Brevet FR3043843A1 (20170519)
REVENDICATIONS1. Composant électronique actionnable électro-chimiquement 5 comprenant : un substrat (7) ; - au moins une première et une deuxième électrodes d'actionnement (11,\n<CLM>\1\t; - au moins une première et une deuxième électrodes de mesure 10 (21,\n<CLM>\1\t; au moins une électrode de stockage configurée pour libérer des ions (3) sous l'action des électrodes d'actionnement ; au moins un conducteur ionique (4) conducteur desdits ions et situé dans une région disposée entre lesdites électrodes de 15 mesure; un dispositif adapté pour : o appliquer une tension ou un courant entre les première et deuxième électrodes d'actionnement pour permettre la migration d'ions de l'électrode de stockage vers la 20 première électrode d'actionnement formant sur celle-ci un dépôt électrochimique à travers le conducteur ionique et o pour mesurer entre les première et deuxième électrodes de mesure une modification d'au moins une caractéristique de la région disposée entre les première et deuxième 25 électrodes de mesure, de manière à déterminer au moins une caractéristique dudit composant électronique.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon la revendication 1, dans lequel le conducteur ionique est en contact avec l'électrode de stockage et avec 30 ladite première électrode d'actionnement.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel au moins ladite première électrode (11) d'actionnement est en un matériau ne pouvant former un composé avec lesdits ions. 35 3043843 21\n<CLM>\1\tComposant électronique, selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'électrode de stockage est en contact avec ladite deuxième électrode d'actionnement.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 4, comprenant en outre une électrode (9) saturable en insertion desdits ions en contact avec ledit conducteur ionique et en contact avec ladite première électrode d'actionnement.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel les électrodes d'actionnement sont disposées de manière à assurer la formation d'un électrodépôt dans un plan orthogonal audit substrat.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel les électrodes d'actionnement sont disposées de manière à assurer la formation d'un électrodépôt dans un plan parallèle audit substrat.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 7, comprenant en outre au moins une troisième électrode de mesure et une quatrième électrode (31,\n<CLM>\1\tde mesure séparées par ladite électrode de stockage de manière à moduler l'insertion et la désertion d'ions au niveau de ladite électrode de stockage et mesurer une modification d'au moins une caractéristique de l'électrode de stockage.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 8, comprenant en outre un premier diélectrique de passivation interne et/ou un second diélectrique de passivation externe pouvant être en SiO2 ou Si3Na ou A1203.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel l'électrode de stockage est une électrode de stockage d'ions métalliques Li ou Ag ou Cu ou Na ou Mg ou Al ou Ca.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon la revendication 10, dans lequel l'électrode de stockage est en LiCoO2. 3043843 22\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'électrode de stockage est constituée d'un métal, permettant de libérer des ions métalliques sous l'action des électrodes 5 d'actionnement.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon les revendications 5 et 10 ou 11, dans lequel l'électrode d'insertion en ions est en Si ou Ge ou Al, l'électrode de stockage comportant des ions Li. 10\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 13 dans lequel, le conducteur ionique est un phosphate de lithium nitruré (LIPON). 15\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel l'une ou les électrodes d'actionnement est(sont) en Cu ou Pt.\n<CLM>\1\tComposant électronique selon l'une des revendications 1 à 15, dans lequel l'une ou les électrodes de mesure est(sont) en Ni ou Cu ou Mo 20 ou W ou Pt ou oxyde conducteur ITO.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un composant selon l'une des revendications 1 à 15, comportant les étapes suivantes : - le dépôt et la structuration d'au moins une électrode 25 d'actionnement à la surface d'un substrat ; - le dépôt et la structuration d'au moins une électrode de mesure à la surface dudit substrat ; - le dépôt et la structuration d'une électrode de stockage ; - le dépôt et la structuration d'un conducteur ionique ; 30 - le dépôt et la structuration d'un diélectrique de passivation interne.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un composant accordable selon la revendication 17, dans lequel le dépôt de l'électrode de stockage est effectué 35 par pulvérisation réactive d'une cible, la structuration pouvant être effectuée par photolithographie et gravure par plasma . 3043843 23\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un composant accordable selon l'une des revendications 17 ou 18, dans lequel le dépôt du conducteur ionique est effectué par pulvérisation réactive, la structuration pouvant être effectuée par 5 photolithographie et gravure plasma.\n<CLM>\1\tEnsemble, comportant sur un substrat plusieurs blocs élémentaires, chaque bloc élémentaire étant contrôlable de manière indépendante et comprenant : 10 au moins une première et une deuxième électrodes d'actionnement (11i, 12i) ; au moins une première et une deuxième électrodes de mesure (21i, 22i) ; - au moins une électrode de stockage configurée pour libérer des 15 ions (3i) ; - au moins un conducteur ionique (4i) conducteur desdits ions et situé dans une région disposée entre lesdites électrodes de mesure ; ledit ensemble comprenant un dispositif adapté pour : 20 o appliquer à chaque bloc, une tension ou un courant entre les première et deuxième électrodes d'actionnement pour permettre la migration d'ions de l'électrode de stockage vers la première électrode d'actionnement formant sur celle-ci un dépôt électrochimique à travers le conducteur 25 ionique et o pour mesurer sur chaque boc élémentaire, entre les première et deuxième électrodes de mesure une modification d'au moins une caractéristique de la région disposée entre les première et une deuxième électrodes 30 de mesure.