FR 3069742 A1 20190201 FR 1757060 A 20170725 B16125 - DD17999 1 CELLULE LOGIQUE CAPACITIVE Domaine La présente demande concerne le domaine des cellules logiques réalisées à base de condensateurs à capacité variable. Exposé de l'art antérieur La demande de brevet européen N°16204534 déposée le 15 décembre 2016 et la demande de brevet américain correspondante N°15/381477 déposée le 16 décembre 2016, décrivent des exemples de réalisation de cellules logiques à base de condensateurs à capacité variable à quatre électrodes. La figure 1 illustre de façon schématique une cellule logique du type décrit dans les demandes de brevet susmentionnées. La cellule de la figure 1 comprend deux condensateurs à capacité variable Cl et C2. Chacun des condensateurs Cl et C2 est un dispositif à quatre électrodes d, s, g et r isolées électriquement les unes des autres. Les électrodes d et s, appelées électrodes principales, sont mobiles l'une par rapport à l'autre. Les électrodes g et r, appelées électrodes de commande, sont destinées à recevoir un signal de commande, par exemple une tension ou un courant, adapté à faire varier la position relative des électrodes d et s de façon à faire varier la valeur de la capacité Cds entre les électrodes d et s. Les électrodes principales d des condensateurs Cl et C2 sont connectées à un même noeud sup B16125 - DD17999 2 d'application d'une tension d'alimentation PC de la cellule. Les électrodes principales s des condensateurs Cl et C2 sont connectées à un même noeud out de fourniture d'un signal de sortie S de la cellule. L'électrode de commande g du condensateur Cl est 5 connectée à un noeud ml d'application d'un signal logique d'entrée A de la cellule, et l'électrode de commande g du condensateur C2 est connectée à un noeud in2 d'application d'un signal logique d'entrée B de la cellule. Les électrodes de commande r des condensateurs Cl et C2 sont connectées à un même 10 noeud GND d'application d'un potentiel de référence de la cellule, par exemple la masse. Sur la figure 1, un condensateur CL connecté entre le noeud de sortie out et le noeud de référence GND a été représenté, schématisant la capacité de sortie de la cellule. Dans la cellule de la figure 1, les condensateurs Cl et C2 sont des 15 condensateurs à variation positive de capacité, c'est-à-dire que la capacité de chaque condensateur entre ses électrodes principales d et s prend une valeur haute lorsque le signal appliqué entre ses électrodes de commande g et r est à une valeur haute, et prend une valeur basse lorsque le signal appliqué entre 20 ses électrodes de commande g et r est à une valeur basse. La cellule de la figure 1 se comporte comme un pont diviseur de tension capacitif comportant une capacité commandable correspondant à la capacité équivalente Ceq = C1+C2 de l'association en parallèle des condensateurs Cl et C2, et une capacité fixe formée par la capacité CL du noeud de sortie out de la cellule. La tension de sortie de la cellule s'exprime comme suit : =PC C' =PC C1+C2 S Ceq+CL Cl+C2+CL Lorsque les signaux d'entrée A et B sont à un état bas, les capacités des condensateurs Cl et C2 prennent des valeurs relativement basses Cllow et C2low (par exemple Cllow = C210w) et le signal de sortie S est à un premier niveau de tension. Lorsque les signaux d'entrée A et B sont à un état haut, les capacités B16125 - DD17999 3 des condensateurs Cl et C2 prennent des valeurs relativement hautes Clhigh et C2high (par exemple Clhigh = C2high) et le signal de sortie S est à un deuxième niveau de tension supérieur au premier niveau. Lorsque les signaux d'entrée A et B sont à des 5 états distincts, par exemple Al et B=0, les capacités des condensateurs Cl et C2 prennent respectivement une valeur basse et une valeur haute, et le signal de sortie S est à un troisième niveau de tension compris entre les premier et deuxième niveaux. En considérant que les deuxième et troisième niveaux de tension 10 correspondent à un état logique haut du signal S, et que le premier niveau de tension correspond à un état logique bas du signal S, la cellule de la figure 10 réalise une fonction logique OU (S=A+B). Plus généralement, les demandes de brevet européen N°16204534 et américain N°15/381477 susmentionnées décrivent des 15 exemples de cellules adaptées à mettre en oeuvre diverses fonctions logiques de base à deux entrées et une sortie binaires, et en particulier les fonctions logiques ET, NON ET et NON OU, à partir de deux condensateurs à capacité variable à quatre électrodes. 20 Il serait souhaitable d'améliorer au moins en partie certains aspects des cellules logiques capacitives du type décrit dans les demandes de brevet susmentionnées. Résumé Ainsi, un mode de réalisation prévoit une cellule 25 logique capacitive comportant un ensemble fixe comportant une première électrode, un ensemble mobile comportant une deuxième électrode, et des troisième, quatrième et cinquième électrodes, dans laquelle : les première, deuxième, troisième, quatrième et 30 cinquième électrodes sont isolées électriquement les unes des autres ; les première et deuxième électrodes définissent une première capacité variable en fonction de la position de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe ; B16125 - DD17999 4 la troisième électrode est connectée à un noeud d'application d'un premier signal logique d'entrée de la cellule ; la quatrième électrode est connectée à un noeud d'application d'un deuxième signal logique d'entrée de la 5 cellule ; la cinquième électrode est connectée à un noeud d'application d'un premier potentiel de référence de la cellule ; et la position de la deuxième électrode par rapport à la 10 première électrode est fonction d'une combinaison des premier et deuxième signaux logiques d'entrée. Selon un mode de réalisation, les premier et deuxième signaux logiques d'entrée sont référencés par rapport audit noeud d'application d'un premier potentiel de référence. 15 Selon un mode de réalisation, la cellule comporte en outre une sixième électrode isolée électriquement des première, deuxième, troisième, quatrième et cinquième électrodes, la sixième électrode étant connectée à un noeud d'application du deuxième potentiel de référence, le premier signal logique d'entrée étant 20 référencé par rapport au noeud d'application d'un premier potentiel de référence et le deuxième signal logique d'entrée étant référencé par rapport au noeud d'application du deuxième potentiel de référence. Selon un mode de réalisation, la deuxième électrode est 25 connectée à un noeud d'application d'une tension d'alimentation de la cellule, et la première électrode est connectée à un noeud de fourniture d'un premier signal logique de sortie de la cellule. Selon un mode de réalisation, l'ensemble mobile est mobile en translation par rapport à l'ensemble fixe de façon à 30 faire varier la surface de la deuxième électrode en vis-à-vis de la première électrode sans faire varier la distance entre les première et deuxième électrodes. Selon un mode de réalisation, l'ensemble mobile est mobile en translation par rapport à l'ensemble fixe de façon à 35 faire varier la distance entre les première et deuxième électrodes B16125 - DD17999 5 sans faire varier la surface de la deuxième électrode en vis-à-vis de la première électrode. Selon un mode de réalisation, la cellule comporte un premier dispositif d'actionnement électrostatique apte à 5 provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du premier signal logique d'entrée, et un deuxième dispositif d'actionnement électrostatique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du 10 deuxième signal logique d'entrée. Selon un mode de réalisation, la cellule comporte un dispositif d'actionnement électrostatique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du premier signal logique d'entrée, et un 15 dispositif d'actionnement électrodynamique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du deuxième signal logique d'entrée. Selon un mode de réalisation, la première électrode comprend des première et deuxième portions conductrices 20 interconnectées, disposées de part et d'autre de la deuxième électrode de façon à limiter l'influence de la tension entre les première et deuxième électrodes sur la position de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe. Selon un mode de réalisation, la cellule comporte une 25 septième électrode connectée à un noeud d'application d'un troisième signal logique d'entrée de la cellule, la position de la deuxième électrode par rapport à la première électrode étant fonction d'une combinaison des premier, deuxième et troisième signaux logiques d'entrée. 