FR 3045939 A1 20170623 FR 1563134 A 20151222 1 PROCEDE DE COLLAGE DIRECT ENTRE DEUX STRUCTURES Domaine technique La présente invention a trait à un procédé de collage d'une première structure et 5 d'une seconde structure. Plus précisément, l'invention concerne un procédé de collage par adhésion directe de surfaces. Par « adhésion directe », on entend un collage spontané issu de la mise en contact direct de deux surfaces, c'est-à-dire en l'absence d'un élément additionnel tel qu'une colle, une cire ou une brasure. L'adhésion provient principalement des forces de van der Waals issues de 10 l'interaction électronique entre les atomes ou les molécules de deux surfaces, des liaisons hydrogène du fait des préparations des surfaces ou des liaisons covalentes établies entre les deux surfaces. On parle également de collage par adhésion moléculaire. Classiquement, une forte tenue de collage (c'est-à-dire avec une énergie de 15 séparation supérieure à 3 J.m-2, mesure faite par insertion d'une lame à l'interface de collage) est recherchée tout en n'impliquant aucun traitement thermique de l'interface de collage à une température élevée, typiquement supérieure à 100°C. Etat de la technique antérieure 20 Il est connu de l'état de la technique d'utiliser une activation des surfaces par des traitements à base de plasma, ou encore par des techniques de polissage. De telles activations de surface améliorent la tenue de collage mais ne permettent pas d'obtenir une énergie de collage supérieure 3 J.m-2 sans appliquer un traitement thermique à une température supérieure à 100°C. 25 Il est également connu de l'état de la technique, notamment du document T. Suni et al., « Effects of plasma activation on hydrophilic bonding of Si and SiO2 », Journal of The Electrochemical Society, 149 (6) G348-G351 (2008), d'activer des surfaces d'oxydes de silicium par un plasma de type RF sous une atmosphère d'oxygène. Une telle activation de surface ne permet pas d'obtenir une énergie de collage 30 supérieure 3 J.m-2, tout en appliquant un traitement thermique à une température supérieure à 100°C. 3045939 2 Par ailleurs, il est connu de l'état de la technique, notamment du document H. Takagi et al., « Room-temperature Bonding of Oxide Wafers by Ar-beam Surface Activation », ECS Transactions, 16(8), pp. 531-537 (2008), d'activer des surfaces de deux plaques de silicium par faisceau d'ions argon. Les séparations des collages des 5 plaques de silicium ainsi traitées se font par rupture de silicium dans au moins une des plaques, ce qui signifie une forte énergie de collage, estimée supérieure à 4 J.e. En revanche, comme le montre ce même article, cette activation de surface est inopérante lorsque les deux plaques de silicium sont recouvertes d'un film d'oxyde de silicium avant l'activation de surface ou lorsque les plaques sont principalement 10 en oxyde de silicium. L'énergie de collage obtenue n'est que de l'ordre de une à quelques centaines de mi.m" à température ambiante, et reste inférieure à 2 J.m" malgré un traitement thermique à 200°C. Exposé de l'invention 15 Ainsi, la présente invention vise à remédier en tout ou partie aux inconvénients précités, et concerne à cet effet un procédé de collage d'une première structure et d'une seconde structure, comportant les étapes : a) fournir la première structure et la seconde structure, la première structure comportant une surface sur laquelle est formée une couche de silicium ; 20 b) bombarder la couche de silicium par un faisceau d'espèces configuré pour atteindre la surface de la première structure, et pour conserver une partie de la couche de silicium avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS à l'issue du bombardement ; c) coller la première structure et la seconde structure par une adhésion directe entre 25 la partie de la couche de silicium conservée lors de l'étape b) et la seconde structure, les étapes b) et c) étant exécutées au sein d'une même enceinte soumise à un vide inférieur à 10' mbar. Ainsi, un tel procédé selon l'invention permet d'envisager l'obtention d'une 30 énergie de collage supérieure à 3 J.m", tout en s'affranchissant d'un traitement thermique de l'interface de collage à une température supérieure à 100°C. En effet, une telle étape b) permet à la fois de : 3045939 3 - abraser la couche de silicium formée lors de l'étape a) lorsque celle-ci présente une épaisseur supérieure à la