FR 2392492 A1 19781222 FR 7815687 A 19780526 La présente invention est relative au traitement d'une pièce à usiner par un faisceau de particules chargées. Elle concerne plus particulièrement ltexécution d'operations, telles que soudage, coupe, fusion, vaporisation, chauffage, usinage ou autres traitements au moyen d'un faisceau de particules chargées, par exemple, un faisceau d'électrons, produit par une machine ayant une chambre à vide (quelquefois appelée "colonne de faisceau") dans laquelle on fait le vide lors du fonctionnement et qui est déplacée par rapport au produit ou à la pièce à usiner. L'invention est concernée par le problème de ltétan- chérit8 de la chambre à vide mobile par rapport à la pièce à usiner. Dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nO 3.136.882, l'ouverture de sortie du faisceau de la chambre à vide d'une machine à souder par faisceau d'électrons est rendue étanche par rapport à la pièce à souder par un anneau d'étanchéité en caoutchouc compressible, comprimé contre la surface de la pièce et glissant sur cette surface. L'intervalle entre les deux parties de la pièce à réunir par soudage et le cordon de soudure produit par la machine sont recouverts par un ruban adhesif. Un élément métallique en forme dtU est fixé par des rubans adhésifs sur le côté arrière de la pièce pour obturer l'intervalle sur le côté de la pièce orienté vers la sortie du faisceau. Un autre procédé connu pour rendre étanche une chambre à vide mobile par rapport à une piece à traiter est de réaliser une étanchéité par étages de pression, ctest-à-dire d'utiliser un certain nombre de zones concentriques à vide progressivement pous sé jusqu'à l'atmosphère de la chambre à vide interne dans laquelle est situé le canon à particules chargées. On sait également d'après le brevet Britannique nO 1.292.338, le brevet Allemand n0 18 05 719 et le brevet rançais nO 69.36856 former un joint d'étanchéité flexible pour une chambre à vide d'une machine à souder par faisceau d'électrons au moyen d'une suspension de particules magnétisables dans un support fluide, tel qu'unie huile aux silicones. La suspension est amenée à un état quasi élastique au moyen d'un champ magnétique unidirectionnel à variations périodiques. Un problème commun à tous les systèmes d'étanchéité connus de ce type est de réaliser une étanchéité correcte dans la région où la zone de la pièce à traiter par le faisceau pénètre dans la chambre à vide et/ou dans la région où la one de la piece qui a été traitée par le faisceau, quitte la chambre à vide.Dans ce qui suit, on utilisera le terme "zone de traitement" à la fois pour la zone de la pièce à traiter par le faisceau et la zone de la pièce qui a e été traitée par ce faisceau, du fait que ces deux zones peuvent créer des problèmes d'étanchéité La zone à traiter comporte souvent un intervalle ou d'autres caractéristiques structurales par lesquelles flair peut pénétrer dans la chambre à vide, et la zone traitée, par exemple, un cordon de soudure, est généra- lement rugueuse et chaude et peut saillir au dessus des portions adjacentes de la surface de la pièce. Ainsi, le problème principal envisage par cette invention est ltétanchéité d'une chambre à vide dans laquelle se trouve un canon ou un générateur de faisceau et qui peut être déplacé par rapport à une pièce à traiter, de façon à procurer une étanche ité appropriée par rapport à la zone à traiter de la pièce. Un autre but de l'invention est de procurer un système d'étanchéité qui procure une étanchéité appropriée entre une chambre à vide et une surface rugueuse, chaude, inégale ou présentant d'autres défauts, et de ce fait, difficile à assurer par les systèmes d'étanchéité connus. Selon un premier aspect important de la présente invention, ce problème est résolu en utilisant une zone dont la largeur est plus grande dans au moins l'une des deux sections d'entrée de la zone de traitement ou de sortie de cette zone. En outre, la zone d'étanchéité comprend de préférence un dispositif pour appliquer des moyens d'étanchéité contre la surface de la pièce, ce dispositif recouvrant une certaine longueur de la zone de traitement, plus grande que la largeur normale de la zone d'étanchéité. Ainsi, le bord de la chambre à vide ou la paroi séparant deux stages de pression dans le sens dtun mouvement relatif par rapport à la pièce, peut