FR 3069739 A1 20190201 FR 1757122 A 20170727 DISPOSITIF D'ACTIONNEMENT AMPLIFICATEUR DE MOUVEMENT DOMAINE TECHNIQUE DE L'INVENTION L'invention porte sur les dispositifs d'actionnement amplifiés, plus précisément des dispositifs miniaturisés, occupant un volume de l'ordre de la 5 dizaine de millimètres cube. L'invention peut trouver de nombreuses applications, notamment pour actionner une plateforme. Cette plateforme peut accueillir un miroir pour réfléchir un faisceau laser. Le faisceau laser pour être ainsi utilisé pour le marquage et/ou la gravure laser, pour le scan 3D, dans le domaine de la (micro)robotique (vision par 10 laser par exemple), dans le domaine des télécommunications (par exemple pour un atténuateur optique variable ou un commutateur optique), ou pour des applications médicales (chirurgie endoscopique peu invasive, exploration optique avec ou sans biopsie ...). L'invention a été précisément développée pour la microchirurgie par 15 laser des cordes vocales, ou phono-chirurgie, avec pour objectif de guider un faisceau laser de manière précise vers les cordes vocales. La phono-chirurgie ainsi appelée est définie comme suit : « toutes les procédures chirurgicales qui maintiennent, rétablissent ou améliorent la voix humaine », ou encore « la science de manipuler les éléments vibratoires du larynx afin de restaurer la fonction 20 vocale ». Cela implique l'excision de la masse tissulaire qui pourrait être une masse bénigne ou une lésion cancéreuse. Dans la pharmacie chirurgicale au laser, l'utilisation du scalpel est remplacée par l'utilisation de technologies laser. Bien qu'il existe une variété de technologies laser, la méthodologie traditionnelle répandue pour le contrôle à distance du laser chirurgical est un 25 manipulateur mécanique, avec un microscope chirurgical positionné de manière à visualiser les cordes vocales à traiter, comme illustré en figure 1. Ce manipulateur mécanique ainsi que la source laser sont situés à environ 400 mm des cordes vocales. Cependant, plusieurs des difficultés associées à l'utilisation de ce manipulateur mécanique classique sont liées à l'ergonomie du dispositif. En 30 conséquence, le clinicien n'a pas de moyens pratiques pour stabiliser sa main tout en effectuant les mouvements précis et délicats nécessaires pour orienter de façon précise et constante le laser chirurgical. Ainsi, il existe un risque élevé considérable de brûler des tissus sains. En outre, il existe des parties des cordes vocales qui ne sont pas accessibles. 2 Plus récemment, ont été développés des systèmes chirurgicaux téléopérés basé sur un microrobot en tant que système terminal d'un endoscope souple réglable (ou laryngoscope souple dans le cas des cordes vocales) pour insérer le microrobot et des caméras à l'intérieur du corps du patient, éliminant le besoin du microscope chirurgical, et permettant d'accéder aux zones non accessibles par la technique précédente. Ces nouveaux systèmes de microchirurgies laser offrent une meilleure accessibilité et une meilleure précision que les systèmes précédents. Il existe par exemple des systèmes endoscopiques mettant en oeuvre la diffraction d'un laser, à l'aide de prismes ou de lentilles. Cependant, les systèmes existants ne présentent pas un angle suffisant pour atteindre l'ensemble des cordes vocales : la direction du faisceau laser qui est gérée par réfraction (en utilisant des prismes et des lentilles) a des plages angulaires modestes (environ 2 degrés). En outre, ils ne permettent pas de délivrer un diamètre uniforme, en 15 effet, par réfraction, le diamètre du spot laser sur les cordes vocales change selon la direction de réfraction. Enfin ils ne permettent pas d'avoir un contrôle précis de la position du laser : en effet, pour avoir un contrôle précis de la position du laser, il faut en général pouvoir apercevoir la position du spot laser au niveau des cordes vocales. 20 Cependant, les lasers chirurgicaux sont tous invisibles à l'oeil nu (soit ultraviolet soit infrarouge). Pour remédier à cela, on utilise un laser visible qui vient s'aligner à la direction du laser invisible. Cependant un nouveau problème apparaît : on fait passer les deux tirs lasers à travers des prismes pour les guider or les prismes prennent en compte la longueur d'onde de la lumière qui passe à travers lui pour la 25 dévier. Ici, les deux lasers que l'on veut aligner n'ont pas la même longueur d'onde et ne sont donc pas guidés de la même façon par le prisme. On ne verra donc pas la zone exacte où le laser invisible opère. Les inventeurs ont donc préféré opter pour un système basé sur la réflexion d'un laser à l'aide d'un miroir. Le faisceau laser est réfléchi par un miroir 30 plan situé sur la plateforme d'un microrobot. Dans la configuration idéale, le faisceau laser sera amené par une fibre optique de l'extérieur jusqu'à l'extrémité distale du laryngoscope. Dans ce cas, un miroir est placé afin de focaliser le faisceau laser et, en même temps, de le refléter sur la plateforme du microrobot. Sur la plateforme, un miroir plan reflète ce faisceau laser sur les cordes vocales. 3 L'orientation du miroir plan est guidée par le microrobot et elle est réalisée par une commande à distance. Ainsi, le microrobot dirige le laser sur les cordes vocales. Ainsi, l'objectif est de développer un robot complexe apte à répondre aux nombreuses contraintes qu'une telle intervention chirurgicale soulève. En 5 particulier, le robot devait répondre aux critères suivants : deux degrés de liberté au moins pour pouvoir intervenir sur l'ensemble des cordes vocales ; distance entre la tête du laryngoscope souple et les cordes vocales de 20 mm, impliquant une portée minimale à développer par le 10 faisceau laser est de ± 25° pour chaque axe (envircn un cercle de 20 mm de diamètre), ce qui correspond à une plage angulaire de ± 12,5° pour chaque axe de rotation du miroir ; résolution du balayage laser sur la corde vocale meilleure que 100 pm, et ce pour ne pas risquer d'abimer des cellules saines en traitant des cellules malignes : cela équivaut à environ 0,15° de résolution dans chaque angle de rotation du miroir à la distance de référence de 20 mm ; bande passante d'environ 200Hz au moins : la vitesse de déplacement du faisceau et donc du miroir soit être suffisante pour ne pas risquer d'endommager les tissus sains des cordes vocales ; en effet, le laser étant un système d'ablation de cellules à traiter et ayant une puissance élevée, il ne doit pas rester longtemps au même endroit pour ne pas abîmer les cellules voisines qui pourraient être des cellules saines ; un temps de passage maximum doit donc être respecté exprimé sous la forme d'une bande passante minimum ; biocompatibilité : comme le laryngoscope flexible et la tête qui renferme le microrobot visent à travailler dans des espaces in vivo, l'appareil doit utiliser des matériaux soit biocompatibles, soit protégés par des matériaux biocompatibles pour s'assurer qu'il ne soit pas en contact avec les tissus humains ; système de mise au point : pour permettre une bonne détection du spot laser par les caméras et permettre une bonne résolution sur les cordes vocales, son diamètre spécifié est de 200 lm ; taille du microrobot : il doit être inclus dans un cube inférieur à 10 x 10 x 10 mm3. 4 Ce robot complexe doit remplir a minima les deux fonctions que sont : la fonction d'orientation du miroir selon deux axes de rotation et dans la plage angulaire recherchée, et la fonction d'actionnement à distance desdites rotations pour atteindre la plage angulaire recherchée, avec une précision (résolution) et une 5 vitesse minimale de déplacement (bande passante) respectant les critères sus mentionnés. L'invention concerne la seconde fonction, c'est-à-dire à la fonction d'actionnement à distance desdites rotations. Ainsi l'objectif est de disposer d'un dispositif d'actionnement qui 10 permette d'actionner un objet selon une amplitude minimum donnée, en précision et en vitesse, ce dispositif d'actionnement devant être inclus dans un cube inférieur à 10 x 10 x 10 mm3. ETAT DE LA TECHNIQUE 15 Les dispositifs d'actionnement (ou actionneurs) transforment un type d'énergie électrique, thermique, magnétique ou autre en mouvements ou en charges mécaniques. Les actionneurs sont des composants clés de la robotique. Habituellement, dans les micro-mécanismes, le mot utilisé pour désigner un actionneur est le «micro-actionneur». Les micro-actionneurs sont souvent constitués 20 de matériaux actifs ou intelligents qui doivent fournir typiquement une résolution micrométrique ou submicrométrique. Les matériaux actifs ont des caractéristiques recherchées telles que la haute résolution et/ou la bande passante élevée. En outre, la plupart d'entre eux peuvent être utilisés également comme détecteurs ou capteurs. 