FR 3039708 A1 20170203 FR 1557372 A 20150731 1 Résonateur à ondes élastiques de surface simple port sur substrat à forte permittivité Le domaine de l'invention est celui des résonateurs simples ports à ondes élastiques pouvant notamment être utilisés dans des systèmes de mesure comprenant des dispositifs résonants à ondes élastiques interrogeables à distance et ce au travers d'une liaison sans fil radiofréquence. Ces dispositifs peuvent être utilisés notamment dans le cadre de capteurs, passifs interrogeables à distance. De tels capteurs sont connus pour être utilisés par exemple comme capteurs de température ou de pression et comprennent généralement au moins un résonateur comportant une micro-structure déposée à la surface d'un substrat piézoélectrique. Un exemple de capteur peut typiquement comporter au moins un transducteur à peignes d'électrodes inter-digitées placés entre des réseaux réflecteurs, formant un résonateur. Les réseaux réflecteurs se comportent comme des miroirs de Bragg et il existe donc des fréquences de résonance pour lesquelles le trajet retour dans la cavité est égal à un nombre entier de longueurs d'onde acoustique À. Les modes de résonance pour ces fréquences sont excités par le transducteur placé entre les miroirs. Ce type de capteur peut être interrogé à distance, en connectant l'entrée du transducteur à une antenne radio-fréquence (RF). Lorsque l'antenne reçoit un signal électromagnétique, celui-ci donne naissance à des ondes sur la surface du substrat qui sont elles-mêmes reconverties en énergie électromagnétique sur l'antenne. Ainsi, le dispositif constitué d'au moins un résonateur connecté à une antenne a une réponse à la fréquence de résonance du résonateur qu'il est possible de mesurer à distance. On peut ainsi réaliser des capteurs interrogeables à distance. Et la puissance transmise au résonateur est déterminée par le recouvrement spectral entre l'impulsion émise et la fonction de transfert du transducteur. Le domaine de la présente invention concerne plus précisément les applications de capteurs pouvant fonctionner à des températures élevées typiquement pouvant être comprises entre 300 et 1000°C. Des recherches ont été menées dans le cadre d'un programme de recherche d'envergure « SA WHOT » correspondant à l' acronyme de 303 9 708 2 « Surface Acoustic Waves wireless sensors for High Operating Temperature environment» ou encore « Capteurs acoustiques à ondes de surface pour applications en environnements difficiles » et portant sur la conception de capteurs de température sans fil, interrogeables à distance, capables de 5 fonctionner à des températures allant de - 200°C à+ 650°C, et basé sur des substrats de type langasite (LGS), matériau connu pour ses bonnes propriétés de tenue en température (point de fusion aux alentours de 1470°C, pas de température de Curie, maintien des propriétés piézoélectriques jusqu'à 900°C au moins). 10 Dans ce cadre, le Demandeur a notamment considéré des résonateurs fabriqués sur deux coupes de LGS, l'une (la coupe dite (YX)) présentant une température d'inversion aux alentours de 300°C alors que l'autre (coupe (YX/t)/48,5°/26,7° dite coupe standard) se comporte de diçon quasi-linéaire en termes de dérive fréquence-température sur toute la 15 gamme de mesure (300-800°C). L'utilisation de ces deux coupes pour la mise au point de capteurs différentiels de température à résonateurs séparés et appairés a fait l'objet d'une demande de brevet européen CNRS/ENSMM/TU-Clausthal EP 143062107. 20 Les travaux menés dans le cadre de ce projet ont mis en évidence notamment qu'il était possible de réaliser un équilibre de la réponse des résonateurs en conductance et susceptance et donc d'obtenir des admittances équilibrées en couplage et en coefficient de qualité, comme représenté en figure la (courbes Ciai et C1a3 : relatives aux conductances et 25 C1a2 et C1a4 : relatives aux susceptances). Plus précisément, il apparaît qu'il est possible d'obtenir une optimisation donnant lieu à des réponses en admittance de même amplitude (200 mS en pic de conductance), présentant des couplages comparables (entre 0,2 et 0,3%) et des coefficients de qualité similaires (de l'ordre de 2500 à 3000) [le coefficient de couplage d'un 30 résonateur est proportionnel à l'écart relatif entre les fréquences de résonance et d'antirésonance, le coefficient de qualité étant relatif au ratio fo /Af, fo étant la fréquence centrale et 4f la largeur à mi-hauteur de la conductance (partie réelle de l'admittance) ou de la résistance (partie réelle de l'impédance), selon que l'on caractérise le résonateur sur sa résonance 35 ou son antirésonance. 