Brevet FR3073944A1 (20190524)

REVENDICATIONS1. Méthode de mesure par photoluminescence d'un échantillon (10) qui comprend deux faces, reliées par un contour C, dites, respectivement, face avant (11) et face arrière (12), l'échantillon (10) reposant sur une face d'accueil (21) d'un socle, dit socle actif (20), selon sa face arrière (12), l'échantillon (10) comprend au moins une première région (13) en partie délimitée par le contour C et qui émet un signal de photoluminescence d'une intensité, dite première intensité, en tout point inférieure à l'intensité moyenne du signal de photoluminescence de l'échantillon (10) dite intensité de référence, le socle actif (20) émettant un signal de photoluminescence d'une intensité, dite intensité secondaire, au moins égale à l'intensité de référence, le socle actif (20) comprend en outre un bord B à distance, selon une distance de débordement, du contour C, et délimitant avec ledit contour C une section périphérique (24) du socle actif (20).\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 1, dans laquelle la distance de débordement, au moins au niveau de l'au moins une première région (13), est ajustée de sorte que l'évolution de l'intensité du signal de photoluminescence entre la section périphérique (24) et la première région (13), révèle une singularité repérant le contour C de l'échantillon (10) au niveau de la première région (13).\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 2, dans laquelle la singularité est un minimum de l'intensité du signal de photoluminescence.\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 3, dans laquelle la première région (13) comprend une densité de défauts supérieure à la densité de défauts moyenne de l'échantillon (10).\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 4, dans laquelle une charge de type corona Cor est créée sur une face, dite seconde face (22), du socle actif 16 (20) opposée à la face d'accueil (21), la charge de type corona Cor étant destinée à ajuster le niveau de l'intensité secondaire.\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 5, dans laquelle la charge de type 5 corona Cor est créée par une anode (30) et une cathode (31) disposées en regard, respectivement, de la face d'accueil (21) et de la seconde face (22).\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 6, dans laquelle l'anode (30) comprend une grille intercalée entre l'échantillon (10) et le socle actif (20).\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 7, dans laquelle le socle actif (20) comprend une première couche de passivation (23) en recouvrement de sa face d'accueil (21), la première couche de passivation (23) étant destinée à guérir des défauts susceptibles d'être présents sur la face d'accueil (21).\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 8, dans laquelle la première couche de passivation (23) comprend une couche faite d'un matériau diélectrique ou de silicium amorphe hydrogéné, avantageusement le matériau diélectrique comprend au moins un des éléments choisi parmi : dioxyde de silicium, nitrure de silicium, alumine.\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 9, dans laquelle le socle actif (20) comprend un matériau semi-conducteur, avantageusement le matériau semi-conducteur comprend du silicium. 25\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 10, dans laquelle l'échantillon (10) comprend également au moins une seconde région (14), délimitée en partie par le contour C et qui émet un signal de photoluminescence d'une intensité, dite seconde intensité, en moyenne égale à l'intensité de référence, la méthode de mesure mettant en oeuvre des moyens de masquage (40) destinés à masquer le signal de 10 15 20 17 photoluminescence émis par une région (25) de la section périphérique (24) attenante à la seconde région (14).\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 11, dans laquelle les moyens de 5 masquage (40) comprennent un socle intermédiaire (50) intercalé entre l'échantillon (10) et le socle actif (20), le socle intermédiaire (50) comprenant une région de masquage en recouvrement d'une région (25) de la section périphérique (24) attenante à la seconde région (14). 10\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 10, dans laquelle l'au moins une première région (13) s'étend selon toute la circonférence de l'échantillon (10).\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 13, dans laquelle l'échantillon (10) est une cellule photovoltaïque. 15\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 1 à 14, dans laquelle l'exécution du procédé comprend l'excitation par un laser L de l'échantillon (10) et de la section périphérique (24) du socle actif (20). 20\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 15, dans laquelle le laser balaie la face avant (11) et la face d'accueil (21) au niveau de la section périphérique (24).\n<CLM>\1\tMéthode selon la revendication 15, dans laquelle le laser présente une taille adaptée pour exciter de manière simultanée l'échantillon (10) et le socle actif 2 5 (20).\n<CLM>\1\tMéthode selon l'une des revendications 15 à 17, dans laquelle le signal de photoluminescence émis par l'échantillon (10) et par le socle actif (20) est collecté par un détecteur.