FR 2308921 A1 19761119 FR 7512999 A 19750425 L'invention est relative à des perrectionnements aux auges de mesure ou de lete-cion de oontraintes ou déformations. Elle concerne lus particulièrement de telles jauges qui comprennent, d'une part, un support déformable sous l'effet de contraintes ou déformations, ce support tant établi de préférence en acier, d'autre par, une couche mince d'un matériau isolant déposée par évaporatior sur le support en acier et, d'autre part enfin, une couche mince métallique dtrposée par évaporation sur la couche isolante. L'invention concerne également un procédé et une installation pour la fabrication de jauges perfectionnées selon l'invention. On sait que la couche métallique de telles jauges est dépose avec une configuration déterminée sur le support de façon que les variations de résistance de cette couche fournissent une indication sur les contraintes ou déformations subies par le support. En d'autres termes, la forme des couches minces métalliques dépend de la mesure à effectuer. Le support peut, lui aussi, présenter des configurations diverses. En particulier, ce support en acier peut se présenter sous la forme d'une membrane dans le cas de mesures de pression. Dans une autre application, le support est constitue par l'objet meme de la mesure ; ainsi dans le cas d'une poutre, les couches isolantes et métalliques sont déposées sur une section de cette poutre de façon à mesurer les contraintes méaniques s'exerçant sur cette dernière. L'invention a surtout pour but de satisfaire mieux que jusqu'à ce jour aux diverses exigences de la pratique En particulier, le but de l'invention est de permettre la réalisation d'une jauge du genre en question dans laquelle les couches isolante et métallique présentent une bonne adhérence sur le support,l'isolement électrique de la couche métallique par rapport au support est satisfaisant jusqu'à des températures éleves, de l'ordre de 300 C. le coefficient d'extensométrie est stable en fonction du temps et des conditions d'utilisation, les drives de zéro et de sensibilité sont particulièrement faibles. Un autre but de l'invention est également de fournir une jauge du genre susmentionné qui présente une résistance mécanique élevée et qui soit insensible aux vibrations. Un autre but encore de l'invention est de permettre lax réalisation d'un procédé et d'une installation pour la réalisa tion d'une telle jauge qui soient ae mise en oeuvre et de fabrication particulièrement simples et économiques. Selon llun des aspects de l'invention la jauge conforme à ladite invention est caractérisée en ce que la couche isolante comprend une couche alumine déposée directement, par évaporation, sur le support en acier. Dans le mode de réalisation préféré de l'inventIon, la couche isolante comprend une seconde couche comportant au moins un oxyde de silicium déposé par évaporation sur la couche d'alumine, la couche métallique étant déposée par évaporation sur cette seconde couche isolante. Le choix de l'alumine en tant que matériau isolant est particulièrement avantageux car ce matériau présente une résistance mécanique élevée aux déformations, il constitue un excellent isolant et adhère particulièrement bien sur 1-acier. Au cours d'expériences menées dans le cadre de l'invention, l'inventeur a également constaté qu'un oxyde de silicium présentait une bonne adhérence sur l~alumine. Cr, on sait déjà que de nombreux matériaux, notamment ceux qui sont utilisés pour constituer la couche active des jauges de contrainte, présentent aussi une borne adhérence sur une telle couche isolante à base d'un oxyde de silicium ; de plus, les propriétés électriques des métaux déposés sur une telle couche à base d'au moins un oxyde de silicium ne se modifient pas au cours du temps. Ainsi, les jauges comprenant les deux couches isolantes présentent dtimportantes qualités mécaniques et électriques. Selon un autre de ses aspects, qui s'utilise de préférence avec le premier aspect mais peut être utilisé de façon indépendante, l'invention concerne une jauge du genre en question, caractérisée par le fait que la couche métallique comporte un alliage d' or et de nickel