FR 3032974 A1 20160826 FR 1551409 A 20150219 1 DISPOSITIF DE MANIPULATION DE CELLULES BIOLOGIQUES AU MOYEN D'UN SUPPORT VIBRANT DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUEET ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE La présente invention se rapporte à un dispositif de manipulation de cellules biologiques au moyen d'un support vibrant et à un dispositif de tri de cellules biologiques. La possibilité de trier les cellules biologiques à partir d'un mélange hétérogène est un enjeu majeur en biomédecine. Il existe deux techniques principalement utilisées : - le tri par cytométrie en flux (FACS : Fluorescence ActivatedCellSorting en terminologie anglo-saxonne), cette technique repose sur le marquage fluorescent des cellules à l'aide de colorants spécifiques ou d'anticorps fluorescents dirigés contre des antigènes de surface. Les propriétés de diffusion de la lumière et de fluorescence permettent de sélectionner la ou les populations d'intérêts. Cette technique offre la possibilité d'une sélection avec une pureté élevée mais au prix d'un équipement couteux. - l'isolement à partir de billes magnétiques (MACS MagneticActivatedCellSortingen terminologie anglo-saxonne), cette technique repose sur l'utilisation d'anticorps dirigés contre des antigènes de surface couplés à des billes magnétiques permettant un débit cellulaire pouvant dépasser la cytométrie en flux au prix d'une pureté moindre. Ces deux techniques sont très utilisées mais nécessitent l'utilisation de cellules en suspension, requièrent une mise au point concernant la concentration de l'anticorps, la densité de cellules, la taille des billes magnétiques et nécessite l'existence de marqueurs spécifiques exprimés à la surface de la cellule permettant le tri. Or ces marqueurs peuvent se révéler inexistant pour certains types de cellules, par exemple pour les cellules cancéreuses qui ne présentent pas toujours d'antigènes de surface spécifiques identifiés. Par conséquent, ces techniques de tri ou d'isolement ne sont pas applicables à toutes les cellules. 3032974 2 Il existe d'autres techniques permettant un tri sans marquage préalable, par exemple les techniques utilisant la taille et la densité (CCE Counterflow Centrifugal Elutriation en terminologie anglo-saxonne) et celles utilisant le fractionnement par dielectrophorèse. En revanche, elles ne permettant pas d'atteindre une résolution suffisante. 5 En outre, dans le cas particulier de la diélectrophorèse, la survie des cellules ne peut être assurée. Un autre paramètre physique est utilisé pour trier les cellules, il s'agit de l'adhérence cellulaire par rapport à une surface, qui dépend du type cellulaire étudié, de la surface d'adhérence et de l'environnement biochimique de la cellule. Ce paramètre physique 10 peut se révéler très discriminant pour le tri cellulaire sans nécessiter de marquage préalable. Ce paramètre physique est utilisé dans des dispositifs de chromatographie cellulaire d'affinité comportant une chambre microfluidique, dans lesquels une surface est fonctionnalisée. Un fluide transportant des cellules s'écoule sur une surface fonctionnalisée. Les cellules adhèrent à la surface suivant leur affinité avec la 15 surface. La fonctionnalisation de la surface peut se faire de manière chimique par formation d'une couche de fonctionnalisation ou par nanostructuration. Le document Chang et al Biomimetic technique for adhesion-based collection and separation of cells in a microfluidic channel. Lab Chip 2005, 5, 64-73 décrit un tel dispositif. Le document 20 Mandrusov et al. Membrane-based cell affinity chromatography to retrieve viable cells. Biotechnol.Prog. 1995, 11, 208-213 décrit également une méthode de séparation cellulaire utilisant l'affinité avec une surface. Le document Sin et al. Enrichment using antibody-coated microfluidic chambers in shear flow: mode) mixtures of human lymphocytes. Biotechnology & 25 Bioengineering, VOL.91, NO.7, September30, 2005 pages 816-826 décrit l'utilisation de circuits micro-fluidiques avec des surfaces fonctionnalisées par des anticorps. Le document Kwon et al. "Label-free, microfluidic separation and enrichment of human breast cancer cells by adhesion difference" Lab Chip 2007, 7, 1461-1468 décrit l'utilisation de circuits micro-fluidiques avec surfaces fonctionnalisées par des surfaces structurées. 3032974 3 Ces dispositifs permettent de collecter des cellules présentant une affinité avec la surface fonctionnalisée, mais la récupération de ces cellules peut poser problème. La récupération peut être obtenue en appliquant une contrainte de cisaillement au moyen d'un liquide de sorte à décrocher les cellules. Ces dispositifs ne 5 permettent pas l'application d'une force de cisaillement uniforme, notamment sur les bords des chambres microfluidiques, empêchant ainsi un tri efficace. EXPOSÉ DE L'INVENTION C'est par conséquent un but de la présente invention d'offrir un dispositif offrant une manipulation de cellules biologiques facilitée et pouvant être 10 discriminante. C'est un but supplémentaire de la présente invention d'offrir un dispositif de tri cellulaire offrant une efficacité améliorée, notamment dans le tri des cellules cancéreuses. Le but énoncé ci-dessus est atteint par un dispositif mettant en oeuvre 15 un support et des moyens de mise en vibration du support suivant au moins une fréquence de sorte à appliquer une force inertielle aux cellules qui ont adhéré au support qui est apte à la décrocher. La force d'adhérence à une surface donnée permet de caractériser un type de cellules par rapport à un autre. On peut ainsi modifier l'adhérence au support des cellules en modifiant la fréquence de vibration et décrocher un type de 20 cellule souhaité. En d'autres termes, on réalise un dispositif présentant des propriétés d'adhérence différentes vis-à-vis de types cellulaires différents, ces différents types cellulaires sont sélectionnés en leur imprimant une force qui est suffisante pour détacher du support une population cellulaire donnée. 