FR 3052881 A1 20171222 FR 1655786 A 20160621 1 Pièce pour mouvement horloger, mouvement horloger, pièce d'horlogerie et procédé de fabrication d'une telle pièce pour mouvement horloger. DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention est relative aux pièces pour mouvements horlogers, aux mouvements horlogers et aux pièces d'horlogerie, et aux procédés de fabrication de telles pièces pour mouvements horlogers. ARRIERE PLAN DE L'INVENTION Les mouvements horlogers comprennent classiquement un régulateur, oscillateur mécanique qui détermine la base de temps du mouvement horloger. Ce régulateur comporte un ressort spiral associé à une masse oscillante appelée balancier. Ce ressort spiral requiert une extrême précision dimensionnelle qui détermine la précision temporelle du mouvement horloger. Un exemple de ressort spiral est donné notamment dans le document JP2008116205A. Ce ressort spiral est réalisé en un matériau composite comprenant une matrice de graphite et de carbone amorphe, renforcée par des nanotubes de carbone qui sont dispersés dans la matrice et alignés dans la direction longitudinale du spiral. Les nanotubes ont un diamètre de l'ordre de lOnm et une longueur d'environ 10 microns. Pour fabriquer le spiral, on réalise d'abord un mélange homogène avec les nanotubes, le graphite et le carbone amorphe, puis on extrude le mélange pour obtenir la forme du ressort spiral dans le but que les nanotubes soient alignés dans la longueur du spiral. Un tel ressort spiral présente de nombreux 30 inconvénients : - le procédé d'extrusion ne permet pas une grande précision mécanique, d'où une imprécision temporelle rédhibitoire, - l'orientation des nanotubes est mal maîtrisée, 35 puisque les nanotubes sont disposés aléatoirement dans le 3052881 2 mélange homogène, - le procédé est complexe à mettre en oeuvre pour s'assurer d'une bonne homogénéité du matériau, qui favorise la régularité du ressort spiral, 5 - il est complexe d'obtenir des propriétés mécaniques souhaitées du ressort spiral car il faut jouer très précisément sur les quantités du mélange tout en conservant son homogénéité. Ces inconvénients existent aussi, au moins en partie, 10 pour d'autres pièces flexibles pour mouvement horloger. OBJETS ET RESUME DE L'INVENTION La présente invention a notamment pour objet de pallier tout ou partie des inconvénients susmentionnés. A cet effet, l'invention propose une pièce pour 15 mouvement horloger comprenant au moins une partie flexible, ladite partie flexible étant adaptée pour fléchir dans un plan perpendiculaire à un axe et étant réalisée en un matériau composite comprenant des nanotubes tenus par une matrice, 20 caractérisée en ce que les nanotubes forment une forêt de nanotubes, les nanotubes étant juxtaposés et disposés tous sensiblement parallèlement à l'axe. Grâce à ces dispositions, on peut réaliser la pièce pour mouvement horloger avec une précision de l'ordre de 25 quelques nanomètres, avec une orientation des nanotubes et une homogénéité totalement maîtrisées et reproductibles obtenues grâce à des procédés de croissance de nanotubes et d'infiltration de la matrice dans la forêt de nanotubes. Dans le cas où la pièce pour mouvement horloger est un ressort spiral, il en résulte une précision temporelle exceptionnelle du ressort spiral. De plus, il est simple d'obtenir des propriétés mécaniques souhaitées de la pièce pour mouvement horloger, en jouant par exemple sur la matière de la matrice et / ou 35 la quantité de matrice infiltrée dans la forêt de 3052881 3 nanotubes. A la différence du brevet mentionné ci-dessus, les nanotubes sont orientés perpendiculairement au plan de flexion et non dans ce plan. Cela va à l'encontre de 5 l'enseignement du document JP2008116205A qui préconise d'aligner les nanotubes dans la longueur du spiral pour utiliser leurs propriétés mécaniques de flexion, connues de l'homme du métier. Au contraire, dans la pièce pour mouvement horloger de l'invention, les nanotubes ne sont 10 pas utilisés pour leurs propriétés mécaniques et ne participent pas ou quasiment pas aux propriétés