FR 3072512 A1 20190419 FR 1701082 A 20171017 OSCILLATEUR RADIOFREQUENCE AMELIORE La présente invention a pour domaine celui des oscillateurs radiofréquence ou RF. Le domaine RF s'étend typiquement entre 1 et 100 GHz. L'article de X. S. YAO and L. MALEKI, "Optoelectronic oscillator for photonic systems," IEEE J. Quantum Electron., vol. 32, no. 7, pp. 1141-1149, 1996, divulgue un oscillateur RF du type opto-électronique. Comme représenté sur la figure 1, cet oscillateur 10, qui constitue une liaison optoélectronique large bande à modulation externe, rebouclée sur elle-même, comporte : une source commandée 11, constituée d'un laser 12, propre à générer un faisceau lumineux mono-fréquence, dont l'onde optique possède une pulsation co ; et d'un modulateur 14, rapide, propre à moduler le faisceau lumineux mono-fréquence du laser 12, selon un signal de commande Sc de fréquence f1, de manière à générer un faisceau lumineux modulé comportant des ondes optiques aux pulsations co et ± 27rfi ; une fibre optique 15, formant une ligne à retard pour le faisceau lumineux modulé généré par la source commandée, dont la longueur L est adaptée pour retarder les ondes optiques la traversant ; une photodiode 18, rapide, propre à délivrer un signal électrique à la fréquence f1 à partir du faisceau lumineux retardé émergeant de la fibre 15 ; et, une boucle de commande 17, traitant le signal électrique délivré en sortie de la photodiode 18 pour obtenir un signal de contre-réaction appliqué en tant que signal de commande au modulateur 14. La boucle de commande 17 comporte des moyens de filtrage (tel qu'une cavité résonnante 72) et d'amplification (tel qu'un amplificateur faible bruit 71 en entrée de la cavité et un amplificateur forte puissance 73 en sortie de la cavité), ainsi qu'un coupleur 74, dont une première sortie est connectée à la borne de commande du modulateur 14 et dont une seconde sortie porte le signal utile Saut généré par l'oscillateur 10. Le signal utile Saut oscille à la fréquence 2 Lorsque les conditions d'oscillation sont atteintes (c'est-à-dire lorsque le gain total de la boucle est suffisant), le facteur de qualité Q d'un tel oscillateur est une fonction du rapport entre la longueur L de la fibre optique 15, sur la longueur d'onde A dans le vide associée à la fréquence d'oscillation fl. 5 Ainsi, pour une oscillation à une fréquence f1 dans le domaine RF, par exemple de 10 GHz (A = 3 cm) et avec une longueur L = 3 km, on atteint un facteur de qualité Q de 105. Ce facteur de qualité est intéressant au sens où il permet de générer des signaux utiles de grande pureté spectrale (typiquement - 145 dBc/Hz à 10 kHz de la porteuse). 10 Cependant, le volume final d'un tel oscillateur RF optoélectronique est de l'ordre de 0,5 à 1 litre, du fait des contraintes de bobinage de la fibre optique. Ceci constitue un handicap pour certaines applications embarquées, dans des antennes radar par exemple. De plus, la longueur importante de la fibre optique rend l'oscillateur 15 relativement sensible aux variations de température et aux vibrations, ce qui est désavantageux pour des applications embarquées. On peut partiellement y remédier en remplaçant la fibre optique par un résonateur optique. Celui-ci introduit un retard entre l'onde optique incidente et l'onde optique émergeante. A ce jour, les seuls résonateurs optiques présentant 20 les coefficients de surtension suffisants, typiquement de l'ordre de 108, sont des résonateurs tridimensionnels. Cependant, le couplage entre le modulateur et le résonateur optique, d'une part, et le nécessaire verrouillage de la longueur d'onde du laser sur celle du résonateur optique, d'autre part, sont critiques et sont également relativement 25 sensibles à l'environnement (la température, les vibrations, etc.) Par ailleurs, il existe des oscillateurs à stabilisation (aussi dénommés à verrouillage) intégrant un résonateur optomécanique. Un tel résonateur met en oeuvre un couplage entre une résonance optique et une résonance mécanique. Le faisceau optique émergeant du résonateur est utilisé pour élaborer une contre- 30 réaction dans le domaine basse fréquence et l'appliquer au laser (fréquence et/ou puissance) afin de stabiliser le point de fonctionnement de l'oscillateur vis-à-vis des dérives lentes de la fréquence d'oscillation (température, vibrations, etc.) 3 Cependant, les facteurs de qualité mécaniques restent faibles et leur pureté spectrale est donc faible. Le