FR 3041625 A1 20170331 FR 1559213 A 20150929 1 DISPOSITIF DE FIXATION DE DEUX ELEMENTS TELS QU'UNE PUCE, UN INTERPOSEUR ET UN SUPPORT DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un dispositif de fixation de deux éléments du domaine microélectronique tels qu'une puce, un interposeur et un support dont au moins un des éléments est micro-fabriqué. L'invention permet de fixer une puce micro-fabriquée sur un support avec ou sans interposeur. L'invention trouve une application particulièrement avantageuse pour les capteurs du type accéléromètre ou gyromètre, les capteurs de pression, les composants optiques ou les composants de puissance. ART AN I ERIEUR Les puces micro-fabriquées comprennent des puces très sensibles aux conditions extérieures tels que les puces de type MEMS (acronyme pour « microelectromechanical system » en anglais, ou « microsystème électromécanique » en français) ou les puces de type MOEMS (acronyme pour « micro-opto- electromechanical system » en anglais, ou « microsystème opto-électromécanique » en français). Les puces micro-fabriquées présentent parfois une sensibilité aux contraintes thermomécaniques subies par le support sur lequel la puce est montée du fait de la différence de coefficient d'expansion thermique entre la puce en silicium (CTE compris entre 2 et 4 ppm/°C) et le support en alumine (CTE compris entre 7ppm/°C et 12ppm/°C). C'est le cas plus particulièrement des puces micro-fabriquées dont les structures mécaniques fines et sensibles présentent, une fois assemblées, des points de contraintes localisés ou étendus pouvant perturber le fonctionnement du produit. Pour améliorer la sensibilité des puces micro-fabriquées, il est nécessaire de limiter la transmission thermique ou la transmission des contraintes ou des déplacements mécaniques du support à la puce. 3041625 2 Ces puces micro-fabriquées sont classiquement montées sur un support avec ou sans interposeur entre la puce et le support. L'interposeur a pour fonction de faciliter le montage de la puce et/ou de limiter les échanges thermiques et les contraintes mécaniques entre la puce et le support. 5 La demande de brevet américain N° US 2008/251866 décrit une puce reliée à un support par l'intermédiaire d'un interposeur. L'interposeur est monté sur le support par des colonnes de sorte à augmenter le chemin thermique entre l'interposeur et le support. Les échanges de chaleurs sont ainsi réduits entre la puce, montée sur 10 l'interposeur, et le support. Cependant, cette solution augmente fortement l'encombrement du dispositif de montage entre la puce et le support par l'utilisation à la fois d'un interposeur et des colonnes. Par ailleurs, le brevet américain N° US 8,901,681 décrit une puce montée 15 directement sur un support. La puce comporte un plot saillant et structuré dans la puce sur la face en regard du support de sorte à créer une zone de fixation entre le plot et le support. Une couche de fixation, par exemple une colle, est alors déposée entre le plot et le support pour fixer la puce sur le support. La présence du plot permet de limiter la zone de contact entre la puce et le support et ainsi de limiter les échanges thermiques 20 entre la puce et le support. Cependant, cette solution ne permet pas de fixer correctement la puce sur le support car la surface du plot au contact du support est souvent insuffisante. Ainsi, la surface du plot au contact du support est surdimensionnée pour répondre aux contraintes de fixation. 25 Le problème technique de l'invention consiste donc à limiter la surface de fixation entre une puce et un support ou un interposeur en garantissant la qualité de la fixation, tout en éloignant les zones de fixation des zones sensibles de la puce. EXPOSE DE L'INVENTION 30 La présente invention propose de répondre à ce problème technique en utilisant un ou plusieurs plots présentant une cavité de sorte que la couche de fixation s'étende au moins en partie à l'intérieur de la cavité. 3041625 3 A cet effet, l'invention concerne un dispositif de fixation de deux éléments tels qu'une puce, un interposeur et un support dont un au moins des deux éléments est micro fabriqué, le dispositif comportant : 5 - au moins un plot saillant et structuré dans un premier élément s'étendant en regard du deuxième élément, - le plot étant configure pour créer une zone de fixation entre une extrémité du plot et le deuxième élément, - une couche de fixation déposée dans la zone de fixation de sorte à fixer le plot 10 avec le deuxième élément, et - une cavité réalisée au niveau de la zone de fixation de sorte que la couche de fixation s'étende au moins en partie à l'intérieur de la cavité. L'invention permet de régler avec précision la hauteur de la couche de fixation 15 entre les deux éléments, au moins au niveau de la cavité, et ainsi d'ajuster une contrainte mécanique minimum entre les deux éléments. L'amélioration de la résistance mécanique entre les deux éléments entraine une réduction de la surface de fixation nécessaire entre le plot et le deuxième élément. 