FR 2909221 A1 20080530 FR 0655193 A 20061129 PROCEDE DE REALISATION D'UN SUBSTRAT MIXTE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention se rapporte à un procédé de réalisation d'un substrat mixte destiné à la fabrication de structures empilées spécifiques. Une telle structure empilée est obtenue par collage du substrat mixte avec un autre substrat ou une couche selon une interface de collage. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE On est souvent amené, dans le domaine des semiconducteurs, à fabriquer des structures par empilement et collage. Par exemple, deux substrats 15 peuvent être assemblés par collage moléculaire (ou wafer bonding en anglais) d'une face principale de l'un des substrats avec une face principale de l'autre substrat. Pour cela, les faces à mettre en contact doivent être soigneusement préparées pour permettre ce 20 collage moléculaire. Cette préparation peut impliquer un polissage mécano-chimique des faces à mettre en contact, un nettoyage de ces faces et leur activation afin d'obtenir un contact intime (faces de qualité miroir). 25 Cette technique de collage moléculaire procure de très bons résultats pour le collage de substrats semiconducteurs présentant des faces homogènes quant à leur composition. Cependant, l'application de cette technique à des substrats 2909221 2 présentant une face non homogène peut poser problème. De tels substrats sont appelés substrats mixtes . Ainsi, la face principale d'un substrat mixte (la face à coller) peut présenter au moins une zone de nature 5 différente du reste du substrat. Un exemple de substrat mixte est constitué par un substrat de silicium possédant des pavés d'oxyde de silicium affleurant sur la face à coller du substrat, les pavés d'oxyde alternant avec des zones de silicium. Un autre exemple 10 de substrat mixte est constitué par un substrat de silicium dont la face à coller présente une alternance de pavés fins d'oxyde et de pavés épais d'oxyde. Encore un autre exemple de substrat mixte est constitué par un substrat semiconducteur dont la face à coller présente une alternance de zones électriquement conductrices et de zones électriquement isolantes obtenues par dopage localisé et/ou inclusion de matériau plus ou moins conducteur. La préparation de surface d'un substrat mixte en vue de son collage moléculaire peut poser problème. A titre d'exemple, on va examiner le cas d'un substrat de silicium dont une face présente au moins un pavé d'oxyde de silicium affleurant. La réalisation d'un tel substrat va être décrite en relation avec les figures 1A et 1B. La figure 1A montre un substrat 1 en silicium dont l'une des faces principales a été gravée pour créer une cavité 2 (une seule cavité a été représentée, mais le substrat peut en comporter plusieurs). La face principale du substrat 1 est recouverte, en dehors de la cavité, d'un film 3 de nitrure de silicium servant de masque. Avantageusement, 2909221 3 le film 3 de nitrure de silicium a été déposé sur le substrat 1 avant la réalisation de la cavité. Il peut même avoir servi de masque pour réaliser ladite cavité. On fait alors croître, par oxydation thermique, de 5 l'oxyde de silicium jusqu'à combler la cavité. La figure 1B montre le résultat obtenu : un pavé d'oxyde de silicium 4 dans le substrat 1 en silicium. Le procédé mis en oeuvre provoque aussi la formation d'excroissances 5 en bord de cavité. Ces excroissances 10 sont dues à la croissance de l'oxyde à partir de la zone supérieure 6 de la cavité 2 et à l'expansion de l'oxyde thermique par rapport au silicium. L'oxyde remplit la cavité et s'étend au-delà du fond initial de la cavité. 15 La figure 1B montre aussi la présence d'oxyde de silicium sur le film de nitrure 3. Ceci est dû au procédé d'oxydation qui provoque la consommation partielle du nitrure de silicium au cours de la réaction. 