FR 2557367 A1 19850628 FR 8320678 A 19831223 STRUCTURE SEMICONDUCTRICE A TENUE EN TENSION ELEVEE AVEC SILLON PERIPHERIQUE IMPLANTE a u VcZ WcSe, La présente invention concerne le domaine des semiconducteurs de puissance présentant une bonne tenue en tension. Par exemple, l'invention peut s'appliquer à un transistor qui, en utilisation normale, devra supporter des fortes tensions sur sa jonction collecteur-base. De manière générale, une jonction est soumise à un risque de claquage lorsque les champs électriques développés au voisinage de cette jonction sont trop élevés, soit dans le volume de la structure cristalline du semiconducteur, soit en superficie. On peut calculer une valeur de tension de claquage idéale d'une jonction plane sans défaut ; cette tension dépend essentiellement du dopage et de l'epaisseur de la couche la moins dopée de la jonction. En fait, deux facteurs contribuent à rendre la tension de claquage réelle plus faible que la valeur idéale. Le premier facteur est la courbure de la jonction par exemple à ses extrémités : les champs électriques sont plus élevés dans la région de courbure et le claquage se produit d'abord là. L'autre facteur est le claquage superficiel : là òù la jonction affleure en surface du semiconducteur, ltextension de la zone de déplétion se réduit par rapport ra ce qu'elle est à l'intérieur du volume, augmentant les champs éleetriques ; de plus, la tenue en tension en surface pour les memes champs électriques est moins bonne qu'à l'intérieur du volume cristallin à cause des défauts de surface de la structure cristalline. Des solutions doivent être trouvées pour réduire le claquage prématuré au niveau des courbures de la jonction suppression complète des courbures en utilisant des structures de type mesa ; réduction de la courbure des lignes équipotentielles dans les structures de type planar, grâce à des anneaux de garde entourant la jonction. Des solutions doivent également être trouvées pour réduire le risque de claquage superficiel l'espacement accru des lignes équipotentielles là ob elles arri vent sur une surface extérieure de semiconducteur est un facteur d'amélioration, obtenu grâce à des anneaux de garde ou à un biseautage des bords de la structure, à un angle très aigu par rapport au plan de la jonction.Par ailleurs, on protège les affleurements de jonction par des substances de passivation les meilleures possibles (silicium polycristallin dopé à l'oxygène par exemple). Utilisant ces moyens connus, on s'est aperçu qu'on n'arrivait guère à s'approcher plus près que 90 Z de la tenue en tension idéale d'une jonction plane infinie et sans défaut. Pour tenir une tension imposée il faut donc augmenter l'épaisseur de la couche la moins dopée (ou -diminuer le dopage) par rapport à ce qui serait strictement nécessaire si le dispositif supportait la tension idéale de claquage. Mais alors, pour tenir simultanément un courant suffisant sans dissipation excessive de puissance, on doit augmenter la surface de la jonction (donc de la puce semiconductrice) car il faut bien compenser l'augmentation de la résistance interne directe de la jonction qui résulte de l'augmentation d'épaisseur ou de la diminution du dopage. Pour des raisons de coût du silicium et de rendement de fabrication, on souhaite au contraire limiter au maximum la surface de puce. C'est d'ailleurs une des raisons pour lesquelles on n'aime pas les solutions consistant à biseauter les bords de la puce dans les structures mesa (outre le fait que ce biseautage doit être fait par usinage et n'est donc pas du tout approprié à une fabrication en grande série). La présente invention propose une structure semiconductrice dont la tenue en tension effective est beaucoup plus proche de la tension de claquage théorique idéale que celle des structures réalisées jusqu'ici, cette structure ne nécessitant pas un accroissement important de la surface de puce. L'invention propose simultanément un procédé de fabrication extrêmement simple de cette structure. La structure selon l'invention comporte une couche centrale peu dopée, d'un premier type de conductivité, en sandwich sur la majeure partie de la surface de la structure entre une couche inférieure du même type mais plus dopée, et une couche