FR 2813139 A1 20020222 FR 0010763 A 20000821 DISPOSITIF D'ECRITURE/LECTURE DE DONNEES NUMERIQUES A CONTROLE OPTIQUE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un dispositif d'écriture/lecture de données numériques à contrôle optique. Un tel dispositif peut être utilisé pour réaliser un stockage de données numériques à haute densité avec des débits d'accès élevés. Il peut également être utilisé pour réaliser une écriture/ lecture de biopuces par champ proche en ultra haute densité. ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE Dans la suite de la description, on considéra, à titre d'exemple de réalisation du dispositif de l'invention, un dispositif de stockage de données haut débit à contrôle optique. Un tel stockage de données, primordial dans le domaine informatique et multimédia, est le plus souvent réalisé sous forme binaire, ce qui permet une excellente reproductibilité des informations. - Le domaine des dispositifs de stockage s'étend des circuits intégrés (mémoires ROM ou RAM) limités en capacité de stockage (mégaoctet) mais offrant une accessibilité élevée aux données (quelques centaines de MHz) aux bandes magnétiques qui présentent un très grand volume de stockage (pétaoctets), mais qui sont peu performantes en temps d'accès Entre ces deux types de dispositifs, il existe des dispositifs d'enregistrement sur disques qui présentent un compromis entre volume et débit d'accès (gigaoctets, dizaines de MHz), avec des techniques d'enregistrement magnétiques et/ou optiques : # L'enregistrement magnétique repose sur l'orientation du champ coercitif de domaines d'un support sous l'effet d'une induction magnétique. # L'enregistrement optique repose sur la modification de la structure microscopique du matériau d'enregistrement par chauffage optique, par exemple avec la création de micro-défauts (cavités) dans un matériau plastique ou des modifications locales des caractéristiques physiques de matériaux à changement de phase : par exemple cristalline/amorphe dans le cas de dispositifs DVD RAM, comme décrit dans le document référencerai] en fin de description. De nombreux développements sont en cours pour atteindre une plus grande densité de stockage et de bonnes performances concernant le flux de données. On peut citer les méthodes : # MSR ("Magnetic Super Resolution") ou MAMMOS ("Magnetic Amplify Magneto-optical System"), méthodes de stockage magnétique avec concentration du champ au sein d'un volume aussi réduit que possible, # SIL ("Solid Immersion Lens"), méthode purement optique, qui exploite l'optique aux limites de résolution et semble tout à fait adaptée au stockage sur supports amovibles grâce à une tolérance en profondeur de champ optique, avec des densités de stockage limitées à 2,5 Gb/in2, # et des méthodes à effet de micropointes, qui sont prometteuses en terme de densités de stockage d'informations, 30 Gb/in2 à 1 Tb/in2 étant envisagées, notamment : - micro-mécanique d'IBM, - STM ("Scanning Tunneling Microscopy"), - AFM ("Atomique Force Microscopy"), - MFM ("Magnetic Force Microscopy"), - EFM ("Electrostatic Force Microscopy"), - SNOM ("Scanning Optical Near filed Microscopy") avec ses variantes : * SIAM ("Scanning interferometric Apertureless Microscopy"), * SPNM ("Scanning Plasmon Near field Microscopy"). De telles méthodes sont très exigeantes en ce qui concerne la propreté du support, ce qui nécessite l'utilisation de cartouches d'enregistrement étanches aux poussières. Une analyse comparative de plusieurs de ces méthodes est donnée dans le document référencé [2]. Les systèmes micromécanique à micropointes restent limités en débits de données par pointe, par conception. En effet, un compromis entre une fréquence de modulation mécanique élevée des micropointes nécessaire pour suivre les motifs de surface, qui est limitée à quelques MHz par l'inertie des bras de suspension, et une immunité aux vibrations parasites est impossible à réaliser. Comme décrit dans le document référencé [2], seule la méthode optique SNOM et ses variantes offre des débits élevés, limités