Brevet FR3068825A1 (20190111)

REVENDICATIONS1. Dispositif d'optique électronique pour la manipulation d'un faisceau d'électrons d'énergie donnée, comprenant un film (1) ultrafin autosupporté d'épaisseur donnée, transparent pour le faisceau d'électrons, ledit film (1) comprenant des trous traversant définissant une porosité (a) du film (1) afin de générer une fonction de transmission électronique (t) prédéterminée dudit faisceau d'électrons, ladite fonction de transmission électronique présentant un module (modt) et une phase (0) fonctions de ladite porosité.\n<CLM>\1\tDispositif d'optique électronique selon la revendication 1, dans lequel la porosité du film (1) est variable spatialement, adaptée pour générer une phase variable spatialement de la fonction de transmission électronique, résultant en une modification de la propagation du faisceau d'électrons.\n<CLM>\1\tDispositif d'optique électronique selon la revendication 2, dans lequel ladite modification de propagation du faisceau d'électrons comprend la convergence et/ou la divergence et/ou la déflexion du faisceau d'électrons.\n<CLM>\1\tDispositif d'optique électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le film (1) comprend un disque central et des anneaux concentriques successifs de largeur égale à celles de zones de Fresnel, la porosité de chacun du disque central et des anneaux concentriques prenant alternativement deux valeurs distinctes, chaque valeur correspondant à des transmissions d'amplitudes égales et une phase de la fonction de transmission électronique égale à 0 ou n.\n<CLM>\1\tDispositif d'optique électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la porosité locale d'une région du film (1) varie selon la distance entre la région et un plan perpendiculaire au film (1).\n<CLM>\1\tDispositif d'optique électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le film (1) est un film de graphène, d'or, de nitrure de bore, de nitrure de silicium ou de carbone amorphe. 13\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un dispositif d'optique électronique pour la manipulation d'un faisceau d'électrons d'énergie donnée, le procédé comprenant : la fourniture d'un film (1) ultrafin autosupporté d'épaisseur donnée, transparent pour le faisceau d'électrons ; et 5 le perçage de trous traversant au travers du film (1), les trous traversant définissant une porosité (a) du film (1) afin de générer une fonction de transmission électronique (t) prédéterminé dudit faisceau d'électrons, ladite fonction de transmission électronique présentant un module (modt) et une phase (0) fonctions de ladite porosité. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 7, dans lequel le perçage est effectué au moyen d'un faisceau d'électrons d'un microscope électronique en transmission ou d'un faisceau d'ions d'une machine à faisceaux d'ions focalisés.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 7 ou la revendication 8, dans lequel le perçage est 15 effectué directement sur le film (1) ou au travers d'un masque.\n<CLM>\1\tUtilisation d'un dispositif d'optique électronique selon une quelconque des revendications 1 à 6 pour l'imagerie électronique ; la microscopie électronique basse énergie ; la production d'un microfaisceau parallèle d'électrons ; la focalisation ou la défocalisation d'un 20 microfaisceau parallèle d'électrons ; la caractérisation d'un objet par microdiffraction électronique ; l'analyse locale d'une perte d'énergie ; la microscopie interférentielle ; l'holographie hors-axe ; la séparation d'un faisceau incident en deux faisceaux cohérents ; l'imagerie d'un objet placé dans un de deux faisceaux cohérents par l'enregistrement du cliché d'interférence entre les deux faisceaux cohérents ; et/ou la production de deux demi-ondes 25 planes parallèles et déphasées.\n<CLM>\1\tLentille électronique, biprisme porte-objet ou microscope électronique comprenant un dispositif d'optique électronique selon une quelconque des revendications 1 à 6.