Brevet FR3038773A1 (20170113)
REVENDICATIONS1. Pochoir (100) destiné à la réalisation, à l'échelle micrométrique, d'un dépôt d'un matériau sur un substrat (200) ou de gravure d'un substrat (200), le pochoir (100) comprenant : une membrane (2) comportant une face avant (3) destinée à être orientée vers ledit substrat (200) et une face arrière (4) opposée à la face avant (3), la membrane (2) comportant au moins une portion de rigidification (7) et au moins une portion active (5) comprenant une surface active (10) délimitée par la face avant (3), la au moins une portion active (5) présentant une épaisseur inférieure à l'épaisseur de la au moins une portion de rigidification (7), la au moins une portion de rigidification (7) étant configurée de sorte à assurer la planéité d'au moins la surface active (10), et au moins deux ouvertures (8) traversantes ménagées dans la portion active (5) et débouchant sur la surface active (10).\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon la revendication 1, dans lequel la au moins une portion active (5) présente une épaisseur comprise entre environ 5 et 50 micromètres, notamment entre 15 et 50 micromètres et de préférence une épaisseur d'environ 20 micromètres.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel le rapport de l'épaisseur de la au moins une portion active (5) sur la largeur de chacune des au moins deux ouvertures (8) traversantes est compris entre 0.01 et 500 et avantageusement entre 0.1 et\n<CLM>\1\t4. Pochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel au moins une parmi les au moins deux ouvertures (8) traversantes présente une largeur comprise entre 50 nanomètres et environ 100 micromètres, de préférence entre environ 50 nanomètres et 20 micromètres et de préférence encore entre environ 50 nanomètres et 5 micromètres.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel chacune des au moins deux ouvertures (8) traversantes présente une paroi latérale 3038773 15 comprenant, selon la direction de l'épaisseur de la membrane (2), une partie oblique et une partie verticale.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel la au 5 moins une portion de rigidification (7) présente une épaisseur au moins cinq fois plus importante et de préférence encore dix fois plus importante que celle de la au moins une portion active (5).\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 6 dans lequel la au 10 moins une portion de rigidification (7) est localisée en région périphérique de la membrane (2).\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la membrane (2) présente globalement une forme de disque et dans lequel la au moins 15 une portion de rigidification (7) présente une forme annulaire.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel la portion de rigidification (7) présente une largeur comprise entre 2 mm et 5 cm, avantageusement entre 2 mm et 1 cm et de préférence entre 2 mm et 6 mm. 20\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel la portion de rigidification (7) présente une épaisseur comprise entre 300 micromètres et 1.5 millimètres. 25\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 10, comprenant un film déposé sur la membrane, le film étant configuré pour introduire une contrainte en compression dans la portion active.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel la 30 membrane (2) est massive et est notamment formée de silicium, de verre ou d'une céramique.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel la membrane (2) est composite et est notamment composée d'une couche de silicium 35 reportée sur un substrat support (9) par l'intermédiaire d'une couche de collage (11), la couche de collage (11) étant de préférence une couche en oxyde de silicium. 3038773 16\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel la face avant (3) comprend une surface rugueuse comportant des aspérités présentant une hauteur comprise environ entre 10 nm et 800 nm. 5\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 14, comprenant des éléments d'espacement (12) disposés sur la face avant (3), les éléments d'espacement (12) étant configurés pour prendre appui sur ledit substrat (200) et maintenir un espace contrôlé entre la surface active (10) de la membrane (2) et ledit substrat (200) 10 au cours d'un dépôt ou d'une gravure.\n<CLM>\1\tPochoir (100) selon l'une des revendications 1 à 15, dans lequel la membrane (2) comprend une couche de protection disposée sur au moins la surface active (10) ou sur la face arrière (4). 15\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un pochoir (100) destiné à la réalisation, à l'échelle micrométrique, de dépôts de matériaux sur un substrat (200) ou de gravure d'un substrat (200), le procédé comprenant les étapes de : a) Fourniture d'une membrane (2) comportant une face avant (3) 20 destinée à être orientée vers ledit substrat (200) et une face arrière (4) opposée à la face avant (3), b) Amincissement d'au moins une région de la membrane (2) à partir de la face arrière (4) de sorte à former au moins une portion active (5) présentant une surface active (10), délimitée par la face avant (3), et à former au 25 moins une portion de rigidification (7), la au moins une portion active (5) présentant une épaisseur inférieure à l'épaisseur de la au moins une portion de rigidification (7), et la au moins une portion de rigidification (7) étant configurée pour assurer la planéité d'au moins la surface active (10), et c) Formation d'au moins deux ouvertures (8) traversantes dans la 30 portion active (5) et débouchant sur la surface active (10) de sorte à obtenir le pochoir (100).\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un pochoir (100) selon la revendication 17 dans lequel l'étape b) d'amincissement comprend : 3038773 17 - une étape b1) de rectification mécanique du centre de la face arrière (4) de la membrane (2) en utilisant une meule diamantée, de sorte à créer une portion de rigidification (7) en périphérie de la membrane (2), et - une étape b2) de gravure sèche, humide ou de polissage de la face 5 arrière (4) de la au moins une portion active de la membrane (2), rectifiée à l'étape b1).\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un pochoir (100) selon l'une des revendications 17 à 18, dans lequel l'étape a) comprend la fourniture d'une 10 membrane (2) composite comportant un film collé sur un substrat support (9) via une couche de collage (11, le substrat support (9) formant la face arrière (4) de la membrane (2), et dans lequel l'étape b) d'amincissement comprend au moins une étape de gravure par voie sèche ou par voie humide sélective vis-à-vis de la couche de collage (11). 15\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un pochoir (100) selon l'une des revendications 17 à 19 dans lequel l'étape c) de formation des au moins deux ouvertures (8) traversantes dans la portion active (5) est réalisée par lithographie et gravure. 20\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un pochoir (100) selon l'une des revendications 17 à 20, comprenant : avant l'étape b), une étape de réalisation d'au moins deux cavités (6) dans la au moins une portion active (5), à partir de la surface active (10), suivie d'une étape de 25 comblement des au moins deux cavités (6) par un matériau de comblement, dans lequel l'amincissement de l'étape b) à partir de la face arrière (4) de la membrane (2) est réalisé jusqu'à atteindre les au moins deux cavités (6) comblées, et dans lequel l'étape c) comprend le retrait du matériau de comblement 30 des au moins deux cavités (6) pour former les au moins deux ouvertures (8) traversantes.