25 Par exemple, la mise en vibration du support est obtenue au moyen d'un actionneur piézoélectrique. Par exemple, on fait circuler un fluide contenant des cellules d'intérêt sur un support, les cellules d'intérêt et d'autres adhèrent au support. En appliquant une ou des vibrations de fréquences données, on peut ensuite soit détacher uniquement les 3032974 4 cellules d'intérêt soit uniquement les autres cellules. En ne conservant que les cellules d'intérêt sur le support, on peut accumuler les cellules d'intérêt sur le support. De manière avantageuse, la ou les surfaces de support peut ou peuvent être fonctionnalisée(s) pour modifier les forces d'adhérence des cellules sur la ou les 5 surfaces. La présente invention a alors pour objet un dispositif de manipulation d'un ou de plusieurs types de cellules biologiques distinguables à partir de leurs propriétés d'adhérence, comportant : au moins un support comprenant une surface d'accueil permettant 10 l'adhérence desdites cellules, - au moins un actionneur apte à mettre en vibration ladite surface à au moins une fréquence donnée, et - des moyens de commande dudit actionneur de sorte que la surface vibre à une fréquence provoquant le détachement d'au moins un type de cellules 15 biologiques. Dans la présente demande, on entend par "type de cellules" soit une espèce cellulaire soit un état biologique particulier au sein d'une même espèce. Grâce à ce dispositif, le détachement d'au moins un type de cellules biologiques permet notamment leur distinction 20 Dans le cas de cellules biologiques de plusieurs types, les moyens de commande peuvent commander l'actionneur de sorte qu'il puisse mettre en vibration ladite surface à plusieurs fréquences données, chacune des fréquences étant choisie de sorte à provoquer le détachement d'au moins un des types de cellules biologiques. De manière préférée, la ou les fréquences est ou sont choisie(s) de sorte 25 que les ondes générées correspondent à des déformations de la surface de l'ordre de la taille des cellules biologiques ou inférieures à la taille des cellules biologiques. Un dispositif dans lequel les ondes générées correspondent à des déformations de la surface supérieures à la taille des cellules biologiques ne sort pas du cadre de la présente invention. 3032974 5 Dans un exemple de réalisation, le dispositif est apte à mettre en vibration la surface à plusieurs fréquences, lesdites différentes fréquences étant appliquées de préférence séquentiellement. Tout ou partie de la surface peut être fonctionnalisée de sorte à 5 modifier la force d'adhérence du ou des types de cellules biologiques par rapport à la surface non fonctionnalisée. Dans un exemple de réalisation, le support est formé par une membrane suspendue. La plus grande dimension de la membrane peut être comprise entre quelques um et quelques centaines de um, de préférence entre 5 um et 20000 um. 10 Dans un autre exemple de réalisation, le support est formé par une plaque, par exemple une plaque en verre, dont les côtés mesurent par exemple entre quelques centaines de um à quelques cm Avantageusement, les moyens de commande commandent l'actionneur de sorte que le support vibre dans un mode de Lamb. 15 Plusieurs actionneurs peuvent être répartis sur ou sous la surface du support. Les moyens de commande peuvent commander les actionneurs de sorte qu'ils mettent chacun en vibration la surface du support selon un mode différent. L'actionneur ou les actionneurs peuvent être choisis parmi des actionneurs piézoélectriques, ferroélectriques, électrostatiques, magnétiques ou 20 thermiques. On peut prévoir d'utiliser différents types d'actionneur sur le même support. Dans un exemple de réalisation, l'actionneur est réalisé sur une face du support opposée à la surface destinée à entrer en contact avec les cellules biologiques. De manière très avantageuse, le dispositif de manipulation est un dispositif MEMS et/ou NEMS. 25 La présente invention a également pour objet un dispositif de tri de cellules biologiques comportant au moins un dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'invention. La présente invention a également pour objet un dispositif microfluidique comportant au moins un dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'invention ou un dispositif de tri selon l'invention, comportant au moins une entrée 3032974 6 d'alimentation en une solution comportant au moins un type de cellules biologiques et au moins une sortie d'évacuation, le support étant disposé entre l'entrée d'alimentation et la sortie d'évacuation. Le dispositif microfluidique peut-être utiliser pour faire du tri de cellules 5 ou par exemple pour du nettoyage de surface de support La présente invention a également pour objet un procédé de tri de différents types de cellules biologiques contenus dans une solution mettant en oeuvre le dispositif de tri selon l'invention, comportant les étapes: mise en contact de la solution contenant les différents types de 10 cellules biologiques avec la surface du support, adhérence des cellules de différents types sur la surface du support, mise en vibration de la surface à au moins une fréquence donnée de sorte à détacher au moins l'un des types de cellules, - évacuation des cellules détachées. 15 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise sur la base de la description qui va suivre et des dessins en annexe sur lesquels: - la figure 1 est une représentation schématique d'un dispositif de tri cellulaire mettant en oeuvre l'invention, 20 - la figure 2 est une vue en coupe d'un exemple de support pouvant être mis en oeuvre dans le dispositif de la figure 1, - la figure 3 est une vue de trois quarts d'un autre exemple de support muni de plusieurs actionneurs, - la figure 4 est une représentation du support de la figure 3 dans 25 différents modes de vibration, - la figure 5 est une vue de trois quarts d'un autre exemple de support muni de plusieurs actionneurs pour une mise en vibrations dans différents modes, - les figures 6A et 6B sont des vues du support de la figure 5 dans différents modes de vibration, 3032974 7 - les figures 7A à 7S sont des représentations schématiques des éléments obtenus au cours des différentes étapes d'un exemple de procédé de réalisation d'un dispositif de tri, - la figure 8 représente des modes de vibration possible d'une 5 membrane circulaire. