FR 2562528 A1 19851011 FR 8410999 A 19840711 PROCEDE POUR DECOLLER UN FILM PROTECTEUR D'UN OBJET MINCE ET APPAREIL POUR SA MISE EN OEUVRE La présente invention se rapporte à un procé- dé et à-un appareil pour détacher un film adhésif de protection collé sur une face d'un objet mince, par exemple une pastille de silicium. Dans la fabrication de pastilles de silicium, un film protecteur est collé sur une face de la pastille, pour la protéger. Après traitement de l'autre face de la pastille au moyen d'un courant d'eau et autrement, le film protecteur doit être enlevé. Jusqu'à présent, cette opération de séparation a été effectuée manuellement. Elle est donc très gênante et de faible rendement. La présente invention a pour objet un procédé pour détacher efficacement un film protecteur d'un objet mince. Le procédé conforme à la présente invention est caractérisé en ce que le film protecteur est déta- ché de l'objet par collage d'une bande adhésive sur le film protecteur et enlèvement de la bande adhésive de l'objet. Le film protecteur est facilement détaché de l'objet, seulement par la force d'adhérence de la bande adhésive, par simple déplacement de la bande adhésive dans une direction sensiblement parallèle à l'objet. Suivant un premier mode de réalisation de la présente invention, aucune contrainte mécanique n'est appliquée à l'objet, pendant le détachement du film pro- tecteur de l'objet, du fait qu'on prévoit un certain laps de temps entre le début du détachement de la bande adhésive et le début de l'enroulement de la bande adhé- sive autour d'une broche. D'autres objets et avantages de la présente invention apparaîtront aux hommes de l'art à la lecture de la présente description de ses formes de réalisation, non limitatives, représentées sur les dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue de face, avec coupe partielle d'un appareil pour la mise en oeuvre du procé- dé suivant la présente invention, dans une première for- me de réalisation; - la figure 2 est une vue en plan de cet appa- reil; - les figures 3 et 4 sont des vues de face, à plus grande échelle, illustrant la façon dont le film protecteur est enlevé; - la figure 5 est une coupe verticale, à plus grande échelle, d'un objet portant un film protecteur sur lequel est collée une bande adhésive; - la figure 6 est une vue en plan d'une unité d'aspiration sous vide, sur laquelle-est placé l'objet; - la figure 7 est une vue de face, en coupe, d'un autre exemple de l'unité d'aspiration et de trans- porteur à courroie; - la figure 8 est une vue de côté de ce dispo- sitif; - la figure 9 est une vue de face, avec coupe partielle, d'un appareil pour la mise en oeuvre du pro- cédé conforme à la présente invention, dans un deuxième mode de réalisation; -. la figure 10 est une vue en plan de cet appa- reil; - les figures 11 à 13 sont des vues de face, à plus grande échelle, illustrant la façon dont le film protecteur est enlevé; et - la figure 14 est une vue de face, en coupe, d'un autre exemple d'unité d'aspiration et de transpor- teur à courroie. On voit sur la figure 1, qui illustre le pre- mier mode de réalisation un corps de machine 1 compor- tant un magasin 3 dans lequel une certaine quantité d'objets minces 2, par exemple des pastilles de silicium, sont empilés l'un sur l'autre. Un film adhésif 4 de pro- tection a été collé à la face supérieure de chaque objet 2. Des moyens 5 d'extraction des objets du magasin com- prennent une bande transporteuse sans fin 6 entraînée par un moteur (non représenté) et une poulie d'entraîne- ment 7. Un support 8 de magasin est abaissé d'un pas ré- gulier par un élévateur 9, de manière à placer les objets 2 sur la bande sans fin 6, l'un après l'autre. Deux broches 11, 12 sont montées sur un côté d'un coffret 10 prévu sur le c8té du corps de machine 1 (figure 2). Une feuille de bande adhésive 14 est enrou- lée sur la broche 11 et la broche 12 sert à sa reprise. La broche 11 est munie d'un frein et la broche 12 d'un entraînement. Lorsque l'objet 2 portant le film protecteur 4 et la bande adhésive 14 passe entre deux rouleaux de pression 15, la bande adhésive 14, dont le côté collant est tourné vers le bas, se colle au film protecteur 4 sur l'objet 2. A l'avant des rouleaux de pression 15 est prévue une unité 16 d'aspiration sous vide qui est cons- tituée par une boîte creuse comportant une pluralité de trous d'aspiration dans sa surface supérieure et reliée à une pompe à vide (non représentée) par l'intermédiaire d'une vanne (figure 5). La bande adhésive 14 passe ensuite entre deux rouleaux de décollement 17, puis vers le haut et autour d'un rouleau de guidage 18, et elle est reprise autour de