FR 2764398 A1 19981211 FR 9707045 A 19970606 DEFLECTEUR ELECTRO-OPTIQUE DE FAISCEAU LUMINEUX, NOTAMMENT POUR ADRESSAGE OPTIQUE MULTIPOINTS DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente demande concerne un déflecteur électro-optique d'un faisceau lumineux. I1 s'agit d'un dispositif permettant de défléchir un faisceau lumineux de façon rapide, peu coûteuse et fiable (ce dispositif ne comportant aucune partie mobile). La présente invention a toutes les applications des déflecteurs de faisceaux lumineux connus, avec les avantages que présente une déflexion de faisceau lumineux sans partie mobile. Au sujet de ces applications on pourra consulter le document (1) qui, comme les autres documents cités par la suite, est mentionné à la fin de la présente description. Le déflecteur optique objet de l'invention permet d'envoyer un faisceau lumineux dans une direction prédéterminée qui est fonction du champ électrique appliqué au matériau électro-optique que comporte ce déflecteur. La présente invention s' applique plus particulièrement - à l'adressage optique, - à la distribution de faisceaux-radar et - aux interconnexions optiques dans les ordinateurs ou entre les éléments de microstructures électroniques. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE La déflexion d'un faisceau lumineux est une fonction optique qui trouve de nombreuses applications dans les micro-systèmes optiques. Cette fonction concerne de grands marchés comme par exemple les radars optiques, les lecteurs de codes-barres, les détecteurs optiques ainsi que les dispositifs d'imagerie tels que les imprimantes et les projecteurs. Dans les systèmes actuellement commercialisés, la déflexion angulaire d'un faisceau lumineux est réalisée au moyen de systèmes mécaniques (miroirs tournants ou vibrants), de lentilles mobiles ou de modulateurs acousto-optiques. I1 existe ainsi actuellement trois grandes familles de déflecteurs de faisceaux lumineux. La première famille comprend les déflecteurs électromécaniques. Dans ces derniers, une pièce mécanique mobile permet la déflexion d'un faisceau lumineux. I1 s'agit généralement d'un miroir tournant ou d'un miroir vibrant. Dans tous les cas, la bande passante de tels déflecteurs est limitée à quelques kilohertz pour des raisons mécaniques. De plus, la fiabilité de ces déflecteurs électromécaniques est limitée par la présence d'actionneurs mécaniques et de parties mobiles. La deuxième famille comprend les déflecteurs acousto-optiques. Dans ces derniers un transducteur acoustooptique émet une onde acoustique pour moduler la direction de propagation d'une onde optique. I1 s'agit là d'un principe qui a donné lieu à des réalisations commerciales en optique de volume ou en optique intégrée. Dans les deux cas, la vitesse de modulation est typiquement limitée à quelques mégahertz par la vitesse de propagation des ondes acoustiques. De plus, la puissance consommée est relativement grande (quelques watts) et nécessite une source radiofréquence adaptée. Cette technique permet de séparer plusieurs centaines de points avec de larges faisceaux lumineux (plusieurs millimètres). Des caractéristiques typiques sont 500 points, 8 mm et 100 kHz comme cela est indiqué dans le document (1). La troisième famille comprend les déflecteurs électro-optiques (voir le document (2)). L'effet électro-optique est plus rapide que l'effet acousto-optique et permet en principe une déflexion à une cadence de l'ordre du gigahertz. Cependant, les variations d'indice optique sont modestes et les tensions de commande sont élevées de sorte que les déflecteurs électro-optiques ne sont pas utilisés dans les systèmes actuellement commercialisés. EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention concerne un déflecteur électro-optique susceptible d'avoir une faible tension de commande, de l'ordre d'une centaine de volts, et une grande fréquence de modulation, de l'ordre de quelques gigahertz, et de dévier un faisceau lumineux selon un grand nombre de directions distinctes. De façon précise, la présente invention a pour objet un déflecteur électro-optique, caractérisé en ce qu'il comprend - une couche active qui est faite d'un matériau électro-optique et apte à guider une onde lumineuse, - des première et deuxième électrodes placées de part et d'autre de cette couche active, suivant la longueur