FR 2117977 A1 19720728 FR 7144222 A 19711209 71 44222 1 2117977 L'invention concerne un dispositif semi-conducteur comportant un corps semi-conducteur dans lequel est formé au moins une résistance semi-conductrice ayant une zone de résistance, d'un premier type de conduction, qui affleure une surface 5 du corps et qui forme une jonction p-n avec la partie de corps contiguë, de type de conduction opposé. L'invention concerne également un procédé permettant la fabrication d'un tel dispositif semi-conducteur. Lorsqu'une tension est appliquée aux extrémités d'une 1° résistance comportant une jonction p-n, certains porteurs de charge dans la zone de résistance ne contribuent plus à la conduction du fait qu'ils sont chassés de la couche de désertion ou d'épuisement, associée à la jonction p-n. La largeur de cette couche de désertion est fonction de la tension appliquée. Par 15 conséquent, le nombre de porteurs de charge qui, entre les extrémités de la résistance, ne peuvent contribuer à la conduction dépend de la tension appliquée entre ces extrémités, de sorte que l'on obtient une caractéristique de tension qui n'est pas linéaire. 20 Or, il est souhaitable de fabriquer des résistances de grande valeur ohmique, qui comportent une jonction p-n mais dont la caractéristique de tension ait une bonne linéarité. Grâce à la présente invention, on obtient une amélioration de la linéarité de la caractéristique de tension d'une 25 résistance du fait que dans le corps semi-conducteur, on implante des ions neutres nantis d'une énergie appropriée non seulement en vue d'introduire ainsi des ions neutres mais encore d'établir des défauts cristallins dans le cristal semiconducteur, au moins dans le voisinage de la jonction p-n pour 250 réduire la mobilité effective des porteurs de charge majoritaires dans ledit voisinage. Par unité de longueur de la résistance, la variation de la conductibilité peut être représentée par la simple formule suivante : 35 A°~ = A N.e. y, dans laquelle les symboles indiquent : A ^ la variation de la conductibilité, ^ N : le nombre de porteurs de charge "disparus" vers la couche de désertion, H : la mobilité effective de ces porteurs de cha.rge, et 40 e : la charge d'un électron. 71 44222 ' 2 2117977 En ce qui concerne les résistances connues, la mobilité effective des porteurs de charge majoritaires dans la zone de résistance dans le voisinage de la jonction p-n est relativement élevée, du fait que la concentration de dopage 5 définissant le premier type de conduction diminue considérablement dans le voisinage de la jonction p-n; il en est surtout ainsi lorsque la diffusion de dopage définissant le type de conduction donne lieu à la formation de la zone de résistance à partir de la surface, et il en est de même lorsque l'implantation 10 d'ions de dopage définissant le type de conduction forme ladite zone par l'intermédiaire de cette surface. Lorsque la zone de résistance est formée par implantation d'ions de dopage définissant le type de conduction, cette implantation endommage la structure cristalline du matériau semi-conducteur, et après 15 le recuit, de tels défauts cristallins Subsistant dans une certaine mesure. Toutefois, on a constaté que la concentration maximale en défauts cristallins, causés par l'implantation est pour ainsi dire "déphasée", par rapport à la concentration maximale des ions de dopage implantés, par exemple à une pro-20 fondeur d'environ sept-dixièmes de la profondeur jusqu'à laquelle pénètre la concentration maximale des ions de dopage implantés; par conséquent, l'endommageraient cristallin qui en résulte est donc faible là où l'implantation se termine dans le voisinage de la jonction p-n. De ce fait, les résistances 25 connues de grande valeur ohmique, formées par une telle implantation d'ions de dopage définissant le type de conduction, sont caractérisées par une forte mobilité des porteurs de charge dans le voisinage de ladite jonction p-n; comme cela est indiqué dans la formule précitée de la variation de la 30 conductibilité, la caractéristique de tension de ce genre de résistances n'est pas linéaire, surtout lorsque la résistance en couche de ces composants est supérieure à environ 5 kH/carré. Conformément à l'invention, un dispositif semiconducteur du genre mentionné dans le préambule est remarquable 35 en ce que les ions neutres implantés et les défauts