FR 3069372 A1 20190125 FR 1757901 A 20170828 DOMAINE TECHNIQUE La présente invention vise un dispositif d'imagerie à capteur multipixels pour constituer une image avec des rayonnements TéraHertz. Elle concerne, en particulier, le domaine de l'imagerie, par exemple pour le contrôle de qualités de pièces manufacturées. ETAT DE LA TECHNIQUE Le domaine TéraHertz (THz) désigne les ondes électromagnétiques dont la fréquence est située entre 0,075 THz et 10 THz, soit en termes de longueur d'onde de 4 mm à 30 lm. Ces ondes sont dites millimétriques, elles sont situées entre l'infrarouge lointain (ou FIR pour Far InfraRed), et les ondes radar (hyperfréquences). L'invention concerne plus particulièrement la gamme 75-700 GHz. En effet dans cette gamme de fréquence, une grande partie des matériaux plastiques et composites non-conducteurs sont transparents au rayonnement. Et les sources de rayonnement sont relativement accessibles en termes de ratio entre le prix de la source et la puissance optique disponible. Tous les principes optiques utilisés en conception de système visible ou infrarouge s'appliquent au rayonnement THz avec le même rapport de proportion des phénomènes vis-à-vis de la longueur d'onde. Par exemple la limite de diffraction suit la loi d'Airy : Rdiff = 1,22 À ON, dans laquelle À est la longueur d'onde et ON l'ouverture numérique. Soit pour une ouverture numérique ON de 2, et une longueur d'onde de 1 mm, une limite de diffraction de 2,44 mm. Cette limite de diffraction de l'ordre du millimètre correspond à la résolution spatiale moyenne d'un système d'imagerie THz. Cependant, les systèmes connus n'atteignent pas cette résolution, qui permettrait d'atteindre les performances optimales. Les systèmes THz existant utilisent des miroirs paraboliques hors axe comme moyen de propagation du faisceau. Ce choix s'explique car, dans beaucoup d'applications, le niveau de puissance de la source est si faible que les pertes introduites par chaque lentille ne sont pas acceptables (pertes par absorption, et surtout pertes par réflexions sur les interfaces). Cependant l'utilisation de ces miroirs pose de nombreux problèmes : - difficulté d'alignement avec beaucoup de renvois d'angle, - prix très élevé des optiques, - gamme de focale restreinte en particulier sur les fortes ouvertures et - obligation de travailler en conjugaison infini-foyer et sur l'axe optique. Par ailleurs, un faisceau THz est invisible à et, contrairement à l'infrarouge proche, il n'existe pas de carte photosensible permettant la conversion du rayonnement vers 2 des longueurs d'onde visibles à Cet aspect à un impact sur le réglage et l'alignement des systèmes. On décrit, ci-dessous, des types de sources disponibles dans le domaine THz. Plusieurs méthodes de génération de rayonnement THz de rayonnement THz continu 5 existent et sont utilisables dans un dispositif objet de l'invention, par exemple : - Diode Gunn associée à un multiplieur de fréquence pour aller au-delà de 0,2 THz, par exemple 2 THz, - Diode lmpatt associée à un multiplicateur de fréquence pour aller au-delà de 0,2 THz, 10 - Oscillateur fixe ou variable entre 0 et 0,02 THz associé à un multiplicateur de fréquence, - Conversion de fréquence par battement de deux lasers en proche infrarouge, - Tube HT appelé BWO (acronyme de Backward-wave oscillator), - Excitation d'une cavité de gaz par un laser infrarouge lointain ou 15 - Laser à Cascade Quantique (QCL). Le signal généré par les sources habituellement utilisées dans le domaine THz présente une cohérence très pure, la largeur de la raie d'émission est très fine. Un rayonnement cohérent n'est pas propice à la formation d'image car des franges d'interférences sont générées avec une amplitude très grande sur chaque système le 20 permettant. Utiliser une source cohérente dans un système d'imagerie alors que la scène à observer n'est pas perpendiculaire en tout point du champ génère une modulation d'amplitude proportionnelle aux variations d'altitudes modulo 214. Ce qui est préjudiciable à la qualité de l'image formée. 25 EXPOSE DE L'INVENTION La présente invention vise à remédier à tout ou partie de ces inconvénients. A cet effet, selon un premier aspect, la présente invention vise un dispositif d'imagerie, qui comporte : 30 - une source incohérente de rayons dont la fréquence est comprise entre 0,075 THz et 10 THz pour éclairer un objet, - un capteur de rayonnement provenant de l'objet, qui comporte une pluralité de zones sensibles aux rayonnements issus de la source et qui émet un signal électrique représentatif de l'intensité des rayons issus de la source atteignant chaque zone sensible du capteur, - au moins une optique « de microscope » ayant un facteur de grandissement supérieur à un et une résolution meilleure que quatre fois l'interpixel divisé par le 3 grandissement, située sur le chemin optique des rayons émis par la source allant de la source au capteur de rayons en passant par l'objet. Grâce à ces dispositions, le dispositif d'imagerie n'est pas sujet à la présence d'ondes stationnaires du fait de l'incohérence de la source. L'inventeur a déterminé que cette 5 combinaison de moyens optiques et électroniques permet de réaliser des captures d'images avec une résolution maximisée et un niveau de bruit faible, le déplacement relatif de ces moyens et de l'objet permettant de réaliser des images matricielles. Dans