FR 2578096 A1 19860829 FR 8502939 A 19850228 Procédé de fabrication d'un transistor MOS et dispositif à circuits intégrés en résultant L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'un transistor MOS (Métal-Oxyde-Silicium) et au dispositif à circuits intégrés en résultant. La fabrication d'un transistor MOS est ordinairement faite sur un substrat semiconducteur en silicium monocristallin d'un dispositif à circuits intégrés communément appelé "puce" ou "chip". Sur ce substrat, le domaine réservé à la formation d'un transistor MOS est recouvert par une min#ce couche de dioxyde de silicium A partir de ce domaine, les procédés classiques de fabrication d'un transistor MOS commencent par la formation ' de la grille du transistor au-dessus du substrat. La grille est genéralement faite d'une couche de silicium polycristallin, couramment appelé "polysilicium", dûment dopée en impuretés pour lui conférer la conductibilité électrique requise. Elle s'étend ordinairement suivant une médiane du domaine, au-dessus de la mince couche de dioxyde de silicium. Elle délimite ainsi dans le domaine deux surfaces relativement égales, destinées à constitue,r la source et le drain du transistor. Pour constituer la source et le drain du transistor, on procède de manière classique à l'implantation ionique d'impuretés (aussi appelées "dopants") dans le substrat, à travers la mince couche de dioxyde de silicium. Les impuretés sont ordinairement l'arsenic et le phosphore pour un substrat de type P et le bore pour un substrat de type N. Les ions ainsi implantés constituent dans le substrat deux régions de source et de drain sous-jacentes à la mince couche de dioxyde de silicium. Ces régions sont délimitées entre elles par les bords latéraux de la grille, qui sert de masque lors de l'implantation. En d'autres termes, les régions de source et de drain sont autoalignées sur la grille. Par convention, la direction du courant circulant dans le transistor détermine les longueurs (physiques) des éléments qui composent les transistors. La longueur de la grille correspond donc à la largeur géométrique du rectangle de polysilicium qui constitue la grille. On appelle longueur électrique de la grille, la longueur du trajet du courant qui traverse le substrat entre le drain et la source sous l'influence de la grille. La longueur électrique devrait donc théoriquement correspondre à la longueur de la grille. Après l'implantation des impuretés, le substrat est ordinairement recuit pour réactiver les impuretés et restaurer la cristallinité du substrat. Préalablement au recuit, il est classique de faire croitre légèrement les couches minces et épaisses de dioxyde de silicium sur leur surface libre et de former en même temps une mince couche de dioxyde de silicium sur le polysilicium des grilles des transistors du substrat, puis de recouvrir le substrat d'une couche d'isolation faite ordinairement de verre dopé au phosphore. De cette manière, on profite du recuit pour améliorer la qualité et les propriétés de la couche d'isolation. Cependant, le recuit a pour conséquence de diffuser dans le substrat les impuretés qui y ont été implantées. Cette diffusion est omnidirectionnelle, de sorte que les impuretés diffusent non seulement en profondeur dans le substrat, mais aussi latéralement, en débordant ainsi sous la grille de chaque transistor. Les mesures effectuées sur des puces de fabrication classique révèlent que ces débordements ont une longueur efficace dau moins 0,25 um (micromètre) le long de chaque bord de la grille. Bien que cette longueur soit trés faible, ses inconvénients sont nombreux. Les débordements, appelés couramment "overlaps", ont comme inconvénient majeur d'introduire des capacités parasites altérant les performances des transistors MOS. En effet, chaque débordement est électriquement conducteur et coopère avec le bord respectif de la grille qui le recouvre, pour constituer les plaques d'un condensateur dont le diélectrique est la mince couche de dioxyde silicium qui st#ar6 la grille du substrat. Bien que les plaques de ce condensateur soient de faible longueur, leur largeur s'éter,d suivant la largeur de chaque région de source et de drain, soit environ 10 um et parfois plus, selon l'utilisation du transistor dans le circuit électrique de la puce.En outre, en fonctionnement dynamique du transistor, l'une des deux capacités parasites du transistor peut être multipliee par l'effet Miller. Les deux débordements des régions de source et de drain sous la grille ont aussi le grave inconvénient de réduire la distance qui sépare les deux