profondeur de pénétration des espèces (telles que des ions), et atteindre l'épaisseur souhaitée pour la partie de la couche de silicium conservée, - renforcer l'interface, en termes d'adhérence, entre la couche de silicium et la surface de la première structure grâce à leur mixage par les espèces bombardées lorsque l'épaisseur de la couche de silicium formée lors de l'étape a) est -ou devient après abrasion- inférieure ou égale à la profondeur de pénétration des espèces (telles que des ions), et - activer la surface de la couche de silicium en vue de son collage lors de l'étape c). Pour ce faire, le faisceau d'espèces est configuré pour atteindre la surface de la première structure sans abraser entièrement la couche de silicium. Ainsi, la surface de la partie de la couche de silicium conservée est activée et son mixage avec le matériau de la surface de la première structure (par exemple un oxyde de silicium) est obtenu grâce aux espèces bombardées, ce qui permet ainsi d'augmenter l'adhérence de la couche de silicium déposée sur un oxyde de silicium, à titre d'exemple non limitatif. Par « configuré pour », on entend que les paramètres du bombardement (principalement l'énergie et le courant) et les paramètres de traitement (principalement la durée d'opération, la température, la pression) sont choisis selon la nature des espèces pour conserver une partie de la couche de silicium avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS, et pour atteindre la surface de la première structure. En d'autres termes, à l'issue du bombardement de l'étape b), la partie de la couche de silicium conservée comporte une surface libre présentant une rugosité inférieure à 1 nm RMS, préférentiellement inférieure à 0,5 nm RMS, plus préférentiellement inférieure à 0,3 nm RMS, de manière à rester compatible avec le collage subséquent de l'étape c). La quantification de la rugosité de surface s'entend relativement à une rugosité moyenne quadratique (Sq) d'une surface de référence, et est définie dans la norme ISO 25178 (anciennement appelée Rq dans la norme ISO 4287, et également appelée RMS pour « Root mean square » en langue anglaise). Sq est mesurée par une technique décrite dans la norme ISO 25178, par exemple via un balayage AFM 3045939 4 (« Atomic Force Microscope » en langue anglaise) sur une surface de référence de 1*1 pm2. En outre, pour ce faire, les étapes b) et c) sont effectuées sous un vide poussé, et sans rupture de vide. Par exemple, le vide poussé peut être un vide secondaire 5 inférieur à 10' mbar, ou encore un ultra-vide inférieur à 10-7 mbar. Avantageusement, l'étape b) est exécutée de sorte que la partie de la couche de silicium conservée présente une épaisseur comprise entre 0,2 nm et 5 nm, préférentiellement comprise entre 1 nm et 5 nm, plus préférentiellement comprise 10 entre 3 nm et 5 nm. Ainsi, de telles épaisseurs permettent au faisceau d'atteindre la surface de la première structure et d'autoriser par là-même le mixage de la partie de la couche de silicium et de la surface de la première structure par les espèces bombardées, et ce sans nécessiter une énergie trop élevée (typiquement inférieure à quelques keV). 15 En outre, lorsque la couche de silicium formée lors de l'étape a) présente une épaisseur très supérieure à 5 nm (par exemple 10 nm), le procédé comporte préférentiellement une étape préalable consistant à graver ladite couche de silicium, en voie sèche (bombardement, voie gazeuse) ou en voie humide, de sorte que la couche de silicium présente une épaisseur de l'ordre de 5 nm avant l'étape b). 20 Selon une alternative, l'étape b) comporte les sous-étapes : s1) provoquer par un bombardement le mixage de l'interface entre la couche de silicium et la surface de la première structure, la couche de silicium présentant une épaisseur inférieure ou égale à la profondeur de pénétration des espèces ; s2) épaissir la couche de silicium par un dépôt ; 25 s3) activer la surface de la couche de silicium épaissie lors de s2) par un bombardement, en vue de l'étape c) de collage. Suivant cette alternative, la couche de silicium peut être épaissie ultérieurement par dépôt, pour atteindre des épaisseurs supérieures à 5 nm, par exemple 20 nm ou 50 nm. L'activation de surface peut alors être provoquée par un bombardement 30 ionique complémentaire. 