Brevet FR3045156A1 (20170616)
REVENDICATIONS1. Procédé de détermination de la taille d'un défaut de type trou sur une face supérieure d'une structure (4) comprenant une couche superficielle disposée sur un substrat, ledit défaut étant situé dans la couche superficielle ; le procédé comprenant : a) une étape d'introduction de la structure (4) dans un dispositif de microscopie en champ sombre par réflexion pour générer, à partir d'un rayon lumineux (1") diffusé par la face supérieure, un premier signal de défauts et un second signal de rugosité ; b) une étape de capture sur une pluralité de pixels de l'intensité du second signal de rugosité ; le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend en outre : c) une étape de traitement pour comparer l'intensité captée par chaque pixel avec celles captées par des pixels voisins et définir si ledit pixel est inclus dans une zone anormale ; d) une étape d'extraction de l'écart-type des valeurs des intensités captées par les pixels de la zone anormale ; e) une étape de détermination de la taille du défaut de type trou relatif à la zone anormale, à partir de l'écart-type extrait.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel le rayon lumineux diffusé (1") est issu de la réflexion sur la face supérieure de la structure (4) d'un rayon lumineux incident 1 de direction oblique par rapport à un plan (P) parallèle à ladite face.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel la structure se déplace selon au moins un axe de translation 3045156 16 et/ou un axe de rotation sous le rayon lumineux incident (1) pour permettre l'étape de capture b).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans 5 lequel chaque pixel peut mesurer entre 20 microns et 1000 microns de côté.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'étape de détermination est réalisée par application 10 d'une courbe de corrélation liant l'écart-type et la taille des défauts de type trou.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel la taille des défauts est mesurée sur des structures (4) par 15 microscopie électronique à balayage pour établir la courbe de corrélation.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des deux revendications précédentes, dans lequel la courbe de corrélation s'applique à des 20 défauts de type trou dont la taille est comprise entre 5 et 500 microns.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'étape de traitement définit qu'un pixel donné est 25 inclus dans la zone anormale lorsque le ratio de l'intensité captée par le pixel donné et de l'intensité captée par au moins un pixel voisin est supérieur à un facteur prédéterminé. 30\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel les pixels voisins du pixel donné sont compris dans une zone périphérique dudit pixel, présentant une forme annulaire. 3045156 17\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel la forme annulaire présente un diamètre intérieur de 600 microns et un diamètre extérieur de 2500 microns. 5\n<CLM>\1\tDispositif de détection d'un défaut de type trou sur une face supérieure d'une structure (4) comprenant une couche superficielle disposée sur un substrat, ledit défaut étant situé dans la couche superficielle ; le dispositif comprenant : 10 - un appareillage de microscopie en champ sombre par réflexion configuré pour projeter un rayon lumineux incident (1) en direction de la face supérieure de la structure (4) et pour collecter un rayon lumineux (1") diffusé par la face supérieure ; 15 - un organe de détection (6) configuré pour générer, à partir du rayon lumineux diffusé (1"), signal de défauts et un second signal de pour capturer sur une pluralité de pixels du second signal de rugosité ; 20 le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend : - un premier organe de traitement (8), connecté à l'organe de détection, configuré pour comparer l'intensité captée par chaque pixel avec celles captées par des pixels voisins et définir si ledit pixel est inclus dans une 25 zone anormale ; - un second organe de traitement (9) configuré pour extraire l'écart-type des valeurs des intensités captées par les pixels de la zone anormale ; - une courbe de corrélation pour déterminer la taille du 30 défaut de type trou relatif à la zone anormale, à partir de l'écart-type extrait. un premier rugosité, et l'intensité ,