FR 3065968 A1 20181109 FR 1700488 A 20170505 1 PIECE DE TURBINE EN SUPERALLIAGE ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE PAR BOMBARDEMENT DE PARTICULES CHARGEES DOMAINE DE L'INVENTION L'invention concerne une piÃ¨ce de turbine, telle qu'une aube de turbine ou une ailette de distributeur par exemple, utilisÃ©e dans l'aÃ©ronautique. ETAT DE LA TECHNIQUE Dans un turborÃ©acteur, les gaz d'Ã©chappement gÃ©nÃ©rÃ©s par la chambre de combustion peuvent atteindre des tempÃ©ratures Ã©levÃ©es, supÃ©rieure Ã 1200Â°C, voire 1600Â°C. Les piÃ¨ces du turborÃ©acteur, en contact avec ces gaz d'Ã©chappement, telles que les aubes de turbine par exemple, doivent ainsi Ãªtre capables de conserver leurs propriÃ©tÃ©s mÃ©caniques Ã ces tempÃ©ratures Ã©levÃ©es. A cet effet, il est connu de fabriquer certaines piÃ¨ces du turborÃ©acteur en Â« superalliage Â». Les superalliages constituent une famille d'alliages mÃ©talliques Ã haute rÃ©sistance pouvant travailler Ã des tempÃ©ratures relativement proches de leurs tempÃ©ratures de fusion, typiquement 0,7 Ã 0,8 fois leurs tempÃ©ratures de fusion. Afin de renforcer la rÃ©sistance thermique de ces superalliages et de les 20 protÃ©ger contre l'oxydation et la corrosion, il est connu de les recouvrir d'un revÃªtement jouant un rÃ´le de barriÃ¨re thermique. La figure 1 illustre schÃ©matiquement une section d'une piÃ¨ce de turbine 1, par exemple une aube de turbine ou une ailette de distributeur. La piÃ¨ce 1 comprend un substrat 2 en superalliage mÃ©tallique monocristallin recouvert d'une 25 barriÃ¨re thermique 10. La figure 2 est une microphotographie illustrant une section d'une partie de la barriÃ¨re thermique 10 de la piÃ¨ce de turbine 1, recouvrant te substrat 2. Le rectangle noir de la figure 2 est une barre d'Ã©chelle correspondant Ã une longueur de 50 pm. La barriÃ¨re thermique 10 comprend une sous-couche mÃ©tallique 3, une 30 couche protectrice 4 et une couche thermiquement isolante 5. La sous-couche mÃ©tallique 3 recouvre le substrat 2 en superalliage mÃ©tallique. La sous-couche mÃ©tallique 3 est recouverte de la couche protectrice 4, formÃ©e par oxydation thermique de la sous-couche mÃ©tallique 3 (la couche protectrice est dÃ©signÃ©e par TGO, acronyme anglais de Thermally Grown Oxide). La couche protectrice 4 3065968 2 permet de protÃ©ger le substrat en superalliage de la corrosion et/ou de l'oxydation. La couche thermiquement isolante 5 recouvre ta couche protectrice 4. La couche thermiquement isolante 5 peut Ãªtre en cÃ©ramique, par exemple en zircone yttriÃ©e. La sous-couche mÃ©tallique 3 assure une liaison entre la surface du 5 substrat en superalliage et la couche protectrice. Lors de la fabrication de la barriÃ¨re thermique, il est connu de dÃ©caper les oxydes formÃ©s Ã la surface de ta sous-couche aprÃ¨s le dÃ©pÃ´t de la sous-couche. Ces oxydes sont formÃ©s en contact avec l'atmosphÃ¨re ambiante et sont instables ou mÃ©tastables lors de l'utilisation de la piÃ¨ce de turbine. 