FR 2009621 A1 19700206 FR 6917650 A 19690529 69. 17650 , 2009621 L'invention concerne ûn procédé photographique0 La photographie peut s'utiliser dans de nombreux procédés industriels ppàf^éxéiaple comme stade dans la fabrication de masques optiques»^ «de cireuïtff-"mprikes et de câblages imprimés sur une couche isolante qui. dans les circuits 5 intégrés est appliquée sur .un corps semi-conducteur,, Elle peut également être utilisée pour l'exposition de couches de vernis photo-sensi- . blés pour la fabrication de dispositifs semi-conducteursc L'invention fournit un procédé particulièrement souple pour réaliser une image d'exposition dans une couche photosensible0 "0 Selon un premier aspect de l'invention, dans un procédé photographique pour réaliser dans une couche photosensible une image dcexposition de lumière provenant d'une source lumineuse sur une plaque tournante, percée de trous, ce qui provoque des impulsions de tension qui tombent sur un masque muni d'une configuration de trous dont chacun est indi-15 viduellement ouvert ou femé selon la position des éléments piézoélectriques correspondants, qui peuvent changer de forme, la couché étant déplacée dans une directibn prédéteiminée de façon qu'on obtienne une configuration désiree par des expositions consécutives par des impulsions lumineuses successives dans une configuration d'ouvertures choi-20 sie pour chaque impulsion, tandis que la couche est déplacée de manière continue et que la plaque est portée à rotation de manière continue par un moteur commun et que les éléments piézoélectriques individuels sont entraînés à l'aide de signaux de commande provenant d'un canal de commande et dont l'existence est synchronisée avec les mouvements de la 25 couche et de la plaque„ Une grande adaptabili'té du procédé s'obtient par la commande individuelle de la distribution dans le temps de la configuration. La distribution dans le temps est d'importance parce que dans le cas d'une couche mobile, les instants auxquels l'exposition débute et prend fin déter-30 minent les endroits des parties exposées de la couche. Lesdits endroits sont toujours importants, mais en particulier lorsqu'on désire réaliser une grande configuration exposée qui est constituée par des parties exposées individuelles qui se raccordent. Le plus, l'ènsemble peut comporter une source lumineuse, fonctionnant en régime continu et l'orga-3r> ne fournissant les impulsions peut être agencé de façon qu'il fournisse des impulsions reproductibles et réglables qui ne sont pas tributaires du temps d'accroissement ni du temps de décroissement d'une source fonctionnant en régime pulsatoire. Etant donné que les ouvertures dans le masque sont déjà ouvertes au 40 début de chaque exposition et ne sont fermées qu1après la fin de cha- bao original 69 17650 . 2 200962.1 , ^r. •que exposition, des clapotements et de petites différences en temps de réaction des éléments piézoélectriques ne soulèvent guère de difficultés "bien qu'il, faille en tenir-compte dans la* détermination de l'a vitesse de fonctionnement maximale,.' '' 'La souplesse de ce procédé est également due au fait qu'il est à même de fournir une configuration réptétée telle que nécessaire pour la réalisation d3un grand ron'bre de dispositifs semi-conducteurs à partir rl:un disque de matériau semi-conducteur et que pour chaque dispositif xi faut réaliser la mène configuration de Ie exposi tion0 Après X2 expo-,0 sîtion, on développe la réserve de décapage et il se forme un masque, par exemple pour déterminer les domaines d5 une couche dc oxyde appliqués sur le semi-conducteur et qu'il y a lieu d'ênlever» Le procédé conforme à l'invention peut être utilisé pour réaliser une configuration répétée, une configuration qui n!est pas toujours la même ou pour ■5 la réalisation, partie par partie, d'une grande configuration. Les ouvertures ménagées dans le masque ne doivent pas nécessairement avoir les mêmes dimensions dans la direction prédéterminée ni dans une direction perpendiculaire à cette dernière» Après la réalisation de la configuration, cependant que la couche 20 est déplacée "dans la direction prédéterminée, la couche peut être déplacée perpendiculairement à la direction prédéterminée et une autre configuration d'exposition peut être réalisée en déplaçant la couche parallèlement à la direction prédéterminée0 Le mouvement de la couche peut être arrêté et, inversement, la con-25 figuration suivante peut' être réalisée et Vautre configuration peui; être réalisée ce pendant que la couche est déplacé dans une direction parallèle à celle prédéterminée, mais dans un sens opposé» Les signaux de commandé provenant du canal de commande peuvent être prélevés d'une "bande, par exemple une "bande perforée ou une "bande mag~ 30 nétique et la vitesse de lecture de la "bande peut être commandée à l1 aide d'une cellule photo-électrique et d'une source lumineuse qui sont disposées chacune ârun côté de la plaque conjuguée, percée de trous, et portée à rotation-* On peut également prélever les signaux de commande provenant du canal de commande d'une cellule photo-électrique qui 35 explore une copie mère d'une exploration à reproduire» Le plus, il est également possible de prélever d5un ordinateur électronique les signaux de commande provenant du canal de commandée Le mouvement de la couche peut êtré arrêté à la fin du mouvement ou à la fin de chaque commande dans la direction prédéterminée sous la com-40 mande df un dispositif indicateur de limitation qui peut partiellement 1ad original 69 17650' 3 2009621 faire partie de la couche et se déplacer ensemble avec celle-ci» le dispositif tndicateur de limitation peut foarnir un signal de. limi tation oox arrête l'entraînement du moteur pour le transport ae la couche 3t la