25 Les dimensions d'un micro-actionneur sont généralement inférieures à 10 mm. Les micro-actionneurs les plus adaptés aux critères sus-mentionnés sont des micro-actionneurs piézoélectriques. On utilise le phénomène de piézoélectricité qui fait apparaître des charges électriques sur les surfaces d'un 30 matériau lorsqu'il est exposé à une charge mécanique - c'est ce qu'on appelle l'effet piézoélectrique direct - et inversement une déformation est obtenue lorsqu'un champ électrique est appliqué. C'est cet effet inverse qui est exploité pour un actionneur. Les micro-actionneurs piézoélectriques offrent une haute résolution 35 (jusqu'à quelques nanomètres), une bande passante élevée (jusqu'à des dizaines 5 ou centaines de kilohertz) et une densité de force élevée par rapport à d'autres matériaux intelligents, ce qui les rend adaptés pour la conception de micro-actionneurs. Comme illustré en figures 2a, 2b et 2c, ce sont des structures 90 de 5 section rectangulaire, préférentiellement config urées en porte-à-faux. Ces structures comprennent différentes couches ou lames collées l'une contre l'autre, on parle aussi de structure bilame lorsqu'il y a deux lames. Ces structures comprennent une couche active 91, comprenant un matériau piézoélectrique, la couche active 91 étant prise entre deux électrodes 94, 10 95 aptes à exciter le matériau piézoélectrique actif. Dans ce cas, on parle de structure unimorphe (figure 2b). Une structure unimorphe peuvent comprendre une couche supplémentaire, dite couche passive, qui peut être une couche d'un matériau souple ou flexible, et qui peut être fixée contre une des électrodes. Dans une structure 15 unimorphe, une couche passive permet de générer la courbure exploitable de la poutre lors de l'alimentation de la couche active. Cette couche passive peut être conductrice et fonctionner comme électrode. Ces structures peuvent comprendre plusieurs couches actives, par exemple. On parle de structure bimorphe s'il y a au moins deux couches actives 91, 20 92 (figure 2a). Chaque couche active 91, 92 est prise entre deux électrodes 94, 95, 96 aptes à exciter le matériau piézoélectrique actif. Les poutres bimorphes permettent de plus grands déplacements. On parle plus généralement de structure multimorphe s'il y a deux ou plus de couches actives. Une structure multimorphe peut également comprendre une couche 25 supplémentaire, dite couche passive. La couche passive dans une structure multimorphe aide à augmenter la rigidité de la structure. Des moyens 150 doivent être prévus pour alimenter électriquement les électrodes et exciter les matériaux piézoélectriques. Une telle structure 90 peut être nommée : poutre piézoélectrique, ou 30 poutre comprenant un élément piézoélectrique. Pour être configurée en porte-à-faux, comme illustré en figure 2c, l'une des extrémités 90a de la poutre 90 est fixée, et l'autre 90a décrit un mouvement de flexion de part et d'autre d'une position de référence dite position de repos. Une poutre piézoélectrique peut ainsi fléchir autour de ladite position de repos, jusqu'à 35 un angle maximum a'x correspondant à une amplitude de flexion d'environ 150 à 6 200 lm pour une poutre de 10mm x 2mm x 0,3mm d'un matériau piézoélectrique PZT-5A, et en structure bimorphe. L'amplitude du mouvement de flexion (ou l'angle a'x) est fonction de - la dimension de la poutre (de la longueur et de son l'épaisseur ; la 5 largeur permettant plutôt de dimensionner la force applicable) ; - la morphologie de la poutre (unimorphe, bimorphe ...) - la tension appliquée entre les électrodes. Plus l'amplitude du mouvement de flexion (ou l'angle a'x) recherchée sera grande, plus la vitesse (ou la fréquence) de mouvement faible et inversement. 10 En d'autres termes, les micro-actionneurs connus ne répondent pas à la double contrainte d'amplitude et de vitesse (ou de fréquence). Or il est recherché des amplitudes d'ordre millimétrique, tout en minimisant les dimensions de la poutre et la tension appliquée, ceci en gardant une bonne dynamique de mouvement de la poutre. 15 Il a donc été recherché des amplificateurs de mouvement. Le brevet FR2850218 décrit un actionneur piézoélectrique à déplacement amplifié comprenant un amplificateur mécanique de déplacement relié à une charge et à une base, et présentant une forme de coquille en ellipse réalisée 20 dans un matériau élastique déformable, et des éléments piézoélectriques montés à l'intérieur de ladite coquille dans la direction du grand axe de la coquille, et excités électriquement pour produire une déformation longitudinale dudit grand axe et induire une déformation du petit axe destinée à générer à l'interface avec la charge un déplacement dont la composante le long du petit axe est amplifié. 25 Le brevet précité met en oeuvre des actionneurs piézoélectriques de type stack, c'est-à-dire utilisant une autre forme d'actionnement piézoélectrique. Les actionneurs piézoélectriques stacks n'utilisent pas l'effet bilame, mais un déplacement directement obtenu par la déformation du matériau piézoélectrique. Les dimensions des stacks sont relativement grandes, et les déplacements générés 30 sont très faibles, toutefois ils ont une force beaucoup plus grande que les poutres bilames. Ils ont pour but d'améliorer les capacités d'amortissement d'un actionneur piézoélectrique et sa tenue aux efforts extérieurs dynamiques. En outre l'actionneur piézoélectrique à déplacement amplifié selon ce brevet est un système contraint en termes d'amplitude et de vitesse de déplacement 35 de par sa structure en coquille. 7 Il existe donc un réel besoin de disposer d'un dispositif d'actionnement, notamment d'un micro-actionneur présentant à la fois une grande vitesse de déplacement (par exemple une vitesse correspondant à un temps de réponse de 1ms) et une amplitude de flexion importante (par exemple de l'ordre du mm), c'est-à-dire beaucoup plus que ne le permettent les micro-actionneurs connus. En outre, les amplitudes délivrées doivent également être précises et doivent pouvoir être maîtrisées avec une précision par exemple de l'ordre de 50 lm pour 1 mm. 10 EXPOSE DE L'INVENTION Pour résoudre le problème précité, l'invention a pour objet un dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement caractérisé en ce qu'il comprend : - une première poutre comprenant un élément piézoélectrique, apte à fléchir selon un axe principal lorsqu'une tension lui est appliquée et apte 15 à être attachée en une première extrémité à un premier point fixe ; - une seconde poutre comprenant un élément piézoélectrique, apte à fléchir selon ledit axe principal lorsqu'une tension lui est appliquée, et présentant une première extrémité et une seconde extrémité ; - une première articulation comprenant 20 - une première partie flexible selon un premier axe perpendiculaire à l'axe principal et reliée à la première poutre en une seconde extrémité de ladite première poutre, - une deuxième partie flexible selon un second axe perpendiculaire à l'axe principal et reliée à la seconde poutre en la première extrémité 25 de ladite seconde poutre, - une première partie rigide reliant les première et deuxième parties flexibles, - une seconde partie rigide apte à être positionnée contre un deuxième point fixe, 30 - une troisième partie flexible selon un troisième axe perpendiculaire à l'axe principal reliant la seconde poutre à la seconde partie rigide en un point de pivot de ladite seconde poutre, de sorte que l'ensemble formé par la seconde partie rigide et la seconde poutre forme un levier autour dudit point de pivot, 8 lesdites parties flexibles et rigides étant les parties d'une pièce d'un seul tenant. Par « articulation », il faut comprendre un moyen d'assemblage de deux poutres qui permette une articulation selon un ou deux degrés de liberté. Cette 5 articulation permet que les mouvements des poutres soient amplifiés. Le dispositif est configuré de telle sorte que les effets cumulés de la flexion reçue par le segment compris entre le point de pivot et la première extrémité de la seconde poutre et de la flexion de ladite seconde poutre lorsqu'une tension lui est appliquée génère un mouvement de flexion amplifié au segment compris entre 10 le point de pivot et la première extrémité de ladite seconde poutre. La première extrémité de ladite seconde poutre est une extrémité libre, qui peut être reliée à un système à actionner. Selon un mode de réalisation préférentiel, le dispositif d'actionnement 15 amplificateur de mouvement comprend en outre : - une troisième poutre comprenant un élément piézo-électrique, apte à fléchir selon l'axe principal lorsqu'une tension lui est appliquée, et présentant une première extrémité et une seconde extrémité ; - une seconde articulation comprenant : 20 - une première partie flexible selon un axe perpendiculaire à l'axe principal et reliée à la seconde poutre en la seconde extrémité de ladite seconde poutre, - une deuxième partie flexible selon un axe perpendiculaire à l'axe principal et reliée à la troisième poutre en la première extrémité de 25 ladite troisième poutre, - une première partie rigide reliant les première et deuxième parties flexibles, - une seconde partie rigide apte à être positionnée contre un troisième point fixe, 30 - une troisième partie flexible selon un troisième axe perpendiculaire à l'axe principal reliant la troisième poutre à la seconde partie rigide en un point de pivot de ladite troisième poutre, de sorte que l'ensemble formé par la seconde partie rigide et la seconde poutre forme un levier autour dudit point de pivot, 9 lesdites parties flexibles et rigides étant les parties d'une pièce d'un seul tenant. Dans cette configuration, trois poutres sont reliées entre elles par deux articulations à une ou deux degrés de liberté. 