la broche 12. Les rouleaux de décollement 17 sont montés sur un chariot 19 (figures 3 et 4), supporté de façon coulissante sur un rail de guidage 20 et qui peut être entraîné par un vérin pneumatique ou une vis d'avance à commande par moteur (non représentés). Lorsque l'objet 2 est amené par la bande transporteuse 6 entre les rouleaux de pression 15 et arrive sur l'unité d'aspiration 16, les broches 11 et 12 et les rouleaux de pression 15 s'arrêtent. Dans cette situation, la bande adhésive 14, comportant une couche adhésive 21, se trouve collée sur le film protecteur 4 collé à l'objet 2 par une couche adhésive 13 (figure 5). L'unité d'aspiration 16 commence à aspirer au moyen du vide, de manière à maintenir l'objet 2 sur la plaque d'aspiration 16. La broche 12 commence seulement ensuite à tourner, dans le sens de la flèche sur la fi- gure 1, tandis que la broche 11 est empêchée de tourner, par son frein. Simultanément, le chariot 19 commence à se déplacer dans le sens de la flèche sur la figure 3, de sorte que le film protecteur 4 est détaché de l'objet 2 par la bande adhésive 14, comme représenté sur la fi- gure 4. Les rouleaux 17 peuvent être entraînés lorsque le chariot 19 se déplace. Lorsque le film protecteur 4 est presque déta- ché de l'objet.2, comme représenté sur la figure 4, le freinage de la broche 11 est relâché et l'aspiration par le vide est interrompue. Le chariot 19 est déplacé dans la direction de la flèche sur la figure 4, tandis que la bande adhésive 14 est reprise autour de la broche 12. L'objet 2 est déplacé dans la même direction par le film protecteur 4 qui a été presque détaché par la force d'adhérence de la bande adhésive 14. L'objet 2 est trans- féré sur un transporteur à bande sans fin 22. Le film protecteur 4 est complètement détaché et il est repris autour de la broche 12 en même temps que la bande adhé- sive 14. L'unité d'aspiration 16 peut comprendre une pluralité d'unités disposées côte-à-côte, les parties arrière des bandes transporteuses 22 étant disposées entre ces unités d'aspiration (figures 7 et 8), de sor- te que les objets 2, dont les films protecteurs 4 ont été détachés, sont évacués par les bandes transporteu- ses 22. Dans ce cas, les unités d'aspiration 16 peuvent être prévues pour être abaissées lorsque l'objet 2 est arrivé au-dessus des bandes 22. Cela donne l'assurance que l'objet 2 est transféré sur les bandes transporteu- ses 22. La bande adhésive 14 peut être plus étroite que la largeur de l'objet 2, comme représenté sur la figure 6. Les objets 2, dont les films protecteurs 4 ont été enlevés, sont amenés par la bande transporteuse 22 dans le magasin 26, qui est de construction analogue au magasin 3. Chaque fois que l'objet 2 est introduit dans le magasin 26, un support 25 entraîné par un élé- vateur 24 est prévu pour monter d'un pas. Pendant que le chariot 19 portant les rouleaux de décollement 17 se déplace dans la direction de la flèche sur la figure 4, la bande transporteuse 6 est entraînée pour amener l'objet suivant 2 entre les rou- leaux de pression 15. Dans le premier mode de réalisation, par ré- pétition des opérations ci-dessus, les objets 2 sont traités l'un après l'autre, pour détacher le film pro- tecteur 4. Les objets 2 dont le film a été enlevé sont contenus dans le magasin 26. Les films 4 détachés des objets sont tenus par la bande adhésive 14 qui est re- prise par la broche 12. Cela permet de détacher le film protecteur efficacement et presque automatiquement. On décrit maintenant le deuxième mode de réa- lisation avec référence aux figures 9-à 14. On utilise les mêmes repères pour désigner les mêmes éléments ou des éléments semblables. Le deuxième mode de réalisa- tion est presque le même que le premier mode de réali- sation, à l'exception des points ci-après. La bande adhésive 14 passe entre deux rouleaux de décollement 17, puis vers le haut et autour du rouleau de guidage 18, et elle est reprise sur la broche 12. Les rouleaux de décollement 17 sont montés sur le chariot 19, ainsi qu'un guidage de bande 23 (figures 11 à 13). Le chariot 19 est monté de façon coulissante sur le rail de guidage 20 et il peut être entraîné par un vérin pneumatique ou une vis motorisée d'avance. Lorsque l'objet 2 est extrait par les rouleaux de pression 15 et arrive sur l'unité d'aspiration 16, les broches 11, 12 et les rouleaux de pression 15 s'ar- rêtent. Dans cette situation, la bande adhésive 14 dont la couche collante 21 est tournée vers le bas se trouve collée au film protecteur 4 sur l'objet (figure 11). L'unité d'aspiration 16 commence par exercer une aspiration par le vide, de manière à maintenir l'objet 2 sur la plaque d'aspiration 