FR 2929715 A1 20091009 FR 0852256 A 20080404 PROCEDE DE REALISATION DE CAVITES MICRONIQUES OU SUBMICRONIQUES DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTERIEUR L'invention se rapporte à la réalisation de dispositifs contenant des cavités de dimensions microniques voire submicroniques délimitées par des parois, dans lesquelles un matériau tel qu'un fluide fonctionnel peut être introduit. Une application particulière concerne notamment les dispositifs � optiques � pour lesquels le fluide fonctionnel possède des qualités optiques spécifiques. Un exemple d'un tel élément d'optique est 15 illustré en figure 1. Il a une largeur L pouvant aller par exemple jusqu'à 100 mm ou plus. Il comporte un réseau de micro-cuvettes ou de micro-cavités 2 indépendantes, séparées par des parois 6. Ces micro-cavités sont structurées sur un 20 support sensiblement plan. On peut ensuite les remplir avec un ou des liquides 4 appropriés à l'effet optique recherché. Suivant les applications, les cavités peuvent être fermées par une couche de fermeture 9 en 25 un matériau de préférence souple, en général collé sur les sommets des parois 6. L'ensemble est formé sur un support comportant, dans l'exemple illustré, un substrat 1 en un matériau tel que le quartz et une couche 8 en un 30 matériau polymère. Un tel élément d'optique peut contenir un nombre de micro-cuvettes qui peut être de l'ordre de quelques dizaines de milliers voire quelques centaines de milliers et au-delà. Pour les applications optiques les parois 6 doivent être les moins visibles possibles, ce qui impose un fort rapport d'aspect (ou facteur de forme), avec des largeurs de paroi faibles pour une hauteur importante dans la gamme souhaitée par exemple 2 à 100 pm. Les parois, et les micro-cavités, peuvent être obtenues par un procédé de type micro-technologie collective, ou par gravure anisotrope d'une résine choisie pour ses propriétés structurales. La technique dite de � embossing �, ou moulage, permet de réaliser les facteurs de forme recherchés de manière très compétitive sur un plan économique, car c'est une opération directe. Elle présente cependant l'inconvénient d'être très limitative sur la structure du fond de cuve car elle laisse par principe le même polymère que les murs, à moins de contrôler très précisément l'épaisseur du film moulé, ce qui reste très difficile. Un autre procédé est la photolithographie d'une résine photosensible. On dépose une résine photosensible à l'épaisseur souhaitée et on l'insole avec une lumière UV afin de définir les parois. Pour obtenir une bonne résolution avec cette technique, on doit utiliser des équipements de photolithographie onéreux. Néanmoins, ceux-ci, ne disposent pas de la profondeur de champ nécessaire à la réalisation de parois à fort rapport d'aspect. Cela entraîne la nécessité d'utiliser des techniques encore plus sophistiquées, ajoutant encore au coût de réalisation. Deux problèmes sont à résoudre dans cette approche : - le coût d'investissement élevé pour mettre en oeuvre une telle technique ; elle nécessite une machine optique qui, compte tenu de la résolution recherchée, doit être de type � stepper �. Le substrat est insolé en mode � step & repeat � : un masque, à l'échelle de l'élément d'optique, est insolé puis il y a déplacement du substrat pour insoler la zone suivante. Il s'ensuit une productivité ralentie d'autant plus que la résine photosensible est épaisse, peut être rendue opaque dans le visible par ajout d'un colorant noir et donc exiger des temps d'insolation long, - la perte de résolution liée à l'épaisseur de la résine. En effet les optiques installées dans les machines optiques utilisées permettent d'atteindre une résolution de 2 }gym (en réseau), mais sur des résines de 1 à 1,2 }gym d'épaisseur. Or les murs des micro-cuvettes peuvent être de hauteur supérieure à 10 }gym, il s'ensuit une perte de résolution qui peut interdire des traits d'une taille inférieure à 4 }gym, donc être un frein à l'évolution des micro-cuvettes vers des tailles de plus en plus fines. Il y a donc un problème à trouver un compromis adapté entre productivité et rapport de forme. Enfin une autre technique utilisant le report direct, en face avant du support, des parois préalablement formées est difficile à mettre en oeuvre, car le contact entre les