FR 2111850 A1 19720609 FR 7137882 A 19711021 71 *6f*2 1 2111850 la présente invention se rapporte à la spectroscopie interférentielle et à son utilisation pour obtenir une formation spectrale concernant un échantillon à analyser. L'un des procédés grâce auxquels une telle information a été obtenue dans le passé, consiste à utiliser un interféromètre de Michelson. Par ce procédé, un rayonnement électromagnétique traverse 1'interféromètre, et on prend des. mesures successives de l'intensité du faisceau ( en utilisant un détecteur approprié) sortant de 1'interféromètre, alors que le miroir à balayage se déplace, à la fois avec un échantillon interposé dans le faisceau et sans échantillon interposé . Le faisceau entrant dans 1'interféromètre est séparé en deux composantes grâce à une membrane ou analogue semi-transparente et réfléchissante,et les composantes transmise et réfléchie retournent à la membrane grâce à deux miroirs, de telle façon que les composantes se recombinent en un faisceau qui sort ensuite de l'interféromètre, . L'un des miroirs, le miroir à balayage, est déplaçable dans une direction parallèle à la direction de la composante du faisceau qui tombe sur lui. Lorsque le miroir à balayage se déplace, la différence de chemin optique entre les'deux composantes change (le changement de la différence de chemin optique entre les composantes pour un déplacement quelconque du miroir de balayage étant égal à deux fois ce déplacement), et on appelle interférogramme 1'enregistrement.de l'intensité du faisceau qui sort de 1'interfomètre en fonction de la différence de chemin optique entre les composantes. Une mesure du spectre du faisceau sortant de 1'interféromètre (c'est-à-dire l'enregistrement de l'énergie du rayonnement en fonction de la fréquence) peut être obtenuepar transformée de Fourier de llinterférogramme. Une information sur les caractéristiques drabsorption d'un échantillon peut être obtenue en réalisant un interfé-rogramme avec l'échantillon interposé dans le faisceau soit avant séparation ou soit après recombinaison, et en réalisant un interférogramme supplémentaire dit de base ou de référence sans échantillon de façon à donner les caractéristiques du 71 37882 2 2111850 rayonnement de fond ou analogue. A partir des transformées de Fourier des deux interférogrammes, le coefficient d'absorption pour l'échantillon en fonction de la fréquence peut être obtenu sur une largeur spectrale ou de bande choisie. 5 Une information sur l'indice de réfraction d'un échantillon peut être obtenue en positionnant l'échantillon de sorte qu'une partie, mais pas la totalité, de l'une des composantes du faisceau sândé par la membrane semi-transparente et réfléchissante dans 1'interféromètre de Michelson, le traverse. Un 10 interférogramme réalisé avec l'échantillon dans cette position présente deux pics principaux, et en connaissant la séparation entre ces pics et 1!épaisseur de l'échantillon, l'indice de réfraction -moyen sur une largeur spectrale choisie du rayonnement, peut être calculé. Cependant, pour que l'indice de réfraction de 15 l'échantillon en fonction de la fréquence soit calculéjdeux interférogrammes supplémentaires doivent être réalisés^1'un avec l'échantillon dans l'une des composantes du faisceau et l'autre, un interférogramme de référence, sans échantillon dans le faisceau. 20 La présente invention a pour objet un appareil de spectro- scopie qui comprend des moyens pour produire à partir d'une source unique deux faisceaux de rayonnement électromagnétique qui sont parallèles l'un à l'autre, des moyens, sur lesquels tombent ou sont incidents chacun des faisceaux, pour réfléchir 25 partiellement et transmettre partiellement le rayonnement incident, des moyens pour superposer les composantes réfléchie et transmise de chaque faisceau l'une sur l'autre afin de produire deux faisceaux recombinés, lesquels moyens de superposition comprennent des moyens pour réfléchir l'une des composantes de 30 chaque faisceau, les moyens réfléchissants étant déplaçables dans une direction parallèle à la direction dans laquelle, les composantes du faisceau sont incidentes, des moyens pour moduler