FR 2507353 A1 19821210 FR 8111216 A 19810605 CELLULE DE COUPLAGE THERMIQUE ENTRE UN ELEMENT CALORIFIQUE ET UN ELEMENT THERMO-SENSIBLE ET ENCEINTE THERMOSTATEE POUR CRISTAL PIEZO-ELECTRIQUE COMPORTANT UNE TELLE CELLULE La présente invention concerne une cellule de couplage ther- mique entre un élément calorifique et un élément thermo-sensible pour la régulation thermique d'une enceinte, l'élément thermo- sensible étant à proximité de l'élément calorifique. Dans sa constitution générale, un dispositif de chauffage à régulation thermique comporte essentiellement trois parties: une ou plusieurs sources produisant de l'énergie calorifique, sous l'action d'un courant électrique, énergie appliquée au corps à chauffer; un circuit de réglage du courant électrique dans les limites données, sous l'action d'une tension électrique de commande; un ou plusieurs organes de mesure de la température du corps a chauffer, délivrant la -tension électrique de commande. En fonctionnement, le circuit de réglage étant ajusté pour l'obtention d'une température désirée, toute variation de tempéra- ture accidentelle de l'enceinte provoque de la part des organes de mesure de température, la production d'une tension électrique de commande qui, appliquée au circuit de réglage du courant électrique de la source d'énergie calorifique, fait varier dans le sens convena- ble, la valeur de cette énergie Pour plus de détails, on se reportera au brevet français 2 418 953. De tels dispositifs sont connus dans la pratique, et procurent sans difficultés particulières des résultats satisfaisants lorsque les domaines de température et/ou les précisions sur la régulation restent dans des ordres de grandeur rencontrés habituellement dans l'industrie. 25073-53 Cependant, dans certains domaines particuliers, tels que celui de la définition du temps par la génération de tensions électriques alternatives de fréquences de haute précision, la mise en oeuvre des dispositifs en trois parties indiqués ci-dessus conduit à la nécessité de modes de réalisation particuliers En effet, la stabilisation en température doit être très précise Dans le cas d'une enceinte pour un oscillateur piézo-électrique dont la précision sur une fréquence donnée doit être de l'ordre de 10-9, la précision sur la température doit être inférieure au centième de degré Kelvin La cellule de couplage thermique idéale entre l'élément calorifique et l'élément thermo-sensible est caractérisée par un couplage thermique optimal, une résistance thermique, due aux différents moyens de montage de ladite cellule, entre l'élément calorifique et le corps à chauffer, minimale, une taille de ladite cellule minimale. En effet, un couplage thermique entre lesdits éléments a pour effet de diminuer la constante de temps de la boucle d'asservisse- ment, diminuant ainsi le temps de réponse de l'élément calorifique et assurant une meilleure stabilisation en température en minimi- sant les fluctuations de température à court et moyen terme. L'amélioration de la résistance thermique entre l'élément calorifique et le corps à chauffer a pour conséquence de pouvoir diminuer la puissance thermique fournie par l'élément calorifique pour entretenir une température constante du corps à chauffer. Il a déjà été proposé d'utiliser un élément calorifique et un élément thermo-sensible régulant l'élément calorifique tels que l'élément calorifique et l'élément thermo-sensible constituent cha- cun une entité complètement dissociée de l'autre et simplement juxtaposée à l'autre, chacune de ces entités possédant sa propre armature et son propre dispositif de fixation sur le corps à chauffer. Dans le cas o l'élément calorifique est un circuit semi- conducteur et l'élément thermo-sensible est un autre circuit semi- conducteur, chacun des deux possède son propre bottier et son propre dispositif de fixation La conduction thermique entre eux est, alors mal établie (du fait de l'éloignement et de la résistance thermique des boîtiers) Le couplage thermique entre les deux dits éléments est ainsi mal assuré. De plus, la résistance thermique entre l'élément calorifique et le corps à chauffer est importante Dans la