5 Dans cette configuration, la troisième poutre présente une première extrémité libre, qui peut reliée à un système à actionner. Cette configuration est particulièrement intéressante en ce qu'elle permet d'amplifier la flexion reçue par la troisième poutre, la deuxième poutre formant amplificateur intermédiaire. 10 Selon un mode de réalisation, le dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement comprend : - une première poutre comprenant un élément piézoélectrique, et étant apte à fléchir selon un axe principal lorsqu'une tension lui est appliquée, 15 et apte à être attachée en une première extrémité à un premier point fixe; - N autres poutres, N étant supérieur ou égal à 2 et M variant entre 2 et N, chaque M-ième poutre comprenant un élément piézo-électrique, et étant apte à fléchir selon l'axe principal lorsqu'une tension lui est appliquée, et présentant une première extrémité et une seconde extrémité ; la N-ième 20 poutre présentant une seconde extrémité libre ; - X articulations, X étant égal à N-1 et Y étant égal à M-1, chaque Y-ième articulation comprenant : - une première partie flexible selon un axe perpendiculaire à l'axe principal et reliée à la Y-ième poutre en la seconde extrémité de 25 ladite Y-iènne poutre, - une deuxième partie flexible selon un axe perpendiculaire à l'axe principal et reliée à la M-ième poutre en la première extrémité de ladite M-ième poutre, - une première partie rigide reliant les première et deuxième parties 30 flexibles, - une seconde partie rigide apte à être positionnée contre un M-ième point fixe, - une troisième partie flexible selon un axe perpendiculaire à l'axe principal reliant la M-ième poutre à la seconde partie rigide en un 35 point de pivot de ladite M-ième poutre, de sorte que l'ensemble formé 10 par la seconde partie rigide et la M-ième poutre forme un levier autour dudit point de pivot. Dans cette configuration, plusieurs poutres sont reliées entre elles par 5 une triple articulation à une ou deux degrés de liberté. Dans cette configuration, la première poutre est reliée en une première extrémité à un point fixe et la N-ième poutre présente une première extrémité libre. Ladite extrémité libre de la N-ième poutre peut être reliée à un système à actionner. 10 Cette configuration est encore plus particulièrement intéressante en ce qu'elle permet d'amplifier la flexion reçue par la dernière poutre. En outre, il peut être envisagé de réaliser des câblages communs, même si le système perd un degré de liberté en actionnement. Il peut également être envisagé de ne pas actionner certaines poutres 15 qui conservent une capacité mécanique d'amplification. En actionnant ou pas certaines poutres de la structure active, il pourrait être possible de gérer et/ou d'affiner la précision, le temps de réponse et/ou l'amplitude de flexion. Selon un mode de réalisation, une Y-ième articulation comprend en 20 outre une troisième et une quatrième parties rigides formant avec les autres parties de ladite articulation une pièce d'un seul tenant : - la troisième partie rigide formant la liaison entre la première partie flexible de ladite Y-ième articulation et la Y-ième poutre, - la quatrième partie rigide formant la liaison entre la deuxième partie 25 flexible de ladite Y-ième articulation avec la M-ième poutre. Selon un mode de réalisation les parties flexibles d'au moins une Y-ième articulation présentent des axes d'articulation parallèles entre eux et perpendiculaires à l'axe principal. Selon un mode de réalisation, l'élément piézoélectrique comprend du 30 titanate de zirconate au plomb. Le titanate de zirconate au plomb (PZT) est un matériau piézoélectrique, qui est avantageux car sa biocompatibilité a été prouvée sous certaines conditions. Selon un mode de réalisation, une poutre présente une structure bimorphe. Elle comprend dans ce cas deux éléments piézoélectriques. Cela permet 35 d'avoir de plus amples flexions sur une poutre. 11 L'invention concerne également un microrobot à cinématique parallèle sphérique à deux degrés de liberté comprenant : - un dispositif d'orientation sphérique à deux degrés de liberté comprenant 5 une plateforme à orienter selon un premier et un second axes de rotation par rapport à une base fixe, et un premier et un second bras d'actionnement ; - un premier et un deuxième dispositifs d'actionnement amplificateur de mouvement selon l'invention ; 10 - le premier dispositif d'actionnement étant connecté au premier bras d'actionnement de manière à lui transmettre un premier mouvement de translation relativement à la base fixe de sorte à entrainer la plateforme en rotation selon le premier axe de rotation, 15 - et le deuxième dispositif d'actionnement étant connecté au second bras d'actionnement de manière à lui transmettre un second mouvement de translation relativement à la base fixe de sorte à entrainer la plateforme en rotation selon le second axe de rotation. 20 Selon un mode de réalisation, le dispositif d'orientation est un d'orientation sphérique à deux degrés de liberté reliant une plateforme à deux points de fixation d'une base fixe de manière à pouvoir orienter ladite plateforme dans l'espace par rotation autour d'un premier axe et d'un second axe, ces deux axes étant sensiblement perpendiculaires et se croisant en un centre de mouvement 25 sphérique situé dans ledit organe à orienter, comprenant : - un premier bras d'actionnement configuré pour effectuer un mouvement de translation relativement à la base fixe et apte à appliquer à un premier bras de transmission, relié à un premier point de fixation de la base fixe par une liaison flexible articulée selon le premier axe, un mouvement de 30 rotation relativement à ladite base fixe de manière à transmettre à la plateforme un mouvement de rotation selon ledit premier axe ; - un bras intermédiaire relié au premier bras de transmission par une liaison flexible articulée autour d'un troisième axe, perpendiculaire aux premier et second axes, et relié à la plateforme par une liaison flexible, 12 de manière à transmettre à la plateforme un mouvement de rotation selon le premier axe ; - un second bras d'actionnement configuré pour effectuer un mouvement de translation relativement à la base fixe et apte à appliquer à un second 5 bras de transmission, relié à un second point de fixation de la base fixe par une liaison flexible articulée selon le second axe, un mouvement de rotation relativement à ladite base fixe de manière à appliquer sur la plateforme un mouvement de rotation selon ledit second axe, ledit bras étant relié à la plateforme par une liaison flexible articulée selon le 10 premier axe, de manière à ne pas entrainer ledit second bras de transmission en rotation selon le premier axe lors de l'actionnement du premier bras d'actionnement ; la liaison entre la plateforme et le bras intermédiaire étant articulée selon l'axe de manière à ne pas entrainer ledit bras intermédiaire en rotation selon 15 le second axe lors de l'actionnement du second bras d'actionnement ; et les bras, les liaisons flexibles et la plateforme formant les parties d'une pièce formée en un seul tenant formant le dispositif, les bras et la plateforme étant des parties rigides du dispositif, et les liaisons flexibles étant des parties flexibles formant chacune une charnière selon un seul des premier, 20 second et troisième axes, et reliant lesdites parties rigides entre elles, à la base fixe. Selon un mode de réalisation, les parties rigides comprennent une couche centrale d'un matériau flexible, tel un polyimide, prise en sandwich entre deux couches d'un matériau rigide, telle de la fibre de carbone, les liaisons flexibles 25 étant composées de la couche centrale. Selon un mode de réalisation, un ou des bras de transmission et/ou du bras intermédiaire forment un arc de cercle. Selon un mode de réalisation, le dispositif d'orientation sphérique comprend en outre une liaison flexible articulée autour d'un axe parallèle au premier 30 axe et disposée entre le premier bras d'actionnement et le premier bras de transmission, et formant avec les bras, les liaisons flexibles et la plateforme une pièce d'un seul tenant. Selon un mode de réalisation, le premier bras d'actionnement comprend une première partie apte à être couplée au dispositif d'actionnement selon 35 l'invention et une seconde partie reliée au premier bras de transmission par une 13 liaison flexible articulée autour d'un axe parallèle au premier axe, les lesdites parties première et seconde parties étant reliées par une liaison flexible articulée selon un axe parallèle au premier axe et formant avec les bras, les liaisons flexibles et la plateforme une pièce d'un seul tenant. 