FR 2801680 A1 20010601 FR 9914876 A 19991126 METHODE DE TEST ELECTRIQUE DE LA CONFORMITE DE L'INTERCONNEXION DE CONDUCTEURS ELECTRIQUES DISPOSES SUR UN SUBSTRAT, SANS CONTACT ET SANS OUTILLAGE Domaine de l'invention La présente invention concerne une méthode permettant de tester électriquement sans contact et sans outillage des conducteurs (4) disposés sur un substrat isolant (1). Cette opération se fait sans contact mécanique, sur la base de l'utilisation de l'effet photoélectrique, utilisé pour charger ou décharger les conducteurs (4), selon une méthode originale, faisant l'objet de la présente invention, et permettant d'attester ou non de la conformité de leur interconnexion. Dans son principe, la méthode consiste à contrôler de manière individuelle potentiel des conducteurs du substrat à tester, par éjection / injection d'électrons, et à mesurer les flux de courants correspondant, grâce à l'utilisation d'un dispositif décrit ci-après. Il existe de nombreux dispositifs permettant de prélever (éjecter) des électrons sur des conducteurs (comme ceux décrits par les brevets US 4,837,506 et 4,967,152 ou les références y afférent), par l'utilisation d'une source de lumière cohérente de haute énergie, qui, par effet photoélectrique, entraîne la montée du potentiel défini en Volt (la charge) de conducteurs. Contrairement à tous ces dispositifs, la présente invention vise non seulement la charge de conducteurs (éjection d'électrons), mais également à permettre à ces conducteurs de récupérer des électrons (injection ou absorption), et de ce fait, de se décharger (évolution négative de leur potentiel par absorption d'électrons), de manière à pouvoir utiliser ces deux modes pour contrôler individuellement le potentiel de chaque conducteur à tester, et de vérifier par la mise ne place d'algorithmes, la conformité de leur interconnexion. L'une des applications visées est le test électrique de substrats, tels les puces semi-conducteur, les circuits intégrés ou les circuits imprimés. Art antérieur L'effet photoélectrique consiste en l'émission d'électrons par un métal sous l'action de radiations lumineuses. Plus généralement, l'effet photoélectrique recouvre plusieurs phénomènes d'interactions de la lumière et de la matière, où des photons cèdent leur énergie à des électrons. On distingue ainsi l'effet photoélectrique externe, appelé aussi photoémission, et l'effet photoélectrique interne qui comprend la photoconductivité, l'effet photovoltaïque et la photo- ionisation. L'effet photoélectrique fut découvert en 1887 par Heinrich Hertz, lors ses travaux sur l'électromagnétisme. En 1900, le physicien allemand Lenard montra que seules les radiations de faible longueur d'onde peuvent provoquer la photoémission quelle que soit l'intensité du rayonnement incident. Cette caractéristique du phénomène ne pouvait s'expliquer à la lumière de la physique classique, qui considère le rayonnement électromagnétique comme une onde. Mais en 1905, Einstein parvint à interpréter ces résultats grâce à la théorie quanta formulée quelques années plus tôt par Planck. Il proposa en effet de concevoir la lumière comme un flux de particules (les photons), dotées d'une énergie dépendant de la longueur d'onde du rayonnement, et non de son intensité. Ainsi, chaque photon possède une énergie E, telle que E=hv, où h est la constante de Planck et v la fréquence du rayonnement. Einstein comprit que l'effet photoélectrique se traduit par l'absorption de certains photons par métal : si l'énergie d'un photon est supérieure à l'énergie liant un électron à un atome du métal ("Work Function", WF en abrégé), cet électron peut alors quitter son orbitale atomique, acquérant une énergie cinétique et créant un courant électrique. Test électrique de substrats non équipés (art antérieur) Dans l'effet photoélectrique, les électrons sont donc éjectés d'un métal (ou conducteur) par la collision de photons incidents. Les électrons sont maintenus à l'intérieur du métal par une barrière de potentiel, appelé "Work Function" (WF). Pour permettre l'éjection d'un électron, l'énergie des photons doit être supérieure à WF. Par exemple, pour le cuivre WF vaut environ 4.3 eV (électrons-Volts), et en conséquence, la longueur d'onde de la source de lumière cohérente doit être plus courte que 1.24 I 4.3 = 290 nm. Des longueurs d'onde plus courtes vont permettre la libération d'électrons avec