comprenant de préférence, en atomes, environ 60 % d'or et.40 de nickel. Un tel alliage est particulièrement avantageux car l'inventeur a constaté qu'il ne s'oxyde pratiquement pas à l'air libre. Bien que l'invention ne soit pas limitée à une théorie particulière on pense que cette stabilité chimique (qui est meilleure que celle du même alliage à l'état massif) résulte d'un état métastable dudit alliage en couche mince. Une installation pour la fabrication d'une jauge selon l'invention comprend une enceinte pouvant etre fermée hermétiquement, des moyens de pompage destinés à réduire à une valeur négligeable la pression des gaz à l'intérieur de cette enceinte et une platine pour recevoir, dans la partie supérieure de l'enceinte, ledit support en acier de la jauge. Selon l'invention cette installation est caractérisée en ce qu'elle comprend, à l'intérieur de ladite enceinte, d'une part, des moyens de vaporisation du matériau constituant ladite couche isolante et, d'autre part, des moyens de vaporisation du matériau constituant ladite couche métallique. Une telle installation permet de fabriquer rapidement et à moindre coût des jauges conformes à l'invention. L'invention sera de toute façon bien comprise à l'aide du complément de description qui suit, cette description étant faite en se référant aux dessins ci-annexés sur lesquels - La figure 1 représente, de façon partielle, une coupe à échelle très agrandie d'une jauge de contrainte conforme à l'invention, - la figure 2 illustre, de façon schématique, une vue transversale d'une installation de fabrication de jauges conforme à l'invention, - la figure 3 montre la partie supérieure de l'installation montrée sur la figure 2, - la figure 4 représente la partie inférieure de l'installation montrée sur la figure 2, et - la figure 5 illustre, de façon schématique, des moyens de commande, conformes à l'invention, de l'évaporation des matériaux constituant la couche mctallique, notamment pour une installation du type de celle représentée sur la figure 1. La jauge qui est représentée sur la figure 1, comprend, sur un support 1 en acier inoxydable, conformément à l'invention, deux couches successives de matières isolantes, respectivement 2 et 3. La couche 2 est disposée directement sur le support d'acier 1 elle est établie en alumine AI203 et, dans l'exemple, son épaisseur est de l micron. La seconde couche, de référence 3, est déposée, par évaporation, sur la couche 2 et elle est constituée par un mélange de monoxyde de silicium SiO et de bioxyde de silicium ou silice SiO2. Dans l'exemple, l'épaisseur de cette couche 3 est de 0,5 micron. Sur la couche 3 est déposée, par évaporation, une couche métallique 4 qui constitue le composant actif de la jauge. Dans l'exemple, cette couche 4 est établie en un alliage métallique de cuivre et de nickel comprenant, en atomes, environ 60 % de cuivre et 40 % de nickel. La composition de cet alliage correspond à celui connu sous le nom de "Constantan" et on sait qu'un tel alliage, comme celd est nécessaire pour une jauge de contrainte, présente un coefficient de variation de sa résistivit en fonction de la température qui est extrêmement faible. Dans l'exemple, l'épaisseur de la couche w est comprise entre 1 000 et 1 500 A. Enfin, en ce qui concerne la figure 1, une couche 5 de monôxyde de silicium SiO est déposée sur la couche métallique 4 à l'exception des endroits où des contacts (non montrés) de liaison avec des moyens de mesure (tels qu'un pont de Wheatstone) doivent être réalisés sur la surface extérieure de la couche 4. Cette couche 5 constitue un revêtement de protection pour la couche 4. On va maintenant décrire un procédé de réalisation, conforme à l'invention, de la jauge qui vient d'être décrite en relation avec la figure 1. Selon ce procédé, la surface du support 1 sur laquelle doit être évaporée la couche 2 est soumise à un traitement de polissage. Au cours d'une première phase de ce traitement de polissage, on utilise des papiers du type émeri de crains 180 à 600. Au cours d'une seconde phase de ce traitement, on utilise du feutre et des pates diamantées de dimensions de grains décroissantes dans un cas