FR 2566895 A1 19860103 FR 8410155 A 19840627 Procedé et dispositif de mesure optique de la différence de cotes entre deux points de mesure d'une surface L'invention concerne un procédé optique de mesure de la différence de cotes entre deux points de mesure d'une surface. Le procédé de l'invention permet donc le relevé sans contact d'un profil ou d'une surfa ce, notamment en vue de la definition d'une forme, de la reconnaissance d'un objet, d'une vérification dimen sionnelle ou d'un contrôle de fonctionnement. L'inven tion a également pour objet un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé. On connait un procédé optique de mesure d'une différence de cotes par Le brevet français n" 1 504 539 intitulé "Perfectionnements aux procédés et disposi tifs de mesure et de contrôle de cotes et plus particu lièrement de celles des profils de piéces". Ce procédé consiste à émettre deux faisceaux lumineux continus destinés à être réfléchis ou diffusés par les points de mesure, et à déterminer à partir des rayonnements réfléchis la différence de cotes entre les deux points de mesure par une mesure différentielle d'une information portée par les deux faisceaux lumi neux et de valeur liée à la longueur du chemin optique. Le dispositif représenté schématiquement sur la figure 1 illustre ce procédé de mesure. Ce dispositif comprend : une source lumineu se 2 délivrant un faisceau lumineux continu, un modula teur d'amplitude 4 commandé par un générateur haute fréquence 6 pour moduler à une fréquence 2n le fais ceau lumineux délivré par la source 2, un miroir semi réfléchissant 8 et un miroir 10 pour dédoubler le fais ceau lumineux modulé en deux faisceaux parallèles diri gés respectivement vers les points de mesure Pi et Pi+i Une seconde modulation est effectuée sur le faisceau lumineux diffusé par chaque point de mesure par des modulateurs 12 et 14 identiques au modulateur 4.Les signaux lumineux délivrés par ces modulateurs comportent donc une composante de modulation de pulsation , une composante de modulation de pulsations 2X) et une composante vidéo fonction du trajet optique. Cette composante vidéo est détectée par des photodiodes 16, 18. Les signaux électriques délivrés par chaque photodiode ont une intensité différente ; cette différence est liée à la différence de longueur des chemins optiques et donc à la différence de cotes z entre les points de mesure Pi et Pi+1. Pour mesurer facilement le déphasage entre les deux faisceaux optiques diffusés par les points de mesure, on interpose après le modulateur 4 un miroir oscillant 20 de manière à faire varier périodiquement et simultanément la longueur des deux chemins optiques. Les signaux électriques délivrés par les photodiodes 16 et 18 sont alors des signaux périodiques. La différence de phase entre ces signaux est mesurée de manière connue. Celle-ci est proportionnelle à la différence de longueur des chemins optiques et par suite à la différence de cotes z entre les points de mesure. Pour évaluer la différence de longueur des chemins optiques, et par suite déterminer z, le dispositif de mesure utilise un comptage d'impulsions. Il comprend à cet effet un moyen 22 qui engendre des impulsions à une cadence régulière et qui peut être par exemple constitué par un disque tournant dont la vitesse est liée au mouvement, alors obligatoirement linéai- re, du miroir oscillant 20, ce disque comportant un certain nombre de fentes équidistantes sur sa périphérie qui interceptent successivement un rayon lumineux entre une source de lumière et une cellule photoélectrique. Cette dernière délivre ainsi des impulsions électriques qui sont comptées par un moyen 24 pendant le temps correspondant au déphasage entre les signaux électriques produits par Les modulateurs 16 et 18.La précision de- la mesure et donc la résolution du dispositif, dépend directement du nombre d'impulsions fournies par le moyen 22 et du choix de la fréquence de modulation haute fréquence. Par exemple, pour une fréquence de 3000 MHz, soit une longueur d'onde A de 10 cm, et un nombre d'impulsions défilant durant une période d'oscillation du miroir de 1000, La précision de mesure obtenue est de l'ordre de 0,1 mm. D'autresfacteurs interviennent dans la précision de la mesure et notamment la linéarité du mouvement du miroir oscillant, la stabilité du générateur haute fréquence et Le rapport signal à bruit des circuits électroniques. La précision de mesure est ainsi de l'ordre de 0,1 mm au mieux quels que soient la fréquence de modulation et le nombre