FR 3041814 A1 20170331 FR 1559292 A 20150930 B14442 - 15-R0-0273 1 CIRCUIT INTEGRE SECURISE Domaine La présente demande concerne les circuits électroniques intégrés, plus particulièrement un circuit intégré protégé contre des attaques effectuées depuis la face arrière du circuit. Exposé de l'art antérieur Des circuits intégrés subissent parfois des attaques de pirates visant à déterminer la structure du circuit, à en modifier le fonctionnement ou à en extraire des informations confidentielles. Une attaque peut être effectuée depuis la face arrière d'un circuit muni en face avant de pistes conductrices et de composants tels que des condensateurs, des diodes ou des transistors. Au cours de l'attaque, une portion de la face arrière est d'abord gravée. A partir de cette portion gravée, des cavités de quelques microns de largeur sont réalisées par exemple par un faisceau d'ions et s'étendent vers la face avant jusqu'au niveau des composants ou des pistes conductrices. Des contacts électriques avec les composants ou les pistes sont ensuite créés dans ces cavités, et les pirates utilisent ces contacts pour analyser le circuit en fonctionnement. Il est souhaitable de disposer de circuits intégrés protégés contre ce type d'attaque, les dispositifs connus présentant divers inconvénients et problèmes de réalisation. 3041814 B14442 - 15-R0-0273 2 Résumé Ainsi, un mode de réalisation prévoit un circuit intégré comportant une pluralité de premières bandes semiconductrices d'un 5 premier type de conductivité et de deuxièmes bandes semiconductrices d'un deuxième type de conductivité disposées de manière alternée et contiguë sur une région du deuxième type de conductivité, comprenant pour chacune des premières bandes : une pluralité de contacts de polarisation ; pour chaque contact de 10 polarisation, un interrupteur adapté à appliquer un potentiel sur le contact de polarisation ; deux contacts de détection disposés aux extrémités de ladite première bande ; et un circuit de détection dont l'activation provoque l'ouverture des interrupteurs et la comparaison à un seuil de la résistance entre les 15 contacts de détection. Selon un mode de réalisation, le seuil est la résistance normale d'une première bande entre les contacts de détection. Selon un mode de réalisation, chaque circuit de détection applique le potentiel de polarisation sur l'un des 20 contacts de détection de la première bande associée. Selon un mode de réalisation, un circuit de détection est commun à deux premières bandes, le seuil associé à une première bande étant la résistance entre les contacts de détection de l'autre première bande. Selon un mode de réalisation, pour chaque première bande, les interrupteurs sont des transistors MOS formés dans et sur une première bande voisine de ladite première bande. Selon un mode de réalisation, le circuit de détection associé à une première bande comprend des transistors du type MOS 30 formés dans et sur une première bande voisine de ladite première bande. Selon un mode de réalisation, chaque circuit de détection est adapté à appliquer une tension comprise entre 300 et 500 mV entre les contacts de détection de la première bande 35 associée. 3041814 B14442 - 15-R0-0273 3 Selon un mode de réalisation, la largeur des premières bandes et des deuxièmes bandes est inférieure à 2,5 pin et leur longueur est supérieure à 100 pin. Selon un mode de réalisation, les circuits de détection 5 sont activés successivement, un seul circuit de détection étant activé à la fois. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de 10 réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure lA est une vue de dessus, partielle et schématique, d'un exemple de circuit intégré ; la figure 1B est une vue en coupe, partielle et 15 schématique, du circuit intégré représenté en figure lA ; la figure 1C reprend la vue de dessus de la figure lA, simplifiée et à une échelle différente ; les figures 2A et 2B illustrent une attaque du circuit représenté en figure lA ; 20 la figure 3A est une vue de dessus, partielle et schématique, d'un mode de réalisation d'un circuit intégré protégé contre des attaques ; la figure 3B représente une bande du circuit intégré illustré en figure 3A connectée à un circuit de détection ; 25 la figure 4 reprend la vue de dessus de la figure 3A, à une échelle différente ; la figure 5 reprend la vue schématique de la figure 3B et détaille un exemple de circuit de détection ; la figure 6 représente deux bandes du circuit intégré 30 illustré en figure 3A connectées à un autre mode de réalisation de circuit de détection ; et la figure 7 est une vue en coupe, partielle et schématique, d'un autre type de circuit intégré susceptible d'être protégé contre des attaques. 