FR 3049069 A1 20170922 FR 1652259 A 20160317 1 GUIDE A ONDE LENTE [1] L'invention a pour objet un guide à onde lente apte à ralentir la propagation d'un signal optique qu'il guide. L'invention a également pour objet un modulateur, à 5 semi-conducteur, de la phase ou de l'amplitude d'un signal optique incorporant ce guide à onde lente. [2] L'utilisation d'un guide à onde lente est par exemple utile dans les modulateurs de phase ou d'amplitude de signaux optiques. En effet, cela permet d'améliorer l'efficacité de la modulation de ces modulateurs. 10 [003] Des guides à onde lente connus comportent : - un substrat qui s'étend essentiellement dans un plan appelé « plan du substrat », - un axe optique tangent en tout point à la direction de propagation du signal optique à l'intérieur du guide à onde lente, cet axe optique s'étendant dans un plan parallèle au plan du substrat, 15 - une section de ralentissement apte à ralentir la propagation du signal optique, cette section comportant à cet effet des dents latérales disposées de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique avec un pas régulier p le long de l'axe optique depuis le début de cette section de ralentissement jusqu'à sa fin, chaque dent latérale s'étend continûment le long d'une direction d'extension parallèle au plan du substrat, 20 depuis une extrémité proximale jusqu'à une extrémité distale qui constitue la partie de la dent latérale la plus éloignée de l'axe optique et chaque dent latérale comportant un point d'intersection entre sa direction d'extension et l'axe optique, la longueur de chaque dent latérale étant égale à la distance la plus courte entre l'axe optique et son extrémité distale, 25 - un guide d'onde central qui s'étend le long de l'axe optique et qui comporte de chaque côté de l'axe optique des flancs latéraux, la largeur du guide d'onde central, à l'intérieur de la section de ralentissement, étant définie uniquement entre deux dents latérales immédiatement consécutives et prise égale à la distance la plus courte, mesurée dans une direction transversale parallèle au plan du substrat et 30 perpendiculaire à l'axe optique, entre les flancs latéraux du guide d'onde central situés de chaque côté de l'axe optique et entre ces dents latérales consécutives, - une région d'élargissement s'étendant le long de l'axe optique, sur une distance supérieure à dmin depuis un début, confondu avec le début de la section de ralentissement, jusqu'à une fin située à l'intérieur de la section de ralentissement, la 35 distance dmin étant une distance égale au plus grand de la longueur d'onde À du signal optique et de 5p, où p est le pas entre les dents latérales, la longueur des dents latérales situées à l'intérieur de la région d'élargissement augmentant continûment en allant du début jusqu'à la fin de cette région d'élargissement, les extrémités distales 3049069 2 de toutes les dents latérales situées d'un même côté de l'axe optique à l'intérieur de cette région d'élargissement étant toutes situées, à cet effet, sur une courbe qui s'éloigne continûment de l'axe optique, la longueur de la dent latérale située juste après la fin de la région d'élargissement étant égale ou inférieure à la longueur de la dernière dent latérale située à l'intérieur de cette région d'élargissement, - une région de rétrécissement qui s'étend le long de l'axe optique sur une distance supérieure à dmin depuis un début, situé à l'intérieur de la section de ralentissement, jusqu'à une fin confondue avec la fin de la section de ralentissement, la longueur des dents latérales situées à l'intérieur de la région de rétrécissement, diminuant continûment en allant du début jusqu'à la fin de cette région de rétrécissement, les extrémités distales de toutes les dents latérales situées d'un même côté de l'axe optique à l'intérieur de cette région de rétrécissement étant toutes situées, à cet effet, sur une courbe qui se rapproche continûment de l'axe optique, la longueur de la dent latérale située juste avant le début de la région de rétrécissement étant égale ou inférieure à la longueur de la première dent latérale située à l'intérieur de cette région de rétrécissement. [004] Par exemple, de tels guides à onde lente sont décrits dans les articles suivants : - Al : A. Brimont et al , « High speed silicon electro-optical modulators enhanced via 20 slow light propagation », Optics express 20876, 10/10/2011, Vol 19, no 21 ; - A2 : Shayan Mookherjea et al, « Localisation in silicon nanophotonic slow - light waveguides », Nature photonics, vol 2, 02/2008. [005] Par la suite, ces articles sont désignés sous les termes, respectivement, d'article Al et d'article A2. 25 [006] Les guides à onde lente connus présentent : - soit des points de fonctionnement où le ralentissement du signal optique et les pertes de transmission sont importants, - soit des points de fonctionnement où le ralentissement du signal optique et les pertes de transmission sont faibles. 30 [007] Les guides à onde lente connus présentent également une bande interdite photonique étroite. [008] L'objectif est donc d'améliorer les guides à onde lente connus sur au moins l'un des points suivants : - proposer un guide à onde lente qui présente des points de fonctionnement où le 35 ralentissement du signal optique est aussi bon qu'avec les guides à onde lente connus mais en présentant des pertes de transmission moins élevées, - proposer un guide à onde lente qui présente des points de fonctionnement où le ralentissement du signal optique est meilleur qu'avec les guides à onde lente connus 3049069 3 et les pertes de transmission sont égales à celles constatées avec ces guides à onde lente connus, - proposer des guides à onde lente dont la bande interdite photonique est plus large que celle observée dans les guides à onde lente connus. 5 [009] Elle a donc pour objet un guide à onde lente comportant aussi : - une région initiale qui s'étend, le long de l'axe optique, sur une distance supérieure à dmin, depuis un début à partir duquel la largeur du guide d'onde central commence à diminuer continûment jusqu'à une fin au-delà de laquelle la largeur du guide d'onde central ne diminue plus jusqu'à la fin de la section de ralentissement, cette région 10 initiale chevauchant la région d'élargissement sur une distance non nulle supérieure à dmin, - une région finale qui s'étend, le long de l'axe optique, sur une distance supérieure à dmin, depuis un début à partir duquel la largeur du guide d'onde central commence à augmenter continûment jusqu'à une fin au-delà de laquelle la largeur du guide d'onde 15 central n'augmente plus, cette région finale chevauchant la région de rétrécissement sur une distance non nulle supérieure à dmin. [0010] Grâce au chevauchement de la région d'élargissement et de la région initiale, combiné au chevauchement de la région de rétrécissement avec la région finale, le guide à onde lente revendiqué présente les avantages suivants : 1) La bande interdite photonique est plus large qu'en absence des régions initiale et finale. 