FR 2836727 A1 20030905 FR 0202740 A 20020304 Dispositif de balayage ontiaue confocal L'invention concerne un dispositif de balayage optique destiné à balayer simultanément un plan observé et un plan image. Le brevet numéro PCTIFROl/02890 décrit un dispositif de balayage destiné à balayer simultanément un plan observé et un plan image. Deux types de dispositifs de balayage sont décrits dans ce document : - des dispositifs utilisant un réseau de micromiroirs pour filtrer le faisceau lumineux, et n'utilisant qu'une seule face d'un miroir mobile. - des dispositifs utilisant un ou plusieurs trous microscopiques en tant que dispositif de filtrage spatial, pour filtrer le faisceau lumineux, et utilisant les deux faces opposées d'un miroir mobile. Les dispositifs de balayage de la seconde catégorie utilisent un miroir mobile ayant : - une face objet dirigée vers l'objet observé (et donc vers l'objectif de microscope), qui permet de déplaçer, dans le plan du réseau de trous microscopiques, l'image géométrique d'un point fixe de l'objet observé, - une face image dirigée vers le dispositif de détection (par exemple, la caméra), qui permet de ramener en un point fixe du dispositif de détection l'image géométrique d'un point fixe de l'objet observé, La face objet permet donc le balayage à proprement parler, et la face image permet une compensation de ce balayage. Les figures 1 à 5 permettent de mieux comprendre le mécanisme de compensation. La figure l (a) montre une configuration fictive ayant des propriétés simples de symétrie. Le faisceau arrivant horizontalement sur la face objet 01 est réfléchi vers le haut. Le faisceau arrivant verticalement sur la face image 02 est réfléchi vers la droite. La figure 1 (b) montre le principe de balayage et de compensation utilisé dans l'état de l'art. Le faisceau arrive horizontalement sur la face objet et est réfléchi vers le haut. Le faisceau arrive horizontalement sur la face image et est réfléchi vers le bas. Si le miroir mobile subit une rotation autour d'un axe orthogonal au plan de la figure, comme indiqué sur la figure 2, les faisceaux réfléchis de la figure 1 (a) subissent chacun une rotation dans le sens indiqué par la figure 2 (a). Par inversion du sens des faisceaux, on en déduit la direction que doivent avoir les faisceaux incidents sur la face image du miroir mobile, dans le système de balayage et de compensation de la figure 1 (b), pour que la direction du faisceau en sortie reste constante. Cette direction est représentée sur la figure 2 (b). Le système de lentilles et de miroir ramenant le faisceau lumineux de la face objet à la face image du miroir mobile doit donc être prévu pour que le faisceau réfléchi par la face objet et dévié vers la droite de la figure, parvienne à la face image en étant dévié vers le haut. Si le miroir mobile subit une petite rotation autour d'un axe situé dans le plan de la figure, comme indiqué sur la figure 3, les directions des faisceaux des figures 2 (a) et 2 (b) sont modifiées comme indiqué respectivement sur les figures 3 (a) et 3 (b). Sur ces figures, une croix représente un faisceau s'éloignant de l'observateur, et un point dans un rond représente un faisceau se rapprochant de l'observateur. Toutefois, la situation représentée sur la figure 3 n'est valable qu'au premier ordre. Lorsque les angles de rotation du miroir mobile deviennent suffisamment important, un phénomène du second ordre apparaît qui est une rotation vers la droite du faisceau réfléchi par la face objet. Les schémas de la figure 3 doivent alors être modifiés comme indiqué sur la figure 4. Pour que la compensation se fasse correctement au premier ordre, le système de lentilles et de miroirs ramenant le faisceau de la face objet à la face image doit permettre de vérifier les situations des figures 2 (b) et 3 (b). Par conséquence, un faisceau réfléchi par la face objet comme indiqué sur la figure 4 (a) revient à la face image comme indiqué sur la figure 5. Hors pour repartir dans une direction constante il devrait revenir comme indiqué sur la figure 4 (b). Il y a incompatibilité entre la compensation au premier ordre de l'ensemble des mouvements du miroir et la compensation au second ordre des mouvements de rotation autour d'un