FR 2397069 A1 19790202 FR 7819582 A 19780630 L'invention concerne un procédé pour fabriquer une cellule de mémoire à semiconducteurs intégrée, constituée par un transistor à effet de champ comportant une électrode de commande isolée et un condensateur, et selon lequel on réalise à la surface d'un cristal semiconducteur possédant un premier type de conductivité deux zones prévues en tant que source et en tant que drain du transistor à effet de champ et possédant un second type de conductivité, au moyen d'une modification locale du dopage de deux régions du cristal semiconducteur7 disposées côte à côte en étant séparées, et selon lequel en outre on équipe la surface du semiconducteur située entre les deux zones, d'un revêtement en forme de couche constituée par un matériau isolant inorganique et on réalise, sur ce revetement, l'électrode de commande du transistor à effet de champ et selon lequel enfin, lors de la fabrication d'au moins l'une des deux zones, on utilise deux processus successifs de dopage, effectués l'un avec un accepteur, l'autre avec un donneu##ooiés respectivement à une modification du dopage des régions alors concernées du cristal semiconducteur, en obtenant de ce fait au moins une partie importante du condensateur de la cellule de mémoire. Un tel procédé est décrit dans l'article "IEEE Transactions on Electron Devices" (Octobre 1976), pages 1187 à 1189 sous le titre "Enhanced Capacitor for One-Transistor Memory Cell". Ce procédé part par exemple d'un cristal de silicium conducteur du type p dans la surface duquel on réalise deux zones + du type n disposées cote à cote. Ceci peut être réalisé par dif- fusion masquée ou par implantation.Alors un élément accepteur est tout d'abord inséré par implantation dans une région jouxtant l'une des deux zones sur un côté de ladite zonewsitué à l'opposé de l'autre zone, avec apparition d'une zone p+, de telle manière que le matériau jusqu'alors conducteur du type p de la région contiguë passe à l'état de matériau du type p , qui s étend dans le cristal semiconducteur jusqu'à une profondeur T qui est au moins égale à la profondeur des deux zones de type n Alors, au cours d'un second processus d'implantation avec des ions donneurs, on réalise la modification du dopage de la partie supé- + de rieure de la région de type p pour obtenir une région du type n constituant, avec la zone contiguë de type n+, une région continue, tandis que la partie inférieure de la zone de la région de type p reste telle quelle. Outre les processus de dopage décrits, la surface du cristal de silicium située entre les deux zones de type n est munie, au dessus du prolongementobtenu au moyen des deux processus de dopage décrits précédemmenty d'une zone de type nn+, d'une couche isolante constituée par du SiO2 pur, par exemple par dépôt pyrolytique à partir de SiH4 en présence d'oxygène raréfié , et l'on réalise, sur ladite couche, aussi bien à l'ex + terieur de la région située entre les deux zones de type n prévues en tant que régions de source et région de drain & un transistor à effet de champ, ainsi qu'au dessus du prolongement de L'une l'une des zones de type n , respectivement une électrode de porte constituée par du silicium polycristallin, ctest-à-dire une électrode de commande agissant de façon capacitive sur le corps semi##nducteur. A titre de variante de l'exemple de réa libation décrit, tous les types de conductivité peuvent être inversés dans le cas de cet exemple. La cellule obtenue est désignée sous le nom de "cellule de mémoire à un transistor" > étant donné que l'on doit enregistrer au-moyen du prolongement ou de l'accroissement indiqué de la zone de source ou de la zone de drain un accroissement important de la capacité électrique et par conséquent = pouvoir de mémorisation de la cellule, d'une part par suite de l'agrandissement décrit de la jonction pn de la zone de source ou de la zone de drain du transistor à effet de champ, et par suite de la pente plus raide de la jonction pn provoquée le long d'une partie importante de la jonction pn en raison de la la zone de type p contiguë1, et d'autre part en raison de la présence de l'électrode de commande capacitive servant de raccord ou de borne pour la cellule. Un avantage important d'une telle "cellule de mémoire à un transistor" doit être vu dans le fait qu'elle fournit la capacité de mémoire nécessaire dans un espace réduit - par rapport à d'autres cellules de mémoire à semiconducteurs, par exemple des cellules du type bascule bistable - en sorte que l'ensemble de la cellule n'occupe qu'un faible volume du cristal semiconducteur disponible à l'intérieur d'une matrice de mémoire. Inversement ceci signifie que, dans le cas de l'ucilisation de telles cellules de mémoire à un transistor, on peut réaliser les matrices de mémoire et par conséquent les mo dules de mémoire avec une densité particulière de cellules. Les cellules de mémoire à un transistor connues d'après l'article "IEEE Transactions on Electron Devices" (Octobre 1976), pages 1187 et suivantes, ont une capacité de mémorisation obtenue en partie sur la base d'un agrandissement et d'une augmentation de la pente de la jonction pn, soit de la zone de source, soit de la zone de drain, mais en partie également par l'intermédiaire d'une électrode de commande supplémentaire agissant de façon capacitive sur la zone agrandie- et qui constitue simultanément une électrode de raccordement.Cependant parfois il est également intéressant