FR 3011334 A1 20150403 FR 1359336 A 20130927 B12271 - 05645-01 1 CAPTEUR SISMIQUE Domaine La présente demande concerne un capteur sismique, en particulier un capteur adapté à la mesure des mouvements sismiques de faibles amplitudes et adapté au contrôle vibratoire 5 d'une structure mécanique. Exposé de l'art antérieur Un exemple d'utilisation des capteurs sismiques concerne la stabilisation dynamique d'une structure mécanique. A titre d'exemple, dans les accélérateurs de particules, des 10 faisceaux de particules, notamment d'électrons ou de positrons, sont accélérés et focalisés par plusieurs centaines de modules. Les accélérateurs de particules en cours de réalisation pourront comprendre plusieurs centaines de modules d'accélération et de focalisation de faisceaux. Ces projets de futurs accélérateurs 15 de particules visent des dimensions de faisceaux nanométriques ce qui implique que chaque module soit positionné et stabilisé avec une précision de l'ordre de quelques dixièmes de nanomètre pour assurer le bon positionnement des faisceaux. Dans ce but, la position de chaque module est contrôlée par un ou plusieurs 20 actionneurs pour compenser toutes perturbations, notamment les mouvements sismiques qui sont mesurés par des capteurs sismiques. B12271 - 05645-01 2 Certains types de capteur sismique comprennent une masse, appelée masse sismique, qui peut être associée à une suspension jouant le rôle d'un ressort. Le capteur sismique peut correspondre à un accéléromètre mesurant généralement l'accélération de la masse sismique ou à un vélocimètre mesurant sa vitesse. Pour le contrôle vibratoire d'accélérateurs de particules, le capteur sismique doit détecter à la fois les mouvements sismiques naturels, que l'on observe généralement sur le spectre fréquentiel en dessous de quelques hertz et les mouvements sismiques culturels, produits par l'homme, observé sur le spectre à partir de quelques hertz. Le capteur sismique doit donc pouvoir détecter des mouvements ou ondes sismiques sur une plage de fréquences relativement large, par exemple allant de 0,01 Hz à 500 Hz, et ce pour de faibles amplitudes. Les capteurs sismiques de type vélocimètre sont plutôt adaptés à la mesure basse fréquence. A titre d'exemple, les produits commercialisés par la société Güralp Systems sous les appellations CMG-6T et CMG-3ESP sont adaptés respectivement à la mesure de fréquences variant de 0,033 à 100 Hz et de 0,0083 à 50 Hz. Les capteurs sismiques de type accéléromètre actuellement disponibles ont une plage de fonctionnement dont la borne haute peut dépasser 500 Hz mais dont la borne basse est généralement supérieure à quelques hertz pour des amplitudes de mouvement sismique en conditions calmes, c'est-à-dire pour des amplitudes de déplacement inférieures à la limite de saturation du capteur sismique. Un inconvénient est alors que, pour mesurer un mouvement sismique sur la plage de fréquence comprise entre 0,01 Hz et 500 Hz, il est nécessaire d'utiliser à la fois un capteur sismique de type accéléromètre et un capteur sismique de type vélocimètre. Dans le cas de la stabilisation dynamique d'un accélérateur de particules, l'utilisation de plusieurs centaines de capteurs sismiques peut être nécessaire, ce qui conduit à des coûts et à des encombrements importants. B12271 - 05645-01 3 Résumé Un objet d'un mode de capteur sismique qui pallie tout capteurs sismiques usuels. réalisation vise à proposer un ou partie des inconvénients des Selon un autre objet d'un mode de réalisation, le fonctionnement à cheval sur la capteur sismique a une plage de plage de fonctionnement d'un capteur de type vélocimètre usuel et d'un capteur sismique de type accéléromètre usuel. Selon un autre objet d'un mode de réalisation, le 10 capteur sismique a une plage de fonctionnement dont la borne haute est supérieure à la borne haute d'un capteur sismique de type vélocimètre actuel. Selon un autre objet d'un mode de réalisation, le capteur sismique a une plage de fonctionnement dont la borne 15 basse est inférieure à la borne basse d'un capteur sismique de type accéléromètre actuel. Selon un autre objet d'un mode de réalisation, la structure du capteur sismique et sa modélisation sont simples. Selon un autre objet d'un mode de réalisation, le 20 capteur sismique peut facilement être utilisé dans un système de stabilisation dynamique d'une structure. Selon un autre objet d'un mode de réalisation, l'encombrement du capteur sismique est réduit. Ainsi, un mode de réalisation prévoit un capteur 25 sismique pour ondes sismiques de fréquences comprises entre 0,05 Hz et 500 Hz comprenant une masse, au moins un élément de suspension de la masse relié à un corps de capteur et un dispositif de mesure du déplacement de la masse par rapport au corps de capteur, l'ensemble formé par la masse et l'élément de 30 suspension ayant une fréquence de résonance comprise entre 5 Hz et 300 Hz. Selon un mode de réalisation, le dispositif de mesure fournit au moins un premier signal, le capteur sismique comprenant, en outre, un module de traitement adapté à fournir B12271 - 05645-01 4 un deuxième signal égal au premier signal corrigé à partir de l'inverse de la fonction de transfert du capteur sismique. Selon un mode de réalisation, l'élément de suspension comprend un anneau extérieur, une portion centrale reliée à la 5 masse et au moins deux bras reliant l'anneau extérieur à la portion centrale. Selon un mode de réalisation, chaque bras est sensiblement rectiligne. Selon un mode de réalisation, le capteur comprend un 10 réseau de bras interconnectés reliant l'anneau extérieur à la portion centrale. Selon un mode de réalisation, chaque bras s'étend selon une spirale. Selon un mode de réalisation, le capteur comprend deux 15 éléments de suspension, la masse étant maintenue entre les deux éléments de suspension. Selon un mode de réalisation, le dispositif de mesure comprend un capteur sans contact du déplacement de la masse par rapport au corps de capteur. 