axe situé dans le plan de la figure. Le système étant conçu pour que la compensation se fasse correctement au premier ordre, la déviation du second ordre n'est pas compensée mais amplifiée, comme indiqué sur la figure 5. Par conséquence, l'image obtenue sur le détecteur est affectée par une perturbation du second ordre par rapport à l'amplitude des mouvements rotatifs du miroir autour d'un axe situé dans le plan de la figure. Selon l'invention, ce problème est résolu au moyen d'un dispositif de balayage optique confocal comprenant : - au moins un miroir mobile en rotation comprenant une face objet, pour rediriger un faisceau lumineux provenant d'un objet observé, - au moins deux lentilles de contrôle traversées par le faisceau lumineux entre la face objet et une face image du miroir mobile, opposée à la face objet, - au moins un trou microscopique plaçé dans un plan image intermédiaire entre deux lentilles de contrôle. - des miroirs de redirection redirigeant le faisceau lumineux provenant de l'objet observé et ayant été réfléchi par la face objet, vers la face image du miroir mobile, pour permetre le retour du faisceau vers la face image, et pour qu'un faisceau incident suivant une direction fixe sur la face objet quitte la face image avec une direction fixe, indépendante de la position du miroir mobile, pour un ensemble d'angles de rotation utiles du miroir mobile, Caractérisé par le fait que lesdits miroirs de redirection et lesdites lentilles de contrôle sont disposés pour qu'un faisceau incident sur la face image en provenance de la face objet ait même direction et même sens que le même faisceau lorsqu'il quitte la face objet en direction de la face image. Le problème est donc résolu au moyen d'un système de balayage dans lequel le faisceau incident sur la face objet est ramené à la face image de la manière indiquée sur la figure 6 (a), à savoir que le faisceau réfléchi par la face objet revient vers la face image en ayant la même direction et le même sens que juste après sa réflexion par la face objet, et le faisceau quittant le miroir mobile après réflexion sur la face image a même direction et même sens que le faisceau incident sur le miroir mobile avant réflexion sur la face objet. La compensation des mouvements du miroir mobile se fait alors comme indiqué sur les figures 6 (b) et (c) et il n'y a pas incompatibilité entre la compensation du premier ordre et la compensation du second ordre. Le système de lentilles et de miroirs permettant de ramener le faisceau réfléchi par la face objet, en direction de la face image, de la manière indiquée par la figure 6 (c), ramène également le faisceau réfléchi par la face objet de la figure 6 (b) vers la face image comme indiqué par la figure 6 (b). D'une manière générale on peut montrer que la compensation est parfaite à tous les ordres. Dans le cas ou le miroir mobile a deux axes de rotation distincts, cette configuration pemet d'utiliser des angles de rotation importants autour des deux axes. Dans le cas ou le miroir mobile n'a qu'un axe de rotation, cette configuration améliore la robustesse du système par rapport aux imprécisions de positionnement du miroir, et permet l'utilisation de l'axe de rotation le plus pratique compte tenu des conditions d'encombrement. D'une manière générale, cette configuration permet d'élargir l'ensemble des angles de rotation utiles du miroir mobile. Toutefois, ces angles de rotation restent limités par les aberrations des lentilles et par le fait que le faisceau ne doit pas sortir d'une trajectoire le faisant passer par les lentilles de contrôle, les miroirs de redirection, et le réseau de trous microscopiques. Cette configuration permet également de résoudre le problème des vibrations qui pourraient être transmises du système de balayage vers l'objectif de microscope et/ou l'échantillon observé. A cet effet, et selon une caractéristique de l'invention, le dispositif de balayage est également caractérisé par les faits suivants : - il comprend au moins une lentille objet traversée par la lumière provenant de l'objet observé et dirigée vers la face objet du miroir mobile, - il comprend au moins une lentille image traversée par la lumière provenant de l'objet observé et ayant préalablement