FR 2005999 A1 19691219 FR 6911077 A 19690410 69 11077 -1- 2005999 i * La présente invention se rapporte aux dispositifs semiconducteurs et plus particulièrement à des dispositifs de ce genre comportant des contacts à pression, ainsi qu'un procédé de fabrication de tels dispositifs. 5 Jusqu'à présent, deux des moyens utilisés pour maintenir une force de compression sur un élément semiconducteur et sur les contacts électriques de celui-ci étaient représentés par une "bague de retenue coopérant avec un élément de pression agissant sur, au moins, un ressort, ou par un élément en forme de 10 chapeau, fileté extérieurement et se vissant dans un "boîtier dans lequel étaient disposés les contacts électriques, l'élément semiconducteur et les moyens produisant la force de compression. Dans les deux cas, une analyse par les rayons X de dispositifs assemblés montre qu'il n'est pas possible de réaliser de façon 15 reproductible la force s'exerçant sur l'élément semiconducteur de chaque dispositif dans le cas d'une fabrication en série. Lorsqu'un ou plusieurs ressorts, par exemple, sous la forme de rondelles élastiques perforées plus connues sous le nom "ressorts Belleville" produisent la force de compression et exercent la 20 pression dans les dispositifs, une analyse par les rayons X montre incontestablement que la flexion de chaque ressort et l'espacement entre les ressorts voisins n'est, en compression, pas la même d'un dispositif à un autre dans un même lot. Un examen et un contrôle minutieux des pressions qui s'exercent sur l'élément 25 confirment ces irrégularités. Des filetages incorrectement formés, des filets contenant de la limaille et des saletés sont quelques unes des causes de ces irrégularités. Les buts de la présente invention sont d'apporter de nouveaux dispositifs semiconducteurs et des procédés d'assemblage de ceux-30 ci, utilisant des contacts à pression et dans lesquels les défauts des dispositifs antérieurs ont été considérablement atténués. Pour atteindre ce but, l'invention apporte un dispositif semiconducteur qui comprend un élément de support conducteur de l'électricité et de la chaleur, une paroi s'étendant dudit élé-35 ment de support et qui est reliée à celui-ci et un ensemble empilé incluant un élément semiconducteur, un ensemble de contact et des ressorts, ledit ensemble étant disposé à l'intérieur de ladite paroi de façon que l'élément semiconducteur soit tenu en con 69 11077 -2- 2005999 tact électrique avec l'élément de support par les ressorts, ces derniers étant tenus comprimés par, au moins, une saillie qui s'étend vers l'intérieur sur la paroi, dont elle est partie intégrante et de laquelle elle a été estampée, retenant ainsi 5 ledit ensemble et tenant les ressorts comprimés pour établir et maintenir un bon contact électrique et thermique à pression entre l'élément semiconducteur, l'élément de support et l'ensemble de contact. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention res- 10 sortiront de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple nullement limitatif, en référence au dessin anne xé, dans lequel : - la figure 1 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'une partie d'un dispositif électrique conforme à l'in- 15 vention ; - la figure 2 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'un sous-ensemble du dispositif de la figure 1 ; - la figure 3 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'une partie de l'appareil utilisé pour assembler un dis- 20 positif électrique conformément à l'invention ; - la figure 4 est une vue en plan d'un ensemble de contact à pression conforme à l'invention montrant les divers emplacements possibles de repoussage ou de pointage ; - la figure 5 est une vue en élévation, partiellement en 25 coupe, d'un ensemble de contact réalisé conformément à l'invention ; - la figure 6 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'une partie d'un dispositif électrique dont la paroi intérieure comporte une forme préférée de saillie ; 30 - la figure 7 est une vue en plan du dispositif de la fi gure 6 ; - la figure 8 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'un outil pouvant être utilisé dans l'appareil de la figure 3 ; 35 - la figure 9 est un plan par dessous de l'outil de la fi gure 8 ; - la figure 10 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'un dispositif électrique conforme à l'invention ; 69 11077 -3- 2005999 - la figure 11 est une vue en élévation, partiellement en coupe d'un autre mode de réalisation de l'appareil de la figure 3 ; - la figure 12 est une vue agrandie d'une partie de l'ap-5 pareil de la figure 11 ; - la figure 13 est une vue en élévation, partiellement en coupe, d'un autre mode de réalisation d'un dispositif électrique conforme à 1'invention ; - la figure 14 est une vue en plan du dispositif de la fi-10 gure 13 ; - la figure 15 est une coupe latérale d'une partie du dispositif de la figure 13; et, - la figure 16 montre un autre mode de réalisation du dispositif électrique de la figure 10. 