FR 2677281 A1 19921211 FR 9206767 A 19920604 La présente invention concerne un ptucédé de fabrication d'un article par founage superplastique et soudage par diffusion. Il est connu de fabriquer des articles métalliques par fermage superplastique et sondage par diffusion de pièces métalliques. Ces pièces métalliques peuvent être constituées d'un seul élément métallique, d'alliages métalliques et de composites à matrice métallique. Au moins une des pièces métalliques doit pouvoir se déformet en élongation de façon superplastique. Les surfaces des deux pièces qui doivent être jointes sont nettoyées. et au moins une surface d'une ou plasicurs des pièces est revêture, dans des zones présélectionnées par un matériau qui évite le soudage par diffusion. Les pièces sont disposées selon un empilage, et les bords des pièces sont sondés ensemble, sauf à un endroit où un premier tuyau est soudé aux pièces de façon à former un ensemble. L'ensemble est placé dans un autoclave, et chauffé de façon à éliminer par cuisson le liant du matériau utilisé pour éviter le soudage par diffusion. L'ensemble est ensuite vidé puar l'intermédiaire du tuyau, et le tuyau est scellé.L'ensemble scellé est placé dans une cuve de pression, et il est chauffé et mis sous pression pour souder ensemble les pièces, de façon à fonner une structure solidarisée. Le soudage par diffusion se produit lorsque deux @ surfaces jointives sont pressées ensemble dans des conditions Dans le procédé connu, le soudage du tuyau sur les pièces. pour enlever ensuite le liant vaporisé et pour vider l'ensemble, est consommateur rlp temps. L'utilisation do tuyau pour enlever le liant vaporisé de l'ensemble est aussi consommateur de temps. En outre, l'ensemble peut contenir de l'air Lorsqu'il est chauffé pour vapotiser le liant et ceci peut entraîner l'oxydation des surfaces des pièces qlli doivent ensuite être soudées par diffusion. La présente invention a pour but de réaliser un procédé nouveau de fabritcation d'un article par formage superplastique et par sondage par diffusion, rlui ne comporte pas les inconvénients susmentionnés. Ainsi, la présente invention réalise un procédé de fabrication d'un article par formage superplastique et soiidage par diffusion d'au menins deux pièces métalliques, comprenant les étapes de a) appliquer un matériau de masque pour éviter le soudage par diffusion dans des zones présélectionnées d'au moins une des surfaces d'au moins une des au moins deux pièces métalliques, b) assembler les au moins deux pièces de fliçon à former un empilage (les pièces l'une sur l'autre, de façon que leurs surfaces soient en contact jointif, c) placer l'empilage dans une chambre à vide, d) faire le- vide dans la chambre à vide, e) chauffer l'empilage pendant qu'il est à l'intérieur faire évaporer un liant volatil du matériau de masflller toile en faisant le vide tlp façon continue dans la chambre à vide, de façon à éliminer le liant volatil d'entre les deux pièces et de la chambre à vide, f) souder les bords des au moitis deux pièces pendant vue l'empilage est à l'intérieur de al chambre à vide, pour réaliser un ensemble scellé, g) appliquer de la chaleur et de la pression dans l'épaisseur des au moins deux pièces, pour souder ensemble par diffusion les aii moins denxs pièces. dans des zoues autres que les zones présélectionées, de façon à former une structure solidarisée, h) chauffer la structure solidarisée, et pressuriser de façon interne la structure solidarisée, de sorte que les zones présélectionées d'au moins une des pièces soient formées de façon superplastique, afin de produire un article de forme prédéterminée. L'empilage est de préférence chauffé à une température comprise entre 250 C et 350 C, pour faire évaporer le liant volatil du matériau de masque. Les bords des au moins deux pièces sont de préférence soudés en utilisant un rayon électronique. Lorsque les pièces sont réalisées en alliage de titane. les pièces soîit chauffées à une température supérieure ou égale à 850 C, et la pression appli De préférence, les pièces sont formés à une température comprise entre 900 C et 950 C, et la pression appliquée est comprise entre 20.26 bar (294 psi) et 30,39 bar (441 psi). La structure solidarisée est chauffée à uen température