Brevet FR3072774A1 (20190426)

REVENDICATIONS1. Détecteur de fuites (1) pour le contrôle de l'étanchéité d'un objet à tester, le détecteur de fuites (1) comprenant : - une entrée de détection (2) destinée à être raccordée à un objet à tester, - un dispositif de pompage (3) comportant : - une première pompe à vide primaire (5;\n<CLM>\1\tcomportant au moins un premier étage de pompage (Ti, T2) et un deuxième étage de pompage (T3) montés en série entre une entrée (12) et un refoulement (13), - au moins une deuxième pompe à vide primaire (6;\n<CLM>\1\tcomportant au moins un premier étage de pompage (Ti', T2') et un deuxième étage de pompage (T3') montés en série entre une entrée (14) et un refoulement (15), les entrées (12,\n<CLM>\1\tdes pompes à vide primaire (5, 6; 19,\n<CLM>\1\tétant raccordée en parallèle à l'entrée de détection (2) via une première vanne d'isolation (8), - une pompe à vide turbomoléculaire (7) ayant un refoulement (17) raccordé entre la première vanne d'isolation (8) et les entrées (12,\n<CLM>\1\tdes pompes à vide primaire (5, 6; 19,\n<CLM>\1\tpar une deuxième vanne d'isolation (9), - un détecteur de gaz (4) raccordé à la pompe à vide turbomoléculaire (7), caractérisé en ce que le refoulement (15) de la au moins une deuxième pompe à vide primaire (6;\n<CLM>\1\test raccordé à la première pompe à vide primaire (5; 19), entre deux étages de pompage (T3, T4; T4, T5) en série de la première pompe à vide primaire (5; 19).\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le refoulement (15) de la au moins une deuxième pompe à vide primaire (6) est raccordé entre l'avant-dernier étage de pompage (T3 ; T4) et le dernier étage de pompage (T4 ; T5) de la première pompe à vide primaire (5; 19).\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les au moins deux pompes à vide primaire (5,\n<CLM>\1\tsont à membrane. 13\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les au moins deux pompes à vide primaire (19,\n<CLM>\1\tcomportent deux rotors à lobes rotatifs.\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce 5 que les rotors à lobes rotatifs sont de type ROOTS.\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les au moins deux pompes à vide primaire sont à vis ou à spirale.\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les au moins deux pompes à vide primaire (5, 6 ; 19,\n<CLM>\1\t10 présentent des configurations d'étages de pompage identiques.\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une pompe à vide primaire (5, 6 ; 19,\n<CLM>\1\tcomporte au moins deux premiers étages de pompage (Ti, T2; Ti', T2') montés en parallèle.\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications précédentes, 15 caractérisé en ce qu'au moins une pompe à vide primaire (5,\n<CLM>\1\tcomporte au moins trois étages de pompage (T1-T4, T1'-T4') montés en série.\n<CLM>\1\tDétecteur de fuites (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif de purge (18) configuré pour fournir un gaz de purge entre deux étages de pompage (T3', T4' ; T4', T5') de la deuxième 20 pompe à vide primaire (6 ; 20).