FR 3032845 A1 20160819 FR 1551192 A 20150213 B13885 - 12-GR3C0-0705 1 DISPOSITIF DE RÉCUPÉRATION D'ÉNERGIE THERMIQUE Domaine La présente demande concerne un dispositif de récupération de l'énergie thermique dégagée par certains équipements, par exemple une surface chaude d'une puce de circuit intégré, un pot d'échappement d'une voiture, un toit d'une maison. L'invention vise notamment la conversion de cette énergie thermique en électricité. Exposé de l'art antérieur De nombreux dispositifs ont été proposés pour récu10 Aérer de l'énergie thermique dégagée par une source chaude et la convertir en électricité. On a proposé dans les brevets américains N°8773003 (B10868) et N°8378558 (B9950) et dans le brevet français N°2986908 des transducteurs thermo-mécano-électriques, ou 15 générateurs thermoélectriques, constitués à partir d'une enceinte hermétiquement close dans laquelle sont enfermées une ou plusieurs gouttes d'un liquide. Dans ces générateurs, le volume de l'enceinte est très supérieur à celui du liquide qu'elle contient, c'est-à-dire que l'enceinte est majoritai- 20 rement remplie de gaz ou de vapeur du liquide. Quand le liquide atteint une paroi chaude de l'enceinte, il se produit une vaporisation brusque entraînant une surpression dans l'enceinte. 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 2 Cette surpression entraîne une déformation d'une membrane portant un transducteur piézoélectrique, d'où il résulte une production d'électricité. La vapeur générée se condense en une ou plusieurs gouttes sur une paroi froide de l'enceinte et un 5 nouveau cycle de vaporisation-condensation peut commencer. Un inconvénient des générateurs thermoélectriques des brevets américains N°8773003 et N°8378558 est qu'ils doivent être correctement orientés pour que les gouttes de liquide se déplacent de la paroi froide vers la paroi chaude sous l'effet de la gravité. Le générateur thermoélectrique du brevet français N°2986908 comprend des moyens pour favoriser le déplacement d'une goutte de la paroi froide vers la paroi chaude d'une enceinte et s'affranchir de la gravité. Un inconvénient de ce type de générateur est que les moyens de déplacement sont complexes, d'où il résulte que le générateur est coûteux à mettre en oeuvre. Les inventeurs de la présente demande ont proposé dans l'article "A microfluidic heat engine based on explosive evaporation", Proceedings PowerMENIS 2012, pages 175-178, un générateur thermoélectrique dans lequel un liquide est introduit par une pompe dans une chambre déformable surmontée d'un transducteur piézoélectrique. La chambre est chauffée pour qu'il se produise une vaporisation brusque du liquide, ce qui provoque une surpression dans la chambre. Cette surpression entraîne une déformation de la chambre et du transducteur piézoélectrique, et donc une production d'électricité. La vapeur générée est ensuite évacuée dans l'atmosphère. Un inconvénient de ce type de générateur est qu'il est nécessaire d'utiliser une pompe, d'où il résulte que ce générateur est encombrant. Un autre inconvénient des générateurs thermoélectriques mentionnés ci-dessus est qu'ils ont un fonctionnement impulsionnel et donc un faible rendement. 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 3 Il serait souhaitable de disposer d'un dispositif de récupération d'énergie thermique palliant au moins certains des inconvénients des générateurs existants. Résumé 5 Ainsi, un mode de réalisation prévoit un dispositif comprenant une première enceinte fermée définissant une cavité ayant, parallèlement à une direction, une dimension inférieure à 5 mm ; au moins une deuxième enceinte fermée et élastiquement déformable communiquant avec la première enceinte ; et un fluide 10 à plus de 90% à l'état liquide remplissant les première et deuxième enceintes, dans lequel une première portion de la première enceinte est adaptée à être en contact avec une source chaude de température supérieure à la température de vaporisation du fluide, et au moins une deuxième portion de la première 15 enceinte, voisine de la première portion, est adaptée à être en contact avec une source froide de température inférieure à la température de condensation du fluide. Selon un mode de réalisation, la paroi interne de la première enceinte est microstructurée. 