l'intensité de chaque faisceau à une certaine fréquence, les fréquences auxquelles les intensités des deux faisceaux sont 35 modulées étant différentes l'une de l'autre:, un détecteur pour le rayonnement électromagnétique sur lequel .tombe chacun des faisceaux après modulation et recombinaison , et des moyens 71 37882 3 2111850 pour donner une mesure des amplitudes des composantes de la sortie du détecteur produites par chacun des faisceaux. Des interférogrammes peuvent être produits en déplaçant les moyens réfléchissants/parallèlement à la composante de 5 chaque faisceau incident et en effectuant simultanément des mesures des deux composantes de la sortie du détecteur, (ce qui donne une mesure des intensités des deux faisceaux incidents sur le détecteur), durant le "balayage des moyens réfléchissants, l'appareil permet de réaliser deux interférogrammes indépendants -]o pendant un balayage des moyens réfléchissants, les deux inter-férogrammes produits pendant le balayage peuvent être comparés pour obteni:çtme information spectrale sur un échantillon positionné dans un faisceau ou une composante d'un faisceau de la manière décrite ci-avant, parce qu'un faisceau (ou bien une 15 composante d'un faisceau) dans l'appareil de l'invention traverse l'échantillon, et l'autre ne le traverse pas, mais sait sensiblement le même chemin, ce afin d'enregistrer le rayonnement de fond ou de référence. Ainsi, la même information peut être obtenue sur les caractéristiques de transmission d'un échantillon 20 pendant un balayage unique des moyens réfléchissants, tandis que deux balayages du miroir sont requis dans le procédé décrit précédemment. Egalement, la même information sur l'indice de réfraction peut être obtenue avec un balayage unique des moyens réfléchissants alors que trois balayages successifs du 25 miroir sont requis pour les mesures de l'indice de réfraction, décrites ci-avant. En outre, un avantage très important de l'appareil de l'invention est que l'information spectrale obtenue sur l'échantillon est indépendante des changements d'intensité de la source en fonction du temps, et des changements 30 d-e la sensibilité du détecteur en fonction du temps, étant donné que les amplitudes de chaque composante de la sortie du détecteur pour une position particulière des moyens réfléchissants, sont déterminées en même temps. Pour déterminer l'indice de réfraction d'un échantillon, 35 l'échantillon doit être positionné dans le trajet de la composante réfléchie ou transmise de l'un des deux faisceaux, mais, pour les mesures d'absorption, l'échantillon doit être 71 37882 2111850 positionné dans le trajet de l'un des faisceaux soit avant séparation, soit après recombinaison. l'invention propose également un procédé pour obtenir une information spectrale sur un échantillon, ce procédé 5 étant caractérisé en ce qu'il consiste à : permettre aux deux faisceaux de rayonnement électromagnétique qui ont été produits à partir d'une source unique et qui sont parallèles l'un à l'autre, d'être incidents sur des moyens ainsi disposés qu'ils divisent ou séparent chaque faisceau en des composantes 10 partiellement réfléchie et partiellement transmise ; à réfléchir la composante réfléchie, ou bien la composante transmise, de chaque faisceau grâce à des moyens qui sont déplaçables dans une direction parallèle au rayonnement incident ; à superposer les composantes réfléchie et transmise de chaque faisceau 15 l'une sur l'autre pour produire deux faisceaux recombinés ; à moduler l'intensité de chacun des faisceaux à une certaine fréquence, les fréquences auxquelles les intensités des faisceaux sont modulées étant différentes ; à détecter chacun des faisceaux recombinés et modulés avec le même détecteur ; 20 et à obtenir une mesure des amplitudes des composantes de la sortie du détecteur produites par chacun des faisceaux, l'échantillon étant positionné dans l'un des faisceaux ou bien l'une des composantes transmise ou réfléchie de l'un des faisceaux. Avantageusement,des moyens pour moduler l'intensité de 25 chaque faisceau sont prévus pour moduler un faisceau avant qu'il soit incident ou tombe sur l'échantillon. Ceci sert à éliminer de 1'interférogramme respectif l'effet d'une radiation qui peut être émise par l'échantillon. Bien que les moyens partiellement réfléchissants et les 30 moyens de superposition puissent faire partie de par exemple un interféromètre de ttach-Zehnder, avantageusement, les moyens partiellement réfléchissante et les moyens de superposition font partie d'un interféromètre du type Michelson, les moyens réfléchissante formant miroir à balayage. 