Brevet FR3073954A1 (20190524)

REVENDICATIONS1. Système opto-mécanique (100) de transduction d'un déplacement en un déphasage optique, comportant : - au moins une structure de guidage (10; 10A; 10B), adaptée à guider un faisceau lumineux (F) centré sur une longueur d'onde prédéterminée, nommée longueur d'onde guidée ; et - au moins deux tronçons de guide d'onde (21), agencés chacun pour amener un faisceau lumineux jusqu'à l'au moins une structure de guidage, ou pour éloigner un faisceau lumineux émergeant de l'au moins une structure de guidage ; caractérisé en ce que : - l'au moins une structure de guidage (10 ; 10A ; 10B) comprend une pluralité de poutres (11) parallèles entre elles, réparties les unes à la suite des autres selon un axe d'allongement de la structure de guidage, et agencées en deux peignes (11A, 11B) partiellement imbriqués l'un dans l'autre ; et - dans l'au moins une structure de guidage (10 ; 10A, 10B), au moins une poutre (11) est mobile en translation relativement aux autres poutres de la même structure de guidage, selon un axe orthogonal à l'axe d'allongement de la structure de guidage.\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que les poutres (11) de la structure de guidage (10 ; 10A ; 10B) forment ensemble, dans une région d'imbrication (12) entre les poutres, une structure périodique ayant un motif élémentaire de dimension A selon l'axe d'allongement de la structure de guidage, avec : 2n-A\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'au moins une poutre est mobile en translation selon son axe longitudinal.\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, 5 caractérisé en ce que les poutres des deux peignes (11A, 11B) sont réparties en alternance le long de l'axe d'allongement de la structure de guidage.\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte un résonateur optique, au sein duquel est située la 10 structure de guidage (10).\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 5, caractérisé en ce que le résonateur optique est une cavité linéaire. 15\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 6, caractérisé en ce que les miroirs (101A, 101B) de la cavité linéaire sont constitués chacun d'un réseau de Bragg, chaque réseau de Bragg étant formé par deux jeux de poutres secondaires (102), agencés en deux peignes d'extrémité partiellement imbriqués. 20\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 5, caractérisé en ce que le résonateur optique comporte un guide d'onde recourbé (91), agencé avec la structure de guidage (10) pour guider la lumière selon un chemin optique en boucle fermée.\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, 25 caractérisé en ce qu'il comporte un interféromètre de Mach-Zehnder, au sein duquel est située la structure de guidage (10 ; 10A ; 10B).\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 9, caractérisé en ce que la structure de guidage (10) est située dans un premier bras (111) de l'interféromètre et en ce qu'une structure de référence (113) est située dans un second bras (112) de 27 l'interféromètre, la structure de référence (113) étant identique à la structure de guidage (10), excepté que l'ensemble des poutres qui la composent sont fixes.\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il 5 comporte deux structures de guidage (10A, 10B) situées chacune dans l'un des bras de l'interféromètre, et en ce que des poutres mobiles de chacune des deux structures de guidage sont solidaires les unes des autres.\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, 10 caractérisé en ce qu'il comporte en outre au moins un adaptateur de mode (60), chaque adaptateur de mode étant situé à une extrémité de l'une structure de guidage (10 ; 10A ; 10B) et comprenant : - une région centrale (61), de largeur décroissante en s'approchant de la structure de guidage ; et 15 - deux régions latérales (62A, 62B), de largeur croissante en s'approchant de la structure de guidage, situées de part et d'autre de la région centrale (61) et comportant chacune une pluralité de poutres d'adaptation (63), parallèles aux poutres de la structure de guidage. 20\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que l'au moins une poutre mobile de la structure de guidage comprend une poutre qui est solidaire d'un support suspendu (41) s'étendant selon l'axe d'allongement de la structure de guidage. 25\n<CLM>\1\tSystème opto-mécanique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que l'au moins une poutre mobile de la structure de guidage comprend une poutre qui est solidaire d'une masse (51) suspendue au-dessus d'un substrat.