20 Le substrat mixte illustré par la figure 1B nécessite donc une préparation de surface (par polissage ou planarisation mécano-chimique) pour pouvoir coller, par adhésion moléculaire, la face du substrat mixte sur une face d'un autre substrat. En 25 effet, pour obtenir un bon collage direct, il est nécessaire de supprimer au maximum les rugosités et les topologies présentes en surface. Un problème souvent rencontré est celui d'une efficacité différente de ces planarisations sur 30 les surfaces traitées : cette différence d'efficacité dépend par exemple de la répartition des topologies en 2909221 4 surface ou par exemple encore de la nature des différents matériaux de la surface (sélectivité d'attaque lors de la planarisation mécano-chimique). On remarque alors que certaines zones sont 5 polies en excès par rapport à d'autres zones (phénomène dit de dishing , en anglais). Ceci se traduit par de légères dépressions au niveau de la surface. On comprend bien que ces dépressions sont nuisibles à un contact intime avec une face plane d'un autre substrat 10 et qu'ils génèrent des défauts de collage. En outre, après assemblage des deux substrats, si ces dépressions apparaissent sur des zones électriquement isolantes de l'un des substrats, il peut en résulter une dégradation de l'intégrité diélectrique des zones isolantes. 15 EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention a été conçue en vue de remédier aux inconvénients de l'art antérieur cités ci-dessus. 20 L'invention a pour objet un procédé de réalisation d'un substrat mixte, c'est-à-dire un substrat comprenant au moins un caisson en matériau différent du matériau du substrat, le procédé comprenant les étapes successives suivantes : 25 - formation dans un substrat de premier matériau, et à partir de l'une de ses faces, d'une cavité, - formation du caisson au moyen d'une réaction, initiée à partir des parois de la cavité, 30 entre le premier matériau et au moins un élément 2909221 5 chimique apporté pour obtenir un deuxième matériau remplissant la cavité, - planarisation de ladite face du substrat, caractérisé en ce que : 5 - l'étape de formation de la cavité est menée de façon à laisser subsister au moins une partie de premier matériau faisant saillie à partir du fond de la cavité, - l'étape de formation du caisson est menée 10 de façon à obtenir, à partir de la partie de premier matériau faisant saillie, une excroissance de second matériau faisant saillie sur ladite face du substrat. Selon une première variante, la partie du premier matériau faisant saillie est constituée par un 15 mur ou un pilier faisant saillie à partir du fond de la cavité. Selon une deuxième variante, l'étape de formation de la cavité est menée de façon à laisser subsister plusieurs parties de premier matériau faisant 20 saillie et délimitant plusieurs alvéoles dans la cavité. L'étape de planarisation peut être réalisée par polissage mécano-chimique ou mécanique. Selon une application particulière, le 25 substrat étant en silicium, une oxydation thermique du silicium est mise en oeuvre pour former un caisson d'oxyde de silicium. Selon une autre application particulière, le substrat étant en SiGe, une oxydation thermique du 30 SiGe est mise en oeuvre pour former un caisson de SiGe oxydé. 2909221 6 Selon encore une autre application particulière, le substrat étant en silicium, une nitruration du silicium est mise en oeuvre pour former un caisson de SiN. 5 Le procédé peut encore comprendre, entre l'étape de formation de la cavité et l'étape de formation du caisson, une étape de masquage des parties du substrat ne devant pas subir ladite réaction. Après l'étape de planarisation, il peut 10 être prévu une étape de collage d'un film mince sur la face planarisée du substrat. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention sera mieux comprise et d'autres 15 avantages et particularités apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limitatif, accompagnée des dessins annexés parmi lesquels : - les figures 1A et 1B, déjà décrites, sont 20 des vues en coupe illustrant un procédé de réalisation d'un substrat mixte selon l'art antérieur, - les figures 2A à 2C sont des vues en coupe illustrant un procédé de réalisation d'un substrat mixte selon l'invention, 25 - la figure 3 est un diagramme de principe représentant la hauteur d'espaceur oxydée en fonction de la largeur d'un espaceur. 