FR 2908329 A1 20080516 FR 0609905 A 20061114 -1- Description La présente invention concerne un distributeur de fluide piézoélectrique permettant de diffuser de manière précise des fluides sous forme de micro gouttelettes ou d'aérosols. La distribution de fluides ou de liquides quelle que soit leur nature (huileuse, aqueuse ou alcoolique), que ce soient des solutions ou des suspensions (particules en suspension dans un liquide), s'effectue dans un grand nombre d'applications par micronisation, atomisation, nébulisation ou génération d'aérosols. Les principales applications utilisant ces dispositifs de distribution de fluides sont la délivrance de médicaments (pharmacie), la diffusion de produits cosmétiques (en particulier les parfums), la désinfection, la génération d'odeur, l'humidification de l'air ou de supports (papier, textiles...) et la distribution de réactifs biologiques. La présente invention ne se limite pas à ces applications. Cependant, pour illustrer l'intérêt de celle-ci, nous considérons l'application médicale. En effet, depuis des décennies, les nébuliseurs ont été employés pour délivrer des médicaments par inhalation. Ces dispositifs utilisent soit des pompes doseuses mécaniques, soit des nébuliseurs pneumatiques ou ultrasonores. Ces dispositifs étaient, jusqu'à présent, destinés à délivrer des médicaments pour le soin des voies respiratoires. Depuis quelques années, l'industrie pharmaceutique s'intéresse aux dispositifs de délivrance de médicaments permettant de diffuser les aérosols au plus profond des poumons afin d'atteindre les bronchioles. En particulier, de tels dispositifs permettraient d'administrer par voie respiratoire des médicaments systémiques ou des gènes. Pour ce faire, il est nécessaire de développer de nouvelles technologies pour améliorer le rendement, la précision et l'homogénéité des aérosols destinés à se déposer dans les bronchioles. Les dispositifs traditionnels sont, de manière générale, limités soit par une trop grande vitesse d'expulsion de l'aérosol, soit par une trop forte consommation, soit par une dégradation des produits médicamenteux, soit par une trop grande taille de gouttelettes, soit par le bruit. Pour satisfaire les nouvelles conditions exigées par la délivrance de médicaments par voie respiratoire, plusieurs fabricants de générateurs d'aérosols ont développé des dispositifs basés sur des grilles ou des membranes micro perforées vibrantes. Nous pourrions ainsi citer les sociétés Nektar (Aeroneb), Odem (TouchSpray), Pari (e-Flow), Pfeiffer (MicroHaler), Omron (NE-UO22), Sheffield Pharmaceutical (Premaire), Alexza (Staccato). Odem et Pari utilisent la même technologie dérivée des brevets de Technology Transfer Partnership (T1'P), Pfeiffer utilise les brevets de Microflow Engineering et Sheffield Pharmaceutical s'appuie sur des brevets de Siemens. Les premières études relatives à des nébuliseurs ultrasonores (ou atomiseur) à base de membranes micro perforées vibrantes ont été réalisées par le laboratoire de recherche de Matsushita dans les années 1980. Le principe de l'éjection de liquide en fines gouttelettes au travers d'une membrane vibrante micro perforée soumise à vibration est particulièrement développé dans les publications suivantes : Ueha S., et al. Mechanism of ultrasonic atomisation using a multi-pinhole plate. 2908329 -2- Acoust.Soc. Jpn. (E) 6,1:21 (1985). Maehara N., et al. Influence of the vibrating system of a multipinhole-plate ultrasonic nebulizer on its performance. Review of scientific instruments, 57 (11), Nov. 1986, pp.2870-2876. Maehara N., et al. A pinhole-plate ultrasonic atomszer. Ultrasonics Nov. 1984. 