FR 2592159 A1 19870626 FR 8518853 A 19851219 CALORIMETRE QUASI-ADIABATIQUE SERVANT A MESURER L'ENERGIE TRANSPORTEE PAR UN RAYONNEMENT La présente invention a pour objet un calo- rimètre servant à mesurer l'énergie transportée par un rayonnement électromagnétique (lumineux, X, laser...) ou par un flux de particules. Plus particulièrement, elle trouve son application en optoélectronique dans la mesure de l'énergie photonique impulsionnelle transportée par un rayonnement laser. On connaît des calorimètres dans lesquels on mesure l'augmentation de température engendrée par l'interaction d'un rayonnement électromagnétique et d'un matériau apte à absorber ce rayonnement et on déduit de cette mesure l'énergie transportée par le rayonnement. Généralement, de tels calorimètres com- prennent un élément absorbant le rayonnement ayant une face externe exposée au rayonnement et une face inter- ne. L'élément absorbant subit une augmentation de tem- pérature lors de l'interaction avec le rayonnement. Une thermopile ayant une face de mesure en contact avec la face interne de l'élément absorbant et une face de référence maintenue à une température de réfé- rence, délivre une différence de potentiel proportion- nelle à la différence de température entre ses faces de mesure et de référence. Ces calorimètres sont géné- ralement équipés de moyens d'étalonnage qui peuvent consister en un fil résistif collé sur la face interne de l'élément absorbant ou à la périphérie de celui-ci. Le rôLe de ce fil est de simuler un dépôt d'énergie de valeur bien déterminée en échauffant par passage du courant électrique l'élément absorbant et de permettre ainsi l'étalonnage du calorimètre. De tels calorimètres présentent plusieurs inconvénients: tout d'abord, la sensibilité est fai- ble parce que la thermopile couvre la quasi totalité de la face interne de l'élément absorbant et présente ainsi une forte capacité calorifique vis-à-vis de ceL- Le de l'élément absorbant. De plus, l'étalonnage est peu fiable parce que la simulation du dépôt d'énergie par échauffement électrique du fil résistif est impar- faite, le fil ne couvrant qu'une faible partie de la face interne de l'élément absorbant ou étant placé sur le pourtour de celui-ci. Enfin, l'étalonnage est dif- ficile et peu reproductible parce que l'opération d'assemblage du fil sur la face interne ou sur le pourtour de l'éLément absorbant à partir d'une colle est une opération délicate et peu efficace, le fil pouvant se décoller par endroits. Le but de la présente invention est de remé- dier à ces inconvénients en proposant un calorimètre ayant une grande sensibilité et un étalonnage facile- ment reproductible permettant de simuler de façon presque parfaite un dépôt d'énergie dans l'éLément absorbant. De façon plus précise, l'invention a pour objet un calorimètre servant à mesurer l'énergie transportée par un rayonnement, comprenant, de façon connue: - un élément absorbant, apte à absorber le rayonnement, ayant une face externe exposée au rayon- nement et une face interne, cet élément subissant une augmentation de température lors de l'interaction avec le rayonnement, - des moyens pour mesurer cette augmentation de température, et - des moyens pour étalonner le calorimètre. Selon la principale caractéristique du ca- lorimètre objet de l'invention, les moyens d'étalonna- ge comprennent un dépôt résistif couvrant au moins une partie de la face interne de l'élément absorbant. 3 2592159 De préférence, Le dépôt résistif couvre au plus 80% de La surface de La face interne de l'élément absorbant. De préférence également, Le dépôt résistif d'étalonnage comprend au moins une bande continue ho- mogéne, cette bande résistive pouvant être aLimentée en courant et ayant un rapport longueur sur Largeur de L'ordre de 100. SeLon un mode de réaLisation préféré du ca- Lorimètre objet de L'invention, Le matériau constitu- tif du dépôt résistif comprend au moins une encre con- ductrice apte à être polymérisée. Selon un autre aspect de l'invention, les moyens pour mesurer l'augmentation de température de l'élément absorbant comprennent: - au moins une thermopile ayant une face de mesure en contact avec la face interne de l'élément absorbant et une face de référence, cette thermopile occupant au plus 20% de la surface de la face interne de l'élément absorbant, - des moyens pour maintenir la face de réfé- rence de la thermopile à une température de référence, et - des moyens pour mesurer la tension aux bornes de la thermopile engendrée lors de