FR 3054373 A1 20180126 FR 1656923 A 20160720 B15119 - 16-T0-0141FRO1 1 DISPOSITIF DE PROTECTION CONTRE DES SURTENSIONS Domaine La présente demande concerne la protection des circuits électroniques contre des surtensions et plus particulièrement un dispositif de protection contre des surtensions telles que des 5 surcharges électrostatiques. Exposé de l'art antérieur La figure 1 est un schéma électrique illustrant un circuit 1 de protection contre les surtensions présenté dans le brevet américain de référence US2015/02221628 Al. Le circuit 1 10 est connecté entre deux bornes d'entrée/sortie, 101 et 102, d'un circuit à protéger et une borne de référence GND. Le circuit 1 comprend, en série, entre la borne d'entrée/sortie 101 et la borne de référence GND, une diode 3 en direct et une diode 5 avec une tension d'avalanche contrôlée en inverse. Le circuit de protection 15 comprend en outre, entre la borne d'entrée/sortie 102 et la borne de référence GND, une diode 7 en direct et une diode 9 avec une tension d'avalanche contrôlée en inverse. Le signal sur les bornes 101 et 102 peut par exemple être un signal de données binaire. En cas de surtension sur la borne 101, celle-ci est évacuée par la 20 diode 3 et la diode 5. La surtension est alors limitée à une tension supérieure aux tensions positives normales du signal de données. En cas de surtension sur la borne 102, celle-ci est 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 2 évacuée par la diode 7 et la diode 9. La surtension est alors limitée à une tension supérieure aux tensions positives normales du signal de données. Il est souhaitable que le circuit de protection n'influence ni le fonctionnement et les performances du circuit à protéger, ni la forme des signaux fournis. Notamment, si le signal sur la borne à protéger est un signal binaire, en créneaux, pour conserver la forme carrée de ce signal, la capacité totale du circuit de protection doit être la plus faible possible. Résumé Un mode de réalisation prévoit un dispositif de protection contre les surcharges électrostatiques de faible capacité. Ainsi, un mode de réalisation prévoit un dispositif de protection contre les surcharges électrostatiques comprenant successivement : un substrat semiconducteur très fortement dopé d'un premier type de conductivité ; une première couche semiconductrice enterrée fortement dopée d'un deuxième type de conductivité ; une première couche semiconductrice faiblement dopée du deuxième type de conductivité ; et une deuxième couche fortement dopée du premier type de conductivité, ce dispositif comprenant en outre, entre la première couche enterrée et la première couche, une troisième couche dopée du premier type de conductivité, ayant une épaisseur et une concentration en atomes dopants adaptées à former à la jonction de la première couche et de la troisième couche une diode fonctionnant en inverse en perçage. Selon un mode de réalisation la première couche enterrée, la troisième couche, la première couche et la deuxième couche sont empilées sur une première portion du substrat, dans lequel le substrat comprend en outre une deuxième région sur laquelle reposent : une deuxième couche semiconductrice enterrée fortement dopée du premier type de conductivité ; une quatrième couche semiconductrice faiblement dopée du deuxième type de 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 3 conductivité ; et une cinquième couche semiconductrice fortement dopée du premier type de conductivité. Selon un mode de réalisation la troisième couche a une épaisseur comprise entre 0,5 et 3 pin, suffisamment fine pour ne 5 pas affecter le fonctionnement du circuit dans l'avalanche. Selon un mode de réalisation la troisième couche a une concentration maximale en atomes dopants comprise entre 5x1014 et 5x1016 atomes/cm3. Selon un mode de réalisation les première et quatrième 10 couches sont formées simultanément. Selon un mode de réalisation la première couche est formée par épitaxie. Selon un mode de réalisation une première métallisation de contact repose sur la deuxième couche et une deuxième 15 métallisation de contact repose sur la cinquième couche. Un autre mode de réalisation prévoit un circuit de protection contre les surcharges électrostatiques susceptibles de survenir sur une première borne d'entrée/sortie d'un circuit à protéger, ce circuit de protection comprenant en série entre 20 ladite borne et une borne de référence : une première diode en direct ; une diode en inverse fonctionnant en perçage ; une deuxième diode en direct ; et une première diode avec une tension d'avalanche contrôlée en inverse. Selon un mode de réalisation le circuit de protection 25 comprend en outre en série, entre une deuxième borne d'entrée/sortie du circuit à protéger et la borne de référence : une troisième diode en direct ; et une deuxième diode avec une tension d'avalanche contrôlée en inverse. Un autre mode de réalisation prévoit un procédé de 30 fabrication d'un dispositif de protection contre les