Brevet FR3074908A1 (20190614)

REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une sonde acoustique (io) destinée à être utilisée dans un four de solidification (1) du silicium, la sonde acoustique (10) comportant un 5 guide d'onde (20) dont une extrémité libre (25) est en partie délimitée par une face de transmission (22) destinée à transmettre une onde acoustique dans un bain de silicium fondu (5), caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : - fourniture du guide d'onde (20) dont l'extrémité libre (25) est réalisée en un matériau carboné (26) à porosité ouverte nulle, apte à réagir avec du silicium 10 liquide pour former du carbure de silicium, la surface (22.1) de l'extrémité libre (25) étant définie par le matériau carboné (26) ; - mise en contact de l'extrémité libre (25) du guide d'onde (20) dans du silicium liquide, de manière à ce qu'une couche de carbone de silicium (27) se forme par réaction entre le matériau carboné (26) et le silicium liquide et définisse la 15 face de transmission (22).\n<CLM>\1\tProcédé de contrôle de l'état d'avancement de la solidification du silicium dans un four de solidification (1) au moyen d'une sonde acoustique (io), comportant les étapes suivantes : - fabrication de la sonde acoustique (io) par le procédé selon la revendication 1; 20 - émission d'au moins une onde acoustique dans le bain de silicium fondu (5) au travers de la face de transmission (22) du guide d'onde (20).\n<CLM>\1\tProcédé de contrôle selon la revendication 2, dans lequel, lors de l'étape de fabrication, le silicium liquide est celui du bain de silicium fondu (5).\n<CLM>\1\tSonde acoustique (bo) destinée à être utilisée dans un four de solidification (1) 25 du silicium, comportant un guide d'onde (20), comprenant une extrémité libre (25) destinée à être introduite dans un bain de silicium fondu (5), laquelle comporte une face de transmission (22) d'une onde acoustique dans le bain de silicium fondu (5), caractérisée en ce que l'extrémité libre (25) est réalisée en : o un matériau carboné (26) à porosité ouverte nulle, apte à réagir avec du silicium 30 liquide, et en 14 o une couche de carbure de silicium (27) qui recouvre le matériau carboné (26) et définit la face de transmission (22).\n<CLM>\1\tSonde acoustique (10) selon la revendication 4, dans lequel le matériau carboné (26) présente une teneur en atomes de carbone supérieure ou égale à 95% 5 en poids par rapport à son poids total.\n<CLM>\1\tSonde acoustique (10) selon la revendication 4 ou 5, dans lequel le matériau carboné (26) est du carbone vitreux.\n<CLM>\1\tSystème de contrôle (30) de l'état d'avancement de la solidification du silicium dans un four de solidification (i), comportant : 10 o au moins une sonde acoustique (10) selon l'une quelconque des revendications 4 à 6 ; o un dispositif d'émission/réception (31), couplé à la sonde acoustique (io), et adapté à émettre une onde acoustique primaire (Sp) dans le guide d'onde (20) en direction de la face de transmission (22), et à détecter en réponse une onde 15 acoustique de retour (Sr) ; o une unité de traitement (32), connectée au dispositif d'émission/réception (31), et adaptée à déterminer l'état d'avancement de la solidification du silicium à partir d'au moins un signal transmis par le dispositif d'émission/réception (31). 20