30 Selon un mode de réalisation, l'ensemble fixe comprend une huitième électrode isolée électriquement de la première électrode, les huitième et deuxième électrodes définissant une deuxième capacité variable en fonction de la position de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe. B16125 - DD17999 6 Selon un mode de réalisation, la huitième électrode est connectée à un noeud de fourniture d'un deuxième signal logique de sortie de la cellule. Brève description des dessins 5 Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1, précédemment décrite, est un schéma 10 électrique d'un exemple d'une cellule logique capacitive ; la figure 2 est un schéma électrique d'un exemple d'un mode de réalisation d'une cellule logique capacitive ; la figure 3 est une vue en coupe simplifiée d'un exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique 15 capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 4 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 5 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 20 exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 6 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; 25 la figure 7 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 8 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule 30 logique capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 9 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; B16125 - DD17999 7 la figure 10 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 11 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 5 exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; la figure 12 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; 10 la figure 13 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule logique capacitive selon un mode de réalisation ; et la figure 14 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple d'un condensateur à capacité variable d'une cellule 15 logique capacitive selon un mode de réalisation. Description détaillée De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Dans la présente 20 description, on utilise le terme "connecté" pour désigner une liaison électrique directe, sans composant électronique intermédiaire, par exemple au moyen d'une ou plusieurs pistes conductrices, et le te= "couplé" ou le te= "relié", pour désigner une liaison qui peut être directe (signifiant alors 25 "connecté") ou qui peut être réalisée par l'intermédiaire d'un ou plusieurs composants. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence à l'orientation des figures, étant entendu que, en pratique, les 30 dispositifs décrits peuvent être orientés différemment. Sauf précision contraire, les expressions "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près, ou, lorsqu'elles se rapportent à des valeurs d'angles ou à des orientations, à 100 près, de préférence à 50 près. Dans la présente description, on entend par plaque B16125 - DD17999 8 conductrice une plaque en un matériau apte à conduire des charges électriques, ce matériau pouvant être un matériau conducteur, par exemple un métal, ou encore un matériau semiconducteur, par exemple du silicium. 5 Contrairement aux cellules logiques classiques réalisées à base de transistors, dans lesquelles l'ensemble des opérations exploite des effets purement électriques (effet de champ électrique combiné à des jonctions semi-conductrices), les cellules logiques capacitives décrites dans la demande de brevet 10 européen N°16204534 et dans la demande de brevet américain N°15/381477 susmentionnées (dont le contenu est ici incorporé par référence dans la mesure autorisée par la loi) codent des états logiques de façon mécanique (via une position relative entre les électrodes principales de chaque condensateur). Ce codage 15 mécanique permet de se passer du compromis habituel en énergie, entre dissipation par conduction et dissipation par fuite, inhérent à toutes les cellules logiques à base de transistors. En contrepartie, la transduction électromécanique crée des pertes à chaque changement d'état logique. 20 Selon un aspect d'un mode de réalisation, pour réduire le nombre de composants et le nombre de transductions électromécaniques nécessaires à la mise en oeuvre d'une opération logique, on prévoit une cellule logique basée sur un unique condensateur à capacité variable à cinq électrodes, au lieu de 25 deux condensateurs à capacité variable à quatre électrodes dans les demandes de brevet européen et américain susmentionnées. La figure 2 est un schéma électrique d'un exemple d'un mode de réalisation d'une cellule logique capacitive. La cellule de la figure 2 comprend un condensateur à capacité variable C. Le 30 condensateur C est un dispositif à cinq électrodes d, s, gl, g2 et r isolées électriquement les unes des autres. Les électrodes d et s, appelées électrodes principales, sont mobiles l'une par rapport à l'autre. Les électrodes gl, g2 et r, appelées électrodes de commande, sont destinées à recevoir des signaux de commande, 35 par exemple des tensions ou des courants, adaptés à faire varier B16125 - DD17999 9 la position relative des électrodes d et s de façon à faire varier la valeur de la capacité Cds entre les électrodes d et s. Plus particulièrement, dans cet exemple, un premier signal de commande peut être appliqué entre les électrodes gl et r et un deuxième 5 signal de commande peut être appliqué entre les électrodes g2 et r, la position relative des électrodes d et s, et donc la capacité Cds du condensateur C, étant fonction d'une combinaison des premier et deuxième signaux de commande. L'électrode principale d du condensateur C est connectée 10 à un noeud sup d'application d'une tension d'alimentation PC de la cellule, par exemple une tension continue (dans le cas d'une implémentation d'un circuit logique statique dans lequel les états des signaux logiques sont disponibles à tout moment), ou, de préférence, une tension variable périodique (dans le cas d'une 15 implémentation d'un circuit logique dynamique dans lequel les états des signaux logiques ne sont disponibles que pendant une partie de la période d'un signal d'horloge périodique tel que décrit dans les demandes de brevet européen N°16204534 et américain N°15/381477 susmentionnées), par exemple une tension 20 trapézoïdale. L'électrode principale s du condensateur C est connectée à un noeud out de fourniture d'un signal logique de sortie S de la cellule. L'électrode de commande gl du condensateur C est connectée à un noeud ml d'application d'un signal logique d'entrée A de la cellule, et l'électrode de commande g2 du 25 condensateur C est connectée à un noeud in2 d'application d'un signal logique d'entrée B de la cellule. L'électrode de commande r du condensateur C est connectée à un noeud GND d'application d'un potentiel de référence de la cellule, par exemple la masse. Sur la figure 2, un condensateur CL connecté entre le noeud de 30 sortie out et le noeud de référence GND a en outre été représenté, schématisant la capacité de sortie de la cellule. En pratique, la capacité de sortie CL peut ne pas comprendre de composant spécifiquement réalisé et connecté au noeud de sortie out, mais correspondre à la somme des capacités des différents éléments 35 connectés au noeud out, notamment des pistes d'interconnexion, ou B16125 - DD17999 10 encore à une autre cellule logique capacitive (non représentée) dont l'entrée peut être connectée au noeud out. Dans cet exemple, les signaux d'entrée A et B, le signal de sortie S et le signal d'alimentation PC de la cellule sont référencés par rapport au 5 noeud GND. La cellule de la figure 2 se comporte comme un pont diviseur de tension capacitif comportant une capacité commandable correspondant à la capacité Cds du condensateur C, et une capacité fixe formée par la capacité CL du noeud de sortie out de la 10 cellule. La tension de sortie de la cellule s'exprime comme suit : Cds S=PC Cds+CL La capacité Cds du condensateur C étant fonction d'une combinaison des signaux logiques d'entrée A et B, la cellule réalise une opération logique S=f(A,B) au moyen d'un unique 15 condensateur à capacité variable à cinq électrodes. La fonction logique réalisée par la cellule dépend de l'agencement du condensateur à capacité variable C. Divers exemples de réalisation du condensateur à capacité variable C, adaptés pour la mise en oeuvre de diverses fonctions logiques de 20 base, vont maintenant être décrits. La figure 3 est une vue en coupe simplifiée d'un exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. 