FR 2918467 A1 20090109 FR 0704907 A 20070706 Dispositif d'imagerie multispectral à filtre de type MOEMS pour observation satellitaire L'invention se rapporte à un dispositif d'observation multispectral utilisé notamment pour l'acquisition d'images d'observation satellitaire de la terre par balayage dit Pousse-balai (Push-broom selon la terminologie anglo-saxonne) à partir de barrettes de détecteurs de type par exemple à transfert de charge (CCD) défilant en regard de la zone observée. Le principe Push-broom est illustré en figure 1 de manière schématique dans le cas d'une barrette de détecteurs 1. Cette barrette embarquée à bord du satellite réalise l'observation successive au cours du défilement du satellite de lignes LI, L2, ..., LN perpendiculaires à la direction de déplacement D. Une optique 2 à grand champ forme l'image du sol sur une ligne, de détecteurs situés dans le plan focal. Le balayage ligne est obtenu par la lecture des éléments sensibles de la ligne de détection Le balayage du paysage dans la direction perpendiculaire résulte du défilement du satellite sur son orbite. Il est par ailleurs possible d'utiliser un séparateur spectral permettant de plus de faire cette observation dans différentes fenêtres spectrales et ainsi réaliser de l'imagerie multispectrale. De manière connue lorsque l'on souhaite réaliser une image polychromatique on utilise des barrettes de détecteurs élémentaires couplées à des filtres interférentiels comme illustré en figure 2 qui représentent l'exemple de quatre filtres présentant des bandes spectrales respectivement Bo, BI, B2, B3 séparées physiquement d'une distance L Notamment il est connu d'utiliser des filtres de faible épaisseurs appelés filtres allumettes . Pour reconstituer les différentes composantes spectrales on peut utiliser classiquement un détecteur couplé à quatre filtres de très faibles épaisseurs. Ces filtres sont délicats à fabriquer car constitués d'empilements de couches minces à la surface d'un substrat. La figure 3 montre un exemple d'empilement de couches, typiquement une vingtaine de couches réparties sur les deux faces d'un'substrat peuvent être nécessaires pour constituer un filtre dans une gamme de longueurs d'onde données. Ce type de filtre présente notamment deux types d'inconvénients. Le premier est lié aux effets de bord dans une zone z; qui apparaissent dus à l'empilement de l'ensemble de ces couches d'épaisseur de l'ordre de 2J4 et qui pour un nombre important de couches fragilise les filtres. Le second inconvénient est lié à ce que les différents filtres sont réalisés de manière connexe sur un même substrat comme illustré en figure 3 qui schématise la réalisation de deux types d'empilement permettant d'assurer des fonctions de filtrage dans des bandes de longueurs d'onde B; et Bi. Les technologies d'empilement de couches nécessitent d'imposer des distances minimales de séparation entre deux filtres, de l'ordre de quelques millimètres, ce qui revient à effectuer des images de scènes au sol distantes de plusieurs kilomètres. Pour notamment résoudre ce problème de distance trop élevée, la présente invention propose un dispositif d'imagerie multispectral comportant une structure unique commandable électriquement de manière à réaliser une fonction de filtrage dans une bande de longueurs d'onde choisie, n'utilisant ainsi plus les empilements classiques de couches. L'intérêt de l'invention réside de plus dans la possibilité de faire varier en longueur d'onde et en largeur spectrale, la fonction de filtrage spectral. Plus précisément l'invention a pour objet un dispositif d'imagerie multispectral d'observation satellitaire par balayage dit Pousse-balai d'une zone observée, fonctionnant dans N bandes de longueurs d'onde, respectivement centrée sur une première longueur d'onde (X1),..., une énième longueur d'onde (~,N) comportant : une source émettant un faisceau lumineux dans un ensemble des N bandes de longueurs d'onde ; une optique grand champ ; un ensemble de N lignes de détecteurs permettant de faire 25 l'acquisition d'images de ladite zone observée; - des moyens de filtrage optique, caractérisé en ce qu'il comporte en outre : un premier élément dispersif permettant de disperser spectralement le faisceau de lumière en direction des moyens 30 de filtrage, - les moyens de filtrage optique comprenant au moins un système micro-opto-électronique (MOEMS) capable de réaliser N fonctions de filtrage pour les N