d'utiliser, dans le cas de la réunion de plusieurs cellules de mémoire à semiconducteurs dans un cristal commun pour former une matrice de mémoire, soit la zone de source, soit la zone de drain en tant que raccord ou liaison électrique avec les cellules présentes dans la même ligne de matrice ou dans la même colonne de matrice en dehors de la cellule de mémoire considérée, en sorte que l'on ne s'intéresse pas à un raccordement capa#citif de la zone de source ou de la zone de drain.En outre il peut être souhaitable de disposer d'un moyen supplémentaire pour accrottre la capacité de mémoire d'une cellule de mémoire à un transistor dont l'utilisation, par exemple dans le cas d'une cellule conforme à ce qui est indiqué dans l'article de littérature cité plus haut, exige un accroissement de la surface du cristal semiconducteur, disponible pour la cellule individuelle. Ce problème est résolu conformément à l1inven- tion grssce au fait que, lors de la fabrication d'au moins l'une des deux zones du cristal semiconducteur, prévues pour former la source ou le drain pour le transistor à effet de champ de la cellule de mémoire, on soumet tout d'abord une région d'un seul tenant A de la surface du cristal semiconducteur à l'influence d'une substance dopante fournissant le type de conductivité opposé à celui du cristal semiconducteur et l'on insère la substance dopante dans le cristal semiconducteur de telle manière qu'une région du cristal semiconducteur, déterminée par la grandeur et la forme de la région A et s'étendant jusqu a une profondeur T, change de type de conductivité avec l'apparition d'une jonction pa, qu' une région partielle B de la région A, qui est d'un seul tenant et qui-s'etend jusqu'au bord de la région A de la surface du cristal semiconducteur, est soumise à l'influence d'une substance dopante fournissant le type de conductivité du cristal semiconducteur et que la substance dopante est insérée en cet endroit dans le cristal semiconducteur de telle manière qu'une région du cristal semiconducteur, déterminée par la grandeur et par la forme de la région partielle B et s'étendant jusqu a la profondeur t, inférieure à T, change une seconde fois de type de conductivité avec l'apparition d'une jonction pn , et que finalement au moins les parties les plus profondes des jonctions pn apparaissant au cours des deux processus de dopage sont conservées pour réaliser la limite de la source ou du drain du transistor à effet de champ. Comme on le voit aisément, lors du premier processus de diffusion, il apparaît une jonction pn s'étendant jusqu a la profondeur T et qui limite en l'entourant la région, à dopage modifié, du cristal semiconducteur. Sous l'effet du second processus de diffusion, une partie de cette jonction pn est alors "effacée" , mais les parties de cette jonction pn, situées à une profondeur plus importante que la profondeur ts restent intactes.Etant donné cependant que, par suite du second processus de dopage, il se produit une modification du dopage d'une partie de la région semiconductrice dont le dopage a déjà été modifié par le premier processus de diffusion, il se forme une nouvelle jonction pn à la limite entre la région, dont le dopage a été modifié deux foisJet la région dont le dopage a été modifié une fois, ladite nouvelle jonction pn se raccordant de façon continue, sans défaut , à la partie subsistante de la jonction pn obtenue lors du premier processus de dopage et formant avec cette dernière la limitation de la zone possédant le type de conductivité opposé et produite de cette façon dans le cristal semiconducteur. Etant donné que cette zone est constituée par une première partie s'étendant jusqu'à la profondeur T perpendiculairement à la surface du semiconducteur et par une zone s'étendant parallèlement à la surface du semiconducteur entre les profondeurs t et T, on obtient un agrandissement non négligeable de la jonction pn, sans nécessiter de ce fait une partie, correspondant à la taille de la jonction pn, de la surface du cristal semiconducteur - à l'opposé d'une réalisation usuelle de la jonction pn - de la zone entourée par cette jonction. Assurément en se passant de cet avantage, on ne peut obtenir l'avantage en général nettement plus important d'un accroissement supplémentaire de la capacité de mémoire lorsqu'on soumet, conformément à l'invention, une région C de la surface du cristal semiconducteur, englobant totalement la région partielle C de la surface dudit cristal, à l'action d'une substance dopante fournissant le type de conductivité opposé à celui du cristal semiconducteur, au cours d'un troisième processus de dopage lors de la fabrication de la zone de source ou de la zone de drain, devant être réalisée, et que la substance dopante est insérée à cet endroit dans le cristal semiconducteur de telle manière qu'une région du cristal semiconducteurs qui est déterminée par la taille et par la forme de la région C et qui s'étend jusqu'à la profondeur T (avec la condition que T est in férieurtà t) subit une modification de son type de conductivité avec l'apparition d'une jonction pn. Alors on choisit de préférence la région C de manière qu'elle soit identique à la région A de la surface du semiconducteur. Les substances dopantes sont insérées soit par diffusion, soit par implantationdtions, le dernier procédé indiqué étant recommandé de préférence. A titre d'exemple on a décrit ci-dessous et illustré schématiquement aux dessins annexés un mode d'exécution