Brevet FR3046153A1 (20170630)
REVENDICATIONS1. Système microélectronique et/ou nanoélectronique comportant n dispositifs microélectromécaniques et/ou nanoélectromécaniques, dits dispositifs, n étant supérieur ou égal à 2, disposés sur un support de connexion (12) destiné à connecter électriquement les n dispositifs, chacun des dispositifs comportant une zone d'interaction (2), au moins un ancrage mécanique (X), au moins une première borne électrique (0) destinée à récupérer un signal émis par chaque dispositif représentatif de l'état de la zone d'interaction (2), au moins une deuxième borne électrique (c) et une troisième borne électrique (a), chaque borne ayant une fonction donnée, dans lequel, parmi les n dispositifs, au moins une partie des dispositifs est disposée de telle sorte que l'emplacement géométrique d'au moins une des bornes parmi les première, deuxième et troisième borne (O, a, c) d'un des dispositifs adjacents est identique à l'emplacement géométrique de l'autre borne dudit autre dispositif adjacent ayant la même fonction, lesdites bornes desdits deux dispositifs adjacents étant confondues.\n<CLM>\1\tSystème microélectronique et/ou nanoélectronique selon la revendication 1, dans lequel les dispositions relatives des première (0), deuxième (c) et troisième (a) bornes, de la zone d'ancrage (X) et de la zone d'interaction (2) sont identiques ou similaires pour les n dispositifs,\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 1 ou 2, dans lequel, parmi les n dispositifs, au moins une partie des dispositifs est disposée de telle sorte que les ancrages mécaniques (X) de deux dispositifs adjacents sont confondus, l'emplacement géométrique de l'ancrage mécanique d'un desdits dispositifs adjacents étant identique à l'emplacement géométrique de l'ancrage mécanique de l'autre desdits dispositifs adjacents. 3046153 18\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 1, 2 ou 3, dans lequel, parmi les n dispositifs, au moins une partie des dispositifs est disposée de telle sorte que la première et/ou la deuxième (c) et/ou la troisième (a) borne de deux dispositifs adjacents sont confondues, l'emplacement géométrique de la première et/ou de la deuxième et/ou de la 5 troisième borne de l'un des dispositifs adjacentes étant identique à l'emplacement géométrique de la première et/ou de la deuxième et/ou de la troisième borne de l'autre desdits dispositif adjacent respectivement.\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les zones 10 d'interaction (2) s'étendent chacune selon une direction longitudinale, les dispositifs étant disposés de sorte que les directions longitudinales des zones d'interaction (2) soient confondues ou parallèles.\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 5, dans lequel la première borne 15 (0) et l'ancrage mécanique (X) sont disposés chacun à une extrémité longitudinale de la zone d'interaction (2), les deuxièmes (c) et troisièmes (a) bornes étant disposées latéralement par rapport à la zone d'interaction.\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les 20 dispositifs sont disposés sur le support de connexion (12) selon une répartition en ligne et en colonne, la première borne d'un dispositif étant confondue avec une première borne d'un dispositif adjacent qui est différent de celui comportant l'ancrage mécanique avec lequel l'ancrage mécanique dudit dispositif est confondu. 25\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 7 en combinaison avec la revendication 4, dans lequel la première borne d'un dispositif est confondue avec une première borne d'un dispositif adjacent qui est différent de celui comportant la deuxième et/ou la troisième borne avec lesquels la deuxième borne et/ ou la troisième borne sont confondues. 3046153 19\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 8 en combinaison avec la revendication 5 ou 6, comportant une quatrième (d) et une cinquième (b) bornes, la deuxième (c) et la troisième (a) bornes étant disposées d'un côté de la zone d'interaction (2) et la quatrième (d) et la cinquième (b) bornes étant disposées de l'autre côté de la 5 zone d'interaction (2).\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 9, dans lequel les deuxième et troisième bornes sont confondues respectivement avec les deuxième et troisième bornes du même dispositif adjacent et les quatrième et cinquième bornes étant confondues avec 10 les quatrième et cinquième bornes d'un dispositif adjacent différent de celui avec lequel ledit dispositif a ses deuxième et troisièmes bornes confondues.\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 10, dans lequel les n dispositifs sont adressables individuellement et connectés par le support de connexion 15 (12).\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 11, dans lequel les dispositifs sont de type résonant, la zone d'interaction (2) étant portée par un élément suspendu (4) destiné à être mis en vibration et dans lequel la deuxième (c) et/ou la quatrième (a) borne 20 alimente(nt) des moyens d'excitation de la zone d'interaction (2), chaque dispositif ayant une fréquence de résonance propre.\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 12 en combinaison avec l'une des revendications 9 et 10, dans lequel les troisième (a) et/ou la cinquième (b) 25 bornes sont connectées à des moyens de détection du déplacement de la zone d'interaction.\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 13, dans lequel une jauge piézorésistive relie l'élément d'interaction (4) et la troisième borne (a) et/ou une jauge 30 piézorésistive relie l'élément d'interaction (4) et la cinquième borne (b). 3046153 20\n<CLM>\1\tSystème selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel le support de connexion comporte au moins un niveau de connexion (Mn, Mn-1) relié aux bornes (O, a, b, c, d) par des vias. 5\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 15, dans lequel le support de connexion (12) comporte plusieurs niveaux de connexions (Mn, Mn-1) reliés aux bornes (O, a, b, c, d) par des vias.\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 15 ou 16, dans lequel le support 10 est de type CMOS.\n<CLM>\1\tSystème d'analyse d'un milieu, comportant un système de dispositifs MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications 1 à 17 et une unité de commande connectée aux dispositifs par le support de connexion. 15\n<CLM>\1\tSystème d'analyse selon la revendication 18, dans lequel le milieu à analyser est liquide et l'analyse porte sur des cellules biologiques contenues dans ledit milieu liquide. 20\n<CLM>\1\tSystème d'analyse selon la revendication 18, dans lequel le milieu à analyser est gazeux et l'analyse porte sur des particules contenues dans ledit milieu gazeux.\n<CLM>\1\tSystème d'actionnement, comportant un système de dispositifs 25 MEMS et/ou NEMS selon l'une des revendications 1 à 17 et une unité de commande connectée aux dispositifs par le support de connexion.