Brevet FR3079761A1 (20191011)

REVENDICATIONS1. Embout (1) de nettoyage et de ramassage de débris de plaquettes à base de matériaux semi-conducteurs et/ou de verre, caractérisé en ce qu'il comporte : - un corps principal d'aspiration (2), comprenant une partie centrale (3), pourvue d'une face externe (3a) et d'une face interne (3b) opposée à la face externe (3a), et une partie périphérique (4) reliée à la partie centrale (3) de sorte à définir ensemble une cavité d'aspiration (5) des débris, - un élément creux de raccordement (6) à un dispositif d'aspiration, solidarisé à la face externe (3a) de la partie centrale (3) du corps principal d'aspiration (2), et comprenant une ouverture traversante (7) communiquant fluidiquement avec la cavité d'aspiration (5) au travers d'une ouverture (8) de la partie centrale (3) et dans laquelle est apte à circuler un flux d'aspiration provenant du dispositif d'aspiration, - une pluralité d'éléments de fragmentation (9,\n<CLM>\1\tdes débris situés sur la face interne (3b) de la partie centrale (3) du corps principal d'aspiration (2).\n<CLM>\1\tEmbout selon la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments de fragmentation (9,\n<CLM>\1\tcomprennent des pointes de fragmentation (9) permettant la casse des débris.\n<CLM>\1\tEmbout selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les éléments de fragmentation (9,\n<CLM>\1\tcomprennent des lames de fragmentation (10) permettant la casse des débris et le guidage des débris vers l'ouverture (8) de la partie centrale (3).\n<CLM>\1\tEmbout selon la revendication 3, caractérisé en ce que les lames de fragmentation (10) sont disposées sur la face interne (3b) de la partie centrale (3) de sorte à s'étendre depuis l'ouverture (8) de la partie centrale (3) vers la jonction entre la partie centrale (3) et la partie périphérique (4). 25 30 11\n<CLM>\1\tEmbout selon les revendications 2 et 4, caractérisé en ce que les lames de fragmentation (10) sont espacées les unes des autres de sorte à définir entre elles des espaces angulaires de fragmentation (E) dans lesquels sont disposés une pluralité de pointes de fragmentation (9), notamment au moins trois pointes de 5 fragmentation (9).\n<CLM>\1\tEmbout selon la revendication 5, caractérisé en ce que, au sein d'un même espace angulaire de fragmentation (E), la distance (D) entre deux pointes de fragmentation (9) est comprise entre 30 mm et 100 mm. 10\n<CLM>\1\tEmbout selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les éléments de fragmentation (9,\n<CLM>\1\tsont réalisés en métal, notamment en acier. 15\n<CLM>\1\tEmbout selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la partie périphérique (4) comporte une pluralité d'orifices de dépression (11) permettant la création de la dépression nécessaire à l'évacuation des débris. 20\n<CLM>\1\tEmbout selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément creux de raccordement (6) comporte un segment creux (12) associé à une rotule (13) pour permettre un changement d'orientation de l'embout en fonctionnement.\n<CLM>\1\tEmbout selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le corps principal d'aspiration (2) loge une turbine rotative d'aspiration (14), pourvue de pales (15), entraînée en rotation par le flux d'aspiration en provenance du dispositif d'aspiration. 12\n<CLM>\1\tEmbout selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le corps principal d'aspiration (2) et l'élément creux de raccordement (6) sont réalisés en matériau polymère. 5\n<CLM>\1\tEmbout selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la partie périphérique (4) comporte un joint d'étanchéité de protection périphérique (16) destiné à empêcher toute projection de débris récupérés par l'embout (1) vers l'extérieur. 10\n<CLM>\1\tDispositif d'aspiration, caractérisé en ce qu'il comporte : - un tube d'aspiration dans lequel circule un flux d'aspiration, - un embout (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, monté sur le tube d'aspiration.