FR 2199179 A1 19740405 FR 7231968 A 19720908 La préseFlte invention 1 concerne les bobines d'inductance et plus particulierernent des bobines en pellicule mince. Elle concerne égaleinent un procédé et un appareil destinés à leur production. Dans l'état actuel de la technologie des micro-circuits, les connections entre les plaquettes sont effectuées par soudage, soudure à l'étain ou fixation mécanique de fils ou rubans métalliquee. On sait, d'une manière générale, que des connexions de telles formes constituent des sources importantes d' incidents. La présente invention réduit ces difficultés et offre d'autres avantages par la mise en oeuvre de bobines d' inductance en pellicule mince. Ces bobines permettent, par exemple, l' introduc- tion d'éléments inductifs dans des micro-circuits. De plus, il est possible de réaliser des transformateurs et des commuta- teurs par une combinaison appropriée de bobines et de connexions résistantes et spires. Des bobines en pellicule mince ont été réalisées expérimentalement jusquià présent par des vapeurs d'un métal et d'une matière isolante dirigées par des ouvertures séparées sur un substrat rotatif afin d'y former une bobine continue d'un nombre voulu de spires. ee procédé impose certaines limitations importantes à la production des bobines. C t est ainsi qu'une bobine seulement peut Qtre produite à la fois. De plus la forme des bobines doit être obligatoirement circulaire et de ce fait la surface interne délimitée par la bobine provoque une perte importante de la surface utile du substrat. De plus encore, le procédé limite le dépôt de la matière isolante à une seule pellicule et entratne, en conséquence, un risque élevé de défaillance de la bobine par court-circuit électrique entre les spires.Le procédé ne permet pas ia production de bobines et de noyaux de couplage multiples. En conséquence, il ne peut entre mis en oeuvre pour la fabrication de transformateurs. L'invention concerne essentiellement la production de bobines dans lesquelles chaque spire comprenant des couches superposées d'un métal conducteur et d1une matière isolante, est constituée par des segments successifs reliés les uns aux autres. Lt ir.vention permet de supprimer les inconvénients multiples; et - les figures 24 à 31 sont des vues en plan représentant les opérations successives de la production du transformateur à secondatires multiples à l'aide des masques représentés sur les figures 17 à 23. L'appareil représenté sur les figures 1 et 2 des dessins comprend une enveloppe destinée à entre mise au vide. Dans le mode de réalisation représenté, cetto enveloppe comprend une base 10 supportant une cloche amovible 12, de préférence transparente. Bien entendu, un joint ik, interposé entre la base et la cloche, permet une étanchéité élevée au vide. Un conduit 16 passant par la base est relié à une pompe à vide (non représentée) afin de mettre l'enveloppe au vide. Une ossature de support comprenant une base secondaire 18 et des colonnes verticales espacées 20, est montée à l'intérieur de l'enveloppe, sur une base. Un appareil de chauffage 22 du substrat et un support sous-jacent 24 destiné à un substrat 26, sont montés sur les extrémités supérieures, rabattues vers l'in- térieur des colonnes. Le substrat amovible est fixé sur le support par des pinces espacées 28, bien qu'il soit possible dXu- tiliser d'autres dispositifs classiques tels que des vis de calage, des agrafes élastiques, ou d'autres formes appropriées d'éléments de retenue. L'appareil de chauffage est destiné à chauffeur le support du substrat et de ce fait le substrat qui y est monté. Dans le mode de réalisation représenté, appareil de chauffage comprend un élément électrique chauffant 30, connecté à une source de po- tentiel électrique par des conducteurs électriques 32 qui passent par des ouvertures étanches appropriées de la base 10. Un dispositif monté dans l'enveloppe produit sélectivement des vapeurs d'un métal conducteur de l'électricité et d'une matière isolante, qui doivent Btre déposées sur un substrat. Dans le mode dc réalisation représentés ce dispositif comprend deux creusets espacés 34 ct 36 montés au-dessus du substrat. Un dispositif équipant chaque creuset est destiné à le chauffer afin de vaporiser le métal ou la matière isolante qu'il contient. . Il est possible d'utiliser divers dispositifs de indiqués ci-dessus et associé és à la technologie des micro-circuits ainsi qutaux bobines en pellicule mince antérieures. Elle concerne un procédé et un appareil à l'aide desquels il est possible de réaliser des bobinages comportant plusieurs bobines concentriques de ntimporte quelle forme, dimensions et nombre de spires voulus. Des couches multiples de matière isolante peuvent entre disposées