10 A cet effet, il est connu de sabler la surface extÃ©rieure de la sous-couche mÃ©tallique. Le sablage permet de dÃ©caper les oxydes formÃ©s Ã ta surface de la sous-couche aprÃ¨s le dÃ©pÃ´t de la sous-couche. Toutefois, lorsqu'une TGO est formÃ©e sur la sous-couche aprÃ¨s une Ã©tape de sablage selon une mÃ©thode connue : 15 des impuretÃ©s sont transportÃ©es Ã la surfaces de la sous-couche. Ces impuretÃ©s sont incorporÃ©es dans la couche protectrice lors de la formation de la couche protectrice par oxydation ; la taille des grains de ta TGO est hÃ©tÃ©rogÃ¨ne. La couche protectrice prÃ©sente en particulier de petits grains (par exemple d'une taille infÃ©rieure Ã 1 pnn), connus pour diminuer la rÃ©sistance Ã la corrosion et Ã l'oxydation des barriÃ¨res thermiques, ainsi que l'adhÃ©rence de la couche protectrice Ã la sous-couche ; diffÃ©rentes phases allotropiques peuvent coexister dans la couche protectrice. Dans le cas d'une TGO en alumine, il est connu que dans des conditions d'utilisation de la piÃ¨ce, Ã haute tempÃ©rature, les phases diffÃ©rentes de la phase a se transforment en phase a en changeant de volume. Cette variation de volume entraÃ®ne des contraintes de traction et des fissures dans la TGO, favorisant son Ã©caillage. Ainsi, la durÃ©e de vie de la barriÃ¨re thermique est significativement diminuÃ©e ; la cinÃ©tique de croissance de la TGO est diffÃ©rente sur diffÃ©rentes parties de la 30 sous-couche mÃ©tallique. Cette disparitÃ© de la cinÃ©tique de croissance de la TGO entraÃ®ne des contraintes mÃ©caniques dans la TGO lors de l'utilisation de la barriÃ¨re thermique et une diminution de sa durÃ©e de vie. 3065968 3 RESUME DE L'INVENTION Un but de l'invention est de proposer une solution pour protÃ©ger efficacement une piÃ¨ce de turbine en superalliage de l'oxydation et de la corrosion tout en prÃ©sentant une durÃ©e de vie plus longue qu'avec les barriÃ¨res thermiques 5 connues. Ce but est atteint dans le cadre de la prÃ©sente invention grÃ¢ce Ã un procÃ©dÃ© de fabrication d'une piÃ¨ce de turbine comprenant : - un substrat en superalliage base nickel monocristallin, - une sous-couche mÃ©tallique recouvrant le substrat, et 10 - une couche protectrice en oxyde mÃ©tallique recouvrant la sous-couche, le procÃ©dÃ© comprenant des Ã©tapes de : a) bombardement de particules chargÃ©es sur une surface de la sous-couche mÃ©tallique, puis b) formation de la couche protectrice sur la surface bombardÃ©e lors de l'Ã©tape a). 15 Comme la sous-couche est bombardÃ©e par des particules chargÃ©es, il est possible d'obtenir une surface gravÃ©e de la sous-couche mÃ©tallique en contact avec la couche protectrice prÃ©sentant une rugositÃ© infÃ©rieure aux rugositÃ©s gÃ©nÃ©ralement obtenues par des techniques classiques de dÃ©capage par sablage 20 mÃ©canique. De plus, la rugositÃ© obtenue prÃ©sente une meilleure homogÃ©nÃ©itÃ©. Cela a pour effet que la couche protectrice croÃ®t Ã une cinÃ©tique homogÃ¨ne lors de sa formation, ce qui permet d'Ã©viter des contraintes mÃ©caniques pendant l'utilisation de la piÃ¨ce, entraÃ®nant l'Ã©caillage de la couche protectrice. 