FR 2512274 A1 19830304 FR 8214391 A 19820820 la présente invention concerne un procédé de fabri- cation d'un circuit intégré qui comprend l'opération consis- tant à former une couche de siliciure riche en cobalt sur une partie en silicium à nu. Il a été suggéré dans l'art antérieur d'utiliser industriellement des électrodes en siliciure de cobalt en tant que contacts de métallisation d'électrode sur du silicium, dans des dispositifs à semiconducteurs consistant en transis- tors, en particulier des transistors à effet de champ à grille isolée Lorsqu'un contact de métallisation d'électrode en si- liciure de cobalt sur du silicium est formé initialement à une température inférieure à environ 5500 (J, une telle électro- de est formée essentiellement par du monosiliciure de cobalt (Oosi); et si, comme on le désire habituellement au cours d'un traitement ultérieur, la température du dispositif qui est fabriqué est élevée par la suite jusqu'à une valeur supé- rieure à environ 60000, le monosiliciure de cobalt est conver- ti en disiliciure de cobalt (Go Si 2) et cette conversion pro- duit une augmentation du volume du siliciure de cobalt Une telle augmentation du volume peut produire des contraintes indésirables, à moins qu'il existe un espace vide suffisant (tel que celui que procure une surface à nu du siliciure de cobalt) dans lequel le disiliciure de cobalt puisse se dilatera Si on forme initialement un contact avec le silicium directement sous la forme de disiliciure de cobalt, en chauf- fant le cobalt métallique en contact avec le silicium à une température supérieure à environ 55000 ou 600 0, la nécessité d 'élever ultérieurement la température de traitement à une valeur supérieure à environ 90000 (dans des buts tels que le piégeage d'impuretés ou la réparation des détériorations par recuit ou l'écoulement d'un verre au phosphosilicate (verre P)),produit une croissance de grain indésirable dans le disi- liciure de cobalt Elle produit également une migration indé- sirable du silicium vers l'électrode en disiliciure de cobalt, à partir des régions de source et de drain sous-jacentes Le fait de chauffer le disiliciurede cobalt à des températures supérieures à environ 90000 augmente également de façon in- désirable la résistance du disiliciure de cobalt, ce qui est particulièrement indésirable pour l'électrode de grille, probablement à cause du mélange du disiliciure de cobalt avec le silicium De plus, à des températures supérieures à environ 6000 C, le cobalt pur réagit lui-même avec le dioxy- de de silicium qui est habituellement présent sur la tranche, ce qui forme des composés indésirables qu'il est difficile d'éliminer sans affecter le siliciure de cobalt En outre, au-dessus d'environ 60000, le cobalt a tendance à attirer, par diffusion vers lui-mgme, tout silicium ou phosphore voi- sin, ce qui allonge de façon indésirable l'électrode de gril- le et détériore tout verre dopé au phosphore (verre P) Il serait donc souhaitable de disposer d'un procédé de formation de contacts d'électrode en disiliciure de cobalt sur du si- licium qui atténue ces problèmes. Conformément à l'invention, ces problèmes sont ré- solus dans un procédé de réalisation de contacts sur du sili- cium caractérisé en ce qu'on chauffe une couche de siliciure riche en cobalt jusqu'à une température d'au moins 70000 dans une ambiance oxydante, pour la convertir en une couche de di- siliciure de cobalt. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre d'un mode de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: L Ies figures 1 à 6 représentent, en coupe, diverses phases de fabrication d'un transistor à effet de champ à gril- le isolée, conformément à un mode de réalisation particulier de l'invention. Dans le seul but de rendre les dessins plus clairs, aucun d'eux n'est à l'échelle. Conformément à l'invention, on forme des contacts de métallisation d'électrode en disiliciure de cobalt sur du silicium sous-jacent (polycristallin ou monocristallin) en soumettant à un traitement thermique une couche de siliciure de cobalt en contact avec le silicium à une température d'en- viron 7000 C ou plus dans une ambiance oxydante, contenant de préférence au moins 1 % d'oxygène en volume Ceci forme des électrodes en disiliciure de cobalt revêtues de dioxyde de silicium, le silicium qui est l'un des constituants du