but de la présente invention est de résoudre les problèmes précités. Pour cela l'invention a pour objet un oscillateur radiofréquence, 5 comportant : - une source commandée propre à générer un faisceau lumineux incident comportant au moins une onde optique à une pulsation de référence w; - un résonateur optomécanique, présentant une résonance optique à la pulsation de référence w et une résonance mécanique à une fréquence de référence fi , le 10 résonateur optomécanique étant propre, à partir du faisceau lumineux incident à générer, d'une part, un faisceau lumineux émergeant comportant des ondes optiques aux pulsations w et w - 27rf1, et, d'autre part, une onde acoustique à la fréquence de référence fi ; - une photodiode, propre à délivrer un signal électrique utile à la fréquence de 15 référence fi à partir du faisceau lumineux émergeant du résonateur optomécanique, caractérisé en ce qu'il comporte : - un moyen de propagation acoustique propre à prélever l'onde acoustique générée par le résonateur optornécanique et à la propager sur une distance de 20 propagation prédéterminée pour y introduire un retard de manière à produire une onde acoustique retardée ; - un moyen de conversion propre à convertir l'onde acoustique retardée en sortie du moyen de propagation, en un signal électrique de retard ayant une fréquence d'oscillation égale à la fréquence de référence fi ; et, 25 - une boucle de commande, propre à traiter le signal de retard pour obtenir un signal électrique de commande appliqué à la source, le signal électrique de commande ayant une fréquence d'oscillation égale à la fréquence de référence fi. L'invention a également pour objet un oscillateur radiofréquence, comportant : 30 - une source propre à générer un faisceau lumineux incident comportant au moins une onde optique à une pulsation de référence w ; 4 - un résonateur optomécanique, présentant une résonance optique à la pulsation de référence w et une résonance mécanique à une fréquence de référence f1, le résonateur optomécanique étant propre, à partir du faisceau lumineux incident à générer, d'une part, un faisceau lumineux émergeant comportant des ondes 5 optiques aux pulsations co et w - 2n-f1, et, d'autre part, une onde acoustique à la fréquence de référence fi ; - une photodiode, propre à délivrer un signal électrique utile (Sot) à la fréquence de référence f1 à partir du faisceau lumineux émergeant du résonateur optomécanique, 10 caractérisé en ce qu'il comporte : - un moyen de conversion propre à convertir un signal électrique d'excitation en une onde acoustique, le signal électrique d'excitation étant élaboré à partir du signal électrique utile et ayant une fréquence d'oscillation égale à la fréquence de référence fi ; 15 - un moyen de propagation acoustique propre à prélever l'onde acoustique générée par le moyen de conversion et à la propager sur une distance de propagation (d) prédéterminée pour y introduire un retard de manière à produire une onde acoustique retardée, et à appliquer ladite onde acoustique retardée au résonateur optomécanique. 20 La présente invention met également en oeuvre un résonateur optomécanique, c'est-à-dire un dispositif qui combine une résonance optique, une résonance mécanique et un couplage entre celles-ci. Cependant, la présente invention propose un schéma original permettant un affinement spectral (c'est-à-dire une augmentation de la pureté spectrale) d'un 25 oscillateur optomécanique par une réinjection retardée du signal haute fréquence, le retard étant réalisé non plus par la propagation d'une onde optique (dans une fibre optique ou un résonateur optique), mais par la propagation d'une onde acoustique (dans un guide d'onde acoustique par exemple) générée optiquement dans le résonateur optomécanique. 30 L'onde acoustique retardée est ensuite collectée, dans le domaine électrique, par un moyen adapté réalisant une conversion de l'onde acoustique en un signal électrique (tension ou courant). Il s'agit par exemple d'un moyen mettant 5 en oeuvre un effet piézo-électrique ou un effet capacitif. Cette conversion peut être réalisée par une propriété physique du matériau constitutif du résonateur optomécanique ou bien par une structure adaptée qui est rapportée sur le résonateur optomécanique. Le signal électrique ainsi généré est alors réinjecté de 5 manière à moduler l'onde optique entrant dans le résonateur optomécanique. Ainsi l'oscillateur apparait comme un oscillateur