FR 2658647 A1 19910823 FR 9002113 A 19900221 TETE MAGNETIQUE HORIZONTALE A EFFET HALL ET SON PROCEDE DE REALISATION. Description La présente invention a pour objet une tête magnétique horizontale à effet Hall et son procédé de réalisation Elle s'applique notamment à la lecture d'un enregistrement sur un support magnétique, mais aussi à l'écriture sur un tel support. La structure d'une tête horizontale d'écriture et de lecture pour enregistrement longitudinal est rappelée figure 1 Dans un substrat semiconducteur 10 sont déposées et gravées diverses couches (dont les dimensions relatives n'ont pas été respectées pour plus de clarté) pour former un circuit magnétique 12 avec entrefer comblé par un espaceur amagnétique 14 et un bobinage conducteur 16 Ce bobinage 16 comprend deux séries d'enroulements reliées entre elles par une liaison 18; chacune de ces séries est enroulée autour d'un pilier magnétique 20, 21 Ces piliers magnétiques 20, 21 relient les première et seconde pièces polaires horizontales 22, 23 du circuit 12. Le bobinage 16 est relié à ses deux extrémités, grâce à des liaisons 24, 26 traversant le substrat 10, à des plots de contact 28, 30 disposés sur la face inférieure du substrat. La piste à écrire et/ou à lire 32 défile au-dessus de l'entrefer. De telles têtes sont décrites, sous des modes de réalisation divers, dans les documents de brevets européens EP-A-152 326 et EP-A-262 028. A côté de cette technologie connue en couches minces s'est développée une technique utilisant les propriétés des matériaux à effet Hall De tels matériaux permettent de réaliser des têtes de lecture pour pistes d'enregistrement très étroites. On connaît par le document FR 2 518 792 une tête magnétique verticale utilisant un capteur à effet Hall Une telle tête magnétique est représentée schématiquement sur la figure 2 Comme on peut le voir sur cette figure, le capteur à effet Hall 34 est disposé dans un espace situé entre deux pièces polaires 36, 38 Ces pièces polaires 36, 38 sont placées verticalement par rapport au support d'enregistrement magnétique 32 et sont séparées au niveau de la partie de la tête proche du support par un espaceur amagnétique 40. Une telle tête magnétique ne comporte qu'un capteur à effet Hall unique; elle subit donc des dérives thermiques ou électroniques qui doivent être compensées par ailleurs. La figure 3 représente schématiquement une autre tête magnétique verticale connue et comportant un capteur à effet Hall Cette tête magnétique est décrite en détail dans le document US 3 800 193. Les pièces polaires 36, 38 se rejoignent à chacune de leurs extrémités Elles sont séparées d'une part par un espaceur amagnétique 40 au niveau de la partie des pièces polaires en regard du support d'enregistrement magnétique 32 et d'autre part par le capteur à effet Hall 34. Cette tête magnétique présente les mêmes inconvénients que la précédente. L'objet de la présente invention est de fournir une tête magnétique horizontale qui comprend au moins un capteur à effet Hall et qui offre La possibilité de pallier ces problèmes de dérive par une simple mesure différentielle. De manière précise, la présente invention concerne une tête magnétique horizontale à effet Hall comprenant, contenus dans un caisson formé dans un substrat semiconducteur, une première pièce polaire horizontale, une seconde pièce polaire horizontale en deux parties séparées par un espaceur amagnétique, un premier pilier magnétique reliant la première pièce polaire à une partie de la seconde pièce polaire, un second pilier magnétique reliant la première pièce polaire à l'autre partie de la seconde pièce polaire, caractérisée en ce qu'au moins un des piliers comporte un capteur à effet Hall La position des capteurs dans la hauteur des piliers est indifférente pour le fonctionnement de la tête. La tête magnétique de l'invention est horizontale: elle comporte deux piliers magnétiques pouvant intégrer chacun un capteur à effet Hall. La présence de deux capteurs permet d'effectuer simplement une mesure différentielle des signaux de lecture d'un support magnétique enregistré délivrés par chacun des capteurs et d'obtenir un signal débarrassé de toute