Brevet FR3075991A1 (20190628)

REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication de structures de couplage et d'alignement d'au moins une fibre optique (800) au niveau d'une zone de couplage optique (200) d'une face, dite face avant (110), d'un dispositif optoélectronique (100), le procédé comprenant les étapes suivantes : a) une étape de collage d'au moins un capot (600) sur la face avant (110), le capot comprenant un fond (610) et une paroi latérale (620), un premier capot (601) parmi l'au moins un capot (600) étant en recouvrement de la zone de couplage optique (200) ; b) la formation d'une couche d'encapsulation (700), d'une épaisseur El, en recouvrement de la face avant (110) et de l'au moins un capot (600) ; c) une étape d'amincissement, l'étape d'amincissement comprenant le retrait du fond (610) de l'au moins un capot (600) et d'une épaisseur de retrait E2, inférieure à l'épaisseur El, de la couche d'encapsulation (700), la paroi latérale (620) de l'au moins un capot (600) restante à l'issue de l'étape amincissement formant la structure de couplage et d'alignement.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel le collage du premier capot (601) est précédé de la formation ou du report d'une optique de mise en forme du faisceau (260) sur la zone de couplage optique (200).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2 ou 3, dans lequel l'au moins une fibre optique (800) est maintenue au niveau d'une de ses extrémités dans une ferrule (500), ladite une ferrule (500) comprend une sortie optique (510) disposée selon une face, dite face de couplage (520) de la ferrule, la sortie optique (510) étant en regard de la zone de couplage optique (200) dès lors que l'alignement entre la ferrule et un élément de couplage optique (200a), disposé au niveau de la zone de couplage (200), est effectif. 17\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel la ferrule comprend un canal (530) à l'intérieur duquel est insérée l'au moins une fibre optique (800), le canal (530) étant pourvu d'un miroir oblique (540) destiné à dévier un rayonnement, susceptible d'être guidé par l'au moins une fibre optique (800), en direction de la sortie 5 optique (510).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3 ou 4, dans lequel la paroi du premier capot (601), dite première paroi (621), est agencée pour accueillir, par insertion dans un premier volume (621a) interne défini par ladite première paroi (621), un élément 10 d'alignement (521) en projection de la face de couplage (520) et présentant une surface périphérique de forme complémentaire à la forme définie par la première paroi (621).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 3 à 5, dans lequel l'au moins un capot (600) comprend en outre un second capot (602), dont la paroi latérale 15 (620), dite seconde paroi (622), forme un volume interne, dit second volume (622a) interne, destiné à accueillir, par insertion, un ergot (523) disposé sur la face de couplage (520) et dont la surface périphérique présente une forme complémentaire à la forme définie par la seconde paroi (622), formant un élément de la structure de couplage et d'alignement de l'au moins une fibre optique. 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 6, dans lequel l'au moins un capot (600) comprend un troisième capot, dont la paroi latérale (620), dite troisième paroi, forme un volume interne, dit troisième volume interne, destiné à accueillir, par insertion, un second ergot disposé sur la face de couplage (520) et dont la surface périphérique 25 présente une forme complémentaire à la forme définie par la troisième paroi, formant un élément de la structure de couplage et d'alignement de l'au moins une fibre optique. 8 Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel l'au moins un capot (600) comprend une pluralité de compartiments destinés à être couplés chacun avec une fibre optique différente parmi l'au moins une fibre optique. 18\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le fond (610) de l'au moins un capot (600) est recouvert d'une couche d'arrêt (630), l'étape d'amincissement étant en outre sélective de manière à graver sélectivement le fond (610) par rapport à la couche d'arrêt (630). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 9, dans lequel l'étape c) est suivie d'une étape d) de retrait de la couche d'arrêt (630), avantageusement l'étape d) est une étape de gravure par voie humide ou par voie sèche. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications là 10, dans lequel l'étape a) est exécutée selon l'une des méthodes choisie parmi : collage avec une colle polymère, collage par brasage (avantageusement avec un matériau à base d'étain, d'argent et de cuivre), collage par frittage. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel l'étape d'amincissement c) est exécutée par érosion mécanique.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel l'étape b) est exécutée par laminage d'une feuille de matériau d'encapsulation, ou par injection 20 d'une résine d'encapsulation.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel le dispositif optoélectronique (100) comprend au moins un composant électronique (300) reporté sur une face principale (410) d'une structure support (400), la couche 25 d'encapsulation (700) formée à l'étape b) étant en recouvrement de la face principale (410) et de l'au moins une structure optoélectronique (300).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 9, dans lequel la zone de couplage optique (200) est disposée sur la face principale (410) de la structure support (400). 30 19\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 14 ou 15, dans lequel à l'issue de l'étape d'amincissement la structure optoélectronique (300) est essentiellement en affleurement avec la surface libre de la couche d'encapsulation (700). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 16, dans lequel la zone de couplage optique (200) comprend un coupleur de réseau.