Brevet FR3066831A1 (20181130)

REVENDICATIONS1. Microdosimètre comprenant une ou plusieurs cellules (20, 120,\n<CLM>\1\tchacune apte à générer une impulsion de courant lors d'une interaction de la cellule avec une particule, chaque cellule comprenant : ^ un volume utile (21, 121,\n<CLM>\1\tformé dans une membrane (11, 111,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque, ^ une première électrode (23, 123,\n<CLM>\1\tet une deuxième électrode (24, 124,\n<CLM>\1\tagencées de part et d'autre de la membrane (11, 111,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque, les électrodes étant agencées de sorte que le volume utile soit interposé entre une première électrode et une deuxième électrode, et ^ des moyens de polarisation (22, 122,\n<CLM>\1\tagencés de manière à former un champ électrique au sein du volume utile entre la première électrode et la deuxième électrode.\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon la revendication 1, dans lequel la membrane (11, 111,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque est commune à toutes les cellules (20, 120,\n<CLM>\1\tdu microdosimètre.\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon l'une des revendications 1 et 2, dans lequel la membrane (11, 111,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque présente une épaisseur inférieure à 50 micromètres, préférentiellement inférieure à 10 micromètres.\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les moyens de polarisation comprennent, pour chaque cellule (20, 120, 220), une zone de diamant dopé (22,\n<CLM>\1\tagencée sur une première surface (11A, 211A) de la membrane de diamant intrinsèque, chaque première électrode (23,\n<CLM>\1\tétant agencée sur la zone de diamant dopé.\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon la revendication 4, dans lequel le dopage de chaque zone de diamant (22,\n<CLM>\1\test réalisé au bore ou au phosphore. 3066831 19\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon l'une des revendications 4 et 5, dans lequel la zone de diamant dopé (22,\n<CLM>\1\test formée localement sur la première surface (11A, 211A) de la membrane de diamant intrinsèque, de manière à recouvrir individuellement le volume 5 utile de chaque cellule.\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les moyens de polarisation comprennent une source de tension (122) apte à générer une différence de tension entre chaque première électrode (123) et chaque deuxième électrode (124). 10\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon l'une des revendications précédentes, dans lequel chaque cellule (20, 120,\n<CLM>\1\tcomprend une zone dégradée par implantation ionique (125, 225), chaque zone dégradée par implantation ionique étant formée dans la membrane (111,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque, entourant le volume utile (121,\n<CLM>\1\tet s'étendant sur toute 15 l'épaisseur de la membrane de diamant intrinsèque.\n<CLM>\1\tMicrodosimètre selon la revendication 8, dans lequel chaque zone dégradée par implantation ionique (125,\n<CLM>\1\test formée par implantation d'ions carbone et/ou d'ions bore. 20\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un microdosimètre selon l'une des revendications 1 à 9, comprenant successivement : ^ une étape (30A, 80A) de formation des volumes utiles (21, 121,\n<CLM>\1\tdans une plaque (41,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque, 25 ^ une étape (36,\n<CLM>\1\tde gravure de la plaque de diamant intrinsèque pour obtenir la membrane de diamant intrinsèque, et ^ une étape (38,\n<CLM>\1\tde dépôt des électrodes de part et d'autre de la membrane de diamant intrinsèque. 3066831 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 10, pour la fabrication d'un microdosimètre selon la revendication 6, dans lequel l'étape de formation des volumes utiles comprend une étape (30A) de formation de chaque zone de diamant dopé (22,\n<CLM>\1\tsur une première surface (41A) de la plaque de diamant intrinsèque, de manière à ce que chaque volume utile 5 souhaité (21,\n<CLM>\1\tsoit recouvert individuellement d'une zone de diamant dopé.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 10, pour la fabrication d'un microdosimètre selon la revendication 8 ou 9, dans lequel l'étape de formation des volumes utiles comprend une étape de formation des zones dégradées par implantation ionique (125,\n<CLM>\1\tdans la 10 plaque (141) de diamant intrinsèque, ladite étape de formation des zones dégradées par implantation ionique comportant successivement : ^ une sous-étape (81) de dépôt d'un masque (142) sur une première surface (141A) de la plaque (141) de diamant intrinsèque, le masque recouvrant les volumes utiles souhaités, 15 ^ une sous-étape (82) d'implantation d'ions via la première surface de la plaque de diamant intrinsèque, et ^ une sous-étape (83) de retrait du masque.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 10 à 12, dans lequel l'étape de gravure de la 20 plaque de diamant intrinsèque comprend successivement : ^ une sous-étape (35,\n<CLM>\1\tde dépôt d'un masque (43,\n<CLM>\1\tsur une deuxième surface (41B, 141B) de la plaque de diamant intrinsèque, le masque comprenant une ouverture dont la forme et les dimensions correspondent à la forme et aux dimensions de la membrane (11, 111,\n<CLM>\1\tde diamant intrinsèque souhaitée, 25 ^ une sous-étape (36,\n<CLM>\1\tde gravure de la deuxième surface de la plaque de diamant intrinsèque, de manière à obtenir une épaisseur souhaitée de membrane de diamant intrinsèque, et ^ une sous-étape (37,\n<CLM>\1\tde retrait du masque.