Brevet FR3045418A1 (20170623)
REVENDICATIONS1 Procédé pour contrôler la divergence d'un jet de particules sous vide avec une lentille aérodynamique, ladite lentille aérodynamique (100, 100') comprenant : - au moins une chambre (10 à 14); un diaphragme, dit diaphragme d'entrée (20), destiné à former une entrée de la lentille aérodynamique pour un jet de particules, ledit diaphragme d'entrée présentant un diamètre (d1) donné ; et un autre diaphragme, dit diaphragme de sortie (25), destiné à former une sortie de la lentille aérodynamique pour ce jet de particules ; ledit procédé comportant : - une étape de génération du jet de particules depuis l'entrée vers la sortie, sous vide, de la lentille aérodynamique (100, 100') ; et une étape de réglage du diamètre (de) du diaphragme de sortie pour contrôler la divergence du jet de particules.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel on règle le diamètre (ds) du diaphragme de sortie (25) dans une gamme de valeurs strictement inférieure au diamètre (d1) du diaphragme d'entrée.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la lentille aérodynamique (100, 100') comporte n chambres, avec n 2 et de préférence avec n 3, et donc n diaphragmes autres que le diaphragme de sortie.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel on règle le diamètre (ds) du diaphragme de sortie (25) à une valeur strictement inférieure aux diamètres desdits n diaphragmes autres que le diaphragme de sortie.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la pression en entrée de la lentille aérodynamique (100, 100') est comprise entre 2mbar et 5mbar, de préférence entre 3mbar et 5mbar.\n<CLM>\1\tLentille aérodynamique (100) pour la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une des revendications précédentes, comprenant : au moins une chambre (10 à 14); - un diaphragme, dit diaphragme d'entrée (20), destiné à former une entrée de la lentille aérodynamique pour un jet de particules, ledit diaphragme d'entrée présentant un diamètre (d1) donné ; et un autre diaphragme, dit diaphragme de sortie (25), destiné à former une sortie de la lentille aérodynamique pour ce jet de particules ; caractérisée en ce que le diaphragme de sortie (25) présente un diamètre réglable. 3045418 17\n<CLM>\1\tLentille aérodynamique (100) selon la revendication précédente, comportant n chambres, avec n k 2 et de préférence n 3, et donc n diaphragmes autres que le diaphragme de sortie (25). 5\n<CLM>\1\tLentille aérodynamique (100) selon l'une des revendications 6 ou 7, dans laquelle le nombre n de chambres et donc de diaphragmes autres que le diaphragme de sortie (25) est tel que n 5 et, par exemple, tel que n 5\n<CLM>\1\t9. Lentille aérodynamique (100) selon l'une des revendications 6 à 8, dans laquelle le 10 diaphragme de sortie (25) se présente sous la forme d'un iris dont le diamètre (de) est réglable par une molette actionnable manuellement.\n<CLM>\1\tLentille aérodynamique (100) selon l'une des revendications 6 à 8, dans laquelle le diaphragme de sortie se présente sous la forme d'un iris dont le diamètre est réglable 15 par un moteur commandé.\n<CLM>\1\tLentille aérodynamique (100) selon l'une des revendications 6 à 10, dans laquelle le diaphragme d'entrée de la chambre comportant ledit diaphragme de sortie (25) de la lentille aérodynamique présente une épaisseur (e) comprise entre 0,2mm et 5mm. 20\n<CLM>\1\tEnsemble (200) pour la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une des revendications 1 à 5, comportant une lentille aérodynamique (100') comprenant : o au moins une chambre (10 à 14); o un diaphragme, dit diaphragme d'entrée (25), destiné à former une entrée de 25 la lentille aérodynamique (100') pour un jet de particules, ledit diaphragme d'entrée (20) présentant un diamètre (d1) donné ; et o un autre diaphragme, dit diaphragme de sortie (25), destiné à former une sortie de la lentille aérodynamique pour ce jet de particules ; caractérisé en ce que le diaphragme de sortie (25) est monté de façon amovible au 30 sein de la lentille aérodynamique (100') et en ce que ledit ensemble (200) comprend, en outre, au moins un diaphragme complémentaire (25', 25", ..., 25n) présentant un diamètre différent de celui du diaphragme de sortie (25), ledit au moins un diaphragme complémentaire étant destiné à être monté de façon amovible dans la lentille aérodynamique en lieu et place dudit diaphragme de sortie. 35\n<CLM>\1\tEnsemble (200) selon la revendication précédente, dans lequel la lentille aérodynamique (100') comporte n chambres, avec n ?. 2 et de préférence n 3, et donc n diaphragmes autres que le diaphragme de sortie. 40\n<CLM>\1\tEnsemble (200) selon l'une des revendications 12 ou 13, dans lequel le nombre n de chambres et donc de diaphragmes autres que le diaphragme de sortie est tel que n 5 et, par exemple, tel que n 5\n<CLM>\1\t15. Ensemble selon l'une des revendications 12 à 14, dans lequel le diaphragme d'entrée de la chambre comportant ledit diaphragme de sortie (25) de la lentille aérodynamique présente une épaisseur (e) comprise entre 0,2mm et 5mm. 3045418 18\n<CLM>\1\tUtilisation d'une lentille aérodynamique (100) selon l'une des revendications 6 à 11 ou d'un ensemble (200) selon l'une des revendications 12 à 15 pour déposer, sous vide, des particules sur une surface cible (SC). 5\n<CLM>\1\tUtilisation selon la revendication précédente, dans laquelle la surface cible présente une surface supérieure ou égale au cm2.