15 La présente invention est adaptée pour la fabrication de dispositifs électriques, tels que des diodes, des transistors et des thyristors, comportant un élément semiconducteur ayant deux ou plusieurs régions présentant un mode de conduction différent et avec lesquelles deux ou plusieurs connexions électriques 20 sont établies uniquement par pression. Toutefois, pour bien faire comprendre l'invention, celle-ci sera décrite en prenant pour exemple la fabrication d'un thyristor comportant un élément semiconducteur ayant quatre régions de conduction, étant bien entendu que cet exemple n'a aucun caractère limitatif. 25 En se référant à la figure 1, on voit un sous-ensemble 10 d'un dispositif électrique fabriqué conformément aux enseignements de l'invention. Le sous-ensemble 10 comprend un élément de support 12 comportant une bordure périphérique 14 et un piédestal 16 s'étendant vers le haut. Le piédestal 16 comporte une 30 surface de montage supérieure 18. La bordure périphérique 14 possède une surface supérieure 20 et le piédestal 16 comporte une surface latérale périphérique 22. L'élément de support 12 est fait d'un métal bon conducteur de l'électricité et de la chaleur, tel que le cuivre, l'argent, 35 l'aluminium et les alliages à base de ceux-ci, ou d'alliages à base de fer. Le cuivre et le laiton ont donné des résultats particulièrement satisfaisants à cette fin. Un élément tubulaire 24, s'étendant vers le haut est fixé BAD ORIGINAL ? 69 11077 2005999 à l'élément de support 12. Le pourtour intérieur de l'élément 24 épouse la surface périphérique 22 du piédestal 16. L'élément 24 est fixé à l'élément de support 12 par un moyen connu quelconque, par exemple, en disposant une "brasure entre la surface su-5 périeure 20 de la bordure 14 et la surface latérale 22 du piédestal 16, d'une part et une partie du pourtour intérieur et de la surface inférieure de l'élément 24, d'autre part» L'élément 24, est, de préférence, fait d'une matière à base de fer, "bien que d'autres matières, ea particulier, des métaux 10 puissent être utilisées. Un goujon 26 est fixé à l'élément de support 12 ou en fait partie intégrante. Le goujon 26 sert à relier l'élément de support 12 à un conducteur électrique et/ou à un élément de dissipation thermique. 15 Une couche 28 d'une matière non-réactive, malléable, con ductrice de l'électricité et de la chaleur est disposée sur la surface de montage 18 de l'élément de support 12. La couche 28 peut être en or, en argent„ en étain, en indium, en plomb ou en aluminium. La couche 28 est destinée à compenser et à épouser 20 les irrégularités que peut présenter la surface 18» La couche 28 peut être disposée sur la surface 18 par un moyen connu quelconque, par exemple, par électrodéposition ou en disposant eu fixant un disque préformé sur la surface 18, puis en l'usinant suivant le besoin. 25 Un ensemble semiconducteur 30, tel que celui représenté sur la figure 2, est disposé sur la couche malléable 28. L'ensemble 30 comprend un élément semiconducteur à quatre régions 32 fixé à un premier contact électrique 34 par une couche de soudure ou de brasure 36» Le contact 34 constitue un solide sup-30 port pour l'élément semiconducteur 32. Le contact 34 doit être fait d'une matière bonne conductrice de l'électricité et de la chaleur et qui a un coefficient de dilatation thermique très analogue à celui de l'élément semiconducteur 32. Le contact électrique 34 peut être constitué par un métal, tel que le mo-35 lybdène, le tungstène, le tantale ou des combinaisons et des alliages à base de ceux-ci. La soudure constituant la couche 36 peut être une soudure "tendre" ou "dure" connue quelconque. Toutefois, cette soudure bad 0r,gina? 69 11077 ~5~ 2005999 est, de préférence, choisie parmi celles formant des composés eutectiques avec