Brevet FR3043838A1 (20170519)
REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une couche (103) contenant des boîtes quantiques, cette couche comportant des premières régions (103a) dans lesquelles les boîtes quantiques sont actives, et des deuxièmes régions (103b) dans lesquelles les boîtes quantiques sont inactives, ce procédé comportant les étapes suivantes : a) déposer sur un support (101) une première couche (103) d'une matrice dans laquelle sont incorporées des boîtes quantiques ; b) déposer sur la première couche (103) une deuxième couche (105) de résine photosensible ; c) insoler la deuxième couche (105) au travers d'un masque (107) délimitant, en vue de dessus, les premières (103a) et deuxièmes (103b) régions, puis développer la résine de la deuxième couche (105) de façon à retirer la résine de la deuxième couche (105) en regard des deuxièmes régions (103b), et à conserver la résine de la deuxième couche (105) en regard des premières régions (103a) ; et d) retirer la résine de la deuxième couche (105) en 20 regard des premières régions (103a) sans retirer la matrice de la première couche (103) en regard des premières régions (103a).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel la matrice de la première couche (103) est une résine photosensible.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2, dans lequel la 25 résine photosensible de la première couche (103) est choisie parmi l'une des familles de l'ensemble comportant la famille des résines photosensibles positives et la famille des résines photosensibles négatives, et dans lequel la résine photosensible de la deuxième couche (105) est choisie parmi l'autre famille dudit ensemble. 30\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la matrice de la première couche (103) est une résine photosensible négative et dans lequel la résine de la deuxième couche (105) est une résine photosensible positive. 3043838 B14656 - DD16602HB 14\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel la matrice de la première couche (103) est une résine photosensible de type SU8, et dans lequel la résine de la deuxième couche (105) est une résine de type TELR. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, ne comportant pas d'étape d'insolation de la matrice de la première couche (103) avant le dépôt de la deuxième couche (105).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel l'étape de développement de la résine de la 10 deuxième couche (105) comprend le trempage de la deuxième couche (105) dans une solution à base de TMAH.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les boîtes quantiques incorporées dans la matrice de la première couche (103) sont des boîtes quantiques de type 15 CdSe/ZnS.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel, lors de l'étape d), la résine de la deuxième couche (105) est retirée par gravure plasma à l'oxygène.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 20 à 9, comportant en outre, après l'étape d), une étape de gravure d'une portion superficielle supérieure de la première couche (103).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 9, dans lequel ladite étape de gravure d'une portion superficielle supérieure de la 25 première couche (103) est réalisée par gravure plasma à l'oxygène et à l'hexafluorure de souffre.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel les étapes a), b), c) et d) sont répétées une deuxième fois pour former, sur la première couche (103), une 30 troisième couche (103') contenant des boîtes quantiques, cette troisième couche comportant des premières régions (103a') dans lesquelles les boîtes quantiques sont actives, et des deuxièmes régions (103b') dans lesquelles les boîtes quantiques sont inactives. 3043838 B14656 - DD16602HB 15\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 12, dans lequel les premières régions (103a') de la troisième couche (103') sont disposées en regard de deuxièmes régions (103b) de la première couche (103), et dans lequel des deuxièmes régions (103b') de la 5 troisième couche (103') sont disposées en regard de premières régions (103a) de la première couche (103).\n<CLM>\1\tDispositif comportant une source de lumière et, en regard de la source de lumière, une couche (103) contenant des boîtes quantiques réalisée par un procédé selon l'une quelconque 10 des revendications 1 à\n<CLM>\1\t15. Dispositif comportant une source de lumière et, en regard de la source de lumière, un empilement d'une première couche (103) contenant des boîtes quantiques et d'une deuxième couche (103') contenant des boîtes quantiques, réalisé par un 15 procédé selon la revendication 12 ou 13.