mécaniques de la pièce pour mouvement horloger contrairement au document JP2008116205A susmentionné (puisque les flexions de la pièce ne se traduisent pas par des flexions des 15 nanotubes) mais pour leur précision géométrique de croissance, les propriétés mécaniques étant apportées par la matrice infiltrée. De plus, le matériau composite ainsi obtenu est particulièrement flexible dans le plan perpendiculaire à 20 l'axe (ce qui peut permettre de diminuer la masse du balancier dans le cas d'un ressort spiral) et quasiment pas hors de ce plan (ce qui est spécialement intéressant pour un ressort spiral horloger). Enfin, les dispositions précitées permettent de 25 simplifier le procédé de fabrication, en faisant croître les nanotubes sur un substrat tel qu'une galette de silicium, communément désignée par le terme anglais « wafer ». Dans divers modes de réalisation de la pièce pour 30 mouvement horloger selon l'invention, on peut éventuellement avoir recours en outre à l'une et/ou à l'autre des dispositions suivantes : - les nanotubes sont en carbone ; - les nanotubes sont mono-feuillet (autrement dit, 35 le matériau composite ne comporte pas ou quasiment pas de 3052881 4 nanotubes multi-feuillets) : les nanotubes sont ainsi indépendants les uns des autres et on améliore l'homogénéité du matériau par rapport à des nanotubes multi-feuillets qui ont tendance à s'imbriquer les uns dans 5 les autres de façon moins contrôlée ; - les nanotubes ont un diamètre compris entre 2 et 10 nm, avantageusement compris entre 3 et 7 nm, notamment de l'ordre de 5 nm ; - les nanotubes ont une longueur comprise entre 10 100 et 200 microns, notamment de l'ordre de 150 microns ; - la matrice est en carbone ; - ladite pièce pour mouvement horloger est un ressort spiral adapté pour osciller autour de l'axe ; - ladite pièce pour mouvement horloger est un 15 oscillateur pour mouvement horloger ; - ladite pièce pour mouvement horloger est un ressort de barillet. Par ailleurs, l'invention a également pour objet un mouvement horloger ayant un ressort spiral tel que défini 20 ci-dessus (ou une autre pièce pour mouvement horloger telle que définie ci-dessus), et une pièce d'horlogerie comprenant un tel mouvement horloger. L'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'une pièce pour mouvement horloger telle que 25 définie ci-dessus, comprenant les étapes suivantes : a) une étape de croissance de forêt de nanotubes, au cours de laquelle on fait croître la forêt de nanotubes ; b) une étape d'infiltration, au cours de laquelle on 30 infiltre du matériau constitutif de la matrice dans la forêt de nanotubes. Dans divers modes de réalisation du procédé de fabrication selon l'invention, on peut éventuellement avoir recours en outre à l'une et/ou à l'autre des dispositions 35 suivantes : 3052881 5 - au cours de l'étape a) de croissance de forêt de nanotubes, on fait croître la forêt de nanotubes sur un substrat, et l'étape b) d'infiltration est suivie d'une étape c) de séparation au cours de laquelle on sépare le 5 matériau composite du substrat ; - au cours de l'étape a) de croissance de forêt de nanotubes, on fait croître la forêt de nanotubes sensiblement perpendiculairement au substrat. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS 10 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront au cours de la description suivante de plusieurs de ses modes de réalisation, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en regard des dessins joints. 