FR 3047607 A1 20170811 FR 1650899 A 20160204 1 TRANSISTOR A HETEROJONCTION A CONFINEMENT DE GAZ D'ELECTRONS AMELIORE L'invention concerne les transistors à haute mobilité électronique basés sur 5 la présence d'hétérojonctions, et en particulier les transistors à hétérojonction faisant appel à des couches semi-conductrices de GaN. De nombreuses applications électroniques nécessitent dorénavant une amélioration de performances surtout dans l'électronique embarquée à destination de l'automobile et des transports terrestres, dans l'aéronautique, dans 10 les systèmes médicaux ou dans des solutions domotiques par exemple. Ces applications nécessitent pour la plupart des commutateurs pour forte puissance fonctionnant dans des gammes de fréquences fréquemment supérieures au megahertz. Historiquement, des commutateurs de puissance ont longtemps fait appel 15 à des transistors à effet de champ basés sur un canal semi-conducteur, le plus souvent du silicium. Pour des fréquences plus faibles, les transistors à jonction sont préférés car ils supportent des densités de courant plus élevées. Cependant, du fait de la tension de claquage relativement limitée de chacun de ces transistors, les applications de puissance nécessitent l'utilisation d'un grand 20 nombre de transistors en série, ou des transistors plus longs, ce qui aboutit à une résistance de passage plus élevée. Les pertes à travers ces transistors en série sont considérables, aussi bien en régime établi qu'en commutation. Une alternative pour des commutateurs de puissance, notamment à hautes fréquences, est l'utilisation de transistors à effet de champ à haute mobilité 25 d'électrons, également désignés par le terme de transistor à effet de champ à hétérostructure. Un tel transistor inclut la superposition de deux couches semiconductrices ayant des bandes interdites différentes qui forment un puit quantique à leur interface. Des électrons sont confinés dans ce puits quantique pour former un gaz bidimensionnel d'électrons. Pour des raisons de tenue en haute tension 30 et en température, ces transistors sont choisis de façon à présenter une large bande d'énergie interdite. Parmi les transistors HEMT à large bande d'énergie interdite, les transistors à base de nitrure de gallium sont très prometteurs. Leur largeur de bande d'énergie interdite induit un champ électrique critique plus élevé comparé 35 aux matériaux classiques de l'électronique, une vitesse de saturation élevée des porteurs et de bonnes stabilités thermique et chimique. Le champ de claquage du nitrure de gallium peut ainsi être supérieur à 2x1 06 V/cm, ce qui permet aisément de réaliser des transistors compacts avec des tensions de claquage supérieures à 600 V. De plus, de tels transistors permettent de très grandes densités de ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 2 courant du fait de la très grande mobilité électronique et de la forte densité électronique dans le gaz d'électrons d'interface. Le document 'Characteristics of AIGaN/GaN/AIGaN double heterojunction HEMTs with an improved breakdown voltage' publié dans l'édition de janvier 5 2012, volume 33, numéro 1 de Journal of Semiconductors, décrit une première structure de transistor HEMT. Cette structure comprend un substrat en SiC, surmonté d'une couche de nucléation en AIN de 100 nm, surmontée d'une couche tampon en GaN de 1,5 pm, surmontée d'une couche intermédiaire en AIN de 1 nm, surmontée d'une couche barrière en AIGaN de 22 nm, surmontée d'une 10 couche de GaN de 1 nm, sur laquelle la source, la grille et le drain du transistor sont formés. Une couche de gaz d'électrons est formée à l'interface entre la couche tampon de GaN et la couche barrière d'AIGaN, la couche intermédiaire en AIN étant considéré comme appartenant à cette interface. En pratique, la couche tampon en GaN présente une barrière de potentiel 15 relativement basse, de sorte que des électrons de la couche de gaz d'électrons peuvent facilement sortir du puits de potentiel pour être piégés dans la couche tampon en GaN, par exemple dans le cas où le transistor est bloqué. Les performances de conduction du transistor sont alors fortement dégradées car la densité en électrons est réduite. 