bandes spectrales en largeur spectrale, accordable en longueur d'onde ; - des moyens de commande dudit système micro-opto-électronique permettant de sélectionner la fonction de filtrage. Selon une variante de l'invention, le premier élément dispersif est un réseau. Selon une variante de l'invention, le premier élément dispersif est un prisme. Selon une variante de l'invention, les moyens de commande du système micro-opto-électronique comportent des moyens pour faire varier la fonction de filtrage avec la même période que le temps d'acquisition d'une image correspondant au temps de déplacement équivalent à une ligne de détecteurs défilant en regard de la zone observée. Selon une variante de l'invention, le dispositif comporte en outre un second élément dispersif permettant de recombiner tous les faisceaux filtrés en sortie des moyens de filtrage. Selon une variante de l'invention, le second élément dispersif est un réseau. Selon une variante de l'invention, le second élément dispersif est un prisme. Selon une variante de l'invention, le premier et le second éléments 20 dispersifs sont un seul et même composant. Selon une variante de l'invention, le composant micro-optoélectronique comporte une structure de micro-miroirs suspendus par rapport à un substrat dont la distance ou l'angle avec ledit substrat peut être commandée électriquement. 25 Selon une variante de l'invention, la structure de micro-miroirs comportent des éléments unitaires présentant des longueurs de quelques dizaines de microns et des largeurs de quelques microns. Selon une variante de l'invention, les éléments unitaires sont séparés d'un pas de quelques microns. 30 Selon une variante de l'invention, les moyens de commande sont programmables depuis le sol. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non 35 limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles : la figure 1 schématise un exemple de dispositif selon l'invention ; - la figure 2 illustre un exemple de dispositif d'imagerie multispectrale selon l'art connu utilisant un filtre de type 5 allumette ; - la figure 3 illustre une vue détaillée de l'ensemble des couches nécessaires à la réalisation de filtre de type allumette ; - la figure 4 illustre un premier exemple de dispositif d'imagerie selon l'invention ; 10 - la figure 5 illustre un second exemple de dispositif d'imagerie selon l'invention dans lequel les combinaisons optiques sont mises en relief ; -la figure 6 illustre un troisième exemple de dispositif d'imagerie selon l'invention dans lequel les combinaisons 15 optiques sont mises en relief ; - la figure 7 illustre plus en détails le comportement du filtre à base de MOEMS utilisé dans le dispositif de l'invention ; - les figures 8a et 8b illustrent des vues en perspective et en coupe de composant MOEMS sans tension appliquée ; 20 les figures 9a et 9b illustrent des vues en perspective et en coupe de composant MOEMS avec tension appliquée ; - les figures 10a et 10b illustrent l'adressage des fonctions de filtrage couplées au déplacement des barrettes de détecteurs dans un dispositif de l'invention. 25 De manière générale, le dispositif de l'invention comporte des moyens de filtrage en longueur d'onde pour réaliser différents faisceaux colorés de manière à faire de l'imagerie multispectrale comportant un composant du type MOEMS (de terminologie anglo-saxonne : Micro-Opto- 30 Electro-Mechanical Systems), offrant simultanément des fonctions mécaniques, électriques et optiques. Ce type de composant judicieusement associé à un élément dispersif dans un dispositif d'imagerie multi-spectral permet de réaliser plusieurs fonctions de filtrage dans des bandes de longueurs d'onde différentes grâce à une commande électrique. L'ajustement spectral peut être ultra rapide grâce à la grande rapidité des MOEMS comme cela sera explicité ci-après. Selon un premier exemple de réalisation de l'invention, le dispositif peut comprendre un seul réseau de diffraction sur le chemin incident au niveau du composant MOEMS et du chemin réfléchi. Ainsi selon un exemple de ce type de configuration, illustrée en figure 4, le dispositif comprend une optique grand champ 01 dirigeant un faisceau F de lumière polychromatique émettant dans une large bande spectrale. Le dispositif comporte en outre un réseau diffractant R permettant de diffracter un faisceau EFR composé de faisceaux unitaires FR; en dispersant dans différentes directions au travers d'une lentille