25 Le condensateur C comprend deux ensembles mobiles l'un par rapport à l'autre, appelés ci-après respectivement ensemble fixe et ensemble mobile. Tous les éléments de l'ensemble fixe sont fixe les uns par rapport aux autres, et tous les éléments de l'ensemble mobile sont fixes les uns par rapport aux autres. Sur 30 la figure 3 ainsi que sur les figures suivantes, on a représenté par des hachures obliques une masse mécanique, à laquelle sont fixés tous les éléments de l'ensemble fixe. B16125 - DD17999 11 Dans l'exemple de la figure 3, les électrodes s, gl et g2 font partie de l'ensemble fixe, et les électrodes d et r font partie de l'ensemble mobile. Le carré référencé 320 sur la figure 3 schématise une région électriquement isolante séparant les 5 électrodes d et r de l'ensemble mobile. L'électrode s comprend deux plaques conductrices 301a et 301b sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre (c'est-à-dire sensiblement confondues en projection verticale), connectées électriquement au noeud de sortie out de la cellule. 10 L'électrode gl comprend deux plaques conductrices 303a et 303b sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre, connectées électriquement au noeud d'entrée ml de la cellule. L'électrode g2 comprend deux plaques conductrices 305a et 305b sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre, 15 connectées électriquement au noeud d'entrée in2 de la cellule. L'électrode d comprend une plaque conductrice 302 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud d'alimentation sup de la cellule. L'électrode r comprend deux plaques conductrices 304 et 306 sensiblement horizontales, connectées électriquement 20 au noeud de référence GND de la cellule. L'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que les plaques conductrices 302, 304 et 306, soient disposées respectivement : entre les plaques conductrices 301a et 301b, au moins 25 partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b, sensiblement à équidistance des plaques conductrices 301a et 301b ; entre les plaques conductrices 303a et 303b, au moins partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 303a et 303b, 30 sensiblement à équidistance des plaques conductrices 303a et 303b ; et entre les plaques conductrices 305a et 305b, au moins partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 305a et 305b, sensiblement à équidistance des plaques conductrices 305a et 305b. B16125 - DD17999 12 Dans cet exemple, l'ensemble mobile est libre de se déplacer selon un unique degré de liberté en translation horizontale (parallèlement aux plaques conductrices 301a, 301b, 302, 303a, 303b, 304, 305a, 305b, 306) par rapport à l'ensemble 5 fixe, de façon à modifier la surface de la plaque conductrice mobile 302, respectivement 304, respectivement 306 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes 301a et 301b, respectivement 303a et 303b, respectivement 305a et 305b, sans modifier la distance entre chaque plaque conductrice mobile et 10 les plaques conductrices fixes correspondantes (mouvement représenté par une double flèche MV sur la figure). Plus particulièrement, dans l'exemple de la figure 3, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface de l'une quelconque des plaques conductrices mobiles 302, 304 et 15 306 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes 301a et 301b, respectivement 303a et 303b, respectivement 305a et 305b augmente, la surface des autres plaques conductrices mobiles en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes augmente, et inversement. 20 Le condensateur C de la figure 3 comporte en outre des moyens de rappel (non visibles sur la figure), par exemple un ressort de rappel, agencés pour, en l'absence de toute polarisation électrique des électrodes gl, g2, s et d par rapport à l'électrode r, ramener l'ensemble mobile dans une position (par 25 rapport à l'ensemble fixe) dite de repos, dans laquelle les plaques conductrices mobiles 302, 304 et 306, sont seulement partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes 301a et 301b, respectivement 303a et 303b, respectivement 305a et 305b (par exemple la position représentée 30 sur la figure 3). Au premier ordre, la capacité Cds du condensateur C entre ses électrodes principales s et d est proportionnelle à la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b. B16125 - DD17999 13 Dans l'exemple de la figure 3, les signaux logiques d'entrée A et B et de sortie S sont des tensions. Lorsque les signaux d'entrée A et B sont à un état bas, c'est-à-dire à un niveau de tension inférieur (en valeur absolue) 5 à un seuil VinL, par exemple à une tension sensiblement nulle, le condensateur C est dans sa position de repos, et la capacité Cds du condensateur C a une première valeur. Le signal de sortie S de la cellule a donc un premier niveau de tension Voutl. Lorsque l'un des signaux d'entrée A et B est à un état 10 haut, c'est-à-dire à une tension supérieure (en valeur absolue) à un seuil VinH supérieur ou égal au seuil VinL, la plaque conductrice mobile 304 (si A=1 et B=0) ou 306 (si A=0 et B=1) est attirée entre les plaques conductrices fixes correspondantes 303a et 303b ou 305a et 305b, par interaction électrostatique. Ceci 15 entraine un déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe, tendant à augmenter la surface de la plaque conductrice mobile 304 ou 306 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes 303a et 303b ou 305a et 305b, et par conséquent la surface de la plaque conductrice mobile 302 20 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes 301a et 301b. La capacité Cds du condensateur C prend ainsi une deuxième valeur supérieure à la première valeur. Le signal de sortie S de la cellule a alors un deuxième niveau de tension Vout2 supérieur (en valeur absolue) au premier niveau. 25 Lorsque les deux signaux d'entrée A et B sont à l'état haut, la force électrostatique exercée par les plaques conductrices 303a et 303b sur la plaque conductrice 304 et la force électrostatique exercée par les plaques conductrices 305a et 305b sur la plaque conductrice 306 s'ajoutent. Le déplacement 30 horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe est donc amplifié. La capacité Cds du condensateur C prend alors une troisième valeur supérieure à la deuxième valeur, et le signal de sortie S de la cellule a un troisième niveau de tension Vout3 supérieur (en valeur absolue) au deuxième niveau. B16125 - DD17999 14 En considérant que les deuxième et troisième niveaux de tension Vout2 et Vout3 correspondent à un état logique haut du signal S, et que le premier niveau de tension Voutl correspond à un état logique bas du signal S, le condensateur C de de la figure 5 3 réalise bien une fonction OU (S=A+B). A titre d'exemple, le condensateur C est dimensionné pour que l'état logique haut du signal de sortie S soit interprété comme un état logique haut lorsqu'il est appliqué sur l'entrée ml ou in2 de la cellule, et pour que l'état logique bas du signal 10 de sortie S soit interprété comme un état logique bas lorsqu'il est appliqué sur l'entrée ml ou in2 de la cellule. Ceci permet de pouvoir cascader directement plusieurs cellules logiques capacitives identiques ou similaires, sans nécessiter des circuits d'adaptation de niveau à l'interface entre les différentes 15 cellules. A titre d'exemple, le condensateur C de la figure 3 est dimensionné pour que les niveaux de tension de sortie Vout2 et Vout3 soient supérieurs au seuil VinH, et pour que le niveau de tension de sortie Voutl soit inférieur au seuil VinL. La figure 4 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 20 exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique ET. Le condensateur C de la figure 4 diffère du condensateur C de la figure 3 principalement en ce que, dans l'exemple de la 25 figure 4, dans la position de repos du condensateur, les plaques