FR 2239679 A1 19750228 FR 7327948 A 19730731 La présente invention concerne un appareil convenant tout particulièrement comme indicateur, pour la mesure précise de pressions dans des systèmes sous vide ou sous pressions réduites. La mesure des pressions ou de variations de pressions dans des systèmes sous vide, a longtemps constitué un problème dans les laboratoires industriels de recherche ou d'enseignement qui utilisent ou s'occupent de systèmes de ce type. Auparavant, on mesurait généralement ces pressions à l'aide de l'un des deux types d'indicateurs, en fonction de la nature du système et de la précision recherchée. Le premier de ces manomètres est appelé l'indicateur Dubrovin. O'est un type de manomètre qui comprend un cylindre de verre rempli partiellement de mercure, renfermant un tube dracier inoxydable fermé à l'extrémité supérieure et ouvert à l'extremi-té inférieure et qui est immergé verticalement dans le mercure. En cours de fonctionnement, l'indicateur et le tube gracier doivent entre purgés, de façon que la pression résiduelle dans ces éléments soit très faible. Le gaz du système de pression à mesurer est alors admis par l'extremité supérieure du manomètre et provoque l'enfoncement du tube d'acier dans le mercure. L'équi- libre est atteint pour la pression dusystème, lorsque le poids du tube additionné de la force exercée sur son extrémité fermée, est égal à la variation de poids du mercure déplacé, Pour ce type de manomètre, une variation de 1 cm de la longueur du tube d'acier émergeant du mercure représente un changement de pression de 1 torr, si bien que l'on peut détecter une variation de pression de 0,1 torr. Le second type d'indicateur, appelé Mc-Leod, associe un manomètre à fluide avec un moyen pour comprimer un échantillon de gaz; cela augmente ainsi considérablement la gamme des pressions des systèmes qui peuvent être mesurées, au delà des limites présentées par l'indicateur Dubrovin. L'indicateur Mc-Leod classique comprend une ampoule de verre, en haut de laquelle se trouve un tube capillaire ayant une branche secondaire reliée au système sous vide et un moyen pour faire monter ou descendre le niveau du fluide à l'intérieur de l'indicateur de pres sion. Lorsqu'on abaisse le niveau du mercure, l'ampoule piège du gaz issu du système. Ensuite, on élève le niveau du mercure; cela déconnecte l'ampoule de la branche secondaire et comprime l'échantillon de gaz dans l'un des tubes capillaires.La différence de niveau du mercure dans le capillaire de l'ampoule et dans le capillaire de la branche latérale relié au système, est due à la différence de pression provenant de la compression de l'échantillon. Connaissant la différence de hauteur du mercure dans lee deux capillaires et le volume de l'ampoule, on peut alors en déduire la pression du système. L'indicateur de pression Mc-Leod permet une grande finesse des mesures du vide et sert souvent de jauge standard pour étalonner la plupart des autres types d'indicateurs de faibles pressions. Ces deux types d'indicateurs ont cependant leurs incon vénients~particuliers. particuliers. Ceux de l'indicateur Dubrovin sont évi- dents, par le fait que la jauge entière doit être déplacée physiquement ou inclinée avant chaque utilisation; de plus elle nécessite une grande quantité de mercure et n'est pas sensible à des variations de pression inférieures à 0,1 torr. L'indicateur Mc-Leod, tout en étant extrêmement sensible à la pression constante et à des changements de pression, est en soi un instrument incommode pour être utilisé dans la gamme de pression de 10 à 10 -6 torr dans laquelle il est surtout intéressant et il ne permet pas des relevés fréquents.De plus, comme il doit être fait au moins partiellement avec du verre, c'est un dispositif fragile dans lequel le fait de modifier le niveau du mercure entraîne des contraintes particulières de soins pour éviter tout dommage et rupture. L'intérieur de l'indicateur Nc-Leod et le mercure mis en oeuvre doivent être parfaitement propres et en particulier dépourvus d'huile ou de graisse pour empêcher que le mercure n'adhère dans le