FR 2578097 A1 19860829 FR 8502769 A 19850226 PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES EN TECHNOLOGIE MOS ET CMOS ET STRUCTURE CMOS CORRESPONDANTE La présente invention concerne un nouveau procédé de fabri- cation de circuits intégrés utilisant des transistors à effet de champ, soit d'un seul type de canal (en général MOS à canal N) soit de types complémentaires (technologie CMOS) utilisant des transistors MOS à canal N et à canal P). On cherche à faire des circuits de plus en plus petits et incorporant le plus grand nombre possible d'éléments. Ceci implique que l'on réalise des structures d'éléments individuels aussi petits que possible et que l'on utilise des technologies d'intégration avec autoalignement des motifs formés successivement sur les pastilles de circuit. En particulier, utie technique maintenant très utilisée consiste à utiliser des grilles de transistors MOS en silicium polycritallin dopé, gravées avant l'implantation des régions de source et de drain des transistors: la grille sert de masque lors de l'implantation; la source et le drain sont donc autoalignées par rapport aux bords de la grille. On se sert aussi de couches de silicium polycristallin pour réaliser des électrodes de source et de drain en contact avec le silicium monocristallin du substrat et pour réaliser des inter- connexions entre transistors. Outre l'aptitude du silicium poly- cristallin dopé (du même type de conductivité que la source et le drain) à servir de masque lors de l'implantation des régions de source et de drain, ce matériau présente l'avantage de réaliser un bon contact ohmique avec les régions de source et de drain. Malheureusement, même si le silicium polycristallin est forte- ment dopé, sa conductivité est relativement limitée et on éprouve le besoin de l'augmenter (puisqu'il sert à réaliser des connexions 257809? conductrices entre éléments); pour cela on forme une couche de siliciure métallique (siliciure de molybdène, tungstène, titane, tantale par exemple) à la surface supérieure du silicium poly- cristallin. Cette couche est formée en déposant au-dessus du silicium polycristallin une couche métallique (par pulvérisation cathodique à partir d'une cible du métal considéré) et en formant par recuit un composé (siliciure) avec le silicium polycristallin situé au-dessous. On peut aussi déposer directement un siliciure par pulvérisation cathodique d'une cible de siliciure métallique frittée. Ceci dépend du métal considéré. La présente invention propose un nouveau procédé de fabri- cation n'utilisant pas de silicium polycristallin pour la formation des grilles, électrodes de source et drain et interconnexions des transis- tors MOS du circuit. Ce procédé comprend les étapes successives suivantes: a) formation, sur un substrat de silicium monocristallin d'un premier type de conductivité, dans une zone active, d'une couche mince isolante constituant l'isolant de grille d'un transistor à effet de champ, b) dépôt et photogravure d'une résine de masquage, le motif de résine protégeant une zone recouvrant l'emplacement de la grille à réaliser et débordant légèrement de part et d'autre de celui-ci, c) implantation ionique d'impuretés d'un second type de conductivité opposé au premier, pour définir des portions de régions de source et drain, - d) élimination de la résine, e) photogravure de la couche mince isolante pour dénuder le silicium monocristallin dans' des zones servant à établir des contacts pour des électrodes de source et de drain, f) dépôt d'une couche uniforme d'un siliciure métallique sur la totalité du substrat, le siliciure reposant sur la couche mince isolante là o elle est présente et venant en contact direct avec le silicium monocristallin dans les zones dénudées, g) photogravure du siliciure pour définir une grille, une élec- trode de source, une électrode de drain, et des interconnexions, h) implantation ionique d'impuretés pour définir les extrémités des régions de source et de drain, autoalignées avec la grille, le siliciure servant de masque d'implantation, i) recuit du substrat. Par conséquent, dans ce procédé on réalise des électrodes de grille de source et de drain toutes constituées par une couche unique de siliciure métallique, de préférence du siliciure de tantale; ce siliciure est directement en contact avec le silicium monocristallin dans les régions de source et de drain. Il est directement en contact avec l'isolant de grille au-dessus du canal du transistor. Les extré- mités des régions de source et de drain sont autoalignées puisque le siliciure sert de masque lors de l'étape h. Dans une adaptation à une technologie CMOS on réalise une structure originale dans laquelle les transistors à canal N comme les transistors à canal P sont réalisés comme il est indiqué ci-dessus, c'est-à-dire avec des électrodes toutes constituées par une couche unique de siliciure métallique mais les régions de source et de drain des transistors contenus dans des caissons de type de conductivité opposé au substrat sont très peu