5 Selon un mode de réalisation, le dispositif d'orientation sphérique comprend en outre une liaison flexible reliant le second bras d'actionnement et le second bras de transmission, articulée autour d'un axe parallèle au second axe et formant avec les bras, les liaisons flexibles et la plateforme une pièce d'un seul tenant. 10 Selon un mode de réalisation, le dispositif d'orientation sphérique comprend en outre une double liaison flexible de type cardan reliant le second bras d'actionnement et le second bras de transmission, articulée autour d'un axe parallèle au premier axe et d'un axe parallèle au second axe, et formant avec les bras, les liaisons flexibles et la plateforme une pièce d'un seul tenant. 15 Selon un mode de réalisation, le second bras d'actionnement comprend une première partie apte à être couplée à un dispositif d'actionnement selon l'invention et une seconde partie reliée au second bras de transmission par une simple liaison flexible simple ou une double liaison flexible, les première et seconde parties étant reliées une double liaison flexible de type cardan articulée autour d'un 20 axe parallèle au premier axe et d'un axe parallèle au second axe, et formant avec les bras, les liaisons flexibles et la plateforme une pièce d'un seul tenant. Selon un mode de réalisation, la plateforme du dispositif d'orientation sphérique supporte un miroir. Selon un mode de réalisation particulier, le miroir est disposé de 25 manière à réfléchir un faisceau laser. Selon un mode de réalisation, le microrobot comprend en outre un dispositif de visualisation d'un spot du faisceau laser positionné sur une surface. DESCRIPTION DES FIGURES 30 L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre et qui est donnée à titre non limitative et grâce aux figures suivantes annexées : - la figure 1 illustre une méthode de microchirurgie laser selon l'état de la technique 14 - les figures 2a, 2b et 2c illustrent des structures piézoélectriques bimorphe ou unimorphe connues de l'état de la technique ; - les figures 3a et 3b schématisent deux exemples de dispositif d'actionnement selon l'invention en vue 3D, le premier avec deux 5 poutres et le second avec trois poutres ; - les figures 4a et 4b schématisent les deux mêmes exemples de dispositif d'actionnement, avec leurs mouvements de flexion amplifiés en vue 2D, le premier avec deux poutres et le second avec trois poutres ; 10 - la figure 5 illustre le détail d'une partie flexible entre deux parties rigides d'un dispositif d'actionnement selon l'invention ; - les figures 6a et 6b illustrent le dimensionnement d'une partie flexible entre deux parties rigides illustré en figure 5 ; - les figures 7a, 7b, 7c, 7d et 7e illustrent un exemple de procédé de 15 fabrication du détail illustré en figure 5 ; - les figures 8a, 8b et 8c présentent des articulations selon l'invention ; - les figures 9a, 9b illustrent un exemple d'un dispositif d'actionnement selon l'invention, en vue 3D selon deux angles différents ; - la figure 10 illustre un exemple de dispositif d'actionnement selon 20 l'invention, en vue 2D ; - les figures 11a, 11b illustrent un exemple de microrobot selon l'invention, sans support et selon deux vues différentes en 3D ;* - les figures 11c, 11d illustrent un exemple de microrobot selon l'invention, avec support et selon deux vues différentes en 3D; 25 - la figure 12 illustre un premier exemple d'application du microrobot selon l'invention ; - la figure 13 illustre un second exemple d'application du microrobot selon l'invention. Les dessins sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de 30 l'invention. Ils constituent des représentations schématiques de principe destinées à faciliter la compréhension de l'invention et ne sont pas nécessairement à l'échelle des applications pratiques. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS 35 15 La figure 1 illustre une méthode de microchirurgie laser selon l'état de la technique qui a été décrite en introduction de la présente demande et ne sera pas reprise ici. 5 Les figures 2a, 2b et 2c qui illustrent des exemples de poutres piézoélectriques bimorphe ou unimorphe connues de l'état de la technique ont été décrites en introduction de la présente demande et ne seront pas reprises ici. Les figures 3a et 3b fournissent des schémas de principe de deux 10 dispositifs d'actionnement selon l'invention en vue 3D, le premier avec deux poutres et le second avec trois poutres. Elles seront décrites en même temps que les figures 4a et 4b qui schématisent les deux mêmes exemples, et indiquent en outre les mouvements de flexion en vue 2D. Ces figures sont des vues cinématiques. Le dispositif d'actionnement représenté en figures 3a et 4a comprend 15 une première poutre piézoélectrique 101 apte à fléchir selon un axe principal 124 lorsqu'une tension lui est appliquée et attachée en une première extrémité 101a à un point fixe 111, et une seconde poutre piézoélectrique 102 également apte à fléchir selon l'axe principal 124 lorsqu'une tension lui est appliquée. Une seconde extrémité 102b de la seconde poutre 102 est laissée libre, une première extrémité 20 102a de la seconde poutre 102 est reliée à la première poutre 101 par l'intermédiaire d'une première articulation 131. Ainsi, le dispositif d'actionnement 100 comprend une première articulation 131 à un ou deux degrés de liberté relie les première et deuxième poutres 101 et 102. Elle permet également de positionner la deuxième poutre 102 25 contre un point fixe 112, ce qui permet d'obtenir un effet de levier au niveau d'un point 102c de la deuxième poutre 102. Dans l'exemple représenté, la première articulation 131 ne comprend qu'un degré de liberté. Autrement dit, elle ne permet une rotation entre les poutres 101 et 102 que selon un axe, dans cet exemple l'axe 122 perpendiculaire à l'axe 30 principal 124. Le dispositif d'actionnement représenté en figures 3b et 4b comprend en outre une troisième poutre piézoélectrique 103 apte à fléchir selon l'axe principal 124 lorsqu'une tension lui est appliquée. Une seconde extrémité 103b de la troisième poutre 103 est laissée libre. Dans ce cas, la seconde extrémité 102b de la 16 seconde poutre 102 n'est plus laissée libre et elle est reliée à la troisième poutre 103 par l'intermédiaire d'une seconde articulation 132. Ainsi, le dispositif d'actionnement 100 comprend une seconde articulation 132 à un ou deux degrés de liberté relie les deuxième et troisième 5 poutres 102 et 103. Elle permet également de positionner la troisième poutre 103 contre un point fixe 113, ce qui permet d'obtenir un effet de levier au niveau d'un point 103c de la troisième poutre 103. Dans l'exemple représenté, la seconde articulation 132 ne comprend qu'un degré de liberté. Autrement dit, elle ne permet une rotation entre les poutres 10 102 et 103 que selon un axe, dans cet exemple l'axe 122 perpendiculaire à l'axe principal 124. Cette configuration est particulièrement intéressante en ce qu'elle permet d'amplifier la flexion reçue par la troisième poutre 103, la deuxième poutre 102 formant amplificateur intermédiaire. 15 Les articulations 131 et 132 sont réalisées grâce à des liaisons particulières, dites liaisons flexibles, qui seront décrites plus loin. Le dispositif d'actionnement 100 selon l'invention est constitué d'un 20 ensemble d'articulations 131 (respectivement 132) à un ou deux degrés de libertés reliant deux poutres piézoélectriques 101 et 102 (respectivement 102 et 103), chacune de ces articulations étant une pièce d'un seul tenant, et étant formée de liaisons flexibles simples et de parties rigides chaque partie rigide étant positionnée entre deux parties flexibles. 