particulier, ces dimensions de grains sont d'abord de 6 microns puis de 3 microns et, enfin, de I micron. A la fin de ce traitement de polissage, la profondeur moyenne des "défauts't de la surface du support en acier inoydable est d'environ 0,1 micron. Après ce traitement de polissage, le support 1 est nettoyé dans un bain contenant de l'eau et un produit dégraissant à une température sensiblement supérieure à la température ambiante. Enfin, le support 1 est rincé à l'eau distillée puis séché. Après cette préparation de la surface utile du support 1, celui-ci est disposé dans une enceinte dans laquelle on peut faire le vide. Une telle enceinte sera décrite plus loin en relation avec les figures 2 à 4. Les moyens de pompage qui coopèrent avec l'enceinte doivent amener la pression des gaz résiduels à une valeur inférieure à 10 7 Torr. Une fois cette pression atteinte, le support 1 est porté à une température comprise entre 200 et 300 C. De plus, après avoir réduit la pression à la valeur de , 10 ' Torr dans l'enceinte, on introduit de l'oxygène dans cette enceinte de façon que la pression de ce gaz à l'intérieur de ladit, ageeinte soit de l'ordre de 5.10 Torr. L'alumine Al203 st t ensuite évapore à l'intérieur de l'enceinte pour se déposer sur ledit support chauffé. Dans une réalisation. la vitesse d'évaporation de l'alumine est telle qu'une couche d'épaisseur 150m Ä soit déposée par minute aur le support 1. Dans cette réalisation, comme on le verra plus loin, l'alumine est évaporée par bombardement électroique d'un échantillon massir d'alumine placé dans le creuset d'un canon à électrons. Il est à noter que l'évaporation de l'alumine en présence d'oxygène évite la décomposition de cet isolant. Après réalisation de la couche 2, on fait subir à celle-ci un traitement de recuit à une température d'eu moins 200 C, de préférence 250 C, pendant au moins une heure, avantaqeusement pendant 1 heure et demie et en présence d'oxygène sous une pression d'au moins 50 Torr, de préférence 100 Torr. A la suite de ce traitement de recuit, on évapore du monoxyde de silicium SiO à l'intérieur de l'enceinte de façon à réaliser la couche 3. Cette évaporation est effectuée en présence d'oxygène sous une pression de 5.10-5 Torr. Dans la réalisation particulière qui a été évoquée ci-dessus la vitesse d'évaporation est telle que la couche 3 augmente d'une épaisseur de 150 par minute. Dans cette réalisation, l'évaporation du monoxyde de silicium SiO est effectuée en disposant un échantillon de ce matériau dans un creuset et en chauffant ce creuset par effet Joule. Etant donné que le monoxyde de silicium a été évaporé en présence d'oxygène, la couche 3 est constituée par un mélange de monoxyde de silicium SiO et de bioxyde de silicium SiO2. En variante, on évapore de la silice SiO2 pour réaliser la couche 3. Après réalisation de cette couche 3 à base de SiO et SiO2 on fait subir à la jauge un nouveau traiteme-nt de recuit en présence d'oxygène sous une pression d'au moins 200 Torr pendant une durée d'au moins une heure, de préférence plusieurs heures, et a' une température d'au moins 200 C, avantageusement 25"C, Pour réaliser la couche 4 composée drun alliage de cuivre et de nickel, on dispose le support 1 sur lequel ont été déjà déposes les couches 2 et 3 dans une seconde enceinte hermétique dans laquelle on peut réaliser un "ultra vide". Par "ultra vide" on entend des pressions inférieures à 5.10-8 Torr. La seconde enceinte est, avantageusement, la même que la première (celle dans laquelle on réalise les couches isolantes), comme on le décrira plus loin en relation avec les figures 2 à 5. Le cuivre et le nickel sont évaporés séparément dans la seconde enceinte. Dans le mode de réalisation préféré de l'invention, le cuivre est évapore dans un creuset en oxyde de beryllium qui est chauffé par effet Joule et le nickel est évaporé, simultanément, par bombardement électronique d'un échantillon massif placé dans le creuset d'un canon à électrons.