25 L'invention est avantageusement complÃ©tÃ©e par les caractÃ©ristiques suivantes, prises individuellement ou en l'une quelconque de leurs combinaisons techniquement possibles : l'Ã©tape de bombardement de particules chargÃ©es est mise en oeuvre par un plasma ; - le procÃ©dÃ© comprend une Ã©tape de dÃ©pÃ´t de la sous-couche mÃ©tallique en phase vapeur sur le substrat avant l'Ã©tape a) ; on chauffe la piÃ¨ce, sous vide, Ã une tempÃ©rature supÃ©rieure Ã 1000Â°C, entre les Ã©tapes a) et b) ; 3065968 4 on chauffe la piÃ¨ce entre 800Â°C et 1200Â°C entre le dÃ©pÃ´t de la sous-couche mÃ©tallique et l'Ã©tape a). la piÃ¨ce est mise en rotation pendant l'Ã©tape a) ; La piÃ¨ce est gardÃ©e sous vide entre les Ã©tapes a) et b). 5 on chauffe la piÃ¨ce Ã une tempÃ©rature supÃ©rieure Ã 1000 Â°C pendant l'Ã©tape b) L'Ã©tape a) est mise en oeuvre dans une premiÃ¨re enceinte sous vide, l'Ã©tape b) est mise en oeuvre dans une seconde enceinte sous vide, et la piÃ¨ce est transportÃ©e, entre les Ã©tapes a) et b), de la premiÃ¨re enceinte vers ta 10 deuxiÃ¨me enceinte dans un passage, maintenu sous vide, reliant les deux enceintes. L'invention a Ã©galement pour objet une piÃ¨ce de turbine comprenant : un substrat en superalliage base nickel rnonocristallin, 15 - une sous-couche mÃ©tallique recouvrant le substrat, et une couche protectrice en oxyde mÃ©tallique recouvrant la sous-couche, caractÃ©risÃ©e en ce que la sous-couche mÃ©tallique a une surface en contact avec ta couche protectrice et en ce que la surface prÃ©sente une rugositÃ© moyenne comprise entre 100 nm et 1 pm. 20 L'invention est avantageusement complÃ©tÃ©e par les caractÃ©ristiques suivantes, prises individuellement ou selon l'une quelconque de leurs combinaisons techniquement possibles : l'Ã©cart-type de ta rugositÃ© de la surface est infÃ©rieur Ã 20% de la rugositÃ© 25 moyenne de la surface ; La couche protectrice comprend une couche d'alumine en phase a. PRESENTATION DES DESSINS D'autres caractÃ©ristiques et avantages ressortiront encore de la 30 description qui suit, laquelle est purement illustrative et non limitative, et doit Ãªtre lue en regard des figures annexÃ©es, parmi lesquelles : - la figure 1 illustre schÃ©matiquement une section d'une piÃ¨ce de turbine, par exemple une aube de turbine ou une ailette de distributeur ; 3065968 5 - la figure 2 est une microphotographie illustrant une section d'une partie de la barriÃ¨re thermique de la piÃ¨ce de turbine ; - la figure 3 illustre un procÃ©dÃ© de fabrication d'une piÃ¨ce de turbine ; - la figure 4 illustre schÃ©matiquement la section d'une partie de piÃ¨ce de 5 turbine ; - la figure 5 est une microphotographie illustrant la surface de la sous-couche mÃ©tallique en contact avec la couche protectrice ; - la figure 6 illustre un dispositif de dÃ©pÃ´t de ta sous-couche mÃ©tallique ; - la figure 7 illustre un dispositif de bombardement de particules chargÃ©es 10 sur la sous-couche mÃ©tallique ; - la figure 8 illustre un dispositif permettant de garder la piÃ¨ce de turbine sous vide entre une Ã©tape de gravure de la sous-couche mÃ©tallique et une Ã©tape de formation de la couche protectrice. 