FR 3034930 A1 20161014 FR 1553096 A 20150410 3034930 PROCEDE ET DISPOSITIF D'AUTO-CALIBRATION DE CIRCUITS MULTI-GRILLES Domaine de l'invention L'invention se situe dans le domaine des circuits intégrés, et en particulier celui des circuits multi-grilles de type FinFET ou FDSOI. Etat de la Technique Chaque année, de nouvelles technologies microélectroniques sont disponibles, apportant des innovations et des améliorations à notre quotidien. Tout cela est possible grâce à des circuits aux performances de plus en plus élevées et des fonctions de plus en plus complexes. Cette augmentation de performances a été rendue possible par la miniaturisation des composants élémentaires, à savoir les transistors. Les technologies actuelles permettent de concevoir des puces ayant des transistors aux dimensions atomiques. Au fur et à mesure que la taille des transistors est réduite vers la dizaine de nanomètres, la variation des dopants dans la région du canal cause directement une variation de la tension de seuil VTH entre deux transistors supposés identiques et adjacents sur une même puce. De nouvelles structures de transistors MOSFET ont été récemment proposées pour réduire la variabilité des composants en dessous de 22nm, les unes selon la technologie FinFet qui utilise des transistors non-planaires multi-grilles, et d'autres selon la technologie FDS01 « Fully Depleted Silicium On Insulator ». La technologie FDS01 (Fully Depleted Silicon on Insulator - silicium complètement appauvri sur isolant) est basée sur une mince couche (5 à 20nm) de silicium sur une mince couche (5 à 50nm) d'oxyde 2 3034930 enterré (Buried Oxide -B0x). Les transistors sont construits sur la fine couche de silicium non-dopée (appauvrie en charges) qui a plusieurs avantages par rapport au Bulk. Comme le canal est complètement appauvri, la variation aléatoire des dopants qui touchait le CMOS Bulk est 5 réduite, ce qui améliore les performances à VDD plus faible. Le FDS01 revendique une amélioration du ratio Consommation/Performance de l'ordre de 30 à 40% face au CMOS Bulk 20nm. Cependant, la variabilité des procédés de fabrication reste 10 contraignante pour les circuits intégrés et elle introduit des désappariements des transistors. Ainsi sur une même puce, des transistors supposés identiques ne vont pas avoir les mêmes caractéristiques. Cette différence de caractéristiques peut introduire des dysfonctionnements du circuit final, qui peut alors ne plus vérifier pour 15 certaines applications, les spécifications demandées. Dans le cas spécifique de l'électronique analogique, certaines cellules nécessitent que les transistors soient identiques, c'est-à-dire appairés. Des techniques de calibration des circuits sont devenues 20 nécessaires pour une majorité d'applications. Cependant, les approches connues de mise en oeuvre de la calibration conduisent à une augmentation de la surface du circuit final par ajout d'électronique, donc à une augmentation de la consommation et 25 à une augmentation du coût global. Aussi un problème à résoudre est celui de proposer une solution de calibration des circuits qui n'augmente pas la surface du circuit, et qui présente une immunité à la variabilité des procédés. La technologie FDS01 qui n'a pas besoin de dopage pour contrôler la tension de seuil, et qui offre par ailleurs sur les transistors une grille 3 3034930 arrière, permet de proposer une solution de calibration basée sur la commande de la grille arrière des transistors. Cependant, dans le cas des circuits analogiques différentiels, tels les miroirs de courant ou les paires différentielles, il est important que les 5 transistors aient les mêmes caractéristiques. De même, pour réaliser des oscillateurs, notamment des oscillateurs en anneau à base d'inverseurs, il est également important que les transistors (donc les inverseurs) aient les mêmes caractéristiques pour diminuer le phénomène de gigue (« jitter » en anglais) Or, il n'existe pas en technologie FDSOlde solution simple 10 connue à ce problème. Il existe alors le besoin d'une solution qui pallie aux inconvénients des approches connues. La présente invention répond à ce besoin. Cette invention s'applique à tous les circuits numériques utilisant une logique 15 complémentaire. Résumé de l'invention Selon un mode de réalisation, un circuit en logique complémentaire comprend : une première cellule logique composée de transistors à grille 20 arrière, la première cellule ayant au moins une première entrée pour recevoir au moins un premier signal d'entrée et ayant une sortie pour délivrer un premier signal de sortie ; et une deuxième cellule logique complémentaire de la première