Brevet FR3071973A1 (20190405)

REVENDICATIONS1. Une traversée (16) hermétique et électriquement isolante pour le passage d'une liaison électrique au travers d'une paroi métallique d'un dispositif électrique, dans laquelle : - la paroi comprend un substrat métallique (10) avec une première face (12) et une seconde face (14) opposée, - ladite liaison électrique comprend un élément traversant métallique (40) formé dans le matériau du substrat en s'étendant en direction transversale dans l'épaisseur du substrat d'une face à l'autre de celui-ci, et l'élément traversant étant un élément en forme d'ilot de contour fermé, physiquement et électriquement isolé du substrat ; et - la traversée comprend en outre une interface de couplage de l'élément traversant au substrat, pour assurer à -la fois un assujettissement mécanique de l'élément traversant au substrat et une isolation électrique entre l'élément traversant et le substrat, caractérisée en ce que : - ladite interface de couplage comprend au moins une couche latérale-périphérique (42) en matériau électriquement isolant ; - en direction latérale, ladite couche latérale enveloppe l'élément traversant sur toute sa périphérie et, en direction transversale, s'étend sur l'épaisseur du substrat, le substrat, l'élément traversant et la couche latérale formant un ensemble monolithique ; et - ladite couche latérale assure essentiellement et directement à la fois ledit assujettissement mécanique de l'élément traversant au substrat et ladite isolation électrique entre l'élément traversant et le substrat.\n<CLM>\1\tLa traversée de la revendication 1, dans laquelle la traversée est située sur une partie (44) d'épaisseur réduite du substrat (10).\n<CLM>\1\tLa traversée de la revendication 1, dans laquelle le matériau du subs- trat métallique (10) et de l'élément traversant métallique (40) est un matériau appartenant- à la classe des matériaux biocompatibles, biostables et résistants à la corrosion. 26\n<CLM>\1\tLa traversée de la revendication 3, dans laquelle le matériau biocompatible, biostable et résistant à la corrosion est le titane.\n<CLM>\1\tLa traversée de la revendication 1, dans laquelle le matériau électri- 5 quement isolant de la couche latérale périphérique (42) est un oxyde du matériau du substrat métallique (10) et de l'élément traversant (40).\n<CLM>\1\tLa traversée de la revendication 1, dans laquelle ladite interface de couplage comprend au moins deux couches latérales périphériques (42, 10\n<CLM>\1\ten matériau électriquement isolant, concentriques.\n<CLM>\1\tLa traversée de la revendication 6, dans laquelle la traversée comprend une structure de condensateur couplée à ladite liaison électrique, ladite structure de condensateur comprenant trois couches latérales (40, 15 42, 10; 40, 42, 50; 50, 48,\n<CLM>\1\tconcentriques avec successivement : - une couche conductrice intérieure (40; 40;\n<CLM>\1\tformée dans le matériau du substrat, définissant une première armature du condensateur ; - une couche intercalaire (42; 42;\n<CLM>\1\ten matériau électriquement isolant, définissant un diélectrique du condensateur ; et 20 - une couche conductrice extérieure (10; 50;\n<CLM>\1\tformée dans le maté- riau du substrat, définissant une seconde armature du condensateur.\n<CLM>\1\tUn procédé de réalisation d'une traversée selon l'une des revendications 1 à 7, comprenant les étapes successives suivantes : 25 a) obtention d'un substrat métallique (10) ; b) détourage d'un ilot (40) dans le matériau du substrat, par creusement dans le matériau du substrat d'au moins une tranchée débouchante (52) s'étendant en direction transversale sur l'épaisseur du substrat de part en part de celui-ci, 30 ladite tranchée débouchante s'étendant en direction latérale sur toute la périphérie de l'ilot à l'exception de ponts radiaux (54) de matière maintenant l'ilot assujetti au reste du substrat ; c) oxydation contrôlée du matériau du substrat, incluant une oxydation (58,\n<CLM>\1\tdes parois latérales de la tranchée jusqu'à i) comblement complet du volume intérieur libre de la tranchée par croissance de 27 l'oxyde dans ce volume intérieur libre, et ii) oxydation complète du matériau des ponts radiaux ; et d) réalisation d'au moins une prise de contact pour ladite liaison électrique directement sur l'ilot. 5\n<CLM>\1\tLe procédé de la revendication 8, dans lequel : - il est prévu en outre, entre les étapes a) et b), une étape intermédiaire d'amincissement préalable du substrat dans la région de la traversée à réaliser ; et 10 - les étapes ultérieures du procédé sont exécutées dans la région amin- cie (44) du substrat.