parois et le support est très délicat. Il se pose donc le problème de trouver un procédé qui s'affranchisse de ces problèmes et permette de travailler sur une grande gamme d'épaisseur de matériau photosensible tout en ne sacrifiant pas la résolution et tout en permettant une bonne productivité. Selon un autre aspect, il se pose le problème d'atteindre des rapports de formes plus faibles que celles obtenues avec les techniques classiques de photolithogravure. EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention concerne principalement un procédé de formation de parois de cavités, par exemple pouvant être utilisées par la formation d'un dispositif micro-optique (micronique ou submicronique), comportant . - la formation, sur un support transparent, d'un masque de photolithogravure, - le dépôt d'une couche d'un matériau photosensible sur la face, dite face avant, du support qui supporte le masque, - l'insolation de la couche de matériau photosensible par la face arrière du support, - le développement du matériau photosensible pour obtenir lesdites parois. Le matériau photosensible peut être de polarité négative, auquel cas les portions opaques du masque sont formées sous les zones où le matériau photosensible doit être éliminé. Dans le cas d'une application optique, lorsque le matériau photosensible est de polarité négative les zones du masque situées au fond des cavités sont également éliminées après élimination dudit matériau dans ces mêmes cavités. En variante, le matériau photosensible peut être de polarité positive, et les portions opaques du masque sont formées sous les zones où le matériau photosensible doit être conservé. L'invention permet de réaliser, en très 15 grand nombre, des micro-cavités dont les murs ont des facteurs de forme très variables et avec des matériaux photosensibles de toute polarité, chargés ou non en colorants. Elle permet également de garder une grande latitude dans le choix d'éventuelles sous couches 20 faisant partie du support. Ainsi, suivant les applications envisagées, le support peut comporter au moins une sous-couche en contact avec le fluide fonctionnel introduit dans les cavités et avec la base des parois. Cette sous-couche 25 peut être choisie pour ses propriétés mécaniques (par exemple adhérence) et/ou électrique et/ou ses propriété de surface (par exemple suite à un traitement de surface approprié tel q'un frottement et/ou un traitement hydrophile ou un traitement hydrophobe). 30 Ainsi, à titre d'exemple, on peut citer comme matériau utilisé pour former : 10 6 - une sous-couche d'adhérence : du SiO2, - une sous-couche d'actionnement électrique (électrode) : de l'ITO ou du WO3, - une sous-couche d'alignement : un polyimide frotté. Chacune de ces sous-couches peut être utilisée seule ou en combinaison avec une ou plusieurs autres de ces mêmes sous-couches et disposée entre le masque et le support. Pour les applications optiques on choisira avantageusement un substrat transparent tel que du quartz, ou du plastique tel que du PET (Polyéthylène téréphtalate). Les sous-couches d'ITO, ou de SiO2 ou de polyimide sont transparentes pour ces mêmes applications optiques. Ainsi, le support peut comporter un simple substrat, ou un substrat et une ou plusieurs des sous couches supplémentaires ci-dessus. L'invention met en oeuvre des moyens de 20 photolithographie, pouvant être facilement intégrés dans un mode de réalisation collectif sur une même ligne de production. Le masque de photolithogravure est de préférence un matériau absorbant aux UV et pouvant être 25 éliminé de manière chimique non agressive. Il est par exemple en chrome ou en Ti, et par exemple d'épaisseur d'environ quelques centaines de nm, par exemple encore environ 100 nm. Les parois des cavités obtenues ont une 30 épaisseur qui peut être comprise entre 2 }gym et 100 }gym et une largeur qui peut être comprise entre 10 }gym et 0,5 }gym. Le matériau photosensible peut être une résine (déposée sous forme liquide puis polymérisée) ou un film sec (déposé par exemple par laminage). Le matériau photosensible peut être rendu noir par l'ajout d'un colorant. L'invention concerne également un procédé de formation d'un dispositif, par exemple pouvant être utilisé pour la formation d'un dispositif micro-optique (micronique ou submicronique), comportant : - la formation des parois de cavités de ce dispositif, comportant la mise en oeuvre d'un procédé tel qu'exposé ci-dessus, - l'introduction d'un fluide dans les cavités du dispositif, - la formation d'une couche de fermeture sur les parois en matériau photosensible. Dans le cas d'une réalisation collective, une individualisation du produit final peut être effectuée. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS - La figure 1 représente une structure de cavité connue. - Les figures 2A-2F représentent des étapes de réalisation d'un procédé selon l'invention. - Les figures 3A-3C représentent certaines étapes de réalisation d'un autre procédé selon l'invention. - La figure 4 représente une opération de remplissage de cavités avec un liquide. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un mode de réalisation de l'invention va être décrit en liaison avec les figures 2A-2F. On forme d'abord un support, qui peut consister en un simple substrat 10, par exemple en un matériau polymère tel que le PET. En variante, sur la surface de ce même substrat 10, un ou plusieurs films 12, 14 transparents, en couche mince peuvent être déposés. Ces films déposés en couche mince sont par exemple un film 12 d'ITO de quelques centaines de nm d'épaisseur et un film 14 de polyimide (couche d'alignement) d'épaisseur comprise entre 30 nm et 100 nm d'épaisseur, frotté ou non à ce stade selon l'application visée. L'ensemble forme un support, transparent aux rayonnements UV. Par convention, la face, en principe libre, 14', côté empilement 12, 14, constitue la face dite � face avant � du support. Si il n'y a pas d'empilement 12, 14, mais seulement un substrat 10, l'une quelconque des faces est dite face avant. L'autre face 10' est dite � face arrière �. Puis (figure 2B) une couche 16 de métal est déposée, par exemple une couche de chrome de 50 nm d'épaisseur. Un métal différent du chrome peut être utilisé. On peut utiliser tout métal, ou même tout matériau absorbant aux UV (typiquement dans la gamme spectrale comprise entre 305 nm et 460 nm) et pouvant être éliminé par une technique chimique, sélectivement vis-à-vis du support, de la résine et des éventuelles sous-couches de frottement et/ou d'adhérence, et/ou autres. Par exemple on peut utiliser une couche de Titane, qui peut être gravée ensuite au HF. Une couche d'adhérence 20, par exemple en SiO2 peut éventuellement être formée avant dépôt de la couche 16. Cette couche 20 va permettre de renforcer l'adhérence de la future résine 18 sur le support. La couche de masquage (par exemple en métal) 16 peut ensuite être structurée, par exemple gravée pour délimiter la future forme des microcavités. A cette fin, on dépose sur la couche 16 un matériau photosensible par exemple une résine de photolithogravure. Celle-ci est insolée, à travers un masque approprié reproduisant la forme des motifs (en fait : la forme des murs des micro-cuvettes) que l'on souhaite réaliser ultérieurement. Cette résine de photolithogravure est développée, puis le matériau de la couche 16 est gravé par un bain acide (par exemple, gravure d'une couche 16 en Titane par du HF à 0,3 %); la résine non insolée, qui protège le matériau de la couche 16 là où on désire le garder, est alors retirée. On obtient donc un masque 16' (figure 2C). Au cours de l'étape suivante (figure 2D), on dépose une résine épaisse 18 photosensible (épaisseur comprise entre 2 et 100 }gym), de polarité négative, dans laquelle les murs des micro-cuvettes vont être réalisés. L'insolation de cette résine 18 est réalisée par la face arrière 10', à travers les ouvertures réalisées dans la couche de masquage UV 16. Ces murs seront formés à l'aide du masque précédemment réalisé qui protège, pour une insolation à partir de la face arrière 10', les zones où on souhaite par la suite éliminer la résine. Puis (figure 2E), on procède à une insolation UV 31, par la face arrière 10' du support. Les zones de la résine qui sont insolées sont alors polymérisées et vont former les parois. De préférence, on réalise l'insolation en un seul flash ou en scan, sur toute la surface du substrat. La source UV peut être de très haute énergie. La résine est ensuite passée dans un développeur, qui va permettre de retirer les parties non insolées. Cette opération n'endommage pas l'éventuelle couche de