FR 2642225 A1 19900727 FR 8900809 A 19890124 1DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR INTEGRE INCLUANT UN CIRCUIT DOUBLEUR DE FREQUENCES" DescriPtion L'invention concerne un dispositif semiconducteur intégré incluant un circuit doubleur de fréquences comprenant au moins un transistor à effet de champ à grille isolée et des moyens de polarisation de ce transistor. L'invention trouve son application dans la réalisation de circuits intégrés analogiques incluant un doubleur de fréquences et présentant une haute densité d'intégration. L'invention trouve son application tout particulièrement dans les circuits intégrés réalisés au moyen de technologies mettant en oeuvre des matériaux semiconducteurs du groupe III-V. Les propriétés d'un transistor à effet de champ à grille isolée sont connues par exemple de la publication intitulée #New Negative Resistance Regime of Heterostructure Insulated Gate Transistor Operation" par Michaël F.SHUR and alii, dans -"IEEE Electron Device Letters, Vol.EDL-7, N02, February 19861. Ce document décrit l'effet de résistance différentielle négative de drain qui apparaît dans un transistor présentant un canal de type N avec une hétérostructure GaAs-GaAlÂs et une grille isolée, à polarisation de grille élevée et constante. La structure de ce transistor comprend une couche de GaAs non-intentionnellement dopée, d'épaisseur 0,5 pm, réalisée sur un substrat de GaAs semi-isolant, suivi d'une couche de GaAlAs non-intentionnellement dopée, comme couche d'isolation de grille, sur laquelle le contact de grille en WSi est réalisé. Des régions de source et drain sont délimitées de part et d'autre de la grille par implantation localisée d'ions Si pour les régions N et Mg pour les régions P. Les contacts ohmiques sur les régions N+ sont formés par des métallisations de Au-Ge-Ni. Le dispositif est isolé par implantation de protons. La grille présente une longueur de 1,3 pm et une largeur de 10 pm. Ce dispositif présente pour une tension grillesource fixe de valeur élevée, une décroissance du courant drain-source lorsque la tension drain-source varie de 0,8 à 1,25 V. Puis, pour la même tension grille-source fixe, lorsque la tension drain-source varie de 1,25 V à des valeurs supérieures, le courant drain-source augmente. Ces variations du courant drain-source en fonction de la tensiondrain-source, à tension grille-source constante et élevée conduisent donc à l'observation d'une résistance négative de drain en régime de saturation. Cet effet est dû à un transfert spatial des porteurs du canal collectés par la grille. Les propriétés d'un transistor à effet de champ à grille isolée sont aussi connues de la publication intitulée ~Excess Gate Current Due to Hot Electrons in GaAs-Gate FRETS par D.J.FRANK and alii, dans International Conference on High Speed Electronics, Stockholm, August 7-9, 1986, p. 140-143". Ce document décrit l'effet de résistance différentielle négative qui apparaît dans un transistor à effet de champ présentant une grille en GaAs de type N+, une couche de GaAlAs agissant comme une couche d'isolement de grille, et une couche de GaAs non dopée pour former le canal. Ce document enseigne que le phénomène de résistance négative est causé non pas comme dans le document précédent par un. transfert spatial d'électrons, mais essentiellement par les résistances d'accès du dispositif. Ainsi, lorsque le courant passe à travers la jonction, il passe aussi dans les résistances d'accès, lesquelles diminuent la tension intrinsèque aux bornes de la jonction. Ce document apporte la preuve de la cause de cet effet en remontant aux caractéristiques intrinsèques, montrant alors la disparition de l'effet de résistance négative. Il est en outre connu de l'état de la technique de réaliser un multiplieur de fréquences au moyen d'un transistor à électrons chauds résonnants. Un tel transistor est par exemple connu de la publication intitulée ZA New Functional Resonant-tunneling Hot Electron Transistor" par NAOKI YOKOYAMA and alii dans "Japanese Journal of Applied Physics, Vol.24, N011, November 1985, pp.L853 L854". Ce document décrit tout d'abord un transistor à électrons chauds résonnants, formé d'une couche collecteur, d'une couche barrière de collecteur, d'une couche de base, avec un contact de base, et d'une partie consacrée à former un puits quantique comprenant une alternance de couches de GaAlAs/GaAs, chacune d'une épaisseur de l'ordre de 50 angströms, d'une couche d'émetteur et d'un