- On s'arrange, en réglant les vitesses d'évaporation du cuivre et du nickel, pour que la composition de l'alliage formant la couche 4 soit telle qu'il comprend entre 55 et 80 %, en atomes, de cuivre, de préférence 60 %. Un tel alliage de cuivre et de nickel est avantageux car le coefficient de variation de sa résistivité en fonction de la température, est au lus égal à 10-4/ C. La jauge quke l'on a décrite en relation avec la figure 1 présente des caractéristiques particulièrement intéressantes Au cours d'expériences menees dans le cadre de l'invention, on a réalisé une telle jauge par évaporation des couches minces 2, 3, 4 et 5 sur un support constitué par une poutre (non représentée) de section triangulaire établie en acier inoxydable. En soumettant cette poutre à des flexions de diverses valeurs on n'a constaté aucun défaut d'adhérence entre la couche d'alumine et l'acier, au moins jusqu'à des déformations de la poutre atteignant 4 000jkD. On rappelle que l'unité de déformation D représente une variation relative de longueur définie de la façon suivante 1 d = 10-6 #l/l. Au cours de ces mêmes expériences, on a également constaté que les couches 2, 3 et 4 de la jauge ne présentaient aucun défaut après que la poutre ait subi des déformations atteignant 1 800 D en régime statique pour des températures variant entre 20 et 200 C. Les couches de la jauge ne présentaient également aucun défaut après que la poutre ait subi des déformations en régime sinusoidal de valeur crête à crête i 500 D pendant 5 106 périodes de vibrations à 200 C. En ce qui concerne l'isolement électrique de la couche mé tallique 4 par rapport à la poutre, on a constaté qu'à la température ambiante (200C)la résistance d'isolement était au moins égale à 10 4 Mu et à 300 C, cette résistance d'isolement était encore au moins de 100 m# La dérive de zéro, c'est-à-dire la variation relative #R/R de la résistance de la couche 4 à effort nul était inpérieure à 10-4/ C jusqu'à la température de 200 C. On n'a pas tonstaté de dérive décelable de non retour au géro. Entin, le coefficient d'extensométrie est resté stable sous vide jusqu'à une temp-rature de 20000 et, à l'air libre, jusqu'à une température de 150 C, la dérive de sensibilité étant inférieure à 10-3/ C. On rappelle que la sensibilité K d'une jauge d'extensometrie se définie de la façon suivante Dans cette formule, R est la résistance de ia couche 4 et sa longueur. K est4 en général, de l'ordre de 2. La drive de sensibilité est la veriation relative $K/K. Bien entendu, l'invention n'est pas limitéeau mode de réalisation décrit ; on peut envisager diverses variantes. Ainsi, la couche 3 peut être établie uniquement en monoxyde de silicium SiO ou uniauement en silice SiO2. La couche métallique 4 doit être choisie de façon que le coefficient de variation de sa résistivité en fonction de la température soit faible. Outre, l'alliage de cuivre et de nickel déjà mentionné, d'autres alliages peuvent convenir à cet effet. On citera, à titre d'exemple, les alliages suivants : nickel-or, platine-or, palladium-argent. Dans ces exemples, on choisit une composition comprenant 40 % en atomes, du premier métal et 60 ,0 du second métal. tomme déjà mentionné, l'alliage nickel-or présente des qualités particulièrement bien adaptées pour la réalisation d'une couche 4 de jauge de contrainte car cet alliage ne s'oxyde pratiquement pas à l'air libre. De ce fait, la couche 5 n'est alors pas indispensable et le coût de fabrication de la jauge est alors réduit. On va maintenant décrire en relation avec les figures 2 à 5, un mode de réalisation d'une installation destinée à la fabrication, par le procédé décrit, de la jauge illustrée sur la figure 1. Sur les figures 2 à 5 cette installation a été représentée de façon schématique et partielle. Cette installation comprend une enceinte à vide 10 dans laquelle on peut établir un vide poussé, c'est-à-dire réduire la pression à une valeur négligeable, grâce à des moyens de pompage (non représentés). L'enceinte 10 comporte, outre une ouverture de liaison avec les moyens de pompage (ouverture qui n'a pas été représentée sur les figures), une ouverture 11 d'admission de l'oxygène. A l'intérieur de l'enceinte 10 sont installés à la-fois les moyens d'évaporation 12 des produits isolants (alumine et monoxyde de silicium SiO) et les