15 DEFINITIONS On dÃ©signe par le terme superalliage Â» un alliage complexe prÃ©sentant, Ã haute tempÃ©rature et Ã haute pression, une trÃ¨s bonne rÃ©sistance Ã l'oxydation, Ã la corrosion, au fluage et Ã des contraintes cycliques (notamment mÃ©caniques ou thermiques). Les superalliages trouvent une application particuliÃ¨re dans la 20 fabrication de piÃ¨ces utilisÃ©es dans l'aÃ©ronautique, par exemple des aubes de turbine, car ils constituent une famille d'alliages Ã haute rÃ©sistance pouvant travailler Ã des tempÃ©ratures relativement proches de leurs points de fusion (typiquement 0,7 Ã 0,8 fois leurs tempÃ©ratures de fusion). La Â« base du superalliage dÃ©signe le composant mÃ©tallique principal de 25 la matrice. Dans la majoritÃ© des cas, les superalliages comprennent une base fer, cobalt, ou nickel, mais Ã©galement parfois une base titane ou aluminium. Les Â« superalliages base nickel Â» prÃ©sentent l'avantage d'offrir un bon compromis entre rÃ©sistance Ã l'oxydation, rÃ©sistance Ã ta rupture Ã haute tempÃ©rature et poids, ce qui justifie leur emploi dans les parties les plus chaudes 30 des turborÃ©acteurs. On dÃ©signe par le terme Â« vide Â» un vide primaire, moyen ou poussÃ©, c'est-Ã -dire caractÃ©risÃ© par une pression comprise entre 10 et 5 mbar. Un tel vide peut Ãªtre adaptÃ© Ã un bombardement de particules chargÃ©es, par exemple par la 3065968 6 formation d'un plasma, Ã tempÃ©rature ambiante. Le plasma peut Ãªtre un plasma d'argon. On dÃ©signe par alumine a une variÃ©tÃ© allotropique de l'alumine correspondant Ã la Corindon, de structure cristalline rhomboÃ©drique. Une couche 5 d'alumine a peut Ãªtre formÃ©e par plusieurs grains d'alumine a, chacun des grains dÃ©limitant une phase cristalline a. On dÃ©signe par rugositÃ©, de maniÃ¨re gÃ©nÃ©rale, une mesure de l'Ã©tat de surface reprÃ©sentative des dÃ©viations dans la direction normale d'un plan moyen 10 localement tangent Ã la surface considÃ©rÃ©e. On dÃ©signera par rugositÃ© moyenne, Ra, la moyenne arithmÃ©tique de la norme des dÃ©viations d'une surface par rapport Ã la surface moyenne, soit : 1 n = - lyi I n (1) oÃ¹ y, est une mesure d'une dÃ©viation de la surface par rapport Ã la surface 15 moyenne. On dÃ©signe par homogÃ©nÃ©itÃ© de ta rugositÃ© une dispersion de la rugositÃ© plus petite qu'une dispersion de rÃ©fÃ©rence, caractÃ©risÃ©e et/ou mesurÃ©e par un Ã©cart type de la rugositÃ© d'une surface infÃ©rieur Ã 20% de la rugositÃ© moyenne. 20 DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION En rÃ©fÃ©rence Ã la figure 3, le procÃ©dÃ© de fabrication 100 d'une piÃ¨ce de turbine comprend les Ã©tapes suivantes. Lors d'une premiÃ¨re Ã©tape 101 du procÃ©dÃ© de fabrication de la piÃ¨ce 1, on dÃ©pose une sous-couche mÃ©tallique 3 sur un substrat 2 base nickel monocristallin. 25 On peut par exemple dÃ©poser une ou plusieurs couches mÃ©talliques comprenant du nickel et/ou de l'aluminium par dÃ©pÃ´t physique en phase vapeur (PVD). Un tel dÃ©pÃ´t peut Ãªtre rÃ©alisÃ© par pulvÃ©risation cathodique, et/ou selon toute autre mÃ©thode connue de PVD. Lors d'une seconde Ã©tape 102 du procÃ©dÃ©, on chauffe le substrat muni de 30 la sous-couche mÃ©tallique Ã une tempÃ©rature T comprise entre 800Â°C et 1200Â°C. Ce traitement thermique entraÃ®ne la diffusion des ions mÃ©talliques de la sous-couche 3 dans le substrat 2 de maniÃ¨re Ã former une zone d'interdiffusion, permettant une meilleure tenue Ã l'oxydation lors de l'utilisation de ta piÃ¨ce. 3065968 7 Lors d'une troisiÃ¨me Ã©tape 103 du procÃ©dÃ©, on bombarde une surface