2909221 7 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS A titre d'exemple, dans ce qui suit le substrat initial sera en silicium et le caisson sera en oxyde de silicium. La réaction utilisée pour obtenir le 5 caisson sera une oxydation thermique du silicium formant le substrat initial, cette oxydation étant initiée au niveau de la cavité formée dans le substrat initial. Les figues 2A à 2C illustrent un procédé de 10 réalisation d'un substrat mixte selon l'invention. La figure 2A représente un substrat 10 en silicium sur lequel on a avantageusement déposé une couche de nitrure de silicium 13 sur l'une de ses faces principales. En variante, cette couche pourrait être 15 déposée après la réalisation de la cavité. A partir de cette même face principale, on a formé, par gravure, une cavité 11, la couche 13 pouvant avantageusement servir de masque de gravure pour la réalisation de cette cavité. La gravure a été réalisée de façon à 20 laisser subsister dans la cavité 11 des parties 12 faisant saillie du fond de la cavité. Les parties 12 sont par exemple des piliers ou des murs. Leur nombre, leur espacement et leur taille sont prévus, en fonction de la dimension de la cavité pour empêcher ou limiter 25 le phénomène de dishing résultant d'une planarisation mécano-chimique ultérieure. Les caractéristiques des parties 12 (nombre, espacement, taille) peuvent être évaluées au cours de tests. On cherchera avantageusement à ce que, 30 après oxydation thermique, les piliers de silicium soient complètement oxydés au niveau de la cavité 11. 2909221 8 La largeur de ces piliers sera notamment corrélée à l'épaisseur d'oxyde que l'on souhaite générer. Plus cette épaisseur sera grande, plus les piliers pourront être larges. 5 Le film 13 de nitrure de silicium ne recouvre pas la cavité 11 et les parties 12 qui appartiennent à la cavité. Cependant, il est présent sur les sommets des parties 12. On procède alors à l'oxydation thermique du 10 silicium de la cavité, c'est-à-dire à l'oxydation du fond, des parois de la cavité et des parois des parties 12 de la cavité. L'oxydation est avantageusement menée jusqu'à obtenir la structure représentée à la figure 2B et qui montre un caisson d'oxyde de silicium 14 formé à 15 partir de la cavité et hérissé d'excroissances 15 également en oxyde de silicium. L'oxydation a été avantageusement menée de façon à transformer totalement les parties 12 (voir la figure 2A) en oxyde de silicium. Cependant, il pourrait selon l'application, 20 subsister un peu des parties 12 en silicium. Sur la figure 2B, on remarque que la couche de nitrure a été intégralement consommée pendant l'oxydation. En variante, il pourrait subsister une partie de cette couche de nitrure, surmontée d'oxyde de 25 silicium. L'étape suivante consiste à planariser la face principale du substrat, par exemple par polissage mécano-chimique. Le polissage permet d'éliminer les excroissances 15 et de planariser la face principale du 30 substrat 10. Le caisson 14 présente une face plane avec un dishing minimisé, compatible en terme de 2909221 9 planéité avec le collage d'un film mince par exemple en silicium. Exemple d'application 1 A la surface d'un substrat de silicium, une 5 cavité est gravée. Cette cavité (référencée 11 sur la figure 2A) est constituée d'un ensemble de sous-cavités ou alvéoles séparées par des parties ou parois ou murs (référencés 12 sur la figure 2A) s'élevant du fond de la cavité. La cavité a une profondeur de 1,5 }gym. Les 10 alvéoles ont une largeur de 100 }gym. Les parois ou murs de séparation des alvéoles ont 2 }gym d'épaisseur. On produit 3 }gym d'oxyde de silicium au niveau de la zone gravée, par oxydation thermique à 1100 C sous vapeur d'eau. La zone du substrat située en 15 dehors du futur caisson isolant est protégée par un film de nitrure de silicium pour éviter son oxydation. On observe alors que les murs de séparation des alvéoles sont oxydés sur une hauteur dépendant de la largeur initiale de ces murs et de l'épaisseur d'oxyde 20 généré. Avantageusement, on choisira les dimensions de ces