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La description qui va suivre porte principalement sur l'application de l'invention au tri de cellules vivantes mais la présente invention peut avoir d'autres applications qui seront décrites ci-après. 10 Sur la figure 1, on peut voir une représentation schématique d'un exemple d'un dispositif de tri cellulaire mettant en oeuvre la présente invention. Dans l'exemple représenté, le dispositif de tri cellulaire comporte un boîtier 2 muni d'une entrée d'alimentation fluidique 4 réalisée dans une paroi latérale 5 du boîtier et d'une sortie d'évacuation fluide 6 réalisée dans la paroi latérale 5 du boîtier 15 et un fond 8. L'entrée d'alimentation 4 et la sortie d'évacuation 6 sont disposées par rapport au fond 8 de sorte que le flux de fluide s'écoule sur le fond de l'entrée 4 vers la sortie 6. On peut envisager de disposer le dispositif dans une enceinte avec température contrôlée. 20 Le fond 8 est formé par un dispositif D offrant des propriétés d'adhérence variables pour au moins un type de cellule. Le dispositif D comporte un support, dans l'exemple représenté, formé par une membrane suspendue 12 à la paroi latérale du boîtier. Le dispositif comporte également au moins un actionneur apte à mettre en vibration la membrane suivant une 25 fréquence donnée. Dans l'exemple représenté, le dispositif comporte deux actionneurs 14, 16 mettant en oeuvre un matériau ferroélectrique, par exemple du PZT, l'un des actionneurs sert au déplacement de la membrane vers le haut et l'autre actionneur sert au déplacement de la membrane vers le bas. Dans le cas où un matériau piézoélectrique est mis en oeuvre, un seul actionneur est suffisant pour assurer les déplacements vers le 3032974 8 haut et vers le bas, puisqu'un matériau piézoélectrique se dilate et se contracte suivant le signe de la tension appliquée. Le dispositif D est représenté de manière isolée sur la figure 2, celui-ci étant retourné par rapport à la représentation de la figure 1. 5 La membrane 12 a une forme circulaire, l'actionneur 14 est un actionneur ferroélectrique et est disposé sensiblement au centre de la membrane 12 sur une face 12.1 opposée à celle 12.2 située dans le boîtier et destinée à entrer en contact avec le fluide. L'actionneur 16 est également un actionneur ferroélectrique de forme annulaire et bordant le bord extérieur de la surface extérieure 12.1 de la membrane 12. 10 La surface intérieure 12.2 est telle qu'elle présente des propriétés d'adhérence par rapport à un ou plusieurs types de cellules. La surface 12.2 est par exemple en verre, en silicium ou tout matériau semi-conducteur. En variante, on pourrait envisager que ce soit le côté du dispositif portant le ou les actionneurs qui présente des propriétés d'adhérence par rapport à un ou 15 plusieurs types de cellules; des moyens pour isoler électriquement les actionneurs du fluide contenant les cellules seraient alors prévus, par exemple une couche isolante électrique. Les actionneurs 14, 16 comportent un matériau ferroélectrique15 et deux électrodes 17 de part et d'autres du matériau 15 permettant d'appliquer à ce 20 matériau 15 un champ électrique sur commande, qui provoque une déformation dans le plan du matériau et donc une déformation hors plan de la membrane dont il est solidaire, par effet bilame. En appliquant une tension alternative aux électrodes 17, la membrane vibre 12 aux fréquences de résonance des différents modes propres de la membrane. L'optimisation de tels actionneurs sont décrits dans le document F. 25 Casset et al, « Piezoelectric membrane actuator design », 12th Int. Conf. On Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (IEEE Eurosime), 18-20 apri12011, pp. 1-5. En variante, la membrane pourrait être de forme carrée ou rectangulaire. 30 En variante, un seul actionneur pourrait être mis en oeuvre. 3032974 9 De plus, le ou les actionneurs peuvent être des actionneurs de type électrostatique, magnétique, thermique... En variante, on pourrait envisager que ce soit le côté du dispositif portant le ou les actionneurs qui présente des propriétés d'adhérence par rapport à un ou 5 plusieurs types de cellules; des moyens pour isoler électriquement les actionneurs du fluide contenant les cellules seraient alors prévus, par exemple une couche isolante électrique. Chaque type de cellules biologiques peut être caractérisé par une valeur de force d'adhérence par rapport à une surface donnée et des conditions de culture. Les 10 forces d'adhérence des différents types cellulaires sont généralement comprises entre 1 nN et 500 nN. La température, le pH, la pression d'Oz et la présence de sérum dans le milieu de culture peuvent avoir un impact sur l'adhérence. Par exemple, une température inférieure à 37°C pour des cellules humaines diminue les forces d'adhérence. La présence 15 de sérum dans le milieu de culture favorise quant à elle l'adhérence mais l'aspect quantitatif est très variable d'un type cellulaire à un autre. L'impact sur l'adhérence des conditions de culture dépend du type de surface considéré. Nous allons donner des exemples de force d'adhérence Fadh pour différents types de cellule: 20 - pour des fibroblastes (NIH/3T3) sur du verre non fonctionnalisé Fadh est de l'ordre de 369 nN; - pour des fibroblastes murins L929 sur un plastique de culture cellulaire, Fadh est comprise entre 310nN et 390 nN; - pour des cellules de carcinome cervical humain, qui sont des cellules 25 cancéreuses, sur une surface fonctionnalisée avec de la fibronectine Fadh est de l'ordre de 204 nN - pour des cellules epithéliales normale du col Fadh est de l'ordre 100nN, - pour d'autres types cellulaires, Fadh est plus faible, par exemple pour 30 les keratinocytes Fadh est de l'ordre de 20 nN. 3032974 10 Le fonctionnement du dispositif de tri va maintenant être décrit. Une solution contenant en autre les cellules d'intérêt est mise en circulation entre l'entrée 4 et la sortie 6, à la fois les cellules d'intérêt et