FR 2665574 A1 19920207 FR 9009968 A 19900803 PROCEDE D'INTERCONNEXION ENTRE UN CIRCUIT INTEGRE ET UN CIRCUIT SUPPORT, ET CIRCUIT INTEGRE ADAPTE A CE PROCEDE. La présente invention concerne un procédé d'interconnexion d'un circuit intégré avec son environnement, dans le domaine des hyperfréquences Selon ce procédé, de nombreux avantages, de fiabilité ou de reproductibilité par exemple, sont liés à la connexion des entrées/sorties d'une puce par la face arrière de celle-ci, au moyen de trous métallisés qui traversent la puce. L'invention comprend également le circuit intégré, en tant que produit muni de ses trous de connexions. Les systèmes de connexion des entrées/sorties des circuits intégrés reposent dans la majorité des cas sur les méthodes classiques utilisant des fils ou des rubans pour réaliser les liaisons entre la puce de circuit intégré et son circuit support Pour des productions en grandes quantités, le côut du câblage entre pour une part importante dans le côut global de la fonction électrique, même en utilisant des machines de câblage automatique En outre, dans le domaine des circuits hyperfréquences, il est connu que les fils métalliques d'interconnexion, si courts soient-ils, présentent une inductance de l'ordre de 0, 2 à 0, 3 n H, quand il en faudrait moins de 0,1 n H, pour une fréquence considérée. L'utilisation de films TAB (tape automatic bonding), de billes métalliques sur les plots de contact ou encore le montage à l'envers, c'est à dire la face active du circuit intégré contre le circuit support, sont trois méthodes connues qui assurent une interconnexion collective, mais qui par contre soit ne conviennent pas en hyperfréquences, soit nécessitent une préparation de la puce, avec impossibilité d'y avoir accès si elle est montée à l'envers. L'invention propose de supprimer les connexions par fils ou rubans, soudés sur la face avant ou supérieure de la puce, et de ramener les plots de connexion sur la face arrière du circuit monolithique, soit du côté du substrat Les liaisons électriques entre les composants intégrés sur le circuit monolithique et les plots en face arrière se font par des trous métallisés qui traversent la puce sur toute son épaisseur. En outre, la face arrière qui très généralement est métallisée, est gravée pour isoler les plots de connexion, et offrir un passage vers ces plots aux pistes métalliques du circuit support. Pour un circuit intégré muni des moyens de l'invention, tous les plots d'accès extérieur du circuit intégré sont connectés au circuit support pendant l'étape de report du circuit intégré sur le circuit support, à condition que celui-ci soit adapté en conséquence, puisque les pistes métalliques doivent être prolongées pour pénétrer sous la puce de circuit intégré. De façon plus précise, l'invention concerne un procédé d'interconnexion entre un circuit intégré et un circuit support, dans lequel le circuit intégré comporte un corps en matériau semiconducteur dont une première face supporte une métallisation de masse et dont une deuxième face supporte une région active de composants, réunis par des métallisations à des plots métalliques d'entrées/sorties et dans lequel le circuit support comporte un substrat isolant sur lequel est déposé un réseau de pistes métalliques et une métallisation de fixation, ce procédé étant caractérisé en ce que le circuit intégré est fixé sur le circuit support par sa première face, et en ce que les entrées/sorties du circuit intégré sont connectées aux pistes métalliques du circuit support au moyen de trous métallisés percés à travers le corps du circuit intégré. L'invention sera mieux comprise par la description suivante d'un exemple d'application, qui s'appuie stir les figures jointes en annexe, lesquelles représentent: figure 1: en vue en plan, schéma de connexion externe d'une puce, selon l'art connu, figure 2: le même type de connexion, selon l'invention figure 3: vue en coupe d'une puce munie des moyens de connexion selon l'invention, figure 4: vue en plan d'une puce montée sur un circuit support au moyen de trous métallisés. La figure 1 représente, vu de dessus, le montage classique d'une puce de circuit intégré sur un circuit support, dont seule une petite région qui entoure la puce est représentée. Une puce de circuit intégré 1 est munie, sur sa face supérieure, ou encore face active, de plots de connexion métalliques 2 Les voies d'accès extérieures, entrées ou sorties, polarisations etc, sont constituées par des pistes métalliques 3 gravées sur un support isolant 4 Pour réunir le circuit intégré 1 à son environnement, il faut d'abord fixer la puce 1 sur le support 4, par