FR 2603146 A1 19880226 FR 8611836 A 19860819 SOURCE DE COURANT DE TYPE CHARGE ACTIVE ET SON PROCEDE DE REALISATION La présente invention concerne une charge active, source de courant pour les circuits logiques rapides fonctionnant avec des transistors normalement bloqués. La structure de cette charge active lui permet de constituer une source de courant dont le courant est bien défini, quels que soient les dispersions dans la fabrication des plaquettes dans lesquelles sont réalisés lesdits circuits logiques, généralement en matériaux rapides de la famille lTl-V tel que GaAs. L'invention concerne également le procédé de fabrication de cette charge active. Le développement des circuits logiques rapides est associé au 10 développement des circuits intégrés sur arséniure de gallium, ou matériau binaire ou ternaire équivalent de la famille [II-V, et aux transistors à effet de champ normalement bloqués ou normalement passants. Les circuits à transistors normalement bloqués sont les plus intéressants pour plusieurs raisons: - ils ne nécessitent qu'une seule tension d'alimentation VDD, et la masse, - ils consomment très peu, de 20 à 100/, fW par porte, - leur facteur de mérite P*tpd (puissance x temps de propagation) est plus faible que pour les circuits à transistors normalement 20 passants, - leur densité d'intégration est élevée. L'inconvénient des portes logiques à transistors normalement bloqués est que la technologie de fabrication est très sévère, et que de ce fait les rendements industriels ne sont pas remarquables. Le circuit logique connu sous le nom de DCFL (Direct Coupled FET Logic) est donc très intéressant pour ses caractéristiques, et sa simplicité: il ne comporte qu'un seul étage, constitué par un (ou deux) transistor normalement bloqué, ou à enrichissement alimenté par une charge active fonctionnant en source de courant. Il est actuellement connu de réaliser la charge active avec un transistor normalement passant, ou à appauvrissement. Le circuit DCFL à enrichissement-appauvrissement est l'analogie de la logique NMOS développée sur silicium. Cependant, la dispersion des résultats d'implantation, au cours des opérations de fabrication, fait que l'on peut obtenir deux types de charges actives: - celles pour lesquelles le courant qu'elles débitent est inférieur à sa valeur nominale, mais dans ce cas on sait intervenir pour augmenter le courant, - celles pour lesquelles le courant qu'elles débitent est supérieur à sa valeur nominale. Il faut alors trouver un moyen de réduction de ce courant, pour l'ajuster. Une charge active est un transistor dans lequel la métallisation de grille est court-circuitée avec la métallisation de source: si cette charge est normalement passante, elle comporte sous sa 1) métallisation de grille un canal à tension de seuil négative. Selon l'invention, le courant débité par une source de courant est réduit et ajusté au moyen d'au moins une seconde métallisation de grille sous laquelle le canal est à tension de seuil positive: elle bloque 20 partiellement le passage du courant dans la charge. La première grille, à tension de seuil négative, et la seconde grille, à tension de seuil positive, coopèrent pour que le courant bloqué par la seconde grille ajuste à sa valeur nominale le courant, excédentaire, que laisserait passer la première grille, en l'absence 25 de la seconde grille. De façon plus précise, l'invention concerne une source de courant de type charge active, fonctionnant en association avec au moins un transistor à effet de champ de type "normalement bloqué" à tension de seuil positive, cette source de courant ayant elle-même 30 la structure d'un transistor à effet de champ dont le drain est alimenté par une tension positive (+VDD) et dont la métallisation de grille est reliée à la métallisation de source, et étant caractérisée en ce qu'elle comporte une première grille à tension de seuil 2 C 0 3 146 négative (VT O), et en contact électrique avec la première grille, ladite deuxième grille servant à ajuster le courant fourni par la charge active. L'invention sera mieux comprise par la description d'un exem5 ple de réalisation, qui s'appuie sur les figures jointes en annexes, qui représentent: - figure I: schéma électrique d'une porte logique de type DCFL, selon l'art connu, - figure 2: vue en coupe de la charge active selon l'invention, - figure 3: vue en plan de la charge active selon l'invention, au cours d'une étape intermédiaire de sa fabrication, figure 4: vue en plan de la charge active selon l'invention, dans sa phase achevée. IS L'invention sera plus facilement comprise par un bref rappel préliminaire de la structure d'une porte logique de type DCFL et de son procédé de fabrication. Bien que l'invention s'applique également à d'autres circuits que les portes logiques, elle est surtout intéressante dans le cas d'une porte DCFL qui soutiendra l'exposé de 20 l'invention. Une porte logique DCFL élémentaire est représentée en figure I. Elle comporte au moins un transistor d'entrée 1, de type normalement bloqué, qui est alimenté par une charge active 2, constituant une source de courant, et qui est simplement un transistor à effet de 25 champ dont la grille est réunie à la source. Dans certains cas, d'autres transistors d'entrée tel que 3 sont montés en parallèle sur le premier transistor d'entrée 1. Cette porte est alimentée par une tension unique + VDD sur le drain de la source de courant 2, et la source du transistor d'entrée I est à la masse. Le signal de sortie est prélevé au point commun entre le drain du transistor d'entré I et la source du transistor 2: dans le cas de la figure, si A et B sont les deux signaux d'entrée, le signal de sortie est A + B. On a découvert depuis quelque temps que les portes mixtes à 2 6 03 1 4 6 enrichissement-appauvrissement ont des caractéristiques plus intéressantes que celles qui sont uniquement à enrichissement. C'est- àdire qu'une porte mixte comporte: - un transistor d'entrée 1 à enrichissement, de type normalement bloqué (Normally-off) et à tension de seuil VT positive, - une charge active 2 à appauvrissement, de type normalement passant (Normally-on) et à tension de seuil VT négative. La réalisation de ces circuits intégrés sur GaAs nécessite donc la réalisation de transistors à VT> 0 et de transistors à VT O 6/dépôt de ponts de diélectrique s'il y a des croisements d'interconnexions, des métallisations d'interconnexions et de la couche de passivation. Ces opérations sont tout à fait classiques, mais on sait par 20 l'expérience que la dispersion des caractéristiques des couches actives obtenues par implantation de Si28 est surtout en surface. Il s'ensuit que les transistors à VT > 0, fonctionnant dans les couches profondes, ont des caractéristiques relativement stables, tandis que les charges actives à VT l'implantation de Si28. Mais on a constaté également que les résultats d'une implantation de Si28 sont homogènes au niveau d'une plaquette de matériau semiconducteur, de sorte que, pour une plaquette, tous - ou presque 30 tous- les courants dans les charges sont uniformément soit inférieurs soit supérieurs au courant nominal: Pajustage du courant de charge peut donc être une opération collective au niveau de la plaquette. 203 146 Le contrôle de la tension de seuil dans une charge active permet d'ajuster le courant dans un sens croissant. Si le courant dans une charge est inférieur à sa valeur nominale, on peut l'ajuster au moyen d'un complément d'implantation de Si28. Mais si le courant dans une charge est supérieur à sa valeur nominale, il faut un moyen de réduction pour l'ajuster. Etant donné que le contrôle du courant dans les charges actives d'une plaquette ne peut se faire qu'après la quatrième étape du procédé de fabrication précité, la réduction ne peut intervenir qu'à la cinquième étape. Selon l'invention, si une charge active laisse passer un courant trop important, celui-ci est diminué et ajusté en déposant, à proximité de la grille à tension de seuil négative de la charge de courant au moins, une seconde grille à tension de seuil positive, qui limite la largeur sur laquelle passe le courant entre source et drain. Cette seconde grille est déposée en même temps que la grille du transistor d'entrée I à tension de seuil positive. La figure 2 représente une vue en coupe d'une charge active selon rl'invention: pour être bien comprise, elle doit être lue en conjonction avec la figure 4. La figure 2 est une coupe au niveau de - 20 l'axe XX' de la figure 4. Dans une charge active, un substrat semi-isolant 4 supporte une couche conductrice 5, implantée ou