l'interac- tion du rayonnement et de l'élément absorbant. Cette thermopile peut être par exemple une thermopile semiconductrice. Selon un mode particulier de réalisation de l'invention, les moyens pour maintenir la face de ré- férence de la thermopile à une température de référen- ce comprennent un élément en contact avec ladite face de référence, cet élément ayant une masse au moins cinq fois supérieure à celle de la thermopile. Selon un autre aspect de l'invention, l'élé- ment absorbant comprend: 4 2592159 - une première couche d'un matériau apte à absorber Le rayonnement, cette première couche ayant une face externe exposée au rayonnement et une face interne, et - une seconde couche d'un matériau de con- duction thermique latéraLe disposée entre La première couche et La thermopiLe, cette seconde couche étant en contact avec La face interne de La première couche et avec La face de mesure de La thermopiLe. Le calorimètre objet de L'invention peut comporter une pLuraLité de thermopiLes ayant chacune une face de mesure et une face de référence, La face de mesure étant en contact avec La face interne de L'éLément absorbant, L'ensembLe des thermopiLes cou- vrant au pLus 20X de La surface interne de L'éLément absorbant. La présente invention a égaLement pour objet un procédé de réaLisation d'un tel caLorimètre. SeLon La principale caractéristique de ce procédé, La résis- tance d'étalonnage est déposée par sérigraphie. Selon une autre caractéristique de ce procédé, Les première et seconde couches de l'élément absorbant sont assem- bLées par une couche de coLLe thermoconductrice dépo- sée par sérigraphie. Le calorimètre objet de L'invention peut être utilisé notamment pour la mesure de L'énergie photonique impuLsionneLLe transportée par un rayonne- ment ayant une Longueur d'onde aLLant de 0,3 pm à 2 pm. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de La description qui va sui- vre, donnée à titre purement iLLustratif mais non li- mitatif, en référence aux dessins annexés, dans Les- queLs: - la figure 1 est une vue schématique en coupe de l'ensemble d'un calorimètre selon L'inven- tion, placé dans un bottier, - la figure 2 est une vue schématique en perspective et partiellement en coupe des éléments constitutifs essentiels du calorimètre selon l'inven- tion, - la figure 3 est une vue schématique de dessous montrant une disposition possible du dépôt ré- sistif et de la thermopile du calorimètre selon l'in- vention, - la figure 4 est une vue semblable à la figure 3 montrant comment on peut placer plusieurs thermopiles sur la face interne de l'élément absor- bant, - la figure 5 représente la forme du signal délivré par le calorimètre, et - la figure 6 illustre un mode particulier de réalisation d'un circuit de traitement du signal délivré par le calorimètre. En se référant à la figure 1, on voit que le calorimètre objet de l'invention, portant la référence générale 20, est placé dans un boîtier 50 et est en- castré sur une entretoise isolante 22 maintenant le calorimètre 20 dans une position stable et invariable. L'entretoise 22 est recouverte d'une enveloppe métal- lique 24. La partie supérieure du boîtier 50 comprend une ouverture centrale 28 s'étendant jusqu'au calori- mètre 20 pour permettre au rayonnement incident d'in- teragir avec celui-ci. Un verre de protection 30 bou- che l'ouverture centrale 28 pour protéger le calorimé- tre des atmosphères corrosives pendant les périodes de non utilisation. Une bague entretoise 32, sur laquelle on peut placer un filtre, est disposée entre le verre de protection 30 et le calorimètre 20. La face inférieure du boîtier 50 est consti- tuée d'un écran 34 en plomb destiné à arrêter les rayonnements parasites lorsqu'on mesure l'énergie transportée par un rayonnement X qui comporte une com- posante dure. Le boîtier 50 peut être recouvert d'une enveloppe isolante 26 le protégeant des fluctuations de température du milieu ambiant, ce qui rend le calo- rimètre quasi-adiabatique. En se référant à la figure 2, on voit que le calorimètre 20 comprend tout d'abord un élément absor- bant 2. Cet élément a une face externe 3 exposée au rayonnement incident et une face interne 9, cet élé- ment absorbant 2 subissant une augmentation de tempé- rature lors de l'interaction avec le rayonnement. Dans le cas particulier repésenté ici (calorimètre à pho- tons), l'élément absorbant 2 comprend une première couche 4 d'un matériau apte à absorber le rayonnement ayant une face externe 3 exposée au rayonnement et une face interne 5 