FR 2112250 A1 19720616 FR 7135202 A 19710930 La présente invention concerne d'une manière générale la fabrication des dispositifs semiconducteurs et se rapporte plus particulièrement à la fabrication d'un transistor effet de champ et à porte isolée à alignement automatique, en utilisant une source de diffusion d'oxyde dopé pour former les régions de source et de plaque et pour passiver le matériau diélectrique de la porte. Les développements récents de la technique de fabrication des dispositifs à effet de champ et à porte isolée ont mis en lumière la nécessité d'éviter le recouvrement entre les électrodes de porte et les régions de source ou de plaque afin de réduire la capacité de Miller et d'accroître ainsi la gamme de fréquence du dispositif. Il a etc décrit diverses techniques de fabrication de portes à alignement automatique, comme par exemple celle utilisant une électrode de porte ayant une forme prédéterminée pour former un masque de diffusion. Bien que cette approche ait réduit avec succès la capacité de Miller, elle n'a pas assuré une commande suffisante de la diffusion ni fourni une isolation et une passivation convenables de la porte. De plus, la technologie existante n'a pu remédier aux détériorations de la métallisation dues à des contours nets de l'oxyde. Les transistors métal-oxyde-semiconducteur complémentaires sont connus depuis plusieurs années, mais ils sont dans la pratique difficiles à fabriquer. Les dispositifs canal N et à canal P doivent fonctionner en mode enrichissement. D'une manière générale, ceci ne soulève pas de difficulté dans le cas des dispositifs à canal P ; toutefois, les dispositifs à canal N ont naturellement tendance à fonctionner en mode d'appauvrissement en raison de la charge positive de surface de la région d'oxyde de la porte. Suivant l'invention, le procedé de fabrication d'un dispositif à effet de champ et à porte isolée consiste à former une couche isolante épaisse sur la surface d'un corps semiconducteur monocristallin d'un type de conductivité et ensuite à éliminer sélectivement une partie de la couche pour mettre à de couvert une zone de la surface semiconductrice pour former les régions actives du dispositif. Une couche isolante mince ers #ce ensuite sur la zoe à découvert de la surface du semiconducteur t l.e première couo conductrice est alors formée sur la couche mince isolante. (n dor- ne ensuite une configuration donnée à la couche conductrice au mo- yen d'un décapage se'ectir pour frer la rote. En utilisant la porte comme masque, on enlève ensuite sélectivement deux parties séparées de la pellicule isolante sous-jacente pour remettre à découvert des parties correspondantes de la zone mise initialement à découvert.On forme ensuite une pellicule isolante et dopée sur les zones remises à découvert, la pellicule dopée contenant une impureté convenable permettant de convertir les zones de surface remises à découvert et les régions semiconductrices sous-jacentes en type de conductivité opposé. L'ensemble composite est alors chauffé à une température suffisamment élevée pour provoquer la diffusion de l'impureté provenant de la pellicule dopée dans les régions de surface remises à découvert, ce qui transforme ces régions semiconductrices en regions de type de conductivité opposé. Trois parties séparées de la pellicule dopée sont ensuite éliminées sélectivement pour obtenir des trous séparés d'accès à chacune des régions de conductivité opposée ainsi qu'au reste de la première couche conductrice. Une seconde couche conductrice est ensuite déposée suivant une forme prédéterminée sur l'ensemble composite pour établir un contact ohmique avec chacune des régions converties ainsi qu'avec la partie restante de la première couche conductrice respectivement. Dans un mode de réalisation préféré, la couche isolante épaisse est une couche d'oxyde de silicium engendrée thermiquement sur la surface d'un corps de silicium monocristallin de type N. On donne ensuite à la couche épaisse d'oxyde une forme prédéterminée au moyen d'un décapage sélectif afin de mettre à découvert une zone de la surface du silicium dans laquelle seront situées les régions de source, de plaque et de porte. On soumet ensuite la pastille à une croissance thermique d'oxyde pendant une durée suffisante pour former une pellicule d'oxyde de silicium de 300 à 2 000 d'épaisseur sur la zone à découvert de la surface de silicium. On dépose ensuite un métal réfractaire, du molybdène par exemple, sur toute la surface de l'oxyde, y