2) Par rapport à un guide à onde lente connu, le guide à onde lente revendiqué présente de part et d'autre de la bande interdite photonique les points de fonctionnement pour lesquels les pertes de transmission sont identiques à celles des guides à onde lente connus tout en présentant un ralentissement du signal optique plus important. 3) Le guide à onde lente revendiqué présente aussi, de part et d'autre de la bande interdite photonique, des points de fonctionnement pour lesquels le ralentissement du signal optique est le même que celui obtenu avec les guides à onde lente connus, 30 mais avec des pertes de transmission plus faibles. [0011] Enfin, de part et d'autre de la bande interdite photonique du guide à onde lente revendiqué, l'évolution des pertes de transmission en fonction de la longueur d'onde oscille moins que dans les guides à onde lente connus. [0012] Les modes de réalisation de ce guide à onde lente peuvent présenter une ou 35 plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ la longueur de la section de ralentissement entre son début et sa fin est supérieure à 15 lm ou 50 lm ; 3049069 4 ^ ^ 5 ^ 10 ^ 15 ^ 20 ^ 25 ^ ^ l'angle entre la direction d'extension de chaque dent latérale et l'axe optique est compris entre 85° et 95° ; le guide à onde lente comporte une région intermédiaire qui s'étend le long de l'axe optique sur une distance supérieure à dmin depuis un début confondu avec la fin de la région d'élargissement jusqu'à une fin confondue avec le début de la région de rétrécissement, la longueur des dents à l'intérieur de cette région intermédiaire étant constante ; le guide à onde lente comporte une région centrale qui s'étend le long de l'axe optique sur une distance supérieure à dmin depuis un début confondu avec la fin de la région initiale jusqu'à une fin confondue avec le début de la région finale, la largeur du guide d'onde central à l'intérieur de cette région centrale étant constante ; la fin de la région d'élargissement est confondue avec le début de la région de rétrécissement et la fin de région initiale est confondue avec le début de la région finale ; la largeur du guide d'onde central est deux fois plus grande au début de la région initiale qu'à la fin de cette région initiale, et la largeur du guide d'onde central est deux fois plus petite au début de la région finale qu'à la fin de la région finale ; le rapport S1/S2 est compris entre 0,25 et 0,75, où : - S1 est la surface de la projection orthogonale de la section de ralentissement sur le plan du substrat, et - S2 est la surface de la plus petite enveloppe convexe qui contient entièrement la projection orthogonale de la section de ralentissement ; le pas p est strictement inférieur à À/neff, où À est la longueur d'onde du signal optique et ne est l'indice effectif de propagation du signal optique se propageant dans ce guide à onde lente, la direction d'extension de chaque dent latérale forme un angle constant avec l'axe optique, les flancs latéraux du guide d'onde central sont disposés de façon symétriques de chaque côté de l'axe optique ; le guide à onde lente comporte une chaufferette apte à chauffer le guide d'onde central à une température souhaitée en réponse à un signal électrique de commande, et un circuit de commande apte à générer le signal électrique de commande qui permet de maintenir le guide d'onde central à une température où l'indice de groupe ng du mode fondamental TE du signal optique qui se propage dans le guide d'onde central est supérieur ou égal à huit. 3049069 5 [0013] Ces modes de réalisation du guide à onde lente présentent en outre les avantages suivants : - lorsque la longueur de la section de ralentissement est supérieure à 50 lm, le ralentissement du signal optique est amélioré et/ou les pertes de transmission sont 5 diminuées. [0014] L'invention a également pour objet un modulateur, à semi-conducteur, de la phase ou de l'amplitude d'un signal optique, ce modulateur comportant : - le guide à onde lente revendiqué, et - un dispositif commandable apte à faire varier la densité des porteurs libres de 10 charge à l'intérieur du guide à onde lente en réponse à un signal de commande électrique pour moduler la phase ou l'amplitude du signal optique. [0015] Les modes de réalisation de ce modulateur peuvent présenter la caractéristique suivante : - le guide d'onde central comporte au moins une jonction PN ou PIN et le modulateur 15 comporte des prises de contact apte à appliquer une différence de potentiels de part et d'autre de cette jonction PN ou PIN pour faire varier la densité des porteurs de charge à l'intérieur du guide d'onde central en réponse à un signal électrique de commande. [0016] L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, 20 donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : - la figure 1 est une illustration schématique et partielle, en vue de dessus, d'un modulateur comportant un guide à onde lente ; - la figure 2 est une illustration schématique et partielle, en vue de dessus, d'une dent 25 du guide à onde lente de la figure 1 ; - les figures 3 et 4 sont des illustrations schématiques, en coupe transversale à deux endroits différents, du guide à onde lente de la figure 1 ; - les figures 5 à 8 sont des graphes illustrant l'évolution, en fonction de la longueur d'onde, de l'indice de groupe et des pertes de transmission dans différents cas de 30 figure , - la figure 9 est un graphe illustrant l'évolution, en fonction de la longueur d'onde, de l'indice de groupe dans trois cas de figures différents ; - la figure 10 est un graphe illustrant l'évolution des pertes de transmission, en fonction de la longueur d'onde, dans les mêmes trois cas de figure que ceux pris en 35 compte dans la figure 9 ; - la figure 11 est une illustration schématique d'un deuxième mode de réalisation possible d'un guide à onde lente, et - la figure 12 est une illustration schématique d'un troisième mode de réalisation 3049069 6 possible d'un guide à onde lente. [0017] La figure 1 représente un modulateur 2 à semi-conducteur apte à moduler la phase et/ou l'amplitude d'un signal optique. Par exemple, la longueur d'onde À du signal optique est comprise entre 1250 nm et 1590 nm. Par exemple, la longueur 5 d'onde À est choisie égale à 1310 nm. [0018] Ici, le modulateur 2 module l'amplitude du signal optique. À cet effet, dans cet exemple de réalisation, il comporte un interféromètre de Mach-Zender. L'interféromètre de Mach-Zender comporte deux branches dont les sorties sont combinées entre elles pour obtenir le signal optique modulé en phase. Au moins l'une 10 de ces branches comporte un guide à onde lente pour améliorer l'efficacité de la modulation et réduire la taille du modulateur 2. L'architecture générale d'un tel modulateur est bien connue et ne sera donc pas décrite ici en détail. Par exemple, pour plus d'informations sur l'architecture générale d'un tel modulateur, le lecteur peut consulter l'article Al. 15 [0019] Ainsi, par la suite, seuls les détails nécessaires pour comprendre l'invention sont décrits. Pour simplifier la figure 1, l'architecture de l'interféromètre de MachZender n'a pas été représentée et seul le guide à onde lente 4 est représenté. [0020] Le modulateur 2 comporte également : - une chaufferette 6 commandable pour modifier la température du guide 4, et 20 - un circuit électronique 8 de commande de la chaufferette 6. [0021] La chaufferette 6 chauffe le guide 4 en réponse à un signal électrique de commande. Le fait de chauffer le guide 4 permet de modifier l'indice de réfraction du guide 4. En faisant cela, il est possible de modifier la valeur ÀR qui correspond à un point de fonctionnement particulier du guide 4. Des exemples de tels points de 25 fonctionnement sont décrits plus loin en référence aux figures 9 et 10. L'architecture d'une telle chaufferette est bien connue et ne sera donc pas décrite ici. Typiquement, cette chaufferette 6 est située au-dessus du guide 4. Typiquement, elle comporte une résistance électrique qui convertit le courant qui la traverse en chaleur. Ici, le guide 4 est réalisé en silicium et, de préférence, en silicium monocristallin. 