du procédé conforme à l'invention En se référant aux figures 1 à 7, qui montrent dans leur ensemble, au moyen de hachures; les zones de source et de drain, obtenues lors des deux ou trois processus de diffusion ou d'implantation conformément à l'invention, on peut identifier en outre les contours des régions, dont le dopage a été modifié lors du premier processus de diffusion, par les traits formés de tirets, les régions, dont le dopage a été modifié au cours du second processus de dopage, au moyen de lignes formées de traits et de points, et les régions, dont le dopage a été modifié lors du troisième processus de diffusion, au moyen d'un entourage par un trait ininterrompu.En outre les régions, dont le dopage a été modifié lors du premier processus de dopage, portent les références 2 ou 2', tandis que les ré gions, dont le dopage a été modifié lors du second processus de dopage, portent les références 3 et 3' et que les régions, dont le dopage a été modifié lors du troisième processus de dopage, portent les références 4 et 4'. Sur la figure 1 on a représenté une vue en coupe d'une cellule de mémoire à un transistor réaliséau moyen du procédé conforme à l'invention. Lors de la fabrication de cette cellule de mémoire, on est parti d'une pastille de silicium 1 monocristalline, conductrice du type p et possédant par exemple une concentration d'accepteurs égale par exemple à 1016 cm 3 et l'on a réalisé , dans cette pastille de silicium, au moyen d'une implantation d'ions-donneurs ou au moyen d'une diffusion d'atomes donneurs moyennant l'utilisation de masques cor respondants, respectivement deuxcouplesde zones 2, 2' qui sté- tendent jusqu'à une profondeur T à l'intérieur du cristal semiconducteur.Les deux zones 2 et 2' sont fortement dopées, ce sont par exemple des zones du type n . Si l'on prend comme substance- dopante par exemple du phosphore, il est recommandé d'utiliser une concentration d'environ 1018 cl 3. La profondeur maximale T de la jonction pn des deux zones 2 et 2' est réglée de façon appropriée à 1 e Il faut encore noter que la région de la surface semiconductrice A, réalisée d'avance au moyen d'un Masque de diffusion ou d'implantation, doit être choisie par rapport à la région prédéterminée pour l'autre zone 2', de telle manière que les zones 2 et 2' constituent la zone de source et la zone de drain d'un transistor à effet de champ MOS. Pour la seconde phase opératoire du procédé conforme à l'invention, on dispose d'une région partielle B de la région A de la surface du cristal de silicium 1, utilisée comme porte dans le cristal semiconducteur pour le premier processus de diffusion P0df l'insertion par diffusion ou pour 1 'im- plantation d'un accepteur. La concentration d'accepteurs devant être insérée par diffusion ou implantée doit etre choisie suffisamment élevée pour que dans la région du cristal de silicium, dont le dopage a été modifié par le premier processus de dopage, soit formée une zone superficielle 3 possédant un dopage modifié et qui possède par conséquent le type de conductivité du cristal initial 1. Les régions A et B peuvent avoir par exemple les limites visibles sur la figure 2. Comme on le voit d'après la figure 1, outre les régions A et B de la surface du cristal de silicium, d'autres régions situées du même côté de la surface que lesdites régions, ont été soumises simultanément au premier ou au second - processus de diffusion, ce qui est possible, de façon connue, au moyen d'une conformation adéquate des masques de dopage utilisés pour les deux processus de dopage (masques de diffusion ou masques d'implantation). L'une des deux zones Z1 nécessaires en tant que source ou drain pour le transistor à effet de champ, est déterminée par le reste, dont le dopage n'est plus modifié par le second processus de dopage, de la région du cristal semiconducteur 1, dont le dopage a été modifié par le premier processus de dopage et qui s'étend jusqu'à la profondeur T.La seconde de ces deux zones Z2 est apparue en commun avec la zone Zl lors du premier processus de dopage. Elle s'étend par consé quent également jusqu'à la profondeur T. La surface de cette zooe était eependant masquée pendant le second processus de dopage en sorte qu'à l'opposé de la région A, il ne s'est formé ici aucune zone 3 produite par une modification de dopage décrite. La zone Zl sert par exemple de source, tandis que la zone Z2 sert par exemple de drain du transistor à effet de champ. La région située entre les deux zones Zl et Z2 est munie, de façon connue, d'un revêtement SiO2 ou bien d'un autre matériau isolant inorganique approprié, tel que par exemple du nitrure de silicium ou un oxyde d'aluminium, sur lequel on dépose une électrode constituée soit par un métal, notamment de ltaluminium ou de l'aluminium et du titane, soit par du silicium dopé, par dépôt par vaporisation ou dépôt pyrolytique à partir de la phase gazeuse. Dans la mesure où elle est constituée par un métal, l'électrode de commande est désignée par la référence 6, tandis que dans le cas où elle est constituée par du polysilicium, elle est désignée par la référence 7.La couche isolante portant l'électrode de commande est affectée de la référence 5. La capacité de la cellule de mémoire est formée par la jonction pn de la zone Zl conductrice du type n+ par rapport à son environnement conducteur du. type p ou du type p+. Alors la zone Zl s'étend tout d'abord (en étant rétrécie par la zone 3, dont le dopage a été modifié