FR 3050068 A1 20171013 FR 1653013 A 20160406 1 AIMANT PERMANENT COMPRENANT UN EMPILEMENT DE N MOTIFS [1] L'invention concerne un aimant permanent ainsi qu'un capteur de champ magnétique incorporant cet aimant permanent. L'invention concerne également un 5 procédé de fabrication de cet aimant permanent. [2] Des capteurs connus de champ magnétique incorporent des aimants permanents pour mesurer l'amplitude, dans une direction donnée, d'un champ magnétique à mesurer. De tels capteurs sont décrits, par exemple, en référence à la figure 4 de la demande US2011/0151589 ou en référence aux figures 1A à 8 de la 10 demande W02010/0084165. [3] Les aimants permanents utilisés dans ces capteurs, contrairement aux couches piégées (« pinned layer » en anglais) utilisées dans les vannes de spin ou GMR (« Giant Magnetoresistance ») et dans les jonctions tunnels ou TMR (« Tunnel Magnetoresistance »), doivent générer un champ magnétique important. Pour rappel, 15 dans les vannes de spin et les jonctions tunnels, le champ magnétique généré par la couche piégée doit au contraire être faible pour permettre à la direction d'aimantation de la couche libre de tourner et de s'aligner sur la direction d'un champ magnétique extérieur. Ainsi dans le cas de structures dynamiques, comme des structures MRAM (Magnetoresistive Random Access Memory) par exemple, l'aimantation évolue lors 20 de l'utilisation de la structure. Au contraire, dans les aimants permanents, la direction d'aimantation est figée. [4] Pour obtenir un champ magnétique important, dans les capteurs connus, l'aimant permanent est réalisé par un empilement de couches ferromagnétiques et de couches antiferromagnétiques. Typiquement, un tel aimant permanent comporte un 25 empilement de N motifs empilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, où N est un nombre entier supérieur ou égal à deux, chaque motif comportant : - une couche antiferromagnétique réalisée en matériau antiferromagnétique, - une couche ferromagnétique réalisée en matériau ferromagnétique, la direction 30 d'aimantation de la couche ferromagnétique étant figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique de ce motif, et la direction d'aimantation de la couche ferromagnétique de N-1 motifs étant également figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique d'un motif immédiatement adjacent dans l'empilement, les directions d'aimantation des différentes couches 35 ferromagnétiques de tous les motifs étant toutes identiques les unes aux autres. [005] Dans les aimants permanents connus chaque couche ferromagnétique est coincée entre deux couches antiferromagnétiques. De tels modes de réalisation d'un aimant permanent sont décrits en référence à la figure 1A de la demande 3050068 2 US 2011/0151589 et en référence aux figures 10A et 10B de la demande WO 2010/0084165. [6] Dans cette description, lorsqu'on indique qu'une couche ou une sous-couche est « réalisé en X » ou lorsqu'on parle d'une « couche X » ou d'une « couche de X » ou d'une « couche en X », on désigne une couche ou une sous-couche dans laquelle le matériau X représente plus de 95 % de sa masse, et généralement, plus de 98 % ou 99 % de sa masse. [7] Par couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques, on désigne des couches réalisées, respectivement, en matériau ferromagnétique et en matériau 10 antiferromagnétique. [8] Par la suite, le champ magnétique d'un aimant permanent comportant un empilement de couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques est considéré comme important si le moment magnétique total de cet aimant par unité de surface est supérieur à 50 x 10-3A et, de préférence, supérieur à 500 x 10-3A ou 1000 x 10-3 15 A. [9] Le moment magnétique par unité de surface d'un aimant permanent comportant un empilement de couches ferromagnétiques et antiferromagnétique peut facilement être mesuré. Par exemple, le moment magnétique de l'aimant permanent est mesuré par la méthode VSM (« Vibrating Sample Magnetometry »). Cette 20 méthode est bien connue. Elle est par exemple décrite dans les articles suivants : - Simon FONER, « Versatile and Sensitive Vibrating-Sample Magnetometer », The review of scientific instrucments, Volume 30, number 7, juillet 1959, - Christian Albrechts, « Vibrating Sample Magnetometry », Université de Kiel, M106, 2011. 25 [0010] Le moment magnétique ainsi mesuré est alors divisé par le volume de matériau ferromagnétique contenu dans cet aimant pour obtenir son aimantation. Quel que soit l'empilement, les dimensions des couches ferromagnétiques peuvent être facilement mesurées, par exemple, par observation de coupes verticales de cet empilement avec un microscope. En particulier, ces observations permettent de 30 mesurer l'épaisseur t, de chaque couche ferromagnétique. Enfin, l'aimantation ainsi obtenue est multipliée par la somme des épaisseurs t, de chaque couche ferromagnétique pour obtenir le moment magnétique de cet aimant par unité de surface. Généralement, les couches ferromagnétiques de l'empilement ont toutes la même surface dans un plan perpendiculaire à la direction d'empilement de ces 35 couches. Par conséquent, on peut aussi diviser le moment magnétique mesuré pour l'aimant par la surface des couches ferromagnétiques, ou par la surface de l'aimant permanent si elle est égale à la surface des couches ferromagnétiques, pour obtenir le moment magnétique par unité de surface. [0011] L'aimantation d'un tel aimant permanent, présente typiquement un cycle 40 d'hystérésis tel que celui représenté sur la figure 1. 