uniquement par le bruit quantique du nombre de photons par bits. Elle nécessite, cependant, des puissances optiques importantes pour la phase d'enregistrement, du fait d'un effet thermique purement optique. L'objet de l'invention est donc de réaliser un dispositif permettant d'obtenir un tel compromis, en proposant notamment un dispositif de stockage de données numériques qui offre de grandes capacités de stockage ainsi que des débits d'échange de données élevés. EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention propose un dispositif d'écriture/lecture de données numériques à contrôle optique, comprenant une tête d'enregistrement solidaire d'un équipage mobile, qui se déplace au-dessus d'un support d'enregistrement muni de plusieurs pistes, caractérisé en ce que cette tête comporte plusieurs micropointes fonctionnant en parallèle, associées chacune à un circuit d'optique guidée, qui adressent les pistes du support d'enregistrement, en ce que chaque micropointe fonctionne à la fois en modes écriture et lecture, en ce que le circuit d'optique guidée, associé à chaque micropointe : # se comporte, en mode écriture, comme un guide de lumière jusqu'à la zone photosensible de la micropointe, # collecte, en mode lecture, le signal de diffraction de l'onde incidente sur la micropointe, et en ce que les circuits d'optique guidée sont reliés directement à une unité de traitement au travers d'un bus optique, formé par exemple de fibres optiques. Avantageusement chaque micropointe comporte des moyens de chauffage Joule commandés optiquement, pour réaliser l'écriture d'un point mémoire sur le support d'enregistrement. Chaque micropointe comporte des moyens à effet de type SNOM ou SIAM pour réaliser la lecture d'un point mémoire sur le support d'enregistrement. Chaque micropointe comprend une capacité de découplage dont une électrode est intégrée au sein de la tête, et l'autre électrode est constituée par le support d'enregistrement. Chaque micropointe comprend des moyens de contrôle du courant, par effet photoélectrique, grâce à une jonction semi-conductrice. Dans chaque micropointe les longueurs d'onde d'excitation peuvent être différentes en modes lecture et écriture. On peut également avoir seulement une partie du flux incident absorbé dans une jonction semiconductrice de chaque micropointe, l'autre partie servant en détection en'lecture. Dans un mode de réalisation, plusieurs plateaux mémoire peuvent être montés sur les mêmes axes du support d'enregistrement. Dans un mode de réalisation le support d'enregistrement est un disque mémoire. La tête d'enregistrement a la forme d'un patin qui vole-par effet aérodynamique de coussin d'air au-dessus de la surface du disque. La tête adresse des pistes en spirales imbriquées, disposées sur le disque avec des repères de guidage de la tête sur le disque répartis sur une spirale intercalée entre toutes. Une micropointe de la tête est dédiée à la lecture des repères de guidage de la tête. Dans un mode de réalisation avantageux, la tête comporte : - des micropointes comprises dans . un matériau isolant qui constituent la base d'un patin avec chanfrein aérodynamique, - des guides optiques pour amener ou prélever des ondes lumineuses au voisinage des micropointes, - une zone photo sensible de chaque micropointe en regard de chaque guide optique, - une électrode de la capacité de découplage du circuit électrique avec l'autre électrode constituée du support d'enregistrement, - un épanouisseur de guides qui permet une interconnexion aisée de la tête à une nappe de fibres de liaison vers l'unité de traitement. La tête peut comprendre en outre deux réseaux de micro-lentilles en vis-à-vis au pas de sortie de l'épanouisseur, placées en extrémité des guides, pour permettre une interconnexion aérienne de la tête à la nappe de fibres. Avantageusement l'équipage mobile comprend un bras de suspension qui permet de maintenir le patin en regard des pistes d'enregistrement, avec un moteur de déplacement pour positionner la tête en regard des pistes