Brevet FR3046238A1 (20170630)
REVENDICATIONS1. Procédé d'observation d'un échantillon (10), comportant les étapes suivantes : a) illumination dudit échantillon à l'aide d'une diode laser (11), apte à émettre une onde lumineuse incidente (12) se propageant vers l'échantillon, ladite diode laser étant alimentée par un courant d'alimentation, de telle sorte qu'un effet laser est obtenu lorsqu'une intensité dudit courant d'alimentation (i) dépasse une intensité dite seuil (is); b) acquisition, à l'aide d'un capteur d'image (20), d'une image (25) de l'échantillon, ce dernier étant disposé entre la diode laser (11) et le capteur d'image (20), chaque image étant représentative d'une onde lumineuse (24) transmise par l'échantillon sous l'effet de ladite illumination ; le procédé étant caractérisé en ce que l'intensité (i) du courant d'alimentation de ladite diode laser est inférieure ou égale à une intensité (iv) dite critique, ladite intensité critique étant déterminée, préalablement à l'étape a) selon les étapes préliminaires suivantes : i) placement de ladite diode laser (11) de telle sorte que l'onde lumineuse incidente (12) qu'elle émet se propage jusqu'au capteur d'image (20) ; ii) alimentation de ladite diode laser (11) par un courant d'alimentation dit initial dont l'intensité est supérieure ou égale à ladite intensité seuil (is), et acquisition d'une image, dite image initiale, par ledit capteur d'image, ladite image initiale présentant des franges d'interférence transversales ; iii) modification de l'intensité dudit courant d'alimentation et acquisition d'une image par le capteur d'image (20), cette étape étant répétée jusqu'à l'acquisition d'une image présentant des franges d'interférence transversales atténuées par rapport à ladite image initiale, l'intensité du courant d'alimentation correspondant alors à ladite intensité critique (iv).\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon la revendication 1, dans lequel ladite intensité critique (iv) est inférieure à ladite intensité seuil (is).\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon la revendication 2, dans lequel ladite intensité critique est comprise entre 0.7 fois l'intensité seuil (is) et ladite intensité seuil (is), ou entre 0.8 fois l'intensité seuil (is) et ladite intensité seuil (is). 3046238 18\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel sur l'image initiale, deux franges d'interférences transversales adjacentes sont caractérisées par un indicateur de contraste (ind), représentatif d'un contraste entre lesdites franges d'interférence, ladite intensité critique correspondant à une réduction 5 dudit indicateur de contraste d'un facteur supérieure à 25%.\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel lors des étapes préliminaires i) à iii), un échantillon de référence, représentatif dudit échantillon observé, est disposé entre le capteur d'image (20) et la diode laser (11). 10\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 dans lequel lors des étapes préliminaires i) à iii), aucun échantillon n'est disposé entre le capteur d'image (20) et la diode laser (11).\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'échantillon (10) comporte un élément diffractant (13), apte à former 15 une onde de diffraction (23) sous l'effet de l'illumination par ladite onde lumineuse (12), de telle sorte que le capteur d'image est exposé à une onde, dite onde d'exposition (24), comportant l' onde lumineuse incidente transmise (22) par l'échantillon, ainsi que de ladite onde de diffraction (23).\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon la revendication 1, dans lequel lors de 20 l'étape b) l'intensité du courant l'alimentation (i) est comprise entre 0.5 fois l'intensité seuil et ladite intensité seuil (i5).\n<CLM>\1\tProcédé d'observation d'un échantillon (10) selon la revendication 1, dans lequel lors de l'étape b) l'intensité du courant l'alimentation (i) est comprise entre 0.5 fois l'intensité seuil (ii) et 0.9 fois ladite intensité seuil ou entre 0.7 fois l'intensité seuil et 0.9 fois ladite intensité 25 seuil.