FR 2134368 A1 19721208 FR 7211401 A 19720328 72 11401 1 2134368 La présente invention concerne la liaison par soudure, ou le retrait de matériaux thermosensibles et, plus particulièrement, un procédé et un appareil permettant de commander automatiquement et avec précision l'application de chaleur à un élément de travail de manière à obtenir, avec le maximum d'effi-5 cacité, la liaison ou le retrait de petits composants thermosensibles sans surchauffer l'élément de travail ou la zone qui l'entoure. □ans l'industrie de l'électronique, il est devenu normal de disposer des dispositifs semiconducteurs dans des modules contenant un substrat diélectrique afin d'obtenir des circuits d'interconnexion entre différents composants élec-10 troniques tels que des résistances, des condensateurs, des transistors, des diodes etc. L'apparition des circuits intégrés a permis de combiner un certain nombre de dispositifs actifs et inactifs sur un même élément semiconducteur appelé bloc. Dans de nombreuses applications, le bloc peut être fixé au substrat à l'aide d'un procédé connu de liaison par soudure, dans lequel les circuits 15 d'interconnexion à la surface du bloc sont directement soudés au substrat par reflux. En général, les blocs constituent un carré d'environ 1,01 à 3,17 mm de côté, mais peuvent avoir des dimensions supérieures. Les progrès accomplis dans le domaine des semiconducteurs se sont traduits par une augmentation des dimensions des blocs ainsi que par une augmentation du nombre et de la cfensité 20 des blocs montés sur un même substrat. Afin de pouvoir connecter les circuits des blocs à des circuits extérieurs, il est nécessaire qu'un certain nombre de points de contact sur chaque bloc soient alignés de façon précise avec des points correspondants sur le substrat. Le nombre de ces points de contact dépend des dimensions et de la complexité du circuit intégré employé, et 50 25 points de contact ou davantage peuvent être nécessaires. Ces contacts doivent être soudés de façon uniforme, simultanée et précise. Le prix de revient élevé des blocs présente un problème important en ce qui concerne la fabrication de modules de circuits intégrés, car il n'est pas rentable de mettre au rebut des modules contenant des blocs défectueux ou des 30 liaisons imparfaites. Il est par conséquent devenu nécessaire de mettre au point des procédés permettant de réparer les modules en remplaçant les blocs défectueux sans pour autant endommager les blocs adjacents. D'autres problèmes, dont l'alignement incorrect des blocs et les liaisons imparfaites, exigent également l'emploi oe techniques de réparation appropriées. Les procédés faisant appel à 35 l'utilisation d'un four qui sont actuellement employés pour obtenir une liaison simultanée de tous les blocs sont satisfaisants comme tels mais ne permettent pas de procéder à des réparations adéquates. Il est en effet indispensable que les blocs individuels puissent être retirés du module sans pour autant nuire à la qualité des liaisons des blocs adjacents ou des circuits des blocs. 40 Un procédé de réparation efficace doit comporter un moyen permettant d'appli 72 11401 2 2134368 quer une source concentrée de chaleur à un bloc donné dans des conditions telles que les blocs adjacents ne soient pas portés à une température excessive par conduction au travers du substrat. Différents procédés d'application d'une source concentrée de chaleur à un bloc individuel ont précédemment été envisagés. Les 5 sources de chaleur typiques employées sont notamment les lasers, les faisceaux d'électrons, les rayons infrarouges, le chauffage par résistance, les gaz chauds et les flammes. Ces différentes sources sont capables de fournir une quantité suffisante de chaleur, mais, en pratique, on a constaté qu'il est extrêmement difficile de commander de façon précise la température des blocs en raison de 10 la nature variable du phénomène de diffusion dû à la liaison entre les blocs et le substrat. De plus, certaines sources de chaleur, par exemple les gaz chauds, sont difficiles à appliquer à une zone restreinte sans endommager les blocs