FR 3072091 A1 20190412 FR 1759326 A 20171005 Arrière-plan de l'invention La présente invention se rapporte au domaine général de la protection contre la corrosion de pièces en matériau composite à matrice 5 céramique (CMC). Un domaine particulier d'application de l'invention est la protection de pièces en matériau composite à matrice céramique (CMC) formant des parties chaudes de turbines à gaz, telles que des parois de chambre de combustion, ou des anneaux de turbine, des distributeurs de 10 turbine ou des aubes de turbines, pour des moteurs aéronautiques ou des turbines industrielles. Pour de telles turbines à gaz, le souci d'améliorer le rendement et de réduire les émissions polluantes conduit à envisager des températures toujours plus élevées dans les chambres de combustion. 15 Il a donc été proposé de remplacer les matériaux métalliques par des matériaux CMC, notamment pour des parois de chambres de combustion ou anneaux de turbine. En effet, les matériaux CMC sont connus pour posséder à la fois de bonnes propriétés mécaniques permettant leur utilisation pour des éléments de structure et la capacité de 20 conserver ces propriétés à des températures élevées. Les matériaux CMC comportent un renfort fibreux en fibres réfractaires, typiquement en carbone ou en céramique, qui est densifié par une matrice céramique, par exemple en SiC. Dans les conditions de fonctionnement des turbines 25 aéronautiques, c'est-à-dire à haute température sous atmosphère oxydante et humide, les matériaux CMC sont sensibles au phénomène de corrosion. La corrosion du CMC résulte de l'oxydation du SiC en silice qui, en présence de vapeur de d'eau, se volatilise sous forme d'hydroxydes de silicium Si(OH)4. Les phénomènes de corrosion entraînent une récession 30 du CMC et affectent la durée de vie de ce dernier. Afin de limiter cette dégradation en fonctionnement, il a été envisagé de former à la surface des matériaux CMC des revêtements de barrière environnementale. Une telle solution de l'état de la technique est illustrée à la figure 1. 35 Ainsi, comme illustré à la figure 1, un substrat 1 en matériau composite à matrice céramique (CMC) est recouvert d'une couche de 2 liaison 2 en silicium, ladite couche de liaison 2 étant elle-même recouverte par une barrière environnementale 3 qui peut être une couche de silicate de terre rare. Lors du fonctionnement de la turbomachine, une couche de silice protectrice 2a se forme entre la couche de liaison 2 en silicium et la barrière environnementale 3. La couche de liaison 2 permet, d'une part, d'améliorer l'accroche de la barrière environnementale 3 et, d'autre part, de former en fonctionnement la couche de silice protectrice 2a, dont la faible perméabilité à l'oxygène participe à la protection du substrat 1 en CMC contre l'oxydation. La barrière environnementale 3 permet, quant à elle, de limiter la diffusion de la vapeur d'eau vers la couche de silice protectrice 2a formée par oxydation du silicium de la couche de liaison 2, et par conséquent de limiter la récession de celle-ci. Cependant, un problème rencontré par cette solution de l'état de la technique est que l'accessibilité de la couche de silice protectrice 2a à la vapeur d'eau et à l'air est localement très variable. Ces différences d'accessibilité locales proviennent notamment à cause de différences locales de densité de la barrière environnementale 3, de la tortuosité du réseau de microfissures et de porosités dans la barrière environnementale 3 responsables de cheminements privilégiés pour l'oxygène, et d'hétérogénéités locales de composition ou dans le réseau cristallin de la barrière environnementale 3. Ces différences d'accessibilité locales peuvent induire des différences locales d'épaisseur dans la couche de silice protectrice 2a potentiellement responsables d'accumulation de contraintes et d'une détérioration prématurée de la pièce par délarnination. Il existe donc un besoin pour disposer d'un nouveau système de protection d'un substrat en CMC contre la corrosion, d'augmenter la 30 durée de vie en fonctionnement des pièces en CMC. Objet et résumé de l'invention La présente invention a donc pour but principal de pallier de tels 35 inconvénients en proposant une pièce comprenant : 3 - un substrat dont au moins une partie adjacente à une surface du substrat est en un matériau comprenant du silicium ; - une