FR 2916193 A1 20081121 FR 0703563 A 20070518 Synthèse par pyrolyse laser de nanocristaux de silicium Domaine technique La présente invention concerne la synthèse de nanoparticules comportant du silicium sous forme cristalline. En référence à la figure 1, une nanoparticule de silicium cristallin Si comporte ~o naturellement, en surface, une couche d'oxyde SiO2 dont l'épaisseur AR représente environ un dixième du diamètre global D de la nanoparticule. Par confinement quantique, de telles nanoparticules, comportant un coeur de silicium cristallin dont la taille est inférieure ou de l'ordre de 10 nanomètres, présentent des propriétés de photoluminescence. La longueur d'onde d'émission de photons par l'effet de 15 photoluminescence est d'autant plus courte que la taille du coeur cristallin des nanoparticules est petite (de 10 nm pour du rouge/infrarouge à 3 nm pour du rouge/jaune). Par ailleurs, il est possible aussi de modifier les longueurs d'onde d'émission, notamment, en modifiant la composition des nanoparticules. On indique par exemple que des nanoparticules incluant du carbone (Si-C) et/ou du germanium 20 (Si-Ge) et/ou de l'azote (Si-N) peuvent aussi avoir des propriétés de photoluminescence. Ainsi, le silicium, sous forme de poudre de nano-grains cristallins, est photoluminescent. Cette propriété, observable à température ambiante et dans le 25 domaine visible (du vert au rouge suivant la taille des grains), peut ouvrir la voie à des applications dans des domaines très divers tels que la photonique (lasers silicium), la biologie (marqueurs ou traceurs), la détection de contrefaçon (code barre optique), la cosmétique, ou autres. 30 La photoluminescence attribuée au phénomène de confinement quantique est observée lorsque la structuration du silicium est réduite à l'échelle nanométrique (taille 2 inférieure à 10 nrn) et la couleur observée varie en fonction de la taille des nanocristaux. On comprend donc l'intérêt croissant pour la production de nanocristaux de silicium de taille aussi faible que possible. Toutefois, le développement de dispositifs basés sur de telles nanoparticules a été freiné par leur manque de disponibilité. Etat de l'art Plusieurs approches ont été développées pour obtenir ces matériaux. On peut citer par exemple plusieurs techniques conduisant à des couches minces contenant du Si telles que l'implantation de Si dans une matrice SiO2 suivie d'un recuit qui a pour effet de faire précipiter des nanocristaux de silicium. On peut citer aussi le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (ou PECVD pour Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ). En outre, des approches en phase liquide telles que la synthèse dite en micelles inverses , ou encore des solutions supercritiques, sont souvent longues à mettre en oeuvre et ont des rendements faibles. En ce qui concerne les procédés de synthèse physique permettant d'obtenir des nanoparticules libres, on peut noter l'ablation laser, la pyrolyse thermique dans un réacteur en flux, la synthèse par plasma ou la pyrolyse par un laser (suffisamment puissant comme par exemple un laser CO2). Seules ces deux dernières techniques ont donné des résultats intéressants en ce qui concerne la production et la qualité des nanoparticules obtenues. Selon une première technique, des nanoparticules de silicium dans la gamme de taille de 2 à 8 nm ont été obtenues dans un plasma radiofréquence d'argon-silane à basse pression (186 à 1860 Pa) par le procédé décrit dans : "High yield plasma synthesis of luminescent silicon nanocrystals", L. Mangolini, E. Thimsen, U. Korsthagen, Nanoletters, vol. 5-4, p. 655-659 (2005). Des flux de silane dans la gamme 0,4 à 2,4 sccm (unité dite standard cubic centimeter per minute ) permettent des productions allant de 14 à 52 mg par heure. 