régions. Cette distance est celle sur laquelle la grille peut exercer son action. Elle correspond donc a' la longueur électrique, ou longueur efficace de la grille. Cette longueur électrique est importante, puisqu'elle détermine la caractéristique électrique (courant/tension) du transistor MOS. Dans la technologie actuelle, la grille d'un transistor MOS a une longueur de 2 um, mais à cause des deux débordements, la longueur électrique n'est plus que de 1,5 um au mieux. Par conséquent, la réduction souhaitée de la longueur de grille à 1,5 um, voire 1 um, se heurte actuellement au fait que la longueur électrique ne serait plus que de 1 um, voire 0,5 um, soit de une à deux fois seulement la longueur des deux débordements. Dans ces conditions, les capacités parasites produites par les débordements affecteraient plus ou moins gravement les performances dynamiques du transistor selon son montage. D'autre part, les tensions électriques appliquées sur le transistor durant son fonctionnement créent un champ électrique dans le substrat entre la source et le drain, c'est-à-dire sur la longueur électrique de la grille. Naturellement, plus la longueur électrique diminue, plus le champ électrique est intense. En pratique on observe qu'un champ électrique intense est générateur de phénomènes parasites, tels que l'effet de canal court (short channel effect), le courant de perçage (punch-through current) et la création de porteurs chauds (hot carrier generation). A cause des débordements sous une grille de longueur donnée, les phénomènes parasites observés ne sont pas ceux qui correspondent à cette longueur, mais ceux, plus forts, qui correspondent à une longueur électrique plus faible d'au moins 0,5 um. Ainsi cet inconvénient s'ajoute à celui des capacités parasites pour s'opposer à la réduction souhaitée de la longueur de grille. Enfin, bien que la surface des débordements sous la grille de chaque transistor soit faible, la surface totale qu'ils occupent sur une puce incorporant actuellement de l'ordre de 500 000 transistors, et prochainement un million de transistors, prend en fin de compte une proportion appréciable à l'échelle de la puce. On comprend donc qu'un procédé de fabrication qui éliminerait dès à présent les débordements sous une grille de 2 um permettrait d'utiliser d'emblée une grille de même longueur électrique mais de longueur inférieure à 1,5 um. En outre, ce procédé limiterait les phénomènes parasites à ceux inhérents à la longueur même de la grille. Il aurait en plus l'avantage d'éliminer ou de réduire considérablement les capacités parasites drain/grille et source/grille du transistor. Enfin, il favoriserait l'évolution vers des grilles plus petites et des densités d'intégration plus élevées. L'invention permet d'éviter les débordements des régions de source et de drain sous la grille et d'obtenir ainsi les avantages précités. Le procédé conforme à l'invention de fabrication d'un transistor MOS sur un substrat semiconducteur,comprenant la formation de la grille au-dessus du substrat et l'implantation ionique d'impuretés dans le substrat pour constituer la source et le drain du transistor, est caractérisé en ce que l'implantation d'impuretés est associée à une implantation ionique d'un gaz rare. Le gaz rare est avantageusement l'argon, mais peut être le krypton ou le xénon, par exemple. En corollaire, un dispositif à cuicuits intégrés conforme à l'invention comprenant un substrat semiconducteur incorporant au moins un transistor MOS est caractérisé en ce que les régions de source et de drain incluent des atomes de gaz rare. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui suit, faite à titre d'exemple en référence aux dessins annexés. Dans les dessins - les figures 1A - 1E sont des vues en coupe partielle d'une puce de circuits intégrés, illustrant respectivement les étapes essentielles du procédé de fabrication d'un transistor MOS conforme à l'invention - la figure 2 est une vue schématique de dessus du domaine d'un transistor MOS tel que représenté sur la figure 1C et - la figure 3 est un graphe illustrant la diminution des débordements des régions de source et de drain sous la grille, qui a été observée en référence à un transistor de fabrication clasique et en fonction de la dose d'argon ajoutée aux impuretés conformément à l'invention. La figure 1A est une vue en coupe partielle d'une puce (10) de circuits intégrés formés sur un substrat de silicium monocristallin (11). La partie de la puce représentée sur la figure 1A correspond au domaine d'un transistor MOS (12). Le domaine du transistor (12) vu