d'enregistrement. Avantageusement, les micropointes sont séparées d'une distance minimum de 20 m pour éviter toute diaphonie entre les guides voisins du circuit optique. Elles sont de préférence réalisées en silicium dopé pour être conducteur et comprises dans un matériau isolant en silice, qui peut être recouvert d'une couche de nitrure ou carbure de silicium, pour éviter l'usure. Dans une variante de réalisation un actionneur est intégré dans le patin pour déplacer spécifiquement les micropointes. Le patin peut être micro-usiné afin de libérer un équipage mobile portant les micropointes. Dans une variante de réalisation chaque circuit d'optique guidée comporte en son extrémité un moyen pour réfléchir l'onde guidée sur elle-même. Le dispositif de l'invention peut être utilisé pour réaliser un dispositif de stockage à haute densité avec débit d'accès élevé aux données. Il peut également être utilisé pour réaliser un dispositif d'écriture/lecture de bio-puces par champ proche en ultra haute densité. Le dispositif de l'invention offre de multiples avantages : - la commande du courant de micropointe est une commande en courant, peu sensible à la résistivité fluctuante du contact électrique avec le support d'enregistrement, - la commande optique est très rapide, au point que le courant peut être appliqué pendant des temps de l'ordre de grandeur de la constante de temps thermique du matériau (de l'ordre de quelques nanosecondes), ce qui permet un échauffement contrôlé du matériau, sans phénomène d'avalanche, - l'approche en mode écriture bien que d'apparence analogue à la méthode SNOM (dans laquelle la puissance est déposée sous forme lumineuse), en diffère foncièrement puisqu'une amplification de la puissance optique au travers de la conversion photons/électrons est mise en #uvre. Cette amplification permet de pallier au défaut de la méthode SNOM, qui est de nécessiter une puissance laser importante, de quelques mW. Ce gain en puissance, qui est le rapport de la puissance électronique de chauffage disponible sur la puissance optique appliquée, est dans le rapport de l'énergie des électrons à l'énergie des photons. Il admet une valeur de l'ordre de la tension appliquée sur la micropointe (20 à 100, dans le cas d'énergie de photons de l'ordre de l'eV ; # = 1 um) . - la commande optique peut être déportée de plusieurs centimètres, ou plus avec des fibres, sans risquer des couplages électromagnétiques entre signaux de commande à fréquences de modulation élevées. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La figure 1 illustre schématiquement le dispositif d'écriture/lecture de l'invention. La figure 2 illustre le branchement du dispositif de l'invention à un bus optique interprocesseurs. La figure 3 illustre un exemple de réalisation d'un disque mémoire muni de pistes en spirales imbriquées. La figure 4 illustre le positionnement des micropointes de la tête du dispositif de l'invention par rapport aux pistes du disque mémoire illustré sur la figure 3. ~ Les figures 5A et 5B illustrent respectivement une vue de profil et une vue de face d'un mode de réalisation du dispositif de l'invention ; la figure 5B illustrant, de plus, une interconnexion avec deux réseaux de fibres. La figure 6 illustre le couplage d'un guide optique et d'une micropointe dans le dispositif de l'invention. Les figures 7A et 7B illustrent respectivement une vue de profil et une vue de face d'une variante de réalisation du dispositif de l'invention. La figure 8 illustre une autre variante de réalisation du dispositif de l'invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Comme illustré sur la figure 1, le dispositif d'écriture/lecture de données numériques de l'invention comprend une tête d'enregistrement 10 solidaire d'un équipage mobile 11, qui se déplace audessus d'un support d'enregistrement 12 muni de plusieurs pistes. Cette tête comporte plusieurs micropointes 13 fonctionnant en parallèle, associées chacune à un circuit d'optique guidée, qui adressent les pistes du support d'enregistrement 12. Chaque micropointe 13 fonctionne