des modes de réalisation, chaque zone sensible du capteur de rayonnement est réalisé selon la technique du « Wafer-level packaging », ou WLP, en français 10 assemblage au niveau du substrat. On rappelle qu'il s'agit d'une technologie d'assemblage d'un circuit intégré alors qu'il fait partie d'un substrat, par opposition avec la méthode traditionnelle dans laquelle on découpe le substrat en circuits individuels avant de les assembler. Cette technologie permet d'atteindre des dimensions de composants bien inférieures à ce qui était obtenu de manière 15 traditionnelle, et d'obtenir une plus grande densité de zones sensibles. Dans des modes de réalisation, l'interpixel entre les zones sensibles du capteur de rayonnement est compris entre 300 et 800 Dans des modes de réalisation, le dispositif objet de l'invention comporte au moins une lentille de forme non symétrique de révolution, par exemple une lentille cylindrique ou 20 une lentille avec des surfaces polynomiales sur X et Y. Grâce à ces dispositions, l'éclairement de l'objet est concentré sur la zone de la scène qui est imagée par le capteur linéaire. Dans des modes de réalisation, au moins un système optique comporte une lentille optique asphérique. 25 L'utilisation d'une ou plusieurs lentilles asphériques simplifie le dessin optique, par rapport à l'utilisation de miroirs paraboliques, ou de lentilles sphériques. Dans des modes de réalisation, au moins un composant optique d'un système optique présente un traitement anti-reflet comportant des microstructures en forme de cônes ou de cratères. 30 L'avantage de cette méthode est qu'elle permet de réaliser des traitements anti- ref lets large bande et peu sensibles à l'orientation de la surface. Dans des modes de réalisation, la fréquence d'émission de la source incohérente est modulée. Dans des modes de réalisation, la source incohérente comporte une source de bruit 35 de type bruit thermique dans une résistance ou diode impatt. Dans des modes de réalisation, chaque zone photosensible est un nano-transistor, le signal généré par la radiation THz est une différence de potentiel continue entre le Drain et la Source du nano-transistor mesuré en mode commun ou différentiel. 4 Dans des modes de réalisation, le dispositif comporte une électronique de proximité pour polariser chaque nano-transistor par une tension de grille proche de sa tension de swing où le fonctionnement classique du transistor est le plus non linéaire. Dans des modes de réalisation, le signal redressé issu de chaque nano-transistor est 5 amplifié en forçant une asymétrie des charges dans le canal du nano-transistor en injectant un courant dans le canal du transistor, entre le drain et la source et /ou en utilisant des motifs métallisés jouant le rôle d'antennes. Dans des modes de réalisation, l'électronique de proximité comporte un circuit de compensation de l'offset généré par l'injection du courant entre le drain et la source de 10 chaque nano-transistor, par exemple en utilisant un montage soustracteur. On augmente ainsi la sensibilité du dispositif. Dans des modes de réalisation, le dispositif comporte au moins un amplificateur faible bruit et faible drift qui amplifie le signal sur la dynamique d'un convertisseur analogique numérique. 15 Dans des modes de réalisation, le dispositif comporte un moyen de synchronisation de la démodulation du signal avec le signal de modulation d'amplitude de la source. Ceci assure un rapport signal à bruit maximisé en éliminant tous les bruits additifs à une fréquence autre que la fréquence de modulation de la source. Le capteur et la source sont synchronisés par un signal d'horloge numérique. La 20 source est modulée en amplitude par ce signal d'horloge ce qui permet de mesurer et de compenser le résidu de signal (offset) présent aux bornes du capteur en l'absence de THz. La compensation est à la fois numérique par une soustraction à haute fréquence du signal mesuré avec THz et sans THz, mais aussi analogique en ajustant la tension à soustraire au signal du capteur pour maintenir le niveau global dans une certaine gamme de tension. 25 Cette architecture garantie une plus grande sensibilité, un rapport signal/bruit signal amélioré. Dans des modes de réalisation, le dispositif comporte un capteur des positions de l'objet à imager, par exemple en utilisant des encodeurs. Ces données de position mesurées sont synchronisées avec les données issues du capteur pour une utilisation sur l'ensemble 30 de la course du déplacement de l'objet, y compris dans les zones d'accélérations et dans les zones ou le déplacement ne suit pas une ligne, ou n'est pas le long des axes naturels du système. Un moyennage des données calé sur les positions absolues et non sur le temps permet une adaptation à toute vitesse de déplacement 35 Dans des modes de réalisation, le dispositif objet de l'invention comporte une lame séparatrice, la polarisation incidente sur la lame séparatrice étant la polarisation en mode TM (acronyme de transverse mode pour mode transversal) dans lequel le champ est parallèle au plan d'incidence. 