FR 2046832 A1 19710312 FR 7022388 A 19700617 La présente invention concerne les microscopes électroniques et plus spécialement des microscopes électroniques iperfectionnés qui peuvent être commandés à distance de la chambre de microscopec Les microscopes électroniques comportent divers systemes pour commander leur fonctionnement. Par exemple, des moteurs d'en- traînement ont été reliés aux tiges porte-objet pour faire varier la position de la tige et faire varier ainsi la position de l'objet ou échantillon à examiner, par rapport au faisceau électronique. Ces microscopes électroniques ont été utilisés à des tensions pénétrants suffisamment faibles pour que l'émission de rayons/Eangereux tels que les rayons X et gamma, soit négligeable et par conséquent les opérateurs ont pu rester à proximité du microscope pendant son fonctionnement. Avec la mise au point des microscope électronique à haute tension, c'est-à-dire un microscope fonctionnant avec des électrons d'une énergie de l'ordre d'un million d'électrons-volts, cette énergie est si élevée que l'émission des rayons pénétrants est suffisante pour présenter un danger pour le personnel se tenant au voisinage du microscope. La présente invention concerne un microscope électronique qui peut autre commandé à distance et avec lequel les opérateurs peuvent être convenablement protégés des rayons pénétrants, en surmontant ainsi les inconvénients susmentionnés, entre autres, les microscopes électroniques antérieurs. Toutes les opérations nécessaires pour effectuer un examen peuvent être commandées à distance. Dans la forme de réalisation préférée de la présente invention, le microscope électronique comporte une colonne qui définit une chambre pouvant faire mise sous vide. I1 est également prévu un tableau de commande. Selon l'une des caractéristiques de l'invention, ce tableau peut être placé à distance de la colonne du microscope ou autre juxtapose à cette dernière La colonne comporte une source d'électrons placée à une extrémité de la chambre. Les électrons émis sont concentrés sous forme d'un faisceau électronique par des éléments électroniques jouant le rôle d'éléments optiques. Un dispositif stimulé par les électrons est placé à l'autre extrémité de la chambre. Le dispositif comporte une cible ou surface d'écran placée sur la trajectoire des électrons du faisceau qui passent à travers un échantillon ou objet en cours d'examen. La cible ou écran est mobile dans une position choisie parmi plusieurs positions. Le pupitre de commande comporte un organe de manoeuvre relié à un mécanisme d'entraînement et de positionnement de la cible ou de l'écran pour déplacer la cible ou écran vers la position choi sie L'objet est placé sur une platine qui est montée sur la colonne du microscope. Un mécanisme d'entranement est relié à la platine pour ajuster la position de l'objet supporté par rapport au faisceau électronique.Le tableau de commande comporte également un organe de manoeuvre qui est relié au mécanisme d'entraînement de la platine pour l'actionner et faireharier la position de la pRataeS de manière à pouvoir modifier la position de l'objet. Un ensemble dune plaque percée est monté sur la colonne entre la source d'électrons et l'objet. Ledit ensemble comporte une plaque allongée s'étendant dans l'alésage de la colonne du microscope. La plaque présente au moins un passage qui la traverse dans une direction sensiblement parallèle à Itaxe du faisceau électronique. L'ensemble de la plaque percée comporte un dispositif dientrainement pour déplacer la plaque le long d'axes de coordonnées s'étendant dans des directions généralement perpendiculaires au faisceau électronique. Le tableau de commande comporte un organe de manoeuvre relié au mécanisme d'entranement de la plaque pour le mettre en marche.Ainsi, le positionnement de la plaque est commandé à distance. D'autres ensembles analogues de plaques percées sont placés d'une manière analogue à d'autres endroits le long de l'axe du faisceau électronique. Selon une autre caractéristique de la présente invention, le microscope comporte un mécanisme de commande de films ou plaques photographiques montés sur la colonne pour introduire une plaque photographique vierge dans la chambre et pour enlever la plaque après qu'elle a été impressionnée par le faisceau électronique. Le mécanisme de commande des plaques comporte deux chambres de stockage ou magasins pouvant autre mis sous vide pour stocker les plaques vierges et les plaques exposées. Ledit mécanisme comporte un dispositif d'entraînement des plaques photographiques pouvant être commandé à distance pour transporter une plaque choisie du magasin-des plaques vierges-dans la chambre du microscope pour la mettre en position d'exposition.Le dispositif dtentrainement -des plaques transporte également la plaque exposée de sa position d'exposition au magasin des-plaques exposées.- Le mécanisme de commande des -plaques présente une structure-qui permet de déplacer une plaque photographique dans la chambre et de la retirer de cette der nière sans casser le vide qui y règne. Le microscope- comporte un mécanise obturateur monté dans sa chambre.-- Le mécanisme obturateur est formé d'un disque présentant une ouverture. Le disque est monté sur une plaque qui est également percée. Un mécanisme d'entraînement est relié au disque pour le faire tourner de manière que les ouvertures du disque et de la plaque puissent être alignées ou de manière que l'ouverture de la plaque puisse être recouverte par une partie du disque pour ouvrir et fermer le mécanisme obturateur. Un dispositif d'entrainement à solénoïde au moins entre en contact avec le disque rotatif pour psrmettre de faire tourner le disque pas à pas de manière que les deux ouvertures soient momentanément en alignement.Le dispositif dgentratnement à solénoide-est commandé électriquement, de manière à pouvoir commander le mécanisme obturateur d'une position éloignée de la chambre du microscope. Selon une autre de ses caractéristiques, la présente invention concerne un procédé pour-faire fonctionner un microscope électronique commandé-à distance, comportant un mécanisme obturateur réglable, et -un mécanisme de commande de plaques réglable0 Le procédé consiste au moins à fermer le mécanisme obturateur d'une position éloignée de la chambre du microscope ; à introduire une plaque photographique dans la chambre du microscope d'une position éloignée de cette dernière ; à ouvrir le mécanisme obturateur pendant un temps prédéterminé d'une position éloignée de ladite chambre du microscope; à fermer mécanisme obturateur d'une position éloignée de ladite chambre; et à extraire la plaque photographique exposée d'une position éloignée de la chambre du microscope. Le tableau de commande peut être juxtaposé à la colonne ou placé à un endroit éloigné. Lorsque le tableau de commande-est à un endroit éloigné, un écran est disposé entre la chambre du m o-io- cope et le tableau pour empêcher le passage des rayons X. Lorsque le tableau de commande est juxtaposé à la colonne, sa position est choisie de manière à ne pas empêcher l'accès à la colonne. La présente invention a notamment pour objet - un microscope électronique qui peut être commandé d'une position éloignée de sa chambre - un microscope. commandé à distance dont le tableau de commande peut être placé au voisinage e la colonne du microscope ou à distance de cette dernière - un pupitre ou tableau de commande qui, lorsqu'il se trouve au voisinage de la colonne, gêne le moins