être prolongé de sorte que le passage restreint pour la circulation d'air qui existe toujours à un degré plus ou moins grand en travers de la zone d'étanchéité soit allongé. Un autre aspect important de l'invention est de procurer une section d'étanchéité spéciale avec un bottier en forme de caisson, qui forme en fait une espèce de prolongement de la zone d'étanchéité et qui comporte une garniture ou d'autres moyens pouvant se conformer à une surface inégale de la pièce afin de procurer ltétanchéité nécessaire. Le bottier peut comporter un faisceau analogue à une brosse de fils métalliques, par exemple, de fils de laiton, pressés par l'une de leurs extrémités contre la surface de la pièce par un ressort ou un dispositif similaire, tandis que de chaque côté de la garniture en forme de brosse de fils métalliques, on pré- voit de préférence deux garnissages d'une matière déformable ou flexible, par exemple, un tissu, un feutre ou une toison de fibres minérales telles que des fibres d'amiante, de verre ou céramiques. Une autre solution consiste à monter en rotation dans le bottier un ou plusieurs rouleaux successifs. Les extrémités axiales de chaque rouleau viennent étroitement en butée contre les parois latérales du bottier, sa portion inférieure s'applique de façon étanche sur la surface de la pièce, et la périphérie du rouleau, par exemple, sur le côté opposé à la pièce, glisse étroitement et de façon étanche sur le bottier ou tout autre élément d'étanchéité. Au lieu d'utiliser les rouleaux qui viennent dtêtre cités, on peut utiliser un dispositif analogue à une channe ou à une chenille, (à savoir une chenille utilisée dans un tracteur lourd). Une autre solution consiste en un lit de matière en particules, en grains ou en poudre, au lieu d'utiliser la garniture on fils de laiton , ce lit étant rempli par l'extrémité interne, et si on le désire, vidé par l'extrémité externe, la matière étant éventuellement recyclée. Le lit peut être constitué par des grains d'acier ou du sable. On peut utiliser une matière thermoplastique pour aplanir la surface et faciliter l'étanchéité. Une autre solution consiste à appliquer une matière qui forme un corps continu, élastique ou flexible, ou qui peut être amenée par application sous la forme d'un tel corps, sur la zone de traitement avant quelle passe à travers la zone d'étanchéité de façon qu'il se conforme à la surface rugueuse ou aux caractéristiques de surface et forme une couche intermédiaire ayant une surface relativement lisse qui peut être aisément rendue étanche par un système d'étanchéité conventionnel, par exemple, un joint à lèvre . Cette matière forme en fait également une zone d'étanchéité prolongée. La matière est appliquée fermement contre la surface rugueuse, inégale ou fendue à rendre étanche et se conforme aux caractéristiques de surface du fait de sa flexibilité, de sa souplesse ou de son élasticité. Elle se conforme régulièrement et étroitement au joint glissant ou roulant de la chambre à vide mobile. On peut enlever la matière intermédiaire de la surface de la pièce dans une zone dégagée par le système d'étanchéité, c'est-à-dire où la zone d'étanchéité a glissé ou roulé sur la matière. Dans une réalisation spécifique, la matière est ensuite recueillie et recyclée à travers un sas à vide sur ce cÔté du joint mobile où la matière est appliquée. Le sas à vide peut être un simple trou dans une paroi de la chambre à vide, qui a été rendu étanche par la matière comprimée au travers. Le produit peut etre, par exemple, une bande, un ruban ou un cordon de caoutchouc très mou avec une bande textile de renforcement, centrale ou intérieure. En variante, le produit peut etre appliqué à l'état pulvérulent, liquide ou pâteux sur la surface à rendre étanche et transformé ensuite thermiquement pour être amené à un état continu, solide et élastique, de façon à pouvoir être aisément enlevé (arraché) de la pièce en aval de la zone d'étanchéité. Le produit peut contenir un pourcentage élevé d'une matière de nombre atomique élevé, comme le plomb, pour assurer l'étanchéité nécessaire aux rayons X. Ceci est une caractéristique souhaitable, mais non nécessaire, et on peut utiliser d'autres produits, par exemple, une bande ou un cordon de fibres d'amiante, si l'étanchéité aux rayons X est obtenue par d'autres moyens. Dans tout système d'étanchéité