compris les parties mince et épaisse. On fait ensuite appel à des techniques de décapage sélectif pour éliminer la couche métallique sauf la partie de celle-ci qui doit constituer la porte, ce qui exige qu'elle soit située au centre de la mince pellicule d'oxyde. En employant ensuite la porte comme masque, on élimine complètement la mince pellicule d'oxyde, sauf la partie située directement au-dessous de la porte. On dépose ensuite sur la pastille de l'oxyde de silane dopé au boYe pour servir de source de diffusion de bore dans les zones remises à découvert de la surface de silicium en vue de convertir les régions de surface sous-jacentes pour former la source et la plaque de part et d'autre de la porte. L'oxyde dopé est recouvert de préférence d'une couche d'oxyde de silane non dopé pour empêcher la diffusion vers l'extérieur. Ultérieurement, du fait que l'oxyde dopé au bore est attaqué plus lentement que l'oxyde non dopé, le profil d'impureté incliné produit des bords en pente lorsque l'oxyde est enlevé pour former des fenêtres destinées à la métallisation de contact ohmique. L'ensemble composite est ensuite chauffé à la température de diffusion d'environ 11000C, par exemple, pour former les régions de source et de drain.On décape ensuite sélectivement des fenêtres d'accès dans les épaisseurs combinées des couches d'oxyde non dopé et dopé pour obtenir l'accès aux contacts de source, de plaque et de porte. Une autre caractéristique de l'invention est l'application du procédé à la fabrication d'une paire complémentaire de dispositifs à effet de champ et à porte isolée, en commençant par le stade de formation de la première pellicule isolante sur la surface d'un corps semiconducteur monocristallin d'un type de conductivite et en poursuivant par la mise en forme de la pellicule en vue de mettre à découvert une première zone de la surface semiconductrice pour fabriquer un dispositif ayant des régions de source et de plaque de même type de conductivité que le corps semiconducteur. La surface semiconductrice à découvert est ensuite recouverte d'une pellicule isolante dopée qui sert de source de diffusion pour former une première région de type de conductivité opposé. Après chauffage de l'ensemble composite à la température de diffusion pendant une durée suffisante pour que l'impureté désirée diffuse de la pellicule dopée dans le semiconducteur, on élimine la pellicule isolante dopée en même temps qu'une partie suffisante de l'épaisseur de la première pellicule isolante afin d'assurer l'élimination de la totalité du dopant restant en excès, Si on le désire, on peut éliminer la totalité de la première pellicule isolante. On chauffe ensuite la pastille à la température de diffusion pendant une durée suffisante pour provoquer une diffusion plus profonde de l'impureté dans le semiconducteur. On exécute de préférence ce stade sous atmosphère oxydante lorsque le semiconducteur est du silicium, afin d'obtenir une troisième pellicule isolante sur la surface de la pastille.On donne de nouveau une configuration prédéterminée à la pellicule épaissie afin de remettre à découvert une partie de la région diffusée et de mettre à découvert une seconde zone du corps semiconducteur afin de fabriquer un dispositif qui soit complémentaire de celui devant être réalisé dans la région diffusée initialement. Une quatrième pellicule est ensuite formée sur les zones à découvert de la surface semiconductrice pour constituer l'isolation de porte et ce stade est suivi par le dépôt d'une pellicule conductrice à laquelle on donne une certaine configuration, en même temps que l'isolation de porte, pour produire une porte isolée pour chacun des dispositifs et mettre à découvert des zones devant recevoir d'autres diffusions. Une cinquième pellicule isolante, contenant un dopant approprié, est déposée ensuite sur la pastille pour servir de source de diffusion destinée à former la source et la plaque de l'un des dispositifs, ce stade étant suivi par un décapage sélectif de la pellicule sur la surface de l'autre dispositif.Une sixième pellicule isolante, contenant un dopant approprié de type opposé, est déposé ensuite de manière à recouvrir les parties nouvellement remises à découvert de la zone semiconductrice mise en premier à découvert, stade qui est suivi par une seconde phase de diffusion dans laquelle la pastille est chauffée à une température de diffusion suffisamment élevée et pendant une durée suffisamment longue pour provoquer la diffusion des impuretés à