FR 3064078 A1 20180921 FR 1752226 A 20170317 1 DISPOSITIF OPTOELECTRONIQUE DE GENERATION D'UN PEIGNE DE FREQUEN CES DOMAINE TECHNIQUE [1] Le domaine de l'invention est celui des dispositifs optoélectroniques de génération d'un peigne de fréquences quasi-cohérent ou cohérent par la formation de solitons temporels dissipatifs de type Kerr. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE [2] Des dispositifs optoélectroniques existent qui permettent de générer des peignes de fréquences. Un peigne de fréquences est une représentation d'un signal optique dans le domaine fréquentiel dont le spectre est composé d'une somme discrète de fréquences. L'amplitude peut être pondérée par une enveloppe spectrale centrée autour de la fréquence wp d'un signal de pompe. De tels dispositifs optoélectroniques trouvent leur application notamment dans le domaine de la télécommunication optique, par exemple les réseaux de transmission cohérente de données, de la génération de signaux, de la spectroscopie rapide, voire des systèmes de référence temporelle. [3] La figure lA illustre un exemple d'un tel dispositif optoélectronique 1, décrit dans la publication de Levy et al. intitulée CMOS-compatible multiple-wavelength oscillator for on-chip optical interconnects, Nature Photon. 4, 37-40 (2010), ce dispositif optoélectronique 1 étant réalisé par des procédés de la microélectronique de type CMOS. Il comporte une source laser 2 et un micro-résonateur optique 3 en anneau. La source laser 2 est adaptée à émettre un signal optique Sm dit de pompe, continu et monochromatique de longueur d'onde X. Le micro-résonateur 3 comporte un guide d'onde de couplage 10 ayant une entrée couplée à la source laser 2 et une sortie qui fournit un signal optique Som dont le spectre forme le peigne de fréquences généré. Il comporte en outre une cavité optique formée d'un guide d'onde 20 en anneau, dit anneau résonant, réalisé en un matériau à propriétés optiques non linéaires du troisième ordre, ici du nitrure de silicium SiN. [4] Le micro-résonateur optique 3 forme un oscillateur paramétrique optique. Le signal de pompe Sm, dont le spectre est représenté sur la figure 1B, se couple de manière résonante par onde évanescente à un mode fondamental de l'anneau résonant 20. Dans la mesure où le matériau de l'anneau résonant 20 est optiquement non linéaire d'ordre trois, c'est-à-dire qu'il possède une susceptibilité électrique d'ordre trois, un phénomène dit de mélange à quatre ondes en cascade apparaît qui génère, à partir du mode fondamental supporté par l'anneau résonant 20, un peigne de fréquences dont un exemple est représenté sur la figure 3064078 2 1C. Par ailleurs, dans la mesure où un tel micro-résonateur optique 3 présente un facteur de qualité Q élevé, il n'est pas nécessaire que la puissance du signal de pompe soit grande pour que le gain paramétrique soit supérieur aux pertes optiques présentes dans l'anneau résonant 20, ce qui permet d'initier l'amplification des ondes générées. 5 [005] La publication de Herr et al. intitulée Temporal solitons in opticalmicroresonators, Nature Photon. 8, 145-152 (2 0 14), décrit un autre exemple d'un dispositif optoélectronique permettant de générer un peigne de fréquences par mélange à quatre ondes cascadé, dans lequel l'anneau résonant est réalisé en un matériau à effet Kerr optique, plus précisément en MgF2, et présente un régime de dispersion anormale à la longueur d'onde de pompe X. 10 Du fait de la dispersion anormale et des propriétés non linéaires du troisième ordre du matériau de l'anneau résonant, un ou plusieurs solitons temporels dissipatifs dits de Kerr peuvent être formés, qui rendent quasi-cohérent ou cohérent le peigne de fréquences généré. [6] Cependant, comme l'explique Herr 2014, les effets optiques non-linéaires du 15 matériau de l'anneau résonant provoquent un décalage de la longueur d'onde de résonance Xres vers les grandes longueurs d'onde. De plus, le balayage en fréquence de la résonance montre que cette dernière présente une forme non plus lorentzienne mais de type triangulaire, dont un exemple est représenté sur la figure 1D. [7] Herr 2014 montre qu'il est possible de former des solitons temporels dissipatifs, qui 20 rendent quasi-cohérent ou cohérent le peigne de fréquences généré, en réalisant un balayage de la résonance par la fréquence de pompe. En effet, lors du balayage en fréquence, le laser de pompe passe d'un accord spectral à la cavité optique dans le bleu (blue-detuning, en anglais) pour lequel la fréquence de pompe wp est supérieure à la fréquence de résonance effective w'' à un accord spectral dans le rouge (red-detuning, en anglais) pour lequel la 25 fréquence de pompe wp est inférieure à la fréquence de résonance effective w'' qui entraîne alors la formation de solitons temporels. La présence des solitons peut être mise en évidence notamment à partir de la valeur Tr du signal de transmission optique qui présente, en régime de red-detuning, des transitions discrètes à mesure que la fréquence de pompe wp diminue, ces transitions traduisant la diminution du nombre de solitons se propageant dans 30 la cavité optique. Le peigne de fréquences en régime solitonique présente également un bruit fortement diminué, et son enveloppe spectrale devient de type sinh2 lorsque le peigne est pleinement cohérent (un unique soliton dans la cavité optique). [8] Le dispositif optoélectronique de génération d'un peigne de fréquences quasi-cohérent ou cohérent décrit par Herr 2014 présente cependant l'inconvénient d'avoir à réaliser un accord spectral particulièrement fin du signal de pompe au mode résonant pour 3064078 3 obtenir le régime solitonique Rs, ce qui nécessite l'utilisation d'une source laser coûteuse, encombrante et donc difficilement intégrable. EXPOSÉ DE L'INVENTION 5 [009] L'invention a pour objectif de remédier au moins en partie aux inconvénients de l'art antérieur, et plus particulièrement de proposer un dispositif optoélectronique de génération d'un peigne de fréquences permettant un accord spectral simplifié entre le signal de pompe et un mode résonant dans le but de former des solitons temporels dissipatifs. [0010] Pour cela, l'objet de l'invention est un dispositif optoélectronique de génération d'un 10 peigne de fréquences comportant : une source laser adaptée à émettre un signal optique dit de pompe, continu et monochromatique d'une longueur d'onde de pompe constante dans le temps ; et un micro-résonateur optique en anneau, comportant : o un guide d'onde dit de couplage, comportant une entrée optiquement couplée à la source laser, et une sortie destinée à fournir le peigne de fréquences généré ; 15 o un premier guide d'onde en anneau, dit