dio- xyde de silicium ayant diffusé à travers l'électrode à partir du silicium sous-jacent Les électrodes en disiliciure de cobalt résultantes sont relativement stables au cours d'opé- rations de traitement ultérieures Selon une variante, il n'est pas nécessaire que l'ambiance dans laquelle la couche de siliciure de cobalt est soumise à un traitement thermique à 7000 C ou plus, soit oxydante, auquel cas le disiliciure de cobalt résultant est rev 4 tu d'une couche de dioxyde de sili- cium par une opération de dépôt séparée On entend par "si- licure riche en cobalt" des composés de siliciure de bobalt (tels que Co 2 Si)ayant un rapport atomique entre le cobalt et le silicium supérieur à celui du monosiliciure de cobalts On désigne simplement par "siliciure de cobalt" des mélanges de composés de monosiliciure de cobalt et de siliciure riche en cobalt, mélangés ou non avec du disiliciure de cobalt. Dans un mode de réalisation particulier de l'inven- tion, on fabrique une structure de transistor à effet de champ à grille isolée dans un substrat ou un bloc de semiconducteur consistant en silicium, avec des contacts de métallisation d'électrode de source et de drain sur le substrat de silicium, ou avec des contacts de métallisation d'électrode de grille sur une grille en silicium polycristallin, ou avec les deux, de tels contacts consistant essentiellement en disiliciure de cobalt* On forme ces contacts de métallisation en soumettant tout d'abord à un traitement thermique du cobalt sur le si- licium (substrat ou grille) à une température relativement basse (de façon caractéristique d'environ 45000), et en ef- fectuant ensuite un traitement thermique à une température relativement élevée (supérieure à environ 70000) dans une ambiance oxydante qui contient de façon caractéristique envi- ron 1 % d'oxygène. Plus spécialement, conformément à l'invention, on dépose une couche de cobalt métallique ayant une épaisseur désirée sur une surface principale d'une tranche de semi- conducteur consistant en silicium sur laquelle on a défini un motif et dans laquelle on fabrique le transistor Le ni- veau ou la phase de définition de motif de la tranche au mo- ment de ce dépôt de cobalt dépend du type de métallisation contact pratiquement égales ou inférieures à celles obtenues par l'utilisation d'aluminium en contact direct avec le si- licium ou le silicium polycristallin En outre, ces électro- des en disiliciure de cobalt présentent une stabilité appro- priée vis-à-vis d'une migration indésirable de cobalt qui se produirait par ailleurs pendant des opérations de traitement ultérieures des transistors aux températures relativement élevées (au-dessus d'environ 60000) qui sont habituellement nécessaires pour piéger les impuretés, pour le dépôt chimique en phase vapeur de verre au phosphosilicate pour l'isolation électrique, ou pour le dépft chimique en phase vapeur de ni- trure de siliciure, dans le but de réaliser une structure hermétique TI faut cependant noter qu'il n'est pas obliga- toire que la température relativement élevée ( 7000 C à 90000 ou plus) à laquelle le disiliciure de cobalt est stabilisé dans l'ambiance oxydante, conformément à l'invention, soit aussi élevée que la température de traitement la plus élevée utilisée par la suite. -On considère au point de vue théorique que la pro- priété oxydante de l'ambiance dans laquelle le disiliciure de cobalt est stabilisé à 70000 ou plus, conformément à l'in- vention, est utile pour empocher la formation de monosiliciu- re de cobalt ou de siliciures riches en cobalt, et pour for- mer un revêtement mince (environ 5 à 7 nm) d'oxyde de cobalt sur la couche de disiliciure de cobalt, ce revetement étant utile pour atténuer une inter-diffusion ultérieure du disi- liciure de cobalt, par rapport à toute région voisine en silicium ou en phosphore L'utilité de l'invention est évidem- ment indépendante de l'exactitude de cette théorie. On va maintenant considérer la figure 1 qui montre que pour fabriquer un transistor à effet de champ à grille isolée, on forme successivement sur une tranche ou un substrat de silicium 11 une couche d'oxyde de champ 12, une couche d'oxyde de grille 13, une couche de silicium polycristallin 14, une couche de masquage en dioxyde de silicium 15 dans la- quelle on a défini des ouvertures, et une couche de métal 16 consistant en