Brevet FR3077139A1 (20190726)

REVENDICATIONS1. Méthode de détermination, par diffraction en transmission d'un faisceau incident, de la variation d'intensité diffractée par un réseau bidimensionnel organisé dans une direction donnée (qz) orthogonale au plan du réseau bidimensionnel, comportant : - mise en place du réseau bidimensionnel organisé de sorte que la direction donnée (qz) forme un angle (ili) avec la direction du faisceau incident, - mise en rotation du réseau bidimensionnel organisé autour de la direction donnée (qz), - acquisition d'un cliché de diffraction pendant au moins un quart de révolution du réseau bidimensionnel organisé autour de la direction donnée (qz), - arrêt de la rotation, - extraction de la variation d'intensité diffractée dans la direction donnée (qz).\n<CLM>\1\tMéthode de détermination selon la revendication 1, dans laquelle le cliché de diffraction comporte plusieurs quarts d'ellipses concentriques (EL1, EL2, EL3), chaque ellipse correspondant chacune à un ordre de diffraction.\n<CLM>\1\tMéthode de détermination selon la revendication 2, dans laquelle l'acquisition se fait pendant au moins une révolution complète, dans laquelle le cliché de diffraction comporte des ellipses concentriques et dans laquelle une moyenne sur les quatre quarts de chaque ellipse est effectuée.\n<CLM>\1\tMéthode de détermination selon la revendication 1, 2 ou 3, dans laquelle la diffraction est une diffraction de rayons X.\n<CLM>\1\tMéthode de détermination selon l'une des revendications 1 à 4, 30 dans laquelle l'angle d'inclinaison (ili) est compris entre 45° et 60°. 25 14\n<CLM>\1\tMéthode de reconstruction tridimensionnelle d'une morphologie d'au moins un objet comportant un réseau bidimensionnel organisé comportant : - la détermination de la variation d'intensité diffractée en transmission par un réseau bidimensionnel organisé, dans une direction donnée (qz), en 5 appliquant la méthode de détermination selon l'une des revendications 1 à 5, - le traitement de la variation d'intensité diffractée dans la direction donnée de sorte à obtenir des caractéristiques d'une section transversale du réseau bidimensionnel organisé. 10 7 Méthode de reconstructions selon la revendication 6, mise en oeuvre pendant la fabrication de composants par des procédés microélectroniques.\n<CLM>\1\tSystème de reconstruction tridimensionnelle de la morphologie d'objets présentant un réseau bidimensionnel organisé comportant- 15 - un dispositif d'acquisition (MA) d'au moins un cliché de diffraction, comprenant un source d'un faisceau incident (6), un détecteur (8), un porte-échantillon (10) disposé entre la source de faisceau incident (6)et le détecteur (8), le porte-échantillon (10) comportant une platine (12) et un support (14) et de moyens de mise en rotation continue de la platine (12) autour d'une direction donnée normale à l'objet, la 20 platine (12) et le support (14) étant configurés pour orienter le réseau bidimensionnel organisé de sorte que la direction orthogonale au plan du réseau forme un angle (ili) avec la direction du faisceau incident, - des moyens de traitement (MT) du au moins un cliché de diffraction.\n<CLM>\1\tSystème de reconstruction selon la revendication précédente, dans lequel la platine (12) comporte une fenêtre (16) alignée avec la direction donnée.\n<CLM>\1\tSystème de reconstruction selon la revendication 8 ou 9, dans lequel les moyens de mise en rotation continue comportent une vis sans fin (15) coopérant avec un bord de la platine (12) et un moteur électrique entrainant la vis sans fin.