épitaxiée, limitée en surperficie par un caisson rendu isolant 6. Deux métallisations ohmiques 7 et 8 servent d'électrodes de source et de drain, et une 25 métallisation 9, réunie à la source, sert de grille. Il est d'usage de définir la longueur de grille selon un axe tel que XX' qui va de la source vers le drain, et la largeur Zl de grille selon un axe parallèle aux métallisations de source et de drain. Cette charge active est à appauvrissement, c'est-à-dire à 30 tension de seuil VT 2603 1 46 de seuil positive VT. > O. En fait, il est préférable d'ajouter deux fractions de seconde électrode 10: cela permet de mieux contrôler la largeur Z2 de grille dans laquelle la première grille 9 à tension de seuil négative reste active. En raison de l'incertitude de positionnement du second masque, qui sert à faire la seconde grille 10, par rapport au premier masque, qui sert à faire la première grille 9, les deux grilles 9 et 10 sont soit superposées, soit chevauchées (cas des figures 2 et 4) soit côte à côte, mais toujours en contact électrique entre elles. Ainsi, la seconde grille 10 est en contact électrique avec la source 7, par 10 l'intermédiaire de la première grille 9. La seconde grille 10 est donc à la masse à travers le transistor d'entrée I lorsque celui-ci est conducteur: dans ces conditions, le courant ne passe plus sous la seconde grille 10, puisque sa tension de seuil VT est positive. L'action de la premiere grille 9 est limitée à la z8ne de largeur Z2. 15 La figure 3 représente une charge active selon l'invention, au cours d'une étape intermédiaire de sa fabrication. Dans une plaquette 4 de GaAs semi-isolant a été créée par implantation de Si28 une couche active 5, qui servira aussi bien pour le transistor d'entrée 1 et pour la charge active 2 (étape 1). Les 20 métallisations de contacts ohmiques 7 et 8 - ainsi que celles du transistor d'entrée I sont déposées sur la couche active (étape 2), et les caissons isolants 6 qui délimitent la charge active 2 et le transistor d'entrée I sont créés dans la plaquette par implantation de bore (étape 3). La surface de la plaquette est alors masquée par 25 un masque, qui ne découvre que la partie de la future première grille 9 qui est effectivement sur la couche active: un bombardement protonique, par des moyens connus, permet de déterminer le réseau cristallin dans la région o l'on désire une tension de seuil négative VT Selon l'invention, les plaquettes en cours de fabrication sont alors mesurées en courant de charge et triées. Pour celles qui ont un courant de charge trop important, l'opérateur choisit, parmi une pluralité de masques, celui qui va permettre de déposer une seconde électrode de grille 10 qui diminue le courant dans la charge d'une valeur adéquate: par exemple 10 %, ou 25 % ou quelqu'autre valeur. Le masque - ou plus exactement le jeu de masques - utilisé dans l'étape S a donc la particularité de définir à la fois la seconde 5 grille 10 de la charge active 2 et la grille du transistor d'entrée I1: elles sont toutes deux à tension de seuil positive, et sont fabriquées simultanément par un autre bombardement protonique qui crée, sous les futures métallisations de grilles, des régions à tension de seuil positive: sur la figure 4, ce sont les régions de la 10 couche active 5, à l'intérieur des ouvertures de la seconde grille 10, qui sont ainsi transformées en régions à tension de seuil positive. Après ce bombardement, les métallisations de la seconde grille 10 de la charge active 2 et de la grille du transistor d'entrée I sont déposées (étape 5). La suite des opérations est classique et comprend les étapes nécessitées par la complexité du circuit intégré: - dépôt de ponts de diélectrique pour les croisements d'interconnexions, - dépôt des pistes métalliques d'interconnexions et des plots de 20 liaisons extérieures, - dépôt d'une couche de passivation. Les charges actives selon l'invention ont plusieurs avantages: - les courants dans les charges sont ajustables, par le choix du masque de réalisation de la grille 10 à tension de seuil positive, - toutes les portes logiques DCFL d'un circuit intégré complexe ont les mêmes courants de charges, - linéarité des courants. Les grilles des transistors et des charges actives ont même finesse, submicronique, et la distance Z2 entre deux