pratique, elle est de l'ordre de 2,50 C/W. Par conséquent, il n'existe pas à l'heure actuelle de cellule de couplage thermique entre l'élément thermo-sensible et l'élément calorifique ayant un bon couplage thermique et dont la résistance thermique entre l'élément calorifique et le corps à chauffer soit faible. La présente invention ne possède pas les inconvénients des systèmes décrits ci-dessus et permet une miniaturisation de ladite cellule importante, la cellule de l'invention rentrant dans un cube de dimensions 12 mm x 12 mm x 5 mm Dans ce but, elle est caractérisée en ce que l'élément calorifique et l'élément thermo- sensible sont disposés sur un même substrat, conducteur thermique. Ledit substrat se présente sous l'aspect d'une plaque Sur cette plaque, sont disposés les éléments thermo-sensibles et calorifiques. Lesdits éléments sont reliés électriquement par des moyens bien connus de l'homme de l'art La plaque dudit substrat favorise, ainsi, la conduction thermique entre l'élément calorifique et l'élément thermosensible du fait de sa nature conductrice thermique et parce qu'elle permet de placer l'élément thermo-sensible et l'élément calorifique à proximité l'un de l'autre sans qu'aucune armature ne vienne les séparer, ce qui augmente sensiblement le couplage thermique La plaque dudit substrat a, également, l'avantage de permettre une bonne conduction thermique entre l'élément calori- fique et l'enceinte, étant meilleure conductrice thermique que les boîtiers utilisés habituellement par l'homme de l'art La résistance thermique entre l'élément calorifique et l'élément thermosensible est de l'ordre de 0,50 C/W, la distance entre ces deux éléments pouvant être de l'ordre de 5/10 mm La résistance thermique entre l'élément calorifique et l'enceinte est inférieure à 10 C/W. Ledit substrat sera, de préférence, un isolant électrique En effet, en l'absence d'isolation électrique, il est nécessaire de placer au moins sous les sorties électriques de l'élément calorifique et plus particulièrement sous le collecteur des transistors utilisés comme élément calorifique, une feuille d'isolant électrique et plus particu- Fièrement une feuille de mica pour éviter tout contact électrique entre lesdites sorties et l'enceinte Or, cette feuille isolante élec- trique aura pour effet d'augmenter la conduction thermique entre l'élément calorifique et l'enceinte Ledit substrat étant isolant électrique, une feuille d'isolant électrique supplémentaire devien- drait superflue. Pratiquement, on utilisera pour ledit substrat une plaque en céramique On utilise, de préférence, un substrat en oxyde de berylium En effet, l'oxyde de berylium a une conductivité thermi- que très grande puisqu'elle est de 2,20 W/cm C La résistance thermique est définie par la formule Rth = x 1 o S est la surface présentée au flux de chaleur et > est la conductivité thermique du matériau considéré Les métallisations sont un alliage de palladium et d'argent ou du cuivre déposé selon le procédé appelé technologie couches épaisses (thick films) connue de l'homme de l'art. Selon un mode préférentiel de réalisation, la cellule de cou- plage thermique selon l'invention est caractérisée en ce que l'élé- ment calorifique est fixé sur le substrat par l'intermédiaire d'une couche métallique comportant des ondulations, capables d'écouler des gouttes d'air, sur la face tournée vers l'élément calorifique. Ledit substrat porte alors sur la zone o l'élément calorifique est disposé, une couche métallique comportant des tubes capillaires chargés d'évacuer les gouttes d'air Lesdites gouttes d'air se forment lorsque la soudure liquide est déposée sur ledit substrat Lesdits tubes capillaires évacuent lesdites gouttes d'air par forces de capillarité avant que la soudure ne devienne solide La conduction thermique entre l'élément calorifique et l'enceinte est ainsi amélio- rée L'air étant un bon isolant thermique, il est préférable de placer une couche métallique, bonne conductrice thermique, pour suppri- mer lesdites gouttes d'air Pratiquementi les ondulations sont des tubes capillaires de hauteur de l'ordre de 10 pm à 20 pm et d'écartement de l'ordre de 