FR 3057475 A1 20180420 FR 1660027 A 20161017 1 PROCEDE DE GENERATION D'UN JET DE NANOPARTICULES L'invention concerne le domaine des dépôts de nanoparticules sur un substrat. Ces dépôts sont notamment utilisés comme revêtement de pièces massives pour conférer à leur surface des propriétés spécifiques (mécaniques, optiques, chimiques, ...). Par nanoparticules, on entend des particules, généralement solides, dont la taille est comprise entre lnm et quelques centaines de nanomètres. Par exemple, la taille des nanoparticules concernées peut être comprise entre lnm et 200nm. Il existe différentes techniques pour réaliser un dépôt de nanoparticules sur un substrat. Généralement, on emploie un jet de nanoparticules sous vide car il s'agit d'un moyen efficace pour produire des dépôts structurés à l'échelle nanométrique (nanostructurés). Dans ce cadre, une méthode adaptée à la réalisation de ces dépôts consiste en l'aérosolisation d'une suspension liquide contenant les nanoparticules, puis la formation d'un jet de nanoparticules dans un gaz porteur à l'aide d'un système comprenant une chambre de détente et le plus souvent une lentille aérodynamique. Dans cette méthode, il est essentiel que les nanoparticules en suspension dans le liquide ne s'agglomèrent pas et restent donc dispersées dans le liquide. En effet, si les nanoparticules s'agglomèrent, la suspension devient instable et précipite rapidement si bien qu'elle ne peut plus être utilisée pour effectuer un dépôt de 20 nanoparticules. De même, même en cas d'agglomération partielle des nanoparticules sans précipitation de la solution, les nanoparticules, dont la taille était préalablement maîtrisée lors de leur synthèse, forment des agglomérats dont la taille n'est plus maitrisée. Or, les dimensions d'une nanoparticule ou d'un agglomérat de nanoparticules ont un impact direct sur les propriétés physiques, et par exemple les propriétés optiques, du dépôt 25 réalisé sur le substrat. Il existe de nombreuses applications dans lesquelles un matériau nanostructuré présente un intérêt pour contrôler les performances optiques. C'est le cas dans le domaine du photovoltaïque, des diodes électroluminescentes, de la photocatalyse, des biocapteurs, du biomédical et également dans le domaine des revêtements d'intérêt esthétiques. 30 Aussi, pour assurer le maintien de la dispersion de nanoparticules sous la foirne d'une suspension stable de nanoparticules non-agglomérées, on dispose les nanoparticules dans un liquide comprenant un solvant (solvant polaire classique tel que l'eau le plus souvent) et un agent tensioactif, encore nommé surfactant, qui vise à éviter l'agglomération des nanoparticules dans le solvant. Par exemple, dans le cas de nanoparticules d'or, le CTAB 3057475 2 (bromure d'hexadécyltriméthylammonium) ou le citrate est couramment utilisé comme surfactant à cet effet. Les nanoparticules sont enrobées par ces agents organiques qui permettent une dispersion homogène en milieu liquide sans agglomération des particules. Les nanoparticules ainsi enrobées avec le surfactant pour obtenir une suspension stable dans un 5 solvant polaire classique sont appelées « nanoparticules colloïdales ». Cependant, les molécules organiques de surfactant nécessaires à la stabilité de la suspension sont présentes en grandes quantités dans la suspension liquide. Au moment de l'aérosolisation, ces molécules sont vaporisées. Lorsque du citrate est utilisé comme surfactant, certaines de ces molécules de 10 surfactant restent attachées à la surface des nanoparticules et les nanoparticules colloïdales sont ainsi conservées. Mais d'autres de ces molécules de surfactant forment elles-mêmes de nouveaux agrégats de molécules par nucléation. De ce fait, certaines nanoparticules se retrouvent sans surfactant et peuvent ainsi s'agglomérer par les chocs qu'elles subissent entre elles par l'action de la diffusion en phase gazeuse. Il en résulte un jet de nanoparticules dans 15 lequel certaines nanoparticules sont colloïdales (donc non agglomérées) et d'autres non, ces dernières pouvant être soit non agglomérées soit agglomérées, le jet comportant en outre des agrégats de molécules non désirés, issus des molécules de citrate. Cela n'est pas systématiquement une difficulté, mais souvent. Lorsque du CTAB est utilisé, la suspension reste stable, même au moment de 1 ' aérosolisation. Cependant, le jet comporte d'autres agrégats de molécules, non désirés, parfois présents en quantités, et qui sont issus des molécules de CTAB. A titre d'exemple, la figure I montre un dépôt de nanoparticules sur un substrat réalisé à partir d'une suspension de nanoparticules d'or stabilisée par du CTAB. Ce dépôt, contenant une quantité réduite de nanoparticules d'or (points blancs), parfois agrégées et réparties de façon inhomogène, comporte également de la matière organique indésirable (nappes blanches et grises) formées pendant l'étape d'aérosolisation (atomisation) de la suspension et provenant du CTAB. Comme pour le citrate, cela n'est pas systématiquement une difficulté, mais souvent. En effet, cela implique que les propriétés mécaniques et physiques, et en particulier optiques, du dépôt ne sont pas réellement maitrisées. Or, pour de nombreuses applications, les exigences sur la maîtrise des propriétés du dépôt, en particulier des propriétés optiques sont de plus en plus importantes. Ainsi, un but de l'invention est de proposer un procédé amélioré de dépôt de nanoparticules sur un substrat. 