FR 2475069 A1 19810807 FR 8002239 A 19800201 La présente invention concerne un procédé de dopage rapide de semiconducteurs. On sait que le dopage d'un semiconducteur con- siste à faire pénétrer des particules étrangères, ou im- puretés dans un substrat, constitué du semiconducteur à doper, et à rendre ces impuretés électriquement actives. L'adjonction d'impuretés dans un semiconducteur permet de modifier les propriétés physiques de celui-ci. Ce se- miconducteur peut se présenter sous la forme d'un mono- cristal et/ou peut déjà être dopé. Les principales applications des semiconduc- teurs dopés sont la fabrication de différents composants du type diodes, transistors, thyristors, etc... et la fabrication de cellules solaires. On connaît plusieurs procédés de dopage des semiconducteurs comme, par exemple, l'implantation ionique, la diffusion, la croissance épitaxiale, la technique d'alliage, etc... Les différents procédés de dopage utilisés dépendent des impuretés avec lesquelles on dope le semiconducteur, du matériau constituant ce dernier, et du type de dopage que l'on désire obtenir. Dans ces différents procédés de dopage, l'in- troduction des impuretés dans le substrat est un proces- sus lent qui dure en général plusieurs heures, ou au moins, plusieurs minutes. Il en est ainsi, notamment dans le cas du procédé de dopage par implantation ioni- que. Ce procédé de dopage se déroule en deux étapes dis- tinctes. La première étape consiste à implanter le substrat au moyen d'un faisceau d'ions, ou de particu- les, faisceau dont la section est de l'ordre du cm2 ou du mm2. Le point d'impact sur le substrat du faisceau de particules, ou d'ions, se déplace de façon à couvrir toute la surface du substrat de façon homogène. Cette première étape, ou prédépôt, est généralement lente. Des études ont montré que jamais deux ions, ou particules, n'arrivent en même temps sur le substrat. De plus, les écarts entre les instants d'arrivée entre deux particules font que l'énergie se dissipe progressivement dans toute la masse du substrat. L'échauffement produit, lors de la pénétration des particules dans le substrat, reste très faible et ne saurait produire.l'effet de re- cuit nécessaire pour rendre les impuretés électriquement actives et pour permettre le réarrangement du réseau cristallin qui a été perturbé, lors du bombardement du substrat par-les particules ou ions. Cette étape de re- cuit constitue la deuxième étape de ce procédé de dopa- ge. Ce recuit consiste, par exemple, à porter à diffé-- rentes températures l'échantillon du substrat implanté (entre 0 et 14000C) pendant un temps variable, pouvant aller jusqu'à plusieurs heures, dans des fours appro- priés. Pour cette deuxième étape, on utilise aussi ce qu'on appelle un recuit transitoire qui consiste à ap- porter à la surface, ou au niveau des premières couches implantées, pendant un temps très bref, une densité d'énergie telle que de très hautes températures soient atteintes localement pendant ce temps. Des études ont montré que les meilleurs résultats sont obtenus en géné- ral lorsque l'apport d'énergie est suffisant pour liqué- fier les premières couches du substrat. L'apport d'énergie peut se faire de différen- tes façons et en particulier à l'aide d'un tir d'énergie lumineuse au moyen, par exemple, d'un laser ou d'une lampe flash, ou de faisceaux pulsés d'électrons. Cette méthode de dopage, par implantation io- nique présente l'inconvénient de se dérouler en deux étapes, et de plus, comme -toutes les autres méthodes citées ci-dessus, les différentes étapes du procédé sont longues. La présente invention a donc pour objet un procédé de dopage rapide de semiconducteurs qui permet de remédier à ces inconvénients et notamment, d'éviter la phase de recuit en diminuant le temps d'implantation des particules, ou ions dans le substrat. Selon l'invention ce procédé de dopage se ca- ractérisa en ce que les particules étrangères, ou impu- retés, constituant le matériau dopant, arrivent sur le substrat de façon rapprochée dans le temps et dans l'es- pace de manière que l'énergie apportée par chaque parti- cule, lors