FR 2917837 A1 20081226 FR 0704446 A 20070621 Procédé de détection d'électrodes défectueuses dans une matrice de micro-électrodes Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un procédé de détection d'électrodes défectueuses dans une matrice d'électrodes comportant une mesure d'impédance de 10 chaque électrode. État de la technique 15 Actuellement, le processus de fabrication des électrodes d'une matrice de micro-électrodes ne permet pas d'obtenir des électrodes parfaitement contrôlées, que ce soit sur le plan de leur géométrie ou en ce qui concerne leur surface. De plus, au fur et à mesure des utilisations, les électrodes se dégradent, notamment avec la formation d'un oxyde de surface et la 20 passivation. De même, des résidus organiques, difficilement retirables par nettoyage, peuvent se former. Il en résulte un contact de plus en plus difficile entre l'électrode et l'électrolyte associé. Ces dégradations influencent les résultats obtenus avec les électrodes. Cela signifie donc que durant leur vie, les électrodes présentent un comportement qui évolue et va en se 25 dégradant. Afin de tester si une électrode est viable, notamment pour la réalisation d'une stimulation neuronale, deux méthodes sont actuellement utilisées. La première méthode consiste à mesurer le module, en Ohm, de l'impédance 30 de l'électrode à 1 KHz lorsqu'elle est mise en présence d'une solution de chlorure de sodium (NaCI) à une concentration de 0,1 mole par litre, ce qui5 permet de connaître approximativement le comportement de l'électrode aux fréquences typiques de stimulation. La fréquence typique est une information fournie par le constructeur, et peut être très différente de celle utilisée lors d'une stimulation neuronale. Avec cette méthode, une seule mesure permet de donner une idée de cette impédance. La seconde méthode utilisée est une mesure du bruit thermique. Cela consiste à mesurer l'amplitude crête à crête de la tension mesurée à vide sur l'électrode. Ces méthodes sont cependant assez simplistes et ne permettent pas de saisir le comportement fin de l'électrode quand elle se dégrade. 15 Objet de l'invention L'objet de l'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et, en particulier, de fournir un procédé d'acquisition de données plus fiables et de classification de ces données qui permet d'exclure, de façon plus fine, 20 certaines électrodes dont le comportement serait trop éloigné du comportement standard. Ce but est atteint par le fait que le procédé comporte successivement : -la mesure d'un spectre d'impédance électrochimique pour chacune des 25 électrodes, - la modélisation, au moyen d'un modèle implicite fréquentiel non entier du spectre d'impédance relatif à chaque électrode, sous forme d'une matrice de paramètres, - l'analyse en composantes principales de la matrice, qui transforme 30 ladite matrice de paramètres en une matrice finale contenant des10 variables décorrélées, représentant la matrice de paramètres dans un nouvel espace, - le calcul de la distance entre chaque électrode et un point de référence, - la comparaison des distances calculées à une distance seuil prédéterminée et la classification comme défectueuse des électrodes dont la distance est supérieure à la distance seuil. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : 15 La figure 1 représente, sous forme schématique, un mode de réalisation du procédé selon l'invention. La figure 2 représente un schéma électrique utilisé pour l'acquisition des données provenant des électrodes 20 La figure 3 représente sous forme graphique la distance de Mahalanobis tronquée, pour deux variables sélectionnées, des électrodes par rapport au centre de l'ellipsoïde (point de référence) avec la représentation de la distance seuil (en abscisse la première variable et en ordonnée la deuxième variable). 25 La figure 4, représente sous forme graphique la distance des électrodes au centre de masse de la matrice d'électrodes. 