Brevet FR3066816A1 (20181130)

REVENDICATIONS1. Dispositif de mesure de la déformation d'au moins une surface 5 réfléchissante (10) d'un objet, ledit dispositif comprenant au moins un motif d'éclairage (21) composé de points lumineux (22), une caméra (30,\n<CLM>\1\tet un dispositif d'analyse d'images (40), le motif d'éclairage et la caméra étant agencés de façon qu'en position de mesure de la déformation de ladite surface, l'image (24) du motif de points soit visible par le détecteur de la 10 caméra au travers de la surface, la ladite image étant représentative de la déformation de la zone éclairée (11) de la surface par le motif d'éclairage, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte des moyens de réalisation d'au moins deux mesures, chaque mesure comportant l'émission d'un motif d'éclairage, lesdits moyens de réalisation des deux 15 mesures étant agencés de façon que le premier motif d'éclairage associé à la première mesure éclaire une première zone de la surface différente de la seconde zone de la surface éclairée par le second motif d'éclairage associé à la seconde mesure, la caméra étant fixe entre les deux mesures. 20\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de réalisation comportent des moyens de déplacement (50) de l'objet dans un plan déterminé entre les deux mesures et des moyens de mesure dudit déplacement. 25\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de déplacement de l'objet dans ledit plan sont des moyens de déplacement en rotation ou en translation.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications 30 précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comprend des moyens de déplacement, de déformation ou de grandissement du motif d'éclairage.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications 35 précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte un 3066816 13 écran de visualisation (20) et des moyens de génération graphique dudit motif d'éclairage sur ledit écran de visualisation.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications 1 à 4, 5 caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte une source d'éclairage éclairant un écran opaque comportant des ouvertures agencées de façon à former ledit motif d'éclairage.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications 10 précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte un séparateur optique (60) plan semi-réfléchissant agencé de façon que l'image du motif de points, après transmission par ledit séparateur optique, réflexion sur la surface et réflexion sur ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra ou après réflexion sur ledit séparateur optique, 15 réflexion sur la surface et transmission par ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte des 20 moyens de réalisation d'une pluralité de mesures réalisant une cartographie complète de la déformation de ladite surface.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le motif d'éclairage comporte au moins 25 deux points lumineux.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le motif d'éclairage comporte un ensemble de points lumineux répartis sur une matrice.\n<CLM>\1\tDispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'objet est une plaquette de semiconducteur ou « wafer », la surface réfléchissante étant l'une des faces de ladite plaquette. 30 35\n<CLM>\1\tUtilisation d'un dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, pour le suivi d'un traitement entrainant une 3066816 14 déformation de la surface réfléchissante d'un objet dans un bâti de croissance, caractérisé en ce que les mesures sont effectuées pendant le dépôt d'au moins une couche de matériau sur ladite surface réfléchissante.\n<CLM>\1\tUtilisation d'un dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes dans un dispositif de contrôle de plaquettes de semi-conducteurs, caractérisé en ce que les mesures sont effectuées en continu sur au moins deux objets différents.