5 L'ensemble de ces études ont conduit Matsushita à déposer plusieurs brevets relatifs à ces dispositifs. En particulier, les brevets Matsushita US 4 533 082 (1985) et US 4 605 167 (1986) décrivent un atomiseur utilisant une membrane vibrante perforée de micro trous. La membrane comporte une partie courbe (protubérance ou dôme) en son centre permettant de faire diverger les gouttelettes générées. La membrane comporte des micro-perforations de 30 à-1 oo gm de diamètre. L'élément vibrant est une 10 céramique piézoélectrique annulaire de diamètre extérieur de 5 à 15 mm, de diamètre intérieur de 2 à 8 mm. La membrane vibrante d'une épaisseur de 30 à 120 m est collée sur la céramique annulaire. Cette céramique piézoélectrique est excitée à des fréquences comprises entre 30 et 200 kHz sur son mode de déformation radiale. Le brevet Bespack US 5 152 456 (1992) reprend le principe proposé par Matsushita. Cependant, l'élément vibrant (ou vibrateur) est constitué d'un disque annulaire en 15 aluminium de 22 mm de diamètre. La céramique piézoélectrique est fixée sur ce disque en aluminium. Le mode de fonctionnement de la céramique piézoélectrique correspond à une déformée radiale. L'ouverture centrale du disque en aluminium est de 4 mm. La membrane en Nickel comporte 1500 perforations (ou trous) de 3 m de diamètre. Le brevet Toda US 5 297 734 (1994) fait référence à un atomiseur de type lame vibrante de 20 géométrie carrée permettant des débits jusqu'à 1 Meure. L'atomiseur est constitué d'une membrane en Nickel de 50 m d'épaisseur collée sur un disque de céramique piézoélectrique de diamètre extérieur de 24 mm, de diamètre intérieur de 12 mm et d'épaisseur 6 mm. La membrane dispose de trous coniques de diamètre intérieur 1 mm et de diamètre extérieur de 20 m. Le brevet de Technology Transfer Partnership (1"IP) US 5 261 601 (1993) décrit un dispositif de 25 générations de gouttelettes (ou atomiseur) basé sur le brevet Bespack. Par contre, le brevet 11P US 5 518 179 (1996) fait référence à un atomiseur disque ou la membrane perforée est en Nickel électroformée. L'atomiseur TTP ne requiert pas de chambre de liquide derrière la membrane et l'alimentation en liquide s'effectue par capillarité (utilisation de mèche ou de matière poreuse). L'atomiseur TTP met en avant sa structure bimorphe précisant le mode de flexion de l'ensemble 30 composé de la céramique piézoélectrique et de la membrane micro perforée. La membrane est de rigidité comparable à celle de la céramique piézoélectrique annulaire. L'atomiseur de référence est constitué d'un anneau de laiton de diamètre extérieur de 20 mm et d'épaisseur 200 m. L'anneau de céramique piézoélectrique a un diamètre extérieur de 20 mm, un diamètre intérieur de 6 mm et une épaisseur de 200 m. Le brevet US 6 085 740 (2000) d'Aerogen mentionne un moyen pour atomiser 35 un liquide en fines gouttelettes en utilisant une micro-grille. La membrane, munie de micro-trous de 1 2908329 -3- à 6 m de diamètre, est mise en vibration par un bilame piézoélectrique fonctionnant à 45 kHz. Le liquide est alimenté par capillarité et la membrane est dissociable du vibrateur. Le brevet US 6 427 682 (2002) d'Aerogen décrit la réalisation d'un appareil de diffusion de médicaments utilisant une membrane vibrante. Son principe est très proche de celui de Matsushita. Il 5 est constitué d'une pièce en aluminium mise en vibration par flexion à l'aide d'une céramique piézoélectrique annulaire. La membrane vibrante munie de micro-trous est réalisée par électroformage. Une chambre, contenant le liquide est en contact avec la membrane. Par ailleurs, Omron a développé une technologie de pompe ultrasonore permettant d'atomiser un liquide au travers d'une membrane micro perforée. Cette technologie est décrite dans le brevet US 10 6 901 926 (2005). Dans la technologie Omron, la membrane micro perforée n'est pas directement mise en vibration par l'élément vibrant. Les gouttelettes sont formées par éjection du liquide à travers les trous lors de la variation de pression dynamique due à la pompe ultrasonore. L'analyse de l'état de l'art antérieur montre que les atomiseurs piézoélectriques ou ultrasonores (fréquence supérieure à 20 kHz) comprenant une membrane micro perforée soumise à vibration, 15 fonctionnent tous par flexion de la membrane micro perforée et de la céramique piézoélectrique qui lui est associée. Il s'agit de combiner de différentes manières une céramique piézoélectrique annulaire et une membrane métallique de faible épaisseur comportant un grand nombre de micro perforations. Ce type de structure bénéficie d'une faible épaisseur. Cependant, il existe un certain nombre d'inconvénients