Brevet FR3050820A1 (20171103)
REVENDICATIONS1. Système de mesure résonant de type MEMS et/ou NEMS, comportant : - un dispositif optomécanique (4) comprenant au moins un élément résonant (14) à au moins une fréquence de résonance fr et au moins un élément optique (12) dont l'indice optique est sensible au déplacement de l'élément résonant (14), - des moyens d'excitation (6) de l'élément résonant (14) à au moins une fréquence de fonctionnement fm, - des moyens (2) aptes à injecter un faisceau lumineux dont l'intensité est modulée à une fréquence f1= fm + Af dans le dispositif optomécanique, - un dispositif de photodétection (8) apte à mesurer l'intensité d'un faisceau lumineux de mesure sortant du dispositif optomécanique (4), l'intensité du faisceau de mesure ayant au moins une composante à une fréquence Af.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 1, dans lequel la fréquence de fonctionnement fm est telle que fr-(2fr/Qm)\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 2, dans lequel le rapport fr/Af est compris entre 10\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 1, 2 ou 3, dans lequel le dispositif optomécanique (4) comporte un guide d'onde (10) et un anneau optique (12) couplé optiquement au guide d'onde (10), le guide d'onde (10) étant destiné à recevoir le faisceau lumineux issu des moyens (2) et à envoyer le faisceau lumineux transmis par le dispositif optomécanique (4), au dispositif de photodétection (8). 3050820 21\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 4, dans lequel l'élément résonant (14) est disposé à proximité de l'anneau optique (12).\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 4, dans lequel l'élément 5 résonant est formé par l'anneau optique (112).\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les moyens d'excitation (6) sont de type électrostatique. 10\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les moyens d'excitation sont de type optique.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le faisceau lumineux transmis a également une composante à une fréquence 2fm + 15 Af et/ou fm + Af, le dispositif de photodétection comportant au moins un photodétecteur dont la bande passante est telle que la composante à la fréquence 2fm + Af et/ou fm + Af est en dehors de ladite bande passante.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 8, dans 20 lequel le dispositif de photodétection (8) comporte au moins un photodétecteur et un filtre passe-bande de sorte que la composante à la fréquence 2fm + Af et/ou fm + Af est en dehors de la bande passante dudit filtre.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 10, dans 25 lequel les moyens (2) aptes à injecter un faisceau lumineux à une fréquence f1 = fm + Af dans le dispositif optomécanique, comportent une source lumineuse formée par un laser (18), par exemple une diode laser.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel les moyens aptes à injecter un faisceau lumineux à une fréquence f1= fm + Af dans 3050820 22 le dispositif optomécanique, comportent une source lumineuse et un modulateur optique (20) disposé entre la source lumineuse et le dispositif optomécanique pour moduler à f1 le faisceau lumineux injecté dans ledit guide. 5\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon la revendication 11, dans lequel les moyens aptes à injecter un faisceau lumineux à une fréquence f1 = fm + Af dans le dispositif optomécanique, comportent des moyens de modulation du courant d'alimentation du laser. 10\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 13, comportant une connexion électrique entre le résonateur et une masse électrique du système.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 14, 15 comportant des moyens situés soit directement en sortie du dispositif de photodétection, soit en sortie du dispositif de photodétection par l'intermédiaire d'un composant tel que par exemple un amplificateur (40) ou un filtre, permettant de générer un signal à base d'un mélange de la composante à la fréquence Af du signal de sortie du dispositif de photodétection et un signal à la fréquence fm + Af produit par les moyens d'excitation, de 20 sorte à générer un système de mesure auto-oscillant.\n<CLM>\1\tSystème de mesure selon l'une des revendications 1 à 14, comportant des moyens situés soit en sortie du dispositif de photodétection par l'intermédiaire d'un composant tel que par exemple un amplificateur (40) ou un filtre, 25 permettant de générer un signal correspondant à la somme de la composante à la fréquence Af du signal de sortie du dispositif de photodétection et un signal à la fréquence fm + Af produit par les moyens d'excitation, de sorte à générer un système de mesure auto-oscillant.