FR 2588121 A1 19870403 FR 8514587 A 19851002 - 1 - Procédé et dispositif de soudage d'éléments sur les plots correspondants d'une plaquette telle que notamment une plaquette de circuits intégrés de haute densité. L'invention se rapporte à un procédé et un dispositif de soudage d'éléments sur les plots correspondants d'une plaquette. En général, l'invention s'applique aux plaquettes du domaine électrique ou électronique, auxquelles le soudage simultané des éléments sur leurs plots exerce des forces excessives ou dommageables, ou n'assure plus de bonnes soudures sur l'ensemble des plots. L'invention s'applique ainsi notamment au soudage d'éléments conducteurs sur les plots correspondants d'une plaquette de circuits imprimés et, plus particulièrement, d'une plaquette de circuits intégrés de haute densité, appelée couramment puce ou chip VLSI (Very Large Scale Integration). Etant donné que le soudage classique sur puces VLSI soulève tous les problèmes résolus par l'invention, il sera pris comme exemple d'illustration dans la suite du texte. Les puces sont ordinairement des plaquettes rectangulaires de silicium, approximativement carrées, dont une face inclut les circuits intégrés et les plots constituant les bornes d'entrée-sortie. Ces plaquettes sont très minces, de l'ordre de 200 à 700 micromètres, et leur surface dépend de la nature des circuits et de leur intégration. Les plus grandes ont actuellement 10 à 15 mm de côté et comportent plus de 350 plots périphériques généralement disposes en ligne ou en quinconce de part et d'autre d'une ligne géométrique approximativement carrée. Les puces sont originellement formées sur une tranche de silicium (wafer). Elles y sont ensuite prélevées pour entrer dans des boîtiers ou être portées par un ruban en vue d'une utilisation sans boîtier (technologie couramment appelée "micropack"). Le ruban sert au transport et au -2montage automatique des puces sur des plaquettes de circuits imprimés et est ainsi appelé couramment ruban TAB (Tape Automated Bonding). Les puces sont montées dans les boîtiers ou sur le ruban, en soudant leurs plots aux extrémités de conducteurs correspondants faisant partie du boîtier ou du ruban. Le soudage est fait de manière classique par un dispositif comprenant une table destinée à recevoir au moins une puce dans une position prédéterminée, un bloc de positionnement des conducteurs par rapport aux plots respectifs de la puce, un outil de soudage pourvu d'une sole de chauffage couvrant l'ensemble des plots à souder, un mécanisme pour déplacer relativement la table et l'outil de soudage, et un dispositif d'application de force pour le soudage des conducteurs aux plots correspondants de la puce. Le procédé classique de soudage consiste à placer une puce sur la table, à positionner les conducteurs par rapport aux plots respectifs de la puce, à mettre en position de soudage la sole de l'outil de soudage, les conducteurs et les plots, puis à exercer simultanément une force prédéterminée pour le soudage collectif de tous les conducteurs aux plots de la puce. En général, la table est fixe et l'outil est posé sur les conducteurs et applique la force de soudage. Le type de soudage est ordinairement la thermocompression ou le brasage à base d'étain. Le procédé et les dispositifs de soudage classiques appliqués aux puces de grande surface ou à nombreux plots présentent deux inconvénients majeurs. Le premier inconvénient naît du fait que les plots ont une très faible surface, de l'ordre de 60 à 250 micromètres de côté, et ne peuvent ainsi recevoir que très peu d'étain pour la soudure. Il faut donc exercer sur chaque plot une - 3 - pression de soudage relativement élevée, dont la valeur dépend de la surface du plot et vaut en moyenne environ 0,8 Newton. La thermocompression nécessite naturellement des pressions supérieures, de l'ordre du double. Par conséquent, le procédé classique de soudage simultané de l'ensemble des plots d'une puce de par exemple 200 plots aboutit à l'application d'une force totale très élevée, de l'ordre de 160 Newtons, soit 15kg. Les puces étant des plaquettes minces très fragiles, l'expérience montre que l'application de telles forces les endommage dans une grande proportion. Cet inconvénient est aggravé par le fait que la puce ne repose pas en tout point sur la table et, d'autre part, que