brasure, puis souder des fils ou rubans métalliques 5 sur les plots 2 et sur les extrémités des pistes métalliques 3 qui viennent au plus près de la puce 1, mais ne pénètrent pas sous la puce, sinon elles seraient court- circuitées C'est pourquoi un intervalle 6 entre puce et extrémité des pistes est nécessaire Cette opération de "couture" des fils est longue et délicate, même avec des machines automatiques En effet, surtout en hyperfréquences, il faut que les fils métalliques 5 soient les plus courts possibles, en raison de l'inductance parasite qu'ils apportent. Deux cas se présentent: la puce 1 est brasée sur la face du support isolant 4, ou bien elle est fixée au fond d'une dépression formée dans ce support 4 Si elle est en surface du support 4, il y a une différence de niveau entre le plan des plots 2 sur la puce 1 et le plan des pistes 3 sur le support 4: les fils de connexions 5 doivent faire une boucle pour ne pas toucher le bord de la puce 1, et cette boucle augmente l'inductance parasite Pour éviter cette différence de niveau, on peut créer une dépression dans laquelle la puce prend place: les connexions sont alors établies au moyen de rubans ou de poutres métalliques planes, qui remplacent les fils 5 courbes Mais il est évident que ces opérations augmentent les côuts de montage et de câblage. L'invention apporte une simplification importante en proposant de fixer une puce de circuit intégré 1 à l'endroit sur un circuit support -ce qui est classique mais en prenant les contacts électriques sur la face arrière de la puce, qui est traversée sur toute son épaisseur par des trous métallisés, de telle sorte que la face arrière, côté substrat, de la puce devient simultanément la face de fixation de la puce, par brasure, et la face d'interconnexion. La figure 2 représente un ensemble équivalent à la figure 1, mais interconnecté selon l'invention La puce de circuit intégré 1 est percée de trous métallisés sur lesquels on reviendra ultérieurement, et qui ne sont pas visibles ici car ils sont cachés par un opercule métallique 7, qui sert éventuellement à tester la puce Sur le support isolant 4, les pistes métalliques 8 sont légèrement modifiées par rapport aux pistes 3 de l'art connu; elles pénètrent sous la puce, tel que représenté en pointillé en 9 pour deux d'entre elles, afin de prendre les contacts sur les trous métallisés. La figure 3 donne une vue en coupe agrandie, qui permet de mieux détailler la puce de circuit intégré A cette fin, les proportions ne sont pas respectées. Le circuit intégré 1 comprend un substrat qui supporte une région 10 dans laquelle sont réalisés les composants actifs et passifs du circuit intégré Ces composants et les différentes couches de matériaux de la région 10 ne sont pas représentés, car ils ne sont pas nécessaires à l'exposé de l'invention, mais ils comportent des métallisations d'accès, dont deux sont représentées La métallisation Il conduit au plot métallique 7, et la métallisation 12 conduit au plot métallique 13 Chacun des plots métalliques 7 ou 13 de la face supérieure, ou active, du circuit intégré est réuni par l'intermédiaire d'un trou métallisé, 14 ou 15, avec une plage métallique 16 ou 17 respectivement, située sur la face inférieure, ou substrat, du circuit intégré Ainsi, le plan des connexions d'accès extérieur est déplacé de la face supérieure à la face inférieure de la puce de circuit intégré Cette dernière porte une métallisation de plan de masse 18, qui est utilisée pour braser la puce 1 sur son circuit support Mais la présence des plages métalliques 16 et 17 en face arrière de la puce 1 nécessite une gravure du plan de masse 18, qui est montrée en figure 4. Sur cette figure, il ressort mieux que la métallisation de plan de masse 18 a un pourtour crénelé, des plages isolantes 19 ayant été gravées pour créer les plages 16 et 17 sur les bords de la puce 1 Cette figure montre également que le circuit support 4 (non représenté) comporte une métallisation 20 pour accueillir le circuit intégré, et l'y braser par l'intermédiaire de son plan de masse 18 Cette métallisation 20 comprend elle-aussi des créneaux 21, correspondant aux créneaux 19, et destinés à laisser les pistes conductrices 8 + 9 atteindre les plages métalliques 16,17. La superposition du circuit intégré sur son circuit support explique que les plots métalliques 7 et 16, 13 et 17, ou les créneaux 19 et 21 se superposent. Les deux opérations de fixation du circuit intégré sur son support et de raccordement des plots d'accès du circuit intégré au réseau d'interconnexion porté par le support se font en une seule manipulation de brasure collective Les plages 16,17 