FR 2671909 A1 19920724 FR 9100505 A 19910117 Procédé de lithogravure sur saillie notamment sur substrat semiconducteur La présente invention concerne la formation d'une fenêtre à travers une couche de revêtement au-dessus d'une zone formant saillie sur un substrat. Elle s'applique plus particulièrement lorsque ladite couche de revêtement est une couche mince dont l'épaisseur est typiquement comprise entre 50 nm et 1000 nm, et lorsque ledit substrat présente une surface généralement plane sur laquelle ladite zone a une hauteur typiquement comprise entre 500 nm et 0,05 mm et une dimension transversale typiquement comprise entre 100 nm et 0,1 mm, environ. Elle s'applique plus particulièrement encore lorsque le substrat est constitué d'un matériau semi-conducteur, lorsque la couche de revêtement est constitué d'un matériau diélectrique et lorsqu'une fenêtre doit être formée à travers cette couche pour permettre de prendre un contact électrique localisé sur le substrat Tel est notamment le cas lors de la fabrication de certains lasers semi-conducteurs pour localiser un courant électrique assurant l'injection de porteurs de charges dans une couche active en forme de ruban qui est interne à ce laser. Un procédé de lithogravure connu pour former une telle fenêtre comporte les opérations suivantes: dépôt d'une couche de revêtement sur un substrat présentant une zone en saillie sur laquelle une fenêtre doit être formée à travers cette couche de revêtement, dépôt sur ce substrat et cette couche de revêtement d'une couche d'une résine protectrice pour lithogravure, sensibilisation spatialement sélective de cette résine, ablation sélective de résine pour éliminer cette résine au-dessus de ladite zone en saillie, et gravure d'une fenêtre par application d'un procédé contre lequel cette résine constitue une protection. Ce procédé connu est notamment décrit dans un livre "Modern Ga As processing Methods", de Ralph Williams, Editeur: Artech House Boston London, pages 115-133. -2- Il présente notamment l'inconvénient qu'il est difficile d'aligner avec la précision nécessaire le bord de la zone de sensibilisation sur le bord de la saillie sur laquelle une fenêtre doit être formée Il en résulte que la fenêtre effectivement formée s'écarte de la position souhaitée. La présente invention a notamment pour but de permettre la formation d'une fenêtre dont les bords sont plus précisément alignés sur ceux d'une saillie sur laquelle cette fenêtre doit être formée Et, dans ce but, elle a pour objet un procédé de lithogravure caractérisé par le fait que l'on amène une résine de protection utilisée pour la lithogravure à se déplacer par fluage pour accroître son épaisseur autour de la saillie sur laquelle une fenêtre doit être formée. A l'aide des figures schématiques ci-jointes, on va décrire ci-après comment la présente invention peut être mise en oeuvre, étant entendu que les éléments et dispositions mentionnés et représentés ne le sont qu'à titre d'exemples non limitatifs Lorsqu'un même élément matériel ou une grandeur de même nature est représenté sur plusieurs figures il ou elle y est désigné par un même signe de référence. La figure 1 représente des vues selon un plan transversal d'un premier substrat à des étapes successives de la mise en oeuvre d'un procédé selon la présente invention. La figure 2 représente des vues analogues d'un deuxième substrat à des étapes analogues d'un tel procédé. La figure 3 représente des vues analogues d'un troisième substrat à des étapes analogues d'un tel procédé. La figure 4 représente des vues de ce deuxième substrat, l'une après application du procédé de la présente invention et les autres après application de procédés dé lithogravure qui sont analogues mais qui ne mettent pas cette invention en oeuvre. On va tout d'abord décrire de manière générale, en se référant à la figure 1, une succession d'opérations qui visent à la formation d'une fenêtre et qui sont communes, quant à leurs fonctions indiquées, au procédé selon l'invention et audit procédé connu. Dépôt de revêtement Cette opération comporte le dépôt d'une couche de revêtement mince constituée d'un matériau de revêtement 102 sur un -3substrat 104 présentant une zone en saillie 106 sur laquelle une fenêtre doit être formée à travers cette couche de revêtement. Dép 8 t de résine Cette opération comporte le dépôt sur ce