Brevet FR3050528A1 (20171027)
REVENDICATIONS1. Procédé d'estimation de propriétés optiques d'un échantillon, comportant les étapes suivantes : a) illumination de la surface de l'échantillon à l'aide d'un premier faisceau lumineux (12), produit par une première source de lumière (10) ; b) acquisition, à l'aide d'un premier capteur d'image (18), d'une première image (11(.1)) d'un rayonnement lumineux (14) rétrodiffusé par l'échantillon ainsi illuminé ; c) à l'aide de ladite première image, détermination, en plusieurs régions d'intérêts (ROI) de la surface de l'échantillon (5s), d'une première grandeur d'intérêt (R(.1)), représentative d'une quantité dudit rayonnement lumineux rétrodiffusé (14) par l'échantillon ; d) estimation d'une première propriété optique (14(.1)) en chacune desdites régions d'intérêt (ROI), à l'aide de ladite première grandeur d'intérêt ; le procédé étant caractérisé en ce que préalablement à l'étape d), le procédé comporte une étape de mesure d'une propriété optique dite auxiliaire (u.'s(.1)) de l'échantillon, différente de ladite première propriété optique, chaque estimation réalisée lors de l'étape d) prenant en compte la propriété optique auxiliaire ainsi mesurée sur l'échantillon.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel : soit la première propriété optique est une propriété d'absorption de la lumière (u.a(11)) de l'échantillon, la propriété optique auxiliaire étant une propriété de diffusion de la lumière (Vs(.1)) dans l'échantillon ; soit la première propriété optique est une propriété de diffusion de la lumière (Vs(.1)) de l'échantillon, la propriété optique auxiliaire étant une propriété d'absorption de la lumière (14(.1)) dans l'échantillon.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'étape de mesure de la propriété optique auxiliaire (u.'s(.1)) comporte les sous-étapes suivantes : i) illumination de la surface de l'échantillon à l'aide d'un faisceau lumineux auxiliaire (22), produit par une source de lumière auxiliaire (20), de façon à former, à la surface de l'échantillon, une zone élémentaire d'illumination (23), correspondant à la partie de la surface illuminée par ledit faisceau de lumineux auxiliaire ; 3050528 30 ii) mesure, à l'aide d'un photodétecteur auxiliaire (28), d'un signal de rétrodiffusion (4(.1)), représentatif d'un rayonnement rétrodiffusé (24) par l'échantillon, ledit rayonnement rétrodiffusé émanant d'une zone élémentaire de rétrodiffusion (25), séparée de la zone élémentaire d'illumination (23) et située à une distance (Dn), dite 5 distance de rétrodiffusion, de cette dernière ; iii) estimation de la propriété optique auxiliaire de l'échantillon en fonction du signal de rétrodiffusion (S,,(À)) mesuré lors de la sous-étape ii).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente dans lequel : la sous-étape ii) comporte l'obtention, à partir du signal de rétrodiffusion (Sn(À)), d'une 10 grandeur d'intérêt dite auxiliaire (Rn(À)), représentative d'une quantité du rayonnement (24) rétrodiffusé par l'échantillon, à une distance de rétrodiffusion (Dn), suite à son illumination par le faisceau lumineux auxiliaire; la sous-étape iii) comporte une comparaison de ladite grandeur d'intérêt auxiliaire (Rn(À)) avec une pluralité d'estimations (RZades,(À)) de cette grandeur d'intérêt, 15 chaque estimation étant réalisée en considérant une valeur prédéterminée de ladite propriété optique auxiliaire (1.1',(À)).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 3 ou 4 dans lequel : lors de la sous-étape i), l'échantillon est illuminé successivement ou simultanément par une pluralité de faisceaux lumineux auxiliaires (221, 222,\n<CLM>\1\tde façon à former, à la 20 surface de ce dernier, une pluralité de zones élémentaires d'illumination (231, 232,\n<CLM>\1\tespacées les unes des autres ; les sous-étapes ii) et iii) sont mises en oeuvre en considérant un signal rétrodiffusé émis à une distance de rétrodiffusion (Dn) de chaque zone élémentaire d'illumination, de façon à estimer la propriété optique auxiliaire dans autant d'éléments de surface (5i) 25 que de faisceaux lumineux auxiliaires.