cellule, composée de transistors à grille arrière, la deuxième cellule ayant autant d'entrées que la première cellule, 25 chaque entrée pouvant recevoir un signal d'entrée complémentaire du signal d'entrée respectif de la première cellule, la deuxième cellule ayant une sortie pour délivrer un deuxième signal de sortie complémentaire du premier signal de sortie de la première cellule. Le circuit est caractérisé en ce que ledit premier signal de sortie de la première cellule est appliqué 30 sur la grille arrière de chaque transistor de la deuxième cellule, et en ce 4 3034930 que ledit deuxième signal de sortie de la deuxième cellule est appliqué sur la grille arrière de chaque transistor de la première cellule. Dans un mode de réalisation, la première cellule est un premier 5 inverseur CMOS apte à délivrer une sortie inverse de son entrée, et la deuxième cellule est un deuxième inverseur CMOS apte à recevoir une entrée complémentaire de l'entrée du premier inverseur et à délivrer une sortie complémentaire de la sortie du premier inverseur, la sortie du premier inverseur étant appliquée sur la grille arrière des transistors io NMOS et PMOS du deuxième inverseur CMOS et la sortie complémentaire du deuxième inverseur étant appliquée sur la grille arrière des transistors NMOS et PMOS du premier inverseur CMOS. Dans une variante, le premier inverseur et le second inverseur sont 15 connectés directement entre une tension haute et une tension basse. Dans une autre variante, le premier inverseur et le second inverseur comprennent un générateur de courant entre le transistor PMOS et une tension haute. 20 Selon une autre variante, le premier inverseur et le second inverseur comprennent un générateur de courant entre le transistor NMOS et une tension basse. 25 Dans un mode de réalisation, la première cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser l'une des fonctions (AND, NAND, OR, NOR) à deux entrées (A,B) et la deuxième cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser l'une des mêmes fonctions (AND, NAND, OR, NOR) à deux entrées complémentaires (À,e) de la première 30 cellule. 5 3034930 Avantageusement, un oscillateur contrôlé par la tension comprenant un nombre pair de circuits de l'invention peut être implémenté. Dans une implémentation, un tel oscillateur peut comprendre quatre sorties identiques de même amplitude, de même fréquence et de 5 phases régulièrement espacées. Avantageusement, les transistors sont des transistors en technologie silicium complètement appauvri sur isolant «FDSOI» ou des transistors « FinFet » à double grille. 10 Description des figures Différents aspects et avantages de l'invention vont apparaitre en appui de la description d'un mode préféré d'implémentation de l'invention 15 mais non limitatif, avec référence aux figures ci-dessous : La figure 1 est une représentation en logique conventionnelle d'un inverseur et de sa réalisation en utilisant les différentes polarisations possibles de la grille arrière des 2 transistors la composant ; La figure 2 est une représentation en logique complémentaire zo d'une cellule inverseur selon un mode de réalisation de l'invention ; La figure 3 montre une implémentation préférentielle de la cellule inverseur de la figure 2 selon un mode de réalisation ; La figure 4 montre une variante d'implémentation de la cellule inverseur de la figure 2 dans un autre mode de réalisation de l'invention ; 25 La figure 5 montre un oscillateur en anneau dans un mode de réalisation de l'invention ; La figure 6 montre un exemple d'implémentation d'une fonction NAND à deux entrées selon un mode de réalisation de l'invention ; 6 3034 930 Les figures 7a à 7e illustrent des exemples d'implémentations de fonctions logiques selon des modes de réalisation de l'invention. Description détaillée de l'invention 5 Référence est faite à la figure 1 où une représentation conventionnelle logique 100 d'un circuit inverseur ayant une entrée 'I=A' et délivrant une sortie complémentaire `S=A' est montrée. Quelques exemples non limitatifs d'implémentations d'un tel inverseur dans une Io technologie de transistors à grille arrière, telle la technologie CMOS FDS01 sont illustrés, où les grilles arrières des transistors peuvent être connectées à des mêmes tensions (102, 104) ou à des tensions différentes (106, 108). La figure 2 illustre, sur une représentation d'un circuit inverseur, le 15 principe général de l'invention qui est de symétriser le fonctionnement du circuit selon une logique complémentaire. Le circuit inverseur 200 de l'invention comprend une entrée complémentaire et une sortie complémentaire. L'entrée du circuit reçoit un