surcharges électrostatiques comprenant les étapes suivantes : implanter dans un substrat semiconducteur très fortement dopé d'un premier type de conductivité, une première couche enterrée fortement dopée d'un deuxième type de conductivité ; implanter dans le substrat une 35 deuxième couche enterrée fortement dopée du premier type de 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 4 conductivité ; former par épitaxie une première couche faiblement dopée du deuxième type de conductivité ; et réaliser une deuxième couche fortement dopée du premier type de conductivité, le procédé comprenant la réalisation d'une série de recuits entraînant la 5 diffusion des atomes dopants du substrat à travers la première couche enterrée, pour former une troisième couche du premier type de conductivité entre la première couche enterrée et la première couche. Selon un mode de réalisation le coefficient de diffusion 10 des atomes dopants du substrat est plus grand que le coefficient de diffusion des atomes dopants de la première couche enterrée. Selon un mode de réalisation le substrat est dopé au bore et la première couche enterrée est dopée à l'arsenic. Brève description des dessins 15 Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1, décrite précédemment, illustre un circuit 20 de protection contre les surcharges électrostatiques ; la figure 2 illustre un mode de réalisation d'un circuit de protection contre les surcharges électrostatiques ; la figure 3 illustre un mode de réalisation d'un dispositif de protection contre les surcharges 25 électrostatiques ; et les figures 4 et 5 sont des graphiques représentant les niveaux de dopage du dispositif de protection contre les surcharges électrostatiques de la figure 3. Description détaillée 30 De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, seuls les éléments qui sont utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 5 Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tel que le terme "arrière", ou relative, tels que les termes "supérieur" et "inférieur", il est fait référence à l'orientation des figures. 5 Sauf précision contraire, l'expression "de l'ordre de" signifie à 10 % près, de préférence à 5 % près. La figure 2 est un schéma électrique d'un mode de réalisation d'un circuit 10 de protection contre les surcharges électrostatiques. Le circuit 10 comprend de mêmes éléments 10 désignés par de mêmes références que le circuit 1 présenté en figure 1. Le circuit 10 comprend en outre en série entre la diode 3 et la diode 5, une diode 12 en inverse et une diode 14 en direct. La diode 12 est du type fonctionnant en perçage, c'est-à-dire qu'elle est conductrice en inverse avec une très faible chute de 15 tension. L'ensemble des diodes 12 et 14 n'affecte donc pas le fonctionnement du circuit de protection dans l'avalanche mais introduit deux capacités série supplémentaires du fait de l'introduction de deux jonctions supplémentaires : les jonctions correspondant aux diodes 12 et 14. 20 La figure 3 illustre un mode de réalisation d'un dispositif 20 de protection contre les surcharges électrostatiques dont le schéma électrique correspond à celui représenté en figure 2. Le dispositif 20 comprend un substrat semiconducteur 22 très fortement dopé de type P et dont la face arrière est connectée au 25 noeud de référence GND. Le dispositif 20 comprend en outre successivement sur une portion A du substrat 22 : une couche semiconductrice enterrée 24 fortement dopée de type N ; - une couche semiconductrice fine 26 faiblement dopée de type P, 30 dont l'épaisseur est comprise entre 0,3 et 3 fun ; - une couche semiconductrice 28 faiblement dopée de type N, réalisée par épitaxie et dont l'épaisseur peut être supérieure à 5 gm, par exemple comprise entre 10 fun et 50 fun ; et 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 6 - un caisson semiconducteur 30 fortement dopé de type P, formé dans la couche épitaxiale 28 et dont l'épaisseur est comprise entre 1 et 5 gm. Des puits d'isolation 32 s'étendent de la face 5 supérieure de la couche épitaxiale 28 jusqu'au substrat 22 afin de délimiter latéralement la portion A du substrat 22. Le dispositif comprend en outre successivement sur une portion B du substrat 22 : une couche semiconductrice enterrée 33 fortement dopée de 10 type P ; une couche semiconductrice 34 faiblement dopée de type N, réalisée par épitaxie en même temps que la couche 28 ; et un caisson semiconducteur 36 fortement dopé de type P, formé dans la couche épitaxiale 34 et dont l'épaisseur est comprise 15 entre 1 et 5 gm. Des puits d'isolation 38 s'étendent de la face supérieure de la couche 34 et jusqu'au substrat 22 afin de délimiter latéralement la portion B du substrat 22. Les puits d'isolation 32 et 38 étant formés par 20 diffusion, on comprendra que leur contour ne sont pas aussi nets que ceux représentés sur la figure 3.A titre de variante, les puits d'isolation 32 et 38 pourraient être remplacés par des tranchées isolantes. Sur la face supérieure du dispositif 20 repose une 25 couche isolante 40, ne recouvrant pas toute la surface des faces supérieures des caissons 30 et 36. Sur chaque caisson 30, 36 repose une métallisation de contact 42 connectée à une borne du circuit à protéger. Le caisson 30 étant ainsi connecté à la borne 101 et le caisson 36 étant ainsi connecté à la borne 102. 