20 Il a été proposé d'inclure du carbone ou du magnésium dans la couche tampon à une proportion non négligeable afin de limiter la sortie du puits de potentiel en élevant la bande de conduction. Cependant, les électrons sortants effectivement du puits de potentiel sont alors piégés dans la couche tampon où une forte concentration de niveau profonds est présente. 25 Le document 'Characteristics of AIGaN/GaN/AIGaN double heterojunction HEMTs with an improved breakdown voltage' décrit une deuxième structure de transistor HEMT destinée à former une barrière électrique entre la couche de gaz d'électrons et la couche tampon, afin d'empêcher l'injection des électrons vers cette couche tampon. Cette structure comprend un substrat en SiC, surmonté 30 d'une couche de nucléation en AIN de 100 nm, surmontée d'une couche tampon en Alo,o7Gao,93N de 1,5 pm' surmontée d'une couche de canal en GaN de 10 nm, surmontée d'une couche intermédiaire en AIN de 1 nm, surmontée d'une couche barrière en AIGaN de 22 nm, surmontée d'une couche de GaN de 1 nm, sur laquelle la source, la grille et le drain du transistor sont formés. Une couche de 35 gaz d'électrons est formée à l'interface entre la couche de canal en GaN et la couche barrière d'AIGaN, la couche intermédiaire en AIN étant considéré comme appartenant à cette interface. Cette structure est désignée par le terme de HEMT à double heterojonction. La couche tampon permet de relever l'énergie de la bande de conduction et confine les électrons dans la couche canal. ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 3 Cependant, une telle structure présente encore une barrière électrique insuffisante. En outre, la présence de la couche barrière en AlGaN induit des contraintes mécaniques supplémentaires dans la structure du transistor. L'invention vise à résoudre un ou plusieurs de ces inconvénients. 5 L'invention porte ainsi sur un transistor à hétérojonction à haute mobilité électronique, comprenant : -une première couche de GaN ; -une deuxième couche de GaN à dopage de type P formée sur la première couche de GaN; 10 -une troisième couche de GaN à dopage de type N formée sur la deuxième couche de GaN de façon à former une jonction p/n déplétée ; -une quatrième couche de GaN non intentionnellement dopée et formée sur la troisième couche de GaN; -une couche semi conductrice formée à l'aplomb de la quatrième couche de 15 GaN non intentionnellement dopée pour former une couche de gaz d'électrons. L'invention porte également sur les variantes suivantes. L'homme du métier comprendra que chacune des caractéristiques des variantes suivantes peut être combinée indépendamment aux caractéristiques ci-dessus, sans pour 20 autant constituer une généralisation intermédiaire. Selon une variante, la deuxième couche de GaN inclut du Magnésium formant un dopant de type P. Selon encore une variante, la concentration en magnésium dans la deuxième couche de GaN est au moins égale à 5 * 1016 cm-3. 25 Selon une autre variante, la concentration en magnésium dans la deuxième couche de GaN est au maximum égale à 2 * 1018 cm-3. Selon encore une autre variante, ladite deuxième couche de GaN présente une épaisseur comprise entre 20 et 50 nm. Selon une variante, la troisième couche de GaN inclut du Silicium formant 30 un dopant de type N. Selon une autre variante, la concentration en Silicium dans la troisième couche de GaN est au moins égale à 1,5 * 1016 cm-3. Selon encore une autre variante, la concentration en Silicium dans la troisième couche de GaN est au maximum égale à 2 * 1018 cm-3. 35 Selon une autre variante, ladite troisième couche de GaN présente une épaisseur comprise entre 10 et 100 nm. Selon encore une autre variante, ladite quatrième couche comporte une concentration en dopants inférieure à 1 * 1016 cm-3. Selon une variante, ladite quatrième couche présente une épaisseur 40 comprise entre 50 et 100nm. ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 4 Selon une autre variante, ladite première couche de GaN présente une concentration en carbone supérieure à celle des deuxième et troisième couches de GaN. Selon encore une variante, ladite couche semi conductrice inclut de 5 l'AIGaN. Selon encore une autre variante, le transistor comprend une autre couche semiconductrice d'une épaisseur comprise entre 0,5 et 2nm disposée entre la quatrième couche de GaN et ladite couche semiconductrice formée à l'aplomb de la quatrième couche de GaN, cette autre couche semiconductrice étant un alliage 10 comportant un composant commun avec le GaN et un autre composant commun avec ladite couche semiconductrice formée à l'aplomb de la quatrième couche de GaN. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront 15 clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : -la figure 1 est une vue en coupe d'un exemple de transistor à hétérojonction à haute mobilité électronique selon l'invention ; -les figures 2 et 3 sont des diagrammes de bandes de conduction d'un 20 transistor selon l'invention et d'un transistor selon l'état de la technique ; -la figure 4 est une vue en coupe d'un exemple d'une autre variante de transistor à heterojonction à haute mobilité électronique selon l'invention. La figure 1 est une vue en coupe schématique d'un exemple de transistor 25 à hétérojonction à haute mobilité électronique selon un mode de réalisation de l'invention. Le transistor 1 comporte un substrat 11, une couche intermédiaire 12 disposée sur le substrat 11, une couche tampon de GaN 13 disposée sur la couche intermédiaire 12, une couche de GaN dopée P 14 disposée sur la couche tampon de GaN 13, une couche de GaN dopée N 15 disposée sur la couche de 30 GaN 14, et une couche de GaN non intentionnellement dopée 16 disposée sur la couche 15. Le transistor 1 comprend en outre une couche d'AIGaN 17 disposée sur la couche 16. Un gaz d'électrons est intrinsèquement formé par hétérojonction à l'interface entre la couche 17 et la couche 16. Dans un souci de lisibilité, le gaz d'électrons est illustré sous forme de couche 18 à l'interface entre la couche 16 35 et la couche 17. Une couche intermédiaire non illustrée peut être interposée entre les couches 16 et 17, par exemple pour accroître la densité d'électrons et la mobilité dans le gaz d'électrons. Une telle couche intermédiaire est typiquement extrêmement fine (par exemple 1nm) est peut être réalisée en AIN (particulièrement adapté à l'interface entre une couche 16 en GaN et une couche 40 17 en AIGaN). ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 De façon connue en soi, le transistor 1 comporte une source 21, un drain 22 et une grille de commande 23 formés sur la couche d'AIGaN 17. La source 21, le drain 22 et la grille de commande 23 sont illustrés uniquement schématiquement, leurs dimensions et leurs structures pouvant différer fortement 5 de l'illustration de la figure 1. Le substrat 11 peut être un isolant ou un semi-conducteur de type silicium intrinsèque ou dopé, ou du SiC ou du saphire. Le substrat 11 peut typiquement présenter une épaisseur de l'ordre de 650 pm à 1 mm. La couche intermédiaire 12 (pouvant être formée d'une superposition de couches de transition) est déposée sur le substrat 11. La couche de transition 12 permet d'adapter les paramètres de maille cristalline entre les couches 11 et 13 de GaN. Cela permet de gérer les contraintes mécaniques entre le substrat 11 et une partie active de couches formées par l'épitaxie. La couche 12 peut inclure la superposition d'une couche de nucléation (typiquement de l'AIN avec une épaisseur d'environ 100nm) et plusieurs couches d'adaptation (par exemple plusieurs couches d'AIGaN avec une fraction molaire d'AIN décroissante, ou bien un super-réseau comprenant plusieurs bicouches AlxGa(1-x)N/GaN). Une telle couche intermédiaire 12 s'avère particulièrement avantageuse en 20 cas de forte inadaptation de paramètres de maille entre la couche 13 et le substrat 11, qui pourrait aboutir à des dislocations mécaniques dans ces couches. La couche tampon 13 peut présenter une épaisseur dépendante de la tension visée