à la fois en modes écriture et lecture. Chaque circuit d'optique guidée, associé à une micropointe 13, se comporte, en mode écriture, comme un guide de lumière jusqu'à une zone photosensible 14 de la micropointe 13. L'effet de pointe, alors mis en #uvre, est un chauffage Joule localisé commandé optiquement. Le courant d'écriture est piloté par un dispositif optique, par exemple une diode (source de photons) qui illumine, via un guide optique 22 d'un bus optique 21, la micropointe 13. Celle-ci est munie d'une jonction photoconductrice 14 permettant de piloter le courant qui traverse celle-ci, et donc le chauffage du support d'enregistrement 12 sous la micropointe 13. L'écriture de données, en utilisant une méthode à effet de pointe, permet d'obtenir une grande densité de stockage car c'est la micropointe 13 qui définit la taille du point mémoire élémentaire correspondant. En mode lecture le circuit d'optique guidée collecte le signal de diffraction de l'onde incidente sur la micropointe perturbée des caractéristiques locales du matériau du support 12 situé au-dessous. Un effet de type SNOM reposant sur détection de la variation d'amplitude de l'onde d'analyse ou de type SIAM, qui est une variante interférométrique de celuici reposant sur la détection de la variation de phase de l'onde d'analyse, est alors mis en #uvre. Dans ce mode lecture on utilise le même dispositif que pour l'écriture. La micropointe 13 éclairée par le même signal de diode induit un écho optique variable en fonction de la nature du matériau du support 12 situé sous cette micropointe 13. Cet écho optique est alors détecté par une photodiode. En mode écriture, le courant passant dans la micropointe 13 est contrôlé. Ce contrôle est un contrôle de l'amplitude du courant de micropointe, par un effet photoélectrique comme celui existant par exemple au sein d'une jonction semi-conductrice P/N ou PIN, ou de tout autre effet photo généré comme l'effet photo résistance... Dans le dispositif de l'invention,.la jonction 14, qui joue le rôle de modulateur photocommandé, fait partie intégrante de la micropointe 13. Lorsqu'elle est éclairée, elle laisse passer un courant, en général proportionnel au flux de photons incidents. Un circuit haute-fréquence, ou HF, (boucle de courant HF 16), est confiné au voisinage de la micropointe 13 grâce à une architecture de découplage électromagnétique. Une source de polarisation V, fournit l'énergie (un courant I sous une tension V) de l'écriture. Une inductance ou résistance de découplage 15 isole du reste de l'électronique, le circuit HF constitué de la pointe et de la capacité de découplage 17, par couplage à une capacité de découplage 17. Cette capacité 17 a une de ses électrodes dans un plan du support de la micropointe 13, et l'autre constituée par la surface du support d'enregistrement 12. Le dispositif de l'invention intègre ainsi, au sein d'une même tête, plusieurs micropointes 13 (M) fonctionnant en parallèles. Plusieurs "plateaux" mémoire (P) peuvent d'ailleurs être classiquement montés sur le même axe du support d'enregistrement 12, pour accroître sa capacité de stockage, pour que le bus optique 21 atteigne le degré de parallélisme recherché (N = P x M) . Pour satisfaire les exigences de compromis d'absorption du flux d'écriture et de transmission du signal de lecture, il est possible, soit : - d'utiliser des longueurs d'onde d'excitation de l'effet de pointe différentes suivant les modes écriture ou lecture. Par exemple, dans le cas d'une jonction dans le silicium (gap vers 1 um de longueur d'onde) une longueur d'onde d'écriture inférieure à 1 um est absorbée dans la jonction 14 et une longueur d'onde supérieure à 1 um (1,3 mm), domaine de moindre absorption du silicium, peut être utilisé en mode lecture, - dans le cas d'un fonctionnement à une longueur d'onde unique, d'optimiser la position du guide 22 par rapport à la micropointe pour, par exemple, n'absorber qu'une partie du flux incident dans la jonction 14, l'autre partie servant à la détection en mode lecture. Comme illustré