pour la seconde fois lors du second processus de dopage) perpendiculairement à la surface du semiconducteur, en profondeur, puis est coudée et étend horizontalement.Sa limite inférieure constitue la jonction pn, apparaissant à la profondeur T et réalisée lors du premier processus de dopage, par rapport au matériau originel conducteur du type p du cristal semiconducteur 1, tandis que sa limite supérieure est formée par la jonction pn qui est apparue lors du second processus de dopage à la profondeur t et qui constitue la limite entre la région 3, dont le dopage a été modifié pour réaliser une conductivité de type p pendant le second processus de dopage, et + la région 2 conductrice du type n . Les parties latérales de la jonction pn enserrant la zone Z1 sont déterminées par la géromé trie des deux régions A et B à la surface du semiconducteur ou bien par la fenÊtre de dopage des masques de dopage déterminant ces régions. Etant donné que la jonction pn enveloppant la zone Z1 occupe une surface importante et possède en outre, par suite du dopage élevé de la zone Z1, une capacité élevée par rapport à l'unité de surfacepeie jonction pn constitue une capacité de mémorisation importante qui rend inutile l'utilisation d'une capacité supplémentaire.Il est alors indiqué de dimensionner la région A avec une surface de 100 g et de dimen sionner la région B avec une surface de 80 La disposition des régions A et B l'une par rapport a l'autre et par rapport à l'électrode de commande du transistor à effet de champ peut être choisie, comme par exemple dans le cas desdispositifs représentés sur les figures 1, 2 et 4, de telle manière que la région partielle B par rapport à la région A et par rapport à l'autre zone Z2, dont le dopage a été modifié et qui est prévue en tant que source ou drain du trar#sistor à effet de champ, contacte seulement le bord de la région A en des points situés à l'opposé de l'suture zone Z2 Selon une vue en plan, la disposition des régions A et B par rapport à l'électrode de référence 6 peut être telle que représentée sur la figure 2. Comme variante de ceci, il est également possible d'avoir une disposition des deux régions A et B, dans laquelle la région B est disposée par rapport à la région A et par rapport à l'autre zone Z2 prévue en-tant que source ou drain du transistor à effet de champ, de telle manière que la région par tielle B contacte le bord de la région A uniquement en des endroits tournés vers l'autre zone Z2 C'est cette possibilité qui a été utilisée dans les formes de réalisation des figures 3, 5 et 6. En complément de la figure 1 il faut encore indiquer que, comme cela est déjà par ailleurs usuel dans lecas de cellules de mémoire sur une région semiconductrice, on réalise un grand nombre de telles cellules de mémoire sur une surface d'un cristal semiconducteur 1 en forme de pastille lesdites cellules de mémoire étant alors disposées suivant les lignes et les rangées d'une matrice rectangulaire ou carrée de mémoire et pouvant être adressées individuellement par l'intermédiaire de liaisons électriques respectivement associées aux différentes lignes et aux différentes colonnes.Si lBon suppose à ce sujet que la figure 1 constitue une partie d'une vue en coupe prise suivant une ligne (ou suivant une colonne) d'une telle matrice, d'autres éléments de mémoire sont disposés des deux côtés d'un élément de mémoire considéré ( in (indépendamment du premier élément de mémoire et du dernier élément de mémoire de la ligne ou de la colonne considérée). Dans le cas du dessin représenté sur la figure 1, on peut identifier pour l'élément voisin de gauche la zone analogue à la zone Z2 et pour l'élément voisin de droite une partie de la zone analogue à la zone Z1 (on voit en outre que les éléments voisins sont constitués avec une symétrie par rapport à l'élément central). On voit en outre encore sur la figure 1 que, également, la seconde diffusion ou implantation lors du procédé conforme à l'invention nta pas besoin d'être limitée à la région partielle B de la région A, mais peut également s'étendre sur une région D n'appartenant pas à la région A et qui est également reliée d'un seul tenant à la région B Comme cela ressort de la figure 1, la région D s'étend au dessus de la zone comprise entre les transistors respectivement voisins et constitue avec la région B du transistor voisin de droite - de même qu'avec la région B de la cellule de mémoire représentée entièrement - une zone commune 3 dopée du type p , dont la partie centrale 3" est dopée du type p++. Entre les deux zones Z2 de cette cellule de mémoire et la cellule de mémoire voisine de gauche est également prévue une région 3' conductrice du type p ++ et munie du type de conductivité p renforcoesous l'action du second processus de dopage, et qui trouve son analogue dans la partie centrale 3" de l'en + semble de ons 3, 3", 3 > dopé Su type p+, qui est apparu à droite de l'élément de mémoire représenté au centre du dessin, sous l'effet du second processus de dopage. Ces zones 3, 3", 3 + fortement dopées du type p servent d'éléments d'arrêt de canal entre les capacités de mémoire de cellules de mémoire voisines d'une part et entre les zones Z2 de transistors à effet de champ voisins des cellules de mémoire d'autre part. Si lton suppose que la coupe représentée sur la figure 1 est parallèle à une ligne d'une matrice de mémoire réalisée sur la base du procédé conforme à l'invention, on réalisera de façon appropriée les