FR 3061626 A1 20180706 FR 1663513 A 20161229 'B15574 - DD17530 MR 1 MODULE DE COMMUTATION TRIPHASE Domaine La présente description concerne de façon générale les systèmes électroniques de conversion d'énergie et plus particulièrement, la réalisation d'un onduleur de courant triphasé. La présente description concerne plus précisément l'architecture d'un convertisseur statique de puissance destiné à des applications de type onduleur (CC-CA). Exposé de l'art antérieur Un convertisseur statique de puissance continu CC - alternatif CA (onduleur) triphasé à deux niveaux est généralement basé sur deux ensembles de trois (ou trois ensembles de deux) interrupteurs électroniques, typiquement des transistors MOS de puissance (MOSFET) associés à des diodes. On distingue les onduleurs de tension dans lesquels les transistors sont directement en série deux à deux et chaque transistor est équipé d'une diode en antiparallèle, et les onduleurs de courant dans lesquels chaque transistor est en série avec une diode pour constituer un interrupteur bidirectionnel en tension et unidirectionnel en courant. La présente description vise plus particulièrement les onduleurs de courant. Dans des applications de puissance, les transistors et les diodes sont généralement réalisés individuellement sous la 3061626 B15574 - DD17530MR 2 forme de composants discrets ou puces nues. Chaque interrupteur à commutation commandée (transistor) ou à commutation spontanée (diode) est réalisé sous la forme d'une puce individuelle à base de matériaux semiconducteurs et les différentes puces sont ensuite 5 montées sur un substrat (circuit imprimé ou Printed Circuit Board - PCB, cuivre à soudure directe ou Direct Bond Copper - DBC métallique, substrat métallique isolé ou Insulated Metal Substrate - IMS, etc.) puis électriquement connectées pour réaliser la fonction d'onduleur de courant triphasé. 10 Il existe un besoin d'améliorer les onduleurs de courant triphasé et en particulier leur architecture spatiale. Résumé Un mode de réalisation pallie tout ou partie des inconvénients des onduleurs de courant triphasé. 15 Un mode de réalisation propose une solution permettant d'homogénéiser les contraintes de fonctionnement entre les différents interrupteurs d'un onduleur de courant triphasé. Un mode de réalisation propose une solution particulièrement adaptée à la réalisation d'un onduleur de 20 courant. Ainsi, un mode de réalisation prévoit un module de commutation triphasé incluant trois cellules de commutation identiques, comportant chacune un premier interrupteur et un deuxième interrupteur électriquement en série, comportant un substrat dont : un premier niveau reçoit, sur des zones conductrices, des faces arrières de circuits intégrés formant lesdits interrupteurs et ; au moins un deuxième niveau comporte des zones 30 conductrices d'interconnexion de vias entres les premiers et deuxième niveaux, les zones conductrices des différents niveaux respectant une symétrie de révolution d'ordre 3. Selon un mode de réalisation, le premier niveau 35 comporte : 3061626 B15574 - DD17530MR 3 trois premières zones conductrices de réception d'une borne de conduction arrière d'au moins un premier interrupteur de chaque cellule ; et trois deuxièmes zones conductrices de réception de fils 5 de raccordement à une borne de conduction avant dudit premier interrupteur. Selon un mode de réalisation, le deuxième niveau comporte : trois premières zones conductrices respectivement à 10 l'aplomb des premiers interrupteurs ; et au moins une deuxième zone conductrice à l'aplomb des deuxièmes interrupteurs. Selon un mode de réalisation, le premier niveau comporte en outre : 15 une troisième zone conductrice centrale de réception d'une borne de conduction arrière des deuxièmes interrupteurs des trois cellules ; et trois quatrièmes zones conductrices de réception de fils de raccordement à une borne de conduction arrière desdits 20 deuxièmes interrupteurs. Selon un mode de réalisation, le deuxième niveau comporte en outre trois troisièmes zones conductrices, chacune reliée par des vias à une deuxième et à une quatrième zone conductrice du premier niveau. 25 Selon un mode de réalisation, ladite troisième zone conductrice du premier niveau à une forme de Y, chaque branche recevant un desdits deuxièmes interrupteurs. Selon un mode de réalisation, le module s'inscrit dans une forme triangulaire. Selon un mode de réalisation, un troisième niveau du substrat, entre les premier et deuxième niveaux, comporte : des premières zones conductrices à l'aplomb de chaque premier interrupteur ; et une deuxième zone conductrice s'étendant sous les trois 35 deuxièmes interrupteurs. 3061626 B15574 - DD17530MR 4 Selon un mode de réalisation, un quatrième niveau du substrat entre les deuxième et troisième niveaux, comporte : des premières zones conductrices à l'aplomb de chaque premier interrupteur ; et 5 une deuxième zone conductrice s'étendant sous les trois deuxièmes interrupteurs. Selon un mode de réalisation, les premières zones conductrices du premier niveau reçoivent des bornes de conduction respectives des deuxièmes interrupteurs, le premier niveau 10 comportant en outre trois troisièmes zones conductrices de réception de fils de raccordement à des bornes de conduction avant respectives des deuxièmes interrupteurs. Selon un mode de réalisation, les deuxièmes zones conductrices du premier niveau sont chacune reliée, par des vias, 15 à une desdites premières zones conductrices du deuxième niveau. Selon un mode de réalisation, lesdites premières zones conductrices du deuxième niveau décrivent un anneau hexagonal. Selon un mode de réalisation, le module s'inscrit dans une forme hexagonale. 