FR 2895522 A1 20070629 FR 0554064 A 20051223 SUBSTRAT TRANSPARENT COMPORTANT UN REVETEMENT ANTIREFLET 5 L'invention concerne l'utilisation d'un substrat transparent, notamment en verre, muni sur au moins une de ses faces d'un revêtement 10 antireflet. Les revêtements antireflets sont usuellement constitués, pour les plus simples, d'une couche mince interférentielle dont l'indice de réfraction est entre celui du substrat et celui de l'air, ou, pour les plus complexes, d'un empilement de couches minces (en général une alternance de couches à base 15 de matériau diélectrique à forts et faibles indices de réfraction). Dans leurs applications les plus conventionnelles, on les utilise pour diminuer la réflexion lumineuse des substrats, pour en augmenter la transmission lumineuse. Il s'agit par exemple de vitrages destinés à protéger des tableaux, à faire des comptoirs ou des vitrines de magasins. Leur 20 optimisation se fait donc en prenant en compte uniquement les longueurs d'onde dans le domaine du visible. Cependant, il s'est avéré que l'on pouvait avoir besoin d'augmenter la transmission de substrats transparents, et pas uniquement dans le domaine du visible, pour des applications particulières. Il s'agit notamment des 25 cellules solaires (appelées aussi modules ou collecteurs solaires), par exemple des cellules au silicium. Ces cellules ont besoin d'absorber le maximum de l'énergie solaire qu'elles captent, dans le visible, mais aussi au-delà, tout particulièrement dans le proche infrarouge afin de maximiser leur efficacité quantique qui caractérise leur rendement de conversion énergétique. 30 Il est donc apparu, pour augmenter leur rendement, d'optimiser la transmission de l'énergie solaire à travers ce verre dans les longueurs d'onde qui importent pour les cellules solaires. Une première solution a consisté à utiliser des verres extra-clairs, à très faible teneur en oxyde(s) de fer. Il s'agit par exemple des verres commercialisés dans la gamme DIAMANT ou dans la gamme ALBARINO par Saint-Gobain Glass France. Une seconde solution a consisté à munir le verre, côté extérieur, d'un revêtement antireflet constitué d'une mono-couche d'oxyde de silicium poreux, la porosité du matériau permettant d'en abaisser l'indice de réfraction. Cependant, ce revêtement à une couche n'est pas très performant. Il présente en outre une durabilité, notamment vis-à-vis de l'humidité, insuffisante. Une troisième solution a consisté à munir le verre, côté extérieur, d'un revêtement antireflet, notamment au moins dans le visible et dans le proche infrarouge, fait d'un empilement (A) de couches minces en matériau diélectrique d'indices de réfraction alternativement forts et faibles, ce revêtement antireflet présente outre des performances optiques optimales en terme d'augmentation de la transmission lumineuse, des performances correctes en terme de durabilité mécanique et chimique. Bien que cette troisième apporte déjà une solution appréciable en terme de performance du rendement de conversion énergétique de la cellule solaire, les inventeurs ont mis au point un nouveau revêtement antireflet qui soit capable d'augmenter encore davantage le rendement de conversion énergétique de la cellule solaire. L'invention a tout d'abord pour objet l'utilisation d'un substrat transparent, notamment verrier, comportant sur au moins une de ses faces un revêtement antireflet (A) en matériau diélectrique et qui présente une sélectivité entre le domaine des longueurs d'onde du visible incluant le proche infrarouge et le domaine des longueurs d'onde incluant l'infrarouge lointain. Grâce à cette sélectivité du revêtement antireflet, il est possible d'abaisser la température de fonctionnement de quelques degrés au niveau de la cellule solaire, et cette diminution de quelques degrés se traduit par une augmentation du rendement de conversion. Dans des modes de réalisation préférés de l'invention, on