de la sous-couche mÃ©tallique 3 avec des particules chargÃ©es. Ces particules peuvent Ãªtre des ions, comme des ions d'argon, et/ou des Ã©lectrons. On peut par exemple graver une surface de ta sous-couche mÃ©tallique 3 au plasma 7, c'est-Ã -dire en 5 utilisant un plasma 7. Le substrat muni d'une sous-couche mÃ©tallique peut Ãªtre placÃ©e dans une enceinte maintenue sous vide, dans laquelle on contrÃ´le un Ã©coulement continu d'un ou plusieurs gaz apportant le ou les Ã©lÃ©ment(s) chimique(s) composant le plasma. De maniÃ¨re gÃ©nÃ©rale, on utilise un ou plusieurs gaz permettant une gravure mÃ©tallique. Avantageusement, on utilise de l'argon ou 10 de l'oxygÃ¨ne. Cette Ã©tape de bombardement de particules chargÃ©es permet de dÃ©caper les oxydes mÃ©tastables formÃ©s de maniÃ¨re native sur la surface 16 de la sous-couche 3. Ainsi, la rugositÃ© de surface 16 peut Ãªtre plus petite qu'en utilisant les mÃ©thodes connues de l'art antÃ©rieure, tels que le sablage et la gravure 15 Ã©lectrochimique. La surface 16 de la sous-couche mÃ©tallique 3 prÃ©sente par exemple une rugositÃ© moyenne Ra infÃ©rieure Ã 1 pm, prÃ©fÃ©rentiellement infÃ©rieure Ã 500 nm et prÃ©fÃ©rentiellement comprise entre 100 nm et 300 nm. L'utilisation d'un bombardement de particules chargÃ©es permet Ã©galement de graver l'ensemble de la surface 16 de la piÃ¨ce de maniÃ¨re homogÃ¨ne. Cet effet 20 est particuliÃ¨rement adaptÃ© aux piÃ¨ces 1 dont la gÃ©omÃ©trie est complexe. Par exemple, l'Ã©cart type de la rugositÃ© sur la surface 16 de la sous-couche 3 gravÃ©e au plasma est infÃ©rieure Ã 500 nm, prÃ©fÃ©rentiellement infÃ©rieure Ã 300 nm et prÃ©fÃ©rentiellement infÃ©rieure Ã 100 nm. De maniÃ¨re gÃ©nÃ©rale, le bombardement de particules chargÃ©es de l'Ã©tape 25 103 peut Ãªtre rÃ©alisÃ© par toute mÃ©thode de bombardement ionique et/ou Ã©lectronique permettant de graver une surface mÃ©tallique avec une rugositÃ© Ra infÃ©rieure Ã 1 pm. Elle peut Ã©galement Ãªtre rÃ©alisÃ©e en utilisant un laser femtoseconde. Avantageusement, la piÃ¨ce 1 est mise en rotation pendant l'Ã©tape 103 de 30 bombardement de particules chargÃ©es. A cet effet, on peut agencer la piÃ¨ce 1 dans un tambour dans l'enceinte ou sur un support rotatif. La rotation de la piÃ¨ce permet d'augmenter l'homogÃ©nÃ©itÃ© de la rugositÃ© de la surface 16 de la sous-couche 3. 3065968 8 Comme le bombardement de particules chargÃ©es n'entraÃ®ne aucun contact mÃ©canique lors de la gravure, on Ã©vite le transport d'impuretÃ©s sur la surface 16 de la sous-couche 3. Lors d'une quatriÃ¨me Ã©tape 104 du procÃ©dÃ©, on chauffe la piÃ¨ce, 5 avantageusement sous vide, Ã une tempÃ©rature supÃ©rieure Ã 1000Â°C. Ainsi, des atomes du plasma, comme des atomes d'argon, Ã©ventuellement adsorbÃ©s Ã la surface 16 de la sous-couche mÃ©tallique 3, sont Ã©liminÃ©s ou transportÃ©s Ã l'Ã©cart de la piÃ¨ce. Lors d'une cinquiÃ¨me Ã©tape 105 du procÃ©dÃ©, on forme la couche protectrice 10 4 sur la surface 16 bombardÃ©e de la sous-couche mÃ©tallique 3. La surface 16 peut Ãªtre une surface gravÃ©e au plasma lors de l'Ã©tape 103 du procÃ©dÃ©. La couche protectrice 4 est avantageusement uniquement composÃ©e d'alumine a. A cet effet, on chauffe la piÃ¨ce, dans