Brevet FR3045151A1 (20170616)
REVENDICATIONS1°) Elément (1) pour déterminer la pression absolue dans un milieu (M) comportant : une cavité (15) fermée au moins d'un côté par un substrat (10), une bobine (12) installée dans ou sur le substrat (10), une membrane (16) formée par un polymère structuré par photolithographie qui ferme la cavité (15) sur au moins un autre côté opposé au substrat (10), dans lequel la membrane (16) comporte une couche de métallisation (18) et est exposée à la pression absolue (p) régnant dans le milieu (M). 2°) Elément (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la cavité (15) est fermée hermétiquement. 3°) Elément (1) selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la couche de métallisation (18) est intégrée dans la membrane (16) ou est appliquée à la surface de la membrane (16). 4°) Elément (1) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu' un circuit d'exploitation (4) est réalisé ou intégré dans le substrat (10) et est relié à la bobine (12) par des conducteurs, de préférence dans ou sur le substrat. 5°) Elément (1) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le circuit d'exploitation (4) a une fonction de transpondeur et le signal d'exploitation qu'il fournit est lisible par une liaison sans fil et sans con- tact. 6°) Module de capteur inductif, micromécanique (3) comportant un élément (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5 ainsi qu'un 3045151 17 second élément de capteur de pression de référence (2) selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t7°) Procédé de fabrication d'un élément (1) selon l'une des revendica- 5 tions 1 à 5, consistant à utiliser un substrat micromécanique (10), appliquer ou intégrer une bobine électrique (12), appliquer une première couche de couverture (150) sur la surface 10 (101) du substrat (10) dans la région de la bobine (12), appliquer une seconde couche de couverture (160) sur la première couche de couverture (150) et des zones de la surface du substrat (10) non couvertes par la première couche de couverture (150), appliquer ou intégrer une couche de métal (180) sur ou dans la 15 couche de couverture (160), structurer la couche de métal (180), enlever partiellement la seconde couche de couverture (160) pour former la membrane (16) par le segment résiduel de la seconde couche de couverture (160), 20 enlever la première couche de couverture (150) pour former la cavité (15). 8°) Procédé selon la revendication 7, caractérisé par 25 une autre étape consistant à fermer hermétiquement la cavité (15) en appliquant une troisième couche de couverture (170) au-dessus du segment résiduel (16) de la seconde couche de couverture (160) munie de la couche de métal (180) ainsi que dans et/ou sur un passage (161) formé par l'enlèvement partiel de la seconde couche de couverture à 30 travers la seconde couche de couverture (160). 9°) Procédé pour déterminer la pression absolue (p) dans un milieu (M) en utilisant un élément (1) selon l'une des revendications 1 à 5 ou un module de capteur de pression (3), inductif, micromécanique selon la revendication 6, 3045151 18 procédé selon lequel on détermine l'inductance de la bobine (12) pour en déduire la pression absolue (p) dans le milieu (M). 5