Brevet FR3073320A1 (20190510)

REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'une liaison électrique étanche à travers la paroi d'un boitier céramique, en particulier d'un boitier céramique d'un tube intensificateur d'image, le boitier céramique étant pourvu d'un trou débouchant sur une surface intérieure du boitier par un premier orifice et sur une surface extérieure du boitier par un second orifice, caractérisé en ce que : - on effectue une métallisation du trou (500) pour obtenir un via, en déposant successivement une couche métallique d'accroche (510), une barrière de diffusion (520) et une couche d'agent mouillant (530); - on dispose (540) une portion de métal d'apport en indium ou dans un eutectique choisi parmi AuSn, AuGe, AgSn, InSn sur chacun des premier et second orifices; - on procède à la fusion (550) de ladite portion de métal d'apport, le métal d'apport fondu obturant le via de manière à le rendre étanche.\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'une liaison électrique étanche à travers la paroi d'un boitier céramique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche d'accroche est composée d'un métal choisi parmi le tungstène, le molybdène, le titane et le chrome.\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'une liaison électrique étanche à travers la paroi d'un boitier céramique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la barrière de diffusion est réalisée dans un métal choisi parmi le nickel, le chrome, un alliage nickel-chrome et le platine.\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'une liaison électrique étanche à travers la paroi d'un boitier céramique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche d'agent mouillant est réalisée en or ou en argent. 25 11\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'une liaison électrique étanche à travers la paroi d'un boitier céramique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'eutectique AuSn est composé de 80% d'or et 20% d'étain, l'eutectique AuGe est composé de 88% d'or et 12% de germanium, l'eutectique AgSn est composé de 96,5% 5 d'étain et de 3,5% d'argent, l'eutectique InSn est composée de 52% d'indium et 48% d'étain les pourcentages étant massiques.\n<CLM>\1\tTube intensificateur d'image comprenant un boitier céramique (210) formant le corps du tube, une fenêtre d'entrée (220) sur la face intérieure de laquelle est déposée 10 une photocathode et fermant le tube à une première extrémité, une fenêtre de sortie (230) sur la face intérieure de laquelle est déposé un écran phosphore, une galette de microcanaux (240) dite GMC, disposée sur un épaulement (211) du boitier céramique, le boitier céramique étant pourvu de liaisons électriques traversant sa paroi et reliant des électrodes de la GMC avec des broches de contact extérieures, caractérisé en ce que les 15 liaisons électriques sont réalisées au moyen du procédé de la revendication\n<CLM>\1\t7. Tube intensificateur d'image selon la revendication 6, caractérisé en ce que le boitier céramique comprend une butée verticale annulaire (219) sur sa partie supérieure, ladite butée faisant partie intégrante du boitier céramique (210), la face intérieure de la 20 fenêtre d'entrée reposant sur cette butée lorsque celle-ci est scellée sur le boitier, ladite butée fixant une distance prédéterminée entre la photocathode et la face supérieure de la GMC.\n<CLM>\1\tTube intensificateur d'image selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que la fenêtre d'entrée et la fenêtre de sortie sont scellées sur le boitier céramique au moyen de joints de scellement en indium ou un matériau eutectique choisi parmi InSn avec 52% d'indium et 48% d'étain, AuSn avec 80% d'or et 20% d'étain, AuGe avec 88% d'or et 12% de germanium et AgSn avec 96,5% d'étain et de 3,5% d'argent, les pourcentages étant massiques. 12\n<CLM>\1\tTube intensificateur d'image selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que le boitier céramique est réalisé au moyen d'un moulage par injection de particules de céramique suivi d'un frittage. 5