de celle-ci, la première électrode étant au moins partiellement transparente à l'onde lumineuse guidée, - un moyen d'application d'une tension variable entre les première et deuxième électrodes, et - un moyen de découplage de cette onde lumineuse guidée, permettant la création, à partir de celle-ci, d'une onde lumineuse émergeant de la première électrode et faisant avec une direction perpendiculaire à cette dernière un angle variable en fonction de ladite tension appliquée entre les première et deuxième électrodes. Selon un mode de réalisation préféré du déflecteur objet de l'invention, celui-ci comprend en outre des première et deuxième couches-tampons qui sont respectivement comprises entre les première et deuxième électrodes, la première couche-tampon étant au moins partiellement transparente à l'onde lumineuse guidée, les première et deuxième couches-tampons ayant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche active et une conductivité électrique supérieure à celle de cette couche active. Selon un mode de réalisation particulier, la couche active forme un ruban, les couches-tampons étant prévues pour entourer ce ruban, le déflecteur comprenant en outre deux autres électrodes qui bordent latéralement les couches-tampons de façon que, en appliquant une autre tension électrique entre ces deux autres électrodes, on puisse dévier latéralement l'onde lumineuse émergente. Le moyen de découplage peut comprendre un réseau de diffraction qui est inséré ou créé dans la couche active ou un prisme qui est placé sur la première électrode. Le déflecteur objet de l'invention peut comprendre en outre un moyen de couplage de l'onde lumineuse dans la couche active. Selon un premier mode de réalisation particulier, ce moyen de couplage comprend un réseau de diffraction qui est inséré ou créé dans la couche active, à une extrémité de celle-ci. Selon un deuxième mode de réalisation particulier, ce moyen de couplage comprend un prisme qui est placé en regard d'une extrémité de la couche active, à côté de la première électrode. Selon un troisième mode de réalisation particulier, ce moyen de couplage est un moyen de couplage par la tranche ( end fire coupling ) prévu pour injecter l'onde lumineuse dans une extrémité de la couche active. Ladite tension appliquée entre les première et deuxième électrodes peut varier de façon continue ou discontinue, l'angle que fait l'onde lumineuse émergente avec une direction perpendiculaire à la première électrode variant ainsi de façon continue ou discontinue. De préférence, la couche active est faite d'un polymère électro-optique. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels la figure 1 est une vue en coupe longitudinale schématique d'une structure connue pourvue d'un guide d'onde en matériau électro-optique, la figure 2 est une vue schématique d'un dispositif connu, destiné à étudier cette structure, la figure 3 est une vue en coupe longitudinale schématique d'un mode de réalisation particulier du déflecteur électro-optique objet de l'invention, la figure 4 est une vue en coupe transversale schématique du mode de réalisation représenté sur la figure 3, et la figure 5 est une vue en coupe transversale schématique d'un autre mode de réalisation particulier du déflecteur électro-optique objet de l'invention. EXPOSÉ DÉTAILLE DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On commence par décrire une structure connue par le document (3), qui est utile pour la compréhension de la présente invention. Cette structure connue est schématiquement représentée en coupe longitudinale sur la figure 1. Elle comprend un substrat 2 en silice et diverses couches qui sont successivement empilées sur ce substrat, à savoir - une couche mince 4 de SnO2 constituant une première électrode, - une première couche-tampon 6 en chiolithe (Na5A11;F14), - une couche 8 de polyméthylméthacrylate greffé avec la paranitroaniline (PNA/PMMA), qui constitue une couche de guidage de lumière, - une deuxième couche-tampon 10 également en chiolithe et - une autre couche mince 12 de SnO2 constituant une deuxième électrode. Des moyens de polarisation ( biasing ) appropriés 14 permettent d'établir une tension entre les deux électrodes 4 et 12, ce qui permet de créer un champ électrique transversal dans la couche de guidage de lumière en PNA/PMMA (matériau électro-optique). De