Brevet FR3069099A1 (20190118)

REVENDICATIONS1. Source générateur de rayons ionisant comprenant : - une enceinte à vide (12), - une cathode (14) pouvant émettre un faisceau d'électrons (18) dans l'enceinte à vide (12), le faisceau d'électrons (18) se développant autour d'un axe (19), - une anode (76) recevant le faisceau d'électrons (18) et comprenant une cible (20;\n<CLM>\1\tpouvant générer un rayonnement ionisant (22) à partir de l'énergie reçu du faisceau d'électrons (18), le rayonnement ionisant (22) étant généré vers l'extérieur de l'enceinte à vide (12), caractérisée en ce que l'anode (76) comprend une cavité (80) dans laquelle le faisceau d'électrons (18) est destiné à pénétrer pour atteindre la cible (20) et en ce que les parois (88,\n<CLM>\1\tde la cavité (80) forment une cage de faraday entourant des ions parasites (91) pouvant être émis par la cible (20) à l'intérieur de l'enceinte à vide (12).\n<CLM>\1\tSource selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un sorbeur (92) disposé dans la cavité (80) et destiné à piéger les ions parasites (91).\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un aimant ou électro aimant (94) entourant la cavité (80), et en ce que les parois de la cavité (80) sont réalisées en matériau amagnétique.\n<CLM>\1\tSource selon les revendications 2 et 3, caractérisée en ce qu'elle comprend un support mécanique (97) assurant le maintient du sorbeur (92) et réalisé en matériau magnétique et en ce que le support mécanique (97) est disposé dans la cavité (80) de façon à guider le flux magnétique issu de l'aimant ou de l'électro aimant (94). 28\n<CLM>\1\tSource selon les revendications 2 et 3 ou la revendication 4, caractérisée en ce que l'au moins un aimant ou électro aimant (94) est disposé de façon à dévier les ions parasites vers l'au moins un sorbeur (92). 5\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins une des parois (88) de la cavité (80) forme une paroi de l'enceinte à vide (12).\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, 10 caractérisée en ce que les parois (88,\n<CLM>\1\tde la cavité (80) sont disposées coaxialement de l'axe (19).\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les parois de la cavité (80) comprennent une partie 15 cylindrique (88) autour de l'axe (19) s'étendant entre la cible (20) et une partie (90) en forme de rondelle présentant un trou (89) et refermant la partie cylindrique (88), et en ce que le faisceau d'électrons (18) pénètre dans la cavité (80) par le trou (89) de la partie (90). 20\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend une pièce mécanique (28) réalisée en matériau diélectrique et formant une paroi de l'enceinte à vide (12) et en ce que l'anode (76) est fixée de façon étanche à la pièce mécanique (28). 25\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la cible (21) est inclinée par rapport à un plan perpendiculaire à l'axe (19).\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, 30 caractérisée en ce qu'elle comprend un système magnétique actif (98) générant un champ magnétique transverse (By) à l'axe (19) dans la cavité (80) et configuré pour modifier la forme d'un spot électronique (18) formé par le faisceau d'électrons (18) sur la cible (20 ; 21). 29\n<CLM>\1\tSource selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les parois (88,\n<CLM>\1\tde la cavité (80) forment un écran de blindage vis-à-vis de rayonnements ionisants parasite (82) généré à l'intérieur de l'enceinte à vide (12). 5