FR 2793939 A1 20001124 FR 9906590 A 19990519 CELLULE MÉMOIRE À FAIBLE CONSOMM & TICN La présente invention concerne les cellules mémoire statiques à accès aléatoire (SRAM) et, plus particulièrement, des cellules à faible consommation susceptibles de faire partie de réseaux mémoire à très grand nombre de cellules. On distingue essentiellement deux types de mémoires à accès aléatoire : les mémoires dynamiques (DRAM) et les mémoires statiques (SRAM) . Par rapport aux mémoires DRAM, les mémoires SRAM présentent les avantages d'être plus rapides et de ne pas nécessiter de rafraîchissement, ce qui simplifie les circuits de commande. Cependant, elles présentent les inconvénients d'une consommation plus élevée et d'une surface plus importante à capacité égale. Divers types de cellules SRAM à trois, quatre ou six transistors ont été imaginés. Les cellules SRAM à trois transistors ont pratiquement le même encombrement que les cellules DRAM mais se sont avérées inutilisables en pratique. La figure 1 représente le schéma électrique équivalent d'une cellule SRAM 1 à quatre transistors. Les drains de transistors MOS Ml et M2, par exemple à canal N, sont connectés à un même rail d'alimentation, constituant la masse G du circuit. Les sources des transistors Mi et M2 sont connectées, par l'intermédiaire de résistances de polarisation respectives Ri et R2, à une alimentation haute Vdd du circuit. La grille du transistor M2 est connectée au drain d'un transistor MOS M3 et à la source du transistor Mi. La grille du transistor Ml est connectée au drain d'un transistor MOS M4 et à la source du transistor M2. Les grilles des transistors M3 et M4 sont connectées à une même ligne de signal, à savoir la ligne de mot WL de la cellule 1. Les sources des transistors M3 et M4 sont reliées chacune à une ligne de signal complémentaire, à savoir la ligne de bit BL et son complément CBL de la cellule 1. En fonctionnement, à tout instant, l'un des transistors (Mi ou M2) est passant et il circule un courant limité seulement par la résistance Ri ou R2. Pour réduire ce courant, il serait souhaitable que les résistances Ri et R2 aient une valeur élevée. Les techniques de fabrication classiques de circuits intégrés ne permettent pas de fabriquer des résistances précises d'une valeur supérieure à quelques dizaines de mégohms. La consommation d'une cellule est alors trop élevée et interdit d'associer un très grand nombre de cellules mémoire dans un circuit monolithique. De plus, Mme si on pouvait fabriquer des résistances plus élevées, cela nuirait à la rapidité de conmmtation des cellules et donc à leur stabilité, conyne on le verra ci-après. On a donc été amené à utiliser des configurations de cellules SRAM de type CMOS à six transistors qui ont une consonimtion réduite. Toutefois, l'inconvénient de l'occupation d'une surface élevée est encore plus marqué. En effet, des cellules à six transistors auront une surface plus importante, d'approximativement 400-o, qu'une cellule à quatre transistors. La présente invention vise à proposer une cellule SRAM à surface et consommation réduites. La présente invention vise également à proposer une cellule SRAM à trois transistors à consommation réduite et à temps d'accès comparables à ceux d'une cellule à quatre transistors selon l'invention. Pour atteindre cet objet, la présente invention prévoit une cellule mémoire SRAM du type comportant des premier et deuxième transistors MOS dont les sources sont reliées, par l'intermédiaire de première et seconde résistances, respectivement, à une alimentation haute, et dont les drains sont connectés à la masse du circuit, la grille du deuxième transistor étant reliée d'une part à la source du premier transistor et d'autre part au drain d'un troisième transistor MOS, la grille du premier transistor étant reliée d'une part à la source du deuxième transistor et d'autre part au drain d'un quatrième transistor MOS, les grilles des troisième et quatrième transistors étant reliées à la ligne de mot de la cellule, leurs sources étant reliées à des lignes de signal complémentaires, chacune des première et deuxième résistances étant constituée d'un condensateur à fuites. La présente invention prévoit également une cellule mémoire SRAM du type comportant des premier et