3045939 5 Avantageusement, les espèces du faisceau comportent au moins un élément sélectionné dans le groupe comportant Ar, Ne, N, H, O, He. Selon une alternative, les espèces du faisceau comportent des atomes de silicium. 5 Selon un mode de réalisation, la première structure fournie lors de l'étape a) comporte successivement : - un substrat d'un premier matériau ; - une couche d'un deuxième matériau comportant la surface sur laquelle est formée la couche de silicium. 10 Selon un mode de réalisation, la seconde structure fournie lors de l'étape a) comporte successivement : - un substrat d'un premier matériau ; - une couche d'un deuxième matériau sur laquelle s'opère l'adhésion directe lors de 15 l'étape c). Selon une forme d'exécution, le deuxième matériau de la couche est sélectionné dans le groupe comportant un oxyde de silicium, un nitrure de silicium, un nitrure d'aluminium, un oxyde d'aluminium, un oxynitrure de silicium, un 20 carbure de silicium, un diamant, un matériau de type III-V, un matériau de type II-VI, un matériau de type IV. Par « matériau de type A-B », on entend un alliage binaire entre des éléments situés respectivement dans les colonnes A et B du tableau périodique des éléments. 25 Selon une forme d'exécution, le premier matériau du substrat est sélectionné dans le groupe comportant le silicium, un verre, un saphir, un matériau de type Ill-V, un diamant, un carbure de silicium, une alumine, un polymère, une céramique. Avantageusement, les première et seconde structures forment un empilement 30 lors de l'étape c), et l'étape c) est exécutée en exerçant une pression sur au moins une surface libre de l'empilement suivant la normale à la surface libre, la pression étant préférentiellement comprise entre 5 et 30 bar. 3045939 6 Avantageusement, le procédé comporte une étape consistant à appliquer un recuit thermique à la première structure avant l'étape b), le recuit thermique présentant une température T vérifiant T T, où T, est la température à partir de laquelle des gaz inclus au cours des dépôts ou sous-produits de réaction (par exemple hydrogène, eau, hydrocarbures) diffusent hors de la couche de silicium. 10 Selon une forme d'exécution, la couche de silicium est amorphe ou polycristalline. Par « amorphe », on entend que la couche de silicium présente un taux de cristallinité massique inférieur à 20%. 15 Par « polycristalline », on entend que la couche de silicium présente un taux de cristallinité massique compris entre 20% et strictement inférieur à 100%. Par « monocristalline », on entend que la couche de silicium présente un taux de cristallinité massique égal à 100%. 20 Selon une forme d'exécution, la première structure fournie lors de l'étape a) comporte un oxyde de silicium formé sur la couche de silicium, et le procédé comporte une étape consistant à retirer l'oxyde de silicium avant l'étape b). Ainsi, la surface de la couche de silicium est rendue hydrophobe. 25 Selon une forme d'exécution, l'étape a) comporte une étape consistant à déposer la couche de silicium sur la surface de la première structure, de préférence à une température inférieure à 600°C, plus préférentiellement inférieure à 500°C. Avantageusement, la seconde structure fournie lors de l'étape a) comporte une 30 surface sur laquelle est formée une couche de silicium additionnelle ; le procédé comporte une étape b1) consistant à bombarder la couche de silicium additionnelle par un faisceau d'espèces configuré pour atteindre la surface de la seconde 3045939 7 structure, et pour conserver une partie de la couche de silicium additionnelle avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS à l'issue du bombardement, l'étape b1) étant exécutée au sein de la même enceinte soumise au vide inférieur à 10' mbar ; et l'étape c) est exécutée de sorte que l'adhésion directe s'opère entre la 5 partie de la couche de silicium conservée lors de l'étape b) et la partie de la couche de silicium additionnelle conservée lors de l'étape b1). Ainsi, de manière analogue, une telle étape b1) permet à la fois de : - abraser la couche de silicium additionnelle formée lors de l'étape a) lorsque celle-ci présente une épaisseur supérieure à la profondeur des espèces (telles que 10 des ions), et atteindre l'épaisseur souhaitée pour la partie de la couche de silicium additionnelle conservée, - renforcer l'interface, en termes d'adhérence, entre la couche de silicium additionnelle et la surface de la seconde structure grâce à leur mixage par les