sur la figure 1, les circuits d'optique guidée sont reliés directement à une unité de traitement 20 au travers du bus optique 21 formé de guides optiques 22. Le dispositif de l'invention permet ainsi de réaliser un interface entre le support d'enregistrement 12 (stockage des données) et cette unité de traitement 20, la diode et la photodiode considérées plus haut étant implantées dans cette unité de traitement 20. Le bus optique 21 est dimensionné en bande passante pour offrir le meilleur débit de données. Les densités de stockage sont telles, qu'avec une vitesse linéique du support d'enregistrement 12 de plusieurs dizaines de mètres par seconde (habituelle en enregistrement classique), des débits binaires de plusieurs centaines de MHz sont atteints. Le support d'enregistrement 12 peut être réalisé en tous matériaux conducteurs, par exemple des matériaux à changement de phase ou des matériaux magnétiques. Dans le cas des matériaux magnétiques, des moyens (classiques) d'induction de champ sont placés au voisinage des pointes, étant donné que la phase d'enregistrement des données est réalisée par effet Joule. Comme illustré sur la figure 2, le bus optique 21 sortant du dispositif de l'invention 18, par exemple à fibres optiques, peut être disposé en prolongement d'un bus 25 d'interconnexions optiques de processeurs à fibres optiques, grâce à un connecteur 26. Un tel bus 25 autorise le traitement de mots binaires par différents processeurs (bus à N voies, N est généralement multiple de 8 : par exemple 32, voire 64 bits...) . Dans un mode de réalisation illustré sur la figure 3, le support d'enregistrement 12 est un disque mémoire. La tête à micropointes adresse des pistes en spirales imbriquées, distantes de 10 à 200 nm, avec des repères de guidage de la tête, du type de ceux décrits dans le document référencé [3], répartis eux-mêmes sur une spirale intercalée. Ces repères sont lus par une micropointe éventuellement dédiée à cet usage. Sur la figure 3, à titre d'exemple on a trois pistes imbriquées 30 dont deux pistes de données 31, et une piste 32 sur laquelle sont disposés les repères de guidage de la tête. Dans ce mode de réalisation du dispositif de l'invention, les micropointes 13 sont placées très près de la surface du support d'enregistrement 12 : typiquement quelques dizaines de nanomètres. Ces micropointes 13 sont intégrées au sein d'une tête d'enregistrement 10, en forme de patin de forme aérodynamique qui "vole" par un effet de coussin d'air au-dessus de la surface du support d'enregistrement, moyennant des conditions de vitesses relatives. Une telle solution est décrite, en enregistrement classique, dans le document référencé [4]. Un bras de suspension permet de maintenir le patin en regard des pistes d'enregistrement avec un moteur de déplacement pour positionner la tête en regard des pistes d'enregistrement. Comme illustré sur la figure 4, les micropointes 13 sont séparées d'une distance minimum p de quelques 20 um, pour éviter toute diaphonie entre les guides voisins du circuit optique. Pour atteindre la densité de stockage surfacique recherchée (proximité des pistes sur le support d'enregistrement de 10 à 500 nm), l'axe d'alignement 35 des micropointes 13, par rapport à la direction tangentielle des pistes 36, est incliné d'un angle #. La distance de séparation e des pistes est alors directement liée au pas p .des micropointes 13 par la relation sin # = e/p. En pratique, # est de l'ordre de quelques dizaines de minutes d'angle. Un système de positionnement de la tête permet d'assurer cette précision. Comme illustré sur les figures 5A et 5B la tête 10 comporte les éléments suivants : - les micropointes 13, comprises dans un matériau isolant 37, qui constituent la base du patin 11 muni d'un chanfrein aérodynamique, - des guides optiques 39 pour amener ou prélever des ondes lumineuses au voisinage des micropointes 13 passant par le bras 40, - les zones photosensibles 14 de ces micropointes 13 en regard de ces guides 39, - une électrode 38 de la capacité de découplage 17, l'autre électrode étant constituée de la surface du support d'enregistrement 12, - un épanouisseur 41 de guides, qui permet une interconnexion aisée de la tête à une nappe 47 de fibres de liaison vers l'unité de traitement .20. L'espacement D des guides 39 en sortie de l'épanouisseur 41 est typiquement de 250 um (voire 125 um) , -.