conductrices 302 d'une part, et 301a et 301b d'autre part, ne se recouvrent pas. Autrement dit, dans la position de repos, la plaque conductrice 302 n'est pas en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b. Plus particulièrement, dans la position 30 de repos, en projection verticale, une distance de non recouvrement dar sépare la plaque conductrice 302 des plaques conductrices 301a et 301b. Pour le reste, le condensateur C de la figure 4 est identique ou similaire au condensateur C de la figure 3. B16125 - DD17999 15 Lorsque les signaux d'entrée A et B sont à l'état bas, du fait du non recouvrement de la plaque conductrice mobile 302 et des plaques conductrices fixes correspondantes 301a et 301b, la capacité Cds du condensateur est nulle ou négligeable. Le 5 signal de sortie S de la cellule a donc un niveau de tension nul ou négligeable, correspondant à un état logique bas du signal S. Lorsque l'un seulement des signaux d'entrée A et B est à l'état haut, la plaque conductrice mobile correspondante 304 ou 306 est attirée entre les plaques conductrices fixes 10 correspondantes 303a et 303b ou 305a et 305b, par interaction électrostatique. Ceci entraine un déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe, tendant à réduire la distance de non recouvrement dar entre la plaque conductrice 302 et les plaques conductrices 301a et 301b, sans toutefois 15 l'annuler. Ainsi, la capacité Cds du condensateur reste nulle ou négligeable, et le signal de sortie S de la cellule reste à l'état bas. Lorsque les signaux d'entrée A et B sont tous les deux à l'état haut, le déplacement horizontal de l'ensemble mobile par 20 rapport à l'ensemble fixe est amplifié, et la plaque conductrice 302 pénètre entre les plaques conductrices 301a et 301b. La capacité Cds du condensateur C prend alors une valeur non négligeable, et le signal de sortie S de la cellule prend un niveau de tension non négligeable, correspondant à un état logique 25 haut du signal S. Ainsi, le condensateur C de la figure 4 réalise bien une fonction ET (S=A.B). La figure 5 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de 30 la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique ET. Le condensateur C de la figure 5 diffère du condensateur C de la figure 3 principalement en ce que, dans l'exemple de la figure 5, dans la position de repos du condensateur, les plaques 35 conductrices 306 d'une part, et 305a et 305b d'autre part, ne se B16125 - DD17999 16 recouvrent pas. Autrement dit, dans la position de repos, la plaque conductrice 306 n'est pas en vis-à-vis des plaques conductrices 305a et 305b. Plus particulièrement, dans la position de repos, en projection verticale, une distance de non 5 recouvrement dar sépare la plaque conductrice 306 des plaques conductrices 305a et 305b. Pour le reste, le condensateur C de la figure 5 est identique ou similaire au condensateur C de la figure 3. Lorsque le signal A est à l'état bas, le condensateur C 10 reste dans sa position de repos indépendamment de l'état du signal B. En particulier, même si le signal B est à l'état haut, la force électrostatique exercée sur la plaque conductrice 306 par les plaques conductrices 305a et 305b est négligeable en raison du non recouvrement des électrodes 306 et 305a, 305b. La capacité 15 Cds du condensateur C a alors une première valeur, et le signal de sortie S de la cellule un premier niveau de tension correspondant à un état logique bas du signal S. Lorsque le signal A est à l'état haut, la force électrostatique exercée sur la plaque conductrice mobile 304 par 20 les plaques conductrices fixes 303a et 303b entraine un déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe, tendant à augmenter la surface de la plaque conductrice 304 en vis-à-vis des plaques conductrices 303a et 303b. Ceci conduit à augmenter la surface de la plaque conductrice 25 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b, et à faire pénétrer la plaque conductrice 306 entre les plaques conductrices 305a et 305b. Si le signal B est à l'état bas, la capacité Cds du condensateur C a alors une deuxième valeur supérieure à la première valeur, et le signal de sortie S de la cellule a un 30 deuxième niveau de tension supérieur (en valeur absolue) au premier niveau, correspondant toujours à l'état logique bas du signal S. Si en revanche le signal B est à l'état haut, la force électrostatique exercée sur la plaque conductrice 306 par les plaques conductrices 305a et 305b tend à amplifier le déplacement 35 horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe, B16125 - DD17999 17 conduisant à augmenter la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b. La capacité Cds du condensateur C a alors une troisième valeur supérieure à la deuxième valeur, et le signal de sortie S de la cellule a un 5 troisième niveau de tension supérieur (en valeur absolue) au deuxième niveau, correspondant à l'état logique haut du signal S. Ainsi, le condensateur C de de la figure 5 réalise bien une fonction ET (S=A.B). La figure 6 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 10 exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. Le condensateur C de la figure 6 comprend les mêmes éléments que le condensateur C de la figure 5, agencés 15 sensiblement de la même manière. Dans l'exemple de la figure 6, l'électrode d du condensateur comprend une plaque conductrice supplémentaire 302' sensiblement horizontale, fixe par rapport à la plaque conductrice 302, et connectée électriquement à la plaque conductrice 302. 20 De plus, dans cet exemple, l'électrode s du condensateur comprend deux plaques conductrices supplémentaires 301a' et 301b' sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre, fixes par rapport aux plaques conductrices 301a et 301b, et connectées électriquement aux plaques conductrices 301a et 301b. 25 L'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que la plaque conductrice 302' soit disposée entre les plaques conductrices 301a' et 301b', au moins partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 301a' et 301b', sensiblement à équidistance des plaques conductrices 301a' et 301b'. 30 Plus particulièrement, dans l'exemple de la figure 6, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b augmente, la surface de la plaque conductrice 302' en vis-à-vis des plaques conductrices 35 301a' et 301b' diminue, et inversement. B16125 - DD17999 18 Il en résulte que lorsqu'une tension non nulle est appliquée entre les électrodes d et s du condensateur, la force électrostatique exercée par les plaques conductrices 301a' et 301b' sur la plaque conductrice 302' s'oppose à la force 5 électrostatique exercée par les plaques conductrices 301a et 301b sur la plaque conductrice 302. Ceci permet de limiter l'influence de la tension Uds entre les électrodes d et s du condensateur sur la valeur de la capacité Cds, voire de supprimer l'influence de la tension Uds sur la capacité Cds lorsque la surface de la plaque 10 conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b est égale à la surface de la plaque conductrice 302' en vis-à-vis des plaques conductrices 301a' et 301b' (configuration représentée sur la figure 6, correspondant par exemple à la position de repos du condensateur). 15 On notera que, dans cet exemple, pour autoriser une variation de la capacité entre les électrodes principales d et s du dispositif, il convient que le déplacement latéral soit suffisant pour que la plaque 302' ne soit plus en vis-à-vis des plaques 301a', 301b', de façon que la diminution de la capacité 20 entre les plaques 302' et 301a', 301b' ne soit plus compensée par l'augmentation de la capacité entre les plaques 302 et 301a, 301b. Autrement dit, il convient que le déplacement lié à l'application des signaux d'entrée A et B soit supérieur au recouvrement initial entre les plaques 302' et 301a', 301b'. 