303 9 708 3 Néanmoins, si l'on observe les réponses en paramètres S11, correspondantes (représentant le coefficient de réflexion qui reflète l'absorption d'énergie au sein du résonateur en analysant ce qui revient) comme illustré en figure 1 b (courbes Cibi et C1b3 : relatives au paramètre 5 ISii I, courbes C1b2 et C1b4 relatives aux paramètres Arg(S11)), on se rend compte d'une part que l'amplitude du pic de réflexion est médiocre et que d'autre part le spectre est loin de présenter la pureté spectrale escomptée. Le module du paramètre S11 présente en particulier un pic négatif (en représentation logarithmique) d'autant plus marqué que l'impédance du 10 résonateur à la fréquence correspondante s'approche de 50 O. Il est donc nécessaire d'approfondir les règles de conception afin d'obtenir des performances satisfaisantes en termes de coefficient de réflexion Sui. Dans ce contexte, le Demandeur s'est orienté vers une nouvelle approche de conception de résonateurs et ce dans le cadre de la 15 problématique des résonateurs simples ports à base de matériau à permittivité diélectrique relative élevée (typiquement supérieure à 15) tels que la langasite. Pour ce faire, le Demandeur a établi de nouveaux critères de conception portant principalement sur le coefficient de réflexion S11 des 20 résonateurs compte tenu de la prédominance de ce paramètre dans la phase d'interrogation des capteurs. Les critères retenus sont : - une valeur minimum du paramètre Sui devant être d'au moins 10 dB, une valeur typique de -15 dB étant préconisée. A titre 25 d'exemple, la dynamique de la réponse en réflexion d'un capteur SEAS10 de SENSeOR est supérieure en valeur absolue à cette valeur type ; - une pureté spectrale satisfaisante, soit un pic unique coïncidant avec l'excitation/détection du mode de surface. Inévitablement 30 des pics parasites sont mis en évidence, ceux-ci devant être rejetés au minimum de 5 dB par rapport au pic principal, cherchant typiquement à atteindre un rejet de 10 dB de ces modes pour garantir le fonctionnement du capteur sur sa gamme de température. La phase présente une rotation typique 35 de 180° (soit de -rr et jamais inférieure à 120° ou 2rr/3) pour 3039708 4 garantir le fonctionnement en résonateur du capteur. Pour étayer ce propos, la figure 2 met en évidence la réponse en coefficient S11 du capteur SEAS10 montrant des pics de plus de 15dB de dynamique mais une rotation de phase de 80° à 120° 5 seulement. La rotation de phase rend compte de la capacité du résonateur à se comporter comme une capacité avant la résonance et comme une self inductance entre la résonance et l'antirésonance. Une rotation de phase inférieure de 80 à 120°C indique que le comportement du résonateur est limité par la 10 prépondérance de la capacité statique au dépend des paramètres motionnels (les courbes C2a, C2b et C2b sont relatives à des coefficients S11, les courbes C'2a, C'2b et C'2c sont relatives aux phases). Pour un résonateur de qualité, le circuit équivalent à la résonance ou à l'antirésonance est 15 principalement conditionné par la résistance motionnelle (en clair, le module de l'admittance ou de l'impédance est homogène à sa partie réelle). Si les pertes (résistives, de rayonnement, viscoélastiques, etc.) sont trop importantes, la partie imaginaire de l'admittance ou de l'impédance à la 20 résonance ou à l'anti-résonance joue un rôle non négligeable et le résonateur ne peut pas exprimer le changement de comportement capacitif-selfique en plein. La partie capacitive tend alors à l'emporter et à brider l'effet de résonance. Dans le cadre de la conception de résonateurs sur LGS 25 performants et compte tenu de la gamme particulièrement étendue de température de travail, obtenir une réponse pure spectralement sur toute cette gamme en paramètres Sui représente une réelle difficulté. Le Demandeur a conclu de l'analyse des designs du programme « SAWHOT » que l'impédance des dispositifs ne permet pas d'obtenir une 30 réponse spectrale monomode. En effet, avec des valeurs d'impédance de plusieurs centaines d'Ohms et malgré les efforts de réduction des pics parasites à leur minimum, les pics de réflexion correspondant à un accord d'impédance partiel à 50 0 s'avèrent particulièrement nombreux. De manière générale, l'obtention d'une réponse spectrale pure au 35 sens du paramètre de réflexion Sui impose de rapprocher autant que faire se 303 9 708 5 peut soit le pic de résonance soit le pic d'antirésonance d'une impédance comparable à l'impédance de charge vue par le résonateur ou le couple de résonateur, par exemple si ceux-ci sont montés en parallèle sur une même antenne. Cette impédance de charge est souvent égale à 50 