adjacents. Dans d'autres procédés, la chaleur appliquée aux blocs défectueux est si intense que les blocs retirés du substrat sont complètement dé-15 truits et ne peuvent donc pas être réutilisés ou être employés aux fins d'un contrôle de qualité. Les Techniques de l'art antérieur utilisent normalement un cycle chronologique d'application de chaleur qui s'est également révélé insatisfaisant. Un autre problème présenté par la nature des alliages utilisés pour obtenir 20 une liaison par diffusion réside dans le fait que l'on ne peut employer qu'un nombre limité de cycles de soudure par reflux afin de ne pas détruire l'intégrité de la liaison métallurgique par suite de la diffusion entre l'alliage et la métallurgie de base du bloc ou du substrat. A cet égard, les techniques de chauffage consistant, par exemple, à souder de nouveau par reflux tous les chips 25 à un substrat de façon analogue à celle initialement employée pour lier les chips, sont insatisfaisantes par suite de la limitation du nombre de cycles de reflux que chaque bloc est capable de supporter sans être endommagé. L'un des objets de la présente invention est donc de fournir un procédé et un appareil capable de résoudre les problèmes de l'art 30 antérieur résumés ci-dessus et de permettre l'application ou le retrait de petits éléments thermosensibles sans pour autant endommager les éléments se trouvant à proximité immédiate de ces derniers. lin autre objet de l'invention est de retirer d'un substrat des dispositifs semiconducteurs liés à celui-ci par soudure sans les endommager ou les détruire. 35 Un autre objet de l'invention est de diminuer le coût de la fabrication de modules à circuits intégrés grâce à un procédé permettant de réparer les modules défectueux. Un autre objet de l'invention est d'augmenter le nombre de cycles de réparation admissible pour un même module à circuits intégrés. 40 La présente invention permet d'atteindre les objectifs ci-dessus, ainsi 72 11401 3 2134368 que d'autres objectifs, en commandant l'application d'une source concentrée d'énergie thermique à la surface d'un bloc pendant un intervalle de temps qui est déterminé en contrôlant la température de surface du bloc. Dans la réalisation préférée de l'invention, une flamme d'un mélange modifié d'oxygène et d'hy-5 drogène sert de source ae chaleur réglable, et un détecteur de rayons infrarouges est utilisé pour mesurer la température de surface du bloc. Un dispositif automatique est prévu pour commander l'application de la flamme à la surface du bloc. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention 10 ressortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence aux dessins annexés à ce texte, qui représentent un mode de réalisation préféré de celle-ci. La figure 1, qui est une vue en coupe d'un appareil construit conformément à la présente invention et permettant de réparer les blocs représente les différents composants de cet appareil. 15 La figure 2, qui est une vue en perspective de la sonde à vide et du bec de chalumeau qui sont utilisés pour réparer les blocs, montre la façon dont ces deux éléments sont disposés par rapport aux différents blocs d'un substrat à réparer. La figure 3 représente de façon schématique l'interconnexion des différents 20 circuits pneumatiques et électriques de l'invention. Les figures 4 et 5 sont des graphiques indiquant les rapports temps-température respectivement utilisés pour le retrait et pour le remplacement des blocs conformément au procédé de l'invention. On a représenté sur la figure 1 un dispositif 11 de positionnement de 25 substrat comprenant une base 10 sur laquelle est montée une table orientable 12 servant d'étage de macro-positionnement pour obtenir un alignement grossier des substrats à circuits intégrés 24 au-dessous de la partie active du dispositif, et un étage 14 de micro-positionnement x-y permettant d'obtenir un alignement définitif des blocs et du substrat. La table 12 et l'étage 14 peu-30 vent tous deux être actionnés manuellement ou être programmés et entraînés électriquement. Un dispositif 20 de pré-chauffage d'un type