Brevet FR3042293A1 (20170414)
REVENDICATIONS:\n<CLM>\1\tProcédé de mesure de caractéristiques d'un front d'onde d'un faisceau incident, le procédé comprenant : l'obtention d'un interférogramme associé au faisceau incident traversant un masque de transmission sur lequel est disposé au moins un revêtement anti-réflexion ; l'exécution d'une transformation de Fourier sur l'interférogramme pour produire un interférogramme dans le domaine fréquence ; la sélection d'un sous-ensemble d'harmoniques de l'interférogramme dans le 10 domaine fréquence ; l'exécution d'une transformation de Fourier inverse individuelle sur chacune du sous-ensemble d'harmoniques pour produire un ensemble d'harmoniques de domaine spatial ; l'extraction d'un profil de phase à partir de chacune de l'ensemble 15 d'harmoniques de domaine spatial ; l'élimination des discontinuités de phase dans le profil de phase ; la rotation du profil de phase ; et la reconstruction d'un front de phase du front d'onde du faisceau incident.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 comprenant en outre : 20 la mesure d'une amplitude associée aux harmoniques de domaine spatial ; et le calcul d'un profil d'intensité associé au front d'onde du faisceau incident.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 dans lequel le masque de transmission comprend un masque de transmission d'amplitude uniquement en damier.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 dans lequel le masque de transmission 25 comprend une perturbation aléatoire de la périodicité.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 dans lequel le sous-ensemble d'harmoniques comprend une harmonique la plus proche d'une origine dans chaque quart ou une harmonique la plus proche de l'origine dans deux quarts adjacents. 3042293 30\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 dans lequel le profil de phase caractérise une pente du front de phase.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 dans lequel la reconstruction du front de phase comprend l'exécution d'une intégration bidimensionnelle du profil de phase associé 5 à chacune de l'ensemble d'harmoniques de domaine spatial.\n<CLM>\1\tProcédé d'exécution d'une détection de front d'onde optique, le procédé comprenant : la fourniture d'un masque de transmission d'amplitude, en particulier d'un masque de transmission d'amplitude comprenant un masque de transmission d'amplitude uniquement, ayant des bords latéraux, un côte d'entrée de lumière, un côté de sortie de lumière, et un axe de transmission optique allant du côté d'entrée de lumière au côté de sortie de lumière, dans lequel le masque de transmission d'amplitude est caractérisé par un coin défini par une première distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un premier bord latéral et une seconde distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un second bord latéral opposé au premier bord latéral ; l'orientation d'un champ de lumière incident d'une longueur d'onde X pour qu'il frappe le côté d'entrée de lumière ; la propagation du champ de lumière incident à travers le masque de transmission d'amplitude ; la production d'une pluralité de champs de lumière diffractés sur le côté de sortie de lumière ; et la détection, au niveau d'un détecteur disposé à une distance L du masque de transmission d'amplitude, d'un interférogramme associé à la pluralité de champs de lumière 25 diffractés.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 8 dans lequel : le masque de transmission d'amplitude est caractérisé par un motif en damier ayant une cellule unitaire carrée de taille A ; et 2 A2 4 A2 0\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 8 dans lequel le détecteur est caractérisé par une taille de pixel et A est environ 10 fois supérieure à la taille de pixel.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 8 dans lequel: 10 nm\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 8 dans lequel l'interférogramme comporte des informations de pente de phase, le procédé comprenant en outre l'intégration d'une pente de phase bidimensionnelle calculée au moyen de l'interférogramme pour construire un front de phase associé au champ de lumière incident. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 12 dans lequel la construction du front de phase comprend l'exécution d'une analyse de porteuse spatiale dans le domaine de Fourier, l'analyse de porteuse spatiale dans le domaine de Fourier comprenant la sélection de termes de porteuse situés diagonalement, mais pas orthogonalement, par rapport aux axes du masque de transmission d'amplitude, et en particulier comprenant l'exécution d'une optimisation point 15 par point sur les termes de porteuse diagonaux pour affiner une résolution spatiale du front d'onde.