Brevet FR3044306A1 (20170602)
REVENDICATIONS1. Procédé d'encapsulation d'au moins un dispositif microélectronique (100), comportant au moins les étapes suivantes : - réalisation d'au moins une portion de matériau sacrificiel (104) recouvrant au moins le dispositif microélectronique (100) ; - réalisation d'au moins un capot (106) recouvrant au moins la portion de matériau sacrificiel (104), le capot (106) comportant au moins deux couches (108,\n<CLM>\1\tsuperposées de matériaux distincts et ayant des contraintes résiduelles différentes et/ou des coefficients de dilatation thermique différents ; - gravure, à travers le capot (106), d'au moins une tranchée (112) dont le motif, au niveau d'une face supérieure (114) du capot (106), comporte au moins une courbe et/ou au moins deux segments droits non parallèles l'un par rapport à l'autre et se rejoignant en un point d'intersection ; - gravure de la portion de matériau sacrificiel (104) à travers la tranchée (112) telle que, lors de cette gravure, une portion (116) du capot (106) définie par la tranchée (112) se déforme sous l'effet d'une contrainte mécanique engendrée par les contraintes résiduelles et/ou une dilatation thermique desdites au moins deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) et augmente les dimensions de la tranchée (112) ; - suppression au moins partielle de la contrainte mécanique ; - dépôt d'au moins un matériau de bouchage (122) au moins sur la tranchée (112).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel, lors de la gravure de la portion de matériau sacrificiel (104), la déformation de la portion (116) du capot (106) est telle qu'une extrémité libre (119) de la portion (116) du capot (106) se déplace hors d'une cavité (120) formée par la gravure de la portion de matériau sacrificiel (104).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel une première (108) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) disposée entre la portion 3044306 19 de matériau sacrificiel (104) et une deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte une contrainte résiduelle de valeur et/ou de type différent de la contrainte résiduelle de la deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel la première (108) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte une contrainte résiduelle en compression et la deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte une contrainte résiduelle en tension. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 3 ou 4, dans lequel la première (108) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte du Si02 et la deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte du nickel.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 3 à 5, dans lequel la 15 deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot comporte un empilement d'une sous-couche comprenant du titane recouvrant la première (108) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) et d'une couche de nickel recouvrant la sous-couche.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 3 à 6, dans lequel la 20 suppression au moins partielle de la contrainte mécanique déformant la portion (116) du capot (106) comporte la mise en oeuvre d'un retrait d'au moins une partie de la deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel 25 une première (108) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106), disposée entre la portion de matériau sacrificiel (104) et une deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106), comporte un coefficient de dilatation thermique supérieur à celui de la deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106), et dans lequel la gravure de la portion de matériau sacrificiel (104) est mise en oeuvre à une température engendrant une 3044306 20 déformation de la portion (116) du capot (106) due à la dilatation thermique des deux couches (108, 110).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 8, dans lequel la première (108) des 5 deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte de l'aluminium et la deuxième (110) des deux couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) comporte du titane.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 8 ou 9, dans lequel le dépôt du matériau de bouchage (122) est mis en oeuvre à température ambiante.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'étape de gravure de la tranchée (112) à travers le capot (106) grave également des trous (124) à travers le capot (106) et ayant au moins une dimension sensiblement similaire à une largeur de la tranchée (112).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 11, dans lequel les trous (124) traversent la portion (116) du capot (106) se déformant lors de la gravure de la portion de matériau sacrificiel (104). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le capot (106) comporte en outre au moins une couche supplémentaire à travers laquelle au moins la tranchée (112) est gravée et telle qu'une partie de cette couche supplémentaire définie par la tranchée (112) fasse partie de la portion (116) du capot (106) se déformant lors de la gravure de la portion de matériau sacrificiel (104). 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le capot (106) a une épaisseur inférieure ou égale à environ 10 um. 10 15 3044306 21\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les étapes mises en oeuvre réalisent une encapsulation collective de plusieurs dispositifs microélectroniques (100) disposés sur un même substrat (102). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, lorsque l'une des couches (108,\n<CLM>\1\tdu capot (106) disposée contre la portion de matériau sacrificiel (104) comporte au moins un matériau getter, le procédé comporte en outre, après le dépôt du matériau de bouchage (122), une étape d'activation thermique dudit matériau getter.