3057475 3 En particulier, un but de l'invention est de proposer un procédé de dépôt de nanoparticules sur un substrat dans lequel le dépôt est autant que possible foluié uniquement par des nanoparticules d'intérêt, avantageusement peu ou non agglomérées. A cet effet, l'invention propose un procédé de dépôt de nanoparticules sur un substrat, 5 comprenant les étapes suivantes : a) générer un aérosol à partir d'une suspension de nanoparticules dans un liquide ; b) générer, avec l'aérosol, un jet de nanoparticules dans un gaz porteur, sous vide ; c) déposer lesdites nanoparticules du jet sur un substrat ; caractérisé en ce que l'étape a) est mise en oeuvre à partir d'une suspension dépourvue 10 de surfactant dans laquelle les nanoparticules comportent un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau non métallique. Le procédé selon l'invention pourra comprendre également l'une au moins des caractéristiques suivantes, prises seules ou en combinaison : 15 la coquille est réalisée avec un matériau diélectrique, par exemple un oxyde ou un verre à base de borosilicates ; la coquille est réalisée avec un oxyde choisi parmi le dioxyde de titane (TiO2), l'alumine (A1203), l'oxyde de zinc (ZnO), le dioxyde de zirconium (ZrO2) ou le dioxyde de silicium (SiO2) ; 20 la coquille présente une épaisseur comprise entre lnm et 100nm, de sorte qu'elle puisse être transparente à une onde électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise dans la gamme allant de l'infrarouge à l'ultraviolet ; ledit matériau conducteur du coeur des nanoparticules est choisi parmi un métal, un alliage métallique, le carbone ou un mélange de ceux-ci ; 25 ledit métal est choisi parmi l'or (Au), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le palladium (Pd), l'aluminium (Al), le cuivre (Cu) ou le platine (Pt) ; ledit matériau semi-conducteur est choisi parmi le silicium (Si), le germanium (Ge), les arséniures, les nitrures, les phosphures, les antimoniures et les tellurures d'aluminium, d'indium, de gallium et de bore, ainsi que leurs composés ternaires ou 30 quaternaires ; la suspension dépourvue de surfactant dans laquelle les nanoparticules comportent un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée dioxyde de silicium (SiO2), ladite suspension étant réalisée selon les étapes suivantes : 3057475 4 - fournir une suspension dans un liquide de nanoparticules stabilisée avec un surfactant, par exemple du citrate ou du CTAB ; - mettre en contact la suspension ainsi fournie avec du MPTMS (3- (rnercaptopropyl)trimethoxysilane) pour obtenir une suspension de nanoparticules 5 enrobées de dioxyde de silicium (Si02) et dépourvue de surfactant. l'étape de mise en contact de la suspension avec du MPTMS est réalisée selon les sous-étapes suivantes : i) introduire, dans un flacon, une quantité prédéfinie de la solution obtenue à l'issue de l'étape précédente et une quantité nécessaire de soude pour obtenir 10 un pH proche de 10 ; chauffer le flacon sous agitation jusqu'à atteindre une température comprise entre 80°C et 90°C ; introduire une quantité adéquate de MPTMS, par exemple entre 3 pl et 100 pl, à environ 5% , dans l'éthanol, dans le flacon tout en maintenant une agitation ; 15 iv) agiter à température, à savoir toujours entre 80°C et 90°C, pendant plusieurs heures ; et y) laver les nanoparticules par centrifugation pour retirer le surfactant résiduel ; - l'étape c) est réalisée sous un vide correspondant à une pression comprise entre 0,01Pa et 10Pa ; 20 ledit procédé comprend en outre, une étape d) consistant à déposer une matrice sur le substrat, par exemple une matrice photosensible ; le liquide de la suspension est un solvant polaire, par exemple l'eau ou les alcools en CI-C4 et leurs mélanges. L'invention propose également un substrat muni de nanoparticules fourrées 25 d'un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau non métallique, sur lequel lesdites nanoparticules sont dépourvues de surfactant et avantageusement peu ou non agglomérées. Le substrat selon l'invention pourra comprendre également l'une au moins des caractéristiques suivantes, prises seules ou en combinaison : 30 - la coquille est réalisée avec un matériau diélectrique, par exemple un oxyde ou un verre à base de borosilicates ; 3057475 5 la coquille est réalisée avec un oxyde choisi parmi le dioxyde de titane (Ti02), l'alumine (A1203), l'oxyde de zinc (Zn0), le dioxyde de zirconium (Zr02) ou le dioxyde de silicium (Si02) ; la coquille présente une épaisseur comprise entre 1 nm et 100nm, de sorte qu'elle 5 puisse être transparente à une onde électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise dans la gamme allant de l'infrarouge à l'ultraviolet ; ledit matériau conducteur du coeur des nanoparticules est choisi parmi un métal, un alliage métallique, le carbone ou un mélange de ceux-ci ; ledit métal est choisi parmi l'or (Au), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le palladium (Pd), 10 l'aluminium (Al), le cuivre (Cu) ou le platine (Pt) ; - ledit matériau semi-conducteur est choisi parmi : le silicium (Si), le germanium (Ge), les arséniures, les nitrures, les phosphures, les antimoniures et les tellurures d'aluminium, d'indium, de gallium et de bore, ainsi que leurs composés ternaires ou quaternaires ; 15 ledit substrat comporte en outre une matrice, par exemple une matrice photosensible, sur ou dans laquelle les nanoparticules sont agencées. