FR 2516739 A1 19830520 FR 8121642 A 19811117 i PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS ELECTRONIQUES DE TYPE HYBRIDE A COUCHES EPAISSES, DES MOYENS DESTINES A LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE ET LES CIRCUITS OBTENUS SELON CE PROCEDE La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication de circuits électroniques de type hybride à couches épaisses La présente invention concerne également des moyens destinés à la mise en oeuvre de ce procédé et les circuits obtenus selon ce procédé. La microélectronique hybride s'est développée pour répondre à un double souci: résoudre les problèmes d'encombrement et améliorer la fiabilité des circuits A la différence d'un circuit monolithique qui est obtenu à partir d'un substrat semi-conducteur ou tous les composants (actifs et passifs) sont réalisés simultanément au cours d'un unique processus, un circuit hybride est réalisé sur un substrat isolant et ne comporte que des éléments passifs; les éléments actifs s'il y en a 9 semi-conducteurs ou circuits intégrés sont ensuite rapportés par soudure. Les circuits hybrides sont classés en circuits à couches minces et circuits à couches épaisses Cette classification se réfère à l'épaisseur des couches déposées: de 0,02 à 10 lm pour les couches minces et de 10 à 50 1 m pour les couches épaisses. Pour les couches minces, le dépôt des couches est réalisé en appliquant généralement les techniques d'évaporation sous vide ou de pulvérisation cathodique Pour les hybrides à couches épaisses, la technologie utilisée consiste généralement à imprimer directement les circuits voulus sur le substrat isolant au moyen des procédés classiques de sérigraphie. La sérigraphie consiste à forcer l'encre que l'on veut déposer sur le substrat à travers les fines mailles d'un écran dont certaines sont obturées par une laque spéciale, les mailles libres représentant très exactement le dessin tramé du circuit à reproduire. Tout circuit hybride doit être élaboré sur un substrat Du bon choix de celui-ci dépendra la qualité finale du circuit Le substrat joue en général un triple rôle: celui de support mécanique, non seulement pour le circuit déposé mais aussi pour les composants actifs qu'il recevra; celui d'isolant électrique, sa résistivité devant donc être la plus élevée possible et son coefficient de perte le plus bas possible celui de dissipateur thermique, ce qui exige donc une excellente conductivité thermique et une chaleur spécifique élevée Parmi les substrats qui conviennent, on peut citer: des matières inorganiques comme par exemple les céramiques telles que l'oxyde de beryllium, l'alumine et le verre Pyrex; des matières organiques comme par exemple des résines renforcées faites à partir de matières polymériques thermodurcissables. Une fois qu'il a reçu une impression conductrice, isolante ou résistante sous forme d'encre à rhéologie bien définie, le substrat est cuit au four afin que le dépôt se solidarise parfaitement avec le substrat Enfin les fils de sortie sont fixés et après montage éventuel des composants actifs, le module terminé peut être enrobé par encapsalution dans un verre ou une résine polymérique afin de le soustraire à l'action de l'humidité et de faciliter sa manutention. Pratiquement tous les circuits à couches épaisses reçoivent chacun plusieurs impressions successsives Dans un procédé type, on imprime d'abord la couche conductrice et on la cuit; ensuite on imprime et cuit les résistances qui seront ajustées aux valeurs requises Ce procédé peut comprendre en outre l'impression d'une couche isolante On peut ainsi déposer successivement des couches par exemple: conductrice, isolante, conductrice et résistante En définitive, l'ensemble des phases du procédé peut être résumé dans le schéma suivant I 1 t Cuisson Connexions Montage éventuel des composants actifs _ _ Répéter autant de fois que nécessaire En ce qui concerne les encres de sérigraphie nécessaires à la fabrication des circuits à couches épaisses qui viennent d'être décrits, elles sont donc de trois sortes: des encres conductrices, résistantes et isolantes Les encres conductrices et résistantes sont constituées en général par l'association d'une charge métallique avec un liant et éventuellement un diluant permettant d'ajuster les propriétés rhéologiques des encres La cuisson, en modifiant la structure chimique du liant, fixe le dépôt métallique au substrat et permet d'obtenir le Préparation du substrat Impression d'une couche conductrice, isolant ou résistante Encapsulation éventuelle circuit conducteur ou résistant définitif souhaité Les encres isolantes différent essentiellement des précédentes par le fait qu'elles ne contiennent pas de charges métalliques conductrices. De manière courante en matière de circuits hybrides, le liant de l'encre consiste en des particules inorganiques comme par exemple des verres spéciaux fusibles en poudre Ces encres au verre étant cuites aux environs de 7000 C à 1 1000 C, leur emploi conduit à retenir, comme substrats isolants, de préférence des céramiques et, comme charges métalliques conductrices, des poudres de métaux nobles non oxydabes, notamment le platine, l'or, l'argent ou les alliages palladium-or, palladium-argent, platine-or ou des poudres d'oxydes conducteurs dérivés oe métaux nobles Du fait de l'emploi des métaux nobles, l'adoption de cette technique entraîne des dépenses onéreuses qui vont constituer un frein à son développement On a proposé de faire appel à des poudres de métaux non nobles, comme par exemple le cuivre, mais il convient alors dans ce cas de procéder à la cuisson finale en atmosphère non oxydante et cette mesure vient compliquer la technologie des fours utilisables. Il est possible de remplacer le liant inorganique dont on vient de parler par un liant organique comme par exemple une résine