FR 3059838 A1 20180608 FR 1661964 A 20161205 1 COMPOSANT MICRO-ONDES ET PROCEDE DE RÉGLAGE ASSOCIE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un composant micro-ondes du type ligne de transmission intégrée au substrat, comportant un guide d'onde comprenant une zone de propagation d'une onde électromagnétique, la zone de propagation s'étendant le long d'un axe de propagation et étant réalisée dans au moins un matériau diélectrique, la zone de propagation étant délimitée radialement, par rapport à l'axe de propagation, par au moins une paroi latérale comprenant au moins un matériau électriquement conducteur. L'invention concerne également un procédé de réglage d'un tel composant micro-ondes. L'invention s'applique au domaine des composants micro-ondes à base de lignes de transmission micro-ondes. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Il est connu d'avoir recours à la technologie GIS (cet acronyme signifiant de « guide d'onde intégré au substrat ») pour la conception de lignes de transmission micro-ondes. De tels composants sont couramment désignés par l'expression « composants GIS ». Au sens de la présente invention, l'expression « composant GIS » couvre également les composants à guide d'onde creux intégré au substrat. De tels composants GIS sont réalisés à partir de couches de substrats couramment utilisés dans le domaine de l'électronique, ce qui rend peu onéreuse la fabrication de tels composants GIS. En outre, de tels composants GIS présentent généralement une structure légère, et ne requièrent généralement pas de blindage, tout en autorisant une forte densité d'intégration. Ainsi, de tels composants GIS constituent une alternative 3059838 2 sérieuse aux guides d'ondes usuels, qui ne présentent généralement pas de tels avantages. Néanmoins, de tels composants micro-ondes GIS ne donnent pas entière satisfaction. 5 En effet, la réalisation de tels composants requiert de nombreuses étapes technologiques (telles que : découpe, gravure, usinage, traitements chimiques, etc.). Or, au cours de chacune de ces étapes technologiques, des erreurs sont susceptibles de se produire, de telles erreurs étant susceptibles de conduire à la fabrication d'un composant non fonctionnel, ou encore un composant dont les caractéristiques ne 10 répondent pas à un cahier des charges préétabli. De tels composants sont alors mis au rebus. Or, un taux de mise au rebus élevé se traduit par une augmentation des coûts de fabrication. De tels inconvénients se retrouvent, de façon générale, dans des composants micro-ondes du type ligne de transmission intégrée au substrat. 15 Un but de l'invention est donc de proposer un composant micro-ondes du type ligne de transmission intégrée au substrat pour lequel le taux de mise au rebus est plus satisfaisant. EXPOSÉ DE L'INVENTION A cet effet, l'invention a pour objet un composant micro-ondes du type 20 précité, dans lequel la zone de propagation possède, à un instant donné, soit une première géométrie correspondant à une première série de dimensions de la zone de propagation, soit une deuxième géométrie correspondant à une deuxième série de dimensions de la zone de propagation distincte de la première série de dimensions de la zone de propagation, le composant micro-ondes comportant, en outre, un dispositif de 25 réglage configuré pour faire passer la zone de propagation de la première géométrie à la deuxième géométrie durant un passage du dispositif de réglage d'un état désactivé à un état activé. 3059838 3 En effet, le passage de la zone de propagation de la première géométrie à la deuxième géométrie conduit à une modification des propriétés du composant micro-ondes. Ainsi, la présence du dispositif de réglage autorise un réglage d'un 5 composant micro-ondes, notamment pour conférer au composant micro-ondes des propriétés conformes à un cahier des charges préétabli. Par conséquent, un composant micro-ondes du type ligne de transmission intégrée au substrat selon l'invention présente un taux de mise au rebus qui est plus satisfaisant. Suivant d'autres aspects avantageux de l'invention, le composant micro- 10 ondes comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles : - le dispositif de réglage est configuré pour appliquer, sur au moins un point de contrainte situé sur le guide d'onde, une force correspondante pour faire passer la zone de propagation de la première géométrie à la deuxième géométrie, chaque force 15 présentant une composante non nulle dans un plan normal à l'axe de propagation ; - le dispositif de réglage comprend au moins une plaque de support fixe par rapport au guide d'onde, chaque plaque de support comportant au moins un trou taraudé, chaque trou taraudé recevant une vis propre à coopérer avec ledit trou 20 taraudé pour se déplacer le long d'un axe de translation correspondant, chaque vis comprenant une pointe orientée vers le guide d'onde, chaque plaque de support étant agencée pour que, lors du déplacement de chaque vis le long de l'axe de translation correspondant, la pointe de ladite vis soit propre à entrer en contact avec le guide d'onde en un point de contrainte pour appliquer 25 la force correspondante ; - la zone de propagation comporte au moins une cavité, le dispositif de réglage comprenant au moins une vis dont l'axe de translation passe par la cavité ; - la zone de propagation comporte au moins une cavité et au moins une zone de couplage disposée en série avec la cavité le long de l'axe de propagation, le 3059838 4 dispositif de réglage comprenant au moins une vis dont l'axe de translation passe par la zone de couplage ; - le composant micro-ondes comporte, pour chaque plaque de support, une plaque de contrainte agencée entre le guide d'onde et la pointe de chaque vis de 5 ladite plaque de support ; - le dispositif de réglage est configuré pour amener au moins un plongeur dans la zone de propagation, l'amenée du plongeur dans la zone de propagation permettant de faire passer la zone de propagation de la première géométrie à la deuxième géométrie, le plongeur étant réalisé dans un matériau conducteur électrique 10 ou dans un matériau diélectrique