anneau résonant, couplé optiquement au guide d'onde de couplage pour générer un mode optique dans l'anneau résonant à une longueur d'onde de résonance, et formé en un matériau optiquement non linéaire d'ordre trois qui présente un indice de réfraction et des dimensions transversales tels que l'anneau résonant présente un régime de dispersion anormale 20 associé audit mode optique. [0011] Le dispositif optoélectronique comporte en outre un dispositif d'accord spectral adapté à accorder la longueur d'onde de résonance par rapport à la longueur d'onde de pompe pour former au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant, comprenant : 25 o un deuxième guide d'onde en anneau, dit guide à jonction, agencé vis-à-vis de l'anneau résonant de manière à être longitudinalement couplé optiquement à ce dernier, formé en un matériau dont l'indice de réfraction présente un écart vis-à-vis de celui du matériau de coeur de l'anneau résonant permettant le couplage modal entre les deux guides d'onde, et comportant une jonction semiconductrice 30 s'étendant de manière parallèle à l'anneau résonant ; o des moyens de polarisation électrique adaptés à appliquer une tension de polarisation de la jonction semiconductrice ; o une unité de commande, connectée aux moyens de polarisation et couplée optiquement à la sortie, adaptée à modifier la valeur de la tension pour entraîner 35 une modification d'un indice effectif du mode optique et donc de la longueur d'onde 3064078 4 de résonance, jusqu'à la formation d'au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant. [0012] Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce dispositif optoélectronique sont les suivants. 5 [0013] L'unité de commande peut être adaptée à détecter un signal optique à la sortie, à en déterminer une valeur d'un paramètre représentatif d'un accord spectral entre le signal de pompe et un mode optique de l'anneau résonant à la valeur de la tension appliquée, et à induire une modification de la valeur de ladite tension appliquée jusqu'à ce que la valeur dudit paramètre atteigne une valeur de référence représentative de la présence d'au moins 10 un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant. [0014] Le matériau du guide à jonction peut être en silicium. [0015] Le matériau de l'anneau résonant peut être un composé semiconducteur III-V, ou un élément IV ou un composé IV, voire en un composé IV-V. [0016] Le matériau de l'anneau résonant peut être choisi parmi l'AlGaAs, le GaAs, le GaAsP, 15 l'InGaP, l'InGaAsP, l'InGaAs. [0017] L'anneau résonant peut être monomode à la longueur d'onde de résonance. [0018] La différence entre les indices de réfraction de l'anneau résonant et du guide à jonction peut être inférieure ou égale à 0,5. [0019] Une distance moyenne séparant l'anneau résonant et le guide à jonction, suivant un 20 axe orthogonal au plan suivant lequel s'étend l'anneau résonant, peut être comprise entre 75nm et 20 Onm. [0020] Une largeur moyenne du guide à jonction peut être inférieure à celle de l'anneau résonant. [0021] La largeur moyenne du guide à jonction peut être comprise entre 20 Onm et 50 Onm 25 et celle de l'anneau résonant peut être comprise entre 40 Onm et 8 0 Onm. [0022] Les matériaux de l'anneau résonant et du guide à jonction peuvent être entourés d'une gaine en oxyde de silicium. [0023] L'invention porte également sur un procédé de génération d'un peigne de fréquences par un dispositif optoélectronique selon l'une quelconque des caractéristiques précédentes, 30 comportant les étapes suivantes : a) émission par la source laser (2) d'un signal de pompe monochromatique et continu à une longueur d'onde (4) de pompe constante dans le temps, ladite longueur 3064078 5 d'onde de pompe (4) étant choisie pour former un mode optique dans l'anneau résonant (20) à la longueur d'onde de résonance (') ; b) polarisation de la jonction semiconductrice par une tension (U) non nulle, de manière à provoquer une modification de la concentration des porteurs de charge 5 au sein du guide à jonction (30), se traduisant par une modification de l'indice effectif du mode optique présent dans l'anneau résonant (20) et donc de la longueur d'onde de résonance (') ; c) détection d'un signal optique à la sortie (12), et détermination, à partir du signal optique détecté, d'une valeur d'un paramètre représentatif d'un accord spectral 10 entre le signal de pompe et le mode optique de l'anneau résonant (20) ; d) modification de la valeur (U) de la tension de polarisation, jusqu'à ce que la valeur déterminée dudit paramètre représentatif atteigne une valeur de référence représentative de la présence d'au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant (20). 15 [0024] Aune valeur dite initiale de la tension de polarisation, la longueur d'onde de pompe peut être inférieure à la longueur d'onde de résonance. [0025] Lors de l'étape d), la modification de la valeur de la tension de polarisation par rapport à la valeur initiale peut entraîner une diminution de la longueur d'onde de résonance jusqu'à ce qu'elle soit inférieure à la longueur d'onde de pompe. 20 [0026] On peut déterminer la valeur d'une transmission optique du micro-résonateur optique, la valeur de référence étant une valeur minimale de la transmission optique lorsque la valeur de la tension de polarisation augmente. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS 25 [0027] D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés, outre les figures 1A-1D déjà décrites, sur lesquels : la figure lA est une vue de dessus, schématique et partielle, d'un dispositif optoélectronique 30 de génération d'un peigne de fréquences selon un exemple de l'art antérieur ; les figures 1B et 1C illustrent respectivement un exemple de spectre en longueur d'onde du signal optique de pompe et un exemple de peigne de fréquences généré ; et la figure 1D illustre un exemple de spectre de résonance à forme non lorentzienne d'un anneau résonant réalisé en un matériau non linéaire d'ordre trois ; 3064078 6 la figure 2A est une vue de dessus, schématique et partielle, d'un dispositif optoélectronique de génération d'un peigne de fréquences selon un mode de réalisation ; la figure 2B est une vue en coupe transversale de l'anneau résonant et du guide à jonction selon le plan de coupe A-A ; 5 les figures 3A à 3C illustrent une première étape d'accord spectral dans laquelle la tension de polarisation appliquée présente une valeur dite initiale Uma non nulle ; la fig.3 A étant une vue en coupe transversale de l'anneau résonant et du guide à jonction, la fig.3B un spectre du signal de transmission optique présentant un accord spectral dans le bleu (bluedetuning), et la fig.3C un peigne