3050068 3 [0012] La figure 1 va maintenant être utilisée pour définir certains termes. La courbe 2 représente de façon schématique l'évolution de l'aimantation, notée B sur les figures, de l'aimant permanent en fonction du champ magnétique H. Plus précisément, l'aimantation B varie entre deux valeurs extrêmes BSL et BSH. Lorsque 5 l'aimantation de l'aimant permanent approche la valeur BSH, son aimantation n'augmente plus significativement même si le champ magnétique H augmente. Pour simplifier la figure 1, cette augmentation non significative de l'aimantation B en fonction du champ H a été représenté par une ligne horizontale. On dit alors que l'aimant est saturé. Le même phénomène se produit lorsque l'aimantation approche la 10 valeur BSL et que le champ magnétique continue à diminuer. Entre ces deux valeurs extrêmes, la courbe 2 définit un cycle 4 d'hystérésis. Le cycle 4 comporte : - une courbe 4A qui descend au fur et à mesure que le champ magnétique H diminue, et - une courbe 4B qui monte au fur et à mesure que le champ magnétique H augmente. 15 [0013] Les courbes 4A et 4B se rejoignent d'un côté au voisinage d'un point 4C et de l'autre côté au voisinage d'un point 4D. Entre ces points 4C et 4D, les courbes 4A et 4B sont distinctes. Au-delà du point 4C et en-deçà du point 4D, les courbes 4A et 4B sont sensiblement confondues et pour des champs importants en valeur absolue on tend vers la saturation. Ici, le point 4C est le plus proche de l'axe des ordonnées. 20 [0014] Au niveau des points 4C et 4D, l'écart entre les courbes 4A et 4B est égal à 2 % de la valeur BR, BR correspondant à l'aimantation à champ nul (c'est-à-dire pour le champ H=0). [0015] Dans le cas des aimants permanents formés par l'empilement de couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques, le cycle 4 d'hystérésis est, généralement, 25 décalé, par exemple comme représenté sur la figure 1. Plus précisément, le cycle 4 est décalé, par rapport à l'axe des ordonnées, d'une valeur Hex appelée par la suite champ d'échange Hex ou champ Hex. Ce champ Hex est également connu sous le terme anglais de « exchange bias ». Typiquement, la valeur du champ Hex correspond à la valeur de l'abscisse du point situé à mi-distance entre les deux points où le cycle 30 4 coupe l'axe des abscisses. Dans ce graphe, l'axe des abscisses représente le champ magnétique H. [0016] Le champ coercitif H, ou champ H, de l'aimant permanent est la demi-largeur du cycle 4. Typiquement, sa valeur est prise égale à la différence entre la valeur du champ Hex et un point d'intersection du cycle 4 avec l'axe des abscisses. 35 [0017] On définit également le champ H* comme étant le plus petit champ magnétique à partir duquel l'hystérésis de l'aimant permanent disparaît, c'est-à-dire comme précisé ci-dessus, le champ magnétique pour lequel l'hystérésis est inférieure à 2% de la valeur BR. Ici, la valeur du champ H* est égale à la valeur de l'abscisse du point 4C. 3050068 4 [0018] Il est souhaitable que l'aimant présente un champ H* aussi éloigné que possible de l'axe des ordonnées. En effet, cela améliore l'insensibilité de cet aimant aux perturbations magnétiques extérieures. Cela permet aussi d'améliorer la dynamique des capteurs de champ magnétique qui incorporent de tels aimants. 5 [0019] L'invention vise à satisfaire ce souhait. A cet effet, l'invention a pour objet un aimant permanent dans lequel au moins une couche ferromagnétique comporte : - une première sous-couche réalisée en CoFeB dont l'épaisseur est supérieure à 0,1 nm, et - une deuxième sous-couche réalisée dans un matériau ferromagnétique différent du 10 CoFeB et dont l'épaisseur est supérieure à l'épaisseur de la première sous-couche. [0020] Les modes de réalisation de cet aimant permanent peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ la première sous-couche est disposée à une distance supérieure ou égale à 5 nm de l'interface entre la couche ferromagnétique du motif et la couche 15 antiferromagnétique du motif suivant dans la direction d'empilement, de sorte qu'aucune sous-couche réalisée en CoFeB se trouve à moins de 5 nm de la couche antiferromagnétique du motif suivant ; ^ la première sous-couche est directement déposée sur la couche antiferromagnétique du motif ; 20 ^ la couche ferromagnétique comporte une troisième sous-couche réalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB et la première sous-couche est située entre ces deuxième et troisième sous-couches ; ^ la couche ferromagnétique de chaque motif comporte un exemplaire de la première sous-couche ; 25 ^ l'épaisseur de la première sous-couche est inférieure à 5 nm ; ^ N est un nombre entier supérieur ou égal à cinq ou dix ; ^ la première sous-couche comporte entre 10 % et 30% en masse de Bore ; ^ l'aimant présente un facteur de forme supérieur ou égal à deux, le facteur de forme étant défini comme le rapport de la longueur sur la largeur du 30 parallélépipède de plus petit volume contenant entièrement l'empilement et la direction d'aimantation de chaque couche ferromagnétique de l'aimant permanent est parallèle à la longueur de ce parallélépipède. [0021] Ces modes de réalisation de l'aimant permanent présentent en outre les avantages suivants : 35 - Le fait que la sous-couche en CoFeB soit éloignée d'au moins 5 nm de l'interface entre la couche ferromagnétique et la couche antiferromagnétique du motif suivant facilite le dépôt de cette couche antiferromagnétique. - Réaliser l'aimant permanent avec un facteur de forme supérieur ou égale à deux 