30 Description d'un mode préférentiel de l'invention Comme illustré sur la figure 1, l'invention consiste en un enchaînement d'étapes pouvant se décomposer de la manière suivante : Acquisition (F1) des données relatives à chaque électrode par acquisition de spectres d'impédance électrochimique, Représentation de ces données au moyen d'une modélisation paramétrique avec un ensemble fini de paramètres (F2), Réalisation d'une analyse en composantes principales de l'ensemble des io paramètres pour représenter les données obtenues dans un nouvel ensemble de variables décorrélées (F3), Calcul de la distance d entre chaque électrode et un point de référence (F4), Comparaison (F5) de la distance calculée à une distance seuil et 15 classification des électrodes pour déterminer les électrodes défectueuses. La figure 2 illustre un schéma électrique pouvant être utilisé pour l'acquisition d'un spectre d'impédance électrochimique pour chacune des électrodes de la matrice. 20 Une électrode 1 à caractériser est plongée dans un électrolyte 2, par exemple une solution contenant un couple oxydo-réducteur connu, de préférence du trichlorure de ruthénium héxamine Ru(NH3)6CI3 (hexamine ruthenium chloride (Ill) en anglais). Une contre-électrode 3, également 25 plongée dans l'électrolyte 2, est utilisée comme référence. La contre- électrode 3 est de préférence de type Ag/AgCl. L'électrode 1 à caractériser et la contre-électrode 3 sont connectées à un appareillage de mesure 4, par exemple un potentiostat, qui applique une 30 tension sinusoïdale u(t) de faible amplitude et de fréquence pure autour du potentiel d'oxydoréduction standard Eo du couple oxydo-réducteur utilisé. La tension sinusoïdale appliquée est de la forme u(t) = Eo + Vo cos(cot), dans laquelle Vo est une amplitude prédéterminée. L'appareillage de mesure 4 acquiert, dans le même temps, l'intensité i(t) du courant parcourant l'électrode 1 à caractériser. Cette intensité i(t) est assimilée à une sinusoïde pure de la forme i(t) = Icos(cot+ ~). On peut alors déduire, de la tension sinusoïdale u(t) et de l'intensité i(t) également sinusoïdale, une impédance associée à chaque électrode. On répète ces opérations pour chaque fréquence du spectre d'impédance et io pour chaque électrode de la matrice. Les fréquences d'échantillonnage utilisées pour réaliser le spectre d'impédance sont classiquement dans la gamme 100Hz û 10kHz. De plus, pour réaliser un spectre d'impédance, de préférence, au moins 10 fréquences sont utilisées, avantageusement 20 fréquences sont choisies. 15 Pour une électrode 1 j de la matrice d'électrodes, un spectre d'impédance de la cellule électrochimique complète est ainsi obtenu pour une pluralité de fréquences. L'identification paramétrique d'un modèle implicite fréquentiel non entier pour ledit spectre d'impédance est réalisée. Ce modèle 20 paramétrique est avantageusement obtenu avec la méthode décrite dans l'article de Chibane et Al. ( Application de modèles à dérivée non entière à la détection électrochimique sur biopuce , actes du colloque GRETSI 2005, 06-09/09/2005 Louvain La Neuve Belgique). Ce modèle rend compte du comportement fréquentiel de l'électrode associée et est représenté, par 25 exemple, sous la forme : Z(w) = Zo 1 n 1(1+ lcù`' )n où n et wp représentent l'ordre du monôme et (lw) P wP sa fréquence de coupure. Ce modèle paramétrique du spectre d'impédance de l'électrode 1 à caractériser est représenté par un vecteur A de n dimensions, avec n = 2N +2, qui représente le comportement fréquentiel de la cellule électrochimique comportant l'électrode 1 à caractériser. A titre d'exemple, la vecteur peut être 'Z 0 no (01 mis sous la forme A = nl (i)p \nP/ Ce vecteur A est noté schématiquement, pour l'électrode 1 j : A = , où \xn(eJ)j x9(e J) représente le q-ème paramètre identifié pour l'électrode 1 j, avec q = 1 à n. Une fois l'acquisition des spectres d'impédance effectuée pour toutes les électrodes, chaque cellule électrochimique est représentée alors par un vecteur A de n dimensions du type mentionné ci-dessus. Cet ensemble de vecteurs est alors regroupé en une matrice B qui représente l'ensemble des k électrodes. La matrice B se représente sous la forme : 'xl(el) x2(e1) xn(el)\ B= x1(e2) x2(e2) xn(e2) \xl(ek) x2(ek) xn(ek)J où chaque ligne représente les paramètres associés à une électrode 1 j et chaque colonne représente, pour l'ensemble des électrodes, les paramètres xq(ej), avec q =1 à n, correspondant à la même mesure fréquentielle. L'analyse en composantes principales est utilisée pour réduire le nombre de paramètres et extraire ainsi le maximum d'information. Cette analyse comporte la normalisation et la réduction de chaque paramètre xq(ei) par rapport à l'ensemble des paramètres xq. La nouvelle variable xq(e1) ainsi obtenue est caractérisée par la relation : (x9(e.)