polymère 14 qui, à cet endroit, est protégée par la couche de masquage. Le retrait de la couche de masquage UV, par gravure chimique, permet de retrouver la surface du support (ici : la surface du polymère 14) qui a pu être frottée préalablement au dépôt du masque et la couche d'alignement. On obtient une structure comportant le support initial, la ou les éventuelle(s) sous couche(s) et les parois 22, de sommet 32, qui délimitent des cavités 21 (figure 2F). Une seule de ces cavités est représentée sur la figure 2F, mais le procédé peut être collectif et permet de réaliser plusieurs cavités, et même en très grand nombre. La hauteur h des parois 22 qui délimitent chaque cavité 21 est typiquement de l'ordre de quelques }gym ou de plusieurs dizaines de }gym, par exemple de 20 }gym et comprise entre 2 }gym et 100 }gym. La largeur 1 de chaque paroi peut être comprise entre 0,5 }gym et 10 }gym. Le facteur de forme est déterminé comme le rapport hauteur/largeur (rapport hauteur/largeur), il peut être compris entre, par exemple, 3 et 10. Chaque cavité 21 peut avoir une largeur ou un diamètre D moyen compris entre 10 }gym et 500 }gym. Un autre mode de réalisation de l'invention va être décrit en liaison avec les figures 3A-3C. Les opérations mettent en oeuvre les mêmes matériaux que dans le mode de réalisation précédent, sauf pour la résine 18' (figure 3B) qui est cette fois une résine positive. Les étapes sont donc sensiblement les mêmes que précédemment, sauf pour la réalisation du masque : on élimine le matériau de masque, par gravure, là où on souhaite éliminer la future résine 18' de photolithogravure, de polarité positive (figure 3A). On dépose ensuite, après formation du masque (figure 3B), cette résine 18' de polarité positive, dans laquelle, là encore, les murs des micro- cuvettes vont être réalisés. Puis (figure 3C) on procède à une insolation UV 31, par la face arrière 10' du support. Les zones de la résine qui sont insolées sont alors polymérisées. Là encore, de préférence, on réalise l'insolation en un seul flash, sur toute la surface du substrat. La source UV peut être de très haute énergie. La résine est ensuite passée dans un développeur, qui va permettre de retirer les parties non insolées. On se reportera aux remarques déjà faites ci-dessus pour cette étape. Dans ce mode de réalisation, le masque 16" se retrouve alors sous le mur de résine qui est conservé et peut jouer par exemple le rôle de masque de contraste (� Black matrix �) ou permettre un actionnement électrique (cas par exemple d'un masque en ITO ou en WO3). On obtient, là encore, la structure de la figure 2F, comportant le support initial et les parois 22, avec les caractéristiques -notamment géométriques- déjà décrites ci-dessus. Quel que soit le mode de réalisation la résine épaisse 18, 18' de polarité positive ou négative peut être rendue noire par l'ajout d'un colorant. Le temps d'exposition augmente alors, mais est toujours acceptable, dans cette approche où une seule exposition en face arrière est réalisée. Les micro-cavités ainsi formées ont pour objectif de retenir un fluide tel qu'un liquide ou des liquides qui peuvent être différents d'une cavité à l'autre, afin de réaliser une fonction optique spatialement définie. Un liquide peut être un mélange de cristaux liquides, un liquide photosensible, ou tout autre liquide fonctionnel ou d'indice permettant de contrôler et modifier le trajet ou l'intensité des rayons optiques qui vont traverser le dispositif réalisé. Dans le cas de liquides différents d'une cavité à l'autre, ces liquides peuvent être obtenus à partir du mélange de deux ou plusieurs liquides ou bien à partir de liquides tous différents. Ces liquides sont délivrés par toute technique adaptée à la localisation de faible volume, soit quelques dizaines à centaines de picolitres. Notamment le remplissage d'une ou plusieurs cavités peut être réalisé par un équipement E (figure 4) visant l'intérieur des cavités 21 et projetant le matériau 24 liquide sous forme d'un jet ou de gouttes 26, d'un volume qui peut être de l'ordre de plusieurs picolitres. Le liquide peut être délivré à l'aide d'une technique adaptée à la localisation de faible volume, soit plusieurs dizaines à centaines de picolitres. L'équipement E utilisé peut mettre en oeuvre une technique de dispense