FR 3012264 A1 20150424 FR 1360222 A 20131021 - 1 - APPAREIL LASER MODULAIRE La présente invention concerne un appareil pour le recuit laser de substrats de grande largeur formé d'une pluralité de modules laser juxtaposables sans limitation particulière. Il est connu d'effectuer un recuit laser local et rapide (laser flash heating) de revêtements déposés sur des substrats plats. Pour cela on fait défiler le substrat avec le revêtement à recuire sous une ligne laser, ou bien une ligne laser au-dessus du substrat portant le revêtement. Le recuit laser permet de chauffer des revêtements minces à des températures élevées, de l'ordre de plusieurs centaines de degrés, tout en préservant le substrat sous-jacent. Les vitesses de défilement sont bien entendu de préférence les plus élevées possibles, avantageusement au moins de plusieurs mètres par minute. La présente invention s'intéresse en particulier aux lasers utilisant des diodes laser. Celles-ci constituent actuellement les sources laser les plus intéressantes du point de vue de leur prix et de leur puissance. Afin d'obtenir les puissances linéiques nécessaires à la mise en oeuvre d'un procédé avec une vitesse de défilement élevée, il est souhaitable de concentrer le rayonnement d'un très grand nombre de diodes laser au niveau d'une ligne laser unique. Au niveau du substrat portant le revêtement à recuire la densité de puissance de cette ligne laser doit généralement être la plus uniforme possible, de manière à exposer tous les points du substrat à une même énergie de recuit. Il serait par ailleurs souhaitable de pouvoir traiter à grande vitesse des substrats de grande largeur, tels que les feuilles de verre plat de taille « jumbo » (6 m x 3,21 m) sortant des procédés de float. La problématique pour l'obtention de très longues lignes laser est la réalisation d'un système de juxtaposition de modules laser permettant l'allongement à volonté de la longueur de la ligne, sans avoir à fabriquer des optiques monolithiques aussi longues que la ligne elle-même. - 2 - Des appareils laser modulaires ont déjà été envisagés. Ainsi, le brevet US 6 717 105 décrit un appareil laser modulaire de conception très simple. Dans cet appareil laser chaque module (oscillateur laser 1a,1b,1c) génère un faisceau laser qui, après mise en forme, est réfléchi par un miroir (4a,4b,4c) et projeté, sous forme d'une ligne laser, avec un angle droit sur le substrat (5). Les moyens de mise en forme (3a,3b,3c) du faisceau laser sont conçus de manière à former au niveau de l'intersection avec le substrat une ligne laser présentant un profil de densité de puissance ayant la forme d'un « chapeau claque » (en anglais top-hat) avec une partie centrale très étendue où la densité de puissance est forte et constante et, de part et d'autre de ce plateau, des flancs descendant en pente raide (voir figure 5 de US 6 717 105). Les profils sont combinés par superposition des flancs pentus de manière à créer une ligne unique combinée avec une répartition de densité de puissance la plus uniforme possible. Des modules laser générant ce type de ligne laser à profil « chapeau claque » sont toutefois très sensibles à d'éventuelles erreurs de positionnement des modules les uns par rapport aux autres. En effet, la grande raideur des pentes au niveau des zones latérales superposées fait qu'un écartement trop important des modules aboutit facilement à un défaut de densité de puissance au niveau de la jonction et, à l'inverse, des modules trop rapprochés aboutiraient à des zones de jonction où la densité de puissance est excessivement élevée. La Demanderesse a constaté qu'il est possible de réduire significativement la sensibilité d'un appareil laser modulaire à une erreur de positionnement respectif des modules laser en munissant les modules de l'appareil d'un système optique de mise en forme de la ligne laser à base de microlentilles qui crée non pas un profil de densité de puissance de type « chapeau claque », généralement recherché dans l'état de la technique, mais un profil de type « chapeau pointu », c'est-à-dire un profile qui s'approche d'un triangle, avec une pente régulière décroissante du centre vers les extrémités. - 3 - La présente invention a pour objet un appareil laser comprenant plusieurs modules laser générant chacun une ligne laser au niveau d'un plan de travail, lesdits modules laser étant juxtaposés de manière à ce que les lignes laser générées par les modules se combinent en une ligne laser unique, chacun des modules laser comprenant : - au moins un moyen de génération d'une ligne laser, et - un moyen de mise en forme de la ligne