les surfaces supérieures des plots ne sont pas toutes. coplanaires et n'épousent pas exactement la sole de l'outil de soudage. Il s'ensuit que l'outil de soudage exerce des contraintes plus ou moins fortes en différents points de la puce. Le second inconvénient est dû à la disposition relative des plots avec la sole de l'outil de soudage. Celle-ci est initialement plane, mais elle se charge d'une manière non uniforme d'éléments issus de soudages successifs et s'oxyde très vite. La sole est donc nettoyée et rodée régulièrement. Cependant, le rodage use plus vite les bords de la sole et a pour effet de l'incurver. Les plots font ainsi plus ou moins contact avec la sole selon leur position par rapport à elle et reçoivent par conséquent des forces de soudage très diverses. Certaines, trop fortes, écrasent les conducteurs ou endommagent les plots ou leurs connexions aux circuits de la puce, et d'autres, trop faibles, produisent des soudures fragiles et peu fiables, voire défectueuses. Il en résulte, d'une part, que la bonne qualité de toutes les soudures n'est plus assurée et, d'autre part, que l'application inégale des - 4- forces de soudage crée dans la puce des contraintes qui s'ajoutent à celles précédemment citées. Par ailleurs,les outils de soudage classiques ont une sole formée de quatre barrettes, assemblées à leurs extrémités pour constituer un rectangle correspondant à la ligne des plots et portées par des piliers connectés mécaniquement et électriquement aux électrodes massives d'amenée du courant de chauffage. Les quatre barrettes de la sole sont faites en un mariau- choisi comme compromis pour être à la fois bonne source de chaleur et offrir une bonne surface de pose. Le-titane-al- uminium réalise ce compromis, mais il a pour caractéristique de mal s'usiner. En outre, les barrettes des outils de soudage deviennent de plus en plus longues pour se conformer aux grandes puces et sont soumises à des pressions de plus en plus élevées pour exercer sur l'ensemble des plots les forces de soudage requises. Il s'ensuit que ces barrettes s'incurvent légèrement et qu'elles n'appliquent plus uniformément les pressions de soudage requises. Les effets qui en résultent s'ajoutent à ceux mentionnés au paragraphe précédent et rendent le soudage d'autant plus difficile. En résumé, la technique antérieure pose le problème de souder des éléments sur les plots d'une plaquette sans endommager celle-ci sous l'effet de la force de soudage totale. Elle pose d'autre part le problème d'assurer une égale qualité de toutes les soudures sur l'ensemble des plots. L'invention résout à la fois ces deux problèmes, grace à un procédé et un dispositif de soudage simples. _ _kLeprocédé conforme à l'invention de soudage d'éléments sur les plots correspondants d'une plaquette au moyen d'un outil de soudage dont la sole couvre l'ensemble des plots -5 et par application d'une force de soudage prédéterminée sur chacun des éléments et des plots correspondants, est caractérisé en ce qu'il consiste à appliquer successivement la force de soudage sur les plots de la plaquette. En corollaire, un dispositif mettant en oeuvre le procédé conforme à l'invention pour le soudage d'éléments sur les plots correspondants d'une plaquette, comprenant une table pour supporter la plaquette, un outil de soudage et un dispositif d'application de force de soudage, est caractérisé en ce que la table est montée oscillante autour d'un point de la région du centre de la plaquette tout en étant bloquée en rotation dans son plan, et en ce que le dispositif d'application de force fait osciller la table pour le soudage successif des éléments sur les plots. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui suit, faite à titre d'exemple en réf&rence aux dessins annexes. Dans les dessins: - la figure 1 est une vue de face avec arrachements partiels d'un premier dispositif de soudage conforme à l'invention; - la figure 2 est une vue de dessus avec arrachement partiel du dispositif de soudage représenté sur la figure 1, en l'absence de l'outil de soudage; la figure 3 est une vue partielle du dispositif de soudage représenté sur la figure 1, qui illustre une position de soudage conforme à l'invention; - 6- - la figure 4 est une vue de face avec arrachements partiels d'un second dispositif de soudage conforme l'invention; - la