20 Selon un mode de réalisation, la paroi interne de la première enceinte est revêtue de microbilles dont le diamètre est compris entre 1 et 100 pin. Selon un mode de réalisation, la température de la source chaude est supérieure d'au moins 20°C à la température de 25 vaporisation du fluide. Selon un mode de réalisation, ladite dimension de la cavité est comprise entre 0,1 et 1 mm. Selon un mode de réalisation, la première enceinte est un tube. 30 Selon un mode de réalisation, le tube a une première extrémité fermée et une deuxième extrémité qui débouche dans une deuxième enceinte, la deuxième portion étant disposée entre la deuxième enceinte et la première portion qui est disposée du côté de l'extrémité fermée du tube. 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 4 Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend deux deuxièmes enceintes dans chacune desquelles débouche une extrémité du tube, une première deuxième portion étant disposée entre la première portion et une des deuxièmes enceintes, et une 5 deuxième deuxième portion étant disposée entre la première portion et l'autre des deuxièmes enceintes. Selon un mode de réalisation, les deux extrémités du tube débouchent dans la même deuxième enceinte, deux deuxièmes portions étant disposées de part et d'autre de la première 10 portion. Selon un mode de réalisation, le tube comprend au moins une partie tronconique, l'une desdites au moins une partie tronconique étant adaptée à être en contact avec la source chaude. 15 Selon un mode de réalisation, la première enceinte comprend deux plaques parallèles en regard l'une de l'autre, chacune des plaques ayant une portion centrale entourée d'une portion annulaire, les portions centrales étant en regard l'une de l'autre, les portions annulaires étant en regard l'une de 20 l'autre, au moins une portion circulaire constituant la première portion de l'enceinte, et au moins une portion annulaire constituant la deuxième portion de l'enceinte. Un mode de réalisation, prévoit un générateur thermoélectrique comprenant un dispositif tel que ci-dessus, et un 25 transducteur mécano-électrique lié à chaque deuxième enceinte. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en 30 relation avec les figures jointes parmi lesquelles : les figures LA à 1D sont des vues en coupe schématiques illustrant le principe de fonctionnement d'un premier mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ; 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 5 la figure 2 est une vue partielle et agrandie d'un générateur thermoélectrique du type de celui des figures lA à 1D ; la figure 3 illustre l'évolution en fonction du temps 5 de la tension fournie par un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 2 ; la figure 4 est une vue partielle et agrandie d'un générateur thermoélectrique du type de celui des figures lA à 1D selon une variante de réalisation ; 10 la figure 5 illustre l'évolution en fonction du temps de la tension fournie par un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 4 ; la figure 6 est une vue de dessus schématique d'un deuxième mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ; 15 la figure 7 est une vue de dessus schématique d'une variante de réalisation d'un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 6 ; la figure 8 est une vue de dessus schématique d'un mode de réalisation d'un dispositif de récupération d'énergie 20 thermique ; les figures 9A et 9B représentent schématiquement un troisième mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ; et les figures 10A et 10B représentent schématiquement un 25 exemple de mise en oeuvre d'un dispositif comprenant un générateur thermoélectrique du type de celui des figures 9A et 9B. Description détaillée De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures 30 ne sont pas tracées à l'échelle. Dans la description qui suit, des qualificatifs de position tels que "supérieur", "inférieur", "surmonté", "gauche", "droite", "haut", "bas", "sommet", etc., se réfèrent à la représentation des éléments concernés dans les figures correspondantes. Sauf précision contraire, les expressions 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 6 "sensiblement" et "environ" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. Les figures lA à 1D sont des vues en coupe schématiques illustrant un premier mode de réalisation d'un générateur 5 thermoélectrique et son principe de fonctionnement. Dans ce mode de réalisation, un tube 1 associé à des sources froide et chaude communique avec une chambre d'expansion 3. On verra ci-après que le tube 1 peut être remplacé par une enceinte de configuration géométrique différente. 