de fréquences généré traduisant l'absence de solitons 10 temporels dissipatifs ; les figures 4A à 4C illustrent une étape ultérieure d'accord spectral dans laquelle la tension de polarisation présente une valeur inférieure, en valeur absolue, à la valeur initiale Urna, pour laquelle le régime solitonique Rs est obtenu ; la fig.4A étant une vue en coupe transversale de l'anneau résonant et du guide à jonction, la fig.4B un spectre du signal de 15 transmission optique présentant un accord spectral dans le rouge (red-detuning), et la fig.4C le peigne de fréquences généré, celui-ci étant quasi-cohérent ou cohérent du fait de la présence de plusieurs ou d'un seul solitons temporels dissipatifs ; la figure 5A illustre un exemple d'évolution du paramètre de dispersion D associée au mode optique résonant en fonction de la valeur de la tension U de polarisation appliquée ; et la 20 figure 5B illustre un exemple de valeur du décalage AN en fréquence de la résonance effective en fonction de la valeur de la tension U de polarisation appliquée. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS [0028] Sur les figures et dans la suite de la description, les mêmes références représentent 25 les éléments identiques ou similaires. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l'échelle de manière à privilégier la clarté des figures. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent être combinés entre eux. Sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « de l'ordre de » signifient à 10% près. 30 [0029] L'invention porte sur un dispositif optoélectronique de génération d'un peigne de fréquences quasi-cohérent ou cohérent. Il comporte un micro-résonateur optique qui forme un oscillateur paramétrique optique, dans lequel un peigne de fréquences est généré par un phénomène non linéaire d'ordre trois de mélange à quatre ondes en cascade, associé à la 35 formation de solitons temporels dissipatifs de type Kerr. Le peigne de fréquences est dit 3064078 7 quasi-cohérent lorsque les raies de fréquence sont partiellement en relation de phase les unes avec les autres, traduisant la présence de plusieurs solitons temporels. Il est dit cohérent, ou pleinement cohérent, lorsque toutes les raies de fréquence sont en relation de phase mutuelle, ce qui est le cas lorsqu'un unique soliton temporel est présent dans la cavité 5 optique. Le régime de fonctionnement du générateur de peigne de fréquences est dit solitonique Rs lorsqu'un ou plusieurs solitons temporels sont présents. [0030] Un oscillateur paramétrique optique est une source de lumière cohérente qui repose sur une amplification paramétrique dans un résonateur optique. Le résonateur optique comporte ici une cavité optique réalisée en un milieu non linéaire du troisième ordre, c'est- 10 à-dire comportant une susceptibilité électrique x(3) d'ordre trois, permettant au mélange à quatre ondes cascadé d'avoir lieu, générant ainsi un peigne de fréquences. [0031] Le mélange à quatre ondes cascadé est un phénomène non linéaire d'ordre trois dans lequel deux photons de fréquence de pompe wp sont convertis sans perte d'énergie en un photon dit signal de fréquence ws et d'un photon dit complémentaire (idler, en anglais) de 15 fréquence wc. Il est dit cascadé dans la mesure où les photons générés sont également à l'origine de la génération d'autres photons signal et complémentaire par mélange à quatre ondes. [0032] L'effet Kerr optique est un phénomène non linéaire d'ordre trois qui exprime la dépendance de l'indice de réfraction d'un milieu vis-à-vis de l'intensité du signal optique 20 qui le parcourt. Cette dépendance peut être formalisée par la relation : n = no + n2.I où n est l'indice de réfraction du matériau, no = (1+x(1))1/2 est l'indice de réfraction linéaire, où x(1) est la permittivité électrique d'ordre 1, n2 est l'indice non linéaire qui dépend de la permittivité électrique x(3) d'ordre 3, et I est l'intensité du signal optique qui traverse le milieu. 25 [0033] Comme détaillé plus loin, pour permettre la formation des solitons temporels dissipatifs de Kerr, la cavité optique du micro-résonateur est réalisée en un matériau à effet Kerr optique, dont l'indice de réfraction et les dimensions opto-géométriques sont choisis pour présenter un régime de dispersion anormale associé au mode optique fondamental qu'elle supporte. Comme détaillé plus loin, l'indice de réfraction peut être élevé, par 30 exemple proche de celui du silicium, de sorte que le guide d'onde en anneau présente des dimensions transversales telles qu'il est alors monomode. [0034] La dispersion est dite anormale lorsque le paramètre de dispersion D est positif. Ce paramètre D, exprimé en psi (nm.km), est défini comme le produit d'une grandeur 132 et de -27cc/ Xr2es où XreS est la longueur d'onde du mode fondamental supporté par l'anneau 35 résonant à laquelle est accordé le signal de pompe, qui est inférieure à la longueur d'onde 3064078 8 de pompe xp lorsque le régime solitonique est atteint. La grandeur 132, également appelée dispersion de la vitesse de groupe (GVD, pour Group Velocity Dispersion, en anglais), correspond au fait que la vitesse de groupe du signal optique est dépendante de la longueur d'onde du signal. Cette grandeur 132 est définie comme étant égale à la dérivée de l'inverse a 1 , 5 de la vitesse de groupe du signal optique : fl2 = où 7 ou vg est la vitesse de groupe du signal g optique considéré, w la fréquence. Autrement dit, elle correspond à la dérivée seconde de I3(w) par rapport à w, à la longueur d'onde de résonance, où I3(w) est la constante de propagation qui dépend du caractéristiques opto-géométriques du guide d'onde et de la distribution spatiale du champ optique du mode associé. 