RF opto-acousto- électronique. Suivant des modes particuliers de réalisation, l'un ou l'autre des oscillateurs précédents comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prises 10 isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles : la source comporte : un laser mono-fréquence, propre à générer un faisceau lumineux comportant une onde optique à la pulsation de référence w ; et un modulateur propre à moduler l'onde optique du faisceau lumineux générée par le laser mono-fréquence selon ledit signal électrique de commande pour obtenir 15 en sortie un faisceau lumineux incident modulé de manière à comporter des ondes optiques à la pulsation w et aux pulsations w + 2n-fi et/ou w - Drfi. la source est un laser bi-fréquence, propre à générer, selon ledit signal de commande, un faisceau lumineux incident comportant des ondes optiques à la pulsation w et aux pulsations w + 2nf1 et/ou w - 27rf1. 20 le moyen de propagation étant un premier moyen de propagation propre à produire une première onde acoustique retardée d'un premier retard et le moyen de conversion étant un premier moyen de conversion propre à délivrer un premier signal électrique de retard à partir de la première onde acoustique retardée, l'oscillateur comporte en outre un second moyen de propagation propre 25 à prélever l'onde acoustique générée par le résonateur optomécanique et à la propager sur une distance de propagation prédéterminée pour y introduire un second retard de manière à produire une seconde onde acoustique retardée et un second moyen de conversion propre à délivrer un second signal électrique de retard à partir de la seconde onde acoustique retardée, la boucle de commande 30 comportant un moyen de détermination d'un signal électrique d'erreur élaboré à partir des premier et second signaux électriques de retard, le signal de commande étant élaboré à partir du signal d'erreur. 6 le résonateur optomécanique, le moyen de propagation acoustique et le moyen de conversion sont intégrés sur une même puce. le moyen de propagation acoustique est un guide d'onde accordé à 5 la fréquence de référence le moyen de conversion comporte un matériau piézoélectrique et des électrodes interdigitées. Compte tenu des vitesses usuelles de propagation acoustique dans les matériaux, il est possible de réaliser un retard équivalent à celui d'une fibre 10 optique de quelques centaines de mètres sur une distance de quelques millimètres. Les fonctions de l'oscillateur RF présenté ci-dessus possèdent l'avantage de pouvoir être intégrées sur une unique puce (aussi dénommé circuit intégré) de faibles dimensions (quelques dizaines de millimètres carrés) avec des technologies de réalisation collectives et planaires. 15 L'invention et ses avantages seront mieux compris à la lecture de la description détaillée qui va suivre de plusieurs modes de réalisation particuliers de l'invention, donnés uniquement à titre d'exemples illustratifs et non limitatifs. Cette description est faite en se référant aux dessins annexés sur lesquels : La figure 1 représente schématiquement un oscillateur selon l'état de la 20 technique ; La figure 2 représente schématiquement un premier mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention ; La figure 3 représente schématiquement un second mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention ; 25 La figure 4 représente schématiquement un troisième mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention ; et, La figure 5 représente schématiquement un quatrième mode de réalisation d'un oscillateur selon l'invention. En référence à la figure 2, la structure d'un mode de réalisation 30 actuellement préféré d'un oscillateur radiofréquence selon l'invention va être décrite. 7 L'oscillateur radiofréquence 110 comporte une source commandée 111, un dispositif opto-acousto-électrique 116, une boucle de réinjection 117 et une photodiode 118. Plus précisément, la source commandée 111 est constituée d'un laser 112 5 et d'un modulateur 114. Le laser 112 est un laser mono-fréquence, propre à générer un faisceau lumineux comportant une onde optique à une pulsation w. Le laser 112 est par exemple du type diode laser DFB (selon l'acronyme anglais de « distributed feedback laser ») ou laser à état solide pompé par diode. Il est propre à générer 10 un faisceau laser dont la lumière présente, par exemple, une longueur d'onde de 1,5 pm. Le faisceau lumineux en sortie du laser 112 est appliqué en