pour le transistor 1, par exemple une épaisseur de quelques 25 microns. Une épaisseur relativement importante de la couche tampon 13 permet de limiter les courants de fuite latéraux et verticaux dans le transistor 1 et aussi de mieux confiner la couche de gaz d'électrons 18. La couche tampon 13 peut par exemple être réalisée en GaN-Si (semi-isolant) dopé Carbone ou en la superposition d'une couche de GaN-Si/ AlxGa(1-x)N avec x faible, par exemple 30 compris entre 4 à 8%. La couche de GaN dopée P 14 présente par exemple une épaisseur de 50 nm et une concentration en accepteurs NA de 1 * 1017 cm-3. La couche de GaN dopée N 15 présente par exemple une épaisseur de 80 nm et une concentration 35 en donneurs ND de 2 * 1016 cm-3. Les couches 14 et 15 présentent une concentration en carbone inférieure à celle de la couche 13. Cette concentration en carbone est par exemple inférieure à 1*1016 cm-3. La couche de GaN non intentionnellement dopée 16 présente par exemple une épaisseur de 50 nm. Afin de favoriser une mobilité d'électrons maximale dans 40 la couche de gaz d'électrons 18, la couche de GaN 16 présente un dopage le plus ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 6 réduit possible. On considèrera par exemple qu'une couche 16 est non intentionnellement dopée si la concentration en dopants N et P est inférieure à 1 * 1016 cm-3. La couche d'AIGaN 17 présente par exemple une épaisseur de 25 nm. 5 Avantageusement, le dopage de la couche 14 dopée P est réalisé avec du Magnésium, élément chimique qui peut aisément être intégré dans la couche 14 lors d'une éventuelle formation par épitaxie. En outre, le Magnésium peut aisément être activé. Avantageusement, le dopage de la couche 15 dopée N est 10 réalisé avec du Silicium, élément chimique qui peut aisément être intégré dans la couche 15 lors d'une éventuelle formation par épitaxie. La superposition de la couche de GaN dopée P 14 à la couche de GaN dopée N 15 permet de former une jonction P/N déplétée, de façon à former une 15 barrière de potentiel particulièrement élevée sous la couche de gaz d'électrons. La jonction P/N formée peut être complètement déplétée avec des épaisseurs et concentrations en dopants appropriées dans les couches 14 et 15. En outre, une telle jonction est formée avec des matériaux compatibles avec la couche de GaN 16 non intentionnellement dopée destinée à former la couche de gaz d'électrons. En outre, une telle barrière de potentiel permet d'éviter la formation d'une couche d'AIGaN sous cette couche de GaN non intentionnellement dopée 16, ce qui permet de limiter les contraintes mécaniques à l'interface avec cette couche de GaN 16. Cette solution technique de l'invention peut s'appliquer à la fois pour un 25 transistor de type normalement ouvert ou un transistor de type normalement fermé. La figure 2 est un diagramme de bande de conduction du transistor 1 détaillé auparavant en fonction de la profondeur. À titre de comparaison, la figure 30 3 fournit un diagramme de bande de conduction d'un transistor de l'état de la technique en fonction de la profondeur. Le transistor de l'état de la technique pris en compte comporte une couche d'AIGaN de 25 nm formée sur une couche de GaN non intentionnellement dopée d'une épaisseur de 1,40 um. On constate que la barrière de potentiel pour le transistor 1 selon l'invention 35 est d'environ 1,3 eV. A contrario, la barrière de potentiel du transistor selon l'état de la technique est d'environ 0,15 eV. Le transistor 1 selon l'invention permet ainsi d'obtenir une barrière de potentiel particulièrement élevée pour éviter le piégeage des électrons de la couche de gaz d'électrons 18 dans la couche 13 par exemple. Des simulations ont permis de déterminer que la densité d'électrons dans les 40 couches de gaz d'électrons respectives de ces transistors sont sensiblement ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 7 équivalentes, d'environ 8,5 * 1012 cm-2 pour le transistor de l'exemple de la figure 3 contre environ 8,2 * 1012 cm-2 pour le transistor de l'exemple de la figure 2. La densité d'électrons de la couche de gaz d'électrons 18 selon l'invention reste donc particulièrement élevée. 