peut éventuellement avoir recours en outre à l'une et/ou à l'autre des dispositions suivantes : - utilisation d'un substrat transparent, notamment verrier, comportant sur au moins une de ses faces un revêtement antireflet (A) en matériau diélectrique et dont la sélectivité permet une variation des paramètres électriques de la cellule (Ise, Voe), -utilisation d'un revêtement anti-reflet fait d'un empilement (A) de couches minces en matériau diélectrique d'indices de réfraction alternativement forts 10 et faibles, l'empilement comportant successivement : - une première couche, à haut indice, d'indice à réfraction ni compris entre 1,85 et 2,15 et d'une épaisseur géométrique et comprise entre 10 et 30 nm, - une seconde couche, à bas indice, d'indice de réfraction n2 compris 15 entre 1,35 et 1,55 et d'épaisseur géométrique e2 comprise entre 20 et 40 nm, - une troisième couche, à haut indice, d'indice de réfraction n3 compris entre 1,85 et 2,15 et d'épaisseur géométrique e3 comprise entre 140 nm et 160 nm, - une quatrième couche, à bas indice, d'indice de réfraction n4 20 compris entre 1,35 et 1,55 et d'épaisseur géométrique e4 comprise entre 95 nm et 120 nm. - la première couche à haut indice et/ou la troisième couche à haut indice sont à base d'oxyde(s) métallique(s) choisi(s) parmi l'oxyde de zinc, l'oxyde d'étain, l'oxyde de zirconium ou l'oxyde mixte de zinc et d'étain, ou à 25 base de nitrure(s) choisi(s) parmi le nitrure de silicium et/ou le nitrure d'aluminium, - la première couche à haut indice et/ou la troisième couche à haut indice sont constituées d'une superposition de plusieurs couches à haut indice, notamment d'une superposition de deux couches comme SnO2/Si3N4 ou 30 Si3N4/SnO2. - la seconde couche à bas indice et/ou la quatrième couche à bas indice sont à base d'oxyde de silicium, d'oxynitrure et/ou oxycarbure de silicium ou d'un oxyde mixte de silicium et d'aluminium. - ledit substrat est en verre, clair ou extra-clair, texturé, et de préférence trempé. - l'empilement (A) comprend la séquence de couches suivantes : SnO2 ou Si3N4 / SiO2 / SnO2 ou Si3N4 / SiO2 ou SiAIO - le substrat dispose d'une transmission intégrée sur une gamme de longueurs d'onde comprise entre 400 et 1100 nm d'au moins 90%. - elle vise également l'utilisation du substrat tel que précédemment défini en tant que substrat extérieur transparent de modules solaires comprenant une pluralité de cellules solaires du type Si ou CIS. Selon un autre aspect de l'invention, il vise également un module solaire comprenant une pluralité de cellules solaires du type Si , CIS, CdTe, a-Si, GaAs ou GalnP, qui utilise un substrat tel que rpécédemment défini. Selon une forme de réalisation du module solaire celui-ci dispose d'une augmentation de son rendement, exprimée en densité de courant intégrée, d'au moins 1, 1.5 ou 2% par rapport à un module utilisant un substrat extérieur dépourvu de l'empilement antireflet (A). Selon encore une autre forme de réalisation du module solaire, celle-ci comporte deux substrats en verre, les cellules solaires étant disposées dans l'entre-verre dans lequel on a coulé un polymère durcissable. Au sens de l'invention, on comprend par "couche" soit une couche unique, soit une superposition de couches où chacune d'elles respecte l'indice de réfraction indiqué et où la somme de leurs épaisseurs géométriques reste également la valeur indiquée pour la couche en question. Au sens de l'invention, les couches sont en matériau diélectrique, notamment du type oxyde ou nitrure comme cela sera détaillé ultérieurement. On n'exclut cependant pas qu'au moins l'une d'entre elles soit modifiée de façon à être au moins un peu conductrice, par exemple en dopant un oxyde métallique, ceci par exemple pour conférer éventuellement à l'empilement antireflet également une fonction anti-statique. L'invention s'intéresse préférentiellement aux substrats à fonction verrière, mais