Brevet FR3046292A1 (20170630)
REVENDICATIONS1. Circuit électronique (30 ; 45 ;\n<CLM>\1\tcomprenant un substrat (6) semiconducteur ou conducteur ayant des première et deuxième faces (8,\n<CLM>\1\topposées et au moins des première et deuxième tranchées (12,\n<CLM>\1\td'isolation électrique, non parallèles, comprenant des parois (17), s'étendant dans le substrat depuis la préMière face, délimitant au moins une portion (16) du substrat et se rejoignant à une jonction (22), la portion du substrat comprenant une protubérance (41) pénétrant dans la jonction.\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 1, dans lequel la première tranchée (12) comprend, du côté de ladite portion (16), une première paroi (17) plane et dans lequel la deuxième tranchée (14) comprend, du côté de ladite portion, une deuxième paroi plane (17), la première paroi plane étant reliée à la deuxième paroi plane par une surface (34) de liaison comprenant successivement, de la première paroi jusqu'à la deuxième paroi, une première surface courbe (36) délimitant une portion de volume convexe de la première tranchée, une deuxième surface courbe (38) délimitant une portion de volume concave de la jonction (22) et une troisième surface courbe (40) délimitant une portion de volume convexe de la deuxième tranchée.\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 2, dans lequel le rayon de courbure de la deuxième surface (38) est compris entre et 200 nm et 2 pm.\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 2 ou 3, dans lequel les première, deuxième et troisième surfaces (36, 38,\n<CLM>\1\tcorrespondent, dans un plan parallèle à la première face (8), respectivement à des premier, deuxième et troisième arcs de cercle.\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 4, dans lequel le centre du premier arc de cercle est situé dans la première tranchée (12), dans lequel le centre du deuxième arc de cercle est situé dans la portion (16) et dans lequel le centre du troisième arc de cercle est situé dans la deuxième tranchée (14). 3046292 B14736 - DD16711HB 23\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel ladite jonction (22) correspond à une intersection entre les première et deuxième tranchées (12, 14), la première tranchée ayant une section droite de largeur 5 réduite de part et d'autre de l'intersection et la deuxième tranchée ayant une section droite de largeur réduite de part et d'autre de l'intersection.\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 6 dans son rattachement à la revendication 2, dans lequel la surface de 10 liaison (34) est reproduite aux quatre coins de l'intersection (22).\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les parois (17) des première et deuxième tranchées (12,\n<CLM>\1\tsont recouvertes d'une couche (18) 15 d'un premier matériau isolant électriquement, le coeur (20) des première et deuxième tranchées étant rempli d'un deuxième matériau pouvant être différent du premier matériau.\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 8 dans son rattachement à la revendication. 2, dans lequel l'interface 20 (42) entre la couche isolante (18) et le coeur (20) comprend successivement des quatrième, cinquième et sixième surfaces (44, 46,\n<CLM>\1\tqui épousent respectivement la forme des première, deuxième et troisième surfaces (36, 38, 40).\n<CLM>\1\tCircuit électronique selon la revendication 9, dans 25 lequel le rayon de courbure de la quatrième surface (44) et de la sixième surface (48) est compris entre 100 nm et 1 gm.