FR 3044443 A1 20170602 FR 1561577 A 20151130 1 PROCEDE DE CAPTURE DE MOTIF THERMIQUE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention se rapporte à un procédé de capture de motif thermique au cours duquel plusieurs mesures du motif thermique sont réalisées au niveau de chaque pixel du capteur avec lequel le procédé est mis en oeuvre. Ce procédé est avantageusement mis en oeuvre pour réaliser une capture d'empreinte digitale par détection thermique. Il est connu de réaliser un capteur d'empreinte digitale comportant des moyens de détection thermique. Ces moyens de détection thermique peuvent correspondre à des éléments pyroélectriques, des diodes, des thermistances ou tout autre élément thermosensible permettant la conversion d'une variation de température en une variation d'un autre paramètre de l'élément sensible tel qu'un potentiel électrique aux bornes de l'élément thermosensible, un courant électrique généré par l'élément thermosensible ou encore une variation de la résistance électrique de l'élément thermosensible. La détection d'empreinte digitale peut être réalisée par des capteurs dits « passifs » exploitant une différence de températures entre le doigt et le capteur, comme décrit dans les documents US 4 394 773, US 4 429 413 et US 6 289 114. Ces capteurs ont toutefois pour inconvénient de réaliser une mesure qui dépend uniquement de la différence de températures entre le doigt et le capteur. Il peut donc arriver que le niveau du signal obtenu soit nul lorsque le doigt et le capteur sont à la même température, ou que le contraste des images capturées varie, ce qui pose alors des problèmes lors du traitement ultérieur des images capturées. Pour éliminer ces problèmes posés par les capteurs thermiques passifs, et également pour pouvoir réaliser une acquisition statique où le doigt ne bouge pas, des capteurs dits « actifs » ont été proposés, comme par exemple celui décrit dans les documents US 6 091 837 et EP 2 385 486 Al. Dans un tel capteur actif, chaque pixel comporte une capacité pyroélectrique formée de deux électrodes conductrices entre 3044443 2 lesquelles une portion de matériau pyroélectrique est disposée, et un élément chauffant. Cet élément chauffant dissipe une certaine quantité de chaleur dans le pixel (notamment dans la portion de matériau pyroélectrique), et l'échauffement du pixel est mesuré au bout d'un certain temps d'acquisition en présence du doigt sur le capteur. Cela permet de 5 distinguer, au niveau de chaque pixel, la présence d'une crête ou d'une vallée de l'empreinte mesurée suivant que la chaleur est absorbée par la peau (pixel en présence d'une crête de l'empreinte) ou conservée dans le pixel (pixel en présence d'une vallée de l'empreinte). Cela conduit à une température finale plus faible dans le cas d'un pixel en présence d'une crête où la chaleur est absorbée par la peau, contrairement à un pixel en 10 présence d'une vallée où la chaleur n'est pas absorbée par la peau et reste au niveau du pixel. Au premier ordre, un tel capteur permet de mesurer la capacité calorifique, également appelée chaleur massique ou capacité thermique massique, d'un élément (le doigt lors d'une capture d'empreinte digitale) en contact avec le capteur. Les 15 mesures obtenues dépendent également de la conductivité thermique entre le capteur et la partie de l'élément (crête ou vallée dans le cas d'une empreinte digitale) en présence. Les éléments chauffants utilisent généralement l'effet Joule en dissipant de la chaleur depuis un élément résistif qui est parcouru par un courant. Un des niveaux de l'empilement technologique formant les pixels est avantageusement utilisé pour 20 former ces éléments chauffants. Par exemple, il possible d'utiliser un des niveaux conducteurs servant à réaliser les transistors et les interconnexions du capteur si l'un de ces niveaux comporte un matériau conducteur présentant une résistivité adéquate et sur lequel il suffit d'appliquer une des tensions déjà disponibles dans le capteur, par exemple la tension d'alimentation du capteur, pour générer un chauffage par effet Joule. Cela est 25 notamment utilisé lorsque le capteur comporte des transistors de type TFT (« Thin-Film Transistor », ou transistor en couches minces) réalisés sur un substrat de verre. Les pixels d'un tel capteur sont disposés en formant une matrice de plusieurs lignes et de plusieurs colonnes. La lecture des pixels est généralement réalisée ligne par ligne. Les éléments chauffants peuvent alors être également commandés ligne par ligne à l'aide d'un transistor en tête de chaque ligne, ce qui permet de ne pas avoir à 3044443 3 rajouter de transistors de commande dans les pixels servant uniquement à commander le chauffage des pixels. Chaque ligne d'éléments chauffants est par exemple connectée, d'un côté de la matrice de pixels, à la masse, et de l'autre coté à un transistor de commande relié à une alimentation adaptée de manière à maîtriser le courant parcourant 5 les éléments chauffants et donc la puissance thermique injectée par effet Joule dans les pixels par ces éléments chauffants. Lors d'une lecture classique d'un motif thermique par un capteur à détection thermique actif, tous les pixels du capteur sont lus de la même manière et de manière régulière à la même cadence, c'est-à-dire avec un temps d'attente fixe identique 10 pour tous les pixels. Ce temps d'attente, qui correspond à une durée pendant laquelle un pixel réalise la mesure du motif thermique, est généralement ajusté de manière à obtenir un contraste maximal entre les crêtes et les creux de l'empreinte digitale, c'est-à-dire suffisamment long pour obtenir un niveau de signal important par rapport au bruit. Ce temps d'attente doit toutefois ne pas être trop long pour que la durée de la mesure reste 15 acceptable par l'utilisateur et que la mesure ne soit pas perturbée par de possibles mouvements du doigt sur la surface du capteur. Un compromis doit être trouvé car un temps d'attente long a pour avantage d'augmenter le contraste de l'image obtenue, mais implique par contre une diathermie plus importante, c'est-à-dire une plus grande dispersion de la chaleur entre les 20 pixels voisins, engendrant un certain flou dans l'image obtenue. Un temps d'attente plus court permet de réduire cette diathermie, mais avec en contrepartie un contraste plus faible dans l'image obtenue et certains éléments parasites, tels que des résidus ou des gouttelettes d'eau ou de graisse, assimilés à des parties de l'élément dont le motif thermique est capturé, par exemple assimilés à des crêtes d'une empreinte digitale. 