FR 2892511 A1 20070427 FR 0510776 A 20051021 DISPOSITIF D'ECHANTILLONNAGE OPTIQUE HETERODYNE Le domaine de l'invention est celui de la mesure utra-rapide non destructive des propriétés mécaniques, thermiques ou optiques d'un matériau. On entend par mesure ultra-rapide une mesure ayant une résolution temporelle de l'ordre de la picoseconde. Il est connu d'obtenir des mesures avec une telle résolution temporelle par des techniques d'échantillonnage optique utilisant deux trains d'impulsions respectivement désignés pompe et sonde , de période de répétition T, chaque impulsion ayant une durée z d'environ une centaine 1 o de femtosecondes. Le faisceau pompe engendre une perturbation dans le matériau ou l'échantillon qui produit en réponse un signal optique fonction de ses propriétés optiques (réflectivité, absorption, expansion, contraction, ...). Le faisceau sonde est retardé d'une quantité Tps appelée retard 15 pompe-sonde et vient lire la réponse du matériau ; il est généralement de faible intensité par rapport à celle du faisceau pompe . La réponse temporelle du matériau est reconstituée en faisant varier ce retard de zéro jusqu'à une durée égale au maximum à la période T du train d'impulsions. En pratique cette durée est très inférieure à T. Typiquement T est de l'ordre de 20 13 ns et la variation du retard est alors typiquement limitée à 2 ou 3 ns. Habituellement, les deux trains d'impulsions pompe et sonde ont la même période de répétition T et l'échantillonnage est alors qualifié d'homodyne. On a illustré figure 1 dans le cas d'un échantillonnage homodyne, des trains d'impulsions pompe et sonde décalés d'un 25 retard Tps ainsi que la valeur de la réponse de l'échantillon obtenue pour ce retard. Un exemple de montage permettant de mettre en oeuvre cette technique est schématiquement représenté figure 2. Le dispositif d'échantillonnage homodyne 100 comprend une source laser 10 reliée à un diviseur 9 apte à diviser le faisceau laser en un faisceau pompe modulé 30 par un modulateur 8, et un second faisceau sonde qui est retardé par une ligne à retard optique 11. Le modulateur a pour fonction de transposer le signal à une fréquence plus élevée afin de le dégager du bruit qui varie en 1/f, f étant la fréquence du signal. Les deux faisceaux sont ensuite combinés par un combineur 20 avant d'être pointés sur l'échantillon 200 via un objectif de microscope 30. Dans l'exemple de la figure, la réponse de l'échantillon est obtenue par réflexion. La réponse est dirigée vers un photo détecteur 50 après filtrage par un filtre de pompe 60. Le photo détecteur est relié à un système d'acquisition 70, via un démodulateur 12 qui permet de rétablir le signal en bande de base. Le retard Tps est réalisé et contrôlé par une ligne à retard optique comprenant un système de translation mécanique d'un miroir situé sur le trajet d'un des faisceaux. Le retard est lié à la translation par la formule : Tps= d/c d étant la longueur de la ligne à retard et c la vitesse de la lumière. Compte tenu des ordres de grandeur, une longueur d de 30 pm induit un retard de 100 fs. Dans la pratique, la longueur de la ligne à retard est limitée. En effet, un déplacement de plus de 30 cm affecte de façon notoire le pointé d'un faisceau par rapport à l'autre. Un retard de 10 ns qui nécessite une longueur d de 3m est donc très difficile à obtenir. A cette limite sur le déplacement correspond une limite pour les plages temporelles d'environ 2 à 3 ns : la réponse temporelle du matériau n'est reconstituée que sur environ 2 à 3 ns. De plus ces déplacements sont réalisés au détriment de la stabilité du pointé du faisceau laser sur l'échantillon. En outre les vibrations occasionnées par le déplacement de la ligne à retard détériorent le rapport signal sur bruit et augmentent considérablement le temps de mesure. II est habituellement de 30 à 40 mn pour l'acquisition d'un signal sur plusieurs nanosecondes, c'est-à-dire pour effectuer les différents déplacements de manière à balayer la réponse du matériau, sur des temps qui vont jusqu'à Tp soit environ 13 ns. Pour pallier ces inconvénients, une solution consiste à utiliser un faisceau pompe de période de répétition Tp et un faisceau sonde de période Ts, Tp étant différente de Ts. Cet échantillonnage est alors qualifié d'hétérodyne. On a illustré figure 3 dans le cas d'un échantillonnage hétérodyne, des trains d'impulsions pompe et sonde