d'impulsions par seconde. Cette précision n'est pas très grande. Elle est insuffisante pour de très nombreuses applications en robotique. Une autre limitation importante du procédé de mesure décrit tient à ce que, par le principe même de la méthode, t'étendue de mesure est limitée à une dif férence de cotes egale à la moitié de la longueur d'onde X correspondant à la fréquence de la modulation haute fréquence, puisque le moyen 24 peut détecter un déphasage maximal de 1800, c'est-à-dire une différence de chemin optique égale à B/2, entre les signaux délivrés par les détecteurs 16, 18. Un but de l'invention est de proposer un pro cédé optique de mesure dont la résolution et l'étendue de mesure sont nettement supérieures à celles du brevet cité. Pour atteindre cet objectif, on remplace le faisceau lumineux continu et modulé en amplitude du dispositif du brevet cité par un faisceau lumineux d'impulsions. La largeur des impulsions lumineuses du faisceau détermine la résolution du procédé de mesure ; ainsi, de préférence, les impulsions du faisceau lumineux sont bréves. De manière plus précise, l'invention a pour objet un procédé de mesure optique de la différence de cotes entre deux points de mesure d'une surface par la mesure de la différence de longueur entre le chemin optique d'une source optique impulsionnelte à l'un de ces points de mesure et le chemin optique de la même source à L'autre point de mesure. Selon ce procédé, on envoie un train d'impulsions lumineuses bréves dans chacun des chemins optiques, on recueille les ondes diffusées par chaque point de mesure et on détermine la différence des temps de propagation d'une impulsion sur chaque chemin optique, cette différence permettant de determiner La différence de cotes entre les deux points de mesure. La mesure directe du retard temporel entre deux impulsions ayant été émise simultanément dans chaque chemin optique nécessite un détecteur dont le temps de montée doi? être d'autant plus bref que les impulsions sont courtes. Ce procédé est difficilement applicable pour des impulsions dont la longueur est inférieure à 100 ps. Pour déterminer la différence des chemins optiques de mesure dans le cas du fonctionnement en impulsions brèves, on procède avantageusement de la manière suivante : on envoie simultanément un train d'impulsions lumineuses brèves sur un chemin optique de mesure et sur un chemin optique de référence dont la lon gueur varie suivant une loi périodique, et on détermine l'instant où les longueurs des deux chemins optiques sont égales. La loi de variation de la longueur du chemin optique de référence etant connue, cet instant détermine la longueur dudit chemin optique de mesure. On détermine de cette manière la longueur de chaque chemin optique de mesure, puis par soustraction la différence de cotes entre les points de mesure. La loi de variation de la longueur du chemin optique de référence ainsi que l'amplitude de cette variation peuvent etre quelconques. Ainsi, l'étendue de mesure, qui est égale à L'amplitude de variation de la longueur du chemin optique de référence, n'est-elle plus limitée comme dans le brevet cité. L'égalité des longueurs d'un chemin optique de mesure et du chemin optique de référence peut être déterminée de façon avantageuse par une corrélation optique entre les impulsions lumineuses issues de ces chemins optiques puis par la génération d'une impulsion électrique au maximum de la corrélation. Le procédé de l'invention est mis en oeuvre par un dispositif comprenant une source d'impulsions lumineuses bréves, un bras de mesure pour délivrer les impulsions lumineuses de la source vers un point de mesure et recueillir l'onde diffusée par ce point de mesure et un moyen de traitement pour mesurer la longueur du chemin optique parcouru par les impulsions lu meneuses. De manière préférée, pour mesurer la longueur du chemin optique, le dispositif comprend un bras de référence de longueur variable recevant le même train d'impulsions lumineuses que le bras de mesure, et le moyen de traitement comprend un corrélateur optique recevant les impulsions délivrées par le bras de mesure et le bras de référence et un générateur d'impulsions délivrant une impulsion au maximum de corrélation. Selon un premier mode de réalisation du dispositif de l'invention, le bras de mesure est unique. Dans ce cas, le dispositif comprend des moyens pour déplacer le bras de mesure de maniere à mesurer successivement la longueur du chemin optique menant à l'un des points de mesure puis le chemin optique menant