25 Il a été observé que les caractéristiques thermiques de la peau varient suivant son taux d'hydratation. Par exemple, le rapport entre la conductivité thermique (en W/m/K) d'une peau ayant un taux d'hydratation égal à environ 100 % et celle d'une peau ayant un taux d'hydratation égal à environ 0 % est égal à environ 10. Plus la peau est sèche, moins elle conduit la chaleur. Toutefois, une peau sèche conduit bien mieux la 30 chaleur que l'air. De plus, en considérant l'effusivité thermique (qui correspond à la 3044443 4 conductivité thermique multipliée par la chaleur volumique, et qui caractérise la capacité à échanger l'énergie thermique) et la diffusivité thermique (qui correspond à la conductivité thermique divisée par la chaleur volumique, et qui caractérise la vitesse avec laquelle un élément diffuse la chaleur en son sein) de l'air, de l'eau, ainsi que de la peau 5 avec différents taux d'hydratation, plusieurs observations peuvent être faites : - l'air diffuse rapidement la chaleur en son sein, mais la communique très mal à un autre élément en contact avec l'air ; - l'eau diffuse la chaleur 100 fois moins rapidement que l'air en soin sein, mais échange par contre 300 fois plus vite que l'air la chaleur avec un autre 10 élément en contact avec l'eau ; - une peau totalement déshydratée diffuse 5 fois moins bien la chaleur en son sein que l'eau ou qu'une peau hydratée à 100 %, et échange aussi 5 fois moins bien la chaleur avec un autre élément en contact avec celle-ci que l'eau ou qu'une peau hydratée à 100 %. 15 Les variations du taux d'humidité de l'élément dont le motif thermique est mesuré, par exemple le taux d'hydratation de la peau dont l'empreinte digitale est capturée, ont donc une influence sur l'image du motif thermique capturé. De plus, aucun des capteurs de l'art antérieur n'exploite ces informations supplémentaires liées au taux d'hydratation de la peau présente sur le 20 capteur lors d'une capture d'empreinte digitale, ou plus généralement les informations liées au taux d'humidité du ou des éléments présents sur le capteur lors d'une mesure du motif thermique de cet ou ces éléments, afin d'améliorer la qualité de la capture du motif thermique. EXPOSÉ DE L'INVENTION 25 Un but de la présente invention est de proposer un procédé de capture de motif thermique permettant d'améliorer la qualité de la capture du motif thermique et/ou d'exploiter des informations liées au taux d'humidité d'un élément dont le motif thermique est mesuré, par exemple les informations liées au taux d'hydratation de la peau lors d'une capture d'empreinte digitale. 3044443 5 Pour cela, l'invention propose un procédé de capture d'un motif thermique par un capteur comportant plusieurs pixels comprenant chacun au moins un élément de mesure thermosensible, le capteur comprenant en outre au moins un élément chauffant apte à chauffer l'élément de mesure thermosensible de chacun desdits 5 pixels lors d'une mesure du motif thermique par l'élément de mesure thermosensible dudit pixel, le procédé comportant au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes pour chacun desdits pixels : - premier chauffage de l'élément de mesure thermosensible du pixel, dissipant une première puissance de chauffage dans l'élément de mesure thermosensible 10 du pixel ; - première mesure du motif thermique présent sur le pixel, comprenant une première lecture d'au moins un paramètre variable avec la température de l'élément de mesure thermosensible du pixel après un premier temps d'attente ; - deuxième chauffage de l'élément de mesure thermosensible du pixel, 15 dissipant une deuxième puissance de chauffage dans l'élément de mesure thermosensible du pixel ; - deuxième mesure du motif thermique présent sur le pixel, comprenant une deuxième lecture du paramètre variable avec la température de l'élément de mesure thermosensible du pixel après un deuxième temps d'attente ; 20 et dans lequel la valeur de la première puissance est différente de celle de la deuxième puissance et/ou la valeur du premier temps d'attente est différente de celle du deuxième temps d'attente. Le procédé selon l'invention propose de lire, au niveau de chacun des pixels, un motif thermique, par exemple celui d'une empreinte digitale, avec des temps 25 d'attente différents et/ou des puissances de chauffage différentes, afin d'obtenir des informations thermiques différentes via ces mesures qui peuvent être vues comme des mesures thermiques réalisées à différentes profondeurs dans le ou les éléments présents sur le capteur du fait de la propagation de la chaleur qui diffère selon la valeur du temps d'attente et/ou la valeur de la puissance dissipée. 3044443 6 En réalisant par exemple un premier chauffage tel qu'il dissipe une faible première puissance de chauffage et/ou une première mesure du motif thermique avec un premier temps d'attente court, on obtient une première image formée d'informations dites de « surface », c'est-à-dire qui correspondent à la mesure du motif 5 thermique à une faible profondeur du ou des éléments. Cela provient du fait qu'en réalisant un chauffage dissipant une faible puissance et/ou en réalisant une mesure du motif thermique avec un temps d'attente court, la chaleur engendrée par le chauffage n'a pas le temps de se propager dans une profondeur importante du ou des éléments dont le motif thermique est mesuré. La deuxième image réalisée avec un deuxième chauffage 10 dissipant une plus forte puissance et/ou avec une deuxième mesure du motif thermique avec un temps d'attente plus important comporte par contre des informations qui concernent une partie plus en profondeur du ou des éléments présents sur le capteur. Cette deuxième mesure permet par exemple de lire le motif thermique du ou des éléments présents derrière des résidus se trouvant sur le capteur. Par contre, cette 15 deuxième mesure révèle dans ce cas, pour une profondeur donnée, moins de détails sur les éléments présents sur le capteur du fait que la diathermie lors de cette deuxième mesure est plus importante que celle se produisant lors de la première mesure en raison de la plus forte puissance dissipée et/ou du temps d'attente plus long. A partir de ces deux images, il est donc possible d'améliorer la qualité de 20 la capture réalisée du fait que les informations contenues dans ces images peuvent être combinées pour ne conserver que les informations pertinentes de chacune des images. Ce procédé est particulièrement avantageux lorsqu'il est mis en oeuvre avec un capteur thermique d'empreinte digitale afin de capturer à la fois les détails fins des doigts (obtenus en utilisant un temps d'attente court et/ou une faible puissance dissipée) et les 25 autre caractéristiques de l'empreinte plus en profondeur (obtenues en utilisant un temps d'attente long et/ou une forte puissance dissipée), tout en éliminant de l'image finale les éventuelles traces de résidus présents sur le capteur. En outre, en suivant l'évolution de la température d'une image à l'autre, il est possible d'en déduire des informations relatives au taux d'humidité du ou des 3044443 7 éléments présents sur le capteur et dont le motif thermique est mesuré, par exemple le taux d'hydratation de la peau dont l'empreinte digitale est capturée. Le temps d'attente est défini comme étant la durée entre l'instant auquel la mesure par un pixel est initiée, par exemple l'instant auquel un pixel commence 5 à accumuler des charges générées par la mesure, et l'instant de lecture de ce pixel, par exemple l'instant auquel les charges accumulées dans le pixel durant le temps d'attente sont envoyées dans un circuit de lecture. L'expression « apte à