dérive De plus, ce signal est d'intensité double du signal délivré par un capteur unique. De manière avantageuse, dans le cas o chaque pilier comporte un capteur à effet Hall, ces capteurs sont connectés par des sorties aux entrées d'un circuit différentiel délivrant un signal de lecture sur une sortie. L'invention apporte un avantage supplémentaire: il est possible d'intégrer sur une seule et même tête à la fois des moyens de lecture (dont le ou les capteurs à effet Hall font partie) et des moyens d'écriture, ces moyens de lecture et d'écriture utilisant le même circuit magnétique. Dans ce cas, la tête magnétique selon l'invention comprend, en outre, un bobinage conducteur entourant les deux piliers magnétiques. L'invention a également pour objet un procédé de réalisation de la tête qui vient d'être définie. Selon ce procédé, à l'intérieur d'un caisson formé dans un substrat semiconducteur, on forme la première pièce polaire horizontale, on dépose une première couche isolante, on forme quatre plots conducteurs au voisinage d'au moins une des extrémités de la première pièce polaire horizontale, ces plots étant aptes à être connectés à l'extérieur du substrat, on dépose une deuxième couche isolante sur l'ensemb Le, on grave dans l'ensemble des couches isolantes deux ouvertures atteignant les extrémités de la première pièce polaire horizontale, on comble ces ouvertures avec un matériau magnétique pour constituer deux demi-piliers magnétiques affleurant la surface de la seconde couche isolante, on dépose une troisième couche isolante sur l'ensemble, on grave dans les deuxième et troisième couches isolantes des ouvertures atteignant les plots conducteurs, on dépose sur l'ensemble une couche de matériau à effet Hall, on grave cette couche de matériau à effet Hall de manière à définir la forme de chacun des capteurs à effet Hall, on dépose une quatrième couche isolante sur l'ensemble, on réalise deux demi-piliers magnétiques noyés dans une cinquième couche isolante, ces demi-piliers se situant à l'aplomb des demi-piliers déjà formés, on réalise la seconde pièce polaire magnétique horizontale noyée dans une sixième couche iso Lante. Pour réaliser une tête de Lecture mais aussi d'écriture, on constitue en outre un bobinage conducteur entourant les deux piliers magnétiques lors de L'étape de réalisation des plots conducteurs. Les p Lots conducteurs ainsi que les extrémités du bobinage (dans le cas d'une tête de lecture/écriture) sont re Liés par des Liaisons méta L Liques à l'extérieur du substrat Ces liaisons métalliques sont obtenues de façon classique soit par gravure de la face arrière du substrat et de La première couche isolante et métallisation des trous gravés par exemple avant L'étape de formation des plots conducteurs, soit par gravure face avant des sixième, cinquième et quatrième couches isolantes et métallisation des trous gravés, à La fin du procédé de fabrication. Les caractéristiques et avantages de L'invention apparaîtront mieux à La Lecture de La description qui suit, d'exemples de réalisation donnés à titre explicatif et nu L Lement Limitatif Cette description se réfère à des dessins annexés sur Lesque Ls: La figure 1, déjà décrite, représente schématiquement une tête magnétique horizontale selon L'art antérieur, La figure 2, déjà décrite, représente schématiquement une tête magnétique à effet Ha LL, selon L'art antérieur, La figure 3, déjà décrite et relative à L'art antérieur, représente schématiquement une autre tête magnétique à effet Ha LL, La figure 4 'montre une première étape d'un procédé de réalisation de La tête se Lon L'invention, La figure 5 montre une seconde étape de ce procédé, la figure 6 représente schématiquement et partiellement une vue de dessus du dispositif après la seconde étape, la figure 7 représente schématiquement une troisième étape de ce procédé, la figure 8 montre une quatrième étape de ce procédé, la figure 9 représente schématiquement une vue de dessus d'un capteur à effet Hall, la figure 10 représente schématiquement une cinquième étape du procédé, la figure 11 représente schématiquement une vue en coupe d'une tête magnétique à effet Hall conforme à l'invention, la