20 Selon un mode de réalisation, lesdits interrupteurs sont des transistors. Selon un mode de réalisation, le substrat est un substrat métallique isolé, multiniveaux, de préférence sur céramique. 25 Selon un mode de réalisation, le substrat est un circuit imprimé multiniveaux. Un mode de réalisation prévoit un onduleur de courant triphasé, comportant deux modules. Selon un mode de réalisation, les cellules des deux 30 modules sont électriquement connectées deux à deux, les noeuds d'interconnexion définissant trois bornes de phase. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de 3061626 B15574 - DD17530MR 5 réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 est une représentation schématique et sous forme de blocs d'un onduleur triphasé du type auquel s'appliquent 5 les modes de réalisation décrits ; la figure 2 représente un schéma électrique d'un onduleur de courant triphasé ; la figure 3 est une représentation schématique d'une architecture usuelle d'un module de commutation d'un onduleur de 10 courant triphasé ; la figure 4A représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un premier module d'onduleur de courant triphasé dans un premier niveau d'un substrat métallique isolé ; la figure 4B représente de façon très schématique un 15 mode de réalisation d'un deuxième niveau du substrat métallique isolé du premier module de la figure 4A ; la figure 4C représente de façon très schématique les deux niveaux superposés, c'est-à-dire le module terminé ; la figure aA représente, de façon très schématique, un 20 mode de réalisation d'un deuxième module d'onduleur de courant triphasé dans un premier niveau d'un substrat métallique isolé ; la figure 5B représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un deuxième niveau du substrat métallique isolé du deuxième module de la figure aA ; 25 la figure 5C représente, de façon très schématique, les deux niveaux superposés, c'est-à-dire le module terminé ; la figure 6A représente, de façon très schématique, un autre mode de réalisation d'un premier niveau de substrat métallique isolé dans lequel est réalisé un module d'onduleur de 30 courant triphasé ; la figure 6B représente, de façon très schématique, un autre mode de réalisation d'un deuxième niveau de substrat métallique isolé dans lequel est réalisé un module d'onduleur de courant triphasé selon la figure 6A ; 3061626 B15574 - DD17530MR 6 la figure 7 représente le schéma électrique d'un module dans lequel chaque cellule est formée de deux transistors MOS en série ; la figure 8A représente, de façon très schématique, un 5 mode de réalisation d'un premier niveau d'un substrat métallique isolé quadri-niveau dans lequel est réalisé un module d'onduleur de courant triphasé ; la figure 8B représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un troisième niveau du substrat métallique 10 isolé quadri-niveau dans lequel est réalisé un module d'onduleur de courant triphasé selon la figure 8A. ; la figure 8C représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un quatrième niveau du substrat métallique isolé quadri-niveau dans lequel est réalisé un module d'onduleur 15 de courant triphasé selon la figure 8A. ; et la figure 8D représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un deuxième niveau du substrat métallique isolé quadri-niveau dans lequel est réalisé un module d'onduleur de courant triphasé selon la figure 8A. 20 Description détaillée Par souci de clarté, seuls les éléments qui sont utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et seront détaillés. En particulier, la commande d'un convertisseur de puissance basé sur les onduleurs triphasés 25 décrits n'a pas été détaillée, les modes de réalisation décrits étant compatibles avec les procédés industriels de fabrication et circuits de commande usuels. De plus, la constitution et réalisation des circuits en amont et en aval des onduleurs triphasés décrits n'ont pas non plus été détaillées, les modes de 30 réalisation décrits étant compatibles avec les applications usuelles de tels onduleurs triphasés. Il est à noter que, sur les figures, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Sauf précision 3061626 B15574 - DD17530MR 7 contraire, les expressions "approximativement", "sensiblement" et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près, ou à 10° près, de préférence à 5° près. La figure 1 est une représentation schématique et sous 5 forme de blocs d'un onduleur triphasé du type auquel s'appliquent les modes de réalisation décrits. La fonction d'un onduleur triphasé 1 est de convertir un courant continu Idc circulant entre deux bornes 11 et 12 d'entrée en un courant alternatif triphasée Iac sur des bornes de 10 sortie 15, 16, 17 et 19. Les bornes 15, 16 et 17 représentent les bornes des différentes phases et la borne 19 représente la borne de neutre optionnelle. La figure 2 représente un schéma électrique d'un onduleur de courant triphasé. 