20 Selon un mode de réalisation, le capteur sans contact est un capteur de déplacement capacitif, optique, magnétique ou inductif. Selon un mode de réalisation, l'élément de suspension est en un matériau choisi parmi le groupe comprenant l'acier, 25 l'aluminium et un matériau composite. Selon un mode de réalisation, l'élément de suspension correspond à un circuit imprimé. Selon un mode de réalisation, le capteur sans contact est un capteur de déplacement capacitif et l'élément de 30 suspension comprend une piste conductrice se prolongeant par un plot conducteur formant une électrode du capteur de déplacement capacitif. Selon un mode de réalisation, le capteur sismique comprend, en outre, une masse supplémentaire et au moins un 35 élément de suspension supplémentaire de la masse supplémentaire B12271 - 05645-01 relié au support et un dispositif de mesure supplémentaire du déplacement de la masse supplémentaire par rapport au support, l'ensemble formé par la masse supplémentaire et l'élément de suspension supplémentaire ayant une fréquence de résonance 5 comprise entre 5 Hz et 300 Hz. Selon un mode de réalisation, la masse est traversée par une ouverture et la masse supplémentaire est au moins en partie logée dans l'ouverture et distante de la masse. Un mode de réalisation prévoit également un système de 10 stabilisation dynamique d'une structure, comprenant au moins : un capteur sismique tel que défini précédemment, adapté à fournir un signal représentatif des mouvements du sol et/ou de la structure ; un module de traitement adapté à fournir un signal de 15 commande ; et un actionneur relié à la structure, recevant le signal de commande et adapté à déplacer la structure pour compenser les mouvements du sol. Brève description des dessins 20 Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détails dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 est une vue en perspective d'un mode de 25 réalisation d'un capteur sismique ; la figure 2 est une vue en perspective écorchée du capteur sismique de la figure 1 ; la figure 3 est une vue en perspective du dispositif de mesure de distance relative du capteur sismique de la figure 30 1 et de son dispositif de maintien réglable ; la figure 4 représente une courbe d'évolution de l'amplitude de la fonction de transfert en accélération du capteur sismique de la figure 1 ; la figure aA à 5D représentent des courbes d'évolution 35 de la densité spectrale de puissance du déplacement relatif B12271 - 05645-01 6 mesuré par le capteur sismique pour différentes fréquences de résonance du capteur sismique ; la figure 6 représente, sous la forme d'une schéma-bloc, un autre mode de réalisation d'un capteur sismique 5 contenant par exemple le capteur sismique de la figure 1 ; la figure 7 représente une courbe d'évolution d'une fonction de compensation mise en oeuvre par le capteur sismique de la figure 6 ; les figures 8A, 8B, 8C représentent des courbes 10 d'évolution de la densité spectrale de puissance du mouvement sismique mesuré par un capteur sismique selon le mode de réalisation représenté en figure 6 avec et sans correction, et par un capteur connu de type vélocimètre (CMG-6T) pour comparaison et mesuré pour un couple de paramètres (fréquence de 15 résonance, amortissement) du capteur sismique ; la figure 9 est une figure analogue à la figure 8C pour un autre couple de paramètres (fréquence de résonance, amortissement) du capteur sismique ; la figure 10 représente des courbes d'évolution de la 20 densité spectrale de puissance du déplacement relatif mesuré par un capteur sismique selon le mode de réalisation représenté en figure 6 sans correction et la densité spectrale de puissance de l'électronique de lecture du dispositif de détection de distance relative mesurée à vide ; 25 la figure 11 représente des courbes d'évolution de la densité spectrale de puissance du déplacement relatif mesuré par un capteur sismique connu de type vélocimètre et la densité spectrale de puissance de bruit de ce capteur sismique mesuré selon la méthode de différence corrigée ; 30 la figure 12 représente, sous la forme d'un schéma- bloc, un mode de réalisation d'un système de stabilisation dynamique d'une structure mécanique contenant par exemple le capteur sismique de la figure 1 ; les figures 13 et 14 représentent d'autres modes de 35 réalisation d'un élément de suspension d'un capteur sismique ; B12271 - 05645-01 7 la figure 15 représente un autre mode de réalisation du dispositif de mesure de distance relative d'un capteur sismique et de son dispositif de maintien réglable ; la figure 16 est une vue en perspective