sous-couche d'accrochage située sur la surface du substrat et comprenant du silicium, 5 - une barrière environnementale qui comprend une couche externe en céramique recouvrant la sous-couche d'accrochage, ladite barrière environnementale comprenant en outre une couche interne auto-cicatrisante située entre la sous-couche d'accrochage et la couche externe, ladite couche interne comprenant une matrice dans laquelle sont 10 dispersées des particules silico-formeuses, ces particules étant aptes à générer une phase de cicatrisation de fissures de la matrice en présence d'oxygène. Une telle couche interne de barrière environnementale offre l'avantage d'une part de réduire la quantité d'eau et d'air arrivant jusqu'à 15 la sous-couche d'accrochage, et d'autre part de réduire l'hétérogénéité dans la quantité d'eau et d'air traversant la barrière environnementale. En effet, les particules étant silico-formeuses, c'est-à-dire de nature à former de la silice (SiO2) lorsqu'elles sont oxydées, lesdites particules dispersées dans la matrice de la couche interne réagissent au 20 contact de l'oxygène pour générer une phase de cicatrisation qui vient étanchéifier ladite couche interne. Les particules comprennent du silicium. De plus, une telle réaction des particules avec l'oxygène vient consommer une partie de l'eau et de l'air traversant la couche interne de la barrière environnementale, ce qui limite la quantité d'air et d'eau 25 transmise à la sous-couche d'accrochage et réduit les hétérogénéités. Par ailleurs, les particules de la couche interne peuvent comprendre des particules céramiques, préférentiellement des particules de carbure de silicium, ou de nitrure de silicium, ou d'une phase MAX comprenant du silicium, ou un mélange de telles particules. Les particules de la couche interne peuvent également comprendre des particules métalliques, préférentiellement des particules de silicium élément Si, ou d'un siliciure métallique, ou un mélange de telles particules. Selon une caractéristique possible, les particules de la couche 35 interne ont une taille moyenne inférieure ou égale à 5pm, et préférentiellement inférieure ou égale à 2pm. 4 Par « taille moyenne » on désigne la dimension donnée par la distribution granulométrique statistique à la moitié de la population, dite D50. De plus, la couche interne peut comprendre un taux de charge 5 volumique de particules supérieur ou égal à 5% et inférieur à 50%, et préférentiellement compris entre 20% et 40%. Selon une caractéristique additionnelle, la couche interne possède une épaisseur comprise entre 10prn et 300pm, et préférentiellement entre 100pm et 200pm. 10 La matrice de la couche interne peut par ailleurs être en silicate, préférentiellement un monosilicate ou un disilicate de terre rare, ou un aluminosilicate comme la mullite, ou de la cordiérite. Selon une autre caractéristique, la matrice de la couche interne et la couche externe sont formées du même matériau. 15 Selon un deuxième aspect, l'invention propose un procédé de fabrication d'une pièce selon l'une quelconque des caractéristiques précédentes, comprenant les étapes suivantes : dépôt de la sous-couche d'accrochage comprenant du silicium sur la surface du substrat ; 20 - dépôt de la couche interne de la barrière environnementale sur la sous-couche d'accrochage ; dépôt de la couche externe de la barrière environnementale sur la couche interne, ladite couche externe étant en céramique. Selon une caractéristique supplémentaire, le dépôt de la couche 25 interne est réalisé par projection plasma dans laquelle un matériau destiné à former les particules est introduit dans un jet de plasma sous la forme d'une suspension en milieu liquide. Par ailleurs, un matériau destiné à former la matrice de la couche interne est introduit dans le jet plasma sous forme de poudre. 30 Selon une autre caractéristique, le matériau destiné à former la matrice de la couche interne est introduit dans le jet plasma sous la forme d'une suspension en milieu liquide. 