présentant une permittivité diélectrique différente de la permittivité diélectrique du matériau diélectrique dans lequel la zone de propagation est réalisée ; - dispositif de réglage est configuré pour amener chaque plongeur dans une région de la zone de propagation correspondant à un maximum d'intensité d'un 15 mode propre de propagation du guide d'onde. En outre, l'invention a pour objet un procédé de réglage d'un composant micro-ondes tel que défini ci-dessus, comprenant les étapes de : - fourniture du composant micro-ondes, le dispositif de réglage étant à l'état désactivé ; 20 - injection d'un signal d'entrée à une entrée du composant micro- ondes ; - mesure de la valeur d'une caractéristique prédéterminée d'un signal de sortie disponible à une sortie du composant micro-ondes, et comparaison de la valeur mesurée à une valeur attendue ; 25 - si la valeur mesurée diffère de la valeur attendue, passage du dispositif de réglage à l'état actif pour appliquer, sur chaque point de contrainte, une force correspondante ; - ajustement de chaque force jusqu'à ce que la différence entre la valeur mesurée et la valeur attendue satisfasse une condition prédéterminée. 3059838 5 En outre, l'invention a pour objet un procédé de réglage d'un composant micro-ondes tel que défini ci-dessus, comprenant les étapes de : - fourniture du composant micro-ondes, le dispositif de réglage étant à l'état désactivé ; 5 - injection d'un signal d'entrée à une entrée du composant micro- ondes ; - mesure de la valeur d'une caractéristique prédéterminée d'un signal de sortie disponible à une sortie du composant micro-ondes, et comparaison de la valeur mesurée à une valeur attendue ; 10 - si la valeur mesurée diffère de la valeur attendue, passage du dispositif de réglage à l'état actif pour déplacer au moins un plongeur par rapport à la zone de propagation ; - ajustement de la position de chaque plongeur par rapport à la zone de propagation jusqu'à ce que la différence entre la valeur mesurée et la valeur 15 attendue satisfasse une condition prédéterminée. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins 20 annexés sur lesquels : - la figure 1 est une vue en section d'un premier composant micro-ondes selon l'invention, le plan de section étant défini par un axe transverse et un axe de propagation du composant micro-ondes ; - la figure 2 est une vue en section du composant micro-ondes de la 25 figure 1, dans un plan orthogonal à l'axe de propagation ; - la figure 3 est un graphique représentant l'évolution des coefficients de réflexion et de transmission du composant micro-ondes de la figure 1, avant et après son réglage ; 3059838 6 - la figure 4 est une vue en section d'un deuxième composant micro-ondes selon l'invention, le plan de section étant défini par un axe transverse et un axe de propagation du composant micro-ondes ; - la figure 5 est une vue en section du composant micro-ondes de la 5 figure 4, dans un plan orthogonal à l'axe de propagation ; - la figure 6 est un graphique représentant l'évolution des coefficients de réflexion et de transmission du composant micro-ondes de la figure 4, avant et après son réglage ; et - la figure 7 est une vue en section d'une variante du composant micro- 10 ondes de la figure 4, dans un plan orthogonal à l'axe de propagation ; - la figure 8 est une vue en section d'un troisième composant micro-ondes selon l'invention, dans un plan orthogonal à un axe de propagation du composant micro-ondes ; et - la figure 9 est une vue en section d'un quatrième composant micro- 15 ondes selon l'invention, dans un plan orthogonal à un axe de propagation du composant micro-ondes. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un exemple d'un premier mode de réalisation d'un composant micro- 20 ondes 2 selon l'invention est schématiquement représenté sur les figures 1 et 2. Le composant micro-ondes 2 est, par exemple, un filtre, un coupleur, une antenne, un oscillateur, une charge, un circulateur ou encore un isolateur. Le composant micro-ondes 2 est du type « à guide intégré au substrat ». Le composant micro-ondes 2 comporte un guide d'onde 4 et un 25 dispositif de réglage 6. Le guide d'onde 4 est configuré pour guider une onde électromagnétique le long d'un axe de propagation X-X. Le dispositif de réglage 6 est configuré pour modifier les propriétés du guide d'onde 4. Par exemple, dans le cas où le composant micro-ondes 2 est un filtre, le 3059838 7 dispositif de réglage 6 est configuré pour modifier un coefficient de réflexion et/ou un coefficient de transmission du composant micro-ondes 2. Comme illustré par la figure 2, le guide d'onde 4 est formé dans un substrat 8, tel qu'une carte électronique. 5 Le substrat 8 s'étend dans un plan XY, défini par l'axe de propagation X- X et par un axe transverse Y-Y orthogonal à l'axe de propagation X-X. Le substrat 8 comprend une couche conductrice supérieure 10, une couche conductrice inférieure 11, une couche diélectrique 12 et des trous métallisés 14, plus communément appelés « vias ». 10 La couche conductrice supérieure 10, la couche conductrice inférieure 11 et la couche diélectrique 12 s'étendent chacune dans le plan XY. La couche conductrice supérieure 10 et la couche conductrice inférieure 11 sont disposées à distance l'une de l'autre, de part et d'autre de la couche diélectrique 12, au contact de la couche diélectrique 12. 15 La couche conductrice supérieure 10 et la couche conductrice inférieure 11 sont chacune réalisées dans un matériau électriquement conducteur, par exemple du cuivre. La couche diélectrique 12 est réalisée dans un matériau diélectrique, par exemple une résine époxyde. Chacune parmi la couche conductrice supérieure 10 et la couche 20 conductrice inférieure 11 forme une première paroi. Chaque via 14 s'étend le long d'un axe vertical Z-Z orthogonal à l'axe de propagation X-X et à l'axe transverse Y-Y, en traversant la couche conductrice supérieure 10, la couche diélectrique 12 et la couche conductrice inférieure 11. Chaque via 14 est réalisé dans un matériau électriquement conducteur et connecte électriquement la 25 couche conductrice supérieure 10 et la couche conductrice inférieure 11 entre elles. Les vias 14 sont disposés le long de l'axe de propagation X-X, selon deux rangées 16 distinctes, à distance l'une de l'autre. Chacune des rangés 16 de vias 14 forme une deuxième paroi. Pour chaque rangée 16 de vias 14, deux vias 14 successifs étant séparés par une portion du substrat 8, comme illustré par la figure 1. La distance entre deux vias 3059838 8 14 successifs est inférieure à la plus petite des longueurs d'onde des ondes électromagnétiques destinées à se propager dans le guide d'onde 4, par exemple inférieure ou égale à un cinquième de la plus petite des longueurs d'onde des ondes électromagnétiques destinées à se propager dans le guide d'onde 4. 