25 Il est donc important de comprendre comment est configurée et fabriquée une liaison flexible simple, qui constitue la base de la fabrication du dispositif d'actionnement 100 selon l'invention. La figure 5 illustre le détail d'une liaison flexible, qui représente un détail 30 d'un dispositif d'actionnement selon l'invention. Une liaison flexible 40, qui peut également être nommée joint pliable, se définit comme une charnière de flexion formée par une partie plus mince 40b d'une pièce, de sorte à fournir une rotation relative entre deux parties rigides 40a de la même pièce, adjacentes à ladite partie plus mince 40b. 17 Dans l'exemple illustré, la pièce comprend une couche flexible 43 en polyimide et une première et deuxième couches rigides 41, 42 en fibres de carbone. La partie flexible 40b correspond à largeur de la couche flexible 43 en polyimide qui n'est pas prise entre les deux première et deuxième couches rigides 41, 42. Cela 5 correspond à un évidement qui a été pratiqué sur les couches rigides 41 et 42, comme cela est expliqué plus loin. Les figures 6a et 6b illustrent le dimensionnement d'une liaison flexible 40. Une liaison flexible, ou joint pliable, peut être dimensionnée, en jouant sur l'écart 10 E qui correspond à la largeur de la couche flexible 43 qui n'est pas prise entre les deux couches rigides 41 et 42 et sur la somme de l'épaisseur Lcp d'une couche rigide 41 et de l'épaisseur LcF de la couche flexible 43 L'angle a'x pouvant être développé par le joint pliable 43 dépend de E et de Lcp selon la formule suivante : E = a'x x (LcR+LcF)/ 2 x f où : 15 - Lcp est l'épaisseur d'une couche de matériau rigide - LcF l'épaisseur de la couche flexible - f est le facteur de risque pris en compte pour éviter que la charnière ne se bloque en cas de défaut de fabrication. Il est généralement fixé à 1,1 20 L'épaisseur LcF de la couche flexible n'est généralement pas été prise en compte car elle est souvent négligeable devant l'épaisseur Lcp de la couche rigide. Ainsi, ces liaisons flexibles peuvent être aisément dimensionnées pour obtenir l'angle a'x à développer. 25 Les figures 7a à 7e montrent un exemple de procédé de fabrication d'une liaison flexible 40 illustrée en figure 5. Le procédé de fabrication comprend les étapes suivantes : a) positionnement d'une première couche rigide 41, par exemple une 30 couche de fibre de carbone d'une épaisseur de 130 pm, sur un premier support 46, et d'une deuxième couche rigide 42, par exemple une couche de fibre de carbone d'une épaisseur de 130 pm, sur un second support 47 (figure 7a) ; b) micro-usinage de chaque couche rigide 41, 42 afin de créer un 35 évidement 41a, 42a sur toute l'épaisseur de la couche rigide de carbone 18 Lcp et sur une largeur donnée E identique pour les deux couches rigides 41, 42 (figure 7b) ; c) fixation, par exemple par collage, d'une couche flexible 43, par exemple une couche de polyimide de 10 pm d'épaisseur, sur la première couche 5 rigide 41 évidée (figure 7c) ; d) ajustement de la seconde couche rigide 42 évidée sur la couche flexible 43 fixée sur la première couche rigide 41 de manière à ce que les évidements 41a et 42a des deux couches rigides 41 et 42 se trouvent en vis-à-vis puis fixation, par exemple par collage, de la seconde couche 10 rigide 42 sur la couche flexible 43 (figure 7d) ; e) micro-usinage de la structure composite 40 ainsi obtenue de manière à la libérer des supports 46 et 47 (figure 7e) ; La structure composite ou liaison flexible 40 ainsi obtenue peut ainsi s'articuler selon un axe de rotation comme le montre la figure 6. Ladite technique de 15 fabrication des liaisons flexibles 40 permet d'obtenir des angles de flexion importants selon un degré de liberté. Chaque couche rigide 41, 42 de fibre de carbone peut être obtenue par durcissement d'une feuille de fibre de carbone à l'aide d'une résine thermodurcissable chauffée dans un four. 20 Entre les étapes d) et e), la structure composite obtenue peut être placée dans un four et chauffée de manière à être solidifiée, et pendant cette étape une pression peut être appliquée à la structure pour maintenir la nouvelle structure unie et pour éviter les ondulations. On utilise avantageusement le micro-usinage laser par sa capacité à 25 fabriquer avec précision une grande variété de matériaux : la plupart des métaux, des céramiques, des plastiques, des fibres de carbone. On peut utiliser par exemple un laser femto seconde (de quelques centaines de femto secondes), ou un laser DPSS « Diode-pumped solid-state ». On peut utiliser l'une des deux méthodes de micro-usinage au laser 30 décrites ci-dessous : en focalisant le faisceau laser : le rayon laser est focalisé sur un point sur le matériau de la pièce. Ensuite, le point laser est déplacé dans les axes x, y ou z pour permettre de vaporiser des portions de celui-ci. Cette méthode est préférée car plus directe et rapide. 19 par projection sur un masque : un motif de masque est placé entre la source laser et la pièce à usiner. Cette méthode permet de vaporiser uniquement les pièces non cachées. En général, il est utilisé pour des modèles superficiels. Pour obtenir une profondeur considérable, l'opération est répétée plusieurs fois. 5 Les figures 8a, 8b et 8c présentent des articulations selon l'invention. Les articulations selon l'invention sont appelées liaisons flexibles ou joints pliables. La fabrication du dispositif d'actionnement selon l'invention 100 selon l'invention est basée sur l'utilisation de liaisons flexibles, qui remplacent les 10 articulations conventionnelles, comme représenté sur les figures 8a à 8c. Ces liaisons flexibles simples peuvent être combinées et arrangées pour réaliser des articulations plus complexes. Comme illustré en figure 8a, une liaison pivot (revolute joint) à un degré de liberté (rotation selon l'axe x) est assurée par une simple articulation ou simple 15 liaison flexible 40 décrite précédemment en lien avec les figures 5, 6a et 6b. Ce type de liaison est nommé indifféremment « simple liaison flexible » ou « liaison flexible » dans la présente demande de brevet. Comme illustré en figure 8b, une liaison rotule à doigt ou de type cardan (universal joint) à deux degrés de liberté (rotations selon les axes x et y) est assurée 20 par un système combinant une première liaison flexible 44a assurant une articulation selon l'axe x entre la première partie rigide 41 et une partie rigide intermédiaire 44b, et une deuxième liaison flexible 44c selon l'axe y entre la partie rigide intermédiaire 44b et la seconde partie rigide 42. En d'autres termes, il s'agit de deux simples liaisons flexibles orientées chacune selon l'un des deux axes de 25 rotations x et y. Cette liaison peut être nommée « double liaison flexible » ou « double liaison flexible à 2 degrés de liberté ». Comme illustré en figure 8c, une liaison rotule ou sphérique (spherical joint) à trois degrés de liberté (rotations selon les axes x, y et z) est assurée par un système combinant une première liaison flexible 45a assurant une articulation selon 30 l'axe y entre la première partie rigide 41 et une première partie rigide intermédiaire 45b, une deuxième liaison flexible 45c selon l'axe x entre la première partie rigide intermédiaire 45b et une seconde partie rigide intermédiaire 45d, et une troisième liaison flexible 45e selon l'axe z entre la seconde partie rigide intermédiaire 45d et la seconde partie rigide 42. En d'autres termes, il s'agit de trois simples liaisons 35 flexibles orientées chacune selon l'un des trois axes de rotations x, y et z. Cette 20 liaison peut être nommée « triple liaison flexible sphérique » ou « triple liaison flexible à 3 degrés de liberté ». Ces trois types de liaisons remplacent avantageusement des liaisons conventionnelles, pour des dispositifs de dimensions millimétriques. 5 Le dispositif de micro-actionnement 100 selon l'invention met en oeuvre trois liaisons flexibles configurées pour réaliser une articulation de type pivot (ou de type cardan) à un (ou à deux) degré(s) de liberté. Les figures 9a et 9b illustrent un exemple d'un dispositif d'actionnement 10 100 comprenant trois poutres, vu en 3D selon deux angles différents. La figure 10 reprend le même exemple, en vue 2D. Elles représentent l'exemple d'un dispositif d'actionnement 100 illustré en vue cinématique sur les figures 3b et 4b, avec davantage de détails sur les liaisons flexibles qui ont été décrites avec les figures 5, 6a, 6b , 7a à 7c et 8a à 8e. 15 La première articulation 131 comprend plusieurs parties 131a, 131b, 131c, 131d, 131e, 131f et 131g qui sont les parties d'une pièce d'un seul tenant : - une première partie flexible 131a reliée à la première poutre 101 par l'intermédiaire d'une troisième partie rigide 131f, 20 - une deuxième partie flexible 131b reliée à la seconde poutre 102 par l'intermédiaire d'une quatrième partie rigide 131g, - une première partie rigide 131d reliant les première et deuxième parties flexibles 131a et 131b, - une seconde partie rigide 131e pouvant être positionnée contre un 25 second point fixe 112, - une troisième partie flexible 131c reliant la seconde poutre 102 à la seconde partie rigide 131e au niveau du point de pivot 102c : ainsi l'ensemble formé par la seconde partie rigide 131e et la seconde poutre 102 forme un levier autour d'un point de pivot 102c de la 30 deuxième poutre 102. Les parties flexibles 131a, 131b et 131c sont des liaisons flexibles simples 40 qui sont toutes articulées autour d'axes parallèles entre eux et perpendiculaires à l'axe principal 124. 