époxyde. Les températures de cuisson de l'encre requises dans ce cas sont nettement moins élevées que dans celui des liants inorganiques; elles se situent généralement entre l O O C et 3000 C Il est alors possible de faire appel àd'autres types de substrats isolants que les céramiques, comme par exemple des résines organiques renforcées et d'utiliser des encres à base d'une charge métallique non noble, les risques d'oxydation de la charge métallique au cours d'une cuisson conduite de manière classique à l'air ambiant entre 1000 C et 3000 C étant très atténués Les encres ainsi préparées et cuites présentes cependant un inconvénient important: elles sont difficilement soudables Outre leur râle de conduire un courant électrique, les encres doivent en effet être des prises de contact pour recevoir des fils ou éventuellement des pattes de composants actifs, ce qui sous entend une excellente soudabilité, notamment à l'aide d'alliages à base d'étain. En matière de métallisation de substrats isolants, on a proposé, pour réaliser des circuits imprimés conducteurs de bonne qualité pouvant supporter sans peine une soudure, d'utiliser des encres comprenant un liant organique en matière polymérique et une charge métallique à base d'oxyde cuivreux (cf brevets américains NO 3 226 256 et 3 347 724). Après cuisson, le dépôt obtenu est soumis à une réduction par traitement avec un acide pour transformer l'oxyde cuivreux en cuivre métallique, cette couche de cuivre est ensuite renforcée par dépôt d'un métal ductile qui peut être encore du cuivre en utilisant une réaction chimique d'oxydoréduction On sait que la réduction de l'oxyde cuivreux par un acide fait intervenir la formation d'un sel cuivreux instable qui se dismute pour donner d'une part des sels cuivriques et d'autre part du cuivre métallique qui se dépose selon la réaction: Cu 2 O +2 H Cu + Cu + H O Dans une telle réduction, le rendement en cuivre métallique est bien inférieur à 50 %: en effet la moitié seulement du cuivre de départ est susceptible de se transformer en métal conducteur et de plus une partie de ce cuivre réduit est dissoute par l'agent acide utilisé Le résultat en est que le dépôt métallique obtenu va être que très faiblement conducteur C'est la raison pour laquelle, dans cette technique, on procède toujours après l'étape de réduction à une recharge métallique du circuit déposé Le fait que cette recharge est réalisée par voie chimique d'oxydo-réduction et non par voie électrolytique (qui ne marche pas) est une confirmation du caractère peu conducteur du dépôt original Un premier inconvénient à cette méthode réside dans le fait que la recharge en métal est une opération longue, la vitesse de dépôt étant en effet de l'ordre de ip m par heure Un second inconvénient réside dans le fait qu'il va y avoir une augmentation de l'épaisseur du dépôt original qui pourra atteindre 100 % et cette augmentation-de l'épaisseur est de nature à limiter le nombre des couches déposées par sérigraphie pour éviter une perte de planéité trop importante du substrat à la suite des dépôts successifs. Ainsi la nécessité se faisait sentir de développer, en matière de fabrication de circuits hybrides, une technique au moyen de laquelle on puisse déposer économiquement et de façon techniquement simple des circuits conducteurs sans recharge électro-chimique, soudables et ne comportant pas de sur-épaisseurs. Par ailleurs, comme il l'a été expliqué ci-avant, les circuits hybrides à couches épaisses recoivent chacun plusieurs impressions sérigraphiques successsives Par exemple, un condensateur sera formé par le dépôt et la cuisson de l'électrode inférieure ( 1), l'impression et la cuisson du diélectrique ( 2) et l'impression de l'électrode supérieure ( 3) suivie d'une-cuisson de l'ensemble (cf la figure 1 dans le dessin ci-joint qui représente un condensateur en coupe) Le procédé de fabrication implique donc trois dépôts successifs avec deux encres différentes: une encre conductrice et une encre isolante Pour d'autres types de circuits hybrides, le procédé de fabrication pourra impliquer en plus des dépôts supplémentaires avec une encre résistante La nécessité se faisait sentir là aussi de développer une technique permettant de simplifier le protocole d'impression des couches, notamment en limitant le nombre des encres nécessaires. Il a maintenant été trouvé, et c'est ce qui constitue l'un des objets de la présente invention, un procédé de fabrication-de cicuits hybrides à couches épaisses qui permet de répondre à la satisfaction des objectifs définis ci-avant. Plus précisément, la présente invention concerne un procédé de fabrication de circuits hybrides à couches épaisses qui consiste à imprimer des circuits voulus sur un substrat isolant par dépôt en fonction du tracé choisi et cuisson d'une encre appropriée, ces opérations de dépôt et cuisson étant répétées au besoin autant de fois que nécessaire, ledit procédé étant caractérisé en ce que l'on utilise une encre isolante, comprenant un oxyde non conducteur dérivé d'un métal non noble, qui présente la particularité selon sa composition d'être potentiellement conductrice ou potentiellement résistante et que le caractère conducteur ou résistant de l'encre est révélé après son dépôt et sa cuisson en la soumettant à l'action d'un agent réducteur spécialement choisi d'une part pour pouvoir transformer rapidement et de manière quantitative l'oxyde métallique en métal conducteur et d'autre part pour pouvoir moduler aisément l'importance de la réduction dans l'épaisseur du dépôt effectué. Plus précisément encore, la présente invention se rapporte à un procédé de fabrication de circuits hybrides dans lequel la charge métallique de l'encre consiste préférentiellement en de l'oxyde cuivreux et dans lequel l'agent réducteur consiste préférentiellement en un