35 Avantageusement, les moyens pour moduler l'intensité du rayonnement dans chaque faisceau comprennent des moyens pour interrompre périodiquement chaque faisceau. De préférence, 71 37882 5 2111850 l'interruption de chaque faisceau est effectuée en introduisant périodiquement dans, et en retirant de, chaque faisceau, un objet opaque. La modulation du faisceau suivant cette dernière façon assure que les caractéristiques du rayonnement dans le faisceau respectif ne sont affectées par la modulation, tout en facilitant en même temps la détermination des amplitudes des composantes respectives de la sortie du détecteur. Les moyens pour interrompre les faisceaux comprennent de préférence deux éléments rotatifs, chacun étant prévu pour interrompre un faisceau différent et des moyens pour entraîner en rotation chacun des éléments à une vitesse constante. G-râce à une telle disposition, il est possible de maintenir constantes la durée de chaque interruption du faisceau et la fréquence d ' interruption, «t ce pendantde longues périodœ de temps pour obtenir un degré élevé de précision. Chaque élément peut être une plaque ou analogue avec une ouverture ou orifice, ou bien avec un certain nombre d'orifices écartés ou espacésde manière égale dans une direction circonférencielle par rapport à l'axe de rotation de l'élément^et de longueur égale dans cette direction. Alternativement, chaque élément peut comprendre un certain nombre de lames ou secteurs espacés de manière égale suivant une direction circonférencielle par rapport à l'axe de rotation de l'élément, et d'égale longueur dans cette direction là. Les moyens pour faire tourner les deux éléments peuvent comprendre un moteur unique. Les éléments peuvent alors chacun être entraînés par le moteur grâce à un engrenage approprié par exemple. Alternativement, les moyens pour faire tourner chacun des éléments peuvent comprendre, deux moteurs, chacun desquels étant prévu pour entraîner un élément différent, lesdits moteurs étant chacun alimentés par du courant alternatif provenant du même oscillateur, les fréquences des tensions étant égales à la fréquence de l'oscillateur ou égales à une sous-division de la fréquence d'oscillateur. L'invention propose égalementsune unité de modulation qui est appropriée pour pouvoir être utilisée comme moyens pour moduler l'intensité des deux faisceaux dans un appareil de 71 37882 6 2111850 spectroscopie suivant la présente invention, cette unité comprenant deux éléments rotatifs, chacun étant prévu pour interrompre l'un des faisceaux; et des moyens pour entraîner en rotation chacun des éléments à une vitesse constante. 5 Avantageusement, les moyens pour déterminer les amplitudes des composantes de la sortie du détecteur comprennent des moyens pour effectuer une détection sensible à la phase de la sortie du détecteur à chacune des fréquences auxquelles les faisceaux sont modulés par rapport aux oscillations en phase 10 avec les modulations des faisceaux respectifs, et tu circuit de lissage pour chacun des signaux après détection. L'effet de la détection sensible à la phase et de la régulationou lissaga consécutif est de produire deux signaux de tension continue et dont les amplitudes donnent une mesure des composantes 15 respectives de la sortie du détecteur. De préférence, les oscillations de référence sont produites en réponse aux sorties de deux cellules photoélectriques sur lesquelles tombe de la lumière, une cellule différente étant associée à chaque faisceau et la lumière tombant sur chaque cellule étant modulée par 20 nés moyens pour moduler l'intensité du faisceau respectif à la même fréquence et en relation de phase constante avec les modulations du faisceau