5 L'influence de différents paramètres des couches 14, 15 et 16 sur la formation d'une barrière de potentiel pour la couche de gaz d'électrons 18 et la couche de GaN 16 sera davantage détaillée par la suite. 10 Selon une variante illustrée à la figure 4, une couche 19 de GaN est formée de façon connue en soi sur la couche d'AIGaN 17, afin d'éviter une oxydation de la couche d'AIGaN 17. On grave la couche 19 sous les contacts pour créer un contact avec la couche 17. La couche 19 présente par exemple une épaisseur comprise entre 1 et 3nm. 15 Pour permettre d'anticiper l'influence de différents paramètres sur les performances du transistor 1 selon l'invention, les notations suivantes vont être utilisées par la suite : Ns : la densité d'électrons dans la couche de gaz d'électrons (en cm-2); 20 I_12DEG : la mobilité des électrons dans la couche de gaz d'électrons (en cm2/Vs) ; ND : la densité volumique de donneurs dans la couche de GaN 15 dopée N (en cm-3) ; NA: la densité volumique d'accepteurs dans la couche de GaN 14 dopée P 25 (en cm-3) ; NA- : la densité volumique d'accepteurs dans une couche de GaN dopée P suffisamment épaisse pour être non déplétée (en cm-3) ; ND+ : la densité volumique de donneurs dans une couche de GaN dopée N suffisamment épaisse pour être non déplétée (en cm-3) ; 30 ni : la densité de porteurs intrinsèques dans une couche de GaN à température ambiante (en cm-3) ; RT : (pour Room Temperature en langue anglaise) la température ambiante prise en compte de 300K ; T : la température du substrat en K ; 35 Nsc : la densité d'électrons dans la couche 16 du transistor 1 (en cm-2); Wn : l'épaisseur de la couche de GaN 15 dopée N; Wnid : l'épaisseur de la couche de GaN 16 non intentionnellement dopée; Wp : l'épaisseur de la couche de GaN 14 dopée P; ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 8 Vbi : le potentiel de diffusion (désigné par le terme de built-in potential' en langue anglaise) de la jonction P/N formée à l'interface entre les couches 14 et 15 ; Vbbpn : la barrière de potentiel aux bornes de la jonction P/N déplétée ; 5 Vbbnid : la barrière de potentiel aux bornes de la couche de GaN 16 non intentionnellement dopée ; Vbb : la barrière de potentiel totale ; Eo: la permittivité du vide ; es.: la permittivité du GaN ; 10 k : la constante de Boltzman = 1,3806488 E-23 J/K q : la charge électronique =--.1,6 E19 C. Les accès du transistor 1 incluent les zones entre grille de commande 23 et drain 22, et entre grille de commande 23 et source 21, en incluant la couche 15 de gaz d'électrons 18. Le potentiel de diffusion de la jonction entre les couches 14 et 15 peut se définir comme suit : 20 Vbi(T) = k . T (N Amislinn) In 2 T) Avec un dopage P réalisé avec du Magnésium, l'énergie d'ionisation de l'accepteur Mg dans le GaN est d'environ 180meV. L'ionisation est donc partielle à la température RT. Il faut donc en tenir compte pour le calcul du Vbi par l'inégalité NA- Avec ni = 1.9 e-1° cm-3 à la température RT, ND ND+ =1 e16cm-3 (avec un dopage Silicium) et NA- = 1e17cm-3, on obtient Vbi 3.1 V. Vbi reste peu sensible aux variations de NA- et ND+ en raison du logarithme dans la relation et de la faible valeur de ni. La barrière de potentiel formée entre la couche de gaz d'électrons 18 et la couche tampon 13 (empêchant l'injection et le piégeage des électrons dans les couches profondes de la couche tampon 13) apparaît grâce au potentiel de diffusion Vbi, et inclut : -en partie une barrière de potentiel aux bornes de la jonction P/N formée 35 entre les couches 14 et 15 : ni. , ,,' vbbp.--(ivA-vv, -r zdvA vv p vv, - ND 2Es -en partie une barrière de potentiel aux bornes de la couche GaN 16 : ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 9 ,' ( Vbbrucl VvA vvp ND - vvn)- vv TA, nicl Dans la zone de charge d'espace de la jonction p/n, tous les accepteurs et donneurs sont ionisés et c'est donc leur concentration totale qui intervient dans les calculs (Na- =Na et Nd+ =Nd). 