peut s'appliquer aussi aux substrats transparents à base de polymère, par exemple en polycarbonate ou PC ou de poly(méthacrylate de méthyle) ou PMMA. L'invention porte donc sur un empilement antireflet de type à quatre couches. C'est un bon compromis, car le nombre de couches est suffisamment important pour que leur interaction interférentielle permettre d'atteindre un effet antireflet important. Cependant, ce nombre reste suffisamment raisonnable pour qu'on puisse fabriquer le produit à grande échelle, sur ligne industrielle, sur des substrats de grande taille, par exemple en utilisant une technique de dépôt sous vide du type pulvérisation cathodique (assistée par champ magnétique). Les critères d'épaisseur et d'indice de réfraction retenus dans l'invention permettent d'obtenir un effet antireflet à large bande, avec une augmentation sensible de la transmission du substrat-porteur, non seulement dans le domaine du visible, mais au-delà aussi, notamment dans l'infrarouge et plus particulièrement dans le proche infrarouge. Il s'agit d'un antireflet performant sur une gamme de longueurs d'onde s'étendant au moins entre 400 et 1100 nm. Les inventeurs ont découvert que l'utilisation d'un empilement antireflet sélectif permet de combiner : - dans le domaine couvrant les longueurs d'onde du visible et jusqu'à celles du proche infra-rouge (typiquement de 300 à 1300 nm pour une cellule à base de CIS) d'obtenir une transmission lumineuse élevée ce qui garantit un rendement de conversion énergétique élevée, cette transmission élevée se traduisant au niveau de la cellule par d'une variation d'un paramètre caractéristique (ISc pour Intensity Short Circuit) qui conditionne justement ce rendement de conversion - dans le domaine à partir du proche infrarouge jusqu'à l'infrarouge lointain (typiquement 1300 nm à 50000 nm pour une cellule à base de CIS) d'obtenir une réflexion importante du rayonnement incident dans ces longueurs d'onde, ce qui favorise une diminution sensible de la température de fonctionnement de la cellule, et qui conduit au niveau de la cellule à une variation d'un second paramètre caractéristique Vos (Voltage Open Circuit) de la cellule Les inventeurs ont ainsi sélectionné des épaisseurs pour les couches de l'empilement différentes des épaisseurs choisies habituellement pour les revêtements anti-reflets classiques, destinés à ne diminuer la réflexion que dans le visible. Dans la présente invention, cette sélection a été faite de façon à anti-refléter le substrat non seulement dans le visible mais aussi dans l'infra-rouge. Les matériaux les plus appropriés pour constituer la première et/ou la troisième couche, celles à haut indice, sont à base d'oxyde(s) métallique(s) choisi(s) parmi l'oxyde de zinc ZnO, l'oxyde d'étain SnO2i l'oxyde de zirconium ZrO2. Il peut notamment s'agir d'un oxyde mixte de Zn et de Sn, du type stannate de zinc. Ils peuvent aussi être à base de nitrure(s) choisi(s) parmi le nitrure de silicium Si3N4 et/ou le nitrure d'aluminium AIN. Utiliser une couche en nitrure pour l'une ou l'autre des couches à haut indice, notamment la troisième au moins, permet d'ajouter une fonctionnalité à l'empilement, à savoir une capacité à mieux supporter les traitements thermiques sans altération notable de ses propriétés optiques. Or, c'est une fonctionnalité qui est importante pour les verres qui doivent faire partie des cellules solaires, car ces verres doivent généralement subir un traitement thermique à haute température, du type trempe, où les verres doivent être chauffés entre 500 et 700 C. Il devient alors avantageux de pouvoir déposer les couches minces avant le traitement thermique sans que cela pose de problème, car il est plus simple sur le plan industriel de faire les dépôts avant tout traitement thermique. On peut ainsi avoir une seule configuration d'empilement antireflet, que le verre porteur soit ou non destiné à subir