Brevet FR3045153A1 (20170616)
REVENDICATIONS1 -Procédé de prélèvement d'un échantillon de matière (120) d'un objet (12) irradiant, caractérisé en ce qu'il comporte les opérations suivantes : - disposer l'objet (12) en regard de moyens de séparation (14, 50, 51,\n<CLM>\1\tagencés pour provoquer la séparation de particules de la matière superficielle de l'objet (12) en fonction de signaux de commande délivrés aux moyens de séparation; - disposer au moins un support (20) de collecte de matière (120) à distance de l'objet (12), le (ou les) support(s) de collecte s'étendant autour des moyens de séparation (14, 50, 51, 61); et - commander le fonctionnement des moyens de séparation (14, 50, 51,\n<CLM>\1\tafin de soumettre l'objet (12) aux moyens de séparation, provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet par les moyens de séparation, et permettre le dépôt de ces particules (43) sur le(s) support(s)(20) de collecte. 2 - Procédé selon la revendication 1 dans lequel les moyens de séparation (51) comportent un outil de coupe, un outil de perçage, ou un outil abrasif, qui peut être mis au contact de l'objet (12) pour provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet, et autour duquel s'étend(ent) le(s) support(s) (20) de collecte. 3 - Procédé selon la revendication 1 dans lequel les moyens de séparation (14, 50, 51,\n<CLM>\1\tprovoquent un chauffage ou un bombardement de l'objet (12) pour provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet et le dépôt de ces particules (43) sur le(s) support(s) (20) de collecte. 4 - Procédé selon la revendication 1 dans lequel les moyens de séparation (61) comportent ou produisent un faisceau, en particulier un faisceau de particules ou un faisceau laser, qui peut être dirigé vers l'objet (12) pour provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet, et autour duquel s'étend(ent) le(s) support(s) (20) de collecte. 3045153 16 5 - Procédé selon la revendication 4 dans lequel les moyens de séparation comportent ou produisent un faisceau ionique (61) qui est dirigé vers l'objet (12) et est focalisé sensiblement sur l'objet. 6 - Procédé selon la revendication 5 qui comporte les opérations 5 suivantes : - disposer l'objet (12) dans une chambre (40) sous vide équipée d'une colonne ionique (14) agencée pour produire un faisceau ionique (61) focalisé sur une - ou au voisinage d'une - surface de l'objet ; - disposer un support (20) de collecte entre la colonne ionique et 10 l'objet, à distance de l'objet et sur le trajet du faisceau ionique, le support de collecte comportant une ouverture (24) permettant le passage du faisceau ionique au travers du support de collecte; - soumettre l'objet au faisceau ionique traversant le support de collecte, pour provoquer le dépôt de particules de l'objet pulvérisées par 15 le faisceau ionique, sur le support de collecte, les particules déposées formant l'échantillon ; et - extraire de la chambre le support de collecte portant l'échantillon. 7 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 dans 20 lequel l'angle (25) sous lequel est vue l'ouverture (24) par un observateur situé sur l'objet (12), est inférieur ou égal à 15 degrés environ, en particulier situé dans une plage allant de 4 ou 5 degrés environ jusqu'à 10 ou 11 degrés environ. 8 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 dans 25 lequel les particules séparées de l'objet par les moyens de séparation se déplacent - sont pulvérisées - selon au moins une direction de déplacement privilégiée, et le(s)support(s) (20) de collecte s'étend(ent) en travers de cette (ces) direction(s) privilégiée(s). 9 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 dans 30 lequel l'angle (26) sous lequel est vu le(s) support(s) d'échantillon (20) par un observateur situé sur l'objet, est au moins égal à 60 ou 70 3045153 17 degrés environ, en particulier situé dans une plage allant de 60 ou 70 degrés environ jusqu'à 120 ou 180 degrés environ. 10 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 dans lequel la distance séparant le(s) support(s) de collecte de la zone 5 d'application des moyens de séparation, en particulier du point de focalisation d'un faisceau ionique, est située dans une plage allant de 1 millimètre environ à 10 millimètres environ, en particulier dans une plage allant de 2 ou 3 millimètres environ à 5 millimètres environ. 11 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10 10 dans lequel on stoppe l'application des moyens de séparation lorsque la masse - ou le volume - d'échantillon accumulé sur le(s) support(s) de collecte, atteint une valeur déterminée. 