FR 2471023 A1 19810612 FR 7930421 A 19791207 1 2471023 Description Domaine Technique La présente invention concerne les réseaux d'éléments semi- conducteurs, diodes de Schottky ou transistors intégrés dans des microplaquettes dans lesquels les éléments sont disposés suivant une matrice et qui sont personnalisés pour réaliser une fonction donnée, par exemple, matrice ET ou matrice OU dans des réseaux logiques programmables PLA ou mémoires mortes, ayant des caractéristiques de densité et de dissipa- tion de puissance améliorées. Etat de la Technique Antérieure Les réseaux en matrice d'éléments semiconducteurs constituant des mémoires mortes ou les réseaux ET ou OU d'un réseau logique programmable (PLA) sont aujourd'hui bien connus et couramment utilisés.. On pourra notamment se référer au brevet français No. 71 16554 qui décrit une mémoire morte comprenant comme éléments d'emmagasinage des diodes de Schottky dans laquelle les diodes d'une même rangée sont situées dans une poche de substance semi-conductrice consti- tuant les cathodes des diodes, la liaison entre les cathodes étant assurée par une couche enrobée. Des parois isolantes sont prévues entre les rangées de diodes. Dans une telle mémoire, un bit d'information est représenté par la présence ou l'absence de diodes. Un tel arrangement présente l'avantage d'une densité accrue par rapport aux arrangements classiques dans lesquelles chaque diode est dans une poche d'isolation, mais étant donné que la couche enrobée a une résistivité qui bien que faible n'est pas négligeable, on ne peut envisager de réaliser des réseaux de très grande densité. Les réseaux logiques programmables sont généralement consti- tués d'une matrice ET et d'une matrice OU qui sont personna- lisées pour réaliser une fonction donnée. Pour avoir une 2 2471023 description générale des réseaux logiques programmables, on pourra se référer à l'ouvrage de MM. William N. Carr et Jack P. Mize, intitulé "MOS/LSI and Application" édité par Mc Graw Hill Book Company dans la série Texas Instruments Electronics. Les matrices ET et OU sont constituées dans des microplaquettes qui sont personnalisées en disposant ou non un élément semi-conducteur diode de Schottky ou transistor aux différentes positions des matrices suivant la fonction que doit réaliser le réseau PLA. En conséquence, lorsqu'on veut utiliser un réseau PLA, il faut d'abord déterminer quels doivent être les contenus des différentes matrices et ensuite personnaliser les microplaquettes. En fait, cette étape de personnalisation est identique à l'étape de l'ins- cription des informations dans une mémoire morte, et en conséquence les réseaux ET ou OU présentent les mêmes struc- tures que les mémoires mortes et peuvent être réalisés suivant les mêmes techniques notamment celles du brevet précité. Objet de l'Invention La présente invention a donc pour objet de réaliser des réseaux d'éléments semi-conducteurs pouvant être utilisés comme mémoires mortes ou pour constituer des réseaux logiques programmables ayant des densités élevées sans que cela nuise aux performances. Résumé de l'Invention La présente invention est applicable à tout type de réseau constitué en matrice intégrée d'éléments semi-conducteurs par exemple diodes de Schottky ou transistors et personnalisé en disposant ou non un élément en chaque point de la matrice. Les points de la matrice sont définis aux intersections de deux séries de lignes, les lignes de la première série étant perpendiculaires aux lignes de la seconde série. Lorsqu'une diode de Schottky est présente en un point, son anode est connectée à la ligne correspondante dans la première série 3 2471023 et sa cathode est connectée à la ligne correspondante dans la deuxième série. Dans un tel réseau à diodes de Schottky, les diodes d'une même colonne sont réalisées dans au moins un lit épitaxial, la couche de souscollecteur servant de seconde ligne de connexion. Les éléments d'une colonne sont isolés des éléments des colonnes adjacentes par des parois d'isolation s'étendant jusqu'au substrat. Pour réaliser la personnalisation, la