chauffer l'élément de mesure thermosensible dudit pixel lors d'une mesure du motif thermique par l'élément de mesure 10 thermosensible dudit pixel » signifie que le chauffage obtenu est suffisamment important pour qu'à la fin d'un certain temps de mesure (le temps d'attente), la mesure obtenue, c'est-à-dire la variation du paramètre variable avec la température de l'élément de mesure thermosensible, correspondant à la différence de températures mesurée, soit significative pour détecter le motif thermique. Le chauffage obtenu peut être tel qu'une 15 variation de températures d'au moins 0,5 K, par exemple environ 1 K, de l'élément de mesure thermosensible entre un pixel en contact avec de la peau et un pixel qui n'est pas en contact avec de la peau peut être obtenue lorsque le motif thermique mesuré correspond à une empreinte digitale. Le choix de la valeur de cette variation de température dépend notamment de la sensibilité de l'élément de mesure 20 thermosensible, de la taille du pixel et du bruit du circuit de lecture du capteur. L'expression « motif thermique » désigne une répartition spatiale des caractéristiques thermiques d'un objet qui est détectable par le capteur, par exemple le motif d'une empreinte digitale. La valeur du premier temps d'attente peut être inférieure à celle du 25 deuxième temps d'attente, et/ou la valeur de la première puissance peut être inférieure à celle de la deuxième puissance. Un rapport entre les premier et deuxième temps d'attente peut être compris entre environ 2 et 10 (avec par exemple un premier temps d'attente égal à environ 100 us et un deuxième temps d'attente égal à environ 1 ms), et/ou un rapport 30 entre les première et deuxième puissances de chauffage peut être supérieur ou égal à 10 3044443 8 (avec par exemple une première puissance de chauffage égale à environ 1 mW et une deuxième puissance de chauffage égale à environ 10 mW). Les premier et deuxième chauffages de l'élément de mesure thermosensible du pixel peuvent être mis en oeuvre sous la forme d'une phase de 5 chauffage continue à puissance constante. Le procédé peut comporter en outre, après la deuxième mesure du motif thermique présent sur chacun des pixels, une étape de traitement numérique de première et deuxième images du motif thermique, correspondant respectivement à l'ensemble des premières mesures du motif thermique et à l'ensemble des deuxièmes 10 mesures du motif thermique, comprenant au moins une comparaison et/ou au moins une combinaison linéaire des première et deuxième images. Ainsi, il est possible de déterminer l'évolution de la température au niveau de chacun des pixels entre les première et deuxième mesures du motif thermique, ce qui permet notamment d'identifier la présence de résidus et/ou de gouttelettes d'eau ou de graisse sur certains 15 pixels, les différents taux d'humidité ou d'hydratation de l'élément présent sur le capteur et, dans le cas d'une capture d'une empreinte digitale, la présence d'air ou de peau sur chaque pixel, c'est-à-dire la présence d'une crête ou d'une vallée de l'empreinte digitale sur chaque pixel. Dans ce cas, le procédé peut comporter en outre, entre la deuxième 20 mesure du motif thermique présent sur chacun des pixels et l'étape de traitement numérique des première et deuxième images du motif thermique, une étape de déconvolution de la deuxième image. Une telle déconvolution, réalisée par traitement numérique, permet de corriger les effets de diathermie présents dans la deuxième image afin de la rendre similaire à la première image en termes de précision des détails du motif 25 thermique capturé. Le procédé peut comporter en outre, après l'étape de traitement numérique des première et deuxième images du motif thermique, une étape d'identification de crêtes et de vallées d'une empreinte digitale à partir des données issues de l'étape de traitement numérique des première et deuxième images du motif 30 thermique. 3044443 9 Le procédé peut comporter en outre, après l'étape d'identification des crêtes et des vallées de l'empreinte digitale : une étape de calcul d'un taux d'hydratation de la peau dont le motif thermique a été mesuré, à partir d'un abaque ou d'une fonction exprimant le taux 5 d'hydratation en fonction du résultat obtenu lors d'une mesure du motif thermique pour un pixel sur lequel une crête a été identifiée, ou - une étape de calcul d'une différence de mesures entre celle obtenue lors de la deuxième mesure du motif thermique pour un premier pixel sur lequel une crête a été identifiée et celle obtenue lors de la deuxième mesure du motif thermique 10 pour un deuxième pixel sur lequel une vallée a été identifiée, puis une étape de calcul d'un taux d'hydratation de la peau dont le motif thermique a été mesuré, à partir d'un abaque ou d'une fonction exprimant le taux d'hydratation en fonction de la différence de mesures entre une crête et une vallée d'une empreinte digitale. Le taux d'hydratation obtenu peut servir à distinguer certains types de 15 faux doigts, par exemple en silicone ou en gélatine, dont les caractéristiques thermiques sont suffisamment éloignées de celles d'un vrai doigt. Le procédé peut être tel que : - chaque élément de mesure thermosensible comporte au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique 20 disposée entre des première et deuxième électrodes ; - l'élément chauffant est apte à émettre un rayonnement chauffer par effet Joule la portion de matériau pyroélectrique de la capacité pyroélectrique dudit pixel ; - le premier chauffage de l'élément de mesure thermosensible d'un 25 pixel comprend une application d'une première tension de chauffage aux bornes de l'élément chauffant, dissipant la première puissance de chauffage par effet Joule dans la portion de matériau pyroélectrique de la capacité pyroélectrique du pixel ; - la première mesure du motif thermique présent sur un pixel comprend une lecture des charges générées par le pixel pendant le premier temps 30 d'attente ; 3044443 10 - le deuxième chauffage de l'élément de mesure thermosensible d'un pixel comprend une application d'une deuxième tension de chauffage aux bornes de l'élément chauffant, dissipant la deuxième puissance de chauffage par effet Joule dans la portion de matériau pyroélectrique de la capacité pyroélectrique du pixel ; 5 - la deuxième mesure du motif thermique présent sur le pixel comprend une lecture des charges générées par le pixel pendant le deuxième temps d'attente. En variante, le procédé peut être tel que : chaque élément de mesure thermosensible comporte au moins une 10 capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique disposée entre des première et deuxième électrodes, et - l'élément chauffant est apte à émettre un rayonnement lumineux destiné à chauffer les portions de matériau pyroélectrique des capacités pyroélectriques des pixels. 