une énergie cinétique non nulle. L'effet photoélectrique ne dépend pas de l'intensité de la source lumineuse. Il sera donc observé même pour de très faibles puissances mises en jeu, ce qui permet d'envisager fonctionnement qui n'endommage pas le conducteur. L'effet photoélectrique ne se produit pas au niveau des isolants, bien que des ionisations puissent apparaître sous l'action de photons hautement énergétiques. Les électrons éjectés peuvent être collectés par une électrode polarisée positivement, et le courant ainsi créé peut être mesuré. Cela nécessite un vide partiel, de telle manière que la plupart des électrons puissent atteindre l'électrode, sans heurter trop de molécules d'air. La puissance de la source ultraviolette (typiquement un laser) dépend du courant et du temps de chargement des conducteurs. Par exemple, si un conducteur présente une capacité de 100 pF, et si l'on souhaite charger positivement ce conducteur à 100 V en une milliseconde, alors le courant correspondant sera : 1= Q V / t = 100 x 10-1 / 0.001 = 10"5 A La puissance nécessaire du laser devra être : P =1 x Eph / Efficacité = 10-5 x 4.8 / 0.05 = 1 Nous supposons ici que 5% des photons émis produisent effectivement l'effet photoélectrique, hypothèse selon nous pessimiste. Si l'on veut maintenant procéder à la vérification de l'interconnexion de substrats, tels des puces à semi-conducteur, ou des circuits imprimés, il s'agit de vérifier qu'aucun conducteur présente de coupure franche ou partielle entre deux plages (5) sensés accueillir des composants, par rapport au modèle théorique, et de vérifier que chaque conducteur (4) n'est pas en circuit franc ou partiel avec un ou plusieurs autres conducteurs (4'). Dans l'art antérieur (brevet US N 4,967,152, par exemple), les coupures sont détectées suivant le principe suivant Une grille fine métallique est disposée à la verticale du substrat à tester. Elle est portée à un potentiel positif par rapport au substrat à vérifier, par exemple de l'ordre de 100 V. La source ultraviolette (passant de manière quasi transparente au travers de la grille métallique) est dirigée sur l'extrémité d'un conducteur et entraîne la libération d'électrons du conducteur correspondant. Ces électrons sont alors capturés par la grille, qui les attire. Un courant est alors collecté. Cette opération est poursuivie jusqu'à ce que le courant collecté atteigne un seuil déterminé, qui signifiera que le conducteur est maintenant chargé électriquement à la valeur d'environ 100 V. Le temps de charge dépend entre autre de la capacité du conducteur, et de la puissance du laser. Un conducteur préalablement chargé de cette manière ne va pas conduire à la libération d'autres électrons dans les mêmes conditions d'excitation, et quelque soit l'endroit ou l'on vient procéder à son excitation. Par contre, s'il est coupé quelque part, et si l'on vient procéder à la meure excitation de l'autre côté de la coupure, alors cette partie n'ayant pas été chargée au préalable va faire l'objet d'une émission d'électrons sous la forme d'une charge de capacité. Ensuite, on itère la méthode pour tester les autres conducteurs. Cependant, dans le vide partiel utilisé, les conducteurs ne se déchargent pas. Donc à la fin du test décrit ci-dessus, le substrat sera entièrement chargé. Dans la mesure ou la source laser n'est affectée par la charge des conducteurs voisins, cela ne perturbera pas outre mesure l'effet photoélectrique, mais les électrons éjectés auront tendance à rejoindre les conducteurs voisins préalablement chargés à 100 V, et non plus seulement la grille, ce qui altérera de mamere significative le courant collecté par la grille, et faussera les conclusions tirées de la valeur des courants mesurés, pouvant conduire à un diagnostic erroné. Une alternative possible est d'augmenter progressivement la tension de la grille de collecte au fur et à mesure du test, mais on observerait néanmoins une perte d'électrons, ces derniers étant collectés par des conducteurs de potentiel voisins (les derniers à avoir été testés). Par ailleurs, le nombre de conducteurs pouvant être de l'ordre de plusieurs milliers, l'idée d'augmenter le potentiel par sauts progressifs au fur et à mesure des conducteurs atteint vite ses limites. De plus, la mesure de résistance, critère important dans la validation du principe de test d'une technologie, n'est ici pas vraiment