100 p m, c'est-à-dire que la distance crête à crête est de l'ordre de 100 lpm. Selon un autre mode préférentiel de réalisation, la cellule de couplage thermique selon l'invention est caractérisée en ce que l'élément calorifique et l'élément thermo-sensible sont liés par un conducteur métallique déposé sur ledit substrat Ledit conducteur métallique a une meilleure conduction thermique que ledit substrat. Ledit conducteur métallique relie thermiquement l'élément calori- fique et l'élément thermo-sensible et assure une conduction ther- mique entre lesdits éléments plus forte que la conduction thermique dudit substrat donc un couplage thermique plus grand En général, ledit conducteur métallique constitue une couche placée sur ledit substrat, les éléments calorifiques et thermo-sensibles étant fixés sur ladite couche En fait, la conduction thermique, entre lesdits éléments, optimale pour un bon fonctionnement du couplage thermi- que n'est pas nécessairement maximale Pour connaître la meilleure valeur de la conduction thermique entre lesdits éléments, on pro- cède par réglages successifs Aussi, dans un mode préférentiel de réalisation, la présente invention est caractérisée en ce que ledit conducteur métallique comporte trois parties: une partie en contact thermique avec l'élément calorifique, une partie en contact thermi- que avec l'élément thermo-sensible et une partie de dimensions réglables, joint thermique des deux autres parties Ainsi, par action sur les dimensions de la troisième partie considérée, un réglage du couplage thermique est aisément réalisable Pratiquement, la di- mension utile pour ledit réglage est la largeur de la troisième partie considérée Elle est de l'ordre de 1 mm. On utilisera, de préférence, la présente invention avec des circuits semi-conducteurs en ce qui concerne l'élément calorifique. Par circuit semi-conducteur, on entend dans ce cas, un circuit tel qu'il puisse être monté en stabilisation de tension continue Concer- nant ce type de circuit, on pourra se reporter à l'ouvrage de Robert D PASCOE "Fondamentals of solid states electronics", John WILEY and Son, 1976, pages 225 à 255 En particulier, un tel circuit semi- conducteur peut être constitué d'un ou plusieurs transistors éven- tuellement reliés entre eux par des éléments résistifs, des diodes Zener etc, l'ensemble pouvant être éventuellement introduit sur une pastille semi-conductrice. L'élément thermo-sensible sera de préférence une thermis- tance à coefficient de température positif ou négatif ou une jonction P N Pour avoir un meilleur couplage thermique entre les éléments thermosensibles et calorifiques, on utilise de préférence une thermistance pour l'élément thermo-sensible. Selon un autre mode préférentiel de réalisation, la cellule de couplage thermique selon l'invention est caractérisée en ce que la cellule de couplage thermique comporte un capot isolant herméti- quement ladite cellule et dont le matériau a un coefficient de dilatation sensiblement égal à celui dudit substrat Ledit capot recouvre ladite cellule sur tous les côtés à l'exception de celui de la plaque dudit substrat Ledit boîtier assure l'étanchéité à la poussière et aux impuretés entre ladite cellule (les éléments thermo-sensibles et calorifiques) et le milieu ambiant Afin que cette étanchéité soit parfaite, ledit capot est soudé à l'aide d'une couche métallique nommée préforme Ledit capot est, alors, métallisé aux points o il sera soudé et ledit substrat est recouvert d'une couche métallique aux points o ledit capot sera soudé La soudure s'effectue entre ces deux métallisations et est ainsi étanche aux gaz Afin d'éviter des contraintes entre ledit capot et ledit substrat, ledit capot sera, pratiquement en céramique de façon à avoir un coefficient de dilatation sensiblement égal à celui du substrat. Selon un autre mode préférentiel de réalisation, la cellule de couplage thermique selon la présente invention est caractérisée en ce que la face du substrat opposée à ladite cellule ou face arrière comporte au moins une zone métallisée Cette métallisation de la face arrière se présente sous la forme d'un damier, c'est-à-dire une succession