tube capillaire ou ne redescende pas lorsque le niveau est abaissé.Même lorsqu'on utilise de l'huile comme fluide de mesure, la tuyauterie capillaire utilisée dans l'indicateur de pression Mc-Leod classique, crée des problèmes dans le fonctionnement et la performance du dispositif, parce que l'huile a tendance à coller dans le capillaire à l'endroit où celui-ei se raccorde à l'ampoule. I1 faut alors utiliser un appareillage de chauffage de capillaire pour libérer le fluide. De plus, la tuyauterie de raccordement pour un indicateur Mc-Leod portable constitue une source d'erreur, puisqu'elle doit être longue mais de petit diamètre. La fabrication d'un tel indicateur est délicate, car il faut conformer un volume d'une seule pièce, auquel est raccordé un tube secondaire et un tube capillaire. De plus, l'indicateur Nc-Leod nécessite généralement, en fonction de sa taille, des méthodes élaborées pour élever et abaisser en douceur le mercure, car l'utilisation de celui-ci requiert beaucoup de précautions. Le brevet américain N 2 458 759 préconise une amélioration, de l'indicateur Dubrovin du moins. L'indicateur décrit par ce brevet permet de mesurer des pressiolF subatmosphériques; il comprend un récipient fermé, partiellement rempli d'un fluide et relié au système dont on veut mesurer la pression, une coupelle de- piégeage, flottant dans le liquide et un moyen magnétique pour déplacer la coupelle à l'intérieur du récipient. Belon cette invention, le gaz du système est piégé, non par mouvement du fluide mais par déplacement de la coupelle de piégeage, qui est élevée au-dessus du fluide, puis rabaissée. Le poids de la coupelle, diminué du poids du fluide déplacé, constitue alors la pression appliquee au volume de gaz piègé, qui est la pression du système. Ce brevet décrit une coupelle de piègeage, qui flotte dans un fluide unique et que l'on déplace pour pièger un volume de gaz. L'inconvénient fondamental de ce système est qu'il n'y a pas de compensation pour des variations de température; les densités de l'élément flottant, du cylindre et du gaz varient toutes non seulement en fonction de la température, mais aussi les unes par rapport aux autres, de telle sorte qutune petite variation de température donne un changement- dans le relevé qui fournit une erreur linéaire. De plus, une telle variation dans ce -système, comme dans l'indicateur Dubrovin, empeche la empêche la création possible d'une ligne de base fixée ou stableÎou de point de référence pour une pression nulle, si bien que cela rend dénués de sens tous relevés effectués dans des conditions physiques variant même légèrement. Bien que la fabrication d'un tel indicateur soit beaucoup moins conteuse que celle d'un-Nc-Teod, ce système n'est pas aussi précis et il sert seulement pour des systèmes dont les pressions sont supérieures à 0,1 torr. Enfin, tous ces indicateurs mettent en oeuvre du mercure comme fluide de mesure; cela présente non seulement un danger pour le manipulateur, mais aussi un risque de contamination par le mercure du gaz du système dont on veut déterminer la pression. Le vacuomètre selon 11 invention résoud les problèmes indiqués plus haut et permet une mesure précise des pressions d'un système sous vide. Ce dispositif présente un récipient clos, communiquant à son extrVmité supérieure avec un système sous vide par un conduit muni d'une soupape située dans le conduit; ce récipient entoure et renferme un plongeur dont la partie inférieure est en forme d'ampoule sphérique creuse ou en forme de cloche et la partie supérieure comprend des éléments capillaires parallèles doubles, orientés vers le haut et dont les extrémités inférieures s'ouvrent dans l'ampoule ou la cloche de la partie inférieure. le plongeur peut se déplacer verticalement à l'intérieur du récipient de telle sorte qu'il peut être élevé au dessus du niveau d'un fluide ou enfoncé dans un fluide secondaire qui remplit le fond du récipient. Sous le fluide secondaire, se trouve une certaine quantité de mercure, laquelle dépend de la configuration de l'ex- trsmité inférieure du récipient, qui correspond à la