FR 2266999 A1 19751031 FR 7412200 A 19740405 L'invention concerne les dispositifs à semi-conducteurs et les procédés de fabrication de ceux-ci, et concerne plus particulièrement un dispositif indicateur à semi-conducteurs et un procédé pour sa fabrication. On connaît divers dispositifs indicateurs à semiconducteurs prévus pour l'indication et l'affichage de l'information. Un des dispositifs indicateurs àsemi-conducteurs connus, à base d'un cristal de carbure de silicium possédant une jonction p-n,comporte un premier contact ohmique adhérant à la région de conduction du type n présentant une concentration en atomes neutres allant de 1,5.1018cm 3 a 5.iO18cm#3, sept autres contacts ohmiques adhérant à la région de conduction du type p de O, 1 Q,3 g d'épaisseur, servant à former l'information à afficher et une région, compensée avec un activateur de luminescence, d'une épaisseur allant de 0,5 à 1,2 micron, située entre les régions de conduction du type n et du type p, ainsi qu'une région supplémentaire présentant des défauts de réseau adhérant aux seconds contacts ohmiques. L'inconvénient de ce dispositif indicateur à semiconducteurs réside dans son mauvais contraste et son faible rendement de luminescence. Un autre inccnvénient d'un tel dispositif indicateur à semi-conducteur est du à la présence d'un couplage galvanique assez important entre les seconds contacts ohmiques, ce qui entraîne l'autoenclenchement de ces seconds contacts ohmiques, alors qu'aucun signal ne leur est envoyé, c'est-à-dire un affichage erroné de l'information à indiquer. On connaît un procédé pour la préparation d'un dispositif indicateur à semi-conducteurs, qui consiste à former,dans un cristal de carbure de silicium de conduction du type n, une région de conduction du type p et une région, compensée à l'aide d'un activateur de luminescence et située entre la région de conduction du type n et la région formée de conduction du type p, en introduisant dans un cristal de carbure de silicium une impureté, après quoi on forme un premier contact ohmique adhérant à la région de conduction du type n et au moins un second contact ohmique adhérant à la région de conduction du type p, après quoi on bombarde la région p avec des ions accélérés d'un gaz inerte pour créer une région supplémentaire avec des défauts de réseau. L'inconvénient de ce procédé réside dans le fait que le bombardement propose par des ions d'argon, d'azote ou d'oxygène n'inhibe pas suffisamment la propagation du courant électrique dans le cristal de carbure de silicium. L'invention a pour but l'élimination des inconvénients indiques Le problème que l'invention vise à résoudre est de fournir un dispositif indicateur à semi-conducteurs et de fournir un procédé pour sa préparation, assurant une stabilité élevée des contacts ohmiques secondaires relativement au phénomène d'autoenclenchement et un bon contraste de luminescence. Ce problème est résolu selon l'invention, dans un dispositif indicateur à semi-conducteurs à base de cristal de carbure de silicium possédant un premier contact ohmique adhérant à une région de conduction du type n et au moins un second contact ohmique adhérant à une région de conduction du type p, servant à former l'information à indiquer, une région compensée à l'aide d'un activateur de luminescence, étant prévue entre. les deux régions indiquées à conductions de types opposés, et possédant une région supplémentaire présentant des défauts de réseau, adhérant au second contact ohmique, par le fait que la région supplémentaire possède une épaisseur dépassant l'épaisseur de la région de conduction du type p d'au moins 0,05 micron, les défauts de réseau dans cette dernière se présentant sous forme de groupe 19 de ments de barreaux (clusters) de concentration allant de 10 cl à 1022cm#3. Il est avantageux que dans le dispositif indicateur à semi-conducteurs la région supplémentaire comporte deux couches, dont une couche adhère directement au second contact ohmique, possède une profondeur dépassant la profondeur de la région p d'au moins 0,05 micron et soit constituée par un diélectrique à base de carbure de silicium. Le problème est résolu, conformément à l'invention, dans un procédé de préparation du dispositif indicateur à semiconducteurs qui consiste à former dans un cristal de carbure de silicium de conduction