Brevet FR3072788A1 (20190426)

REVENDICATIONS1. Source de rayonnement infrarouge (100) modulable qui comprend : - un support (400) pourvu d'une paroi (410) plane ; - une membrane (200) comprenant deux faces essentiellement parallèles dites, respectivement, face avant (210) et face arrière (220), la membrane (200) étant adaptée pour émettre un rayonnement infrarouge selon l'une et l'autre de ses faces, et maintenue en suspension par rapport au support (400), la face arrière (220) en regard et à une distance D de la paroi (410), ladite paroi (410) étant en outre adaptée pour réfléchir le rayonnement infrarouge susceptible d'être émis par la membrane (200) ; - des moyens d'actionnement électrostatique (300) adaptés pour faire varier la distance D; la membrane (200) et les moyens d'actionnement électrostatique (300) étant agencées de sorte que, pour chaque longueur d'onde, le rayonnement infrarouge émis par la face arrière (220), est réfléchi par la paroi (410), traverse la membrane (200) de sa face arrière (220) vers sa face avant (210) et interfère avec le rayonnement infrarouge émis par la face avant (210).\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 1, dans laquelle la membrane (200) comprend une couche émissive (230) qui, lorsqu'elle est traversée par un courant, chauffe et émet le rayonnement infrarouge.\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 2, dans laquelle la membrane (200) comprend de sa face avant (210) vers sa face arrière (220), une couche diélectrique avant (240), la couche émissive (230), et une couche diélectrique arrière (250).\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications 1 à 3, dans laquelle les moyens d'actionnement électrostatique (300) comprennent deux électrodes dites, respectivement, première électrode (420) et seconde électrode (430), disposées en 19 regard l'une de l'autre, et destinées, par application d'une différence de potentiel électrostatique entre lesdites électrodes, à faire varier la distance D.\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 4, dans laquelle la paroi (410) forme 5 la première électrode (420) et la seconde électrode (430) est en recouvrement de la face arrière (220), la seconde électrode (430) étant au moins partiellement transparente au rayonnement infrarouge susceptible d'être émis par la membrane (200).\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 5, dans laquelle la seconde électrode 10 (430) est ajourée de sorte que ladite seconde électrode (430) recouvre la face arrière (220) selon un facteur de recouvrement compris entre 40 % et 60 %.\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 6, dans laquelle la seconde électrode (430) présente au moins l'une des formes choisie parmi : une grille, une spirale circulaire, 15 une spirale rectangulaire, un serpentin.\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 6 ou 7, dans laquelle la seconde électrode (430) comprend une espèce métallique, avantageusement l'espèce métallique comprenant au moins l'un des éléments choisi parmi : cuivre, aluminium, tungstène or, 20 platine, argent, palladium, tantale, molybdène.\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 5, dans laquelle la seconde électrode (430) recouvre intégralement la face arrière (220), avantageusement, la seconde électrode (430) est faite d'oxyde transparent conducteur. 25\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications 1 à 9, dans laquelle la support (400) est une enceinte hermétiquement fermée, à l'intérieur de laquelle la membrane (200) est disposée, et dont l'environnement est maintenu à une pression inférieure à 10-2 mbar, préférentiellement comprise entre 10-3 mbar et 10-2 mbar. 30 20\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 9 en combinaison avec la revendication 4, dans laquelle l'une et/ou l'autre des électrodes comprend un piège adapté, dès lors qu'il est chauffé, pour piéger au moins en partie des espèces gazeuses susceptible d'être présentes dans l'enceinte, avantageusement l'une et/ou l'autre des 5 deux électrodes comprend du titane et/ou du zirconium.\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel la source 100 comprend en outre un filtre passe bande destiné à filtrer le rayonnement infrarouge émis par ladite source. 10\n<CLM>\1\tDispositif de détection photo acoustique de gaz comportant la source (100) selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t14. Dispositif de détection de gaz par spectroscopie infrarouge 15 comportant la source (100) selon l'une des revendications là\n<CLM>\1\t15. Procédé de fabrication d'une source de rayonnement infrarouge, le procédé comprenant : a) une étape de formation d'une membrane (200) comprenant deux 20 faces essentiellement parallèles dites, respectivement, face avant (210) et face arrière (220), la membrane (200) étant adaptée pour émettre un rayonnement infrarouge selon l'une et l'autre de ses faces, la membrane étant maintenue en suspension par rapport à un support (400), la face arrière (220) en regard et à une distance D d'une paroi (410), ladite paroi (410) étant en outre adaptée pour réfléchir le rayonnement infrarouge 25 susceptible d'être émis par la membrane (200) ; b) la formation de moyens d'actionnement électrostatique (300) adaptés pour faire varier la distance D ; la membrane (200) et les moyens d'actionnement électrostatique (300) étant agencées de sorte que, pour chaque longueur d'onde, le rayonnement infrarouge 30 émis par la face arrière (220), est réfléchi par la paroi (410), traverse la membrane (200) 21 de sa face arrière (220) vers sa face avant (210) et interfère avec le rayonnement infrarouge émis par la face avant (210).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 15, dans lequel l'étape a) 5 comprend la formation d'un empilement (20) sur une première face d'un substrat support (10), ledit empilement (20) étant destiné à former la membrane (200).\n<CLM>\1\tProcédé selon revendication 16, dans lequel le substrat support (10) est assemblé avec un second substrat support (40), l'assemblage étant 10 avantageusement hermétique, le second substrat support (40) comprenant une cavité (41) dont le fond forme la paroi (410), avantageusement la paroi (410) est tapissée d'une électrode (42) dite première électrode.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 17, dans lequel l'assemblage du 15 substrat support (10) et du second substrat support (40) est suivi de la formation d'une ouverture traversante (51) du substrat support (10) à partir d'une seconde face dudit substrat support (10) opposée à la première face, la formation de l'ouverture traversante (51) destinée à libérer la membrane (200). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 18, dans lequel l'étape b) comprend la formation d'une seconde électrode (26) en recouvrement de la membrane (200).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 19, dans lequel un capot (60) est 25 formé en recouvrement de l'ouverture traversante (51) par la seconde face du substrat support.