d'un autre 5 mode de réalisation d'un capteur sismique ; la figure 17 est une vue en perspective d'un autre mode de réalisation de l'ensemble masses-ressorts d'un capteur sismique ; la figure 18 est une coupe de l'ensemble masses-10 ressorts de la figure 17 ; la figure 19 est une vue de dessous, partielle et schématique, d'un autre mode de réalisation d'un élément de suspension avec détection de distance relative intégrée ; et la figure 20 est une vue en perspective avec coupe 15 d'un autre mode de réalisation d'un capteur sismique. Description détaillée Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. En 20 outre, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, le fonctionnement du système de détection de distance relative d'un capteur sismique est bien connu de l'homme du métier et n'est pas décrit en détail. Dans la suite 25 de la description, sauf indication contraire, les termes "sensiblement", "environ" et "de l'ordre de" signifient "à 10 % près". Les figures 1 et 2 représentent un mode de réalisation d'un capteur sismique 10 selon l'invention. 30 Le capteur sismique 10 comprend un corps 11 de capteur comportant au moins un fond 12 et des entretoises annulaires 20 et 22. Le fond 12 correspond, par exemple, à une plaque. Les éléments du capteur 10 sont fixes les uns par rapport aux autres. Le corps 11 du capteur peut être disposé sur le sol dont 35 les mouvements sont à mesurer et suivre les mouvements du sol. B12271 - 05645-01 8 Dans la suite de la description, lorsqu'il est fait mention des mouvements du fond 12 du capteur, il est sous-entendu que l'ensemble du corps 11 suit les mêmes mouvements. Le capteur sismique 10 comprend une masse 14 qui peut 5 correspondre à un élément cylindrique à base circulaire d'axe A. Dans la suite de la description, on considère que l'axe A est vertical, Toutefois, il est clair que l'axe A pourrait être différent de la direction verticale selon le type de mouvements sismiques à mesurer. En outre, les adjectifs "inférieur" et 10 "supérieur" sont définis par rapport au centre de la masse 14. La masse 14 est maintenue par un élément de suspension supérieur 16A et un élément de suspension inférieur 16B. La masse 14 est située entre les deux éléments de suspension 16A, 16B. Les éléments de suspension 16A, 16B jouent 15 le rôle d'un ressort et sont adaptés à se déformer en présence d'ondes sismiques. Les éléments 14, 16A et 16B forment l'ensemble masse-ressort 17 du capteur sismique 10. Le bord extérieur de l'élément de suspension inférieur 16B repose sur l'entretoise annulaire 20 qui elle-même est posée 20 sur le fond 12 du capteur. Le bord extérieur de l'élément de suspension supérieur 16A repose sur l'entretoise annulaire 22 qui elle-même repose sur le bord extérieur de l'élément de suspension inférieur 16B. Un dispositif de mesure 27 de la distance relative 25 entre le corps 11 du capteur et l'ensemble masse-ressort 17 est disposé entre le fond 12 du capteur et l'ensemble masse-ressort 17, sensiblement à l'aplomb de la masse 14. Le dispositif de mesure 27 comprend un capteur de distance relative 24 et un dispositif de maintien à position réglable 25 du capteur de 30 distance relative 24. Les entretoises 20, 22 et les éléments de suspension 16A, 16B peuvent être fixés au fond 12 par des moyens de fixation, non représentés, par exemple par vissage. A titre d'exemple, des ouvertures 26 traversant les éléments de 35 suspension 16A, 16B, les entretoises 20, 22 et le fond 12 et B12271 - 05645-01 9 permettant le passage de moyens de fixation, par exemple de tiges filetées sont représentées sur les figures 1 et 2. Les éléments de suspension 16A, 16B peuvent avoir une forme identique. Dans la suite de la description, des parties similaires ou identiques des éléments de suspension 16A, 16B sont désignées par la même référence suivie de la lettre "A" pour une partie appartenant à l'élément de suspension lEA et la lettre "B" pour une partie appartenant à l'élément de suspension 16B. Chaque élément de suspension 16A, 16B comprend un anneau extérieur 30A, 30B, une portion centrale 32A, 32B et des bras de suspension 34A, 34B reliant la portion centrale 32A, 32B à l'anneau extérieur 30A, 30B. Les éléments de suspension 16A, 16B peuvent correspondre chacun à une pièce monolithique. A 15 titre de variante, chaque élément de suspension 16A, 16B peut comprendre plusieurs pièces assemblées les unes aux autres. En particulier, la portion centrale 32A, 32B peut correspondre à une pièce distincte fixée aux bras 34A, 34B. Chaque anneau extérieur 30A, 30B peut être de forme 20 circulaire. L'anneau extérieur 30B de l'élément de suspension inférieur 16B repose sur l'entretoise 20 et l'anneau extérieur 30A de l'élément de suspension supérieur 16A repose sur l'entretoise 22. Dans le présent mode de réalisation, chaque bras 34A, 25 34B s'étend sensiblement radialement par rapport à l'axe A. A titre d'exemple, chaque bras 34 est à section rectangulaire. Le capteur 10 peut comprendre de deux à dix bras 34A, 34B, par exemple quatre bras. Chaque portion centrale 32A, 32B peut correspondre à 30 une portion cylindrique à base circulaire, éventuellement traversée par une ouverture cylindrique 36A, 36B. La masse 14 peut comprendre à sa base une portion filetée 38 qui pénètre dans l'ouverture