laser, ledit appareil étant caractérisé par le fait que le moyen de mise en forme de la ligne laser comporte un ensemble de microlentilles tel que la ligne laser finale présente, au niveau du plan de travail, un profil de densité de puissance avec une largeur à 90 % de la densité de puissance maximale (L90) et une largeur à 10 % de la densité puissance maximale (L10), le rapport L90 /L10 étant compris entre 1/15 et 1/5, de préférence entre 1/12 et 1/7, et en particulier entre 1/10 et 1/8. Contrairement à l'état de la technique, on ne cherche donc pas dans la présente invention à fabriquer des modules laser qui émettent chacun une ligne laser avec un profil de densité de puissance comportant un plateau de puissance utile le plus large possible. On cherche au contraire à réduire l'étendue de la zone centrale de forte puissance (L90) à moins de 20 %, de préférence à moins de 15 % et en particulier à moins de 10 % de la longueur totale de la ligne laser du module, et également à réduire la valeur de la pente de part et d'autre de la zone de puissance maximale. En effet, plus la pente des deux flancs du profil de densité de puissance émis par chaque module sera faible, moins une erreur de positionnement des modules se répercutera sur le profil de densité de puissance combiné formé par l'alignement de modules. La forme idéale du profile de puissance d'une ligne générée par chaque module est par conséquent le triangle présentant une hauteur (h) égale à la puissance maximale et une base (b) égale à la longueur de la ligne laser. Idéalement la pente des flancs du profil de densité de puissance est donc égale à celle de ce triangle (2h/b). - 4 - Le profil réel de densité de puissance peut toutefois s'écarter faiblement de la forme triangulaire stricte. De préférence, la ligne laser finale générée par chaque module laser présente, au niveau du plan de travail, un profil de densité de puissance avec un maximum de densité de puissance situé au centre de la ligne laser et une décroissance régulière de la densité de puissance depuis le centre vers les extrémités de la ligne, la pente de la décroissance s'écartant d'au plus 20 %, de préférence d'au plus 10 %, de la pente d'un profil parfaitement triangulaire de mêmes L10 et L90. Le terme « pente de la décroissance » désigne ici la pente moyenne observée sur une longueur égale à un 1/50 de la longueur de la ligne laser. Les modules laser sont juxtaposés de manière à ce que le profil de densité de puissance de la ligne laser combinée, résultant de la somme de l'ensemble des profils de densité de puissance individuels, soit un profil en forme de chapeau claque (top-hat) avec une zone centrale représentant au moins 90 % de la longueur totale de la ligne laser combinée de l'appareil où la densité de puissance varie d'au plus 10 %, de préférence d'au plus 5 % et de manière particulièrement avantageuse d'au plus 1 %. La faible largeur de la zone de puissance utile (L90) des profils triangulaires de chaque module est compensée dans l'appareil de la présente invention par un très large recouvrement des lignes lasers individuelles générées par deux modules adjacents. En effet, pour arriver à produire un profil combiné de type chapeau claque à partir de profils individuels triangulaires de type « chapeau pointu », il est indispensable que la presque totalité des points du profil final résulte de l'addition d'au moins deux profils individuels qui se recouvrent partiellement. Dans un mode de réalisation préféré de la présente invention, les modules laser sont juxtaposés de telle manière que chaque extrémité d'une ligne laser générée par un module laser est située à proximité immédiate du centre de la ligne laser générée par le module adjacent. Ainsi, dans la - 5 - partie centrale du profil combiné où la densité de puissance est constante, chaque point de la ligne laser fait de préférence partie de deux profils laser triangulaires générés respectivement par deux modules laser différents voisins l'un de l'autre. Cette manière de combiner des profils est très différente de celle de l'état de la technique où l'on cherche généralement à générer et combiner plusieurs profils individuels de type « chapeau claque », et où les zones de recouvrement des profils individuels ne représentent normalement pas plus de quelques pourcents de la longueur totale de la ligne laser. Dans un mode de réalisation de l'appareil de la présente invention où n modules, générant chacun une ligne laser de longueur L, avec un profil de densité de puissance de forme sensiblement triangulaire, sont juxtaposés de manière à former une ligne unique de type « chapeau claque » (voir figure 1) la longueur globale (Lg) de cette ligne unique est égale à Lg = (n+1) x 0,5 L. La longueur globale Lg est donc de préférence égale à un multiple de la demi-longueur de de la ligne laser générée par chaque module individuellement. On connait dans l'état de la technique des systèmes de lentilles permettant de conférer à des lignes laser un profil de densité de puissance de type chapeau claque. Un tel système est décrit par exemple dans la demande US 2012/0127723. Il comporte un premier réseau de microlentilles (4) combiné à des lentilles convergentes (5) de plus grande taille recevant chacune la lumière de plusieurs microlentilles. Au plan focal (8) chaque lentille convergente crée un profil de densité de puissance (9) en forme de chapeau claque avec une partie centrale relativement large et des flancs décroissants (10) ayant une pente relativement raide. Dans la présente invention, l'ensemble de microlentilles permettant d'obtenir une ligne laser à profil triangulaire est placé dans le plan focal d'une lentille convergente formant un profil de densité de - 6 - puissance de type chapeau claque. L'ensemble de microlentilles comprend un alignement de N microlentilles cylindriques d'une distance focale D. Comme il sera expliqué ci-après en référence à la figure 1, le profil de densité de puissance de la ligne laser mis en forme par cet alignement de microlentilles varie avec la distance par rapport à l'ensemble de microlentilles. A proximité immédiate de l'alignement de microlentilles il est de type chapeau claque. Sa forme devient de plus en plus triangulaire au fur et à mesure qu'on s'éloigne de l'alignement. La distance (D) exacte à laquelle il a la forme d'un triangle peut être calculée, de manière connue, grâce à la formule suivante : D=NxF où N désigne le nombre de microlentilles, et F désigne la distance focale de chaque microlentille, à condition que la dimension de l'ensemble de microlentilles soit négligeable par rapport à la distance entre l'ensemble de microlentilles et la lentille convergente formant le profil de densité de puissance chapeau claque. On placera avantageusement le plan de travail (substrat) à une distance égale à D ± 15%, de préférence à D ± 5%, et idéalement précisément à une distance D par rapport à l'alignement de microlentilles. Il est bien entendu possible et facile pour l'homme du métier de choisir, grâce à la formule ci-dessus, un alignement de microlentilles approprié pour obtenir un profil de densité de puissance triangulaire à une distance D imposée. L'appareil laser modulaire de la présente invention comprend de préférence au moins 5 modules, en particulier au moins 10 modules. Les modules laser sont avantageusement juxtaposés de manière à ce que les lignes laser générées se combinent en une ligne laser unique d'une longueur totale supérieure à 1,2 m, de préférence supérieure à 2 m, en particulier supérieure à 3 m. Dans la perspective du traitement laser de substrats de type « jumbo » ayant une largeur de 3,21 m, la partie centrale de la ligne laser - 7 - où la densité de puissance est sensiblement constante, a de préférence une longueur comprise entre 3,20 et 3,22 m. Par ailleurs, les modules lasers sont assemblés et montés sur l'appareil laser de manière à ce que les lignes laser générées coupent le substrat, ou plan de travail, de préférence à un petit angle, typiquement inférieur à 20 °, de préférence inférieur à 10 ° par rapport à la normale au substrat. L'appareil peut être conçu de manière à ce que les modules laser soient fixes, le substrat à traiter défilant en-dessous ou au-dessus de l'alignement de modules, généralement dans une direction perpendiculaire à l'axe principal de la ligne laser. En variante, l'appareil peut être conçu de manière à ce que le substrat soit fixe et l'alignement de modules laser défile au-dessus ou en-dessous du substrat en y projetant la ligne laser. L'invention sera à présent décrite en référence aux figures annexées dans lesquelles la figure 1 est un schéma explicatif représentant un système optique permettant l'obtention d'une ligne laser présentant un profil de densité de puissance de forme triangulaire, et la figure 2 est un schéma explicatif montrant la manière de combiner plusieurs profils de densité de puissance de forme triangulaire pour obtenir un profil combiné de type chapeau claque. Sur la figure 1 la combinaison d'un alignement de microlentilles 1 et d'une lentille convergente 2 aboutit, au plan de focalisation 4 de cette dernière, à une ligne laser présentant un profil de densité de puissance de type chapeau claque A. Un deuxième