FR 3037142 A1 20161209 FR 1555042 A 20150603 1 DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne le domaine de la mesure de pression et plus particulièrement les capteurs électromécaniques de pression de fluide pour des applica- tions aéronautiques, et notamment les capteurs de type MEMS. ARRIERE PLAN DE L'INVENTION Un capteur de pression électromécanique comprend généralement une membrane en silicium ou en alliage de silicium sur la face avant de laquelle sont rapportées des jauges de déformation piézoélectriques montées en pont de Wheatstone et reliées à une unité électronique de traitement par des fils de connexion. La face arrière opposée à celle portant les jauges est soumise à une pres- sion à mesurer qui, en déformant la membrane, sollicite les jauges et permet d'effectuer une mesure électrique de la pression. La membrane est généralement montée sur un substrat lui aussi en silicium. Le silicium étant particulièrement sensible aux attaques électrochimiques, la membrane est monté à une extrémité d'une conduite remplie d'un fluide de transfert, généralement de l'huile silicone. L'autre extrémité du conduit est fermée par une pastille en acier inoxydable dont la face extérieure est en contact avec le fluide dont la pression est à mesurer. La pression appliquée sur la pastille en acier inoxydable est transmise, par l'intermédiaire du fluide de transfert, à la membrane de silicium et mesurée par l'unité de traitement à partir des signaux fournis par les jauges de déformation. Le signal électrique engendré par l'unité de traitement est ensuite transmis à un réseau de communica- tion. Le capteur ainsi obtenu est généralement encom- brant, lourd et couteux, notamment en raison de la pré- sence du conduit rempli d'huile et des éléments d'étanchéité associés. En effet, l'huile doit être abso- 3037142 2 lument incompressible, et de telles huiles sont chères et se figent à basse température au point de transmettre les vibrations. Dans les cas où elles ne sont pas totalement exemptes d'impuretés et/ou de radicaux libres, ces huiles 5 sont génératrices de dérives électriques lorsqu'elles sont soumises à une tension électrique. Le remplissage du conduit cylindrique doit être effectué de manière extrêmement rigoureuse car la présence d'air dans le conduit rendrait le capteur imprécis, voire inopérant. Cette opé- 10 ration et son contrôle alourdissent les coûts de produc- tion du capteur. La membrane du capteur est généralement rapportée sur le support du capteur par collage ou brasage. Cette jonction doit être étanche pour éviter toute intrusion de fluide sous la membrane, ce qui ruinerait à 15 terme le capteur. Une telle opération souffre de la va- riabilité liée à une réalisation manuelle et est une source récurrente de défaut. Enfin, un tel capteur est extrêmement sensible aux variations rapides de température du fluide dont la pression est à mesurer. En effet, 20 bien que les capteurs piézoélectriques soient notoirement connus pour présenter une sensibilité réduite aux variations de température, les comportements du fluide de transfert et du conduit induisent des erreurs difficiles à compenser. Pour finir, à des températures extrêmement 25 basses, le fluide de transfert peut figer et rendre le capteur inopérant. Les capteurs résistifs requièrent un étalonnage régulier afin de conserver un niveau de précision accep- table, notamment en raison de leur sensibilité thermique. 30 L'étalonnage d'un capteur piézoélectrique requiert géné- ralement de connecter un dispositif de mesure étalonné à ses bornes et donc de pouvoir accéder physiquement au capteur. Une telle opération requiert d'immobiliser l'équipement sur lequel le capteur est monté, ce qui en- 35 traîne des temps d'immobilisation préjudiciables particu- 3037142 3 lièrement dans le cas de capteurs montés sur des aéronefs. Enfin, un défaut de fonctionnement d'un capteur piézoélectrique peut être difficile à distinguer d'un défaut du circuit de transmission. Il est alors nécessaire 5 de prévoir des systèmes locaux de surveillance