FR 2656698 A1 19910705 FR 8917551 A 19891229 DISPOSITIF DE MESURE DES VARIATIONS DE LA CAPACITE D'UN CONDENSATEUR FORMANT, NOTAMMENT, UN CAPTEUR La présente invention concerne Le domaine technique des dispositifs de mesure au sens général, adaptés pour déterminer les variations de capacité d'un condensateur à caractère variable. L'invention trouve une application particulièrement avantageuse pour la mesure des variations de capacité d'un condensateur formant un capteur de grandeurs mécaniques, telles que force, accélération ou pression. L'art antérieur a déjà proposé de nombreux dispositifs de mesure qui, par La détection des variations de capacité, permet la délivrance d'un signal électrique représentant la grandeur mesurée. Un tel signal est destiné à être appliqué à des chaînes électroniques de traitement afin d'assurer, par exemple, des contrôles, mesures, régulation ou asservissement automatiques. De tels dispositifs de mesure sont constitués classiquement par un circuit électrique appelé conditionneur, associé directement au capteur capacitif pour délivrer le signal électrique traduisant les variations de capacités du capteur, liées aux évolutions de la grandeur physique à mesurer. Ces dispositifs de mesure de la capacité d'un capteur comportent généralement aussi un circuit de linéarisation associé au conditionneur, pour permettre de corriger le défaut de linéarité du capteur ou éventuellement, également, du conditionneur utilisé, lorsque ce ou ces derniers présentent, dans leur domaine d'emploi, des écarts à la linéarité interdisant de considérer la sensibilité comme constante, en relation de La précision exigée des mesures.Le défaut de linéarité intervient, par exemple, lors de la mise en oeuvre d'un capteur capacitif constitué sous la forme d'une poutre en porte-à-faux comportant un élément sensible formant une armature mobile placée en relation de distance d'une armature fixe présentée par un support de fixation de l'élément sensible. Il doit tout d'abord être constaté que les conditionneurs actuellement utilisés mettent en oeuvre des composants interdisant leur intégration sur un circuit et se trouvent destinés à fonctionner dans une gamme de température très réduite. Par ailleurs, un premier type de circuits de linéarisation fait appel à des techniques numériques de linéarisation nécessitant la mise en oeuvre d'un convertisseur analogique-numérique. une mémoire affectant une valeur mémorisée à chaque valeur du signal électrique utilisé comme adresse de la mémoire, et un convertisseur numérique-analogique. De mise en oeuvre simple et rapide, ces circuits de linéarisation sont peu économiques car la précision est directement Liée à la capacité de la mémoire. Un second type de circuits de linéarisation fait appel à des techniques analogiques mettant en oeuvre des dipodes. L'utilisation de tels circuits est en pratique Limitée à la linéarisation d'un signal électrique dont la courbe de variation présente une inflexion de sens prédéterminée et unique. La présente invention vise donc à remédier aux inconvénients énoncés ci-dessus, en proposant un dispositif de mesure des variations de la capacité d'un condensateur, présentant une bonne insensibilité aux capacités parasites et aux perturbations électriques et autorisant sa miniaturisation sur un circuit intégré. L'objet de L'invention vise aussi à offrir un dispositif de mesure adapté pour corriger le défaut de linéarité d'un signal électrique dont la loi de variation présente des inflexions de sens variées. L'objet de L'invention vise également à proposer un dispositif de mesure qui, adapté pour corriger le défaut de linéarité intervenant entre le signal électrique dé livré et les variations de la capacité du capteur, présente un coût relativement réduit. Pour atteindre les objectifs énoncés ci-dessus, le dispositif selon L'invention pour mesurer les variations de la capacité d'un condensateur variable constitutif notamment d'un capteur comporte : - un oscillateur générant un signal alternatif, - un pont de détection comportant une première et une seconde branches reliées à l'oscillateur, la première branche comportant le condensateur variable monté en série avec une diode à capacité variable, tandis que la seconde branche comporte un condensateur monté en série avec une diode à capacité variable, - un étage différentiel dont chaque entrée est reliée au point commun d'une branche, situé entre un condensateur et une diode à capacité variable, - un circuit de polarisation en continu du point commun de la seconde branche permettant de fixer le point d'équilibre du pont de détection, - et une ligne de contre-réaction injectant le signal de sortie délivré par L'étage différentiel, au point commun de la première branche pour assurer un rééquilibrage continu du pont de détection et, par suite, une mesure