FR 3072176 A1 20190412 FR 1759481 A 20171010 - 1 - « Dispositif de mesure d'impédance » Domaine technique La présente invention concerne un dispositif de mesure d'impédance, et en particulier d'impédance capacitive dans le cadre d'une application de détection capacitive d'objets. Elle concerne également un dispositif de détection capacitive d'objets mettant en oeuvre un tel dispositif de mesure d'impédance, pour détecter l'approche et/ou le contact d'un objet. Elle concerne en outre un équipement et un robot, équipé d'un tel dispositif. Le domaine de l'invention est, de manière non limitative, celui des dispositifs de mesure d'impédance, et en particulier ceux utilisés dans des interfaces de détection capacitive d'objets environnants, en particulier dans le 15 domaine de la robotique. Etat de la technique La détection capacitive d'un objet, basée sur la mesure de la capacité, 20 dite capacité électrode-objet, formée entre une électrode de détection capacitive et ledit objet, est connue de longue date. Le document FR 2 756 048 décrit une telle détection. Généralement, cette détection capacitive met en oeuvre un dispositif de mesure d'impédance en méthode de zéro, également appelé pont de mesure 25 d'impédance. Le pont de mesure comprend une branche, dite de mesure comportant une source Vm, dite de mesure, et l'impédance à mesurer, à savoir l'impédance formée par la capacité électrode-objet, et une branche de référence comportant une source V' dite de référence, et une impédance, dite de référence. La mesure d'impédance est réalisée en équilibrant le pont de 30 mesure de sorte que la somme algébrique des courants circulant dans les deux branches, ou des tensions aux bornes des deux branches, s'annule. Une solution d'équilibrage du pont consiste à modifier la tension de la source de de référence Vr proportionnellement à une variable de commande k (Vr=k.Vo), de sorte à compenser l'erreur d'équilibrage. Pour la détection 35 capacitive d'objet, cette solution donne une mesure de la capacité électrode- - 2 - objet Cm, et nécessite ipso facto une inversion pour obtenir la distance entre l'électrode et l'objet. Or, du fait de cette inversion, il est nécessaire, avec un système numérique, de réaliser une mesure de la capacité électrode-objet sur un nombre de bits inutilement élevé, tel que par exemple 2n bits lorsqu'on 5 souhaite quantifier la distance sur n bits. Cela est coûteux à implémenter. Une autre solution consiste à modifier la tension de la source de mesure Vm proportionnellement à une variable de commande k (Vm=k.Vo), de sorte à compenser l'erreur d'équilibrage. Pour la détection capacitive d'objet, cette solution donne une mesure proportionnelle à la distance entre l'électrode et 10 l'objet, et est donc moins coûteuse à implémenter. Cependant, cette solution n'est pas parallélisable car elle nécessite de modifier la tension de la branche de mesure pour chaque électrode de mesure et introduit des capacités de fuite perturbatrices. Un but de la présente invention est de remédier aux inconvénients précités. Un autre but de la présente invention est de proposer un dispositif de mesure d'impédance parallélisable, moins coûteux à implémenter, en particulier dans le cadre d'une détection capacitive d'objet. Un autre but de la présente invention est de proposer un dispositif de mesure d'impédance parallélisable, et permettant une détection plus rapide dans le cadre d'une détection capacitive d'objet. Exposé de l'invention Au moins un de ces buts est atteint avec un dispositif électronique de mesure d'impédance comprenant : - une branche, dite de mesure, comportant une impédance à mesurer ; et - au moins une branche, dite de référence, comportant une impédance, dite de référence ; caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins un moyen, dit d'ajustement, réalisant une modification du courant dans au moins une desdites branches de référence de manière inversement proportionnelle à une variable de commande. - 3 - Suivant des modes de réalisation, dits en boucle fermée, la variable de commande peut dépendre, ou être ajustée en fonction : d'une somme algébrique des courants circulant respectivement dans ladite branche de mesure et ladite au moins une branche de 5 référence ; et/ou d'une somme algébrique des tensions présentes aux bornes, respectivement, de ladite branche de mesure et de ladite au moins une branche de référence. Il est à noter que si les courants ou les tensions sont en opposition de 10 phase ou de polarité opposée, leur somme algébrique correspond à une différence. Suivant des modes de réalisation, la variable de commande peut être une grandeur numérique, et/ou générée par un système numérique. 15 Autrement dit, contrairement aux dispositifs de l'état de la technique dans lesquels le courant est ajusté de manière proportionnelle à une variable de commande, le dispositif selon l'invention réalise une modification du courant dans la branche de référence de manière inversement proportionnelle 20 à une variable de commande. Cette différence sera expliquée plus en détail en référence aux FIGURES 1 à 3. Ainsi, le dispositif de mesure d'impédance selon l'invention est parallélisable car il ne nécessite pas de modifier la tension de la branche de mesure. De plus, le dispositif selon l'invention est moins coûteux à 25 implémenter car, là où les dispositifs de l'état de la technique donnent des mesures inversement proportionnelles à l'impédance, le dispositif selon l'invention donne une mesure proportionnelle à l'impédance. Par conséquence, le dispositif selon l'invention permet d'éviter une opération d'inversion, et par conséquent, les coûts et le temps qui y sont associés. 30 Dans la présente demande, on raisonne pour des raisons de simplicité en régime sinusoïdal avec des signaux de pulsation co dont les amplitudes sont algébrique (V, Vo, V'...), et on entend par impédance la valeur de la partie réelle et/ou de la partie imaginaire de l'impédance avec, ou sans, prise en 35 compte de la fréquence/pulsation. - 4 - En particulier, dans la présente demande, par impédance Z : - d'une capacité pure de valeur « C », on entend Z=1/C ou Z=1/(jwC) ; - d'une inductance pure de valeur « L », on entend Z=L ou Z=jwL ; 5 et - d'une résistance pure de valeur « R », on entend Z=R ; avec « w » la pulsation et j l'unité imaginaire. Toutefois, il est bien entendu que l'invention peut être mise en oeuvre en utilisant toutes sortes de signaux alternatifs, par exemple carrés, 10 triangulaires, ...), et les mêmes raisonnements sont applicables. Dans la présente demande, « objet » désigne tout objet ou personne pouvant se trouver dans l'environnement d'un capteur, et/ou d'un dispositif tel qu'un robot équipé d'un capteur. 15 Dans la présente demande, deux potentiels alternatifs sont identiques à une fréquence donnée lorsqu'ils comportent chacun une composante alternative identique à cette fréquence. Ainsi, l'un au moins des deux potentiels identiques à ladite fréquence peut comporter en outre par exemple 20 une composante continue, et/ou une composante alternative de fréquence différente de ladite fréquence donnée. De manière similaire, deux potentiels alternatifs sont différents à la fréquence de travail lorsqu'ils ne comportent pas de composante alternative identique à cette fréquence de travail. 25 Dans la présente demande, pour éviter des lourdeurs rédactionnelles, le terme « potentiel de masse » ou « potentiel de masse générale » désigne un potentiel de référence de l'électronique (ou du dispositif, tel qu'un robot), qui peut être par exemple une masse électrique. Ce potentiel de masse peut 30 correspondre à un potentiel de terre, ou à un autre potentiel relié ou non au potentiel de terre. On rappelle par ailleurs que de manière générale, les objets qui ne sont pas en contact électrique direct avec un potentiel électrique particulier (objets électriquement flottants) tendent à se polariser par couplage capacitif au 35 potentiel électrique d'autres objets présents dans leur environnement, tel que - 5 - par exemple la terre ou des électrodes, si les surfaces de recouvrement entre ces objets et ceux de l'environnement (ou les électrodes) sont suffisamment importantes. 