rota«ion de la plaque ainsi que la transmission de signaux de commande Apres le mouvement de la couche parallèle à la direction, prédeterminée, la transmission des signaux de. commande peut être reprise» Le moteur peut poursuivre trop longtemps sa rotation dans la diree-Uon prédéterminée et après l'arrêt de la transmission des signaux de -• commande, la trop grande distance parcourue étant mesurée à 1 aide à-'une source lumineuse et d'une cellule photo-électrique, qui sont disposées chacune d'un côté d'une rainure conjuguée ménagée dans un organe rotatif qui est entraîné par le moteur commun» Lorsque le moteur se remet en marche dans le sens opposé» on le laisse tourner sur la dis-. tance parcourue en excès qui est à nouveau mesurée par la combinaison _'.3 la source, lumineuse, la cellule photo-électrique et l'organe porté à rotation,, avant que ne soit transmise une nouvelle série de signaux de commande pour les signaux piézoélectriques» La surface d'exposition peut être inférieure à la surface correspond dan te d'une ouverture». La lumière peut traverser le masque percé d'ouvertures suivant 1-e-tat (ouvert ou fermé) des éléments piézo-électriques et peut ctre conduite vers chaque ouverture à l'aide d'un guide-lumière correspondante L'invention concerne également un substrat portant une couo£ Selon un autre aspect de l'invention, le dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon le premier aspect de 1 invention comprend une source lumineuse, une plaque tournante» percée de trous, pour influencer la lumière"provenant de la source lumineuse pour déterminer la c;-rëe des impulsions lumineuses destinées à être projetées sur u.n mas--- que qui est muni d'une configuration d'ouvertures, des éléments piézoélectriques appartenant aux ouvertures et pouvant changer de formé lorsqu'une tension est appliquée à des électrodes de commande correspondantes, pour maintenir inûivilûcllement ouvertes ou fermees les ouvertures pendant toute la durée d'une impulsion lumineuse, on moteur " commun pour déplacer la couche, de manière continue, dans une direction bad original 69 17650 4 2009621 prédéterminée et pour faire- tourner la plaque de manière continue, un canal de commande pour fournir des signaux de commande à chacun des é~ lëments piézo-êlectriques. individuels et des moyens pour synchroniser Inexistence des signaux de commande avec les mouvements de la couche 5 et de la plaque, ce qui permet d:obtenir une configuration désirée de domaines exposés en exposant la couche successivement à des impulsions lumineuses successives à travers une configuration d'ouvertures qui peut être choisie individuellement pour chaque impulsion» les ouvertures ménagées dans le masque ne doivent pas nécessairement avoir toutes "0 la même forme ou la même grandeur» Le dispositif peut comporter des moyens pour déplacer la couche perpendiculairement à la direction prédéterminée après que la configuration a, été réalisée pendant le déplacement de la c-ouche ainsi que des moyens pour réaliser uns autre configuration d5 exposition tandis que *5 la couc-ho est déplacés dans une direction parallèle à la direction prédéterminée» Le dispositif peut comporter des moyens pour arrêter et inverser le mouvem.ent de la couche, après 1: applicati on de la configuration, et des moyens pour déplacer la couche parallèlement à la direction prédéterminée mais dans le sens opposé, ce qui. permet de réaliser 20 l'autre configuration. Le masque et les moyens pour déplacer la couche peuvent être tels, qucun certain nombre de domaines exposés de la configuration, qui sont réalisés par exposition pendant diverses"impulsions, puissent être rangés de façon a, former ensemble un seul domaine» 25 Le dispositif peut comporter un lecteur de bande qui est inséré dans le canal de lecture destiné a fournir les signaux de commande? par exemple un dispositif de lecture de bande perforée ou de bande magnétique et des moyens, comprenant une source lumineuse et une cellule photo-électrique disposées chacune d:un côté d'une ouverture conjuguée 30 ménagée dans la plaque tournante percée dcouvertures pour commander la vitesse et le rhytme auxquels s'effectue la lecture de la bande» Il est également possible de prévoir une cellule photo-électrique afin de prélever les signaux de commande pour le canal de commande, ensemble a\~ec des moyens pour explorer une copie mère d:une configuration à repro-35 duire à l:aide de la cellule photo-électrique,, Le dispositif peut comporter un dispositif indicateur de limitation pour arrêter- le mouvement ou les mouvements de la couche dans la direc tion prédéterminée ce dispositif indicateur pouvant appartenir à la couche et se déplacer avec celle-ci. Le dispositif indicateur de limi-40 tation peut être agencé de façon à fournir un signal ".de limitation- pour t—; - bad original 69 17650 5 2009621 arrêter le moteur d ' entraînement assurant le déplacement àe ia cache e la rotation de la plaque ex pour interrompre la iransmi 3sicn des signaux de commande„ Le dispositif peut comporter un dispositif indicateur de 1 "'endroaT ■ie démarrage afin de reprendre la transmission dee signaux de commande -après 1 * amorçage du mouvement de la couche parallèle â la direction préditermi né e, Le dispositif peut comporter des moyens pour provoquer 1J arrêt du moteur avec an certain degré d'inertie après la fin de 2a trau3mission des signaux de commande, moyens comportant une cellule photo-électrique et une source lumineuse qui se trouvent chacune d'un côté d'une rainure conjuguée ménagée dans un organe entraîné pour le moteur commun afin de mesurer le chemin parcouru en excès et des moyens qui, lorsque Je moteur tend à tourner en sens inverse, laisse passer le chemin parcouru en excès, qui est mesuré ici à l'aide de la source lumineuse» de la cellule photo-électrique et l'organe tournant avant de remettre en action d'autres moyens qui permettent la transmission d'une autre série de signaux de commande pour les éléments piézoélectriques. Le système optique peut être tel que la surface exposée soit pl t.; petite que la surface correspondante d'une ouverture, A chaque ouverture peut correspondre un guide lumineux pour ami^ei -à la couche de la lumière de chaque ouverture 0 La description qui va suivre, en regard du dessin annexé, -lonné a titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment 1 invention peut être réalisée, les particularité*s qui ressortant tant du texte que du dessin faisant, bien entendu, partie de ladite invent ion.