décalés d'un retard Tps ainsi que la valeur de la réponse de l'échantillon obtenue pour ce retard. Le retard Tps entre les trains d'impulsions pompe et sonde n'est plus fixe comme dans le cas de l'échantillonnage homodyne, mais évolue avec le temps. Lorsque Tp-Ts est fixe, le retard Tps varie linéairement entre 0 et Tp. La période Tp est balayée en un temps égal à 1/LF avec LF= IFs-Fpl, LF étant appelée fréquence de battement, Fp égale à 1/Tp étant la fréquence de répétition du faisceau pompe et Fs égale à 1/Ts celle du faisceau sonde . Cette technique permet de mesurer la réponse de l'échantillon sans translation mécanique, et donc sans altération du pointé du faisceau sur l'échantillon. En fait, le retard Tp-Ts ne varie pas linéairement car les fréquences Fp et Fs varient aléatoirement en raison de la gigue naturelle des lasers. Cette gigue a pour effet de moduler aléatoirement la fréquence du battement tF d'une quantité g(t). Ce phénomène est d'autant plus important que l'on souhaite obtenir une résolution temporelle réduite. En effet, pour une période Tp de 13 ns, il faut 13 000 mesures pour atteindre une résolution temporelle d'1 ps : or l'incertitude que la gigue introduit pour chaque mesure se cumule dans le temps. La gigue a ainsi pour effet de limiter la résolution temporelle. Le but de l'invention est de permettre d'obtenir des mesures avec une résolution temporelle d'environ 1 ps voire moins (100 fs) sans avoir à effectuer de translation mécanique, et sans être pénalisé ni par un temps d'acquisition très long ni par la gigue. Plus précisément l'invention a pour objet un dispositif d'échantillonnage optique hétérodyne équipé de deux sources laser impulsionnelles aptes à émettre respectivement un faisceau pompe et un faisceau sonde de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, d'un élément de combinaison des faisceaux pompe et sonde destinés à être envoyés sur un échantillon et qui comprend une voie signal comportant un système de photo-détection du signal de réponse de l'échantillon et relié à cette voie signal, un système d'acquisition du signal de réponse. Il est principalement caractérisé en ce que le système d'acquisition comprenant un élément de déclenchement de l'acquisition, il comprend, reliée à cet élément de déclenchement, une voie synchronisation comportant un dispositif de mesure de la fréquence de battement IFs-Fpl. Cette voie synchronisation permet que le système d'acquisition repère l'instant initial de la réponse, c'est-à-dire l'instant où les impulsions pompe coïncident avec les impulsions sonde sur l'échantillon. Cela permet de minimiser l'effet de la gigue naturelle des lasers sur la résolution 5 temporelle. Selon une caractéristique de l'invention, le dispositif de mesure comporte une photodiode à 2 photons. Selon une autre caractéristique de l'invention, il comprend un dispositif d'asservissement d'une source laser sur l'autre qui comprend par exemple 10 un diviseur de fréquence situé en sortie d'une source laser et un synthétiseur de fréquence relié au diviseur et à l'autre source laser. Le système de photo-détection peut être un photo-détecteur ou une barrette de photo-détecteurs ou une matrice de photo-détecteurs. Les sources laser présentent éventuellement la même longueur 15 d'onde. De préférence, les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 1 kHz et 10 GHz, plus précisément entre 1 kHz et 100 MHz. Selon une caractéristique de l'invention, la voie synchronisation comportant le dispositif de mesure de IFs-FpI est située sur le trajet du signal 20 de réponse de l'échantillon. Dans ce cas, le dispositif selon l'invention comprend un séparateur du signal de réponse de l'échantillon, en deux trajets, la voie signal étant située sur un trajet et la voie synchronisation sur l'autre trajet. Selon une autre caractéristique de l'invention, la voie synchronisation 25 est située sur le trajet des faisceaux pompe et sonde destinés à être envoyés sur l'échantillon. De préférence, il comprend situé en entrée du système de photo détection, un filtre du faisceau pompe provenant de l'échantillon, ainsi qu'un filtre passe-bas disposé en sortie du système de photo-détection du 30 signal de réponse. Avantageusement, la fréquence de battement IFs-FpI est comprise entre 1 Hz et 100 kHz. Selon une caractéristique de l'invention, les sources laser sont aptes à émettre des impulsions d'une durée