du type n une région de conduction du type p et une région, compensée-à l'aide d'un activateur de luminescence et disposé entre la région de conduction n et la région formée de conduction du type p, en introduisant dans le cristal de carbure de silicium une impureté, après quoi on forme un premier contact ohmique adhérant à la région de conduction du type n et au moins un second contact ohmique adhérant à la région de conduction du type p, après quoi on bombarde la région de conduction du type p adhérant au second contact ohmique avec des ions accélérés d'un gaz inerte pour créer une région supplémentaire, par le fait que le bombardement avec des ions accélérés d'un gaz inerte est réalisé avec une densité de flux d'ions allant de 3,1.1013 ions/cm .s à 1,25.104 ions/cm .s1 l'énergie des ions allant de 10 keV à 400 keV et la dose d'irradiation allant de 1,2.1016ions/cm2 à 6,2.1017ions/cm2. Il paraît avantageux en cas d'utilisation du néon, que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 10 keV à 50 keV, la doses d'irradiation allant de 1,2.1017ions/cm2 à 6,2.1017ions/cm2. Il est avantageux en cas d'utilisation de l'argon, que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à 100 keV, la dose d'irradiation allant de 6,2.1016 ions/cm2 à 17 2 3,1.1017 ionS/cm2 Il est avantageux en cas d'utilisation du crypton que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 40 keV à 200 keV, la dose d'irradiation allant de 3,1.1Q16ionsXcm2 à 6,2.1016ions/cm2 Il est avantageux, en cas d'utilisation du xénon, que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 80 keV à 400 keV, la dose dtirradiation allant de 1,2.1016ions/cm 2 à 3,1.1016ions/cm2 Il est avantageux, après le bombardement avec des ions de gaz inerte, de créer une région supplémentaire à deux couches en réalisant un bombardement avec des ions accélérés d'un élément chimique actif avec une densité de flux des ions allant de 6,2.îO13ions/cm2 à 3,1.îO14ions/cm2 .s, l'énergie des ions allant de 10 keV à 250 keV et la dose d'irradiation, de 1,2.#o17 ions/cm2 à 6,2.1018ions/cm2. Il est avantageux en cas d'utilisation d'ions d'azote monoatomiques, que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de lOkeV à 100 keV et que la dose d'irradiation se situe dans la gamme allant de 4.101 ions/cm à 2.1018ions/cm2. Il est avantageux que dans le cas d'utilisation d'ions d'azote diatomiques l'énergie des ions se situe entre 20 keV et 200 )#T,la dose d'irradiation allantde 2.1017ions/cm2 à 1.1018 ions/cm2. Il est avantageux en cas d'utilisation d'ions monoatomiques d'oxygène que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à 100 keV et que la dose d'irradiation se situe dans la gamme allant de 3,1.1017ions/cm2 à 1,2.1018ions/cm2. Il est avantageux en cas d'utilisation d'ions diatomiques d'oxygène que lténergie des ions se situe dans la gamme allant de 40 keV à 250 keV et que la dose d'irradiation soit comprise dans la gamme allant de 1,2.#017ions/cm2 à 6,2.1017ions/cm2. Il est avantageux en cas d'utilisation d'ions de carbone que l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à 200 keV et que la dose d'irradiation soit comprise dans la gamme allant de 6,2.1017ions/cm2 à 6,2.îQ18ions/cm2. Les caractéristiques de l'invention ressortiront plus particulièrement de la description suivante de certains de ses modes de réalisation pris à titre illustratif mais nullement limitatls effectuée en se référant aux dessins annexés dans lesquels: -la figure 1 représente la structure du dispositif indicateur à semi-conducteurs, selon l'invention, -la figure 2 est une coupe suivant laligne2-2delafigure 1; -la figure 3 représente -la structure du dispositif indicateur à semi-conducteurs,dont la région supplémentaire est réalisée avec deux couches,selon l'invention et -les figures 4,5,6,7,8,9 illustrent les diverses operations successives du procédé de préparation du dispositif indicateur à semi-conducteurs, selon l'invention. Un cristal 1 (fig.112) de carbure de silicium est réalisé avec une épaisseur de 350 microns et comporte une région 2 de conduction du type n (fig.2) avec une concentration d'atomes d'azote non compensés égale à 3,1018cm-3, une région 3 de conduction du type p de 0,2 micron d'épaisseur,comportant des atomes d'aluminium,et une région compensée 4 de 0,6 microns d'ép#aisseur,située entre