FR 2088295 A1 19720107 FR 7111214 A 19710325 71 11214 1 2088295 La présente invention concerne d'une façon générale un procédé de diffusion de dopants dans des substrats semiconducteurs, et, plus particulièrement, un procédé de diffusion de zinc, à partir d'une source de diffusion de silicate de zinc, dans un substrat semiconducteur tel que de l'arséniure de gallium 5 ou autre composé constitué par des éléments du groupe III ou du groupe V du tableau périodique des éléments. Des composés ternaires tels que l'arséniure d'aluminium et de gallium (GaAs^^Al^) conviennent également en tant que substrats. Ce procédé est particulièrement applicable aux circuits intégrés car il permet la fabrication de dispositifs, tels que des ensembles de diodes 10 avec une densité élevée, tout en atténuant ou supprimant le phénomène dit d'étalement. Les problèmes afférents à la diffusion de matériaux dans des substrats semiconducteurs, en utilisant des oxydes dopés ou des semiconducteurs dopés en tant que sources de diffusion, ont été partiellement reconnus dans l'art 15 antérieur. On savait notamment que l'évaporation du dopant n'était pas souhaitable, et une couche d'oxyde ne comportant pas de dopant était en conséquence déposée sur la source de diffusion pour prévenir son évaporation. Cette technique rendait inutile la formation de fenêtres de diffusion. Les techniques de l'art antérieur faisaient appel à des dopants classiques, tels 20 que le bore et l'arsenic, et à des substrats semiconducteurs en matériaux classiques tel que le germanium et le silicium. Lorsqu'on utilise ces matériaux et d'autres matériaux similaires, il se produit généralement une certaine diffusion latérale du dopant dans le substrat semiconducteur, et l'on n8 peut rien faire pour limiter cette diffusion ltéralB. L'emploi de 25 dopants tels que le zinc soulèvent un problème que l'art antérieur a méconnu. Si l'on diffuse du zinc, à partir d'une vapeur de zinc, à travers une fenêtre de diffusion, le zinc se répand latéralement le long de l'interface entre le masque d'oxyde et le semiconducteur, et une certaine quantité de zinc pénètre, même à travers le masque d'oxyde. Cela se traduit par une diffusion latérale 30 qui est beaucoup plus importante que la diffusion latérale qui se produit normalement lors de l'emploi de dopants classiques. Antérieurement, à la présente invention, on s'est efforcé, mais sans succès de contrôler cette diffusion latérale en recouvrant une source de diffusion de zinc avec du dioxyde de silicium. D'autres techniques utilisant différents oxydes et 35 nitrures et des sources spécifiques de diffusion n'ont pas donné de meilleurs résultats. Le présent procédé fournit des combinaisons spécifiques de masquage et de source de diffusion qui suppriment en grande partie la diffusion latérale et permettent la fabrication d'ensembles de diodes ayant des densités précédemment impossibles à réaliser du fait de cette mime diffusion latérale. 40 Conformément à l'aspect le plus large de la présente invention, un procédé 71 11214 2 2088295 de diffusion de zinc dans un substrat semiconducteur sans diffusion latérale excessive est décrit, ci-après. Conformément à des aspects plus particuliers de la présente invention, une source de diffusion de silicate de zinc est déposée sur une partie de la 5 surface d'un substrat d'arséniure de gallium ou d'autres composés des groupes III et V . Un matériau de masquage en oxyde d'aluminium ou ennitrure de silicium est déposé sur la partie restante du substrat et le zinc est diffusé en portant la source de diffusion et le masque à une température appropriée. La source de diffusion de zinc et le masque peuvent êtres déposés sur le 10 substrat selon les deux méthodes ci-après: a) En déposant et en délimitant par décapage une source de diffusion, composée de silicate de zinc et résultant de la décomposition thermique de propionate de zinc et d'ortho silicate de tétraéthyle, depuis la phase vapeur. La délimitation de la source de