sapérieure on égale à 850 C, pour la forrtler de façon superplastique. De préférence, la structure solidarisée est chauffée à uen température comprise entre 900 et 950 C. La présente invention réalise aussi une chambre à vide destinée à être utilisée dans le traitement d'au moins deux pièces métalliques, pour leur sondage par diffasion et leur formage superplastique comprenant des moyens de pompe disposés de façon à vider la chambre à vide, des moyeus de soudage par rayon énergétique, des moyens prévus pour entraîner un mouvement relatif entre le rayon de soudage des moyens de soudage par rayon d'énergie et un empilage de pièces placé dans la chambre à vide, pour permettre aux bords des au moins deux pièces métalliques d'être soudés ensemble, De préférence. la chambre à vide comporte une cuve de pression conçue pour supporter des pressions internes allant du vide jusqu'au 20,26 bar 1294 psi). De préférence, la cuve de pression est conçue pour supporter des pressious internes allant jusqu'à 30,39 bar (441 psi). De préférence, les moyens pour entraîner lln mouvement relatif entre le rayon de soudage et l'empilage des pièces comprennent une table dr fixation mobil dans deux directions perpendiculaires. et l'empilage de pièces petit être disposé sur la table de fixation. De préférence, les moyens de soudage par rayon d'énetgie comprement un canon à rayon électronique. De préférence, la chambre à vide comprend une première partie dans laquelle sont situés la table de fixation et les moyens de chauffage, et une deuxième partie dans laquelle est situé le canon à rayon électrnniqtie. De préférence, des moyens de valve. positionnés entre la pretilière et la deuxième partie, isolent de façon sélective le canon à rayon électronique dil la première partie de la chambre à vide, Les moyens de soudage par rayon d'énergie peuvent comptendre un canon à rayon laser. De préférence, les libyens de chauffage comprennent plusieurs dispositifs rie chauffage radiant. De préférence, plusirurs réflecteurs sont prévus pour réfléchir la chaleur radiante sur les pièces. Les moyens de chauffage peuvent comprendre plusieurs dispositifs de chauffage inductifs. Les dispotifs de chauffage inductifs penvent être montés sur la table de fixation. La présente invention va être décrite plus en détail, à titre d'exemple non limitatif, en référence aux dessins joints, dans lesquels - la figure I est une vue en coupe d'une chambre ,i à vide destinée à être utilisée dans le traitement de pièces inétalliques. pour leur fermage superplastique et leur soudage par diffusion selon la présente invention. - la figure 2 est une vue en coupe selon la ligne A-A de la figure I, - la figure 3 est une vile en coupe d'une variante de chambre à vide, destinée à être utilisée dans le traitenient de pièces métalliques pour leur formage superplastique et leur soudage par diffusion. et pour le soudage par diffusion de pièces métalliques selon la présente invention, - la figure 4 représente une vue éclatée d'un emp0ilage de pièces qui sont formées de façon superplastique et soudées par diffusion, pour former un attiele selon la présente invention - la figure 5 est une vue en coupe d'rine autre chambre à vide. destinée à être utilisée dans le traitement de pièces métalliques pour leur formage superplastique et leur soudage par diffusion, selon la présente invention. Sur la figure 4, trois plaques d'alliage de titane 50, 51 54 sont assemblées pour former un empilage 48. Avant l'assemblage des plaques 50, 52, 54 pour former un empilage 48. les surfaces jointives 56, 58, 60 et 62 des plaques 50, 52, 51 sont prépatrées pour le soudage par diffusion, par aettoyage chimique. Un matériau de masque est appliqué sur une des surfaces jointives 56 et 58, dans cet exemple la surface jointive 58. Un matériau de masque est aussi appliqué sur une des surfaces jointives 60 et 62. dans "et exemple la surface jointive 62. Le masque peut comprendre de l'yttria en poudre. dans un liant et un solvant. Le masque peut être par exemple le masque comm sous le nom de "Stopyt 62A". qui est vendu par une société américaine dénommée GIE Setvice Cotporation. Le matériau de masque est appliqué selon ls dessins souhaités 64 et 66, représentés sous la forme de zones