continue de la variation de la capacité du condensateur variable. Selon une caractéristique avantageuse, te dispositif de mesure seLon L'invention comporte un circuit de linéarisation du signal de déséquilibre du pont de détection comprenant - n unités différentielles à seuil recevant chacun, en entrée, le signal de déséquilibre et une tension de référence et délivrant, chacun en sortie, un courant dont la loi de variation comprend une partie à pente nulle raccordée à une partie à pente déterminée, par l'intermédiaire d'un point anguleux défini par la tension de référence, - et n moyens de combinaison des courants issus des unités différentielles, de manière à obtenir un signal résultant à points anguleux multiples, qui, combiné au signal de déséquilibre, permet la linéarisation de ce dernier. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de L'objet de L'invention. La fig. 1 est un schéma électrique montrant un exemple de réalisation du dispositif de mesure selon L'invention. La fig. 2 est une courbe montrant l'allure du signal électrique délivré en un point caractéristique du dispositif de mesure selon L'invention. La fig. 3 est un schéma électrique montrant un détail caractéristique du dispositif de linéarisation selon L'invention. Les fig. 4A à 4E sont des courbes illustrant le principe de fonctionnement du circuit de linéarisation selon L'invention. La fig 5 illustre un schéma électrique d'un détail caractéristique de L'invention La fig. 1 illustre un exemple de réalisation d'un dispositif de mesure adapté pour déterminer les variations de capacité d'un condensateur 1 à caractère variable. Avantageusement, le condensateur 1 constitue un capteur capacitif de grandeurs mécaniques, telles que force, pression ou accélération. Selon un exemple préféré de réalisation, le capteur capacitif se présente sous la forme d'une poutre en porte-à-faux, réalisée en un substrat semi-conducteur monolithique et comportant au moins un élément flexible d'épaisseur déterminée, rattaché à un pied d'ancrage sur le substrat. L'élément flexible détermine une armature mobile du condensateur variable dont L'armature fixe est constituée par une zone conductrice formée dans le substrat. Le dispositif de mesure selon L'invention vise à détecter les variations de capacité du condensateur i, permettant la délivrance d'un signal électrique représentatif de la grandeur mesurée. A cet effet, le dispositif de mesure comporte un oscillateur 2 générant un signal alternatif par exemple du type carré, de fréquence de L'ordre du Megahertz et d'amplitude de L'ordre de quelques volts. Le dispositif de mesure comporte un pont de détection 3 formé par une première 3a et une seconde 3b branches reliées à l'oscillateur 2 et à la masse. La première branche 3a est composée par le condensateur 1 monté en série avec une diode 5 à capacité variable. La diode 5 est polarisée de maniére à se comporter comme un condensateur dont La capacité est apte à être commandée par une tension. A cet effet, L'anode de la diode 5 est reliée en un point commun A, à une armature du condensateur 1. La seconde branche 3b est formée par un condensateur 6 monté en série avec une diode 7 à capacité variable identique à la diode 5. Le point commun B entre le condensateur 6 et L'anode de la diode 7 est relié, par L'intermédiaire d'une résistance 9 de polarisation en continu, à un circuit 10 de polarisation en continu du point B et, par suite de la diode 7, permettant de fixer le point d'équilibre du pont de détection. Le circuit de polarisation 10 est apte à dé Livrer une tension de référence Vref, de préférence ajustable, et formé par exemple par un pont diviseur composé de résistances 7a, 7b. Il est à noter que la tension variable est choisie de manière que l'amplitude du signal variable aux points A, B soit faible par rapport à celle de la tension de référence. De plus, Le condensateur 6 peut constituer aussi un capteur à capacité variable, permettant la détection différentielle de capacités. Les points communs A et B des première et seconde branches 3a, 3b, sont reliés à L'entrée d'un étage différentiel 12, par l'intermédiaire respectivement d'un condensateur de liaison 13, 14 adapté pour couper la composante continue du signal provenant du pont de détection. Avantageusement, L'étage différentiel 12 est constitué par un amplificateur dont L'entrée non inverseuse est reliée au point commun B, tandis que L'entrée inverseuse est reliée au point A. L'amplificateur 12 est relié à un circuit 15 de détection synchrone du signal, recevant l'information de synchronisation à partir de L'osciLLateur 2. Le circuit de détection synchrone 15, réalisé de manière connue, est connecté à un filtre passe-bas 16 de fréquence de coupure adaptée, de L'ordre de par exemple 50 Hertz. La sortie du filtre 16 est reliée au point commun A