un traitement thermique. Même s'il n'est pas destiné à être chauffé, il reste intéressant d'utiliser au moins une couche en nitrure, car elle améliore la durabilité mécanique et chimique de l'empilement dans son ensemble. Cela est d'autant plus important dans des applications à des cellules solaires, constamment exposées aux aléas climatiques. Selon un mode de réalisation particulier, la première et/ou la troisième couche, celles à haut indice, peuvent en fait être constituées de plusieurs couches à haut indice superposées. Il peut tout particulièrement s'agir d'un bicouche du type SnO2/Si3N4 ou Si3N4/SnO2. L'avantage en est le suivant : le Si3N4 tend à se déposer un peu moins facilement, un peu plus lentement qu'un oxyde métallique classique comme SnO2i ZnO ou ZrO2 par pulvérisation cathodique réactive. Pour la troisième couche notamment, qui est la plus épaisse et la plus importante pour protéger l'empilement des détériorations éventuelles résultant d'un traitement thermique, il peut être intéressant de dédoubler la couche de façon à mettre juste l'épaisseur suffisante de Si3N4 pour obtenir l'effet de protection vis-à-vis des traitements thermiques voulus, et à "compléter" optiquement la couche par du SnO2i du ZnO ou par un oxyde mixte de zinc et d'étain du type stannate de zinc. Les matériaux les plus appropriés pour constituer la seconde et/ou la quatrième couche, celles à bas indice, sont à base d'oxyde de silicium, d'oxynitrure et/ou d'oxycarbure de silicium ou encore à base d'un oxyde mixte de silicium et d'aluminium. Un tel oxyde mixte tend à avoir une meilleure durabilité, notamment chimique, que du SiO2 pur (Un exemple en est donné dans le brevet EP- 791 562). On peut ajuster la proportion respective des deux oxydes pour obtenir l'amélioration de durabilité escomptée sans trop augmenter l'indice de réfraction de la couche. Le verre choisi pour le substrat revêtu de l'empilement selon l'invention ou pour les autres substrats qui lui sont associés pour former un vitrage, peut être particulier, par exemple extra-clair du type "Diamant" ( pauvre en oxides de fer notamment), ou être un verre clair silico-sodo-calcique standard du type "Planilux", ou encore un verre extra clair dont l'une au moins des faces présente une texturation de surface du type Albarino (trois types de verres commercialisés par Saint-Gobain Vitrage). Des exemples particulièrement intéressants des revêtements selon l'invention comprennent les séquences de couches suivantes : - pour un empilement à quatre couches : SnO2 ou Si3N4/SiO2/SnO2 ou Si3N4/SiO2 ou SiAIO (SiAIO correspond ici à un oxyde mixte d'aluminium et de silicium, sans préjuger de leurs quantités respectives dans le matériau) Les substrats de type verre, notamment extra-clair, ayant ce type d'empilement peuvent ainsi atteindre des valeurs de transmission intégrées entre 400 et 1300 nm d'au moins 90 %, notamment pour des épaisseurs comprises entre 2 mm et 8 mm. L'invention a aussi pour objet les substrats revêtus selon l'invention en tant que substrats extérieurs pour des cellules solaires du type Si ou CIS. On commercialise généralement ce type de produit sous forme de cellules solaires montées en série et disposées entre deux substrats rigides transparents du type verre. Les cellules sont maintenues entre les substrats par un matériau polymère (ou plusieurs). Selon un mode de réalisation préféré de l'invnetion qui est décrit dans le brevet EP 0739 042, les cellules solaires peuvent être placées entre les deux substrats, puis l'espace creux entre les substrats est rempli avec un polymère coulé apte à durcir, tout particulièrement à base de polyuréthane issu de la réaction d'un prépolymère d'isocyanate aliphatique et d'un polyétherpolyol. Le durcissement du polymère peut se faire à chaud (30 à 50 C) et éventuellement en légère surpression, par exemple dans un autoclave. D'autres polymères peuvent être