respectif. Les signaux correspondant à chaque composante de la sortie du détecteur après détection sensible à la phase se sii7>erpo-25 sent avec divers harmoniques de la fréquence de modulation respective et également des composantes alternatives ayant des fréquences égales à la somme de , et à la différence entre, une fréquence de modulation fondamentale et ses harmoniques, et l'autre fréquence de modulation fondamentale et ses 30 harmoniques respectivement. L'un des avantages de la détection sensible à la phase est que les harmoniques d'ordre égal, ne sont pas présents dans les signaux correspondants à chaque composante de la sortie du détecteur après détection. Les autres composanies alternatives non désirables peuvent en général être 35 minimisée^ar des circuits classiques de filtrage avant et/ou après détection sensible à la phase. Chaque circuit de lissa'ge peut comprendre un filtre passe- 71 37882 2111850 bas présentant une fréquence de coupure inférieure à celle à laquelle le faisceau respectif est modulé et inférieure à la différence entre les fréquences auxquelles les faisceaux sont modulés. 5 L'invention propose également une unité de détection qui comprend des moyens pour effectuer une détection sensible à la phase de la sortie du détecteur à chacune des fréquences auxquelles les faisceaux sont modulés par référence aux oscillations en phase avec les modulations des faisceaux respec-10 tifs, et un circuit de lissage pour chacun des signaux après détection. L'unité de détection peut comprendre deux cellules photoélectriques, sur lesquelles la lumière est incidente, une cellule différente étant associée à chaque faisceau et la lumière tombant sur chaque cellule photoélectrique étant 15 modulée par les moyens pour moduler l'intensité du faisceau respectif à la même fréquence et suivant un rapport de phase constant avec les modulations du faisceau respectif, et les oscillations de référence étant produites en réponse aux sorties des cellules photoélectriques. 20 Avantageusement, les fréquences auxquelles les deux faisceaux parallèles sont modulés et la réponse du détecteui" sont telles que la sortie du détecteur en réponse à un faisceau lumineux qui est modulé à une fréquence égale à la différence entre les fréquences auxquelles les deux faisceaux parallèles sont modulés, 25 est petite comparativement à la sortie du détecteur en réponse au même faisceau lumineux lorsqu'il est modulé à l'une ou l'autre des fréquences auxquelles les deux faisceaux parallèles sont modulés. Ceci tend à favoriser la suppression de la fréquence de différence, fondamentale à augmenter ainsi la pi^'côsiDi 30 avec laquelle les amplitudes des composantes de la sortie du détecteur sont mesurées. Le détecteur peut être du type G-olay,et comprend une poche souple contenant un gaz, la poche étant ainsi disposée qu'elle absorbe le rayonnement incident sur une partie de sa surface, 35 et on s'arrange pour produire un courant alternatif qui est proportionnel aux changements quant' à la courbure d'une partie différente de la surface de la poche. Le courant alternatif 71 37882 8 2111850 peut être produit par une cellule photoélectrique sur laquelle tombe la lumière réfléchie 'de ladite partie différente de la surface de la poche. Alternativement, ladite partie différente de la surface peut avoir attachée à elle, ou encore peut être K 5 formée par, un élément métallique souple ainsi arrangé qu'il forme un-côté d'un microphone à condensateur dans un circuit de détection convenable. Un tel détecteur peut être utilisé pour un rayonnement qui se situe dans une gamme de longueurs d'onde comprises entre 5 x 10 "^cm et 5 x 10~^cm." 10 Un procédé et un appareil spectroscopique convenant pour obtenir une information spectrale sur des échantillons et réalisé^ suivant la présente invention,■seront maintenant décrits en se reportant au^fclessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemple et dans lesquels î 15 - la figure 1 est une vue schématique d'une partie de l'appareil ; - la figure 2 est une vue en coupe passant par le dispositif de modulation pour les faisceaux, et faite suivant la ligne X-X de la