cristallins correspondants du cristal semi-conducteur se situent dans la zone de résistance au moins dans le voisinage de la jonction p-n et ont une concentration qui est suffisamment élevée pour que la linéarité de la caractéristique donnant le courant traversant 40 la résistance en fonction de la tension aux bornes de celle-ci 71 44222 2117977 s'en trouve considérablement améliorée. Ce perfectionnement de la linéarité est surtout la conséquence de la réduction de la mobilité effective des porteurs de charge dans la zone de résistance dans le voisinage de la jonction p-n. 5 Les ions neutres sont des ions d'impuretés élec triquement inactives qui n'influencent pratiquement pas la concentration en porteurs de charge libres, c'est-à-dire la concentration en donneurs ou en accepteurs; les ions neutres sont par exemple des icns d'un gaz inerte, par exemple le néon, 10 et/ou des ions d'un élément appartenant au groupe IV du système périodique, cet élément étant par exemple l'étain, et/ou des ions de l'élément semi-conducteur constituant le corps semiconducteur, par exemple le silicium. Les ions peuvent même être formés par une impureté ayant une faible activité électrique, 15 une telle impureté étant par exemple l'azote. Dans le réseau cristallin, ces ions peuvent .occuper des sites interstitiels ou des sites substitutionnels. L'endommagement que subit le cristal semi-conducteur et associé à cette implantation peut être indiqué par le terme 20 "endommagement de rayonnement" et se présente parfois sous la forme de dislocations. Ladite réduction de la mobilité des porteurs de charge dans la zone de résistance dans le voisinage de la jonction p-n s'avère due à la dispersion des porteurs de charge, causée par 25 les ions neutres implantés et les défauts cristallins correspondants et en particulier, c'est 1'endommagement de rayonnement qui généralement est le plus dominant. En réduisant ainsi la mobilité effective des porteurs de charge, la variation de la conductibilité diminue avec la tension, 30 et il devient possible de fabriquer des résistances, de grande valeur ohmique, dont la caractéristique de tension est plus linéaire. Cette linéarité peut devenir au moins deux fois meilleur- pour une résistance en couche déterminée de la zone de résistance; le facteur de perfectionnement peut être égal 33 moins à trois ou au moins égal à un ordre de grandeur ( = facteur 10). Il y a lieu de rsrarqusr que dans la demande de brevet français N° P.V. 69 39590 ûSpon.'e le 13 novembre 1969 au nom de la Demanderesse pour "Dispositif semiconducteur comprenant un élément 4 0 résistant", on décrit un procédé permettant la réduction du 71 kk222 * 2117977 coefficient de température d'une résistance par l'établissement d'une concentration adéquate en impuretés neutres dans la zone de résistance semi-conductrice. En procédant de la sorte, on constate que la dispersion des porteurs de charge à travers g le réseau cristallin contribue positivement à la formation du coefficient de température, tandis qu'une dispersion causée par une impureté (aussi bien une impureté électriquement active qu'une impureté neutre) contribue négativement à la formation dudit coefficient; l'impureté neutre est incorporée dans la 10 zone de résistance de façon à avoir une concentration qui est suffisamment grande pour compenser l'excès de contribution positive, obtenue par la dispersion dans le réseau cristallin, mais suffisamment faible pour que la dispersion ne cause pas un grand coefficient de température négatif. De cette façon, 15 en valeur absolue, le coefficient de température peut être inférieur à 750 ppm/°C. Un plus grand accroissement de la concentration en impuretés neutres est indésirable en relation avec l'invention répondant à ladite demande de brevet, étant donné que la valeur du coefficient de température augmente dans 20 le sens négatif. On a été surpris de constater qu'un plus grand accroissement d'une concentration déterminée en impuretés neutres dans une zone de résistance', en particulier dans le voisinage de la jonction p-n, est avantageux en relation avec la présente invention, étant donné que dans ce cas, bien que 25 le coefficient de température augmente négativement, on peut, dans la plupart des cas améliorer perceptiblement la linéarité de la caractéristique de tension jusqu'à une valeur négative d'au moins -1000 ppm/°C. Dans