Brevet FR3044468A1 (20170602)
REVENDICATIONS1. Dispositif de photo-détection à réseau de diodes, dans lequel chaque diode du réseau comporte une région d'absorption (20) qui présente une première énergie de bande interdite et une région de collection (30) qui présente un premier type de dopage, et dans lequel les diodes adjacentes dans le réseau sont séparées par une tranchée (50) comportant des flancs et un fond, caractérisé en ce qu'il comporte une couche de stabilisation (60) sur le fond et les flancs d'une tranchée (50), la couche de stabilisation présentant un deuxième type de dopage opposé au premier type de dopage et une énergie de bande interdite supérieure à la première énergie de bande interdite des régions d'absorption.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1, dans lequel le deuxième type de dopage est un dopage de type P.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 et 2, dans lequel une tranchée (50) sépare les régions d'absorption des diodes adjacentes et est dénué de contact avec les régions de collection (30) des diodes adjacentes.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel les régions d'absorption (20) des diodes reposent sur une couche intermédiaire (40) qui présente un même type et un même niveau de dopage que les régions d'absorption et une énergie de bande interdite supérieure à la première énergie de bande interdite des régions d'absorption.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 4, dans lequel la couche de stabilisation (60) d'une tranchée s'étend à travers une partie au moins de la couche intermédiaire (40) de manière à empêcher la diffusion des porteurs générés dans la région d'absorption d'une diode vers la diode adjacente dont elle est séparée par la tranchée. 3044468 15\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 5, comportant en outre une couche de passivation (70) qui recouvre chaque diode à l'exception de régions de contact d'un plot électriquement conducteur (80) avec une région de collection (20) d'une diode. 5\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 6, dans lequel la couche de stabilisation (60) s'étend depuis les flancs de la tranchée sur une distance donnée en-dessous de la couche de passivation (70). 10\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel chaque diode comprend en outre une région localisée au-dessus de la région d'absorption qui présente un même type de dopage que la région d'absorption et une énergie de bande interdite supérieure à celle de la région d'absorption. 15\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel la région d'absorption d'une diode présente un niveau de dopage inférieur à 5.1016 at/cm3.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel la couche de stabilisation (60) d'une tranchée est recouverte d'une couche de métallisation (90). 20\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 10, dans lequel la couche de métallisation d'une tranchée est en contact électrique avec un contact substrat périphérique agencé sur au moins un côté du réseau de diodes. 25\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un dispositif de photo-détection comportant un réseau de diodes, dans lequel chaque diode du réseau comporte une région d'absorption qui présente une première énergie de bande interdite et une région de collection qui présente un premier type de dopage, le procédé comprenant la formation de tranchées séparant les diodes adjacentes dans le réseau, les tranchées 30 comportant des flancs et un fond, caractérisé en ce qu'il comporte une étape consistant à former une couche de stabilisation sur le fond et les flancs d'une tranchée, la couche de stabilisation 3044468 16 présentant un deuxième type de dopage opposé au premier type de dopage et une énergie de bande interdite supérieure à la première énergie de bande interdite des régions d'absorption.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 12, dans lequel l'étape consistant à former une couche de stabilisation comprend la transformation du fond et des flancs d'une tranchée par implantation et diffusion d'une impureté.