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'étape d) comporte, dans chaque région d'intérêt (ROI), une comparaison de la première grandeur d'intérêt (R(À)) déterminée lors de l'étape c) avec une pluralité d'estimations (R(T,i'adaf,ls)(À)) de cette grandeur d'intérêt, chaque estimation étant réalisée en considérant une valeur 30 prédéterminée de la première propriété optique (ua(À)), et en prenant en compte la propriété optique auxiliaire (u.',(À)) préalablement mesurée sur l'échantillon. 3050528 31\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la propriété optique auxiliaire (12,(.1)) de l'échantillon est mesurée en une pluralité d'éléments de surface (5i) de l'échantillon.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 7, comportant une interpolation de ladite propriété optique 5 auxiliaire (12,(.1)) à partir d'au moins deux propriétés optiques auxiliaires préalablement mesurées, de façon à établir une distribution spatiale (11'sxy (11)) de ladite propriété optique auxiliaire.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la propriété optique auxiliaire (u.'s(.1)) de l'échantillon est mesurée selon au moins un élément de surface 10 (5i), ledit élément de surface étant déterminé à partir de la première image (4(.1)) acquise lors de l'étape b).\n<CLM>\1\tDispositif (1) pour estimer des propriétés optiques d'un échantillon (5) comportant : une première source de lumière (10), apte à émettre un premier faisceau lumineux (12) se propageant vers l'échantillon ; 15 un premier capteur d'image (18), apte à acquérir une première image (4(.1)) d'un premier rayonnement lumineux (14) rétrodiffusé par l'échantillon ; une source de lumière auxiliaire (20), apte à émettre un faisceau lumineux auxiliaire (22) se propageant vers l'échantillon, de façon à former, à la surface de ce dernier, une zone élémentaire d'illumination (23), correspondant à la partie d'une surface (5s) de 20 l'échantillon illuminée par ledit faisceau lumineux auxiliaire ; un photodétecteur auxiliaire (28) apte à mesurer un rayonnement rétrodiffusé (24) par l'échantillon, à une distance de rétrodiffusion (Dn) de la zone élémentaire d'illumination (23), suite à l'illumination de l'échantillon par la source de lumière auxiliaire (20) ; un microprocesseur (30), configuré pour déterminer une propriété optique auxiliaire 25 (u.'s(.1)) de l'échantillon à partir du rayonnement rétrodiffusé (24) mesuré par le photodétecteur auxiliaire (28), le microprocesseur (30) étant également configuré pour déterminer une première propriété optique (u.a(11)) différente de la propriété optique auxiliaire, en différents points de la surface (5s) de l'échantillon, à partir de la première image acquise par le premier capteur d'image (18), en prenant en compte ladite 30 propriété optique auxiliaire.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 10, dans lequel le photodétecteur auxiliaire (28) est un capteur d'image. 3050528 32\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 11, dans lequel le photodétecteur auxiliaire (28) est le premier capteur d'image (18).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 12, dans lequel la source de lumière auxiliaire (20) est apte à former simultanément une pluralité de zones élémentaires 5 d'illumination (231, 232, 233), espacées les unes des autres, à la surface de l'échantillon (5).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 13, comportant un masque (36), interposé entre la source de lumière auxiliaire (20) et l'échantillon, le masque comportant des portions transparentes (36a), permettant le passage du faisceau lumineux auxiliaire (22), et des portions opaques (36b), bloquant le faisceau lumineux auxiliaire, de telle sorte que chaque zone élémentaire 10 d'illumination (231, 232,\n<CLM>\1\test formée par une projection d'une portion transparente (36a) sur la surface de l'échantillon.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 14, dans lequel le microprocesseur est apte à mettre en oeuvre les étapes c) et d) du procédé objet de l'une quelconque des revendications 1 à\n<CLM>\1\t15