et une seconde couche 6 d'un matériau de conduction thermique latérale ayant une face exter- ne 7 en contact avec la face interne 5 de la première couche 4 et une face interne 9. Dans la présente des- cription, on appellera "face externe" de l'élément absorbant 2 ou des couches qui le constituent la face de ces éléments qui se trouve du côté par o arrive le rayonnement à étudier et "face interne" l'autre face. Le matériau de la première couche 4 peut être un verre absorbant ayant pour rôle de subir une augmentation de température lors de l'interaction avec le rayonnement lumineux. Le matériau de la seconde couche 6 a pour rôle d'égaliser rapidement les hétérogénéités de tem- pérature de la première couche 4. En effet, le rayon- nement incident n'est pas toujours homogène et peut créer des points chauds dans la masse de la première couche 4. La seconde couche 6 doit être bon conducteur de la chaleur et posséder une adhérence parfaite avec les éléments qui sont en contact avec ses faces exter- 7 2592159 ne 7 et interne 9. Il doit par ailleurs présenter une isolation électrique suffisante à l'égard des éléments en contact avec sa face interne 9, c'est-à-dire la thermopile 10 qui sera décrite ultérieurement et le dépôt résistif 8. Pour répondre à ces exigences, le matériau de la seconde couche 6 peut être une céramique ou un autre matériau possédant la propriété d'être à la fois bon conducteur de la chaleur et isolant électrique- ment. Le matériau de la seconde couche 6 peut être également un métal, un alliage ou un matériau chargé qui sont bons conducteurs de la chaleur et de l'élec- tricité et pour lesquels un dépôt d'une couche isolan- te est nécessaire sur la face interne 9. La deuxième couche 6 peut être réalisée sous la forme d'une ou plusieurs feuilles minces directement collées sur la face interne 5 de la première couche 4. On peut égale- ment obtenir la seconde couche 6 par l'une des techni- ques de dépôt suivantes: évaporation sous vide, pul- vérisation ou dépôt chimique en phase vapeur ou encore polymérisation pour les produits chargés. A titre d'exemple, on a réalisé un calorimè- tre selon l'invention destiné à la mesure de l'énergie transportée par un rayonnement laser ayant une Lon- gueur d'onde allant de 0,3 pm à 2 pm. Dans cet exem- ple, les première et seconde couches 4 et 6 de l'élé- ment absorbant 2 sont de forme circulaire et ont une épaisseur voisine de 0,5 mm et un diamètre de l'ordre de 30 mm chacune. La première couche 4 est un verre comme celui vendu par la Société Schott sous la réfé- rence NG1 et la seconde couche 6 est une pastille d'aluminium préalablement aluminitée sur sa face ex- terne 7 par le dépôt d'une couche d'AL203 pouvant être obtenue par la technique de dépôt chimique d'aluminium en phase aqueuse. Les couches sont assemblées au moyen d'une couche de coLLe thermoconductrice, chargée de bore, et déposée par sérigraphie de façon uniforme sur La face externe 7 de La seconde couche 6. Cette tech- nique permet d'obtenir une épaisseur de coLLe de L'or- dre de 50 à 100 pm et facilite La reproduction de cet assemblage. Il est bien entendu que ceci n'est qu'un exemple de réalisation et que L'on pourrait tout aussi bien, sans sortir du cadre de L'invention, réaliser les couches de l'éLément absorbant 2 sous une forme et une nature différentes et Les assembler par une autre technique. Dans le cas d'une mesure d'énergie transpor- tée par un flux de particules ou de rayonnement X, La première couche de verre 4 peut être supprimée puisque les métaux absorbent les ions et Le rayonnement X et réfléchissent Les photons aLors que Le verre absorbe également Les photons. IL ne subsiste donc que la couche 6 qui sert d'absorbant et d'égalisateur thermi- que. En 8 est représenté le dép6t résistif en bande qui sert à l'étalonnage du calorimètre seLon l'invention et qui couvre une partie de La face inter- ne 9 de la seconde couche 6 de l'élément absorbant 2. Dans une disposition possible de la résistance 8, re- présentée en figure 3, on voit que la résistance 8 couvre sous forme d'une bande continue et homogène en- viron 80Z de La surface de La face interne 9 de La seconde couche 6. Dans le calorimètre qui a été réali- sé, Le rapport longueur sur Largeur de La résistance 8 est de L'ordre de 100. La thermopile 10, que L'on va décrire uLtérieurement, occupe la partie centraLe de la face interne 9 de la seconde couche 6, qui n'est pas occupée par Le dépôt résistif 8. Bien entendu, ceci est une disposition préférentieLLe de La