sombres sur 1:1 figure 4, par le procédé connll d'impression au stencil.Les dessins souhaites 64 et du matériau de masque, évitent le soudage par diffusion entre des zones présélectionnées des plaques 50, 52 et 54. Dans cet exemple, le masque est appliqué selon des lignes droites. tuais il peut être appliqué selon des points ou d'autres dessins adaptés, stîlvant l'article partieulier à fabriquer, I es trois plaques d'alliage de titane 50, 52 et 54, sont ensuite assemblées pour fot mer l'etnpil.ige 48. La plaque 50 comporte tine paire de trous à cheville 68 68 qui sont alignés axialement avec des trous à cheville correspondant 70 dans la plaque 52 et avec des trous à cheville correspondant 72 dans la plaque 54 pour assurer le positionnement relatif correct des trois plaques 5(), 52 et 54 dans l'empilage 48. I,es plaques 5 .? et 54 Sfllt maintenues dans ce positionnement relatif par une paire dc chevilles (non représeutées), qui sont insérées dans les trous à chevilles alignés 68, 7() et 72. L'empilage 48 est ensuite placé dans une chambre à vide. qui sera décrite plus en détail ci-dessous. La chambre à vide est vidée, et ensuite l'eiupilage 48 est chauffé à une température comprise entre 250 C et 350 C, pour éliminer par cuisson ou faire évaporer le liant du matériau de masque Durant l'élimination par cuisson du liant. la chambre à vide est continuellement vidée, pour enlever le liant d'entre les plaques et de la chambre à vide. Après que le liant a été enlevé, ce qui est déterminé soit par le contrôle des niveaux de liant dans le gaz extrait tle la chambre à vide: soit en maintenant la chambre à vide à la température comprise entre 250 C et 350 C pendant une chuée prédéterminée. Les boids de plaque de titane sont soudés ensemble, dans cet exemple par un rayon électronique, pour réaliser un ensemble scellé. On laisse ensuite la pression dans la chambre à vide revenir à la pression atmosphérique. Le chauffage de l'empilage de plaques non soudées dans la chambre à vide, qui est vidée continuellement, permet au liant volatil d'être enlevé de l'empilage par la périphérie complète de l'empilage. le long de tous les bords des plaques. Ceci permet an liant volatil d'être enlevé beaucoup plus rapidement que dans le procédé connu précédemment. Ceci évite aussi de fixer un tuyau sur l'empilage, et done il y aun gain de temps. Lin outre, en chauffant l'empilage non soudé de plaques dans la chambre à vide vidée continuellement. il n'y a pas d'air présent dans la chambre à vide pour oxyder les surfaces des plaques. L'ensemble scellé est enlevé de la chambre à vide. et il est transféré dans titi autoclave. L'ensemble scellé est de préféreiice enlevé de la chambre à ville par ion bras robotisé, et il est transféré automatiquement vers et placé plans l'autoclave sans intervention manuelle. La manipulation manuelle de l'ensemble scellé entre la chambre à vide et l'autoclave n'est pas souhaitable. Parce que le masque est cassant et peut facilement être endommagé. La température dans l'autoclave est augmentée de telle façon que l'ensemble scellé soit chauffé à une Température supérieure ou égale à 850 C et la pression d'argon dans l'autoclave est augmentée jusqu'à une pression supérieure à 2() atmesphères soit 2(),26 bar (294 psi), et maintenue à cette température et cette pression pendant une durée prédéterminée. De préférence, !'ensemble est chauffée à tille température comprise entre 900 C et 950 C et la pression est comprise entre 20, 26 har (294 psi), et 30, 39 bar (441 psi).Par exemple, si l'eusemble scellé est chauffé à 925 C, et si la pression est augmentée Jusqu'à 20, 67 bar (3()0 psi). la température et la pression sont niaititenues constantes pendant environ deux heures. I,a pression est ensuite réduite à la pression ambiante, le soudage par diffusion ayant été achevé et l'ensemble scellé, qiti alors une structure solidarisée, est enlevé. Un tuyau est fixé sur la structure solidarisée, et de l'argon est introduit dans les zones qui contiennent le masque, à l'intérieur de la structure solidarisée, pour détraire l'adhérence provoquée par la pression du sondage par diffusion. l'argon est introduit soigneusement dans les zones qui contiennent le masque. et l'argon s'infiltre au travers du masque