premier signal 'A' et un deuxième signal 'À' complémentaire du premier signal. La sortie 20 complémentaire délivre un premier signal `S=À` inverse du premier signal d'entrée 'A', et un deuxième signal complémentaire `S=A', inverse du deuxième signal d'entrée. Les transistors du circuit sont de type ayant une grille arrière, en technologie SOI, FDSOI, ou encore CMOS avec bulk, double-puits ou triple-puits. Les transistors peuvent aussi être de type 25 double grille en technologie FinFet, ou toute autre technologie offrant sur un transistor une grille permettant de contrôler la tension de seuil du transistor. Selon le principe de l'invention, les caractéristiques des transistors sont modifiées en fonction des caractéristiques de la sortie du circuit en modifiant la valeur sur la grille arrière ou la double grille des 30 transistors. Le signal de sortie est un signal complémentaire symétrisé grâce à un contrôle des tensions de seuil des transistors. 7 3034930 La figure 3 montre un exemple d'implémentation du circuit inverseur de la figure 2 en technologie CMOS FDSOI. D'une manière générale, le circuit 300 comprend une première cellule 300-1 pour recevoir sur une première entrée un premier signal d'entrée 'A' et délivrer 5 sur une première sortie, un premier signal de sortie 'S'. Il comprend une deuxième cellule 300-2 en logique complémentaire pour recevoir sur une deuxième entrée un deuxième signal d'entrée 'À' complémentaire du premier signal d'entrée, et délivrer sur une deuxième sortie, un deuxième signal de sortie 'S' qui est complémentaire du premier signal de sortie de 10 la première cellule. Les transistors des première et deuxième cellules ayant des grilles arrières, le principe nouveau et inventif de la présente invention consiste en ce que la sortie de chaque cellule est rebouclée sur la grille arrière de tous les transistors réalisant la fonction logique de l'autre cellule. Ainsi, la sortie de la première cellule est appliquée sur les 15 grilles arrières des transistors de la deuxième cellule, et la sortie de la deuxième cellule est appliquée sur la grille arrière des transistors de la première cellule. Il y a alors une symétrisation des deux étages du circuit inverseur qui s'effectue et de ce fait, les effets liés à la variabilité du procédé vont s'atténuer. 20 Dans le détail de l'implémentation de la figure 3, la première cellule 300-1 de l'inverseur 300, comprend un transistor 302 de type NMOS, un transistor 304 de type PMOS, une entrée 306 pour recevoir un signal de valeur 'A' et une sortie 308 pour délivrer un signal de valeur inversée 'À'. Dans l'exemple décrit les transistors (302, 304) sont de type FDS01 et 25 comprennent une grille arrière qui est connectée à la sortie 318 de la deuxième cellule. De manière symétrique, la deuxième cellule 300-2 de l'inverseur 300, comprend un transistor 312 de type NMOS, un transistor 314 de type PMOS, une entrée 316 pour recevoir un signal de valeur 'À' complémentaire de la valeur 'A' de la première cellule, et une sortie 318 30 pour délivrer un signal de valeur inversée 'A', qui est complémentaire de la valeur de sortie de la première cellule. De manière similaire à la 8 3034930 première cellule, les transistors (312, 314) sont de type FDS01 et comprennent une grille arrière qui est connectée à la sortie 308 de la première cellule. En fonctionnement, lorsque la sortie `S' de l'inverseur de la deuxième cellule 300-2 commute du haut vers le bas (i.e. l'entrée a 5 commuté du bas vers le haut, de Vss à VDD), c'est le transistor NMOS 312 qui conduit. Pendant le même temps la sortie 'S' de l'inverseur de la première cellule commute du bas vers le haut, et c'est le transistor PMOS 304 qui conduit. De fait, avantageusement en rebouclant les sorties de chaque cellule sur la grille arrière des transistors de l'autre cellule, la 10 cellule la plus lente va ralentir la plus rapide et la plus rapide va accélérer la plus lente. Ainsi les temps de propagation « tpHL » et « tpui » au sein du circuit 300 vont s'équilibrer (se compenser ou se calibrer). L'homme du métier comprend que les transistors sont connectés à des sources de tensions hautes et basses (VDD, Vss) qu'il n'est pas utile 15 de plus décrire, et que différentes implémentations de l'exemple décrit peuvent être réalisées selon que les transistors sont connectés directement à la tension d'alimentation ou via un générateur de courant par exemple comme illustré sur la figure 4. Il est à noter que les éléments identiques à ceux de la figure 3 conservent les mêmes références, 20 comme les transistors (302, 304) et (312, 314) de chaque cellule inverseur. La figure 4 montre un