FR 2065508 A1 19710730 FR 7038342 A 19701023 70 38342 1 2065508 La présente invention a trait à la production de zones localement altérées sur des substrats, cette production étant effectuée avec précision. A l'heure actuelle les circuits intégrés sont produits en 5 utilisant des techniques de masquage et de photo-résistance. Cependant, même dans les meilleures circonstances, ces techniques ne peuvent pas avoir une précision supérieure à 5 microns et en pratique une précision d'environ 0,025 mm est plus normale parce que les masques sont normalement placés et alignés sur des blocs 10 par des opérateurs travaillant au microscope. Dans les techniques de photo-résistance et de masquage, des dommages et des pertes se produisent du fait des dispositions physiques d'un masque placé directement sur un substrat, par exemple sur un bloc de silicium. Du fait de toutes ces faiblesses, la production de 15 blocs semi-conducteurs utilisables devient progressivement plus faible quand le nombre de traitements de masquage et de photo-résistance augmente. Pour éviter l'utilisation de masques de contact, on a proposé d'utiliser des projections photographiques d'un réseau sur 20 un bloc revêtu d'un matériau photo-résistant. Les difficultés de ce procédé viennent des limites de résolution optique situées entre 1 à 2 microns, ou plus en dépendance de la longueur focale du système de protection et de la profondeur de champ extrêmemënfc critique qui limite la résolution à une valeur limite d'environ 25 5 microns au maximum. On a proposé d'utiliser un microscope électronique de balayage pour décrire un réseau ou tracé désiré sur un bloc revêtu d'un matériau sensible aux électrons. La résolution du microscope électronique peut être de 0,5 micron ou moins. Cependant, le 30 temps de traitement de la surface d'un bloc de silicium de 2 à 3 cm de diamètre par exemple est de l'ordre d'une heure. En augmentant la vitesse de balayage à l'aide d'un calculateur approprié, ce temps peut être réduit à 20 minutes environ. Cependant, ces temps ne conviennent pas pour la production de circuits intégrés 35 commerciaux qui en moyenne demandent 6 couches résistantes qui doivent être traitées séparément. Le coût par bloc serait énorme si un microscope électronique était utilisé pour toute la totalité du processus. 70 38342 2 2065508 Selon l'invention, un procédé de production d'une zone altérée et mise en place avec précision sur un ou plusieurs substrats dans une période de temps relativement brève comprend les phases suivantes : a) préparer une photo-cathode capable d'émet-5 tre tin réseau ou un tracé électronique déterminé quand elle est soumise à un rayonnement de longueur d'onde donnée en appliquant un faisceau d'un microscope électronique à un bloc d'un matériau transparent à ladite longueur d'onde, une face plane du bloc é-tant revêtue d'une couche métallique et d'une couche supérieure 10 d'un matériau sensible aux électrons qui est rendue sélectivement soluble en une zone prédéterminée et localisée avec précision par le faisceau électronique, éliminer seulement la zone sélectionnée la plus soluble du matériau sensible aux électrons et de la couche métallique ainsi découverte, éliminer le maté-15 riau sensible aux électrons restant et oxyder la couche métallique restante de façon à engendrer un tracé ou un réseau opaque d'oxyde sur le bloc, puis appliquer une couche émettrice d'électrons sur la face découverte dudit bloc de façon à former une photo-cathode et b) utiliser cette photo-cathode pour traiter 20 un ou plusieurs substrats, chaque substrat étant revêtu d'un matériau sensible aux électrons sur une face plane, en orientant chaque substrat de telle sorte que cette face plane ait une position déterminée précise relativement à la face plane de la photo-cathode, exposer le matériau sensible aux électrons placé 25 sur le substrat à un faisceau d'électrons provenant de la photocathode et décrivant un réseau ou tracé, éliminer les parties du matériau sensible aux électrons rendues plus solubles que les autres du fait du traitement par le faisceau électronique, et altérer ou modifier la surface découverte du substrat par l'éli-30 mination des parties sélectionnées du matériau sensible aux électrons . Un procédé préféré comporte les opérations suivantes : a) préparer un bloc d'un matériau transparent à la lumière ultraviolette, ce bloc ayant une face plane et comportant une couche 35 métallique facilement oxydable appliquée par dessus, l'oxyde de ce métal étant opaque à la lumière ultra-violette, puis appliquer un revêtement d'un matériau sensible aux électrons sur la couche 70 38342 3 2065508 du métal (ce matériau étant désigné dans la suite de la description par matériau résistant ou matériau sensible, par assimilation avec les matériaux photo-résistants), l'oxyde de ce métal étant opaque à la lumière ultra-violette, puis appliquer un revê-5 tement d'un matériau sensible sur la couche de métal, b) placer le bloc revêtu du matériau sensible à l'intérieur du champ d'un microscope électronique de balayage et exposer une zone déterminée avec précision du matériau sensible à un faisceau électronique d'un microscope d'intensité convenable de façon à rendre des 10 parties du revêtement sensible affectées par le faisceau électronique solubles avec un taux différentiel dans un solvant donné en comparaison de la solubilité des autres parties dudit matériau, c) appliquer ce solvant donné au matériau sensible du bloc de façon à éliminer seulement les parties les plus solubles dudife 15 matériau, de façon à découvrir la couche métallique en-dessous, d) éliminer les couches métalliques découvertes non recouvertes par le matériau sensible restant de façon à exposer au rayonnement ultra-violet le matériau transparent, e) éliminer le matériau sensible restant et oxyder la couche de métal découverte de 20 façon à produire une zone déterminée d'oxyde métallique opaque à la lumière ultra-violette, f) étendre une couche mince d'un métal émettant des é le c tirons quand la lumière ultra-violette la frappe en sorte que, quand cette lumière ultra-violette tombe sur la face arrière du bloc, seule la zone déterminée non recou-25 verte par l'oxyde métallique découvre le métal émettant des électrons à la lumière ultra-violette en sorte qu'il émet le faisceau électronique cherché, ce bloc maintenant devenant une photocathode, g) placer cette photo-cathode dans une chambre à vide, h) disposer un substrat comportant une couche d'un matériau sen-30 sible aux électrons sur une de ses faces planes à l'intérieur de ladite chambre en sorte que ladite face plane recouverte du matériau sensible aux électrons se trouve en face d'une face plane émettrice d'électrons de la photo-cathode, i) orienter ladite face plane du substrat parallèlement à ladite face plane de 35 la photo-cathode, avec une position angulaire prédéterminée et une position correcte dans le plan des XY par rapport à cette dernière, ;j) appliquer un potentiel d'accélération entre la 70 38342 2065508 photo-cathode et le substrat, ce substrat étant l'anode, et appliquer un champ magnétique de concentration dans l'espace situé entre la photo-cathode et le substrat, k) envoyer de la lumière ultra-violette sur la photo-cathode en sorte que le faisceau 5 d'électrons émis par cette photo-cathode en accord avec le réseau ou tracé prédéterminé frappe le revêtement sensible du substrat suivant un tracé correspondant au tracé prédéterminé, de façon à engendrer des zones de différentes solubilité dans un solvant donné, 1) appliquer ce solvant donné au substrat de fa-10 çon à dissoudre et éliminer seulement les parties les plus solubles du matériau sensible en découvrant une face du substrat suivant un réseau sélectionné, et m) traiter la face découverte du substrat de façon à modifier ses caractéristiques. Suivant une variante, les