Brevet FR3051591A1 (20171124)
REVENDICATIONS1. Dispositif de micro-localisation (100) pour instrument imageur (60, 61), le dispositif de micro-localisation (100) définissant un système de coordonnées spatiales (O, 11X, 11Y) et étant adapté à être rendu solidaire d'un échantillon ou d'un porte-échantillon, caractérisé en ce que : le dispositif de micro-localisation (100) comporte au moins une première zone (1) et une deuxième zone (2) adjacentes, ladite première, respectivement deuxième, zone (1,\n<CLM>\1\ts'étendant spatialement sur une première, respectivement deuxième, surface de dimensions macroscopiques, ladite première, respectivement deuxième, zone (1,\n<CLM>\1\tayant une position et une orientation prédéterminée dans le système de coordonnées spatiales (O, 11X, 11Y) du dispositif de micro-localisation, ladite première, respectivement deuxième, zone (1,\n<CLM>\1\tcomprenant une cellule élémentaire (11) ou un pavage de plusieurs cellules élémentaires (21, 22, 23,\n<CLM>\1\ts'étendant sur la première, respectivement deuxième, surface de ladite première, respectivement deuxième, zone (1, 2), chaque cellule élémentaire (11) de la première zone (1) s'étendant sur une première surface élémentaire, chaque cellule élémentaire (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tde la deuxième zone (2) s'étendant sur une deuxième surface élémentaire différente de la première surface élémentaire, la première, respectivement deuxième, surface élémentaire s'étendant dans une gamme de dimension allant du sub-micrométrique au macroscopique, chaque cellule élémentaire (11) de la première zone (1) comportant un premier motif spatial périodique (110) associé à une première période spatiale fonction de la première surface élémentaire, et, respectivement, chaque cellule élémentaire (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tde la deuxième zone (2) comportant un deuxième motif spatial périodique (210) associé à une deuxième période spatiale différente de la première période spatiale, fonction de la deuxième surface élémentaire, chaque cellule élémentaire (11, 21, 22, 23,\n<CLM>\1\tde ladite première zone (1) et, respectivement deuxième zone (2), comprenant en outre un motif d'orientation (1111, 2111) et un motif de positionnement (1112, 2112, 2212, 2312, 2412) dans le système de coordonnées spatiales (O, 11X, 11Y) du dispositif de micro- localisation, au moins une desdites première ou deuxième cellule élémentaire étant adaptée pour que ledit instrument imageur (60,\n<CLM>\1\ten forme une image et en déduise une position, respectivement, une orientation de ladite image dans le système de coordonnées spatiales du dispositif de micro-localisation (100).\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon la revendication 1, dans lequel la première période spatiale est supérieure ou égale au double de la deuxième période spatiale.\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 ou 2, 3051591 33 dans lequel le premier motif spatial périodique (110) couvre au moins cinquante pourcents de la surface de chaque cellule élémentaire (11) de la première zone (1), et/ou, respectivement, le deuxième motif spatial périodique (210) couvre au moins cinquante pourcents de la surface de chaque cellule élémentaire (21, 22, 23,\n<CLM>\1\tde la deuxième 5 zone (2).\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le premier motif spatial périodique (110) est périodique suivant deux directions transverses avec la même première période spatiale et/ou dans lequel le deuxième motif spatial périodique (210) est périodique suivant deux directions 10 transverses avec la même deuxième période spatiale.\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le motif d'orientation, le motif de positionnement et le motif spatial périodique sont formés par dépôt et/ou gravure de couche mince métallique.\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 5, 15 dans lequel chaque cellule élémentaire est de forme polygonale ayant un côté de longueur égale à un multiple entier compris entre une unité et quelques dizaines de la période spatiale du motif spatial périodique de ladite cellule élémentaire.\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 6, comportant en outre au moins une zone disjointe (10) de la première zone (1), chaque 20 cellule élémentaire (11) de la zone disjointe (10) comportant le même premier motif spatial périodique (110) associé à la même première période spatiale.