5 La barrière de potentiel obtenue par la combinaison des couches 14 et 15 atteint un niveau plus élevé que celui d'une éventuelle couche d'AIGaN placée sous la couche 16 de formation du gaz d'électrons (comme l'exemple détaillé dans 'Characteristics of AlGaN/GaN/AlGaN double heterojunction HEMTs with an improved breakdown voltage' cité en introduction). 10 On peut citer des règles de conception d'un tel transistor 1. Lorsque le dopant de la couche 14 est du Magnésium les limites extrêmes pour NA sont fixée par : 15 les capacités de la technologie d'épitaxie à incorporer et activer le Magnésium dans la couche 14 de GaN (en prenant en compte une limite de solubilité et la passivation par des complexes de type Mg-H notamment). La valeur maximale utilisable pour NA est à ce jour a priori de 1e19cm-3 20 La valeur nécessaire pour avoir un Vbi>3V, soit NA >3e16cm-3 On peut théoriquement concevoir un transistor 1 selon l'invention dans cette plage de valeurs. En pratique, on utilisera avantageusement une concentration 1e17cm-3 1e17cm-3 permet d'obtenir une barrière de potentiel enterrée (Back Barrier en langue anglaise) significative 25 (>1.3V) et NA 15nm). Pour la couche 15, on peut sélectionner par exemple une valeur ND comprise entre 1e17cm-3 et NA, en particulier avec du Si comme dopant. 30 On peut ensuite calculer le potentiel de diffusion Vbi selon la relation détaillée précédemment. On peut alors calculer une épaisseur correspondante Wn0 de déplétion totale dans une couche GaN n et une épaisseur correspondante Wp0 de déplétion 35 totale dans une couche GaN P dans le cas où les couches N et P auraient des épaisseurs supérieures à Wn0 et WpO, respectivement. On peut ensuite déterminer les épaisseurs des couches GaN 15 et GaN 14 à réaliser pour que celles-ci soient complètement déplétées, en respectant seulement les inégalités suivantes : ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 10 Wn0 Wn ; et Wp0 Wp La couche de GaN 14 est avantageusement complètement déplétée, pour 5 éviter de conserver une couche conductrice de trous qui empêcherait le champ électrique de se développer dans l'épaisseur de la couche de GaN 13, ce qui induirait une forte dégradation de la tenue en tension du transistor. W lOnm). On peut choisir une valeur Wp de 28nm par exemple. Une diminution de la valeur Wp abaisse le niveau de la barrière de potentiel. Par contre, une 15 diminution de la valeur Wp garantit la déplétion de la couche de GaN 14. Avantageusement, Wp est compris entre 30 et 50nm, et de préférence égal à 50nm. Pour obtenir une déplétion complète de la couche GaN 15, on vérifie la 20 relation suivante : Wn Wn), de sorte que la couche de GaN 15 soit complètement déplétée sous les électrodes du transistor 1. Par exemple, pour une valeur Wn0 de 41nm, on peut choisir une 35 valeur Wn inférieure à 41nm. ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 11 Avec Wn =28nm et Wp = 28nm et NA = ND =1 e18cm-3, on obtient une barrière de potentiel d'environ 1,7eV dont 0,9eV aux bornes de la jonction et 0,3eV aux bornes de la couche 16. 5 L'épaisseur de la couche 16 est avantageusement suffisamment épaisse pour éviter toute perturbation de la couche de gaz d'électrons 18 au niveau des électrodes du transistor par l'influence des dopants des couches 14 et 15. Ainsi, avantageusement, 100 nm Wnid 50nm (par exemple obtenu avec Wn=28nm et Wn+Wnid 78nm pour limiter l'influence du magnésium sur la couche de gaz 10 d'électrons 18). Avantageusement, Wnid = 50nm. Les couches 12 à 18 peuvent être formées successivement dans une même machine d'épitaxie en phase vapeur, en changeant bien entendu les conditions d'épitaxie pour chacune des couches. Les paramètres d'épitaxie pour 15 la formation de chacune des couches sont connus en soi de l'homme du métier. Dans l'exemple illustré, la couche barrière 17 est formée en AIGaN. Selon l'invention, toute autre couche semiconductrice peut être disposée sur la couche 16 de GaN non intentionnellement dopée, si elle est adaptée pour générer un gaz 20 d'électrons à leur interface. La couche 17 peut par exemple être un autre alliage