phases h) à m) peuvent être répé-15 tées au moins une fois en utilisant une autre photo-cathode pour chaque répétition. Une modification du procédé indiqué ci-dessus comprend les opérations suivantes : a) appliquer un premier revêtement sensible aux électrons au substrat, ce substrat comportant des index 20 de repérage, b) placer le substrat revêtu du matériau sensible à l'intérieur du champ effectif de la photo-cathode de façon à projeter le faisceau électronique sur le substrat et orienter ce substrat suivant une position précise par corrélation des index de repérage avec ledit faisceau électronique, c) exposer une zone 25 déterminée avec précision du revêtement sensible à un faisceau électronique provenant de ladite photo-cathode, ce faisceau ayant une intensité et une durée d'exposition telles que les parties du revêtement photo-sensible de cette première zone affectées par le faisceau électronique deviennent solubles de façon différente 30 dans un solvant donné en comparaison des parties du matériau sensible qui ne se trouvent pas dans cette zone, d) appliquer ce solvant au revêtement sensible de façon à éliminer seulement les parties les plus sensibles dudit revêtement, en laissant le reste du matériau sensible sur le substrat et découvrir ainsi une zone 35 non revêtue prédéterminée du substrat, e) soumettre la zone découverte à tin traitement qui modifie ce substrat en comparaison de la zone revêtue du matériau sensible de façon à fournir une 70 38342 5 2065508 première zone altérée prédéterminée du substrat, f) étendre sur le substrat un deuxième revêtement sensible aux électrons, g) mettre en place et orienter le substrat pair rapport à la photo-cathode de façon à projeter tua faisceau électronique par référen-5 ce avec les index de repérage de façon à mettre en place avec précision le substrat et ses zones altérées par rapport au faisceau électronique, h) exposer une autre zone prédéterminée avec précision du deuxième revêtement sensible à un faisceau électronique provenant de la photo-cathode, ce faisceau électronique 10 ayant une intensité convenable et étant transmis pendant une période de temps convenable de façon à créer une solubilité différentielle du revêtement sensible entre la zone exposée aux électrons et la zone non exposée, et répéter les opérations d) et e) par rapport au deuxième revêtement sensible et à la zone décou-15 verte résultant du substrat, de façon à créer une deuxième zone prédéterminée altérée du substrat. Si on le désire, un ou plusieurs revêtements sensibles additionnels peuvent être appliqués au substrat et soumis successivement au même traitement de façon à engendrer une ou plusieurs zones altérées prédéterminées du 20 substrat. L'invention a trait aussi à un appareil de production d'une zone altérée placée avec précision sur un ou plusieurs substrats comprenant a) une chambre à vide, b) un dispositif d'introduction et de mise en place d'une photo-cathode dans cette chambre, cette 25 photo-cathode ayant line face plane émettant des électrons suivait un tracé ou réseau prédéterminé, c) un dispositif d'introduction d'un ou plusieurs substrats dans la chambre, chaque substrat ayant une face plane revêtue d'un matériau sensible aux électrons, d) un dispositif de mise en place du substrat par rapport à la 30 photo-cathode en sorte que la face plane émettant des électrons de la photo-cathode soit parallèle au revêtement sensible aux électrons de la face plane du substrat, et en sorte que le substrat se trouve suivant une position angulaire précise et suivant un emplacement déterminé dans le plan des XI par rapport à l'ima-35 ge fournie par le faisceau électronique et provenant de la surface de la photo-cathode émettant des électrons, e) un dispositif appliquant un potentiel entre la photo-cathode et le substrat et BAD ORIGINAL 70 38342 6 2065508 un dispositif générateur d'un, champ magnétique placé autour de la photo-cathode et du substrat de façon à créer entre eux un champ magnétique de concentration qui oblige les électrons produits par la zone émettrice d'électrons de la photo-cathode à 5 tomber sur le revêtement sensible suivant un réseau correspondant avec précision aux zones prédéterminées émettrices d'électrons, et f) un dispositif de rayonnement qui excite la photo-cathode de façon à permettre auxdites zones prédéterminées d'émettre des électrons. 10 Chaque substrat peut comporter des index de repérage par référence auxquels le dispositif de mise en place du substrat est commandé. En outre, l'invention comporte un appareil électronique de balayage utilisable pour préparer une photo-cathode capable 15 d'émettre un faisceau électronique suivant un réseau ou tracé déterminé quand elle est soumise à un rayonnement de longueur d'onde donné, comprenant un microscope électronique de balayage produisant un seul faisceau électronique à l'intérieur d'une zone donnée, un dispositif de déplacement de ce faisceau, un 20 dispositif de commande du déplacement de ce faisceau, ce dispositif de commande comportant un programme d'un dispositif de traitement de données, ce programme obligeant le faisceau électronique à se déplacer et à traiter des zones sélectionnées sans affecter les autres zones d'un revêtement sensible aux électrons 25 placé dans le champ du faisceau électronique. Bien que le dispositif de l'invention permette de produire différentes variétés de pièces dont les faces ont été traitées selon l'invention pour produire des zones altérées, par exemple des feuilles métalliques minces qui sont décapées dans des zones 30 sélectionnées suivant des formes convenables pour des applications diverses scientifiques et industrielles, par exemple pour des amplificateurs de fluide et des guides-dbnde, une application particulièrement prometteuse de l'invention est la production de circuits intégrés à semi-conducteurs comportant une in-35 tégration sur une large échelle. Il est clair qu'il est commercialement souhaitable d'être capable de produire une série de dispositifs à cireuits intégrés dans tin temps raisonnable et à BAD ORIGINAL 70 38342 7 2065508 un coût raisonnable, ces dispositifs ayant des zones physiquement ou chimiquement altérées comme nécessaire dans les circuits intégrés. Dans le but d'obtenir un niveau élevé de performance électronique pour ces circuits intégrés, il est nécessaire que 5 leurs faces soient altérées dans des zones situées avec précision. Cette précision est particulièrement importante quand une série de traitements de surface successifs sont appliqués à tin arubstrat. Dans la plupart des cas de l'industrie des circuits intégrés, au moins six traitements successifs doivent être effee-10 tués sur un bloc unique avec une précision critique, et au moins dix traitements d'altération successifs sont nécessaires pour créer un circuit intégré convenable permettant des applications électroniques complexes. Le système de génération du faisceau électronique et le 15 procédé de l'invention évitent tous les contacts physiques d'un masque avec un substrat quelconque. Un matériau sensible aux électrons peut $tre appliqué, traité et éliminé sans endommager le moins du monde le substrat. Le traitement à l'aide d'un faisceau électronique permet aussi, ce qui est encore plus important^ 20 d'obtenir une précision d'un micron ou moins en ce qui concerne l'emplacement des tracés successifs par rapport à un point donné du substrat ainsi que par rapport à des zones produites par des traitements successifs. Une précision de l'ordre de 0,5 micron ou moins peut être atteinte de façon raisonnable. En outre, 25 la vitesse à laquelle les substrats revêtus de matériau sensible aux électrons peuvent être traités est relativement grande, de l'ordre de 5 secondes pour chaque exposition au faisceau électronique, en utilisant une photo-cathode. L'invention sera mieux comprise en se référant à la des-30 cription qui va suivre et aux dessins annexés sur lesquels : La figure 1 est un schéma sous forme de blocs des opérations permettant de produire une photo-cathode. La figure 2 est un schéma sous forme de blocs des opérations permettant d'utiliser une photo-cathode pour produire des 35 substrats. La figure 3 est une vue en perspective du microscope électronique de balayage. 