Brevet FR3069372A1 (20190125)

REVENDICATIONS1. Dispositif d'imagerie (40, 42, 44), caractérisé en ce qu'il comporte : - une source (100) incohérente de rayons dont la fréquence est comprise entre 0,075 THz et 10 THz pour éclairer un objet, - un capteur (415,\n<CLM>\1\tde rayonnement provenant de l'objet, qui comporte une pluralité de zones sensibles aux rayonnements issus de la source et qui émet un signal électrique représentatif de l'intensité des rayons issus de la source atteignant chaque zone sensible du capteur, - au moins une optique (235,\n<CLM>\1\t« de microscope » ayant un facteur de grandissement supérieur à un et une résolution meilleure que quatre fois l'interpixel divisé par le grandissement, située sur le chemin optique des rayons émis par la source allant de la source au capteur de rayons en passant par l'objet.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque zone sensible du capteur de rayonnement est réalisé selon la technique du « Wafer-level packaging », ou WLP, en français assemblage au niveau du substrat.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel l'interpixel entre les zones sensibles du capteur de rayonnement est compris entre 300 et 800 lm.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 3, qui comporte au moins une lentille de forme non symétrique de révolution, par exemple une lentille cylindrique ou une lentille avec des surfaces polynomiales sur X et Y.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel au moins un système optique comporte une lentille optique asphérique.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel au moins un composant optique d'un système optique présente un traitement anti-reflet comportant des microstructures en forme de cônes ou de cratères.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la fréquence d'émission de la source incohérente est modulée.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la source incohérente comporte une source de bruit de type bruit thermique dans une résistance ou diode impatt. 22\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel chaque zone photosensible est un nano-transistor, le signal généré par la radiation THz est une différence de potentiel continue entre le Drain et la Source du nano-transistor mesuré en mode commun ou différentiel. 5\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 9, qui comporte une électronique de proximité pour polariser chaque nano-transistor par une tension de grille proche de sa tension de swing où le fonctionnement classique du transistor est le plus non linéaire. 10\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 10, dans lequel le signal redressé issu de chaque nano- transistor est amplifié en forçant une asymétrie des charges dans le canal du nano-transistor en injectant un courant dans le canal du transistor, entre le drain et la source et /ou en utilisant des motifs métallisés jouant le rôle d'antennes. 15\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 10 ou 11, dans lequel l'électronique de proximité comporte un circuit de compensation de l'offset généré par l'injection du courant entre le drain et la source de chaque nano-transistor, par exemple en utilisant un montage soustracteur. 20\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 12, qui comporte au moins un amplificateur faible bruit et faible drift qui amplifie le signal sur la dynamique d'un convertisseur analogique numérique.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 13, qui comporte un moyen de 25 synchronisation de la démodulation du signal avec le signal de modulation d'amplitude de la source.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 14, qui comporte un capteur des positions de l'objet à imager, par exemple en utilisant un encodeur.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 15, qui comporte une lame séparatrice, la polarisation incidente sur la lame séparatrice étant la polarisation en mode TM (acronyme de transverse mode pour mode transversal) dans lequel le champ est parallèle au plan d'incidence.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 16, qui comporte un moyen de mesure de l'intensité des rayonnements provenant de l'objet, et/ou de polarisation des rayons provenant de l'objet. 30 35