30 [0022] Le circuit électronique 8 génère le signal électrique de commande de la chaufferette 6. Typiquement, le signal électrique de commande généré par ce circuit 8 permet de déplacer la valeur ÀR jusqu'à ce que celle-ci soit égale à la longueur d'onde À du signal optique à moduler, puis de maintenir cette égalité. Par exemple, pour faire cela, le circuit 8 reçoit une information qui est représentative de la longueur d'onde du 35 signal optique à moduler et, en fonction de cette information, il sélectionne automatiquement dans une table pré-enregistrée, la ou les caractéristique(s) du signal de commande à générer pour faire correspondre la valeur ÀR avec la longueur d'onde À. [0023] Sur la figure 1, le guide 4 est représenté en vue de dessus dans le cas 40 particulier où le substrat sur lequel il est réalisé s'étend essentiellement dans un plan 3049069 7 horizontal appelé « plan du substrat ». Sur la figure 1 et sur les figures suivantes, l'horizontal est repéré par deux directions X et Y d'un repère orthogonal XYZ. La direction Z de ce repère correspond à la direction verticale. De plus, dans ces figures, la direction X est choisie parallèle à la direction de propagation du signal optique à 5 l'intérieur du guide 4. Sur la figure 1, les traits ondulés qui s'étendent principalement dans la direction Y, indiquent que seule une partie du guide 4 a été représentée. [0024] Dans le guide 4, le signal optique se propage le long d'un axe optique rectiligne 10 parallèle à la direction X. A cet effet, le guide 4 comporte un guide d'onde central 12 qui s'étend le long de l'axe 10 en traversant successivement : 10 - une section 16 d'entrée à l'intérieur de laquelle le guide 4 est dépourvu d'agencement propre à ralentir le signal optique, - une section 18 de ralentissement à l'intérieur de laquelle le guide 4 est agencé pour ralentir le signal optique, et - une section 20 de sortie à l'intérieur de laquelle le guide 4 est dépourvu 15 d'agencement propre à ralentir le signal optique. [0025] Chacune de ces sections est par exemple une zone horizontale rectangulaire ayant deux côtés parallèles à la direction Y. [0026] Le long de l'axe 10, chacune de ces sections s'étend, dans la direction X depuis un début jusqu'à une fin. Ces sections sont immédiatement consécutives dans 20 la direction X de sorte que la fin d'une section précédente est confondue avec le début de la section suivante. Le début et la fin des sections 16 et 20 sont repérés, sur la figure 1, par des points désignés par les références numériques, respectivement, 22, 24, 26 et 27. Ainsi, le début et la fin de la section 18 de ralentissement porte respectivement les références numériques 24 et 26. 25 [0027] Ici, le guide d'onde 12 présente une structure connue sous le terme anglais de « Rib waveguide ». Autrement dit, le guide 12 est formé : - d'une dalle 22 (figures 3 et 4) parallélépipédique en silicium qui s'étend continûment le long de l'axe 10, et - d'une bande 24 en silicium réalisée sur la dalle 22 et centrée sur l'axe 10. 30 [0028] La bande 24 forme une nervure rectiligne sur la dalle 22. [0029] Ici, la largeur, dans la direction Y, de la dalle 22 est constante et strictement supérieure à la largeur de la bande 24 dans cette même direction. [0030] Par la suite, lorsque l'on parle de « largeur » du guide 12, on désigne la largeur de la bande 24 mesurée dans la direction Y. Plus précisément, dans les 35 sections 16 et 20, par largeur du guide 12, on désigne la distance la plus courte, mesurée dans la direction Y, entre des flancs latéraux verticaux de la bande 24. Dans la section 18, la largeur du guide 12 peut être mesurée uniquement en un emplacement situé entre deux dents 40 consécutives dans la direction X. Ainsi, dans la section 18, largeur du guide 12 est définie uniquement entre deux dents 40 3049069 8 immédiatement consécutives. Entre deux dents 40 immédiatement consécutive, la largeur du guide 12 est prise égale à la distance la plus courte, mesurée dans la direction Y, entre les flancs latéraux du guide 12 situés de chaque côté de l'axe 10 et entre ces deux dents 40 consécutives. Autrement dit, la largeur du guide 12 entre 5 deux dents 40 consécutives est définie comme étant égale à la plus petite largeur, dans la direction Y, du guide 4 entre ces deux dents 40. Les dents 40 sont décrites plus loin. [0031] Sur la figure 1, seule la partie du guide 12 correspondant à la bande 24 est représentée. La section transversale du guide 12 est décrite plus en détail en 10 référence aux figures 3 et 4. De plus, le guide à onde lente 4 est symétrique par rapport à un plan longitudinal PL (figures 3 et 4) vertical contenant l'axe 10. Par conséquent, par la suite, seule la partie du guide 4 située du côté gauche de ce plan PL est décrite en détail. [0032] Ici, à l'intérieur des sections 16 et 20, la largeur du guide 12 est constante et 15 égale à W1. Par exemple, W1 est compris entre 200 nm et 1 lm. Par exemple, la longueur du guide 12, dans la direction X, à l'intérieur des sections 16 et 20, est supérieure à À, ou 3À ou 5À, où À est la longueur d'onde du signal optique qui se propage dans le guide 4. [0033] La section 18 de ralentissement s'étend le long de l'axe 10 sur une 20 longueur L18. Typiquement, L18 est supérieure à 10 lm ou 20 lm ou 50 lm et, généralement, inférieure à 1 mm ou 6 mm. [0034] Entre la fin 24 de la section 16 et le début 26 de la section 20, le guide 12 comporte successivement, le long de l'axe 10 : une région initiale 28, une région centrale 30 et une région finale 32. Les régions 28, 30 et 32 sont des régions 25 horizontales rectangulaires dont deux des côtés sont perpendiculaires à l'axe 10. [0035] La région 28 s'étend, le long de l'axe 10, depuis un début 33 jusqu'à une fin 34. Ici, le début 33 est confondu avec le début 24 de la section 18. La fin 34 est représentée sur la figure 1 par un point situé à l'intersection d'un côté de la région 28 et de l'axe 10. La fin 34 est située à l'intérieur de la section 18 de ralentissement. 