Brevet FR3038058A1 (20161230)
REVENDICATIONS1. Dispositif (1) de mesure de topographie d'une surface d'un ensemble de systèmes, l'ensemble de systèmes pouvant être disposé dans un porte- échantillon (4), le dispositif (1) comportant : - une enceinte (2) adaptée pour recevoir l'ensemble de systèmes, l'enceinte (2) comprenant une partie transparente (20) dans le domaine visible, - des moyens de chauffage infrarouge (8) agencés dans l'enceinte (2) pour chauffer l'ensemble de systèmes, - des moyens de projection (5) agencés hors de l'enceinte (2) pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface de chaque système et à travers la partie transparente (20) de l'enceinte (2), - des moyens de capture d'image (6) agencés hors de l'enceinte (2) pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système et se propageant à travers la partie transparente (20) de l'enceinte (2), les moyens de capture d'image (6) pouvant être étalonnés par une mire d'étalonnage, le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comporte : - un tiroir (3) de chargement destiné à charger la mire d'étalonnage à l'intérieur de l'enceinte (2) lors d'une phase d'étalonnage, le tiroir (3) étant destiné à charger le porte-échantillon (4) à l'intérieur de l'enceinte (2) lors d'une phase de mesure, - des moyens de guidage (10) agencés pour guider le tiroir (3) dans un plan de guidage (X, Y) entre une première position dans laquelle le tiroir (3) est situé hors de l'enceinte (2), et une deuxième position dans laquelle le tiroir (3) est situé à l'intérieur de l'enceinte (2), - des moyens de déplacement motorisés configurés pour déplacer la mire d'étalonnage suivant une direction (Z'-Z) perpendiculaire au plan de guidage (X, Y) lors de la phase d'étalonnage.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte le porte- échantillon (4), et en ce que le porte-échantillon (4) comporte un ensemble d'ouvertures traversantes (40) ménagées en son sein, chaque ouverture traversante (40) étant destinée à recevoir un système parmi l'ensemble de systèmes. 3038058 15\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 2, caractérisé en ce que le porte-échantillon (4) présente une surface plane (41) définie par une première direction (X'-X) et une deuxième direction (Y'-Y) perpendiculaire à la première direction (X'-X), et en 5 ce que l'ensemble d'ouvertures traversantes (40) forme des motifs régulièrement espacés suivant la première direction (X'-X) et suivant la deuxième direction (Y'- Y).\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que le porte- 10 échantillon (4) comporte un évidement (42) s'étendant sur le pourtour de chaque ouverture traversante (40), l'évidement (42) étant conformé pour maintenir en position le système reçu dans l'ouverture traversante (40) correspondante.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le 15 porte-échantillon (4) est réalisé dans un matériau sélectionné dans le groupe comportant un métal, une céramique, le graphite et le quartz.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte des organes de butée contre lesquels vient en butée le tiroir (3) dans la 20 deuxième position.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les moyens de déplacement motorisés sont configurés pour déplacer le tiroir (3) suivant la direction (Z'-Z) perpendiculaire au plan de guidage (X, Y), et en ce que 25 le tiroir (3) est destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage, les moyens de déplacement motorisés comportant de préférence deux moteurs synchrones (M1, M2) agencés de part et d'autre du tiroir (3).\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il 30 comporte un porte-outils (9) destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage, le porte-outils (9) étant destiné à recevoir le porte-échantillon (4) lors de la phase de mesure, et en ce que les moyens de déplacement 3038058 16 motorisés sont configurés pour déplacer le porte-outils (9) suivant la direction (Z'- Z) perpendiculaire au plan de guidage (X, Y).\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens de 5 déplacement motorisés comportent trois moteurs synchrones (M1, M2, M3), et en ce que le porte-outils (9) est monté sur les trois moteurs synchrones (M1, M2, M3) en appui du type trait-point-plan.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que 10 l'enceinte (2) comporte une partie mobile (24) entre : - une position ouverte dans laquelle elle autorise le déplacement du tiroir (3) de la première position vers la deuxième position, et réciproquement, et - une position fermée dans laquelle elle obture l'enceinte (2), et en ce que le tiroir (3) est monté solidaire de la partie mobile (24) de l'enceinte 15 (2) de sorte que le tiroir (3) est déplacé dans la première position lorsque ladite partie mobile (24) est déplacée dans la position ouverte, et de sorte que le tiroir (3) est déplacé dans la deuxième position lorsque ladite partie mobile (24) est déplacée dans la position fermée. 20\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il comporte un automate configuré pour charger ou décharger le porte-échantillon (4) lorsque le tiroir (3) est dans la première position.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon la revendication 11 en combinaison avec la revendication 25 10, caractérisé en ce que l'automate est configuré pour déplacer la partie mobile (24) de l'enceinte (2) de la position ouverte vers la position fermée et réciproquement.\n<CLM>\1\tDispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que les 30 moyens de guidage comportent deux glissières (10) agencées de part et d'autre du tiroir (3), et en ce que le dispositif (1) comporte une surface d'appui (11) s'étendant le long de chaque glissière (10), la surface d'appui (11) étant conformée pour supporter un bord latéral du porte-échantillon (4).