possible l'accès à ladite colonne - un microscope électronique dans lequel un écran ayant la faculté d'empêcher sensiblement le passage des rayons X est disposé entre la chambre du microscope et un pupitre ou tableau de commande, de façon que les opérateurs soient protégés des radiations pénétrantes telles que les rayons X et les rayons gamma - un microscope électronique à haute tension avec lequel les opérateurs sont protégés des radiations pénétrantes - un microscope électronique dans lequel le mécanisme de positionnement des objets ou échantillons peut être commandé d'une position éloignée du microscope - un microscope électronique comportant un mécanisme de commande d'une plaque percée qui peut être actionné à distance, de manière à pouvoir régler.avec précision la position de l'orifice de la plaque - un microscope électronique comportant un écran qui peut être élevé, abaissé ou placé en position intermédiaire d'un endroit éloigné de la chambre du microscope ; un écran choisi parmi plusnea peut être également placé de manière à intercepter un faisceau électronique passant à travers un objet à examiner - un microscope électronique comportant un mécanisme de positionnement d'objets qui peut être réglé d'une position éloignée du microscqpe pour faire varier la position d'un objet ou échantillon à examiner depuis cette position éloignée - un microscope électronique comportant un mécanisme obturateur pour laisser passer un faisceau électronique pendant un temps prédéterminé et qui peut être actionné d'une position éloignée de la chambre du microscope ; - un procédé de commande du fonctionnement d'un microscope électronique d'une position éloignée de la chambre du microscope. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, fate en regard des dessins annexés et donnant à titre explicatif, mais nullement limitatif, une forme de réalisation de l'invention. Sur ces dessins la figure 1 est une élévation du microscope de l'invention, le pupitre ou tableau de commande étant juxtaposé à I-a colonne ; la figure 2 est une vue en plan par dessus de la colonne du microscope à laquelle le pupitre de commande est juxtaposé ; la figure 3 est une vue en perspective représentant le microscope commandé à distance de la présente invention la figure 4 est une coupe de la colonne du microscope re présentée sur la figure 3 ;; la figure 5 est une coupe de la colonne du microscope représentée sur la-figure 4, suivant la ligne 5-5 de cette dernière figure, et montrant plus en détail un mécanisme de commande des écrans la figure 6 e8t une coupe du mécanisme de commande des écrans suivant la ligne 6-6 de la figure 5 la figure 7 est une coupe du mécanisme de commande des écrans suivant la ligne 7-7 de la figure 6 la figure 8 est une coupe du mécanisme de commande des écrans suivant la ligne 8-8 de la figure 5 les figures 9 et 10 sont des coupes de diverses positions du mécanisme de commande des écrans représentés sur la figure 6 ;; la figure 11 est une coupe montrant en détail le mécanisme de positionnement de objet représenté sur la figure 4 la figure 12 est une coupe du mécanisme de positionnement de objet suivant la ligne t2-12 de la figure 11 la figure 13 est une vue en plan du mécanisme de position nement de l'objet de la figure 11 t la figure 13a représente une variante du montage du mécanisme de positionnement de l'objet de la figure 11 la figure 14 est une coupe montrant en détail le mécanisme de commande de la plaque percée représenté sur la figure 4 ;; la figure 15 est une coupe du mécanisme de commande de la plaque percée suivant la ligne 15-15 de la figure 14 ; la figure 16 est une vue par dessus montrant plus en détail le mécanisme de commande des plaques photographiques représente sur la figure 4 la figure 17 est une coupe du mécanisme de commande des plaques photographiques suivant la ligne 17-17 de la figure ; les figures W8, 18a et 19 sont des coupes montrant encore plus en détail certaines parties du mécanisme de commande des plaques photographiques représentées sur les figures 16 et 17 ;; la figure 20 est une vue par dessus montrant plus en détail le mécanisme obturateur représenté sur la figure 4 la figure 21 est une coupe du mécanisme obturateur suivant la ligne 21-21 de la figure 20 ; et les figures 22 à 24 sont des schémas synoptiques et des schémas de montage électriques représentant le circuit de commande du microscope électronique commandé à distance, représenté sur la figure 3. En se référant maintenant aux dessins,- les figures 1 et 2 montrent une disposition des constituants d'un microscope électronique 10 fonctionnant à haute tension. Le microscope 10 comporte une source d'électrons à haute tension 12 placée au-dessus d'une colonne 13, et un pupitre de commande 14. La source d'électrons 12 comporte un accélérateur d'électrons contenu dans un réservoir sous pression 14a et un générateur contenu dans un réservoir analogue 14b, qui sont reliés à une partie intermédiaire/16 située au-dessus de la colonne 13 du microscope. La colonne comporte une enveloppe 18 formée d'une pile d'éléments tubulaires définissant une chambre d'analyse dans la colonne. La source d'électrons 12 engendre un signal de potentiel très élevé, c'est-à-dire d'un million de volts. Ce potentiel, lorsqu'il est appliqué au canon à électrons situé au sommet de ltac- célérateur et contenu dans le réservoir 14a, mais non représenté, a pour effet de propulser les électrons à travers la chambre d'analyse dans la colonne 13 du microscope avec une très grande énergie. Un collecteur à vide 20 comportant plusieurs cylindres 22 est relié à la colonne 13. Le collecteur 20 est également relié à une pompe à vide 23, de manière à pouvoir mettre sous vide toute la chambre formée dans la colonne 13 du microscope. Dans la disposition des figures 1 et 2, le pupitre de commande 14 est juxtaposé à la colonne 13. Le pupitre comporte un tableau 15 et il est placé par rapport au microscope, de façon qu'un opérateur puisse facilement regarder une image de objet ou échantillon à travers un regard 25. La figure 2 montre la construction du pupitre de commande 14 plus en détail ainsi que sa disposition par rapport à la colonne, ledit pupitre comportant une partie centrale 27 et deux ailes 27a et 27b. Les parties 27, 27a et 27b du pupitre sont juxtaposées à la colonne 13 en formant un angle par rapport à la partie centrale. Ainsi, au lieu d'être alignées, les ailes du pupitre sont disposées chacune suivant un angle d'environ 250 par rapport à la partie centrale. Cela facilite les manoeuvree l'opérateur et permet également d'accéder facilement à la colonne 13 pour effectuer des réglages, pour introduire les objets, etc. En outre, pour accéder sensiblement à toute la colonne 13, les ailes 27a et 27b du pupitre peuvent être facilement enlevées. La figure 3 représente une autre disposition des éléments du microscope électronique 10. Le pupitre de commande 14 est à distance de la colonne 13 du microscope. Un écran protecteur 34 est situé entre la colonne 13 et le pupitre 14 pour intercepter les radiations pénétrantes telles que les rayons X et les rayons gamma, afin de protéger les opérateurs. L'écran 34 a la forme d'une paroi en un matériau qui absorbe les rayons X engendrés par le microscope au cours des examens. La colonne 13 comporte une chambre d'examen 28. La chambre d'examen supporte l'enveloppe 18. La chambre d'examen comporte un regard 30 par lequel un opérateur peut observer l'image d'un objet. Pour examiner à distance l'image