Brevet FR3044165A1 (20170526)
REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'un ou plusieurs éléments de connexion, comprenant des étapes consistant à : a) former une couche conductrice (14) sur un support (1) doté d'un ou plusieurs plots conducteurs (4a, 4b, 4c) disposés en face avant (F1) du support opposée à une face arrière (F2), la couche conductrice étant agencée de sorte qu'elle comporte une première portion conductrice (14.1) en contact avec au moins un plot conducteur (4a) disposé sur la face avant (F1), la première portion conductrice (14.1) s'étendant sur la face avant et étant reliée à au moins une deuxième portion conductrice (14.2) s'étendant contre au moins une paroi donnée (9) du support, la paroi donnée (9) étant située entre la face avant (F1) et la face arrière (F2) et réalisant un angle non-nul avec la face avant (F1) du support, b) amincir le support au niveau de sa face arrière (F2) de sorte à libérer du support une extrémité conductrice (15a) de la deuxième portion conductrice (14.2), cette extrémité conductrice libre dépassant de la face arrière (F2) du support.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel le support (1) comporte au moins une tranchée (7a, 7b, 77a, 77b) débouchant au niveau de sa face avant (F1), la paroi donnée (9) étant une paroi latérale de la tranchée.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2, dans lequel la tranchée (7a, 7b, 77a, 77b) comporte un fond (8) situé entre la face avant (F1) et la face arrière (F2) du support (1), l'étape b) d'amincissement étant effectuée de sorte à atteindre le fond (8) de la tranchée puis à libérer l'extrémité (15b) de la deuxième portion conductrice cette extrémité conductrice libre dépassant de la face arrière (F2) du support (1).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le support (1) comporte au moins une tranchée (7a, 7b, 77a, 77b) débouchant au niveau de sa face 3044165 19 avant (F1), la paroi donnée (9) étant une paroi latérale de la tranchée, la couche conductrice (14) étant déposée dans le fond et sur des parois latérales de la tranchée.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel la paroi 5 donnée (9) est revêtue préalablement à l'étape a) d'une couche isolante (11).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le support (1) comporte au moins une tranchée (77a, 77b) débouchant au niveau de sa face avant (F1), la paroi donnée (9) étant une paroi latérale de la tranchée (77a, 77b), la paroi latérale 10 réalisant un angle inférieur à 90° avec la face avant (F1).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 6, le procédé comprenant en outre entre l'étape a) et l'étape b), une étape de report d'un substrat de soutien (23) ou d'une couche de soutien (23) en face avant du support (1). 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel le support (1) comporte au moins une tranchée (7a, 7b) débouchant au niveau de sa face avant (F1) et dans lequel le support (1) comporte une première puce électronique (1.1) et une deuxième puce électronique (1.2), la tranchée (7a, 7b) étant disposée entre la première 20 puce (1.1) et la deuxième puce (1.2), le procédé comprenant en outre, après l'étape b) : une étape de séparation de la première puce (1.1) et de la deuxième puce (1.2).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendication 1 à 8, dans lequel le support (1) comporte au moins une tranchée (7a, 7b) débouchant au niveau de sa face avant (F1) 25 le procédé comprenant en outre entre l'étape a) et l'étape b), la réalisation de motifs conducteurs (16a, 16b) dans la couche conductrice.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 9, comprenant une étape de retrait localisé de la couche conductrice (14) de manière à définir des éléments conducteurs disjoints longeant la paroi latérale de la tranchée. 3044165 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 10, comprenant en outre, après l'étape b) : au moins une étape de pliage d'une extrémité conductrice libre (15a, 15b) dépassant de la face arrière du support et libérée à l'étape b). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 11, dans lequel le pliage de l'extrémité conductrice libre est réalisé de sorte à ramener l'extrémité libre vers la face arrière. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 11 ou 12, le pliage étant réalisé au moins à l'aide d'un apport de chaleur.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 13, dans lequel la couche conductrice (14) est formée d'un empilement d'au moins un premier matériau et d'au 15 moins un deuxième matériau en contact avec le premier matériau et ayant un coefficient de dilatation thermique supérieur à celui du premier matériau.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 11 à 14, dans lequel le pliage comprend une mise en pression mécanique d'au moins une extrémité conductrice libre 20 contre un flanc latéral incliné d'une cavité (53) contre lequel le support (1) est mis en appui.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendication 11 à 15, dans lequel le pliage est réalisé à l'aide d'un dispositif de préhension configuré pour chauffer le support (1) tout en l'appliquant contre un autre support (60). 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 16, dans lequel le support (1) comporte au moins une tranchée (7a, 7b) débouchant au niveau de sa face avant (F1), la tranchée délimitant une puce (1.1) disposée dans le support, la paroi donnée (9) étant une paroi latérale de la tranchée, le procédé comprenant en outre, après l'étape 30 b), des étapes de : - séparation de la puce par découpe le long de la tranchée, 3044165 21 - assemblage de la puce (1.1) sur une structure dotée d'au moins plot conducteur, de sorte que l'extrémité conductrice libre dépassant soit mise en contact avec le plot conducteur.