partir des cinquième et sixième pellicules isolantes respectivement, ce qui forme des régions de source et de plaque pour les deux dispositifs simultanément au cours d'un même stade. Enfin les pellicules isolantes restantes sont soumises sélectivement à un décapant approprié afin de percer les fenêtres de contact et une métallisation est effectuée afin de former des contacts ohmiques pour chaque porte, pour chaque région de source et chaque région de plaque respectivement, ce qui achève les dispositifs complémentaires à canal N et à canal P. Dans un mode de réalisation préféré, la première couche isolante est une pellicule d'oxyde de silicium engendrée thermiquement sur une surface d'un corps en silicium monocristallin de type N. On donne ensuite à la couché d'oxyde une forme désirée par décapage sélectif pour mettre à découvert une zone de la surface de silicium dans laquelle les régions de source, de plaque et de porte du dispositif à canal N doivent être situées. La seconde pellicule isolante est une couche dopée au bore d'oxyde de sili cium déposée par l'oxydation d'un courant d'agent de réaction contenant du silane et du diborane.La couche donne au bore est recouverte ensuite de préférence d 'une couche de bioxyde de silicium non dopé pour interdire la diffusion vers 1' etérieur. On chauffe ensuite la pastille à la température ce diffusion pendant une courte durée pour déposer préalablement une région dopée au bore peu profonde de type P dans la surface de silicium. Les couches d'oxyde déposées sont ensuite enlevées, y compris une partie notable de l'épaisseur de la couche initiale engendrée thermiquement pour assurer lielimisation du bore en excès. La pastille est chauffée de nouveau à la te:#pérature de diffusion pour attirer le bore et pour former en même tends une nouvelle couche d'oxyde thermique ou pour épaissir 1' oxyde éventuellement restant. On donne ensuite à la couche d'oxyde épaissie une confi- guration donnée pour remettre à découvert une partie de la région de type P et pour mettre à découvert une zone séparée de la surface de silicium à un emplacement auquel le dispositif à canal P complémentaire doit être formé.On soumet de nouveau la pastille à une oxydation thermique pendant une courte durée, suffisante pour former la partie oxyde de l'isolation de la porte puis, on effectue un dépôt de nitrure de silicium pour achever la couche d'isolation de porte composite en oxyde et nitrure. On dépose ensuite une pellicule de molybdène sur la pellicule de nitrure pour obtenir le métal nécessaire aux portes de chaque dispositif respectivement. On donne de préférence une forme donnée à d'autres parties de la pellicule de molybdène sur la surface d'oxyde épais pour former une couche enterrée d'interconnexions au moment de la mise en forme des portes. Après décapage sélectif des pellicules de métal et de nitrure, on élimine une quantité d'oxyde suffisante pour remettre à découvert le silicium aux emplacements auxquels les régions de source et de plaque doivent être formees. a cinquième couche isolante, qui est de préférence constituée par de l'oxyde de silicium dopé au bore, est déposée ensuite sur la pastille et on lui donne une forme désirée pour servir de source de diffusion en vue de former les régions de source et de plaque au dispositif à canal P.La sixième couche isolante, qui est constItuée eze rérence par q l'oxyde de silicium dopé au phosphore, est déposée ensuite sur C pastille pour servir de source de diffusion en vue de former les régions de source et de plaque du dispositif à canal Ne La pastsl- le entière est recouverte ensuite de préférence d'une couche d'oxyde de silicium non dopé pour empêcher comme précédemment, la diffusion vers l'extérieur. La pastille est chauffée ensuite à la température de diffusion pour former simultanément les régions de source et de plaque des deux dispositifs en un seul stade. Les fenêtres d'accès dans les couches d'oxyde et la métallisation de contact sont ensuite formées pour compléter l'ensemble. D'autres caratéristiqes et avantages de l'invention apparaîtront au cours de la description suivante, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en référence aux dessins annexés, dans lesquels les Fig. 1, 2 et 3 sont des vues en coupe transversale agrandies d'une pastille semiconductrice montrant divers stades intermédiaires d'un mode de réalisation préféré du procédé de l'invention ; la Fig. 4 est une vue en coupe transversale et agrandie d'un transistor à effet de champ et à porte isolée fabriqué suivant le procédé des Fig. 1 à 3 les Fig. 5 à 11 sont des vues en coupe transversale et agrandies d'une pastille semiconductrice, montrant divers stades intermédiaires d'un mode de réalisation préféré de l'invention;; la Fig. 12 est une vue en coupe transversale et agrandie de l'ensemble achevé montrant deux dispositifs complémentaires métal-oxyde-semiconducteur formés suivant le procédé représenté aux Fig. 5 à 11. Comme représenté à la Fig. 1, la pastille de silicium monocristallin 11 de type N, de résistivité de 4 à 6 ohm-centimètre, est soumise à une oxydation à la vapeur d'eau pendant environ une heure à 12500C par exemple, ce qui forme une couche d'oxyde 12 ayant une épaisseur d'environ 12 000 . Une partie de la couche 12 est éliminée par des techniques de décapage sélectif pour mettre à découvert une zone de la surface semiconductrice correspondant à la zone combinée des régions de source, de drain et de porte devant être réalisées. On remet ensuite la pastille dans un four à oxydation dans lequel elle est soumise à une tempétarure d'environ 11000C dans une atmosphère d'oxygène sec pendant une durée d'environ 28 minutes, ce qui est suffisant pour obtenir une couche d'oxyde 13 ayant une épaisseur environ 800 s. Dans un autre mode de réalisation, la couche 1 est obtenue par oxydation dans de la vapeur d'eau à une température de 9000C pendant 10 minutes environ. On dépose ensuite une pellicule de nitrure de silicium 14 sur les couches 12 et 13 par dépôt de vapeur par voie chmique. A titre d'exemple, on peut faire réagir du silane avec de l'ammoniaque à une température d'environ 900 C. On dépose ensuite un matériau conducteur, de porte, sur la couche de nitrure de silicium 14.Une pellicule de molybdène évaporée au moyen d'un faisceau électronique et ayant une épaisseur d'environ 3 000 A par exemple est apparue appropriée. Dans un autre mode de réalisation, du silicium polycristallin est déposé pour former le matériau conducteur de la porte. Tout matériau conducteur convient à cet effet, à condition qu'il supporte le stade ultérieur de diffusion à haute température et que l'on puisse lui donner la forme désirée au moyen de techniques de décapage sélectif. D'autres métaux utiles sont le tungstène, le tantale et les métaux du groupe platine palladium. On donne ensuite la forme désirée au métal de la porte à l'aide de techniques photolithographiques connues afin d'éliminer la totalité du métal sauf la partie qui doit servir d'électrode de porte. Comme représenté à la Fig. 2, l'éléctrode de porte 15 sert ensuite de masque résistant au décapage lors du stade d'élimination de la couche de nitrure 14 et de la couche d'oxyde 13, ce qui remet à découvert les surfaces de silicium 16 et 17 dans lesquelles les régions de source et de plaque doivent être formées. Un procédé de décapage particulièrement avantageux pour éliminer les couches 14 et 13 consiste à employer une solution aqueuse diluée d'acide fluorhydrique à une température élevée, de préférence à 0,5% d'acide fluorhydrique à une température de 80 à 900C. Il a été démontré qu'une telle solution décapante attaque le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium à la même vitesse pratiquement, ce qui évite pratiquement toute dépouille ou attaque de biais. Dans un autre mode de réalisation, la couche de nitrure 14 est éliminée au moyen d'acide phosphorique et la couche d'oxyde 13 est ensuite éliminée à l'aide d'une solution d'acide fluorhydrique plus concentrée. Comme représenté à la Fig. 3, l'ensemble de la Fig. 2 est alors recouvert d'une couche 18 d'oxyde de silicium dopé au bore ayant une épaisseur de 1 000 à 2 000 A formée par exemple en faisant réagir du silane et du borane avec de l'oxygène à une température de 3000C à 4500C. On recouvre ensuite de préférence la couche 18 d'un chapeau en oxyde de silane non dopé ayant une épaisseur à peu près égale par exemple à celle de la couche 18. On chauffe ensuite l'ensemble à la température de diffusion pendant une durée suffisante pour former les régions diffusées de source et de plaque 20 et 21. On chauffe la pastille pendant une heure par exemple dans de l'azote à environ 1 1000C. Comme représenté à la Fig. 4, des fenêtres sont ensuite ménagées par décapage des couches 18 et 19 pour donner accès aux contacts métalliques et on évapore ensuite un conducteur approprié, de l'aluminium par exemple, auquel on donne une configuration voulue par décapage sélectif pour former des contacts ohmiques 22, 23 