possible : même de faibles traces de conducteurs reliant manière défectueuse les deux portions d'un seul et même conducteur présenteront une constante de temps RC suffisamment courte pour ne pas être détectée, alors que la résistance correspondante (élevée dans ce cas) de la liaison devrait être analysée comme un réel défaut. Les courts-circuits sont détectés, dans l'art antérieur, par la charge d'un conducteur donné un premier temps, et par la recherche d'autres conducteurs de potentiel similaire sur le substrat ce qui signifierait alors une connexion physique avec le conducteur de référence, et donc l'existence d'un court-circuit. Ici encore se pose le problème de la décharge des conducteurs. L'utilisation de l'effet photoélectrique pour la mesure de courts-circuits et de coupures sur substrats possédant un grand nombre de conducteurs pose donc problème si l'on ne parvient pas à décharger les conducteurs préalablement chargés par le fait de la méthode de mesure, ou de manière plus générale à en contrôler le potentiel de manière individuel. C'est précisément l'objet de la présente invention. Dans un art antérieur plus récent, une seule source lumineuse est typiquement utilisée, ce qui réduit fortement la productivité et donc en augmente le coût. Par ailleurs, des systèmes de test sans contact on pu voir le jour dans un passé récent, sans pouvoir mesurer les faibles résistances d'interconnexion de certains substrats, tels les circuits imprimés entrant dans la composition nouvelles générations de boîtiers pour puces à semi-conducteurs, alors que les fréquences de plus en plus élevées de ce type d'application exigent des résistances d'interconnexion inférieures à seuil (typiquement 10 ohms voire moins), que ne peuvent mesurer les technologies de test sans contact de l'art antérieur (test à faisceau d'électrons, par utilisation d'un chemin de conduction électrique par création d'un plasma ou par utilisation de l'effet-photoélectrique simple). La présente invention se propose également de remédier à ce problème. Il est important également de préciser ici que des centres de recherche de plus en plus nombreux travaillent sur des technologies semi-conducteur, visant à rendre disponibles des matrices de micro-sources laser, utilisant typiquement le pompage optique de diodes à semi-conducteurs, ces diodes pouvant être réalisées sur des substrats de type semi-conducteur, conduisant à la disponibilité de réseaux de micro-lasers sur des surfaces du diamètre d'un wafer, et selon un pas qui pourra typiquement être de l'ordre de 0.1 mm. C'est ainsi plusieurs millions de micro- sources lasers qui pourront être disponibles sur une même tranche de silicium. L'adressage individuel de ces sources, de manière à pouvoir commander l'émission d'une source parmi d'autres, fait partie de ces même développement. Ces technologies sont des technologies protégées, et l'objet de la présente invention ne consiste pas en un perfectionnement de ces inventions. Mais certains mode de réalisation de la présente invention pourront faire appel à ces dernières, dans la mesure ou les puissances de ces sources, typiquement quelques mW, sont compatibles avec celles nécessaires dans notre application. Résumé de la présente invention On le voit dans la description qui précède, la mise en oruvre des méthodes de l'art antérieur (ainsi que dans d'autres méthodes non décrites ici) gagnerait à pouvoir utiliser une méthode décharge des conducteurs du substrat testé, à être plus rapide et à pouvoir mesurer de faibles résistances. La présente invention utilise plusieurs sources de lumière ultraviolette (figures 3 à typiquement organisée suivant une matrice de micro-sources laser, selon un mode de réalisation. Elle s'appuie sur un dispositif spécifique appelé par la suite plaque de décharge et collection (2), utilisant l'effet photoélectrique par stimulation d'une source de rayons lumineux ultraviolets (3) ou (7). Cette plaque est le coeur de la présente invention. Elle conçue pour assumer les trois modes de fonctionnement suivant I. Emettre localement des électrons vers un conducteur (4) donné du substrat (1) à tester, et mesurer le courant correspondant. II. Réceptionner des électrons provenant d'un conducteur (4) donné du substrat (1) à tester, et mesurer le courant correspondant. III. Réaliser des couloirs de circulation d'électrons (13) imposant à des électrons émis par la plaque (2) ou par le substrat (1) de suivre un chemin donné, comme explicité par la figure 5, de manière à contrôler soit leur absorption par un conducteur (4) donné substrat (1), soit leur collection par un point donné de la plaque (2). Ces couloirs sont réalisés par programmation à des potentiels répulsifs un nombre choisi de zones conductrices (10c), dont la géométrie va définir la base du couloir de circulation (1 autour du point d'émission (8) ou de collection (10), ce couloir s'établissant de manière sensiblement perpendiculaire à la plaque (2). Cette plaque de décharge et de collection (2) est disposée parallèlement au substrat (1) que l'on veut tester, comme le montre la figure 2. Dans le cas ou des conducteurs (4) sont également présents sur l'autre face du substrat (1), une deuxième plaque de décharge et de collection (2') pourra être utilisée. Le dispositif permettant de mettre en oeuvre la présente invention comprend donc trois principaux éléments A. Une plaque dite plaque de décharge et de collection (2), typiquement un substrat comprenant des zones conductrices (8), (10), recouvrant totalement ou partiellement le substrat à décharger, qui peut être arbitrairement porté, en un ou plusieurs points donnés (8), (10), à des potentiels électriques quelconques, positifs, nuls ou négatifs non nécessairement identiques (figure 3 et 4) et comprenant une ou plusieurs sources de lumière ultraviolette (3) ou (7), typiquement des micro-lasers, eux-même typiquement organisés en matrice selon un pas fin (typiquement de l'ordre de 0.1 mm, soit plusieurs millions micro- sources laser si l'on considère des surfaces utiles de test de 300 x 200 mm environ). B. Une chambre à vide partiel, accueillant les plaques de décharge et de collection décrits ci- dessus, ainsi que le substrat (1) et un châssis soutenant le tout C. Une centrale de commande et de mesure (11) permettant le comptage des électrons (mesure de courant), l'imposition et la mesure des diverses tensions sur les plaques (2) et Cette centrale de mesure permet, par un adressage spécifique, suivant les modes de réalisation, de programmer les états souhaités des divers conducteurs des plaques (2) et (2'), et de mesurer les signaux souhaités. La plaque de décharge et de collection (2) selon la présente invention, est utilisée, contrairement à l'art antérieur, comme une source ou un drain local d'électrons, générés par effet photoélectrique. En effet, la plaque de décharge et de collection (2) définie selon la présente invention présente les caractéristiques suivantes 1. Les source(s) ultraviolette(s) (3) y sont intégrées 2. Elle comprend en toute région voisine de la verticale d'un conducteur (4) du substrat (1) à tester des zones conductrices (8), du côté du substrat (1) à tester, programmable à un potentiel donné par la centrale de commande et de mesure, susceptibles d'être bombardées par au moins une des sources lumineuses, en vue d'émettre des électrons, lesquels seront absorbés par le conducteur (4) souhaité, au travers d'un couloir de circulation des électrons (13), pourvu que le potentiel du conducteur (4) visé soit supérieur à celui de la zone conductrice (8) émettrice. 3. Elle comprend en toute région voisine de la verticale d'un conducteur (4) du substrat (1) à tester des zones conductrices (10) ou (10') dont le potentiel est indépendamment ajustable à une valeur donnée en divers points de son plan, de manière à pouvoir générer les des couloirs de collection d'électrons (13) et à collecter des électrons émis localement par les conducteurs (4) du substrat (1) au travers de ces couloirs, sans perte notoire d'électrons qui auraient pu aller rejoindre d'autres conducteurs voisins. Note : la direction des faisceaux issus des sources lumineuses est sensiblement perpendiculaire au plan de la plaque (2). Toutefois, certains modes de réalisation pourront prévoir des dispositifs permettant d'incliner légèrement ces faisceaux dans une cône ayant pour axe la perpendiculaire ' la plaque (2) au point d'émission. Le principe de mesure par charge et décharge de conducteur, selon un mode de réalisation de présente invention, peut être décrit de la manière suivante a) Dans une phase initiale, l'ensemble des conducteurs (4) présents sur le substrat (1) déchargé à un potentiel négatif V-. Un moyen simple pour y parvenir est de programmer l'ensemble des zones