FR 3048689 A1 20170915 FR 1652000 A 20160310 1 MEMBRANE EN CARBONE AMORPHE ET MEMS COMPORTANT UNE TELLE MEMBRANE DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne une membrane en carbone amorphe et un microsystème électromécanique (également appelé MEMS) comportant une membrane en carbone amorphe. ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEUR Les dispositifs de type MEMS à membrane comportent notamment des transducteurs de pression qui sont destinés à être immergés dans un milieu d'immersion liquide ou gazeux. Le milieu d'immersion impose sa pression à la surface d'une membrane suspendue. Celle-ci se déforme sous l'action de cette pression. La valeur mesurée de cette déformation est représentative de la valeur de la pression appliquée. La mesure de déformation peut se faire : soit par effet capacitif. Dans ce cas, la membrane déformable est une des armatures d'un condensateur électrique. La déformation modifie la valeur de la capacité, et la variation de capacité est mesurée électriquement. soit par effet piézoélectrique. Dans ce cas, des éléments piézoélectriques sont mécaniquement associés à la membrane, de façon à ce que leur déformation soit représentative de la déformation de la membrane. La déformation des éléments piézoélectriques se traduit par l'apparition d'une différence de potentiel électrique entre deux points de l'élément piézoélectrique. Cette différence de potentiel est mesurable, ce qui permet de connaître la déformation de la membrane et la pression appliquée. Les surfaces des MEMS qui sont en contact avec le milieu extérieur doivent parfois être des barrières hermétiques, unidirectionnelles ou bidirectionnelles, que ce soit pour protéger le milieu extérieur des contaminations liées aux matériaux constituant le MEMS ou que ce soit pour protéger le MEMS des agressions du milieu extérieur. Ainsi, une barrière de protection permettant de protéger le milieu extérieur des contaminations liées au MEMS est par exemple nécessaire lorsque le MEMS est introduit dans un milieu biologique. Une barrière de protection peut également être nécessaire lorsque le MEMS est introduit dans un milieu 3048689 2 agressif ou corrosif. Une barrière de protection hermétique peut également être nécessaire pour maintenir une atmosphère contrôlée à l'intérieur du MEMS, par exemple en cas de diffusion de gaz. 5 Pour ce faire, il est connu d'utiliser des revêtements de protection sur les membranes des MEMS. Les revêtements de l'art antérieur peuvent être des métaux, des oxydes, des composés azotés ou carbonés, ou encore des polymères. Les critères de choix sont l'inertie chimique, la biocompatibilité, l'herméticité, la transparence électromagnétique pour les dispositifs communicants, et les techniques de dépôt. 10 Toutefois, le revêtement ne doit pas modifier la rigidité de la membrane mobile du MEMS. Or il est difficile de trouver un revêtement qui ne modifie pas la rigidité de la membrane du MEMS, et qui présente dans le même temps les caractéristiques nécessaires en termes d'inertie chimique, de biocompatibilité et d'herméticité. 15 EXPOSE DE L'INVENTION L'invention vise à remédier aux inconvénients de l'état de la technique en proposant une membrane pour MEMS qui soit suffisamment souple pour ne pas fausser significativement le 20 fonctionnement du MEMS, tout en étant biocompatible, hermétique, inerte chimiquement et transparente électromagnétiquement. Pour ce faire, un premier aspect de l'invention concerne une membrane en carbone amorphe pour microsystème électromécanique, la membrane présentant une épaisseur 25 comprise entre 1 nm et 50 nm, et de préférence comprise entre 3 nm et 20 nm. Une telle membrane présente l'avantage d'être chimiquement inerte, biocompatible, et hermétique même en épaisseurs nanométriques, et stable jusqu'à des températures supérieures à 300°C. En outre, une membrane de carbone amorphe d'une telle épaisseur 30 présente l'avantage d'avoir une rigidité suffisamment faible pour ne pas altérer le fonctionnement du microsystème électromécanique, tout en gardant ses propriétés d'inertie chimique et d'herméticité. Avantageusement, la membrane en carbone amorphe présente un taux d'hybridation de type 35 spi compris entre 20% et 40% ce qui lui permet de présenter un module d'Young compris entre 100 GPa et 500 GPa. 3048689 3 Un deuxième aspect de l'invention concerne un microsystème électromécanique comportant une membrane en carbone amorphe selon le premier aspect de l'invention. 