des dispositifs conformes à la présente invention, 30 la mobilité effective des porteurs de charge majoritaires dans la zone de résistance dans le voisinage de la jonction p-n atteint par exemple au maximum le tiers ou au maximum le dixième de la mobilité obtenue en l'absence d'ions neutres implantés en défauts cristallins correspondants. Cette mobilité peut être 35 inférieure d'au moins un ordre de grandeur (par exemple deux ordres de grandeur) à la mobilité établie en l'absence des ions neutres imposés et des défauts cristallins correspondants. La concentration combinée en ions neutres implantés et en défauts cristallins correspondants peut être maximale 40 dans le voisinage de ladite jonction p-n, où la concentration 71 44222 5 2117977 en atomes de dopage de premier type de conduction diminue. La valeur de cette concentration ainsi combinée dans la couche de désertion et sitiée à l'endroit de ladite jonction p-n pour une tension de régime déterminée, est importante pour 5 définir la mobilité effective dans la couche de désertion dans la zone de résistance, et est donc importante pour déterminer la linéarité de la caractéristique de tension de la résistance. Toutefois, 1'endommagement de rayonnement et les ions neutres sont possibles sur toute la profondeur 10 de la zone de résistance ainsi que dans la couche de désertion à l'endroit de la jonction p-n. La résistance en couche de la zone de résistance peut être augmentée considérablement par la présence d'ions neutres implantés et de défauts cristallins correspondants, 15 et cela en particulier -mais non pas exclusivement- lorsque les impuretés neutres implantées couvrent toute la zone de résistance. La résistance en couche de la zone est par exemple égale à au moins 30 Kfi par carré; toutefois, elle peut être plus forte, par exemple au moins égale à 0,25 Mfi par carré 20 ou même 1 MO par carré. Le contact avec la zone de résistance peut être établi à l'aide d'électrodès métalliques situées sur des régions de contact convenablement conductrices du corps. Lorsque le dispositif semi-conducteur est un circuit intégré, au moins un 25 des contacts conduisant à la zone résistante de la résistance peut être une région semi-conductrice d'un autre composant du circuit, par exemple la base d'un transistor bipolaire ou la source ou le drain d'un transistor à effet de champ. Conformément à l'invention, un procédé permettant 30 la fabrication d'un dispositif semi-conducteur et comportant d'une part l'élaboration, dans un corps semi-conducteur, d'une zone de résistance, d'un premier type de conduction, d'une résistance affleurant une surface du corps, et d'autre part la formation d'une jonction p-n avec la partie de corps contiguë 35 de type de conduction opposé, des ions neutres étant implantés dans le corps à l'endroit où ladite jonction p-n doit être formée ou est formée, est remarquable en ce que l'implantation des ions neutres et un traitement thermique subséquent éventuel sont effectués de façon que dans le voisinage de ladite 40 jonction p-n dans le dispositif, la concentration ea ions neutres 71 44222 2117977 implantés et en défauts cristallins correspondants soit telle que la linéarité de la caractéristique du courant en fonction de la tension de la résistance s'en trouve perfectionnée dans une mesure déterminée d'avance. 5 Comme déjà mentionné ci-dessus, les ions neutres sont par exemple des ions d'un gaz inerte, par exemple le néon ou l'azote, et/ou des ions d'un élément appartenant au groupe IV du système périodique, par exemple l'étain, ou des ions de l'élément semi-conducteur constituant le corps semi-conducteur. 10 Le néon constitue un ion neutre particulièrement approprié pour l'implantation, étant donné que cet ion est suffisamment léger pour pénétrer dans le corps semi-conducteur jusqu'à la profondeur de ladite jonction p-n à travers une couche isolante, ledit ion étant néanmoins suffisamment lourd 15 pour causer une concentration considérable en défauts cristallins en présence de faibles intensités de rayonnement ionique. Par un recuit effectué au cours d'un traitement thermique, on réduit la concentration en défauts cristallins causés par l'implantation d'ions. De cette façon, un traitement 20 thermique qui sur le corps semi-conducteur est effectué simultanément avec l'implantation d'ions neutres ou qui a lieu après cette implantation, est fait de façon à maintenir la concentration désirée en défauts cristallins dans le dispositif prêt à l'emploi. 