FR 2745973 A1 19970912 FR 9602959 A 19960308 MEMOIRE DE MASSE ET PROCEDE DE FABRICATION DE MEMOIRE DE MASSE Le domaine de l'invention est celui des mémoires de masse haute densité, essentielles pour les systèmes de calcul de haute performance et pour les systèmes de stockage de données. Actuellement des boîtiers comprenant une ou plusieurs puces, de plus en plus miniaturisées ont été développés pour ces applications et permettent de réduire la place occupée sur une carte d'interconnexion. Le fait de rapprocher les mémoires et les circuits de commande a en outre pour effet d'améliorer les performances électriques et en particulier diminuer les temps de propagation des signaux. Ainsi, plutôt que d'organiser les puces côte à côte sur un substrat d'interconnexion plan, il a déjà été proposé d'empiler un certain nombre de puces nues, les unes sur les autres, afin d'augmenter encore la densité d'intégration et d'optimiser les longueurs d'interconnexion. Les circuits mémoires sont bien adaptés à ce type d'assemblage car ils dissipent peu de puissance et ils comportent un nombre relativement limité d'entrées/sorties, la plupart d'entre elles pouvant être connectées à des bus signaux communs à de nombreuses puces. De tels assemblages sont à l'heure actuelle réalisés par Texas Instruments, Irvine Sensors ou bien encore THOMSON- CSF (voir C-VAL, 9ème Conférence Européenne ISHM, Nice 1993, compte rendu p. 304 et revue R.T. CROWLEY et E.J. VARDAMAN dans MCM'94 proceedings). Un facteur de l'ordre de 100 en densité volumique peut ainsi être obtenu par rapport aux boîtiers traditionnels. Les technologies employées nécessitent dans un premier temps une méthode de reconfiguration des entrées/sorties des puces sur un ou plusieurs côtés afin d'y avoir accès une fois l'empilement réalisé. Ceci peut être réalisé au niveau de la tranche de silicium ou bien au niveau de la puce découpée. La figure 1 illustre une de ces méthodes, o l'on reporte par collage et par câblage un circuit imprimé mince 1, à la surface de la puce 2, ce circuit imprimé ayant pour rôle de reporter les entrées/sorties situées dans le plan de la puce (par exemple sur ses deux petits côtés) à l'aide de pistes situées au-dessus de ce plan et arrivant en débord de celle-ci (par exemple sur un des grands côtés). Le collage de la puce sur le circuit imprimé peut être réalisé à l'aide d'un élément adhésif 3. Le câblage est effectué avec des fils 4, introduits dans des fenêtres 5 réalisées dans le circuit imprimé 1. Après avoir été ainsi reconfigurées, un certain nombre de puces (par exemple 8) sont empilées et maintenues ensemble à l'aide de films adhésifs ou de résine liquide d'enrobage. La figure 2 illustre un tel empilement de puces reconfigurées. Dans le cas de l'exemple cité, les circuits imprimés minces possèdent également en débord de la puce des trous de centrage 6 qui permettent de positionner les puces entre elles lors de l'empilement. Les puces et les circuits imprimés sont superposés à l'aide de tiges de positionnement 7 et de cales permettant de fixer le pas d'un empilement. Cet assemblage est alors enrobé d'une réside liquide thermodurcissable qui va remplir tous les interstices et maintenir mécaniquement l'ensemble. Le bloc tridimensionnel 8 ainsi réalisé est préparé sur la face donnant accès aux entrées/sorties des puces, pour pouvoir connecter celles-ci. Pour cela, la résine peut être usinée sur le côté qui contient les pistes en débord des puces de façon à obtenir une face plane de résine comprenant des plages métalliques correspondant aux sections desdites pistes comme l'illustre la figure 3. Ces entrées/sorties sont alors interconnectées soit par métallisation et gravure pour constituer des pistes conductrices, soit par report par soudure sur un substrat d'interconnexion. La figure 4 illustre le report d'un bloc mémoire 8 comprenant plusieurs puces, sur un substrat d'interconnexion 9. Ce report permet généralement d'éclater le pas entre entrées/sorties contiguës