utilisés, comme de l'éthylène vinylacétate EVA, et d'autres montages sont possibles (par exemple, un feuilletage entre les deux verres des cellules à l'aide d'une ou de plusieurs feuilles de polymère thermoplastique). C'est l'ensemble des substrats, du polymère et des cellules solaires que l'on désigne et que l'on vend sous le nom de module solaire. L'invention a donc aussi pour objet lesdits modules. Avec le substrat modifié selon l'invention, les modules solaires peuvent augmenter leur rendement d'au moins 1, 1.5 ou 2% (exprimé en densité de courant intégré) par rapport à des modules utilisant le même substrat mais dépourvus du revêtement. Quand on sait que les modules solaires ne sont pas vendus au mètre carré, mais à la puissance électrique délivrée (approximativement, on peut estimer qu'un mètre carré de cellule solaire peut fournir environ 130 Watt), chaque pourcent de rendement supplémentaire accroît la performance électrique, et donc le prix, d'un module solaire de dimensions données. Un procédé de fabrication de l'empilement antireflet peut consister à déposer l'ensemble des couches, successivement, par une technique sous vide, notamment par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique ou par décharge couronne. Ainsi, on peut déposer les couches d'oxyde par pulvérisation réactive du métal en question en présence d'oxygène et les couches en nitrure en présence d'azote. Pour faire du SiO2 ou du Si3N4, on peut partir d'une cible en silicium que l'on dope légèrement avec un métal comme l'aluminium pour la rendre suffisamment conductrice. Il est également possible, comme le préconise le brevet W097/43224, qu'une partie des couches de l'empilement soit déposée par une technique de dépôt à chaud du type CVD, le reste de l'empilement étant déposé à froid par pulvérisation cathodique. Les détails et caractéristiques avantageuses de l'invention vont maintenant ressortir des exemples suivants non limitatifs, à l'aide des figures : - la figure 1 illustre un substrat muni d'un empilement antireflet A à quatre couches selon l'invention, - la figure 2 illustre des graphes représentant le spectre en transmission de différents substrats nus ou revêtus d'empilements antireflets selon les 15 différents exemples de l'invention. -la figure 3 illustre des graphes montrant le gain énergétique pouvant être obtenu à la suite d'une variation de température, pour différents types de cellules équipées de différents substrats. - la figure 4 illustre un module solaire intégrant le substrat selon la 20 figure 1. La figure 1, très schématique, représente en coupe un verre 6 surmonté d'un empilement antireflet (A) à quatre couches 1, 2, 3, 4. EXEMPLE 1 L'exemple 1 concerne un verre extra-clair texturé de la gamme 25 Albarino qui est nu, c'est-à-dire qu'il n'est revêtu d'aucun empilement. Des mesures optiques ont permis de déterminer une T1 de 91.47 % et un facteur solaire de 91.27 % Pour ce substrat, on donne ci-après sa sélectivité f J•1300 DOL) xT(a,)d~, J300 30 T - eff f1300 DO 300 ~~~ 10 et S=Tff TE Avec : D(X) : spectre d'émission solaire T(X) : transmission spectrale du verre TE : transmission énergétique du verre (300-2500nm) Après calcul, on obtient S= 1.00 EXEMPLE 2 L'exemple 2 concerne un verre extra-clair texturé de la gamme Albarino revêtu d'un revêtement antireflet à base de silice poreuse. 