Brevet FR3046090A1 (20170630)
REVENDICATIONS1. Transducteur à ondes de volume guidées, comprenant une plaque de substrat (10) acoustique en matériau électriquement isolant et un réseau de sources d'excitation acoustique synchrones, le réseau comportant un premier peigne (20) et un deuxième peigne (30) comprenant chacun une pluralité de transducteurs élémentaires (21 ; 31), les transducteurs élémentaires du premier et du deuxième peigne étant inter-digités et rangés selon une direction (X) de propagation des ondes de volume guidées, les transducteurs élémentaires s'étendant chacun selon un axe transversal (Y), transducteur caractérisé en ce que chaque transducteur élémentaire comprend une électrode inférieure (22a, 22b, 22c ; 32a, 32b, 32c) conductrice positionnée sur le substrat, un barreau en matériau piézoélectrique (24a, 24b, 24c ; 34a, 34b, 34c) positionné sur l'électrode inférieure et une électrode supérieure conductrice (23a, 23b, 23c ; 33a, 33b, 33c) positionnée sur le barreau.\n<CLM>\1\tTransducteur selon la revendication 1 dans lequel une électrode (22b ou 23b) d'un transducteur élémentaire est reliée électriquement à une borne d'alimentation d'une source électrique d'excitation référencée et l'autre électrode (23b ou 22b) du même transducteur est reliée à une masse électrique de la dite source.\n<CLM>\1\tTransducteur selon l'une des revendications 1 à 2 dans lequel l'électrode inférieure (32a ; 22b) d'un transducteur élémentaire est reliée électriquement à l'électrode supérieure (23a ; 33a) du transducteur élémentaire précédent et à l'électrode supérieure (23b ; 33b) du transducteur élémentaire suivant et dans lequel l'électrode supérieure (33a ; 23b) d'un transducteur élémentaire est reliée électriquement à l'électrode inférieure (22a ; 32a) du transducteur élémentaire précédent et à l'électrode inférieure (22b ; 32b) du transducteur élémentaire suivant.\n<CLM>\1\tTransducteur selon la revendication 1 à 2 dans lequel les électrodes inférieures (22a, 22b, 22c ; 32a, 32b, 32c) de tous les transducteurs élémentaires (21,\n<CLM>\1\tsont agencées pour être connectées ensemble à une première borne d'une source d'alimentation, dans lequel les électrodes supérieures (23a, 23b, 23c ; 33a, 33b, 33c) de tous les transducteurs élémentaires (21,\n<CLM>\1\tsont agencées pour être connectées ensemble à une deuxième borne de la source d'alimentation, la première borne et la deuxième borne étant respectivement une borne de potentiel et une masse ou l'inverse, et dans lequel le barreau (24a, 24b, ...24c) de chaque transducteur (21) du premier peigne a une polarisation opposée à la polarisation du barreau (34a, 34b, 34c) de chaque transducteur (31) du deuxième peigne.\n<CLM>\1\tTransducteur selon la revendication 4 dans lequel le substrat est recouvert d'une couche conductrice formant une électrode commune électriquement équivalente à l'ensemble des électrodes inférieures de tous les transducteurs élémentaires, les barreaux polarisés (24a, 34a, 24b, 34b, 24c, 34c) étant positionnés sur la couche conductrice formant électrode inférieure commune. 3046090 11\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'un transducteur selon l'une des revendications 1 à 3 comprenant les étapes suivantes consistant à : - réaliser une plaque de substrat (10) acoustique en matériau électriquement isolant, 5 - déposer sur le substrat une première série (22) d'électrodes inférieures (22a, 22b, 22c) et une deuxième série (32) d'électrodes inférieures (32a, 32b, 32c) réalisées en matériau électriquement conducteur, inter-digitées et rangées selon la direction de propagation (X), chaque électrode inférieure (22a, 32a, 22b, 32b, 22c, 32c) s'étendant selon un axe transversal (Y), les électrodes (22a, 22b, 22c) de la première série d'électrodes inférieures étant reliées électriquement entre elles et les 10 électrodes (32a, 32b, 32c) de la deuxième série d'électrodes inférieures étant reliées électriquement entre elles, - recouvrir d'une