12 - Dispositif de prélèvement d'un échantillon de matière d'un objet (12), caractérisé en ce qu'il comporte: 15 - des moyens de séparation (14, 50, 51,\n<CLM>\1\taptes à provoquer la séparation de particules (43) de la matière superficielle de l'objet; - au moins un support (20) de collecte de matière disposé à distance de l'objet, le (ou les) support(s) de collecte s'étendant autour des moyens de séparation (14, 50, 51, 61); et 20 - des moyens de commande (53) raccordés aux moyens de séparation et agencés pour délivrer des signaux de commande aux moyens de séparation pour commander le fonctionnement des moyens de séparation afin de soumettre l'objet aux moyens de séparation, provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet par les 25 moyens de séparation, et permettre le dépôt de ces particules sur le support (20) de collecte. 13 - Dispositif selon la revendication12 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte présente(nt) une forme plane, en particulier une forme de plaque ou de disque mince. 30 14 - Dispositif selon la revendication12 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte présente(nt) une forme gauche dont une 3045153 18 concavité est dirigée vers l'objet (12), en particulier une forme de coque permettant d'entourer une partie substantielle au moins de l'objet. 15 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 14 dans lequel une partie au moins du (des) support(s) (20) de collecte peut 5 s'étendre le long d'un plan sensiblement perpendiculaire à l'axe de propagation d'un faisceau (61) produit par les moyens de séparation, et/ ou le long d'un plan sensiblement perpendiculaire à une direction de déplacement privilégiée de particules (43) arrachées de l'objet par les moyens de séparation. 10 16 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 15 qui comporte un support (20) de collecte qui délimite une ouverture (24) présentant un contour fermé. 17 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 16 dans lequel l'objet (12) repose sur un support d'objet ou sur un 15 mouvement objet. 18 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 17 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte repose(nt) sur l'objet (12), sur un support d'objet, ou sur un mouvement objet, le cas échéant par l'intermédiaire d'entretoises (27). 20 19 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 18 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte est (sont) solidarisé(s) à l'objet (12), à un support d'objet, ou à un mouvement objet, de façon amovible, en particulier par adhésion. 20 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 18 25 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte est (sont) solidarisé(s) aux moyens de séparation, de façon amovible. 21 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 20 dans lequel un support (20) de collecte comporte une partie adhésive par laquelle le support de collecte peut être solidarisé au support 30 d'objet, au mouvement objet, ou aux moyens de séparation. 22 - Support (20) de collecte d'un échantillon de matière d'un objet (12) irradiant ou de matière déposée sur une surface (12) 3045153 19 contaminée, l'objet ou surface étant soumis(e) à des moyens de séparation (14, 50, 51,\n<CLM>\1\tprovocant une séparation de particules (43) de matière de l'objet ou surface, caractérisé en ce qu'il comporte une ouverture (24) permettant le passage des moyens de séparation au 5 travers du support (20) de collecte, et une surface (41) de collecte de particules (43) séparées de l'objet ou surface, qui entoure l'ouverture (24). 23 - Support selon la revendication 22 qui est réalisé, en partie au moins, dans une matière plastique ou métallique. 10 24 - Support selon la revendication 22 ou 23 qui présente ou comporte une structure stratifiée (feuilletée). 25 - Support selon l'une quelconque des revendications 22 à 24 qui comporte au moins une couche (31,\n<CLM>\1\tde matière adhésive déposée sur une couche (32) de matière plastique ou métallique. 15 26 - Support selon l'une quelconque des revendications 22 à 25 qui comporte une couche (31) de matière adhésive pour la solidarisation temporaire du support de collecte à l'objet ou surface (12), ou aux moyens de séparation (14, 50, 51, 61), et une couche(33) de matière adhésive pour la solidarisation temporaire de particules (43) séparées de 20 l'objet ou surface, au support (20) de collecte.