figure 5 est une vue de dessus analogue à celle de la figure 2 du second dispositif de soudage représenté sur la figure 4; - les figures 6A-6H illustrent respectivement des positions successives de soudage de conducteurs sur les plots d'une plaquette représentée schématiquement, au moyen du dispositif de soudage représenté sur les figures 4 et 5; et - la figure 7 illustre une variante de réalisation pour le second dispositif de soudage représenté sur les figures 4 et 5. Les figures 1 et 2 représentent un premier dispositif de soudage 10 conforme à l'invention. De manière classique, le dispositif de soudage 10 comprend une table 11 destinée a recevoir dans une position prédéterminée une plaquette 12. La plaquette illustrée est une puce de circuits intégrés de haute densité pourvue de plots périphériques 13 disposés régulièrement suivant une ligne 14 parallèle à chaque côté de la puce et représentée par un trait mixte sur la figure 2. Une puce classique a une section rectangulaire généralement proche d'un carré. Par pure convention, toutes les figures annexes décrivent des puces carrées. On définit le centre C d'une puce par le point de croisement de ses diagonales dans le plan des surfaces supérieures des plots 13. L'axe ZZ' passant par le centre C normalemen-; al plande la plaquette 12 est pris ordinairement comme axe de référence vertical de positionnement dans un dispositif de soudage. La puce 12 est positionnée sur la table 11 à l'aide de trois pions ou - 7 - galets 15 conformément au brevet français 2 397 125 de la demanderesse. La table 11 est traversée, suivant l'axe ZZ', par un canal 16 relié par un conduit 17 à une source de vide non illustrée, afin de maintenir la puce en position. De manière classique également, le bâti 18 du dispositif de soudage 10 porte un outil de soudage 19 muni d'une sole de chauffage 20. La sole est plane à l'origine et est adaptée selon le type de plaquette 12 pour couvrir l'ensemble des plots 13 à souder. Dans la figure 1, la sole est une couronne plane carrée dont la ligne médiane correspond à la ligne 14 des plots 13 de la puce 12 et dont la largeur est supérieure à la longueur des plots dans le sens normal à la ligne 14. Le bâti 18 comporte un mécanisme 21 pour déplacer relativement la table et l'outil de soudage jusqu'à placer les plots en position de soudage. Dans l'exemple illustré, le mécanisme 21 correspond au cas ordinaire o il agit pour monter et descendre l'outil. En outre, le bâti 18 supporte un bloc de positionnement 22 de conducteurs 23 par rapport aux plots 13 de la plaquette. On a supposé dans l'exemple illustré que les conducteurs 23 sont portés par un ruban TAB 24 déplacé et positionné par rapport à l'axe ZZ' par le bloc de positionnement 22 de la manière décrite par exemple dans le brevet français 2 225 977 de la demanderesse. Enfin, le dispositif de soudage 10 inclut un dispositif d'application de force 25 pour le soudage des conducteurs 23 aux plots 13 correspondants de la puce. Le soudage se fait nécessairement sous l'action d'une force prédéterminée sur chacun des conducteurs et des plots correspondants de la puce. Dans la technique antérieure, cette force est exercée simultanément sur l'ensemble des plots par le dispositif d'appplication de force pour le soudage collectif de tous les conducteurs - 8 - aux plots de la puce. En général, la table est fixe et l'outil de soudage descend et applique la force de soudage. Au contraire, le procédé de soudage conforme à l'invention consiste à appliquer successivement la force de soudage sur les conducteurs et les plots correspondants de la puce. Dans le dispositif de soudage 10 représenté sur les figures 1 et 2, la force de soudage produite par le dispositif d'application de force 25 est une force tournante appliquée sur la table 11 montée oscillante pour appliquer successivement et pratiquement individuellement les plots 13 et les conducteurs 23 correspondants contre la sole 20 de l'outil de soudage 19. Plus pr6cisément, la table 11 est montée oscillante autour de l'axe ZZ' en un point C' de la région du centre C de la puce. Pour des raisons de commodité, la table 11 illustrée est cylindrique, d'axe ZZ', et oscille autour du point C' défini par l'intersection des axes (aa') coplanaires de trois rayons 26 disposés r6gulièrement sur sa périphérie. Chaque rayon 