5 Dans le dispositif selon l'invention, pour au moins une branche de référence, le moyen d'ajustement peut réaliser une modification de l'amplitude d'une tension délivrée à ladite branche de référence, de manière inversement proportionnelle à la variable de commande. Autrement dit, la tension délivrée à l'impédance de référence se 10 trouvant dans ladite branche de référence peut être ajustée de manière inversement proportionnelle à la variable de commande. Dans ce cas, suivant un exemple de réalisation non limitatif, le moyen d'ajustement peut comprendre un amplificateur dont le gain varie de manière 15 inversement proportionnelle à la variable de commande, et disposé en aval d'une source de tension. La source de tension peut délivrer une tension alternative d'amplitude fixe, notée par exemple Vo. L'amplificateur applique un gain G, inversement proportionnelle à la variable de commande, notée par exemple k. La tension, 20 notée V' délivrée à l'impédance de référence, notée Zr, est alors Vr-Vo/k. Dans ce cas, le courant, noté I' circulant dans l'impédance de référence Zr, et donc dans la branche de référence, obéit à la relation : Vo/(k.Z,-). Le courant est donc inversement proportionnel à la variable de commande k. 25 En particulier, le moyen d'ajustement peut comprendre : - un amplificateur, en particulier inverseur, et - au moins un premier potentiomètre numérique, utilisé comme résistance d'entrée dudit amplificateur, et dont la résistance est ajustée proportionnellement à la variable de commande. 30 En particulier, ledit premier potentiomètre numérique peut être un potentiomètre numérique dont la résistance vaut Rt(p)=k.R, avec par exemple R correspondant à la valeur de la résistance de contre-réaction de l'amplificateur, pour conserver un gain unitaire. Dans ce cas, le gain G de l'amplificateur obéit à la relation G-(1+1/k) pour un amplificateur non- - 6 - inverseur, et G--1/k pour un amplificateur inverseur, avec k la variable de commande. Dans le cas où un amplificateur inverseur est utilisé, la source de tension délivre de préférence une tension alternative Vo de même polarité que, 5 ou en phase avec, la tension délivrée à la branche de mesure. Dans le cas où un amplificateur non-inverseur est utilisé, la source de tension délivre de préférence une tension Vo de polarité opposée à, ou en opposition de phase avec, la tension délivrée à la branche de mesure. 10 Suivant une caractéristique optionnelle particulièrement avantageuse, le moyen d'ajustement peut comprendre au moins un deuxième potentiomètre numérique dont la résistance est commandée proportionnellement à la variable de commande, monté en série avec le premier potentiomètre numérique, et de résolution plus élevée et/ou de résistance maximale plus 15 faible que ledit premier potentiomètre, en particulier d'un rapport de l'ordre de 10. Ainsi, il est possible de réaliser une mesure d'impédance plus fine et plus précise, en réalisant une approche grossière avec le premier potentiomètre numérique, puis une approche plus fine avec le deuxième 20 potentiomètre numérique. Pour au moins une branche de référence, le moyen d'ajustement peut réaliser une modification de l'impédance de référence de ladite branche de référence, de manière proportionnelle à la variable de commande. 25 Autrement dit, l'impédance de référence se trouvant dans ladite branche de référence peut être ajustée de manière proportionnelle à la variable de commande. Dans ce cas, suivant un exemple de réalisation, le moyen d'ajustement 30 peut comprendre : - un ensemble d'au moins deux impédances disposées en série, et - au moins un, en particulier plusieurs, interrupteur(s) commandable(s), prévu(s), chacun, pour court-circuiter ou non une desdites impédances. - 7 - Ainsi, en modifiant le nombre d'impédance court-circuité, il est possible de modifier l'impédance totale, de manière proportionnelle à la variable de commande. 5 Suivant un exemple d'implémentation préféré mais nullement limitatif, l'ensemble d'impédances peut comprendre n impédances de valeurs Zi=Z.2i avec i=0...n-1, et en particulier n condensateurs de valeurs Ci=C.2i avec i=0...n-1. Dans ce cas, l'impédance de référence obéit à la relation suivante : (k. Z) Zr = 2n 10 De plus, en codant la valeur de k sur n bits (avec par exemple n=8), il est alors possible de commander l'état de chaque interrupteur par un bit. Suivant des modes de réalisation, le dispositif selon l'invention peut comprendre plusieurs branches de références. 15 Le dispositif selon l'invention peut notamment comprendre au moins deux branches de référence comprenant des impédances de référence de nature différente. Par exemple, l'une de ces branches de référence peut comprendre une impédance de référence de nature purement résistive, et l'autre de ces 20 branches de référence peut comprendre une impédance de nature purement réactive, capacitive ou inductive. Il est ainsi possible de déterminer des composantes de nature différente de l'impédance à mesurer. Alternativement ou en plus, le dispositif selon l'invention peut 25 comprendre au moins deux branches de référence comprenant des impédances de référence de même nature, et alimentées par des signaux en quadrature. Autrement dit, chacune de ces branches comprend une impédance de référence qui est soit de nature résistive, soit de nature réactive. Du fait de l'alimentation en quadrature de ces deux branches de 30 référence, les impédances de références de même nature se comportent comme des impédances de nature différente. Par exemple, une capacité alimentée par une tension en quadrature est « vue » comme une résistance. - 8 - De même que précédemment, il est ainsi possible de déterminer des composantes de nature différente de l'impédance à mesurer. Le dispositif selon l'invention peut en outre comprendre une 5 électronique, dite de détection, fournissant un signal d'erreur (Vs) dépendant de (ou fonction de, ou proportionnel à) : - une somme algébrique du courant circulant dans l'au moins une branche de référence et du courant circulant dans la branche de mesure ; ou 10 - une somme algébrique des tensions présentes respectivement aux bornes de l'au moins une branche de référence et aux bornes de la branche de mesure. Si les courants ou les tensions sont en opposition de phase ou de polarité opposée, la somme algébrique correspond à une différence. 15 Ce signal d'erreur (Vs) tend vers zéro lorsque le pont est équilibré. Cette électronique de détection peut être réalisée partiellement ou totalement par des composants analogiques, ou par des composants numériques, ou encore par une combinaison de composants numériques et de 20 composants analogiques. Pour fournir un signal d'erreur en tension dépendant d'une somme de tensions, l'électronique de détection peut comprendre un amplificateur sommateur de tensions. 25 Pour fournir un signal d'erreur en tension dépendant d'une somme de courant, l'électronique de détection peut comprendre un convertisseur courant-tension. Ce convertisseur peut comprendre un amplificateur de type transimpédance, par exemple sous la forme d'un montage correspondant à un amplificateur opérationnel avec une impédance en contre-réaction. Cette 30 impédance de contre-réaction peut être par exemple de nature essentiellement résistive et/ou capacitive. De manière générale, il fournit en sortie une tension V = -Z I en notation complexe, avec I le courant d'entrée et Z l'impédance de contre réaction. - 9 - Dans une version préférée, en particulier adaptée à la mesure d'impédances de nature capacitive, l'électronique de détection peut comprendre un amplificateur de charge relié en un point de jonction de la branche de mesure avec l'au moins une branche de référence, entre 5 l'impédance à mesurer et l'au moins une impédance de référence, et fournissant un signal d'erreur dépendant de (ou proportionnel à, au moins en notation complexe) la somme algébrique du courant de la branche de mesure et du courant de l'au moins une branche de référence. Un amplificateur dit « de charge » est un amplificateur de type trans- 10 impédance avec une impédance de nature essentiellement capacitive en contre-réaction, éventuellement associée à une impédance de nature résistive en parallèle. Il fournit en sortie une tension proportionnelle à la charge ou au courant présent en entrée. 15 Le dispositif selon l'invention peut comprendre en outre, disposé en aval de l'électronique de détection, un démodulateur d'amplitude. Ce démodulateur d'amplitude peut comprendre par exemple : - un détecteur d'enveloppe, qui effectue de manière numérique ou analogique un redressement du signal d'erreur suivi d'un filtrage 2 0 passe-bas; ou - un démodulateur synchrone, qui effectue une multiplication du signal d'erreur avec une porteuse de référence, suivi d'un filtrage passe-bas. Ce démodulateur d'amplitude est destiné à recevoir le signal d'erreur et 25 fournir, de manière numérique ou analogique, une mesure de l'amplitude de ce signal d'erreur. Le dispositif selon l'invention peut comprendre en outre un amplificateur avec un gain proportionnel, et en particulier égal à, la variable de commande. 