Brevet FR3071646A1 (20190329)

REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'un calculateur (1) à réseaux de neurones récurrents, comportant les étapes successives : a) prévoir un substrat (2) comportant une première électrode (20) ; b) former une première couche (3) de copolymères à blocs sur une partie de la première électrode (20) de sorte que la première électrode (20) présente des zones libres (ZL) avec une distribution spatiale aléatoire ; c) graver les zones libres (ZL) de la première électrode (20) de manière à structurer la 10 première électrode (20) ; d) retirer la première couche (3) de copolymères à blocs ; e) former une couche mémoire (4), de type mémoire vive résistive, sur la première électrode structurée (200) lors de l'étape c) ; f) former une deuxième électrode (21) sur la couche mémoire ; 15 g) former une deuxième couche (5) de copolymère à blocs sur une partie de la deuxième électrode (21) de sorte que la deuxième électrode (21) présente des zones libres (ZL) avec une distribution spatiale aléatoire ; h) graver les zones libres (ZL) de la deuxième électrode (21) de manière à structurer la deuxième électrode (21) ; 20 i) retirer la deuxième couche (5) de copolymères à blocs.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape b) comporte les étapes successives : b1) former une couche d'un polymère aléatoire sur la première électrode (20) ; 25 b2) greffer la couche du polymère aléatoire sur une partie de la première électrode (20) ; b3) former la première couche (3) de copolymères à blocs sur la couche du polymère aléatoire greffée lors de l'étape b2) ; b4) retirer la couche du polymère aléatoire greffée. 30\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'étape g) comporte les étapes successives : gi) former une couche d'un polymère aléatoire sur la deuxième électrode (21) ; g2) greffer la couche du polymère aléatoire sur une partie de la deuxième électrode (21) ; g3) former la deuxième couche (5) de copolymères à blocs sur la couche du polymère 35 aléatoire greffée lors de l'étape g2) ; 15 g4) retirer la couche du polymère aléatoire greffée.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2 ou 3, dans lequel le polymère aléatoire est sélectionné dans le groupe comportant un copolymère statistique, un homopolymère, une monocouche 5 auto-assemblée.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les copolymères à blocs de la première couche (3) et de la deuxième couche (5) sont sélectionnés dans le groupe comportant : - le polystyrène et le polyméthacrylate de méthyle, noté PS-PMMA ; - le polystyrène et l'acide polylactique, noté PS-PLA ; - le polystyrène et le poly(oxyde d'éthylène), noté PS-PEO ; - le polystyrène et le polydiméthylsiloxane, noté PS-PDMS ; - le polystyrène, le polyméthacrylate de méthyle, et le poly(oxyde d'éthylène), noté PS15 PMMA-PEO, - le polystyrène et le poly(2-vinyl pyridine), noté PS-P2VP.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel la couche mémoire (4) est réalisée dans au moins un matériau sélectionné dans le groupe comportant Hf02, A1203, SiO2, 20 ZrO, un oxyde de titane, un chalcogénure, Ta205.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les première et deuxième électrodes (20,\n<CLM>\1\tsont réalisées dans au moins un matériau sélectionné dans le groupe comportant Ti, TiN, Pt, Zr, Al, Hf, Ta, TaN, C, Cu, Ag.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la première couche (3) de copolymères à blocs et la deuxième couche (5) de copolymères à blocs formées respectivement lors des étapes b) et g) présentent une épaisseur comprise entre 30 nm et 50 nm.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 8, comportant une étape j) consistant à former une couche d'encapsulation (6) sur la deuxième électrode structurée (210) lors de l'étape h), l'étape j) étant exécutée après l'étape i). 25 30 16\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel la première électrode structurée (200) lors de l'étape c) présente un pas, noté p, et dans lequel l'étape e) est exécutée de sorte que la couche mémoire (4) présente une épaisseur, notée E, vérifiant : p/2\n<CLM>\1\tCalculateur (1) à réseaux de neurones récurrents obtenu par le procédé selon l'une des revendications 1 à 10.