3050068 5 permet de faciliter l'alignement de la direction d'aimantation de chaque couche ferromagnétique sur la direction longitudinale de l'aimant permanent lors de sa fabrication. [0022] L'invention a également pour objet un capteur de champ magnétique 5 comportant : - un substrat s'étendant essentiellement dans un plan appelé « plan du substrat », - au moins l'aimant permanent revendiqué déplaçable par rapport au substrat en réponse à une variation de l'amplitude ou de la direction d'un champ magnétique à mesurer, - un transducteur fixé sur le substrat, apte à convertir un déplacement de l'aimant permanent en une grandeur électrique représentative de l'amplitude ou de la direction du champ magnétique à mesurer. [0023] Enfin, l'invention a également pour objet un procédé de fabrication de l'aimant permanent revendiqué, ce procédé comportant : a) la formation d'un empilement comportant N motifs empilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, chaque motif comportant : - une couche antiferromagnétique réalisée en matériau antiferromagnétique, et - une couche ferromagnétique réalisée en matériau ferromagnétique, b) le chauffage de l'empilement de manière à atteindre une température supérieure à 20 une température de mise en ordre du matériau des couches magnétiques de l'empilement, c) lorsque la température est supérieure à la température de mise en ordre, l'application d'un premier champ magnétique pour aligner la direction d'aimantation des couches ferromagnétiques sur une direction souhaitée prédéterminée, 25 d) le refroidissement de l'empilement en présence d'un deuxième champ magnétique inférieur au premier champ magnétique pour faire apparaître un couplage d'échange entre la couche ferromagnétique et la couche antiferromagnétique de chaque motif de l'empilement, dans lequel l'étape a) comporte la formation, dans au moins une couche 30 ferromagnétique : - d'une première sous-couche réalisée en CoFeB dont l'épaisseur est supérieure à 0,05 nm, et - d'une deuxième sous-couche réalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB, dont l'épaisseur est supérieure à l'épaisseur de la première sous-couche. 35 [0024] L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif tout en se référant aux dessins sur lesquels : - la figure 1 est une illustration schématique du cycle d'hystérésis d'un aimant 3050068 6 permanent réalisé à partir d'un empilement de couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques ; - la figure 2 est une illustration schématique, en vue de dessus, d'un capteur de champ magnétique ; 5 - la figure 3 est une illustration schématique, en coupe verticale longitudinale, d'un aimant permanent du capteur de la figure 2 ; - la figure 4 est un organigramme d'un procédé de fabrication de l'aimant permanent de la figure 3 ; - la figure 5 est une illustration schématique, en coupe verticale longitudinale, d'eun 10 autre mode de réalisation possible pour des motifs de l'aimant permanent de la figure 3. [0025] Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détail. 15 [0026] La figure 2 représente un capteur 10 de champ magnétique. Ce capteur 10 est identique au capteur décrit en référence à la figure 8 de la demande W02010/084165, sauf en ce qui concerne la structure des aimants permanents utilisés. Ainsi, seule une brève description de l'architecture générale de ce capteur est donnée pour illustrer un exemple de réalisation d'un tel capteur. [0027] Ce capteur 10 comprend : - un substrat 12 s'étendant essentiellement dans un plan horizontal parallèle à des directions orthogonales X et Y, et - trois magnétomètres 14 à 16 mono-axes réalisés sur le substrat 12. [0028] Une direction Z, perpendiculaire aux directions X et Y, représente la verticale. 25 Par la suite, les figures suivantes sont orientées par rapport à ce même repère X, Y, Z. De plus, les termes tels que « au-dessus », « en dessous », « en bas », « en haut » sont définis par rapport à cette direction Z. [0029] Les magnétomètres 14 à 16 mesurent l'amplitude du champ magnétique à mesurer dans les directions, respectivement, Z, Y et X. A cet effet, chaque 30 magnétomètre 14 à 16 comporte : - un aimant permanent, respectivement 20 à 22, apte à se déplacer par rapport au substrat 12, et - un transducteur, respectivement 24 à 26, apte à transformer le déplacement de l'aimant permanent en une variation de courant ou de tension correspondante. 35 [0030] Par exemple, les transducteurs 24 à 26 sont des transducteurs piézorésistifs. Typiquement, ces transducteurs sont fixés, sans degré de liberté, d'un côté sur le substrat 12 et, d'un autre côté, à l'aimant permanent. [0031] Ici, les aimants permanents 20 à 22 sont identiques à l'exception du fait que la direction du moment magnétique globale de l'aimant permanent 22 est 3050068 7 perpendiculaire à celle des aimants permanents 20 et 21. Dès lors, seule une description détaillée de l'aimant permanent 20 est donnée par la suite. [0032] La figure 3 représente l'aimant permanent 20 déposé sur un socle 30 mobile par rapport au substrat 12. Par exemple, le socle 30 est obtenu par gravure du 5 substrat 12. Seule une portion de ce socle 30 est représentée sur la figure 3. [0033] L'aimant 20 est formé d'un empilement, dans une direction d'empilement, de couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques. Ici, la direction d'empilement est parallèle à la direction Z. Sur la figure 3 et les suivantes, les conventions suivantes sont adoptées : 10 - les couches antiferromagnétiques sont hachurées, - la