d'autres cellules contenues dans la solution adhèrent à la surface 12.2 du fait du choix du matériau de 5 celle-ci. Ensuite, la membrane 12 est mise en vibration à une fréquence donnée qui imprime une accélération aux cellules. Le type de cellules dont l'accélération assure le décollement se décolle et est évacué par le fluide. On peut décider de détacher soit les cellules d'intérêt et de récupérer le fluide sortant de la sortie d'évacuation, soit de 10 détacher les autres cellules. Dans ce dernier cas de figure, en recommençant plusieurs fois la fixation de cellules d'intérêt et le détachement des cellules hors d'intérêt, il est possible d'accumuler les cellules d'intérêt sur la membrane. La fréquence augmente avec la force d'adhérence. Il sera compris que sont décollées en premier les cellules présentant la force d'adhérence la plus faible par 15 rapport à tous les types de cellules collés sur la surface et que sont décollées les cellules dans l'ordre de leur force d'adhérence croissante. De manière très avantageuse, la surface du support peut être fonctionnalisée soit en formant une couche de fonctionnalisation par exemple par dépôt, soit en structurant la surface. La fonctionnalisation permet de modifier les forces 20 d'adhérence vis-à-vis de certains types de cellules de manière discriminatoire et ainsi d'optimiser le pouvoir de résolution du dispositif. Il peut s'agir d'une fonctionnalisation chimique de la surface qui peut se faire par exemple avec des molécules de la matrice extracellulaire comme la fibronectine, le collagène I, mais aussi des composés cationiques comme la Poly-L-Lysine où encore 25 avec des anticorps. Il peut s'agir d'une fonctionnalisation physique, pour cela on modifie la microstructuration de la surface. Une fonctionnalisation physique et une fonctionnalisation chimique peuvent être envisagées. On peut envisager que les forces d'adhérence entre deux types cellulaires soient inversées par la fonctionnalisation d'une surface, par rapport à la 30 situation sans fonctionnalisation. 3032974 11 Nous allons expliquer comment peut être déterminée la fréquence à laquelle un type de cellules se décolle d'une surface donnée. En estimant la masse par exemple d'une cellule eucaryote à environ 1 ng, on peut évaluer les ordres de grandeurs de fréquences de vibration de la membrane 5 assurant un décollement des cellules. On considère la cellule biologique comme un système mécanique passif en première approximation. La fréquence peut s'écrire : (I) Avec m la masse d'une cellule d'environ 1 ng, 10 Fadh la force d'adhérence de la cellule pour une surface donnée, l'amplitude de vibration pouvant être modulée entre 0,1 um et 10 um. L'ordre de grandeur des fréquences à appliquer à la membrane est alors compris entre environ 50 Hz et environ10 kHz. Par ailleurs, la membrane étant destinée à être utilisée en milieu liquide 15 en écoulement, celui-ci applique des forces de cisaillement aux cellules qui ont adhéré à la membrane qui pourraient décoller les cellules et interférer avec le mécanisme de tri par vibration. Les forces de cisaillement 7 peuvent s'écrire de la façon suivante : T = 11 I Z -11 tab8 8 20 Avec x la viscosité du milieu, celle-ci est estimée à environ 10-3m2s_1, vil la vitesse parallèle à la surface que l'on estime du même ordre de grandeur que la vitesse de mouvement de la plaque en régime incompressible pour un fluide mouillant et w la fréquence de vibration de la plaque. La surface d'une cellule sur laquelle va s'appliquer la force est voisine de 25 10 um2. L'ordre de grandeur des forces de cisaillement appliquées par le fluide est alors compris entre 10 pN et 1 nN, celui-ci est inférieur aux forces d'adhérence des cellules énoncées ci-dessus et pour des cellules cancéreuses, comme par exemple la lignée cancéreuse de carcinome mammaire MCF7 sur du PDMS nanostructuré, la force 3032974 12 d'adhérence est voisine de 7 nN. Ainsi il n'y a pas de risque que les cellules soient décrochées par le liquide et non par la mise en vibration de la membrane. L'estimation précédente repose sur l'hypothèse que la longueur d'onde du premier mode de vibration d'une membrane circulaire est au moins de l'ordre de 5 grandeur de la taille caractéristique de la cellule. Mais il sera compris que l'invention ne se limite ni au premier mode de vibration, ni à la mise en oeuvre d'une membrane circulaire comme cela sera expliqué ci-dessous ni à des ondes dont la longueur d'onde est au moins de l'ordre de grandeur de la taille caractéristique de la cellule. L'invention peut avantageusement mettre en oeuvre un 10 ou des modes dont les ondes ont des longueurs d'onde inférieures à la taille de la cellule, par exemple en travaillant à des fréquences de l'ordre du MHz, la longueur d'onde est de l'ordre du um. Ainsi, ces courtes longueurs d'ondes, vont correspondre à des déformations de la membrane sur des dimensions planaires comparables aux dimensions d'une cellule, voir inférieures. De tels modes permettant très avantageusement de 15 décrocher les points focaux d'adhérence cellulaire. Le décrochement des points focaux d'adhérence présente l'avantage d'augmenter considérablement les chances de survie cellulaire lors du décrochement. En effet les modes de vibration impliquant une force inertielle sur la totalité du corps cellulaire peuvent entrainer des dommages membranaires pour des amplitudes et/ou fréquences élevées. 20 Dans le cas d'un dispositif comportant une membrane circulaire avec actionnement piézoélectrique, la fréquence de résonance pour les modes de vibration hors plan peut être déterminée par le calcul analytique, comme par exemple l'utilisation de l'équation suivante 25 Avec Xn un paramètre fonction du mode, t l'épaisseur de la membrane, r le rayon de la membrane, E le module d'Young, p la densité du matériau de la membrane et y le coefficient de Poisson de la membrane. 3032974 13 Alternativement, la simulation par élément finis peut également permettre de dimensionner le dispositif vibrant afin d'obtenir les fréquences des différents modes. Les logiciels FEM tels que Coventor®, COMSOL® ou ANSYS® peuvent être utilisés. 