Brevet FR3046299A1 (20170630)
REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'au moins une cavité (122) fermée, comportant au moins les étapes suivantes : réalisation d'une portion sacrificielle (104) sur un substrat (102) ; réalisation d'un capot (106) recouvrant la portion sacrificielle (104) ; réalisation d'au moins un trou (108) à travers le capot (106) ; réalisation, sur le capot (106), d'une première couche (110) telle que, selon une première configuration, la première couche (110) recouvre au moins une première région du capot (106) localisée autour du trou (108), ou selon une deuxième configuration, la première couche (110) entoure la première région du capot (106) ; - dépôt d'au moins une deuxième couche (112) recouvrant le capot (106) et la première couche (110) et telle que, selon la première configuration, une force d'adhérence entre les première et deuxième couches (110,\n<CLM>\1\test inférieure à une force d'adhérence entre la deuxième couche (112) et une deuxième région du capot (106) juxtaposée à la première région du capot (106) ou, selon la deuxième configuration, une force d'adhérence entre la deuxième couche (112) et la première région du capot (106) est inférieure à une force d'adhérence entre les première et deuxième couches (110,\n<CLM>\1\t; - gravure de la deuxième couche (112) telle qu'une portion restante de la deuxième couche (112) forme au moins un clapet (114) dont une première partie (116) localisée en regard du trou (108) et de la première région du capot (106) ne ferme pas le trou (108) hermétiquement ou de manière étanche, et dont une deuxième partie (118) est solidaire de la deuxième région du capot (106) ; - gravure de la portion sacrificielle (104) à travers le trou (108), formant la cavité (122) entre le capot (106) et le substrat (102) ; - fermeture de la cavité (122) par un dépôt d'un matériau de bouchage (124) au moins sur la première partie (116) du clapet (114) et au moins une partie du capot (106) autour de la première région du capot (106). 3046299 25\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel, selon la première configuration, le clapet (114) adhère à la deuxième région du capot (106) et n'adhère pas à la première couche (110) ou, selon la deuxième configuration, le clapet (114) adhère à la première couche (110) et n'adhère pas à la première région du capot (106). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, selon la première configuration, la force d'adhérence entre les première et deuxième couches (110,\n<CLM>\1\test inférieure à environ 2 Nimm2 ou, selon la deuxième configuration, la force d'adhérence entre la deuxième couche (112) et la première région du capot (106) 10 est inférieure à environ 2 Nimm2.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, selon la première configuration, une partie de la première couche (110) est disposée dans le trou (108), et dans lequel la gravure de la portion sacrificielle (104) est précédée d'une 15 gravure d'au moins la partie de la première couche (110) disposée dans le trou (108).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, selon la première configuration, la force d'adhérence entre la deuxième couche (112) et la deuxième région du capot (106) est supérieure ou égale à environ 20 N/rnm2 ou, selon la 20 deuxième configuration, la force d'adhérence entre les première et deuxième couches (110,\n<CLM>\1\test supérieure ou égale à environ 20 N/rnm2.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, selon la première configuration, la première couche (110) comporte au moins un 25 polymère, ou, selon la deuxième configuration, la première couche (110) comporte au moins un métal.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la deuxième couche (112) a une contrainte résiduelle engendrant, après la gravure de la deuxième couche (112), une déformation de la première partie (116) du clapet (114) 3046299 26 espaçant la première partie (116) du clapet (114) vis-à-vis de la première région du capot (106) et telle que la première partie (116) du clapet (114) reste disposée en regard du trou (108). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la deuxième couche (112) comporte au moins des premier et deuxième matériaux (126,\n<CLM>\1\tdistincts, superposés tels que le premier matériau (126) soit disposé entre le deuxième matériau (128) et le capot (106), et ayant des contraintes résiduelles de valeurs et/ou de types différents engendrant, après la gravure de la deuxième couche (112), une 10 déformation de la première partie (116) du clapet (114) espaçant la première partie (116) du clapet (114) vis-à-vis de la première région du capot (106).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 8, comportant en outre, entre la gravure de la portion sacrificielle (104) et la fermeture de la cavité (122), une étape de 15 gravure d'au moins une partie du deuxième matériau (128).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 8 ou 9, dans lequel le premier matériau (126) et/ou le deuxième matériau (128) comporte une contrainte résiduelle. 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 10, dans lequel la contrainte résiduelle est une contrainte en compression ou en tension.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 8 à 11, dans lequel le 25 premier matériau (126) comporte du Si02 et le deuxième matériau (128) comporte du nickel.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 8 à 12, dans lequel le deuxième matériau (128) comporte un empilement de titane et de nickel tel que le titane 30 soit disposé entre le premier matériau (126) et le nickel. 3046299 27\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la deuxième couche (112) comporte au moins des premier et deuxième matériaux (126,\n<CLM>\1\tdistincts et superposés tels que le premier matériau (126) soit disposé entre le deuxième matériau (128) et le capot (106), le premier matériau (126) ayant un coefficient de 5 dilatation thermique supérieur à celui du deuxième matériau (128), et dans lequel la gravure de la portion sacrificielle (104) est mise en oeuvre à une température engendrant une déformation de la première partie (116) du clapet (114) due à la dilatation thermique des premier et deuxième matériaux (126, 128), espaçant la première partie (116) du clapet (114) vis-à-vis de la première région du capot (106). 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 14, dans lequel le premier matériau (126) comporte de l'aluminium et le deuxième matériau (128) comporte du titane.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 14 ou 15, dans lequel le 15 dépôt du matériau de bouchage (124) est mis en oeuvre à température ambiante.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la deuxième couche (112) comporte au moins un matériau getter. 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel plusieurs trous (108) sont réalisés à travers le capot (106) et : - la première partie (116) du clapet (114) est localisée en regard d'au moins deux desdits trous (108), et/ou - la gravure de la deuxième couche (112) forme plusieurs clapets (114) 25 tels que la première partie (116) de chacun des clapets (114) soit disposée en regard d'au moins un desdits trous (108).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la portion sacrificielle (104) est réalisée sur le substrat (102) telle qu'elle recouvre au moins 3046299 28 un dispositif microélectronique (100) disposé sur le substrat (102), le dispositif microélectronique (100) étant encapsulé dans la cavité (122) fermée à l'issu du procédé.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 19, dans lequel les étapes mises en 5 oeuvre réalisent une encapsulation collective de plusieurs dispositifs microélectroniques (100) disposés sur le substrat (102).