Brevet FR3052298A1 (20171208)
REVENDICATIONS1. Structure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface comprenant une couche utile (10) de matériau piézoélectrique présentant une première face (1) libre et une deuxième face (2) disposée sur un substrat support (20) dont le coefficient de dilatation thermique est inférieur à celui de la couche utile (10), la structure hybride (100) étant caractérisée en ce que la couche utile (10) comprend une zone (30) de nanocavités (31).\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon la revendication précédente, dans laquelle la zone (30) de nanocavités (31) a une épaisseur fonctionnelle comprise entre 50nm et 3 microns.\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la zone (30) de nanocavités (31) se situe à une distance de plus de 50nm de la deuxième face (2) de la couche utile (10).\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle les nanocavités (31) ont, au moins en partie, une dimension maximale comprise entre lnm et 500nm.\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la zone (30) de nanocavités 3052298 23 (31) s'étend dans un plan parallèle à la deuxième face (2) de la couche utile (10).\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes 5 acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le substrat support (20) comprend un matériau choisi parmi le silicium, le verre, la silice, le saphir, l'alumine, le nitrure d'aluminium, le carbure de silicium. 10\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la couche utile (10) comprend un matériau piézoélectrique choisi parmi le tantalate de 15 lithium (LiTa03), le niobate de lithium (LiNb03), le quartz, l'oxyde de zinc (Zn0).\n<CLM>\1\tStructure hybride (100) pour dispositif à ondes acoustiques de surface selon l'une des revendications 20 précédentes, comprenant une couche intermédiaire (40) située entre la deuxième face (2) de la couche utile (10) et le substrat support (20).\n<CLM>\1\tDispositif à ondes acoustiques de surface (200) 25 comprenant une structure hybride (100) selon l'une des revendications précédentes.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (100) pour un dispositif à ondes acoustiques de surface 30 comprenant : a) Une étape de fourniture d'une couche utile (10) de matériau piézoélectrique présentant une première face (1) et une deuxième face (2) ; 3052298 24 b) Une étape de fourniture d'un substrat support (20) présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à celui de la couche utile (10) ; c) Une étape d'assemblage de la deuxième face (2) de la 5 couche utile (10) sur le substrat support (20) ; Le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend une étape d'introduction d'espèces gazeuses dans la couche utile (10) pour former une zone (30) de nanocavités (31). 10\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (100) selon la revendication précédente, dans lequel l'étape d'introduction d'espèces gazeuses comprend au moins une implantation d'ions choisis parmi l'hydrogène, l'hélium, l'argon et autres gaz nobles. 15\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (100) selon l'une des 2 revendications précédentes, comprenant une étape de traitement thermique après l'étape d'introduction d'espèces gazeuses.\n<CLM>\1\tProcédé de fabrication d'une structure hybride (100) selon l'une des 3 revendications précédentes, dans lequel l'introduction d'espèces gazeuses dans la couche utile (10) est réalisée localement par application d'un masque. 20 25