Brevet FR3067108A1 (20181207)

REVENDICATIONS1. Procédé pour reconstituer une information de couleur d'un échantillon (17) mesuré par profilométrie optique en lumière blanche, comprenant une acquisition (21) d'interférogrammes en une pluralité de points de mesure sur ledit échantillon (17), caractérisé en ce qu'il comprend en outre, pour au moins un point de mesure : - un calcul (22) de densité spectrale optique de l'interférogramme, - à partir de cette densité spectrale optique, une détermination d'une réflectance spectrale, et - un traitement (24) de ladite réflectance spectrale pour générer une information de couleur dudit échantillon (17).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le calcul de densité spectrale optique (22) comprend un calcul de transformée de Fourier de l'interférogram me.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'information de couleur est générée à partir des valeurs de réflectance spectrale pour une pluralité de longueurs d'onde correspondant à des longueurs d'onde d'un système de codage de couleurs.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le système de codage de couleur est de type RVB (pour Rouge, Vert, Bleu).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'information de couleur 25 est générée à partir d'une projection de la réflectance spectrale sur un espace colorimétrique.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'espace colorimétrique correspond à l'un des espaces de couleur normalisés suivants : CIE XYZ, CIE RGB. 30\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de détermination d'une densité spectrale optique de référence utilisée pour la détermination de la réflectance spectrale. 35\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend : une acquisition d'au moins un interférogramme de référence sur un échantillon (17) de référence de réflectance spectrale connue, un calcul de densité spectrale optique de référence représentative du module de la transformée de Fourier dudit au moins un interférogramme de référence. 20 3067108 13\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de calcul d'une densité spectrale optique de référence correspondant à une moyenne de densités spectrales optiques calculées pour une pluralité de points de mesure de 5 l'échantillon (17).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que la moyenne de densités spectrales optiques est une moyenne pondérée en fonction d'un facteur de qualité des interférogram mes. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que la moyenne pondérée comprend des facteurs de pondération déterminés en utilisant le contraste des franges de l'interférogram me. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de visualisation et/ou d'identification de défauts de l'échantillon (17) en exploitant les informations de couleur.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de segmentation d'une image réalisée en exploitant les informations de couleur.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de segmentation et/ou d'identification de matériaux en exploitant les informations de couleur.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est mis en oeuvre avec un échantillon (17) de type substrat semiconducteur. 16 Système pour reconstituer une information de couleur d'un échantillon (17) mettant en oeuvre le procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, et comprenant un profilomètre optique (100) en lumière blanche agencé pour produire, en une pluralité de points de mesure dudit échantillon (17), une pluralité d'interférogram mes, lequel système étant caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens (19) agencés pour : - calculer, pour au moins un point de mesure, une densité spectrale optique de l'interférogram me, - déterminer, à partir de cette densité spectrale optique, une réflectance spectrale, et 3067108 14 - traiter ladite réflectance spectrale, de façon à générer une information de couleur dudit échantillon (17).