FR 2809174 A1 20011123 FR 0006202 A 20000516 STRUCTURE VIBRANTE À DEUX OSCILLATEURS COUPLÉS,- NOTAMMENT UN GYROMÈTRE DESCRIPTION On traitera ' ' d'une structure vibrante, et plus précisément d' structure fabriquée par les techniques de micro-usinage, en général de très petite taille, et dont les caractéristiques essentielles sont qu'elle est d'un seul bloc et que les masses sont couplées. Une application courante de telles structures vibrantes est servir d'élément sensible à un gyromètre capacitif. Elles comprennent deux masses qui vibrent dans un plan commun et une même direction, mais en opposition de phase et qui sont rattachées par des poutres ou lames flexibles à une portion plus rigide de la structure. L'application d'un champ électrique alternatif entre les masses et des portions fixes de la structure qui leur sont adjacentes assure le déplacement oscillant masses. Si la structure est soumise à un mouvement rotation autour d'un axe perpendiculaire à la direction d'oscillation mais appartenant au plan d'oscillation, les forces de Coriolis se manifestent des déplacements des masses, proportionnels à la vitesse de rotation dans une direction perpendiculaire au plan d'oscillation. Ces déplacements peuvent être estimés si les masses et les portions adjacentes et fixes de la structure, situées dans la direction de déplacement, sont construites en condensateur, car ils peuvent être corrélés à des variations de capacité qu'il est fa-cile de mesurer. Un problème qu'on rencontre avec ces structures vibrantes provient des imprécisions d'u^sinage, des dissymétries inévitables entre les masses, de l'influence de leurs éléments d'attache, contraintes résiduelles qui rendent difficile de leur donner exactement la même fréquence propre, et de leur imposer des déplacements exactement en opposition phase. C'est pourquoi le document WO 96 39614 divulgue une telle structure vibrante, dans laquelle les masses sont reliées entre elles par un système de couplage comprenant, de chaque côté, une poutre flexible forme d'arc et une poutre parallèle à la direction d'oscillation, dont les extrémités sont fixées à la partie rigide de la structure et dont le milieu est uni sommet de la poutre en arc. Les oscillations produisent des déformations de ces poutres de couplage, mais les mouvements en opposition de phase produisent déformation symétrique qui, pour cette forme particulière, déforme les poutres de couplage de façon plus simple et en absorbant moins d'énergie que ne le feraient des déplacements égaux, mais en phase, des masses. Le système de couplage, plus souple à l'égard des déplacements en opposition de phase, favorise donc ceux-ci. On peut cependant reprocher à cette conception une forme dissymétrique des poutres qui retiennent les masses, une sensibilité du système à des imprécisions d'usinage responsable de dissymétries entre les masses, une moins grande liberté du choix des géométries des différentes poutres du système de couplage proposé comparé à l'invention présentée ici. Cette conception impose également une façon de fixer le dispositif, par des ancrages, qui ne favorise pas autant le déplacement des masses sous la force de Coriolis que l'exemple de l'invention proposée rend possible, et donc favorise pas autant une grande sensibilité de mesure. L'invention permet de proposer une solution meilleure sous aspects, et rend possible un couplage de deux oscillateurs à la différence de phase voulue. Sous forme la plus générale, l'invention concerne une structure vibrante, comprenant au moins deux oscillateurs vibrant dans une direction d'oscillation incluse dans un plan, un support rigide, des oscillateurs des moyens de couplage des oscillateurs aptes à coupler leurs mouvements vibratoires, ces moyens étant reliés d'une part au support rigide et d autre part aux oscillateurs, chaque oscillateur comportant au moins une masse et au moins un bras flexible reliant la masse aux moyens de couplage, caractérisée en ce que lesdits moyens de couplage comportent des moyens d'attache flexibles associés à au