taraudée 36B de la portion centrale 32B de l'élément de suspension inférieur 16B et qui assure la fixation 35 de la masse 14 à l'élément de suspension inférieur 16B. La masse B12271 - 05645-01 10 14 peut comprendre un trou borgne 43 à son sommet. Une vis, non représentée, peut être disposée dans le trou borgne 43 et dans l'ouverture cylindrique 36A de la portion centrale 32A de l'élément de suspension supérieur 16A pour assurer le maintien en position de la masse 14 par rapport à l'élément de suspension supérieur 16A. Le capteur de déplacement relatif 24 est adapté à fournir un signal électrique représentatif du déplacement relatif de la masse 14 par rapport au fond 12 du capteur. A titre d'exemple, il s'agit d'un capteur de déplacement sans contact, notamment un capteur de déplacement capacitif, magnétique, optique ou inductif. A titre d'exemple, dans le mode de réalisation représenté aux figures 1 et 2, on a représenté un capteur de déplacement capacitif 24. La figure 3 représente une vue en perspective d'un mode de réalisation du dispositif de mesure de distance relative 27 du capteur sismique 10 représenté aux figures 1 et 2, comprenant le capteur de distance relative 24 et son dispositif de maintien à position réglable 25. Le capteur de distance relative 24 comprend deux électrodes 40, 42. L'électrode 40 est fixée à la portion centrale 32B de l'élément de suspension inférieur 16B, non représentée en figure 3. Le dispositif de maintien à position réglable 25 comprend un support 44 qui est maintenu sur une base 46 par l'intermédiaire de moyens de guidage et d'ajustement 48 de la position du support 44 par rapport à base 46. L'électrode 42 est fixée au support 44. Le support 44 peut être traversé par une ouverture 45 pour en diminuer la masse. La base 46 peut être fixée au fond 12. Les moyens d'ajustement 48 peuvent comprendre des goupilles rectifiées, une vis et des rondelles Belleville. La base 46, les moyens d'ajustement 48, le support 44 et l'électrode inférieure 42 sont disposés dans l'ouverture délimitée par l'entretoise inférieure 20 de façon que l'électrode 42 soit située à l'aplomb de l'électrode 40. La position verticale du support 44 par rapport à la base 46 est B12271 - 05645-01 11 modifiée par les moyens d'ajustement 48 pour ajuster l'écart entre les électrodes 40, 42 et se positionner dans la zone de fonctionnement du capteur capacitif 24. Le capteur de distance relative 24 comprend, en outre, 5 un module de conditionnement du signal 54 auquel les électrodes 40, 42 sont reliées par des fils 50, 52. Le module de conditionnement du signal 54 est adapté à fournir un signal électrique v, par exemple un courant ou une tension, représentatif de l'écart entre les deux électrodes 40, 42. Le 10 module 54 peut correspondre à un circuit électronique dédié et intégré au capteur. A titre d'exemple, le capteur capacitif 24 peut correspondre au capteur capacitif commercialisé par la société Physik Instrumente (PI) sous l'appellation D-015 pour les 15 éléments 40, 42, 50 et 52 et E-509 pour le module 54. Le fonctionnement du mode de réalisation du capteur sismique 10 est le suivant. En présence de mouvements sismiques, le fond 12 suit les mouvements du sol et la masse 14 tend à se déplacer par rapport au fond 12 en raison de la déformation des 20 éléments de suspension 16A, 16B. Ce déplacement relatif est mesuré par le capteur de déplacement sans contact 24. En première approximation, le capteur sismique 10 est modélisable par un oscillateur mécanique de type masse-ressort. Dans un repère fixe, le capteur sismique 10 mesure le 25 déplacement relatif Az = x - y avec x le déplacement de la masse 14 par rapport à un repère fixe et y le déplacement du sol par rapport à ce même repère fixe. Le capteur sismique 10 est caractérisé par sa fonction de transfert H liant le déplacement relatif Az au mouvement du sol y. Le comportement du capteur 30 sismique 10 correspond, en première approximation, à celui d'un accéléromètre de type masse-ressort. La fonction de transfert H est alors donnée par la relation (1) suivante, dans le domaine de Laplace : 2 s + 1 x H(s) - - wo y 1 2 s + s + 12 CL)02 CL)0 (1) B12271 - 05645-01 12 où w0 est la pulsation propre du capteur sismique 10 et est le terme d'amortissement du capteur sismique 10. La pulsation propre w0 et le terme d'amortissement sont donnés par les relations (2) suivantes : = h II k 2k m où m est la somme de la masse 14 et de la partie cylindrique centrale 32A et 32B des éléments de suspension 16A et 16B , k est la constante de raideur équivalente des éléments de suspension 16A, 16B et h est le coefficient de frottement 10 équivalent des éléments de suspension 16A, 16B. Si on considère que la fonction de transfert du capteur de déplacement capacitif 24 est une constante C sur la plage fréquentielle de fonctionnement du capteur sismique, alors la fonction de transfert P entre le signal électrique v=C.Az 15 fourni par le capteur capacitif 24 et le déplacement du sol y est donnée par la relation (3) suivante, dans le domaine de Laplace : P(s) - - C(H - 1) (3) Y Lorsque le signal électrique v est une tension, la 20 constante C est exprimée en V/m. La fonction de transfert A entre le signal électrique v fourni par le capteur de déplacement capacitif 24 et l'accélération