3041814 B14442 - 15-R0-0273 4 Description détaillée De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, 5 seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position relative, tels que les termes "supérieur", "inférieur", etc., il est fait référence à 10 l'orientation de l'élément concerné dans les figures lB, 2A et 7. Dans la présente description, le terme "connecté" désigne une connexion électrique directe entre deux éléments, tandis que le terme "couplé" désigne une connexion électrique entre deux éléments qui peut être directe ou par l'intermédiaire 15 d'un ou de plusieurs autres composants passifs ou actifs, comme des résistances, des condensateurs, des inductances, des diodes, des transistors, etc. La figure lA est une vue de dessus schématique et partielle d'un exemple de circuit intégré 1. La figure lB est une 20 vue schématique en coupe du circuit intégré 1 selon une ligne brisée B-B représentée en figure lA. Le circuit intégré 1 comprend un support semiconducteur 3, par exemple une plaquette de silicium dopé de type P. Une région 5 dopée de type N, par exemple une couche enterrée, recouvre 25 une partie de la surface du support 3. Des caissons 7 dopés de type P et des caissons 9 dopés de type N disposés en bandes alternées contiguës s'étendent sur la région 5. Des contacts de polarisation 11 sont formés à intervalles réguliers dans la partie supérieure de chaque caisson, ou bande, 7 et des contacts de polarisation 13 sont formés de même dans la partie supérieure de chaque caisson, ou bande, 9. Dans l'exemple représenté, les contacts 11 et 13 vus de dessus sont disposés aux intersections entre des lignes orthogonales à la direction des bandes 7 et 9 et les axes médians des bandes. Chacun 3041814 B14442 - 15-R0-0273 5 des contacts 11 et 13 correspond à une zone dopée du même type que la bande associée, avec un niveau de dopage supérieur. De nombreux transistors du type MOS sont formés dans et sur la partie supérieure de chacune des bandes 7 et 9 entre des 5 contacts respectifs 11 ou 13. Ces transistors sont groupés par trois ou quatre dans des zones actives 15. Chaque transistor comporte une grille 19 éventuellement commune à plusieurs transistors, disposée entre des zones de drain et de source 23 pour les transistors à canal P et 27 pour les transistors à canal 10 N. Des tranchées d'isolement 29 s'étendent à partir de parties de la surface supérieure des bandes pour délimiter les zones actives. En vue de dessus, la ligne brisée B-B traverse successivement une bande 9 dopée de type N, une bande 7 dopée de type P, et une autre bande 9 dopée de type N, et traverse dans 15 chacune de ces bandes une zone active et un contact de polarisation. Comme l'illustre la figure 1B, un potentiel de référence, par exemple une masse GND, est appliqué sur chaque contact de polarisation 11, et un potentiel VDD supérieur au 20 potentiel de la masse est appliqué sur chaque contact de polarisation 13. De cette manière, chaque bande 7 dopée de type P est polarisée au potentiel GND, et chaque bande 9 dopée de type N est polarisée au potentiel VDD. La figure 1C reprend la vue de dessus de la figure 1A, 25 de façon simplifiée et à une échelle différente. Les transistors ne sont pas représentés. Les bandes 7 et 9 munies de contacts de polarisation 11 et 13 sont visibles, ainsi que des liaisons 31 entre les contacts 11 et la masse et des liaisons 33 appliquant le potentiel VDD aux contacts 13. 30 La longueur de chaque bande est par exemple comprise entre 100 pin et 1 mm. La largeur de chaque bande est par exemple inférieure à 2,5 um. Dans chaque bande 7 ou 9, le nombre de contacts de polarisation 11, ou le nombre de contacts de polarisation 13, peut être compris entre 5 et 100. Le nombre de 3041814 B14442 - 15-R0-0273 6 bandes 7, ou le nombre de bandes 9, est par exemple compris entre 20 et 200. Les figures 2A et 2B représentent le circuit intégré 1 décrit précédemment, alors qu'un pirate a percé une cavité de la 5 largeur d'au moins deux bandes à partir de la face arrière pour préparer une attaque. La figure 2A est un vue en coupe partielle selon un segment C-C représenté en figure 2B. La figure 2B est une vue de