Brevet FR3039647A1 (20170203)
REVENDICATIONS1. Méthode d'analyse d'impuretés organiques (3) à la surface d'un substrat (1), la méthode d'analyse comportant les étapes suivantes : - fournir un substrat (1) comportant une première face principale (I a), - fournir un film polymère (2) ayant un module d'Young inférieur à 3GPa, - appliquer le film polymère (2) contre la première face principale (1a) du substrat (1) pour récupérer des impuretés organiques (3) présentes - 10 sur la première face principale (1a), - analyser le film polymère (2) par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, de sorte à obtenir un spectre de Fourier, - déterminer la composition chimique des impuretés organiques (3) présentes à la surface du film polymère (2) à partir de la comparaison 15 entre le spectre de Fourier et un spectre de Fourier de référence.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon la revendication 1, dans laquelle le film polymère (2) a un module d'Young inférieur à 2 GPa. 20\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, dans laquelle le film polymère (2) a une épaisseur supérieure à 50 pm.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle le film polymère (2) est réalisé dans un matériau choisi dans la 25 famille des polymères aliphatiques saturés, de préférence sans liaison 0-H, C-0, N-H, C=O, et de préférence dans la famille des thermoplastiques semicristallins ou des élastomères.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon la revendication 4, dans laquelle le film 30 polymère (2) est réalisé dans un matériau choisi parmi le polyéthylène, le 3039647 19 polypropylène, le polyméthylpentène, le polybutène-1, le polyisobutylène, les copolymère éthylène-propylène, ou dans un matériau à base de paraffine.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, 5 dans laquelle l'analyse du film polymère (2) par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier est une analyse FTIR-ATR.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon la revendication 6, dans laquelle la face du film polymère (2) ayant été appliquée sur le substrat (1) est placée contre un cristal (4) servant d'élément de réflexion interne lors de l'analyse FTIR-ATR.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon la revendication 7, dans laquelle le cristal (4) est un cristal de germanium ou en diamant.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans laquelle le film polymère (2) est appliqué sur le substrat (1) avec une pression comprise entre 104 et 105 Pa.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans laquelle le film polymère (2) est posé sur le substrat (1), et subit au moins une phase d'augmentation de pression suivie d'une phase de diminution de pression.\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, comportant les étapes préalables suivantes : - fournir un film polymère de référence, - analyser le film polymère de référence par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, de sorte à obtenir le spectre de Fourier de référence. 3039647 20\n<CLM>\1\tMéthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans laquelle la comparaison entre le spectre de Fourier et le spectre de Fourier de référence est obtenue par soustraction du spectre de Fourier de référence au spectre de Fourier. 5\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'impuretés comprenant : - un dispositif de collecte (10) d'impuretés organiques (3) sur une principale (1a) d'un substrat (1) comprenant : o un support (11) de substrat (1), 10 o des moyens de déplacement (13) d'une tête (12) configurée pour être en contact avec le substrat (1) disposé sur le support (11) de substrat (1), la tête (12) étant recouverte d'un film polymère (2) amovible, o un système de commande (14) configuré pour contrôler les 15 moyens de déplacement (13) et la pression exercée par la tête (12) sur le substrat (1), et - un spectroscope infrarouge à transformée de Fourier configuré pour réaliser des analyses FTIR-ATR. 20\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'impuretés selon la revendication 13, dans lequel la tête (12) du dispositif de collecte (10) est une tête métallique.\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 ou 14, dans lequel la tête (12) du dispositif de collecte (10) 25 est recouverte d'une couche amortissante.\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, dans lequel les moyens de déplacement (13) du dispositif de collecte (10) permettent le déplacement vertical et horizontal de 30 la tête. 3039647 21\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 à 16, dans lequel le dispositif de collecte (10) comporte des moyens de mémorisation de la trajectoire de la tête. 5\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 à 17, dans lequel le dispositif de collecte (10) comporte des moyens de maintien du substrat (1) sur le support (11). 10