L, lesdits faisceaux unitaires comportant les longueurs d'onde appartenant à la bande spectrale. Ces différents faisceaux sont envoyés sur différentes portions du composant CMOEMS qui assure une fonction de filtrage commandable en longueur d'onde, en réfléchissant uniquement certaines longueurs d'onde dans un faisceau EFR' au travers de la lentille L en direction du même réseau R. On recombine ainsi l'ensemble des longueurs d'onde après filtrage dans un faisceau F' qui via une optique 02 est envoyé en direction de la zone à observer (non représentée). La figure 5 illustre plus en détails un second exemple de dispositif selon l'invention dans lequel deux réseaux RI et R2 sont utilisés. Plus précisément, un faisceau de lumière incident est envoyé au travers d'une fente Fe en direction d'une lentille de collimation Lao; et d'un premier réseau de diffraction Ri. Ce dernier diffracte en différentes directions un faisceau EFR sur le composant CMOEMS au travers de lentilles L, puis est à nouveau envoyé en directions, via un miroir Mr sur un second réseau de diffraction R2. Le faisceau EFR' est alors refocalisé grâce à une lentille de focalisation Lf en direction du plan focal Pf des lignes de détection. La figure 6 illustre un troisième exemple de dispositif selon l'invention dans lequel, l'élément dispersant est un prisme Pr. Selon cet exemple, le faisceau EFR est envoyé en direction du composant CMOEMS au travers d'une lentille de collimation Lao; en direction du prisme qui le disperse 6 en un faisceau EFR' envoyé sur une lentille de focalisation Lf en direction du plan focal Pf, des lignes de détection. Le schéma de la figure 7 illustre plus en détails, les faisceaux diffractés, ici quatre représentés FR0, FR1, FR2 et FR3 envoyés en direction de différents secteurs de composants commandables localement de manière à pouvoir localement réfléchir ou non une longueur d'onde déterminée. Nous allons décrire ci-après plus en détails le comportement de ce type de composant. Il s'agit de microstructure pouvant assurer une fonction de miroir vis à vis d'un faisceau de lumière multispectral comme illustré en figure 8a. La figure 8b est relative à une vue en coupe de la structure représentée en figure 8a. Sous l'effet d'un champ électrique appliqué et par force électrostatique, certains éléments unitaires Mo; peuvent être rapprochés du substrat créant par la même une structure réseau comme illustré en figure 9a et 9b. Typiquement les éléments Mo; peuvent présenter des longueurs d'environ quelques dizaines de microns pour des largeurs d'environ quelques microns. On réalise ainsi des réseaux de micro-miroirs capables de réfléchir ou non le faisceau lumineux F; et pilotables électriquement. Selon l'invention, lorsque des faisceaux FR0, FR1, FR2, FR3, respectivement centrés sur les longueurs d'onde Xo, X2, X3 avec des largeurs de bande spectrale AX0, zX1, AX2, AX3 arrivent sur un composant CMOEMS, comme illustré en figure 7, certaines longueurs d'onde peuvent être éteintes ou dispersées de manière à restituer en réflexion dans une direction donnée des faisceaux présentant des bandes spectrales partiellement filtrées par rapport aux faisceaux FR0, FR1, FR2, FR3. En réacheminant ces faisceaux partiellement filtrés en direction du réseau R, on recombine ces différents faisceaux en vertu du principe inverse de la lumière. Ainsi plus précisément on peut successivement piloter le 30 composant MOEMS de manière à ce qu'il réfléchisse par exemple successivement : les faisceaux F'R1, F'R2, F'R3 correspondant à une bande d'émission dite Bo ; les faisceaux F'Ro, F'R2, F'R3 correspondant à une bande 35 d'émission dite B1; - les faisceaux F'Ro, F'R1, F'R3 correspondant à une bande d'émission dite B2 ; les faisceaux F'Ro, F'R1, F'R2 correspondant à une bande d'émission dite B3. Le temps d'intégration par une ligne de barrettes de détecteurs étant Tin, avantageusement et selon l'invention les fonctions de filtrage sont permutées de manière concomitante également tous les Tin de manière à ce qu'un ensemble de quatre barrettes de diodes puissent intégrer l'ensemble de quatre images colorées . En effet comme illustré en figure 8a, dans un premier temps les quatre barrettes de détecteurs Do, D1, D2, D3 intègrent des images filtrées avec la bande Bo , puis lorsque le satellite a défilé d'une unité équivalente à une distance égale au pas d'une barrette de détecteur (typiquement ce pas peut être de l'ordre