- Là fig. 1 représente schématiquement un disposi+if conforme a 1 invention o La fig„ 2 est une vue en plan d'un masque qui peut être utilisé' pour la mise en .oeuvre du procédé selon 1-'invention, La figo 3 est une vue.en plan d'une configuration d'exposition réalisée à l'aide d'un dispositif tel que représenté'sur les fig. ' et 2; La fige, 4 est. une vue en perspective d'un dispositif selon l'inven- t/ JL 0 ÏA O La fige 1 représente un dispositif conforme a l'invention peur la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention.. Le dispositif comporte une source ' de lumiere collimatée„ Le domaine de longueurs d'onde de la lumière n'a guère d'importance, sauf ou il doit pouvoir être influencé par des lentilles ou des systèmes lenticulaires et pouvoir être utilisé avec de bons résultats pour.1 exposi- bad original 69 17650 6 2009621 tien d'une couche photosensible déterminée,, la lumiere pre-ve^ar»- de la ôoarce 1 traverse an filtre monôchromatique 2 et une lentille collectrice au système lenticulaire collecteur 3„ L'emplacement relatif du filtre ? et de la lentille 3 a peu d'ImportanceLa présence du filtre 3 n'est pas indispensable, mais avantageuse, car elle contrecarre la formation de traits colorésa La lentille 3 concentre la lumière de la s?curce sur une partie 6, percée d'une ouverture, d'un disque 4 percé d'ouvertures et pouvant tourner autour d'un axe 5„ Le disque 4 fonctionne de la même manière qu'un obturateur 'à fente. L cuver+ure ménagée dans la partie 6 se trouve sur un arc du disque 4, de sorte que lorsque le disque tourne, il se produit une impulsion de lumière dont le début est déterminé par le bord avant de l'ouverture dans le sens de la rotation, et dont la fin est déterminée par le bord arrière de 1:ouverture, tandis que la durée est déterminée par l'arc que l'ouverture sevs-tend .au foyer du faisceau lumineux, et par la vitesse de rotation du disque 4o Le disque 4 peut évidemment comporter un certain nombre de telles ouvertures, ce sorte que, pour une vitesse de rotation déterminée du disque, il se produit un nombre déterminé d* impulsions lumineuses, La lumière que le disque 4 subdivise en impulsions traverse une lentille collectrice ou système lenticulaire collecteur 7» qui a pcwr tache de faire converger la lumière divergeant à partir du point de croisement dans le plan du disque 4, et qui dirige la lumière vers un mas-rue 8 percé d'ouvertures„ Le masque S comporte une configuration d'ouvertures, tandis que chaque ouverture est reliée à un élément piézo-éleetrique 9 qui laisse cette ouverture ouverte ou la ferme, Les éléments piézc- ele ctriques 9 sont d'un type connu» Ils se déforment mécaniquement lorsqu'une tension est appliquée à des électrodes disposées une certaine distance l'une de l'autre'sur un cristal piézo-électrique- lorsque l'élément piézo-électrique est encastré à une extrémité et les axes du cristal, sont, orientés d'une manière appropriée, l'application d'une tension provoque une flexion du cristal de sorte que 1'élément piézo-électrique 3, ou un organe fixé à cet élément est déplacé de façon que l'ouverture correspondante se ferme ou s ouvre « La lumière qui traverse les ouvertures non obturées cass le casque ouvertures qui sont déterminées par la position de 1 élément piézoélectrique 9 est concentrée par une lentille collectri:e eu un système lenticulaire collecteur 10, de bonne qualité, de sorte a former- une ! image sur un domaine de la couche photo-sensible 11, • q ai est appliquée bad or/c >9 17650 7 2009621 sur un support 12 qui repose sur une.table 1.3» Cette image est réduit par rapport au domaine correspondant du masque 8, ce qui permet de satisfaire très facilement aux conditions imposées en ce qui concerne les dimensions et la précision des ouvertures ménagées dans le masque 3, La lentille ou le système lenticulaire 10 fournit un petit domaine à très grande netteôi et peut être du type utilisé comme objectif dans un bon microscope. Sien que la table 13 soit représentée sous forme d un bloc, elle peut comporter, du côté supérieur, une membrane (non représentée sur le dessin) sur laquelle repose le support 12c L'enceinte formée au-dessus de la membrane peut être raccordée và une source de gaz sous expression et la pression des- gaz au-dessous de la membrane peut être réglée en concordance avec la circulation du gaz hors d'un tube qui est disposé à une petite distance au-dessus de la couche» Il se produit ainsi un couplage à réaction de gaz pour régler la hauteur de la membrane et des variations dans la distance entre la lentille ou système lenticulaire 10 et la couche 11, qui peuvent résulter par exemple d'une variation correspondante de l'épaisseur de la couche 12, sont compensées,, L'utilisation d'un tel dispositif compensateur contribue à assurer â l'exposition une qualité uniforme. Ce dispositif compensateur est un perfectionnement facultatif et ne sera pas décrit en détail- L'ensemble comporte un moteur 18 qui entraîne à la fois le disque 4 et la table 13. La