pour disposer d'entrées/sorties facilement raccordables sur un circuit imprimé classique 11 comprenant un réseau d'interconnexion 12 permettant de relier le bloc mémoire 8 à un circuit de commande 10, également reporté sur le circuit imprimé 11. La connexion d'un bloc 8 sur le substrat 9 peut typiquement être réalisée par câblage filaire, collage par résine conductrice, pattes ou billes métalliques. L'ensemble bloc 8, circuit de commande 10, sur circuit imprimé 11 permet d'avoir une mémoire de masse fonctionnelle. Pour augmenter davantage encore la densité de telles mémoires fonctionnelles, l'invention propose une nouvelle architecture de mémoire fonctionnelle, dans laquelle un macrobloc constitué d'un arrangement monolithique de blocs similaires aux blocs 8 précédemment décrits, constitue un substrat d'interconnexion, sur lequel on réalise un réseau d'interconnexion permettant de reporter directement les circuits de commande sur cedit réseau d'interconnexion. Plus précisément, l'invention a pour objet une mémoire de masse fonctionnelle, comprenant des blocs de puces empilées, connectés à des circuits de commande par l'intermédiaire d'un réseau dinterconnexion, caractérisée en ce qu'elle comprend un macrobloc constitué d'un arrangement matriciel de blocs de puces empilées, ledit arrangement monolithique constituant un substrat sur lequel sont superposés le réseau d'interconnexion et les circuits de commande. L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d'une mémoire de masse fonctionnelle, selon l'invention. Plus précisément, il s'agit d'un procédé de fabrication de mémoire de masse fonctionnelle comprenant des blocs de puces empilées, dont une face comprend les sections de pistes conductrices reliées aux entrées/sorties des puces, un réseau d'interconnexion et des circuits de commande, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: - la réalisation d'un macrobloc, constitué d'un arrangement matriciel de blocs de puces empilées, ledit macrobloc présentant une face sur laquelle apparaissent les sections de pistes; - la réalisation d'un réseau d'interconnexion sur la face du macrobloc; - la connexion de circuits de commande sur le réseau d'interconnexion. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées, parmi lesquelles: - la figure 1 illustre une connexion électrique entre une puce et un circuit imprimé, pour reporter les entrées/sorties de la puce, selon l'art connu; - la figure 2 illustre un empilement de puces accolées à un circuit imprimé, selon l'art connu, - la figure 3 illustre un bloc de puces empilées, présentant une face sur laquelle apparaissent des sections de pistes conductrices connectées aux entrées/sorties des puces, selon l'art connu; - la figure 4 illustre une partie de mémoire de masse fonctionnelle selon l'art connu, dans laquelle les blocs de puces empilées sont connectés à des circuits de commande par l'intermédiaire de substrats de connexion et d'un réseau d'interconnexion standard; - la figure 5 ilHustre un premier exemple de connexion électrique entre une puce et un circuit imprimé, pouvant être utilisé dans l'invention - la figure 6 illustre un second exemple de connexion électrique entre une puce et un circuit imprimé pouvant être utilisé dans l'invention; - la figure 7 illustre un empilement de puces et de circuits imprimés utilisés dans l'invention; la figure 8 illustre une étape d'empilement de blocs 81, utilisée dans un exemple de procédé de fabrication de mémoire de masse fonctionnelle selon rinvention - la figure 9 illustre un macrobloc constitué de l'arrangement matriciel de MxN blocs de puces empilées; - la figure 10 illustre une étape de réalisation de réseau d'interconnexion réalisé à la surface d'un macrobloc de l'invention; - la figure 11 illustre une mémoire de masse fonctionnelle selon l'invention comprenant des blocs de puces mémoires empilées, un réseau d'interconnexion et des circuits de commande. La mémoire de masse fonctionnelle selon l'invention est réalisée