20 En outre, la couche de fixation permet d'absorber une partie des contraintes de déplacement entre la puce et le support. Ainsi, la résistance mécanique prédéterminée par la forme de la cavité permet également de régler cette capacité d'absorption mécanique des contraintes de déplacement entre la puce et le support. 25 Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte en outre au moins une micro-colonne formée par un dépôt de matière sur le plot ou sur la surface en regard du deuxième élément, la micro-colonne présentant une hauteur contrôlée de sorte à garantir, au niveau de la micro-colonne, une épaisseur minimum de la couche de 30 fixation. Ce mode de réalisation présente l'avantage de garantir l'épaisseur de la couche de fixation au moins au niveau des micro-colonnes et ainsi de paramétrer une résistance mécanique minimum entre les deux éléments en dehors de la zone de la couche de fixation pénétrant dans la cavité. 3041625 4 Selon un mode de réalisation, la cavité est réalisée dans le plot. Ce mode de réalisation permet d'utiliser un deuxième élément classique sans traitement particulier. Selon un mode de réalisation, la cavité est réalisée dans le deuxième élément en regard du plot, de sorte que le plot puisse pénétrer dans la cavité. Ce mode de réalisation permet de guider la mise en place du premier élément par rapport au deuxième élément ou inversement. Selon un mode de réalisation, le plot comporte au moins un évidement longitudinal sur la hauteur de la cavité, débouchant sur l'extrémité du plot au contact de la zone de fixation. 15 Ce mode de réalisation permet d'absorber une partie des contraintes de déformation du support. En effet, l'évidement longitudinal crée une élasticité transverse à la zone de fixation de sorte que le plot puisse se déformer, soit sous l'effet des contraintes transverses, soit sous l'effet des contraintes axiales. Les contraintes transverses peuvent apparaître entre une puce et un support par les effets de dilatations 20 différentielles. Les contraintes axiales peuvent apparaître entre une puce et un support lorsque le matériau de la couche de fixation se comprime, l'évidement longitudinal permet d'obtenir ainsi un effet d'amortissement. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte un second plot structuré 25 dans le deuxième élément, le second plot s'étendant en regard du plot du premier élément dans la zone de fixation. Ce mode de réalisation permet de régler la hauteur de la zone de fixation de manière différente sur toute la surface d'extrémité du plot. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte un ensemble de plots, de 30 dimensions et de formes éventuellement différentes, organisés en réseau. Ce mode de réalisation permet d'améliorer la tenue et l'adhésion de la zone de fixation. Le réseau permet également d'améliorer la dissipation des contraintes. Le motif du réseau peut 5 10 3041625 5 être un carré, un cercle ou toute autre forme. Le réseau peut être réparti uniformément sur toute la surface de la puce ou limité à une zone particulière. Selon un mode de réalisation, le premier élément est une puce et le second 5 élément est un support ou inversement. Ce mode de réalisation permet de s'affranchir de l'interposeur. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte un interposeur configuré pour relier la puce et le support, le premier élément étant la puce et le second élément 10 étant l'interposeur ou inversement. DESCRIPTION SOMMAIRE DES FIGURES La manière de réaliser l'invention ainsi que les avantages qui en découlent, 15 ressortiront bien du mode de réalisation qui suit, donné à titre indicatif mais non limitatif, à l'appui des figures annexées dans lesquelles les figures 1 à 7 représentent : - Figure 1 : une vue en coupe d'une puce reliée à un support par un interposeur structuré selon un premier mode de réalisation de l'invention ; - Figure 2 : une vue en coupe de l'interposeur de la Figure 1 selon un deuxième 20 mode de réalisation de l'invention ; - Figure 3 : une vue en coupe d'une puce structurée reliée directement à un support selon un troisième mode de réalisation de l'invention ; - Figure 4 : une vue en coupe d'une puce reliée directement à un support structuré selon un quatrième mode de réalisation de l'invention ; 25 - Figure 5 : une vue en coupe d'une puce reliée directement à un support structuré selon un cinquième mode de réalisation de l'invention ; - Figures 6a-6f : plusieurs vues de dessous de la disposition d'au moins un plot par rapport à la puce selon l'invention ; et - Figures 7a-7d : plusieurs vues de face en perspective d'un plot selon 30 l'invention. 