configuration de chaque groupe est analysée, en partant du point milieu du groupe, et pour les k positions dans la partie supérieure, le lit épitaxial n'est réalisé qu'à partir de la première position rencontrée occupée par une diode jusqu'à la position extrême supérieure et il en est de même pour les k positions dans la partie inférieure, pour lesquelles le lit épitaxial n'est réalisé qu'à partir de la première position rencontrée occupée par une diode jusqu'à la position extrême inférieure. La personnalisation du réseau implique ensuite la mise en place des contacts anodes dans les positions de la matrice contenant une diode. Les premières lignes sont disposées.au premier niveau de métallisation et relient toutes les anodes des diodes d'une même rangée. Entre les positions adjacentes de deux groupes contigus sont prévus un trou de connexion et un contact qui permettront- de réaliser le court-circuit des positions de chaque groupe, au second niveau de métallisation. Lorsque les éléments semi-conducteurs du réseau sont des transistors, le même procédé est utilisé, les lits communs dopés P (dans le cas de transistors NPN) constituant les régions bases, dans lesquelles sont diffusées les régions émetteurs des transistors présents dans le réseau. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence aux dessins annexés à ce texte, qui représentent deux modes de réalisation préférés de celle-ci. 4 2471023 Brève Description des Figures La figure 1 représente schématiquement un réseau de diodes de Schottky qui peut être intégré invention. La figure 2 représente une vue de réseau de la figure 1 montrant le invention. La figure 3 représente une vue en A-A' de la figure 2. La figure 4 représente une vue en B-B' de la figure 2. conformément à la présente dessus d'une partie de principe de la présente coupe le long de la ligne coupe le long de la ligne La figure 5 représente schématiquement un réseau de transistors pouvant être intégré conformément à la présente invention. La figure 6 représente une vue de dessus du réseau de la figure 5. La figure 7 représente une vue en coupe le long de la ligne C-C' de la figure 6. La figure 8 représente une vue en coupe le long de la ligne D-D' de la figure 6. Sur la figure 1, est représenté un réseau de diodes de Schottky qui peut être utilisé comme mémoire morte ou comme matrice OU dans un réseau logique programmable. Les positions de la matrice sont définies aux points d'inter- section de lignes de mots horizontales L1-1 à L1-8, L2-1 à L2-8,..., Lp-1 à Lp-8 et de lignes de sortie verticales BL-1 à BL-8. Les lignes de mots sont attaquées par des circuits de commande Dl-1 à D1-8, D2-1 à D2-8,..., Dp-1 à Dp-8 qui permettent d'établir sur les lignes de mots les niveaux de signaux appropriés pour sélectionner ou non une ligne. Les 2471023 lignes de sortie sont d'une part connectées à la masse par l'intermédiaire de résistances Rl à R8 et d'autre part à des circuits de détection Ai à A8. Toutes les diodes de Schottky n'ont pas été référencées sur le dessin pour plus de clarté. Pour une diode quelconque Sij du réseau, i représente la ligne de mot à laquelle est connectée son anode et j la ligne de sortie à laquelle est connectée sa cathode. Des diodes Sij sont placées en certaines positions de la matrice suivant une configuration donnée qui dépend de la fonction réalisée par le réseau. Le fonctionnement d'un tel réseau ne sera pas décrit car ce n'est pas l'objet de l'invention. Lorsque le réseau est utilisé comme mémoire morte, l'excitation d'une ligne de mot particulière provoque la lecture des informations contenues dans cette ligne, en supposant que la ligne L1-5 soit sélec- tionnée, les circuits Ai à A8 détecteront l'état du mot correspondant, à savoir, 01010011. Lorsque ce réseau est utilisé comme matrice OU d'un réseau logique programmable, les circuits d'attaque Dl-1 à Dp-8 reçoivent les signaux de sortie de la matrice ET du réseau, et les diodes de Schottky de chaque colonne effectuent l'opération OU des signaux logiques amenés aux circuits d'attaque auxquels elles sont connectées. Conformément à l'invention, les lignes de mots sont réparties en p groupes de 2k lignes, k étant égal à 4 sur le dessin, les lignes du premier groupe sont toutes représentées et portent les références Ll-1 à L1-8, tandis que les lignes des groupes suivants qui ne sont pas toutes représentées portent les références L2-1 à L2-8,..., Lp-1 à Lp-8. Le même principe peut s'appliquer à une matrice à diodes Schottky organisée en circuits ET dans un réseau PLA, dans ce cas les rôles des lignes sont inversés à savoir les entrées s'effectuent sur les cathodes et les sorties sur les anodes. 