FR 2587844 A1 19870327 FR 8513952 A 19850920 CIRCUIT HYPERFREQUENCE A FAIBLES CAPACITES PARASITES La présente invention concerne un circuit hyperfréquence amélioré par diminution des capacités parasites qui se forment entre métallisations portées par les deux faces principales du substrat du circuit. Sont concernés par l'invention les circuits hyperfréquences réalisés sous forme hybride, sur un substrat constitué par une plaquette de céramique, aussi bien que ceux réalisés sous forme intégrée, sur un substrat constitué par une pastille de matériau semiconducteur rendu semi-isolant, tel que le GaAs par exemple. Tous les circuits hyperfréquences comporfent, quels que soient les fonctions qu'ils remplissent, un certain nombre d'éléments communs. Ils sont réalisés sur un substrat en matériau diélectrique, qui comporte sur une première face principale des composants actifs -diodes, transistors, circuits intégrés-, des pistes conductrices sous forme de microbandes, ou micro-strips en anglais, et des métalli- sations qui servent de relais de cablage ou de plot d'ajustage d'impédance par exemple. Les composants actifs sont fixés sur le substrat par l'intermédiaire de plages métallisées. Par ailleurs, la seconde face principale du substrat est totalement métallisée, de façon à former un premier plan de masse pour le circuit hyper- fréquence. Cette métallisation est par ailleurs nécessaire pour générer des lignes d'impédance fixée constituées par une microbande parallèle à un plan de masse et séparé de lui par un diélectrique. Elle sert enfin à fixer le circuit hyperfréquence sur un support ou boitier métallique qui constitue également un second plan de masse. Par contre, les plages de métallisations -autres que les micro- bandes- et les plots métallisés forment avec le plan de masse des capacités parasites, dont le substrat constitue le diélectrique. Ces capacités parasites sont de valeurs négligeables en statique, ou en courant continu, mais sont inacceptables en hyperfréquences, puisqu'elles désaccordent le circuit. L'invention tend à diminuer considérablement la valeur de ces capacités parasites dans un circuit hyperfréquence en introduisant, en série avec chaque capacité parasite, une capacité dont le diélectrique est l'air. Cette capacité à air est obtenue par: - la suppression localisée de la métallisation du plan de masse porté par la seconde face du substrat, dans les régions correspondant aux plages métallisées portées par la première face du substrat, - l'introduction d'une lame d'air, dans les régions dans lesquelles la métallisation du plan de masse est supprimée, entre le substrat et un second plan de masse formé par le support ou le boitier métalliques du circuit hyperfréquence. En d'autres termes, les capacités parasites sont diminuées en valeur par éloignement localisé du plan de masse, et interposition entre le substrat nu, démétallisé, et le plan de masse éloigné d'une capacité à air, de très faible valeur, puisque la constante diélec- trique de l'air, égale à I par définition, est inférieure à la constante diélectrique d'un substrat quel qu'il soit. De plus un circuit hyperfréquence est généralement rendu solidaire d'un support métallique qui est soit une semelle de fixation dans un ensemble mécanique, soit un boitier d'encapsulation. Ce support métallique constitue un second plan de masse. Afin de réduire les capacités parasites, le second plan de masse est percé aux emplacements o la métallisation du premier plan de masse est supprimé. De façon plus précise, l'invention consiste en un circuit hyperfréquence à faibles capacités parasites, comportant un substrat en matériau diélectrique et, sur une première face de ce substrat, au moins une métallisation de report de composant du circuit hyperfréquence et au moins une ligne de connexion de type microbande formée par une piste conductrice et par une métalli- sation de plan de masse, celle-ci étant sur une deuxième face du substrat, lui-même supporté par une embase métallique d'un