70 38342 8 2065508 La figure 4- est une vue en perspective partiellement coupée de la photo-cathode. La figure 5 est une vue en section droite de la chambre de la photo-cathode et 5 La figure 6 est une vue coupée en section droite d'un tube à photo-cathode montrant schématiquement son mode de fonctionnement o Sur la figure 1, on a représenté un processus caractéristique pouvant être utilisé pour produire des circuits intégrés -10 selon l'invention. Dans la phase A, un dessin d'un masque pour circuit intégré est préparé suivant des techniques classiques. Bien que des dessins utilisant des standards habituels pour les photo-techniques puissent être utilisés, ces dessins peuvent présenter des distances plus faibles entre leurs différentes 15 parties, avec l'assurance qu'ils peuvent être produits sans affecter défavorablement le dispositif final. Il est clair qu'une série de dessins de masques distincts doit être effectuée pour des dispositifs complexes. Les données concernant les coordonnées des points du dessin sont alors transmises dans la phase B à un 20 programme du calculateur. 0e programme peut être initialement vérifié en étant appliqué à un oscillographe ou bien à un bloc de façon à produire un substrat traité de la façon souhaitée par l'intermédiaire d'un microscope électronique de balayage. Un examen visuel de l'écran ou du bloc sous le microscope après cet 25 essai permet d'introduire des corrections dans la phase 0 si cela est nécessaire. Une plume légère et fine permet d'effectuer des modifications stu? l'écran immédiatement et le calculateur fait entrer ces corrections dans son programme. Ceci constitue une grande réduction de temps comparé aux dessins de masque ha-30 bituels qui peuvent demander plusieurs jours pour découvrir des corrections et ensuite pour les effectuer. Des programmes enregistrés supplémentaires et d'autres programmes peuvent être introduits dans la phase B, par exemple les instructions pour déplacer un support du microscope électronique 35 de façon à présenter au faisceau du microscope une autre zone du substrat étant donné que la résolution totale du microscope ne dépasse pas d'habitude une surface de 2 x 2 mm, tandis que 70 38342 9 2065508 des substrats peuvent avoir de 5 à 8 cm de diamètre. Si on le désire, le signal de sortie du calculateur peut être enregistré sur un ruban magnétique en utilisant ce ruban pour commander une série de microscopes situés au même emplacement ou en des 5 emplacements différents. Dans certains cas, le calculateur peut communiquer directement avec le mécanisme du microscope. D'ordinaire, le calculateur ou la bande magnétique transmettent des instructions de commande binaires indiquées dans la phase ï>. De façon à être assuré de la précision du tracé de commande du mi-10 croscope électronique à partir de la bande magnétique finale ou du calculateur, le tracé de sortie peut être examiné sur un écran d'un oscillographe à persistance comme indiqué en G avant d'opérer sur me photo-cathode ou sur un bloc. Dans le but de vérifier la précision des instructions du 15 calculateur ou les instructions enregistrées sur la bande magnétique, il est souhaitable initialement de traiter un bloc de silicium classique, faisant partie par exemple d'un circuit intégré. Dans ce cas, comme indiqué dans la phase H, le bloc de silicium est revêtu d'un matériau sensible aux électrons positif 20 ou négatif, puis ce bloc est introduit dans la chambre à vide sur le support à l'intérieur du microscope électronique de balayage comme indiqué dans la phase I. Ce support est commandé dans les directions X et T par des dispositifs de commande convenables provenant du calculateur de façon à balayer des zones successives 25 de 2 mm de côté environ à l'aide du faisceau électronique. Le bloc lui-même peut être muni de marques d'orientation ou d'index en sorte qu'il peut être placé dans une position identique avec précision sur le support du microscope électronique dans le but d'être traité par ledit faisceau. 30 Dans la phase J, le faisceau électronique sous la commande des instructions du calculateur ou de la bande magnétique oblige un faisceau électronique fin à frapper le matériau sensible et à dessiner un réseau ou tracé en engendrant un produit ]3as ou moins soluble suivant qu'on utilise un matériau positif ou néga-35 tif. Une ou plusieurs zones de 2 x 2 mm de surface peuvent être traitées par le faisceau électronique. Quand tout le bloc de silicium a été traité comme on le désire, il est alors enlevé du 70 38342 10 2065508 microscope dans la phase K puis soumis à un solvant qui dissout seulement les zones les plus solubles du matériau sensible. Dans la phase L, les zones du bloc découvertes par l'élimination du matériau sensible sont alors traitées normalement, c'est-à-dire 5 qu'elles sont chargées d'impureté par diffusion, décapées, oxydées, ou bien recouvertes d'une couche de silicium épitaxial dans les zones découvertes. Là où subsiste le matériau sensible, la surface du bloc n'est pas affectée par un décapant car de l'oxyde de silicium recouvre habituellement la surface du bloc. Le 10 bloc avec son matériau sensible éliminé de la couche d'oxyde restante est traité. Ensuite, un autre revêtement d'un matériau sensible aux électrons est appliqué et le bloc est traité à nouveau par le microscope électronique en utilisant une autre bande ou un autre programme. Eventuellement un bloc de silicium com-15 plètement traité est produit et peut être vérifié. Normalement, le bloc de silicium est examiné soigneusement après chaque traitement de surface avec un grossissement important de façon à déterminer la précision des zones altérées résultant de chaque traitement distinct par le faisceau électroni-20 que. Si cet examen est satisfaisant, une photo-cathode est préparée par substitution dans la phase H d'un disque plat en quartz ayant au moins une face plane sur laquelle on a appliqué une couche de titane par une technique d'évaporation sous vide ou une technique équivalente. Des disques de saphir ou de fluorure 25 de lithium peuvent être utilisés à la place du quartz. Une couche de titane d'une épaisseur d'une fraction de micron est suffisante. Une couche de 600 angstroms de titane donne de bons résultats. Elle est chauffée ds. 160 à 170°C pendant quelques minutes dans l'air de façon à oxyder légèrement la surface métalli-50 que dans le but de pouvoir procéder à un meilleur décapage. Un revêtement sensible aux électrons est appliqué sur la couche de titane et le disque de quartz est alors introduit dans le microscope dans la phase I. Quand ce disque a été mis en place correctement sur le support du microscope et quand la chambre 35 a été vidée d'air, le faisce&u électronique frappe le revêtement sensible en accord avec les instructions du calculateur ou de la bande magnétique de façon à dégrader ce revêtement si ce 70 38342 2065508 matériau est un matériau positif et à le rendre plus soluble, ou à le polymériser à nouveau de façon à le rendre relativement moins soluble s'il est un matériau sensible négatif. Les revêtements sensibles aux électrons sont insensibles 5 à la lumière, ils ont une longue durée de vie et ils sont relativement stables. Des exemples de matériaux négatifs sont le polystyrène, les résines polyacrylamide, le chlorure de polyvi-nyle et certains silicones hydrocarbonés. Des exemples de revêtements sensibles positifs «.ont le polyisobuthylène, le polymé-10 thylméthacrylate, et le polyalphamétgrlstyrène. Un bon matériau positif est le polyméthylméthacrylate ayant un poids moléculaire moyen d'environ 100.000 et contenant une très faible fraction d'un polymère ayant un poids moléculaire de 50.000 ou moins de façon à éviter les trous d'aiguilles 15 pendant le traitement. Il est rendu soluble dans une solution d'éthanol à 95 % et à 5 % d'eau, ou dans un mélange de 30 % en volume d'une cétone méthyléthyle et de 70 % en volume d'isopro-panol quand il est soumis à un Êisceau électronique de 10 kilo-volts de façon à fournir une charge de 5x10"^ coulombs par cm2. 