Brevet FR3046244A1 (20170630)
REVENDICATIONS1. Capteur de gaz microélectromécanique et/ou nanoélectromécanique comportant : - une partie fixe (2), - au moins une partie suspendue (4) par rapport à la partie fixe (2), - au moins une zone sensible(6) portée par la partie suspendue (4), ladite zone sensible (4) étant apte à adsorber/absorber et à désorber des espèces gazeuses ou familles d'espèces gazeuses, - des moyens de chauffage (8) au moins de la zone sensible (6), - des moyens de détection (10) de l'adsorption/ absorption et de la désorption des espèces gazeuses ou familles d'espèces gazeuse sur la zone sensible, - des moyens de contrôle des moyens de chauffage (8) de sorte que les moyens de chauffage (8) appliquent à au moins la zone sensible (6) un ou des profils de température assurant l'adsorption/absorption et la désorption des espèces gazeuses de manière contrôlée de sorte à obtenir une désorption individuelle de chaque espèces ou familles d'espèce gazeuses.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon la revendication 1, comportant des moyens de mesure de la température de la zone sensible (6).\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la partie suspendue (4) est mobile et les moyens de détection comportent des moyens d'actionnement pour mettre en mouvement la partie suspendue et des moyens pour mesurer le déplacement de la partie suspendue.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la partie suspendue (4) est au moins en partie conductrice électrique et les moyens de détection mesurent une variation de conductivité de la partie suspendue. 3046244 33\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les moyens de chauffage sont des moyens de chauffage à effet joule.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon la revendication 5, dans lequel la partie 5 suspendue est au moins en partie conductrice électrique et est destinée à s'échauffer par effet Joule par circulation d'un courant.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon les revendications 4, 5 et 6, dans lequel les moyens de détection et les moyens de chauffage sont confondus. 10\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon l'une des revendications 1 à 7, comportant une base de données comportant des profils de température prédéfinis.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon l'une des revendications 1 à 8, comportant 15 plusieurs partie suspendues comportant des zones sensibles de surface différentes et/ou ayant des propriétés d'adsorption/absorption et désorption différentes les unes des autres\n<CLM>\1\tCapteur de gaz selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel 20 les moyens de chauffage sont tels qu'ils peuvent chauffer différentes zones de la partie mobile à des températures différentes simultanément.\n<CLM>\1\tSystème microélectromécanique et/ou nanoélectromécanique de détection de gaz comportant au moins un premier capteur de gaz selon l'une des 25 revendications 1 à 10 et au moins un deuxième capteur de gaz et des moyens de comparaison et de traitement des signaux issus des moyens de détection de chacun desdits capteurs. 3046244 34\n<CLM>\1\tSystème de détection de gaz selon la revendication 11, dans lequel le deuxième capteur de gaz est un capteur de gaz selon l'une des revendications 1 à 10, le premier capteur de gaz étant disposé dans un environnement de référence et le deuxième capteur étant destiné à être en contact avec un mélange gazeux. 5\n<CLM>\1\tSystème de détection de gaz selon la revendication 11, dans lequel le premier capteur de gaz et le deuxième capteur de gaz sont destinés à être disposés dans un même mélange gazeux, au moins une zone sensible du premier capteur de gaz étant apte à adsorber/absorber et à désorber une première espèce gazeuse ou première 10 famille d'espèce gazeuse à détecter et le deuxième capteur de gaz étant un capteur de gaz selon l'une des revendications 1 à 10, au moins une zone sensible du deuxième capteur étant apte à adsorber/absorber et à désorber une deuxième espèce gazeuse ou deuxième famille d'espèce gazeuse à détecter. 15\n<CLM>\1\tSystème de détection selon l'un des revendications 11,comportant plusieurs deuxièmes capteurs disposés autour du premier capteur, les moyens de contrôle des deuxièmes capteurs étant tels qu'ils adsorbent/absorbent les espèces gazeuses ou familles d'espèces désorbées par le premier capteur. 20\n<CLM>\1\tSystème de détection selon l'une des revendications 11 à 14, comportant un premier capteur et un deuxième capteur disposé en amont du premier capteur et un autre deuxième capteur disposé en aval du premier capteur et des moyens de comparaison des signaux fournies par les moyens de détection de deux deuxièmes capteurs. 25\n<CLM>\1\tSystème de détection selon l'une des revendications 11 à 15, dans lequel les capteurs comportent des zones sensibles différentes. 3046244 35\n<CLM>\1\tSystème de détection selon l'une des revendications 13 à 16, comportant plusieurs premiers capteurs et dans lequel les deuxièmes capteurs sont répartis en plusieurs groupes agencés de manière concentrique autour des premiers capteurs, les moyens de contrôle des deuxièmes capteurs étant tels qu'ils contrôlent les 5 moyens de chauffage de sorte que les zones sensibles de chaque groupe soient à une température différente de celles des autres groupes.\n<CLM>\1\tSystème de détection selon l'un des revendications 11 à 17, comportant un canal dans lequel est ou sont montés les capteurs 10\n<CLM>\1\tSystème de détection selon la revendication 18, comportant une pompe connectée au canal.\n<CLM>\1\tProcédé d'analyse d'un mélange gazeux mettant en oeuvre un 15 capteur selon l'une des revendications 1 à 10 ou un système de détection selon l'une des revendications 11 à 19, comportant au moins un cycle comprenant les étapes : a) application à au moins une zone sensible dans un état de référence d'au moins une température pour provoquer une adsorption/absorption d'espèces gazeuses, 20 b) mesure d'un signal de détection de l'adsorption/absorption, c) application d'au moins une deuxième température pour provoquer la désorption d'au moins une partie des espèces gazeuses d) mesure d'un signal de détection de ladite désorption, e) répétition du cycle jusqu'à ce que toutes les espèces d'intérêt 25 soient séparées,\n<CLM>\1\tProcédé d'analyse selon la revendication 20, dans lequel les conditions d'adsorption/absorption et de désorption du cycle suivant sont déterminées en fonction des signaux obtenus à l'étape d). 3046244 36\n<CLM>\1\tProcédé d'analyse selon la revendication 20 ou 21, dans lequel les conditions de désorption de l'étape c) sont déterminées en fonction des signaux obtenus à l'étape b). 5\n<CLM>\1\tProcédé d'analyse selon la revendication 20, 21 ou 22, comportant au moins préalablement à l'étape a), au moins une étape de nettoyage par application d'une température provoquant une désorption telle que la zone sensible se retrouve dans l'état de référence. 10\n<CLM>\1\tProcédé d'analyse selon la revendication 23, comportant une étape de nettoyage entre chaque cycle.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 20 à 24, dans lequel lorsque la valeur du signal de détection à l'étape b) est inférieure à une valeur seuil, le 15 procédé d'analyse est interrompu.