contact d'émetteur.Le contact de collecteur est pris sur la face arrière de la couche de collecteur. Le puits quantique disposé entre la base et l'émetteur possède des niveaux d'énergie discrets des porteurs. En modifiant la polarisation émetteur-base, on peut égaliser l'énergie des niveaux du puits avec celle du bas de la bande de conduction du matériau de l'émetteur. Par cette méthode, la caractéristique du courant en fonction de la tension de la jonction base-émetteur présente un pic. Ce dispositif connu est utilisé pour réaliser un multiplieur de fréquence. Il présente cependant à cet effet plusieurs inconvénients. Tout d'abord, ce dispositif connu ne fonctionne qu'à la température de l'azote liquide (77ex). Ensuite, sa structure est très compliquée. En effet, il est relativement difficile de réaliser des couches aussi peu épaisses que 50 angströms, ces couches étant nécessaires à la formation du puits quantique. De plus, la multiplication de fréquence est obtenue en polarisant le dispositif autour de son pic de courant. Comme il s'agit d'une discontinuité, il apparaît une transition abrupte sur le signal de sortie, qui correspond à un spectre très riche en de multiples harmoniques. Donc si l'on désire obtenir un signal plus pur, il est indispensable de filtrer ce signal avant de pouvoir l'utiliser. Selon l'invention, ces inconvénients sont évités au moyen d'un dispositif tel que défini dans le préambule et caractérisé en ce que pour former le circuit doubleur de fréquence, ces moyens de polarisation sont tels que la composante continue d'un signal d'entrée hyperfréquences, appliquée sur la grille du transistor atteint une valeur appropriée à produire un maximum de la caractéristique du courant drain-source en fonction de la tension grille-source, le signal de sortie de fréquence double de celle du signal d'entrée étant prélevée sur le drain du transistor. Selon l'invention, l'effet utilisé n'est pas comme dans le premier document cité, la résistance différentielle négative de drain due à l'effet de transfert spatial de porteurs, ni comme dans le second document cité, la résistance différentielle négative due aux résistances d'accès, mais la transconductance négative qui apparaît à tension drain-source constante pour des valeurs de la tension grille-source supérieures à la valeur de cette tension grille-source qui produit un maximum du courant drain-source. Le circuit doubleur de fréquence selon l'invention procure, entre autres, les avantages suivants - il ne comprend qu'un seul transistor - il est donc très compact - il fonctionne à température ambiante et non pas & température de l'azote liquide comme le dispositif connu de l'état de la technique - il fournit un signal de sortie qui ne nécessite pas de filtre car il est quasiment parfait, contrairement à ce dispositif connu de l'état de la technique. Dans une réalisation, les moyens de polarisation incluent la connexion directe de la source du transistor à la .asse et la connexion de son drain à une tension continue positive à travers une charge résistive. Dans cette réalisation, le circuit selon l'inven- tion occupe très peu de surface, présente une très faible consommation, et est particulièrement favorable à l'obtention de circuits intégrés à forte densité d'intégration. Dans une réalisation particulière, le transistor à grille isolée est a hétérojonction. Dans cette réalisation, sa mise en oeuvre est simple. Elle ne nécessite pas notamment l'empilement de couches très fines préconisé par le troisième document cité, et qui était difficile à réaliser. Dans une réalisation préférentielle, ce dispositif est caractérisé en ce que l'hétérojonction est formée d'une hétérostructure de composés ternaire et binaire de matériaux semiconducteurs du groupe III-V. Dans cette réalisation, du fait des matériaux choisis, de très hautes fréquences peuvent être atteintes. Dans une réalisation particulière, le transistor comprend, réalisé sur un substrat en GaAs semi-isolant, une couche tampon en GaAs, une couche de GaAs non dopée intentionnellement suivie d'une couche de GaAlAs non dopée intentionnellement pour former l'hétérostructure, ces couches étant surmontées d'une couche de GaAs non dopée intentionnellement pour protéger la couche supérieure de l'hétérostructure, un contact de grille disposé sur cette couche supérieure et de part et d'autre de la grille des régions de source et de drains délimitées par des implantations sélectives de type N+ des contacts ohmiques étant formés sur ces régions de type N+ pour réaliser les électrodes de source et de drain respectivement. Dans une réalisation le métal pour former le contact de grille est choisi parmi WN et WSi et l'alliage pour former les contacts ohmiques est composé de Au-Ge-Ni. Dans cette réalisation le transistor est particulièrement performant. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description suivante illustrée par les figures annexées dont - la figure 1 qui représente un transistor à effet de champ à grille isolée à hétérojonction favorable à la mise en oeuvre de l'invention - les figures 2a à 2c qui illustrent les niveaux d'énergie dans un tel transistor en fonctionnement - la figure 3 qui donne la caractéristique du courant drain-source à saturation en fonction de la tension grille-source - la figure 4a qui donne en statique la courbe de la tension de sortie en fonction de la tension grille-source - la figure 4b qui montre un schéma d'un circuit approprié à obtenir le résultat de l'invention - la figure 4c qui montre la forme du signal de sortie obtenu avec le dispositif de la figure 4b lorsque un signal sinusoïdal est appliqué à l'entrée. La figure 1 montre un transistor à effet de champ à grille isolée à hétérojonction de structure appropriée à la aise en oeuvre de l'invention. Tel que représenté sur la figure 1, ce transistor comprend, réalisé sur un substrat binaire 10 une couche tampon binaire 2 puis une hétérostructure formée d'une couche binaire non-intentionnellement dopée 3, surmontée d'une couche ternaire non-intentionnellement dopée 4. La structure de ce transistor comprend aussi une couche supérieure de protection 5 en un matériau binaire non-intentionnellement dopé. Les couches binaires seront favorablement en un composé semiconducteur du groupe III-V telles que l'arséniure de gallium (GaAs) et les couches ternaires en un composé semiconducteur III-V d'arséniure de gallium et d'aluminium Ce dispositif comporte aussi à sa surface supérieure un contact de grille 20, en un métal choisi favorablement parmi les métaux réfractaires tels que WN ou WSi ou bien en un semiconducteur très dopé, tel que l'arséniure de gallium fortement dopé. Ce dispositif comporte en outre de part et d'autre de la grille 20, une électrode de source 21 et une électrode de drain 22 réalisées sur des caissons 41 et 42 fortement dopés qui délimitent les régions de source et de drain. Un procédé de réalisation pour mettre en oeuvre un tel transistor est notamment connu de la publication intitulée ~High Performance WN-gate MISFETs Fabricated From MOVPE Wafers", par M.WOLNY et alii dans "Electronics Letters, 8th October 1987, Vol.23, Ne 21, pp.1127-1128". Ce document décrit un procédé de réalisation pour obtenir un transistor comprenant d'abord un substrat semi-iso lant en GaAs, couvert d'une couche tampon en GaAlAs non-intentionnellement dopée. Ce transistor comprend ensuite une hétérostructure formée d'une couche d'épaisseur environ 0,6 pm de GaAs non-intentionnellement dopée, couverte d'une couche d'épaisseur environ 40 nm de GaAlAs non-intentionnellement dopée. Cette dernière couche est couverte d'une couche peu épaisse de GaAs non-intentionnellement dopée servant de couche protectrice pour empêcher l'oxydation de la couche supérieure de l'hétérostructure.En surface de la couche protectrice est réalisé un contact de grille en un métal réfractaire WN de part et d'autre duquel des caissons de type N+ délimitent les régions de source et de drain sur lesquelles sont établis des contacts ohmiques de source et drain en un alliage Au-Ge-Ni. Ce transistor connu présente l'avantage d'être d'une réalisation simple et de performances élevées particulièrement favorables à la réalisation de la présente invention. Les figures 2 représentent les niveaux d'énergie des bas des bandes de conduction des différents matériaux constituant les transistors, pour différentes valeurs de la tension de polarisation continue de grille VGS. La référence 120 montre le niveau d'énergie du métal de grille, la référence 104 celui du matériau 4 ternaire, et la référence 103 celui du matériau binaire 3 de l'hétérojonction. La valeur tEc est la différence d'énergie entre les bas des bandes de conduction des matériaux 3 et 4 formant cette hétérojonction. La figure 2a montre les niveaux d'énergie pour chacun des matériaux formant le transistor à VGS = O. Initialement, lorsque la polarisation de grille VGS = O, le niveau de Fermi est aligné