et 24 avec les régions de source, de porte et de plaque respectivement, ce qui achève le dispositif. On voit ainsi que ltemploi du procédé décrit ci-dessus est particulièrement avantageux en ce sens qu'il assure non seulement une meilleure commande de la diffusion mais aussi une passivation complète des couches diélectriques de l'électrode de porte et de la porte elle-même. Par ailleurs, la combinaison des couches dopée et non dopée 18 et 19 fournit des bords naturellement inclinés lors du décapage sélectif destiné à ouvrir les fenêtres de contact. Les bords inclinés sont avantageux en ceci qu'ils réduisent le côté tranchant des contours de l'oxyde et augmentent ainsi le rendement du stade de métallisation. Il est clair qu'un dispositif à canal N rentre également dans le cadre de l'invention, C'est-à-dire qu'en partant d'une pastille de type N et en diffusant des régions de source et de la plaque de type N, on obtient un dispositif à canal N. Dans ce mode de réalisation, la couche d'oxyde 18 est dopée au phosphore par exemple au lieu du bore. Un autre avantage de l'invention est la possibilité de prévoir une couche enterrée d'interconnexions métalliques au moment de la mise en forme de l'électrode de porte. C'est-à-dire qu'au cours de la fabrication d'un circuit intégré, des parties de la couche métallique 15 sont laissées sur l'oxyde épais 12 et sont recouvertes ultérieurement par des couches 18 et 19. Un ensemble d'interconnexions est ainsi réalisé en perçant des fenêtres de contact dans les couches d'oxyde 18 et 19. La technique de fabrication du dispositif décrit ci-dessus est également utile pour fabriquer des dispositifs complémentaires, comme décrit ci-dessus et représenté aux Fig. 5 à 12. Comme représenté à la Fig. 5, la pastille de silicium monocristallin 111 de type N1 de résistivité de 4 à G ohms-centimètre, est soumise à une oxydation à la vapeur d'eau à une température de 1050 C à 1250 C pendant 1; minutes à 1 hure, de préfrence à 11000C pendant 30 minutes , ce qui forme une couche d'oxy- de 112 de 3 000 à 8 000 R et de préférence d'environ 4 800 d'épaisseur. En utilisant des techniques photolithographiques connues, on perce ensuite la fenêtre 13 par décapage sélectif. Comme représenté à la F:Eg, 67 on recouvre ensuite l'en- semble de la Firg. 5 d'une couche d'oxyde de silicium dopé au bore 114 d'environ 500 à 2 500 d'épaisseur, de référence d'environ 1 000 . Bien qu'il existe diverses techniques pour déposer une source de diffusion d'oxyde dopé, on préfère faire réagir du silane et du diborane avec de l'oxygène a une température d'environ 300 à 4500C. La couche 1-14 est ensuite recouverte d'une couche d'oxyde de silane non dopé 115 obtenue par exemple en poursuivant le dépôt d'oxyde de silane après interruption de la circulation de diborane.On chauffe ensuite l'ensemble à la température de diffusion pendant une durée suffisante pour former une région 116 peu profonde de type P ayant une résistance pelliculaire comprise dans la gamme d'environ 900 à 1 400 ohm par carre par exemple. Des conditions convenables pour la formation de la région 116 sont le chauffage dans une atmosphère d'azote à ex roi 1 1000C pendant 15 minutes. Comme representé à la Fig.7, l'ensemble de la Fig. 6 est traité ensuite avec de l'acide fluorhydrique aqueux pour éliminer complètement les couches d'oxyde 114 et 15. Te stade d'éli- mination de l'oxyde est poursuivi jusqu'à ce q'une partie notable au moins de la couche 112 soit également éliminée afin d'assurer l'élimination complète du bore qui diffuse dans la couche 112 en même temps que la formation de la région 115. Comme représenté à la Fig. 8, on chauffe de nouveau la pastille à la température de diffusion pour introduire le bore dopant, ce qui élargit la région diffusée 116. L'introduction du dopant est conduite de préférence dans une atmosphère tr# oxydante afin de rétablir et épaissir la couche d'oxyde @@@. Selon une variante, l'oxyde thermique peut être rempl-:c par une pellicule isolante déposée et non dopée.Des conditions appropriées i'r l'opération d'introduction du dopant sont une température de 1 150 à 1 300 C pendant 1 à 5 heures, de préférence 1 250 C environ .pendant 3 heure res et de l'oxygène sec ou de la vapeur d'eau pour obtenir une épaisseur d'oxyde d'environ 1 micron par exemple. Comme représenté à la Fig. 9, on donne ensuite à la couche d'oxyde 112 de la Fig. 8 une forme désirée au moyen de techniques photolithographiques connues pour percer des fenêtres 117 et 118, ce