15 L'onduleur 1 comporte deux modules de commutation 2h et 21 de structures internes similaires. Chaque module 2 comporte trois cellules de commutation, impliquant de manière cyclique deux des trois interrupteurs, respectivement 3h-1, 3h-2, 3h-3 et 31-1, 31-2, 31-3 identiques et chacune constituée d'un transistor MOS 20 (à canal N) respectivement Mh-1, Mh-2, Mh-3, Ml-1, Ml-2, Ml-3 en série avec une diode, respectivement Dh-1, Dh-2, Dh-3, Dl-1, Dl-2, Dl-3. Les drains des transistors Mh-1, Mh-2 et Mh-3 sont interconnectés à la borne 11 d'application d'un premier potentiel de la source de courant Idc. Les sources des transistors Mh-1, 25 Mh-2 et Mh-3 sont respectivement connectées aux anodes des diodes Dh-1, Dh-2 et Dh-3, dont les cathodes sont connectées respectivement aux bornes 15, 16 et 17 des trois phases de tension alternative. Les drains des transistors Ml-1, Ml-2, Ml-3 sont respectivement connectés aux bornes 15, 16 et 17. Les sources des 30 transistors Ml-1, Ml-2 et Ml-3 sont respectivement connectées aux anodes des diodes Dl-1, Dl-2 et Dl-3, dont les cathodes sont interconnectées à la borne 12 d'application d'un deuxième potentiel de la source de courant Idc. Les grilles des transistors Mh-1, Mh-2, Mh-3, Ml-1, 35 Ml-2, Ml-3 sont individuellement connectées à un circuit de 3061626 B15574 - DD17530MR 8 commande 4 (CTRL) chargé d'organiser la commutation des différentes cellules pour générer un courant alternatif Iac triphasé. Dans un onduleur de courant, la circulation du courant s'effectue successivement dans chacune des cellules de commutation 5 (par exemple 3h-1/3h-2, 3h-1/3h-3, 3h-2/3h-3) d'un premier module conjointement à chacune des cellules de commutation (par exemple 31-1/31-2, 31-1/31-3, 31-2/31-3) de l'autre module. On obtient ainsi les 9 combinaisons permettant de générer le courant alternatif triphasé avec les déphasages appropriés. La commande 10 d'un tel onduleur de courant est usuelle. Dans la présente description, on identifie par la lettre « h » ou « 1 » complétant une même référence numérique le module haut ou bas de l'onduleur de courant triphasé auquel appartient l'élément identifié par la référence numérique. Par ailleurs, on 15 complète les références par « -1 », « -2 » ou « -3 » pour identifier la branche de commutation (représentant la phase de la tension alternative) à laquelle appartient l'élément identifié par la référence numérique. Ces compléments de référence pourront être omis lorsqu'une distinction n'a pas besoin d'être faite pour 20 les besoins de l'exposé. La figure 3 est une représentation schématique d'une architecture usuelle d'un module de commutation d'un onduleur de courant triphasé. Dans les applications de puissance visées par la 25 présente description, les transistors et diodes sont réalisées sous la forme de composants verticaux en matériaux semiconducteurs montés sur un plan (substrat métallique ou de circuit imprimé) 51. Dans l'exemple de la figure 3, on considère un module 30 haut 2h, dont les diodes et transistors sont inversées par rapport à la figure 2. Ce sont donc les anodes des diodes Dh-1, Dh-2, Dh-3 qui sont interconnectées à la borne 11. Les trois diodes Dh-1, Dh-2 et Dh-3 sont réalisées individuellement sur des substrats de type P et les cathodes sont réalisées par des régions de type N 35 dans ces substrats. Les électrodes d'anode, généralement réalisées 3061626 B15574 - DD17530MR 9 sous la forme d'une métallisation face arrière des puces formant les diodes Dh-1, Dh-2, Dh-3, sont rapportées sur une zone conductrice 53 (typiquement un plan conducteur métallique) d'un substrat 51, dans cet exemple un substrat métallique isolé. Une 5 métallisation définissant la borne 11 est raccordée au plan 53 par un ou plusieurs fils 55. Les transistors Mh-1, Mh-2 et Mh-3 sont également réalisés individuellement sous forme de puces 56-1, 56-2 et 56-3. L'électrode de drain de chaque transistor, généralement réalisée sous la forme d'une métallisation en face 10 arrière de la puce, est rapportée sur une zone conductrice 58-1, 58-2 et 58-3 respectivement du substrat métallique isolé 51. Les électrodes de cathode correspondant à des métallisations face avant 52-1, 52-2 et 52-3 des puces formant les diodes Dh-1, Dh-2 et Dh-3 sont respectivement électriquement connectées aux zones 15 58-1, 58-2 et 58-3 par un ou plusieurs fils 57-1, 57-2, 57-3. L'électrode de source de chaque transistor Mh-1, Mh-2, Mh-3 correspond à un contact métallique face avant, respectivement 59-1, 59-2, 59-3, connecté par un ou plusieurs fils 60-1, 60-2, 60-3 à un contact du substrat métallique isolé, définissant une 20 borne, respectivement 15, 16, 17. Les grilles des transistors Mh-1, Mh-2 et Mh-3 sont reprises en face avant des puces par des contacts 62-1, 62-2 et 62-3, connectés individuellement par un ou plusieurs fils 63-1, 63-2, 63-3, à des contacts respectifs du substrat métallique isolé 51, définissant des bornes 64-1, 64-2, 25 64-3 destinées à être raccordées au circuit de commande 4 (figure 2). Une architecture telle qu'illustrée en figure 3 dans laquelle les puces sont juxtaposées engendre des contraintes de fonctionnement, thermiques et électriques, différentes selon les 30 phases de fonctionnement, ce qui nuit à sa fiabilité. Par ailleurs, on assiste à un déséquilibre entre les différentes mailles de conduction, ce qui nuit également au fonctionnement. Les modes de réalisation qui vont être décrits partent 35 d'une nouvelle analyse basée sur l'architecture ou la disposition 3061626 B15574 - DD17530MR 10 des différentes cellules de commutation sur un substrat à zones métalliques, par exemple un substrat métallique isolé. On prévoit notamment de rendre les contraintes électriques et thermiques subies par les différentes puces du 5 convertisseur, identiques quelle que