FR 2619250 A1 19890210 FR 8711144 A 19870805 TRANSISTOR HYPERFREQUENCE A DOUBLE HETEROJONCTION La présente invention concerne un transistor à effet de champ, réalisé en matériaux de la famille III-V tels que Ga AS et AI Ga As, comportant une double hétérojonction. Chaque hétérojonction est réalisée dans des conditions telles qu'un gaz bidimensionnel de porteurs de charges puisse y apparattre à l'interface, mais les types de dopages des couches de matériaux semiconducteurs constituant ces hétérojonctions sont choisis (n et p) pour que le transistor possède un canal n et un canal p, qui soient utilisés simultanément ou non. Les transistors à effet de champ de type TEGFET (Two dimensiona. Electron Gas Field Effect Transistor) sont maintenant bien connus; et la théorie en a été établie dès 1979. Ces transistors sont essentiellement constitués par une hétérojonction entre un matériau à faible largeur de bande interdite, CGa As.par exemple, non intentionnellement dopé (NID) ou faiblement dopé n ou p, et un matériau à grande largeur de bande interdite, AI Ga As par exemple, dopé de type n. Dans certaines conditions - adaptation des paramètres de maille, épaisseur des couches, niveaux de dopage, etc - apparait un gaz bidimensionnel d'électrons, très mobile, à l'hétérojonction du côté du matériau à faible largeur de bande. Ces transistors utilisent généralement un canal n, parce que les électrons sont plus mobiles que les trous, donc plus intéressants pour travailler en hyperfréquences, dans les gigahertz. Cependant, pour traiter des signaux alternatifs, ou en logique complémentaire - un transistor à canal n et un transistor à canal p, comme dans les MOS complémentaires - il est intéressant de disposer d'un transistor qui présente l'ambivalence n et p. C'est ce que propose Pinvention, qui réunit dans un seul transistor deux canaux parallèles: un canal n, dans lequel existe un gaz bidimensionnel d'électrons, et un canal p, dans lequel existe un gaz bidimensionnel de trous. Ces deux canaux peuvent coexister et travailler à tour de rôle, ou, selon la valeur des tensions appliquées et la nature des contacts d'accès aux dits canaux, être sélectionnés pour choisir l'un parmi les deux canaux. Ainsi, le transistor selon l'invention comporte un substrat et, éventuellement, une ou plusieurs couches tampons d'adaptation de paramètres de maille. Sur ce support, une région active est composée de trois couches de matériaux semiconducteurs de la famille III-V, formant entre elles deux hétérojonctions, la couche intermédiaire étant à faible largeur de bande interdite et non intentionnellement dopée. La première et la troisième couches sont en matériaux à grande largeur de bandes interdites et dopées l'une de type n et l'autre de type p, à des niveaux de dopages de l'ordre de 1017 - 3.1018at.cm-3, tels que puissent apparattre un' gaz bidimensionne' d'électrons, a une première hétérojonction et un gaz bidimensionnel.de trous a une deuxième hétérojonction. De façon plus précise, l'invention consiste en un transistor hyperfrêquence à double hétérojonction, comportant, supporté par un substrat en matériaux semiconducteurs semi-isolants, ou non- intentionnellemet dopés, une région active contrôlée par une électrode de grille Schottky, ce transistor étant caractérisé en ce que la région active comprend trois couches superposées, la couche intermédiaire étant en matériau semiconducteur de faible largeur de bande interdite, nonintentionnellement dopée, les couches adjacentes. étant en matériau semiconducteur de plus grande largeur de bande interdite que celui de la couche intermédiaire, dopées l'une de type n (nD1017at.cm-3) et l'autre de type p (nAp> 1017at.cm-3), ces première et troisième couches formant ainsi deux hétérojonctions à leurs interfaces avec la deuxième couche intermédiaire, de sorte qu'il se forme un gaz bidimensionnel d'électrons à l'interface entre la première couche dopée n et la deuxième couche nonintentionnellement dopée, et un gaz lidimensionnel de trous à l'interface entre la deuxième couche non- itentionnellement