30 Cet amplificateur peut être disposé en aval de l'électronique de détection ou en aval du démodulateur d'amplitude. Cet amplificateur permet d'obtenir un signal d'erreur proportionnel à la variable de commande, ce qui permet en très peu de mesures avec des variables de commandes différentes, ou même en une seule mesure, de 35 déterminer la valeur de l'impédance à mesurer. - 10 - Alternativement, le dispositif selon l'invention peut comprendre un comparateur disposé en aval de l'électronique de détection et recevant le signal d'erreur (V,) fourni par exemple par l'amplificateur de charge. Ce 5 comparateur fournit un signal alternatif binaire correspondant à la polarité du signal d'erreur. Ce signal peut être comparé à un signal de référence pour déterminer (par exemple numériquement ou en utilisant une logique de type OU exclusif) le signe de l'erreur. Un tel comparateur permet ainsi de réaliser une détection de type « par approximations successives » binaire en éliminant 10 complètement le besoin d'une démodulation du signal d'erreur. Le dispositif selon l'invention peut en outre comprendre un module électronique, dit de commande, fournissant la variable de commande en fonction du signal issu de l'électronique de détection, éventuellement après 15 démodulation. Un tel module électronique peut en particulier être de nature numérique, et peut par exemple être réalisé par un microcontrôleur fournissant un signal sur n bits venant commander, par exemple, soit un/des potentiomètre(s) numériques, soit des interrupteurs de court-circuit d'un 20 ensemble d'impédances montées en série, tels que décrits plus haut. Suivant une implémentation nullement limitative, la branche de référence et la branche de mesure peuvent être alimentées par une même source, éventuellement par utilisation d'un transformateur ou d'un diviseur de 25 tension résistif (constitué d'au moins deux résistances en cascades). Suivant une implémentation particulièrement préférée, en particulier dans le cas d'une détection capacitive d'objets : - l'impédance à mesurer peut être référencée à une masse 30 générale, en particulier la terre, et - le courant dans l'au moins une branche de référence peut être référencé à un potentiel électrique alternatif, dit potentiel de référence, différent de ladite masse générale à une fréquence de travail ; ledit dispositif comprenant une source de tension alternative disposée entre ledit potentiel de référence et ladite masse générale. Dans cette configuration, l'impédance à mesurer peut être reliée à une 5 masse générale, ou en d'autres termes avoir une terminaison électriquement reliée à une masse générale (ou la terre). Au moins une partie de l'électronique du dispositif (dont l'au moins une branche de référence ou le courant de l'au moins une branche de référence) peut être référencée au potentiel de référence. La source de tension alternative peut imposer une 10 différence de potentiel alternatif entre ce potentiel de référence et la masse générale. Dans le cas d'une détection capacitive d'objets mettant en oeuvre des électrodes de mesure capacitive, l'impédance à mesurer est constituée par la capacité entre une électrode de mesure et un objet à proximité, qui est de 15 manière générale électriquement référencé à la masse générale ou à la terre. Dans cette configuration, l'électrode de mesure est polarisée à un potentiel correspondant au potentiel de référence. Ce potentiel de référence peut alors être utilisé comme potentiel de garde pour garder électriquement lesdites électrodes de mesure et éviter les capacités de fuite parasites avec 20 l'environnement, par exemple grâce à des électrodes de garde polarisé audit potentiel de référence. Dans cette configuration, au moins une partie de l'électronique, dont l'électronique de détection et l'amplificateur de charges, le cas échéant, 25 peuvent être électriquement référencée au potentiel de référence, y compris les alimentations de composants. Ainsi, les capacités de fuites sont également éliminées dans les composants. Bien entendu il est aussi possible de mettre en oeuvre une électronique référencée (au niveau de ses alimentations) au potentiel de masse pour traiter 30 des signaux ou des courants notamment issus des branches de référence et de mesure référencés au potentiel de référence. Le dispositif selon l'invention peut être réalisé partiellement ou totalement par des composants analogiques ou par des composants - 12 - numériques, ou par une combinaison de composants numériques et de composants analogiques. Suivant une version non limitative, le dispositif selon l'invention peut 5 être un dispositif de mesure d'impédance capacitive dans lequel l'impédance à mesurer et la ou les impédances de référence sont de nature capacitive ou essentiellement capacitive. Une telle version du dispositif selon l'invention est particulièrement pertinente dans le cadre d'une détection capacitive d'objets, en mesurant 10 l'impédance formée par une capacité de couplage entre l'objet à détecter et une ou des électrodes de mesure capacitives. Suivant un autre aspect de la même invention, il est proposé un 15 procédé de mesure d'impédance, en particulier d'impédance capacitive, avec un dispositif électronique de mesure d'impédance comprenant : - une branche, dite de mesure, comportant une impédance à mesurer ; - au moins une branche, dite de référence, comportant une 20 impédance, dite de référence ; caractérisé en ce qu'il comprend au moins une itération d'une étape, dite d'ajustement, réalisant une modification du courant dans au moins une desdites branches de référence de manière inversement proportionnelle à une variable de commande. 25 En particulier, le procédé selon l'invention peut comprendre en termes d'étape(s), ou de caractéristique(s), de manière isolée ou combinée, chacune des caractéristiques du dispositif de mesure d'impédance selon l'invention, qui ne seront pas reprises ici par souci de concision. 30 Suivant un premier mode de réalisation, la valeur de la variable de commande correspondant à l'équilibre entre la branche de mesure et l'au moins une branche de référence peut être mesurée par une pluralité d'itérations. - 13 - Suivant un autre mode de réalisation, la valeur de la variable de commande correspondant à un équilibre entre la branche de mesure et l'au moins une branche de référence peut être calculée à partir de la valeur fournie par au moins une mesure réalisé avec le dispositif selon l'invention. 5 Suivant encore un autre aspect de la présente invention, il est proposé un dispositif de détection capacitive d'un objet comprenant : - au moins une électrode, dite de mesure, et 10 - au moins un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention agencé pour mesurer l'impédance capacitive formée entre ladite électrode de mesure et ledit objet. Dans ce cas, la ou chaque impédance de référence est une impédance de nature purement capacitive. 15 Bien entendu, le dispositif de détection capacitive peut comprendre plusieurs électrodes de mesure. Suivant un mode de réalisation, un dispositif de mesure d'impédance peut être commun à une pluralité, ou toutes, les électrodes de mesure. Dans 20 ce cas, le dispositif de détection capacitive peut comprendre un moyen de scrutation reliant ledit dispositif de mesure à chacune desdites électrodes de mesure, alternativement ou séquentiellement. Alternativement ou en plus, le dispositif de détection capacitive peut comprendre plusieurs dispositifs de mesure, chaque dispositif de mesure étant 25 commune à un ensemble de plusieurs électrodes de mesure et relié alternativement ou séquentiellement à chacune des électrodes de mesure dudit ensemble. Un tel dispositif de détection capacitive peut être intégré, partiellement 30 ou totalement, dans une interface de détection capacitive, ou dans un équipement pour un appareil ou un robot tel qu'une pièce d'habillage de type coque ou peau ou encore revêtement. - 14 - Suivant encore un autre aspect de la présente invention, il est proposé un équipement pour robot muni : - d'au moins un dispositif de détection capacitive selon l'invention ; et/ou 5 - d'au moins un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Un tel équipement peut être amovible ou démontable. Un tel équipement peut être souple ou rigide. Un tel équipement peut être une pièce d'habillage du robot, telle qu'une coque ou une peau ou encore un revêtement. 10 Un tel équipement peut être une pièce fonctionnelle, tel qu'une tête fonctionnelle se présentant sous la forme d'un outil ou d'un porte-outil. Suivant encore un autre aspect de la présente invention, il est proposé 15 un robot muni : - d'un équipement selon l'invention ; et/ou - d'au moins un dispositif de détection capacitive selon l'invention ; et/ou - d'au moins un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. 20 Un tel robot peut être un bras robotisé articulé ou non. Un tel robot peut être un humanoïde. Un tel robot peut être généralement tout appareil ou véhicule motorisé. 