3041625 6 DESCRIPTION DETAILLEE DE L' INVENTION L'invention permet de relier une puce et un support directement ou par l'intermédiaire d'un interposeur. Lorsqu'il n'y a pas d'interposeur, l'invention est mise 5 en oeuvre entre la puce et le support. Lorsqu'il y a un interposeur, l'invention peut être mise en oeuvre entre la puce et l'interposeur, entre l'interposeur et le support ou les deux. Pour couvrir l'intégralité de ces modes de réalisation, la description décrit deux éléments 11, 12 entre lesquels l'invention est mise en oeuvre. Ces éléments 11, 12 sont une puce, un interposeur ou un support. Parmi ces deux éléments 11, 12, on distingue 10 comme étant le premier élément 11 celui qui porte au moins un plot 25. La Figure 1 illustre une puce reliée à un support par l'intermédiaire d'un interposeur. L'invention est mise en oeuvre entre deux éléments 11, 12 que sont la puce et l'interposeur. Le support correspond alors à un troisième élément 13. Un 15 premier élément 11, l'interposeur, comporte une face inférieure reliée au troisième élément 13 par une couche de fixation 15 classique. La face supérieure du premier élément 11, opposée à la face inférieure, est structurée de sorte à former quatre plots 25. L'opération de structuration consiste à retirer une épaisseur de matière du premier élément 11 de sorte à créer les plots 25 sur la surface supérieure du premier 20 élément 11. Chaque plot 25 s'étend en direction d'un deuxième élément 12, la puce. Une extrémité supérieure 27 du plot 25 est configurée pour créer une zone de fixation 16 avec le deuxième élément 12 au niveau de laquelle une couche de fixation 14 est déposée. Afin de contrôler l'épaisseur de la couche de fixation 14 entre les deux éléments 11, 12, une cavité 30 est réalisée dans le plot 25 et débouche sur l'extrémité 25 supérieure 27. De préférence, la cavité 30 présente une profondeur constante sur toute sa largeur. Lorsque la puce est appliquée sur la couche de fixation 14, la puce est pressée contre l'interposeur de sorte à améliorer l'adhérence de la puce avec la couche de 30 fixation 14. La couche de fixation 14 peut alors déborder de part et d'autre du plot 25 et il est particulièrement difficile de régler l'épaisseur de cette couche de fixation 14 en dehors de la cavité 30. 3041625 7 La Figure 2 illustre une variante de la Figure 1 permettant de répondre à ce problème au moyen de micro-colonnes 31 déposées sur l'extrémité supérieure 27 des plots 25 en dehors de la cavité 30. Ces micro-colonnes 31 permettent de résister à la pression de la puce contre l'interposeur lors de l'application de la puce. De préférence, 5 les micro-colonnes 31 présentent une hauteur sensiblement égale et comprise entre 40 et 140 1.1.m. De préférence, ces micro-colonnes 31 sont réalisées en or en soudant une petite boule d'or sur l'interposeur puis en tirant cette boule d'or pour former une micro-colonne 31. 10 Les Figures 3 à 5 illustrent des variantes dans lesquelles l'interposeur n'est plus nécessaire, les deux éléments 11, 12 étant la puce et le support. Dans le cas de la Figure 3, le premier élément 11 est la puce et le deuxième élément 12 est le support. La puce comporte trois plots 25 s'étendant en direction du support dans lesquels une cavité 30 est ménagée au niveau de l'extrémité inférieure. La couche de fixation 14 est 15 déposée entre l'extrémité inférieure des plots 25 et une face supérieure du support. Dans le cas de la Figure 4, le premier élément 11 est le support et le deuxième élément 12 est la puce. Le support comporte trois plots 25 s'étendant en direction de la puce. La puce est également structurée de sorte à créer une cavité 30 destinée à venir 20 en regard de chaque plot 25 du support. La cavité 30 n'est donc pas formée dans le plot 25 mais dans le deuxième élément 12. Pour ce faire, la forme de la cavité 30 est adaptée à la forme du plot 25. Pour assembler la puce avec le support, la couche de fixation 14 peut être disposée dans la cavité 30. L'effort de pression sur la puce permet alors de répartir la couche de fixation 14 depuis le fond de la cavité 30 jusqu'à la base 25 du plot 25. En variante, la forme du plot 25 et/ou de la cavité 30 peut être tronconique de sorte à guider le positionnement et l'ajustement des deux éléments 11-12 l'un par rapport à l'autre par centrage du plot 25 dans la cavité 30. 