configuration de la partie inférieure de l'élément plongeur.Au début de l'opération de mesure, l'ampoule ou la cloche de l'élément plongeur qui s'ouvre vers le bas, en formant une embouchure, se trouve au dessus de la surface du fluide secondaire contenu dans le récipient. lorsque l'on ddsire mesurer la pression du système relié à l'indicateur, on abaisse le plongeur de telle sorte que le fluide secondaire entre dans l'embouchure du plongeur et réalise une première compression du gaz. lorsque l'embouchure de la partie inférieure du plongeur entre en contact avec le mercure, la seconde étape de compression du gaz commence, dans laquelle le mercure joue le rôle d'un piston pour faire monter le fluide se condaire dans les capillaires au-dessus du niveau du fluide qui se trouve à l'extérieur du plongeur.On manoeuvre celui-ci jus '-qu'à ce que le fluide secondaire atteigne le niveau zéro dans le capillaire de référence. On peut alors effectuer un relevé direct sur le capillaire de mesure pour déterminer la pression du système. L'appareil selon l'invention présente un avantage notable en ce que l'utilisation d'un capillaire de référence établit une ligne de base stable ou point de référence invariable, qui n'est pas perturbé au cours de la mesure. Ce point de référence constitue un point de départ commun pour chaque mesure, ce qui constitue une amélioration énorme par rapport aux dispositifs antérieurs, dépourvus de "base" ou alors pourvus de "base" variable qui fluctue en fonction de la température et/ou de la pression, ce qui ôte toute valeur aux mesures effectuées. Par ailleurs, le fluide secondaire contenu dans ces capillaires de référence et de mesure, est toujours en équilibre lorsque le relevé de la mesure est réalisé, de sorte que l'on n'a pas des erreurs dues à des forces non-équilibrées, propres à de nombreux dispositifs antérieurs. De plus, la construction selon la présente invention réduit fortement l'erreur due aux variations de température, que l'on indiquée à propos des autres dispositifs. L'appareil selon la présente invention n'est pas un indicateur de pression du type flottant, mais il est construit de telle sorte que les densités de ses divers éléments ne puissent interagir ou changer les unes par rapport aux autres par suite de variations de température et fournir des données imprécises ou contradictoires. Avec l'appareillage de l'invention, un changement de température n'a qu'un effet minime sur la mesure. On peut obtenir une lecture de mesure de pression simplement en levant et en abaissant le plongeur; la manoeuvre est donc beaucoup plus rapide que les opérations de bascule et d'égouttage qui sont nécessaires pour utiliser les indicateurs Dubrovin ou Mc-Leod à huile et beaucoup plus facile que l'opération requise pour élever le niveau du mercure dans un indicateur Mc-Leod. Ainsi, on peut réaliser des mesures beaucoup plus fréquentes. Le vacuomètre selon l'invention n'utilise aussi que de faibles quantités de mercure, lequel est recouvert d'un fluide secondaire comme de l'huile, qui joue le rôle de fluide de mesure. En recouvrant ainsi d'huile le mercure, on réduit fortement la contamination survenant lors de l'utilisation du mercure en contact direct avec le gaz, comme dans les indicateurs de pression de l'art antérieur. La quantité limitée de mercure utilisée est aussi intéressante en ce que cela diminue des problèmes de poids, de possibles ruptures et risques de renversement. La densité de l'huile servant de fluide secondaire et fluide de mesure est quinze fois inférieure à celle du mercure, l'huile est beaucoup moins conteuse et de plus le capillaire de mesure est construit uniquement pour s'ouvrir dans l'ampoule ou la cloche du plongeur à travers une extrêmité inférieure de diamètre intérieur croissant (l'ouverture du capillaire ayant le plus petit diamètre), de telle sorte que l'huile n'adhère pas auxparois du capillaire. I1 en résulte que le vacuomètre selon l'invention est beaucoup plus exact que les indicateurs Dubrovin, améliorés ou non, qui peuvent fournir des relevés jusqu'à environ 0,1 torr. Ce dispositif