utilisé en liaison avec une machine à faisceau de particules chargées, on doit se préoc cuper d'empêcher les rayons X de s'échapper de l'intérieur de la chambre à vide par la zone d'étanchéité vers l'extérieur. Une réalisation importante de I'invention comporte une combinaison d'une étanchéité à étages de pression avec un joint à lèvre, par exemple, un système dans lequel le bord d'un ou de chaque étage de pression d'une étanchéité à étages de pression est équipé d'un joint à lèvre flexible pour améliorer l'étanchéité et réduire les fuites. L'invention sera bien comprise à la lecture de la description détaillée, donnée ci-après à titre d'exemple seulement, de plusieurs réalisations préférées, en liaison avec le dessin annexé sur lequel La figure 1, est une vue très schématique, en coupe et en élévation, d'une partie d'une machine à souder par faisceau d'électrons et d'une pièce soudée La figure 2, est une vue en plan schématique du système d'étanchéité de la machine de la figure 1 La figure 3A, est une vue de dessous d'un système d'étan chéitfi à étages de pression selon une réalisation de l'invention La figure 3B, est une vue en coupe selon la ligne B-B de la figure 3A La figure 3C, est une vue en coupe le long de la ligne C-C de la figure 3A ;; La figure 4, est une vue partielle en perspective d'une partie d'un système d'étanchéité selon une réalisation de l'inven- tion La figure 5, est une vue en coupe transversale dans un plan V-V de la figure 4 La figure 6, est une vue en coupe d'une réalisation préférée d'une partie d'un système d'étanchéité à étages de pres sinon La figure 7, est une vue en coupe d'une autre réalisation dlun système d'étanchéité à étages de pression, avec en plus des éléments d'étanchéité à lèvre élastique La figure 8, est une vue en coupe dtun système d'étanchéité pour le coté sortie du faisceau d'une pièce soudée par un faisceau d'électrons La figure 9, est une vue schématique en coupe partielle d'une section d'entrée dans la zone de traitement d'un système d'étanchéité selon une autre réalisation de l'invention La figure 10, est une vue en coupe selon un plan X-X de la figure 9 La figure 11, est une vue en colpe simplifiée de la section de sortie de la zone de traitement d'un système d'étanchéité du type représenté sur les figures 9 et 10 La figure 12, est une vue en coupe d'une modification du système d'étanchéité représenté sur les figures 4 et 5 La. figure 13, est une vue partielle d'une autre modification du système d'étanchéité représenté sur les figures 4 et 5 ; et La figure 14, est une vue de devant des systèmes d'étanchéité des figures 12 et 13. La figure 1 montre de manière très schématique une machine à souder par faisceau d'électrons 10 ayant une chambre à vide 12 mobile par rapport à une pièce 14. La chambre à vide 12 a une ouverture de sortie 16 du faisceau (Figure 2) qui est appliquée de façon étanche contre une surface 18 de la pièce, de manière à permettre un mouvement relatif entre la machine à souder et la pièce . La pièce représentée est constituée par deux plaques 20 et 22 qui forment un intervalle 24 (zone de traitement) dans lequel les plaques 20, 22 doivent être réunies par un faisceau d'électrons 25 produit par un canon à électrons (non représenté) situé dans une section columnaire 26 de la chambre à vide.Le faisceau, qui peut osciller dans une direction transversale à Tinter valle 24, fond la matière de la pièce et forme une ligne de soudure 28 qui présente généralement un cordon de soudure supérieur 30 et un cordon de soudure inférieur 31, ces cordons dépassant généralement un peu au-dessus de la surface essentiellement plane des plaques 20, 22 et rendant cette surface rugueuse et irrégulière. On peut amener une charge ou une matière supplémentaire sous la forme d'un fil ou d'une tige 32 dans la mare de matière fondue formée à ltendroit du soudage par le faisceau 25. On sait quTil faut maintenir un vide très poussé dans une portion intérieure 34 de la chambre à vide dans laquelle le canon à électrons est logé pour que le faisceau 25 se propage. Le système d'étanchéité nécessaire pour maintenir ce vide peut etre divisé en plusieurs zones, qui sont repérées en chiffres romains sur les figures l et 2, à savoir (I) une section latérale du système d'étanchéité qui rend étanche d'ouverture de sortie du faisceau 16, par rapport à la