FR 2908558 A1 20080516 FR 0654858 A 20061113 1 MATERIAU D'ELECTROLYTE SILICIE POUR PILE A COMBUSTIBLE, PROCEDE POUR SA REALISATION ET PILE A COMBUSTIBLE METTANT EN OEUVRE UN TEL MATERIAU DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne un matériau destiné à constituer l'électrolyte d'une pile à combustible. Ce matériau présente une matrice comprenant du carbone (C), du fluor (F), de l'oxygène (0) et de l'hydrogène (H), et du silicium (Si). Le matériau objet de la présente invention permet d'améliorer les performances de l'électrolyte qu'il compose et, partant, de la pile à combustible qui intègre un tel électrolyte. 15 ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE L'une des applications actuellement recherchée des piles à combustibles consiste à alimenter un appareil électronique portable, tel qu'un ordinateur ou un téléphone cellulaire. Ces applications sont souvent qualifiées de nomades car l'appareil avec 20 sa pile à combustible doit être transportable. Il apparaît donc important de réduire les dimensions et la masse d'une telle pile, en conservant voire en améliorant ses performances électriques. Pour concilier la réduction de ses dimensions avec l'augmentation de ses performances électriques, on cherche actuellement à augmenter sensiblement la surface active ou réelle des composés actifs de cette pile à 25 combustible, dont celle des membranes électrolytiques. La figure 1 illustre une pile à combustible de l'art antérieur vue en section. De manière connue, une telle pile à combustible comprend un substrat en céramique 101, épais de plusieurs centaines de micromètres, sur lequel est déposée une couche en 30 céramique poreuse 102. La couche en céramique 102 est poreuse au dihydrogène (H2) gazeux amené par des canaux d'approvisionnement 105 à l'interface entre une cathode 103 planaire et l'anode 104 planaire correspondante. Ce type de piles à combustible est qualifié de pile à membrane échangeuse de protons 35 (de l'expression anglo-saxonne Proton Exchange Membrane Fuel Cell ), car il comporte une membrane formant l'électrolyte 106 réalisé en un matériau bon conducteur protonique. 2908558 2 Pour favoriser les demi-réactions d'oxydation et de réduction se produisant dans la pile, il est en effet nécessaire que cet électrolyte présente une conduction des protons (H+) élevée. 5 Comme le montre la figure 1, les électrodes 103 et 104 ainsi que l'électrolyte 106 présentent une forme sensiblement plane. Or la superficie de l'interface entre les électrodes et l'électrolyte détermine directement les quantités de réactifs mis en oeuvre, et donc la puissance électrique fournie par la pile. C'est pourquoi on cherche à augmenter la superficie de cette interface entre les électrodes et l'électrolyte 10 conducteur protonique. Cependant, compte tenu de la nécessaire limitation de l'encombrement de la pile, les reliefs ou rugosités que l'on cherche à former à l'interface entre les électrodes imposent une grande précision dans le dépôt de l'électrolyte, afm de former des dépôts conformes, c'est-à-dire suivant la topographie du support en céramique poreuse. De tels dépôts conformes permettent en effet de conserver la géométrie des reliefs développés sur le support. Cela assure ainsi la continuité électrique des électrodes et de l'électrolyte membranaire. Par ailleurs, la membrane électrolytique doit présenter une conduction protonique élevée, tout en résistant, chimiquement et mécaniquement à l'eau et aux solvants employés lors de la fabrication de la pile à combustible. Parmi les matériaux de l'art antérieur susceptibles de constituer un électrolyte, on peut citer le Nafion (par exemple décrit dans le brevet US 3 692 569), nom commercial désignant un polymère carbofluoré, c'est-à-dire une structure organique où les atomes d'hydrogène associes aux atomes de carbone ont été remplacés par des atomes de fluor. Plus précisément, le Nafion est constitué d'un polymère formé par des chaînes fluorées flexibles sur lesquelles sont implantés de façon statistique des groupements acides. Le Nafion forme une membrane sulfonée, comme cela ressort par exemple de la demande de brevet US 3 692 569. En principe, une membrane électrolytique échangeuse de protons comporte une matrice hydrophobe et des zones hydrophiles réparties de façon discrète sur cette matrice. Dans la mesure où cette matrice forme une sorte d'ossature pour la membrane, elle est parfois dénommée squelette. 