entre les spires du métal conducteur afin de réaliser un isolement approprié.Le procédé et l'appa- reil selon l'invention permettent la formation simultanée de bobines multiples sur un seul substrat dans le but de réaliser des transformateurs de types et de configurations divers. Les bobines et les transformateurs qui peuvent & re produits à llai- de du procédé et de l'appareil simplifié selon l'invention, sont d'une qualité élevée et d'un prix minimal L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels:: - la figure 1 est une élévation verticale partielle et raccourcie, en partie en coupe, représentant sous une forme schématique un appareil selon l'invention; - la figure 2 est une coupe suivant la ligne 2-2 de la figure t; ~ les figures 3 à 7 sont des vues.en plan de divers masques comportant des ouvertures, destinés à etre mis en oeuvre pour la production dtune bobine d'inductance; - les figures 8 à 14 sont des vues en plans représentant les opérations successives de la fabrication.d'une bobine d'in ductance, à l'aide des masques.représentés sur les figures 3 à 7; - la figure 15 est une vue en plan représentant plusieurs bobines concentriques montées sur un substrat simple; ; - la figure 16 est une coupe verticale représentant un transformateur réalisé à partir des deux bobines d'inductance de la figure 14; - les figures 17 à 23 sont des vues en plan de divers masques comportant des ouvertures, destinés à entre mis en oeuvre pour la production d'un transformateur à secondaires chauffagespar exemple un faisceau d'électrons, un faisceau lasers un arc électrique, ou un appareil de chauffage par induc tion. La technique de vaporîsatîoei des matières peut également entre une pulvérisation ou bombardement. La surce qui n'est représentée qu'à titre d'explication, est un élément électrique chauffant 38 que contient chaque creuset et qui est connecté par deuA barres ominbus de support 40 à une source de potentiel électriques à l'aide de conducteurs électriques qui passent par des ouvertures étanches appropriées de la base. Le métal conducteur qui doit entre déposé sur un substrat, peut être choisi parmi des métaux très divers tels que ltors le nickel, llaluminiums le chrome, l'argent, le tantale, etc... La forme du métal choisi dépend en partie du type de chauffage utilisé pour le vaporiser. Dans le mode de réalisation représenté, ltélément chauffant est un fil de tungstène ou de tout autre métal approprié, chauffé par un courant intense. La forme du métal qui doit entre vaporisé permet de l'enrouler autour du fil qui se trouve dans chaque creuset 34. La matière isolante qui doit etre vaporisée et déposée sur le substrat peut etre de l'alumine, de la silice, du pentoxyde de tantale et divers autres oxydes dont les caractéristiques diélectriques sont bien connues dans la technique. Dans le mode de réalisation représenté, la matière est placée dans le creuset 36 afin titre chauffée par le fil résistant de chauffage. De préférence, le substrat 26 est de la même matière diélectrique que la matière isolante, afin de réduire les différences de dilatation thermique. Cependant il est bien entendu que le substrat peut être en autres matières appropriées. I1 va de soi que les vapeurs des matières qui se trouvent dans les creusets se déplacent dans l'espace mis au vide de l'enveloppe le long de trajets optiques qui passent entre les creusets et le substrat. En conséquence, un dispositif est destiné à intercepter sélectivement ces trajets optiques afin dlemp8cher llune ou l'autre des vapeurs ou toutes les deux de passer des creusets correspondants vers le substrat. Dans le mode de réalisation représenté, ce dispositif est une plaque-écran 42 montée en position horizontale au-dessus des creusets par une tige de e ommande 44. La tige descend par une ouverture étanche appropriée de la base.L'extrémité inférieure de la tige qui se prolonge vers le bas depuis la base, cons- tituc une poignée qui permet de faire tourner la tige autour de son axe vertical. A l'aide de ce dispositif, la plaque-écrau peut pivoter sur ledit axe vertical afin d'intercepter ou dc découvrir le trajet optique qui passe entre le substrat et chaque creuset. Une bobine d'inductance selon la présente invention est produite par le dépôt sur un substrat, par couches superposées, de pellicules alternées du métal conducteur et de la matière isolante et qui forment des segments successifs de chaque spire de la bobine. En conséquence un dispositif dirige les matières vaporisées suivant des configurations prédéterminées, vers le substrat, afin de produire lesdits segments successifs. Dans le mode de réalisation décrite dis positif comprend plusieurs masques comportant des ouvertures qui seront décrites plus complètement