5 Brève description des dessins D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description faite ci-dessous, en référence aux dessins annexés qui en illustrent un exemple de réalisation dépourvu de tout 5 caractère limitatif. Sur les figures : - la figure 1 représente une solution de barrière environnementale selon l'état de la technique ; - la figure 2 représente une vue en coupe d'une pièce selon un mode de réalisation de l'invention ; 10 - la figure 3 représente une vue détaillée de la couche interne de la barrière environnementale ; - la figure 4 représente un premier mode de réalisation possible pour le dépôt de la couche interne de la barrière environnementale ; - la figure 5 représente un deuxième mode de réalisation 15 possible pour le dépôt de la couche interne de la barrière environnementale ; - la figure 6 représente un troisième mode de réalisation possible pour le dépôt de la couche interne de la barrière environnementale ; 20 - la figure 7 représente schématiquement les différentes étapes d'un procédé de fabrication selon une mise en oeuvre de l'invention. Description détaillée de l'invention 25 Dans la description détaillée qui suit, on envisage la formation d'une barrière environnementale sur un substrat en matériau CMC contenant du silicium. L'invention est toutefois applicable à des substrats en matériau réfractaire monolithique contenant du silicium et, plus généralement, à des substrats dont au moins une partie adjacente à 30 une surface externe du substrat est en un matériau réfractaire (composite ou monolithique) contenant du silicium. Ainsi, l'invention vise notamment la protection de matériaux réfractaires constitués par des céramiques monolithiques, par exemple en carbure de silicium SiC ou nitrure de silicium Si3N4, mais plus particulièrement la protection de matériaux composites réfractaires tels que des matériaux composites à matrice 6 céramique (CMC) contenant du silicium, par exemple des CMC à matrice au moins partiellement en SiC. Comme illustré à la figure 2, une pièce 10 selon l'invention comprend un substrat 20 comprenant une surface S. Le substrat 20 5 comprend du silicium sur au moins une partie adjacente à la surface S. La pièce 10 peut typiquement être un anneau de turbine d'une turbomachine. Le substrat 20 peut être en un matériau CMC contenant du silicium et qui comprend un renfort fibreux pouvant être en fibres de carbone (C) ou en -fibres céramiques, par exemple en fibres de SiC ou 10 formées essentiellement de SiC, incluant des fibres en Si-C-0 ou Si-C-0-N, c'est-à-dire contenant aussi de l'oxygène et éventuellement de l'azote. De telles fibres sont produites par la société Nippon Carbon sous la référence « Nicalon » ou « Hi-Nicalon » ou « Hi-Nicalon Type-S », ou par la société Ube Industries sous la référence « Tyranno-ZMI ». Les fibres céramiques 15 peuvent être revêtues d'une mince couche d'interphase en carbone pyrolytique (PyC), en nitrure de bore (BN) ou en carbone dopé au bore (BC, avec 5%at. à 20%at. de B, le complément étant C). Le renfort fibreux est densifié par une matrice qui est formée, dans son intégralité ou au moins dans une phase externe de celle-d, par 20 un matériau contenant du silicium, tel qu'un composé du silicium, par exemple SiC ou un système ternaire Si-B-C. Par phase externe de matrice, on entend une phase de matrice formée en dernier, la plus éloignée des fibres du renfort. Ainsi, la matrice peut être formée de plusieurs phases de natures différentes, et peut par exemple être : 25 une matrice mixte C-SiC (le SiC étant du côté externe), ou une matrice séquencée avec une alternance de phases SiC et de phases de matrice de moindre rigidité, par exemple en carbone pyrolytique (PyC), nitrure de bore (BN) ou carbone dopé au bore (BC), avec une phase terminale de matrice en SIC, ou 30 une matrice auto-cicatrisante avec des phases de matrice en carbure de bore (B4C) ou en un système ternaire Si-B-C, éventuellement avec carbone libre (B4C + C, Si-B-C + C), et avec une phase terminale Si- B-C ou SiC. La matrice peut être au moins en partie formée par CVI de 35 manière connue en soi. En variante, la matrice peut être au moins en partie formée par voie liquide (imprégnation par une résine précurseur de 7 la matrice et transformation par réticulation et pyrolyse, le processus pouvant être répété) ou par infiltration de silicium à l'état fondu (procédé de « Melt-Infiltration »). Dans ce dernier cas, une poudre est introduite dans le renfort fibreux éventuellement partiellement densifié, cette poudre 5 pouvant être une poudre de carbone et éventuellement de céramique, et une composition métallique à base de silicium à l'état fondu est ensuite infiltrée pour former une matrice de type SIC-Si. Une