le silicium et produisant une liaison métallurgique avec la matière formant le contact 34, telles que les compositions à "base d'or, par exemple, des alliages or-antimoine, 5 des alliages d'aluminium et les alliages d'argent, dont chacun a un point de fusion supérieur à 350°C et a une plus grande résistance et dureté que les alliages plus communs de plomb et d'étain. Le type particulier de la soudure choisie dépend de la température de fonctionnement envisagée pour le dispositif élec-10 trique final. Un second contact électrique 38, constituant généralement le contact de gâchette, est connecté à l'élément 32, un troisième contact électrique 40 étant disposé, en l'occurence, autour du contact de gâchette 38, à une certaine distance de celui-ci. 15 Bien que cela ne soit pas représenté sur la figure 1, l'en semble semiconducteur 30 pourrait être aligné axialement à l'intérieur de l'élément 24 par un moyen connu quelconque, par exemple, en centrant l'ensemble 30 dans un élément cylindrique de centrage ou absorbant l'humidité. 20 En se reportant à la figure 1, une couche malléable perfo rée 44 faite d'un métal conducteur de l'électricité et de la chaleur, qui peut être l'un de ceux constituant la couche malléable 28, est disposée sur le contact 40 de l'ensemble 30. Le but' de la couche 44 est le même que celui de la couche 28. Un ensem-25 ble de contact 46 est disposé au-dessus de la seconde couche malléable 44. L'ensemble de contact 46 comprend une rondelle de molybdène 48 brasée à un connecteur évidé 50 qui se dresse sur la rondelle 48. Une douille isolante 52 est enfilée à l'intérieur de la par-30 tie évidée du connecteur 50. Un premier conducteur électrique 56, protégé, au besoin par un isolant, s'étend à travers une fente 5& ménagée dans la paroi latérale du connecteur 50 et descend à travers la partie centrale évidée de celui-ci, pour se terminer par Tin élément de contact 60 en forme de bouton. Une 35 force peut être exercée et maintenue sur le bouton de contact 60 au moyen d'un élément élastique 62 placé dans le connecteur 50 et agissant sur l'épaulement périphérique de la douille 52, cette dernière agissant, à son tour, sur le contact 60. L'élé 69 11077 -6- 2005999 ment de contact traverse l'ouverture de la couche 44 et s'applique sur le contact 38 de l'ensemble semiconducteur 30. Une rôndelle isolante 64 est placée au-dessus du connecteur 50 de l'ensemble de contact 46 et est disposée sur la rondelle 5 48. Une première rondelle métallique de pression 66 est disposée au-dessus de la rondelle isolante 64. Au moins tm élément élastique, tel qu'un ressort Bellevile 68 est placé au-dessus du connecteur creux 50, sur la rondelle de pression 66. Une seconde rondelle métallique de pression 70 est placée au-dessus du con-10 necteur 50, sur le ressort Belleville 68. La figure 3 montre des composants assemblés placés dans une presse 80. Ces composants sont emboîtés dans une monture de . support mobile 82 qui les place et les aligne axialement sous une structure fixe 84 de la presse 80. Un piston 86 est monté 15 dans la structure fixe 84 de la presse. Ce piston 86 est, lui aussi, - axialement aligné avec l'axe vertical des composants assemblés afin de s'appliquer contre une partie de l'élément creux 24. Le piston 86 présente une cavité 88 qui permet à certaines parties de l'ensemble de contact 46 de se loger flans ce-20 lui-ci, pendant que le reste de sa surface d'extrémité inférieure 90 repose sur la seconde rondelle de poussée métallique 70. Le fonctionnement de la presse 80 élève la monture de support 82,pressant la rondelle 70 contre la face d'extrémité 90 du piston 86. Aucune force appréciable n'est appliquée aux coa-25 posants assemblés avant que la face 90 repose fermement sur la rondelle 70.et que la surface d'extrémité supérieure 92 de la bordure périphérique du piston 86 soit plaquée contre une plaque d'arrêt 94 de la structure fixe 84. La face d'extrémité 90 du piston 86 et la pointe 96 de chacun des outils de pointage ou 30 de repoussage 98 sont maintenant essentiellement dans le même plan. La continuation du mouvement d'ascension de la monture mobile 82 et du sous-ensemble 10 continue d' aplatir le ressort Bellevile 68, tout en maintenant, dans le même plan, la face 35 d'extrémité $0 et la pointe 96 de l'outil de pointage 98. Ce mouvement d'ascension se poursuit jusqu'à ce qu'une force prédéterminée, suffisante pour assurer une bonne pression de contact, est atteinte, puis un dispositif 100 est actionné, généra- 69 11077 -7- 2005999 10 15 20 25 30 lement par voie pneumatique, afin d'avancer les outils de pointage 98 horizontalement vers l'axe vertical des composants assemblés, qui sont maintenant sous contrainte.