FR 2232832 A1 19750103 FR 7320502 A 19730606 La présente invention concerne un procédez pour régulariser le régime.de décharge préétabli d'une opération de pulvérisation cathodique conduite dans une enceinte à l'intérieur de laquelle sont disposées au moins une première électrode, dite "électrode cible", supportant les matériaux bombardes et une seconde électrode, dite 'telectrode de recueil", supportant les substrats recfiouvrir d'un dépit en couche mince. On sait que, durant une opération de pulvérisation cathodique, l'atmosphère est renouvelée. en permanence dans l'enceinte de pulvérisation. Pour cela, les gaz présents dans cette enceinte sont aspires par une pompe à vide tandis que des gaz frais sont, par ailleurs, simultanément introduits en compensation, une certaine pression d'equilibre devant être atteinte qui corresponde à la pression désirée. La valeur et la stabilité de cette pression sont des facteurs importants d Wecharge. Aussi, le débit d'admission de gaz frais est-il asservi -manuellement ou automatiquementaux indications de ladite pression que fournit un manomètre dont la sonde est disposée à la périphérie de l'enceinte. Or, la pression indiquée par un manomètre est une pression moyenne qui ne rend. pas compte, immédiatement et totalement, des variations fréquentes de la pression à l'intérieur même du plasma de la décharge. En effet, un manomètre -par exemple la jauge de PIRANI, couramment employée en pulvérisation cathodique- ne peut enregistrér, notamment du fait de son inertie, des variations de pression liées à des désorptions se produisant inopinément, et qui modifient durant un instant seulement le régime de décharge établi. En bref, la pression que mesure un manomètre est une pression statique alors que le regime de décharge, toutes choses étant égales par ailleurs, est essentiellement commandé par la pression dynamique régnant l'interieur du plasma. Il est évident que la régularité et la qualité des résul- tats obtenus en pulvérisation cathodique dépendent étroitement de ladite pression dynamique. Aussi, la présente invention a pour but la mise en oeuvre d'un procédé permettant de relier le débit des gaz frais introduits dans l'enceinte de pulvérisation à la pression moyenne dynamique régnant à l'intérieur du plasma de la décharge. L'invention prend en considération le fait que toute surface isolée, plongée dans le plasma d'une décharge luminescente, se fixe électriquement à un potentiel d'autopolarisation défini, communément désigné sous l'appellation de "potentiel flottant". Selon l'invention > un procédé p-our régulariser le régime de décharge préétabli d'une opération de pulvérisation cathodique conduite dans une enceinte à l'intérieur de laquelle sont disposées au moins une première électrode, dite "électrode cible", supportant les matériaux bombardés et une seconde électrode, dite "électrode de recuei, supportant les substrats à recouvrir d'un dépôt en couche mince, est notamment remarquable en ce que le débit du gaz traversant en continu ladite enceinte est corrigé en fonction de variations de potentiel affectant une électrode métallique, dite "électrode auxiliaire", isolée, plongée dans le plasma de-ladite décharge. Il est connu, depuis longtemps déjà, de "sonder" un plasma à l'aide d'électrodes isolées(sondes de LANGMUIR). Mais le but de la présente invention est tout autre puisqu'il s'agit de régulariser une décharge en exploitant des variations de potentiel apparaissant en un point donné du plasma de cette décharge. C'est un avantage du procédé selon l'invention de permettre d'exercer un contrôle plus étroit de la décharge, de remédier à ses fluctuations et finalement d'obtenir ainsi des dépôts plus réguliers et reproductibles. Le potentiel d'autopolarisation d'une électrode isolée dans le plasma d'une décharge de pulvérisation cathodique varie, en effet, quand varient des paramètres tels que, par exemple, la tension d'alimentation de la décharge ou bien la puissance du signal haute