et atteint finalement l'extémité opposée de la structure solidarisée. l'argon peut initialement être injecté entre deux pièces, et lorsqu'on atteint l'extrémité opposée, l'argon peut être injecté à l'extrémité d'entrée entre deux autres pièces.Daus tous les cas, l'argon doit parcourir toute la longueur de l'intérieur de la structure solidarisée, de façon à détruire l'adhérence entre le masque et les plaques, provoquée pendant l'étape de sondage par diffusion. Cette étape est réalisée à température ambiante, parce qiie le métal est élastique à température ambiante, et la déformation minime en élongation qui a lieu, ne dépasse pas la limite élastique. Par conséquent, la structure solidarisée retrouve sa forme lorsque la pression est supprimée à la fin de l'étape.Si on essaye de réaliser cette étage pendant que la structure est à la température commune du soudage par diffusion et du formage superplastique, il y aun risque sérieux de défonjnation plastique progressive dans le sens de la longueur de la structure intégrale, plutôt qu'une défonnation sinaltanée sur toute la structure. Dans de telles circonstances, la rupture de la stuiettire solidarisée survient fréquemment. La structure solidarisée est placée entre deux mattices à segment de forme appropriée positionnées à l'intérieur de l'autoclave dans lequel on fait le ville de façon à éviter la contamination de la structure solidarisée de titane. La structure solidarisée est à nouveau chauffée ente les maltiees à une température supérieure ou égale à 850 C, de préférence comprise entre 900 C et 950 C. Dans cet exemple, les matrices et la structure solidarisée sont chauffée à 925 C. De l'argon est introduit à l'intérieur de la structure solidarisée entre les plaques adjacentes, de façon à forcer les plaques à s'écarter les unes des autres dans les zones comportant le masque, et pour forcer les parties écartées des plaques extérieures à épouser la forme des matrices respectives, ce qui produit une structure interne qui dépend des dessins du masque appliqué. L'amplitude du mouvement d'au moins une des plaques pendant la d éformation. est telle qu'elle nécessite une déformation superplastique en élongation. Le terme "superplastique" est un terme standard dans la techrique de formage des métaux et ne sera pas décrit ici, Afin d'obtenir un formage superplastique du métal sans rupture du métal qui devient plus fin, de l'argeon est introduit par séties d'impulsions selon un rythune précalaculé qui correspond à un rythme de contrainte souhaité comme enseigné dans des ouvrages publiés depuis longtemps.Le procédé assure que le métal est soumis ati rytllnie de contrainte qui permet d'obtenir la vitesse maximale en déformation en élongation. à tout moment dans la procédure. Le rythme d'application en/ou le volume des impulsions de gaz peuvent ainsi varier pendant la dilation des plaques. A la fin du formage superplastique, l'atmosphère inerte d'argen et la pression de gaz à l'intérieur de la structure solidarisée sont mainterllless pendatît que la structure est refroidie jusqu a température ambiante. La structure solidatisée est ensuite enlevée de l'autoclave et le tuyau est enlevé. Cette structure solidarisée petit être titi article fini, oli bien il peut être nécessaire de réaliser un usinage final de la structure solidarisée polir produire l'article fini. selon une variante du procédé, l'empilage 48 est préparé de la même façon que décrit précédemment. l'empilage 48 est ensuite placé d.llls un dispositif coiiibiné @@ formant chambre à vide et autoclave, qui sera décrit plus en détail ci-dessous I e dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave est mis sous vide, et le liant est chauffé à une température comprise entre 250 C et 350 C pour faire évaporer le liant du masque. Pendant l'élimination par cuisson du liant, le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave est vidé contiiiiiellement, pour enlever le liant d'entre les plaques et dii dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave. Après que le liant a été enlevé, les bords des plaques de titane sont soudés ensemble, dans cet exemple par un niyon électronique, pour réaliser un ensemble scellé. La température dans le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave est augmentée de telle façon que l'ensemble scellé est chauffé à une température supérieure à 850 C et la pression d'argon dans l'autoclave est augmentée jusqu'à une pression de 20,26 bar (294 psi), et la température et la pression sont tiiaintcnues pendant une durée prédéterminée. De préférence, l'ensemble scellé est cliauffi à une température comprise entre 900 C et 9500C et la pression est comprise entre 2(),26bar (294 psi) et 30.39 bar (441 psi).La pression est ensuite réduite à la pression ambiante. le soudage par diffusion ayant été achevé, et l'ensemble scellé, qui est alors une structure solidarisée, est enlevé. L'utilisation d'un dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave supprime la nécessité de déplacer l'ensemble scellé de la chambre à vide vers un aittoclave pour un formage superplastique ultérieur. Ceci présente l'avantage qu'il n'v a pas Après le soudage par diffusion, la structure solidarisée est traitée tle la même façon que décrit précédemment. Une chambre à vide 10, destinée à être utilisée dans le traitement des pièces métalliques, pour leur formage superplastique et leur sondage par diffusion dans le premier procédé décrit ci-dessus. est représentée sur les figures 1 et 2. I a chambre à vide 10 comporte une partie principale 12 et une deuxième partie 14. Une pompe 16 est connectée à l'intérieur de la chambre 7 vidce 10. par l'intermédiaire d'un tuyau 18, afin de vider la chambre à vide 10. Un canon à rayon électronique 20. est situé dans la deuxième @ partie 14 de la chambre à vide 10, et il est disposé de façon à diriger son rayon électonique dans la partie principale 12 de la chambre à vide10. Une table de fixation 28 est disposée dans la partie principale 12 de la chambre à vide 10, et la table de fixation 28 est mobile dans deux directions perpendiculaires à l'intérieur de la partie principale 12 de la chambre à vide 10, par l'intermédiaire d'un mécanisme 30.L'empilage 48 des feuilles 5(), 52 et 54, est dispr)sé sur la table de fixation 28, et il est mobile par l'intermédiaire du mécanisme 30 de façon que les bords des plaques 50, 52 et 54 rencontrent la trajectoire du rayon électronique, afin de souder les bords ensemble pour former l'ensemble scellé. Des dispositifs de cliaufflige 22 sont prévus à l'intérieur de la partie principale 12 de la chambre à vide 10, pour chauffer l'empilage 48 des plaques 50, 52 et 54, avant que les bords des plaques 50, 52 et 54 ne sont soudés ensemble. pour faire évaporer le liant dii masque appliqué sur les surfaces des plaques. Des dispositifs de chauffage 22, dans cet exemple, sont disposés au-dessus de la table de fixation 28 et du mécanisme 30, et les dispositifs de chauffage 22 comprennent plusieurs éléments chauffants radiants 24. Plusieurs réflecteurs 26 sont aussi prévus au-dessus des éléments chauffants tadiants 24. pour rediriger sur l'empilage 28 la chaleur nîdiante émise vet s le haut. La table de fixation 28 est mobile dans une première direction par rapport à liii premier organe de base 38. et la table de fixation 28 ainsi que le première organe de base 38 sont mobiles dans une deuxième direction par rapport à une deuxième organe de base 46.La table de fixation 28 comporte une première paire d'organe 32A. qui ont des ouvertures coaxiales filetées, au travers desquelles s'étend une première tige 34A datée d'un filetage externe. Les extrémités de la première tige 34A sont montées rotatives dans une première paire d'ouvertures coaxiales dans des organes d'extrémité 36A sur le premier organe de base 38. La table dc fixation coiiipflrte aussi une deuxième paire d'organes 32A, qui ont des ouvertures coaxiales filetées au travers desquelles s'étend une deuxième tige 34B dotée d'un filetage externe. Les extémités de la deuxième tige 34B sont montées rotatives dans une deuxième paire d'ouvertures coaxiales dans clcs organes d'extrémité 36B sur le premier organe de base 38. Le premier organe de base 38 comprend une troisième paire d'organes 40A, qui ont des ouvertures filetées coaxiales au travers desquelles passe une troisième tige 42A dotée d'un filetage externe.Les extrémités de la troisième tige 42A sont montées rotatives dans une première paire d'ouvertures coaxiales dans des organes