Brevet FR3039003A1 (20170120)
REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'un substrat comprenant une couche utile (31) disposée sur un substrat receveur, le procédé comprenant les étapes suivantes : a. Fournir un substrat support (10) présentant un premier coefficient de dilatation thermique, comprenant sur une de ses faces, dite face avant (11), une première pluralité de tranchées (12) parallèles entre elles selon une première direction, et une seconde pluralité de tranchées (13) parallèles entre elles selon une seconde direction non parallèle à la première direction ; b. Transférer une couche utile (31), à partir d'un substrat donneur (30), sur le substrat support (10), la couche utile (31) présentant un second coefficient de dilatation thermique différent du premier coefficient de dilatation thermique ; le procédé de fabrication étant caractérisé en ce que une couche intermédiaire est intercalée entre la face avant (11) du substrat support (10) et la couche utile (31), la couche intermédiaire (20) présentant un coefficient de dilatation compris entre le premier et le second coefficient de dilatation thermique.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon la revendication 1, dans lequel l'étape b. de transfert de la couche utile (31) comprend l'assemblage du substrat donneur (30) avec le substrat support (10), et l'amincissement du substrat donneur (30) pour former la couche utile (31).\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon la revendication 2, dans lequel l'amincissement du substrat donneur (30) est exécuté par amincissement mécanique. 3039003 13\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la couche intermédiaire (20) est formée, avant l'étape b. de transfert de la couche utile (31), sur le substrat support (10) ou sur le substrat donneur (30). 5\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel la couche intermédiaire (20) comprend un matériau vitreux.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon la revendication 5 dans lequel la couche 10 intermédiaire (20) comprend au moins un des matériaux compris dans la liste : TEOS, BPSG, PSG, USG.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les tranchées de la première pluralité de tranchées (12) sont 15 régulièrement disposées tous les 3 à 10 millimètres.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les tranchées de la seconde pluralité de tranchées (13) sont régulièrement disposées tous les 3 à 10 millimètres. 20\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel les tranchées de la première et de la seconde pluralité de tranchées ont une profondeur comprise entre 1 et 100 pm. 25\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel les tranchées de la première et de la seconde pluralité de tranchées (13) présentent une largeur comprise entre 1 et 100 pm.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 10, dans 30 lequel la couche utile (31) comprend au moins un des matériaux compris dans la liste : LiTaO3, LiNbO3. 3039003 14 12.Procédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel la différence entre le premier coefficient de dilatation thermique et le second coefficient de dilatation thermique est supérieur à 5 5*10-6/C°, de préférence supérieur à 10*10-6/C°. 13.Procédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel le substrat support (10) comprend au moins un des matériaux compris dans la liste : Silicium, Germanium, Carbure de silicium, 10 alumine, saphir, Nitrure d'aluminium.\n<CLM>\1\tSubstrat comprenant : c. un substrat support (10) présentant un premier coefficient de dilatation thermique, et comprenant sur une de ces faces, dite 15 face avant (11), une première pluralité de tranchées (12) parallèles entre elles selon une première direction, et une seconde pluralité de tranchées (13) parallèles entre elles selon une seconde direction non parallèle à la première direction ; d. une couche utile (31) présentant un second coefficient de 20 dilatation thermique différent du premier coefficient de dilatation thermique et disposée sur le substrat support (10) ; le substrat étant caractérisé en ce que une couche de intermédiaire est intercalée entre la face avant (11) du substrat support (10) et la couche utile (31), la couche intermédiaire (20) présentant un 25 coefficient de dilatation compris entre le premier et le second coefficient de dilatation thermique.