zones Z2 perpendiculairement à cette direction sous une forme de poutre et on les associera en tant que zone Z2 en commun à tous les transistors de mémoire à effet de champ prévus dans la colonne considérée de la matrice. Au contraire on réalisera les zones Zl individuellement pour chacun des transistors à effet de champ prévus dans la colonne et dans la ligne individuelles. Il en sera de même pour les élec trodes de commande 6. Dans le cas du dispositif représenté sur la Figure 3, il faut Indiquer que l'on a utilisé le troisième procédé de dopage, pr & u selon une variante de l'invention, avec une substance dopante produisant le type de conductivité opposé à celui du cristal semiconducteur. Alors la région C soumise à ce dopage avec cette substance dopante a été choisie identique à la région A du premier processus de dopage.De ce fait la zone Z1 des différentes cellules de mémoire à transistors a reçu, en coupe, une allure en forme de U étant limitée, à la profondeur T, par la jonction pn formée lors du premier processus de dopage et, à la profondeur t, par la jonction pn obtenue lors du second processus de dopage, tandis que l'autre branche du U est limite en profondeur par la jonction pn produite lors du troisième processus de dopage et, de l'autre côté, par la surface du cristal semiconducteur. A la différence de la représentation de la figure 1, la zone Z2 n'est pas réalisée au cours du premier processus de dopage, mais seulement lors du troisième processus de dopage, ce qui n'entraîne aucune difficulé fondamentale par suite d'une conformation correspondante de masques de dopage utilisés respectivement lors du premier, du second et du troisième processus de dopage (masques de diffusion ou masques dlimplantation);; Si l'on considère la variante représentee sur la figure 3, on règle de façon appropriée la concentration lors du premier processus de dopage à 5.1016 atomes donneufl0/cm3, la concentration lors du second processus de dopage à 1018 atomes accepteurs/cm3 et la concentration lors du troisième processus de dopage à 5.1019 atomes donneurs/cm . Le dopage initial du cristal semiconducteur, conducteur du type p, est égal à 1015 atomes accepteurs/cm3. Il est clair que, pour de telles indications, il ne s'ait que d'exemples.Il en va de même pour les profondeurs T, t et voir figure 3), qui peuvent être par exemple telles que T = 1,5 r > t = 1 t et = 05 t - Lors de l'obtention de la forme de réalisation visible à la figure 4, on a choisi la région partielle B, lors de la mise en oeuvre du second processus de dopage, par rapport à la région A de la surface du semiconducteur de telle manière que ladite région partielle B contacte le bord de la région A exclusi- vement en des endroits du bord de la région A, tournés vers l'autre zone Z2 En outre la région partielle B se prolonge, au niveau de cet endroit} en une région D de la surface du semiconducteur, située à l'extérieur de la région A et qui dans le cas du transistor fini, comme cela est visible sur la figure 3, se décale légèrement en dessous de la couche d'oxyde 5 portant l'électrode de commande 6, en sorte que par suite du second processus de dopage, il est apparu au dessous de la région superficielle D une région 3+ dopée du type p qui s'étend jusqu'à la profondeur t au-dessous du bord droit de la couche d'oxyde de porte 5 et de l'électrode de commande (électrode de porte) 6. A 11 opposé des figures 1 et 3, les zones 3' d'éléments d'arrêt de canal dopées du type p++ et apparues lors du second processus de dopage entre les zones Zl et Z2 de transistors de mémoire à effet de champ voisins, sont toutes complètement sé + parées des zones 3 de type p apparues au-dessous des régions par- tielles B de la surface du semiconducteur, ce qui doit être pris en compte par suite de la conformation ou forme adéquate du masque de dopage devant être utilisé dans ce cas lors du second processus de dopage, La forme de réalisation représentée sur la figure 5 permet en outre, par rapport aux variantes représentées sur les figures 1 à 4, de prendre une concentration de donneurs de la zone Zl , limitée par la jonction pn servant de capacité de mémoire, supérieure à celle de l'autre zone Z2 , afin d'obtenir une pente plus raide de la jonction pn et par conséquent un accroissement de la capacité. Cette méthode peut être également utilisée conformément à une variante de l'invention lorsque l'on a dans l'idée, pour réaliser la zone Z1, de n'effectuer qu'un seul processus de dopage, à savoir la conversion de la région, conductrice du type p à l'origine et s'étendant au-dessous de la région superficielle A jusqu'à la profondeur T, en une zone Z1 dopée +4 dopée du type n ou du type n (sans transformation ultérieure + d'une partie de cette zone en une zone 3 de type p Dans le cas de l'exemple de la figure 5, on prévoit assurément une telle zone 3 dopée du type p . En outre, dans le cas de cet exemple, l'électrode de commande est constituée par une couche de polysilicium 7 déposée sur la couche isolante 5 en SiO2.Les deux zones Z1 et Z2 sont réalisées par implantation, pour laquelle on a choisi, dans le cas de la zone Z1, une densité d'implantation d'ions accepteurs, qui est plus élevée que dans le cas de la zone Z2. Dans le cas de la possibilité , représentée sur la figure 6, de mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention la région A de la surface du cristal semiconducteur 1 s'étend respectivement sur la région, attribuée globalement