Brevet FR3048846A1 (20170915)
REVENDICATIONS1 - Dispositif de modulation de l'intensité d'un faisceau de particules chargées émis suivant un axe (A0), comprenant : - 4xN systèmes de déviation successifs (21, 22, 23, 24), avec N = 1 ou 2, les systèmes de déviation (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tétant placés le long de l'axe (A0) dudit faisceau de particules, et étant susceptibles de dévier le faisceau vis-à-vis de l'axe (A0) selon la même direction, avec pour deux systèmes successifs (21, 22, 23, 24), des sens alternés de déviation, - des moyens d'application d'une force de déviation du faisceau pour chaque système de déviation (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tet de variation de la force appliquée - deux collimateurs (41,\n<CLM>\1\tprésentant chacun une fente (61,\n<CLM>\1\tavec une ouverture de largeur croissante du centre vers la périphérie, placés respectivement entre le premier et le deuxième système de déviation et entre le troisième et quatrième système de déviation, l'ouverture de la fente (61) du premier collimateur (41) étant orientée vers un côté de l'axe d'émission du faisceau A0, l'ouverture de la fente (62) du deuxième collimateur (41) étant orientée vers le côté opposé de l'axe du faisceau (A0). 2 - Dispositif selon la revendication 1 caractérisé en ce que chacun desdits systèmes de 25 déviation (21, 22, 23,\n<CLM>\1\test de type électrique ou de type magnétique. 3 - Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que lorsque les systèmes de déviation (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tsont de type électrique, chaque système (21, 22, 23,\n<CLM>\1\test constitué de deux plaques parallèles (7) portées à un potentiel électrique disposées respectivement 30 de part et d'autre de l'axe d'émission (A0). 3048846 -14- 4 - Dispositif selon la revendication 2 caractérisé en ce que lorsque les systèmes de déviation (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tsont de type magnétique, chacun desdits systèmes de déviation est constitué par un dipôle magnétique. 5 5 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fente (61,\n<CLM>\1\td'un collimateur (41,\n<CLM>\1\tprésente une forme générale de V avec des bords opposés rectilignes ou courbes bombés vers la partie restante du collimateur (41,\n<CLM>\1\tou vers l'espace vide délimité par ces bords. 10 6 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque collimateur (41,\n<CLM>\1\test placé le long de l'axe de façon à ce que sa fente (61,\n<CLM>\1\tsoit disposée d'un côté de l'axe d'émission AO en étant décalée vis-à-vis de cet axe AO d'une distance d. 7 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que chaque collimateur 15 (41,\n<CLM>\1\test placé le long de l'axe de façon à ce que sa fente (61,\n<CLM>\1\tsoit disposée dans l'axe d'émission A0. 8 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que lorsque qu'il comprend 8 systèmes de déviation (21, 22, 23, 24), quatre de ces systèmes sont 20 disposés vis-à-vis de l'axe d'émission de façon à dévier l'axe selon une première direction, et quatre autres de ces systèmes (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tsont disposés vis-à-vis de l'axe d'émission de façon à dévier l'axe selon une deuxième direction perpendiculaire à la première. 9 - Procédé de déviation de son axe d'émission d'un faisceau de particules chargées émises 25 suivant un axe A0, à l'aide du dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend pour 4N systèmes de déviation successifs, une étape d'application : par le premier système de déviation (21) d'une première force de déviation du faisceau suivant une direction donnée et selon un premier sens, 30 par le deuxième système de déviation (22) d'une deuxième force de déviation supérieure à la première, selon la même direction et en sens inverse du premier, par le troisième système de déviation du faisceau (23), de la deuxième force de déviation du faisceau suivant la même direction et selon le premier sens de déviation, 3048846 -15- par le quatrième système de déviation (24), de la première force de déviation, selon la même direction et en sens inverse du premier. 10 - Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que les systèmes de déviation (21, 5 22, 23,\n<CLM>\1\tsont de type électrique, et comprennent chacun deux plaques parallèles (7) à l'axe AO et disposées de part et d'autre de cet axe A0, les potentiels appliqués sur les deux plaques d'un même système étant symétriques ou asymétriques. 11 - Ensemble d'émission d'un faisceau de particules chargées d'intensité modulable, 10 comprenant successivement le long d'un axe d'émission AO du faisceau : une source d'émission d'un faisceau de particules chargées centré autour d'un axe d'émission A0, de préférence de type ECR un système d'extraction une lentille de type Einzel 15 un collimateur à orifice central circulaire - le dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, - un deuxième collimateur à orifice central circulaire un filtre des particules en sortie du deuxième collimateur, par la vitesse 20