fréquence lorsqu'il 5 agit de pulvérisation en haute fréquence, ou bien encore l'état de polarisation des électrodes ou la composition du gaz d-e décharge. Maisspour une opération définie de pulvérisation cathodique, des paramètres tels que ceux cités ci-dessus sont, en général, bien fixés.Par contre, la pression dynamique est sujette à des variations plus ou moins fréquentes et pratiquement incontrôlabres qui affectent directement la valeur du potentiel d'autopoIarisation et que l'on peut corriger parades modifications convenables du débit des gaz frais admis dans ltenceinte de pulvérization. D'autre part, le potentiel d'autopolarisation suit avec fidélité les variations de la pression dynamique, avec l'avantage que la réponse est rapide. Avantageusement, lorsque- la décharge est entretenue par une tension à haute frequence, l'électrode de recueil, montée isolée, tient lieu d'electrode auxiliaire. Une telle disposition de l'électrode de recueil, isolée dans la décharge, offre un doublé avantage D'abord, eu égard à l'in vention même, elle permet une simplification de mise en oeuvre D'autre part on sait que-dans le cas du dépôt de substances diélectriques > elle évite qu'une différence de potentiel parasite apparaisse entre la surface de l'électrode de recueil et la surface dudit dépôt, différence de potentiel qui risque de provoquer des arcs susceptibles d'endommager ce dépôt. Dans l'hypotlièse où l'électrode de recueil est reliée électriquement à l'installation et ne peut, de ce fait, remplir parallèlement le rôle d'électrode auxiliaire, ladite électrode auxiliaire peut etre réalisée par exemple, sous la forme d'une pièce ànnulaire entourant l'électrode de recueil Une connexion électrique reliée à cette pièce annulaire traverse l'enceinte de pulvérisation par un passage isolant. Dans une autre forme de réalisation de l'électrode auxiliaire, celle-ci peut être constituée par une lame conductrice reposant sur l'une des faces d'une plaquette diélectrique. La plaquette diélectrique est alors posée, selon a face nue, sur l'électrode de recueil. Un écran est prévu qui protège du dépôt au moins une partie de ladite lame afin que celDe-ci demeure, électriquement, en contact direct avec le plasma ceci dans l'hypothèse où ledit dépôt est de nature-isolante. Il est à remarquer que, dans le cas d'une alimentation de la décharge en haute fréquence, ltelectrode cible, alors isolée du point de vue continu, peut tenir lieu-d'électrode auxiliaire. Toutefois, le potentiel d'autopolarisation de l'électrode cible (comparativement-, et pour une même opération de pulvérisationf beaucoup plus élevé que celui de l'électrode de recueil isolée ou de I'éleetrode auxiliaire) est caractéristiques non seulement de la pression dynamique dans le plasma de la décharge, mais aussi de la puissance haute fréquence mise en jeu Ctest donc seulement si la puissance haute fréquence est bien stable que l'électrode cible peut être utilisée comme électrode auxiliaire et répondre alors strictement au but de l'invention. Suivant une caractéristique complémentaire de l'invention, les variations du-potentiel d'autopolarisation de l'électrode auxiliaire (ou de l'électrode de recueil dans le cas où celle-ci est isolée et tirent lieu d'électrode auxiliaire) autour d'une certaine valeur de référence, témoin d'un point de fonctionnement choisi de la décharge, donnent naissance à des variations corrélatives de courant dans une résistance de valeur appropriée associée en série avec l'électrode auxiliaire. Lesdites variations -de courant, transmises à l'entrée d'un amplificateur bidirectionnel équilibré, eommandent. un moteur à deux sens-de marche qui commande lui-même une valve à aiguille placée sur le chemin de l'arrivée des gaz frais dans l'enceinte de pulvérisation. La valeur de la résistance placée en série avec l'électrode auxiliairedoit être choisie suffisamment élevée pour que le courant circulant dans le circuit de l'électrode auxiliaire soit faible (de l'ordre