boitier, ce circuit hyperfréquence étant caractérisé en ce que, en vue de diminuer les capacités parasites qui se forment entre métallisations sur les deux faces du substrat, il comporte au moins une démétal- lisation locale du plan de masse sur la deuxième face métallisée du substrat, dans au moins une région à l'aplomb de la métallisation de report sur la première face du substrat, et une lame d'air entre le substrat démétallisé et l'embase du boitier, cette lame d'air ayant une épaisseur au moins égale à 100 microns. L'invention sera mieux comprise par la description suivante de deux exemples d'applications, en corrélation avec les figures jointes en annexe, qui représentent: - figures 1 et 2: vues en plan et en coupe, respectivement, d'un élément de circuit hyperfréquence, comportant des composants communs à tous les circuits hyperfréquences, et montrant la forma- tion des capacités parasites, dans l'art connu, - figure 3: schéma d'un oscillateur hyperfréquence idéal, - figure 4: schéma réel de l'oscillateur hyperfréquence de la figure 3, réalisé selon la technologie de la figure 2, - figure 5: vue en coupe d'un circuit hyperfréquence, comportant un moyen connu pour diminuer la capacité parasite d'un plot de cablage, figure 6: vue en coupe d'un circuit hyperfréquence selon l'invention, sous une forme hybride, - figure 7: vue en coupe d'un circuit hyperfréquence selon l'invention, sous une forme intégrée. La figure I représente une vue partielle en plan d'un circuit hyperfréquence. Celui-ci comporte un substrat isolant 1, c'est-à-dire en matériau ayant une constante diélectrique qui lui est propre, sur lequel sont rapportés au moins deux composants actif ou passif 2 et 3. La fixation des composants 2 et 3 sur le substrat I se fait au moyen de métallisations 4 et 5, qui ont la forme et les dimensions d'encombrement des composants 2 et 3, ce qui permet de souder ou braser les composants sur le substrat. Le réseau d'interconnexion dans un circuit hyperfréquence se fait au moyen de microbandes, connues également sous le nom anglais de micro-strips 6, et la connexion entre l'extrémité d'une microbande et un composant se fait par des fils ou des rubans 7 soudés sur la microbande 6 et sur le composant. De façon à améliorer la fiabilité du circuit, et dans certains cas à raccourcir la longueur des liaisons 7, les circuits hyperfréquences comportent fréquemment des métallisations 8 qui servent de plots de relais pour souder un fil 7 entre deux composants, ou pour accorder l'impédance d'un circuit. Ce même circuit est représenté en figure 2, en coupe, et on voit sur cette figure 2 que la face arrière, c'est-à-dire la seconde face principale du substrat 1, est très généralement métallisée sur toute sa surface en 9. Cette métallisation 9 constitue un premier plan de masse du circuit hyperfréquence, et elle est nécessaire pour former les microbandes avec les réseaux d'interconnexions 6 qui sont déposés sur la première face principale du substrat. En outre les circuits hyperfréquences sont fréquemment rendus solidaires d'une semelle métallique 10, qui constitue donc un second plan de masse pour le circiit hybride, cette semelle servant soit à fixer le circuit dans un ensemble mécanique plus vaste, soit à constituer le boitier d'encapsulation. Ainsi il se forme entre les métallisations déposées sur la première face principale du- substrat et la métallisation 9 de la seconde face principale du substrat des capacités parasites dont le matériau du substrat diélectrique I constitue le diélectrique. Dans le cas d'exemple choisi pour la figure 1, la métallisation 4 d'un premier composant 2 forme avec le plan de masse une première capacité parasite Cl, le plot de relais 8 forme avec le plan de masse une seconde capacité parasite C2, et la métallisation 5 du second composant 3 forme avec le plan de masse une troisième capacité parasite C3. En raison des dimensions extrêmement petites de ces métallisations, ces capacités parasites sont négligeables en statique ou en courant