Brevet FR3077652A1 (20190809)

REVENDICATIONS1. Puce photonique (1,\n<CLM>\1\tcomprenant une couche de guidage de la lumière (12) supportée par un substrat (10), une face avant (F1) du côté de la couche de guidage de la lumière (12), une face arrière (F2) du côté du substrat (10), une lentille (15) intégrée au niveau de la face arrière (F2) et, dans la couche de guidage de la lumière, une structure de guidage de la lumière (121) optiquement couplée à un coupleur vertical (122) configuré pour recevoir/transférer une lumière depuis/vers la structure de guidage de la lumière (121) et former/recevoir un faisceau de lumière en direction de/depuis la lentille (15), caractérisée en ce que la lentille (15) comprend une pluralité de tranchées (Ti, T2, T3) pratiquées en face arrière, les tranchées délimitant un ensemble de motifs (M1, M2) et chaque motif présentant, dans une direction orthogonale aux faces avant et arrière, une épaisseur invariable.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon la revendication 1, dans laquelle le substrat présente une épaisseur Th, le faisceau de lumière fait un angle 02 avec un axe perpendiculaire aux faces avant et arrière et la lentille présente un centre (C15) et un axe médian (Am) orthogonal aux face avant et arrière passant par son centre, l'axe médian (Am) de la lentille et un axe orthogonal aux face avant at arrière passant par le centre (C122) du coupleur vertical étant décalés d'une distance Th*tan\n<CLM>\1\t3. Puce photonique selon la revendication 2, dans laquelle le substrat présente un indice effectif n10, la lumière présente une lumière de longueur d'onde X, le faisceau de lumière formé/reçu par le coupleur vertical présente une taille de mode Do=2.wo et les motifs forment un réseau bidimensionnel de dimension caractéristique supérieure ou égale à Th x 2X /( rc. wo x cos\n<CLM>\1\tn10).\n<CLM>\1\tPuce photonique selon la revendication 3, dans laquelle le réseau bidimensionnel comprend des cellules élémentaires se répétant périodiquement, chaque cellule élémentaire comprenant un motif et les dimensions des motifs étant modulées d'une cellule élémentaire à l'autre. 39\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 2 à 4, dans laquelle la lentille présente une symétrie circulaire autour de son axe médian (Am), les motifs équidistants 5 de l'axe médian étant de taille identique.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 2 à 4, dans laquelle la lentille présente une symétrie circulaire autour de l'axe orthogonal aux faces avant at arrière passant par le centre (C122) du coupleur vertical, les motifs équidistants dudit axe 10 orthogonal étant de taille identique.\n<CLM>\1\tPuce photonique _selon l'une des revendications 2 à 4, dans laquelle la lentille présente une symétrie circulaire autour d'un axe de symétrie orthogonal aux faces avant at arrière, l'axe de symétrie passant dans le plan de la lentille en un point situé entre le 15 centre de la lentille et la projection du centre du coupleur vertical, les motifs équidistants de l'axe de symétrie étant de taille identique.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 1 à 7, dans laquelle les motifs sont parallélépipédiques ou cylindriques. 20\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 1 à 8, dans laquelle la lentille est une lentille de Fresnel.\n<CLM>\1\tPuce photonique (2) selon l'une des revendications 1 à 9, comprenant en outre 25 un miroir (16) agencée en face arrière pour réfléchir la lumière depuis/vers la lentille (15).\n<CLM>\1\tPuce photonklue selon l'une des revendications 1 à 10, dans laquelle le coupleur vertical est un guide d'ondes à facette inclinée ou un réseau de couplage surfacique. 30\n<CLM>\1\tPuce photonique selon la revendication 11, dans laquelle le réseau de couplage surfacique est conformé pour recevoir/transférer de la lumière depuis/vers la structure 40 de guidage de la lumière et former/recevoir un faisceau de lumière de taille de mode inférieure à 12pm, de préférence inférieure à 6 'lm, en direction de/depuis la lentille.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une puce photonique (1,2) comprenant une couche de 5 guidage de la lumière (12) supportée par un substrat (10), la puce photonique présentant une face avant (F1) et une face arrière (F2) du côté du substrat (10), le procédé comprenant la formation d'une lentille (15) sur la face arrière et la formation d'un coupleur vertical configuré pour recevoir de la lumière depuis la structure de guidage de la lumière et former un faisceau de lumière dirigé vers la lentille, caractérisé en ce que la 10 formation de la lentille comprend la gravure d'une pluralité de tranchées (Ti, T2, T3), les tranchées délimitant un ensemble de motifs (M1, M2) et chaque -motif présentant, dans une direction orthogonale aux faces avant et arrière, une épaisseur invariable.