avec celui du métal. La figure 2b représente ces niveaux d'énergie lorsque la tension de polarisation de grille VGS est supérieure à 0. Cette figure montre que les bandes de conduction se déforment et qu'un puits de potentiel se forme au point 100. En 100, il y a accumulation d'un gaz bidimensionnel. La figure 2c montre ces mêmes bandes lorsque la polarisation de grille VGS devient très supérieure à 0. Les bandes se déforment alors de telle manière que toute la tension est en fait aux bornes de la couche ternaire parce que le point 100 ne bouge plus ou très peu. On est en effet dans le gaz bidimensionnel et en-dessous du niveau de Fermi. En conséquence, l'épaisseur apparente de la couche ternaire 4 diminue et il y a apparition d'un effet tunnel qui s'ajoute à l'émission thermoionique à l'interface des deux couches 3 et 4 formant 'hétérojonction. En effet, dès que le gaz bidimensionnel existe, lorsque une tension drain-source est appliquée, des porteurs accélérés deviennent énergétiques, peuvent franchir la barrière d'énergie AEc et sont collectés par la grille. Ainsi quand on polarise fortement la grille par une tension VG en direct, on observe une diminution du courant de drain, car lorsque l'on augmente VGS, la barrière apparente pour les électrons staffaiblie et la probabilité pour que ces électrons franchissent la barrière augmente fortement.Tous les électrons qui s'échappent du gaz bidimensionnel ne participent donc plus au courant de drain IDS et ce dernier diminue.On obtient alors une caractéristique du courant drain-source à saturation 1DSS en fonction de la tension grille-source VGS tel que représenté sur la figure 3. La zone ou le courant diminue pour une tension VGS supérieure à une tension VGSO correspond à un régime de transconductance négative. Le transistor décrit précédemment et illustré par la figure 1, référencé T1 peut être polarisé dans les conditions favorables à l'obtention du maximum du courant drainsource qui apparaît précédant le régime de transconductance négative, comme il est montré sur le schéma de la figure 4b Le circuit de polarisation comprend une résistance R2 disposée entre le drain du transistor T1 et une tension d'alimentation continue positive VDD et la connexion de la source S du transistor Ti directement à la masse. L'entrée de l'étage se fait directement sur la grille G du transistor T1, et la sortie de son drain D, au point commun avec la résistance RQ. Dans ces conditions, si l'on applique au transistor Ti une tension grille-source VGS d'une valeur croissante dans un domaine où elle est suffisamment élevée pour produire l'effet illustré par la figure 2c, on constate, comme il est montré sur la figure 3 que le courant drain-source à saturation IDSS commence par augmenter, passe par un maximum puis diminue. La valeur de la tension grille-source qui produit le maximum du courant drain-source est notée ci-après VGS0. La figure 4a représente en statique les variations de la tension de sortie VO prélevée entre le drain D du transistor Ti et la masse, en fonction de la tension VE appliquée entre la grille G du transistor T1 et la masse pour le circuit représenté sur le schéma de la figure 4b. La figure 4a montre que lorsque la tension d'entrée VE atteint la valeur VGsO, la tension de sortie Vo passe par un minimum. En effet, la tension de sortie s'exprime en fonction du courant IDS par la relation suivante Vo = VDD - RQ~IDSS La tension d'alimentation continue positive VDD étant fixée ainsi que la valeur de la résistance de charge Rg, lorsque pour VGsO, le courant IDS passe par un maximum (voir la figure 3, alors la tension de sortie VO passe par un minimum (voir la figure 4a). Dans ces conditions, lorsque l'on applique à l'entrée du circuit conforme au schéma de la figure 4a une tension VE analogique par exemple un signal hyperfréquences à une fréquence F, dont la forme est représentée par la courbe A de la figure 4c, au cours d'une demi-période où la tension VE augmente, la valeur de la tension de sortie VO diminue puis augmente. Au cours de la seconde demi-période la tension VE diminue en repassant par les mêmes valeurs qu'au cours de la première demi-période, et il en est de même de la tension de sortie VO qui diminue donc à nouveau puis réaugmente. Si la composante continue du signal d'entrée VE est bien centrée sur la tension VGSO qui donne un maximum de la caractéristique du courant drain-source à sature 1DSS en fonction de la tension grille-source VGS, alors le