0 mais elle 5 peut prendre toute valeur entre 50 et 100 0 voire plus pour des antennes de conception spécifique. Une antenne dipôle en milieu libre présentera typiquement une impédance de charge de 75 O. Toute situation intermédiaire au sens de l'impédance présentée par le résonateur ou le couple de résonateurs donne lieu aux types de 10 réponses obtenues dans le cadre du programme « SAWHOT ». Les présentes considérations sont vraies dans le cadre de l'utilisation de la langasite et compte tenu de ses propriétés acoustoélectriques et diélectriques mais elles sont également applicables à l'ensemble des matériaux proches (LGT, LGN, etc.) et de manière plus 15 générale de tous les matériaux habituellement exploités pour l'interrogation à distance de résonateurs. Pour illustrer cette approche, le Demandeur a considéré que chaque résonateur était connecté indépendamment à un circuit de charge d'impédance caractéristique égale à 50 0, cette illustration n'est en aucun 20 cas restrictive, le principe pouvant être appliqué au cas d'une charge de 75, 100, 150 0 et de façon générale à toute charge impédante spécifique d'une antenne radiofréquence (RF) ou de tout circuit-hôte du résonateur. Le Demandeur a ainsi considéré l'alternative suivante : soit il est possible de forcer le pic de résonance au voisinage de 50 0, ainsi l'anti- 25 résonance située à plusieurs kO ne contribue pas de façon significative au paramètre S11, soit il est possible d'accorder le pic d'anti-résonance à proximité de 50 O. Les études menées par le Demandeur ont pu mettre en évidence que des résonateurs à ondes élastiques de surface réalisés sur des 30 substrats piézoélectriques présentant des permittivités diélectriques relatives élevées, typiquement supérieures à 15, pouvaient donner de très bonnes performances en termes de coefficient Sui et de pureté spectrale avec des conceptions optimisées en termes d'architecture d'électrodes et ce en accordant le pic d'antirésonance à proximité de l'impédance de charge, 35 pouvant typiquement être de 50 Q ou plus. 303 9 708 6 C'est pourquoi, la présente invention a ainsi plus précisément pour objet un résonateur à ondes élastiques de surface comprenant un matériau piézoélectrique destiné à la propagation des ondes élastiques de surface et au moins un transducteur inséré entre une paire de réflecteurs, 5 ledit transducteur comprenant des peignes d'électrodes interdigitées, présentant un nombre Nc d'électrodes connectées à un point chaud et une ouverture acoustique W caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique présente une permittivité relative supérieure à environ 15, ledit transducteur présentant un produit Nc.W/fa supérieur à 100 pm.MHz-1 avec fa la 10 fréquence d'antirésonance dudit résonateur. De manière connue, l'ouverture acoustique d'un transducteur correspond à la longueur de recouvrement entre deux doigts de peignes de polarité différente. Selon des variantes de l'invention, le matériau piézoélectrique est 15 de la langasite, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 100 et 1000 pm.MHz-1. Selon des variantes de l'invention, le matériau piézoélectrique est de l'oxyde de zinc, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 400 et 2000 pm.MHz-1. 20 Selon des variantes de l'invention, le matériau piézoélectrique est du quartz, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 2400 et 3600 pm.MHz-1. Selon des variantes de l'invention, le matériau piézoélectrique est du nitrure d'aluminium AIN, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 25 400 et 2000 pm.MHz-1. Selon des variantes de l'invention, le matériau piézoélectrique est du tantalate de lithium LiTaO3, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 100 et 1000 pm.MHz-1. Selon des variantes de l'invention, le matériau piézoélectrique est 30 du niobate de lithium, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 1400 et 3000 pm.MHz-1. Les gammes de valeurs Nc.W/fa données ci-dessus sont notamment intéressantes pour des applications dans des bandes de fréquences d'interrogation de circuits comprenant les résonateurs, de l'ordre 35 de 400 MHz à 450 MHz, permettant notamment que ledit transducteur soit 3039708 7 accordé avec une impédance de charge comprise entre 50 et 100 Ohms à 434 MHz. Selon des variantes de l'invention, les électrodes sont à base de platine. 