Brevet FR3039005A1 (20170120)
REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une batterie en couches minces autosupportée, comportant les étapes suivantes : a) former, sur la face supérieure d'un substrat de support (101), un empilement actif vertical dont la couche 5 inférieure (103) est une couche métallique dans laquelle est formée une première borne de contact (103 ; 103a) d'une première polarité de la batterie et dont la couche supérieure (127) est une couche métallique dans laquelle est formée une deuxième borne de contact (127 ; 127a) d'une deuxième polarité de la batterie ; 10 b) coller un film de support (131) sur la face supérieure de la couche supérieure (127) ; et c) décoller la couche inférieure (103) du substrat (101) au moyen d'un faisceau laser projeté à travers le substrat (101) depuis sa face inférieure. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape a) comprend les étapes suivantes : déposer la première couche métallique (103) sur la face supérieure du substrat (101) ; déposer une première couche de passivation (105) sur la 20 face supérieure de la première couche (103) ; et former une première ouverture traversante (107) dans la première couche de passivation (105) en regard d'une région non périphérique de la première borne de contact (103 ; 103a).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2, dans lequel 25 l'étape a) comprend en outre le dépôt, sur la face supérieure de la couche de passivation (105), d'un empilement vertical comportant une couche métallique de collecteur de cathode (109), une couche de cathode (111), une couche d'électrolyte (113), une couche d'anode (115) et une couche de collecteur d'anode (117). 30\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel l'étape a) comprend en outre la formation, depuis la face supérieure de l'empilement formé par la couche de collecteur de cathode (109), la couche de cathode (111), la couche d'électrolyte (113), la couche d'anode (115) et la couche de collecteur d'anode 3039005 16 (117), d'une première tranchée (119) délimitant le contour de la batterie, cette tranchée débouchant sur la première couche de passivation (105).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 4, dans lequel 5 l'étape a) comprend en outre les étapes suivantes : déposer une deuxième couche de passivation (121) sur la face supérieure de l'empilement formé par la couche de collecteur de cathode (109), la couche de cathode (111), la couche d'électrolyte (113), la couche d'anode (115) et la couche de 10 collecteur d'anode (117), ainsi que sur les parois et sur le fond de la première tranchée (119) ; déposer une couche de résine de protection (123) au-dessus de la deuxième couche de passivation (121) ; et former une deuxième ouverture traversante (125) dans la 15 couche de résine (123) et dans la deuxième couche de passivation (121) en regard d'une région non périphérique de la deuxième borne de contact (127 ; 127a).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 5, dans lequel l'étape a) comprend en outre le dépôt de la dernière couche 20 métallique (127) sur la face supérieure de la couche de résine (123) et dans la deuxième ouverture traversante (125).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 6, dans lequel l'étape a) comprend en outre la formation, depuis la face supérieure de l'empilement actif, d'une deuxième tranchée (129) 25 délimitant le contour de la batterie, la deuxième tranchée (129) étant sensiblement alignée sur la première tranchée (119) mais de largeur inférieure à celle de la première tranchée, et débouchant sur le substrat de support (101).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 30 à 7, dans lequel une troisième borne de contact (103b) de deuxième polarité de la batterie, reliée par un via conducteur à la deuxième borne de contact (127a), est en outre formée dans la première couche métallique (103), et dans lequel une quatrième borne de première polarité de la batterie, reliée par un via conducteur à 3039005 17 la première borne de contact (103a), est en outre formée dans la dernière couche métallique (127).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel le film de support (131) est un film autocollant.\n<CLM>\1\tBatterie en couches minces autosupportée réalisée par un procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, constituée dudit empilement actif vertical dont la couche inférieure (103) est une couche métallique dans laquelle est formée une première borne de contact (103 ; 103a) d'une première polarité de la batterie et dont la couche supérieure (127) est une couche métallique dans laquelle est formée une deuxième borne de contact (127 ; 127a) d'une deuxième polarité de la batterie.\n<CLM>\1\tBatterie selon la revendication 10, dans laquelle la couche inférieure (103) comprend en outre une troisième borne de contact (103b) de deuxième polarité de la batterie reliée par un via conducteur à la deuxième borne de contact (127a), et dans laquelle la couche supérieure (127) comprend en outre une quatrième borne de contact (127b) de première polarité de la batterie reliée par un via conducteur à la première borne de contact (103a).