de son implantation dans le substrat, coopère avec l'énergie des autres particules de façon à produire une liquéfaction locale du substrat, permettant le posi- tionnement des particules dans les sites interstitiels du réseau cristallin du substrat et le réarrangement du- dit réseau cristallin, perturbé lors de la pénétration des particules dans le substrat. Selon un premier mode de réalisation de l'in- vention, les particules se présentent sur le substrat sous la forme d'un faisceau d'ions, intense et pulsé, c'est-à-dire, comportant un grand nombre de particules possédant chacune une forte énergie cinétique et envoyé sous la forme d'impulsions. Cette pulsation du faisceau peut être obtenue, soit sur l'ensemble par modulation dans le temps de la source d'ions, soit en chaque point du substrat par ba- layage dans l'espace d'un faisceau continu intense de petite section. Selon une première variante, le faisceau d'ions est obtenu à partir d'une interaction entre un faisceau laser et une cible constituée du matériau do- pant. Selon une deuxième variante, le faisceau d'ions est obtenu à l'aide d'un accélérateur à plasma permettant la focalisation du faisceau d'ions et consti- tué par une électrode cylindrique, une électrode filiforme coaxiale à cette électrode cylindrique, des moyens pour appliquer entre ces électrodes une tension élevée, des moyens pour amorcer une décharge électrique à l'une des extrémités de l'espace interélectrode et des moyens pour introduire à cette extrémité une bouffée de gaz, de telle sorte que la décharge électrique se propage vers l'autre extrémité de l'espace interélectrode-et crée un plasma dense et chaud à cette autre extrémité. Cet accé- lérateur est généralement connu sous le nom de "Plasma- focus". Selon une troisième variante, le faisceau d'ions est obtenu à l'aide d'une triode à réflexion constituée de deux cathodes placées -de part et d'autre d'une anode de faible épaisseur permettant -aux élec- trons, émis par l'une des cathodes de traverser ladite anode, les électrons étant ensuite réfléchis par l'autre cathode sur l'anode constituée en matériau dopant. Cette triode à réflexion est généralement connue sous le nom de "reflex triode source". Selon une quatrième variante, le faisceau d'ions est obtenu à l'aide d'une diode constituée d'une cathode et d'une anode placées dans un champ magnétique perpendiculaire au champ électrique créé entre la catho- de et l'anode constituée en matériau dopant. Ce champ magnétique permet de renvoyer les électrons émis par la cathode sur ladite cathode et de favoriser l'extraction des ions de l'anode, ces ions n'étant que légèrement déviés par ledit champ magnétique. - Selon une cinquième variante, le plasma est obtenu à l'aide d'une diode constituée d'une cathode qui émet des électrons, ces électrons sont captés par une anode de forme arrondie et constituée du matériau do- pant, l'interaction des électrons avec l'anode permet- tant la production du faisceau d'ions qui est focalisé du fait même de la forme de ladite anode Selon une sixième variante, le faisceau d'ions est obtenu par une source de décharge à étincelle sous vide. Cette source est généralement connue sous le nom de "vacuum spark ionisation source". Une étincelle est développée entre deux électrodes dont l'une est consti- tuée du matériau dopant. L'étincelle est alimentée pen- dant sa durée de vie par un courant très intense. Ceci permet la génération de faisceaux d'ions très intenses. Selon un deuxième mode de réalisation de l'in- vention, les particules se présentent sur le substrat sous la forme d'un faisceau d'amas polyatomiques. Les amas polyatomiques sont généralement connus sous le nom de "Clusters". Selon une première variante, le faisceau d'amas polyatomiques est obtenu à partir d'un solide, constitué par le matériau dopant, par une méthode de désorption rapide sous vide. Selon une deuxième variante, le faisceau d'amas polyatomiques est obtenu à partir d'impact d'ato- mes lourds sur une cible constituée en matériau dopant. Selon une troisième variante, le faisceau d'amas polyatomigues est obtenu par