Brevet FR3038890A1 (20170120)
REVENDICATIONS1. Dispositif de transfert d'objets entre une zone à pression atmosphérique (ZA) et une zone destinée à être mise sous vide (ZV), comprenant : - un bâti (51) - un logement (L) ménagé dans ce bâti, - un organe de transfert (55), monté dans le logement de manière mobile par rapport au bâti, cet organe de transfert comprenant au moins une cellule (56-59) de réception d'au moins un objet à transférer, - le bâti définissant une première ouverture (52) en communication avec la zone à pression atmosphérique, une deuxième ouverture (53) en communication avec la zone à pression destinée à être mise sous vide, ainsi qu'une région intermédiaire (INT) destinée à être placée soit sous vide, soit à pression atmosphérique, le dispositif comprenant en outre : - des moyens d'isolation entre la région intermédiaire et chaque ouverture, - des moyens d'entrainement (60), propres à entrainer chaque cellule successivement en regard de la première ouverture, de la région intermédiaire, puis de la deuxième ouverture.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'organe de transfert (55) est monté à rotation dans le logement (L).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens d'isolation sont formés par une restriction de section entre des parois en regard appartenant respectivement au bâti (51) et à l'organe de transfert (55).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un canal (54), 3038890 19 associé à des moyens de pompage, débouche sur la région intermédiaire.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications 5 précédentes, caractérisé en ce que, en vue transversale, l'organe de transfert (55) comprend plusieurs cellules (56-59), en particulier quatre cellules, réparties angulairement de façon régulière. 10\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que, en vue de face, l'organe de transfert (55) comprend plusieurs cellules (C1-C12), réparties longitudinalement de façon régulière. 15\n<CLM>\1\tInstallation de traitement de surface, comprenant - une enceinte principale (1) sous vide équipée de moyens de traitement, notamment de type plasma, - au moins un dispositif de transfert conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, ce dispositif 20 étant prévu en amont et/ou aval de l'enceinte principale, - des moyens (30) de dépilage/empilage d'objets, placés en regard de la deuxième ouverture de chaque dispositif de transfert, 25 - des moyens (11-14) de convoyage des objets, - des éléments (24,\n<CLM>\1\tde support de chaque objet, solidaires des moyens de convoyage.\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication précédente, 30 caractérisée en ce que les moyens de convoyage comprennent au moins deux bandes de convoyage parallèles (11-14), et plusieurs éléments de support (24,\n<CLM>\1\tsont regroupés les uns à côté des autres au sein d'un organe de support (20), s'étendant transversalement entre au moins deux bandes 35 voisines.\n<CLM>\1\tProcédé de mise en oeuvre de l'installation selon l'une quelconque des revendications 7 ou 8, dans lequel 3038890 20 - on place une première pile d'objets (Pl) dans une première cellule (56) en regard de la zone à pression atmosphérique (ZA), - on déplace l'organe de transfert de sorte que la 5 première cellule soit en regard de la région intermédiaire (INT), - on met sous vide la première cellule en regard de la région intermédiaire, - on déplace l'organe de transfert de sorte que la 10 première cellule soit en regard de la région sous vide (ZV), - on dépose la première pile d'objets sur le système de dépilage, - on dépile les objets de la première pile, 15 - on dépose chaque objet ainsi dépilé sur un élément de support respectif.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'on met sous vide la cellule en regard de la région 20 intermédiaire, à une pression inférieure à 5.10-2 mbar, de préférence à une pression inférieure à 10-2 mbar.