figure 12 a illustre la circulation des lignes de champ magnétique à l'intérieur du circuit magnétique, et la figure 12 b représente schématiquement les capteurs à effet Hall reliés à un circuit différentiel conformément à un mode de réalisation de l'invention. Sur la figure 4, on a représenté une vue en coupe d'un substrat semiconducteur 10, par exemple en silicium, dans lequel a été gravé un caisson Comme décrit par exemple dans le document EP-A-0 262 028, on fait croître au fond de ce caisson, par électrolyse, une couche magnétique horizontale 42 par exemple en Fe Ni formant une première pièce polaire du circuit magnétique. La première pièce polaire 42 est recouverte d'une couche isolante 44, par exemple en Si O 2. Les étapes suivantes du procédé de réalisation d'une tête magnétique conforme à l'invention sont décrites en relation avec la figure qui représente une coupe de la tête. Sur la première couche isolante 44 sont déposés, au voisinage et de préférence autour de chaque extrémité de la premi'ère pièce polaire 42, quatre plots conducteurs (seuls les plots 46, 48 et 54, 56 sont représentés sur la coupe) entourés des enroulements d'un bobinage conducteur Ce bobinage est formé de deux séries d'enroulements 62 a et 62 b reliées entre elles. L'ensemble est recouvert d'une deuxième couche isolante 64, par exemple en Si O 2, qui est gravée sélectivement de façon classique pour former deux ouvertures, en regard des extrémités de la première pièce polaire Ces ouvertures sont comblées, par dépôt électrolytique par exemple, pour former deux demi-piliers magnétiques 66, 68, par exemple en Fe Ni, affleurant la surface de la deuxième couche isolante 64. L'ensemble est recouvert par une couche isolante 70, par exemple en Si 02, d'épaisseur X de préférence faible, par exemple 0,2 micromètre. La figure 6 représente une vue de dessus partielle du dispositif après la réalisation des opérations précédemment décrites On voit sur cette figure que le demi-pilier 66 est entouré par les plots conducteurs 46, 48, 50, 52 et que le demi-pilier 68 est entouré par les plots conducteurs 54, 56, 58, 60. Les plots 48 et 54 intérieurs au circuit magnétique présentent une forme de bande allongée de manière à permettre une prise de contact sans avoir à traverser la première pièce polaire 42 comme on le verra plus précisément plus loin. Chaque série 62 a et 62 b du bobinage comporte une dizaine d'enroulements par exemple. La figure 7 montre le résultat des étapes suivantes du procédé de réalisation sur une vue en coupe Par photolithographie et gravure, des ouvertures sont pratiquées dans les couches isolantes 64 et Ces ouvertures atteignent les plots conducteurs 46, 48, 50, 52, 54, 56, 58, 60. On dispose sur l'ensemble une couche 72 de matériau à effet Hall, par exemple In Sb, d'épaisseur Y égale, par exemple, à 1 micromètre Ce dépôt s'effectue par exemple par pulvérisation cathodique. La forme des capteurs est définie par photolithographie et gravure Sur la figure 7, on a représenté le masque de résine 74, 76 permettant de définir la forme des capteurs lors de la gravure. La figure 8 représente schématiquement le résultat des étapes suivantes du procédé de réalisation Les capteurs 78 et 80 sont gravés de manière à être intégrés aux piliers magnétiques. Ils sont reliés aux plots conducteurs de part et d'autre des demi-piliers 66, 68. Une quatrième couche isolante 82, par exemple en Si O 2, d'épaisseur Z égale par exemple à 0,2 micromètre à l'aplomb des capteurs, est déposée sur l'ensemble. La figure 9 représente schématiquement une vue de dessus d'un capteur à effet Hall intégré dans un pilier magnétique. Le capteur 78 représenté présente des dimensions sensiblement supérieures à la section du demi-pilier 66 Le capteur 78 est en outre muni de pattes débordantes 84, 86, 88, 90 pour les contacts avec les plots conducteurs 46, 52, 48 et 50, respectivement. La figure 10 illustre schématiquement le résultat des étapes suivantes du procédé On réalise les demi-piliers supérieurs 92 et 94 à l'aplomb des demi-piliers 66 et 68 respectivement Les demi-piliers sont par exemple en Fe Ni. Ces demi-piliers 92 et 94 sont réalisés dans des ouvertures