de la première branche, par une ligne de contre-réaction 17 dans laquelle est montée une résistance 18 de polarisation en continu de la diode 5. La contre-réaction du pont de détection 3, au niveau de la branche qui comporte la capacité variable, permet d'assurer un rééquilibrage continu du pont de détection.Ainsi, le signal Ve délivré par le filtre 16 tel qu'illustré à la fig 2 correspond au signal de déséquilibre du pont qui permet ainsi de mesurer en continu la variation de la capacité du condensateur variable 1. Avantageusement, le filtre 16 est suivi par un circuit 21 de linéarisation du signal Ve de déséquilibre du pont, adapté pour corriger le défaut de linéarité du capteur 1 et des diodes 5 et 7. Le circuit de linéarisation 21, selon l'invention, comporte au moins une, et dans l'exemple illustré à la fig. 3, quatre unités U1 - U4 différentielles à seuil, comportant chacune une première entrée 22 recevant le signal de déséquilibre Ve et une seconde entrée 23 présentant une tension de référence respectivement Vr1 à Vr4. Chaque unité U1 - U4 délivre respectivement un courant de sortie Il - 14 dont la toi de variation comporte une partie à pente nulle raccordée, à une partie à pente déterminée, par l'intermédiaire d'un point anguleux défini pour la tension de référence correspondante. Tel que cela apparaît plus précisément aux fig. 4A et 4B, au moins une et, par exempte, deux unités différentielles U1, U2 délivrent chacune un courant de sortie Il, I2 dont la loi de variation comprend une partie N à pente nulle pour une va leur du signal de déséquilibre Ve, inférieure à celle de la tension de référence Vr1, Vr2 correspondante, et une partie P à pente déterminée, pour une valeur du signal Ve supérieure à celle de la tension Vr1, Vr2 qui correspond au point anguleux de la courbe. Avantageusement, le circuit de linéarisation peut comporter également au moins une et, dans l'exemple illustré, deux unités différentielles U3, U4 délivrant, conformément aux fig. 4C-4D, un signal de sortie 13, 14 dont la loi de variation comprend une partie à pente nulle N pour une va leur du signal de déséquilibre supérieure à celle de la tension de référence Vr3, Vr4, et une partie à pente déterminée P, pour une va leur du signal de déséquilibre inférieure à celle de la tension de référence correspondante. Il est à noter que la partie plane M de la courbe prolongeant la partie à pente P, n'est pas utilisée pour L'objet de L'invention. La fig. 3 illustre un exemple de réalisation des unités différentielles à seuil U1-U4 aptes à délivrer un signal de sortie affectant les caractéristiques énoncées ci-dessus. Chaque unité différentielle U1, U2 comporte un transistor T1 du type NPN, dont la base reçoit le signal de déséquilibre Ve. L'émetteur du transistor T1 des unités différentielles U1, U2 est connecté, par l'intermédiaire d'une résistance 251 252 à L'émetteur d'un transistor T2 du type NPN. L'émetteur du transistor T2 est connecté par L'intermédiaire d'une résistance 26 à la masse, tandis que le collecteur de ce transistor T2 est reliée à une tension de polarisation. La base du transistor T2 de chaque unité U1, U2 reçoit le signal de référence Vr1, Vr2 correspondant qui est délivré, par exemple, par un pont diviseur de tension formé par des résistances 27, 28, 29. Le fonctionnement de chaque unité différentielle découle directement de la description établie ci-dessus. Si le signal Ve présente une va leur de tension inférieure à une tension de référence Vr1, Vr2, Le transistor T1 correspondant est bloqué, de sorte que le courant Il, I2 sortant du collecteur du transistor est nul. Si la tension Ve présente une va leur supérieure à une tension de référence Vr1, Vr2, le collecteur du transistor T1 débite un courant tel que Il = (Ve - Vr1) / R251 et I2 = (Ve - Vr2) / R252 Il est à noter que la pente de la courbe de variation du courant Il, I2 (fig. 4A, 4B) est déterminée par la va leur R251 - R252 de la résistance correspondante 251 252. De plus, le point anguleux de cette courbe est directement défini pour la tension de référence Vr1, Vr2. Tel que cela apparaît plus précisément à la fig. 3, chaque unité différentielle U3, U4 comporte un transistor T3 dont La base reçoit le signal de référence Vr3, Vr4 correspondant qui est délivré, par exemple, par un pont diviseur 30, 31, 32. L'émetteur du transistor T3 des unités différentielles U3, U4 est relié à L'émetteur d'un transistor T4, par l'intermédiaire d'une résistance 333, 334. L'émetteur du transistor T4 est relié à une résistance 35 connectée à la masse, tandis que le collecteur du transistor T4 est relié à une tension de polarisation. La base du transistor T4 reçoit le signal de déséquilibre Ve. Si le signal Ve présente une va leur de tension supérieure à la tension de référence Vr3, Vr4, le transistor T3 est bloqué, de sorte