5 La lame séparatrice est, par exemple, une lame constituée de Si-HRFZ dont l'épaisseur est calculée pour assurer la séparation optimale. Grâce à ces dispositions, il est possible d'effectuer des mesures en réflectométrie. La polarisation en mode TM assure une meilleure stabilité de l'efficacité de séparation lorsque l'épaisseur de la lame séparatrice 5 varie dans sa tolérance de fabrication. Dans des modes de réalisation, le dispositif comporte un moyen de mesure de l'intensité des rayonnements provenant de l'objet, et/ou de polarisation des rayons provenant de l'objet. Le dispositif objet de l'invention permet ainsi plusieurs types de mesures. 10 BREVE DESCRIPTION DES FIGURES D'autres avantages, buts et caractéristiques de la présente invention ressortiront de la description qui va suivre faite, dans un but explicatif et nullement limitatif, en regard des dessins annexés, dans lesquels : 15 - la figure 1 représente, schématiquement et en coupe, un premier exemple de réalisation d'une source TéraHertz incohérente, - la figure 2 représente, schématiquement et en coupe, un deuxième exemple de réalisation d'une source TéraHertz incohérente, - la figure 3 représente, schématiquement et en coupe, un premier mode de 20 réalisation d'un objectif d'imagerie mis en oeuvre dans des dispositifs objets de l'invention, - la figure 4 représente, schématiquement et en coupe, un deuxième mode de réalisation d'un objectif d'imagerie mis en oeuvre dans des dispositifs objets de l'invention, - la figure 5 représente, schématiquement et en coupe, un troisième mode de réalisation d'un objectif d'imagerie mis en oeuvre dans des dispositifs objets de l'invention, 25 - la figure 6 représente, schématiquement et en coupe, un quatrième mode de réalisation d'un objectif d'imagerie mis en oeuvre dans des dispositifs objets de l'invention, - la figure 7 représente, schématiquement et en perspective, un premier moyen d'éclairement linéaire d'un objet, mis en oeuvre dans des dispositifs objets de l'invention, - la figure 8 représente une courbe d'éclairement non uniforme, 30 - la figure 9 représente une courbe d'émission d'une source de lumière pour compenser l'éclairement non uniforme représenté en figure 8, - la figure 10 représente un système optique fournissant sensiblement la courbe d'émission illustrée en figure 9, - la figure 11 représente une courbe d'éclairement sensiblement uniforme fournie par 35 le système optique illustré en figure 10, avec le moyen d'éclairement linéaire illustré en figure 7, - la figure 12 représente, schématiquement et en perspective, un deuxième moyen d'éclairement linéaire présentant des surfaces n'étant pas à symétrie de révolution, 6 - la figure 13 représente, schématiquement et en coupe, un premier mode de réalisation particulier du dispositif objet de l'invention, - la figure 14 représente, schématiquement et en coupe, un deuxième mode de réalisation particulier du dispositif objet de l'invention, 5 - la figure 15 représente, schématiquement et en coupe, un troisième mode de réalisation particulier du dispositif objet de l'invention, - la figure 16 représente, schématiquement, un capteur multipixels et - la figure 17 représente un schéma électronique pour un microscope THz. 10 DESCRIPTION DE MODES DE REALISATION DE L'INVENTION On note, dès à présent, que les figures ne sont pas à l'échelle. Dans les systèmes de capture d'images objets de l'invention, on met en oeuvre des optiques réfractives (lentilles), qui présentent une modularité plus importante que les miroirs, et donnent l'accès à l'utilisation des puissants outils de conception optique assistée par 15 ordinateur. Dans le domaine de fréquences 100-700 GHz, domaine préférentiel d'utilisation de la présente invention, les indices des matériaux (Polyéthylène haute densité (HDPE), Polyméthylpentène (PMP), Polycarbonate (PC), Silicium HRFZ (Si)) sont constants à quelques pourcents près. Les systèmes objets de l'invention ne présentent donc pas de 20 problème de chromaticité, c'est-à-dire qu'il n'y a pas de modification du comportement optique des dioptres lorsque la longueur d'onde change. Préférentiellement, le dispositif d'imagerie objet de l'invention met en oeuvre une source TéraHertz (THz) incohérente 100. Une source THz incohérente 100 est, selon un premier exemple, constituée, comme 25 illustré en figure 1 : - d'un émetteur TéraHertz 105 (f 12 bits) et est rapide (> 100 kSamples/s ou milliers d'échantillons par seconde) ; - d'un système 730 d'acquisition et de traitement du signal pour la réduction du bruit. De la même façon que dans le cas du capteur ponctuel, la source THz est modulée en amplitude ce qui permet de réaliser une mesure différentielle 10 moyennée. - d'un système 735 de communication haute vitesse via un protocole de communication Ethernet, USB ou cameralink (marques déposées). Le capteur et la source sont synchronisés par un signal d'horloge numérique. La source est modulée en amplitude par ce signal d'horloge ce qui permet de mesurer et de compenser le 15 résidu de signal (offset) présent aux bornes du capteur en l'absence de THz. La compensation est à la fois numérique par une soustraction à haute fréquence du signal mesuré avec THz et sans THz, mais aussi analogique en ajustant la tension à soustraire au signal du capteur pour maintenir le niveau global dans une certaine gamme de tension. Dans le cas du capteur multipixels, les positions absolues de l'objet à imager sont 20 mesurées par un encodeur. Ces données de position sont alors synchronisées avec les données issues du capteur THz pour une utilisation sur l'ensemble de la course du déplacement y compris dans les zones