3 Les nanoparticules présentent une distribution de taille assez resserrée (par exemple 5,72 nm avec une déviation standard de 0,68 nm). Après un traitement dit de passivation visant à rendre inerte la surface des nanoparticules, ces dernières présentent une photoluminescence dont la longueur d'onde de pic est comprise entre 700 et 840 nm selon les nanoparticules. Une seconde technique est la pyrolyse de silane par un laser, notamment à l'aide d'un laser pulsé à base de CO2, selon le procédé décrit dans : "Photoluminescence properties of silicon nanocrystals as a function of their size", 10 G. Ledoux, O. Guillois, D. Porterat, C. Reynaud, F. Huisken, B. Kohn, V. Paillard, Phys. Rev. B, vol.62(23) p. 15942-51 (2000). Il convient de rappeler que cette technique consiste à exposer un flux de silane à un faisceau laser pour élever sa température jusqu'à obtenir une flamme de pyrolyse et pour collecter des nanoparticules de silicium qui se sont formées dans la flamme. 15 Les nanoparticules obtenues sont dans une gamme de taille comprise entre 2,8 et 4,8 nm et émettent une photoluminescence intense dans une gamme de longueurs d'onde de 610-900 nm après simple passivation à l'air. Toutefois, les très faibles quantités obtenues (quelques milligrammes seulement) semblent incompatibles avec des applications industrielles. 20 Plus récemment, il a été montré qu'il était possible de produire des nanoparticules de silicium dans la gamme de taille 5-20 nm par pyrolyse laser de silane à une pression de 54 103 Pa, et ce, à l'aide d'un laser continu de faible puissance (60 W), mais focalisé (avec un diamètre de la tâche focale de 2 mm), dans le document : 25 "Process for Preparing Macroscopic Quantities of Brightly Photoluminescent Silicon Nanoparticles with Emission Spanning the Visible Spectrum", X Li, Y He, S. Talukdar, M. Swihart, Langmuir 19, p. 8490-8496 (2003). Le taux de production se situe dans la gamme de 20-200 mg/heure. Cependant, après la synthèse, une deuxième étape (ici un traitement chimique par un composé HF/HNO3) 30 est nécessaire pour rendre les particules photoluminescentes. La photoluminescence peut alors être observée ensuite dans la gamme de longueurs d'onde 500-800 nm. 4 Dans ce même document, il est indiqué qu'une production serait plus élevée en utilisant un laser de plus forte puissance et en augmentant la taille de la zone de recouvrement laser/précurseur. Toutefois, il n'est donné aucun détail sur l'effet de ces paramètres sur les tailles de particules. On s'attend néanmoins à une augmentation de la taille des cristaux, une augmentation de la puissance laser conduisant a priori à une augmentation de la température de flamme et donc, en général, à une meilleure cristallisation. En outre, une augmentation de la zone de recouvrement conduirait elle aussi à une augmentation du temps d'interaction et donc de la taille des cristaux obtenus. Des nanoparticules de silicium d'une taille pouvant descendre jusqu'à une douzaine de nm ont été obtenues par pyrolyse laser, en utilisant un laser continu de forte puissance, comme décrit dans : "Laser-grown silicon nanoparticles and photoluminescence properties", N. Herlin- Boime, K. Jursikova, E. Trave, E. Borsella, O. Guillois, J. Vicens, C. Reynaud, Proceedings MRS spring meeting, symposium M, San-Francisco, USA (2004). Les productions obtenues sont de plusieurs grammes par heure. Du fait de leur taille, ces nanoparticules ne présentent pas de photoluminescence. Seule une étape de traitement thermique sous air (de manière à forcer l'oxydation) a permis de réduire la taille du coeur de silicium en-dessous de 10 nm et obtenir alors l'effet de photoluminescence. Ainsi, concernant la pyrolyse laser, il n'existe pas, actuellement, de solution permettant d'obtenir, en quantité pondérable et en une seule étape, des nanoparticules de silicium de taille inférieure ou égale à 10 nm et présentant des propriétés de photoluminescence.. par exemple après simple passivation à l'air. La présente invention vient améliorer la situation.30 Présentation de l'invention Elle propose à cet effet un procédé de synthèse par pyrolyse laser de nanoparticules comportant du silicium, le procédé comportant les étapes : acheminer, par un fluide de transport, un précurseur comportant l'élément silicium, vers un réacteur de pyrolyse, appliquer un rayonnement laser au mélange que forment le fluide de transport et le précurseur dans le réacteur, et récupérer en sortie du réacteur des nanoparticules