comprise entre 10 fs et 10 35 picosecondes. Avantageusement, il présente une résolution temporelle sensiblement égale à une picoseconde. L'invention concerne aussi un procédé d'échantillonnage optique hétérodyne au moyen d'un dispositif équipé de deux sources laser aptes à émettre respectivement un faisceau d'impulsions pompe et un faisceau d'impulsions sonde de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, comportant une étape de combinaison des faisceaux pompe et sonde , une étape d'envoi des faisceaux pompe et sonde combinés sur un échantillon, une étape de photo détection de la réponse de l'échantillon, une étape d'acquisition du signal photo détecté, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de mesure de la fréquence de battement IFs-Fpl en vue de repérer un instant de coïncidence entre les impulsions pompe et sonde et en ce que l'étape d'acquisition est déclenchée en fonction de l'instant de coïncidence. Selon une caractéristique de l'invention, il comprend une étape d'asservissement d'une source laser sur l'autre. De préférence, la fréquence de battement IFs-Fpl est sensiblement égale à z FS Fp, z étant la durée des impulsions du faisceau sonde . Selon une caractéristique de l'invention, la réponse de l'échantillon est obtenue par réflexion ou transmission des faisceaux pompe et sonde . L'échantillon peut être un matériau en couches minces ou un circuit intégré ou un semi-conducteur ou une cellule biologique ou un réactif chimique. Avantageusement, l'échantillonnage présente une résolution temporelle de l'ordre de la picoseconde. Selon une caractéristique de l'invention, les sources laser sont aptes à émettre des impulsions d'une durée d'environ 100 femtosecondes. De préférence, la fréquence de battement IFs-FpI est comprise entre 30 1 Hz et 100 kHz. Les fréquences de répétition Fs et Fp sont par exemple comprises entre 1 kHz et 100 MHz. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit, faite à titre d'exemple non limitatif et en référence aux dessins annexés dans lesquels : la figure 1 représente schématiquement en fonction du temps, 5 dans le cas d'un échantillonnage homodyne, des trains d'impulsions pompe et sonde et la réponse d'un échantillon, la figure 2 déjà décrite représente schématiquement un dispositif d'échantillonnage homodyne selon l'état de la technique, la figure 3 représente schématiquement en fonction du temps, 10 dans le cas d'un échantillonnage hétérodyne, des trains d'impulsions pompe et sonde et la réponse d'un échantillon, la figure 4 déjà décrite représente schématiquement un dispositif d'échantillonnage hétérodyne selon l'invention, la figure 5 représente schématiquement un exemple de 15 représentation de la réponse impulsionnelle d'un film de tungstène en fonction du temps, obtenue avec un dispositif selon l'invention. D'une figure à l'autre, les mêmes éléments sont repérés par les mêmes références. 20 L'invention est basée sur le principe de l'échantillonnage hétérodyne qui permet d'éviter d'effectuer une translation mécanique et qui permet de réduire considérablement le temps d'acquisition. Le dispositif 150 selon l'invention décrit en relation avec la figure 4, comprend donc de manière classique, une source laser impulsionnelle pompe 10 et une 25 source laser impulsionnelle sonde 15, aptes à émettre respectivement un faisceau pompe et un faisceau sonde . La durée des impulsions du faisceau pompe n'est généralement pas égale à celle des impulsions du faisceau sonde , mais elles peuvent être égales. Dans la suite, la durée des impulsions z considérée est celle des impulsions du faisceau sonde . 30 Les faisceaux pompe et sonde n'ont généralement pas la même longueur d'onde mais elles peuvent être égales. Les faisceaux sont combinés par un combineur 20 qui comprend par exemple un miroir 21 et une lame semi-transparente 22, avant d'être envoyés sur l'échantillon 200 à mesurer, à travers un élément de focalisation 35 30 tel qu'une lentille. La réponse de l'échantillon obtenue par réflexion comme représenté sur la figure, ou par transmission est reçue par un photo-détecteur 50 puis transmise à un système d'acquisition 70. De préférence, un filtre de pompe 60 est situé avant le photo détecteur 50 pour filtrer le signal résiduel de pompe . Un filtre passe-bas 55 est avantageusement disposé entre le photo détecteur 50 et le système d'acquisition 70 pour éliminer les impulsions du laser