2908558 3 Cette matrice ou squelette est composée de régions amorphes et de régions cristallines présentant un caractère hydrophobe. L'hydrophobicité de cette matrice lui est conféré par le squelette carbo-fluoré formant l'ossature de la membrane. Les zones hydrophiles sont quant à elles de nature acide, c'est-à-dire comportent une ou 5 plusieurs fonctions(s) acide. En général, comme le montre la figure 2A, les fonctions acide sont de type S03H. Lors du fonctionnement de la pile, compte tenu de l'hydrophobicité de la matrice, les molécules d'eau mises en contact avec la membrane électrolytique se concentrent 10 dans les zones hydrophiles à proximité des groupements acides de cet électrolyte. Ainsi, les molécules d'eau peuvent dissocier ces groupements acides, c'est à dire en détacher les protons, lesquels peuvent alors circuler librement dans l'électrolyte membranaire. Le Nafion constitue ainsi un électrolyte présentant une bonne conductivité protonique, c'est-à-dire une conductivité supérieure à 10 mS/cm. 15 Cependant, le Nafion est déposé par voie liquide, si bien qu'il s'étale entièrement sur le substrat et qu'il en recouvre tout relief ou rugosité. On aboutit ainsi à un dépôt dit non conforme , car l'électrolyte ne reproduit pas les reliefs du support sous-jacent, ce qui limite la surface active d'échange, et donc la puissance électrique de la 20 pile à combustible. En outre, le procédé de dépôt de l'électrolyte Nafion actuellement mis en oeuvre impose le dépôt d'une épaisseur minimale de Nafion de quelques dizaines de micromètres. Par conséquent, une telle épaisseur minimale est incompatible avec la 25 réalisation d'une membrane présentant une grande superficie, c'est-à-dire de nombreux reliefs. Par ailleurs, le Nafion est relativement sensible à l'eau et aux solvants mis en oeuvre au cours de la fabrication de la pile à combustible. Cette faible résistance chimique 30 nécessite des précautions particulières pour éviter que les groupements acides de ce matériau ne soient prématurément dissous lors de la fabrication de la pile, donc avant son utilisation. D'autres matériaux ont été mis en oeuvre pour réaliser un électrolyte pour pile à 35 combustible apte à conduire les protons. Ainsi, l'article intitulé New Ultra-Thin Fluorinated Cation Exchange Film Prepared by Plasma Polymerization Z. OGUMI, Y. UCHIMOTO, Z. TAKEHARA et extrait du Journal de la Société 2908558 4 d'Eléctrochimie n 137 (1990), pp.3319-3320, décrit un matériau électrolytique permettant de réaliser une membrane relativement fine d'environ 1 m d'épaisseur (p.3320). Toutefois, ce matériau électrolytique s'est avéré piètre conducteur protonique, puisqu'il présente une conductivité de 0,01 mS/cm. L'objet de la présente invention concerne donc un matériau électrolytique qui soit bon conducteur protonique, et qui ne soit pas trop sensible au procédé de fabrication de la pile. L'objet de l'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'un tel matériau dont la vitesse de dépôt ne soit pas trop limitée. EXPOSE DE L'INVENTION La présente invention se rapporte donc à un matériau électrolytique dont la conductivité protonique est élevée et typiquement supérieure à 10 mS/cm, dont la 15 vitesse de dépôt est grande, c'est-à-dire supérieure à 2 m/h, et qui résiste à l'eau et aux solvants mis en oeuvre au cours de la fabrication de la pile. De plus, le matériau électrolytique objet de la présente invention permet de réaliser des dépôts très fms conformes au relief sous-jacent. 20 Le matériau objet de l'invention est destiné à former un électrolyte de pile à combustible. Ce matériau présente une matrice hydrophobe comprenant du carbone, du fluor, de l'oxygène et de l'hydrogène. Selon l'invention, cette matrice comprend en outre du silicium. 25 Selon les règles de l'art, l'incorporation de silicium est fortement déconseillée. Ainsi, l'incorporation de silicium réduirait, d'une part l'hydrophobicité de la matrice, et augmenterait d'autre part, son taux de réticulation, limitant ainsi la capacité d'un tel électrolyte à absorber de l'eau. Ainsi, on s'attendrait plutôt à une diminution de la conductivité protonique et à une dégradation de ses résistances chimique et surtout 30 mécanique. Pourtant, de manière surprenante, un tel matériau électrolytique incorporant du silicium permet d'obtenir des membranes de piles à combustible présentant des résistances chimique et mécanique supérieures, une conductivité protonique élevée, 35 une aptitude à un dépôt fm, conforme et rapide, c'est-à-dire à cadence de production relativement élevée. 