surface en vis-à-vis de la pièce (II) une section à travers laquelle une zone de la pièce à traiter par le faisceau pénètre dans la chambre à vide (section d'entrée de la zone de traitement) ; (III) une zone à travers laquelle la zone qui a été traitée par le faisceau quitte la chambre à vide (section de sortie de la zone de traitement) ; (IV) une partie arrière du système d'étanchéité qui rend étanche le coté sortie du faisceau de la pièce ; et (V) un sas, si nécessaire, pour amener la matière additionnelle en forme de tige ou de fil 32 sur le coté soudage. Le problème envisagé par l'invention est décrit en liaison avec le soudage par faisceau d'électrons ; cependant, des problèmes similaires existent lorsqu'on envisage d'autres opérations de traitement par une machine à faisceau d'électrons ou une machine à faisceau dotions ayant une chambre à vide mobile par rapport à la pièce à traiter. Par exemple, de telles opérations sont la coupe, la fusion, la vaporisation, le chauffage, l'usinage, la gravure (par exemple d'un cylindre d'impression). L'invention peut s1appli quer à detelles opérations, cependant elle sera décrite en considérant le soudage par faisceau d'électrons, car ce soudage est l'une des opérations les plus communes de traitement par faisceau d'électrons. Les sections d'étanchéité latérales (I) posent les problèmes les moins complexes du fait que la surface de la pièce est en général lisse dans cette zone. Il suffit en général d'un élément d'étanchéité élastique, par exemple, celui représenté dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nO 3.136.882 ; une étanchéité à étages de pression est en général suffisante ; toutefois, on décrira plus loin un dispositif d'étanchéité amélioré pour cette section. Il est en général plus difficile de procurer une bonne étanchéité dans la section (II), du fait que la zone de traitement qui pénètre dans la chambre à vide par cette section peut comporter un intervalle, par exemple, l'intervalle 24 formé par les bords frontaux opposés des plaques 20 et 22, ce qui rend ltétanchéité plus difficile. La section (III) est encore plus difficile à rendre étanche, du fait des irrégularités de surface des cordons de soudu re Du fait qu'une partie essentielle du faisceau 25 sort du côté sortie du faisceau de la pièce, la section d'étanchéité arrière (IV) doit être réalisée de façon à ne pas être endommagée par le faisceau. Le sas pour la matière de remplissage 32 dans la section d'étanchéité (V) peut être obtenu par un élément d'étanchéité élastique ou un joint à étages de pression, et de préférence cependant par une combinaison des deux. L'une des mesures pouvant, selon l'invention, être prise individuellement ou en combinaison, consiste à élargir ou augmenter la largeur du système d'étanchéité dans la région de sortie de la zone de traitement et/ou dans la région d'entrée de la zone de traitement. Ainsi, par exemple, le bord de la chambre à vide ou la paroi séparant deux étages de pression est élargi ou prolongé dans la direction des mouvements relatifs par rapport à la zone de traitement de la pièce de façon à allonger le passage restreint de circulation de l'air. Les figures 3A et 3B montrent une chambre à vide ayant un système d'étanchéité à deux étages de pression et une région de sortie de la zone de traitement (II) conçue selon l'invention. Le système d'étanchéité à étages de pression comprend, une paroi interne 40 séparant la chambre à vide intérieure 34 dtune chambre à vide intermédiaire annulaire 42 ayant une paroi extérieure 44 séparant la chambre à vide intermédiaire 42 de l'atmosphère environnante. Sur le côté sortie de la zone de traitement, là où le cordon de soudure supérieur 30 quitte la chambre à vide, la paroi 40 comporte une portion 40a de plus grande largeur. La paroi 44 comporte une portion similaire 44a dont la largeur est prolongée dans le sens du mouvement relatif, par rapport au cordon de soudure 30. L'extrémité frontale des sections de paroi agrandies 40a, 44a qui est représentée sur la figure 3A, peut former une rainure en forme d'U 40b, 44b, (figure 3C) pour recevoir l'extrémité frontale du cordon de soudure supérieur saillant 30. La chambre intérieure 34 et la chambre intermédiaire 32 sont raccordées à des systèmes de pompe à vide appropriés 46, 48 respectivement, comme il est bien connu dans la technique. Pour