Brevet FR3076290A1 (20190705)

REVENDICATIONS1. Dispositif de detection de particules comportant un support et au moins une structure mobile par rapport au support (2), ladite structure mobile comportant une plateforme (4), dont une face au moins est destinee a recevoir la ou les particules a &teeter, des moyens de suspension (6) de la plateforme (4) de sorte que la plateforme (4) puisse etre mise en vibration par rapport au support(2), des moyens de mise en vibration (8) de ladite plateforme (4) a au moins une de ses frequences de resonance, des moyens de detection (10) du &placement de la plateforme (4) dans une direction donnee, les moyens de suspension (6) comportant au moins deux poutres (12.1, 12.2, 12.3, 12.4), configurees pour se &former lorsque la plateforme (4) est mise en vibration, dans lequel chaque poutre (12.1, 12.2, 12.3, 12.4) presente une longueur I, une largeur L et une epaisseur e et la plateforme (4) presente une dimension dans la direction de &placement de la plateforme, et dans lequel - la dimension de chaque poutre dans la direction de &placement donnee de la plateforme (4) est au moins 10 foil plus petite que la dimension de la plateforme (4) dans la direction de &placement donnee, et - dans le cas d'un dispositif de detection a mode dans le plan I 10 xL et dans le cas d'un dispositif de detection a mode hors-plan I 10 xe, de sorte que, lors de la mise en vibration de la plateforme (44), celle-ci ne soit pas ou peu deformee par l'action des poutres.\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon la revendication 1, dans lequel les moyens de suspension (6) comportent au moins une premiere poutre et une deuxierne poutre, les premiere et deuxierne poutres etant disposees symetriquement par rapport a la direction de &placement.\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les moyens d'actionnement (8) sont exterieurs a la structure mobile. 21\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les moyens d'actionnement (8) agissent directement sur la plateforme.\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon la revendication 4, dans lequel les 5 moyens d'actionnement (8) sont des moyens optiques appliquant une force de gradient a la frequence de resonance a la plateforme ou des moyens electrostatiques appliquant une force electrostatique a la frequence de resonance sur la plateforme.\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon l'une des revendications 1 a 5, dans 10 lequel au moins deux poutres sont en materiau piezoresistif, par exemple en silicium, et dans lequel les moyens de detection comportent une source de tension constante (14) destinee a appliquer une difference de potentiel audites poutres, des moyens de mesure (16) d'un courant en sortie desdites poutres. 15\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon l'une des revendications 1 a 6, dans lequel les moyens de detection comportent un resonateur optique (20) dispose a proximite de la plateforme (4) de sorte que le &placement de la plateforme (4) modifie un champ evanescent du resonateur optique (20), un guide d'onde (18) destine a injecter un faisceau lumineux dans le resonateur optique (20) et a collecter ledit faisceau 20 lumineux sortant du resonateur optique (20).\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon I'un des revendications 1 a 5 et 7, comportant plusieurs structures mobiles disposees autour du resonateur optique, le &placement de chaque plateforme modifiant le champ evanescent du resonateur 25 optique.\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon l'une des revendications 1 a 8, dans lequel la plateforme (4) est rectangulaire, dans lequel deux poutres (12.1, 12.2) sont fixees a un premier cote de plus grande longueur (4.1) de la plateforme (4) et 30 perpendiculairement audit premier cote (4.1), deux autres poutres (12.3, 12.4) sont fixees 22 a un deuxieme cote de plus grande longueur (4.1) de la plateforme (4) perpendiculairement audit deuxieme cote (4.1), et dans lequel les poutres (12.1, 12.2, 12.3, 12.4) sont droites et paralleles entre elles. 5\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon la revendication 9, dans lequel les poutres (12.1, 12.2, 12.3, 12.4) sont fixees aux premier et deuxieme cotes (4.1) de plus grande longueur a distance des extremites longitudinales des premier et deuxieme cotes de plus grande longueur (4.1). 10\n<CLM>\1\tDispositif de detection selon I'une des revendications 1 a 10, dans lequel les poutres sont realisees dans un materiau different de celui de la plateforme. 12 Spectrometre de masse comportant, des moyens d'ionisation d'un analyte, des moyens de focalisation de l'analyte ionise et au moms un dispositif de 15 detection selon l'une des revendications 1 a 11 dispose en aval des moyens de focalisation. 20