direction du moment magnétique d'une couche ferromagnétique est représentée par une flèche, - les lignes ondulées au milieu de l'empilement indiquent qu'une portion intermédiaire de cet empilement n'a pas été représentée, 15 - les proportions entre les épaisseurs des différentes couches ne sont pas respectées pour améliorer la lisibilité des figures, et - la proportion entre la longueur L et la hauteur de l'empilement n'est pas respectée pour réduire la taille des figures dans la direction longitudinale de l'empilement. [0034] Ici, l'empilement présente une forme parallélépipédique et un facteur de 20 forme supérieur ou égal à 2, 5 ou 20, voire même supérieur à 100 ou 1000. Dans ce mode de réalisation, le facteur de forme est défini comme étant le rapport de la longueur L sur la largeur W de l'empilement. Ici, la longueur est parallèle à la direction X et la largeur W est parallèle à la direction Y. [0035] Plus le facteur de forme est important et plus il est facile d'aligner la direction d'aimantation des couches ferromagnétiques sur la direction longitudinale de l'empilement. Par exemple, la largeur de l'empilement est inférieure à 20 pm ou 10 pm et la longueur L est supérieure à 50 pm ou 100 pm ou 1 mm. La hauteur de l'empilement est généralement supérieure à 100 pm ou 500 i.tm. Cette hauteur est mesurée entre la couche de l'empilement la plus proche du socle 30 et la couche de ce même empilement la plus éloignée du socle 30. [0036] Ici, l'empilement de couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques est composé successivement dans la direction Z : - d'un motif 34 répété N fois, puis - d'une couche antiferromagnétique 36 puis, typiquement, - d'une couche 38 d'encapsulation déposée au sommet de cet empilement. [0037] La couche 38 est destinée à protéger l'aimant permanent des agressions chimiques et/ou physiques de l'environnement extérieur. Cette couche 38 est réalisée dans un matériau non magnétique. Par matériau non magnétique, on désigne ici un matériau dépourvu de propriété magnétique susceptible de perturber le 3050068 8 fonctionnement de l'aimant permanent 20. Généralement, il s'agit d'un matériau dont les propriétés magnétiques sont nulles ou non mesurables. [0038] Typiquement, la couche 38 est réalisée en Tantale (Ta) ou en Molybdène (Mo) ou en Ruthénium (Ru) ou une combinaison de ces matériaux. Par exemple, la 5 couche 38 est réalisée en tantale (Ta) et son épaisseur est supérieure ou égale à 10 nm. [0039] La couche 36 est une couche antiferromagnétique. Elle est par exemple identique à la couche 40 décrite plus loin. [0040] Dans ce mode de réalisation, la direction d'empilement des motifs 34 est 10 parallèle et de même sens que la direction Z. La première occurrence du motif 34 dans l'empilement, c'est-à-dire celle qui est la plus proche du socle 30 porte la référence 341, la seconde occurrence immédiatement au-dessus de cette première occurrence 341 porte la référence 342 et ainsi de suite jusqu'à l'occurrence 34N. [0041] Ici, les occurrences 341 à 34N sont directement empilées les unes au-dessus 15 des autres et ne sont donc séparées les unes des autres par aucune autre couche n'appartenant pas au motif 34. [0042] Le nombre N de répétitions du motif 34 est généralement choisi pour atteindre une hauteur souhaitée de l'empilement. Cette hauteur dépend de l'application envisagée. N est supérieur ou égal à 2 et, de préférence, supérieur à 5 20 ou 10 ou 20. N est également généralement inférieur à 50 ou 100. Ici, N est également choisi de manière à atteindre le moment magnétique par unité de surface recherché pour l'aimant permanent. [0043] Dans ce mode de réalisation, les différentes occurrences du motif 34 sont toutes identiques les unes aux autres et seule l'occurrence 341 va donc être décrite 25 en détail [0044] L'occurrence 341 est composée successivement dans la direction Z : - d'une couche antiferromagnétique 40, et - d'une couche ferromagnétique 42 dont la direction d'aimantation est piégée par couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique 40. 30 [0045] Dans cette demande, par couche « antiferromagnétique » on désigne une couche horizontale d'épaisseur constante dans laquelle le ou les matériaux antiferromagnétiques représentent plus de 95 % ou 98 % ou 99 % de la masse de cette couche. [0046] Dans cette description, les matériaux antiferromagnétiques utilisés sont par 35 exemple choisis dans le groupe composé : - des alliages de manganèse, et - du NiO, et - du Fe2O3. 3050068 9 [0047] Les alliages de manganèse antiferromagnétiques sont typiquement le PtMn, NiMn, PdPtMn, FeMn et IrMn. Dans cet exemple, le matériau antiferromagnétique choisi pour la couche 40 est l'alliage IrMn. [0048] Dans cette demande, par couche « ferromagnétique » on désigne une 5 couche horizontale d'épaisseur constante dans laquelle le ou les matériaux ferromagnétiques représentent plus de 95 % ou 98 % ou 99 % de la masse de cette couche. [0049] Les matériaux ferromagnétiques utilisés sont par exemple choisis dans le groupe composé : 10 - des alliages à base de Fe et/ou Co et/ou Ni, comme par exemple CoFe, NiFe, CoFeSi..., et - des alliages d'Heusler comme par exemple Cu2MnSn ou Co2MnSi ou Ni2MnAl.... [0050] Dans ce mode de réalisation, la direction d'aimantation c'est-à-dire la direction du moment magnétique, de la couche 42 est parallèle et de même sens que 15 la direction X. Typiquement, l'amplitude de l'aimantation à saturation de la couche 42 est supérieure ou égale à 0,5 T ou 1 T ou 2 T. On rappelle ici qu'un Tesla est égal à 107(4n) A/m, [0051] Cette direction d'aimantation est piégée par un couplage d'échange avec la couche 40. Un couplage d'échange entre une couche ferromagnétique et une couche 20 antiferromagnétique apparaît si : - la couche ferromagnétique est directement déposée sur la couche antiferromagnétique, ou - uniquement séparée de la couche antiferromagnétique par une (ou plusieurs) très fine(s) couche(s) non-magnétique(s) dont l'épaisseur totale est inférieure à 0,5 nm et, 25 de préférence, inférieure à 0,4 nm ou 0,2 nm. [0052] Le couplage d'échange entre les couches ferromagnétique et antiferromagnétique est bien connu. Par exemple, le lecteur peut se référer à l'article suivant : J. Nogués et Ivan K. Schuller, « Exchange bias » Journal of magnetism and magnetic materials 192 (1999), 203-232. 