FR 2479564 A1 19811002 FR 8006689 A 19800326 L'invention concerne un boîtier d'encapsulation pour module de puissance réalisé selon la technologie des circuits hybrides. Elle porte plus particulièrement sur une architecture de montage, qui comprend des moyens nouveaux de connexions de puissance et sur des moyens d'évacuation de la chaleur dégagée par le module ainsi que sur le boîtier lui-même qui est adapté à ces moyens nouveaux. De même que pour les circuits intégrés, les progrès de la microélectronique hybride sont actuellement limités non pas tant par la complexité ou la miniaturisation, qui sont des problèmes de fabricants de semiconducteurs, que par des problèmes de connexion et d'échauffement en fonctionnement, donc d'évacuation des calories déga- gées par les composants des circuits hybrides. C'est ainsi que sur un circuit hybride d'un-modèle courant, et non pas de puissance, pour une pastille montée en chip-carrier et répartie sur le substrat céramique, l'éva- cuation des calories par les seules connexions corres- pond à un échauffement de 20000 C par Watt, rapporté à une connexion. Les solutions actuellement employées pour les cir- cuits hybrides dits de puissance, ne donnent pas entière satisfaction du. fait que la puissance maximale selon les technologies actuelles est limitée. Soit les circuits hybrides sont réalisés sur un seul substrat, et la puis- sance maximale est limitée par le fait que l'utilisation de la technologie hybride classique pour les éléments. de commande (substrat alumine, intégration de résistances couches épaisses, soudure de composants à 180 C) n'est pas compatible avec le montage à 3000 C et plus nécessaire pour les pastilles de puissance. Soit les circuits hybrides sont scindés en une partie de commande sur un substrat, et une partie de puissance dont les composants sont montés chacun en son boîtier de puissance tels que par exemple les boîtiers de diodes de puissance-dénommées D04 ou les bottiers de transistors de puissance dénom- --ms T03. Mais du fait que le circuit a été scindé en une partie sur un substrat et un ou plusieurs composants de puissance dans leur boîtier propre, il ne s'agit plus à proprement parler, d'un circuit hybride, et on perd beaucoup en intégration. L'architecture du module de puissance selon l'in- vention, comporte un unique substrat plan sur lequel sont groupés les composants de signal et les composants de puissance qui forment le circuit, et qui est fermé par un couvercle -concave en un matériau céramique tel qu'alu- mine. Les connexions de puissance sont assurées par des broches, supportant une intensité de plusieurs ampères, qui passent à travers le couvercle dans lequel elles sont scellées, cependant que les calories dégagées par les composants de puissance sont évacuées directement par un radiateur sur lequel le substrat est fixé en cou- - plage thermique par l'intermédiaire d'un répartiteur qui a une double fonction thermique et mécanique. De façon plus précise, l'invention concerne un boî- tier d'encapsulation pour module de puissance, en circuit hybride, comportant un substrat plan, sur lequel sont fixés les composants du circuit hybride, et un couvercle, caractérisé en ce que, d'une part, les connexions extéri- eures du circuit sont constituées par des broches, de dimensions aptes à supporter le passage d'un courant pou- vant dépasser dix ampères, soudées sur le circuit, et orientées perpendiculairement au substrat, et qui passent, par des trous,! travers le couvercle, et d'au- tre part en ce que le substrat est fixé, en couplage thermique, sur un répartiteur, assurant les fonctions d'interface thermique et mécanique avec un échangeur thermique. L'invention sera mieux comprise et ses avantages ressortiront par la description d'un exemple de réali- sation qui va suivre, laquelle s'appuie sur les figures qui représentent figure 1 un module de circuit hybride de petite puissance selon l'art connu; - figure 2: un autre module de circuit hybride de moyenne puissance selon l'art connu; - figure 3: un bottier d'encapsulation de module de circuit hybride de moyenne puissance selon l'art connu vu du côté des broches de sortie; - figure 4: une vue extérieure dans l'espace d'un module de puissance selon l'invention; - figure 5: une vue en coupe d'une partie du boîtier d'encapsulation selon l'invention montrant un détail de la prise de contact sur un composant; - figure 6: une autre vue- en coupe du boîtier d'encapsulation montrant le scellement des connexions de sortie ainsi qu'un autre mode de prise de contact sur un composant; - figure 7: vue de face et de profil de l'une des connexions de puissance; - figure 8: vue en coupe d'un boîtier de puis- sance fixé sur un radiateur en couplage thermique. La figure 1 