les régions -2 et 3 de conductions de types opposés, comportant un activateur de luminescence constitué par des atomes de bore. Un premier contact métallique ohmique5adbeee conductio# 2 de conductiop du type n. A la région de, conduction du type p adnerent sept-seconos contacts métalliques ohmiques 6, qui forment l'information à afficher.Aux seconds contacts ohmiques 6 adhère une région supplémentaire 7, dont l'épaisseur est au moins supérieure de 0,05 microns à l'épaisseur du domaine 3 de conduction dut'pep,cette région 7 contenant selon une première variante de réalisation du dispositif indicateur à semi-conducteurs, des défauts de réseau sous forme de groupement de barreaux (clusters) d'une concentration allant de lO19cm~3 à 1O22cm#3. La région supplémentaire 7 évite l'écoulement du courant électrique par le cristal 1 de carbure de silicium et le long de la région supplémentaire 7 meme. La région supplémentaire 7, selon une autre variante de fabrication du dispositif indicateur à semi-conducteurs, est réalisé en deux couches. Dans ce cas, la première couche 8 (fig.3) qui adhère directement aux seconds contacts ohmiques 6 est un diélectrique à base de cristal de carbure de silicium 1, et possède une profondeur de 0,05 micron au moins supérieure à la profondeur de la région 3 de conduction du type p, et la seconde couche 9, comporte des défauts de structure sous forme de groupements de barreaux (clusters) d'une concentration allant de 1019cm#3 à 1022cl 3. Le procédé de préparation du dispositif indicateur à semi-conducteurs est réalisé de la manière suivante. On introduit dans le cristal 1 (fig.4) de carbure de silicium de conduction du type n, par diffusion réalisée à des températures allant de 20000C à 23000C durant un intervalle de temps allant de 10 minutes à 4 heures, une impureté acceptrice, de l'aluminium, à une profondeur allant de 0,1 à 0,3 micron, ce qui permet de former la région 3 (fig.5) de conduction du type p. Puis, par diffusion réalisée à une température allant de 19200C à 19800C durant un intervalle de temps allant de 1 à 10 minutes, on introduit dans le cristal 1 de carbure de silicium un activateur de luminescence, du bore, à une profondeur allant de 0,3 à 1,2 micron, en formant ainsi la région compensée 4 (.fig.6). Puis on met en place les sept seconds contacts ohmiques 6 (fig.7) adhérant au domaine 3 de conduction du type p et un premier contact ohmique 5 adhérant au domaine 2 de conduction du type n, par vaporisation de métaux: du titane sur une épaisseur de 0,05 à 0,1 micron et du nickel sur une épaisseur de 0,5 à 1,0 micron. Puis, le cristal 1 de carbure de silicium, du côté des sept seconds contacts ohmiques 6, est soumis à un bombardement par des ions accélérés d'un gaz inerte avec une densité du 2 flux d'ions allant de 3,1,1013ions/cm2,s à 1,25.1014ionsZcm s l'énergie des ions allant de 10 keV à 400 keV et une dose d'ir- radiations allant de 1,2.1016ions/cm2 à 6,2.1017ions/cm2, pour former la région supplémentaire 7 (fig.8) avec des défauts de structure sous forme de groupements de barreaux (clusters) de concentration allant de 10 cm a 1022cm-3. En cas d'utilisation du néon comme gaz neutre, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 10 keV à 50 keV et la dose d'irradiation va de 1,2.îO17ions/cm2 à 6,2.1017#ions/cm2. Dans ce cas, si l'épaisseur de la région 3 à conduction du type p va de 0,05 à 0,2 micron, l'énergie des ions de néon est choisie égale à 10 keV, la densité du flux d'ions,égale à 3,1.1013 ions/cm2 s et la dose d'irradiation, 1,2.1017 ions/ cm. Dans le cas où l'épaisseur de la région 3 de conduction du type p va de 0,2 à 0,5 micron, l'énergie des ions de néon 13 est choisie égale à 30 keV, la densité du flux d'ions, à 6,2.10 ions/cm2.s et la dose d'irradiation, à 3,1.1017ions/cm2.Au cas où l'épaisseur de la région 3 de conduction du type p est supérieure à 0,5 micron, l'énergie des ions est prise égale à 1,25.1014iorWcm2.s, 50 keV, la densité du flux d'ions, à1,25.101 et la dose d'irradiation, égale à 6,2.1017ions/cm2 Lorsqu'on utilise comme gaz neutre des ions d'argon,de crypton et de xénon, l'énergie des ions, la densité du flux d'ions et la dose d'irradiation sont choisies en fonction de l'épaisseur de la région 3 de conduction du type p, selon les données du tableau 1. Les ions des gaz inertes sont