diffusion est effectuée par masquage photo- 15 lithographique et décapage selon la méthode habituelle. Après délimitation de la source de diffusion, un masque en oxyde d'aluminium ou en nitrure de silicium est déposé sur la source de diffusion et la surface exposée du substrat semiconducteur. De l'oxyde d'aluminium est formé en chauffant de 1'isopropoxyde d'aluminium en phase vapeur dans de l'azote à une température 20 suffisante pour provoquer la décomposition thermique de 1'isopropoxyde. Un film d'Al203 peut également être déposé par pulvérisation à partir d'une cathode d'alumine (selon la méthode décrite dans l'article intitulé "Argon Content of Si02 Films Deposited by RF Sputtering in Argon", paru dans la publication intitulée "IBM Journal of Research et Development", tome 14 25 N°1, janvier 1970, page 52). Le nitrure de silicium est formé par décomposition thermique de bromure de silicium et d'ammoniac en phase vapeur; b) En déposant et en délimitant un masque d'oxyde d'aluminium ou de nitrure de silicium de la façon indiquée ci-dessus, en déposant le silicate de zinc au-dessus du masque et de la surface exposée du substrat semiconduc- 30 teur de la façon décrite ci-dessus et en chauffant l'ensemble. L'emploi de ces deux méthodes permet de supprimer toute diffusion latérale excessive du zinc. Selon une méthode préférée, la source de diffusion de silicate de zinc (xZnO.ySiQ^) devrait contenir des quantités de ZnO inférieures à 50% en poids. Si la quantité de ZnO dépasse 50%, le zinc a tendance à 35 traverser directement le masque. L'un des objets de la présente invention est par conséquent de fournir un procédé permettant de prévenir toute diffusion latérale excessive du zinc dans des substrats semiconducteurs. Un autre objet de l'invention est de fournir un procédé permettant de 40 commander la diffusion latérale du zinc de façon à rendre possible la fabri 71 11214 3 2088295 cation d'ensembles de diodes ayant une densité supérieure à celles prééédemment obtenues. P'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention rassortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence aux dessins 5 annexés à ce texte, qui représentent un mode ds réalisation préféré de celle-ci. La figure 1 représente, en coupe un substrat semiconducteur comportant une région dopée obtenue par diffusion en phase vapeur à travers une ouverture pratiquée dans un matériau de masquage. La diffusion latérale normale-10 ment obtenue dans le cas d'un dopant autre que le zinc est délimitée par un trait plein, la diffusion latérale qui se produit habituellement dans le cas du zinc étant représentée en pointillés. La figure 2 représente, en coupe, un substrat semiconducteur sur la surface duquel est disposée une source de diffusion de silicate de zinc 15 entourée sur trois de ses côtés par un matériau de masquage. La figure 3 représente, en coupe, un substrat semiconducteur sur la surface duquel est disposé un matériau de masquage entouré sur trois de ses côtés par une source de diffusion de silicate de zinc. La figure 4 représente de façon schématique un appareil utilisé pour 20 déposer du silicate de zinc sur la surface d'un substrat semiconducteur. La figure 5 représente de façon schématique un appareil utilisé pour déposer soit de l'oxyde d'aluminium, soit du nitrure de silicium sur la surface d'un susbtrat semiconducteur. On a représenté sur la figure 1, un substrat semiconducteur 1 à la 25 surface duquel est disposée une couche de matériau de masquage 2 comportant une ouverture. Si l'on emploie des dopants ordinaires tels que le bore, l'arsenic, l'antimoine, etc, une région de diffusion 3, entourée d'un trait plein, est formée en portant le susbtrat 1 à une température appropriée en présence du dopant sous phase vapeur. Il s'agit là d'une technique connue 30 dans l'art antérieur qui utilise du dioxyde dB silicium pour constituer la couche de masquage 2. On notera que la région de diffusion 3 s'étend latéralement et verticalement sur une même