comportant du silicium. Selon l'invention, on contrôle le rayonnement laser au moins en puissance et en durée d'impulsion effective dans une période de tir laser, et, de façon avantageuse, pour : une puissance typiquement supérieure ou de l'ordre de 500 watts, et une durée d'impulsion supérieure ou de l'ordre de 40% d'une période de tir laser, on obtient, à une cadence supérieure ou de l'ordre de 80 milligrammes par heure, des nanoparticules présentant un coeur sous forme cristalline de taille inférieure ou de l'ordre de 10 nanomètres. Selon les essais réalisés, il a été observé en effet qu'un paramètre important pour obtenir une quantité pondérable de nanoparticules photoluminescentes était l'apport en énergie photonique à la réaction de pyrolyse, et ce, avant même la quantité de précurseur ou sa vitesse de passage dans le réacteur de pyrolyse. Par exemple, malgré une augmentation de la vitesse de passage du précurseur dans le réacteur de pyrolyse (et donc une diminution du temps laissé à la réaction de pyrolyse), il a été observé que la cadence de production pouvait néanmoins croître en particulier en fonction de l'énergie apportée par le rayonnement laser, soit sous la forme de puissance laser, soit sous la forme de durée d'impulsion effective émise. La présente invention propose pour la première fois une augmentation substantielle de la cadence de production tout en contrôlant finement la taille des nanoparticules obtenues, et ce, en jouant notamment sur la puissance laser et sur le pourcentage de 5 6 durée d'impulsion efficace, ce qui a permis, comme on le verra dans les exemples de réalisation donnés plus loin, d'atteindre des cadences de production record, supérieures à 700 milligrammes par heure en obtenant des tailles de nanoparticules qui restent néanmoins inférieures à 10 nm. Un autre paramètre qu'il est avantageux de contrôler est la dilution du précurseur comportant l'élément silicium dans le fluide de transport. En effet, il convient de contrôler le nombre de collisions entre atomes de silicium, de manière à limiter la taille des nanoparticules. Par ailleurs mais en moindre influence, le fait de diluer le précurseur permet d'augmenter le débit de flux de transport et, de là, la vitesse de passage dans le réacteur. On limite ainsi le temps de réaction et, par conséquent, la croissance des particules. D'après les essais réalisés, le fait d'augmenter l'apport en énergie photonique (puissance et durée d'impulsion effective) permet d'augmenter la cadence de production. Toutefois, l'augmentation de la cadence de production s'accompagne très souvent d'une augmentation de la taille des particules obtenues. La dilution peut alors être un paramètre supplémentaire pour limiter l'augmentation de la taille des particules et le contrôle des trois paramètres puissance laser, pourcentage de durée d'impulsion efficace et dilution, permet d'assurer un contrôle fin de la taille des particules obtenues tout en les produisant en quantité pondérable. Typiquement, pour un précurseur comportant un atome de silicium par molécule, une dilution comprise entre 1/10 et 1/30 dans le fluide de transport a fourni de bons résultats avec une puissance laser supérieure à 500W et un pourcentage de durée d'impulsion efficace de 40%. Bien entendu, le fluide de transport est préférentiellement un gaz neutre, tel que de l'hélium par exemple. Le précurseur peut être acheminé aussi sous forme gazeuse dans le réacteur. Il peut typiquement s'agir du silane de formule SiH4. On applique préférentiellement une focalisation du rayonnement laser dans le réacteur, 30 avec par exemple une tache de focalisation de 2 millimètres de diamètre. En effet, il est avantageux de contrôler aussi la focalisation du faisceau laser dans le réacteur pour 7 s'assurer que la puissance laser de consigne (Le. celle qu'il est souhaitable d'imposer) est efficacement transmise dans le réacteur et, dans une moindre influence selon les essais réalisés, pour créer une zone géométrique d'interaction laser/précurseur de faibles dimensions et faire ainsi en sorte que le temps de croissance des particules dans la zone de réaction soit