FR 2462027 A1 19810206 FR 7918820 A 19790720 L'invention concerne un dispositif semiconducteur, comprenant une succession de couches semiconductrices déposées sur un substrat. L'invention a trait à l'industrie électronique, et s'attache plus particulièrement à perfectionner la structure des dispositifs semiconducteurs existants, plus spécifiquement des transistors à effet de champ, en arseniure de gallium. Ces dispositifs semiconducteurs selon l'art antérieur, comprennent très généralement un substrat semi-isolant, sur lequel est élaborée une succession de couches semiconductrices, de types de conductivité variables, dans un ordre d'empilement tel, qu'il permet d'obtenir des transistors à jonction, à bar rière métallique avec ou sans hétérojonction ... selon l'ordre et la nature des couches. Ces dispositifs sont très avantageux dans leurs domaines respectifs. Ils présentent néanmoins plusieurs inconvénients. En effet, l'élaboration des couches semiconductrices directement sur le substrat, sans aucune précaution, entraîne la propagation des dislocations et autres défauts du substrat vers les couches actives du dispositif semiconducteur, ainsi que la formation de défauts d'interface.De plus, la présence même du substrat est limitative, car lors du fonctionnement de ces dispositifs, on observe des courants électroniques parasites qui s'établissent à travers le substrat. L'invention a pour but d'éviter ces inconvénients en proposant une nouvelle structure valable pour pratiquement tous les types de transistors à effet de champ. Les dispositifs semiconducteurs, conformes à l'invention, sont remarquables en ce qu'ils comprennent également une couche tampon isolante, située entre le substrat et les couches semiconductrices. Cette couche tampon isolante joue un rôle à la fois au niveau de la croissance du dispositif semiconducteur, car elle bloque les défauts du substrat et à la fois au niveau du fonctionnement du dispositif, car elle autorise un meilleur confinement des électrons dans la (ou les) couche(s) active(s) du dispositif en question. Plus particulièrement le matériau semiconducteur auquel on fera référence, sera de l'arseniure de gallium, éventuellement dopé ou substitué, sans que cela puisse toutefois apporter une quelconque limitation à l'esprit de l'invention. Dans ce cas, la couche tampon peut être constituée, soit par le matériau Ga x Ai As, formule dans laquelle x est un nombre compris x dans l'intervalle 0 4 x De plus, ces dispositifs sont généralement élaborés sur des substrats semi-isolants, en arseniure de gallium, obtenus par exemple par dopage par des atomes de chrome, mais il peut également s'agir d'un substrat en arseniure de gallium, de type + n , ou d'un substrat en alumine, de variété O & La description qui va suivre en regard des dessins annexés, donnés à titre non limitatif, permettra de mieux comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 représente, en coupe transversale, un dispositif semiconducteur connu. La figure 2 représente, selon une même coupe, un même dispositif semiconducteur, conforme à l'invention. La figure 3 représente un four à épitaxie pour la mise en oeuvre du procédé de dépôt aux organométalliques. La figure 4 est un schéma de la courbe donnant les variations de la résistivité en fonction de la température de dépôt. Les figures 5 à 7 représentent divers types de dispositifs semiconducteurs, réalisés conformément aux enseignements de la présente demande. Sur la figure 1, qui représente un transistor à effet de champ, élaboré selon une méthode connue en soi, et qui montre un substrat 1 de type semi-isolant, par exemple en arseniure de gallium, dopé au chrome, en une concentration voisine de 1016 atomes/cm3, on élabore par une croissance épitaxiale une couche active semiconductrice, de type n, avec une concentration en dopants de l'ordre de 1017 atomes/cm3. Son épaisseur est inférieure au micron, et sur la face libre de cette couche, on dépose alors, par exemple, selon un procédé d'autoalignement les électrodes métalliques 3, 4 et 5, respectivement source, grille et drain. Les électrodes métalliques 3 et 5, sont de même nature, réalisées par exemple en or-germanium et forment ainsi un contact ohmique avec le semiconducteur. par contre, l'électrode 4, dite électrode de grille, forme avec le semiconducteur un contact de type Schottky, i.e un contact redresseur. Dans le cas d'un matériau semiconducteur, tel