classique quelconque est prévu afin d'obtenir un pré-chauffage du substrat à réparer. L'emploi d'un tel dispositif est souhaitable afin d'éviter que le choc thermique n'endommage les 35 blocs ou les substrats, et également afin de réduire la durée des cycles. La température de pré-chauffage applicaple est fonction du dispositif particulier qui fait l'objet de la liaison et devrait être suffisamment basse pour que les dispositifs ne soient pas dégradés par décoloration ou par d'autres phénomènes. Line plaque 22 servant à soutenir les substrats est montée directement sur la 40 surface supérieure ou dispositif 20. La plaque 22 peut comporter une rainure 72 11401 4 2134368 23 servant à mettre les substrats en position. D'autres types.de plaques peuvent être souhaitables selon la structure de l'article particulier que l'on dési re réparer. - Un ensemble 27 constitué par une sonde à vide 28 servant à saisir les 5 blocs et par un bec de chalumeau 30, est monté mobile sur un carter 26 et disposé directement au-dessus du dispositif 11. Un mécanisme; 31,connecte l'ensemble 27 à un cylindre pneumatique 64 (non représe.ntéj qui est décrit plus loin à l'aide de la figure 3. La sonde à vide est fixée à une tige 32 qui est maintenue par des paliers montés dans des équerres 34 qui permettent à l'ensem-10 ble 27 de se déplacer verticalement au-dessus du substrat 24 de manière à se rapprocher ou s'éloigner de ce dernier. Une barre 36 est montée sur l'extrémité supérieure de la tige 32 et sert à connecter cette dernière à la tige d'action-nement 38 d'un cylindre pneumatique 64 (représenté sur la figure 33. Une vis micrométrique 40 est montée sur la barre 36 et peut être réglée de manière à 15 limiter le déplacement de l'ensemble 27 dans sa position abaissée ou de travail. Le dispositif 11 de positionnement du substrat est utilisé en conjonction avec un stéréo-microscope 16, qui peut employer un réticule d'alignement superposé à la zone d'image directement au-dessous de l'ensemble 27 afin d'aligner les doigts de connexion des blocs à circuits intégrés avec un substrat. Cet 20 alignement peut également être réalisé à l'aide d'un miroir semitransparent 18 en observant simultanément le bloc et le substrat, selon un procédé bien connu. Un dispositif de détection à distance de la température constitué par le détecteur 42 de rayons infra-rouges est monté sur le côté du carter 26 de telle sorte qu'il n'existe aucun obstacle entre ce détecteur et le bloc particulier 25 que l'on doit chauffer à l'aide du bec de chalumeau 30. Comme on le verra plus loin à propos de la figure 3, le détecteur 42 constitue une partie du dispositif de commande permettant de faire fonctionner automatiquement 1'ensemble.27 de manière à contrôler l'intervalle de temps pendant lequel la chaleur est appliquée au bloc à l'aide du bec de chalumeau 30. Il est souhaitable que le 30 détecteur 42 ne détecte que la température du bloc chauffé et non les radiations environnantes ou les radiations émises par la flamme elle-même* Pour la flamme particulière décrite ci-après, il est recommandé d'utiliser un détecteur de rayons infra-rouges sensible à une longueur d'onde d'environ 2,0-2,6 microns afin d'éviter de détecter la température de la flamme. Dans le cas de l'utilisa-35 tion d'un détecteur à bande large, on peut employer des filtres afin de limiter la longueur d'onde de la lumière détectée. Il convient également de noter que la lumière produite par un système quelconque d'illumination du bloc ou du substrat et destinée à être utilisée en conjonction avec le microscope 16 devrait être filtrée afin d'éviter de masquer les rayons infra-rouges émis par 40 le bloc chauffé. 72 11401 5 2134368 Une équerre 44 servant de support à un dispositif 46 d'allumage de flamme et à un dispositif 46 d'extinction de flamme est montée au-dessous du carter 26 de façon adjacente à l'ensemble 27. Le dispositif 46 se compose d'un fil de platine de faible longueur faisant fonction de résistance et monté dans un b bloc que l'on peut faire avancer en introduisant de l'air dans le cylindre 50. Le dispositif 46 permet alors, lorsqu'il est excité, d'allumer la flamme lorsque air l'ensemble 27 se trouve en position basse. Le dispositif 48 produit un/soufflé afin d'éteindre la flamme avant que l'ensemble 27 ne soit ramené à la position haute. 