16. Ensuite, le chariot 19 commence à se déplacer dans la direction de la flèche sur la figure 11. Comme les broches 11 et 12 sont à l'arrêt, la bande adhésive 14 se détend entre le rouleau 15 et les rouleaux de décollement 17 (figure 12). Un certain temps après le début du déplacement du chariot 19, la broche 12 commence à tourner, dans la direction de la flèche sur la figure 9, pour reprendre la bande adhésive 14, tandis que la rotation de la bro- che 11 est encore empêchée par son frein. Ainsi, la bande adhésive 14 détache le film protecteur 4 de l'ob- jet 2 seulement par sa force d'adhérence, comme repré- senté sur la figure 13, sans exercer aucune contrainte sur l'objet 2. La force d'adhérence de la bande adhésive 14 doit être plus grande que celle du film protecteur 4. Lorsque le film protecteur 4 est presque dé- taché de l'objet, on relâche le freinage de la broche 11 et on arrête l'aspiration par le vide. Le chariot 19 est déplacé en sens inverse, ou vers l'avant, tandis que la bande adhésive 14 est reprise autour de la broche 12. L'objet est également déplacé dans la même direction que le chariot 19 par le film protecteur 4 qui est en train d'être détaché de l'objet. L'objet est transféré sur la bande sans fin suivante 227 tandis que le film protecteur 4 collé à la bande adhésive 14 est complète- ment détaché de l'objet et repris avec la bande 14 au- tour de la broche 12. Comme dans le premier mode de réalisation, l'unité d'aspiration peut comprendre une pluralité d'unités disposées côte-à-côte, les parties arrière des bandes transporteuses étant situées entre les uni- tés d'aspiration (figure 14), de sorte que les objets 2 dont le film a été enlevé sont évacués par les bandes transporteuses 22. Pendant que le chariot 19 portant les rouleaux de décollement 17 se déplace vers l'avant, la bande transporteuse 6 est entraînée de manière à amener l'ob- jet suivant 2 aux rouleaux d'extraction 15. Bien qu'on utilise, dans les modes préférés de réalisation, des bandes transporteuses pour amener les objets et évacuer les objets dont le film a été enlevé, on peut également utiliser pour cela des dispo- sitifs d'aspiration ou des poussoirs. REVENDICATIONS 1. Procédé pour détacher un film adhésif de protection collé sur une face d'un objet mince, tel qu'une pastille de silicium, caractérisé en ce qu'il consiste à coller une bande adhésive au film protecteur sur l'objet et à décoller cette bande adhésive de l'ob- jet, de manière à décoller le film protecteur de l'objet par la force d'adhérence de la bande adhésive agissant sur le film protecteur pendant la reprise de la bande adhésive. 2. Procédé suivant la revendication 1, carac- térisé en ce que la bande adhésive est collée au film protecteur sur l'objet par pressage de la bande adhésive contre le film protecteur. 3. Procédé suivant la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'objet est maintenu en position, vers le bas, par une force d'aspiration, pendant que la bande adhésive est en cours de détachement de l'objet. 4. Procédé suivant une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la reprise de la bande adhésive commence un certain temps après le début du décollement de la bande adhésive de l'objet. 5. Appareil pour détacher un film protecteur adhésif collé à une face d'un objet mince, tel qu'une pastille de silicium, caractérisé en ce qu'il comprend: des moyens de pression/alimentation, pour faire avancer l'objet mince (2) portant le film protecteur adhésif (4) collé à une de ses faces tout en pressant une bande adhésive (14) contre le film protecteur adhésif sur l'objet afin de la coller sur ce film; des moyens de maintien en position de l'objet portant le film protec- teur adhésif auquel la bande adhésive a été collée; et des moyens de décollement, pour détacher la bande adhé- sive de l'objet de manière à décoller le film protecteur adhésif de l'objet par la force d'adhérence de la bande adhésive agissant sur le film protecteur adhésif. 6. Appareil suivant la revendication 5, ca- ractérisé en ce que les moyens de maintien comprennent une unité (16) d'aspiration par le vide. 7. Appareil suivant la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que les moyens de décollement compren- nent deux rouleaux (17) entre lesquels et autour desquels passe la bande adhésive (14), ces rouleaux étant prévus pour se déplacer dans une direction sensiblement paral- lèle à l'objet qui est maintenu en position. 8. Appareil suivant la revendication 7, carac- térisé en ce que les moyens de décollement comprennent également une broche (12) pour reprendre la bande adhé- sive sur laquelle le film protecteur adhésif a été transféré de l'objet.