FR 2300328 A1 19760903 FR 7503884 A 19750207 La présente invention concerne un procédé cie mesure de la rugosité d'une surface par éclairage de cette surface par deux ondes planes cohérentes faisant entre elles un petit angle dans un méme plan d'incidence, ainsi qu'un dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé. On connaît déjà, par ia demandessde brevet en Franco n 74/22662, du 28 Juin 1974, au nom de la-Demanderesse, un procédé de mesure dé la rugosité d'une surface, dans lequel on éclaire tout d'abord la surface par une première onde plane issue d'un laser et on photographie le faisceau diffus réfléchi par la surface sur un film photographique sensible situé au foyer d'une lentille, le film recevant un éclairement qui présente des' variations microscopiques duès aux interférences aléatoires entre tous les rayons réfléchis par la surface à étudier; ensuite, avant développement du film photographique, on éclaire la surface par une seconde - onde plane oblique fai- sant un angle d'incidence différent de la première, mais situé dans le même plan d'incidence (en fait, cette seconde onde plane est la même que la première, mais décalée angulairement d'un petit angle par décalage angulaire du laser qui l'engendre), et on photographie'à nouveau le faisceau diffus réfléchi par la surface en double exposition sur le même film; on développe le film photographique et, après son développement, on l'éclaire par un faisceau laser convergent et on observe des franges de Young dans le plan de @ourier de ce faisceau laser; on mesure l'éclairement de ses franges au moyen d'un détecteur photo-éléctrique, à travers une fente parallèle aux franges; on déplace la fente et la détecteur photo électrique dans une translation perpendiculaire au franges dans le plan de Fourier et on enregistre le signal électrique obtenu à la sortie du détecteur photo-électrique. Ce signal électrique se présente sous la forme d'une tension continue modulée par une tansion alternative. Le taux de modulation représente la visibilité des franges d'interférence. Comme la théorie montre que la visibilité des franges d'interférence et la rugosité de la surface étudiée sont reliées entre elles par une formule mathématique, la mesure de cette visibilité permet de mesurer la rugosité de la surface. Il ressort de ce qui précède que co procédé connu exige pour sa mise en oeuvre qu'un opérateur effectue toute une série d'opérations. La mise en oeuvre de ce procédé est donc relativement compliquée et le temps total nécessaire pour la mesure de la rugosité est relativement long, ce qui diminue l'intérêt de ce procédé connu sur le plan pratique. La présente invention a essentiellement pour but de remédier à cet inconvénient en procurant un procédé et un dispositif de mesure de la rugosité d'une surface, qui soient d'une mise en oeuvre extrêmement aisée et permettent de déterminer la rugosité de la surface beaucoup plus rapidement que le procédé connu dont les caractéristiques ont été indiquées plus haut. A cet effet, le procédé selon l'invention est caractérisé en ce. qu'on éclaire la surface simultanément par les deux ondes planes cohérentes, en ce qu'on observe la surface simultanément suivant deux directions .situées dans le plan d'incidence et faisant entre elles un petit angle, au moyen d'un système optique d'observation donnant des inter férences dans un plan déterminé, en ce' qu'on module la phase de l'un des faisceaux d'éclairage ou d'observation en ce qu'on mesure l'éclairement global modulé dos interférences dans le plan déterminé en le convertissant en un signal électrique modulé, et en ce qu'on détermine le -taux de modulation du signal électrique dloù zon déduit la rugosité de la surface. Etant donné que, dans le procédé selon l'invention, toutes les ppérations, à savoir l'éclairage par les deux ondes planes cohérentes, l'observation de la surface, la modulation de phase, la mesure de l'éclairement par conversion photo-électrique et la détermination du taux de modulation ont lieu simultanément ou pratiquement simultanément, le procédé selon l'invention peut entre assimilé à un procédé de mesure en temps réel. Seule la détermination de la rugosité à partir du taux de modulation nécessite un calcul mathématique, mais ce calcul peut être effectué très rapidement au moyen d'un calculateur électronique approprié. Un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selor l'invention, comportant des moyens d'éclairage de la surface par une onde plane cohérente sous une incidence oblique et des moyens pour observer