été réfléchie successivement par les faces objet et image du miroir mobile, et dirigée vers un plan ou se forme l'image de l'objet observé, - Les lentilles objet et image sont fixées sur un premier bâti, - le miroir mobile, les lentilles de contrôle et les miroirs de redirection sont fixés sur un second bâti, - le premier et le second bâti peuvent se déplaçer l'un par rapport à l'autre ne sont liés l'un à l'autre que par des liaisons déformables. Les liaisons déformables peuvent typiquement être des ressorts ou des éléments en caoutchouc. L'ensemble constitué par le miroir mobile et le système de miroirs et de lentilles ramenant le faisceau de la face objet à la face image, constitue alors un tout solidarisé et suspendu de manière à l'isoler mécaniquement du reste du dispositif de microscopie (lentille objet et lentille image). En l'absence d'un réseau de trous microscopiques, les éventuels mouvements de cet ensemble influent très peu sur la qualité de l'image observée. En présence d'un réseau de trous microscopiques, cette influence reste faible à condition que les éventuelles oscillations soient à une fréquence suffisamment inférieure à la fréquence de balayage. En effet : - le passage du faisceau lumineux d'un élément lié au premier bâti vers un élément lié au second bâti, mobile par rapport au premier, a lieu dans une zone afocale, ce qui évite une influence sur le plan de focalisation des déplacements en translation du second bâti par rapport au premier. - Dans un repère lié au second bâti, la direction du faisceau quittant la face image est la même que la direction du faiseau parvenant à la face objet, quelle que soit la direction du faisceau incident sur la face objet. Ceci reste vrai dans un repère lié au premier bâti, et quels que soient les mouvements du second bâti par rapport au premier la direction du faisceau quittant la face image reste la même que la direction du faisceau incident sur la face objet. Ceci implique que l'image dans le plan image (après passage de la lentille image) d'un point fixe de l'objet observé, reste fixe lorsque le second bâti se déplace en rotation par rapport au premier. Selon une caractéristique de l'invention, une solution simple applicable lorsque les vibrations ne sont pas trop importantes dans l'environnement consiste en ce que le premier bâti soit posé sur une table antivibrations, et en ce que le second bâti soit directement lié au sol. La liaison déformable est constituée, dans ce cas, par le système de suspension de la table antivibrations. Si les vibrations sont trop importantes, le premier bâti est posé sur une première table antivibrations, et le second bâti est posé sur une seconde table antivibrations indépendante de la première. L'invention permet également de résoudre le problème d'encombrement rencontré lorsque on cherche à insérer le système dans le chemin optique d'un microscope existant. En effet, dans ce cas, le miroir mobile doit être inséré dans la partie afocale du trajet optique sans que cette insertion nécessite une modification de ce trajet (changement de direction par exemple) et sans que le système rallonge excessivement le trajet optique. La configuration adoptée permet de conserver la direction du chemin optique au passage du dispositif et de limiter l'encombrement, sur le chemin optique, à la largeur du miroir mobile (le reste du dispositif de balayage étant par exemple sur le coté). Un tel dispositif de balayage peut être réalisé de diverses manières. Un but de l'invention est de permettre la réalisation d'un tel dispositif en en minimisant l'encombrement et en optimisant sa transmissivité. Ce but de l'invention est atteint au moyen d'un dispositif de balayage caractérisé par les faits suivants : - il comprend exactement deux groupes de lentilles de contrôle, - chacun de ces groupes sépare une zone afocale dans laquelle se trouve une face du miroir mobile, d'une zone de focalisation dans laquelle se trouve un réseau de trous microscopiques, - il comprend exactement 4 miroirs de redirection. En effet, un dispositif de balayage selon l'invention contient au minimum deux lentilles, pour passer de la zone afocale ou se trouve la face objet du miroir mobile au plan image ou se trouve le réseau de