représente, de façon très schématique, un circuit hybride classique. Sur un substrat 1, plan, généralement constitué par une plaque d'alumine, de céramique, de verre ou de tôle émaillée, sont fixés un certain nombre de composants 2 qui sont des composants actifs, transistors, circuits intégrés, et des compo- sants passifs, diodes, résistances, capacités. Il s'agit là de composants de signaux et les liaisons avec l'extérieur sont assurées par un certain nombre de connexions de sortie 3. La puissance dissipée est faible, et on peut considérer que les calories déga- gées en cours de fonctionnement sont rayonnées dans l'es- pace environnant plutôt que transmises par les connexions de sortie. La figure 2 représente un circuit hybride de moyen- ne puissance selon l'art connu. Comme le précédent, il comporte un certain nombre de composants actifs et pas- sifs 2 supportés par une plaque de substrat 1, mais les liaisons avec les circuits extérieurs sont assurées au moyen d'un connecteur embrochable. Ce connecteur embro- chable comporte, maintenuespar une partie rigide iso- lante 4, une ou deux broches 5 qui servent principale- ment au guidage, et un nombre adéquat de broches 6 qui servent à la liaison électrique avec le reste du circuit. Par comparaison avec le circuit hybride de petite puis- sance de la figure 1, les broches de sortie 6 du cir- cuit hybride moyenne puissance de la figure 2 sont de taille plus importante et peuvent si nécessaire évacuer un petit nombre de calories. Cependant, la puissance dégagée par ce type de circuit est encore très limitée. La figure 3 représente un boîtier d'encapsulation selon l'art connu pour des circuits hybrides de moyenne puissance. Ce boîtier est vu par sa face inférieure. Il comporte un socle 7 constitué d'une plaque métallique épaisse, laquelle sert essentiellement à évacuer les calories dégagées par le circuit hybride. A travers ce socle 7, passent, scellées par des perles de verre, un certain nombre de broches de sortie 8 qui permettent le passage d'une certaine intensité. Cependant, un tel boîtier, qui a les dimensions d'un boîtier d'un transis- tor de puissance, a l'inconvénient d'être limité en vo- lume et de ne pas admettre de circuit hybride de grande surface; par conséquent, il est de moins en moins uti- lisé en regard de l'augmentation de la complexité et des dimensions des circuits hybrides actuels. En outre, le boîtier est fermé par un couvercle 9 qui O est soudé électriquement sur le socle 7, ce qui em- pêche toutes interventions ou réglages ultérieurs après la soudure électrique. Un tel boîtier ne peut donc correspondre qu'à une puissance dissipée moyenne, toutes choses étant égales par ailleurs et au regard des puissances que l'on saurait dissiper actuellement si l'on disposait de boîtiers adéquats. La figure 4 représente une vue dans l'espace d'un boîtier d'encapsulation pour module de puissance qui résoud à la fois le problème des connexions pour forts courants c'est-à-dire plusieurs ampères par connexion, ainsi que le problème de la dissipation de calories correspondant à une forte puissance. Par forte puissance, il faut entendre une puissance traitée, dépassant plusieurs centaines de Watts, c'est- à-dire, pour prendre des exemples non limitatifs, les puissances mises en oeuvre dans des dispositifs tels qu'alimentation à découpage ou onduleur basse tension pour l'alimentation des systèmes électroniques. Le boîtier représenté par la figure 4 a une forme sensiblement carrée mais cela n'est nullement limitatif car toute autre forme adaptée au dessin du circuit ou à la configuration du système à réaliser, telle qu'une forme qui serait ronde par exemple, entre dans le domai- ne de l'invention. Ainsi, ce boîtier selon l'invention, comporte une cavité, scellée et étanche, qui protège les composants du circuit hybride à proprement parler. Ce boîtier est donc constitué par un substrat plan 10, en céramique, mais de façon plus générale en un matériau isolant électrique ayant un bon coefficient de transfert ther- mique tel que l'oxyde de béryllium, le nitrure de Bore ou le saphyr. Sur ce substrat plan 10 est soudé un couvercle concave 11 dont la profondeur correspond à celle des éléments disposés dans le circuit hybride. Les connexions de sortie sont constituées par des bro- ches 12 dont le diamètre permet de véhiculer des inten- sités de plusieurs ampères, c'est-à-dire à titre d'exemple une dizaine d'ampères. Ces broches métalliques 12 passent à travers le couvercle du boîtier et sont maintenues par des métallisations 13 qui assurent leur soudure. Le substrat 10 est en outre réuni en couplage thermique avec un socle métallique (14) (Cu, Ai...) pour faciliter la fixation du microcomposant sur un élément radiateur qui est ici représenté sous