cobalt la couche de silicium polycristallin 14 a une épaisseur qui est habituellement comprise dans la qu'on désire, c'est-à-dire une métallisation en siliciure de cobalt d'une électrode de gril 2 e,-ou d'électrodes de source et de drain Après dép 6 t de la couche de métal consis- tant en cobalt, on soumet le métal à un traitement thermique à une température relativement basse (environ 45000) pour le faire réagir avec le silicium ou le silicium polycristallin sous-jacent avec lequel la couche de cobalt est en contact, afin de former du siliciure de cobalt Le cobalt qui n'a pas réagi, c'est-à-dire le cobalt en contact avec des parties qui ne sont pas en silicium (soit de façon caractéristique des parties en dioxyde de silicium ou en verre P), est enle- vé par une attaque sélective qui enlève le cobalt mais qui n'enlève pas le siliciure de cobalt Ensuite, mais avant tout autre traitement faisant intervenir un chauffage (qui pourrait produire des contraintes indésirables à cause des changements de volume qui accompagnent la formation du disiliciure de cobal), le siliciure de cobalt est à nouveau soumis à un trai- tement thermique, cette fois dans l'ambiance oxydante (de fa- çon caractéristique environ 2 % d'oxygène) à la température relativement élevée (de façon caractéristique environ 7000 C à 95000 ou plus), pour former des électrodes en disiliciure de cobalt. Lorsqu'on poursuit la formation d'une métallisation d'électrode de source et de drain, après avoir formé les élec- trodes en disiliciure de cobalt conformément à l'invention, on- dépose avantageusement surile disiliciure de cobalt du sili- cium polycristallin dopé in situ afin d'obtenir une bonne couverture de marche pour un dépôt ultérieur d'une métallisa- tion en aluminium sur le silicium polycristallin et, simulta- nément, pour assurer une protection contre des réactions in- désirables ( " ensemencement ") de l'aluminium avec le disiliciure de cobalt dans les régions de source et de drain. De telles réactions pourraient se produire sous l'effet de traitements thermiques ultérieurs de la tranche à environ 4000 C ou plus. Les résistivités des électrodes en disiliciure de cobalt résultantes, réalisées conformément à l'invention, peuvent ne pas dépasser 20 y JL cm, avec des résistances de plage d'environ 200 à 500 nm, et qui a une valeur caractéris- tique d'environ 300 nm La couche de cobalt 16 a une épais- seur qui est habituellement comprise dans la plage d'environ à 70 nm, avec une valeur caractéristique d'environ 60 nm. On peut par exemple déposer cette couche de cobalt 16 par des techniques connues de pulvérisation ionique avec de l'ar- gon à la température ambiante, ou par évaporation en mainte- nant le substrat de silicium à environ 20000 à 25000, comme il est décrit par exemple dans l'article de G J Van Gurp et col 46 Journal of Applied Physics, pages 4308-4311, aux pa- ges 4308-4309 ( 1975) On chauffe ensuite la structrue fabri- quée dans une ambiance inerte, telle qu'un gaz de formation (azote contenant environ 15 % d'hydrogène en volume) à la pression atmosphérique, de façon que la couche de cobalt 16 soit chauffée à une première température dans la plage d'en- viron 40000 à 55000, soit de façon caractéristique environ 4500 C, pendant une durée caractéristique d'environ 2 heures. En considérant la figure 2, on note que ce premier traitement thermique a pour effet de convertir la couche de cobalt 16 en une couche de siliciure de cobalt 18 dans les régions qui recouvrent la couche de silicium polycristallin 14, en étant en contact direct avec cette dernière la couche de cobalt 16 demeure sous la forme d'une couche de cobalt 26 (figure 2) dans les régions qui recouvrent la couche de masquage 15 On enlève ensuite la couche de cobalt 26, par exemple par un traitement d'attaque de la structure avec une solution acide, consistant de façon caractéristique en un mélange dans les proportions 5:3:1:1 en volume d'acides acétique, nitrique, phosphorique et sulfurique concentrés (C J Smithells, Metals Reference Handbook, Vol 1, p 328), qui laisse intacte la couche de siliciure de cobalt 18, comme le montre la figure 3. On enlève ensuite la partie à nu de la couche de masquage en dioxyde de silicium 15, par exemple par attaque sélective avec une solution tamponnée d'acide fluorhydrique, en utilisant la couche de siliciure de