ÿ du sol est donnée par la relation (4) suivante, dans le domaine de Laplace : 25 A(s) - v C(H 2 (4) s La figure 4 représente un exemple de courbe d'évolution C1 de l'amplitude de la fonction de transfert A en fonction de la fréquence. La courbe C1 comprend successivement une première 30 portion P1 sensiblement constante sur une première plage de fréquences AF1, une portion P2 en forme de pic autour de la fréquence de résonance f0 du capteur sismique 10 sur une ci) 0 km (2) B12271 - 05645-01 13 deuxième plage de fréquences AF2 et une portion décroissante P3 sur une troisième plage de fréquences AF3. La fréquence de résonance f0 et par conséquent les plages de fréquence AF1, AF2 et AF3 peuvent être ajustées en 5 modifiant la masse m, la constante de raideur k et le terme d'amortissement du capteur sismique 10. Ces paramètres peuvent être modifiés indépendamment les uns des autres. En particulier, la constante de raideur k et le coefficient de frottement h peuvent être ajustés en modifiant les dimensions 10 des éléments de suspension 16A, 16B et/ou le matériau constituant les éléments de suspension 16A, 16B. De façon usuelle, la plage de fonctionnement d'un capteur sismique de type accéléromètre dont le fonctionnement suit un modèle masse-ressort correspond à la plage de fréquences 15 AF1 pour laquelle la fonction de transfert A est sensiblement constante. En effet, dans ce cas, le signal v fourni par le capteur sismique est proportionnel à l'accélération du sol tel que v=(mC/k).y sur toute la plage de fonctionnement AF1. De ce fait, de façon usuelle pour les accéléromètres, la fréquence 20 de résonance f0 est choisie pour être supérieure à la borne supérieure de la plage de fonctionnement souhaitée du capteur sismique. La borne inférieure de la plage de fonctionnement dépend plutôt du bruit des composants électroniques et du niveau du signal à mesurer. Généralement, on considère cette limite 25 basse comme étant la fréquence pour laquelle le rapport signal sur bruit du capteur sismique est inférieur à l'unité. En particulier, pour une application concernant la stabilisation dynamique d'une structure, le niveau d'accélération dérivé du déplacement sismique à mesurer diminue avec la 30 fréquence. A basse fréquence, la limite est donc liée au fait que l'amplitude du signal à mesurer est inférieure au niveau de bruit du capteur sismique. Ainsi, pour les capteurs sismiques usuels de type accéléromètre, la borne basse de la plage de fonctionnement est généralement supérieure à quelques hertz pour 35 la mesure de l'accélération du sol en condition normale. B12271 - 05645-01 14 Les inventeurs ont mis en évidence qu'en utilisant le capteur sismique, dont le fonctionnement suit un modèle masse-ressort, sur une plage de fréquence contenant la résonance du capteur sismique 10, c'est à dire allant de AF1 à AF3, on 5 bénéficie alors d'une l'amplification du signal mesuré induite par la résonnance. Ceci permet donc d'améliorer le rapport signal sur bruit autour de la résonnance. Dans le cas de l'application citée précédemment, avec une fréquence de résonnance du capteur sismique 10 à basse fréquence, on abaisse 10 la limite basse fréquence de la plage de fonctionnement. Les matériaux utilisés pour réaliser la masse 14 et les éléments de suspension 16A, 16B, et les dimensions de ces pièces sont déterminés pour obtenir la fréquence de résonance f0 et le terme d'amortissement recherchés (cf relations (2)). 15 Selon un mode de réalisation, la masse 14 est en acier, en plomb ou en aluminium. De préférence, la masse 14 est en acier. Selon un mode de réalisation, les éléments de suspension 16A, 16B sont en aluminium, en acier ou en matériau 20 composite. A titre d'exemple, le matériau composite comprend des fibres de verre et de la résine époxy ou des fibres de carbone et de la résine époxy. Selon un mode de réalisation, les entretoises 20, 22, la plaque 12, le support 44 et la base 46 sont en aluminium ou 25 en acier, de préférence en aluminium. Lorsque la masse 14 est en acier et lorsque les éléments de suspension 16A, 16B sont en aluminium, les dimensions totales du capteur sismique 10 peuvent être les suivantes : 30 diamètre extérieur des éléments de suspension 16A, 16B : entre 40 mm et 400 mm ; diamètre intérieur des éléments de suspension 16A, 16B : entre 8 mm et 80 mm ; l'épaisseur de chaque bras 34A, 34B : entre 0,1 mm et 35 10 mm ; et B12271 - 05645-01 15 longueur de chaque bras 34A, 34B mesurée radialement par rapport à l'axe A : entre 16 mm et 180 mm. Sauf indication contraire, pour réaliser les courbes décrites par la suite, un capteur sismique 10 a été utilisé pour 5 lequel la masse 14 était en acier et les éléments de suspension 16A, 16B, les entretoises 20, 22, et la plaque 12 étaient en aluminium et pour lequel les dimensions étaient les suivantes : diamètre extérieur des éléments de suspension 16A, 16B : 250 mm ; et 10 épaisseur de chaque bras 34A, 34B : 2 mm. Les figures aA à 5D représentent les courbes d'évolution C2, C3 et C4 de la densité spectrale de puissance PSD, exprimée en (m/s2)/iViz, de l'accélération du sol en fonction de la fréquence pour trois capteurs sismiques 10 ayant 15 des fréquences de résonance respectivement de 14 Hz, de 72 Hz et de 144 Hz et pour un terme d'amortissement de sensiblement 0,02. Les fréquences de résonance f0 de 14 Hz, de 72 Hz et de 144 Hz ont été respectivement obtenues avec une masse 14 de 936 g et des éléments de suspension tels que représentés sur la figure 13 20 décrite par la suite, une masse 14 de 936 g et des éléments de suspension tels que représentés en figure 1 et une masse 14 de 236 g et des éléments de suspension tels que représentés en figure 1. Les figures SA à 5D représentent, en outre, une courbe 25 d'évolution C5 de la densité spectrale du bruit de l'électronique (conditionneur de signaux) du capteur de déplacement capacitif 24. La courbe C5 est une mesure de la sortie du module de conditionnement de signal 54 non connecté aux électrodes 40 et 42. 