ùx9) xq(e = a(xq) où zq et Q(xq) représentent respectivement la moyenne et l'écart-type des paramètres xq sur l'ensemble des k électrodes composant la matrice d'électrodes. Ces deux opérations permettent de transformer la matrice B en une matrice X représentée sous la forme x2 (ei) xä (e,)\ X = x,(e2) xz(e2) x;,(e2) \xi(ek) x2(ek) x,,(ek)i Une matrice M de covariance est, ensuite, obtenue à partir de la matrice X 15 par la relation : M = 1 XTX où XT est la transposée de la matrice X. La nù1 matrice M est une matrice carrée et symétrique. La dimension de la matrice M est (n x n) si n Une matrice Y est ,ensuite, obtenue par la formule : Y = XV. Ainsi, la matrice Y constitue une représentation des variables de la matrice X, pour chaque électrode à caractériser, dans un nouvel espace de représentation, où les nouvelles variables sont alors décorrélées. La matrice Y est représentée par un ensemble de variables yq(e j) correspondant au q-ème paramètre de la j- ème électrode. A partir de cette matrice Y, il est possible de calculer la distance d entre l'électrode 1 j et un point de référence et de la comparer à une distance seuil io préalablement définie. La distance de Mahalanobis dm est préférentiellement utilisée. Une représentation sous forme graphique de l'ensemble des électrodes à un point de référence peut être utilisée pour faire la comparaison. Avantageusement, le point de référence peut être la représentation de la moyenne sur l'ensemble des électrodes. 15 Dans le mode de réalisation particulier, la figure 3 est une représentation sous forme graphique de la distance de Mahalanobis tronquée de chaque électrode au point de référence sur les deux variables les plus explicatives. La distance seuil ds au point de référence c a une forme ellipsoïdale dans la 20 représentation choisie et le point de référence c est caractérisé par le centre de l'ellipsoïde. La représentation sous forme graphique autorise une discrimination aisée et rapide des électrodes défectueuses, qui correspondent aux points situés à l'extérieur de l'ellipse correspondant à la distance seuil d,. La valeur du seuil peut être prédéterminée ou définie au 25 moyen de tests statistiques. Dans une variante de réalisation, une pluralité de valeurs propres, correspondant aux plus grandes valeurs propres calculées, sont sélectionnées. Ceci permet la sélection d'une pluralité de variables associées 30 pour chaque électrode, réduisant la dimensionnalité de la matrice finale et autorisant alors l'analyse séparée de chaque composante pour chaque électrode. Dans ce cas, chaque électrode à alors autant de composantes que de valeurs propres sélectionnées. En réduisant le nombre de valeurs propres, la quantité de données à traiter est également réduite. Avantageusement, le choix du nombre de valeurs propres à étudier est défini en fonction de la marge d'erreur qui est autorisée pour le résultat. Dans un cas particulier où les valeurs propres choisies et, donc, les composantes associées sont, par exemple, au nombre de trois, la distribution de valeurs des variables est considérée comme gaussienne séparable sur io chaque composante. Le point de référence utilisé pour calculer la distance à l'électrode est défini par la gaussienne sur chaque composante. Pour chaque composante, la distance de l'électrode au point de référence se traduit alors, de préférence, par le calcul de la distance de normalité à la gaussienne associée. Cette dernière distance est calculée de la manière suivante : 15 d = I yq (e')-m ql où mq et aq représentent la moyenne et l'écart-type de la variable yq(e.1) calculées sur toutes les