15 Sur les dessins : - la figure 1 est une vue schématique d'une pièce d'horlogerie pouvant comprendre un ressort spiral selon une première forme de réalisation de l'invention, - la figure 2 est un schéma bloc du mouvement de 20 la pièce d'horlogerie de la figure 1, - la figure 3 est une photographie d'un ressort spiral utilisable dans la pièce d'horlogerie de la figure 1, - la figure 4 est une vue en perspective d'une 25 partie du ressort spiral de la figure 3, - la figure 5 illustre très schématiquement la constitution du matériau du ressort spiral sous forme de forêt de nanotubes, les nanotubes étant volontairement grossis pour plus de clarté et donc pas représentés à 30 l'échelle, - la figure 5 est une vue schématique d'un ressort de barillet utilisable dans une pièce d'horlogerie telle que celle de la figure 1, selon une deuxième forme de réalisation de l'invention, - et la figure 6 représente un oscillateur 3052881 6 mécanique également utilisable dans une pièce d'horlogerie telle que celle de la figure 1, selon une troisième forme de réalisation de l'invention. DESCRIPTION PLUS DETAILLEE 5 Sur les différentes figures, les mêmes références désignent des éléments identiques ou similaires. La figure 1 représente une pièce d'horlogerie 1 telle qu'une montre, comprenant : - un boîtier 2, 10 - un mouvement horloger 3 contenu dans le boîtier 2, - généralement, un remontoir 4, - un cadran 5, - un verre 6 recouvrant le cadran 5, 15 - un indicateur de temps 7, comprenant par exemple deux aiguilles 7a, 7b respectivement pour les heures et les minutes, disposé entre le verre 6 et le cadran 5 et actionné par le mouvement horloger 3. Comme représenté schématiquement sur la figure 2, 20 le mouvement horloger 3 peut comprendre par exemple : - un dispositif 8 de stockage d'énergie mécanique, généralement un ressort de barillet, - une transmission mécanique 9 mue par le dispositif 8 de stockage d'énergie mécanique, 25 - l'indicateur de temps 7 susmentionné, - une roue 10 de distribution d'énergie (par exemple une roue d'échappement d'un échappement à ancre suisse ou similaire, - un mécanisme de blocage 11 (par exemple une ancre 30 suisse ou similaire) adapté pour séquentiellement retenir et libérer la roue 10 de distribution d'énergie, - un régulateur 12, qui est un mécanisme oscillant contrôlant le mécanisme de blocage 11 pour le déplacer régulièrement pour que la roue 10 de distribution d'énergie 35 soit déplacée à intervalles de temps constants. 3052881 7 Le régulateur 12 comporte une masse oscillante, par exemple un balancier (non représenté) et un ressort spiral 12a, tel que celui représenté sur les figures 3 et 4. Le ressort spiral 12a peut comporter : 5 - une virole centrale 13 destinée à être fixée au centre du balancier, et tournant avec le balancier autour d'un axe central X, - plusieurs spires 14 s'enroulant autour de l'axe central X, à partir de la virole 13 jusqu'à une portion 10 terminale 15 dite « courbe terminale ». La portion terminale 15 est fixée, généralement par un piton (non représenté), à un pont (non représenté) sur lequel le balancier est monté pivotant. Les spires 14 et la portion terminale 15 du ressort 15 spiral 12a peuvent présenter une épaisseur e (dans le plan perpendiculaire à l'axe central X) et une hauteur h (parallèlement à l'axe central X). L'épaisseur e peut être par exemple de l'ordre de quelques dizaines de microns, par exemple d'environ 10 à 100 microns. 20 Le ressort spiral 12a est réalisé en un matériau composite comprenant des nanotubes 16 (figure 5) tenus par une matrice 16a. Les nanotubes 16 forment une forêt de nanotubes, ce qui signifie que les nanotubes 16 sont juxtaposés et 25 disposés tous sensiblement parallèlement les uns aux autres. Avantageusement, les nanotubes 16 sont disposés tous sensiblement parallèlement à l'axe central X. Ils sont généralement espacés régulièrement les uns des autres et 30 présents dans toute la masse du matériau composite, avec une densité surfacique (dans le plan perpendiculaire à l'axe X) qui est contrôlée par le procédé de croissance des nanotubes lors de la fabrication du ressort spiral 12a. Les nanotubes 16 peuvent avantageusement être en 35 carbone. 