25 Description des figures et modes de réalisation D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à l'examen de la description détaillée d'exemples nullement limitatifs, et des dessins annexés sur lesquels : - les FIGURES 1 et 2 sont des représentations schématiques de dispositif 30 de mesure d'impédance de l'état de la technique ; - la FIGURE 3 est une représentation schématique du principe d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention ; - 15 - - les FIGURES 4-14 sont des représentations schématiques de différents exemples de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention ; et - la FIGURE 15 est une représentation schématique d'un exemple de 5 réalisation d'un dispositif de détection capacitive selon l'invention. Il est bien entendu que les modes de réalisation qui seront décrits dans la suite ne sont nullement limitatifs. On pourra notamment imaginer des variantes de l'invention ne comprenant qu'une sélection de caractéristiques décrites par la suite isolées des autres caractéristiques décrites, si cette 10 sélection de caractéristiques est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieur. Cette sélection comprend au moins une caractéristique de préférence fonctionnelle sans détails structurels, ou avec seulement une partie des détails structurels si cette partie uniquement est suffisante pour conférer 15 un avantage technique ou pour différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieur. En particulier toutes les variantes et tous les modes de réalisation décrits sont combinables entre eux si rien ne s'oppose à cette combinaison sur le plan technique. 20 Sur les figures, les éléments communs à plusieurs figures conservent la même référence. Les modes de réalisation sont décrits en utilisant des signaux harmoniques, mais il est bien entendu que l'invention peut être mise en oeuvre avec tous types de signaux alternatifs (carré, triangulaire, ...). 25 La FIGURE 1 est une représentation schématique du principe d'un premier type de dispositif de mesure d'impédance selon l'état de la technique. Le dispositif de mesure d'impédance 100, également appelé pont de mesure d'impédance, comprend une première branche 102, dite branche de 30 mesure. La branche de mesure 102 comprend une impédance, notée Zrn, dont la valeur doit être mesurée. La branche de mesure 102 est excitée par une source électrique alternative Vm(t) = Vmcos(cot), d'amplitude fixe Vm, et de pulsation co. - 16 - Le dispositif de mesure d'impédance 100 comprend également une branche 104, dite branche de référence. La branche de référence 104 comprend une impédance, notée Zr. Cette impédance Zr est de préférence de même nature (résistive, capacitive ou inductive) qu'au moins une composante 5 de l'impédance à mesurer Z,. La branche de référence 104 est excitée par une source électrique alternative variable Vr(t) = V,cos(cot+111), d'amplitude Vr et en opposition de phase par rapport à la source électrique alternative V,(t). L'amplitude la tension délivrée par la source de référence Vr est ajustée de manière proportionnelle à une variable de commande k, telle que Vr=k.Vo, 10 avec Vo une source électrique alternative d'amplitude fixe. Le dispositif de mesure 100 comprend une électronique de détection 106 comprenant un amplificateur de type transimpédance 108 (ou plus simplement « amplificateur transimpédance ») dont la borne « - » est reliée à un point de jonction des branches de mesure 102 et de référence 104, entre 15 les impédances de mesure Zn, et de référence Zr. Une impédance de contre réaction Zcr reliée la sortie de l'amplificateur transimpédance 108 à son entrée « - ». L'électronique de détection 106 peut optionnellement être associée à un bloc 110 de démodulation synchrone utilisant comme un signal de référence 20 un signal électrique alternatif de forme similaire aux signaux à démoduler, soit dans les exemples présentés de type cos(cot), et à un bloc d'intégration 112. L'amplificateur transimpédance 108 fournit un signal de sortie, ou signal d'erreur, noté Vs(t) en fonction du temps t, proportionnel à la somme algébrique du courant Im(t) de la branche de référence 102 et du courant Ir(t) 25 de la branche de mesure 104. Ce signal d'erreur est démodulé par le bloc 110 pour en extraire l'amplitude V' et intégré par l'intégrateur 112. L'intégrateur 112 permet de réaliser une boucle de contre-réaction de type Proportionnel-Intégral (PI), qui évite les effets de traînée. Pour obtenir un signal d'erreur Vs(t) en phase avec les signaux des 30 source électrique Vm(t) et V,(t), plus facile à traiter, il est préférable d'utiliser une impédance de contre réaction Zcr de même nature que l'impédance de mesure Zm. En particulier, si l'impédance de mesure Zm est de nature capacitive ou essentiellement capacitive, il est préférable de mettre en oeuvre un amplificateur transimpédance 108 avec une impédance de contre réaction 35 Zcr de nature capacitive ou essentiellement capacitive, auquel cas - 17 - l'amplificateur transimpédance 108 est appelé « amplificateur de charge » 108. Le signal issu de l'intégrateur 112 est fourni à un module de commande 114, qui peut par exemple être un microcontrôleur. Le module de commande 5 114 fournit une variable de commande, noté k, qui vient moduler l'amplitude V, de la tension fournie par la source de référence variable Vr(t). L'objectif est d'annuler la somme algébrique du courant de référence Ir(t) et du courant Im(t), et donc d'annuler le signal d'erreur Vs(t) fourni par l'amplificateur transimpédance 108, à tout instant t. 10 La branche de mesure 102, la branche de référence 104 ainsi que la borne « + » de l'amplificateur transimpédance 108 sont reliées, dans l'exemple représenté sur la FIGURE 1, à un potentiel de référence 116. A l'équilibre, les courants dans les branches de référence 104 et de mesure 102 vérifient la relation suivante, à tout instant : 15 Ir(t) + Im(t) = 0 C'est-à-dire : Vr(t)/Z,=-V,(t)/Z, Z'=-V,(t)/(Vr(t).Zr) En prenant en compte le fait que les sources de tension Vr(t) et Vm(t) 20 sont en opposition de phase, et donc de polarité opposée, cette relation peut s'écrire, en amplitudes : Zm=Vm/(Vr-Zr) Ainsi, pour une valeur ke de la variable de commande k correspondant à l'équilibre, on a : 25 Z,I=Vm/(ke.Vo.Zr). On comprend aisément que l'impédance Zm est inversement proportionnelle à la variable de commande k. Par conséquent, à partir de la valeur ke, il est nécessaire de réaliser une opération mathématique d'inversion pour déterminer Zm. 30 Or, pour obtenir une valeur de Zm avec une précision sous n bits après inversion de k, il est nécessaire de déterminer k avec une précision de 2n bits. Ce qui est coûteux. Il existe un deuxième type de dispositif de mesure d'impédance connu, dont un exemple est représenté sur la FIGURE 2, et qui permet de pallier cette 35 problématique de coût lié au dispositif 100. - 18 - La FIGURE 2 est une représentation schématique du principe d'un deuxième type de dispositif de mesure d'impédance selon l'état de la 5 technique. Le dispositif de mesure d'impédance 200 comprend tous les éléments du dispositif 100 de la FIGURE 1. A la différence du dispositif 100 de la FIGURE 1, dans le dispositif 200 de la FIGURE 2, la source Vr excitant la branche de référence 104 est 10 d'amplitude fixe et c'est la source Vm excitant la branche de mesure 102 qui a une amplitude variable proportionnellement à la variable de commande k, et le module de commande 114 vient contrôler cette source Vm et non la source Vr. Autrement dit, dans le dispositif 200 de la FIGURE 2, on a Vrn=k.V0, avec Vo une source électrique alternative d'amplitude fixe et k la variable de 15 commande délivrée par le module commande 114. En condition d'équilibre on a toujours : Ir(t)+ Im(t) = 0 C'est-à-dire : Vr(t)/Zr-Vm(t)/Zni 20 En prenant en compte le fait, comme précédemment, que les sources de tension Vr(t) et Vm(t) sont en opposition de phase, et donc de polarité opposée, cette relation peut s'écrire, en amplitudes : Z'=V,/(Vr.Zr) Ainsi, pour une valeur ke permettant d'obtenir l'équilibre, on a : 25 Zm=(ke.V0)/(Vr-Zr)- On comprend que l'impédance Zm est proportionnelle à la variable de commande k. Par conséquent, à partir de la valeur ke, il n'est pas nécessaire de réaliser une opération mathématique d'inversion pour déterminer Z', 30 contrairement au dispositif 100 de la FIGURE 1. Le dispositif 200 de la FIGURE 2 est donc moins coûteux que le dispositif 100 de la FIGURE 1. Cependant, le dispositif 200 de la FIGURE 2 n'est pas parallélisable pour 35 une pluralité d'impédances à déterminer car la source Vm se trouvant sur la - 19 - branche de mesure 102 ne peut pas être commune à toutes les impédances à déterminer. De plus, dans une application de détection capacitive les impédances à déterminer sont des impédances purement capacitives entre des électrodes de 5 mesure et un objet à détecter. Or, il n'est pas possible d'exciter les électrodes de mesure à des potentiels différents, car deux électrodes de mesures voisines excitées à des potentiels différents génèrent entre elles un couplage capacitif parasite et donc des capacités de fuite qui gênent la détection capacitive. 