiques (transition vitreuse, décomposition, réticulation, polymérisation...) du film 2 mince. Une étude à température constante permet avec l'étude de la variation du déplacement des substrats dans le temps de mesurer les propriétés de fluage du film mince. De cette manière, des temps caractéristiques de fluages et des amplitudes de fluages sont déterminés. Dans le cas où le film et une résine photosensible, il est également possible d'étudier les réactions chimiques qui sont classiquement utilisées durant sont cycle de vie (réticulation, dégradation, polymérisation...) Le mors rigide 4 est typiquement un mors utilisé lors d'un essai de flexion à simple ou double encastrement et l'application de la sollicitation peut être réalisée, par exemple, par le même type de dispositif que dans le cas d'une sollicitation en flexion 3 points. 30 Le dispositif décrit ci-dessus est plus particulièrement adapté à l'étude du fluage d'un film 2 constitué par une résine lithographique mais le dispositif est, de manière plus générale, adapté à l'étude du fluage des matériaux vitreux dont la tenue mécanique est faible à la température de sollicitation. Le film 2 peut, par exemple, être réalisé dans un matériau dont la température de transition vitreuse est inférieure à la température de sollicitation. Le dispositif 2 peut être utilisé, par exemple, pour étudier l'évolution d'une température caractéristique, par exemple la température de transition vitreuse, en fonction de l'épaisseur de la couche (2) mince. L'étude de l'évolution de la température de transition vitreuse peut être réalisée de la manière suivante : -l'application d'une force prédéterminée à une extrémité libre de l'échantillon 1, - la mesure du film 2, - la détermination, à partir de la mesure du cisaillement, du fluage du film 2. Le substrat étant en flexion, la mesure du déplacement de l'extrémité des substrats est réalisée en fonction de l'évolution de la température. Il est également possible d'appliquer une déformation et de mesurer la force nécessaire pour maintenir cette déformation. Les forces mises en jeu sont typiquement de l'ordre de quelques Newtons. L'évolution de la température peut être effectuée simplement en appliquant en rampe en température. Revendications 1. Procédé de mesure des propriétés viscoélastiques d'un film (2) intercalé entre deux substrats rigides (3) formant un échantillon (1) comportant une première extrémité fixée dans un dispositif de mesure, le procédé comportant l'application d'une force sur une zone prédéterminée de l'échantillon (1), procédé caractérisé en ce que ladite force est appliquée sur une extrémité libre de l'échantillon (1) et en ce que le procédé comporte la mesure du 1 o fluage du film (2) et la détermination d'une température caractéristique. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte l'encastrement de l'extrémité fixe de l'échantillon (1) au moyen d'un mors. 15 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2 pour étudier l'évolution de la température de transition vitreuse en fonction de l'épaisseur du film (2) mince, caractérisé en ce qu'il comporte : - l'application d'une force prédéterminée à l'extrémité libre de l'échantillon (1), 20 - la mesure de cisaillement du film (2), - la détermination, à partir de la mesure de cisaillement, du fluage du film (2) - et la détermination de la température de transition vitreuse. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en 25 ce que le film (2) a une épaisseur comprise entre l mm et 0,1 nm. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les substrats rigides (3) sont en silicium. 30 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le film (2) est une résine lithographique.