Brevet FR3047923A1 (20170825)
REVENDICATIONS1. Article comprenant un substrat (1), notamment transparent, ledit substrat étant recouvert sur au moins une de ses faces, en totalité ou en partie, par une couche de protection (3) à base d'oxyde mixte de zirconium et d'aluminium.\n<CLM>\1\tArticle selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'il comprend un revêtement (2) situé entre ladite couche de protection (3) et ledit substrat (1).\n<CLM>\1\tArticle selon la revendication 1 ou 2 dans lequel le rapport atomique Al/Zr dans l'oxyde mixte de zirconium et d'aluminium est compris entre 0,05 et 0,5, avantageusement entre 0,1 et 0,4, encore plus avantageusement entre 0,2 et 0,3.\n<CLM>\1\tArticle selon l'une des revendications précédentes, dont l'épaisseur de ladite couche de protection (3) est comprise entre 1 et 100 nm, 15 avantageusement entre 2 et 50 nm, encore plus avantageusement entre 5 et 35 nm.\n<CLM>\1\tArticle selon l'une des revendications 2 à 4, dans lequel ledit revêtement (2) comprend, en partant du substrat (1) (i) au moins une couche intermédiaire barrière (4), éventuellement (ii) au moins une couche de mouillage (5) et 20 éventuellement (iii) au moins un empilement de couches à basse émissivité (6) et/ou un empilement de couches à contrôle solaire (7).\n<CLM>\1\tArticle selon la revendication précédente, dans lequel le matériau constituant ladite couche intermédiaire barrière (4) est choisi parmi les oxydes, les nitrures, les carbures et leurs mélanges. 25\n<CLM>\1\tArticle selon la revendication précédente, dans lequel le matériau constituant ladite couche intermédiaire barrière (4) est un oxyde, un nitrure ou un carbure d'au moins un élément choisi dans le groupe comprenant le silicium, l'aluminium, l'étain, le titane, le zirconium, l'hafnium, le niobium, le tantale et le chrome. 30\n<CLM>\1\tArticle selon la revendication précédente, dans lequel le matériau constituant ladite couche intermédiaire barrière (4) est choisi parmi l'oxyde d'étain Sn02, l'oxyde mixte d'étain et de zinc SnZnOx, le nitrure de silicium 3047923 27 Si3N4, éventuellement dopé à l'aluminium Si3N4:Al, le nitrure d'aluminium AIN, l'oxyde de silicium SiO2 éventuellement dopé à l'aluminium, l'oxynitrure de Silicium SiOxNy, l'oxycarbure de silicium SiOxCy, le carbure de silicium SiC, le carbure de chrome CrC, le carbure de tantale TaC, le carbure de titane TiC, le 5 carbure de zirconium ZrC, le nitrure de chrome CrN, le nitrure de tantale TaN, le nitrure de titane TiN et le nitrure de zirconium ZrN.\n<CLM>\1\tArticle selon l'une quelconque des revendications 5 à 8, dont l'épaisseur de ladite couche intermédiaire barrière (4) est comprise entre 5 et 100 nm, avantageusement entre 10 et 50 nm. 10\n<CLM>\1\tArticle selon l'une des revendications 5 à 9, dans lequel ladite couche de mouillage (5) est en matériau diélectrique (i) choisi parmi les oxydes, les nitrures, les carbures, les oxynitrures, et les oxycarbures d'au moins un élément pris dans le groupe comprenant le silicium, l'aluminium, l'étain, le titane, le zirconium, l'hafnium, le niobium, le tantale, le zinc et le chrome et étant (ii) différent du matériau constituant ladite couche intermédiaire barrière (4).\n<CLM>\1\tArticle selon la revendication précédente, dans lequel le matériau diélectrique constituant ladite couche de mouillage (5) est choisi parmi l'oxyde de titane, l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, l'oxyde de zinc et l'oxyde de zinc et d'étain.\n<CLM>\1\tArticle selon l'une quelconque des revendications 10 ou 11, dans lequel l'épaisseur de ladite couche de mouillage (5) est comprise entre 5 et 100 nm, avantageusement entre 5 et 50 nm, encore plus avantageusement entre 10 et 40 nm.\n<CLM>\1\tArticle selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que le substrat transparent (1) est : - en verre, avantageusement silico-sodo-calcique, - en polymère, avantageusement en polycarbonate, en polyméthacrylate de méthyle, en polyéthylène, en polyéthylène téréphtalate ou en polyéthylène naphtalate ; - en métal, avantageusement en acier, en aluminium ou en cuivre, ou - en céramique, avantageusement en carbure de silicium, en nitrure de silicium, en nitrure d'aluminium ou en oxyde d'aluminium. 3047923 28\n<CLM>\1\tArticle selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il est susceptible d'être traité thermiquement, en particulier par recuit, trempe et/ou bombage.\n<CLM>\1\tVitrage, en particulier un vitrage de véhicule ou un vitrage de bâtiment ou 5 entrant dans la composition d'une table, d'un comptoir, d'une plaque de cuisson, d'une paroi de douche, d'une cloison ou d'un radiateur, caractérisé en ce qu'il comprend un article selon l'une quelconque des revendications précédentes.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un article selon l'une quelconque des 10 revendications 1 à 14 dans lequel ladite couche de protection (3) à base d'oxyde mixte de zirconium et d'aluminium est déposée : (i) par pulvérisation cathodique magnétron, en particulier par co-pulvérisation d'oxyde de zirconium et d'oxyde d'aluminium ou par pulvérisation réactive à partir d'une cible de zirconium et d'aluminium en présence d'02, ou d'une 15 cible mixte d'oxyde de zirconium et d'aluminium, ou (ii) par dépôt chimique en phase vapeur à partir d'un précurseur à base de zirconium et d'aluminium approprié, ou (iii) par pyrolyse en phase gazeuse sous pression ambiante. 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel le procédé comporte la séquence d'étapes suivantes, dans l'ordre : > on dépose éventuellement sur le substrat transparent (1) au moins une couche intermédiaire barrière (4), puis > on dépose éventuellement au moins une couche diélectrique (5) au- 25 dessus de ladite couche intermédiaire barrière (4), puis > on dépose éventuellement au moins une couche fonctionnelle 8 en argent, puis > on dépose éventuellement au moins une couche de blocage 9, encore appelée couche « sacrificielle » puis 30 > on dépose éventuellement au moins une couche à base de matériau diélectrique 10, puis > on dépose éventuellement au moins une couche barrière à l'oxygène 11, puis 3047923 29 - on dépose ladite couche de protection supérieure (3), constituant la couche la plus externe dudit article.