deuxième transistors MOS dont les sources sont reliées, par l'intermédiaire de première et seconde résistances, respectivement, à une alimentation haute, et dont les drains sont connectés directement à la masse du circuit, la grille du premier transistor étant reliée uniquement à la source du deuxième transistor, la grille du deuxième transistor étant reliée d'une part à la source du premier transistor et d'autre part au drain d'un troisième transistor MOS dont la grille est reliée à la ligne de mot de la cellule et dont la source est reliée à la ligne de bit de la cellule, chacune des première et deuxième résistances étant constituée d'un condensateur à fuites. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les condensateurs à fuites comportent un diélectrique ferroélectrique. La présente invention prévoit également de réaliser de telles cellules sous forme monolithique dans un substrat semiconducteur, au moins un des deux condensateurs à fuite utilisant comme première électrode au moins une partie d'une région de source d'un transistor sur laquelle on dépose et on grave successivement une couche isolante puis une couche conductrice constituant respectivement le diélectrique et la seconde électrode du condensateur. Selon un mode de réalisation de la présente invention, au moins un des condensateurs à fuites utilise comme première électrode l'électrode de grille d'un transistor MOS sur laquelle on dépose et on grave successivement une couche isolante et une couche conductrice constituant respectivement le diélectrique et la seconde électrode du condensateur. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le diélectrique est soumis à un traitement d'implantation et de diffusion d'un dopant propre à former une faible densité de trous dans le diélectrique. Selon un mode de réalisation de la présente invention, une telle cellule comporte des moyens pour interrompre brièvement l'alimentation haute des drains des premier et deuxième transistors lors de chaque conmtation de la cellule. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 représente le circuit électrique équivalent d'une cellule SRAM à quatre transistors classique ; la figure 2 représente le circuit électrique équivalent d'une cellule SRAM à quatre transistors selon la présente invention ; la figure 3 illustre partiellement un premier mode de réalisation d'une portion d'une cellule SRAM selon la présente invention ; la figure 4 illustre partiellement un deuxième mode de réalisation d'une portion d'une cellule SRAM selon la présente invention ; les figures 5A à 5F sont des chronogrammes illustrant le fonctionnement de la cellule de la figure 2 ; la f igure 6 représente le circuit électrique équivalent d'une cellule SRAM à trois transistors selon la présente invention ; et les f igures 7A à 7E sont des chronogramines illustrant le fonctionnement de la cellule mémoire de la figure 6. Les mêmes éléments ont été désignés par les mêmes références aux différentes figures. Pour des raisons de clarté, seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l'invention ont été représentés aux figures et seront décrits par la suite. De plus, comme cela est classique dans le domaine de la repré sentation des circuits intégrés, les figures 3 et 4 ne sont pas tracées à l'échelle niais leurs dimensions ont été arbitrairement dilatées pour améliorer la lisibilité des dessins. Une caractéristique de la présente invention est de proposer un nouveau moyen de réalisation d'une résistance de polarisation d'une cellule SRAM. La figure 2 représente une cellule SRAM 2 à quatre transistors. La cellule 2 est similaire à la cellule 1 de la f igure 1. Toutefois, selon la présente invention, les sources Al et Bl des transistors Ml et M2 sont connectées à une alimentation PVdd par 1 1 intermédiaire de condensateurs Cl et C2. Les condensateurs Cl et C2 sont d'un type dit "à fuites" et ont des résistances de fuite RCI et RC2 élevées mais finies de l'ordre du térohm (1012 n) . Les f igures 3 et 4 illustrent, vus en coupe, deux exemples de réalisation possibles d'un condensateur à fuites selon la présente invention, associé à un transistor. Des régions d'oxyde de champ épais 4 délimitent des zones actives à la surface d'un substrat 3, typiquement en silicium, d'un