limité. D'ailleurs, un autre moyen de limiter le temps d'interaction laser/précurseur peut être simplement, comme indiqué plus haut, le contrôle du débit de fluide de transport pour que la vitesse de passage dans le réacteur soit dans la gamme donnée ci-avant de 4 à 1 l mètres par seconde. Un autre paramètre qu'il peut être avantageux de contrôler est la pression du mélange que forment le précurseur et le fluide de transport dans le réacteur. Préférentiellement, cette pression est basse (inférieure à la pression atmosphérique), ce qui a pour effet de limiter la nucléation et les collisions conduisant à la croissance des particules. Dans l'exemple de réalisation où le précurseur est un gaz tel que du silane transporté dans un gaz neutre (par exemple de l'hélium), la pression dans le réacteur est préférentiellement comprise entre environ 150 ton et environ 300 torr. Toutefois, il n'est pas exclu, dans une variante de réalisation, que le précurseur soit acheminé dans le réacteur sous une forme autre que gazeuse (par exemple sous forme de gouttelettes) et, dans ce cas, on contrôle alors la pression au moins du fluide de transport qui, lui, reste préférentiellement sous forme gazeuse. Avantageusement, on applique en outre une trempe à froid aux particules en sortie du réacteur de manière à bloquer la croissance des particules après la réaction de pyrolyse. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée ci-après, et des dessins annexés sur lesquels, outre la figure 1 décrite ci-avant : - la figure 2 illustre schématiquement un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé de pyrolyse au sens de l'invention, 8 la figure 3 illustre les durées d'impulsion effective au cours de tirs lasers à fréquence constante, la figure 4 illustre l'effet de la durée d'impulsion effective sur la taille des nanoparticules, - la figure 5 montre les spectres de photoluminescence enregistrés sur des nanoparticules obtenues par la mise en oeuvre du procédé, pour illustrer une faible dispersion en taille de ces nanoparticules, et - la figure 6 illustre une variation de la production horaire de nanoparticules en fonction du pourcentage de durée d'impulsion efficace par tir laser. Exemple d'un dispositif de pyrolyse En référence à la figure 2, un précurseur comportant l'élément silicium, sous forme gazeuse, et plus précisément du silane SiH4 dans l'exemple de réalisation décrit, est mélangé à un gaz neutre, ici de l'hélium He en tant que fluide de transport. Préférentiellement, la dilution du précurseur dans le fluide de transport est comprise entre 1/10 et 1/30. Dans l'exemple décrit, la dilution est contrôlée par les deux vannes V1 et V2 de la figure 2. Le mélange des deux gaz, référencé MEL sur la figure 2, est acheminé vers une chambre de réaction REAC, à une pression contrôlée par un manomètre VO. La pression du mélange est préférentiellement comprise entre 150 et 300 torr. Un système régulateur de débit massique comportant les vannes V1 et en particulier V2 permet de contrôler aussi le débit de gaz et en particulier du flux de transport (flèche He) dans la chambre de réaction REAC. Le débit de fluide de transport est compris ici entre 600 et 2000 sccm, ce qui correspond, dans les conditions expérimentales des essais réalisés et décrits ci-après, à une vitesse de passage dans le réacteur REAC comprise entre environ 4 et 1l mètres par seconde. Au sens de l'invention, il est choisi d'utiliser un laser SL pouvant fonctionner à haute 30 puissance, en mode continu ou en mode pulsé avec alors des durées d'impulsion beaucoup plus longues que celles préconisées dans l'état de l'art (avec un pourcentage 9 de durée d'impulsion efficace par période de tir laser supérieur ou de l'ordre de 40%). Il peut s'agir par exemple d'une source laser CO2 pouvant délivrer jusqu'à 5 kW en mode continu. On a représenté schématiquement sur la figure 3 l'allure des impulsions efficaces des tirs lasers. Ces tirs sont périodiques. La durée totale d'un tir (ou période de tir ) est référencée tT tandis que la durée des impulsions efficaces est référencée tp. La puissance laser de consigne PLAS est atteinte en chaque maximum