dopée et la troisième couche dopée p, ce uansistor étant ainsi muni de deux canaux conducteurs potentiels, fun de type n dO au gaz bidimensionnel d'électrons, l'autre de type p dX au gaz bidimensionnel de trous, en parallèle entre les régions de source et de drain. L'invention sera mieux comprise par la description plus détaillée qui suit de la structure du transistor, et de deux exemples d'application, en conjonction avec les figures jointes en annexes qui 1 0 représentent: fig. 1: vue en coupe d'un transistor selon l'invention, fig. 2: variante du transistor de la figure précédente, fig. 3 et 4: courbes d'existence des canaux n et p, dans deux cas de tensions de seuils des canaux, - fig. 5: courbes d'existence des canaux, pour un transistor fonctionnant en doubleur de fréquence, - fig.6:schéma électrique d'un circuit log.que complémentaire, fig. 7: limitation de la linéarité en fonction de la tension grille-canal, Le transistor selon l'invention, essentiellement destiné aux hyperfréquences comprises entre I et plusieurs dizaines de gigahertz, est constitué de matériaux rapides de la famille III-V, dont certains ont une faible largeur de bande interdite, par exemple Ga As, par rapport à d'autres qui ont une plus grande largeur de bande interdite, par exemple AI Ga As. Afin de simplifier le langage, et faciliter la compréhension du texte, on conviendra d'utiliser le mot "Ga As" plut8t que la phrase "matériau semiconducteur à faible largeur de bande interdite", et de même les mots "AIx Gal.xAs" ou "AI Ga As" plut8t que la phrase "matériau semiconducteur à grande largeur de bande interdite". Ceci ne limite nullement la portée de l'invention, et le transistor peut être réalisé en de nombreux alliages III-V binaires, ternaires ou quaternaires, dont les plus courants, outre Ga As et AI Ga As, sont In P, Ga In As, Ga In As P... etc. En figure 1 est donnée une vue en coupe d'un transistor selonrr l'invention. Son substrat comporte un substrat! à proprement parler, en Ga As semi-isolant et très généralement une ou deux couches tampons 2 et 3. Dans le cas représenté, une première couche tampon 2 en Ga As non-intentionnellement dopé (NID) sert de couche de lissage, pour le substrat 1, et une deuxième couche tampon 3 en Alx,, Gal- .x, As NID évite l'apparition d'un troisième canal conducteur (canal n). Les couches actives sont constituées par - une première couche 4, en Aix' Gal-x' As, d'épaisseur d2 et dopée par exemple de type n, à un niveau de densité de donneurs nD, supérieur à l1017at.cm-3, - une deuxième couche 5 intermédiaire en Ga As, d'épaisseur do, non-intentiqnnellement dopée, c'est-à-dire qu'elle peut être aussi faiblement n ou faiblement p, mais de niveau d'impuretés inférieur à l1015at.cm-3, - une troisième couche 6, en Alx Gal-x As, d'épaisseur dl, et dopée dans ce cas de type p, à un niveau de densité d'accepteurs nA, supérieur à 10]7at.cm-3. La troisième couche 6, en AI Ga As, et la deuxième couche 5 qui lui est adjacente, en Ga As, forment une hétérojonction, qu'on conviendra d'appeler première hétérojonction, parce qu'en surface, au niveau H, tandis que la deuxième couche 5, en Ga As, et la première couche 4 qui lui est adjacente, en AI Ga As, forment une autre hétérojonction, qu'on conviendra d'appeler deuxième hétérojonction, parce qu'en profondeur, au niveau E. Les types de dopage n et p des première (4) et troisième (6) couches de AI Ga As peuvent être inversés, mais on verra ultérieurement que cette structure, couche n enterrée et couche p en surface, est plus intéressante. Si certaines conditions d'épaisseurs, niveaux de dopage, largeurs de bandes interdites... etc, sont réalisées, il peut se former, sous l'influence d'une tension appliquée sur la grille: - un gaz bidimensionnel d'électrons 7, à l'intérieur de la deuxième couche 5 de Ga As, à proximité de l'hétérojonction E avec la première couche 4 de Al Ga As, I Q - un gaz bidimensionnel de trous 8, à l'intérieur de la même deuxième couche 5 de Ga As, à proximité de l'hétérojonction H avec la troisième couche 6 de AI Ga As. Ce transistor