Brevet FR3066854A1 (20181130)

REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'un dispositif magnétique (100) intégré à inductance variable, comportant au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes : a) réalisation d'un élément piézoélectrique (102) sur un premier substrat (101) telle qu'une deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102) soit disposée du côté du premier substrat (101) ; b) réalisation d'un premier élément électriquement conducteur (116) du côté d'une première face (106), opposée à la deuxième face (104), de l'élément piézoélectrique (102), et solidarisation d'extrémités de l'élément piézoélectrique (102) à un deuxième substrat (122,\n<CLM>\1\ttelle que la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102) soit disposée en regard d'une première cavité (124,\n<CLM>\1\tformée entre une partie du deuxième substrat (122,\n<CLM>\1\tet l'élément piézoélectrique (102), le premier élément électriquement conducteur (116) étant disposé dans et/ou contre le deuxième substrat (152) ou contre l'élément piézoélectrique (102) ; c) suppression d'au moins une partie du premier substrat (101) ; d) réalisation d'un deuxième élément électriquement conducteur (118) du côté de la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102) ; et comportant en outre la réalisation d'un couplage électrique et/ou magnétique des premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116, 118), et la réalisation d'au moins un élément magnétique (110, 112,\n<CLM>\1\tdisposé contre et/ou dans l'élément piézoélectrique (102) et entre les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116, 118).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel : - lors de l'étape b), le premier élément électriquement conducteur (116) est réalisé au moins en partie contre la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102), puis le deuxième substrat (122) est solidarisé aux extrémités de l'élément piézoélectrique (102) tel que le premier élément électriquement conducteur (116) soit disposé dans la première cavité (124) ; 3066854 32 - lors de l'étape d), le deuxième élément électriquement conducteur (118) est réalisé au moins en partie contre la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2, dans lequel la solidarisation des extrémités de l'élément piézoélectrique (102) au deuxième substrat (122) est mise en oeuvre à une température inférieure à environ 300°C et par l'intermédiaire d'un élément de collage (130) comportant au moins un polymère. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel l'élément de collage (130) forme des parois latérales de la première cavité (124).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel : - lors de l'étape b), le premier élément électriquement conducteur 15 (116) est réalisé dans et/ou contre le deuxième substrat (152), puis le deuxième substrat (152) est solidarisé aux extrémités de l'élément piézoélectrique (102) tel que la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102) soit disposée en regard du premier élément électriquement conducteur (116) et espacée du premier élément électriquement conducteur (116) par la première cavité (156) ; 20 - lors de l'étape d), le deuxième élément électriquement conducteur (118) est réalisé dans et/ou contre un troisième substrat (154), puis le troisième substrat (154) est solidarisé aux extrémités de l'élément piézoélectrique (102) tel que la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102) soit disposée en regard du deuxième élément électriquement conducteur (118) et espacée du deuxième élément 25 électriquement conducteur (118) par une deuxième cavité (158) formée entre l'élément piézoélectrique (102) et le troisième substrat (154).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 5, dans lequel les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tsont reliés électriquement 30 l'un à l'autre par l'intermédiaire de portions électriquement conductrices (160) réalisées 3066854 33 dans les premier, deuxième et troisième substrats (101, 152,\n<CLM>\1\tet reliées électriquement entre elles lors de la mise en oeuvre des étapes b) et d).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 5 ou 6, dans lequel les 5 solidarisations des extrémités de l'élément piézoélectrique (102) aux deuxième et troisième substrats (152,\n<CLM>\1\tsont mises en oeuvre à une température inférieure à environ 400°C par thermocompression ou scellement eutectique ou collage direct ou collage anodique. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la réalisation du au moins un élément magnétique (110, 112,\n<CLM>\1\tcomporte, entre les étapes a) et b), la réalisation d'au moins un premier élément magnétique (110) contre la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102), et dans lequel : - lorsque le premier élément électriquement conducteur (116) est 15 réalisé contre la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102), le premier élément électriquement conducteur (116) est disposé contre le premier élément magnétique (110) tel que le premier élément magnétique (110) soit disposé entre le premier élément électriquement conducteur (116) et l'élément piézoélectrique (102), ou - lorsque le premier élément électriquement conducteur (116) est 20 réalisé dans et/ou contre le deuxième substrat (152), la première cavité (156) est disposée entre le premier élément magnétique (110) et le premier élément électriquement conducteur (116).