Brevet FR3078823A1 (20190913)

REVENDICATIONS1. Empilement 3D de puces électroniques comprenant : - une première puce présentant sur une première face une pluralité de premiers plots d'interconnexion (401a) de section rectangulaire, agencés en lignes et en colonnes, les colonnes de premiers plots d'interconnexion présentant un premier pas de répétition (Pxi) dans une première direction (X) et les lignes de premiers plots d'interconnexion présentant un deuxième pas de répétition (Pyi) dans une deuxième direction (Y) perpendiculaire à la première direction ; - une deuxième puce présentant, sur une deuxième face collée à la première face de la première puce, une pluralité de deuxièmes plots d'interconnexion (401b) agencés en lignes et en colonnes, les colonnes de deuxièmes plots d'interconnexion présentant un troisième pas de répétition (Px2) dans la première direction (X) et les lignes de deuxièmes plots d'interconnexion présentant un quatrième pas de répétition (Fly2) dans la deuxième direction (Y), au moins une partie des deuxièmes plots d'interconnexion (401b) étant en contact avec les premiers plots d'interconnexion (401a) pour coupler électriquement les première et deuxième puces ; caractérisé en ce que : - les premiers plots d'interconnexion (401a) présentent une première dimension (Axi) dans la première direction (X) égale à m fois le troisième pas de répétition (Px2), où m est un entier naturel non nul, et une deuxième dimension (Ayi) dans la deuxième direction (Y) égale à n fois le quatrième pas de répétition (Py2), où n est un entier naturel non nul ; - les premiers plots d'interconnexion appartenant à une même ligne et à deux colonnes consécutives sont séparés dans la première direction (X) d'une première distance (Dx-i) égale à q fois le troisième pas de répétition (Px2), où q est un entier naturel non nul ; - les premiers plots d'interconnexion appartenant à une même colonne et à deux lignes consécutives sont séparés dans la deuxième direction (Y) d'une deuxième distance (Dyi) égale à r fois le quatrième pas de répétition (Py2), où r est un entier naturel non nul ; - les deuxièmes plots d'interconnexion (401b) sont interconnectés en une 23 pluralité de groupes, chaque groupe comprenant un nombre N de deuxièmes plots d'interconnexion (401b) interconnectés tel que : N = (m + q)(n + r) , chaque groupe étant connecté électriquement à un premier plot 5 d'interconnexion (401a) par au moins un des deuxièmes plots d'interconnexion (401b) du groupe.\n<CLM>\1\tEmpilement selon la revendication 1, dans lequel la première dimension (Axi) des premiers plots d'interconnexion (401a) est en outre égale au premier pas de répétition 10 (Pxi) divisé par 2 et dans lequel la deuxième dimension (Ayi) des premiers plots d'interconnexion est en outre égale au deuxième pas de répétition (Pyi) divisé par\n<CLM>\1\t3. Empilement selon la revendication 2, dans lequel le premier pas de répétition (Pxi) est égal au deuxième pas de répétition (Pyi). 15\n<CLM>\1\tEmpilement selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les deuxièmes plots d'interconnexion (401b) ont une section rectangulaire, ronde ou octogonale. 20\n<CLM>\1\tEmpilement selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel les deuxièmes plots d'interconnexion (401b) présentent une première dimension (Ax2) dans la première direction (X) égale au troisième pas de répétition (Px2) divisé par 2 et une deuxième dimension (Ay2) dans la deuxième direction (Y) égale au quatrième pas de répétition (Py2) divisé par\n<CLM>\1\t25\n<CLM>\1\tEmpilement selon la revendication 5, dans lequel le troisième pas de répétition (Px2) est égal au quatrième pas de répétition (Py2).\n<CLM>\1\tEmpilement selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel : 30 - la première dimension (Axi) des premiers plots d'interconnexion (401a) est égale au troisième pas de répétition (Px2) ; - la deuxième dimension (Ayi) des premiers plots d'interconnexion est égale au quatrième pas de répétition (Py2) ; 24 - la première distance (Dxi) est égale au troisième pas de répétition (Px2) ; et - la deuxième distance (Dyi) est égale au quatrième pas de répétition (Py2).\n<CLM>\1\tEmpilement selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel : 5 - la première dimension (Axi) des premiers plots d'interconnexion (401a) est égale à deux fois le troisième pas de répétition (Px2) ; - la deuxième dimension (Ayi) des premiers plots d'interconnexion est égale à deux fois le quatrième pas de répétition (Py2) ; - la première distance (Dxi) est égale à deux fois le troisième pas de répétition 10 (Px2) ; et - la deuxième distance (Dyi) est égale à deux fois le quatrième pas de répétition (Py2).\n<CLM>\1\tEmpilement selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel la 15 deuxième puce comprend une couche de composants actifs et une pluralité de niveaux d'interconnexions métalliques reliant les composants actifs, et dans lequel au moins un des niveaux d'interconnexions métalliques sert à interconnecter les N deuxièmes plots d'interconnexion (401b) de chaque groupe. 20