sont brasées sur les pistes conductrices 9, et le plan de masse 18 est brasé sur la métallisation 20, simultanément, soit au moyen d'une recharge en or-germanium des différentes métallisations en présence, soit au moyen d'une préforme de soudure tendre. Cette seconde solution est extrêmement intéressante, car elle est plus rapide et plus économique que la première Bien que l'opération de brasure doive respecter l'isolement électrique entre le plan de masse et les plages 16,17 d'entrées-sorties, il suffit de mettre en place une préforme de soudure tendre assez fine pour que, au cours de sa fusion, elle se divise en fragments 22, qui, par les forces de capillarité, prennent les contours des plages métalliques à braser: ainsi, une seule préforme donne plusieurs brasures 22, isolées entre elles. Les trous métallisés 14,15 sont généralement disposés sur le pourtour de la puce 1, par commodité pour le tracé du réseau de pistes conductrices 8 + 9 sur le circuit support Cependant, un ou plusieurs trous métallisés peuvent se trouver dans la région centrale de la puce 1, soit pour prendre un contact de masse, ce qui est connu, soit pour établir une liaison extérieure ce qui suppose que les crénaux correspondants 19 + 21 soient approfondis en conséquence. Les avantages apportés par l'invention sont intéressants, surtout en hyperfréquences: Diminution des côuts de montage puisque le câblage se fait en même temps que l'opération de report De plus il s'agit d'une technique collective. Augmentation de la fiabilité par la suppression des fils de câblage et la réduction d'un facteur 2 du nombre de contacts. Diminution des contraintes sur la face supérieure de la puce de circuit intégré. Réduction de l'inductance parasite d'interconnexion d'un facteur 6; elle est ramenée à quelques dizaines de p H par trou métallisé Possibilité de compensation par capacité localisée en face avant et en face arrière de la puce. Reproductibilité de l'inductance d'interconnexion réduisant la dispersion de phase due au câblage. L'invention, qui est d'usage général, avec des dispositifs semiconducteurs en Si ou en matériaux III-V, est surtout appliquée dans le domaine des hyperfréquences Elle est précisée par les revendications suivantes. REVENDICATIONS 1 Procédé d'interconnexion entre un circuit intégré et un circuit support, dans lequel le circuit intégré ( 1) comporte un corps en matériau semiconducteur dont une première face supporte une métallisation de masse ( 18) et dont une deuxième face supporte une région active ( 10) de composants, réunis par des métallisations ( 11,12) à des plots métalliques d'entrées/sorties ( 7,13), et dans lequel le circuit support comporte un substrat isolant ( 4) sur lequel est déposé un réseau de pistes métalliques ( 8,9) et une métallisation de fixation ( 20), ce procédé étant caractérisé en ce que le circuit intégré ( 1) est fixé sur le circuit support par sa première face, et en ce que les entrées/sorties ( 7,13) du circuit intégré sont connectées aux pistes métalliques ( 8,9) du circuit support au moyen de trous métallisés ( 14,15) percés, à travers le corps du circuit intégré. 2 Procédé d'interconnexion selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit intégré ( 1) est brasé ( 22) par sa métallisation de masse ( 18) sur la métallisation de fixation ( 20) du circuit support. 3 Procédé d'interconnexion selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque trou métallisé ( 14,15) est en contact avec une plage métallisée ( 16,17) sur la première face du circuit intégré, elle-même brasée ( 22) sur une extrémité ( 9) de piste métallique du circuit support. 4 Procédé d'interconnexion selon la revendication 3, caractérisé en ce que les plages métallisées ( 16,17) sont constituées par une région du plan de masse ( 18) Isolée ( 19) par gravure. Procédé d'interconnexion selon la revendication 3, caractérisé en ce que en vue d'éviter les court-circuits, la métallisation de fixation ( 20), sur le circuit support, est gravée de créneaux ( 21) qui entourent et isolent les extrémités ( 9) des pistes, entre le circuit intégré et le circuit support. 6 Circuit intégré hyperfréquences, du type monolithique comportant un corps ( 1) en matériau semiconducteur, une métallisation de plan de masse ( 18) sur une première face du corps, et une région de composants intégrés ( 10) sur une deuxième face du corps, ce circuit intégré étant caractérisé en ce que, en vue de connecter les composants ( 10) avec un réseau extérieur fixé sur sa première face, il est muni de trous métallisés ( 14,15) qui réunissent les régions métallisées d'accès ( 7,13,16,17) portées sur ses deux faces.