5 En référence à la figure 2, les deux premières parois et les deux deuxièmes parois délimitent une zone de propagation 18 dans la couche diélectrique 12. Plus précisément, les deux premières parois et les deux deuxièmes parois délimitent radialement, par rapport à l'axe de propagation X-X, la zone de propagation 18. Sur la figure 1, la zone de propagation 18 correspond à la partie hachurée de la couche 10 diélectrique 12. La zone de propagation 18 s'étend le long de l'axe de propagation X-X. La zone de propagation 18 correspond à une zone dans laquelle sont confinées les ondes électromagnétiques lors de leur propagation dans le guide d'onde 4. Comme cela sera décrit ultérieurement, lorsque le dispositif de réglage 15 6 est dans un état dit « désactivé », la zone de propagation 18 possède une première géométrie correspondant à une première série de dimensions de la zone de propagation 18. Comme illustré par la figure 1, le guide d'onde 4 comporte des vias auxiliaires 14A agencés entre les rangées 16. 20 De préférence, la distance entre un via auxiliaire 14A et la rangée 16 de vias 14 la plus proche est inférieure à la plus petite des longueurs d'onde des ondes électromagnétiques destinées à se propager dans le guide d'onde 4, par exemple inférieure ou égale à un cinquième de la plus petite des longueurs d'onde des ondes électromagnétiques destinées à se propager dans le guide d'onde 4. 25 Chaque via auxiliaire 14A définit une zone de couplage 20 au niveau de la zone de propagation 18, dans un plan YZ orthogonal à l'axe de propagation X-X et passant par ledit via auxiliaire 14A. De préférence, chaque zone de couplage 20 est définie par un plan YZ passant par deux vias auxiliaires 14A radialement opposés par rapport à l'axe de 30 propagation X-X, comme cela apparaît sur la figure 1. 3059838 9 Deux zones de couplage 20 distinctes définissent entre elles, au niveau de la zone de propagation 18, une cavité 22. Le dispositif de réglage 6 est configuré pour modifier les propriétés du guide d'onde 4. Plus précisément, le dispositif de réglage 6 est propre à agir sur le guide 5 d'onde 4 pour faire passer la zone de propagation 18 de la première géométrie à au moins une deuxième géométrie distincte de la première géométrie. La deuxième géométrie correspond à une deuxième série de dimensions de la zone de propagation 18, distincte de la première série de dimensions de la zone de propagation 18 qui est associée à la première géométrie. 10 En référence à la figure 2, le dispositif de réglage 6 comprend une plaque de support 24 et une pluralité de vis 26. La plaque de support 24 est plane et est disposée en regard de l'une des parois du guide d'onde 4. La plaque de support 24 est fixe par rapport au guide d'onde 4. De préférence, l'étendue de la plaque de support 24 le long de l'axe de 15 propagation X-X est du même ordre de grandeur que l'étendue de la zone de propagation 18 le long de l'axe de propagation X-X. La plaque de support 24 comporte au moins un trou taraudé 28. Chaque trou taraudé 28 reçoit une vis 26 correspondante. Chaque vis 26 comporte une pointe 30 orientée vers le guide d'onde 4. 20 Chaque vis 26 est propre à coopérer avec le trou taraudé 28 correspondant pour se déplacer en translation le long d'un axe de translation correspondant. Dans l'exemple de la figure 2, l'axe de translation de la vis 26 est confondu avec l'axe vertical Z-Z. La plaque de support 24 est agencée pour que, lors du déplacement de 25 la vis 26 le long de l'axe de translation Z-Z, la pointe 30 de la vis 26 soit en mesure d'entrer en contact avec le guide d'onde 4. En particulier, la pointe 30 de la vis 26 est propre à entrer en contact avec le guide d'onde 4 en un point de contrainte 32 pour appliquer une force, illustrée par une flèche orientée vers le guide d'onde 4. Avantageusement, la force appliquée par chaque vis 26 sur le point de 30 contrainte 32 correspondant présente une composante non nulle dans un plan normal à 3059838 10 l'axe de propagation, pour entraîner la compression du guide d'onde 4, et plus particulièrement de la zone de propagation 18, dans une direction orthogonale à la direction de propagation X-X. Avantageusement, le composant micro-ondes 2 comporte également 5 une plaque de contrainte 34 agencée entre le guide d'onde 4 et plaque de support 24, et plus particulièrement entre le guide d'onde 4 et la pointe 30 de chaque vis 26 de la plaque de support 24. En variante, le dispositif de réglage 6 comprend une pluralité de plaques de supports 24. Dans ce cas, chaque plaque de support 24 est disposée en regard de l'une 10 des parois du guide d'onde 4. Chaque plaque de support 24 coopère avec le guide d'onde 4 et une pluralité de vis 26 d'une façon similaire à celle décrite précédemment. Le réglage du composant micro-ondes 2 va maintenant être décrit, en référence aux figures 2 et 3. Un composant micro-ondes 2 tel que décrit précédemment est fourni. 