FR 2907351 A1 20080425 FR 0609140 A 20061018 1 Machine de traitement de récipients par plasma, comprenant des circuits de dépressurisation et de pressurisation décalés L'invention a trait au traitement des récipients, consistant à revêtir leur paroi interne d'une couche d'un matériau à effet barrière. Il est connu d'effectuer le dépôt du matériau à effet barrière par plasma activé en phase vapeur (PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). On utilise classiquement une machine équipée d'une pluralité d'unités de traitement comprenant chacune au moins un générateur d'ondes électromagnétiques, une cavité reliée au générateur et réalisée dans un matériau conducteur (généralement métallique), ainsi qu'une enceinte disposée dans la cavité et réalisée dans un matériau (généralement du quartz) transparent aux ondes électromagnétiques en provenance du générateur. Après introduction du récipient (généralement réalisé dans un matériau polymère thermoplastique tel que PET) dans l'enceinte, une dépressurisation est effectuée pour établir, d'une part, dans le récipient, un vide poussé (de quelques pbars û rappelons que 1 pbar = 106 bar) nécessaire à l'établissement du plasma et, d'autre part, dans l'enceinte à l'extérieur du récipient, un vide moyen (de l'ordre de 30 mbar à 100 mbar) pour éviter que le récipient ne se contracte sous l'effet de la différence de pression de part et d'autre de sa paroi. Un gaz précurseur (tel que de l'acétylène, C2H2) est ensuite introduit dans le récipient, ce précurseur étant activé par bombardement électromagnétique (il s'agit généralement de micro-ondes UHF à 2,45 GHz, de faible puissance) pour le faire passer à l'état de plasma froid et ainsi générer des espèces incluant du carbone hydrogéné (comprenant CH, CH2, CH3), lequel se dépose en couche mince (dont l'épaisseur est classiquement comprise entre 50 et 200 nm selon les cas û rappelons que 1 nm = 10-9 m) sur la paroi interne du récipient. Le plasma est généré pendant une durée prédéterminée (de l'ordre de quelques secondes) au cours de laquelle la dépressurisation du récipient se poursuit pour aspirer, via un conduit d'évacuation, les espèces non déposées. Puis l'alimentation en gaz précurseur, le bombardement électromagnétique et la dépressurisation sont stoppés ; 2907351 2 le récipient puis l'enceinte sont pressurisés ; enfin, le récipient est évacué. Une pressurisation incontrôlée (par exemple la simple ouverture de l'enceinte et sa mise à l'air libre) pourrait conduire à un déséquilibre 5 momentané des pressions entre l'intérieur et l'extérieur du récipient et aboutir à une contraction de ce dernier qui le destinerait au rebut. C'est pourquoi il est essentiel de contrôler la pressurisation de l'enceinte et du récipient, préalable à l'évacuation de celui-ci. Une méthode répandue consiste à équiper le conduit d'évacuation de la machine 10 d'une vanne trois voies reliant le récipient (ou l'enceinte), soit à une source de dépression, soit à l'air libre (c'est-à-dire à la pression atmosphérique). On trouvera une illustration de ce principe dans le brevet américain US 5 849 366 (The Coca-Cola Company). Si cette méthode a le double avantage de la simplicité et de la 15 compacité, elle présente toutefois deux défauts au moins. Premièrement, la pressurisation entraîne la réinjection dans le récipient de particules qui, lors du traitement, se sont déposées dans le conduit d'évacuation. Ces particules forment un dépôt dans le récipient, qu'il est alors nécessaire de dépolluer avant de procéder à son remplissage. 20 Deuxièmement, un dépôt carboné se forme jusque dans l'électrovanne, y compris dans la voie de mise à l'air libre. Ce défaut peut, avec le temps, affecter l'étanchéité de cette voie et conduire à l'apparition de fuites nuisibles à la dépressurisation du récipient. Il est donc nécessaire de procéder au nettoyage (ou au remplacement) fréquent de 25 l'électrovanne, ce qui immobilise la machine et grève par conséquent la productivité. L'invention vise notamment à s'affranchir de ces défauts, en proposant une machine permettant de limiter la pollution des récipients en fin de traitement, tout en garantissant une bonne qualité de 30 dépressurisation au