20 Les parties ainsi exposées sont solubles dans le solvant précédemment mentionné, tandis que le reste du matériau sensible n'est pas soluble. Le polyacrylamide est un bon matériau sensible négatif parce qu'un faisceau électronique de 10 kilovolts fournissant —fi 25 3 x 10 coulombs par cm2 le rend légèrement soluble dans l'eau désionisée tandis que le reste ïésiste à de l'acide phosphori-que concentré, ce qui le rend utile comme revêtement pour de 1'-aluminium. Ge matériau sensible aux électrons n'est pas éliminé par la plupart des solvants organiques comme le méthanol. Il 30 constitue un excellent masque pour un traitement de décapage par pulvérisation du substrat. Le poids moléculaire moyen d'un bon matériau à base de polyacrylamide ayant donné de bons résultats est 4,7 x 107. Après que le disque de quartz avec son matériau sensible 35 appliqué a été traité dans le microscope électronique, il est alors enlevé de ce microscope et soumis à un solvant donné de façon à éliminer les zones rendues plus solubles après le trai 70 38342 12 2065508 tement par le faisceau électronique. Ceci découvre le titane dans les zones situées avec précision où. le matériau sensible a été éliminé. Le titane peut être facilement dissout par tin décapant convenable, par exemple une solution aqueuse à 1 % d'acide 5 fluorhydrique de façon à découvrir la surface plane de quartz en-dessous. Là où le matériau sensible reste cependant, le titane est encore présent. Le reste du matériau sensible est éliminé et le titane est alors oxydé par exemple dans l'air à 400CC de façon à former du bioxyde de titane. Cette couche finale de bio- O o 10 xyde de titane a une épaisseur comprise entre 600 A et 1.000 A„ Un revêtement dense et adhérent de bioxyde de titane est présent dans les zones sélectionnées de la surface plane du quartz. Si on le désire, une couche protectrice mince de silice ou d'un matériau transmettant les ultra-violets, par exemple du verre py-15 res^peut être pulvérisé sur la couche de bioxyde de titane. Le disque de quafttz est alors placé à l'intérieur d'une chambre de pulvérisation à vide et une couche ayant une épais-seur comprise entre 10 et 40 A de palladium est appliquée à la face avant de façon à fournir la couche émissive d'électrons. 20 D'autres métaux tels que l'or, peuvent être utilisés comme substituts au palladium. Quand on regarde le disque de quartz depuis la face opposée ou face arrière," on voit en évidence un réseau précis de palladium dans les zones émissives d'électrons désirés, le reste de 25 la face avant du disque de quartz étant recouvert d'une couche dense &9oxyde de titane qui est complètement opaque à la lumière ultra-violette. Ge disque de quartz traité est la photo-cathode qui est prête à être utilisée dans le système pour fabriquer une série de substrats traités. 30 Sur la figure 2, on a représenté un diagramme sous forme de blocs illustrant l'utilisation de la photo-cathode préjarée dans le système de la figure 1. La photo-cathode à partir de la phase M est placée dans un projecteur dans la phase N. En outre, un substrat qui, par exemple » peut être un bloc de silicium re-35 vêtu d'un matériau sensible aux électrons, est aussi placé à l'intérieur du projecteur en ce point. Comme indiqué dans la phase 0, la photo-cathode et le substrat revêtu du matériau BAD ORIGINAL 70 38342 13 2065508 sensible sont alignés électroniquement. Il peut y avoir tin alignement approximatif initial à l'aide d'un mécanisme convenable, par exemple à l'aide de butées ou d'aiguilles contre lesquelles le substrat peut être fixé par des parties plates ou des enco-5 ches, et un dispositif d'indexage à micromètre permettant de faire tourner le substrat sur une table et de le déplacer dans le support suivant des directions horizontales X et verticales Y, comme la table réglable d'un specimen dans un microscope peut être utilisée pour positionner avec précision le substrat. En-10 suite, un dispositif électronique peut être utilisé pour créer une corrélation entre une marque d'orientation du substrat et la photo-cathode en sorte qu'une zone déterminée avec précision du substrat soit affectée par le faisceau électronique de la photo-cathode. Un tel dispositif d'alignement sera décrit ci-15 après en détail en ce qui concerne un mode de réalisation caractéristique de l'appareil. La face plane du substrat est sensiblement parallèle à la face plane émissive d'électrons de la photo-cathode tandis que le substrat est orienté suivant les directions X et T ainsi que suivant une position angulaire correc-20 te par rapport au réseau ou au tracé de la cathode. Il est clair que cet alignement est effectué dans un système de trois coordonnées, c'est-à-dire la direction horizontale X/ la direction verticale Y et un angle de rotation0 Dans la phase P, la photo-cathode est éclairée sur sa fa-25 ce arrière par une source de lumière ultra-violette de sorte que des électrons sont émis par le palladium non masqué par le matériau opaque aux ultra-violets de la photo-cathode. Un potentiel convenable est appliqué entre la photo-cathode et le substrat de façon que des électrons se déplacent de la photo-cathode 30 au substrat. Un champ magnétique de concentration convenable est appliqué à la zone située entre la photo-cathode et le substrat de façon que le faisceau électronique ayant la forme du tracé ou du réseau cherché vienne frapper le matériau sensible du substrat suivant ledit réseau prédéterminé. Avec une émission 35 adéquate d'électrons, le matériau sensible du substrat reçoit suffisamment de charge en coulombs pour créer une différence distincte et substantielle dans la solubilité relative des zones 70 38342 2065508 du matériau sensible aux électrons qui ne sont pas traités par le faisceau électronique et des zones traitées. Du fait de ce traitement par le faisceau électronique, le matériau sensible esiyfrendu différentiellement soluble dans un 5 solvant donné et, dans la phase Q, le substrat est enlevé du projecteur ultra-violet et soumis au solvant désiré de façon à le développer, c'est-à-dire à éliminer les parties les plus solubles mais à laisser les parties les moins solubles, en découvrant des zones prédéterminées du substrat, qui est par exemple un 10 bloc de silicium. Le substrat est alors traité dans la phase R de façon à modifier les propriétés chimiques ou physiques des zones exposées ou découvertes. Une telle altération peut comporter l'application d'une couche épitaxiale de silicium dans ses zones exposées ou la diffusion d'un matériau de charge, ou l'oxy-15 dation des zones découvertes de façon à produire une couche d'oxyde de silicium isolant ou un décapage des parties découvertes du bloc de silicium, de façon à laisser une dépression. Ce procédé couvre également l'élimination du reste du matériau sensible après une telle altération de la surface du substrat, en lui 20 appliquant un solvant convenable, puis de nouveau en altérant le substrat par diffusion etc. Le substrat ainsi traité est alors prêt pour un traitement suivant en le revêtant dans la phase S d'une couche d'un matériau sensible aux électrons,en sorte qu'il puisse alors de nouveau 25 être introduit dans le projecteur avec une autre photo-cathode ayant un réseau déterminé d'un matériau émetteur d'électrons sur sa surface. Le substrat peut être traité à nouveau un nombre quelconque de fois de façon à lui appliquer une succession de traitements. Du fait de l'alignement électronique du bloc dans 30 la phase 0 dans chaque cycle de traitement les réseaux créés par le faisceau électronique à partir de photo-cathodes successives peuvent être adaptées facilement à une position précise à moins d'un micron du réseau utilisé dans les traitements antérieurs. Finalement, le bloc traité dans la phase R a sa surface 35 modifiée comme on le désire, en effectuant par exemple une série de traitements adéquats pour produire un bloc de circuits intégrés. Ce bloc R est alors déplacé pour être traité finalement, 70 38342 2065508 ce traitement final comportant le montage de conducteurs extérieurs ou l'enrobage du circuit intégré. Un tel traitement ultérieur recouvre également les essais habituels permettant d'obtenir un dispositif acceptable. 