circuit représenté sur le schéma de la figure 4b constitue un doubleur de fréquence parfait. Ce circuit présente de nombreux avantages. Il est notamment réalisé au moyen d'un seul composant actif. Ce composant actif fonctionne à température ambiante. Le signal de sortie à la fréquence 2F, c'est-à-dire 2 fois la fréquence F du signal d'entrée est pur. Il ne nécessite pas de filtrage. Il utilise le phénomène de transconductance négative qui apparaît pour le transistor décrit plus haut aux fortes polarisations de grille. Cependant, le transistor décrit dans la dernière publication citée n'est pas le seul composant actif apte à produire ce phénomène. Comme on l'a vu précédemment, un transistor à effet de champ à grille isolée, par exemple réalisé en un matériau semiconducteur fortement dopé tel que l'arséniure de gallium (GaAs) de type de conductivité N+ produit aussi un effet de résistance différentiel négatif ; et par conséquent, si ce transistor est correctement polarisé comme il est décrit selon l'invention, il produira également l'effet de transconductance négative utilisé pour mettre en oeuvre l'invention. Dans une réalisation préférentielle où le transistor T1 est un transistor du type décrit dans la dernière publication citée et représenté schématiquement sur la figure 1, - la tension VDD = 6 V - la résistance RQ = 3,9 kQ - la largeur de grille du transistor T1, W = 10pm - la valeur de la tension VGSO = 2,5 V - l'amplitude de la composante continue du signal d'entrée VE est située entre 2 V et 3 V, de même que celle du signal de sortie VO - la fréquence F expérimentée était F = 500 KHz. Revendications 1. Dispositif semiconducteur intégré incluant un circuit doubleur de fréquences comprenant au moins un transistor à effet de champ à grille isolée et des moyens de polarisation de ce transistor, caractérisé en ce que ces moyens de polarisation sont tels que la composante continue d'un signal d'entrée hyperfréquences, appliquée sur la grille du transistor atteint une valeur appropriée à produire un maximum de la caractéristique du courant drain-source en fonction de la tension grille-source, le signal de sortie de fréquence double de celle du signal d'entrée étant prélevée sur le drain du transistor. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de polarisation incluent la connexion directe de la source du transistor à la masse et la connexion de son drain à une tension continue positive à travers une charge résistive. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que le transistor à grille isolée est à bêtérojonction. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que I'hétérojonction est formée d'une hétérostructure de composés ternaire et binaire de matériaux semiconducteurs du groupe III-V. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le composé ternaire est l'arséniure de gallium et d'aluminium et le composé binaire est l'arséniure de gallium. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les couches formant l'hétérostructure sont non-intentionnellement dopées. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les couches formant l'hétérostructure sont réalisées en surface d'un substrat en arséniure de gallium semi-isolant muni d'une couche tampon en arséniure de gallium et en ce que les couches formant l'hétérostructure sont surmontées d'une couche peu épaisse protectrice d'arséniure de gallium. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que un contact de grille métallique est formé sur la couche supérieure du dispositif et en ce que des régions de source et de drain sont délimitées par des caissons de type N+ fortement dopés sur lesquels sont réalisés des contacts ohmiques de source et de drain. 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que le contact de grille est formé en un métal réfractaire, par exemple WN ou WSi, et en ce que les contacts de source et de drain sont en un alliage de Au-Ge-Ni. 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que le transistor à effet de champ comprend une grille en un matériau semiconducteur du groupe III-V de type de conductivité N+ fortement dopé, une couche d'un matériau ternaire du groupe III-V pour former la couche d'isolement de grille et une couche en un matériau binaire du groupe III-V non dopée intentionnellement pour former le canal. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les couches binaires sont en arséniure de gallium et les couches ternaires en arséniure de gallium et d'aluminium.