conductrices (10) et (8) des plaques (2) et (2') à ce potentiel V-, et de bombarder l'ensemble des zones conductrices (8) par une ou plusieurs sources lumineuses ultraviolettes, de manière à ce que les électrons correspondants de la zone métallique (8) soient éjectés vers les conducteurs (4) du substrat (1) jusqu'à ce que tous les conducteurs (4) atteignent ce potentiel V". b) Dans une deuxième phase (test de continuité), chaque conducteur (4) fait l'objet de la procédure suivante I. Début de charge du conducteur (4) : le conducteur (4) est bombardé par une source lumineuse ultraviolette (7) après que certaines zones conductrices (10) de la plaque (2), à la périphérie de la verticale du point C' ait été programmées à la valeur V+, créant ainsi un couloir de circulation d'électrons (13) Il s'en suit une migration des électrons du conducteur (4) vers ces zones conductrices (10) et donc un début de charge du conducteur (4) qui voit son potentiel croître. II. Décharge en parallèle du conducteur (4) au voisinage de la verticale du point B', par bombardement d'une zone conductrice (8) sur la plaque (2) voisine de la verticale de B' le conducteur (4) faisant en parallèle l'objet d'une charge à l'autre bout, son potentiel doit être inférieur à V", s'il ne présente pas de coupure. III. Il en résulte un flux d'électrons de B' vers C', et donc la circulation d'un courant I de C' vers B'. Ce courant est en particulier une fonction f(R) de la résistance du conducteur entre B' et C' et permet donc de mesurer sa continuité. c) Dans une troisième phase (test d'isolement), chaque conducteur (4) fait l'objet de procédure suivante I. Charge à une valeur V+ du conducteur (4) : le conducteur (4) est bombardé par une source lumineuse ultraviolette (7) après que les zones conductrices (10) de la plaque (2), à périphérie de la verticale du point C' ait été programmée à la valeur V+(les autres étant programmées à la valeur V"). Il s'en suit une migration des électrons du conducteur (4) vers les zones conductrices (10) au travers d'un couloir de circulation (13). Il. Si le courant de charge ne se rapproche pas de 0 au bout d'un temps donné (au bout d'un certain temps, le potentiel du conducteur (4) doit se rapprocher de V+ si il est isolé), cela voudra dire qu'il y a une fuite d'électrons vers d'autres conducteurs. Cette fuite pourra être mesurée (courant I résiduel) et donnera la valeur de la résistance de fuite R = (V+ - V d) Ensuite, on itère en passant au conducteur (4) suivant. La distance entre le substrat à décharger et le détecteur n'est pas critique, car l'énergie d'accélération des électrons par la différence de potentielle est indépendante de la distance entre les deux électrodes. Par contre elle sera en partie définie par le mode de réalisation choisi. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la plaque de décharge et de collection (2) est constituée de la juxtaposition de micro-sources de lumière ultraviolettes (9), et de zones conductrices (10) dont le potentiel peut être ajusté de manière indépendante, un certain nombre de ces micro-sources étant recouvertes d'une fine couche de dépôt métallique (8), l'émission de la micro-source sur ce dépôt provoquant l'émission d'électrons. Ce mode de réalisation est illustré par la figure 4. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les zones conductrices (10) et les zones de dépôt métallique (8) peuvent être identiques. Selon un mode de réalisation de la présente invention, deux plaques (2) sont utilisées, de et d'autre du substrat (1). Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'émission des sources lumineuses ultraviolettes peut se faire suivant un angle par rapport à la plaque (2) qui n'est pas de 90 degrés, dont la valeur exacte est programmable. On peut ainsi réduire le nombre nécessaire de sources, ou augmenter la résolution de test. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la source de lumière ultraviolette un laser YAG UV utilisant le 4Eme harmonique à 266 nm. Il est à noter que dans son principe cette méthode pourra également utiliser comme sources d'électrons un matrice de micro-pointes conduisant à l'émission d'un faisceau d'électrons en lieu et place d'une matrice de micro-sources laser utilisant l'effet photoélectrique, avec quelques aménagements. En effet, suivant l'énergie incidente des électrons émis, le choc de ces derniers avec un conducteur peut conduire à une absorption par ce conducteur, ou à une émission secondaire d'électrons, en surnombre par rapport au faisceau incident, provoquant alors une dérive positive de son potentiel (le conducteur perd des électrons). L'homme du métier saura trouver de nombreuses autres applications à la présente invention. Description des figures La Figure 1 montre un substrat (1), possédant des conducteurs (4), pour lesquels l'accès électrique nécessaire selon la présente invention se fait au niveau des plages (5). L'ensemble substrat (1) + plaque de décharge et de collection (2) se trouve dans une chambre (12) un vide partiel à été réalisé (typiquement 1 millitorr). Le faisceau de lumière ultraviolette (3) vient éjecter les électrons (6) de la plaque de décharge et de collection (2), ces électrons étant alors captés par les conducteurs voisins de la vertical d'émission, cette zone de captation pouvant elle- même être limitée par la création d'un couloir de circulation d'électrons (13), dans les environs de l'impact du faisceau, dans la mesure ou les conducteurs proches présentent des potentiels positifs par rapport au détecteur (2). La figure 2 montre le même dispositif en coupe. La figure 3 montre un mode de réalisation de la présente invention pour lequel plaque de décharge et de collection (2) comprend une multitude de micro-sources de lumière ultraviolette (7) et (9) ainsi qu'une multitude de zones conductrices (10) reliée à une électronique de commande et de mesure (11) permettant la collecte d'électrons et la mesure courant correspondant et une multitude de zones conductrices (8) correspondant à un dépôt métallique en couche mince sur un certain nombre de micro-sources de lumière ultraviolette Dans ce mode de réalisation, le dépôt métallique est prévu de telle manière que des électrons puissent petre émis sans que la lumière de la source puisse traverser totalement le dépôt. Mais d'autres modes de réalisation autoriseront aux sources de traverser le dépôt. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le potentiel des zones conductrices (8) et (10) peut être programmé de manière indépendante pour chacune des zones. ce mode de réalisation, le bombardement de la zone conductrice (8) par la micro-source (9) au point A' et le bombardement du conducteur (4) au point C' par la source (7) entraînent la circulation d'un courant (I) dans le conducteur (4) du substrat (1), et permet donc de mesurer la conformité de la résistance d'un point à un autre du conducteur (4) (test de continuité). Une méthode de mesure similaire utilisant les points B' et D' permet de mesurer la résistance entre ces points et de vérifier qu'ils sont effectivement connectés ou non (test d'isolement) La figure 4 montre une vue de dessus de la plaque de décharge et de collection (2), avec des conducteurs (4) et (4') en transparence, selon un mode de réalisation de la présente invention. Selon ce mode, le bombardement de la zone conductrice (8) par la micro-source (9), entrainant l'apparition d'électrons au point B' du conducteur (4) chargé positivement de par le bombardement du conducteur (4) au point C' par la source (7), provoque la circulation d'un courant (I) dans le conducteur (4) du substrat (1), et permet donc de mesurer la conformité de la résistance d'un point à un autre du conducteur (4) (test de continuité). Les quatre sources (10), pour cette mesure, sont programmées à un potentiel V+ positif, permettant la collecte d'électrons vers la centrale de commande et de mesure (11), les autres sources voisines (10') étant quant à elles programmées à un potentiel négatif V-, de même que les zones conductrice (8) et (8'), ce qui permet de repousser les électrons vers les seules issues possibles qui sont les sources (10). La figure 5 montre la possibilité de création des couloirs de circulation d'électrons (l3). La zone conductrice (8) est programmée à un potentiel V" négatif par rapport au conducteur. La source laser bombardant cette zone va provoquer l'émission d'électrons. Les zones métalliques (l Oc) qui entourent la zone (8) vont être programmées à un potentiel très négatif : elles vont donc repousser les électrons qui s'en rapprocheraient, créant ainsi un couloir de circulation de la plaque (2) vers le substrat (1), pourvu que ce dernier ne soit pas trop éloigné physiquement (typiquement quelques dixièmes de mm, voire quelques