fournit des lectures beaucoup plus exactes et précises que les autres indicateurs de l'art antérieur. En fait, la précision et l'exactitude obtenues selon la présente invention dépendent et ne sont limitées que par les normes de sa construction et la précision recherchée. En bref, l'indicateur de pression selon l'invention permet de mesurer la pression de systèmes sous vide; cet appareil est compact, de manipulation facile et rapide; il fournit un point de référence constant pour la mesure, une compensation automatique pour des variations de température et réduit ainsi l'erreur, permet une grande exactitude de mesures et élimine la contamination par le mercure, du système dont on veut mesurer la pression. Le vacuomètre selon l'invention fournit donc un point de référence non-variable sur lequel sont basées toutes les mesures; dans cet appareil, le fluide de mesure est en équilibre au cours des mesures et lton obtient des résultats corrects et exacts, malgré des variations de température et de pression. Enfin, il permet des mesures rapides, faciles et fréquentes de ces pressions faibles. L'appareil selon l'invention permet par ailleurs de réduire les risques de contamination par le mercure et de rupture du verre, du fait que la quantité limitée de mercure utilisée est recouverte d'un fluide secondaire de mesure, qui présente un faible poids spécifique. Cet appareil est peu coûteux à la fabrication, et permet une mesure très exacte sur une large gamme de pression. Enfin, le poids de cet appareil-est léger et permet un transport aisé. les avantages de l'appareil selon la présente invention seront mieux compris par référence aux dessins ci-joints sur lesquels La figure 1 est une vue en perspective d'un vacuomètre selon l'invention; La figure 2 est une vue verticale en coupe droite d'un vacuomètre selon l'invention, dont le plongeur en position levée, présente une partie inférieure en forme d'ampoule; La figure 3 est une vue verticale, en coupe droite, du vacuomètre de la figure 2, le plongeur étant en position abaisse pour la mesure; La figure 4 est une vue verticale en coupe droite d'un vacuomètre selon l'invention dont le plongeur, présentant une partie infdrieure en forme de cloche, est en position abaissée pour effectuer la mesure. Dans la figure 1, un vacuomètre selon l'invention est représente en 10. Ce vacuomètre 10 comprend un support ou base 14 qui porte et maintient en position verticale, un récipient 12 qui est fermé étanche aux deux extr9mités; ltextre mité supérieure comprend un conduit 16 qui passe dans le couvercle étanche 13 et qui la relie à un système sous vide (non représenté). Le récipient fermé et étanche 12 peut être ouvert pour être mis en communication avec le système dont on veut déterminer la pression, à 11 aide d'une soupape 18, disposée dans le conduit 16. Le récipient 12 comprend un plongeur 20- (figures 1 et 2) qui peut se déplacer verticalement dans le récipient. le plongeur 20 présente une portion inférieure en forme d'ampoule (figures 1 à 3) définissant un volume intérieur creux -23, qui ouvre sur l'intérieur du récipient 12 par une embouchure 25 faisant saillie vers le bas. La partie supérieure 24 du plongeur comporte un ca pillaire de référence 26 qui se prolonge vers le-haut et un capillaire de mesure 28, dirigé vers le haut, généralement parallèle a71 premier et fermé à son extrémité supérieure.Ces capillaires 26 et 28 sont formés à partir d'un tube ayant pratiquement la même taille intérieure sur la plus grande partie de sa longueur. l'extr4mité inférieure ouvre dans l'intérieur creux 23 de la partie inférieure 22 en forme d'ampoule du plongeur 20. le capillaire 26 se prolonge vers le bas en l'élément 29 à l'intérieur 23 de la partie 22 en forme d'ampoule, en direction de l'embouchure 25. le capillaire de mesure 28 est disposé généralement le long de l'axe central du récipient 12, sur la longueur de celui-ci; son extrémité supérieure est fixée ou fait partie d'un arbre 27 qui contribue au déplacement du plongeur à l'intérieur du récipient 12.Le diamètre intérieur ou calibre du capillaire de mesure 28 