dopées par rapport aux régions de source et drain des transistors non contenus dans des caissons. Cette structure est possible si on constate qu'un contact de type Schottky peut exister entre l'électrode de source (ou de drain) et le silicium monocristallin en conservant de bonnes capacités de conduction du transistor. Cette structure CMOS présente l'avantage d'être beaucoup moins sensible au déclenchement de thyristors parasites qu'on ren- contre souvent dans les structures CMOS; ce phénomène de déclen- chement est connu sous le nom anglais de "latch-up" et il résulte de l'existence de successions de régions voisines de types de conduc- tivité alternés; par exempe un déclenchement peut exister à cause de la juxtaposition des régions suivantes: source N+ d'un MOS à canal N, substrat de type P, caisson de type N, source P+ d'un transistor MOS à canal P formé dans le caisson. Le très faible dopage des régions de source et drain dans les caissons, rendu possible par la présence de siliciure métallique, permet de réduire considérablement le risque de "latch-up". Le procédé de fabrication de la structure CMOS est analogue à celui qui a été défini ci-dessus pour un seul type de canal. Mais les étapes d'implantation d'impuretés se font séparément pour les deux types de transistors, les transistors à canal N étant complètement masqués par une résine pendant qu'on effectue une opération d'implantation sur les transistors à canal P et réciproquement. Les gravures d'isolant mince et de siliciure métallique se font au contraire simultanément pour les deux types de transistors. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention appa- raîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels: - les figures 1 à 9 représentent les étapes successives du procédé selon l'invention appliquées à une structure CMOS. On forme d'abord, dans un substrat de silicium monocristallin 10 d'un premier type de conductivité, par exemple P, des caissons de type opposé (N). Les caissons contiendront les transistors à canal P le substrat contiendra les transistors à canal N. On définit des zones actives de silicium monocristallin corres- pondant chacune à un transistor, ces zones étant entourées par des murs d'oxyde épais 12. - Sur la figure 1, une zone active A (partie droite) correspond à un transistor à canal N formé directement dans le substrat et une zone B (partie gauche) correspond à un transistor à canal P formé dans un caisson 14. Les caissons seraient supprimés si on faisait uniquement des transistors à canal N. Le caisson et les murs sont formés de manière classique par diffusion localisée d'impuretés de type N puis oxydation localisée. Des étapes non représentées peuvent être prévues en outre, comme par exemple une implantation de couches anti-inversion sous l'oxyde épais, ou encore des implantations d'ajustement de seuil des transistors. On forme ensuite une couche isolante mince 16 sur la surface des zones actives A et B, de préférence par oxydation thermique du silicium monocristallin. Cette couche 16 constituera l'isolant de grille des transistors MOS et peut avoir une épaisseur de quelques centaines d'angstrôms, par exemple 200 angstrôms ou même moins. La figure I représente le substrat à ce stade de la fabrication. On dépose alors une couche de résine photosensible de masquage 18 que l'on grave selon un motif tel que la résine subsiste au-dessus de la totalité des caissons (zone active B) et subsiste au- dessus d'une partie seulement de la zone active A. Plus précisément, dans la zone A, le motif de résine 18 recouvre une bande traversant toute la zone A sur une largeur très légèrement supérieure à la future largeur de grille des transistors (on appellera ici largeur de grille la dimension prise dans le sens de la longueur du canal entre source et drain). On a désigné par LI la future largeur de grille sur la figure 2, et par L2 la largeur du motif de résine. La différence entre LI et L2 est choisie en principe égale à la valeur minimale compatible avec les tolérances de position- nement de masques successifs de manière que le motif de résine 18 recouvre avec certitude la totalité de l'emplacement de la future grille. La résine 18 est déposée avec une épaisseur suffisante pour servir de masque efficace lors d'une implantation ionique. Il peut notamment s'agir d'une résine multicouche (résine de base épaisse recuite à 200 C environs surmontée d'une couche mince minérale telle que de l'oxyde de silicium ou de titane, elle même surmontée d'une couche mince de résine photosensible). On effectuera alors une implantation ionique d'impuretés de type N (phosphore) qui pénètrent dans le silicium monocristallin là o il n'est pas protégé par la résine. On forme ainsi une portion de région de source 20 et une portion de région de drain 22 (non autoalignées par rapport à la grille) des transistors à canal N. On élimine alors la résine et on répète un processus de masquage similaire du côté de la zone active B, et une implantation d'impuretés de type P: pour