Brevet FR3074489A1 (20190607)

REVENDICATIONS1. Plateforme pour l'interfagage cellulaire (P1, P2), comprenant au moins une nano-sonde (100-1,...100-n) a base de nano-fils comprenant chacun une extremite conductrice destinee a etre en contact avec une cellule, plateforme caracterisee en ce qu'elle comprend au moins un transistor a effet de champs, dit nano-FET (200-1, 200-m) positionne a une distance predeterminee de ladite nano-sonde.\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 1, caracterisee en ce qu'elle comprend un ensemble de nano-capteurs, chaque nano-capteur comprenant un couple forme d'une nano-sonde (100-1) et d'un nano-FET (200-1) espace d'une distance comprise entre 1 et 5 micrometres.\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 1, caracterisee en ce qu'elle comprend un ensemble de nano-sondes et un ensemble de nano-FETs repartis sur ladite plateforme pour former au moins un reseau de nano-capteurs comprenant au moins un parcours predetermine.\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 1, caracterisee en ce qu'elle comprend en outre, des zones hydrophiles localisees au niveau des nano-sondes et dudit au moins un nano-FET.\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 3, caracterisee en ce qu'elle comprend une pluralite de parcours predetermines, chaque parcours predetermine reliant au moins deux nano-sondes dudit reseau de nano-sondes.\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 5, caracterisee en ce qu'elle comprend en outre, des zones hydrophiles localisees au niveau desdits parcours predetermines.\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 5, caracterisee en ce que chaque parcours predetermine entre deux nano-sondes comprend une pluralite de nano-FETs, chaque nano-FET etant implante a intervalles reguliers le long du parcours. 20\n<CLM>\1\tPlateforme selon la revendication 5, caracterisee en ce que chaque parcours predetermine entre deux nano-sondes comprend une pluralite de nano-sondes de parcours, chaque nano-sonde de parcours etant implantee a intervalles reguliers le long du parcours. 5\n<CLM>\1\tPlateforme selon l'une des revendications 1 a 8, caracterise en ce que ladite au moins une nano-sonde comprend entre un et neuf nano-fils.\n<CLM>\1\tPlateforme selon l'une des revendications 1 a 9, caracterise en ce que le nano-FET est un 10 transistor a ailette de type fin-FET.\n<CLM>\1\tProcede de fabrication d'une plateforme pour l'interfagage intracellulaire, procede de type descendant, caracterise en ce qu'il comprend, posterieurement a une etape de structuration verticale d'au moins une nano-sonde a base de nano-fils, une etape de 15 structuration planaire d'au moins un transistor a effet de champs, dit nano-FET.\n<CLM>\1\tProcede de fabrication d'une plateforme pour l'interfagage intracellulaire, selon la revendication 11, caracterise en ce que posterieurement a l'etape de structuration planaire dudit au moins un nano-FET, !edit procede comprend une etape de siliciuration 20 de platine, provoquant !'implantation d'une couche de siliciure de platine (PtSi) sur ladite au moins une nano-sonde et sur des zone source (S) et de drain (D) dudit au moins un nano-FET.\n<CLM>\1\tProcede de fabrication d'une plateforme pour l'interfagage intracellulaire, selon la 25 revendication 11, caracterise en ce qu'il comprend en outre une etape d'adjonction, sur les nano-fils de ladite au moins une nano-sonde, d'un materiau organique conducteur, tel que le PEDOT:PSS.\n<CLM>\1\tProcede de fabrication d'une plateforme pour l'interfagage intracellulaire, selon la 30 revendication 11, caracterise en ce que posterieurement a l'etape de structuration planaire dudit au moins un nano-FETs, !edit procede comprend une etape de fonctionnalisation de la surface de ladite plateforme definissant une pluralite de zones hydrophiles.