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel 25 la réalisation du au moins un élément magnétique (110, 112,\n<CLM>\1\tcomporte, entre les étapes c) et d), la réalisation d'au moins un deuxième élément magnétique (112) contre la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102), et dans lequel : - lorsque le deuxième élément électriquement conducteur (118) est réalisé contre la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102), le deuxième 30 élément électriquement conducteur (118) est disposé contre le deuxième élément 3066854 34 magnétique (112) tel que le deuxième élément magnétique (112) soit disposé entre le deuxième élément électriquement conducteur (118) et l'élément piézoélectrique (102), ou - lorsque le deuxième élément électriquement conducteur (118) est 5 réalisé dans et/ou contre le troisième substrat (154), la deuxième cavité (158) est disposée entre le deuxième élément magnétique (112) et le deuxième élément électriquement conducteur (118).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, comportant 10 en outre, entre les étapes c) et d), la réalisation d'au moins un via électriquement conducteur (126) tel qu'à l'issue de l'étape d), les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tsoient reliés électriquement l'un à l'autre, par ledit au moins un via électriquement conducteur (126), en série ou en parallèle ou tels que les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tforment au 15 moins un solénoïde.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la réalisation du au moins un élément magnétique (110, 112,\n<CLM>\1\tcomporte, entre les étapes c) et d), la réalisation d'au moins une portion de matériau magnétique (128) telle 20 qu'à l'issue de l'étape d), les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tsoient couplés magnétiquement l'un à l'autre par ladite au moins une portion de matériau magnétique (128).\n<CLM>\1\tDispositif magnétique (100) integre a inductance variable, 25 comportant au moins : - un substrat (122, 152); - un élément piézoélectrique (102) comportant des première et deuxième faces (104,\n<CLM>\1\topposées, dont des extrémités sont solidarisées au substrat (122,\n<CLM>\1\tet dont la première face (106) est disposée du côté du substrat (122, 30\n<CLM>\1\t; 3066854 - une première cavité (124,\n<CLM>\1\tdisposée entre une partie du substrat (122,\n<CLM>\1\tet l'élément piézoélectrique (102) ; un premier élément électriquement conducteur (116) disposé du côté de la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102), et un deuxième 5 élément électriquement conducteur (118) disposé du côté de la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102), les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tétant couplés électriquement et/ou magnétiquement l'un à l'autre ; - un premier élément magnétique (110) disposé contre la première 10 face (106) de l'élément piézoélectrique (102) et entre l'élément piézoélectrique (102) et le premier élément électriquement conducteur (116), et un deuxième élément magnétique (112) disposé contre la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102) et entre l'élément piézoélectrique (102) et le deuxième élément électriquement conducteur (118). 15\n<CLM>\1\tDispositif (100) selon la revendication 12, dans lequel le premier et/ou le deuxième élément électriquement conducteur (116,\n<CLM>\1\tcomporte une piste électriquement conductrice en forme de méandres. 20\n<CLM>\1\tDispositif (100) selon l'une des revendications 12 ou 13, dans lequel le premier élément électriquement conducteur (116) est disposé au moins en partie contre la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102) et dans la première cavité (124), et dans lequel le deuxième élément électriquement conducteur (118) est disposé au moins en partie contre la deuxième face (104) de l'élément 25 piézoélectrique (102).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 12 ou 13, dans lequel le premier élément électriquement conducteur (116) est disposé dans et/ou contre le substrat (152) tel que la première face (106) de l'élément piézoélectrique (102) soit 30 disposée en regard du premier élément électriquement conducteur (116) et espacée du 3066854 36 premier élément électriquement conducteur (116) par la première cavité (156), et dans lequel le deuxième élément électriquement conducteur (118) est disposé dans et/ou contre un autre substrat (154) tel que la deuxième face (104) de l'élément piézoélectrique (102) soit disposée en regard du deuxième élément électriquement conducteur (118) et 5 espacée du deuxième élément électriquement conducteur (118) par une deuxième cavité (158) formée entre l'élément piézoélectrique (102) et une partie dudit autre substrat (154).\n<CLM>\1\tDispositif (100) selon l'une des revendications 12 à 15, dans lequel 10 chacun des premier et deuxième éléments magnétiques (110,\n<CLM>\1\tcomporte un empilement d'au moins une portion de matériau ferromagnétique et d'au moins une portion de matériau antiferromagnétique.\n<CLM>\1\tDispositif (100) selon l'une des revendications 12 à 16, comportant 15 en outre au moins un via électriquement conducteur (126) reliant électriquement les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tl'un à l'autre en série ou en parallèle ou tels que les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tforment au moins un solénoïde, et/ou au moins une portion de matériau magnétique (128) traversant l'élément piézoélectrique (102) et couplant 20 magnétiquement les premier et deuxième éléments électriquement conducteurs (116,\n<CLM>\1\tl'un à l'autre.