Brevet FR3040698A1 (20170310)
REVENDICATIONS1. Procédé de recristallisation d'un matériau carboné (6), tel que du graphène ou des nanotubes de carbone, comportant les étapes successives suivantes : - fournir un support (1) non métallique, supportant un matériau carboné cristallisé (6), - fournir une chambre de réaction (3), munie d'au moins une entrée de gaz (4), - placer le support (1) non métallique dans la chambre de réaction (3), - chauffer le matériau carboné, sous un flux d'hydrogène, en présence d'une source de carbone, de manière à former une atmosphère d'hydrogène atomique comportant des espèces carbonées et à recristalliser le matériau carboné (6) sur le support (1).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau carboné (6) est chauffé par au moins un filament (2), le filament (2) étant disposé entre le support (1) et l'entrée de gaz (4).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la 20 source de carbone est du méthane.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que le filament (2) en rhénium. 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la source de carbone est une source de carbone solide et en ce que le flux d'hydrogène est dépourvu d'hydrocarbure.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la 30 source de carbone solide forme le filament (2). 3040698 19\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que la source de carbone solide est en graphite.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que 5 l'atmosphère est formée d'hydrogène pur.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que, pendant le procédé, la température du matériau carboné (6) est inférieure à 1500°C, et de préférence, inférieure à 1000°C. 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que, pendant le procédé, la température du matériau carboné (6) est supérieure à 600°C. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon les revendications 9 et 10, caractérisé en ce que la température du matériau carboné (6) est comprise entre 600°C et 800°C, et de préférence, entre 600°C et 700°C.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 2 à 11, caractérisé en ce que la chambre de réaction (3) comporte plusieurs filaments (2) formant un plan parallèle à la surface du support.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les filaments (2) sont disposés au-dessus de la surface du support (1), à une 25 distance comprise entre 0,2cm et 2,5cm, et de préférence entre 0,8cm et 1,2cm.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé en ce que les filaments (3) sont fixes par rapport au matériau carboné (6) à recristalliser. 30 3040698 20\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le support (1) est un substrat.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le 5 substrat est en silicium.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le support (1) est formé de deux cylindres en quartz ou en céramique, sur lesquels est enroulé le matériau carboné (6). 10\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la quantité d'hydrogène injectée dans la chambre de réaction (3) diminue au cours du temps. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la chambre comporte une source additionnelle (7) d'hydrogène atomique.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 19, caractérisé 20 en ce que le procédé comporte les étapes suivantes : chauffer la chambre de réaction (3) jusqu'à une température cible, préférentiellement comprise entre 600°C et 1000°C, chauffer le filament (2) de manière à augmenter localement la température du matériau carboné (6).