d'accélérations. Et enfin un moyennage des données calé sur les positions absolues et non sur le temps permet une adaptation à toute vitesse de déplacement 25 Cette architecture garantie la plus grande sensibilité, un bruit signal réduit et une synchronisation du signal avec la position de l'objet optimal. Le capteur multipixels 700 est réalisé selon la technique du « Wafer-level packaging » (ou WLP, en français assemblage au niveau du substrat). Il s'agit d'une technologie d'assemblage d'un circuit intégré alors qu'il fait partie d'un substrat, par 30 opposition avec la méthode traditionnelle dans laquelle on découpe le substrat en circuits individuels avant de les assembler. Cette technologie permet d'atteindre des dimensions et des proximités de composants bien supérieures à ce qui était obtenu de manière traditionnelle. Le capteur multipixels 700 permet d'agrandir spatialement le champ de vue et donc 35 de réaliser des images à haute résolution avec une grande fréquence de rafraichissement (fréquence ligne > 1 kHz). Chaque capteur 700, y compris son électronique de proximité est en charge de redresser l'onde THz qu'il reçoit localement et de fournir un signal adapté en impédance pour les étages électroniques suivants. Dans l'électronique 720, chaque circuit 13 soustracteur suivi d'un amplificateur, ou amplificateur différentiel, permet d'amplifier le signal utile. Le signal est numérisé à haute cadence (Fréquence d'acquisition > 1 kHz) au plus près de la sortie analogique. 5 La démodulation du signal est réalisée de manière synchrone avec le signal de modulation de la source sur les signaux provenant de chaque pixel, ce qui assure un rapport signal à bruit maximisé en éliminant tous les bruits additifs à une fréquence autre que la fréquence de modulation de la source. Le capteur multipixels 700 est situé dans le plan focal du système optique d'imagerie. 10 Chaque capteur ponctuel est en charge de redresser l'onde THz, d'amplifier le signal utile. Le signal est numérisé à haute cadence (Fréquence d'acquisition > 1 kHz) au plus près de la sortie analogique La faible surface des capteurs permet une grande compacité et donc il résulte une grande résolution spatiale. Les composants photosensibles sont disposés en ligne avec, par 15 exemple, un espace entre deux composants de l'ordre de 300 lm et un interpixel de 800 chaque composant ayant une dimension de 500 lm x 1 mm. La polarisation individuelle de chaque capteur permet de garantir une homogénéité de sensibilité capteur à capteur en conservant une haute sensibilité. La gestion parallèle de tous les signaux permet de garantir une très haute vitesse d'acquisition. Un traitement du signal embarqué permet un filtrage 20 temps réel pour obtenir le meilleur rapport signal à bruit. Une communication par via un protocole de communication Ethernet, USB ou cameralink permet par gestion des paquets de d'envoyer les lignes à haute cadence de chainer plusieurs capteurs multi pixels sans perte de données. Le point de départ de la conception des systèmes d'imagerie pour capteur linéaire est 25 la résolution spatiale imposée par le capteur. Le dispositif d'imagerie objet de l'invention présente, dans ses modes de réalisation multipixels, un inter-pixel de 800 11m, et selon le modèle, une ligne de 64, 128 ou 192 pixels. Par choix du champ de vision du côté de l'objet à imager, on impose la résolution spatiale optimale de l'ensemble capteur et objectif. Par exemple, dans le cas d'un champ de vision de 30 mm coté objet, il est nécessaire 30 d'assurer un échantillonnage correct de la scène selon de critère de Shannon (quatre pixels pour une paire de lignes à la résolution maximale). Ainsi la résolution spatiale optimale de la caméra (capteur et objectif) est de 0,53 pl/mm (paires de lignes par millimètre) en fréquence. Une résolution optique supérieure du système ne pourrait pas être échantillonnée correctement par la caméra, une résolution optique inférieure conduirait à disposer d'un 35 nombre de pixel/mm excessif donc de ne pas bénéficier de toute la ressource disponible. Cette approche indique également directement le grandissement nécessaire au système optique, ici 1,71x. 14 Suite à ce préalable, on est capable de donner une cible de performance au système optique. Connaissant la fréquence de travail, par exemple 255 GHz, on calcule par la loi d'Airy que l'objectif à concevoir doit avoir une ouverture numérique coté objet de 1,31, une ouverture numérique coté image de 2,23. On peut également estimer la dimension du 5 diamètre de l'objectif nécessaire pour atteindre cette ouverture numérique : ici 75 mm. Compte tenu des paramètres optiques déterminés ci-dessus, on voit que l'objectif à concevoir pour répondre à la problématique est un objectif de type microscope, c'est-à-dire permettant d'agrandir la scène tout en assurant la séparation des détails de celle-ci. Cette optique « de microscope » a un facteur de grandissement supérieur à un et une résolution 10 meilleure que quatre fois l'interpixel divisé par le grandissement. Cette optique est située sur le chemin optique des rayons émis par la source allant de la source au capteur de rayons en passant par l'objet. En effet, contrairement à l'objectif de photographie ou à une lunette de vision lointaine (télescope), l'objectif de microscope présente les caractéristiques globales 15 suivantes : la scène à imager est plus petite que la taille du capteur, les pixels du capteur sont du même ordre de grandeur que les détails moyens de la scène. Le rapport de reproduction est bien supérieur à un (une scène de 100 lm x 100 lm sera reproduite sur un capteur de 10 mm x lOmm : grandissement de 100). L'objectif travaille à faible distance de l'objet, et son ouverture objet peut atteindre des valeurs telles que 0,7. 