Brevet FR3044408A1 (20170602)
REVENDICATIONS1. Capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) disposés sur une face avant (112) d'un substrat (104), chaque pixel (102) comprenant au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique (106) disposée entre deux électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tet telle que les électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tsoient disposées dans un même plan sensiblement parallèle à la face avant (112) du substrat (104).\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon la revendication 1, dans lequel l'espacement « e » entre les électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tde chaque pixel (102) est inférieur ou égal à environ 2 um.\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le matériau pyroélectrique comporte du PVDF et/ou du P(VDF-TrFe) et/ou du P(VDF-TrFE-CFE) et/ou du P(VDF-TrFE-CTFE) et/ou de l'AIN.\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tde chaque pixel (102) forment des peignes interdigités.\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel chacune des électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\ta une épaisseur supérieure ou égale à environ 100 nm.\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre, dans chaque pixel (102), une couche de matériau pyroélectrique (114) recouvrant la portion de matériau pyroélectrique (106) et les électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\ttelle que la portion de matériau pyroélectrique 3044408 26 (106) et les électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tsoient disposées entre la couche de matériau pyroélectrique (114) et le substrat (104).\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, dans 5 lequel l'une des électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tde chaque pixel (102) est reliée électriquement à un potentiel électrique fixe.\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre au moins un élément chauffant (118) isolé électriquement des 10 électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tet disposé en regard d'au moins une partie de la portion de matériau pyroélectrique (106) tel que la portion de matériau pyroélectrique (106) soit disposée entre l'élément chauffant (118) et le substrat (104).\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon la revendication 8, dans lequel l'élément 15 chauffant (118) comporte au moins une portion continue de matériau électriquement conducteur s'étendant en regard de portions de matériau pyroélectrique (106) de plusieurs pixels (102).\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon la revendication 9, dans lequel la portion 20 continue de matériau électriquement conducteur est disposée en regard de toute la surface des portions de matériau pyroélectrique (106) desdits plusieurs pixels (102).\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications 9 ou 10, dans lequel les pixels (102) sont disposés sur le substrat (104) en formant une matrice de plusieurs 25 lignes et plusieurs colonnes, et dans lequel le capteur (100) comporte plusieurs éléments chauffants (118) chacun associé à une des lignes de pixels (102).\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications 8 à 11, dans lequel, lorsque le capteur comporte la couche de matériau pyroélectrique (114) recouvrant la portion de matériau pyroélectrique (106) et les électrodes électriquement conductrices 3044408 27 (108, 110), la couche de matériau pyroélectrique (114) est disposée, au niveau de chaque pixel (102), entre l'élément chauffant (118) et la portion de matériau pyroélectrique (106) et entre l'élément chauffant (118) et les électrodes électriquement conductrices (108, 110). 5\n<CLM>\1\tCapteur (100) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le capteur (100) est un capteur d'empreinte digitale.\n<CLM>\1\tProcédé de réalisation d'un capteur (100) de motif thermique, comportant la réalisation de plusieurs pixels (102) sur une face avant (112) d'un substrat 10 (104), chaque pixel (102) comprenant au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique (106) disposée entre deux électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tet telle que les électrodes électriquement conductrices (108,\n<CLM>\1\tsoient disposées dans un même plan sensiblement parallèle à la face avant (112) du substrat (104).