5 10 5 2908558 5 En pratique, les atomes de silicium peuvent former des ponts au sein de la matrice, ces ponts appartenant au groupe comprenant les groupements siliciumûsilicium (ûSiûSiû), siliciumûoxygèneûsilicium (ûSiûOûSiû), siliciumûoxygèneûcarbone (ûSiûOûCû), et silicium-carbone (-Si-C-). En d'autres termes, les atomes de silicium forment des liaisons dans la matrice, de manière isolée ou combiné avec des atomes d'oxygène et/ou de carbone. Selon une forme de réalisation de l'invention, cet électrolyte peut présenter un rapport 10 du pourcentage atomique en silicium sur la somme des pourcentages atomiques en carbone et en fluor compris entre 10-3 et 10-1, de préférence entre 5.10-3 et 5.10-2. Une telle proportion de silicium dans la matrice permet de constituer un matériau formant un électrolyte performant en termes de conductivité protonique, de finesse de 15 dépôt, de conformité aux reliefs, de résistances mécanique et chimique, et de cadence de production. Avantageusement, la matrice peut être fonctionnalisée par des groupements acides. 20 Un tel matériau est donc susceptible, lorsqu'il est mis en présence d'eau au cours du fonctionnement de la pile à combustible, de libérer et de conduire les protons (H+) provenant de ces groupements acides. De manière pratique, ces groupements acides peuvent être choisis parmi les 25 groupements sulfonique (ûSO20H), carboxylique (ûCOOH) et phosphonique (-PO(OH)2). De tels groupements acides peuvent être implantés sur la matrice du matériau au moyen de procédés éprouvés. De plus, de tels groupements acides sont aptes à libérer 30 leurs protons dès lors qu'ils sont mis en présence d'eau à température ambiante. En pratique, le matériau de l'invention peut présenter une structure choisie dans le groupe comprenant les verres organiques, les cristaux, les polymères, les verres et les céramiques. 35 2908558 6 En d'autres termes, la présente invention permet de réaliser des matériaux électrolytiques possédant diverses structures moléculaires. La structure moléculaire peut alors être choisie selon l'application recherchée. 5 Par ailleurs, la présente invention concerne un procédé de fabrication d'un matériau destiné à former un électrolyte pour pile à combustible, le matériau présentant une matrice comprenant du carbone, du fluor, de l'oxygène et de l'hydrogène. Selon l'invention, ce procédé comprend les étapes consistant : à introduire un précurseur gazeux composé de silicium dans une enceinte de 10 dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma ; à introduire dans l'enceinte un précurseur carbofluoré, tel que par exemple de l'octafluorobutène (C4F8) ou du C2F4 ; à introduire dans l'enceinte un gaz porteur, et par exemple de l'hélium (He) ; à introduire dans l'enceinte de la vapeur d'eau (H20) ; 15 à générer un plasma dans l'enceinte. En pratique, le précurseur gazeux mis en oeuvre est choisi dans le groupe comprenant les composés organosilicés hémaméthyldisiloxane (HMDSO), le tétraéthylortho silicate (TEOS), l' octaméthylcyclotétrasiloxane (OMCTSO), le tétraméthylsilane 20 (TMS), ainsi que le composé inorganique tétrahydrure de silicium (SiH4). Un tel précurseur silicé permet d'adjoindre des atomes de silicium dans la matrice du matériau objet de l'invention. Selon une forme de réalisation du procédé objet de l'invention : 25 le débit de précurseur gazeux peut être compris entre 1 cm3/s et 1000 cm3/s ; le débit du précurseur carbofluoré peut être compris entre 1 cm3/s et 1000 cm/s; le débit du gaz porteur peut être compris entre 1 cm3/s et 500 cm3/s ; le débit de vapeur d'eau peut être compris entre 1 cm3/s et 1000 cm3/s ; 30 l'enceinte peut être placée sous une pression comprise entre 0,1 mbar et 5 mbar le plasma peut être excité par des décharges capacitives dont la puissance est comprise entre 5 W et 500 W. 35 De telles quantités de réactifs et de tels paramètres de plasma permettent de déposer un matériau conforme à la présente invention et, en particulier comprenant une proportion de silicium caractéristique de l'invention. 