à donc dans ces conditions deux canaux en parallèle, l'un d'électrons en 7 et l'autre de trous en 8. Si les types de dopage n et p des deux couches 4 et 6 de AlGaAs sont inversés, les gaz bidimensionnels de porteurs de charges sont bien entendu eux aussi inversés. Le transistor est complété par trois métallisations d'électrodes de grille 9, et de source et drain 10 et 1l1, déposées en surface de la dernière couche active 6. La figure 2 donne une vue en coupe d'une variante du transistor de la figure précédente. Selon cette variante, la première couche 4 de Alx, Galx, As comporte une fine sous-couche 12, du même matériau mais nonintentionnellement dopée, en contact avec la deuxième couche 5 de Ga As NID. Et la troisième couche 6 de AIx Galx As comporte elle aussi une fine sous-couche 13 du même matériau mais non-intentionnellement dopée, en contact avec la deuxième couche 5 de Ga As NID. Ces deux sous-couches 12 et 13, qui n'ont que quelques dizaines d'angstr ms en épaisseur, sont appelées espaceurs ou "spacers", et ont pour objet d'éloigner les gaz bidimensionnels de porteurs de charges 7 et 8 des couches dopées 4 et 6, et d'accroître la mobilité électronique. Divers cas de fonctionnement sont possibles pour ce transistor en fonction des paramètres de structure: niveaux de dopages nA et nD, épaisseurs des couches do dl d2, tension grille-canal Vgc appliquée sur la métallisation de grille Schottky 9. Une modélisation simplifiée du dispositif permet le calcul de la tension de seuil de chacun des deux canaux ainsi que, pour chaque cas, la sensibilité de la commande de charge. La simplification appliquée consiste à admettre que: - les permitivités diélectriques -sont les mêmes pour toutes les couches: en effet, il y a très peu de variation dee avec la teneur en aluminium dans AI Ga As, - l'épaisseur des couches bidimensionnelles d'électrons (2 DEG) et de trous (2 DHG) est négligée. Bien que ces couches aient une épaisseur finie, cette approximation fournit une estimation correcte 1 5 des tensions seuils, - il n'y a pas de spacers 1.2 et 13. Posons: fn hauteur de barrière métal-semiconducteur (pour les électrons) à l'interface métal-AIx Gal.x As dopé p (couche 6), A Ec discontinuité énergétique de la bande de conduction aux interfaces I (H) et 2 (E) (en supposant pour simplifier que x = x' = x") Vp =.q nA d12 2E dans laquelle q est la charge de l'électron. Vpl est homogène à une tension dite tension de perçage. Eg GaAs largeur de bande interdite, ou gap, pour Ga As (- 1,4 eV) 2 valeur absolue du champ électrique à l'interface 2, sensiblement constant, c'est-à-dire peu dépendant de la tension grille-canal Vgc. La théorie des transistors TEGFETs à gaz bidimensionnel d'électrons a été établie par D. Delagebeaudeuf et Nuyen T. Linh dans deux articles publiés dans IEEE Transactions on Electron 2619Z50 Devices, le premier au volume ED 28, n 7, pages 790-795, de juillet 1981 et le second au volume ED 29, n 6, pages 955-960, de juin 1982. En extrapolant cette théorie à la structure du transistor selon l'invention, on trouve pour le canal p (2 DHG): - une tension de seuil VTp définie par: Equation (1) VTp *)n - MEc + Vpl - Eg Ga As (' + d) -une sensibilité de la commande de charge de ce canal p définie par Equation (2) dps dVgc qdj dans laquelle Ps = densité superficielle des trous. De même, pour le canal n (2 DEG), on trouve: - une tension de seuil VTn Equation (3) VTn -- n - A Ec+Vpl -2 (do dl) - et une sensibilité de la commande de charge dans le canal n Equation (4) dn S d q (do + d1) dans laquelle ns = densité superficielle d'électrons. Deux cas sont à considérer, selon les valeurs relatives des tensions de seuil VT des deux canaux. Dans le premier cas, si VTn VTp, le canal n est contrôlé, en fonction de la droite 16. Dans le deuxième cas, si VTn > VTp soit t2 l sur le transistor: il est bloqué. Ce deuxième cas est représenté en figure 4, qui reprend les 2 mêmes éléments que la figure 3, mais adaptés aux valeurs relatives des tensions de seuil. Sur ces deux figures, la pente de la droite 14 de densité