du fonc- tionnement. OBJET DE L'INVENTION L'objet de l'invention est de réduire le coût et la sen- sibilité thermique d'un dispositif électromécanique de 10 mesure de pression tout en en améliorant la fiabilité et la précision. RESUME DE L'INVENTION A cet effet, on prévoit, selon l'invention, un dispositif de mesure de pression comprenant un capteur 15 de pression d'un premier type et un capteur de pression d'un deuxième type différent du premier qui sont montés sur un support commun pour être soumis à une même pression. Il est alors possible d'exploiter les propriétés 20 spécifiques de chaque capteur, notamment lorsqu'ils pré- sentent des sensibilités réduites à certains paramètres environnementaux tels que la température, l'humidité, la vitesse, la force centrifuge ou d'autres types de sollicitations. 25 Avantageusement, le capteur de pression du pre- mier type et le capteur de pression du deuxième type ont des modes de défaillance différents. Comme les modes de défaillance sont différents, une différence de mesure significative entre les capteurs 30 est révélatrice d'une défaillance d'un des capteurs. Une différence de mesure sera considérée comme étant significative lorsqu'elle est supérieure à l'erreur attendue de mesure de chaque capteur. Selon un mode de réalisation particulier, le cap- 35 teur de pression du premier type et le capteur de pres- 3037142 9 sion du deuxième type ont des plages de précision différentes. Ainsi, il est possible d'exploiter les plages spécifiques de précision des divers types de capteurs. De façon avantageuse, dans le cas où l'un des capteurs est 5 de type capacitif et le second est de type résistif, les mesures effectuées par le capteur capacitif sont faiblement influencées par la température du fluide dont la pression est mesurée. Le capteur résistif, quant à lui, permet des mesures indépendantes des forces inertielles 10 auxquelles il est soumis, ce qui est particulièrement avantageux dans le cas de capteurs de pression de roues. Une bonne compacité du dispositif de mesure peut être obtenue en montant une unité de traitement sur le support commun et en la reliant aux capteurs de pression 15 du premier type et du deuxième type. Ce mode de réalisa- tion permet également de réaliser les jonctions des capteurs avec l'unité de traitement de manière automatisée en usine plutôt que les réaliser manuellement lors du montage du dispositif, ce qui permet de réduire les opé- 20 rations sensibles de montage et concourt à réduire les coûts d'installation du dispositif. Avantageusement, le capteur de pression du pre- mier type et le capteur de pression du deuxième type sont montés respectivement sur des faces opposées du support 25 commun. Cette configuration permet d'utiliser des modes de protection (revêtement, bouclier) adaptés aux spécificités des capteurs en traitant chaque surface dans leur intégralité. L'unité de traitement peut alors être montée sur 30 la première face du support commun à proximité d'un des capteurs et recevoir le même traitement de protection que celui-ci. Avantageusement encore, une des faces du support commun comprend au moins une portion recouverte de pary- 35 lène ou d'un revêtement carboné de type DLC (de l'anglais 3037142 5 « Diamond Like Carbon »). Ces revêtements permettent d'assurer une protection efficace des capteurs dans le cas de la mesure de pression de fluides corrosifs OU en milieu agressif. 5 Selon un mode de réalisation particulier, un des capteurs de pression est enfermé sous un couvercle hermétique solidaire du support commun. Ceci permet de définir et isoler la portion de la surface de support portant ce capteur qui est soumise à la pression du fluide dont la 10 pression est à mesurer. Selon un autre mode de réalisation, le capteur de pression du premier type comprend au moins une membrane ainsi qu'un premier canal interne traversant le support commun, un deuxième canal interne d'amenée d'un fluide 15 vers la membrane étant en lien fluidique avec le premier canal interne. Cette configuration permet de proposer un dispositif dont seule la face opposée au capteur de premier type peut être soumise au fluide dont la pression est à mesurer. 