à partir de blocs élémentaires comprenant des mémoires reconfigurées existantes dans l'art connu. Il a été précédemment décrit en figure 1, une reconfiguration des entrées/sorties des puces mémoires en utilisant le câblage filaire, mais d'autres techniques peuvent être utilisées. On peut notamment reconfigurer les puces mémoires en prolongeant les pistes du circuit imprimé 11 jusqu'aux plots d'interconnexion de la puce 21, comme illustrée en figure 5. Chaque circuit imprimé 21 peut dans le cadre de l'invention présenter des trous de positionnement 61 et est réalisé à partir d'un circuit flexible ultramince (par exemple un film de polyimide de 50 pm d'épaisseur comprenant des pistes de cuivre de 35 pm d'épaisseur). On peut alors connecter directement ces pistes à la puce par thermocompression ou par laser. La reconfiguration peut également être réalisée en utilisant un circuit souple évidé 112 comme illustré en figure 6, afin d'insérer la puce 21 de façon à ce que les surfaces du circuit souple et de la puce soient au même niveau; on peut alors réaliser l'interconnexion en déposant (par exemple par laminage) un film sur cette surface, en perçant ledit film à l'endroit des entrées/sorties de la puce et du circuit souple, et en les raccordant par une métallisation déposée en couche mince. Les blocs de puces reconfigurées (par exemple de 8 puces) peuvent alors être réalisés par empilement d'ensembles circuit souplepuce. Pour cela, on intercale entre chaque ensemble puce-circuit souple, une préforme d'adhésif qui remplit tous les interstices et qui assure la tenue de l'ensemble du bloc. La figure 7 illustre un tel assemblage qui utilise des tiges de positionnement 71. On découpe alors le bloc, perpendiculairement à l'empilement, de façon à laisser affleurer les sections des pistes en débord des puces. -Selon un exemple de procédé selon l'invention, N blocs élémentaires 81, sont superposés selon une direction Y représentée en figure 8, en présentant la face 14 comportant les entrées/sorties, toujours du même côté. La présence de trous de positionnement 711 dans chaque bloc 81, peut faciliter l'assemblage et le positionnement précis des blocs. Dans un second temps, on accole M ensembles de N blocs élémentaires, selon une direction X orthogonale à la direction Y. Pour réaliser ces différentes opérations d'assemblage, il est possible d'intercaler entre chaque bloc, ou chaque ensemble de blocs, des films d'adhésif, ou bien de surmouler l'ensemble dans une résine d'encapsulation. L'arrangement matriciel de MxN blocs élémentaires 81, constitue un macrobloc que l'on usine et dont on polit éventuellement la surface de facçon à obtenir une surface plane 141, o affleurent toutes les sections des pistes correspondant aux entrées/sorties de chaque mémoire. La figure 9 illustre un tel macrobloc 13 avec sa face 141 comportant l'ensemble des sections de pistes représentatives des entrées/sorties de chaque puce. Lors de l'assemblage de M ensembles de N blocs élémentaires, on peut insérer des éléments complémentaires fonctionnels de type connecteurs, drains thermiques dans le macrobloc 13. :Un des intérêts de l'invention réside dans l'utilisation de ce macrobloc 13 comme substrat d'interconnexion. En effet, selon le procédé de l'invention, on peut avantageusement réaliser un réseau d'interconnexion sur la face 141 du macrobloc 13. Pour cela, les entrées/sorties des puces sont reliées électriquement de manière collective par un dépôt métallique, venant prendre contact sur chaque section de piste et on grave dans cette couche métallique des pistes conductrices selon l'architecture et le schéma électrique désiré. Cette interconnexion peut être multicouches, en intercalant entre chaque niveau métallique, un niveau diélectrique percé de via, comme l'illustre la figure 10 faisant apparaître un niveau diélectrique mis en superposition avec le macrobloc 13, sur lequel on été réalisés préalablement des contacts électriques entre des blocs 81 alignés