5 Selon des variantes de l'invention, les électrodes sont à base de platine ou de titane ou de lanthane, ou un mélange de certains des métaux précités. Pour les applications à hautes températures (au-delà de 300°C), le couple titane (5 à 30 nm)/ platine (100 à 250 nm) ou tantale/platine dans les mêmes proportions constitue une solution éprouvée. D'autres matériaux 10 peuvent cependant être considérés : zirconium, molybdène, tungstène, etc. Pour les températures classiques (inférieures à 300°C), il est intéressant d'employer l'aluminium, l'aluminium allié cuivre, titane ou silicium, le nickel, le chrome, etc. Selon des variantes de l'invention, le résonateur comprend une 15 couche de passivation pouvant être une couche d'alumine ou de nitrure de silicium ou d'oxyde de silicium ou de nitrure d'aluminium. L'invention a aussi pour objet un circuit comprenant au moins une impédance de charge et au moins un résonateur selon l'invention et présentant une réponse électrique traduite par un pic de coefficient de 20 réflexion S11 en fréquence caractérisée par une valeur minimum du paramètre S11 d'au moins 10 dB, le pic d'antirésonance dudit résonateur étant adapté à l'impédance de ladite charge L'invention a encore pour objet un capteur passif interrogeable à distance comprenant un circuit selon l'invention, il peut par exemple s'agir d'un capteur de température passif 25 interrogeable à distance selon l'invention. L'invention a aussi pour objet un système d'interrogation d'un circuit ou d'un capteur selon l'invention caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de fréquences pouvant être situées entre 400 MHz et 450 MHz ou dans une bande de fréquences 30 pouvant être situées entre 900 MHz et 950 MHz (bande ISM anglo-saxone à 915 MHz) ou dans une bande de fréquences pouvant être situées entre 850 MHz et 900 MHz ( bande fonctionnant à 868 MHz). 3039708 8 L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles : - les figures 1 a et 1 b illustrent respectivement les réponses en 5 admittance en fonction de la fréquence et les réponses en paramètres Su en fonction de la fréquence pour des dispositifs développés dans le cadre du programme SAWHOT ; - la figure 2 illustre la réponse en coefficient Su du capteur SEAS10 montrant des pics de plus de 15dB de dynamique 10 mais une rotation de phase de 80° à 120° seulement - la figure 3a illustre un résonateur à ondes élastiques simple port utilisé dans la présente invention et la figure 3b illustre le circuit équivalent d'un résonateur à ondes élastiques à simple port. 15 Le Demandeur décrit ci-après plus en détails, le raisonnement qu'il a mené pour conduire aux conditions de réalisation et d'adaptation de résonateurs à ondes élastiques de surface selon la présente invention. Le résonateur simple port de l'invention peut comprendre de 20 manière classique, deux peignes de métallisations interdigitées présentant des doigts de largeur a, de période p (définissant un ratio dit de métallisation a/p égal à la largeur de l'électrode sur le pas de répétition des électrodes) constituant un transducteur à ondes élastiques de surface T, placé entre deux réseaux réflecteurs métallisés R1 et R2. Les peignes sont connectés de 25 manière à présenter des polarités différentes. L'ouverture W est définie par la longueur de recouvrement entre deux doigts de polarité différente. Le nombre d'électrodes du transducteur connectées à un point chaud est égal à Nc. La figure 3a illustre ainsi un résonateur simple port avec une ouverture W pouvant typiquement être d'environ 40 À, mettant en évidence le transducteur 30 T entre deux miroirs R1 et R2 présentant Ne électrodes, le transducteur présentant un nombre total Nt électrodes, l'épaisseur relative des électrodes étant égale à h/À = 2p. Dans le cas d'un capteur passif interrogeable à distance, le transducteur est connecté à une antenne. Ainsi l'ensemble résonateur/ 3039708 9 antenne est notamment étudié dans le cadre de la présente invention, au niveau des impédances de l'antenne et de celle du résonateur. Il est rappelé que les résonateurs à ondes élastiques à simple port sont assimilables à un circuit équivalent présentant une branche dite 5 motionnelle comptant en série une self-inductance Lm, une capacité Cm et une résistance Rm toutes dites motionelles et en parallèle à cette branche une capacité dite statique Co comme représenté en figure 3b. Ce circuit équivalent est connu de l'homme de l'art sous l'appellation « ButterworthVan Dyke ». 10 Le circuit peut être assorti d'une résistance en amont de ces deux branches dites résistance série ou de contact rendant compte des pertes ohmiques dues à la connexion du résonateur et une résistance de fuite en parallèle de la capacité statique rendant compte des fuites de courant dans le matériau si celui-ci n'est pas parfaitement diélectrique (ce qui peut être le 15 cas lors d'inclusions ioniques au sein de la maille cristalline). Un tel circuit équivalent est notamment décrit et utilisé dans la demande de brevet VECTRON-SENGENUITY E2287584A1 - W02011/020888A1 qui concerne des critères de conception fondés sur les valeurs de composants motionnels équivalents. 