Brevet FR3049710A1 (20171006)
REVENDICATIONS1. Procédé d'inspection d'une plaquette (2) pour l'électronique, l'optique ou l'optoélectronique, comprenant : - la mise en rotation de la plaquette (2) autour d'un axe de symétrie (X) perpendiculaire à une surface principale (S) de ladite plaquette, - l'émission, à partir d'une source lumineuse (20) couplée à un dispositif interférométrique (30), de deux faisceaux lumineux incidents de sorte à former, à l'intersection entre les deux faisceaux, un volume de mesure (V) contenant des franges d'interférences agencées de telle sorte qu'une région de la surface principale (S) de la plaquette traverse au moins une frange du volume de mesure, la dimension (Dy) dudit volume de mesure dans une direction radiale de la plaquette étant comprise entre 5 et 100 pm, - la collecte d'au moins une partie de la lumière diffusée par ladite région de la 15 plaquette, - l'acquisition de la lumière collectée et l'émission d'un signal électrique représentant la variation de l'intensité lumineuse de la lumière collectée en fonction du temps, - la détection, dans ledit signal, d'une composante fréquentielle dans ladite lumière collectée, ladite fréquence étant la signature temporelle du passage d'un défaut dans le 20 volume de mesure.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel la dimension (Dx) du volume de mesure dans une direction tangentielle à la trajectoire de rotation de la plaquette est comprise entre 5 et 100 pm, de préférence entre 15 et 50 pm. 25\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel la plaquette est au moins partiellement transparente à la longueur d'onde de la source lumineuse.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 3, dans lequel la dimension (Dz) du volume de 30 mesure dans une direction perpendiculaire à la surface de la plaquette est inférieure ou égale au quart de l'épaisseur de ladite plaquette.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel, à l'emplacement du volume de mesure, les faisceaux incidents présentent une largeur minimale (N/V0). 35\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la puissance de la source lumineuse est supérieure ou égale à 10 mW. 3049710\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel la longueur d'onde de la source lumineuse est inférieure ou égale à 900 nm.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel l'interfrange est 5 compris entre 0,1 et 10 pm.\n<CLM>\1\tSystème (1) d'inspection de plaquettes (2) pour la microélectronique ou l'optique, comprenant : - un dispositif (10) d'entraînement d'une plaquette en rotation autour d'un axe (X) de 10 symétrie perpendiculaire à une surface principale (S) de ladite plaquette, - une source lumineuse (20) adaptée pour émettre un faisceau lumineux, - un dispositif interférométrique (30) couplé à la source lumineuse pour diviser le faisceau émis par ladite source (20) en deux faisceaux et pour former, à l'intersection entre les deux faisceaux, un volume de mesure (V) contenant des franges d'interférences, 15 la dimension (Dy) dudit volume de mesure dans une direction radiale de la plaquette étant comprise entre 5 et 100 pm, le dispositif interférométrique (30) et le dispositif d'entraînement (10) étant agencés l'un par rapport à l'autre de sorte qu'une région de la surface principale de la plaquette en rotation traverse au moins une frange du volume de mesure, - un dispositif (40) de collecte de la lumière diffusée par la plaquette, - un dispositif (50) d'acquisition de la lumière collectée configuré pour émettre un signal électrique représentant la variation de l'intensité lumineuse de la lumière collectée en fonction du temps, - un dispositif (60) de traitement configuré pour détecter, dans ledit signal, une composante fréquentielle dans ladite lumière collectée, ladite fréquence étant la signature temporelle du passage d'un défaut dans un volume de mesure respectif et pour déterminer, à partir de ladite fréquence, la position du défaut dans la direction radiale et/ou dans l'épaisseur de la plaquette.\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 9, comprenant en outre un bras pour déplacer le dispositif interférométrique (30) et le dispositif (40) de collecte de la lumière diffusée en translation dans une direction radiale, la source lumineuse, le dispositif d'acquisition et le dispositif de traitement étant immobiles.\n<CLM>\1\tSystème selon la revendication 10, dans lequel ledit dispositif interférométrique est couplé à la source lumineuse par une fibre optique et ledit dispositif de collecte est couplé au dispositif d'acquisition par une fibre optique.