20 Un des capteurs de pression, voire les deux, peut être relié à des moyens de communication sans fil, ce qui permet d'en réaliser l'interrogation à distance sans devoir procéder à un démontage quelconque et permet alors de réduire les temps d'immobilisation. La faible consom- 25 mation électrique des capteurs de type capacitif se prête particulièrement bien à un tel mode de communication. L'invention concerne également un procédé de ca- librage d'un tel dispositif de mesure de pression comprenant au moins un capteur de pression d'un premier type et 30 un capteur de pression d'un deuxième type montés sur un même support, le procédé comprenant l'étape de comparer la mesure faite par un des capteurs avec une mesure de la même pression faite par l'autre capteur. Ainsi, il est possible de procéder à un calibrage en temps réel de cha- 35 cun des capteurs en retenant la mesure d l'un ou de 3037142 6 l'autre des capteurs selon que l'on se trouve dans une situation dans laquelle il est connu que la mesure d'un capteur est plus fiable que celle d'un autre. Le procédé pourra également comprendre une étape 5 supplémentaire d'émettre une alerte d'intégrité dans le cas où une comparaison des mesures réalisées par chacun des capteurs permet de soupçonner que l'un de ceux-ci est défectueux. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS 10 Il sera fait référence aux dessins annexés par- mi lesquels : - la figure 1 est une vue schématique en coupe d'un premier mode de réalisation d'un dispositif de mesure de pression selon l'invention ; 15 - la figure 2 est un logigramme des différentes étapes du procédé de calibrage selon l'invention ; - la figure 3 est une vue identique à celle de la figure 1 d'un deuxième mode de réalisation d'un 20 dispositif de mesure de pression selon l'invention ; - la figure 4 est une vue identique à celle de la figure 1 d'un troisième mode de réalisation d'un dispositif de mesure de pression selon 25 l'invention. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION En référence à la figure 1, le dispositif de me- sure de pression selon l'invention, généralement désigné 1, comprend un capteur de pression 2 de type capacitif et 30 un capteur de pression 3 de type piézoélectrique respec- tivement montés sur une première face 4 et une deuxième face 5, opposée, d'un support 6 commun. Le support 6 est ici, en silicium et reçoit sur sa première face 4 une unité de traitement 7 reliée à l'aide d'un premier fil 35 conducteur 10 à une extrémité d'une piste conductrice 11 3037142 7 imprimée sur la surface 4. Le premier fil conducteur 10 a une deuxième extrémité opposée qui est reliée à un deuxième fil conducteur 12 connecté au capteur 2. Un troisième fil conducteur 13 relie l'unité de traitement 7 à 5 une piste conductrice interne 14 qui traverse le support 6 depuis la première face 4 jusqu'à la deuxième face 5 et relie le capteur 3 à l'unité de traitement 7. L'unité de traitement 7, ici une unité intégré de type ASIC (de l'anglais « Application Specific integrated 10 Unit »), est agencée pour délivrer un signal électrique en fonction des valeurs d'impédance (résistance du capteur 3, capacité du condensateur 2) mesurées aux bornes des capteurs 2 et 3. L'unité de traitement 7 est également agencée pour réaliser des opérations logiques sur 15 les impédances mesurées. L'unité de traitement 7 est éga- lement reliée par un quatrième fil conducteur 15 à un module Bluetooth 16 et par un cinquième fil conducteur 17 à un circuit extérieur de transmission filaire (non repré- senté). 