FR 2913545 A1 20080912 FR 0701739 A 20070309 GENERATEUR DE CHAUFFAGE ETAT SOLIDE PAR HAUTE FREQUENCE A GRANDE FIABILITE L'invention concerne les générateurs haute fréquence industrielle état solide. Ces générateurs peuvent être utilisés notamment dans des dispositifs de chauffage par induction électromagnétique, par pertes diélectriques ou par plasma. Les générateurs de chauffage alimentent en haute fréquence un circuit résonnant couplé électromagnétiquement à une pièce à chauffer. Dans les générateurs de chauffage état solide, l'étage de puissance connecté au circuit résonnant comporte une pluralité de moules à transistors couplés pour fournir la puissance haute fréquence nécessaire. Le chauffage par induction électromagnétique consiste à produire l'échauffement d'une pièce conductrice par la circulation de courants induits par un champ magnétique. Ce moyen permet de chauffer la pièce dans sa masse sans contact direct avec la source d'énergie. La pièce à chauffer (ou induit) est entourée d'au moins une boucle de circulation de courant (ou inducteur). Les fréquences de travail du générateur sont comprises entre quelques dizaines de kilohertz et quelques mégahertz. Les puissances nécessaires varient entre quelques kilowatts à plus d'un mégawatt. Le chauffage par induction électromagnétique est utilisé largement dans l'industrie et dans le domaine scientifique. Dans l'industrie, il est utilisé notamment en métallurgie pour affiner des métaux, pour traiter thermiquement des pièces métalliques ou pour produire des tubes soudés en continu. Le chauffage par pertes diélectriques consiste à produire l'échauffement d'une pièce isolante en provoquant des pertes dans sa masse, à partir d'un champ électrique alternatif. La pièce à chauffer est un isolant médiocre. Elle est placée entre deux armatures conductrices alimentées par une source alternative. On crée un condensateur dont le diélectrique est la pièce à chauffer. Les générateurs utilisés ont généralement des fréquences de travail plus élevées que celles des générateurs de chauffage par induction électromagnétique. Elles peuvent être comprises entre quelques dizaines de mégahertz et quelques gigahertz. Ce mode de chauffage s'utilise dans l'industrie du bois pour le séchage ou le collage, dans l'industrie textile ou dans la fabrication ou le façonnage de matières plastiques. Le chauffage par plasma consiste à ioniser un milieu gazeux pour le transformer en plasma. L'énergie cinétique des électrons se transforme en chaleur. II se produit une élévation considérable de température. La pièce à chauffer est placée dans le plasma. La transformation du milieu gazeux en plasma est obtenue par l'émission d'une antenne. Les fréquences de travail du générateur sont comprises entre 1 mégahertz et quelques dizaines de mégahertz. Le mode de chauffage est utilisé dans de nombreuses applications industrielles telle que la fusion de produits réfractaires, la synthèse chimique etc.. . La charge du générateur de chauffage est un circuit résonant couplé électromagnétiquement à la pièce à chauffer et équivalent soit à un circuit R, L, C parallèle, soit à un circuit R, L, C série. Le coefficient de surtension Q du circuit résonant est élevé et le désaccord est facile au voisinage de la fréquence de résonance. L'impédance de charge du générateur de chauffage est essentiellement variable car elle dépend des caractéristiques des éléments constituant le circuit résonant et notamment du matériau de la pièce à chauffer, de leurs dimensions et de leur position relative. Cette position est importante surtout si la pièce à chauffer est en mouvement, par exemple si c'est une plaque de tôle chauffée par induction que l'on roule et que l'on soude en continu. La fiabilité des modules à transistors est liée à la charge ramenée sur les transistors des modules. Une impédance dite réactive produisant un taux d'onde stationnaire (TOS) important provoque la destruction des transistors. Dans les générateurs état solide, l'optimisation du rendement, la fiabilité avoisinant le 100% pour les modules