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, avantages et caractéristiques de celle-ci apparaîtront plus clairement à la lecture de la description qui suit et qui est faite au regard des dessins annexés, sur lesquels : 20 la figure 2 représente des nanoparticules utilisées dans le cadre du procédé de dépôt de nanoparticules sur un substrat faisant l'objet de l'invention ; - la figure 3 est un schéma représentant un dispositif susceptible d'être employé pour mettre en oeuvre un procédé selon l'invention ; - la figure 4 est un schéma d'un autre dispositif susceptible d'être employé pour 25 mettre en oeuvre un procédé selon l'invention. L'invention propose un procédé de dépôt de nanoparticules sur un substrat comprenant les étapes suivantes générer un aérosol à partir d'une suspension de nanoparticules dans un liquide ; générer, avec l'aérosol, un jet de nanoparticules dans un gaz porteur, sous vide ; 30 - déposer lesdites nanoparticules du jet sur un substrat. Dans le cadre de l'invention, les nanoparticules comportent un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur et une coquille enrobant le coeur, cette coquille étant réalisée avec un matériau non métallique. 3057475 6 La coquille, non métallique, permet d'avoir une suspension stable dans le liquide en empêchant les nanoparticules de s'agglomérer dans la suspension et donc en évitant toute précipitation de la suspension. De ce fait, la coquille non métallique remplit, dans la suspension, la fonction du surfactant utilisé dans l'art antérieur. 5 La conséquence est qu'il n'est pas utile de prévoir de surfactant dans la suspension. On peut de ce fait réaliser une aérosolisation dans de bonnes conditions. Par ailleurs, lors de l'aérosolisation (atomisation), la formation d'agrégats de molécules issus d'un surfactant est également évitée. On évite ainsi de polluer le dépôt avec du surfactant ou des molécules issues de ce surfactant. 10 De plus, on a pu constater que lors de l'aérosolisation, les nanoparticules en suspension ne s'agglomèrent pas ou peu entre elles et ce, très probablement grâce à la présence de la coquille non métallique. En conséquence, le dépôt finalement effectué sur le substrat s'effectue avec des nanoparticules nécessairement peu ou non agglomérées, ce qui est intéressant pour 15 l'homogénéité du dépôt, et bien entendu dépourvues de surfactant et de molécules issues de ce surfactant. Le dépôt finalement réalisé est donc bien contrôlé. En conséquence, on obtient un substrat SUB, 100 dépourvu de surfactant ainsi que de molécules issues de surfactant et comprenant des nanoparticules formées d'un coeur réalisé en 20 un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau non métallique, lesdites nanoparticules étant avantageusement peu ou non agglomérées. La coquille des nanoparticules est avantageusement réalisée avec un matériau diélectrique, par exemple un oxyde ou un verre à base de borosilicates. On rappelle qu'un « matériau diélectrique » est un matériau ne possédant pas d'électrons libres capables de 25 transporter un courant électrique (Larousse). En effet, le demandeur considère qu'une coquille diélectrique est particulièrement avantageuse pour éviter la formation d'agrégats de nanoparticules dans la suspension. En particulier, le matériau diélectrique peut être de la silice (SiO2) ou un oxyde métallique. Parmi les oxydes métalliques, on peut envisager le dioxyde de titane (TiO2), 30 l'oxyde de zinc (ZnO), le dioxyde de zirconium (ZrO2) ou l'alumine (A1203). Parmi les matériaux conducteurs pouvant être utilisés pour former le coeur d'une nanoparticule, on peut envisager un métal, un alliage métallique, du carbone ou un mélange de ceux-ci. En particulier, il peut s'agir d'un matériau métallique tel que l'or (Au), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le platine (Pt), l'aluminium (Al), le cuivre (Cu) ou le palladium (Pd). 3057475 7 Parmi les matériaux semi-conducteurs, on peut envisager les arséniures, les nitrures, les phosphures les antimoniures et les tellurures d'aluminium, d'indium, de gallium et de bore, ainsi que leurs composés ternaires ou quaternaires. Parmi les semi-conducteurs, on peut aussi envisager des metalloïdes comme le silicium (Si) ou le germanium (Ge). 5 En particulier, on peut prévoir des nanoparticules dont le coeur est réalisé en Or (Au) et la coquille en silice (Si02). Ceci peut être tout particulièrement envisagé pour les applications esthétiques (luxe), biomédicales, de photocatalyse ou du photovoltaïque. En particulier également, on peut aussi prévoir des nanoparticules dont le coeur est réalisé en Or (Au) et la coquille en dioxyde de titane (Ti02). Ceci peut être tout 10 particulièrement envisagé pour les applications esthétiques (luxe), biomédicales, de photocatalyse ou du photovoltaïque. L'utilisation de dioxyde de titane (Ti02) à la place de la silice (SiO2) confère une plus grande dureté à la nanoparticule, ce qui est notamment intéressant pour les applications esthétiques (luxe). Par ailleurs, pour les applications de photocatalyse, les propriétés du dioxyde de titane (Ti02) sont plus intéressantes que celles de 15 la silice (Si02). On peut aussi prévoir, toujours pour ces mêmes applications, des nanoparticules dont le coeur est réalisé en Or (Au) et la coquille en alumine (A1203). L'alumine a l'avantage de présenter une dureté particulièrement élevée. On peut également prévoir des nanoparticules dont le coeur est en argent (Ag) et la 20 coquille en silice (dioxyde de silicium = Si02) ou en dioxyde de titane (Ti02), notamment pour des applications anti-bactériennes. Dans le domaine de la photocatalyse, le platine (Pt) peut être employé pour former le coeur des nanoparticules, avec une coquille en silice (Si02) ou, de préférence en dioxyde de titane (Ti02). 