Brevet FR3066857A1 (20181130)

REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'au moins un motif (150) dans un substrat (100), le procédé comprenant au moins les étapes suivantes: - fournir un substrat (100) présentant une face avant (11) surmontée au moins d'une couche de masquage (300), - définir au moins un motif de masque (301) dans la couche de masquage (300), - réaliser une implantation ionique du substrat (100) par ladite face avant (11) et au moins au droit du motif de masque (301), de manière à former au moins une première zone (110) modifiée par implantation et au moins une deuxième zone (111) non modifiée par l'implantation ou moins modifiée que la première zone (110), les conditions d'implantation étant choisies de manière à ce que après implantation l'au moins une première zone (110) présente une résistivité pl inférieure à la résistivité p2 de l'au moins une deuxième zone (111), caractérisé en ce qu'il comprend au moins les étapes successives suivantes: - après l'étape d'implantation, plonger le substrat (100) dans un électrolyte (4), - retirer l'au moins une première zone (110) sélectivement à l'au moins une deuxième zone (111), l'étape de retrait comprenant au moins l'application au substrat (100) d'une étape d'électrochimie pour provoquer une porosification de l'au moins une première zone (110) sélectivement à l'au moins une deuxième zone (111), l'étape de retrait étant effectuée de manière à ce qu'au moins lors de l'étape d'électrochimie au moins une face arrière (12) du substrat (100) opposée à la face avant (11) présente des porteurs de charges.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel l'implantation est réalisée de manière à ce que p2 1.1*p1, de préférence de manière à ce que p2 2*p1 et de préférence de manière à ce que p2 3*p1\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'électrochimie est réalisée de manière à ce que ladite porosification des zones modifiées (110) entraîne un détachement complet de l'au moins une première zone (110) par rapport à l'au moins une deuxième zone (111). 3066857 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 2, dans lequel l'électrochimie est réalisée de manière à ce que ladite porosification des zones modifiées (110) n'entraîne pas un détachement complet de l'au moins une première 5 zone (110) par rapport à l'au moins une deuxième zone (111) et l'étape de retrait comprend également, après l'étape électrochimie, une étape de gravure de l'au moins une première zone (110) rendue poreuse sélectivement à l'au moins une deuxième zone (111). 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les ions implantés lors de l'implantation sont des ions dont la masse atomique est supérieure à la masse atomique du bore.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel 15 les ions implantés lors de l'implantation sont pris parmi les ions à base d'hydrogène (H) et les ions à base d'hélium (He).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'implantation ionique du substrat (100) est réalisée de manière à ce que les ions 20 soient implantés avec une énergie inférieure ou égale à 150keV.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'étape de retrait comprend une gravure humide sélective de l'au moins une première zone (110) rendue poreuse sélectivement à l'au moins une deuxième zone 25 (111).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel la gravure humide est réalisée en milieu alcalin, de préférence à base de l'une des solutions suivantes: l'hydroxyde de potassium (KOH) ou de l'hydroxyde de 30 tetramethylammonium (TMAH).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'étape de retrait comprend une illumination de la face arrière (12) du substrat (100) de manière à ce que la face arrière (12) du substrat présente des porteurs de 35 charges lors de l'étape d'électrochimie. 3066857 26\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel l'illumination est effectuée pendant l'étape d'électrochimie.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, 5 comprenant, avant l'étape de plongée substrat (100) dans l'électrolyte, une étape de dopage de la face arrière (12) de manière à ce que la face arrière (12) du substrat présente des porteurs de charges lors de l'étape d'électrochimie.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans 10 lequel la couche de masquage (300) est une couche de résine, et l'étape de définition d'au moins un motif de masque (301) dans la couche de masquage (300) comprend au moins l'un parmi : une lithographie optique, une lithographie électronique, une lithographie par nano-impression, un procédé d'auto-assemblage direct (DSA acronyme de « Direct Self Assembled »). 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel lors de l'étape d'implantation, le substrat (100) est surmonté d'une couche tampon (200) située entre la face avant (11) du substrat et la couche de masquage (300). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant, avant l'étape de plongée et l'étape de retrait, une étape de retrait de la couche de masquage (300). 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel durant l'étape d'électrochimie, on maintient une intensité constante du courant passant entre une anode (2) formée en partie au moins par le substrat (100) et une cathode (3) plongée dans l'électrolyse (4), on surveille l'évolution de la tension entre l'anode (2) et la cathode (3), et lorsqu'une stabilisation est détectée, on en déduit que 30 la totalité de l'au moins une première zone (111) a été rendue poreuse.