à transistors des étages de puissance haute fréquence, constituent les critères clé et essentiels pour l'utilisateur. Des solutions pour mieux adapter la charge au générateur de chauffage sont utilisées. Ces solutions dites manuelles, par préréglage de certains paramètres du générateur, ne sont valables qu'à condition que la variation de la charge soit lente. Certains autres solutions automatiques par asservissement ont été mises en place pour des générateurs de chauffage à tubes. Un exemple de réalisation d'une telle solution est décrit dans le brevet FR2671929. Ces solutions de l'état de l'art utilisées pour des générateurs de chauffage à tubes ne sont pas adaptées aux générateurs de chauffage à transistors plus sensibles que les tubes aux désadaptations de la charge et notamment du fait de signaux apparaissant en sortie de l'étage de puissance de type impulsionnel ou composite. Ces dispositifs de l'état de l'art n'apportent donc pas d'amélioration du rendement ou de la fiabilité des générateurs de chauffage état solide. La figure 1 représente un schéma de principe d'un générateur de chauffage de l'état de l'art comportant un amplificateur 10 de puissance haute fréquence connecté, par sa sortie S de puissance, à un circuit résonnant 12 (charge de l'amplificateur). Le circuit résonnant comporte un inducteur 14 pour le chauffage d'une pièce 16. Un oscillateur 18 contrôlé en tension (OCT) fournit la haute fréquence à une entrée E de l'amplificateur de puissance 10. Le générateur de la figure 1 comporte un dispositif d'asservissement ASR 22 de la fréquence de l'OCT à partir de la mesure du déphasage entre 25 le courant I et la tension U aux bornes de la charge 12. Dans l'exemple de la figure 1 le chauffage de la pièce 16 est réalisé par induction. L'inducteur 14 est une bobine couplée à la pièce 16. Une capacité de compensation 20 en parallèle avec la bobine réalise le circuit résonant 12 à la fréquence d'induction. 30 Dans le cas d'utilisation d'un amplificateur 10 de puissance état solide, par exemple réalisé à partir de modules à transistors de type MOS, la caractéristique de l'impédance Z ramenée par la charge 12 à la sortie S de l'amplificateur 10 a un impact important sur la fiabilité et le rendement du générateur. Lorsque l'impédance Z ramenée par la charge 12 au niveau des sorties des modules de l'amplificateur à transistors est de type A-jB, la destruction des transistors MOS est instantanée. La destruction a lieu dans ce cas par dissipation thermique. Pour une impédance Z de type A+jB ramenée par la charge 12 à la sortie de l'amplificateur, la destruction des transistors a lieu par surtension, dans une moindre mesure pour des forts déphasages (phase>60 ) entre le courant I et la tension U aux bornes de la charge 12. Pour des phases situées entre 20 et 60 la puissance de sortie est rapidement réduite. 1 o Exemple 1 : En régime capacitif (A-jB), la phase entre la tension U et le courant I peut varier de 0 à - X degrés. Dès lors que la phase passe en dessus de 0 degré, la puissance dissipée devient considérable. Nous passons de quelques watts dissipés à plusieurs kilowatts. Il est donc impératif de rester au-dessus de 0 degré. 15 Exemple 2 : En régime selfique (A+jB), la phase entre la tension U et le courant I peut varier de 0 à + X degrés. Ce régime peut devenir destructeur pour des phases supérieures à 45 . Nous avons une baisse significative du courant. 20 La figure 2 montre, dans une première phase de fonctionnement du générateur de la figure 1, la tension U et le courant I dans le circuit résonnant 12 fourni par l'amplificateur 10 de puissance à transistors du générateur fonctionnant à vide, c'est-à-dire sans aucune pièce 16 à chauffer dans l'inducteur 14. 