25 Dans le domaine du photovoltaïque, on peut encore employer des nanoparticules avec une coquille en oxyde de zinc (ZnO) et un coeur choisi parmi, l'or (Au), l'argent (Ag) ou le palladium (Pd). A titre d'exemple, on fournit d'ailleurs ci-après une méthode envisageable pour obtenir des nanoparticules dont le coeur est réalisé en or (Au) et la coquille en silice (Si02) 30 1) on fournit, de manière classique, une suspension dans un liquide (solvant polaire, par exemple) de nanoparticules d'or stabilisée avec un surfactant, par exemple du citrate ou du CTAB ; 3057475 8 2) on met en contact de la suspension ainsi fournie avec du MPTMS (3- (mercaptopropyl)trimethoxysilane) pour obtenir une suspension de nanoparticules enrobées de silice et dépourvue de surfactant. L'étape 1) peut être réalisée par toute méthode connue de l'homme du métier. 5 En particulier, l'étape 1) peut être réalisée selon la méthode développée par Turkevich et décrite par Zhao et al. (Coord. Chem. Rev. 2013, 257, 638-665), dans laquelle le surfactant est un citrate. Cette méthode est particulièrement bien adaptée pour obtenir des nanoparticules sphériques. En particulier également, cette étape 1) peut être réalisée selon les méthodes décrites par 10 Homan et al. (http://ww-w.signiaaldrich. com/technical-documents/articles/materialsscience/silica-coated-gold-nanop articles.html) ou par Moon et al. (Mater. Lett. 2009, 63, 2038-2040), dans lesquelles le surfactant est le CTAB. Dans ce cas, on peut obtenir des nanoparticules avec d'autres formes que les fol nies sphériques, par exemple des cubes, bâtonnets ou autres. 15 L'étape 2) peut être réalisée selon les sous-étapes suivantes : i) Introduction dans un flacon, d'une quantité prédéfinie (par exemple quelques ml, en particulier entre lml et 10m1) de la solution obtenue à l'issue de l'étape 1) (solution mère) et d'une quantité nécessaire de soude pour obtenir un pH proche de 10; 20 ii) Chauffage du flacon sous agitation jusqu'à atteindre une température comprise entre 80°C et 90°C ; Hi) Introduction d'une quantité adéquate de MPTMS (par exemple entre 3 pl et 100 suivant l'épaisseur d'enrobage souhaitée) à environ 5% (dans l'éthanol) dans le flacon tout en maintenant une agitation ; 25 iv) Agitation à température, à savoir toujours entre 80°C et 90°C, pendant plusieurs heures ; et v) Lavage des nanoparticules par centrifugation pour retirer le surfactant résiduel. L'étape 2) permet, notamment lorsqu'elle est mise en oeuvre selon les sous-étapes décrites 30 ci-dessus, d'aboutir à une suspension stable de nanoparticules enrobées de silice dans laquelle les nanoparticules sont dépourvues de surfactant. Par nanoparticules « dépourvues de surfactant », par exemple dépourvues de citrate ou de CTAB, il convient de comprendre plus précisément que la concentration de surfactant dans la suspension obtenue à l'issue de l'étape 2), correspond au plus à 1% de la concentration de ce surfactant présent dans la suspension 3057475 9 fournie à l'étape 1) (le surfactant étant présent sur les nanoparticules). A titre d'exemple, pour du CTAB, la concentration minimale pour obtenir une suspension stable pendant lh est de l'ordre de 10-5 molli (étape 1)). Dans cet exemple, cela signifie qu'à l'issue de l'étape 2), la concentration de CTAB est au plus de 10-7 molli. 5 Le mode opératoire décrit ci-dessus permet la synthèse d'un volume réduit de suspension de nanoparticules enrobées de silice. Les proportions mentionnées peuvent être homothétiquement augmentées pour obtenir de plus grands volumes de suspension. C'est au cours de l'étape 2) qu'on supprime l'essentiel voir la totalité du surfactant (citrate ou CTAB) et qu'on le remplace par du MPTMS qui va permettre de former l'enrobage de 10 silice. Le surfactant est lié aux nanoparticules par des liaisons de plus faible énergie que celles liant le MPTMS à ces mêmes nanoparticules. Le surfactant est donc labile vis-à-vis du MPTMS et peut donc être remplacé par le MPTMS. Par ailleurs, la température choisie, à savoir entre 80°C et 90°C est un élément activant pour le remplacement du surfactant par le 15 MPTMS, ce qui évite que les nanoparticules d'or ne s'agglomèrent au cours du remplacement. Par ailleurs, il convient de noter que le MPTMS est un thiol possédant un groupement méthoxysilane qui, après hydrolyse des groupements méthyles, réticule et forme l'enrobage en silice. Les thiols ont en outre l'avantage de cibler les nanoparticules d'or pour former une 20 couche d'accroche à la surface de l'or. Une fois le MPTMS accroché à la surface des nanoparticules d'or, la formation et la croissance de la couche de silice s'effectue par réaction sol-gel. Comme cela a été indiqué précédemment, la quantité de MPTMS est choisie en fonction de l'épaisseur souhaitée d'enrobage de silice, notamment entre 30 et 100 0. Une quantité 25 minimum est en effet souhaitable pour s'assurer que tout le surfactant (citrate ou CTAB) soit remplacé par le MPTMS. En théorie, il n'y a pas de limite supérieure pour l'épaisseur donc pour la quantité de MPTMS, mais une quantité de 100 0 permet d'effectuer des dépôts relativement épais. Afin de se fixer les idées, on peut noter que lors de l'étape iii) l'introduction d'une quantité de 50 0 de MPTMS permet de