20 En ce qui concerne l'utilisation d'un objectif de microscope, on rappelle qu'une optique de microscopie permet à la fois de grandir l'objet à observer, et de séparer les détails de cet objet afin qu'il soit observable. C'est la combinaison d'un grandissement et d'un pouvoir de résolution qui caractérise un tel système optique. Dans le cadre des systèmes d'imagerie à objectif de microscope en imagerie THz, 25 d'une part la scène est généralement plus petite que la taille de la matrice de détecteur, et le détecteur est de l'ordre de grandeur des détails de la scène, il est donc nécessaire d'avoir un grandissement de la scène et de ses détails pour l'imager. D'autre part l'image de la scène doit se former en assurant un pouvoir de résolution de l'objet suffisant pour pouvoir observer ses détails, ce qui implique en général de travailler avec des fortes ouvertures, donc à 30 proximité de l'objet et avec des optiques de grand diamètre comparativement à la scène. Pour répondre à la problématique de l'imagerie de champ THz, l'objectif de microscope est le meilleur candidat : - les pixels du capteur sont gros comparés aux détails de l'image à former, - le capteur est de grande dimension :> 150 mm pour 192 pixels et 35 - la résolution à atteindre nécessite de très fortes ouvertures. La conséquence de ce choix est que l'objectif est volumineux, d'une dimension similaire, ou plus grande que les objets à imager. 15 Les résultats en termes de nombre de lentilles de l'optique, leurs formes, et leurs dimensions dépend beaucoup du grandissement visé, et de la résolution attendue, ainsi que du tirage de l'objectif (distance entre objet et première lentille) Les objectifs présentent au minimum deux groupes de lentilles : 5 - 1 er groupe : à proximité de l'objet, permet la collection de la lumière issue de l'objet avec l'ouverture ciblée et - 2ème groupe : à proximité de l'image, permet de former l'image de l'objet avec l'ouverture image ciblée. Pour des objectifs faiblement contraints (par exemple grandissement de deux, et 10 longueur d'onde faible), il est possible de concevoir un objectif sur ce principe avec une seule lentille par groupe, donc seulement deux lentilles en tout. Cela est rendu possible en particulier grâce à la capacité de fabriquer des lentilles asphériques. Pour des objectifs plus contraints (par exemple grandissement de 1 et longueur d'onde élevée) il est nécessaire d'utiliser plus d'une lentille par groupe : 15 - compensateur de champ dans le premier groupe pour limiter la courbure de champ et - deux ou trois lentilles dans le deuxième groupe pour limiter les épaisseurs et les aberrations Dans certains modes de réalisation, l'objectif présente en réalité trois groupes de 20 lentilles, le deuxième groupe étant divisé en deux sous-groupes séparés d'un espace d'air important, c'est le cas en particulier lorsque l'objectif est télécentrique coté image. Exemples de réalisation Exemple 1, figure 3 : champ objet 40 mm, grandissement 1,3x, 235 GHz L'objectif 200 possède deux groupes 205 et 210 d'une lentille chacun, il n'est pas 25 télécentrique coté image. Cet objectif 200 a été conçu avec la contrainte d'un tirage objet supérieur à 50 mm. La MTF (acronyme de « modulation transfer fonction » pour fonction de transfert de modulation) montre une résolution de 0,4 pl/mm, soit 1,92 mm de résolution rapporté à l'objet. Le spot diagramme montre que le système est limité par diffraction sur tout le champ : l'image n'est pas perturbée par les aberrations. 30 Exemple 2, figure 4 : champ objet 30 mm, grandissement 1,7x, 235 GHz L'objectif 215 possède trois lentilles 220, 225 et 230, le deuxième groupe étant divisé en deux sous-groupes d'une lentille. Objectif télécentrique coté image. La MTF coté image montre une résolution de 0,45 pl/mm, soit 1,3 mm de résolution rapporté à objet. Le spot diagramme montre que le système est limité par diffraction sur tout le champ : l'image n'est 35 pas perturbée par les aberrations. Exemple 3, figure 5 : champ objet 52 mm, grandissement lx, 140 GHz L'objectif 235 présente un deuxième groupe divisé en deux sous-groupes. Quatre lentilles 240, 245, 250 et 255 sont nécessaires pour obtenir le grandissement de 1 et la 16 télécentricité coté image. La MTF coté image montre une résolution de 0,40 pl/mm, soit 2,5 mm de résolution rapporté à objet. Le spot diagramme montre que le système est limité par diffraction sauf en bord de champ (défaut léger). Exemple 4, figure 6 : champ objet 50 mm, grandissement 3,1, 235 GHz 5 L'objectif 260, de fort grandissement en deux groupes, avec un compensateur de champ dans le premier groupe. Cet objectif, à trois lentilles 265, 270 et 275 permet d'atteindre des résolutions inférieures à la longueur d'onde. La MTF coté image montre une résolution de 0,41 pl/mm, soit 780 lm de résolution rapportée à objet. Le spot diagramme montre que le système est limité par diffraction sauf en bord de champ (défaut léger). 