auxquels la présente invention remédie. Un premier inconvénient est que la 20 membrane micro perforée participe fortement au mode de résonance de l'atomiseur. Ceci fait que l'atomiseur est lui même fortement amorti dans sa résonance par le liquide qui est en contact avec la membrane. Le fonctionnement de l'atomiseur dépend fortement de la quantité de liquide ou de la pression exercée par le liquide derrière la membrane. Ceci se traduit par une complication dans le pilotage de la fréquence d'excitation de l'atomiseur. De plus, cet amortissement va conduire à un 25 échauffement de l'élément vibrant et de la membrane. Cet échauffement va limiter le temps de fonctionnement de l'atomiseur, augmenter la consommation électrique nécessaire au fonctionnement de celui-ci et peut conduire à une dégradation des propriétés du liquide à atomiser. Par ailleurs, dans ce type de structure, la déformation de la membrane en flexion ne permet pas d'obtenir un déplacement homogène sur l'ensemble de la surface de la membrane. Suivant l'emplacement des 30 micro-trous sur la membrane, ceux-ci n'auront pas le même débit et la génération d'aérosol peut s'avérer instable (effet de seuil). D'autre part, la sensibilité de la structure vibrante aux fixations mécaniques et aux étanchéités au liquide (amortissements parasites) rendent complexes et coûteuses les solutions technologiques pour mettre en oeuvre industriellement de telles structures en grande quantité et à faible coût. 35 2908329 4 Pour pallier ces différents inconvénients et proposer des dispositifs plus robustes, plus faciles à piloter électroniquement, plus économes en énergie, plus faciles à industrialiser en grande quantité et de 5 faible coût, la présente invention décrit un nouveau type de structure pour un dispositif d'atomisation (ou atomiseur) ultrasonore à membrane micro-perforée vibrante. Ce dispositif d'atomisation de liquide par membrane micro-perforée vibrante comporte selon une première caractéristique, un transducteur (ou convertisseur) électromécanique de préférence piézoélectrique vibrant suivant son mode longitudinal. Ce transducteur piézoélectrique comporte un 10 ou des éléments piézoélectriques notamment des céramiques piézoélectriques. Ce transducteur piézoélectrique ou sonotrode présente un vide de matière (ou cavité) de telle manière que les ondes ultrasonores longitudinales soient amplifiées en déplacement lors du changement de section du transducteur. Cet amplificateur de déplacements longitudinaux microniques est appelé trompe pour les transducteurs piézoélectriques ultrasonores de type Langevin . Dans la présente invention, 15 la trompe présente un vide (cavité ou chambre ) en son milieu pour contenir le liquide à atomiser. Sur le bout du transducteur ou le déplacement vibratoire est maximum, une membrane micro-perforée ou une grille présentant des trous de taille micronique est couplée mécaniquement et acoustiquement. La membrane micro-perforée comporte une protubérance ou un dôme qui, dans le cadre de la présente invention, a plusieurs fonctions. De manière commune à l'état de l'art 20 antérieur, la membrane micro-perforée est conçue pour retenir le liquide dans la chambre d'atomisation à l'arrière de la membrane et de contenir la pression statique de celui-ci. L'équilibre des pressions, la forme des trous et la nature du matériau utilisé pour la membrane est ainsi fait que le liquide ne suinte pas à l'extérieur de la membrane et qu'aucun phénomène de gouttage ou de perte de liquide n'apparaît. De même, la forme de la membrane comporte une protubérance (ou dôme) dont 25 le rôle est de mieux répartir le brouillard de micro-gouttelettes ou d'aérosol en faisant diverger le jet par simple effet géométrique. D'autre part, la vitesse vibratoire associée au déplacement de la membrane, permet d'éjecter les micro-gouttelettes à travers les trous. Dans le cas de la présente invention, les dimensions du dôme et de la membrane micro-perforée sont telles que le dôme joue un effet d'amplification de mouvement vibratoire tout en conservant une répartition de vitesse vibratoire 30 homogène sur la surface de la membrane. Contrairement