- Le mouvement de 11 outil de pointage 98 se poursuit jusqu'à ce qu'une partie de l'élément 24- située au-dessus de la rondelle 70 ait été déformée en la repoussant horizontalement vers l'intérieur de façon à faire saillie au-dessus de la surface de la rondelle 70 de la figure 1. La saillie ainsi formée est désignée par 102 sur les figures 4 et 5« De préférence, la presse 80 comporte trois outils de pointage de sorte que trois saillies, désignées par 102, peuvent être produites simultanément» Ces outils sont ensuite rétractés horizontalement. La pression est ensuite relâchée de la monture de support mobile 82 et les saillies 102 retiennent les composants assemblés en compression. Il est à noter que du fait que la pointe 96 et la surface d'extrémité 90 sont situées dans le même plan, la compression du ressort Belleville 68 ne peut, tout au plus, diminuer que très légèrement. De plus, du fait que les ressorts sont comprimés avec une force exactement déterminée et que la face supérieure de la rondelle de pression 70 est située essentiellement dans le même plan que la pointe 96 de l'outil, cette force élastique est maintenue après l'opération de pointage, indépend emment des tolérances dimensionnelles. En conséquence, on voit aisément, que quelque soit le type de l'ensemble, on obtient des dispositifs électriques ayant des contacts de pression dont la qualité est uniforme. En se référant maintenant à la figure 4, on voit les composants assemblés après l'opération de pointage et après qu'ils ont été enlevés de la presse 80. Bien que deux saillies ou bos-settes 102 espacées de 180° soient capables de tenir les composants en compression, on forme, de préférence, trois saillies ou bossettes 102 qui retiennent la seconde rondelle métallique de pression 70, maintenant ainsi l'intégrité de l'ensemble de contact. Chaque bossette 102 est, de préférence, espacée de 120° des bossettes 102 voisines. Dans certains cas, où les dispositifs ont une grande surface et où une force intense est exercée sur les composants, des bossettes 102 supplémentaires pour- BAD ORIGINE 69 11077 -8- 2005999 raient être formées, au "besoin. C'est ainsi, par exemple, que lorsqu'on utilise une presse équipée d'un outil de pointage produisant trois bossettes, on peut, avant de les retirer de la presse, faire tourner les composants assemblés de 60°, puis ap-5 pliquer la même force et former trois bossettes 102 supplémentaires. Il est à noter que du fait que la face 90 et la surface inférieure de la pointe 96 de chaque outil 98 sont situées dans le même plan et du fait que la force de la presse est la même à chaque opération, la surface inférieure de toutes les bossettes 10 102 sera située essentiellement dans le même plan et la surface supérieure de la rondelle 70 doit aussi être située essentiellement dans le même plan que la face 90 et que la surface inférieure de la pointe 96 de chacun des outils 98. En se reportant à la figure 3> on voit que le piston 86 de 15 presse 80 comporte, de préférence, une ou plusieurs rainures de guidage lui permettant de se déplacer verticalement sans tourner. De plus, le prolongement de cette rainure à travers la surface d'extrémité 90 produit un trou pour le passage de la pointe 96 de l'outil de pointage 90. 20 En se référant à la figure 5» on voit les composants assem blés après la formation des trois bossettes 102. En prenant appui contre la seconde rondelle métallique de pression 70, les bossettes 102 agissent sur le ressort Belleville 68 pour solliciter élastiquement 1'ensemble de contact 46 1'élément semi-25 conducteur 30 et l'élément de support 12 en une relation de conduction électrique et thermique. La force exercée applique la rondelle 48 de façon à établir un contact électrique sous pression avec le contact 40 de l'élément semiconducteur 30. La force ainsi appliquée a également pour résultat un contact électri-30 que à pression entre le bouton 60 et le contact de gâchette 38 «Le l'élément semioonducteur au moyen du ressort hélicoïdal 68 agissant sur l'isolateur coulissant 52. Les bossettes 102 ont, de préférence, une forme