ladite surface suivant une directif d'observation située dans.le plan d'incidence, est caracté en ce qu'il comprend en outre des moyens d'éclairage de la si face par une seconde onde cohérente plane simultanément à la première onde cohérente plane sous une seconde incidence située dans le même plan que la première incidence et formez un petit angle avec celle-ci en ce que les moyens d'observ de la surface comprennent un premier interféromètre agencé pour permettre 1'observation de ladite surface suivant deux directions distinctes dans le plan d'incidence des deux o planes cohérentes, et une lentille propre à fournier un réseau de franges d'interférence dans son plan focal en combinais avec le premier interféromètre, et en ce qu'il est prévu ix détecteur photo-électrique placé dans ledit plan focal et ix modulateur de phase placé sur le trajet de l'une des deux or planes cohérentes incidentes ou de l'un des deux faisceaux d'observation. Le signal électrique disponible à la sortie du dé teur photo-électrique peut être enregistré graphiquement au moyen d'un enregistreur classique, et le taux de modulation du signal électrique peut être déterminé graphiquement à partir de cet enregistrement. Toutefois, au lieu de proche graphiquement à la détermination du taux de modulation, on peut, suivant une variante préférée de réalisation de la I sente invention, traiter le signal de sortie du détecteur photo-électrique dans un circuit agencé pour déterminer le taux de modulation de ce signal. On donnera maintenant une description détaillée divers modes de réalisation de la présente invention, en sant référence aux dessins annexés sur lesquels La figure 1 illustre très schématiquement un di: tif de mesure conforme à la présente invention. La figure 2 est un graphique - montrant la forme du signal électrique délivré par le détecteur photo-électr prévu dans le dispositif de mesure représenté-sur la figur 1. Les figures 3 à 5 représentent schématiquement trois réalisations pratiques du dispositif de mesure selon présente invention. La figure 6 représente un modulateur de phase utilisa ble dans le dispositif de mesure représenté sur la figure 5. La figure .7 représente le schéma synoptique d'un circuit électronique utilisable pour traiter le signal de sortie du détecteur photo-électrique pour déterminer le taux de modula tion du signal fourni par ce détecteur. Comme le montre la figure 1, conformément au procédé selon l'invention, la surface étudiée S est-éclairée par deux ondes lumineuses planes cohérentes monochromatiques 1- et 2, qui sont issues d'une source de lumière cohérents SL, par exemple un laser, et sont situées dans le mdme plan d'inci- dence. Bien que, sans sortir du cadre de la présente inven tion, les deux ondes lumineuses 1 et 2 pourraient, dans certaines conditions, Qtre issues de deux lasers distincts, il est cependant préférable de former les deux ondes à partir d'un même faisceau laser EL, en divisant ce faisceau laser au moyen d'un système optique li, du genre interféromètre, agencé pour délivrer à sa sortie deux ondes cohérentes planes 1 et 2 frappant la surface S en un même point d'incidence ou sensiblement en un méme point sous deux angles d'incidence distincts. #1 désigne l'incidence de l'onde 1 et #1 + celle de l'onde 2, l'angle ## # formé par les deux ondes 1-et 2 entre elles étant un petit angle. Ces ondes 1 et 2 se combinent donc sur la surface S pour former des franges dtin- terférence. Du fait que la surface S ainsi éclairée par les deux ondes cohérentes planes 1 et 2 présente une certaine rugosité, elle diffuse la lumière dans toutes les directions. Un système optique I2 recueille la lumière diffusée par la surface S et superpose à l'infini les rayons diffusés sous les angles #2 et #2 + ##,. Le système optique I2 agit don@ comme un interféromètre qui permet d'observer la surface sous deux angles différents #2 et #2 + ##,. En outre, les élé ment s du montage représenté sur la figure 1 sont disposés de telle sorte que les directions des deux ondes d'éclairage 1 et 2 et des deux faisceaux d'observation 3 et 4 sont situés dans le même plan, c'est-à-dire dans le plan d'incidence des ondes 1 et 2. En outre, les angles 8 su et 8 #, sont reliés entre eux par la relation Dans la pratique, on choisit généralement E1= ce qui donne 8 '. De la sorte, les deux interfé mètres I1 et I2 peuvent titre formés par des système tiques identiques et disposés symétriquement par rapport à la normale à la surface S au point d'incidence. Les franges d'interférence données à l'infini pa