borohyûrure. Un autre objet de la présente invention réside dans les encres potentiellement conductrices et résistantes destinées à la mise en oeuvre du présent procédé. Un autre objet encore réside dans les circuits hybrides obtenus par application du présent procédé. Quand on parle d'une encre potentiellement conductrice, on entend définir une encre qui va présenter, après cuisson et réduction, une résistivité superficielle qui s'élève au plus à 0,1 Oi a Quand on parle o'une encre potentiellement résistante, on enteno alors définir une encre qui va présenter, après cuisson et réduction, une résistivité superficielle qui va varier entre 10 et une valeur-de 10 30 J ou plus. La résistivité que l'on souhaite obtenir va dépendre d'une part de la composition de l'encre et d'autre part de l'importance de la réduction dans l'épaisseur du dépôt effectué. De manière générale, les encres destinées à la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention, sont constituées, avant cuisson, par l'association d'au moins une charge à base d'oxyde cuivreux avec un liant et un diluant permettant d'ajuster la rhéohogie de l'encre S'agissant de l'encre potentiellement conductrice, elle se distingue par le fait qu'elle renferme une charge unique à base d'oxyde cuivreux qui représente à 70 X du poids de l'encre et un liant qui représente 4 à 10 % du poids de l'encre S'agissant de l'encre potentiellement résistante, elle se distingue par le fait qu'elle renferme un mélange de charges comprenant 40 à 60 % en poids d'oxyde cuivreux et 60 à 40 % en poids d'une charge isolante totalement inerte dans les conditions de la réduction, comme par exemple de la poudre de verre, des silicates alcalins, de l'alumine, des carbonates et sulfates naturels, ce mélange de charges représentant 30 à 60 % du poids de l'encre et un liant qui représente 10 à 30 % du poids de l'encre. Bien que des liants inorganiques puissent être mis en oeuvre, on utilise avantageusement, pour les encres selon l'invention, des liants organiques Comme types de liants organiques qui conviennent,on citera 8. notamment: les résines du type phénolique telles que par exemple les concensats de phénol, résorcinol, crésol ou xylénol avec du formaldéyoe ou du furfural; les résines du type polyester insaturé préparées par exemple par réaction d'un anhydride d'acide dicarboxylique non saturé avec un polyalkylèneglycol; les résines du type époxy telles que par exemple les produits de réaction de l'épichlorhydrine sur le bisphénol A; les résines du type polyimide telles que par exemple celles obtenues par réaction entre un N,NI '-bis-imide d'acide dicarboxylique non saturé, une polyamine primaire et éventuellement un adjuvant approprié. La résine utilisée est généralement à l'état de prépolymère thermodurcissable (présentant un point de ramollissement et encore soluble dans certains solvants) au moment de la préparation de l'encre et elle est à l'état complètement réticulé (infusible et totalement insoluble) dans l'encre telle qu'elle est obtenue après cuisson La résine à l'état de prépolymère utilisée au départ peut renfermer avantageusement un catalyseur de durcissement. De manière préférentielle, le liant consiste en une résine du type polyimide obtenue par réaction entre un N,N'-bis-imide d'acide dicarboxylique insaturé et une polyamine primaire selon les indications données dans le brevet français N i 555 564, dans les brevets américains NO 3 562 223 et 3 658 764 et dans la réissue américaine N 29 316; la substance de ces divers documents est incorporée ici en référence La résine polyimide peut encore être obtenue par réaction entre le bis-imide, la polyamine et divers adjuvants tels que par exemple des mono-imides (selon le brevet français N 2 046 498), des monomères, autres que des imides, comportant un ou plusieurs groupements polymérisables du type CH 2 = C (selon le brevet français N 2 094 607), des polyesters insaturés (selon le brevet français NO 2 102 878) ou des composés organosiliciques hydroxylés (selon le brevet français N 2 422 696); la substance de ces divers documents est également incorporée ici en préférence Dans le cas ou l'on utilise de pareils adjuvants, il faut rappeler que la résine polyimide à l'état de prépolymère peut être: soit le produit de réaction d'un bis-imide, d'une polyamine avec un adjuvant, soit le produit de réaction d'un prépolymère de bis-imide et de polyamine avec un adjuvant, soit encore le mélange d'un prépolymère de bis-imide et de polyamine avec un adjuvant. La résine polyimide à l'état de prépolymère utilisée au départ peut renfermer avantageusement de petites quantités d'un initiateur de polymérisation radicalaire tel que par exemple le peroxyde de dicumyle, le peroxyde de lauroyle, l'azobisisobutyronitrile ou d'un catalyseur de polymérisation anionique tel que par exemple le diazabicyclooctaneo Plus préférentiellement encore, on utilise dans la présente invention une résine polyimide issue de la réaction entre un bis-maléimide comme le N, N'-4,4 '-diphénylméthane-bis-maléimide et une diamine primaire comme le diamino-4,4 '-oiphénylméthane et éventuellement l'un des divers adjuvants précités. S'agissant des diluants utilisables, ils consistent en général en des liquides organiques de viscosités variées, pouvant aller par exemple de 1 c Po à plusieurs dizaines de poises, dont la nature chimique n'est pas critique dès l'instant o il ne s'agit pas de solvants du liant mis en oeuvre à l'état de prépolymère thermodurcissable, ni de solvants de la laque qui obture certaines mailles d'un écran sérigraphique Comme types de diluants qui conviennent, on citera notamment: des éthers d'alcanols et de glycols tels que par exemple le diglyme, le bytoxyéthanol; des alcools terpéniques tels que par exemple les -, 6-, ety -terpinéols. Un diluant qui convient particulièrement