Brevet FR3069542A1 (20190201)

REVENDICATIONS1. Agent de réticulation d'une résine, dont la réaction de réticulation est catalysée par un acide, et activée thermiquement, caractérisé en ce qu'il se présente sous la forme d'un composé présentant un équilibre céto-énolique.\n<CLM>\1\tAgent de réticulation selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une fonction énolique stable ou au moins une fonction « ènediol » stable, dans sa structure chimique.\n<CLM>\1\tAgent de réticulation selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il présente des propriétés anti-oxydantes / réductrices vis-à-vis des fonctions chimiques présentes dans la chaine de (co)polymère de la résine à réticuler.\n<CLM>\1\tAgent de réticulation selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il est choisi parmi l'un au moins des composés suivants : acide ascorbique et ses dérivés comme l'ascorbate de sodium ou de magnésium ou l'ascorbylphosphate de sodium, de magnésium, ou d'ammonium , ainsi que les différents isomères (diastéréoisomères, énantiomères) possible de l'acide ascorbique ; l'acide urique ; le phénol et les dérivés phénoliques comme l'hydroquinone, le resorcinol ; la 2,4- pentanedione ; le malonaldéhyde (propanedial) ; le tartronaldéhyde (2- hydroxypropanedial) ; la furanone ; et de façon plus générale, les réductones.\n<CLM>\1\tComposition de résine comprenant un (co)polymère, un solvant polaire protique ou polaire aprotique, et un agent de réticulation, ledit (co)polymère et ledit agent de réticulation étant solubles dans ledit solvant, ladite composition étant caractérisée en ce que l'agent de réticulation est conforme à l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t6. Composition selon la revendication 5, caractérisée en ce que l'agent de réticulation est présent dans la composition à un taux inférieur ou égal à 10% massique du poids total de la composition.\n<CLM>\1\tComposition de résine selon l'une des revendications 5 à 6, caractérisée en ce que le solvant ou mélange de solvants est choisi de telle sorte que sa polarité est supérieure ou égale à 10 (MPa)1/2 et que sa puissance de donneur de liaison hydrogène est supérieure à 10 (MPa)1/2. Ref :0536-ARK86 15\n<CLM>\1\tComposition de résine selon la revendication 7, caractérisée en ce que le solvant polaire aprotique ou polaire protique est choisi parmi les alcools, comme le méthanol, l'éthanol, l'isopropanol ou l'hexafluoroisopropanol ; l'eau ; le dimethylsulfoxide, l'acétonitrile, le carbonate de propylène, le diméthylformamide, le 5 diméthylacétamide.\n<CLM>\1\tComposition de résine selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisée en ce que les chaines de polymère présentent des comonomères de type époxy/oxirane, éthers de vinyle, ou lactone, aptes à engendrer une réaction de réticulation desdites chaines de polymères par une catalyse de type acido-basique, et dont ladite réaction 10 de réticulation est activée thermiquement.\n<CLM>\1\tUtilisation de la composition selon l'une des revendications 5 à 9 pour des applications de lithographie dans le domaine de la microélectronique.\n<CLM>\1\tFilm de polymère réticulé sur un substrat, obtenu à partir d'une composition de résine selon l'une des revendications 5 à 9, ledit film étant caractérisé en ce qu'il est 15 obtenu par réticulation à une température inférieure à 350°C, et façon préférée inférieure à 250°C, avec une cinétique inférieure à 5 minutes, et de préférence, inférieure ou égale à 3 minutes.\n<CLM>\1\tFilm de polymère réticulé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il présente une épaisseur inférieure ou égale à 500nm, et de préférence inférieure ou 20 égale à 150 nm. Ref :0536-ARK86