entrée du modulateur 114. Le modulateur 114 est rapide et propre à moduler l'onde optique du faisceau lumineux émis par le laser 112 selon un signal de commande Sc ayant 15 une fréquence fl, de manière à générer en sortie un faisceau lumineux modulé comportant des ondes optiques aux pulsations co et (0 T- 2rc fi. Par exemple, le modulateur 114 est un modulateur électro-optique rapide, dont la bande passante est compatible de la fréquence d'oscillation RF recherchée (typiquement f1=10 GHz). Le modulateur 114 est, de préférence, un modulateur 20 d'intensité, par exemple du type Mach-Zehnder. En variante, il pourrait s'agir tout aussi bien d'un modulateur de phase ou d'un modulateur à bande latérale unique. Le modulateur 114 est propre à moduler l'intensité ou la phase du faisceau laser incident conformément au niveau en tension du signal de commande Sc appliqué sur une borne de contrôle du modulateur 114. Un faisceau lumineux modulé est 25 obtenu en sortie du modulateur 114. Le faisceau lumineux modulé en sortie du modulateur 114 est appliqué en entrée du dispositif 116. Le dispositif opto-acousto-électrique 116 comporte un résonateur optomécanique 182, un guide acoustique 184 et un transducteur mécanique / 30 électrique 185. Le résonateur optomécanique 182 présente à la fois une résonance optique à la pulsation co, et une résonance mécanique à la fréquence fl, ces résonances 8 étant couplées entre elles. A partir d'un faisceau optique incident à une pulsation proche de la pulsation co, le résonateur 182 est propre à générer une oscillation mécanique à sa fréquence de résonance mécanique naturelle, fi, ainsi qu'un faisceau lumineux émergeant comportant des ondes optiques aux pulsations w et 5 co - 2nfi. Un tel résonateur optomécanique est connu et est par exemple présenté en détail dans l'article de Markus Aspelmeyer et al. « cavity optomechanics », Reviews of Modem Physics, Vol. 86, Octobre-Décembre 2014. Le résonateur optomécanique 182 est une membrane au sens où sa 10 dimension d'épaisseur (par exemple de 250 nm) est réduite par rapport à ses dimensions de longueur et de largeur. Cette membrane est réalisée à partir d'un matériau structuré à l'échelle nanométrique de manière à présenter un motif optique périodique (permettant de définir une bande interdite photonique), dont la périodicité est altérée afin de 15 présenter un défaut de manière à former une cavité optique ayant une grande finesse spectrale. La structuration photonique de la membrane permet d'exciter (via un couplage optonnécanique du type pression de radiation, diffusion Brillouin stimulée,...) une vibration mécanique, à partir d'un faisceau lumineux ayant un 20 niveau de puissance optique faible (typiquement de quelques 10 mW). Ainsi, grâce à cet effet optomécanique, les ondes optiques du faisceau lumineux incident excitent, dans le résonateur 182, des modes de vibration mécanique, c'est-à-dire des ondes acoustiques. En retour, ces ondes acoustiques modifient localement l'indice optique 25 effectif de la membrane. Cette modification de l'indice, variable dans le temps, crée des ondes optiques secondaires à partir des ondes optiques du faisceau lumineux incident. Ces ondes optiques secondaires possèdent des fréquences optiques différentes de celles des ondes optiques du faisceau incident. Ainsi, lorsqu'un équilibre est trouvé, si la pulsation de l'onde optique du 30 faisceau indicent est co et si les fréquences des modes de vibration mécanique de la membrane sont fl, f2,..., fi,..., le faisceau lumineux émergeant est composé d'ondes optiques présentant des pulsations : w - 2Trf1 w - 2Trf2 ; ; 9 0) - 2Trfi ;... Normalement, uniquement des bandes latérales inférieures sont produites, mais il n'est pas exclu que certains matériaux permettent d'obtenir des bandes latérales supérieures. En outre, le matériau de la membrane constitutive du résonateur 182 est 5 de préférence structuré selon un motif acoustique. Celui-ci est par exemple obtenu en réalisant des nano perforations de la membrane. Chaque perforation peut alors être considérée comme une rupture d'impédance acoustique, de sorte que le matériau de la membrane constitue un cristal phononique. Le matériau associant alors des fonctions optique et acoustique est dit « phoxonique ». 