30 [0036] La région finale 32 s'étend, le long de l'axe 10, depuis un début 36 jusqu'à une fin 37. Ici, la fin 37 est confondue avec la fin 26. Le début 36 est situé à l'intérieur de la section 18. [0037] Le début et la fin de la région centrale 30 sont confondus avec, respectivement, la fin 34 et le début 36. Ainsi, par la suite, les références numériques 35 34 et 36 sont aussi utilisées pour désigner, respectivement, le début et la fin de la région centrale 30. [0038] Dans ce premier mode de réalisation, le guide 4 est symétrique par rapport à un plan médian vertical perpendiculaire à l'axe 10 et qui coupe l'axe 10 au milieu de la section 18. Par conséquent, les régions 28 et 30 sont symétriques l'une de l'autre 40 par rapport à ce plan et la région 30 n'est pas décrite plus en détail. 3049069 9 [0039] Chacune des régions 28, 30 et 32 s'étend le long de l'axe 10 sur une distance supérieure à dmin et, de préférence, supérieure à 2dmin ou 5dmin- dmin est définie par la relation suivante : dmin = Max[À ; 5p] où : - Max[...] est la fonction qui retourne la plus grande des valeurs listées entre les 5 crochets, - À est la longueur d'onde du signal optique, et - p est le pas entre les dents 40 et sera décrit plus loin. [0040] Par exemple, ici, la longueur des régions 28, 30 et 32 est supérieure à 5 lm et, de préférence, supérieure à 20 lm. 10 [0041] A l'intérieur de la région 28, la largeur du guide 12 décroît progressivement et de façon monotone et continue depuis une largeur égale à W1 jusqu'à une largeur égale à W3. De préférence, W3 est 1,3 fois ou 2 fois plus petit que W1. Pour cela, les flancs latéraux verticaux du guide 12 à l'intérieur de la région 28 sont disposés le long d'une limite latérale qui se rapproche continûment de l'axe 10 en allant du début 33 15 jusqu'à la fin 34. La projection orthogonale de cette limite dans un plan horizontal forme une courbe. Cette courbe se rapproche continûment de l'axe 10 en allant du début 33 jusqu'à la fin 34 sans présenter de point d'inflexion. De nombreuses formes sont possibles pour cette courbe et donc pour la limite latérale à l'intérieur de la région 28. Par exemple, ici, cette courbe est identique à la partie décroissante de 20 l'apodisation de Blackman. Toutefois, d'autres courbes sont possibles comme par exemple une droite décroissante ou une exponentielle décroissante ou autres. [0042] Juste avant le début 33, la largeur du guide 12 ne diminue pas. Ici, elle est constante. Juste après la fin 34, la largeur du guide 12 ne diminue plus. [0043] A l'intérieur de la région 30, la largeur du guide 12 est constante et égale à 25 W3. [0044] La section 18 de ralentissement comporte les dents latérales 40 disposées de façon périodique dans la direction X de manière à ralentir la propagation du signal optique dans cette direction. Pour simplifier la figure 1, la référence 40 n'a été indiquée que pour quelques-unes des dents représentées sur cette figure. Un 30 agrandissement d'une telle dent 40 est également visible sur la figure 2. [0045] Chaque dent 40 s'étend, le long d'une direction 41 (figure 2) d'extension depuis une extrémité proximale 42 jusqu'à une extrémité distale 44. Typiquement, la direction 41 est centrée sur la dent 40 et passe par le centre géométrique de cette dent 40. Le centre géométrique d'une dent est le barycentre de tous les points 35 appartenant à cette dent en affectant le même poids à chacun de ces points. Les directions 41 des dents 40 situées du même côté de l'axe 10 sont parallèles entre elles. Ici, la direction 41 est sensiblement parallèle à la direction Y. Ainsi, dans ce mode de réalisation, l'angle a entre la direction 41 et l'axe 10 est égal à 90° à plus ou moins 3° près ou plus ou moins 5° près. L'extrémité proximale 42 est ancrée dans les flancs latéraux du guide 12 et située sur la limite latérale de ce guide 12. Ainsi, le 304 906 9 10 flanc latéral du guide 12 situé entre deux dents 40 consécutives relie les extrémités proximales 42 de ces deux dents. Pour cela, il s'étend d'une extrémité proximale 42 jusqu'à la suivante dans la direction X. [0046] Les dents 40 sont réalisées en silicium dans la même couche de silicium que 5 celle utilisée pour réaliser la bande 24. Ainsi, chaque dent 40 ne forme qu'un seul bloc de matière avec le guide 12. [0047] Chaque dent 40 comporte un point 46 d'intersection respectif entre sa direction 41 d'extension et l'axe 10. [0048] Ici, chaque dent 40 comporte deux flancs latéraux verticaux 50, 52 qui 10 s'étendent chacun depuis l'extrémité proximale 42 jusqu'à l'extrémité distale 44. Ici, ces flancs 50 et 52 sont plats et tous les deux parallèles à la direction Y. Dans ce mode de réalisation, l'extrémité distale 44 est également plane. Elle est formée par un plan vertical parallèle à la direction X. Ainsi, la section horizontale d'une dent 40 est rectangulaire. 15 [0049] La largeur ID des dents 40 dans la direction X est constante. Par exemple, la largeur ID est comprise entre p/5 et p/(1,2) et, de préférence, égale à p/2. [0050] La longueur d'une dent 40 est ici définie comme étant la distance la plus courte, dans la direction Y, entre l'axe 10 et l'extrémité distale 44 de cette dent. [0051] Les dents 40 sont disposées avec un pas p régulier dans la direction X de 20 part et d'autre de l'axe 10. Le pas p est égal à la distance qui sépare deux points 46 d'intersection immédiatement consécutifs le long de l'axe 10. Le pas p est inférieur à Vneff et, de préférence, inférieur à À/(2neff), ou À/(4neff) où neff est l'indice effectif de propagation du mode optique se propageant dans le guide 4. L'indice ne' est aussi connu sous le nom de « constante de phase du mode ». Il est défini par la relation 25 suivante : ng = ne' - Àdneff/dÀ, où ng est l'indice de groupe. [0052] Le pas p est généralement supérieur à 50 nm. Ici, pour les applications numériques, le pas p est pris égal à 210 nm. [0053] Le facteur de remplissage de la section 18 est défini comme étant égal au rapport S1/S2 où : 30 - S1 est la surface de la projection orthogonale de la section 18 sur un plan horizontal, c'est-à-dire la surface de la projection orthogonale des parties réalisées en silicium du guide 4 et situées à l'intérieur de la section 18, et - S2 est la surface de la projection orthogonale de la plus petite enveloppe convexe qui contient entièrement la projection orthogonale de la section 18 sur ce même plan 35 horizontal. [0054] Ainsi, plus le facteur de remplissage est faible, plus la surface de silicium à l'intérieur de la section 18 est faible. Typiquement, le facteur de remplissage est compris entre 0,25 et 0,75 ou entre 0,45 et 0,55. Ici, le facteur de remplissage est choisi égal à 0,5. 3049069 11 [0055] La section 18 comporte trois régions horizontales immédiatement consécutives en allant dans la direction X : une région 56 d'élargissement, une région 58 intermédiaire et une région 60 de rétrécissement. Ces régions 56, 58 et 60 sont rectangulaires avec deux côtés parallèles à la direction Y. 5 [0056] La région 56 s'étend dans la direction X depuis le début 24 jusqu'à une fin 62. La région 60 s'étend dans la direction X depuis un début 64 jusqu'à la fin 26. Le début de la région 58 est confondu avec la fin 62 et porte donc la même référence numérique. La fin de la région 58 est confondue avec le début 64 et porte donc la même référence numérique. 