que le Ga As l'électrode de grille peut être réalisée par exemple avec un métal tel que de l'aluminium. Ce type de dispositif, transistor à effet de champ à grille Schottky, dénommé en anglo-saxon MESFET (Métal semiconductor field-effect transistor) présente un intérêt certain, notamment comme amplificateur de puissance, vu son faible bruit, ou comme élément de base dans les circuits intégrés en Ga As. Cependant, il existe encore des imperfections qui proviennent sans doute des méthodes de croissance, tels que des pièges ou défauts qui poursuivent ceux présents dans le substrat, ou même du fonctionnement propre du dispositif, tel que la conduction parasite à l'intérieur du substrat. Les dispositifs conformes à l'invention, et décrits en référence à la figure 2, comportent une couche tampon isolante 6, entre le substrat et lesdites couches semiconductrices. La présence de cette couche emporte de nombreux avantages, notamment en ce qu'elle permet un meilleur confinement des électrons dans la couche active, et également en ce qu'elle permet de stopper la propagation des imperfections (dislocations, défauts, pièges ...) à l'interface du substrat et des couches supérieures. Pour qu'une telle couche joue de manière satisfaisante son rôle, il faut d'une part qu'elle présente une certaine épaisseur, comprise sensiblement entre 1 et 10 microns, et d'autre part qu'elle présente une résistivité importante. Dans une première variante de réalisation, cette couche tampon 6 est constituée par le matériau Gal x Alx As, formule dans laquelle x représente un nombre compris dans l'intervalle O Le procédé de dépôt qui convient le mieux, à la connaissance de la Demanderesse, pour la réalisation de cette couche -est un procédé connu en soi, sous le nom de méthode aux organométalliques. I1 consiste à faire réagir, en phase vapeur, du trimethylgallium (TMG), du trimethylaluminium (TMA) et de l'arsine (ou tout autre composé organique plus complexe ...), ces vapeurs étant conduites dans un réacteur 10 tel que schématisé à la figure 3, par un gaz vecteur typiquement de l'hydrogène de haute pureté. Selon cette figure 3, les vapeurs réactives 11 sont entrainées vers un substrat 12, par exemple un substrat de Ga As semi-isolant, coupé selon un plan (001) désorienté de 30, ce substrat étant déposé sur un suscepteur 13 en graphite, incliné par rapport au flux gazeux, de manière à favoriser l'homogénéité des couches ainsi déposées. La La fraction molaire de TMG s'étend de 10 -5 à10 alors que la fraction molaire de TMA est ajustée de manière à obtenir la valeur de x désirée, et le courant d'arsine est tel que le rapport arsenic/métal soit compris sensiblement entre 10 et 100. Les propriétés de la couche déposée dépendent principalement de la composition de la phase vapeur, et de la température de dépôt. Ainsi, selon un exemple de réalisation, pour x > 0,15, la couche tampon peut présenter une résistivité aussi grande que# e eJ106 Q .cm,#î#6fl.cm, pour des températures de dépôt inférieures à S,'j7000C. La figure 4 schématise la résistivité d'une telle couche en fonction de la température de dépôt. Dans une seconde variante de réalisation, cette couche tampon 6 est constituée par le matériau Ga As, convenablement dopé par exemple par des atomes de fer ou de chrome, de façon à présenter une haute résistivité. Une telle couche peut être déposée, par exemple en phase vapeur, par la méthode classique Ga/As Cl dans laquelle on introduit les vapeurs dopantes de fer ou de chrome. La concentration de dopants dans la couche ainsi élaborée est proportionnelle à la pression partielle de vapeur dopante (par exemple Fe Cl2 pour le fer). De cette manière, des couches présentant une résistivité aussi haute que 104 a .cm peuvent être élaborées. Les substrats qui conviennent pour la réalisation de l'invention, peuvent être, d'une manière égale un substrat en arseniure de gallium semi-isolant, obtenu par exemple par dopage par des atomes de chrome, ou un substrat en arseniure de gallium, de type de conductivité n , ou un substrat en alumine, Al203, de variété Oc,. Les exemples de réalisation qui vont suivre, donnés en référence aux figures 5 à 7 permettront de mieux illustrer la présente description. Ces exemples ont montré dans chaque cas une amélioration des performances des dispositifs. Exemple I - Réalisation d'un JFET (fig. 5). Un transistor à effet de champ, à jonction (en anglosaxon junction field-effect transistor, dit JFET), conforme à l'invention, fut réalisé à partir d'un substrat 1 semiconducteur en Ga As de type de conductivité n+, sur lequel fut élaborée une couche isolante 6, de Gag185 Ale 15 As, d'une épaisseur d'environ 2 microns, puis une couche 2 semiconductrice de Ga As, de type de conductivité n (1017 atomes/cm3), d'une épaisseur d'environ 0,2 micron, et enfin une couche de Ga As, de type de conductivité p, (5. 