une détente superso- nique de vapeur à travers une buse dans le vide. Selon l'invention, dans certains cas, les par- ticules sont accélérées à l'aide d'un champ électrique, permettant de fournir tout ou partie de l'énergie néces- saire à la liquéfaction locale du substrat. Selon l'invention, dans d'autres cas, les par- ticules peuvent être combinées à un autre faisceau de particules de façon à apporter une énergie supplémentai- re, nécessaire à la liquéfaction locale du substrat. Ce faisceau de particules supplémentaire peut être, par. exemple, un faisceau d'électrons, de photons, d'ions, etc... Ce procédé de dopage présente l'avantage de pouvoir être utilisé pour doper n'importe quel type de semiconducteurs, en utilisant n'importe quel type de ma- tériau dopant. De plus, il permet de contrôler facile- ment la quantité d'impuretés introduites dans le substrat. Cette méthode de dopage est rapide et n'a lieu qu'en une seule étape. La densité d'énergie nécessaire pour la mise en oeuvre du procédé de dopage rapide de façon à obtenir la liquéfaction locale du substrat, dé- pend du matériau dans lequel on veut faire l'implanta- tion des particules, de la durée. pendant laquelle on apporte cette énergie sur le substrat et. de la profon- deur de la pénétration des particules, si la durée d'ap- port d'énergie est très courte. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux à l'aide de la descrip- tion qui va suivre, donnée à titre purement illustratif et non limitatif, en référence à l'unique figure, qui représente un schéma général d'un dispositif, mettant en oeuvre le procédé de dopage selon l'invention. Un laser 2 envoie un faisceau lumineux 4. Ce faisceau 4 est focalisé à l'aide de lentilles 6, conver- gentes, traverse un hublot 8 puis une plaquette 10, constituée du matériau à doper. Cette plaquette est maintenue fixe à l'aide de deux supports tels que 12 et est munie d'un trou 14 permettant le passage du faisceau laser 4. Ce faisceau arrive sur une cible 16 constituée par le matériau dopant et placée sous vide. Cette cible 16 -est une surface polie sur laquelle peut se déplacer le point d'impact du faisceau laser 4. La référence 17 indique le déplacement possible de la lentille 6. Ce déplacement permet de modifier la dimension de la tache de focalisation sur la cible 16, ce qui, pour une surfa- ce d'impact minimum, permet d'obtenir un flux de puis- sance maximum. Pour ajuster la focalisation du faisceau lumineux 4 du laser 2, on peut utiliser un second fais- ceau laser à gaz d'Hélium et de Néon (non représenté). - De façon à modifier le point d'impact du fais- ceau 4 sur la cible 16, on peut déplacer, de façon con- tinue, la cible 16 par tout moyen connu. Le balayage de la cible 16 par le déplacement de celle-ci est représen- té par la référence 19. Le bombardement de cette cible 16 à l'aide du faisceau 4 donne lieu à la création d'un cratère avec vaporisation et formation d'un faisceau d'ions. Bien entendu, le taux d'ionisation de la ma- tière éjectée de la cible est d'autant plus élevé que la densité de puissance apportée par le laser est élevée. Pour avoir une interaction laser matière efficace, il faut apporter des densités de puissances comprises entre 1013 et 1017 W/la2. Il est ainsi possible de produire en un seul "tir" laser 1013 à 1018 ions. L'extraction du faisceau d'ions peut être réa- lisée à l'aide d'un champ électrique, appliqué entre la plaquette 10 et la face externe 18 d'une cuvette d'expansion 20, lorsque celle-ci est utilisée, ou direc- tement entre la plaquette 10 du matériau à doper et la cible 16 en matériau dopant. Le faisceau d'ions, en ve- nant frapper la plaquette 10, crée un courant que l'on amplifie à l'aide d'un amplificateur 22. Le signal obte- nu à la sortie de cet amplificateur 22 peut être visua- lisé sur un oscilloscope à mémoire 24, la base de temps de cet oscilloscope étant déclenchée par un signal de syneàronisation fourni par le laser 2. Ce dispositif permet d'estimer le nombre d'ions recueilli par la pla- quette 10 à chaque essai, ou "tir" laser. Le champ électrique, permettant l'extraction des ions