10 La structuration acoustique de la membrane est propre à assurer le filtrage d'un mode de vibration mécanique privilégié et le confinement d'une onde optique privilégiée. La structuration acoustique de la membrane est ainsi choisie de manière à privilégier le mode de vibration mécanique caractérisé par la fréquence fi. Ainsi, en régime établi, l'onde acoustique à la fréquence fi est renforcée 15 et est sélectionnée parmi les différentes ondes acoustiques possibles. Simultanément, l'onde optique à la pulsation co - 2nf1 est privilégiée. Ainsi, en sortie du résonateur 182 et par conséquent du dispositif 116, on dispose d'un faisceau émergeant contenant les ondes optiques de pulsation w et co - Par ailleurs, l'onde acoustique de fréquence fi est utilisée pour générer un 20 signal de retard Sr. Pour cela, le guide acoustique 184 du dispositif 116 est propre à prélever l'onde acoustique de fréquence fi générée dans la membrane constitutive du résonateur optomécanique 182 et à la guider sur une distance d vers le transducteur mécanique / électrique 185. 25 Le temps de propagation de l'onde acoustique de fréquence fi à travers le guide acoustique 184 introduit un retard T. Compte tenu de la vitesse de l'onde acoustique (de l'ordre de 3000 m.s-1) dans le matériau constitutif du guide d'onde, on obtient un retard de l'ordre de 1 ps pour une distance d de 3 mm. Le matériau du guide acoustique 184 présente avantageusement une 30 structuration nano-phononique qui ralentit et filtre cette onde acoustique. Par exemple, il est structuré sous la forme d'un matériau à bande interdite phononique de façon à ralentir l'onde acoustique à la fréquence fi, typiquement 10 jusqu'à des valeurs de 400 m.s-1. Un tel matériau est par exemple présenté dans l'article de Fang, Kejie, et al. "Phonon routing in integrated optomechanical cavity- waveguide systems." arXiv preprint arXiv:1508.05138 (2015). Dans ce cas, on obtient un retard de 1 ps pour une distance d de propagation de 0,4 mm. A 5 noter que dans une architecture d'oscillateur optoélectronique selon l'état de la technique le même retard est obtenu avec 200 m de fibre optique. Enfin, à l'autre extrémité du guide acoustique 184, le transducteur mécanique / électrique 185 a pour fonction de convertir l'onde acoustique retardée de fréquence f1 en un signal électrique Sr, qui possède une fréquence d'oscillation 10 égale à la fréquence privilégiée fl. Ceci peut être par exemple obtenu en choisissant le matériau constitutif du substrat du transducteur 185 de manière à ce qu'il soit piézo-électrique. Le substrat porte alors, en surface, un ensemble d'électrodes inter-digitées. Cet ensemble d'électrodes est accordé à la fréquence fi. 15 De préférence, le dispositif 116 comporte également un guide optique d'entrée 181 et un guide optique de sortie 183, disposés à proximité du résonateur 182. Le guide optique d'entrée a pour fonction de guider jusqu'au résonateur 182 le faisceau lumineux incident, généré par la source commandée 111 et appliqué en entrée du dispositif 116. Le couplage entre le guide 181 et le 20 résonateur 182 s'effectue par ondes évanescentes. De manière symétrique, le guide optique de sortie 183 a pour fonction de guider le faisceau lumineux émergeant du résonateur 182 jusqu'à la sortie du dispositif 116, vers la diode 118. Le couplage entre le résonateur 182 et le guide optique de sortie 183 est également du type par ondes évanescentes. Avantageusement, les guides optiques peuvent 25 être réalisés directement dans la membrane constitutive du résonateur 182. Dans une variante particulièrement avantageuse, les différentes fonctionnalités du dispositif 116 sont intégrées sur une même puce. Les matériaux constitutifs de la membrane du résonateur 182, du guide acoustique 184 et du substrat du transducteur 185 sont alors identiques de manière à permettre une 30 fabrication simultanée au moyen d'une technologie adaptée. Le matériau envisagé est par exemple un matériau semi-conducteur III-V, de préférence de l'Arséniure de Gallium GaAs. 11 La photodiode 118 permet de générer un signal utile Sout à partir du faisceau lumineux émergeant du dispositif 116. La photodiode 118 est de préférence une photodiode rapide, c'est-à-dire dont la bande passante est supérieure à la fréquence f1. Elle a pour fonction de 5 détecter l'écart de fréquence entre les deux ondes optiques du faisceau lumineux émergeant, respectivement co et co - 27rf1, et de délivrer en sortie un signal électrique de battement à la fréquence fi. C'est ce signal de battement qui est le signal utile Saut délivré en sortie de l'oscillateur 110. La photodiode 118 peut