Brevet FR3041119A1 (20170317)
REVENDICATIONS1. Procédé de gravure d'une couche (20) de copolymère à blocs assemblé comprenant des première et seconde phases de polymère (20A-20B), le procédé de gravure comportant une première étape de gravure (S1) par un premier plasma formé à partir du monoxyde de carbone ou d'un premier mélange de gaz comprenant un gaz fluorocarboné et un gaz dépolymérisant, la première étape de gravure étant réalisée de façon à graver partiellement la première phase de polymère (20A) et à déposer une couche carbonée (23) sur la deuxième phase de polymère (20B) ; le procédé de gravure étant caractérisé en ce qu'il comporte une deuxième étape de gravure (S2) par un deuxième plasma formé à partir d'un deuxième mélange de gaz comprenant un gaz dépolymérisant et un gaz choisi parmi les oxydes de carbone et les gaz fluorocarbonés, la deuxième étape de gravure étant réalisée de façon à graver la première phase de polymère (20A) et la couche carbonée (23) sur la deuxième phase de polymère (20B).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, comprenant une pluralité de cycles de gravure successifs (C1, C2), chaque cycle de gravure comprenant successivement la première étape de gravure (S1) et la deuxième étape de gravure (S2).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 et 2, dans lequel le premier plasma et le deuxième plasma sont formés en utilisant un même gaz autre que le gaz dépolymérisant.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel le deuxième mélange comprend du monoxyde de carbone.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel la première étape de gravure (S1) présente un rapport du débit de gaz fluorocarboné sur le débit de gaz dépolymérisant compris entre 0,8 et 1,2 et dans lequel la deuxième étape de gravure (S2) présente un rapport du débit de gaz fluorocarboné sur le débit de gaz dépolymérisant compris entre 0,3 et 0,7. 3041119 16\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la deuxième étape de gravure (S2) présente un rapport du débit d'oxyde de carbone sur le débit de gaz dépolymérisant compris entre 0,3 et\n<CLM>\1\t5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la première étape de gravure (S1) est réalisée dans des conditions telles que la couche carbonée (23) est déposée uniquement sur la deuxième phase de polymère (20B).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 7, dans lequel la première étape de gravure (S1) 10 a une durée comprise entre 5 s et 30 s.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la première étape de gravure (S1) est réalisée dans des conditions telles que la couche carbonée (23) est en outre déposée sur la première phase de polymère (20A) 15 partiellement gravée, la couche carbonée ayant une épaisseur sur la première phase de polymère (20A) plus faible que sur la deuxième phase de polymère (20B).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel la deuxième étape de gravure (S2) a une durée comprise entre 5 s et 30 s.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel la première phase de polymère (20A) est organique et présente une concentration en atomes d'oxygène supérieure à 20 %, et dans lequel la deuxième phase de polymère (20B) présente une concentration en atomes d'oxygène inférieure à 10 %.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel le gaz dépolymérisant du premier mélange et le gaz dépolymérisant du deuxième mélange sont choisis parmi H2, N2, 02, Xe, Ar et He. 20 25 30