\n<CLM>\1\tLe procédé de la revendication 8, dans lequel l'étape b) comprend : - une première sous-étape de creusement, depuis une première face du 15 substrat, d'une tranchée borgne s'étendant en direction transversale sur une fraction de l'épaisseur du substrat, suivie de - une seconde sous-étape d'amincissement du substrat, depuis une seconde face opposée à la première face et en vis-à-vis de la tranchée borgne, sur une profondeur suffisante pour rejoindre la tranchée 20 borgne et la rendre traversante.\n<CLM>\1\tLe procédé de la revendication 8, dans lequel à l'étape b) la tranchée est creusée avec une largeur variable en fonction de la profondeur, élargie à proximité d'une première face du substrat et rétrécie vers une se- 25 conde face opposée du substrat, à proximité des ponts radiaux.\n<CLM>\1\tUn procédé de réalisation d'une traversée selon l'une des revendications 1 à 7, comprenant les étapes successives suivantes : a) obtention d'un substrat métallique (10) ; 30 b) détourage d'un ilot (40) dans le matériau du substrat, par creusement dans le substrat, depuis une première face (12) du substrat, d'au moins une tranchée borgne (72) s'étendant en direction transversale sur une fraction de l'épaisseur du substrat, ladite tranchée borgne s'étendant en direction latérale sur toute la pé- 35 riphérie de l'ilot ; 28 c) oxydation contrôlée du matériau du substrat, incluant une oxydation des parois latérales de la tranchée jusqu'à comblement de tout ou partie du volume intérieur libre de la tranchée par croissance de l'oxyde dans ce volume intérieur libre ; 5 d) creusement d'une gorge périphérique (78) dans le substrat depuis une seconde face (14) opposée à la première face, ladite gorge périphérique ayant en direction radiale une largeur et une position telles que la gorge (78) une fois creusée rejoigne la tranchée borgne oxydée (76) située en vis-à-vis, isolant ainsi électriquement 10 l'ilot du reste du substrat ; et e) réalisation d'au moins une prise de contact pour ladite liaison électrique directement sur l'ilot.\n<CLM>\1\tLe procédé de la revendication 12, dans lequel : 15 - à l'étape d) la position de la gorge périphérique (78) creusée présente un décalage en direction transversale du contour de la gorge périphérique par rapport au contour de la tranchée borgne oxydée (76) située en vis-à-vis ; et - il est prévu après creusement de la gorge une étape de gravure iso- 20 tropique sélective du matériau non oxydé du substrat jusqu'à mise à nu du matériau oxydé de la tranchée, de manière à ainsi isoler électriquement l'ilot du reste du substrat.\n<CLM>\1\tUn procédé de réalisation d'une traversée selon l'une des revendica- 25 tions 1 à 7, comprenant les étapes suivantes : a) obtention d'un substrat métallique (10) ; b) détourage dans le matériau du substrat d'un premier ilot (40a), par creusement dans le substrat, depuis une première face (12) du substrat, d'au moins une tranchée borgne (72) s'étendant en direction 30 transversale sur une fraction de l'épaisseur du substrat, ladite tranchée borgne (72) s'étendant en direction latérale sur toute la périphérie du premier ilot (40a) ; c) détourage dans le matériau du substrat d'un second ilot (40b), par creusement dans le substrat, depuis une seconde face (14) du subs- 35 trat opposée à la première face, d'au moins une gorge borgne (78) 29 s'étendant en direction transversale sur une fraction de l'épaisseur du substrat, ladite gorge borgne (78) s'étendant en direction latérale sur toute la périphérie du second ilot (40b), le contour du second ilot (40b) étant 5 proche du contour du premier ilot (40a), d) oxydation contrôlée du matériau du substrat, incluant une oxydation des parois de la tranchée (72) et de la gorge (78) sur une profondeur telle que, en direction radiale, la zone oxydée de la tranchée rejoigne la zone oxydée de la gorge, isolant ainsi électriquement les premier et 10 second ilots (40a, 40b) du reste du substrat. e) réalisation d'une prise de contact pour ladite liaison électrique directement sur l'un et/ou l'autre des premier et second ilots (40a, 40b).