25 La figure 7 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU EXCLUSIF. Le condensateur C de la figure 7 comprend des éléments 30 communs avec le condensateur C de la figure 6. Seules les différences entre les deux condensateurs seront détaillées par la suite. Le condensateur C de la figure 7 diffère du condensateur C de la figure 6 en ce que, dans l'exemple de la figure 7, dans 35 la position de repos du condensateur, les plaques conductrices B16125 - DD17999 19 302 d'une part, et 301a et 301b d'autre part, ne se recouvrent pas. De plus, dans la position de repos du condensateur, les plaques conductrices 302' d'une part, et 301a' et 301b' d'autre part, ne se recouvrent pas. Plus particulièrement, dans la 5 position de repos, en projection verticale, une distance de non recouvrement dar sépare la plaque conductrice 302 des plaques conductrices 301a et 301b, et une distance de non recouvrement dar' , par exemple sensiblement identique, sépare la plaque conductrice 302' des plaques conductrices 301a' et 301b'. 10 Une autre différence entre le condensateur C de la figure 7 et le condensateur C de la figure 6 est que, dans l'exemple de la figure 7, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface de la plaque conductrice mobile 304 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes 15 303a et 303b augmente : la distance de non recouvrement dar entre la plaque conductrice 302 et les plaques conductrices 301a et 301b diminue, ou la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b augmente ; 20 la distance de non recouvrement dar' entre la plaque conductrice 302' et les plaques conductrices 301a' et 301b' augmente, ou la surface de la plaque conductrice 302' en vis-à-vis des plaques conductrices 301a' et 301b' diminue ; et la surface de la plaque conductrice 306 en vis-à-vis des 25 plaques conductrices 305a et 305b diminue, et inversement. Lorsque les signaux d'entrée A et B sont à un état bas, le condensateur C est dans sa position de repos. Du fait du non recouvrement entre la plaque conductrice 302 et les plaques 30 conductrices 301a, 301b d'une part, et entre la plaque conductrice 302' et les plaques conductrices 301a' et 301b' d'autre part, la capacité Cds du condensateur C est nulle ou négligeable. Le signal de sortie S de la cellule a donc un niveau de tension nul ou négligeable, correspondant à un état logique bas du signal S. B16125 - DD17999 20 Lorsque les signaux d'entrée A et B est sont à un état haut, la force électrostatique exercée par les plaques conductrices 303a et 303b sur la plaque conductrice 304 compense la force électrostatique exercée par les plaques conductrices 305a 5 et 305b sur la plaque conductrice 306, de sorte que le condensateur C reste dans sa position de repos. Le signal de sortie S de la cellule reste donc à l'état bas du signal S. Lorsque les signaux d'entrée A et B sont respectivement à un état haut et à un état bas, la force électrostatique exercée 10 par les plaques conductrices 303a et 303b sur la plaque conductrice 304 entraine un déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe, tendant à augmenter la surface de la plaque conductrice 304 en vis-à-vis des plaques conductrices 303a et 303b. Il en résulte que la plaque conductrice 15 302 pénètre entre les plaques conductrices 301a et 301b. La capacité Cds du condensateur C prend alors une valeur non négligeable, et le signal de sortie S de la cellule prend un niveau de tension non négligeable, correspondant à un état logique haut du signal S. 20 De façon similaire, lorsque les signaux d'entrée A et B sont respectivement à un état bas et à un état haut, la force électrostatique exercée par les plaques conductrices 305a et 305b sur la plaque conductrice 306 entraine un déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe, tendant à 25 augmenter la surface de la plaque conductrice 306 en vis-à-vis des plaques conductrices 305a et 305b. Il en résulte que la plaque conductrice 302' pénètre entre les plaques conductrices 301a' et 301b'. La capacité Cds du condensateur C prend alors une valeur non négligeable, et le signal de sortie S de la cellule prend un 30 niveau de tension non négligeable, correspondant à un état logique haut du signal S. Ainsi, le condensateur C de de la figure 7 réalise bien une fonction OU EXCLUSIF (S=AC)B) . B16125 - DD17999 21 La figure 8 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple de réalisation d'un condensateur à capacité variable C adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. Le condensateur de la figure 8 diffère des exemples 5 précédents en ce qu'il comprend six électrodes isolées électriquement les unes des autres, au lieu de cinq dans les exemples précédents. Plus particulièrement, dans le condensateur de la figure 8, l'électrode r est remplacées par deux électrodes ri et r2 isolées électriquement l'une de l'autre, chacune des 10 électrodes ri et r2 étant isolée électriquement des électrodes d, s, gl et g2. Les électrodes du condensateur C de la figure 8 sont par exemple connectées de façon similaire ou identique à ce qui a été décrit précédemment, à la différence près que l'électrode ri et l'électrode r2 sont connectées à des noeuds GND1 et GDN2 15 d'application de potentiels de référence distincts. Un premier signal de commande peut être appliqué entre les électrodes gl et ri et un deuxième signal de commande peut être appliqué entre les électrodes g2 et r2, la position relative des électrodes d et s, et donc la capacité Cds du condensateur C, étant fonction d'une 20 combinaison des premier et deuxième signaux de commande. Dans cet exemple, les électrodes ri et r2 font partie de l'ensemble mobile du condensateur C. Sur la figure 8, le carré référencé 3201 schématise une région électriquement isolante séparant l'électrode ri des électrodes d et r2 de l'ensemble mobile, et le 25 carré référencé 3202 schématise une région électriquement isolante séparant l'électrode r2 des électrodes d et ri. Le condensateur C de la figure 8 comprend les mêmes éléments que le condensateur C de la figure 3, agencés sensiblement de la même manière, et diffère du condensateur C de 30 la figure 3 essentiellement en ce que, dans l'exemple de la figure 8, les plaques conductrices 304 et 306 sont isolées électriquement l'une de l'autre. La plaque conductrice 304 est connectée au noeud GND1 et forme l'électrode ri du condensateur, et la plaque conductrice 306 est connectée au noeud GND2 et forme l'électrode 35 r2 du condensateur. B16125 - DD17999 22 Un avantage du condensateur C de la figure 8 est qu'il permet de réaliser une opération logique portant sur des signaux référencés par rapport à des potentiels distincts. La figure 9 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 5 exemple de réalisation d'un condensateur à capacité variable C adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. A la différence des exemples décrits précédemment dans lesquels le condensateur C permet de réaliser des opérations logiques à deux entrées et une sortie, le condensateur C de la figure 9 permet de 10 réaliser une opération logique à trois entrées et une sortie. Le condensateur C de la figure 9 comprend les mêmes éléments que le condensateur C de la figure 3, agencés sensiblement de la même manière. Le condensateur C de la figure 9 comprend de plus une électrode de commande supplémentaire g3, 15 isolée électriquement des électrodes d, s, gl, g2 et r. Dans cet exemple, l'électrode g3 fait partie de l'ensemble fixe du condensateur. Dans l'exemple de la figure 9, l'électrode g3 comprend deux plaques conductrices 307a et 307b sensiblement horizontales 20 et en vis-à-vis l'une de l'autre, connectées électriquement à un troisième noeud d'entrée in3 de la cellule. De plus, dans cet exemple, l'électrode r comprend une plaque conductrice supplémentaire 308 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud de référence GND de la cellule. 