premier type de conductivité, par exemple P. Une structure de grille isolée 5 d'un transistor MOS classique (Ml ou M2, figure 2), comporte un isolant de grille 5-1, par exemple en oxyde de silicium, recouvert d'une électrode de grille 5-2, par exemple en silicium polycristallin dopé, et, éventuellement, des espaceurs latéraux 5-3. Des régions 6 et 7 fortement dopées, par exemple, de type N+, constituent, de part et d'autre de la grille 5, les régions de source et de drain du transistor MOS à canal N ainsi formé. Selon un premier mode de réalisation de la présente invention, illustré en figure 3, la première électrode du condensateur à fuites (CI ou C2, figure 2) est une partie de la région de source 6 d'un transistor (Ml ou M2, figure 2). Le condensateur comporte également un diélectrique 8 traité de la façon décrite ci-après, et une seconde électrode 9, par exemple, en silicium polycristallin. Selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention illustré en figure 4, la première électrode du condensateur à fuites (Ci ou C2, figure 2) est l'électrode de grille 5-2 de la structure 5 de grille isolée d'un transistor (M2 ou Ml, figure 2). Le condensateur con-porte également un diélectrique 81 traité de la façon décrite ci-après, et une seconde électrode 91, par exemple, en silicium polycristallin. Pour que les condensateurs soient des condensateurs à fuites, les diélectriques inter-électrodes (8, figure 3 ; 81, figure 4) sont soumis, avant la formation de la seconde électrode (9, figure 3 ; 91, figure 4), à un traitement, de préférence une implantation ionique, propre à injecter dans son épaisseur une faible concentration de dopants. La concentration des dopants implantés est choisie de façon à obtenir une résistance de fuite propre à assurer la polarisation des transistors Ml et M2, mais suffisamment élevée pour minimiser la consommation de chaque cellule. En pratique, l'encombrement lié à la formation d'un condensateur à fuites est sensiblement le même que celui d'une résistance de polarisation classique. Un avantage de la présente invention est de permettre d'obtenir de façon simple et reproductible des résistances intégrées de valeurs précises très supérieures au mégohm. Il est donc possible selon l'invention de former des réseaux SRAM comportant un très grand nombre de cellules à surface réduite et donc susceptibles de constituer une alternative à des réseaux DRAM. Le fonctionnement d'une cellule mémoire à quatre transistors selon la présente invention est décrit ci-après en relation avec les chronogrammes des figures 5A à 5F. À titre d'exemple, on considère que l'on souhaite écrire dans la cellule 2 de la f igure 2 une donnée 111". On suppose que la cellule 2 est dans un état initial tel que le transistor Ml est passant et le transistor M2 est bloqué. Les figures 5A à 5D illustrent respectivement les signaux de commande de la ligne de bit BL, de son complément CBL, de la ligne de mot WL de la cellule 2 et de l'alimentation PVdd. Les figures 5E et 5F illustrent respectivement les niveaux de tension aux noeuds Ai et Bi de la figure 2. De façon classique, les éléments considérés répondent, le cas échéant, aux divers signaux de commande avec certains retards, par exemple tels qu'illustrés aux figures 5E et SF. Par souci de clarté, on ne tiendra pas compte dans la description ci- après de ces retards. À l'état initial, les transistors Mi et M2 ayant été supposés respectivement passant et bloqué, les noeuds Ai et Bi sont respectivement à des niveaux de tension bas (potentiel de masse, supposé nul) et haut (vdd). On suppose que les lignes BL, CBL sont maintenues à des états respectifs complémentaires haut et bas (figures 5A, 5B) , correspondant à une donnée itil, à mémoriser dans la cellule 2. On considère qu'à un instant tl le signal sur la ligne de mot WL (figure 5C) de la cellule 2 passe d'un état initial bas (0) à un état haut (Vdd), autorisant l'écriture de la donnée dans la cellule. Cela polarise les grilles des transistors M4 et M3 de façon à les rendre passants. On force ainsi les noeuds Al et Bi aux potentiels fixés par les lignes BL et CBL, comme l'illustrent les f igures 5E et 5F. Les grilles (Bi, Al) des transistors Mi et M2 sont donc alors polarisées respectivement à 1 1 état