10 [0057] Chacune de ces régions 56, 58 et 60 s'étend le long de l'axe 10 sur une distance supérieure à dmin et, de préférence, supérieure à 2dmin ou 5dmin. [0058] Dans ce mode de réalisation particulier, les régions 56, 58 et 60 sont identiques, respectivement, aux régions 28, 30 et 32. Ainsi, les débuts 24 et 33 sont confondus, les fins 34 et 62 sont confondues, les débuts 36 et 64 sont confondus et 15 les fins 26 et 37 sont confondues. [0059] La longueur des dents 40 situées à l'intérieur de la région 56 augmente progressivement de façon monotone et continue en allant du début 24 jusqu'à la fin 62. Ici, on considère qu'une dent 40 est située à l'intérieur d'une région si son point 46 d'intersection et compris entre le début et la fin de cette région. Par la suite, 20 l'expression « la dent de la région » signifie la dent située à l'intérieur de cette région. [0060] A cet effet, les extrémités distales 44 de chacune des dents 40 de la région 56 sont situées sur une courbe horizontale qui s'éloigne de façon monotone et continue de l'axe 10 en allant du début 24 jusqu'à la fin 62. De nombreuses formes sont possibles pour cette courbe. Par exemple, il peut s'agir d'une droite. Ici, cette 25 courbe est la partie croissante d'une apodisation de Blackman. Ici, la longueur de la dernière dent 40 de la région 56 est égale à W2. Typiquement, W2 est inférieur ou égal à 2À ou 5À. W2 est également strictement supérieur à W1/2 et, avantageusement, supérieur à W1. [0061] Au-delà de la région 56, la longueur des dents 40 n'augmente plus. Ainsi, les 30 dents de la région 58 ont ici toutes une longueur égale à W2. [0062] Dans ce mode de réalisation, la région 60 est le symétrie de la région 56 par rapport au plan vertical médian et ne sera donc pas décrite plus en détail. [0063] La figure 3 représente une coupe verticale, parallèle au plan YZ, qui coupe le guide 4 entre deux dents 40. Le guide 4 est réalisé sur un substrat 70 qui s'étend 35 principalement dans un plan horizontal. L'épaisseur du substrat 70 est typiquement supérieure à 100 lm ou 200 lm. Par exemple, le substrat 70 est réalisé en silicium. [0064] Une couche 72 en oxyde de silicium (Si02) est directement réalisée sur le substrat 70. [0065] Le guide 4 est réalisé en silicium monocristallin directement sur la couche 72. 40 Ici, le guide 4 est encapsulé à l'intérieur d'une autre couche 74 d'oxyde de silicium. 3049069 12 Plus précisément, le guide 4 comporte la dalle rectangulaire 22 en silicium monocristallin sur laquelle est réalisée la bande 24 qui définit la largeur du guide 12. Typiquement, les sections verticales de la dalle 22 et de la bande 24 sont rectangulaires. Sur la figure 3, les flancs latéraux verticaux du guide 12 situés de 5 chaque côté de l'axe 10 sont désignés par les références numériques 76 et 78. En pratique, à cause d'imperfections dans le procédé de fabrication du guide 4, les flancs verticaux ne sont pas parfaitement verticaux. Par exemple, l'angle entre les flancs verticaux et l'horizontale est compris entre 80° et 90°. Sur les figures, ces imperfections n'ont pas été représentées. 10 [0066] L'épaisseur e22 de la dalle 22 est généralement inférieure ou égale à l'épaisseur e24 de la bande 24. Par exemple, les épaisseurs e22 et e24 sont généralement inférieures ou égales à 500 nm ou inférieures ou égales à 250 nm. Pour les simulations numériques données ici, ces épaisseurs e22 et e24 sont toutes les deux choisies égales à 150 nm. 15 [0067] Pour modifier rapidement l'indice de réfraction nf du guide 12 en réponse à un signal électrique de commande, le guide 12 comporte une jonction PN (Positive-Négative) 80 verticale et située dans le plan longitudinal PL. Par exemple, la jonction 80 s'étend continûment, depuis le début 24 jusqu'à la fin 26. Pour réaliser la jonction 80, les zones du guide 4 situées à gauche du plan PL sont dopées P (symbole « P+ » 20 sur les figures 3 et 4) et les zones du guide 4 situées à droite de ce plan sont dopées N (symbole « N+ » sur les figures 3 et 4). [0068] Pour faire varier la densité des porteurs de charge au niveau de la jonction 80, les zones dopées P sont électriquement raccordées à une ou plusieurs prises 84 de contact et les zones dopées N sont électriquement raccordées à une ou 25 plusieurs prises 86 de contact. [0069] En appliquant une différence de potentiels entre les prises 84 et 86, la phase du signal optique qui se propage dans le guide 4 est modifiée. [0070] De préférence, les zones du guide 4 les plus éloignées du plan longitudinal PL et qui sont directement en contact mécanique et électrique avec les prises 84 et 30 86 sont dopées plus fortement (symbole « P++ » et « N++ », respectivement, sur les figures 3 et 4) que les zones plus proches du plan PL. [0071] La figure 4 représente une coupe verticale, parallèle au plan YZ, du guide 4 au niveau d'une paire de dents 40. Cette figure permet de voir, en coupe verticale, les deux dents 40 symétriques l'une de l'autre par rapport au plan PL. 35 [0072] Les figures 5 à 8 représentent l'évolution de l'indice de groupe ng et l'évolution des pertes de transmission à travers le guide 4 en fonction de la longueur d'onde À du signal optique qui se propage dans ce guide. Sur ces graphes : - la courbe qui représente l'évolution de l'indice ng en fonction de la longueur d'onde À est désignée par le symbole « ng », 40 - la courbe qui représente l'évolution des pertes de transmission en fonction de la 3049069 13 longueur d'onde À est repérée par le symbole « T », - l'axe des abscisses est gradué en nanomètres, - l'axe des ordonnées situé à gauche représente la valeur des pertes de transmission, - l'axe des ordonnées situé à droite représente la valeur de l'indice ng, et 5 - le rectangle hachuré au centre de ces graphes représente la bande interdite photonique du guide 4. [0073] Les graphes des figures 5 à 8 ont été obtenus par simulation numérique pour différentes valeurs des paramètres du guide 4. Plus précisément, la valeur de l'indice ng a été obtenue en mettant en oeuvre la méthode décrite dans l'article suivant : 10 - A. Debnath et al, « Extraction of group index of lossy photonic crystal waveguides », Optics Letters 193, 09/01/2015, Vol 40, no 2 ;. [0074] On rappelle que plus l'indice ng est élevé, plus le ralentissement du signal optique dans le guide à onde lente est important (ng=c/vg, où c est la célérité de la lumière et vg la vitesse de groupe). 15 [0075] Le graphe de la figure 5 a été obtenu dans le cas où : - la longueur L18 de la section 18 est égale à 20 lm, - W2 = 2000 nm, - W1 = W3 = 400 nm (ainsi les régions 28 et 32 sont omises), - les régions 56 et 60 sont omises. 