Brevet FR3052257A1 (20171208)
REVENDICATIONS1°) Capteur de pression (100) comportant une première membrane (103) se déformant en fonction de la pression (1) exercée sur cette première membrane (103), capteur de pression caractérisé en ce qu'il comporte, une seconde membrane (104) écartée de la première membrane (103) pour que la première membrane (103) et la seconde membrane (104) forment un condensateur dont la capacité varie en fonction de la déformation de la première membrane et, une unité de régulation (200) pour régler une capacité prédéfinie (201) du condensateur, le signal de réglage (202) de l'unité de régulation (200) pour régler la capacité prédéfinie (201) étant une mesure de la pression (1) appliquée à la première membrane (103). 2°) Capteur de pression (100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la seconde membrane (104) forme au moins une partie de la première surface limite (300) d'une première cavité (106) dans laquelle règne une pression de référence. 3°) Capteur de pression (100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la seconde membrane (104) fait au moins partie d'une première surface limite (300) d'une première cavité (106), et le capteur de pression (100) a une structure de maintien (107) qui écarte la première membrane (103) et la seconde membrane (104) et la première membrane (103), la seconde membrane (104) et la structure de maintien (107) formant les surfaces limites d'une seconde cavité (105), la seconde membrane (104) ayant des perforations (112) de sorte que la seconde cavité (105) est à la même pression que la première cavité (106). 4°) Capteur de pression (100) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que 3052257 25 la seconde membrane (104) est réalisée en une matière magnétique électro-conductrice. 5°) Capteur de pression (100) selon la revendication 4, 5 caractérisé en ce que l'unité de régulation (200) comporte un électroaimant (102) pour générer un champ magnétique sur le côté (301) de la seconde membrane (104) non tournée vers la première membrane. 10 6°) Capteur de pression (100) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'unité de régulation (200) comporte une électrode d'excitation (111) sur le côté (301) de la seconde membrane (104) non tournée vers la première membrane. 15 7°) Capteur de pression (100) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la seconde membrane (104) a une première couche (1041) ayant un premier coefficient de dilatation thermique et une seconde couche 20 (1042) ayant un second coefficient de dilatation thermique, - le premier coefficient de dilatation thermique étant différent du second coefficient de dilatation thermique. 8°) Capteur de pression (100) selon l'une des revendications 1 à 3 ou 6, 25 caractérisé en ce que la seconde membrane (104) comporte une troisième couche (1043) et au moins une couche piézo électrique (1044), la troisième couche (1043) étant en métal. 30 9°) Capteur de pression (100) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la seconde membrane (104) comporte au moins une couche magnétostrictive. 3052257 26 10°) Dispositif de capteur de pression comportant un capteur de pression (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 et une unité d'exploitation (203) pour déterminer la pression (1) appliquée à la première membrane (103) à partir du signal de réglage (202). 5 11°) Procédé de détection d'une pression (1) par un dispositif de capteur de pression selon la revendication 10, caractérisé en ce que le procédé consiste à déformer (2) la première membrane (103) en appliquant la pression 10 (1) à cette première membrane (103), régler (3) la capacité prédéfinie (201) du condensateur par l'unité de régulation (200) et, déterminer (4) la pression (1) appliquée à la première membrane (103) à partir du signal de réglage (202) de l'unité de régulation 15 (200). 12°) Procédé de détection d'une pression (1) à l'aide d'un dispositif de capteur de pression comportant un capteur de pression (100) selon l'une des revendications 4 ou 9 et une unité d'exploitation (203) pour 20 déterminer la pression (1) à partir du signal de réglage (202), procédé caractérisé en ce qu'il consiste à, déformer (2) la première membrane (103) en appliquant la pression (1) à cette première membrane (103), régler (3) la capacité prédéfinie (201) du condensateur par l'unité de 25 régulation (200) qui comporte un électroaimant (102) fournissant un champ magnétique réglable et qui se trouve sur le côté (301) de la seconde membrane (104) non tournée vers la première membrane (103), le signal de réglage (202) étant un courant électrique appliqué à l'électroaimant (102) et, 30 déterminer (4) la pression (1) appliquée à la première membrane (103) à partir du signal de réglage (202). 13°) Procédé de détection de la pression (1) à l'aide d'un dispositif capteur de pression comportant un capteur de pression (100) selon la re- 3052257 27 vendication 6 et une unité d'exploitation (203) pour déterminer la pression (1) à partir du signal de réglage (202), procédé caractérisé en ce qu'il consiste à : déformer (2) la première membrane (103) en appliquant la pression 5 (1) à cette première membrane (103), régler (3) la capacité prédéfinie (201) du condensateur par l'électrode d'excitation (111), le signal de réglage (202) étant une tension électrique appliquée entre l'électrode d'excitation (111) et la seconde membrane (104) et, 10 déterminer (4) la pression (1) appliquée à la première membrane (103) à partir du signal de réglage (202). 14°) Procédé de détection d'une pression (1) à l'aide d'un dispositif de capteur de pression comportant un capteur de pression (100) selon la 15 revendication 7 et une unité d'exploitation (203) pour déterminer la pression (1) à partir du signal de réglage (202), procédé caractérisé en ce qu'il consiste à : déformer (2) la première membrane (103) en lui appliquant la pression (1), 20 régler (3) la capacité prédéfinie (201) du condensateur en chauffant la seconde membrane (104), le signal de réglage (202) étant un courant électrique qui traverse au moins partiellement la seconde membrane (104) et, déterminer (4) la pression (1) appliquée à la première membrane 25 (103) à partir du signal de réglage. 15°) Procédé de détection d'une pression (1) à l'aide d'un dispositif de capteur de pression comportant un capteur de pression (100) selon la revendication 8 et une unité d'exploitation (203) pour déterminer la 30 pression (1) à partir du signal de réglage (202), procédé caractérisé en ce qu'il consiste à : déformer (2) la première membrane (103) en lui appliquant la pres- sion (1), - régler (3) la capacité prédéfinie (201) du condensateur par l'unité de 35 régulation (200) comportant une électrode d'excitation (111) sur le 3052257 28 côté (301) de la seconde membrane (104) à l'opposé de la première membrane (103), le réglage de la capacité prédéfinie (201) consistant à appliquer une tension électrique avec la couche piézoélectrique (1044), le signal de réglage (202) étant une tension électrique et, 5 déterminer (4) la pression (1) appliquée à la première membrane (103) à partir du signal de réglage (202). 10