cela on dépose une résine 24, on la grave en masquant complètement la zone active A et une bande de largeur L4 au milieu de la zone B, la largeur L4 étant choisie légèrement supérieure à la largeur L3 de la future grille (figure 3). L'implantation de type P qui suit la photogravure de la résine 24 est effectuée à faible profondeur et faible dose, de sorte qu'on ne constitue pas véritablement des portions de région de source et drain des transistors MOS à canal P, mais on forme des zones superficielles 26 et 28 faiblement dopées de type P (le symbole P sur la figure indique qu'il s'agit d'un faible dopage). A titre d'exemple, l'implantation de type P (figure 3) peut se faire avec une dose de bore de I à 5 x 1013 atomes/cm et une énergie de 30 keV, alors que l'implantation de type N (figure 2) peut se faire avec une dose de phosphore de 1 à 5 x 1015 atomes/cm et une énergie de 100 keV. Les étape des figures 2 et 3 peuvent être interverties. L'étape de la figure 3 serait supprimée si on désirait faire uniquement des transistors à canal N. On dépose ensuite à nouveau une résine photosensible 30 qui n'a pas besoin d'être aussi épaisse que les résines 18 et 24 car elle ne servira pas de masque d'implantation, mais qui doit résister à des produits d'attaque de la couche isolante mince 16 (figure 4). La résine 30 est photogravée pour laisser subsister un motif de bandes de largeur L5 recouvrant largement, dans les zones actives, les régions qui n'ont pas été implantées, c'est-à-dire les régions en dehors des zones 20, 22, et 26, 28. La résine est éliminée ailleurs, et notamment au-dessus des extrémités (du côté des murs d'oxyde épais 12) des régions 20, 22, 26, 28, On effectue alors une attaque de la couche isolante mince 16 pour l'éliminer dans les zones o elle n'est pas recouverte par la résine, c'est-à-dire: - dans des zones 32 et 34 constituant des régions de contact pour des électrodes de source et de drain de transistors à canal P, - dans des zones 36 et 38 constituant des régions de contact pour des électrodes de source et de drain de transistors à canal N. On élimine la résine 30 et on dépose une couche uniforme 40 de siliciure métallique, de préférence du siliciure de tantale, déposé par pulvérisation cathodique à partir d'une cible de siliciure de tantale frittée (figure 5). Cette couche 40 vient en contact avec la couche isolante mince 16 là o elle est présente dans le zones actives (largeur L5) et vient en contact direct avec le silicium monocristallin dans les zones 32, 34, 36, 38 là o l'oxyde de silicium mince a été éliminé. On dépose à nouveau une couche de résine photosensible 42 (qui peut être une résine tricouche) qui doit avoir la propriété de résister, une fois développée, aux produits d'attaque du siliciure métallique de la couche 40 (figure 6). On grave la résine 42 pour définir des motifs d'électrodes de grille, d'électrodes de source et de drain et d'interconnexions en siliciure de tantale. Ainsi, la résine 42 définit, après photogravure: - un motif 44 de largeur LI au-dessus des emplacements de grilles de transistors à canal N, - un motif 46 de largeur L3 au-dessus des emplacement de grilles de transistors à canal P, - un motif 48 pour une électrode de source de transistors à canal P, au-dessus de la zone de contact 32 et débordant légèrement (par sécurité) au-dessus de l'oxyde mince 16, - un motif 50 pour une électrode de drain de transistor à canal P, au-dessus de la zone de contact 34 et débordant légèrement (par sécurité) au-dessus de l'oxyde mince 16, - un motif 52 pour une électrode de source de transistor à g canal N, au-dessus de la zone de contact 36 et débordant légèrement (par sécurité) au-dessus de l'oxyde mince 16, - un motif 54 pour une électrode de drain de transistor à canal N, au-dessus de la zone de contact 38 et débordant légèrement (par sécurité) au-dessus de l'oxyde mince 16, - des motifs 55 pour des interconnexions en siliciure de tantale au-dessus des régions d'oxyde épais 12. La résine est éliminée entre le motif 46 et les motifs 48 et 50 et de même entre le motif 44 et les motifs 52 et 54, dans des intervalles de largeur aussi étroite que possible, par exemple une largeur L7. On notera que la largeur L5 définie à l'étape de la figure 4 doit être au moins égale à LI + 2L7. Ayant photogravé la résine, on procède à l'attaque du siliciure de tantale par une gravure ionique réactive utilisant un plasma à mélange fluoré et chloré. On arrête la gravure lorsque la couche mince isolante 16 est dénudée. On obtient donc un motif de grilles 58 et 60, d'électrodes de source 62, 64 et d'électrodes de drain 66, 68. On élimine la résine 42 et on dépose une nouvelle couche de résine 70 que l'on grave de manière à masquer complètement les zones actives B correspondant aux transistors à canal P, les zones A étant complètement découvertes (figure 7). On effectue une implantation- ionique d'impuretés de type N 14 2 (phosphore), par exemple avec une dose de I x 10 atomes/cm en utilisant le siliciure de tantale comme masque d'implantation là o il est présent; on complète ainsi les régions de source et drain 20 et 22 des transistors à canal N par des régions d'extrémité (côté grille) 72 et 74 auto-alignées par rapport à la grille 60. De la même manière, après avoir éliminé la résine 70, on dépose une nouvelle couche de résine 76 que l'on grave de manière à masquer totalement les zones actives A correspondant aux transis- tors à canal N, les zones B étant complètement découvertes (figure 8). 