cobalt 18 comme masque protecteur contre l'attaque On enlève ensuite les parties à nu de la couche de silicium polycristallin 14, par exemple par attaque par plasma ou par attaque ionique réactive, en utilisant à nouveau cette couche de siliciure de cobalt 18 comme masque protecteur contre l'attaque On attaque ensuite les parties à nu de la couche de dioxyde de silicium 13 avec une solution telle qu'une solution tamponnée d'acide fluo Thy- drique du commerce ( 30:1), qui n'enlève pas la couche de si- liciure de cobalt 18 La partie restante amincie 24 de la couche de silicium polycristallin et une partie 23 de la cou- che de dioxyde de silicium se trouvent sous la couche de si- liciure de cobalt 18 Cette couche de siliciure de cobalt 18 doit maintenant être convertie en disiliciure de cobalt. Après avoir nettoyé la surface supérieure de la structure, en utilisant de façon caractéristique une solution tamponnée d'acide fluorhydrique du commerce ( 30:1) pendant environ 30 à 60 secondes, on soumet la structure fabriquée à un second traitement thermique, cette fois dans une ambiance oxydante, à une seconde température d'au moins 70000, habi- tuellement dans la plage d'environ 70000 à 10000 C, et à une température caractéristique d'environ 9000 C, pendant environ une demi-heure Cette ambiance oxydante consiste avantageuse- ment en un gaz inerte tel que de l'argon, mélangé avec de l'oxygène avec une concentration molaire dans la plage d'en- viron 1 % à 5 %, et de façon caractéristique d'environ 2 %. Ce chauffage a pour effet de convertir la couche de siliciure de cobalt 18 en une couche de disiliciure de cobalt 28 (fi- gure 4) Il est important pour la plupart des applications concernant les transistors, et en particulier les transistors à effet de champ à grille isolée, que la couche de disiliciu- re de cobalt 28 ne pénètre pas jusqu'à la couche de dioxyde de silicium 23 sous-jacente Il faut donc choisir une épais- seur suffisamment grande pour la couche de silicium polycris- tallin 14 de façon qu'après réaction chimique, une partie de la couche de silicium polycristallin 24 demeure toujours sous la couche de disiliciure de cobalt 28 Le silicium polycris- tallin restant est alors disponible, si on le désire, pour former (par diffusion) du dioxyde de silicium faisant fonction d'isolant au sommet du disiliciure de cobalt. On forme ensuite les zones de source et de drain 12274 n+, 21 et 22, par exemple par des opérations classiques d'im- plantation ionique et de diffusion d'impuretés du type don- neur, en utilisant la combinaison de la couche de disiliciure de cobalt 28 et de la couche de silicium polycristallin en tant que masque protecteur (auto-aligné) contre l'introduc- tion d'impuretés sous ces couches. On forme ensuite successivement sur la structure une couche de verre au phosphosilicate (verre P) et une couche de nitrure de silicium produite par dép 6 t chimique en phase vapeur, à des températures élevées qui sont comprises de façon caractéristique dans des plages respectives d'environ 7000 C à 90000 et d'environ 70000 à 80000 On soumet ensuite la couche de nitrure formée par dépôt chimique en phase vapeur à une attaque isotrope, par exemple une attaque par plasma, à des emplacements sélectionnés qui se trouvent au-dessus des parties des zones de source et de drain 21 et 22 oh on doit former les contacts d'électrod-e de source et de drain sur le silicium. On forme ainsi une couche de nitrure de silicium 26 (figure 5) obtenue par dépot chimique en phase vapeur et dans laquelle on a défini un motif, et cette couche est utile pour protéger le transistor à fabriquer contre des contaminants tels que l'hy- drogène On soumet ensuite la couche de verre P à une attaque anisotrope sélective, par exemple une attaque par faisceau d'ions, pour former une couche de verre P 25 dans laquelle on a défini un motif, et pour mettre à nu des parties sous-jacen- tes des zones de source et de drain 21 et 22. On dépose ensuite une autre couche de cobalt, d'une épaisseur dans la plage d'environ 10 à 70 nm et d'une valeur caractéristique d'environ 50 nm On chauffe ensuite la struc- ture à une température relativement basses soit 40000 à 55000, et de façon caractéristique environ 45000, pendant une demi- heure, de façon que cette dernière couche de cobalt se combine avec le silicium pour former des électrodes