former une coquille en silice de 30 lOnm d'épaisseur autour d'un coeur sphérique de l5nm de diamètre. La quantité de MPTMS n'est cependant pas le seul paramètre permettant de contrôler l'épaisseur de la couche d'enrobage en silice puisque la température choisie entre 80°C et 90°C permet aussi, pour un volume donné de MPTMS, de contrôler l'épaisseur de l'enrobage. De plus, outre la nature du matériau d'enrobage, la température choisie entre 80°C et 90°C, 3057475 10 avec les autres paramètres du mode opératoire permet lors de l'étape 2) d'obtenir un enrobage à la fois fin (quelques manomètres) et dense. La figure 2 représente d'ailleurs les nanoparticules NP d'or obtenues après la mise en oeuvre du mode opératoire précité, pour des nanoparticules d'or sphériques, de 15nrn de 5 diamètre, enrobées dans une coquille de lOnm d'épaisseur. Cette figure est un cliché pris avec un microscope électronique à balayage (MEB). ll convient de noter que le mode opératoire présenté ci-dessus peut s'étendre à d'autres nanoparticules que celles dont le coeur est en Or (Au). Plus généralement, il est applicable lorsque l'on souhaite enrober, par de la silice (Si02), un coeur en matériau conducteur ou 10 semi-conducteur, et notamment un coeur métallique, en alliage métallique, ou réalisé avec un ou plusieurs matériaux semi-conducteurs, du carbone ou un mélange de ceux-ci. En particulier pour un coeur métallique, on peut envisager de l'Argent (Ag), du Cuivre (Cu), du Platine (Pt), du Palladium (Pd) ou du Nickel (Ni). On pourra par exemple se référer à l'article de Vericat & al., « Self-assembled monolayers of thiolates on metals : a review article on 15 sulfur-metal chemistry and surface structures », Royal Society f Chemistry Adv., 2014, vol. 4, pp. 27730-27754. Par ailleurs, il est tout à fait envisageable de prévoir un autre type d'enrobage que le dioxyde de silicium (Si02 = silice). Ainsi, l'article de Goebl J. & al., « Synthesis of tailored Au@Ti02 core-shell 20 nanoparticles for photocatalytic reforming of ethanol », Catalysis Today, 225 (2014), pp. 9095, propose une méthode pour effectuer l'enrobage de nanoparticules d'or (Au) par du dioxyde de titane (Ti02). Ainsi également, on pourra se référer à l'article de Peerakiatkhajohn P. & al., «A hybrid photoelectrode with plasmonic Au@TiO2 nanoparticle for enhanced photoelectrochemical water splitting », J. of Materials Chemistry A, 2015, vol. 3, pp. 2012725 20133. La figure 3 est un schéma d'un dispositif permettant de mettre en oeuvre le procédé de dépôt de nanoparticules selon l'invention. Le dispositif 100 comprend un flacon SNP comportant la suspension de nanoparticules comportant un coeur, par exemple métallique, et un enrobage non métallique dans un liquide. Ce flacon est muni à son extrémité d'un 30 générateur d'aérosol GA. La structure d'un générateur d'aérosol est bien connue de l'homme du métier. A titre d'exemple, on peut citer le « Palas AGK 2000 aerosol generator », identifiable à http://www.palas.de/en/product/agk2000. Une liaison fluidique LF1 pemiet d'acheminer l'aérosol vers l'entrée d'une lentille aérodynamique LA. Il est également prévu un réservoir R de gaz (un gaz ou un mélange de gaz), comportant typiquement un gaz neutre, 3057475 11 relié à l'entrée du générateur d'aérosols par une liaison fluidique LF2. La lentille aérodynamique permet de générer le jet JGP de nanoparticules NP dans le gaz porteur, avec l'aide d'une chambre de détente CDT, sous vide, et située en sortie de la lentille aérodynamique LA. Pour mettre la chambre CDT de détente sous vide, on prévoit une pompe 5 à vide P 1. Le dépôt est alors effectué sur un substrat SUB. Il convient de noter que la lentille aérodynamique peut être remplacée par une tuyère classique, laquelle permet de générer un jet supersonique de gaz entraînant les nanoparticules. La figure 4 est un schéma d'un autre dispositif permettant de mettre en oeuvre le procédé selon l'invention. 10 Ce dispositif 100' reprend les mêmes moyens que ceux décrits précédemment pour le dispositif 100 de la figure 3. Cependant, le substrat SUB sur lequel les nanoparticules NP sont déposées est disposé dans une chambre de dépôt CDP. La chambre de dépôt CDP est fluidiquement connectée à la sortie de la chambre de détente CDT afin que le jet de nanoparticules puisse passer d'une 15 chambre à l'autre et atteindre le substrat SUB. Avantageusement et comme représenté sur la figure 4, un écorceur SK (« skimmer » selon la terminologie anglo-saxonne) est prévu à l'interface entre les deux chambres, CDT, CDP. L'écorceur SK permet de faire passer les nanoparticules N en limitant le passage du gaz porteur. Le dispositif 100' permet de déposer une matrice autour des nanoparticules. 20 Pour cela, on prévoit un système SDM de dépôt de la matrice M dans la chambre de dépôt CDP, lequel permet de générer un jet JM (flux d'atomes ou de molécules) de dépôt de la matrice sur le substrat SUB. La chambre de dépôt CDP comporte une pompe P2 qui permet de régler la pression dans la chambre de dépôt. On peut ainsi obtenir un matériau composite (matrice et nanoparticules) nanostructuré 25 avec les nanoparticules coeur-coquille comportant une coquille non métallique. Il convient de noter que le dépôt de la matrice M peut s'effectuer en même temps que celui des nanoparticules NP ou séquentiellement, en fonction des besoins, c'est-à-dire de la structuration que l'on souhaite donner au dépôt. Le plus souvent, afin que le jet de nanoparticules puisse passer de la chambre de détente à 30 la chambre de dépôt, la pression dans la chambre de dépôt est maintenue à une pression inférieure à celle de la chambre de détente. Toutefois, cette condition sur les pressions respectives dans la chambre de détente et la chambre de dépôt n'est pas obligatoire. A cet égard, on pourra se référer au document FR 2 994 443. 