--répartis sur une zone L alors que - les micropointes 13 sont distantes de quelques 20 um et réparties sur une distance I, l'axe 42 étant l'axe de direction des pistes du support d'enregistrement. L'épanouisseur 41, dans lequel les guides ne sont pas nécessairement rectilignes, comme représenté, est conçu pour minimiser les pertes de propagation, - éventuellement deux réseaux 45 et 46 de micro-lentilles en vis-à-vis au pas de sortie D de l'épanouisseur, placées en extrémité des guides comme illustré sur la figure 5B, pour permettre .une interconnexion aérienne de la tête à la nappe de fibres 47. Une telle interconnexion de la tête au bus optique du système (nappes de fibres 47), par voie aérienne (réseaux 45 et 46), offre l'avantage, par rapport à une connexion directe de la nappe de fibres 47 à la tête, de réduire l'inertie de l'équipage mobile en dématérialisant le transport de lumière entre la tête et le bus optique. La distance entre les deux réseaux de lentilles 45 et 46 dépend de la position de la tête au dessus du disque. Sur la figure 6 est représentée l'onde évanescente 55 existant autour d'un guide optique 39. Elle s'étend sur quelques micromètres et baigne la micropointe correspondante 13. Le guide 39 peut éventuellement être effilé pour ajuster le couplage avec la micropointe. Les micropointes 13 sont avantageusement réalisées en silicium, et comprises dans un matériau isolant 37 comme de la silice, éventuellement recouverte d'une couche de matériau dur pour éviter l'usure comme un nitrure ou carbure de silicium suivant des procédés classiques de microélectronique, comme décrit dans le document référencé [5]. Différentes méthodes pour réaliser les micropointes sont possibles comme mentionnées dans le document référencé [6]. La jonction semi-conductrice 14 PN ou PIN, au sein de la micropointe 13, peut être obtenue dans le silicium par implantation (dopage complémentaire N ou P) éventuellement par épitaxie. Dans une variante de réalisation illustrée sur les figures 7A et 7B, le patin 11, représenté.ici sans l'épanouisseur 41, comprend un actionneur qui permet de déplacer les micropointes 13 selon une direction 49 et ainsi de réduire l'inertie de positionnement des micropointes en regard des pistes du support d'enregistrement. Cet actionneur est avantageusement réalisé en technologie MEMS ("Micro Electro Mechanical Systems"). Le patin 11 est alors micro usiné afin de libérer un équipage mobile 50 portant les micropointes. Les bras de suspension 51 et 52 de l'équipage 50 sont préférentiellement en silicium (matériau élastique et déformable) qui, étant aussi dopé, permet de réaliser des électrodes en regard pour un actionneur électrostatique. La silice, qui forme la base du patin 11, sert à l'assemblage des différents éléments en silicium (électrodes) avec un matériau isolant. L'actionneur électrostatique est mu par l'application simultanée d'une tension V+ sur l'une des électrodes et d'une tension opposée V- sur l'électrode opposée, symétrique. Comme les micropointes 13 sont soumises à une tension VH (de 20 à 100 V), des for-ces électrostatiques existent sur les deux électrodes symétriques, ayant une valeur proportionnelle (on considère de manière approchée un coefficient de proportionnalité k dépendant des caractéristiques des électrodes en regard) au carré de l'écart de tension soit : F = k (#V)2 soit pour les deux bras de suspension 51 et 52 : FI = k(VH-V+)2 F2 = k(VH-V-)2 = k(VH+V+)2 La résultante des forces vaut : F1-F2 = 4 k VH. V si V = V+ = V- Compte tenu de la valeur élevée de la tension VH, une faible modulation analogique de V engendre un déplacement significatif de l'équipage mobile 50 (1 à 2 um dans la direction 49 des micropointes 49). Le