Brevet FR3040489A1 (20170303)
REVENDICATIONS1. Capteur de flux thermique comportant au moins un résonateur optique (8) suspendu à un support, ledit résonateur optique (8) étant destiné à être suspendu dans un environnement gazeux, ledit résonateur optique (8) comportant au moins un guide d'onde, au moins un premier moyen (16) destiné à injecter un faisceau lumineux de mesure dans le guide d'onde du résonateur optique, au moins un deuxième moyen de collecte (16,\n<CLM>\1\tdestiné à collecter un faisceau lumineux de détection provenant du guide d'onde du résonateur optique et des moyens de chauffage (20, 20',\n<CLM>\1\tdudit résonateur optique (8).\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon la revendication 1, dans lequel les moyens de chauffage (20) sont situés à distance du résonateur optique (8).\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon la revendication 2, dans lequel la distance séparant les moyens de chauffage (20) et le résonateur optique (8) est comprise entre 200 nm et 10 um.\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon la revendication 2 ou 3, dans lequel les moyens de chauffage (20) sont des moyens de chauffage par effet Joule.\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon l'une des revendications 2 à 4, dans lequel les moyens de chauffage (20) comportent au moins un fil conducteur suspendu audit support, le fil étant connecté à une source de tension électrique ou de courant électrique.\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon l'une des revendications 2 à 4, dans lequel les moyens de chauffage (20') comportent au moins une couche en matériau résistif électrique située en regard du résonateur optique (8) et disposée sur le support, la 3040489 22 couche en matériau résistif électrique étant connectée à une source de tension électrique ou de courant électrique.\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon la revendication 1, dans lequel les 5 moyens de chauffage (30) comportent une source de faisceau lumineux configurée pour injecter un faisceau lumineux dans le résonateur optique (8) et dont la puissance assure un auto-échauffement du résonateur optique (8).\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon l'une des revendications 1 à 7, 10 dans lequel le résonateur optique (8) est suspendu au support par au moins une poutre (12).\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon la revendication 8, dans lequel la poutre (12) a une largeur comprise entre 50 nm et 10 um pour une épaisseur comprise 15 entre 50 nm et 500 nm et une longueur comprise entre 1 um et 100 um.\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel le résonateur optique (8) comporte un anneau optique, un disque optique ou un cristal photonique. 20\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon la revendication 10, dans lequel le résonateur optique (8) comporte un anneau de rayon compris entre 1 um et 100 um\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon l'une des revendications 1 à 11, 25 dans lequel le premier moyen pour injecter un faisceau de lumière de mesure dans le résonateur optique (8) est une guide d'onde et le deuxième moyen de collecte est formé par le même guide d'onde que celui du premier moyen, collectant un faisceau lumineux réfléchi. 3040489 23\n<CLM>\1\tCapteur de flux thermique selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel le premier moyen pour injecter un faisceau de lumière de mesure dans le résonateur optique (8) est un guide d'onde, et deuxième moyen de collecte est formé par un autre guide d'onde, collectant un faisceau lumineux transmis. 5\n<CLM>\1\tcapteur de flux thermique selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel le premier moyen pour injecter un faisceau de lumière de mesure dans le résonateur optique (8) est une guide d'onde, et le deuxième moyen de collecte collectant un faisceau lumineux réfléchi est formé par le guide d'onde du premier moyen, et dans 10 lequel ledit capteur comporte également un autre guide d'onde (18) collectant un faisceau lumineux transmis.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz, comportant au moins un capteur de flux thermique selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel le résonateur optique (8) est 15 suspendu dans un canal fluidique (2) entre une entrée d'alimentation en un mélange gazeux du canal fluidique et une sortie d'évacuation dudit mélange gazeux du canal fluidique (2).\n<CLM>\1\tCapteur formant jauge Pirani comportant au moins un capteur de 20 flux thermique selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel le résonateur optique (8) est suspendu dans un milieu gazeux dont on souhaite mesurer la pression.\n<CLM>\1\tSystème de mesure comportant au moins capteur selon l'une des revendications 1 à 16, un émetteur (22) d'un faisceau lumineux de mesure connecté au 25 premier moyen, au moins un photodétecteur (24) connecté au deuxième moyen et une électronique (28) de traitement des signaux émis par le photodétecteur.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 17, dans lequel l'émetteur (22) d'un faisceau lumineux de mesure émet un faisceau modulé en amplitude. 3040489 24\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 17 ou 18, dans lequel l'émetteur (22) d'un faisceau lumineux de mesure est un laser.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 17 à 19 en 5 combinaison avec la revendication 7, dans lequel l'émetteur (22) d'un faisceau lumineux de mesure forme également l'émetteur du faisceau lumineux permettant l'auto-échauffement du résonateur optique\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 17 à 20, 10 comportant un autre capteur de gaz selon la revendications 15, dans lequel le mélange gazeux comporte un gaz porteur et au moins un analyte à détecter, le canal fluidique de l'un des capteurs (C2) étant destiné à être alimenté en mélange gazeux et le canal fluidique de l'autre capteur (C1) étant alimenté en gaz porteur uniquement, le deuxième moyen de collecte de chaque capteur étant connecté via un photodétecteur à 15 l'électronique de traitement de sorte à permettre une mesure différentielle.\n<CLM>\1\tSystème de mesure comportant selon l'une des revendications 17 à 20, comportant un autre capteur de gaz selon la revendications 15 et dans lequel le mélange gazeux comporte un gaz porteur et au moins un analyte à détecter, le canal 20 fluidique de l'un des capteurs (C2) étant alimenté en mélange gazeux et le canal fluidique de l'autre capteur (C1) étant alimenté en gaz porteur uniquement, le deuxième moyen de collecte de chaque capteur étant connecté, via un dispositif de récupération et d'interférence des faisceaux lumineux de mesure issus des deux capteurs, à l'électronique de traitement de sorte à mesurer le déphasage entre les faisceaux de détection collectés 25 par les deux deuxièmes moyens de sorte à permettre une mesure interférentielle.