table 3 est entraîné â l'aide d'un dispositif à tige filetée 14 qui est constitué par une tige filetée 15 repesant dar.s des paliers 16. L'emploi d'un moteur commun 18 facilite la détermination du commencement et de la fin d'une impulsion lumineuse par rapport à l'emplacement de la table 13. Les paliers 16 reposant sur un chariot 17. Les autres parties 1, 2, 3, 4, 7, 8, 9, et 10 du dispositif peuvent être supportées par un châssis, non représenté sur le dessin, qui est fixé par rapport au chariot 17. L'emplacement et la position de ces autres parties peuvent être réglables» Le plus, le mas- £ avec éléments piézo-électriques correspondants 9 peut être amovible, de sorte qu'un masque 8, percé d'ouvertures, avec éléments piézoélectriques correspondants 9, peut être remplacé par un autre, De plus, la source 1 ou le filtre 2 peut être remplacé afin d'adapter la lumière émise par la source aux propriétés d'une autre couche photo-sensible „ Le support 12 de la couche 11 peut reposer sur la table 13 par 1"intermédiaire d'une seconde table (non r'eprésentée sur le dessin), de sorte que la couche 11 peut être déplacée dans une direction perpendicu&ad original 69 17650 g 2009621 laire au plan du dassin. La saconde table avec chariot, paliers, tige filetée et moteur d'entraînement correspondant peuvent ê.tre actionnés de la marna manière que les parties 13, 14, 15, 16 et 17 mais, comme il sera expliquée par la suite, le moteur correspondant n'est mis en 5 fonctionnement q.ue p^r intermittence. Les éléments piézo-électriques 9 sont commandés, par des signaux qui proviennent d?un canal 19 (représenté schématiquement sur une flèche), da sorte que les instants auxquels-les impulsions lumineuses commencent et finissent, l'ouverture et la fermeture par les éléments pi-10 ézo-électriques 9? des ouvertures ménagées dans le masque, et l'emplacement de la table 13 font ensemble qu'il se produise dans une bande de couche photosansible 11 - dans la direction de déplacement de la table 13 des domaines exposés, qui s'étendent sur-une largeur qui est déterminée par la largeur des ouvertures choisies dans le masque, mesurée '5 dans une direction perpendiculaire à la direction da déplacement de la table 13 » Sans le cas d'impulsions du courte durée et d'un mouvement -assez lent de la table 13} on peut tolérer un mouvement de la table pendant la durée de chaque impulsion lumineuse„ Il se peut qu'il soit nécessai-20 re que la flou de l'image résultant du mouvement de la table pendant la durée d'une impulsion lumineuse soit inférieure â 1 micron. Cette condition n-eut être satisfaite avec une vitesse de la table 13 de 1Q00 microns par seconde, cette vitesse étant réglée à l'aide du moteur 18 alimenté par un secteur et étant transmise, par une transmission sans 25 course morte, à la vis sans fin 15 Lorsque la table 13? la commandée par la tige filetée 15, a effectué un mouvement complet, elle est arrêtée, puis déplacée, par une seconde tige filetée, dans une direction perpendiculaire à la première direction de déplacement, de sorte qu'une seconde bande de la couche 11 bad original 69 17650 9 2009621 le tout peut être agencé de façon que le dispositif a ti^e ûl*« acquière si peu de Jeu que l'on puisse exposer pendant iue 1j t;.c-ie M se déplace, a toar de rôle, dans des sens opposés. Lorsque i; 3cas oe déplacement de la table 13 est inversé, de préférence on inversa aussi : la sens de rotation des disques 4-, ce qai permet ds compenser facilement une éventuelle petite course morte. Le mouvement de la table 1 ainsi ^-e l'arrêt et l'inversion lu mouvement de la table 13 peuvent s'effectuer a 1 aide de signaux provenant du canal. Toutefois, dans certains cas, il est préférable de 1 : -' v miter le mouvement de la table 13 dans les deux sens à l'aide d'interrupteurs de limitation (non représentés sur le dessin) qui peuvent être a commande mécanique ou optique et qui sont montés aux deux extrémités du trajet à parcourir par la table 13, ces interrupteurs de limitation ou de fin de course provoquant non seulement le fonctionnement d'un 5 circuit qui commande le moteur 17 mais fournissant aussi une indication que la table 13a atteint une place où les signaux qui commandent le fonctionnement des éléments 9 doivent cesser. Les signaux de commande fournis par l'intermédiaire du canal ie signal 19 peuvent être prélevés d'une bande perforée au magnétique. La commande peut cependant aussi s'effectuer directement â partir de la sortie d?un dispositif ordinateur électronique» Le plus, il est-possible de prélever les signaux d'une cellule photo-électrique qui explore une copie-mère d'une configuration à reproduire, copie qui peut être réalisée à une échelle correspondant à la configuration ootenue par .■ l'exposition de la couche photosensible 11 „ Le dispositif fonctionne de la manière suivante ; Lès la mise en circuit du dispositif, le moteur 18 tourne» On laisse tourner le moteur jusqu'à ce que le dispositif ait atteint un état sta-tionnaire dans lequel le disque 4 et la table se déplacent a une vi-''■O tesse constante» Lorsque la table 13 atteint un endroit de démarrage, qui peut être déterminée soit par un verrou fixé à la table 13 soit par voie électrique â l'aide d'un contact prévu sur la table 13, soit pas voie optique à l'aide d'un repère ou d'une ouverture ménagé.dans la table *3 eu '? d'un repère prévu sur le support 12 ou sur la couche 11 «, un dispositif de commande est mis en fonctionnement; ce dispositif de commande qui peut être un ordinateur électronique, un enregistreur à bande magnétique ou bande perforée ou encore un dispositif de copiage qui copie une configuration mère, et fournit alors.des signaux de commande par l'in-40 termédiaire du couloir de commande 19 pour commander le fonctionnement p*r» original 69 17650 ,0 2009621 des éléments piézo-éieetriques 9.