Brevet FR3073941A1 (20190524)

REVENDICATIONS1. Dispositif de détection (1) d'un rayonnement électromagnétique, comprenant : - un substrat (2) ; - une matrice de détecteurs thermiques (10) destinés à absorber le rayonnement électromagnétique à détecter, disposés sur le substrat (2), chaque détecteur thermique (10) comprenant : o une membrane absorbante (11) suspendue au-dessus du substrat (2) par des piliers d'ancrage (12) et des bras de maintien (13), et o une couche réflectrice (14) disposée sur le substrat (2) en regard de la membrane absorbante (11) ; caractérisé en ce qu'il comporte au moins une paroi verticale opaque (31), disposée sur le substrat (2) et s'étendant longitudinalement entre deux détecteurs thermiques (10) adjacents, et réalisée en un matériau opaque vis-à-vis du rayonnement 15 électromagnétique à détecter.\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon la revendication 1, dans lequel la paroi verticale opaque (31) s'étendant longitudinalement suivant un axe passant par deux piliers d'ancrage (12) voisins.\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la paroi 20 verticale opaque (31) est réalisée d'un seul tenant avec au moins un pilier d'ancrage (12).\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la paroi verticale opaque (31) est distante des bras de maintien (13) et de la membrane absorbante (11). 25\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel au moins deux parois verticales opaques (31) s'étendent longitudinalement entre les membranes absorbantes (11) des deux détecteurs thermiques (w) adjacents, lesdites parois verticales opaques (31) étant distantes l'une de l'autre suivant leur axe longitudinal. 21\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon la revendication 5, dans lequel lesdites parois verticales opaques (31) étant distantes l'une de l'autre suivant leur axe longitudinal d'une distance inférieure ou égale à Xo/10, X0 étant une longueur d'onde centrale d'une gamme de longueurs d'onde du rayonnement électromagnétique à détecter. 5\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon la revendication 6, dans lequel ladite distance est inférieure ou égale à 1,4um.\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel un même détecteur thermique (io) est entouré d'une pluralité de parois verticales opaques (31) distinctes les unes des autres et espacées les unes des autres 10 d'une distance non nulle.\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel le matériau opaque présente une transmission du rayonnement électromagnétique à détecter inférieure ou égale à 5%.\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans 15 lequel le rayonnement électromagnétique à détecter présente une gamme de longueurs d'onde comprise de 8um à lem.\n<CLM>\1\tDispositif de détection (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel une ou plusieurs parois verticales opaques (31) consécutives bordent un même côté d'un détecteur thermique (io) sur au moins 5o% de la longueur du côté. 20