21 La seconde articulation 132 comprend plusieurs parties 132a, 132b, 132c, 132d, 132e, 132f, 132g qui sont les parties d'une pièce d'un seul tenant : - une première partie flexible 132a reliée à la seconde poutre 102 par l'intermédiaire d'une troisième partie rigide 132f, 5 - une deuxième partie flexible 132b reliée à la troisième poutre 103 par l'intermédiaire d'une quatrième partie rigide 132g, - une première partie rigide 132d reliant les première et deuxième parties flexibles 132a et 132b, - une seconde partie rigide 132e pouvant être positionné contre un 10 troisième point fixe 113, - une troisième partie flexible 132c reliant la quatrième partie rigide 132g à la seconde partie rigide 132e au niveau du point de pivot 103c: ainsi l'ensemble formé par la seconde partie rigide 132e et la troisième poutre 103 forme un levier autour d'un point de pivot 103c 15 de la troisième poutre 103. Les parties flexibles 132a, 132b et 132c sont des liaisons flexibles simples 40 qui sont toutes articulées autour d'axes parallèles entre eux et perpendiculaires à l'axe principal 124. 20 Afin de finaliser la fabrication du dispositif d'actionnement 100 selon l'invention, les liaisons flexibles qui constituent une partie constitutive des articulations dans le dispositif d'actionnement sont assemblées aux poutres piézoélectriques. Ainsi, dans l'exemple représenté : 25 - la première triple liaison 131 est reliée à la première poutre 101 en fixant, par exemple par collage ou par soudure, sa troisième partie rigide 131f au niveau de la seconde extrémité 101b de la première poutre et est reliée à la deuxième poutre 102 en fixant, par exemple par collage ou par soudure, sa quatrième partie rigide 131g au 30 niveau de la première extrémité 102a de la seconde poutre. - la deuxième triple liaison 132 est reliée à la deuxième poutre 102 en fixant, par exemple par collage ou par soudure, sa troisième partie rigide 132f au niveau de la seconde extrémité 102b de la deuxième poutre 102 et est reliée à la troisième poutre 103 en fixant, par 22 exemple par collage ou par soudure, sa quatrième partie rigide 132g au niveau de la première extrémité 103a de la troisième poutre 103. Ensuite, chaque poutre est connectée électriquement. 5 Les figures 11 a, 11 b illustrent un exemple de microrobot selon un autre aspect de l'invention, avant la mise en place du support et selon deux vues différentes, en 3D. Les figures 11c, 1 1 d illustrent un exemple de microrobot selon l'invention, avec son support et selon deux vues différentes, en 3D. 10 Un dispositif d'orientation sphérique 1 comprenant une plateforme 30 à orienter selon deux axes de rotation 22, 23 est combiné avec au moins deux dispositifs d'actionnement 100, 100' selon l'invention, un premier dispositif d'actionnement 100 permettant d'actionner le dispositif d'orientation 1 de manière à orienter la plateforme 30 selon un premier axe de rotation 22, et un second dispositif 15 d'actionnement 100 permettant d'actionner le dispositif d'orientation 1 de manière à orienter la plateforme 30 selon un second axe de rotation 23. Une telle combinaison reliant un dispositif d'orientation sphérique 1 et deux dispositifs d'actionnement 100, 100' selon l'invention permet de réaliser un microrobot à cinématique parallèle sphérique à deux degrés de liberté parallèle à 20 deux degrés de liberté répondant aux contraintes attendues et présentées en introduction de la présente demande, notamment la précision d'orientation, tout en conservant les débattements des angles d'orientation souhaités. Les dispositifs d'actionnement 100, 100' selon l'invention permettent en outre d'actionner à distance un dispositif d'orientation sphérique 1, puisqu'ils sont 25 connectés électriquement, donc potentiellement à distance, et qu'ils agissent en flexion lorsqu'ils sont excités par une tension. Dans l'exemple présenté dans les figures 11a, 11b, 11c, 11d, le dispositif d'orientation sphérique 1 comprend - un premier bras d'actionnement 4, dont une première partie 4a est 30 couplée avec un premier dispositif d'actionnement 100 selon l'invention, plus précisément avec la partie libre 103b correspondant à la seconde extrémité de la troisième poutre 103 dudit dispositif d'actionnement 100 ; - et un second bras d'actionnement 8 dont une première partie 8a est 35 couplée avec un second dispositif d'actionnement 100' selon 23 l'invention plus précisément avec la partie libre 103'b correspondant à la seconde extrémité de la troisième poutre 103' dudit dispositif d'actionnement 100'. Cela permet d'obtenir la structure illustrée en figures 11 a et 11 b. 5 Le point fixe 111 (resp 111') et les points fixes pivot 112, 113 (resp 112', 113') nécessaires au fonctionnement du dispositif d'actionnement 100 (resp 100') selon l'invention font partie du support 50. Ledit support 50 est également configuré pour créer les points fixes 2a et 2b pour le dispositif d'orientation sphérique 1, comme illustré en figures 11c et 11d. 10 Plus précisément, le support 50 comprend plusieurs parties 51, 52, 53, 54, 55, lesquelles parties étant configurées pour créer les parties fixes pour le microrobot 60. Par exemple : - la partie 53 permet de créer les points fixes 111 et 111' pour les premières poutres 101 et 101' des dispositifs d'actionnement 100 et 15 100' - la partie 54 permet de créer les points fixes pivot 112 et 112' pour les deuxièmes poutres 102 et 102' des dispositifs d'actionnement 100 et 100' - et la partie 55 permet de créer les points fixes pivot 113 et 113' pour 20 les troisièmes poutres 103 et 103' des dispositifs d'actionnement 100 et 100' - les parties 51 et 52 étant configurées pour créer les points fixes 2a et 2b pour le système d'orientation sphérique 1. 25 Le microrobot 60 ainsi obtenu présente une structure d'architecture parallèle qui, contrairement à une structure d'architecture en série, peut mettre en oeuvre des joints flexibles disposés à l'intérieur de ladite structure qui ne soient pas forcément actionnés, c'est-à-dire des joints passifs. Au contraire, les joints flexibles des structures en série doivent être tous munis d'un dispositif d'actionnement. 30 En outre, cela permet de gagner en volume. Ainsi, cette combinaison permet d'obtenir un microrobot dont les dimensions sont comprises dans un cube 10 x 10 x 10 mm3 au maximum, avec des détails sur le motif de la dizaine de lm. 24 Sur la plateforme 30 du dispositif d'orientation sphérique 1, un miroir 31 peut être positionné, comme illustré dans les figures 11a à 11d. Ainsi, le microrobot 60 permet d'orienter le miroir 31 selon les deux axes de rotation 22 et 23. 5 Des connexions électriques (non représentées sur les figures) nécessaires au pilotage à distance des dispositifs d'actionnement 100, 100' et au final à la rotation du miroir 31 sont ajoutées. Les connexions électriques peuvent être fixées sur le support 50, voire être incluses tout ou partie à l'intérieur du support, afin de minimiser le volume occupé par le microrobot 60 et ses connexions 10 électriques. Alternativement, d'autres structures cinématiques autres que sphériques peuvent être utilisées. En général toute structure cinématique qui puisse, au moins, orienter une plateforme sur deux axes coplanaires. Des structures parallèles et en 15 série sont possibles. Comme illustré en figure 12, le microrobot selon l'invention peut être utilisé, dans le domaine de la microchirurgie en tant que système terminal d'un endoscope souple 70. S'il s'agit du domaine spécifique de la phono-chirurgie, 20 l'endoscope est nommé larynscope. Dans ce cas, le microrobot portant le miroir 31, en général un microrobot comprenant une plateforme, laquelle supporte un miroir, est utilisé pour orienter un faisceau laser 71. L'orientation initiale du miroir 31 doit être calculée lors de la conception géométrique du dispositif d'orientation 1 afin de refléter le faisceau laser 25 71 selon les directions et selon le débattement angulaire souhaité, correspondant à la zone à traiter 80. Dans la configuration idéale, un faisceau laser 71a sera amené par une fibre optique 72 depuis l'extérieur jusqu'à l'extrémité distale de l'endoscope 70. Par exemple, la fibre optique génère un faisceau laser 71a qui est réfléchi par un prisme 30 73 pour renvoyer un faisceau laser 71b. Dans ce cas, le miroir 31 est disposé de manière à focaliser puis à refléter le faisceau laser 71b pour renvoyer un faisceau laser 71c. L'orientation du miroir plan est guidée par le microrobot. Ainsi, le microrobot 60 dirige le faisceau laser 71c sur les zones à traiter 80, par exemple sur les cordes vocales. 