mm) de manière à ce qu'aucun électron ne puisse sortir de ce couloir. La zone (10) est quant à elle programmée ici à un potentiel positif V+, autorisant l'absorption des électrons émis par le conducteur bombardé, pourvu que le potentiel de ce dernier soit inférieur, les zones conductrices (10c) agissant ici encore de manière à créer un couloir de circulation des électrons vers la zone (10). La vérification de la nature de l'absence de coupures et de courts-circuits sur un substrat isolant comprenant des conducteurs est ainsi rendu possible pour plusieurs modes réalisation de la présente invention. Application industrielle L'art antérieur a montré la faisabilité de nombreuses solutions utilisant des lasers émettant dans l'ultraviolet pour charger des conducteurs. La méthode exposée dans la présente invention permet en plus la décharge de ces derniers, de par l'utilisation de l'effet photo 'lectrique de base, associé à des plaques de décharge et de collection (2) originales dont la définition permet à la fois la décharge et la charge contrôlée des conducteurs, en terme d'électrons ce qui permet de contrôler, avec l'adjonction d'une centrale de commande et de mesure appropriée les flux de courant entre conducteurs, ou au sein d'un même conducteur, de même que les différents potentiels de chacun de ces conducteurs (4). La possibilité de controle de la charge et de la décharge d'un conducteur donné figurant parmi d'autres sur un substrat tel un circuit imprimé, entraîne la possibilité de vérification la qualité de l'interconnexion, en d'autre termes son test, et ce pour les substrats les plus complexes, sans contact mécanique, sans outillage spécifique, à des vitesses de traitement compatibles avec les besoins en production, pour des coûts nettement inférieurs à ceux enregistrés aujourd'hui, ce qui rend cette application très intéressante du point de vue industriel, pour le test de circuits nus, tels les circuits imprimés pour téléphones cellulaires, les circuits équipés de composants, ainsi que certaines applications dans le domaine du semi-conducteur pour lesquelles la possibilité de mesurer soit le potentiel, soit la fréquence, soit de mesurer ou d'injecter des courants électriques présente un intérêt. Il effet possible, avec la méthode décrite dans le cadre de cette invention, puisqu'elle permet de suivre précisément l'évolution du potentiel d'un conducteur, de déterminer la forme du signal correspondant, et donc sa fréquence s'il s'agit d'un signal alternatif. Cette propriété pourra donc etre utilisée pour le test fonctionnel de cartes équipées de composants, consistant par exemple en l'examen de la réponse de certains signaux par rapport à un stimulus donné. Revendications 1. Dispositif de test électrique de l'interconnexion de conducteurs électriques (4) disposés sur un substrat isolant (1), utilisant au moins une plaque de décharge et de collection (2), dans une chambre à vide (7), caractérisé en ce que # la plaque de décharge et de collection (2) recouvre sensiblement la partie du substrat (1) que l'on souhaite tester et est disposée de manière sensiblement parallèle à ce dernier, et en ce que # la plaque de décharge et de collection (2) comprend au moins deux sources lumière ultraviolette (7) émettant un faisceau lumineux dans une direction sensiblement perpendiculaire au plan de la plaque (2), et en ce que cette émission dirigée vers un conducteur puisse conduire à une éjection d'électrons hors de ce conducteur par effet photoélectrique et en ce que, # la plaque de décharge et de collection (2) comprend au moins deux zones conductrices (10) à potentiel programmable, du côté du substrat (1) à tester, reliées à une centrale de commande et de mesure (11), et en ce que ces zones conductrices (10) soit utilisées # soit pour collecter des électrons # soit pour les repousser, selon la valeur de leur potentiel, et en ce que # la plaque de décharge et de collection (2) comprend au moins deux zones conductrices (8) à potentiel programmable, du côté du substrat (1) à tester, reliées à une centrale de commande et de mesure (11), et en ce que ces zones puissent être # soit bombardées par au moins une source de lumière ultraviolette (9) conduisant à une émission d'électrons, # soit utilisées pour collecter des électrons ou pour les repousser, selon la valeur de leur potentiel, et en ce que # la plaque de décharge et de collection (2) est reliée à une centrale de commande et de mesure électronique (11) permettant de programmer l'émission d'une ou plusieurs sources à un moment donné, de programmer la valeur du potentiel de chaque zones conductrices (8) et (10), et de mesurer le courant électrique collecté au niveau de ces zones (8) ou (10) 2. Dispositif de test électrique de l'interconnexion de conducteurs électriques selon la revendication 1 caractérisé en ce que deux plaques conductrices (2) et (2') sont disposées de part et d'autre du substrat (1). 