fractions de seconde grille 10 peut être précise à 1 micron 30 près. Il est donc possible de réaliser des charges actives ayant chacune une longueur Z2 bien spécifique, de sorte que l'on peut obtenir des courants multiples d'un courant de référence de faible valeur, ce qui convient aux circuits linéaires comme les convertis- seurs analogique-numérique ou numérique-analogique. L'invention permet donc de réaliser des circuits intégrés de grande complexité, de grande rapidité avec cependant un bon rendement de fabrication puisque les plaquettes pour lesquelles un courant de charge trouvé trop important sont récupérées par ajus5 tage du courant de charge. Bien que l'invention ait été exposée en s'appuyant sur l'exempie d'une porte logique de type DCFL en GaAs, il est bien évident qu'elle concerne tous les transistors à tension de seuil négative, dont on veut ajuster le courant qui le traverse, par adjonction d'une grille à tension de seuil positive, et quel que soit le matériau semi10 conducteur: silicium ou matériaux tels que InP ou GaAIAs...etc. Bien entendu, les conditions des opérations connues d'implantation et de bombardement sont alors adaptées au matériau considéré. 2603 1 46 REVENDICATIONS 1. Source de courant de type charge active, fonctionnant en association avec au moins un transistor à effet de champ (1) de type "normalement bloqué" à tension de seuil positive, cette source de courant ayant ellemême la structure d'un transistor à effet de champ (2) dont le drain (8) est alimenté par une tension positive (+VDD) et dont la métallisation de grille (9) est reliée à la métallisation de source (7), et étant caractérisée en ce qu'elle comporte une première grille (9) à tension de seuil négative (VT O), et en contact électrique avec la première grille (9), ladite deuxième grille (10) servant à ajuster le courant fourni par la charge active. 2. Source de courant selon la revendication 1, caractérisée en ce que les deux grilles (9,10) sont parallèles entre elles, et en ce que la 15 métallisation de la deuxième grille (10) recouvre au moins partiellement la métallisation de la première grille (9) pour assurer le contact électrique entre elles. 3. Source de courant selon la revendication 1, caractérisée en ce que, lorsque la deuxièmrne grille (10) est portée à une tension nulle ou 20 inférieure à sa tension de seuil (VT > O), elle bloque le passage du courant dans la partie correspondante de la première grille (9). 4. Source de courant selon la revendication 1, caractérisée en ce que le courant qui la traverse est ajusté par le choix de la largeur (Z2) de la première grille (9) qui n'est pas controlée par la deuxième 25 grille (10) . 5. Source de courant selon la revendication 1, comportant deux sections de deuxième grille (10) caractérisée en ce que le courant qui la traverse est ajusté par le choix de la distance (Z2) qui sépare les deux sections de la deuxième grille (10). 6. Procédé de fabrication d'une source de courant dans un circuit 2603 146 intégré selon l'une quelconque des revendications I à 5, comportant des étapes préliminaires de: - réalisation de la couche active (5) sur un substrat (4) de matériaux semiconducteur, - dépôt des métallisations de contact chmique de source et drain (7,8) - réalisation du caisson isolant (6) - bombardement protonique de la région de la première grille (9) pour créer une zone à tension de seuil négative (VT - dépôt de la métallisation de contact de première grille (9), 10 caractérisé en ce qu'il comporte les étapes de: - mesure du courant qui traverse la charge active, et détermination de la largeur de la seconde grille (10) nécessaire pour ajuster ce courant, - bombardement protonique de la région de la deuxième grille (10) 1S pour créer au moins une zone à tension de seuil positive (VT > O) - dépôt de la métallisation de contact de deuxième grille (10), l'achèvement du circuit intégré se faisant par des opérations de dépôts de métallisations et de ponts diélectriques pour les interconnexions. 7. Procédé de fabrication d'une source de courant dans un circuit 20 intégré, selon la revendication 6, caractérisé en ce que les étapes de réalisation de la deuxième grille (10) comportent simultanément la réalisation des transistors (1,3) du circuit intégré à tension de seuil positive (VT > O)