moyens d'évaporation 13 des produits métalliques constituant la couche r. Etant donné que ces évaporations sont effectuées dans la même enceinte, il est nécessaire que les moyens de pompage soient agencés de façon telle qu'ils permettent la réalisation d'un vide poussé ou ultra-vide pendant la phase d'évaporation du cuivre et du nickel.Dans un mode de réaliser tion de l'invention, on prévoit deux ensembles de pompage (non montrés) ; le premier de ces ensembles est destiné à abaisser la pression jusqu'à une valeur d l'ordre de 10 7 Torr ; le second ensemble de pompage est destiné à abaisser la pression à l'inté---- rieur de l'enceinte 10 à une valeur inférieure à 5.10 8 Torr. Ce second ensemble de pompage peut être du type ionique, cryogènique à Hélium, ou du type turbomoléculaire. De toute façon, le premier ensemble de pompage est mis en action au cours de la phase deréa- lisation des couches isolantes 2 et 3 et le second ensemble de pompage est mis en action au cours de la phase de réalisation de la couche métallique 4. On remarquera qu'avec cette disposition le support l se trouve, au cours de la réalisation de la jauge, constamment dans la même enceinte maintenue sous vide. La jauge est donc séparéeen permanence de l'atmosphère ambiante et, de ce fait, les risques d'apparition de défauts en cours de réalisation sbnt diminués En outre, le temps de fabrication de ladite jauge est réduit. Les moyens d'évaporation 12 et 13 sont disposés à la partie inférieure de l'enceinte 10. De plus, ces moyens 12 et 13 sontinstallés dans des parties séparées, respectivement 14 et 15, de l'enceinte 10. Ces parties 14 et 15 sont séparées matériellement par une plaque 16. Les parties 14 et 15 constituent, en fait, respectivement, des sections d'évaporation d'isolants et d'alliage métallique. Pour permettre le déplacement du support de la jauge de la section 14 à la section 15, et vice-versa, on prévoit, à la partie supérieure de l'enceinte 10, une platine 17 de réception dudit support. Cette platine 17 est solidaire d'un chariot 18 déplaçable entre les sections 14 et 15. Le déplacement du chariot 18 est assuré par un dispositif à-crémaillère 19 commandée de L'extérieurv de l'enceinte 10. Ces moyens de commande et la crémaillère 19 sont pas été repr6sentés en détail sur les figures. Da platine 17 somprend des Logements 20, 21 22 et 23 (figures 2 et 3) de r6ception des supports de jauge à realiser. Dans chacun de ces logements on prévoit des moyens de chauffage 25 derdits supports. Pour la clarté du dessin on n'a repr6senté de façon schématique qu'une r6sistance 25 pour un seul des logemens, delui de référence 20. Les réslstances chauffantes 25 permettant de maintenir le support à une température e-levée, pouvant atteindre 300 C, au cours de la réalisation des évaporations sucessives sur ce support. Pour permettre le traitement de recuit des diverses couches minces de la jauge, la platine 17 comporte également des resis- tances chauffantes, respectivement 26, 27, 28 et 29 (figure 37. Un manque amovible 35 percé d'ouvertures appropriées à la forme ds jauges que l'on veut réaliser est installé à la partie inférieure de la platine 17. afin de séparer les sections 14 et 15, outre la plaque 16, on prévoit également un cache escamotable 36 solidaire de la plaque 16. Dans l'exemple, ce cache 36 et la plaque 16 sont articulés autour d'un axe horizontal 37. Le cache 36 et la plaque 16 ont la position représentée sur la figure 2 quand on utilise la section 15. Quand c'est la section 14 qui doit être utilisée (ou éventuellement pour arrêter l'effet de l'évaporation dans la section 15) on fait pivoter le cache 36 et la plaque 16 de 90 autour de l'axe 37 de façon que le cache 36 prenne la position représentée de la plaque 16 et que la plaque 16 soit ins tallée à la partie supérieure de la section 15. Pour mesurer les vitesses d'évaporation des divers composants, on prévoit, également à l'intérieur de l'enceinte 10, au voisinage de la platine 17, des dispositifs de mesure par variation de la fréquence de vibration d'un cristal de quartz. Ces dispositifs ont été représentés de façon schématique sur les figures 2 et 3 avec les