d'un objet, la chambre d'examen comporte également une caméra de télévision 32 placée au-dessous d'un écran fluorescent 32a et au-dessous d'une ouverture ménagée dans le plateau du mécanisme 139 de commande des- plaques photographiques. La figure 4 montre en détail la construction de la colonne 13 du microscope. L'élément tubulaire supérieur présente un alésage 42. Be générateur et accélérateur d'électrons 16 est placé au sommet de l'enveloppe et communique avec l'alésage 42. Une paire de lentilles condensatrices 44, 46, une série de bobines de déviation 51, un objectif 48 et trois lentilles de projection 50, 52 et 53 sont placés respectivement dans l'enveloppe 18. Chacune des lentilles 44, 46, 48, 50, 52 et 53 comporte en général un enroulement magnétique 54 supporté par un cadre 56 constituant le circuit magnétique.Chaque enroulement 54 est placé autour de deux pièces polaires 58. Les pièces polaires définissent un entrefer pour diriger et concentrer un faisceau électronique dans le microscope. Un ensemble 24 de commande du positionnement de l'objet est monté d'un c8té de l'enveloppe 18. Un autre ensemble de commande de la position de objet est situé à 900 de l'ens:emùle 24, mais n'est pas représenté. Les ensembleide commande de la position de l'objet sont identiques, l'un d'eux déterminant le réglage de l'objet dans la direction de l'axe X et l'autre dans la direction de lsaxe Y.Un ensemble 26 de positionnement d'une plaque percée est monté sur le même élément tubulaire de 1 l'ensemble 18, direc tement au-dessous de l'ensemble 24 et représenté pour plus de commodité diamétralement à l'opposé dudit ensemble 24. Une communication entre la chambre d'analyse à l'intérieur de l'enveloppe 18 et le collecteur 20 est établie par plusieurs branchements 22 et plusieurs passages 62 s'étendant à travers les éléments de ltenveloppe. la chambre d'examen est reliée au collecteur par un branchement 21 et un passage 64 ménagé à travers la paroi de la chambre 28. Ainsi, toute la colonne 10 peut être mise sous vide en appliquant une dépression à l'entrée 65 du collecteur 20. Un mécanisme 70 de commande d'écran est placé dans la chambre 28 pour permettre d'observer l'image dtun objet en cours d'examen. Le mécanisme 70 est situé près de la base de la chambre. Ledit mécanisme 70 comporte une bague de support 78 sur laquelle est montée une came 74. Lorsqu'une bague rotative 80 est mise en rotation, elle place un bras 76 de support de l2écran dans une po- sition verticale, une position intermédiaire eu une position horizontale. Un mécanisme obturateur 71 est monté à la base de l'en- veloppe 18, directement au-dessus d'une partie supérieur 73 de la chambre d'examen 28. Le mécanisme obturateur est situé au-dessous des lentilles de projection 52. La mécanisme obturateur, après avoir été ouvert, permet le passage du faisceau électronique engendré par la source 12. Le faisceau électronique est concentré par les lentilles 44 et 46 sur objet ou échantillon 750 Le faisceau électronique s'éloignant de objet 75 représente l'image qui est agrandie par les lentilles 50, 52 et 53 et qui est ensuite projetée sur écran ou la plaque photographique située dans la chambre 28, lorsque l'obturateur est ouvert. Le faisceau électronique est interrompu ou est empoché de passer dans la chambre 28 par la fermeture du mécanisme obtu- rateur 71. Un mécanisme 69 de commande des plaques photographiques est monté sur la chambre 28 et est représenté comme étant situé à l'arrière de cette dernière et se prolongeant dans la chambre d'examen. Le mécanisme 69 comporte une structure pour déplacer une plaque photographique et l'amener en position sous le mécanisme 70 pour enregistrer les images représentées par le faisceau électronique Les figures 5 à 10 montrent plus en détail la construction du mécanisme 70 de comma#de des écrans. Un support 78 est supporté autour de sa circonférence par la paroi de la chambre d'examen. Le support 78 supporte la came 74. Une bague rotative 80 est montée à l'intérieur du support 78 pour supporter le bras 76 et pour le faire tourner par rapport à la came 74. Le bras 76 supporte un écran 82 recouvert d'une matière luminescente qui est stimulée par le faisceau électronique pour produire une image de l'objet 75. le cliché 82 pivote sur une console 84 pour titre amené en position verticale, comme représenté sur la figure 9, en position intermédiaire, comme représenté sur la figure 10 ou en position horizontale, comme représenté sur la figure 6. Le cliché 82 est sollicité en position verticale par un ressort 86. Le bras de support 76 comporte une tige ou téton 88 qui, lorsqu'il coopère avec la came 74, pousse le bras 76 vers les positions intermédiaire et horizontale, à l'encontre du ressort 86.La came 74 s'étend sur un angle d'environ 600 autour du support annulaire 78. Elle comporte deux surfaces espacées 77 et une surface centrale 79 (figure 8). Lorsque le bras de support 76 passe sur l'une ou autre des surfaces aplaties 77, le cliché 82 est amené dans la position intermédiaire et lorsque le toton 88 passe sur la surface centrale 79 le cliché 82 est poussé vers le bas pour autre mis en position horizontale Lorsque la bague 80 tourne d'environ 900 sinistrorsum, en observant la figure 5, une came 90 supportant un second cliché entre en contact avec la came 74 pour mettre un cliché 92 en position intermédiaire ou horizontale. Ainsi, un cliché choisi sur deux clichés au moins peut être positionné de manière à présenter une image de ltobjet 75, et en variante, les deux clichés 82 et 92 peuvent être mis en position verticale pour permettre au faisceau électronique dsatteindre le mécanisme 69 de commande des plaques photographiques ou la caméra de télévision 32. Lorsque l'un des écrans est en position horizontale ou en position intermédiaire, il est placé en vue dtun examen optique. Lorsque les deux écrans sont en position verticale, le faisceau électronique peut atteindre écran fluorescent 32a en vue dtRn examen par l'intermédiaire de la caméra de télévision. La bague 80 est supportée par un emboîtement mâle et femelle 94 sur le support annulaire 78 et est entraînée par un moteur 96 qui la fait glisser sur ledit support (figure 6). Le moteur 96 est relié électriquement au pupitre de commande 14 et comporte un arbre 98 qui est relié à un disque d'entraînement 100. Ce dernier comporte un toton 102 situé entre le centre du disque 100 et le bord externe. Une partie cuz:viligne 104 du disque 100 entre en contact avec une série de parties concaves correspondantes 108 de la bague 80. Ainsi, lorsque le disque 100 est mis en rotation, le teton 102 et la partie 104 s'engagent successivement dans des fentes 106 et des parties concaves 108, respectivement et, par l'intermédiaire de ce mécanisme à croix de Malte, font tourner la bague 80 autour d'un axe vertical. Le mécanisme à croix de Malte est sensiblement de construction connue correspondant à celle représentée et décrite en se référant au mécanisme 26 de positionnement de la plaque percée. Pour avoir une indication visuelle de la position de l'écran 82, plusieursinterrupteurs 116, 118, 119 sont situés à des intervalles prédéterminés le long du support annulaire 78. Une console 120 est montée sur la bague 80. La console comporte une saillie 122 placée demanière à actionner les interrupteurs 116, 118, 119 au fur et à mesure que la bague 80 tourne. Ainsi, à titre d'exemple, lorsque l'écran 82 est en position horizontale, comme représenté sur la figure 7, la