10 [0035] Le dispositif optoélectronique comporte plusieurs guides d'onde. D'une manière générale, chaque guide d'onde présente une face inférieure et une face supérieure opposée, et repose sur un support au niveau de la face inférieure, et présente des flancs latéraux qui s'étendent à partir de la face supérieure jusqu'à la face inférieure. Il présente ainsi des dimensions transversales de hauteur et de largeur. Par hauteur, on entend la distance 15 moyenne du guide d'onde, et plus précisément du matériau dit de coeur, suivant l'axe Z orthogonal au plan du support, entre les faces inférieure et supérieure. Par largeur, on entend la distance moyenne entre les flancs latéraux du guide d'onde, et plus précisément du matériau de coeur, dans un plan parallèle au plan du support. La hauteur et la largeur sont de préférence sensiblement constantes suivant l'étendue longitudinale du guide 20 d'onde. [0036] La figure 2A est une vue de dessus, schématique et partielle, d'un dispositif optoélectronique 1 de génération de peigne de fréquences selon un mode de réalisation, adapté à fournir un peigne quasi-cohérent ou cohérent. Ce dispositif optoélectronique 1 25 comporte une source laser 2 adaptée à émettre un signal optique monochromatique continu, un micro-résonateur optique 3 en anneau, et un dispositif d'accord spectral 4 adapté à réaliser l'accord spectral du mode résonant avec le signal de pompe en modifiant l'indice effectif du mode résonant supporté par le micro-résonateur 3, de manière à obtenir le régime solitonique Rs. La figure 2B est une vue en coupe transversale de l'anneau 30 résonant 20 et du guide à jonction 30 suivant un plan A-A illustré sur la figure 2A. [0037] Dans la suite de la description, on définit un repère orthogonal tridimensionnel (X,Y,Z) où les axes X et Yforment un plan parallèle aux plans suivant lesquels reposent les guides d'onde du dispositif optoélectronique, et où l'axe Z est orienté suivant la dimension d'épaisseur des guides d'onde. 3064078 9 [0038] La source laser 2 est adaptée à émettre un signal optique S111 dit de pompe. Ce signal optique est continu et monochromatique, de longueur d'onde X. La longueur d'onde de pompe xp est alors sensiblement constante dans le temps. Elle est choisie pour être en mesure d'exciter de manière résonante un mode fondamental supporté par l'anneau 5 résonant 20 du micro-résonateur optique 3. A titre d'exemple, elle peut être égale à 1,55pm environ dans le cas d'une application dite télécom, voire être égale à 1,31pm environ pour une application dite datacom, voire également être une longueur d'onde du visible ou de l'infrarouge, en particulier du moyen infrarouge. [0039] La longueur d'onde de pompe xp est prévue pour exciter un mode fondamental de 10 l'anneau résonant 20 sans toutefois que le régime solitonique soit initialement atteint. En effet, dans la mesure où l'anneau résonant 20 est en un matériau à effets non linéaires d'ordre trois, la longueur d'onde de résonance effective XreS est supérieure à la longueur d'onde linéaire de résonance (du fait de la forme non lorentzienne triangulaire du spectre de résonance), la longueur d'onde de pompe xp est initialement inférieure à la longueur 15 d'onde de résonance effective XreS, se traduisant alors par un accord spectral dans le bleu (blue-detuning), comme illustré sur la figure 3B. Le passage à l'accord spectral dans le rouge (red-detuning) pour adresser le régime solitonique Rs est effectué par le dispositif d'accord spectral 4 décrit plus loin. [0040] Par ailleurs, la puissance du signal de pompe est choisie de manière à être supérieure 20 aux pertes optiques présentes dans le micro-résonateur optique 3, de sorte que le gain paramétrique est supérieur aux pertes optiques et que l'amplification du signal optique dans le micro-résonateur optique 3 puisse générer un peigne de fréquences par mélange à quatre ondes en cascade. La source laser 2 peut être reportée sur la couche de gaine 52 entourant le guide de couplage 10 et l'anneau résonant 20, voire être intégrée à l'intérieur de cette 25 couche 52. [0041] Le micro-résonateur optique 3 en anneau comporte un guide d'onde 10 dit de couplage et un premier guide d'onde 20 en anneau, dit anneau résonant. [0042] Le guide d'onde de couplage 10 comporte une entrée 11 et une sortie 12, qui forment également l'entrée et la sortie du micro-résonateur optique 3. L'entrée 11 est couplée 30 optiquement à la source laser 2 pour recevoir le signal de pompe Sm émis par celle-ci, et la sortie 12 est adaptée à fournir le peigne de fréquence généré. Il comporte une zone de couplage 13 permettant un couplage optique à l'anneau résonant 20 par onde évanescente. [0043] Le guide d'onde de couplage 10 est réalisé en un matériau, dit de coeur, à haut indice de réfraction. Plus précisément il comporte un coeur formé en un matériau à haut indice de 35 réfraction entouré d'une gaine 52 formé en un matériau de bas indice de réfraction. Le guide 3064078 10 10 repose sur une surface d'une couche support 50 dont le matériau participe à former la gaine. A titre d'exemple, le matériau de coeur du guide 10 est de préférence identique à celui de l'anneau résonant 20, et peut être choisi parmi les composés semiconducteurs III-V comportant au moins un élément de la colonne III et au moins un élément de la colonne V 5 du tableau périodique, ou parmi les éléments ou composés semiconducteurs IV ou IV-V comportant au moins un élément de la colonne IV. A titre d'exemple, des composés III-V peuvent être, entre autres, de l'AlGaAs, du GaAs, de l'InGaAs, de l'InGaAsP, de l'InGaP. Les éléments ou composés IV ou IV-V peuvent être du Si, voire du SiN tel que le Si3N4. Le matériau de gaine peut être, entre autres, de l'oxyde de silicium SiO, par exemple du 5i02. 10 [0044] Le guide d'onde 10 s'étend longitudinalement entre l'entrée 11 et la sortie 12, avec une forme qui peut être quelconque. A titre d'exemple, pour une longueur de pompe xp de 1,55pm, les dimensions transversales du guide d'onde 10 peuvent aller de quelques centaines de nanomètres jusqu'à plusieurs micromètres. Le guide d'onde 10 peut être monomode ou multimode. Dans cet exemple, il est de préférence monomode et supporte 15 un mode de type TE (transverse électrique). [0045] Le premier guide d'onde en anneau 20, dit anneau résonant, forme la cavité optique du micro-résonateur 3. Comme pour tout oscillateur paramétrique optique de type Kerr, il comporte un matériau non linéaire d'ordre trois permettant de générer des ondes optiques de longueur d'onde différentes de la longueur d'onde de résonance par mélange à quatre 20 ondes en cascade. De plus, l'anneau résonant 20 est dimensionné et présente un indice de réfraction de sorte que la dispersion chromatique soit anormale pour le mode optique résonant. Ainsi, il est possible de former un ou plusieurs solitons temporels dissipatifs de type Kerr permettant de rendre quasi-cohérent ou cohérent le peigne de fréquences généré par le mélange à quatre ondes en cascade. 