30 Lorsque l'amplitude du signal de déplacement du sol mesuré est trop faible, les courbes de densité spectrale de puissance du signal mesuré C2, C3 et C4 rejoignent la courbe de densité spectrale de bruit. C'est ce qui fixe les limites de la plage de fonctionnement du capteur. Le fait de diminuer la 35 fréquence de résonance f0 du capteur sismique permet d'améliorer B12271 - 05645-01 16 le rapport signal sur bruit aux basses fréquences. Toutefois, ceci entraîne une dégradation du rapport signal à bruit aux hautes fréquences. La fréquence de résonance f0 et le terme d'amortissement sont choisis pour optimiser la plage de fréquences de fonctionnement du capteur selon les besoins de l'application. Selon un mode de réalisation, pour détecter des mouvements sismiques dans une plage de 0,05 Hz à 500 Hz, la fréquence de résonance du capteur sismique 10 est comprise entre 5 Hz et 300 Hz. Selon un mode de réalisation, pour détecter des mouvements sismiques dans une plage de 0,05 Hz à 500 Hz, le terme d'amortisseur du capteur sismique 10 est compris entre 0,001 et 0,5. Sur une partie de la plage de fonctionnement du capteur sismique 10, le signal v fourni par le capteur sismique 10 n'est pas proportionnel à l'accélération du sol ÿ avec un rapport de proportionnalité constant. Il est alors prévu de corriger le signal v en prenant en compte la fonction de transfert A du capteur sismique 10. La figure 6 représente sous la forme d'un schéma-bloc un autre mode de réalisation d'un capteur sismique 60. Le capteur sismique 60 comprend le capteur sismique 10 (Sensor), selon le mode de réalisation décrit précédemment ou selon les 25 modes de réalisation décrits par la suite, qui est adapté à détecter les mouvements du sol 61 (Ground Motion) et qui fournit le signal électrique v à un convertisseur analogique-numérique 62 (ADC). Le convertisseur convertit le signal analogique v en un signal numérique vNum à un module de traitement 64 30 (Processor). Le module de traitement 64 fournit un signal numérique corrigé vC Num à un convertisseur numérique-analogique 66 (DAC). Le convertisseur 66 fournit un signal analogique corrigé vC. Le signal analogique corrigé vC correspond sensiblement au signal analogique vC qui a été corrigé pour 35 tenir compte de la fonction de transfert A du capteur sismique B12271 - 05645-01 17 10. Le convertisseur 66 peut ne pas être présent. Dans ce cas, le capteur sismique 60 fournit directement le signal numérique vCNUM- Le module de traitement 64 peut correspondre à un circuit électronique dédié. A titre de variante, le module de traitement 64 correspond à un processeur, par exemple un ordinateur, qui exécute les instructions d'un programme d'ordinateur. La figure 7 représente une courbe d'évolution C6 de 10 l'amplitude de la fonction de correction F utilisée par le module de traitement 64 dans le cas où la fréquence de résonance f0 du capteur sismique est de 84 Hz et le terme d'amortissement est de 0,015. Selon un mode de réalisation, la fonction de 15 correction F correspond à l'inverse de la fonction de transfert P ou A, selon que l'on souhaite une mesure en déplacement ou en accélération en sortie du capteur 60. Un avantage est que les fonctions de transfert P ou A sont faciles à inverser. Ceci peut ne pas être le cas avec les fonctions de transfert des capteurs 20 sismiques actuellement disponibles dans le commerce. Le module de traitement 64 détermine le produit, dans le domaine fréquentiel, entre le signal vNum et la fonction de correction F. Les figures 8A, 8B et 8C représentent des courbes 25 d'évolution C7, Cg et C9 de la densité spectrale de puissance, exprimée en m2/Hz, respectivement du déplacement relatif z mesuré par le capteur sismique 10, c'est-à-dire en l'absence de correction, du déplacement du sol y mesuré par le capteur sismique 60, c'est-à-dire avec correction, et du déplacement du 30 sol y mesuré par un capteur sismique de comparaison. Le capteur sismique de comparaison correspond au capteur sismique de type vélocimètre commercialisé par la société Güralp Systems sous l'appellation CMG-6T et a une plage de mesure fiable (pour ces niveaux de mouvement) de 1 Hz à 100 Hz. Pour les comparaisons à 35 plus haute fréquence, un capteur sismique de type accéléromètre B12271 - 05645-01 18 commercialisé par la société Wilcoxon sous l'appellation 731A a été utilisé, dont la plage de mesure fiable (pour ces niveaux de mouvement) est de 10 Hz à 300 Hz et dont la mesure n'est pas représentée dans les figures. Le capteur sismique 10 utilisé pour obtenir les courbes C7 et C8 avait une fréquence de