P d'impulsion efficace. La source laser SL du dispositif de pyrolyse au sens de l'invention est alors réglable à la fois en puissance de consigne, en période de tir (ou, de façon équivalente, en fréquence de tirs laser) et en pourcentage de durée d'impulsion efficace tp par I o période de tir tT. On prévoit en outre des moyens de focalisation FOC du faisceau émis par la source laser SL pour focaliser le faisceau laser LAS incident sur le réacteur REAC de manière à ce que l'impact du faisceau LAS ainsi focalisé sur la zone de réaction de pyrolyse forme une tache de 2 millimètres environ, ce qui correspond à un temps de réaction compris entre environ 0,18 et 0,5 milliseconde (pour une vitesse de 15 passage dans le réacteur comprise entre 4 et 11 mètres par seconde). Il est possible d'améliorer encore le procédé de synthèse en traitant les particules obtenues immédiatement en sortie de la flamme de pyrolyse par un effet de trempe. Pour ce faire, on réalise une injection d'un gaz froid TRE après la zone d'interaction 20 précurseur/laser, de manière à bloquer la croissance des particules. Ainsi, en visant une même taille de particule, il est possible d'augmenter la cadence de production en mettant en oeuvre cette trempe à froid. Ce système de trempe TRE est de géométrie annulaire, similaire aux systèmes de trempe qui peuvent être utilisés sur les torches à plasma mais, à la connaissance des inventeurs, un tel système n'a encore jamais été 25 utilisé dans un dispositif de pyrolyse laser. Les nanoparticules obtenues nP sont finalement recueillies sur un filtre FILT. Elles présentent généralement des tailles assez homogènes. Selon les conditions expérimentales, la taille peut être comprise entre environ 4 et 10 nanomètres. Les 30 particules obtenues deviennent photoluminescentes après oxydation naturelle dans 10 l'atmosphère (typiquement après quelques mois, voire moins pour des particules de petite taille). Plages de valeurs et influence des paramètres expérimentaux Il convient de préciser déjà que la cadence de production et la taille des particules obtenues varient dans le même sens et de façon quasi-indissociée. En d'autres termes, si l'on cherche à augmenter la cadence de production, on obtient nécessairement des particules dont la taille peut dépasser les 10 nanomètres, ce qui nécessite ensuite un traitement chimique ou thermique pour rendre les particules photoluminescentes. Ainsi, avec la synthèse par laser en émission continue mais à faible puissance, au sens de l'art antérieur, les particules obtenues sont de grande taille et une étape supplémentaire de traitement chimique est nécessaire pour obtenir la photoluminescence. Avec un laser pulsé, les quantités produites sont, en revanche, extrêmement faibles. Plus précisément, avec un laser continu, le temps de réaction est uniquement fonction de la vitesse de passage des réactifs (donc de leur débit) et de la taille de la tache laser. Le temps d'interaction gaz/laser peut être typiquement de l'ordre de 0,1 à 1 milliseconde dans l'art antérieur, notamment dans le document cité ci-avant : "Laser-grown silicon nanoparticles and photoluminescence properties", N. Herlin-Boime, K. Jursikova, E. Trave, E. Borsella, O. Guillois, J. Vicens, C. Reynaud, Proceedings MRS spring meeting, symposium M, San-Francisco, USA (2004). Avec un laser pulsé, le temps de réaction est aussi fonction de la durée d'une impulsion laser efficace (comme le montre la figure 4 décrite ci-après) et le fait de contrôler, au sens de l'invention, ce paramètre permet aussi de mieux contrôler la taille des particules obtenues, tout en les produisant en quantité pondérable. 11 On a représenté sur la figure 4 une variation de la taille des particules obtenues en fonction de la durée des impulsions efficaces émises, les autres paramètres tels que le pourcentage de durée d'impulsion efficace par période de tir, la puissance laser, la dilution, la pression, etc., étant constants par ailleurs. Les mesures de taille sont faites in situ par spectrométrie de masse à temps de vol sur des nanoparticules extraites de la flamme par un pompage différentiel et un jet supersonique. Il apparait que, déjà pour une durée d'impulsion efficace de 30 microsecondes seulement, des nanoparticules se créent. Il convient de noter qu'en-dessous de cette l o durée, il pourrait ne pas se créer du tout de flamme de pyrolyse. Dans la gamme exposée, on observe surtout que la taille des nanoparticules et donc la cadence de production augmentent bien en fonction de la durée d'impulsion efficace, ce qui confirme l'importance de la durée d'impulsion effective. 