10 Des mesures optiques ont permis de déterminer une T1 de 95.65 % et un facteur solaire de 94.01 % Pour ce substrat et cet empilement anti-reflet, on donne ci-après sa sélectivité S (calculée à partir des mêmes équations que précédemment) 15 Après calcul, on obtient S= 1.02 EXEMPLE 3 L'exemple 3 concerne un verre extra-clair texturé de la gamme Albarino revêtu d'un revêtement antireflet à quatre couches. Des mesures optiques ont permis de déterminer une T1 de 94.60 % et un 20 facteur solaire de 91.35 % Pour ce substrat et cet empilement anti-reflet, on donne ci-après sa selectivité S (calculée à partir des mêmes équations que précédemment) Après calcul, on obtient S= 1.04 Dans cet exemple, l'empilement antireflet utilisé est le suivant : Indice de réfraction Exemple 3 (nm) Si3N4 (1) 1,95 - 2,05 19 SiO2 (2) 1, 47 29 Si3N4 (3) 1,95 - 2,05 150 SiO2 (4) 1,47 100 25 (Le Si3N4 peut être remplacé, pour la couche (1) et/ou pour la couche (3), par du SnO2). Le verre revêtu de l'exemple 3 est monté en tant que verre extérieur de modules solaires. La figure 4 représente de façon très schématique un module solaire 10 selon l'invention. Le module 10 est constitué de la façon suivante : le verre 6 muni du revêtement antireflet (A) est associé à un verre 8 dit verre intérieur . Ce verre 8 est en verre trempé, de 4 mm d'épaisseur, et de type clair extra-clair ( Planidur DIAMANT ). Les cellules solaires 9 sont placées entre les deux verres, puis on vient couler dans l'entre-verre un polymère durcissable à base de polyuréthane 7 conformément à l'enseignement du brevet EP 0 739 042 précité. Chaque cellule solaire 9 est constituée, de façon connue, à partir de wafers de silicium formant une jonction p/n et des contacts électriques avant et arrière imprimés. Les cellules solaires de silicium peuvent être remplacées par des cellules solaires utilisant d'autres semi-conducteurs (comme CIS, CdTe, a-Si, GaAs, GalnP). Pour ce module solaire, on peut également calculer la sélectivité intégrant la cellule (dans notre cas une cellule solaire à base de CIS) 15 01300 __ J3oo DOL) xT(X)xReellule(X)dX Tell f 1300 D(X) x R eellule (X,)dX J300 Avec : D(X) : spectre d'émission solaire T(X) : transmission spectrale du verre Rceuule (2) : réponse de la cellule photovoltaïque à une longueur 20 d'onde Sélectivité : S = T ff r000 o(D(L,)xT(X)+D'(X))xabs(X)cM, Avec : Teff défini ci-dessus D(X) : spectre d'émission solaire 25 T(X) : transmission spectrale D'(X) : spectre d'émission du verre Abs(X) : absorption de la cellule photovoltaïque Pour simplification des mesures, on peut prendre : 30 S = T rr TEx(1ùR'E) Avec : TE : transmission énergétique du verre (300-2500nm) R'E : réflexion énergétique du la cellule photovoltaïque (300-2500 nm) A titre de comparaison, on a monté un module solaire identique au précédent, mais avec un verre extérieur 6 en verre extra-clair ne comportant pas le revêtement antireflet selon l'invention (par exemple celui de l'exemple 1). On a représenté au niveau de la figure 2, pour chacun des exemples 1, 2, 3 l'évolution du spectre en transmission pour des longueurs d'onde couvrant le spectre solaire. On a également porté sur cette figure 2, l'évolution de l'efficacité quantique d'une cellule. Cette efficacité quantique, pour une technologie donnée de cellule (CIS dans cet exemple) permet de quantifier le rendement de conversion énergétique de la cellule qui est soumise au rayonnement solaire. Le caractère sélectif d'un tel empilement antireflet (exemple 3) comparé au même substrat nu permet de diminuer l'augmentation de la température de la cellule. On pourra se reporter à la figure 3. Sur la figure 3, on a représenté l'évolution de la température du substrat de l'exemple 1 et de l'exemple 3 dans le temps, lorsque ce substrat est soumis à une illumination d'un spectre de longueurs d'onde couvrant le spectre solaire. Comme on peut le voir le substrat de l'exemple 1 (qui est un verre nu) s'échauffe sensiblement plus que le même substrat de l'exemple 3 qui comporte un revêtement antireflet. Lorsque l'on étudie la figure 3, qui représente l'évolution de la tension à vide (Voc) pour les mêmes substrats de l'exemple 1 et de l'exemple 3, on remarque que ce gain est de l'ordre de 1 % (voire 2 % dans certaines configuartions), ce qui est loin d'être négligeable dans la technologie des cellules solaires. GB2 2005127 FR REVENDICATIONS 1. Utilisation d'un substrat transparent, notamment verrier, comportant sur au moins une de ses faces un revêtement antireflet (A) en matériau diélectrique et qui présente une sélectivité entre le domaine des longueurs d'onde du visible incluant le proche infrarouge et le domaine des longueurs d'onde incluant l'infrarouge lointain. 