15 Le rayonnement lumineux émis par l'élément chauffant peut être orienté sur une couche de protection des pixels et/ou l'une des premières et deuxièmes électrodes des pixels. Ce chauffage par rayonnement lumineux des portions de matériau pyroélectrique peut se faire directement en illuminant les portions de matériau 20 pyroélectrique, ou indirectement en chauffant d'autres éléments que les portions de matériau pyroélectrique, par exemple les électrodes de la capacité pyroélectrique ou une couche de protection surfacique de ces capacités pyroélectriques ou encore une couche spécifique dédiée à ce chauffage par rayonnement lumineux, ces autres éléments transmettant la chaleur par conduction aux portions de matériau pyroélectrique. 25 De manière générale, d'autres types de capteur et/ou d'autres types de moyens de chauffage que ceux précédemment décrits peuvent être utilisés pour la mise en oeuvre du procédé de l'invention. Par exemple, les éléments de mesure thermosensibles du capteur peuvent être des thermistances. Les deux chauffages des éléments de mesure thermosensible des pixels 30 du capteur peuvent être mis en oeuvre de manière espacée l'un de l'autre, avec un temps 3044443 11 d'attente entre les deux chauffages. En variante, il est possible que les deux chauffages soient mis en oeuvre sous la forme d'une phase de chauffage continue des pixels, avec dans ce cas un deuxième temps d'attente supérieur au premier temps d'attente, ces deux temps d'attente démarrant au même moment. 5 Dans les modes de réalisation précédemment décrits, seuls deux chauffages et deux temps d'attente sont décrits. De manière générale, le procédé peut comporter n chauffages mis en oeuvre avec n puissances de chauffage, et n mesures du motif thermique réalisées avec n temps d'attente, n étant un entier supérieur ou égal à 2. En permettant de choisir le nombre de mesures du motif thermique réalisées à des 10 profondeurs différentes, il est possible de caractériser la structure fine de chaque couche de matière posée sur le capteur. Le capteur peut comporter en outre des éléments de détection optique ou capacitive entrelacés avec les pixels comprenant les éléments de mesure thermosensible. 15 Un délai non nul peut séparer le début du premier chauffage et le début du premier temps d'attente, et le procédé peut comporter en outre la mise en oeuvre d'une mesure préliminaire du motif thermique présent sur les pixels via une lecture du paramètre variable avec la température des éléments de mesure thermosensible des pixels à la fin dudit délai, puis une estimation des disparités entre les pixels du capteur à 2 0 partir de la mesure préliminaire du motif thermique. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : 25 - la figure 1 représente une vue en coupe d'une capacité pyroélectrique d'un pixel d'un capteur pouvant être utilisé pour la mise en oeuvre d'un procédé de capture d'un motif thermique, objet de la présente invention ; 3044443 12 - la figure 2 représente une vue de dessus d'une partie d'un capteur pouvant être utilisé pour la mise en oeuvre d'un procédé de capture d'un motif thermique, objet de la présente invention ; - la figure 3 représente un premier exemple de réalisation d'un circuit 5 de lecture d'un pixel d'un capteur utilisé pour la mise en oeuvre d'un procédé de capture d'un motif thermique, objet de la présente invention ; - la figure 4 représente les étapes d'un procédé de capture d'un motif thermique, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - la figure 5 représente un deuxième exemple de réalisation d'un 10 circuit de lecture d'un pixel d'un capteur utilisé pour la mise en oeuvre d'un procédé de capture d'un motif thermique, objet de la présente invention ; - la figure 6 représente une vue de dessus d'une partie d'un capteur comportant une matrice de pixels de détection optique entrelacée avec des pixels de détection thermique selon un premier exemple de réalisation ; 15 - la figure 7 représente une vue de dessus d'une partie d'un capteur comportant une matrice de pixels de détection optique entrelacée avec des pixels de détection thermique selon un deuxième exemple de réalisation. Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci-après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage 20 d'une figure à l'autre. Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n'étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner 25 entre elles. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On se réfère tout d'abord à la figure 1 qui représente une vue en coupe d'une capacité pyroélectrique d'un pixel 102, qui forme l'élément de détection thermique, ou l'élément de mesure thermosensible, du pixel 102 d'un capteur 100 de 3044443 13 motif thermique. Ce capteur 100 correspond à un exemple de capteur pouvant être utilisé pour la mise en oeuvre d'un procédé de capture d'un motif thermique à plusieurs mesures pour chaque pixel du capteur tel que décrit plus loin. Le capteur 100 comporte un substrat 104 correspondant par exemple à 5 un substrat de verre ou un substrat de semi-conducteur (par exemple du silicium). Un substrat 104 en verre peut être utilisé lorsque le capteur 100 est réalisé avec des transistors TFT, tandis qu'un substrat 104 en semi-conducteur, par exemple en silicium, peut être utilisé lorsque le capteur 100 comporte des transistors réalisés en technologie MOS. Le substrat 104 peut également être un substrat souple, par exemple à base de 10 polyimide ou de PEN (polyéthylène naphtalate) ou de PET (polyéthylène téréphtalate), sur lequel les éléments électroniques du capteur 100 sont réalisés par technologie électronique imprimée (par exemple via une réalisation avec des têtes d'écriture de type jet d'encre) ou par lithographie. Les pixels 102 du capteur 100 sont disposés en formant une matrice de 15 plusieurs lignes et plusieurs colonnes de pixels 102. Le pas des pixels 102, dans le plan (X,Y) (c'est-à-dire le plan du substrat 104), est par exemple compris entre environ 25 um et 100 um. Dans le cas d'un capteur 100 standard de résolution égale à 500 dpi (« dot per inch »), le pas des pixels 102 est égal à 50,8 um. Chacun des pixels 102 du capteur 100 comporte des moyens de mesure 20 thermosensible, ou de détection thermique, formés ici par une capacité pyroélectrique. Chaque capacité pyroélectrique comporte une portion 106 de matériau pyroélectrique disposée entre une électrode inférieure 108 et une électrode supérieure 110. Le matériau pyroélectrique de la portion 106 est avantageusement du polyfluorure de vinylidène ou PVDF, ou du polyfluorure de vinylidène-trifluoroéthylène ou P(VDF-TrFE) . En variante, le 25 matériau pyroélectrique de la portion 106 peut être de l'AIN ou du PZT, ou tout autre matériau pyroélectrique adapté pour former une capacité pyroélectrique. L'épaisseur de la portion 106 est par exemple comprise entre environ 500 nm et 10 um. Les électrodes 108, 110 comportent chacune au moins un matériau électriquement conducteur, par exemple un matériau métallique tel que du titane 30 d'épaisseur égale à environ 0,2 um, et/ou du molybdène et/ou de l'aluminium et/ou un 3044443 14 oxyde conducteur tel que de l'ITO (oxyde d'indium et d'étain) et/ou un polymère conducteur. L'une des électrodes 108, 110, avantageusement l'électrode supérieure 110, ou chacune des deux électrodes 108, 110, peut être formée par un empilement de plusieurs