avantageusement être utilisée pour stabiliser les 10 conditions de fonctionnement du résonateur optomécanique 182, via la puissance et la fréquence optique du laser. Elle permet par exemple de compenser les dérives thermiques du résonateur optique qui entraînent un désaccord de la résonance vis-à-vis de l'excitation. La boucle de réinjection 117 élabore le signal électrique de commande Sc 15 du modulateur 114 à partir du signal électrique Sr délivré en sortie du transducteur 185. La boucle 117 comporte un moyen de filtrage 172 suivi d'un moyen d'amplification 173. Ainsi, le signal électrique Sr, retardé et de fréquence fi, est utilisé via la boucle de réinjection 117, pour alimenter le modulateur 114. On réinjecte donc 20 dans le résonateur optomécanique 182 un faisceau lumineux de pulsation w modulé à la fréquence f1, c'est-à-dire comportant des ondes optiques aux pulsations w et w On pourrait aussi récupérer le signal de battement radiofréquence en sortie de l'amplificateur 173 à l'aide d'un coupleur, identique au coupleur 74. 25 Les deux ondes optiques w et w - 27-cf1 contenues dans le faisceau modulé injecté dans le résonateur 182 contribuent à entretenir la génération de l'onde acoustique à la fréquence fl. De cette manière, l'oscillation optomécanique 182 gagne en finesse grâce au facteur de qualité effectif offert par le délai acoustique T. 30 L'oscillation à f1 portée successivement optiquement, mécaniquement, et électriquement bénéficie à la fois d'une résonance optique, d'une résonance mécanique, et d'un délai acoustique. L'ensemble constitue donc un oscillateur 12 RF plus apte à générer des signaux de grande pureté spectrale qu'une simple résonance optomécanique . Le retard étant obtenu par une structure de quelques millimètres, l'oscillateur présente un volume extrêmement réduit, notamment par rapport à 5 l'état de la technique. Le volume du résonateur opto-mécanique est typiquement de quelques pm3. Celui de l'oscillateur, intégrant la ligne à retard et le transducteur, est typiquement de 1mmx1Opmx250nm. Le résonateur 182 présente également un coefficient de surtension optique Q élevé, typiquement de l'ordre de 10e-- 106. 10 Dès lors que le gain électrique et la puissance optique (typiquement 10 mW) sont suffisants, on peut atteindre des conditions d'oscillations entretenues et un affinement spectral de l'oscillateur 110 électro-optomécanique. La fréquence f1 est élevée, typiquement de l'ordre du GHz. En variante, une fibre optique peut être insérée entre le dispositif 116 et la 15 photodiode 118 afin de distribuer le signal RF sur porteuse optique du faisceau lumineux émergeant loin du coeur de l'oscillateur 110. Dans cette variante la fibre optique ne joue aucun rôle dans la stabilisation de l'oscillateur, contrairement à l'état de la technique. Les figures 3 à 5 représentent des modes de réalisation alternatifs de 20 l'invention. Un élément du second, troisième ou quatrième mode de réalisation qui est identique à un élément du premier mode de réalisation est référencé sur ces figures par le chiffre utilisé pour référencer cet élément identique sur la figure 2 augmenté d'une centaine pour le second mode de réalisation, de deux centaines pour le troisième mode de réalisation et de trois centaines pour le 25 quatrième mode de réalisation. Dans le second mode de réalisation de la figure 3, toutes choses égales par ailleurs, la source 211 de l'oscillateur 210 est un laser bi-fréquence 212 en remplacement de l'ensemble constitué du laser 112 et du modulateur 114 de l'oscillateur 110 de la figure 2. Dans le cas où le laser bi-fréquence est une diode 30 laser du type de celles présentées dans l'article de G. Kervella et al. "Laser sources for microwave to millimeter-wave applications," Photon. Res. 2, B70-B79 (2014), le signal électrique de commande Sc, d'origine acoustique, peut être 13 appliqué directement pour contrôler le laser bi-fréquence et verrouiller, à la fréquence fl, l'écart entre les deux fréquences générées par le laser. Le laser bi-fréquence génère ainsi uniquement deux ondes optiques respectivement à (,) et à to - 2/rf1. 