bas et à 1 1 état haut, leurs sources (Ai, Bi) étant polarisées à 1 1 état haut et bas. Par conséquent, le transistor Ml se bloque et le transistor M2 devient passant. Le condensateur Cl se décharge pendant l'ouverture du transistor mi. On notera toutefois que dans la phase de fonctionnement décrite précédemment, le noeud Al atteint au plus un niveau de tension égal à Vdd-Vr (figure SE), où Vdd est le potentiel sur la ligne BL (figure SA) et VT la chute de tension drain-source du transistor M3. Normalement, le potentiel au noeud Al est tiré vers Vdd par l'intermédiaire de la résistance RC1, mais, étant donné la très forte valeur de cette résistance, la montée en tension est trop lente. Un tel phénomène pourrait être particulièrement gênant, en particulier dans des dispositifs à faible alimentation, pour lesquels la valeur Vdd est seulement de l'ordre de quatre à cinq fois la valeur du seuil Vr. De plus, l'effet de la chute de tension dans le transistor M3 peut être accentué par la présence sur la ligne BL d'une tension inférieure à la tension d'alimentation Vdd. On peut alors observer des erreurs de lecture en particulier dans des dispositifs à faible alimentation. Pour éviter cet inconvénient, selon un aspect de la présente invention, on utilise le fait que les résistances de polarisation d'une cellule SRAM classique sont remplacées par l'association en parallèle d'une résistance et d'un condensateur. Plus particulièrement, on prévoit que l'alimentation Pvdd des drains des transistors Ml et M2 peut être brièvement interrompue comme le représente la figure 5C. À un instant t2, l'alimentation PVdd est mise à zéro. Les noeuds Al et Bi auront tendance à suivre cette variation, comme l'illustrent les pics négatifs Pl et P2 correspondants en figure 5E et 5F, respectivement. Toutefois, les transistors M3 et M4 agissent alors pour maintenir les niveaux de tension sur les noeuds Al et Bi, respectivement à Vdd-VT et à 0. À un instant t3, l'alimentation PVdd est ramenée à la valeur Vdd. Alors, les transistors Ml et M2 étant maintenus respectivement bloqué et passant par les transistors M4 et M3, le niveau de tension au noeud Al augmente de Vdd-Vr au niveau maximal Vdd, comme 11 illustre la f igure SE. Le noeud Al reste ensuite à Vdd, le transistor M3 agissant alors come une diode polarisée en inverse. Le niveau de tension au noeud Bl tendra à augmenter à l'instant t3 (pic positif P3 en figure 5F), niais est maintenu à zéro sous l'effet du transistor M4. La figure 6 illustre une cellule SRAM 10 à trois transistors selon la présente invention. La cellule 10 est similaire à la cellule 2 de la figure 2. Toutefois, la grille du transistor Ml est connectée uniquement à la source du transistor M2 au noeud B2. La grille du transistor M2 est connectée, noeud A2, au drain d'un transistor M3. En d'autres termes, la cellule 10 se distingue de la cellule 2 en ce que le transistor M4 et la ligne complémentaire CBL de la ligne de bit sont supprimés. Selon la présente invention, il devient possible d'utiliser une telle cellule 10 à trois transistors. Le fonctionnement d'une cellule mémoire à trois transistors selon la présente invention est décrit ci-après en relation avec les chronogrammes des figures 7A à 7E. À titre d'exemple, on considère que l'on souhaite écrire dans la cellule 10 de la figure 6 une donnée 11111 puis une donnée 11011. Coni# précédemment, on suppose que la cellule 10 est dans un état initial tel que le transistor Ml est passant et le transistor M2 est bloqué. Les figures 7A, 7B et 7C illustrent respectivement les signaux de la ligne de bit BL, de la ligne de mot WL de la cellule 10 et de l'alimentation PVdd. Les figures 7D et 7E illustrent respectivement les niveaux de tension aux noeuds A2 et B2 tels que placés en figure 6. De façon classique, on considérera que les éléments considérés répondent, le cas échéant, aux divers signaux de commande avec certains retards, par exemple tels qu'illustrés aux f igures 7D et 7E. Par souci de clarté, on ne tiendra pas compte dans la description ci-après de ces retards. À 11 état initial, les transistors Ml et M2 ayant été supposés respectivement passant et bloqué, les noeuds A2 et B2 sont respectivement à des niveaux de tension bas (potentiel de masse, supposé