10 L'objectif d'imagerie THz sert à faire l'image d'un objet situé dans le champ vers un plan image situé à l'opposé de l'objectif. La condition pour fonctionner dans les spécifications est d'avoir en entrée un signal THz suffisant pour la sensibilité de détection dans le plan image. Dans une réalisation classique, cet objectif est intégré dans une chaîne incluant une source, un système de projection de l'éclairement de la source, l'objectif lui-même, un 15 capteur multi-pixel, et un système d'analyse informatisé (non représenté). L'objectif est donc un élément est clé dans la chaîne décrite ci-dessus car c'est lui qui assure la résolution spatiale optique sur l'objet à imager. Les dimensions de l'objectif sont intrinsèquement liées à ses performances : plus la résolution désirée est grande plus les lentilles sont de grande dimension, et la longueur de l'objectif est importante. 20 L'utilisation d'une ligne de pixels comme capteur nécessite l'utilisation d'un éclairage sur une ligne de la scène afin de concentrer l'énergie de la source sur la partie de l'objet observée par le capteur linéaire. La source émet un rayonnement sur un cône d'émission déterminé par son cornet. La répartition de l'énergie dans le cône d'émission présente une distribution d'énergie non uniforme et circulaire car celle-ci est en général de distribution 25 gaussienne et à symétrie de révolution. Le système de linéarisation de la source vise deux objectifs : - rendre l'éclairement de la source linéaire et - rendre l'éclairement de la source uniforme sur la scène. Dans des modes de réalisation, l'éclairement de la scène est conçu parallèle dans 30 une direction, et focalisé dans la direction perpendiculaire. L'utilisation d'une lentille cylindrique 290 est une solution pour atteindre cet objectif. Le faisceau 285 issu de la source est agrandi sur le même diamètre que la scène à éclairer, puis avec une lentille dont la courbure est asphérique à géométrie cylindrique (et non à géométrie de révolution) on focalise le rayonnement dans une seule direction de l'espace, comme illustré en figure 7. 35 La linéarisation 280 par la méthode précédente présente un éclairement non- unif orme car la distribution de l'éclairement de la source ne l'est pas. La focalisation de la distribution d'énergie de la source dans une seule direction de l'espace garde la même distribution inhomogène reportée long de la ligne d'éclairement. 17 La figure 8 représente une distribution d'énergie 300 en sortie de source 100. Avec un logiciel de conception optique, il est possible de calculer la distribution à géométrie de révolution optimale pour assurer un éclairement uniforme une fois transformé par la lentille cylindrique. Cette distribution étant connue, le logiciel l'utilise comme cible pour 5 optimiser les lentilles de mise en forme du faisceau à la sortie de la source 100. Par exemple un éclairement présentant une distribution 305, illustrée en figure 9, forme une distribution uniforme après une lentille cylindrique. Pour réaliser une uniformisation de l'éclairement sur la ligne observée par le capteur d'image linéaire, en deux étapes de conception, on forme un système 310 à trois lentilles 10 315, 320, 325, comme illustré en figure 10: - au cours d'une première étape, on calcule la distribution 305 nécessaire à l'entrée de la lentille cylindrique 325, - au cours d'une deuxième étape, on réalise une optimisation d'un système à deux lentilles asphériques 315, 320 pour former cette distribution 305. 15 La figure 11 illustre la distribution 330 résultant de la mise en oeuvre du système optique 310. Dans une autre méthode de linéarisation, on remplace les deux lentilles 315 et 320 de mise en forme du faisceau par une seule lentille, présentant au moins une surface n'étant pas à symétrie de révolution (sphère, asphère), mais représentant des splines ou des 20 polynômes. Dans ce cas, un ensemble de deux lentilles 335 et 340 permet de rendre l'éclairement linéaire et uniforme, comme illustré en figure 12 : - la lentille 335 sert à la mise en forme du faisceau pour préparer la distribution d'énergie (lentille à surface polynomiale XY, par exemple) - la lentille 340 cylindrique asphérique réalise la focalisation du faisceau dans une 25 seule direction. L'avantage de cette méthode est qu'elle est plus simple à mettre en oeuvre dans un logiciel de calcul : une macro de passage de l'éclairement circulaire gaussien de la source à l'éclairement linéaire uniforme est directement implémentée au niveau de l'optimisation sans passer par une étape intermédiaire de calcul de l'éclairement nécessaire à l'entrée de la 30 lentille cylindrique 340. Le calcul de la macro, complexe pour un système à symétrie de révolution, on brise cette symétrie dès la première lentille. Cela apporte l'avantage de diminuer le nombre de lentilles nécessaires. La conception de l'éclairement prend en compte la source utilisée (longueur d'onde, divergence). Le système d'éclairement permet de projeter assez d'énergie THz sur un plan 35 de l'espace pour ensuite utiliser un objectif de collection et un capteur pour former une image d'un objet placé dans ce plan de l'espace. Le système de linéarisation permet de choisir comment répartir l'énergie issue de la source afin d'éclairer le plus efficacement la scène. Un système bénéficiant de ce type 18 d'éclairement a la plus grande efficacité énergétique, ce