5 Gomme le substrat n'a pas été physiquement en contact sauf avec le matériau sensible et avec les solvants nécessaires permettant d'éliminer ce matériau et évidemment avec les produits des traitements d'altérations qui sont d'une nature chimique, il en résulte un minimum de dommage physique. En conséquence, un 10 très haut niveau de traitement de surface effectué avec une grande précision a été appliqué au substrat, d'où il résulte un produit de bonne fabrication» Sur la figure 3 on a représenté un appareil permettant d'effectuer les opérations ou phases illustrées schématiquement 15 sur la figure 1. L'appareil de la figure 3 comprend le microscope à faisceau électronique 12 monté sur un support 14. On a représenté schématiquement la chambre de chargement 16 qui comprend un support sur lequel un substrat doit être traité et qui est capable de se déplacer non seulement pour orienter le substrat 20 par rapport au faisceau électronique mais également pour déplacer ce substrat vers des positions successives sélectionnées là où la zone du substrat à traiter est beaucoup plus grande que la zone normale d'action du faisceau électronique qui est de l'ordre de 2 x 2 mm. Une pompe à vide 18 est prévue pour faire le 25 vide dans la chambre du microscope. Une alimentation de puissance 20 est prévue non seulement pour le faisceau électronique mais aussi pour les champs magnétiques de concentration et de commande du faisceau qui créent la génération du faisceau et sa suppression ou son extinction en des points où aucune réaction 30 par le faisceau n'eat souhaitable. Un tel appareil est assez classique et bien connu dans la technique. Un appareil 22 est aussi associé au microscope et cet appareil renferme les dispositifs de commande 24 du microscope et un écran de tube cathodique 26, cet écran étant à persistance en 35 sorte que les zones cumulatives traitées par le microscope électronique peuvent être observées. Un équipement 30 est également schématiquement représenté 70 38342 2065508 et il comprend une bande magnétique 32 associée à dea circuits variés 34- qni affectent les commandes 24 du microscope et par suite qui commandent le fonctionnement du microscope à balayage. L'équipement 30 comporte un calculateur qui commande le 5 faisceau électronique du microscope en accord avec le dessin d'origine du réseau ou tracé désiré demandé sur le substrat. Ce calculateur aligne le réseau à l'aide d'une marque d'index, ou, si on le désire® il applique une marque d'orientation ou une série de marques sur le substrat? en. sorte que ce substrat peut 10 être aligné avec les substrats précédents ou suivants.' Après qusune zone de 2 x 2 mm a été complètement traitée, le calculateur commande le support du substrat qui se déplace d'une distance X de Ie ordre de 295 sam, puis répète le balayage du réseau. Après avoir effectue 5 à 10 réseaux répétés suivant une rangée 15 sur un substrat de 2,5 om. cette commande déplace le substrat de 2,5 ana dans la direction X et fournit une série de 5 à 10 réseaux répétés dans la direction Z* après quoi le substrat progresse «ne autre fois de 2 3ur la figure 49 on a représenté l'appareil permettant de 20 fabriquer la photo-cathode émissive d'électrons schématiquement représentée sur la figure 2. Cette photo-cathode et son matériel associé sont représentés en 40. Une chambre de charge 42 qui est représentée avec plus de détail sur la figure 5 est associée à des aimants de concentration 44, des électro-aimants 46 et 48 25 des directions X et Y« st une source de lumière ultra-violette 50. Un système à vide 52 est coanecté par des conduits convenables 54 à la chambre d© charge. Une alimentation de puissance 56 est prévue qui applique un potentiel convenable entre la photocathode et le substrat3 par sxemple compris entre 10 et 30 kilo-30 volts. Un équipement d8alignement électronique représenté en 58 est également associé à la chambre de chargement de façon à aligner correctement le substrat sur la photo-cathode. Les électroaimants 44 s 46 et 48 sont excités par l'alimentation de puissance 580 35 Sur la figure 5, on a représenté avec plus de détail la chambre de chargement 42. Cette chambre comprend une chambre étanche 60 dans laquelle une cathode 62 montée sur tin support 64 bad original 70 38342 17 2065508 peut se déplacer dans un dispositif à vide, par rotation ou glissement, situé dans cette chambre 60. Un dispositif, tel qu'une "bague 56 et une tige 57 commandées par le solénoïde 59, est prévu pour maintenir les cathodes et pour les déplacer en les ame-5 nant dans une position déterminée dans la partie centrale du projecteur, dans la position 66 par exemple. Les substrats 70, par exemple des blocs de silicium qui peuvent être montés dans un support qui oriente ces "blocs à l'aide de méplats ou d'encoches venant buter contre une tige avec une précision de 0,025 ®m par 10 rapport à leur position d'exposition désirée, sont placés dans un dispositif étanche au vide 72 tournant ou glissant de la chambre 60„ Un dispositif convenable tel qu'un support 61 dépla-ça"ble par un bras 63 commandé par le plongeur 65 de l'électroaimant 67 est prévu pour déplacer un substrat de sa position 15 dans le dispositif 72 à sa position 66 où sa face plane est approximativement à 1 cm de la face plane de la photo-cathode. Les électro-aimants.59et 67 sont connectés par un câblage à une source de courant extérieur 42. Pour orienter le substrat par rapport à la photo-cathode, 20 il est prévu un dispositif électronique fonctionnant par référence avec des index d'orientation de ce substrat qui peut fonctionner non seulement pour déplacer le substrat dans les directions X et Y mais également pour le faire tourner jusqu'à sa position désirée finale par rapport à la photo-cathode, cette 25 position pouvant avoir une précision de 0,25 micron ou même moins. Dans le but d'orienter le substrat par rapport à la photocathode, ainsi que le substrat par rapport au microscope, on a trouvé qu'un excellent système de détection d'alignement est constitué par une couche de bioxyde de silicium sur un substrat 30 de silicium avec une marque d'une profondeur de 1 micron ayant la forme d'une croix dont les "bras effilés ont une longueur d'environ 0,15 mm. Une couche mince d'aluminium peut être appliquée sur l'oxyde et un potentiel appliqué entre l'aluminium et le substrat de silicium. Quand un faisceau étroit, d'un diamètre de 35 1 micron par exemple, d'électrons, est envoyé sur sa surface, il se produit un changement marqué du courant quand le faisceau électronique passe sur le bord de la marque. Ce signal engendré 70 38342 2065508 peut être examiné sur l'écran d'un tube cathodique, ou il peut être utilisé pour commander les mouvements angulaires et les mouvements suivant les axes X et T de façon à ajuster la position du substrat. 