\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 7, comportant une pluralité de zones (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7,\n<CLM>\1\tdisposées de manière à former un dispositif de micro-localisation (100) de forme asymétrique à une échelle macroscopique. 25\n<CLM>\1\tDispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 8 comportant une pluralité de zones (1, 2, 3, 4), chaque zone (1, 2, 3,\n<CLM>\1\tde la pluralité de zones (1, 2, 3, 4), s'étendant spatialement sur une surface de dimension macroscopique, chaque zone (1, 2, 3,\n<CLM>\1\tde la pluralité de zones (1, 2, 3,\n<CLM>\1\tcomprenant une cellule élémentaire (11) ou un pavage de plusieurs cellules élémentaires (21, 22, 23,\n<CLM>\1\t30 s'étendant sur la surface respective de ladite zone (1, 2, 3, 4), les zones (1, 2, 3,\n<CLM>\1\tde ladite pluralité de zones (1, 2, 3,\n<CLM>\1\tétant disposées autour d'un point de jonction (99) commun à une cellule élémentaire (11,\n<CLM>\1\tde chacune desdites zones (1, 2, 3, 4), chaque cellule élémentaire de chacune desdites zones (1, 2, 3,\n<CLM>\1\tautour du point de jonction (99) étant associée de manière biunivoque d'une part à une surface élémentaire 35 et d'autre part à un motif spatial périodique (110,\n<CLM>\1\tfonction de la surface élémentaire de ladite zone (1, 2, 3, 4).\n<CLM>\1\tPorte-échantillon pour appareil de microscopie comportant au moins un 3051591 34 dispositif de micro-localisation selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t11. Appareil de mesure comprenant un instrument imageur (60, 61), un porte-échantillon (88, 900), une unité de contrôle (70) et au moins un dispositif de micro-localisation (100,\n<CLM>\1\tselon l'une des revendications 1 à 9, le dispositif de micro- 5 localisation (100,\n<CLM>\1\tétant solidaire d'un échantillon ou du porte-échantillon (88, 900), l'instrument imageur (60,\n<CLM>\1\tétant configuré pour acquérir une image et l'unité de contrôle (70) étant configurée pour fournir les coordonnées de ladite image dans le système de coordonnées du dispositif de micro-localisation (100, 700).\n<CLM>\1\tAppareil de mesure selon la revendication 11 comprenant en outre un 10 système de déplacement du porte-échantillon intégrant un dispositif de mesure de déplacement du porte-échantillon dans un système de coordonnées de ce système de déplacement, l'unité de contrôle (70) étant configurée pour commander un déplacement du porte-échantillon dans le système de coordonnées du dispositif de micro-localisation (110). 15\n<CLM>\1\tAppareil de mesure selon la revendication 11 dans lequel l'appareil de mesure comprend un dispositif de balayage d'un faisceau incident par rapport à un échantillon, et dans lequel l'unité de contrôle (70) est configurée pour commander un déplacement par balayage du faisceau incident et dans lequel l'unité de contrôle (70) comprend un système de traitement du signal adapté pour reconstruire une image point 20 par point en fonction du balayage de faisceau dans le système de coordonnées du dispositif de micro-localisation (110).\n<CLM>\1\tAppareil de mesure selon la revendication 11 dans lequel l'appareil de mesure comprend un appareil de microscopie à sonde locale ayant une pointe et un système de déplacement relatif entre ladite pointe et un échantillon à analyser dans lequel 25 l'unité de contrôle (70) comprend un système de traitement du signal adapté pour reconstruire une image point par point en fonction du déplacement par balayage de la sonde locale dans le système de coordonnées du dispositif de micro-localisation (110).\n<CLM>\1\tProcédé de micro-localisation (100) d'un échantillon comprenant les étapes suivantes : 30 - solidariser un dispositif de micro-localisation (100) selon l'une des revendications 1 à 9 avec un porte-échantillon ou un échantillon à analyser de manière à définir un système de coordonnées spatiales lié audit échantillon, - disposer un instrument imageur de manière à former une image d'au moins une cellule élémentaire (11, 21, 22, 23,\n<CLM>\1\tdu dispositif de micro-localisation (100), 35 - traiter ladite image d'au moins une cellule élémentaire (11, 21, 22, 23, 24), pour en déduire une orientation et une position de ladite image dans le système de coordonnées spatiales du dispositif de micro-localisation (100).