10 L'invention permet de pallier les inconvénients de chacun des dispositifs des FIGURES 1 et 2. En particulier, le dispositif de mesure d'impédance selon l'invention est : - moins coûteux que le dispositif 100 de la FIGURE 1, et - est parallélisable, contrairement au dispositif de la FIGURE 2. 15 La FIGURE 3 est une représentation schématique du principe du dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 300 de la FIGURE 3, comprend 20 tous les éléments du dispositif 100 de la FIGURE 1. A la différence du dispositif 100 de la FIGURE 1, dans le dispositif 300 de la FIGURE 3, la valeur du courant Ir dans la branche de référence est ajustée, de manière inversement proportionnelle à la variable de commande k fourni le module de commande 114, de sorte que, en amplitude, 25 Ir=I0/k avec Io une valeur d'amplitude de courant de référence. Dans ces conditions, la tension en sortie de l'amplificateur transimpédance 108, ou signal d'erreur Vs vaut : Vs(t) = -Zcr[ Im(t) + ir(t)] = -ZCr[Vm/Zni Io/k] 30 On peut utiliser cette équation pour déterminer directement l'impédance à mesurer Z, en fonction du signal d'erreur Vs et de la variable de commande appliquée k, en une ou plusieurs mesures. - 20 - On peut également rechercher une condition d'équilibre, correspondant à un signal d'erreur nul Vs(t) = 0 à tout instant t. Pour cela il faut annuler la somme des courants : Ir(t) + Im(t) = 0 5 Pour pouvoir annuler la somme des courants, il est nécessaire qu'ils soient en opposition de phase, ou de polarité opposée. Dans ce cas, on peut écrire, en amplitudes : Io/k=VnIZ, Z'=(k.V,)/I0 10 Ainsi, pour une valeur ke permettant d'obtenir l'équilibre, on a : Zm=(ke.Vm)/Io- On comprend donc que l'impédance Z, est proportionnelle à la variable de commande k. De plus, la tension de la source Vm excitant la branche de mesure 102 15 étant d'amplitude fixe, le dispositif 300 de la FIGURE 3 peut être parallélisable pour mesurer une pluralité d'impédances à tour de rôle sans avoir à modifier la source de référence V,, et sans introduire d'impédances parasites. 20 La FIGURE 4 est une représentation schématique d'un premier exemple de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 400 de la FIGURE 4, comprend tous les éléments du dispositif 300 de la FIGURE 3. Dans l'exemple représenté sur la FIGURE 4, la valeur du courant I, dans 25 la branche de référence 104 est ajustée de manière inversement proportionnelle à la variable de commande k, en ajustant l'amplitude de la tension fournie à la branche de référence 104, de manière inversement proportionnelle à la variable de commande k. Pour ce faire, le dispositif 400 met en oeuvre, sur la branche de 30 référence 104, une source de tension variable Vr délivrant une tension dont l'amplitude est inversement proportionnelle à la variable de commande k. La source de tension Vr comprendre une source de tension alternative d'amplitude fixe Vo associé à un étage d'amplification 402 dont le gain est inversement proportionnel à la variable de commande k. - 21 - En particulier, l'étage d'amplification 402 comprend un amplificateur opérationnel 404 dont : - l'entrée « + » est reliée au potentiel de référence 116 ; et - l'entrée « - » est reliée à sa sortie par une résistance de contre- 5 réaction 406, de valeur R1. De plus, l'entrée « - » est reliée à une résistance d'entrée 408 dont la valeur est ajustée de manière proportionnelle à la variable de commande k. En particulier, la valeur de la résistance d'entrée est égale à k.R1. La résistance d'entrée 408 peut être un potentiomètre numérique dont la valeur est ajustée 10 de manière proportionnelle à la valeur de commande k. Dans ces conditions, l'étage d'amplification 402 réalise une amplification de gain G négatif et dont la valeur obéit à la relation suivante : G= -R1/(k.R1) = -1/k Par conséquent, la tension fournie par la source de tension variable Vr à 15 la branche de référence 104 obéit à la relation suivante : Vr(t) = - Vo(t)/k On en déduit que le courant I, dans la branche de référence obéit à la relation suivante : Vr(t) Vo (t) = z = k.r rPar conséquent, le courant Ir est ajusté de manière inversement 20 proportionnelle à la variable de commande k. A l'équilibre, on a Ir(t) + ',T(t) = 0. On en déduit directement : Vo(t) Vin(t) = /m (t) = /ce. Z Z Soit, en amplitudes : /ce. Z,V,, Zin = vo Ainsi, l'impédance à mesurer Zr, est déterminée de manière directement proportionnelle à la variable de commande k. Il n'est donc pas nécessaire de 25 réaliser une opération d'inversion. On peut noter que dans cette configuration, du fait de la présence de l'étage d'amplification 402 inverseur utilisé pour générer la source Vr de la branche de référence, les sources de tension alternative Vo de la branche de - 22 - référence et V, de la branche de mesure doivent être en phase ou de même polarité pour pouvoir annuler la somme des courants. Dans le cas particulier où toutes les impédances sont des impédances purement capacitives, c'est-à-dire Z'=1/C, et Zr=1/C' on a : 1 ke.Vin 1 Cm Vo Cr 5 Dans le cadre d'une application de détection capacitive, la capacité Cm représente la capacité formée par une électrode de mesure capacitive et un objet. Dans ce cas, la distance D séparant ladite électrode de mesure dudit objet est proportionnelle à la valeur de l'impédance formée par cette capacité 10 Cm selon la relation suivante : 1 D = EoErS - Cm avec EO,Er les permittivités du vide et du matériau d'interface respectivement, et S la surface de recouvrement de l'électrode de mesure et de l'objet. On en déduit que la distance D obéit à la relation suivante : ke.Vin 1 D = EoErS 1/0 Cr On voit clairement que la distance D est directement proportionnelle à la 15 variable de commande k. Ainsi, la distance D est proportionnelle à la valeur k permettant d'obtenir l'équilibre. La FIGURE 5 est une représentation schématique d'un deuxième 20 exemple de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 500 de la FIGURE 5, comprend tous les éléments du dispositif 400 de la FIGURE 4. A la différence du dispositif 400, dans le dispositif 500, l'étage de gain 402 comprend en plus du potentiomètre numérique 408, un deuxième 25 potentiomètre numérique 502, en série avec le premier potentiomètre numérique 408, dont la valeur est ajustable de manière proportionnelle à la variable de commande k. En particulier, le deuxième potentiomètre numérique 502 peut avoir une valeur donnée par la relation k.R2. - 23 - Les résistances R1 et R2 peuvent être choisies de sorte que le pas d'ajustement du deuxième potentiomètre numérique soit plus petit comparé au pas d'ajustement du premier potentiomètre numérique 408. Ainsi, il est possible de réaliser une mesure plus précise de l'impédance Zr,. 5 En particulier, il est possible de réaliser une première phase d'itérations avec un gros pas d'ajustement avec le premier potentiomètre numérique 408, puis une deuxième phase d'itérations avec un petit pas d'ajustement avec le deuxième potentiomètre numérique 502. Par exemple R2=R1/10, ce qui permet d'avoir un pas d'ajustement dix 10 fois plus petit, et donc une précision 10 fois plus grande, avec le deuxième potentiomètre numérique 502. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée à un ou deux potentiomètres numériques, et il est possible d'utiliser un nombre de potentiomètres numériques supérieur ou égal à 1. 15 La FIGURE 6 est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 600 de la FIGURE 6, comprend 20 tous les éléments du dispositif 300 de la FIGURE 3. Dans l'exemple représenté sur la FIGURE 6, la valeur du courant I, dans la branche de référence 104 est ajustée de manière inversement proportionnelle à la variable de commande k, en ajustant la valeur de l'impédance de référence Zr de la branche de référence 104 de manière 25 proportionnelle à la variable de commande k. Pour ce faire, l'impédance de référence Zr est formée par un ensemble de huit impédances 6020-6027, montées en série, et de valeurs respectives 2".Z0, avec n=0...7. Ainsi, l'impédance de référence Zr est formée par huit impédances 6020-6027 de valeurs respectives Zo, 2Z0, 4Z0, 8Z0, 16Z0, 32Z0, 30 64Z0 et 128Z0. Chaque impédance 602 peut être court-circuitée par un interrupteur, respectivement 6040-6047. La variable de commande k est une valeur fournie sur huit bits et chaque interrupteur 6040-6047 est commandé par un bit de la variable de commande de sorte que lorsque le bit est égale 0 l'interrupteur est ouvert et 35 lorsque le bit est égale 1 l'interrupteur est fermé. La valeur de k est donc écrit - 24 - en binaire sur la configuration des interrupteurs 6040-6047. Dans ces conditions, l'impédance Zr a pour valeur : Zr= Zo. k/ 2" Par conséquent, Zr varie de manière proportionnelle à la variable de 5 commande k. A l'équilibre, on a Ir(t) +Im(t) = 0. On en déduit directement que la 14.