5 Cependant, pour effectuer des opérations d'alignement plus faciles, il est prévu un dispositif électronique de déplacement du réseau constitué par le faiftceau électronique. Une série de deux électro-aimants entoure la chambre de chargement, en plus des électrodes de concentrations 44, qui sont disposées suivant 10 une circonférence autour de la chambre 60, ces électro-aimants supplémentaires étant représentés par une paire de bobines de Helmoltz 46 et 48. Ces bobines 46 et 48 sont placées à angle droit l'une par rapport à l'autre,•leurs axes étant perpendiculaires au faisceau électronique en sorte que, à l'aide d'une 15 excitation convenable par un courant continu, le faisceau électronique provenant de la photo-cathode peut être déplacé dans les directions X et Y par rapport à la surface du substrat. Un dispositif de commande de courant convenable peut être appliqué aux bobines 46 et 48 pour commander avec une grande précision le 20 point exact où le faisceau électronique provenant de la photocathode doit frapper le substrat. Un dispositif optique peut ê-tre prévu pour observer la position du substrat, comme par exemple un microscope ayant un réticule croisé qui peut être concentré sur une marque particulière du substrat, puis alors les bo-25 bines magnétiques 46 et 48 sont convenablement excitées par une source de courant de façon à déplacer l'image provenant de la photo-cathode en frappant le substrat en un point précis. Un dispositif automatique peut être prévu pour que les électro-aimants de direction puissent être commandés automatiquement de façon à 30 aligner l'image formée par le faisceau électronique par rapport à une marque du substrat„ Sur la figure 6 on a représenté avec plus de détail la chambre de chargement utilisant la photo-cathode 62 qui comprend la couche de masquage 73 formant un tracé et sensible aux ultra-35 violets et la couche émettrice d'électrons 75 placée au-dessus. Cette photo-cathode 62 est disposée à une extrémité de la chambre 60 tandis qu'à l'autre extrémité de cette chambre se trouve 70 38342 19 2065508 ■un support convenable 90 dans lequel est placé le substrat 70 muni du revêtement sensible aux électrons 92 à sa face supérieure. Les électro-aimants de concentration 44 sont disposés autour de l'espace situé entre la photo-cathode 62 fit le substrat 70« 5 Un dispositif tournant convenable 94 autour de l'axe est commandé par un système d'engrenage 96 de façon à ajuster angulairemeriï le substrat par rapport à la photo-cathode. Ce dispositif peut comporter un moteur 98 excité à partir de l'extérieur de la chambre qui fait tourner le support 90 en l'amenant à une posi-10 tion angulaire convenable. D'une façon analogue, un dispositif 100 de réglage suivant la direction S et un dispositif 102 de réglage suivant la direction Y sont prévus pour déplacer le support 90 avec le substrat 70 placé dessus en l'amenant à une position désirée par rapport à la photo-cathode. Le support 90 15 peut être déplacé par la commande normale du moteur 98 et par les dispositifs 100 et 102 de telle sorte que 13emplacement du substrat se trouve à 0,025 mm ou moins de sa position désirée, ou bien, dans certains cas, dans une position donnée avec une précision de l'ordre de 1 micron pour le substrat par rapport à 20 la photo-cathode. En commandant les bobines 46 et 48, le substrat peut être frappé avec autant de précision qu'on le désire par rapport au faisceau électronique provenant de la photo-cathode. Cette photo-cathode 62 peut être maintenue d'une façon convenable dans un support réglable appliqué à sa circonférence (non 25 représenté) analogue dans son mouvement au dispositif de réglage du support 90. Une source de rayonnement ultra-violet 110 est prévue qui irradie la surface arrière de la photo-cathode 62 par un rayonnement qui oblige les parties de la couche émettrice d'électrons 65 non cachées par la couche de masque 63 à émettre 30 un faisceau d'électrons suivant un tracé ou réseau déterminé. Une source de potentiel élevé 112 connectée comme cathode à la couche 75 et connectée comme anode au support 90 fournit le potentiel qui fait déplacer les électrons de la photo-cathode au substrat. L'excitation de 1*électro-aimant 44 permet au réseau 35 d'électrons d'être dirigé sur le substrat et ©e réseau d'électrons est soumis à certaines corrections fournies par les élec— tro-aimants 46 et 48. On remarquera que le trajet électronique 20 70 38342 2065508 116 est spiralé du fait du champ magnétique des électro-aimants de concentration. Cette spirale peut comporter un tour complet de sorte qu'au point d,impact, elle tombe en un point correspondant de la surface de la photo-cathode. Du fait de la relative-5 ment grande profondeur de champ des faisceaux d'électrons, la précision avec laquelle le substrat 70 doit avoir sa face plane supérieure ainsi que son revêtement 92 placés par rapport à la face plane de la couche 75 n'est pas critique, mais présente une certaine latitude. 10 Bien que le système de la figure 6 fournisse un réseau ou tracé ayant une dimension identique à celui présent sur la surface de la photo-cathode, il peut être souhaitable dans certains cas d'utiliser un champ magnétique'convenable pour que l'image du faisceau électronique soit réduite en dimension d'un facteur 15 déterminé, par exemple 2. Dans ce cas, de très petites images peuvent être projetées sur le matériau sensible en comparaison de l'image originale de la photo-cathode, avec une augmentation correspondante de la finesse des détails. De même, l'image de la photo-cathode peut être amplifiée dans le but de recouvrir une 20 partie plus importante du substrat que la dimension de la photocathode. Le degré d'amplification ou de réduction du réseau ou tracé est déterminé par l'opérateur. On comprendra que, bien que l'invention ait été décrite en se référant à une couche émissive répondant à de la lumière ul-25 tra-violette, on puisse utiliser des matériaux photo-émetteurs répondant à d'autres longueurs d'onde. Cependant, les résultats les meilleurs ont été obtenus avec des matériaux émettant des électrons en réponse à de la lumière ultra-violette, par exemple le palladium et l'or, et ils ont donné d'excellents résultats en 30 pratique. Le faisceau électronique affecte la solubilité relative non seulement de matériaux organiques, mais aussi de divers composés inorganiques. Ainsi, le bioxyde de silicium et le nitrure de silicium Si^îf^ placés sur un substrat, quand on les soumet à un 35 faisceau électronique, sont rendus plus solubles dans certains décapants. De l'acide fluorhydrique tamponné dissout plus facilement les parties frappées par le faisceau électronique d'une 70 38342 2065508 couche d'oxyde de silicium que les parties de la couche non frappées. Ceci est appelé l'effet Beer (taux de décapage renforcé par le bombardement). Des rapports de renforcement de dissolution d'environ 3 sont obtenus, en sorte que les parties bombar-5 dées par le faisceau sont complètement éliminées tandis qu'il y a seulement un tiers de la couche non bombardée qui peut être supprimée. Par exemple, des substrats de silicium ayant une couche O d'oxyde d'une épaisseur d'environ 10.900 A bombardée sélective-10 ment par des électrons engendrant une charge totale de 0,5 coulomb par cm2, quand ils sont décapés électrolyfciquement par le décapant "P" à 6 volts, le silicium étant anodique, fournissent O des taux de décapage de 142 A pour les zones non bombardées et O de 416 A pour les zones bombardées par le faisceau. Quand le mê- 15 me substrat de silicium est rendu cathodique à 6 volts, les taux , 00 de decapage sont 134 A et 391 A. Quand le silicium est cathodi- O que a 15 volts,-les taux de décapage relatifs sont de 153 A et O 460 A par minute. On peut utiliser comme décapant une solution tamponnée d'a-20 cide fluorhydrique ayant un pH de 6,5 qui est une solution dans l'eau de 18 molécules de et de 2,62 molécules de HP. le fais ceau électronique peut appliquer une charge aussi faible que 0,2? coulomb par cm2 à 1 coulomb par cm2 pour obtenir un décapage d ' o renforcé d'une pellicule d'oxyd^ environ 10.000 A d'épaisseur. 