plus, un réseau ( grating ) de diffraction 16 est formé dans la couche de guidage 8. Comme cela est indiqué dans le document (3), un faisceau lumineux convergent FI est envoyé en direction de l'électrode 12 de la structure et il en résulte un faisceau réfléchi FR, un faisceau transmis FT et un faisceau FG guidé dans la couche. Dans cette structure, le réseau de diffraction 16 constitue un moyen de couplage du faisceau lumineux incident FI, permettant d'obtenir le faisceau guidé à partir de ce dernier. La figure 2 illustre schématiquement un dispositif connu, permettant l'étude de la structure de la figure 1. Cette structure a la référence 18 sur la figure 2. Elle est montée sur un goniomètre 20. Un laser 22 à hélium-néon, muni d'un objectif de microscope 24, engendre un faisceau lumineux qui est focalisé sur la structure 18, grâce à une lentille 26, et constitue ainsi le faisceau incident FI de la figure 1. De plus, le faisceau FI est polarisé ( polarized ) grâce à un polariseur 28. Le faisceau réfléchi FR est détecté par une caméra CCD 30. Lorsque la tension appliquée entre les électrodes varie, l'intensité de ce faisceau réfléchi varie également mais son inclinaison (par rapport à l'électrode 12) reste constante. Comme on le verra mieux par la suite, cette structure connue 18 est utilisable dans la présente invention non plus en tant que coupleur de lumière (qui est éclairé par un faisceau lumineux convergent) mais en tant que découpleur. En fait, les auteurs de la présente invention ont trouvé de façon très surprenante que, en envoyant un faisceau lumineux dans la couche de guidage 8 dans le sens de la longueur de celle-ci, au lieu de l'envoyer obliquement sur cette couche, la structure de la figure 1 fournissait alors un faisceau émergent dont l'inclinaison variait en fonction de la tension appliquée entre les électrodes et non plus un faisceau réfléchi ayant une inclinaison constante et une intensité variable en fonction de la tension appliquée. Le déflecteur électro-optique conforme à l'invention, qui est schématiquement représenté en coupe longitudinale sur la figure 3, comprend - une couche active 32 faite d'un matériau électro optique et apte à guider une onde lumineuse 34, - une première électrode ou électrode supérieure 36 et une deuxième ou électrode inférieure 38 qui sont placées de part et d'autre de la couche active 32 et s'étendent suivant la longueur de celle-ci, et - un moyen 39 de découplage de cette onde lumineuse 34, permettant la création, à partir de celle-ci, d'une onde lumineuse 40 émergeant de l'électrode supérieure 36 et faisant avec une direction perpendiculaire à celle-ci un angle O qui varie en fonction d'une tension appliquée entre les électrodes 36 et 38 grâce à des moyens de polarisation appropriés 42. L'électrode supérieure 36 est transparente en totalité ou en partie à l'onde lumineuse 34 de façon que l'onde émergente 40 puisse exister. Dans l'exemple représenté sur la figure 3, le moyen de découplage de l'onde lumineuse guidée est un réseau de diffraction 39 formé au niveau de la paroi longitudinale inférieure de la couche active 32, vers le milieu de celle-ci, comme on le voit sur la figure 3. Ce réseau de diffraction définit une zone de découplage de longueur L. Cette longueur L de la zone de découplage limite la divergence de l'onde lumineuse émergente 40. Du fait de l'utilisation des électrodes 36 et 38, qui sont susceptibles d'absorber l'onde lumineuse guidée 34, il est préférable de disposer, entre la couche active 32 et ces électrodes 36 et 38, une première couche-tampon ou couche-tampon supérieure 46 et une deuxième couche-tampon ou couche-tampon inférieure 48 dont les épaisseurs sont suffisantes pour éviter cette absorption et dont les indices de réfraction sont inférieurs à celui de la couche active 32 pour que la lumière puisse être effectivement guidée par cette couche active. Il faut aussi que la conductivité électrique de ces couches-tampons 46 et 48 soit supérieure à celle de la couche active 32 pour assurer une bonne distribution du champ électrique (engendré par application de la tension électrique entre les électrodes 36 et 38) à travers la structure présentée sur la figure 3. On voit également sur la figure 3 un substrat 50 sur lequel sont successivement empilées l'électrode 38, la couche-tampon 48, la couche