20 La première face 4 du support 6 reçoit un revête- ment 40 de parylène qui recouvre alors le capteur 2, les fils conducteurs 10, 12, 13 et 15 ainsi que l'unité de traitement 7 et le module Bluetooth 16. Les revêtements carbonés de type DLC - de l'anglais « Diamond Like Car- 25 bon »- sont également adaptés à la protection de la pre- mière face 4 du support 6, du capteur 2, des fils conducteurs 10, 12, 13 et 15 ainsi que de l'unité de traitement 7 et du module Bluetooth 16. Le capteur 2 a la forme d'un cylindre droit et 30 comprend une base 20 solidaire du support 6. Un pied 21 central s'étend en saillie de la base 20 pour rejoindre la première face 22 d'un substrat 23 en silicium. Le substrat 23 comprend, sur sa deuxième face 24 opposée à la première face 22, une première électrode 25 et une 35 membrane deformable 26 qui s'étend en regard et à une 3037142 8 distance d de la deuxième face 24 du substrat 23. La membrane déformable 26 est en silicium et comprend une électrode 27 s'étendant en regard de l'électrode 25. La membrane deformable 26 comprend un renflement 5 28 périphérique, de forme annulaire, présentant une por- tion plane de jonction en sa partie inférieure en contact avec la deuxième face 24 du substrat 23. La membrane déformable 26, son renflement 28 et la deuxième face 24 du substrat 23 définissent une enceinte étanche 30 qui en- 10 toure la première électrode 25. L'enceinte étanche 30 est à une pression absolue sensiblement nulle. En fonctionnement, le dispositif de mesure de pression 1 est placé dans le fluide dont la pression P est à mesurer. La pression P s'exerce alors sur le cap- 15 teur capacitif 2 et sur le capteur piézoélectrique 3 au travers du revêtement 40. Sous l'effet de la pression P, la membrane 26 se déforme et la distance d séparant la première électrode 25 de la deuxième électrode 27 varie. L'impédance Z2 (essentiellement capacitive) du condensa- 20 teur formé par le couple d'électrodes 25, 27 est alors modifiée et transmise à l'unité de traitement 7 via les fils conducteurs 10, 12 ainsi que la piste conductrice 11. La piste conductrice interne 14 permet à l'unité de traitement 7 de mesurer l'impédance Z3 (essentiellement 25 résistive) du capteur piézoélectrique 3. L'unité de trai- tement 7 convertit alors ces valeurs en un ou plusieurs signaux électriques qu'elle peut transmettre à un circuit de transmission filaire via le fil conducteur 17 ou par communication sans fil à l'aide du module Bluetooth 16. 30 Le pied 21 laisse libre la dilatation thermique du capteur 2, ce qui atténue les sollicitations thermomécaniques et permet de réduire la sensibilité thermique du dispositif 1. En référence à la figure 2, l'unité de traitement 35 7, après avoir réalisé les mesures des impédances Z2 et 3037142 9 Z3 respectives des capteurs 2 et 3 (étape 50), convertit celles-ci respectivement en des signaux électriques E2 et E3 représentatifs de la pression mesurée (étape 51). En situation de vol, dans laquelle le capteur piézoélec- 5 trique 3 est censé être le plus fiable, l'unité de trai- tement 7 compare le signal E2 avec le signal E3 (étape 52). Si la différence entre les valeurs E2 et E3 est supérieure à un premier seuil S1 (étape 53), la valeur du signal E2 issu du capteur piézoélectrique 3 est utilisée 10 pour recaler le zéro du capteur capacitif 2 (étape 54). Si la différence entre les valeurs E2 et E3 est supérieure à un deuxième seuil S2 (étape 55), l'unité de traitement 7 émet alors une alerte d'intégrité 57 (étape 56). Cette alerte d'intégrité 57 peut être émise sous la 15 forme d'un signal Bluetooth via le module Bluetooth 16 ou transmise au circuit de transmission filaire par le fil conducteur 17. Bien évidemment, le procédé peut également être mis en oeuvre dans d'autres situations (températures très 20 hautes, très basses, aéronef au sol, en roulage, etc...) dans lesquelles l'un ou l'autre des capteurs 2 et 3 est retenu comme référence pour étalonner ou détecter une défaillance. Les éléments identiques ou analogues à ceux pré- 25 cédemment décrits porteront une référence numérique iden- tique à ceux-ci dans la description qui suit des deuxième et troisième modes de réalisation de l'invention. En référence à la figure 3, le capteur 2 comprend, ici, un premier canal interne 30 qui s'étend dans 30 le pied 21 depuis un orifice 31 de la deuxième face 5 du support 6 et qui traverse la base 20 ainsi que le support 6 