257809? On effectue une implantation ionique d'impuretés de type P, par exemple avec une dose de 0,1 à 1 x 1015 atomes/cm2 en utilisant le siliciure de tantale comme masque d'implantation là o il est présent; on forme ainsi des régions de source et drain propre- ment dites, 78 et 80, des transistors à canal P, auto-alignées par rapport à la grille 58. Ces régions sont nettement plus dopées que les régions 26 et 28 formées précédemment (figure 3). Les opérations de masquage et implantation définies à propos des figures 7 et 8 peuvent être interverties, les opérations corres- pondant à la figure 8 étant supprimées si on ne réalise que des transistors à canal N. On aboutit à la structure finale représentée à la figure 9, après avoir éliminé la résine 76 et après avoir effectué un recuit thermique pour corriger les défauts de structure cristallines intro- duits par les diverses opérations d'implantation. Sur cette structure, on voit que toutes les électrodes de grille, de source et de drain sont constituées par des portions d'une même couche de siliciure de tantale directement eh contact avec le silicium monocristallin (pour les électrodes de source et drain) ou avec l'oxyde mince 16 (pour les électrodes de grille); du côté des transistors formés dans un caisson, le silicium monocristallin en contact avec le siliciure est très peu dopé comparativement au silicium en contact avec le siliciure en dehors des caissons. Un contact de type Schottky (métal/semiconducteur faible- ment dopé) est donc établi entre électrode de source ou drain et silicium monocristallin pour les transistors en caisson. Il y a ainsi beaucoup moins de risque de "latch-up" entre deux transistors voisins. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un circuit intégré à transistors MOS, caractérisé en ce qu'il comprend la succession d'opérations suivantes: a) formation, sur un substrat de silicium monocristallin (10) d'un premier type de conductivité, dans une zone active, d'une couche mince isolante (16) constituant l'isolant de grille d'un transis- tor à effet de champ, b) dépôt et photogravure d'une résine de masquage (18), le motif de résine protégeant une zone recouvrant l'emplacement de la grille à réaliser et débordant légèrement de part et d'autre de celui- ci, c) implantation ionique d'impuretés d'un second type de conductivité opposé au premier, pour définir des portions (20 et 22) de régions de source et drain, d) élimination de la résine, e) photogravure de la couche mince isolante (16) pour dénuder le silicium monocristallin dans des zones (36, 38) servant à établir des contacts pour des électrodes de source et de drain, f) dépôt d'une couche uniforme d'un siliciure métallique (40) sur la totalité du substrat, le siliciure reposant sur la couche mince isolante là o il est présent et venant en contact direct avec le silicium monocristallin dans les zones dénudées, g) photogravure du siliciure pour définir une grille (60), une électrode de source (64), une électrode de drain (68), et des interconnexions, h) implantation ionique d'impuretés pour définir les extrémités (72, 74) des régions de source et de drain, auto-alignées avec la grille (60), le siliciure servant de masque d'implantation, i) recuit du substrat. 2. Procédé de fabrication d'un circuit intégré à transistor MOS selon la revendication 1, caractérisé en ce que, préalablement à l'opération a) on forme dans le substrat des caissons de type de conductivité opposé au substrat pour y former des transistors de type de canal opposé à celui des transistors formés en dehors des caissons, on effectue séparément pour les transistors des caissons et pour les autres les opérations b, c, d, et h, la dose d'impuretés et l'énergie de l'implantation ionique de l'opération c) étant beaucoup plus faible pour les transistors formés dans les caissons que pour les transistors formés directement dans le substrat. 3. Structure de transistors CMOS comprenant des transistors formés dans un substrat (10) de silicium monocristallin d'un premier type de conductivité et des transistors formés dans des caissons (14) de type opposé, caractérisé en ce que les électrodes de source, de drain et de grille des transistors sont formés par des portions d'une même couche d'un siliciure métallique directement en contact avec le silicium monocristallin et avec une couche isolante mince sous la grille, le siliciure étant en contact avec du silicium monocrisiallin très peu dopé dans les caissons et avec du silicium monocristallin beaucoup plus dopé en dehors des caisson.