superficielle de trous est plus grande que la pente de la droite 16 de densité superficielle d'électrons: en accord avec les équations (2) et (4), on constate que la sensibilité de commande du canal n (2 DEG) est plus faible que la sensibilité de commande du canal p (2 DEG). Ceci se comprend aisément: dans la structure choisie, le canal n (2 DEG) est plus éloigné de la grille que le canal p (2 DHG), les électrons sont donc plus loin que les trous par rapport à la grille de contrôle. Si au contraire on avait choisi d'avoir une couche enterrée 4 dopée p et une couche superficielle 6 dopée n, le même raisonnement s'adapterait en inverse, et on aurait une sensibilité de commande du canal n, en surface, supérieure à la sensibilité de commande du canal p, enterré. Cependant, il est plus intéressant de conserver la structure telle que choisie en figure 1: cela permet d'équilibrer et de symétriser. les caractéristiques des deux canaux du transistor, parce que l'éloignement du canal n contre-balance la plus grande vitesse des électrons par rapport aux trous, plus rapprochés de la grille. Ainsi, on peut symétriser les caractéristiques du transistor en jouant. sur les distances relatives des deux canaux n et p, donc en jouant sur les épaisseurs do, dl, d2 des couches. On a supposé jusqu'à présent qu'il n'y a pas de "spacer" 12 et 13. S'il y a un "spacer" 12, à l'interface des couches 4 et 5 n AI Ga As - Ga As, et que son épaisseur est e, une expression approchée du champ électrique I2 (, résultant de la modélisation des structures TEGFET données dans les deux publications citées, est donnée par l'équation: Equation (5) 20./ N 2 j E(\ EC(nD e)2 - nDe IL F- ' -'tV--'-''rc' Dans cette expression, l'épaisseur finie de la couche bidimensionnelle 2 DEG a été négligée, comme dans tous les calculs précédents. Une étude plus fine conduit, si l'on veut tenir compte de l'épaisseur de la couche bidimensionnelle, a remplacer e par e + 80A (environ) dans l'équation (5), 80A correspondant à la largeur de la couche 2 DEG. Le champ électrique [ 2 est donc une fonction de nD, L Ec, donc de x' dans Alx Gal-_x As, et de e, et il peut être ajusté entre deux limites qui sont environ: Equation (6) 3.10 6 V.mrI 1 e2 | ú 2.107 V.mlr de telle sorte que, compte tenu de a latitude de choix des autres paramètres de structure, il est possible de réaliser des transistors ayant des caractéristiques variées pour des applications variées. Toutefois, une valeur du champ électrique t 2 i ayant été définie pour ou imposée par une application donnée, il es préférable de fixer l'épaisseur d2 de la couche 4 en n AIx, Gal.-x As pour que' cette couche soit totalement déplétée, afin d'éliminer toute conduction parasite par des électrons dans cette couche. Cette condition est remplie pour: Equation (7) d2 opt ú. q n q nD A titre d'application du transistor à double hétérojonction selon l'invention, un transistor doubleur de fréquence avec gain constitue un premier exemple. Pour cela, un signal alternatif 17 est appliqué sur la grille du transistor, pour lequel la polarisation continue Vgs = 0. La figure 5 permet de facilement comprendre le fonctionnement' en doubleur: elle représente la variation des transconductances 18 du canal p et 19 du canal n. Si les transconductances à Vgs _ O et à Vgs > 0 sont égales en valeur absolue, le signal alternatif 17 appliqué sur la grille est redressé à deux alternances sur le drain: sa phase négative polarise la grille en un point 20, et le canal p (2 DHG) est conducteur, sa phase positive polarise la grille en un point 21 et la canal n (2 DEG) est conducteur. La fréquence de sortie est donc double de la fréquence du signal d'entrée, et le mode fondamental est extrait par filtrage. Mais on profite également du gain du transistor. Pour qu'un transistor à double hétérojonction puisse convenir à cette application de doubleur de fréquence avec gain, il y a trois conditions. La première condition est que les contacts des régions de source et drain soient ohmiques vis-à-vis des canaux n et p. Cette condition peut être satisfaite