superposées à la réponse. On désigne par voie signal 51 l'ensemble de ces 3 éléments 60, 50 et 55. La gigue a pour effet de limiter la résolution temporelle Tp-Ts. En effet, on a : Tp-Ts = AF/FpFs Comme la résolution temporelle est égale à OF/FpFs (ou AF/F2, lorsque AF est petit par rapport à la fréquence du laser), la modulation de AF limite la résolution temporelle. Une solution pour minimiser l'effet de la gigue naturelle des lasers sur la résolution temporelle consiste à repérer l'instant initial de la réponse, c'est-à-dire l'instant où les impulsions pompe coïncident avec les impulsions sonde sur l'échantillon, comme illustré figure 3 par la courbe voie synchronisation . II s'agit de reconstituer l'échelle des temps de la réponse de l'échantillon dans le temps transposé. Le dispositif 150 selon l'invention comprend alors en plus de la voie signal, une voie de synchronisation 90 qui comprend un dispositif 91 de mesure de IFs-FpI apte à générer un signal de synchronisation constitué d'impulsions à chaque fois que les impulsions laser pompe et sonde sont en coïncidence sur l'échantillon. Ce signal de synchronisation est proportionnel à la multiplication du signal ou train d'impulsions pompe par le signal ou train d'impulsions sonde . Le dispositif de mesure 91 comprend par exemple une photodiode à 2 photons. Cette mesure est effectuée à partir du signal de réponse dont une partie est prélevée avant la voie signal, par un diviseur 80 qui comporte par exemple une lame semi-transparente 81 et un miroir 82. Selon une variante, cette voie de synchronisation 90 est située avant l'échantillon 200 : la mesure est alors effectuée en prélevant une partie des faisceaux pompe et sonde avant l'échantillon. Cette variante est référencée 92 ou 93. Le système d'acquisition 70 comprend un élément 71 de déclenchement de l'acquisition. La voie synchronisation 90 (ou 92 ou 93) est reliée en sortie à cet élément 71 qui peut ainsi déclencher l'acquisition de la réponse à l'instant de coïncidence. Cet instant est l'instant initial aussi dénommé zéro temporel. L'effet de la gigue peut être encore plus réduit de la façon suivante. Dans un premier temps on évalue l'effet de la gigue sur le retard Tps. On désigne : Ip(2n Fpt) le train d'impulsions pompe et Ip(2n Fp (t-Tps(t))) = Ip(2u Fat) le train d'impulsions sonde . La fréquence instantanée du train d'impulsion sonde s'écrit : t dFp (t ù Tps (t)) Fp (1 dTps (t) ) FS O dt p dt Une variation linéaire du retard est obtenue si la fréquence du train d'impulsion sonde est décalée d'une quantité fixe : dTps (t) FS ûFp = OF = Fp dt 20 Ainsi les retards varient de zéro à Tp (de manière discrète selon la résolution temporelle). La période du train d'impulsions est balayée en un temps égal à l'inverse du battement de fréquence OF. La réponse de l'échantillon est observée dans une échelle de temps transposée dans laquelle OTps / At = iF / Fp. Cette dilatation de l'échelle des temps permet de 25 transposer le spectre du signal de réponse dans la bande passante du détecteur. En fait la variation de Tps contient un terme de bruit : la gigue g(t) qui est la variation aléatoire de fréquence. Elle a pour effet de moduler aléatoirement la fréquence de battement d'une quantité g(t). 30 Ona: dTps (t) AF + g(t) dt Fp15 TpS (t) + ATpç = L'incertitude ATps est amplifiée au cours du temps : Sur une période de mesure cette incertitude est : F f g(u)du = OF t + f g(u)du F p 0 p p 1 0 Fs F ATps 1 1 1 Fp (g) = Tp (g) T 1 transposé (g> AF AF Fp Pour minimiser cette incertitude, il faut que la gigue soit négligeable devant le battement : on choisit un battement AF important. 15 Cependant celui-ci est limité : la limite haute pour OF notée LFinax, est imposée par la résolution temporelle que l'on souhaite atteindre. La résolution est intrinsèquement limitée par la durée z des impulsions : z ? Ts-Tpl On a donc : 20 z LF1 / (FS. Fp) D'où : IFinax = Z Fp FS Pour des lasers Sa :Ti de fréquences de répétition Fp et FS de 76 25 MHz délivrant des impulsions de 100 fs (r = 100 fs), on obtient un battement LFinax de 600 Hz pour une résolution temporelle maximale égale à 100 fs. La gigue doit alors être très inférieure à quelques Hz pour que la résolution soit obtenue. 