35 25 Le microrobot à cinématique parallèle sphérique à deux degrés de liberté 60 selon l'invention permet de répondre aux contraintes développées en introduction de la présenté invention, à savoir, pour une distance entre le miroir 31 et les cordes vocales de 20 mm : 5 - deux degrés de liberté au moins pour pouvoir intervenir sur l'ensemble de la zone à traiter 80 ; - plage angulaire de ± 12,5° pour chaque axe de rotâion du miroir 31 pour pouvoir intervenir sur l'ensemble de la zone à traiter 80 ; - résolution de balayage du faisceau de 100 pm ou mieux, ce qui 10 correspond à une résolution de 0,15° pour chaque argle de rotation du miroir 31 à la distance indiquée de 20 mm, ce pour ne pas risquer d'abimer des cellules saines en traitant des cellules malignes. ; - bande passante de déplacement du faisceau de 200Hz au moins ; - biocompatibilité de l'ensemble des composants du microrobot 60; 15 - volume occupé par le microrobot 60 inférieur à 10 x 10 x 10 mm3. En conclusion le microrobot selon l'invention permet de répondre au besoin d'un dispositif de petite taille (qui puisse entrer dans la gorge), pouvant faire balayer un faisceau laser selon une plage angulaire définie et selon deux degrés de 20 liberté, avec une grande vitesse (pour ne pas rester longtemps sur une position) et une résolution assez fine (pour distinguer les cellules saines des cellules malignes). Avantageusement, le microrobot permet d'accueillir au moins un système de visualisation, par exemple une caméra, afin de vérifier la position du 25 faisceau laser, de préférence le faisceau laser 71b, avant qu'il n'atteigne la zone 80 à traiter. L'invention peut trouver de nombreuses applications, notamment pour actionner une plateforme, ladite plateforme pouvant accueillir un miroir pour réfléchir un faisceau laser. Le faisceau laser pour être ainsi utilisé pour le marquage et/ou la 30 gravure laser, pour le scan 3D, dans le domaine de la (micro)robotique (vision par laser par exemple), dans le domaine des télécommunications (par exemple pour un atténuateur optique variable ou un commutateur optique), ou pour des applications médicales (chirurgie endoscopique peu invasive, exploration optique avec ou sans biopsie ...). 35 26 Le microrobot selon l'invention peut être utilisé sur des drones, des véhicules autonomes et plus généralement sur de la robotique mobile. En particulier, comme illustré en figure 13, une application du microrobot est de miniaturiser et de rendre mobiles les dispositifs de scan pour LIDAR (Light 5 Detection and Ranging). Sur un LIDAR, un dispositif réalise un balayage d'un laser sur la surface d'un terrain pour caractériser son relief. La distance et le profil des éléments qui figurent sur la surface du terrain (maisons, arbres, voitures, eau, ...) est calculée par interférométrie. Le microrobot selon l'invention REVENDICATIONS1. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) caractérisé en ce qu'il comprend : - une première poutre (101) comprenant un élément piézoélectrique (P), étant apte à fléchir selon un axe principal (124) lorsqu'une tension lui est appliquée et apte à être attachée en une première extrémité (101a) à un premier point fixe (111) ; - une seconde poutre (102) comprenant un élément piézoélectrique, apte à fléchir selon ledit axe principal (124) lorsqu'une tension lui est appliquée, et présentant une première extrémité (102a) et une seconde extrémité (102b); - une première articulation (131) comprenant - une première partie flexible (131a) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) et reliée à la première poutre (101) en la seconde extrémité (101b) de ladite première poutre, - une deuxième partie flexible (131b) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) et reliée à la seconde poutre (102) en la première extrémité (102a) de ladite seconde poutre, - une première partie rigide (131d) reliant les première et deuxième parties flexibles (131a, 131b), - une seconde partie rigide (131e) apte à être positionnée contre un deuxième point fixe (112), - une troisième partie flexible (131c) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) reliant la seconde poutre (102) à la seconde partie rigide (131e) en un point de pivot (102c) de ladite seconde poutre (102), de sorte que l'ensemble formé par la seconde partie rigide (131e) et la seconde poutre (102) forme un levier autour dudit point de pivot (102c), lesdites parties flexibles (131a, 131b, 131c) et rigides (131d, 131e) étant les parties d'une pièce d'un seul tenant. 2. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comprend en outre : 28 - une troisième poutre (103) comprenant un élément piézo-électrique (P), étant apte à fléchir selon l'axe principal (124) lorsqu'une tension lui est appliquée, et présentant une première extrémité (103a) et une seconde extrémité (103b) ; 5 - une seconde articulation (132) comprenant : - une première partie flexible (132a) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) et reliée à la seconde poutre (102) en la seconde extrémité (102b) de ladite seconde poutre, - une deuxième partie flexible (132b) selon un axe perpendiculaire à 10 l'axe principal (124) et reliée à la troisième poutre (103) en la première extrémité (103a) de ladite troisième poutre, - une première partie rigide (132d) reliant les première et deuxième parties flexibles (132a, 132b), - une seconde partie rigide (132e) apte à être positionnée contre un 15 troisième point fixe (113), - une troisième partie flexible (132c) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) reliant la troisième poutre (103) à la seconde partie rigide (132e) en un point de pivot (103c) de ladite troisième poutre (103), de sorte que l'ensemble formé par la seconde partie 20 rigide (132e) et la seconde poutre (132) forme un levier autour dudit point de pivot (103c), lesdites parties flexibles (132a, 132b, 132c) et rigides (132d, 132e) étant les parties d'une pièce d'un seul tenant. 25 3. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisé en ce qu'il comprend : - une première poutre (101) comprenant un élément piézoélectrique (P), étant apte à fléchir selon un axe principal (124) lorsqu'une tension lui est appliquée, et apte à être attachée en une première extrémité (101a) à un 30 premier point fixe (111) ; - N autres poutres (10M), N étant supérieur ou égal à 2 et M variant entre 2 et N, chaque M-ième poutre comprenant un élément piézo-électrique (P), étant apte à fléchir selon l'axe principal (124) lorsqu'une tension lui est appliquée, et présentant une première extrémité (10Ma) et une 29 seconde extrémité (10Mb) ; la N-ième poutre (10N) présentant une seconde extrémité (10Nb) libre ; - X articulations (13Y), X étant égal à N-1 et Y étant égal à M-1, chaque Yième articulation (13Y) comprenant : 5 - une première partie flexible (13Ya) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) et reliée à la Y-ième poutre (10Y) en la seconde extrémité (10Yb) de ladite Y-ième poutre, - une deuxième partie flexible (13Yb) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) et reliée à la M-ième poutre (10M) en la première 10 extrémité (10Ma) de ladite M-ième poutre, - une première partie rigide (13Yd) reliant les première et deuxième parties flexibles, - une seconde partie rigide (13Ye) apte à être positionnée contre un M-ième point fixe (11M), 15 - une troisième partie flexible (13Yc) selon un axe perpendiculaire à l'axe principal (124) reliant la M-ième poutre (10M) à la seconde partie rigide (13Ye) en un point de pivot (10Mc) de ladite M-ième poutre (10M), de sorte que l'ensemble formé par la seconde partie rigide (13Ye) et la M-ième poutre (13M) forme un levier autour dudit 20 point de pivot (10Mc) ; lesdites parties flexibles (13Ya, 13Yb, 13Yc) et rigides (13Yd, 13Ye) étant les parties d'une pièce d'un seul tenant. 4. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) selon la 25 revendication 3 caractérisé en ce qu'au moins une Y-ième articulation (13Y), comprenne en outre une troisième (13Yf) et une quatrième (13Yg) parties rigides formant avec les autres parties de ladite articulation une pièce d'un seul tenant : - la troisième partie rigide (13Yf) formant la liaison entre la première 30 partie flexible (13Ya) de ladite Y-ième articulation (13Y) avec la Y- ième poutre (10Y), - la quatrième partie rigide (13Yg) formant la liaison entre la deuxième flexible (13Yb) de ladite de ladite Y-ième articulation (13Y) avec la Mième poutre (10M). 30 5. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les parties flexibles d'au moins une Y-ième articulation (13Y) présentent des axes d'articulation parallèles entre eux et perpendiculaires à l'axe principal (124). 5 6. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) selon l'une des revendications précédentes, l'élément piézoélectrique (P) comprenant du titanate de zirconate au plomb. 10 7. Dispositif d'actionnement amplificateur de mouvement (100) selon l'une des revendications précédentes, au moins une poutre (10M) présentant une structure bimorphe. 8. Microrobot (60) à cinématique parallèle sphérique à deux degrés de liberté 15 comprenant : - un dispositif d'orientation à deux degrés de liberté comprenant une plateforme (30) à orienter selon un premier (22) et un second (23) axes de rotation par rapport à une base fixe (2), un premier bras d'actionnement (4) et un second bras d'actionnement (8) ; 20 - un premier et un deuxième dispositifs d'actionnement amplificateur de mouvement (100, 100') choisis selon l'une des revendications 1 à 7 ; - le premier dispositif d'actionnement (100) étant connecté au premier bras d'actionnement (4) de manière à lui transmettre un premier mouvement de translation relativement à la base fixe (2), 25 de sorte à entrainer la plateforme (30) en rotation selon le premier axe (22), - et le deuxième dispositif d'actionnement (100') étant connecté au second bras d'actionnement (8) de manière à lui transmettre un second mouvement de translation relativement à la base fixe (2) 30 de sorte à entrainer la plateforme (30) en rotation selon le second axe (23). 9. Microrobot (60) selon la revendication 8, le dispositif d'orientation étant un d'orientation sphérique (1) à deux degrés de liberté reliant la plateforme (30) 35 à deux points de fixation (2a, 2b) d'une base fixe (2) de manière à pouvoir 31 orienter ladite plateforme (30) dans l'espace par rotation autour d'un premier axe (22) et d'un second axe (23), ces deux axes (22, 23) étant sensiblement perpendiculaires et se croisant en un centre de mouvement sphérique (21) situé dans ledit organe (30) à orienter, comprenant : 5 - un premier bras d'actionnement (4) configuré pour effectuer un mouvement de translation relativement à la base fixe (2) et apte à appliquer à un premier bras de transmission (5), relié à un premier point de fixation (2a) de la base fixe (2) par une liaison flexible (6) articulée selon le premier axe (22), un mouvement de rotation relativement à 10 ladite base fixe (2) de manière à transmettre à la plateforme (30) un mouvement de rotation selon ledit premier axe (22) ; - un bras intermédiaire (12) relié au premier bras de transmission (5) par une liaison flexible (13) articulée autour d'un troisième axe (24), perpendiculaire aux premier et second axes (22) et (23), et relié à la 15 plateforme (30) par une liaison flexible (14), de manière à transmettre à la plateforme (30) un mouvement de rotation selon le premier axe (22) ; - un second bras d'actionnement (8) configuré pour effectuer un mouvement de translation relativement à la base fixe (2) et apte à appliquer à un second bras de transmission (9), relié à un second point 20 de fixation (2b) de la base fixe (2) par une liaison flexible (10) articulée selon le second axe (23), un mouvement de rotation relativement à ladite base fixe (2) de manière à appliquer sur la plateforme (30) un mouvement de rotation selon ledit second axe (23), ledit bras (9) étant relié à la plateforme (30) par une liaison flexible (15, 16) articulée selon 25 le premier axe (22), de manière à ne pas entrainer ledit second bras de transmission (9) en rotation selon le premier axe (22) lors de l'actionnement du premier bras d'actionnement (4) ; la liaison (14) entre la plateforme (30) et le bras intermédiaire (12) étant articulée selon l'axe (23) de manière à ne pas entrainer ledit bras 30 intermédiaire (12) en rotation selon le second axe (23) lors de l'actionnement du second bras d'actionnement (8) ; et les bras (4, 5, 8, 9, 12), les liaisons flexibles (6, 10, 13, 14, 15, 16) et la plateforme (30) formant les parties d'une pièce formée en un seul tenant formant le dispositif (1), les bras (4, 5, 8, 9, 12) et la plateforme (30) étant 35 des parties rigides du dispositif (1), et les liaisons flexibles (6, 10, 13, 14, 15, 32 16) étant des parties flexibles formant chacune une charnière selon un seul des premier, second et troisième axes (22, 23, 24), et reliant lesdites parties rigides entre elles, à la base fixe (2). 5 10. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 ou 9, les parties rigides (4, 5, 8, 9, 12, 30) comprenant une couche centrale (41) d'un matériau flexible, tel un polyimide, prise en sandwich entre deux couches (42, 43) d'un matériau rigide, telle de la fibre de carbone, les liaisons flexibles (6, 10, 13, 14, 15, 16) étant composées de la couche centrale. 10 11. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 10, un ou des bras de transmission (5, 9) et/ou du bras intermédiaire (12) formant un arc de cercle. 12. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 11, le dispositif 15 d'orientation sphérique (1) comprenant en outre une liaison flexible (7) articulée autour d'un axe parallèle au premier axe (22) et disposée entre le premier bras d'actionnement (4) et le premier bras de transmission (5), et formant avec les bras (4, 5, 8, 9, 12), les liaisons flexibles (6, 10, 13, 14, 15, 16) et la plateforme (30) une pièce d'un seul tenant 20 13. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 12, le premier bras d'actionnement (4) comprenant une première partie (4a) apte à être couplée au dispositif d'actionnement (100) et une seconde partie (4b) reliée au premier bras de transmission (5) par une liaison flexible (7) articulée autour 25 d'un axe parallèle au premier axe (22), les lesdites parties première et seconde parties (4a) et (4b) étant reliées par une liaison flexible (17) articulée selon un axe parallèle au premier axe (22) et formant avec les bras (4, 5, 8, 9, 12), les liaisons flexibles (6, 7, 10, 13, 14, 15, 16) et la plateforme (30) une pièce d'un seul tenant. 30 14. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 13, le dispositif d'orientation sphérique (1) comprenant en outre une liaison flexible (11) reliant le second bras d'actionnement (8) et le second bras de transmission (9), articulée autour d'un axe parallèle au second axe (23) et formant avec 33 les bras (4, 5, 8, 9, 12), les liaisons flexibles (6, 10, 13, 14, 15, 16) et la plateforme (30) une pièce d'un seul tenant. 15. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 14, le dispositif 5 d'orientation sphérique (1) selon l'une des revendications 1 à 5, comprenant en outre une double liaison flexible (19) de type cardan reliant le second bras d'actionnement (8) et le second bras de transmission (9), articulée autour d'un axe parallèle au premier axe (22) et d'un axe parallèle au second axe (23), et formant avec les bras (4, 5, 8, 9, 12), les liaisons flexibles (6, 10, 10 13, 14, 15, 16) et la plateforme (30) une pièce d'un seul tenant. 16. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 15, le second bras d'actionnement (8) comprenant une première partie (8a) apte à être couplée au dispositif d'actionnement (100') et une seconde partie (8b) reliée au 15 second bras de transmission (9) par une simple liaison flexible simple (11) ou une double liaison flexible (19), les première et seconde parties (8a) et (8b) étant reliées une double liaison flexible (18) de type cardan articulée autour d'un axe parallèle au premier axe (22) et d'un axe parallèle au second axe (23), et formant avec les bras (4, 5, 8, 9, 12), les liaisons flexibles (6, 10, 20 13, 14, 15, 16) et la plateforme (30) une pièce d'un seul tenant. 17. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 16 comprenant en outre un support (50) configuré pour créer les points fixes des dispositifs d'actionnement (100, 100'). 25 18. Microrobot (60) selon l'une des revendications 8 à 17, la plateforme (30) supportant un miroir (31). 19. Microrobot (60) selon la revendication 18, le miroir (31) étant disposé de 30 manière à réfléchir un faisceau laser (71). 20. Microrobot (60) selon la revendication 19, comprenant en outre un dispositif de visualisation d'un spot du faisceau laser (71) positionné sur une surface. 35