30 La correspondance entre le schéma électrique de la figure 2 et le schéma structurel de la figure 3 est la suivante. La jonction entre le caisson 30 et la couche épitaxiale 28 forme la diode 3 en direct. La jonction entre la couche épitaxiale 28 et la couche fine P- 26 forme la diode 12 en inverse fonctionnant 35 en perçage. La jonction entre la couche fine P- 26 et la couche 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 7 enterrée 24 forme la diode 14 en direct. La jonction entre la couche enterrée 24 et le substrat 22 forme la diode 5. La jonction entre le caisson 36 et la couche épitaxiale 34 forme la diode 7 en direct. La jonction entre la couche épitaxiale 34 et la couche 5 enterrée 33 forme la diode 9 en inverse. La figure 4 est un graphique représentant un exemple des niveaux de dopage de couches successives réalisées sur la portion A du substrat 22 en fonction de la profondeur. Ces niveaux de dopage résultent d'étapes d'implantation et d'épitaxie après 10 éventuellement des recuits de redistribution mais avant la réalisation de l'ensemble des recuits conduisant à une structure finale qui sera décrite ci-après en relation avec la figure 5. Dans cet exemple, le substrat 22 a un niveau de dopage compris entre 5x1018 et 1020 atomes/cm3, par exemple égal à 15 3x1019 atomes/cm3. La couche enterrée 24 a un niveau de dopage compris entre 1018 et 1019 atomes/cm3, par exemple égal à 2x1018 atomes/cm3. La couche épitaxiale 28 a un niveau de dopage compris entre 1013 et 1015 atomes/cm3, par exemple égal à 4x1014 atomes/cm3. Le caisson 30 a un niveau de dopage compris 20 entre 5x1018 et 5x1019 atomes/cm3, par exemple égal à 9x1018 atomes/cm3. Le procédé de fabrication du dispositif 20 comporte les étapes successives suivantes, réalisées à partir d'un substrat 22 très fortement dopé de type P, par des atomes de bore : 25 réaliser la couche enterrée 24 fortement dopée de type N, par implantation d'atomes d'arsenic ; réaliser la couche enterrée 33 fortement dopée de type P, de préférence par implantation ; réaliser les couches 28 et 34 faiblement dopées de type P, par 30 épitaxie ; et réaliser, de préférence par implantation, les caissons 30 et 36 fortement dopé de type P. La figure 5 est un graphique représentant les niveaux de dopage des couches semiconductrices empilées sur la portion A 35 du substrat 22 en fonction de la profondeur. Ces niveaux de dopage 3054373 B15119 - 16-T0-0141FRO1 8 résultent des étapes d'implantation et d'épitaxie mais aussi de tout l'ensemble des recuits conduisant à la structure décrite en figure 3. En comparant la figure 5 à la figure 4, on remarque l'apparition d'une couche fine 26 faiblement dopée de type P entre 5 la couche épitaxiale 28 dopée de type N et la couche enterrée 24 dopée de type N. Le niveau de dopage de la couche fine P- 26 est de l'ordre de 1015 atomes/cm3 et son épaisseur est de l'ordre de 1 pin. La couche fine 26 apparaît grâce à la diffusion des atomes de bore dopant le substrat à travers la couche enterrée 24. Cette 10 diffusion est possible car la couche enterrée 28 résulte de l'implantation d'atomes d'arsenic et non d'atomes de phosphore. Les atomes de bore du substrat 22 diffusent beaucoup plus vite que les atomes d'arsenic de la couche enterrée 24 et peuvent donc diffuser à travers cette couche enterrée 24 pour former la couche 15 fine P- 26. Les caractéristiques des différents recuits nécessaires au procédé de fabrication du dispositif 20, seront ajustées par l'homme de l'art pour favoriser cette diffusion. Si on considère un dispositif dont la portion A a une surface comprise entre 6000 et 10000 pm2, par exemple de 6700 pm2, 20 la capacité de la diode 3 en série avec la diode 5 est de l'ordre de 550 fF en l'absence de la couche fine P- 26, et de 450 fF en présence de la couche fine P- 26, ce qui correspond à une baisse de 20 % de cette capacité. Un avantage du dispositif décrit ici, muni de la couche 25 fine P- supplémentaire 26, est qu'il peut être obtenu sans ajouter d'étape supplémentaire au procédé de fabrication d'un dispositif classique non muni de la couche fine P- 26. On appelle ici, comme cela est usuel : couche semiconductrice faiblement dopée, une couche dont la 30 concentration en atomes dopants est comprise entre 1014 et 5x1015 atomes/cm3 ; couche semiconductrice fortement dopée, une couche dont la concentration en atomes dopants est comprise entre 1017 et 1018 atomes/cm3 ; et 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 9 - couche semiconductrice très fortement dopée, une couche dont la concentration en atomes dopants est comprise entre 1018 et 1020 atomes/cm3. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. 