6 2471023 En référence aux figures 2, 3 et 4 on va décrire la structure du réseau conformément à l'invention. Sur cette figure, on n'a représenté que les diodes des deux premières colonnes du premier groupe, étant bien entendu que cette structure est la même pour les autres colonnes et les autres groupes. Sur la figure 2, on peut voir les lignes de mot L1-1 à L1-8 situées au premier niveau de métallisation. Les diodes présentes dans le réseau sont représentées par le contact anode, sur la figure le contact anode de la diode S1-1, 1 a été référencé et on pourra très facilement repérer les autres contacts anodes des diodes présentes dans le réseau. Les colonnes de diodes sont isolées par des parois d'isolation qui sont visibles sur les vues en coupe le long des lignes A-A' et B-B', sur les figures 3 et 4 respectivement. Conformé- ment à l'invention, le lit épitaxial 20 et la région sous- collecteur 21 correspondant aux cathodes des diodes d'une colonne, ne sont pas continus. Dans une colonne, en partant du milieu de chaque groupe, par exemple entre les lignes L1-4 et L1-5, on ne réalise les couches épitaxiales et régions sous-collecteur qu'à partir des premières positions rencontrées occupées par une diode jusqu'aux extrémités du groupe. Ainsi pour la colonne de gauche sur la figure 2, les couches 20 et 21 se divisent en régions 20-1 et 20-2 et 21-1 et 21-2 séparées par de l'isolation. A chaque extrémité du groupe de diodes, se trouve un ensemble contact cathode de Schottky, 22-1 en haut, 22-2 en bas, au premier niveau de métallisation et un trou de connexion ou via 23-1 en haut, 23-2 en bas, permettant de faire la liaison électrique entre le premier et le second niveaux de métalli- sation. Les cathodes des diodes de la première colonne sont reliées par les régions 21-1 et 21-2, afin d'assurer la continuité électrique et de diminuer la résistance série de la ligne verticale qui est la ligne de sortie pour un réseau du type représenté sur la figure 1, un courtcircuit 24 est prévu au deuxième niveau de métallisation entre les deux contacts de 7 2471023 cathode 22-1 et 22-2 par l'intermédiaire des trous de connexion 23-1 et 23-2. Cet arrangement sera plus facilement visible sur la figure 3. La figure 3 représente une coupe le long de la ligne 3-3. L'ensemble est intégré dans un substrat 30 de conductivité de type P par exemple. On peut voir les deux parties de la couche épitaxiale, 20-2 et 20-1 et les régions sous-collec- teurs 21-2 et 21-1. Une couche d'oxyde 31 est disposée au-dessus de l'ensemble semiconducteur dans laquelle sont prévues des ouvertures pour établir les contacts anode et cathode comme on peut le voir en L1-7, L1-2 et L1-1 et 22-2, 22-1, situés au premier niveau de métal. Deux zones N+ 32 et 33 sont situées au- dessous des parties 22-2 et 22-1 jusqu'à la couche de sous- collecteur pour achever les diodes de Schottky. Une couche de quartz 34 constitue l'isolation entre les deux niveaux de métallisation, le court-circuit 24, au second niveau de métallisation permet de faire la liaison entre les contacts cathodes extrêmes du groupe. La figure 4 représente la coupe de la structure le long de la ligne B-B' de la figure 2. Sur cette coupe on peut voir les régions d'isolation P+ 41, 42, 43 qui isolent les diodes de chaque colonne. De même au premier niveau de métallisa- tion on voit la ligne L1-7 avec un contact anode pour réaliser la diode S1-7 et sans contact anode dans la deuxième colonne dans laquelle