aux deux zones Zl et Z2, et au-dessus de la région de la surface du semiconducteur, recouverte ultérieurement par la couche d'oxyde 5 et par 17électrode de commande 6. La région partielle B occupe la région intercalaire située entre les régions occupées par les deux zones Z1 et-Z2 à la surface du cristal semiconducteur 1, et est donc identique à la région de la surface du semiconducteur, recouverte ultérieurement par ltélectrode de commande 6. Mais en outre la région partielle B se prolonge en une région superficielle D située à l'extérieur de la région A et qui forme la surface de la zone Z2 , qui doit être réalisée seulement lors du troisième processus de dopage, du transistor à effet de champ. Lors du troisième processus de dopage avec une substance dopante fournissant le type de conductivité opposé à celui du cristal semiconducteur 1, on forme alors des zones superficielles 4 et 4' + conductrices du type n et qui constituent la région superficiel- le 4 de la zone Zl et la zone Z2 Il faut encore remarquer que dans le cas de cette variante du procédé conforme à l'invention, la majeure partie de la jonction pn limitant la zone Z1 s'étend parallèlement à la surface du semiconducteur au-dessous de l'électrode de commande 6 et au-dessous de l'autre zone Z2 importante pour le transistor, ce qui présente l'avantage que la capacité de mémoire peut être encore accrue de façon supplémentaire. En ce qui concerne la figure 7, il faut remarquer que, lors de la fabrication d'une cellule de mémoire à un transistor correspondante, la région A de la surface du cris tal semiconducteur est choisie, compte-tenu de la position de w lectrode de commande 6 restant encore à fabriquer, de telle ma nière qu'approximativement la moitié, tournée vers la zone Z1 restant à réaliser, de la région recouvrant de façon capacitive l'électrode de commande 6 fait partie de la région A. La région partielle B de la région A est alors identique à la partie de la région A, située ultérieurement au-dessous de l'électrode de commande 6.En outre la surface du semiconducteur, qui doit être soumise au second processus de dopage, se prolonge à nouveau en une région D de la surface du semiconducteur, qui jouxte la région partielle B et qui se situe également au-dessous de lsélectrode de commande 6 réalisée ultérieurement et se trouve seulement à une faible distance de la zone Z2 réalisée ultérieurement. Tout comme dans le cas de l'exemple de réalise sation décrit en référence à la figure 6, les régions A et C ne sont pas identiques; C n'occupe ici que la partie de la région A, non recouverte par l'électrode de commande réalisée ultérieurement (c'est-à-dire la région A moins la région partielle B), tandis que dans le cas de la figure 5 la région superficielle C est égale à la région A moins la région partielle B et moins la partie de surface occupée par la zone Z2 Par ailleurs les trois processus de dopage sont réalisés conformément aux indications précédentes relatives aux figures 4 et 6.Comme dans chacune de ces dernières, la zone Z2, qui ne constitue pas la capacité de cellule de la mé- moire, est réalise en commun avec la région superficielle 4 de la "zone de capacité" Zl lors du troisième processus de dopage. Dans les modes d'exécution précédents, on décrit par conséquent un procédé au moyen duquel on peut fabriquer des mémoires à semiconducteurs comportant des cellules de mémoire à un transistor possédant une densité élevée de bits. En outre des transistors bipolaires et des transistors MOS possédant de très faibles longueurs de canal peuvent être réalisés moyennant l'utilisation de procédés existants d'exposition. Si l'on veut réaliser de tels transistors en commun avec une cellule de mémoire, on peut par exemple utiliser en supplément le premier et le second processus de dopage pour réaliser un transistor bipolaire comportant comme zone de collecteur une région semiconductrice possédant encore le dopage originel du cristal semiconducteur 1.D'autre part, dans le cas de la réalisation de cellules de mamoire conformément aux figures 3, 4, etc., on peut utiliser les phases opératoires, décrites en référence, pour fabriquer un tr#r#sistor bipolaire , en réalisant simultanément la zone de collecteur avec le premier processus de dopage, la zone de base avec le second processus de dopage et la zone d'émetteur du transistor bipolaire avec le troisième processus de dopage, au moyen d'une technique de dopage avec masque Lors de la fabrication d'une cellule de mémoire à un transistor, il faut s'efforcer d'obtenir un rapport Cs/CB élevé, C5 représentant la capacité de mémoire et-CB désignant la capacité du conducteur de bits, rapportée à la cellule individuelle de mémoire, pour pouvoir obtenir une lecture sûre de la cellule lors du fonctionnement ultérieur de la mémoire. Le rapport Cs/CB peut être accru dans le cas des cellules à transistor réalisées conformément au procédé selon #'invention, lorsque les zones de source et de drain du transistor de transfert ( donc les zones Z1et Z2 dans le cas du dispositif représenté sur les figures}, qui correspondent au conducteur de bits et à la capacité de mémoire, sont réalisées dans ne large mesure au cours de processus de diffusion ou d'implantation indépendants les uns des autres, ce qui est le cas dans la plupart des exemples de réalisation représentés (exception figure 1).Le premier processus de diffusion ou d'implantation sert, dans les exemples, à la réalisation d'une zone 2 