continu. Elles ne le sont plus en hyperfréquence, puisque les dimensions changent d'importance en hyperfréquence et que même la longueur des fils ou rubans 7 constitue alors des selfs. Pour mettre en évidence le r6le néfaste de ces capacités parasites, on peut considérer le cas représenté en figure 3 d'un oscillateur hyperfréquence. Cette figure est réduite à son strict minimum et un varactor 2, qui peut être par exemple le composant 2 des figures 1 et 2, commande un transistor à effet de champ 3, qui peut tout aussi bien être le composant 3 des figures 1 et 2. Sans entrer dans les détails, des selfs permettent d'alimenter cet oscil- lateur et d'introduire un circuit oscillant sur la grille du transistor à effet de champ 3. Ce schéma est un schéma idéal, mais s'il est réalisé selon la technologie des figures 1 et 2, les capacités parasites C1, C2 et C3 sont introduites et le schéma de la figure 3 devient le schéma réel de la figure 4. Bien que dans les circuits hyperfréquences,-on ait l'habitude de tenir compte des inductances et capacités parasites qui se déve- loppent dans ces circuits, la présence d'une capacité parasite telle que C2 correspondant au plot de cablage, est inadmissible puisqu'elle désaccorde le circuit. Il convient donc de trouver un procédé pour diminuer-l'impor- tance des capacités parasites. Un procédé connu actuellement est représenté en figure 5 dans une vue en coupe. Cette figure 5 reprend les mêmes éléments que la figure 2, mais, à titre d'exemple non limitatif, le plot de cablage 8 est remplacé par un pavé de silice fondue Il. Plus exactement, sur la métallisation 8 du plot de cablage est fixé un pavé d'un matériau dont la constante diélec- trique est plus faible que celle du substrat. Si par exemple le substrat diélectrique est de l'alumine, de constante diélectrique Er = 9,8, le pavé Il est constitué de silice fondue dont la constante diélectrique est F'r = 3,9. L'extrémité 12, de ce pavé de diélectrique 11 est elle-même métallisée et c'est sur la métallisation 12 qu'a lieu le cablage ou relais de cablage des fils ou rubans 7 entre deux composants tels que les composants 2 et 3. Ce procédé connu est en soi intéressant mais n'apporte pas encore une réduction de la constante diélectrique suffisante, comme le montre le calcul suivant. Pour une métallisation telle qu'un plot de cablage 8, la capacité qu'il forme avec le substrat et le plan de masse est exprimée en statique par la valeur: C oúrs C= H dans laquelle E0 est la constante diélectrique de l'air, r est la constante diélectrique du substrat, S est la surface du plot et H est l'épaisseur du substrat. On pourrait diminuer la valeur de la capacité parasite C en diminuant S et en augmentant H, mais ceci n'est pas possible car la surface du plot S est fixée par les impératifs de montage ou liée à des règles de conception, et l'épaisseur du substrat H est fixée par les impératifs hyperfréquences, substrat diélectrique sur lequel sont gravés d'autres circuits. Prenons à titre d'exemple non limitatif de l'invention un substrat diélectrique en alumine, d'épaisseur H = 0,4 mm, de constante diélectrique E r = 9,8, et un pavé 11 d'épaisseur 0,6 mm, de section carrée de 0,4 mm de côté, en silice fondue de constante diélectrique E'r = 3,9. La surface du plot 8 sur lequel est reporté le pavé 11 doit être au minimum de même surface que celui-ci c'est-à- dire S = (0,4). Les deux capacités en série C et C', C étant la capacité formée par le plot de métallisation 8 et le plan de masse 9, et C' étant la capacité formée par le pavé 11 et ses deux métallisations 8 et 12, sont équivalentes à une capacité équivalente C telle que -. 