10 La figure 2 représente un agrandissement de l'ensemble 27 en position basse, à proximité d'un bloc 52 que l'on désire retirer. Comme on l'a précédemment mentionné, cet ensemble comprend la sonde à vide 28 et le bec de chalumeau 30. Ces deux derniers éléments peuvent être consistués, par exemple, par des aiguilles du type employé pour injections hypodermiques , les dimensions de 15 ces aiguilles étant dans une certaine mesure fonction des dimensions des blocs, que l'on désire lier ou retirer, et leurs extrémités devraient être rendues plates par meulage. La sonde à vide est montée sur la tige 32 à l'aide d'un dispositif 54 et connectée par l'intermédiaire du tuyau 56 soit à un compresseur soit à une source d'alimentation d'air, selon l'opération particulière que 20 1'on effectue, comme on le verra plus loin à propos de la figure 3. Le bec de chalumeau 30 est directement soudé en 57 à la sonde à vide 28 et forme avec celle-ci un angle assez fermé de telle sorte que, lorsque le bec 30 est allumé, la flamme 5B ne chauffe pas l'extrémité de la sonde 28, car les raoiations émanant de l'extrémité de la sonde, si celle-ci est chauffé.e, donne-25 raient une lecture erronée de la température du bloc. La flamme est de préférence produite par la combustion d'un mélange gazeux d'oxygène et d'hydrogène fourni par un générateur de gaz 78, qui est décrit plus loin à propos de la figure 3. Ce générateur produit de l'oxygène et de l'hydrogène à partir d'eau, mélange les gaz automatiquement dans des propor-30 tions stoechïométriques, et les dirige vers un réservoir dans lequel ils traversent un bain d'acétone ou autre liquide organique. Cet acétone, du fait de la combustion du carbone, confère au mélange de fortes caractéristiques de carouration (réduction) en absorDant l'oxygène atmosphérique dans la zone chauffée. Si l'on compare la flamme ainsi obtenue avec celle produite par la 35 combustion d'un mélange d'oxygène et d'hydrogène non modifié, (c'est à dire, sans addition d'acétone) on constate que le nombre qe Kilocalories résultant est augmenté par suite de la chaleur supplémentaire dégagée par la comoustion ces vapeurs d'acétone, et que la température de la flamme est ramenée d'environ 3,00Û°C à 2.0ûG°C du fait de la température de combustion moins élevée des 4L vapeurs d'acétone. De plus, la flamme devient plus longue et plus visible. La 72 11401 6 2134368 position du bec de chalumeau 28 par rapport au bloc à chauffer est fonction d'un certain nombre de facteurs, mais ce bec peut, par exemple, se trouver à une distance d'environ 8mm du bloc et être dirigé vers le centre de ce dernier. Une pression de gaz suffisante pour produire une flamme ayant un cône primaire S d'une longueur d'environ 3,18 mm peut être employée. L'emploi d'une flamme résultant de la combustion d'un tel mélange modifié d'oxygène et d'hydrogène permet a'appliquer à-un bloc donné une chaleur suffisante pour obtenir un reflux de soudure en moins de 10 secondes tout en limitant pour les blocs adjacents 60, 1'augmentation de température par conduction 10 dans le substrat 24, de telle sorte qu'elle n'atteigne pas la température de reflux. La sonde à vide 28 est disposée au-dessus d'un coin du bloc 52 et à quelques centièmes de mm de la surface de ce dernier. Pour une opération de retrait de bloc, la sonde 28 devrait être suffisamment éloignée de la surface du bloc 15 pour que, lorsque le reflux se produit, la soudure ou le matériau de liaison au niveau des doigts de liaison se casse, ce qui permet alors à la sonde 28 de soulever le bloc et prévient la formation d'aspérités sur le matériau de liaison. De même, pendant une opération de liaison, l'extrémité de la sonde 28 ne devrait pas être en contact avec la surface du bloc. La couche d'air em-20 pêche l'extrémité de la sonde de faire fonction de puits de chaleur et, de ce fait, diminue la durée de l'opération