bien, notamment quand le liant choisi appartient au groupe préféré des résines du type polyimide detinies ci-avant, consiste dans l a-, 6 ou Y-terpinéol. S'agissant de la coiosition des encres, il reste à préciser encore que l'oxyde cuivieux, la charge totalement inerte et le liant sont mis en oeuvre sous forme de poudres La granulométrie des charges est généralement comprise entre 0,1 et 5 pm, tandis que la granulométrie du liant est généralement comprise entre 5 et 40 pm. I 1 a été indiqué ci-avant que la résistivité que l'on souhaite obtenir pour le dépôt va dépendre, outre de la composition de l'encre, de l'importance de la réduction dans l'épaisseur du dépôt effectué Cela conduit à examiner maintenant plus en détail la nature du traitement réducteur effectué après cuisson. On a donc constaté que la transformation de l'oxyde cuivreux en cuivre métallique peut être conduite facilement et de manière quantitative par action des borohydrures La transformation est représentée par la réaction: 4 Cu 20 + BH 3 8 Cu + B(OH)3 + OH- Cette facilité de réaction est probablement due à l'effet catalytique du cuivre métal qui pourrait s'expliquer par la formation intermédiaire d'hydrure de cuivre instable. Les borohydrures utilisables dans la présente invention englobent des borohydrures substitués aussi bien que des borohydrures non substitués Des borohydrures substitués dans lesquels au plus trois atomes d'hydrogène de l'ion borohydrure ont été remplacés par des suostituants inertes comme par exemple des radicaux alkyles, des radicaux aryles, des radicaux alkoxy peuvent être utilisés On fait appel de préférence à des borohydrures alcalins dans lesquels la partie alcaline consiste en du sodium ou du potassium Des exemples typiques de composés qui conviennent sont: le borohydrure de soduim, le borohydrure de potassium, le diéthylborohydrure de sodium, le triméthoxyborohyorure de sodium, le triphénylboohydrure de potassium. Le traitement réducteur-est conduit-de manière simple par mise en contact de l'encre après cuisson avec une solution de borohydrure dans l'eau ou dans un mélange d'eau et d'un solvant polaire inerte comme par exemple un alcool aliphatique inférieur On donne la préférence aux solutions purement aqueuses de borohydrure S'agissant de la concentration de ces solutions, elle peut varier dans de larges limites et elle se situe de préférence entre 0,5 et 10 % (en poids de borohydrure dans la solution) Le traitement réducteur peut être effectué à température élevée, cependant on préfère le mettre en oeuvre à une température voisine de la tempérautre ambiante, par exemple entre 15 C et C A propos du déroulement de la réaction, il faut noter qu'elle donne naissance à ou B(OH)3 et à des ions OH qui ont pour effet d'induire une augmentation du p H du milieu au cours de la réduction Or à des valeurs de p H élevées, par exemple supérieures à 13, la réduction est ralentie de sorte qu'il peut être avantageux d'opérer dans un milieu tamponné pour avoir une vitesse de réduction bien fixée. C'est en jouant principalement sur la durée du traitement qu'il il est possible de moduler efficacement l'importance de la réduction dans l'épaisseur du dépôt et par voie de conséquence de moduler la valeur des résistivités qui vont se développer La durée du traitement est en général assez courte et elle se situe habituellement entre une minute ou moins et une dizaine de minutes Pour une durée de traitement donnée, il est possible d'agir encore sur la vitesse de réduction en ajoutant dans le milieu des accélérateurs variés comme par exemple de l'acide borique, de l'acide oxalique, de l'acide citrique, de l'acide tartrique ou des chlorures de métaux tels que le chlorure de cobalt-II, de nickel-II, de fer-II, de maganèse-Il de cuivre-Il En début de réduction, la réaction concerne essentiellement les grains d'oxyde cuivreux qui se trouvent en surface du dépôt et qui sont en contact direct avec l'agent réducteur Du fait de l'effet catalytique du cuivre métal, la réaction de réduction va se poursuivre ensuite dans l'épaisseur du dépôt, et ceci bien que l'encre ne présente pas un caractère hydrophyle particulièrement marqué Suivant la durée du traitement, l'épaisseur d'encre qui est effectivement soumise à la réduction peut représenter de 10 à 100 % de l'épaisseur du dépôt. Il convient de noter que la valeur des résistivités est également fonction de la géomérie des parties conductrices ou résistantes sélectionnées Cet aspect de la question conduit maintenant à parler des méthodes selon lesquelles les circuits voulus peuvent être construits sur le substrat isolant. Une première méthode consiste à déposer les encres en faisant appel à la technique utilisée de manière classique en matière de fabrication de circuits hybrides, c'est-à-dire à la technique de sérigraphie Cependant conformément à la présente invention, la réalisation d'un circuit conducteur ou résistant va impliquer, après cuisson de l'encre et avant de procéder à l'impression suivante, d'effectuer un traitement réducteur du dépôt Il doit être entendu que dans le cas de l'impression d'un circuit isolant, l'encre utilisée qui peut être soit potentiellement conductrice, soit potentiellement résistante ne subira par contre après cuisson aucun traitement réducteur. La double aptitude de la charge à base d'oxyde cuivreux de conférer à la même encre un excellent caractère isolant à l'origine et un excellent caractère conducteur ou résistant après réduction permet de modifier profondément la méthode classique, dont on a parlé ci-avant, utilisée jusqu'ici Il est maintenant possible et c'est ce qui constitue l'objet d'une seconde méthode, particulièrement avantageuse, de remplacer le dépôt sélectif par sérigraphie par un dépôt uniforme d'une encre potentiellement conductrice ou résistante, par exemple