Brevet FR3042788A1 (20170428)
REVENDICATIONS1. Structure microélectromécanique et/ou nanoélectromécanique à actionnement électrothermique comportant une partie fixe (2), au moins une partie mobile (4) par rapport à la partie fixe (2), au moins une poutre d'actionnement (6) électrothermique permettant de faire circuler un courant électrique de la partie fixe à la partie mobile et reliée et mécaniquement à la partie mobile (4) et destinée à déplacer la partie mobile (4) par rapport à la partie fixe (2) par actionnement électrothermique, et au moins un élément de liaison électriquement conducteur (8) reliant électriquement la partie mobile (4) à la partie fixe (2), la poutre d'actionnement (6) présentant une épaisseur (e3) inférieure ou égale à la moitié d'une épaisseur (e2) de la partie mobile (4) et inférieure ou égale à la moitié d' une épaisseur de l'élément de liaison (8).\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 1, dans laquelle la poutre d'actionnement (6) électrothermique comporte un ou plusieurs matériaux thermoélastiques aptes à se déformer sous l'effet d'un échauffement thermique induit par effet Joule par le courant électrique destiné à circuler dans ladite poutre.\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle la poutre d'actionnement électrothermique (6) présente un rapport de forme compris entre 1 et\n<CLM>\1\t4. Structure selon la revendication 1, 2 ou 3, dans laquelle l'élément de liaison (8) présente une forme telle qu'une force électrothermique générée en son sein ne s'oppose pas ou peu à la force électrothermique générée dans la poutre d'actionnement (6).\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 4, dans laquelle l'élément de liaison (8) a la forme d'un ressort replié selon des créneaux. 3042788 36\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 4, dans laquelle l'élément de liaison s'étend suivant un axe perpendiculaire à un axe auquel la poutre d'actionnement est parallèle. 5\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 4, comportant deux éléments de liaison alignés le long d'un axe perpendiculaire à un axe auquel la poutre d'actionnement est parallèle.\n<CLM>\1\tStructure selon l'une des revendications 1 à 7, dans laquelle la 10 poutre d'actionnement est un nanofil.\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 8, dans laquelle l'épaisseur et/ou la largeur du nanofil est inférieure ou égale à 500 nm. 15\n<CLM>\1\tStructure selon l'une quelconque des revendications précédentes, comportant au moins un ensemble de plusieurs poutres d'actionnement (6) électrothermiques aptes à appliquer simultanément une force électrothermique de même sens sur la partie mobile. 20\n<CLM>\1\tStructure selon l'une des revendications 1 à 10, comportant une articulation en rotation entre la partie fixe et la partie mobile et dans laquelle la poutre d'actionnement est disposée par rapport à la partie mobile de sorte à provoquer sa rotation par rapport à la partie fixe, ladite rotation étant dans le plan de la structure ou hors-plan. 25\n<CLM>\1\tStructure selon les revendications 6 ou 7 et 11, dans laquelle l'articulation en rotation comporte l'élément de liaison ou les éléments de liaison alignés définissant l'axe de rotation, le ou lesdits éléments de liaison étant déformables en torsion et dans laquelle la poutre d'actionnement est reliée mécaniquement à la partie mobile de sorte que la force électrothermique générée dans la poutre d'actionnement provoque la rotation hors-plan de la partie mobile. 3042788 37\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 11, dans laquelle l'articulation en rotation comporte deux éléments de liaison dont les axes sont sécants.\n<CLM>\1\tStructure selon l'une des revendications 1 à 10, dans laquelle la 5 partie mobile est reliée mécaniquement à la partie fixe par un ancrage, ledit ancrage formant un élément de liaison et dans laquelle la poutre d'actionnement est orientée par rapport à la partie mobile pour provoquer sa déformation élastique.\n<CLM>\1\tStructure selon l'une des revendications 1 à 14, dans laquelle 10 l'épaisseur (e2) de la partie mobile (4) et l'épaisseur (e4) de l'élément de liaison (8) sont égales.\n<CLM>\1\tStructure selon l'une des revendications 1 à 15, comportant en outre des moyens de détection d'un déplacement de la partie mobile. 15\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 16, dans laquelle les moyens de détection sont des moyens piézorésitifs.\n<CLM>\1\tStructure selon la revendication 16 ou 17, dans laquelle les 20 moyens de détection sont formés par la poutre d'actionnement.\n<CLM>\1\tActionneur comportant au moins une structure selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t25\n<CLM>\1\tCapteur comportant au moins une structure selon l'une des revendications 1 à 18.