d'extrémités 41A sur le dcuxiènîc organe dc base 46. IR premier organe de base 38 comporte une autre paire d'organes 40B qui ont des ouvertures coaxiales filetées, au travers desquelles passe une quatrième tige 4213 dotée d'un filetage extérieur. I.es extrémités de la quatrième tige 42B sont montees rotatives dans une deuxième paire d'ouvertures coaxiales dans des organes d'extrémité 44B sur le deuxième organe de base 46. Des moteurs adaptés fiion représentes) ou d'autres moyens adaptés ont prévus pour faire tourner les tiges 34A, 34B. 42A et 4213, pour déplacer la table de fixation 28 de façon qu'elle déplace les bords de l'empilage 48 des plaques dans le rayon électronique, pour souder ensemble les bords de l'empilage. I,a chambre à vide 10 des figures 1 et 2 est conçue pour être utilisée dans une plage de pression allant du vide à la pression atmosphérique. Un dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave 1 10. destiné à être utilise dans le traitement de plaques métalliques pour leur formage superplastique et leur soudage par diffusion selon le second procédé décrit ci-dessus, est représenté sur la figure 3.Le dispositif combiné de chambre à vide et d'atitoelavc 11 0 comporte une cuve de pression conçue pour être utilisée dans une plage cte pression allant du vide jusqu'au moins 20,26 bar (294 psi), et de préférene résiste à des pressions internes allant jusqu'à 30,39 bar (441 psi). Le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave 110 compotte une partie principale 12 et une deuxième partie 14. Une pompe 16 est connectée à l'intérieur du dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave 110, par l'intermdiaire d'un tuyau 18, de façon à vider le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave, et de façon à fournir du gaz argon pour mettre sous pression le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave. Le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave 1 1 10 est similaire à celui des figures l et 2, et comporte un canon 20 à rayon électronique. disposé dans la deuxième partie 14, et conçu pour diriger son rayon électronique dans la partie principale 12. Une table de fixation 28, disposée dans la partie principale 12, est mobile dans deux directions perpendiculaires à l'intérieur de la partie principale 12, par l'interiooédiaiie d'un mécanisme 30. Le mécanisme 30 est identique à celui des figures let 2.L'empilage 48 de plaques, est disposé sur la table de fixation 28, et il est tlmlile au moyen de la table 28 et du mécanisme 30, pour déplacer les bords des plaques 50, 52 et 54 dans la trajectoire du rayon électronqiue, afin de souder ensemble les bords pour form\mer l'ensemble seclié. Des dispositifs de chauffage 22, identiques à ceux des figures 1 et 2. sont aussi prévus pour faire évaporer le liant du masque appliqué sur la sïîrrace des plaques Le dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave 1 10 comporte aussi une valve 80 pour isoler la deuxième partie 14, et doue polir isoler le canon 20 à rayon électronique de la partie principale 12 du dispositif combiné de chambre à vide et d'autoclave I 110, pendant qîie la partie principale 12 est chauffée et mie @ sous pression pour souder ensemble par diffusion les plaques de l'empilage. Ceci évite qile le canon à rayon électronique ne soit endommagé par les hautes températures et/ou les hautes pressions pr ésentes pendant l'étape de soudage par diffusion. La valve 80 peut aussi être utilisée pour isoler la deuxième partie 14, et le canon à rayon électromique 211, de la pallie principale 12 pendant l'élinmination par cuisson tlu liant de l'empilage 48. La chambre à vide 10 des figures @ et 2 peut aussi êti-e dotée dîme @ 'alve pour isoler la deuxième partie 14, et le canon à rayon électronique 20. de la partie princfipale 12 pendant l'élimination par cuisson du liant de l'empilage 48. La figure 5 représente Iine autre chambre à viole 210, destinée à cire utilisée pour le traiten\ment de plaques métalliques pour leur formage supetplastique et leur soudage par diffusion, selon le premier procédé décrit ci-dessus. La chambre 7 vide 210 comporte une pompe 16 connectée à l'intérieur de la chambre à vide 210 par nn tuyau 18, afin de vider la chambre à vide 210. La