de dessus est illustré schématiquement dans la figure 2. Ce domaine est délimité par une couche épaisse de dioxyde de silicium (13) que l'on a fait croître sur le substrat de silicium (11). Dans le domaine du transistor (12), on a fait croître une mince couche de dioxyde de silicium, dont l'épaisseur est celle requise pour constituer la couche d'oxyde de grille, soit typiquement 0,04 um. Le domaine a une forme pratiquement carrée, de l'ordre de 10 um de côté.Suivant une médiane de ce domaine a été formée la grille conductrice (15), ordinairement à partir d'une couche de polysilicium dopée dûment gravée. La grille (15) délimite deux surfaces destinées à constituer la source (16) et le drain (17) du transistor (12). La figure 1B illustre la phase suivante du procédé classique de fabrication d'un transistor MOS, consistant en l'implantation ionique des impuretés dans le substrat (11) pour constituer la source (16) et le drain (17) du transistor. Comme indiqué par les flèches dans la figure 1B, l'implantation est faite en bombardant la puce (10) par un flux d'ions accélérés (représentés par des points), l'arsenic As par exemple. En fin d'implantation, les impuretés forment dans le substrat (11) deux régions (18,19) de faible profondeur (de l'ordre de 0,1 um), sousjacentes à la couche d'oxyde (14) et constituant respectivement la source (16) et le drain La figure 1C illustre la phase additionnelle du procédé conforme à l'invention de fabrication du transistor (12) Dans cette phase, la puce (10) est soumise à l'implantation ionique d'un gaz rare, l'argon ArT par exemple. Comme precédemment, l'implantation est faite par bombardement (indiqué par les flichesa d'ions accelérés d'argon (représentés par des croix) et aboutit a la formation dans le substrat (11) de deux régions (20, 21) sous-jacentes à la couche d'oxyde (14) et autoalignées avec la grille (15). L'implantation additionnelle conforme à l'invention pourrait s'étendre sur toute la surface de la source (16) et du drain (17) du transistor (12). Les régions (20, 21) auraient alors la même surface que les régions (18, 19). Cependant, pour des raisons qui apparaîtront par la suite, les régions (20, 21) représentées sur la figure 1C ont été seulement étendues de part et d'autre de la grille (15) sur une partie de longueur (a) du drain et de la source, grâce à une couche de résine formant masque (22) déposée sur au moins la longueur restante (b) de la source et du drain. La couche (22) vue de dessus apparaît à la figure 2. Elle est éliminée après l'implantation de l'argon. Ainsi, les régions (20,21) partagent les régions (18,19) en des premières parties (18a,19a) dopées à la fois en arsenic et en argon, et en des secondes parties (18b,19b) seulement dopées en arsenic. D'autre part, pour d'autres raisons qui apparaîtront ultérieurement, les régions (20,21) illustrées sont plus profondes que les parties de région (18a,19a) et comportent ainsi des zones sousjacentes (20a;21a) n'incorporant que des atomes de gaz rare. La figure 1D illustre l'état de la puce après la phase classique de recuit. Préalablement au recuit, il est courant de faire croître légèrement les couches mince (14) et épaisse (13) de dioxyde de silicium et de former une mince couche de dioxyde de silicium sur la surface découverte de la grille (15). Il en résulte une nouvelle couche épaisse (13') et une nouvelle couche mince (14') qui recouvre la source (16), la grille (15) et le drain (17). La couche mince (14) subsiste sous la grille (15)- Tout le dioxyde de silicium de la puce (10) est recouvert d'une couche d'isolation (23), faite ordinairement en verre dopé en phosphore, avant de procéder au recuit. L'état des régions de drain et de source après le recuit va maintenant être décrit. On a vu, en référence à la figure lC, que les deux parties de région (18b,19b) sont celles qui, dans Is procédés classiques de fabrication de transistor MOS, 5 t étendaient sur toute la longueur de la source (16) et du drain (17). Comme indiqué au début du texte, le recuit a sur ces parties de région la conséquence indésirable de diffuser les impuretés dans le substrat (11). On obtient ainsi des parties de région (18'b,19'b) relativement profondes, par exemple de 0,5 um. Mais cette diffusion étant omnidirectionnelle, les impuretés diffusent aussi latéralement et débordent de la longueur (b) d'origine des parties de région (18b, 19b). Des débordements (c) et (c') ont ainsi lieu vers la grille et sous la couche épaisse de dioxyde de silicium (13'). En ce qui concerne les parties de région (18'a,19'a) dopées à la fois en