101 atomes/cm3) d'une épaisseur d'environ 1 micron. Exemple Il - Réalisation d'un JFET à double hétéro jonction (fig. 6) Un autre transistor, conforme à l'invention,fut réalisé cette fois ci à partir d'un substrat 1, en alumine de variété 4 , d'une épaisseur de 0,5 mm, sur lequel fut élaborée une couche isolante 6, de Ga0,85 Alo,15 As, d'une épaisseur d'environ 5 microns, puis une couche 2 semiconductrice de Ga0,97 In0,03 As, de type de conductivité n (1017 atomes/cm3), la présence d'indium permettant un meilleur accord des mailles cristallines, puis une couche 7 de Ga0,80 Al0120 As, de type de conductivité p (5. 10 atomes/cm3) d'une épaisseur d'environ 1 micron, et enfin, une couche très fine 8 de Ga As, de type de conductivité p ,de manière à assurer une meilleure prise de contact. Exemple III - Réalisation d'un MESFET (fig. 7). Un autre transistor, conforme à l'invention, fut réa- lisé à partir d'un substrat 1, en Ga As, semi-isolant par dopage au chrome, d'une épaisseur de 350 microns, sur lequel fut éla borée une couche isolante 6 de Ga 85 Alto 15 As, d'une épaisseur d'environ 1 micron, puis une couche 2 semiconductrice de Ga As, de type de conductivité n (1017 atomes/cm3), d'épaisseur environ 0,2 micron, puis sur cette couche, et par utilisation du même procédé, à savoir la méthode aux organo-métalliques, sans sortir l'échantillon du bâti de croissance, on déposa la couche 4 d'aluminium pour constituer l'électrode de grille. Cette possibilité de croissance sans interruption, donc sans pollution des couches, permet d'obtenir de bien meilleures performances des transistors. il est bien évident pour l'homme de l'art que toute modification non essentielle apportée à la présente invention est comprise dans le cadre de celle-ci, tel que défini par les revendications ci-après annexées. REVENDICATIONS 1. Dispositif semiconducteur, comprenant une succession de couches semiconductrices déposées sur un substrat, caractérisé en ce qu'il comprend également une couche tampon isolante, située entre le substrat et les couches semiconductrices. 2. Dispositif semiconducteur, selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau semiconducteur est de l'arseniure de gallium, éventuellement dopé ou substitué. 3. Dispositif semiconducteur, selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite couche tampon est constituée par le matériau Ga I-x Alx As, formule dans laquelle x est un nombre compris dans l'intervalle O 4 x 4. Dispositif semiconducteur, selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite couche tampon est constituée par le matériau Ga As, convenablement dopé, par exemple par des atomes de fer ou de chrome, et de résistivité suffisamment grande. 5. Dispositif semiconducteur, selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le substrat est de l'ar- seniure de gallium semi-isolant, obtenu par exemple par dopage par des atomes de chrome. 6. Dispositif semiconducteur, selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le substrat est de l'arseniure de gallium, de type de conductivité n+. 7. Dispositif semiconducteur, selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le substrat est de l'alumine 4 (AI2 03) 8. Dispositif semiconducteur, selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'une des couches déposées sur le substrat, est constituée d'arseniure de gallium, de type de conductivité n, éventuellement substitué par de l'indium dans des proportions comprises entre 0 (In) 9. Dispositif semiconducteur, selon la revendication 8, caractérisé en ce que la couche immédiatement adjacente à ladite couche active est une couche de type de conductivité p, réalisée à partir d'un matériau semiconducteur en arseniure de gallium, le gallium étant éventuellement substitué par de l'aluminium. 10. Dispositif semiconducteur, selon la revendication 8, caractérisé en ce que la couche immédiatement adjacente à ladite couche active est une barrière de métal, préférentiellement une couche d'aluminium.