Brevet FR3068778A1 (20190111)

REVENDICATIONS1. Capteur optique (1000; 1000' ; 5000) comportant : - un dispositif optique (100; 100';\n<CLM>\1\tcomprenant un micro-résonateur à guide d'onde (120; 520; 720; 820; 920A; 920B ; 920C; 920D; 1020; 1120), agencé pour guider un faisceau lumineux selon un chemin optique en boucle fermée, et un guide d'onde d'injection et extraction (110; 1010A ; 1010B ; 1110), ou un guide d'onde d'injection (110A) et un guide d'onde d'extraction (110B), couplé(s) optiquement au micro-résonateur pour l'injection et l'extraction dudit faisceau lumineux ; - un photo-détecteur (150; 550), disposé en sortie du guide d'onde d'injection et extraction, respectivement en sortie du guide d'onde d'extraction ; et - un dispositif d'analyse (160; 560), recevant en entrée un signal fourni par le photo-détecteur, agencé pour comparer ce signal avec des données de référence, et pour en déduire une information relative à un déplacement au sein du dispositif optique (100; 100';\n<CLM>\1\t; caractérisé en ce que le micro-résonateur est constitué d'une pluralité de guides d'onde élémentaires (121; 521; 721; 821; 921; 1121) espacés les uns des autres, et disposés les uns à la suite des autres selon un agencement en forme de boucle.\n<CLM>\1\tCapteur optique (1000; 1000') selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un élément mobile annexe (130), adapté à se déplacer relativement au micro-résonateur de façon à traverser partiellement ou totalement un espace libre (122) entre deux guides d'onde élémentaires voisins.\n<CLM>\1\tCapteur optique (5000) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (521; 721; 821; 921; 1121) du micro-résonateur sont suspendus au-dessus d'un substrat (772; 872; 101), et autour d'un piédestal (570; 770; 870; 1170). 33\n<CLM>\1\tCapteur optique (5000) selon la revendication 3, caractérisé en ce que le piédestal (570; 770; 870; 1170) présente une forme de cylindre, la base du cylindre présentant un diamètre (D1) compris entre 0,25 et 0,75 fois le diamètre (D2) du micro-résonateur. 5\n<CLM>\1\tCapteur optique (5000) selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (521; 721; 921; 1121) du micro-résonateur sont montés solidaires d'une plaque de support (771; 971A; 971B; 971C; 971D), elle-même en appui sur le piédestal. 10\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 5, caractérisé en ce que la plaque de support présente une ou plusieurs tranchées (925), chacune de ces tranchées s'étendant depuis une région périphérique de la plaque de support, située entre deux guides d'onde élémentaires voisins, jusqu'à une région centrale de la plaque de support. 15\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que la plaque de support présente au moins un couple de tranchées (925), chaque couple délimitant sur la plaque de support une zone dite isolée (9711A; 9711B ; 9711C; 9711D), recevant un ou plusieurs guides d'onde élémentaires. 20\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 7, caractérisé en ce que la plaque de support (971A; 971B) présente un unique couple de tranchées.\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 7, caractérisé en ce que la plaque de support (971C) présente deux couples de tranchées, agencés symétriques l'un de l'autre. 25\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que la plaque de support (971D) présente une pluralité de tranchées délimitant ensemble une pluralité de zones isolées (9711D) symétriques deux à deux. 34\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (821) sont suspendus autour du piédestal (870), par l'intermédiaire de bras (875,\n<CLM>\1\tqui s'étendent dans un plan parallèle au plan du micro-résonateur. 5\n<CLM>\1\tCapteur optique (1000; 1000') selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (121) sont en appui sur un substrat (172), sans bras de levier.\n<CLM>\1\tCapteur optique (1000; 1000'; 5000) selon l'une quelconque des revendications 1 10 à 12, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (121; 521; 721; 821; 921; 1121) du micro-résonateur sont répartis de façon périodique les uns à la suite des autres, selon un pas régulier dit pas de répartition.\n<CLM>\1\tCapteur optique selon la revendication 13, caractérisé en ce que le pas de 15 répartition (P) est inférieur à : À 2nh avec À une longueur d'onde de résonance du micro-résonateur ; et nh l'indice de réfraction moyen des guides d'onde élémentaires.