l'interféromètre I2 sont observées au foyer d'une lent le L placée sur le trajet du faisceau lumineux sortant de l'interféromètre I2. Un détecteur photo-électrique de type classique, est placé dans le plan focal de cet lentille Le Ce détecteur photo-électrique D délivrE un signal électrique proportionnel à ltéclairement. La figure d'interférence dépend principalement. l'interféromètre 12 choisi et des aberrations géométr@ des systèmes optiques de conjugaison utilisés. Au mi on obtient une teinte plate sur tout le champ, ce qui met de choisir un détecteur de dimensions telles qu'il mesure l'éclairement moyen dans tout le champ. Dans 1 cas contraire, on choisit la focale de la lentille L pte tenu de la surface active du détecteur D de telle nière que celui-ci intègre 1'éclairement reçu sur un champ aussi grand que. possible, mais tel qu'il n'y ait plus d'une frange sur la surface réceptrice du détecte Si par exemple, les franges d'interférence sont des anneaux du type Newton, on choisit un détecteur circuit dont le diamètre est égal à environ la moitié du diamèi du premier anneau.Ce choix est le meilleur compromis entre l'intégration effectuée, donc le niveau du signe délivré par le détecteur D, - et la baisse de modulation due à l'intégration spatiale dans le champ de franges. Selon une autre caractéristique de la présente invention, des moyens sont prévus -pour moduler en phase l'un quelconque des faisceaux 1, 2, 3 ou 4. Par exemple, comme le montre la figure 1, un modulateur de phase peut être placé sur le trajet du faisceau 1 de manière à moduler temporellement la phase 1 de ce faisceau sous la forme # = # t (2) De la sorte, l'éclairement reçu par le détecteur photo-électrique D est également modulée et on obtient, à la sortie de ce détecteur D, un signal électrique modulé s(t) tel que celui représenté sur la figure 2, ce signal électrique pouvant être représenté mathématiquement sous la forme s(t) = a + b cos t (3) Comme on le verra en détail plus loin, ce signal électrique peut être traité au moyen d'un circuit électronique permettant de calculer le taux de modulation b (4) La théorie permet de démontrer que cette quantité est reliée aux paramètres du montage et à la rugosité de la surface S par la relation dans laquelle #1, #2, et ont les significations indri quées précédemment, # est la longueur d'onde de l'onde monochromatique cohérente issue du laser SL et # est l'écarttype de la fonction surface. Cet écart-type est une valeur moyenne qui permet de caractériser objectivement la rugosité plus la surface est rugueuse, plus Cerf est grand et réciproq' ment.L'expression (5) a été établie moyennant certain hypothèses qui restreignent la-mesure à une classe de surface qui les satisfont. Il s'agit pour l'essentiel de surfaces métalliques isotropes infiniment conductrices, planes en -moyenne et gaussiennes, c'est-à-dire que la loi aléatoire qui décrit les fluctuations microscopiques du profil de la s face est une loi gaussienne. Pour les surfaces qui ne ren pas dans cette classe, le procédé selon l'invention permet d'en mesurer la rugosité à condition toutefois de réaliser un étalonnage préalable de l'appareil de mesure. Dans la pratique, divers éléments optiques peuven être utilisés pour réaliser les interféromètres I1 et I2, et on décrira maintenant divers montages pratiques -en fais@ référence successivement aux figures 3 à 5. En se référant tout d'abord à la figure 3, - on p@ voir que le faisceau laser FL issu du laser SL est élarg@ au moyen de deux lentilles 11 et 12 disposées de manière former un système afocal classique. Dans ce mode de ré lisation, les deux interféromètres I1 et I2 sont cons titi par des interféromètres classiques à miroir et lame sépar trice. Plus précisément, le faisceau laser élargi par les lentilles lj- et 12 est divise en deux par une lame sép trice S1, constituée par exemple par un miroir semi-trans rent. La partie 1 du faisceau laser qui traverse la lam séparatrice S1 frappe la surface S sous un angle d'incid tandis que la partie du faisceau laser qui est réfl par la lame séparatrice S1 subit une seconde réflexion su un miroir M qui est disposé de manière à renvoyer un fc ceau réfléchi 2 sur la surface S avec un angle d'incidence #1 + ##. L'interféromètre I2 est dans l'ensemble identique à l'interféromètre I1 et il est constitué par un miroir M2 et une lame séparatrice S2, constituée par exemple par un miroir semi-transparent. Le miroir M2 et la lame séparatrice sont disposés de manière à permettre l'observation de la portion de surface S éclairée