de rectangles métallisés appliqués sur la face arrière. Cette succession n'est pas nécessairement régulière Ladite métalli- sation permet d'obtenir par brasage une fixation sur l'enceinte de la cellule de couplage thermique, ayant une résistance thermique faible Toute la face arrière n'est pas métallisée afin d'absorber les contraintes s'exerçant entre l'enceinte et la plaque dudit substrat, dues aux variations de température De préférence, la cellule de couplage thermique selon la présente invention est caractérisée en ce qu'une des zones métallisées est disposée sensiblement sous l'élément calorifique car cette métallisation assure une bonne conduction thermique entre l'élément calorifique et l'enceinte Ladi- te métallisation brasée sur l'enceinte donne de meilleurs résultats quant à la conduction thermique entre l'élément calorifique et l'enceinte que le procédé consistant à placer sur ladite face une pâte conductrice thermique servant à coller ladite cellule sur l'enceinte. Ledit procédé permettait de boucher les interstices remplis d'air donc d'améliorer la conduction thermique Ladite métallisation bouche lesdits interstices et est meilleure conductrice thermique que ladite pâte. Pratiquement, l'enceinte munie d'une ou plusieurs cellules de couplage thermique selon la présente invention comporte d'autres éléments thermosensibles sur son pourtour, non inclus dans une - cellule de couplage thermique et régulant électriquement un au moins élément calorifique Ces autres éléments thermo-sensibles sont disposés autour de l'enceinte et évaluent sa température directement Les sorties de ces éléments thermosensibles sont branchées sur le circuit de régulation de l'élément calorifique ou des éléments calorifiques Ainsi, la cellule de couplage thermique assure une régulation de l'élément calorifique avec une faible constante de temps puisqu'elle est inférieure à 1/100 S et permet une réaction rapide à une variation de température de l'élément calorifique Les éléments thermosensibles disposés sur la - périphérie de l'enceinte permettent d'affiner la régulation thermique en percevant de faibles écarts de température se produisant sur l'enceinte, il est alors moins important que la constante de temps soit plus élevée L'enceinte munie de cellules de couplage thermique et d'éléments thermo- sensibles disposés sur sa périphérie permet de limiter les variations relatives de fréquence de l'oscillateur piézo-électrique à des ordres de grandeur de 1010. Généralement, on dispose plusieurs cellules de couplage ther- mique autour de l'enceinte, les éléments calorifiques et thermo- sensibles étant en liaison électrique comme indiqué dans le brevet français 2 418 953. L'invention sera mieux comprise à l'aide des figures suivantes qui représentent: la figure 1, suivant un dessin schématique, un mode de réalisation des circuits électriques d'un dispositif de régulation thermique, la figure 2, une enceinte munie du dispositif de régulation selon l'art antérieur, la figure 3, une cellule de couplage thermique selon l'inven- tion, vue du dessus dudit substrat, la figure 4, l'agencement des couches de la cellule de couplage thermique selon l'invention, aux points de soudure dudit capot et de sorties des éléments de ladite cellule, la figure 5, une cellule de couplage thermique selon l'inven- tion, vue du dessus dudit substrat, l'élément thermo-sensible étant une thermistance sous verre, la figure 6, la métallisation de la face arrière dudit substrat. La figure 1 représente, suivant un dessin schématique, un mode de réalisation des circuits électriques d'un dispositif de régulation thermique. * Il se compose d'un circuit de mesure de température, repéré A, et d'un circuit de chauffage, repéré B. Le circuit de mesure A comporte un ou plusieurs éléments thermo-sensibles ou capteurs de température, connectés en série, tels que Th 1 Thn" Ces capteurs sont inclus dans une des branches d'un pont de résistances dont les autres éléments sont R'l, R'2, R 13, alimenté en tension continue aux extrémités PQ d'une de ses diagonales. Les extrémités de l'autre de ses diagonales XY sont reliées aux deux entrées d'un