soit la phase. Ainsi, on homogénéise le vieillissement, ce qui accroit la fiabilité des onduleurs de courant. Plus particulièrement, on prévoit d'utiliser un substrat métallique isolé multicouches (au moins deux) et de disposer les 10 éléments constitutifs de chaque cellule de commutation avec, dans le plan, une symétrie de révolution d'ordre 3 par rapport au centre de la structure. Plus précisément, les trois cellules d'un module sont disposées dans des branches d'une structure en étoile ou en Y sur un premier niveau (dit arbitrairement supérieur) du 15 substrat métallique isolé dans lequel sont définies des zones métallisées et des interconnexions sont effectuées dans au moins un deuxième niveau du substrat métallique isolé dans lequel sont également définies des zones métallisées, la liaison entre des zones métallisées d'un niveau à un autre étant effectuée par des 20 vias conducteurs. Pour simplifier la représentation des figures et l'exposé qui suit, seules les zones métallisées des différents niveaux des substrats métalliques isolés ont été représentés. Ces zones sont bien entendu portées par un support isolant et les 25 différents niveaux sont séparés par des niveaux isolants. La figure 4A représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un premier module 2h d'un onduleur de courant triphasé dans un premier niveau d'un substrat métallique isolé. 30 La figure 4B représente de façon très schématique un mode de réalisation d'un deuxième niveau du substrat métallique isolé du premier module de la figure 4A. La figure 4C représente de façon très schématique les deux niveaux superposés, c'est-à-dire le module 2h terminé. 3061626 B15574 - DD17530MR 11 Dans l'exemple des figures 4A à 4C, les diodes des cellules sont disposées au départ des branches du Y (vers le centre) et les transistors sont disposées vers les extrémités libres des branches du Y. Par ailleurs, on suppose un schéma 5 électrique dans lequel les positions respectives des diodes et transistors sont inversées par rapport au schéma électrique de la figure 2. En d'autres termes, dans le module haut 2h, les anodes des diodes sont interconnectées à la borne 11 et les sources des transistors sont connectées aux bornes respectives 15, 16 et 17. 10 Comme précédemment, les diodes et transistors sont réalisés individuellement sous forme de puces discrètes de composants verticaux en matériaux semiconducteurs. Dans le premier niveau (figure 4A), on réalise des premières zones conductrices 71h-1, 71h-2, 71h-3 de forme 15 approximativement rectangulaire de réception de bornes de conduction arrière (par exemple les drains) des transistors Mh-1, Mh-2, Mh-3 (correspondant à des métallisations face arrière des puces formant ces transistors) et des bornes de conduction arrière (par exemple les cathodes) de chaque puce 56h-1, 56h-2, 56h-3, 20 formant les diodes respectives Dh-1, Dh-2, Dh-3. Des deuxièmes zones conductrices 72h-1, 72h-2, 72h-3 sont réalisées aux extrémités externes respectives des premières zones 71. Les zones 72 sont destinées à recevoir chacune un ou plusieurs fils 57h-1, 57h-2, 57h-3 de raccordement des bornes de 25 conduction avant (par exemple les sources) des transistors Mh-1, Mh-2 et Mh-3 (correspondant à des métallisations face avant des puces formant ces transistors). Les zones 72 sont connectées, par des vias 73h-1, 73h-2, 73h-3 à des premières zones 81h-1, 81h-2, 81h-3 (figure 4B) du deuxième niveau du substrat métallique isolé. 30 Des troisièmes zones conductrices 74h-1, 74h-2, 74h-3 sont réalisées dans la région centrale à proximité des puces des diodes respectives Dh-1, Dh-2, Dh-3. Ces zones 74 sont destinées à recevoir chacune un ou plusieurs fils 60h-1, 60h-2, 60h-3 de raccordement des bornes de conduction avant (par exemple les 35 anodes) des diodes Dh-1, Dh-2, Dh-3. Ces anodes sont destinées à 3061626 B15574 - DD17530MR 12 être interconnectés (à la borne 11). Pour cela, les zones 74 sont connectées, par des vias 75h-1, 75h-2, 75h-3 à une deuxième zone 82-h centrale (figure 4B) du deuxième niveau du substrat métallique isolé. 5 Les contacts de grilles 62h-1, 62h-2 et 62-3 des transistors Mh-1, Mh-2, Mh-3 sont accessibles pour un raccordement, par exemple par fils à des circuits de commande qui, comme on le verra par la suite, sont de préférence placés à proximité. 10 Dans le deuxième niveau (figure 4B), la réalisation des zones 81h et 82h dépend des positions respectives de zones du premier niveau. Toutefois, comme pour les zones conductrices du premier niveau, les zones conductrices du deuxième niveau respectent, dans le plan, une symétrie de révolution d'ordre 3 15 par rapport au centre de la structure. En d'autres termes, l'ensemble de la structure présente sensiblement une symétrie de révolution de 120°. Dans l'exemple de la figure 4B, le deuxième niveau décrit un hexagone. Les zones 81 correspondent à trois zones 20 81h-1, 81h-2, 81h-3 métallisées identiques, ayant chacune la forme d'une portion d'une bande annulaire hexagonale, chaque zone étant séparée de ses deux zones voisines. La zone centrale 82h a une forme, ici approximativement en étoile, à l'aplomb des trois zones 74h-1, 74h-2 et 74h-3 du premier niveau. Les zones 81h-1, 81h-2, 25 81h-3 définissent respectivement les bornes 15, 16 et 17. La zone 82h définit la borne 11. Cette disposition permet d'intégrer, dans l'exemple représenté, côté face supérieure, des éléments capacitifs C de découplage reliant électriquement les bornes 