Brevet FR3075953A1 (20190628)

REVENDICATIONS1. Capteur de motifs thermiques (100; 200; 200') comportant une matrice de pixels, chaque pixel comportant au moins une capacité pyroélectrique, formée par une portion en matériau pyroélectrique disposée entre une électrode dite de collecte de charges (121) et une électrode dite de référence, et la matrice de pixels comportant, superposés au-dessus d'un substrat (110; 110'; 210; 210';\n<CLM>\1\t: - un étage (120; 220; 220') d'électrodes de collecte de charges, comportant les électrodes de collecte de charge de chacun des pixels ; - un étage (130; 230; 230') comprenant un matériau pyroélectrique, comportant les portions en matériau pyroélectrique de chacun des pixels ; et - une couche de protection (180; 280), formant une couche externe de la matrice de pixel ; la matrice de pixels comportant en outre un étage dit de blindage électromagnétique (140; 240; 240'), électriquement conducteur, situé entre l'étage (130; 230; 230') comprenant un matériau pyroélectrique et la couche de protection (180;\n<CLM>\1\t; caractérisé en ce que l'étage de blindage électromagnétique (140; 240; 240') comprend une couche, dite couche d'isolation (141; 141' ; 341), et une pluralité de plots (142; 142' ; 242;\n<CLM>\1\trépartis dans la couche d'isolation, les plots présentant une conductivité thermique supérieure à celle de la couche d'isolation.\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque pixel de la matrice de pixels comporte une portion de l'étage de blindage électromagnétique (140; 240; 240'), ladite portion recevant un unique plot (142; 142'; 242; 242'; 342).\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les plots (142; 142'; 242; 242';\n<CLM>\1\tde l'étage de blindage électromagnétique présentent une conductivité thermique au moins dix fois supérieure à celle de la couche d'isolation (141; 141' ; 341). 22\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les plots (142; 142'; 242; 242' ;\n<CLM>\1\tcomprennent du métal ou du graphène, et la couche d'isolation (141; 141';\n<CLM>\1\t5 comprend au moins un polymère électriquement conducteur.\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon la revendication 4, caractérisé en ce que les plots (142; 142'; 242; 242';\n<CLM>\1\tcomprennent de l'argent, et la couche d'isolation (141; 141';\n<CLM>\1\tcomprend un mélange de poly(3,4-éthylènedioxythiophène) 10 et de poly(styrène sulfonate) de sodium, nommé PEDOT : PSS.\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les plots (142; 142'; 242; 242' ;\n<CLM>\1\ts'enfoncent chacun sur plus de la moitié de l'épaisseur de la couche d'isolation (141; 141'; 15 341).\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon la revendication 6, caractérisé en ce que les plots (142; 242; 242' ;\n<CLM>\1\ts'enfoncent chacun sur toute l'épaisseur de la couche d'isolation (141; 341). 20\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (100; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les plots (142; 142' ; 242; 242';\n<CLM>\1\tprésentent chacun un diamètre compris entre 10 um et 120 um, le diamètre d'un plot étant la plus grande longueur mesurée selon un axe rectiligne, sur ce plot, dans un plan parallèle à une 25 face supérieure ou inférieure du substrat.\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que : - chaque pixel comporte en outre un élément de chauffage, apte à chauffer par effet Joule la portion en matériau pyroélectrique dudit pixel ; et 23 - un étage de chauffage (270; 270'), comportant les éléments de chauffage de chacun des pixels, s'étend dans la matrice de pixels entre l'étage comprenant un matériau pyroélectrique (230; 230') et la couche de protection (180; 280). 5\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (200; 200') selon la revendication 9, caractérisé en ce que : - les éléments de chauffage d'une même ligne de pixels sont formés ensemble d'un seul tenant, en une même bande de chauffage (271) ; - les électrodes de collecte de charges d'une même colonne de pixels sont formées 10 ensemble d'un seul tenant, en une même macro-électrode de collecte de charges (221) ; et - chaque plot (242) de l'étage de blindage électromagnétique (240; 240') s'étend à travers une région d'intersection entre une projection d'une bande de chauffage (271) et une projection d'une macro-électrode de collecte de charges (221), lesdites 15 projections étant des projections orthogonales dans un plan parallèle à une face supérieure ou inférieure du substrat (210; 210').\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (200) selon la revendication 9 ou 10, caractérisé en ce que la matrice de pixels comporte, superposés : 20 - l'étage d'électrodes de collecte de charges (220) ; - l'étage comprenant un matériau pyroélectrique (230) ; - l'étage de blindage électromagnétique (240), formant en outre les électrodes de référence des pixels de la matrice de pixels ; - une couche d'isolation électrique (260) ; 25 - l'étage de chauffage (270) ; et - la couche de protection (280).\n<CLM>\1\tCapteur de motifs thermiques (200') selon la revendication 9 ou 10, caractérisé en ce que la matrice de pixels comporte, superposés : 24 5 - l'étage d'électrodes de collecte de charges (220') ; formant en outre les - l'étage comprenant un matériau pyroélectrique (230') ; - l'étage de chauffage (270'), les éléments de chauffage électrodes de référence des pixels de la matrice de pixels ; - une couche d'isolation électrique (260') ; - l'étage de blindage électromagnétique (240') ; et - la couche de protection (280').\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication de la matrice de pixels d'un capteur de motifs thermiques 10 (100; 200; 200') selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce qu'une étape de réalisation de l'étage de blindage électromagnétique (140; 240; 240') comprend les étapes suivantes : - dépôt de la couche d'isolation (341), de sorte qu'elle s'étende sans ouverture au-dessus du substrat (310) ; 15 - dépôt, sur ladite couche d'isolation, d'une encre (344) comprenant des particules en suspension dans un solvant, le solvant étant apte à dissoudre localement la couche d'isolation ; et - évacuation du solvant, pour former les plots (342) de l'étage de blindage électromagnétique, répartis dans la couche d'isolation (341).