Brevet FR3041335A1 (20170324)
REVENDICATIONS1°) Composant micromécanique (1) comportant un micro-miroir (10) couplé à un substrat de support (13), une première diode de capteur (11) pour fournir un premier signal de sortie correspondant à la température de la première diode de capteur (11), et une seconde diode de capteur (12) pour fournir un second signal de sortie correspondant à l'intensité lumineuse arrivant sur la seconde diode de capteur (12), la première diode de capteur (11), la seconde diode de capteur (12) étant installées dans le substrat de support (13). 2°) Composant mécanique (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première diode de capteur (11) comporte une couche de couverture (15) opaque. 3°) Composant mécanique (1) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu' il comporte un réflecteur (18, 18a, 18b) pour dévier la lumière dans le composant micromécanique (1) dans la direction de la seconde diode de capteur (12). 4°) Composant mécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le micro-miroir (10) a une ouverture (19) entre une surface de miroir (101) et la surface opposée à la surface du micro-miroir (10) opposée à la surface de miroir (101). 5°) Composant mécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le micro-miroir (10) comporte un élément de réflexion (18) sur la surface de miroir (101) du micro-miroir (10). 3041335 15 6°) Composant mécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la seconde diode de capteur (12) est située sur un côté du substrat de support (13) orienté dans la même direction que la surface de miroir 5 ( 1 0\n<CLM>\1\tdu micro-miroir (10). 7°) Composant mécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la première diode de capteur (11) et la seconde diode de capteur (12) ont 10 une couche semi-conductrice dopée (14), commune. 8°) Composant mécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la première diode de capteur (11) et la seconde diode de capteur (12) ont 15 des couches semi-conductrices distinctes dans un substrat de support (13) commun. 9°) Système de laser à micro-miroir comportant : une source laser (2) pour fournir un faisceau laser (20), 20 un composant micromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 8 et, une installation de surveillance (3) pour déterminer un fonctionnement défectueux du système de laser à micro-miroir en se fondant sur le premier signal de capteur (11) fourni par la première 25 diode de capteur (11) et le second signal de sortie fourni par la se- conde sonde de capteur (12). 10°) Système de laser à micro-miroir selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte 30 une source de modulation pour fournir un signal de modulation, la source laser (2) modulant le faisceau laser (20) qu'elle fournit en se fondant sur le signal de modulation, et l'installation de surveillance (3) exploite le second signal de sortie fourni par la seconde sonde de capteur (12) en se fondant sur le si- 35 gnal de modulation. 3041335 16 11°) Procédé de surveillance d'un système laser à micro-miroir, caractérisé par les étapes suivantes consistant à : fournir (S1) un premier signal de sortie correspondant à la température d'une première diode de capteur, 5 fournir (S2) un second signal de sortie correspondant à l'intensité lumineuse arrivant sur la seconde sonde de capteur, comparer (S3) le premier signal de sortie au second signal de sortie, et déterminer (S4) une fonction de défaut du système de laser à mi- 10 cro-miroir en se fondant sur la comparaison du premier signal de sortie et du second signal de sortie. 15