à l'autre point de mesure. Selon un autre mode de réalisation, le dispositif de l'invention comprend deux bras de mesure pour délivrer simultanément un train d'impulsions lumineuses bréves sur chaque chemin optique. Selon une caractéristique secondaire, le dispositif comprend deux corrélateurs optiques, associés chacun à un bras de mesure, et un générateur d'impulsions relié aux deux corrélateurs optiques. De manière préféree, chaque bras de mesure est constitué par une fibre optique terminée par une tête de mesure munie de moyens pour focaliser le faisceau d'impulsions lumineuses brèves délivré par la fibre optique vers l'un des points de mesure et pour recueillir l'onde diffusée par ce point de mesure. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, donnée à titre illustratif mais non limitatif, en référence aux dessins annexés, sur lesquels : - la figure 1, déjà décrite, illustre un procédé optique de mesure de la différence de cotes de deux points d'une surface selon l'art connu, - la figure 2 représente schématiquement un dispositif pour la mesure de la longueur d'un chemin optique de mesure par corrélation optique entre un faisceau d'impulsions parcourant ledit chemin optique de mesure et un faisceau d'impulsions parcourant un chemin optique de référence de longueur variable, - les figures 3a et 3b représentent respectivement L'allure du signal S' délivré par le dérivateur et le signal I délivré par Le générateur d'impulsions du circuit de traitement de signal du dispositif de la figure 2, - la figure 4 représente schématiquement un premier mode de réalisation d'un dispositif de mesure de la difference de cotes de l'invention mettant en oeuvre le procédé décrit én référence à la figure 2, ledit dispositif comprenant un seul bras de mesure, - la figure 5 représente schématiquement un second mode de réalisation du dispositif de mesure de la différence de cotes de l'invention mettant en oeuvre le procédé décrit en référence à la figure 2, ledit dispositif comprenant deux bras de mesure, - la figure 6 illustre une application du dispositif de l'invention au balayage d'une surface, - la figure 7 illustre une application du dispositif de l'invention pour le contrôle de l'action d'un organe d'une machine automatique. Le dispositif représenté sur la figure 2 permet de mesurer la cote d'un point de mesure P. d'une surface. Le principe de la mesure consiste à détecter l'instant où le retard temporel entre une impulsion parcourant le bras de mesure APiB et une impulsion émise simultanément et parcourant le bras de référence CDE de longueur variable est nul. Le dispositif comprend une source d'impulsions lumineuses brèves 28, un mélangeur hétérodyne optique 30, un moyen de variation 32 de la longueur du chemin optique de référence et un moyen de traitement 31 constitué d'un correlateur optique 34 et d'un circuit de traitement du signal36. La source d'impulsions lumineuses brèves 28 peut être réalisée par un laser, par- exemple par un laser infrarouge à modes couplés pour rendre la mesure moins sensible à l'éclairage ambiant. Celui-ci délivre une onde lumineuse de fréquence 91 sous forme d'un train d'impulsions. Cette onde est reçue dans le mélangeur 30 qui délivre deux ondes lumineuses synchrones. Ce mélangeur est constitué par exemple par une cellule de Braggs excitée par une onde acoustique de fréquence faible devant 91 A la sortie de la cellule, on obtient deux ondes synchrones de fréquence 91 et égale à L'utilisation d'un mélangeur hétérodyne optique confère au dispositif un rapport signal à bruit élevé, ce qui contribue à une bonne sensibilité de mesure. L'une des ondes délivrées par le mélangeur 30 parcourt le chemin optique de mesure APiB ; l'autre le chemin optique de référence CDE. La longueur de ce dernier est rendue variable par l'utilisation d'un miroir oscillant 32. Le chemin optique de mesure est défini par un bras de mesure qui peut comprendre une fibre optique terminée par une tête de mesure. Un tel mode de réalisation apparaît sur les figures 6 et 7 qui seront décrites ultérieurement. Revenant sur la figure 2, les impulsions parcourant chacun des deux chemins optiques sont reçues dans un corrélateur optique 34 qui délivre un signal électrique d'autant plus intense que la différence temporelleentrelesdites impulsions est faible. Ce corrélateur optique est par exemple un photomultiplicateur. Le signal électrique délivré par le corrélateur optique 34 est reçu dans un circuit de traitement du signal 36 ayant pour fonction de délivrer