en réalisant les métallisations correspondantes 10 et 11 en contacts ohmiques alliés, qui diffusent dans les couches de matériaux semiconducteurs. C'est ce qui est symbolisé sur la figure I par des flèches qui pénètrent dans les couches actives 4, 5 et 6. La seconde condition est que les transconductances en régimes Vgc O soient égales et opposées en valeurs absolues. Une transcondance est le produit d'une densité de charge par la vitesse des porteurs de charges. Pour une grille submicronique les porteurs se déplacent à leur vitesse limite, vLn dans le canal n, VLp dans le canal p, et la transconductance gm pour un canal n de largeur Z est donnée par la relation: Equation (8) dn5 gm= q ZvLn dVgc Pour que les transconductances soient égales et opposées en valeur absolue, on doit donc avoir: dns dp 1 VLn ds = VLp dps dgc T v-gc soit, d'après les équations (2) et (4) do VLn i VLp *25 Pour Ga As - matériau dans lequel se déplacent les deux gaz bidimensionnels 2 DEG et 2 DHG - on a: VLn n'2 vLp ce qui conduit à choisir do- d1 pour que les transconductances soient égales en valeurs absolues. L'intérêt de la structure à double hétérojonction est donc de pouvoir symétriser les fonctionnements du transistor en régime canal n ou canal p en jouant uniquement sur des épaisseurs de couches de matériaux semiconducteurs. 2619 2 5 0 La troisième condition est que: VTn - VTp m 0 VTp et VTn ont été définis par les équations (1) et.(3) respectivement, et on pose, pour simplifier l'écriture, que: Vo = bn - -L Ec + Vpl Si les deux tensions de seuil sont nulles, on déduit d'après (1) et (3), et en gardant la seconde condition do0dl: i 21 Eg Ga As do soit VO -2 EgGaAs = 2,8 eV A litre d'application, choisissons x = x' = x" = 0,3, ce qui est une valeur courante. La littérature donne alors.n I et A Ecce0,3, d'o \Vplu 2 volts, ce qui peut être réalisé avec nA = 3.1017at.cm-3, do=dl = 100O A. Dans ce cas, j 21 = 1,4.107V.m-1, ce qui est réalisable d'après la double inégalité (6), et nécessite, avec x = x' = 0,3 et sans spacers, un niveau de dopage nD = 4. 1017at.cm-3. L'équation (7) fournit alors d2 opt = 250 A et l'équation (8) permet le calcul de la transconductance commune aux deux canaux: gm = 60 mS.mm-1 (avec vLn105m.sec-1) Ce calcul n'est donné qu'à titre indicatif, et bien entendu d'autres transconductances plus élevées, et d'autres caractéristiques sont possibles avec d'autres valeurs de conception pour le transistor. Un autre exemple d'application du transistor à double hétérojonction selon l'invention se trouve dans la logique complémentaire. La cellule de base de la logique complémentaire est rappelée en figure 6. Deux transistors 22 et 23, l'un à canal p, l'autre à canal n, sont attaqués par un signal appliqué simultanément sur leurs deux grilles: le signal entre au point commun 24 et sort au point commun 25. Ces mêmes deux transistors sont alimentés en série entre deux bornes de tension 26 et 27. Les transistors MOS complémentaires silicium sont fréquemment utilisés pour ce type de logique et, selon sa polarité, le signal ouvre le canal n ou le canal p. Le transistor à double hétérojonction selon l'invention peut également être utilisé en logique complémentaire, puisqu'il possède deux canaux de canaux différents. Mais, dans un circuit intégré par exemple comprenant une pluralité de tels transistors, il faut avant de déposer les contacts de source et drain 10 et 11, sélectionner le type de conduction désirée, n ou p, par implantations de caissons n+ ou p+ respectivement, pour diminuer les résistances d'accès. - L'intérêt par rapport aux solutions connues réside dans la possibilité de symétriser les deux types de fonctionnement et ainsi de réaliser une complémentarité quasi parfaite, avec un seul type de transistors sur la puce du circuit intégré, certains fonctionnant en canal n et d'autres fonctionnant en canal p. Pour cette application, chacun des deux transistors - celui qui utilise le canal n et celui qui utilise le canal p - doit être normalement bloquant (normally off), donc fonctionnant en régime d'enrichissement, ce qui se traduit pour le transistor proposé par les inégalités: VTn> 0 et VTp gm = 150 mS.mm-1. La littérature donne VLn = 105 m.sec-1. On en tire par le calcul: o do = dl ' 400A Vpl = 1,6 V ce qui.est réalisable pour nA 1l,5.1018at.cm-3 >- 2 |= 2,25.107V.m'1. Le choix d'une transconductance élevée conduit à un champ électrique |! 