par immersion, pulvérisation, calandrage, dépôt au racle, transfert, suivi, après cuisson de l'encre, lorsqu'il convient de réaliser des circuits conducteurs ou résistants, par un développement sélectif des parties conductrices ou résistances par réduction en utilisant la technique du masquage Cette technique du masquage est utilisée habituellement dans le domaine des circuits imprimés et elle n'a pas encore reçu à notre connaissance d'application dans le domaine des circuits hybrides à couches épaisses Rappelons que cette technique consiste à recouvrir la couche d'encre uniformément déposée et cuite par une résine photosensible, appelée encore photorésist, et à insoler ensuite cette résine photosensible au travers d'un masque à l'aide d'un rayonnement riche en rayons ultraviolets Les résines photosensibles sont des compositions organiques qui subissent une transformation chimique sous l'action des rayons ultraviolets modifiant leur solubilité dans certains solvants Le masque est destiné à laisser passer le rayonnement de manière sélective, selon le dessin du circuit à imprimer Il est souvent exécuté dans une fine couche de chrome déposée sur une plaque de verre ou dans un film de gélatine photographique Si l'on utilise un photorésist positif, les parties non opaques du masque correspondent à l'emplacement du ciruit voulu; dans le cas d'un photorésist négatif, ce sont au contraire les parties opaques qui correspondent à l'emplacement du circuit voulu On procéde ensuite à un développement qui consiste à dissoudre les parties appropriées de la résine photosensible, c'est-à-dire selon la nature du photorésist: soit les parties rendues solubles par l'insolation dans le cas d'un photorésist positif, soit les parties non exposées et non durcies par l'insolation dans le cas d'un photorésist négatif L'encre potentiellement conductrice ou résistante apparaît donc aux emplacements correspondant aux parties dissoutes Le reste des opérations comprend l'attaque réductrice de l'encre ainsidécouverte, puis l'élimination de la couche de résine photosensible qui reste et qui est devenue dès lors inutile; l'encre qui a été protégée par le photorésist, ne subissant aucune attaque réductrice, demeure quant à elle isolante. L'application de cette seconde méthooe est donc très intéressante puisqu'il est maintenant possible, en partant d'une seule encre potentiellement conductrice, de sélectionner sur une même couche de dépôt des zones conductrices et des zones isolantes De la même façon, en partant d'une encre potentiellement résistante, il est possible également de sélectionner sur une même couche de dépôt des zones résistantes et des zones isolantes, les zones résistantes ne présentant d'ailleurs pas, pour une encre donnée, une valeur unique de résistivité mais des valeurs de résistivités variables qui peuvent être aisément ajustées grâce à l'action du traitement réducteur. Pour reprendre l'exemple du condensateur, sa fabrication peut être réalisée maintenant de la manière simplifiée suivante * on dépose d'abord de manière non sélective une première couche ( 4) d'une encre potentiellement conductrice; puis, après cuisson, on applique le traitement réducteur en présence du masque, ce qui va permettre de développer sélectivement l'électrode inférieure ( 4 a) et une zone diélectrique ( 4 b); on dépose ensuite de manière non sélective une seconde couche ( 5) de la même encre dont la réduction sélective va permettre de faire apparaître l'électrode supérieure ( 5 a) et une autre zone diélectrique ( 5 b) (cf la figure 2 dans le dessin ci-joint qui représente ce condensateur en coupe) Par rapport à l'état antérieur de la technique faisant appel à la sérigraphie, non seulement le nombre des dépôts nécessaires est réduit de trois a cieux, mais encore le nombre des encres nécessaires est réduit de deux (encres conductrice et isolante) àun (encre potentiellement conductrice) De la même façon, la technique développée dans la présente invention permet de substituer à l'ensemble des trois encres utilisées jusqu Wici dans le domaine des circuits hybrides (encres conductrice, résistante et isolante), deux encres seulement, l'une petentiellepent conductrice, l'autre potentiellement résistante. Une troisième méthode de construction des circuits voulus qui peut être mise en oeuvre avantageusement consiste à utiliser à la fois la technique de sérigraphie et la technique du masquage: On peut utiliser dans ce cadre la technique de sérigraphie pour réaliser le ou les premier(s) niveau(x) de circuits et faire appel ensuite à la technique du masquage pour réaliser le ou les niveau(x) suivant(s) de circuits On peut également réaliser l'enchaînement comprenant un ou plusieurs dépôt(s) sérigraphique(s), puis un ou plusieurs dépôt(s) par la technique au masquage, puis un ou plusieurs dépôt(s) sérigraphique(s) La mesure consistant à procéder, après des dépôts sérigraphiques, à des dépôts uniformes par la technique du masquage permettra un nivèlement de l'ensemble du substrat autorisant ainsi d'entreprendre dans de bonnes conditions de planéité des dépôts ultérieurs La technique classique par sérigraphie donne en effet naissance, après dépôt de l'encre, à des zones en relief qui correspondent aux chemins du circuit voulu et à des zones en creux qui correspondent aux parties du substrat non revêtu et il est facile de comprendre qu'à l'occasion des dépôts successifs opérés, ce défaut de planéité du substrat va s'accroître de façon sensible La technique du masquage, du fait d'un dépôt initial uniforme, va donner naissance par contre à des couches parfaitement planes même après réduction et elle permet donc, lorsqu'elle est appliquée après des dépôts sérigraphiques, de corriger aisément les défauts de planéité engendrés par la sérigraphie. Les méthodes de dépôt qui viennent d'être