de quelques dizaines de microampères). On sait qu'un courant de cet ordre n'a alors aucune influence sur le potentiel d'autopolarisation de ladite électrode qui lui a donné naissance, et cette électrode peut être regardée comme parfaitement isolée dans la décharge. La description qui va suivre en regard des dessins annexés fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 représente, de façon schématique et simplifiée, une installation de pulvérisation cathodique en configuration diode équipée d'une électrode auxiliaire isolée pour mise en oeuvre du. procédé de régulation de la décharge selon l'invention. La figure 2 représente un autre modèle d'électrode auxiliaire pouvant convenir, disposée directement sur l'électrode de recueil de l'installation de pulvérisation cathodique. La figure 3 représente l'électrode auxiliaire de la figure 2, vue en-plan selon la face de cette électrode tournée vers l'espace de décharge de l'installation de pulvérisation cathodique. La figure 4 représ-ente l'électrode auxiliaire de la fig. 2 vue en coupe selon la ligne IV-IV de la fig. 3. La figure 5 est un g-raphique montrant l'évolution du potentiel d'autopolarisation d'une électrode auxiliaire isolée plongée dans le plasma de la décharge au cours d'une opération de pulvérisation cathodique conduite dans des conditions déterminées, en fonction de la valeur de la pression statique régnant à l'intérieur de l'enceinte. La figure 6 représente le schéma électrique d'un dispositif électronique susceptible d'être associé à l'électrode auxiliaire nécessaire à la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. L'installation de pulvérisation cathodique représentée sur la fig. 1 comporte essentiellement deux électrodes, une électrode cible 10 et une électrode de recueil 11 disposéesen regard l'une de l'autre à l'intérieur d'une enceinte limitée par une platine métallique supérieure 12, une platine métallique inférieure 13 et une paroi latérale isolante et transparente 14. L'électrode cible 10 est entourée latéralement et postérieurement par un anneau de garde 15 relié à la platine 12. Des traversées isolantes 16 et 17 maintiennent les électrodes 10 et 11 isolées des platines 12 et 13. Lesdites électrodes sont refroidies, si nécessaire, par un courant d'un fluide réfrigérant empruntant des canalisations intérieures à ces électrodes ; les tubulures î8a et 18b représentent par exemple les entrées, et les tubulures 19a et 19b les sorties, de ces canalisations. Avantageusement, pour des raisons d'iso]ement, l'alimentation en fluide réfrigérant est opérée dans les conditions décrites dans le brevet français nO 2 097549 de la Demanderesse, qui prévoit des conduites d'amenée et de retour dudit fluide ayant une grande longueur et de préférence conformées en bobines sur au moins une partie de cette longueur afin de profiter éventuellement de l'effet réactant leé à une telle structure dans le cas d'une alimentation en tension à haute fréquence. A travers la platine "périeure 12 débouche une tubulure 20 par laquelle sont introduits les gaz frais de décharge. L'enceinte est en relation d'autre part, avec un dispositif de pompage non représenté, branché sur la tubulure 21 adaptée à la platine inférieure 13. L'électrode auxiliaire permettant la mise en oeuvre du nrnC^dn de rgulaton de la décharge selon l'invention peut être realisée sous différentes formes. Cette électrode peut prendre, par exemple, la forme d'un anneau 22 qui entoure l'électrode de recueil 11 et qui est supporté par la tige 23 traversant la platine inférieure 13 par le passage isolant 24. L'anneau 22 est en un matériau conducteur,en nickel par exemple. La tige 23 est soit en un matériau conducteur, soit en un matériau diélectrique; dans cette dernière hypothèse, elle est traversée intérieurement par un fil métallique relié à l'anneau 22. Dispose comme il est indiqué sur la figure 1, l'anneau 22 est en contact avec le plasma de la décharge qui prend place entre l'électrode cible 10 et