par les faisceaux 1 et 2, suivant deux directions d'observation faisant des angles #2 et t2 + tt avec la normale à la surface S au point d'incidence, les angles #1, #2, ## et ##, étant liés entre eux par la relation (1) indiquée plus haut.La lame recombine les faisceaux 3 et 4, donnant à l'infini des franges d'interférence. Comme on l'a vu plus haut à propos de la figure 1, ces franges d'interférence peuvent astre observées dans le-plan focal d'une lentille L, et l'éclairement moyen est mesuré au moyen d'un détecteur photo-électrique D placé dans le plan focal -de cette lentille L et de taille appropriée. Dans ce mode de réalisation, la modulation de phase peut etre obtenue en translatant l'un des deux miroirs M1 et M2 par exemple le miroir M1 afin de moduler temporellement la phase du faisceau d'éclairage 2. A cet effet, le miroir M1 peut être déplacé perpendiculairement à son propre plan suivant un mouvement uniforme à l'aide d'un dispositif d'entraRne- ment approprié représenté schématiquement dans la figure 3 par le bloc 5, ce dispositif d'entraînement étant en Qutre agencé pour délivrer sur une sortie auxiliaire un signal de référence SR dont on verra l'utilité plus loin, Dans le mode de réalisation représenté sur la figure 4, les deux faisceaux d'éclairage 1 et 2 sont formés à partir du faisceau laser FL, élargi comme indiqué à propos de la figure 3, à l'aide d'un réseau de diffraction R1 composé de traits parallèles. On sélectionne deux ordres symétriques de diffraction au moyen d'un filtre F. Deux lentilles L1 et L2 disposées de manière à former un système afocal classique forment l'image du réseau R1 sur la surface S. Le filtre F est constitué par une plaque opaque comportant deux petits trous et située dans le plan focal de la lentille t1 o L'interféromètre 12 formant le système optique d'ob@ervation de la surface S est identique à l'interféromèt formant le système optique d'éclairage, mais sans le fil P.Plus précisément, il comporte un système afocal com sé des deux lentilles L3 et L4 et agencé pour former l'iman de la surface S dans le plan d'un réseau de traits parallèle R2. Ce réseau R2 est donc conjugué du réseau R1 à travers les deux systèmes afocaux formés respectivement par les lentilles L1 et L2 et par les lentilles L3 et Lq Comme pour le mode da réalisation de la figure 3, les interférences sont observées dans le plan focal de la lents L et l'éclairement moyen est mesure par le photodétecteur D placé dans le plan focal de cette lentille L.Dans le mode de réalisation représenté sur la figure 4, la modulat de phase peut titre obtenue en translatant transversalement l'un des deux réseaux R1 et R2, par exemple le réseau R1, au moyen d'un dispositif d'entrainement approprié 5, suiva un mouvement rectiligne uniforme dans la direction perpendi laire aux traits du réseau, comme indiqué par la flèche. Comme dans le mode de réalisation de la figure 3, le dispc tif d'entraînement 5 est agencé pour délivrer sur une sortie auxiliaire un signal de référence S@. Le mode de réalisation ' représenté sur la figure 9 est sensiblement identique au m ode de réalisation représenté sur la figure 4, en remplaçant 1 réseaux de diffraction R1 et R2 par des prismes bi-réfrin de Wollaston W1 et W2, souvent appelés en abrégé des Woll Dans ce mode de réalisation, le faisceau laser FL issu laser est polarisé à 45 degrés par rapport aux axes du pre Wolîaston W1 au moyen dtun polariseur classique P1. Ce premier Wollaston W1 fournit les deux ondes cohérentes pl 1 et 2 qui éclairent la surface S à travers le système E formé par les lentilles L1 et L2.Les deux ondes cohérer planes sont polarisées linéairement dans des directions o@ gonales comme indiqué dans la figure 5 par la flèche et point entouré d'un petit cercle. Le filtre F qui était sé dans le mode de réalisation de la figure 4 n'est plus saire ici puisque le Wollaston W1 transmet seulement deu ondes planes. L'interféromètre I2 est identique à l'interfér I1, c'est-à-dire qutil comprend deux lentilles t3 et L4 formant un système optique afocal, et un Wollaston W2 ayant ses axes parallèles à ceux du Wollaston W1. Le Wollaston W2 recombine les deux faisceaux d'observation 3 et 4, et le faisceau recombiné traverse ensuite un polariseur classique P2 et la lentille L pour former des franges d'interférence dans le plan focal de cette lentille L. Comme précédemment, un photodétecteur D placé dans le plan focal de la lentille L permet de mesurer l'éslairement global des franges dtinterféren- ce. Avec le mode de réalisation représenté sur la