espèces bombardées lorsque l'épaisseur de la couche de silicium additionnelle 15 formée lors de l'étape a) est -ou devient après abrasion- inférieure ou égale à la profondeur de pénétration des espèces (telles que des ions), et - activer la surface de la couche de silicium additionnelle en vue de son collage lors de l'étape c). En d'autres termes, à l'issue du bombardement de l'étape b1), la partie de la 20 couche de silicium additionnelle conservée comporte une surface libre présentant une rugosité inférieure à 1 nm RMS, préférentiellement inférieure à 0,5 nm RMS, plus préférentiellement inférieure à 0,3 nm RMS, de manière à rester compatible avec le collage subséquent de l'étape c). 25 Selon une variante, la seconde structure fournie lors de l'étape a) comporte une surface sur laquelle s'opère l'adhésion directe lors de l'étape c), et le procédé comporte une étape consistant à bombarder la surface avant l'étape c) par un faisceau d'espèces configuré pour conserver une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS. 30 En d'autres termes, à l'issue du bombardement, la rugosité de la surface de la seconde structure est inférieure à 1 nm RMS, préférentiellement inférieure à 0,5 nm RMS, plus préférentiellement inférieure à 0,3 nm RMS. 3045939 8 Ainsi, la surface de la seconde structure est activée avant l'adhésion directe de l'étape c). Par « rugosité de surface », on entend une rugosité moyenne quadratique définie 5 dans la norme ISO 25178, et notée Sq. Avantageusement, le procédé est dépourvu d'une étape de recuit thermique présentant une température supérieure à 100°C après l'étape c). 10 Brève description des dessins D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui va suivre de différents modes de réalisation de l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels les figures 1 à 6 sont des vues schématiques en coupe illustrant des étapes d'un procédé selon 15 l'invention. Exposé détaillé des modes de réalisation Pour les différents modes de réalisation, les mêmes références seront utilisées pour des éléments identiques ou assurant la même fonction, par souci de 20 simplification de la description. Les caractéristiques techniques décrites ci-après pour différents modes de réalisation sont à considérer isolément ou selon toute combinaison techniquement possible. Le procédé illustré aux figures 1 à 6 est un procédé de collage d'une première 25 structure 1 et d'une seconde structure 2, comportant les étapes : a) fournir la première structure 1 et la seconde structure 2, la première structure 1 comportant une surface 100 sur laquelle est formée une couche de silicium 3 ; b) bombarder la couche de silicium 3 par un faisceau F d'espèces configuré pour atteindre la surface 100 de la première structure 1, et pour conserver une partie 3a 30 de la couche de silicium 3 avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS à l'issue du bombardement ; 3045939 9 c) coller la première structure 1 et la seconde structure 2 par une adhésion directe entre la partie 3a de la couche de silicium 3 conservée lors de l'étape b) et la seconde structure 2. Les étapes b) et c) sont exécutées au sein d'une même enceinte soumise à un vide 5 inférieur à 10' mbar. Première structure Comme illustré à la figure 1, préférentiellement, la première structure 1 fournie lors de l'étape a) comporte successivement : 10 - un substrat 10 d'un premier matériau ; - une couche 11 d'un deuxième matériau comportant la surface 100 sur laquelle est formée la couche de silicium 3. Le premier matériau du substrat 10 est avantageusement sélectionné dans le groupe comportant le silicium, un verre, un saphir, un matériau de type III-V, un 15 diamant, un carbure de silicium, une alumine, un polymère, une céramique. Le premier matériau est unique ou composite. Le deuxième matériau de la couche 11 est avantageusement sélectionné dans le groupe comportant un oxyde de silicium, un nitrure de silicium, un nitrure d'aluminium, un oxyde d'aluminium, un oxynitrure de silicium, un carbure de 20 silicium, un diamant, un matériau de type III-V (par exemple GaAs ou InP), un matériau de type II-VI (par exemple CdTe, ZnO, CdSe), un matériau de type IV. Lorsque le premier matériau du substrat 10 est le silicium et lorsque le deuxième matériau de la couche 11 est un oxyde de silicium, l'oxyde de silicium peut être formé sur le substrat de silicium soit par une oxydation thermique, soit par une 25 technique de dépôt de film. Le procédé comporte avantageusement une étape consistant à aplanir la couche 11 avant la formation de la couche de silicium 3, préférentiellement par un polissage mécano-chimique, de manière à obtenir une rugosité de surface suffisamment faible (de l'ordre de 2 Â RMS mesurée sur un scan AFM de 1*1 [lm') 30 pour l'adhésion directe de l'étape c). 