Brevet FR3039652A1 (20170203)
REVENDICATIONS1°) Elément de capteur (10) pour saisir au moins une propriété d'un gaz de mesure dans un espace de gaz de mesure, notamment pour saisir la part d'un composant gazeux du gaz de mesure ou la température du gaz de mesure, élément de capteur comportant un élément de support (12) et au moins une couche d'électrolyte solide (14), la couche d'électrolyte solide (14) étant réalisée sur l'élément de support (12), - la couche d'électrolyte solide (14) étant réalisée au moins en partie par épitaxie, l'élément de support (12) ayant au moins un évidement (16) de façon que la couche d'électrolyte solide (14) comporte au moins un segment de membrane (18). 2°) Elément de capteur (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche d'électrolyte solide (14) a une épaisseur comprise entre 40 nm - 5pm, de préférence entre 50 nm - 3 lam et d'une manière encore plus préférentielle entre 200 nm - 21.1m. 3°) Elément de capteur (10) selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu' une couche d'isolation (20) est prévue par segments entre la couche d'électrolyte solide (14) et l'élément de support (12), la couche d'isolation (20) étant réalisée en au moins un matériau électro-isolant et en particulier Si3N4 et/ou SiO2. 4°) Elément de capteur (10) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu' il comporte au moins une couche intermédiaire entre la couche d'électrolyte solide (14) et l'élément de support (12), - la couche intermédiaire est obtenue par épitaxie, oxydation et elle est électro-conductrice et conductrice d'ions, ou la couche intermédiaire étant réalisée par épitaxie, par oxydation et elle est une couche électro-isolante. 3039652 19 5°) Elément de capteur (10) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la couche d'électrolyte solide (14) est réalisée en au moins un matériau qui comporte du dioxyde de zirconium stabilisé par de l'oxyde d'yttrium. 5 6°) Elément de capteur (10) selon la revendication 5, caractérisé en ce que la teneur en oxyde d'yttrium du dioxyde de zirconium correspond à un gradient, de préférence perpendiculaire au plan de la couche Io d'électrolyte solide (14). 7°) Elément de capteur (10) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la couche d'électrolyte solide (14) présente un évidement (16) dans le 15 segment de membrane (18) sur le côté (28) tourné vers l'élément de support (12). 8°) Elément de capteur (10) selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que 20 le côté supérieur (32) de la couche d'électrolyte solide (14) non tournée vers l'élément de support (12) et le côté inférieur (34) de la couche d'électrolyte solide (14) tourné vers l'élément de support (12) ont chacun une électrode (36), notamment une électrode poreuse (36). 25 9°) Elément de capteur (10) selon la revendication 8, caractérisé en ce que les électrodes (36) sont mises en contact électrique à partir du même côté. 30 10°) Procédé de fabrication (20) d'un élément de capteur (10) pour saisir au moins une propriété d'un gaz de mesure dans un espace de gaz de mesure, notamment pour saisir la teneur en un composant gazeux du gaz de mesure ou une température du gaz de mesure comprenant les étapes suivantes consistant à : 35 - utiliser un élément de support (12), 5 3039652 20 appliquer au moins une couche d'électrolyte solide (14) sur l'élément de support (12) de façon que la couche d'électrolyte solide (14) soit au moins partiellement épitaxiale, enlever partiellement l'élément de support (12) pour développer au moins un évidement (16) de façon que la couche d'électrolyte solide (14) comporte au moins un segment de membrane (18). 10