à l'état de l'art antérieur, la membrane n'influence pas le comportement vibratoire du transducteur. Quelle que soit l'épaisseur de la membrane (par exemple de 20 à 200 m), le transducteur piézoélectrique conserve ses caractéristiques dynamiques et ses performances vibratoires. Plus spécifiquement, la fréquence de résonance et les déplacements vibratoires du transducteur ne sont pas modifiés par le couplage mécanique de la 35 membrane. Ceci procure des avantages à l'atomiseur dans la mesure où la conception du transducteur 2908329 -5- (fréquences, déplacements vibratoires, modes de déformation, coefficient de couplage et facteur de qualité mécanique) peut être effectuée sans tenir compte de la membrane (géométrie et matière). Cette propriété de la présente invention permet d'optimiser la structure du transducteur (ou 5 convertisseur) afin de favoriser soit la vitesse de sortie de l'aérosol, soit le débit, soit la fréquence de résonance, soit la consommation ou le rendement du transducteur. De cette manière, nous pouvons concevoir des dispositifs d'atomisation (ou atomiseurs) à membrane vibrante permettant la production d'aérosols à vitesse quasi nulle (application médicale) jusqu'à des vitesses d'éjection par exemple de l'ordre de 30 m/s (application cosmétique). De même, le débit d'atomisation n'est plus lié 10 directement à la surface de la céramique piézoélectrique mais à la longueur du transducteur piézoélectrique permettant d'adapter des débits de 1 Os à 300 l/s. C'est cette même longueur qui gouverne directement la fréquence de résonance de I'atomiseur. Le mode de fonctionnement de l'atomiseur n'est pas un mode de flexion mais un mode d'élongation longitudinal. Ceci permet de travailler à de hautes fréquences (50 à 200 kHz) avec des céramiques piézoélectriques de faible 15 diamètre sans pénaliser le débit de Iiquide et surtout avec de très faibles pertes. Ces pertes mécaniques qui correspondent à une énergie dissipée en chaleur dans le transducteur s'élèvent fortement en fonction de la fréquence de fonctionnement du transducteur. Dans la présente invention, celles-ci sont réduites car les rendements des structures de type transducteur longitudinal sont bien meilleurs que les structures de type bilame fonctionnant en flexion. 20 Les faibles pertes dans le transducteur conduisent à la conception d'atomiseurs dont la consommation électrique est faible. Cet avantage est considérable dans la mesure où les atomiseurs de l'état de l'art antérieur sont limités dans leur application par la durée d'atomisation et la durée de vie des piles ou des batteries d'alimentation. En effet, les applications avantageuses des atomiseurs à membrane micro-perforée vibrante concernent essentiellement des dispositifs à main fonctionnant sur piles 25 ou batteries. La structure, objet de la présente invention, est moins amortie par le liquide en arrière de la membrane. Cette propriété permet un échauffement moindre du liquide à atomiser. Dans les applications ou les atomiseurs délivrent des formulations médicamenteuses, un échauffement du liquide peut être rédhibitoire et limiter très fortement l'intérêt de tels atomiseurs. Par ailleurs, la présente invention est caractérisée par le fait que les noeuds de vibration sont 30 accessibles pour permettre aisément la fixation mécanique de l'atomiseur. Les atomiseurs de l'état de l'art antérieur fonctionnant par flexion de la céramique annulaire sont difficiles à fixer mécaniquement sans perturber et amortir fortement le mode de vibration. Dans le cas de la présente invention, l'atomiseur est fixé mécaniquement ou surmoulé dans la zone du noeud de vibration (ce noeud est unique) et permet des solutions de montage mécanique et d'étanchéité très simples et très bon marché. 