20 [0076] Puisque les régions 28 et 32 ne sont pas mises en oeuvre, ce cas correspond à un cas connu de l'état de la technique. Dans ce cas, on observe qu'il est possible d'atteindre des indices ng élevé, c'est-à-dire supérieur à 10 de chaque côté de la bande interdite photonique. Toutefois, les pertes de transmission oscillent fortement à droite de la bande interdite photonique et sont importantes à proximité de la bande 25 interdite photonique (zone hachurée). [0077] Le graphe de la figure 6 a été obtenu dans le cas où : - la longueur L18 de la section 18 est égale à 20 lm, - W2 = 2000 nm, - W1 = W3 = 400 nm (ainsi les régions 28 et 32 sont omises), 30 - les régions 56 et 60 sont présentes. [0078] Le graphe de la figure 6 illustre donc aussi des résultats obtenus en absence de mise en oeuvre des régions 28 et 32 et correspond donc à une architecture connue de l'état de la technique. Dans ce cas, on constate que les oscillations des pertes de transmission à proximité des bords de la bande interdite photonique sont 35 fortement réduites. Par contre, les valeurs maximales de l'indice ng à gauche et à droite de la bande interdite photonique sont aussi fortement réduites. Ici, ces valeurs maximales sont maintenant inférieures à 9. [0079] Le graphe de la figure 7 a été obtenu dans le cas où : - la longueur L18 de la section 18 est égale à 20 lm, 3049069 14 - W2 = 2000 nm, - W1 = 400 nm et W3= 200 nm, - les régions 28, 32, 56 et 60 sont présentes et les régions 30 et 58 sont omises (leur longueur est nulle). 5 [0080] Dans ce cas, les régions 28, 32, 56 et 60 sont simultanément mises en oeuvre. Cela se traduit par une forte croissance des valeurs maximales de l'indice ng à proximité des bords droit et gauche de la bande interdite photonique par rapport au cas de la figure 6. De plus, cette augmentation est obtenue en conservant des oscillations des pertes de transmission sur les bords droit et gauche de la bande 10 interdite photonique bien plus faible que celles observées dans le cas de la figure 5. Enfin, on observe un élargissement important de la bande interdite photonique. [0081] Le graphe de la figure 8 a été obtenu dans le cas où : - la longueur L18 de la section 18 est égale à 60 lm, - W2 = 2000 nm, 15 - W1 = 400 nm et W3= 200 nm, - les régions 28, 32, 56 et 60 sont présentes et les régions 30 et 58 sont omises. [0082] Dans ce cas aussi, les régions 28, 32, 56 et 60 sont simultanément mises en oeuvre. On constate que l'augmentation de la longueur L18 se traduit par une augmentation des valeurs maximales de l'indice ng sur les bords droit et gauche de la 20 bande interdite photonique par rapport au cas de la figure 7. De plus, les oscillations des pertes de transmission à droite de la bande interdite photonique sont supprimées et l'amplitude de ces oscillations à gauche de la bande interdite photonique est limitée. [0083] La figure 9 représente l'évolution de la valeur de l'indice ng en fonction de la 25 longueur d'onde du signal optique dans la partie située à gauche de la bande interdite photonique. Sur ce graphe, comme sur le graphe de la figure 10, le bord gauche de la bande interdite photonique commence à 1,23 lm. Les courbes ng20 et ng6o correspondent aux valeurs de l'indice ng dans les mêmes configurations que celles décrites, respectivement, pour les figures 7 et 8. La courbe nec) correspond à la 30 même configuration du guide à onde lente que celle décrite dans le cas de la figure 7 mais avec une longueur L18 de 40 lm pour la section 18. [0084] La figure 10 représente l'évolution de la valeur des pertes de transmission en fonction de la longueur d'onde du signal optique dans la partie située à gauche de la bande interdite photonique. Sur ce graphe, plus les pertes de transmission sont 35 faibles, plus la valeur est proche de 0. Les courbes T20, T40 et T60 correspondent, respectivement, aux mêmes configurations du guide à onde lente que celles décrites pour les courbes ng2o, ng40 et ngoo. [0085] On remarque que dans le cas où la section 18 fait 60 lm de longueur, on peut obtenir les points de fonctionnement suivant pour le guide à onde lente : 3049069 15 - premier point de fonctionnement : ÀR1 = 1,2275 lm, ng = 12 et les pertes de transmission sont inférieures à 1 dB, - deuxième point de fonctionnement : ÀR2 = 1,2285 lm, ng > 25 et les pertes de transmission sont inférieures à 2,5 dB. 5 [0086] Ces deux points de fonctionnement sont meilleurs que ceux possibles avec les cas décrits en référence aux figures 5 et 6. En particulier, ils permettent d'avoir à la fois un fort ralentissement du signal optique et de faible perte de transmission. [0087] En chauffant le guide à onde lente avec la chaufferette 6, cela décale horizontalement les courbes des graphes des figures 5 à 10 sans modifier l'allure de 10 ces courbes. En d'autres termes, le fait de chauffer le guide 4 modifie les valeurs ÀR1 et ÀR2 des premier et second points de fonctionnement mais ne modifie pas la valeur de l'indice ng et des pertes de transmission de ces premier et second points de fonctionnement. [0088] Typiquement, le circuit 8 de commande est conçu pour chauffer le guide 4 15 jusqu'à atteindre le point de fonctionnement souhaité. Par exemple, si l'on souhaite utiliser le premier point de fonctionnement décrit précédemment, le circuit 8 commande la chaufferette 6 jusqu'à ce que la valeur ÀR1 soit égale à la longueur d'onde À du signal optique guidé par le guide 4. Une fois le point de fonctionnement atteint, le circuit 8 commande la chaufferette 6 pour maintenir le fonctionnement du 20 guide 4 sur ce point de fonctionnement. [0089] La figure 11 représente un guide à onde lente 100 susceptible d'être utilisé à la place du guide 4 dans le modulateur 2. Le guide 100 est identique au guide 4 sauf que les régions 28, 30 et 32 ne sont plus confondues avec les régions, respectivement, 56, 58 et 60. Plus précisément, dans le guide 100 : 25 - la région 28 débute avant la région 56 et se termine avant la fin 62 de la région 56, - la région 32 débute après le début 64 de la région 60 et se termine après la fin 26 de la région 60, - la région 30 débute avant le début 62 de la région 58 et se termine après la fin 64 de la région 58. 30 [0090] Sur la figure 11, pour simplifier cette figure, à l'intérieur de la section 18, les dents 40 n'ont pas été représentées. À l'intérieur de cette section 18, seules les courbes sur lesquelles sont situées les extrémités distales 44 et les limites latérales du guide 12 ont été représentées par des lignes en pointillés. [0091] La figure 12 représente une partie d'un guide à onde lente 110 dans lequel la 35 jonction 80 est remplacée par une succession, dans la direction X, de plusieurs jonctions PN 112. Chacune de ces jonctions 112 est située dans un plan vertical respectif parallèle au plan YZ. Pour cela, les zones dopées P et N sont réparties en alternance le long de l'axe 10. De préférence, chaque zone dopée comprend au moins une paire de dents 40 symétriques l'une par rapport à l'autre par rapport au 3049069 16 plan PL. Chaque zone dopée est par exemple raccordée électriquement à un potentiel électrique par l'intermédiaire d'une prise de contact de façon similaire à ce qui a été décrit en référence aux figures 3 et 4. [0092] De nombreux autres modes de réalisation sont possibles. Par exemple, le 5 guide à onde lente peut être utilisé dans d'autres