correspondant à un quart d'un hémisphère. La forme préférée de la bosset-35 "te et sa position par rapport à la surface du ressort Belleville sont illustrées par les figures 6 et 7» Cette forme préférée confère à la bossette une résistance maximale aux forces de cisaillement exercées par la rondelle Belleville comprimée qui 69 11077 -9- 2005999 tente de cisailler la bossette sur l'élément 24. Lorsqu'un examen physique ou électrique révèle que les composants assemblés de la figure 5 ne sont pas satisfaisants, un réusinage est possible. A cette fin, on fait fonctionner la 5 presse 80 (figure 3) de la même manière que précédemment, sauf que l'on remplace le piston 86 par un outil de réusinage (figure 8) destiné à repousser les bossettes 102 dans la paroi de l'élément 24. En se référant maintenant aux figures 8 et 9, on voit que l'outil de réusinage 300 comprend une tige 302 axiale-10 ment alignée et partiellement disposée dans un élément creux 304. La tige 302 comporte un épaulement périphérique 306 près de son extrémité supérieure et un épaulement périphérique 308 • autour de son extrémité inférieure. Un ressort 310 est enfilé sur la tige 302 entre l'extrémité supérieure 312 de l'élément 15 304 et 1'épaulement 308 de la tige 302. Des fentes 314 sont pratiquées dans la surface périphérique extérieure de l'extrémité inférieure de l'élément 304. Dans chacune de ces fentes 314 est disposé un doigt 316 dont l'extrémité supérieure 318 s'applique à pivotement. Le nombre des fen-20 tes 314 est fonction de celui des bossettes 102 que l'on désire retravailler en même temps. De préférence, trois fentes 314 sont utilisées puisque .des dispositifs comportant trois et six bossettes 102 sont le plus souvent fabriquées à l'h.eure actuelle. La partie inférieure de l'élément 304 est dégagée pour s'a-25 juster dans l'élément creux 24 d'un sous-ensemble 10 de façon que son extrémité 320 repose sur la seconde rondelle de pression 70. L'outil 300 est conçu de manière que dans sa position "libre" le ressort 310 repousse la tige 302 suffisamment vers le haut pour que L1 énaulement 308 s'applique contre une encoche provoquant ainsi Ta retraction atr chacun des doigts 316 30 322 de chacun des doigts 316/dans l'extrémité inférieure de sa fente 314. Ceci ménage l'intervalle nécessaire pour orienter l'outil 300 au moyen des bossettes 102 du sous-ensemble 10 en train d'être réusiné. On remplace le piston 86 de la presse 80 par l'outil 300. 35 Quand la monture de support mobile 82 s'élève, l'épaulement 308 s'applique contre la plaque d'arrêt 94-» La continuation du mouvement d'ascension de la monture 82 a pour conséquence que l'élément 304 continue de s'élever, comprimant ainsi le ressort BAD ORIGINAL 69 11077 -10- 2005999 310. En se plaçant sous un certain angle, on peut dire que la tige 302 s'abaisse à travers l'élément creux 304, la surface périphérique extérieure de son épaulement 308 poussant et glissant contre les doigts 3*16. Plus l'élément 304 s'élève, plus 5 l'épaulement 308 agit sur un point plus "bas de chaque doigt 316, repoussant ainsi les doigts 316 vers l'extérieur à leur extrémité inférieure et contre les "bossettes 102 placées dans chaque fente 314. Quand la face inférieure de 1'épaulement 308 est venue se placer dans le plan de la surface d'extrémité 10 320 de l'élément 304, la surface extérieure de chaque doigt 316 est à fleur de la surface périphérique extérieure de la partie inférieure de l'élément 304 et les "bossettes 102 ont été réaplaties afin de permettre d'enlever la rondelle 70 et les autres composants du sous-ensemble 10. De plus, la force que 15 la presse 80 exerce à cet instant sur l'outil 300 et sur la rondelle 70 est exactement la même que celle qui a été nécessaire pour assembler initialement les composants. On relâche la force dans la presse 80 et on oriente l'outil 300 pour retravailler d'autres bossettes 102 ou pour enle-20 ver le sous-ensemble 10 de la monture mobile 82 afin de désas-sembler ces composants aux fins de réutilisation. Après cela, on réassemble les composants de la même manière qu'auparavant, et comme représenté sur la figure . 1, on les place dans la presse 80 comme le montre la figure 3 et on 25 les oriente pour exposer une partie vierge de la paroi à la pointe 96 des outils 98. Le nouveau pointage est ensuite exécuté de la même manière que précédemment, la force exercée sur les composants assemblés par la presse 80 étant la même qu'auparavant . 