supérieure du type opposé et également plus dopée, la couche centrale et la couche supérieure définissant entre elles une jonction plane ; un sillon annulaire recouvert ou rempli d'une substance de passivation pénètre en profondeur jusqu'# l'intérieur de la couche centrale et entoure entierement la jonction qui vient s'arrêter sur le bord intérieur du sillon annulaire, la couche centrale venant affleurer à la surface supérieure de la structure au delà de la périphérie extérieure du sillon ; une deuxieme couche superficielle plus dopée que la couche centrale et du même type qu'elle entoure, à la périphérie de la puce, la zone d'affleurement de la couche centrale ; la couche centrale est séparée du bord intérieur du sillon par une zone mince dopée par une impureté du second type de conductivite opposé au premier, la concentration en impuretés le long de la surface du sillon annulaire allant en décroissant progressivement et fortement du fond du sillon vers la région ou la jonction rencontre le sillon. Grâce a cette variation progressive importante de la concentration en impuretés le long de la surface du sillon, entre le fond du sillon et les flancs du sillon, on obtient les effets suivants qui concourent à l'obtention d'une tenue en tension effective tres proche de la tenue en tension idéale : les lignes équipotentielles, qui sont parallèles à la surface plane de la jonction au centre de la puce, mais qui tendraient à se recourber vers la jonction, et donc à augmenter les champs électriques, au voisinage de leur arrivée sur le sillon, sont redressees par le dopage faible, du type opposé à celui de la couche centrale, existant au bord du sillon, et ceci d'autant plus que ce dopage va en croissant à mesure que lton s'écarte de la jonction pour aller vers le fond du sillon.Vers le fond du sillon, le dopage est suffisant pour écarter completement du sillon les lignes équipotentielles qui contournent alors le sillon et viennent se perdre sur le bord extérieur du sillon. La profondeur-du sillon n'est pas critique : elle peut être notablement inférieuredà la somme des profondeurs des deux couches séparées par la jonction : il s'enfonce par exemple jusqu'à la moitié de la couche centrale. Cette profondeur doit être suffisante pour qu'une bonne partie des lignes équipotentielles réparties dans la zone déplétée vienne se terminer sur le sillon, mais pas trop importante pour ne pas risquer un phénomène de perçage entre le fond du sillon (dopage important du second type de conductivité) et la couche inférieure (dopage important du premier type de conductivité). L'ordre de grandeur souhaitable pour la concentration en impuretés par unité de surface de la zone mince an fond du sillon est d'environ une à deux fois la concentration des impuretés par unité de surface dans la couche centrale. La concentration par unité de surface de la zone mince entre la couche centrale et le sillon au voisinage de la jonction peut être cinq fois plus faible qu'au fond du sillon. Le procédé le plus simple pour réaliser la structure consiste, aptes réalisation de maniere classique des différentes couches (et notamment une diffusion localisée au centre de la puce d'une couche superficielle définissant une jonction qui remonte à la surface de la structure), à ouvrir une fenêtre, correspondant à l'emplacement du sillon annulaire à réaliser, dans une couche d'oxyde recouvrant la surface de la structure semiconductrice, cette fenêtre recouvrant la partie de jonction affleurant à la surface de la structure, à graver chimiquement le sillon pour obtenir une section en forme de cuvette, à effectuer alors en principe sans masquage supplémentaire, une implantation ionique dans le sillon, de maniere directive et sensiblement normale à la surface générale de la structure, le reste de la structure étant protégé, à recuire la structure pour rétablir la structure cristalline aptes l'implantation, et enfin à déposer une substance de passivation notamment dans le sillon. L'implantation dans le sillon en forme de cuvette réalise automatiquement une variation progressive de la concentration en impuretés le long de la surface du sillon :la concentration est bien plus faible sur les bords de la cuvette que dans le fond, et on s'arrange pour que la profondeur de la cuvette soit suffisante par rapport à la profondeur de la jonction pour que la jonction n'aboutisse pas au fond de la cuvette mais bien sur une portion de bord dont la pente est suffisante pour réduire fortement la dose implantée par unité de surface. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparattront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels - la figure 1 représente une structure semiconductrice avec sillon annulaire n'incorporant pas l'invention - la figure 2 représente le perfectionnement selon l'invention - la figure 3 représente une étape de fabrication de la structure selon l'invention ; la figure 4 représente une étape ultérieure de fabrication. Un exemple de structure à plusieurs couches formées dans un substrat semiconducteur, constituant une puce , est représentE en coupe à la figure 1. Seul un bord extérieur de la puce réalisée est représenté ; la majeure partie de la surface de la puce n'est pas représentée et s'etend sur la gauche de la figure. A droite, le bord de la puce est désigné par la référence 10. Il s'agit ici d'un transistor ayant une région d'émetteur 12 de type N fortement dopée, une région de base 14 de type P normalement dopée, et une région de collecteur comprenant deux couches superposées 16 et 18 de type N, la couche 16 étant peu dopée et adjacente à la base, la couche 18 étant fortement dopée et constituant la face inférieure de la puce. La couche 16 constitue une couche centrale peu dopée, en sandwich sur la majeure partie de la surface de la puce entre la couche inférieure 18 fortement dopée et la couche de base 14 plus dopée que la couche 16 et de type opposé. La jonction qui doit présenter une bonne tenue en tension inverse est la jonction base-collecteur entre les couches 14 et 16. On choisira l'épaisseur et le dopage de la couche 16 en fonction de la tension inverse maximale que doit supporter cette jonction. Un sillon annulaire 20 est creusé à partir de la surface supérieure du semiconducteur monocristallin sur toute la périphérie de la puce. Ce sillon est formé à proximité du bord de la puce (mais pas tout à fait au bord) et il entoure completement la jonction entre les couches 14 et 16 : la jontion affleure donc sur un bord intérieur 22 du sillon creusé. La jonction est entierement plane à l'intérieur de la surface (circulaire, carrée rectangulaire ou polygonale) délimitée par le bord intérieur 22 du sillon annulaire. Enfin, tout à fait au bord extérieur de la surface de la puce est prévue une couche superficielle 24 de type N, plus dopée que la couche centrale 16 ; cette couche 24 entoure toute la puce jusqu'au bord 10 de celle-ci > en laissant entre elle et le bord extérieur 26 du sillon annulaire un intervalle ou la couche centrale 16 affleure à la surface du semiconducteur. L'ensemble de la puce est recouvert d'une couche de passivation 28 qui recouvre ou remplit le sillon annulaire 20 (la couche de passivation peut être composée de plusieurs couches de substances différentes). Les lignes équipotentielles dans le semiconducteur, lorsque la jonction entre les couches 14 et 16 est polarisée en inverse, sont représentées par des traits tiretés 30. Ces lignes sont parallèles à la jonction sous la majeure partie de la surface de la jonction. Elles se recourbent vers la jonction à l'endroit ou celle-ci intersecte le sillon. Cette courbure, meme si elle est plus limitée que ce que l'on rencontre dans les jonctions de type planar affleurant sur la surface supérieure du semiconducteur, est une cause de réduction de la tension de claquage de la jonction. Les lignes équipotentielles tout à fait inférieures, les plus proches de la couche 18 de type N+ > intersectent aussi le sillon, vers le fond de celui-ci. La figure 2 représente la même structure, perfectionnée selon l'invention. La seule différence de structure avec ce qui vient d'être décrit est le fait que la couche centrale 16 de type N ne reste pas de type N le long de la paroi du sillon annulaire, mais au contraire qu'elle est séparée de cette paroi par une zone mince 32 dopée avec une impureté de type P, donc de type opposé à celui de la couche 16. De plus, cette impureté n'est pas concentrée uniformément le long de la surface intérieure