3057475 12 Il convient enfin de noter que le procédé selon l'invention pourrait également, bien que cela présente moins d'intérêt, être mis en oeuvre avec le dispositif proposé dans le document FR 2 971 518. Quel que soit le dispositif utilisé pour mettre en oeuvre le procédé selon l'invention, la 5 chambre de détente est maintenue sous vide. Par « sous vide », il convient de comprendre que la pression dans la chambre de détente est comprise entre 0,1Pa et 10Pa. Par ailleurs, quel que soit le dispositif présenté ci-dessus, il est possible de déposer en même temps plusieurs types de nanoparticules en partant d'une suspension contenant l'ensemble des nanoparticules à déposer. 10 En variante, les dispositifs présentés précédemment peuvent être modifiés pour prévoir plusieurs suspensions, à chacune desquelles sont associés un moyen d'atomisation et un moyen pour générer un jet propre de nanoparticules dans un gaz porteur. En fonctionnement, on peut générer les jets simultanément. On peut aussi générer les jets séquentiellement, en fonction des besoins, c'est-à-dire de la structuration que l'on souhaite donner au dépôt ou 15 faire varier les quantités déposées respectives pendant le dépôt de manière à obtenir des gradients de concentration différents en nanoparticules. L'absence de surfactant et ses conséquences pour le substrat et l'absence d'agglomération des nanoparticules permet d'obtenir un dépôt non pollué et dont les propriétés sont bien contrôlées. 20 Ceci est particulièrement avantageux pour de nombreuses applications. Pour certaines applications, on cherche à améliorer les performances optiques d'une matrice photosensible déposée sur un substrat en s'appuyant sur les avantages procurés par l'effet plasmon. C'est le cas notamment pour les applications photovoltaïques, la photocatalyse, les diodes 25 électroluminescentes (DEL) ou les biocapteurs. Pour toutes ces applications, les nanoparticules comportent un coeur, métallique ou semiconducteur, enrobé par un matériau d'une part diélectrique et d'autre part transparent sur la gamme de longueur d'onde d'intérêt, cette gamme étant liée à l'application considérée. Le fait que l'enrobage soit diélectrique évite toute transmission de charge électrique de la 30 nanoparticule vers la matrice photosensible. Le fait que l'enrobage soit transparent dans la gamme de longueur d'onde considérée permet aux ondes électromagnétiques de traverser l'enrobage pour atteindre le coeur d'une nanoparticule afin que ce dernier puisse générer un effet plasmon dans la matrice photosensible. Il convient de noter que de manière générale, à savoir quelle que soit 3057475 13 l'application envisagée, la transparence de la coquille pourra être obtenue dans une gamme allant de l'infrarouge à l'ultraviolet, avec une épaisseur de la coquille comprise entre lnm et 1 00nm. Pour les épaisseurs les plus importantes, on peut comprendre que le taux de transmission sera plus faible, quelle que soit la nature du matériau formant la coquille. On 5 peut néanmoins obtenir l'effet recherché dans cette gamme d'épaisseur de la coquille, comprise entre lnm et 100nm. Pour ces applications, l'effet plasmon est en effet directement lié à l'amélioration des performances optiques de la matrice photosensible. Et pour que cet effet plasmon puisse exister, l'épaisseur de l'enrobage doit être faible, à savoir compris entre lnm et 2nm. On 10 notera qu'un matériau diélectrique, tel que l'un de ceux décrits précédemment, avec une épaisseur aussi faible sera transparent sur les gammes de longueurs d'onde pour les applications visées. Plus précisément, pour l'application photovoltaïque, la gamme de longueur d'onde d'intérêt va typiquement de l'infrarouge à l'ultraviolet. Les nanoparticules présentent donc un 15 intérêt optique et la matrice photosensible peut être choisie, outre son intérêt optique, pour ses propriétés chimiques et/ou mécaniques. Dans le domaine des diodes électroluminescentes, on peut faire les mêmes commentaires que pour le photovoltaïque sur les fonctions remplies d'une part par les nanoparticules enrobées (optique) et la matrice (chimique, mécanique), cette dernière étant plus précisément 20 une matrice réalisée dans un matériau photoémissif compte tenu de l'application. Dans le domaine de la photocatalyse (ex. : dépollution de l'eau ou de l'air, photo-électrolyse de l'eau pour la production d'hydrogène), les contraintes et avantages sont similaires. Toutefois, la gamme de longueur d'onde d'intérêt couvre généralement le visible et l'ultraviolet. L'idée est ici d'inclure des nanoparticules dans ou à la surface d'une matrice 25 photosensible pour en modifier les propriétés photocatalytiques, la matrice photosensible assurant en outre les propriétés mécaniques et/ou chimiques. Dans le domaine des biocapteurs, l'idée est de pouvoir détecter la présence d'un agent chimique ou biologique en observant une modification des propriétés optiques du matériau nanostructuré avec les nanoparticules. Aussi, toute amélioration de la sensibilité optique du 30 biocapteur est bénéfique. La matrice photosensible sera obtenue avec un dispositif conforme à celui de a figure 4 (matrice M). Il faut cependant bien voir que, dans certains cas et pour les applications précitées, qu'une telle matrice photosensible n'est pas obligatoire. 