25 [0046] L'anneau résonant 20 est un guide d'onde en forme d'anneau. Il comporte une zone de couplage optique permettant d'être couplé par onde évanescente au guide d'onde 10. Il peut s'étendre sous la forme d'un cercle, d'un ovale ou autre. Dans cet exemple, il présente une forme de cercle dont le rayon r est défini à partir d'une ligne longitudinale parcourant les barycentres transversaux de l'anneau résonant 20. Par barycentre transversal, on entend 30 le barycentre associé localement à une section droite transversale du guide d'onde. [0047] L'anneau résonant 20 est réalisé en un matériau de haut indice à propriétés optiques non linéaires d'ordre trois. Plus précisément, il est réalisé en un matériau dit de coeur à haut indice de réfraction entouré d'une gaine réalisée en un matériau de bas indice de réfraction. Le matériau de coeur peut être choisi parmi les composés III-V à effet Kerr optique, ou parmi 35 les éléments ou composés IV, ou IV-V, à effet Kerr optique. De manière préférée, le matériau de coeur de l'anneau résonant est de l'AlGaAs, mais il peut également être du GaAs, de 3064078 11 l'InGaAs, de l'InGaAsP, de l'InGaP, ou autre composé III-V à effet Kerr optique. Les éléments ou composés IV ou IV-V peuvent être du Si voire du SiN tel que le Si3N4. De plus, comme il sera précisé plus loin, le matériau de coeur de l'anneau résonant 20 présente un indice de réfraction, plus précisément un indice de réfraction linéaire, proche de celui du 5 matériau du guide à jonction 30. Par ailleurs, le matériau de gaine peut être, entre autres, de l'oxyde de silicium SiO, par exemple du 5i02. L'anneau résonant 20 présente une face supérieure 21h et une face inférieure 21b qui repose sur la couche support 50, et des flancs latéraux 22i, 22e qui s'étendent entre les faces supérieure 21h et inférieure 21b. Il présente une épaisseur ega et une largeur lga sensiblement constantes suivant son étendue 10 longitudinale. Il repose sur la même couche support 50 que le guide d'onde de couplage 10 de sorte que la face inférieure 21b de l'anneau résonant 20 et celle du guide d'onde 10 sont sensiblement coplanaires. [0048] L'anneau résonant 20 est adapté à être couplé optiquement au guide d'onde 10. Ainsi, il est dimensionné pour qu'il y ait accord de phase entre le mode optique fondamental, 15 ici TEK), supporté par le guide d'onde 10 et le mode optique résonant, ici TEK), supporté par l'anneau résonant 20. Autrement dit, la constante de propagation du mode fondamental TEK) supporté par l'anneau résonant 20 est égale à la constante de propagation du mode fondamental TEK) supporté par le guide 10, ce qui se traduit ici par la quasi-égalité ou l'égalité entre l'indice effectif du mode fondamental TEK) supporté par l'anneau résonant 20 20 avec celui du mode fondamental TEK) supporté par le guide 10. [0049] D'une manière générale, l'indice effectif neff associé à un mode optique supporté par un guide d'onde est défini comme le produit de la constante de propagation 13 et de X/ 27r. La constante de propagation 13 dépend de la longueur d'onde X du mode optique, ainsi que des propriétés du guide d'onde (indice de réfraction et dimensions transversales). L'indice 25 effectif du mode optique correspond, d'une certaine manière, à l'indice de réfraction du guide d'onde 'vu' par le mode optique. Il est habituellement compris entre l'indice du coeur et l'indice de la gaine du guide d'onde. [0050] L'anneau résonant 20 est de plus adapté à assurer une conversion paramétrique de fréquences par mélange à quatre ondes en cascade. Pour cela, le matériau de l'anneau 30 résonant 20, c'est-à-dire son matériau dit de coeur, présente des propriétés optiques non- linéaires autorisant l'effet Kerr optique, et ainsi présente un indice de réfraction qui dépend de l'intensité du signal optique le parcourant. Le mélange à quatre ondes par effet Kerr optique est alors possible. [0051] L'anneau résonant 20 est de plus adapté à former un ou plusieurs solitons temporels 35 dissipatifs dits de Kerr. Par définition, un soliton est une onde optique solitaire qui se propage sans se déformer dans un milieu non-linéaire et dissipatif. Ces solitons sont dits de 3064078 12 type Kerr dans la mesure où ils sont générés dans un matériau non-linéaire du troisième ordre par effet Kerr optique. Dans le mesure où le régime solitonique ne peut apparaître que dans une cavité optique où la dispersion est anormale, l'anneau résonant 20 est adapté de sorte que la dispersion soit anormale pour le mode résonant, ici TEK), supporté par l'anneau 5 résonant 20. Pour cela, comme le montre la publication d'Okawachi et al intitulée Octave- spanning frequency comb generation in a silicon nitride chip, Opt. Lett. 36, 3398 (2011), compte-tenu de l'indice de réfraction, c'est-à-dire ici de l'indice linéaire, du matériau de l'anneau résonant 20, les dimensions transversales de hauteur car et/ou de largeur la, de l'anneau résonant 20 sont choisies de sorte que ce dernier présente un régime de dispersion 10 anormale associé au mode fondamental, ici TE00. Dans le cas où le matériau de coeur est un matériau III-V à effet Kerr optique, tel que l'AlGaAs, dont l'indice de réfraction est plus élevé, ici de l'ordre de 3,4 à 1,55 1.1111 environ, la dispersion chromatique est anormale pour des dimensions d'épaisseur et/ou de largeur de l'anneau résonant 20 telles que le guide reste monomode. 15 [0052] A titre d'exemple, dans le cas d'une longueur d'onde de pompe xp égale à 1,55pm environ, et pour un matériau du coeur de l'anneau résonant 20 en AlGaAs, la hauteur ega est de préférence comprise entre 300nm et 500nm, et la largeur lga est de préférence comprise entre 400nm et 800nm. Ainsi, le mode optique supporté par l'anneau résonant 20 présente un régime de dispersion anormale. Ces dimensions transversales rendent l'anneau résonant 20 non pas multimode mais plutôt monomode, ce qui permet ainsi d'écarter les perturbations susceptibles de dégrader la formation des solitons temporels du fait d'interférences entre modes optiques, comme le décrit la publication de Kordts et al. intitulée High order mode suppression in high-Q anomalous dispersion SiN microresonators for temporal dissipative Kerr soliton formation, Opt. Lett. 41, 452 (2016). 25 [0053] Le dispositif d'accord spectral 4 est adapté à modifier la longueur d'onde de résonance XreS du mode optique supporté par l'anneau résonant 20 par rapport à la longueur d'onde de pompe xp maintenue sensiblement constante dans le temps, jusqu'à atteindre le régime solitonique Rs dans l'anneau résonant 20. Pour cela, il comporte un guide d'onde 30 à jonction semiconductrice, des moyens de polarisation électrique 40 de la jonction 30 semiconductrice, et une unité de commande 42 adaptée à modifier la valeur de la polarisation électrique appliquée à la jonction. [0054] Le guide d'onde à jonction 30 est un deuxième guide d'onde en anneau du dispositif optoélectronique 1. Il est positionné à la verticale de l'anneau résonant 20, suivant l'axe Z, de telle sorte qu'il s'étend dans un plan parallèle au plan de l'anneau résonant 20. Il s'étend 35 suivant un axe longitudinal parallèle à celui de l'anneau résonant 20, et présente ainsi une 3064078 13 forme longitudinale sensiblement identique à celle de l'anneau résonant. L'anneau résonant 20 et le guide à jonction 30 sont donc superposés l'un à l'autre. [0055] Le guide à jonction 30 présente une face inférieure 31b et une face supérieure 31h opposée, la face supérieure 31h étant orientée vers la face inférieure 21b de l'anneau 5 résonant 20. La hauteur eg, du guide à jonction 30 est la distance moyenne entre ses faces inférieure 31b et supérieure 31h. La largeur 1gj du guide est la distance moyenne entre ses flancs latéraux 32i, 32e. La hauteur et la largeur sont sensiblement constantes suivant l'étendue longitudinale du guide à jonction 30. Il repose sur un substrat 51 qui participe à former la gaine du guide à jonction 30 avec la couche support 50. 