3052881 8 Les nanotubes 16 peuvent avantageusement être essentiellement mono-feuillet, ce qui améliore l'homogénéité du matériau composite. Les nanotubes peuvent avoir un diamètre d compris 5 entre 2 et 10 nm, avantageusement compris entre 3 et 7 nm, notamment de l'ordre de 5 nm. Les nanotubes peuvent avoir une longueur comprise entre comprise entre 100 et 200 microns, notamment de l'ordre de 150 microns. Cette longueur peut avantageusement 10 correspondre à l'épaisseur h susmentionnée des spires 14 du ressort spiral. La matrice 16a peut avantageusement être constituée également de carbone. La matrice 16a est représentée très schématiquement sur la figure 5. Elle peut avantageusement 15 englober les nanotubes 16, en étant présente dans les interstices 17 entre nanotubes 16 et dans l'espace intérieur 18 des nanotubes 16. Cette matrice permet d'apporter de la cohésion entre les nanotubes et de modifier ainsi les propriétés mécaniques de la forêt de 20 nanotubes. Le ressort spiral 12a peut être fabriqué par un procédé comprenant par exemple les étapes suivantes : a) une étape de croissance de forêt de nanotubes, au cours de laquelle on fait croître la forêt de 25 nanotubes 16, généralement sur un substrat (non représenté) tel qu'un wafer de silicium ou autre, b) une étape d'infiltration, au cours de laquelle on infiltre du matériau constitutif de la matrice 16a dans la forêt de nanotubes 16, 30 c) une étape de séparation au cours de laquelle on sépare le matériau composite du substrat. Au cours de l'étape a), on peut avantageusement faire croître la forêt de nanotubes 16 sensiblement perpendiculairement au substrat, lequel est disposé 35 perpendiculairement à l'axe central X. 3052881 9 Le substrat est préalablement traité par exemple par photolithographie, de façon connue en soi, pour que la croissance de la forêt de nanotubes ait lieu précisément aux endroits voulus, selon le tracé précis du ressort 5 spiral 12a. Des exemples de procédés de croissance contrôlée de nanotubes et d'infiltration par une matrice de carbone sont donnés par exemple dans le document « Mechanical and electrical properties of carbon-nanotubetemplated metallic microstructures » de l'auteur Richard 10 Scott Hansen (Juin 2012), ou dans la Senior Thesis de Collin Brown (22 avril 2014) de l'université Brigham Young University intitulée « infirltration of CNT forests by Atomic Layer Deposition for MEMS applications ». L'infiltration de la matrice de carbone, connue en 15 soi notamment des documents susmentionnés, a généralement lieu par dépôt en phase vapeur. En agissant sur le temps d'infiltration, on agit sur la quantité de matrice infiltrée entre les nanotubes, ce qui permet très facilement de modifier les propriétés mécaniques du spiral. 20 Le ressort spiral 12a obtenu présente de nombreux avantages : - on peut réaliser le ressort spiral avec une précision nanométrique, avec une orientation des nanotubes et une homogénéité totalement maîtrisées et reproductibles 25 obtenues par le procédé de croissance de nanotubes et d'infiltration de la matrice dans la forêt de nanotubes, d'où une précision temporelle exceptionnelle du ressort spiral ; - il est simple d'obtenir des propriétés 30 mécaniques souhaitées du ressort spiral, en jouant par exemple sur la matière de la matrice et / ou la quantité de matrice infiltrée dans la forêt de nanotubes et sur la géométrie du spiral (notamment son épaisseur) ; - le ressort spiral 12a est particulièrement 35 flexible dans le plan perpendiculaire à l'axe central (ce 3052881 10 qui peut permettre de diminuer la masse du balancier) et quasiment pas hors de ce plan (ce qui est spécialement intéressant pour un ressort spiral horloger, notamment pour limiter les effets des accélérations hors plan dues aux 5 chocs ou aux mouvements de l'utilisateur) ; - le matériau composite est peu sensible aux variations de température (faible coefficient de dilatation thermique, faible variation du module d'élasticité), présente une faible masse volumique, est amagnétique et 10 résiste à la corrosion. Le matériau décrit précédemment peut également être utilisé dans d'autres pièces pour mouvement horloger comprenant au moins une partie flexible, ladite partie flexible étant adaptée pour fléchir dans un plan 15 perpendiculaire à l'axe X des nanotubes. Par exemple, dans une deuxième forme de réalisation de l'invention, le matériau décrit précédemment peut être utilisé dans un ressort de barillet 8 tel que celui de la figure 6, utilisable comme dispositif de stockage d'énergie 20 comme expliqué précédemment. Un