25 Les zones non bombardées sont décapées sur 7*000 à 8.000 A d'épaisseur quand les zones bombardées recevant de 0,5 à. 1 coulomb par cm2 sont complètement dissoutes. Le terme matériau sensible aux électrons se réfère non seulement à des matériaux organiques mais également à des compo-30 sés inorganiques. La chambre de chargement 42 peut être munie de dispositifs de maintien d'une pile de différentes photo-cathodes ressemblant au mécanisme de sélection d'un enregistrement donné dans une pile de disques d'un changeur de disque automatique et transmet-35 tant l'enregistrement à Tin emplacement déterminé. Seulement dans ce cas une photo-cathode sélectionnée est transportée à sa position de fonctionnement. Des substrats tels que des blocs de 70 38342 2065508 silicium peuvent être empilés et des zones successives de ces "blocs peuvent être transportées par un mécanisme analogue vers une position d'exposition à un faisceau électronique puis placées ou renvoyées par l'intermédiaire d'un dispositif à vide à 5 l'extérieur de la chambre pour être traitées par un solvant. Des boutons de commande, par exemple analogues à ceux utilisés dahs les dispositifs changeur de disques, peuvent être manoeuvrés pour sélectionner une photo-cathode donnée correspondant à un bloc donné• 10 Comme une photo-cathode préparée selon l'invention se dé tériore quelque peu par un usage répété, il est souhaitable de préparer des copies d'une photo-cathode d'origine et d'utiliser seulement ces dernières pour fabriquer les substrats finaux. Donc le terme photo-cathode dans cette description doit comprendre 15 les photo-cathodes principales et leurs copies ou répliques. Le substrat peut comporter un bloc de silicium par exemple dont la surface peut être nettoyée, ou, comme il est plus usuel, ce bloc peut être oxydé ou revêtu d'une couche métallique d'or ou d'aluminium, puis le matériau sensible aux électrons est ap-20 pliqué pair dessus. Après le traitement par le faisceau électronique, les zones du matériau sensible rendues plus solubles sont éliminées et la couche d'oxyde ou de métal du substrat est découverte. L'élimination de la couche d'oxyde découverte ou du revêtement métallique par un décapant découvre le silicium ou l'oxy-25 de de silicium du substrat. Après décapage, l'élimination du reste du matériau sensible laisse la couche d'oxyde ou de métal en lui donnant la forme du réseau ou du tracé désiré sur le substrat. La diffusion d'un matériau de charge dans le substrat de silicium dans les zones libres d'oxyde peut s'effectuer. Des cou-30 ches épitaxiales^peuvent également être appliquées sur le substrat découvert. Une couche épitaxiale quelconque placée sur le revêtement d'oxyde ou de métal peut être éliminée en employant un décapant convenable« 70 38342 23 2065508 HEVEUDICATIOHS 1. Procédé de production d1 une zone altérée ayant un emplacement précis sur un ou plusieurs substrats dans une période de temps relativement brève caractérisé par les opérations suivantes 5 a) préparer une photo-cathode capable d'émettre un réseau d'électrons prédéterminé quand elle est soumise à un rayonnement de longueur d'onde donné, en appliquant un faisceau électronique provenant d'un microscope de balayage à un bloc de matériau transparent à ladite longueur d'onde, une face plane de ce bloc 10 étant revêtue d'une couche métallique et d'une couche placée sur cette couche métallique d'un matériau sensible aux électrons qui est rendtjéélectivement soluble en des zones prédéterminées avec précision par le faisceau électronique, éliminer seulement les zones sélectionnées les plus solubles du matériau sensible et de 15 la couche métallique ainsi découverte, éliminer le matériau sensible restant et oxyder la couche métallique restante de façon à produire un réseau d'oxyde opaque sur le bloc, ce réseau étant opaque audit rayonnement, puis appliquer une couche émettrice d'électrons sur la face découverte du bloc de façon à former la-20 dite photo-cathode, et b) utiliser cette photo-cathode pour traiter une ou plusieurs faces planes des substrats, chaque substrat étant revêtu d'un matériau sensible aux électrons sur une face plane, en orientant chaque substrat en sorte que sa face plane se trouve dans une po-25 sition déterminée précise relativement à la face plane de la photo-cathode, exposer le matériau sensible du substrat à un faisceau électronique formant un réseau ou un tracé provenant de la photo-cathode, éliminer les parties du matériau sensible rendues plus solubles que les autres parties du fait de la Houmis-30 sion au faisceau électronique et modifier la surface du substrat découverte par l'élimination des parties sélectionnées dudit matériau sensible. 2. Procédé selon la revendication 1 caractérisé par les opérations suivantes : a) préparer un bloc d'un matériau trans- 35 parent à la lumière ultra-violette, ce bloc ayant une face plane munie d'une couche d'un métal facilement oxydable, l'oxyde de ce métal étant opaque à la lumière ultra-violette, et appliquer un 70 38342 2065508 revêtement d'un matériau sensible aux électrons sur cette couche métallique, b) disposer le bloc de matériau ainsi revêtu à l'intérieur du champ effectif d'un microscope électronique à balayage et exposer une zone déterminée avec précision dudit matériau 5 sensible à un faisceau électronique engendré par le microscope d'une intensité convenable qui oblige les parties du revêtement sensible affectées par le faisceau électronique à devenir solubles avec un taux de solubilité différentiel dans tin solvant donné en comparaison de la solubilité des autres parties dudit 10 matériau, c) appliquer le solvant donné au matériau sensible du bloc de façon à éliminer seulement les parties les plus solubles de ce matériau en découvrant la couche métallique en-dessous, d) décaper les couches métalliques découvertes non recouvertes par le matériau sensible de façon à découvrir le matériau transpa-15 rent aux ultra-violets, e) éliminer le matériau sensible restant et oxyder la couche de métal découverte de façon à produire une zone déterminée d'oxyde métallique opaque à la lumière ultraviolette, f) appliquer une couche mince d'un métal émettant des électrons au substrat quand la lumière ultra-violette le frappe, 20 en sorte que, quand cette lumière ultra-violette frappe la face arrière du bloc, seule la zone prédéterminée non recouverte par l'oxyde métallique découvre le métal émetteur à cette lumière de sorte que ce métal émet un faisceau électronique suivant un tracé prédéterminé, le bloc devenant maintenant ladite photo-catho-25 de, g) mettre en place la photo-cathode dans une chambre à vide, h) plaeer un substrat avec tm matériau sensible sur sa face plane à l'intérieur de cette chambre de façon que ladite face du substrat se trouve en face d'une face émettrice d'électrons de la photo-cathode, i) orienter ladite face plane du substrat pa-30 rallèlement à la face plane de la photo-cathode avec une position angulaire convenable et une position convenable par rapport aux axes X et Y, par rapport à cette photo-cathode, 3) appliquer un potentiel d'accélération des électrons entre la photo-cathode et le substrat, ce substrat étant anodique, et appliquer un chaap 35 magnétique de concentration dans l'espace compris entre la photocathode et le substrat, k) appliquer de la lumière ultra-violette à la photo-cathode de façon que le faisceau d'électrons soit 70 38342 25 2065508 émis suivant ledit tracé prédéterminé pour qu'il frappe le revêtement sensible du substrat suivant un réseau ou tracé correspondant au tracé prédéterminé en produisant des zones de différentes solubilités dans un solvant donné, 1) appliquer ce solvant 5 donné au substrat de façon à dissoudre et éliminer seulement les parties les plus solubles du matériau sensible en découvrant une face du substrat suivant un tracé sélectionné et m) traiter la face découverte du substrat de façon à modifier ses caractéristiques. 