25 Les ions neutres peuvent être nantis d'une énergie propre à conférer à ces ions implantés une concentration qui est maximale sous l'endroit où ladite jonction p-n doit être formée ou est formée. La concentration maximale en défauts cristallins causés par les ions neutres implantés est pour 30 ainsi dire "déphasée" par rapport à la concentration maximale en ions, et peut donc être maximale à l'endroit de la jonction p-n ainsi que dans la partie de zone de résistance où il y a lieu de former la couche de désertion. Suivant un premier mode de réalisation, la zone 35 de résistance est obtenue par diffusion thermique d'atomes de dopage du premier type de conduction. Suivant un autre mode de réalisation, la zone de résistance est obtenue par Implantation d'ions de dopage du premier type de conduction. Dans ce cas, les ions neutres 40 peuvent être nantis d'une énergie propre à conférer aux ions 71 44222 2117977 neutres implantés une concentration qui est maximale là où l'implantation d'ions se termine ou immédiatement sous cet endroit. Les implantations peuvent avoir lieu dans tout ordre de succession approprié, et il est possible d'effectuer 5 au moins un recuit. Toutefois, on a pu constater qu'en particulier, il est possible de fabriquer des résistances reproductibles de forte valeur ohmique lorsque l'implantation des ions neutres est effectuée avant l'implantation des ions de dopage de premier type de conduction; s'il en est ainsi, un seul 10 recuit peut être effectué après les deux implantations. Par recuit, une partie de l'endommagement de rayonnement peut être éliminée sous l'effet d'une augmentation de température pendant l'implantation, auquel cas l'implantation doit également comporter un recuit. Toutefois, après l'implantation, 15 il est possible de procéder à un recuit à basse température; de cette façon, par recuit, la concentration en défauts cristallins peut être éliminée en partie après l'implantation si le corps est porté à une température atteignant au maximum par exemple 500°C. 20 La description suivante, en regard des dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une vue en plan d'une partie du corps d'un dispositif semi-conducteur. 25 La figure 2 est une coupe transversale suivant le plan II-II sur la figure 1. Les figures 3 et 4 sont deux coupes transversales également suivant le plan II-II, et montrent ladite partie à deux stades différents de la fabrication. 30 La figure 5 est une vue en plan de cette partie de corps au stade de fabrication illustré sur la figure 4. La figure 6 est un diagramme qui, en fonction de la tension appliquée aux extrémités de la jonction, montre la variation de la résistance en couche de plusieurs résistances. 35 La figure 7 est un diagramme donnant, en fonction de la tension aux bornes de résistances, le courant traversant celles-ci. La figure 8 est un diagramme qui est déduit de la figure 7 et qui, en fonction de la tension appliquée, montre la 40 variation de la résistance croissante. 71 44222 2117977 Les figures 1 et 2 montrent une partie d'un corps en silicium monocristallin comportant une zone de résistance 1, de type de conduction p, implantée de bore et affleurant une surface 2 de la partie du corps. Avec la partie de corps 5 contiguë 4, de type de conduction n, située à l'opposé de la surface 2, la zone de résistance 1 forme une jonction p-n 3. Pour fournir la fonction de commutation d'une résistance, la zone 1 est contactée par des régions de contact 5 fortement conductrices, de type de conduction p, et par des 10 électrodes 6, formées par des couches métalliques. Sur la figure 1, les électrodes 6 sont hachurées. Du coté de la jonction p-n 3 opposé à la surface 2, la concentration en ions neutres implantés et en défauts cristallins correspondants dans la zone de résistance 1 est 15 telle que la mobilité effective des lacunes (trous) est diminuée environ dix fois. La linéarité de la caractéristique de tension de cette résistance se trouve ainsi perfectionnée d'environ un ordre de grandeur, en comparaison à la linéarité de la caractéristique de tension d'une résistance dont la 20 zone de résistance présente la même résistance en couche pour de faibles valeurs de tension et qui avait été réalisée par implantation de bore