pour alimenter deux deuxième canaux 33 s'étendant au travers du substrat 23 et du renflement 28. Un couvercle 34 vient en contact avec une portion supérieure plane de 35 jonction de la membrane 26 et s'étend en regard de celle- 3037142 10 ci. Le couvercle 34 délimite alors avec le renflement 28 et la membrane 26 une enceinte étanche 35 dans laquelle débouche les canaux 33. La première face 4 du support 6 reçoit un revêtement de parylène qui recouvre alors éga- 5 lement le capteur 2, les fils conducteurs 10, 12, 13 et 15 ainsi que l'unité de traitement 7 et le module Bluetooth 16. Alternativement, et comme représenté en figure 4, le capteur 2 peut être entouré par un capot métallique 36 solidaire de la première face 4 du support 6 définis- 10 sant une enceint étanche 37 autour du capteur 2. L'enceinte 37 peut être à une pression absolue sensiblement nulle ou remplie d'un gaz neutre tel que de l'azote. La portion de la face 4 du support 6 comprenant l'unité de traitement 7 est, quant à elle, recouverte de pary- 15 lène. Dans ce cas, la piste conductrice 11 est remplacée par une piste conductrice interne 38 s'étendant dans le support 6. Cette configuration du dispositif de mesure 1 dans laquelle le capteur 2 est alimenté en fluide sous 20 pression via l'orifice 31 permet de ne soumettre qu'une seule des deux faces du support 6 à la pression du fluide à mesurer (ici la face 5) tout en réalisant des mesures qui mettent en oeuvre les capteurs 2 et 3 situés sur ses deux faces 4 et 5. 25 Au sens de la présente demande, le terme élec- trode désigne tout élément électriquement conducteur. Il couvre alors un élément rapporté sur un substrat ou une membrane ainsi qu'une portion de substrat ou de membrane (voire son intégralité) disposant des propriétés élec- 30 triques lui permettant de définir une électrode de con- densateur. Une membrane en céramique au moins en partie conductrice est donc une électrode au sens de la présente demande. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux 35 modes de réalisation décrits mais englobe toute variante 3037142 11 entrant dans le champ de l'invention telle que définie par les revendications. En particulier : - bien qu'ici le substrat du capteur soit en si- 5 licium, l'invention s'applique également à d'autres types de substrat comme par exemple un substrat en alliage de silicium, en céramique multicouches à cuisson simultanée à haute température (HTCC) ou en céramique multicouches à cuisson simultanée à basse température (LTCC) ; 10 - bien qu'ici la membrane déformable soit en si- licium, l'invention s'applique également à d'autres types de membranes comme par exemple une membrane en céramique; - bien qu'ici le pourtour de la membrane déformable soit défini par un renflement annulaire, 15 l'invention s'applique également à un pourtour formé différemment comme par exemple une paroi de section rectangulaire ou des entretoises périphériques collés au substrat et/ou à la membrane ; - bien qu'ici le capteur comprenne deux canaux 20 amenant le fluide sous pression depuis le premier canal traversant le support jusqu'à la membrane deformable, l'invention s'applique également à un unique canal d'amenée du fluide sous pression jusqu'à la formable ou à plus de deux canaux ; 25 - bien qu'ici, l'unité de traitement situé sur la première face du support, membrane dé- soit un ASIC l'invention s'applique également à d'autres moyens de traitement comme par exemple un microcontrôleur, celui-ci pouvant être situé sur l'une quelconque des faces du support; 30 - bien qu'ici, les liaisons électriques de l'unité de traitement au capteur capacitif et au module Bluetooth comprennent des pistes conductrices internes imprimées sur le support et de fils conducteurs, l'invention s'applique également à d'autres moyens de 35 raccordement pouvant comprendre par exemple des pistes 3037142 12 conductrices internes s'étendant dans les membranes dé- formables ; - bien qu'ici, un pied central de fixation per- mette d'atténuer les sollicitations thermomécaniques sur 5 le capteur, l'invention