il ne se trouve pas de diode. Sur la figure 5 est représentée une matrice OU dans un réseau logique programmable dans laquelle les diodes de Schottky ont été remplacées par des transistors de type NPN sur le dessin. On n'a représenté que deux lignes L1-1 et L2-2 et huit lignes BL-1 à BL-8 reliées aux circuits Al à A8 comme sur la figure 1. Les diodes sont remplacées par des transistors Tij, i représen- -8 2471023 tant le numéro de ligne de mots et j le numéro de ligne de bits. La base du transistor Tij est connectée à la ligne Li, l'émetteur est connecté à la ligne BLj, le collecteur est connecté à une tension de polarisation V. En référence aux figures 6, 7 et 8 qui représentent une vue de dessus et des vues en coupe on va montrer comment sont intégrés les transistors conformément à l'invention. Comme on peut le voir sur les figures 7 et 8, l'ensemble est intégré dans un substrat de type P, 70. La vue de dessus de la structure sur la figure 6 montre les lignes de bits BL-1 à BL-8 avec les contacts émetteurs présents ou non, suivant qu'il y a ou non un transistor dans la position correspondante, le contact émetteur de T1-2, 2 a été référencé. La figure 7 représente une vue en coupe suivant la ligne C- C' de la figure 6 et la figure 8 représente une vue en coupe suivant la ligne D-D'. Pour mettre en oeuvre le principe de la présente invention, les huit éléments, connectés à une ligne L1-1 constituent un groupe, les éléments connectés aux autres lignes Li constituant les autres groupes. Il est bien entendu que puisqu'il n'y a que huit éléments dans le sens horizontal, il n'y aura qu'un groupe par ligne Li mais si le nombre d'éléments était supérieur, il pourrait y avoir plusieurs groupes par lignes Li. Au-dessus du substrat se trouve une région sous-collecteur 71 de type N+ et une région épitaxiale N 72 constituant la région collecteur commune à tous les transistors du groupe. Au-dessus de la structure semi-conductrice se trouve une couche d'oxyde 73 à travers laquelle sont réalisés les différents contacts et une couche de quartz 74 qui constitue l'isolation entre les deux niveaux de métal. Conformément à la présente invention on ne réalise des diffusions bases dans chaque groupe de part et d'autre du point milieu du groupe, qu'à partir de la première position rencontrée occupée par un transistor, c'est ainsi que pour la première ligne d'éléments il y a deux diffusions bases -1 et 60-2. De même pour la ligne L1-2 il y a deux diffusions bases 63-1 et 63-2. A chaque extrémité du premier groupe se trouve un ensemble contact base 61-1 et 61-2, trou de connexion 62-1, 62-2. Les mêmes ensembles sont prévus aux extrémités de chaque groupe. Les contacts base se trouvent au premier niveau de métal ainsi que les lignes BL-1 à BL-8. Les zones émetteurs N+ 81 à 84 correspondant aux transistors T1-1, 1; T11, 3; T1-1, 4 et T1-1, 7 sont diffusées dans les régions 60-1 et 60-2 et un court-circuit est réalisé au deuxième niveau de métal par l'intermédiaire de trous de connexion 62-1 et 62-2 aux contacts de bases situés aux deux extrémités du groupe 61-1 et 61-2 constituant la ligne de mot L1-1. Cette structure est répétée pour toutes les lignes de l'ensemble. Ainsi, tant dans le réseau de la figure 7 que dans le réseau de la figure 6, la densité est accrue par rapport à la densité que l'on peut obtenir dans des réseaux o tous les éléments sont isolés, mais les performances ne sont pas diminuées du fait des court-circuits qui permettent d'amélio- rer les caractéristiques des lignes, par rapport à celles obtenues dans le réseau de densité similaire décrit dans le brevet 71 16554 cité au début de la description. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et re présenté sur les dessins les caractéristiques essentielles de l'inven- tion appliquées à plusieurs modes de réalisation préférés de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. REVENDICATIONS 1. Réseau matriciel intégré dans lequel des positions sont définies aux intersections de lignes parallèles d'une première série (BL-1 à BL- 8) avec des lignes parallèles d'une seconde série (Ll-1 à Lp-8), lesdites positions pouvant être ou non occupées par des éléments semi- conducteurs (Si,j) présentant au moins une première électrode connectée à une ligne de la première série et une seconde électrode connectée à une ligne de la seconde série, le réseau étant du type dans lequel les premières électrodes des éléments dans chaque colonne (ou rangée) sont définies dans une zone semi-conductrice commune, les secondes électrodes n'étant présentes qu'aux positions occupées par un élément semiconducteur, ledit réseau étant caractérisé en ce que: les positions d'éléments semi-conducteurs dans chaque colonne (ou rangée) sont répartis en groupes de 2k posi- tions, dans chaque groupe la couche semi-conductrice est divisée en deux parties, la première partie (20-1) s'éten- dant depuis une extrémité du groupe jusqu'à la position occupée par un élément semi-conducteur le plus proche du point milieu du groupe et l'autre partie (20-2) s'éten- dant depuis l'autre extrémité du groupe jusqu'à la position occupée par un élément semi-conducteur le plus proche du point milieu du groupe, des moyens de liaison (22-1, 23-1, 22-2, 23-2, 24) sont prévus pour réaliser la liaison électrique entre les deux parties de zones semi-conductrices. 2. Réseau selon la revendication 1 caractérisé en ce que les moyens de liaison comprennent: aux extrémités de chaque groupe, un ensemble comportant un contact (22-1, 22-2) avec la couche semi-conductrice situé au premier niveau de métal et un trou de connexion (23-1, 23-2) entre le premier niveau de métallisation et un second niveau de métallisation séparé du premier par une couche de matériau isolant (34), un courtcircuit (24) réalisé au second niveau de métallisation entre les deux contacts aux extrémités de chaque groupe par l'intermédiaire des trous de connexion. 3. Réseau selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que les éléments semi-conducteurs sont des diodes de Schottky (Si,j) dans lesquelles les premières électrodes sont définies dans les zones semi- conductrices et les secondes électrodes présentes ou non sont les anodes qui sont connectées aux lignes de la seconde série situées au premier niveau de métallisation. 4. Réseau selon la revendication 3 intégré dans un substrat de type P, caractérisé en ce que dans chaque groupe les parties des zones semiconductrices sont constituées par des couches semi-conductrices de conductivité de type N (20-1, 20-2) avec des couches sous-jacentes de sous-collecteurs de type N+ (21-1, 21-2), les deux parties étant séparées par une zone d'isolation de type P+ (30). 5. Réseau selon la revendication 4 caractérisé en ce que les colonnes (ou rangées) de diodes sont isolées les unes des autres par des parois d'isolation (42) de type P+. 6. Réseau selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que les éléments semi-conducteurs sont des transistors (T1-1,5) dans lesquels les premières électrodes sont les bases définies dans les parties de zones semi- conductrices (60-1, 60-2), les secondes électrodes présentes ou non sont les émetteurs qui sont connectes aux lignes de la seconde série situées au premier niveau de métallisation, les collecteurs desdits transistors étant connectés à une tension de polarisation. 7. Réseau selon la revendication 6 caractérisé en ce que les transistors sont du type NPN, intégrés dans un substrat de type P. 8. Réseau selon la revendication 7 caractérisé en ce que dans chaque groupe les deux parties de zone semi- conductrice sont de conductivité de type P, dans les- quelles sont diffusées les zones d'émetteurs de type N+ dans les positions occupées par un élément semi-conduc- teur auxquelles viennent faire contact les lignes de la seconde série. 9. Réseau selon l'une quelconque des revendications précé- dentes caractérisé en ce qu'il constitue une mémoire morte, la présence d'un élément semi-conducteur dans une position représentant une information binaire d'un type et l'absence d'un élément semi-conducteur dans une position représentant l'information binaire de l'autre type.