nul) et haut (Vdd). Dans un premier temps, on suppose que la ligne de bit BL (f igure 7A) est maintenue à un état haut (Vdd) , correspondant à une donnée ,il' à mémoriser dans la cellule 10. On considère qu'à un instant tll le signal sur la ligne de mot WL (figure 7B) passe d'un état initial bas (0) à un état haut (Vdd), pour écrire la donnée dans la cellule 10. Cela polarise la grille du transistor M4 de façon à le rendre passant. On amène ainsi le noeud A2, donc la grille du transistor M2, à un potentiel au plus égal à Vdd-VT. Le transistor M2 se ferme, tirant le potentiel du noeud B2 à la masse (f igure 7E) . Le noeud B2 correspondant à la grille du transistor Mi, celui-ci se bloque. ConTne l'illustre la figure 7C, l'alimentation PVdd est amenée à zéro à un instant t12 et est ramenée à Vdd à un instant t13. À l'instant t12, l'état de la cellule est maintenu en raison de la connexion du noeud B2 à la masse à travers le transistor M2 et de la connexion du noeud A2 au transistor M3. À l'instant t13, le niveau de tension du noeud A2 suit l'alimentation PVdd et passe au potentiel Vdd, alors que le niveau du noeud B2 est maintenu à zéro. Une fois la donnée fil" ainsi mémorisée, elle se maintient naturellement, le transistor M3 peut être bloqué et le signal WL est ramené à la masse à un instant t14. On désire ensuite remplacer cette donnée "il' par une donnée 11011 Pour ce faire, à un instant ultérieur tlS, le signal sur la ligne BL est ramené à zéro (figure 7A), puis le signal WL est ramené à Vdd à un instant t16 (figure 7B) pour permettre l'écriture de cette nouvelle donnée. Alors, le transistor M3 se ferme et le niveau 0 de la ligne BL est transmis au noeud A2. Le transistor M2 tend alors à se bloquer. Mais, le noeud B2 étant relié à Vdd par une très haute impédance, son potentiel ne varie pratiquement pas et ce noeud B2 reste à un niveau bas. Le transistor Ml reste donc à l'état bloqué et le système ne commute pas. Pour permettre la convmtation à l'état passant du transistor Mi, on prévoit selon l'invention d'appliquer une impulsion positive à l'alimentation PVdd. Il faut donc au préalable ramener le niveau de l'alimentation PVdd à la masse, ce qui est effectué à un instant t17. Dès que le transistor M2 est bloqué, l'alimentation PVdd est ramenée à Vdd, à l'instant t18. Alors, le potentiel du noeud B2 passe à Vdd tandis que le potentiel au noeud A2 est maintenu à zéro par la ligne BL. Le transistor Ml devient passant. Une fois le transistor Ml passant, l'état se maintient naturellement et le signal de conrnande WL peut être ramené à zéro avant l'écriture suivante (non représenté). Un avantage de la présente invention réside dans le fait que les temps d'accès d'une cellule classique à trois transistors de l'ordre de la microseconde à la milliseconde sont ramenés grâce à l'utilisation des condensateurs à fuites et d'une alimentation connutable à des valeurs de l'ordre de 1 à 10 nanoseconde. Selon un mode de réalisation de la présente invention, on utilise pour réaliser les condensateurs un diélectrique présentant une propriété ferroélectrique, c'est-à-dire un matériau diélectrique corrportant des dipôles. Alors, lorsque l'alimentation du circuit est coupée, de façon momentanée, au lieu de perdre l'information, ce qui est le cas de façon générale dans une cellule mémoire à accès aléatoire (RAM), les condensateurs à fuites des cellules selon l'invention sont déséquilibrés asymétriquemeent. Autrement dit, les cellules comportant selon l'invention des condensateurs à fuites à diélectrique f erroélectrique conservent une image des données qu'elles avaient mémorisées avant la coupure de courant. Lors du rétablissement de l'alimentation, elles reprennent l'état complémentaire de l'état initial, avant coupure. Donc, si on effectue volontairement une nouvelle coupure de l'alimentation, on retrouve l'état initial. Ainsi, les cellules mémoire selon la présente invention présentent l'avantage d'être intrinsèquement protégées contre une coupure involontaire de courant. Un autre avantage de la présente invention est que l'utilisation de condensateurs à fuites comme résistances de polarisation permet de diminuer significativement la sensibilité des cellules mémoire à un bombardement particulaire (neutron, photon, ion ... ) . En effet, pour perturber l'état du système, un tel bombardement doit fournir une énergie plus importante de façon à compenser les charges stockées dans les condensateurs. Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, dans le cas de l'utilisation d'un diélectrique ferroélectrique, on prévoira un mécanisme automatique de coupure-remise sous tension immédiatement après une mise sous tension. De plus, les impulsions de l'alimentation Pvdd seront facilement réglées en fonction des valeurs caractéristiques des condensateurs à fuites (capacité et résistance de fuite) et des temps standards de réponse de transistors MOS. En outre, bien qu'on ait considéré dans la description précédente le cas particulier de l'utilisation de transistors MOS à canal N, la présente invention s'applique également à des transistors MOS à canal P, les différentes alimentations, impulsions ainsi que les divers dopages étant modifiés en conséquence. ICATICNS 1. cellule mémoire SRAM (2) du type comportant des premier et deuxième transistors MOS (Ml, M2) dont les sources (Al, Bi) sont reliées, par l'intermédiaire de première et seconde résistances, respectivement, à une alimentation haute (PVdd), et dont les drains sont connectés à la masse du circuit, la grille du deuxième transistor étant reliée d'une part à la source du premier transistor et d'autre part au drain d'un troisième transistor MOS (M3), la grille du premier transistor étant reliée d'une part à la source du deuxième transistor et d'autre part au drain d'un quatrième transistor MOS (M4), les grilles des troisième et quatrième transistors étant reliées à la ligne de mot (WL) de la cellule, leurs sources étant reliées à des lignes de signal complémentaires (BL, CBL) , caractérisée en ce que chacune des première et deuxième résistances est constituée d'un condensateur à fuites (Cl, C2). 2. Cellule mémoire SRAM (10) du type comportant des premier et deuxième transistors MOS (Ml, M2) dont les sources (A2, B2) sont reliées, par l'intermédiaire de première et seconde résistances, respectivement, à une alimentation haute (PVdd), et dont les drains sont connectés directement à la masse du circuit, la grille du premier transistor étant reliée uniquement à la source du deuxième transistor, la grille du deuxième transistor étant reliée d'une part à la source du premier transistor et d'autre part au drain d'un troisième transistor MOS (M3) dont la grille est reliée à la ligne de mot (WL) de la cellule et dont la source est reliée à la ligne de bit (BL) de la cellule, caractérisée en ce que chacune des première et deuxième résistances est constituée d'un condensateur à fuites (Cl, C2). 3. Cellule selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que les condensateurs à fuites (Cl, C2) comportent un diélectrique ferroélectrique. 4. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, réalisée sous forme monolithique dans un substrat semiconducteur (3), caractérisée en ce qu'au moins un des deux condensateurs à fuite (Cl, C2) utilise comme première électrode au moins une partie d'une région de source (6) d'un transistor (Ml, M2) sur laquelle on dépose et on grave successivement une couche isolante (8) puis une couche conductrice (9) constituant respectivement le diélectrique et la seconde électrode du condensateur. 5. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, réalisée sous forme monolithique dans un substrat semiconducteur (3), caractérisée en ce qu'au moins un des condensateurs à fuites (Ci, C2) utilise comme première électrode l'électrode de grille (5-2) d'un transistor MOS (M2, Ml) sur laquelle on dépose et on grave successivement une couche isolante (81) et une couche conductrice (91) constituant respectivement le diélectrique et la seconde électrode du condensateur. 6. Cellule selon l'une quelconque des revendications 3 ou 4, caractérisée en ce que le diélectrique (8, 81) est soumis à un traitement d,implantation et de diffusion d'un dopant propre à former une faible densité de trous dans le diélectrique. 7. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce qu'elle comporte des moyens pour interrompre brièvement l'alimentation haute (PVdd) des drains des prender et deuxième transistors (Ml, M2) lors de chaque commutation de la cellule.