saillie 122 ferme l'interrupteur 118 en mettant ainsi le circuit approprié sous tension, de manière à donner sur le tableau de commande 15, une indication de la position abaissée de l'écran 82. Lorsque l'écran 82 est en position intermédiaire, c'est-àdire lorsque la saillie 88 est en contact avec ltune ou l'autre surface 77 de la came, l'interrupteur correspondant 116, 119 est actionné pour mettre le circuit approprié sous tension et pour fournir au tableau de commande 15 une indication de la position intermédiaire. Finalement, lorsque l'écran 82 est en position verticale, c'est-à-dire lorsque la saillie 88 est à l'écart des surfaces 74 de-la came, la saillie 122 est éloignée des interrupteurs 116, 118 et 119, de sorte que ces derniers restent en position normalement ouverte. Lorsque les interrupteurs 116, 118 et 119 sont en position ouverte, une indication de la position haute est donnée sur le tableau de commande 1 5. Egalement, lorsque l'écran 92 est mis en position intermédiaire ou horizontale, l'un des interrupteurs 112, 114 et 115 est actionné pour fournir une indication sur le tableau de commande 15 de la position de l'écran 92. Les figures 11 à 13 montrent plus en détail le mécanisme 24 de positionnement de l'objet représenté sur la figure 4. Le mécanisme de positionnement 24 comporte un bras 126 de posi tionnement d'une platine porte-objet s'étendant à partir d'un mécanisme réglable 128. Ce dernier fait saillie à travers une paroi de ltenveloppe 18. Le mécanisme 128 s'étend dans une enveloppe de commande 130 et la supporte. Un moteur d'entraînement 132 est monté sur l'enveloppe 130. Plus précisément, le moteur 132 est relié par un engrenage réducteur comportant des pignons 136 et 138 à un arbre 140. Ce dernier est monté pour tourner et comporte une partie filetée 142 qui vient en prise avec la surface interne d'un élément cylindrique creux 144. Un guide 146 est relié à ltextrémité de l'arbre 140.Le guide 146 entre en contact avec la surface interne de l'élément cylindrique creux 144 pour empêcher un mouvement latéral de cette extrémité de ltarbre 140, et l'élément cylindrique 144 est relié à son tour au bras 126. Comme on le voit sur les figures 1 1 et 12, un manchon tubulaire 148 est placé autour de l'élément cylindrique 144. Le manchon 148 présente une bride 150 permettant de monter le mécanisme 24 sur la paroi de l'enveloppe 18 du microscope. Une goupille 152 traverse l'élément tubulaire externe 148 pour pénétrer dans une gorge ou rainure 154 s'étendant le long de l'élément cylindrique 144. La goupille 152 et la gorge 154 coopèrent pour empecher la rotation de l'élément 144 pendant qu'il se déplace dans le sens longitudinal. Le manchon 148 empêche également un mouvement latéral de 11 élément cylindrique 144. Une autre disposition est représentée sur la figure 13a, dans laquelle le bras de support 126 est remplacé par un bout d'arbre 600. Le mécanisme 24 est monté sur une consolé 601 fixée à la paroi de l'enveloppe 18 du microscope, de façon que l'ex- trémité de l'arbre 600 exerce une poussée sur le plus long bras 605 d'une manivelle 602 pivotant sur un axe 603 fixé à une autre console 604 assujettie à la paroi de l'enveloppe 18 du microscope. Le bras court de la manivelle 606 bute contre un arbre 607 qui traverse la paroi 18 du microscope et permet de provoquer l'un d'un certain nombre de mouvements ou basculements de objet ou échantillon. L'arbre 607 est avantageusement sollicité par ressort contre la manivelle 602 pour empêcher un jeu et des bagues toriques sont placées convenablement pour maintenir le vide dans le microscope, ces bagues n'étant pas représentées. Un moteur synchrone 134 pour réglage précis est relié par un engrenage comprenant des pignons 152a, 154a, 138, pour fournir une indication precise de la position de l'arbre 140. En outre, la position de l'arbre 140 est transmise par un engrenage démultiplicateur 154a, 152a, 156, 158, 162, t64, 166, à un moteur synchrone 168 indicateur de course. Le moteur synchrone 168, comme le moteur synchrone 134, emet un signal électrique représentant la position de l'arbre- 940. Cependant le moteur synchrone 168 donne une indication approximative de la position de arbre 140. La position angulaire de l'arbre 140 représente la position du bras 126.En conséquence, la platine peut être positionnée avec précision le long d'un axe et une indication de sa position peut être transmise électriquement au tableau de commande 15. Comme précédemment indiqué, il existe un second mécanisme de positionnement de l'objet qui n'est pas représenté. Il ntest pas représenté pour plus de simplicité, mais il est identique au mécanisme décrit, excepté que sa positioiest telle qu'il effectue un'réglage de la platine le long d'un autre axe. En variante, les signaux de sortie des deux moteurs synchrone nes 134 et 168 sont comparés après amplification convenable avec les signaux de sortie de moteurs synchrones analogues reliés à une commande du tableau 15. Le signal de sortie des amplificateurs est transmis au moteur d'entrainement t32, de sorte que la position angulaire de l'arbre 140 et, par conséquent, la position longitudinale du bras de support 126 sont en relation déterminée avec la position de la commande et la suivent avec précision. Les figures 14 et 15 montrent plus en détail le mécanisme 26 représenté sur la figure 3.'Ledit mécanisme comporte un boiter 170 monté sur la paroi latéralé de l'enveloppe 18. Un bras 194 de support d'une plaque percée s'étend à partir du boîtier 170 dans est la chambre d'analyse du microscope. Une plaque percée 172/supportée par le bras 194 et s'étend à partir de ce dernier. Une bague torique 172a est placée entre le bras de support 194 et la paroi de l'en- veloppe 18 pour maintenir-le vide dans cette dernièreS tout en per mettant mouvement relatif entre le bras 194 et l'enveloppe 18. Le mécanisme 26 comporte un moteur 174 de reglage approxi- matif suivant l'axe X, un moteur 176 de réglage précis suivant l'axe X et un moteur 178 de réglage suivant l'axe Y. le moteur 174 est relié par un arbre 180 par l'intermédiaire d'un mécanisme à croix de Malte 182a par provoquer un mouvement pas à pas d'un arbre 185. Le mécanisme 182a comporte un élément d'entraînement en forme de disque 182 monté sur l'arbre 180. Un téton 183 fait saillie à partir de l'élément 182 à l'un de ses bords et dans une direction perpendiculaire à à ce ce dernier Un élément de forme cur- viligne 184 est également monté sur l'arbre 1 180. L'arbre 185 porte un élément d'entraînement t86 comportant cinq fentes 186a s'étendant vers l'intérieur à partir des bords en direction du centre et cinq parties concaves 188a s'étendant vers l'intérieur à partir du bord et espacées entre les fentes 186a. Ainsi, à mesure que le moteur 174 fait tourner l'élément d'entraînement 182, le téton 183 s'engage successivement dans les fentes 186a de l'élément d'entraînement 186 pour faire tourner ainsi l'arbre 185 pas à pas. L'élément 184 retient l'élément d'entrai- nement 186 en position fixe pendant le temps nécessaire pour que le téton 183 passe d'une fente 186a à l'autre. Une roue dentée 188 est également montée sur l'arbre 185. Ladite roue dentée 188 engrène avec une autre roue dentée 189 montée sur un arbre 190. Ce dernier porte également une autre roue dentée 190a ayant un plus petit diamètre que la roue dentée 189. La plus petite roue dentée 190a engrène avec une crémaillère 192 qui s'étend dans et le long de la partie supérieure du bras 194. Ce dernier est