résis- ais on pourrait tout aussi bien, sans sortir tance, mais on pourrait tout aussi bien, sans sortir du cadre de L'invention, disposer la résistance sous une forme différente. L'étalonnage du calorimètre est obtenu par chauffage électrique de cette résistance 8, ce qui si- mule par effet Joule un dépôt d'énergie dans l'élément absorbant 2. la simulation se rapproche d'autant plus de l'interaction rayonnementélément absorbant 2 que la résistance 8 couvre le maximum de la surface de la face interne 9 de la seconde couche 6 et que son épaisseur est faible. Selon un mode préféré de réalisation, la ré- sistance 8 est déposée par un procédé d'impression sé- rigraphique. Dans l'exemple qui a été réaLisé, on a utilisé comme matériau constitutif de la résistance 8 un mélange d'encres conductrices polymérisables à une température voisine de 150 C. On a ainsi obtenu une bande continue homogène ayant une résistance voisine de 50Q. L'impression sérigraphique offre la possibili- té de varier facilement et dans de larges proportions la forme et la valeur résistive de la résistance 8. Elle permet de reproduire de façon précise et à faible coût le dépôt résistif dans le cas d'une production en série du calorimètre. Enfin, la toile sérigraphique détermine l'épaisseur de la couche résistive 8: on peut ainsi obtenir une résistance 8 ayant une épais- seur de l'ordre de 100 pm. En fait, l'épaisseur de la couche 8 est déterminée en fonction de la forme et de la valeur de la résistance qu'on veut obtenir: on ne sortirait pas du cadre de l'invention en utilisant une autre forme que celle illustrée à la figure 3 ou en utilisant des épaisseurs différentes. Comme représenté sur la figure 2, la thermo- pile 10 a une face de mesure 11 en contact avec la face interne 9 de la seconde couche 6 et une face de réfé- rence 13. De préférence, la thermopile 10 occupe au plus 20% de La surface de la face interne 9 de la seconde couche 6. Dans l'exemple qui a été réalisé, on a uti- lisé une thermopile de forme rectangulaire et de di- mensions de l'ordre de 11,5 mmx9 mm possédant 132 thermocoupLes. La seconde couche 6 et la thermopile 10 sont assemblées par la même technique que celle em- ployée pour l'assemblage des deux couches de l'élément absorbant 2. En 12 est représenté un élément thermique maintenant La face de référence 13 de la thermopile 10 à une température de référence. L'élément 12 a une face externe 15 en contact avec La face de référence 13 et une face interne 17. De préférence, l'élément thermique 12 possède une masse au moins 5 fois supé- rieure à celle de l'ensemble de l'éLément absorbant 2 et de la thermopiLe 10 afin que la capacité thermique de l'élément 12 soit grande vis-à-vis de celle de l'élément absorbant 2 et de la thermopile 10. Ainsi, la température de la face de référence 13 reste stable malgré l'augmentation de la température de l'élément absorbant 2. Par ailleurs, la chaleur transmise par l'augmentation de température de l'élément absorbant 2 via la thermopile est diffusée très rapidement dans toute la masse de l'élément 12 grâce à la conductivité élevée de cet élément. Dans l'exemple réalisé, l'élé- ment thermique 12 a la forme d'un disque d'aluminium de diamètre 46 mm et d'épaisseur 8 mm environ. La thermopile 10 et l'élément thermique 12 sont assemblés également par la même technique que celle employée pour l'assemblage des deux couches de l'élément absor- bant 2. La figure 4 montre comment on peut placer plusieurs thermopiles 10 sur la face interne 9 de l'élément absorbant 2, les thermopiles étant réguliè- rement réparties et couvrant au plus 20% de La surface de la face 9. Le dépôt résistif d'étalonnage 8 se pré- sente de préférence sous la forme d'une ou plusieurs bandes continues homogènes disposées entre Les thermo- piles 10 de manière à couvrir le plus possible de la surface non occupée par les piles. Le fonctionnement d'un tel dispositif est le même que dans le cas d'un calorimétre ne comportant qu'une seule thermopile, car les thermopiles 10 sont connectées en série. Les fils 14 (figure 2) servent à relier les bornes de la thermopile 10 à un appareil de mesure qui traite le signal délivré par la thermopile tandis que les fils 16 servent à relier les bornes de la résis- tance d'étalonnage 8 à une alimentation en courant qui sert à appliquer une énergie de l'ordre de quelques millijoules à la résistance. Ces appareils vont main- tenant être décrits en référence aux figures 5 et 6. La figure 5 représente l'allure de la ten- sion délivrée