15, 16, et 17 deux à 30 deux. Pour cela, on réalise dans le premier niveau, à la verticale des extrémités des zones 81, des zones 77 et 79 destinées à recevoir les électrodes respectives des condensateurs C et reliées par des vias 76 aux zones 81 sous-jacentes. En variante, les éléments capacitifs C sont soudés 35 directement sur la deuxième face du substrat métallique isolé 3061626 B15574 - DD17530MR 13 (dans ce cas les zones 77 et 79 ne sont pas nécessaires). La réalisation illustrée par les figures 4A. à 4C permet cependant de conserver la face arrière pour un radiateur. De préférence, on prévoit dans le deuxième niveau, à 5 l'aplomb des diodes et des transistors, des découpes des zones conductrices susceptibles d'être présentes afin d'éviter que les puces soient à l'aplomb de zones conductrices du deuxième niveau. La figure 5A représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un deuxième module 21 d'onduleur de courant 10 triphasé dans un premier niveau d'un substrat métallique isolé. La figure 5B représente, de façon très schématique, un mode de réalisation d'un deuxième niveau du substrat métallique isolé du deuxième module de la figure aA. La figure 5C représente, de façon très schématique, les 15 deux niveaux superposés, c'est-à-dire le module 21 terminé. Ici, les diodes des cellules sont disposées vers les extrémités des branches du Y et les transistors sont disposés vers le centre. Ici encore, on suppose un schéma électrique dans lequel les positions respectives des diodes et transistors sont inversées 20 par rapport au schéma électrique de la figure 2. En d'autres termes, dans le module bas 21, les sources des transistors sont interconnectées à la borne 12 et les anodes des diodes sont connectées aux bornes respectives 15, 16 et 17. Toutefois, tout autre arrangement pourra être envisagé pourvu de respecter la 25 symétrie de révolution d'approximativement 120°. En effet, les positions respectives des transistors et diodes dans chacun des modules peuvent être inversées. Dans le premier niveau (figure aA), on réalise des premières zones conductrices 711-1, 711-2, 711-3 de forme 30 approximativement rectangle de réception des électrodes de cathode en face arrière de chaque puce 561-1, 561-2, 561-3 formant les diodes Dl-1, Dl-2, Dl-3 et des contacts de drain des transistors respectifs Ml-1, Ml-2, Ml-3. Des deuxièmes zones conductrices 741-1, 741-2, 741-3 35 sont réalisées aux extrémités externes respectives des premières 3061626 B15574 - DD17530MR 14 zones 71 à proximité des puces 561-1, 561-2, 561-3 des diodes respectives Dl-1, Dl-2, Dl-3. Ces zones 74 sont destinées à recevoir chacune un ou plusieurs fils 601-1, 601-2, 601-3 de raccordement des anodes des diodes Dl-1, Dl-2, Dl-3. Ces anodes 5 sont destinées à être individuellement connectées aux bornes respectives 15, 16 et 17. Pour cela, les zones 74 sont connectées, par des vias 751-1, 751-2, 751-3 à des premières zones 811-1, 811-2, 811-3 (figure 5B) du deuxième niveau de substrat métallique isolé. 10 Des troisièmes zones conductrices 721-1, 721-2, 721-3 sont réalisées dans la région centrale à proximité des puces des transistors respectifs Ml-1, Ml-2, Ml-3. Les zones 72 sont destinées à recevoir chacune un ou plusieurs fils 571-1, 571-2, 571-3 de raccordement des sources des transistors. Ces sources 15 sont destinées à être interconnectées (à la borne 12). Pour cela, les zones 72 sont connectées, par des vias 731-1, 731-2, 731-3 à une deuxième zone centrale 821 (figure 5B) du deuxième niveau de substrat métallique isolé. Les contacts de grilles 621-1, 621-2 et 621-3 des 20 transistors Ml-1, Ml-2, Ml-3 sont accessibles pour un raccordement, par exemple par fils à des circuits de commande, de préférence placés à proximité. Dans le deuxième niveau (figure 5B), la réalisation des zones 81 et 82 dépend des positions respectives des zones du 25 premier niveau. Toutefois, ici encore, comme pour les zones conductrices du premier niveau, les zones conductrices du deuxième niveau respectent, dans le plan, une symétrie de révolution d'ordre 3 par rapport au centre de la structure. Dans l'exemple de la figure 5B, les zones 81 30 correspondent à trois zones 811-1, 811-2, 811-3 métallisées identiques, ayant chacune la forme d'une portion d'une bande annulaire hexagonale, chaque zone étant séparée de ses deux zones voisines. La zone centrale 821 à une forme, ici approximativement également hexagonale, à l'aplomb des trois zones 721-1, 721-2 et 35 721-3 du premier niveau. Les zones 811-1, 811-2, 811-3 définissent 3061626 B15574 - DD17530MR 15 respectivement les bornes 15, 16 et 17. La zone 821 définit la borne 12. Comme pour le module 2h, on peut intégrer, côté face supérieure, des éléments capacitifs C de découplage reliant 5 électriquement les bornes 15, 16, et 17 deux à deux. Pour cela, on réalise dans le premier niveau, à la verticale des extrémités des zones 81, des zones respectivement 77 et 79 destinées à recevoir les électrodes respectives des condensateurs C et reliées par des vias 76 aux zones 81 sous-jacentes. Là encore, les éléments 10 capacitifs C peuvent en variante être soudés directement sur la deuxième face du substrat métallique isolé. Toujours comme pour le module 2h, on prévoit de préférence dans le deuxième niveau, à l'aplomb des diodes et des transistors, des découpes des zones conductrices susceptibles 15 d'être présentes afin d'éviter que les puces soient à l'aplomb de zones conductrices du deuxième niveau. Les figures 6P, et 6B représentent, de façon schématique, un autre mode de réalisation d'un module d'un onduleur de courant triphasé sur un substrat métallique isolé bi-niveaux. 