cours de celui-ci. A cet effet, l'invention propose une machine de traitement de récipients par plasma, qui comprend : une enceinte propre à recevoir un récipient à traiter, un couvercle définissant une tuyère dans le prolongement de 35 l'enceinte ; un conduit de dépressurisation du récipient, qui débouche dans la 2907351 3 tuyère et relie celle-ci à une source de dépression ; une première vanne ayant une position fermée où elle obture le conduit de dépressurisation, et une position ouverte où elle met en communication la tuyère et la source de dépression ; 5 un conduit de pressurisation distinct du conduit de dépressurisation, ce conduit de pressurisation débouchant dans la tuyère au-delà du conduit de dépressurisation et reliant la tuyère à une source de pression ; et une deuxième vanne ayant une position fermée où elle obture le 10 conduit de pressurisation, et une position ouverte où elle met en communication la tuyère et la source de pression. De la sorte, le conduit de pressurisation est préservé des particules produites par le plasma, ce qui diminue la pollution engendrée dans le récipient par la pressurisation en fin de traitement, 15 et garantit une étanchéité plus durable de la deuxième soupape, au bénéfice de la qualité du vide régnant dans le récipient pendant le traitement. Suivant un mode de réalisation, la tuyère présente une portion centrale, dans laquelle débouche le conduit de dépressurisation, par 20 exemple par l'intermédiaire d'une chambre annulaire communiquant avec la tuyère par une cloison ajourée. Cette portion centrale se prolonge par une portion terminale dans laquelle débouche le conduit de pressurisation, par exemple par l'intermédiaire d'une chambre annulaire communiquant avec la portion centrale par un ou plusieurs 25 perçages. Suivant un mode de réalisation, la machine peut en outre comprendre un conduit de dépressurisation de l'enceinte, indépendant du conduit de dépressurisation du récipient et qui relie l'enceinte à une source de dépression, et un conduit de pressurisation de l'enceinte, 30 indépendant du conduit de pressurisation du récipient et qui relie l'enceinte à une source de pression. Le conduit de dépressurisation et le conduit de pressurisation de l'enceinte débouchent par exemple dans un canal commun qui s'ouvre dans l'enceinte. D'autres objets et avantages de l'invention apparaîtront à la 35 lumière de la description faite ci-après en référence aux dessins annexés dans lesquels : 2907351 4 la figure 1 est une vue schématique en coupe montrant une machine conforme à l'invention ; la figure 2 est une vue d'élévation en coupe montrant un exemple de réalisation d'une machine conforme à l'invention ; 5 la figure 3 est une vue d'un détail, à échelle agrandie, de la machine de la figure 2, suivant l'encart III ; la figure 4 est une vue de détail en coupe transversale de la machine de la figure 2, suivant le plan de coupe IV-IV ; la figure 5 est une vue de détail en coupe transversale de la 10 machine de la figure 2, suivant le plan de coupe V-V ; la figure 6 est une vue de détail en coupe d'élévation de la machine de la figure 2, suivant le plan de coupe VI-VI ; la figure 7 est un chronogramme illustrant le déroulement d'un procédé de traitement de récipients au moyen d'une machine 15 conforme à l'invention. Sur la figure 1 est représentée une machine 1 comprenant deux unités 2 de traitement appariées pour le dépôt par plasma d'une couche barrière sur la paroi interne de récipients 3 préalablement mis en forme par soufflage ou étirage soufflage à partir d'ébauches en matière 20 plastique tel que PET. Les unités 2 de traitement sont montées à la périphérie d'un carrousel tournant (non représenté) qui peut être disposé directement à la sortie d'une machine de soufflage des récipients. Chaque unité 2 de traitement comprend une cavité 4 réalisée dans 25 un matériau conducteur, par exemple en acier ou (de préférence) en aluminium ou dans un alliage d'aluminium. Dans la cavité 4 est disposée une enceinte 5 réalisée dans un matériau transparent aux ondes électromagnétiques, tel que du quartz. La machine 1 comprend également un générateur 6 de micro-ondes électromagnétique de faible 30 puissance à une fréquence de 2,45 GHz, relié par des guides 7 d'ondes à chacune des cavités 4 des unités 2 de traitement d'une même paire. Chaque cavité 4 est surmontée d'un couvercle 8 définissant, dans le prolongement de l'enceinte 5 à une extrémité supérieure de celle-ci, une tuyère 9 traversée par un injecteur 10 pour l'introduction dans le 35 récipient d'un gaz précurseur, tel que de l'acétylène. 