arsenic et en argon conformément à l'invention, il s'avère que l'argon a pour effet de réduire la diffusion et même de l'empêcher. Cette constation est un fait d'expérience, comme cela ressort clairement du graphe de la figure 3. L'abscisse de ce graphe porte les doses (d) d'argon en 10+15 atomes cl~2, tandis que l'axe des ordonnées porte les valeurs (e) en micromètre de la réduction du débordement (c) constaté a partir d'ur transistor de fabrication classique obtenu dans les mêmes conditions mais sans argon.La courbe résultant des quater points d'expérience montre que la réduction s'opère relativement linéairement pour (d) variant de 1 à 5, qu'elle se poursuit jusqu'à environ d = 10 et qu'elle demeure constante au-delà de 10. En d'autres termes, il y a saturation pour des doses (d) supérieures a 10. La réduction maximale est légèrement inférieure a' 0,5 um, de sorte que le débordement des impuretés est pratiquement annulé et que le recuit ne provoque plus la diffusion des impuretés. Dans ces conditions, les parties de région (18'a,19'a) dopées à la fois en arsenic et en argon, telles que représentées sur la figure 1D, sont quasiment identiques aux régions d'origine (18a,19a) de la figure 1C.Dans ces conditions également, la seule présence d'argon dans les zones (20'a,21'a) empêche la diffusion de l'arsenic venant des parties de région voisines (18'b,19'b), comme illustré. Ces zones font ainsi bien ressortir les caractéristiques de l'invention, mais il apparaît clairement de ce qui précède qu'en pratique elles peuvent être réduites, même supprimées. En d'autres termes, l'implantation du gaz rare peut se faire sur au moins une profondeur environ égale à celle de l'implantation des impuretés. L'argon a été choisi comme exemple de gaz rare parce qu'il s'avère actuellement être le plus avantageux tant du point de vue des performances que du coût. Mais le krypton et le xénon, notamment, ont des propriétés analogues. Par ailleurs, bien que l'implantation d'argon (figure 1C) ait été faite après l'implantation des impuretés (figure 1B), la description qui précède rend maintenant évident que l'ordre peut être inversé. En effet, le résultat final tel que décrit à la figure 1C serait identique. On a noté aussi que la présence d'atomes de gaz rare dans les régions de source et de drain a pour effet de diminuer la conductibilité électrique normalement procure par les impuretés. En d'autres termes, les parties de région de fabrication classique (18'b, l9'b) s'avèrent être électriquement plus conductrices que les parties de région (18'a,19'a) conformes à l'invention. La différence de conduction croît évidemment en fonction de la dose du gaz rare implanté. De ce fait, il apparaît avantageux de réduire la longueur (a), jusqu'à par exemple 0,5 um, de façon à éviter les débordements sous la grille tout en bénéficiant de grandes parties conductrices (18'b,19'b). La figure 1E illustre un exemple d'utilisation du transistor (12) conforme à l'invention, qui résulte de la figure 1D. Cet exemple met à profit le fait que la partie de région de drain classique Une ouverture (24) est ménagée dans les couches (23) et (14'), au-dessus de la partie de région de drain (19'b), puis une couche métallique (25) est déposée, puis recouverte d'une couche d'isolation (26). REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un transistor MOS (12) sur un substrat semiconducteur (11), comprenant la formation de la grille (15) au-dessus du substrat et l'implantation ionique (fig. lB) d'impuretés (As+) pour constituer la source (16) et le drain (17) du transistor (12), caractérisé en ce que l'implantation d'impuretés est associée à une implantation ionique (fig. 1C) d'un gaz rare 2. Procédé selon la reverldication 1, caractérisé en ce que l'implantation du gaz rare est faite seulement sur une longueur (a) de la source et du drain, au voisinage de la grille. 3. Procédé selon la revendication 2e caracterisé en ce que la longueur (a) est faible par rapport a la longueur restante (b) de la source et du drain 4. Procedé selon l'une des revendications 1 a 3, caractérisé en ce que l'implantation du gaz rare est faite sur au moins une profondeur environ égale a' celle de l'implantation des impuretés. 5. Dispositif ;: circuits intégrés (10), comprenant un substrat semiconducteur (11) incorporant au moins un transistor MOS (12), caractérisé en ce que les régions de source (18'a) et de drain (l9'a) incluent des atomes de gaz rare (Ar+). 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les atomes de gaz rare se situent au moins au voisinage de la grille (15).