l'électrode de recueil Il sous l'effet d'une tension d'alimentation que fournit, par exemple, le générateur de tension 25. On peutsupposer, par exemple, que la tension d'alimentation est une tension alternative à haute fréquence et que, d'autre part, l'électrode de recueil il et les platines 12 et 13 ont été reliées à la masse de l'installation. Plongé dans le plasma de la décharge, l'anneau 22 se fixe électriquement à un potentiel d'autopolarisation de valeur déte minée, caractéris-tique du point de fonctionnement choisi et qui est susceptible de variations plus ou moins importantes et plus ou moins rapides liées à celles des paramètres régissant la décharge. Ce potentiel d'autopolarisation, dont on sait que la valeur absolue peut atteindre une centaine de volts, est positif ou négatif par rapport au potentiel 0 de référence de la masse de l'installation. A titre indicatif et sans que cet exemple ait valeur de loi pour toute décharge luminescente produite dans les conditions précisées ci-dessous -on sait, en effet, que les conditions moyennes d'une décharge conduisant à des résultats déterminés peuvent varier sensiblement d'une installation à une autre- on a représenté, sur le graphique de la fig. 5, la courbe des variations du potentiel d'autopolarisation V de l'anneau 22 en F fonction de la pression st-atique du gaz dans l'enceinte, pression relevée à l'aide d'une jauge de PIRgTI et exprimée en millitors. Pour le mlevé de cette courbe, le gaz choisi était un mélangeen volume,drargon (89 à 91 ) et d'oxygène (9 à 11 %) ; les électrodes 10 et 111 d'une surface moyenne de 2 dm2 étaient éloignées d'une distance de 50 mm. L'électrode cible 10 était recouverte, en surface d'une substance diélectrique. La décharge était entretenue par un générateur 25 délivrant une puissance de 300 watts à la fréquence de 13,56 Mhz. Le graphique de la figure 5 montre que le potentiel continu d'autopolarisation de l'électrode auxiliaire 22 varie de -10 volts à + 20 volts lorsque la pression dans l'enceinte monte de 2.10 torr à 4.19 -3 torr. I1 passe par une valeur nulle pour une pression de l'ordre de 3.10 3 torr. Dans des cas différents et pour des installations différentes, les résultats enregistres peuvent être notablement éloignés de ceux du graphique de la figure 5. Mais il est essentiel de constater que le potentiel d'autopolarisation est bien caractéristique d'un point de fonctionnement précis du régime de décharge. L'allure générale de la courbe de la fig. 5 est d'ailleurs tout à fait conforme à la logique. On sait, en effet, que le potentiel d'autopolarisation que prend une électrode isolée dans le plasma d'une décharge luminescente est fonction de la "température" des électrons présents dans le p-lasma de cette décharge la tension d'autopolarisation évolue en raison inverse de la température électronique. La variation n'est d'ailleurs- pas linéaire, car d'autres facteurs tels que le potentiel continu d'autopolarisation de l'électrode cible 10 interviennent dans la relation; Dtautre part, la température électronique varie en raison inverse de la pression. Par conséquent, le potentiel d'autopolarisation, en moyenne, croît en valeur algébrique quand la pression s'élève. L'aire de l'électrode auxiliaire n'influence pas la valeur du potentiel d'autopolarisation. Aussi les dimensions de l'anneau 22 peuvent-elles être réduites à celles d'une simple spire rigide. La position de l'anneau 2? apeu d'importance du seul point de vue de la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. Avantageusement, mais sans que cette disposition ait un caractère impératif, cet anneau est disposé sensiblement coplanaire avec laface de ltélectrode 11 qui regarde la décharge et la distance qui sépare latéralement les deux électrodes est au moins égale à 10 mm. Les variations du potentiel d'autopolarisation de l'anneau 22 sont transmises, par la tige 23 ou le fil conducteur qui traverse cette tige 23, à un dispositif électronique approprié schématisé par