30 [0053] La présence du couplage d'échange entre la couche ferromagnétique et la couche antiferromagnétique se traduit notamment par un décalage, par exemple, vers la gauche comme illustré sur la figure 1, du cycle d'hystérésis de l'assemblage de ces deux couches et donc par l'apparition d'un champ Hex non nul. [0054] Ici, l'épaisseur des couches 40 et 42 sont choisies pour obtenir un bon 35 couplage d'échange entre ces deux couches. Dans cette description, on considère que le couplage d'échange est bon si cela se traduit par l'apparition d'un champ d'échange Hex dont la valeur absolue est supérieure à 50 Oe (3978 A/m) et, de préférence, supérieure à 100 Oe (7957 A/m) ou 200 Oe (15915 A/m) ou 500 Oe (39788 A/m) à 25°C. 3050068 10 [0055] Les champs H' et H, d'un empilement comportant seulement les couches 40 et 42 peut être mesuré expérimentalement ou obtenu par simulation numérique. [0056] Un bon couplage d'échange permet en cas de perturbation magnétique extérieure importante de revenir à l'état initial après la disparition de cette 5 perturbation. [0057] L'épaisseur des couches 40 et 42 est, par exemple, déterminée par expérimentation ou par simulation numérique en testant successivement des épaisseurs différentes pour un empilement formé seulement d'une couche antiferromagnétique et d'une couche ferromagnétique réalisées dans les mêmes 10 matériaux que les couches 40 et 42. Pour les matériaux antiferromagnétiques et ferromagnétiques les plus courants, les épaisseurs appropriées sont connues de l'homme du métier. Par exemple, typiquement, l'épaisseur de la couche 40 est comprise entre 5 et 100 nm et, de préférence, entre 5 et 25 nm. L'épaisseur de la couche 42 est souvent comprise entre 0,5 nm et 100 nm. Dans cet exemple, 15 l'épaisseur de la couche 40 est de préférence comprise entre eFM/3 et 3eFM pour obtenir un bon couplage d'échange, où eFm est l'épaisseur de la couche 42. Ici, l'épaisseur de la couche 40 est de 7 nm tandis que l'épaisseur de la couche 42 est de 20 nm. [0058] Le moment magnétique global de l'aimant permanent 20 est proportionnel à 20 la somme des moments magnétiques des couches 42 de l'empilement. [0059] Pour éloigner le champ H* de l'axe des ordonnées, la couche 42 comporte une sous-couche 44 de CoFeB, et une sous-couche 46 réalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB. [0060] Dans cette description, la composition d'une couche ou d'une sous-couche 25 est notée de la façon suivante : A,By, où : - A et B sont les symboles des éléments chimiques composant cette couche ou sous-couche, et - l'indice x est la masse de l'élément A dans la couche ou sous-couche exprimé en pourcentage de la masse de cette couche ou sous-couche, et 30 - l'indice y est la masse de l'élément B dans la couche ou sous-couche exprimé en pourcentage de la masse de cette couche ou sous-couche. [0061] Ici, la composition de la sous-couche 44 est notée CoxFeyBz. De préférence, la composition de la sous-couche 44 est telle que z est compris entre 10 % et 30 % en masse atomique. Avantageusement on choisira également x et y supérieurs ou 35 égaux chacun à 10%. [0062] Par exemple, la composition de la sous-couche 44 est la suivante : CO28Fe52B20 ou C040Fe40B20 ou Co43Fe43B14- 3050068 11 [0063] L'épaisseur de la sous-couche 44 est supérieure à 0,05 nm ou 0,1 nm et, de préférence, supérieure à 0,5 nm. De préférence, l'épaisseur maximale de la sous-couche 44 est inférieure à 10 nm et, avantageusement, inférieure à 5 nm ou 2 nm. [0064] Dans ce mode de réalisation, la sous-couche 44 est située au plus proche de 5 la couche 40. Dans ce cas, on dit que la sous-couche 44 est située à l'interface entre les couches 40 et 42 du motif 34. Ici la sous-couche 44 est directement déposée sur la couche 40. [0065] La sous-couche 46 est, par exemple, réalisée dans un matériau ferromagnétique choisi dans le groupe composé du cobalt, du nickel, du fer et de 10 leurs alliages. Par exemple, le matériau ferromagnétique est souvent du CoFe ou NiFe. Ici, la sous-couche 46 est réalisée en CoFe. La composition de la sous-couche 46 est notée CoaFeb. Les pourcentages a, b de Cobalt et de Fer dans la sous-couche 46 sont différents des pourcentages x, y de ces mêmes éléments dans sous-couche 44. Par exemple, la sous-couche 46 est réalisée en Co35Fe65 ou en CosoFe20. 15 [0066] L'épaisseur e46 de la sous-couche 46 est strictement supérieure à l'épaisseur e44 de la sous-couche 44. Typiquement, l'épaisseur e46 est au moins deux ou cinq ou dix ou vingt fois supérieure à l'épaisseur e44. [0067] Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 3, le premier motif 341 est directement déposé sur une couche 50 de germination ou « seed layer » en anglais. 