Brevet FR3040528A1 (20170303)
REVENDICATIONS1. Procédé de mesure de la contamination d'une boîte de transport (2) pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats (3) dans lequel on mesure la concentration d'au moins une espèce gazeuse à l'intérieur de la boîte de transport (2) par un dispositif de mesure comprenant au moins un analyseur de gaz (5, 5b) et une canalisation de mesure (6) reliant ledit au moins un analyseur de gaz (5, 5b) à une interface (7), l'interface (7) mettant en communication la canalisation de mesure (6) avec l'atmosphère interne d'au moins une boîte de transport (2), caractérisé en ce qu'on fournit un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon la revendication précédente, dans lequel au moins une espèce gazeuse dont on mesure la concentration est l'acide fluorhydrique (H F).\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le flux de gaz contenant de la vapeur d'eau présente un taux d'humidité supérieur à 40%.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le flux de gaz contenant de la vapeur d'eau présente un taux d'humidité supérieur à 95%.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le flux de gaz contenant de la vapeur d'eau est de l'air humide.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon l'une des revendications précédentes, dans lequel on fournit un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure pendant que l'on réalise une mesure de contamination.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel on fournit un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure après avoir réalisé une mesure de contamination et isolé l'interface (7).\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon la revendication précédente, dans lequel on fournit un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure après avoir réalisé une mesure de contamination pour laquelle la concentration de l'espèce gazeuse a dépassé un seuil prédéterminé.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon la revendication 7, dans lequel on fournit un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure après chaque mesure d'espèce gazeuse.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure selon la revendication précédente, dans lequel on fournit un flux de gaz présentant un premier taux d'humidité si la concentration de l'espèce 3040528 13 gazeuse est inférieure à un seuil prédéterminé et on fournit un flux de gaz présentant un deuxième taux d'humidité supérieur au premier taux d'humidité si la concentration de l'espèce gazeuse dépasse le seuil prédéterminé.\n<CLM>\1\tStation de mesure de la contamination d'une boîte de transport pour le convoyage 5 et le stockage atmosphérique de substrats comprenant : un dispositif de mesure comprenant au moins un analyseur de gaz (5, 5b) et une canalisation de mesure (6) reliée audit au moins un analyseur de gaz (5, 5b), et une interface (7) pour mettre en communication la canalisation de mesure 10 (6) avec l'atmosphère interne d'au moins une boîte de transport (2) de manière à effectuer une analyse d'au moins une espèce gazeuse contenue dans l'atmosphère interne de la boîte de transport (2) par ledit au moins un analyseur de gaz (5, 5b), caractérisée en ce qu'elle comporte un générateur d'humidité (9) configuré pour 15 fournir un flux de gaz contenant de la vapeur d'eau dans le dispositif de mesure.\n<CLM>\1\tStation de mesure selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le générateur d'humidité (9) est raccordé à la canalisation de mesure (6) reliant le au moins un analyseur de gaz (5, 5b) à l'interface (7), la station de mesure comportant 20 au moins une vanne (8 ; 8a, 8b, 8c) agencée sur la canalisation de mesure (6), la vanne (8 ; 8a, 8b, 8c) étant configurée pour mettre en communication l'interface (7) avec le au moins un analyseur de gaz (5, 5b) ou le au moins un analyseur de gaz (5, 5b) avec le générateur d'humidité (9).\n<CLM>\1\tStation de mesure selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisée en ce que 25 le au moins un analyseur de gaz (5, 5b) comporte une pompe de prélèvement.\n<CLM>\1\tStation de mesure selon l'une des revendications 11 à 13, caractérisée en ce que le au moins un analyseur de gaz (5, 5b) comporte un capteur optique fonctionnant par spectroscopie d'absorption.