la forme d'un élément de radiateur à ailettes en aluminium coulé, mais qui peut également être constitué par une partie du châssis du système électronique plus complexe, lequel dissipe la chaleur. Le boîtierainsi décrit sommairement sur cette figure, et qui sera expliqué plus en détails à l'occa- sion des figures suivantes, apporte une solution à un certain nombre de problèmes. L'un des problèmes actuels des bottiers de puissance, est celui du couvercle 11, également appelé capot. Les circuits hybrides dissipant des puissances de l'ordre de plusieurs dizaines de watts, sont actuellement relativement peu répandus en raison même des problèmes qui ont été évoqués précédem- ment. Leur emploi est développé essentiellement dans des matériels militaires ou spatiaux ou encore profes- sionnels, c'est dire que le nombre de tels boîtiers fabriqués est relativement petit par rapport aux séries des matériels grand public, et que, bien souvent, de tels circuits hybrides de puissance sont réalisés à la de- mande. Par conséquent, la réalisation de capots tels qu'on les fait en métal est assez coûteuse, pour les petites séries. En outre, s'il fallait faire passer des broches de sortie 12 du boîtier selon l'invention à travers le capot métallique, on se heurterait à deux difficultés: soit le capot est réalisé dans une t5le relativement fine donc facile à emboutir mais alors la fixation des broches 12 à travers des perles de verre 13 isolantes poserait des problèmes de fiabilité car les perles de verre cassent facilement; soit le capot est réalisé en un matériau métallique assez épais pour que les passages verre-métal 13 soient solides mais alors le capot ne peut plus être embouti, il doit être 1o usiné, ce qui élève son prix et limite la fabrication. Un autre mode de fabrication des capots est de les mouler en complexe résine époxy et tissu de verre assu- rant l'étanchéité autour des connexions de sortie 12 mais cette technologie n'est pas acceptée par certains matériels professionnels tels que les matériels mili- taires ou spatiaux. La solution retenue au titre de l'invention est à la fois économique, admise par les normes militaires ou spatiales, et de mise en oeuvre facile il s'agit de réaliser des couvercles 11 ou capots en matériau céramique tel qu'alumine qui sont facilement mis en oeuvre pour de petites séries, sont isolants électri- quement et d'une épaisseur suffisante pour que le scellement en 13 des broches de sortie 12 soit effi- cace et peu fragile. Par ailleurs, il ressort aisément du fait que les broches de sortie 12 passent à travers un couvercle plan qu'elles sont parallèles entre elles, ce qui fait que le circuit hybride porté par le boîtier de puis- sance selon l'invention, peut être raccordé directement ou être embrochable sur un connecteur adéquat. Enfin, et ceci ressortira de la description suppor- tée par les figures suivantes, le fait que les éléments de puissance contenus à l'intérieur du boîtier d'encap- sulation ont des liaisons très courtes en direction des broches de sortie 12 d'une part, et en direction du radiateur 14 d'autre part, permet de réduire l'échauf- fement par perte locale et améliore la fiabilité. La figure 5 représente une coupe partielle d'un boîtier de puissance selon l'invention. Sur le substrat plan 10 est soudé un couvercle Il d travers lequel passe par un orifide une broche de sortie 12 qui est soudée en 13. Les détails relatifs au soudage de la broche 12 seront exposés ultérieure- ment. La broche 12 est réunie électriquement à la pas- tille du composant de puissance 15, diode ou transis- tor par exemple, par l'intermédiaire d'une languette conductrice 16. La chaîne électrique et thermique, depuis la bro- che 12 jusqu'au répartiteur 14, non représenté sur cette figure, qui est en couplage thermique avec le substrat , est composée d'une partie relative aux composants de puissance 15, et d'une partie relative à la broche de sortie 12. D'un côté, le composant de puissance 15 est soudé sur le substrat 10 au moyen d'une métallisa- tion en couche épaisse 17 déposée sur le substrat et d'une préforme 18 qui assure la soudure entre composant et métallisation épaisse. Le composant actif 15 est par ailleurs réuni à la broche de sortie 12 par l'inter- médiaire d'une patte métallique et conductrice 16 sur laquelle il est soudé au moyen d'une seconde préforme de soudure 18. D'un autre c6té, la broche de sortie 12 est soudée dans sa partie inférieure sur le substrat 10 au moyen d'une seconde métallisation épaisse 17, mais la patte conductrice métallique 16 étant prise en sand- wich entre la métallisation épaisse 17 et la partie in- férieure de la broche 12, entre deux autres préformes de soudure 18. Ainsi, la broche 12 est rendue solidaire du substrat 10 d'une