10 Le générateur thermoélectrique des figures lA à 1D comprend un tube 1 dont une extrémité débouche dans une chambre d'expansion 3 et dont l'autre extrémité est fermée. Le tube a par exemple une section circulaire de diamètre interne inférieur ou égal à 5 mm environ. Une membrane 7 élastiquement déformable 15 constitue la paroi supérieure de la chambre 3 et est revêtue d'un transducteur mécano-électrique 9. Le transducteur 9 est par exemple constitué d'une couche 11 d'un matériau piézoélectrique disposée entre deux électrodes 13A et 13B couplées à des bornes respectives A et B. 20 Avant scellement, l'enceinte constituée du tube 1 et de la chambre 3 est remplie d'un fluide 14 totalement ou presque totalement, c'est-à-dire à plus de 90%, à l'état liquide. Autrement dit, l'enceinte peut être complètement remplie par le fluide 14 à l'état liquide ou peut être complètement remplie par 25 le fluide 14 à l'état liquide et par une bulle du fluide 14 à l'état vapeur. Dans ce dernier cas, la bulle occupe moins de 10% du volume de l'enceinte, le reste du volume de l'enceinte étant occupé par le liquide. En fonctionnement, une source chaude 15 est en contact 30 avec une portion 17 du tube 1 dite "portion chaude" dans la suite de la description, et une source froide 19 est en contact avec une portion 21 du tube 1 dite "portion froide" dans la suite de la description. Les portions chaude et froide sont voisines, c'est-à-dire suffisamment proches pour permettre le 35 fonctionnement décrit ci-après. La portion chaude 17 est située 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 7 du côté de l'extrémité fermée du tube 1 et la portion froide 21 est située entre la portion chaude 17 et la chambre d'expansion 3, au voisinage de la portion chaude. La température de la source chaude 15 est supérieure à la température de vaporisation 5 du fluide 14, et la température de la source froide 19 est inférieure à la température de condensation du fluide 14. Ainsi, après la mise en contact du tube 1 avec les sources chaude et froide 15 et 19, la température du fluide 14 est supérieure à sa température de vaporisation au niveau de la portion chaude 17 10 et, inférieure à sa température de condensation au niveau de la portion froide 21. Une bulle 23 du fluide 14 à l'état vapeur se forme alors dans le tube 1, au niveau de la portion chaude 17. La bulle 23 vient se positionner du côté de l'extrémité fermée de cette portion chaude 17 où elle occupe, dans des directions 15 transversales au tube, tout l'espace disponible dans le tube. On observe ensuite un fonctionnement cyclique du générateur qui sera décrit en relation avec les figures LA-1D. La figure LA représente le générateur au début d'un cycle de fonctionnement. Une bulle 23 est présente dans la 20 portion chaude 17, au niveau de l'extrémité fermée du tube 1. Le volume de la bulle 23 a une valeur minimale et la membrane 7 est en position basse. Du fait que, dans la portion chaude 17, la température du fluide 14 est supérieure à sa température de vaporisation, du 25 fluide 14 à l'état liquide se vaporise. Comme l'illustre la figure 1B, la vaporisation d'une partie du fluide 14 à l'état liquide entraîne une augmentation du volume de la bulle 23, d'où il résulte une déformation de la membrane 7. 30 A l'étape illustrée en figure 1C, l'augmentation du volume de la bulle 23 s'est poursuivie et le volume de la bulle 23 a atteint une valeur maximale. La bulle 23 s'étend alors jusque dans la portion froide 21 du tube et la déformation de la membrane 7 est maximale. La vapeur de la bulle 23 commence alors 35 à se condenser ce qui entraîne une diminution du volume de la 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 8 bulle 23, d'où il résulte une déformation de la membrane 7 vers sa position basse. La figure 1D représente le générateur dans un état intermédiaire tandis que l'interface liquide-vapeur se déplace 5 vers la gauche. La diminution du volume de la bulle 23 se poursuit et, à la fin du cycle de fonctionnement, le générateur est revenu dans l'état décrit en relation avec la figure lA. Un nouveau cycle de vaporisation-condensation peut commencer. 