une atmosphÃ¨re comprenant de l'oxygÃ¨ne Ã une tempÃ©rature supÃ©rieure Ã 1000 Â°C, de maniÃ¨re Ã former une couche protectrice 4 15 par oxydation thermique. PrÃ©fÃ©rentiellement, la tempÃ©rature de 1000 Â°C est atteinte en moins de dix minutes et prÃ©fÃ©rentiellement en moins de cinq minutes, de maniÃ¨re Ã Ã©viter la formation d'oxyde mÃ©tastable sur la sous-couche mÃ©tallique 3. La rugositÃ© Ra de la surface 16 de la sous-couche mÃ©tallique 3, petite au 20 regard des valeurs de rugositÃ© usuelles, permet de former une couche protectrice 4 comprenant des grains d'alumine a dont la taille est supÃ©rieure aux grains d'alumine a des couches protectrices rÃ©alisÃ©es selon des mÃ©thodes connues. La couche protectrice 4 peut par exemple comprendre une couche d'alumine en phase a. Cette couche peut Ãªtre formÃ©e de grains prÃ©sentant une taille moyenne, 25 dans un plan localement tangent Ã la surface 16, supÃ©rieure Ã 50 pm. L'augmentation de ta taille des grains de l'alumine a permet d'augmenter la durÃ©e de vie de la barriÃ¨re thermique. La couche protectrice 4 peut Ã©galement comprendre une couche d'alumine exclusivement en phase a. En outre, l'homogÃ©nÃ©itÃ© de la rugositÃ© de la surface 16 de la sous-couche 30 mÃ©tallique 3 bombardÃ©e par des particules chargÃ©es permet de former la couche protectrice 4 Ã une cinÃ©tique constante sur la surface 16 de la sous-couche mÃ©tallique 3. Ainsi, la couche protectrice 4 formÃ©e prÃ©sente des propriÃ©tÃ©s mÃ©caniques et une Ã©paisseur sensiblement constantes sur la surface 16 de la sous- 3065968 9 couche mÃ©tallique 3, ce qui permet d'Ã©viter des contraintes mÃ©caniques pendant L'utilisation de la piÃ¨ce, entraÃ®nant l'Ã©caillage de la couche protectrice 4. L'ensemble des Ã©tapes du procÃ©dÃ© peut avantageusement Ãªtre rÃ©alisÃ© sous vide, ou de maniÃ¨re gÃ©nÃ©rale, sans exposer la piÃ¨ce Ã l'atmosphÃ¨re ambiante. En 5 particulier, la piÃ¨ce peut Ãªtre gardÃ©e sous-vide entre les Ã©tapes 103 et 105 du procÃ©dÃ©. Ainsi, on Ã©vite la formation d'oxyde instable et/ou mÃ©tastable sur la surface 16. La figure 4 illustre schÃ©matiquement la section d'une partie de piÃ¨ce 1 de 10 turbine obtenue par un procÃ©dÃ© conforme au procÃ©dÃ© de ta figure 3. La piÃ¨ce 1 de turbine est par exemple une aube de turbine, une ailette de distributeur ou tout autre Ã©lÃ©ment, partie ou piÃ¨ce de turbine. Elle comprend un substrat 2 en superalliage base nickel monocristallin, un sous-couche mÃ©tallique 3 recouvrant le substrat 2 et une couche protectrice 4 en oxyde mÃ©tallique recouvrant la sous- 1 5 couche 3. Une couche thermiquement isolante 5 peut par exemple recouvrir la couche protectrice 4. La barriÃ¨re thermique 10 comprend la sous-couche mÃ©tallique 3, ta couche protectrice 4 et la couche thermiquement isolante 5. La sous-couche mÃ©tallique 3 a une surface 16 en contact avec la couche protectrice 4 prÃ©sentant une rugositÃ© infÃ©rieure Ã 1 pm, prÃ©fÃ©rentiellement infÃ©rieure Ã 500 20 nm et prÃ©fÃ©rentiellement comprise entre 100 et 300 nm. La figure 5 est une microphotographie d'un dÃ©tail d'une piÃ¨ce 1 de turbine. Le rectangle noir de la figure 5 est une barre d'Ã©chelle correspondant Ã 5 pm. La