exclusivement. Les ions neutres implantés sont par exemple des ions de néon, des ions de silicium, des ions d'étain ou 25 même des ions d'azote. Toutefois, pour simplifier les choses, les deux exemples suivants de procédé permettant la fabrication d'un tel transistor sont décrits uniquement en relation avec l'emploi d'ions de néon. A remarquer que si l'énergie dont sont nantis les ions, ainsi que l'intensité du rayonnement ionique 30 sont modifiés de manière judicieuse, on peut, lors de la mise en oeuvre de ces procédés, utiliser des ions de silicium, des ions d'étain, voire même des ions d'azote. Un tel transistor peut être réalisé comme suit : On part d'une plaquette en silicium de type de 35 conduction n, ayant une résistlvité comprise entre 3 et 5 ohms.cm, les faces principales de cette plaquette s'étendant quasi perpendiculairement à une direction cristallographique déterminée. D'une manière connue, on forme sur cette plaquette une couche 10, en oxyde de silicium. Par un décapage photolithographique, on 40 pratique dans cette couche 10 les ouvertures 11 mesurant 71 44222 9 2117977 30 microns x 40 microns. Sur la même plaquette en silicium, on forme simultanément un grand nombre de résistances, ainsi que d'autres composants; toutefois, les figures 3 à 5 ne représentent que la partie de plaquette dans laquelle on forme 5 une seule résistance; dans la suite de la description, il est toujours question de la fabrication d'une seule résistance. A travers les ouvertures 11, pour former les régions de contact 5, on diffuse du bore dans la plaquette. La résistance en couche des régions de contact diffusées de type de 10 conduction p ainsi formées est comprise entre 40n et 60 ^ par carré. Puis, par décapage, on élimine la couche d'oxyde 10 et on forme par voie thermique une nouvelle couche 7 en oxyde de silicium, présentant une épaisseur d'environ 0,12 mi-15 cron. Par décapage photolithographique, on pratique dans la couche 7 quelques ouvertures de contact mesurant 30 microns x 16 microns. Ensuite, on précipite de l'aluminium pour former une couche métallique 12 sur la couche d'oxyde 7 ainsi que sur les parties dénudées des régions de contact 5 à l'endroit 20 des ouvertures de contact de la couche d'oxyde J. Dans la couche métallique 12 en aluminium, on décape une ouverture ■ otflongue 13 entre les régions de contact diffusées 5 et les ouvertures de contact de la couche d'oxyde J. Au cours des implantations effectuées par la suite, 25 la couche d'aluminium 12 comportant l'ouverture 13 est utilisée comme masque de sorte que dans la plaquette en silicium, les ions ne sont implantés qu'à travers ladite ouverture 13. On effectue deux bombardements d'ions, à savoir un bombardement d'ions neutres, et un bombardement d'ions de bore. Après, ces 30 bombarde irents, on procède à un seul recuit à une température de 500°C. Après les implantations, on élimine par décapage la couche d'aluminium 12, à l'exception de quelques petits carrés mesurant environ 50 microns x 50 microns et constituant les électrodes 6. Celles-ci contactent les régions de contact 35 diffusées 5 de la résistance à l'endroit des ouvertures de contact de la couche d'oxyde 7. PREMIER EXEMPLE : En ce qui concerne cet exemple de réalisation, la résistance fabriquée a été comparée à une résistance connue 40 caractérisée par les mimes conditions d'implantation de bore. 71 kk222 10 2117977 Les faces principales de la plaquette en silicium de type de conduction n étaient quasi perpendiculaires à la direction cristallographique /~1007, et l'implantation de bore a été effectuée avant l'implantation des ions neutres. 5 Sur la totalité de la plaquette, on dirige un faisceau d'ions de bore nantis d'une énergie de 40 keV, ces ions étant ainsi implantés à travers la couche d'oxyde 7 à l'endroit de l'ouverture 13 pour former ainsi la zone de résistance 1 de type de conduction.p, qui, avec la partie 10 contiguë de type de conduction p, forme une jonction p-n. 1S P L'intensité de rayonnement ionique atteignait environ 10 J ions/cm Ensuite, la moitié de la plaquette était soumise à un bombardement d'ions de néon nantis d'une énergie de 100 keV, «i c p l'intensité de rayonnement étant 2 x 10 ions/cm , les ions 15 de néon étant ainsi implantés à travers la zone de résistance 1, mais leur concentration maximale étant établie dans le voisinage de la jonction p-n 3- Les