peut être obtenu à l'aide d'une source d'ali- mentation 26, en haute tension continue (de l'ordre de KV), reliée à la masse. Cette alimentation 26 peut être reliée à une résistance de protection 27 et à une capacité 29 servant de réservoir d'énergie. La plaquette et la cible 16 placée dans la cuvette d'expansion 20, sont situées dans une chambre à vide 28 reliée à la masse. Le vide, effectué dans cette chambre 28, de l'or- dre do 10î6 torr, est obtenu à l'aide, par exemple, d'une pompe à diffusion 30 et d'une pompe à palette 32 reliées entre elles par des vannes telles que 34. Afin que le dopage rapide décrit ci-dessus soit possible, il est nécessaire de réaliser l'apport d'énergie en un temps suffisamment court pour que cet apport d'énergie soit adiabatique et que le recuit tran- s toire ait lieu simultanément à i'implantation des par- ticules, ou ions, dans le substrat. Dans le cas d'une implantation de particules dans un substrat en silicium, la densité totale d'énergie doit être supérieure à un seuil de 0,5 J/cm2, cette densité d'énergie étant à ap- porter pendant un temps très court de l'ordre de quel- ques centaines de nanosecondes. Pour ces raisons, on peut utiliser, par exemple, un laser à rubis fournissant des impulsions lumineuses de 15 nanosecondes de durée et transportant une énergie de 0,5 Joule. De plus, l'utiii- sation d'un second faisceau laser à Hélium et Néon per- met une bonne focalisation de ce faisceau. Un ajustement fin de la focalisation du laser et un réglage de celui- ci permettent une bonne optimisation du nombre de parti- cules, ou impuretés, reçues par la plaquette, constituée du matériau à doper. Il est à noter qu'un seul "tir" laser est nécessaire pour doper cette plaquette. De plus, dans le cas d'une interaction laser- matière, à très forte densité de puissance (au-delà de 1. 2 1012 W/cm2), il est possible de réaliser le dopage rapi- de, sans accélération supplémentaire des particules. Dans ce cas, le faisceau d'ions obtenu est très énergé- tique (énergie > 1 KeV) et les particules sont très di- rectives. Suivant les cas, on utilise les faisceaux d'ions pulsés ou les faisceaux d'amas polyatomiques. L'utilisation des faisceaux d'ions pulsés aboutit à un dopage au niveau macroscopique (quelques milliers d'Angstr8ms à quelques centimètres), en revanche, l'uti- lisation d'un faisceau d'amas polyatomiques conduit à un dopage au niveau microscopique (quelques dizaines d'Angstr8ms à quelques milliers d'Angstr8ms). Le dopage macroscopique par faisceau d'ions pulsé présente deux variantes. Dans l'une, le faisceau est large, immobile par rapport au substrat, et modulé en intensité; il permet le dopage d'une grande surface _5 de substrat comme par exemple une plaquette entière. Dans l'autre, le faisceau est étroit, de densité de cou- rant élevée, typiquement de 10 A/cm., et le caractère transitoire de l'implantation et du recuit est dû au faible temps de passage en chaque point de la plaquette. Le dopage macroscopique par faisceau d'ions est adapté à des productions de très grande série et o les tolérances de reproductibilité ne sont pas trop sé- vères. Le dopage microscopique par faisceau d'amas est beaucoup plus souple; il permet d'utiliser des fais- ceaux continus de faible densité et il est compatible avec un contrôle en temps réel du dopage. Pour réaliser un dopage au niveau microscopi- que, il suffit que la densité volumique d'énergie appor- tée par une particule à implanter soit suffisante pour liquéfier une zone du substrat de quelques centaines d'Angstrbms, par exemple. Pour un amas polyatomique con- tenant, par exemple, N atomes, on a observé que la péné- tration de l'amas dans le substrat est du même ordre de grandeur que celle qui correspond à l'atome isolé, de même énergie que chaque atome de l'amas, donc le volume intéressé par l'apport d'énergie est du même ordre de grandeur. En conséquence, la densité volumique d'éner- gie, apportée par l'amas au substrat est multipliée par N. Il suffit de choisir N supérieur à une certaine va- leur pour obtenir la liquéfaction microscopique du subs- trat. La formation