trous microscopiques, et réciproquement pour passer du réseau de trous microscopiques à la zone afocale ou se trouve la face image du miroir mobile. Par ailleurs on peut montrer qu'il n'est pas possible, en utilisant exactement deux lentilles, de ramener le faisceau issu de la face objet du miroir mobile, vers la face image du miroir mobile, et d'obtenir un effet de compensation, en utilisant moins de quatre miroirs. La configuration à 4 miroirs et 2 lentilles est donc la plus optimale. Toutefois, le fait d'utiliser 4 miroirs et 2 lentilles ne garantit pas pour autant une compensation correcte par la face image du balayage réalisé par la face objet. Pour que cette compensation soit effective, et selon une caractéristique de l'invention, le dispositif doit vérifier la condition suivante : ou (UVXVXVXXXY), représente l'angle entre le produit vectoriel (UVxVX) des vecteurs UV et VX, et le produit vectoriel (vxxxy) des vecteurs VX et XY, orienté par le vecteur VX, pour tout ensemble de points U, V, X ; y et ou : A est le point de la face objet du miroir mobile qui se trouve sur l'axe optique. B est le point du premier miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. C est le point du deuxième miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. D est le point du troisième miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. E est le point du quatrième miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. F est le point de la face image du miroir mobile qui se trouve sur l'axe optique. Cette condition implique en particulier que les points A, B, C, D, E, F soient non coplanaires. Description rapide des feutres. Les figures 1 à 5 servent de support à l'explication d'un défaut des microscopes selon l'art antérieur. Les figures l (a), 2 (a), 3 (a), 4 (a) représentent une configuration symmétrique permettant par inversion de la direction du faisceau d'obtenir les figures l (b), 2 (b), 3 (b), 4 (b) qui illustrent le principe de compensation utilisé dans l'état de la technique. La figure 1 représente la position centrale du miroir mobile. La figure 2 représente l'effet d'un mouvement de rotation autour d'un axe orthogonal au plan de la figure. La figure 3 représente l'effet au premier ordre d'un mouvement de rotation autour d'un axe situé dans le plan de la figure. La figure 4 représente l'effet au second ordre de ce mouvement. La figure 5 représente l'effet au second ordre de ce mouvement lorsque le système est configuré pour compenser au premier ordre les rotations du miroir mobile. La figure 6 représente le principe utilisé suivant l'invention pour effectuer la compensation du mouvement de balayage. La figure 6 (a) représente une position centrale du miroir mobile. La figure 6 (b) représente l'effet d'une rotation autour d'un axe orthogonal au plan de la figure. La figure 6 (c) représente l'effet d'une rotation autour d'un axe situé dans le plan de la figure. La figure 7 représente un premier exemple de réalisation de l'invention. La figure 8 représente le chemin optique utilisé sur la figure 7, mais sans le repliement dû aux miroirs de redirection. La figure 9 représente le principe de redirection par les miroirs et définit les points A, B, C, D, E, F caractérisant cette redirection. Les figures 10 à 15 se rapportent à un second mode de réalisation de l'invention. La figure 10 représente le chemin optique déplié , sans les miroirs de redirection. La figure 11 représente un exemple de position dans un espace 3D des points A, B, C, D, E, F qui définissent le repliement. Les figures 12 à 15 se rapportent à un exemple particulier de ce second mode de réalisation, complètement dimensionné. La figure 12 représente une lentille utilisée, composée de deux achromats identiques. Les figures 13 à 15 représentent plusieurs vues du dispositif, la figure 15 étant une vue en perspective. Premier mode de réalisation. Ce premier mode de réalisation est représenté sur la figure 7. Un faisceau lumineux provenant d'un plan image 112 d'un microscope non représenté traverse une lentille objet 111 dont un plan focal est le plan 112. On a représenté sur la figure le faisceau provenant d'un point particulier de l'objet observé. Après traversée de la lentille 111 le faisceau est