déplacement des micropointes 13 par rapport aux pistes est toutefois démultiplié par le sinus de l'angle # (déplacement tangentiel). Ainsi, la précision de positionnement atteinte est nano-métrique. Dans une variante de réalisation illustrée sur la figure 8, pour optimiser le signal de détection en lecture, chaque guide optique 39 comporte en son extrémité un moyen 52 pour réfléchir l'onde guidée sur elle-même, par exemple un miroir par clivage, ou un réseau sur guide. Le pouvoir de réflexion de ce miroir est optimisé pour les deux modes de détection envisagés : mode SNOM ou SIAM. Dans le mode SNOM (détection en variation d'amplitude), ce miroir 52 sert de réflecteur pour un fonctionnement en double passage, il est donc très réflecteur. Dans le mode SIAM (détection de variation de phase), ce miroir 52 sert à retourner un signal de référence. Son pouvoir réflecteur est alors choisi pour optimiser un taux de modulation (10 %). Dans le cas où la tête comporte un équipage mobile de micropointes et dans le mode de détection interférométrique (SIAM) , il est possible de se servir de la réflexion parasite existant à l'interface des guides juste avant les micropointes, comme de signal de référence de phase. L'onde réfléchie, qui porte l'information de lecture des micropointes, peut être déterminée par perturbation de l'impédance de la source d'émission (diodes lasers) ou par détection photodiode, après séparation de l'onde initiale (contra-propagative) par tout moyen optique directionnel, comme un séparateur Y 53 ou un coupleur directionnel, qui peut être intégré dans la tête comme représenté sur la figure 8. REFERENCES [1] Rare earth transition metal alloys for magnetooptical recording , J. Daval et B. Bechevet (Journal of Magnésium and Magnetic Materials 129,1994, pages 98 à 107 ) . [2] SPM base storage de S. Hosaka (IEEE Trans. Magnetics, vol. 32, N 3, mai 1996). [3] Atomic force microscope-based storage track servo and wear study de B. D. Terris, S. A. Rishton, H.J. Mamin, R. P. Ried et D. Rugar (Applied Phys. A 66, S809- 813, 1998) [4] Near field optical data storage de B. D. Terris, H. J. Mamin et D. Rugar (Applied Phys. Letter 68, pages 141 à 143, janvier 1996). [5] Si-based integrated optics technologies , de S. Valette, J. P. Jadot, P. Gidon S. Renard, A. Fournier, A.M. Grouillet, H. Denis, P. Philippe et E. Desgranges (Solid St. Technol., pages 69 à 74, février 1989). [6] Use of Plasma processes for the fabrication of metal and silicon microtips cathodes de R. Baptist (CIP 97, llth International Colloquium on Plasma Processes, 25-29 mai 1997, Le Mans, France, Proceedings, SFV). REVENDICATIONS 1. Dispositif d'écriture/lecture de données numériques à contrôle optique, comprenant une tête d'enregistrement (10) solidaire d'un équipage mobile (11), qui se déplace au-dessus d'un support d'enregistrement (12) muni de plusieurs pistes, caractérisé en ce que cette tête (10) comporte plusieurs micropointes (13) fonctionnant en parallèle, associées chacune à un circuit d'optique guidée, qui adressent les pistes du support d'enregistrement (12)., en ce que chaque micropointe (13) fonctionne à la fois en modes écriture et lecture, en ce que le circuit d'optique guidée, associé à chaque micropointe : # se comporte, en mode écriture, comme un guide de lumière jusqu'à la zone photosensible de la micropointe, # collecte, en mode lecture, le signal de diffraction de l'onde incidente sur la micropointe, et en ce que les circuits d'optique guidée sont reliés directement à une unité de traitement (20) au travers d'un bus optique (21) 2. Dispositif selon la revendication. 1, dans lequel le bus optique (21) est formé de fibres optiques (22 ) . 3. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque micropointe (13) comporte des moyens de chauffage Joule localisé commandés optiquement, pour réaliser l'écriture d'un point mémoire sur le support d'enregistrement (12). 4. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque micropointe (13) comporte des moyens à effet de type SNOM ou SIAM pour réaliser la lecture d'un point mémoire sur le support d'enregistrement (12) . 