26 est placé à contact entre deux colonnes verticales 27 fixées à la platine (18a) du bâti 18 de façon à permettre le déplacement vertical et l'oscillation de la table autour du point C' tout en empêchant la table de tourner dans son plan autour de son axe ZZ'. Les deux colonnes 27 supportent, en-dessous du rayon respectif 26, une tige horizontale 28 servant de butée pour un ergot 29 qui est fixé à la table 11 parallèlement au rayon 26 respectif et passe avec jeu entre les colonnes, au-dessous de la tige 28. Le dispositif 25 d'application de la force de soudage comprend un vérin 30, pneumatique par exemple, pourvu d'un piston 31 coaxial à l'axe ZZ'. Sur l'extrémité du piston 31 s'articule une rotule 32 formée à l'extrémité d'une bielle 33. L'autre extrémité de la bielle 33 coulisse dans 9 9 un manchon 34 solidaire d'une roue dentée 35, montée coaxialement A-- l'axe ZZ' dans une ouverture 36 de la platine 18a et connectée A la table 11il par un joint tournant 37. Le joint tournant 37 permet A la roue dentée 535 d'osciller solidairement avec la table et de tourner en rotation autour de l'axe ZZ' alors que la table 11 reste immobile en rotation grâce aux rayons 26 et aux colonnes 27. Le manchon 34 donne à la bielle 33 une direction YY' faisant normalement un angle prédéterminé A avec l'axe ZZ'. Un ressort hélicoïdal 38 est placé coaxialement A la direction YY' entre la face inférieure de la roue dentée 35 et une coupelle 39 fixée A la bielle 33. La roue dentée 35 engrène, par l'intermédiaire d'un pignon 40, avec l'arbre d'un moteur électrique 41. Le fonctionnement du dispositif de soudage 10 va maintenant être décrit. La figure 1 illustre la position de soudage du dispositif de soudage 10 lorsque la sole 20 de l'outil de soudage 19 est uniformément plane. En position de repos (non illustrée), le piston 31 du vérin est en position basse, qui place la table 11 dans sa position de repos, en appui sur la platine 18a du bâti 18, tandis que l'outil de soudage 19 est normalement placé en une position haute (illustrée par un trait fantôme) coaxiale A l'axe ZZ'. En position de travail, l'outil de soudage étant toujours en position haute, l'arbre 31 du vérin 30 est mis dans la position haute illustrée. Le ressort 38 est comprimé, et la table 11 est placée en une position haute (non illustrée) définie par la butée des ergots 29 contre les tiges 28 des colonnes 27. Une puce 12 est alors placée sur la table 11 dans la position prédéterminée par les galets 15, puis le bloc 22 positionne le ruban 24 de manière que les conducteurs 23 soient en correspondance avec les plots 13 de la puce 12. Pour souder les conducteurs 23 aux plots 13 correspondants, l'outil de soudage 19 est abaissé par le - 10 - mécanisme 21. La sole 20 de l'outil de soudage 19 vient d'abord en contact avec les extrémités des conducteurs 23, qui viennent ensuite en appui contre les plots 13. La descente de l'outil 19 se poursuit de façon à abaisser la table 11 et à obtenir la position de soudage représentée sur la figure 1. Dans cette position, l'outil 19 est en appui contre une butée (18b) du bâti 18 sous l'action d'une force F' supérieure à la force F exercée par le ressort 38. La force F, sensiblement constante quand le ressort 38 est comprimé, est dirigée suivant l'axe YY' de façon qu'elle s'exerce au niveau de la puce 12 au voisinage de la ligne 14 des plots 13, de préférence vers l'intérieur de cette ligne pour assurer la stabilité de la puce sur la table. En d'autres termes, l'angle A que font les axes YY' et ZZ' est déterminé de façon que la rotation de l'axe YY' corresponde, dans le plan supérieur de la puce 12, à un cercle de diamètre légèrement inférieur à celui du cercle inscrit dans le rectangle formé par la ligne 14 des plots 13. Ainsi, par la rotation de la roue dentée 35, la force F s'applique successivement à chacun des plots 13 des conducteurs correspondants 23. En d'autres termes, seulement une force sensiblement égale à la force de soudage d'un plot à un conducteur est appliquée pour le soudage successif des conducteurs 23 aux plots 13 correspondants. La puce 12 ne peut donc plus être endommagée par la force de soudage. La figure 3 illustre une position de soudage que peut prendre la table 11 lorsque le plot 13 recevant la force de soudage F suivant l'axe YY' se trouve en face d'une paroi