20 La couche 50 peut être, par exemple, une couche en matériau non-magnétique utilisée pour faciliter le dépôt, par exemple par croissance par épitaxie, de la couche 40. La couche 50 est par exemple une couche de Ruthénium de 3 nm d'épaisseur. Ici, la couche 50 est elle-même directement déposée sur une couche d'accroche 52 ou « Buffer layer » en anglais. La couche 52 est par exemple une couche de Tantale 25 de 5 nm d'épaisseur. La couche 52 est directement déposée sur le socle 30. D'autres variantes sont bien sûr possibles et notamment une unique couche servant à la fois de seed layer et de Buffer layer. [0068] La figure 4 représente un procédé de fabrication de l'aimant permanent 20. Plus précisément, lors d'une étape 70, les différentes couches décrites en référence à 30 la figure 3 sont déposées les unes sur les autres. Pour cela, on utilise des méthodes connues dans le domaine des microtechnologies et de la réalisation des puces électroniques. Lors de l'étape 70, aucune mise en forme particulière n'est donnée à cet empilement de couches. Cet empilement recouvre au moins les emplacements où doivent être réalisés les aimants 20 à 22. 35 [0069] Lors d'une étape 72, cet empilement est structuré pour ne laisser subsister que des empilements en forme de barreau aux emplacements où les aimants 20 à 22 doivent être réalisés. Ainsi, à l'issue de cette étape, il ne subsiste que des barreaux ayant les facteurs de forme requis, c'est-à-dire généralement supérieur à 2, 10 ou 100. 3050068 12 [0070] Ensuite, lors d'une étape 74, les barreaux sont chauffés pour que la température des couches antiferromagnétiques dépasse leur température de mise en ordre. Ce recuit est effectué sous champ magnétique saturant comme décrit par exemple dans la demande US 2011/0151589. 5 [0071] Ensuite comme décrit par exemple dans la demande US 2011/0151589, lors d'une étape 78, les barreaux sont refroidis sous un champ plus faible jusqu'à ce que les couplages d'échange entre les couches ferromagnétiques et antiferromagnétiques apparaissent et piègent les directions d'aimantation de chaque couche ferromagnétique. On obtient alors les aimants permanents 20 à 22. 10 [0072] Pour les autres étapes de fabrication du capteur 10, le lecteur peut se référer aux demandes de brevet précédemment citées dans l'introduction. [0073] Différents expériences ont été réalisées pour montrer l'intérêt d'introduire la sous-couche 44 au sein de la couche ferromagnétique 42. Le tableau ci-dessous résume les résultats expérimentaux obtenus. N° BR (nWb) Hex (Oe) Hc (Oe) Hex/Hc Hex-Hc « squareness » H* (Oe) aimant 1 22,52 156,7 34,21 4,58 122,49 0,9524 94,9 2 22,48 145,9 50,62 2,88 95,28 0,945 78 3 18,81 160,4 22,56 7,10 137,84 0,975 108,7 4 17,77 149,2 24,46 6,09 124,74 0,964 91,4 5 17,69 211 43,17 4,88 167,83 0,934 127 6 17,38 202,9 65,74 3,08 137,16 0,932 107 15 [0074] Dans le tableau ci-dessus, la première colonne comporte le numéro de l'aimant sur lequel les mesures ont été réalisées. Ici, chaque aimant a été réalisé en mettant en oeuvre le procédé de la figure 4 à l'exception de l'étape 72. Ainsi, les aimants testés ne sont pas structurés et ne s'allongent donc pas dans une direction particulière. Pour simplifier les mesures expérimentales, chaque aimant permanent 20 comporte seulement deux motifs 34. [0075] Ci-dessous, pour chaque numéro d'aimant, on donne la composition de chaque couche/sous-couche en partant de la couche 52 et en allant jusqu'à la couche 38. Dans les lignes ci-dessous, la composition d'une couche est séparée de la composition des couches immédiatement précédente et suivante dans l'empilement 25 par le symbole « / ». Le chiffre, qui est séparé de la composition de la couche par un espace, exprime l'épaisseur de cette couche en nanomètre. Aimant N°1 : Ta 5/ Ru 3/ Ir2oMn80 10/ Co43Fe43B14 1/ Fe65Co35 19/ Ir2oMn80 10/ Co43Fe43B14 1/ Fe65Co35 19/ Ir2oMn80 10/ Ta 10. Aimant N°2 : Ta 5/ Ru 3/ Ir2oMn80 10/ Fe65Co35 20/ Ir2oMn80 10/ Fe65Co35 20/ Ir2oMn80 10/ 30 Ta 10. Aimant N°3 : Ta 5/ Ru 3/ Ir2oMn80 10/ Co43Fe43B14 1/ CosoFe20 19/ Ir20M n80 10/ 3050068 13 Co43Fe43B14 1/ Fe65Co35 19/ Ir2oMn80 10/ Ta 10. Aimant N°4 : Ta 5/ Ru 3/ Ir2oMn80 10/ Fe65Co35 20/ Ir20Mn80 10/ 0080 Fe20 20/ Ir2oMnso 10/ Ta 10. Aimant N°5 : Ta 5/ Ru 3/ Ir20Mn80 7/ Co43Fe43B14 0,5/ Fe65Co35 15/ Ir2oMn80 7/ 5 Co43Fe43B14 0,5/ Fe65Co35 15/ Ir2oMn80 7/ Ta 10. Aimant N°6 : Ta 5/ Ru 3/ Ir2oMn80 7/ Fe65Co35 15/ Ir2oMn80 7/ Fe65Co35 15/ Ir2oMn80 7/ Ta 10. [0076] Le champ BR du tableau correspond au flux magnétique mesuré en champ nul. Il est exprimé en nano-Weber (nWb). On rappelle que 1 Wb = 1 T.m2. Les 10 champs Hex, H, et H* du tableau sont exprimés en Oersted (Oe). On rappelle que 1 Oe = 1000/(4n) A.m-1. On rappelle également que H* correspond au champ magnétique pour lequel l'hystérésis est inférieure à 2% de la valeur de BR. La colonne « Squareness » contient une valeur qui est d'autant plus élevé que le cycle d'hystérésis de l'aimant est proche d'un rectangle. Cette valeur est calculée à l'aide 15 de la formule suivante : Squareness = (1 - (BR / (SlopeAtH,* Ha))), où SlopeAtH, est la pente de la courbe de l'aimantation B en fonction du champ H au niveau du point d'abscisse Hex - H,. [0077] Les différentes mesures indiquées dans le tableau ont été obtenues à l'aide d'un appareil de mesure connu sous le terme de « BH-Looper ». Ici, il s'agit de 20 l'appareil MESA-200 commercialisé par la société SHB instruments. [0078] Comme le montre les mesurent indiquées dans le tableau, à quantité de matériaux ferromagnétique et antiferromagnétique identique, l'introduction de la sous-couche 44 dans la couche ferromagnétique 42 permet d'éloigner le champ H* de l'axe des ordonnées par rapport à un aimant identique mais dépourvu de la sous-couche 25 44. De plus, la présence de la sous-couche 44 permet aussi d'accroître le ratio Hex/Hc. Ainsi, l'aimant permanent 20 présente une insensibilité accrue aux perturbations magnétiques extérieures car le champ H* s'éloigne de l'axe des ordonnées, ce qui améliore la dynamique du capteur incorporant cet aimant permanent car le cycle d'hystérésis de l'aimant est plus carré. 