obtenir une étanchéité correcte dans la section d'entrée de la zone de traitement, l'intervalle 24 24 peut être ob- turé avec deux rubans 50 en feuille métallique et fixés par un adhésif sur la pièce à usiner. Un système d'étanchéité 52, similaire à celui qui vient d'être décrit, peut être prévu sur le côté de la pièce dirigé vers la sortie du faisceau. On décrira ciaprès, en se reportant à la figure 8, une variante préférée d'un système d'étanchéité pour l'arrière de la zone de traitement qui a été soudée par le faisceau. Les figures 4 et 5 montrent une autre réalisation de la section de sortie de la zone de traitement d'un système d'étanchéité selon l'invention. Comme on le voit, une paroi 60 d'une chambre à vide comporte un prolongement 62 en forme de caisson qui forme une section de sortie pour le cordon de soudure 30. La paroi 60 avec le prolongement en forme de caisson 62, peut remplacer les portions de paroi prolongées 40a et/ou 44a de la réalisation de la figure 3, ou peut être~la seule paroi séparant la chambre à vide 34 de l'atmosphère environnante. Le prolongement en forme de caisson 62 comporte deux parois intermédiaires 64, 66, qui divisent l'espace à l'intérieur du caisson 62 en un compartiment central et deux compartiments latéraux. Le compartiment central contient un faisceau en forme de brosse de fils métalliques 68 qui sont pressés par un ressort 70 avec une extrémité contre le cordon de soudure. Chaque compartiment latéral contient un garnissage 72 d'une matière déformable ou flexible, par exemple, un tissu, un feutre ou une toison de fibres minérales, telles que des fibres d'amiante ou de verre. Les parties terminales inférieures des parois latérales 62a du prolongement en forme de caisson 62 et les parois intermédiaires 64, 66 peuvent stévaser en s 'éloignant des garnissages 72, comme on le voit sur la figure 5, pour permettre à ceux-ci de s'étaler sur la surface de la pièce. Sur les deux cotés du prolongement en forme de caisson 62, la paroi 60 est de préférence équipée d'un joint à lèvre 74 qui réduit considérablement les fuites à travers l'étroit intervalle 75 existant dans tous les systèmes d'étanchéité conventionnels à étages de pression. Le dispositif d'étanchéité 74 comporte une feuille allongée en forme de bande 76 d'une matières élastique, de préférence du caoutchouc synthétique, et une film 78 d'une matière à bas coefficient de frottement, par exemple, du polytétrafluoroéthylène ou un polymère similaire. Le joint à lèvre 76-78 est pressé contre la surface de la pièce par un bandeau métallique 80 assujetti à des ressorts. La feuille de caoutchouc 76 peut comporter une portion terminale de plus grande épaisseur adjacente au prolongement en forme de caisson 62, comme on le voit sur la figure 5. La figure 6 montre une réalisation préférée d'un système d'étanchéité qui est une combinaison d'une étanchéité à étages de pression et d'un joint à lèvre et que l'on utilise de préférence pour rendre étanche la chambre à vide dans les sections latérales (I) (figure 2) et les portions des sections d'étanchéité (II) et (III) adjacentes aux sections d'étanchéité de la zone de traitement. L'étanchéité à étages de pression représentée sur la figure 6 comporte trois parois 82, 84, 86 (similaires au système d'étanchéité représenté sur la figure 2) qui forment une chambre à vide intérieure 34 et deux chambres à vide intermédiaires 42a et 42b. Les bords inférieurs des parois 82,84 et 86 s'arrêtent à une courte distance au-dessus de la surface de la pièce en formant de petits intervalles respectivement 76a, 76b, et 76c. Pour réduire les fuites à travers chacun de ces intervalles, on monte un joint à lèvre additionnel pour rendre étanche chacun de ces intervalles, les joints à lèvre étant similaires à l'agencement d'étanchéité 74 qui vient d'être décrit.Ainsi, chaque joint à lèvre comporte une feuille flexible 76, de préférence en caoutchouc tendre synthétique, d'environ 5 mm d'épaisseur, et un film 78 en matière à bas coefficient de frottement, par exemple, en polytétrafluoroéthylène. La structure en forme de bande formée par la feuille 76 et le film 78 est montée, par exemple, bridée, de manière à assurer une étanchéité à l'air, sur la paroi respective, tandis que l'autre portion terminale est pressée par une série de ressorts 88 contre la pièce ; les ressorts sont montés