3057475 14 Par exemple, pour l'application photocatalyse, si l'enrobage des nanoparticules est réalisé avec du dioxyde de titane (TiO2), la présence d'une matrice photosensible obtenu conformément au dispositif de la figure 4 n'est pas nécessaire d'un point de vue fonctionnel, puisque le matériau photosensible (TiO2) est déjà présent. Dans ce cas, le dépôt simultané 5 d'une matrice poreuse de SiO2 par exemple, peut être éventuellement réalisée pour des raisons de résistance mécanique et d'adhésion du dépôt sur le substrat, mais ne joue aucun rôle sur l'effet photocatalytique de la couche d'enrobage. En d'autres termes, dans certains cas, la matrice photosensible est constitué par l'enrobage lui-même du coeur des nanoparticules. 10 Pour résumer de manière plus générale les quelques applications décrites précédemment (applications photovoltaïques, la photocatalyse, les diodes électroluminescentes (DEL) ou les biocapteurs), on notera que l'invention concerne également une utilisation d'un substrat SUB, 100 conforme à l'invention, à savoir muni de nanoparticules formées d'un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau 15 diélectrique et transparent, d'épaisseur comprise entre lnm et 2nm, substrat sur lequel lesdites nanoparticules sont non agglomérées et dépourvues de surfactant, ladite utilisation étant réalisée pour améliorer les propriétés optiques d'une matrice photosensible. Dans cette utilisation, la matrice photosensible sera généralement formée par la matrice M obtenue avec un dispositif du type de la figure 4 mais peut, dans certains cas, notamment 20 lorsque l'enrobage est formé de dioxyde de titane (TiO2) être la coquille elle-même. Pour d'autres applications, on cherche aussi à améliorer ou transformer les performances optiques d'une matrice photosensible, mais en évitant, en outre, la présence d'interférences plasmoniques entre les coeurs des nanoparticules. Par exemple, dans le domaine du biomédical, on peut avoir un intérêt à réaliser un dépôt 25 de nanoparticules enrobées dans un matériau diélectrique et transparent dans le domaine visible à la surface d'un instrument de chirurgie et ce, afin d'augmenter sensiblement le contraste des images fournies lors d'une opération. Dans ce cas, et contrairement aux applications précitées, il convient que les nanoparticules soient distantes l'une de l'autre pour limiter voire éviter les interférences plasmoniques. Dans ce cas, il convient de prévoir un 30 enrobage en matériau diélectrique et transparent relativement épais, c'est-à-dire dont l'épaisseur est au moins égale à la moitié de la plus grande dimension du coeur. Les nanoparticules représentées sur la figure 2 peuvent donc tout à fait convenir pour cette application. 3057475 15 Pour cette application, une matrice photosensible peut être envisagée, mais cela n'a rien d'obligatoire. En d'autres termes, l'invention concerne également une utilisation d'un substrat SUB, 100 conforme à l'invention, à savoir muni de nanoparticules formées d'un coeur réalisé en un 5 matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau diélectrique et transparent, dont l'épaisseur est à la fois comprise entre lnm et 100nm et au moins égale à la moitié de la plus grande dimension du coeur, substrat sur lequel lesdites nanoparticules sont non agglomérées et dépourvues de surfactant, pour améliorer les propriétés optiques dudit substrat. 10 Pour encore d'autres applications, on cherche à maîtriser le comportement optique d'une matrice, ce qui implique d'éviter la présence d'interférences plasmoniques entre les coeurs des nanoparticules. Par exemple, dans le domaine du luxe (cosmétique), on cherche à exploiter, dans le domaine visible, les propriétés optiques des dépôts de nanoparticules à la surface ou dans une 15 matrice transparente. Pour éviter une interférence plasmonique entre deux nanoparticules enrobées avec le matériau diélectrique et transparent et donc maitriser la couleur donnée par les nanoparticules à la matrice transparente, l'épaisseur d'enrobage doit être relativement importante, typiquement au moins égale à la moitié de la plus grande dimension du coeur. Les nanoparticules représentées sur la figure 2 peuvent donc tout à fait convenir pour cette 20 application. C'est pourquoi l'invention concerne également une utilisation d'un substrat SUB, 100 conforme à l'invention, à savoir muni d'une matrice transparente au moins dans le domaine visible et de nanoparticules formées d'un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semiconducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau diélectrique et transparent, dont 25 l'épaisseur est à la fois comprise entre 1 mn et 100nm et au moins égale à la moitié de la plus grande dimension du coeur, matrice sur ou dans laquelle les nanoparticules sont non agglomérées et dépourvues de surfactant, pour modifier les propriétés optiques de ladite matrice. 30 REVENDICATIONS1. Procédé de dépôt de nanoparticules sur un substrat, comprenant les étapes suivantes a) générer un aérosol à partir d'une suspension de nanoparticules dans un liquide ; b) générer, avec l'aérosol, un jet de nanoparticules dans un gaz porteur, sous vide ; c) déposer lesdites nanoparticules du jet sur un substrat caractérisé en ce que l'étape a) est mise en oeuvre à partir d'une suspension dépourvue de surfactant dans laquelle les nanoparticules comportent un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau non métallique. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la coquille est réalisée avec un matériau diélectrique, par exemple un oxyde ou un verre à base de borosilicates. 3. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel la coquille est réalisée avec un oxyde choisi parmi le dioxyde de titane (Ti02), l'alumine (A1203), l'oxyde de zinc (Zn0), le dioxyde de zirconium (Zr02) ou le dioxyde de silicium (Si02). 4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la coquille présente une épaisseur comprise entre lnm et 100nrn, de sorte qu'elle puisse être transparente à une onde électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise dans la gamme allant de l'infrarouge à l'ultraviolet. 5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ledit matériau conducteur du coeur des nanoparticules est choisi parmi un métal, un alliage métallique, le carbone ou un mélange de ceux-ci. 6. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel ledit métal est choisi parmi l'or (Au), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le palladium (Pd), l'aluminium (Al), le cuivre (Cu) ou le platine (Pt). 7. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel ledit matériau semiconducteur est choisi parmi le silicium (Si), le germanium (Ge), les arséniures, les 3057475 17 nitrures, les phosphures, les antimoniures et les tellurures d'aluminium, d'indium, de gallium et de bore, ainsi que leurs composés ternaires ou quaternaires. 8. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la suspension dépourvue 5 de surfactant dans laquelle les nanoparticules comportent un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée dioxyde de silicium (Sî02), ladite suspension étant réalisée selon les étapes suivantes 1) fournir une suspension dans un liquide de nanoparticules stabilisée avec un surfactant, par exemple du citrate ou du CTAB ; 10 2) mettre en contact la suspension ainsi fournie avec du MPTMS (3- (mercaptopropyl)trimethoxysilane) pour obtenir une suspension de nanoparticules enrobées de dioxyde de silicium (SiO2) et dépourvue de surfactant. 9. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l'étape 2) est réalisée selon les 15 sous-étapes suivantes : i) introduire, dans un flacon, une quantité prédéfinie de la solution obtenue à l'issue de l'étape 1) et une quantité nécessaire de soude pour obtenir un pH proche de 10; chauffer le flacon sous agitation jusqu'à atteindre une température comprise entre 20 80°C et 90°C ; iii) introduire une quantité adéquate de MPTMS, par exemple entre 3 !al et 100 fil, à environ 5% , dans l'éthanol, dans le flacon tout en maintenant une agitation ; iv) agiter à température, à savoir toujours entre 80°C et 90°C, pendant plusieurs heures ; et 25 v) laver les nanoparticules par centrifugation pour retirer le surfactant résiduel. 10. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'étape c) est réalisée sous un vide correspondant à une pression comprise entre 0,01Pa et 10Pa. 30 11. Procédé selon l'une des revendications précédentes, comprenant, en outre, une étape d) consistant à déposer une matrice sur le substrat, par exemple une matrice photosensible. 3057475 18 12. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le liquide de la suspension est un solvant polaire, par exemple l'eau ou les alcools en C1-C4 et leurs mélanges. 5 13. Substrat (100) muni de nanoparticules formées d'un coeur réalisé en un matériau conducteur ou semi-conducteur enrobé par une coquille réalisée en un matériau non métallique, sur lequel lesdites nanoparticules sont dépourvues de surfactant et avantageusement peu ou non agglomérées. 10 14. Substrat (100) selon la revendication précédente, dans lequel la coquille est réalisée avec un matériau diélectrique, par exemple un oxyde ou un verre à base de borosilicates. 15. Substrat (100) selon la revendication précédente, dans lequel la coquille est réalisée avec un oxyde choisi panai le dioxyde de titane (TiO2), l'alumine (A1203), l'oxyde de zinc 15 (ZnO), le dioxyde de zirconium (ZrO2) ou le dioxyde de silicium (SiO2). 16. Substrat (100) selon l'une des revendications 13 à 15, dans lequel la coquille présente une épaisseur comprise entre I nm et 100nrn, de sorte qu'elle puisse être transparente à une onde électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise dans la gamme allant de 20 l'infrarouge à l'ultraviolet. 17. Substrat (100) selon l'une des revendications 13 à 16, dans lequel ledit matériau conducteur du coeur des nanoparticules est choisi parmi un métal, un alliage métallique, le carbone ou un mélange de ceux-ci. 25 18. Substrat (100) selon la revendication précédente, dans lequel ledit métal est choisi parmi l'or (Au), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le palladium (Pd), l'aluminium (Al), le cuivre (Cu) ou le platine (Pt). 30 19. Substrat (100) selon l'une des revendications 13 à 18, dans lequel ledit matériau semi- conducteur est choisi parmi : le silicium (Si), le germanium (Ge), les arséniures, les nitrures, les phosphures, les antimoniures et les tellurures d'aluminium, d'indium, de gallium et de bore, ainsi que leurs composés ternaires ou quaternaires. 3057475 19 20. Substrat (100) selon l'une des revendications 13 à 18, comportant en outre une matrice, par exemple une matrice photosensible, sur ou dans laquelle les nanoparticules sont agencées.