Brevet FR3067362A1 (20181214)

REVENDICATIONS1. Procédé (100) de surveillance des conditions de croissance d'un dépôt assisté par plasma microonde pour la fabrication de diamant, ledit procédé étant mis en oeuvre par un dispositif (10) de surveillance comprenant au moins un moyen (11) de capture d'image numérique, un module (12) de traitement d'image numérique, et un module (13) de traitement de données, ledit procédé comportant les étapes : - de capture (110) d'une image numérique en couleur d'au moins une couche de diamant en croissance, à l'aide du moyen (11) de capture d'image numérique, - d'extraction (120) de valeurs de caractéristiques de couleur d'au moins une zone de l'image numérique capturée, par le module (12) de traitement d'image numérique, et - d'analyse (130), par le module (13) de traitement de données, des valeurs de caractéristiques de couleur extraites pour détecter une déviation des conditions de croissance lors du dépôt assisté par plasma microonde.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que l'étape d'extraction (120) est répétée à différents temps et/ou différents emplacements et est suivie d'une étape de détermination (122) d'une distribution des caractéristiques de couleur dans le temps et/ou dans l'espace, et en ce que l'étape d'analyse (130) est réalisée à partir de la distribution des caractéristiques de couleur extraites, dans le temps et/ou dans l'espace.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une étape de mesure de valeurs d'intensité d'émission d'espèces du plasma par spectroscopie optique et de température par pyrométrie infrarouge à deux longueurs d'onde, lesdites valeurs étant analysées, par le module (13) de traitement de données, parallèlement aux valeurs de caractéristiques de couleur extraites, pour détecter une déviation des conditions de croissance lors du dépôt assisté par plasma microonde. Réf : [0508]- Diam02 27\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape (135) de détermination des paramètres de dépôt assisté par plasma microonde à ajuster. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape (136) de détermination de nouvelles valeurs de paramètres de dépôt assisté par plasma microonde.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une 10 étape (150) de commande incluant la transmission des nouvelles valeurs de paramètres de dépôt déterminées par le module (13) de traitement de données à un module (15) de commande et la modification par le module (15) de commande des valeurs de paramètres de dépôt assisté par plasma. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce qu'il comporte une étape (140) d'enregistrement dans une mémoire de la caractéristique de couleur extraite associée à une indication temporelle de mesure et aux conditions de croissance. 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les caractéristiques de couleur sont sélectionnées parmi le groupe consistant en : la teinte, la saturation, la luminosité, la brillance, et les couleurs codées dans un référentiel de quadrichromie ou Rouge-Vert-Bleu. 25\n<CLM>\1\tDispositif (10) de surveillance des conditions de croissance d'un dépôt assisté par plasma microonde pour la fabrication de diamant, apte à mettre en oeuvre le procédé de surveillance selon l'une des revendications 1 à 8, ledit dispositif comportant : - un moyen (11) de capture d'image numérique, apte à capturer une 30 image numérique en couleur d'au moins un diamant en croissance, - un module (12) de traitement d'image numérique, apte à extraire des valeurs de caractéristiques de couleur d'au moins une zone de l'image numérique capturée, et Réf : [0508]- Diam02 28 - un module (13) de traitement de données, apte à détecter une déviation des conditions de croissance lors du dépôt assisté par plasma microonde à partir des valeurs de caractéristiques de couleur extraites. 5 10.Système (1) contrôle-commande de dépôt assisté par plasma microonde pour la fabrication de diamant comportant un réacteur (20) de dépôt assisté par plasma microonde caractérisé en ce qu'il comprend en outre : - un dispositif (10) de surveillance d'un dépôt assisté par plasma microonde selon la revendication 9, et 10 - un module (15) de commande, configuré pour recevoir les nouvelles valeurs de paramètres de dépôt générées par le module (13) de traitement de données du dispositif (10) de surveillance et apte à modifier les valeurs de paramètres de dépôt du réacteur (20) en fonction desdites nouvelles valeurs de paramètre de dépôt. 15 11 .Système (1) contrôle-commande de dépôt assisté par plasma microonde selon la revendication 10 caractérisé en ce qu'il comprend en outre un pyromètre à deux longueurs d'onde et un dispositif de spectroscopie d'émission. 20 Réf : [0508]- Diam02