Brevet FR3050068A1 (20171013)
REVENDICATIONS1. Aimant permanent comprenant un empilement de N motifs (34 ;\n<CLM>\1\tempilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, où N est un 5 nombre entier supérieur ou égal à deux, chaque motif comportant : - une couche antiferromagnétique (40) réalisée en matériau antiferromagnétique, - une couche ferromagnétique (42;\n<CLM>\1\tréalisée en matériau ferromagnétique, la direction d'aimantation de la couche ferromagnétique étant figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique de ce motif, et la direction 10 d'aimantation de la couche ferromagnétique de N-1 motifs étant également figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique d'un motif immédiatement adjacent dans l'empilement, les directions d'aimantation des différentes couches ferromagnétiques de tous les motifs étant toutes identiques les unes aux autres, 15 caractérisé en ce qu'au moins une couche ferromagnétique (42;\n<CLM>\1\tcomporte : - une première sous-couche (44 ;\n<CLM>\1\tréalisée en CoFeB dont l'épaisseur est supérieure à 0,05 nm, et - une deuxième sous-couche (46 ; 86,\n<CLM>\1\tréalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB et dont l'épaisseur est supérieure à l'épaisseur de la première 20 sous-couche.\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 1, dans lequel la première sous-couche (44 ;\n<CLM>\1\test disposée à une distance supérieure ou égale à 5 nm de l'interface entre la couche ferromagnétique (46 ;\n<CLM>\1\tdu motif et la couche antiferromagnétique du motif suivant 25 dans la direction d'empilement, de sorte qu'aucune sous-couche réalisée en CoFeB se trouve à moins de 5 nm de la couche antiferromagnétique du motif suivant.\n<CLM>\1\tAimant selon la revendication 2, dans lequel la première sous-couche (44) est directement déposée sur la couche antiferromagnétique du motif.\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications 2 à 3, dans lequel la couche ferromagnétique (84) comporte une troisième sous-couche (86,\n<CLM>\1\tréalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB et la première sous-couche (88) est située entre ces deuxième et troisième sous-couches (86, 90).\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la couche ferromagnétique (42 ;\n<CLM>\1\tde chaque motif comporte un exemplaire de la première sous-couche. 30 35 3050068 17\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'épaisseur de la première sous-couche (44 ;\n<CLM>\1\test inférieure à 5 nm.\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel N est un nombre entier supérieur ou égal à cinq ou dix.\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la première sous-couche (44 ;\n<CLM>\1\tcomporte entre 10 % et 30% en masse de Bore. 10\n<CLM>\1\tAimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'aimant (20) présente un facteur de forme supérieur ou égal à deux, le facteur de forme étant défini comme le rapport de la longueur sur la largeur du parallélépipède de plus petit volume contenant entièrement l'empilement et la direction d'aimantation 15 de chaque couche ferromagnétique de l'aimant permanent est parallèle à la longueur de ce parallélépipède.\n<CLM>\1\tCapteur de champ magnétique comportant : - un substrat (12) s'étendant essentiellement dans un plan appelé « plan du 20 substrat », - au moins un aimant (20-22) permanent déplaçable par rapport au substrat en réponse à une variation de l'amplitude ou de la direction d'un champ magnétique à mesurer, - un transducteur (24-25) fixé sur le substrat, apte à convertir un déplacement de 25 l'aimant permanent en une grandeur électrique représentative de l'amplitude ou de la direction du champ magnétique à mesurer, caractérisé en ce que l'aimant permanent est conforme à l'une quelconque des revendications précédentes. 30\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un aimant permanent conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 9, ce procédé comportant : a) la formation (70) d'un empilement comportant N motifs empilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, chaque motif comportant : - une couche antiferromagnétique réalisée en matériau antiferromagnétique, et 35 - une couche ferromagnétique réalisée en matériau ferromagnétique, b) le chauffage (74) de l'empilement de manière à atteindre une température supérieure à une température de mise en ordre du matériau des couches 3050068 18 magnétiques de l'empilement, c) lorsque la température est supérieure à la température de mise en ordre, l'application (74) d'un premier champ magnétique pour aligner la direction d'aimantation des couches ferromagnétiques sur une direction souhaitée 5 prédéterminée, d) le refroidissement (78) de l'empilement en présence d'un deuxième champ magnétique inférieur au premier champ magnétique pour faire apparaître un couplage d'échange entre la couche ferromagnétique et la couche antiferromagnétique de chaque motif de l'empilement, caractérisé à ce que l'étape a) comporte la formation, dans au moins une couche ferromagnétique : - d'une première sous-couche réalisée en CoFeB dont l'épaisseur est supérieure à 0,05 nm, et - d'une deuxième sous-couche réalisée dans un matériau ferromagnétique différent 15 du CoFeB, dont l'épaisseur est supérieure à l'épaisseur de la première sous-couche.