20 Ce mode de réalisation illustre, non seulement un agencement différent des composants et des zones conductrices mais également un mode de réalisation selon lequel tous les interrupteurs sont des transistors. Par conséquent, l'arrangement des zones conductrices des figures 6A. et 6B peut servir 25 indifféremment pour réaliser un module haut 2h ou un module bas 21 d'un onduleur de courant triphasé. La figure 7 représente le schéma électrique d'un module dans lequel chaque cellule est formée de deux transistors MOS en série. 30 Dans cet exemple, les transistors M-1, M-2, M-3 de chaque cellule sont interconnectés par leurs sources respectives à la source de l'autre transistor M-4, M-5, M-6 de la cellule. Les drains des transistors M-1, M-2 et M-3 sont interconnectés à la borne 11 ou 12 selon que le module est monté en module haut ou 3061626 B15574 - DD17530MR 16 bas, et les drains des transistors M-4, M-5 et M-6 définissent les bornes respective 15, 16 et 17. Dans le premier niveau (figure 6A), on réalise des premières zones conductrices 92-4, 92-5, 92-6 de forme 5 approximativement rectangle (ou carrée) de réception des contacts (drains) de face arrière des transistors M-4, M-5, M-6. On suppose ici des transistors à drain face arrière. On réalise également une troisième zone conductrice 91 approximativement en étoile ou en Y dont chaque branche (de préférence son extrémité libre) 10 reçoit le contact (de drain) de face arrière d'un des transistors M-1, M-2, M-3. Les centres des puces des transistors d'une même cellule sont approximativement sur un même rayon de cercle fictif reliant les centres des puces des transistors M-1, M-2, M-3 entre eux et les centres des puces des transistors M-4, M-5, M-6 entre 15 eux. Les premières zones 92 sont connectées, par un ensemble de vias 99 disposés sous la puce qu'ils reçoivent à des premières zones respectives 101-1, 101-2, 101-3, du deuxième niveau (figure 6B) décrivant chacune une portion d'une forme en anneau approximativement triangulaire. La troisième zone 91 est 20 connectées, par des ensembles de vias 94, disposés sous les puces des transistors M-1, M-2, M-3, à une deuxième zone centrale 102, approximativement en étoile ou en Y, du deuxième niveau. Des deuxièmes 96-4, 96-5, 96-6 et quatrièmes 95-1, 95-2, 95-3 zones conductrices sont réalisées dans le premier niveau, à 25 proximité des premières et deuxièmes zones respectivement, et sont destinées à recevoir chacune un ou plusieurs fils 94-4, 94-5, 94-6, respectivement 93-1, 93-2, 93-3, de raccordement des contacts de source des transistors M-4, M-5, M-6, respectivement M-1, M-2, M-3. Les zones 95 et 96 sont connectées, deux à deux, 30 par des vias 97, à trois zones approximativement rectangulaires 103-1, 103-2 et 103-3 du deuxième niveau. L'interconnexion des zones 95 et 96 par le deuxième niveau préserve un accès facile aux grilles 62-1, 62-2, 62-3, 62-4, 62-5, 62-6. En variante, on pourra prévoir une découpe particulière des zones 95 et 96 et un 35 tracé adapté des pistes de connexion (non représentées) des 3061626 B15574 - DD17530MR 17 grilles aux circuits de commande 4-1, 4-2, 4-3 pour interconnecter les sources dans le premier niveau. Comme pour les modes de réalisation précédents, on intègre, côté face supérieure, des éléments capacitifs C reliant 5 électriquement les bornes 15, 16, et 17 deux à deux. Pour cela, on réalise dans le premier niveau, à la verticale des extrémités des zones 101, des zones, respectivement 77 et 79 destinées à recevoir les électrodes respectives des condensateurs C et reliées par des vias 76 aux zones 101 sous-jacentes. Dans l'exemple des 10 figures aA. et 6B, les zones 77 et 79 sont agencées parallèlement aux branches du triangle définit par les zones 81 et non perpendiculairement (radialement par rapport au centre de la structure) comme dans les figures précédentes. Les deux réalisations sont toutefois possibles. 15 Un avantage du mode de réalisation des figures aA. et 6B est qu'il réduit le couplage capacitif entre les conducteurs de puissance (drain, source pour des transistors MOS ou émetteur, collecteur pour des transistors bipolaires ou IGBT) et les circuits de commande des grilles des interrupteurs commandés. 20 Un autre avantage est que la surface de la zone centrale est accrue ce qui permet de diminuer l'inductance de maille. Un autre avantage est que cela participe à réduire les émissions de mode commun liées aux couplages capacitifs entre les potentiels des bornes 11 et 12 et la terre en cas de substrat 25 métallique isolé directement refroidi par un radiateur. Les figures 8A, 8B, 8C et 8D illustrent, de façon schématique, un mode de réalisation d'un module d'un onduleur de courant triphasé sur un substrat métallique isolé quadri-niveaux. La figure 8A représente le premier niveau (supérieur). La figure 30 8D représente le deuxième niveau (inférieur). Les figures 8B et 8C représentent deux niveaux intermédiaires, dénommés arbitrairement troisième et quatrième niveaux. Le premier niveau de la figure 8A est similaire à celui de la figure 6A. La seule différence est que les zones, ici 35 désignées 111-1, 111-2, 111-3, portant les transistors M-4, M-5 3061626 B15574 - DD17530MR 18 et M-6 se prolongent en direction de la zone 77 de la cellule voisine de façon