Brevet FR3045869A1 (20170623)
REVENDICATIONS1. Structure intégrée tridimensionnelle comprenant au moins un premier substrat (SI, 53, S5) comportant des premiers composants (1) orientés selon au moins une première direction préférentielle (Dl), un deuxième substrat (S2, S4, S6) comportant des deuxièmes composants (1) orientés selon au moins une deuxième direction (D2) et au moins un niveau d'interconnexion (B1, B2, B3, B4, B) comportant des lignes électriquement conductrices (21,\n<CLM>\1\ts'étendant selon au moins une troisième direction (D3), la deuxième direction (D2) et/ou la troisième direction (D3) formant un angle non droit et non nul avec la première direction (Dl) de sorte que deux points (4, 5, 16, 17, 19,\n<CLM>\1\tdes premiers ou des deuxièmes composants soient reliés par une première liaison électrique (3, 11, 14, 15,\n<CLM>\1\tcomportant au moins l'une des lignes électriquement conductrices.\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 1, dans laquelle ledit angle non droit et non nul est un angle de 45°. .\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 1 ou 2, comprenant au moins un premier élément (El) comportant le premier substrat (Si) et au moins un premier niveau d'interconnexion (B1) contenant des premières lignes électriquement conductrices (21) s'étendant au moins selon une quatrième direction (D4) parallèle ou orthogonale à la première direction (Dl), et un deuxième élément (E2) comportant au moins le deuxième substrat (S2) et au moins un deuxième niveau d'interconnexion (B2) contenant des deuxièmes lignes électriquement conductrices (22) qui s'étendent selon ladite au moins une troisième direction (D3), les deux éléments (El, E2) étant mutuellement solidarisés, la deuxième direction (D2) formant ledit angle non droit et non nul avec la première direction (Dl), et ladite au moins une troisième direction (D3) étant parallèle ou orthogonale à la deuxième direction (D2), et au moins deux points (4,\n<CLM>\1\tdudit premier élément (El) sont électriquement reliés par ladite première liaison électrique (3, 11,\n<CLM>\1\tcomportant au moins l'une (30, 110,\n<CLM>\1\tdesdites deuxièmes lignes électriquement conductrices (22). 3045869 te,\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 3, dans laquelle lesdites premières lignes électriquement conductrices (21) s'étendent selon la quatrième (D4) et/ou une cinquième (D5) directions orthogonales, et les deuxièmes lignes métalliques (22) s'étendent selon 5 la troisième (D3) et/ou une sixième direction orthogonale.\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une quelconque des revendications 3 et 4, dans laquelle chaque élément (El, E2) comporte une partie d'interconnexion (B1, B2) comportant plusieurs niveaux de métal et ledit au moins un niveau d'interconnexion de l'élément 10 considéré est au moins un niveau de métal de ladite partie d'interconnexion (B1, B2).\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, dans laquelle ladite première liaison électrique (3, 11,\n<CLM>\1\tcomprend des vias (31, 32, 111, 112, 141,\n<CLM>\1\treliant 15 lesdits deux points (4,\n<CLM>\1\tà ladite au moins une deuxième ligne électriquement conductrice (30, 110, 140,).\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, dans laquelle le premier élément (El) et le deuxième élément (E2) sont mutuellement solidarisés par des piliers 20 électriquement conducteurs (10).\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une quelconque l'une des revendications 5 ou 6, dans laquelle le premier élément (El) et le deuxième élément (E2) sont mutuellement solidarisés via leurs parties d'interconnexion (B1, B2) par un collage hybride. 25\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une quelconque des revendications 3 à 8, dans laquelle l'un au moins des deux éléments (El, E2) comprend au moins un circuit intégré.\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une quelconque des revendications 3 à 9, dans laquelle au moins deux points (7,8) dudit au 30 moins un deuxième niveau d'interconnexion (B2) sont électriquement reliés par une deuxième liaison électrique (6) comportant au moins l'une (60) desdites premières lignes électriquement conductrices (21) formant ledit angle non droit et non nul avec les deuxièmes lignes 3045869 17 électriquement conductrices (22) dudit au moins un deuxième niveau d'interconnexion (B2).\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon l'une des revendications I ou 2, formant une structure tridimensionnelle monolithique comportant au 5 moins le premier substrat (S3, S5), le deuxième substrat (S4, S6) et ledit au moins un niveau d'interconnexion (B3, B4, B).\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 11, dans laquelle les premières (Dl) et deuxièmes (D2) directions sont parallèles et la troisième direction (D3) forme ledit angle non droit et non nul avec les 10 premières (Dl) et les deuxièmes (D2) directions.