(t) Vm(t) = -/m(t) - ke. (Z 0 / 2n) Zm En prenant en compte le fait comme précédemment que les sources de tension Vr(t) et Vm(t) sont en opposition de phase, et donc de polarité opposée, cette relation peut s'écrire, en amplitudes : 1 Zm = ke. Zo.Vm v . 2n 10 Ainsi, l'impédance à mesurer Zm est déterminée de manière directement proportionnelle à la variable de commande k. Il n'est donc pas nécessaire de réaliser une opération d'inversion. Dans le cas particulier où toutes les impédances sont des impédances purement capacitives, c'est-à-dire Zni=1/C, et Z0=1/CO3 on a : 1 1 ke. Vin Cm Co V,. 2n 15 Dans le cadre d'une application de détection capacitive, et en utilisant la relation reliant la distance à la capacité Cm, en déduit que la distance D obéit à la relation suivante : D = EoErS Co Vr.2n On voit clairement que la distance D est directement proportionnelle à la variable de commande k. Ainsi, la distance D est proportionnelle à la valeur ke 20 permettant d'obtenir l'équilibre. La FIGURE 7 est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. 25 Le dispositif de mesure d'impédance 700 de la FIGURE 7, comprend tous les éléments du dispositif 300 de la FIGURE 3. 1 ke.Vm - 25 - A la différence du dispositif 300, le dispositif 700 comprend deux branches de références 1041 et 1042. Chaque branche de référence 1041, 1042 est équilibrée selon l'une quelconque des principes décrits en référence aux FIGURES 4-6. Chaque 5 branche de référence 1041, 1042 comprend une excitation alternative, respectivement Vo et Vr,2, et une impédance de référence respectivement Zr,1 et Zr,2. Le dispositif 700 permet par exemple de mesurer différentes composantes (active et réactive) de l'impédance à mesurer Z,. Les 10 impédances de référence Zo, Zr,2 correspondent chacune, respectivement, à une composante de l'impédance à mesurer Z,. Elles introduisent un déphasage en conséquence entre la tension et le courant dans leur branche de référence, qui permet de compenser une composante du courant de la branche de mesure avec un déphasage similaire. Par exemple, si l'impédance 15 à mesurer comprend des composantes résistives et capacitives, on utilise des impédances de référence Zo, Zr,2 de nature respectivement résistive et capacitive. De la même manière on peut mesurer une composante de nature inductive avec une impédance de référence de nature inductive. A chaque branche de référence 1041, 1042 est associé un module de 20 commande, respectivement 1141 et 1142, fournissant à chaque branche une variable de commande, respectivement k1 et k2, utilisé pour ajuster la valeur du courant dans chaque branche, respectivement Io et Ir,2 de manière inversement proportionnelle telle que I0-1/ki et Ir,2-1/k2. A chaque branche 1041, 1042 est associé un bloc de démodulation 25 synchrone, respectivement 1101 et 1102, et un bloc d'intégration respectivement 1121 et 1122. Dans cette configuration, l'équilibre du pont est atteint lorsque la somme algébrique du courant I, de la branche de mesure 102 et des courants de toutes les branches de référence 1041 et 1042 est nulle à tout instant : 30 Im(t) + Ir,i(t) + Ir,2(t) = 0. Lorsque les impédances Zo et Zr,2 sont de nature différente, et correspondant aux différentes composantes de l'impédance à mesurer Zm, les excitations Vo et Vr,2 sont en en phase. Il est également possible, pour détecter des composantes différentes 35 (résistive et réactive) de l'impédance à mesurer Zrn, d'utiliser des impédances - 26 - Z,-,1 et Z,-,2 de même nature, à savoir résistive ou capacitive ou encore inductive, et des sources d'excitations Vo et V,-,2 déphasées (par exemple en quadrature), pour reproduire le déphasage des courants des branches de référence qui seraient générés par des impédances de référence de nature 5 différente. Dans tous les cas, un bloc de déphasage 702 est utilisé pour appliquer un décalage de phase de n/2 à la porteuse pour la démodulation synchrone pour l'une des deux branches 1041 et 1042, et détecter ainsi ses composantes en phase en en quadrature. Dans l'exemple de la FIGURE 7, le bloc de 10 démodulation 702 est utilisé pour la branche 1042. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée à une ou deux branches de référence, et il est possible d'utiliser un nombre de branches de référence supérieur ou égal à 1. 15 La FIGURE 8a et la FIGURE 8b sont des représentations schématiques d'exemples de réalisation de dispositifs de mesure d'impédance selon l'invention permettant de mesurer une pluralité d'impédances Zm,i-Zm,n- 20 Le dispositif de mesure d'impédance 800 de la FIGURE 8a comprend tous les éléments du dispositif 300 de la FIGURE 3. A la différence du dispositif 300, le dispositif 800 permet de mesurer, à tour de rôle ou séquentiellement, une pluralité d'impédances Zm,i-Zm,n- 25 Pour ce faire, le dispositif 800 comprend un moyen de scrutation 802 permettant de relier sélectivement les impédances à mesurer Zni-Z',n à l'électronique de détection 106 et à la branche de référence 104. Dans l'exemple illustré, la source V, de la branche de mesure 102 est commune à toutes les impédances à mesurer. Le moyen de scrutation 802 peut 30 comprendre des interrupteurs commandables, par exemple par le module de commande 114, et permettant de relier l'électronique de détection 106 à chacune des impédances à mesurer Z,,, à tour de rôle. De préférence, le moyen de scrutation 802 permet de relier les impédances à mesurer Zni-Z,,n, soit à l'électronique de détection 106, soit au 35 potentiel de référence 116. Cela est particulièrement important si les - 27 - impédances à mesurer Z,,, sont capacitives, pour éviter les couplages parasites. Pour chaque impédance Z,,,, comme précédemment, la condition d'équilibre est donné par la relation I,,,(t) + Ir(t) = 0, avec I,,, le courant 5 parcourant cette impédance Z,,,. Le dispositif 800 peut être combiné à chacun des dispositifs des FIGURES 4-7. Le dispositif de mesure d'impédance 850 de la FIGURE 8b comprend 10 tous les éléments du dispositif 300 de la FIGURE 3. A la différence du dispositif 300, le dispositif 850 permet de mesurer en parallèle ou simultanément une pluralité d'impédances Zni-Z,,n, avec une pluralité de voies de mesures parallèles indépendantes. Pour ce faire, il comprend une pluralité de dispositifs de mesure 15 d'impédances 300 constituant chacun une voie de mesure, par exemple selon les mises en oeuvre des FIGURES 4-7, fonctionnant en parallèle. Chaque impédance Zni-Z,,n est reliée à une électronique de détection 1061-106n distincte et constitue avec une branche de référence 1041-104n distincte un pont distinct. 20 La valeur du courant I,-,, dans chaque branche de référence 104, est ajustée de manière inversement proportionnelle à une variable de commande k, distincte fournie par un module de commande distinct 114, (ou un module de commande commun 114), de sorte à déterminer une condition d'équilibre : I,-,,(t) + Im(t) = 0 25 Suivant un mode de réalisation particulièrement avantageux, le dispositif 850 comprend une source V, commune à toutes les impédances à mesurer. Ainsi, toutes les impédances à mesurer Z',i-Z,,n sont polarisées au même potentiel, ce qui est essentiel lorsque par exemple ces impédances à mesurer sont des capacités entre des électrodes de mesure capacitives et un 30 objet. Par ailleurs, le dispositif 850 permet des mesures indépendantes, en parallèle, ou simultanées, ou de manière asynchrone, de toutes les impédances Zm,i-Zm,n- - 28 - Bien entendu, les différentes voies de mesure du dispositif 850 peuvent être réalisées de toutes manières, en particulier avec des composants distincts et/ou des composants communs pour chaque voie de mesure. Le dispositif 850 peut être combiné à chacun des dispositifs des 5 FIGURES 4-8a. En particulier, certaines ou toutes les voies de mesures du dispositif 850 peuvent comprendre un moyen de scrutation 802 comme illustré à la FIGURE 8a pour mesurer séquentiellement une pluralité d'impédances. Par ailleurs, le dispositif peut comprendre une source V, commune à toutes les impédances à 10 mesurer, séquentiellement et/ou avec des voies de mesure parallèles. La FIGURE 9 est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. 15 Le dispositif de mesure d'impédance 900 de la FIGURE 9, comprend tous les éléments du dispositif 300 de la FIGURE 3. A la différence du dispositif 300, dans le dispositif 900 le bloc de démodulation synchrone 110, le bloc d'intégration 112 et le module de commande 114 sont intégrés dans un microcontrôleur 902. 