Brevet FR3079037A1 (20190920)

REVENDICATIONS1. Dispositif comprenant un guide d'onde (23 ;\n<CLM>\1\tet des vias métalliques (21B ; 230B) entourant une portion d'extrémité (23B ; 230B) du guide d'onde.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1, dans lequel la 5 portion d'extrémité (23B ; 230B) a une section transversale décroissante vers son extrémité (25 ; 250).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 2, dans lequel les vias (21B ; 210B) sont orthogonaux à un même plan, ledit plan étant orthogonal à ladite section transversale. 10\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les vias (21B ; 210B) sont configurés pour absorber de la lumière provenant de la portion d'extrémité (23B ; 230B) quand un signal lumineux se propage dans le guide d'onde (23 ; 230). 15\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 4, dans lequel les vias (21B ; 210B) et la portion d'extrémité (23B ; 230B) sont configurés pour que l'indice effectif d'un mode optique destiné à être propagé dans le guide d'onde (23 ;\n<CLM>\1\tvarie progressivement dans la portion d'extrémité (23B ; 230B). 20\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel, dans un plan orthogonal aux vias (21B ; 210B), la distance entre les vias (21B ; 210B) et la portion d'extrémité (23B ; 230B) est inférieure à une distance au-delà de laquelle la puissance d'un mode optique destiné à être propagé dans le guide 25 d'onde (23 ;\n<CLM>\1\test inférieure à environ -60 dB, de préférence à -60 dB.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant en outre une plaque métallique (290) parallèle à un plan orthogonal aux vias (210B), disposée au moins en partie 30 en regard de la portion d'extrémité (230B) et configurée pour absorber de la lumière provenant de la portion d'extrémité quand un signal lumineux se propage dans le guide d'onde (230).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant en outre une bande (270) d'un matériau absorbant B16804 - 17-GR3-0675 19 aux longueurs d'onde d'un signal destiné à être transmis par le guide d'onde (230), ladite bande étant parallèle à un plan orthogonal aux vias (210B), disposée au moins en partie en regard de la portion d'extrémité (230B) et étant configurée pour absorber de la lumière provenant de la portion d'extrémité quand un signal lumineux se propage dans le guide d'onde (230).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, comprenant également des vias métalliques (21A ; 210C) le long du guide d'onde (23A ; 230C) en amont de la portion d'extrémité (23B ; 230B).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 9, dans lequel les vias (21A ; 210C) qui longent le guide d'onde (23 ;\n<CLM>\1\ten amont de la portion d'extrémité (23B ; 230B) sont configurés pour que l'indice effectif d'un mode optique destiné à être propagé dans le guide d'onde varie progressivement jusqu'à la portion d'extrémité.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel la portion d'extrémité (230B) s'étend à partir d'une portion intermédiaire (210C) configurée pour que l'indice effectif d'un mode optique destiné à être propagé dans le guide d'onde varie progressivement jusqu'à la portion d'extrémité.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 11, dans lequel la portion intermédiaire (230C) comprend, dans une direction parallèle à la direction longitudinale des vias (210B, 210C), un empilement d'une première portion (230C2) et d'une deuxième portion (230C1), la deuxième portion ayant une section décroissante vers la portion d'extrémité (230B).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 12, dans lequel, au niveau du passage de la première portion (230C2) à la portion 30 d'extrémité (230B), la première portion et la portion d'extrémité ont la même section transversale.\n<CLM>\1\tCircuit intégré photonique comprenant un dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à\n<CLM>\1\t15. Circuit selon la revendication 14, comprenant une 35 structure d'interconnexion (13), le guide d'onde (23 ; 230), de B16804 - 17-GR3-0675 20 préférence en nitrure de silicium, étant noyé dans une couche isolante (19), de préférence en oxyde de silicium, de la structure d'interconnexion.