qui permet d'utiliser des capteurs moins sensibles, ou de faire des images d'objets très opaques ou peu réfléchissants. Dans un autre mode de réalisation l'éclairement peut être un rectangle dont les largeurs et hauteurs peuvent être choisies par le concepteur. Dans ce cas l'éclairement est 5 collimaté sur l'objet à étudier ce qui permet d'une part d'avoir une plus grande profondeur dans laquelle l'éclairement est optimale et d'autre part d'avoir la pupille de sortie du système d'éclairement à l'infini afin d'éviter d'avoir une partie de l'image de la source qui se superpose avec l'image de l'objet. Pour réaliser un éclairement rectangulaire on procède selon la deuxième méthode 10 décrite ci-dessus : un calcul photométrique permet de déterminer une macro de passage entre un éclairement gaussien de révolution et un éclairement rectangulaire uniforme (ou rectangulaire avec un profil d'intensité particulier. De plus, on impose l'angle d'incidence des rayons nul ponctuel sur l'objet afin de rendre l'éclairement collimaté). Cette macro est implémentée dans le logiciel de conception pour faire l'optimisation de deux lentilles à 15 surface n'étant pas à symétrie de révolution qui génèrent au niveau de l'objet un éclairement rectangulaire tel que défini par le concepteur. En ce qui concerne la lame séparatrice, par exemple les lames 435 et 455 illustrées en figures 14 et 15, le silicium Haute Résistivité est très couramment utilisé dans le domaine THz pour la fabrication de fenêtres optique, de séparateur de faisceau, ou de lentilles de 20 collection hémisphériques. Préférentiellement, le système de capture d'images objet de l'invention utilise ce matériau pour ses lames semi-réfléchissantes. En effet, l'indice très élevé de 3,41 permet d'obtenir sur une seule face de matériau une séparation du faisceau en deux composantes réfléchie et transmise de 45% et 55% respectivement. Pour assurer la fonction de lame-séparatrice (idéalement 50% de transmission et 25 50% de réflexion) la lame doit être conçue avec soin, car le passage à travers les deux faces de la lame provoque des interférences du faisceau avec lui-même qui fait varier notablement les performances du composant. Préférentiellement, la lame séparatrice est l'objet d'un traitement antireflet sur une seule face de son matériau. Ainsi il n'apparait pas de réflexion sur cette face, et les 30 interférences ne se produisent pas. Pour le traitement, on choisit préférentiellement un matériau d'un indice proche de 1,8, et on adapte son épaisseur à un sous-multiple de la longueur d'onde. Dans des modes de réalisation, on obtient une efficacité de séparation de 50% en choisissant l'épaisseur de la lame : par calcul des composants de l'onde entrant en 35 interférence on est capable de déterminer quelle épaisseur conduit à une efficacité de 50%. En ce qui concerne la polarisation incidente sur la lame séparatrice, préférentiellement on utilise la polarisation en mode TM (acronyme de transverse mode pour mode transversal) dans lequel le champ est parallèle au plan d'incidence. L'inventeur a, en 19 effet, déterminé que la polarisation en mode TM assure une meilleure stabilité de l'efficacité de séparation lorsque l'épaisseur de la lame séparatrice varie dans sa tolérance de fabrication. La lame séparatrice est utilisée sur un faisceau faiblement divergent pour être la plus 5 efficace. Préférentiellement, on l'insère dans un faisceau collimaté. La lame séparatrice est traversée deux fois par le faisceau optique : une fois lorsqu'il provient de la source, une deuxième fois lorsqu'il revient de l'objet vers le détecteur. La lame séparatrice est utilisée pour concevoir un système optique en réflexion, où l'éclairement de l'objet et la récupération du flux provenant de l'objet se font du même côté 10 de l'objet. Un dispositif d'imagerie multipixels objet de l'invention intègre les éléments suivants : - une source THz, - un système optique constitué de lentilles pour réaliser l'éclairement linéaire, - un système optique constitué de lentilles pour réaliser la collection de 15 l'éclairement après transmission à travers l'objet ou réflexion sur l'objet, - d'une lame séparatrice dans le cas de la réflexion, - un capteur multipixels et - une unité de traitement du signal sortant du capteur. De manière générale il est compliqué d'utiliser le mode transmission soit à cause des 20 dimensions de l'objet, soit à cause de contraintes d'environnement industriel. Le mode réflexion est donc couramment utilisé. Il existe plusieurs manières d'agencer l'éclairage et l'objectif pour mettre en place ce mode. En mode transmission, le système optique complet présente deux parties 400 et 410 séparées, l'une pour l'éclairage linéaire, l'autre pour l'objectif d'imagerie. Par exemple, dans 25 le système optique du dispositif 40 illustré en figure 13, les trois lentilles de gauche, partie 400, pour l'éclairage, les deux de droite, partie 410, pour l'objectif. Entre les deux, l'espace libre permet d'insérer l'objet 405 dont des images doivent être captées par le capteur 415. L'ouverture de l'éclairage est adaptée à l'ouverture de l'objectif pour ne pas perdre d'énergie en dehors de l'objectif. 