25 La fréquence Fs de l'OCT' est calée de façon à obtenir un fonctionnement stable et un rendement optimal de l'amplificateur 10. Par exemple dans ce cas stable, le déphasage entre la tension U et le courant I est d'environ 20 (charge selfique) pour une fréquence de fonctionnement de Fs= 458Khz. 30 La tension U fournie par un amplificateur 10 de puissance état solide sur la charge 12 est de forme rectangulaire. En effet, dans ce type d'amplificateur les transistors fonctionnent à la haute fréquence de sortie Fs entre deux états, un état bloqué suivi d'un état saturé a fin d'obtenir un rendement élevé des modules. Le courant I dans le circuit résonnant 12 est 35 proche d'une sinusoïde. La figure 3 montre, dans une phase suivante de fonctionnement du générateur de la figure 1, la forme du courant I et de la tension U dans le circuit résonnant 12 du générateur en charge. La pièce 16 est alors présente dans l'inducteur 24 provoquant son échauffement. Les changements se produisant, lors de cette deuxième phase, sur les signaux U, I et sur le fonctionnement du générateur sont notamment : - passage en régime capacitif (avance du courant I dans la charge 12 sur la tension U, -commutation des transistors de l'amplificateur de puissance avec du courant, - apparition d'oscillations importantes à très haute fréquence sur la tension U lors des commutations (deux fois la valeur de la tension d'alimentation des transistors), - chute du rendement de l'amplificateur de puissance pouvant diminuer de 30% à 90%, - destruction des modules à transistors en quelques microsecondes par surtension ou surdissipation. L'asservissement ASR 22 des générateurs de chauffage l'état de l'art comporte habituellement un dispositif de comparaison de phase entre des signaux de mesure représentatifs de la tension U et du courant I dans la charge après passage, du signal représentatif du courant I dans une fonction d'intégration et du signal représentatif de la tension U dans une fonction de dérivation. Avec l'utilisation d'amplificateurs de puissance état solide, le signal de tension U, de forme rectangulaire, comporte des harmoniques impaires. La fonction dérivation du dispositif de mesure du déphasage transforme ce signal de type carré en impulsion. La comparaison de phase devient délicate voir impossible. En outre, pour certaines configurations de la charge 12, la tension U et le courant I dans la charge présentent des d'oscillations à fréquence plusieurs fois supérieure à la fréquence de fonctionnement du générateur. Ces signaux de mesure représentatifs de la tension U et du courant I dans la charge ne sont pas compatibles avec un bon fonctionnement du dispositif de mesure de déphasage ce qui fausse l'asservissement de la fréquence de l'OCT provoquant une baisse du rendement de l'amplificateur état solide et une destruction des transistors. A fin d'améliorer les performances et la fiabilité des générateurs état solide l'invention propose un générateur de chauffage par haute fréquence comprenant un amplificateur état solide dont la sortie S est connectée à un circuit résonnant couplé électromagnétiquement à une pièce à chauffer, un oscillateur contrôlé en tension OCT fournissant un signal haute fréquence à l'entrée E de l'amplificateur. Le générateur comporte des moyens de mesure du déphasage cp entre le fondamental 11 du courant I fourni par le générateur au circuit résonant et le fondamental U1 de la tension U aux bornes du circuit résonant pour modifier la fréquence Fs de l'OCT en fonction dudit déphasage (p. Avantageusement, le fondamental 11 du courant I et le fondamentale U1 de la tension U sont obtenus respectivement par filtrage harmonique du courant I et de la tension U. Dans une réalisation du générateur, les moyens de mesure du 20 déphasage cp comportent un convertisseur phase/tension fournissant une tension proportionnelle au déphasage (p. Un principal but du générateur de chauffage état solide, selon l'invention, est d'obtenir une très grande fiabilité de fonctionnement du 25 générateur et ainsi obtenir une grande disponibilité et un faible coût de maintenance. Un autre but est obtenir un rendement optimal du générateur et une température de fonctionnement optimale. L'invention sera mieux comprise à l'aide d'exemples de réalisation en 30 références aux figures indexées dans lesquelles, - la figure 1, déjà décrite, représente un schéma de principe