2 lui-même élevé, mais qui reste réalisable sans spacer puisqu'il nécessite un dopage de la couche 4 de n AI Ga As de: nD C 1,5.1018at.cm-3 qui est une valeur couramment utilisée pour les couches n AI Ga As des TEGFETs. Bien entendu, d'autres solutions sont possibles pour des choix de valeurs différentes. En toute rigueur, le transistor à double hétérojonction selon l'invention ne fonctionne en concordance avec les équations citées précédemment que dans une plage limitée de tension grille-canal Vgc. En effet, et la figure 7 l'illustre, la modélisation prévoit que: - pour des tensions Vgc suffisamment négatives, il y a perte de contr8le du canal p, ce qui correspond à la partie 28 de la couche de transconductance de la figure 7, - pour des tensions Vgc suffisamment positives, il y a ouverture d'un second canal n, en 29, de transconductance plus élevée que celle du premier canal, en 19. Toutefois, ces tensions extrêmes, Vgc sont situées hors la gamme des tensions habituellement pratiquées avec les transistors hyperfréquences. Bien entendu, de même qu'il a été précisé plus haut qu'on choisirait d'exposer l'invention en s'appuyant sur le cas d'un transistor en Ga As AI Ga As, sans limitation à la portée de l'invention, de même l'homme du métier pourra facilement rétablir les équatipns en considérant le champ électrique l | à l'interface 1 plut8t que le champ électrique J| 2 1 à l'interface 2. Le choix qui a été fait repose sur l'avantage qu'a la structure de la figure! de symétriser les caractéristiques des deux canaux n et p. Mais une structure inverse -canal n près de la grille, canal p éloigné de la grille - peut au contraire dans certains cas apporter un intérêt: par exemple pour avoir un canal n dont la transconductance est nettement plus élevée que la transconductance du canal p. De façon plus générale, l'invention concerne un transistor à double hétérojonction entre matériaux semiconducteurs à faible largeur de bande interdite et à grande largeur de bande interdite, dopés de façon à créer deux canaux conducteurs de gaz bidimensionnel, l'un de type n (2 DEG), l'autre de type p (2 DHG), qui existent simultanément ou alternativement selon la tension appliquée sur la grille du transistor hyperfréquences, précisé par les revendications suivantes. REVENDICATIONS 1. Transistor hyperfréquence à double hétérojonction, comportant, supporté par un substrat (1, 2, 3) en matériaux semiconducteurs semi-isolants, ou non-intentionnellemet dopés, une- région active contr8lée par une électrode de grille Schottky (9), ce transistor étant caractérisé en ce que la région active comprend trois couches (4, 5, 6) superposées, la couche intermédiaire (5) étant en matériau semiconducteur de faible largeur de bande interdite, nonintentionnellement dopée (n 1017at.cm-3) et l'autre (6) de type p (nA > 1017at.cm-3), ces première (4) et troisième (6) couches formant ainsi deux hétérojonctions à leurs interfaces avec la deuxième couche (5) intermédiaire, de sorte qu'il se forme un gaz bidimensionnel d'électrons (7) à l'interface entre la première couche (4) dopée n et là deuxième couche (5) non-intentionnellement dopée, et un gaz bidimensionnel de trous (8) à l'interface entre la deuxième couche (5) non- intentionnellement dopée et la troisième couche (6) dopée p, ce transistor étant ainsi muni de deux canaux conducteurs potentiels, l'un de type n (7) dû au gaz bidimensionnel d'électrons, l'autre de type p (8) dû au gaz bidimensionnel de trous, en parallèle entre les régions de source (10) et de drain (11) 2. Transistor selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est réalisé en matériaux de la famille III-V, les couches à faible largeur de bande interdite (5) et à grande largeur de bande