Brevet FR3074587A1 (20190607)

REVENDICATIONS1. Puce photonique (1) comprenant une couche de guidage de la lumiere (12) supportee par un substrat (10) et recouverte par une couche d'encapsulation (13), la puce photonique presentant une face avant (F1) du cote de la couche d'encapsulation (13) et une face arriere (F2) du cote du substrat (10), la couche de guidage de la lumiere incluant une structure de guidage de la lumiere (121) optiquement couplee a un coupleur vertical (122) configure pour recevoir de la lumiere depuis le guide d'onde et former un faisceau de lumiere dirige vers l'une des faces avant et arriere, la puce photonique comportant en outre une structure de collimation (14) formee au moins en partie dans la couche de guidage de la lumiere (12), la puce photonique etant caracterisee en ce qu'elle comporte un agencement d'une ou plusieurs structures reflechissantes (151,\n<CLM>\1\tchacune sur l'une des faces avant et arriere, ledit agencement etant realise de maniere a assurer la propagation de la lumiere entre le coupleur vertical et la structure de collimation selon un trajet optique presentant au moins un repliement.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon la revendication 1, dans laquelle la structure de collimation (14) comprend une pluralite de tranchees (T1, T2, T3) pratiquees dans la couche de guidage de la lumiere, les tranchees delimitant un ensemble de motifs (M1, M2, M3) et chaque motif presentant, dans une direction orthogonale aux faces avant et arriere, une epaisseur invariable.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon la revendication 2, dans laquelle les motifs ont tour la merne epaisseur.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 2 et 3, dans laquelle l'epaisseur d'un motif est au moins egale a l'epaisseur de la couche de guidage de la lumiere. 26\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 2 a 4, dans laquelle les motifs forment un reseau bidimensionnel periodique et dans laquelle les dimensions des motifs sont modulees d'une periode a l'autre. 5\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 2 a 5, dans laquelle la couche de guidage de la lumiere est formee dans un materiau cceur d'indice de refraction nc, et les tranchees sont laissees a l'air ou remplies d'un materiau de remplissage d'indice de refaction nr inferieur a l'indice de refraction nc du materiau cceur. 10\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 1 a 6, dans laquelle la structure de collimation (14) est configuree pour extraire la lumiere la traversant depuis le coupleur vertical selon la normale a la face avant ou arriere de la puce.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 1 a 7, dans laquelle le coupleur 15 vertical (122) est un reseau de couplage surfacique ou un coupleur de type guide d'onde facette.\n<CLM>\1\tPuce photonique selon l'une des revendications 1 a 8, dans laquelle le substrat (10) est en silicium, la couche de guidage de la lumiere (12) repose sur une couche en 20 materiau dielectrique (11), et une couche antireflet est interposee entre le substrat (10) et la couche en materiau dielectrique (11).\n<CLM>\1\tProcede de fabrication d'une puce photonique (1) comprenant une couche de guidage de la lumiere (12) supportee par un substrat (10) et recouverte par une couche 25 d'encapsulation (13), la puce photonique presentant une face avant (F1) du cote de la couche d'encapsulation (13) et une face arriere (F2) du cote du substrat (10), la couche de guidage de la lumiere incluant une structure de guidage de la lumiere (121) optiquement couplee a un coupleur vertical (122) configure pour recevoir de la lumiere depuis le guide d'onde et former un faisceau de lumiere dirige vers l'une des faces avant et arriere, le procede comprenant la formation d'une structure de collimation (14) au moins en partie dans la couche de guidage de la lumiere (12), et la formation d'un agencement 27 d'une ou plusieurs structures reflechissantes (151,\n<CLM>\1\tchacune sur l'une des faces avant et arriere, ledit agencement etant realise de maniere a assurer la propagation de la lumiere entre le coupleur vertical et la structure de collimation selon un trajet optique presentant au moins un repliement. 5