30 Dans le cas de la Figure 5, le premier élément 11 est encore le support et le deuxième élément 12 est la puce. La cavité 30 est ménagée au niveau de l'extrémité supérieur de chaque plot 25 et des micro-colonnes sont déposées sur l'extrémité 3041625 supérieure des plots 25 en dehors de la cavité 30. En outre, le deuxième élément 12 est également structuré pour créer un second plot s'étendant en direction du support dans la zone de fixation 16. De préférence, le second plot présente une surface adaptée à. la surface de la cavité 30 de sorte que les micro-colonnes ne soient pas en contact avec le 5 second plot. Le second plot permet d'enfoncer la couche de fixation 14 dans la cavité 30 lors de la mise en place de la puce sur le support. De préférence, les plots 25 sont réalisés pendant les étapes de fabrication collectives au niveau d'une galette de silicium par un procédé standard de lithographie 10 et gravure du matériau en fin du processus de fabrication. La hauteur des plots 25 est contrôlable et ajustable pendant le procédé de gravure par gravure ionique réactive profonde. Il est typiquement possible de faire des plots 25 dont la hauteur est comprise entre 1011m et 300gm. C'est en particulier l'épaisseur du substrat qui limite la hauteur maximale. Pour des reports par colle, une hauteur typique de 40pm à 80pm est 15 suffisante. Des hauteurs plus importantes peuvent améliorer les fonctions de découplage mécanique selon les topologies mises en oeuvre, par exemple des hauteurs comprises entre 100pm et 5001.1m. La surface des plots 25 peut être en silicium ou couverte par un diélectrique (Oxyde de silicium, nitrure ou autre) ou par tout type de métaux pour faciliter un contact électrique ou une adhésion. 20 Le procédé de fabrication n'induit aucune limitation sur le type de forme du plot 25. Les motifs peuvent être des ronds, des carrés, des étoiles ou toute autre forme. Les motifs peuvent être uniformes, évidés ou présenter des réseaux de gravure. La définition du motif de report directement sur la face arrière du composant pendant la 25 fabrication permet un auto-alignement très simple du coltersani pendant le report final sur le support, la zone de report étant uniquement définie sur le premier élément 11. Ainsi grâce aux techniques de photo-lithogravure standard sur une galette de silicium, il est très facile de positionner précisément les plots 25 par rapport aux parties mobiles internes d'une puce à mieux que 5pm près. Ce qui est nettement 30 meilleur que l'alignement typique pendant les reports classiques en assemblage d'une puce et d'un support, qui est de l'ordre de 50gm. 3041625 9 Le but du découplage entre la puce et le support est de ne pas transmettre de contrainte externe sur les parties mobiles internes en dehors de la grandeur à mesurer. Entre autre, toute les contraintes thermiques différentielles entre les divers matériaux vont induire des effets perturbateurs (dérive, hystérésis thermique, offset...). 5 Idéalement, la structure mobile doit donc être complétement suspendue ou les points de contact doivent être aussi petits que possible. Les Figures 6a à 6a illustrent différentes formes et différentes topologies du ou des plots 25 d'un premier élément 11, par exemple une puce. Les Figures 6a et 6b 10 illustrent un plot 25 unique dont la section est soit ovale soit rectangulaire. Les Figures 6c et 6d illustrent quatre plots 25 positionnés de manière symétrique de sorte à coopérer pour absorber les contraintes de déplacement du support par rapport à la puce. Les Figures 6e et 6f illustrent des ensembles de plots 25 organisées en réseau permettant d'améliorer la tenue et l'adhésion de la couche de fixation 14. Chaque 15 ensemble de plots 25 peut aussi améliorer la dissipation des contraintes. Le réseau peut être réparti uniformément sur toute la surface, Figure 6e, ou limité à une zone particulière, Figure 6f En variante, la géométrie des plots 25 du réseau est adaptée à la topologie du 20 réseau de sorte à ajuster le découplage des contraintes mécaniques entre le premier élément 11 et le deuxième élément 12. Par exemple, le deuxième élément 12 peut être relié au premier élément 11 par un plot 25 central et des plots 25 périphériques avec une capacité de déformation des plots 25 périphériques supérieure à la capacité de déformation du plot 25 central. Ainsi, il est possible de créer un découplage 25 mécanique variable entre le premier élément 11 et le deuxième élément 12 en fonction de la position entre les deux éléments 11-12. La capacité de déformation du plot 25 peut être réglée, par exemple, par une variation de l'épaisseur du plot 25 ou une augmentation du volume de la cavité 30. 