monté dans le bolier 170, en vue d'un mouvement longitudinal. Ainsi, chaque tour complet du moteur 174 a pour effet de faire avancer l'élément d'entraSnement 186 de 720 qui, par l'intermédiaire des roues dentées 188, 189 et 190e, entrain la crémaillère 192 pour faire avancer le bras 194, soit vers la gauche, soit vers la droite, en observant les figures 1 4 et 1 5. Le réglage précis du mouvement suivant l'axe X du bras 194 est déterminé par le moteur 176 qui entrain un arbre 196 portant une came excentrique 198. Cette dernière est montée dans une ouverture cylindrique 200 d'une plaque 202 qui tourillonne autour d'un arbre 185, de sorte qu e, lorsque la came 198 tourne, elle fait tourner la plaque 20? et tout le mécanisme 182a à croix de Malte autour de l'arbre 185. Cela se traduit par une rotation de la roue dentée 188 autour de l'arbre 185 et cette faible rotation est transmise à la roue dentée 190a pour provoquer un petit mouvement longitudinal du bras de support 194. Le mouvement suivant l'axe Y de la plaque 172, c'est-àdire le mouvement dans une direction verticale, en observant la figure 15, est commandé par le moteur 178. Ce dernier entraîne un arbre 206 portant une came excentrique 208 qui bute contre une extrémité d'une tige 210, de sorte que, lorsque la came tourne, la tige 210 est déplacée soit vers la gauche, soit vers la droite, en observant les figures 14 et 15. La tige 210 passe par un canal ménagé dans le bras 194 et est supportée par ce dernier. Le mouvement de la tige 210 est transmis à la plaque 172 par une saillie 212 s'étendant à partir de ltextrémité de la tige 210 éloignée de la came 208. Etant donné que la plaque 172 pivote sur un axe 214 traversant le bras 194, elle est entraînée dextrorsum, en observant la figure 15, par un mouvement vers la droite de la saillie 212 de la tige 210. La plaque 172 est poussée vers le haut, en observant la figure 15, par un ressort 216. Ce ressort est inter calé entre une rondelle 218a située au voisinage d'un bloc de retenue 218, et un poussoir 220. La rondelle protège une bague torique 218b, située dans un évidement du bloc 218,d'une compression par le ressort 216. Ce dernier pousse le poussoir 220, qui comprend une saillie 222, contre la plaque 172. Ainsi, un mouvement descendant de la plaque 172, en observant la figure 15, est provoqué par la tige 210 et la saillie 212, qui sont poussées contre la plaque 172, et un mouvement ascendant de la plaque 172 est provoqué par l'action du ressort 216 contre le poussoir 220 et la plaque 172. La plaque 172 présente trois Orifices ou passages 224, 226 et 228. Chacun d'eux traverse la plaque dans la direction -de l'axe X qui est généralement parallèle à la direction du faisceau électronique émis par la source 12. En conséquence, l'un des trois orifices 224, 226 et 228 peut astre placé sur la trajectoire du faisceau électronique, en faisant varier la position suivant l'axe X de la plaque 172. tes orifices 224, 226 et 228 peuvent être déplacés suivant l'axe Y par le moteur d'entratnement 178 pour positionner l'orifice choisi le long de cet axe. Les figures 16 à 19 montrent plus en détail le mécanisme de-commande des plaques photographiques ou appareil photographique 69. L'appareil photographique comporte un bottier 131 monté sur la paroi de la chambre d'examen 28 et un plateau 133 s'détend dans l'alésage central. Plus précisément, le bottier 131 comporte une première chambre de stockage ou magasin 135 pour stocker les plaques photographiques vierges, une seconde chambre de stockage ou magasin 137 pour stocker les plaques photographiques exposées et une cloison 139 séparant les magasins 135 et 137. Un passage 141 traverse une paroi latérale 141a de la chambre 28. Le plateau 133 est aligné avec le passage 141 et est monté sur la paroi 141a. Le plateau s'étend dans un plan généralement perpendiculaire à la direction du faisceau électronique. Un élément de fermeture 143 est placé en travers de l'ouverture externe du passage 141 et est monté sur un arbre 145 pour tourner soit vers la position représentée en trait plein sur la figure 17, soit vers la position représentée en tr.aits interrompus, dans laquelle l'élément 143 est en position horizontale. Une bague torique d'étanchéité 145a est située entre lteleement de fermeture et la paroi du boîtier 131 pour former un joint etanche au vide, lorsque l'élément est en position fermée.La transmission entre l'élément de fermeture 143 et un moteur d'entraînement 157 et des détails plus precis concernant la construction de l'élé- ment 143 sont décrits dans la demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique n 689 642 du 11 Décembre 1967. L'arbre 145 est relié par des pignons 155 et 155a à une roue dentée 153, qui entraîne à son tour une autre roue dentée 159. Cette derniere est relise à un arbre 165 pour entraîner un élément de liaison 165. Ledit élément de liaison 165 est monté sur arbre 163, qui tourillonne dans deux paliers-supports 163a es 165a. Ainsi, lorsque l'arbre 145 de l'élément 143 tourne dans une direction, l'élément 165 est mis en rotation dextrorsum, en observant la figure 17, en soulevant ainsi l'élément de liaison vers la position indiquée en traits interrompus. Lorsque l'arbre 145 tourne sinistrorsum, l'élément i65 tourne sinistrorsum et revient à la posi- tion indiquée en trait plein. Un élément 167, généralement en forme d'U, est support6 par la'cloison 139 pour entrainer une plaque photographique 169 du magasin 135 vers le plateau 133. Plus précisément, l'élément 167 est relié à un ruban métallique 171 qui est enroulé autour d'un tambour ou bobine 173. Un premier galet d'entratnement 179 est situé au-dessus du ruban 171 et un second galet d'entrainement 181 est placé audessous de ce ruban-171 pour l'empêcher de se cintrer ou de s'affaisser, lorsque l'élément 167 est déplacé vers la gauche et pour favoriser l'entraînement du ruban. Les galets 179 et 181 sont reliés par un engrenage à un moteur 177 d'entraînement de la plaque, de façon que, lorsque le moteur tourne dans une première direction, le ruban 171 soit déroulé de la bobine 173 et que, lorsque le moteur 175 tourne dans l'autre direction9 le ru- ban 171 soit enroulé sur la bobine 173. Comme représenté sur la figure 18, le ruban 171 est raccordé en 183a à une partie terminale relativement raide du ruban par un rivet 185. Un galet 187 roule sur la face inférieure du ruban 183 et pivote sur un levier coudé 189. Ce dernier pivote sur un arbre 191 et comporte un bras 193 qui bute contre un interrupteur-limiteur 195 Ainsi, lorsquo 1 élément 167 est tiré vers la droite, en observant les figures 17 et 18, le galet 187 monte et entre dans une encoehe 183b. Le soulèvement du galet 187 permet au bras 193 du levier coudé te libérer l'élément d'actionnement normalement enfoncé de l'interrupteur-limiteur 195. Ce dernier, qui est relié au moteur d'entraînement 177, désexcite le moteur 177 lorsque l'élément en forme d'U est en tièdement escamoté. Comme on la voit sur la figure i8a, l'élément 167 comporte également un mécanisme de verrouillage 197 comprenant un verrou 199 pivotant sur un axe 201 Un ressort 20Q sollicite normalement le verrou dextrorsum, en observant la figure 18a, jusqu'à ce qu'il soit dans la position indiquée en trait plein et dans laquelle il s'appuie contre une butée non représentée. Le plateau 133 a une forme rectangulaire et comporte deux parois latérales 207 et 209. Le plateau présente également une ouverture 211 dans son fond pour laisser passer