25 L'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que la plaque conductrice 308 soit disposée entre les plaques conductrices 307a et 307b, au moins partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 307a et 307b, sensiblement à équidistance des plaques conductrices 307a et 307b. Plus 30 particulièrement, dans l'exemple de la figure 9, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface de la plaque conductrice 308 en vis-à-vis des plaques conductrices 307a et 307b augmente, la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b augmente, et 35 inversement. B16125 - DD17999 23 Dans cet exemple, les noeuds inl, in2 et in3 du condensateur C sont destinés à recevoir respectivement des signaux logiques d'entrée Al, A2 et A 3. Lorsque les signaux d'entrée Al, A2 et A3 sont à l'état 5 bas, le condensateur C est dans sa position de repos, et la capacité Cds du condensateur C a une première valeur. Le signal de sortie S de la cellule a donc un premier niveau de tension Voutl. Lorsque l'un des signaux d'entrée Al, A2 et A3 est à 10 l'état haut, un déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe se produit, tendant à augmenter la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b. La capacité Cds du condensateur C prend ainsi une deuxième valeur supérieure à la première valeur, et le 15 signal de sortie S de la cellule prend un deuxième niveau de tension Vout2 supérieur (en valeur absolue) au premier niveau. Lorsque deux des signaux d'entrée Al, A2 et A3 sont à l'état haut, le déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe est amplifié, et la capacité Cds du 20 condensateur C prend une troisième valeur supérieure à la deuxième valeur. Le signal de sortie S de la cellule prend alors un troisième niveau de tension Vout3 supérieur (en valeur absolue) au deuxième niveau. Lorsque les signaux d'entrée Al, A2 et A3 sont tous les 25 trois à l'état haut, le déplacement horizontal de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe est encore amplifié, et la capacité Cds du condensateur C prend une quatrième valeur supérieure à la troisième valeur. Le signal de sortie S de la cellule prend alors un quatrième niveau de tension Vout4 supérieur 30 (en valeur absolue) au troisième niveau. En considérant que les deuxième, troisième et quatrième niveaux de tension Vout2, Vout3 et Vout4 correspondent à un état logique haut du signal S, et que le premier niveau de tension Voutl correspond à un état logique bas du signal S, le condensateur 35 C de de la figure 3 réalise bien une fonction OU (S=Al+A2+A3). B16125 - DD17999 24 Plus généralement, l'homme du métier saura adapter les exemples décrits pour réaliser des fonctions logiques à N entrées et une sortie, où N est un entier quelconque supérieur ou égal à 2. 5 La figure 10 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple de réalisation d'un condensateur à capacité variable C adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. A la différence des exemples décrits précédemment dans lesquels le condensateur C permet de réaliser des opérations logiques à N 10 entrées et une sortie, le condensateur C de la figure 9 permet de réaliser une opération logique à N entrées et deux sorties. Le condensateur C de la figure 10 comprend les mêmes éléments que le condensateur C de la figure 3, agencés sensiblement de la même manière. Le condensateur C de la figure 15 10 comprend de plus une électrode principale supplémentaire s', isolée électriquement des électrodes s, d, gl, g2 et r. Dans cet exemple, l'électrode s' fait partie de l'ensemble fixe du condensateur. Dans l'exemple de la figure 10, l'électrode s' comprend 20 deux plaques conductrices supplémentaires 309a et 309b sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre, connectées électriquement à un deuxième noeud de sortie out' de la cellule. De plus, dans cet exemple, l'électrode d comprend une 25 plaque conductrice supplémentaire 310 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud d'alimentation sup de la cellule. L'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que la plaque conductrice 310 soit disposée entre les 30 plaques conductrices 309a et 309b, au moins partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 309a et 309b, sensiblement à équidistance des plaques conductrices 309a et 309b. Plus particulièrement, dans l'exemple de la figure 10, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface 35 de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices B16125 - DD17999 25 301a et 301b augmente, la surface de la plaque conductrice 310 en vis-à-vis des plaques conductrices 309a et 309b augmente, et inversement. Les noeuds out et out' sont destinés à fournir 5 respectivement des signaux logique de sortie S et S'. Dans cet exemple, la capacité Cds' du condensateur entre les électrodes d et s' évolue sensiblement de la même manière que la capacité Cds du condensateur entre les électrodes d et s. Ainsi, le signal logique de sortie S' fourni sur le 10 noeud de sortie out' est une image du signal logique de sortie S fourni sur le noeud de sortie out. Un avantage de cette configuration est qu'elle permet de fournir le résultat de la combinaison logique des signaux A et B sur deux noeuds de sortie distincts isolés électriquement l'un 15 de l'autre. Plus généralement, l'homme du métier saura adapter les exemples décrits pour réaliser des fonctions logiques à N entrées et M sorties, où M est un entier quelconque supérieur ou égal à 1. La figure 11 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 20 exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. Le condensateur C de la figure 11 comprend des éléments communs avec le condensateur C de la figure 3. Seules les différences entre les deux condensateurs seront détaillées 25 ci-après. Dans l'exemple de la figure 11, l'électrode s du condensateur comprend deux plaques conductrices 401a et 401b sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre, connectées électriquement au noeud de sortie out de la cellule. 30 L'électrode gl du condensateur comprend une plaque conductrice 403 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud d'entrée ml de la cellule. L'électrode g2 du condensateur comprend une plaque conductrice 405 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud d'entrée in2 de la cellule. 35 L'électrode d du condensateur comprend une plaque conductrice 402 B16125 - DD17999 26 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud d'alimentation sup de la cellule. L'électrode r de la cellule comprend deux plaques conductrices 404 et 406 sensiblement horizontales, connectées électriquement au noeud de référence GND 5 de la cellule. L'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que la plaque conductrice 402, 404 et 406, soient disposées respectivement : entre les plaques conductrices 401a et 401b, au moins 10 partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 401a et 401b ; au moins partiellement en vis-à-vis de la plaque conductrice 403 ; et au moins partiellement en vis-à-vis de la plaque conductrice 405. 15 Dans cet exemple, l'ensemble mobile est libre de se déplacer selon un unique degré de liberté en translation verticale (orthogonalement aux plaques conductrices 401a, 401b, 402, 403, 404, 405, 406) par rapport à l'ensemble fixe (mouvement représenté par une double flèche MV sur la figure), de façon à modifier la 20 distance entre la plaque conductrice mobile 402 et les plaques conductrices fixes 401a et 401b, la distance entre la plaque conductrice mobile 404 et la plaque conductrice fixe 403, et la distance entre la plaque conductrice mobile 406 et la plaque conductrice fixe 405, sans modifier la surface de la plaque 25 conductrice mobile 402 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes 401a et 401b, la surface de la plaque conductrice mobile 404 en vis-à-vis de la plaque conductrice fixe 403, et la surface de la plaque conductrice mobile 406 en vis-à-vis de la plaque conductrice fixe 405. Plus particulièrement, dans l'exemple de la 30 figure 11, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la distance entre l'une quelconque des plaques conductrices mobiles 402, 404 et 406 et la plaque conductrice fixe correspondante 401a, respectivement 403, respectivement 405 augmente, la distance entre les autres plaques conductrices 35 mobiles et les plaques conductrices fixes augmentent de la même B16125 - DD17999 27 valeur, et inversement. On notera de plus que dans cet exemple, lorsque la distance entre la plaque conductrice 402 et la plaque conductrice 401a augmente, la distance entre la plaque conductrice 402 et la plaque conductrice 401b diminue, et inversement. 