piÃ¨ce comprend une couche protectrice 4 en oxyde mÃ©tallique recouvrant une 25 sous-couche mÃ©tallique 3. Dans ce mode de rÃ©alisation de l'invention, ta sous-couche mÃ©tallique 3 a Ã©tÃ© gravÃ©e au plasma, puis une couche protectrice 4 a Ã©tÃ© formÃ©e sur la sous-couche mÃ©tallique 3. En rÃ©fÃ©rence Ã la figure 6, le dÃ©pÃ´t PVD correspondant Ã l'Ã©tape 101 peut 30 Ãªtre rÃ©alisÃ© Ã l'intÃ©rieur d'une enceinte 12 contenant la piÃ¨ce 1 et une ou plusieurs cible(s) 8 correspondant au(x) matÃ©riau(x) Ã dÃ©poser. La piÃ¨ce 1 illustrÃ©e sur ta figure 6 peut Ãªtre une aube 6 de turbine, une ailette de distributeur, ou tout autre Ã©lÃ©ment, partie ou piÃ¨ce d'une turbine. Le substrat 2 en superalliage peut Ãªtre polarisÃ© par une liaison Ã©lectrique 15 reliÃ©e Ã un gÃ©nÃ©rateur de potentiel 3065968 10 Ã©lectrique. Sous l'application d'une diffÃ©rence de potentiel positive entre la (les) cible(s) 8 et le substrat 2, un plasma 7 d'argon peut se former, dont les espÃ¨ces positives sont attirÃ©es par la cathode (cible 8) et entrent en collision avec celle(s)-ci. Les atomes de la ou des cible(s) 8 sont pulvÃ©risÃ©s et se condensent alors sur 5 ladite piÃ¨ce de maniÃ¨re Ã former la ou les sous-couche(s) 3 mÃ©talliques. De prÃ©fÃ©rence, les conditions de dÃ©pÃ´t sont les suivantes : chauffage pendant le dÃ©pÃ´t : de 100 Ã 900Â°C; pression : de 0,1 Pa Ã 1 Pa ; densitÃ© de puissance : 2 Ã 15 W/cm2 ; 10 polarisation : de 0 Ã 400 V. Le bombardement ionique est rÃ©alisÃ© pendant 10 Ã 30 minutes. En rÃ©fÃ©rence Ã la figure 7, le bombardement de particules chargÃ©es, par exemple mis en oeuvre par un plasma 7, correspondant Ã l'Ã©tape 103, peut Ãªtre 15 rÃ©alisÃ© Ã l'intÃ©rieur d'une enceinte 12 contenant la piÃ¨ce 1 et une ou plusieurs cibles 8 correspondant au(x) matÃ©riau(x) Ã dÃ©poser. L'enceinte peut Ãªtre l'enceinte utilisÃ©e lors de l'Ã©tape 101 illustrÃ©e sur la figure 6. Le substrat 2 en superalliage peut Ãªtre polarisÃ© par une liaison Ã©lectrique 15 reliÃ©e Ã un gÃ©nÃ©rateur de potentiel Ã©lectrique. Sous l'application d'une diffÃ©rence de potentiel nÃ©gative 20 entre la (les) cible(s) 8 et le substrat 2, un plasma 7 d'argon peut se former, dont les espÃ¨ces positives sont attirÃ©es par la cathode (piÃ¨ce de turbine) et entrent en collision avec celle-ci. Ainsi, la surface 16 de la sous-couche mÃ©tallique 3 peut Ãªtre gravÃ©e. De prÃ©fÃ©rence, les conditions de dÃ©pÃ´t sont tes suivantes : pression : de 0,1 Pa Ã 1 Pa ; 25 densitÃ© de puissance : 2 Ã 15 W/cm2 ; polarisation : de 0 Ã - 400 V. En rÃ©fÃ©rence Ã la figure 8, l'Ã©tape 103 de fabrication de la piÃ¨ce peut Ãªtre mise en oeuvre dans une premiÃ¨re enceinte 13. La piÃ¨ce peut Ãªtre transportÃ©e de 30 la premiÃ¨re enceinte Ã une seconde enceinte 14, dans laquelle est mise en oeuvre l'Ã©tape 105, dans un passage 9 maintenu sous vide, reliant les deux enceintes 13,14. Le passage peut Ãªtre dÃ©limitÃ© par un canal, un conduit et/ou un tuyau. Ainsi, la piÃ¨ce peut Ãªtre gardÃ©e sous vide entre les Ã©tapes 103 et 105 de maniÃ¨re Ã Ã©viter la formation d'oxyde mÃ©tastable ou instable avant la formation de la 3065968 11 couche protectrice 4 lors de l'Ã©tape 105. Le passage peut comprendre une