5. Dispositif selon la revendication 1 dans lequel chaque micropointe (13) comporte une capacité de découplage (17), dont une électrode est intégrée au sein de la tête et l'autre électrode est constituée par le support d'enregistrement (12), et une inductance ou résistance de découplage (17). 6. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque micropointe (13) comprend des moyens de contrôle du courant par effet photoélectrique. 7. Dispositif selon la revendication 5 dans lequel chaque micropointe (13) comprend une jonction semi-conductrice (14). 8. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel dans chaque micropointe, les longueurs d'onde d'excitation sont différentes en mode lecture et en mode écriture. 9. Dispositif selon la revendication- 1, dans lequel seulement une partie du flux incident est absorbé dans une jonction semi-conductrice (14) de chaque micropointe, l'autre partie servant en détection en lecture. 10. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel plusieurs plateaux mémoire sont montés sur les mêmes axes du support d'enregistrement (12). 11. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le support d'enregistrement (12) est un disque mémoire 12. Dispositif selon la revendication 11, dans lequel la tête (10) adresse des pistes en spirales imbriquées (31), disposées sur le disque mémoire avec des repères de guidage de la tête sur le disque mémoire répartis sur une spirale (32) intercalée. 13. Dispositif selon la revendication 12, dans lequel une micropointe de la tête est dédiée à la lecture des repères de guidage de la tête. 14. Dispositif selon la revendication 11, dans lequel la tête d'enregistrement (10) a la forme d'un patin de forme aérodynamique qui vole par effet de coussin d'air au-dessus de la surface du disque mémoire. 15. Dispositif selon la revendication 14, dans lequel la tête( 10) comporte : - des micropointes (13) comprises dans un matériau isolant (37) qui constituent la base du patin, - des guides optiques (39) pour amener ou prélever des ondes lumineuses au voisinage des micropointes (13), - une zone photo-sensible (14) de chaque micropointe en regard de chaque guide optique (39), - une électrode de la capacité de découplage (17) l'autre électrode étant constituée du support d'enregistrement (12), - un épanouisseur de guides (41). 16. Dispositif selon la revendication 15, dans lequel la tête (10) comprend deux réseaux (45, 46) de micro-lentilles en vis-à-vis au pas de sortie de l'épanouisseur (41), placées en extrémité des guides. 17. Dispositif selon la revendication 14 dans lequel l'équipage mobile (11) comprend un bras de suspension qui permet de maintenir le patin en regard des pistes du support d'enregistrement, avec un moteur de translation pour positionner la tête en regard de ces pistes. 18. Dispositif selon la revendication 15, dans lequel les micropointes (13) sont séparées d'une distance minimum de 20 m. 19. Dispositif selon la revendication 15, dans lequel les micropointes (13) sont réalisées en silicium, et comprises dans un matériau isolant (37) en silice. 20. Dispositif selon la revendication 19, dans lequel la silice est recouverte d'une couche de nitrure de silicium. 21. Dispositif selon la revendication 14, dans lequel un actionneur est intégré dans le patin (11) pour déplacer les micropointes. 22. Dispositif selon la revendication 21, dans lequel le patin (11) est micro-usiné afin de libérer un équipage mobile (50) portant les micropointes (13. 23. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque circuit d'optique guidée comporte en son extrémité un moyen pour réfléchir l'onde guidée sur elle-même. 24. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, qui est utilisé pour réaliser un dispositif de stockage à haute densité avec débit d'accès élevé aux données. 25. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 23, qui est utilisé pour réaliser un dispositif d'écriture/lecture de bio-puces par champ proche en ultra haute densité.