10 [0056] Des parties latérales interne 33i et externe 33e s'étendent radialement à partir du guide à jonction 30. Le guide 30 associé aux parties latérales 33i et 33e forme ainsi un guide d'onde à nervure (rib waveguide, en anglais). Ainsi, une partie latérale interne 33i s'étend à partir de la circonférence du flanc latéral interne 32i en direction du centre de l'anneau 30, et une partie latérale externe 33e s'étend à partir de la circonférence du flanc latéral 15 externe 32e, en direction de l'extérieur de l'anneau 30. Les parties latérales interne 33i et externe 33e sont réalisées en le même matériau que celui du guide à jonction 30, et sont chacune dopées suivant un type de conductivité opposé. Ainsi, la partie latérale interne 33i peut être dopée de type N et la partie latérale externe 33e peut être dopée de type P, ou inversement. Les parties latérales 33i, 33e reposent chacune sur le substrat 51, mais 20 présentent une hauteur locale inférieure à la hauteur eg, du guide à jonction 30, de manière à éviter l'étalement au niveau des parties latérales 33i, 33e du supermode optique présent dans le guide à jonction 30 et l'anneau résonant 20. A titre d'exemple, la hauteur eg, du guide 30 peut être de 300nm environ et la hauteur des parties latérales 33i, 33e peut être de 150nm environ, voire moins, par exemple 50nm. 25 [0057] Par ailleurs, des parties latérales interne 33i et externe 33e sont au contact de portions circonférentielles 34i, 34e surdopées. Les portions surdopées interne 34i et externe 34e sont réalisées en le même matériau que les parties latérales 33i, 33e et présentent chacune le même type de conductivité que la partie latérale 33i, 33e avec laquelle elle est au contact. Toutefois, elles présentent une densité de dopants supérieure à celle de la partie 30 latérale 33i, 33e correspondante. Plus précisément, la portion surdopée interne 34i, resp. externe 34e, est au contact avec la partie latérale interne 33i, resp. externe 33e, et présente un niveau de dopage supérieur à cette dernière. Ces portions surdopées 34i, 34e permettent de diminuer la résistance série entre les électrodes de polarisation 41i, 41e et le guide à jonction 30. 35 [0058] Enfin, une électrode de polarisation interne 41i est au contact de la partie latérale interne 33i, ici par la portion surdopée interne 34i, et une électrode de polarisation externe 3064078 14 41e est au contact de la partie latérale externe 33e, ici par la portion surdopée externe 34e. Chaque électrode de polarisation 41i, 41e comporte un matériau électriquement conducteur qui remplit une tranchée réalisée dans le matériau de gaine 52 de l'anneau résonant 20 et dans la couche support 50, qui débouche sur la face supérieure de la portion surdopée 5 interne 34i ou externe 34e. Ainsi, une différence de potentiel électrique, ou tension de polarisation U, peut être appliquée à la jonction semiconductrice du guide à jonction 30 par les électrodes 41i, 41e, par l'intermédiaire des parties latérales 33i, 33e et ici des portions surdopées 34i, 34e. [0059] Le guide à jonction 30 comporte ainsi une jonction semiconductrice qui s'étend 10 suivant l'axe longitudinal du guide d'onde, de manière sensiblement parallèle à l'anneau résonant 20. La jonction semiconductrice est de type PN ou PIN, voire est une jonction capacitive, et est formée d'une zone dopée de type N et d'une zone dopée de type P. Dans cet exemple, la jonction semiconductrice est de type PN dans le sens où les zones dopées N et P sont au contact l'une de l'autre, sans être séparées l'une de l'autre par une zone intrinsèque 15 (i.e. non intentionnellement dopée) ou par une zone diélectrique. Ainsi, à titre purement illustratif, la portion interne 34i peut ici être surdopée N+, la partie latérale interne 33i dopée N, la partie latérale externe 33e dopée P, et la portion externe 34e surdopée P+. La zone 35i dopée N du guide à jonction 30 est en continuité électrique avec la partie latérale interne 33i dopée N, et la zone 35e dopée P est en continuité électrique avec la partie latérale 20 externe 33e dopée P. Une zone de charge d'espace (ZCE) est formée à l'interface entre les zones dopées N et P du guide à jonction 30, dont la largeur lzcE dépend de la tension U de polarisation appliquée. La modification de la concentration des porteurs dans le guide à jonction 30 lors de la polarisation de la jonction peut être effectuée par déplétion de porteurs lors d'une polarisation en inverse, ou par injection de porteurs, voire par 25 accumulation de porteurs dans le cas d'une jonction capacitive. Des exemples classiques de jonctions semiconductrices dont les propriétés sont modifiées par déplétion, injection ou accumulation de porteurs sont donnés notamment dans la publication de Reed et al. intitulée Silicon optical modulators, Nature photonics 4, 518-526 (2010). [0060] La jonction semiconductrice, en l'absence de polarisation, est de préférence située 30 sensiblement au centre du guide à jonction 30. Les propriétés optiques du guide à jonction 30 sont destinées à être modifiées, en particulier l'indice effectif associé au mode optique, par une polarisation adéquate de la jonction semiconductrice, dans le but de modifier la longueur d'onde de la résonance XreS du mode optique de l'anneau résonant 20. [0061] Pour cela, le guide à jonction 30 présente des caractéristiques optiques et 35 géométriques, ainsi qu'un positionnement vis-à-vis de l'anneau résonant 20, avantageusement choisis de manière à permettre un bon couplage modal entre les deux 3064078 15 guides d'onde d'une part, et à maintenir un régime de dispersion anormale associé au mode optique dans l'anneau résonant 20 d'autre part. [0062] Par couplage modal, on entend que le mode optique circulant dans l'anneau résonant 20 s'étend spatialement à la fois dans l'anneau résonant 20 et au moins en partie 5 dans le guide à jonction 30, formant alors un supermode. Plus précisément, la composante du champ électrique du supermode optique présente une distribution spatiale qui recouvre l'anneau résonant 20 ainsi qu'au moins une partie du guide à jonction 30. Ainsi, par le couplage modal entre les deux guides d'onde, la modification de l'indice de réfraction du guide à jonction 30 va induire une modification de l'indice effectif du supermode et donc 10 une variation de la longueur d'onde de résonance XreS, tout en préservant le régime de dispersion anormale du supermode dans l'anneau résonant 20. Ces propriétés, associées au fait que l'anneau résonant 20 est réalisé en un matériau à effet Kerr optique, permettent de réaliser un accord spectral de la résonance avec le signal de pompe pour obtenir un régime solitonique. 