Brevet FR3072772A1 (20190426)

REVENDICATIONS1. Un capteur (80) comprenant : - un premier substrat (100) en matériau conducteur avec une face externe (102) et une face interne (104), comprenant : - une région active (106) déformable sous l'effet d'une sollicitation mécanique (P) appliquée sur la face externe, et - sur la face interne de la région active, un premier élément de transducteur (110), mobile sous l'effet de la déformation de la région active, - un second substrat (200) en matériau conducteur avec une face ex- terne (202) et une face interne (204) tournée vers la face interne du premier substrat, et comprenant une région active (206) ; - un second élément de transducteur (210) apte à coopérer avec le premier élément de transducteur (110) pour faire varier un paramètre électrique entre le premier et le second élément de transducteur sous l'effet de ladite sollicitation mécanique ; - une liaison (300) de solidarisation du premier substrat au second substrat, située à l'extérieur des régions actives ; - une première borne de capteur (84), électriquement couplée au premier élément de transducteur (110) ; et - une seconde borne de capteur (86), électriquement couplée au second élément de transducteur (210), caractérisé en ce que, pour au moins l'un (200) des substrats : - la région active (206) s'étend en direction transversale dans l'épaisseur du substrat (200) d'une face à l'autre de celui-ci ; - la région active (206) est en forme d'ilot de contour fermé, physique- ment et électriquement isolé du reste du substrat, l'une des bornes de capteur (86) étant électriquement reliée à l'ilot ; - il est prévu entre la région active (206) et le reste (212) du substrat une interface comprenant au moins une couche latérale périphérique (214) en matériau électriquement isolant propre à assurer à la fois un assu- jettissement mécanique de la région active au substrat et une isolation électrique entre la région active et le substrat, 29 la couche latérale périphérique (214) étant monolithique avec le reste du substrat (212) et avec la région active (206), enveloppant en direction latérale la région active (206) sur toute sa périphérie, et s'étendant en direction transversale sur l'épaisseur du substrat (200). 5\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel le matériau du premier (100) et du second substrat (200) est un matériau appartenant à la classe des matériaux biocompatibles, biostables et résistants à la corrosion. 10\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 2, dans lequel le matériau biocompa- tible, biostable et résistant à la corrosion est le titane.\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel le matériau électriquement isolant de la couche latérale périphérique (214) est un oxyde du ma- 15 tériau du substrat métallique.\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel la région active déformable (106) du premier substrat (100) est située sur une partie d'épaisseur réduite (112) du premier substrat. 20\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel : - la région active (206) du second substrat est une région située en vis-à-vis de la région active (106) déformable du premier substrat ; - le second élément de transducteur (210) est un élément disposé sur la 25 face interne de la région active (206) du second substrat en vis-à-vis du premier élément de transducteur (110) ; et - les premier et second éléments de transducteur (110,\n<CLM>\1\tsont des éléments de l'un parmi : un transducteur capacitif, un transducteur résistif, et un transducteur inductif. 30\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel : - la région active (106) déformable du premier substrat comprend une couche piézoélectrique ; et - les premier et second éléments de transducteur (110,\n<CLM>\1\tsont des surfaces opposées de la couche piézoélectrique, comprenant une sur- 30 face en contact avec la face interne de l'un des substrats, et une surface libre tournée à l'intérieur du capteur vers la face interne de l'autre substrat. 5\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel : - le capteur comporte en outre un composant électronique (400) incorporé au capteur et comprenant une première borne de composant et une seconde borne de composant ; et - ledit au moins un (200) des substrats comprend : 10 sur sa face interne, un évidement (216) logeant le composant élec- tronique; une autre interface, comportant au moins une autre couche latérale périphérique (218) définissant un autre ilot (220) isolé de l'ilot (206) et du reste (212) du substrat ; et 15 - une liaison électrique (402) de la première borne de composant à l'autre ilot (220), et une liaison électrique (404) de la seconde borne de composant au reste du substrat (212) ou à l'ilot.\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel la liaison de solidarisation 20 est une liaison soudée des premier et second substrats entre eux.\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel la liaison de solidarisation comprend entre le premier substrat et le second substrat une couche intercalaire (300) de scellement.\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 10, dans lequel le matériau de la couche intercalaire de scellement (300) est un matériau électriquement conducteur apte à assurer une continuité électrique entre le premier et le second substrat.\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 1, dans lequel ledit au moins un (200) des substrats comprend sur sa face externe (202) une couche isolante de surface (226), avec dans la région de l'ilot (206) au moins une zone de contact (228) mise à nu ou laissée à nu. 25 30 35 31\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 12, dans lequel la zone de contact (228) est proéminente en direction transversale par rapport au reste de la face externe du substrat. 5\n<CLM>\1\tLe capteur de la revendication 12, comprenant : - deux zones de contact avec deux zones proéminentes respectives mises à nu ou laissées à nu, l'une dans la région de l'îlot (206) et l'autre dans la région du reste du substrat (212), et - entre les deux zones proéminentes, dans la région de la couche in- 10 terne latérale périphérique (214), une zone en retrait (234) avec une couche isolante (236).