- les signaux de commande fcurn;s peuvent être déduits à 1 ? aide d'impulsions* de synchronisation qai ccnt. par exemple déduites de l'axe d'entraînement central du disque e * ;i-tre maintenus synchronisés avec la rotation du disque &c lorsque le programme d'expositions, avec la table. 1se déplaçant dans la direction prédéterminée et entraîné par le moteur 18, est en-chèrement accompli, un dispositif indicateur de limitation est mis en fonctionnement pour arrêter l'amené de signaux de commande par 1*intermédiaire du canal de commande 19, par exemple en amenant la bande a l'arrêt et pour arrêter le moteur1£. Il peut être recommandable de ne pas arrêter directement le moteur 18 ce qui fournit, au cours du passage suivant dans le sens inverse à nouveau un état stationnaire avant la nouvelle application de signaux de commande. Le dispositif indicateur de limitation peut être un dispositif -mécanique pouvant être mis en fonctionnement par la table mobile 13 ou un dispositif optique dont le faisceau lumineux est interrompu ou réfléchi par la table mobile i 3 « Le support 12 est alors déplacé latéralement par le second moteur ■sur une distance prédéterminée, de sorte que l'on peut réaliser un second jeu d'expositions par un autre mouvement continu de la table 13 parallèle S direction prédéterminée0 Le second moteur peut être réglé et/ou commandé â l'aide du dispositif à partir du canal de commande» Lorsque le mouvement transversal, de la table 13 est terminé, le moteur 1-3 est à nouveau mis en fonctionnement et cela en sens inverse et à 1 ■' instant requis l'alimentation de signaux à partir du canal de commande 19 vers les éléments 9 reprend par exemple à lsaide d'une seconde serrure ou d'un autre dispositif, La fige 2 représente un masque, dans lequel les ouvertures sont ménagées d'une manière telle que l'on puisse obtenir une. configuration à1exposition correspondant à une configuration de circuit recouvrant une grande surface de la ccuche photosensible. Ces masques comportent "rois ouvertures carrées A, B, C de 10 x "0 microns qui, comme le montre le dessin, sont écartées verticalement et horizontalement d'une distance de 30 microns» Ses expositions répétées à travers les ouver-3 tures A, B et C fournissent des traits d'exposition ininterrompus de 1G microns d'épaisseur sur la couche 11, dirigés dans le sens de la flèche 2, qui correspond à la direction prédéterminée.. Ces traits d'exposition ininterrompus peuvent être entamés et finis en un endroit quelconque par la commande des éléments 9c Des traverses dans la direc-) tion perpendiculaire à la flèche D peuvent être réalisées par l'action-. bad original •9 17650 H 2009621 nement sélectif d'éléments 9 correspondant aux ouvertures-rectangulaires E, F, G- et H de 10 x 30 H dirigées dans la direction transversale. L'ouverture F peut être utilisée pour fournir une liaison transversale entre les traits longitudinaux obtenus par une exposition répétée à : travers les ouvertures A et B, et l'ouverture G- est ménagée de façon qu'elle puisse être utilisée d'une manière analogue pour réaliser la liaison transversale entre des traits obtenus par une sxpositxon répétée â travers les ouvertures B et C. Les ouvertures S et H fournissent des liaisons vers des endroits à gauche et à droite de la configuration qui" est obtenue par l'exposition répétée à travers les ouvertures A et C. Le mouvement transversal de la couche.11 par rapport au masque 8 à la fin de chaque jeu d'expositions, avec un mouvement relatif dans le sens" de la flèche B, peut être prédéterminé dans chaque cas individuel. Lorsqu'on désire disposer de deux jeux chacun de trois traits, dirigés dans le sens de la flèche B, des liaisons entre ces trois configurations de lignes peuvent être obtenues à l'aide des ouvertures B et H. On peut utiliser de nombreuses autres configurations constituées par des ouvertures ménagées dans un masque, et au lieu d'une seule grande configuration on peut réaliser des configurations séparées* dont chacune correspond par exemple avec une seule exposition, à travers un masque approprié, avec les intervalles désirés sur toute la surface de la couche 11. Ce sera le cas lorsqu'on désire appliquer un grand nombre de dispositifs semi-conducteurs sur un corps semi-conducteur ^ormint an support 120 On peut également utiliser le support 12 de réaliser un assez grand nombre de circuits intégrés, de façon que chaque domaine de la couche 11 correspondant â un seul circuit intégré est muni d une configuration qui est constitué à l'aide d'un multiple ê'expositions individuelles, alors que pour chaque exposition les ouvertures a utiliser 0 peuvent être différentes. La fig. 3 est un exemple d'une partie d'une configuration pouvant etre réalisée à l'aide du masque représenté sur la figt 2. Les lignes tirées dans la direction progressive (X1) et dans 1-a direction régressive (flèche X2) à l'aide des ouvertures Â, B, et C sont représentées 35 sur la figure. Entre le mouvement dans le sens progressif et dans le sens regressif, la table, est déplacée dans la direction transversale. Etant donné que les ouvertures A à C et E à H sont écartées d'une ver-taine distance dans- le sens de déplacement progressif, le programme pour la mise en fonctionnement des éléments 9 différera dans un sens 40 et dans 1'autre0 bad original 69 17650 12 2009621 Les deux programmes- pour fournir, la configuration représentée sur la f'ig. 3 sont: . . . • . . - -- -1 '• programme progressif ■ programme . ré gr essif . B - - .... . H..- 5 " ' ' - - - . -B - -, - :--v .. . ..... IBS ■■ . ■ ... .. CF • ■ • . AB . . . , .- . . - , ■ ' . AB. . .r • ; . - 3 .. A B 10 - : - ' ■; AF - -• • .. . . . AB.CG . • • ' . y — -.