ainsi que la température des blocs adjacents. On a représenté schématiquement sur la figure 3 les circuits pneumatiques et électriques de la réalisation préférée de l'invention. Qn peut voir au cen-25 tre de la figure l'ensemble 27 relié directement au cylindre 64 de commande de sonde par le mécanisme 31. Le cylindre 64 est actionné pneumatiquement et commant-dé par la valve V5 par l'intermédiaire des conduits pneumatiques 66 et 68. La valve V5 peut être une valve flottante modifiée à quatre positions dont l'entrée est connectée à l'alimentation d'air 70 et qui peut connecter cette 30 dernière à l'un ou l'autre des conduits 66 ou 68. Normalement, comme le montre la ligne 71, cette valve rappelle le cylindre 64 en position haute. Pour abaisser l'ensemble 27, les valves normalement fermées et rappelées par ressort V2 et V3 doivent être ouvertes. La valve V2 est commandée en actionnant manuellement le commutateur électrique "position basse". La valve V3 peut être comman-35 dée par un commutateur thermostatique situé dans l'unité de préchauffage 20 et qui empêche l'utilisation de l'appareil avant que la température de pré-chauffage spécifiée ait été atteinte. Par ailleurs, la température de préchauffage peut être détectée par le détecteur 42 de rayons infra-rouges et la valve V3 peut être commandée par la sortie électrique d'une boîte de commande 74 décri-40 te ci-après. Une fois les deux valves V2 et V3 ouvertes, la valve V5 est mise 72 11401 7 2134368 dans sa seconde position, indiquée par la ligne pointillés 72, qui fait passer l'air du conduit 68 au conduit 66 et provoque de ce fait l'abaissement de l'ensemble 27. Pour faire passer l'ensemble 27 à la position haute, une valve V1 à trois positions normalement fermée et rappelée par ressort est prévue, capable 5 cette valve étant/o'actionner la valve V5 de telle sorte que 1'air provenant de l'alimentation 70 passe du conduit 66 au conduit 68 et, de ce fait, provoque le soulèvement de l'ensemble 27. La valve V1 peut être excitée par la sortie T2 de la boîte 74 oe commande de température ou par les commutateurs actionnés manuellement "position haute" et "hors fonction urgence". Chaque fois que la 10 valve V1 est ouverte, le dispositif d'extinction de flamme 48 reçoit de l'air par l'intermédiaire du conduit 76 et éteint la flamme sortant éventuellement du bec de chalumeau 30, le chauffage du bloc étant alors interrompu. Lorsque l'ensemble 27 se trouve en position basse, le dispositif 46 d'allumage de flamme peut être mis en service. La mise en fonction momentanée 15 du commutateur manuel S1 fournit un courant au transformateur T et provoque l'ouverture de la valve V7 normalement fermée et rappelée par ressort. Simul-le tanément,/cylindre à air comprimé 50 provoque le déplacement du dispositif 46 vers le bec de chalumeau 30, et le courant circulant dans le secondaire au transformateur T porte le conducteur 80 au rouge, la flamme étant de ce fait 20 allumée. Lorsque la flamme chauffe le bloc 52, le détecteur 42 de rayons infrarouges et la ooîte de commande 74 contrôlent la température du bloc. La boîte 74 comprend deux détecteurs de seuil différents réglés de manière à produire des impulsions de sortie lorsque la température détectée atteint les valeurs 25 T1 et T2. La valeur T1 correspond à une température choisie- arbitrairement qui dépasse d'environ 30 à 50°C la température de fusion de l'alliage ou de la soudure permettant de lier un bloc à son susbtrat. Cette température est choisie de telle sorte qu'une chute de température se produise dans l'épaisseur du bloc 52. La sortie T1 n'est utilisée que pour retirer un bloc déjà lié à 30 un substrat et permet normalement d'exciter la bobine d'excitation 82 d'un relais à verrouillage R. Cela provoque l'ouverture de la valve V4, normalement fermée et rappelée par ressort la source de dépression 84 étant alors connectée à la sonae à vide 28 par l'intermédiaire de la valve V6 rappelée par ressort. Etant donné la façon dont un relais à verrouillage est construit, la valve V4 35 restera ouverte jusqu'à ce que la bobine de libération 86 du