figure 5, la modulation de phase peut Entre obtenue à l'aide d'un dispositif tel que celui représenté sur la figure 6. Le modula teur de phase M représenté sur cette figure est essentiellement constitué par une lame demi-onde Q1 et une lame quart d'onde Q2 disposées en succession sur le trajet suivi par le faisceau laser FL entre le polariseur P1 et le Wollaston W1. La lame quart d'onde Q2 est fixe et a ses axes croisés par rapport à ceux du Wollaston W1, tandis que la lame demi-onde Q1 est animée d'un mouvement de rotation uniforme à la fréquence N par un dispositif d'entraînement 5' d'un type classique quelconque. Dans ces conditions, les faisceaux 1 et 2 issus du Wollaston W1 ont une différence de phase modulée à la fréquence 2N.En outre, le dispositif d'entrainement 5' est agencé pour délivrer sur une sortie auxiliaire un signal de référence SR. On décrira maintenant en faisant référence à la figure. 7 un circuit permettant de traiter le signal de sortie du photodétecteur D afin de déterminer à partir de ce signal de sortie le taux de modulation b/a à partir duquel, connaissant les paramètres #1, 2 X et sa, on peut calculer la rugosité cr de la surface S par la formule (5) indiquée plus haut. Comme le montre la figure 7, le signal électrique modulé s(t) is su d u photodétecteur D est envoyé à une entrée d'un détec- teur synchrone 6, d'un type classique, recevant sur une autre entrée le signal de référence SR issu du modulateur de phase. L'obtention de ce signal de référence SR dépend du modulateur utilisé, c'est-à-dire en définitive de la solution opto-mécanique choisie pour ce modulateur de phase. Le signal de sortie du détecteur synchrone 6 est ensuite envoyé à un intégrateur dont la constante de temps est déterminé de fagon à obtenir à la sortie un signal égal-ou proportionnel à l'amplitude b de la partie alternative-du signal s(t)0 Ce signal s(t) est également envoyé à l'entrée d'un deuxième intégrateur 8, constitué par exemple par un filtre intégrateur passe-bas classique, agencé pour donner à sa sortie un signal égal ou proportionnel à la partie continue a du signal s(t). Les sorties des deux intégrateurs 7 et 8 sont reliées respectivement aux deux entrées d'un diviseur X/Y 9 agencé pour former le rapport des grandeurs appliqué sur ses deux entrées. Un tel diviseur est maintenant disponible sur le marché et est par exemple fabriqué par la Société ITRACO sous la référence 3512. Ce diviseur 9 délivre sur sa sortie un signal représentant le taux de modulation b/a à partir duquel on peut déduire la rugosité Ar. Après étalonnag de l'ensemble de l'appareils il est même possible de mesurer directement la. rugosité 0~. Il est bien entendu que les réalisations qui ont été décrites ci--dessus ont été données à-titre d'exemples purement indicatif et nullement limitatifs, et que de nombr ses modifications peuvent etre apportées sans pour autant sor tir du cadre de la présente invention0 C'est ainsi notamment que l'on pourrait utiliser d'autres types d'interféromè tres classiques ou d'autres moduiateurs de phase classiques que ceux qui ont été décrits ci-dessus. En outre, au lieu de calculer électroniquement le taux de modulation, on pourrait enregistrer le signal de sortie du photodétec-teur D à l'aide d'un enregistreur classique et déterminer graphique ment la valeur du taux de modulation. REVENDICATIONS ================ 1 Procédé de mesure de la rugosité d'une surface par éclairage de cette surface par deux ondes planes cohérentes faisant entre elles un petit angle dans un meme plan dtincidencet caractérisé en ce qu'on éclaire ladite surface simultanément par les deux ondes planes cohérentes, en ce qu'on observe la surface simultanément suivant deux directions situées dans le plan d'indidence et faisant entre elles un petit angle, au moyen d'un système optique d'observation donnant des interféren- ces dans un plan déterminé, en. ce qu'on module la phase de l'un des faisceaux d'éclairage ou d'observation, en ce qu'on mesure l'éclairement global modulé des interférences dans le plan déterminé en le convertissant en un signal électrique modulé, et en ce qu'on détermine le taux de modulation du Si- gnal électrique d'où on déduit la rugosité de la surface. 