applications qu'un modulateur de phase ou d'amplitude d'un signal optique. Dans ce cas, la jonction PN propre à modifier la densité de charges à l'intérieur de ce guide à onde lente peut être omise. Par exemple, le guide à onde lente ne comporte alors aucune partie dopée. À titre d'exemple d'une autre application possible, on peut citer l'utilisation du guide 4 en tant 10 que filtre. Dans ce cas, c'est sa capacité à stopper la propagation d'un signal optique à l'intérieur d'une bande interdite photonique qui est exploitée. Dans le cas où le guide à onde lente est utilisé, par exemple, en tant que filtre, la structure du guide à onde lente peut être celle connue sous le terme anglais de « Strip ». Autrement dit, la dalle 22 représentée sur les figures 3 et 4 peut être omise. De même, les prises de 15 contact électriques sont omises. [0093] En variante, la valeur W3 est égale à zéro. En effet, le signal optique peut quand même se propager le long de l'axe 10 même dans ce cas particulier car les distances entre les dents 40 sont très courtes. [0094] Le guide à onde lente n'est pas nécessairement symétrique par rapport au 20 plan médian vertical. Par exemple, la région initiale peut être plus courte ou plus longue que la région finale. De même, la région d'élargissement peut être plus courte ou plus longue que la région de rétrécissement. [0095] Quel que soit le mode de réalisation, la région centrale peut être omise. De même, la région intermédiaire peut aussi être omise. Dans ces cas, la fin de la région 25 initiale est confondue avec le début de la région finale et/ou la fin de la région d'élargissement est confondue avec le début de la région de rétrécissement. [0096] En variante, l'angle entre la direction 41 d'extension des dents 40 et l'axe 10 est différent de 90°. Par exemple, cet angle est compris entre 30° et 150° ou entre 45° et 135°. Ainsi, dans ces modes de réalisation, les dents sont inclinées soit vers 30 l'avant soit vers l'arrière par rapport à la direction de propagation du signal optique. [0097] Les dents 40 peuvent avoir d'autres formes. En particulier, il n'est pas nécessaire que la section horizontale de ces dents soit rectangulaire. Par exemple, la section horizontale de la dent 40 peut aussi être triangulaire. La dent 40 peut aussi avoir une section horizontale identique à celle représentée dans l'article Al ou A2. 35 [0098] La valeur W2 peut être supérieure à 2À. Toutefois, dans ce cas, la partie de la dent 40 qui s'étend au-delà de 2À a très peu d'influence sur le fonctionnement du guide à onde lente. Dès lors, lorsque la valeur W2 est supérieure à 2À, la longueur des dents 40 peut être quelconque à partir du moment où elle reste supérieure à 2À. En particulier, dans ce cas, il n'est pas nécessaire que toutes les dents 40 situées à 40 l'intérieur de la région intermédiaire 58 aient la même longueur. Par exemple, en 3049069 17 variante, la longueur d'une dent 40 de la région intermédiaire 58 est supérieure à la longueur de la dent 40 qui la suit immédiatement. De même, dans ce cas, les dents 40 dont les longueurs sont supérieures à 2À n'ont pas besoin d'être symétriques, par rapport au plan PL. 5 [0099] En variante, la jonction 80 s'étend le long de l'axe 10 sur une distance plus grand ou plus petite que la longueur de la section 18. Par exemple, dans un autre mode de réalisation, la jonction 80 s'étend uniquement du début 34 jusqu'à la fin 36 de la région centrale 30. [00100] Dans une autre variante, la jonction PN est remplacée par une jonction PIN 10 (« Positive Intrinsic Negative ») telle que celle utilisée dans les diodes PIN. [00101] Le chevauchement entre les régions 28, 56 ou les régions 30, 58 ou les régions 32, 60 peut être agencé de n'importe quelle façon à partir du moment où la longueur du chevauchement entre ces deux régions le long de l'axe 10, est supérieure à dmin ou 2dmin ou 5dmin. Par exemple, les régions 28, 30 et 32 peuvent 15 débuter avant ou après le début des régions, respectivement, 56, 58 et 60. De même, les régions 28, 30 et 32 peuvent se terminer avant ou après la fin des régions, respectivement, 56, 58 et 60. [00102] Dans un autre mode de réalisation, plusieurs guides à onde lente tels que ceux décrits ci-dessus sont raccordés en série les uns après les autres. 20 [00103] Dans la région centrale 30, la largeur du guide d'onde central n'est pas nécessairement constante. Par exemple, cette largeur peut varier périodiquement. [00104] Le guide à onde lente peut être réalisé dans d'autres matériaux que du silicium. Par exemple, lorsque le guide à onde lente est encapsulé dans de l'oxyde de silicium, le guide 4 peut être réalisé en nitrure de silicium ou en nitrure d'aluminium ou 25 en germanium. De même, le guide à onde lente peut être encapsulé dans d'autres matériaux que de l'oxyde de silicium. Par exemple, lorsque le guide 4 est réalisé en silicium, il peut être encapsulé dans du nitrure de silicium, du TiO2 , A1203, ou du nitrure d'aluminium, ou encore d'autres matériaux comme les matériaux chalcogénures 30 [00105] En variante, le même guide à onde lente est utilisé pour ralentir simultanément plusieurs signaux optiques ayant des longueurs d'onde différentes. Par exemple, dans ce cas, chaque longueur d'onde différente correspond à un point de fonctionnement respectif du guide à onde lente. REVENDICATIONS1. Guide à onde lente apte à ralentir la propagation d'un signal optique qu'il guide, ce guide comporte : - un substrat (70) qui s'étend essentiellement dans un plan appelé « plan du substrat », - un axe optique (10) tangent en tout point à la direction de propagation du signal optique à l'intérieur du guide à onde lente, cet axe optique s'étendant dans un plan parallèle au plan du substrat, - une section (18) de ralentissement apte à ralentir la propagation du signal optique, cette section comportant à cet effet des dents latérales (40) disposées de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique avec un pas régulier p le long de l'axe optique depuis le début (24) de cette section de ralentissement jusqu'à sa fin (26), chaque dent latérale s'étend continûment le long d'une direction (41) d'extension parallèle au plan du substrat, depuis une extrémité proximale (42) jusqu'à une extrémité distale (44) qui constitue la partie de la dent latérale la plus éloignée de l'axe optique et chaque dent latérale comportant un point (46) d'intersection entre sa direction d'extension et l'axe optique, la longueur de chaque dent latérale étant égale à la distance la plus courte entre l'axe optique et son extrémité distale, - un guide (12) d'onde central qui s'étend le long de l'axe optique et qui comporte de chaque côté de l'axe optique des flancs latéraux (76, 78), la largeur du guide d'onde central, à l'intérieur de la section de ralentissement, étant définie uniquement entre deux dents latérales immédiatement consécutives et prise égale à la distance la plus courte, mesurée dans une direction transversale parallèle au plan du substrat et perpendiculaire à l'axe optique, entre les flancs latéraux du guide d'onde central situés