distance. □ans les mêmes conditions, à cela près que le dopant utilisé est à présent du zinc, la région de diffusion obtenue est indiquée par le pointil-35 lé 4. Comme on peut le constater, la diffusion latérale est beaucoup plus importante que la diffusion verticale. Il est évident que, du fait de cette diffusion latérale, la jonction p-n formée par diffusion occupe une partie beaucoup plus importante de la surface du substrat 1 que ne l'exige la région de diffusion 3. L'élimination de cette diffusion latérale excessive 40 constitue par conséquent un progrès important, compte tenu de son effet sur 71 11214 4 2088295 la densité d'emmagasinement des dispositifs utilisés dans des ensembles de circuits intégrés. La figure 2 représente un procédé permettant de prévenir une diffusion latérale excessive lorsqu'il est nécessaire d'employer du zinc en tant que 5 dopant pour former des jonctions p-n émettrices de lumière dans des substrats composés d'arséniure de gallium, d'autres composés des groupes III et V ou de composés ternaires associés tels que l'arséniure d'aluminium et de gallium. La figure 2 représente un substrat 1 en matériau semiconducteur, tel que de l'arséniure de gallium dont une partie de sa surface supporte une source 10 de diffusion 5, de préférence en silicate de zinc (xZnO. ySi02) contenant de préférence une quantité de ZnO inférieure à 50% en poids. Si l'on augmente la quantité de ZnO, le zinc a tendance à traverser directement le matériau de masquage. La source de diffusion 5 de silicate de zinc est formée par décompo-15 sition thermique de propionate de zinc et d'ortho silicate de tétraéthyle en phase vapeur. Le substrat 1 est disposé dans une chambre à réaction, les composants appropriés sont admis en phase vapeur et, par décomposition thermique, le silicate de zinc est formé sur la surface du substrat 1. Une description détaillée du procédé et de l'appareil utilisés pour la formation 20 du silicate de zinc est donnée ci-après à propos de la figure 4. Après dépôt de la couche de silicate de zinc, la source de diffusion 5 est formée en déposant une couche de matériau photorésistant sur sa surface et en exposant ce matériau à travers un masque. N'importe lequel des matériaux photorésistants connus dans l'art antérieur peut être employé. Après développement 25 du matériau photorésistant, les parties non exposées sont retirées à l'aide d'un solvant approprié. Un masque en matériau photorésistant est alors formé, qui résiste à la plupart des décapants classiques. Tout le silicate de zinc qui n'est pas recouvert par le masque est retiré à l'aide d'un décapant approprié, par exemple de l'acide fluorhydrique (HF) dilué, laissant la source 30 de diffusion 5 disposée sur une partie de la surface du susbtrat 1. Le masque est ensuite retiré à l'aide d'un décapant approprié. Lors d'une étape ultérieure, un masque, B en oxyde d'aluminium (Al„Q_) 2 i ou en nitrure de silicium est déposé ou formé sur la source de diffusion 5 et sur la partie exposée de la surface du substrat 1 de telle sorte que la 35 source 5 soit entourée sur trois de ses cfités par le masque 6. De l'oxyde d'aluminium peut être formé par décomposition thermique d'isopropoxyde d'aluminium dans un gaz inerte ou non oxydant. Une description détaillée du procédé et de l'appareil employés pour déposer l'oxyde d'aluminium est donnée ci-après à propos de la figure 5. Du nitrure de silicium peut être déposé 40 par décomposition thermique de bromure de silicium (SiBr^) et d'ammoniac (NH3) 71 11214 5 2088295 dans un gaz inerte ou non oxydant. Une description détaillée du procédé et de l'appareil employés pour déposer le nitrure de silicium sur le substrat 1 est également donnée ci-après à propos de la figure 5. Une fois la source de diffusion 5 et le masque 6 formés sur le susbstrat 5 1, ce dernier est introduit dans un four de diffusion dans lequel il sera chauffé pendant des temps et à des températures appropriés pour diffuser le zinc dans le substrat 1. Comme le