Brevet FR3073956A1 (20190524)

REVENDICATIONS1. Méthode d'acquisition d'au moins un hologramme d'un échantillon par holographie hors axe optique mettant en oeuvre un microscope électronique en transmission, ledit microscope comportant une source d'un faisceau électronique, au moins une lentille objectif, un porte-échantillon, au moins un biprisme à électrons et des moyens de déplacement du faisceau électronique en mode précession en amont du porte-échantillon et des moyens de compensation de la précession en aval du porte-échantillon, ladite méthode comportant l'activation des moyens de déplacement du faisceau électronique en mode de précession et des moyens de compensation de la précession et l'acquisition d'un hologramme dudit échantillon en mode précession.\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon la revendication 1, comportant, après mise en place de l'échantillon dans le microscope, dans une première phase, les étapes : - alignement du microscope électronique en mode holographie sans biprisme à électrons, - alignement du microscope électronique en mode précession, - vérification de la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image et la stabilité de la diffraction du microscope, - mise en place du biprisme à électrons dans le microscope et ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, - vérification de la stabilité de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image, dans une deuxième phase, l'acquisition d'au moins un hologramme.\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon la revendication 2, dans laquelle la stabilité de l'image de l'échantillon est considérée comme suffisante dans le plan image lorsque son déplacement est inférieur à la résolution de mesure voulue, et dans laquelle la stabilité de la diffraction est suffisante lorsque l'opérateur considère que elle est stable visuellement. 17\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon la revendication 2 ou 3, dans laquelle, si la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image et la stabilité de la diffraction du microscope, n'est pas suffisante, l'étape d'alignement en mode précession est au 5 moins en partie répétée.\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon la revendication 4, dans laquelle préalablement à la répétition de l'étape d'alignement en mode précession, la hauteur de l'échantillon par rapport à une lentille objectif est modifiée. 10\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 5, comportant, après la mise en place du biprisme à électrons dans le microscope et ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, une étape de vérification de la stabilité de l'image de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image. 15\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon la revendication 6, dans laquelle la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image est considérée comme suffisante lorsque le mouvement de l'échantillon est inférieur à la résolution spatiale voulue, et dans laquelle la stabilité de l'hologramme est suffisante lorsqu'il présente un contraste 20 d'au moins 5%.\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon la revendication 6 ou 7, dans laquelle si la stabilité de l'image n'est pas satisfaisante, l'étape d'acquisition d'au moins un hologramme est une acquisition d'hologrammes discrets. 25\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 8, dans laquelle le mode précession est activé au cours de l'étape d'alignement en mode holographie ou au plus tard au début de l'étape d'alignement en mode précession. 30 18\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 9, dans laquelle, lors de l'ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, l'angle de précession est non nul. 5\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 10, dans laquelle, lors de l'ajustement du réglage de la précession, ledit biprisme à électron est inséré. 10\n<CLM>\1\tMéthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 11, dans laquelle, au moins au début de la deuxième phase, l'angle de précession est réglé à une valeur donnée pour l'acquisition dudit au moins un hologramme.\n<CLM>\1\tMéthode d'obtention d'au moins une image de phase d'un 15 échantillon, comportant la méthode d'acquisition d'au moins un hologramme selon l'une des revendications 1 à 12, et une étape d'obtention d'au moins une image de phase par traitement dudit au moins un hologramme obtenu à la fin de la méthode d'acquisition.\n<CLM>\1\tMéthode de détermination d'au moins un champ physique d'un 20 échantillon comportant la méthode d'obtention d'au moins une image de phase selon la revendication précédente et une étape de traitement de ladite image de phase pour déterminer ledit champ physique.