Brevet FR3052326A1 (20171208)
REVENDICATIONS1. Générateur (1) d'un plasma dans une cavité plasma (40), comprenant au moins une source d'énergie micro-onde et au moins un applicateur (10), d'une énergie micro-onde produite par la source (20), dans la cavité plasma (40), ledit au moins un applicateur (10) comprenant une ligne coaxiale (11), la ligne coaxiale comprenant une âme centrale (12), un conducteur extérieur (14) entourant ladite âme (12), une cavité de propagation (13) de l'énergie micro-onde issue de la source (20), la cavité de propagation (13) entourant l'âme centrale (12), une fenêtre diélectrique (15) en contact avec l'âme (12) et le conducteur extérieur (14) séparant de façon étanche une première partie (13a) de la cavité de propagation (13) tournée vers la source (20) et une deuxième partie (13b) de la cavité de propagation (13) dans laquelle se prolonge la cavité plasma (40), la fenêtre diélectrique (15) permettant le passage de l'énergie micro-onde de la première partie (13a) de la cavité vers la deuxième partie (13b) de la cavité de propagation (13), caractérisé en ce que l'applicateur (10) comprend en outre un ensemble d'au moins un bloc de matière (50) s'étendant dans la deuxième partie (13b) de la cavité de propagation (13) entre l'âme (12) et le conducteur extérieur (14) à distance de l'âme (12) et du conducteur extérieur (14), le bloc de matière (50) est isolé électriquement de l'âme centrale (12) et du conducteur extérieur (14).\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon la revendication précédente, dans lequel le bloc de matière (50) est réalisé en matériau électriquement conducteur.\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins un bloc de matière (50) entoure complètement l'âme.\n<CLM>\1\tGénérateur(1) selon la revendication précédente, dans lequel au moins un bloc de matière (50) entourant complètement l'âme présente une forme tubulaire, ledit bloc de matière étant appelé tube.\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon la revendication précédente, dans lequel au moins un tube est configuré et agencé de sorte à se trouver à une distance sensiblement constante de l'âme et à distance sensiblement 3052326 24 constante du conducteur extérieur sur tout le tour du tube.\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins un bloc de matière s'étend 5 sensiblement sur toute la longueur de la deuxième partie (13b) de la cavité de propagation (13).\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'applicateur (10) comprend des moyens de 10 maintien configurés et agencés pour maintenir l'ensemble d'au moins un bloc de matière (50) à distance de l'âme (12) et du conducteur extérieur (14).\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon la revendication précédente, dans lequel 15 les moyens de maintien sont disposés à distance d'une extrémité (50b) du bloc de matière tournée vers la cavité plasma (40) et de l'extrémité de la ligne coaxiale (11) tournée vers la cavité plasma (40).\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon la revendication précédente, dans lequel 20 les moyens de maintien assurent une isolation électrique entre le bloc de matière (50) et l'âme (12) d'une part et le conducteur extérieur (14) d'autre part.\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications 7 à 25 9, dans lequel les moyens de maintien comprennent au moins un support (18,\n<CLM>\1\ts'étendant continument depuis le bloc de matière jusqu'à l'âme (12) ou le conducteur extérieur (14), au moins un bloc de matière (50) étant monobloc avec au moins un support ou fixé de manière définitive au support. 30\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, dans lequel les moyens de maintien comprennent au moins un support (18,\n<CLM>\1\ts'étendant continument depuis le bloc de matière jusqu'à l'âme (12) ou le conducteur extérieur (14), ledit support étant fixé de manière démontable à 35 l'âme ou respectivement au conducteur extérieur (14). 3052326 25\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications 7 à 11, dans lequel la fenêtre diélectrique (50) est formée au moins en partie par les moyens de maintien. 5\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'ensemble comprend au moins un premier bloc de matière (450) et un deuxième bloc (451) de matière situés à des premières distances respectives différentes de l'âme (12) et à des deuxièmes distances respectives du conducteur extérieur (14), le premier bloc de matière (450) 10 étant interposé entre le deuxième bloc de matière (451) et l'âme centrale (12).\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon la revendication précédente en ce qu'elle dépend de la revendication 7, dans lequel les moyens de maintien 15 comprennent un support assurant le maintien des blocs de matière à distance l'un de l'autre.\n<CLM>\1\tGénérateur (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant une pluralité d'applicateurs. 20