figure 1 ; et 20 - la figure 3 est un schéma "bloc du circuit électronique associé au détecteur. En se reportant à la figuré 1 , on voit deux faisceaux lumineux, qui proviennent chacun de la même source ponctuelle de rayonnement et qui sont parallèles l'un à l'autre ; ils traversent un dis-25 positif de modulation 1 où ils sont interrompus à différentes fréquences, puis un interf éromètre de Michelson 2. Les deux faisceaux quitfent l'interf éromètre sont focalisés sur un détecteur unique et, au moyen de circuits électroniques convenables, les amplitudes des signaux ou composantes de la sortie du détecteur 30 produites par chacun des faisceaux (qui donnent une mesure des **" -v intensités de chacun des faisceaux incidents sur le détecteur/ peuvent être simultanément déterminées. L'échantillon eét positionné dans l'un des faisceaux avant séparation ou après recombinaison pour des mesures de transmission, ou bien dans l'une des 35 composantes réfléchie ou transmise de l'un des faisceaux pour des mesures d'indice de réfraction. L* interf éromètre de Michelson comprend, de manière usuelle, COPY 71 37882 9 2111850 une membrane semi-transparente et réfléchissante 3 disposant 45° par rapport aux plans 'des deux miroirs mutuellement perpendiculaires 4 et 5. les deux faisceaux parallèles frappent le miroir 4 suivant une incidence normale. Le miroir de balayage, c'est-à-dire le miroir 5, est déplaçable d'ans unedirection parallèle à sa normale suivant une vitesse constante en étant commandé par un mécanisme d'entraînement (non représenté)qui est réglable^de sorte que la valeur de la vitesse du miroir de balayage peut être ajustée à n'importe quelle, valeur de balayage particulière. En se reportant maintenant à la figure 2, on voit que le dispositif de modulation 1 comprend un boîtier 6, dans les parois avant et arrière, duquel sont réalisés deux orifices 7 et 8 pour permettre le passage des deux faisceaux parallèles. Les dimensions de chacun des deux orifices 7 et 8 sont variables de façon à permettre de faire varier l'intensité du rayonnement dans chaque faisceau. Le boîtier 6 renferme deux éléments rotatifs 9 et 10 qui sont constitués respectivement par trois et quatre lames ou secteurs s'étendant vers l'extérieur. Les éléments 9 et 10 sont ainsi positionnés que lorsqu'on les fait tourner, ils interrompent chacun périodiquement l'un des faisceaux parallèles'. Lés bords de~s secteurs de chaque élément se prolongent suivant des directions radiales perpendiculaires à l'axe de rotation de l'élément, et sont également écartés sur un cercle par rapport à l'axe de rotation de l'élément respectif. Les éléments 9 et 10 sont entraînés à la même vitesse par' des moteurs 11 et 12 respectivement, qui sont chacun entraînés à partir du même oscillateur. Jîien que les éléments 9V et 10 soient chacun'-entraînés à la même vitesse, les fréquences d'interruption des faisceaux seront différentes, parce que les éléments ont des nombres différents de secteurs. Le boîtier 6 renferme également deux cellules photoélectriques 13 et 14 (montrées sjshématiquement ) qui comprennent chacune une cellule et une source de lumière ainsi disposées que les secteurs des éléments 9 et 10 interrompent la lumière tombant sur les cellules lorsque les éléments tournent. La lumière copy 71 37882 10 2111850 tombant sur chacun§&es cellules photoélectriques est interrompue pendant la même durée, à la même fréquence que pour le faisceau respectif, et dans un rapport de phase constant avec les modulations du faisceau- les cellules photoélectriques 5 13 et 14 sont déplaçables suivant une direction horizontale de façon à pouvoir régler la phase des interruptions de la cellule en fonction de la phase des interruptions du faisceau respectif. La sortie de chacune des cellules est utilisée pour une détection sensible à la phase de la sortie du détecteur. 10 Le détecteur pour le rayonnement est un détecteur..