montre la figure 2, en employant une O - couche de silicate de zinc d'une épaisseur de 2.000 A, en tant que source O de diffusion 5 et une couche de nitrure de silicium d'une épaisseur de 2.000 A 10 eh tant que masque 6, et en chauffant l'ensemble pendant 45 minutes à une température de 850°C, on obtient une région de diffusion contenant du zinc et ayant une profondeur de 15 microns. La largeur de la diffusion latérale ne dépasse pas la profondeur de la diffusion verticale. La quantité d'oxyde de zinc contenue dans le silicate de zinc devrait 15 de préférence être inférieure à 50% du total. Toutefois, la quantité effective, utilisée dépend, par exemple, des propriétés des diodes désirées. La figure 3 représente une autre technique permettant également de supprimer toute diffusion latérale excessive. On a représenté sur cette figure un substrat 1 à la surface duquel sont disposées des régions de mas-20 quage 6, une source de diffusion 5 étant disposée au-dessus des régions de masquage 6 et des parties exposées du substrat 1. Les régions de diffusion 3 sont formées par diffusion de zinc à partir d'une source de diffusion 5 de silicate de zinc. Les régions de masquage 6 sont soit en oxyde d'aluminium, soit en nitrure de silicium, et sont déposées à la surface du substrat de la 25 façon brièvement décrite à propos de la figure 2. La différence entre les structures représentées sur les figures 3 et 2 provient simplement de l'ordre dans lequel les différentes couches sont déposées et du fait que c'est un ma= tériau différent qui est décapé. Dans le cas de la figure 3, l'oxyde d'aluminium ou le nitrure de silicium est déposé en premier lieu et les régions 30 de masquage B sont formées à l'aide de techniques photolithographiques bien connues. Une fois les régions non exposées d'un matériau photorésistant retirées à l'aide d'un solvant approprié, un décapant approprié, tel que du HF dilué, est appliqué et retire l'oxyde d'aluminium ou le nitrure de silicium des régions non masquées. Une fois le décapage terminé, on procède au dépôt 35 de la source de diffusion 5 de silicate de zinc. Cela fait, le substrat 1 est placé dans un four de diffusion dans lequel il est chauffé pendant des temps et à des temprétaures appropriée pour diffuser le zinc à une profondeur désirée dans le substrat 1, ce qui se traduit par la formation des régions de diffusion 3. Comme dans le cas de la structure représentée par la figure 2, les 40 régions de diffusion 3 de la figure 3 s'étendent latéralement sur une distance 71 11214 6 2088295 qui ne dépasse pas la profondeur de diffusion. On a représenté sur la figure 4 un appareil préféré dans lequel le dépôt de silicate de zinc est effectué par décomposition thermique de propionate de zinc et d'ortho silicate de tétraéthyle. Le procédé de la 5 présente invention est décrit ci-après dans le cas d'un substrat semiconducteur en arséniure de gallium, de l'azote étant utilisé en tant que gaz ambiant, de l'ortho silicate de tétraéthyle (ci-après désigné OSTE) en tant que source de dioxyde de silicium, et du propionate de zinc en tant que source d'oxyde de zinc. 10 La figure 4 représente un tube en quartz 11 disposé à l'intérieur d'un four tubulaire 12. Un porte-substrat 13 amovible, supportant un substrat semiconducteur 1 en arséniure de gallium, est disposé à l'intérieur du tube 11. Une source 15 de gaz non oxydant, de préférence de l'azote, est reliée 15 à des débitmètres 16, 17 et 16 par l'intermédiaire des valves réglables 19, 20 et 21, respectivement. Le conduit 22 relie le débitmètre 16 à un barbo-teur 23 qui contient un alKoxyde organique de zinc, de préférence du propionate de zinc. Ce dernier matériau est normalement solide à température ambiante, de sorte qu'il est nécessaire de le porter à une température 20 suffisante pour le liquéfier dans un bain 24 à température constante. On aconstaté que les températures comprises dans la gamme de 118° à 270°C sont satisfaisantes à cet égard, la température préférée