Brevet FR3079036A1 (20190920)

REVENDICATIONS1. Dispositif comprenant un guide d'onde (23) et des vias métalliques (21B) disposés le long et de part et d'autre d'une portion (23B) du guide d'onde.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1, dans lequel les dimensions de la section transversale de ladite portion (23B) du guide d'onde (23) sont sensiblement égales aux dimensions d'une section transversale correspondant à une aire effective minimale d'un mode optique guidé destiné à être propagé dans le guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les vias métalliques (21B) sont configurés pour absorber moins de 5 % de la puissance d'un mode optique guidé destiné à être propagé dans le guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel, dans un plan orthogonal aux vias (21B), la distance entre les vias (21B) et ladite portion (23B) du guide d'onde (23) est inférieure à une distance maximale au-delà de laquelle la puissance d'un mode optique parasite est inférieure à environ -60 dB, de préférence à -60 dB, quand un signal lumineux se propage dans le guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel, dans un plan orthogonal aux vias (21B), la distance entre les vias (21B) et ladite portion (23B) du guide d'onde (23) est inférieure à une distance maximale environ égale à 1,7 pin, de préférence à 1,7 pin.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, comprenant également des vias métalliques (21A, 21C) le long et de part et d'autre du guide d'onde (23, 23A, 23C) en amont et en aval de ladite portion (23B) du guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 6, dans lequel les vias (21A, 21C) qui longent le guide d'onde (23, 23A, 23C) en amont et en aval de ladite portion (23B) du guide d'onde (23) sont configurés pour que l'indice effectif d'un mode optique guidé B16805 - 17-GR3-0676 17 destiné à être propagé dans le guide d'onde (23) varie progressivement jusqu'à ladite portion (23B) du guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les vias (21A, 21B, 21C) sont orthogonaux à un 5 même plan, ledit plan étant orthogonal à la section transversale de ladite portion (23B) du guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, comprenant en outre une bande métallique (29) parallèle à un plan orthogonal aux vias (21A, 21B, 21C), disposée au moins en 10 partie en regard de ladite portion (23B) du guide d'onde (23) et configurée pour absorber au moins en partie un mode optique parasite rayonné à partir de ladite portion (23B) du guide d'onde (23) quand un signal lumineux se propage dans le guide d'onde.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 15 1 à 9, comprenant en outre une bande (27) d'un matériau absorbant aux longueurs d'onde d'un signal lumineux destiné à être transmis par le guide d'onde (23), ladite bande du matériau absorbant étant parallèle à un plan orthogonal aux vias (21A, 21B, 21C), disposée au moins en partie en regard de ladite portion (23B) du guide 20 d'onde (23) et configurée pour absorber au moins en partie un mode optique parasite rayonné à partir de ladite portion (23B) du guide d'onde (23) quand le signal lumineux se propage dans le guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 25 1 à 10, dans lequel les vias métalliques (21B) longeant ladite portion (23B) du guide d'onde (23) sont configurés pour absorber au moins en partie un mode optique parasite rayonné à partir de ladite portion (23B) du guide d'onde (23) quand un signal lumineux se propage dans le guide d'onde (23). 30\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel ladite portion (23B) du guide d'onde (23) s'étend entre deux portions (23A, 23C) du guide d'onde (23), les deux portions (23A, 23C) étant configurées pour que l'indice effectif d'un mode optique guidé destiné à être propagé dans le B16805 - 17-GR3-0676 18 guide d'onde (23) varie progressivement jusqu'à ladite portion (23B) du guide d'onde (23).\n<CLM>\1\tCircuit intégré photonique comprenant un dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à\n<CLM>\1\t5\n<CLM>\1\tCircuit selon la revendication 13, comprenant une structure d'interconnexion (13), le guide d'onde (23) étant noyé dans une couche isolante (19) de la structure d'interconnexion.\n<CLM>\1\tCircuit selon la revendication 14, dans lequel le guide d'onde (23) est en nitrure de silicium et la couche isolante 10 (19) est en oxyde de silicium.