vanne 11, permettant de contrÃ´ler le vide dans seulement l'une des premiÃ¨re ou deuxiÃ¨me enceintes, en fonction de l'Ã©tape de fabrication de la piÃ¨ce. L'ouverture de la vanne 11 est adaptÃ©e au transport de la piÃ¨ce de turbine, de la premiÃ¨re 5 enceinte vers la deuxiÃ¨me enceinte. REVENDICATIONS1. PiÃ¨ce (1) de turbine comprenant : - un substrat (2) en superalliage base nickel monocristallin, - une sous-couche (3) mÃ©tallique recouvrant le substrat, et - une couche protectrice (4) en oxyde mÃ©tallique recouvrant ta sous-couche, caractÃ©risÃ©e en ce que la sous-couche mÃ©tallique a une surface (16) en contact avec la couche protectrice et la surface prÃ©sente une rugositÃ© moyenne comprise entre 100 nm et 1 pm. 2. PiÃ¨ce de turbine selon la revendication 1 dans laquelle l'Ã©cart-type de la rugositÃ© de la surface est infÃ©rieur Ã 20% de la rugositÃ© moyenne de la surface (16). 3. PiÃ¨ce de turbine selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle la couche 15 protectrice comprend une couche d'alumine en phase a. 4. ProcÃ©dÃ© de fabrication d'une piÃ¨ce (1) de turbine comprenant : - un substrat (2) en superalliage base nickel monocristallin, - une sous-couche mÃ©tallique (3) recouvrant le substrat, et 20 - une couche (4) protectrice en oxyde mÃ©tallique recouvrant la sous-couche, la sous-couche mÃ©tallique ayant une surface en contact avec la couche protectrice, le procÃ©dÃ© comprenant des Ã©tapes de : a) bombardement de particules chargÃ©es (7) sur une surface (16) de ta sous-couche 25 mÃ©tallique de maniÃ¨re Ã ce que la surface prÃ©sente une rugositÃ© moyenne comprise entre 100 nm et 1 pm, puis b) formation de la couche protectrice (4) sur la surface bombardÃ©e lors de l'Ã©tape a). 30 5. ProcÃ©dÃ© selon la revendication 4, dans lequel le bombardement de particules chargÃ©es est mis en oeuvre par un plasma. 3065968 13 6. ProcÃ©dÃ© selon la revendication 4 ou 5, comprenant une Ã©tape de dÃ©pÃ´t de la sous-couche mÃ©tallique en phase vapeur sur le substrat avant l'Ã©tape a) du procÃ©dÃ©. 5 7. ProcÃ©dÃ© selon l'une des revendications 4 Ã 6, comprenant une Ã©tape de chauffage de la piÃ¨ce, sous vide, Ã une tempÃ©rature supÃ©rieure Ã 1000Â°C, entre les Ã©tapes a) et b). 8. ProcÃ©dÃ© selon l'une des revendications 4 Ã 7, dans lequel on chauffe la piÃ¨ce 10 entre 800Â°C et 1200Â°C entre le dÃ©pÃ´t de la sous-couche mÃ©tallique et l'Ã©tape a). 9. ProcÃ©dÃ© selon l'une des revendications 4 Ã 8, dans lequel la piÃ¨ce est mise en rotation pendant l'Ã©tape a). 10. ProcÃ©dÃ© selon l'une des revendications 4 Ã 9, dans lequel la piÃ¨ce est gardÃ©e sous vide entre les Ã©tapes a) et b). 11. ProcÃ©dÃ© selon l'une des revendications 4 Ã 10, dans lequel on chauffe la piÃ¨ce Ã une tempÃ©rature supÃ©rieure Ã 1000 Â°C pendant l'Ã©tape b). 20 12. ProcÃ©dÃ© selon l'une des revendications 4 Ã 11, dans lequel l'Ã©tape a) est mise en oeuvre dans une premiÃ¨re enceinte (13) sous vide, l'Ã©tape b) est mise en oeuvre dans une seconde enceinte (14) sous vide, et dans lequel ta piÃ¨ce est transportÃ©e, entre les Ã©tapes a) et b), de la premiÃ¨re enceinte vers la deuxiÃ¨me enceinte dans 25 un passage (9), maintenu sous vide, reliant les deux enceintes.