- ■ ÇKXLAÏ 15. Le fait que la réponse du détecteur Crolay dépende de la fréquence de la variation de l'intensité du rayonnement incident sur ledit détecteur, limite le choix des fréquences auxquelles les faisceaux peuvent être modulés. Avec l'appareil de 1'invention, 15 des fréquences de modulationdë îUHz pour un faisceau et de 15 Hz pour l'autre faisceau, et de 10,5 Hz pour l'un et de 13 Hz pour l'autre, ont été jugées comme étant satisfaisantes. En se reportant à la figure 3, on voit que la sortie du détecteur G-olay 15 est divisée en deux parties qui sont 20 chacune alimentées suivant un trajet séparé. Les circuits électroniques dans chacun des trajets permettent de déterminer l'amplitude de l'une des composantes de la sortie du détecteur. Chaque partie de la sortie du détecteur .G-.ol^ est fournie à un filtre passe-bande 16 ou 17 qui laisse passer les fréquences 25 égales à la fréquence fondamentale respective, mais qui supprime les fréquences égales a.} ou plus grandes que, celles du troisième harmonique du signal respectif. Les filtres passe-bande 16 et 17 suppriment également certaines des fréquences de somme et de différence associées aux composantes de la 30 sortie du détecteur. Les sorties des filtrés passe-bande 16 et 17 sont fournies, par l'intermédiaire d'amplificateurs 18 et 19 respectivement à des détecteurs sensibles à la phase 20 et 21 respectivement, où elles sont détectées d'une manière sensible à la phase, en 35 réponse aux sorties des cellules photoélectriques 13 et 14 respectivement. En fonctionnement, les cellules photoélectriques sont initialement déplacées horizontalement, ce afin d'altérer 71 37882 n 2111850 les phases des modulations des sorties des cellules en fonction des phases des interruptions des faisceaux respectifs, jusqu'à ce que les sorties des détecteurs 20 et 21 représentent un maximum. 5 Les sorties des détecteurs sensibles à la phase 20 et 21 passent dans des filtres passe-bas 22 et 23 afin de les lisser. Avec les fréquences de modulations dont il a été question plus haut, les filtres peuvent par exemple présenter une Séquence de coupure à environ 1H » c'est-à-dire, des fréquences 10 passantes en-dessous & 1%.Les sorties des filtres passe-bas 22 et 23 sont chacune sous la forme d'un signal de tension continue dont l'amplitude est une mesure de l'amplitude de la composante de la sortie du détecteur produite par le faisceau respectif incident sur ledit détecteur. 15 Le détecteur Golay et les composants dans chacun des trajets sëLoi: lesquels la sortie du détecteur est séparée, sont arrangés de telle façon que la sortie de chacun des trajets soit linéairement proportionnelle à l'intensité du faisceau respectif de lumière tombant sur le détecteur. 20 La fréquence de différence qui devrait avoir normalement la plus grande amplitude, c'est-à-dire, la fréquence de différences entre les deux fréquences fondamentales auxquelles les faisceaux sont modulés, peut jusqu'à un certain point, grâce à un choix convenable des fréquencês de modulation; 25 être réduits >,par le détecteur Qolay lui-même. Avec des fréquences de modulation de 10 Hz et 15 Hz ou de 10,5 Hz et de 13 Hz, la fréquence de différence, fondamentale de 5 Hz ou 2,5 Hz est réduite • par le détecteur étant donné que la sortie du détecteur pour un rayonnement modulé à une fréquence de 30 5 H et 2,5 H , est petite comparativement à la sortie du 2 Z détecteur pour la même radiation modulée à des fréquences ~ comprises entre 10 Hz et 15 H • Les signaux lissés passent finalement, grâce à une commande logique 24, dans un convertisseur analogique — digital 35 25, et l'information digitale peut être enregistrée sur un ruban de papier, une bande magnétique ou bien emmagasinée ou stockée dans le convertisseur. 71 37882 12 2111850 En fonctionnement, avec l'échantillon positionné dans le trajet de l'un des faisceaux avant séparation ou après recom-binaison, ou dans l'une des composantes de l'un des faisceaux, le miroir à balayage de 1'interféromètre de Michelson se 5 déplace à une vitesse constante de manière habituelle, et des mesures ou lectures successives du signal émanant de chacun des filtres passe-bas sont faites au même moment à des intervalles égaux de temps lorsque le miroir à balayage se déplace. Chacune des mesures est stockée ou mise en mémoire pendant un temps 10 bref, et la commande logique envoie d'abord une mesure associée