injectés dans la région 3 (fig.7) de conduction du type p et dans la région compensée 4 par un activateur de luminescence, et lors de leur freinage créent dans ceux-ci des cascades de déplacements. Les atomes donneurs, tels que les atomes de silicium et de carbone, à leur tour provoquent le développement de cascades secondaires de déplacements. Il en résulte qu'on obtient des groupements de barreaux (clusters) qui sont des amortisseurs d'électroluminescence et des pièges de compensation pour les porteurs de charge libres. L'épaisseur de la région supplémentaire 7 (fig. 8) comportant de tels groupements de barreaux aux régimes de bombardement indiqués, dépasse l'épaisseur de la région 3 de conduction du type p au moins de 0,05 micron, tandis que la concentration des groupements de barreaux dans celle-ci va de 1019 cm 3 à 1022 cm 3. Aux endroits où sont disposés les seconds contacts ohmiques 6 (fig.7) le freinage des ions accélérés de néon se produit dans l'épaisseur de ces seconds contacts ohmiques 6, et les ions accélérés de néon n'atteignent pas la surface du cristal 1 de carbure de silicium. Selon une autre variante de fabrication du dispositif in dicateur à semi-conducteurs; après le bombardement indiqué plus haut du cristal de carbure de silicium avec des ions accélérés d'un ga#z inerte du côté des septs seconds contacts ohmiques 6 on procède au bombardement avec des ions accélérés d'éléments chimiquement actifs formant avec le carbure de silicium des composés diélectriques en formant finalement une région supplémentaire 7 à deux couches (fig.9) On utilise alors des ions d'azote, d'oxygène ou de carbure Le bombardement est effectué avec une densité du flux d'ions allant de 6,2.1013 ionsZcm2.s à 3,1.1014ions/cm2.s, une énergie des ions allant de 10 à 250 keV et une dose d'irradiation allant de 1,2.1017 ions/cm2 à 6,2.1018 ions/cm. Lorsqu'on utilise des ions monoatomiques d'azote, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 10 keV à 100 keV et et la dose d'irradiation va de 4.1017ionsZcm2 à-2.îO18ionsjcm2O Dans le cas où l'épaisseur de la région 3 de conduction du type p va de 0,05 à 0,2 micron l'énergie des ions monoatomiques d'azote est choisie égale à 10 keV, la densité du flux d'ions égale à 6,2.1o13 ions/cm2.s et la dose d'irradiation, à 4.1017 ionsScm2. Lorsque l'épaisseur de la région 3deconduction du type p va de 0,2 à 0,5 micron, l'énergie des ions monoatomiques d'azote est choisie égale à 40 keV, densité du flux d'ions, à 1,25.1014 ions/cm2 .5 et la dose d'irradiation, égale à 1.1018 ions/cm2. Dans le cas où l'épaisseur de la région 3 à conduction du type p est supérieure à 0,5micron, l'énergie des ions est choisie égale à 100 keV, la densité du flux d'ions, égale à 3,1.1014 ions/cm2.s et la dose d'irradiation, à 2.1018ions/cm2. Dans tous les cas considérés la première couche 8 de la région supplémentaire 7 est un diélectrique du type nitrure de silicium. Dans le cas où on utilise des ions d'azote diatomiques, la première couche 8 de la région supplémentaire 7 est un diélectrique du type nitrure de silicium, en cas d'utilisation d'ions d'oxygène monoatomiques et diatomiques, la première couche 8 de la région supplémentaire 7 est un diélectrique du type oxy#de de silicium, et quand on utilise des ions monoatomiques de carbone, la première couche 8 de la région supplémentaire 7 est un composé diélectrique à base de carbure de silicium avec une teneur élevée en carbone, dans tous les cas, l'énergie des ions, la densité du flux d'ions et la dose d'irradiation sont choisies en fonction de l'épaisseur de la région 3 de conduction du type p conformément au tableau 2. Les ions accélérés de l'élément chimique actif sont in jectés dans la partie superficielle de la région supplémentaire 7 (fig.8) comportant des groupements de barreaux (clusters),et, en entrant en réaction chimique avec les atomes de silicium, forment la première couche 8 (fig.9) de la région supplémentaire 7 sous la forme d'un composé diélectrique à base de carbure de silicium. La première couche 8 possède une épaisseur dépassant l'épaisseur de la région 3 à conduction du type p d'au moins 0,05 micron, c'est pourquoi la limite entre la région 3 de conduction du type p et la région compensée 4 se trouve isolée électriquement, ce qui élimine tout contact direct de celle-ci avec la