murs (et notamment l'épaisseur) de sorte que les murs soient oxydés sur toute leur hauteur initale. On observe aussi, à l'aplomb de ces parois, des excroissances de 0,8 }gym de hauteur. Au bord de la 25 cavité, les excroissances ont une hauteur comprise entre 1 }gym et 1,2 }gym. La planarisation mécano-chimique est effectuée et caractérisée en particulier à l'aplomb des futures zones isolantes. Si on compare la valeur 30 moyenne du dishing obtenu sur des zones classiques , c'est-à-dire non protégées par les 2909221 10 excroissances, et sur des zones protégées par des excroissances, on constate que le dishing est effectivement bien réduit grâce à la présence des excroissances. 5 Par exemple lors d'un procédé de planarisation d'excroissances de bord de 1,1 }gym de hauteur et pour des zones isolantes de surface voisines de 3 mm x 3 mm, on obtient un dishing supérieur à 50 nm si les zones n'ont pas d'excroissances de 10 protection alors qu'avec des excroissances le dishing est réduit à moins de 50 nm, voire à moins de 10 nm. Le substrat obtenu peut ensuite être collé au niveau de cette face, après éventuellement une préparation de surface adaptée, à un film mince de 15 silicium pour former un substrat mixte présentant des zones SOI et des zones massives. Exemple d'application 2 A la surface d'un substrat de silicium, une cavité est gravée. Cette cavité (référencée 11 sur la 20 figure 2A) est constituée d'un ensemble de sous-cavités ou alvéoles séparées par des parties ou parois ou murs (référencés 12 sur la figure 2A) s'élevant du fond de la cavité. La cavité a une profondeur de 1,5 }gym. Les alvéoles ont une largeur de 100 }gym. Les parois ou murs 25 de séparation des alvéoles ont 4 }gym d'épaisseur. On produit 3 }gym d'oxyde de silicium dans la zone gravée, par oxydation thermique à 1100 C sous vapeur d'eau. La zone du substrat située en dehors du futur caisson isolant est protégée par un film de 30 nitrure de silicium pour éviter son oxydation. On observe alors que les parois de séparation des alvéoles 2909221 11 sont totalement oxydées sur une hauteur de 0,5 }gym. On observe aussi, à l'aplomb de ces parois, des excroissances de 0,7 }gym de hauteur. Au bord de la cavité, les excroissances ont une hauteur comprise 5 entre 1 }gym et 1,2 }gym. Après polissage et préparation de surface, ce substrat peut être assemblé avec un film mince de silicium oxydé en surface pour former un substrat SOI avec des zones d'oxyde de différentes épaisseurs. 10 Exemple d'application 3 A la surface d'un substrat de silicium, une cavité est gravée. Cette cavité est constituée d'un ensemble d'alvéoles séparées par des parois ou espaceurs s'élevant du fond de la cavité. La cavité a 15 une profondeur de 1,5 }gym. Les alvéoles ont une largeur de 100 }gym. Les parois de séparation des alvéoles ont 2 }gym d'épaisseur. La zone située hors du futur caisson isolant est alors couverte d'un film d'oxyde de 20 silicium obtenu par exemple par voie thermique, par voie chimique ou par voie sèche type plasma ou UV/03 dit film piédestal. L'épaisseur de ce film est inférieure à 0,5 }gym, de préférence inférieure à 50 nm et de préférence encore inférieure à 20 nm. Ce film 25 d'oxyde est protégé par un film de nitrure de silicium destiné à former barrière à une oxydation ultérieure. On produit 3 }gym d'oxyde de silicium dans la zone gravée, par oxydation thermique à 1100 C sous vapeur d'eau. On observe alors que les parois de 30 séparation des alvéoles sont totalement oxydées sur une hauteur de 2 }gym. On observe aussi, à l'aplomb de ces 2909221 12 parois, des excroissances de 0,8 }gym de hauteur. Au bord de la cavité, les excroissances ont une hauteur comprise entre 1 }gym et 1,2 }gym. La planarisation mécano-chimique est 5 effectuée et caractérisée en particulier à l'aplomb des futures zones isolantes. Si on compare la valeur moyenne du dishing obtenu sur des zones classiques , c'est-à-dire non protégées par les excroissances, et sur des zones protégées par des 10 excroissances, on constate que le dishing est effectivement bien réduit grâce à la présence des excroissances. Il est supérieur à 50 nm au niveau des zones classiques et de l'ordre de 5 nm au niveau des zones protégées . 