circuit inverseur dans un mode de réalisation de l'invention comprenant un générateur de courant commandé dans chaque cellule inverseur. Le générateur de courant est composé d'un 25 transistor (402, 404) placé entre le transistor PMOS (304,314) de chaque cellule et l'alimentation VDD et commandé par une tension définie Vtunel'. Dans une variante d'implémentation, un deuxième générateur de courant peut être ajouté par un transistor placé entre le transistor NMOS (302, 312) et la tension basse VSS. 30 Grâce à la grille arrière des transistors montés en générateur de courant, il est possible pour un réglage plus fin ou une calibration 9 3034 930 supplémentaire de polariser cette électrode par l'intermédiaire d'une tension définie Vtune2'. Avantageusement, puisque l'invention propose la réalisation de portes logiques complémentaires, un tel dispositif permet de réaliser un 5 circuit oscillateur en anneau dont le rapport cyclique va tendre vers 50%, ce qui est très important pour nombres d'applications en télécommunication. Toujours avantageusement, le principe de la présente invention permet de réaliser des circuits oscillateurs commandés par la tension (VCO) ayant un nombre pair d'inverseurs comme illustré sur la 10 figure 5, où la commande du VCO correspond à la tension Vtunel'. Dans une implémentation avantageuse, un tel oscillateur avec un nombre pair d'inverseurs permet de réaliser un oscillateur en quadrature (QVCO) présentant 4 sorties de même amplitude et même fréquence, mais à des phases différentes régulièrement réparties (0°, 90°, 180° et 15 270°). Cette topologie de VCO en quadrature - QVCO- est avantageusement utilisée dans des architectures de récepteurs radiofréquences à réjection de fréquence image. D'une manière plus générale, le principe de l'invention peut être étendu et appliqué à toutes les cellules numériques utilisant une logique 20 complémentaire. La figure 6 montre un exemple d'implémentation d'une fonction NAND à deux entrées (NAND2) selon un mode de réalisation de l'invention en technologie FDSOI. Le circuit 600 est composé d'une première cellule 600-1 et d'une deuxième cellule complémentaire 600-2. Chaque cellule comprend des transistors permettant de réaliser une 25 fonction NAND à deux entrées. Selon le principe de l'invention, la sortie de chaque cellule est rebouclée sur la grille arrière des transistors de l'autre cellule, rendant ainsi les cellules plus robustes aux variations technologiques du procédé de fabrication et aux aléas de fonctionnement (notamment pour la synthèse de circuits asynchrones). 30 La première cellule NAND comprend une première entrée 602 pour recevoir un premier signal 'A' appliqué sur l'entrée de deux transistors 10 3034 930 NMOS 604 et PMOS 606. La première cellule NAND comprend de plus une deuxième entrée 608 pour recevoir un deuxième signal 'B' appliqué sur l'entrée de deux transistors NMOS 610 et PMOS 612. La deuxième cellule 600-2 réalisant la porte NAND 5 complémentaire, comprend une première entrée 614, pour recevoir un premier signal 'À' complémentaire du premier signal de la première cellule, et appliqué sur l'entrée de deux transistors NMOS 616 et PMOS 618. La deuxième cellule comprend aussi une deuxième entrée 620 pour recevoir un deuxième signal 'e' complémentaire du deuxième signal 'B' de 10 la première cellule, et appliqué sur l'entrée de deux transistors NMOS 610 et PMOS 612. La première cellule NAND 600-1 permet de délivrer un signal de sortie 'S' correspondant à la fonction NAND des entrées 'A' et 'B'. La deuxième cellule complémentaire 600-2 permet de délivrer un signal de 15 sortie `S' correspondant à la fonction NAND des entrées 'À' et 'e'. La sortie 'S' de la première cellule est appliqué sur la grille arrière de tous les transistors (616,618,622,624) de la deuxième cellule, et la sortie `S' de la deuxième cellule est appliquée sur la grille arrière de tous les transistors (604,606,610,612) de la première cellule. La sortie logique du circuit 20 différentiel NAND2 selon le principe de l'invention est alors : {S,}= {A,À}.