Brevet FR3042133A1 (20170414)
REVENDICATIONS1. Procédé non électrochimique de greffage, par voie radicalaire, d'un polymère sur un substrat solide, organique ou inorganique et isolant, conducteur de l'électricité, ou semi-conducteur de l'électricité, lequel procédé comprend la succession d'étapes suivantes : al) préparation d'une solution dudit polymère dans un solvant, a2) mise en contact dudit substrat avec la solution préparée précédemment; b) élimination du solvant de la solution pour obtenir le substrat recouvert par un dépôt de polymère; c) traitement thermique du substrat recouvert de polymère obtenu à l'étape précédente à une température comprise entre 70 et 450 °C; d) élimination des molécules du dépôt de polymère qui ne se sont pas greffées sur le substrat, laquelle élimination est effectuée par i) rinçage du substrat revêtu obtenu à l'étape c) avec un solvant du polymère qui peut être identique ou non au solvant utilisé dans l'étape al), puis ii) séchage dudit solvant ; e) récupération du substrat rincé à l'issue de l'étape d), lequel substrat est recouvert d'un film de polymère, ledit polymère n'étant pas un polymère à base d'acide acrylique.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que la solution de l'étape a) comprend en outre un initiateur radicalaire qui est soluble dans ladite solution et choisi dans le groupe consisté par le peroxyde de benzoyle, le persulfate d'ammonium, de sodium ou de potassium, l'azobisisobutyronitrile et l'hydrochlorure de 2,2'-Azobis(2-methylpropionamidine).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que le polymère est choisi parmi les poly(acide lactique-co-acide glycolique), les polypropylène glycol et les polymères azotés.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le polymère azoté est choisi parmi les polyvinylpyridines et les polyéthylèneimines.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le substrat solide organique ou inorganique comprend un matériau choisi parmi le silicium, les oxydes minéraux dont les oxydes métalliques, les polyimides, les métaux, les mousses de polyuréthannes, les polymères thermostables, les papiers et les fibres de carbone. 3042133\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que l'étape de mise en contact a2) est effectuée selon une immersion - émersion, selon une enduction par contact, ou selon une enduction par projection. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le solvant de l'étape al) est un solvant protique choisi dans le groupe constitué par l'eau, les mono-alcools aliphatiques ayant 1 à 4 atomes de carbone; les éthers de glycol, les acides carboxyliques aliphatiques ayant 2 à 4 atomes de carbone 10 et leurs mélanges.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le traitement thermique de l'étape c) est réalisé à une température comprise entre 100 et 400°C. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le film de polymère a une épaisseur comprise entre 1 et 100 nm.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le film de 20 polymère a une adhésion mesurée par la norme ASTM 3359 comprise entre 10/16 et 16/16.\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation d'un substrat solide organique ou inorganique, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes : 25 Al) mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10 de façon à obtenir un substrat solide organique ou inorganique revêtu par un film de polymère; B1) dépôt d'au moins une couche métallique par voie sèche ou humide sur le film de polymère obtenue à l'étape Al. 30\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 11, caractérisé en ce que le substrat est isolant et minéral.\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 11, caractérisé en ce que 35 la solution du polymère dans un solvant préparée à l'étape ai) comprend au moins un sel de métallique destiné à activer la surface du film polymère opposée à l'interface substrat/polymère. 3042133 41\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 11, caractérisé en ce que - préalablement à l'étape B1) - on réalise l'activation de la surface du film polymère opposée à l'interface substrat/polymère à l'aide d'une solution comprenant un complexe métallique. 5\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 14, caractérisé en ce que l'étape B1) de dépôt d'une couche métallique est réalisée par voie humide électroless. 10\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'étape Bi) comprend le dépôt d'une couche métallique qui comprend un des matériaux suivants : cuivre, tantale (Ta), titane (Ti), nickel (Ni), cobalt (Co), alliage nickel-tungstène, alliage nickel-cobalt, alliage cobalt-tungstène, alliage nickel-bore, alliage cobalt-bore, alliage nickel-phosphore, alliage cobalt-phosphore, nitrure de 15 tantale (TaN), nitrure de titane (TiN), alliage titane-tungstène, nitrure de tungstène (WN), carbure de tungstène (WC) ou une combinaison de ces matériaux.\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 11, caractérisé en ce que le substrat comprend des cavités et que l'étape Bi) comprend le dépôt d'une 20 première couche métallique de nickel, de cobalt ou d'un de leurs alliages, laquelle remplit une fonction de barrière à la diffusion du cuivre, et le dépôt d'une deuxième couche métallique de cuivre.\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 17, caractérisé en ce que 25 le dépôt de la couche de cuivre est mise en oeuvre par électrodéposition en mode galvano pulsé.\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 11, dans lequel - la surface du substrat est recouverte d'une couche continue ou discontinue 30 d'oxyde de silicium obtenu par traitement thermique de silicium, - l'étape Ai) consiste à revêtir la surface du dioxyde de silicium par un film de polymère azoté, et - l'étape B1) consiste à revêtir la surface du film de polymère azoté avec une couche métallique comprenant un matériau à base de nickel, de cobalt ou de cuivre. 35\n<CLM>\1\tProcédé de métallisation selon la revendication 19, caractérisé en ce que le polymère azoté est une polyvinylpyridine ou une polyéthylène imine, que le traitement thermique de l'étape c) est réalisé à une température comprise entre 100 et 400 °C, de préférence entre 200 et 300°C, et 3042133 42 caractérisé en ce que le procédé permet d'obtenir un film polymère dont l'épaisseur est comprise entre 1 et 100 nm et dont l'adhésion sur le dioxyde de silicium thermique mesurée par la norme ASTM 3359 est comprise entre 10/16 et 16/16.