une impulsion électrique au maximum de corrélation. L'instant d'apparition de cette impulsion correspond donc à l'instant où les chemins optiques de mesure et de référence sont de Longueur égale. Cette longueur est connue par rapport à cette référence en notant La position du miroir oscillant 32 à L'instant d'apparition de l'impulsion. Le moyen de traitement 36 comprend en série un amplificateur moyenne fréquence 38 centré sur la fréquence f m du mélangeur 30, un détecteur d'amplitude 40 délivrant un signal S, un dérivateur 42 et un générateur d'impulsions 44 à déclenchement par seuil délivrant un signal d'impulsion I. Si les impulsions émises par le laser sont de forme gaussienne, l'impulsion à la sortie du photomultiplicateur a pour expression où exp est la fonction exponentielle, dest le décalage temporel à l'entrée du photomultiplicateur entre deux impulsions émises simultanément par le mélangeur hétérodyne 30, ts est la demi-largeur des impulsions arrivant sur le photomultiplicateur, fm est la fréquence acoustique de la cellule de Bragg et K est un coefficient tenant compte des caractéristiques physiques du dispositif. La sensibilité du dispositif est fonction du rapport / rs On note que le signal S1 est maximal lorsque le retard temporel est nul. Le circuit de traitement du signal 36 a précisément pour rôle de détecter l'instant où S1 est maximal. Ce signal est reçu dans l'amplificateur 38 centré sur la fréquence f m Le signal délivré par cet amplificateur 38 est détecte par un détecteur 40 qui délivre le signal La sensibilite du dispositif est fonction de la précision sur la détermination du maximum du signal S. Pour que cette sensibilité soit importante, on dérive le signal S dans un dérivateur 42. Ce derivateur produit le signal S' représenté sur la figure 3a. Le passage par zéro de ce signal, qui correspond au maximum du signal S, est repéré par le générateur d'impulsions 44. On a décrit en référence aux figures 2 et 3 un dispositif pour la détermination d'un retard temporel nul entre un chemin optique de mesure et un chemin de référence. Le procédé optique de mesure de l'invention repose sur cette détermination. On a représenté sur la figure 4 un premier mode de réalisation d'un dispositif de l'invention pour la mesure de la différence de cotes entre deux points d'une surface. Ce dispositif comprend un unique bras de mesure qui peut être déptacé de manière à mesurer successivement la cote de deux points d'une surface. Sur cette figure, les éléments identiques à ceux de la figure 2 portent les mêmes références. Ce dispositif comprend en sortie du circuit de traitement du signal 36 un moyen 33 calculant la différence de cotes constitué d'un moyen de mémorisation 52 suivi d'un moyen de calcul 54. Le moyen de mémorisation 52 reçoit L'impulsion I délivrée par le circuit de traitement du signal 36 lorsque le chemin optique de mesure AP.B et le chemin optique de référence CDE ont une même Longueur. Le moyen de mémorisation 52 est apte à déterminer la longueur du chemin optique de mesure en fonction de L'instant d'apparition de cette impulsion I et de la position du miroir oscillant 32. Lorsque la longueur du chemin optique relati ve au point de mesure P. a été mesurée et mémorisée, on déplace Le bras de mesure du dispositif de manière à définir un chemin optique de mesure passant par un autre point de mesure Pu+1. On mesure et on mémorise alors de la même manière la longueur du chemin optique AP i+1 B. Le circuit de calcul 54 déduit alors la différence de cotes z entre les deux points de mesure des Longueurs de chemins optiques mémorisées. Si on note n. et hui+1 la longueur des chemins optiques associée respectivement aux points de mesure Pi et P +1, la différence de cotes entre ces points est donnée par la relation : où n est l'indice optique du milieu de propagation des impulsions. Cet indice est en général égal à l'unité. Le dispositif de l'invention représenté sur la figure 4 comporte un unique bras de mesure. Ceci nécessite de déplacer ce bras de mesure d'un point de mesure à l'autre point de mesure pour calcuLer la dif férence de cotes. Le temps nécessaire à l'obtention de la différence de cotes en est donc augmenté. Ceci peut constituer un inconvénient dans le cas où le dispositif de l'invention est relié à une machine automatique dont le déplacement de l'outil est commandé par le signal délivré par ledit dispositif. De plus, le déplacement du bras de mesure introduit des jeux mécaniques inévitables qui pénalisent la précision de la mesure. On