30 [0079] Enfin, augmenter le ratio Hex/Hc est également utile pour fabriquer l'aimant 20 avec la forme d'un barreau longiligne. En effet, il est connu que la mise en forme de l'aimant permanent sous la forme d'un barreau longiligne ayant un facteur de forme important augmente la valeur du champ H, alors que le champ Hex reste constant. Ainsi, si avant une mise en forme le ratio Hex/Hc n'est pas assez important, après mise 35 en forme, le champ H* est très proche de zéro ou supérieur à zéro de sorte que ce barreau aimanté est alors très sensible aux perturbations magnétiques extérieures. [0080] La figure 5 représente un motif 82 apte à remplacer le motif 34 dans l'aimant 20. Le motif 82 est identique au motif 34 sauf que la couche ferromagnétique 42 est remplacée par une couche ferromagnétique 84. La couche 84 est identique à la 3050068 14 couche 42 sauf qu'elle est réalisée par l'empilement l'une sur l'autre de trois sous-couches. Plus précisément, elle comporte, directement empilées les unes sur les autres dans la direction Z : - une sous-couche ferromagnétique 86, 5 - une sous-couche 88 en CoFeB, et - une sous-couche ferromagnétique 90. [0081] Les sous-couches ferromagnétiques 86, 90 sont réalisées dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB. Par exemple, elles sont réalisées dans le même matériau ferromagnétique que celui décrit pour la sous-couche 46. Ici, l'épaisseur de 10 la sous-couche 90 est de préférence supérieure à 5 nm pour isoler la sous-couche 88 de l'interface entre la couche 84 et la couche antiferromagnétique déposée sur cette couche 84. Cela facilite la fabrication de l'empilement des motifs 82. [0082] A part sa position au sein de la couche 84, la sous-couche 88 est par exemple identique à la sous-couche 44. 15 [0083] De nombreux autres modes de réalisation sont possibles. Par exemple, la couche ferromagnétique peut comporter plusieurs sous-couches 44, 88. Par exemple, la couche ferromagnétique comporte deux ou trois ou quatre exemplaires de la sous-couche 44 ou 88 disposés à l'intérieur de la même couche ferromagnétique. Chaque exemplaire de la sous-couche 44 ou 88 est alors séparé de l'exemplaire suivant de 20 cette sous-couche 44 ou 88 par une sous-couche 46, 86 ou 90. L'un des exemplaires des sous-couches 44 ou 88 peut être situé à l'interface entre cette couche ferromagnétique et la couche antiferromagnétique située juste au-dessus ou juste en-dessous. [0084] Les couches ferromagnétiques ne sont pas nécessairement formées chacune 25 par un seul bloc homogène de matériau ferromagnétique. Par exemple, chaque couche ferromagnétique peut aussi être laminée comme décrit dans la demande de brevet FR 2 892 871 dans le passage page 13, lignes 5 à 9. [0085] Les sous-couches ferromagnétiques 86 et 90 ne sont pas nécessairement réalisées dans le même matériau ferromagnétique. Par exemple, une de ces sous-30 couches est réalisée en CoFe et l'autre en NiFe. [0086] La couche antiferromagnétique 40 peut elle aussi être formée d'un empilement de plusieurs sous-couches antiferromagnétiques. Par exemple, la couche antiferromagnétique est formée d'une sous-couche en IrMn directement déposée sur une sous-couche en PtMn. 35 [0087] La couche antiferromagnétique 36 déposée sur la couche ferromagnétique du dernier motif de l'empilement peut être omise. Dans ce cas, de préférence, l'épaisseur de la couche 42 de ce dernier motif est réduite par rapport à l'épaisseur de la couche 42 des autres motifs du même empilement. 3050068 15 [0088] Il est également possible de combiner, dans un même empilement, des motifs différents. Par exemple, il est possible de construire un empilement en alternant les motifs 34 et 82. [0089] Le matériau ferromagnétique utilisé pour former la sous-couche 5 ferromagnétique 46, 86 ou 90 peut être différent d'un motif à l'autre dans l'empilement. Par exemple, dans l'un des motifs de l'empilement, ce matériau ferromagnétique est le CoFe et dans un autre de ces motifs, ce matériau est le NiFe. [0090] De façon similaire, le matériau antiferromagnétique utilisé pour former la couche 40 d'un motif peut être différent d'un motif à l'autre. Par exemple, dans un 10 motif, ce matériau antiferromagnétique est de l'IrMn et dans un autre motif, il s'agit du PtMn [0091] La couche d'accroche 52 peut être omise. [0092] L'ordre des couches antiferromagnétique et ferromagnétique à l'intérieur des motifs peut être inversé. Dans ce cas, la couche ferromagnétique est située sous la 15 couche antiferromagnétique. [0093] L'empilement n'a pas nécessairement une forme parallélépipédique. Par exemple, la section de l'empilement parallèlement aux directions X, Y est une ellipse ou un ovale. Dans ces derniers cas, le facteur de forme de l'aimant permanent est défini comme étant le rapport de la longueur sur la largeur du parallélépipède de plus 20 petit volume contenant entièrement l'empilement. [0094] En variante, le facteur de forme de l'empilement n'est pas nécessairement supérieur