électrodes. Cependant, il est également possible d'obtenir une distribution de valeurs considérées comme gaussienne séparable sur chaque composante dans le 20 cas où plus de 3 variables ont été sélectionnées. Pour chaque électrode 1 à caractériser, l'addition des distances calculées sur chacune de ces composantes permet l'obtention de la distance d au point de référence. Dans ce cas particulier, comme illustré sur la figure 4, la 25 représentation sous forme graphique peut se traduire simplement par la distance d de chaque électrode au point de référence en fonction du numéro de l'électrode (de 1 à n). Si la distance d d'une électrode est supérieure à la distance seuil ds l'électrode est alors considérée comme défectueuse. Qq 30 Revendications 1. Procédé de détection d'électrodes défectueuses dans une matrice 5 d'électrodes comportant une mesure d'impédance de chaque électrode, caractérisé en ce qu'il comporte successivement : - la mesure d'un spectre d'impédance électrochimique pour chacune des électrodes (1), - la modélisation, au moyen d'un modèle implicite fréquentiel non entier 10 du spectre d'impédance relatif à chaque électrode, sous forme d'une matrice de paramètres (A), - l'analyse en composantes principales de la matrice (X), qui transforme ladite matrice de paramètres en une matrice finale (Y) contenant des variables (yq(ej)) décorrélées, représentant la matrice de paramètres 15 dans un nouvel espace, - le calcul de la distance (d) entre chaque électrode et un point de référence (c), - la comparaison des distances (d) calculées à une distance seuil (ds) prédéterminée et la classification comme défectueuse des électrodes 20 dont la distance est supérieure à la distance seuil. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la distance entre deux électrodes est calculée à l'aide de la distance de Mahanolobis (dM). 25 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la mesure d'impédance est réalisée dans une solution contenant la matrice d'électrodes (1), une contre-électrode (3) et un électrolyte (2). 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'électrolyte (2) 30 est un couple oxydo-réducteur. 10 5. Procédé selon l'une des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que l'électrolyte (2) est en trichlorure de ruthénium héxamine. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que la contre-électrode (3) est de type Ag/AgCl. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, caractérisé en ce que la mesure d'impédance d'une électrode à caractériser (1) est réalisée par application d'une tension sinusoïdale (u(t)) entre ladite électrode (1) et la w contre-électrode (3), à une pluralité de fréquences. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'analyse en composantes principales comporte : la transformation de la matrice de paramètres (B) en une matrice 15 intermédiaire (M), constituée d'une pluralité de variables, la matrice intermédiaire étant carrée et diagonalisable, la détermination des valeurs propres associées à la matrice intermédiaire, le calcul de la matrice finale (Y), représentative de la matrice (B) de paramètres dans un nouvel espace défini par les valeurs propres 20 associées à la matrice intermédiaire. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'une sélection est réalisée sur quelques valeurs propres de la matrice intermédiaire (M), représentant les plus grandes valeurs propres, entraînant la sélection de 25 quelques variables au sein de la matrice finale (Y) associées aux dites valeurs propres. 10. Procédé selon les revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que la distribution des variables yq(ej) est considérée comme gaussienne et 30 séparable sur chaque composante. 5 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le point de référence c est le centre de masse de la matrice d'électrode et que la distance de l'électrode au point de référence correspond à la distance de normalité à la gaussienne associée. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que la distance d et la distance de seuil ds sont représentées sous forme graphique pour réaliser la comparaison. 10