Brevet FR3069953A1 (20190208)

REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'une hétérostructure (10) formée d'un empilement de couches (11, 12,\n<CLM>\1\tdont au moins une couche d'intérêt (13) en un matériau cristallin présentant une valeur finale OEefi de contrainte mécanique et un coefficient de dilatation thermique am, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : o fourniture d'une couche support (11) présentant un coefficient de dilatation thermique acs prédéterminé ; o assemblage, sur la couche support (11), d'une couche intermédiaire (12) en un matériau à transition vitreuse présentant une température de transition Tg prédéterminée, à laquelle la couche intermédiaire (12) passe de manière réversible d'un état rigide à un état visqueux ; o assemblage, sur la couche intermédiaire (12), de la couche d'intérêt (13), de façon à former une hétérostructure (10) ; o traitement thermique de l'hétérostructure (w), pour l'amener à une température Ti. supérieure ou égale à la température de transition Tg, de sorte que, la couche intermédiaire (12) étant alors dans un état visqueux, la couche d'intérêt (13) est dilatée sans être contrainte par la dilatation thermique de la couche support (11) ; o refroidissement de l'hétérostructure (w), pour l'amener à une température finale prédéterminée Tf inférieure à la température de transition Tg, de sorte que, la couche intermédiaire (12) étant alors dans un état rigide, la couche d'intérêt (13) est contrainte par la couche support (n) à la valeur finale OEefi .\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, comportant une étape préalable de détermination du coefficient de dilatation thermique aes de la couche support (11) et de la température de transition vitreuse Tg de la couche intermédiaire (12) de sorte que la couche d'intérêt (13) présente la valeur finale OEefi qui est fonction du produit de la différence (Tf-Tg) entre la température finale Tf et la température de transition Tg, avec la différence (am-aes) entre les coefficients de dilatation thermique de la couche d'intérêt (13) et de la couche support (n).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel, lors de l'étape de traitement thermique, la couche d'intérêt (13) présente une valeur de contrainte mécanique qui est fonction du produit de la différence (Tr-Ti) entre la température Ti. et une température initiale TI, avec le coefficient de dilatation thermique am de la couche d'intérêt (13). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comportant une étape de détermination d'une valeur maximale e'r, d'épaisseur de la couche d'intérêt (13) de sorte que le produit de l'épaisseur maximale e'r, avec le module d'Young Em de la couche d'intérêt (13) soit égal au produit de l'épaisseur ees avec le module d'Young Ees de la couche 5 support (n).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 4, comportant une étape d'amincissement de la couche d'intérêt (13), préalablement à l'étape de traitement thermique, de sorte que l'épaisseur de la couche supérieure (13) soit inférieure à l'épaisseur maximale e'r, .\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, comportant une étape de 10 détermination d'une valeur maximale eer d'épaisseur de la couche intermédiaire (12) de sorte que le produit de l'épaisseur maximale eer avec le module d'Young Ectv de la couche intermédiaire (12) soit égal au produit de l'épaisseur em avec le module d'Young Em de la couche d'intérêt (13).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 6, comportant une étape d'amincissement de la 15 couche intermédiaire (12), préalablement à l'étape d'assemblage de la couche d'intérêt (13), de sorte que l'épaisseur ectv de la couche intermédiaire (12) soit inférieure à l'épaisseur maximale er .\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel la couche intermédiaire (12) est assemblée par collage direct à la couche support (11), et la couche 20 d'intérêt (13) est assemblée par collage direct à la couche intermédiaire (12).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel, lors de l'étape d'assemblage de la couche d'intérêt (13), celle-ci présente une densité de dislocations homogène suivant son épaisseur.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel, lors de l'étape 25 d'assemblage de la couche d'intérêt (13), celle-ci est réalisée en un matériau cristallin à l'état relaxé.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel la couche intermédiaire (12) est réalisée en un matériau choisi parmi les verres de phosphate, de borate, de silicate et leurs alliages, les verres de chalcogénure, et les alliages métalliques 30 amorphes. 21\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel la couche d'intérêt est à base de germanium, la couche intermédiaire en un matériau électriquement isolant, et la couche support à base de silicium. 5