20 Le Demandeur décrit ci-après plus en détails, le raisonnement qu'il a mené pour conduire aux conditions de réalisation et d'adaptation de résonateurs à ondes élastiques de surface selon la présente invention. L'analyse qui a été réalisée et qui est présentée dans la 25 présente demande de brevet consiste à calculer l'admittance du circuit constitué par la réponse d'un résonateur à ondes de surface (ROS) simple port et à évaluer la valeur de l'impédance à l'antirésonance pour tirer des lois de « design » génériques. 30 En supposant la résistance Rm nulle dans une étape de dimensionnement approximative, on montre que les pulsations de résonance et d'antirésonance sont données par les relations suivantes : wr= (1/ L,, Cm) 1 et wa = [(Co + C')/ L'C'Co] 1 (1) 3039708 10 Si l'on sait déterminer la valeur de la capacité statique Co, on a alors accès aux valeurs de Cm et de Lm en utilisant les relations suivantes : 5 Cm = Co ((02 (02 (2) clr) Coks r 2 avec ks2 le couplage électromécanique donné par l'écart relatif des fréquences de résonances et d'antirésonance, soit en première approximation 2(fa- fr)/fr, comme décrit dans l'article de Royer, E. Dieulesaint, 10 « Ondes acoustiques dans les solides », tome 1, 1998, Masson Ed. L'expression de l'admittance du circuit équivalent est telle que : jCmw Y(6()) --/C°6() (1-LmCmw2)+]RmCmw 15 La résistance Rm est donnée par l'inverse de la partie réelle de l'admittance à la résonance : Y (wr) = 1 /R,, + j Co wr 20 L'amortissement A est donné par le rapport : Rm/ 2Lm, ce qui permet d'estimer le coefficient de qualité Q du résonateur tel que : Q= wr I 2A soit encore Q = wr Lm / Rm, ce qui permet d'estimer la valeur de la résistance à partir du coefficient de qualité du résonateur, et ainsi caractériser dans les grandes lignes tout résonateur à simple port 25 électrique (on mesure facilement le couplage si la résonance est bien définie spectralement par l'écart entre fréquences de résonance et d'antirésonance, une mesure basse fréquence fournie elle la valeur de capacité statique). Il est précisé que le coefficient Q correspond au coefficient de qualité de la résonance selon la définition précédemment établie. Il est utilisé par la suite 30 pour simplifier l'écriture mais sa définition reste conforme à celle donnée dans les lignes précédentes. En réécrivant l'admittance à partir de l'équation (3) on obtient (3) (4) : 3039708 11 Y(w) jC0(1-LmCmco2)+]Cmco-RmCmCoco2 (4) (1-LmCmco2)+]RmCmco On cherche à rationnaliser autant que faire se peut en utilisant les 5 relations (1), et l'on obtient : Y(o) = Co icoLm(coît-w2)-Rmw2 Lrn(wî,.-(02)±iRrnw (5) L'admittance peut encore être exprimée par l'équation suivante : 10 Y(w) = Co Q(wr-(.02)+jwcor dans laquelle tous les éléments de la branche motionnelle o n t disparu au profit de trois paramètres mesurables objectivement, soit 15 les pulsations de résonance et d'antirésonance et le coefficient de qualité à la résonance, spécifiques de la contribution acoustique et la capacité statique. On exprime à partir de l'équation (6) l'impédance, et l'on obtient l'équation (7) : 20 Z(w)= ( 1 QM-co2)+)cocor jCoco) Q(coît-co2)+jwcor (7) Une fois cette expression établie, il est possible d'exprimer l'impédance à la résonance et à l'antirésonance : ict)(2(6421_6)2)_w2cor (6) 25 _> z(wr) \ 1 Cocor) +j 2 2 Q 2 +j 1 1 Z(cor) = Y(Wr) = ((lq +1) Cowr (8) 3039708 12 1 Q ( - GOD Z(Wa) = l ) -> (-- WaWr Z(Wa) 1 r = usa +j) -> Z(Wa) Coton (da Coter 5 Dans les deux cas, le Demandeur a cherché à estimer les valeurs de Co pour un module de l'impédance égal à 50 C.) (ou de l'admittance à 20 mS) afin de déterminer la structure du transducteur. Dans le cas de la résonance et de l'anti-résonance 10 respectivement, il vient : a2k1+1 (10) I Y(cor) I =Co cor \k7k2 + 1) et 1Z(coa) I co cor Dans les deux cas, on note que si Q. k s2 est très supérieur à 15 1 , les expressions (10) peuvent être simplifiées comme suit : IY (cor)I=CocorQld = Rm IZ (cor)1 = Rrn et IZ(wa)I Cocor (11) On définit également l'équation suivante ( MORGAN, David. 20 Surface acoustic wave filters: With applications to electronic communications and signal processing. Academic Press, 2010.) : Yll(w) = YT(w)=Ga(w) + i(Ba(w) + wC0) (12) 25 où Ga est la conductance acoustique, Ba est la susceptance et CT est la capacité du transducteur. La partie imaginaire de l'admittance est naturellement combinée avec la contribution de la capacité du transducteur, qui est définie par une contribution électrique dominante. 