entre une branche d'un bandeau en trime L 90 ayant son autre branche fixée sur la paroi correspondante, un bandeau 80 pointant contre la feuille de caoutchouc. Le joint à lèvre peut être agrandi en prévoyant deux rangées espacées de ressorts 88a, 88b, comme on le voit en combinaison avec la paroi 86 en contact avec l'atmposphère extérieure cependant, les autres parois peuvent également être équipée d'un tel joint à lèvre agrandi. On peut également utiliser les joints à lèvre qui viennent d'être décrits en se reportant à la figure 6 dans un système d'étanchéité ayant une seule paroi séparant une chambre à vide poussée de l'atmosphère extérieure. La figure 7 montre une combinaison plus simple d'un système d'étanchéité à étages de pression et d'un joint à lèvre. Le système d'étanchéité de la figure 7 correspond essentiellement à celui décrit en liaison avec la figure 6, à cette différence près qu'il n'y a pas de ressorts appliquant contre la surface de la pièce la lèvre d'étanchéité constituée par la feuille de caoutchouc 76 et le film anti-friction 78. Dans ce cas, le film 78 se termine de préférence à une certaine distance avant l'extrémité libre de la feuille de caoutchouc, ou bien le film 78 est solidement attaché sur la feuille 76. La figure 8 montre une réalisation préférée de la section d'étanchéité (IV), rendant étanche le cOté arrière, ou sortie du faisceau, de la pièce. La section d'étanchéité représentée sur la figure 8 comprend un élément en forme d'U 92 formant une chambre 94 sur le côté arrière de la zone de traitement de la pièce. Un joint élastique 93 isole la chambre 94 de l'atmosphère extérieure. La chambre comprend deux parties latérales 96 communiquant avec un tybe d'évacuation 98 et une section centrale 100 de plus grande profondeur, qui contient une matière en particules 102, par exemple, une poudre ou des granulés métalliques, et a pour but de dissiper la portion sortante du faisceau d'électrons 25 et/ou d'empêcher la matière fondue de couler hors du coté du soudage La matière 102 peut être d'une granulométrie relativement grossière, ou du sable. Le corps 92 est pressé par un plongeur 106 contre le côté arrière de la pièce, et des rondelles 104 peuvent être disposées à des endroits espacés sur la longueur du corps 92 pour empêcher ceXi-ci de se déformer. Le système d'étanchéité représenté sur les figures 9 à 11 utilise une matière qui forme un corps continu, élastique ou flexible, ou peut être amené sous la forme d'un tel corps lors de l'application sur la pièce, pour se conformer aux caractéristiques de surface de la pièce et former un joint étanche avec une surface relativement lisse qui peut être aisément rendue étanche par un système d'étanchéité à étages de pression et/ou un joint à lèvre. Les figures 9 et 10 montrent une réalisation d'un tel système d'étanchéité utilisé pour le côté entrée de la zone de traitement du système d'étanchéité d'une machine à souder par faisceau d'électrons. Le système d'étanchéité est adapté pour rendre étanche un intervalle relativement large et irrégulier 24 entre les surfaces frontales opposées de deux parties de pièces à relier par soudage par faisceau d'électrons. Le système d'étanchéité 134 de la figure 9 comporte une étanchéité à deux étages du type décrit en liaison avec les figures 6 ou 7, des deux côtés de la pièce.Pour rendre étanche l'intervalle 24, on introduit (par bourrage ou par injection) une matière d'étanchéité, par exemple, un polymère thermoplastique préchauffé, à l'état liquide ou à l'état plastique, dans l'intervalle 24 et on le lisse sur les côtés supérieur et inférieur par des plaques ou patins de lissage 138 (ou des rouleaux). La matière est choisie pour atteindre l'état élastique solide ou très visqueux à l'intérieur de l'intervalle par refroidissement et/ou polymérisation, cet état étant tel que la matière peut être retirée sous la forme d'un corps ou bande continue 140 de l'intervalle après le dépassement de la zone d'étanchéité 134.On peut enlever la matière de l'intervalle par un rouleau de reprise entrainé de façon appropriée, comme il est décrit ci-après en liaison avec la figure 11, ou par une paire de rouleaux 139, auquel cas on peut la renvoyer à l'atmosphère à travers un système de sas 142, là elle est à nouveau liquéfiée par chauffage dans un récipient d'alimentation 144, de façon à la