ions de néon n'avaient été dirigés que sur une moitié de la plaquette en silicium, de sorte que seulement dans cette moitié, les résistances formées avaient 20 une concentration en ions de néon implantés. Dans l'autre moitié de la plaquette, on formait ainsi d'autres résistances, non implantées.d'ions de néon, ce qui a permis de comparer celles-ci aux résistances implantées d'ions de néon. Les résistances non implantées d'ions de néon sont des résistances 25 connues, implantées d'ions de bore. Pour les implrntations d'ions de néon et d'ions de bore, l'axe du faisceau ionique effectuant le bombardement formait un angle d'environ 8° avec la direction cristallographique ^~1007. Par ce procédé, et après un recuit à ure température 30 de 500°C, on pouvait ensuite constater que la résistance en couche des résistances non implantées d'ions de néon était d'environ 2 kfi par carré, et que par contre celle des résistances implantées d'ions de néon avaient une forte résistance en couche, atteignant notamment environ 20 kf2 par carré. 35 La figure 6 montre deux lignes A et B qui en fonction de racine carrée de la tension V (exprimée en Volts), illustrent les variations de conductibilité (cr - cro) (exprimée en mA/v) de résistances implantées d'ions de néon et de résistances non implantées d'ions de néon. Les valeurs des racines carrées 40 de la tension V sont portées en abscisses. Cette tension V est 71 44222 2117977 une tension de polarisation de blocage aux extrémités de la jonction p-n 3 entre un contact sur la partie 4 de type de conduction n, et les deux électrodes 6 de la résistance. En ordonnées, on a porté les variations (cr - çr 0) de la conduc-5 tibilité se rapportant à des résistances implantées d'ions (Ligne indiquée par la référence A) et l'origine ctq des ordonnées pour ces résistances correspond à zéro. La ligne se rapportant à des résistances non implantées d'ions de néon est indiquée par la référence B, et l'origine cr0 des 10 ordonnées pour ces résistances correspond à 500 (JA/V. La pente des lignés A et B est une mesure de la mobilité effective de porteurs de charge dans la zone de résistance 1 dans le voisinage de la jonction p-n 3, situé du cSté opposé à la surface 2. Ces pentes fournissent une valeur d'environ p 15 20 cm /V.s pour les résistances implantées d'ions de néon, p et une valeur d'environ 400 cm /V.s. pour des résistances non implantées d'ions de néon. Les défauts cristallins et les ions de néon implantés dans la résistance ont donc diminué plus de dix fois la mobilité effective de porteurs de charge 20 dans le voisinage de la jonction p-n 3. Par conséquent, l'implantation d'ions de néon réduit donc de manière très claire la variation de la conductibilité /\a en fonction de la tension par unité de longueur de la résistance. Bien que dans la résistance implantée d'ions de néon, les courants de 25 fuite atteignent en intensité environ cinq fois l'intensité des courants de fuite dans des résistances non implantées d'ions de néon, la plus grande résistance en couche constitue au moins une compensation partielle de cette augmentation d'intensité des courants de fuite. 7>0 DEUXIEME EXEMPLE : Pour cet exemple de réalisation, on a comparé la résistance fabriquée à une résistance habituelle, implantée d'ions de bore et ayant la meme résistance en couche en présence de faibles valeurs de tension. Pour chaque genre de 35 résistance, les faces principales de la plaquette en silicium de type de conduction n étaient pratiquement perpendiculaires à la direction cristallographique fui.~J, et l'implantation de bore effectuée sur les résistances implantées d'ions de néon avait été effectuée après cetrte implantation. 71 44222 12 2117977 Dans une première plaquette, on procédait à la fabrication de résistances implantées d'ions de néon. Cette plaquette a été soumise à un bombardement d'ions de néon nantis d'une énergie de 100 keV, l'intensité de rayonnement 13 2 5 ionique étant de 2 x 10 ions/om . L'implantation de ces ions de néon avait lieu sur la totalité de la partie où il fallait réaliser la zone de résistance 1, ces ions ayant toutefois une concentration maximale dans le voisinage où il fallait former la jonction p-n 3. Ensuite, on dirigeait 10 sur cette plaquette un faisceau d'ions de bore nantis d'une énergie de 40 kev, de sorte qu'à l'endroit de l'ouverture 13» ces ions de bore se trouvaient