dopée du type n et par conséquent la réalisation d'une jonction pn pos sédant une pente élevée et par conséquent une capacité de mémoire Cs élevée. Le second processus de dopage utilisant un activateur produisant le type de conductivité du substrat 1 sert également pour la même fonction. Le troisième processus de dopage, qui n'est effectué que jusqu'à une faible profondeur dans le cristal semiconducteur, sert à la réalisation de la zone Z2 et des régions superficielles de la zone Z1, et nta par conséquent aucune influence sur la capacité C8 et a une action d'affaiblissement sur la capacité CB du conducteur de bits. Si, comme dans le cas de la figure 5, on utilise une électrode de commande en silicium, et dans le cas où l'on veut combiner le dopage de cette électrode à la fabrication des zones Z1 et Z2 , il faut que,à l'aida d'une conformation adéquate des masques de dopage, ces derniers permettent également l'action de l'activateur, fournissant le type de conductivité de la zone Z1 ou de la zone Z2, sur la couche de polysilicium de l'électrode de commande 8. REVENDU CATIONS 1) Procédé pour fabriquer une cellule de mémoire à semiconducteurs intégrée, constituée par un transistor à effet de champ comportant une électrode de commande isolée et un condensateur, et selon lequel on réalise à la surface d'un cristal semiconducteur possédant un premier type de conductivité deux zones prévues en tant que source et en tant que drain du transistor à effet de champ et possédant un second type de conductivité, au moyen d'une modification locale du dopage de deus régions du cristal semiconducteur, disposees cOte à côte en étant séparées, et selon lequel en outre on équipe la surface du semiconducteur située entre les deux zones, d'un revêtement en forme de couche constituée par un matériau isolant inorganique et on réalise, sur ce revttement, 11 électrode de commande du transistor à effet de champ et selon lequel enfin, lors de la fabrication d'au moins l'une des deux zones, on utilise deux processus successifs de dopage, effectués l'un avec un accepteur, l'autre avec un donneur, associés respectivement à une modification du dopage des régions alors concernés du cristal semiconducteur, en obtenant de ce fait au moins une partie importante du condensateur de la cellule de mémoire, caractérisé par le fait que, lors de la fabrication d'au moins l'une des deux zones du cristal semiconducteur, prévues en tant que source ou en tant que drain pour le transistor à effet de champ de la c-ellule de mémoire, tout d'abord une région A d'un seul tenant de la surface du cristal semiconducteur est soumise à l'action d'une substance dopante fournissant le type de conductivité opposé à celui du cristal semiconducteur, et la substance dopante est insérée dans cette région dans le cristal semiconducteur,de telle manière qu'une région (2) du cristal semiconducteur (1), déterminée par la taille et par la forme de la région A et qui s'étend jusqu'à la profondeur T, change de type de conductivité avec apparition d'une jonction pn, qu'ensuite une région partielle (B) de la région A , qnï est d'un seul tenant et qui s'étend jusqu'au bord de la région A de la surface du cristal semiconducteur (1),est soumise à l'action d'une substance dopante produisant le type de conductivité du cristal semiconducteur (1) et que ladite substance dopante est insérée à cet endroit dans le cristal semiconducteur (1),de telle manière aucune région du cristal semiconducteur (1),qui est déterminée### et par la forme de la région partielle B et qui s'étend jusqu'à la profondeur t inférieure à T, est soumise une seconde fois à une modification de son type de conductivité avec apparition d'une jonction pn, et qu'enfin au moins les parties les plus profondes des jonctions pn , apparues lors des deux processus de dopage, subsistent en tant que limite de la source ou dudrain du transistor à effet de champ. 2) Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'une région C de la surface du semiconducteur englobant simultanément en entier la région partielle B de la surface du cristal semiconducteur (1), est soumise, au cours d'un troisième processus de dopage, à l'action d'une substance dopante fournissant le type de conductivité opposé à celui du cristal semiconducteur (1) et que la substance dopante est insérée en cet endroit dans le cristal semiconducteur de telle manière qu'une région du cristal semiconducteur, déterminée par la taille et par la forme de la région C et qui s'étend jusqu'à une profondeur T inférieure à ta change de type de conductivité avec apparition d'une jonction pn. 3) Procédé suivant la revendication 2 caractérisé par le fait que les deux régions A et C sont choisies identiques. 4) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que la région partielle B est prévue par rapport à la région A et par rapport à autre zone (Z2),dont le dopage est modifié et qui est prévue tant que source ou drain du transistor à effet de champ, de telle manière que la région partielle B contacte le bord de la région A uniquement en des endroits situés à l'opposé de l'autre zone (Z2) 5) Procédé suivant lgune quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que la région partielle B est prévue par rapport à la région A et par rapport à l'autre zone (Z2) ( dont le dopage a été modifié et qui est prévue en tant que source ou drain du transistor à effet de champ, de telle manière que la région partielle B contacte le bord de la région A uniquement en des endroits tournés vers l'autre zone (Z2) 6) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé par le fait qu'outre la région partielle B, une région D de la surface du semiconducteur, d'un seul tenant avec ladite région partielle B et ne faisant pas partie de la région partielle A, est soumise au second processus de dopage. 