alignement de microlentilles 3 est placé précisément au plan de focalisation 4 de la lentille convergente 2. Chacune des microlentilles de l'alignement 3 produit un faisceau d'abord convergent, puis divergent au-delà du point de focalisation. Les faisceaux des deux microlentilles situées aux extrémités de l'alignement de microlentilles se croisent au point 5. Ce point de croisement 5 des deux faisceaux les plus à l'extérieur de la ligne laser est situé sur la droite 6, parallèle à l'alignement de microlentilles 3, où le profil de densité de puissance de la ligne laser aura le profil triangulaire B. Cette droite 6 est à - 8 - une distance D par rapport à l'alignement de microlentilles 3. Le substrat à traiter (non représenté) devra être placé de manière à ce que la droite 6 soit située dans le plan de celui-ci. A une distance D' supérieure à D, l'allure du profil de densité de puissance C s'approchera de nouveau de celle d'un chapeau claque. La figure 2 montre les profils de densité de puissance 1a,1b,1c,1d de quatre lignes laser générées par quatre modules (non représentés) juxtaposés conformément à la présente invention. Les quatre profils sont de forme identique. Chaque profil présente un maximum de densité de puissance 2, une largeur à 90 % de la densité de puissance maximale L90, une largeur à 10 % de la densité de puissance maximale L10. Le profil 3 en pointillés correspond au profil de densité de puissance résultant de l'addition des profils triangulaires individuels. Ce profil a une allure de type chapeau claque. Les modules laser (non représentés) sont placés de manière à ce que, dans la partie plateau du profil global 3, chacun des points du profil résulte de l'addition des profils de deux modules laser voisins.20 REVENDICATIONS1. Appareil laser comprenant plusieurs modules laser générant chacun une ligne laser au niveau d'un plan de travail, lesdits modules laser étant juxtaposés de manière à ce que les lignes laser générées par les modules se combinent en une ligne laser unique, chacun des modules laser comprenant - au moins un moyen de génération d'une ligne laser, et - un moyen de mise en forme de la ligne laser, ledit appareil étant caractérisé par le fait que le moyen de mise en forme de la ligne laser comporte un ensemble de microlentilles tel que la ligne laser finale générée par chaque module laser présente, au niveau du plan de travail, un profil de densité de puissance avec une largeur à 90 % de la densité de puissance maximale (L90) et une largeur à 10 % de la densité de puissance maximale (L10), le rapport L90 /Lio étant compris entre 1/15 et 1/5. 2. Appareil laser selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le rapport L90 /Lio est compris entre 1/12 et 1/7, de préférence entre 1/10 et 1/8. 3. Appareil laser selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que la ligne laser finale générée par chaque module laser présente, au niveau du plan de travail, un profil de densité de puissance avec un maximum de densité de puissance situé au centre de la ligne laser et une décroissance de la densité de puissance depuis le centre vers les extrémités de la ligne, la pente de la décroissance s'écartant d'au plus 20 %, de préférence d'au plus 10 %, de la pente d'un profil parfaitement triangulaire de mêmes L10 et L90. 4. Appareil laser selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les modules laser sont juxtaposés de manière à ce que le profil de densité de puissance de la ligne laser combinée, résultant de la somme de l'ensemble des profils de densité de puissance individuels, est un profil en forme de chapeau claque (top-hat) avec une zone centrale représentant au moins 90 % de la longueur totale de-10- la ligne laser combinée de l'appareil où la densité de puissance varie d'au plus 10 %, de préférence d'au plus 5 % et de manière particulièrement avantageuse d'au plus 1 %. 5. Appareil laser selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les modules laser sont juxtaposés de telle manière que chaque extrémité d'une ligne laser générée par un module laser est située à proximité immédiate du centre de la ligne laser générée par le module adjacent. 6. Appareil laser selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il comprend au moins 5 modules, de préférence au moins 10 modules. 7. Appareil laser selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les modules laser sont juxtaposés de manière à ce que les lignes laser générées par les modules se combinent en une ligne laser unique d'une longueur totale supérieure à 1,2 m, de préférence supérieure à 2 m, en particulier supérieure à 3 m.