sous-couche d'accrochage 30 comprenant du silicium est située sur le substrat 20. La sous-couche d'accrochage 30 est en contact 10 avec le substrat 20. La sous-couche d'accrochage 30 peut typiquement être du silicium (élément Si), ou de la mullite (3A1203.2Si02). En fonctionnement, la sous-couche d'accrochage 30 va s'oxyder et former une couche passivante de silice (S'CO2) (,« Thermally Grown Oxide »). Une barrière environnementale 40 est située sur la sous-couche 15 d'accrochage 30 afin de protéger ladite sous-couche d'accrochage 30 et le substrat 20. La barrière environnementale 40 comprend une couche interne 41 auto-cicatrisante située sur la sous-couche d'accrochage 30, et une couche externe 42 en céramique située sur la couche interne 41. La couche interne 41 est en contact d'une part avec la sous-couche 20 d'accrochage 30 et d'autre part avec la couche externe 42. Par matériau autocicatrisant, on entend ici un matériau formant, en présence d'oxygène, une composition vitreuse capable, par passage à l'état pâteux ou fluide dans un certain domaine de températures, de cicatriser des fissures apparues au sein du matériau. 25 Comme visible sur la figure 3, la couche interne 41 comprend une matrice 41m dans laquelle sont dispersés des particules 41p. La matrice 41m est en un matériau différent du matériau des particules 41p. Par ailleurs, la matrice 41m comprend des fissures 41f et autres porosités. Les particules 41p sont des particules silico-formeuses, et donc 30 qui sont aptes à générer une phase de cicatrisation des fissures 41f de la matrice 41m en présence d'oxygène. Les particules 41p sont notamment adaptées pour générer la phase de cicatrisation lorsque la température est supérieure à 800°C. Les particules 41p comprennent du silicium. En effet, en fonctionnement, des flux d'air et d'eau 51 35 traversent la couche externe 42 de la barrière environnementale 40, et arrivent à la couche interne 41 de ladite barrière environnementale 40. Les 8 particules 41p étant silico-formeuses, elles réagissent avec l'oxygène et forment de la silice (SiO2). Cette silice générée par les particules 41p forme la phase cicatrisante et remplit par capillarité les fissures 41f et autres porosités de la matrice 41m, étanchéifiant ainsi la couche interne - 5 41 en limitant la circulation des flux d'air et d'eau 51 au travers de ladite couche interne 41. Une telle réaction auto-cicatrisante de la couche interne 41 permet, qu'au contact des flux d'air et d'eau 51, ladite couche interne 41 s'étanchéifle, réduisant ainsi la quantité d'air et d'eau qui atteint la sous-couche d'accrochage 30 via les flux- sortant 52. 10 Par ailleurs, en plus d'étanchéifier la couche interne 41 par remplissage des fissures 41f, un tel effet auto-cicatrisant permet de consommer une partie de l'eau et de l'air, réduisant ainsi d'autant plus la quantité d'air et d'eau dans les flux sortant 52 qui atteignent la sous-couche d'accrochage 30. 15 De plus, comme cela est illustré sur la figure 3, la quantité d'air et d'eau est hétérogène dans les flux 51 qui arrivent sur la couche interne 41. Le fait qu'une partie de l'eau et de l'air soit consommée par la réaction des particules 41p permet d'homogénéiser les flux sortant 52 d'air et d'eau qui arrivent sur la sous-couche d'accrochage 30. Une telle 20 homogénéisation des flux sortant 52 permet de réduire- les différences locales d'épaisseur dans la couche de silice protectrice générée par la sous-couche d'accrochage 30, réduisant ainsi le risque d'accumulation de contraintes et de détérioration prématurée de la pièce 10 par délamination. 25 Par ailleurs, en plus de la réaction d'oxydation, les particules 41p peuvent se corroder en présence de l'eau et de l'air, et générer du HxSiyOz gazeux. Une telle réaction de corrosion des particules 41p permet également de consommer de l'eau et de l'air, réduisant ainsi la quantité d'eau et d'air arrivant sur la sous-couche d'accrochage 30. 30 Les particules 41p peuvent être des particules céramiques. Les particules 41p sont préférentiellement être des particules de carbure de silicium (SiC), des particules de nitrure de silicium (Si3N4), ou des particules d'une phase max comprenant du silicium, ou un mélange de telles particules. Le carbure de silicium fait notamment partie des 35 matériaux préférés. 