7) Procédé suivant les revendications 4 et 6 prises dans leur ensemble, caractérisé par le fait que la région D est déterminée par rapport à la position de l'autre zone (Z2), dont le dopage a été modifié et qui est prévue en tant que source ou drain du transistor à effet de champ, de telle manière que la région partielle B se prolonge par la région X, sur son côté situé à l'opposé de l'autre zone (Z2) 8) Procédé suivant les revendications 5 et 6 prises dazs leur ensemble, caractérisé par le fait que la région D est déterminée par rapport à la position de l'autre zone (Z2) > dont le dopage a été modifié et qui est prévue en tant que source ou drain du transistor à effet de champ, de telle manière que la région partielle B se prolonge par la région D, sur son côté tourné vers l'autre zone (Z2) 9) Procédé suivant l'une quelconque des revendi cation 1 à 8, caractérisé par le fait que la position de la couche isolante (5 portant l'électrode de commande (6) du transistor à effet de champ > etde l'électrode de commande (6) située sur cette couche Isolante est déterminée par rapport à la région A et à la région partielle B de telle manière que l'électrode (6) recouvre une partie de la région A, et ce notamment Jusqu'au bord de la région partielle B 10) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé par le fait que la taille et la position de l'électrode de commande (6) du transistor à effet de champ sont déterminées par rapport aux régions A et B de telle manière que ladite électrode de commande (6) recouvre au moins une partie de la région D. il) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé par le fait que soit seulement la zone de source, soit seulement la zone de drain (Zl) du transistor à effet de champ est réalisée avec deux ou trois processus de dopage, alors que l'autre zone (Z1) du transistor, entourée par la première jonction pn, est réalisée soit en meme temps que le premier processus de dopage, soit en même temps que le troisième processus de dopage. 12) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à Il, caractérisé par le fait que le second processus de dopage est utilisé pour réaliser des zones fortement dopées (3', 3") disposées à la surface du semiconducteur entre des zones (Z1 > Z2) de transistors à effet de champ voisins dans le cristal semiconducteur (1), et empêchant l'apparition de canaux conducteurs indésirables. 13) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé par le fait que le premier processus de dopage et le second processus de dopage sont utilisés en supplément pour réaliser la zone de base ou la zone d'émetteur d'un transistor bipolaire, qui comporte en tant que zone de collecteur le matériau du cristal semiconducteur présentant encore le dopage d'origine. 14) Procédé suivant l'une quelconque des revendications I à 13, caractérisé par le fait que le premier processus de dopage est utilisé pour réaliser la zone de collecteur, que le second processus de dopage est utilisé pour réaliser la zone de base et que le troisième processus de dopage est utilisé pour réaliser la zone d'émetteur d'un transistor bipolaire sup- plémentaire. 15) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé par le fait que l'on réalise n.m transistors à effet de champ possédant une constitution identique et possédant respectivement une zone de source ou une zone de drain, produite par au moins deux processus de dopage, sur une face d'un cristal semiconducteur en forme de pastille possédant un premier type de conductivité, de telle manière que lesdits transistors sont disposés suivant n colonnes et m lignes d'une matrice rectangulaire de mémoire 16) Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé par le fait que les zones de source et les zones de drain d'au moins deux transistors à effet de champ réalisés côte à côte à la surface d'un cristal semiconducteur sont réalisées de telle manière qu'au moins l'une de ces zones forme avec une zone de l'autre transistor, une zone commune aux deux transistors. 17) Procédé pour réaliser une cellule de mémoire à semiconducteurs, constituée par un transistor à effet de champ possédant une capacité de mémoire, selon lequel on réalise à la surface d'un cristal semiconducteur possédant un premier type de conductivité, par modification locale du dopage de deux régions situées côte à côte en étant séparées l'une de l'autre, deux zones prévues en tant que source et en tant que drain d'un transistor à effet de champ et selon lequel en outre la surface du semiconducteur entre les deux zones est munie d'un revêtement en forme de couche constituée par un matériau isolant inorganique et sur laquelle on réalise l'électrode de commande du transistor, notamment suivant l'une quelconque des revendications 1 à 16 caractérisé par le fait que la zone de source et la zone de drain (Z1 et Zt sont dopées avec des concentrations de dopage différentes lune de l'autre et que le pourtour de la jonction pn de la zone tZl) la plus fortement dopée de ces deux zones est dimensionné de telle manière que c'est uniquement sur la base de cette jonction pn qu'est obtenue la capacité de mémoire désirée.