couche (40) d'un matériau piézoélectrique la première série d'électrodes inférieures et la deuxième série d'électrodes inférieures, - déposer sur le matériau piézoélectrique une première série (23) d'électrodes supérieures (23a, 15 23b, 23c) et une deuxième série (33) d'électrodes supérieures (33a, 33b, 33c) réalisées en matériau électriquement conducteur, inter-digitées et rangées selon la direction de propagation (X), chaque électrode supérieure (23a, 33a, 23b, 33b, 23c, 33c) s'étendant selon l'axe transversal (Y), les électrodes (23a, 23b, 23c) de la premières série d'électrodes supérieures étant reliées électriquement entre elles et aux électrodes (32a, 32b, 32c) de la deuxième série d'électrodes 20 inférieures et les électrodes (33a, 33b, 33c) de la deuxième série d'électrodes supérieures étant reliées électriquement entre elles et aux électrodes (22a, 22b, 22c) de la première série d'électrodes inférieures, - graver la couche de matériau piézoélectrique, par enlèvement du matériau piézoélectrique situé entre les électrodes supérieures pour former un barreau de matériau piézoélectrique sous chaque 25 électrode supérieure.\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'un transducteur selon l'une des revendications 1, 2, ou 4 ou 5 en combinaison avec l'une des revendications 1 à 2, procédé comprenant les étapes suivantes consistant à: - réaliser une plaque de substrat (10) acoustique en matériau électriquement isolant, 30 - déposer sur le substrat, soit une première série (22) d'électrodes inférieures (22a, 22b, 22c) et une deuxième série (32) d'électrodes inférieures (32a, 32b, 32c) en matériau électriquement conducteur, chaque électrode inférieure (22a, 32a, 22b, 32b, 22c, 32c) s'étendant selon un axe transversal (Y), les électrodes de la première série et de la deuxième série d'électrodes inférieures étant interdigitées et rangées selon une direction de propagation (X) perpendiculaire à l'axe transversal (Y), les électrodes (22a, 22b, 22c) de la première série d'électrodes inférieures et les électrodes (32a, 32b, 32c) de la deuxième série d'électrodes inférieures étant reliées électriquement entre elles, ou soit une couche (43) de matériau électriquement conducteur formant une électrode inférieure commune, 3046090 12 - recouvrir d'une couche (40) d'un matériau piézoélectrique la ou les électrodes inférieures (43 ; 22a, 32a, 22b, 32b, 22c, 32c), - déposer sur la couche (40) de matériau piézoélectrique une première série (23) d'électrodes supérieures (23a, 23b, 23c) et une deuxième série (33) d'électrodes supérieures (33a, 33b, 33c) 5 réalisées en un matériau électriquement conducteur, interdigitées et rangées selon la direction de propagation, chaque électrode de la première série et de la deuxième série d'électrodes supérieures s'étendant selon l'axe transversal, les électrodes de la premières série d'électrodes supérieure étant reliées électriquement entre elles et les électrodes de la deuxième série d'électrodes supérieure étant reliées électriquement entre elles, 10 - polariser la couche de matériau piézoélectrique (40) - graver la couche de matériau piézoélectrique, par enlèvement du matériau piézoélectrique situé entre les électrodes supérieures pour former un barreau (24a, 34a, 24b, 34b, ...24c, 34c) de matériau piézoélectrique sous chaque électrode supérieure, - polariser en inverse les barreaux (24a, 24b, 24c) de matériau piézoélectrique positionnés sous 15 les électrodes de la première série d'électrodes supérieure.\n<CLM>\1\tTransducteur selon la revendication 7 dans lequel le matériau piézoélectrique présente des propriétés ferroélectriques.\n<CLM>\1\tTransducteur selon l'une des revendications précédentes connecté à une antenne radio-fréquence adaptée pour exciter et / ou détecter les ondes élastiques émises et / ou reçues par le transducteur sans 20 fil. 10.Filtre de fréquences à entrée / sortie différentielles, comprenant un transducteur selon l'une des revendications 1 à 8.