Brevet FR3048534A1 (20170908)
REVENDICATIONS1. Capteur (100 ; 200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600 ;\n<CLM>\1\tde motifs thermiques d'un objet, en particulier une empreinte papillaire, comprenant une surface de contact (171 ;\n<CLM>\1\tpour y appliquer l'objet à imager, caractérisé en ce qu'il comprend : - au moins une capsule (150 ; 250 ; 350 ; 550 ; 650 ; 750 ;\n<CLM>\1\tscellée sous vide, disposée entre un substrat (130 ;\n<CLM>\1\tet ladite surface de contact, adaptée à échanger de la chaleur par conduction avec l'objet à imager et à émettre un rayonnement électromagnétique en fonction de sa température ; - à l'intérieur de chaque capsule (150 ; 250 ; 350 ; 550 ; 650 ; 750 ;\n<CLM>\1\tscellée sous vide, au moins une planche bolométrique (110 ; 210), adaptée à convertir en chaleur un rayonnement électromagnétique incident provenant de la capsule ; - au moins un filtre optique (160 ; 460 ; 560 ; 660 ; 760), pour arrêter un rayonnement électromagnétique dans l'infra-rouge, chaque filtre optique s'étendant au-dessus d'au moins une capsule et chaque capsule étant recouverte par un filtre optique ; et - des moyens de lecture (140;\n<CLM>\1\tdes résistances électriques des planches bolométriques (110; 210).\n<CLM>\1\tCapteur (100 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600 ;\n<CLM>\1\tselon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une pluralité de capsules (150 ; 350 ; 550 ; 650 ; 750 ; 850), et en ce qu'une unique planche bolométrique est disposée à l'intérieur de chaque capsule.\n<CLM>\1\tCapteur (100 ; 200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600 ;\n<CLM>\1\tselon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que chaque filtre optique (160 ; 460 ; 560 ; 660 ;\n<CLM>\1\test en métal.\n<CLM>\1\tCapteur (100 ; 200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'impédance de chaque filtre optique (160; 3048534 460 ; 560 ; 660 ;\n<CLM>\1\test au moins 50 fois inférieure à celle d'un vide à l'intérieur de chaque capsule.\n<CLM>\1\tCapteur (400) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce 5 que chaque filtre optique (460) est connecté électriquement à une source de potentiel constant (462).\n<CLM>\1\tCapteur (100 ; 200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que chaque capsule (150; 250; 350; 550; 650; 10 750;\n<CLM>\1\tprésente une forme de capot dont une paroi supérieure est traversée par au moins un orifice (151; 551), et dont les parois latérales et supérieure coopèrent avec une couche inférieure, et une couche supérieure, pour englober un volume fermé (152).\n<CLM>\1\tCapteur (100 ; 200 ; 400 ; 500 ; 600 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des 15 revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les capsules sont constituées de silicium amorphe ou d'un alliage comprenant du silicium amorphe.\n<CLM>\1\tCapteur (300) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les capsules comprennent : 20 une couche externe (350C) en silicium amorphe ou un alliage comprenant du silicium amorphe ; et une couche interne (350D), présentant une émissivité dans l'infra-rouge supérieure à celle de la couche externe. 25\n<CLM>\1\tCapteur (500 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les capsules (550 ;\n<CLM>\1\tsont séparées les unes des autres, sans contact physique direct entre elles.\n<CLM>\1\tCapteur (100 ; 300 ; 500 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 9, 30 caractérisé en ce que les filtres optiques (160; 560;\n<CLM>\1\tde différentes capsules (150; 3048534 31 350; 550; 750), ou lignes de capsules (750), sont séparés les uns des autres, sans contact physique direct entre eux.\n<CLM>\1\tCapteur (200 ; 400 ; 600 ;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 10, 5 caractérisé en ce qu'un filtre optique (260 ; 460 ; 660 ;\n<CLM>\1\ts'étendant d'un seul tenant au-dessus de plusieurs capsules présente des ouvertures traversantes situées entre les capsules.\n<CLM>\1\tCapteur (600;\n<CLM>\1\tselon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé 10 en ce que chaque filtre optique (660;\n<CLM>\1\test connecté à une source de courant ou de tension de polarisation (680; 780; 880), pour l'injection d'un courant ou d'une tension adapté(e) à chauffer ledit filtre optique.\n<CLM>\1\tCapteur selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de 15 pilotage (804), agencés pour actionner ladite source de courant ou de tension (880) pendant un intervalle de temps prédéterminé, et en ce que les moyens de lecture (840) sont connectés à des moyens de comparaison (805), pour déterminer une variation de la résistance électrique de la planche bolométrique, entre deux instants prédéterminés. 20\n<CLM>\1\tProcédé d'utilisation d'un capteur (700) selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que les planches bolométriques sont réparties en lignes pour former une matrice de planches bolométriques, et en ce que les filtres optiques (760) forment des lignes chauffantes, chacune au-dessus d'une ligne de planches bolométriques, une lecture des résistances électriques des planches bolométriques étant réalisée ligne par 25 ligne, et un chauffage des filtres optiques étant également réalisé ligne par ligne et de façon synchrone avec la lecture des résistances électriques.