a représenté sur la figure 5 un dessin schématique d'un autre mode de réalisation du disposi- tif de l'invention permettant de mesurer plus rapide- ment la différence de cotes entre deux points d'une surface. Ce dispositif comprend deux bras de mesure permettant ainsi de mesurer simultanément la cote de deux points de mesure P. et Pi+1 et donc de délivrer en temps réel la différence de cotes z entre ces deux points. Sur la figure 5, les éléments identiques à ceux de la figure 4 portent les mêmes références. Un bras de mesure définit un premier chemin optique entre le mélangeur hétérodyne 30 et l'entrée B1 d'un premier photomultiplicateur 35, ledit chemin optique passant par Le bras de mesure P. ; L'autre bras de mesure définit un second chemin optique entre le mélangeur hetérodyne 30 et l'entrée B2 d'un second photomultiplicateur 37, ledit chemin optique passant par le point de mesure Pu+1. Le bras de référence de longueur variable est dédoublé de manière à définir deux chemins optiques, de longueurs constamment identiques, l'un arrivant sur une entrée E1 du premier photomultiplicateur 35 et L'autre sur une entrée E2 du second photomultiplicateur 37. Comme dans le dispositif de la figure 4, le mélangeur hétérodyne 30 délivre deux faisceaux d'impulsions cohérents, l'un dans le bras de référence et l'autre dans les bras de mesure. Ce second faisceau est dédoublé de maniére à parcourir simultanément les deux chemins optiques. Chaque photomultiplicateur 35, 37 est associé à un point de mesure. Chacun délivre un signal de corrélation comme dans le dispositif de la figure 2 indiquant L'égalité du chemin optique de mesure associé et du chemin de référence. Chacun des signaux délivrés par le photomultiplicateur est reçu dans un circuit de traitement de signal tel que décrit plus haut. Ce circuit délivre une impulsion au maximum de corrélation de chacun des photomultiplicateurs 35, 37. L'écart temporel entre deux impulsions consécutives est donc représentatif de la différence de longueur entre les deux chemins optiques de mesure et donc de la différence de cotes z entre les points de mesure. La différence de longueur des chemins optiques de mesure est calculée indirectement par le moyen 33 par le déplacement du miroir oscillant 32 du bras de référence entre deux impulsions consécutives délivrées par le circuit de traitement du signal 36. Ce calcul est effectué par le moyen 56. De manière avantageuse, le déplacement du miroir oscillant 32 peut être déterminé par un interféromètre 58 délivrant un signal représentatif du nombre de franges d'interférence comptées. La mesure par interférométrie du déplacement du miroir oscillant 32 est intéressante en ce qu'elle est indépendante de la loi du mouvement de ce miroir. Cette loi du mouvement peut être quelconque, linéaire ou non. Il n'est pas non plus nécessaire que le mouvement du miroir 32 soit reproductible. Le principe du retard temporel nul introduit une incertitude absolue sur la mesure de la différence de cotes. Cette incertitude est fonction du rapport signal à bruit et du procédé utilisé pour détecter les valeurs maximales des signaux S1 et S2 délivrés par les photomultiplicateurs. Cette incertitude a pour expression : ou c est la vitesse de la lumière, A Sro est le décalage temporel relatif minimal, caractéristique du montage, fonction du rapport signal à bruit et du procédé de détection des signaux S1 et S2, On peut ainsi réaliser un dispositif dans lequel ##ro = 5.10-4 et #s = 1 ps. L'incertitude absolue sur la mesure est de l'ordre de 10 4 mm. Pour un type de fonctionnement donné, le produit de la différence de cotes minimale mesurabLe par l'incertitude absolue est constant. Pour une précision de 1X sur la mesure de la cote, La cote minimale théorique est de 0,01 mm. Cette cote donne la limite du montage dans le cas d'une propagation de l'onde lumineuse dans l'air. Si on introduit dans le montage une certaine longueur de fibre optique sur les deux bras de mesure, entre les points F et B1 et entre les points F et B2 par exemple, on montre que la cote minimale mesurable augmente. L'introduction de fibre optique dans le montage diminue donc la résolution, mais permet en revanche une mobilité de la tête de mesure dans la zone d'action. Ceci est particulièrement intéressant dans le cadre d'une exploitation industrielle et de maniére générale pour toute application nécessitant un relevé d'une surface et donc un déplacement du dispositif de mesure. La figure 6 illustre le relevé d'une surface par le dispositif