Brevet FR3042272A1 (20170414)
REVENDICATIONS1. Détecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) à au moins un pixel, chaque pixel comprenant : une membrane d'absorption (110 ; 310 ; 610 ; 710 ; 9101; 9102), adaptée à convertir en chaleur un rayonnement électromagnétique incident (200) ; et un réflecteur (120 ; 320 ; 620 ; 720 ; 920), agencé pour réfléchir vers la membrane d'absorption une part du rayonnement électromagnétique incident ayant traversé celle-ci ; caractérisé en ce que : au moins un pixel comprend en outre une couche non métallique dite couche structurée (130 ; 330 ; 630 ; 730 ; 9301; 9302), située entre la membrane d'absorption et le réflecteur, présentant une série de sauts d'indice entre un premier indice optique et un second indice optique dans un plan parallèle à la membrane d'absorption, de façon à former un réseau résonant à une longueur d'onde dite d'intérêt )to ; le pas moyen du réseau (P) est inférieur à ladite longueur d'onde d'intérêt ; et la distance optique entre la membrane d'absorption et le réflecteur est sensiblement égale à un multiple de X0/2.\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une différence entre le premier indice optique et le second indice optique est supérieure à 0,5.\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le pas moyen du réseau (P) est compris entre X0/2 et )to, où )to est la longueur d'onde d'intérêt. 3042272 24\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le réseau résonnant est un réseau périodique. 5\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le réseau résonnant (830B) est un réseau pseudo-périodique, présentant des variations de la forme du motif élémentaire telles qu'un taux de recouvrement relativement à une forme moyenne des motifs élémentaires soit compris entre 90% et 99%. 10\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le réseau résonnant présente des sauts d'indice répartis selon les deux dimensions d'un plan parallèle à la membrane d'absorption. 15\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le réseau résonnant (830A) présente des sauts d'indice répartis selon une seule dimension d'un plan parallèle à la membrane d'absorption. 20\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que chaque saut d'indice est constitué par une interface entre un premier matériau et un second matériau, et en ce que l'un desdits matériaux est un vide ou un gaz tel que l'air. 25\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'un écart (d2) entre la couche structurée et la membrane d'absorption est inférieur à X0/2, où )to est la longueur d'onde d'intérêt.\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (700 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la couche structurée (730 ; 9301; 9302) est recouverte d'une 3042272 25 couche non métallique dite couche bas indice (750 ; 9501; 9502), espacée de la membrane d'absorption.\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 600 ; 700 ; 900 ; 1100) selon l'une quelconque 5 des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il présente une pluralité de pixels, et en ce qu'au moins deux pixels diffèrent par leur forme moyenne des motifs élémentaires de sorte qu'ils sont adaptés à la détection de longueurs d'onde d'intérêt différentes.\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (900) selon la revendication 11, caractérisé en ce que 10 chaque pixel présente une couche bas indice (9501; 9502), recouvrant la couche structurée associée à ce pixel et espacée de la membrane d'absorption correspondante, les couches bas indice (9501; 9502) associées chacune à un pixel présentant différentes épaisseurs. 15\n<CLM>\1\tDétecteur bolométrique (100 ; 300 ; 700 ; 900 ; 1100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce qu'une couche intermédiaire non métallique (140 ; 340 ; 740 ;\n<CLM>\1\ts'étend entre le réflecteur et la membrane structurée.\n<CLM>\1\tCapteur de gaz (1000) comprenant une source infrarouge (1003), agencée pour 20 émettre un rayonnement électromagnétique (200) à l'intérieur d'une cavité (1001), caractérisé en ce que la cavité contient un détecteur bolométrique (1100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 13.