en siliciure de cobalt 31 et 32 sur les parties à nu des zones de source et de drain 21 et 22 Le cobalt qui reste dans les parties complé- mentaires de la structure est enlevé, par exemple par attaque par un acide (par exemple de la manière décrite ci-dessus en relation avec la couche de siliciure de cobalt 18), sans en lever le siliciure de cobalt Après nettoyage de la structure, en employant de façon caractéristique une solution tamponnée d'acide fluorhydrique du commerce ( 30:1), on convertit les électrodes en siliciure de cobalt 31 et 32 en électrodes en disiliciure de cobalt 41 et 42, par chauffage de la manière décrite cidessus en relation avec la formation de la couche de disiliciure de cobalt 28, c'est-à-dire par chauffage dans une atmosphère oxydante à une température comprise dans la plage d'environ 700 O à 100000, et de façon caractéristique à environ 90000, pendant environ une demi-heure Ces électro- des en disiliciure de cobalt 41 et 42 (figure 6) sont en con- tact direct avec les zones respectives de source et de drains 21 et 22. On forme ensuite une couche de silicium polycristal- lin, de préférence dopée sur place (c'est-à-dire dopée pendant son dépôt) avec du phosphore, surtoute la surface supérieure de la structure qui est fabriquée Ensuite, pour piéger les impuretés, on chauffe la structure à une température comprise dans la plage d'environ 95000 à 100000, de façon caractéris- tique dans une ambiance de vapeur de tribromure de phosphore (P Br 3) et d'environ 2 % d'oxygène dans de l'azote, pendant environ 30 minutes. On dépose ensuite une couche d'aluminium, par exem- ple par évaporation, sur la couche de silicium polycristallin déposée en dernier Par des opérations classiques de masquage et d'attaque, on attaque sélectivement les couches d'aluminium et de silicium polycristallin pour former une couche de métal- lisation en silicium polycristallin 33 et une couche de métal- lisation en aluminium 34 qui conviennent pour l'interconnexion des zones de source et de drain 21 et 22 de la structure de transistor 100 La couche de silicium polycristallin 33 a pour fonction d'assurer une bonne couverture des marches de la métallisation et d'établir une barrière souhaitable contre une inter-diffusion d'aluminium et de siliciure de cobalt. Enfin, on forme sur la totalité de la surface supérieure de la structure 100 une couche de nitrure de silicium 35, déposée par plasma, dans le but d'enfermer hermétiquement et de proté- ger le dispositif sous-jacent. Ia couche de silicium polycristallin dopé au phos- phore, 33, sera stable vis-à-vis d'un mélange indésirable avec le disiliciure de cobalt sous-jacent aussi longtemps que tout traitement ultérieur sera effectuéau-dessous d'en- rion 950 O C Dans le cas o la couche de métallisation en si- licium polycristallin 33 est dopée avec du bore au lieu du phosphore, une instabilité indésirable apparaîtra du fait du mélange entre le silicium polycristallin et le disiliciure de cobalt sous-jacent, si un traitement ultérieur quelconque est accompli au-dessus d'environ 800 O Par conséquent, dans un tel cas de dopage avec du bore, tout traitement ultérieur est de préférence effectué à des températures bien inférieures à 800 00, comme par exemple à environ 50000. Dans un exemple caractéristique qui n'est donné que dans un but d'illustration, les épaisseurs approximatives des diverses couches sont les suivantes: Couche d'oxyde de champ 12 1000 nm Couche d'oxyde de grille 13 25 nm Couche de silicium polycristallin 14 300 nm Couche d'oxyde de masquage 15 150 nm Couche de verre P 25 1500 nm Couche de nitrure 26, formée par dépôt chimique en phase vapeur 120 nm Couche de silicium polycristallin 33 350 nm Couche d'aluminium 34 1000 nm Couche de nitrure 35 déposée par plasma 1200 nm Il faut noter que la description faite ci-dessus des diverses opérations employées pour former la structure 100 n'est destinée qu'à servir d'exemple et n'exclut pas l'utili- sation de divers perfectionnements, substitutionset adjonc- tions,comme des opérations supplémentaires de nettoyage et de recuit, comme il est connu On peut également supprimer la couche de nitrure 26 formée par dépôt chimique en phase vapeur, dans les cas dans lesquels le problème des "électrons chauds" (produit par exemple par des interactions indésira- bles faisant intervenir de l'hydrogène