Brevet FR3074577A1 (20190607)

REVENDICATIONS1. Capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) disposes sur un substrat (104), chaque pixel (102) comprenant au moins : - une capacite pyroelectrique formee par au moins une portion (106) de materiau pyroelectrique disposee entre au moins une electrode inferieure (108) et au moins une electrode superieure (110), avec ('electrode inferieure (108) disposee entre le substrat (104) et la portion (106) de materiau pyroelectrique, - une couche dielectrique (112) telle que ('electrode superieure (110) soit disposee entre la portion (106) de materiau pyroelectrique et la couche dielectrique (112), - un element chauffant (114) comprenant au moins un depot de particules electriquement conductrices et tel que la couche dielectrique (112) soit disposee entre ('electrode superieure (110) et ('element chauffant (114), - une couche de protection (200) disposee entre la couche dielectrique (112) et ('element chauffant (114) et comprenant au moins un materiau dont la durete Shore A est superieure ou egale a environ\n<CLM>\1\t2. Capteur (100) de motif thermique selon la revendication 1, dans lequel l'epaisseur de la couche de protection (200) est comprise entre environ 100 nm et 600 nm.\n<CLM>\1\tCapteur (100) de motif thermique selon l'une des revendications precedentes, dans lequel la couche de protection dielectrique (200) comporte au moins un materiau polymere organique reticulable et/ou au moins un materiau inorganique de type sol-gel et/ou du SOG et/ou un materiau ceramique de type sol-gel. 18\n<CLM>\1\tCapteur (100) de motif thermique selon la revendication 3, dans lequel le materiau polymere organique reticulable correspond a I'un des materiaux suivants : epoxy, polyurethane, acrylique, et/ou dans lequel le SOG correspond a I'un des materiaux suivants : PMMSQ, MSQ, polyquinoxaline, et/ou dans lequel le materiau 5 inorganique de type sot-gel comporte au moins I'un des composes suivants: A1203, Ti02, W03, Si02.\n<CLM>\1\tCapteur (100) de motif thermique selon l'une des revendications precedentes, dans lequel ('element chauffant (114) comporte au moins une couche de 10 particules d'argent.\n<CLM>\1\tCapteur (100) de motif thermique selon l'une des revendications precedentes, dans lequel : - le substrat (104) comprend au moins un materiau plastique, et/ou 15 - les electrodes inferieure et superieure (108,\n<CLM>\1\tcomportent au moins I'un des materiaux suivants : argent, or, cuivre, nickel, carbone, graphene, polymere conducteur.\n<CLM>\1\tCapteur (100) de motif thermique selon l'une des revendications 20 precedentes, dans lequel ledit capteur (100) de motif thermique est un capteur d'empreinte digitale.\n<CLM>\1\tProcede de realisation d'un capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) disposes sur un substrat (104), chacun realise par la 25 mice en ceuvre des etapes suivantes : - realisation d'au moins une electrode inferieure (108) sur un substrat (104) ; - realisation d'au moins une portion (106) de materiau pyroelectrique au moins sur ('electrode inferieure (108) ; 19 - realisation d'au moins une electrode superieure (110) sur la portion (106) de materiau pyroelectrique ; - realisation d'au moins une couche dielectrique (112) au moins sur ('electrode superieure (112) ; 5 - realisation d'au moins une couche de protection (200) sur Ia couche dielectrique (112); - realisation d'au moins un element chauffant (114) sur Ia couche de protection (200) ; dans lequel ('electrode inferieure (108), ('electrode superieure (110) et 10 la portion (106) de materiau pyroelectrique forment une capacite pyroelectrique, et dans lequel la couche de protection (200) comporte un materiau dont la durete Shore A est superieure ou egale a environ\n<CLM>\1\t9. Procede selon la revendication 8, dans lequel ('element chauffant 15 (114) comporte au moins une couche de particules d'argent formee par un depot par impression.\n<CLM>\1\tProcede selon ('une des revendications 8 et 9, dans lequel ('electrode inferieure (108) et/ou ('electrode superieure (110) et/ou la portion (106) de 20 materiau pyroelectrique sont realisees par des depots par impression.\n<CLM>\1\tProcede selon ('une des revendications 8 a 10, dans lequel ledit capteur (100) de motif thermique est un capteur d'empreinte digitale.