de ces amas polyatomiques peut être obtenue soit par une méthode de désorption sous vide à partir d'un solide constitué en matériau dopant, soit par impact d'atomes lourds sur une cible constituée en matériau dopant, soit par détente supersonique de vapeur à travers une buse dans le vide. La description des différents moyens d'obtention de ces faisceaux d'amas polyatomiques ont été décrits dans 1'I.E.E.E Transactions on Nuclear Sciences, volume NS 26, n0 1, paru en février 1979 dans un article intitulé "Produc- tion and impact effects of fast particules" pages i232 à 1234. Dans le cas d'utilisation d'un faisceau d'amas polyatomiques seul, le fait de heurter le substrat à l'aide de faisceaux entraîne la dispersion des atomes de l'amas lorsque celui-ci pénètre dans le substrat. En re- vanche, lorsque l'on associe ce faisceau à un- faisceau secondaire (d'électrons, de photons...) la dispersion des atomes de l'amas est obtenue avant qu'ils ne pénè- trent dans le substrat. Ceci permet de répartir l'éner- gie dans un plus grand volume du substrat et de façon plus homogène. La formation d'un faisceau d'ions intense et pulsé peut être, bien entendu, obtenu autrement -qu'au moyen de l'interaction laser-matière décrite ci-dessus. Celui-ci peut être obtenu, notamment, à l'aide d'un ac- célérateur à plasma, d'une triode à réflexion, d'une diode dont l'anode et la cathode peuvent présenter des formes différentes, d'une source de décharge à étincelle sous vide, de sources d'ions à très haute brillance spé- cifique. La description de ces différents moyens d'ob- tention d'un faisceau d'ions, ainsi que leur fonctionne- ment ont été décrits dans différentes publications telles que - dans 1'I.E.E.E Transactions on Nuclear Science, volu- me NS 26, N01 paru en février 1979 dans un article in- titulé "Production and impact effects of fast parti- cles", pages 1228 à 1234; - dans le Sov. Phys. Tech. Phys. paru le 23 sep- tembre 1978 dans un article intitulé "Technical appli- cations of plasma accelerators",pages 1058 à 1064; ú475069 - dans les Proceedings of Fourth Conference on the Scientific and Industrial Applications of Small Acce- lerators, North Texas State University, du 27 au 29 octobre 1976, dans un article intitulé "Production of intense pulsed ion beams for near term applica- tions", pages 203 à 214. On peut également, pour la mise en oeuvre de l'invention, avoir recours à la technique connue sous le nom d'accélération collective des ions et décrite par exemple dans les articles suivants parus dans I.E.E.E Transactions on Nuclear Science, vol. NS 26, N 3 paru en juin 1979 dans des articles intitulés "Current Status of collective accelerators",pages 4156 à 4158 et "Expe- rimental studies of heavy ion collective acceleration at the University of Maryland", pages 4177 à 4180. Ce procédé de dopage rapide, conformément à l'invention, a été réalisé à l'aide d'une plaquette de silicium, constituant le scmiconducteur à doper, un faisceau d'ions de bore, pour un dopage de type R et un faisceau d'ions d'antimoine pour un dopage de type n. Le nombre d'ions implanté dans une plaquette de silicium est de 5.1014 par cm2 pour le dopant bore et de 2.1014 par cm2 pour le dopant antimoire. Cette mesure a été effectuée par activation neutronique dans le cas de l'antimoine et au moyen d'un analyseur ionique dans le cas du bore. REVENDICATIONS 1. Procédé de dopage rapide de semiconduc- teurs, consistant à faire-pénétrer des particules étran- gères dans un substrat (14) et à les rendre électrique- ment actives, de façon à modifier les propriétés physi- ques dudit substrat, caractérisé en ce que l'on bombarde le substrat (14) au moyen des particules étrangères, constituant le matériau dopant, de façon rapprochée dans le temps. et dans l'espace *-et en ce que l'on rè- gle l'énergie apportée par chaque particule lors de. son implantation dans le substrat (14) de façon à pro- duire, en coopération avec les autres particules une liquéfaction locale du substrat, permettant le position- nement des particules dans les sites interstitiels - du réseau cristallin du substrat et le réarrangement dudit réseau cristallin, perturbé lors de la pénétra- tion des particules dans le substrat. 