expliquées conduisent à des couches potentiellement conductrices ou résistantes dont l'épaisseur après cuisson est comprise en général entre 10 et 50 pm et plus précisément entre 15 et 35 1 m. De manière générale, les encres, une fois déposées, sont séchées avant d'être soumises à une cuisson Ce séchage, à des températures de l'ordre de 500 C à 1000 C, peut se faire notamment en étuve, sur plaque chauffante ou par rayonnement infrarouge La durée du séchage est de l'ordre de une minute à une dizaine de minutes Après séchage, les encres sont cuites à une température plus élevée pour compléter l'élimination du diluant et pour lier le dépôt au substrat et leur faire acquérir leurs caractéristiques définitives Les températures de cuisson se situent généralement entre 1000 C et 3000 C Dans le cas o le liant de l'encre appartient au groupe préféré des résines du type polyimide, la température de cuisson est de préférence comprise entre 1400 C et 2000 C. La cuisson s'effectue en général à l'air, dans un four statique ou un four tunnel. Pour le reste, les substrats isolants qui sont utilisables ici peuvent être l'un quelconque des composés connus à cet effet dans l'art antérieur On donne la préférence aux résines polymériques renforcées dans lesquelles la partie polymérique correspond aux résines définies ci-avant a propos du liant des encres conformes à la présente invention. Les résines renforcées du type phénolique, du type polyester insaturé, du type époxy et du type polyimide conviennent donc bien Ces substrats sont en général des stratifiés complètement polymérisés dans lesquels rentrent l'un et/ou l'autre des principaux renforts suivants: les papiers de cellulose, les tissus de coton, les tissus et papiers d'amiante, les tissus de verre, les mats de verre D'autres types de charge de renforcement peuvent bien entendu être utilisées De pareils stratifiés sont bien connus de l'art antérieur et ne demandent pas à être décrits plus en détail. On précisera que la technique qui vient d'être décrite permet d'obtenir des chemins conducteurs qui sont bien entendu parfaitement aptes à la soudure. Il va de soi que des modifications peuvent être apportées aux modes de réalisation qui viennent d'être décrits, notamment par substitution de moyens équivalents, par exemple en matière d'oxyde métallique non noble utilisable, sans pour cela sortir du cadre de la présente invention C'est ainsi que l'on peut remplacer l'oxyde cuivreux par d'autres oxydes métalliques non nobles dont le degré d'oxydation est choisi de manière à permettre une réduction facile de l'oxyde par le borohydrure; des oxydes qui peuvent convenir sont par exemple l'oxyde de nickel-II, l'oxyde de cobalt-II, l'oxyde de plomb-Il, l'oxyde de cadmium-II, l'oxyde de chromeIII, l'oxyde d'antimoine-III, l'oxyde d'étain-IV. Les exemples suivants donnés à titre non limitatif illustrent l'invention et montrent comment elle peut être mise en oeuvre. EXEMPLE 1 On va décrire dans cet exemple une encre potentiellement conductrice conforme à la présente invention. On mélange à sec: 40,5 g d'oxyoe cuivreux dont les grains présentent une granulométrie comprise entre 0,5 et 2 vm; 4,5 g d'une poudre de granulométrie inférieure à 30 Pm d'un prépolymère préparé à partir de N,1 '-4,4 '-diphénylméthane-bis-maléimide et de diamino-4,4 '- diphénylméthane (rapport molaire bis-imide/diamine = 2,5), présentant un point de ramollissement de 105 C. On incorpore ensuite dans le mélange pulvérulent obtenu 30 g d'a- terpinéol renfermant à l'état dissout 0,09 g de peroxyde de dicumyle. L'ensemble est homogénéisé dans un mortier Dans le cas o les divers composés précités sont utilisés en quantités plus importantes, l'homogénéisation peut-être conduite par exemple dans un broyeur à cylindre ou dans l'autres types d'appareils comme ceux utilisés pour homogénéiser les peintures La rhéologie de la pâte ainsi préparée est parfaitement adaptée à une mise en oeuvre, notamment, par sérigraphie. EXEMPLE 2 On va décrire dans cet exemple une encre potentiellement résistante conforme à la présente invention. La préparation de cette encre est conduite de la manière indiquée ciavant dans l'exemple 1, mais d'une part les 40,5 g d'oxyde cuivreux sont remplacés maintenant par un mélange de 15 g d'oxyde cuivreux avec 15 g de poudre de verre présentant une granulométrie inférieure à 2 pm et d'autre part les 4,5 g de prépolymère polyimide sont remplacés maintenant par 15 g du même prépolymère La rhéologie de la pâte ainsi préparée est là aussi parfaitement-adaptée à une mise en oeuvre notamment, par sérigraphie. EXEMPLE 3 On va décrire dans cet exemple la réalisation d'un circuit conducteur par la technique du dépôt sélectif par sérigraphie. Le substrat isolant utilisé est un stratifié à 12 plis comprenant 35 % en poids de résine époxy de type FR 4 et 65 % en poids de tissu de verre. L'encre potentiellement conductrice conforme à l'exemple 1 est déposée sur ce substrat au travers d'un écran de sérigraphie en acier inoxydable de 325 mesh qui reproduit le dessin du circuit que l'on désire former Le nappage ainsi que la définition du tracé obtenus sont de bonne qualité. Le substrat est ensuite séché une dizaine de minutes dans une étuve ventilée à 600 C, puis soumis à une cuisson pendant 1 heure à 1750 C. Après séchage et cuisson, l'épaisseur du dépôt obtenu est de 18 pim. Ce dépôt, de couleur rouge, est immergé ensuite, après refroidissement, pendant une minute dans une solution aqueuse de borohydrure de soduim presentarnt une concentration de 1 La solution de réduction est à la température ambiante, soit environ 200 C et elle est agitée Au bout d'une minute de traitement, le dép 6 t rouge au départ devient rouge-brun et après rinçage et séchage, il fait apparaître une résistivité de O; 05 1 O À EXEMPLE 4 On va décrire dans cet exemple la