2907351 5 Le couvercle 8 est traversé par une tige 11 munie à une extrémité inférieure d'une pince 12 de préhension des récipients 3 par leur col. A une extrémité inférieure, l'enceinte 5 est fermée de manière étanche par un obturateur 13. L'obturateur 13 et la tige 11 sont conjointement 5 montés coulissants entre une position haute, dite de fermeture (figure 1) où l'obturateur ferme l'enceinte et où la pince plaque le récipient contre le couvercle, son buvant étant au moins partiellement reçu dans la tuyère, et une position basse, dite d'ouverture, où l'obturateur 13 ouvre l'enceinte 5 et où la pince 12 se trouve au-dessous de l'extrémité 10 inférieure de l'enceinte 5, pour permettre l'évacuation d'un récipient 3 traité et le chargement du récipient suivant. Chaque unité 2 de traitement comprend par ailleurs un conduit 14 de dépressurisation du récipient 3, qui relie la tuyère 9 à une source 15 de dépression par l'intermédiaire de canalisations 16 formées pour 15 partie dans l'unité 2 de traitement, pour partie à l'extérieur de celle-ci. La source 15 de dépression, constituée en pratique par un groupe de pompage commun à l'ensemble des unités 2 de traitement, peut être disposée à l'extérieur de la machine 1. Le conduit 14 de dépressurisation du récipient 3 débouche dans la 20 tuyère 9. Plus précisément, le conduit 14 débouche dans une chambre 17 intermédiaire, formée dans l'épaisseur du couvercle 8 et qui communique avec la tuyère 9 par une cloison 18 ajourée percée de trous. L'unité 2 de traitement comprend une première électrovanne 19, 25 interposée entre la tuyère 9 et la source 15 de dépression pour permettre ou interdire la communication entre elles, selon le stade d'avancement du traitement. Cette électrovanne 19 comporte une soupape 20 qui s'étend au travers de la chambre 17 intermédiaire et est montée mobile entre une position fermée où elle est appliquée contre 30 un siège 21 de soupape formé à l'embouchure du conduit 14 de dépressurisation qu'elle obture ainsi, interdisant la communication entre la tuyère 9 et la source 15 de dépression, et une position ouverte (figure 4) où, écartée du siège 21, elle met en communication la tuyère 9 et la source 15 de dépression. 35 La tuyère 9 présente une portion 22 centrale, formée par un alésage qui s'étend depuis la jonction de la tuyère 9 avec l'enceinte 5 (c'est-à-dire, lorsqu'un récipient 3 est reçu dans celle-ci, depuis le 2907351 6 buvant 23 du récipient 3) jusqu'à la limite supérieure de la cloison 18 ajourée. Cette portion 22 centrale constitue une zone de post-décharge envahie par le plasma, lequel se trouve toutefois confiné dans la tuyère 9 par la présence de la cloison 18 qui, par un choix judicieux de son 5 épaisseur et du diamètre des trous, forme une barrière aux ondes électromagnétiques qui préserve du plasma la chambre 17 intermédiaire. La tuyère 9 présente, dans le prolongement de la portion 22 centrale, c'est-à-dire au-delà du conduit 14 de dépressurisation, une 10 portion 24 terminale qui comprend une chambre 25 annulaire reliée à l'alésage de la portion 22 centrale par un ou plusieurs perçages 26 obliques formant des chicanes (figure 3). L'unité 2 de traitement comprend en outre un conduit 27 de pressurisation du récipient 3, distinct du conduit 14 de 15 dépressurisation. Le conduit 27 de pressurisation relie la tuyère 9 à une source 28 de pression qui peut être l'air libre ou une source de gaz (tel que de l'air ou un autre gaz neutre) à une pression égale à (ou voisine de) la pression atmosphérique. Ce conduit 27 de pressurisation débouche dans la portion 24 terminale de la tuyère 9, c'est-à-dire au- 20 delà du conduit 14 de pressurisation. Plus précisément, le conduit 27 de pressurisation débouche dans la chambre 25 annulaire. L'unité 2 de traitement comprend une deuxième électrovanne 29, interposée