de la sole 20 inclinée d'un angle B par rapport à l'horizontale. En pratique, cette inclinaison est due à l'usure des bords de la sole 20 par suite de rodages successivement effectués pour nettoyer la sole. Dans la figure 3, l'angle B a été volontairement exagéré pour bien mettre en relief une caractéristique de l'invention. Selon - il - cette caractéristique, la table 11 bascule légèrement de la valeur de l'angle B pour placer le conducteur 23 et la puce 12 tangentiellement à la sole 20 tout en applicant la force de soudage F sur le plot 13. Ce basculement se fait autour du point C'. La valeur maximale de l'angle d'oscillation de la table 11 autour du point C' est déterminée par l'écart qui sépare les ergots 29 des tiges- butées 28 lorsque la table 11 est en position de soudage. On comprend maintenant que le centre C' d'oscillation de la table 11 doit être le plus près possible du centre C de la puce 12 afin de réduire ou de supprimer toute déviation du centre C par rapport à l'axe ZZ'. En effet, une telle déviation aurait pour effet de décaler l'alignement des conducteurs 23 par rapport aux plots 13. Dans l'exemple représenté sur la figure 1, les trois rayons cylindriques 26 sont respectivement pourvus de trois méplats supérieurs horizontaux (26a) qui permettent aux trois axes (aa') d'être immédiatement sous-jacents à la surface supérieure de la table et de converger ainsi au point C' très proche du centre C de la puce. Les méplats (26a) sont approximativement coplanaires avec la table pour ne pas gêner le positionnement de la puce et du ruban. L'oscillation de la table 11 d'un dispositif de soudage 10 conforme à l'invention a donc l'avantage d'assurer un soudage correct de tous les plots 13 d'une plaquette 12, indépendamment de la non-planéité de la sole 20 de l'outil de soudage 19. Par ailleurs, il est habituel de chauffer la table d'un dispositif de soudage, afin d'avoir une différence de température minimale entre la sole de l'outil de soudage et la puce. Dans l'exemple représenté sur la figure 1, la table 11 est chauffée par une résistance électrique 42 placée en "sandwich" dans le plan de la table entre deux plaques métalliques. - 12 - Les figures 4 et 5 illustrent, de la même manière que les figures 1 et 2, un second dispositif de soudage 10' conforme à l'invention. A cause de sa simplicité et des performances susceptibles d'être obtenues, le dispositif 10' constitue le mode de réalisation préféré d'un dispositif de soudage conforme à l'invention. Dans le dispositif de soudage 10', les éléments similaires à ceux du premier dispositif de soudage 10 portent les mêmes chiffres de référence, cependant affectés de l'indice "prime". Dans le dispositif de soudage 10' illustré, l'outil de soudage 19' et son mécanisme d'actionnement 21' sont identiques aux précédents. Il en est de même du bloc 22' de positionnement du ruban 24' portant les conducteurs 23' à souder aux plots correspondants 13' d'une puce de haute densité d'intégration 12'. Egalement, la table 11' comporte les pions ou galets 15' pour le positionnement de la puce 12', inclut la résistance électrique 42' et présente trois rayons 26' également répartis sur sa périphérie. Comme précédemment, les rayons 26' ont un méplat (26'a) de manière que leurs axes (aa') convergent en un point de l'axe ZZ' au voisinage immédiat du centre C de la puce 12'. Chaque rayon 26' est aussi placé entre deux colonnes 27' fixées à la platine (18'a) du bâti 18'. Par contre, la table 11' est pourvue d'une vis-axe 43 montée coaxialement à l'axe ZZ' et traversant librement un trou 36' de la platine (18'a). La vis-axe 43 a une tête de diamètre supérieur à celui du trou 36' pour présenter un épaulement (43a) à la face inférieure de la platine (18'a). Le dispositif d'application de force 25' se compose de quatre tiges verticales 44 reliant la table 11' à quatre culbuteurs respectifs 45 actionnés chacun par le doigt 46 d'un organe de commande 47. Les quatre tiges 44 traversent - 13 - la platine (18'a) dans des trous 48. Les axes (bb') des tiges 44 sont parallèles à l'axe ZZ' et équidistants de cet axe ainsi qu'entre eux. Les axes (bb') coupent le plan supérieur de la puce 12' en quatre points D situés dans les coins de la puce. Plus précisément, comme représenté sur la figure 5, les quatre points D sont situés de préférence au