Brevet FR3047067A1 (20170728)
REVENDICATIONS1-Système de mesure du débit d'un liquide(3) dans un circuit micro fluidique(17) caractérisé en ce qu'il comporte : -un réservoir(2) partiellement rempli de liquide(3) et surmonté d'un ciel gazeux(4), -des moyens(1) pour maintenir la pression du gaz du ciel gazeux(4) à une valeur prédéterminée P1, -des moyens (8,9,10,12) pour prélever du liquide(3) dans le réservoir(2) et pour le délivrer en sortie(10,12) à une pression P2 inférieure à P1, -des moyens capteurs de pression(13) dont une première entrée(6,7,18) est reliée au ciel gazeux(4) et dont une seconde entrée(19) est reliée à la sortie(10,12) de liquide à pression P2, 15 la sortie(14) des moyens capteurs de pression(13) délivrant un signal(15,\n<CLM>\1\tfonction de la différence des pressions (P1-P2) qui est une mesure représentative du débit de liquide à pression P2 délivré au circuit micro fluidique(17). 2-Système selon la revendication 1, caractérisé en ce que les 20 moyens (8,9,10,12) pour prélever du liquide(3) et le délivrer en sortie(10,12) à une pression P2 comportent une restriction(9). 3-Système selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le signal (15,\n<CLM>\1\tfonction de la différence des pressions (P1-P2) est envoyé vers les moyens(1) de 25 maintien en pression du gaz de manière à contrôler le débit de liquide(3). 4-Système selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que la résistance hydraulique de la restriction est supérieure ou égale à 1,2x10 puissance 10 Pa.s.1:1. 3047067 28 5-Système selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que la restriction est constituée par un tube capillaire (8) de diamètre inférieur à 300 micromètres. 6-Système selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en 5 ce que la restriction est disposée en amont des moyens capteur de pression (13). 7-Système selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les moyens capteurs de pression (13) comprennent notamment un capteur de pression (213) comportant un support 10 (200) muni d'un logement dans lequel sont disposés une membrane (206) déformable associée à des moyens de mesure de la déformation de la membrane (212), la membrane pouvant se déformer sous l'action d'un fluide sous pression, de préférence un liquide, appliqué de préférence sur la surface supérieure (231) de la membrane (206), les moyens de mesure de la déformation de la membrane (212) étant reliés électriquement à des contacts électriques(202,\n<CLM>\1\tpermettant de recueillir un signal électrique fonction de la pression du fluide, caractérisé en ce que la surface supérieure (231) de la membrane (206) délimite dans le logement du support (200) la face inférieure d'une cavité (208) comportant également une face supérieure, cavité dans laquelle débouchent deux canalisations distinctes respectivement d'arrivée (215) et de départ (216) (ou vice-versa) d'un fluide, permettant l'écoulement du fluide au contact de la surface supérieure (231) de la membrane (206), la cavité étant sensiblement dépourvue de tout volume mort de manière à éviter la formation de bulles dans le fluide. 8-Système selon la revendication 7, caractérisé en ce que la membrane déformable est une membrane souple en silicium. 9-Système selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que les moyens de mesure de la déformation de la membrane 3047067 29 (212) comportent des éléments sensibles à la déformation de la membrane tels que des éléments réalisés en matériau piezorésistif. 10-Système selon l'une des revendications 7 à 9, caractérisé en 5 ce qu'il comporte un espace (207) disposé sous la membrane (206) permettant à celle-ci de se déplacer sous l'action de la pression du fluide injecté dans le capteur. 11-Système selon l'une des revendications 7 à 10, caractérisé en ce que les canalisations d'arrivée et de départ de fluide (215, 10\n<CLM>\1\tfont un angle compris entre environ 10° et 90°, de préférence entre 40° et 50°, avec la surface supérieure de la membrane. 12-Système selon l'une des revendications 7 à 11, caractérisé en ce que le volume de la cavité (208) est inférieur à 50 microlitres, 15 de préférence inférieur à 10 microlitres, plus préférentiellement inférieur à 5 microlitres. 13-Système selon l'une des revendications 7 à 12, caractérisé en ce qu'il comporte un joint d'étanchéité (210) disposé latéralement tout autour des parois du logement entre la surface 20 supérieure de la membrane (206) et la face supérieure de la cavité (208). 14-Système selon l'une des revendications 7 à 13, caractérisé en ce le support (200) est traversé par une canalisation d'arrivée (204,207) d'un second fluide dont une première extrémité vient 25 à proximité de la surface inférieure (230) de la membrane (206). 15-Système selon la revendication 14, caractérisé en ce que la seconde extrémité de la canalisation d'arrivée (204,\n<CLM>\1\tsituée du côté opposé à la membrane (206) est munie d'un connecteur fluidique (223) pour la fourniture d'un fluide sous pression, de 30 préférence un gaz. 3047067 30 16-Systéme selon l'une des revendications 7 à 15, caractérisé en ce que le capteur de pression (213) fait partie d'un ensemble de mesure de débit constitué du réservoir (2) muni d'un bouchon (61) dans lequel est intégré le capteur (213) de manière à être 5 solidaire du bouchon (61) celui-ci étant par ailleurs traversé par un capillaire (8) faisant office de restriction, débouchant dans la canalisation d'arrivée de liquide (215) à proximité de la cavité (208). 17-Utilisation de la mesure de la pression P1 d'un gaz 10 maintenant en pression un liquide s'écoulant dans une restriction et sortant de celle-ci à une pression P2 inférieure à P1 pour contrôler le débit de ce liquide.