2908329 -6- Une des caractéristiques de cette invention est que le liquide peut être directement mis en contact avec la face arrière de la membrane. En effet, le mode de vibration de l'atomiseur suivant un mode longitudinal est peu sensible à la présence d'un liquide et au poids de la colonne de ce liquide. Cette propriété permet à l'atomiseur de fonctionner indifféremment suivant un angle qui peut varier de 5 la verticale à l'horizontale. Le liquide peut aussi être guidé jusqu'à la membrane par capillarité en utilisant des canaux, des mèches ou des matériaux poreux adéquats. De cette manière, le réservoir de liquide peut se situer au dessus, autour ou en dessous de l'atomiseur. Suivant une première caractéristique, la structure de l'atomiseur comprend une masse arrière ou masse 10 dynamique dont le rôle est d'empêcher le transducteur de vibrer à l'arrière, deux céramiques piézoélectriques reliées par une connectique commune, un amplificateur de mouvement vibratoire comportant une cavité et une membrane micro-perforée de forme variée mais préférentiellement bombée formant une protubérance ou dôme. Suivant une première caractéristique, un mécanisme de précontrainte comme une vis permet de lier 15 mécaniquement la masse arrière, les céramiques et l'amplificateur. L'amplificateur est métallique et préférentiellement en acier inox, en titane ou en aluminium. La membrane micro-perforée est collée sur l'amplificateur vibratoire. La membrane, qui influe peu sur le comportement vibratoire de l'atomiseur, peut être réalisée en matériaux variés comme du plastique, du silicium, de la céramique mais est préférentiellement réalisée en métal. Les micro-perforations peuvent être réalisées par 20 différents moyens mais préférentiellement par électroformage ou par laser. La quantité de micro-perforations peut aller de 1 trou pour la distribution de liquide à la demande, à plusieurs milliers de trous. La taille des micro-trous ou la maille des grilles peuvent aller de 1 m jusqu'à 100 m en diamètre équivalent suivant les applications de l'atomiseur. Il a été démontré que les performances en débit et homogénéité du jet de gouttelettes de l'atomiseur étaient fortement dépendantes du mode de 25 déplacement de la membrane. Ces performances sont améliorées si la membrane se déplace en mode piston sans déformation en flexion. Dans les structures d'atomiseur résultantes de l'état de l'art antérieur, les atomiseurs fonctionnent en flexion et conduisent donc à un ou plusieurs noeuds de vibration à l'intérieur de la membrane. Dans la présente invention, la membrane ne participe pas au mode de vibration du transducteur et il est possible de dimensionner et d'optimiser la géométrie de la 30 membrane afin que celle-ci se déforme en mode piston . Pour ce faire, les modélisations et les résultats d'essais montrent que le diamètre de la protubérance (ou dôme) doit être proche du diamètre de la cavité (ou chambre). Ceci implique que la hauteur maximale du dôme doit être proche de la moitié du diamètre intérieur de la cavité. 2908329 -7- Le déplacement de la membrane en mode piston permet d'homogénéiser la vitesse vibratoire sur la surface de la membrane. Il en résulte que les micro-perforations (ou trous) éjectent des micro-gouttelettes de tailles mieux calibrées et avec un débit identique lorsqu'on les compare entre elles. 5 Selon des modes particuliers de réalisation : • Les éléments piézoélectriques peuvent être représentés par une seule céramique fixée avec une colle de rigidité suffisante sur le transducteur soumis à mouvement vibratoire. • La céramique piézoélectrique peut être un multicouche permettant une alimentation électrique de faible tension (1 à 15 VDC) comme peuvent en fournir, par exemple les sociétés Epcos, 10 Fuji, Noliac, Morgan Matroc ou Physic Instruments. • La céramique piézoélectrique est fixée sur le transducteur de telle manière qu'il n'y ait aucun contact entre celle-ci et le liquide à atomiser. Cette configuration, propre à la présente invention, permet d'isoler électriquement la céramique piézoélectrique et élimine tout problème d'étanchéité et de compatibilité (application médicale) avec le liquide. 