amplificateur différentiel Z, muni d'une boucle sortie-entrée 10 comprenant une résistance variable R'4. Le fonctionnement d'un tel circuit de mesure est le suivant pour une température d'enceinte quelconque, les capteurs Th 1 e Th., prennent une résistance donnée; le pont de résistance R'l, R'2, R'3, Th 1 + + Thn, n'est pas équilibré, et une tension apparaît aux extrémités XY; l'amplificateur différentiel Z, attaqué par cette tension délivre à sa sortie O un signal électrique ainsi lié à la température de l'enceinte, signal qui s'annule seulement pour une valeur particulière de cette température Il est possible de pré- déterminer cette valeur par ajustement de la valeur de la résistance R'2; par ailleurs, la valeur absolue du signal délivré par le circuit de mesure peut être réglée par ajustement de la valeur de la résistance R'4. Le circuit de chauffage B comporte une chaîne de transistors connectés en série par leur émetteur et collecteur, repérés de T 1 à T.n Les transistors T 1 à Tn sont montés en régulateurs de tension. Pour cela, chaque base est maintenue à un potentiel constant par un pont diviseur résistance-diode, tel que Rn, C Rn pour le transistor Tn. Le transistor Tc assure la fonction de transistor de commande. Par suite de la fonction de stabilisation de tension assumée par chaque transistor de la chaîne, chacun des N transistors ainsi que le transistor Tc est soumis à une fraction de la tension totale VA, sensiblement La base b du transistor Tc est reliée à la sortie de l'amplificateur différentiel à travers un pont diviseur RA, R B dont le rôle est d'assurer une liaison tenant compte des conditions particulières de polarisation de l'amplificateur différentiel Z. En effet, cet amplificateur est alimenté sur le mode dit "en mono-tension"; il n'existe alors pas de tension de référence par rapport à laquelle il soit possible de bloquer le transistor Tc. L'utilisation d'un pont diviseur de rapport convenable permet de diminuer la tension résiduelle de sortie de l'amplificateur à son niveau bas, pour l'amener à une valeur inférieure à la tension de blocage de la base du transistor T 1. La figure 2 représente un mode de mise en oeuvre pratique particulièrement simple du dispositif de régulation thermique selon l'art antérieur, dans le cas, donné à titre d'exemple, de la régulation de la température d'un cristal piézo-électrique oscillant contenu dans une enceinte close; cette enceinte fait usuellement partie intégrante du produit fini, industriellement commercialisé sous ce nom. Pour cela, les capteurs de température tels que 21 et 22 et les transistors de chauffage tels que 23 et 24 sont directement fixés sur l'enceinte étanche 20 contenant le cristal piézo-électrique Par ailleurs, l'enceinte est montée directement sur le circuit de com- mande 25, qui sert ainsi de support, et est avantageusement réalisé suivant la technique des circuits imprimés. Les connexions de raccordement 26 sont de cette façon très courtes L'isolement thermique entre l'enceinte et le boîtier de protection extérieur tel que 27 peut être assuré soit par un matériau isotherme, soit simplement par la couche d'air ambiant, si l'ensem- ble est monté hermétiquement dans le boîtier. Dans le cas de la présente invention, d'autres éléments ther- mo-sensibles non inclus dans la cellule de couplage thermique selon l'invention peuvent être montés sur l'enceinte 20 de la même façon que les capteurs de température 21 et 22. La figure 3 représente une cellule de couplage thermique selon l'invention, vue du dessus dudit substrat Sur la plaque de céramique 1, sont disposés l'élément calorifique 3 et l'élément thermo-sensible 4 Une couche métallique 7 déposée sur la plaque 1 et constituée de plusieurs zones séparées électriquement assure la conduction élec- trique et les sorties électriques 6 desdits éléments 3 et 4 L'élément calorifique 3 est un transistor, relié électriquement à la couche il métallique 7 par des fils électriques câblés par thermo-compression, en E pour son émetteur, en B pour sa base et en C pour son collecteur L'élément thermo-sensible 4 peut être soit une diode sous forme de puce, soit une thermistance