références 30, 31, 32 et 33. Le dispositif 30 est destin à la mesure de la vitesse d'évaporation du cuivre, le dispositif 31 est relatif à la même mesure pour le nickel, les dispositifs 32 et 33 concernent ladite mesure de vitesse d'évaporation pour, respectivement,l'oxyde de silicium et l'alumine. Les moyens d'évaporation 12 des couches isolantes comprennent, d'une part, un canon à électrons 40 comportant un creuset 41 dans lecuel on dispose l'alumine à évaporer. Les moyens d'évaporation 12 comportent également un creuset 42 propre à être chauffé par effet Joule à l'aide d'un filment 43. Le creuset 42 est des tiné à recevoir un oxyde de silicium (SiO ou siO,). Les creusets 41 et 2 se trouvent sensiblement au même niveau horizontal dans l'enceinte 10 et sont séparés par une plaque 4e. De même, les moyens d'évaporation 13 comportent un creuset 45 associé à un canon à électron 46. Ce creuset 45 est destiné à recevoir le nickel à évaporer. On prévoit également un creuset 47 propre à être chauffé par effet Joule à l'aide d'une résistance chauffante 48. Enfin les creusets 46 et 47 sont séparés par une plaque 49. Sur la figure 3 on a représenté plus en détail que sur la figure 2, la partie supérieure de l'enceinte 1Q. On voit sur cette figure que la crémaillère 19- se trouve dans le plan médian du chariot 18 et que celui-ci est guidé par deux tiges horizontales 50 et 51. On a représenté sous forme d'un bloc l'ensemble 52 contenant des engrenages coopérant avec la crémaillère 19. Bien entendu, un passage tournant hermétique 53 disposé dans la paroi de l'enceinte 105 permet de commander la rotation des engrenages 52 à partir dune commande extérieure (non montrée). Comme on le verra plus loin en relation avec la description de la figure 5, il est important que la composition de l'alliage de cuivre et de nickel constituant la couche 4 ait une composition bien déterminée qui reste constante tout au long de la réalisation de cette couche métallique 4. C'est pourquoi il est particulièrement important de déterminer avec précision les vitesses d'évaporation du nickel et du cuivre. De ce fait, les dispositifs 30 et 31 comprennent chacun des moyens pour maintenir constante la température du cristal de quartz qu'ils contiennent. Pour la simplicité du dessin, seuls les moyens de réglage de la température pour le dispositif 30 ont été représentés, de façon très schématique, sur la figure 3. Comme on peut le voir sur cette figure, le dispositif 30 comporte un boîtier 55 à l'intérieur duquel est disposé le cristal 30a et une résistance chauffante 56.Cette résistance 56 est associée à des moyens de régulation (non montrés) comprenant des moyens de mesure de la température du cristal 3osa. Les conducteurs 57 sortant du boitier 55 sont destinés à trahsmettre, à un organe de regulation, un signal représentatif de la température du cristal 30a. On a représenté sur la figure 4, de façon schématique, la partie-inférieure de l'enceinte flO comprenant les moyens d'évaporation 12 et 13. On voit que, dans ce mode de réalisation, les creusets 41 et 42 peuvent être déplacés à l'intérieur de l'enceinte 10 grâce à des moyens de commande comprenant un soufflet 60 et bras 61. Dans 'exemple, le canon a électrons 40 comprend deux pôles 62 entourant le ereuset 41 de façon à créer un champ magnétique. Le filament 63 émetteur d'électrons du canon 40 est porté à un potentiel négatif de 4 kilovolts. Le canon à électrons 46 est réalisé de façon analogue au canon a électrons 40. Toutefois les creusets 45 et 47 ne sont pas déplaçables et on prévoit un circuit d'eau 65 pour le refroidisse rnent-de ces derniers creusets. On va maintenant décrire en relation avec la figure 5 les moyens permettant de conserver en permanence au cours de is réali- sation de la couche 4 une composition constante pour alliage de cuivre et de nickel constituant cette couche. Sur la sortie active 70 du dispositif 30, on recueille un signal périodique dont la dérivée de la fréquence représente la vitesse évaporation du cuivre proveIa-nt du creuset 47. De même, sur la sortie 7 du dispositif 1, on obtint Un signal périodique dont la fréquence représente la vitesse