de l'invention. Ce dispositif comprend un moyen 60 qui représente les moyens d'émission des impulsions lumineuses, les moyens de traitement optique et les moyens de traitement électrique, un ensemble de fibres optiques 62 et une tête de mesure 64. La tête de mesure assure trois fonctions principales : - focalisation de l'énergie lumineuse provenant de deux fibres optiques sur les points de mesure Pi et Pi+1 de la surface #, - récupération de l'énergie lumineuse reflechie par Les éléments de surface centrés sur les points Pi et Pi+1 de la surface #, - déplacement simultane des deux faisceaux sur la trace d'exploration 66. L'identification d'une bande de surface 68 autour de la trajectoire de mesure 70 s'effectue à l'aide de deux mouvements perpendiculaires. Un mouvement de balayage de la trace d'exploration 66 par les faisceaux optiques et un mouvement de translation de la tete de mesure 64 Le long de la trajectoire de mesure 70. Pour assurer le balayage de la trace d'exploration 66, la tête de mesure est munie de moyens pour défléchir les faisceaux optiques focalisés sur les points de la surface Ce relevé à trois dimensions d'une surface trouve une application notamment en reconnaissance de forme, en détection de défaut apparaissant sur une forme connue ou en vérification dimensionnelle sur un Lot de pièces. Ce dispositif peut également être couplé à une machine automatique. Dans ce cas, l'utilisation d'une ou de plusieurs têtes de mesure permet de prendre en compte d'une façon plus ou moins partielle l'action de La machine et de décider en temps réel des modifications à apporter au programme d'action. A titre d'exemple, on va décrire en référence à la figure 7 une utilisation dans laquelle deux têtes de mesure de deux dispositifs conformes à l'invention sont associées à une machine automatique munie dwune tête de travail. Supposons que la machine doive effectuer un travail sur une partie de surface s le long d'une trajectoire OT. Les coordonnées de cette trajectoire peuvent être déterminées par exemple par rapport à un côté de la pièce servant de référence et facilement identifiable, tel que le côté MN. La machine comprend une tête de travail 72 qui peut être un organe de collage, perçage, soudage ou autre. L'action et le déplacement de cette tête de travail sont commandés par des moyens de la machine. Ceux-ci n'étant pas nécessaires pour la compréhension de l'application du dispositif de l'invention, ils n'ont pas été représentés. Le contrôle de l'action de la tête de travail 72 est assuré par deux dispositifs selon l'invention muni chacun d'une tête de mesure 74, 78 reliée audit dispositif par des fibres optiques 76, 80. Ces têtes de mesure 74 et 78 sont disposées de part et d'autre de la tête de travail 72 de façon à ce que L'une des têtes de mesure releve une bande 82 de La surface ? avant le passage de la tête de travail 72 et que l'autre tête de mesure relève la même bande 82 de la surface après le passage de la tête de travail 72. Le mode opératoire est le suivant : la pièce étant fixée sur la machine, la tête de mesure 78 effectue le relevé des coordonnées de l'arête MN dans le référentiel de la machine et le calculateur associé détermine, à partir du relevé précédent et du programme de travail, les coordonnées de la trajectoire OT. La tête de mesure 78 est alors placée au point 0, origine du travail ; elle est suivie de la tête de,travail 72et de l'autre tête de mesure 74 ; le processus de travail peut démarrer. La tête de mesure 78, placée en amont de la tête de travail 72 effectue un relevé du profil de la pièce sur une largeur du même ordre de grandeur que la largeur de la zone de travail s. Le calculateur de la machine adapte alors, à du profil, les paramètres de travail de la tête de travail 72 en temps réel. Simul tanément, la tête de mesure 74 située en aval de la tête de travail 72 effectue un relevé du profil de la pièce permettant au calculateur un contrôle immédiat de l'exécution du travail programmé. Le calculateur peut ainsi déterminer luimême, à partir de son programme, le nombre de passes à effectuer en contrôlant après chaque passe la bonne exécution du travail. REVENDICATIONS 1. Procédé de mesure optique de la difference de cotes entre deux points de mesure-(P;, Pu+1) d'une surface par la mesure de la différence de longueur entre le chemin optique d'une source optique à l'un de ces points de mesure (Pi) et le chemin optique de la même source optique à L'autre point de mesure CPi (Pj+1), ledit procédé étant caractérisé en ce qu'on envoie une impulsion lumineuse brève de la source optique vers chacun des deux points de mesure, en ce qu'on recueille les impulsions diffusées et en ce qu'on détermine la différence des temps de propagation des impulsions sur chaque chemin optique. 