9 Les particules 41p peuvent également être des particules métalliques. Les particules 41p sont préférentiellement des particules de silicium (élément Si), des particules d'un siliciure métallique, ou un mélange de telles particules. 5 Les particules 41p ont de préférence une taille moyenne (D50) qui est inférieure ou égale à 5pm. Il est en effet avantageux que les particules 41p possèdent une taille moyenne inférieure ou égale à 5pm car cela permet à la couche interne 41 d'être plus réactive pour la génération de la phase cicatrisante en S102 et pour la consommation de l'air et de 10 l'eau. En effet, l'utilisation de particules de faible taille permet d'augmenter la surface disponible pour la réaction d'oxydation et de corrosion des particules 41p. De préférence, les particules 41p possèdent une taille moyenne inférieure ou égale à 2pm, par exemple comprise entre 0,1pm et 2pm, afin d'augmenter encore plus la réactivité et l'efficacité de 15 la couche interne 41. Comme cela sera décrit par la suite, l'utilisation de particules possédant une taille inférieure à 5pm est permise notamment par un dépôt par projection plasma où le matériau destiné à former les particules 41p est introduit pas voie liquide. 20 La couche interne 41 comprend de manière avantageuse un taux de charge volumique de particules 41p supérieur ou égal à 5% et inférieur (strictement) à 50%. Cela permet d'une part d'assurer une meilleure réactivité de la couche interne 41 pour la génération de la phase de cicatrisation et la consommation d'eau et d'air ainsi que d'assurer une 25 durée de vie suffisante à la couche interne 41, et d'autre part de garder de manière suffisante les propriétés apportées par la matrice 41m. Préférentiellement, la couche interne 41 comprend un taux de charge volumique des particules 41p compris entre 20% et 40%. La matrice 41m est avantageusement en silicate, et 30 préférentiellement un monosilicate ou un disilicate de terre rare, ou un aluminosilicate comme la mullite, ou de la cordiérite. Il est à noter que de préférence la matrice 41m n'est pas en aluminosilicate de baryum et de strontium (BSAS), car le BSAS réagit avec la silice. Une matrice 41m en monosilicate ou en disilicate de terre rare est un mode de réalisation 35 préféré. Une matrice 41m en Y2Si207, RE2Si207, ou en RE2SiO5 sont des 10 variantes préférées du mode de réalisation selon lequel la matrice 41m est en monosilicate ou en disilicate de terre rare. La couche interne 41 possède une épaisseur E qui peut être comprise entre lOpm et 300pm. Une telle épaisseur permet à la couche 5 interne 41 d'assurer son rôle de protection de la sous-couche d'accrochage 30. De plus, lorsque la couche interne 41 possède une épaisseur importante, par exemple entre 200pm et 300pm, elle peut assurer à elle seule la fonction d'étanchéisation contre l'eau et l'air de la barrière environnementale 40, la couche supérieure 40 pouvant alors remplir 10 uniquement le rôle d'abradable. Par ailleurs, l'épaisseur E de la couche interne 41 est préférentiellement comprise entre 100pm et 200pm. La couche externe 42 de la barrière environnementale 40 est en céramique. La couche externe 42 peut être une couche classique de barrière environnementale. La couche externe 42 peut être un 15 monosilicate ou un disilicate de terre rare, ou un aluminosilicate comme la mullite ou de l'aluminosilicate de baryum et de strontium (BSAS), ou encore de la cordiérite. De préférence, afin d'assurer une meilleure compatibilité mécanique et chimique entre la couche interne 41 et la couche externe 42 20 de la barrière environnementale 40, la matrice 41m de la couche interne 41 et la couche externe 42 sont formées du même matériau. Une telle caractéristique est d'autant plus avantageuse lorsque la couche interne 41 et la couche externe 42 sont directement en contact l'une avec l'autre. De manière préférentielle, la matrice 41m de la couche interne 41 et la 25 couche externe 42 sont en monosilicate ou en disilicate de terre rare. Par ailleurs, la couche externe 42 peut être chargée de fibres ou d'inclusions suivant les propriétés voulant être données à ladite couche externe 42. La barrière environnementale 40 peut également comprendre des couches supplémentaires situées sur la couche externe 42. 