15 • L'amplificateur de déplacement vibratoire (ou trompe ) de l'atomiseur comporte des passages, rainures ou trous de telle manière que la chambre ou le réservoir de liquide est situé autour de la trompe. • Le transducteur piézoélectrique de l'atomiseur comporte un pavillon à l'extrémité de la trompe qui vibre préférentiellement suivant un mode piston sans aucune flexion. Ce 20 pavillon a l'avantage d'amplifier le déplacement vibratoire du transducteur mais aussi de pouvoir fixer une membrane micro-perforée de plus grand diamètre. Cette configuration est destinée à augmenter le débit de l'atomiseur malgré sa petite dimension. • Le transducteur piézoélectrique, fonctionnant en mode longitudinal, fait vibrer et se déformer une membrane micro-perforée ou une grille de forme cylindrique. Pour optimiser le 25 déplacement de la membrane cylindrique qui est placée entre le transducteur et le pavillon, une protubérance peut être ajoutée afin de rigidifier la membrane de manière adéquate. • L'atomiseur comporte une trompe de forme particulière comme, par exemple, un tronc de cône permettant une amplification de mouvement vibratoire par changement de section. • La membrane micro-perforée ou grille n'est pas collée mais couplée acoustiquement au 30 transducteur par des moyens mécanique de pression. Les dessins annexés illustrent l'invention. La figure 1 représente en coupe, I'atomiseur suivant l'invention Les figures 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10 et 13 représentent en coupe, des variantes de cet atomiseur. Les figures 11 représentent les déformées des membranes suivant la structure des 2908329 -8- atomiseurs. Les figures 12 représentent des modélisations du comportement vibratoire de l'atomiseur suivant la présente invention En référence à ces dessins, l'atomiseur comporte un convertisseur ou transducteur électromécanique 5 ultrasonore (1) dans la gamme 50 kHz à 200 kHz caractérisé par deux zones : une zone de concentration de contraintes (la) et une zone d'amplification des déformations (lb), de section plus faible. En effet, l'énergie ultrasonore est conservée dans la section du transducteur, ce qui constitue un amplificateur de déplacements vibratoires. La conservation d'énergie dans la section implique une conversion des contraintes en déformations. 10 Dans la présente invention, la variation de section du corps du transducteur permet de créer une cavité dans laquelle le liquide (4) est maintenu Les éléments piézoélectriques sont constitués de deux céramiques piézoélectriques (2) connectées par une électrode centrale (7) par exemple en laiton. La masse arrière ou masse dynamique (5) permet de réduire les déformations à l'arrière des céramiques piézoélectriques. La vis de précontrainte (6) pennet de lier mécaniquement l'ensemble de 15 cet empilage. Cet ensemble constitue un transducteur piézoélectrique qui est un convertisseur électromécanique qui vibre suivant un mode longitudinal. Un mode longitudinal est défini par le fait que le transducteur se déforme suivant son axe par élongation ou contraction de sa section Le comportement vibratoire de ce type de transducteur est gouverné essentiellement par sa longueur de telle manière que le ratio 20 longueur total du transducteur sur le diamètre ou largeur de la céramique piézoélectrique est, préférentiellement, supérieur ou égal à 1. La membrane micro-perforée (3) ou une grille de faible épaisseur (20 à 200 m) est fixée mécaniquement au bout du transducteur ou sa vitesse vibratoire est maximale. La fixation de la membrane (3) est telle que celle-ci est couplée acoustiquement au transducteur (1) dans la zone (1 b). 25 Dans un premier mode de déformation et à titre d'exemple, ce transducteur se déforme et vibre suivant sa demi-longueur d'onde. La figure I montre l'évolution du déplacement des points du transducteur dans une section suivant son axe principal (longueur). La figure 2 montre ce même atomiseur muni d'une membrane liée mécaniquement et acoustiquement au transducteur via un élément de liaison (8) permettant d'assurer une forte précontrainte sur la 30 membrane. De manière générale, la membrane peut être couplée mécaniquement à la zone d'amplification par collage, par brasage, par sertissage ou par soudage. En particulier, le soudage laser peut être utilisé. La figure 3 est une variante du transducteur ou la masse arrière est éliminée pour des raisons de simplicité de construction. Le transducteur est dimensionné de telle manière que le déplacement au 35 niveau de la céramique soit le