5 En variante de ce second mode de réalisation, la source 211 est un laser à modulation directe. Dans le troisième mode de réalisation de la figure 4, correspondant à une variante de réalisation du premier mode de réalisation de la figure 2, la source 311 de l'oscillateur 310 est constituée par un laser mono-fréquence 312 et un 10 modulateur 314. Dans ce mode de réalisation, le résonateur optomécanique 316 comporte un premier guide acoustique 384 (propageant l'onde acoustique sur une distance di) et un premier convertisseur mécanique / optique 385 permettant de générer un premier signal de retard Sri ayant un retard T1 et un second guide acoustique 15 386 (propageant l'onde acoustique sur une distance d2) et un second convertisseur mécanique / optique 387 permettant de générer un second signal de retard Sr2 ayant un retard r2. Les deux signaux de retard sont combinés dans un additionneur RF 388. Ce dernier délivre alors un signal d'erreur Se ayant une fréquence réduite, qui 20 rend compte des dérives de la fréquence de battement entre deux instants, séparés de l'écart temporel r2 - T1. Le signal d'erreur Se est ensuite amplifié de manière à obtenir le signal de commande S, de la source 311. En variante de ce troisième mode de réalisation, le retard Ti n'est pas obtenu acoustiquement, mais à partir du signal utile Sout en sortie de la 25 photodiode 318. C'est ce dernier qui est mélangé au signal retardé acoustiquement Sr2, afin de générer le signal d'erreur Se de contre-réaction sur le laser bi-fréquence. Dans le quatrième mode de réalisation de la figure 5, le modulateur électro-optique est supprimé. L'onde optique de la source 411 est injectée 30 directement depuis le laser 412 dans le résonateur 482. Cette onde optique incidente est modulée par la vibration mécanique et l'onde modulée émergeante est détectée, en sortie du résonateur 482 par la photodiode rapide 14 418. Le signal utile Sout délivré en sortie de la diode 418 est alors amplifié pour obtenir un signal d'excitation Sx à la fréquence fl. Le signal d'excitation Sx est ensuite appliqué à un ensemble d'électrodes inter-digitées d'un convertisseur 485 fonctionnant maintenant en tant que convertisseur électrique-acoustique. 5 Il excite, par effet piézo-électrique, une onde acoustique à la fréquence fl. Cette onde acoustique est prélevée et guidée par un guide acoustique 484 vers le résonateur 482. C'est cette onde acoustique qui agira, avec un retard r introduit par la propagation de l'onde acoustique à travers le guide acoustique 484, sur la cavité optique du résonateur 482 pour moduler l'onde optique. 10 Dans ce mode de réalisation, une onde acoustique, générée par un signal électrique, est « relue » optiquement. La détection, par la photodiode, de cette onde optique modulée donne un signal électrique qui alimente lui-même la génération de l'onde acoustique. L'oscillateur 410 est ainsi refermé. Ce quatrième mode de réalisation est « inverse » de celui des figures 15 précédentes. Il est généralisable à l'ensemble des modes de réalisation et variantes présentés précédemment. L'oscillateur selon l'invention permet la génération de signaux RF de grande pureté spectrale, et ceci directement à la fréquence d'utilisation, 20 notamment sans avoir besoin de chaine de multiplication. L'oscillateur selon l'invention peut être réalisé sur une puce de semiconducteur de l'ordre de 1 à 10 cm2, compatible des applications embarquées. La présente invention s'inscrit dans le domaine général de la génération de signaux RF de grande pureté spectrale pouvant être utilisés comme oscillateur 25 local dans des systèmes radar, de guerre électronique, REVENDICATIONS1.- Oscillateur radiofréquence (110), comportant : - une source (111) commandée propre à générer un faisceau lumineux incident comportant au moins une onde optique à une pulsation de référence co ; - un résonateur optomécanique (182), présentant une résonance optique à la pulsation de référence co et une résonance mécanique à une fréquence de référence f1 , le résonateur optomécanique étant propre, à partir du faisceau lumineux incident à générer, d'une part, un faisceau lumineux émergeant comportant des ondes optiques aux pulsations co et (L)- 27rf1, et, d'autre part, une onde acoustique à la fréquence de référence f1 ; - une photodiode (118), propre à délivrer un signal électrique utile (S't) à la fréquence de référence f1 à partir du faisceau lumineux émergeant du résonateur optomécanique (182), caractérisé en ce qu'il comporte : - un moyen de propagation acoustique (184) propre à prélever l'onde acoustique générée par le résonateur optomécanique (182) et à la propager sur une distance de propagation (d) prédéterminée pour y introduire un retard (T) de manière à produire une onde acoustique retardée ; - un moyen de conversion (185) propre à convertir l'onde acoustique retardée en sortie du moyen de propagation, en un signal électrique de retard (Sr) ayant une fréquence d'oscillation égale à la fréquence de référence f1 ; et, - une boucle de commande (117), propre à traiter le signal de retard (Sr) pour obtenir un signal électrique de commande (Se) appliqué à la source (111), le signal électrique de commande ayant une fréquence d'oscillation égale à la fréquence de référence fl. 2.