30 Ses valeurs sont données par les équations : G a(w) Ga (a) 0)1sin x(x) 2 (13) 3039708 sin(2X)-2x Ba(w) ,'k,' Ga(wo) 2)(2 Co = NcWE,,,, (15) 5 Où Ga(C00) = 2.87(00E,,, We019/19 et Eco = J/ E11E33 - Ei3 (pour le quartz, E'= - 5,5s0). Le Demandeur a considéré dans un premier temps la forme 10 suivante compte tenu de sa simplicité et de sa fidélité vis-à-vis de la forme complète pour un transducteur synchrone fonctionnant à la condition de Bragg : Co = INT,Weco avec Eco = E0 + \I E11E33 - Ei23 (16) 15 et les cas suivants pour les valeurs de E', de Q et de q telles que données dans le tableau suivant : Matériau Q à 434 MHz q(%) Eco (pf/m) Corés(pF) C0antirés(pF) Quartz 10000 0,1 5,5E0 = 48,6 0,734 73,4 (coupe AT) AIN 3000 0,25 10,6E0 = 0,978 55 (orienté 93 7 axe C) , ZnO 2500 0,3 10,2E0 = 0,978 55 (orienté 90,2 axe C) LGS 1000 0,35 32,5E0 = 287 2,09 25,7 (coupe YX) LiTa03 1000 1 42377,5 ,7E0 = 0,734 73,4 (coupe (YXw t)/ - 90°/112° LiNb03 1000 5 35,6E0 = 315 0,147 367 (coupe YZ) 13 (14) 3039708 14 Tableau 1: Évolution des capacités statiques en fonction des différents matériaux exploitables, pour des hypothèses de coefficients de qualité et de couplage données à 434 MHz 5 D'expérience, le Demandeur a considéré que le coefficient de qualité dépend principalement du type de métallisation et de la nature du substrat. En pratique, le fait de travailler à la résonance ou à l'antirésonance a un impact sur le coefficient de qualité effectif du dispositif. Expérimentalement, on obtient des valeurs de Q 10 sensiblement plus élevées à l'antirésonance qu'à la résonance (le coefficient Q à l'anti-résonance est alors défini comme le maximum de résistance divisé par la largeur à mi-hauteur du pic d'anti-résonance en considérant une ligne de référence à 0 Ohms). Il est rappelé toutefois que le coefficient Q utilisé dans les relations est donné par la relation Q 15 = Wr Lm / Rm, soit le coefficient de qualité Q défini à la résonance. En particulier, les composants fonctionnant sur le point de résonance (c'est-à-dire accordés sur 50 C) à la résonance) dont le coefficient E. s'avère supérieur à une valeur de l'ordre de 15 se révèlent 20 nettement plus sensibles à la résistance série que ceux dont le même coefficient est inférieur ou égale à cette valeur. Par ailleurs, le Tableau 1 montre que plus le couplage est élevé, plus la capacité statique à la résonance est petite (très inférieure au pF). 25 On peut alors comprendre aisément qu'un dispositif fonctionnant à la résonance soit beaucoup plus sensible aux éléments capacitifs parasites qu'un résonateur exploitant l'antirésonance. C'est pourquoi, le Demandeur propose de privilégier l'antirésonance à la résonance pour minimiser la sensibilité à la 30 résistance série et l'impact des capacités parasites sur le dispositif fonctionnant à la résonance. Le Tableau 2 ci-après récapitule des exemples de valeurs de capacité statique et de produit 1\lc\A/ à la résonance et à l'antirésonance permettant de concevoir des dispositifs beaucoup moins sensibles aux 35 effets de capacités parasites avec des matériaux piézoélectriques de permittivité relative élevées, à l'antirésonance. 3039708 15 5 Matériau sw (pf/m) Corés(pF) C0antirés(pF) NcWres(mm) NcW antfres(n) Quartz 5,5E0 = 48,6 0,734 73,4 15,1 1,51 (coupe AT) AIN 10,6= 55 10,4 0,587 (orienté £0 93 axe C) ° ' 93 7 ZnO 10,2E090,2 0,978 55 10,8 0,609 (orienté axe C) LGS 32,5E0 = 287 2,09 25,7 7,3 0,089 (coupe YX) LiTa03 42,7E0 = 0,734 73,4 1,94 0,194 (coupe 377,5 YXwt)/- 90°/112° LiNb03 35,6E0 = 315 0,147 367 0,467 1,16 (coupe YZ) Tableau 2: Produits NcW types à la résonance et à l'antirésonance pour différents matériaux, pour des hypothèses de coefficients de qualité et 10 de couplage données à 434 MHz On peut montrer la pertinence de ces calculs par l'expérience : un résonateur sur langasite d'orientation cristalline (YX/t)/48,5°/26,7°, définie selon le standard IEEE Std-176 sur la piézoélectricité, a été réalisé pour 15 présenter une impédance de 90 Ohms à l'antirésonance à 455 MHz. 3039708 16 L'ouverture acoustique a été fixée à 700 pm et le nombre de doigts au point chaud à 350. On trouve 233 pf.m-1 pour e soit un Co de 57,1 pF selon la formule (15). Le calcul exact pour cette configuration donne un Co de 54,2 pF. Avec un Q à la résonance de 900, on retrouve des paramètres 5 conformes aux prévisions et qui démontrent l'efficacité du processus d'optimisation. Le Demandeur a également comparé des résultats de conception de résonateurs fonctionnant à la résonance et à l'antirésonance à des fréquences voisines, en l'occurrence 433 MHz, visant toujours une 10 impédance de charge de 50 Ohms et ayant recours à