relais R soit excitée. La sortie 12 correspond à une température située entre la valeur T1 et une température dépassant d'environ 100°u la température de fusion de l'alliage de liaison, et provoque l'ouverture oe la valve V1, de la façon précédemment décrite, ce qui se traduit par le passage de l'ensemble 27 à la 40 position haute. La température T2 est choisie de manière à ce que la température 72 11401 a 2134368 du matériau constituant la soudure dépasse suffisamment son point de fusion pour produire un reflux de soudure adéquat lors d'une opération de liaison, et pour empêcher la formation d'aspérités sur les doigts de contact "d'un bloc lors d'une opération de retrait. 5 Afin de libérer un bloc précédemment retiré et maintenu par la sonde à vide 28, l'invention prévoit un commutateur manuel S2 qui fournit le courant nécessaire pour exciter la bobine de libération 36 du relais à verrouillage R. La mise en fonction du commutateur S2 provoque la fermeture ae la valve V4 et l'ouverture de la valve V6, laquelle transmet à la sonde 28 un brusque 10 souffle d'air qui a pour effet de libérer le bloc. Les blocs ainsi libérés peuvent être récupérés dans un plateau approprié (non représenté). Deux commutateurs manuels supplémentaires, S3 et S4, décrits de façon plus détaillée ci-après., sont également prévus. Le commutateur S3, en dérivation avec le relais R, sert à appliquer une dépressiorià la sonde à vide 26, et le 15 commutateur S4 sert à rendre inopérant le circuit de dépression commandé par la sortie T1 de la boite de commande 74. Le dispositif de réparation de blocs de circuits intégrés de la présente invention peut être utilisé dans l'un ou l'autre de deux modes de fonctionnement distincts: le mode "remplacement" ou le mode "retrait", ou peut être utilisé 20 pour retirer et remplacer de façon séquentielle'des blocs à un même emplacement sur un même substrat. Au cours d'une opération de fabrication, il est préférable d'utiliser un dispositif de réparation donné seul mode de fonctionnement, à la fois. Lors d'une opération de retrait de bloc, le substrat 24 est aligné sous 25 l'ensemble 27 de telle sorte que l'extrémité de la sonde à vide 28 se trouve au-dessus de l'un des coins d'un bloc 52 sans toucher la surface de celui-ci, comme on l'a précédemment indiqué à propos des figures 1 et 2. Aux fins de-cet • alignement, l'ensemble 27 peut être abaissé manuellement de telle sorte que la position de la sonde à vide 20 puisse être réglée visuellement ou à l'aide 30 d'un système optique du type décrit plus haut. Lors de la mise en fonction du commutateur "position basse" [figure 3), la valve V2 s'ouvre et, à condition que la température de pré-chauffage ait été atteinte, la valve V5 s'ouvre également, l'air circulant alors dans le conduit 66 et l'ensemble 27 passant à la position basse. La mise en fonction manuelle du commutateur S1 provoque 35 l'allumage de la flamme par le dispositif 46, ce qui déclenche le cycle de chauffage. Lorsque la température T1 est atteinte, la boîte de commande 74 excite la bobine 82 du relais R, ce qui provoque l'application par la valve V4 . d'une dépression à la sonde à vide 28. Aussitôt que le bloc desse d'être en contact avec le substrat, sa température commence à augmenter rapidement puis-40 que le substrat ne fait plus fonction de puits de chaleur. A la température 72 11401 9 2134368 prédéterminée 12, qui est détectée par le détecteur 42 de rayons infrarouges, la sortie T2 de la boîte 74 provoque l'ouverture de la valve V1, ce qui ramène la valve V5 à sa position initiale 71 et l'ensemble 27 se soulève, entraînant le bloc 52. En même temps, le dispositif 43 éteint la flamme. Une fois la son-5 de en position haute, une boîte (non représentée) servant à récupérer les blocs peut être disposée au-dessous de l'ensemble 27 et le commutateur S2 est mis hors fonction. Le relais R retourne de ce fait à son état inactif,, ce qui entraîne la fermeture de la valve V4 et l'ouverture simultanée de la valve VB, qui transmet à la sonde 28 un Drusque souffle d'air provenant de l'alimentation 70, 10 le bloc étant alors libéré de la sonde. La mise hors fonction du commutateur S2 remet la valve VB dans sa position initiale. Le graphique de la figure 4 représente le rapport temps/température afféretot à un cycle de retrait de bloc et illustre les températures critiques mesurées qui commandent le fonctionnement automatique du dispositif. 