encapsulée sous verre ou sérigraphiée Dans le cas o l'élément thermo-sensible est une thermistance encapsulée sous verre ou une diode, il est relié électriquement à la couche métallique 7 par des fils électriques câblés par collage Dans le cas o l'élément thermosensible est une thermistance sérigraphiée, la couche métallique 7 et la thermis- tance s'interpénètrent aux points de jonction électrique, c'est ce dernier cas qui est représenté sur la figure 3 Les sorties de l'élément thermo-sensible sont branchées en lieu et place des sorties de l'un des éléments (Th 1 Thnt) de la figure 1 Les sorties de l'élément calorifique sont branchées en lieu et place des sorties de l'un des transistors (T 1 T>) L'emplacement de la soudure dudit capot est repéré en 2 sur le pourtour de la plaque de céramique 1. La figure 4 représente l'agencement des couches de la cellule de couplage thermique selon l'invention aux points de soudure dudit capot et de sorties des éléments de ladite cellule ou bien une coupe de ladite cellule à l'emplacement 2 de la soudure dudit capot Sur cette figure, les mêmes éléments que ceux de la figure 3 portent les mêmes références Les couches successives de ladite cellule sont: la couche de métallisation de la face arrière de la plaque céramique 1, représentée en 47 et 48 Cette métallisation permet le brasage de ladite cellule sur l'enceinte et une bonne conduction thermique entre l'élément calorifique et l'enceinte Pour ce faire, la face arrière est métallisée sur sa surface 48 opposée à l'élément calorifique 3 Cette métallisation n'est pas répandue sur toute la face arrière, mais n'est réalisée que par parties 47, afin de limiter les contraintes dues à des coefficients de dilatation différents selon les matériaux de ladite enceinte et de ladite cellule; la plaque de céramique 1; les sorties électriques 6 de ladite cellule; les couches diélectriques 45 et 46 isolant électriquement les sorties 6 des métallisations de la soudure du capot La couche diélectrique 46 placée entre les sorties 6 est un diélectrique bouchon évitant les dénivellations de la surface supérieure de la couche diélectrique 45 dues à la présence des sorties 6 sous la couche 45; une métallisation 44 de la couche diélectrique 45, servant à souder le capot 41, la métallisation 44 s'étendant sur tout l'emplace- ment 2; -la soudure proprement dite ou préforme entre la métallisation 44 et la métallisation 42 du capot 41 Cette soudure est étanche au gaz; la métallisation 42 du capot 41; le capot 41. La figure 5 représente une cellule de couplage thermique selon l'invention, vue du dessus dudit substrat, l'élément thermosensible étant une thermistance sous verre Sur cette figure, les mêmes éléments que ceux de la figure 3 portent les mêmes références. Cette cellule de couplage thermique se différencie de la cellule de la figure 3 en ce qu'une couche métallique 5, déposée sur la plaque céramique 1 joue un rôle de conduction thermique entre l'élément calorifique 3 et l'élément thermo-sensible 4 En effet, plus particu- lièrement, dans le cas o la thermistance est encapsulée sous verre; il est nécessaire d'accroître la conduction thermique entre l'élément thermosensible et l'élément calorifique, le verre étant un isolant thermique Le conducteur thermique 5 comporte trois parties: une partie sur laquelle est fixé l'élément calorifique, une partie sur laquelle est fixé l'élément thermo-sensible, une partie liant thermi- quement les deux autres Le réglage de la conduction thermique qui fournit le meilleur couplage thermique se fait par modification de la largeur de la troisième partie. La figure 6 représente la face arrière de ladite cellule Sur cette figure, les mêmes éléments que ceux de la figure 4 portent les mêmes références La face arrière est sensiblement un carré dont la largeur des côtés est de l'ordre de 1,2 mm La surface 48 métallisée sur la face arrière du substrat 1 est également sensiblement un carré, placé au centre de la face arrière et dont les côtés sont parallèles à ceux de la face arrière Les dimensions du carré de la surface 48 sont égales ou supérieures à celles de l'élément calori- fique L'ordre de