Brevet FR3070487A1 (20190301)

REVENDICATIONS1. Détecteur (200) de rayonnement électromagnétique comportant : une microplanche (103) suspendue au-dessus d'un substrat semiconducteur (101) par des bras d'isolation thermique (105a, 5 105b), la microplanche comprenant un élément de conversion d'un rayonnement électromagnétique en énergie thermique et un thermomètre couplé thermiquement à l'élément de conversion ; et une inductance (201) agencée pour appliquer un champ magnétique (B) à la microplanche et/ou aux bras d'isolation 10 thermique.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 1, dans lequel l'inductance (201) est formée dans une couche métallique (115) disposée sur la face supérieure du substrat semiconducteur (101), entre la face supérieure du substrat semiconducteur (101) 15 et la microplanche (103).\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 2, dans lequel ladite couche métallique (115) est réfléchissante pour le rayonnement électromagnétique à détecter.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 3, dans 20 lequel la microplanche (103) et la couche métallique (115) définissent une cavité résonnante pour le rayonnement électromagnétique à détecter.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel l'élément de conversion est une 25 couche (707) absorbante pour le rayonnement électromagnétique à détecter, et le thermomètre est formé dans une couche (721) de résistivité électrique variable en fonction de la température.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 5, dans lequel la couche absorbante (707) et la couche de résistivité 30 électrique variable (721) sont des couches distinctes en des matériaux distincts.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 5, dans lequel la couche absorbante (707) et la couche de résistivité électrique variable (721) sont confondues. B16190 - DD18076 25\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel la microplanche (103) comprend une couche en un matériau ferromagnétique.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon l'une quelconque des 5 revendications 1 à 7, comprenant en outre un ou plusieurs plots en un matériau ferromagnétique disposés sur ou au voisinage de la microplanche (103).\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, comprenant un circuit de contrôle (102) 10 formé dans et sur le substrat semiconducteur (102), le circuit de contrôle étant connecté au thermomètre de la microplanche (103) par l'intermédiaire des bras d'isolation thermique (105a, 105b).\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 10, dans lequel l'élément de conversion est une couche (707) électriquement 15 conductrice, et dans lequel la connexion électrique entre le circuit de contrôle (102) et le thermomètre est réalisée par un prolongement de ladite couche électriquement conductrice dans les bras d'isolation thermique (105a, 105b).\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 10 ou 11, 20 dans lequel le circuit de contrôle (102) est en outre connecté aux extrémités de l'inductance (201).\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel la microplanche (103) et les bras d'isolation thermique (105a, 105b) sont disposés dans une 25 cavité (113) fermée par un capot (111) transparent au rayonnement à détecter.\n<CLM>\1\tDétecteur (200) selon la revendication 13, dans lequel la cavité (113) est à une pression inférieure à la pression atmosphérique.