ci-après. Chaque masque qui, de préférence, est amovible est monté sur un support qui le déplace entre une position d'escamotage dans laquelle il est écarté du substrat et u,ne position de fonctiollnement dans laquelle il est interposé entre le substrat et les creusets. Les supports des masques sont situés autour du substrat à des intervalles de 900. Ils sont disposés par paires associées, comme Qn le voit en particulier sur la figure 1, afin de loger jusqu'à huit masques différents. Les deux supports de casque 46 et 48 dune paire sont montés de manière à pivoter autour d'un arbre-pivot commun 50 supporté par des pattes 52 orientées latéralement sur le support 24 du substrat. Un bras allongé 54 de chaque support est articulé par une barre 5G sur l'extrémité supérieure d'une tige de commande 58.La tige descend et coulisse dans une ouverture de guidage d'une console latérale Go montée sur une colonne verticale 20, puis par une ouverture de guidage alignée dc la base secondaire 18 et par une ouverture étanche appropriée de la base 10. L'extrémi- té inférieure dc la tige constitue une poignée qui permet de lui imprime 1 un mouvement vertical et de déplacer le support de masque correspondant entre les positions d'escamotage et de fonctionnement précitées de son masque. Du fait de leur disposition, les paires de supports asso- ciées per,lettent au masque supporté par le support intérieur 46 d'entre déplacé entre ses positions d'escamotage et de foeïction- nement, indépendamment du masque porté par le support extérieur 48. Le mouvement du masque supporté par le support extérieur jusqutà sa position de fonctioiinement se traduit par un mouve- ment siuultané du masque intérieur correspondant jusqu'à sa po- sition de fonctionnement dans laquelle il est interposé entre le masque extérieur et le substrat 26.Le mode de coopération entre les masques intérieur et extérieur de deux supports as sociés est expliqué plus complètement ei-après. Il va de soi que si le nombre de masques nécessaires pour la production d'une bobine ou d'un transformateur de type particulier est inférieur à huit, chaque support de masque inuti- lisé comporte une ouverture 62 suffisamment grande pour ne pas faire obstacle au fonctionnement approprié du masque porté par le support correspondant. En variante, il va de 5OI que le nombre de supports peut être réduit d'une façon correspondante. La description qui va suivre de la production de bobines d'inductance et de transformateurs permettra d'expliquer le procédé de l'invention et le fonctionnement de appareil décrit ci-dessus. On examinera d'abord, en liaison avec les figures 3 à 14, la production d'une bobine d'inductance simple. Deux bornes 64 et 66 (figure 8) conductrices de lselec- tricité et espacées, sont réalisées d'abord sur le substrat 26. Elles peuvent être formées par dépSt de vapeur, par.des techniques de circuits imprimés ou par tout autre procédé approprié. Comme on le voit sur la figure, l'une des bornes, par exemple la borne 64, se prolonge plus loin vers l'intérieur de la bordure du substrat que l'autre borne 66. Le substrat est monté sur le support 24, la cloche 12 est mise en place sur la base 10 et l'enveloppe est alors mise au vide jusqu'à une pression de 1 x 10-4 torr. Le substrat est chauffé ensuite par l'élément chauffant 30 jusqu'à la tem pérature de dépôt appropriée. Le premier dépôt effectué sur le substrat est une pel licule d'un métal conductour destinée à former le premier seg ment de la première spire de la bobine. En conséquence, le mas que 68 de la figure 3 est mis à sa position de fonctionnement, à proximité du substrat. Pendant que l'écran 42 est disposé en travers des deux creusets, l'appareil de chauffage 38 du creu set 34 qui contient le métal à vaporiser est réglé de manière à produire le régime de de voulu du métal. Le métal que contient le creuset est dégazé et l'écran est ensuite écarté du trajet optique entre le creuset 34 et le substrat 2G.Les vapeurs du métal passent par l'ouverture 70 du masque et sont déposées sur le substrat où elles forment le segment 72 qu'on voit sur la figure 9. Il convient de noter que ce segment est en contact électrique avec la grande borne 64. Lorsque l'épaisseur du segment conducteur a atteint la valeur voulue, par exemple 1000 Angströms environ, l'écran 42 est remis en position de manière à recouvrir les deux creusets le masque 68 est escamoté et le masque 74 de la figure 4 est mis à sa position de fonctionnement. La matière isolante que contient le creuset 36 est dégazée, l'appareil de chauffage 38 du creuset est réglé à la température appropriée qui donne le régime de dépôt voulu et l'écran est écarté du trajet optique entre le creuset 36 et le substrat 26.Les vapeurs de la