substrat 104 et cette couche de revêtement 102 d'une couche 108, (figure l A) constituée d'une résine protectrice sensibilisable et ayant une épaisseur suffisante pour recouvrir la zone en saillie 106. Sensibilisation spatialement sélective de cette résine pour la sensibiliser à un premier procédé d'ablation de résine dans une zone de sensibilisation 110, (figure 1 B) s'étendant au-dessus de la zone en saillie 106, cette résine n'étant pas sensibilisée à ce procédé dans une zone 112 extérieure à cette zone de sensibilisation. Ablation sélective de résine par ledit premier procédé d'ablation de résine Cette opération élimine cette résine au-dessus de la zone en saillie 106 et la laisse subsister, (figure 1 C) dans la zone extérieure 112. Et gravure d'une fenêtre 114 par application d'un procédé d'ablation de revêtement contre lequel la couche de résine protectrice 108 constitue une protection. Par rapport à ce procédé connu, la présente invention peut se différencier par les points suivants: La résine protectrice 108 (figures l C et 1 D) est choisie pour pouvoir fluer lorsqu'elle est placée dans des conditions de fluage qui ne lui font pas perdre ses qualités protectrices et qui sont supportables par le substrat 104 et la couche de revêtement 102 La zone de sensibilisation inclue alors non seulement la zone en saillie 106 mais aussi au moins une bande de sensibilisation supplémentaire 116 de largeur limitée qui s'étend au delà d'au moins un bord 120 de cette zone en saillie De plus, ladite ablation sélective de résine est une ablation ménagée pour laisser la résine protectrice subsister avec une épaisseur réduite 118 (figure 1 C) dans cette bande de sensibilisation supplémentaire, et une opération de fluage de résine est effectuée après cette ablation ménagée de résine et avant ladite gravure de fenêtre. Cette opération de fluage comporte l'application desdites conditions de fluage pour que les forces de tension superficielle de cette résine amène une fraction de la masse de celle-ci dans la bande de -4 - sensibilisation supplémentaire 116 jusqu'au bord 120 de la zone en saillie, à partir de la zone extérieure 112 Par ailleurs, une condition anti-mouillage est respectée pour que, lors de cette opération de fluage, cette résine ne s'étende pas sur la couche de revêtement 102 dans la zone en saillie 106. La présence d'une épaisseur de résine suffisante sur les bords de la saillie, sans débordement de résine sur cette saillie, a pour effet que les bords de la fenêtre qui sera gravée à travers la couche de revêtement s'aligneront avec une grande précision sur ceux de cette saillie alors que les bords de la zone de sensibilisation peuvent être définis avec un degré de précision bien plus petit Elle a aussi pour effet de réaliser une protection de la couche de revêtement sur les flancs de la zone en saillie. Pour la mise en oeuvre du procédé selon la présente invention, on peut adopter en outre les dispositions avantageuses suivantes: Les conditions de fluage incluent une température de fluage supérieure à celle à laquelle est réalisée ladite opération d'ablation ménagée de résine Cette disposition présente l'avantage que la réalisation de l'opération de fluage à l'aide d'une élévation de température est souvent relativement simple D'autre modes de réalisation de cette opération peuvent cependant être avantageux dans certains cas On peut par exemple alors placer le substrat avec la couche de revêtement et la résine de protection dans une enceinte o règne une pression de vapeur importante ou saturante d'un solvant qui imprègne alors cette résine et la fluidifie. Dans le cas o on utilise une élévation de température pour réaliser le fluage, on choisit une résine de protection présentant une différence importante, par exemple de l'ordre de 50 C, entre une température de transition vitreuse et une température d'altération qui est supérieure et au delà de laquelle des propriétés utiles de la résine seraient altérées, notamment en ce qui concerne la possibilité de l'éliminer ultérieurement complètement'du substrat La température de fluage est alors choisie entre ces deux températures Cette disposition présente l'avantage de permettre d'atteindre facilement une température permettant le fluage de la résine sans risquer de lui faire perdre ses - 5- propriétés utiles. Selon une autre disposition