Brevet FR3046801A1 (20170721)
REVENDICATIONS1. Procédé d'élimination d'un dépôt métallique (2) disposé sur une surface (5) dans une enceinte (1), ledit procédé comprenant la mise en oeuvre répétée d'une séquence comprenant : a) une première phase d'injection d'espèces chimiques adaptées pour oxyder ledit dépôt métallique (2) ; b) une seconde phase d'injection d'espèces chimiques adaptées pour volatiliser le dépôt métallique oxydé, ladite seconde phase b) étant mise en oeuvre après la première phase a).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1, dans lequel, lors de la phase b), les espèces chimiques sont injectées en quantité sous-stoechiométrique par rapport à la quantité du dépôt métallique oxydé lors de la phase a).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la séquence comprend une phase entre la phase a) et la phase b) pendant laquelle aucune espèce chimique n'est injectée dans l'enceinte.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la séquence comprend une phase de purge au moins partielle de l'enceinte entre la phase a) et la phase b).\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 4, comprenant, entre deux séquences consécutives, une étape dans laquelle aucune espèce chimique n'est injectée dans l'enceinte et/ou une purge au moins partielle de l'enceinte est réalisée.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel l'enceinte (1) est maintenue à une température comprise entre 20 et 250°C, de préférence entre 20 et 150°C. 3046801 17\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la phase a) comprend l'injection d'au moins une des espèces oxydantes suivantes : oxygène, ozone, protoxyde d'azote. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les espèces chimiques injectées pendant la phase b) comprennent de l'hexafluoroacetylacetone.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel les espèces 10 chimiques injectées pendant la phase a) et/ou pendant la phase b) sont activées par plasma.\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel le dépôt métallique (2) comprend au moins un des éléments suivants : Cuivre, Titane, Tantale, 15 Ruthénium, Zinc, Zirconium, Vanadium, Argent, Or, Chrome.\n<CLM>\1\tProcédé de nettoyage de résidus métalliques (2) disposés sur les parois intérieures d'une chambre de dépôt (1), dans lequel on élimine lesdits résidus au moyen du procédé selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t20\n<CLM>\1\tProcédé de gravure d'un dépôt métallique (2) déposé en excès sur une surface (5), dans lequel on élimine au moins une partie dudit dépôt métallique au moyen du procédé selon l'une des revendications 1 à\n<CLM>\1\t25\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que préalablement à la première séquence de phases a) et b), un masque (7) est apposé de manière localisée sur le dépôt métallique (2).\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend les 30 étapes suivantes : le masque (7) est apposé sur chaque région du dépôt métallique (2) à conserver ; 3046801 18 la séquence de phases a) et b) est mise en oeuvre à une ou plusieurs reprises pour éliminer l'excès du dépôt métallique (2) dans chaque région non recouverte par le masque. 5\n<CLM>\1\tProcédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : le masque (7) est apposé sur chaque région du dépôt métallique (2) à graver ; des espèces chimiques adaptées pour passiver le dépôt métallique (2) 10 dans chaque région non recouverte par le masque sont injectées ; le masque (7) est retiré ; la séquence des phases a) et b) est mise en oeuvre à une ou plusieurs reprises pour éliminer l'excès du dépôt métallique (2) dans chaque région préalablement recouverte par le masque. 15\n<CLM>\1\tProcédé selon l'une des revendications 12 à 15, caractérisé en ce que la séquence de phases a) et b) est répétée autant de fois que nécessaire pour éliminer l'excès du dépôt métallique (2).