30 Quand un ensemble de contact électrique à pression satis faisant a été produit, on complète le dispositif électrique comme le montre la figure 10. L'ensemble de contact est hermétiquement enfermé dans un ensemble supérieur 104 fixé à une bague de soudage 106 formée sur l'élément 24. Le connecteur 35 50 est relié électriquement à un autre connecteur 108 scellé hermétiquement dans l'ensemble 104. Le conducteur 56 est connecté à un connecteur creux 110 hermétiquement scellé dans l'ensemble 104, complétant ainsi 1'entourage hermétique de BAD ORIGINAL 69 11077 -11- 2005999 l'ensemble de contact électrique à pression. Les dispositifs électriques fabriqués conformément à l'invention sont assemblés plus facilement et avec plus de précision et peuvent plus aisément être retravaillés en cas de fonction-5 nement défectueux. De plus, 1' examen aux rayons X montre que la compression des composants assemblés est essentiellement la même dans tous les dispositifs d'un même type lorsque la même force est appliquée, alors que les dispositifs de la technique antérieure montrent des variations importantes du degré de com-10 pression. En outre, un produit ayant une qualité suivie est obtenu de façon permanente. Une autre variante d'exécution de l'invention est illustré par la figure 11. Dans ce cas, l'outil de pointage 98 comportant la pointe 96 a été remplacé dans la presse 80 par un outil 15 de repoussage 101 tournant autour de l'axe 99 d'un pivot 97» La monture de support mobile tourne autour de l'axe de symétrie 89 qui coïncide avec celui du dispositif semiconducteur. Dans le cas présent, le piston 86 est complètement circulaire et toutes les rainures de guidage ont été supprimées. La surface 20 d'extrémité supérieure 92 prend appui contre un roulement 87 qui est logé dans une cavité de la plaque d'appui 94. La figure 12 est une vue à plus grande échelle montrant la disposition relative des différents composants. Ce mode de réalisation produit un rétrécissement continu qui agit sur toute la périphérie 25 extérieure de la surface supérieure de la rondelle de pression 70 pour produire 1'ensemble de contact électrique à pression désiré. Toutefois, le sauvetage des composants dans le cas d'un sous-ensemble défectueux est plus difficile dans le cas présent que dans le mode de réalisation préféré décrit ci-dessus. 30 En se référant maintenant à la figure 13, on voit un autre mode de réalisation d'un dispositif électrique de contact à pression comportant un dispositif de pointage 202 pour établir nn contact électrique à pression entre un corps de matière se-miconductrice et deux ou plusieurs contacts électriques connec-35 tés à ce corps. Pour faciliter la description de cette variante de réalisation, le dispositif 200 sera décrit comme comportant trois connexions électriques, reliées électriquement uniquement par ■N BÂD ORIGINAL 69 11077 .-12- 2005999 pression à un corps de matière semiconductrice, étant "bien entendu qu'il ne s'agit là que d'un exemple nullement limitatif. Le dispositif électrique 200 comprend un élâ&ent de support 204- ayant deux montants espacés 206 et 208. La matière consti-5 tuant les éléments 204, 206 et 208 est bonne conductrice de l'électricité et de la chaleur et peut être du cuivre, des alliages de cuivre, de l'aluminium, des alliages d'aluminium et des alliâges à base de fer. Sur l'élément 204 est disposé, entre les montants 206 et 10 208, un ensemble semiconducteur 210. En se référant à la figure 14, on voit que l'ensemble semiconducteur 212 comprend un corps de matière semiconductrice et des contacts électriques 214, 216 et 218. Chacun des contacts 214, 216 et 218 est fait d'une matière conductrice de l'électricité. 15 Le corps de matière semiconductrice 212 est convenablement préparée pour fonctionner comme un redresseur commandé et comprend, par exemple, une première région d'émetteur, une première région de base, une seconde région de base et une seconde région d'émetteur. Une couche 220 de matière conductrice est dis-20 poséé sur la première région d'émetteur. Une couche 222 de matière conductrice est disposée sur la première région de base. En se référant maintenant à la figure 15, on voit une vue en plan des couches conductrices 220 et 222. Les deux couches §.20 et 222 sont isolées électriquement l'une de l'autre par un 25 intervalle continu. En se reportant à la figure 