matière isolante passent par l'ouverture 76 du masque 74 et se déposent sur le substrat afin de former le segment isolant 78 qu'on voit sur la figure 10. Il convient de noter que ce seg ment de matière isolante recouvre la totalité du segment conducteur 72 à l'exception de l'une de ses extrémités 72' qui se trouve à 1 t extrémité avant du segment 72 c' est-à-dire l'extrémité orientée dans la direction de l'emplacement où s'accumulent les spires de la bobine. Bien que la pellicule de matière isolante puisse être réalisée par une couche mince, d'épaisseur prédéterminée, il est préférable de procéder de la ma@ière suivante: le dépôt est arrêté lorsque l'épaisseur voulue de la pellicule a atteint environ la moitié dc la valeur totale souhaitée. La pression est alors accrue dans l'enveloppe jusqu'à une valeur d'environ 1/10 de Torr par un organe tel qu'un robinet à fuite. Des gaz par exemple de lXarÒon et de llazote peuvent Stre introduits dans la chambre à vide.On ferme ensuite le robinet à fuite et on laisse revenir la pression à sa valeur de fonction nement initiale, puis on dépose la seconde moitié de llépais- seur de la pellicule isolante. Lorsque la pellicule isolante a été déposée, par exemple à une épaisseur totale d'environ 1000 Angströms, l'écran 42 est remis en position au-dessus du creuset 36 et le masque 74 est escamoté. Les deux masques 80 et 82 des figures 5 et 6 sont mis ensuite en position de fonctionnement. Le masque 80 est interposé entre le masque 82 et le substrat 26. Dans ce but, les masques 80 et 82 sont montés sur les supports 46 et 48 d'une paire. L'écran est alors déplacé de manière à découvrir le métal conducteur du creuset 34 dont on fait d'sabord passer les vapeurs par l'ouverture 84 du masque 82 puis par l'ouverture 86 du masque 80.Les vapeurs se déposent sur le substrat de manière à former le second segment 88 de la pre mière bobine, comme on le voit sur la figure 11. I1 convient de noter qu'une extrémité de ce second segment, ctest-à-dire l'extrémité arrière recouvre l'extrémité avant découverte 72' du premier segment et est de ce fait en contact électrique avec celle-ci. De mêmes ltextrémité avant opposée du second segment recouvre une partie du premier segment 78 sous-jacent de matière isolante. I1 convient de noter, de plus, que du fait de la mise en oeuvre combinée du masque 82 de la figure 6 et du masque 80 de la figure 5, la partie inférieure 86t de l'ouverture 86 du masque 80 est recouverte.De ce fait, les vapeurs du métal conducteur ne peuvent se déposer sur le substrat et venir en contact avec la borne courte 66. Dans le mode dc réalisation représenté, chaque spire de la bobine copprend deux segments. On voit que chaque spire peut entre constituée de plus de deux segments à l'aide d'un nombre approprié de masques comportant des ouvertures de forme voulue. Lorsque le métal conducteur a atteint l'épaisseur necessaire pour achever le second segmeat 88 de la première spire, l'écran 42 est remis en position de manière à recouvrir le creuset 34, les masques 30 et 82 sont escamotées et le masque 90 de la figure 7 est; mis en position de fonctionnment. L'é- craii est écarté ensuite de maniere à découvrir le creuset 36 et peu mettre aux vapeurs de la matière isolante de passer par l'ouverture 92 du masque 90 afin de déposer le second segment 94 de matière isolante, comme on le voit sur la figure 12.On voit que cette pellicule de matière isolante recouvre le premier segment 78 de matière isolante et la totalité du second segment 88 de métal conducteur, à llexception de l'une de ses extrémités 88', c'est-à-dire son extrémité avant. Les opérations précédentes sont répétées successivement jusqu'à ce que la totalité du nombre voulu de spires de bobine et de pellicules isolantes ait été déposé par couches superposées, à l'exception de la dernière. Lorsque le premier segment de la dernière spire de métal conducteur et de matière isolante a bté déposé, de la façon représentée sur la figure 10, le second segment 98 de la dernière spire de métal est déposé à l'aide du seul masque 80 de la figure 5, c'est-à-dire sans le combiner avec le masque 82 de la figure 6. Le dépôt du segment 98 du métal conducteur qui en résulte est représenté sur la figure 13.On voit que ce segment de métal conducteur comprend un prolongement 98' qui est en contact électrique avec la borne courte 66. Les derniers segments isolants sont déposés ensuite par la mise Un oeuvre successive des masques 74 et 90 des figures 4 et 7, afin d'achever la bobine qu'on voit sur la figure 14. I1 convient dc noter que le procédé et l'appareil décrêts ci-dessus permettent la production de bobines d'inductance de n'importe quelles formes, dimensions et nombre de spires voulus. Bien que la