dans l'oxyde de grille) n'est pas grave, comme par exemple dans les cas dans lesquels la tension de fonctionnement source-drain ne dépasse pas en- il viron 5 V. On vient de décrire l'invention en détail en consi- dérant un mode de réalisation particulier, mais on peut ef- fectuer de nombreuses modifications sans sortir du cadre de l'invention Par exemple, le premier traitement thermique du cobalt peut Ctre effectué à environ 60000 en l'absence d'agent oxydant dans l'ambiance, de façon à former directement le di- siliciure de cobalt dans des régions qui recouvrent les par- ties de silicium à nu de la tranche dans laquelle on a formé un motif Cependant, l'attaque différentielle du cobalt sous forme de métal est alors plus difficile, ce qui fait qu'il est préférable d'utiliser la formation initiale directe de disiliciure de cobalt dans les cas dans lesquels on emploie un procédé de "décollement" de matière de réserve, c'est-à- dire dans les cas dans lesquels la-partie complémentaire, alors à nu, de la tranche dans laquelle on a défini un motif consiste essentiellement en cobalt métallique surmontant une couche de matière de réserve destinée à etre décollée en même temps que le cobalt qui la recouvre. Le second traitement thermique, dans l'ambiance oxydante, produit une couche mince (environ 5 à 10 nm) de dioxyde de silicium à la surface du disiliciure de cobalt, et le silicium présent dans cette couche de dioxyde de sili- cium a diffusé vers la couche à partir de la couche de sili- cium polycristallin sous-jacente A titre d'alternative à ce second traitement thermique dans l'ambiance oxydante, on peut déposer une couche de dioxyde de silicium sur la couche de siliciure de cobalt, par exemple par dépet chimique en phase vapeur, soit avant soit après un traitement thermique à 70000 ou plus (de préférence après, en particulier dans le cas de la formation d'une électrode de grille), pour convertir le siliciure de cobalt en disiliciure de cobalt On peut em- ployer la technique de formation d'électrodes en disiliciure de cobalt relativement stables, conformément à l'invention, pour former de telles électrodes dans le cadre d'autres dis- positifs électroniques On peut également utiliser les élec- trodes en disiliciure de cobalt de l'invention uniquement pour l'électrode de grille, en association avec d'autres électrodes pour les contacts de source et de drain, ou in- versement, et également en association avec d'autres techni- ques pour l'isolation électrique de la grille, de la source et du drain, ainsi qu'en association avec d'autres techniques que celles employant le nitrure de silicium (déposé par dépft chimique en phase vapeur ou par plasma) pour enfermer hermé- tiquement la structure du dispositif Enfin, on peut ajouter diverses opérations de recuit, de façon caractéristique à des températures dans la plage d'environ 45000 à 9500 C, par exem- ple entre les opérations de traitement ci-dessus pour la for- mation de disiliciure de cobalt et de la métallisation en aluminium. REVENDICATIONS 1 Procédé de fabrication d'un circuit intégré com- prenant l'opération qui consiste à former une couche de sili- ciure riche en cobalt ( 18) sur une partie en silicium à nu ( 24), caractérisé par l'opération consistant à chauffer la couche de siliciure de cobalt ( 18) à une température d'au moins 70000 C dans une ambiance oxydante pour la convertir en une couche de disiliciure de cobalt ( 28)o 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'opération de chauffage consiste en un traitement thermique de la couche de siliciure de cobalt à une température d'environ 9000 C ou plus. 3 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'ambiance contient de l'oxygène avec une concentra- tion molaire dans la plage d'environ 0,5 à 5,0 %o 4 Procédé selon la revendication 1, caractérisé par les opérations suivantes: on dépose une couche de sili- cium polycristallin sur la couche de disiliciure de cobalt; et on dépose une couche d'aluminium sur la couche de silicium polycristallin. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le disiliciure de cobalt recouvre une grille en silicium destinée à 4 tre utilisée dans un transistor MO So 6 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on dépose une couche de silicium polycristallin dopé pendant le dépôt, sur la couche de disiliciure de cobalto