moins un bras flexible de chaque oscillateur par au moins un point d'attache, réalisant audit point d'attache un pivot. Avantageusement, les moyens de couplage sont tout ou partie situés à l'intérieur du support rigide. Dans un mode préféré de réalisation,-les moyens de couplage de deux des oscillateurs comportent au moins un ensemble de couplage formé par - des moyens d'attache de chaque oscillateur au support rigide, - des poutres permettant de relier les moyens d'attache au support rigide tout en assurant un transfert de mouvement d' moins un des pivots d'un oscillateur vers au moins un des pivots de l'autre desdits deux oscillateurs. Fréquemment, structure comporte deux ensembles de couplage, chaque ensemble reliant symétriquement l'ensemble des oscillateurs de la structure. Dans une construction particulière, les poutres des moyens de couplage comprennent au loins deux poutres intermédiaires prolongeant des extrémités des bras et une poutre médiane reliant les poutres intermédiaires entre elles - il est alors possible que les poutres intermédiaires soient obliques à la poutre médiane. L'invention sera maintenant décrite plus en détail au moyen des figures suivantes, qui feront mieux apparaître ses caractéristiques, aspects et avantages # la figure 1 est une vue générale d'une réalisation de 1 invention, vue dans une direction perpendiculaire au plan d'oscillation ; # et les figures 2, , 4; 5 et 6 illustrent le r fonctionnement de quelques variantes du système de couplage. Dans l'exemple de réalisation de la figure 1, les moyens de couplage comprennent des moyens d'attache flexibles réalisés par quatre poutres 19, 20 associes respectivement à quatre bras flexibles 4, 5 ; le point d'attache de chaque poutre à chacun des bras formant un pivot. Les moyens de couplage comprennent en outre dans mode de réalisation deux ensembles de deux poutres intermédiaires 21, 22 et d'une poutre médiane 23, 24 reliant respectivement les moyens d'attaches 19, 20 au support rigide en assurant un transfert de mouvement d'un des pivots vers l'autre du même ensemble. Se reportant à la figure 1, voit que la structure admet deux axes de symétrie, l'axe vu horizontal XOX étant l'axe d'oscillation et l'axe vu vertical YOY étant l'axe de rotation la structure dans cas où celle-ci est un gyromètre. On trouve deux oscillateurs et 2 dont chacun comprend une masse centrale 3 reliée par une paire bras 4 et 5 flexibles en prolongement dans l'axe YOY (et ici par une seconde paire bras 6 et 7 flexibles également en prolongement et parallèles aux précédentes) à des éléments de support rigide 8 et 9 de la structure dont la rigidité est tres grande par rapport à celle des bras 4, 5, 6 et 7. Tout en formant un support rigide des bras 4 à 7, le support rigide 8 et 9 est suspendu à des points d'ancrage 10 et 11 d'un substrat sous-jacent par des attaches et 13. Les attaches 12 et 13, situées sur l'axe YOY, permettent au support rigide 8 et 9 de pivoter autour de cet axe. Les éléments décrits jusqu'à présent sont en général conducteurs. Les masses 3 sont hérissées d'électrodes mobiles 14 s'étendant dans la direction XOX et dans entre-deux desquelles pénètrent des électrodes fixes 15, d'un moteur 16, 16bis ou d'un capteur déplacement 17, 17bis : les électrodes 14 et 15 composant des peignes interdigités permettent d'imposer des forces électrostatiques et des accélérations aux masses 3 ; les vibrations sont produites en faisant alterner des forces d'attraction entre les moteurs 16 et les masses 3 ; le capteur 17 permet de mesurer les déplacements des masses 3 d'après les variations de capacité du condensateur formé entre les électrodes 14 et 15. Ici, les moteurs 16 et 16bis sont sur les côtés externes des oscillateurs 2 et les capteurs 17 et 17bis sont placés entre eux mais l'inverse serait possible. Les capteurs 17 et 17bis pourraient être communs. Dans le cas inverse où les moteurs 16 et 16bis seraient places au centre, ils pourraient également être communs. Les capteurs 17 et 17bis peuvent ne pas être utilisés ou être utilisés