en zone afocale, c'est-à-dire que le faisceau provenant d'un point donné du plan 112 devient parallèle après traversée de la lentille 111. Le faisceau parvient ensuite à l'ensemble de balayage et de compensation 120 dont l'entrée et la sortie sont en zone afocale. Le premier élément rencontré par le faisceau dans le dispositif de balayage est la face objet 101 (a) du miroir galvanométrique située dans un plan focal de la lentille 111. Cette face du miroir galvanométrique réfléchit le faisceau vers la lentille 102 dont un plan focal est sur la face 101 (a) du miroir galvanométrique. Après traversée de la lentille 102 le faisceau parvient au miroir 103 qui réfléchit le faisceau vers le réseau de trous microscopiques 104 situé dans un plan focal de la lentille 102. Le faisceau ayant traversé le réseau de trous microscopiques 104 est ensuite réfléchi par le miroir 105 puis traverse la lentille 106 dont un plan focal est sur le réseau 104. Il traverse alors la lentille 107 dont un plan focal est confondu avec un second plan focal de la lentille 106. Il est réfléchi par les miroirs 108 et 109 puis traverse la lentille 110 dont un plan focal est confondu avec le second plan focal de la lentille 107. Il est réfléchi par la face image 101 (b) du miroir galvanométrique et sort du dispositif de balayage 120. Il est alors focalisé dans un plan image 114 par la lentille image 113. Typiquement, un capteur CCD est plaçé dans le plan 114. Les lentilles 102,106, 107,110 sont identiques entre elles. Le faisceau d'éclairage dirigé vers l'objet observé peut être injecté en divers points, dans le dispositif de balayage ou en-dehors de ce dispositif. On a représenté içi le cas ou un faisceau 115 issu d'une lampe à vapeur de mercure est injecté dans le système au moyen d'un miroir dichroïque 100. On n'a représenté par des flèches que la direction du faisceau provenant de l'objet observé ; le faisceau d'éclairage se dirigeant vers l'objet a la direction inverse. On vérifie que dans ce mode de réalisation la compensation du balayage est effective : - la direction du faisceau provenant de l'objet observé est la même avant réflexion sur la face objet du miroir galvanométrique et après réflexion sur la face image du miroir galvanométrique. - par conséquence, l'image géométrique d'un point fixe du plan 112 est un point fixe du plan 114. La figure 8 illustre le chemin optique de l'ensemble de balayage et de compensation dans ce mode de réalisation, suivant une représentation dépliée ne prenant pas en compte les miroirs. Le faisceau issu de la face objet 101 (a) du miroir galvanométrique traverse successivement la lentille 102, le réseau de trous microscopiques 104, la lentille 106, la lentille 107, la lentille 110, et revient à la face image 101 (b) du miroir galvanométrique. Le schéma de la figure 7 est obtenu en repliant ce trajet optique au moyen des miroirs de redirection 103,105, 108,109. Les positions de ces miroirs et donc les caractéristiques du repliement du trajet optique peuvent être caractérisées par les coordonnées des points de ces miroirs qui se trouvent sur l'axe optique. On a représenté ces miroirs et ces points sur la figure 9. Le point A est le centre de la face objet 10 1 (a) du miroir galvanométrique, situé sur l'axe optique 121. Le point B est le point du miroir 103 qui est sur l'axe optique 121. De même, les points C, D, E, F sont les points des miroirs successivement atteints par le faisceau et situés sur l'axe optique. Dans le cas présent les points A, B, C, D, E, F sont coplanaires. Dans le cas ou le plan 112 est le plan image d'un microscope fixé sur une table antivibrations, les lentilles image 113 et objet 112 peuvent être montées sur un premier bâti solidaire de cette même table antivibrations, le dispositif de balayage et de compensation 120 étant monté sur un second bâti qui peut être fixé directement au sol, ou solidarisé d'une seconde table antivibrations, indépendante de la première. Second mode de réalisation. Ce second mode de réalisation consiste à utiliser non pas 4 lentilles séparant des zones afocales et des plans image, comme dans le cas précédent, mais seulement deux lentilles ou groupes de lentilles séparant chacune une zone afocale d'un plan image. La