bobine représentée sur les figures 3 à 14 soit de forme rectangulaire, elle peut être circulaire, triangulaire, carrée ou de toute autre forme. La plus grande dimension de la bobine peut Qtre inférieure à 3,2 mm et une épaisseur totale de quelques centièmes de millimètres permet le logement de plusieurs milliers de spires. Un autre avantage dc l'utilisation de masques comportant des ouvertures pour le dép8t des seg'ients de bine réside dans la possibilité de réalisation dc masques permettant la produc- tion simultanée de plusieurs bobines concentriques sur un seul substrat. La figure 15 représente un tel ensemble de bobines multiples dans lequel trois bobines concentriques sont support tées par un seul substrat. Bien que les bobines représentées soient connectées de manière a' former un seul bobinage comportant la somme de trois spires de bobine, il va de soi que les bobines peuvent être séparées et comporter chacune sa propre paire de bornes, de façon à produire plusieurs bobines séparées sur un seul sub- strat. Ces bobines séparées peuvent être produites simultanément par des masques comportant des ouvertures multiples. Des bobines produites de la manière décrite ci-dessus peuvent être utilisées comme éléments inductifs dans des microcircuits. D'autre part, deux ou un plus grand nombre de ces bobines peuvent être combinées pour former un transformateur. La figure 16 représente un transformateur de cette forme. Elle représente deux bobines 100 et 102 espacées ltune de l'autre et dont les substrats 104 et 106 correspondants sont fixés sur un support 108 en une matière diélectrique. Une plaque 110 ferromagnétique est disposée en dessous de ce support. Des ouvertures alignées passent par les substrats, le support et la plaque, dans l'alignement des ouvertures centrales des bobines. Une barre 112 de matière ferromagnétique supporte deux branches espacées 114 de même matière qui sont amovibles et qui passent par les ouvertures alignées, de façon à venIr en contact physique avec la plaque sous-jacente 110. La plaque, la barre et les branches forment ainsi un noyau ferromagnéti que qui couple les bobines les unes aux autres.L'une des bobines peut être utilisée comme enroulement primaire du transformateur et autre comme secondaire. Du fait que l'ensemble de la barre 112 et des branches 114 est amovible, le transformateur peut être utilisé comme commutateur. Il apparaîtra au spécialiste que si la plaque 110, la barre 112 et les branches 114 ont la forme d'une boucle ferromagnétique fixe et continue qui couple les bobines 100 ct 102 l'une à l'autre, le transformateur résultant peut constituer une connection entre des éléments électriques moutés sur les substrats 104 et 106. Les figures 17 à 31 représentent les masques et les opé rations qui permettent la production d'un transformateur comporgst tant un noyau permanent qui/ conplé à a un enroulement primaire, un enroulement secondaire abaisseur de tension et; autre en- roulement secondaire dc même nombre de spires que le primaire. Pour réaliser ce transformateur, deux bornes conductrices 122 et 124 de l'enroulement primaire sont formées d'abord sur le substrat 120 (figure 24) ainsi que deux bornes 126 et 128 pour l'enroulement secondaire abaisseur et deux bornes 130 et 132 pour l'enroulement secondaire de même nombre de spires que le primaire. Des segments 134 et 136 du noyau niagnétiqiie sont également formées sur le substrat afin de coupler l'enroulement primaire aux enroulements secondaires. La partie intermédiaire de chaque segment du noyau est recouverue par une pellicule 138 de matière isolante de manière que les extrémités opposées du segment du noyau soient découvertes. Le substrat 120 est monté ensuite sur son support. Les deux masques 140 et 142 des figures 17 et 18 sont mis en position de fonctionnement en travers du substrat et le masque 142 est interposé entre ce dernier et le masque 140 pour effectuer le premier dépôt sur le substrat. Il convient de noter que lXollverture 144 du masque 142 n'a aucun effet sur les ouvertures 146, 148 et 150 du masque 140 et ne le modifie pas. Cependant le masque 142 est interposé entre cclui-ci et le substrat cn vue de son-utilisation ultérieure aii cours une operation de dépôt suivante.Des vapeurs drun métal conducteur sont alors dirigées par les ouvertures du masque 140, de la manière décrite précédement. Elles forment par leur dép8t les premiers segments dc métal conducteur 152, 154 ct 15G des premires spires des trois enroulements, de la façon représentée en pointillé sur la figure 25. Les masques 140 et 142 sont escamotés ensuite. Il convient de noter que ces premiers segments dc métal conductuer déposés soit en contact électrique avec l'une des bornes des paires associées. par