part, le composant de puissance 15 est également rendu solidaire du substrat 10 d'autre part, et une patte métallique 16 assure la connexion entre les deux. La patte métallique est constituée non pas d'un fil comme c'est généralement le cas pour les semiconducteurs, mais d'une bande métallique dont la section autorise le passage de plusieurs ampères. La figure 6 représente une vue en coupe d'une par- tie du boîtier selon l'invention> cette vue en coupe permettant de mettre en évidence trois détails dans les soudures. Comme sur la figure 5, le boîtier est composé par un substrat 10 et un couvercle 11. A l'intérieur du boîtier, sont fixés divers composants formant un cir- cuit hybride dans les détails duquel on n'entrera pas. La broche de sortie 12 qui passe à travers le couvercle Il du boîtier, à travers un trou 19 est fixé par soudure. Cette soudure est réalisée lorsque le cir- cuit hybride dans son boîtier de puissance est termi- né, par fusion d'une-préforme de soudure 13 sur une plage métallisée 20, laquelle plage de soudure avait été faite préalablement sur le couvercle. Les dimen- sions et la précision d'usinage sont suffisantes et permettent à la plage métallisée 20 d'être suffisa- ment proche de la broche 12, pour que la préforme de soudure 13, en fondant, mouille la broche 12 sans couler à travers le trou 19. Par ailleurs, le boîtier est fermé par une sou- dure étain-plomb sous atmosphère d'azote hydrogéné ce qui le rend hermétique et répond aux normes les plus sévères des matériels militaires ou spatiaux. Le capot Il est métallisé sur sa partie 21 qui entre en contact avec le substrat 10 lorsque ces deux pièces sont rapprochées, le substrat 10 étant lui-même métal- lisé sur sa partie 22 correspondante. La fermeture du boîtier se fait au moyen d'une préforme 23 de soudure tendre par refusion en four à hydrogène en atmosphère d'azote hydrogéné. Cette fermeture qui se fait simulta- nément à la soudure des connexions de sortie 12 au moyen des préformes 13 assure l'étanchéité du boîtier au ni- veau du joint entre ces deux pièces principales et au niveau des connexions de sortie. Le procédé de fermeture en four sous atmosphère légèrement réductrice, assure simultanément que le circuit hybride est enfermé de façon étanche dans un boîtier qui est lui-même rempli par une atmosphère neutre d'azote et d'hydrogène. La figure 6 montre également un autre procédé de connexion interne au boîtier selon l'invention. Alors que sur la figure 5, la broche 12 était soudée sur le substrat , à côté du composant 15 auquel elle était reliée par une patte métallique 16 capable de supporter un courant élevé, le composant 15, est, sur la figure 6, soudé en- tre le substrat 10 et la broche 12. Une telle structure en sandwich permet de diminuer les résistances de con- tacts et d'augmenter le courant véhiculé, d'autant plus qu'elle correspond au plus court chemin entre unebroche de connexion extérieure 12 et le substrat 10, à travers lequel est évacuée la chaleur. Ce type de montage est complété par une patte métallique 16, prise en sandwich entre la broche 12 et le composant 15, et qui établit le contact avec le reste du circuit hybride. La figure 7 représente une vue de face et de profil, de l'une des connexions de sortie du bottier selon l'in- vention. Une telle broche de sortie, réalisée en cuivre ou en un matériau conducteur, comporte une partie linéaire 12 d'un diamètre de l'ordre de 1 mm, c'est-à-dire net- tement plus important que les connexions réalisées en sortie des circuits hybrides standards. Cette partie linéaire 12 est prolongée, du côté de la connexion qui se trouve à l'intérieur du boîtier selon l'invention, par il une partie dont le métal a d'abord été aplati comme il est montré sur la vue de face, puis ensuite recourbé. une ou plusieurs fois, comme il est montré en 24 sur la vue de profil, de façon à donner à cette pièce métalli- que une certaine souplesse pour qu'elle exerce une pres- sion sur la métallisation ou sur le composant contre lequel elle est soudée. L'extrémité de la partie sou- ple 24 de cette connexion comporte un replat 25 dont les bords sont chanfreinés, ce replat étant la partie de la broche de connexion qui est soudée sur les compo- sants et son chanfrein étant destiné à ne pas blesser les couches superficielles des composants actifs. La figure 8 représente une vue en élévation d'un boîtier selon l'invention fixé sur un radiateur. L'ensemble du boîtier est fixé par son substrat 10 sur un répartiteur thermique 14 qui est lui-même monté sur un radiateur représenté ici sous forme d'un radia- teur d ailettes. Cependant, comme il a été dit, la forme de ce radiateur n'est pas limitative de l'invren- tion, l'important étant que le radiateur ait suffisament de surface