figure 10 montre la représentation dépliée de ce mode de réalisation, suivant le même principe que la figure 8. Le faisceau réfléchi par la face objet 201 (a) du miroir galvanométrique traverse la lentille Ll, le réseau de trous microscopique 204, la lentille L2, et arrive à la face image 20 1 (b) du miroir galvanométrique. Les lentilles Ll et L2 sont identiques et ont chacune un plan focal sur le réseau 204 et un plan focal sur une des faces du miroir galvanométrique. Le trajet optique est replié au moyen de 4 miroirs comme dans le cas précédent. Toutefois une configuration de repliement simple comme celle illustrée sur la figure 9 ne convient pas, car elle ne permet pas le retour du faisceau au miroir galvanométrique suivant l'orientation illustrée par les figures 6 (b) et 6 (c), qui est indispensable à une compensation correcte. Pour qu'il y ait dans ce cas une compensation correcte du balayage, le repliement doit être effectué d'une manière mieux appropriée. La condition qui doit être vérifiée pour que le repliement se fasse correctement est la suivante : ou par exemple (ABxBCBCxCD) Bc représente l'angle entre les produits vectoriels (ABxBC) et (BCxCD), orienté par le vecteur BC. Cette condition ne peut pas être vérifiée si les points A, B, C, D, E, F sont coplanaires. Il est donc nécessaire d'utiliser un trajet optique dans lequel les éléments du dispositif de balayage ne sont pas tous dans le même plan. Par exemple, le trajet ABCDEF peut être du type illustré sur la figure 11, sous plusieurs vues, avec indication des repères. D'une manière générale, ce trajet est caractérisé par les coordonnées tridimensionnelles des points A, B, C, D, E, F. Les orientations des miroirs s'en déduisent. Par exemple, le miroir passant par le point B est orienté de telle sorte que la normale au miroir soit la bissectrice de l'angle (BA, BC). Les autres miroirs sont de même orientés de manière à ce que l'axe optique se replie bien suivant le trajet ABCDEF. Un système vérifiant cette condition peut être calculé, par exemple en utilisant la fonction valeur cible d'un tableur pour ajuster la position des points de manière à obtenir la valeur appropriée de la somme d'angles ci-dessus tout en maintenant la longueur totale du chemin optique à la valeur imposée par un choix de lentilles. Un exemple particulier est représenté sur les figures 12 à 15. La figure 12 illustre la lentille utilisée. Elle est composée de deux achromats identiques. Les points P et Q sont utilisés pour caractériser la position de la lentille. Les lentilles LI et L2 étant identiques, on notera Pl, P2 le point P selon qu'il s'agit de celui de la lentille LI ou L2, et de même Q1, Q2 le point Q selon qu'il s'agit de celui de la lentille LI ou L2. Les caractéristiques de cette lentille sont : Verre VI SF10 ; indice 1, 73366143 (à 550 nm) Verre V2 BAK4, indice n=1, 57099293 (à 550 nm) RI 483, 71 mm dl 4, 1 mm R2 148, 27 mm d2 9mm M-194, 96mm d3 12 mm PQ 38, 2 mm L'épaisseur du miroir galvanométrique utilisé est de 6 mm. Les figures 13 à 15 illustrent le trajet optique du faisceau suivant différentes vues. La configuration est caractérisée par les coordonnées des points A, B, C, D, E, F dans un repère orthonormé, en mm : Point A B C D E F /coordonnée x 0, 0000 219, 9341 219, 9341-39, 2426-39, 2426-4, 2426 y 0,0000 0,0000 68,7576 4,2426 4,2426 4,2426 z 0,0000 0,0000 13,1298 45,0000 0,0000 0,0000 On vérifie l'équation : Les distances suivant l'axe optique sont les suivantes en mm, la lettre R désignant la position du réseau de trous microscopiques 204 : API 142, 881 P1Q1 38,2 Q1B 38, 852 BC 70 CR 29, 523 RQ2 138, 375 Q2P2 38, 2 P2D 62, 882 DE 45 EF 35 Les figures 13 à 15 illustrent cet exemple de réalisation suivant plusieurs vues. Sur la vue en perspective de la figure 15, on a seulement indiqué les points de repliement A, B, C, D, E, F. Sur les deux autres vues on a indiqué tous les points du tableau ci-dessus. On n'a pas représenté les lentilles objet et image (équivalents des lentilles 111 et 114 de la figure 7) et on a donc représenté uniquement l'ensemble de balayage et de compensation, équivalent de l'ensemble 120 de la figure 7. Dans le dispositif de balayage complet, les lentilles objet et image doivent être ajoutées