Brevet FR3047355A1 (20170804)
REVENDICATIONS1. Structure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface comprenant une couche utile (1) de matériau piézoélectrique assemblée à un substrat support (5) présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à celui de la couche utile (1), caractérisée en ce qu'elle comprend une couche intermédiaire (4) située entre la couche utile (1) et le substrat support (5), la couche intermédiaire (4) étant une couche structurée formée d'au moins deux matériaux différents et présentant une pluralité de motifs périodiques (6,7).\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon la revendication précédente, dans laquelle la périodicité des motifs (6,7) est choisie en fonction de la fréquence des ondes acoustiques de surface du dispositif.\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le substrat support (5) comprend un matériau choisi parmi le silicium, le verre, la silice, le saphir, l'alumine, le nitrure d'aluminium.\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la couche utile (1) comprend un matériau piézoélectrique choisi parmi le tantalate de lithium (LiTaO3), le niobate de lithium (LiNbO3), le quartz, l'oxyde de zinc (Zn0).\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans 3047355 25 laquelle l'impédance acoustique moyenne de la couche intermédiaire (4) est égale à la racine carrée du produit des impédances acoustiques de la couche utile (1) et du substrat support (5). 5\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle l'épaisseur de la couche intermédiaire (4) est supérieure à la longueur d'onde des ondes acoustiques de 10 surface du dispositif.\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle au moins une dimension latérale des motifs (6,7) 15 est inférieure à la longueur d'onde des ondes acoustiques de surface du dispositif.\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans 20 laquelle les motifs périodiques (6,7) comprennent une alternance d'un premier motif (6) composé du matériau de la couche utile (1) et d'un deuxième motif (7) composé d'un matériau de même nature que celui du substrat support (5). 25\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon la revendication précédente, dans laquelle le deuxième motif (7) est composé de silicium polycristallin et dans lequel le substrat support (5) est en silicium. 30\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications 1 à 4, dans laquelle l'épaisseur de la couche intermédiaire (4) est 3047355 26 égale ou inférieure à la longueur d'onde des ondes acoustiques de surface du dispositif.\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques 5 de surface selon la revendication précédente, dans laquelle au moins une dimension latérale des motifs (6,7) est inférieure ou égale à la longueur d'onde des ondes acoustiques de surface du dispositif. 10\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des deux revendications précédentes, dans laquelle les motifs périodiques (6,7) comprennent une alternance d'un premier motif (6) composé du matériau de la couche. utile (1) ou du matériau du substrat support et d'un 15 deuxième motif (7) composé d'un autre matériau.\n<CLM>\1\tStructure hybride (10) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon la revendication précédente, dans laquelle le deuxième motif (7) est composé de dioxyde de silicium ou 20 de nitrure de silicium.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (10) pour un dispositif à ondes acoustiques de surface caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : 25 i) La fourniture d'une couche utile (1) de matériau piézoélectrique et d'un substrat support (5) présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à celui de la couche utile (1) ; ii) La gravure locale selon des motifs périodiques d'une 30 face avant de la couche utile (1) ou du substrat support (5), formant un ensemble de motifs gravés et de motifs non gravés d'un premier matériau ; iii) Le dépôt sur les motifs gravés, d'une couche supplémentaire d'un deuxième matériau différent du 3047355 27 premier matériau ; les motifs périodiques non gravés et la couche supplémentaire formant une couche intermédiaire (4) ; iv) L'assemblage de la couche utile (1) et du substrat 5 support (5), de sorte que la couche intermédiaire (4) soit disposée entre la couche utile (1) et le substrat support (5).\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (10) 10 pour un dispositif à ondes acoustiques de surface selon la revendication précédente, dans lequel la couche utile (1) fournie à l'étape i) est un substrat donneur de matériau piézoélectrique. 15\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (10) pour un dispositif à ondes acoustiques de surface selon la revendication précédente, comprenant une étape v) d'amincissement du substrat donneur jusqu'à l'épaisseur souhaitée de la couche utile (1) pour la fabrication du 20 dispositif à ondes acoustiques. 25