30 Comme illustré sur la figure 7, selon une mise en oeuvre possible, le procédé de fabrication de la pièce 10 comprend les étapes suivantes : - El : dépôt de la sous-couche d'accrochage 30 comprenant du silicium sur la surface S du substrat 20 ; 35 - E2 dépôt de la couche interne 41 de la barrière environnementale 40 sur la sous-couche d'accrochage 30 ; 11 - E3 dépôt de la couche externe 42 de la barrière environnementale 40 sur la couche interne 41, ladite couche externe 42 étant en céramique. Selon une mise en oeuvre préférentielle du procédé de 5 fabrication de la pièce 10, le dépôt de la couche interne 41 est réalisé par projection plasma dans laquelle le matériau destiné à former les particules 41p dispersées dans la couche interne 41 est introduit dans le jet de plasma sous la forme d'une suspension en milieu liquide. Le fait d'introduire le matériau destiné à former les particules 10 41p dans le jet de plasma sous la forme d'une suspension en milieu liquide permet d'utiliser des particules 41p avec une taille moyenne faible, notamment avec une taille moyenne inférieure à 5pm. En effet, si les particules ne sont pas introduites dans le jet de plasma sous la forme d'une suspension en milieu liquide, par exemple en étant introduire sous la 15 forme d'une poudre, les particules sont susceptibles de rebondir sur le jet de plasma à cause de leur trop faible taille, rendant ainsi difficile le contrôle du dépôt de la couche interne 41. De plus, l'introduction du matériau destiné à former les particules 41p dans le jet de plasma sous la forme d'une suspension en 20 milieu liquide permet d'utiliser un plus large choix de particules 41p. En effet, certains matériaux, dont notamment le carbure de silicium (SiC), peuvent ne supporter que difficilement l'introduction sous forme d'une poudre dans le jet de plasma et peuvent notamment risquer de se sublimer. Le contrôle du dépôt de la couche interne 41 avec des particules 25 41p en de tels matériaux, notamment le carbure de silicium (SIC), est donc rendu difficile. L'introduction dans le jet de plasma sous forme d'une suspension des particules 41p en milieu liquide permet de protéger ces matériaux contre le jet de plasma, et permet ainsi de plus facilement contrôler le dépôt de la couche interne 41. 30 Selon un premier mode de réalisation possible pour le dépôt de la couche interne 41 qui est illustré à la figure 4, ladite couche interne 41 de la barrière environnementale 40 est réalisée par projection plasma à l'aide d'une torche plasma 60 qui génère un jet de plasma 61. La projection plasma peut être réalisée à la pression atmosphérique sous air. 35 Le matériau destiné à former la matrice 41m de la couche interne 41 est injecté dans le jet de plasma 61 à l'aide d'un injecteur 70 12 sous la forme d'une poudre 71. La poudre 71 peut, selon un exemple, être une poudre de Y29207 avec une taille moyenne de 30prn. Le matériau destiné à former les particules 41p de la couche interne 41 est injecté dans le jet de plasma 61 par un injecteur 80 sous la 5 forme d'une suspension 81 en milieu liquide. La suspension 81 peut être, selon un exemple, une suspension aqueuse chargée à 20% en masse de particules de carbure de silicium (SiC) avec une taille moyenne de 1pm. Dans l'exemple présenté à la figure 4, une couche interne 41 comprenant une matrice 41m en Y2Si2O7 et des particules de SIC avec une 10 taille- moyenne de lpm est formée sur la sous-couche d'accrochage 30. Le taux de charge volumique de particules 41p est de 30% dans cette couche interne 41, et l'épaisseur E de ladite couche interne est de 150pm. Selon un deuxième mode de réalisation présenté à la figure 5, le matériau destiné à former la matrice 41m de la couche interne 41 n'est 15 pas-injecté dans le jet de plasma sous forme de poudre, mais sous la forme d'une suspension 91 en milieu liquide comprenant à la fois le matériau destiné à former la matrice 41m et le matériau destiné à former les particules 41p. Cette suspension 91 est injectée dans le jet de plasma 61 par un unique injecteur 90. 