de la même manière que sur la figure 7. L'ensemble de balayage et de compensation représenté sur les figures 13 à 15 peut être fixé sur un bâti unique directement lié au sol, les lentilles objet et image étant alors fixées sur la même table optique que le microscope utilisé. Applications industrielles Le présent dispositif de balayage peut être utilisé pour la microscopie confocale à balayage, par exemple pour la biologie cellulaire. Revendications (1/2) 1-Dispositif de balayage optique confocal comprenant : - au moins un miroir mobile en rotation comprenant une face objet, pour rediriger un faisceau lumineux provenant d'un objet observé, - au moins deux lentilles de contrôle traversées par le faisceau lumineux entre la face objet et une face image du miroir mobile, opposée à la face objet, - au moins un trou microscopique plaçé dans un plan image intermédiaire entre deux lentilles de contrôle, - des miroirs de redirection redirigeant le faisceau lumineux provenant de l'objet observé et ayant été réfléchi par la face objet, vers la face image du miroir mobile, pour permetre le retour du faisceau vers la face image, et pour qu'un faisceau incident suivant une direction fixe sur la face objet quitte la face image avec une direction fixe, indépendante de la position du miroir mobile, pour un ensemble d'angles de rotation utiles du miroir mobile, Caractérisé par le fait que lesdits miroirs de redirection et lesdites lentilles de contrôle sont disposés pour qu'un faisceau incident sur la face image en provenance de la face objet ait même direction et même sens que le même faisceau lorsqu'il quitte la face objet en direction de la face image. 2- Dispositif de balayage selon la revendication 1, caractérisé par les faits suivants : - il comprend au moins une lentille objet traversée par la lumière provenant de l'objet observé et dirigée vers la face objet du miroir mobile, - il comprend au moins une lentille image traversée par la lumière provenant de l'objet observé et ayant préalablement été réfléchie successivement par les faces objet et image du miroir mobile, et dirigée vers un plan ou se forme l'image de l'objet observé, - Les lentilles objet et image sont fixées sur un premier bâti, - le miroir mobile, les lentilles de contrôle et les miroirs de redirection sont fixés sur un second bâti, - le premier et le second bâti peuvent se déplaçer l'un par rapport à l'autre ne sont liés l'un à l'autre que par des liaisons déformables. 3-Dispositif de balayage selon la revendication 2, caractérisé par le fait que le premier bâti est posé sur une table antivibrations, et par le fait que le second bâti est directement lié au sol. 4-Dispositif de balayage selon la revendication 2, caractérisé par le fait que le premier bâti est posé sur une première table antivibrations, et par le fait que le second bâti est posé sur une seconde table antivibrations indépendante de la première. Revendications (2/2) 5-Dispositif de balayage suivant une des revendications 1 à 4, caractérisé par les faits suivants : - il comprend exactement deux groupes de lentilles de contrôle, - chacun de ces groupes sépare une zone afocale dans laquelle se trouve une face du miroir mobile, d'une zone de focalisation dans laquelle se trouve un réseau de trous microscopiques, - il comprend exactement 4 miroirs de redirection. 6-Dispositif de balayage suivant la revendication 5, caractérisé par le fait qu'il vérifie la condition ou (UVxVVXxXY) vx représente l'angle entre le produit vectoriel (UVxVX) des vecteurs UVet VX, et le produit vectoriel (xXY) des vecteurs VX et XY, orienté par le vecteur VX, pour tout ensemble de points U, VX, Y et ou : A est le point de la face objet du miroir mobile qui se trouve sur l'axe optique. B est le point du premier miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. C est le point du deuxième miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. D est le point du troisième miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. E est le point du quatrième miroir de redirection atteint par un faisceau dirigé de la face objet vers la face image du miroir mobile, qui se trouve sur l'axe optique. F est le point de la face image du miroir mobile qui se trouve sur l'axe optique.