5 Par exemple, une membrane peut avoir un rayon compris entre quelques um, typiquement 5 um, et quelques centaines de um, par exemple 5000p.m. L'épaisseur peut être de quelques dizaines de nm à plusieurs um. A titre d'exemple, une membrane peut avoir un rayon de 500 um et une épaisseur de 6 um. A tire d'exemple uniquement, une membrane ayant un diamètre de 10 1 cm peut permettre de trier environ 1 million de cellules, par exemple 500000 cellules de chaque type. Les membranes circulaires peuvent présenter de nombreux modes, dont les formes sont données par exemple sur la figure 8. i est le nombre de diamètres nodaux et j est le nombre de cercles nodaux sans compter l'encastrement en périphérie 15 de la membrane, Xij est un coefficient qui est fonction du mode considéré. Chacun de ces modes peut être utilisé pour trier des populations de cellules. Il est donc aisé d'adapter les vibrations de la membrane aux types de cellules à trier. Comme cela a déjà été mentionné ci-dessus, le support vibrant peut 20 avoir toute forme, il peut par exemple être formé par une poutre vibrante encastrée sur un substrat à une des ses extrémités. Dans un exemple de réalisation représenté sur la figure 3, le support 18 est formé par une plaque de forme rectangulaire. La plaque peut être fixée sur sa tranche sur un à 4 cotés, ou être fixée uniquement par des points de fixation, de type scotch 25 double face ou encoches de fixation, positionnés à des points nodaux. Sa mise en vibration peut également être obtenue par un ou plusieurs actionneurs piézoélectriques 20. La plaque rectangulaire peut être mise en vibration dans son mode de Lamb. Cette configuration permet d'avoir une amplitude de vibration et donc une cartographie de force appliquée aux cellules qui soit homogène sur la surface. Ainsi on assure un 30 décollement homogène des cellules sur toute la surface de la plaque. Par exemple les 3032974 14 actionneurs sont positionnés de façon à favoriser le ou les modes recherchés. Le calcul FEM peut être avantageusement utilisé pour optimiser la position et les dimensions des actionneurs. Sur la figure 3, les actionneurs sont disposés en ligne 5 perpendiculairement à la longueur de la plaque. De manière générale, le support vibrant peut comporter une ou plusieurs rangées d'actionneurs, chaque rangée comportant au moins un actionneur. Les actionneurs d'une rangée sont séparées les uns des autres d'une distance donnée. Par exemple, un support vibrant peut comporter une colonne de 10 plusieurs actionneurs séparés par un espace de 500 um, les actionneurs étant disposés sur un ventre de vibration, ce qui correspond à une zone de maximum de vibration du support La plaque est dimensionnée de sorte à délivrer la fréquence et le mode de résonance adapté pour détacher la famille de cellule concernée. 15 A titre d'exemple, nous allons donner un exemple de dimensionnement d'un dispositif permettant de trier deux familles distinctes de cellules sur une plaque en verre mise en vibration par des actionneurs PZT : - Les fibroblastes (NIH/3T3) présentant des forces d'adhérence de l'ordre de 369nN sur du verre, 20 - Les keratinocytes présentant présentant des forces d'adhérence de l'ordre de 20nN. A l'aide de l'équation (I), nous pouvons approximer qu'à partir d'une amplitude de déformation de 1,5um, un mode de vibration à environ 24,5kHz décollera les fibroblastes et un mode de vibration à environ 5kHz décollera les keratinocytes. 25 Le support vibrant permettant de trier les fibroblastes et les keratinocytes peut présenter les caractéristiques suivantes: il comporte une plaque en verre ayant une longueur de 82 mm, une largeur de 61 mm et une épaisseur de 700 um. Il comporte six actionneurs par rangée, chaque actionneur étant de forme rectangulaire dont la longueur s'étend suivant la largeur de la plaque. Les actionneurs ont une longueur 3032974 15 de 9 mm et une largeur de 5 mm. La distance séparant deux lignes d'actionneurs est de 4000 um. Des analyses modales réalisées à l'aide d'un logiciel de calcul par éléments finis, par exemple le logiciel Coventor® ou Ansys®, permettent également de 5 définir les dimensions suivant les trois directions de l'espace induisant les fréquences désirées. Sur la figure 4 sont représentées plusieurs modes de vibration d'une plaque de verre de 82 mmx61 mm ayant une épaisseur de 700 um de verre. On constate que le mode 1 à 5,3 kHz permet de décoller les keratinocytes et le mode 51 à 25,27 kHz 10 permet de décoller les fibroblastes. Ainsi il est possible de déterminer les caractéristiques du support vibrant en un matériau donné pour décoller différents types de famille connaissant leur force d'adhérence à ce matériau donné. Sur la figure 5, on peu voir un autre exemple de réalisation d'un support 15 vibrant 22 selon l'invention qui associe différents types d'actionneurs pour générer plusieurs modes de vibration. Dans cet exemple, le support est formé par une plaque rectangulaire dans la partie centrale comporte un actionneur similaire 16 à celui d'une membrane circulaire pour générer un premier mode et des actionneurs 20pour générer un mode de Lamb similaire à ceux de la figure 3. Sur la figure 6A, on peut voir le support 20 dans un premier mode de vibration lorsque l'actionneur 16 est activé et sur la figure 6B on peut voir le support dans son mode de Lamb lorsque les actionneurs 20 sont activés. D'autres combinaisons d'actionneurs sont envisageables. Chaque dispositif est conçu pour permettre de décrocher un ou plusieurs types de cellules en appliquant une fréquence donnée. Néanmoins il peut être 25 prévu préalablement à l'utilisation du dispositif de tri de calibrer celui-ci afin de déterminer précisément à quelle fréquence chacun des types de cellules de détache du support vibrant. Cette calibration se fait à partir des cellules d'intérêt que l'on souhaite trier avec le dispositif. On désigne par A, B, et C des types de cellules d'intérêt. Le support est réalisé de telle sorte que les cellules adhèrent à la surface de celui-ci. 3032974 16 a) Selon une première étape, on introduit la population A de cellule dans le système. Les cellules adhèrent au support. On effectue ensuite un balayage en fréquence du support vibrant afin de passer en revue les différents modes. On note le mode et la fréquence pour laquelle la population A se détache. 