5 Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier : - tous les types de conductivité peuvent être simultanément inversés ; - on pourrait envisager d'implanter directement des atomes de 10 bore après la formation de la couche enterrée 24 pour former la couche fine 26 ; et - tout type de circuit de protection peut être envisagé sur la portion B du substrat. REVENDICATIONS1. Dispositif (20) de protection contre les surcharges électrostatiques comprenant successivement : un substrat (22) semiconducteur très fortement dopé d'un premier type de conductivité ; une première couche semiconductrice enterrée (24) fortement dopée d'un deuxième type de conductivité ; une première couche (28) semiconductrice faiblement dopée du deuxième type de conductivité ; et une deuxième couche (30) fortement dopée du premier type 10 de conductivité, ce dispositif (20) comprenant en outre, entre la première couche enterrée (24) et la première couche (28), une troisième couche (26) dopée du premier type de conductivité, ayant une épaisseur et une concentration en atomes dopants adaptées à 15 former à la jonction de la première couche (28) et de la troisième couche (26) une diode (12) fonctionnant en inverse en perçage. 2. Dispositif (20) selon la revendication 1, dans lequel la première couche enterrée (24), la troisième couche (26), la première couche (28) et la deuxième couche (30) sont empilées 20 sur une première portion (A) du substrat (22), dans lequel le substrat (22) comprend en outre une deuxième région (B) sur laquelle reposent : une deuxième couche semiconductrice enterrée (33) fortement dopée du premier type de conductivité ; 25 une quatrième couche (34) semiconductrice faiblement dopée du deuxième type de conductivité ; et une cinquième couche (36) semiconductrice fortement dopée du premier type de conductivité. 3. Dispositif (20) selon la revendication 1 ou 2, dans 30 lequel la troisième couche (26) a une épaisseur comprise entre 0,5 et 3 gm, suffisamment fine pour ne pas affecter le fonctionnement du circuit dans l'avalanche. 4. Dispositif (20) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la troisième couche (26) a une 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 11 concentration maximale en atomes dopants comprise entre 5x1014 et 5x1016 atomes/cm3. 5. Dispositif (20) selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel les première et quatrième 5 couches (28, 34) sont formées simultanément. 6. Dispositif (20) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la première couche (28) est formée par épitaxie. 7. Dispositif (20) selon l'une quelconque des 10 revendications 2 à 6, dans lequel une première métallisation de contact (42) repose sur la deuxième couche (30) et une deuxième métallisation de contact (42) repose sur la cinquième couche (36). 8. Circuit (10) de protection contre les surcharges électrostatiques susceptibles de survenir sur une première borne 15 d'entrée/sortie (101) d'un circuit à protéger, ce circuit (10) de protection comprenant en série entre ladite borne (101) et une borne de référence (GND) : une première diode (3) en direct ; une diode (12) en inverse fonctionnant en perçage ; 20 une deuxième diode (14) en direct ; et une première diode (5) avec une tension d'avalanche contrôlée en inverse. 9. Circuit (10) selon la revendication 8, comprenant en outre en série, entre une deuxième borne d'entrée/sortie (102) du 25 circuit à protéger et la borne de référence (GND) : une troisième diode (7) en direct ; et une deuxième diode (9) avec une tension d'avalanche contrôlée en inverse. 10. Procédé de fabrication d'un dispositif (20) de 30 protection contre les surcharges électrostatiques selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant les étapes suivantes : implanter dans un substrat (22) semiconducteur très fortement dopé d'un premier type de conductivité, une première 3054373 B15119 - 16-T0-0141FR01 12 couche enterrée (24) fortement dopée d'un deuxième type de conductivité ; implanter dans le substrat (22) une deuxième couche enterrée (33) fortement dopée du premier type de conductivité ; 5 former par épitaxie une première couche (28) faiblement dopée du deuxième type de conductivité ; et réaliser une deuxième couche (30) fortement dopée du premier type de conductivité, le procédé comprenant la réalisation d'une série de 10 recuits entraînant la diffusion des atomes dopants du substrat (22) à travers la première couche enterrée (24), pour former une troisième couche (26) du premier type de conductivité entre la première couche enterrée (24) et la première couche (28). 11. Procédé selon la revendication 10, dans lequel le 15 coefficient de diffusion des atomes dopants du substrat (22) est plus grand que le coefficient de diffusion des atomes dopants de la première couche enterrée (24). 12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel le substrat (22) est dopé au bore et la première couche enterrée (24) 20 est dopée à l'arsenic.