résonance de 84Hz et un terme d'amortissement de 0,015. La correction réalisée par le module de traitement 64 mettait en oeuvre la fonction de correction F représentée en figure 7. La résonance à 84 Hz apparaît sur la courbe C7 en l'absence de correction. Sur la courbe C8, pour laquelle une correction a été réalisée, l'effet de la résonance a été supprimé. En outre, la courbe C8 suit la courbe C9 sur une plus grande plage de fréquences que la courbe C7, sensiblement de 7 Hz à 210 Hz. La figure 9 représente des courbes d'évolution C10, C11 et C12 obtenues dans des conditions identiques aux courbes respectivement C7, C8 et C9 à la différence que la fréquence de résonance du capteur sismique était de 73 Hz et que le terme d'amortissement était de 0,035. Le décalage de la fréquence de résonnance vers les basses fréquences ainsi que l'augmentation du terme d'amortissement a permis d'améliorer la plage de fonctionnement du capteur sismique 60 aux basses fréquences puisque l'adéquation entre la courbe C11, qui correspond au déplacement corrigé mesuré par le capteur sismique 60, et la courbe C12, qui correspond au déplacement mesuré par le capteur sismique CMG-6T s'étend jusqu'à la fréquence 2 Hz. La figure 10 représente une courbe d'évolution C13 de la densité spectrale de puissance, exprimée en m2/Hz, du déplacement relatif z mesuré par le capteur sismique 10, c'est- à-dire en l'absence de correction, et une courbe d'évolution C14 de la densité spectrale du bruit de l'électronique du capteur de déplacement capacitif 24. La courbe C13 a été obtenue avec une fréquence de résonance de 74 Hz et un terme d'amortissement de 0,015. La plage de fonctionnement du capteur sismique 10 qui 35 correspond sensiblement à la plage de fréquences pour laquelle B12271 - 05645-01 19 la courbe C13 est au-dessus de la courbe C14, s'étend sensiblement de 2 Hz à 250 Hz. La figure 11 représente une courbe d'évolution C15 de la densité spectrale de puissance, exprimée en m2/Hz, du 5 déplacement du sol y mesuré par le capteur sismique CMG-6T et une courbe d'évolution C16 de la densité spectrale du bruit du capteur sismique CMG-6T. La plage de fonctionnement du capteur sismique CMG-6T qui correspond sensiblement à la plage de fréquences pour laquelle la courbe C15 est au-dessus de la 10 courbe C16, s'étend sensiblement de 1 Hz à 100 Hz. Les courbes C13, C14, C15 et C16 des figures 10 et 11 ont été mesurées pour des mouvements sismiques sensiblement de même amplitude. La borne haute de la plage de fonctionnement du mode 15 de réalisation du capteur sismique 10 est supérieure à la borne haute de la plage de fonctionnement du capteur CMG-6T de type vélocimètre de plus de 100 Hz. La figure 12 représente, sous la forme d'un schéma-bloc, un mode de réalisation d'un système 70 de stabilisation 20 dynamique d'une structure 72 par rapport aux mouvements sismiques du sol 74. Le système comprend le capteur sismique 10 (Sensor), selon le mode de réalisation décrit précédemment ou selon les modes de réalisation décrits par la suite, qui mesure les 25 mouvements sismiques du sol 74 (Ground) et fournit le signal électrique v à un convertisseur analogique numérique 76 (ADC). Le convertisseur 76 convertit le signal analogique v en un signal numérique vNum qui est fourni à un module de correction 78 (Correction Unit). Le module de correction 78 fournit un 30 signal numérique de commande CNum à un convertisseur numérique-analogique 80 (DAC). Le convertisseur 80 fournit un signal analogique de commande C à un actionneur 82 (Vibrator) relié à la structure 72 à stabiliser. L'actionneur déplace la structure 72 pour compenser les mouvements du sol en temps réel. Le module 35 de correction 78 peut correspondre à un circuit électronique B12271 - 05645-01 20 dédié. A titre de variante, le module de correction 78 correspond à un processeur, par exemple un ordinateur, qui exécute les instructions d'un programme d'ordinateur. Le module de correction 78 réalise la compensation du signal fourni par le capteur sismique 10 comme cela a été décrit précédemment en relation avec la figure 6. Il détermine, en outre, à partir du signal corrigé la consigne C à appliquer pour compenser le déplacement mesuré. A titre de variante, le capteur sismique 10 peut être remplacé par le capteur sismique 60. Dans ce cas, le signal fourni au module de correction 78 est déjà corrigé pour compenser la résonance du capteur sismique 10. A titre de variante, le capteur sismique peut mesurer les mouvements de la structure 72 au lieu des mouvements du sol 74. La figure 13 représente un autre mode de réalisation d'une suspension 90 qui peut notamment être utilisée à la place des éléments de suspensions 16A et/ou 16B. L'élément de suspension comprend un anneau extérieur 92, une portion centrale 94 et des bras 96 reliant l'anneau extérieur 92 à la portion centrale 94. Chaque bras 96 suit une spirale depuis la portion centrale 94 jusqu'à l'anneau extérieur 92. L'élément de suspension 90 peut être une pièce monolithique, d'épaisseur constante, obtenue par exemple, par découpe d'une plaque. L'anneau extérieur 92 peut être de forme circulaire. L'élément de suspension 90 peut comprendre de deux à dix bras 96, par exemple quatre bras. Des ouvertures 98 peuvent être prévues dans l'anneau extérieur 92 pour