la coupe (YX/t)/48,5°/26,7°. Dans le cas d'un fonctionnement surla résonance, il a déterminé le nombre d'électrodes du transducteur au point chaud à 25 pour une ouverture de 160 pm (NON = 4 mm) et une métallisation de 155 nm de platine. Pour le fonctionnement sur l'antirésonance, on conserve cette même 15 épaisseur de métallisation mais l'ouverture acoustique passe à 900pm et le nombre de doigts au point chaud dans le transducteur à 350 (NON = 315 mm). Le calcul de la réponse du résonateur est effectué selon la méthode de la matrice mixte. Entre autres paramètres initiaux de calcul, il est indiqué une permittivité relative pour cette configuration égale à 28,93, soit une valeur de 20 e de 265 pF/m environ, avec une vitesse de l'ordre de 2600 m.s-1 (tenant compte de l'effet de masse de la métallisation). Pour le résonateur optimisé sur la résonance, l'écart entre fréquences de résonance et d'antirésonance indique un couplage électromécanique de 1,4%° selon la formule (2) et une capacité statique de 25 0,916 pF. Pour le résonateur optimisé sur l'anti-résonance, ces caractéristiques passent à plus de 4,1%. et 50,3 pF respectivement. En conclusion, le Demandeur a montré que pour garantir la pureté spectrale d'un résonateur seul, il faut que l'impédance à la résonance ou 30 l'anti-résonance soit la plus proche possible de celle du circuit de charge, en l'occurrence de l'antenne pour une application de capteur interrogeable à distance. Pour une première passe de conception, le Demandeur a considéré une impédance de charge de 50 0 mais l'expérience montre que 35 le design doit être circonstancié au cas particulier de l'application. Simuler 303 9 708 17 l'évolution de l'impédance du circuit de charge en fonction de la température dans le milieu d'implantation serait la meilleure démarche de conception envisageable, néanmoins une conception archétypique pour des milieux ouverts ou à environnements confinés métalliques ou non semble une 5 démarche robuste pour proposer des capteurs « universels ». En particulier, l'évolution des impédances de l'antenne dipôle et du résonateur, respectivement comprises entre 75 et 100 0 pour la première et proche de 50 0 pour le second à température ambiante vers une valeur identique à température de travail (par exemple 600°C) explique pourquoi le 10 bilan énergétique de l'interrogation sans fil s'améliore avec la température. A titre de comparaison, la permittivité diélectrique relative des ondes de Rayleigh sur LGS varie entre 20 et 30 contre 5 à 6 pour le quartz, ce qui augmente considérablement l'impédance à la résonance pour une configuration donnée. Ce facteur 5 se retrouve sur la taille des transducteurs 15 pour optimiser un transducteur fonctionnant à la résonance. La réduction de la dimension du transducteur à quelques dizaines de longueurs d'onde et une ouverture inférieure à la vingtaine de longueurs d'ondes pour travailler à la condition de résonance avec des ondes de Rayleigh sur LGS induit une sensibilité accrue aux éléments capacitifs parasites d'autant que le couplage 20 ne dépasse pas les 0,1% dans ce type de configuration. L'optimisation d'un tel résonateur (fonctionnant sur la résonance) nécessite donc l'élimination de toute source de capacité parasite pour le mode « résonance ». Ce mode impose un nombre d'électrodes et une ouverture acoustique réduits par rapport aux solutions sur quartz qui limitent de façon factuelle le couplage 25 électromécanique à moins d'un pour mille. Si l'encombrement de la puce correspondante est optimal (30 à 40% de gain en taille par rapport au même capteur sur quartz), il demeure des défauts fonctionnels. L'utilisation d'un résonateur en mode « anti-résonance » comme 30 proposé dans la présente demande de brevet impose quant à lui le recours à des transducteurs à ouverture et nombre d'électrodes maximisés par rapport aux solutions sur quartz. On perd donc l'aspect « compacité améliorée » apportée par la vitesse de phase des ondes de surface sur ce matériau (de 10 à 20% plus faible que celles sur quartz) mais on maintient en retour des 35 couplages électromécaniques en ligne avec les capacités du matériau (70 à 3039708 18 80% du potentiel accessible, contre moins de 40% pour la solution « résonance »). Par voie de conséquence, la capacité statique est plus grande que pour la solution « résonance » et s'avère de fait nettement moins sensible aux pollutions parasites que cette dernière. 