15 Le dispositif de réglage 6 est initialement à l'état désactivé, et la zone de propagation 18 du composant micro-ondes 2 possède la première géométrie. Par exemple, dans l'état désactivé, le dispositif de réglage 6 n'exerce pas de force sur le guide d'onde 4. Un signal d'entrée est injecté à une entrée du composant micro-ondes 20 2. Le signal d'entrée est une onde électromagnétique, de préférence une onde électromagnétique appartenant au domaine des micro-ondes. Avantageusement, le signal d'entrée présente une fréquence comprise entre 1 GHz (gigahertz) et 100 GHz, par exemple compris entre 15 GHz et 30 GHz. Le composant micro-ondes 2 fournit, en sortie un signal de sortie 25 représentatif de la réponse du composant micro-ondes 2 au signal d'entrée. Au moins une partie du signal de sortie est prélevée et analysée pour déterminer la valeur d'au moins une caractéristique prédéterminée du composant micro-ondes 2. Par exemple, la variation d'un coefficient de transmission du composant micro-ondes 2 en fonction de la fréquence du signal d'entrée est mesurée. 3059838 11 Selon un autre exemple, la variation d'un coefficient de réflexion du composant micro-ondes 2 en fonction de la fréquence du signal d'entrée est mesurée. La valeur mesurée de la caractéristique prédéterminée est comparée à une valeur attendue. Si la valeur mesurée est différente de la valeur attendue, alors le 5 dispositif de réglage 6 est amené dans un état dit « activé », dans lequel au moins une vis 26 du dispositif de réglage 6 exerce une force sur le guide d'onde 4. La force exercée par la vis 26 entraîne une déformation locale du guide d'onde 6, en particulier une déformation locale de la zone de propagation 18. Ceci entraîne le passage de la zone de propagation 18 de la première géométrie à une 10 deuxième géométrie, distincte de la première géométrie. La déformation locale de la zone de propagation 18 entraîne une variation locale des dimensions au sein de la zone de propagation 18, et donc une variation des propriétés du composant micro-ondes 2, par exemple la transmission du composant micro-ondes 2. 15 Les vis 26 sont déplacées le long de leur axe de translation jusqu'à atteindre une position finale pour laquelle, dans une plage de fréquences prédéterminée, la valeur mesurée de la caractéristique prédéterminée est égale à la valeur attendue. En variante, les vis 26 sont déplacées le long de leur axe de translation jusqu'à atteindre une position finale pour laquelle, dans la plage de fréquences 20 prédéterminée, l'intégrale de la différence entre la valeur mesurée de la caractéristique prédéterminée et la valeur attendue atteigne un minimum. Puis les vis 26 sont bloquées dans la position finale. Le réglage du composant micro-ondes 2 est alors achevé. Une fois le réglage du composant micro-ondes 2 achevé, les 25 caractéristiques prédéterminées du composant micro-ondes 2 présentent des valeurs attendues. Un tel réglage est réalisé par un opérateur ou de façon automatique. Dans ce dernier cas, un actionneur (non représenté) est fourni pour actionner le déplacement de chaque vis 26 le long de son axe de translation en fonction de la valeur 30 mesurée de chaque caractéristique prédéterminée. 3059838 12 En variante, l'état désactivé du dispositif de réglage 6 correspond à un état dans lequel au moins une vis 26 applique une force sur le guide d'onde 4. Dans ce cas, l'état activé correspond à un état dans lequel au moins une vis 26 applique, sur le guide d'onde 4, une force différente de la force que ladite vis 26 applique sur le guide 5 d'onde 4 dans l'état désactivé. A titre d'exemple illustratif, le composant micro-ondes 2 est un filtre micro-ondes passe-bande. La variation du coefficient de transmission du filtre en fonction de la fréquence du signal d'entrée, lorsque le dispositif de réglage 6 est à l'état désactivé, est 10 illustrée par la courbe 40 (trait discontinu) de la figure 3. La variation du coefficient de réflexion du filtre en fonction de la fréquence du signal d'entrée, lorsque le dispositif de réglage 6 est à l'état désactivé, est également représentée, et est illustrée par la courbe 42 (courbe en pointillés). Pour un tel filtre, avant réglage, la fréquence centrale vaut 21,3 GHz 15 (gigahertz), la bande-passante vaut 380 MHz (mégahertz), le coefficient de transmission à la fréquence centrale vaut -3,9 dB (décibel) et le coefficient de réflexion en entrée du filtre est de l'ordre de -20 dB à la fréquence centrale. Il est supposé, dans cet exemple, que de telles caractéristiques ne correspondent pas à des spécifications requises pour ce composant. Le réglage du filtre est alors effectué selon le procédé de réglage décrit 20 précédemment. La variation du coefficient de transmission du filtre après réglage en fonction de la fréquence du signal d'entrée est illustrée par la courbe 44 (trait plein) de la figure 3. En outre, la variation du coefficient de réflexion du filtre après réglage 25 en fonction de la fréquence du signal d'entrée est illustrée par la courbe 46 (trait mixte). Durant le réglage du filtre, la fréquence centrale a été abaissée pour atteindre une valeur souhaitée de 21,2 GHz. En outre, le filtre a été rendu plus sélectif, la bande-passante ayant été réduite à 370 MHz. Le coefficient de réflexions du filtre a été réduit pour atteindre environ -40 dB à la fréquence centrale, la valeur du coefficient de 30 transmission à la fréquence centrale demeurant inchangée. 3059838 13 Un exemple d'un deuxième mode de réalisation d'un composant micro-ondes 52 selon l'invention est schématiquement représenté sur les figures 4 et 5. Le composant micro-ondes 52 est, par exemple, un filtre, un coupleur, une antenne, un oscillateur, une charge, un circulateur ou encore un isolateur. 5 Le composant micro-ondes 52 est du type « à guide d'onde creux intégré au substrat ». Le composant micro-ondes 52 comprend un guide d'onde 54 et un dispositif de réglage 56. Le guide d'onde 54 se distingue du guide d'onde 4 du composant micro- 10 ondes 2 des figures 1 et 2 en ce qu'il comprend quatre substrats 8. Comme cela apparaît sur la figure 5, le guide d'onde 54 comprend un substrat supérieur 8A, un substrat inférieur 8B, et deux substrats latéraux notés 8C et 8D respectivement. Chaque substrat 8 s'étend dans le plan XY défini précédemment. 15 Le substrat supérieur 8A et le substrat inférieur 8B sont disposés à distance l'un de l'autre. Les substrats latéraux 8C, 8D sont également disposés à distance l'un de l'autre, et agencés entre le substrat supérieur 8A et le substrat inférieur 8B, comme illustré par la figure 4. 