que le courant I3, 14 sortant du collecteur du transistor T3 est nul (fig 4C, 4D). Si la tension Ve présente une valeur inférieure à celle de la tension de référence Vr3, Vr4, le transistor T3 est conducteur et débite un courant I3 = car3 - Ve) / R333 et 14 = (Vr4 - Ve) / R334 La pente de la loi de variation des courants I3, I4 peut donc être adaptée en fonction du choix de La va leur R333, R334 des résistances 333, 334. De même, le point anguleux de cette loi se trouve directement déterminé par les tensions de référence Vr3, Vr4. Tel que cela apparaît plus précisément à La fig 3, chaque unité différentielle U1, U4 est associée à un moyen 38 de combinaison des courants I1, I4 issus des unités différentielles, de manière à obtenir un courant résultant I, image de tous les courants délivrés par les unités différentielles. Dans l'exemple illustré, les moyens de combinaison 38 sont constitués chacun par un miroir de courant et se trouvent associés ensemble pour additionner les courants Il à 14 et obtenir un courant résultant I dont la loi de variation est illustrée à la fig. 4E. A titre d'exemple, chaque miroir de courant 38 comporte un transistor T5 de type PNP dont le collecteur est relié à sa base et au collecteur du transistor T1. L'émetteur du transistor T5 est pourvu d'une résistance 41 de polarisation, tandis que ta base du transistor T5 est reliée à la base d'un transistor T6 dont L'émetteur est connecté à une résitance de polarisation 42. Le collecteur du transistor T6 est relié à une ligne collectrice 43 connectée aux-collecteurs des transistors T6 des autres miroirs de courant 38.Il est à noter que le choix des résistances 41, 42 permet de régler la pente de la loi de variation des courants I -I 1 4 Le courant résultant I peut alors traverser une résistance Rs de manière à obtenir, en combinaison avec le signal Ve, un signal de sortie linéarité Vs, tel que Vs = Ve + Rs.I Le circuit de linéarisation selon L'invention permet ainsi d'assurer une linéarisation d'un signal électrique dont la loi de variation présente des inflexions de sens contraire, tel que cela apparaît clairement à la fig. 2. Bien entendu, le circuit de tinéarisation selon L'invention peut comporter, d'une manière générale, n unités différentielles à seuil U, associées chacune à un moyen de combinaison 38. Le nombre d'unités différentielles est choisi en fonction de la précision de linéarisation à obtenir. De plus, le type d'unités différentielles, utilisées individuellement ou en combinaison, est déterminé en fonction du signal à linéariser. La linéarisation effectuée par le circuit peut être réglée en choisissant des valeurs adaptées pour les résistances 251, 252, 333, 334, 41 et 42 ainsi que pour les tensions de référence Vr. Le circuit de linéarisation selon L'invention présente manifestement un coût limité tout en présentant une possibilité de réglage analogique du signal. De plus, il est à noter que le dispositif de mesure dans son ensemble, à savoir Le pont de détection et le circuit de linéarisation, est formé à partir de composants pouvant être réalisés sur un circuit intégré. Il doit être considéré, par ailleurs, que le signe de la pente du courant résultant I peut être modifié, si les moyens de combinaison 38 assurent non pas une addition, mais une soustraction des courants délivrés par les unités différentielles à seuil. A cet effet, tel que cela apparaît plus clairement à la fig 5, le collecteur du transistor T6 est relié au collecteur d'un transistor T7 dont L'émetteur est reliée à la masse par l'intermédiaire d'une résistance 44. La base du transistor T7 qui est relié à son collecteur, est connectée à la base d'un transistor T8 dont L'émetteur est relié à la masse grâce à une résistance 45. Le collecteur du transistor T8 est relié à la ligne collectrice 43 à partir de laquelle les courants Il - 14 sont soustraits. Il est à noter que la pente de la loi de variation des courants peut être adaptée en fonction des résistances 44, 45. L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés, car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1 - Dispositif de mesure des variations de la capacité d'un condensateur variable constitutif, notamment, d'un capteur, caractérisé en ce qu'il comporte - un oscillateur (2) générant un signal alternatif, - un pont de détection (3) comportant une première (3a) et une seconde (3b) branches reliées à l'oscillateur, la première branche comportant un condensateur variable (1) monté en série avec une diode (5) à capacité variable, tandis que la seconde branche comporte un condensateur (6) monté en série avec une diode (7) à capacité variable, - un étage différentiel (12) dont chaque entrée est reliée au point commun d'une branche, situé entre un condensateur et une diode à capacité variable, - un circuit de polarisation (10) en continu du point commun de la seconde branche (3b) permettant de fixer le point d'équilibre du pont de détection, - et une ligne de contre-réaction (17) injectant le signal de sortie délivré par L'étage différentiel, au point commun de la première branche (3a) pour assurer un rééquilibrage continu du point de détection et, par suite, une mesure continue de ta variation de La capacité du condensateur variable. 