2908558 7 D'autre part, l'invention concerne un pile à combustible comportant un empilement comprenant un support en céramique poreuse à l'hydrogène, un film formant collecteur anodique, totalement ou partiellement recouvert par une membrane électrolytique réalisée en un matériau tel que précédemment exposé, ainsi qu'un film 5 formant collecteur cathodique. Une telle pile à combustible présente donc des performances électriques améliorées pour un encombrement semblable. 10 En pratique, la membrane électrolytique de cette pile peut posséder une épaisseur comprise entre 1 nm et 10 m. Selon une forme de réalisation avantageuse de l'invention, le support peut présenter de nombreuses rugosités et la membrane électrolytique est conforme à ces rugosités. 15 Par conforme, on désigne un dépôt dont la forme reproduit fidèlement le relief du support sous-jacent. En d'autres termes, il s'agit d'un dépôt possédant une épaisseur sensiblement constante. Ainsi, le matériau objet de la présente invention permet de réaliser des piles à combustible dont les membranes électrolytiques sont fines et 20 conformes au relief du substrat. De telles piles présentent donc une surface active maximisée. En pratique, le rapport de la surface réelle de la membrane électrolytique sur la surface projetée de la membrane sur un plan est supérieur à 2, et préférentiellement 25 supérieur à 5. Une telle pile à combustible présente donc une surface active importante apte à favoriser les échanges entre anode et cathode. Cette pile à combustible présente donc une compacité élevée. Avantageusement, la conductivité protonique de cet électrolyte est comprise entre 10 mS/cm et 500 mS/cm. Une pile à combustible présentant une telle conductivité protonique possède donc une 35 puissance électrique améliorée. 30 2908558 BREVE DESCRIPTION DES FIGURES La manière dont l'invention peut être réalisée et les avantages qui en découlent ressortiront aussi des exemples de réalisation qui suivent, donnés à titre indicatif et non 5 limitatif, à l'appui des figures annexées parmi lesquelles : La figure 1 est une représentation schématique en section d'une pile à combustible de l'art antérieur. Cette figure a déjà été décrite en relation avec l'état antérieur de la technique. 10 La figure 2A est une représentation schématique d'un matériau électrolytique de l'art antérieur. Cette figure a déjà été décrite en relation avec l'état antérieur de la technique. La figure 2B est une représentation schématique d'un matériau électrolytique conforme à la présente invention. La figure 3 est une représentation schématique en section d'une pile à combustible 15 conforme à la présente invention. La figure 4 est un diagramme obtenu par spectroscopie infrarouge et illustrant certaines caractéristiques structurelles du matériau objet de l'invention. La figure 5 est un diagramme obtenu par spectroscopie d'impédance illustrant les conductivités protoniques de trois matériaux conformes à la présente invention. 20 MODES DE REALISATION DE L'INVENTION La figure 2B illustre, à l'échelle de 31am, la structure du matériau objet de la présente invention. Conformément à l'invention, ce matériau présente une matrice 203 25 comprenant du carbone (C), du fluor (F), de l'oxygène (0) et de l'hydrogène (H). Comme exposé précédemment, cette matrice forme l'ossature d'une membrane électrolytique et elle est donc également dénommée squelette. Comme le montre la figure 2B, cette matrice comprend en outre du silicium (Si), 30 présent sous la forme de ponts ou pontages constitués par des groupements silicium-silicium (ûSiûSiû), silicium-oxygènesilicium (ûSiûOûSiû) et/ou silicium-oxygènecarbone (ûSiû0ûCû), et/ou silicium-carbone (-Si-C-). Ces ponts forment par définition des liaisons dans la matrice et notamment entre les différentes fibres, illustrées par la figure 2B, constituant cette matrice. 8 35 2908558 9 Dans l'exemple de la figure 2B, les atomes de silicium représentent 1% de la somme des nombre d'atomes de carbone et de fluor présents dans la matrice 203. Ainsi, le rapport du pourcentage atomique de silicium contenu dans la matrice 203 sur la somme des pourcentages atomiques en carbone et en fluor est de 0,01, soit 1.10-2. 