milieu des segments EF joignant les premiers quarts des côtés de la ligne rectangulaire 14' des plots 13' à partir de chaque coin. Les sommets des extrémités coniques des quatre tiges 44 sont en contact avec les sommets de cavités 49, 50 à fond conique ménagées respectivement dans la face inférieure de la table 11' et dans la paroi horizontale des culbuteurs 45. Ces culbuteurs sont mobiles en rotation dans un plan vertical autour d'axes respectifs 51 du bâti 18'. Les quatre organes de commande 47 sont pilotés par un dispositif de commande 52 déterminant le mouvement de chaque tige 44. Chaque organe 44 peut être un module pneumatique à membrane couplée avec le doigt 46, ou une bobine électro- magnétique dans laquelle le doigt 46 constitue le noyau plongeur. Un exemple de fonctionnement du dispositif de soudage 10' va maintenant être décrit en référence aux figures 4, 5 et 6A-6H. La figure 4 illustre la position de soudage représentée schématiquement sur la figure 6A. Cette position initiale de soudage est obtenue selon un processus analogue à celui du dispositif de soudage 10. En d'autres termes, la position de repos (non représentée) du dispositif de soudage 10' correspond à la position rétractée des doigts 46 des organes de commande 47, qui place la table 11' en position basse, tandis que l'outil de soudage 19' est en position haute. En position de travail, les doigts 46 amènent la table 11' dans la position haute déterminée par la butée de l'épaulement (43a) de la vis-axe 43 contre la paroi inférieure de la - 14 - platine (18'a) du bâti 18'. L'outil de soudage 19' est abaissé pour venir s'appuyer contre la butée (18'b) du bâti 18'. Lors de la descente de l'outil 19', la sole 20' entre d'abord en contact avec les conducteurs 23', qui viennent ensuite en contact avec les plots 13', puis fait redescendre légèrement la table 11' jusqu'à atteindre la position de soudage représentée sur les figures 4 et 6A. L'abaissement de la table 11' écarte l'épaulement (43a) de la platine 16'a d'une grandeur suffisante pour permettre l'oscillation maximale de la table et de la vis-axe 43. Les trous 36' et 48 dans la platine (18'a) laissent un jeu suffisant pour permettre à la vis-axe 43 et aux tiges 44 de suivre le mouvement d'oscillation de la table. Pour mieux mettre en relief les caractéristiques et avantages de l'invention, la position de soudage représentée sur la figure 6A suppose que la sole 20' ait une couronne circulaire centrée sur l'axe ZZ' et pourvue d'une largeur couvrant l'ensemble des plots de la puce. Si cette sole était parfaitement plane, tous les plots de la puce seraient en contact avec elle lorsque les quatre tiges sont toutes en position haute comme représenté sur la figure 4. La figure 6A correspond au cas o la sole est convexe par suite de r8dages successifs. Dans ce cas, seuls des groupes G1 de plots 13' vont être en contact avec la sole. Ces groupes G1 sont nécessairement médians, puisque les plots de chaque coin sont plus éloignés du centre C et sont supposes ne plus pouvoir être en contact avec la sole à cause de sa convexité. Le nombre de plots de chaque groupe G1 dépend bien sûr du degré de convexité de la sole. Pour la commodité de l'exposé, les groupes G1 sont supposés couvrir le tiers médian de chaque côté du carré de la ligne 14' des plots. Dans les figures 6A à 6H, chaque groupe de plots concerné par le soudage est représenté par un trait épais superposé à la ligne des plots (14') tracée en trait fin. Une croix est placée à - 15 - l'intérieur de la ligne des plots à l'endroit d'un point D pour indiquer que la tige 44 correspondante est mise en position haute par l'organe 47 associé. Les groupes de coin G2 sont successivement mis en position de soudage par la commande sélective des quatre organes 47. Le soudage sur les plots du coin inférieur gauche, représentés sur la figure 6B, sont soudés par le maintien en pression de l'organe 47 correspondant à la tige 44 placée dans ce coin et par le relâchement des autres organes de commande. Pour passer aux plots du coin supérieur gauche, l'organe 47 correspondant à ce coin est mis sous pression, donnant la position de soudage indiquée a la figure 6C, puis il est maintenu seul en pression pour obtenir la position de soudage de la figure 6D. Le passage par la position représentée sur la figure 6C est une