3. Dispositif de test électrique de l'interconnexion de conducteurs électriques selon des revendications 1 à 2 caractérisé en ce l'inclinaison du faisceau émis par les sources de lumière ultraviolette soit programmable autour de la valeur d'un angle de 90 degrés avec le plan de la plaque (2) 4. Dispositif de test électrique de l'interconnexion de conducteurs électriques selon des revendications 1 à 3 caractérisé en ce la programmation des zones conductrices (8) (10) puisse conduire à la réalisation de couloir de circulation d'électrons (13) 5. Dispositif de test électrique de l'interconnexion de conducteurs électriques selon des revendications 1 à 4 caractérisé en ce la programmation des zones conductrices (8) et (1 et d'un certain nombre de sources de lumière ultraviolette puisse conduire à la mesure de faibles résistances, par établissement de la circulation d'un courant au travers de couloirs de circulation (13), d'un conducteur (4) dont la résistance est à mesurer, et du circuit de mesure de la centrale (11). 6. Méthode de test électrique sans contact de l'interconnexion de conducteurs électriques utilisant le dispositif décrit dans l'une des revendications 1 à 5, caractérisée en procédure de test d'un substrat utilise les phases suivantes a) Imposition à un potentiel négatif V- de l'ensemble des conducteurs (4) présents le substrat (1) par programmation d'un certain nombre de zones conductrices ( et (8) des plaques (2) et (2') à ce potentiel V", et bombardement d'un certain nombre de zones conductrices (8) par une ou plusieurs sources lumineuses ultraviolettes, de manière à ce que les électrons correspondants de la zone métallique (8) soient éjectés vers les conducteurs (4) du substrat (1) jusqu'à ce que tous les conducteurs (4) atteignent ce potentiel V". b) Ensuite, pour chaque conducteur (4) I. Début de charge du conducteur (4) : le conducteur (4) est bombardé par moins une source lumineuse ultraviolette (7) après que certaines zones conductrices (10) de la plaque (2), à la périphérie de la verticale du point C' ait été programmées à la valeur V+, créant ainsi un couloir de circulation d'électrons (13) Il s'en suit une migration des électrons du conducteur (4) vers ces zones conductrices (10) et donc un début de charge du conducteur (4) qui voit son potentiel croître. II. Décharge en parallèle du conducteur (4) au voisinage de la verticale du point B', par bombardement d'une zone conductrice (8) sur la plaque (2) voisine de la verticale de B' : le conducteur (4) faisant en parallèle l'objet d'une charge à l'autre bout, son potentiel doit être inférieur à V", s'il ne présente pas de coupure. III. Il en résulte un flux d'électrons de vers C', et donc la circulation d'un courant I de C' vers B'. Ce courant est en particulier une fonction f(R) de la résistance du conducteur entre B' et C' et permet donc de mesurer sa continuité. c) Dans une troisième phase (test d'isolement), chaque conducteur (4) fait l'objet de la procédure suivante I. Charge à une valeur V+ du conducteur (4) : le conducteur (4) est bombardé par une source lumineuse ultraviolette (7) après que les zones conductrices (10) de la plaque (2), à la périphérie de la verticale du point C' ait été programmée à la valeur V+(les autres étant programmées à la valeur V"). Il s'en suit une migration des électrons du conducteur (4) vers les zones conductrices (10) au travers d'un couloir de circulation (13). II. Si le courant de charge ne se rapproche pas de 0 au bout d'un temps donné (au bout d'un certain temps, le potentiel du conducteur (4) doit se rapprocher de V+ si il est isolé), cela voudra dire qu'il y a fuite d'électrons vers d'autres conducteurs. Cette fuite pourra être mesurée (courant I résiduel) et donnera la valeur de la résistance de fuite R = (V+ - V-)/I d) Ensuite, on itère en passant au conducteur (4) suivant.