d'un générateur de chauffage de l'état de l'art ; -la figure 2, déjà décrite, montre la tension U et le courant I dans la charge à vide fourni par l'étage de puissance 10 à transistors du générateur 35 de la figure 1 ; - la figure 3, déjà décrite, montre la forme du courant I et de la tension U du générateur de la figure 1 en charge ; - la figure 4 représente un synoptique d'un exemple de réalisation d'un générateur de chauffage, selon l'invention ; - la figure 5a montre le spectre du signal de tension de mesure Um, image de la tension U aux bornes de la charge 12 du générateur de la figure 4; - la figure 5b montre le spectre du signal de courant de mesure lm, image du courant I dans la charge 12 du générateur de la figure 4 et ; - la figure 6 montre la forme du courant I et de la tension U du générateur de la figure 4, en charge. La figure 4 représente un synoptique d'un exemple de réalisation d'un générateur de chauffage, selon l'invention, comportant un amplificateur 15 de puissance état solide. Le générateur de chauffage de la figure 4 comporte : - un amplificateur de puissance à transistors 30 ayant une entré E attaquée par un signal d'entrée Ve généré par un oscillateur contrôlé en tension OCT 32 et une sortie S fournissant à la charge 12 (voir figure 1) la 20 puissance de chauffage de la pièce 16. - un dispositif d'asservissement 48 de la fréquence de l'OCT pour le contrôle du déphasage (p entre le courant I et la tension U. L'amplificateur 30 de puissance fournit à la charge 12 un courant I sous une tension U déphasés d'une valeur de déphasage fonction des 25 caractéristiques d'impédance de la charge (partie réelle A et partie imaginaire B) ; L'amplificateur comporte, pour fournir à la charge 12 la puissance de chauffage nécessaire, un ensemble de modules amplificateurs à transistors MOS couplés, non représentés sur la figure 4. 30 Le principe de fonctionnement du générateur de chauffage état solide, selon l'invention, est basé sur l'asservissement rapide de la fréquence de l'OCT par le déphasage cp entre le fondamental 11 du courant I dans la charge et le fondamental U1 de la tension aux bornes de la charge 35 12 rendant ainsi le fonctionnement du générateur de chauffage indépendant des harmoniques et des éventuelles fréquences parasite d'oscillation apparaissant sur les signaux de courant I et de tension U. On entend par fondamental la première fréquence du spectre de raies discrètes du signal de courant I et du signal de tension U, soit 11 pour le 5 courant I et U1 pour la tension U. Un transformateur de courant 40 inséré entre la sortie S de l'amplificateur 30 et la charge 12 et un capteur de tension 42 de la tension U aux bornes de la charge assurent respectivement la fourniture d'un signal de mesure de courant lm, image du courant I dans la charge 12, et d'un signal io de mesure de tension Um, image de la tension U aux bornes de la charge 12. Le signal de mesure de courant lm, image du courant I comporte les signaux harmoniques et notamment la première harmonique 11 m image de la première l'harmonique 11 du courant I dans la charge. 15 Le signal de mesure de tension Um, image de la tension U comporte les signaux harmoniques et notamment la première harmonique U1 m image de la première harmonique U1 de la tension U aux bornes de la charge. Le signal de mesure de tension Um et le signal de mesure de 20 courant lm sont appliqués à un convertisseur phase/tension 50 apériodique du dispositif d'asservissement 48 du générateur de chauffage. Le dispositif est insensible aux variations d'amplitude des signaux qui lui sont appliqués. La comparaison de U1 m et 11 m se fait à l'aide de déphaseurs ayant une pente de 45 et -45 . Un premier déphaseur 52 sera de type intégrateur 25 et un second déphaseur 54 de type dérivateur. Une description détaillée du dispositif est faite par la suite. Le convertisseur phase/tension 50 comporte une voie de traitement d'un courant de mesure lm, image du courant I dans la charge 12, pour 30 produire un signal rectangulaire de courant Irc et une voie de traitement