selon la direction Y. La réalisation du réseau d'interconnexion 121 peut faire appel aux procédés classiques des circuits imprimés de haute densité (dépôt de matériaux par laminage, perçage par laser, métallisations chimiques ou électrolytiques), de microélectronique - (dépôts de diélectriques liquides, perçage par plasma ou gravure ionique, métallisation par évaporation ou pulvérisation sous vide) ou à toute combinaison de procédés connus dans l'état de la technique. Pour réaliser la mémoire de masse fonctionnelle, on reporte sur le réseau d'interconnexion 121, les différentes puces de commande 101, sur des plages de report réalisées à cet effet sur la dernière couche du réseau d'interconnexion, comme illustré en figure 11. En l'occurrence les plages de report sont réalisées sur la couche supérieure du réseau d'interconnexion tel que représenté en figure 10. Lorsque des connecteurs électriques ont été intégrés au macrobloc 13 lors de la fabrication, il est possible d'interconnecter directement entre elles, plusieurs mémoires de masse fonctionnelles, permettant de disposer d'une mémoire de très forte densité.5 REVENDICATIONS 1. Mémoire de masse fonctionnelle, comprenant des blocs de puces empilées (81), connectés à des circuits de commande (101) par l'intermédiaire d'un réseau d'interconnexion (121),- caractérisée en ce qu'elle comprend un macrobloc constitué d'un arrangement matriciel (13) de blocs de puces empilées (81) ledit arrangement monolithique constituant un substrat-sur lequel sont superposés le réseau d'interconnexion (121) et les circuits de commande (101). 2. Mémoire de masse fonctionnelle selon la revendication 1, caractérisée en ce que le macrobioc (13): comprend des éléments complémentaires conducteurs thermiques ou électriques. 3. Mémoire de masse fonctionnelle selon l'une des revendications i ou 2, caractérisée en ce qu'elle comprend de la résine entre les blocs de puces encapsulées (81). 4. Mémoire de masse fonctionnelle selon l'une des revendications I ou 2, caractérisée en ce qu'elle comprend des films adhésifs entre des rangées de blocs de puces (81). 5. Procédé de fabrication de mémoire de masse fonctionnelle comprenant des blocs de puces empilées (81), dont une face (14) comprend les sections de pistes (15) conductrices reliées aux entrées/sorties des puces, un réseau d'interconnexion (121) et des circuits de commande (101), caractérisé en ce qu'il comprend eos étapes suivantes,: - la réalisation d'un macrobloc, constitué d'un -arrangement matriciel (13) de blocs de puces empilées (81), ledit macrobloc présentant une face (141) sur -laquelle apparaissent les sections de pistes (15); - lalréalisation d'un réseau d'interconnexion (121) sur la face (141) du macrobloc (13); - la connexion -de circuits de commande (101) sur le réseau d'interconnexion (121). :6. Procédé de fabrication de mémoire de masse fonctionnelle selon la revendication 5, caractérisé en ce que la réalisation du macrobloc comprend: - l'usinage de trous de positionnement (61) dans les blocs (81) selon une direction (Y) perpendiculaire au plan des puces; - M empilements de N blocs (81) selon la direction (Y) en introduisant des tiges de positionnement (711) dans les trous de positionnement (61); - l'assemblage des M empilements selon une direction (X) perpendiculaire à la direction (Y). 7. Procédé de fabrication de mémoire de masse fonctionnelle selon l'une des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce qu'il comprend - la réalisation du macrobloc (13) par surmoulage de rensemble - des blocs (81) dans une résine d'encapsulation; - l'usinage et le polissage, du surmoulage de l'ensemble des blocs (81) de manière à rendre apparente la face (141) du macrobloc (13). 8. Procédé de fabrication de mémoire de masse fonctionnelle selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce qu'il comprend rélaboration d'un réseau d'interconnexion (121) par dépôts alternatifs de couches métalliques et de couches diélectriques percés de via.