dessus correspondant à la figure 1C. En figures 2A et 2B, une cavité 40 a été creusée par un 10 pirate à partir de la face arrière à travers le support 3, la région 5, et la largeur d'une bande 7 de type P. La cavité s'étend par exemple jusqu'au niveau inférieur des zones de drain et de source 23. La partie inférieure de la bande 7 de type P dépourvue de tranchées d'isolement et de zones de drain et de source est 15 interrompue par la cavité 40. On cherche ici à détecter la présence de telles cavités, de façon à empêcher un pirate d'obtenir des informations par le biais de contacts créés dans ces cavités. La figure 3A est une vue de dessus, partielle et 20 schématique, d'un mode de réalisation d'un circuit intégré 50 protégé contre des attaques. Le circuit intégré 50 comprend des éléments ayant des rôles identiques à ceux du circuit intégré 1 des figures LA à 1C, désignés par de mêmes références. Ainsi, le circuit intégré 50 comprend : 25 - un support semiconducteur 3 dopé de type P ; une région 5 dopée de type N qui s'étend sur le support 3, par exemple une couche enterrée ; des caissons 7 dopés de type P et des caissons 9 dopés de type N disposés en bandes alternées sur la région 5 et munis de 30 contacts de polarisation respectifs 11 et 13 ; et des connexions 33 appliquant le potentiel VDD sur les contacts de polarisation 13. Des transistors non représentés sont formés dans et sur les bandes 7 et 9. On notera qu'à chaque extrémité de chaque bande 35 7, des régions de type N 51, en contact avec la région 5 et avec 3041814 B14442 - 15-R0-0273 7 les bandes N 9, isolent chaque bande P 7 des autres bandes 7 et du support 3. Le circuit intégré 50 comprend en outre : - pour chaque contact 11, un transistor MOS à canal N 52 ; 5 - des contacts 56, 58 aux extrémités de chaque bande 7 ; et - des circuits de détection. La figure 3B représente en vue de dessus une bande 7 connectée à un circuit de détection 60. La bande 7 est représentée schématiquement en vue de dessus, munie des contacts 11, 56 et 10 58. Chaque contact de polarisation 11 est couplé au drain D d'un transistor 52. Les sources S des transistors 52 sont couplées à la masse GND. Les grilles des transistors 52 associés à une même bande 7 sont interconnectées. Le circuit de détection 60 est 15 couplé aux grilles et commande l'ensemble des interrupteurs d'une même bande 7, et commande ainsi l'application du potentiel de polarisation GND sur l'ensemble de la bande 7. Les contacts 56 et 58 sont des contacts destinés à la détection de la présence éventuelle de cavités pirates. Les 20 contacts de détection 56 et 58 sont couplés au circuit de détection 60. Le circuit de détection 60 est alimenté entre les potentiels VDD et la masse GND. Chaque circuit de détection 60 est apte à recevoir un signal de test TEST et à produire un signal d'alerte A. En 25 fonctionnement, des phases de test sont prévues au cours desquelles les signaux TEST sont activés successivement par un circuit non représenté, un seul signal étant activé à la fois. Lorsque le signal de test d'un circuit de détection est activé, le circuit de détection ouvre les transistors 52, et le potentiel 30 de polarisation GND n'est plus appliqué à la bande 7 associée. Le circuit de détection 60 compare alors la résistance électrique entre les contacts 56 et 58 à un seuil, et active le signal d'alerte si cette résistance électrique est supérieure au seuil. Le seuil peut correspondre à la résistance maximum que présente 3041814 B14442 - 15-R0-0273 8 normalement la bande 7 entre les contacts 56 et 58 en l'absence de cavité pirate. Lorsqu'une cavité a été creusée par un pirate et interrompt totalement ou partiellement une bande P 7 dopée de type 5 P, la résistance électrique entre les contacts 56 et 58 de cette bande augmente fortement. Le circuit de détection associé génère alors un signal d'alerte permettant de détecter cette tentative d'attaque et de prendre des contre-mesures comme stopper le circuit intégré ou détruire des informations confidentielles 10 présentes sur le circuit. La figure 4 reprend la vue de dessus de la figure 3A, à une échelle différente, et détaille un exemple de mise en oeuvre des transistors 52 du circuit intégré 50 décrit en relation avec les figures 3A et 3B. Des bandes 7 et 9 sont visibles en figure 15 4, ainsi que les contacts de polarisation 11 et 13. Chaque transistor 52 est représenté sous forme d'un interrupteur. Pour chaque bande 7, des liaisons 