20 Plus précisément, la couche conductrice supérieure 10 de chacun des substrats latéraux 8C, 8D est au contact de la couche conductrice inférieure 11 du substrat supérieur 8A. En outre, la couche conductrice inférieure 11 de chacun des substrats latéraux 8C, 8D est au contact de la couche conductrice supérieure 10 du substrat inférieur 8B. Ainsi, le substrat supérieur 8A, les substrats latéraux notés 8C et 8D 25 et le substrat inférieur 8B forment un empilement, visible sur la figure 5. En outre, la couche conductrice supérieure 10 de chacun des substrats latéraux 8C, 8D est électriquement reliée à la couche conductrice inférieure 11 du substrat supérieur 8A. La couche conductrice inférieure 11 de chacun des substrats latéraux 8C, 8D est électriquement reliée à la couche conductrice supérieure 10 du 30 substrat inférieur 8B. 3059838 14 Comme cela apparaît sur la figure 5, les substrats 8 sont agencés pour délimiter latéralement, par rapport à l'axe de propagation X-X défini précédemment, la zone de propagation 18. Dans ce cas, le matériau diélectrique de la zone de propagation 18 dépend de l'étanchéité du composant micro-ondes 52. Par exemple, le matériau 5 diélectrique de la zone de propagation 18 est de l'air. Selon un autre exemple, le matériau diélectrique est un gaz autre que l'air, par exemple de l'azote. Selon un autre exemple, la zone de propagation 18 est vide de gaz. Le substrat supérieur 8A comporte au moins une ouverture traversante 58. L'ouverture traversante 58 s'étend le long de l'axe vertical Z-Z en traversant la couche 10 conductrice supérieure 10, la couche diélectrique 12 et la couche conductrice inférieure 11 du substrat supérieur 8A. Plus précisément, l'ouverture traversante 58 débouche, à travers la couche conductrice inférieure 11, sur la zone de propagation 18. Avantageusement, l'ouverture traversante 58 est métallisée pour assurer un contact électrique entre la couche conductrice supérieure 10 et la couche 15 conductrice inférieure 11 du substrat supérieur 8A. Avantageusement, l'axe de l'ouverture traversante 58 passe par une région de la zone de propagation 18 qui correspond à un maximum d'intensité d'un mode propre de propagation du guide d'onde 54. De telles régions correspondent notamment à des zones centrales des cavités 22 et/ou des zones de couplage 20. 20 En référence à la figure 5, le dispositif de réglage 56 comprend une plaque de support 24 et une pluralité de vis 26. La plaque de support 24 du dispositif de réglage 56 est similaire à la plaque de support 24 du dispositif de réglage 6 de la figure 2. Chaque vis 26 est réalisée dans un matériau conducteur ou diélectrique, dont la permittivité diélectrique est différente de la permittivité diélectrique du matériau 25 diélectrique de la zone de propagation 18. Chaque trou taraudé 28 de la plaque de support 24 est associé à une ouverture traversante 58, de sorte que la vis 26 engagée dans un trou taraudé 28 soit apte à se déplacer en translation à travers le trou taraudé 28 et l'ouverture traversante 58, jusque dans la zone de propagation 18. A cet effet, le diamètre de l'ouverture 30 traversante 58 est supérieur ou égal au diamètre de la vis 26. 3059838 15 De préférence, le dispositif de réglage 56 est configuré pour que la pointe 30 de chaque vis 26 puisse être amenée dans une région de la zone de propagation 18 qui correspond à un maximum d'intensité d'un mode propre de propagation du guide d'onde 56. 5 Chaque vis 26 est encore appelée « plongeur ». Le réglage du composant micro-ondes 52 va maintenant être décrit, en référence aux figures 5 et 6. Un composant micro-ondes 52 tel que décrit précédemment est fourni. Le dispositif de réglage 56 est initialement à l'état désactivé, c'est-à-dire 10 qu'aucun plongeur 26 ne se trouve dans la zone de propagation 18. Dans ce cas, la zone de propagation 18 du composant micro-ondes 52 possède la première géométrie. Un signal d'entrée est injecté à une entrée du composant micro-ondes 52. L'onde électromagnétique 52 appartient au domaine des micro-ondes. Le composant micro-ondes 52 fournit en sortie un signal de sortie. 15 Au moins une partie du signal de sortie est prélevée et analysée pour déterminer la valeur d'au moins une caractéristique prédéterminée du composant micro-ondes 52. Par exemple, la variation du coefficient de transmission du composant micro-ondes 52 en fonction de la fréquence du signal d'entrée est mesurée. 20 Selon un autre exemple, la variation du coefficient de réflexion du composant micro-ondes 52 en fonction de la fréquence du signal d'entrée est mesurée. La valeur mesurée de la caractéristique prédéterminée est comparée à une valeur attendue. Si la valeur mesurée est différente de la valeur attendue, alors le dispositif de réglage 56 est amené dans l'état activé, dans laquelle au moins un plongeur 25 26 du dispositif de réglage 56 est engagé dans la zone de propagation 18. La présence du plongeur 26 dans la zone de propagation 18 correspondant à une modification de la géométrie de la zone de propagation 18, la modification étant d'autant plus importante que la portion du plongeur 26 présente dans la zone de propagation 18 est grande. Dans ce cas, la zone de propagation 18 possède 30 une deuxième géométrie, distincte de la première géométrie. 