15 [0063] Le couplage modal entre l'anneau résonant 20 et le guide à jonction 30 est assuré par leur positionnement relatif d'une part, et par le choix de leurs matériaux de coeur d'autre part. L'espacement vertical d entre le guide à jonction 30 et l'anneau résonant 20, à savoir la distance entre la face supérieure 31h et la face inférieure 21b, est compris entre une première valeur d''i, pour préserver la dispersion anormale dans l'anneau résonant 20 et 20 une deuxième valeur d',a,, supérieure à d''i, pour permettre le couplage modal. A titre illustratif, notamment dans le cas d'un anneau résonant 20 en AlGaAs et d'un guide à jonction 30 en silicium, la distance d est comprise entre 75nm et 200nm. De plus, les matériaux de coeur de l'anneau résonant 20 et du guide à jonction 30 sont choisis proches l'un de l'autre de manière à permettre l'étalement spatial du mode optique circulant dans 25 l'anneau résonant 20 au niveau du guide à jonction 30. Plus précisément, les indices de réfraction nar et ne, des matériaux de coeur présentent un écart inférieur ou égal à 0,5, de sorte que I nar-ne,I 0,5. Les indices de réfraction correspondent ici aux indices optiques linéaires des matériaux considérés. De préférence, le guide à jonction 30 est réalisé en silicium, dont l'indice de réfraction est égal à 3,48 à la longueur d'onde de 1,55pm, et 30 l'anneau résonant 20 est réalisé en AlGaAs dont l'indice de réfraction est égal à 3,44 pour une concentration d'aluminium d'environ 20%. L'indice de réfraction est ici le terme linéaire de l'indice de réfraction. Le guide à jonction 30 peut être réalisé en un matériau identique à celui de l'anneau résonant ou en un matériau différent. Le matériau du guide à jonction 30 est de préférence du silicium, mais peut être du SiN, tel que le Si3N4, ou du 35 AlGaAs, GaAs, InGaAs, InGaAsP, InGaP, ou autre. Il peut également être choisi parmi les chalcogénures. 3064078 16 [0064] Par ailleurs, le guide à jonction 30 présente des dimensions transversales, notamment en largeur le', choisies de sorte que le régime de dispersion reste anormal dans l'anneau résonant 20, pour que la variation de la concentration de porteurs de charge dans le guide à jonction 30 puisse impacter la longueur d'onde de résonance XreS du supermode 5 dans l'anneau résonant 20. La largeur le, du guide à jonction 30 est ainsi comprise entre une première largeur 1',a, pour pouvoir modifier la longueur d'onde de résonance XreS et une deuxième largeur 1',a,, supérieure à1',a, pour préserver la dispersion anormale dans l'anneau résonant 20, cette largeur 1',a,, étant inférieure à celle de l'anneau résonant 20. A titre illustratif, pour un anneau résonant 20 en AlGaAs d'une largeur comprise entre 400nm et 10 800nm et un guide à jonction 30 en silicium, la largeur le, est comprise entre 200nm et 500nm, tout en étant toujours inférieure à la largeur la, de l'anneau résonant 20. [0065] Le dispositif d'accord spectral 4 comporte des moyens de polarisation électrique 40 de la jonction semiconductrice, adaptés à appliquer une différence de potentiel électrique à la jonction dans le but d'induire une modification de la concentration de porteurs de charge 15 au sein du guide à jonction 30, entraînant ainsi une modification de l'indice effectif du supermode. Dans cet exemple, la jonction semiconductrice est polarisée en inverse de manière à induire une déplétion des porteurs dans le guide à jonction 30. Pour cela, les moyens de polarisation 40 comportent une source de tension, dont la valeur de la tension électrique U appliquée à la jonction semiconductrice est destinée à être modifiée. La source 20 de tension 40 est reliée aux électrodes de polarisation 41e, 4h, permettant ainsi de polariser les zones dopées P et N de la jonction par l'intermédiaire des parties latérales interne 33i et externe 33e. [0066] Le dispositif d'accord spectral 4 comporte une unité de commande 42, connectée aux moyens de polarisation électrique 40, et couplée optiquement à la sortie 12 du guide de 25 couplage 10, et adaptée à modifier la valeur U de la tension électrique appliquée à la jonction semiconductrice jusqu'à ce que le régime solitonique soit atteint, c'est-à-dire jusqu'à ce qu'un ou plusieurs solitons temporels dissipatifs soient présents dans l'anneau résonant 20. [0067] De préférence, l'unité de commande 42 comporte au moins un capteur optique et un calculateur. Le capteur optique est optiquement couplé à la sortie 12 pour recevoir un signal 30 de détection correspondant à au moins une partie d'un signal optique de sortie, et déterminer une valeur d'un paramètre associée au signal optique détecté qui soit représentatif de l'accord spectral entre le signal de pompe et le mode optique de l'anneau résonant 20, pour la valeur U de la tension de polarisation appliquée. Le calculateur compare la valeur mesurée à une valeur de référence représentative de la présence d'au 35 moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant 20. L'unité de commande 42 est alors en mesure de modifier la valeur de la tension de polarisation U jusqu'à ce que la 3064078 17 valeur déterminée atteigne la valeur de référence, traduisant ainsi l'obtention du régime solitonique. [0068] A titre d'exemple, le paramètre représentatif de l'accord spectral peut être la valeur du taux de transmission déterminé à partir du signal optique détectée. Le taux de 5 transmission optique du micro-résonateur optique 3 correspond au rapport de l'intensité du signal optique de sortie sur l'intensité du signal optique d'entrée. Comme l'indique la publication de Herr 2014, le taux de transmission Tr diminue à mesure que l'écart entre la longueur d'onde de résonance XreS et la longueur d'onde de pompe xp diminue, avec les>Xp, ce qui caractérise le régime de blue-detuning. Puis, à partir d'une valeur minimale Tr'f de 10 transmission optique qui peut alors correspondre à la valeur de référence, la transmission optique Tr augmente brusquement de manière discrète, c'est-à-dire par paliers, à mesure que l'écart entre la longueur d'onde de résonance XreS et la longueur d'onde de