Brevet FR3037652A1 (20161223)
REVENDICATIONS1. Capteur du type à perte de chaleur mettant en oeuvre le principe de la jauge de Pirani pour mesurer la pression et/ou la température d'un gaz dans un environnement testé, caractérisé en ce qu'il comprend une enceinte étanche aux gaz, ou boitier, qui est destinée à être exposée audit environnement testé, et qui renferme un environnement intérieur gazeux dans lequel est disposé un élément de détection résistif de façon à être exposé audit environnement intérieur gazeux ; en ce que ladite enceinte étanche présente une structure déformable sous l'effet d'une différence de pression entre ledit environnement intérieur et ledit environnement testé ; produisant ainsi un comportement résistif dudit élément de détection résistif qui dépend selon une fonction de transfert, de manière synergique, d'une combinaison de facteurs incluant la pression régnant au sein dudit environnement testé, la rigidité de la structure déformable et la distance entre l'élément résistif et le bain thermique gérant les pertes de chaleur, permettant ainsi de fournir une mesure de ladite pression extérieure.\n<CLM>\1\tCapteur selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l'enceinte étanche comprend un boîtier rigide fermé de façon étanche par au moins une membrane déformable.\n<CLM>\1\tCapteur selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la membrane présente une épaisseur inférieure au millimètre, et de préférence inférieure à cent micromètres.\n<CLM>\1\tCapteur -selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte étanche comprend au moins un soufflet déformable.\n<CLM>\1\tCapteur selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le soufflet présente une forme globalement cylindrique, de révolution ou non, constituant une _paroi portant des ondulations périphériques fournissant une capacité de déformation selon une direction axiale. -40-\n<CLM>\1\tCapteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'enceinte étanche renferme en outre au moins un élément volumique dit réducteur occupant une partie de l'espace intérieur de ladite enceinte étanche, réduisant ainsi le volaene gazeux occupé par l'environnement gazeux intérieur.\n<CLM>\1\tCapteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'enceinte étanche est déterminée pour fournir une sensibilité maximale à une valeur de pression de l'environnement testé qui 10 est décalée vers les hautes pressions par rapport à la valeur de pression qui fournirait la sensibilité maximale si le même élément de détection était exposé directement audit environnement testé.\n<CLM>\1\tProcédé de conception ou d'ajustement d'un capteur selon l'une 15 quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : - choix d'au moins deux valeurs de pression formant une plage de mesure visée pour l'environnement testé auquel est destiné ledit capteur ; - détermination d'une valeur de gap dit virtuel, adaptée pour réaliser au 20 moins une mesure au sein de cette plage de mesure visée par une jauge Pirani qui baignerait directement dans ledit environnement testé ; - à partir de ladite valeur de gap virtuel, détermination ou choix : o d'une part d'une valeur de gap dit réel, et o d'autre part d'une fonction de transfert représentant une 25 transformation de comportement depuis une jauge présentant ledit gap réel vers une jauge présentant ledit gap virtuel, o permettant d'utiliser une jauge de Pirani présentant ledit gap réel pour réaliser au moins une mesure au sein de ladite plage de mesure visée ; 30 - détermination ou choix d'une d'enceinte étanche dont la structure, ou la pression intérieure, ou un couple de ces deux caractéristiques, fournit ladite fonction de transfert.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que 35 l'enceinte étanche est déterminée pour fournir une sensibilité maximale 'à une 3037652 - 41 - valeur de pression de l'environnement testé qui est décalée vers les hautes pressions par rapport à la valeur de pression qui fournirait la sensibilité maximale si le même élément de détection était exposé directement audit environnement testé, d'une valeur de décalage contrôlée par un choix de la 5 raideur de l'enceinte et/ou de la pression intérieure initiale.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 9, caractérisé en ce que l'enceinte étanche est déterminée pour fournir une sensibilité plus forte que si le même élément de détection était exposé directement audit 10 environnement testé, par choix d'une valeur de la raideur de l'enceinte et/ou de la pression intérieure initiale.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'un capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant une fabrication en tout ou partie de 15 l'enceinte étanche par un procédé de dépôt et/ou gravure de résolution inférieure à cinq micromètres, voire inférieure à un micromètre.\n<CLM>\1\tProcédé de mesure d'une pression et/ou température au sein d'un environnement gazeux testé, caractérisé en ce qu'il comprend une utilisation 20 d'un capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 au sein dudit environnement gazeux.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le capteur utilisé comprend une enceinte étanche déformable qui est adaptée 25 pour transmettre la pression extérieure à son environnement intérieur à l'identique.\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que le capteur utilisé comprend une enceinte étanche déformable qui est adaptée pour transmettre 30 la pression extérieure à son environnement intérieur selon une fonction de transfert déterminée.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 14, caractérisé en ce qu'il comprend une modification de la température de l'environnement 35 intérieur de l'enceinte étanche.