{Be + S = A.B (NAND) et S = A.B = A + B (NOR) Les figures 7a à 7e illustrent des exemples d'implémentations de 25 circuits en logique complémentaire selon des modes de réalisation de l'invention. La figure 7a illustre un circuit différentiel composé de deux cellules symétriques pour réaliser une fonction AND à deux entrées. La figure 7b illustre un circuit différentiel composé de deux cellules symétriques pour réaliser une fonction NOR à deux entrées. La figure 7c 30 illustre un circuit différentiel composé de deux cellules symétriques pour réaliser une fonction OR à deux entrées. Les cellules des figures 7d et 7e 11 3034930 réalisent d'autres fonctions logiques à deux entrées. Ainsi, la présente description illustre une implémentation préférentielle de l'invention, mais n'est pas limitative. Quelques exemples 5 ont été décrits pour permettre une bonne compréhension des principes de l'invention, et une application concrète, mais ils ne sont en rien exhaustifs et doivent permettre à l'homme du métier d'apporter des modifications et des variantes d'implémentation en conservant les mêmes principes. REVENDICATIONS1. Un circuit en logique différentielle comprenant : une première cellule logique composée de transistors à grille arrière, la première cellule ayant au moins une première entrée pour recevoir au moins un premier signal d'entrée (A) et ayant une sortie pour délivrer un premier signal de sortie (S) ; et une deuxième cellule logique complémentaire de la première cellule, composée de transistors à grille arrière, la deuxième io cellule ayant autant d'entrées que la première cellule, chaque entrée pouvant recevoir un signal d'entrée (A) complémentaire du signal d'entrée respectif de la première cellule, la deuxième cellule ayant une sortie pour délivrer un deuxième signal de sortie (S) complémentaire du premier signal de sortie (S) de la 15 première cellule; le circuit étant caractérisé en ce que ledit premier signal de sortie (S) de la première cellule est appliqué sur la grille arrière de chaque transistor de la deuxième cellule, et en ce que ledit deuxième signal de sortie (S) de la deuxième cellule est 20 appliqué sur la grille arrière de chaque transistor de la première cellule. 2. Le circuit selon la revendication 1 dans lequel la première cellule est un premier inverseur CMOS apte à délivrer une 25 sortie inverse de son entrée, et la deuxième cellule est un deuxième inverseur CMOS apte à recevoir une entrée complémentaire de l'entrée du premier inverseur et à délivrer une sortie complémentaire de la sortie du premier inverseur, la sortie du premier inverseur étant appliquée sur la grille arrière 30 des transistors NMOS et PMOS du deuxième inverseur CMOS 3034930 13 et la sortie complémentaire du deuxième inverseur étant appliquée sur la grille arrière des transistors NMOS et PMOS du premier inverseur CMOS. 3. 4. 10 5. 15 6. 20 7. 8. Le circuit selon ta revendication 2 dans lequel le premier inverseur et le second inverseur sont connectés directement entre une tension haute et une tension basse. Le circuit selon la revendication 2 dans lequel le premier inverseur et le second inverseur comprennent un générateur de courant entre le transistor PMOS et une tension haute. Le circuit selon la revendication 2 ou 4 dans lequel le premier inverseur et le second inverseur comprennent un générateur de courant entre le transistor NMOS et une tension basse. Un oscillateur contrôlé par la tension comprenant un nombre pair de circuits selon l'une quelconque des revendications 1 à 5. L'oscillateur selon la revendication 6 comprenant quatre sorties identiques de même amplitude, de même fréquence et de phases régulièrement réparties. Le circuit selon la revendication 1 dans lequel la première 25 cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction AND de deux entrées (A,B) et la deuxième cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction 3034930 14 AND des deux entrées complémentaires (A,B) de la première cellule. 9. Le circuit selon la revendication 1 dans lequel la première cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction NAND de deux entrées (A,B) et la deuxième cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction NAND des deux entrées complémentaires (A,B) de la première cellule. 10 10. Le circuit selon la revendication 1 dans lequel la première cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction OR de deux entrées (A,B) et la deuxième cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction 15 OR des deux entrées complémentaires (A,B) de la première cellule. 11. Le circuit selon la revendication 1 dans lequel la première cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une 20 fonction NOR de deux entrées (A,B) et la deuxième cellule comprend des transistors CMOS aptes à réaliser une fonction NOR des deux entrées complémentaires (A,B) de la première cellule. 25 12. Le circuit selon l'une quelconque des revendications 1 à 5 et 8 à 11 dans lequel les transistors sont des transistors en technologie silicium complètement appauvri sur isolant «FDS01 ». 3034930 15 13. Le circuit selon l'une quelconque des revendications 1 à 5 et 8 à 11 dans lequel les transistors sont des transistors «FinFet» à double grille.