de chaque côté de l'axe optique et entre ces dents latérales consécutives, - une région (56) d'élargissement s'étendant le long de l'axe optique, sur une distance supérieure à dmin depuis un début (24), confondu avec le début de la section de ralentissement, jusqu'à une fin (62) située à l'intérieur de la section de ralentissement, la distance dmin étant une distance égale au plus grand de la longueur d'onde À du signal optique et de 5p, où p est le pas entre les dents latérales (40), la longueur des dents latérales situées à l'intérieur de la région d'élargissement augmentant continûment en allant du début jusqu'à la fin de cette région d'élargissement, les extrémités distales (44) de toutes les dents latérales situées d'un même côté de l'axe optique à l'intérieur de cette région d'élargissement étant toutes situées, à cet effet, sur une courbe qui s'éloigne continûment de l'axe optique, la longueur de la dent latérale située juste après la fin de la région d'élargissement étant égale ou inférieure 3049069 19 à la longueur de la dernière dent latérale située à l'intérieur de cette région d'élargissement, - une région (60) de rétrécissement qui s'étend le long de l'axe optique sur une distance supérieure à dmin depuis un début (64), situé à l'intérieur de la section de 5 ralentissement, jusqu'à une fin (26) confondue avec la fin de la section de ralentissement, la longueur des dents latérales situées à l'intérieur de la région de rétrécissement, diminuant continûment en allant du début (64) jusqu'à la fin (26) de cette région de rétrécissement, les extrémités distales (44) de toutes les dents latérales situées d'un même côté de l'axe optique à l'intérieur de cette région de 10 rétrécissement étant toutes situées, à cet effet, sur une courbe qui se rapproche continûment de l'axe optique, la longueur de la dent latérale située juste avant le début de la région de rétrécissement étant égale ou inférieure à la longueur de la première dent latérale située à l'intérieur de cette région de rétrécissement, caractérisé en ce que le guide à onde lente comporte aussi : 15 - une région initiale (28) qui s'étend, le long de l'axe optique, sur une distance supérieure à dmin, depuis un début (33) à partir duquel la largeur du guide d'onde central commence à diminuer continûment jusqu'à une fin (34) au-delà de laquelle la largeur du guide d'onde central ne diminue plus jusqu'à la fin de la section de ralentissement, cette région initiale chevauchant la région d'élargissement sur une 20 distance non nulle supérieure à dmin, - une région finale (32) qui s'étend, le long de l'axe optique, sur une distance supérieure à dmin, depuis un début (36) à partir duquel la largeur du guide d'onde central commence à augmenter continûment jusqu'à une fin (37) au-delà de laquelle la largeur du guide d'onde central n'augmente plus, cette région finale chevauchant la 25 région de rétrécissement sur une distance non nulle supérieure à dmin- 2. Guide selon la revendication 1, dans lequel la longueur de la section de ralentissement entre son début (24) et sa fin (26) est supérieure à 15 lm ou 50 lm. 30 3. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'angle entre la direction (41) d'extension de chaque dent latérale et l'axe optique (10) est compris entre 85° et 95°. 4. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le 35 guide à onde lente comporte une région intermédiaire (58) qui s'étend le long de l'axe optique sur une distance supérieure à dmin depuis un début (62) confondu avec la fin de la région (56) d'élargissement jusqu'à une fin (64) confondue avec le début de la 3049069 20 région (60) de rétrécissement, la longueur des dents à l'intérieur de cette région intermédiaire étant constante. 5. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le 5 guide à onde lente comporte une région centrale (30) qui s'étend le long de l'axe optique sur une distance supérieure à dmin depuis un début (34) confondu avec la fin de la région initiale (28) jusqu'à une fin (36) confondue avec le début de la région finale (32), la largeur du guide d'onde central à l'intérieur de cette région centrale étant constante. 10 6. Guide selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la fin (62) de la région (56) d'élargissement est confondue avec le début (64) de la région (60) de rétrécissement et la fin (34) de région initiale (28) est confondue avec le début (36) de la région finale (32). 15 7. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la largeur du guide (12) d'onde central est deux fois plus grande au début (33) de la région initiale qu'à la fin (34) de cette région initiale, et la largeur du guide (12) d'onde central est deux fois plus petite au début (36) de la région finale qu'à la fin (37) de la 20 région finale. 8. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le rapport S1/S2 est compris entre 0,25 et 0,75, où : - S1 est la surface de la projection orthogonale de la section (18) de ralentissement 25 sur le plan du substrat, et - S2 est la surface de la plus petite enveloppe convexe qui contient entièrement la projection orthogonale de la section (18) de ralentissement. 9. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel : 30 - le pas p est strictement inférieur à À/neff, où À est la longueur d'onde du signal optique et ne est l'indice effectif de propagation du signal optique se propageant dans ce guide à onde lente, - la direction d'extension de chaque dent latérale forme un angle constant avec l'axe optique, 35 - les flancs latéraux (76, 78) du guide d'onde central sont disposés de façon symétriques de chaque côté de l'axe optique. 3049069 21 10. Guide selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel : - le guide (12) à onde lente comporte une chaufferette (6) apte à chauffer le guide d'onde central à une température souhaitée en réponse à un signal électrique de commande, et 5 - un circuit (8) de commande apte à générer le signal électrique de commande qui permet de maintenir le guide d'onde central à une température où l'indice de groupe ng du mode fondamental TE du signal optique qui se propage dans le guide d'onde central est supérieur ou égal à huit. 10 11. Modulateur, à semi-conducteur, de la phase ou de l'amplitude d'un signal optique, ce modulateur comportant : - un guide (4 ; 110) à onde lente, et - un dispositif commandable (80 ; 112) apte à faire varier la densité des porteurs libres de charge à l'intérieur du guide à onde lente en réponse à un signal de 15 commande électrique pour moduler la phase ou l'amplitude du signal optique, caractérisé en ce que le guide à onde lente est conforme à l'une quelconque des revendications précédentes. 12. Modulateur selon la revendication 11, dans lequel le guide (12) d'onde central 20 comporte au moins une jonction PN (80 ; 112) ou PIN et le modulateur comporte des prises (84, 86) de contact apte à appliquer une différence de potentiels de part et d'autre de cette jonction PN ou PIN pour faire varier la densité des porteurs de charge à l'intérieur du guide d'onde central en réponse à un signal électrique de commande.