à recevoir une première électrode des capacités C, l'autre électrode étant reçue par la zone 111. Dans l'exemple de la figure 8A, les zones 77 sont radiales au centre de la 5 structure. Le deuxième niveau (figure 8D) correspondant à la face arrière comporte au centre trois deuxièmes zones conductrices indépendantes 112-1, 112-2, 112-3 à l'aplomb des transistors M-1, M-2, M-3. Ces zones sont connectées par les vias 94 à la zone 91 10 sous les transistors M-1, M-2, M-3 (en traversant le ou les niveaux intermédiaires). Ce deuxième niveau comporte en outre trois premières zones 113-1, 113-2, 113-3 connectant respectivement, comme les zones 101 de la figure 6B, la face arrière de chaque puce de transistor M-4, M-5, M-6 à la zone 77 de la cellule voisine 15 (par les vias 76). On notera que les zones 112 peuvent être omises. Leur rôle est principalement de favoriser la liaison thermique avec un radiateur prévu en face arrière de l'ensemble de la structure. Le troisième niveau (figure 8B) situé juste en-dessous 20 du premier niveau comporte une zone conductrice centrale 114 identique à la zone 91 du premier niveau à travers laquelle passent les vias 94. Ce niveau comporte également trois zones conductrices 116-1, 116-2, 116-3 du type des zones 103 de la figure 6B, connectant par les vias 97, les zones conductrices 95 et 96 du 25 premier niveau de chaque cellule. Le rôle de ces zones 116 est de constituer un plan de protection sous les circuits de commande 4-1, 4-2, 4-3. En outre, des zones conductrices 117-1, 117-2, 117-3 sont prévues à l'aplomb des transistors M-4, M-5, M-6 à travers desquelles passent les vias 99. Un rôle du troisième 30 niveau est de créer des plans conducteurs de protection sous les circuits de commande 4. Le quatrième niveau (figure 8C), situé entre les troisième et deuxième niveaux, comporte une zone centrale 118, par exemple de forme hexagonale, à travers laquelle passent les 35 vias 94. Ce niveau comporte en outre des zones 119-1, 119-2, 119-3 3061626 B15574 - DD17530MR 19 à travers lesquelles passent les vias 99. Le rôle de la zone 118 est de réduire l'inductance parasite liée aux connexions. En variante, la zone 118 peut avoir une forme triangulaire intégrant les régions des vias 94. 5 Un agencement des puces tel qu'illustré dans les modes de réalisation ci-dessus présente l'avantage d'homogénéiser le comportement électrique et thermique des différentes mailles de circulation de courant. En effet, la symétrie géométrique entre les différentes cellules entraîne que les trois mailles possibles 10 3h-1/3h-2, 3h-2/3h-3 et 3h-1/3h-3 pour le module haut 2h et les trois mailles possibles 31-1/31-2, 31-2/31-3 et 31-1/31-3 pour le module bas 21 présentent un même comportement électrique. En particulier, les impédances des différentes mailles de commutation utilisées sont identiques et les niveaux de surtension vus par 15 les différents interrupteurs sont identiques. De plus, leur comportement thermique est également homogénéisé grâce à cette symétrie géométrique. D'autres formes peuvent être prévues pour les zones métalliques du substrat métallique isolé de réception des cellules 20 de commutation, pourvu de respecter, dans chaque niveau du substrat métallique isolé une symétrie de révolution d'ordre 3, c'est-à-dire un décalage d'environ 120 degrés, de préférence d'exactement 120 degrés, d'une cellule à l'autre autour du centre du plan dans lequel s'inscrit le module. 25 Un avantage des modes de réalisation qui ont été décrits est qu'il est désormais possible des réaliser un onduleur de courant triphasé dans lequel le comportement électrique et thermique des différentes mailles de commutation est identique. Divers modes de réalisation et variantes ont été 30 décrits. Certains modes de réalisation et variantes pourront être combinés et d'autres variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, les zones métalliques du substrat utilisé sont bien entendu séparées les unes des autres de façon à être isolés électriquement. De plus, ces zones peuvent 35 être reliées par des pistes conductrices ou fils à d'autres 3061626 B15574 - DD17530MR 20 régions métalliques du substrat, en particulier pour raccorder l'onduleur à des circuits amont et aval. Par ailleurs, bien que l'on ait fait plus particulièrement référence à l'utilisation d'un substrat métallique isolé, le substrat sur lequel sont montés les 5 composants peut être tout autre substrat adapté, par exemple un circuit imprimé, un substrat à cuivre à soudure directe, etc. De plus, chaque interrupteur peut en fait être formé de plusieurs interrupteurs en parallèle. Le choix des dimensions et du nombre de puces à assembler en parallèle pour réaliser chaque 10 interrupteur d'un onduleur dépend de l'application et, entre autres, de la puissance de fonctionnement souhaitée. En outre, bien que les modes de réalisation aient été décrits en relation avec des exemples appliqués à des cellules constituées d'un transistor MOS en série avec une diode ou de deux 15 transistors MOS en série, ils se transposent à d'autres structures de cellules de commutation triphasées réalisant ou non un interrupteur bidirectionnel en tension et unidirectionnel ou bidirectionnel en courant, dans lesquelles des problèmes similaires se posent. 