ou égal à deux. Par exemple, il peut être égal à un. [0095] Dans un mode de réalisation simplifié, la sous-couche 44 ou 88 est uniquement introduite dans une partie seulement des motifs de l'empilement. Ainsi, 25 au moins un motif, et de préférence au moins 40 % ou 50 % ou 80 % des motifs de cet empilement, comportent cette sous-couche 44 ou 88. REVENDICATIONS1. Aimant permanent comprenant un empilement de N motifs (34 ; 82) empilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, où N est un 5 nombre entier supérieur ou égal à deux, chaque motif comportant : - une couche antiferromagnétique (40) réalisée en matériau antiferromagnétique, - une couche ferromagnétique (42; 84) réalisée en matériau ferromagnétique, la direction d'aimantation de la couche ferromagnétique étant figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique de ce motif, et la direction 10 d'aimantation de la couche ferromagnétique de N-1 motifs étant également figée par un couplage d'échange avec la couche antiferromagnétique d'un motif immédiatement adjacent dans l'empilement, les directions d'aimantation des différentes couches ferromagnétiques de tous les motifs étant toutes identiques les unes aux autres, 15 caractérisé en ce qu'au moins une couche ferromagnétique (42; 84) comporte : - une première sous-couche (44 ; 88) réalisée en CoFeB dont l'épaisseur est supérieure à 0,05 nm, et - une deuxième sous-couche (46 ; 86, 90) réalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB et dont l'épaisseur est supérieure à l'épaisseur de la première 20 sous-couche. 2. Aimant selon la revendication 1, dans lequel la première sous-couche (44 ; 88) est disposée à une distance supérieure ou égale à 5 nm de l'interface entre la couche ferromagnétique (46 ; 90) du motif et la couche antiferromagnétique du motif suivant 25 dans la direction d'empilement, de sorte qu'aucune sous-couche réalisée en CoFeB se trouve à moins de 5 nm de la couche antiferromagnétique du motif suivant. 3. Aimant selon la revendication 2, dans lequel la première sous-couche (44) est directement déposée sur la couche antiferromagnétique du motif. 4. Aimant selon l'une quelconque des revendications 2 à 3, dans lequel la couche ferromagnétique (84) comporte une troisième sous-couche (86, 90) réalisée dans un matériau ferromagnétique différent du CoFeB et la première sous-couche (88) est située entre ces deuxième et troisième sous-couches (86, 90). 5. Aimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la couche ferromagnétique (42 ; 82) de chaque motif comporte un exemplaire de la première sous-couche. 30 35 3050068 17 6. Aimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'épaisseur de la première sous-couche (44 ; 88) est inférieure à 5 nm. 7. Aimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel N est un nombre entier supérieur ou égal à cinq ou dix. 8. Aimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la première sous-couche (44 ; 88) comporte entre 10 % et 30% en masse de Bore. 10 9. Aimant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'aimant (20) présente un facteur de forme supérieur ou égal à deux, le facteur de forme étant défini comme le rapport de la longueur sur la largeur du parallélépipède de plus petit volume contenant entièrement l'empilement et la direction d'aimantation 15 de chaque couche ferromagnétique de l'aimant permanent est parallèle à la longueur de ce parallélépipède. 10. Capteur de champ magnétique comportant : - un substrat (12) s'étendant essentiellement dans un plan appelé « plan du 20 substrat », - au moins un aimant (20-22) permanent déplaçable par rapport au substrat en réponse à une variation de l'amplitude ou de la direction d'un champ magnétique à mesurer, - un transducteur (24-25) fixé sur le substrat, apte à convertir un déplacement de 25 l'aimant permanent en une grandeur électrique représentative de l'amplitude ou de la direction du champ magnétique à mesurer, caractérisé en ce que l'aimant permanent est conforme à l'une quelconque des revendications précédentes. 30 11. Procédé de fabrication d'un aimant permanent conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 9, ce procédé comportant : a) la formation (70) d'un empilement comportant N motifs empilés immédiatement les uns sur les autres dans une direction d'empilement, chaque motif comportant : - une couche antiferromagnétique réalisée en matériau antiferromagnétique, et 35 - une couche ferromagnétique réalisée en matériau ferromagnétique, b) le chauffage (74) de l'empilement de manière à atteindre une température supérieure à une température de mise en ordre du matériau des couches 3050068 18 magnétiques de l'empilement, c) lorsque la température est supérieure à la température de mise en ordre, l'application (74) d'un premier champ magnétique pour aligner la direction d'aimantation des couches ferromagnétiques sur une direction souhaitée 5 prédéterminée, d) le refroidissement (78) de l'empilement en présence d'un deuxième champ magnétique inférieur au premier champ magnétique pour faire apparaître un couplage d'échange entre la couche ferromagnétique et la couche antiferromagnétique de chaque motif de l'empilement, caractérisé à ce que l'étape a) comporte la formation, dans au moins une couche ferromagnétique : - d'une première sous-couche réalisée en CoFeB dont l'épaisseur est supérieure à 0,05 nm, et - d'une deuxième sous-couche réalisée dans un matériau ferromagnétique différent 15 du CoFeB, dont l'épaisseur est supérieure à l'épaisseur de la première sous-couche.