30 Les Figures 7a à 7e illustrent, des modes de réalisation des plots 25 dans lesquels les plots 25 sont creux et présentent une élasticité transverse. Ainsi, les plots 25 sont aptes à se déformer, soit sous l'effet des contraintes transverses liées à des effets de dilatation différentiels, soit sous l'effet de contraintes axiales qui viendraient 3041625 10 comprimer la couche de fixation 14. Pour ce faire, chaque plot 25 présente des évidements longitudinaux 35 permettant une déformation du plot 25. Chaque évidement 35 débouche sur l'extrémité 27 du plot 25 destinée à venir dans la zone de fixation 16. Le plot 25 est alors sectionné en plusieurs lamelles 50 entre les 5 évidements longitudinaux 35. En plus de permettre une torsion du plot 25, les évidements 35 permettent à la couche de fixation 14 de s'étendre au travers des évidements 35 et de se répartir plus facilement entre deux éléments 11, 12. Lorsque le plot 25 est réalisé sous forme de lamelles 50, la cavité 30 est définie 10 par le volume interne entre les lamelles 50. Chaque évidement 35 est mathématiquement comblé par une progression linéaire des deux lamelles 50 voisines de sorte à considérer une paroi interne du plot 25 fictivement continue pour définir la cavité 30. 15 La réalisation d'un tel plot 25 est légèrement plus complexe que celle d'un plot 25 non fendu, mais fait appel au même type de procédé. Par simulation mécanique du système et des contraintes, on peut concevoir de géométries complexes qui tendent à optimiser cet effet élastique et la réduction des contraintes. 20 Par exemple, la Figure 7a illustre un plot 25 comportant deux anneaux concentriques de diamètres différents, chaque anneau étant sectionné par trois évidements 35. La Figure 7b illustre un plot 25 comportant un plot central entouré par deux anneaux concentriques de diamètres différents, chaque anneau étant sectionné par six évidements 35. La Figure 7c illustre un plot 25 comportant deux parois de 25 section en forme de C imbriquées de sorte à former un évidement 35 dont la section entre ces parois est en forme de S. La Figure 7d illustre un plot 25 comportant un anneau sectionné par huit évidements 35 et dont l'extrémité supérieure 27 est pourvue de micro-colonnes 31. 30 En variante, les lamelles 50 peuvent être indépendantes les unes des autres et disposées à différents endroits du premier élément 11. Dans ce cas, le collage s'effectue par un joint disposé sur l'extrémité 27 des lamelles 50 ou par le remplissage 3041625 11 complet de la cavité 30 comprise à l'intérieur des lamelles 50 lorsque les fentes sont assez étroites. En variante, les modes de réalisation peuvent être combinés et déplacés pour 5 relier deux éléments 11, 12 différents. En variante, les plots 25 peuvent également être disposés pour guider le positionnement d'une puce sur un support. L'invention permet ainsi d'augmenter les performances d'une puce micro-fabriquée en limitant son interaction avec son support. REVENDICATIONS1. Dispositif de fixation de deux éléments (11-12) tels qu'une puce, un interposeur et un support dont un au moins des deux éléments (11-12) est micro fabriqué, le dispositif comportant : - au moins un plot (25) saillant et structuré dans un premier élément (11) s'étendant en regard du deuxième élément (12), - le plot (25) étant configuré pour créer une zone de fixation (16) entre une extrémité (27) du plot (25) et le deuxième élément (12), et - une couche de fixation (14) déposée dans la zone de fixation (16) de sorte à fixer le plot (25) avec le deuxième élément (12), caractérisé en ce que le dispositif comporte en outre : - une cavité (30) réalisée au niveau de la zone de fixation (16) de sorte que la couche de fixation (14) s'étende au moins en partie à. l'intérieur de la cavité (30). 15 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre au moins une micro-colonne (31) formée par un dépôt de matière sur le plot (25) ou sur la surface en regard du deuxième élément, la micro-colonne (31) présentant une hauteur contrôlée de sorte à garantir, au niveau de la- micro-colonne (31), une 20 épaisseur minimum de la couche de fixation (14). 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la cavité (30) est réalisée dans le plot (25). 25 4. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la cavité (30) est réalisée dans le deuxième élément (12) en regard du plot (25) de sorte que le plot (25) puisse pénétrer dans la cavité (30). 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le 30 plot (25) comporte au moins un évidement longitudinal (35) sur la hauteur de la cavité, débouchant sur l'extrémité (27) du plot (25) au contact de la zone de fixation (16). 3041625 13 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte un second plot structuré dans le deuxième élément (12), le second plot s'étendant en regard du plot (25) du premier élément (11) dans la zone de fixation (16). 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte un ensemble de plots (25), de dimensions et de formes éventuellement différentes, organisés en réseau. 10 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le premier élément (11) est une puce et le second élément (12) est un support ou inversement. 9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il 15 comporte un interposeur configuré pour relier la puce et le support, le premier élément (11) étant la puce et le second élément (12) étant l'interposeur ou inversement.