Brevet FR3039563A1 (20170203)
REVENDICATIONS1. Dispositif de support (1) d'au moins un substrat à traiter électro- chimiquement, comprenant : - un support doté d'au moins une ouverture traversante (37), l'ouverture étant destinée à accueillir un substrat (2) à traiter, et s'étendant dans un plan général qui est destiné à être parallèle au plan de la ou des surfaces à traiter, - au moins un joint d'applique (40) accueilli dans un logement (6) du support, s'étendant selon un périmètre encerclant l'ouverture, et destiné à s'appliquer contre le substrat lorsque ce dernier est logé dans l'ouverture, - des moyens déformables gonflables pour assurer au joint d'applique d'exercer des forces de compression de direction transversale au chant du cadre du support et dirigées vers l'ouverture, de sorte à appuyer le joint d'applique contre le chant du substrat, caractérisé en ce que les moyens déformables gonflables sont distincts du joint d'applique et sont constitués d'au moins un élément déformable gonflable (41) disposé autour dudit joint d'applique (40), à l'opposé de l'ouverture.\n<CLM>\1\tDispositif de support selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte, de préférence dans le même support (3), plusieurs ouvertures (37) destinées chacune à accueillir un substrat à traiter, chaque ouverture étant dotée en périphérie d'un logement (6) comprenant un joint d'applique (40) pour coopérer avec un substrat, et en ce qu'il comprend au moins un élément déformable gonflable (41) apte à coopérer par compression tout autour de chaque joint d'applique (40), de 3039563 39 préférence l'élément gonflable (41) étant logé également dans ledit support (3).\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que une ouverture (37) du 5 support délimite un cadre (30) dont le chant (36) est doté d'une gorge (61) logeant un joint d'applique (40), le chant interne du joint d'applique destiné à être en regard du substrat présentant un profil correspondant à la forme géométrique du pourtour du substrat. 10\n<CLM>\1\tDispositif de support selon la revendication 2 , caractérisé en ce qu'il comporte plusieurs ouvertures associées chacune à un joint d'applique, et en ce que le dispositif comporte plusieurs éléments gonflables, chacun associé à un joint d'applique, ou bien comporte un unique élément gonflable pour plusieurs joints 15 d'applique, de forme et longueur adaptées pour courir d'un seul tenant autour de chaque joint d'applique.\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le ou chaque joint d'applique (40) comporte des évidements borgnes (45) sur ses faces 20 latérales transversalement au chant d'applique du joint.\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément gonflable (41) est un joint creux du type à section unitaire fermée et doté d'un orifice d'échappement, ou du type à ligne ouverte et comprenant 25 deux extrémités libres, l'orifice d'échappement ou les extrémités libres étant aptes à être raccordés à des moyens de mise en pression ou de dépressurisation pneumatique.\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le logement (6) accueille en 3039563 40 outre l'élément gonflable (41), ledit logement comportant des parois (63,\n<CLM>\1\tconstituant des butées vis-à-vis de la dilatation de l'élément gonflable (41), lesdites butées étant destinées à limiter la compression exercée sur le joint d'applique (40) 5 positionné en regard.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le logement (6) accueillant l'élément gonflable (41) présente localement un volume plus large du côté du joint d'applique que du côté opposé de sorte que cela engendre une dilatation plus 10 importante de l'élément gonflable en direction dudit joint d'applique et donc un déplacement du joint d'applique plus important en direction du substrat (22).\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de 15 calage (38,\n<CLM>\1\tdestinés à assurer le maintien du substrat par application d'au moins une face du substrat contre lesdits moyens de calage, de préférence lesdits moyens de calage étant solidaires du support (3) ou du joint d'applique (40), les moyens de calage étant éventuellement réglables par rapport au 20 plan de l'ouverture, le substrat étant destiné à être parfaitement parallèle au plan de l'ouverture qui l'accueille ou à être incliné par rapport à l'ouverture et au joint d'applique.\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un 25 cadre de guidage (39) formé de préférence par l'association de deux demi-cadres et coopérant avec une ouverture, ledit cadre de guidage comprenant un logement d'accueil (39E) pour loger la partie du joint d'applique (40) destinée à coopérer avec un substrat, ledit logement d'accueil (39E) étant en regard du 3039563 41 logement d'accueil (6) du support logeant l'autre partie du joint d'applique destinée à être en contact avec l'élément gonflable (41), de préférence ledit cadre de guidage comprenant des moyens de calage (38) du substrat. 5\n<CLM>\1\tDispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est utilisé pour supporter un ou plusieurs substrats, du type plaquettes de silicium, à traiter, en particulier à structurer par voie électrochimique sur au moins l'une de leurs faces plane. 10\n<CLM>\1\tEnsemble comprenant le dispositif de support selon l'une quelconque des revendications précédentes et un système de mise sous pression/dépressurisation pneumatique qui est associé à ou aux éléments déformables gonflables (41), en particulier l'ensemble comprenant des moyens de contrôle de la 15 mise en pression ou de dépressurisation pneumatique, des défaillances d'étanchéité et/ou de déformations de substrats détectées pendant le traitement.