5 Le condensateur C peut en outre comporter des moyens de rappel (non visibles sur la figure), par exemple un ressort de rappel, agencé pour, en l'absence de toute polarisation électrique des électrodes gl, g2, s et d par rapport à l'électrode r, ramener l'ensemble mobile dans une position dite de repos, par exemple 10 une position dans laquelle la plaque conductrice mobile 402 est située à équidistance des plaques conductrices fixes 401a et 401b (correspondant à la position représentée sur la figure 11). Bien que non représentés sur la figure 11, le condensateur C comporte en outre une ou plusieurs butées agencées 15 pour éviter que les plaques conductrices 404 et 403, respectivement 406 et 405, respectivement 402 et 401a ne se collent l'une à l'autre. A titre d'exemple, ces butées peuvent prendre la forme : d'une première couche isolante revêtant la face 20 supérieure de la plaque 403 ou la face inférieure de la plaque 404 ; d'une deuxième couche isolante revêtant la face supérieure de la plaque 405 ou la face inférieure de la plaque 406 ; et 25 d'une troisième couche isolante revêtant la face supérieure de la plaque 401a ou la face inférieure de la plaque 402. Au premier ordre, la capacité Cds du condensateur C entre ses électrodes principales s et d est égale à la somme d'une 30 capacité Cdsl formée entre la plaque conductrice 401a et la plaque conductrice 402, et d'une capacité Cds2 formée entre la plaque conductrice 401b et la plaque conductrice 402, les capacités Cdsl et Cds2 étant respectivement inversement proportionnelle à la distance dl entre les plaques 401a et 402 et inversement 35 proportionnelle à la distance d2 entre les plaques 401b et 402. B16125 - DD17999 28 Ainsi, la capacité Cds prend une valeur minimale lorsque la plaque conductrice 402 est à équidistance des plaques conductrices 401a et 401b. Lorsque les signaux de commande A et B sont à l'état 5 bas, le condensateur C est dans sa position de repos, et la capacité Cds du condensateur C a une première valeur, correspondant ici à sa valeur minimale. Le signal de sortie S de la cellule a donc un premier niveau de tension Voutl relativement bas. 10 Lorsque l'un des signaux d'entrée A et B est à un état haut, la plaque conductrice mobile 404 (si A=1 et B=0) ou 406 (si A=0 et B=1) est attirée vers la plaque conductrice fixe correspondante 403 ou 405, par interaction électrostatique. Ceci entraine un déplacement vertical de l'ensemble mobile par rapport 15 à l'ensemble fixe, tendant à diminuer la distance dl entre la plaque conductrice mobile 402 et la plaque conductrice fixe 401a. Plus particulièrement, la plaque conductrice mobile 402 vient se plaquer contre la plaque conductrice 401a, à une distance de la plaque conductrice 401a fixée par la ou les butées du 20 condensateur. La capacité Cds du condensateur C prend ainsi une deuxième valeur supérieure à la première valeur. Le signal de sortie S de la cellule a alors un deuxième niveau de tension Vout2 supérieur (en valeur absolue) au premier niveau. Lorsque les deux signaux d'entrée A et B sont à l'état 25 haut, le déplacement vertical de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe est similaire, c'est-à-dire que la plaque conductrice mobile 402 vient se plaquer contre la plaque conductrice 401a, à une distance de la plaque conductrice 401a fixée par la ou les butées du condensateur. La capacité Cds du 30 condensateur C prend alors la deuxième valeur, et le signal de sortie S de la cellule est au deuxième niveau de tension Vout2. En considérant que le deuxième niveau de tension Vout2 correspond à un état logique haut du signal S, et que le premier niveau de tension Voutl correspond à un état logique bas du signal B16125 - DD17999 29 S, le condensateur C de de la figure 11 réalise bien une fonction OU (S=A+B). On notera que dans l'exemple de la figure 11, l'électrode s comprend deux plaques conductrices 401a et 401b 5 disposées de part et d'autre de la plaque conductrice 402 formant l'électrode d. Ceci permet avantageusement de réduire l'influence de la tension Uds entre les électrodes s et d sur la valeur de la capacité Cds, voire d'annuler l'influence de la tension Uds sur la valeur de la capacité Cds lorsque la plaque conductrice 402 10 est à équidistance des plaques conductrices 401a et 401b. A titre de variante, l'une des plaques conductrices 401a et 401b peut être omise. On notera que dans cet exemple, si la plaque conductrice 401b est omise et la plaque conductrice 401a conservée, la fonction logique réalisée est une fonction OU, et, 15 si la plaque conductrice 401a est omise et la plaque conductrice 401b conservée, la fonction logique réalisée est une fonction NON OU. Plus généralement, l'homme du métier saura adapter la structure décrite en relation avec la figure 11 pour mettre en 20 oeuvre diverses fonctions logiques de base (ET, OU EXCLUSIF, etc.) en faisant varier la distance entre les électrodes principales d et s du condensateur en fonction d'une combinaison des signaux logiques d'entrée appliqués sur les électrodes de commande. La figure 12 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 25 exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la cellule de figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une opération logique OU. Le condensateur C de la figure 12 comprend des éléments communs avec le condensateur C de la figure 3. Dans la suite, 30 seules les différences entre les deux structures seront détaillées. Le condensateur C de la figure 12 diffère du condensateur C de la figure 3 principalement en qu'il met en oeuvre un actionnement de type électromagnétique, aussi appelé 35 électrodynamique, combiné avec un actionnement de type B16125 - DD17999 30 électrostatique, au lieu d'un actionnement purement électrostatique comme dans l'exemple de la figure 3. Plus particulièrement, dans l'exemple de la figure 12, les plaques conductrices 303a, 303b et 304 sont remplacées par un 5 ensemble comprenant : une borne conductrice 503, correspondant à l'électrode gl du condensateur et connectée électriquement au noeud d'entrée ml de la cellule ; une borne conductrice 504, connectée électriquement à 10 la plaque conductrice 306 ; une bobine conductrice 521 dont une première extrémité est connectée électriquement à la borne 503 et dont une deuxième extrémité est connectée à la borne 504 ; et un aimant 523 disposé à l'intérieur de la bobine 521. 15 Dans cet exemple, les bornes 503 et 504 et la bobine 521 font partie de l'ensemble fixe du condensateur, et l'aimant 523 est un élément de l'ensemble mobile du condensateur. Autrement dit, les bornes 503 et 504 et la bobine 521 sont fixes par rapport aux plaques conductrices 301a, 301b, 305a et 305b, et l'aimant 20 523 est fixe par rapport aux plaques conductrices 306 et 302. Dans cet exemple, l'axe central de la bobine 521 est sensiblement horizontal. L'application d'un courant de commande dans la bobine 521 par l'intermédiaire des électrodes gl et r entraine un 25 déplacement de l'aimant 523 le long de l'axe central de la bobine. Il en résulte une variation de la surface de la plaque conductrice mobile 302 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes 301a et 301b, et donc une variation de la capacité Cds du condensateur C. La structure de la figure 12 présente l'avantage de 30 permettre de réaliser une opération logique ayant pour opérandes des signaux électriques de natures distinctes, à savoir un signal logique A en courant et un signal logique B en tension dans l'exemple représenté. A titre de variante, la structure peut être modifiée 35 pour remplacer le mécanisme d'actionnement électrostatique B16125 - DD17999 31 associé à l'électrode g2 par un mécanisme d'actionnement électrodynamique, de façon à réaliser un condensateur à actionnement purement électrodynamique. La figure 13 est une vue en coupe simplifiée d'un autre 5 exemple de réalisation d'un condensateur à capacité variable C, adapté pour la mise en oeuvre successive de deux opérations logiques distinctes à une entrée et une sortie, une opération OUI (buffer) et une opération NON (inverseur), pour deux entrées distinctes. 