chambre à vide 210 est similaire à celle des figures I et 7, niais elle ne comporte pas de deuxième partie ni de canon à rayon électronique. Au lieu de cela, la chambre à vide 210 comporte une fenête 90 à travers laquelle un rayun laster provenant d'un canon à rayon laser 92, peut être dirigé à l'intérieur lit la channbre à vi La table de fixation 28 est mobile par rapport à la trajectoire du rayon laser, pour souder ensemble les bords des plaques, polir forcer Fensemble scellé. En variante, un système optique peut être utilisé pont défléchir le rayon laser, afin de souder ensemble les bords des plaques ou bien On peut utiliser uioe combinaison d'une déflection de rayon et d'un mouvement de la plaque de fixation. D'autres dispositifs de chauffage adaptés peuvent être utilisés, par exemple des enroulements de chauffage par induction peuvent être disposés dans la surface supérieure de la table de fixation 28. pour limiter le chauffage à l'empilage 48 de plaques placées sur la table de fixation. On peut utiliser d'autres techniques de soudage, pouvant être utilisées dans le vide, pour souder les bords des pièces. Bien que la description précédente fasse référence à Le procédé est adapté pour la fabrication d'échangeurs de chaleur. de composants de turbo-machines, par exemple, d'aubes de soufflante, d'a;iles de guidage de sortie de conduit de soufflante, etc.. Bien que la description précédente fasse référence # un empilage de tris plaques métalliques, il est possible d'utiliser des empilages comprenant deux plaques métalliques ou des empilages comprenant quatre plaques métalliques ou plus, suivant l'article particulier à fabriquer. Revendications 1.- Procédé de fabrication d'un article par formage superplastique et soudage par diffusion d'au moins deux pièces métalliques comprenant les étapes (le: a) appliquer un matériau demasque pour éviter le soudage par diffusion dans des zones présélectionnées d'au moins une des surfaces d'au moins unc (les ati moins deux pièces métalliques, b) assembler les au moins deux pièces de façon à former un empilage des pièces l'une sur l'autre, de façon que leurs surfaces soient en contact jointif. c) placer l'empilage dans une chambre à vide, d) faire le vide dans la chambre à vide, e) chauffer l'empilage pendant qu'il est à l'intérieur de la chambre à vide, pour faire évaporer un liant volatil dn matériau de masque, tout en faisant le vide de façon continue dans la chambre à vide, de façon à éliminer le liant volatil d'entre les deux pièces et de la chambre à vide, f) souder les bords des au moins deux pièces pendant que l'empilage est à l'intérieur de la chambre à vide, polir réaliser un ensemble scellé, g) appliquer de la chaleur et de la pression dans Pépaisseur ries au moins deux pièces, pour souder ensemble par diffusion les au moins deus pièces, dans des zones autres que les zones présélectionées, de façon à former une structure solidarisée, h) chauffer la structure solidarisée, et pressuriser de façon interne la structure solidarisée, de sorte que les zones présélectionées d'au tibias une des pièces soient formées de façon superplastique. afin de produire un article de forme prédéterminée. 2.- Procédé de fabrication d'un article selon la revendieation @ l, comportant, après l'étape de souder les bords des ait moins deux pièces pour réaliser un ensemble scellé, et avant l'étape d'appliquer de la chaleur et de la pression dans l'épaisseur des au moins deux pièces pour souder ensemble par diffusion les au mollis deux pièces, les étapes d'enlever ensemble scellé de la chambre à vide, et de placer l'ensemble scellé dans titi autoclave. 3.- Procédé selon la revendication I ou la revendication 2, dans lequel l'empilage est chauffé à une température comprise entre 250 et 350 C, pour faire évaporer le liant volatil du matériau de masque. 4.- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les bords des au moins deux pièces sont soudés en utilisant un rayon électronique. 5.- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel, lorsque les pièces sont réalisées en alliage de titane, elles sont chauffées à une température supérieure ou égale à 850 C, et la pression appliquée est supérieure ou égale à 20,26 bar (294 psi) pour souder ensemble par diffusion les pièces en une structure solidaritsée, 6.