Brevet FR3073083A1 (20190503)

REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'un film (12), notamment monocristallin, sur un feuillet flexible (20), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : - la fourniture d'un substrat donneur (10), - la formation d'une zone de fragilisation (11) dans le substrat donneur (10) de sorte à délimiter le film (12), - la formation du feuillet flexible (20) par dépôt sur la surface du film (12), - le détachement du substrat donneur (10) le long de la zone de fragilisation (11), de sorte à transférer ledit film (12) sur le feuillet flexible (20).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel la formation de la zone de fragilisation (11) est réalisée par implantation d'espèces ioniques dans le substrat donneur (10).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2, dans lequel les espèces ioniques implantées sont de l'hydrogène et/ou de l'hélium.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le détachement du substrat donneur (10) est provoqué par un traitement thermique.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le film (12) est en un matériau choisi parmi : les matériaux semi-conducteurs, les matériaux piézoélectriques, les matériaux magnétiques et les oxydes fonctionnels.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel l'épaisseur du film (12) est comprise entre 100 nm et 10 pm, de préférence entre 100 nm et 1 pm.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel le feuillet flexible (20) est en un matériau choisi parmi les métaux, les verres et les céramiques.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel le feuillet flexible (20) présente une épaisseur comprise entre 1 et 50 pm.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le dépôt du feuillet flexible (20) est mis en oeuvre par une des techniques suivantes : le dépôt physique en phase vapeur, le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt par électrodéposition, l'enduction centrifuge, le laquage et la projection. 13\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel le feuillet flexible (20) présente une rigidité (R) comprise entre 100 GPa.pm3 et 106 GPa.pm3, ladite rigidité étant définie par la formule : E x H3 R= 12 x (1 - v2) où E est le module d'Young du matériau du feuillet, H l'épaisseur dudit feuillet et v le 5 coefficient de Poisson.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 10, comprenant, avant la formation du feuillet flexible (20), la formation d'une couche intermédiaire (21) par dépôt sur la surface du film (12). 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 11, dans lequel ladite couche intermédiaire (21) est configurée pour augmenter l'adhérence du feuillet flexible (20) vis-à-vis du film (12). 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 11 ou 12, dans lequel ladite couche intermédiaire forme un contact électrique avec le film (12).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 13, comprenant en outre, après le détachement du substrat donneur, le dépôt d'un film additionnel (13) sur la face du film 20 transféré (12) opposée au support (20).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel le reliquat (10') du substrat donneur à l'issue du détachement est recyclé en vue de la mise en oeuvre d'un nouveau film (12). 25\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 15, dans lequel le substrat donneur présente une surface non plane obtenue avant la formation de la zone de fragilisation (11) et dans lequel, avant le recyclage, le reliquat du substrat donneur est soumis à une opération de régénération de sa surface impliquant un enlèvement de matière sensiblement nul ou 30 conforme à la topologie dudit reliquat (10').\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 16, dans lequel le substrat donneur comprend une pluralité de pavés (1001) agencés à la surface d'une plaquette (1000), chaque pavé (1001) comprenant une zone de fragilisation (1011) délimitant un 35 film respectif (1012) à transférer, et le feuillet flexible (20) est déposé sur la surface de l'ensemble desdits pavés (1001).