pratiquées dans une cinquième couche isolante 96 par exemple en Si O 2 déposée au préalable sur l'ensemble soit par pulvérisation cathodique par exemple de Fe Ni dans cette cinquième couche et surfaçage, soit par électrolyse. Dans ce dernier cas, on dépose par exemple au préalable sur la cinquième couche isolante munie de ces ouvertures, un matériau conducteur par exemple par pulvérisation cathodique puis on réalise une électrolyse du matériau magnétique choisi en utilisant le matériau conducteur comme électrode et on effectue enfin un surfaçage de l'ensemble afin de former les piliers. La hauteur totale L des piliers est égale par exemple à 10 micromètres. La figure 11 représente schématiquement en coupe, une tête magnétique conforme à l'invention à l'issue du procédé de réalisation. Une pièce polaire supérieure par exemple en Fe Ni en deux parties 98, 100 séparées par un espaceur amagnétique 102 est réalisée par exemple conformément à la technique décrite dans le document EP-A-O 262 028 (figures 5 j, 5 k, 51, 5 m). On voit sur la figure 11 que le substrat 10 et la première couche isolante 44 sont percés d'ouvertures (deux seulement référencées 104 et 106 sont visibles sur la vue en coupe) permettant l'accès aux plots conducteurs par l'arrière de la tête magnétique Ces ouvertures permettent de connecter de façon classique les capteurs 78, 80 d'une part à des moyens de traitement tels qu'un circuit différentiel et d'autre part à un circuit d'alimentation électrique. D'autres ouvertures 105 a et 105 b sont percées pour permettre la réalisation des liaisons entre le bobinage et des moyens d'alimentation (non représentés) Un exemple de réalisation de ces liaisons est décrit dans le document "Electrical connexion through silicon wafer" paru dans Journal of Electrochemical Society Fall Meeting, Chicago, 9 au 14 Octobre 1988. Les capteurs à effet Hall ne sont utilisés que pour la lecture d'un signal magnétique enregistré sur un support défilant parallèlement à la seconde pièce polaire horizontale. Comme on le voit sur la figure 12 a, les lignes de champ magnétique B issues du signal se referment à l'intérieur du circuit magnétique (formé par les pièces polaires et les piliers) en traversant les capteurs 78 et 80 dans des sens opposés. Comme on peut le voir sur la figure 12 b, les capteurs 78 et 80 sont alimentés en courant par des générateurs de courant 108, 110 respectivement reliés aux plots 50 et 58 Les plots 52 et 60 sont mis à la masse. La tension Hall due à la traversée des capteurs par les lignes du champ magnétique B est mesurée entre les plots 46, 48 pour le capteur 78 et 54, 56 pour le capteur 80 Ces tensions comprennent chacune une composante Hall due à la traversée des capteurs par les lignes de champ magnétique. Les tensions comprennent aussi une composante due au bruit qui s'ajoute à la composante Hall de l'un des capteurs et qui se retranche à la composante Hall de l'autre des capteurs. La tension Hall délivrée par le capteur est appliquée sur les entrées (+) d'un circuit différentiel 112 La tension Hall délivrée par le capteur 78 est appliquée sur les entrées (-) de ce circuit 112 Ce dernier délivre un signal de sortie 1 1 VS ayant non seulement une amplitude double des signaux délivrés par chaque capteur mais aussi débarrassée de tout bruit et en particulier de toute dérive thermique ou autre éliminée lors de la différentiation. Ces composantes Hall sont égales mais de signes opposés. La tête magnétique à effet Hall conforme à l'invention permet donc bien d'obtenir un signal de lecture d'amplitude importante et débarrassé des bruits dûs aux dérives A titre d'exemple, on peut citer les caractéristiques suivantes: Sensibilité à un champ magnétique des capteurs à effet Hall en couches minces: environ 40 m V/m A k Gauss. Amplitude du champ traversant les entrefers secondaires formés au niveau des capteurs à effet Hall: environ + 10 Gauss (avec une polarisation usuelle des capteurs de 2 m A). Tension Hall recueillie aux bornes d'un capteur: environ 1,4 m Vpp. Amplitude du signal de lecture après différentiation Vs: environ 2,8 m Vpp. Ce dernier chiffre représente un gain d'environ 20 par rapport