Brevet FR3050059A1 (20171013)
REVENDICATIONS1. Procédé d'acquisition et de formation d'une image de spectrométrie (Pict) d'un échantillon (1), comprenant les étapes suivantes : a) acquisition numérique d'une image structurelle initiale (IMO) d'une zone (4) de l'échantillon (1), l'image structurelle initiale (IMO) comportant des pixels disposés en lignes et en colonnes ; b) traitement numérique de l'image structurelle initiale (IMO) pour décomposer ladite image structurelle initiale (IMO) en au moins un premier bloc de pixels associé à un premier pas d'échantillonnage spatial et un deuxième bloc de pixels associé à un deuxième pas d'échantillonnage spatial, le premier pas d'échantillonnage spatial étant supérieur au deuxième pas d'échantillonnage spatial, de manière à déterminer un échantillonnage spatial multi-échelle de ladite zone (4) de l'échantillon (1) ; c) détermination d'une pluralité de positions de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) sur ladite zone (4) de l'échantillon, en fonction de l'échantillonnage spatial multi-échelle déterminé à l'étape b) ; d) successivement, pour chaque position de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) de la pluralité de positions de mesure de spectrométrie déterminées à l'étape c), positionnement d'un faisceau d'excitation en une position de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) et acquisition d'une mesure de spectrométrie pour ladite position de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) ; e) reconstruction point par point d'une image de spectrométrie (Pict), chaque point de l'image de spectrométrie (Pict) reconstruite étant obtenu à partir d'une ou plusieurs mesures de spectrométrie acquises à l'étape d).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape b) comprend une étape de décomposition en ondelettes de l'image structurelle initiale (IMO), ou une étape de recherche de contours dans l'image structurelle initiale (IMO) ou une étape de recherche de formes dans l'image structurelle initiale (IMO).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 2, dans lequel l'étape b) comprend une étape b1) de décomposition en ondelettes de l'image structurelle initiale (IMO) en une première, deuxième, troisième et quatrième composantes d'ordre un (BL1, 3050059 30 HL1, LH1, HH1), chaque composante d'ordre un (BL1, HL1, LH1, HH1) ayant un nombre de pixels égal au quart du nombre de pixels de l'image structurelle initiale (IMO), la première composante d'ordre un représentant les basses fréquences spatiales de l'image structurelle initiale (IMO), la deuxième composante d'ordre un 5 (HL1) représentant les variations horizontales de l'image structurelle initiale (IMO), la troisième composante d'ordre un (LH1) représentant les variations verticales de l'image structurelle initiale (IMO) et la quatrième composante d'ordre un (HH1) représentant les variations diagonales de l'image structurelle initiale (IMO), et une étape de filtrage de la deuxième, et respectivement troisième, quatrième, 10 composante d'ordre un (HL1, LH1, HH1) par seuillage des variations, pour former une deuxième, et respectivement troisième, quatrième, composante filtrée d'ordre un, - l'étape c) comprend une étape c1) de détermination d'une pluralité de positions de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) sur ladite zone (4) de l'échantillon, 15 en fonction des valeurs des deuxième, troisième et quatrième composantes filtrées d'ordre un déterminées à l'étape b1) ; et - dans lequel à l'étape e) chaque point de l'image de spectrométrie (Pict) reconstruite est obtenu par une combinaison linéaire des mesures de spectrométrie acquises à l'étape d). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3 comprenant les étapes supplémentaires suivantes, suite à l'étape b1) de décomposition de l'image structurelle initiale (IMO) en une première, deuxième, troisième et quatrième composantes (BL1, HL1, LH1, HH1) d'ordre un et avant l'étape d) de mesure de 25 spectrométrie et l'étape e) de reconstruction, dans lequel les étapes bN) à cN) sont itérées de 2 à N, et dans lequel les étapes dN) à eN) sont itérées de N à 2 où N représente un nombre entier naturel supérieur ou égal à deux et inférieur ou égal à m pour une image structurelle initiale (IMO) de 2m x 2m pixels : bN) décomposition de la première composante d'ordre N-1 (BL[N-1]) en 30 une première, deuxième, troisième et quatrième composantes d'ordre N (BLN, HLN, LHN, HHN), la première composante d'ordre N (BLN) représentant les basses fréquences spatiales de la première composante d'ordre N-1 (BL[N-1]), la deuxième composante d'ordre N (HLN) représentant les variations horizontales de la première composante d'ordre N-1 (BL[N-1]), la troisième composante d'ordre N 3050059 31 (LHN) représentant les variations verticales de la première composante d'ordre N1 (BL[N-1]) et la quatrième composante d'ordre N (HHN) représentant les variations diagonales de la première composante d'ordre N-1 (BL[N-1]), et filtrage de la deuxième, et respectivement troisième, quatrième, composante d'ordre N 5 (HLN, LHN, HHN) par seuillage, pour former une deuxième, et respectivement troisième, quatrième, composante filtrée d'ordre N ; cN) détermination d'une pluralité de positions (X, Y) de mesures de spectrométrie