15 Par exemple lors d'un procédé de planarisation d'excroissances de bord de 1,1 }gym de hauteur et pour des zones isolantes de surface voisines de 3 mm x 3 mm, on obtient un dishing supérieur à 50 nm si les zones n'ont pas d'excroissances de 20 protection alors qu'avec des excroissances le dishing est réduit à moins de 5 nm. Cet exemple peut être décliné avec plusieurs épaisseurs d'oxyde, avec diverses formes de parties faisant saillie (espaceurs, murs, parois, 25 piliers), avec différentes largeurs d'espaceurs, avec des espaceurs dont la largeur varie en fonction de la hauteur (forme trapézoïdale), le sommet des parties faisant saillie pouvant être plus large que leur base (comme montré sur la figure 2A) ou au contraire moins 30 large. 2909221 13 La largeur des espaceurs sera d'autant plus petite que le temps d'oxydation, et donc l'épaisseur d'oxyde du futur caisson isolant, est faible. La largeur des espaceurs sera d'autant plus 5 petite que la hauteur oxydée des espaceurs est grande. Le diagramme de principe de la figure 3 illustre cet aspect. Sur ce diagramme, l'axe des ordonnées représente la hauteur h oxydée dans les espaceurs et l'axe des abscisses représente la largeur 1 des 10 espaceurs. L'invention s'applique également à l'oxydation thermique de SiXGey ou à la nitruration de silicium, mais pour des cavités de plus faible profondeur car la nitruration consomme beaucoup moins 15 de silicium que l'oxydation. REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisation d'un substrat mixte, c'est-à-dire un substrat comprenant au moins un caisson en matériau différent du matériau du substrat, le procédé comprenant les étapes successives suivantes . -formation dans un substrat de premier matériau (10), et à partir de l'une de ses faces, d'une cavité (11), - formation du caisson (14) au moyen d'une réaction, initiée à partir des parois de la cavité (11), entre le premier matériau et au moins un élément chimique apporté pour obtenir un deuxième matériau remplissant la cavité (11), - planarisation de ladite face du substrat, caractérisé en ce que : - l'étape de formation de la cavité (11) est menée de façon à laisser subsister au moins une partie de premier matériau (12) faisant saillie à partir du fond de la cavité, -l'étape de formation du caisson est menée de façon à obtenir, à partir de la partie de premier matériau (12) faisant saillie, une excroissance de second matériau (15) faisant saillie sur ladite face du substrat (10). 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la partie du premier matériau (12) faisant saillie est constituée par un mur ou un pilier faisant saillie à partir du fond de la cavité. 2909221 15 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de formation de la cavité est menée de façon à laisser subsister plusieurs parties de premier 5 matériau faisant saillie et délimitant plusieurs alvéoles dans la cavité. 4. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de planarisation est réalisée par 10 polissage mécano-chimique ou mécanique. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel, le substrat (10) étant en silicium, une oxydation thermique du silicium 15 est mise en oeuvre pour former un caisson d'oxyde de silicium (14). 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel, le substrat étant en 20 SiGe, une oxydation thermique du SiGe est mise en oeuvre pour former un caisson de SiGe oxydé. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel, le substrat étant en 25 silicium, une nitruration du silicium est mise en oeuvre pour former un caisson de SiN. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant, entre l'étape de 30 formation de la cavité et l'étape de formation du 2909221 16 caisson, une étape de masquage des parties du substrat ne devant pas subir ladite réaction. 9. Procédé selon l'une quelconque des 5 revendications 1 à 8, dans lequel, après l'étape de planarisation, il est prévu une étape de collage d'un film mince sur la face planarisé du sustrat.