Brevet FR3038918A1 (20170120)
REVENDICATIONS1. Dispositif de palpage d'une surface disposée dans une enceinte sous atmosphère contrôlée, comportant un bâti (23), au moins une canne de palpage (14) d'axe longitudinal (X) munie d'une extrémité destinée à venir en contact avec ladite surface et apte à se déplacer le long de l'axe longitudinal (X) par rapport au bâti (23), des moyens de connexion flexibles étanches (16) dudit dispositif à l'enceinte, les moyens de connexion flexibles étanches (16) comportant une première extrémité (16.1) destinée à être fixée de manière étanche à une paroi de l'enceinte et une deuxième extrémité (16.2) qui est fixée de manière étanche à la canne de palpage (14) de sorte que, lorsque le dispositif de palpage est relié de manière étanche à l'enceinte, la première extrémité de la canne de palpage (14) est disposée dans l'enceinte et peut être rapprochée ou éloignée de ladite surface le long de son axe longitudinal (X), et des moyens de détection de la position de la canne de palpage.\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 1, dans lequel les moyens de connexion flexibles étanches (16) comportent un soufflet d'axe longitudinal.\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 2, dans lequel le soufflet est un soufflet à coupelles métalliques soudées.\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 3, comportant des moyens de rappel élastique limitant la déformation des moyens de connexion flexibles étanches (16) selon la direction de l'axe longitudinal (X).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 4, dans lequel les moyens de connexion flexibles étanches (16) présentent une raideur suivant l'axe longitudinal, lesdits moyens de connexion flexibles étanches (16) formant tout ou partie des moyens de rappel élastique. 3038918\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 4 ou 5, dans lequel les moyens de rappel élastique comportent au moins un ressort hélicoïdal (29).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 6, 5 comportant des moyens de guidage de la canne de palpage le long de l'axe longitudinal (X).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 7, dans lequel les moyens de guidage comportent au moins une colonne de guidage (22) fixée au bâti 10 parallèlement à l'axe longitudinal et une platine mobile (28) fixée à la deuxième extrémité (16.2) des moyens de connexion flexibles étanches (16) et mobile le long de ladite au moins une colonne de guidage (22).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 8 en combinaison avec 15 la revendication 6, un ressort hélicoïdal (29) étant monté autour de tout ou partie des colonnes de guidage (22).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 7, dans lequel les moyens de guidage comportent au moins une unité de translation linéaire.\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 10, comportant des moyens permettant la mise en rotation de ladite canne de palpage (14) autour de son axe longitudinal par rapport aux moyens de connexion flexibles étanches (16).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon les revendications 1 à 11, dans lequel la deuxième extrémité des moyens de connexion flexibles étanches comporte un dispositif de rotation étanche permettant la rotation de la canne de palpage autour de son axe par rapport aux moyens de connexion flexibles étanches. 20 25 3038918 31\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 12, dans lequel le dispositif de rotation étanche comporte un presse-étoupe fixé à la deuxième extrémité des moyens de connexion flexibles étanches et un corps tubulaire monté tournant dans le presse-étoupe de manière étanche, la canne de palpage traversant de manière étanche 5 ledit corps.\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 12, dans lequel le dispositif de rotation étanche comporte un premier corps tubulaire fixé à la deuxième extrémité des moyens de connexion flexibles étanches, un deuxième corps tubulaire 10 monté tournant dans le premier corps tubulaire, de manière étanche, la canne de palpage étant montée dans un presse-étoupe fixé à une extrémité du deuxième corps tubulaire faisant saillie du premier corps tubulaire.\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 14, 15 comportant des moyens de déplacement automatisés de la canne de palpage (14) le long de l'axe longitudinal (X).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 15, comportant des moyens de butée (38) le long de l'axe longitudinal (X) de l'extrémité 20 mobile des moyens de connexion flexibles étanches (16).\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 16, comportant des moyens de détection du contact entre la canne de palpage (14) et ladite surface. 25\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon la revendication 17, dans lequel les moyens de détection du contact comportent au moins un capteur de la force nécessaire au déplacement de la canne de palpage (14) et/ou au moins un capteur de déplacement de la canne de palpage (14). 30 3038918 32\n<CLM>\1\tDispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 18, dans lequel les moyens de détection de la position de la canne de palpage (14) comportent au moins un réglet fixé sur le bâti (23) à parallèlement à la canne de palpage (14). 5\n<CLM>\1\tInstallation comportant une enceinte comportant au moins une paroi et au moins une ouverture dans ladite paroi et au moins dispositif de palpage selon l'une des revendications 1 à 19, la première extrémité des moyens de connexion flexibles étanches (16) étant reliée de manière étanche sur l'ouverture de la paroi de l'enceinte, l'intérieur de l'enceinte et du dispositif de palpage formant un volume étanche. 10\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication 20, dans laquelle la première extrémité (16.1) des moyens de connexion flexibles étanches (16) est fixée directement sur l'ouverture de l'enceinte par une bride. 15\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication 20 ou 21, comportant des moyens de déplacement contrôlé du dispositif de palpage par rapport à l'enceinte.\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication 22, dans laquelle les moyens de déplacement contrôlé comportent un élément de connexion flexible étanche (34) reliant 20 les moyens de connexion flexibles étanches (16) du dispositif de palpage et l'enceinte et traversés par la canne de palpage (14).\n<CLM>\1\tInstallation selon l'une des revendications 20 à 23, pour la mise en oeuvre d'un procédé de solidification sous atmosphère contrôlée. 25\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication 24, pour la mise en oeuvre d'un procédé de solidification sous vide, par exemple entre 10-4Pa et quelques Pa.\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication 24 ou 25, pour la mise en oeuvre 30 d'un procédé de solidification de silicium.