Brevet FR3073661A1 (20190517)

REVENDICATIONS1. Aimant permanent comprenant : - une couche antiferromagnétique (40 ; 94), - une couche ferromagnétique (42 ; 84; 96, 104; 122), la direction d'aimantation de la couche ferromagnétique étant figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique, cette couche ferromagnétique comportant : - une première sous-couche (44, 48 ; 86, 90; 108,\n<CLM>\1\ten contact avec la couche antiferromagnétique ou seulement séparée de la couche antiferromagnétique par une sous-couche ferromagnétique intermédiaire (124,\n<CLM>\1\tdont l'épaisseur est inférieure à 2 nm, l'épaisseur de cette première sous-couche étant supérieure à 2 nm, cette première sous-couche étant réalisée dans un premier type de matériau ferromagnétique, le premier type de matériau ferromagnétique étant un alliage de fer et de cobalt au moins en partie cristallisé, et - une deuxième sous-couche (46 ; 88; 110,\n<CLM>\1\tséparée de la couche antiferromagnétique par la première sous-couche, l'épaisseur de cette deuxième sous-couche étant supérieure à 2 nm, cette deuxième sous-couche étant réalisée dans un second type de matériau ferromagnétique, caractérisé en ce que le second type de matériau ferromagnétique est aussi un alliage de fer et de cobalt dans lequel la proportion de cristaux cubiques à face centrée est inférieure à la proportion de cristaux cubiques à face centrée dans le premier type de matériau ferromagnétique.\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 1, dans lequel : - la proportion, en pourcentage atomique, de fer dans le premier type de matériau est égale à la proportion, en pourcentage atomique, de fer dans le deuxième type de matériau, et - la proportion, en pourcentage atomique, de cobalt dans le premier type de matériau 30 est égale à la proportion, en pourcentage atomique, de cobalt dans le deuxième type de matériau.\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 2, dans lequel : - la première sous-couche (44,\n<CLM>\1\test obtenue à l'aide d'un procédé de dépôt par 35 pulvérisation, et - la deuxième sous-couche (46) est obtenue à l'aide du même procédé de dépôt par pulvérisation mais configuré pour obtenir une vitesse de dépôt de la deuxième sous-couche cinq fois plus petite que la vitesse de dépôt de la première sous-couche. 40\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 1, dans lequel : 22 - dans le premier type de matériau, les proportions, en pourcentage atomique, de fer et de cobalt sont, respectivement, inférieure à 40 % et supérieure à 60 %, et - dans le second type de matériau, les proportions, en pourcentage atomique, de fer et de cobalt sont, respectivement, supérieure à 50 % et inférieure à 50 %. 5\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les proportions, en pourcentage atomique, de fer et de cobalt dans le second type de matériau sont égales, respectivement à x % et y %, où x est compris entre 60 et 70 et y est compris entre 30 et\n<CLM>\1\t10\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel : - l'aimant permanent comporte un empilement de N motifs (34 ; 82 ; 92;\n<CLM>\1\tempilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, où N est un nombre entier supérieur ou égal à deux, chaque motif comportant : 15 - un exemplaire de ladite couche antiferromagnétique réalisée en matériau antiferromagnétique, - un exemplaire de ladite couche ferromagnétique réalisée en matériau ferromagnétique et dont la direction d'aimantation est figée par couplage d'échange avec l'exemplaire de ladite couche antiferromagnétique de ce motif 20 - les directions d'aimantation des différents exemplaires de la couche ferromagnétique de tous les motifs étant toutes identiques les unes aux autres.\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 6, dans lequel : - la direction d'aimantation de l'exemplaire de ladite couche ferromagnétique de N-1 25 motifs est également figée par un couplage d'échange avec l'exemplaire de ladite couche antiferromagnétique d'un motif immédiatement adjacent dans l'empilement, et - chaque exemplaire de ladite couche ferromagnétique dans chacun de ces N-1 motifs comporte un troisième sous-couche (48 ;\n<CLM>\1\ten contact avec l'exemplaire de la couche antiferromagnétique du motif adjacent ou seulement séparée de cet exemplaire de ladite couche antiferromagnétique du motif adjacent par une sous-couche intermédiaire en matériau ferromagnétique dont l'épaisseur est inférieure à 2 nm, la deuxième sous-couche (46 ;\n<CLM>\1\tétant interposée entre les première et troisième sous-couches (44, 48 ; 86, 90), l'épaisseur de cette troisième sous-couche étant supérieure à 2 nm, et la troisième sous-couche étant réalisée dans le premier type de matériau ferromagnétique.\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 6 ou 7, dans lequel N est un nombre entier supérieur ou égal à cinq ou dix. 23\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la proportion de cristaux cubiques à face centrée dans le premier type de matériau ferromagnétique est 1,1 fois supérieure à la proportion de cristaux cubiques à face centrée dans le second type de matériau ferromagnétique. 5\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'épaisseur de la sous-couche intermédiaire (124,\n<CLM>\1\ten matériau ferromagnétique est inférieure à 1 nm. 10\n<CLM>\1\tCapteur de champ magnétique comportant : - un substrat (12) s'étendant essentiellement dans un plan appelé « plan du substrat », - au moins un aimant (20-22) permanent déplaçable par rapport au substrat en réponse à une variation de l'amplitude ou de la direction d'un champ magnétique à 15 mesurer, - un transducteur (24-25) fixé sur le substrat, apte à convertir un déplacement de l'aimant permanent en une grandeur électrique représentative de l'amplitude ou de la direction du champ magnétique à mesurer, caractérisé en ce que l'aimant permanent est conforme à l'une quelconque des 20 revendications précédentes.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un aimant permanent conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 10, ce procédé comportant la formation (70) d'un empilement comportant, empilés l'un sur l'autre dans une direction d'empilement, : 25 - une couche antiferromagnétique, et - une couche ferromagnétique comportant : - une première sous-couche en contact avec la couche antiferromagnétique ou séparée de la couche antiferromagnétique par une sous-couche intermédiaire en matériau ferromagnétique dont l'épaisseur est inférieure à 2 nm, l'épaisseur 30 de cette première sous-couche étant supérieure à 2 nm, cette première sous- couche étant réalisée dans un premier type de matériau ferromagnétique, le premier type de matériau ferromagnétique étant un alliage de fer et de cobalt au moins en partie cristallisé, et - une deuxième sous-couche séparée de la couche antiferromagnétique par la 35 première sous-couche, l'épaisseur de cette deuxième sous-couche étant supérieure à 2 nm, cette deuxième sous-couche étant réalisée dans un second type de matériau ferromagnétique, caractérisé en ce que le second type de matériau ferromagnétique est aussi un alliage de fer et de cobalt dans lequel la proportion de cristaux cubiques à face 24 centrée est inférieure à la proportion de cristaux cubiques à face centrée dans le premier type de matériau ferromagnétique.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 12, dans lequel l'étape de formation de 5 l'empilement comporte : - le dépôt de la première sous-couche à l'aide d'un procédé de dépôt par pulvérisation, et - le dépôt de la deuxième sous-couche à l'aide du même procédé de dépôt par pulvérisation mais configuré pour obtenir une vitesse de dépôt de la deuxième sous-10 couche cinq fois plus petite que la vitesse de dépôt de la première sous-couche.