d'une tension de mesure Um, image de la tension U aux bornes de la charge 12, pour produire un signal rectangulaire de tension Urc, l'écart temporel entre les fronts du signal rectangulaire de courant Irc et le signal rectangulaire de tension Urc représentent le déphasage cp à une constante Tc/2 près entre le fondamentale 11 du courant I et le fondamental U1 de la tension U aux bornes de la charge. De façon connue cette constante 7r/2 est introduite par les déphaseurs 52, 54 à fin que le signal de courant Irc soit toujours en avance par rapport au signal de tension Urc pour toutes les valeurs du déphasage (p. Ces signaux, de tension Urc et de courant Irc, issus respectivement de l'une et l'autre voies de traitement, attaquent un multiplicateur 60 fournisssant un signal Vcom proportionnel au déphasage (p. Un réglage de phase de référence 86 est appliqué à une entrée de décalage de phase E(pref du multiplicateur 60 pour obtenir un déphasage prédéfini (pref entre le courant I dans la charge et la tension U aux bornes de la charge 12 lors de l'asservissement de l'OCT. Le signal Vcom en sortie du multiplicateur 60, après filtrage par un 15 filtre de boucle 62 et passage dans un dispositif proportionnel, intégral, dérivé, (PID) 64, est appliqué à une entrée de commande Oc1 de fréquence Fs de l'OCT 32. Le dispositif PID 64 reste classique II convient d'obtenir une réponse critique de l'asservissement de l'OCT. Il existe trois réponses possibles : 20 - une réponse pseudo-périodique caractérisée par une tendance à l'oscillation de l'asservissement ; - une réponse apériodique, caractérise par une réponse molle ; - la réponse critique caractérisée par une montée rapide vers une valeur de consigne sans suroscillation. 25 Selon une caractéristique de l'invention les voies de traitement assurent l'extraction des fondamentales 11, U1 du courant I et de la tension U de façon à être indépendantes de la forme des signaux du courant I dans la charge et de la tension U aux bornes de la charge. A cet effet, le 30 convertisseur phase/tension 50 comporte : - un filtre de signal de courant 70 pour l'extraction du fondamental 11 m du signal du courant de mesure lm (image du courant I) suivi du déphaseur 52 de type intégrateur du dit signal 11 m et d'un circuit convertisseur du signal Il m 74 de forme sinusoïdale en un signal 35 rectangulaire de courant Irc dont les fronts de montée et de descente correspond au passage par la valeur 0 du niveau du fondamental 11 m du signal du courant de mesure lm. - un filtre de tension 80 pour l'extraction du fondamental Ul m du signal du tension de mesure Um (image de la tension U) suivi du déphaseur 54 de type dérivateur du dit signal U1 m et d'un circuit convertisseur du signal Ul m 84, de forme sinusoïdale, en un signal rectangulaire de tension Urc dont les fronts de montée et de descente correspondent au passage par la valeur 0 du niveau du fondamental Ulm du signal du tension de mesure Um. La figure 5a montre le spectre du signal de tension de mesure Um, image de la tension U aux bornes de la charge 12 du générateur de la figure 4. Le signal Um de forme rectangulaire comporte notamment des harmoniques impaires de pulsation w1, w3, w5 La figure 5a montre en pointillé l'atténuation AtU du filtre passe bas de tension 80 pour l'extraction du fondamental Ul m (pulsationwl) du signal de tension de mesure Um. La figure 5b montre le spectre du signal de courant de mesure lm, image du courant I dans la charge 12 du générateur de la figure 4. Le signal lm de forme sinusoïdale comporte notamment le fondamental 11 m de pulsation w1, les autres harmoniques étant de faible niveau en fonctionnement normal. Le figure 5b montre en pointillé l'atténuation Atl du filtre passe bas de courant 70 pour l'extraction du fondamental 11 m (pulsation w1) du signal de courant de mesure lm. Dans une réalisation, les filtres 70, 80 sont des filtres elliptiques à 25 forts coefficients, par exemples des passe bas. Par exemple, les filtres elliptiques utilisés dans le convertisseur phase/tension de la figure 4 sont