et de masse calorifique pour absorber les calories dégagées à travers le substrat d'oxyde de ber- rylium 14 et les dissiper. Ce radiateur peut donc être une partie telle que le châssis ou la caisse renfermant un dispositif électronique beaucoup plus complexe que le seul boîtier de circuit hybride décrite Plusieurs façons de fixer le boîtier selon l'inven-. tion sur le répartiteur peuvent être utilisées séparé- ment ou conjointement. En premier lieu, le boîtier peut être fixé par deux écrous 26 munis de rondelles élasti- ques afin de ne pas casser le substrat au cours du ser- rage. Un second mode de fixation est constitué par une couche de colle 27 placée entre le substrat et le ra- diateur: dans ce cas, il faut prévoir que la colle ne constitue pas un écran thermique. C'est pourquoi, il est dans certains cas préférable de remplacer la couche de colle 27 par une couche de graisse de sili- cone par exemple, laquelle transmet assez bien la chaleur, et de réunir le boîtier et le radiateur par l'intermédiaire d'un certain nombre de clips qui les enserrent tous les deux sur leur pourtour. Le dispositif électronique tel que par exemple - l'alimentation à découpage ou ondule.ur basse tension, ainsi encapsulé dans un bottier de puissance selon l'in- vention, constitue ce que l'on appelle un macro-composant en ce sens qu'il forme un tout qui reçoit une certaine tension d'alimentation, délivre un courant ou une ten- sion répondant à des spécifications précises et qu'il est autonome en ce qui concerne la puissance dissipée. -D'autres caractéristiques et avantages du bottier d'encapsulation pour module de puissance selon l'inven- tion ressortiront pour l'homme de l'art des revendica- tions ci-après. u ! P REVENDICATIONS 1. Boîtier d'encapsulation pour module de puis- sance, en circuit hybride, comportant un substrat (10), plan, sur lequel sont fixés les composants (15) du circuit hybride, et un couvercle (11), caractérisé en ce que, d'une part, les connexions extérieures du cir- cuit sont constituées par des broches (12), de dimen- sions aptes à supporter le passage d'un courant pouvant dépasser dix ampères, soudées sur le circuit, et orien- tées perpendiculairement au substrat (10), et qui pas- sent, par des trous (19), à travers le couvercle (11), et d'autre part en ce que le substrat (10) est fixé, en couplage thermique, sur un répartiteur (14), assurant les fonctions d'interface thermique et mécanique avec un échangeur thermique. 2. Boîtier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat (10) est constitué en matériau céramique, isolant électrique mais bon conducteur thermique tel que l'oxyde de béryllium BeO. 3. Boîtier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que le couvercle (11) est constitué en matériau céramique, isolant électrique, tel que l'alu- mine A1203. 4. Boîtier d'encapsulation selon l'une des revendi- cations 1 à 3, caractérisé en ce que les parties (21) du couvercle (11) et (22) du substrat (10) qui entrent en contact sont métallisées, et en ce que le boîtier est fermé par soudure au moyen d'une préforme (23) d'un alliage de soudure tendre. 5. Boîtier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que les connexions extérieures sont constituées par des broches métalliques, dont une extrémité (12) rectiligne passe à travers le couvercle (11) et dont l'autre extrémité (24), aplatie puis recour- bée afin de lui communiquer de la souplesse, comporte un plat (25), chanfreins, soudé sur le circuit hybride. 6. Bottier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que les connexions intérieures sont constituées par des pattes métalliques (16) soudées d'une part sur un composant du circuit hybride et d'autre part sur une broche de connexion extérieure (12), prise en sandwich entre cette broche (12) et le substrat (10). 7. Boîtier d'encapsulation selon les revendica- tions 1 et 5, caractérisé en ce que la fixation des broches (12) sur le couvercle (11), et l'étanchéité du boîtier sont assurées par une métallisation (20) autour de chaque trou (19) de passage de broche, et par refusion d'une préforme de soudure tendre (13) autour de la broche. 8. Boîtier d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il est fixé sur son répartiteur (14) par vissage à travers le substrat (10). 9. Boîtier d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il est fixé sur son répartiteur (14) par collage du substrat (10). 10. Boîtier d'encapsulation selon l'une quelcon- que des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il est fixé sur son répartiteur (14) par au moins un clip. 11. Boîtier d'encapsulation selon l'une quelcon- que des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il constitue un ensemble embrochable par ses connexions extérieures.