le rectangle 26 (voir figure 1) qui commande en conséquence le sens de rotation du moteur 27 qui, lui-même, par la valve à aiguille 28, règle l'admission des gaz frais dans l'enceinte. L'électrode auxiliaire peut être également réalisée sous la forme représente sur les fig. 3 et 4 et disposée dans l'enceinte ainsi qu'il est montré sur la fig. 2. L"électrode auxiliaire est alors constituée d'une plaquette diélectrique 30 recouverte, sur sa face 30a, d'une lame 31 d'un matériau conduc-teur prolongée par un ruban de connexion 32 en un matériau également conducteur. Le matériau de la plaquette 10 est, par exemple, un verrefin poli tels que ceux habatuellement utilisés dans la technique des couches minces. Pour la lame 31, on choisit de préférence le nickel car ce métal se passive en milieu réactif et, de ce fait, il ne risque pas de diffuser ; on peut aussi choisir l'or ou une lame métallique dorée en surface. L'électrode auxiliaire ainsi conformée est placée dans leplasma de la décharge. Avantageusement, la plaquette 30 est posée, par sa face 30b, sur le bord de l'électrode de recueil ainsi qu'il est montré sur la fig. 2. La liaison électrique entre la lame 31 et la tige 23 est assuréepar le -fil de connexion 33 soudé au ruban de connexion 32 et, par ailleurs, à ladite tige 23. De préférence, le fil- 33 est protégé par un revêtement d'une substance telle que l'émail et l'alumine, afin qu'il ne s'altère pas sous l'effet de la décharge. La lame 31 doit être, au moins partiellement, protégée de la décharge par un écran 34 (voir fig.-2) disposé à quelques centimètres devant elle et qui interdit tout dépôt sur ladite lame ou partie de ladite lame. Get écran 34 permet que la lame 31 reste ainsi en contact électrique direct avec le plasma dans le cas où le dépôt aurait un caractère diélectrique. Avantageusement, l'écran 34 est isolé électriquement de manière à ce que sa présence ne modifie pas sensiblement la répartition des potentiels au voisinage de la lame 31. La nature de cet écran, dans la mesure où il ne s'agit pas d'un matériau magnétique, n'a pratiquement pas d'influence. Pour simplifier les problèmes d'isolement, on choisit de préférence un'écran en verre ou en une- ceramique, L'emploi, comme électrode auxiliaire, d'un anneau tel que l'anneau 22, dispense de la présence d'un écran 34.En effet, au moins une partie des surfaces de cet anneau (ses surfaces arrières par rapport à l'électrode cible 10) est à l'abri de la décharge ; même dans le cas d'une alimentation en haute fréquence où le volume de la décharge n'est pas seulement confiné dans l'espace séparant l'électrode cible 10 de l'électrode de recueil 11 mais s'détend derrière lesdites électrodes il ne se dépose pratiquement rien sur l'arrière de l'anneau 10. L'anneau 10 se trouve donc toujours en contact direct avec le plasma. Selon une autre forme de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, l'électrode de recueil il est isolée dans la décharge au lieu detre reliée à la masse de l'installation et tient lieu simultanément d'électrode auxiliaire. La régulation est alors obtenue à partir des variations du potentiel continu d'autopolarisation auquel se fixe l'électrode de recueil. Par tailleurs, il ntest pas besoin de prévoir un écran devant préserver une partie de la surface de cette électrode, étant donné que ladite électrode est en contact avec le plasma de la décharge par sa face arrière. A l'électrode auxiliaire (où, éventuellement, à l'électrode de recueil isolée) est associé un dispositif électronique permettant d'exploiter les variations du potentiel d'autopolarisation. Le schéma d'un dispositif électronique approprié est reprssenté, à titre d'exemple, sur la figure 6. Le-dispositif en cause est un amplificateur bidirectionnel équilibré comprenant, dans chacune de ses branches deux transistorS (transistors 1 et 2 dans la première branche > transistors 3 et 4 dans la seconde branche) couplés en continu suivant le schéma connu SOUS le nom de "montage