matériaux électriquement conducteurs, par exemple un empilement Ti / TiN / 5 AICu. L'épaisseur de chacune des électrodes 108, 110 est par exemple comprise entre environ 0,1 um et 1 um. Une couche de protection 109, correspondant par exemple à une couche d'AIN ou de tout autre matériau adapté à la réalisation de cette couche, recouvre l'électrode supérieure 110. L'épaisseur de la couche de protection 109 peut être comprise 10 entre quelques microns et environ 100 um. Une face supérieure 113 de la couche de protection 109 correspond à la surface au-dessus de laquelle se trouve le motif thermique destiné à être détecté, par exemple un doigt dont l'empreinte est destinée à être détectée. Pour que le PVDF de la portion 106 acquière ses propriétés 15 pyroélectriques (et aussi piézoélectriques), ce matériau est soumis, une fois pour toute la durée de vie de la capacité pyroélectrique, à un champ électrique d'environ 100 volts par micron d'épaisseur de PVDF. Les molécules à l'intérieur du PVDF s'orientent, et restent orientées ainsi, même lorsque le PVDF n'est plus soumis à ce champ électrique. Le PVDF peut être ainsi polarisé en appliquant une tension de polarisation initiale aux bornes des 20 électrodes 108, 110. Après cette polarisation initiale, lorsque la portion 106 est soumise à une variation de température AT, cette variation de température AT provoque l'apparition d'un champ électrique supplémentaire générant des charges AQ entre les électrodes 108, 110 telles que : 25 AQ = S.y.AT . Le paramètre S correspond à la surface de la portion 106 en regard avec chacune des électrodes 108, 110. Le paramètre y correspond au coefficient pyroélectrique du matériau pyroélectrique de la portion 106. Par exemple, le coefficient pyroélectrique y du PVFD est égal à environ 29 µC/m2/K. 3044443 15 La portion 106 et les électrodes 108, 110 formant une capacité de valeur C à laquelle s'ajoutent des capacités parasites Cp, et les charges AQ générées dans cette capacité induisent une différence de potentiels électriques AV entre les électrodes 108, 110 telle que : 5 (C + Cp )4V = 4Q = S.y.A.T . Toutefois, en plus des charges générées par la capacité de valeur C, d'autres charges sont également générées via les capacités parasites Cp présentes, par exemple celles liées à la grille du transistor de lecture dans le cas d'un circuit de lecture en tension. 10 Lorsque le potentiel sur l'électrode de lecture (formée par l'une des électrodes 108, 110) est fixe (lecture dite « en courant »), les charges générées s'écoulent vers le circuit de lecture en formant un courant intégré en sortie, avec dans ce cas : 4Q S.y.A.T Ç ç avec Ç correspondant au temps d'attente pendant lequel la mesure est réalisée par le 15 pixel. Une telle lecture en courant a pour avantage d'être insensible, au premier ordre, à la valeur des capacités, en particulier des capacités parasites. Le signe de la tension électrique AV obtenue entre les électrodes 108, 110, ou le sens du courant dans le cas d'une lecture en courant, dépend du sens du champ électrique avec lequel le PVDF de la portion 106 a été initialement polarisé. Dans 20 le cas de certains autres matériaux pyroélectriques tels que le nitrure d'aluminium, ce sens de polarisation initiale dépend de la manière avec laquelle le matériau pyroélectrique a été déposé, de son ordre et de son orientation cristallographique. En outre, la tension électrique AV obtenue, ou le sens du courant, peut être positive ou négative suivant que la variation de température subie par la capacité pyroélectrique soit 25 positive ou négative. Le capteur 100 comporte également des éléments chauffants dissipant une certaine quantité de chaleur dans les pixels 102, et notamment dans la portion 106 de matériau pyroélectrique. Dans le capteur 100 décrit ici, ces éléments chauffants sont des éléments conducteurs rapportés à côté des capacités pyroélectriques, formés 3044443 16 avantageusement à partir de l'une des couches conductrices servant à la réalisation de l'une des électrodes 108, 110 des capacités pyroélectriques. La figure 2 représente schématiquement une telle configuration, dans laquelle un même niveau métallique, ici le niveau métallique supérieur, sert à la réalisation des électrodes supérieures 110 et d'un 5 élément conducteur 112 réalisé sous la forme d'un serpentin entourant partiellement les électrodes supérieures 110 et permettant de chauffer latéralement les capacités pyroélectriques formées entre les électrodes supérieures 110 et les électrodes inférieures 108. Le chauffage de la portion 106 de matériau pyroélectrique est obtenu 10 en faisant circuler un courant dans l'élément conducteur 112 formant l'élément chauffant. L'intensité du chauffage obtenu dépend notamment de l'intensité du courant parcourant l'élément conducteur 112. La valeur de la tension de chauffage appliquée sur l'élément conducteur 112, et donc la valeur du courant circulant dans l'élément conducteur 112, est ajustée par 15 rapport à la résistivité du matériau conducteur utilisé afin de produire l'énergie thermique désirée dans les pixels 102. La puissance dissipée par pixel 102 peut avantageusement être comprise entre environ 0,1 mW et 1 mW. Différentes variantes de réalisation du capteur 100 peuvent être envisagées. Ainsi, la géométrie de l'élément conducteur 112 peut être différente de celle 20 décrite précédemment en liaison avec la figure 2. Il est possible que les éléments chauffants des pixels soient formés par une ou plusieurs portions conductrices distinctes pouvant se trouver au même niveau ou non que l'une des électrodes. De plus, des éléments chauffants autres que des éléments résistifs peuvent être utilisés, comme par exemple des éléments de chauffage optique. Par 25 exemple, une ou plusieurs LED, des diodes laser, peuvent émettre un rayonnement qui est transmis par le substrat 104 et absorbé par le matériau pyroélectrique des portions 106 des pixels 102, et/ou par l'une des électrodes 108, 110 des pixels 102, et/ou par une couche d'absorption spécifique, par exemple composée d'ITO partiellement oxydé, de carbone, de chrome oxydé, ou encore d'un polymère chargé de pigment coloré, ajoutée à 30 proximité de l'une des électrodes ou directement sur l'une des électrodes. Par exemple, 3044443 17 dans le cas d'un chauffage par rayonnement infrarouge, des électrodes en titane et/ou en ITO peuvent être avantageusement utilisées pour absorber ce rayonnement. De manière avantageuse, le rayonnement peut être absorbé par la couche de protection 109. Par exemple, la longueur d'onde du rayonnement optique pourra être comprise entre 5 environ 450 nm et 1000 nm et la couche de protection 109 peut comporter du DLC (« Diamond-Like Carbon »), une résine chargée de pigment ou tout autre matériau permettant une absorption importante du rayonnement optique utilisé. Un tel chauffage optique réalise dans ce cas le chauffage d'une région du capteur 100 ou de l'ensemble du capteur 100. Un tel chauffage par rayonnement optique est avantageusement mis en 10 oeuvre dans le cas de capteurs de faibles dimensions, en particulier les capteurs à balayage. L'utilisation d'un chauffage optique permet d'éviter les perturbations électroniques du chauffage (et donc de pouvoir le moduler pendant le temps d'attente) et/ou d'avoir accès à des chauffages en mode « flash », c'est-à-dire un chauffage par un 15 rayonnement de très courte durée. Enfin, il est également possible que les éléments de mesure thermosensibles du capteur ne correspondent pas à des capacités pyroélectriques, mais correspondent par exemple à des thermistances, des diodes, ou tout autre élément thermosensible adapté. 