Brevet FR3045676A1 (20170623)
REVENDICATIONS1. Dispositif (1) pour réaliser une réaction chimique sur un substrat (3) présentant une surface (2) à traiter, typiquement une surface (2) d'un substrat (3) semi-conducteur, ledit dispositif comprenant une cellule (10) comprenant une paroi interne (12) définissant une enceinte (11) configurée pour recevoir un bain chimique (4), le dispositif (1) étant caractérisé en ce qu'il comprend en outre : - une membrane (20) étanche aux fluides, fixée sur la paroi interne (12) de la cellule (10) de manière à définir avec ladite paroi interne (12) une chambre (22) étanche aux fluides, et - une buse (24) configurée pour alimenter la chambre (22) avec un fluide.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 1, comprenant en outre une source (26) de fluide connectée à la buse (24), ledit fluide comprenant présentant des propriétés de transparence vis-à-vis de la lumière et pouvant comprendre l'un au moins des fluides suivants : un gaz inerte, de l'air, de zo l'eau déionisée.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel la membrane (20) est transparente. 25\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 3, comprenant en outre une électrode (6), fixée dans l'enceinte (11) de la cellule (10) de manière à être immergée et en contact avec le bain chimique (4).\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel la 30 paroi interne (12) de la cellule (10) comprend quatre portions (13-16 à de parois, dont deux portions longitudinales (13,\n<CLM>\1\tsensiblement parallèles et deux portions transversales (15,\n<CLM>\1\treliant les portions longitudinales (13, 3045676 18 14), la membrane (20) étant fixée sur l'une des portions longitudinales (13,\n<CLM>\1\tde la paroi interne (12).\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 5, comprenant en outre une 5 membrane (20) supplémentaire, fixée sur l'autre des portions longitudinales (13,\n<CLM>\1\tou une portion transversale (15,\n<CLM>\1\tde la paroi interne (12).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 6, dans lequel un matériau constitutif de la membrane (20) supplémentaire est identique à un matériau constitutif de la membrane (20).\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel un matériau constitutif de la membrane (20) comprend l'un au moins des matériaux suivants : polyéthylène PE et ses copolymères, polypropylène PP 15 et ses copolymères, chlorure de polyvinyle PVC.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel la membrane (20) est fixée sur la paroi interne (12) à l'aide de l'un au moins des moyens de fixation suivants : - par thermocollage, et/ou - un aimant, fixé sur la cellule (10), et un aimant fixé sur la membrane (20), dans la chambre (22) étanche.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 9, comprenant en outre l'un au moins des éléments suivants : - un organe de contrôle de température du bain chimique (4). - un émetteur ultrason, configuré pour faire circuler le bain chimique (4) et agiter la membrane (20).\n<CLM>\1\tProcédé (S) de réalisation d'une réaction chimique sur un substrat (3) présentant une surface (2) à traiter, typiquement une surface (2) 3045676 19 d'un substrat (3) semi-conducteur, à l'aide d'un dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 10, ledit procédé (S) comprenant les étapes suivantes : a) insérer (51) le substrat (3) dans la cellule (10) et fixer le substrat (3) à ladite cellule (10), 5 b) alimenter (S2) la chambre (22) formée par la membrane (20) avec un fluide de manière à réduire le volume interne de l'enceinte de la cellule (10) susceptible de recevoir un bain chimique (4), c) remplir (S3) l'enceinte de la cellule (10) avec un bain chimique (4) de manière à mettre en contact la surface (2) du substrat (3) avec le bain chimique (4), d) effectuer (S4) la réaction chimique sur la surface (2) du substrat (3).\n<CLM>\1\tProcédé (S) selon la revendication 11, dans lequel les étapes a) à d) sont effectuées successivement. 15\n<CLM>\1\tProcédé (S) selon l'une des revendications 11 ou 12, comprenant en outre, suite à l'étape d), les étapes (S5) suivantes : e) extraire le fluide de la chambre (22) formée par la membrane (20), f) extraire le substrat (3) de la cellule (10), 20 g) extraire le bain chimique (4) de la cellule (10).\n<CLM>\1\tProcédé (S) selon l'une des revendications 11 à 13, comprenant en outre, au cours de l'étape d), une sous-étape au cours de laquelle la membrane (20) est agitée afin de réaliser une circulation de fluide dans le 25 bain chimique (4).\n<CLM>\1\tProcédé (S) selon la revendication 14, dans lequel la circulation de fluide est réalisée par application d'ondes ultrasons ou en aspirant et en pompant successivement le fluide dans la chambre (22) étanche. 30\n<CLM>\1\tProcédé (S) selon l'une des revendications 11 à 15, dans lequel le substrat comprend un substrat semi-conducteur et dans lequel, au cours 3045676 20 de l'étape d), la surface du substrat semi-conducteur est activée par émission d'un rayonnement lumineux uniforme sur ladite surface et polarisée à un potentiel électrique permettant la réaction chimique. 5\n<CLM>\1\tMembrane (20) pour un dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 10, ladite membrane (20) étant étanche aux fluides et étant configurée pour définir avec la paroi interne (12) du dispositif (1) une chambre (22) étanche aux fluides.