Brevet FR3040488A1 (20170303)
REVENDICATIONS1°) Capteur de gaz (1) comportant au moins un circuit intégré (10) et au moins une couche sensible au gaz (11), - la couche sensible au gaz (11) étant reliée électriquement au circuit intégré (10) et - la couche sensible (11) détectant la concentration d'un certain gaz et - le circuit intégré (10) fournissant un signal électrique fondé sur la concentration de gaz détecté par la couche sensible au gaz (11), capteur de gaz caractérisé en ce que le circuit intégré (10) est entouré au moins en partie par une masse de protection (12) pour former un corps de capteur (13) dans lequel - le premier côté (14) comporte au moins une couche sensible au gaz (11), - le second côté (16) du corps de capteur (13) à l'opposé du premier cô- té (14) comporte des structures électro conductrices avec au moins un plot de contact (17), - les couches électroconductrices (15) sur le premier côté sont reliées électriquement à un plot de contact (17) du second côté (16), opposé. 2°) Capteur de. gaz (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la mise en contact des couches électroconductrices (15) sur le premier côté (14) du corps de capteur (13) avec au moins un plot de contact (17) sur le second côté (16) du corps de capteur (13) comporte des contacts traversant (18) qui s'étendent entre les deux côtés (14\n<CLM>\1\ten traversant la masse de protection (12). 3°) Capteur de gaz (1) selon la revendication 2, caractérisé en ce que les contacts traversant (18) passent à travers la masse de protection (12) à côté et à distance du circuit intégré (10). 4°) Capteur de gaz (1) selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que 3040488 15 les couches électroconductrices (15) sont appliquées au moins en partie en technique de lithographie à résolution fine, alors que la couche sensible au gaz (11) est appliquée avec des techniques à résolution grossière tels que la sérigraphie, l'utilisation de gabarits, l'impression par jet 5 d'encre, le dépôt à la vapeur à travers des masses ou des distributeurs. 5°) Capteur de gaz (1) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu' au moins une couche sensible au gaz (11) dépasse par rapport aux di- 10 mensions du circuit intégré (10) sur le premier côté (14). 6°) Capteur de gaz (1) selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu' au moins une couche sensible au gaz (11) est complètement à côté de la 15 surface d'extension du circuit intégré\n<CLM>\1\tsur le premier côté (14) et à une plus grande surface de base. 7°) Capteur de gaz (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que 20 la couche électroconductrice (15) est réalisée sur le premier côté (14) pour mettre en contact électrique une couche sensible au gaz (11) et pouvoir l'exploiter notamment la couche électroconductrice (15) étant au moins en partie réalisée sous la forme d'une structure digitée (22). 25 8°) Capteur de gaz (1) selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé par un élément de couverture (23) reçu sur la masse de protection (12) et couvrant le premier côté (4) du corps de capteur (13). 30 9°) Capteur de gaz (1) selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le premier côté (14) du corps de capteur (13) comporte un autre élément de circuit électronique (24) pour étendre la fonctionnalité du capteur de gaz (1). 3040488 16 10°) Capteur de gaz (1) selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le premier côté (14) du corps de capteur (13) comporte un autre capteur, notamment un capteur à inertie ou un capteur de pression pour 5 étendre la fonctionnalité du capteur de gaz (1). 10