2S Ci = 1C + eq - Ci Eeq=C soit H+h _ H + h Eeq E r E'r dans laquelle h est la hauteur du pavé de silice fondue 11, c'est-à- dire l'épaisseur de matériau diélectrique entre les deux armatures 8 et 12 du condensateur C'. Ceci donne eq- 5, ce qui réduit de façon notable la constante diélectrique initiale, Er = 9,8. La capacité équivalente à ensemble des deux capacités C et C' en série est dans le rapport C -= 0,2, par rapport à la capacité parasite C: on a donc diminué la capacité parasite C d'un facteur 5. Ce résultat n'est pas toujours suffisant, et il a l'inconvénient, en introduisant un pavé de silice fondue 11, de compliquer le montage, de réduire la fiabilité poten- tielle du circuit hybride, et de rallonger de façon importante les fils ou rubans de liaisons 7, donc les selfs. La figure 6 représente une vue en coupe d'un élément de circuit hyperfréquence selon l'invention, dans le premier cas o ce circuit hyperfréquence est réalisé sous forme hybride. De façon à simplifier la compréhension de l'invention et la lecture des dessins, les mêmes indices de repères que sur les précédentes figures sont conservés. Le circuit hyperfréquence selon l'invention comprend une lame d'air entre le substrat diélectrique du circuit hybride et le plan de masse, de façon à introduire une capacité à air C" en série avec la capacité parasite C. Pour générer cette lame d'air, l'invention prévoit deux moyens: - d'abord supprimer, dans chaque région 14 correspondant aux métallisations de la première face principale du substrat qui sont susceptibles de créer des capacités parasites, telles que les métalli- sations 4, 5 et 8 de la figure 2, une surface 15, équivalente à la région 14, de la métallisation de plan de masse 9 portée par la seconde face principale du substrat, ce qui supprime donc une armature de la capacité parasite C, - ensuite introduire, en série avec la capacité à diélectrique céramique C, une capacité à air C", de faible valeur, obtenue au moyen d'une lame d'air 16, créée, par exemple, en évidant la partie métallique de la semelle 10, qui constitue un second plan de masse, sur une surface correspondant à la démétallisation 15 pratiquée dans la métallisation de plan de masse 9. Dans le cas le plus général o le circuit hybride est lui-même introduit à l'intérieur d'un boitier dont une partie 13 constitue un nouveau plan de masse, la capacité parasite, qui à l'origine était constituée uniquement par la capacité C, se trouve remplacée par deux capacités en série C et C"', avec d'ailleurs la suppression de l'armature intermédiaire puisque la métallisation de plan de masse 9 a été supprimée. Cette démétal- lisation peut être obtenue de deux façons, soit par masquage et gravure d'un substrat totalement métallisé sur sa face postérieure, pour supprimer le métal qui était en 15, soit au contraire masquage de la région 15 avant dépôt de la métallisation 9. Dans tous les cas, la région démétallisée 15 est de dimensions plus importantes que celles de la métallisation de report de composant à l'aplomb de laquelle elle se trouve, de façon à éviter les lignes de fuite du champ électrique de la métallisation de report, à travers le substrat. Bien entendu, la lame d'air 16 doit avoir une épaisseur significative, bien plus importante que la faible épaisseur de la métallisation du plan de masse 9, sinon l'adaptation du circuit hyperfréquence est inefficace. Pour que les résultats soient intéres- sants, il faut que l'épaisseur de la lame d'air 16 soit du même ordre de grandeur que l'épaisseur H du substrat, et au moins égale à cette épaisseur H, et en tous cas supérieure à 100 microns. En ce qui concerne la semelle 10 constituant le second plan de masse, le procédé le plus simple, du point de vue de la réalisation industrielle, consiste à opérer un trou circulaire, ce trou pouvant même, dans certains cas, être opéré à travers la paroi du boitier 13, tel que cela est représenté sur la figure 6 par deux lignes en pointillés. Pour préciser le gain obtenu en introduisant une capacité à air C" en série avec la capacité parasite C, on peut reprendre l'exemple numérique cité à l'occasion de la figure 5, avec un substrat 1 d'alumine rapporté sur une semelle 10 de 0,5 mm d'épaisseur, et percé pour introduire une lame d'air 16. On obtient alors une capacité équivalente donnée par l'expression: I I 1 C C" Ceq C C soit H+h H + h Eeq