librement-le faisceau électronique vers l'écran fluorescent 32a et former une image qu est retransmise la caméra de télévision 32. Le plateau présente deux rebords 213 et 215 s t étendant vers l'intérieur à partir des parois latérales 207 et 209, respec tivement, , pour guider une plaque photographique ét la supporter ensuite en position d position sur l'ouverture 211 Une paroi d'extrémité 217 s'étend transversalement aux extrémités des parois 207 et 209 pour limiter la course de la plaque photographique vers la gauche, en observant la figure 16. Les plaques vierges 219 sont retenues au-dessus de la cloison 139 p3r quatre leviers coudés 233, 235 2-37 et 239, comportant des saillies inférieures 221, 223, 225 et 227, respectivement, pour soutenir la plaque inférieure. Les leviers coudés 233, 235, 237 et 239 comportent également des tétons 221a, 223a, 225a et 227a, qui sont destinés à venir en contact avec la plaque photo graphique précédant la plaque inférieure pour empêcher les autres plaques de tomber lorsqu'une seule plaque est libérée. Les saillies passent à travers les parois latérales 229 et 231 du premier magasin 135.Les leviers coudés 233 et 235 pivotent sur un arbre, non représenté, mais correspondant à un arbre 242 sur lequel pivotent les leviers coudés 237 et 239. Un arbre 244 tourillonne dans les leviers coudés 233 et 235 et supporte des leviers 246e et 246b. Un levier 246,fixé à l'eitrémité de l'arbre 244, est perpendiculaire à ce dernier. Un arbre 248 tourillonee également dans les leviers coudés 237 et 239 et supporte des leviers 250a et 250b. Un levier 250 est fixé à l'extrémité de l'arbre 248 et est perpendiculaire à ce dernier. Un moteur d'entratnement 252 est relié, par une transmission à came 254, à deux tiges-poussoirs 256 et 258. Ainsi, lorsque le moteur d'entratnement 252 entrain la came et la fait tourner de 1200, les tiges 256 et 258 sont déplacées vers l'intérieur depuis la transmission 254, ce qui permet aux leviers 246 et 250 de se déplacer vers l'intérieur sous l'action d'un ressort 243.Lorsque les leviers 246 et 250 se déplacent vers l'intérieur, les saillies inférieures 221., 223, 225 et 227 se déplacent vers l'extérieur et les tétons 221 a, 223a, 225a et 227a sont escamotés, de façon à libérer la plaque photographique inférieure 219 pour qu'elle tombe sur la cloison 1 39. Les tétons 221 a, 223a, 225a et 227a sont alors de nouveau avancés et soulevés lorsque les leviers 221, 223, 225 et 227 se déplacent vers l'intérieur pour soutenir de nouveau les plaques photographiques restantes au moment de la libération de la plaque inférieure. Lorsque la plaque photographique se trouve sur la cloison 139, l'élément de liaison ou de pontage 165 est soulevé et l'élé- ment 143 est mis en position d'ouverture. Le moteur d'entratnement 177 est ensuite actionné pour déplacer l'élément 167 en forme d'U vers la gauche, en observant les figures 16 et 17, pour entratner la plaque photographique 169 sur l'élément' de liaison, à travers le passage 141 et sur le plateau 133. Au fur et à mesure que la plaque se déplace vers la gauche, elle glisse le long des rebords 213 et 215, jusque ce qu'elle atteigne la position d'exposition au-dessus de l'ouverture 211, comme représenté sur la figure 16. L'élément 167 est ensuite ramené dans la position représentée sur la figure 17 et l'élément de liaison et l'élément de fermeture sont ramenés dans les positions représentées en trait plein. Ensuite, la plaque photographique 169 est exposée à un faisceau électronique. Après l'exposition de la plaque 169, l'élé- ment 167 est déplacé de nouveau vers la gauche, l'élément 165 est mis en position horizontale, l'élément 143 est de nouveau mis en position ouverte-et élément 167 est déplacé vers la plaque exposée. En poursuivant son déplacement vers la gauche, le ruban met le verrou ou cliquet 199 en contact avec la plaque photographique et le fait tourner sinistrorsum jusqu'à la position indiquée en traits mutes sur la figure 18a. Le verrou glisse ensuite sur le bord du plateau et revient vers sa position indiquée en trait plein, en pénétrant dans une fente 199a-ménagée dans le côté de droite, en observant la figure 16, de la plaque photographique.L'élément 167 est ramené en retrait, en permettant à la plaque 169 de passer sous les rebords 213 et 215 dans le passage 141. Lorsque la plaque photographique passe sur l'élément de pontage 165, elle est tirée dans le passage 271, tombe sous la cloison 139 et, ensuite, dans le magasin 137 réservé aux plaques exposées. Finalement, l'élément 165 et l'élément de fermeture sont ramenés dans leurs positions indiquées en trait plein sur la figure 17 et l'élément 167 est ramené vers la position qu'il occupe sur la figure 17, ce qui prépare le mécanisme pour transporter la plaque suivante ou pour permettre d'utiliser le microscope dans le mode-d'examen. les figures 20 et 21 montrent le mécanisme obturateur 71 plus en détail. Cet obturateur a déjà été décrit en détail dans la technique antérieure. Le mécanisme comporte une~ plaque de support 270, s'étendant dans un plan perpendiculaire à la direction du faisceau électronique. Un disque obturateur- 274 est monté sur la plaque 270 pour tourner dans un plan parallèle à cette- dernière. Deux dispositifs à solénoïde 278 et 280 sont utilisés pour positionner le disque obturateur 274. Une ouverture 281 est ménagée dans la plaque 270 et le disque 274 comporte quatre ouvertures 284, 286, 288 et 290, de sorte que, lorsqu'on fait tourner le disque 274, les ouvertures 284, 285, 288 et 290 passent successivement au-dessus de l'ouverture 281 Le disque 274 est entraîné par un mécanisme à ressort 292, qui est renvidé par un moteur d'entraînement 276. Quatre te tons 296, 298, 300 et 302 font saillie vers le haut à partir du disque 274 et sont espacés le long de son bord externe. Les dispositifs de positionnement 278 et 280 comportent, respectivement9 des arbres 304 et 306.Les arbres sont placés de manière à intercepter les tétons 296, 298, 300 et 302, à mesure que le disque tourne. Lorsque le dispositif 278 est actionné, en poussant ainsi l'arbre 304 vers la droite, l'ouverture 286 du disque 274 est mise en alignement avec l'ouverture 281 de la plaque. Cette position forme, dans le mécanisme obturateur, une ouverture pour laisser passer le faisceau électronique.Dans cette position, le téton 302 est poussé contre l'arbre 306 du dispositif 280 Pour fermer le passage formé par les ouvertures 286 et 281, le dis-positif 280 est excité et il déplace son arbre 306 vers la droite, ce qui permet au téton 296 de venir s'appuyer contre l'arbre 304 du dispositif 278, qui avait été ramené i la position représentée sur la figure 20 Ainsi, en actionnant les dispositifs à solénoRde 278 et 280 à des instants prédéterminés, il est possible d'ouvrir le mécanisme obturateur pendant des pe- riodes de temps préalablement choisies Les figures 22 à 24 montrent en détail le montage de commande du microscope électronique commandé à distance. Plus précisément, la figure 22 représente un schéma synoptique d'un circuit d'examen 320, un circuit 322 de commande des écrans, un circuit 324 de commande Ce la plaque percée et un circuit 326 de commande des objets. Le circuit 320 comporte un récepteur de télévision 328 monté dans le tableau de commande 15 et relié électriquement à la caméra de télévision 32 en circuit, fermé. Avec ce pontage, une image qui est@projetée sur écran 82 ou 92 ou sur écran 32a peut autre transmise au pupitre de commande 14 pour