d'une dizaine de microns correspondant à une distance au sol de quelques dizaines de mètres à comparer aux quelques kilomètres en observation obtenus avec les filtres de l'art antérieur), les quatre barrettes intègrent des images filtrées avec la bande B1, et ainsi de suite de manière à ce qu'au bout d'un temps égal, à 4T;,, comme schématisé en figure 8b, chacune des barrettes ait intégré l'ensemble des quatre images colorées avec les quatre fonctions de filtrage. Il est ainsi possible de commander typiquement au bout d'un temps Tin de l'ordre de la microseconde, le changement de filtre nécessaire à l'acquisition d'une image couleur. L'invention ici décrite consiste (par exemple dans le cas de 4 bandes spectrales) à utiliser un détecteur matriciel avec 4 lignes de détecteurs. Néanmoins, de manière générale on peut avantageusement caler le nombre de lignes de détecteurs et le nombre de bandes spectrales en disposant N lignes pour N bandes spectrales. Ainsi, selon l'invention on fait varier la fonction spectrale (bande spectrale) de façon cyclique (BO -> BI -> B2 -> B3 -> BO ...) avec la même période que le temps d'intégration (déplacement équivalent à une ligne). Une scène peut être alors observée successivement dans les 4 bandes spectrales. Les avantages de cette solution résident dans l'absence de filtres allumettes et la possibilité d'augmenter le nombre de bande facilement. Le profil spectral peut également être facilement programmable depuis le sol. REVENDICATIONS 1. Dispositif d'imagerie multispectral d'observation satellitaire par balayage dit Pousse-balai d'une zone observée, fonctionnant dans N bandes de longueurs d'onde, respectivement centrée sur une première longueur d'onde (X1),..., une énième longueur d'onde (~,N) comportant : -une source émettant un faisceau lumineux dans un ensemble des N bandes de longueurs d'onde ; - une optique grand champ ; - un ensemble de N lignes de détecteurs permettant de faire l'acquisition d'images de ladite zone observée; - des moyens de filtrage optique, caractérisé en ce qu'il comporte en outre : - un premier élément de dispersion (R1,R) permettant de disperser le faisceau de lumière en direction des moyens de filtrage ; - les moyens de filtrage optique comprenant au moins un système micro-opto-électronique (MOEMS) capable de réaliser N fonctions de filtrage pour les N bandes spectrales, accordable en longueur d'onde ; -des moyens de commande dudit système micro-opto-20 électronique permettant de sélectionner la fonction de filtrage. 2. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier élément de dispersion est un réseau ou un prisme. 25 3. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens de commande du système micro opto-électronique comportent des moyens pour faire varier la fonction de filtrage avec la même période que le temps d'acquisition d'une 30 image correspondant au temps de déplacement équivalent à une ligne de détecteurs défilant en regard de la zone observée. 4. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon l'une des revendication 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un second élément de dispersion (R2) permettant de recombiner tous les faisceaux filtrés en sortie des moyens de filtrage. 5. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon la revendication 4, caractérisé en ce que le second élément est un réseau ou un prisme. 10 6. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon l'une des revendications 4 ou 5, caractérisé en ce que le premier et le second élément sont un seul et même composant. 7. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon l'une des 15 revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le composant micro-optoélectronique comporte une structure de micro-miroirs suspendus par rapport à un substrat dont la distance ou l'angle avec ledit substrat peut être commandée électriquement. 20 8. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon la revendication 7, caractérisé en ce que la structure de micro-miroirs comporte des éléments unitaires présentant des longueurs de quelques dizaines de microns et des largeurs de quelques microns. 25 9. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que les éléments unitaires sont séparés d'un pas de quelques microns. 10. Dispositif d'imagerie d'observation satellitaire selon l'une des 30 revendications 1 à 9, caractérisé en ce que les moyens de commande sont programmables depuis le sol.5