Brevet FR3078164A1 (20190823)

REVENDICATIONS1. Détecteur pour la chromatographie en phase gazeuse, comprenant : - un résonateur de type nano-système électromécanique (NEMS) agencé dans un conduit fluidique adapté pour la circulation d'un analyte en provenance d'une colonne de chromatographie, ledit résonateur comprenant une couche fonctionnelle, - un dispositif de lecture configuré pour entraîner le résonateur en vibration à sa fréquence de résonance et pour mesurer une variation de ladite fréquence de résonance sous l'effet de l'adsorption ou de la désorption de l'analyte par la couche fonctionnelle, ledit détecteur étant caractérisé en ce qu'il comprend une enceinte dans laquelle le résonateur est encapsulé, ladite enceinte comprenant un orifice d'entrée et un orifice de sortie du conduit fluidique et une unité de régulation de la température adaptée pour contrôler la température à l'intérieur de l'enceinte.\n<CLM>\1\tDétecteur selon la revendication 1, dans lequel l'unité de régulation de la température comprend un élément chauffant.\n<CLM>\1\tDétecteur selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel l'unité de régulation de la température comprend un système de refroidissement.\n<CLM>\1\tDétecteur selon la revendication 3, dans lequel le système de refroidissement comprend un ventilateur ou une cellule Peltier.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 3 ou 4, dans lequel le système de refroidissement comprend un circuit fluidique de refroidissement.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel l'unité de régulation de la température est adaptée pour porter la température à l'intérieur de l'enceinte à une température comprise entre 20°C et 350°C.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel l'unité de régulation de la température est configurée pour faire varier la température à l'intérieur de l'enceinte selon un profil de température déterminé.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 7, comprenant en outre un catharomètre agencé dans le conduit fluidique, en amont ou en aval du résonateur. 20\n<CLM>\1\tDétecteur selon la revendication 8, dans lequel ledit catharomètre est agencé à l'intérieur de l'enceinte.\n<CLM>\1\tDétecteur selon la revendication 8, dans lequel ledit catharomètre est agencé 5 hors de l'enceinte.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le résonateur est agencé sur une portion d'un circuit imprimé en céramique ou en polyimide, l'enceinte comprenant un orifice adapté pour insérer dans l'enceinte la portion du circuit imprimé 10 comprenant le résonateur.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel le résonateur comprend une poutre en silicium dopé. 15\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel la couche fonctionnelle comprend une couche de SiOC.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel le conduit fluidique comprend une cavité ménagée dans un substrat, dans laquelle s'étend le 20 résonateur, et deux capillaires débouchant dans ladite cavité et s'étendant respectivement au travers de l'orifice d'entrée et de l'orifice de sortie de l'enceinte.\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 14, comprenant en outre un système de traitement configuré pour soustraire de la ligne de base de la réponse du 25 résonateur mesurée par le dispositif de lecture la ligne de base de la réponse du résonateur, dite réponse à blanc, préalablement mesurée en l'absence de circulation d'un fluide dans le conduit fluidique pour un même profil de température à l'intérieur de l'enceinte. 30\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 14, comprenant en outre au moins un second résonateur, dit résonateur de référence, encapsulé dans l'enceinte hors du conduit fluidique dans lequel circule l'échantillon, le dispositif de lecture étant configuré pour entraîner chacun des résonateurs en vibration à sa fréquence de résonance et pour mesurer une variation de la fréquence de résonance de chacun desdits résonateurs, le 35 détecteur comprenant en outre un système de traitement configuré pour soustraire du signal de réponse du résonateur exposé à l'échantillon le signal de réponse du résonateur de référence. 21\n<CLM>\1\tDétecteur selon l'une des revendications 1 à 16, dans lequel le dispositif de lecture est en outre configuré pour mesurer une variation de l'amplitude de résonance du résonateur. 5\n<CLM>\1\tSystème d'analyse de gaz comprenant une colonne de chromatographie en phase gazeuse et un détecteur selon l'une des revendications 1 à 17, dans lequel la colonne de chromatographie est agencée dans une enceinte découplée thermiquement de l'enceinte dans laquelle le résonateur est encapsulé. 10\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 18 dans sa relation de dépendance vis-à-vis de la revendication 7, dans lequel l'enceinte contenant la colonne de chromatographie comprend une unité de régulation de la température distincte de l'unité de régulation de la température du détecteur, lesdites unités de régulation étant configurées pour faire varier la température dans leur enceinte respective selon des profils différents. 15