tel ressort peut par exemple être enroulé autour d'un arbre central 8a selon l'axe X, dans un barillet 8b. Selon un autre exemple, dans une troisième forme de réalisation de l'invention, le matériau décrit précédemment 25 peut être utilisé pour former un oscillateur mécanique autre que le ressort spiral susmentionné. En particulier, le matériau décrit précédemment peut être utilisé pour former un régulateur 12' tel que celui de la figure 7, utilisable à la place du régulateur 12 susmentionné dans la 30 pièce d'horlogerie. Le régulateur 12' peut par exemple être formé d'une seule pièce dans une plaque 110 à l'intérieure de laquelle sont formés un rotor 111 et des suspensions élastiques 112 reliant le rotor 111 au reste de la plaque 110. Les suspensions élastiques peuvent être formées par 35 des branches très fines et élancées formées dans la plaque 3052881 11 110. Le rotor 111 oscille en rotation autour de l'axe X, selon la double flèche R. Un exemple d'un tel régulateur 12' est décrit de façon détaillée dans le document EP3021174A. 5 10 REVENDICATIONS1. Pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger comprenant au moins une partie flexible, ladite partie flexible étant adaptée pour fléchir dans un plan perpendiculaire à un axe (X) et étant réalisée en un matériau composite comprenant des nanotubes (16) tenus par une matrice (16a), caractérisée en ce que les nanotubes (16) forment une forêt de nanotubes, les nanotubes (16) étant juxtaposés et disposés tous sensiblement parallèlement à l'axe (X). 2. Pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger selon la revendication 1, dans lequel les nanotubes (16) 15 sont en carbone. 3. Pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les nanotubes (16) sont mono-feuillet. 4. Pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger 20 selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les nanotubes ont un diamètre (d) compris entre 2 et 10 nm, avantageusement compris entre 3 et 7 nm, notamment de l'ordre de 5 nm. 5. Pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger 25 selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les nanotubes (16) ont une longueur (h) comprise entre comprise entre 100 et 200 microns, notamment de l'ordre de 150 microns. 6. Pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger 30 selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la matrice rigide (16a) est en carbone. 7. Pièce pour mouvement horloger selon l'une quelconque des revendications précédentes, ladite pièce pour mouvement horloger étant un ressort spiral (12a) 35 adapté pour osciller autour de l'axe (X). 3052881 13 8. Pièce pour mouvement horloger selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, ladite pièce pour mouvement horloger étant un oscillateur (12') pour mouvement horloger. 5 9. Pièce pour mouvement horloger selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, ladite pièce pour mouvement horloger étant un ressort de barillet (8). 10.Mouvement horloger ayant un ressort spiral (12a) selon la revendication 7. 10 11.Pièce d'horlogerie comprenant un mouvement horloger (3) selon la revendication 10. 12.Procédé pour fabriquer une pièce (12a, 8, 12') pour mouvement horloger selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, comprenant les étapes suivantes : a) une étape de croissance de forêt de nanotubes (16), au cours de laquelle on fait croître la forêt de nanotubes ; b) une étape d'infiltration, au cours de laquelle on infiltre du matériau constitutif de la matrice rigide dans la forêt de nanotubes (16). 13.Procédé selon la revendication 12, dans lequel au cours de l'étape a) de croissance de forêt de nanotubes (16), on fait croître la forêt de nanotubes sur un substrat, et l'étape b) d'infiltration est suivie d'une étape c) de séparation au cours de laquelle on sépare le matériau composite du substrat. 14.Procédé selon la revendication 13, dans lequel au cours de l'étape a) de croissance de forêt de nanotubes (16), on fait croître la forêt de nanotubes (16) 30 sensiblement perpendiculairement au substrat. 35