15 Lors d'une opération de remplacement de bloc, il est nécessaire de prévoir une station de saisie de bloc (non représentée) à laquelle la sonde à vide 28 puisse "commodément avoir accès. Cette station peut être disposée sur la table orientable 12. Les stations de ce type sont bien connues dans l'art antérieur et se composent généralement d'une table tournante dont la surface supérieure 20 comporte des miroirs permettant d'observer les doigts de contact du bloc afin d'obtenir un alignement correct du bloc sur un substrat. La sonde est manuellement abaissée au-dessus de la station, de la façon précédemment décrite, et le commutateur S3 est fermé afin qu'une dépression soit appliquée à la sonde 28 et que le bloc soit soulevé. La table orientable 12 est alors employée pour 25 disposer le substrat 24 au-dessous de l'ensemble 27, les doigts de contact du bloc étant alignés à l'aide du microscope 1B et du miroir semi-transparent 18 en superposant l'image réfléchie du bloc et l'image transmise du susbstrat. Le commutateur normalement fermé S4 est ouvert pour empêcher la température T1 d'ouvrir la valve V4. Le commutateur "position basse" est alors mis en fonction 30 afin que l'ensemble 27 abaisse le bloc aligné au-dessus du substrat. Le commutateur S3 est alors ouvert, ce qui ferme la valve V4 et permet au bloc de tomber dans la position requise sur le substrat. Le commutateur S1 est alors fermé afin que la flamme soit allumée de la façon précédemment décrite. A la température 12, la valve V1 est utilisée comme dans le cas d'un cycle de retrait de 35 bloc afin d'achever l'opération. Le graphique de la figure 5 montre le rapport temps/température afférent à un cycle de remplacement et montre la température critique mesurée T2 qui commanae le fonctionnement automatique du dispositif. Il doit être bien entendu que les opérations de retrait et de remplacement de blocs peuvent toutes deux être effectuées par la réalisation décrite du 40 dispositif de la présente invention. Eien que la réalisation préférée de l'inven 72 11401 10 2134368 tion ait été décrite ci-dessus du point de vue de la réparation de substrats à circuits intégrés, il doit être bien entendu que le dispositif peut être utilisé dans n'importe qusl domaine dans lequel un premier élément thermosensible doit être retiré d'un second élément qui se trouve à proximité immédiate 5 d'autres éléments thermosensibles, ou doit être lié à ce second élément, sans pour autant endommager le premier élément ou ceux qui l'entourent. Il doit également être bien entendu que le terme "liaison par soudure" qui est employé ci-dessus concerne d'une façon générale le procédé consistant à lier deux matériaux ayant des points de fusion relativement élevés en provoquant la liqué-10 faction puis la solidification d'un ou plusieurs matériaux ayant des points de fusion moins élevés et disposés entre les deux premiers. Par ailleurs, on tiendra compte du fait, bien connu de l'homme de l'art, que la température de reflux, ou point de fusion, d'un alliage constituant une soudure n'est pas une température fixe mais une plage de température en raison de la composition mé-15 tallurgique variable de l'alliage employé, notamment dans les applications faisant appel au procédé de soudure par reflux. Bien que l'on ait. décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter 20 toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles sans pour autant sortir du cadre et de la portée de la présente invention. 72 11401 11 2134368 i~tEVEi\ulCÀTIOnS 1.