10 La déformation cyclique de la membrane est transmise à la couche 11 de matériau piézoélectrique, d'où il résulte qu'une tension alternative apparaît entre les bornes A et B auxquelles est couplée cette couche 11 du transducteur mécano-électrique 9. Un générateur thermoélectrique du type de celui des 15 figures lA à 1D permet de convertir de l'énergie thermique en électricité sans qu'il soit nécessaire d'assurer un approvisionnement continu en liquide à l'aide d'une pompe. Selon un avantage, toute la surpression résultant de la vaporisation d'une partie du fluide 14 est transmise à la 20 membrane 7 par l'intermédiaire du fluide 14 à l'état liquide. Dans le cas où le diamètre interne du tube 1 est inférieur à 1 mm environ, du fait de la prédominance des phénomènes de capillarité sur la force gravitationnelle, il n'est pas nécessaire que le générateur soit disposé horizontalement, et on 25 peut prévoir d'orienter ce générateur de différentes manières, par exemple verticalement. Dans le cas d'un tube de plus grand diamètre interne, il peut être nécessaire de disposer le tube horizontalement. Dans un exemple de mise en oeuvre, le diamètre interne 30 du tube 1 est compris entre 100 et 300 fun et peut être égal à 250 pin, la chambre 3 ayant une hauteur comprise entre 0,25 et 1 mm, par exemple 0,5 mm, et des côtés d'une longueur comprise entre 0,75 et 1,5 mm, par exemple 1 mm. Le fluide 14 est par exemple de l'éthanol, du méthanol 35 ou de l'eau dont les températures respectives de vaporisation à 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 9 la pression atmosphérique sont de 78°C, 65°C et 100°C. Le fluide 14 peut être un mélange de fluides miscibles. La température de vaporisation du fluide 14 peut être ajustée en adaptant la pression dans l'enceinte constituée du tube 1 et de la chambre 3 5 avant sa fermeture. La figure 2 est une vue agrandie d'une partie du générateur thermoélectrique des figures lA à 1D. Cette figure représente le générateur à un état intermédiaire tandis que le volume de la bulle 23 est en train d'augmenter. L'interface 10 entre le fluide 14 à l'état liquide et la vapeur de la bulle 23 forme un ménisque 25 dont la convexité est dirigée côté liquide. La figure 3 représente une courbe 26 illustrant l'évolution, en fonction du temps t, de la tension U fournie par un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 2, le 15 temps t et la tension U étant indiqués en échelles linéaires arbitraires. La courbe 26 présente des oscillations successives dont chacune correspond à un cycle de vaporisation-condensation. Entre un instant tO et un instant tl l'amplitude des oscillations est faible indiquant que l'interface liquide-vapeur 20 se déplace peu dans le tube. L'interface liquide-vapeur est alors située sensiblement entre la portion chaude et la portion froide. Entre l'instant tl et un instant t2 l'amplitude des oscillations augmente progressivement jusqu'à atteindre une 25 valeur maximale. L'amplitude du déplacement de l'interface liquide-vapeur d'un cycle de vaporisation-condensation au suivant augmente. Ceci correspond au fonctionnement décrit en relation avec les figures lA à 1D. Entre l'instant t2 et un instant t3, l'amplitude des 30 oscillations diminue progressivement. Entre l'instant t3 et un instant suivant tO+T, l'amplitude des oscillations est de nouveau faible, comme entre les instants tO et tl. 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 10 Au-delà de l'instant tO+T, l'évolution de la tension U telle qu'illustrée sur l'intervalle tO et tO+T se répète de manière périodique. Du fait que plusieurs cycles de vaporisation-5 condensation ont lieu les uns à la suite des autres dans un générateur du type de celui de la figure 2, la quantité d'électricité produite par un tel générateur est plus importante que celle produite par un générateur du type de ceux des brevets et de l'article précédemment mentionnés qui ont un fonctionnement 10 impulsionnel et donc un plus faible rendement. A titre d'exemple, pour un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 2 dont le tube 1 a un diamètre interne de 2 mm, la durée d'une oscillation peut être d'environ 0,01 seconde et T peut être égal à 0,1 seconde environ. 15 La figure 4 est une vue agrandie d'une partie du géné- rateur des figures LA à 1D selon une variante de réalisation. Cette figure représente le générateur à un état intermédiaire tandis que le volume de la bulle 23 augmente. Dans cette variante de réalisation, la paroi interne du tube 1 est 20 microstructurée. Par exemple, la paroi interne du tube 1 est revêtue de microbilles 27 ayant, par exemple, des diamètres compris entre 1 et 100 gm. Comme en figure 2, l'interface entre le fluide à l'état liquide et la bulle 23 forme un ménisque 25. La microstructuration de la paroi interne du tube 1 25 entraîne que le ménisque 25 est plus étiré qu'en figure 2. Ainsi, la surface de l'interface liquide-vapeur du fluide 14 est plus importante dans le cas de la figure 3 que dans le cas de la figure 2. Il en résulte, pendant la phase de dilatation de la bulle, une augmentation de la quantité de liquide évaporée à 30 tout instant, et