14, on voit que le contact 218 est fixé, de préférence, de façon permanente, à la seconde région d'émetteur du corps 212 de matière semiconductrice. Le contact 218 qui a pour fonction de supporter le corps 212 est 30 constitué par une matière conductrice de l'électricité tel que le molybdène, le tungstène, le tantale ou des combinaisons ou des alliages à base de ceux-ci. Le contact 218 est disposé sur 1'élément de support conducteur de 1'électricité et de la chaleur 204. Le contact électrique 214 est connecté à la première 35 région de base du corps 212 par la douche 222. Le connecteur 216 est relié électriquement à la première région d'émetteur du corps 212 par la couche 220. Un élément 226- en matière isolante isole électriquement 69 11077 -13- 2005999 une partie, au moins, des éléments 214 et 216. En se reportant à la figure 13, on voit que les extrémités d'un ressort 228 qui a une forme cambrée, sont tenues en place par les éléments de rétention 202. Les éléments de rétention 5 202 sont formés après que le ressort 228 a été placé avec son côté convexe sur l'élément isolant 226. Les extrémités de l'élément 226 sont repoussées vers le bas d'une distance prédéterminée ou jusqu'à ce qu'une force d'une intensité prédéterminée soit développée par le piston ou le vérin qui s'applique contre 10 les extrémités de l'élément. Les montants 206 et 208 se déforment vers l'intérieur, ou sont sertis ou matés pour s'appliquer contre les extrémités du ressort abaissé 228. La partie sertie des éléments 206 et 208 exerce sur l'élément 228 une force qui, de son côté, par l'intermédiaire de la partie convexe exerce 15 une force sur l'isolateur 226, formant ainsi des contacts électriques à pression entre les éléments 214 et 216 et les contacts 222 et 220 qui font respectivement partie intégrante de l'élément 212 fixé au contact 218 et entre celui-ci et l'élément de support 204. Une couche 230 de matière isolante forme 20 xxne enceinte hermétique autour de l'ensemble 210. La figure 16 montre une variante de réalisation de l'invention qui est identique à celle représentée sur la figure 10, sauf que la rondelle de pression 70 a été supprimée et que les bossettes 102 s'appliquent directement contre le ressort 68. 69 11077 14 2005999 REVENDICATIONS 1. Un dispositif semiconducteur qui comprend un élément de support conducteur de l'électricité et de la chaleur, une paroi s'étendant dudit élément de support et qui est reliée à celui-ci et un ensemble empilé incluant un élément semiconducteur, un 5 ensemble de contact et des ressorts, ledit ensemble étant disposé à l'intérieur de ladite paroi de façon que l'élément semiconducteur soit tenu en contact électrique avec l'élément de support par les ressorts, ces derniers étant tenus comprimés par, au moins, une saillie qui s'étend vers l'intérieur sur la paroi, 10 dont elle fait partie intégrante et de laquelle elle a été estampée, retenant ainsi ledit ensemble et tenant les ressorts comprimés pour établir et maintenir un bon contact électrique et thermique à pression entre l'élément semiconducteur, l'élément de support et l'ensemble de contact. 15 2. Un dispositif selon la revendication 1 dans lequel ladite paroi a une forme tubulaire. 3« Un dispositif selon la revendication 2 dans lequel la saillie est constituée par trois bossettes repoussées vers l'intérieur uniformément espacées circonférentiellement. 20 4. Un dispositif selon la revendication 2 dans lequel la saillie est constituée par six bossettes repoussées vers l'intérieur, uniformément espacées circonférentiellement» 5* Un dispositif selon la revendication 3 ou 4 dans lequel les bossettes ont une forme sphérique ou seriâ-sphérique. 25 6. Un dispositif selon la revendication 2 dans lequel la saillie est constituée par une saillie circonférentielle continue. 7. Un dispositif selon l'une des revendication» précédentes dans lequel la paroi est reliée hermétiquement à l'élément 30 de support afin de produire une enveloppe pour l'élément semiconducteur. 8. Un dispositif selon l'une des revendications précédentes dans lequel les ressorts butent directement contre la saillie. 35 9. Un dispositif selon l'une des revendications 1 à 7 dans lequel un élément de pression est disposé au-dessus des 69 11077 15 2005999 Ressorts et bute contre la saillie. 10. Un dispositif selon l'une des revendications précédentes dans lequel l'ensemble de contact comprend deux éléments de contact reliés respectivement à deux régions différentes de 5 l'élément semiconducteur. 