20 Alternativement, le microcontrôleur 902 peut calculer une valeur de l'impédance à mesurer Z, à partir d'une ou de plusieurs mesures de signal d'erreur Vs comme expliqué en relation avec la FIGURE 3, sans reproduire le fonctionnement d'une boucle de contre réaction. Le dispositif 900 peut être combiné à chacun des dispositifs des 25 FIGURES 4-8. La FIGURE 10 est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 1000 de la FIGURE 10, comprend 30 tous les éléments du dispositif 900 de la FIGURE 9. Le dispositif de mesure d'impédances 1000 comprend également un amplificateur de linéarisation 1002 placé en aval de l'électronique de détection 106. Cet amplificateur de linéarisation 1002 peut recevoir en entrée le signal Vs(t) alternatif, tel qu'issu de l'amplificateur transimpédance 108. Il peut - 29 - également être implémenté dans un dispositif avec un démodulateur 110, tel que le dispositif 300, et recevoir en entrée le signal d'amplitude démodulé Vs. L'amplificateur de linéarisation 1002 a un gain G, qui varie de manière proportionnelle à la variable de commande k. 5 Pour cela il peut être réalisé sous la forme d'un amplificateur inverseur avec un amplificateur opérationnel 1004 avec une résistance d'entrée 1006 par exemple de valeur Ro et une résistance de contre-réaction 1008 de type potentiomètre numérique dont la résistance Rp(k) varient linéairement selon la variable de commande numérique k : Rp(k) = kRo. 10 Le gain de l'amplificateur de linéarisation 1002 s'écrit alors : G, = - k. Ro/Ro = - k En utilisant l'expression du signal d'erreur Vs établie en relation avec la FIGURE 3, on obtient en sortie de l'amplificateur de linéarisation 1002 un signal d'erreur linéarisé Vs, : 15 Vsl(t) = k.Zcr[Vpi(t)/Zp-, + Io(t)/k] = k.Vm(t) Za-/Zm + VO] L'amplitude correspondante du signal d'erreur linéarisé, en tenant compte du fait que les courants dans les branches de mesure et de référence sont en opposition de phase, ou de polarité opposée, est : Vs, = k.Vm Zcr/Zm - Io 20 On obtient donc un signal d'erreur linéarisé Vs, qui dépend linéairement de la variable de commande k. Ce signal d'erreur linéarisé Vs, peut avantageusement être utilisé par un microcontrôleur 902 pour calculer une valeur de l'impédance à mesurer Z,-, à partir d'une ou de plusieurs mesures de signal d'erreur Vs. Il peut également être utilisé dans un fonctionnement en 25 boucle fermée (numérique ou analogique) pour assurer une convergence rapide. La FIGURE 11 est une représentation schématique d'un autre exemple 30 de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 1100 de la FIGURE 11, comprend tous les éléments du dispositif 900 de la FIGURE 9. Dans le dispositif 1100 de la FIGURE 11, le microcontrôleur 902 ne réalise pas de démodulation synchrone. - 30 - A la place, le dispositif 1100 comprend en plus un premier comparateur 1102 disposé entre l'amplificateur transimpédance 108 et le microcontrôleur 902 et un deuxième comparateur 1104 disposé entre la source de tension d'amplitude fixe Vo de la branche de référence 104 et le microcontrôleur 902. 5 Le comparateur 1102 disposé en sortie de l'amplificateur transimpédance 108 ne détecte que le signe du signal de mesure alternatif Vs fourni par l'amplificateur transimpédance 108, à savoir négatif ou positif. Suivant le signe de l'erreur donnée par l'amplitude du signal de sortie V' on obtient en sortie du comparateur 1102 un signal alternatif en phase ou en 10 opposition de phase avec un signal de référence issu de la source Vo, et discrétisé par le comparateur 1104. On peut alors simplement détecter cette condition de phase, par exemple avec le microprocesseur 902, et réaliser une mesure de type « par approximations successives » en éliminant complètement le besoin d'une démodulation du signal d'erreur V. 15 Le dispositif 1100 peut être combiné à chacun des dispositifs des FIGURES 4-8. La FIGURE 12 est une représentation schématique d'un autre exemple 20 de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. Le dispositif de mesure d'impédance 1200 de la FIGURE 12, comprend tous les éléments du dispositif 400 de la FIGURE 4, sauf la source de mesure V, de la branche de mesure 102. A la différence du dispositif 400, dans le dispositif 1200, la branche de 25 mesure 102 est alimentée par la source alternative d'amplitude fixe Vo grâce à un transformateur 1202, par exemple inductif. Inversement, la branche de référence 104 peut être alimentée par une source alternative présente dans la branche de mesure, et un transformateur 1202, par exemple inductif. 30 Le dispositif 1200 peut être combiné à chacun des dispositifs des FIGURES 4-11. La FIGURE 13 est une représentation schématique d'un autre exemple 35 de réalisation d'un dispositif de mesure d'impédance selon l'invention. - 31 - Le dispositif de mesure d'impédance 1300 de la FIGURE 13, comprend tous les éléments du dispositif 400 de la FIGURE 4 sauf la source de référence V,. A la différence du dispositif 400, dans le dispositif 1300, l'impédance à 5 mesurer Z, est reliée à une masse électrique M, qui peut être une masse générale telle que la terre par exemple, différente du potentiel de référence 116 à la fréquence de travail. La source de tension alternatif fixe Vo alimente à la fois la branche de référence 104 et la branche de mesure 102 par l'intermédiaire de la masse 10 commune M. La source Vo est alors positionnée entre le potentiel de référence 116 et la masse M et établi donc ce potentiel électrique alternatif de référence 116, qui est différent du potentiel de masse M à la fréquence de travail. Les autres éléments du dispositif 1300 représentés, dont en particulier l'électronique de détection 106 peuvent avantageusement être alimentés par 15 des alimentations référencées au potentiel de référence 116, pour éviter les couplages parasites avec la masse M. Dans ces conditions, vu du potentiel électrique alternatif 116, la masse électrique M oscille par rapport au potentiel de référence 116. Dans ces conditions, et vue par rapport au potentiel de référence 116, la branche de 20 mesure 102 se voit comme étant alimenté par la source fixe Vo. La branche de référence 104 peut être alimentée également par la source Vo associée à l'étage de gain 402, ou par une source dérivée de la source Vo, par exemple au travers d'un diviseur de tension résistif ou au travers d'un transformateur comme illustré à la FIGURE 12. 25 La branche de référence 104 peut également être alimentée par une source Vr distincte, comme illustré à la FIGURE 3, auquel cas c'est la source V, de la branche de mesure qui est positionnée entre le potentiel de référence 116 et la masse M. 30 La configuration décrite en référence à la FIGURE 13 peut être mise en oeuvre dans le dispositif 500 de la FIGURE 5. De plus, la configuration décrite en référence à la FIGURE 13 peut être mise en oeuvre dans le dispositif 600 de la FIGURE 6, en remplaçant la source fixe Vo par la source fixe Vr et en utilisant l'impédance variable Zr de la 35 FIGURE 6. - 32 - La FIGURE 14 donne un exemple de réalisation d'un tel dispositif, dans une configuration dans laquelle la branche de mesure 102 est alimentée par une source V, distincte, positionnée entre le potentiel de référence 116 et la masse M. 5 De manière générale, le dispositif 1300 ou 1400 peut être combiné à chacun des dispositifs des FIGURES 4-11. Dans le cas où les dispositifs selon l'invention, en particulier les dispositifs 1300 et 1400, sont utilisés pour la détection capacitive d'objets, le potentiel 116 peut être un potentiel alternatif, dit de garde, utilisée pour 10 garder les électrodes de mesure par des électrodes de garde. L'utilisation d'un tel potentiel de garde est bien connue et ne sera pas décrite plus en détail ici. La FIGURE 15 est une représentation schématique d'un exemple de 15 réalisation d'un dispositif de détection capacitive d'objet(s). Le dispositif 1500, représenté sur la FIGURE 15, est utilisé pour mesurer l'impédance capacitive correspondant à chacune des capacités et C,,0 formée entre un objet, et en particulier une main 1502 électriquement référencée au potentiel de masse M, et une pluralité d'électrodes de mesure 20 capacitives, respectivement 15041-1504n et 1506. Comme expliqué plus haut en référence aux FIGURES 4-6 l'impédance capacitive Z,,,=(1/C,,,) est directement proportionnelle à la distance entre l'objet 1502 et l'électrode de mesure 1504,, et l'impédance capacitive Z,,,D=(1/C',0) est directement proportionnelle à la distance entre l'objet 1502 25 et l'électrode de mesure 1506. Le dispositif 1500 comprend une première voie de mesure avec un moyen de scrutation 802 permettant d'interroger séquentiellement des électrodes de mesure 15041-1504n, comme expliqué à la FIGURE 8a. 30 Le dispositif 1400 comprend également une seconde voie de mesure permettant d'interroger en parallèle une électrode de mesure 1506, comme expliqué à la FIGURE 8b. Bien entendu, le dispositif 1400 peut aussi ne comprendre qu'une voie de mesure séquentielle, ou que des voies de mesures parallèles, ou une 35 pluralité de voies de mesure séquentielles et parallèles. - 33 - Les branches de référence 104 de la première et de la seconde voie de mesure sont alimentées par une source commune d'amplitude fixe Vo qui alimente respectivement des étages de gain 402 contrôlé par des variables de 5 commande k, comme expliqué en relation avec la FIGURE 4. Les branches de mesure 102 de la première et de la seconde voie de mesure sont alimentées par une source V, positionnée entre une masse M et le potentiel de référence 116 (qui est déterminé par cette source V,). En pratique, la source V, est reliée aux branches de mesure 102 par l'intermédiaire de la masse M et de 10 l'objet 1502. Alternativement, les sources Vo et V, des branches de référence et de mesure peuvent être réalisées par une même source, directement comme illustré à la FIGURE 13, ou par l'intermédiaire d'un diviseur de tension résistif ou d'un transformateur comme illustré à la FIGURE 12. 