20 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'angle d'incidence 9 de l'une des deux ondes planes cohérentes, le petit angle 8 formé par les incidences des deux ondes planes cohérentes, l'angle 92 de l'une des deux directions d'observation et le petit angle 8i' formé par les deux directions d'observation sont liés entre eux par la relation :: 30 Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 1 ou 2, comportant des moyens d'éclairage de la surface par une onde plane cohérente sous une incidence oblique et des moyens pour observer ladite surface suivant une direction d'observation située dans le plan d'incidence, caractérisé en ce qu'il comprend-en outre des moyens d'éclairage de la surface par une seconde onde cohérente plane simultané- ment à la première onde cohérente plane, sous une seconde incidence située dans le même plan que la première incidence et formant un petit angle avec celle-ci, en ce que les moyens d'observation de la surface comprennent un premier interféro- mètre agencé- pour permettre l'observation de la surface suivant deux directions distinctes dans le plan d'incidence des deux ondes planes cohérentes, et une lentille propre à former un réseau de franges d'interférence dans son plan focal en combinaison avec le premier interféromètre, et en ce qutil est prévu un détecteur photoélectrique placé dans ledit plan focal, et un modulateur de phase placé sur le trajet de L'tau des deux ondes planes cohérentes incidentes ou de l'un des deux faisceaux d'observation0 40 Dispositif selon la revendication 3, caraci risé en ce qutil comporte un circuit de traitement du signa: électrique modulé fourni par le détecteur photo-électrique, ce circuit étant agencé pour déterminer le taux de modulation de ce signale 50 Dispositif selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les moyens d'éclairage de la surface par les première et seconde ondes planes cohérentes compren un laser et un second interféromètre placé sur le trajet du faisceau laser et agencé pour délivrer à sa sortie, à par du faisceau laser entrant, deux ondes cohérentes planes frappant la surface en un meme point d'incidence sous deux angles d'incidence distincts dans un m8me plan. 60 Dispositif selon la revendication 5, carafe risé en ce que les deux interféromètres sont constitués chc par un miroir et par une lame séparatrice. 70 Dispositif selon la revendication 5, carat risé en ce que les deux interféromètres comprennent chacun un réseau de diffraction formé de traits parallèles, et u système optique afocal propre à former l'image du réseau assolé sur la surface, les deux réseaux étant conjugués l de l'autre à travers les deux systèmes optiques afocaux, en ce que le second interféromètre comporte en outre un filtre agencé de manière à sélectionner deux ordres symétri de diffraction à partir du faisceau diffracté par le rése y associé. 80 Dispositif selon la revendication 5, cars risé en ce que les deux interféromètres comprennent chacun un système optique afocal, un prisme bi-refringeeutt de Wollaston situé dans le plan conjugué de la surface par r; au système optique afocal, et un polariseur propre à polariser le faisceau lumineux sortant du Wollaston du premier interféromètre ou entrant dans le Wollaston du second interféromètre, respectivement, à 45 degrés par rapport aux axes du Wollaston y associé, les deux Wollaston ayant leurs axes respectivement parallèles. 90 Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le modulateur de phase comprend un moyen d'entraînement agencé pour translater le miroir de l'un des deux interféromètres suivant un mouvement rectiligne uniforme0 100 Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le modulateur de phase comprend un moyen d'entraînement agencé pour translater le réseau de l'un des deux interféromètres suivant un mouvement rectiligne uniforme dans la direction. perpendiculaire au traits du réseau. 110 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que le modulateur de phase comprend une lame demionde entraînée en rotation à'une fréquence N et placée sur le trajet du faisceau laser polarité entrant dans le Wollaston du second interféromètre, et une lame quart d'onde fixe située entre la lame demi-onde et le Wollaston et ayant ses axes croisé par rapport à ceux dudit Wollaston0 120 Dispositif selon l'une quelconque des revendica tions 4 à 11, caractérisé en ce que le circuit de traitement comporte un détecteur synchrone dont l'entrée est reliée à la sortie du détecteur photo-électriques un premier intégrateur dont l'entrée est reliée à la sortie du détecteur synchrone, un second intégrateur dont l'entrée est reliée à la sortie du détecteur photo-électrique, et un diviseur X/Y ayant deux entrées reSpectivement reliées aux sorties des deux intégrateurs et une sortie délivrant un signal représentant le rapport des signaux appliqués sur ses deux entrées.