d'évaporation du nickel provenant du creuset 45. Si les proportions de cuivre et de nickel dans l'alliage sont dans un rapport k les dérivées des fréquences des signaux obtenus sur les sorties 70 et 71 seront dans le même rapport.En d'autres termes FNi = kF Ni - Cu Dans ces formules, FNi repr6sente la dérivée de la fréquence du signal apparaissant sur la sortie 71 et FCu représente la dérivée de la fréquence du signal sur la sortie 70. Pour que ce coefficient k reste constant au cours de l'éva- poration simultanée du cuivre et au nickel dans les creusets 47 et 45, on prévoit des moyens électroniques de régulation qui agissent sur le circuit d'alimentation 72 du canon a électrons 46. La sortie 70 est reliée à l'entrée d'un convertisseur alternatif-continu 73 ; de même la sortie 71 du dispositif 31 est reliée à l'entrée d'un convertisseur alternatif-continu 74. La sortie du dispositif 73 est reliée à la première-entrée d'un circuit 75 de régulations la seconde entrée de ce circuit 75 étant connectée a la sortie du convertisseur 74. La sortie du circuit 75 délivre un signal d'erreur qui est appliqué sur l'entrée du circuit d'alimentation 72 du canon à électrons 45. Ainsi, la vitesse d'évaporation du nickel est asservie sur celle du cuivre. Dans l'exemple de réalisation de l'invention qui a été évoqué plus haut, la vitesse d'évaporation du cuivre est de 60 - par minute. Comme il va de soi, et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spéciale- ment envisagés ; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes. REVENDICATIONS 1. Jauge de mesure ou de détection de contraintes ou déformations comprenant, d'une part, un support déformable sous l'effet de contraintes ou déformations, ce support étant établi de préférence en acier, d'autre part, une couche mince d'un matériau isolant déposée par évaporation sur le support en acier et, d'autre part enfin, une couche mince métallique déposée par évaporation sur ladite couche isolante, ladite couche mince métallique étant déposée avec une configuration déterminée sur ledit support de façon que les variations de résistance de cette couche métallique fournissent une indication sur les contraintes ou déformations subies par ledit support, caractérisée en ce que ladite couche isolante comprend une couche d'alumine déposée directement, par évaporation, sur le support d'acier. 2. Jauge selon la revendication I, caractérisée en ce que la couche isolante comprend une seconde couche comportant au moins un oxyde de silicium deposé par évaporation sur ladite couche d'alumine, la couche métallique étant déposée par évaporation sur cette seconde couche isolante. 3. Jauge selon la revendication 2, caractérisée en ce que la seconde couche isolante est établie en un mélange de monoxyde et de bioxyde de silicium. 4. Jauge selon la revendication 3, caractérisée en ce que l'épaisseur de la couche d'alumine est de l'ordre de 1 micron et en ce que l'épaisseur de la seconde couche isolante est de l'ordre de 0,5 micron 5. Jauge selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractériséeen ce que la couche métallique comprend un allias comportant, enatomes. entre 55 et 80% de cuivre, le reste étant en nickel. 6. Jauge selon la revendication 5, caractériséeen ce que l'épaisseur de ladite couche métallique est comprise entre 1000 et 1500 A. 7. Jauge de mesure ou de détection de contraintes ou déformations comprenant, d'une part, un support déformable sous l'effet de contraintes ou déformations, ce support étant établi de préférence en acier, d'autre part, une couche mince d'un matériau isolant déposée par évaporation sur le support en acier et, d'autre part enfin, une couche mince métallique déposée par évaporation sur ladite couche isolante, ladite couche mince métallique étant déposée avec une configuration déterminée sur ledit support de façon que les variations de résistance de cette couche métallique fournissent une indication sur les contraintes ou déformations subies par ledit support, caractérisée en ce que ladite couche métallique comporte un alliage d'or et de nickel. 