interdite (4, 6) étant choisies parmi les alliages binaires, ternaires ou quaternaires de Ga, As, AI, In, P, Sb, tels que Ga As, AIx Gal-x As, In P, Gax Inlx As. 3. Transistor selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première couche (4) de matériau à grande largeur de bande interdite - dopée n est située entre le substrat (1, 2, 3) et la deuxième couche intermédiaire (5) à faible largeur de bande interdite, et en ce que la troisième couche (6) de matériau à grande largeur de bande interdite dopée p est située entre la deuxième couche intermédiaire (5) et la métallisation de grille (9), de sorte que le gaz bidimensionnel d'électrons (2 DEG) (7) est plus éloigné de la grille (9) que le gaz bidimensionnel de trous (2 DHG) (8). 4. Transistor selon la revendication 3, caractérisé en ce que les tensions de seuil VTn pour le canal n (7) et VTp pour le canal p (8) sont données par: VTn On -nEc + Vpl - 2 1 (do +dl) et VTp 5 n -L-Ec + Vpl - Eg (l +d) do et en ce que les sensibilités de commande de charge électrique dans le canal n (7) et dans le canal p (8) sont données respectivement par: dns., E dVgc q (do + d1) et dp5,x, ú dVgc q expressions dans lesquelles: - On est la hauteur de barrière métal/semiconducteur, pour les électrons, à l'interface grille (9)/troisième couche (6) dopée p, - A Ec est la discontinuité énergétique de la bande de conduction aux deux hétérojonctions, - Vpl est la tension de perçage, - JI.2 1 est la valeur absolue du champ électrique à l'interface entre la première couche (4) et la deuxième couche (5), - do et dl sont les épaisseurs, respectivement, des deuxième (5) et troisième (6) couches, - Eg est la largeur de bande interdite de la deuxième couche (5), - ns est la densité superficielle d'électrons, dans le canal n (7), - Ps est la densité superficielle de trous, dans le canal p (8), - Vgc est la tension grille-canal, pour un canal considéré, - &-est la permissivité diélectrique du matériau semiconducteur, - q est la charge de l'électron. 5. Transistor selon la revendication 4, caractérisé en ce que, si VTn VTp, le transistor est conducteur par le canal p (8) pour une tension grillecanal Vgc VTp, le canal n (7) n'étant pas contr8lé pour Vg.VTp. 6. Transistor selon la revendication 4, caractérisé en ce que, si VTn >VTp, le transistor est conducteur par le canal p (8) pour une tension grille-canal Vgc Vgc>VTn, et est bloqué pour VTp 7. Transistor selon la revendication 4, caractérisé en ce que, le gaz bidimensionnel d'électrons (7) étant plus éloigné de la grille (9) que le gaz bidimensionnel de trous (8), la sensibilité de commande du canal n (7) , proportionnelle à l/(d! + do), est plus faible que la sensibilité de commande du canal p (8), proportionnelle à l/dj. 8. Transistor selon la revendication 7, caractérisé en ce que, la transconductance d'un canal étant proportionnelle à la vitesse limite vL des porteurs de charges électriques dans ce canal, et la vitesse limite vLn des électrons dans le canal n (7) étant plus grande que la vitesse limite VLp des trous dans le canal p (8), les transconductances des deux canaux n (7) et p (8) sont rendues égales en donnant aux couches dopées p (6) et non-intentionnellement dopées (5) des épaisseurs respectives dl et do liées par la relation do VLn = = 1 VLp les caractéristiqu'. s des deux canaux (7, 8) du transistor étant ainsi rendues symétriques. 9. Transistor selon la revendication 8, caractérisé en ce que, d2 étant l'épaisseur de la couche (4) dopée n, cette couche (4) est totalement déplétée pour une épaisseur optimale d2opt. júl2 1 q nD 10. Transistor selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il constitue un doubleur de fréquence d'un signal alternatif appliqué sur sa grille (9) si les tensions de seuils VTn et VTp de ses deux canaux n (7) et p (8) sont égales à zéro, c'est-à-dire si: 821- E 1l1. Transistor selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il constitue un transistor à deux canaux complémentaires n (7) et p (8), normalement bloqués si: VTn = VTp VT ce qui est obtenu pour: Ed- VT dl = 2