15 Une gamme de durées d'impulsion effective qui a fourni de bon résultat va d'environ 30 microsecondes à environ 260 microsecondes. Un fonctionnement du laser en continu a fourni aussi de bons résultats mais à puissance plus faible. D'ailleurs, intuitivement, le temps d'interaction (à travers la durée des impulsions), 20 ainsi que la température de réaction (à travers la puissance ou l'énergie du faisceau laser par unité de surface), sont plutôt des paramètres de nature à favoriser la croissance des cristaux. Pourtant, la taille des cristaux obtenus reste inférieure à une dizaine de nanomètres et c'est, en revanche, la cadence de production des nanoparticules qui est fortement accrue, pouvant atteindre des valeurs record dépassant 25 les 700 milligrammes par heure. De tels résultats ont été obtenus en contrôlant en particulier le pourcentage de durée d'impulsion effective par période de tir. Néanmoins, des paramètres expérimentaux autres que la puissance laser ou la durée d'impulsion efficace ont aussi une influence, notamment la dilution du précurseur et 30 dans une moindre mesure la pression du mélange et la vitesse de passage dans le réacteur. Il a été déterminé plusieurs jeux de paramètres permettant d'obtenir des 5 12 quantités significatives de nanoparticules tout en restant dans la gamme de taille inférieure à 10 nm., Le tableau ci-après montre l'exemple de la synthèse de quatre lots différents ayant produit des nanoparticules avec des productions de 80 à 740 mg/heure pour des tailles allant de 4 à 9 nm. Poudre/ n %impulsion Période de tir Puissance SiH4 He Temps de Production Taille efficace ( s) (W) (sccm) (sccm) séjour (ms) (g/h) (nm) A 43,75 160,00 800,00 50,00 1062,50 0,34 0,08 4,00 B 50,00 60,00 930,00 50,00 1062,50 0,34 0,08 5,00 C 62,50 160,00 1230,00 50,00 1250,00 0,29 0,27 7, 61 D 75,00 160,00 1500,00 50,00 687,50 0,51 0,74 9,58 La figure 5 montre les spectres de photoluminescence enregistrés sous laser ultraviolet sur une poudre obtenue par la mise en oeuvre du procédé. Le maximum (pic de photoluminescence) se déplace entre 740 et 800 nm, ce qui correspond à des tailles 10 allant de 4,2 à 5,2 nm qui se déduisent d'un calcul basé sur la théorie du confinement quantique. On illustre ainsi la faible dispersion en taille des nanoparticules produites ici. Il convient de noter que la taille des particules a été mesurée en outre par microscopie électronique en transmission de haute résolution et par la méthode dite de BET (pour Brunauer, Emmet, Teller) et les valeurs des tailles de particules ont été 15 confirmées. Outre la gamme donnée ci-avant de durées d'impulsion efficace allant de 30 à 260 microsecondes, la gamme de puissance laser avantageuse va de 500 watts environ à 2000 watts 20 environ, - le pourcentage en durée d'impulsion efficace par tir laser est avantageusement dans une gamme de 40 à 100%, la dilution du précurseur dans le fluide de transport est préférentiellement dans une gamme de 1/30 à 1/Io, 13 la pression du mélange dans le réacteur est préférentiellement dans une gamme de 150 à 300 torr, et la durée de séjour dans le réacteur est préférentiellement dans une gamme de 0,18 milliseconde (soit une vitesse de passage de 1l m/s dans le réacteur pour une tache d'impact laser de 2 millimètres) à 0,5 milliseconde (pour une vitesse de passage de 4 m/s). Pour toutes ces plages de valeurs, des valeurs proches des limites basses (30 s, 500 W, 40 %, 1/30, 150 torr, 0,18 ms) favorisent une faible taille des particules. En revanche, des valeurs proches des limites hautes (260 s, 2000 W, 100 %, 1/10, 300 torr, 0,5 ms) favorisent la croissance des particules et plus particulièrement contribuent