2. Utilisation d'un substrat selon la revendication 1, caractérisée en ce que la sélectivité permet une variation des paramètres électriques (Isc, Vos) 10 d'une cellule solaire (9). 3. Utilisation d'un substrat selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que le revêtement anti-reflet comporte un empilement (A) de couches minces en matériau diélectrique d'indices de réfraction alternativement forts et faibles, l'empilement comportant successivement : 15 - une première couche (1), à haut indice, d'indice à réfraction n1 compris entre 1,85 et 2,15 et d'une épaisseur géométrique e, comprise entre 10 et 30 nm, - une seconde couche (2), à bas indice, d'indice de réfraction n2 compris entre 1,35 et 1,55 et d'épaisseur géométrique e2 comprise entre 20 et 40 nm, 20 - une troisième couche (3), à haut indice, d'indice de réfraction n3 compris entre 1,85 et 2,15 et d'épaisseur géométrique e3 comprise entre 140 nm et 160 nm, - une quatrième couche (4), à bas indice, d'indice de réfraction n4 compris entre 1,35 et 1,55 et d'épaisseur géométrique e4 comprise entre 95 nm et 120 25 nm. 4. Utilisation d'un substrat selon la revendication 3, caractérisée en ce que la première couche à haut indice (1) et/ou la troisième couche à haut indice (3) sont à base d'oxyde(s) métallique(s) choisi(s) parmi l'oxyde de zinc, l'oxyde d'étain, l'oxyde de zirconium ou l'oxyde mixte de zinc et d'étain, ou à base de 30 nitrure(s) choisi(s) parmi te nitrure de silicium et/ou le nitrure d'aluminium. 5. Utilisation d'un substrat selon la revendication 3, caractérisée en ce que la première couche à haut indice (1) et/ou la troisième couche (3) à haut indice sont constituées d'une superposition de plusieurs couches à haut indice, GB2 2005127 FR 2895522 /' 14 notamment d'une superposition de deux couches comme SnO2/Si3N4 ou Si3N4/SnO2. 6. Utilisation d'un substrat selon la revendication 3, caractérisée en ce que la seconde couche à bas indice (2) et/ou la quatrième couche à bas indice 5 (4) sont à base d'oxyde de silicium, d'oxynitrure et/ou oxycarbure de silicium ou d'un oxyde mixte de silicium et d'aluminium. 7. Utilisation d'un substrat selon l'une des revendications 3 à 6, caractérisée en ce que le substrat est en verre, clair ou extra-clair, texturé, et de préférence trempé. 8. Utilisation d'un substrat selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'empilement (A) comprend la séquence de couches suivantes : SnO2 ou Si3N4 / SiO2 / SnO2 ou Si3N4 / SiO2 ou SiAIO. 9. Utilisation d'un substrat selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le substrat a une transmission intégrée sur une gamme de 15 longueurs d'onde comprise entre 400 et 1100 nm d'au moins 90%. 10. Utilisation du substrat (6) selon l'une des revendications précédentes, en tant que substrat extérieur transparent de modules solaires (10) comprenant une pluralité de cellules solaires (9) du type Si ou CIS. 11. Module solaire (10) comprenant une pluralité de cellules solaires (9) 20 du type Si, CIS, CdTe, a-Si, GaAs ou GalnP, caractérisé en ce qu'il utilise en tant que substrat extérieur le substrat (6) selon l'une des revendications 1 à 10. 12. Module solaire (10) selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il a une augmentation de son rendement, exprimée en densité de courant intégrée, d'au moins 1, voire de 2% par rapport à un module utilisant un substrat extérieur 25 dépourvu de l'empilement antireflet (A). 13. Module solaire (10) selon l'une des revendications 11 ou 12 caractérisé en ce qu'il comporte deux substrats en verre (6, 8), les cellules solaires (9) étant disposées dans l'entre-verre dans lequel on a coulé un polymère durcissable (7).