Brevet FR3047321A1 (20170804)
REVENDICATIONS1. Miroir déformable (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110,\n<CLM>\1\tcomprenant : - une membrane déformable (11) s'étendant au repos dans un premier plan (13) et ayant une face avant réfléchissante et une face arrière 5 (12) opposée à la face avant, - une structure porteuse (14), - un actionneur (15) ayant une première (16) et une seconde (17) extrémités, la première extrémité (16) étant fixée sur la structure porteuse (14), la seconde extrémité (17) étant apte à se déplacer par rapport à la 10 première extrémité (16) selon un premier axe (Z) sensiblement perpendiculaire au premier plan (13) pour exercer sur la face arrière (12) un effort axial selon le premier axe (Z), de façon à déformer localement la membrane déformable (11), caractérisé en ce qu'il comprend une plaque (18) sensiblement plane dans 15 un deuxième plan (19) sensiblement parallèle au premier plan (13), positionnée entre l'actionneur (15) et la membrane déformable (11), liée à la face arrière (12) et apte à se déformer quand l'actionneur (15) exerce l'effort axial, et en ce que la plaque (18) est rigide dans le deuxième plan (19) de façon à reprendre des efforts appliqués au miroir dans le deuxième plan (19). 20\n<CLM>\1\tMiroir déformable (10, 20, 50, 60, 100,\n<CLM>\1\tselon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un élément élastique (21) positionné entre la plaque (18) et la membrane déformable (11). 25\n<CLM>\1\tMiroir déformable (30, 40, 70, 80, 90,\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la plaque (18) est liée à la face arrière (12) par l'intermédiaire d'un coupleur (31) configuré pour transmettre uniquement un effort axial entre l'actionneur (15) et la membrane déformable (11) et pour permettre un déplacement libre dans le 30 premier plan (13) de la membrane déformable (11) par rapport à la plaque (18). 3047321 13\n<CLM>\1\tMiroir déformable (20, 40, 60, 80,\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un élément élastique (22) positionné entre la plaque (18) et la seconde extrémité (17) de l'actionneur (15).\n<CLM>\1\tMiroir déformable (50, 60, 70, 80,\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un élément élastique (51) positionné entre la plaque (18) et la structure porteuse (14).\n<CLM>\1\tMiroir déformable (110) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'actionneur (15) comprend une tête (92) libre en translation dans un troisième plan sensiblement parallèle au deuxième plan (19) et libre en rotation positionnée sur la seconde extrémité (17) de l'actionneur (15) et en ce que la tête (92) est reliée à la structure porteuse (14) par au moins un élément élastique (52), de façon à limiter le déplacement de la seconde extrémité (17) de l'actionneur (15).\n<CLM>\1\tMiroir déformable (90, 100,\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un pied d'encastrement (91) reliant la membrane déformable (11) à la structure porteuse (14), et en ce que la plaque (18) a une extrémité fixée dans le pied d'encastrement (91).\n<CLM>\1\tMiroir déformable (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110,\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la plaque (18) est évidée de façon à favoriser sa déformation quand l'actionneur (15) exerce l'effort axial.\n<CLM>\1\tMiroir déformable (120) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs actionneurs ayant chacun une première et une seconde extrémités, la première extrémité étant fixée sur la structure porteuse, la seconde extrémité étant apte à se déplacer par rapport à la première extrémité selon un premier axe sensiblement perpendiculaire au premier plan pour exercer sur la face 3047321 14 arrière un effort axial selon le premier axe, de façon à déformer localement la membrane déformable. 5