donc une augmentation de la vitesse et de l'amplitude de déplacement du ménisque 25 dans le tube 1. De même, tandis que le volume de la bulle 23 diminue, la microstructuration de la paroi interne du tube 1 entraîne une augmentation de la surface du ménisque 25, d'où il résulte, 35 pendant la phase de contraction de la bulle, une augmentation de 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 11 la quantité de vapeur condensée à tout instant, et donc une augmentation de la vitesse et de l'amplitude de déplacement du ménisque 25 dans le tube 1. La paroi interne du tube 1 peut être microstructurée 5 sur toute la portion du tube 1 parcourue par le ménisque 25 ou sur toute la longueur du tube 1. La paroi microstructurée peut également être rainurée, poreuse, hydrophobe et/ou hydrophile, les irrégularités ayant des dimensions de l'ordre de 1 à 100 pin. On pourra obtenir une microstructuration de la paroi interne du 10 tube 1 par attaque chimique de cette paroi, par exemple avec de l'acide fluorhydrique lorsque le tube est en verre. La figure 5 représente une courbe 29 illustrant l'évolution, en fonction du temps t, de la tension U fournie par un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 4, le 15 temps t et la tension U étant indiqués en échelles linéaires arbitraires. La courbe 29 présente des oscillations successives dont chacune correspond à un cycle de vaporisation-condensation. Comme en figure 2, entre un instant tO et un instant tl l'amplitude des oscillations est faible, puis, entre 20 l'instant tl et un instant t2, l'amplitude des oscillations augmente progressivement jusqu'à atteindre une valeur maximale. Toutefois, contrairement à ce qui a été décrit en relation avec la figure 3, après l'instant t2, on observe des oscillations entretenues d'amplitude maximale. 25 On constate que l'obtention d'oscillations entretenues telles qu'illustrées par la figure 5 est favorisée par la microstructuration de la paroi interne du tube du générateur. Ainsi, la microstructuration de la paroi interne du tube entraîne une augmentation de la quantité d'électricité produite 30 par un générateur du type de celui des figures LA à 1D. Dans des générateurs du type de celui de la figure 2 ou de la figure 4, on constate que plus la température de la source chaude 15 est supérieure à la température de vaporisation du fluide 14, plus l'amplitude et la vitesse de déplacement de 35 l'interface liquide-vapeur sont importantes ce qui entraîne une 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 12 plus grande déformation de la membrane 7, et donc une augmentation de la quantité d'électricité produite par le générateur. Plus particulièrement, lorsque la température de la source chaude est supérieure d'au moins 20°C à la température de 5 vaporisation du fluide 14, on constate que le liquide présent dans la portion chaude est surchauffé et qu'une partie de ce liquide se vaporise presque instantanément. Il en résulte une augmentation beaucoup plus rapide et importante du volume de la bulle 23, et donc une augmentation de la quantité d'électricité 10 produite par un tel générateur. La figure 6 est une vue de dessus représentant schématiquement un deuxième mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique. Le générateur comprend un tube 31 et deux chambres d'expansion 33A et 33B. Une première extrémité du tube 15 31 débouche dans la chambre d'expansion 33A, et une deuxième extrémité du tube 31 débouche dans la chambre d'expansion 33B. Chacune des chambres 33A et 33B comprend une membrane élastique-ment déformable 37 revêtue d'un transducteur mécano-électrique 39. Un fluide 35 totalement ou presque totalement à l'état 20 liquide remplit l'enceinte constituée à partir du tube 31 et des deux chambres 33A et 33B. En fonctionnement, une source chaude 41 est mise en contact avec une portion centrale 43 (portion chaude) du tube 31. Entre la portion centrale 43 et la chambre 33A, une source 25 froide 45A est en contact avec une portion 47A (portion froide) du tube 31, et, entre la portion centrale 43 et la chambre 33B, une source froide 45B est en contact avec une portion 47B (portion froide) du tube 31. Comme le générateur des figures LA à 1D, le générateur de la figure 6 fonctionne de manière 30 cyclique. Au début d'un cycle de fonctionnement, une bulle 49 de volume minimal est présente au milieu de la portion chaude 43. La température du fluide 35 au niveau de la portion chaude 43 est supérieure à sa température de vaporisation et une partie du fluide 35 à l'état liquide se vaporise. Cette vaporisation 35 entraîne une augmentation du volume de la bulle 49 qui se dilate 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 13 simultanément vers la portion froide 47A et vers la portion froide 47B du tube 31. Lorsque le volume de la bulle 49 atteint une valeur maximale et que celle-ci s'étend jusque dans les portions froides 47A et 47B, la vapeur commence à se condenser 5 et la bulle 49 se contracte jusqu'à ce que son volume soit minimal. La dilatation et la contraction cyclique du volume de la bulle 49 entraînent une déformation cyclique et simultanée des membranes 37 des chambres 33A et 33B, et donc une production d'électricité par les transducteurs 39. 