DARLINGTON". On sait qu'avec ce type de montage il e-st possible de eommander un transistor de puissance (dans le cas de la figure 6, soit le transistor 2, soit le transistor 4) avec un courant de base d'entrée faible (ici celui du courant de base soit du transistor 1, seit du transistor 3). Les transistors 1 et 2 sont du type NPN, tandis que les transistors 3 et 4 sont du type PNP. Le collecteur du transistor 1 est relie au pôle + d'une source atb1 alimentant la première branche de l'amplificateur (branche gauche de la figure 6)-. Son émetteur est connecté directement à la base du transistor 2. L'émetteur du transistor 2 est relié au pôle - de la source Vb1 tandis que le collecteur de ce même transistor est relié au pôle + de ladite source à travers l'enroulement d'un relais 61. Le contact 62 du relais 61 commande la fermeture d'un premier circuit d'alimentation du moteur 27, circuit dans lequel la source de tension est figurée de façon simplifiée par la pile 64 Le montage, dans la seconde branche de l'amplificateur (branche droite de la figure 6) est identique à celui qui vient d'être décrit pour la première branche. Ainsi, le collecteur du transistor 3 est relié au pôle d'une source d'alimentation Vb2. Son émetteur est connecté directement à la base du transistor 4. L'émetteur du transistor 4 est relié au + Vb2 tandis que son collecteur est relié au - Vb2 à travers l'enroulement d'un relais 65. Le contact 66 du relais 65 commande la fermeture d'une deuxième circuit 67 d'alimentation du moteur 27, circuit dans lequel la source de tension est figurée par la pile 68. Dans les circuits 63 et 67, les piles 64 et 68 sont branchées de manière telle que le moteur 27 tourne dans un sens différent suivant qu'il est alimenté par l'un ou par l'autre desdits circuits. Les pôles négatif de la source Vb1 et positif de la source Vb2 sont reliés à la masse de l'installation. Les bases des transistors 1 et 3 sont reliées entre elles. Ces bases sont connectées par ailleurs, d'une part à la source de tension que constitue l'électrode auxiliaire ou l'électrode de recueil il isolée par l'intermediaire d'une résistance 69 en série avec l'inductance 70 (l'inductance 70 oppose sa réactance à la composante haute fréquence en cas d'une décharge alimentée en haute fréquencer, dsautre part au point milieu P d'un pont de deux résistances 71 et 72 branchées entre les pôles de la source Vb2. La tension moyenne au point P est égale et opposée à la valeur du potentiel d'autopolarisation que prend ltelectrode 11 au point de fonctionnement choisi pour l'opération de pulvérisation cathodique conduite dans l'enceinte.Ainsi le potentiel des bases des transistors 1 et 3 est-il, au repos, sensiblement voisin de celui de la masse. Il est à noter que, dans le cas de la figure 6, la tension au point P est négative par rapport à la masse, ce qzi correspond à un potentiel égal et positif de l'électrode 11. Dans le cas où les conditions de la décharge seraient choisies telles que l'électrode 11 se fixerait à un potentiel moyen négatif, il faudrait alors connecter le pont de résistances 71-72 sur la source Vb1 de façon à ce que la tension en M soit positive par rapport à la masse. Si le potentiel d'autopolarisation reste stable, il ne circule aucun courant dans le circuit de l'électrode 11. Le dispositif électronique est alors au repos et ses transistors ne débitent pratiquement pas. Les contacts des relais 63 et 67 sont ouverts ; le moteur 27 est au repos. Dans le cas de la figure 6, une variation du potentiel d'autopolarisation de l'électrode Il qui, par exemple, abaisse très légèrement ce potentiel) engendre un courant éîectroniqùe venant de ladite électrode vers les transistors 1 et 3. Le sens de ce courant est tel qu'il débloque le transistor 3 qui, luimême, rend le transistor 4 conducteur.Le contact 66 du relais 65 se ferme et le moteur 27 tourne dans un sens qui tend à ouvrir la valve 28 de manière à ce que la pression dans l'enceinte de pulvérisation