3059838 16 La présence du plongeur 26 dans la zone de propagation 18 entraîne une variation locale de la géométrie de la zone de propagation 18, et donc une variation des propriétés du composant micro-ondes 52, par exemple la transmission du composant micro-ondes 52. En outre, la plongeur 26 constitue un obstacle le long du parcours du 5 signal injecté dans le composant micro-ondes 2, ce qui a pour effet de modifier le signal de sortie, par rapport au signal de sortie obtenu en l'absence du plongeur 26. Les plongeurs 26 sont déplacés le long de leur axe de translation, une partie plus ou moins grande de chaque plongeur 26 étant présente ou non dans la zone de propagation 18, jusqu'à atteindre une position finale pour laquelle, dans une plage de 10 fréquences prédéterminée, la valeur mesurée de la caractéristique prédéterminée est égale à la valeur attendue. En variante, les plongeurs 26 sont déplacés le long de leur axe de translation, une partie plus ou moins grande de chaque plongeur 26 étant présente dans la zone de propagation 18, jusqu'à atteindre une position finale pour laquelle, dans la 15 plage de fréquences prédéterminée, l'intégrale de la différence entre la valeur mesurée de la caractéristique prédéterminée et la valeur attendue atteigne un minimum. Puis les plongeurs 26 sont bloqués dans la position finale. Le réglage du composant micro-ondes 52 est alors achevé. Une fois le réglage du composant micro-ondes 52 achevé, les 20 caractéristiques prédéterminées du composant micro-ondes 52 présentent des valeurs attendues. En variante, l'état désactivé du dispositif de réglage 6 correspond à un état dans lequel une partie d'au moins un plongeur 26 est disposée dans la zone de propagation 18. Dans ce cas, l'état activé correspond à un état dans lequel au moins un 25 plongeur 26 occupe une position, le long de son axe de translation, différente de la position occupée par ledit plongeur dans l'état désactivé. A titre d'exemple illustratif, le composant micro-ondes 52 est un filtre micro-ondes passe-bande. 3059838 17 La variation du coefficient de transmission du filtre en fonction de la fréquence de l'onde électromagnétique d'entrée, lorsque le dispositif de réglage 56 est à l'état désactivé, est illustrée par la courbe 60 (trait discontinu) de la figure 6. La variation du coefficient de réflexion du filtre en fonction de la 5 fréquence de l'onde électromagnétique d'entrée, lorsque le dispositif de réglage 56 est à l'état désactivé, est également représentée, et est illustrée par la courbe 62 (courbe en pointillés). Pour un tel filtre passe-bande, la fréquence centrale vaut 21,4 GHz, la bande-passante vaut 270 MHz, le coefficient de transmission à la fréquence centrale 10 présente une valeur de -3,7 dB et le coefficient de réflexion en entrée du filtre est de l'ordre de -10 dB sur l'étendue de la bande-passante. Il est supposé, dans cet exemple, que de telles caractéristiques ne correspondent pas à des spécifications requises pour ce composant ; notamment, la valeur du coefficient de réflexion en entrée du filtre n'est pas satisfaisante. Le réglage du filtre est alors effectué selon le procédé de réglage décrit 15 précédemment. La variation du coefficient de transmission du filtre réglé en fonction de la fréquence du signal d'entrée est illustrée par la courbe 64 (trait plein) de la figure 6. La variation du coefficient de réflexion du filtre réglé en fonction de la fréquence du signal d'entrée est illustrée par la courbe 66 (trait mixte). 20 Durant le réglage du filtre, la bande-passante a été élargie à 310 MHz. En outre, le coefficient de réflexion a été réduit jusqu'à -20 dB sur l'ensemble de la bande-passante. Le coefficient de transmission à la fréquence centrale a, par ailleurs, été réduit à -2,8 dB. En variante, le dispositif de réglage 56 comprend une pluralité de 25 plaques de support 24. Dans ce cas, chaque plaque de support 24 est disposée en regard de l'un parmi le substrat supérieur 8A, le substrat inférieur 8B et les substrats latéraux 8C, 8D. En outre, chacun parmi le substrat supérieur 8A, le substrat inférieur 8B et les substrats latéraux 8C, 8D comprend des ouvertures traversantes 58 débouchant chacun sur un trou taraudé 28 de la plaque de support 24 correspondante. Chaque plaque de 3059838 18 support 24 coopère avec le guide d'onde 54 et une pluralité de vis 26 d'une façon similaire à celle décrite précédemment. Selon une autre variante, représentée sur la figure 7, le dispositif de réglage 56 est dépourvu de plaque de support. Dans ce cas, chaque plongeur 26 est 5 déplacé le long de son axe de translation, puis fixé à demeure au guide d'onde 54 dans une position finale correspondant à une valeur souhaitée d'une caractéristique prédéterminée du composant micro-ondes 52. Par exemple, le plongeur 26 est une tige dépourvue de filetage, et non pas une vis, par exemple une tige en argent. 10 Par exemple, le plongeur 26 est maintenu dans la position finale grâce à une soudure 68. En variante, un composant micro-ondes du type « à guide d'onde creux intégré au substrat » est muni d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2. Le réglage d'un tel composant micro-ondes se déroule d'une façon 15 similaire au réglage du composant micro-ondes 2 des figures 1 et 2. En variante, un composant micro-ondes du type « à guide d'onde intégré au substrat », c'est-à-dire un composant micro-ondes dont le guide d'onde n'est pas creux, est muni d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 56 des figures 5 et 7. Dans ce cas, la zone de propagation est majoritairement pleine, et présente 20 des canaux s'étendant chacun le long d'un axe de déplacement d'un plongeur et chacun propre à accueillir un plongeur correspondant. Le réglage d'un tel composant micro-ondes se déroule d'une façon similaire au réglage du composant micro-ondes 52 des figures 5 et 7, chaque plongeur étant non engagé, engagé partiellement ou engagé en totalité dans le canal 25 correspondant. Selon une autre variante, un composant micro-ondes du type « à guide d'onde intégré au substrat » ou du type « à guide d'onde creux intégré au substrat » est muni à la fois d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2 et d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 56 des figures 5 et 7. 3059838 19 Le réglage d'un tel composant micro-ondes se déroule d'une façon similaire à ce qui été décrit précédemment, en ajustant à la fois la force exercée sur le guide d'onde, et la position des plongeurs dans la zone de propagation. Selon une autre variante, un composant micro-ondes est muni d'un 5 dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2, la zone de propagation présentant, en outre : - dans le cas d'un composant micro-ondes « à guide d'onde intégré au substrat », au moins un canal s'étendant le long d'un axe de déplacement d'une vis et propre à accueillir la vis ; ou 10 - dans le cas d'un composant micro-ondes « à guide d'onde creux intégré au substrat », au moins une ouverture traversante s'étendant le long d'un axe de déplacement d'une vis et propre à accueillir la vis. Le réglage d'un tel composant micro-ondes se déroule d'une façon similaire à ce qui été décrit précédemment, en ajustant à la fois la force exercée sur le 15 guide d'onde, et la position des vis dans la zone de propagation. Un exemple d'un troisième mode de réalisation d'un composant micro-ondes 102 selon l'invention est schématiquement représenté sur la figure 8. Le composant micro-ondes 102 est, par exemple, un filtre, un coupleur, une antenne, un oscillateur, une charge, un circulateur ou encore un isolateur. 