ternaire de nitrure d'élément III. La couche 17 peut aussi être un alliage binaire de nitrure d'élément III, par exemple du AIN. Dans l'exemple l'AIGaN de la couche 17 peut comprendre une concentration en Aluminium comprise entre 6 et 9% mais d'autres proportions 25 d'Aluminium peuvent bien entendu être utilisées. Dans les différentes variantes, on peut envisager d'interposer une couche d'AIN entre une couche d'AIGaN 17 et une couche de GaN 16, afin d'augmenter le confinement du gaz d'électrons et sa mobilité. Cette couche d'AIN présente avantageusement une épaisseur comprise entre SAngstrom et 2nm. 30 La couche 17 peut avantageusement être recouverte d'une couche de passivation, afin notamment d'améliorer l'isolation entre les électrodes du transistor 1. La couche de passivation peut par exemple être réalisée en SiN. Une couche de SiN peut être déposée par épitaxie, sans retirer le wafer de l'installation d'épitaxie après la formation des couches 16 et 17. ICG10971 FR Depot Texte.docx REVENDICATIONS1. Transistor (1) à hétérojonction à haute mobilité électronique, caractérisé en ce qu'il comprend : -une première couche de GaN (13); -une deuxième couche de GaN (14) à dopage de type P formée sur la première couche de GaN; -une troisième couche de GaN (15) à dopage de type N formée sur la deuxième couche de GaN de façon à former une jonction p/n déplétée ; -une quatrième couche de GaN (16) non intentionnellement dopée et formée sur la troisième couche de GaN; -une couche semi conductrice (17) formée à l'aplomb de la quatrième couche de GaN non intentionnellement dopée pour former une couche de gaz d'électrons (18). 2. Transistor à hétérojonction selon la revendication 1, dans lequel la deuxième couche de GaN (14) inclut du Magnésium formant un dopant de type P. 3. Transistor à hétérojonction selon la revendication 2, dans lequel la concentration en magnésium dans la deuxième couche de GaN (14) est au moins égale à 5 * 1016 cm-3. 4. Transistor à hétérojonction selon la revendication 2 ou 3, dans lequel la concentration en magnésium dans la deuxième couche de GaN (14) est au maximum égale à 2 * 1018 cm-3. 5. Transistor à hétérojonction selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite deuxième couche de GaN (14) présente une épaisseur comprise entre 20 et 50 nm. 6. Transistor à hétérojonction selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la troisième couche de GaN (15) inclut du Silicium formant un dopant de type N. 7. Transistor à hétérojonction selon la revendication 6, dans lequel la concentration en Silicium dans la troisième couche de GaN (15) est au moins égale à 1,5 * 1016 cm-3. 8. Transistor à hétérojonction selon la revendication 6 ou 7, dans lequel la concentration en Silicium dans la troisième couche de GaN (15) est au maximum égale à 2 * 1018 cm-3. ICG10971 FR Depot Texte.docx 3047607 13 9. Transistor à hétérojonction selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite troisième couche de GaN (15) présente une épaisseur comprise entre 10 et 100 nm. 5 10. Transistor à hétérojonction selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite quatrième couche (16) comporte une concentration en dopants inférieure à 1 * 1016 cm-3. 11. Transistor à hétérojonction selon l'une quelconque des revendications 10 précédentes, dans lequel ladite quatrième couche (16) présente une épaisseur comprise entre 50 et 100nm. 12. Transistor à hétérojonction selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite première couche de GaN (13) présente une 15 concentration en carbone supérieure à celle des deuxième et troisième couches de GaN. 13. Transistor à hétérojonction (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite couche semi conductrice (17) inclut de 20 l'AIGaN. 14. Transistor à hétérojonction (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant une autre couche semiconductrice en AIN d'une épaisseur comprise entre 0,5 et 2nm disposée entre la quatrième couche de 25 GaN et ladite couche semiconductrice formée à l'aplomb de la quatrième couche de GaN. ICG10971 FR Depot Texte.docx