15 Sur la branche de mesure 102 de la première voie de mesure, le moyen de scrutation 802 est utilisé pour mesurer, à tour de rôle, la valeur de l'impédance capacitive 1/C,,, pour chacune des électrodes de mesure 1504,, comme décrit en référence à la FIGURE 8a. 20 La branche de référence 104 des premières et secondes voies comporte une impédance de référence 1/Cr purement capacitive et formée, chacune, par une capacité Cr. De plus, l'impédance de contre-réaction utilisée pour l'amplificateur transimpédance ou dans ce cas de charge 108 des premières et secondes voies est une impédance purement capacitive 1/Cc, et formée par 25 une capacité Car. Le dispositif 1400 comprend en outre le microcontrôleur 902 intégrant le bloc de démodulation synchrone 110, le bloc d'intégration 112 et le module de commande 114 des premières et secondes voies. Les amplificateurs transimpédance ou de charge 108 et optionnellement 30 le microcontrôleur 902 sont alimentés par des alimentations référencées au potentiel de référence 116, pour minimiser les capacités de fuite. Bien entendu, le dispositif 1500 de détection capacitive peut mettre en oeuvre une combinaison quelconque des dispositifs décrits en référence aux 35 FIGURES 3-14. - 34 - L'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS1. Dispositif (300;400;500;600) électronique de mesure d'impédance comprenant : - une branche (102), dite de mesure, comportant une impédance à mesurer (Z,-,) ; et - au moins une branche (104), dite de référence, comportant une impédance (Zr), dite de référence ; caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins un moyen (402 ;602,604), dit d'ajustement, réalisant une modification du courant (Ir) dans au moins une 10 desdites branches de référence de manière inversement proportionnelle à une variable de commande (k). 2. Dispositif (300;400;500) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que, pour au moins une branche de référence (104), le moyen 15 d'ajustement (402) réalise une modification de l'amplitude d'une tension délivrée à ladite branche de référence (104), de manière inversement proportionnelle à la variable de commande (k). 3. Dispositif (400;500) selon la revendication précédente, caractérisé en ce 20 que le moyen d'ajustement comprend un amplificateur (402) dont le gain varie de manière inversement proportionnelle à la variable de commande (k), et disposé en aval d'une source de tension (Vo). 4. Dispositif (400;500) selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce 25 que le moyen d'ajustement comprend : - un amplificateur (404), et - au moins un premier potentiomètre numérique (408), utilisé comme résistance d'entrée dudit amplificateur (404), et dont la résistance est ajustée proportionnellement à la variable de 30 commande (k). 5. Dispositif (600) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que, pour au moins une branche de référence (104), le moyen d'ajustement réalise une modification de l'impédance de référence (Zr) - 36 - de ladite branche de référence (104), de manière proportionnelle à la variable de commande (k). 6. Dispositif (600) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le 5 moyen d'ajustement comprend : - un ensemble d'au moins deux impédances (6020-6027) disposées en série, et - au moins un, en particulier plusieurs, interrupteur(s) (6040-6047) commandable(s), prévu(s), chacun, pour court-circuiter ou non une desdites impédances (6020-6027). 7. Dispositif (700) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend : - au moins deux branches de référence (1041-1042) comprenant des impédances de référence (Z,-,i,Z,-,2) de nature différentes ; et/ou - au moins deux branches de référence (1041-1042) comprenant des impédances de référence (Z,-,i,Z,-,2) de même nature, et alimentées par des signaux en quadrature. 8. Dispositif (300;400;500;600) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une électronique (106), dite de détection, fournissant un signal d'erreur (Vs) dépendant : - d'une somme algébrique du courant (Ir) circulant dans l'au moins une branche de référence (104) et du courant (lm) circulant dans la branche de mesure ; ou - d'une somme algébrique des tensions présentes respectivement aux bornes de l'au moins une branche de référence (104) et aux bornes de la branche de mesure. 9. Dispositif (300;400;500;600) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que ladite électronique de détection (106) comprend un amplificateur de charge (108) relié en un point de jonction de la branche de mesure (102) avec l'au moins une branche de référence (104), entre l'impédance à mesurer (Z,) et l'au moins une impédance de référence (Zr), et fournit un signal d'erreur - 37 - (V,) dépendant de la somme algébrique du courant (lm) de la branche de mesure (102) et du courant (Ir) de l'au moins une branche de référence (104). 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 8 ou 9, caractérisé en 5 ce qu'il comprend en outre, disposé en aval de l'électronique de détection (106), un démodulateur d'amplitude (110, 902). 11. Dispositif (1000) selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé en ce qu'il comprend en outre, disposé en aval de l'électronique de 10 détection (106), un amplificateur (1002) avec un gain proportionnel, et en particulier égal, à la variable de commande (k). 12. Dispositif (1200;1300;1400) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la branche de référence (104) et la 15 branche de mesure (102) sont alimentées par une même source (MI éventuellement par utilisation d'un transformateur (1202). 13. Dispositif (1300) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que : 20 - l'impédance à mesurer (Z,) est référencée à une masse générale (M), en particulier la terre, et - le courant (Ir) l'au moins une branche de référence (104) est référencé à un potentiel électrique alternatif (116), dit potentiel de référence, différent de ladite masse générale (M), à une 25 fréquence de travail ; ledit dispositif (1300) comprenant une source de tension alternative (Vo) disposée entre ledit potentiel de référence (116) et ladite masse générale (M). 14. Dispositif (1500) selon l'une quelconque des revendications précédentes, 30 caractérisé en ce qu'il s'agit d'un dispositif mesure d'impédance capacitive dans lequel l'impédance à mesurer (C,,,o-C,,,n) et l'impédance de référence (Cr) sont de nature essentiellement capacitive. 15. Procédé de mesure d'impédance, en particulier d'impédance capacitive, 35 avec un dispositif électronique de mesure d'impédance comprenant : - 38 - - une branche (102), dite de mesure, comportant une impédance à mesurer (Z,) ; - au moins une branche (104), dite de référence, comportant une impédance (Zr), dite de référence ; 5 caractérisé en ce qu'il comprend au moins une itération d'une étape, dite d'ajustement, réalisant une modification du courant (Ir) dans au moins une desdites branches de référence (104) de manière inversement proportionnelle à une variable de commande (k). 10 16. Dispositif (1500) de détection capacitive d'un objet (1502) comprenant : - au moins une électrode (15041-1504n,1506), dite de mesure, et - au moins un dispositif de mesure d'impédance selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, agencé pour mesurer l'impédance capacitive formée entre ladite électrode de mesure 15 (15041-1504n,1506) et ledit objet (1502). 17. Dispositif (1500) selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'un dispositif de mesure d'impédance est commun à une pluralité d'électrodes de mesure (15041-1504n), ledit dispositif de détection capacitive 20 comprenant un moyen de scrutation (802) reliant ledit dispositif de mesure à chacune desdites électrodes de mesure (15041-1504n), alternativement. 18. Equipement pour robot, en particulier amovible ou démontable, muni : - d'au moins un dispositif de détection capacitive selon l'une 25 quelconque des revendications 16 ou 17 ; et/ou - d'au moins un dispositif de mesure d'impédance selon l'une quelconque des revendications 1 à 14 ; 19. Robot muni : 30 - d'un équipement selon la revendication 18 ; et/ou - d'au moins un dispositif de détection capacitive selon l'une quelconque des revendications 16 ou 17 ; et/ou - d'au moins un dispositif de mesure d'impédance selon l'une quelconque des revendications 1 à 14.