- Oscillateur (110) selon la revendication 1, dans lequel la source (111) comporte : - un laser mono-fréquence (112), propre à générer un faisceau lumineux comportant une onde optique à la pulsation de référence co ; et, 16 - un modulateur (114) propre à moduler l'onde optique du faisceau lumineux générée par le laser mono-fréquence (112) selon ledit signal électrique de commande (Se) pour obtenir en sortie un faisceau lumineux incident modulé de manière à comporter des ondes optiques à la pulsation w et aux pulsations 5 w + 2nf1 et/ou co - 2nf1. 3.- Oscillateur (210) selon la revendication 1, dans lequel la source (211) est un laser bi-fréquence (212), propre à générer, selon ledit signal de commande (Se), un faisceau lumineux incident comportant des ondes optiques à la pulsation 10 w et aux pulsations w + 27rf1 et/ou w - 4.- Oscillateur (310) selon la revendication 1, dans lequel, le moyen de propagation (384) étant un premier moyen de propagation propre à produire une première onde acoustique retardée d'un premier retard (Ti) et le moyen de 15 conversion (385) étant un premier moyen de conversion propre à délivrer un premier signal électrique de retard (SRI) à partir de la première onde acoustique retardée, l'oscillateur comporte en outre un second moyen de propagation (386) propre à prélever l'onde acoustique générée par le résonateur optomécanique (382) et à la propager sur une distance de propagation (d2) prédéterminée pour y 20 introduire un second retard (t-2) de manière à produire une seconde onde acoustique retardée et un second moyen de conversion (387) propre à délivrer un second signal électrique de retard (SR2) à partir de la seconde onde acoustique retardée, la boucle de commande (317) comportant un moyen de détermination d'un signal électrique d'erreur (Se) élaboré à partir des premier et second signaux 25 électriques de retard, le signal de commande (Se) étant élaboré à partir du signal d'erreur (Se). 5.- Oscillateur radiofréquence (410), comportant : - une source (111) propre à générer un faisceau lumineux incident comportant au 30 moins une onde optique à une pulsation de référence w; - un résonateur optomécanique (482), présentant une résonance optique à la pulsation de référence w et une résonance mécanique à une fréquence de 17 référence ft, le résonateur optomécanique (482) étant propre, à partir du faisceau lumineux incident à générer, d'une part, un faisceau lumineux émergeant comportant des ondes optiques aux pulsations ci) et a) - 27rf1, et, d'autre part, une onde acoustique à la fréquence de référence f1 ; 5 - une photodiode (418), propre à délivrer un signal électrique utile (Sot) à la fréquence de référence f1 à partir du faisceau lumineux émergeant du résonateur optomécanique (482), caractérisé en ce qu'il comporte : - un moyen de conversion (485) propre à convertir un signal électrique d'excitation 10 (Sx) en une onde acoustique, le signal électrique d'excitation (Sx) étant élaboré à partir du signal électrique utile (Sot) et ayant une fréquence d'oscillation égale à la fréquence de référence f1; - un moyen de propagation acoustique (484) propre à prélever l'onde acoustique générée par le moyen de conversion (485) et à la propager sur une distance de 15 propagation (d) prédéterminée pour y introduire un retard (T) de manière à produire une onde acoustique retardée, et à appliquer ladite onde acoustique retardée au résonateur optomécanique (482). 6.- Oscillateur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans 20 lequel le résonateur optomécanique, le moyen de propagation acoustique et le moyen de conversion sont intégrés sur une même puce. 7.- Oscillateur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le moyen de propagation acoustique est un guide d'onde accordé à la 25 fréquence de référence f1 8.- Oscillateur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le moyen de conversion comporte un matériau piézoélectrique et des électrodes interdigitées. 30