plus faible possible et le plus grand possible dans la zone 2908329 -9- d'amplification (lb). L'électrode (7) peut être constituée en fixant un clinquant de laiton par exemple ou en collant un circuit imprimé flexible sur polyimide. La figure 4 représente une variante de l'invention en utilisant une céramique multicouche. Les couches ont une épaisseur par exemple de 20 à 200 m et l'utilisation de tels multicouches permet à 5 moindre coût de réduire la tension d'alimentation électrique aux bornes de la céramique. Cette configuration est très intéressante pour les applications exigeant une alimentation sur pile ou batterie. La figure 5 présente une variante de l'invention ou la cavité (chambre) contenant le liquide (4) traverse le corps du transducteur de part en part dans sa longueur. Dans ce cas, la céramique présente un trou en son centre. Cette configuration permet d'alimenter aisément la cavité en liquide. 10 La figure 6 montre un autre type d'alimentation en liquide en pratiquant des passages, trous ou rainures pour faire communiquer la cavité remplie de liquide avec l'extérieur. Cette configuration permet de placer le réservoir de liquide autour du transducteur. Dans la forme de réalisation des figures 7 et 8, la cavité liquide est tubulaire pour des raisons de simplicité de forme. 15 Dans la configuration de la figure 7, la céramique n'est plus située à l'arrière du convertisseur mais au niveau de l'amplificateur de déplacement à l'avant de la zone de concentration de contrainte (la). La céramique est ainsi protégée par le corps du transducteur. Ceci a l'avantage de ne pas avoir la céramique en contact avec le liquide et de ne pas poser de problèmes d'étanchéité avec le réservoir. La variation de section du corps du transducteur permet 20 toujours d'amplifier le déplacement vibratoire au niveau de la membrane (3). La figure 9 montre une autre forme de réalisation ou le transducteur piézoélectrique (1) comporte un pavillon (10) sur lequel est fixé mécaniquement et acoustiquement une membrane micro-perforée (3). L'avantage de cette configuration est d'augmenter le débit de liquide atomisé par simple effet de surface tout en maintenant un niveau d'amplification de déplacement vibratoire élevé. 25 La figure 10 illustre à titre d'exemple une géométrie en forme de cône de l'amplificateur de déplacements vibratoire. Cette configuration permet d'augmenter la dimension de la membrane micro-perforée. La figure 11 explicite le fonctionnement vibratoire de la membrane micro-perforée. Dans les 30 structures résultantes de l'état antérieur (11 a, 11 b, 11 c), l'atomiseur fonctionne en flexion par couplage d'une céramique piézoélectrique annulaire avec la membrane micro-perforée (3). Lorsque lamembrane est plate (Fig. 11 a), le déplacement vibratoire maximal (Ux) se situe au centre de la membrane et décroît fortement lorsqu'on s'en éloigne. Dans ce cas, le jet est très directif. Lorsque la membrane est bombée et comporte un dôme (Fig. 1 lb et l lc), celui-ci rigidifie le mode de vibration et 35 fait diverger par simple effet géométrique le jet. Ceci est observé quel que soit le mode de vibration en 2908329 -10flexion considéré. Le mode 1 de flexion étant plus avantageux de ce point de vue. Dans le cas de la présente invention (1ld), la géométrie et la nature de la membrane n'influe pas sur le mode de vibration de l'atomiseur. En effet, la raideur en flexion de la membrane n'a aucune influence sur la déformation longitudinale du transducteur. Pour obtenir le meilleur résultat, il suffit que le diamètre du 5 dôme soit très proche de celui du transducteur afin que la membrane suive simplement les déplacements vibratoires maximum à cet endroit. Une telle configuration assure à l'atomiseur un plus grand rendement et donc une moindre consommation pour un débit d'atomisation identique. De plus, le jet est particulièrement homogène et diffus. Les figures 12a et 12b montrent les déformées simulées par calculs aux éléments finis d'un atomiseur 10 réalisé selon la présente invention et donné en exemple. Dans ce cas précis, le corps du transducteur est réalisé en acier inoxydable. La cavité intérieure