implantés à travers la couche d'oxyde 7 pour former ainsi la zone de résistance 1 de type de conduction p, qui, avec la partie contiguë de type de 15 conduction n, forme la jonction p-n. L'intensité de rayonnement 13 P du faisceau d'ions de bore était environ 2 x 10 ions/cm . Dans une autre plaquette, similaire, on procédait à la fabrication de résistances non implantées d'ions de bore. Cette plaquette était soumise à un bombardement d'ions de 20 bore nantis d'une énergie de 40 keV qui, à l'endroit de l'ouverture 13j se trouvaient ainsi implantés à travers la couche d'oxyde 7 pour former ainsi la zone de résistance 1 de type de conduction p, qui, avec la partie contiguë de type de conduction p, forme la jonction p-n 3. Dans ce cas, l'inten- 25 site de rayonnement du faisceau d'ions de bore n'atteignait 12 2 que 5 x 10 ions/cm , de sorte que tant pour les résistances implantées de néon que les résistances non implantées de néon, les zones de résistance formées devaient avoir la même résistance en couche en présence de faibles tensions. 30 En mettant en oeuvre ce procédé, et après avoir procédé à un recuit à une température de 500°C, on a constaté ensuite que la résistance en couche des résistances implantées de néon et celle des résistances non implantées de néon était environ 50 kO par carré, à des faibles tensions (voir la figure 8) 35 La figure 7 montre deux lignes A et B qui, en fonction de la tension E appliquée entre les électrodes 6 desdites résistances illustrent la variation de l'intensité des courants traversant ces résistances. L'intensité de courant I est exprimée en pA, la tension E étant exprimée en Volts. L'élec-40 trode 6, qui a le plus faible potentiel, est raccordée au 71 44222 2117977 substrat, de type de conduction n, de la résistance. La figure 7 permet de se rendre compte que les résistances, implantées d'ions de néon et indiquées par la référence A, ont une meilleure linéarité de caractéristique de tension 5 que les résistances non implantées d'ions de néon, indiquées par la référence B. La figure 8 montre deux lignes A et B illustrant la variation de la résistance en couche accroisante f s, exprimée en K fi/carré, en fonction d'une tension E appliquée 10 entre des électrodes 6 associées à des résistances A implantées d'ions de néon, et à des résistances B non implantées de tels ions. La résistance est déduite du gradient des pentes des lignes A et B sur la figure 7 en vue de la correction de la géométrie des résistances. Pour des valeurs faibles de 15 la tension E, la résistance en couche est environ 50 kfi par carré pour les résistances A et B. Toutefois, la figure 8 permet de se rendre compte que la résistance en couche accroissante des résistances B non implantées d'ions de néon augmente considérablement plus vite que celle des résistances A, 20 implantées d'ions de néon. La linéarité de la caractéristique de tension de la résistance A, implantée d'ions de néon, se trouvait améliorée au moins trois fois, en comparaison à la linéarité de la caractéristique de la résistance B, non implantée d'ions de néon et ayant à l'origine la même résistance 25 en couche. En ce qui concerne les résistances A, implantées d'ions de néon, on a pu constater que l'intensité des courants de fuite avaient augmenté environ sept fois et p étaient devenues égales à environ 70 n.A/mm , cette valeur 30 étant encore inférieure à l'intensité de courant lors du fonctionnement dans une résistance de dimensions pratiques et encore acceptable aussi pour l'emploi de ces résistances dans des circuits intégrés. On a procédé à la mesure du coefficient de température des résistances, et on a constaté 35 que ce coefficient était d'environ 4 x 10^ ppm/°C; cette grande valeur négative s'avère due à la forte concentration en ions de néon implantés, et aux défauts cristallins correspondants dans la zone de résistance. 71 44222 2117977 Dans les résistances implantées d'ions de néon, citées dans l'exemple I, l'intensité de rayonnement des 4 c p ions de néon implantés était plus grande. (2.10 ions/cm 13 o contre 2.10 ions/cm ). C'est pourquoi dans ces résistances répondant à l'exemple I, on peut s'attendre à un coefficient de température négatif encore plus grand. 71 UU222 2117977 REVENDICATIONS 1.