62 connectent chaque contact 11 au drain D associé, et une liaison 64 connecte les grilles G entre elles et au circuit de détection 60. Des liaisons 66 connectent 20 les sources des transistors 52 à la masse GND. Comme cela est illustré en figure 4, pour chaque bande 7, les transistors 52 associés sont formés dans et sur une autre bande 7 voisine. Pour chaque bande 7, le circuit de détection 60 est formé dans et sur cet autre bande 7 voisine et une bande 9 25 voisine. Ainsi, pendant le test d'une bande 7, les transistors 52 associés sont situés dans une bande correctement polarisée. Ceci permet d'assurer le bon fonctionnement des transistors 52. De même, des transistors MOS compris dans le circuit de détection 30 60 sont dans et sur une bande correctement polarisée. A titre de variante, chacun des transistors 52 associés à une bande 7 peut être situé dans n'importe quelle autre bande 7, l'important étant que ces deux bandes 7 ne soient pas testées en même temps. De même, les transistors MOS du circuit de détection 60 associés à une bande 7 peuvent être situés dans n'importe 3041814 B14442 - 15-R0-0273 9 quelle partie du circuit intégré restant correctement polarisée en cours de test, afin d'assurer le bon fonctionnement du circuit de détection. La figure 5 reprend la vue schématique de la figure 3B, 5 et détaille un exemple de circuit de détection 60. Le circuit de détection 60 comprend une source de courant 71, un comparateur 72 alimenté par la tension entre le potentiel VDD et la masse GND, et un inverseur 74 recevant le signal TEST. Le contact de détection 58 de la bande 7 est connecté à la masse GND. Le comparateur 72 10 compare le potentiel sur le contact de détection 56 avec un potentiel VO. Lorsque le signal TEST est désactivé, l'inverseur 74 maintient les transistors 52 à l'état passant et le signal d'alerte A est désactivé. Lorsque le signal TEST est activé, les 15 transistors 52 sont à l'état ouvert. La source de courant 71 injecte alors un courant dans le contact de détection 56, et le potentiel sur l'entrée positive du comparateur 72 est proportionnel à la résistance de la bande 7 entre les contacts 56 et 58. Lorsque la bande 7 est interrompue partiellement ou en 20 totalité par une cavité pirate, cette résistance est anormalement élevée et le signal d'alerte A est activé. A titre d'exemple, la tension VO est comprise entre 300 et 500 mV. La figure 6 représente deux des bandes 7 du circuit intégré 50 illustré précédemment en figure 3A et 3B, connectées à 25 un circuit de détection 80 remplaçant deux circuits de détection 60. On comprendra que ces bandes de type P 7 sont séparées par des bandes 7 et 9 non représentées. Pour chacune des deux bandes 7, les grilles G des transistors 52 associés sont couplées ensemble au circuit de 30 détection 80, et les contacts de détection 56 et 58 sont couplés au circuit 80. Le circuit 80 est adapté à recevoir un signal de test TEST1 et à produire un signal d'alerte A. Le circuit de détection 80 comprend un circuit de comparaison 82, un interrupteur 84 et un inverseur 86. 3041814 B14442 - 15-R0-0273 10 Lorsque le signal TEST1 est activé, l'inverseur 86 ouvre les transistors 52 associés aux deux bandes 7 et l'interrupteur 84 applique un potentiel positif Vi sur les contacts de détection 56 des deux bandes 7. Le circuit de détection 80 compare alors 5 les potentiels des contacts de détection 58. Si une cavité pirate endommage l'une ou l'autre des deux bandes 7, le circuit de détection 80 produit un signal d'alerte lorsque les résistances entre les contacts de détection 56 et 58 des deux bandes 7 diffèrent par exemple de plus de 10%. A titre d'exemple, la tension 10 Vi est comprise entre 300 et 500 mV. La figure 7 est une vue en coupe d'un autre type de circuit intégré susceptible d'être protégé contre des attaques. Le circuit intégré 90 comprend les mêmes éléments que le circuit intégré 50, à l'exception de la couche enterrée 5. Chacune des 15 bandes N 9 est isolée des autres bandes 9 par le support 3 et les bandes P 7. Les contacts de polarisation 11 des bandes P 7 sont connectés à la masse. Pour chacun des contacts de polarisation 13 des bandes N 9, le potentiel VDD est appliqué sur la source d'un 20 transistor MOS à canal P 92 dont le drain est couplé au contact 13. Les transistors 92 associés à une bande 9 peuvent être formés dans et sur une autre bande 9. Les grilles de tous les transistors 92 de chacune des bandes 9 peuvent