- Procédé selon la revendication 5. dans lequel les pièces sont chauffées à une température comprise entre 900 à 950"C, et la pression appliquée est comprise entre 20,26 bar (294 psi) et 30,39 bar (441 psi). 7.- Procédé selon la revendication 5 ou la revendication 6. dans lequel la structure solidarisée est chauffée à uen température supérieure ou égale à 850 C, pour former de façon superplastique la structure solidarisée. 8.- Procédé selon la revendication 7, dans lequel la structure solidarisée est chauffée à une température comprise entre 900 C et 950 C. 9. - Procédé selon la revendication 1, comportant la surveillance des niveaux de liant évacué de la chambre à vide pendant que la chambre à vicIe est mise sous vide continuellement, pour déterminer à quel moment sensiblement tout le liant a été enlevé d'entre les deux pièces. 10.- Chambre à vide destinée à être utilisée dans le traitement d'au moins deux pièces métalliques, pour leur soudage par diffusion et leur formage superplastique, comprenant des moyens de pompe disposés de façon à vider la chambre à vide, des moyens de soudage par rayon énergétique, des moyens prévus prévus pour entraîner un mouvement relatif entre le rayon de soudage des moyens de sondage par rayon d'énergie et un empilage de pièces placé dans la chambre à vide, pour penflettre alla bords des au moins deux pièces métallièques d'être souder ensemble. caractérisée en ce que des moyens de chauffage (22) sont prévus pour chauffer iin empilage (48) d'au moins deux pièces métalliques (50, 52, 54) placé dans la chambre à vide (I f)). pour faire évaporer un liant volatil d'un matériau de masque appliqué à des zones présélectionnées d'au moins une des surfaces jointives des pièces métalliques (50, 52. 54-). I 1.- Chambre à vide selon la revendication 10, dans laquelle la chambre à vide (110) sert à la fois de chambre à vide et d'autoclave. la chambre à vide (1 10) comporte une cuve de pression conçue pour résister à des pressions interiies allant du vide jusqu'au moins 20,26 bar (294 psi). 12.- Chambre à vide selon la revendication 11, dans laquelle la cuve de pression (12) est prévue pour supporter des pressions internes jusqu'à 30.39 bar (111 psi) Chambre à vicie selon la reveiidication 10, dans laquelle les moyens (28. 30) pour entraîner un mouvement relatif entre le rayon de soudage et l'empifage (48) de pièces (50, 52, 54) comportant une table de fixation (28) déplaçable des deux directions perpendiculaires, et l'empilage (48) de pièces (50, 52,54) peut Cette positionné sur la table de fixation (28). 14.- Chambre à vide selon la revendication 10, dans laquelle les moyens de soudage (20) par rayon d'énergie comprennent un canon à rayon électronique. 15.- Chambre à vide selon la revendication ld, dans laquelle la chambre à vide (1 10) comprend une prelllicre. partie (12), dans laquelle sont fixés la table de fixation (28) et les moyens de chauffage (22), et une deuxième partie (14) dans laquelle est situé le canon (20) à rayon électronique. 16.- Chambre à vide selon la revendication 15, dans laguelle des moyens de valve (80), positionnés entre les première et deuxième parties (19. 14) de la chambre à vide, isolent de façon sélective le canon (20) à rayon électrique de la première partie (12) de la chambre à vide (I 10). 17.- Chambre à vide selon la revendication 10. dans laquelle les moyens de soudage (92) par rayon d'énergie comprelluellt un canon à rayon laser. 18.- Chambre à vide selon la revendication 10, dalles laquelle les moyens de chauffage (22) comprennent plusieurs appareils de chauffage (24) radiants. 19.- Chambre à vide selon la revendication 18. dans laquelle plusieurs réflecteurs (26) sont prévus pour réfléchir la chaleur radiante sur les pièces (50, 52. 54). 20.- Chambre à vide selon la revendication 1(), dans laquelle les moyens de chauffage (22) comprennent plusieurs appareils de chauffage inductifs, 21.- Chambre à vide selon la revendication 10, dans laquelle les appareils tfe chauffage inductifs sont mottés sur la table de fixatiotl (281. 22.- Chambre à vide selon la revendication 10, dans laquelle des moyens de contrôle sont prévus pour contrôler le niveau de liant évacué de la chambre à vide.