des filtres passe bas de quatrième ordre de type Chebyshev. L'ondulation dans la bande passante est de l'ordre de 0,5dB. L'atténuation sur une octave est de l'ordre de 70dB. 30 Le calcul et une série de mesures montrent qu'il existe un point optimal de fonctionnement du générateur de chauffage correspondant à un déphasage de référence cpref de cp dans un régime selfique, dans ce régime, le courant I dans la charge est en retard par rapport à la tension U. 35 Dans ce cas, le rendement de l'étage état solide 30 est maximum. Ce point optimal présente l'avantage de garantir des signaux très propres. Un rendement proche de 98% est obtenu dans l'application où les tests ont été effectués. Ce point optimal est obtenu par un réglage de la phase de référence cpref entre le fondamental du courant 11 et le fondamentale de la tension U1. A cet effet, le multiplicateur comporte l'entrée Epref de réglage de cette phase de référence produisant un décalage de la tension de commande de l'OCT pour obtenir ce décalage de phase cpref. Par exemple, le point de fonctionnement optimal du générateur peut être réglé pour obtenir un déphasage cpref entre la tension U et le courant I compris entre 5 et 25 en régime selfique, suivant le composant de puissance utilisé dans l'amplificateur 30 de puissance. Par la suite, le système restera calé à cette référence de phase cpref quelle que soit la variation de la charge ramenée, ce qui aura pour conséquence de maintenir le rendement optimal et une fiabilité optimale du fait que la phase sera maintenue constante par simple variation de fréquence de l'OCT. La figure 6 montre la forme du courant I et de la tension U du générateur de la figure 4, selon l'invention, en charge, apparaissant aux bornes de la charge 12 lorsque la pièce à chauffer 16 est introduite dans l'inducteur 14. On constate que : - le fonctionnement est optimal pour un déphasage cf) de l'ordre de 20 entre le courant I et la tension U en avance par rapport au courant ; - le système se recale en temps réel. F= 500Khz , avec des signaux de tension U et de courant I très propres, - la phase de 20 est conservée, - le rendement est optimal, - la fiabilité est conservée, - pas d'oscillations parasites. Le générateur de chauffage selon l'invention comporte une autre boucle 90 d'asservissement de température de l'amplificateur 30 de puissance, mais ayant une vitesse de réaction beaucoup plus lente que la vitesse de réaction de la boucle d'asservissement de déphasage (p. Cette autre boucle 90 a pour but de commander la fréquence de l'OCT, le déphasage cp étant optimisé par l'asservissement de phase 48, pour minimiser la température de l'amplificateur à transistors. A cet effet l'amplificateur à transistors comporte au moins un capteur de température CT des transistors fournissant une information Ut de niveau de température à un amplificateur de boucle AT 94 dont la sortie attaque une entrée Oc2 de réglage de la phase de référence 86. Le générateur de chauffage selon l'invention, garanti une fiabilité des modules états solides. Un générateur de chauffage état solide peut comporter plusieurs centaines de modules à transistors, d'où l'importance de fiabiliser les modules. Le principe selon l'invention peut être appliqué à d'autres domaines de fréquences, par exemple de 13,56Mhz à 27Mhz.15 REVENDICATIONS 1. Générateur de chauffage par haute fréquence comprenant un amplificateur état solide (10, 30) dont la sortie S est connectée à un circuit résonnant (12) couplé électromagnétiquement à une pièce à chauffer (16), un oscillateur contrôlé en tension OCT (18, 32) fournissant un signal haute fréquence à l'entrée E de l'amplificateur, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de mesure du déphasage cp entre le fondamental 11 du courant I fourni par le générateur au circuit résonant et le fondamental U1 de la tension U aux bornes du circuit résonant pour modifier la fréquence Fs de l'OCT en fonction dudit déphasage (p. 2. Générateur haute fréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que le fondamental 11 du courant