30 Dans un mode de réalisation du dispositif 42 illustré en figure 14, avec réflexion à travers tout l'objectif, les trois lentilles de droite 420 forment l'éclairage qui est projeté au niveau du plan image de l'objectif 430. L'éclairage passe ensuite par l'objectif 430 pour être projeté sur l'objet 425. Enfin l'objectif 430 forme l'image de l'objet 425 qui est projeté à 90° sur le capteur 415 grâce à une lame semi-réfléchissante 435. 35 L'éclairage est alors conçu pour éclairer uniformément l'objet 425 à travers l'objectif 430. Dans un mode de réalisation du dispositif 44 illustré en figure 15, avec réflexion à l'intérieur de l'objectif, l'éclairage 440 prend en compte une lentille supplémentaire 460 après 20 la lentille cylindrique 465 : la dernière lentille de l'objectif 450. Ainsi l'éclairage est inséré directement à la sortie de l'objectif 450. L'objectif 450 fonctionne grâce à une lame semiréfléchissante 455 qui renvoie la lumière réfléchie à 900 vers les deux autres lentilles et le capteur linéaire 470. 5 L'avantage de cette conception est d'être plus compacte, et d'introduire moins de pertes avec moins de lentilles traversées par le faisceau THz entre la source et le capteur. Le système d'éclairement permet d'avoir un éclairement homogène de la scène, le système de collection une très grande résolution exploitée par l'extrême REVENDICATIONS1. Dispositif d'imagerie (40, 42, 44), caractérisé en ce qu'il comporte : - une source (100) incohérente de rayons dont la fréquence est comprise entre 0,075 THz et 10 THz pour éclairer un objet, - un capteur (415, 470) de rayonnement provenant de l'objet, qui comporte une pluralité de zones sensibles aux rayonnements issus de la source et qui émet un signal électrique représentatif de l'intensité des rayons issus de la source atteignant chaque zone sensible du capteur, - au moins une optique (235, 260) « de microscope » ayant un facteur de grandissement supérieur à un et une résolution meilleure que quatre fois l'interpixel divisé par le grandissement, située sur le chemin optique des rayons émis par la source allant de la source au capteur de rayons en passant par l'objet. 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque zone sensible du capteur de rayonnement est réalisé selon la technique du « Wafer-level packaging », ou WLP, en français assemblage au niveau du substrat. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel l'interpixel entre les zones sensibles du capteur de rayonnement est compris entre 300 et 800 lm. 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, qui comporte au moins une lentille de forme non symétrique de révolution, par exemple une lentille cylindrique ou une lentille avec des surfaces polynomiales sur X et Y. 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel au moins un système optique comporte une lentille optique asphérique. 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel au moins un composant optique d'un système optique présente un traitement anti-reflet comportant des microstructures en forme de cônes ou de cratères. 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la fréquence d'émission de la source incohérente est modulée. 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la source incohérente comporte une source de bruit de type bruit thermique dans une résistance ou diode impatt. 22 9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel chaque zone photosensible est un nano-transistor, le signal généré par la radiation THz est une différence de potentiel continue entre le Drain et la Source du nano-transistor mesuré en mode commun ou différentiel. 5 10. Dispositif selon la revendication 9, qui comporte une électronique de proximité pour polariser chaque nano-transistor par une tension de grille proche de sa tension de swing où le fonctionnement classique du transistor est le plus non linéaire. 10 11. Dispositif selon la revendication 10, dans lequel le signal redressé issu de chaque nano- transistor est amplifié en forçant une asymétrie des charges dans le canal du nano-transistor en injectant un courant dans le canal du transistor, entre le drain et la source et /ou en utilisant des motifs métallisés jouant le rôle d'antennes. 15 12. Dispositif selon l'une des revendications 10 ou 11, dans lequel l'électronique de proximité comporte un circuit de compensation de l'offset généré par l'injection du courant entre le drain et la source de chaque nano-transistor, par exemple en utilisant un montage soustracteur. 20 13. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 12, qui comporte au moins un amplificateur faible bruit et faible drift qui amplifie le signal sur la dynamique d'un convertisseur analogique numérique. 14. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 13, qui comporte un moyen de 25 synchronisation de la démodulation du signal avec le signal de modulation d'amplitude de la source. 15. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 14, qui comporte un capteur des positions de l'objet à imager, par exemple en utilisant un encodeur. 16. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 15, qui comporte une lame séparatrice, la polarisation incidente sur la lame séparatrice étant la polarisation en mode TM (acronyme de transverse mode pour mode transversal) dans lequel le champ est parallèle au plan d'incidence. 17. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 16, qui comporte un moyen de mesure de l'intensité des rayonnements provenant de l'objet, et/ou de polarisation des rayons provenant de l'objet. 30 35