5 Le microsystème électromécanique peut comporter une membrane mobile comportant une telle membrane en carbone amorphe. Selon différents modes de réalisation : la membrane mobile peut comporter comme seule membrane la membrane en 10 carbone amorphe. Dans ce cas, la membrane en carbone amorphe constitue la membrane mobile du microsystème électromécanique, sans qu'il soit nécessaire de la doubler d'une autre membrane. Ce mode de réalisation permet de réaliser un microsystème électromécanique dont la membrane mobile est très souple ; la membrane mobile peut comporter une membrane principale, la membrane 15 principale étant revêtue par la membrane en carbone amorphe. Dans ce cas, la membrane en carbone amorphe forme un revêtement protecteur déposé sur la membrane principale du microsystème électromécanique. Selon différents modes de réalisation : 20 le microsystème électromécanique peut être un actionneur ou un capteur ; le microsystème électromécanique peut être un transducteur capacitif ; le microsystème électromécanique peut être un transducteur piézoélectrique. BREVES DESCRIPTION DES FIGURES 25 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description détaillée qui suit, en référence aux figures annexées, qui représentent : La figure 1, une représentation schématique d'un microsystème électromécanique selon un mode de réalisation de l'invention ; La figure 2, une représentation schématique d'un microsystème électromécanique 30 selon un autre mode de réalisation de l'invention ; La figure 3, une représentation schématique d'un microsystème électromécanique selon un autre mode de réalisation de l'invention ; La figure 4, une représentation schématique d'un microsystème électromécanique selon un autre mode de réalisation de l'invention. 35 DESCRIPTION DETAILLEE D'AU MOINS UN MODE DE REALISATION 3048689 4 La figure 1 représente un microsystème électromécanique 1 selon un mode de réalisation de l'invention. Ce microsystème électromécanique 1 est un transducteur capacitif. Il comporte une armature fixe 2 et une membrane mobile 3, séparées par une cavité 4. Le déplacement 5 de la membrane mobile 2 peut-être provoqué soit par une pression du milieu extérieur 7 si le transducteur fonctionne en mode capteur, soit par une tension électrique si le transducteur fonctionne en mode actionneur. La membrane mobile 3 comporte une membrane en carbone amorphe 5. Cette membrane 10 en carbone amorphe 5 présente une épaisseur comprise entre 2 nm et 50 nm. La figure 2 représente un microsystème électromécanique selon un autre mode de réalisation de l'invention. Ce microsystème électromécanique 1 est un transducteur capacitif. Il comporte une armature fixe 2 et une membrane mobile 3, séparées par une cavité 4. Le 15 déplacement de la membrane mobile 3 peut-être provoqué soit par une pression du milieu extérieur 7 si le transducteur fonctionne en mode capteur, soit par une tension électrique si le transducteur fonctionne en mode actionneur. La membrane mobile 3 comporte une membrane principale 6 revêtue par une membrane en 20 carbone amorphe 5. La membrane en carbone amorphe 5 présente une épaisseur comprise entre 1 nm et 50 nm, et de préférence comprise entre 3 nm et 20 nm, de façon à ce qu'elle ne modifie pas la rigidité de la membrane principale 6. La membrane en carbone amorphe 5 peut être déposée soit par dépôt direct sur la membrane principale, soit par report de couche. 25 La figure 3 représente un autre mode de réalisation dans lequel le microsystème électromécanique 1 est un transducteur piézoélectrique. Dans ce mode de réalisation, le microsystème électromécanique comporte une membrane mobile 3 sur laquelle est fixé au moins un capteur piézoélectrique 8 ou un actionneur piézoélectrique 8. La membrane mobile 30 3 comporte, comme dans le mode de réalisation précédent, une membrane principale 6 revêtue par une membrane en carbone amorphe 5. La membrane en carbone amorphe 5 présente une épaisseur comprise entre 1 nm et 50 nm, et de préférence comprise entre 3 nm et 20 nm, de façon à ce qu'elle ne modifie pas la rigidité de la membrane principale 6. La membrane en carbone amorphe peut être déposée soit par dépôt direct sur la membrane 35 principale, soit par report de couche. 