5 Par ailleurs, comme le montre encore la figure 2B, la matrice 203 possède des groupements acides symbolisés par les protons H+ liés à la matrice 203. Conformément à l'invention, ces groupements acides susceptibles de libérer ces protons sont choisis parmi les groupements sulfonique (ûSO20H), carboxylique ( 10 COOH) et phosphonique (ûPO(OH)2). Ainsi, lorsque la membrane électrolytique constituée d'un matériau conforme à l'invention est mise en contact avec de l'eau, ses groupements acides sont aptes à libérer des protons, ce qui détermine la conductivité protonique de la membrane et, 15 partant, les performances électriques de la pile à combustible. La figure 3 illustre une pile à combustible conforme à l'invention, dont l'électrolyte est constitué du matériau objet de l'invention. 20 A l'instar des piles à combustible de l'art antérieur, cette pile à combustible comprend un empilement disposé sur un substrat en céramique 301 possédant une épaisseur de plusieurs centaines de micromètres, en l'occurrence 600 m. Cet empilement comprend un support en céramique poreuse à l'hydrogène 302 recouvert par un film 303 formant le collecteur anodique, dont le pôle est noté + . L'hydrogène est 25 amené par l'intermédiaire de canaux 305 ménagés dans le substrat en céramique 301. Le support peut être, de façon générale, un support rigide (par exemple un substrat silicium) ou non (par exemple, un film en PET : polyéthylèneterephtalate). 30 Ce collecteur anodique est relié au pôle + de la pile et il est recouvert totalement par une membrane électrolytique 306 réalisée en un matériau conforme à l'invention. De plus, tout comme la pile de l'art antérieur illustré par la figure 1, la membrane électrolytique 306 est recouverte par un film formant le collecteur cathodique, dont le pôle est noté - . 35 2908558 10 Comme le montre la comparaison entre les figures 1 et 3, à la différence de la pile à combustible de l'art antérieur illustré par la figure 1, la pile à combustible objet de l'invention présente un certain nombre de rugosités, en l'occurrence trois plots situés dans le plan de section. Ces rugosités forment autant de reliefs destinés à augmenter la 5 surface réelle active de la membrane électrolytique et donc à améliorer les performances électriques de la pile sans augmenter son encombrement global. En fait, le rapport de la surface réelle de cette membrane sur sa surface apparente, c'est-à-dire la surface projetée sur un plan horizontal est beaucoup plus élevé que dans 10 le cas de la figure 1, où la membrane électrolytique 106 est purement plane. En effet, en projection sur un plan horizontal, les membranes électrolytiques 106 et 306 présentent la même superficie apparente dans le cas où les deux piles possèdent des dimensions semblables. En revanche, munie de ses reliefs, la membrane électrolytique 306 présente une surface réelle bien supérieure à la superficie de la membrane plane 15 106. Le rapport entre surface réelle et surface apparente est ici voisin de 2. Une telle structure rugueuse est rendue possible grâce à l'aptitude du matériau de la présente invention à former un dépôt conforme, c'est-à-dire un dépôt de faible épaisseur reproduisant le relief sous-jacent sur lequel il est déposé. En l'occurrence, la 20 membrane 306 présente une épaisseur de 1 m, ce qui est bien inférieur aux épaisseurs des membranes de l'art antérieur pour une conductivité protonique analogue. En effet, l'électrolyte 306 de la pile à combustible illustré par la figure 3 présente une 25 conductivité de plusieurs dizaines de mS/cm. Ainsi, les performances électriques de la pile illustrée par la figure 3 composée d'un verre organique conducteur protonique conforme sont très sensiblement augmentées. Ces performances électriques sont évaluées en puissance délivrée rapportée à la 30 surface apparente de la membrane. Par ailleurs, le matériau de l'invention permet également d'augmenter les performances électriques d'une pile à combustible, dans la mesure où il peut être déposé selon une épaisseur réduite. En effet, une telle réduction d'épaisseur permet, 35 pour une même résistivité, de réduire la résistance interne de l'électrolyte conducteur protonique. Or, l'épaisseur de la membrane électrolytique constituée d'un matériau conforme à l'invention peut être contrôlée au micromètre près, ce qui conduit à des 2908558 11 épaisseurs de membrane cent fois inférieures aux épaisseurs des membranes de l'art antérieur. Par conséquent, la membrane électrolytique 306 présente une résistance interne bien inférieure, donc une conductivité supérieure à celle que présente la membrane électrolytique 106. 