20 Outre les capacités pyroélectriques des pixels 102, le capteur 100 comporte également des éléments électroniques permettant de lire les charges électriques générées par les capacités pyroélectriques et donc lire le motif thermique détecté par le capteur 100. La figure 3 représente un premier exemple de réalisation de ces 25 éléments électroniques permettant de lire la variation de charges électriques apparaissant dans la capacité pyroélectrique de l'un des pixels 102 du capteur 100. Le pixel 102 représenté sur la figure 3 comporte une capacité pyroélectrique formée par la portion 106 de matériau pyroélectrique disposée entre les deux électrodes 108, 110. L'électrode inférieure 108 est reliée à la masse et l'électrode 3044443 18 supérieure 110 forme une électrode de lecture du pixel 102 et est reliée à un noeud actif 126 du pixel 102. Chaque pixel 102 comporte un transistor 130 de sélection de ligne. La grille du transistor 130 est reliée à une liaison électrique 133 commune à tous les 5 transistors 130 d'une même ligne et sur laquelle un signal de sélection est destiné à être appliqué. Une première des électrodes de source et de drain du transistor 130 est reliée au noeud actif 126 et une deuxième des électrodes de source et de drain du transistor 130 est reliée à une entrée d'un circuit de lecture 131 se trouvant en pied de colonne. Cette entrée du circuit de lecture 131 correspond à l'entrée inverseuse d'un amplificateur de 10 lecture 132 correspondant par exemple à un amplificateur opérationnel. Un potentiel électrique de polarisation Vref est appliqué sur l'entrée non inverseuse de l'amplificateur 132. La sortie de l'amplificateur 132 est rebouclée sur son entrée inverseuse par l'intermédiaire d'une capacité 134. Un interrupteur, ou commutateur, 136 est relié en parallèle à la capacité 134 et permet de court-circuiter la capacité 134. La sortie de 15 l'amplificateur de lecture 132 est également reliée à l'entrée d'un convertisseur analogique/numérique 138. L'amplificateur de lecture 132, la capacité 134 et l'interrupteur 136 et le convertisseur analogique/numérique 138 sont communs à tous les pixels 102 d'une même colonne. Le convertisseur analogique/numérique 138 peut être commun à tous les pixels 102 du capteur 100, moyennant l'ajout d'éléments 20 électroniques de multiplexage entre les sorties des amplificateurs de lecture 132 et le convertisseur numérique/analogique 138. Lors d'une mesure du motif thermique présent sur le pixel 102 de la figure 3, le pixel 102 est tout d'abord réinitialisé en fermant l'interrupteur 136 (si celui-ci était précédemment en position ouverte) et en mettant à l'état passant le transistor 130. 25 Le potentiel Vref se retrouve alors appliqué sur le noeud 126. Le chauffage du matériau pyroélectrique de la portion 106 débute en faisant passer un courant dans l'élément conducteur 112. La capacité pyroélectrique se trouve à ce moment à une température To. L'interrupteur 136 est ensuite ouvert. L'intégration débute alors au niveau de la capacité pyroélectrique du pixel 102, pendant un temps d'attente Ç Des charges électriques sont 30 générées par la capacité pyroélectrique du pixel 102 pendant ce temps d'attente Ç Du fait 3044443 19 que l'interrupteur 136 est ouvert et que le transistor 130 est passant, les charges électriques générées par la capacité pyroélectrique du pixel 102 s'écoulent vers la capacité 134 associée au pixel 102. A l'issu de ce temps d'attente Ç la capacité pyroélectrique se trouve à la température T1 et a donc été soumise à une variation de 5 température AT = T1 - To, les charges électriques générées par la capacité pyroélectrique et stockées dans la capacité 134 étant la conséquence de cette variation de température. Le potentiel électrique en sortie de l'amplificateur 132 est donc Vout = Q.Cref + Vref, avec Q correspondant aux charges électriques générées et Cref la valeur de la capacité 134. Ce potentiel est alors lu et échantillonné par le convertisseur analogique / numérique 138. 10 Lorsque l'opération de lecture et d'échantillonnage du résultat est achevée, l'interrupteur 136 est commuté en position fermée pour décharger la capacité 134 et le transistor 130 est mis à l'état bloqué pour isoler le pixel 106 et permettre la lecture d'un autre pixel de la colonne. Cette opération de lecture est mise en oeuvre simultanément pour tous les pixels 102 d'une même ligne. 15 On décrit maintenant, en liaison avec la figure 4, un procédé de capture d'un motif thermique correspondant ici à celui d'une empreinte digitale, dans lequel deux, ou plus de deux, mesures consécutives du motif thermique sont mises en oeuvre pour chaque pixel 102 du capteur 100, selon un premier mode de réalisation. Dans ce premier mode de réalisation, deux temps d'attente différents 20 sont utilisés pour réaliser deux mesures du motif thermique pour chaque pixel 102. Le même système de lecture, par exemple celui précédemment décrit en liaison avec la figure 3, est utilisé pour réaliser ces mesures pour chaque pixel 102. A l'étape 202, un premier chauffage de l'élément de mesure thermosensible du pixel 102, c'est-à-dire de la capacité pyroélectrique du pixel 102, est 25 réalisé en faisant circuler un premier courant dans l'élément conducteur 112. Ce premier chauffage permet de dissiper une première puissance de chauffage Pi dans le pixel 102, ici égale à environ 1 mW. Une première mesure du motif thermique de l'élément présent sur le pixel 102 est ensuite réalisée après un premier temps d'attente i ici égal à environ 50 us 30 (étape 204). Ce premier temps d'attente i correspond à la durée pendant laquelle les 3044443 20 charges sont créées dans le pixel 102, ici entre l'instant auquel le premier chauffage est débuté et l'instant auquel la première lecture est réalisée. Pour le système de lecture précédemment décrit en liaison avec la figure 3, l'instant auquel la première lecture est réalisée correspond à l'instant auquel le potentiel de sortie de l'amplificateur 132 est lu. 5 L'information obtenue par cette première mesure au niveau de chacun des pixels 102 peut être qualifiée d'information « de surface ». En effet, avec ce premier temps d'attente i court, l'information obtenue permet de d'identifier, au niveau du pixel 102, si de l'air est présent ou si de la matière (peau ou résidu) est en contact avec le pixel 102. 