20 Le composant micro-ondes 102 est du type « ligne coaxiale intégrée au substrat ». Comme cela apparaît sur la figure 8, le composant micro-ondes 102 se distingue du composant micro-ondes 52 de la figure 5 uniquement en ce qu'il comporte également une âme 104. 25 L'âme s'étend le long de l'axe de propagation X-X. L'âme 104 comprend un coeur 106 et une pellicule 108. Le coeur 106 s'étend le long de l'axe de propagation X-X. La pellicule 108 délimite radialement le coeur 106 par rapport à l'axe de propagation X-X. Le coeur 106 est réalisé dans un matériau diélectrique. En outre, la pellicule 108 est réalisée dans un matériau conducteur 30 d'électricité. 3059838 20 L'âme 104 est disposée dans la zone de propagation 18 du composant micro-ondes 102, à distance de chacun des substrats 8A, 8B, 8C, 8D. Par exemple, l'âme 104 est séparée des substrats 8A, 8B, 8C, 8D par un matériau diélectrique gazeux ou par du vide (cas des composants dits « creux »). Dans ce 5 cas, l'âme 104 repose, par exemple, sur des plots (non représentés) agencés dans la zone de propagation 18. Les plots sont réalisés dans un matériau diélectrique. En variante, l'âme 104 est séparée des substrats 8A, 8B, 8C, 8D par un matériau diélectrique solide (cas des composants dits « pleins »). Ledit matériau électrique joue alors le rôle de support. 10 Comme illustré par la figure 8, le composant micro-ondes 102 est muni d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 56 des figures 5 et 7. Dans ce cas, le réglage du composant micro-ondes 102 se déroule d'une façon similaire à ce qui été décrit précédemment, en ajustant la position des plongeurs dans la zone de propagation 18. 15 En variante, le composant micro-ondes 102 est muni d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2, ou encore à la fois d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2 et d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 56 des figures 5 et 7. Dans ce cas, le réglage du composant micro-ondes 102 se déroule d'une 20 façon similaire à ce qui été décrit précédemment, en ajustant la force exercée sur le guide d'onde et/ou la position des plongeurs dans la zone de propagation 18. Avantageusement, lors du réglage du composant micro-ondes 102, un contact électrique entre la vis 26 et l'âme 104 n'est pas autorisé. Un exemple d'un quatrième mode de réalisation d'un composant micro- 25 ondes 152 selon l'invention est schématiquement représenté sur la figure 9. Le composant micro-ondes 152 est, par exemple, un filtre, un coupleur, une antenne, un oscillateur, une charge, un circulateur ou encore un isolateur. Le composant micro-ondes 152 est du type « ligne suspendue intégrée au substrat ». 3059838 21 Comme cela apparaît sur la figure 9, le composant micro-ondes 152 se distingue du composant micro-ondes 52 de la figure 5 uniquement en ce qu'il comporte également un conducteur 154. Le conducteur 154 est réalisé dans un matériau conducteur d'électricité. 5 Le conducteur 154 est disposé dans la zone de propagation 18 du composant micro-ondes 152, et s'étend le long de l'axe de propagation X-X. En outre, le conducteur 154 est agencé à distance de chacun des substrats 8A, 8B, 8C et 8D. Le conducteur 154 présente, par exemple, la forme d'une bande 10 agencée entre la couche conductrice inférieure 11 du substrat supérieur 8A et la couche conductrice supérieure 10 du substrat inférieur 8B, avantageusement parallèle à la couche conductrice inférieure 11 du substrat supérieur 8A et à la couche conductrice supérieure 10 du substrat inférieur 8B. Par exemple, le conducteur 154 est séparé des substrats 8A, 8B, 8C, 8D 15 par un matériau diélectrique gazeux ou par du vide (cas des composants dits « creux »). Dans ce cas, le conducteur 154 repose, par exemple, sur un support 156 s'étendant dans la zone de propagation 18, entre les substrats latéraux 8C, 8D. Le support 156 est réalisé dans un matériau diélectrique. Selon un autre exemple, le conducteur 154 est séparé des substrats 8A, 20 8B, 8C, 8D par un matériau diélectrique solide (cas des composants dits « pleins »). Ledit matériau électrique joue alors le rôle de support. Comme illustré par la figure 9, le composant micro-ondes 152 est muni d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 56 des figures 5 et 7. Dans ce cas, le réglage du composant micro-ondes 152 se déroule d'une 25 façon similaire à ce qui été décrit précédemment, en ajustant la position des plongeurs dans la zone de propagation 18. En variante, le composant micro-ondes 152 est muni d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2, ou encore à la fois d'un dispositif de réglage similaire au dispositif de réglage 6 de la figure 2 et d'un dispositif de réglage 30 similaire au dispositif de réglage 56 des figures 5 et 7. 3059838 22 Dans ce cas, le réglage du composant micro-ondes 152 se déroule d'une façon similaire à ce qui été décrit précédemment, en ajustant la force exercée sur le guide d'onde et/ou la position des plongeurs dans la zone de propagation 18. Avantageusement, lors du réglage du composant micro-ondes 152, un 5 contact électrique entre la vis 26 et l'âme 104 n'est pas autorisé. Les composants du type à guide intégré au substrat, du type à guide creux intégré au substrat, du type ligne coaxiale intégrée au substrat et du type ligne suspendue intégrée au substrat sont des composants du type ligne de transmission intégrée au substrat. 