active 32, la couche-tampon 46 et l'électrode 36. Au lieu du réseau de diffraction 39, on pourrait utiliser, en tant que moyen de découplage, un prisme 52 placé sur l'électrode supérieure 36. Au sujet de tels moyens de découplage, on consultera le document (4). Dans l'exemple représenté sur la figure 3, le substrat 50 est en silice, les électrodes 36 et 38 sont en Sono, les couches-tampons 46 et 48 sont en chiolithe et la couche active 32 est en PNA/PMMA (polyméthylméthacrylate greffé avec la paranitroaniline). Il s'agit d'un polymère électro-optique qui est avantageusement utilisable dans la présente invention pour une raison indiquée plus loin mais d'autres matériaux ayant un coefficient électro-optique non nul sont utilisables dans l'invention. La chiolithe pourrait également être remplacée par un autre matériau de bonne qualité optique et légèrement conducteur pour assurer une bonne distribution du champ électrique à travers la couche active. De même, les électrodes en SnO2 pourraient être remplacées par des électrodes en un autre matériau bon conducteur, comme par exemple l'oxyde d'indium et d'étain ou un polymère conducteur, et transparent en totalité ou en partie pour permettre la sortie de l'onde lumineuse guidée à travers l'électrode 36. Le réseau de diffraction 39 peut être gravé dans le substrat 50 sur la face supérieure de celui-ci de sorte qu'on retrouve ce réseau sur la paroi inférieure de la couche active 32, l'électrode 38 et la couche-tampon 48 étant suffisamment minces pour permettre le transfert du profil du réseau au niveau de cette paroi inférieure. D'autres techniques sont bien entendu utilisables pour obtenir ce réseau de diffraction sur la paroi inférieure de la couche active 32. On pourrait par exemple déposer une couche de polymère photosensible sur la couche-tampon inférieure 48 puis graver le réseau de diffraction sur celle-ci par photoblanchiment en utilisant un masque, deux faisceaux lumineux interfèrant l'un avec l'autre ou un faisceau lumineux de très faible diamètre que l'on déplacerait par rapport à la couche-tampon 48 ou réciproquement. A ce sujet on consultera le document (5). La structure que l'on voit sur la figure 3 est semblable à celle que l'on voit sur la figure 1 mais une différence essentielle entre les deux réside dans les fonctions des réseaux de diffraction référencés 16 sur la figure 1 et 39 sur la figure 3. Dans le cas de la figure 1, le réseau de diffraction 16 permet le couplage d'une onde lumineuse incidente (faisceau lumineux FI) alors que, dans le cas de la figure 3, le réseau de diffraction 39 permet au contraire le découplage d'une onde lumineuse guidée 34. On voit également sur la figure 3 un moyen de couplage d'une onde lumineuse dans la couche active 32. Dans l'exemple représenté, ce moyen ce couplage est un réseau de diffraction 54 qui est formé au niveau de la face inférieure de la couche active 32, en une extrémité de celle-ci. Une onde lumineuse 56 qui arrive vers cette extrémité est ainsi couplée dans la couche active 32 pour ensuite se propager dans celle-ci et y être guidée. Le réseau de diffraction 54 pourrait être remplacé par un moyen de couplage par la tranche 58 permettant d'injecter l'onde lumineuse 56 dans la couche active 32 et placé du côté de la même extrémité de la couche active. On pourrait aussi utiliser, en tant que moyen de couplage, un prisme 60 placé du côté de cette extrémité de la couche active, au-dessus de celle-ci et plus précisément, dans l'exemple représenté, sur la couche-tampon supérieure 46, à côté de l'électrode supérieure 36 qui, comme on le voit sur la figure 3, ne recouvre pas totalement la couche active. Au sujet de ces moyens de couplage, on consultera le document (4). Lorsque la tension est appliquée entre les électrodes 36 et 38 par le moyen de polarisation 42, le champ électrique engendré dans la couche active 32 modifie l'indice de réfraction de celle-ci et modifie par conséquent l'angle O de l'onde lumineuse émergente 40. En faisant varier cette tension de façon continue ou discontinue, on fait également varier cet angle de façon continue ou discontinue. On réalise donc bien ainsi la fonction de déflexion angulaire d'un faisceau lumineux. Ceci permet une application de l'invention à l'adressage. Par exemple, on voit sur la figure 3 une rangée de photodétecteurs 62 (ou