- Dispositif semi-conducteur comportant un corps semi-conducteur dans lequel est formée au moins une résistance semi-conductrice ayant une zone de résistance, d'un premier 5 type de conduction, qui affleure une surface du corps et qui forme une jonction p-n avec la partie de corps contiguë, de type de conduction opposé, caractérisé en ce que les ions neutres implantés et les défauts cristallins correspondants du cristal semi-conducteur se situent dans la zone de résistance, 10 au moins dans le voisinage de la jonction p-n, et ont une concentration qui est suffisamment élevée pour que la linéarité de la caractéristique du courant en fonction de la tension de la résistance s'en trouve considérablement améliorée. 2.- Dispositif semi-conducteur selon la revendication 15 1* caractérisé en ce que la concentration en ions neutres implantés est suffisamment élevée pour que la résistance acquière un coefficient de température négatif élevé, au moins égal à -100 ppm/°C. 3.- Dispositif semi-conducteur selon l'une des reven-20 dications 1 ou 2, caractérisé en ce que sous l'effet de l'implantation, la mobilité effective des porteurs de charge majoritaires dans la zone de résistance dans le voisinage de la jonction p-n atteint au maximum le tiers de la mobilité obtenue en l'absence d'ions neutres implantés et de défauts cristallins correspondants 25 4.- Dispositif semi-conducteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que la mobilité effective des porteurs de charge majoritaire dans la zone de résistance dans le voisinage de la jonction p-n est inférieure d'au moins un ordre de grandeur à la mobilité obtenue en l'absence d'ions neutres 30 implantés et de défauts cristallins correspondants. 5-"" Dispositif semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la concentration combinés en ions neutres implantés et en défautx cristallins correspondants est maximale dans le voisinage de la jonction p-n, 35 où la concentration en atomes de dopage du premier type de conduc tion diminue. 6.- Dispositif semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la résistance en couche de la zone de résistance atteint au moins 30 k fi par 40 carré. 71 44222 2117977 7.- Procédé permettant la fabrication d'un dispositif semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, et comportant d'une part l'élaboration, dans un corps semiconducteur, d'une zone de résistance d'un premier type de 5 conduction et affleurant une surface du corps et d'autre part, la formation d'une jonction p-n avec la partie de corps contiguë de type de conduction opposé, des ions neutres étant implantés dans ladite zone de résistance, ce procédé étant caractérisé en ce que l'implantation des ions neutres 10 et un traitement thermique subséquent éventuel sont effectués de façon que dans le voisinage de ladite jonction p-n dans le dispositif, la concentration en ions neutres implantés et en défauts cristallins correspondants soit telle que la linéarité de la caractéristique du courant en fonction de la 15 tension de la résistance s'en trouve améliorée dans une mesure déterminée d'avance. 8.- Procédé selon la revendication 7* caractérisé en ce que les ions neutres sont nantis d'une énergie propre à conférer à ces ions implantés une concentration maximale 20 immédiatement sous l'endroit où la jonction p-n doit être formée ou est formée. 9.- Procédé selon l'une des revendications J ou 8, caractérisé en ce qu'on implante des ions neutres d'un gaz inerte. 25 10.- Procédé selon la revendication 9> caractérisé en ce qu'on implante des ions de néon. 11._ Procédé selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que le matériau semi-conducteur est le silicium, et en ce que l'on implante des ions neutres d'étain. 30 12.- Procédé selon l'une des revendications J ou 8, caractérisé en ce que le matériau semi-conducteur est le silicium, et en ce que l'on implante des ions neutres de silicium. 13.- Procédé selon l'une quelconque des revendi- 35 cations 7 à 12, caractérisé en ce que la zone de résistance est obtenue par implantation d'ions de dopage de premier type de conduction. 14.- Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'implantation des ions reutres est effectuée avant 40 l'implantation des ions de dopage établissant le premier type 71 kk222 17 2117977 de conduction. 15.** Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 14, caractérisé en ce qu'après l'implantation des ions neutres, le corps est porté à une température de 500°C au maximum.