20 On notera que les deux modules d'un même onduleur de courant triphasé ne sont pas nécessairement appariés sur un même substrat métallique isolé (dans un même plan) mais peuvent être superposés avec interposition d'un isolant, en raccordant les bornes 15, 16 et 17 par des vias. 25 Enfin, la mise en oeuvre pratique des modes de réalisation et variantes qui ont été décrits est à la portée de l'homme de métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. REVENDICATIONS1. Module (2h ; 21) de commutation triphasé incluant trois cellules de commutation (3h-1, 3h-2, 3h-3 ; 31-1, 31-2, 31-3) identiques, comportant chacune un premier interrupteur (M) et un deuxième interrupteur (D ; M) électriquement en série, comportant un substrat dont : un premier niveau reçoit, sur des zones conductrices (71 ; 91, 92 ; 91, 111), des faces arrières de circuits intégrés formant lesdits interrupteurs et ; au moins un deuxième niveau comporte des zones conductrices (81 ; 101 ; 113) d'interconnexion de vias entres les premiers et deuxième niveaux, les zones conductrices des différents niveaux respectant une symétrie de révolution d'ordre 3. 2. Module selon la revendication 1, dans lequel le 15 premier niveau comporte : trois premières zones conductrices (71h-1, 71h-2, 71h-3 ; 711-1, 711-2, 711-3 ; 92-4, 92-5, 92-5 ; 111-1, 111-2, 111-3) de réception d'une borne de conduction arrière d'au moins un premier interrupteur de chaque cellule ; et 20 trois deuxièmes zones conductrices (72h-1, 72h-2, 72h-3 ; 741-1, 741-2, 741-3 ; 96-4, 96-5, 96-6 ; 96-4, 96-5, 96-6) de réception de fils de raccordement à une borne de conduction avant dudit premier interrupteur. 3. Module selon la revendication 1, dans lequel le 25 deuxième niveau comporte : trois premières zones conductrices (81h-1, 81h-2, 81h-3 ; 811-1, 811-2, 811-3 ; 101-1, 101-2, 111-3 ; 111-1, 111-2, 111-3) respectivement à l'aplomb des premiers interrupteurs ; et au moins une deuxième zone conductrice (82h ; 821 ; 30 102 ; 112-1, 112-2, 112-3) à l'aplomb des deuxièmes interrupteurs. 4. Module selon la revendication 2 ou 3, dans lequel le premier niveau comporte en outre : 3061626 B15574 - DD17530MR 22 une troisième zone conductrice centrale (91) de réception d'une borne de conduction arrière des deuxièmes interrupteurs des trois cellules ; et trois quatrièmes zones conductrices (95-1, 95-2, 95-3) 5 de réception de fils de raccordement à une borne de conduction arrière desdits deuxièmes interrupteurs. 5. Module selon la revendication 4, dans lequel le deuxième niveau comporte en outre trois troisièmes zones conductrices (103-1, 103-2, 103-3), chacune reliée par des vias 10 (97) à une deuxième (96-4, 96-5, 96-6) et à une quatrième (95-1, 95-2, 95-3) zone conductrice du premier niveau. 6. Module selon la revendication 4 ou 5, dans lequel ladite troisième zone conductrice (91) du premier niveau à une forme de Y, chaque branche recevant un desdits deuxièmes 15 interrupteurs. 7. Module selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, s'inscrivant dans une forme triangulaire. 8. Module selon l'une quelconque des revendications 4 à 7, dont un troisième niveau du substrat, entre les premier et 20 deuxième niveaux, comporte : des premières zones conductrices (117-1, 117-2, 117-3) à l'aplomb de chaque premier interrupteur ; et une deuxième zone conductrice (114) s'étendant sous les trois deuxièmes interrupteurs. 25 9. Module selon la revendication 8, dont un quatrième niveau du substrat entre les deuxième et troisième niveaux, comporte : des premières zones conductrices (119-1, 119-2, 119-3) à l'aplomb de chaque premier interrupteur ; et 30 une deuxième zone conductrice (118) s'étendant sous les trois deuxièmes interrupteurs. 10. Module selon la revendication 2 ou 3, dans lequel les premières zones conductrices (71h-1, 71h-2, 71h-3 ; 711-1, 711-2, 711-3) du premier niveau reçoivent des bornes de conduction 35 respectives des deuxièmes interrupteurs, le premier niveau 3061626 B15574 - DD17530MR 23 comportant en outre trois troisièmes zones conductrices (74h-1, 74h-2, 74h-3 ; 731-1, 731-2, 731-3) de réception de fils de raccordement à des bornes de conduction avant respectives des deuxièmes interrupteurs. 5 11. Module selon la revendication 10, dans son rattachement à la revendication 3, dans lequel les deuxièmes zones conductrices (72h-1, 72h-2, 72h-3 ; 741-1, 741-2, 741-3) du premier niveau sont chacune reliée, par des vias (73h-1, 73h-2, 73h-3 ; 731-1, 731-2, 731-3), à une desdites premières zones 10 conductrices (81h-1, 81h-2, 81h-3 ; 811-1, 811-2, 811-3) du deuxième niveau. 12. Module selon la revendication 10 ou 11, dans lequel lesdites premières zones conductrices (81h-1, 81h-2, 81h-3 ; 811-1, 811-2, 811-3) du deuxième niveau décrivent un anneau 15 hexagonal 13. Module selon l'une quelconque des revendications 10 à 12, s'inscrivant dans une forme hexagonale. 14. Module selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, dans lequel lesdits interrupteurs sont des transistors MOS. 20 15. Module selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, dans lequel le substrat est un substrat métallique isolé, multiniveaux, de préférence sur céramique. 16. Module selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, dans lequel le substrat est un circuit imprimé multiniveaux. 25 17. Onduleur de courant triphasé, comportant deux modules (2h, 21) selon l'une quelconque des revendications 1 à 16. 18. Onduleur selon la revendication 17, dans lequel les cellules (3h-1, 3h-2, 3h-3 ; 31-1, 31-2, 31-3) des deux modules 30 (2h, 21) sont électriquement connectées deux à deux, les noeuds d'interconnexion définissant trois bornes de phase (15, 16, 17).