I et le fondamentale U1 de la tension U sont obtenus respectivement par filtrage harmonique du courant I et de la tension U. 3. Générateur haute fréquence selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens de mesure du déphasage cp comportent un convertisseur phase/tension (50) fournissant une tension (Vcom) proportionnelle au déphasage (p. 4. Générateur haute fréquence selon la revendication 3, caractérisé en ce que le convertisseur phase/tension (50) comporte une voie de traitement d'un courant de mesure lm, image du courant I dans la charge (12), pour produire un signal rectangulaire de courant Irc et une voie de traitement d'une tension de mesure Um, image de la tension U aux bornes de la charge (12), pour produire un signal rectangulaire de tension Urc, l'écart temporel entre les fronts du signal rectangulaire de courant Irc et le signal rectangulaire de tension Urc représentant le déphasage cp à une constante irJ2 près entre le fondamentale 11 du courant I et le fondamental U1 de la tension U aux bornes de la charge. 5. Générateur haute fréquence selon la revendication 4, caractérisé en ce que les signaux de tension Urc et de courant Irc, issus respectivement de l'une et l'autre voies de traitement, attaquent un multiplicateur (60) fournissant la tension Vcom proportionnel au déphasage (p, un réglage de phase de référence (86) étant appliqué à une entrée de décalage de phase Ecpref du multiplicateur (60) pour obtenir un déphasage prédéfini (pref entre le courant I dans la charge et la tension U aux bornes de la charge (12) lors de l'asservissement de l'OCT. 6. Générateur haute fréquence selon la revendication 5, caractérisé en ce que la tension Vcom en sortie du multiplicateur (60), après filtrage par un filtre de boucle (62) et passage dans un dispositif proportionnel, intégral, dérivé, (PID) (64), est appliqué à une entrée de commande Oc1 de fréquence Fs de l'OCT (32). 7. Générateur haute fréquence selon l'une des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que le convertisseur phase/tension 50 comporte : - un filtre de signal de courant (70) pour l'extraction du fondamental 11 m du signal du courant de mesure lm (image du courant I) suivi d'un déphaseur (52) de type intégrateur du dit signal 11 m et d'un circuit convertisseur du signal 11 m (74) de forme sinusoïdale en un signal rectangulaire de courant lrc dont les fronts de montée et de descente correspond au passage par la valeur 0 du niveau du fondamental 11 m du signal du courant de mesure lm. - un filtre de tension (80) pour l'extraction du fondamental Ulm du signal du tension de mesure Um (image de la tension U) suivi d'un déphaseur (54) de type dérivateur du dit signal Ul m et d'un circuit convertisseur du signal Ul m (84), de forme sinusoïdale, en un signal rectangulaire de tension Urc dont les fronts de montée et de descente correspondent au passage par la valeur 0 du niveau du fondamental Ulm du signal du tension de mesure Um. 8. Générateur haute fréquence selon la revendication 7, caractérisé en ce que les filtres (70, 80) sont des filtres de types elliptiques à forts coefficients, 9. Générateur haute fréquence selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que les filtres sont des filtres passe bas. 10. Générateur haute fréquence selon l'une des revendications 5 à 9, caractérisé en ce que le déphasage cpref est compris entre 5 et 25 en régime selfique, pour obtenir un point de fonctionnement optimal du générateur suivant le composant de puissance utilisé. 11. Générateur haute fréquence selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il comporte une autre boucle (90) d'asservissement 15 de température de l'amplificateur (30) de puissance. 12. Générateur haute fréquence selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'amplificateur à transistors comporte au moins un capteur de température (CT) des transistors fournissant une information Ut 20 de niveau de température à un amplificateur de boucle AT(94) dont la sortie attaque une entrée (Oc2) de réglage de la phase de référence (86).