contrainte seulement inhérente à la commande pneumatique des organes 47 choisis à titre d'exemple. En effet, le passage direct de la position 6B à la position 6D impliquerait le relâchement brutal de l'organe inf rieur gauche et la mise sous pression brutale de l'organe supérieur gauche et provoquerait des mouvements d'oscillation indésirables de la table susceptibles d'endommager la puce. Le passage par la position 6C pallie cet inconvénient. De la même manière, on passe du soudage des plots du coin supérieur gauche aux plots du coin supérieur droit par les positions 6E et 6F, et de là jusqu'aux plots du coin inférieur droit par les positions 6G et 6H. Le soudage de tous les plots étant ainsi achevé, le système retourne à sa position initiale 6A, d'o l'outil 19' pourra être levé. Dans cet exemple, on comprend que la force de soudage que reçoit la puce 12' dans les étapes 6A à 6H est considérablement moins élevée que la force totale qui devrait être impliquée dans les dispositifs de soudage classiques. D'autre part, cet exemple fait clairement ressortir, comme celui représenté - 16 - en référence à la figure 3, que l'oscillation de la table permet d'assurer une qualité uniforme des soudures sur l'ensemble des plots. Le soudage successif par groupe de plots tel que représenté sur lesfigures 6A à 6H peut être amélioré, notamment de la façon illustrée dans la figure 7. Selon cette variante, le dispositif de commande 52 comporte un bloc 53 de variation de l'intensité de la force appliquée sur l'organe respectif 47. Un tel bloc 53 est représenté schématiquement sur la figure 7 à titre d'exemple. Le bloc 53 illustré se compose de trois électrovannes 54 alimentées en parallèle par le dispositif de commande 52, connectées ensemble sur l'organe 47 et commandées individuellement par le dispositif de commande 52. Ainsi, chaque organe de commande 47 peut recevoir, à partir de la pression P3 fournie au bloc 53 par le dispositif de commande 52, trois pressions possibles Pl, P2, P3, telles que P1 = P3/3 et P2 = 2 x P3/3. Par exemple, la pression P1 sera exercée quand les quatre organes 47 sont en action comme représenté sur les figures 4 et 6A. Ainsi, si la sole 20' était uniformément plane, elle couvrirait tous les plots, mais la force totale qui serait exercée sur la puce 12' serait réduite au tiers de celle nécessaire pour le soudage de tous les plots. Le soudage pourrait se continuer comme dans le cas de la figure 6B en exerçant la pression P3 sur l'organe 47 du coin inférieur gauche de la puce 12'. Le passage à la position 6D pourrait se faire graduellement, par exemple en diminuant progressivement la pression sur l'organe 47 inférieur gauche tout en augmentant progressivement la pression sur l'organe 47 supérieur gauche. Chaque étape du soudage se ferait sur un plus petit nombre de plots que dans l'exemple décrit en éférence aux figures 6A à 6H, ce qui améliorerait la qualité des soudures sur tout l'ensemble des plots indépendamment du degré de convexité de la sole. - 17 - On comprend qu'avec un bloc 53 plus perfectionné, le nombre de plots de chaque groupe successivement soudé peut être réduit, jusqu'à obtenir à la limite un soudage plot par plot comme avec le premier dispositif de soudage 10 décrit précédemment. Ce cas limite pourrait être par exemple obtenu avec des organes 47 électromécaniques à noyau plongeur alimentés respectivement par les blocs 53 formés chacun d'un potentiomètre alimenté et commandé par le dispositif de commande 52 pour faire varier de façon continue l'intensité du courant et, par conséquent, la force appliquée sur chaque tige correspondante 44. D'une manière générale, le choix des étapes successives du procédé de soudage conforme à l'invention dépendra de nombreux paramètres tels que la fragilité de la plaquette 12', la densité des plots, la qualité requise des soudures et l'état de la sole. On comprend aussi que la force de soudage peut être appliquée en un nombre autre que quatre (tel qu'illustré) de points prédéterminés D de la plaquette. Par exemple, trois points ou plus de quatre pourraient s'averer avantageux selon les cas. D'autre part, bien que l'application successive de la force de soudage sur les plots de la plaquette ait été faite dans les dispositifs 10 et 10' par oscillation de la table par rapport à la surface de la sole de l'outil de soudage, il est évident que le mouvement relatif pourrait être inversé sous la forme d'une oscillation de l'outil de soudage par rapport à une table fixe. - 18 - Revendications 1. Procédé de soudage d'éléments (23, 23') sur les plots correspondants (13, 13') d'une plaquette (12, 12') au moyen d'un outil de soudage (19, 19') dont la sole (20, ') couvre l'ensemble des plots et par application d'une force de soudage prédéterminée sur chacun des éléments et des plots correspondants, caractérisé en ce qu'il consiste a appliquer successivement la force de soudage sur les plots de la plaquette. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la force de soudage est une force tournante (F) exercée sur la table suivant sensiblement la ligne (14) des plots. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la force de soudage est successivement exercée en des points prédéterminés (D) à l'intérieur de la ligne des plots pour le soudage des plots par groupes successifs (G1, G2). 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que les points prédéterminés (D) sont au nombre de quatre, situés au milieu des segments (E F) joignant approximativement les premiers quarts des côtés de la ligne des plots à partir de chaque coin. 5. Procédé selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que la force a une intensité variable de manière à tendre vers un soudage plot par plot. 6. Dispositif de soudage (10, 10') pour la mise en oeuvre du procédé défini par l'une des revendications précédentes, destiné au soudage d'éléments (23, 23') sur les plots correspondants (13, 13') d'une plaquette (12, 12') et comprenant une table (11, 11') pour supporter la plaquette, un outil de soudage (19, 19') et un dispositif d'application de force de soudage (25, 25'), caractérisé - 19 _ 2588121 en ce que la table est montée oscillante autour d'un point (C') de la région du centre (C) de la plaquette tout en étant bloquée en rotation dans son plan, et en ce que le dispositif d'application de force fait osciller la table pour le soudage successif des éléments sur les plots. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que la table est pourvue de rayons (26) pourvu d'axes (aa') convergeant au point (C') et placés chacun entre deux colonnes fixes (27) de manière à permettre à la table d'osciller et de se déplacer verticalement. 8. Dispositif selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que la table est pourvue de moyens de butée (28, 29 ; 43, 43a, 18'a) contre lesquels la table est placée en une position haute de travail, et l'outil de soudage s'appuie contre une butée fixe (18b, 18'b) pour placer la table dans une position de soudage dans laquelle elle peut osciller au-delà desdits moyens de butée. 9. Dispositif selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que le dispositif d'application de force (25) comprend un mécanisme (33, 34, 35, 38, 39) appliquant une force tournante (F) à proximité de la ligne des plots. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que le dispositif d'application de force (25) comprend une roue dentée (35) actionnée par un moteur (41) et couplée avec ledit mécanisme et, par l'intermédiaire d'un joint tournant (37), avec la table (11). 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que le mécanisme comprend une bielle (33) s'articulant sur une rotule (32) placée sur l'axe central (ZZ') de la table ainsi que sur la roue dentée (35) selon une direction (YY') faisant un angle (A) prédéterminé avec l'axe (ZZ'). - 20 - 2588121 12. Dispositif selon l'une des revendications 6 à 8, caract6risé en ce que le dispositif d'application de force (25') comprend des tiges (44) actionnées par des organes de commande respectifs (47) et dont les axes (bb') sont parallèles à l'axe central (ZZ') de la table (11') et coupent le plan de la ligne (14') des plots (13') en des points prédéterminés (D) intérieurs à cette ligne. 13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que les points prédéterminés (D) sont au nombre de quatre, situés au milieu des segments (E, F) joignant approximativement les premiers quarts des côtés de la ligne des plots à partir de chaque coin. 14. Dispositif selon la revendication 12 ou 13, caract6risé en ce que l'intensité de la force exercée par chaque organe de commande (47) est réglable par un bloc (53).