d'ordre N sur ladite zone (4) de l'échantillon, en fonction des valeurs des première, deuxième, troisième et quatrième composantes images filtrées 10 d'ordre N ; dN) pour chaque position de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) de la pluralité de positions de mesure de spectrométrie d'ordre N déterminées à l'étape cN), positionnement du faisceau d'excitation en une position de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) d'ordre N et acquisition d'une mesure de spectrométrie pour 15 ladite position de mesure de spectrométrie (Xi, Yj) d'ordre N ; eN) reconstruction à l'ordre N-1 d'une image de spectrométrie, chaque point de l'image de spectrométrie reconstruite à l'ordre N-1 étant obtenu par une combinaison linéaire des mesures de spectrométrie acquises à l'étape dN). 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 3 à 4, dans lequel à l'étape b1), respectivement bN), chaque pixel (BL1 (i, j), ..., BLN(i, j)) de la première composante d'ordre un, respectivement d'ordre N, est formé par moyenne de quatre pixels adjacents de l'image structurelle initiale (IMO), respectivement par fusion de quatre pixels adjacents de la première composante d'ordre N-1, les 25 quatre pixels adjacents étant disposés sur deux lignes et deux colonnes de l'image structurelle initiale (IMO), respectivement de la première composante d'ordre N-1.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 5 dans lequel l'étape b) 30 respectivement bN), de filtrage comporte une étape de mise à zéro de la valeur d'un pixel de ladite deuxième, respectivement troisième, quatrième, composante d'ordre un (HL1, LH1, HH1), respectivement d'ordre N, lorsque la valeur dudit pixel est inférieure ou égale à une valeur de seuil prédéterminée. 3050059 32\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 6 comprenant une étape supplémentaire f), respectivement fN), suite à l'étape d), respectivement dN) et avant l'étape e), respectivement eN), dans lequel l'étape f), respectivement fN), comprend la reconstruction d'une première, deuxième, troisième et quatrième 5 image décomposée de spectrométrie d'ordre un, respectivement d'ordre N, ladite première, deuxième, troisième et quatrième image décomposée de spectrométrie d'ordre un, respectivement d'ordre N ayant un nombre de points égal au nombre de pixels de ladite première, deuxième, troisième et quatrième image structurelle décomposée filtrée d'ordre un, respectivement d'ordre N, et dans lequel chaque 10 pixel de valeur nulle de la deuxième, respectivement troisième, quatrième image structurelle décomposée filtrée d'ordre un, respectivement d'ordre N est associé à un point de valeur nulle de la deuxième, respectivement troisième, quatrième image décomposée de spectrométrie d'ordre un, respectivement d'ordre N, et dans lequel les valeurs des autres points des images décomposées de 15 spectrométrie d'ordre un, respectivement d'ordre N sont calculées pour chaque autre point par une combinaison linéaire d'au plus quatre mesures de spectrométrie d'ordre un, respectivement d'ordre N obtenues à l'étape d), respectivement dN), et dans lequel l'étape e), respectivement eN), de reconstruction de l'image de spectrométrie (Pict), respectivement d'ordre N-1, 20 comporte une étape de calcul par combinaisons linéaires des première, deuxième, troisième et quatrième image décomposée de spectrométrie d'ordre un, respectivement d'ordre N.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel l'étape d), 25 respectivement dN), comprend l'acquisition de mesures de spectrométrie Raman ou de fluorescence optique ou de photoluminescence par balayage de faisceau laser et dans lequel l'étape e), respectivement eN), comprend la reconstruction d'une image de spectrométrie Raman ou de fluorescence optique ou de photoluminescence. 30\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel l'étape d) respectivement dN), comprend l'acquisition de mesures de cathodo-luminescence ou de fluorescence de rayons X, par balayage de faisceau électronique et dans lequel l'étape e), respectivement eN), comprend la reconstruction d'une image de 3050059 33 cathodo-luminescence ou, respectivement de fluorescence de rayons X.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel l'étape d) respectivement dN), comprend l'acquisition de mesures de fluorescence de 5 rayons X, par balayage de faisceau de rayons X et dans lequel l'étape e), respectivement eN), comprend la reconstruction d'une image de fluorescence de rayons X.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 10 dans lequel l'étape a) 10 comprend une étape de détection d'une image structurelle de l'échantillon sur un capteur d'image, ou une étape de récupération d'un fichier image de l'échantillon sur un autre instrument de métrologie ou une étape de chargement d'un fichier image à partir d'une base de données comprenant une image structurelle de l'échantillon et/ou une étape de numérisation d'une image structurelle analogique. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 11 dans lequel l'étape a) comprend en outre une étape de redimensionnement par agrandissement ou réduction, de façon à ce que la taille des pixels redimensionnés corresponde à une résolution spatiale maximale dans l'imagerie de spectrométrie (Pict) 20 reconstruite.