Brevet FR3068976A1 (20190118)

REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'un film polymère, comprenant successivement : - une étape de dépôt d'une composition comprenant un polymère fluoré sur un substrat, de sorte à former une couche de polymère fluoré ; - une étape de traitement d'une partie de la couche de polymère fluoré par irradiation UV, selon un motif prédéterminé, de sorte à obtenir au moins une zone de polymère fluoré réticulé, et au moins une zone de polymère fluoré non-réticulé dans la couche de polymère fluoré ; - une étape de développement, par mise en contact de la couche de polymère fluoré avec un solvant, de sorte à éliminer les zones de polymère fluoré non-réticulé ; - une étape de rinçage, par mise en contact de la couche de polymère fluoré avec un liquide non-solvant pour le polymère fluoré.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de traitement est effectuée avec une dose de rayonnements UV n'excédant pas 10 J/cm2, de préférence 5 J/cm2 et de préférence encore 3 J/cm2 ; et de préférence essentiellement en l'absence d'oxygène.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le solvant lors de l'étape de développement est choisi parmi : le diméthylformam ide ; le diméthylacétam ide ; le diméthylsulfoxyde ; les cétones, notamment l'acétone, la méthyléthylcétone, la méthylisobutylcétone et la cyclopentanone ; les furanes, notamment le tétrahydrofurane ; les esters, notamment l'acétate de méthyle, l'acétate d'éthyle, l'acétate de propyle, l'acétate de butyle et l'acétate de propylène glycol méthyl éther ; les carbonates, notamment le diméthylcarbonate ; les phosphates, notamment le triéthylphosphate. 25\n<CLM>\1\t5. 10 15\n<CLM>\1\t20\n<CLM>\1\t8. 25\n<CLM>\1\t30\n<CLM>\1\t35 Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel l'étape de développement comprend une immersion de la couche de polymère fluoré dans un bain de solvant, de préférence à une température de 15 à 80°C, de manière plus particulièrement préférée de 20 à 60°C; et de préférence pendant une durée de moins de 15 minutes, de manière plus particulièrement préférée pendant une durée de moins de 10 minutes. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le solvant est mélangé avec un liquide non-solvant pour le polymère fluoré lors de l'étape de développement, la proportion de liquide non-solvant par rapport à la somme du solvant et du liquide non-solvant étant de préférence de 50 à 80 % en masse. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le non-solvant pour le polymère fluoré est un solvant protique, de préférence un alcool tel que l'éthanol ou l'isopropanol ou une solution aqueuse. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, comprenant une étape ultérieure de séchage, avec optionnellement un chauffage à une température de 30 à 150°C, de préférence de 50 à 140°C. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la composition comprend au moins un additif d'aide à la réticulation, de préférence un photo-amorceur et/ou un agent de réticulation. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la composition est dépourvue d'additif d'aide à la réticulation. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel le polymère fluoré comprend au moins un copolymère comprenant des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et/ou de trifluoroéthylène ; la proportion d'unités issues de monomères de trifluoroéthylène étant de préférence de 15 à 55 mol.% par rapport à la somme des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et de trifluoroéthylène. 26\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 10, dans lequel le copolymère comprend également des unités issues d'au moins un monomère fluoré X supplémentaire, qui de préférence comprend au moins un groupement chlore, brome ou iode. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 11, dans lequel le copolymère comprend une teneur totale en unités issues de monomères fluorés X de 1 à 20 mol.%, de préférence de 2 à 15 mol.%. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 11 ou 12 dans lequel le monomère fluoré X est choisi parmi le chlorotrifluoroéthylène et le chlorofluoroéthylène.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 11 à 13, dans lequel les 15 groupements partants des unités issues des monomères X sont partiellement remplacés par des groupements azotures dans le copolymère.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 14, comprenant une 20 étape de pré-traitement thermique de la couche de polymère fluoré avant l'étape de traitement par irradiation UV; et/ou une étape de post-traitement thermique de la couche de polymère fluoré entre l'étape de traitement par irradiation UV et l'étape de développement. 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 15, dans lequel la composition comprend : - un premier copolymère comprenant des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et/ou de 30 trifluoroéthylène ainsi que de monomères fluorés X comprenant au moins un groupement chlore, brome ou iode ; - un deuxième copolymère comprenant des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et/ou de trifluoroéthylène ainsi que de monomères fluorés X' 35 comprenant au moins un groupement chlore, brome ou iode, tout ou partie des groupements chlore, brome ou iode étant remplacés par des groupements azotures dans le copolymère. 27\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 16, dans laquelle les monomères fluorés X sont choisis parmi le chlorotrifluoroéthylène et le chlorofluoroéthylène ; et/ou les monomères fluorés X' sont 5 choisis parmi le chlorotrifluoroéthylène et le chlorofluoroéthylène ; et de préférence les monomères fluorés X et X' sont identiques.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 16 ou 17, dans laquelle le premier 10 copolymère comprend à la fois des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et des unités issues de monomères de trifluoroéthylène, la proportion d'unités issues de monomères de trifluoroéthylène étant de préférence de 15 à 55 mol.% par rapport à la somme des unités issues de monomères de fluorure 15 de vinylidène et de trifluoroéthylène ; et/ou le deuxième copolymère comprend à la fois des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et des unités issues de monomères de trifluoroéthylène, la proportion d'unités issues de monomères de trifluoroéthylène étant de préférence de 15 à 55 mol.% par 20 rapport à la somme des unités issues de monomères de fluorure de vinylidène et de trifluoroéthylène.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 16 à 18, dans laquelle le premier copolymère comprend une teneur totale en unités issues 25 de monomères fluorés X de 1 à 20 mol.%, de préférence de 2 à 15 mol.% ; et/ou le deuxième copolymère comprend une teneur totale en unités issues de monomères fluorés X' de 1 à 20 mol.%, de préférence de 2 à 15 mol.%. 30\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 16 à 19, dans lequel la composition comprend de 5 à 95 % en poids de premier copolymère et de 5 à 95 % en poids de deuxième copolymère ; de préférence de 30 à 70 % en poids de premier copolymère et de 30 à 70 % en poids de deuxième copolymère ; les teneurs 35 étant exprimées par rapport à la somme du premier copolymère et du deuxième copolymère.\n<CLM>\1\tFilm obtenu par un procédé selon l'une des revendications 16 à\n<CLM>\1\t28\n<CLM>\1\tDispositif électronique comprenant un film selon la revendication 21, le dispositif électronique étant de préférence choisi parmi les transistors à effet de champ, dispositifs de mémoire, les condensateurs, les capteurs, les actionneurs, les microsystèmes électromécaniques et les dispositifs haptiques.