2.- Procédé selon la revendication 1, carac térisé en ce que, pour déterminer la différence sur chaque chemin optique, on envoie simultanément ladite impulsion lumineuse sur un chemin optique de référence dont la longueur varie suivant une loi périodique et on détermine pour chaque point de mesure l'instant où la longueur du chemin optique de mesure et la longueur du chemin optique de référence sont égales. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que, pour déterminer l'égalité entre la longueur d'un chemin optique de mesure et la longueur du chemin optique de référence, on effectue une corrélation optique entre les impulsions issues de ces chemins et on engendre une impulsion électrique au maximum du signal de corrélation. 4. Dispositif de mesure optique de la différence de cotes entre deux points de mesure (Pi, Pu+1) d'une surface, caractérisé en ce qu'il comprend : - une source (28) d'impulsions lumineuses, - un bras de mesure (62, 64) pour délivrer les impul sions lumineuses de la source vers un point de mesure (Pi, Pu+1) et recueillir L'onde diffusée par ce point de mesure, - un moyen de traitement (31) délivrant une impulsion à un instant lié à la longueur du chemin optique par couru par les impulsions lumineuses, - un moyen (33) calculant la différence de cotes en fonction du signal dé livré par ledit moyen de traite ment. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend, pour mesurer la longueur du chemin optique, un bras de référence définissant un chemin optique de référence (CDE) dont la longueur varie suivant une Loi périodique et en ce que le moyen de traitement (31) comprend un corrélateur optique (34) recevant les impulsions délivrées par Le bras de mesure et le bras de référence et un circuit de traitement du signal (36) délivrant une impulsion au maximum du signal de corrélation. 6. Dispositif selon la revendication 5, ca ractérisé en ce que le bras de référence comprend un miroir oscillant (32). 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce qu'il comprend un mélangeur hétérodyne (30) excité en moyenne fréquence dont entrée est reliée à la source d'impulsions lumineuses (28) et les deux sorties au bras de mesure et au bras de référence. 8. Dispositif selon la revendication 7, ca ractérisé en ce que ledit mélangeur hétérodyne est une cellule de Bragg 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que le circuit de traitement du signal (36) comprend un amplificateur (38) centré sur la fréquence d'excitation du mélangeur hétérodyne (30), un détecteur (40) de la composante vidéo du signal délivré par l'amplificateur (38), un dérivateur (42) et un générateur d'impulsions (44) à seuils opposés recevant le signal derivé et commandant la montée et la descente d'une impulsion électrique. 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 9, caractérisé en ce que le moyen (33) comprend un moyen de mémorisation (52) des instants d'apparition des impulsions pour chaque point de mesure et un moyen de calcul (54) déterminant la difference de cotes (z) en fonction desdits instants. 11. Dispositif selon L'une quelconque des revendications 4 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend un second bras de mesure pour délivrer les impulsions lumineuses de La source vers un autre point de mesure (pu+1) et en ce que le moyen de traitement (31) comprend un second corrélateur optique associé audit second bras de mesure. 12. Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que le moyen de traitement (31) comprend un unique circuit de traitement du signal (36) recevant les signaux délivrés par les deux corrélateurs optiques (35, 37). 13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que chaque bras de mesure reçoit le même faisceau d'impulsions lumineuses. 14. Dispositif selon les revendications 11 à 13, caractérisé en ce que le moyen (33) calculant la différence de cotes comprend - un interféromètre (58) pour mesurer le déplacement du miroir oscillant (32) et, - un moyen (56) pour compter le nombre de franges d'in terférence entre deux impulsions électriques déli vrées par le circuit de traitement du signal (36). 15. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 14, caractérisé en ce que chaque bras de mesure comporte une fibre optique (62).