qui met à découvert une partie de la région 116 dans laquelle la source, la plaque et la porte du dispositif à canal N doivent être fondés, et la fenêtre 118 dans laquelle la source, la porte et la plaque du dispositif à canal P doivent être situées. Corme représenté à la Fig. 10, la pastille de la Fig. 9 est remise dans un four à oxydation dans lequel elle est soumise à une temperature d'environ 1 1000C dans de l'oxygène sec par exemple, pendant une durée d'environ 20 à 30 minutes, suffisante pour produire une couche d'oxyde thermique 119 ayant une épaisseur de 500 à 1 200 , de préférence de 750 à 800 environ. La pellicule 120 de nitrure de silicium est déposée ensuite sur l'oxyde 112 par dépôt de vapeur chimique. On fait réagir par exemple du silane avec de l'a;nmoniaque à une température d'environ 9000C. Un matériau conducteur 121 dans lequel les électrodes de porte doivent être formées est déposé ensuite sur la couche de nitrure 120.On a constaté qu'une pellicule de molybdène évaporée par faisceau électronique convient avec: une épaisseur de par exemple 300 A environ. Dans un autre mode de réalisation, du silicium polycristallin est déposé pour servir de matériau d'électrode de porte. Tout matériau conducteur est utile à cet effet, à condition qu'il puisse supporter le stance de diffusion à température élevée ultérieur et qu'il puisse recevoir une forme désirée par des techniques de décapage sélectif. D'autres métaux utiles sont le tungstène, le tantale et les métaux du groupe platine et palladium. Comme représenté à la Fig. 11, on donne au métal de la porte une forme désirée à l'aide de techniquesphotolithographiques connues pour éliminer la totalité du métal sauf la partie qui doit servir d'électrode de porte pour# le dispositif à canal N et d'électrode de porte pour le dispositif à canal P. Si on le désire, une troisième partie de la pellicule métallique peut être conservée, sur la couche d'oxyde 112, pour obtenir une couche enterrée d'in terconnexions métalliques au moment de la mise en forme des électrodes de pure. En utilisant ensuite la couche métallique 121 mise en forme cc.zze Aaque résistant au décapage, on élimine la couche de nitrure 120 et la couche d'oxyde 119 tout en conservant la plus grande partie de l'oxyde épais 112, ce qui remet à découvert la surface de silicium aux emplacements auxquels les régions de source et de plaque doivent être formées. Un procédé de décapage particulièrement intéressant pour éliminer les couches de nitrure et d'oxyde consiste à utiliser une solution aqueuse diluée d'acide fluorhydrique à une température élevée, de préférence à 0,5% d'acide fluorhydrique à une température de 800C à 900C.On a constaté qu'une telle solution de décapage attaque le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium pratiquement à la même vitesse, ce qui évite une quelconque dépouille ou inclinaison substantielle. Selon une variante, la couche de nitrure 120 est éliminée avec de l'acide phosphorique et la couche d'oxyde 119 est ensuite éliminée à l'aide d'un décapage classique à l'acide fluorhydrique. L'ensemble est ensuite recouvert d'une couche 126 d'oxyde de silicium dopé au bore déposé de préférence suivant la procédure utilisée pour la couche 114. Comme représenté à la Fig. 12, on donne ensuite à la couche 126 une forme désirée par décapage sélectif pour remettre à découvert la fenêtre 124 ainsi qu'une partie de la fenêtre 125 dans lesquelles les régions de source et de drain du dispositif à canal N doivent être diffusées. On dépose ensuite une couche 127 d'oxyde de silicium dopé au phosphore par dépôt de vapeur chimique, mettant en jeu par exemple la réaction de silane plus de la phosphine avec de l'oxygène à une température du substrat d'environ 3000C à 4500C. La pastille est recouverte ensuite de préférence d'une couche d'oxyde de silane non dopé 128 ayant une épaisseur à peu près égale par exemple à celle de la couche 126 ou 127. On chauffe ensuite l'ensemble à la température de diffusion pendant une durée suffisante pour former les régions de source et de plaque 129, 130, 131 et 132.On chauffe par exemple la pastille pendant 1 heure environ dans de l'azote à 1 1000C. La région 133 est formée simultanément dans la région 116 pour établir un contact ohmique en vue d'une mise à la masse électrique. On perce ensuite des fenêtres d'accès pour les contacts ohmiques et on dépose de l'aluminium, par exemple, auquel on donne une forme désirée pour former les contact ohmiques 134, 135, 136, 