s'applique également à d'autres types de dispositifs d'atténuation de sollicitations thermomécaniques comme par exemple des supports élas- tiques ; - bien qu'ici l'unité de traitement soit reliée à 10 un module Bluetooth, l'invention s'applique également à d'autres moyens de communication sans fil comme par exemple des moyens de communication wifi, par onde radio ou par infrarouge ; - bien qu'ici l'unité de traitement 7 émette une 15 alerte d'intégrité lorsque la différence entre les va- leurs de pression mesurée par chaque capteur est supérieure à un seuil prédéfini, le procédé selon l'invention s'applique également à d'autres types de faits générateurs d'une alerte d'intégrité comme par exemple comme 20 par exemple une variation de la valeur mesurée par un des capteurs qui ne serait pas enregistrée par l'autre capteur ou une différence de temps de réaction des capteurs supérieure à une valeur prédéterminée ; - bien qu'ici le capteur de pression de premier 25 type soit un capteur de type capacitif et le capteur de pression de deuxième type soit un capteur de type piézoélectrique, l'invention s'applique également à d'autres types de capteurs et leurs combinaisons, comme par exemple des capteurs de type piézorésistif ou résonant. REVENDICATIONS1. Dispositif (1) de mesure de pression comprenant un capteur de pression d'un premier type (2) et un cap- teur de pression d'un deuxième type (3) différent du premier montés sur un support commun (6) pour être soumis à une même pression. 2. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel le capteur de pression du premier type (2) est de type capacitif. 3. Dispositif (1) selon l'un quelconque des reven- dications précédentes, dans lequel le capteur de pression du deuxième type (3) est de type résistif. 4. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel le capteur de pression du premier type (2) et le capteur de pression du deuxième type (3) ont des modes de défaillance différents. 5. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel le capteur de pression du premier type (2) et le capteur de pression du deuxième type (3) ont des plages de précision différentes. 6. Dispositif (1) selon la revendication 1, com- prenant une unité de traitement (7) montée sur le support commun (6) et reliée aux capteurs de pression (2; 3). 7. Dispositif (1) selon la revendication, 1 dans lequel le capteur de pression du premier type (2) et le capteur de pression du deuxième type (3) sont montés respectivement sur des faces opposées (4, 5) du support commun (6). 8. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel une des faces (4) du support commun (6) comprend au moins une portion recouverte de parylène. 9. Dispositif (1) selon la revendication 1 dans lequel un des capteurs de pression (2 ; 3) est enfermé sous un couvercle hermétique (36) solidaire du support 3037142 14 commun (6). 10. Dispositif (1) selon la revendication 2, dans lequel le capteur de pression du premier type (2) comprend au moins une membrane (26) ainsi qu'un premier ca- 5 nal interne (30) traversant le support commun (6), un deuxième canal interne (33) d'amenée d'un fluide vers la membrane (26) étant en lien fluidique avec le premier canal interne (30). 11. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans 10 lequel un des capteurs de pression (2 ; 3) est relié à des moyens de communication sans fil (16). 12. Procédé de calibrage d'un dispositif (1) de me- sure de pression comprenant au moins un capteur de pression d'un premier type (2) et un capteur de pression du 15 premier type (3) montés sur un même support (6), le pro- cédé comprenant l'étape 52) de comparer la mesure faite par un des capteurs (2, 3) avec une mesure de la même pression faite par l'autre capteur (2, 3). 13. Procédé selon la revendication 12, dans lequel 20 la valeur de la pression mesurée par l'un des capteurs (2 ; 3) est utilisée pour recaler le zéro de l'autre capteur. 14. Procédé selon la revendication 12, comprenant l'étape supplémentaire (56) d'émettre une alerte 25 d'intégrité.