10 5* Procédé selon la revendication 2 caractérisé par le fait que les opérations h) à m) sont répétées au moins une fois en utilisant une autre photo-cathode à chaque répétition. 4. Procédé selon la revendication 2 ou 3 caractérisé par le fait que le champ magnétique de concentration permet de pro-15 jeter une image sur le revêtement sensible avec une précision de l'ordre de 1 micron entre l'image du faisceau électronique provenant de la photo-cathode et un point sélectionné du substrat. 5» Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait que la photo-cathode qui projette le faisceau 20 d'électrons est elle-même produite par un microscope électronique à balayage dans lequel le faisceau électronique se déplace sur la surface du bloc revêtue du matériau sensible de façon à affecter seulement des zones prédéterminées avec précision tout en étant sous l'influence du dispositif de commande de données* 25 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5 caractéri sé par le fait que le matériau sensible aux électrons est un composé inorganique dont la solubilité dans un solvant donné est modifiée par une exposition à un faisceau électronique. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caracté-30 risé par les opérations suivantes : a) appliquer un premier revêtement d'un matériau sensible aux électrons au substrat, ce dernier comportant des index de repérage, b) disposer ce substrat avec son revêtement à l'intérieur du champ effectif de la photo-cathode de façon à projeter le faisceau électronique sur 35 le substrat et orienter le substrat suivant une position précise par corrélation des index de repérage avec ledit faisceau électronique, c) exposer une première zone déterminée, ayant un 70 38342 2065508 emplacement précis, du revêtement sensible à un faisceau électronique provenant de la photo-cathode, ce faisceau électronique ayant une intensité et une durée/exposition telles que les parties du revêtement sensible de ladite zone affectées par le fais-5 ceau électronique présentent une solubilité dans un solvant donné différente de celle des parties de ce même matériau non soumis au faisceau, d) appliquer ce solvant au revêtement sensible de façon à éliminer seulement les parties les plus solubles du revêtement, en laissant le reste du revêtement du substrat et en 10 découvrant une zone non revêtue prédéterminée du substrat, e) soumettre la zone découverte à Un traitement qui modifie cette dernière en comparaison de la zone toujours revêtue du matériau sensible, en engendrant ainsi une première zone altérée prédéterminée du substrat, f) appliquer au substrat un deuxième revê-15 tement sensible aux électrons, g) placer et orienter le substrat par rapport à la photo-cathode de façon à projeter un faisceau électronique par référence avec lesdits index de repérage de façon à mettre en place avec précision le substrat et ses zones modifiées ou altérées par rapport au faisceau électronique, h) 20 exposer une autre zone à emplacement précis déterminé du deuxième revêtement sensible à un faisceau électronique provenant de la photo-cathode, ce faisceau électronique ayant une intensité convenable et une durée d'application convenable de façon à engendrer une solubilité différentielle du matériau sensible entre 25 la zone exposée au faisceau et la zone non exposée, et répéter les opérations d) et e) en ce qui concerne le deuxième revêtement sensible et la zone découverte résultante du substrat de façon à créer une deuxième surface prédéterminée altérée du substrat. 8. Procédé selon la rèvendication 7 caractérisé par le 30 fait qu'un ou plusieurs revêtements supplémentaires sensibles aux électrons sont appliqués au substrat et successivement soumis au même traitement de façon à fournir une ou plusieurs zones supplémentaires altérées prédéterminées du substrat. 9. Appareil de production d'une zone altérée localisée avec 35 précision sur un ou plusieurs substrats caractérisé par a) une chambre à vide, b) un dispositif d'introduction et de mise en place d'une photo-cathode à l'intérieur de cette chambre, cette 70 38342 27 2065508 ph.oto-cath.ode ayant une face plane émettriee d*électrons suivant un réseau prédéterminé, c) Tin dispositif d'introduction d'un ou plusieurs substrats dans la chambre, chaque substrat ayant une face plane revêtue d'un matériau sensible aux électrons, d) un 5 dispositif de Bise en place du substrat par rapport à la photocathode de façon que la surface plane émettriee d'électrons de cette photo-cathode soit essentiellement parallèle au revêtement sensible de la face plane du substrat, et de façon que le substrat soit dans une position désirée aussi bien du point de vue 10 angulaire que par rapport aux axes X et Y par rapport à l'image électronique provenant de la face émissive de la photo-cathode, e) un dispositif appliquant un potentiel entre la photo-cathode et le substrat et un générateur de champ magnétique disposé autour de la photo-cathode et du substrat «fui engendre un champ 15 magnétique de concentration obligeant les électrons engendrés par la zone émissive de la photo-cathode à frapper le revêtement sensible suivant un réseau ou tracé correspondant avec précision aux zones émissiTres d'électrons, et f) un dispositif de rayonnement disposé de façon à exciter la photo-cathode en faisant émet-20 tre des électrons par ladite zone prédéterminée. 10. Appareil selon la revendication 9 caractérisé par le fait que chaque substrat comporte des index de repérage par référence auxquels le dispositif de mise en place du substrat est commandé. 25 11. Appareil selon la revendication 9 ou 10 caractérisé par le fait que le dispositif de rayonnement f) est une source intense de rayons ultra-violets. 12. Appareil selon l'une des revendications 9} 10 ou 11 caractérisé par le fait que la chambre comporte un dispositif 30 d'introduction d'une ou plusieurs photo-cathodes vers le dispositif de mise en place de cette photo-cathode. 13. Appareil selon la revendication 12 caractérisé par le fait que la série de photo-eathodes est disposée dans un support de façon qu'elle puisse ôtre sélectivement placée par rapport au 35 substrat. 14. Appareil selon l'une des revendications 9 à 13, caractérisé par le fait qu'un dispositif étanche au vide est prévu 70 38342 2065508 pour introduire les substrats dans la chambre à vide a). 15. Appareil selon l'une des revendications 9 à 14 caractérisé par le fait qu'une pile de substrats est disposée dans la chambre à vide a) et par le fait qu'un mécanisme sélectionne les 5 blocs individuellement pour les traiter à l'aide du faisceau électronique provenant de la photo-cathode. 16. Appareil électronique de balayage utilisable pour préparer une photo-cathode capable d'émettre un réseau d'électrons déterminé quand elle est soumise à un rayonnement de longueur 10 d'onde donné, caractérisé par un microscope électronique de balayage produisant un seul faisceau électronique à l'intérieur d'une zone donnée, un dispositif de déplacement de ce faisceau électronique, un dispositif de commande de ce dispositif de déplacement, ce dispositif de commande comportant un programme 15 introduit dans un dispositif de traitement de données, ce programme permettant de déplacer le faisceau électronique et de traiter des zones sélectionnées sans affecter les autres zones sélectionnées d'un revêtement sensible aux électrons placé à l'intérieur du champ du faisceau électronique. 20 17. Dispositif selon la revendication 16, caractérisé par le fait que le faisceau d'électrons est commandé suivant un code binaire par le programme.