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde comprenant un masque de transmission d'amplitude uniquement comportant une surface d'entrée de lumière et une surface de sortie de lumière, dans lequel un revêtement anti20 réflexion est disposé sur au moins 1"une de la surface d'entrée de lumière ou de la surface de sortie de lumière ; un détecteur disposé à une distance, L, optiquement en aval du masque de transmission d'amplitude uniquement ; et un ordinateur couplé au détecteur.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel : le masque de transmission d'amplitude uniquement est caractérisé par un motif en damier ayant une cellule unitaire carrée de taille A ; et A2 1 A' 1 A2 L\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement comprend un motif périodique sensiblement bidimensionnel à perturbation aléatoire de la périodicité dans au moins une partie du motif périodique bidimensionnel. 5\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement comprend une forme de coin, dans lequel les un ou plusieurs revêtements anti-réflexion sont exploitables pour réduire les réflexions dans une première gamme de longueurs d'onde et la forme de coin est exploitable pour réduire les réflexions secondaires dans une seconde gamme de longueurs d'onde différente de la 10 première gamme de longueurs d'onde.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement est aligné parallèlement au plan de détecteur à moins de 1 mrad de parallélisme.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel 15 l'ordinateur comporte un support de mémorisation non transitoire lisible par ordinateur comprenant une pluralité d'instructions lisibles par ordinateur mises en oeuvre de manière tangible sur le support de mémorisation lisible par ordinateur, lesquelles, à leur exécution par un processeur de données, permettent une mesure de caractéristiques d'un front d'onde d'un faisceau incident, la pluralité d'instructions comprenant : 20 des instructions qui amènent le processeur de données à obtenir un interférogramme associé au faisceau incident traversant un masque de transmission ; des instructions qui amènent le processeur de données à exécuter une transformation de Fourier sur l'interférogramme pour produire un interférogramme dans le domaine fréquence ; 25 des instructions qui amènent le processeur de données à sélectionner un sous- ensemble d'harmoniques de l'interférogramme dans le domaine fréquence ; des instructions qui amènent le processeur de données à exécuter une transformation de Fourier inverse individuelle sur chacune du sous-ensemble d'harmoniques pour produire un ensemble d'harmoniques de domaine spatial ; des instructions qui amènent le processeur de données à extraire un profil de phase de chacune de l'ensemble d'harmoniques de domaine spatial ; 3042293 33 des instructions qui amènent le processeur de données à éliminer les discontinuités de phase dans le profil de phase ; des instructions qui amènent le processeur de données à tourner le profil de phase ; et 5 des instructions qui amènent le processeur de données à reconstruire un front de phase du front d'onde du faisceau incident.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde selon la revendication 19 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement n'est pas aligné parallèlement au plan du détecteur à moins de 1 mrad de parallélisme, dans lequel la pluralité d'instructions comprend 10 en outre des instructions qui amènent le processeur de données à utiliser un terme de correction pour compenser le fait que le masque de transmission d'amplitude uniquement n'est pas aligné parallèlement au plan du détecteur à moins de 1 mrad de parallélisme.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde comprenant : un masque de transmission d'amplitude uniquement comportant une surface 15 d'entrée de lumière et une surface de sortie de lumière, dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement comprend un motif périodique sensiblement bidimensionnel avec une perturbation aléatoire de la périodicité dans au moins une partie du motif périodique bidimensionnel ; un détecteur disposé à une distance, L, optiquement en aval du masque de 20 transmission d'amplitude uniquement ; et un ordinateur couplé au détecteur.\n<CLM>\1\tCapteur de front d'onde comprenant - un masque de transmission d'amplitude uniquement présentant une surface d'entrée de lumière, une surface de sortie de lumière, et des bords latéraux, dans lequel le 25 masque de transmission d'amplitude uniquement est caractérisé par un coin défini par une première distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un premier bord latéral et une seconde distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un second bord latéral opposé au premier bord latéral différente de la première distance ; 30 un détecteur disposé à une distance, L, optiquement en aval du masque de transmission d'amplitude uniquement ; et 3042293 34 un ordinateur couplé au détecteur.