- - - - 330 • B. . .- J :. .. ; BCE; ., . . , ■ " "" • . ; B . .. - C ; • • . : • : . BFG . C.G : • 1 5 ' ' " - ■ ■ B " ~~ . , ' ■ ■v ■ • B . B • . .. . ., " ' ■ - .- . • — . . • , , . . • B _.. . " : •••••. • • . GG . . , -BFG • ' ' ■ C ' r " B ,. . .. -, 20 ' BC • - B. . .... - . - BC . BCG . . -- - - AF . B : - A - • ... : : B . •• ' ■ AB . • 25 • • - - - - ' . - ■" •. . AB- .... . ' ' - " ' C . : • ' .. . . AB.- . , ■ - — ■ ... - B.. . .. .; . , ■ - • H . • B: : \ •. Les lettres donnent 1'"ordre de succession dans le quel,le s ouvertu» 30 res s' ouvrent tandis que les-'ouvertures non mentionnées .restent .fer- Ci-dessus, il ùfeàt pas fait mention du chevauchement-nécessaire entre des éléments voisins et dans les dimensions d'un dispositif d:ouvertures il-n'à"rpas été tenu-compte de c.e,..chevauchement-:qui .sont'formés 35 par exposition à travërsles-'ouvertures» L,e chevauchement dépend de:,la nature de la couche 12 et de l'intensité de la lumière provenant de la source 1 .'-Il s'e-st avéré que pour, de. nombreux, matériaux stratifiés, un chevauchement ne s 3imp-ose pas: étant-donné que les. effe ts de ' "bord assurant une variatioîa -ininterrompue' des; lignes: correspondantes des ouver-. 40 tures A, B, 0 etc„, tant dans la direction prédéterminée que dans une BAD ORIGINAL 69 17650 13 2009621 direction perpendiculaire à celle-ci0 Dans certains cas, il peut être désirable de porter le masque 8 par exemple à une vibration ultra-son en vue de favoriser le chevauchement désiré, cette vibration s Effectuant dans l'une ou dans l'autre des directions prédéterminées et des 5 directions perpendiculaires â celle-ci,, Sur la fig. 1. les éléments piézo-élec-triques 9 se trouvent du côté du masque 8 opposé à la source lumineuse i0 Cela n'est pas indispensable et les éléments 9 peuvent se trouver d'un côté ou bien de l4autre, ou encore en partie d'un côté et en partie de l'autre côté du masque 10 80 Les ouvertures ménagées dans le masque 8 peuvent être écartées de grandes distances, ce qui permet de simplifier la disposition des: é-léments 9 lorsque des guides lumineux sont disposés entre le masque et la lentille ou système lenticulaire 1Q„ Dans ce cas, il y a avantage 15 à disposer les éléments 9» qui correspondent aux ouvertures ménagées dans le masque 8, coopérant avec les guides lumineux du côté du masque 8 tourné vers la source 1. Le système lenticulaire 10 peut être omis et les guides lumineux peuvent être réalisés de faç;on à déboucher près de l'endroit de la couche 11 où ils fournissent un agrandissement ou 20 une représentation à l'échelle 1 ; 1 ou une réduction de la configuration obtenue par les substances entre les ouvertures, suivant ce qui est désirée. Le dispositif représenté sur la fig. 4 ressemble fortement a celui représenté plus schématiquement sur la figc 1; on y a utilité' les mê-25 mes chiffres de référence pour des organes correspondants., Seules les différences seront décrites à l'aide de la fig» 4» Le trajet lumineux à partir de la source vers la couche 11 comporte deux miroirs 20 afin de permettre l'obtention d-un dispositif plus compacte Les éléments 9 comportent des obturateurs 21 qui font en sorte •O que les ouvertures 22 dans le masque 8 soient bien recouvertes dans la position fermée. Le moteur 26 fonctionnant de manière ininterrompue pour la production du mouvement dans la direction transversale est représenté sur le dessin. Les transmissions 23 font partie du moteur 18„ ■;/5 Comme le montre le dessin, chaque élément 9 comporte deux connexions séparées conduisant vers un dispositif .de lecture de bande (non représenté sur le dessin)c Le dispositif présente deux perfectionnements dont ehacun consiste en l'emploi d'une source lumineuse et d'une photodiode correspondantec 40 La'source lumineuse et la photodiode, toutes deux indiquées par le sadorîg/nal 69 17650 h 2009621 chiffre de référence 24, sont disposées d'un côté d'une ouverture dans le disque 4» le signal de sortie de la photodiode peut être utilisé pour répartir le fonctionnement à'xm dispositif de lecteur de bande de façon que la configuration désirée d'ouvertures 22 soit ouverte 5 avant la première impulsion lumineuse suivante provenant de la source 1o . La source lumineuse- et la photodiode qui portent tous deux le chiffre de référence 25 sont introduites chacune d'un. côté d'une ouverture ménagée dans un disque fixé sur une tige 15» Le signal-de sortie 10 de cette photodiode peut être utilisé pour former des signaux servant à arrêter le moteur 18, pour terminer la transmission des signaux de commande provenant du canal 19» pour déterminer la mesure de la course trop prolongée du moteur 18, pour démarrer et arrêter le moteur 26,,et pour tenir compte de la mesure dans laquelle le moteur a poursuivie trop 15 longtemps sa course, avant que le canal 19 soit ouvert pour faire tourner le moteur 18 dans le sens opposé. ORIGINAL k* 9 17650 15 2009621 REVENDICATIONS • Procédé photographique pour réaliser une configuration dispositions dans une couche photosensible dans lequel de-la lumière- provenant d'une source lumineuse tombe sur une plaque tournante percée d'ouver» tures, ce qui fournit des impulsions lumineuses qui tombent sur un masque muni d"une configuration d'ouverturesr caractérisée en-ce-que les ouvertures sont ouvertes ou fermées séparément pour toute la durée d'une impulsion-lumineuse suivant la position des éléments piézo-élect.riques correspondants qui peuvent varier de forme lorsqu'une tension est ap— :0 pliquée à des électrodes de commande correspondantes, tandis que' la couche-déplacée dans une direction prédéterminée, de sorte que des expositions successives avec des impulsions lumineuses successives a travers l'unë-des-configurations d'ouvertures choisie séparément pour chaque impulsion, fournissent une configuration désirée tandis que la '• 5 couche déplacée et que la plaque est tournée et que les éléments ' piézo-électriques sont commandés chacun séparément à l'aide de signaux de commande qui proviennent d'un canal de commande et dont l'exxstence est synchronisé avec les mouvements de la couche et de la plaque. 