11. Un dispositif selon la revendication 10 dans lequel l'un des éléments de contact a une forme annulaire et entoure concentriquement le second. 12. Un dispositif selon la revendication 11 dans lequel 10 un second ressort sollicite élastiquement le second élément de contact à s'appliquer contre l'élément semiconducteur. 13. Un dispositif selon l'une des revendications précé- . dentes dans lequel les ressorts comprennent, au moins, une rondelle élastique perforée, l'ensemble de contact étant connecté 15 à un connecteur électrique s'étendant axialement à travers l'ouverture de celle-ci. 14. Un dispositif selon l'une des revendications précédentes dans lequel une rondelle isolante est interposée entre le ressort et l'ensemble de contact. 20 15. Un dispositif selon la revendication 1 dans lequel la paroi comprend deux éléments verticaux pratiquement plats dont chacun est pourvu d'une saillie de maintien de ressort. 16. Un dispositif selon la revendication 15 dans lequel le ressort a une configuration arquée, chaque extrémité de ce 25 ressort arqué butant contre la saillie repoussée respectivement dans chaque élément vertical. 17. Un dispositif selon la revendication 15 ou 16 dans lequel la saillie est constituée, par au moins, une bossette repoussée vers l'intérieur. 30 18. Un dispositif selon la revendication 15 ou 16 dans lequel la saillie est produite en rabattant ou en sertissant vers l'intérieur ledit élément vertical. 19. Un dispositif selon l'une des revendications 15 à 18 dans lequel l'ensemble de contact comprend deux éléments de con- 35 tact connectés à des régions différentes dudit élément semiconducteur. 20. Un dispositif selon l'une des revendications précé 69 11077 16 2005999 dentes dans lequel une couche de matière isolante est prévue pour sceller hermétiquement le dispositif semiconducteur» 21».Un procédé de fabrication d'un dispositif semiconducteur comportant des contacts à pression, procédé qui con-5 siste à empiler un élément semiconducteur, un ensemble de contact et des ressorts dans une enveloppe comprenant un élément de support et une enceinte, à exercer une force sur lesdits ressorts pour comprimer l'élément semiconducteur entre l'élément de support et l'ensemble de contact, de façon à établir un contact 10 électrique et thermique avec celui-ci et, à déformer vers l'intérieur l'enceinte au-dessus des ressorts comprimés afin de produire une protubérance .adaptée à maintenir les ressorts en compression en butant contre ceux-ci. 22. Un procédé selon la revendication 21 dans lequel 15 la protubérance est produite en repoussant l'enceinte vers l'intérieur en un certain nombre d'emplacements uniformément espacés circonférentiellement. 23. Un procédé selon la revendication 21 dans lequel la protubérance est produite en repoussant l'enceinte vers l'in-20 térieur à un certain emplacement et en faisant tourner cette enveloppe autour de son axe afin de produire une saillie continue. 24. Un appareil pour produire un dispositif semiconducteur comportant des contacts à pression, appareil qui comprend un élément de support pour supporter une enceinte tubulaire, des 25 moyens pour appliquer une force de compression sur un ensemble incluant un élément semiconducteur et des ressorts empilés dans cette enceinte, des moyens pour déplacer le ressort par rapport aux moyens d*application de force afin de comprimer les ressorts et des moyens pour repousser vers l'intérieur ladite enceinte, 30 au-dessus des ressorts comprimés, afin de produire une protubérance maintenant ces ressorts en compression. 25. Un appareil selon la revendication 24 dans lequel les moyens d'application de force comprennent un piston axialement aligné avec l'enceinte tubulaire pour s'appliquer contre 35 l'ensemble placé dans l'enceinte quand l'élément de support s'approche des moyens d'application de force. 26. Un appareil selon la revendication 24 ou 25 dans 11077 17 2005999 lequel les moyens de repoussage comprennent, au moins, un outil de pointage pouvant se déplacer suivant une direction pratiquement perpendiculaire à l'axe de l'enceinte tubulaire. 27. Un appareil selon la revendication 26 dans lequel les moyens de repoussage comprennent un outil de pointage, l'appareil comportant des moyens pour faire tourner l'enceinte tubulaire autour de son axe.