de tous autres éléments que l'on veut adresser) et, en appliquant une tension électrique appropriée entre les électrodes, l'un quelconque de ces photodétecteurs peut être atteint par l'onde lumineuse émergente 40. Les avantages d'un déflecteur du genre de celui de la figure 3 par rapport à des déflecteurs connus sont indiqués ci-après 1) Ce déflecteur a une grande bande passante. Cela résulte de l'effet électro-optique qui est rapide et permet aux dispositifs qui l'utilisent d'avoir de grandes bandes passantes comme le montrent les modulateurs d'intensité commercialement disponibles en optique intégrée. Des fréquences de plusieurs gigahertz sont typiques et l'on peut atteindre des fréquences de plusieurs dizaines de gigahertz si des conditions particulières d'accord de phase sont réalisées. 2) Ce déflecteur est susceptible d'avoir un grand nombre de points résolvables. L'utilisation de l'optique guidée permet de s'affranchir de la diffraction. En effet dans un mode guidé l'onde lumineuse reste confinée dans un faible volume sur la longueur L de la zone de découplage. La divergence de l'onde émergente est peu différente de AO1=X/(L), X étant la longueur d'onde de cette onde émergente, alors que l'amplitude de la dé flexion est peu différente de AO2=An/cosO, An étant la différence entre l'indice de réfraction de la couche active et l'indice de réfraction des couches-tampons. De ce fait, le nombre N de points résolvables, qui est égal au rapport AO2/AO1, peut devenir aussi grand que l'on veut si l'on augmente L. On peut par exemple obtenir N=180 avec L=3 cm, k=1 um et An=0,001. 3) Ce déflecteur est également susceptible d'avoir une faible tension de commande. En effet, si l'on confine la lumière dans une couche active de petite taille (quelques micromètres), la tension de commande est considérablement réduite par rapport au cas d'un modulateur en optique volumique et vaut typiquement quelques centaines de volts. 4) Ce déflecteur présente aussi une grande fiabilité. Ceci résulte de l'utilisation de l'effet électro-optique qui permet de réaliser un déflecteur électro-optique sans partie mobile. 5) Ce déflecteur a en outre un faible coût. L'utilisation de polymères électro-optiques permet d'obtenir d'excellentes caractéristiques de façon peu coûteuse. En effet ces matériaux présentent un fort coefficient électro-optique (supérieur ou égal à 10 pm/V) et un champ électrique de claquage élevé (supérieur ou égal à 100 V/ > m) qui permettent de fortes variations d'indice de réfraction. De plus ces matériaux sont malléables et permettent une fabrication peu coûteuse de dispositifs notamment par la technique de l'impression ( embossing ) d'une matrice. Dans une variante de réalisation non représentée du déflecteur de la figure 3, l'électrode inférieure 38 est supprimée et le substrat 50 en silice est remplacé par un substrat électriquement conducteur par exemple en silicium sur lequel repose directement la couche-tampon inférieure 48. Dans ce cas, la tension électrique est appliquée entre ce substrat en silicium et l'électrode supérieure 36. Le déflecteur conforme à l'invention qui est schématiquement représenté en coupe longitudinale sur la figure 3 peut utiliser un guide de lumière planaire. Une vue en coupe transversale de ce déflecteur est schématiquement représentée sur la figure 4. Dans ce cas, la couche active 32 s'étend d'un bord à l'autre du dispositif et n'est pas latéralement bordée de couches-tampons. L'invention peut également être mise en oeuvre avec un guide de lumière à confinement latéral. Un exemple correspondant à ce cas est schématiquement représenté en coupe transversale sur la figure 5. On voit sur la figure 5 que la couche active 32 forme alors un ruban qui est entouré par l'ensemble des couches-tampons 46 et 48. On peut ajouter, au déflecteur de la figure 5, deux électrodes supplémentaires 64 et 66 qui bordent latéralement l'ensemble des couches-tampons et s'étendent le long de la couche active 32. En établissant une tension entre ces électrodes 64 et 66 grâce à des moyens de polarisation ( biasing ) appropriés 68 et en faisant varier cette tension, on est alors capable de faire varier l'angle (p de l'onde lumineuse émergente 40 par rapport au plan longitudinal médian P de la couche active 32 (figure 5). En appliquant des tensions appropriées grâce aux moyens 