de liquide semblable à celle de la dispense par jet d'encre. Le matériau liquide 24 peut remplir les cavités 21 partiellement ou complètement. Un remplissage total des cavités peut être effectué de manière à atteindre le sommet 32 des parois 22. Le produit est terminé par la formation, par exemple par laminage, d'un film plastique 9 protecteur (figure 1). Ce film peut être recouvert des couches fonctionnelles adaptées pour la fonction finale (antireflets, couches dures, antisalissures,...). Selon une possibilité, pour certaines applications, par exemple pour la réalisation de lentilles optiques individuelles, une séparation entre elles des cavités 21 scellées, ou de groupes de cavités scellées, peut être effectuée. Les enceintes fermées remplies de liquide sont ainsi dissociées ou individualisées. Une telle séparation peut être faite par exemple par laser, ou à l'aide d'ultrasons ou à l'aide d'au moins un outil tranchant, sur le support rigide 10 ayant servi à la réalisation du dispositif. La séparation est réalisée après avoir assuré un scellement de la périphérie des cavités 21. Cette séparation peut s'accompagner d'un scellement périphérique qui assure l'étanchéité aux gaz et à l'humidité, et une bonne tenue mécanique sur la durée de vie du produit. REVENDICATIONS1. Procédé de formation de parois (22) de cavités (21) microniques ou submicroniques, comportant . - la formation, sur un support transparent (10), d'un masque (16',16") de photolithogravure, - le dépôt d'une couche (18, 18') du matériau photosensible sur la face (14'), dite face avant, du support qui supporte le masque, - l'insolation de la couche du matériau photosensible par la face arrière (10') du support, - le développement du matériau photosensible pour obtenir lesdites parois. 2. Procédé selon la revendication 1, le matériau photosensible (18) étant de polarité négative et les portions opaques du masque étant formées sous les zones où le matériau photosensible doit être éliminé. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel les zones du masque situées au fond de ces cavités sont également éliminées après élimination dudit matériau photosensible dans les cavités. 4. Procédé selon la revendication 1, le matériau photosensible (18') étant de polarité positive et les portions opaques du masque étant formées sous les zones où le matériau photosensible doit être conservé. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, comportant en outre au moins une sous-couche (20) disposée entre le masque et le support. 6. Procédé selon la revendication 5, ladite couche présentant des propriétés mécaniques et/ou électriques et/ou de surface. 7. Procédé selon la revendication 5 ou 6, au moins une sous-couche présentant des propriétés de surface (14) et étant en un polyimide. 8. Procédé selon l'une des revendications 5 à 7, au moins une sous-couche (12) présentant des propriétés électriques et étant en ITO ou en WO3. 9. Procédé selon l'une des revendications 5 à 8, au moins une sous-couche (12) présentant des propriétés mécaniques et étant en SiO2. 10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, le masque de photolithogravure étant en un matériau absorbant aux UV et pouvant être éliminé de manière chimique. 11. Procédé selon la revendication précédente, le masque (16', 16") étant en chrome ou en Titane. 25 12. Procédé selon l'une des revendications précédentes, les parois (22) ayant une épaisseur supérieure à 2 }gym. 13. Procédé selon l'une des revendications précédentes, les parois ayant une largeur inférieure à 10 }gym ou comprise entre 10 }gym et 0,5 }gym. 14. Procédé selon l'une des revendications 10 précédentes, le matériau photosensible étant rendu noir par l'ajout d'un colorant. 15. Procédé selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel le support comprend un substrat 15 transparent en un matériau choisi parmi du quartz ou du plastique. 16. Procédé de formation d'un dispositif micro-optique ou submicrooptique, comportant : - la formation des parois (22) de cavités de ce dispositif, comportant la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une des revendications précédentes, - l'introduction d'un fluide (24, 26) dans les cavités (21) du dispositif, - la formation d'une couche (9) de fermeture sur les parois en matériau photosensible. 20 25