5 La détection des cellules détachées peut se faire par exemple par observation au microscope de la surface considérée, par la récupération du liquide et analyse en microscope des cellules détachées ou en cytométrie en flux avec une comparaison des données avant le tri pour l'évaluation de la pureté du tri. b) Lors d'une étape suivante, on applique le même protocole que la 10 première étape avec la type de cellules B. c) On recommence ce protocole avec chaque type de cellule d'intérêt. On connaît désormais pour le dispositif de tri donné les fréquences de détachement de chacun des types de cellules d'intérêt. d) On vérifie ensuite les fréquences déterminées. 15 Pour cela, on introduit l'échantillon biologique contenant les types A, B et C à trier. Les cellules adhèrent au support. On fait ensuite un balayage en fréquence en fonction des modes précédemment déterminés : à chacun de ces modes on récupère les populations de cellule décrochées pour vérifier la pureté du tri. Si chacune des populations récupérées 20 est pure, le dispositif est correctement étalonné, sinon les étapes a) à d) sont répétées. En outre, on peut vérifier si les cellules sont vivantes. Si ce n'est pas le cas on peut modifier la fréquence pour appliquer des ondes de longueur plus courtes et ainsi provoquer le décollement de points focaux et non de toute la cellule d'un coup, comme cela a été décrit ci-dessus. Les actionneurs mis en oeuvre sont capables de générer des modes de 25 vibration haute fréquence qui présentent de petites longueurs d'onde. Le balayage se fait des fréquences les plus basses aux fréquences les plus hautes pour éviter de décrocher toutes les cellules en même temps. Le dispositif à support vibrant selon l'invention est particulièrement adapté à une mise en oeuvre dans un dispositif de tri cellulaire, ce tri pouvant être réalisé 30 de manière entièrement automatique après un étalonnage précis du dispositif. 3032974 17 Néanmoins le dispositif peut avoir d'autres applications, en effet la mise en vibration du support permet de contrôler les propriétés d'adhérence d'une surface par rapport à un ou plusieurs types de cellules. On peut donc envisager de mettre en oeuvre l'invention pour empêcher des cellules d'adhérer ou pour décoller un ou plusieurs types 5 de cellules pour en débarrasser la surface du support. Par exemple, l'invention est mise en oeuvre pour réaliser une surface antiadhésive active pour un ou plusieurs types de cellules dans un circuit microfluidique. En régime permanent, on applique une fréquence de vibration à la surface suffisamment élevée pour que tous les types de cellules soient décollés. Par exemple, en connaissant le 10 type de cellules présentant la force d'adhérence la plus élevée par rapport à la surface, on applique une fréquence permettant le décollement de ce type de cellules ou empêchant ce type de cellule d'adhérer à la surface, ce qui provoquera le décollement des autres types de cellules ayant un force d'adhérence inférieure. La surface est ainsi protégée. L'invention présente l'avantage d'offrir une grande capacité d'adaptation. En effet, on 15 peut prévoir par exemple pendant une phase de fonctionnement de protéger une surface en évitant que toute cellule adhère à la surface et pendant une autre phase d'autoriser tous les types de cellules à adhérer à la surface ou certains types de cellules. En régime commandé, elle permet de détacher des cellules. Par exemple on effectue un contrôle de la surface, par exemple un contrôle optique de la 20 surface, pour détecter des cellules indésirables ayant adhérer à la surface. Si c'est le cas le support est mis en vibration à la fréquence de décollement des cellules indésirables et celles-ci sont décollées. Ce décollement est possible si la fréquence de décollement des cellules indésirables est inférieure à celles des cellules que l'on souhaite conserver. Un exemple de procédé de réalisation d'un dispositif de tri selon 25 l'invention va maintenant être décrit, celui-ci comportant une membrane circulaire. Il s'agit avantageusement d'un procédé mettant en oeuvre des techniques de la microélectronique, ce qui permet de réaliser un dispositif adapté à la taille de cellules. D'autres procédés pourraient être envisagés. Les étapes sont représentées schématiquement sur les figures 7A à 7S. 3032974 18 Par exemple, on utilise un substrat en silicium 100 représenté sur la figure 7A, ayant par exemple une épaisseur de 725 um et un diamètre de 200mm de diamètre. Un substrat en verre par exemple peut être envisagé. Lors d'une première étape, on effectue une oxydation thermique du 5 substrat de sorte à former une couche d'oxyde 102 sur toutes les surfaces du substrat d'une épaisseur de 2 um par exemple. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7B. Ensuite, on réalise un masque dur d'oxyde 104 sur la face arrière du substrat. Ce masque a par exemple une épaisseur de 7 um. Le masque est réalisé en 10 retournant le substrat; en fonction de la composition de dépôt choisie; il est possible de ne déposer le masque que sur cette face. Il peut s'agir par exemple d'un dépôt de type PVD (Physical Vapor Deposition en terminologie anglo-saxonne).L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7C. On effectue ensuite une lithographie sur le masque dur. L'élément ainsi 15 obtenu est représenté sur la figure 7D. Lors d'une étape suivante, on grave, par exemple par gravure ionique réactive (RIE : Reactive-Ion Etching en terminologie anglo-saxonne), le masque dur et la couche d'oxyde 102 en face arrière de sorte à atteindre la face arrière du substrat 100. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7E. 20 Lors d'une étape suivante, on retire la couche d'oxyde sur la face avant, par exemple par désoxydation ou gravure chimique. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7F. Lors d'une étape suivante, on forme une couche d'oxyde 106 en face avant. Avantageusement, un recuit de densification a lieu par exemple à une température 25 de l'ordre de 800°C.L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7G. Lors d'une étape suivante, on forme une couche 108 en face avant destinée à former la membrane 2, et une couche 110 en face arrière. De préférence, ces couches sont par exemple en polysilicium, en SiC ou en Si02. L'épaisseur des couches 108, 110 est par exemple comprise entre quelques centaines de nm à plusieurs um, voire 30 plusieurs dizaines de um. 3032974 19 Les couches 108, 110sont par exemple réalisées par dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour Chemical Vapor Deposition en terminologie anglo-saxonne) ou par croissance épitaxiale. De préférence, les contraintes des couches 108, 110 sont maîtrisées. 5 Les couches 108, 110 peuvent être formées en plusieurs fois. Par exemple, pour une épaisseur de 4 um, deux couches de 1,5 um d'épaisseur et 1 couche de 1 um d'épaisseur sont réalisées successivement. Avantageusement une étape de recuit a ensuite lieu. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7H. 10 Lors d'une étape suivante, une couche 112 est formée sur la couche 108, par exemple en Si02 ou en SiN, ayant par exemple une épaisseur comprise entre quelques centaines de nm et plusieurs um. La couche 112 est formée par exemple par oxydation thermique ou par dépôt CVD. Avantageusement, un recuit de densification a lieu par exemple à une température de l'ordre de 800°C. 15 L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 71. Lors d'une étape suivante, on réalise les premier et deuxième actionneurs. Pour cela on réalise tout d'abord une couche 114 destinée à former les électrodes inférieures des actionneurs, par exemple en Pt ou en Mo. La couche 114 est 20 réalisée par exemple par dépôt sur la couche 112. La couche 114 a par exemple une épaisseur comprise entre quelques dizaines de nm à quelques centaines de nm. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7J. Une couche de matériau piézoélectrique 116 est ensuite formée sur la couche 114, par exemple en PZT, AIN, ZnO, LNO dont l'épaisseur est par exemple 25 comprise entre quelques centaines de nm à quelques um. On réalise ensuite l'électrode supérieure par formation d'une couche 118 sur le matériau piézoélectrique 116, par exemple en Ru ou en Au par exemple d'épaisseur comprise entre quelques dizaines de nm à quelques centaines de nm. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7K. 30 Ont lieu ensuite des étapes de gravure. 3032974 20 Tout d'abord, la couche 118 est gravée de sorte à délimiter l'actionneur annulaire 8 et l'actionneur en forme de disque 10. Ensuite, la couche 116 en matériau piézoélectrique est gravée. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7L. 5 Ensuite, on grave à nouveau les portions de couche 118 restantes de sorte à ce qu'elles soient en retrait par rapport aux portions de couche 116. La couche 114 est ensuite gravée, ainsi que la couche d'oxyde 112. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7M. De préférence, on réalise un profil en escalier. Celui-ci est obtenu car 10 toutes les couches sont déposées puis gravées, à partir de la couche supérieure, en utilisant des masques de photolithographie différents, le deuxième masque étant plus large que le premier, etc. Cela permet de laisser des marges de sécurité pour éviter le recouvrement de couches, qui pourrait apparaître du fait de l'incertitude de positionnement des masques. On évite ainsi tout court circuit électrique entre les 15 électrodes. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7N. Lors des étapes suivantes, on réalise des plots de reprise de contact 120. Préalablement on forme une couche 122 de matériau diélectrique, par exemple en Si02 sur les bords des empilements formés des électrodes inférieure, supérieure et du matériau piézoélectrique, cette couche étant gravée de sorte à dégager partiellement les 20 électrodes inférieure et supérieure. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 70. Ensuite, une couche par exemple en AISi ou en TiAu est formée et est gravée, formant ainsi des plots de contact au niveau des zones où les électrodes ont été dégagées. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7P. 25 Avantageusement, lors d'une étape suivante on forme une couche de protection 124 sur les actionneurs, par exemple une couche d'oxyde, afin de protéger les actionneurs du contact avec les éléments d'arrêt. L'épaisseur de cette couche peut être comprise entre quelques centaines de nm à quelques um, par exemple 500nm. Lors d'une étape suivante la couche 124 est gravée, pour accéder aux 30 reprises de contact. 3032974 21 L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7Q. De préférence, lors d'une étape suivante, on protège les actionneurs, par exemple par le dépôt d'un film sec 126. Ensuite, on grave la face arrière afin de libérer la membrane 2. 5 On libère la membrane par gravure profonde du substrat par la face arrière jusqu'à atteindre la membrane. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7R. Pour pouvoir être utilisé en milieu liquide, un packaging adapté est réalisé. On ferme la cavité formée du côté de la face arrière de la membrane par un capot 10 128. En effet on utilise préférentiellement la face arrière de la membrane pour effectuer le tri des cellules, ce qui simplifie les connexions électriques des actionneurs situés sur la face avant. Néanmoins les actionneurs étant encapsulés, la face avant pourvue des actionneurs peut également servir pour le tri en adaptant les connexions électriques. En utilisant à la fois la face arrière et la face avant, on double la capacité de tri du dispositif. 