\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 11, dans laquelle la deuxième direction (D2) et la troisième direction (D3) sont parallèles et forment avec la première direction (Dl) ledit angle non droit et non nul. 15\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 12, dans laquelle deux points (19,\n<CLM>\1\tdu premier substrat sont reliés par ladite liaison électrique (18) comprenant l'une (180) desdites ligne électriquement conductrice dudit au moins un niveau d'interconnexion (B).\n<CLM>\1\tStructure intégrée selon la revendication 12 comprenant au 20 moins un premier niveau d'interconnexion (B3) entre le premier substrat (S3) et le deuxième substrat (S4) et deux points (16,\n<CLM>\1\tdu premier niveau d'interconnexion (B3) sont reliés par une liaison électrique (15) compreni.nt une ligne électriquement conductrice (150) d'un deuxième niveau d'interconnexion (B4) s'étendant selon au moins 25 la troisième direction (D3).\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'une structure intégrée tridimensionnelle comprenant - une réalisation d'au moins un premier substrat (Si, S3, S5) comportant des premiers composants (1) orientés selon au moins une 30 première direction préférentielle (Dl), - une réalisation d'un deuxième substrat (S2, S4, S6) comportant des deuxièmes composants (1) orientés selon au moins une deuxième direction (D2), et 304 5 869 une réalisation d'au moins un niveau d'interconnexion (B1, B2, B3, B4, B) comportant des lignes électriquement conductrices (21,\n<CLM>\1\ts'étendant selon au moins une troisième direction (D3), 5 le premier substrat (S1, S3, S5), le deuxième substrat (S2, S4, S6) et ledit au moins un niveau d'interconnexion (B 1, B2, B3, B4, B) étant mutuellement solidarisés de sorte que la deuxième direction (D2) et/ou la troisième direction (D3) forment un angle non droit et non nul avec 10 la première direction (Dl) et que deux points (4, 5, 16, 17, 19,\n<CLM>\1\tdes premiers ou des deuxièmes composants soient reliés par une première liaison électrique (3, 11, 14, 15,\n<CLM>\1\tcomportant au moins l'une des lignes électriquement conductrices.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 16, dans lequel ledit angle non droit et non nul est un angle de 45°. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 16 ou 17, comprenant - une réalisation d'au moins un premier élément (El) comportant le premier substrat (S1) et au moins un premier niveau d'interconnexion (B1) contenant des premières lignes électriquement conductrices (21) 20 s'étendant au moins selon une quatrième direction (D4) parallèle ou orthogonale à la première direction (D1), - une réalisation d'un deuxième élément (E2) comportant au moins le deuxième substrat (S2) et au moins un deuxième niveau d'interconnexion (132) contenant des 25 deuxièmes lignes électriquement conductrices (22) qui s'étendent selon ladite au moins une troisième direction (D3) une solidarisation desdits deux éléments (El, E2) après une. rotation de l'un des éléments (El, E2) par rapport à 30 l'autre dudit angle non droit et non nul, de manière à ce que la deuxième direction (D2) forme ledit angle non droit et non nul avec la première direction (Dl), la troisième direction (D3) étant parallèle ou orthogonale à la deuxième direction (D2), 3045869 19 ladite première liaison électrique (3, 11,\n<CLM>\1\tcomportant au moins l'une (30, 110,\n<CLM>\1\tdesdites deuxièmes lignes électriquement conductrices (22) reliant électriquement au moins deux points dudit premier élément. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'un des revendications 16 ou 17, comprenant la réalisation d'un structure intégrée tridimensionnelle monolithique comportant au moins le premier substrat (S3, S5), le deuxième substrat (S4, S6) et ledit au moins un niveau d'interconnexion (B3, B4, B).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 19, dans lequel les 10 premières et deuxièmes directions (Dl, D2) sont parallèles et la troisième direction (D3) forme ledit angle non droit et non nul avec les premières et les deuxièmes directions (Dl, D2).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 19, dans lequel la deuxième direction (D2) et la troisième direction (D3) sont parallèles et forment 15 avec la première direction (D1) ledit angle non droit et non nul.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 20, comprenant la réalisation d'une liaison électrique (18) comprenant l'une (180) desdites lignes électriquement conductrice dudit niveau d'interconnexion (B) et reliant deux points (19,\n<CLM>\1\tdu premier 20 substrat.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 20, comprenant la réalisation d'au moins un premier niveau d'interconnexion (B3) entre le premier substrat (S3) et le deuxième substrat (S4) et la réalisation d'une liaison électrique (15) comprenant une ligne électriquement 25 conductrice (150) d'un deuxième niveau d'interconnexion (B4) s'étendant selon au moins la troisième direction (D3), ladite liaison électrique (15) reliant deux points du premier niveau d'interconnexion (B3).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 16 à 23, dans lequel 30 on réalise le placement-routage des différents composants et des différentes lignes électriquement conductrices (21, 22, 30, 60, 110, 140, 150,\n<CLM>\1\ten tenant compte de ladite rotation dudit angle non droit et non nul.