10 La figure 7 est une vue de dessus représentant schéma- tiquement une variante de réalisation d'un générateur thermoélectrique du type de celui de la figure 6. Dans cette variante, les extrémités du tube 31 débouchent dans une même chambre d'expansion déformable 33. Le fonctionnement est le même 15 que celui décrit en relation avec la figure 6. La figure 8 est une vue de dessus représentant schématiquement un mode de réalisation d'un dispositif de récupération d'énergie thermique. Ce dispositif est analogue à celui de la figure 7 mais comprend en outre un système de type clapet anti- 20 retour constitué par exemple, comme cela est illustré, d'une portion tronconique 51 du tube 31. Dans ce mode de réalisation, la portion tronconique 51 est à cheval entre la source chaude 41 et la source froide non représentée de sorte que, lors d'un cycle de vaporisation-condensation, la bulle 49 se dilate jusque 25 dans la portion tronconique 51 avant de se contracter. Au niveau de l'interface liquide-vapeur, les forces capillaires sont orientées différemment dans la portion tronconique 51 et dans le reste du tube 31. La résultante de ces forces capillaires est dirigée dans le sens du rétrécissement de 30 la portion tronconique 51. Il en résulte une circulation du fluide 35 dans ce sens et donc un meilleur refroidissement de la source chaude 41. Un tel dispositif peut être utilisé comme simple circulateur ou aussi comme générateur thermoélectrique en associant un transducteur mécano-électrique à la chambre 35 déformable 33. 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 14 Comme cela a été indiqué précédemment, le tube des générateurs thermoélectriques décrits en relation avec les figures LA-1D à 7 peut être remplacé par une enceinte de configuration géométrique différente telle que la cavité qu'elle 5 délimite a, parallèlement à une direction, une dimension inférieure à environ 5 mm, de préférence 1 mm, pour que les phénomènes de capillarité prédominent sur la force gravitationnelle comme indiqué ci-dessus. Les figures 9A et 9B représentent schématiquement un 10 générateur thermoélectrique comprenant un exemple d'une telle enceinte, la figure 9A étant une vue de dessus du générateur et la figure 9B étant une vue en coupe selon le plan BB de la figure 9B. Dans ce mode de réalisation, une enceinte 53 est délimitée par deux plaques 55 parallèles et en vis-à-vis, et par 15 une cloison latérale 57, l'espace séparant les faces en regard des deux plaques 55 étant inférieur à environ 5 mm. Le générateur comprend également au moins une chambre d'expansion, par exemple trois chambres 59A, 59B et 59C. Chaque chambre d'expansion communique avec l'enceinte 53, par exemple par 20 l'intermédiaire d'une portion tubulaire 61 s'étendant de la chambre d'expansion jusqu'à l'enceinte 53. Chaque chambre d'expansion comprend par une membrane élastiquement déformable 63 surmontée d'un transducteur mécano-électrique 65. En fonctionnement, une source chaude 67 est mise en 25 contact avec au moins une des plaques 55 au niveau d'une portion sensiblement centrale 69 de l'enceinte 53, et une source froide 71 est mise en contact avec au moins une des plaques 55 au niveau d'une portion annulaire 73 de l'enceinte 53, autour de la portion centrale 69. Une bulle 75 d'un fluide 77 remplissant 30 l'enceinte 53 se forme et vient se positionner au centre de la portion chaude 71, la bulle 75 s'étendant d'une plaque 55 à l'autre. Des cycles de vaporisation-condensation du fluide 77 se produisent alors dans l'enceinte 53 entraînant des cycles de dilatation-contraction de la bulle 75 entre la portion chaude 69 35 et la portion froide 73 de l'enceinte 53. Il en résulte des 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 15 déformations cycliques des membranes 65 des chambres 59A, 59B et 59C, et une production d'électricité par les transducteurs 65. La figure 10A est une