seconde couche 9, contenant des défauts de réseau sous forme de groupements de barreaux (clusters). Le dispositif indicateur à semi-conducteurs proposé permet de former tous les chiffres de O à 9 avec une luminescen#ce jaune. Lorsqu'un signal est appliqué entre le premier contact ohmique 5 (fig.2) et l'un des seconds contacts 6, il se produit une injection de porteurs de charges minoritaires, qui est suivie de leut recombinaison et de l'apparition d'une luminescence dans la partie de la région compensée 4f se trouvant sous ce second contact 6. Les groupements de barreaux (clusters) de concentration atteignant 1019 à 1022cl contenus dans les régions supplémentaires 7 du cristal- 1 de carbure de silicium, créent des centres de compensation qui étouffent l'électroluminescence dans la région supplémentaire 7.Du fait du piégeage des porteurs de charge libres par les centres de compensation, la région supplémentaire 7 possède une forte résistivité, ce qui élimine entièrement.et de façon# sûre tout couplage galvanique entre les seconds contacts ohmiques 6 et assure un contraste élevé et un grand rendement de luminescence. La présence de la première couche 8 (fig.3) assure un isolement convenable de la limite entre la région 3 de conduction du type p et la région compensée 4. Ceci a pour effet de diminuer les courants de fuite en comparaison de la première variante de réalisation du dispositif indicateur à semi-conducteurs et d'améliorer la luminance du dispositif pour de faibles densités de courant. La luminance des dispositifs réalisés selon le procédé proposé est de 100 à 350 Nits pour une densité de courant de 3,5 à 4,5 A/cmL, les dispositifs pouvant fonctionner dans une gamme de températures allant de -GO à + 125 OC, Comme il va de soi et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède,l'inventi#on ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spécialement envisagés; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes. -TABLEAU I Type Conditions Régime d'irradiation pour une épaisseur de épaisseur dela région de conduc- tion d'irradiation tiondu type p de 0,05 à 0,2 0,2 à 0,5 plus de micron micron 0,5 micron 20 Energie des ions (keV) 10 30 50 Ne Densité du flux d'ions (ions/cm2.s) 3,1.1013 6,2.1013 1,25.1014 Dose d'irradiation, (ions/cm2) 1,2.1017 3,1.1017 6,2.1017 40 Energie des ions (keV) 20 40 100 Ar Densité du flux d'ions (ions/cm2.s) 3,1.1013 6,2.10t3 1,25.1014 84 Energie des ions (keV) 40 100 200 Xe Densité du flux d'ions (ions/cm2.s) 3,1.1013 6,2.1013 1,25.1014 Dose d'irradiation 16 16 16 (ions/cm ) 3,1.10 4,5.10 6,2.10 132 Energie des ions (keV) 80 200 400 Kr Densité du flux d'ions (ions/cm. s) 3,1.1013 6,2.1013 1,25.1014 Dose d'irradiation (ions/cm2) 1,2.1016 1,8.1016 3,1.1016 -TABLEAU II Type Conditions Régime d'irradiation pour une d'ion d'irradiation épaisseur de la région de conduc tion d'irradiation tion du type p de 0,05 à 0,2 0,2 à 0,5 plus de micron micron 0,5 micron 14 Energie des ions (keV) 10 40 100 N Densité du flux d'ions (ions/cm2) 6,2.1013 1,25.1014 3,1.1014 Dose d'irradiation (ions/cm2) 4.1017 1.1018 2.1018 14 Energie des ions (keV) 20 80 200 N2 Densité du flux d'ions, (ions/cm2.s) 6,2.1013 1,25.1014 3,1.1014 Dose d'irradiation (ions/cm2) 2.1017 6,2.1017 .î.î018 16 Energie des ions (keV) 20 40 100 O Densité du flux d'ions, (ions/cm2 .5) 6,2.1013 1,25,1014 3,1.1014 Dose d'irradiation (ions/cm2) 3,1.1017 62.1017 #,2.1018 16 Energie des ions (kev) 40 100 250 O, Densité du flux d'ions 1,25.1014 14 (ions/cm.s) 6,2.1013 1,251014 3,1.1014 .5) , 13 Dose d'irradiation (ions/cm2) 1,2.101? 3,1.1017 6 2 1018 12 Energie des ions (keV) 20 40 200 C Densité du flux d'ions (ions/cm2.s) 6,2.1013 1,25.1014 3,1.1014 Dose d'irradiation (ions/cm2) 6,2.101 1,2.101 6,2.1018 -REVENDICATIONS1.- Dispositif indicateur à semi-conducteur à base de cristal de carbure de silicium, comportant un premier contact ohmique adhérant à une région de conduction du type n et au moins un contact secondaire adhérant à une région de conduction du type p, ce second contact servant à former l'information à afficher, une région compensée à l'aide d'un activateur de luminescence située entre les régions indiquées de conductions de types opposés, ainsi qu'une région supplémentaire présentant des défauts de réseau, et adhérant au second contact ohmique, caractérisé en ce que la région supplémentaire présente une épaisseur dépassant l'épaisseur de la région de conduction du type p de 0,05 micron au moins, les défauts de réseau dans cette région se présentant sous forme de groupements de barreaux (clusters) de concentration allant de lO19cm à à 1022cl 3. 