3045939 10 Le procédé comporte avantageusement une étape consistant à nettoyer la surface 100 de la première structure 1 avant la formation de la couche de silicium 3, de préférence par un nettoyage de type RCA. L'étape a) comporte préférentiellement une étape consistant à déposer la couche 5 de silicium 3 sur la surface 100 de la première structure 1, de préférence à une température inférieure à 600°C, plus préférentiellement inférieure à 500°C. La couche de silicium 3 déposée est amorphe ou polycristalline. A titre d'exemple, la couche de silicium 3 peut être déposée par un dépôt physique ou chimique en phase vapeur. 10 L'étape a) comporte avantageusement une étape consistant à nettoyer la surface de la couche de silicium 3 formée, de préférence par un nettoyage de type RCA. Un tel nettoyage de type RCA permet de retirer les particules ou les contaminations à la surface de la couche de silicium 3 formée, tout en conservant un film d'oxyde chimique fin (de l'ordre de 0,6 nm). La surface de la couche de silicium 3 nettoyée 15 est alors hydrophile, avec des angles de mouillage de gouttes d'eau inférieurs à 2°. Selon une alternative, l'étape a) comporte avantageusement une étape consistant à aplanir la couche de silicium 3 formée, préférentiellement par un polissage mécano-chimique, de manière à obtenir une rugosité de surface suffisamment faible (de l'ordre de 2 Â RMS mesurée sur un scan AFM de 1 *1 pm2) pour l'adhésion 20 directe de l'étape c). La première structure 1 fournie lors de l'étape a) peut comporter un oxyde de silicium formé sur la couche de silicium 3. Le procédé comporte alors avantageusement une étape consistant à retirer l'oxyde de silicium avant l'étape b). Le retrait de l'oxyde de silicium est avantageusement exécuté par une gravure, de 25 préférence avec une solution d'acide fluorhydrique. Cette gravure est avantageusement la dernière étape exécutée avant l'étape b) (« HF last » en langue anglaise) afin d'éviter la formation d'un oxyde à la surface de la couche de silicium 3. Le procédé comporte avantageusement une étape consistant à appliquer un 30 recuit thermique à la première structure 1 avant l'étape b), le recuit thermique présentant une température T vérifiant T T, où T, est la température à partir de laquelle des gaz inclus au cours des dépôts ou sous-produits 5 de réaction (par exemple hydrogène, eau, hydrocarbures) diffusent hors de la couche de silicium. T, est par exemple comprise entre 100°C et 500°C. Seconde structure Comme illustré à la figure 6, préférentiellement, la seconde structure 2 fournie 10 lors de l'étape a) comporte successivement : - un substrat 20 d'un premier matériau ; - une couche 21 d'un deuxième matériau comportant une surface 200 sur laquelle s'opère l'adhésion directe lors de l'étape c). Le premier matériau du substrat 20 est avantageusement sélectionné dans le 15 groupe comportant le silicium, un verre, un saphir, un matériau de type III-V, un diamant, un carbure de silicium, une alumine, un polymère, une céramique. Le premier matériau est unique ou composite. Le deuxième matériau de la couche 21 est avantageusement sélectionné dans le groupe comportant un oxyde de silicium, un nitrure de silicium, un nitrure 20 d'aluminium, un oxyde d'aluminium, un oxynitrure de silicium, un carbure de silicium, un diamant, un matériau de type III-V (par exemple GaAs ou InP), un matériau de type II-VI (par exemple CdTe, ZnO, CdSe), un matériau de type IV. Lorsque le premier matériau du substrat 20 est le silicium et lorsque le deuxième matériau de la couche 21 est un oxyde de silicium, l'oxyde de silicium peut être 25 formé sur le substrat de silicium soit par une oxydation thermique, soit par une technique de dépôt de film. Le procédé comporte avantageusement une étape consistant à aplanir la couche 21 de manière à obtenir une rugosité de surface suffisamment faible (de l'ordre de 2 Â RMS mesurée sur un scan AFM de 1 *1 [lm') pour l'adhésion directe de l'étape 30 c). 