5 Par ailleurs, Le Demandeur a observé que des métallisations en Ti ou en Ta/Pt sont particulièrement bien adaptées à la réalisation de ces résonateurs, permettant bien d'obtenir des coefficients de qualité plus élevés pour l'anti-résonance que pour la résonance. En pratique, à 434 MHz et les fréquences environnantes, une épaisseur minimum de 100 nm de Pt peut 10 être considérée pour optimiser le fonctionnement du transducteur et des miroirs et 150 nm est une valeur type. Dans le cas des applications à hautes températures, le gain en coefficient de qualité offert par l'approche « anti-résonance » peut atteindre un facteur 2 à 3. Ce gain constitue un élément extrêmement différenciant 15 pour les capteurs proposés par le Demandeur compte tenu de la réduction de ce facteur de mérite avec la température, potentiellement d'un coefficient 2 à 3 pour une excursion de 600°C par exemple (de lambiante à 650°C). La langasite LGS est par ailleurs connue pour ses pertes de conductivité particulièrement lorsque croît la température. Il est donc nécessaire de ne 20 pas introduire de sources de disfonctionnement liées à un défaut de conception d'un capteur fondé sur ce matériau et ses variantes (LGT, LGN) et de garantir autant que faire se peut l'accord d'impédance sur toute la gamme de variation de température. 25 REVENDICATIONS1. Résonateur à ondes élastiques de surface comprenant un 5 matériau piézoélectrique destiné à la propagation des ondes élastiques de surface et au moins un transducteur inséré entre une paire de réflecteurs, ledit transducteur comprenant des peignes d'électrodes interdigitées et présentant un nombre Nc d'électrodes connectées à un point chaud et une ouverture acoustique W caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique 10 présente une permittivité relative supérieure à environ 15, ledit transducteur présentant un produit Nc.W/fa supérieur à 100 urn.MHZ-1 avec fa la fréquence d'antirésonance dudit résonateur. 2. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 15 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est de la langasite, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 100 et 1000 um.MHZ1. 3. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 20 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est de l'oxyde de zinc, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 400 et 2000 uin.MHZ.1. 4. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 25 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du quartz, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 2400 et 3600um.MHz-1. 5. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du 30 nitrure d'aluminium AIN, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 400 et 2000 pm.MHz-1. 6. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du 3039708 20 tantalate de lithium LiTaO3, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 100 et 1000 pm.MHz-1. 7. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon la 5 revendication 1, caractérisé en ce que le matériau piézoélectrique est du niobate de lithium, le produit Nc.W/fa pouvant être compris entre 1400 et 3000 pm.MHz-1. 8. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon l'une des 10 revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les électrodes sont à base de platine ou de titane ou de tantale, ou un mélange de certains des métaux précités. 9. Résonateur à base de matériau piézoélectrique selon l'une des 15 revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend une couche de passivation pouvant être une couche d'alumine (A1203) ou d'oxyde de silicium ou de nitrure de silicium ou de nitrure d'aluminium. 10. Circuit comprenant au moins une impédance de charge et au 20 moins un résonateur selon l'une des revendications 1 à 9, et présentant une réponse électrique traduite par un pic de coefficient de réflexion S1, en fréquence caractérisée par une valeur minimum du paramètre S1, supérieure à au moins 10 dB, le pic d'antirésonance dudit résonateur étant adapté à l'impédance de la charge. 25 11. Capteur passif interrogeable à distance comprenant un circuit selon la revendication 10. 12. Capteur de température différentiel passif interrogeable à 30 distance comprenant deux résonateurs selon l'une des revendications 1 à 9. 13. Système d'interrogation d'un circuit selon la revendication 10, ou d'un capteur selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de 35 fréquences situées entre 400 MHz et 450 MHz. 3039708 21 14. Système d'interrogation d'un circuit selon la revendication 10, ou d'un capteur selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de 5 fréquences situées entre 900 MHz et 950 MHz. 15. Système d'interrogation d'un circuit selon la revendication 10, ou d'un capteur selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'interrogation fonctionnant dans une bande de 10 fréquences situées entre 850 MHz et 900 MHz.