exemple les bornes 122, 126 et 130, de façon à réaliser une connection électrique avec une première eqtrémite de claque bobine. Il convient de noter, de plus, par comparaison entre les figures 24 et 25, que ces premiers segments sont espacés des extrémités découvertes des segments 134 et 136 du noyau par le dép8t d'une partie des seg ment s sur la couchc intermédiaire 138 de la matière isolante et du restant des segments sur le substrat 120. Le masque 158 de la figure 20 est mis en position de fonctionnement et des vapeurs de matière isolante sont dirigées par les ouvertures 160, 162 et 164 sur le substrat afin d1ef- fectuer le second dép8t. On forme ainsi les premiers segments 166, 168 et 170 de matière isolante sur les premiers segments 152, 154 et 156 de métal, comme on le voit sur la figure 25. Il-convient de noter que chaque segment isolant recouvre la totalité du segment de métal conducteur sous-jacent à l'exception de l'une de ses extrémités. Le masque 158 est escamoté ensuite. Les masques 172 et 174 des figures 21 et 22 sont alors mis en position de fonctionnement et le masque 174 est interposé entre le masque 172 et le substrat 120 pour effectuer le troisième dépit. L'ouverture 176 du masque 172 découvre la totalité des ouvertures 178, 180 et 182 du masque 174 à lsexcep- tion de leurs prolongements 178', 180' et 182t. Des vapeurs du métal conducteur sont dirigées par-les ouvertures des masques vers le substrat afin d'y déposer les seconds segments 184, 186 et 188 des premières spires de métal conducteur deQbobiness comme on le voit sur la figure 26. Il convient de noter, par comparaison des figures 25 et 26 qu'unie extrémité de chaque second segment recouvre l'extrémité découverte du premier seg ment de métal conducteur associé et que ltextrémité opposée du second segment recouvre l'extrémité correspondante du pre mier segment de matière isolante. Le masque 190 de la figure 23 est mis ensuite en position de fonctionnement et des vapeurs de la matière isolante sont dirigées par les ouvertures 192, 194 et 196 vers le substrat pour effectuer le quatrième dépôt. On fonte ainsi les seconds segments 198, 200 et 202 de matière isolante de la praire spire dc chaque bobine, comme on le voit sur la figure 26. Ces segments isolants recouvrent la totalité des seconds segments sous-jacents de métal à l'exception de l'une de leurs extrémités, comme on le voit. La première spire complète de chaque bobine est achevée de cette manière. Les quatre dépôts décrits ci-dessus sont répétés successivement jusqu'à ce que l'on ait déposé sur le substrat le nombre voulu de spires de bobine de I' enroulement secondaire abaisseur 204 (figure 29). Les masques 140 et 142 des figures 17 et 18 sont mis en position de fonctionnement et des vapeurs du métal sont dirigées par leurs ouvertures vers le substrat afin d'effectuer le cinquième dépôt. On forme ainsi par dépôt les premiers segments 206 et 208 (figure 27) de métal de la spire immédiatement suivante de l'enroulement primaire 210 et de l'enroulement secondaire 212 de même nombre de spires (figure 29). On dépose également un segment correspondant 214 de métal qui recouvre l'enroulement secondaire abaisseur 204 mais qui ne constitue pas un enroulement secondaire comme on le verra ci-après. Les masques 21G et 158 des figures 19 et 20 sont mis ensuite à leur position de fonctionnement et le masque 158 est interposé entre le masque 216 et le substrat, pour effectuer le sixicrie dépit. Des vapeurs de matière isolante sont alors dirigées par les ouvertures des masques afin de déposer les segments 218 et 220 représentés sur la figure 27. Il convient de noter que ces segments de pellicule isolante ne recouvrent que les segments de métal correspondants 206 et 208 de ltenrou- lement primaire et de l'enroulement secondaire de méme nombre de spires.On le voit sur les figures 19 et 20, dans lesquelles les ouvertures 222 et 224 représentées ne sont alignées que sur les ouvertures 160 et 164 du masque 158 et dans lesquelles aucune ouverture du masque 216 n'est alignée sur l'ou- verture 162 du masque 158. En conséquence, le masque 216 empuche la matière isolante d'entre déposée au-dessus du segment 214 dc métal déposé au-dessus de l'enroulement secondaire abaisseur. Les masques 172 et 174 des figures 21 et 22 sont mis ensuite en position de fonctionnement et des vapeurs de métal sont dirigées par leurs ouvertures vers le substrat pour effectuer le septième dépit. Les dépôts réalisés de cette manière sont les mêmes que ceux qui sont représentés sur la figure 26 Le masque 190 de la figure 23 mis en position de fonetionnement et des vapeurs de matière isolante sont dirigées par ses ouvertures afin d'effectuer le huitième dép8t. Ces dé ptts de pellicules