2.- Dispositif indicateur à semi-conducteurs selon la revendication 1, caractérisé en ce que la région supplémentaire est réalisée en deux couches, dont la première couche adhère drecte- ment au second contact ohmique, présente une profondeur dépassant la profondeur de la région de conduction du type p de 0,05 miton au moins, et oenstitue un diélectrique à base de carbure de silicium. 3.- Procédé de préparation du dispositif indicateur à semiconducteur selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, qui consiste à former dans un cristal de carbure de silicium de conduction du type n une région de conduction du type p, une région compensée située entre la région de conduction du type n et la région#formée de conduction du type p et réalisée à-l'aide d'un activateur de luminescence en introduisant dans le cristal de carbure de silicium des impuretés, après quoi on forme le premier contact ohmique adhérant à la région de conduction du type n et au moins un second contact ohmique adhérant à la région de conduction du type n et au moins un second contact ohmique adhérant à la région de conduction du type p, après quoi la région de conduction du type p, adhérant au second contact ohmique, est bombardée avec des ions accélérés d'un gaz inerte, pour créer une région supplémentaire, lequel procédé est c#aractérisé en ce que le bombardement avec des ions accélérés d'un gaz inerte est réalisé avec une densité du flux d'ions allant de 3.1013 ions/ cm2.s à 1,25.1014 ions/cm2.s, une énergie des ions allant de 10 keV à 400 keV et une dose d'irradiation allant de 1,2.1016 ions/cm à 6,2.1017ions/cm. 4.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation du néon, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 10 à 50 keV et la dose d'irradiation 17 2 17 2 va de 1,2.1017ions/cm à 6,2.101 ions/cm 5.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation de l'argon, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à 100 keV et la dose d'irradiation va de 6,2.1016 ion/cm2 à 3,1.îO17iorWcm2. 6.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation du crypton, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 40 keV à 200 keV et la dose d'irradiation va de 3,1.1016 ions/cm à 6,2.10 ions/cm. 7.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation du xénon, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 80 keV à 400 keV et la dose d'irradiation va de 1,2.1016ions/cm2 à 3,1.1016 ions/cm2. 8.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu' après le bombardement avec des ions d'un gaz inerte pour la création d'un domaine supplémentaire à deux #couches, on procède au bombardement avec des ions accélérés d'un élément chimique actif, avec une densité du flux d'ions allant de 6,2.1013ions/cm.s à 3,1.1014ions/cm2.s, l'énergie des ions allant de 10 keV à 250 keV et la dose d'irradiation allant de 1,2.îO17ions/cm2 à 16 2 6,2.10 ionsJcm 9.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation d'ions monoatomiques d'azote, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 10 keV à 100 keV et la dose d'irradiation va de 4.îO17ions/cm2 à 2.1015ion/cm2. 10.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation d'ions diatomiques d'azote,l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à 200 keV et la dose d'irradiation va de 2.1017 ions/cm2 à 1#1018ions/cm2. 11.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation dtions monoatomiques d'oxygène, l'éner- gie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à lOOkeV et la dose d'irradiation va de 3,1.1017 ions/cm à 1,2.1018ions/ cm2. 12.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation d'ions diatomiques d'oxygène, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 40 keV à 250 keV et la dose d'irradiation va de 1,2.1017ions/cm2 à à 6,2.îO17ions/cm2. 13.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'en cas d'utilisation d'ions de carbone, l'énergie des ions se situe dans la gamme allant de 20 keV à 200 keV et la dosed'irradia- tion va de 6,2.1017ions/cm2 à 6,2.10 8ions/cm2.