3048689 5 En référence à la figure 4, on pourrait également envisager que la membrane mobile ne comprenne que la membrane en carbone amorphe comme dans le mode de réalisation de la figure 1. Dans ce cas, les capteurs ou actionneurs piézoélectriques sont de préférence fixés sous la membrane. En d'autres termes, dans ce cas, la membrane comporte une première 5 face destinée à être en contact avec le milieu extérieur 7 et une deuxième face sur laquelle sont fixés le ou les capteurs ou actionneurs piézoélectriques 8. L'avantage de cette configuration est que la rigidité de la membrane est minimale, et donc la transduction entre le mouvement mécanique de la membrane et le signal électrique aux bornes des capteurs ou actionneurs piézoélectriques, pour la commande ou la lecture, se fait à énergie minimale. La 10 membrane en carbone amorphe présente de préférence une épaisseur comprise entre 2 nm et 50nm, déterminée en fonction du positionnement des capteurs ou actionneurs piézoélectriques 8. La membrane en carbone amorphe utilisée dans les microsystèmes électromécaniques des 15 figures 1 à 4 présente un taux d'hybridation de type sp3 compris entre 20% et 40% ce qui lui permet de présenter un module d'Young compris entre 100 GPa et 500 GPa. En effet, les atomes de carbone hybrident leurs orbitales externes s et p en sp2 et sp3 pour former des liaisons de type t ou a, le taux relatif de ces liaisons est déterminant pour les propriétés du matériau : globalement, les liaisons t régissent le comportement électronique de la 20 membrane, et les liaisons a en déterminent le comportement mécanique. Le taux d'apparition de chacune des deux liaisons dans le matériau peut être déterminé expérimentalement par spectrométrie photoélectronique X ou par spectroscopie Raman. L'échantillon doit être dégazé lors de la mesure. 25 La membrane en carbone amorphe est flexible. En effet, la membrane en carbone amorphe présente un module de Young compris entre 100 GPa et 500 GPa. La membrane en carbone amorphe 5 est chimiquement inerte, biocompatible, hermétique même en épaisseurs nanométriques, et stable jusqu'à des températures supérieures à 30 300°C. La membrane en carbone amorphe 5 permet à la fois de protéger la membrane principale 6 des agressions du milieu extérieur 7 et également de protéger le milieu extérieur des contaminations générées par la membrane principale 6 , le support 2, et l'ensemble des éléments du MEMS' ce qui est particulièrement intéressant lorsque le milieu extérieur est un milieu biologique. 35 Une telle membrane en carbone amorphe peut par exemple être fabriquée dans le dispositif 3048689 6 décrit dans la demande FR n°1560224. En effet, ce dspositif permet de fabriquer des couches en carbone amorphe de faible épaisseur, continues, homogènes, élastiques, dont le taux de liaison spi est supérieur à 20%, et sur tout type de substrat. 5 Naturellement, l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits en référence aux figures et des variantes pourraient être envisagées sans sortir du cadre de l'invention. La membrane en carbone amorphe pourrait par exemple être utilisée dans d'autres microsystèmes électromécaniques que ceux décrits en référence aux figures. 10 REVENDICATIONS1. Membrane en carbone amorphe (5) pour microsystème électromécanique (1), la membrane en carbone amorphe (5) présentant une épaisseur comprise entre 1 nm et 50 nm, et de préférence comprise entre 3 nm et 20 nm. 2. Membrane en carbone amorphe (5) selon la revendication précédente, dans laquelle la membrane en carbone amorphe présente un taux d'hybridation de type spi compris entre 20% et 40%. . 3. Microsystème électromécanique (1) comportant une membrane en carbone amorphe (5) selon l'une des revendications 1 ou 2. 4. Microsystème électromécanique (1) comportant une membrane mobile (3) comportant une membrane en carbone amorphe (5) selon l'une des revendications 1 ou 2. 5. Microsystème électromécanique (1) selon la revendication précédente, dans lequel la membrane mobile (3) comporte une membrane principale (6), la membrane principale (6) étant revêtue par la membrane en carbone amorphe (5). 6. Microsystème électromécanique (1) selon l'une des revendications 3 à 5, dans lequel le microsystème électromécanique est un actionneur. 7. Microsystème électromécanique (1) selon l'une des revendications 3 à 5, dans lequel le microsystème électromécanique est un capteur. 8. Microsystème électromécanique (1) selon l'une des revendications 3 à 7, dans lequel le microsystème électromécanique est un transducteur capacitif. 9. Microsystème électromécanique (1) selon l'une des revendications 3 à 7, dans lequel le microsystème électromécanique est un transducteur piézoélectrique.35