- Dispositif de contrôle d'application de chaleur pour réaliser un reflux de soudure d'un matériau de soudure entre un premier élément et un deuxième élément, caractérisé en ce qu'il comprend: 5 des moyens de chauffage pour appliquer oe la chaleur au premier élément des moyens de détection de température pour aétecter la température du premier élément aes moyens de commande qui, en réponse àu moyen de détection de température, co 10 pérature prédéterminée, située au-dessus de la température de fusion du matériau de soudure, est atteinte, de telle sorte que le reflux de soudure entre le premier et le second élément est réalisé. - 2.- Dispositif selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de positionnement pour positionner le premier élément de 15 façon adjacente au second élément avant que la chaleur ne soit' appliquée au premier élément. 3.- Dispositif selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens supplémentaires qui, en réponse au moyen de commande, éloignent le premier élément du second élément lorsque le reflux de soudure se 20 produit. 4.- Dispositif de réparation ae alocs oe circuits intégrés permettant de lier par soudure, à l'aioe d'un matériau de liaison, des dIocs à un substrat, du genre comprenant des moyens de positionnement du substrat, des moyens de saisie de blocs et une source de chaleur contrôlable pour appliquer de la cha- 25 leur à un bloc qui doit être lié au substrat, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: des moyens de détection de température pour détecter la température d'un bloc qui doit être lié au substrat et, aes moyens ae commande qui, en réponse aux moyens de détection de tempéra- 30 ture.coruTiandEntl'arrêt ae l'application de chaleur au bloc à une température prédéterminée située au-dessus de la température de fusion du matériau de liaison. 5.- Dispositif oe séparation de blocs de circuits intégrés pour réparer un suûstrat comportant plusieurs clocs qui lui sont liés par soudure à l'aide 35 a'un matériau de liaison et qui sont aajacents à un bloc oui doit être réparé, 72 11401 12 2134368 caractérisé en ce qu'il comporte: des moyens d'alignement de substrat'qui supportent le substrat qui doit être réparé,, des moyens de saisie de bloc pouvant maintenir les blocs à une certaine 5 distance du substrat et pouvant mouvoir les blocs vers ou au-delà du substrat des moyens de chauffage de bloc pour appliquer de la chaleur aux blocs, des moyens d'BXtinction pour stopper l'application de chaleur aux blocs des moyens de détection pour détecter la température des blocs chauffés des moyens de commande qui, en réponse aux moyens de détection, commandent 10 le fonctionnement des moyens d'extinction pour "une première température prédéterminée située au-dessus de la température de fusion du matériau de liaison. B.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la température prédéterminée est supérieure d'au plus 100 degrés à ladite température de fusion. 15 7.- Dispositif selon la revendication 5 caractérisé en ce que les moyens de commande contrôlent en outre les moyens de saisie pour que ceux-ci supportent le bloc à réparer à une certaine distance déterminée du substrat et ce, à une deuxième température prédéterminée supérieure à la température de fusion du matériau de liaison et inférieure à la première température prédéterminée, 20 de telle sorte que le bloc chauffé soit ôté du substrat avant que la première température ne soit atteinte et avant que le matériau de liaison liant les blocs adjacents au substrat ne soit soumis à la température de fusion. / 8.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que les moyens de chauffage consistent en une flamme. 25 9.- Dispositif selon la revendication 7 caractérisé en ce que la flamme est produite par la combustion d'un mélange stoechiométrique d'hydrogène et d'oxygène saturé d'un liquide organique. 10.- Dispositif selon la revendication 8 caractérisé en ce que le liquide organique est de l'acétone. 30 11.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que les moyens de détection consistent en un détecteur infra-rouge. 12.- Dispositif selon les revendications 5 ou 7 caractérisé en ce que les 72 11401 13 2134368 moyens de chauffage consistent en une flamme et les moyens d'extinction sont des moyens pneumatiques qui fournissent un souffle d'air pour éteindre la flamme.