Brevet FR3050033A1 (20171013)
REVENDICATIONS1. Sonde pour appareil de mesure d'interaction locale entre un faisceau électromagnétique et un échantillon, l'appareil comprenant un dispositif à champ proche à sonde locale ayant une pointe (1), le dispositif à champ proche étant combiné à un faisceau électro-magnétique d'excitation focalisé sur la pointe (1), l'appareil étant configuré pour détecter une interaction locale entre l'échantillon, la pointe et le faisceau électromagnétique d'excitation, caractérisée en ce que : - la sonde locale (10) comporte une pointe (1), un support (3) et une portion intermédiaire (2) disposée entre la pointe (1) et le support (3), la pointe (1) est métallique, la pointe (1) ayant un apex (11) et une base (12),la portion intermédiaire (2) joignant d'une part la base (12) de la pointe et d'autre part le support (3), - la portion intermédiaire (2) est métallique ou comporte un revêtement externe métallique, - le support (3) est en matériau diélectrique ou en matériau diélectrique recouvert d'un revêtement externe métallique, et en ce que - la portion intermédiaire (2) s'étend latéralement à l'extérieur d'un cône (18) défini par une droite génératrice passant par l'apex et par une circonférence de la base (12) de la pointe (1).\n<CLM>\1\tSonde selon la revendication 1, dans lequel le faisceau électromagnétique d'excitation a une longueur d'onde déterminée, et dans lequel la pointe (1) a une hauteur (H) prise entre l'apex (11) et la base (12), la hauteur (H) de la pointe (1) étant inférieure à la longueur d'onde du faisceau électro-magnétique d'excitation.\n<CLM>\1\tSonde selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la base (12) de la pointe a des dimensions inférieures ou égales à la hauteur (H) de la pointe (1).\n<CLM>\1\tSonde selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la pointe (1) forme un cône de révolution autour d'un axe (13), la pointe ayant un demi-angle au sommet (ALPHA) compris entre 10 et 30 degrés.\n<CLM>\1\tSonde selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel la portion 3050033 28 intermédiaire (2) ayant une hauteur (H2) prise entre la base (12) de la pointe et le support (3), la portion intermédiaire (2) a des dimensions transverses prises transversalement à sa hauteur (H2), et dans lequel la portion intermédiaire (2) a une forme cylindrique, ou respectivement 5 tronconique, pyramidale, évasée, et les dimensions transverses de la portion intermédiaire (2) étant constantes, ou respectivement croissantes, de la base (12) de la pointe (1) au support (3).\n<CLM>\1\tSonde selon la revendication 5, dans lequel les dimensions transverses (2.W) de la portion intermédiaire (2) sont comprises dans une gamme 10 s'étendant entre 2 et 20 fois la hauteur (H) de la pointe (1) et dans lequel la hauteur (H2) de la portion intermédiaire (2) est inférieure ou égale à la hauteur (H) de la pointe (1).\n<CLM>\1\tSonde selon l'une des revendications 1 à 6 dans lequel le revêtement métallique externe de la portion intermédiaire (2) et/ou du support (3) a 15 une épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 100 nanomètres.\n<CLM>\1\tSonde selon l'une des revendications 1 à 7 dans lequel la pointe métallique et/ou la portion intermédiaire métallique ou le revêtement externe métallique de la portion intermédiaire, sont formées d'un ou de plusieurs métaux, ou d'un alliage de métaux, ou d'un alliage d'un métal 20 et d'un matériau semi-conducteur.\n<CLM>\1\tSonde selon la revendication 8 dans lequel la pointe métallique et/ou la portion intermédiaire métallique ou le revêtement externe métallique de la portion intermédiaire, sont formés d'un métal ou d'un alliage métallique comprenant de l'or, de l'argent ou de l'aluminium. 25 10.Sonde selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel la sonde comporte une pluralité de pointes (1) métalliques et une portion intermédiaire (2), la portion intermédiaire (2) étant jointe d'une part au support (3) et d'autre part à la base de chaque pointe (1).\n<CLM>\1\tSonde pour instrument d'analyse selon l'une des revendications 1 à 8, 30 dans lequel la sonde comporte une pluralité de portions intermédiaires (2), une pluralité de pointes (1) métalliques et un support (3) ayant une surface, chaque portion intermédiaire (2) étant jointe d'une part à la surface du support (3) et d'autre part à la base d'au moins une pointe (1) métallique. 3050033 29\n<CLM>\1\tSonde pour instrument d'analyse d'un échantillon par spectroscopie Raman exaltée de pointe ou de surface, selon l'une des revendications 1 à 9 dans lequel le faisceau électro-magnétique d'excitation a une longueur d'onde dans un domaine spectral entre 600 nanomètre et 1000 5 nm, et dans lequel la pointe (1) a une hauteur (H) inférieure à 200 nanomètres.\n<CLM>\1\tSonde pour instrument d'analyse d'un échantillon par spectroscopie infrarouge ou de fluorescence exaltée de pointe ou de surface, selon l'une des revendications 1 à 9 dans lequel le faisceau électro- 10 magnétique d'excitation a une longueur d'onde dans un domaine spectral entre 1 micromètre et 15 micromètres, et dans lequel la pointe (1) a une hauteur (H) inférieure à 1 micromètre. 14.Sonde pour instrument d'analyse par microscopie à force atomique selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel le support (3) est en 15 matériau diélectrique. 15.Sonde pour appareil d'excitation électromagnétique locale, selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel le faisceau électro-magnétique d'excitation a une longueur d'onde dans un domaine spectral entre 400 nanomètre et 1000 nm, et dans lequel la pointe (1) a une hauteur (H) 20 inférieure à 200 nanomètres. 16.Appareil de mesure comprenant un dispositif à champ proche à sonde locale ayant une pointe (1), le dispositif à champ proche étant combiné à un faisceau électro-magnétique d'excitation focalisé sur la pointe (1), et l'appareil de mesure comprenant un système de détection d'interaction 25 locale entre le faisceau électromagnétique d'excitation, la pointe (1) et un échantillon, caractérisé en ce que dispositif à champ proche comporte une sonde selon l'une des revendications 1 à 15.