20 Selon un exemple, la suspension 91 est une suspension aqueuse chargée à 20% en masse par les matériaux destinés à former la matrice 41m et les particules 41p. La proportion du mélange entre ces deux matériaux est adaptée pour que le taux de charge volumique des particules 41p dans la couche interne 41 soit de 30%. La suspension 91 25 comprend des particules de Y2Si207, avec une taille moyenne de 30pm, qui sont destinées à former la matrice 41m (qui sera donc en Y2Si2O7), et des particules de SiC, avec une taille moyenne de lpm, et qui sont destinées à former les particules 41p (qui seront donc en SiC). La couche interne 41 formée possède une épaisseur E de 150pm. 30 Selon un troisième mode de réalisation illustré à la figure 6, le matériau destiné à former la matrice 41m et le matériau destiné à former les particules 41p ne sont pas injectés dans le jet de plasma 61 dans une même suspension, mais en deux suspensions 101a et 101b distinctes. La première suspension 101a est une suspension aqueuse qui 35 est chargée à 20% en masse de particules de Y2Si2O7 pour former la 13 matrice 41m qui ont une taille moyenne de 5pm. La première suspension 101a est injectée dans le jet de plasma 61 par un premier injecteur 100a. La deuxième suspension 101b est une suspension aqueuse qui est chargée à 20% en masse de particules de SiC pour former les 5 particules 41p, ces particules ayant une taille moyenne de 1pm. La deuxième suspension 101b est injectée dans le jet de plasma 61 par un deuxième injecteur 100b. La couche interne 41 formée possède une épaisseur E de 150pm. 10 L'expression « compris(e) REVENDICATIONS1. Pièce (10) comprenant : - un substrat (20) dont au moins une partie adjacente à une surface (S) du substrat est en un matériau comprenant du silicium ; - une sous-couche d'accrochage (30) située sur la surface (S) du substrat et comprenant du silicium, - une barrière environnementale (40) qui comprend une couche externe (42) en céramique recouvrant la sous-couche d'accrochage (30), caractérisée en ce que ladite barrière environnementale (40) comprend en outre une couche interne (41) auto-cicatrisante située entre la sous-couche d'accrochage (30) et la couche externe (42), ladite couche interne (41) comprenant une matrice (41m) dans laquelle sont dispersées des particules (41p) silico-formeuses, ces particules (41p) étant aptes à générer une phase de cicatrisation de fissures (41f) de la matrice (41m) en présence d'oxygène. 2. Pièce (10) selon la revendication 1 dans laquelle les particules (41p) de la couche interne (41) comprennent des particules céramiques, préférentiellement des particules de carbure de silicium, ou de nitrure de silicium, ou d'une phase MAX comprenant du silicium, ou un mélange de telles particules. 3. Pièce (10) selon la revendication 1 ou 2 dans laquelle les particules (41p) de la couche interne (41) comprennent des particules métalliques, préférentiellement des particules de silicium élément Si, ou d'un siliciure métallique, ou un mélange de telles particules. 4. Pièce (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle les particules de la couche interne ont une taille moyenne inférieure ou égale à 5pm, et préférentiellement inférieure ou égale à 2pm. 15 5. Pièce (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle la couche interne comprend un taux de charge volumique de particules (41p) supérieur ou égal à 5% et inférieur à 50%, et préférentiellement compris entre 20% et 40%. 5 6. Pièce (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans laquelle la couche interne possède une épaisseur comprise entre 10prn et 300pm, et préférentiellement entre 100pm et 200pm. 10 7. Pièce (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans laquelle la matrice de la couche interne est en silicate, préférentiellement un monosilicate ou un disilicate de terre rare, ou un aluminosilicate comme la milite, ou de la cordiérite. 15 8. Pièce (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle la matrice de la couche interne et la couche externe sont formées du même matériau. 9. Procédé de fabrication d'une pièce (10) selon l'une quelconque 20 des revendications 1 à 8, comprenant les étapes suivantes : - (El) dépôt de la sous-couche d'accrochage (30) comprenant du silicium sur la surface (S) du substrat (20) ; - (E2) dépôt de la couche interne (41) de la barrière environnementale (40) sur la sous-couche d'accrochage (30) ; 25 - (E3) dépôt de la couche externe (42) de la barrière environnementale (40) sur la couche interne (41), ladite couche externe (42) étant en céramique. 10. Procédé selon la revendication 9, dans lequel le dépôt de la 30 couche interne (41) est réalisé par projection plasma dans laquelle un matériau destiné à former les particules est introduit dans un jet de plasma sous la forme d'une suspension en milieu liquide.