vue en coupe schématique représentant un exemple de mise en oeuvre d'un dispositif comprenant 5 un générateur thermoélectrique, et la figure 10B est une vue de dessus à partir du plan BB de la figure 10A. Le dispositif comprend une plaque thermiquement conductrice 81 munie d'un plot central 83 du côté de sa face supérieure. Une couche thermique-ment isolante 85 affleurant sensiblement au niveau du sommet du 10 plot 83 recouvre la face supérieure de la plaque 81. Une plaque 87A repose sur la couche 85 et a une portion centrale 89 en contact avec le plot 83. Une couche thermiquement isolante 91 recouvre la périphérie de la couche 85 et délimite une cavité 93. Une plaque 87B parallèle à la plaque 87A est disposée en 15 vis-à-vis de la plaque 87A. Entre les plaques 87A et 87B, la cavité 93 a une hauteur inférieure à environ 5 mm, de préférence 1 mm. Deux membranes 95 ferment la cavité 93 entre la plaque 87B et la couche isolante 91. Chaque membrane 95 est surmontée d'un transducteur piézo-électrique 97. Une plaque de radiateur 99 est 20 disposée sur la surface supérieure du dispositif. En regard de chaque membrane 95, le radiateur 99 comprend un évidement 101 s'étendant à partir de sa face inférieure de façon que la membrane puisse bouger. Sensiblement en regard du plot 83, le radiateur comprend un évidement 103 s'étendant à partir de sa 25 face inférieure. L'évidement 103 est éventuellement rempli d'un isolant thermique qui peut être en le même matériau que les membranes 95 si celles-ci sont en un matériau thermiquement isolant. Autour de l'évidement 103, une portion annulaire 105 du radiateur 99 est en contact avec la plaque 87B. La cavité 93 est 30 remplie d'un fluide totalement ou presque totalement à l'état liquide. Dans ce dispositif, la couche isolante 91 et les plaques 87A et 87B délimitent une enceinte débouchant dans deux chambres d'expansion déformables qui sont délimitées par les 35 couches isolantes 85 et 91 et par les membranes 95. Ce dispo- 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 16 sitif constitue ainsi un générateur thermoélectrique analogue à celui des figures 9A et 9B mais ne comprenant que deux chambres d'expansion. En fonctionnement, la portion annulaire 105 du radia-5 teur 99 constitue la source froide du générateur, et, lorsque la face inférieure de la plaque 81 est en contact avec une surface chaude telle qu'une face d'une puce de circuit intégré, le plot 83 constitue la source chaude du générateur. Une bulle non représentée se forme alors entre les plaques 87A et 87B au 10 niveau de la portion centrale 89 de la plaque 87A, et le généra- teur fonctionne de la même manière que le générateur des figures 9A et 9B. Plusieurs exemplaires du dispositif des figures 10A et 10B sont par exemple réalisés simultanément à partir de plaques 15 qui sont ensuite découpées pour former des dispositifs individuels. Pour réaliser le dispositif des figures 10A et 10B, on peut fabriquer un premier ensemble comprenant la plaque 81, les couches 85 et 91, et la plaque 87A, puis un deuxième ensemble comprenant le radiateur 99, les membranes 95 et la plaque 87B, 20 les premier et deuxième ensembles étant ensuite assemblés l'un sur l'autre. De tels ensembles sont par exemple obtenus en collant des éléments usinés, thermoformés et/ou frittés. Ces ensembles pourront également être formés en utilisant des techniques de dépôt et de gravure de couches successives telles 25 que couramment utilisées dans le domaine de la micro-électronique. A titre d'exemple, la plaque 81 et le radiateur 99 sont en un métal tel que du cuivre ou de l'aluminium, ou un alliage métallique tel que du laiton. Les couches isolantes 85 30 et 91 peuvent être du verre ou un polymère, par exemple une résine époxy. Les plaques 87A et 87B peuvent être en verre, en silicium ou en un polymère. Le matériau des membranes 95 peut être un polymère ou un métal. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits 35 en relation avec les figures LA-1D à 10A-10B. Diverses variantes 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 17 et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, les chambres d'expansion pourront avoir une ou plusieurs parois déformables autres que la paroi supérieure, par exemple toutes les parois de ces chambres pourront se déformer 5 de façon élastique. On pourra associer à la chambre déformable des transducteurs mécano-électriques autres que des transducteurs piézoélectriques, par exemple des transducteurs mécano-électriques capacitifs ou inductifs. 