aux têtes inductives utilisant un bobinage de lecture En outre, lorsque la tête est utilisée pour l'écriture, l'invention utilise un bobinage, de préférence à faible nombre de tours (par exemple 10) pour obtenir un circuit magnétique réduit afin de compenser les pertes d'efficacité de la tête à l'écriture dues aux entrefers secondaires réalisés dans les piliers pour incorporer les capteurs à effet Hall. Il va de soi que l'invention ne se limite nullement à l'exemple de réalisation plus spécialement décrit et représenté; elle en admet au contraire toutes les variantes En particulier dans l'exemple de réalisation présenté ci-dessus, la tête magnétique à effet Hall est utilisable pour la lecture mais aussi pour l'écriture grâce au bobinage 62 a, 62 b. Pour obtenir une tête de lecture seule, il suffit d'omettre ce bobinage lors du procédé de réalisation. Par ailleurs, les dépôts des divers matériaux magnétiques sont ici de type électrolytique mais on peut utiliser tout autre type de dépôt. Enfin, le dispositif présenté comporte deux capteurs à effet Hall (un dans chaque pilier) mais un dispositif ne comportant qu'un seul capteur à effet Hall intégré dans l'un des deux piliers appartient au cadre de la présente invention. Revendications 1 Tête magnétique horizontale à effet Hall comprenant, contenus dans un caisson formé dans un substrat semiconducteur ( 10), une première pièce polaire horizontale ( 42), une seconde pièce polaire horizontale en deux parties ( 98, 100) séparées par un espaceur amagnétique ( 102), un premier pilier magnétique ( 66, 92) reliant la première pièce polaire ( 42) à une partie ( 98) de la seconde pièce polaire, un second pilier magnétique ( 68, 94) reliant la première pièce polaire ( 42) à l'autre partie ( 100) de la seconde pièce polaire, caractérisée en ce qu'au moins un des piliers comporte un capteur à effet Hall ( 78, 80). 2 Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce que chaque pilier comporte un capteur à effet Hall, ces capteurs ( 78, 80) sont connectés par des sorties aux entrées d'un circuit différentiel ( 112) délivrant un signal de lecture sur une sortie. 3 Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend, en outre, un bobinage conducteur ( 62 a, 62 b) entourant les deux piliers magnétiques. 4 Procédé de réalisation d'une tête magnétique horizontale à effet Hall conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations suivantes: à l'intérieur d'un caisson formé dans un substrat semiconducteur ( 10), on forme la première pièce polaire horizontale ( 42) , on dépose une première couche isolante ( 44), on forme quatre plots conducteurs ( 46, 48, 50, 52, 54, 56, 58, 60) au voisinage d'au moins une des extrémités de la première pièce polaire horizontale ( 42), ces plots étant aptes à être connectés à l'extérieur du substrat, on dépose une deuxième couche isolante ( 64) sur l'ensemble, on grave dans l'ensemble des couches isolantes ( 44, 64) deux ouvertures atteignant les extrémités de la première pièce polaire horizontale, on comble ces ouvertures avec un matériau magnétique pour constituer deux demi-piliers magnétiques ( 66, 68) affleurant la surface de la seconde couche isolante ( 64), on dépose une troisième couche isolante ( 70) sur l'ensemble, on grave dans les deuxième et troisième couches isolantes ( 64, 70) des ouvertures atteignant les plots conducteurs ( 46, 48 50, 52, 54, 56, 58, 60), on dépose sur l'ensemble une couche ( 72) de matériau à effet Hall, on grave cette couche ( 72) de matériau à effet Hall de manière à définir la forme de chacun des capteurs à effet Hall ( 78, 80), on dépose une quatrième couche isolante ( 82) sur l'ensemble, on réalise deux demi-piliers magnétiques noyés ( 92, 94) dans une cinquième couche isolante, ces demipiliers ( 92, 94) se situant à l'aplomb des demi-piliers ( 66, 68) déjà formés, on réalise la seconde pièce polaire magnétique horizontale ( 98, 100 102) noyée dans une sixième couche isolante. 5 Procédé selon la revendication 4, caractérisé par le fait qu'on constitue en outre un bobinage ( 62 a, 62 b) conducteur entourant les deux piliers magnétiques lors de l'étape de réalisation des plots conducteurs.