remonte légèrement Le potentiel d'autopolarisation de l'électrode 11 tend alors à reprendre sa valeur initiale le courant s'annule dans le circuit de cette électrode et le transistor 3 se bloque à nouveau, ce qui entraîne la reouverture du contact 66 et l'arret du moteur 27. Une variation inverse du potentiel de l'électrode 11, dans le sens d'une croissance, engendrerait dans le circuit de cette électrode un courant électronique allant des transistors 1 et 3 vers ladite électrode 11. Le courant provoquerait le déblocage de la première branche du dispositif électronique et la fermeture du contact 62 du relais 61. Par suite, le moteur 27 tournerait, tendant à-réduire le débit des gaz frais par l'intermédiaire de la valve 28. Alors, la pression dans l'enceinte baisserait, le potentiel d'autopolarisation reprendrait sa valeur initiale, le courant s'annulerait dans le circuit de l'électrode 11, le transistor 1 se bloquerait à nouveau, le contact 62 se rouvrirait et le moteur 27 cesserait de tourner. Afin que le courant circulant dans le circuit de lrelectrode 11 n'ait aucune influence sur la valeur du potentiel d'autopolarisation de cette etlectrodey il faut que le courant soit réduit à la stricte valeur suffisante pour débloquer le transistor i ou le transistor 3. Dans ce but, on a donc prévu dans le circuit de l'électrode 11 une résistance 69 d'assez forte valeur (cette valeur, de l'ordre de plusieurs milliers d'ohms3 est fonction des caractéristiques des transistors 1 et 3) ; également, les résistances 71 et 72 du pont doivent avoir une forte valeur afin que l'électrode 11 puisse être considérée comme pratiquement isolée. il est à noter enfin que pour faciliter le réglage du dispositif électronique, on peut associer en série avec la résistance 69 une deuxième résistance, de valeur plus faible, et réglable Cette deuxième résistance nta pas été représentée sur la figure 6. Avec un dispositif électronique du type précédemment décrit, il est possible de réagir rapidement à des variations du potentiel d'autopolarisation de l'électrode 11 de l'ordre de 0,1 volt qui peuvent correspondre à des variations de pression pouvant descendre au-delà de 10. 5 Torr. REVENDICATIONS 1.- Procédé pour régulariser le régime de décharge préétabli d'une opération de pulvérisation cathodique conduite dans une enceinte à l'intérieur- de laquelle sont disposées au moins une première électrode, dite nélectrode cible" supportant les maté- riaux bombardés et une seconde électrode, dite "électrode de recueil", supportant les substrats à recouvrir d'un dépôt en couche mince, caractérisé en ce que le débit du gaz traversant en continu ladite enceinte est corrigé en fonction de variations de potentiel affectant mufle électrode métallique, dite "électrode auxiliaire", isolée, plongée dans le plasma de ladite décharge. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites variations de potentiel sont transmises à un amplificateur qui commande un moteur, lequel agit sur une valve réglant ledit débit de gaz. 3.- Procédé selon l'ensemble des revendications 1 et 2, caractérisé en ee que la liaison entre l'électrode auxiliaire et l'amplificateur est réalisée par l'intermédiaire d'une résistance de charge placée en série avec ladite électrode auxiliaire. 4.- Dispositif pour mise en oeuvre du 'procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'électrode auxiliaire est réalisée sous la forme d'un anneau disposé autour de l'électrode de recueil. 5.- Dispositif pour mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'électrode auxiliaire est réalisée sous la forme d'une plaquette diélectrique recouverte d'une lame métallique, placée sur l'électrode de recueil. 6.- Dispositif pour mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 3, earacterise en ee que l'électrode de recueil est isolée et forme l'électrode auxiliaire. 7.- Dispositif pour mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'électrode cible est isolée, et forme l'électrode auxiliaire.