137, 138, 139, 140 et 141 pour terminer l'ensemble du mode de réalisation préféré de l'invention. Il est clair ainsi que l'emploi du procédé décrit ci-des sus est particulièrement avantageux en ce sens qu'il assure non seulement une meilleure commande de la diffusion lors de la formation des régions de source et de plaque, mais également un niveau enterré d'interconnexions et une passivation complète des électrodes de porte et des couches diélectriques de porte. De plus, la combinaison de couches dopées et non dopées 126, 127 et 128 produit naturellement des bords inclinés lors du décapage sélectif effectué pour percer les fenêtres de contact. Les bords inclinés sont avantageux en ceci qu'ils réduisent le caractère tranchant des contours d'oxyde et augmentent ainsi les rendements lors du stade ultérieur de métallisation. Il est clair également que l'invention peut être appliquée à la fabrication de dispositifs complémentaires dans une pastille de type P, par exemple, en inversant les types de conductivité de chacune des régions 116, 129, 130, 131, 132 et 133. Bien que l'oxyde de silicium soit le matériau préféré pour la pellicule isolante, l'alumine, le mélange silice-alumine et d'autres matériaux isolants conviennent pour les couches 112, 114, 115, 119, 120, 126, 127 et 128 dans le procédé de l'invention. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un transistor à effet de champ et à porte isolée, caractérisé e ce qu'on forme une pellicule isolante épaisse sur la surface da corps semiconducteur monocristallin d'un type de conductivi-é, on enlevé sélectivement une partie de la pellicule pour découi ne zone de la surface pour former un dispositif, ai forme une pellicule isolante sur la zone à découvert, on forme une première couche dtrce sur la pellicule isolante, on élimine sélectivement une partie de la première couche conductrice et des parties ous-#acentes de la couche isolante mince pour découvrir de nouveau des parties correspondantes de la zone à découvert, on forme une pellicule isolante dopée sur lesdites remises à découvert, la pellicule dopée contenant une impureté appropriée pour convertir les zones remises à découvert et les régions semiconductrices de surface sous-jacentes en type de conductivité opposé, on chauffe l'ensemble composite à une temps rature suffisamment élevée pour provoquer la diffusion de l'impureté à partir de la pellicule dopée dans les régions de surface remises à découvert, ce qui convertit la conductivité de ces régions en type opposé, on élimine sélectivement trois parties sépa- rées de la pellicule dopée pour produire des trous d'accès séparés à chacune des régions de type de conductivité opposé ainsi qu'au reste de la couche de première conductivité, on dépose et on met en forme une seconde couche conductrice sur la pellicule dopée pour établir un contact ohmique avec chacune des régions converties et avec la partie restante de la première couche conductrice, respectivement. 2. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche isolante mince comprend une première couche choisie pour sa compatibilité avec la surface semiconductrice et une seconde couche ayant une composition choisie pour son aptitude à protéger et passiver ladite première couche. 3. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites zones rem ses à découvert de la surface semiconductrice sont disposées symétriquement de part et d'autres de la partie restante de la première couche conductrice. 4. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste à recouvrir la pellicule ##olante dopée d'ure pellicule isolante non dopée pour Interdire la diffusion vers l'extérieur. 5. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche isolante épaisse et ladite pellicule isolante mince sont toutes les deux en oxyde de silicium obtenues par croissance thermique. 6. Procédé suivant la revendication 5, caractérisé en ce que ladite pellicule isolante mince comprend une couche d'oxyde de silicium obtenue par croissance thermique et une couche de nitrure de silicium déposée chimiquement en phase vapeur. 7. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la première pellicule conductrice est en molybdène. 8. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la pellicule isolante dopée est en oxyde de silicium déposé chimiquement en phase vapeur et contenant du bore servant d'impureté. 9. Procédé suivant la revendication 3, caractérisé en ce que lesdites zones remises à découvert de la surface de silicium sont disposées symétriquement de part et d'autre de la partie restante de molybdène. 16. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la seconde couche conductrice est en aluminium. 11. Procédé de fabrication de transistors complémentaires métal-oxyde-semiconducteur utilisant le procédé de la revendication 1, après formation d'une couche isolante épaisse sur la surface d'un corps semiconducteur monocristallin, cette couche isolante étant une première couche, caractérisé en ce qu'on élimine sélectivement une partie de ladite couche pour mettre à découvert une première zone de la surface pour former un premier dispositif, on forme une seconde pellicule isolante sur la première zone, cette seconde pellicule contenant une impureté appropriée pour convertir ladite première zone et la région semiconductrice sous-jacente en type de conductivité opposé, on chauffe l'ensemble composite à une température suffisamment élevée pour introduire l'impureté provenant de la seconde pellicule dans la région semiconductrice sous-jacente, faisant ainsi passer cette région à un type de conductivité opposé, on élimine sélectivement la seconde pellicule et au moins une partie de la première couche, on chauffe le corps à une température de diffusion suffisamment élevée pour faire pénétrer le dopant plus profondément dans le corps, on forme une troisième pellicule isolante recouvrant ledit corps, on éli mine sélectivement les première et seconde parties de ladite troisième pellicule pour remettre à découvert des parties de la première zone et pour mettre à découvert une seconde zone dudit corps pour y former un second dispositif, on forme une quatrième pellicule isolante recouvrant ladite zone à découvert et ladite seconde zone, on forme une pellicule conductrice recouvrant la quatrième pellicule isolante, on élimine sélectivement une partie de la pellicule conductrice et des parties de la quatrième pellicule isolante sous-jacente afin de laisser en place des première et seconde électrodes de porte isolante recouvrant une partie de chacune desdites première et seconde zones respectivement, on forme une cinquième pellicule isolante recouvrant l'ensemble composite, comprenant notamment les parties desdites première et seconde zones non couvertes par les électrodes de porte, la cinquième pellicule isolante contenant une impureté appropriée pour convertir les parties sous-jacentes du corps en type de conductivité opposé, on élimine sélectivement une partie de la cinquième pellicule isolante pour remettre à découvert de nouveau des parties de la première zone de part et d'autres de la première électrode de porte, on forme une sixième pellicule isolante recouvrant les parties nouvellement remises à découvert de ladite première zone, la sixième pellicule isolante contenant une impureté appropriée pour reconvertir une partie du corps à son type initial de conductivité, on chauffe le corps à une température de diffusion suffisamment élevée pour provoquer la diffusion des impureté s à partir des cinquième et sixième pellicules isolantes respectivement dans le corps, formant ainsi des régions de source et de plaque de part et d'autres de chacune des électrodes de porte respectivement, et on forme des contacts ohmiques pour chaque électrode de porte et chacune desdites régions de source et de plaque respectivement, complétant ainsi des dispositifs complémentaires à canal N et canal P. 12. Procédé suivant la revendication 11, caractérisé en ce que la première pellicule isolante est en oxyde de silicium engendré et obtenue par croissance thermique, la seconde pellicule isolante étant en oxyde de silicium dopé au bore. 13. Procédé suivant la revendication 11, caractérisé en ce qu'une couche d'oxyde non dopé est déposée sur l'oxyde dopé au bore avant le premier stade de chauffage. 14. Procédé suivant la revendication 11 , caractérisé en ce que ladite quatrième pellicule isolante comprend une premiè re couche d'oxyde de silicium obtenue par croissance thermique et une seconde couche déposée de nitrure de silicium. 15. Procédé suivant la revendication 11, caractérisé en ce que la pellicule conductrice est du molybdène, la cinquième pellicule isolante est de l'oxyde de silicium dopé au bore et la sixième pellicule isolante est de l'oxyde de silicium dopé au phosphore. 16. Procédé suivant la revendication 11, caractérisé en ce qu'une partie de la pellicule conductrice est conservée sur la quatrième pellicule isolante pour former un niveau enterré d'interconnexions électriques.