isolantes sont également les mimes que ceux de la figure 26. Les cinquième, sixième, septième et huitième dépits precédents sont répétés successivement jusqu'à ce que llon ait déposé la totalité du nombre voulu de spires de l'enroulement primaire 210 et de lXenroulement secondaire de meme nombre de spires 212, à l'exception de la dernière. Les premiers segments de métal et de matière isolante de la dernière spire sont alors réalisés par répétition des cinquième et sixième dépôts. Le masque 174 de la figure 22 est mis en position de fonctionnement, tandis que son masque associé 172 de la figure 21 est maintenu en position d'escamotage, pour effectuer le neuvième déport. La vapeur du métal est alors dirigée par les ouvertures du masque afin de déposer des segments de métal 226, 228 et 230 de la figure 28. Il convient de noter qu'un prolongement dc chacun de ces segments est en contact avec la seconde borne associée correspondante 124, 128 et 132 de chaque paire. Chaque paire de bornes constitue ainsi des connections électriques avec les extrémités opposées de la bobine corres- pondante. Les masques 158 et 190 des figures 20 et 23 sont mis successivement en position de fonctionnement et des vapeurs de matière isolante sont dirigées par leurs ouvertures pour effectuer les dixième et onzième-déptts. Ces dépits forment une pellicule isolante 232 qui recouvre les enroulements terminés, comme on le voit sur la figure 29. Le masque 172 de la figure 21 est mis en position de fonctionnement tandis que le masque 174 de la figure 22 est mainte@u en position d'escamotage, afin d'effectuer le douzième dépôt. Des vapeurs d'une matière magnétique sont alors dirigées par les ouvertures du masque afin d'effectuer le dépôt du segment 23' représenté sur la figure 30.Ce dépôt tcr mine le transformateur comme on le voit sur la figure 31. il convient de noter que ce dépôt forme un second segment du noyau du transformateur et qu'il est en contact électrique avec les extrémités opposées découvertes des premiers segments sous-jacents 134 et' 136 du noyau afin de constituer des boucles continues de métal qui couplent ensemble l'enroulement primaire 210 et chaque enroulement secondaire 204 et 212. On voit, d'après ce qui précède, qui est possible de réaliser à volonté des transformateurs de configurations d-ifférentes. Par exemple, un tel transformateur peut comporter des enroulements secondaires supplémentaires réalisés à l'aide de différents masques appropriés. Des bobinages secondaires élévateurs de tension peuvent être réalisés à l'aide de masques qui empêchent des dépôts supplémentaires d'atteindre les autres enroulements. Par la suppression de segments du noyau et par la réalisation de noyaux amovibles effectuée de la manitre représentée sur la figure 16, dc tels transformateurs à secondaire multiples peuvent également etre utilisés conime commutateurs. De nombreuses autres modifications peuvent titre apportées aux formes et aux dfliiensions des bobines qui, bien entendu, peuvent rentrer dans une plage étendue. A titre dtillustra- tion, le trans formateur à double secondaire de la figure 31 peut être réalisé sur un substrat dont la surface n'est que de 3,2 cm2. On voit que des substrats de plus grandes ou plus faibles dimensions peuvent etre mis en oeuvre. REVENDICATIONS 1. - Procédé de production d'une bobine d'inductance, caractérisé en ce qu' il consiste à déposer, par couches superpo sessdes peli iciles alternées d'un métal conducteur de l'élec- tricité et d'une matière isolante sur la surface plane d'un substrat afin de former plusieurs spires dudit métal superpo ses et séparées par des pellicules de matière isolante interposées, chaque spire métallique de la bobine étant formée par le dépôt de segments métalliques successifs, l'extrémité avant de chaque segment étant recouverte par l'extrémité arrière du segment immédiatement suivant et l'extrémité avant du dernier segment de chaque spire recouvrant la matière isolante couvrant l'extrémité arrière du premier segment de la spire de bobine sous-jacente. 2.- Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les pellicules dc métal et de matière isolante sont déposées à partir de vapeurs de ces substances. 3.- Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste à former deux bornes espacées sur le substrat, à déposer le premier segment métallique de la bobine de manière qu'il soit en contact électrique avec l'une desdites bornes et à déposer le dernier segment métallique de la bobine de manière qui il soit en contact électrique avec l'autre borne. 4.- Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste à déposer sur un substrat une pellicule de métal conducteur de l'électricité en forme de segment d'une spire de bobine, à déposer sur la totalité dudit segment né- tallique, à l'exception de l'une de ses extrémités, une pellicule de matière isolante, à déposer sur le substrat une pellicule d'un métal conducteur en forme de second segment de ladite spire de bobine, une extrémité du second segment métallique étant en contact avec l'extrémité à découvert du premier segment métallique et son extrémité opposée recouvrant la pellicule de iriatière isolante couvrant le premier segment métal lique, à déposer sur la totalité du second segment métallique,à l'exception de l'une de ses extrémités, une pellicule de ma tire isolante et à répéter successivement les opérations de dépit afin dc former ul nombre prédéterminé de spires de bobine. 5.- Procédé suivant t la revendication 1, mis en oeuvre pour la production d'un transformateur comprenant un bobinage primaire et au moins un bobinage secondaire, caractérisé en ce qu'il consiste à déposer initialement sur le substrat et pour chaque bobinage secondaire uiic pellicule de matière magné- tique en forme de segment d'un noyau destiné à coupler le bobinage primaire et chaque bobinage secondaire, à déposer sur une partie intermédiaire dudit segment métallique du noyau une pellicule de matière isolante, à déposer lesdits segments successifs de spires de bobine du bobinage primaire et de chaque bobinage secondaire autour des extrémités à découvert du segment métallique de noyau correspondant tout en les espaçant de celui-ci et, après formation des bobinages primaire et secondaire, à déposer sur la dernière pellicule de matière isolante une pellicule d'un métal magnétique, en' forme de second segment dudit noyau, en contact électrique avec ledit premier segment du noyau. 6.- Procédé suivant la revendication 5, caractérisé en ce que les pellicules de métal et de matière isolante sont déposées en phase vapeur de ces substances. 7.- Procédé suivant la revendication 1 caractérisé en ce que le substrat supporte plusieurs bobines espacées et concentriques. 8.- Appareil pour la production de bobines d'inductance, caractérisé en ce qu'il comprend une enveloppe destinée à être mise sous vide et contenant une source d'un métal conducteur dc l'électricité pouvant Qtre vaporisé et un appareil de chauffage pour la vaporisation du métal, ltenveloppe contenant turne source d'une matière isolante pouvant Qtre vaporisée, un appareil de chauffage destiné à vaporiser ladite matière isolante, ltenveloppe contenant de plus un support pour un substrat et plusieurs supports de masques dont chacun supporte un masque pouvant entre déplacé entre une position d'esca mottage dans laquelle il est éloigné d support du substrat et une position de service dans laquelle il est interposé entre le support du substrat et les sources de matières pouvant strie vaporisées, chaque matière vaporisée passant de sa source vers un substrat monté sur son support par une ouverture de chaque masque, la forme de certaines ouvertures des masques permettant le dépôt de segments successifs de chaque spire de bobine et la forme autres ouvertures des masques permettant le dépit d'une matière isolante sur les parties métalliques déposées. 9.- Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en ce que la forme de certaines ouvertures des masques permet le dépit des segments successifs de chaque spire des bobines qui constituent le bobinage primaire et au moins un bobinage secondaire d'un transformateur, la forme d'autres ouvertures des masques periiiettant le dépit de matière isolante sur les parties métalliques déposées, la forme autres ouvertures des masques permettant le dépôt de segments d'un métal magiié- tique du noyau dtun transformateur destiné à coupler ltun a' l'autre le bobinage primaire et chaque bobinage secondaire. 10.- Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en ce que ltenveloppe contient un écran qui peut être déplacé sélectivement entre une position dans laquelle il intercepte le trajet parcouru par la matière vaporisée qui se déplace de sa source vers un substrat monté sur le support et une position dans laquelle il est écarté dudit trajet. 11.- Bobine d'inductance, caractérisée en ce qu'elle comprend plusieurs spir-es d'un métal conducteur de lXélectri- cité séparées électriquement les unes des autres par une matière isolante et montées sur la surface plane d'un substrat, chaque spire métallique comprenant plusieurs segments successifs dont les extrémités voisineqsont superposées afin de former un circuit électrique continu. 12.- Bobine dlinductance suivant la revendication 11, caractérisée en ce que les segments métalliques des spires-et les segments de matière isolante sont constitués par des dépats de vapeurs dudit métal et de ladite matière isolante sur le substrat.