10 REVENDICATIONS1. Composant micro-ondes (2 ; 52 ; 102 ; 152) du type ligne de transmission intégrée au substrat, comportant un guide d'onde (4 ; 54) comprenant une zone de propagation (18) d'une onde électromagnétique, la zone de propagation (18) s'étendant le long d'un axe de propagation (X-X) et étant réalisée dans au moins un matériau diélectrique, la zone de propagation (18) étant délimitée radialement, par rapport à l'axe de propagation (X-X), par au moins une paroi latérale comprenant au moins un matériau électriquement conducteur, le composant micro-ondes (2 ; 52 ; 102 ; 152) étant caractérisé en ce que la zone de propagation (18) possède, à un instant donné, soit une première géométrie correspondant à une première série de dimensions de la zone de propagation (18), soit une deuxième géométrie correspondant à une deuxième série de dimensions de la zone de propagation (18) distincte de la première série de dimensions de la zone de propagation (18), le composant micro-ondes (2 ; 52 ; 102 ; 152) comportant, en outre, un dispositif de réglage (6 ; 56) configuré pour faire passer la zone de propagation (18) de la première géométrie à la deuxième géométrie durant un passage du dispositif de réglage (6 ; 56) d'un état désactivé à un état activé. 2. Composant micro-ondes (2) selon la revendication 1, dans lequel le dispositif de réglage (6) est configuré pour appliquer, sur au moins un point de contrainte (32) situé sur le guide d'onde (4), une force correspondante pour faire passer la zone de propagation (18) de la première géométrie à la deuxième géométrie, chaque force présentant une composante non nulle dans un plan normal à l'axe de propagation (X-X). 3. Composant micro-ondes (2) selon la revendication 2, dans lequel le dispositif de réglage (6) comprend au moins une plaque de support (24) fixe par rapport 3059838 24 au guide d'onde (4), chaque plaque de support (24) comportant au moins un trou taraudé (28), chaque trou taraudé (28) recevant une vis (26) propre à coopérer avec ledit trou taraudé (28) pour se déplacer le long d'un axe de translation (Z-Z) 5 correspondant, chaque vis (26) comprenant une pointe (30) orientée vers le guide d'onde (4), chaque plaque de support (24) étant agencée pour que, lors du déplacement de chaque vis (26) le long de l'axe de translation (Z-Z) correspondant, la pointe (30) de ladite vis (26) soit propre à entrer en contact avec le guide d'onde (4) en un 10 point de contrainte (32) pour appliquer la force correspondante. 4. Composant micro-ondes (2) selon la revendication 2 ou 3, dans lequel la zone de propagation (18) comporte au moins une cavité (22), le dispositif de réglage (6) comprenant au moins une vis (26) dont l'axe de translation (Z-Z) passe par la cavité (22). 15 5. Composant micro-ondes (2) selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel la zone de propagation (18) comporte au moins une cavité (22) et au moins une zone de couplage (20) disposée en série avec la cavité (22) le long de l'axe de propagation (X-X), le dispositif de réglage (6) comprenant au moins une 20 vis (26) dont l'axe de translation (Z-Z) passe par la zone de couplage (20). 6. Composant micro-ondes (2) selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, le composant micro-ondes (2) comportant, pour chaque plaque de support (24), une plaque de contrainte (34) agencée entre le guide d'onde (4) et la pointe 25 (30) de chaque vis (26) de ladite plaque de support (24). 7. Composant micro-ondes (52 ; 102 ; 152) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le dispositif de réglage (56) est configuré pour amener au moins un plongeur (26) dans la zone de propagation (18), l'amenée du plongeur (26) dans la zone de propagation (18) permettant de faire passer la zone de propagation (18) 3059838 25 de la première géométrie à la deuxième géométrie, le plongeur (26) étant réalisé dans un matériau conducteur électrique ou dans un matériau diélectrique présentant une permittivité diélectrique différente de la permittivité diélectrique du matériau diélectrique dans lequel la zone de propagation (18) est réalisée. 5 8. Composant micro-ondes (52 ; 102 ; 152) selon la revendication 7, dans lequel le dispositif de réglage (56) est configuré pour amener chaque plongeur (26) dans une région de la zone de propagation (18) correspondant à un maximum d'intensité d'un mode propre de propagation du guide d'onde (54). 10 9. Procédé de réglage d'un composant micro-ondes (2) selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, comprenant les étapes de : - fourniture du composant micro-ondes (2), le dispositif de réglage (6) étant à l'état désactivé ; 15 - injection d'un signal d'entrée à une entrée du composant micro-ondes (2) ; - mesure de la valeur d'une caractéristique prédéterminée d'un signal de sortie disponible à une sortie du composant micro-ondes (2), et comparaison de la valeur mesurée à une valeur attendue ; 20 - si la valeur mesurée diffère de la valeur attendue, passage du dispositif de réglage (6) à l'état actif pour appliquer, sur chaque point de contrainte (32), une force correspondante ; - ajustement de chaque force jusqu'à ce que la différence entre la valeur mesurée et la valeur attendue satisfasse une condition prédéterminée. 25 10. Procédé de réglage d'un composant micro-ondes (52 ; 102 ; 152) selon la revendication 7 ou 8, comprenant les étapes de : - fourniture du composant micro-ondes (52 ; 102 ; 152), le dispositif de réglage (56) étant à l'état désactivé ; 3059838 26 - injection d'un signal d'entrée à une entrée du composant micro-ondes (52 ; 102 ; 152) ; - mesure de la valeur d'une caractéristique prédéterminée d'un signal de sortie disponible à une sortie du composant micro-ondes (52 ; 102 ; 152), et 5 comparaison de la valeur mesurée à une valeur attendue ; - si la valeur mesurée diffère de la valeur attendue, passage du dispositif de réglage (56) à l'état actif pour déplacer au moins un plongeur (26) par rapport à la zone de propagation (18) ; - ajustement de la position de chaque plongeur (26) par rapport à la 10 zone de propagation (18) jusqu'à ce que la différence entre la valeur mesurée et la valeur attendue satisfasse une condition prédéterminée.