également comme moteur. Ici une différence de potentiel significative appliquée entre les électrodes 14 et 15 des moteurs 16 et 16bis pendant une demi période, de l'oscillation des masses 3 provoque l'oscillation des masses 3. On peut utiliser aussi les capteurs 17 et 17bis comme moteur. Dans ce cas on applique une différence de potentiel significative entre les électrodes 14 et 15 pendant l'autre demi-période de l'oscillation des masses 3. Ce n' pas obligatoire car l'effet ressort des bras 4 .5, 6, 7 intervient également dans l'oscillation masses 3. Des moteurs d'autre nature (électromagnétique, piézoélectrique, etc.) sont concevables. Les mouvements d'attraction entre les électrodes 14 et 15, qui font osciller les masses 3 sur l'axe XOX en faisant fléchir les bras 4, 5, 6 et 7 dont la raideur est faible, peuvent être commandés à une fréquence et une différence de phase quelconques. Dans le cas d'un gyromètre, les mouvements des masses 3 sont en opposition de phase et on mesure déplacements des masses 3 dans la direction perpendiculaire à la figure pour en déduire la vitesse de rotation autour de l'axe à laquelle est soumise la structure ; des surfaces conductrices 18 sont établies le substrat sous-jacent par exemple au-dessous des masses 3 pour mesurer variations de capacité correspondantes. On ne s'étendra pas davantage sur ces techniques de mise en oscillation et de mesures déjà bien connues. Les dispositions que voici sont plus spécifiques à l'invention. Les bras 4 et ne sont pas fixés directement au support rigide 8 et 9, mais par l'intermediaire de moyen d'attache composés de poutres d'attache 19 et 20, qui leur sont perpendiculaires (orientées dans l'axe XOX), flexibles mais pas obligatoirement rectilignes : des formes incurvées sont possibles. Les bras 4 et 5 sont prolongés au-delà des poutres d'attache 19 et 20 par des poutres intermédiaires 21 et 22 qui finissent par rejoindre des poutres médianes 23 et 24 respectives, elles aussi flexibles, orientées dans 1 l'axe XOX et dont les extrémités sont fixées au support rigide 8 et 9. Chaque poutre médiane 23 ou 24 relie une paire des poutres intermédiaires 21 et 22 et forme avec elles une interconnexion de paires de bras 4 et 5 des deux oscillateurs 1 et 2. Les poutres 19, 21 et 23 comme 20, 22 24 sont agencées dans des évidements 25 26 du support rigide 8 et 9, et ces évidements peuvent présenter des extensions 27 afin d'accroitre la longueur des poutres médianes 23 et 24 et donc leur souplesse. Plus généralement, les évidements et 26 peuvent avoir toute forme et toute taille appropriée. Les poutres d'attache 19 et 20 se pretent à des déformations qui font que les bras 4 5 se conduisent sensiblement comme s'ils étaient montés sur le support rigide 8 et 9 par l'intermédiaire pivots. La figure 2 illustre -en les exagérant- les déformations observées pendant un instant d'une oscillation des masses 3 en opposition de phase : les masses 3 sont écartées, les bras 4 et 5 fléchissent et produisent une flexion sur les poutres d'attache 19 et 20, restent dans cet exemple perpendiculaires au voisinage des joints d'attache des bras 4 et 5 auxquels elles sont fixées. Une flexion est également produite sur poutres médianes 23 et 24, dont les centres se rapprochent et s'éloignent alternativement. La flexion des poutres médianes 23 et 24 est de forme simple, â ventre central unique et qui absorbe donc une énergie de déformation modérée. Si des mouvements non exactement en opposition de phase étaient imposés, ils produiraient des déformations de forme plus complexe sur les poutres médianes. 