permettre d'observer l'image à distance, sans aucun risque Le circuit 322 comporte le moteur 96 relié par un circuit de commande 330 à un interrupteur à trois positions 532 de commande du moteur.Cet interrupteur est monté sur le tableau de commande 15. Ainsi, lorsque l'interrupteur 332 est mis en position "marche avant" (F), le moteur 96 est mis sous tension pour abaisser un écran voulu et le mettre en position horizontale, pour soulever l'écran voulu et le mettre en position verticale ou pour placer l'écran c-n position intermédiaire. Le circuit de commande des écrans comporte également un ensemble détecteur de position 334 constitué par les interrupteurs 116, 118 et 119. Ces derniers interrupteurs sont reliés par un circuit indicateur de poitic-n 336 à un dispositif indicateur de position 338 comportant des lampes indicatrices, afin de représenter une position "haute" (H), une position "intermédiaire" (INT) et une position "basse" (DN).Egalement, un second ensemble détecteur 340, qui comporte des interrupteurs 112, 114, 115, est relié par un ensemble indicateur de position 342 à un second dispositif indicateur de position 344 comportant également une lampe indiquant une position "haute', (H), une lampe indiquant une position "intermédiaire" (INT) et une lampe indiquant une position "basse" (DN). Ainsi, lorsque l'interrupteur approprié 112, 114, 115, 116, 118, 119 est actionné, le dispositif indicateur approprié 338, 344 indique visuellement la position des écrans 82, 92. Le circuit 324 comporte trois systèmes de commande comprenant chacun un moteur d'entraînement, un circuit de commande du moteur et un interrupteur de commande. Le moteur 174 d'entratne- ment de la plaque percée pour une "course" suivant l'axe X est relié par un circuit d'avance pas à pas 346 à un interrupteur de commande 348 comportant trois boutons-poussoirs-. Le moteur 176 d'entrainement de la plaque percée pour un réglage "précis" sui van-t l'axe z est relié par un circuit de commande 350 à un interrupteur de commande 352a.Le moteur 178 d'entraînement de la plaque percée suivant l'axe Y est relié par un circuit de commande 352 à un interrupteur de commande 354. Ainsi, grâce à la commande de chacun des interrupteurs 348, 352a et 354, le positionnement des orifices 224, 226 et 228 peut être effectué à distance et sans risque La circuit 326 comporte le moteur 132 relié par un circuit de commande 360 à un interrupteur 362. Ce dernier présente une position "marche avant" (F), une position "marche arrière" (R) et une position "arrêt" (S), de manière à pouvoir positionner avec précision le bras 126 de support d'objet depuis une position éloignée de la colonne 13 du microscope électronique. En outre, le moteur synchrone 168 de positionnement "approximatif', est relié par un circuit indicateur de position "approximative" 364 à un dispositif indicateur de position "approximative" 366 monté sur le tableau de commande 15. Avec ce circuit indicateur, il est possible de déterminer la position précise du bras de support 126 d'une position éloignée du microscope électronique. Egalement, le moteur synchrone de positionnement "précis" 134 est relié par un circuit indicateur de position "précise" 356 à un indicateur de position "précise" 358 montée sur le tableau de commande 15. On va se référer maintenant aux figures 23 et 24, qui représentent le circuit de commande du mécanisme obturateur 71, de l'élément de pontage 165, de l'élément de fermeture 143, du moteur 252 d'entraSnement du ruban et du moteur 96 d'entratnement des écrans. Plus précisément, un dispositif de commutation à cames 370 est monté avec son circuit associé dans le pupitre de commande 14-et est relié électriquement aux divers dispositifs à so lénoide et moteurs d'entrainement prevus dans la colonne 13 du microscope électronique pour y commander les diverses opérations depuis le pupitre de commande 14. Une borne du dispositif à solénoïde 280 est relié par un interrupteur 372 commandé par came à une borne B+ d'une source de tension. L'interrupteur 372 glisse sur une came nO 14, comme représenté sur la figure 24. Egalement, une borne du dispositif à solénoïde 278 est reliée par un interrupteur 374 commandé par came à la borne B+ de la source d'alimentation. Les autres bornes des deux dispositifs à solénoïde 278 et 280 sont reliées directement à la masse. Comme on le voit sur la figure 24, l'interrupteur 374 glisse sur une came nO 7. Une borne de l'enroulement 376 d'un relais normalement ouvert 378 est relié à la jonction entre l'interrupteur 372 et le dispositif à solénoSde 280.L'autre borne de l'enroulement 376 est reliée directement à la masse et un condensateur 380 est relié aux bornes de l'enroulement 376. les contacts de travail 382 d'un relais 378 sont reliés dans un circuit série avec une source de tension 384 et le moteur de renvidage 276. Le moteur d'entrarnement 157 commande la manoeuvre de l'élément de fermeture 142 et de l'élément de pontage-165. Le moteur 157 est relié à deux contacts fixes 386, 388 d'un relais tripolaire à deux directions 390. Les contacts fixes correspondants 392, 394 du-relais 390 sont-reliés à des contacts 388 et 386, respectivement. L'enroulement 396 du relais 390 est relié dans un circuit serie entre la masse et la borne B de la source de tension par l'intermédiaire d'un interrupteur 398. Ce dernier glisse sur une came n 2. Les contacts mobiles 400 et 402 correspondant aux contacts fixes 386, 392 et 388, 394, respectivement, sont reliés-ensemble par une source de tension 404. Un troisième contact mobile 406 du relais 390 est relié à la masse. les deux contacts fixes-corres- pondants 408, 410 de ce relais sont reliés par un interrupteur commandé par came 412 à une borne de l'enroulement 416 d'un relais 418. L'autre borne de l'enroulement 416 est reliée à la borne B+ de la source de tension. L'interrupteur 412 glisse sur une came n 4, comme on le voit sur la figure 24. Un relais bipolaire à deux directions 418 comporte deux contacts mobiles 420 et 422 reliés ensemble par une source de tension 424; Le moteur 252 est relié à deux contacts fixes 426, 428 d'un relais 418, dont les autres contacts 430, 432 sont reliés respectivement auxdits contacts 428 et 426. La source de tension B+ est également reliée-par un interrupteur 432a, qui glisse sur une came n 13-, à une borne de l'enrou- lement 434 d'un relais 436. L'autre borne de l'enroulement 434 est reliée directement à la masse. Egalement, la source de tension B+ est reliée par un interrupteur 438, qui glisse sur une came n0 3, à une borne de l'enroulement 440 d'un relais 442. L'autre borne de l'enroulement 440 est reliée directement à la masse Le contact mobile 444 du relais 436 est relié par une source de tension 446 à un contact mobile 448 du relais 442-. Les bornes fixes correspondantes 450, 452 des relais 436 et 442 sont reliées ensemble à une borne du moteur 96 d'entrainement des écrans et l'autre borne de ce moteur 96 est reliée aux autres contacts fi xes correspondants 454, 456 des relais 436, '442, respectivement. Comme on le voit sur la figure 24, 1 es cames 9 qui sont désignées par n 29 39 4, 5, 79 13 et 149 sont montées sur un arbre commun 460 qui est relié à un moteur d'entraînement 462. En conséquence, lorsque le moteur 462 est sous tension pour faire tourner l'arbre 460, il se produit une suite prédéterminée d'opérations dans le microscope électronique. Plus précisément, lorsque l'arbre 460 commence à tourner sinistrorsum, la came n 14 ferme l'interrupteur 372 et