10 On pourra utiliser la déformation de la chambre à d'autres fins que pour la production d'électricité. Par exemple, la déformation de la chambre pourra être utilisée pour réaliser un actionneur. On pourra également prévoir que plusieurs tubes ou 15 enceintes débouchent dans une même chambre d'expansion. Divers types de clapets anti-retour pourront être utilisés pour favoriser la circulation du fluide dans un dispositif du type de celui de la figure 8. Par exemple, la paroi interne du tube pourra être hydrophile d'un côté de la 20 portion chaude du tube, et moins hydrophile, voir hydrophobe, de l'autre côté de cette portion chaude. Dans ce cas, le fluide circulera de la portion chaude du tube vers la portion du tube la moins hydrophile. Divers modes de réalisation avec diverses variantes 25 ont été décrits ci-dessus. On notera que l'homme de l'art pourra combiner divers éléments de ces divers modes de réalisation et variantes sans faire preuve d'activité inventive. REVENDICATIONS1. Dispositif comprenant : une première enceinte fermée (1 ; 31 ; 53) définissant une cavité ayant, parallèlement à une direction, une dimension inférieure à 5 mm ; au moins une deuxième enceinte fermée et élastiquement déformable (3 ; 33A, 33B ; 33 ; 59A, 59B, 59C) communiquant avec la première enceinte ; et un fluide (14 ; 35 ; 77) à plus de 90% à l'état liquide remplissant les première et deuxième enceintes, dans lequel une première portion (17 ; 43 ; 69) de la première enceinte est adaptée à être en contact avec une source chaude (15 ; 41 ; 67) de température supérieure à la température de vaporisation du fluide, et au moins une deuxième portion (21 ; 47A, 47B ; 73) de la première enceinte, voisine de la première portion, est adaptée à être en contact avec une source froide (19 ; 45A, 45B ; 71) de température inférieure à la température de condensation du fluide. 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel la paroi interne de la première enceinte (1 ; 31 ; 53) est micro-20 structurée. 3. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel la paroi interne de la première enceinte (1 ; 31 ; 53) est revêtue de microbilles (27) dont le diamètre est compris entre 1 et 100 pin . 25 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 1 à 3, dans lequel la température de la source chaude (15 ; 41 ; 69) est supérieure d'au moins 20°C à la température de vaporisation du fluide (14 ; 35 ; 77). 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendica30 tions 1 à 4, dans lequel ladite dimension de la cavité est comprise entre 0,1 et 1 mm. 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la première enceinte (1 ; 31) est un tube. 3032845 B13885 - 12-GR3C0-0705 19 7. Dispositif selon la revendication 6, dans lequel le tube (1) a une première extrémité fermée et une deuxième extrémité qui débouche dans une deuxième enceinte (3), la deuxième portion (21) étant disposée entre la deuxième enceinte et la 5 première portion (17) qui est disposée du côté de l'extrémité fermée du tube. 8. Dispositif selon la revendication 6, comprenant deux deuxièmes enceintes (33A, 33B) dans chacune desquelles débouche une extrémité du tube (31), une première deuxième 10 portion (47A) étant disposée entre la première portion (43) et une des deuxièmes enceintes (33A), et une deuxième deuxième portion (47B) étant disposée entre la première portion et l'autre des deuxièmes enceintes (33B). 9. Dispositif selon la revendication 6, dans lequel 15 les deux extrémités du tube (31) débouchent dans la même deuxième enceinte (33), deux deuxièmes portions (47A, 47B) étant disposées de part et d'autre de la première portion (43). 10. Dispositif selon la revendication 9, dans lequel le tube comprend au moins une partie tronconique (51), l'une 20 desdites au moins une partie tronconique étant adaptée à être en contact avec la source chaude (41). 11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la première enceinte (53) comprend deux plaques parallèles (55) en regard l'une de l'autre, chacune des 25 plaques ayant une portion centrale (69) entourée d'une portion annulaire (73), les portions centrales étant en regard l'une de l'autre, les portions annulaires étant en regard l'une de l'autre, au moins une portion circulaire constituant la première portion de l'enceinte, et au moins une portion annulaire 30 constituant la deuxième portion de l'enceinte. 12. Générateur thermoélectrique comprenant un dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, et un transducteur mécano-électrique (9 ; 39 ; 65) couplé à chaque deuxième enceinte (3 ; 33A, 33B ; 33 ; 59A, 59B, 59C).