Brevet FR3073087A1 (20190503)

REVENDICATIONS1. Commutateur (COM) comprenant un substrat semi-conducteur (SUB) et une ligne hyperfréquence (10) comprenant deux pistes conductrices (11,\n<CLM>\1\tréalisées sur le substrat, les deux pistes conductrices (11,\n<CLM>\1\tétant séparées par un gap assurant une isolation électrique entre les deux pistes conductrices (11, 12), une zone active (ZA) du substrat étant délimitée par les deux pistes conductrices (11,\n<CLM>\1\tet reliant les deux pistes conductrices (11, 12), la zone active (ZA) étant planaire, définissant un plan de la zone active (ZA), présentant un centre O, le substrat (SUB) étant apte à être rendu localement conducteur lorsque la zone active (ZA) est éclairée par un faisceau optique de commande de sorte à établir un contact électrique entre les deux pistes (11,\n<CLM>\1\tde la ligne hyperfréquence (10), caractérisé en ce que le commutateur comprend en outre un ensemble d'au moins une ligne, dite ligne continue (15, 16, 17, 18), destinée à acheminer un courant continu, la ligne continue comprenant deux électrodes distantes l'une de l'autre de sorte qu'une isolation électrique est assurée entre les deux électrodes, les électrodes étant reliées par une zone de séparation (160) du substrat, la zone de séparation étant apte à être rendue conductrice lorsqu'elle est éclairée par le faisceau optique de commande de sorte à établir un contact électrique entre les deux électrodes, les deux électrodes étant séparées par un plan de séparation (P) de la ligne continue, le plan de séparation (P) passant par le centre O et perpendiculaire au plan de la zone active (ZA).\n<CLM>\1\tCommutateur selon la revendication précédente, dans lequel les deux électrodes comprennent chacune une terminaison dite terminaison centrale de la ligne continue, les terminaisons centrales des deux électrodes de la ligne continue étant disposées en regard l'une de l'autre sur une droite, dite droite d'alignement.\n<CLM>\1\tCommutateur selon la revendication 2, dans lequel la droite d'alignement de la ligne continue est perpendiculaire au plan de séparation (P) de la ligne continue de façon symétrique par rapport au plan de séparation (P) de la ligne continue. 33\n<CLM>\1\tCommutateur selon la revendication précédente, dans lequel l'ensemble comprend deux lignes continues dont les droites d'alignement respectives sont perpendiculaires entre elles. 5\n<CLM>\1\tCommutateur selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel l'ensemble comprend plusieurs lignes continues, dont deux lignes continues présentant le même plan de séparation et, les terminaisons centrales de chacune des deux lignes continues étant disposées de façon symétrique par rapport au plan de séparation P sur une droite d'alignement 10 de la ligne continue perpendiculaire au plan de séparation (P), les droites d'alignement des deux lignes étant disposées de façon symétrique par rapport à un autre plan (P') passant par le centre (0), perpendiculaire au plan de la zone active (ZA) et perpendiculaire au plan de séparation (P) 15\n<CLM>\1\tCommutateur selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, dans lequel l'ensemble comprend un premier sous-ensemble d'au moins une ligne continue et un deuxième sous-ensemble d'au moins une ligne continue, les terminaisons centrales des électrodes des lignes continues du premier et du deuxième sous-ensembles étant disposées sur des cercles 20 concentriques dont le centre est situé sur un axe perpendiculaire au plan de la zone active (ZA) et passant par le centre O.\n<CLM>\1\tCommutateur selon la revendication précédente, dans lequel le plan de séparation (P) de la ligne continue du premier sous-ensemble est le plan de 25 séparation (P) de la ligne continue du deuxième sous-ensemble, les deux terminaisons centrales de la ligne continue du premier sous-ensemble étant disposées de l'autre côté d'un autre plan (P') passant par le centre O, perpendiculaire au plan de la zone active et perpendiculaire au plan de séparation (P) par rapport aux terminaisons centrales de la ligne continue 30 du deuxième sous-ensemble.\n<CLM>\1\tCommutateur selon l'une quelconque des revendications 2 à 7, dans lequel la droite d'alignement d'au moins une ligne continue passe par un axe perpendiculaire au plan de la zone active et passant par le centre O. 35 34\n<CLM>\1\tCommutateur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la zone active (ZA) et la zone de séparation (160) sont réalisées dans des matériaux différents. 5\n<CLM>\1\tCommutateur selon la revendication précédente, dans lequel la zone active (ZA) comprend des porteurs de durée de vie inférieure à une durée de vie des porteurs de la zone de séparation (160).\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un commutateur selon l'une quelconque 10 des revendications précédentes, ledit procédé comprenant les étapes de disposer les pistes conductrices sur le substrat de façon qu'elles soient séparées par le gap, et de façon qu'elles délimitent et soient reliées par la zone active, et de disposer les électrodes de la ligne continue sur le substrat de façon qu'elles soient distantes l'une de l'autre de sorte qu'une 15 isolation électrique est assurée entre les deux électrodes et de sorte qu'elles soient reliées par la zone de séparation (160) du substrat, et séparées par le plan de séparation (P).\n<CLM>\1\tDispositif de commutation comprenant un commutateur selon 20 l'une quelconque des revendications 1 à 10, comprenant une source générant le faisceau optique de commande et/ou des moyens d'acheminement comprenant au moins un composant optique permettant d'acheminer le faisceau optique de commande jusqu'à la zone active (ZA). 25\n<CLM>\1\tDispositif de commutation selon la revendication précédente, comprenant un dispositif d'actionnement permettant de modifier une position de la source optique et/ou d'au moins une partie d'au moins un composant optique des moyens d'acheminement par rapport à la zone active (ZA). 30\n<CLM>\1\tDispositif de commutation selon l'une quelconque des revendications 12 à 13, comprenant au moins un capteur permettant de mesurer une propriété électrique de la zone de séparation (160) entre des terminaisons centrales des deux électrodes de la ligne continue, le dispositif 35 de réglage étant apte à régler une position de la source optique et/ou d'au moins une partie d'au moins un composant optique des moyens d'acheminement par rapport à la zone active (ZA) à partir d'au moins une mesure de la propriété électrique. 35\n<CLM>\1\tDispositif de commutation selon la revendication 14, configuré pour mettre en oeuvre une étape d'alignement lorsqu'une condition de mise 5 en oeuvre de l'étape d'alignement est respectée, le dispositif de commutation étant configuré pour mettre en oeuvre les étapes suivantes lors de la mise en oeuvre de l'étape d'alignement: - mesurer la propriété électrique de la zone de séparation entre les terminaisons centrales de la ligne continue au moyen du capteur, 10 - régler la position de la source et/ou d'au moins une partie d'au moins un composant optique des moyens d'acheminement relativement à la zone active (ZA) à partir d'une mesure de la propriété électrique issue du capteur, au moyen du dispositif de réglage. 15\n<CLM>\1\tProcédé d'alignement de la source et/ou d'au moins une partie d'au moins un composant optique des moyens d'acheminement par rapport à la zone active (ZA) d'un dispositif de commutation selon la revendication 12, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : 20 - mesurer la propriété électrique de la zone de séparation entre les terminaisons centrales de la ligne continue, - régler la position de la source et/ou d'au moins une partie d'au moins un composant optique des moyens d'acheminement relativement à la zone active (ZA) à partir de ladite mesure. 25