entre la tuyère 9 et la source 28 de pression pour permettre ou interdire la communication entre elles, selon le stade d'avancement 25 du traitement. Cette électrovanne 29 comporte une soupape 30 montée mobile entre une position fermée où elle est appliquée contre un siège 31 de soupape formé à l'embouchure du conduit 27 de pressurisation qu'elle obture ainsi, interdisant la communication entre la tuyère 9 et la source 28 de pression, et une position ouverte (visible sur la figure 5) 30 où, écartée du siège 31, elle met en communication la tuyère 9 et la source 28 de pression. Grâce à cette disposition, lors du traitement du récipient 3 le plasma, aspiré au travers de la cloison 18 vers la chambre 17 intermédiaire du fait de la dépression causée par l'ouverture de la 35 électrovanne 19, n'atteint pas la portion 24 terminale de la tuyère 9. Il ne se dépose donc que peu (ou pas) d'espèces carbonées, non seulement dans cette portion 24 terminale, mais aussi sur 2907351 7 l'électrovanne 29 et le siège 31. II en résulte un double avantage. D'une part, lors de la pressurisation du récipient 3 qui suit la désactivation du plasma par coupure des micro-ondes électromagnétiques, l'air qui s'engouffre par le conduit 27 de pressurisation dans le récipient 3 via la 5 tuyère 9 charrie peu de particules, ce qui minimise ou élimine la pollution du récipient 3 en fin de traitement. D'autre part, l'étanchéité procurée par la fermeture de la deuxième électrovanne 29 est préservée, au bénéfice de la qualité du vide engendré dans le récipient 3 par la dépressurisation (tout au long de laquelle l'électrovanne 29 est 10 maintenue fermée). II est par ailleurs prévu que la pressurisation, de même que la dépressurisation, de l'intérieur du récipient 3 d'une part, et de l'enceinte 5 (à l'extérieur du récipient 3) d'autre part, soient réalisées séparément. 15 A cet effet, la machine 1 comprend, pour chaque unité 2 de traitement, un conduit 32 de dépressurisation de l'enceinte 5, séparé du conduit 14 de dépressurisation du récipient 3, et un conduit 33 de pressurisation de l'enceinte 5, séparé du conduit de pressurisation du récipient 3. 20 Le conduit 32 de dépressurisation relie l'enceinte 5, à l'extérieur du récipient 3, à une source 15 de dépression, qui peut être la même que celle à laquelle est reliée le récipient 3 via le conduit 14. L'unité 2 de traitement comprend une troisième électrovanne 34 interposée entre l'enceinte 5 et la source 15 de dépression pour 25 permettre ou interdire la communication entre elles. Cette électrovanne 34 comporte une soupape 35 montée mobile entre une position fermée où elle est appliquée contre un siège 36 de soupape formé à l'embouchure du conduit 32 de dépressurisation qu'elle obture ainsi, interdisant la communication entre l'enceinte 5 et la source 15 de 30 dépression, et une position ouverte (visible sur la figure 6) où, écartée du siège 36, elle met en communication l'enceinte 5 et la source 15 de dépression. Le conduit 33 de pressurisation relie quant à lui l'enceinte 5, à l'extérieur du récipient 3, à une source 28 de pression qui peut être l'air 35 libre ou une source de gaz (tel que de l'air ou un autre gaz neutre) à une pression égale à (ou voisine de) la pression atmosphérique. Cette 2907351 8 source 28 de pression peut être la même que celle à laquelle est relié le récipient 3 via le conduit 27. L'unité 2 de traitement comprend une quatrième électrovanne 37 interposée entre l'enceinte 5 et la source 28 de pression pour permettre 5 ou interdire la communication entre elles. Cette électrovanne 37 comporte une soupape 38 montée mobile entre une position fermée où elle est appliquée contre un siège 39 de soupape formé à l'embouchure du conduit 33 de pressurisation qu'elle obture ainsi, interdisant la communication entre l'enceinte 5 et la source 28 de pression, et une 10 position ouverte (visible sur la figure 6) où, écartée du siège 39, elle met en communication l'enceinte 5 et la source 28 de pression. Comme cela est représenté sur les figures 1 et 6, le conduit 32 de dépressurisation et le conduit 33 de pressurisation de l'enceinte 5 débouchent tous deux dans un canal 40 commun qui s'ouvre dans 15 l'enceinte 5, à l'extérieur du récipient 3. L'injecteur 10 est quant à lui relié à une source 41 de gaz précurseur (tel que de l'acétylène) par un conduit 42 formé pour partie dans le couvercle 8 et dont l'obturation ou, au contraire, l'ouverture, est assurée par une cinquième électrovanne 43. 