Brevet FR3047071A1 (20170728)
REVENDICATIONS1-Capteur de pression (213) comportant un support (200) muni d'un logement dans lequel sont disposés une membrane (206) déformable associée à des moyens de mesure de la déformation de la membrane (212), la membrane pouvant se déformer sous l'action d'un fluide sous pression, de préférence un liquide, appliqué de préférence sur la surface supérieure (231) de la membrane (206), les moyens de mesure de la déformation de la membrane (212) étant reliés électriquement à des contacts électriques (202,\n<CLM>\1\tpermettant de recueillir un signal électrique fonction de la pression du fluide, caractérisé en ce que la surface supérieure (231) de la membrane (206) délimite dans le logement du support (200) la face inférieure d'une cavité (208) comportant également une face supérieure, cavité dans laquelle débouchent deux canalisations distinctes respectivement d'arrivée (215) et de départ (216) (ou vice-versa) d'un fluide, permettant l'écoulement du fluide au contact de la surface supérieure (231) de la membrane (206), la cavité étant sensiblement dépourvue de tout volume mort de manière à éviter la formation de bulles dans le fluide. 2-Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la membrane déformable est une membrane souple en silicium. 3-Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de mesure de la déformation de la membrane (212) comportent des éléments sensibles à la déformation de la membrane tels que des éléments réalisés en matériau piezo-résistif. 4-Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un espace (207) disposé sous la 3047071 28 membrane (206) permettant à celle-ci de se déplacer sous l'action de la pression du fluide injecté dans le capteur. 5-Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les canalisations d'arrivée et de départ de 5 fluide (215,\n<CLM>\1\tfont un angle compris entre environ 10° et 90°, de préférence entre 40° et 50°, avec la surface supérieure de la membrane. 6-Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le volume de la cavité (208) est inférieur à 10 50 microlitres, de préférence inférieur à 10 microlitres, plus préférentiellement inférieur à 5 microlitres. 7-Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un joint d'étanchéité (210) disposé latéralement tout autour des parois du logement entre la 15 surface supérieure de la membrane (206) et la face supérieure de la cavité (208). 8-Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce le support (200) est traversé par une canalisation d'arrivée (204,207) d'un second fluide dont une 20 première extrémité vient à proximité de la surface inférieure (230) de la membrane (206). 9-Capteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que la seconde extrémité de la canalisation d'arrivée (204,\n<CLM>\1\tsituée du côté opposé à la membrane (206) est munie d'un connecteur 25 fluidique (223) pour la fourniture d'un fluide sous pression, de préférence un gaz. 10-Ensemble de mesure de débit caractérisé en ce qu'il comporte un réservoir (2) muni d'un bouchon (61) dans lequel est intégré un capteur selon l'une des revendications 1 à 9 de manière à 30 être solidaire du bouchon (61), ce dernier étant par ailleurs traversé par un capillaire (8) faisant office de restriction, 3047071 29 débouchant dans la canalisation d'arrivée (215) de liquide, à proximité de la cavité (208) du capteur. 11- Système de mesure du débit d'un liquide (3) dans un circuit micro fluidique (17) caractérisé en ce qu'il comporte un capteur 5 de pression selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t12 - Système selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comporte un ensemble de mesure de débit selon la revendication\n<CLM>\1\t13-Système selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé 10 en ce que la résistance hydraulique de la restriction est supérieure ou égale à 1,2x10 puissance 10 Pa.s.1...-1. 14-Système selon l'une des revendications 11 à 13, caractérisé en ce que la restriction est constituée par un tube capillaire (8) de diamètre inférieur à 300 micromètres. 15 15 - Système selon l'une des revendications 11, à 14, caractérisé en ce que la restriction (9) est disposée en amont des moyens capteur de pression (13). 16 - Système selon l'une des revendications 11 à 15, caractérisé en ce que l'on utilise la mesure de la pression Pl d'un gaz 20 maintenant en pression un liquide s'écoulant dans une restriction (9) et sortant de celle-ci à une pression P2 inférieure à P1 pour contrôler le débit de ce liquide. 17-Utilisation du capteur selon l'une des revendications précédentes pour contrôler le débit de fluide aux entrées et/ou 25 sorties d'une puce micro-fluidique.