avantageuse, ladite condition anti- mouillage est que la résine protectrice est non mouillante pour ledit matériau de revêtement Bien entendu cette même résine doit5 présenter une certaine adhérence sur ce même matériau de revêtement lors de ladite opération de dépôt de résine Cette adhérence peut notamment résulter du fait que, lors de ce dépôt, cette résine comporte une proportion importante d'un solvant qui est volatil et qui est éliminé ensuite lors d'opérations de recuits Cette disposition présente10 l'avantage que, pour la mettre en oeuvre, il suffit de choisir une résine convenable Encore faut-il pour cela qu'une telle résine soit disponible Si elle ne l'est pas, une disposition alternative serait par exemple que, après l'ablation ménagée de résine, on dépose sur la couche de revêtement, dans le plateau de la zone en saillie mais non sur les15 flancs de saillie, un produit en couche très mince qui s'opposerait au mouillage par la résine. Compte tenu de l'erreur de positionnement que l'on peut faire lors du positionnement du bord de la zone de sensibilisation par rapport au bord de la zone en saillie, la largeur effective de la bande de20 sensibilisation supplémentaire peut s'écarter d'une largeur théorique Wl qui serait obtenue en l'absence d'erreur Si on considère l'erreur maximale qui peut affecter ce positionnement, cette largeur effective peut se situer de manière aléatoire entre une limite inférieure égale à la largeur théorique diminuée de l'erreur maximale et une limite25 supérieure égale à la largeur théorique augmentée de l'erreur maximale. On choisit donc une largeur théorique supérieure à l'erreur maximale Il convient cependant de ne pas choisir une largeur théorique excessivement grande qui nécessiterait que la résine se déplace par fluage sur une grande distance, et obligerait donc inutilement à créer des conditions30 de fluage relativement difficiles à obtenir. Dans de nombreux cas de fabrication de lasers semiconducteurs la largeur W 2 de la zone de sensibilisation est avantageusement choisie dans l'intervalle 2 WO deuxième procédé d'ablation de résine. Dans ces applications ledit substrat est typiquement un substrat semiconducteur et ladite couche de revêtement est une couche diélectrique De plus, après le perçage de fenêtre, on effectue un dépôt de matériau conducteur pour permettre le passage d'un courant électrique à travers la fenêtre formée Ce dépôt de matériau conducteur n'est pas représenté. On va maintenant décrire d'une manière un peu plus particulière des mises en oeuvres du procédé qui vient d'être décrit Ces mises en oeuvres utilisent les dispositions avantageuses qui ont été indiquées ci- dessus. Les figures 2 et 3 représentent des éléments homologues de ceux qui ont été mentionnés avec référence à la figure 1 Lorsque trois éléments sont homologues sur ces trois figures leurs trois numéros de référence comportent les mêmes chiffres des dizaines et des unités, les chiffres des centaines étant égaux aux numéros des figures correspondantes. Les lettres A à F désignent sur ces trois figures des étapes analogues du procédé de l'invention. Conformément à la figure 1, le substrat 104 est destiné à la fabrication d'un laser semi-conducteur dit à ruban enterré dont la couche active 2 en forme de ruban s'étend perpendiculairement au plan de la figure Cette couche est encadrée par deux canaux d'isolement 4 et 6 qui ont été gravés dans ce substrat sur une largeur limitée avec une distance entre axes D et une profondeur P Ces canaux laissent subsister entre eux la zone en saillie 106 dont la largeur est voisine de 0,005 mm De tels lasers sont connus sous les sigles FBH ou PBH, SIBC, DCPBH. Il apparaît convenable dans ce cas de respecter les inégalités suivantes: -7- W 2 I D et HO k P/2 HO étant l'épaisseur de résine déposée, lors de ladite opération de dépôt de résine, sur la partie non gravée du substrat L'épaisseur de résine Hi enlevée lors de l'opération d'ablation ménagée de résine est alors supérieure à HO mais inférieure à HO + P/2. Conformément à la figure 2, la formation d'une saillie résulte d'une gravure du substrat 204 sur toute la surface de celui-ci sauf sur la zone en saillie 206 dont la largeur WO est de l'ordre de 0,002 mm Le procédé selon la présente invention permet la localisation de l'injection de courant dans une crête de laser appelée internationale- ment "laser ridge" et constituée par la zone en saillie 206 qui s'étend perpendiculairement au plan de la feuille (voir figure 2 C). Dans ce cas, si on appelle HO l'épaisseur de résine déposée à distance de la zone en saillie 206 et E la hauteur du plateau de cette zone par rapport à la surface environnante, il y a intérêt à ce que HO soit au moins égal à 2 E. Conformément à la figure 3, la formation d'une zone en saillie 306 résulte d'un dépôt d'un matériau d'apport 8 sur un substrat 304 Ce matériau d'apport a été déposé sous forme de couche puis gravé pour former un ruban qui s'étend perpendiculairement au plan de la figure et qui a une largeur de l'ordre de 0,001 mm. La figure 4 A correspond à la figure 2 F, c'est-à-dire qu'elle représente le résultat obtenu par le procédé de l'invention Il apparaît que la couche de revêtement 202 subsiste, sur le flanc tel que 230 de la zone en saillie 206, jusqu'au voisinage du plateau 232 de cette zone. Les procédés utilisés pour traiter les substrats 404 et 504 des figures 4 B et 4 C sont analogues au procédé selon l'invention précédemment décrite mais ne comportent pas d'opération de fluage de résine. Conformément à la figure 4 B, lorsque la zone de sensibilisation a été plus large que la zone en saillie 406 et lorsque l'ablation ménagée de résine a laissé subsister une couche protectrice efficace autour de cette zone, la couche de revêtement 402 est éliminée sur le flanc 430 de la zone en saillie 406 jusqu'à une distance relativement grande du plateau 432 de cette zone. Conformément à la figure 4 C, lorsque la zone de sensibilisation a été un peu plus étroite que la zone en saillie 506, la couche de revêtement 502 subsiste sur les bords du plateau 532 de cette zone. Dans une mise en oeuvre du procédé de la présente invention dans le cas de la figure 1, la couche de revêtement 102 était constituée de nitrure de silicium et avait une épaisseur HO de 200 nm et la zone en saillie 106 avait une hauteur P, par rapport aux zones environantes du substrat 104, de l'ordre de 2000 nm. On a choisi, pour constituer la résine de protection 208, une résine photosensible du genre novolaque vendue sous la référence TF 20 et la marque de commerce Microposit par la firme américaine Shipley Lors de l'opération de dépôt de résine, cette résine a été étalée sur tournette à 5000 tr/mn pendant 30 secondes puis à 10 000 tr/mn pendant 3 secondes Un recuit à 900 C pendant 20 minutes a ensuite été réalisé. L'épaisseur obtenue était de 0,005 mm au-dessus de la zone en saillie. L'opération d'insolation a duré 25 secondes avec une puissance de 20 m W/cm 2 L'opération d'ablation ménagée a été faite en deux fois quinze secondes à l'aide d'un révélateur vendu par la même firme sous la référence 351 et dilué dans six volumes d'eau Elle a été contrôlée au microscope optique L'opération de fluage de résine a résulté d'un recuit à une température de fluage de 1500 C pendant 15 minutes Le perçage de fenêtre à travers le revêtement diélectrique (Si N) a été fait à l'aide d'un plasma de CF 4 ( 100 W, 15 minutes) L'ablation complète de résine a été faite à l'aide d'un solvant vendu par la firme américaine General Chemical sous la référence A 20 Stripper. Un avantage important du procédé selon la présente invention est qu'il dispense d'un alignement précis du masque d'insolation par rapport aux zones en saillies que l'on souhaite dégager Ce procédé procure en effet un alignement "automatique" (auto-alignement) des bords de la couche de résine de protection sur ceux de la zone saillie lors de l'opération de fluage Cet auto-alignement améliore la qualité d'un composant tel qu'un laser semi-conducteur dont la fabrication comporte la mise en oeuvre de ce procédé. Un second avantage est qu'une définition précise du bord de la fenêtre ne nécessite pas l'appui d'un masque d'insolation dur sur la 9 - surface du substrat Il résulte du fait que la définition du bord de la zone de sensibilisation peut être relativement imprécise Il est important lorsqu'on travaille sur des substrats fragiles tels que ceux qui sont constitués d'arseniure de gallium Ga As ou de phosphore d'indium In P. - REVENDICATIONS 1/ Procédé de lithogravure sur saillie notamment sur substrat semiconducteur, ce procédé étant caractérisé par le fait que l'on amène la résine de protection ( 108) utilisée pour la lithogravure à se déplacer par fluage pour accroître son épaisseur autour d'une saillie ( 106) sur laquelle une fenêtre ( 114) doit être formée. 