excite le dispositif à solé noise 280, qui ferme à son tour le mécanisme obturateur 71 et, pendant un temps déterminé par la charge du condensateur 380, le moteur de renvidage 276/est mis sous tension pour remonter le dispositif à ressort 292 du mécanisme obturateur 71. A mesure que les cames poursuivent leur rotation, les cames n 2 et 13 ferment respectivement les interrupteurs- 398 et 432a, de manière à ouvrir l'élément t43, à mettre l'élément de pontage 165 en position horizontale et à soulever l'écran 82 en position verticale. Ensuite, l'interrupteur 412 est fermé par la came no 4, ce qui excite le relais 418 et met le moteur 252 sous tension. Lorsque ce dernier est sous tension9 le ruban 171 est déroulé pour déplacer une plaque photographique le long des rebords 213, 215 et vers la position d'exposition au-dessus de l'ouverture 211. Ensuite, la came n0 4 ouvre l'interrupteur 412, de manière à renverser le sens de rotation du moteur 252 et à ré-enrouler le ruban 171. En poursuivant sa rotation, l'arbre 460 contraint la came n 2 à fermer l'interrupteur 398, qui renverse le sens de rotation du moteur 157, en mettant l'élément 143 en position de fermeture et en déplaçant l'élément de pontage 165 en position verticale. La came n 7 ferme ensuite l'interrupteur 3749 qui excite à son tour le dispositif à solénoïde 278 pour ouvrir le mécanisme obturateur 71. La came n 14 ferme de nouveau l'interrupteur 372, en excitant ainsi le dispositif à solénoSde 280 et en provoquant la fermeture du mécanisme obturateur 71. L'opération de remontage du ressort de l'obturateur est répétée. Lorsque l'arbre 460 poursuit encore sa rotation, la came n 2 rouvre l'interrupteur 398 en contraignant ainsi le moteur d'entratnement 157 à changer de sens de rotation. Le renversement du sens de rotation du moteur 157 rouvre l'élément 143 et place de nouveau l'élément 165 en position horizontale. La came n 4 ferme de nouveau l'interrupteur 412, qui provoque à son tour le déroulement du ruban 171, jusqu'à ce que élément 167 atteigne use position dans laquelle le verrou ou cliquet i99 entre en contact avec une paroi de la fente 199a de la plaque photographique. Le ruban 171 est enroulé lors de la réouverture de l'interrupteur 412 par la came n 4. be retrait du ruban 171 a pour effet d'introduire la plaque photographique exposée dans le passage 271 et dans le magasin 137. Finalement, le mécanisme obturateur 171 est ouvert par l'excitation du dispositif à solénoïde 278, l'élément 143 est de nouveau fermé. et l'élément de pontage 165 est de nouveau abaissé en position verticale lors de l & fermeture de l'interrupteur 398 par la came n 2. Ainsi, les plaques photographiques peuvent être déplacées dans la chambre d'examen 28 et retirées de cette dernière sans qu'il soit nécessaire de casser le vide régnant dans le microscope. En outre, le mécanisme de déplacement des plaques photographiques peut outre commandé depuis le pupitre 14 situé à distance de la colonne 13 du microscope. Naturellement, l'invention n'est pas limitée à la forme de réalisation décrite et représentée et est susceptible de recevoir diverses variantes entrant dans le cadre et l'esprit de l'invention. - REVENDICATIONS 1 - Microscope électronique commandé à distance, caractérisé en ce qu'il comporte une chambre dans laquelle se trouve une source d'électrons, un dispositif de concentration pour diriger les électrons sous forme d'un faisceau, un dispositif pour diriger le faisceau électronique vers un objet à irradier, un dispositif de positionnement de l'objet pour placer ledit objet dans le faisceau électronique, de façon que certains au moins des électrons passent à travers ledit objet, et un dispositif- sensible aux électrons, ce dernier comportant un dispositif de stockage pour une plaque ou film sensible aux électrons, qui est-séparé de la chambre du microscope, un dispositif d'entratnement pour déplacer ledit film ou plaque entre le dispositif de stockage et une position d'exposition à l'intérieur de la chambre, et un pupitre de commande éloigné de la chambre du microscope comportant des dispositifs reliés électriquement au-dispositif d'entraînement pour le mettre sous tension, de manière à déplacer un film ou une plaque vers la position d'exposition à l'intérieur de la chambre du microscope. 2 - Microscope électronique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la chambre comporte un passage à travers sa paroi externe, un élément de fermeture normalement en position fermée placé en travers du passage pour empocher sensiblement le passage des rayons X, lorsque l'élément de fermeture est dans la position de fermeture normale, un dispositif comportant un moteur électrique qui peut être actionné pour ouvrir l'élément de fermeture et un dispositif reliant le moteur d'entratnement à un dispositif transporteur, de façon que, lorsque ledit moteur est sous tension, le dispositif transporteur transporte à volonté le film ou plaque sensible aux électrons dans la chambre du microscope ou le ramène vers le dispositif de stockage. 3 - Microscope électronique selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il est prévu entre l'objet et le dispositif sensible aux électrons un obturateur placé de manière à laisser passer le faisceau électronique ou à l'intercepter, un dispositif d'entratnement pour déplacer l'obturateur entre les positions d'ouverture et de fermeture et un dispositif sur le pupitre de commande qui est relié électriquement pour mettre le dispositif d'entratnement sous tension. 4 - Microscope électronique commandé à distance, caractérisé en ce qu'il comporte une chambre contenant une source d'électrons, un dispositif de concentration pour diriger les électrons sous forme d'un faisceau, un dispositif pour diriger le faisceau électronique vers un objet à irradier, un dispositif de positionnement de l'objet pour placer ledit objet dans le faisceau électronique de manière qu'une partie au moins des électrons passe à travers l'objet et un dispositif sensible aux électrons, ce dernier comportant un ou plusieurs écrans sensibles aux électrons, un dispositif d'entratnement pour déplacer à volonté ledit écran ou l'un quelconque des écrans et le mettre dans une première position à l'écart du faisceau électronique ou dans une seconde position dans laquelle les électrons atteignent 1'écran, et un pupitre de commande à distance de la chambre du microscope comportant un dispositif relié électriquement au dispositif d'entrainement pour le mettre sous tension et déplacer à volonté l'écran ou l'un quelconque des écrans entre les première et seconde positions. 5 - Microscope électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif d'entratnement pour le d-ispositif de positionnement de l'objet, un dispositif sur le pupitre de commande relié électriquement pour mettre le dispositif d'entrainement sous tension. 6 - Microscope électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les dispositifs respectifs du pupitre de commande sont reliés aux dispositifs d'entratnement respectifs par des circuits de commande de position du type à synchronisation automatique. 7 - Microscope électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé èn ce qu'un ou plusieurs des dispositifs d'entraînement sont mis sous tension de façon echelonnée. 8 - Microscope électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que des élements de verrouillage sont prévus entre les différents dispositifs d'entraînement pour empêcher leur fonctionnement simultané.