20 Procédé selon-la revendication 1, caractérisé en ce qu''après de la formation de la configuration pendant que la couche est déplacée dans la direction -prédéterminée , la couche est déplacée perpendiculairement à la direction prédéterminée, la couche est déplacée perpendiculairement à la direction prédéterminée et il se forme une autre configuration d'exposition, tandis que la couche est déplacée dans une direc-tion parallèle à la direction prédéterminée. 3» Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le mouvement de la couche est interrompu et inversé après la formation de la configuration, • et qu'on forme la configuration suivante tandis que la couche déplacée dans une direction parallèle â la direction prédé-0 terminé mais dans le sens opposée0 4» Procédé selon les revendications 1, 2 ou 3 caractérisé en ce que les domaines de la configuration qui sont exposés pendant des diverses impulsions forment enseible un domaine exposé * 5o Procédé selon .l'une des revendications précédentes caractérisé 35 en ce que les signaux de commande provenant du canal de commande sont prèle vés d'une bande„ 60. Procédé selon la revendication 5 caractérisé en ce que la bande est une bande perforée. 7» Procédé selon la revendication 5 ou 6 caractérisé en ce que la 40 vitesse de lecture de la bande est réglée à l'aide d'une cellule photo- bad original 69 17650 i6 2009621 électrique et d'une source lumineuse qui sont disposées chacune d'un côté d'une ouverture conjuguée, ménagée dans une plaque tournante percée de plusieurs ouvertures. * 8c Procédé selon l'une des revendications 1 â 4 caractérisé en ce 5 que les signaux de'commande provenant du 'canal dè commandé sont déduits d'une cellule photoélectrique qui explore une copié mère d'une configuration' à reproduirea ' ' ' ' 9» Procédé selon, l'unè des revendications" précédente!, 'caractérisé en ce que le mouvement est arrêté sous l'action d-un dispositif i'ndica-10" teur de limitation après que'le mouvement ou les mouvements dans la direction prédéterminée est effectué ou"sont' effectués. 10. Procédé selon la revendication 9 caractérisé en ce que le' dispositif indicateur/de limitation appartenant partiellement 'à la couche et est déplacé èn même temps que celle-ci» 15 11 » Procédé selon les revendications 9 ou 10, caractérisé èn ce que le dispositif indicateur de limitation fournit un signal" de limitation qui arrête le moteur pour le déplacement de la couche et de 'la rotation de la plaqué et interrompt les transmissions des signaux de commande. 12. Procé'dé selon une ou plusieurs des revendications précédentes, 20 'caractérisés èn ce que lè mouvement de la couche est arrêté après que le mouvement ou les mouvements" dans de's: directions'prédéterminés sont effectués sous la commanîie d'un signal'provenant du'canal dè signala 13„ Procédé selon une ôu plusièurs" des revendications '9" â Ti , caractérisé en ce que" la' transmission de signaux de"commande est repris 25 après que le mouvement de la'couche dans Une direction'parallèle â la direction prédéterminée"est entamé en concordance avec un signal d3emplacement qui est fournie par un dispositif 'indicateur d'emplacement de démarrage„ 14c Procédé selon une ou plusieurs des revendications 9 à 13 oarac-?0 térisé en ce que le transmission de signaux de commande est arrêté après chaque mouvement"dans la diraction prédéterminée et que la rota t ion- du moteur , poursuivie après la réalisation de chaque mouvement dans la direction"prédéterminée5, ' est mesurée à l'aide d:une source lumineuse et d'une cellule photoélectrique dont chacune est'montée d'un.' " 35 côté d'une rainure conjuguée ménagée dans un organe rotatif qui est entraîné par le moteur commun'alors que, lorsque le moteur est mis en fonctionnement'pour tourner dans le sens inverse, le moteur parcourt la distance trop longue parcourue précédemment, qui est a ncaveaa mesurée par la combinaison de la source lumineuse et de'la cellule photo-40 électrique et de l'organe tournant, avant qu5une nouvelle série de sig™ fcadoRlfi 69 17650 n 2009621 naux de commande ne soit transmise pour la commande des élémente piézo-éle ctriques» 15„ Procédé selon une ou plusieurs des revendications précédentes caractérisé en ce que la surface exposée est plus petite que la surface 5 correspondante d'une ouverture. 16„ Procédé selon une ou plusieurs des revendications précédentes caractérisés en ce que la lumière traverse le masque percé d'ouverture suivant la position (ouverte ou fermée) des éléments piézo-électrique s et est ramenée par un guide lumineux correspondant vers chaque ouvertu-10 re, . 