30 Pour minimiser l'effet de la gigue, on peut aussi asservir la fréquence de l'un des deux trains d'impulsions sur celle de l'autre en utilisant un dispositif d'asservissement 5 représenté figure 4. Ce dispositif est par exemple un dispositif de contrôle de longueur d'une des deux cavités laser. On utilise l'entrée de synchronisation d'un synthétiseur de fréquence 7 en lui injectant un signal de référence F/n obtenu par un diviseur de fréquence 6 du train d'impulsions de l'une des deux sources laser 10 qui joue le maître. On décale ensuite de la quantité AF la sortie du synthétiseur de fréquence 7 et le signal F+LF est utilisé comme commande du système de contrôle de la source laser esclave 15. La source laser maître est la source laser pompe et la source laser esclave est la source laser sonde comme représenté sur la figure. On peut aussi avoir l'inverse, la source laser sonde comme source laser maître et la source laser pompe comme source laser esclave. Quand les deux sources laser pompe et sonde sont asservies en fréquence, le battement peut être aussi faible que les performances du dispositif le permettent (typiquement quelques fractions de Hertz). Lorsque l'effet de la gigue a été minimisé, on peut atteindre la résolution maximale limitée par la durée des impulsions T si AF T FS Fp. On considère à présent la bande passante du filtre passe-bas que l'on définit de la manière suivante : le temps de réponse du filtre passe-bas est égal à l'inverse de sa bande passante. T R '-"-'I /Bd. La résolution temporelle souhaitée Teff devient dans le temps transposé la résolution temporelle du filtre passe-bas TR. Ona Teff TRAF/Fp, On en déduit Teff AF /Bd Fp Avec AF = 600 Hz et Fp = 76 MHz, on obtient une bande passante de 8 MHz pour une résolution temporelle effective de 1 ps. On résume dans le tableau suivant les caractéristiques et performances des essais effectués.35 Notation Valeurs Unités Fréquence de pompe Fp 76 MHz _ Fréquence de sonde Fs=Fp+ AF 76.0006 MHz _ Battement OF 600 Hz Fenêtre temporelle 1 / Fp 13 ns Fenêtre temporelle transposée Ttr= 1/OF 1.66 ms Nombre de mesures par période N= FS/ AF 126 666 points _ Résolution maximale AF /Fs Fp 100 fs Durée des impulsions T 100 fs Bande passante du filtre passe-bas Bd=1/ TR 8 MHz Résolution temporelle effective Teff =0F /Bd Fp 1 ps On a représenté figure 5 une courbe de la réponse impulsionnelle de la réflectivité R obtenue sur un film de tungstène de 280 mm d'épaisseur sur une durée Tp de 13 ns avec un dispositif d'échantillonnage hétérodyne selon l'invention. Plus précisément la mesure est celle de la réponse impulsionnelle de AR/RO, RO étant la réflectivité moyenne du film de tungstène et AR sa variation. La résolution temporelle est d'une picoseconde, la plage temporelle est étendue jusqu'à la période du train d'impulsions Tp, de l'ordre de 13 ns et le temps d'acquisition de 30 secondes est ainsi divisé par un facteur 10 à 50 comparé à celui obtenu par un dispositif d'échantillonnage homodyne pour une plage temporelle d'environ 1 ns, c'est-à-dire 10 fois plus petite. Le procédé d'échantillonnage selon l'invention s'applique notamment à la mesure de propriétés optiques, thermiques et mécaniques de matériaux en couches minces, de quelques nm à quelques pm, à l'analyse de défaillance en microélectronique, à l'acoustique picoseconde, à l'étude du transfert de chaleur aux petites échelles d'espace (nm-pm) et de temps (fs à ps), à l'étude de nano objets et nano matériaux, à l'étude de réactions chimiques, au suivi de traceurs biologiques. REVENDICATIONS 1. Dispositif (150) d'échantillonnage optique hétérodyne équipé de deux sources laser impulsionnelles (10, 15) aptes à émettre respectivement un faisceau pompe et un faisceau sonde de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, d'un élément de combinaison (20) des faisceaux pompe et sonde destinés à être envoyés sur un échantillon (200) et qui comprend une voie signal (51) comportant un système de photo-détection (50) du signal de réponse de l'échantillon, et un système d'acquisition (70) du signal photo détecté, relié à la voie signal, caractérisé en ce que le système d'acquisition comportant un élément (71) de déclenchement de l'acquisition, il comprend reliée à cet élément de déclenchement, une voie synchronisation (90) comportant un dispositif (91) de mesure de la fréquence de battement IFs-Fpl. 2. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le dispositif de mesure (91) comporte une photodiode à 2 photons. 3. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif d'asservissement (5) d'une source laser sur l'autre. 