Brevet FR3039316A1 (20170127)
REVENDICATIONS1. Dispositif générateur d'ions à résonance cyclotronique électronique comportant : - un tube métallique (1), le tube métallique (1) étant destiné à être placé à un premier potentiel (Vi), le tube métallique (1) étant percé par : o une première cavité formant une chambre plasma (3) destinée à contenir un plasma; o une deuxième cavité reliée à la première cavité, la deuxième cavité formant un guide d'onde (4) agencé pour injecter une onde haute fréquence dans la chambre plasma (3), - des moyens d'extraction (12) agencés pour extraire des ions de la chambre plasma (3), les moyens d'extraction (12) comportant une extrémité amont (15) connectée à la chambre plasma (3) et une extrémité avale (16) pourvue d'une bride de connexion (21) destinée à être connectée à une ligne de transport des ions (22), la bride de connexion (21) étant destinée à être placée à un deuxième potentiel (V2) différent du premier potentiel (Vi), - des moyens de génération (8) d'un champ magnétique configurés pour générer un champ magnétique dans la chambre plasma (3), - une structure isolante agencée pour isoler électriquement le tube métallique (1) de l'extrémité avale (16) des moyens d'extraction, la structure isolante comportant un tube céramique (17) en contact avec le tube métallique (1), le tube céramique (17) entourant le tube métallique (1) et au moins une partie des moyens d'extraction (12).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication précédente, dans lequel les moyens d'extraction (12) comportent au moins: 3039316 14 - une première électrode (13a) solidaire du tube métallique (1), la première électrode (13a) étant destinée à être placée au premier potentiel (Vi), - une troisième électrode (13c) en aval de la première électrode (13b), la troisième électrode (13c) étant destinée à être placée au deuxième 5 potentiel (V2) ; - une quatrième électrode (13d) en aval de la troisième électrode, la quatrième électrode (13d) étant destinée à être placée à un potentiel négatif (Vneg).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication précédente, dans lequel les moyens d'extraction 10 (12) comportent en outre une deuxième électrode (13b) disposée entre la première et la troisième électrode (13a, 13c), la deuxième électrode (13b) étant destinée à être placée à un potentiel variable (Vvar), la deuxième électrode (13b) étant apte à être reliée à des moyens de réglage du potentiel.\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication précédente, dans lequel la deuxième électrode 15 (13b) est reliée au tube céramique (17), la deuxième électrode (13b) présentant une forme annulaire.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 3 ou 4, comportant en outre un anneau céramique (23) intercalé entre la première (13a) et la deuxième électrode (13b).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 3 à 5, le dispositif comportant des 20 moyens de connexion aptes à connecter la deuxième électrode (13b) à des moyens de réglage du potentiel, les moyens de connexion comportant : - une prise de connexion (26) située à l'extérieur du tube céramique (17); - un conduit de connexion longitudinal (25) traversant longitudinalement le tube céramique (17), le conduit de connexion (25) étant traversé par un fil 25 métallique (24) reliant la prise de connexion (26) à la deuxième électrode (13b).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 6, dans lequel la prise de connexion est située sur une paroi extérieure latérale (27) du tube céramique, les moyens de 3039316 15 connexion comportant en outre un conduit de connexion radial (36) reliant le conduit de connexion longitudinal à la prise de connexion (26).\n<CLM>\1\tDispositif selon la revendication 6, comportant en outre une bride d'entrée (28), la prise de connexion étant située sur une paroi extérieure de la bride d'entrée. 5\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le tube céramique (17) comporte deux parties tubulaires (18,\n<CLM>\1\tconcentriques.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le tube céramique (17) est formé par une pièce d'un seul tenant.\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications 2 à 10, dans lequel les moyens 10 d'extraction comportent en outre une cinquième électrode (13e) en aval de la quatrième électrode (13c), la cinquième électrode (13e) étant destinée à être placée au deuxième potentiel (V2).\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la bride de connexion (21) est fixée sur le tube céramique (17). 15\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre des moyens de générations d'un champ magnétique (8) agencés pour générer un champ magnétique dans la chambre plasma (3), les moyens de génération du champ magnétique entourant le tube céramique (17), les moyens de génération du champ magnétique (8) étant situés au niveau de la chambre plasma (3). 20\n<CLM>\1\tDispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le tube métallique (1) est percé par un conduit (7) agencé pour permettre l'injection d'un gaz depuis l'extérieur du tube métallique (1) dans la chambre plasma (3).