'Les poutres médianes des figures 1 et 2 sont donc plus raides à l'égard de- ces mouvements et les laissent moins facilement apparaitre. La figure 3 illustre une autre situation, ' les poutres médianes 23 et 24 liées par leurs extrémités au support rigide 8 et 9 sont remplacées par poutres médianes 28 de jonction des poutres intermédiaires 21 et 22, sans contact avec le support rigide 8 et 9 : la déformation du système de poutres alors moindre pour les mouvements en phase, les poutres médianes 28 ne sont presque pas déformées. Un système sera donc plus sensible aux excitations produisant de tels mouvements, et pourra être préféré pour d'autres applications que les gyromètres. On a représenté des exemples de réalisations où les masses 3 sont reliées par leurs deux côtés au support rigide 8 et 9 par des poutres et bras de montage (poutres + bras, 4, 6, 19, 21, 23, etc. et 5, 7, 20, 22, 24, etc.) symétriques, ce qui est pas indispensable ; en effet, les poutres et bras de montage pourraient être différents, ou même prévus seul côté. Les figures 4, 5 et 6 illustrent quelques variantes de réalisation. La figure 4 montre que les masses 3 peuvent être reliées au support rigide 8 ou 9 par plusieurs bras 4 rattachés à autant de poutres attache 19 en formant chacune un pivot selon le principe déjà expliqué ; les bras 4 sont prolongées par poutres intermédiaire 21 respectives qui sont reliées à la poutre médiane 23. On voit à la figure 5 que les poutres intermédiaires 21 prolongeant les bras 4 de support des masses 3 et s'étendant entre les poutres d'attache 19 et la poutre médianes 23 ne sont pas nécessairement obliques mais peuvent être alignées avec les bras 4. Enfin, la figure 6 montre que les poutres d'attache 19 peuvent être incurvées et plus généralement avoir toute forme ou orientation compatible avec la faculté fléchir pour fonctionner GY1 l'll CT(lt- REVENDICATIONS 1. Structure vibrante, comprenant au moins deux oscillateurs (1, 2) vibrant dans une direction d'oscillation (XOX) incluse dans un plan (XOX-YOY), support rigide (8, 9, 10, 11) des oscillateurs et des moyens de couplage des oscillateurs aptes à coupler leurs mouvements vibratoires, ces moyens étant relies d'une part au support rigide et d'autre part oscillateurs, chaque oscillateur comportant au moins une masse (3) et au moins un bras flexible reliant la masse aux moyens de couplage, caractérisée en ce que lesdits moyens de couplage comportent des moyens attache flexibles (19, 20) associés à au moins un bras flexible (4) de chaque oscillateur par au moins un point d'attache, réalisant audit point d'attache un pivot. 2. Structure selon la revendication , caractérisée en ce que lesdits moyens de couplage sont tout ou partie situés à l'intérieur du support rigide. 3. Structure selon l'une quelconque revendications 1 à 2, caractérisée en ce que les moyens couplage de deux des oscillateurs comportent au moins un ensemble de couplage formé par - des moyens d'attache (19, 20) de chaque oscillateur au support rigide, - des poutres (23, 24, 28) permettant de relier les moyens d'attache au support rigide tout en assurant un transfert de mouvement d'au moins un des pivots d'un oscillateur vers au moins un des pivots de l'autre desdits deux oscillateurs. 4. Structure selon la revendication- 3, caractérisée en ce que la structure comporte deux ensembles de couplage, chaque ensemble reliant symétriquement l'ensemble des oscillateurs de la structure. 5. Structure suivant la revendication 3 caracterisée en ce que les poutres des moyens couplage comprennent au moins deux poutres intermediaires (21) prolongeant des extrémités des bras et une poutre médiane (23, 24, 28) reliant les poutres intermediaires entre elles. 6. Structure suivant la revendication 3 caracterisée en ce que les moyens d'attache (19, 2 sont incurvés. 7. Structure suivant la revendication caractérisée en ce que les poutres intermédiaires sont obliques par rapport à la poutre médiane. 8. Structure suivant l'une quelconque des revendications 5 à 7, caractérisée en ce que la poutre médiane (23, 24) se prolonge au-delà des poutres intermédiaires (21, 22) et est fixée par des extrémités au support rigide. 9. Structure suivant l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que les moyens de couplage sont disposés dans un évidement (25, 26) du support. 10. Structure suivant les revendications 8 et 9, caractérisée en ce que les extrémités de la poutre médiane (23, 24) s'étendent dans des extensions (27) de l'évidement (25, 26).'