8. Procédé de réalisation d'une jauge selon la revendication 1, procédé dans lequel le support en acier est disposé dans une enceinte reliée à des moyens de pompage destines à réduire à une valeur négligeable la pression à l'intérieur de cette enceinte, caractérisé en ce que ledit support est chauffé à une température comprise entre 200 et 300 C et en ce que l'alumine est évaporée sur ledit support en présence d'oxygène sous une pression de l'ordre de 5.1Q-5 Torr. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'on fait subir au support sur lequel a été déposée la couche d'alumine un traitement de recuit à une température d'au moins 2000C, de préférence 2500C, pendant au moins une heure, de préférence une heure et demie, et en présence d'oxygène sous une pression d'au moins 50 Torr, de préférence 100 Torr. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 et 9 et destiné à la réalisation d'une jauge selon la revendication 3, caractérisé en ce que, après la réalisation de ladite couche isolante d'alumine on évapore dans la meme enceinte du monoxyde de silicium sur la première couche, cette évaporation étant éffectuée en présence d'oxygène sous une pression de l'ordre de 5.10-5 Torr. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que, après la réalisation de ladite seconde couche isolante on effectue un traitement de recuit en présence d'oxygène à la pression d'au moins 200 Torr pendant une durée d'au moins une heure et à une température d'au moins 2000 C, de préférence 2500C. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à il et destiné à la réalisation d'une jauge selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que ladite couche métallique est réalisée dans la même enceinte que ladite couche isolante. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que les moyens de pompage sont actionnés de façon que la pression dans ladite enceinte soit, préalablement à ladite évaporation de la couche métallique, au plus égale à 5.10 8Torr. 14. Installation pour la fabrication d'une jauge selon l'une quelconque des revendications précédentes, cette installation comportant une enceinte pouvant être fermée hermétiquement, des moyens de pompage destinés à réduire à une valeur négligeable la pression des gaz à l'intérieur de cette enceinte et une platine pour recevoir ledit support en acier de la jauge dans la partie supérieure de ltenceinte, caractérisée en ce qu'elle comprend à l'intérieur de ladite enceinte, d'une part, des moyens de vaporisation du matériau constituant ladite couche isolante et, d'autre part, des moyens de vaporisation du matériau constituant ladite couche métallique. 15. Installation selon la revendication 14, caractérisée en ce que ladite enceinte comprend deux parties distinctes, la pre mière comportant les moyens de vaporisation du matériau constituant la couche isolante et la seconde partie comprenant les moyens de vaporisation du matériau constituant la couche métallique, et en ce que ladite platine est solidaire d'un chariot déplaçable sous l'action de moyens de commande manoeuvrables de l'extérieur de ladite enceinte de façon que le chariot puisse etre disposé, sous l'action de ces moyens de commande, dans la première ou la seconde partie. l6. Installation selon la revendication 15, caractérisée en ce que la platine comprend des moyens de chauffage du support de ladite jauge. 17. Installation pour la fabrication d'une jauge selon la revendication 5, cette installation comportant une enceinte pouvant être fermée hermétiquement, des moyens de pompage destinés à réduire à une valeur négligeable la pression des gaz à l'inte- rieur de cette enceinte, et une platine pour recevoir, dans la partie supérieure de l'enceinte, ledit support en acier de la jauge, caractérisée en ce qu'elle comprend, à l'intérieur de ladite enceinte, des moyens d'évaporation à effet Joule pour le cuivre, un canon à électrons pour évaporer le nickel, des moyens de mesure de la vitesse d'évaporation du cuivre et du nickel, respectivement, et, des moyens de commande sensibles auxdites vitesses d'évaporation pour agir sur les moyens d'alimentation en énergie dudit canon à électrons afin de maintenir ces vitesses d'évaporation dans un rapport constant à tout moment.