Brevet FR3039708A1 (20170203)
REVENDICATIONS1. Résonateur à ondes élastiques de surface comprenant un 5 matériau piézoélectrique destiné à la propagation des ondes élastiques de surface et au moins un transducteur inséré entre une paire de réflecteurs, ledit transducteur comprenant des peignes d'électrodes interdigitées et présentant un nombre Nc d'électrodes connectées à un point chaud et une ouverture acoustique W caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique 10 présente une permittivité relative supérieure à environ 15, ledit transducteur présentant un produit Nc.W/fa supérieur à 100 urn.MHZ-1 avec fa la fréquence d'antirésonance dudit résonateur.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 15 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est de la langasite, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 100 et 1000 um.MHZ1.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 20 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est de l'oxyde de zinc, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 400 et 2000 uin.MHZ.1.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 25 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du quartz, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 2400 et 3600um.MHz-1.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du 30 nitrure d'aluminium AIN, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 400 et 2000 pm.MHz-1.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du 3039708 20 tantalate de lithium LiTaO3, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 100 et 1000 pm.MHz-1.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 5 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du niobate de lithium, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 1400 et 3000 pm.MHz-1.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon l'une des 10 revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les électrodes sont à base de platine ou de titane ou de tantale, ou un mélange de certains des métaux précités.\n<CLM>\1\tRésonateur à base de matériau piézoélectrique selon l'une des 15 revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend une couche de passivation pouvant être une couche d'alumine (A1203) ou d'oxyde de silicium ou de nitrure de silicium ou de nitrure d'aluminium.\n<CLM>\1\tCircuit comprenant au moins une impédance de charge et au 20 moins un résonateur selon l'une des revendications 1 à 9, et présentant une réponse électrique traduite par un pic de coefficient de réflexion S1, en fréquence caractérisée par une valeur minimum du paramètre S1, supérieure à au moins 10 dB, le pic d'antirésonance dudit résonateur étant adapté à l'impédance de la charge. 25\n<CLM>\1\tCapteur passif interrogeable à distance comprenant un circuit selon la revendication\n<CLM>\1\t12. Capteur de température différentiel passif interrogeable à 30 distance comprenant deux résonateurs selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t13. Système d'interrogation d'un circuit selon la revendication 10, ou d'un capteur selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de 35 fréquences situées entre 400 MHz et 450 MHz. 3039708 21\n<CLM>\1\tSystème d'interrogation d'un circuit selon la revendication 10, ou d'un capteur selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de 5 fréquences situées entre 900 MHz et 950 MHz.\n<CLM>\1\tSystème d'interrogation d'un circuit selon la revendication 10, ou d'un capteur selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de 10 fréquences situées entre 850 MHz et 900 MHz.