Brevet FR3043671A1 (20170519)
REVENDICATIONS1. Procédé de préparation d'un support (1) en vue d'un assemblage ultérieur avec un capot (7), comprenant : - une formation d'une couche d'accroche (2) sur une zone d'une face (3) du support (1), ladite zone correspondant à une surface de scellement avec le capot (7); - un dépôt sur la couche d'accroche (2) d'au moins une bille fusible (4) d'un matériau de scellement ; caractérisé en ce qu'il comprend un traitement thermique de la au moins une bille fusible (4), configuré pour que au moins une partie du matériau de la au moins une bille fusible (4) fonde et mouille la couche d'accroche (2), de sorte à préformer un cordon de scellement (5) sur ladite zone d'une face (3) du support (1).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, comprenant un dépôt d'au moins un élément non fusible (9) sur la couche d'accroche (2), le traitement thermique étant configuré pour ne pas faire fondre le au moins un élément non fusible (9).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel le au moins un élément non fusible (9) est choisi parmi une bille ou un espaceur.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des deux revendications précédentes, dans lequel le traitement thermique est configuré pour créer des composés intermétalliques entre le matériau du au moins un élément non fusible (9) et le matériau de la au moins une bille fusible (4).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des trois revendications précédentes, dans lequel le au moins un élément non fusible (9) comprend au moins l'un parmi les matériaux suivants : or, argent, aluminium, nickel, molybdène, titane, tungstène, nitrures et/ou oxydes métalliques ou de semiconducteur. 3043671 16\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le volume de la au moins une bille fusible (4) est calibré de sorte à correspondre à un volume du cordon de scellement (5) d'une épaisseur prédéfinie sur toute la couche d'accroche (2). 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le matériau de scellement d'au moins une bille fusible (4) est un alliage de deux métaux. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel l'alliage de deux métaux comprend au moins l'un parmi les matériaux suivants : étain, or, argent, cuivre, indium, plomb.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la 15 couche d'accroche (2) forme un contour fermé.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la couche d'accroche (2) est au moins en partie localisée sur un relief, en creux ou en bosse, présent sur la zone de la face du support (1). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la au moins une bille fusible (4) est déposée par jet de bille assisté par laser. 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications précédentes comprenant un traitement de réduction des oxydes avant ou pendant le traitement thermique.\n<CLM>\1\tProcédé d'encapsulation d'au moins un dispositif microélectronique entre 30 un support (1) et un capot (7) , dans lequel on effectue le procédé selon l'une des revendications précédentes pour préparer le support (1), et, ultérieurement, on met en contact le cordon de scellement (5) avec une face du capot (7) de sorte à produire un joint de scellement. 3043671 17\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel on effectue un traitement thermique de scellement pendant ou après la mise en contact à une température supérieure ou égale à la température de fusion de la au moins bille fusible.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, dans lequel la température du traitement thermique de scellement égale à celle du traitement thermique de la au moins une bille fusible (4). 5 10