2 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que L'étage différentiel (12) est suivi par un circuit de détection synchrone (15) relié à l'oscillateur, permettant de mesurer L'ampLitude de la variation de la capacité du condensateur variable. 3 - Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le circuit de détection synchrone (15) est relié à un filtre passe-bas (16) délivrant un signal de déséquilibre (Ve) du pont de détection. 4 - Dispositif selon les revendications 1 et 3, caractérisé en ce que le signal de sortie de contre-réaction correspond au signal de déséquilibre (Ve) du pont de détection. 5 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque entrée de L'étage différentiel (12) est reliée au point commun d'une branche par L'intermédiaire d'un condensateur de liaison (13, 14). 6 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les points communs des branches sont reliés respectivement au circuit de polarisation (10) et à la contre-réaction (17), par L'intermédiaire de résistances (9, 18) de polarisation des diodes à capacité variable. 7 - Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que le filtre passe-bas est relié à un circuit (21) de linéarisation du signal de déséquilibre du pont de détection, comportant - n unités différentielles (U1 - Un) à seuil recevant chacun, en entrée, le signal de déséquilibre et une tension de référence (Vr) et délivrant chacun en sortie un courant (I1, In) dont la loi de variation comprend une partie (N) à pente nulle, raccordée à une partie (P) à pente déterminée, par l'intermédiaire d'un point anguleux défini par la tension de référence, - et n moyens (38) de combinaison des courants issus des unités différentielles, de manière à obtenir un signal résultant (I) à points anguleux multiples, qui, combiné au signal de déséquilibre, permet la tinéarisation de ce dernier. 8 - Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'au moins une unité différentielle délivre un courant de sortie (I1, I2 .,,) dont la loi de variation comprend une partie à pente nulle (N) pour une valeur du signal de déséquilibre (Ve) inférieure à celle de la tension de référence (Vr) et une partie à pente déterminée (P) pour une valeur du signal de déséquilibre (Ve) supérieure à celle de la tension de référence. 9 - Dispositif selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce qu'au moins une unité différentielle délivre un courant de sortie (I1, I2 ...) dont la loi de variation comprend une partie à pente nulle (N) pour une va leur du signal de déséquilibre (Ve) supérieure à celle de la tension de référence et une partie à pente déterminée (P) pour une va leur du signal de déséquilibre (Ve) inférieure à celle de la tension de référence (Vr). 10 - Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que chaque unité différentielle est constituée par un premier transistor (T1) comportant une base reliée à la tension de référence et un émetteur relié par L'intermédiaire d'une résistance (25î, 252 ...) à L'émetteur d'un second transistor (T2) dont la base reçoit le signal de déséquilibre (Ve), tandis que le collecteur délivre le courant de sortie (I1, I2 .). Il - Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que chaque unité différentielle est constituée par un premier transistor (T3) comportant une base recevant le signal de déséquilibre et un émetteur relié par l'intermédiaire d'une résistance (333, 334 ...), à L'émetteur d'un second transistor (T4) dont la base est reliée à la tension de référence tandis que le collecteur délivre le courant de sortie (13, 14 ...). 12 - Dispositif selon la revendication 10, 11, caractérisé en ce que les résistances d'émetteur (25î, 252 333, 334 ..., 41, 42) déterminent la pente (P) de la loi de variation du courant de sortie des unités analogiques. 13 - Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que chaque moyen de combinaison (38) est formé par un miroir de courant. 14 - Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que Les miroirs de courant (38) assurent une soustraction des courants de sortie délivrés par les unités analogiques. 15 - Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que les miroirs de courant (38) assurent une addition des courants de sortie délivrés par les unités analogiques. 16 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le condensateur (6) est de nature variable pour assurer une détection différentielle de capacités.