15 Les deux faces de la membrane peuvent présenter les mêmes propriétés d'adhérence par rapport aux différents types de cellules ou des propriétés différentes, pour cela on peut fonctionnaliser l'une des faces. Le capot 128 est par exemple en verre et est par exemple collé sur la couche 110. On prévoit que le capot comporte un orifice d'entrée 130 et un orifice de 20 sortie 132 pour le liquide contenant les cellules En outre, le dispositif est disposé sur des supports 134 de sorte à suspendre la membrane et à permettre sa mise en vibration. Les supports peuvent être des supports mécaniques ou une partie d'une plaque de circuit électronique. De manière avantageuse, les supports sont également utilisés pour l'alimentation électrique au 25 moyen de microconnexions électriques 136. Les microconnexions électriques sont obtenues par exemple en tendant des microfils, par exemple en or, qui sont soudés sur le plot de contact d'un coté, et sur la carte électronique de l'autre. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 7S. Les cellules sont symbolisées par des étoiles. 3032974 22 Le dispositif peut faire partie d'un microdispositif, par exemple il peut former une partie de la surface d'une chambre microfluidique dans le cas d'un dispositif de tri. Il peut faire partie d'un circuit microfluidique et assurer la protection de l'intérieur de certains des canaux. 5 Dans l'exemple représenté sur la figure 7S, le support vibrant forme le fond de la chambre mais ceci n'est en aucun cas limitatif il peut former une paroi latérale voir une paroi supérieure. Il sera vérifié alors que ces parois entrent effectivement en contact avec la solution comprenant les cellules. En outre, on peut envisager qu'un dispositif de tri comporte plusieurs 10 supports vibrants distincts, permettant par exemple de trier un type de cellules par support vibrant. Grâce à l'invention, on réalise un dispositif présentant des propriétés d'adhérence modifiables pour différents types de cellules permettant de gérer ces différents types de cellules. 15 REVENDICATIONS1. Dispositif de manipulation d'un ou de plusieurs types de cellules biologiques distinguables à partir de leurs propriétés d'adhérence, comportant : - au moins un support (12, 18, 22) comprenant une surface d'accueil permettant l'adhérence desdites cellules, - au moins un actionneur (14, 16, 20) apte à mettre en vibration ladite surface à au moins une fréquence donnée, et - des moyens de commande (CU) dudit actionneur (14, 16, 20) de sorte que la surface vibre à une fréquence provoquant le détachement d'au moins un type de cellules biologiques. 2. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon la revendication 1, les cellules biologiques étant de plusieurs types, dans lequel les moyens de commande (CU) commandent l'actionneur (14, 16, 20) de sorte qu'il mette en vibration ladite surface à plusieurs fréquences données, chacune des fréquences étant choisie de sorte à provoquer le détachement d'au moins un des types de cellules biologiques. 3. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la ou les fréquences est ou sont choisie(s) de sorte que les ondes générées correspondent à des déformations de la surface de l'ordre de la taille des cellules biologiques ou inférieures à la taille des cellules biologiques. 4. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon la revendication 1 à 3, dans lequel ledit dispositif est apte à mettre en vibration la surface à plusieurs fréquences, lesdites différentes fréquences étant appliquées séquentiellement. 24 3032974 5. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel tout ou partie de la surface est fonctionnalisée de sorte à modifier la force d'adhérence du ou des types de cellules biologiques par rapport à la surface non fonctionnalisée. 5 6. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le support (12) est formé par une membrane suspendue. 7. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon la 10 revendication 6, dans lequel la plus grande dimension de la membrane est comprise entre quelques pm et quelques centaines de gm, de préférence entre 5 pm et 20000 gm. 8. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le support (18, 22) est formé par une plaque en verre, 15 dont les côtés mesurent entre quelques centaines de pm à quelques cm 9. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel les moyens de commande commandent l'actionneur de sorte que le support vibre dans un mode de Lamb. 20 10. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 9, comportant plusieurs actionneurs (20) répartis sur ou sous la surface du support. 25 11. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon la revendication 10, dans lequel les moyens de commande(CU) commandent les actionneurs (14, 16, 20) de sorte qu'ils mettent chacun en vibration la surface du support selon un mode différent. 3032974 25 12. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel l'actionneur ou les actionneurs (14, 16, 20) sont choisis parmi des actionneurs piézoélectriques, ferroélectriques, électrostatiques, magnétiques ou thermiques. 5 13. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel l'actionneur est réalisé sur une face du support opposée à la surface destinée à entrer en contact avec les cellules biologiques. 10 14. Dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 13 étant un dispositif MEMS et/ou NEMS. 15. Dispositif de tri de cellules biologiques comportant au moins un dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 14. 15 16. Dispositif microfluidique comportant au moins un dispositif de manipulation de cellules biologiques selon l'une des revendications 1 à 14 ou un dispositif de tri selon la revendication 15, comportant au moins une entrée d'alimentation (4) en une solution comportant au moins un type de cellules biologiques et au moins une sortie 20 d'évacuation (6), le support étant disposé entre l'entrée d'alimentation (4) et la sortie d'évacuation (6). 17. Procédé de tri de différents types de cellules biologiques contenus dans une solution mettant en oeuvre le dispositif de tri selon l'une des revendications 15, 25 comportant les étapes: - mise en contact de la solution contenant les différents types de cellules biologiques avec la surface du support, - adhérence des cellules de différents types sur la surface du support, - mise en vibration de la surface à au moins une fréquence donnée de sorte à détacher au moins l'un des types de cellules, - évacuation des cellules détachées.