a un diamètre de 6mm et la zone de concentration de contrainte à un diamètre extérieur de 16mm_ La zone d'amplification de déformation a un diamètre extérieur de 8mm. La céramique piézoélectrique est une céramique PIC 255 (Physic Instruments) de diamètre intérieur 8mm, de 15 diamètre extérieur l 6mm et d'épaisseur I mm. Les longueurs du transducteur et de la zone d'amplification sont respectivement de 16mm et de 4mm La membrane micro-perforée a été réalisée en Nickel électro-formée munie de 800 trous de 5 m de diamètre. L'épaisseur de la membrane est de 50 m et possède un diamètre extérieur de 8mm. Le dôme a une hauteur de 0,8mm pour un diamètre de 5mm. La membrane est fixée sur le transducteur 20 par collage. Les modes longitudinaux concernés ont respectivement des fréquences de résonance de 77kHz et 120kHz. Dans la forme de réalisation selon la figure 13, la membrane micro-perforée possède une géométrie cylindrique ou tubulaire. La membrane est fixée d'une part sur le corps du transducteur et, d'autre 25 part, sur le pavillon. Dans ce cas, la membrane vibre suivant un mode radial. Les atomiseurs suivant l'invention sont destinés à l'atomisation, la diffusion ou la distribution de liquides, solutions liquides, suspensions ou émulsions. A titre d'exemple, nous pourrions citer des applications dans le domaine des dispositifs de délivrance de médicaments par voie orale ou nasale. 30 Le remplacement de spray utilisant des gaz sous pression ou de pompes doseuses mécaniques. Ceci inclus, les diffuseurs d'odeur et de parfum, plus généralement des applicateurs de produits cosmétiques. Un autre exemple concerne la diffusion de brouillard de liquides variés à usage local (humidificateurs ou lubrificateurs). Les dispositifs de manipulation de liquides pour les biotechnologies ou les réactifs. 35 Revendications 1. Atomiseur de liquide par ultrasons caractérisé en ce qu'il comporte • Un transducteur piézoélectrique vibrant suivant un mode longitudinal dans la gamme 50 kHz à 200 kHz . • Un amplificateur de déplacements vibratoire créé par variation de section du corps du transducteur piézoélectrique. • Une cavité à l'intérieur du corps du transducteur piézoélectrique fermée par une membrane micro-perforée et contenant le liquide à atomiser. • Une membrane ou grille micro-perforée couplée mécaniquement et acoustiquement au transducteur piézoélectrique aux points de déplacements vibratoires maximum. 2. Atomiseur suivant la revendication 1 caractérisé en ce que l'élément piézoélectrique est une céramique piézoélectrique directement collée sur l'amplificateur de déplacement vibratoire, le transducteur ne comportant pas de masse arrière. 3. Atomiseur suivant la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que la membrane micro-perforée est fixée sur la zone d'amplification de déplacement par des moyens mécaniques de pression. 4. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que la céramique piézoélectrique 20 est un multicouche pouvant être alimenté en faible tension. 5. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que la cavité contenant le liquide traverse de part en part le convertisseur électromécanique. 25 6. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que la céramique piézoélectrique n'est plus située à l'arrière du convertisseur mais au niveau de la zone d'amplification des déplacements vibratoires. 7. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que le transducteur 30 piézoélectrique comporte un pavillon permettant de fixer une membrane micro-perforée pour augmenter le débit liquide. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la membrane micro-perforée comporte une protubérance permettant de la rigidifier, dont le diamètre est proche de 35 celui de la cavité. 5 2908329 - 12 - 9. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la membrane peut être une grille ou une membrane d'épaisseur de 20 à 200 gm disposant de trous de taille pouvant couvrir une gamme de 1 m à 100 m. 10. Atomiseur suivant les revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que celui-ci est fixé mécaniquement ou surmoulé dans la zone du noeud de vibration. 10 15 20 25