du sillon mais sa concentration par unité de surface va en décroissant progressivement depuis le fond 34 du sillon jusqu'à l'endroit 36 ou la jonction entre les couches 16 et 14 intersecte le sillon. Cette décroissance progressive de la concentration de la zone 32 a été représentée à la figure 2 sous forme d'une densité variable de points. La concentration des impuretés de type P par unité de surface au fond du sillon est de préférence de l'ordre de une à deux fois la concentration de type N de la couche 16. La concentration des impuretés de type P par unité de surface le long du sillon vers la région située juste au dessous de la jonction à proximité de son intersection avec le sillon est de préférence environ cinq fois plus faible que la concentration au fond du sillon. On a représenté les lignes équipotentielles 30 qui en résultent lorsqu'une polarisation inverse importante est appliquée à la jonction : les équipotentielles intersectant le sillon sont pratiquement redressées et restent paralleles au plan de la jonction. Elles ne présentent pratiquement plus de courbure susceptible de réduire la tenue en tension effective. Les équipotentielles les plus proches de la couche inférieure 18 sont légerement déviées et contournent le sillon pour aller se perdre sur le bord extérieur 26 de celui-ci. La concentration et la profondeur des impuretés au fond du sillon sont suffisamment faibles pour que les équipotentielles ne se retrouvent pas plus rapprochées de la couche 18 en dessous du sillon que dans le reste de la structure (il faut en effet éviter un phénomène de perçage au dessous du sillon). Du côté du bord extérieur 26 du sillon annulaire, la variation de concentration de la zone 32 est de préférence symétrique : diminution progressive de la concentration du fond du sillon jusqu'à la surface supérieure de la structure, de manière que la courbure des équipotentielles aboutissant sur le bord 26 soit minimisée et de manière que ces équipotentielles ne soient pas rejetées vers la couche périphérique superficielle 24, ce qui entratnerait une diminution de fiabilité du disposit#if. Le procédé de fabrication préférentiel selon l'invention consiste à réaliser d'abord de manière classique, par dopages localisés (pour les couches 12, 14 et 24) ou non localisés (pour les couches 16 et 18), une structure à plusieurs couches semiconductrices sur une tranche de silicium pouvant être divisée en puces circulaires, carrées ou rectangulaires. La structure à laquelle on aboutit est représentée à la figure 3 avec les mêmes références qu'aux figures 1 et 2. La jonction entre les couches 14 et 16 affleure en surface à un emplacement désigné par 40. Etant donné que le découpage de la tranche en puces ne se fait qu'en fin de processus, le bord d'extrémité d'une puce est représenté, sur les figures 3 et 4 par une ligne tiretée 42 qui correspond à la ligne de découpe entre deux puces adjacentes. Ensuite, on creuse un sillon annulaire dans le silicium de la manière suivante : la tranche est recouverte d'oxyde de silicium 44 pouvant d'ailleurs résulter au moins partiellement des opérations de dopage précédentes. Une fenêtre est ouverte dans l'oxyde par photogravure d'une résine photosensible 46, à l'emplacement désiré pour le sillon, c'est à dire au dessus du contour fermé de l'affleurement 40 de la jonction entre les couches 14 et 16 mais en restant écarté de la couche superficielle 24 de type N+. Le silicium de la tranche est alors gravé chimiquement dans la fenêtre òù il est mis à nu, la résine 46 pouvant subsister ou être enlevée dans cette étape du procédé. La profondeur de gravure est telle que le sillon 20 ainsi creusé, en forme de cuvette, s'étende jusqu'à environ les deux tiers de la profondeur de la couche centrale 16 peu dopée. La largeur du sillon peut être d'environ une à deux fois la profondeur de la couche 16 là òù elle affleure. On procède alors, après enlèvement de la résine 46, à une implantation ionique, sensiblement verticale et à faible profondeur, d'une impureté de type opposé à celui de la couche centrale 16, par exemple du bore avec une énergie de 150 keV. L'implantation n'a lieu que dans le sillon 20, le reste de la tranche étant protégé par l'oxyde 44. Du fait de la forme en cuvette