pompe Xp augmente, avec les REVENDICATIONS1. Dispositif optoélectronique (1) de génération d'un peigne de fréquences, comportant : o une source laser (2) adaptée à émettre un signal optique dit de pompe, continu et monochromatique d'une longueur d'onde de pompe ( 4) constante dans le temps ; o un micro-résonateur optique (3) en anneau, comportant : - un guide d'onde (10) dit de couplage, comportant une entrée (11) optiquement couplée à la source laser (2), et une sortie (12) destinée à fournir le peigne de fréquences généré ; - un premier guide d'onde (20) en anneau, dit anneau résonant, couplé optiquement au guide d'onde de couplage (10) pour générer un mode optique dans l'anneau -res, résonant (20) à une longueur d'onde de résonance (2^ 1 et formé en un matériau optiquement non linéaire d'ordre trois qui présente un indice de réfraction (nar) et des dimensions transversales (lar, car) tels que l'anneau résonant (20) présente un régime de dispersion anormale associé audit mode optique ; caractérisé en ce qu'il comporte en outre : o un dispositif d'accord spectral (4) adapté à accorder la longueur d'onde de résonance (Ies) par rapport à la longueur d'onde de pompe ( 4) pour former au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant, comprenant : - un deuxième guide d'onde (30) en anneau, dit guide à jonction, agencé vis-à-vis de l'anneau résonant (20) de manière à être longitudinalement couplé optiquement à ce dernier, formé en un matériau dont l'indice de réfraction (ne,) présente un écart vis-à-vis de celui (nar) du matériau de coeur de l'anneau résonant permettant le couplage modal entre les deux guides d'onde (20,30), et comportant une jonction semiconductrice s'étendant de manière parallèle à l'anneau résonant (20) ; - des moyens de polarisation électrique (40) adaptés à appliquer une tension (U) de polarisation de la jonction semiconductrice ; - une unité de commande (42), connectée aux moyens de polarisation (40) et couplée optiquement à la sortie (12), adaptée à modifier la valeur de la tension (U) pour entraîner une modification d'un indice effectif du mode optique et donc de la longueur d'onde de résonance (Ies), jusqu'à la formation d'au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant (20). 2. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel l'unité de commande (42) est adaptée à détecter un signal optique à la sortie (12), à en déterminer une valeur d'un paramètre représentatif d'un accord spectral entre le signal de pompe et un mode optique 3064078 24 de l'anneau résonant (20) à la valeur de la tension (U) appliquée, et à induire une modification de la valeur de ladite tension (U) appliquée jusqu'à ce que la valeur dudit paramètre atteigne une valeur de référence représentative de la présence d'au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant (20). 5 3. Dispositif (1) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le matériau du guide à jonction (30) est en silicium. 4. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le matériau de l'anneau résonant (20) est un composé semiconducteur III-V, ou un élément IV ou un composé IV. 10 5. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel le matériau de l'anneau résonant (20) est choisi parmi l'AlGaAs, le GaAs, le GaAsP, l'InGaP, l'InGaAsP, l'InGaAs. 6. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'anneau résonant (20) est monomode à la longueur d'onde de résonance (X,'). 15 7. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications là 6, dans lequel la différence entre les indices de réfraction (nar, ne,) de l'anneau résonant (20) et du guide à jonction (30) est inférieure ou égale à 0,5. 8. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications là 7, dans lequel une distance moyenne (d) séparant l'anneau résonant (20) et le guide à jonction (30), suivant un axe 20 orthogonal au plan suivant lequel s'étend l'anneau résonant (20), est comprise entre 75nm et 200nm. 9. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications là 8, dans lequel une largeur moyenne (1 ) du guide à jonction (30) est inférieure à celle (lar) de l'anneau résonant (20). 10. Dispositif (1) selon la revendication 9, dans lequel la largeur moyenne (4) du guide à 25 jonction (30) est comprise entre 200nm et 500nm et celle (lar) de l'anneau résonant (20) est comprise entre 400nm et 800nm. 11. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les matériaux de l'anneau résonant (20) et du guide à jonction (30) sont entourés d'une gaine en oxyde de silicium. 30 12. Procédé de génération d'un peigne de fréquence par un dispositif optoélectronique (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comportant les étapes suivantes : 3064078 25 a) émission par la source laser (2) d'un signal de pompe monochromatique et continu à une longueur d'onde (4) de pompe constante dans le temps, ladite longueur d'onde de pompe (4) étant choisie pour former un mode optique dans l'anneau résonant (20) à la longueur d'onde de résonance (') ; 5 b) polarisation de la jonction semiconductrice par une tension (U) non nulle, de manière à provoquer une modification de la concentration des porteurs de charge au sein du guide à jonction (30), se traduisant par une modification de l'indice effectif du mode optique présent dans l'anneau résonant (20) et donc de la longueur d'onde de résonance (ies) ; 10 c) détection d'un signal optique à la sortie (12), et détermination, à partir du signal optique détecté, d'une valeur d'un paramètre représentatif d'un accord spectral entre le signal de pompe et le mode optique de l'anneau résonant (20) ; d) modification de la valeur (U) de la tension de polarisation, jusqu'à ce que la valeur déterminée dudit paramètre représentatif atteigne une valeur de référence 15 représentative de la présence d'au moins un soliton temporel dissipatif dans l'anneau résonant (20). 13. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel, à une valeur dite initiale (U,n,t) de la tension (U) de polarisation, la longueur d'onde de pompe (Xp) est inférieure à la longueur d'onde de résonance ('). 20 14. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel, lors de l'étape d), la modification de la valeur (U) de la tension de polarisation par rapport à la valeur initiale (U,n,t) entraîne une diminution de la longueur d'onde de résonance (') jusqu'à ce qu'elle soit inférieure à la longueur d'onde de pompe (Xp). 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 14, dans lequel on détermine 25 la valeur d'une transmission optique du micro-résonateur optique (3), la valeur de référence étant une valeur minimale de la transmission optique lorsque la valeur (U) de la tension de polarisation augmente.