E r puisque o = 1, constante diélectrique de la capacité à air. Ce qui donne eq = 1,66. L'introduction d'une capacité à air constituée par l'épaisseur de la emelle métallique 10 réduit la capacité initiale dans le rapport - = 0,075 ce qui réduit en fait la capacité parasite d'un facteur 13. Bien entendu la capacité C", et la démétallisation en 15 du plan de masse 9, ne sont pas obligatoirement unitaires, c'est-à-dire pratiquées pour chacune des métallisations portées par la première face principale du substrat 1. Ainsi dans le cas de la figure 6, on a conservé la présence côte à côte de deux composants actifs 2 et 3, fixés par l'intermédiaire de leurs métallisations 4 et 5, et un relais de cablage 8. Dans ce cas, du point de vue technologique, il est plus intéressant de considérer l'ensemble des régions susceptibles d'être parasitées par des condensateurs parasites pour les regrouper dans une seule région dans laquelle on introduit une lame d'air 16, pour diminuer ces condensateurs parasites. Ainsi sur la figure 6, aux trois métallisations 4, 5 et 8 ne correspond qu'une seule démétallisation en 15 de la face arrière du substrat et une seule lame d'air 16. Ce qui signifie également que, pour l'ensemble d'un circuit hyper- fréquence réel, et non pas simplement pour un élément de circuit tel que représenté en figure 6, le substrat est démétallisé en une pluralité de régions 14, et la semelle est percée par une même pluralité de trous de façon à créer autant de condensateurs à air que de régions 14 sensibles aux condensateurs parasites. La figure 7 représente une vue en coupe d'un circuit hyper- fréquence selon l'invention dans le cas o ce circuit est réalisé sous la forme de circuit intégré, par exemple sur un substrat d'arseniure de gallium semi-isolant. Dans un substrat d'arseniure de gallium semi-isolant 21 sont réalisés au moins deux composants, par exemple une diode 17 et un transistor à effet de champ 18, pour conserver une comparaison possible avec les quatres figures précédentes. La première surface principale du substrat d'arseniure de gallium supporte des micro- bandes 6, des métallisations de prise de contact 4 sur la diode, 19 et sur le transistor, ainsi que des plots relais 8 soit pour le'cablage, soit pour l'accord d'impédance. Selon la forme d'intégration, les contacts électriques entre micro-bandes et transistors ou diodes sont réalisés par des fils ou rubans 7, ou par des métallisations déposées directement sur l'arseniure de gallium et qui mettent en contact les plots de métallisations et de micro-bandes. L'invention prévoit, afin de diminuer les capacités parasites entre les métallisations précédemment citées et la métallisation 9 de plan de masse portée par la seconde face principale du substrat d'arseniure de gallium, d'introduire une lame d'air, ce qui peut se f.. faire de deux façons. Soit une dm-talli.ation arrière, en 15, du plan de masse 9 et un perçage du boitier dans la région 14. Mais ce procédé est coOteux industriellement car il nécessite l'usinage de trous dans les boitiers métalliques. Par conséquent il est plus avantageux d'opérer une attaque chimique de la face arrière du substrat de façon à introduire dans la région 14 sensible aux capacités parasites une lame d'air 16 qui sépare le substrat mis à nu du métal du boitier 13, qui constitue un nouveau plan de masse. Cette attaque chimique peut se faire selon des procédés connus par masquage et gravure, et elle a l'avantage d'être collective et de se faire sur une rondelle d'arseniure de gallium comportant une plura- lité de circuits intégrés, avant découpe des pastilles de circuits intégrés. Dans le cas d'un circuit hyperfréquence réalisé sous forme intégrée, si l'on admet que H = 0,4 mm pour l'épaisseur de l'arseniure de gallium, h = 0,2 mm comme profondeur d'attaque, et E r = 12,8 pour l'arseniure de gallium, les autres données étang les mêmes que précédemment, le calcul donne ú eq = 1,80, soit 0,14. On a = C- donc diminué la capacité parasite d'un facteur 7 dans