réappliquer à travers un ajutage 136. La matière peut contenir des fibres flexibles allongées, par exemple, des fibres de polyester ou des fibres de verre, ou des matières de renforcement similaires pour augmenter la résistance au déchirement et la continuité de la matière appliquée, de sorte que la bande 140 ne se rompt pas lorsquton ltenlève de l'interne valle 24. Les pièces ont de préférence un intervalle en forme de coin 24, comme on le voit sur la figure 10. La figure 11 montre une réalisation d'une section de sortie de la zone de traitement du système d'étanchéité d'une machine à souder par faisceau d'électrons, comportant une chambre à vide avec une paroi 114. Un cordon ou bande 112 de fibres de verre ou de fibres minérales, par exemple de l'amiante, est utilisé pour aplanir la portion de surface rugueuse comprenant le cordon de soudure 30 de la ligne de soudure. La pièce avec le cordon de soudure 30 se déplace dans la direction d'une flèche 120 par rapport à la paroi 114. La bande 112 provient d'un rouleau d'alimentation 122 supporté en rotation par des moyens non repré senties, à l'intérieur de la chambre à vide 34 et passe en dessous d'un système d'étanchéité 110 comportant un prolongement en forme de caisson 115 de la paroi 114.Le côté inférieur du prolongement en forme de caisson 115 est formé par une feuille flexible 128 d'une matière à bas coefficient de frottement, par exemple, du polytétrafluoroéthylène, qui est pressée par des ressorts t30 contre la bande 112 et la surface de la pièce. La bande 112 aplanit les irrégularités de surface de sorte que le film ou feuille flexible 128 peut procurer une étanchéité avec un faible taux de fuite. Après être passé à travers le système d'étanchéité, la bande 112 est reprise par un rouleau de reprise 124. La bande 112 peut être imprégnée d'un liquide ou d'une graisse à faible pression de vapeur, par exemple, un composé siliconé résistant à la chaleur, pour améliorer les propriétés d'étanchéité. La bande 112 peut être recyclée comme on le voit sur la figure 9. La figure 12 montre une autre variante dtun système d'étanchéité qui est utilisé de préférence dans la section de sortie de la zone de traitement. Le système dans son ensemble peut être similaire à celui représenté sur les figures 4 et 5, à l'exception que le faisceau de fils 68 dans le compartiment mé- dian du prolongement en forme de caisson est remplacé par un ou plusieurs rouleaux 150 ayant une couche de surface 152 en une matière flexible ou élastique, telle qu'un feutre métallique. Les rouleaux portent de façon étanche contre la surface de la pièce 154, qui peut comporter un cordon de soudure 30 qui se loge dans la couche élastique 152. Les extrémités axiales de chaque rouleau viennent étroitement en butée contre les parois latérales du caisson 62' et la périphérie du rouleau sur le côté opposé à la pièce glisse étroitement et de façon étanche contre le côté intérieur d'une paroi supérieure du caisson ou tout autre élément d'étanchéité, par exemple, un joint à lèvre 156. Si lton utilise un certain nombre de rouleaux successifs 150, 150', 150 , on peut raccorder des tuyaux dtévacua- tion représentés schématiquement par les flèches 158 à l'espace entre deux rouleaux adjacents pour former une sorte d'étanchéité à étages de pression. La réalisation de la figure 13 diffère de celle représentée sur la figure 12, principalement en ce que deux rouleaux 150a, 150b supportant une boucle sans fin 152' d'une matière élastique ou flexible, sont utilisés àla place d'un seul rouleau 150. La boucle 152' peut être constituée par un feutre de fibres métalliques ou un tissu de fibres d'amiante ou de fibres minérales, de préférence imprégné d'un liquide ou d'une graisse à faible pression de vapeur, par exemple, un composé siliconé. La paire de rouleaux 150a, 150b équipée de la boucle ou bande sans fin 152', fonctionne comme dans le cas du rouleau unique 150 et de la bande 152 de la figure 12. Le système de la figure 13 procure, cependant, un plus grand traJet de fuite par comparaison au cas du rouleau unique 150. Bien entendu, on peut utiliser successivement un certain nombre de paires de rouleaux. REVENDICATIONS 1.