3045939 12 L'étape a) comporte avantageusement une étape consistant à nettoyer la surface 200 de la couche 21, de préférence par un nettoyage de type RCA, afin de retirer les particules ou les contaminations de la surface 200. 5 Bombardement L'étape b) est avantageusement exécutée de sorte que la partie 3a de la couche de silicium 3 conservée présente une épaisseur comprise entre 0,2 nm et 5 nm, préférentiellement comprise entre 1 nm et 5 nm, plus préférentiellement comprise entre 3 nm et 5 nm. Lorsque la couche de silicium 3 formée lors de l'étape a) 10 présente une épaisseur très supérieure à 5 nm (par exemple 10 nm), le procédé comporte préférentiellement une étape b0) consistant à graver ladite couche de silicium 3, en voie sèche ou en voie humide, de sorte que la couche de silicium 3 présente une épaisseur de l'ordre de 5 nm avant l'étape b). L'étape b0) est une étape préalable à l'étape b) ou peut avoir lieu pendant une phase initiale de l'étape b). 15 Par « épaisseur », on entend la dimension suivant la normale au substrat 10. Les espèces du faisceau F comportent avantageusement au moins un élément sélectionné dans le groupe comportant Ar, Ne, N, H, O, He. Plus précisément, les paramètres du bombardement (principalement l'énergie et le courant) et les paramètres de traitement (principalement la durée d'opération, la 20 température, la pression) sont choisis pour : - obtenir une vitesse d'abrasion telle que la partie 3a de la couche de silicium 3 conservée présente une épaisseur préférentiellement comprise entre 3 nm et 5 nm, - obtenir une rugosité inférieure à 1 nm RMS (voire inférieure à 0,5 nm RMS, voire inférieure à 0,3 nm RMS) à la surface libre 30a de ladite partie 3a conservée à 25 l'issue du bombardement. A titre d'exemple, la vitesse d'abrasion de la couche de silicium 3 peut être comprise entre 9 nm/min et 12 nm/min. Comme illustré à la figure 6, l'étape b) comporte avantageusement une étape consistant à bombarder la surface 200 de la couche 21 de la seconde structure 2 30 par un faisceau F d'espèces. Le faisceau F est configuré pour que la surface 200 conserve une rugosité inférieure à 1 nm RMS (voire inférieure à 0,5 nm RMS, voire inférieure à 0,3 nm RMS) à l'issue du bombardement. Il en résulte une abrasion de 3045939 13 la couche 21 et une activation de la surface 200. A titre d'exemple, lorsque la couche 21 est un oxyde de silicium, la vitesse d'abrasion de la couche 21 peut être de l'ordre de 8,5 nm/min. Ce mode de réalisation est utilisé en l'absence de couche de silicium additionnelle 4 (mode de réalisation illustré à la figure 3, cf infra). 5 Collage Les première et seconde structures 1, 2 forment un empilement lors de l'étape c), et l'étape c) est avantageusement exécutée en exerçant une pression sur au moins une surface libre de l'empilement suivant la normale à la surface libre, la 10 pression étant préférentiellement comprise entre 5 et 30 bar. La pression est avantageusement exercée sur les deux surfaces libres de l'empilement aux moyens de deux plaques. Le vide auquel est soumise l'enceinte est avantageusement compris entre 10' et 10" mbar, préférentiellement compris entre 10-8 et 10' mbar. 15 Couche de silicium additionnelle Selon un mode de réalisation illustré à la figure 3, la seconde structure 2 fournie lors de l'étape a) comporte une surface 200 sur laquelle est formée une couche de silicium additionnelle 4. Le procédé comporte avantageusement une étape b1) 20 consistant à bombarder la couche de silicium additionnelle 4 par un faisceau F d'espèces configuré pour atteindre la surface 200 de la seconde structure 2, et pour conserver une partie 4a de la couche de silicium additionnelle 4 avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS à l'issue du bombardement (illustré à la figure 4). L'étape b1) est avantageusement exécutée au sein de la même enceinte soumise au 25 vide inférieur à 10' mbar. L'étape c) est exécutée de sorte que l'adhésion directe s'opère entre la partie 3a de la couche de silicium 3 conservée lors de l'étape b) et la partie 4a de la couche de silicium additionnelle 4 conservée lors de l'étape b1). Les caractéristiques techniques décrites pour la couche de silicium 3 (et la partie 3a) s'appliquent également pour la couche de silicium additionnelle 4 (et la partie 30 4a). Les caractéristiques décrites pour le bombardement de l'étape b) s'appliquent également pour le bombardement de l'étape b1). 