17. Substrat muni d'une couche photosensible comportant une configuration d'exposition appliquée suivant un procédé selon une ou plusieurs des revendications précédentes,, 18. Projet comportant un substrat et une couche qui est appliquée 15 par le développement d'une couche photosensible appliquée sur le substrat selon la revendication 1-7a : 19« Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendica tion 1 comportant une source lumineuse, une plaque tournant percées d'ouvertures pour influencer la lumière provenant d'une source lumi-20 neuse afin de déterminer la durée des impulsions lumineuses destinées à parvenir sur un masque qui est munie d'une configuration d'ouvertures, d'éléments piézo-électriques appartenant aux ouvertures et qui sont déformés dès qu'une tension est appliquée à des électreèfes de commande correspondantes pour ouvrir ou fermer chacune des ouvertures 25 séparément pendant toute la durée d'une impulsion lumineuse, un moteur commun pour déplacer de manière continue la couche dans une direction prédéterminée et pour faire tourner de manière continue de la plaque, un canal de commande pour transmettre séparément à chacun des éléments piézo-électriquee des signaux de commande ainsi que des moyens pour 30 synchroniser l'existence des signaux de commande avec des mouvements de la couche et de la plaque, de sorte à pouvoir obtenir une configuration désirée des domaines exposés par des expositions successives avec des impulsions lumineuses excessives à travers une configuration d'ouvertures qui est choisie séparément pour chaque impulsion,.. 35 200 Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en c-e que les ouvertures ménagée dans le. masque dans une direction perpendiculaire à la direction prédéterminée n'ont pas toutes la même grandeur. 21 „ Dispositif selon la revendication 19 ou 20 comportant des moyens pour déplacer la couche perpendiculairement à une direction prédéter-40 née après l'application de la configuration, tandis que la couche se S^D ORIGINAL 69 17650 18 2009621 déplace dans la direction prédéterminée et des moyens pour former une autre configuration d'exposition tandis que la couche se déplace dans une direction parallèle à la direction prédéterminée» 22. Dispositif selon la revendication 21 comportant des moyens pour 5 interrompre le mouvement de la couche et l'inverser après la réalisation de' la configuration et des moyens pour déplacer une couche dans: une direction parallèle à la direction prédéterminée dans un sens opposé,. ce qui permet de réaliser l'autre configurât ion»: - 23„ Dispositif selon la revendication 21•ou 22 caractérisé en ce que 10 le masque et les moyens pour déplacer la couche sont tels qu'un certain nombre des domaines exposés de la configuration qui sont réalisés par l'exposition pendant les impulsions différents peuvent être réalisés de façon à former ensemble un seul domaine exposé„ 24. Dispositif selon l'une des revendications 17 à 23 caractérisée 15 en ce qu'il comporte un dispositif de lecture de bande dans le canal de commande pour fournir les signaux de commande„ 25» Dispositif selon la revendication 24 caractérisé en- ce que le dispositif de lecture de bande est un dispositif de lecture de bandes perforées. 20 26 „ Dispositif selon la revendication 24 ou 25 comportant des moyens comprenant une cellule photoélectrique et une source lumineuse qui sont disposées chacune d'un coté d'une ouverture conjuguée, ménagée dans uhe plaque tournante percée d'ouvertures pour régler la vitesse de lecture de la bande. 25 27. Dispositif selon une ou plusieurs des revendications 19 à 23 comprenant une cellule photoélectrique pour déduire des signaux de commande pour le canal de commande ainsi que des moyens pour explorer à l'aide de la cellule une copie mère d'une configuration à reproduire» 28. Dispositif selon une ou plusieurs des revendications 19 & 27 30 comportant un dispositif indicateur de limitation pour provoquer l'arrêt de la couche après que le mouvement ou les mouvements dans la direction prédéterminée a ou ont été effectués. 29. Dispositif selon la revendication 28 caractérisé en ce que le dispositif indicateur des limitations appartient partiellement a la 35 couche et peut être déplacé simultanément avec celle-eic 30. Dispositif selon la revendication 28 ou 29» caractérisé en ce que le dispositif indicateur de limitation peut fournir un signal de limitation pour arrêter 11entraînement du moteur pour les déplacements de la couche et la rotation de la plaque ainsi que pour interrompre la 40 transmission des signaux de commande» bad original 69 17650 19 2009621 31 « Dispositif selon une ou plusieurs des revendications 21 à 27 comprenant des moyens pour fournir un signal d'arrêt provenant d:un canal de signal pour provoquer l'arrêt de la couche après que le mouvement ou les mouvements dans la direction prédéterminée a .été ou ont 5 été effectués» . - 32» Dispositif selon l'une des revendications 28 â 30 comprenant un indicateur d'emplacement de démarrage pour reprendre la transmission -, des signaux de commande après que le mouvement de la couche a débuté dans une direction, parallèle à la direction prédéterminée» J 33» Dispositif selon l'une des revendications - 28 à 32 comprenant des moyens, pour provoquer l'arrêt du moteur, celui-ci poursuivant sa marche sur une distance déterminée après la fin de la transmission des signaux de commande, des moyens constitués par.une cellule.photo-élecitrique et une source lumineuse qui sont disposées chacune d'un côté. 5 d'une rainure conjuguée ménagée-dans un organe rotatif qui est entraîné par le moteur commun pour mesurer la distance sur laquelle- le moteur a poursuivi sa-course, ainsi que des moyens qui,^lorsque le moteur se remet en mgrche en sens inverse, le laisse tourner sur ladite distance sur laquelle il a poursuivie sa course et .qui est -à Eoaveau mesurée à l'aide de la source lumineuse .de. la cellule photo.-électri-. que et de 1°organe -rotatif, avant.la mise en action de moyens pour reprendre la transmission d'une autre série de signaux de commande pour actionner les éléments piézo-électriques» 34» Dispositif selon une ou plusieurs des revendications ^9 â .23 5 caractérisé en ce que le système optique est tel que le domaine, exposé est plus petit que le domaine correspondant d'une ouverture..» 35, Dispositif selon l 'une ou plusieurs. des revendications 9 â 24 caractérisé en ce qu'à, chaque ouverture appartient un guide lumineux pour guider la lumière vers et/ou à partir de chaque ouverture.. bad original