est, à dessein, augmenté peu à peu depuis I'extrê- mité inférieure jusqu'à l'orifice du capillaire à l'intérieur de l'espace creux, de telle sorte que l'huile n'adhère pas aux parois de celui-ci, comme cela se passe dans les indicateurs de pression de l'art antérieur, et ne gêne pas la mesure. Près de la partie supérieure de l'arbre 27, on dispose un aimant 36 qui peut se déplacer librement à l'intérieur d'un passage de petit diamètre 40 pour le plongeur et qui se prolonge dans le couvercle étanche 13 de façon hermétique. L'aimant intérieur 36, disposé dans l'arbre 27 du plongeur, est complété par un aimant extérieur annulaire 38 fixé sur la périphérie extérieure du passage 40 du plongeur, de telle façon que les pôles opposés des aimants 36 et 38 sont adjacents (figures 2 et 3). Ainsi, les aimants extérieur 38 et intérieur 36 créent un champ magnétique d'attraction entre eux, Si bien que lorsque l'aimant extérieur 38 ést déplacé verticalement le long du passage 40, l'aimant intérieur 36 et le plongeur 20 qui lui est attaché, se déplacent pareillement. Sur la figure 2, le plongeur 20 est disposé au-dessus d'un fluide secondaire 32, contenu dans la partie inférieure du récipient 12. le fluide secondaire 32 est lui-même placé sur un fluide primaire, par exemple, une petite quantité de mercure 34. Ce mercure remplit ltextrémité inférieure 42 du récipient, dont la forme correspond à la forme en ampoule de la partie inférieure 22 du plongeur 20. Lorsque l'on désire mesurer la pression d'un système sous vide, on ouvre la soupape 18 de façon que la pression du système communique avec le récipient 12 par la conduite 16. L'aimant extérieur 38 est alors descendu le long de l'extérieur du passage 40; cela entraine l'aimant intérieur 36 et l'arbre 27 qui lui est fixé, sur une même distance, vers le bas, de sorte que le plongeur entier 20 se déplace vers le fluide secondaire 32. Le plongeur 20 est guidé dans son mouvement descendant et reste ainsi pratiquement vertical. le guidage est réalisé par des protubérances 44 disposées sur la circonférence de la partie inférieure 22 du plongeur 20 (figure 2). Lorsque la partie 22 en forme d'ampoule du plongeur 20, atteint le fluide secondaire 32, celui-ci pénètre dans l'intérieur creux 23 de la partie 22 par l'embouchure 25 et amorce la première compression du gaz dont on veut mesurer la pression. Lors- que le fluide 32 entre dans le prolongement 29 du capillaire de référence, le gaz à l'intérieur de l'ampoule 22 du plongeur est en fait séparé du système 80US vide. Alors que le plongeur 20 continue son mouvement vers le bas, l'embouchure 25 de partie inférieure 22 du plongeur 20, atteint la masse de mercure 34, entre en contact avec elle et le mercure 34 pénètre par l'embouchure 25 et entoure sa périphérie externe (figure 3). Le mercure 34 joue le rôle de piston pour pousser le fluide 32 dans les capillaires 26 et 28 au-dessus du niveau du fluide 32 à l'extérieur du plongeur et il amorce la seconde étape de compression du gaz. Lorsque le niveau du fluide 32 dans le capillaire 26 de référence atteint la ligne "zéro" indiquée sur l'échelle de mesure 30 étalonnée, et fixée au plongeur 20, le niveau du fluide dans le capillaire de mesure 28 atteint un point qui indique la pression du système sous vide, lue directement sur l'échelle de mesure 30. Lorsque le plongeur 20 est relevé de façon que Item bouchure 25 de la partie inférieure 22 sorte du fluide secondaire 32, une goutte de celui-ci reste, bloquant l'ouverture du capillaire de référence 26 et maintenue par la tension superfi cielle; de cette façon, le capillaire 26 ne transmet pas la pression piègée dans l'ampoule 22, que l'on doit mesurer, à une quelconque pression consécutive, développée par le système sous vide. Lorsque le niveau fluide 32 dans le capillaire de référence 26 est amené au niveau zéro, on obtient une vraie lecture de la pression du système sous vide, puisque, au zéro, le fluide secondaire 32 dans le capillaire de référence 26 est en équilibre avec le fluide 32 dans le capillaire de mesure 28 et qu'un point de référence constant et invariable