le cas d'un circuit intégré, en admettant que pour ne pas fragiliser le substrat du circuit intégré la profondeur d'attaque h est limitée à la moitié de l'épaisseur du diélectrique. Bien entendu l'invention n'est pas limitée ni au type de substrat hybride ou intégré qui ont servi à l'exposé de l'invention, ni au cas d'espèce d'une diode et d'un transistor implanté en surface d'un circuit hyperfréquence. L'intérêt du circuit selon l'invention consiste dans le fait que l'on réduit localement les capacités parasites, c'est-à-dire en respectant les adaptations d'impédances des lignes d'entrée et de sortie sous forme de microbandes 6. Un autre intérêt du circuit selon l'invention consiste également dans le fait que son adaptation n'influe pas sur le montage, et le cablage des différents composants du circuit hyperfréquence. Cette adaptation peut même être appliquée sur un circuit existant, essentiellement dans le cas d'un circuit hybride, en démétallisant localement sa face arrière, c'est-à-dire en opérant des ouvertures 15 dans son plan de masse et en perçant la semelle sur laquelle le circuit hybride est monté. L'invention, qui a été exposée en s'appuyant sur deux cas choisis à titre d'exemples comporte toute les variantes évidentes pour l'homme de l'art dans la pratique de son métier, et elle est précisée par les revendications ci-après. REVENDICATIONS 1. Circuit hyperfréquence à faibles capacités parasites, comportant un substrat (1) en matériau diélectrique et, sur une première face de ce substrat, au moins une métallisation (4, 5, 8) de report de composant (2, 3) du circuit hyperfréquence et au moins une ligne de connexion de type microbande formée par une piste conductrice (6) et par une métallisation de plan de masse (9), celle- ci étant sur une deuxième face du substrat (1), lui-même supporté par une embase métallique (13) d'un boitier, ce circuit hyper- fréquence étant caractérisé en ce que, en vue de diminuer les capacités parasites qui se forment entre métallisations (4, 5, 8-9) sur les deux faces du substrat (1), il comporte au moins une démétallisation locale (15) du plan de masse sur la deuxième face métallisée (9) du substrat (1), dans au moins une région (14) à l'aplomb de la métallisation de report (4, 5, 8) sur la première face du substrat (1), et une lame d'air (16) entre le substrat démétallisé (15) et l'embase (13) du boitier, cette lame d'air (16) ayant une épaisseur (h) au moins égale à 100 microns. 2. Circuit hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que, dans une forme de circuit hybride sur substrat (1) céramique, l'épaisseur (h) de la lame d'air (16) est au moins égale à l'épaisseur (H) du substrat (1). 3. Circuit hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que, dans une forme de circuit intégré sur substrat (21) en matériau semiconducteur, l'épaisseur (h) de la lame d'air (16) est au plus égale à la moitié de l'épaisseur (H) du substrat (21). 4. Circuit hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que la région démétallisée (15) du plan de masse (9) est de dimensions plus importantes que celles de la métallisation de report (4, 5, 8) de composant (2, 3) à l'aplomb de laquelle elle se trouve, de façon à éviter les lignes de fuite du champ électrique de la métallisation de report (4, 5, 8) à travers le substrat (1). 5. Circuit hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que, dans une forme de circuit hybride, il est fixé sur une semelle métallique (10), percée dans une région (en 14) corres- pondant à la région (15) démétallisée du plan de masse (9). 6. Circuit hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que, dans une forme de circuit intégré, le substrat (21) de ce circuit intégré est creusé dans une région (en 14) correspondant à la région (15) démétallisée du plan de masse (9). '- 7. Circuit hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'embase (13) de son boitier est percée dans une région (en 14) correspondant à la région (15) démétallisée du plan de masse (9).