20 Suivant un mode de réalisation illustré sur la figure 1, le conduit 32 de dépressurisation et le conduit 33 de pressurisation de l'enceinte 5, ainsi que la troisième électrovanne 34 et la quatrième électrovanne 37, sont communs aux unités 2 de traitement d'une même paire, au bénéfice de la compacité de la machine 1. 25 Les électrovannes 19, 29, 34, 37, 43 sont commandées par une unité de contrôle (non représentée) qui gère les automatismes de la machine au cours du traitement, dont on décrit à présent les principales étapes en référence à la figure 7, sur laquelle : la ligne intitulée Vide int. désigne l'état, ouvert (0) ou fermé (F) de 30 la première électrovanne 19 ; la ligne intitulée Vide ext. désigne l'état, ouvert (0) ou fermé (F) de la troisième électrovanne 34 ; la ligne intitulée Patm int. désigne l'état, ouvert (0) ou fermé (F) de la deuxième électrovanne 29 ; 35 la ligne intitulée Patm ext. désigne l'état, ouvert (0) ou fermé (F) de la quatrième électrovanne 37 ; 2907351 9 la ligne intitulée C2H2 désigne l'état, ouvert (0) ou fermé (F) de la cinquième électrovanne 43, permettant l'injection d'acétylène dans le récipient 3 ; et la ligne intitulée pondes désigne l'état, actif (0) ou inactif (F), 5 du générateur 6 de micro-ondes. L'obturateur 13 et la tige 11 sont initialement en position basse pour permettre le chargement d'un récipient 3. L'enceinte 5 dépourvue de récipient 3 est alors à l'air libre. Un récipient 3 est chargé, son col pris dans la pince 12. La tige 11 10 remonte, conjointement avec l'obturateur 13, vers la position haute où le récipient 3 se trouve rigidement maintenu, de manière étanche, entre la pince 12 et le couvercle 8. Cette étanchéité vise à éviter toute communication entre la tuyère 9 (et donc l'intérieur du récipient 3) et l'enceinte 5 (c'est-à-dire l'extérieur du récipient 3) pour éviter la 15 pollution carbonée de l'enceinte 5, qui serait préjudiciable à la bonne transmission par celle-ci des micro-ondes électromagnétiques. A l'instant où la tige 11 et l'obturateur 13 ont atteint leur position haute, les soupapes 30 et 38 de la deuxième électrovanne 29 et de la quatrième 37 électrovanne sont en position fermée (Cf. les lignes Patm 20 int. et Patm ext.). Cet instant sert d'origine à l'axe des temps (abscisse) du chronogramme de la figure 7. A cet instant (ou après une éventuelle temporisation), les soupapes 20, 35 de la première électrovanne 19 et de la troisième électrovanne 34 passent, sous la commande de l'unité de contrôle, en 25 position ouverte pour assurer la dépressurisation de l'intérieur du récipient 3 et de l'enceinte 5 (extérieur du récipient 3) en les mettant en communication avec la source 15 de dépression (Cf. les lignes Vide int. et Vide ext). Lorsque la pression régnant dans l'enceinte 5 (à l'extérieur du récipient 3) a atteint la valeur souhaitée (quelques dizaines de 30 mbar), la soupape 35 de la troisième électrovanne 34 passe, sous la commande de l'unité de contrôle, en position fermée afin que la pression dans l'enceinte 5 se maintienne à cette valeur (Cf. la ligne Vide ext.), tandis que la soupape 20 de la première électrovanne 19 est maintenue en position ouverte pour poursuivre la dépressurisation de 35 l'intérieur du récipient 3. 2907351 10 A cet instant, la cinquième électrovanne 43 est ouverte par l'unité de contrôle pour introduire dans le récipient 3, via l'injecteur 10, le gaz précurseur (Cf. la ligne C2H2). Après une temporisation visant à permettre au gaz précurseur 5 d'occuper tout le volume du récipient 3, le générateur 6 de micro-ondes est activé, ce qui provoque à l'intérieur du récipient la genèse d'un plasma froid dont les espèces ionisées se déposent en film mince sur la paroi interne du récipient 3, y formant ainsi une couche barrière. Pendant toute la durée du plasma, la soupape 20 de la première 10 électrovanne 19 est maintenue ouverte, de sorte à poursuivre la dépressurisation du récipient 