3045939 14 En particulier, les paramètres du bombardement de l'étape b1) (principalement l'énergie et le courant) et les paramètres de traitement (principalement la durée d'opération, la température, la pression) sont choisis pour : - obtenir une vitesse d'abrasion telle que la partie 4a de la couche de silicium 5 additionnelle 4 conservée présente une épaisseur préférentiellement comprise entre 3 nm et 5 nm, - obtenir une rugosité inférieure à 1 nm RMS (voire inférieure à 0,5 nm RMS, voire inférieure à 0,3 nm RMS) à la surface libre 40a de ladite partie 4a conservée à l'issue du bombardement. 10 Exemple particulier de réalisation Le substrat 10 de la première structure 1 est en silicium. Le substrat 20 de la seconde structure 2 est en silicium. La couche 11 est un film d'oxyde de silicium d'une épaisseur de 150 nm. La 15 couche 21 est un film d'oxyde de silicium d'une épaisseur de 150 nm. Une couche de silicium 3 d'une épaisseur de 24 nm ± 2 nm est déposée sur la couche 11 par RPCVD (« Remote Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition »), par exemple à 550°C. Une couche de silicium additionnelle 4 d'une épaisseur de 24 nm ± 2 nm est déposée sur la couche 21 par RPCVD, par exemple à 550°C. Les 20 surfaces des couches de silicium 3, 4 présentent une rugosité de l'ordre de 0,3 nm RMS. Les couches de silicium 3, 4 sont soumises à un traitement de préparation de leur surface. La dernière étape avant l'étape b) est le retrait de l'oxyde de surface des couches de silicium 3, 4, par exemple par une immersion dans un bain d'acide 25 fluorhydrique (« HF last »). Les première et seconde structures 1, 2 sont ensuite disposées à l'intérieur d'une enceinte sous vide avec une pression résiduelle inférieure à 10' mbar. Les couches de silicium 3, 4 sont bombardées par un faisceau F d'ions argon. Le faisceau F 30 présente une énergie de 800 eV et un courant de 77 mA. La pression pendant le bombardement est de 5,7 10' mbar. Le temps de bombardement est de 2 min. La vitesse d'abrasion est de 9,8 nm/min. Les parties 3a, 4a des couches de silicium 3, 4 3045939 15 conservées après bombardement présentent une épaisseur de 4 nm ± 1 nm. Du fait de l'énergie égale à 800 eV et d'une épaisseur faible des parties 3a, 4a des couches de silicium 3, 4, on obtient un mixage à l'interface de dépôt des couches de silicium 3, 4 sur les couches 11, 21 entre les ions argon et l'oxyde des couches 11, 5 21. A titre d'exemple, en conservant les autres paramètres, une énergie du faisceau F de 1 keV conduit à une vitesse d'abrasion de 12 nm/min. Le collage par adhésion directe de l'étape c) entre les première et seconde structures 10 1, 2 intervient quasiment instantanément après la mise en contact des parties 3a, 4a des couches de silicium 3, 4 sous vide résiduel, et sans rupture de vide. L'étape c) est exécutée en exerçant une pression de 10 bar sur une surface libre de l'empilement 1, 2 suivant la normale à la surface libre. 15 Selon une variante particulière, les épaisseurs initiales des couches de silicium 3, 4 sont de 15 nm. Il est alors possible de réduire le temps de bombardement à 1 min pour obtenir les parties 3a, 4a des couches de silicium 3, 4 avec une épaisseur de 4 nm ± 1 nm. Une telle réduction du temps de bombardement permet de réduire l'échauffement des première et seconde structures 1, 2. 20 REVENDICATIONS1. Procédé de collage d'une première structure (1) et d'une seconde structure (2), comportant les étapes : a) fournir la première structure (1) et la seconde structure (2), la première structure (1) comportant une surface (100) sur laquelle est formée une couche de silicium (3) ; b) bombarder la couche de silicium (3) par un faisceau (F) d'espèces configuré pour atteindre la surface (100) de la première structure (1), et pour conserver une partie 10 (3a) de la couche de silicium (3) avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS à l'issue du bombardement ; c) coller la première structure (1) et la seconde structure (2) par une adhésion directe entre la partie (3a) de la couche de silicium (3) conservée lors de l'étape b) et la seconde structure (2), les étapes b) et c) étant exécutées au sein d'une même 15 enceinte soumise à un vide inférieur à 10-2 mbar. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape b) est exécutée de sorte que la partie (3a) de la couche de silicium (3) conservée présente une épaisseur comprise entre 0,2 nm et 5 nm, préférentiellement comprise entre 1 20 nm et 5 nm, plus préférentiellement comprise entre 3 nm et 5 nm. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les espèces du faisceau (F) comportent au moins un élément sélectionné dans le groupe comportant Ar, Ne, N, H, O, He. 25 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la première structure (1) fournie lors de l'étape a) comporte successivement : - un substrat (10) d'un premier matériau ; - une couche (11) d'un deuxième matériau comportant la surface (100) sur laquelle 30 est formée la couche de silicium (3). 3045939 17 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la seconde structure (2) fournie lors de l'étape a) comporte successivement : - un substrat (20) d'un premier matériau ; - une couche (21) d'un deuxième matériau sur laquelle s'opère l'adhésion directe 5 lors de l'étape c). 6. Procédé selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que le deuxième matériau de la couche (11, 21) est sélectionné dans le groupe comportant un oxyde de silicium, un nitrure de silicium, un nitrure d'aluminium, un oxyde d'aluminium, un oxynitrure de silicium, un carbure de silicium, un diamant, un matériau de type III-V, un matériau de type II-VI, un matériau de type IV. 7. Procédé selon l'une des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que le premier matériau du substrat (10, 20) est sélectionné dans le groupe comportant le 15 silicium, un verre, un saphir, un matériau de type III-V, un diamant, un carbure de silicium, une alumine, un polymère, une céramique. 8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les première et seconde structures (1, 2) forment un empilement lors de l'étape c), et en 20 ce que l'étape c) est exécutée en exerçant une pression sur au moins une surface libre de l'empilement suivant la normale à la surface libre, la pression étant préférentiellement comprise entre 5 et 30 bar. 9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il 25 comporte une étape consistant à appliquer un recuit thermique à la première structure (1) avant l'étape b), le recuit thermique présentant une température T vérifiant T 10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la couche de silicium (3) est amorphe ou polycristalline. 3045939 18 11. Procédé selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que la première structure (1) fournie lors de l'étape a) comporte un oxyde de silicium formé sur la couche de silicium (3), et en ce que le procédé comporte une étape consistant à retirer l'oxyde de silicium avant l'étape b). 5 12. Procédé selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que l'étape a) comporte une étape consistant à déposer la couche de silicium (3) sur la surface (100) de la première structure (1), de préférence à une température inférieure à 600°C, plus préférentiellement inférieure à 500°C. 10 13. Procédé selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que la seconde structure (2) fournie lors de l'étape a) comporte une surface (200) sur laquelle est formée une couche de silicium additionnelle (4) ; en ce que le procédé comporte une étape b1) consistant à bombarder la couche de silicium additionnelle (4) par un faisceau (F) d'espèces configuré pour atteindre la surface (200) de la seconde structure (2), et pour conserver une partie (4a) de la couche de silicium additionnelle (4) avec une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS à l'issue du bombardement, l'étape b1) étant exécutée au sein de la même enceinte soumise au vide inférieur à 10-2 mbar ; et en ce que l'étape c) est exécutée de sorte que l'adhésion directe s'opère entre la partie (3a) de la couche de silicium (3) conservée lors de l'étape b) et la partie (4a) de la couche de silicium additionnelle (4) conservée lors de l'étape b1). 14. Procédé selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que la seconde structure (2) fournie lors de l'étape a) comporte une surface (200) sur laquelle s'opère l'adhésion directe lors de l'étape c) ; et en ce que le procédé comporte une étape consistant à bombarder la surface (200) avant l'étape c) par un faisceau (F) d'espèces configuré pour conserver une rugosité de surface inférieure à 1 nm RMS. 3045939 19 1 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce qu'il est dépourvu d'une étape de recuit thermique présentant une température supérieure à 100°C après l'étape c).