par le calorimètre qui vient d'être dé- crit. Cette tension croît rapidement, puis passe par un maximum et enfin décroît exponentiellement. En pra- tique, la tension délivrée-par le calorimètre peut être décalée du zéro, même en l'absence de rayonnement incident, de sorte qu'il faut prévoir un moyen pour corriger ce décalage. Sur la figure 5, la courbe 100 montre l'évolution de la tension réelle délivrée par le calorimètre sans correction et la courbe 102 l'évo- lution de la tension avec correction. Cette dernière (dite quelquefois "correction d'offset") peut inter- venir dès que la tension à vide délivrée par le calo- rimètre atteint un seuil +Vs ou -Vs. C'est ce qui in- tervient au point 103 de la courbe 102. Cette correc- tion s'effectue pendant une période de temps dite de stabilisation St, qui précède et qui suit chaque in- tervalle de mesure. Une impulsion de synchronisation 104 indique que l'appareil est prêt pour la mesure. Une période de mesure M s'instaure aLors, pendant ta- quelle le signal est échantilLonné, par exemple en 1024 points. La fréquence d'échantillonnage n'est pas nécessairement constante tout au Long de l'intervalle de mesure. On peut, par exemple, utiliser une fréquen- ce f0 reLativement basse Lorsque l'évolution de la tension est lente, c'est-à-dire avant l'arrivée de l'impulsion de rayonnement sur Le calorimètre et long- temps après sa cessation, et une fréquence f1 supé- rieure à f0 dans l'intervalle de temps o la tension varie rapidement, c'est-à-dire pratiquement pendant la phase de croissance et de passage par le maximum. Les fréquences fo0 et f1 sont de l'ordre de quelques Hertz ou quelques dizaines de Hertz. Les intervalles de temps définissant ces différents échantillonnages sont comptés à partir de l'impuLsion de synchronisa- tion 104. La figure 6 représente un mode particulier de réalisation d'un circuit de traitement du signal délivré par le calorimètre 20 de l'invention équipé de sa résistance d'étalonnage 8. Le signal délivré par le calorimètre est appliqué à un amplificateur 114 à gain fixe (par exemple 50) puis à deux amplificateurs 116, 118 à gain ajustable par un circuit 120. Ces gains sont par exemple 1, 10, 100, 1000 pour le premier am- plificateur et 1, 2, 5 pour le second. Un circuit de compensation de décalage 122 est connecté en parallèle sur les amplificateurs 116 et 118. C'est à la sortie de l'amplificateur 118 que l'on trouve un signal tel que celui de la courbe 102 de la figure précédente. Le circuit comprend encore un convertisseur tension-fréquence 124 qui est chargé de convertir la tension qu'il reçoit en un signal d'amplitude constan- te mais de fréquence proportionnelle à l'amplitude du signal reçu. La fréquence peut varier entre 0 et 300 kHz. Le circuit comprend encore un circuit d'iden- tification de voie 126. Un coupleur optoélectronique * reçoit les différents signaux provenant des diver- ses voies et les transmet vers des organes de traite- ment numérique. Ce coupleur assure un isolement galva- nique entre la partie amont comprenant le catorimètre et la partie aval comprenant les moyens de traitement. Les signaux délivrés par le-coupleur 130 sont achemi- nés par des connexions 132 vers un circuit 134 qui est un convertisseur fréquence-numérique. Un tel circuit convertit la fréquence qu'il reçoit en un échantillon directement codé en numérique, par exemple sur 12 bits. Ce circuit réalise en même temps l'échantillon- nage à une fréquence qui est déterminée par un circuit de rythme 136. C'est ce circuit qui permet d'obtenir 1024 échantillons, avec une fréquence appropriée. Ces échantillons transitent par un bus de données 138 vers une mémoire 140, taquelle est adressée par une mémoire 142 à travers un bus d'adresses 144. Il peut exister également une mémoire de test 143. Le bus de données 138 est relié enfin à un calculateur 150 qui traite les échantillons numériques selon divers procédés (calcul de la valeur crête, calcul de la surface sous la courbe, etc...). Le circuit représenté comprend enfin un circuit 152 de génération d'une énergie électrique destinée à être appliquée à la résistance 8 aux fins d'étalonnage du calorimètre. En outre, un circuit 154 permet de mesurer l'énergie réellement appliquée à la résistance d'étalonnage. Cette énergie est typique- ment de quelques dizaines de millijoules. Le calorimètre objet de l'invention présen- te plusieurs avantages: tout d'abord la sensibilité est grande grâce à la faible capacité calorifique de la partie chaude de La thermopile