grandeur du côté de ce carré est de 6 mm Entre le carré constitué par la surface 48 et le contour carré de la face arrière se situe une bande sur laquelle sont disposées les parties 47 métallisées, régulièrement espacées tout autour de la surface 48, les parties 47 étant des carrés ou des rectangles dont les côtés sont parallèles à ceux de la surface 48 et dont les côtés sont de l'ordre de 1 mm à 2 mm On utilise également et plus particulièrement pour la surface 48, un rectangle de longueur sensiblement égale à 7 mm et de largeur sensiblement égale à 5 mm. REVENDICATIONS 1 Cellule de couplage thermique ( 1) entre un élément calori- fique ( 3) et un élément thermo-sensible ( 4) pour la régulation thermique d'une enceinte, l'élément thermo-sensible ( 4) étant à proximité de l'élément calorifique ( 3), caractérisée en ce que l'élément calorifique ( 3) et l'élément thermo-sensible ( 4) sont dispo- sés sur un même substrat ( 2), conducteur thermique. 2 Cellule de couplage thermique ( 1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le substrat ( 2) est un isolant électrique. 3 Cellule de couplage thermique selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que ledit substrat ( 2) est en oxyde de berylium. 4 Cellule de couplage thermique selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que l'élément calorifique ( 3) est fixé sur le substrat ( 2) par l'intermédiaire d'une couche métallique comportant des ondulations, capables d'écouler les bulles d'air formées pendant la soudure, sur la face tournée vers l'élément calorifique ( 3). Cellule de couplage thermique ( 1) selon la revendication 4, caractérisée en ce que les ondulations sont des tubes capillaires de - hauteur de l'ordre de 10 Pm à 20 pm et d'écartement de l'ordre de 100/m. 6 Cellule de couplage thermique ( 1) selon l'une des revendica- tions I à 5, caractérisée en ce que l'élément calorifique ( 3) et l'élément thermo-sensible ( 4) sont liés par un conducteur métallique disposé sur le substrat ( 2). 7 Cellule de couplage thermique ( 1) selon la revendication 6, caractérisée en ce que le conducteur métallique comporte trois parties: une première partie en contact thermique avec l'élément thermo-sensible, une seconde partie en contact thermique avec l'élément calorifique et une troisième partie ( 5) de dimensions régla- bles, reliant thermiquement la première partie à la seconde partie. 8 Cellule de couplage thermique selon la revendication 7, caractérisée en ce que la troisième partie ( 5) a une longueur de l'ordre de 1 millimètre. 9 Cellule de couplage thermique ( 1) selon l'une des revendica- tions 1 à 8, caractérisée en ce que l'élément calorifique ( 3) est un premier circuit semi-conducteur - Cellule de couplage thermique ( 1) selon la revendication 9, caractérisée en ce que l'élément calorifique ( 3) est un transistor. Il Cellule de couplage thermique ( 1) selon l'une des revendi- cations 1 à 10, caractérisée en ce que l'élément thermo-sensible ( 4) est un deuxième circuit semi-conducteur. 12 Cellule de couplage thermique ( 1) selon l'une des revendi- cations 1 à 10, caractérisée en ce que l'élément thermo-sensible ( 4) est une thermistance. 13 Cellule de couplage thermique ( 1) selon la revendication 11, caractérisée en ce que l'élément thermo-sensible ( 4) est une jonction P N. 14 Cellule de couplage thermique ( 1) selon l'une des revendi- cations 1 à 13, caractérisée en ce que la face du substrat ( 2) opposée aux éléments calorifiques ( 3) et thermo-sensibles ( 4) com- porte au moins une zone métallisée ( 47, 48). Cellule de couplage thermique ( 1) selon la revendication 14, caractérisée en ce qu'une ( 48) des zones métallisées ( 47, 48) est disposée sensiblement sous l'élément calorifique ( 3). 16 Cellule de couplage thermique selon l'une des revendica- tions 1 à 15, caractérisée en ce que ladite cellule comporte un capot ( 41), isolant hermétiquement ladite cellule et dont le matériau a un coefficient de dilatation sensiblement égal à celui du substrat ( 2). 17 Enceinte thermostatée caractérisée en ce qu'elle comporte une ou plusieurs cellules de couplage thermiques selon l'une des revendications 1 à 16.