Brevet FR3048128A1 (20170825)
REVENDICATIONS1. Cellule thermoélectrique à pistes thermoélectriques (52A, 52B, 53A, 53B) de types alternés reliées en série par des liaisons métalliques (54A, 54B), comprenant une plateforme (42) suspendue au-dessus d'un support par des bras (44A, 44B, 45A, 45B), la plateforme et les bras étant des parties d'une même couche (50) isolante thermiquement et électriquement, et chaque bras portant une piste thermoélectrique.\n<CLM>\1\tCellule selon la revendication 1, comprenant deux premiers plots métalliques (56,\n<CLM>\1\tsitués sur le support et au moins deux ensembles de pistes thermoélectriques (52A et 53A, 52B et 53B), chacun des ensembles comprenant des pistes thermoélectriques de types alternés reliées en série entre lesdits premiers plots métalliques.\n<CLM>\1\tCellule selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle 15 les pistes thermoélectriques (52A et 53A, 52B et 53B) sont en tellure de bismuth dopé, lesdits types correspondant à des types de conductivité.\n<CLM>\1\tCellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle la couche isolante (50) est en oxyde de 20 silicium, en nitrure de silicium ou en oxyde d'aluminium.\n<CLM>\1\tCellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle le rapport entre une longueur et une largeur de chaque bras (44A, 44B, 45A, 45B) est supérieur à\n<CLM>\1\t6. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 25 à 5, dans laquelle la plateforme (42) a la forme d'un rectangle, deux bras (44A, 44B) s'étendant à partir d'un côté du rectangle et deux bras (45A, 45B) s'étendant à partir du côté opposé, des pistes thermoélectriques (52A, 52B, 53A, 53B) d'un même type étant disposées sur des bras situés d'un même côté du rectangle. 30\n<CLM>\1\tCellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant en outre un revêtement absorbant disposé sur la plateforme.\n<CLM>\1\tDispositif thermoélectrique comprenant une pluralité de cellules thermoélectriques selon l'une quelconque des 3048128 B14859 - 08358-01 14 revendications 1 à 7 disposées en matrice et ayant un support commun, les cellules thermoélectriques de chaque colonne de la matrice étant connectées en série entre des deuxièmes plots métalliques (74, 76). 5\n<CLM>\1\tThermopile comprenant un dispositif selon la revendication\n<CLM>\1\t10. Thermopile selon la revendication 9, dans laquelle les plateformes (42) sont recouvertes d'un matériau absorbant (84) destiné à capter un rayonnement solaire, le support commun étant 10 destiné à être en contact thermique avec une source froide.\n<CLM>\1\tThermopile selon la revendication 10, dans laquelle les plateformes (42) sont sous vide.\n<CLM>\1\tThermopile selon la revendication 9, dans lequel les plateformes (42) sont en contact avec l'air ambiant, le support 15 commun étant destiné à être en contact thermique avec une source chaude.\n<CLM>\1\tBolomètre comprenant un dispositif selon la revendication 8, le dispositif étant relié à un circuit de détection, les plateformes du dispositif étant recouvertes d'un 20 revêtement absorbant une longueur d'onde choisie, le support commun étant destiné à être en contact thermique avec une source froide.\n<CLM>\1\tRefroidisseur comprenant une cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 ou un dispositif selon la 25 revendication\n<CLM>\1\t15. Procédé de fabrication d'une cellule thermoélectrique à partir d'un support recouvert d'une couche (50) isolante thermiquement et électriquement, comprenant les étapes suivantes : 30 a) définir une région (42) de la couche isolante prolongée par des bras (44A, 44B, 45A, 45B) ; b) former des pistes thermoélectriques de types alternés (52A, 52B, 53A, 53B) reliées en série par des liaisons métalliques (54A et 54B), chaque piste recouvrant l'un des bras ; 3048128 B14859 - 08358-01 c) graver des ouvertures (90) dans la couche isolante de manière à délimiter ladite région et les bras ; et d) retirer les parties du support situées sous ladite région et sous les bras.