- Système d'étanchéité pour une chambre à vide d'une machine destinée à traiter une pièce par un faisceau de particules chargées, produit par un canon monté à l'intérieur de la chambre à vide, cette chambre à vide étant montée pour pouvoir se déplacer, par rapport à la pièce et ayant une ouverture de sortie du faisceau entourée par une zone d'étanchéité pour rendre étanche cette ouverture par rapport à une surface de la pièce, de façon à permettre un mouvement relatif, la pièce comprenant une zone de traitement allongée qui, lorsqu'il y a déplacement relatif de la chambre à vide par rapport à la pièce, pénètre dans la chambre à vide par une section d'entrée de cette zone d'étanchéité, est traitée par le faisceau et quitte ensuite cette chambre à vide par une section de sortie de cette zone d'étanchéité, caractérisé en ce que, pour améliorer ltétanchéité de la chambre à vide dans cette zone de traitement, la zone d'étanchéité a une largeur augmentée dans le sens du déplacement relatif dans au moins l'une des sections denturée ou de sortie. 2.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zone d'étanchéité comporte un système d'étanchéité à étages de pression dont au moins un étage est en outre équipe d'un joint à lèvre flexible. 3.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que la section comporte un boitier contenant une garniture d'éléments en forme de fils et des moyens pour presser ces éléments en forme de fils par une de leurs extrémités contre la surface de la pièce. 4.- Système d'étanchéité selon la revendication 3, caractérisé en ce que ce boitier a un compartiment central, dans lequel sont logés les éléments en forme de fils, et deux compartiments latéraux de part et d'autre du compartiment central, et en ce que chaque compartiment latéral contient un garnissage de matière d'étanchéité et des moyens pour appliquer ce garnissage contre la surface de la pièce. 5.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette section comporte un prolongement en forme de caisson dans lequel un rouleau au moins est monté en rotation de façon à venir en butée étanche contre la surface de la pièce, et est appliqué de façon étanche contre les parois latérales et supérieures du prolongement en forme de caisson. 6.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette section comporte un prolongement en forme de caisson à l'intérieur duquel une paire de rouleaux au moins est supportée en rotation, que cette paire de rouleaux supporte une bande sans fin en matière d'étanchéité élastique qui applique de façon étanche contre une surface de la pièce, et coopère de façon étanche avec les parois latérales et la paroi supérieure du prolongement en forme de caisson. 7.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que les portions de la zone d'étanchéité adjacentes à cette section comportent un joint à lèvre comportant un élément en feuille flexible et des moyens pour appliquer élastiquement cet élément en feuille flexible contre la surface de la pièce. 8.- Système d'étanchéité selon la revendication 7, caractérisé en-ce que la feuille flexible est en caoutchouc synthétique. 9.- Système d'étanchéité selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'un film d'une matière à bas coefficient de frottement est interposé entre l'élément en feuille flexible et la pièce. 10.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que la section de plus grande largeur est formée par une portion terminale élargie d'une paroi formant une portion du système d'étanchéité. 11.- Système d'étanchéité selon la revendication 10, caractérisé en ce que cette portion terminale comporte une rainure pour recevoir le cordon de soudure. 12.- Système d'étanchéité selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette section comporte un dispositif pour appliquer une matière flexible dans la zone de traitement. 13.- Système d'étanchéité selon la revendication 12, caractérisé en ce que cette matière flexible est un élément continu allongé d'une matière d'étanchéité, et que le système d'étanehéi- té comporte des moyens pour amener cette matière dans la zone de traitement avant de passer sous la zone d'étanchéité. 14.- Système d'étanchéité selon la revendication 12, caractérisé par des moyens pour appliquer une matière qui se conforme-aux caractéristiques superficielles de la pièce et qui se transforme en un corps continu dans la zone de traitement, et par des moyens pour enlever cette matière sous la forme d'un corps continu après passage du système d'étanchéité.