à augmenter la cadence de production. Cependant, il convient d'indiquer que si le choix des paramètres est fait uniquement ou principalement près des limites basses, il ne se crée simplement pas de flamme de réaction et donc aucune particule n'est produite. A l'inverse, si le choix de tous les paramètres s'effectue près des limites hautes, des nanoparticules de taille bien supérieure à 10 nm sont produites. Ainsi, l'obtention de nanoparticules de taille inférieure à 10 nm est le résultat d'un compromis entre les différents paramètres de synthèse. Typiquement, une même taille de particule peut être obtenue avec plusieurs jeux de paramètres expérimentaux différents. Les critères permettant d'obtenir des nanoparticules de taille inférieure à 10 nm et en quantité pondérable sont néanmoins précisés ci-après. En choisissant une dilution inférieure à 1/20 (donc dans la gamme 1/30-1/20) et une puissance laser relativement faible (500-700 W), le pourcentage de durée d'impulsion efficace est préférentiellement de 100% (fonctionnement du laser en mode continu) et préférentiellement la pression dans le réacteur est relativement élevée (250-300 torr). En choisissant une dilution inférieure à 1/20 mais une puissance laser moyenne (de l'ordre de 800 à 1000 W), le pourcentage de durée d'impulsion efficace est préférentiellement de l'ordre de 40 à 55% et la pression plutôt de l'ordre de 14 150-250 torr. Ainsi pour obtenir des particules d'un diamètre d'environ 5 nm (rouge) avec une production horaire d'une centaine de milligrammes par heure il est possible de fixer la durée d'impulsion à 40-45%, la pression à 150 ton et la puissance du laser à 800-900 W. En choisissant une dilution inférieure à 1/20 et une puissance laser élevée (supérieure à 1000 W), le pourcentage de durée d'impulsion efficace est préférentiellement de l'ordre de 60-75%, la puissance et la durée d'impulsion efficace étant donc augmentées. On diminue aussi la pression dans le réacteur dans la gamme de 150 à 200 ton. Ainsi pour obtenir des particules d'un diamètre d'environ 5 nm (rouge) avec une production horaire de 150 mg/h il est possible de fixer la durée d'impulsion à 65%, la pression à 150 torr et la puissance du laser à 1500 W. En choisissant une dilution égale ou supérieure à 1/20 (plus proche de 1/10), le pourcentage de durée d'impulsion efficace est préférentiellement de l'ordre de 75% mais avec une puissance laser élevée (jusque de l'ordre de 1500 W), en restant dans une gamme de pression faible (150-200 torr). Pour illustrer toutefois l'influence certaine du pourcentage en duréed'impulsion efficace sur la production, on a représenté sur la figure 6 une variation de la production en fonction de ce pourcentage, à autres paramètres expérimentaux sensiblement constants (ou au moins dans de mêmes plages de valeurs). Il apparaît nettement la tendance générale de croissance de la production horaire (ici jusqu'à environ 200 milligrammes par heure) en fonction du pourcentage de durée d'impulsion efficace. La présente invention vise aussi une installation de pyrolyse laser pour la synthèse de nanoparticules de silicium selon le procédé au sens de l'invention et comportant notamment : une source laser réglable au moins en puissance et en durée d'impulsion 30 efficace, 15 système régulateur de débit massique comportant un jeu de vannes et de manomètre pour contrôler la dilution de précurseur dans le fluide de transport et/ou la pression dans le réacteur et/ou la vitesse de passage dans le réacteur (à travers le débit de fluide de transport), des moyens de focalisation FOC du rayonnement laser pour produire une zone d'interaction (tache de focalisation) dans le réacteur REAC d'environ 2 millimètres de diamètre, un système de trempe par injection de gaz à froid juste en aval de la zone de pyrolyse. 20 Revendications 1. Procédé de synthèse par pyrolyse laser de nanoparticules comportant du silicium, comportant les étapes : acheminer, par un fluide de transport, un précurseur comportant l'élément silicium, vers un réacteur de pyrolyse, appliquer, dans le réacteur, un rayonnement laser à un mélange que forment le fluide de transport et le précurseur, et - récupérer en sortie du réacteur des nanoparticules comportant du silicium, caractérisé en ce qu'on contrôle le rayonnement laser au moins en puissance et en durée d'impulsion effective dans une période de tir laser. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que : la puissance laser est supérieure ou de l'ordre de 500 watts, et la durée d'impulsion effective est supérieure ou de l'ordre de 40% d'une période de tir laser. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la durée d'impulsion effective est comprise entre environ 40% et 100% d'une période de tir laser. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la durée d'impulsion effective est comprise entre environ 30 et environ 260 microsecondes. 5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la 25 puissance du rayonnement laser est comprise entre environ 500 watts et environ 2000 watts. 6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rayonnement laser est focalisé sur une tache d'environ deux millimètres de diamètre 30 dans le réacteur. 16 15 7. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'on contrôle en outre la dilution du précurseur dans le fluide de transport. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que, ledit précurseur comportant 5 un atome de silicium par molécule, la dilution du précurseur dans le fluide de transport est comprise entre 1/30 et 1/10. 9. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le fluide de transport, au moins, est sous forme gazeuse dans le réacteur, et en ce qu'on contrôle 10 en outre la pression du fluide de transport, au moins, pour opérer à basse pression dans le réacteur. 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que le fluide de transport est un gaz neutre. 11. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le précurseur est du silane sous forme gazeuse. 12. Procédé selon l'une des revendications 9 et 10, prises en combinaison avec la 20 revendication 11, caractérisé en ce qu'on contrôle la pression du mélange que forment le fluide de transport et le précurseur dans le réacteur pour qu'elle soit comprise entre environ 150 torr et environ 300 torr. 13. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on 25 contrôle en outre au moins le débit du flux de transport dans le réacteur pour opérer dans une gamme de vitesse de passage dans le réacteur comprise entre environ 4 à environ 11 mètres par seconde. 14. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on 30 applique une trempe des nanoparticules par un gaz froid après la pyrolyse. 15 15. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rayonnement laser est contrôlable en outre en fréquence de tirs laser. 16. Installation de synthèse par pyrolyse laser de nanoparticules comportant du silicium, dans laquelle un précurseur comportant l'élément silicium est acheminé par un fluide de transport vers un réacteur de pyrolyse pour recevoir un rayonnement laser, caractérisée en ce qu'elle comporte une source laser réglable au moins en puissance et en durée d'impulsion effective dans une période de tir laser pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications précédentes. 17. Installation selon la revendication 16, caractérisée en ce qu'elle comporte un jeu de vannes pour contrôler la dilution de précurseur dans le fluide de transport et/ou pour contrôler la vitesse de passage dans le réacteur, pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 7, 8 et 13. 18. Installation selon l'une des revendications 16 et 17, caractérisée en ce qu'elle comporte au moins un manomètre de contrôle de la pression dans le réacteur, pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 9 et 12. 20 19. Installation selon l'une des revendications 16 à 18, caractérisée en ce qu'elle comporte des moyens de focalisation du rayonnement laser sur le réacteur pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 6. 20. Installation selon l'une des revendications 16 à 19, caractérisée en ce qu'elle 25 comporte en outre un système de trempe par injection de gaz à froid après la pyrolyse, pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 14.