3 et ainsi évacuer les espèces générées par le plasma qui ne se seraient pas déposées sur la paroi du récipient 3. Comme nous l'avons déjà évoqué, bien que le foyer du plasma soit situé dans le récipient 3, le plasma se propage dans la tuyère 9, et plus 15 précisément dans la portion centrale 22 (zone de post-décharge) jusqu'au droit de la cloison 18 au travers de laquelle les espèces non déposées sont aspirées, sans toutefois que le plasma n'atteigne la portion 24 terminale de la tuyère 9. Après un délai prédéterminé (de l'ordre de quelques secondes), 20 l'unité de contrôle commande simultanément : la désactivation du générateur 6 de micro-ondes électromagnétiques, engendrant la disparition du plasma ; la fermeture de la cinquième électrovanne 43, engendrant l'arrêt de l'alimentation en gaz précurseur ; 25 le passage de la soupape 20 de la première électrovanne 19 en position fermée, engendrant l'arrêt de la dépressurisation du récipient 3 ; et le passage de la soupape 30 de la deuxième électrovanne 29 en position ouverte, engendrant la pressurisation du récipient 3. 30 Après une temporisation prédéterminée (une fraction de seconde), l'unité de contrôle commande le passage de la soupape 38 de la quatrième électrovanne 37 en position ouverte, engendrant la pressurisation de l'enceinte 5 à l'extérieur du récipient 3. Le récipient 3 ainsi traité peut alors être évacué, le cycle étant 35 répété pour traitement du récipient suivant. REVENDICATIONS 1. Machine (1) de traitement de récipients (3) par plasma, qui comprend : une enceinte (5) propre à recevoir un récipient (3) à traiter, un couvercle (8) définissant une tuyère (9) dans le prolongement de l'enceinte (5) ; un conduit (14) de dépressurisation du récipient (3), qui débouche dans la tuyère (9) et relie celle-ci à une source (15) de dépression ; une première vanne (19) ayant une position fermée où elle obture le conduit (14) de dépressurisation, et une position ouverte où elle met en communication la tuyère (9) et la source (15) de dépression ; cette machine (1) étant caractérisée en ce qu'elle comprend en outre : un conduit (27) de pressurisation du récipient (3), distinct du conduit (14) de dépressurisation, ce conduit (27) de pressurisation débouchant dans la tuyère (9) au-delà du conduit (17) de dépressurisation et reliant la tuyère (9) à une source (28) de pression ; une deuxième vanne (29) ayant une position fermée où elle obture le conduit (27) de pressurisation, et une position ouverte où elle met en communication la tuyère (9) et la source (28) de pression. 2. Machine (1) selon la revendication 1, dans laquelle la tuyère (9) présente une portion (22) centrale, dans laquelle débouche le conduit (14) de dépressurisation, cette portion (22) centrale se prolongeant par une portion (24) terminale dans laquelle débouche le conduit (27) de pressurisation. 3. Machine (1) selon la revendication 2, dans laquelle la portion (24) terminale de la tuyère (9) comprend une chambre (25) annulaire dans laquelle débouche le conduit (27) de pressurisation. 4. Machine (1) selon la revendication 3, dans laquelle la chambre (25) annulaire communique avec la portion (22) centrale de la tuyère (9) par un ou plusieurs perçages (26). 5. Machine (1) selon l'une des revendications 1 à 4, dans laquelle le conduit (14) de dépressurisation débouche dans une 2907351 12 chambre (17) intermédiaire qui communique avec la tuyère (9) par l'intermédiaire d'une cloison (18) ajourée. 6. Machine (1) selon l'une des revendications précédentes, qui comprend en outre un conduit (32) de dépressurisation de l'enceinte 5 (5), indépendant du conduit (14) de dépressurisation du récipient (3) et qui relie l'enceinte (5) à une source (15) de dépression. 7. Machine (1) selon l'une des revendications précédentes, qui comprend en outre un conduit (33) de pressurisation de l'enceinte (5), indépendant du conduit (27) de pressurisation du récipient (3) et qui 10 relie l'enceinte (5) à une source (28) de pression. 8. Machine (1) selon les revendications 6 et 7, dans laquelle le conduit (32) de dépressurisation et le conduit (33) de pressurisation de l'enceinte (5) débouchent dans un canal (40) commun qui s'ouvre dans l'enceinte (5). 15