Brevet FR3073090A1 (20190503)

REVENDICATIONS1. Electrode positive (102) pour microbatterie tout solide au lithium comprenant, et de préférence constituée par : - une première couche (102a) en un premier matériau, le premier matériau étant Co0 ou Li1_xCo02, avec x allant de 0,2 à 1, - une deuxième couche (102b) en un deuxième matériau, le deuxième matériau étant LiCoO2.\n<CLM>\1\tElectrode positive selon la revendication 1, caractérisée en ce que la première couche (102a) a une épaisseur allant de 100nm à 1um, et de préférence de 100nm à 200nm.\n<CLM>\1\tElectrode positive selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la deuxième couche (102b) a une épaisseur allant de 1um à 20um, et de préférence de 8um à 10u.m.\n<CLM>\1\tElectrode positive selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'électrode positive comprend, et de préférence est constituée par une alternance de couches en premier matériau et de couches en deuxième matériau.\n<CLM>\1\tMicrobatterie tout solide au lithium (100) comprenant un substrat (107) recouvert successivement par une électrode positive telle que définie dans l'une quelconque des revendications 1 à 4, un électrolyte solide (104), et une électrode négative (103). 11\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une électrode positive (102) de microbatterie tout solide au lithium (100) telle que définie dans l'une quelconque des revendications 1 à 5, comprenant les étapes successives suivantes : a) fourniture d'un substrat (107), 5 b) dépôt d'une première couche (102a) en un premier matériau sur le substrat par pulvérisation cathodique avec une première cible, la première cible étant : - en cobalt pur, la pulvérisation cathodique ayant lieu en présence d'un mélange argon-dioxygène, pour former du CoO, - ou en Li1_xCo02, avec x allant de 0,2 à 1, la pulvérisation cathodique 10 ayant, éventuellement, lieu en présence d'un mélange argon-dioxygène, c) dépôt d'une deuxième couche (102b) en un deuxième matériau sur la première couche obtenue à l'étape a) par pulvérisation cathodique avec une deuxième cible, la deuxième cible étant en LiCoO2, en présence d'argon, d) éventuellement répétition des étapes b) et c) de manière à former 15 une alternance de couches en premier matériau et de couches en deuxième matériau.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dépôt de la deuxième couche (102b) est réalisé en présence d'un mélange argon-dioxygène. 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dépôt de la deuxième couche (102b) est réalisé en présence d'argon.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que la pulvérisation cathodique est une pulvérisation cathodique magnétron ou une 25 pulvérisation cathodique magnétron radiofréquence.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que les étapes b) et c) sont répétées de 1 à 20 fois. 12\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une microbatterie tout solide au lithium (100) comprenant les étapes successives suivantes : fourniture d'un substrat (107), - formation d'un collecteur de courant cathodique (105) et d'un 5 collecteur de courant anodique (106), sur le substrat (107), réalisation des étapes b) à d) telles que définies dans la revendication 6, de manière à former une électrode positive (102) sur le collecteur de courant cathodique (105), - formation d'une couche mince d'électrolyte solide (104) sur 10 l'électrode positive (102), - formation d'une d'électrode négative (103) sur la couche mince d'électrolyte (104), l'électrode négative (103) étant en contact avec le collecteur de courant anodique (106).