vis-àvis de celle de L'élément absorbant. De plus, l'étalonnage est fia- ble et facilement reproductible, permettant de simuler de façon quasi parfaite un dépôt d'énergie dans L'élé- ment absorbant. Ensuite, l'assemblage des éléments constitutifs essentiels du calorimètre est une opéra- tion facilement reproductible. Enfin, le calorimètre selon l'invention peut être appliqué à La mesure de L'énergie transportée par n'importe quel rayonnement électromagnétique ou flux de particules. REVENDICATIONS 1. Calorimètre servant à mesurer L'énergie transportée par un rayonnement comprenant: - un élément absorbant (2), apte à absorber ledit rayonnement, ayant une face externe (3) exposée audit rayonnement et une face interne (9), cet élément subissant une augmentation de température lors de L'interaction avec ledit rayonnement, - des moyens pour mesurer cette augmentation de température, et - des moyens pour étalonner Le calorimètre, caractérisé en ce que les moyens d'étalonnage compren- nent un dépôt résistif (8) couvrant au moins une par- tie de la face interne (9) de l'élément absorbant (2). 2. Calorimètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dépôt résistif (8) couvre au plus 80% de La surface de la face interne (9) de l'élément absorbant (2). 3. Calorimètre selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le dépôt résistif d'étalonnage (8) comprend au moins une bande continue homogène, cette bande résistive pouvant être alimentée en courant et ayant un rapport longueur sur largeur de l'ordre de 100. 4. Calorimètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le maté- riau constitutif du dépôt résistif d'étalonnage (8) comprend au moins une encre conductrice apte à être polymérisée. 5. Calorimètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les moyens pour mesurer l'augmentation de température de l'élé- ment absorbant (2) comprennent: - au moins une thermopile (10) ayant une face de mesure (11) en contact avec la face interne (9) de l'élément absorbant (2) et une face de référen- ce (13), cette thermopile (10) occupant au plus 20% de la surface de la face interne (9) de l'élément absor- bant (2), - des moyens pour maintenir la face de réfé- rence (13) de la thermopile (10) à une température de référence, et - des moyens pour mesurer la tension aux bornes de la thermopile (10) engendrée lors de l'in- teraction du rayonnement et de l'élément absorbant (2). 6. Calorimètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la thermo- pile (10) est une thermopile semiconductrice. 7. Calorimètre selon l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que les moyens pour maintenir la face de référence (13) de la thermopile (10) à une température de référence com- prennent un élément (12) ayant une face externe (15) en contact avec Ladite face de référence (13) et une face interne (17), cet élément (12) ayant une masse au moins cinq fois supérieure à celle de la thermopile (10). 8. Calorimétre selon l'une quelconque des revendications I à 7, caractérisé en ce que L'élément absorbant (2) comprend: - une première couche (4) d'un matériau apte à absorber le rayonnement ayant une face externe (3) exposée au rayonnement et une face interne (5), et - une seconde couche (6) d'un matériau de conduction thermique latérale disposée entre la pre- mière couche (4) et la thermopile (10) et en contact avec la face interne (5) de la première couche (4) et avec la face de mesure (11) de la thermopile (10). 9. Calorimètre selon l'une quelconque des revendications 5 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend une pluralité de thermopiles (10) ayant chacune une face de mesure (11) et une face de référence (13), la face de mesure (11) étant en contact avec la face in- terne (9) de L'élément absorbant, L'ensemble des ther- mopiLes (10) couvrant au plus 20% de La surface inter- ne (9) de l'élément absorbant (2). 10. Procédé de réalisation d'un calorimétre selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, ca- ractérisé en ce que la résistance (8) est déposée par sérigraphie. 11. Procédé de réalisation d'un calorimétre selon la revendication 8, caractérisé en ce que les première et seconde couches de l'élément absorbant (2) sont assemblées par une couche de colle thermoconduc- trice déposée par sérigraphie. 12. Application du calorimètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 à la mesure de l'énergie photonique impulsionnelle transportée par un rayonnement ayant une longueur d'onde allant de 0,3 pm à 2 pm.