être couplées à un circuit de détection adapté à 25 ouvrir les transistors 92 et à activer une alarme en fonction de la résistance entre deux contacts de détection disposés aux extrémités de la bande 9. Dans les modes de réalisations décrits précédemment, la surface du circuit intégré dédiée à la détection de cavités 30 pirates est limitée à un transistor pour chacun des nombreux contacts de polarisation et à un circuit de détection par bande. Les circuits de détection sont simples et il peut y avoir jusqu'à 100 contacts de polarisation pour chaque bande. Ainsi, la surface totale dédiée à la protection peut avantageusement représenter 35 moins de 1 % de la surface du circuit intégré. 3041814 B14442 - 15-R0-0273 11 Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, bien que les circuits intégrés décrits soient formés à partir d'un support de silicium, d'autres supports 5 semiconducteurs peuvent être utilisés. En outre, bien que, dans les modes de réalisation décrits, le support soit en un semiconducteur dopé de type P, le support peut également être en un semiconducteur dopé de type N, les types de dopages des autres parties du circuit intégré étant 10 alors échangés et le potentiel VDD étant alors inférieur au potentiel GND. Bien que, dans les modes de réalisation décrits, le potentiel de polarisation GND ou VDD soit appliqué sur les contacts de polarisation par des transistors du type MOS, d'autres 15 types d'interrupteurs peuvent être utilisés, par exemple des transistors bipolaires. Divers modes de réalisation avec diverses variantes ont été décrits ci-dessus. On notera que l'homme de l'art peut combiner divers éléments de ces divers modes de réalisation et 20 variantes sans faire preuve d'activité inventive. En particulier, il est possible de réaliser un circuit intégré combinant des bandes 7 équipées de circuits de détection 60 et d'autres bandes 7 équipées de circuits de détection 80. REVENDICATIONS1. Circuit intégré comportant une pluralité de premières bandes semiconductrices (7 ; 9) d'un premier type de conductivité et de deuxièmes bandes semiconductrices (9 ; 7) d'un deuxième type de conductivité disposées de manière alternée et contiguë sur une région (5 ; 3) du deuxième type de conductivité, comprenant pour chacune des premières bandes : une pluralité de contacts de polarisation (11 ; 13) ; pour chaque contact de polarisation, un interrupteur (52 ; 92) adapté à appliquer un potentiel (GND ; VDD) sur le contact de polarisation ; deux contacts de détection (56, 58) disposés aux extrémités de ladite première bande ; et un circuit de détection (60 ; 80) dont l'activation provoque l'ouverture des interrupteurs et la comparaison à un 15 seuil de la résistance entre les contacts de détection. 2. Circuit intégré selon la revendication 1, dans lequel le seuil est la résistance d'une première bande (7) entre les contacts de détection. 3. Circuit intégré selon la revendication 1 ou 2, dans 20 lequel chaque circuit de détection (60) applique le potentiel de polarisation (GND) sur l'un des contacts de détection (58) de la première bande (7 ; 9) associée. 4. Circuit intégré selon la revendication 1, dans lequel un circuit de détection (80) est commun à deux premières 25 bandes (7), le seuil associé à une première bande étant la résistance entre les contacts de détection de l'autre première bande. 5. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel pour chaque première bande (7 ; 30 9), les interrupteurs (52 ; 92) sont des transistors MOS formés dans et sur une première bande voisine de ladite première bande. 6. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel le circuit de détection (60 ; 80) associé à une première bande (7 ; 9) comprend des transistors 3041814 B14442 - 15-R0-0273 13 du type MOS formés dans et sur une première bande voisine de ladite première bande. 7. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel chaque circuit de détection 5 (60 ; 80) est adapté à appliquer une tension comprise entre 300 et 500 mV entre les contacts de détection de la première bande (7) associée. 8. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel la largeur des premières bandes 10 (7 ; 9) et des deuxièmes bandes (9 ; 7) est inférieure à 2,5 pin et leur longueur est supérieure à 100 gm. 9. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel les circuits de détection (60 ; 80) sont activés successivement, un seul circuit de détection 15 étant activé à la fois.