10 La première image obtenue à partir des premières mesures mises en oeuvre pour tous les pixels 102 du capteur 100 permet de reproduire finement les détails du motif thermique du doigt et des résidus présents sur le capteur 100 car en utilisant un premier temps d'attente court, la diathermie entre les pixels 102, c'est-à-dire l'échange de chaleur entre pixels voisins, est minimale du fait que la chaleur n'a pas le temps de, ou 15 peu de temps pour, se propager sur les côtés des pixels 102. Les informations obtenues par cette première mesure du motif thermique de chaque pixel 102 sont ensuite complétées par une deuxième lecture des pixels réalisées avec un temps d'attente plus important. En effet, compte tenu du court temps d'attente i utilisé pour la première mesure du motif thermique, la première image 20 obtenue présente plusieurs défauts : - les gouttelettes d'eau et/ou de graisse laissées par exemple après la pose d'un doigt humide sur le capteur ou dues à la condensation autour d'un doigt humide peuvent être confondues avec de la peau en contact avec des pixels ; - les parties les plus sèches du doigt peuvent produire un signal 25 pouvant se confondre avec des résidus présents en surface du capteur 100. Pour réaliser cette deuxième lecture, un deuxième chauffage de chacun des pixels 102 est réalisé en faisant circuler un deuxième courant dans l'élément conducteur 112 (étape 206). Dans ce premier mode de réalisation, la valeur de ce deuxième courant est sensiblement égale à celle du premier courant, dissipant ainsi dans 3044443 21 le pixel 102 une deuxième puissance de chauffage P2 sensiblement similaire à Pi, par exemple égale à environ 1 mW. Une deuxième mesure du motif thermique de l'élément présent sur le pixel 102 est ensuite réalisée après un deuxième temps d'attente 2 différent du premier 5 temps d'attente i., ici tel que 2> i., et par exemple égal à environ 500 us (étape 208). Les deux chauffages sont ici mis en oeuvre de manière consécutive, sans interruption entre eux. Ainsi, en considérant un instant To = 0 us auquel le chauffage est commencé, la première lecture est alors réalisée à un instant T1 = 50 us. Le chauffage est poursuivi ensuite sans interruption puis la deuxième lecture est réalisée à un instant 10 T2 = 500 us. La mise en oeuvre consécutive des différentes phases de chauffage permet de mettre à profit, pour la deuxième phase de chauffage, la durée correspondant au premier temps d'attente i.. Dans l'exemple ci-dessus, les instants T1 et T2 sont donc espacés l'un de l'autre d'une durée de 450 us. Les caractéristiques de cette deuxième image sont différentes de celles 15 de la première image précédemment obtenue. En effet, en utilisant un temps d'attente plus important, la chaleur a le temps de se propager plus en profondeur dans la matière présente sur les pixels. Ainsi : - les gouttelettes d'eau et/ou de graisse éventuellement présentes sur le capteur ont le temps d'absorber la chaleur et ne sont donc plus confondues avec la 20 peau en contact avec le capteur, leur capacité thermique étant plus faible que celle de la peau ; - la peau étant plus épaisse que les résidus éventuellement présents sur le capteur, elle peut être distinguée de ces résidus. Par contre, la diathermie est plus importante lors de cette deuxième 25 lecture que lors de la première lecture, ce qui donne une finesse de détails moins bonne que dans la première image. En variante, les différents chauffages mis en oeuvre pour un pixel peuvent être réalisés de manière non consécutive, avec une phase d'interruption entre deux chauffages pendant laquelle aucun courant ne circule dans l'élément conducteur 30 112 (ou en stoppant l'éclairage des pixels 102 dans le cas d'un chauffage par 3044443 22 rayonnement optique). Dans ce cas, les durées d'attente des différentes mesures sont décorrélées de l'ordre dans lesquelles elles interviennent. Par exemple, en reprenant l'exemple précédemment décrit, il serait possible d'avoir dans ce cas 2 150, alors x = 255 (élimination des valeurs les plus fortes) ; si 50 x 150, alors x = 2,55*(x-50) (étalement des valeurs des pixels initialement comprises entre 50 et 150 sur la gamme de valeurs 0 - 255. Il est également possible que la première image 20 soit corrigée à partir de la deuxième image par exemple en les multipliant l'une avec l'autre. Par exemple, en appelant il les pixels de la première image et i2 les pixels de la deuxième image, une fonction du type (il, i2) -> a+b.il+c.il.i2 peut être appliquée. Une autre correction possible est de réaliser dans la première image un filtre (médian ou gaussien) dont la taille de support varie en fonction de la deuxième image. Ainsi, les 25 artefacts visibles dans la première image et non dans la deuxième images sont supprimés ou atténués. La diathermie plus importante dans la deuxième image peut se corriger par une déconvolution mise en oeuvre sur la deuxième image, préalablement au traitement numérique décrit ci-dessus. Pour cela, il est possible d'utiliser un filtre de 30 Wienner avec une connaissance a priori de la PSF (« Point Spread Function », ou fonction 3044443 27 d'étalement du point), ou des algorithmes itératifs, y compris des algorithmes sans a priori de la PSF puisque l'objectif est d'avoir la même PSF dans les deux images. Avoir la même PSF dans les deux images présente l'avantage de supprimer des différences au niveau des contours contrastés de l'image. 5 Enfin, d'autres traitements numériques du domaine de l'acquisition d'empreinte digitale peuvent être appliqués sur l'image fusionnée, c'est-à-dire le résultat du traitement numérique réalisé à partir des deux images, afin d'améliorer son aspect visuel, comme par exemple : - une normalisation de la dynamique (égalisation locale 10 d'histogramme), une réduction de bruit, une accentuation des contours (ou une déconvolution), une segmentation de l'empreinte et une suppression du fond Dans ce premier mode de réalisation, les puissances dissipées Pi et P2 15 lors des deux phases de chauffage sont identiques, et par exemple égales à environ 1 mW. De plus, le premier temps d'attente i est par exemple égal à environ 50 lis et est inférieur au deuxième temps d'attente 2 qui est par exemple égal à environ 500 p.s. Le rapport entre les deux temps d'attente i et 2 peut être compris entre environ 2 et 10. Dans un deuxième mode de réalisation, les deux mesures du motif 20 thermique par le capteur 100 peuvent être réalisées avec des temps d'attente i et 2 sensiblement identiques, et les deux phases de chauffages peuvent être réalisées avec des puissances injectées Pi et P2 de valeurs différentes, par exemple telles que Pi REVENDICATIONS1. Procédé de capture d'un motif thermique par un capteur (100) comportant plusieurs pixels (102) comprenant chacun au moins un élément de mesure thermosensible (106), le capteur (100) comprenant en outre au moins un élément chauffant (111) apte à chauffer l'élément de mesure thermosensible (106) de chacun desdits pixels (102) lors d'une mesure du motif thermique par l'élément de mesure thermosensible (106) dudit pixel (102), le procédé comportant au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes pour chacun desdits pixels (102) : - premier chauffage (202) de l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102), dissipant une première puissance de chauffage dans l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102) ; - première mesure (204) du motif thermique présent sur le pixel (102), comprenant une première lecture d'au moins un paramètre variable avec la température de l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102) après un premier temps d'attente ; - deuxième chauffage (206) de l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102), dissipant une deuxième puissance de chauffage dans l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102) ; - deuxième mesure (208) du motif thermique présent sur le pixel (102), comprenant une deuxième lecture du paramètre variable avec la température de l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102) après un deuxième temps d'attente ; et dans lequel la valeur de la première puissance est différente de celle de la deuxième puissance et/ou la valeur du premier temps d'attente est différente de celle du deuxième temps d'attente. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la valeur du premier temps d'attente est inférieure à celle du deuxième temps d'attente, et/ou dans lequel la valeur de la première puissance est inférieure à celle de la deuxième puissance. 3044443 41 3. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel un rapport entre les premier et deuxième temps d'attente est compris entre environ 2 et 10, et/ou un rapport entre les première et deuxième puissances de chauffage est supérieur ou égal à 10. 5 4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les premier et deuxième chauffages (202, 206) de l'élément de mesure thermosensible (106) du pixel (102) sont mis en oeuvre sous la forme d'une phase de chauffage continue à puissance constante. 10 5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre, après la deuxième mesure du motif thermique présent sur chacun des pixels (102), une étape de traitement numérique (210) de première et deuxième images du motif thermique, correspondant respectivement à l'ensemble des premières mesures du 15 motif thermique et à l'ensemble des deuxièmes mesures du motif thermique, comprenant au moins une comparaison et/ou au moins une combinaison linéaire des première et deuxième images. 6. Procédé selon la revendication 5, comportant en outre, entre la 20 deuxième mesure (208) du motif thermique présent sur chacun des pixels (102) et l'étape de traitement numérique (210) des première et deuxième images du motif thermique, une étape de déconvolution de la deuxième image. 7. Procédé selon l'une des revendications 5 ou 6, comportant en 25 outre, après l'étape de traitement numérique (210) des première et deuxième images du motif thermique, une étape d'identification de crêtes et de vallées d'une empreinte digitale à partir des données issues de l'étape de traitement numérique (210) des première et deuxième images du motif thermique. 3044443 42 8. Procédé selon la revendication 7, comportant en outre, après l'étape d'identification des crêtes et des vallées de l'empreinte digitale : une étape de calcul d'un taux d'hydratation de la peau dont le motif thermique a été mesuré, à partir d'un abaque ou d'une fonction exprimant le taux 5 d'hydratation en fonction du résultat obtenu lors d'une mesure du motif thermique pour un pixel sur lequel une crête a été identifiée, ou une étape de calcul d'une différence de mesures entre celle obtenue lors de la deuxième mesure du motif thermique pour un premier pixel (102) sur lequel une crête a été identifiée et celle obtenue lors de la deuxième mesure du motif 10 thermique pour un deuxième pixel (102) sur lequel une vallée a été identifiée, puis une étape de calcul d'un taux d'hydratation de la peau dont le motif thermique a été mesuré, à partir d'un abaque ou d'une fonction exprimant le taux d'hydratation en fonction de la différence de mesures entre une crête et une vallée d'une empreinte digitale. 15 9. Procédé selon la revendication 8, comportant en outre, après l'étape de calcul du taux d'hydratation de la peau, une étape de classification de régions du motif thermique mesuré suivant la valeur calculée du taux d'hydratation pour les pixels desdites régions. 20 10. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel : - chaque élément de mesure thermosensible comporte au moins une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique (106) disposée entre des première et deuxième électrodes (108, 110) ; - l'élément chauffant (111) est apte à chauffer par effet Joule la 25 portion de matériau pyroélectrique (106) de la capacité pyroélectrique dudit pixel (102) ; - le premier chauffage (202) de l'élément de mesure thermosensible (106) d'un pixel (102) comprend une application d'une première tension de chauffage aux bornes de l'élément chauffant (111), dissipant la première puissance de chauffage par effet Joule dans la portion de matériau pyroélectrique (106) de la capacité pyroélectrique 30 du pixel (102) ; 3044443 43 - la première mesure (204) du motif thermique présent sur un pixel (102) comprend une lecture des charges générées par le pixel (102) pendant le premier temps d'attente ; - le deuxième chauffage (206) de l'élément de mesure thermosensible 5 (106) d'un pixel (102) comprend une application d'une deuxième tension de chauffage aux bornes de l'élément chauffant (111), dissipant la deuxième puissance de chauffage par effet Joule dans la portion de matériau pyroélectrique (106) de la capacité pyroélectrique du pixel (102) ; - la deuxième mesure (208) du motif thermique présent sur le pixel 10 (102) comprend une lecture des charges générées par le pixel (102) pendant le deuxième temps d'attente. 11. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel : chaque élément de mesure thermosensible comporte au moins une 15 capacité pyroélectrique formée par au moins une portion de matériau pyroélectrique (106) disposée entre des première et deuxième électrodes (108, 110), et - l'élément chauffant est apte à émettre un rayonnement lumineux destiné à chauffer les portions de matériau pyroélectrique (106) des capacités pyroélectriques des pixels (102). 20 12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel le rayonnement lumineux émis par l'élément chauffant est orienté sur une couche de protection (109) des pixels (102) et/ou l'une des premières et deuxièmes électrodes (108, 110) des pixels (102). 25 13. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le capteur (100) comporte en outre des éléments de détection optique ou capacitive (150) entrelacés avec les pixels (102) comprenant les éléments de mesure thermosensible (106). 30 3044443 44 14. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel un délai non nul sépare le début du premier chauffage (202) et le début du premier temps d'attente, et comportant en outre la mise en oeuvre d'une mesure préliminaire du motif thermique présent sur les pixels (102) via une lecture du paramètre variable avec la 5 température des éléments de mesure thermosensible (106) des pixels (102) à la fin dudit délai, puis une estimation des disparités entre les pixels (102) du capteur (102) à partir de la mesure préliminaire du motif thermique.