25 4. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le dispositif d'asservissement (5) comprend un diviseur de fréquence (6) situé en sortie d'une source laser et un synthétiseur de fréquence (7) relié au diviseur (6) et à l'autre source laser. 30 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le système de photo-détection (50) est un photo-détecteur ou une barrette de photo-détecteurs ou une matrice de photo-détecteurs.20 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les sources laser (10, 15) ont des longueurs d'onde différentes. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 1 kHz et 10 GHz. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications1 à 6, caractérisé en 10 ce que les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 1 kHz et 100 MHz. 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la voie synchronisation (90) comportant le dispositif de 15 mesure (91) de IFs-Fpj est située sur le trajet du signal de réponse de l'échantillon. 10. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il comprend un séparateur (80) du signal de réponse de l'échantillon, en deux 20 trajets, la voie signal (51) étant située sur un trajet et la voie synchronisation (90) sur l'autre trajet. 11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la voie synchronisation (90) est située sur le trajet des faisceaux 25 pompe et sonde destinés à être envoyés sur l'échantillon. 12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend situé en entrée du système de photo détection (50), un filtre (60) du faisceau pompe provenant de 30 l'échantillon. 13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un filtre passe-bas (55) disposé en sortie du système de photo-détection (50) du signal de réponse. 35 14. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fréquence de battement IFs-FpI est comprise entre 1 Hz et 100 kHz. 15. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les sources laser (10, 15) sont aptes à émettre des impulsions d'une durée comprise entre environ 10 fs et 10 picosecondes. 16. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il présente une résolution temporelle sensiblement égale à une picoseconde. 17. Procédé d'échantillonnage optique hétérodyne au moyen d'un dispositif équipé de deux sources laser aptes à émettre respectivement un faisceau d'impulsions pompe et un faisceau d'impulsions sonde de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, comportant une étape de combinaison des faisceaux pompe et sonde , une étape d'envoi des faisceaux pompe et sonde combinés sur un échantillon, une étape de photo détection de la réponse de l'échantillon, et une étape d'acquisition du signal photo détecté, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de mesure de la fréquence de battement IFs-FpI en vue de repérer un instant de coïncidence entre les impulsions pompe et sonde et en ce que l'étape d'acquisition est déclenchée en fonction de l'instant de coïncidence. 18. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il comprend une étape d'asservissement d'une source laser sur l'autre. 19. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 18, caractérisé en ce que la fréquence de battement IFs-FpI est sensiblement égale à -c FS Fp, T étant la durée des impulsions du faisceau sonde . 20. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 19, caractérisé en ce que la réponse de l'échantillon est obtenue par réflexion ou transmission des faisceaux pompe et sonde .35 21. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 20, caractérisé en ce que l'échantillon est un matériau en couches minces ou un circuit intégré ou un semi-conducteur ou une cellule biologique ou un réactif chimique. 22. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 21, caractérisé en ce que l'échantillonnage présente une résolution temporelle de l'ordre de la picoseconde. 10 23. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 22, caractérisé en ce que les sources laser sont aptes à émettre des impulsions d'une durée d'environ 100 femtosecondes. 24. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 23, caractérisé 15 en ce que la fréquence de battement IFs-FpI est comprise entre 10 Hz et 100 kHz. 25. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 à 24, caractérisé en ce que les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 0.1 20 MHz et 100 MHz.5