Brevet FR3069707A1 (20190201)

REVENDICATIONS1. Dispositif infrarouge (100) destiné à générer un rayonnement infrarouge, comprenant : - un élément principal (200) comprenant une surface extérieure (210a) et une surface intérieure (210b), la surface intérieure (210b) définissant une cavité (220) ; - au moins un élément résistif (300) destiné à émettre un rayonnement infrarouge lorsqu'il est parcouru par un courant, ledit au moins un élément résistif (300) étant maintenu en suspension, par au moins deux bras de suspension (310a, 310b), dans la cavité (220), lesdits bras de suspension (310a, 310b) étant agencés pour établir un contact électrique entre l'élément résistif (300) et deux bornes de connexion (330a, 330b) disposées à l'extérieur de la cavité (220), le dispositif infrarouge étant caractérisé en ce que la surface extérieure (210a) et/ou la surface intérieure (210b) sont, au moins en partie, revêtues d'un revêtement réfléchissant (240), ledit revêtement réfléchissant (240) présentant un coefficient de réflectivité d'au moins 90%, préférentiellement d'au moins 95%, encore plus préférentiellement d'au moins 99%, dans le domaine de longueurs d'ondes infrarouges susceptibles d'être émises par l'au moins un élément résistif (300).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 1, dans lequel l'au moins un élément résistif (300) est dans un environnement maintenu à une pression inférieure à 10-2 mbar, préférentiellement comprise entre 10-3 mbar et 10-2 mbar.\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'élément principal (200) comprend deux sous-éléments dits, respectivement, premier sous-élément (250a) et second sous-élément (250b), agencés de manière à former la cavité (220), et définissant chacun un premier sous-volume et un second sous-volume de ladite cavité (220), les deux sous-éléments étant liés entre eux par une liaison hermétique. 20\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 3, dans lequel les deux bras de suspension (310a, 310b) sont maintenus au niveau de la liaison hermétique, et s'étendent en direction de l'élément résistif (300). 5\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel un guide d'onde (400) est couplé, selon une première extrémité (410) dudit guide d'onde (400), à la cavité (220) au niveau d'une ouverture traversante (241) formée à travers le revêtement réfléchissant (240), et de sorte qu'un rayonnement infrarouge 10 diffusant au niveau de l'ouverture traversante (241) hors de la cavité (220) soit, au moins en partie, guidé par ledit guide d'onde (400), ledit revêtement réfléchissant (240) étant agencé de sorte que seul le rayonnement infrarouge susceptible d'être émis par l'élément résistif (300) et traversant l'ouverture traversante (241) diffuse hors de la cavité (220). 15\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 5, dans lequel la première extrémité (410) du guide d'onde (400) est en affleurement avec la surface intérieure (210b) et en correspondance avec l'ouverture traversante (241).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 5, dans lequel la 20 première extrémité (410) du guide d'onde (400) est à une distance prédéterminée de la surface intérieure (210b), la distance prédéterminée étant avantageusement inférieure à une longueur d'onde du rayonnement infrarouge susceptible d'être émis par l'élément résistif (300), et destiné à être guidé par ledit guide d'onde (400). 25\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 7, dans lequel le guide d'onde s'étend, à partir de la première extrémité, selon une direction essentiellement perpendiculaire à la direction normale définie par la section de surface intérieure (210b) en correspondance avec l'ouverture traversante. 21\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 7 ou 8 en combinaison avec la revendication 3, dans lequel le premier sous-élément (250a) est fait d'un matériau transparent au rayonnement infrarouge. 5\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 9, dans lequel le revêtement réfléchissant (240) comprend une première partie de revêtement (240a) recouvrant la surface intérieur (210b) au niveau du premier sous élément (250a).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 7 à 10 en 10 combinaison avec la revendication 3, dans lequel le revêtement réfléchissant (240) comprend une seconde partie de revêtement (240b) recouvrant l'une ou l'autre des surfaces intérieure et extérieure au niveau du second sous-élément (250b).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 5 à 11, dans 15 lequel le guide d'onde (400) est compris dans l'élément principal (200).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel ledit dispositif infrarouge comprend en outre une membrane transparente (500) au rayonnement infrarouge susceptible d'être émis par l'élément résistif (300), ladite 20 membrane séparant de manière hermétique le volume de la cavité (220) en deux sections volumiques dites, respectivement, première section volumique (260a) et seconde section volumique (260b), l'élément principal (200) comprend au moins une, avantageusement deux, ouverture (270a, 270b) débouchant au niveau de la première section volumique (260a) et destinées à assurer l'écoulement d'un gaz ou d'un liquide dans ladite première 25 section volumique (260a), l'élément résistif (300) est disposé dans la seconde section volumique (260b).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 13, dans lequel le dispositif infrarouge comprend en outre des moyens de détection de changement de 30 température de l'élément résistif (300). 22\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel l'élément principal (200) comporte les deux bornes de connexion (330a, 330b).\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 15, dans 5 lequel l'élément résistif (300) comprend un filament métallique (302), avantageusement, le filament métallique (302) est intercalé entre deux couches diélectriques (303, 304), en plus avantageusement, l'empilement comprenant le filament métallique (302) intercalé entre les deux couches diélectriques (303,\n<CLM>\1\test disposé sur un support mécanique 10\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 16 et en combinaison avec la revendication 3, dans lequel le premier sous-élément (250a) et le second sous-élément (250b) comprennent un matériau semi-conducteur, le matériau semi-conducteur étant avantageusement du silicium. 15\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon la revendication 17, dans lequel la liaison hermétique entre le premier sous-élément (250a) et le second sous-élément (250b) est un collage métal-métal ou une soudure eutectique, avantageusement la soudure eutectique est réalisée avec du silicium et de l'or, ou Au et In, ou Cu et Sn, ou Au et Sn, ou Au et Ge, ou Al et Ge. 20\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 18, dans lequel l'élément résistif (300) est pourvu d'un filtre (320) adapté pour sélectionner une gamme spectrale du rayonnement infrarouge susceptible d'être émis par ledit élément résistif (300). 25\n<CLM>\1\tDispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 19, dans lequel l'élément principal (200) est fait, au moins en partie, d'un matériau transparent au rayonnement infrarouge. 23\n<CLM>\1\tUtilisation du dispositif infrarouge selon l'une des revendications 1 à 20 pour la détection et l'identification de gaz et/de liquide.