Brevet FR3042906A1 (20170428)
REVENDICATIONS1. Procédé d'amincissement d'échantillons (1) pour des applications notamment dans le domaine de la micro-électronique, l'optoélectronique et les 5 composants de puissance, le procédé comprenant les étapes de : a) Fournir au moins un échantillon (1) présentant une face avant (3) et une face arrière (9) opposée à la face avant (3), b) Fournir un substrat d'encadrement (100) présentant une première face (5) et une seconde face (6) opposée à la première face (5), le 10 substrat d'encadrement (100) comprenant une ouverture traversante (7) débouchant dans la première face (5) et dans la seconde face (6), l'ouverture traversante (7) étant configurée pour recevoir l'au moins un échantillon (1), c) Positionner l'au moins un échantillon (1) par rapport au substrat 15 d'encadrement (100) de sorte que l'au moins un échantillon (1) est disposé dans l'ouverture traversante (7), la face avant (3) étant orientée du même coté que la première face (5), et d) Amincir simultanément le substrat d'encadrement (100) et l'au moins un échantillon (1) à partir respectivement de la première face (5) et 20 de la face avant (3), de sorte qu'à la fin de l'amincissement, la première face (5) du substrat d'encadrement (100) et la face avant (3) de l'au moins un échantillon (1) s'étendent sensiblement dans le même plan. 25\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon la revendication 1, dans lequel l'étape d) d'amincissement est réalisée par rectification, le substrat d'encadrement (100) et l'au moins un échantillon (1) étant disposés sur un plateau rotatif et maintenus en place par aspiration, l'amincissement étant réalisé par l'intermédiaire d'une meule à partir de la première face (5) et de la face avant (3). 30\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 2, dans lequel, avant l'étape d'amincissement d), l'au moins un échantillon (1) et le substrat d'encadrement (100) sont configurés de sorte que la face avant (3) de l'au moins un échantillon (1) fait saillie de la première face {5) du substrat d'encadrement (100) 35 d'une distance inférieure à 100 micromètres, de préférence inférieure à 50 micromètres et de préférence encore une distance inférieure à environ 30 3042906 2 micromètres, et l'étape d) comprend, avant l'amincissement simultané du substrat d'encadrement (100) et de l'au moins un échantillon (1), une étape dl) d'amincissement de l'au moins un échantillon (1) seul.\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 2, dans lequel, avant l'étape d'amincissement d), l'au moins un échantillon (1) et le substrat d'encadrement (100) sont configurés de sorte que la face avant (3) de l'au moins un échantillon (1) est en retrait de la première face (5) du substrat d'encadrement (100) et dans lequel l'étape d) comprend, avant l'amincissement simultané du substrat d'encadrement (100) et de l'au moins un échantillon (1), une étape dl) d'amincissement du substrat d'encadrement (100) seul, et de préférence, l'au moins un échantillon (1) et le substrat d'encadrement (100) sont configurés de sorte que la face avant (3) de l'au moins un échantillon (1) s'étend sensiblement dans le plan de la première face (5) du substrat d'encadrement (100).\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 4, comprenant après l'étape d) au moins une étape de traitement e) de l'au moins un échantillon (1) disposé dans l'ouverture traversante (7) du substrat d'encadrement (100), telle qu'une étape de gravure par voie sèche ou par voie humide, de dépôt, de planarisation, de polissage, de nettoyage, d'encapsulation dans des boitiers électroniques ou de collage direct.\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le matériau de l'au moins un échantillon (1) et le matériau du substrat d'encadrement (100) sont choisis parmi le silicium, le verre, le saphir, l'oxyde d'aluminium, le carbure de silicium, le germanium, l'oxyde de niobium et de lithium LNO, l'oxyde de lithium et de titane LTO, les éléments et alliages d'éléments des colonnes IV, les éléments et les alliages d'éléments des colonnes III et V, et les éléments et les alliages d'éléments des colonnes H et VI, et de préférence le matériau de l'au moins un échantillon (1) et le matériau du substrat d'encadrement (100) sont identiques.\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 6, comprenant entre l'étape c) et l'étape d) une étape cl) de mise en place, notamment par laminage, d'un premier film adhésif (8) sur le substrat d'encadrement (100) et sur l'au moins un échantillon (1) par adhésion du premier film adhésif (8) respectivement sur la seconde face (6) et sur la face arrière (9). 3042906 3\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel le substrat d'encadrement (100) présente une épaisseur supérieure à celle de l'au moins un échantillon (1) de sorte qu'après l'étape d'amincissement d) le substrat 5 d'encadrement (100) présente une épaisseur supérieure à 150 micromètres.\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel la seconde face (6) du substrat d'encadrement (100) fait saillie de la face arrière (9) de l'au moins un échantillon (1). 10\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel l'étape a) comprend la fourniture d'une pluralité d'échantillons (1), et dans lequel l'étape b) comprend la fourniture d'un substrat d'encadrement (100) comprenant une ouverture traversante (7) unique dans laquelle 15 la pluralité d'échantillons (1) est disposée à l'étape c), ou dans lequel l'étape b) comprend la fourniture d'un substrat d'encadrement (100) comprenant un ensemble d'ouvertures traversantes (7) et l'étape c) comprend la disposition de chaque échantillon (1) dans une ouverture traversante (7) respective. 20\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 10, dans lequel l'étape a) comprend la fourniture d'une pluralité d'échantillons (1) et dans lequel l'étape c) comprend la disposition individuelle de chaque échantillon (1). 25\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon l'une des revendications 1 à 10, dans lequel l'étape a) comprend la fourniture d'une pluralité d'échantillons (1) et dans lequel l'étape c) comprend la disposition collective de la pluralité d'échantillons (1).\n<CLM>\1\tProcédé d'amincissement selon la revendication 12, dans lequel 30 l'étape a) comprend les étapes de : i) Fournir une plaque comprenant une pluralité d'échantillons (1), ii) Mettre en place par laminage un deuxième film adhésif (11) sur la plaque, iii) Découper la plaque de sorte à individualiser les échantillons (1) solidarisés au deuxième film adhésif (11), et 35 dans lequel l'étape c) comprend les étapes de iv) Reporter le deuxième film adhésif (11) sur le substrat d'encadrement (100) de sorte à disposer collectivement la pluralité d'échantillons (1), et 3042906 4 y) Retirer le deuxième film adhésif (11).