2. Procédé de dopage selon la revendication 1, caractérisé en ce que les particules se présentent sur le substrat (14) sous la forme d'un faisceau d'ions intense et pulsé. 3. Procédé de dopage selon la revendication 2, caractérisé en ce que le faisceau intense et pulsé est fixe par rapport au substrat (14) et modulé en intensité. 4. Procédé de dopage selon la revendication 2, caractérisé en ce que le faisceau intense et pulsé est obtenu en chaque point du substrat par balayage d'un faisceau continu intense. 5. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le fais- ceau d'ions est obtenu à partir d'une interaction entre un faisceau laser (2) et une cible (16) constituée du matériau dopant. 6. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le fais- B 6855.3 LC ceau d'ions est obtenu à l'aide d'un accélérateur à plasma permettant la focalisation du faisceau d'ions et constitué par une électrode cylindrique, une électrode filiforme coaxiale à cette électrode cylindrique, des moyens pour appliquer entre ces électrodes une tension élevée, des moyens pour amorcer une décharge électrique à l'une des extrémités de l'espace interélectrode et des moyens pour introduire à cette extrémité une bouffée de gaz, de telle sorte que la décharge électrique se propa- ge vers l'autre extrémité de l'espace interélectrode et crée un plasma dense et chaud à cette autre extrémité. 7. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le fais- ceau d'ions est obtenu à l'aide d'une triode à réflexion constituée de deux cathodes placées de part et d'autre d'une anode de faible épaisseur permettant aux électrons émis par l'une des cathodes de traverser ladite anode, les électrons étant ensuite réfléchis par l'autre catho- de sur l'anode constituée du matériau dopant. 8. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le fais- ceau d'ions est obtenu à l'aide d'une diode constituée d'une cathode et d'une anode placée dans un champ magné- tique perpendiculaire au champ électrique créé entre la cathode et l'anode constituée en matériau dopant. 9. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le fais- ceau d'ions est obtenu à l'aide d'une diode constituée d'une cathode qui émet des électrons, ces électrons sont captés par une anode de forme arrondie et constituée du matériau dopant, l'interaction des électrons avec l'ano- de permettant la production du faisceau d'ions qui est focalisé du fait même de ladite anode. 10. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications2 à 4, caractérisé en ce que le fais- ceau d'ions est obtenu par une source de décharge à étincelle, sous vide, constituée de deux électrodes en- tre lesquelles est produite une étincelle, l'une des électrodes étant constituée du matériau dopant. 11. Procédé de dopage selon la revendica- tion 1, caractérisé en ce que les particules sont en- voyées sur. le substrat (14) sous forme d'un faisceau d'amas polyatomiques. 12. Procédé de dopage selon la revendica- tion 11, caractérisé en ce que le faisceau d'amas poly- atomiques est obtenu à partir d'un solide constitué par le matériau dopant, par une méthode de désorption rapide sous vide.. 13. Procédé de dopage selon la revendica- tion 11, caractérisé en ce que le faisceau d'amas poly- atomiques est obtenu à partir d'un impact d'atomes lourds sur une cible constituée en matériau dopant. 14. Procédé de dopage selon la revendica- tion 11, caractérisé en ce que le faisceau d'amas poly- atomiques est obtenu par une détente supersonique de va- peur à travers une buse dans le vide. 15. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les particules peuvent être combinées à un autre faisceau de particules de façon à apporter une énergie supplémentai- re, nécessaire à la liquéfaction locale du substrat. 16. Procédé de dopage selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les particules sont accélérées à l'aide d'un champ électri- que, permettant de fournir tout ou partie de l'énergie nécessaire à la liquéfaction locale du substrat.