réalisation d'un circuit conducteur par la tecnnique cu dépôt uniforme, suivi d'une réduction sélective en utilisant un masque. Dans cet exemple, le substrat isolant utilisé est un stratifié a 12 plis comprenant 35 % en poids de résine polyimide préparée à partir de N,N'-4,4 '-diphénylméthane-bi F-maléimide et de diamino-4,4- diphénylméthane (rapport molaire bis-imide/diamine = 2,5) et 65 % en poids de tissu de verre. L'encre potentiellement conductrice conforme à l'exemple 1 est déposée de façon uniforme au racle sur toute la surface du substrat. Après séchage et cuisson 1 heure à 16 00 C, le dépôt obtenu présente une épaisseur de 27 km. Un photorésist négatif, comprenant l'association d'une résine à base de polyisoprène cyclisé et de paraazidooenzacyclohexanone comme sensibilisateur, est alors déposé uniformément sur toute la surface de l'encre par pulvérisation Après séchage, la couche de photorésist est exposée à travers un masque (fait en gélatine photographique et reproduisant le dessin négatif du circuit que l'on désire former) à la lumière d'un tube à vapeur de mercure pendant 20 secondes, puis on développe l'image en trempant le substrat pendant 1 minute dans du xylène pur de manière à enlever les parties du photorésist qui n'ont pas été insolées et qui de ce fait sont devenues solubles dans des milieux n'agissant pas sur les parties insolées Les zones devant être conductrices apparaissent aux emplacements correspondant aux parties dissoutes. En opérant comme indiqué à l'exemple 3, les zones potentiellement conductrices du substrat ainsi développées sont soumise ensuite à l'action de la solution réductrice de borohydrure de sodium. Enfin on procède à l'élimination totale du photorésist restant, les zones qui apparaissent alors étant isolantes; cette opération consiste dans la dissolution du photorésit par attaque (strippage) à l'aide d'un produit approprié mis dans le commerce par la Société Rk O NE-POULENC sous la dénomination RP 1 332, en opérant à 900 C 1000 C. On obtient en définitive un circuit conducteur à couche épaisse parfaitement plan qui est apte à recevoir de nouveaux dépôts Sa résistivité est de 0,065 SIQ. EXEMPLE 5 On va montrer dans cet exemple que les circuits conducteurs obtenus conformément à l'invention sont parfaitement aptes à la soudure. Après réduction, rinçage et séchage, le circuit conducteur issu des exemples 3 ou 4 est immédiatement passé entre d'une part un rouleau presseur souple et d'autre part un rouleau entrainant un film d'eutectique à base d'étain On constate que les zones conductrices sont alors recouvertes d'une couche continue d'un alliage de cuivre et d'étain, ce qui indique la formation d'une soudure complète. EXEMPLE 6 On va décrire dans cet exemple la mise en oeuvre d'une encre potentiellement résistante. La mise en oeuvre de l'encre potentiellement résistante conforme à l'exemple 2, selon les modes opératoires décrits oans les exemples 3 (technique de la sérigraphie) et 4 (technique du masquage), conduit à l'obtention de couches résistantes qui présentent des résistivités respectivement de 227 FIlJ et de 325 I O O EXEMPLE 7 On va décrire dans cet exemple la réalisation d'un circuit hybride à plusieurs couches épaisses en appliquant à la fois la technique de sérigraphie et la technique du masquage. Les opérations successives qui sont effectuées sur le substrat apparaissent dans les figures 3 à 7 du dessin ci-joint qui représentent les coupes des substrats obtenus à l'issue de chaque opération. Le substrat isolant utilisé est le stratifié à 12 plis décrit dans l'exemple 3 Les opérations suivantes sont effectuées: (i) on dépose sélectivement sur le substrat par sérigraphie l'encre potentiellement conductrice conforme à l'exemple 1, puis on procède ensuite au séchage, à la cuisson et à la réduction du dépôt d'encre de la manière indiqué précédemment dans l'exemple 3 Les zones conductrices qui apparaissent ainsi et constituent le premier niveau de conducteurs sont représentées par le repère ( 6) sur la figure 3; (ii) On dépose en second lieu la même encre que précedemment de façon uniforme sur toute la surface du substrat issu de l'étape (i) Après séchage et cuisson, on obtient une couche isolante parfaitement plane qui est représentée par le repère ( 7) sur la figure 4; (iii) En appliquant la technique du masquage, on procède en troisième lieu à une réduction sélective de la couche isolante ( 7) à l'endroit o l'on désire installer une jonction conductrice inter-couches La zone conductrice qui est ainsi développée est représentée sur la figure 5 par le repère ( 8); (l Vi) En quatrième lieu, sur le substrat issu de l'étape (iii), on dépose à nouveau comme dans l'étape (ii), la même encre potentiellement conductrice de façon uniforme La couche isolante obtenue après séchage et cuisson porte le repère ( 9) sur la figure 6; (Vi) En cinquième lieu, en appliquant à nouveau la technique du masquage, on procède ensuite à la réduction sélective de la couche isolante ( 9) selon le tracé choisi pour ce second niveau de conducteurs Les zones conductrices qui apparaissent alors sont représentées sur la figure 7 par le repère ( 10). Les opérations (ii), (iii) et (I Vi) sont répétées autant de fois qu'il y a besoin d'avoir un niveau de conducteurs supplémentaire Les opérations (I Vi) et (Vi) sont répétées autant de fois qu'il y a besoin de réaliser un circuit conducteur supplémentaire En utilisant des encres potentiellement résistantes, il est possible d'intercaller des circuits résistants de faibles dissipation thermique entre les couches, les circuits résistants de forte dissipation thermique devant être renvoyés en surface. REVENDICATIONS 1) Procédé de fabrication de circuits hybrides à couches épaisses qui consiste à imprimer des circuits voulus sur un substrat isolant par dépôt en fonction du tracé choisi et cuisson d'une encre appropriée, ces opérations de dépôt et cuisson étant répétées au besoin autant de fois que nécessaire, ledit procédé étant caractérisé en ce que l'on utilise une encre isolante, comprenant un oxyde non conducteur dérivé d'un métal non noble, qui présente la particularité selon sa composition d'être potentiellement conductrice ou potentiellement résistante et que le caractère conducteur ou résistant de l'encre est révélé après son dépôt et sa cuisson en la soumettant à l'action d'un agent réducteur spécialement choisi d'une part pour pouvoir transformer rapidement et de manière quantitative l'oxyde métallique en métal conducteur et d'autre part pour pouvoir moduler aisément l'importance de la réduction dans l'épaisseur du dépôt effectué. 2) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'encre utilisée est consituée avant cuisson par l'association d'au moins une charge à base d'oxyde cuivreux avec un liant et un diluant et que l'agent réducteur consiste en un borohydrure. 3) Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'encre potentiellement conductrice renferme une charge unique à base d'oxyde cuivreux qui représente 40 à 70 % du poids de l'encre et un liant qui représente 4 à 10 % du poids de l'encre. 4) Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'encre potentiellement résistante renferme un mélange de charges comprenant 40 à 60 % en poids d'oxyde cuivreux et 60 à 40 % en poids d'une charge isolante inerte, ce mélange de charges représentant 30 à % du poids de l'encre et un liant qui représente 10 à 30 % du poids de l'encre. ) Procédé selon l'une quelconque des revendicaton 2 à 4, caractérisé en ce que le liante utilisé pour la confection de l'encre est une matière polymérique à l'état de prépolymère thermodurcissable qui est prise dans le groupe formé par: les résines du type phénolique, les résines du type polyester insaturé, les résines du type époxy, les résines du type polyimide. 6) Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que le liant utilisé est un prépolymère de type polyimide obtenu par réaction entre un N,N'-bis-imide d'acide dicarboxylique non saturé, une polyamine primaire et éventuellement un adjuvant tel que un mono-imide, un monomère polymérisable comportant un ou plusieurs groupements du type CH = C È un polyester insaturé, un composé organosilicique hydroxylé. 7) Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, caractérisé en ce que le diluant faisant partie de l'encre avant cuisson est pris dans le groupe formé par des éthers d'alcanols et de glycols et des alcools terpéniques. 8) Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 7, caractérisé en ce que les borohydrures utilisables englobent des borohydrures alcalins non substitués et des borohydrures substitués dans lesquels au plus trois atomes d'hydrogène de l'ion borohydrure ont été remplacés par des substituants inertes. 93 Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 8, caractérisé en ce que l'agent réducteur est mis en contact avec l'encre, après cuisson, sous forme d'une solution dans l'eau ou dans un mélange d'eau et d'un solvant polaire inerte dont la concentration, exprimée en pourcentage en poids de borohydrure dans la solution, est comprise entre 0,5 et 10 %. ) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la méthode d'impression des circuits voulus consiste-à déposer sélectivement par sérigraphie l'encre potentiellement conductrice ou résistante, puis à cuire l'encre et enfin lorsqu'il y a lieu de réaliser des circuits conducteurs ou résistants, à soumettre le dépôt au traitement réducteur pour développer les parties conductrices ou résistantes voulues, les opérations de dépôt, cuisson et réduction étant répétées au besoin autant de fois que nécessaire. 11) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la méthode d'impression des circuits voulus consiste à déposer de manière uniforme l'encre potentiellement conductrice ou résistante, puis à cuire l'encre et enfin, lorsqu'il y a lieu de réaliser des circuits conducteurs ou résistants, à développer sélectivement les parties conductrices ou résistantes voulues par réduction du dépôt en utilisant la technique du masquage, les opérations de dépôt, cuisson et réduction étant répétées au besoin autant de fois que nécessaire. 12) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que la méthode d'impression des circuits voulus consiste à réaliser le ou les premier(s) niveau(x) de circuits en faisant appel à la technique de sérigraphie et à réaliser le ou les niveau(x) suivant(s) en faisant appel à la technique du masquage ou bien à réaliser l'enchaînement comprenant un ou plusieurs dépôt(s) sérigraphique(s), puis un ou plusieurs dépôt(s) par 'La technique du masquage, puis un ou plusieurs dépôt(s) sérigraphique(s). 13) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que le substrat isolant est un stratifié complètement polymérisé constitué par l'association d'une résine du type phénolique, du type polyester insaturé, du type époxy ou du type polyimide avec une charge de renforcement à base de papiers de cellulose, de tissus de coton, de tissus d'amiante, de papiers d'amiante, de tissus de verre ou de mats de verre. 14) A titre de moyens pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13 précédentes, les encres potentiellement conductrices telles qu'elles sont définies dans les revendications 3 et 5 à 7 précédentes. ) A titre de moyens pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13 précédentes, les encres potentiellement résistantes telles qu'elles sont définies dans les revenoications 4 et 5 à 7 précédentes. 16) A titre de produits industriels nouveaux, les circuits hybrides à couches épaisses obtenus par application du procédé selon l'une quelconque des revendications'l à 13 précédentes.