10 Le condensateur C de la figure 13 comprend des éléments communs avec le condensateur C de la figure 4. Seules les différences entre les deux structures seront détaillées ci-après. Dans le condensateur de la figure 13, outre les plaques conductrices 301a, 301b, 303a, 303b, 305a, 305b, l'ensemble fixe 15 comprend deux plaques conductrice supplémentaires 501a et 501b sensiblement horizontales et en vis-à-vis l'une de l'autre, connectées électriquement au noeud de sortie out de la cellule. Dans cet exemple, l'électrode s du condensateur est formée par les plaques conductrices 301a, 301b, 501a et 501b. 20 De plus, outre les plaques conductrices 302, 304 et 306, l'ensemble mobile du condensateur C de la figure 13 comprend une plaque conductrice supplémentaire 502 sensiblement horizontale, connectée électriquement au noeud d'alimentation sup de la cellule. Dans cet exemple, l'électrode d du condensateur est 25 formée par les plaques 302 et 502. L'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que la plaque conductrice mobile supplémentaire 502 soit disposée entre les plaques conductrices 501a et 501b, au moins partiellement en vis-à-vis des plaques conductrices 501a et 501b, 30 sensiblement à équidistance des plaques conductrices 501a et 501b. Dans le condensateur C de la figure 13, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface de la plaque conductrice mobile 304 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes 303a et 303b augmente : B16125 - DD17999 32 la distance de non recouvrement dar entre la plaque conductrice 302 et les plaques conductrices 301a et 301b diminue, ou la surface de la plaque conductrice 302 en vis-à-vis des plaques conductrices 301a et 301b augmente ; 5 la surface de la plaque conductrice 502 en vis-à-vis des plaques conductrices 501a et 501b augmente ; et la surface de la plaque conductrice 306 en vis-à-vis des plaques conductrices 305a et 305b diminue, et inversement. 10 Le condensateur C de la figure 13 est adapté à mettre en oeuvre une fonction OUI (S=A) pour le signal A appliqué sur le noeud d'entrée ml, et une fonction NON (S=173) pour le signal B appliqué sur le noeud d'entrée in2, étant entendu que les deux fonctions ne peuvent pas être mises en oeuvre simultanément. 15 Autrement dit, lorsque la fonction OUI est utilisée, le signal B doit être mis à un état bas ou le noeud in2 doit être laissé flottant, et, lorsque la fonction NON est utilisée, le signal A doit être mis à un état bas, ou le noeud ml doit être laissé flottant. 20 Un avantage du mode de réalisation de la figure 13 est qu'il permet, au moyen d'une même cellule logique à deux entrées et une sortie, de mettre en oeuvre deux fonctions logiques distinctes, sélectionnables par le choix de l'entrée sur laquelle est appliqué le signal logique d'entrée. 25 La figure 14 est une vue en coupe simplifiée d'un autre exemple de réalisation du condensateur à capacité variable C de la figure 2, adapté pour la mise en oeuvre d'une fonction logique NON OU. Le condensateur C de la figure 14 diffère du 30 condensateur C de la figure 3 essentiellement en ce que, dans l'exemple de la figure 14, l'ensemble fixe et l'ensemble mobile sont agencés de façon que lorsque la surface de l'une des plaques conductrices mobiles 304 et 306 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes 303a et 303b, respectivement 35 305a et 305b augmente, la surface de la plaque conductrice mobile B16125 - DD17999 33 302 en vis-à-vis des plaques conductrices fixes correspondantes 301a et 301b diminue, et inversement. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de 5 l'art. En particulier, l'homme du métier saura prévoir d'autres agencements des ensembles fixe et mobile du condensateur que ceux décrits ci-dessus, pour réaliser les fonctions logiques souhaitées. On notera en outre que l'homme de l'art pourra combiner 10 divers éléments des divers modes de réalisation et variantes décrits ci-dessus sans faire preuve d'activité REVENDICATIONS1. Cellule logique capacitive comportant un ensemble fixe comportant une première électrode (s), un ensemble mobile comportant une deuxième électrode (d), et des troisième (gl), quatrième (g2) et cinquième (r ; r1) électrodes, dans laquelle : les première (s), deuxième (d), troisième (gl), quatrième (g2) et cinquième (r ; r1) électrodes sont isolées électriquement les unes des autres ; les première (s) et deuxième (d) électrodes définissent une première capacité variable en fonction de la position de 10 l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe ; la troisième électrode (g1) est connectée à un noeud (mi) d'application d'un premier signal logique d'entrée (A ; Al) de la cellule ; la quatrième électrode (g2) est connectée à un noeud 15 (in2) d'application d'un deuxième signal logique d'entrée (B ; A2) de la cellule ; la cinquième électrode (r ; r1) est connectée à un noeud (GND ; GND1) d'application d'un premier potentiel de référence de la cellule ; et 20 la position de la deuxième électrode (d) par rapport à la première électrode (s) est fonction d'une combinaison des premier (A ; Al) et deuxième (B ; A2) signaux logiques d'entrée. 2. Cellule selon la revendication 1, dans laquelle les premier (A.) et deuxième (B) signaux logiques d'entrée sont 25 référencés par rapport audit noeud (GND) d'application d'un premier potentiel de référence. 3. Cellule selon la revendication 1, comportant en outre une sixième (r2) électrode isolée électriquement des première (s), deuxième (d), troisième (gl), quatrième (g2) et 30 cinquième (r1) électrodes, la sixième électrode (r2) étant connectée à un noeud (GND2) d'application d'un deuxième potentiel de référence, dans laquelle le premier signal logique d'entrée (A.) est référencé par rapport audit noeud (GND1) d'application d'un premier potentiel de référence et le deuxième signal logique B16125 - DD17999 35 d'entrée (B) est référencé par rapport au dit noeud (GND2) d'application d'un deuxième potentiel de référence. 4. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle la deuxième électrode (d) est connectée à un 5 noeud (sup) d'application d'une tension d'alimentation (PC) de la cellule, et dans laquelle la première électrode (s) est connectée à un noeud (out) de fourniture d'un premier signal logique de sortie (S) de la cellule. 5. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 10 à 4, dans laquelle l'ensemble mobile est mobile en translation par rapport à l'ensemble fixe de façon à faire varier la surface de la deuxième électrode (d) en vis-à-vis de la première électrode (s) sans faire varier la distance entre les première (s) et deuxième (d) électrodes. 15 6. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle l'ensemble mobile est mobile en translation par rapport à l'ensemble fixe de façon à faire varier la distance entre les première (s) et deuxième (d) électrodes sans faire varier la surface de la deuxième électrode (d) en vis-à-vis de la 20 première électrode (s). 7. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comportant un premier dispositif d'actionnement électrostatique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du 25 premier signal logique d'entrée (A), et un deuxième dispositif d'actionnement électrostatique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du deuxième signal logique d'entrée (B). 8. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 30 à 6, comportant un dispositif d'actionnement électrostatique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe en fonction de l'état du premier signal logique d'entrée (A), et un dispositif d'actionnement électrodynamique apte à provoquer un déplacement de l'ensemble mobile par rapport B16125 - DD17999 36 à l'ensemble fixe en fonction de l'état du deuxième signal logique d'entrée (B). 9. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans laquelle la première électrode (s) comprend des première 5 (301a, 301b ; 401a) et deuxième (301a', 301b' ; 401b) portions conductrices interconnectées, disposées de part et d'autre de la deuxième électrode (d) de façon à limiter l'influence de la tension entre les première (s) et deuxième (d) électrodes sur la position de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe. 10. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 comportant une septième électrode (g3) connectée à un noeud (in3) d'application d'un troisième signal logique d'entrée (A3) de la cellule, dans laquelle la position de la deuxième électrode (d) par rapport à la première électrode (s) est fonction d'une combinaison des premier (A1), deuxième (A2) et troisième (A3) signaux logiques d'entrée. 11. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans laquelle l'ensemble fixe comprend une huitième électrode (s') isolée électriquement de la première électrode (s), les huitième (s') et deuxième (d) électrodes définissant une deuxième capacité variable en fonction de la position de l'ensemble mobile par rapport à l'ensemble fixe. 12. Cellule selon la revendication 11, dans laquelle la huitième électrode (s') est connectée à un noeud (out') de 25 fourniture d'un deuxième signal logique de sortie (S') de la cellule.