Brevet FR3041098A1 (20170317)
REVENDICATIONS1. Dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre, le dispositif comprenant : - une surface (1) transparente de dépôt des particules ; - un système (2) optique disposé au-dessus de la surface de dépôt des particules, le système optique comprenant un système de focalisation configuré pour émettre un faisceau optique focalisé depuis une source (21) optique sur la surface de dépôt des particules transparente pour la longueur d'onde du faisceau optique ; - un système (3) de détection disposé au-dessous de la surface de dépôt des particules, le système (3) de détection étant configuré pour détecter une intensité d'un faisceau optique transmis par la surface de dépôt des particules ; - un système (4) de balayage auquel le système (2) optique, la source (21) optique et le système (3) de détection sont liés, le système de balayage étant configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions permettant une mesure en continu.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1, dans lequel le système (2) optique comprend un système de focalisation disposé entre la source optique et la surface (1) de dépôt des particules.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 2, dans lequel le système de focalisation est constitué par au moins deux lentilles asphériques.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la source optique (21) comprend une source Laser constituée typiquement par une Diode Laser.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 4, dans lequel la Diode Laser est monomode et 30 monochromatique.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique ayant un diamètre sur la surface de dépôt des particules de 1jam. 35 3041098 9\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique de puissance comprise entre 1 et 4 mW, typiquement entre 2,5 mW et 3,5 mW. 5\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel le système (4) de balayage comprend deux bras (4) pivotant disposés de part et d'autre de la surface (1) de dépôt des particules et sont configurés pour déplacer en même temps le système (2) optique, la source (21) optique et le système de détection. 10\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 8, comprenant une unité d'alimentation électrique autonome telle qu'une batterie rechargeable.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 9, comprenant une unité (5) de traitement configurée pour commander le système optique (2) et le système (4) de balayage, le 15 système (3) de détection étant configuré pour détecter le faisceau optique transmis par la surface (1) de dépôt des particules, l'unité (5) de traitement détectant une particule dès lors que l'intensité optique est inférieure à un seuil et associant alors à cette particule détectée, une taille de particule à une vitesse de balayage, l'unité de traitement étant en outre configurée pour déterminer après que toute la surface (1) de dépôt des particule ait été 20 balayée, une concentration particulaire surfacique.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 10, comprenant une unité (6) de communication sans fil configurée pour transmettre des données relatives à une concentration surfacique de particules : nombre de particules, taille des particules, forme 25 des particules.\n<CLM>\1\tProcédé pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre au moyen d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 11, le procédé comprenant les étapes consistant à : positionner (El) le dispositif selon l'une des revendications précédentes sur un plan dans un environnement à atmosphère contrôlée à surveiller ; balayer (E2) la surface (1) de dépôt des particules afin de déterminer une concentration particulaire surfacique de référence ; balayer (E3) régulièrement la surface (1) de dépôt des particules afin de déterminer, régulièrement, une concentration particulaire surfacique ; 3041098 10 comparer (E4) à la concentration particulaire surfacique de référence la ou les concentration(s) particulaire(s) surfacique(s) régulièrement obtenue(s). 5