à l'un des faisceaux, et ensuite une mesure (faite au même moment) associée à l'autre faisceau, et ce vers le convertisseur analogique-digitals. Alternativement, des paires de mesure successives de la sortie des filtres peuvent être faites 15 lorsque le miroir à balayage se déplace dans des positions successives sur., des distances égales. Une information .ssur la transmission et/ou l'indice de réfraction d' un échantillon peut être par conséquent obtenue à partir des interférogrammes produits en utilisant un calculateur 20 approprié. Bien entendu, la présente invention n'est nullement limitée au mode de réalisation décrit et illustré qui n'a été donné qu'à titre d'exemple. Au contraire, l'invention comprend tous les équivalents techniques des moyens décrits ainsi que leurs 25 combinaisons si cellès-ci sont exécutées selon l'esprit de l'invention et mises en oeuvre dans le cadre des revendications qui suivent. 71 37882 2111850 REVENDICATIONS 1. Procédé pour obtenir une information spectrale sur un échantillon, caractérisé en ce qu'il consiste à : - réaliser deux faisceaux parallèles de lumière, chacun desquels étant apte, à traverser sélectivement un échantillon ; - diviser chaque faisceau en des composantes partiellement réfléchie et partiellement transmise.; ; - recombiner les faisceaux respectifs en superposant les composantes réfléchie* et transmise, de chaque faisceau l'une sur l'autre ; .|q - moduler l'intensité des faisceaux à des fréquences différentes ; - contrôler l'intensité de chacun des faisceaux recombinés avec un détecteur sensible au rayonnement; et - mesurer l'amplitude des composantes de la sortie du .jtj détecteur avec un échantillon positionné dans l'un des faisceaux. 2. Appareil spectroscopique pour la mise en oeuvre du procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend : - des moyens pour produire deux faisceaux parallèles de 20 rayonnement pouvant traverser sélectivement un échantillon ; - des moyens sur lesquels tombe chacun des faisceaux pour diviser lesdits faisceaux en composantes partiellement réfléchie et partiellement transmise- ; - des moyens pour superposer les composantes réfléchie et 25 transmise de chaque faisceau l'une sur l'autre pour recombiner les faisceaux respectifs, lesdits moyens de superposition comprenant au-moins un moyen réfléchissant pour réfléchir l'une des composantes de chaque faisceau, ledite "moyen réfléchissant éfcant déplaçable. dans une direction parallèle à la direction 20 d'incidence des composantes du faisceau ; - des moyens pour moduler l'intensité de chaque faisceau à une fréquence différente ; - des moyens détecteurs pouvant recevoir le rayonnement provenant de chacun desdits faisceaux modulés, et 71 37882 2111850 - des moyens pour mesurer les amplitudes des composantes de la sortie du détecteur, produites par chacun des faisceaux respectifs. - 3. Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens pour positionner un échantillon dans le trajet desdits faisceaux après modulation desdits faisceaux. 4. Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que lesdits moyens de superposition comprennent au-moins une partie d'un interféromètre du type Michelson, tandis que lesdits moyens réfléchis s-ants comprennent un miroir à balayage faisant partie dudit interféromètre. 5- Appareil suivant le revendication 2, caractérisé en ce que lesdits moyens de modulation comprennent un élément rotatif séparé pour chaque faisceau, lesdits éléments rotatifs étant positionnés de façon à introduire dans^ou retirer de^chaque faisceau un objet opaque à une fréquence prédéterminée. 6. Appareil suivant la revendication 5, caractérisé en ce que les éléments rotatifs précités comprennent chacun un élément rotatif avec ailettes entraîné par un moteur à vitesse constante. 7. Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens précités pour mesurer l'amplitude des composantes de la sortie du détecteur comprennent un détecteur sensible à la phase accordé sur les fréquences auxquelles lesdits faisceaux sont modulés, et un circuit de filtrage pouvant recevoir chacun des signaux respectifs après détection par sensibilité à la phase.