5 La figure 4 est un diagramme obtenu par spectroscopie infrarouge dans lequel sont mis en évidence les groupements caractéristiques de la matrice du matériau conforme à l'invention. Les courbes de la figure 4 représentent respectivement les rapports R=10-1 , 10.2 et 10-3 entre les atomes de silicium, d'une part, et ceux de carbone et de 10 fluor, d'autre part. Le rapport R vaut donc Ns, / (Nc + NF), avec N nombre d'atomes. On observe ainsi que les deux premiers pics pour des nombres d'ondes situés respectivement autour de 750 cm-1 et 1.100 cm-1 correspondent aux ponts composés de silicium, à savoir respectivement ûSiûCû et ûSiûOû. L'axe des ordonnées est 15 gradué selon une unité arbitraire. Les spectres infrarouge révèlent également un pic correspondant au nombre d'ondes 1.750 cm-' indiquant la présence des groupements carboxyliques (COOH) implantés pour fonctionnaliser la matrice du matériau objet de la présente invention. La figure 5 représente un diagramme sur lequel sont portées la mesure de conductivité obtenue par spectroscopie d'impédance réalisée sur des membranes électrolytiques constituées de matériaux présentant respectivement des rapports atomiques R=10-1 , 10.2 et 10-3. Les conductivités sont respectivement 5 mS/cm, 25mS/cm et 120 mS/cm. 25 Par ailleurs, des expériences ont permis d'établir la résistance chimique de membranes électrolytiques constituée d'un matériau conforme à l'invention. Ainsi, deux membranes, l'une sans silicium (R=0) et l'autre silicée (R=1) ont été introduites dans un bain d'eau déminéralisée durant 30 min. Après cette immersion, on a constaté que 30 les membranes sans silicium étaient détruites à 90%, tandis que les membranes silicée présentaient une structure inchangée. L'analyse croisée des mesures de conductivité et de résistance à l'eau met en évidence un rapport R optimum estimé entre 5.10-3 et 5.10-2, permettant d'obtenir une bonne 35 résistance chimique tout en conservant une conductivité correcte (> 25mS/cm). 20 2908558 12 Cette propriété constitue ainsi un avantage important, puisque de telles membranes silicées sont aptes à résister chimiquement et/ou mécaniquement à l'eau employée dans le procédé de fabrication d'une pile à combustible. En outre, les membranes silicées sont également aptes à résister à d'autres solvants néfastes aux membranes 5 sans silicium. Pour fabriquer un tel matériau, le procédé consiste à introduire un précurseur gazeux composé de silicium (Si) dans une enceinte de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. Concomitamment, on introduit dans cette enceinte de l'octafluorobutène 10 (C4F8), de l'hélium (He) et de la vapeur d'eau (H20). On pourrait cependant mettre en oeuvre un autre carbofluoré, tel que le C2F4, ainsi qu'un autre gaz porteur, tel que l'argon ou l'hydrogène. Les débits de ces gaz sont de l'ordre de quelques centaines de cm /s. Avec ces gaz, on génère alors un plasma sous faible pression, excité par des décharges capacitives dont la fréquence des ondes radio vaut 13,56 MHz (cette valeur 15 est imposée par les normes de compatibilité électromagnétique). On peut cependant utiliser d'autres types d'excitation plasma, tels que les basses fréquences (de 10 kHz à 400 kHz)), ou les micro ondes (2,45 GHz). On parvient ainsi à déposer un électrolyte sous forme membranaire conforme au relief 20 du support céramique sous-jacent avec une vitesse de dépôt industrielle d'environ 2p.m/h. Connaissant la vitesse de dépôt de l'électrolyte, on peut contrôler de manière précise l'épaisseur totale de la membrane conforme en ajustant la durée de dépôt sous plasma. Cette vitesse pourra être élevée à 5 m/h en augmentant la densité de puissance du plasma. 25 Une telle cadence de production permet de produire le matériau de la présente invention selon une cadence industrielle, donc compatible avec les applications envisagées pour les piles à combustible nomades. 30 Par ailleurs, comme indiqué précédemment, la texturation de la surface du support en céramique poreuse peut être régulière ou irrégulière, voire complètement aléatoire. Quel que soit le relief retenu, le procédé précédemment décrit permet de réaliser un dépôt conforme d'un matériau formant un électrolyte conducteur protonique. 35 D'autres formes de réalisations de l'invention sont possibles sans pour autant sortir du cadre de cette invention. 