étant de 240°C. Le composé organique utilisé se décompose lorsqu'on le porte à une température appropriée de façon à former un dépôt d'oxyde métallique, en l'occurrence 25 de l'oxyde de zinc. La seule condition requise en ce qui concerne la température de décomposition du composé organique formant un oxyde métallique est que cette température soit inférieure à la température à laquelle les éléments de l'oxyde métallique se diffusent normalement dans un substrat semiconducteur. On a constaté que, dans le cas du propionate de zinc, des 30 températures de décomposition comprises dans la gamme de 250° à 600°C sont satisfaisantes, la température préférée étant de 450°C. De l'azote provenant de la source est envoyé 15, par l'intermédiaire du conduit 22, au barboteur 23, où il barbote dans le propionate de zinc liquide ; ce dernier est alors entraîné sous forme vapeur par l'azote dans le tube 11, par l'intermédiaire 35 du conduit 25. Simultanément, un gaz non oxydant, de l'azote dans notre exemple, est introduit depuis la source 15, par l'intermédiaire de la valve 21, du débitmètre 18 et du conduit 28, dans le barboteur 29 qui contient un sel organique de silicium comportant un radical hydroxy, de préférence de 40 l'OSTE. Le bain 30 à température constante maintient l'OSTE sous phase liqui 71 11214 7 2088295 de à n'importe quelle température comprise dans la gamme de -20° à 50°C. L'azote barbotant dans l'OSTE entraîne de l'OSTE vaporisé, par l'intermédiaire du conduit 31, jusqu'au tube 11. Dans ce dernier, le propionate de zinc et l'OSTE se décomposent à une température comprise dans la gamme de 250 à B0Q°C, 5 et de préférence égale à 450°C, pour déphaser du silicate de zinc sur le substrat. Les valves 19 et 21 étant réglées de façon à obtenir les débits désirés, le proprionate de zinc et l'OSTE sont introduits dans le tube 11 où ils se décomposent simultanément avec formation de silicate de zinc sur le substrat 10 1. Etant donné que la gamme de températures dans laquelle le composé organique choisi se décompose est assez vaste et qu'il est difficile de maintenir un gradient de température étroit dans la région du substrat 1, un débit séparé d'azote ou si nécessaire, d'oxygène, pour augmenter la vitesse d'écoulement dans le tube 11, est utilisé pour assurer le dépôt de silicate de zinc 15 sur le substrat 1. Un surplus d'azote provenant de la source 15 est ainsi apporté, par l'intermédiaire de la valve 20, du débitmètre 17, et du conduit 32, au tube 11, et ce, avec une vitesse d'écoulement désirée. On peut choisir les débits de 1 litre par minute d'azote à travers chacun des barboteurs 23 et 29, et de 8 litres par minute d'azote ou d'oxygène 20 introduits directement par l'intermédiaire du conduit 32 dans le tube 11. En réglant les débits d'azote traversant le propionate de zinc, les proportions respectives d'oxyde de zinc et de dioxyde de silicium peuvent être commandées. Comme indiqué ci-dessus, la quantité d'oxyde de zinc devrait être inférieure à 50% en poids. 25 L'appareil représenté sur la figure 4 permet donc de former du silicate de zinc sur la surface du substrat 1, comme le montre la figure 2. Après délimitation d'une source de diffusion 5 de silicate de zinc, un matériau de masquage 6 en oxyde d'aluminium ou en nitrure de silicium est formé à l'aide de l'appareil de la figure 5. 30 On a représenté sur la figure 5 un appareil préféré dans lequel le dépôt d'oxyde d'aluminium est effectué par décomposition thermique de composés organiques contenant de l'oxyde métallique, ou dans le cas de nitrure de silicium par décomposition thermique de bromure de silicium et d'annmoniac. La façon dont ces matériaux sont déposés est décrite ci-après dans le cas d'un 35 substrat semiconducteur en arséniure de gallium, de l'azote étant utilisé en tant que gaz ambiant, de 1'isopropoxyde d'aluminium en tant que source d'oxyde d'aluminium, et du bromure de silicium et de l'aamoniac en tant que source de nitrure de silicium. Comme le montre la