Brevet FR3067708A1 (20181221)

REVENDICATIONS1. Dispositif MEMS et/ou NEMS comportant un support at au moins un élément suspendu (4,\n<CLM>\1\tde sorte à pouvoir se déplacer en translation par rapport au support dans une direction hors-plan par rapport à un plan du dispositif, au moins un moyen de guidage (G1, G5) en translation dudit élément, ledit moyen de guidage (G1, G5) comportant au moins deux bras rigides (6, 8, 344, 346, 348,\n<CLM>\1\ts'étendant longitudinalement, une articulation pivot (12, 16,\n<CLM>\1\tentre chaque bras (6, 8, 344, 346, 348,\n<CLM>\1\tet l'élément mobile (4,\n<CLM>\1\tet une articulation pivot (10, 14,\n<CLM>\1\tentre chaque bras (6, 8, 344, 346, 348,\n<CLM>\1\tet le support, le moyen de guidage (G1, G5) comportant également une articulation de couplage (18,\n<CLM>\1\tentre les deux bras comportant au moins une articulation pivot, au moins deux des articulations pivot reliées à chacun des bras ayant un degré de liberté en translation dans le plan du dispositif le long des bras, lesdites articulations pivots ayant des axes de rotation au moins parallèles entre eux de sorte que, lors d'un déplacement en translation de l'élément mobile (4, 304), les bras (6, 8, 344, 346, 348,\n<CLM>\1\tpivotent l'un par rapport à l'autre dans des sens opposés\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 1, dans lequel les articulations pivots ayant un degré de liberté en translation dans le plan du dispositif le long des bras comportent au moins une poutre deformable en torsion.\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'articulation de couplage (18) comporte deux poutres (22,\n<CLM>\1\tdéformables en torsion et un élément rigide (20) reliant les deux poutres (22, 24), les deux poutres (22,\n<CLM>\1\tétant par ailleurs fixées chacune à un bras (6, 8).\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'articulation de couplage comporte une seule poutre (120) deformable en torsion fixée aux deux bras, ladite poutre étant perpendiculaire aux axes longitudinaux des bras. 23\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication précédente, dans lequel les deux bras sont dans deux plans parallèles distincts, chaque bras étant relié à l'élément mobile par une de ses extrémités longitudinales, au support par l'autre de ses 5 extrémités longitudinales et la poutre de l'articulation de couplage s'étendant entre les deux bras dans des zones intermédiaires des bras entre leurs extrémités longitudinales.\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le moyen de guidage (G1) est disposé le long d'au moins un 10 bord extérieur de l'élément mobile (4).\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications précédentes, comportant au moins deux moyens de guidage. 15\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication précédente, dans lequel les axes de rotation des deux moyens de guidage sont sécants entre eux.\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le moyen de guidage (G5) comporte au moins trois bras (344, 346, 348,\n<CLM>\1\tet 20 l'articulation de couplage (318) comporte au moins trois poutres deformable en torsion (366) reliées entre elles de sorte à former une forme fermée, chaque bras (344, 346, 348,\n<CLM>\1\tétant fixé à une poutre (366) de l'articulation de couplage (318) de sorte que l'axe longitudinal du bras soit perpendiculaire à l'axe de la poutre. 25\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 9, dans lequel le moyen de guidage (G5) est disposé dans une fenêtre (342) formée à travers l'élément mobile (304) de sorte qu'il soit inclus dans le périmètre de l'élément mobile (304). 24\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 9 ou 10, dans lequel les au moins trois bras (344, 346,\n<CLM>\1\tsont disposés les uns par rapport aux autres de sorte que l'articulation de couplage est disposée sensiblement au centre de la croix. 5\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications précédentes, comportant des moyens de butée hors-plan (76), lesdits moyens de butée (76) étant formés entre le support et au moins un bras (6,\n<CLM>\1\td'au moins un moyen de guidage (G5). 10\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication précédente, dans lequel les moyens de butée hors-plan (76) sont tels qu'ils forment au moins une première butée dans une premier sens de déplacement hors-plan, la première butée étant portée par un des bras (6) en coopération avec le support. 15\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication 13, dans lequel la première butée est formée au niveau d'une extrémité longitudinale du bras (6), et dans lequel l'articulation pivot (12) entre le bras (6) et l'élément mobile (4) est située entre ladite extrémité longitudinale (6.1) du bras (6) et l'articulation de couplage (18), à l'exclusion de ladite extrémité longitudinale (6.1). 20\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon la revendication précédente, dans lequel les moyens de butée hors-plan (76) sont tels qu'ils forment également une deuxième butée dans un deuxième sens de déplacement hors-plan. 25\n<CLM>\1\tDispositif MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications précédentes, comportant des moyens de suspension (30) dudit élément mobile au support distincts du au moins un moyen de guidage. 25\n<CLM>\1\tCapteur inertiel comportant au moins un dispositif MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications précédentes, l'élément mobile formant une masse inertielle, et des moyens de détection du déplacement hors-plan de la masse inertielle. 5\n<CLM>\1\tCapteur inertiel selon la revendication 17, dans lequel les moyens de détection sont des moyens de détection capacitifs à variation de surface, lesdits moyens comportant des électrodes interdigitées, une partie étant portée par la masse inertielle et l'autre partie étant portée par le support situé au-dessus de la masse 10 inertielle.