25 REVENDICATIONS 1. Matériau destiné à constituer un électrolyte (306) pour pile à combustible, ledit matériau présentant une matrice hydrophobe comprenant du carbone (C), du fluor (F), de l'oxygène (0) et de l'hydrogène (H), caractérisé en ce que ladite matrice comprend en outre du silicium (Si). 2. Matériau selon la revendication 1, caractérisé en ce que les atomes de silicium (Si) forment des ponts au sein de ladite matrice, lesdits ponts appartenant au groupe comprenant les groupements silicium-silicium (ûSiûSiû), siliciumoxygène-silicium (ûSiûOûSiû), silicium-oxygène-carbone (ûSiûOûCû) et silicium-carbone (-Si-C-). 3. Matériau selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'électrolyte présente un rapport du pourcentage atomique en silicium sur la somme des pourcentages atomiques en carbone et en fluor compris entre 10-3 et 10-1, de préférence entre 5.10-3 et 5.10-2. 4. Matériau selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la matrice est fonctionnalisée par des groupements acides. 5. Matériau selon la revendication 4, caractérisé en ce que les groupements acides sont choisis parmi les groupements sulfonique (û5020H), carboxylique (ûCOOH) et phosphonique (ûPO(OH)2). 6. Matériau selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il présente une structure choisie dans le groupe comprenant les verres organiques, les cristaux, les polymères, les verres et les céramiques. 30 7. Procédé pour la réalisation d'un matériau destiné à constituer un électrolyte (306) pour pile à combustible, ledit matériau présentant une matrice comprenant du carbone, du fluor, de l'oxygène et de l'hydrogène, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant : à introduire un précurseur gazeux composé de silicium dans une enceinte 35 de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma ; à introduire dans l'enceinte un précurseur carbufluoré ; à introduire dans l'enceinte un gaz porteur ; 2908558 14 à introduire dans l'enceinte de la vapeur d'eau ; à générer un plasma dans l'enceinte après introduction de ces différents composés. 5 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que le précurseur carbofluoré est choisi dans le groupe comprenant le C4F8 et le C2F4. 9. Procédé selon l'une des revendications 7 et 8, caractérisé en ce que le précurseur est choisi dans le groupe comprenant les composés organosilicés 10 hémaméthyldisiloxane (HMDSO), le tétraéthyl- orthosilicate (TEOS), l' octaméthylcyclotétrasiloxane (OMCTSO) le tétraméthylsilane (TMS), ainsi que le composé inorganique tétrahydrure de silicium (SiH4). 10. Procédé selon l'une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce que : 15 le débit dudit précurseur gazeux est compris entre 1 cm /s et 1000 cm /s ; le débit de précurseur carbofluoré est compris entre 1 cm /s et 1000 cm /s ; le débit du gaz porteur est compris entre 1 cm /s et 500 cm /s ; le débit de vapeur d'eau est compris entre 1 cm /s et 1000 cm /s ; l'enceinte est placée sous une pression comprise entre 0,1 mbar et 5 mbar ; 20 le plasma est excité par des décharges capacitives, dont la fréquence est comprise dont la puissance est comprise entre 5 W et 500 W ; 11. Pile à combustible caractérisée en ce qu'elle comporte un empilement comprenant un support (302) poreux à l'hydrogène, un film formant collecteur anodique (303), totalement ou partiellement recouvert par une membrane électrolytique (306) réalisée en un matériau selon l'une des revendications 1 à 6, ainsi qu'un film formant collecteur cathodique (304). 12. Pile à combustible selon la revendication 11, caractérisée en ce que la membrane électrolytique (306) présente une épaisseur comprise entre 1 nm et 10 m. 13. Pile à combustible selon l'une des revendications 11 et 12, caractérisée en ce que le substrat présente de nombreuses rugosités et en ce que la membrane électrolytique (306) est conforme auxdites rugosités. 5 2908558 15 14. Pile à combustible selon la revendication 13, caractérisée en ce que le rapport de la surface réelle de la membrane électrolytique (306) sur la surface projetée de la membrane électrolytique (306) sur un plan est supérieur à 2, et préférentiellement supérieur à 5. 15. Pile à combustible selon l'une des revendications 11 à 14, caractérisée en ce que la conductivité protonique de la membrane électrolytique (306) est comprise entre 10 mS/cm et 500 mS/cm.