du sillon 20, avec des bords qui remontent, l'implantation introduit une concentration en impuretés par unité de surface maximale au fond du sillon et décroissant progressivement en remontant vers le haut à mesure que la pente du sillon se rapproche de la verticale. Après un recuit de rétablissement de la structure cristalline endommagée par l'implantation (900 C pendant 30 minutes), on dépose une ou plusieurs couches de passivation notam- ment au dessus du sillon, et on aboutit à la structure représentée à la figure 2. Les étapes finales sont des étapes de gravure de la substance de passivation, puis de métallisation, et enfin d'assemblage sous bottier. L'invention ainsi décrite à propos d'un transistor est applicable à d'autres dispositifs semiconducteurs (diodes, thyristors, etc...). REVENDICATIONS 1. Structure semiconductrice à tenue en tension élevée, comportant une couche centrale (16) peu dopée, d'un premier type de conductivité (N), en sandwich sur la majeure partie de la surface de la structure entre une couche inférieure (18) du premier type de conductivité, plus dopée que la couche centrale, et une couche supérieure (14), du type opposé (P) et également plus dopée que la couche centrale, définissant avec cette dernière une jonction plane, un sillon annulaire (20) recouvert ou rempli d'une substance de passivation (28) pénétrant en profondeur jusqu'à l'intérieur de la couche centrale (16) et entourant entièrement la jonction qui vient s'arreter sur le bord du sillon du côté t22) intérieur de celui-ci, la couche centrale du premier type de conductivité venant affleurer à la surface supérieure de la structure au delà de la périphérie extérieure (26) du sillon et une deuxième couche superficielle (24) plus dopée que la couche centrale et du même type (N) qu'elle entourant, à la périphérie de la puce, la zone d'affleurement de la couche centrale, caractérisée en ce que la couche centrale (16) du premier type (N) de conductivité est séparée du bord intérieur (22) du sillon (20) par une zone mince (32) dopée du second type de conductivité opposé au premier, la concentration en impuretés le long de la surface du sillon allant en décroissant progressivement du fond (34) du sillon vers la région (36) ob la jonction rencontre le sillon. 2. Structure#selon la revendication 1, caractérisée en ce que la concentration par unité de surface des impuretés du second type de conductivité dans la zone mince au fond du sillon est de l'ordre de une à deux fois la concentration en impuretés du premier type existant dans la couche centrale. 3. Structure selon la revendication 2, caractérisée en ce que la concentration par unité de surface dans la zone mince (32) au voisinage immédiat de la jonction est de l'ordre de cinq fois moins que la concentration par unité de surface au fond du sillon. 4. Structure selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la largeur du sillon est d'environ une à deux fois la profondeur de la couche centrale. 5. Structure selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le sillon s'étend en profondeur jusqu'à environ la moitié de la profondeur de la couche centrale (16) au dessous de la jonction. 6. Structure selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que la zone mince (32) dopée présente également une concentration décroissant progressivement du fond du sillon vers le haut du sillon du caté extérieur (26) de celui-ci. 7. Procédé de fabrication d'une structure selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant à - former classiquement des couches N et P dans une tranche semiconductrice, avec notamment une jonction qui affleure en surface selon un contour fermé (40) ; ; - creuser un sillon annulaire (20) en forme de cuvette tout le long du pourtour de l'affleurement de la jonction, ce sillon s'étendant en profondeur largement au-dessous de la jonction, le sillon étant creusé par gravure chimique , après une étape de masquage destinée à constituer une couche de protection (44) en dehors de l'emplacement du sillon - effectuer une implantation d'impuretés dans le sillon en conservant la même couche de protection (44) servant alors de masque d'implantation - déposer une couche de passivation (28) notamment à l'intérieur du sillon.