est établi, sur lequel les mesures sont fondées. On est sûr d'avoir des mesures exactes puisque chaque détermination a le même point de référence. La figure 4 montre un autre vacuomètre selon l'invention, de structure légèrement différente0 On utilise alors un peu plus de mercure 48 et un récipient 12 dont la partie inférieure 52 est légèrement différente. La partie inférieure 46 du plongeur 20 a la forme d'une cloche, pourvue d'une embouchure 49. De plus, le prolongement 50 du capillaire de référence 26 est plié à angle droit par rapport à l'axe central du récipient 12, si bien qu'il traverse l'intérieur 53 de la partie inférieure 46 en remontant légèrement.Grâce à cet angle, une petite quantité du fluide secondaire 32 reste dans le capillaire de référence 26 lorsque le plongeur 20 est élevé au-dessus du fluide secondaire 32; ainsi cela coupe le capillaire de référence 26 de l'intérieur 53 de la partie inférieure 46 et empêche toute communication entre l'intérieur 53 de la partie en cloche 46 et le système sous vide, au cours de la mesure. T'extrémité inférieure 52 du récipient 12 présente une forme qui correspond à la partie 46 en forme de cloche du plongeur 20. Ainsi, le centre du fond de l'ex- tremité inférieure 52 du récipient 12, fait une saillie vers le haut, dans l'intérieur 53 de la partie inférieure 46 du plongeur. le mercure 48 est disposé tout autour de cette protubérance entre les parois intérieures du récipient 12 (figure 4). Pour faire fonctionner ce vacuomètre, on abaisse le plongeur 20 dans le fluide secondaire 32, lequel pénètre dans le creux 53 à l'intérieur de la partie inférieure 46 et le sépare du système de vide. lorsque les bords de l'embouchure 49 de la partie 46 en forme de cloche entrent en contact avec le mercure 48, celui-ci joue le rôle de piston pour pousser le fluide 32 dans les capillaires 26 et 28 et pour réaliser la seconde compression du gaz, dont on veut mesurer la pression, dans le capillaire 28. Lorsque le capillaire de référence 26 indique "zéro", on peut lire la pression du système à l'aide du capillaire de mesure 28 et de 11 échelle graduée 30. Le récipient 12 peut être constitué d'un matériau quelconque convenable, facile à mettre en forme, imperméable et suffisamment résistant pour résister àîa pression atmosphérique, comme le verre ou le plastique. Le plongeur 20 peut être formé d'un matériau quelconque convenable, facile à mettre en forme, transparent, de faible poids, étanche et pratiquement non-magnétique, comme du verre ou du plastique. Les capillaires 26 et 28 doivent pouvoir être formés avec grande précision, pour avoir à peu près- le même diamètre, sauf pour les extrémités inférieures. Le fluide secondaire 52 peut être un fluide quelconque approprié ayant une densité plus faible que celle du mercure et une viscosité qui ne tend pas à créer des problèmes d'écoule- ment à l'intérieur des capillaires 26 et 28. Un tel fluide peut être du sébacate de dibutyle que l'on utilisait auparavant dans les jauges Mc-Leod. Le fluide primaire est de préférence du mercure en une quantité qui dépend du vacuomètre particulier utilisé. Par exemple, dans le dispositif préféré (figures 1 à )), on n'a besoin que de 3 ou 4 cl3, alors qu'il en faut environ 10 cm3 pour le dispositif de la figure 4. Bien entendu, l'invention englobe également tous les détails pouvant être modifiés sur le dispositif, dans le cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Appareil convenant particulièrement pour mesurer avec précision des pressions de systèmes sous vide, caractérisé en ce qu'il comporte un récipient clos et étanche en ses extrémités opposées, ltextrsmité supérieure étant reliée au système sous vide et ltextrémité inférieure contenant une certaine quantité d'un fluide primaire, surmonté d'une quantité d'un fluide secondaire, et un plongeur entouré et enfermé dans le récipient et portant, en sa partie supérieure, des éléments capillaires se prolongeant vers le haut, et sa partie inférieure ayant une configuration similaire à celle de l'extremité inférieure du récipient; en ce que ce plongeur peut se déplacer verticalement à l'intérieur du récipient pour rejoindre son extrémité inférieure en déplaçant le fluide primaire qui y est contenu et forçant ainsi le fluide secondaire renfermé dans le récipient à pénétrer dans les capillaires de façon à permettre ainsi une mesure de la pression du système sous vide. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le plongeur comprend une ampoule creuse pratiquement sphérique, laquelle est munie -sur la partie inférieure d'une embouchure cylindrique ouverte, faisant saillie vers le bas, et sur la partie supérieure, d'un premier et d'un second capillaires dirigés vers le haut, et pratiquement parallèles aux côtés du récipient audessus de l'ampoule, et ouvrant sur l'intérieur de cette ampoule par leur extrémité inférieure; en ce que cette ampoule peut se déplacer vers le bas, à l'intérieur du récipient de telle façon que l'embouchure cylindrique de celle-ci puisse a'insérer dans une partie de forme correspondante faisant saillie vers le bas, appartenant à l'extrefmité inférieure du récipient, cette partie en saillie contenant le liquide primaire dont une portion est déplacée lorsque l'embouchure de l'ampoule se déplace vers le bas, si bien que le volume déplacé fait entrer de force un certain volume du second fluide contenu dans le récipient, dans les capillaires situés à la partie supérieure du plongeur. 5. Appareil selon ltune des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que le premier capillaire sert de référence et a une partie inférieure qui s'étend vers le bas à l'intérieur de l'ampoule sphérique et se dirige généralement vers l'embouchure de celle-ci, et que le second capillaire est un capillaire de mesure, dont l'extrêmité supérieure est fermée et ltextremité inférieure ouvre sur l'intérieur de l'ampoule, le diamètre de ce capillaire de mesure augmentant de son extrémité inférieure vers l'intérieur de l'ampoule. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ee que le plongeur comporte un corps en forme de cloche ouvert en son extrémité inférieure et portant dans sa partie supérieure, un premier et un second capillaire, dirigés vers le haut, pratiquement parallèles aux parois du récipient et ouvrant dans l'inté- rieur de cette cloche par leur extremité inférieure; en ce que cette cloche peut se déplacer vers le bas, à l'intérieur du récipient, de telle façon que son extrmité inférieure ouverte puisse s'insérer sur une partie de forme correspondante, faisant saillievers le haut et appartenant à ltextrémité inférieure du récipient; en ce que le mouvement descendant de cette cloche déplace un certain volume du fluide primaire contenu dans le bas du récipient, de telle manière que ce volume déplacé fait entrer de force un certain volume du fluide secondaire contenu dans le récipient, dans les capillaires situés à la partie supérieure du plongeur. 5. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le premier capillaire sert de référence et a une partie inférieure qui s'étend dans l'intérieur du corps en forme de cloche et se dirige pratiquement perpendiculairement -à son axe central, et que le second capillaire est un capillaire de mesure, dont ltextremité supérieure est fermée et ltextre'mité inférieure ouvre l'intérieur de la cloche, le diamètre de ce capillaire de mesure augmentant des son extrémité inférieure vers l'intérieur de la cloche. 6. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le fluide primaire est du mercure et que le fluide secondaire est un fluide de faible densité0 7. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'on peut déplacer verticalement le plongeur à l'intérieur du récipient à l'aide de moyens couplés magnétiquement, disposés près de la partie supérieure du plongeur à l'intérieur et à l'extérieur du récipient0 8.Appareil convenant particulièrement pour mesurer avec précision des pressions de systèmes sous vide, comprenant un récipient clos et étanche en ses extrêmités opposées, le-dit récipient étant en communication par son extrOmité supérieure avec un système sous vide par un conduit, l'appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend un plongeur entouré et enfermé dans le récipient et portant, en sa partie supérieure, des éléments capillaires se prolongeant vers le haut, et sa partie inférieure ayant une configuration similaire à celle de lrextrémité inférieure du récipient; en ce que ce plongeur peut se déplacer verticalement à l'intérieur du récipient pour rejoindre son extrSmité inférieure en déplaçant le fluide primaire qui y est contenu et forçant ainsi le fluide secondaire renfermé dans le récipient à pénétrer dans les capillaires de façon à permettre ainsi une mesure de la pression du système sous vide. 9. Appareil selon la revendication 8 caractérisé en ce que le plongeur comprend une ampoule creuse pratiquement sphéri- que laquelle est munie sur la partie inférieure d'une embouchure cylindrique ouverte, faisant saillie vers le bas et sur la partie supérieure, d'un premier et d'un second capillaires dirigés vers le haut, pratiquement parallèles aux côtés du récipient au-dessus de l'ampoule, et ouvrant sur l'intérieur de cette ampoule par leur extrêmité inférieure; en ce que cette ampoule peut se déplacer vers le bas, à l'intérieur du récipient de telle façon que l'embouchure cylindrique de celle-ci puisse s'insérer dans une partie de forme correspondante faisant saillie vers le bas, appartenant à I'extr8mité inférieure du récipient, cette partie en saillie contenant le liquide primaire dont une portion est déplacée lorsque l'embouchure de l'ampoule se déplace vers le bas, si bien que le volume déplacé fait entrer de force un certain volume du second fluide contenù dans le récipient, dans les capillaires situés à la partie supérieure du plongeur. 10. Appareil selon la revendication 9 caractérisé en ce que le premier capillaire sert de référence et a une partie inférieure qui s'étend vers le bas à l'intérieur de l'ampoule sphérique et se dirige généralement vers l'embouchure de celle-ci, et que le second capillaire est un capillaire de mesure, dont l'extremité supérieure est fermée et ltextrvmité inférieure ouvre sur l'intérieur de l'ampoule, le diamètre de ce capillaire de mesure augmentant de son extrémité inférieure vers l'intérieur de l'ampoule. 11, Appareil selon la revendication 8 caractérisé en ce que le plongeur comporte un corps en forme de cloche ouvert en son extrémité inférieure et portant, dans sa partie supérieure, un premier et un second capillaire, dirigés vers le haut, pratiquement parallèles aux parois du récipient et ouvrant dans l'intérieur de cette cloche par leur extrvmité inférieure; en ce que cette cloche peut se déplacer vers le bas, à l'intérieur du récipient, de telle façon-que son extrdmité inférieure ouverte puisse s'insérer sur une partie de forme correspondante, faisant saillie vers le haut et appartenant à ltextremité inférieure du récipient; en ce que le mouvement descendant de cette cloche déplace un certain volume du fluide primaire contenu dans le bas du récipient, de telle manière que ce volume déplacé fait entrer de force un certain volume du fluide secondaire contenu dans le récipient, dans les capillaires situés à la partie supérieure du plongeur. 12. Appareil selon la revendication Il caractérisé en ce que le premier capillaire sert de référence et a une partie inférieure qui s'étend dans l'intérieur du corps en forme de cloche et se dirige pratiquement perpendiculairement à son axe central, et que le second capillaire est un capillaire de mesure, dont l'extrsmité supérieure est fermée et l'extrsmité inférieure ouvre sur l'intérieur de la cloche, le diamètre de ce capillaire de mesure augmentant de son extrémité inférieure vers l'intérieur de la cloche. 13. Appareil selon la revendication 8 caractérisé en ce que le fluide primaire contenu dans le récipient est du mercure et que le fluide secondaire est un fluide de faible densité. 14. Appareil selon la revendication 8 caractérisé en ce que l'on peut déplacer verticalement le plongeur à l'intérieur du récipient à l'aide de moyens couplés magnétiquement, disposés près de la partie supérieure du plongeur à l'intérieur et à 11 extérieur du récipient.