42 et 68 on est alors capable de réaliser un adressage bidimensionnel. L'onde lumineuse émergente 40 est alors capable d'atteindre l'un quelconque des photodétecteurs d'un matrice de photodétecteurs 70 disposée transversalement à la couche active 32 comme on le voit sur la figure 5. Les documents cités dans la présente demande sont les suivants (1) Mini catalogue Crystal Technology Inc. (2) A. Yariv, Quantum Electronics , 2nd edition, John Wiley and Sons. (3) G. Blau, M. Cairone, P.A. Chollet, F. Kajzar, Electro-optic modulation and SHG through grating induced resonant excitation of a guided mode , Nonlinear Optical Properties of Organic Materials IX, SPIE, Denver August 4-9 (1996). (4) R.G. Hunsperger, Integrated Optics : Theory and Technology, Springer-Verlag, Berlin 1991, Chapitre 6. (5) J.T. Yardley, Design and Characterization of Organic Waveguides for Passive and Active Optical Devices, dans Organic Thin Films or Waveguiding Nonlinear Optics , F. Kajzar et J. Swalen Eds., Gordon & Breach Publ., Amsterdam 1996, Chapitre 11. REVENDICATIONS 1. Déflecteur électro-optique, caractérisé en ce qu'il comprend - une couche active (32) qui est faite d'un matériau électro-optique et apte à guider une onde lumineuse, - des première et deuxième électrodes (36, 38) placées de part et d'autre de cette couche active, suivant la longueur de celle-ci, la première électrode (36) étant au moins partiellement transparente à l'onde lumineuse guidée (34), - un moyen (42) d'application d'une tension variable entre les première et deuxième électrodes, et - un moyen (39, 52) de découplage de cette onde lumineuse guidée, permettant la création, à partir de celle-ci, d'une onde lumineuse (40) émergeant de la première électrode et faisant avec une direction perpendiculaire à cette dernière un angle (0) variable en fonction de ladite tension appliquée entre les première et deuxième électrodes. 2. Déflecteur selon la revendication 1, comprenant en outre des première et deuxième couchestampons (36, 38) qui sont respectivement comprises entre les première et deuxième électrodes, la première couche-tampon (36) étant au moins partiellement transparente à l'onde lumineuse guidée (34), les première et deuxième couches-tampons ayant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche active (32) et une conductivité électrique supérieure à celle de cette couche active. 3. Déflecteur selon la revendication 2, dans lequel la couche active forme un ruban (32), les couches-tampons (46, 48) étant prévues pour entourer ce ruban, le déflecteur comprenant en outre deux autres électrodes (64, 66) qui bordent latéralement les couches-tampons de façon que, en appliquant une autre tension électrique entre ces deux autres électrodes, on puisse dévier latéralement l'onde lumineuse émergente. 4. Déflecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le moyen de découplage comprend un réseau de diffraction (39) qui est inséré ou créé dans la couche active (32). 5. Déflecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le moyen de découplage comprend un prisme (52) qui est placé sur la première électrode (36). 6. Déflecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, comprenant en outre un moyen (54, 58, 60) de couplage de l'onde lumineuse (56) dans la couche active (32). 7. Déflecteur selon la revendication 6, dans lequel ce moyen de couplage comprend un réseau de diffraction (54) qui est inséré ou créé dans la couche active, à une extrémité de celle-ci. 8. Déflecteur selon la revendication 6, dans lequel ce moyen de couplage comprend un prisme (60) qui est placé en regard d'une extrémité de la couche active, à côté de la première électrode (36). 9. Déflecteur selon la revendication 6, dans lequel ce moyen de couplage est un moyen de couplage par la tranche (58) prévu pour injecter l'onde lumineuse (56) dans une extrémité de la couche active (32). 10. Déflecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel ladite tension appliquée entre les première et deuxième électrodes varie de façon continue ou discontinue, l'angle (0) que fait l'onde lumineuse émergente (40) avec une direction perpendiculaire à la première électrode variant ainsi de façon continue ou discontinue. 11. Déflecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel la couche active (32) est faite d'un polymère électro-optique.