Brevet FR3042092A1 (20170407)
REVENDICATIONS1. Dispositif élémentaire (1) de production d'un plasma, comprenant un applicateur coaxial (2) de puissance micro-onde comprenant une âme centrale (23) conductrice s'étendant selon un axe principal (AP), un blindage (24) externe conducteur entourant ladite âme centrale (23), un milieu de propagation (25) d'une énergie micro-onde situé entre l'âme centrale (23) et le blindage (24), un système de couplage (3) avec un générateur d'énergie micro-onde, ledit système de couplage (3) étant disposé sur le blindage externe (24), où ledit blindage externe (24) présente une extrémité proximale bouchée par un corps isolant (26) en matériau diélectrique transparent à l'énergie micro-onde et présentant une surface externe (27) prévue pour être au contact avec un gaz à exciter localisé à l'intérieur de ladite enceinte (4), ledit dispositif élémentaire (1) étant caractérisé en ce que le corps isolant (26) dépasse extérieurement du blindage (24) selon l'axe principal (AP) et sa surface externe (27) est non plane et saille hors du blindage (24).\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon la revendication 1, dans lequel la surface externe (27) du corps isolant (26) présente un diamètre externe décroissant le long de l'axe principal (AP) en partant du blindage (24) jusqu'à son sommet.\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon la revendication 2, dans lequel la surface externe (27) du corps isolant (26) présente une forme générale tronconique ou hémisphérique.\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon la revendication 3, dans lequel la surface externe (27) du corps isolant (26) présente une forme générale tronconique tronquée à son extrémité et présentant un sommet plat ou arrondi, ou une forme générale tronconique non tronquée à son extrémité et présentant un sommet pointu.\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la surface externe (27) du corps isolant (26) ne présente pas de bord à angle droit. 3042092 11\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'âme centrale (23) présente une extrémité proximale noyée à l'intérieur du corps isolant (26), sans traverser 5 complètement ledit corps isolant (26).\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon la revendication 6, dans lequel l'extrémité proximale de l'âme centrale (23) dépasse du blindage (24) selon l'axe principal (AP). 10\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le corps isolant (26) et le blindage (24) sont de révolution autour de l'axe principal (AP) commun, et le diamètre externe maximal du corps isolant (26) est sensiblement équivalent ou supérieur au 15 diamètre externe du blindage (24).\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le corps isolant (26) présente une surface interne (28) au contact avec le milieu de propagation (25) et traversée par l'âme 20 centrale (23), ladite surface interne (28) étant non plane et non orthogonale par rapport à l'axe principal (AP).\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon la revendication 9, dans lequel la surface interne (28) présente un diamètre externe croissant le long de l'axe 25 principal (AP) selon un sens de déplacement allant d'une extrémité distale (21) de l'applicateur coaxial (2) en direction d'une extrémité proximale (22) bouchée par le corps isolant (26).\n<CLM>\1\tDispositif élémentaire (1) selon les revendications 9 ou 10, dans 30 lequel la surface interne (28) du corps isolant (26) présente une forme générale tronconique.\n<CLM>\1\tInstallation de production d'un plasma comprenant : - une enceinte (4) dans le volume de laquelle le plasma est produit et 35 confiné, ladite enceinte (4) étant délimitée par une cloison (40) ; - au moins un générateur d'énergie micro-onde ; 3042092 12 - au moins un dispositif élémentaire (1) conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, dont le système de couplage (3) est couplé avec ledit générateur d'énergie micro-onde et dont la surface externe (27) du corps isolant (26) pénètre à l'intérieur de l'enceinte (4) au-delà de sa 5 cloison (40).\n<CLM>\1\tInstallation selon la revendication 12, dans lequel le blindage (24) de l'applicateur coaxial (2) soit est constitué d'une pièce rapportée sur l'enceinte (4) et traversant de manière étanche sa cloison (40), soit vient de 10 matière au moins partiellement avec la cloison (40).