figure 5, un tube en quartz 11 est disposé à l'inté-40 rieur d'un four tubulaire 12, un porte-substrats 13 amovible supportant un 71 11214 8 2088295 substrat semiconducteur 1 en gallium étant disposé à l'intérieur du tube 11. Une source 15 de gaz non oxydant, de préférence de l'azote, est connectée aux débitmètres 16, 17 et 18 par l'intermédiaire des valves réglables 19, 20 et 21, respectivement. Le conduit 22 va du débitmètre 16 à un barbo-5 teur 33 qui contient un alkoxyde organique d'aluminium, de préférence de 1'isopropoxyde d'aluminium. Ce dernier matériau est normalement solide à température ambiante, de sorte qu'il doit être porté à une température suffisante pour le liquéfier dans un bain 34 à température constante. On a constaté que les températures comprises dans la gamme de 118° à 270°C sont 10 satisfaisantes, à eet égard, la température préférée étant de 125°C. Le composé organique employé se décompose lorsqu'il est porté à une température appropriée pour former un dépôt d'oxyde d'aluminium. La seule condition requise en ce qui concerne la température de décomposition du composé organique contenant de l'oxyde métallique est que cette température soit infé-15 rieure à celle à laquelle les éléments de l'oxyde métallique se diffusent normalement dans un substrat semiconducteur. Dans le cas de 1'isopropoxyde d'aluminium, on a constaté que les températures de décomposition comprises dans la gamme dB 250° à 600°C conviennent, la température préférée étant de 420°C. De l'azote provenant de la source 15 est envoyé par l'intermédiaire 20 du conduit 22 au barboteur 33, où il barbote dans 1'isopropoxyde d'aluminium liquide et entraîne ce dernier sous forme vapeur dans le tube 11 par l'intermédiaire du conduit 25. Le substrat 1 est porté dans le four 12 à la température de décomposition désirée et 1'isopropoxyde d'aluminium, lorsqu'il entre en contact avec la surface chauffée du substrat se décompose pour dépo-25 ser sur cette surface un film d'oxyde d'aluminium. Les produits de décomposition restants et l'azote sortent du tube 11 par l'intermédiaire du conduit 26 et retournent à l'atmosphère après avoir traversé le barboteur d'évacuation 27. De la façon décrite ci-dessus, de l'oxyde d'aluminium est déposé sur la source de diffusion 5 ainsi que sur la partie exposée de la surface du substrat 30 1, comme le montre la figure 2. La diffusion du zinc à partir du silicate de zinc peut être effectuée dans le tube 11 par simple chauffage dans l'azote. Pour obtenir un masque en nitrure de silicium au lieu d'un masque en oxyde d'aluminium, on envoie de l'azote depuis la source 15, par l'intermédiaire de la valve 21, du débitmètre 18 et du conduit 28, dans le barboteur 35 35, qui contient du bromure de silicium sous forme liquide. Le bain 30 à température constante maintient le bromure de silicium à une température de 25°C. L'azote barbote dans le bromure de silicium et entraîne ce dernier sous 11 forme vapeur dans le tube par 1'intermédiaire du conduit 31. En même temps, de l'ammoniac est envoyé depuis la source 36, par 40 l'intermédiaire de la valve 37, du débitmètre 38 et du conduit 39, au tube 11 71 11214 9 2088295 où, à une température de 800° à 9QQ°C, l'ammoniac et le bromure de silicium se décomposent et réagissent de façon à former une couche de nitrure de silcium sur la partie exposée du substrat 1 et sur la source de diffusion 5 en silicate de zinc. Pendant cette réaction, la valve 19 est fermée pour 5 empêcher 1'isopropoxyde d'aluminium de parvenir au tube 11. De l'azote supplémentaire est introduit dans le tube 11 à partir de la source 15 par l'intermédiaire de la valve 20, du débitmètre 17 et du conduit 32, et s'ajoute aux vapeurs d'âmaoniac et de bromure de silicium.Après dépôt du nitrure de silicium, le zinc peut être diffusé dans le substrat 1 par chauffage en pré-10 sence d'azote. Lorsqu'on désire obtenir une configuration du type représenté sur la figure 3, les régions de masquage 6 peuvent être obtenues en déposant d'abord une couche d'oxyde d'aluminium ou de nitrure de silicium de la façon décrite à propos de la figure 5. Après délimitation des ouvertures, la source de 15 diffusion 5 peut être déposée de la façon décrite à propos de la figure 4. Bien entendu, le chauffage provoque la diffusion du zinc dans le substrat 1. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut 20 y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles sans pour autant sortir du cadre et de la portée de ladite invention. 71 11214 10 2088295 REVENDICATIONS 1. Procédé de diffusion de zinc dans un substrat semi-conducteur, sans étalement latéral excessif du zinc diffusé, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : on forme d'une part une source de diffusion en silicate de zinc et 5 d'autre part un matériau de masque, choisi dans le groupe comprenant l'oxyde d'aluminium et le nitrure de silicium, respectivement sur une première et une seconde parties de la surface du substrat ; et on chauffe ensemble pour diffuser le zinc de la source de diffusion dans ledit substrat. 10 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étapo de formation d'une source de diffusion et d'un matériau de masque comprend les étapes suivantes : .le dépôt d'une couche de silicate de zinc sur la surface du substrat ; le retrait sélectif d'au moins une partie de la couche de silicate 15 de zinc de façon à laisser une configuration désirée de cette couche ; le dépôt d'une couche de matériau de masque sur la partie restante de la couche de silicate de zinc et sur la surface exposée du substrat ; et la diffusion du zinc, depuis la partie restante du silicate de zinc, dans le substrat. 20 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de formation d'une source de diffusion et d'un matériau de masque comprend les étapes suivantes : le dépôt d'une couche de matériau de masque sur la surface du substrat : le retrait sélectif d'au moins une partie de la couche de matériau 25 de masque de façon à laisser une configuration désirée de cette couche j le dépôt d'une couche de silicate de zinc sur la partie restante du matériau de masque et sur la surface exposée du substrat ; et la diffusion du zinc, depuis le silicate de zinc dans le substrat. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1,2 ou 3 caractérisé 30 en ce que le substrat semi-conducteur est un composé formé avec les éléments des groupes III et V du tableau périodique des éléments. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le substrat semi-conducteur est un composé choisi dans le groupe comprenant de l'arséniure de gallium et de l'arséniure de gallium et d'aluminium. 71 11214 11 2088295 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la source de diffusion en silicate de zinc contient une quantité d'oxyde de zinc inférieure à 50% en poids dans le silicate de zinc. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en 5 ce que l'étape de dépôt d'une couche de silicate de zinc comprend : le chauffage simultané de propionate de zinc et d'ortho silicate de tétraéthyle en phase vapeur et ce, à leurs températures de décomposition afin de déposer une couche de silicate de zinc. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en 10 ce que l'étape de dépôt d'une couche de matériau de masque comprend : le chauffage d'isopropoxyde d'aluminium en phase vapeur et ce, à sa température de décomposition afin de déposer une couche d'oxyde d'aluninium. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'étape de dépôt d'une couche de matériau de masque comprend : 15 le chauffage de bromure de silicium et d'ammoniac en phase vapeur, et ce à leurs températures de décomposition afin de provoquer une réaction de leurs éléments et le dépôt d'une couche de nitrure de silicium. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat est de l'arséniure de gallium et en ce 20 que le silicate de zinc a pour formule x ZnO - y Si02 dans laquelle la quantité de ZnO est inférieure à 50% en poids dans le silicate de zinc.