2/ Procédé selon la revendication 1, procédé dans lequel on effectue les opérations suivantes pour former ladite fenêtre: dépôt de revêtement, cette opération comportant le dépôt d'une couche de revêtement mince constituée d'un matériau de revêtement ( 102) sur un substrat ( 104) présentant une zone en saillie ( 106) sur laquelle une fenêtre doit être formée à travers cette couche de revêtement, dépôt de résine, cette opération comportant le dépôt sur ce substrat ( 104) et cette couche de revêtement ( 102) d'une couche ( 108, figure l A) d'une résine protectrice sensibilisable ayant une épaisseur suffisante pour recouvrir ladite zone en saillie, sensibilisation spatialement sélective de cette résine pour la sensibiliser à un premier procédé d'ablation de résine dans une zone de sensibilisation ( 110, figure 1 B) s'étendant au-dessus de ladite zone en saillie ( 106), cette résine n'étant pas sensibilisée à ce procédé dans une zone ( 112) extérieure à cette zone de sensibilisation, ablation sélective de résine par ledit premier procédé d'ablation de résine pour éliminer cette résine au-dessus de ladite zone en saillie ( 106) en la laissant subsister dans ladite zone extérieure ( 112), et gravure d'une fenêtre ( 114) par application d'un procédé d'ablation de revêtement contre lequel ladite couche de résine protectrice constitue une protection, ce procédé étant caractérisé par le fait que ladite résine protectrice ( 108, figures l C et 1 D) est choisie pour pouvoir fluer lorsqu'elle est placée dans des conditions de fluage qui ne lui font pas perdre ses qualités protectrices et qui sont supportables par ledit substrat ( 104) et ladite couche de revêtement ( 102), ladite zone de sensibilisation ( 110, figure 1 B) incluant non seulement il - ladite zone en saillie ( 106) mais aussi au moins une bande de sensibilisation supplémentaire ( 116) présentant une largeur limitée au delà d'au moins un bord de cette zone en saillie, ladite ablation sélective de résine étant une ablation ménagée pour laisser ladite résine protectrice subsister avec une épaisseur réduite ( 118, figure 1 C) dans ladite bande de sensibilisation supplémentaire ( 116), une opération de fluage de résine étant effectuée après cette ablation ménagée de résine et avant ladite gravure de fenêtre par application desdites conditions de fluage pour que les forces de tension superficielles de cette résine amène une fraction de la masse de celle- ci dans ladite bande de sensibilisation supplémentaire jusqu'au bord ( 120, figure ID) de ladite en saillie à partir de ladite zone extérieure - ( 112), une condition anti-mouillage étant respectée pour que, lors de ce fluage, cette résine ne s'étende pas sur ladite couche de revêtement ( 102) dans ladite zone en saillie ( 106). 3/ Procédé selon la revendication 2, caractérisé par le fait que lesdites conditions de fluage incluent une température de fluage supérieure à la température à laquelle a été réalisée ladite ablation ménagée de résine. 4/ Procédé selon la revendication 3, caractérisé par le faut que ladite résine de protection ( 108) présente une différence importante entre une température de transition vitreuse et une température d'altération, ladite température de fluage étant comprise entre ces deux températures. / Procédé selon la revendication 2 dans lequel ladite condition antimouillage est que ladite résine protectrice ( 108) est non mouillante pour ledit matériau de revêtement ( 102). 6/ Procédé selon la revendication 2, dans lequel ladite sensibilisation spatialement sélective est une insolation effectuée par un rayonnement ( 122, figure 1 B) à travers un masque amovible ( 124). 7/ Procédé selon la revendication 2 dans lequel, après le dit perçage d'une fenêtre ( 114, figure 1 F) on effectue une ablation complète de ladite résine par un deuxième procédé d'ablation de résine. 8/ Procédé selon la revendication 2, dans lequel ledit substrat ( 104) 12 - est un substrat semi-conducteur et ladite couche de revêtement ( 102) est une couche diélectrique. 9/ Procédé selon la revendication 8 dans lequel, après ledit perçage de fenêtre, on effectue un dépôt de matériau conducteur pour permettre le passage d'un courant électrique à travers ladite fenêtre.