permettre le passage de moyens de fixation, par exemple des vis ou tiges filetées, de l'élément de suspension 90 aux autres pièces du capteur sismique. La portion centrale 94 peut être traversée par une ouverture 99. La figure 14 représente un autre mode de réalisation d'une suspension 100 qui peut notamment être utilisé à la place des éléments de suspensions 16A et/ou 16B. L'élément de suspension 100 comprend un anneau extérieur 102, une portion centrale 104 et un réseau de bras 106 interconnectés reliant B12271 - 05645-01 21 l'anneau extérieur 102 à la portion centrale 104. L'élément de suspension 100 peut être une pièce monolithique, d'épaisseur constante, obtenue par exemple, par découpe d'une plaque. L'anneau extérieur 102 peut être de forme circulaire. Le réseau de bras 106 peut présenter plusieurs plans de symétrie. Certains bras 106 peuvent avoir une forme rectiligne tandis que d'autres peuvent être courbes. La figure 15 représente un autre mode de réalisation d'un dispositif 110 de mesure du déplacement relatif entre la masse 14 et le corps 11 du capteur sismique qui peut être utilisé à la place du dispositif 27. Ce dispositif 110 comprend tous les éléments du dispositif de mesure de la distance relative 27 et comprend, en outre, deux paires d'électrodes 112, 114 et 116, 118 supplémentaires. Chaque paire d'électrodes supplémentaires comprend une électrode 114, 118 fixée au support 44 et une électrode 112, 116 destinée à être fixée à l'élément de suspension inférieur 16A, non représentés en figure 15. A titre d'exemple, chaque paire d'électrodes est disposée au sommet d'un triangle équilatéral. Toutes les électrodes peuvent être reliées au module de polarisation et de traitement 54. Le module 54 est adapté à déterminer l'écart entre les électrodes de chaque paire d'électrode. Trois écarts sont ainsi déterminés. Le module 54 peut déterminer, à partir des valeurs des trois écarts, l'inclinaison de la masse 14 par rapport au fond 12 du capteur. Ceci permet de déterminer les composantes du vecteur accélération de la masse sismique 14 le long de l'axe A et perpendiculairement à l'axe A. La figure 16 représente un mode de réalisation d'un capteur sismique 120 qui a la même structure que le capteur sismique 10 de la figure 1 à la différence que les éléments de suspension 16A et 16B sont remplacés par des éléments de suspension 122A, 122B qui correspondent chacun au mode de réalisation de l'élément de suspension 90 représenté en figure 13, que le dispositif de mesure du déplacement relatif 27 est remplacé par le dispositif de mesure du déplacement relatif 110 B12271 - 05645-01 22 représenté en figure 15 et que la masse 14 est fixée aux extrémités à des pièces de liaison 124, 126, la pièce de liaison 126 étant fixée à l'élément de suspension supérieur 122A et la pièce de liaison 124 étant fixée à l'élément de suspension inférieur 122B. A titre d'exemple, chaque pièce de liaison 124, 126 peut comprendre deux parties fixées l'une à l'autre en prenant en sandwich l'élément de suspension associé. Les figures 17 et 18 sont des vues partielles, respectivement en perspective et en coupe, d'un autre mode de réalisation d'un ensemble masses-ressorts 130 de capteur sismique. L'ensemble masse-ressort 130 comprend deux systèmes masse-ressort 132, 134 en partie imbriqués l'un dans l'autre. Le système masse-ressort 132 comprend une masse sismique 136 cylindrique à base circulaire d'axe A' traversée par une ouverture cylindrique 138 d'axe A'. Le plan de coupe de la figure 18 contient l'axe A'. Le système masse-ressort 134 comprend une masse sismique 140 cylindrique à base circulaire d'axe A' logée dans l'ouverture 138. Les extrémités 142, 144 de la masse 140 se projettent hors de l'ouverture 138 au-dessus de la masse sismique 136 et au-dessous de la masse sismique 136. Un interstice 146 est présent entre la masse 140 et la masse sismique 136 de sorte que la masse sismique 140 n'est pas en contact avec la masse sismique 136. La masse sismique 136 est maintenue par un élément de suspension supérieur 148A et un élément de suspension inférieur 148B. La masse sismique 136 est située entre les deux éléments de suspension 148A, 148B. Les éléments de suspension 148A, 148B correspondent, par exemple, à l'élément de suspension 90 représenté en figure 13. Les éléments de suspension 148A, 148B comprennent chacun une ouverture 150A, 150B pour permettre le passage de la masse 140. La masse sismique 140 est maintenue à l'extrémité 142 par un élément de suspension supérieur 152A et à l'extrémité 144 par un élément de suspension inférieur 152B. Les éléments de 35 suspension 152A, 152B correspondent, par exemple, à l'élément de B12271 - 05645-01 23 liaison 90 représenté en figure 13. Les éléments de suspension 148A et 148B sont situés entre les éléments de suspension 152A et 152B. Chaque système masse-ressort 132, 134 est associé à un 5 dispositif de mesure de distance relative, non représenté, par exemple un capteur de déplacement sans contact capacitif. Le capteur de déplacement sans contact du système masse-ressort 132 est adapté à fournir un signal électrique vl, par exemple un courant ou une tension, représentatif du déplacement relatif de 10 la masse sismique 136 par rapport au sol. Le capteur de déplacement sans contact du système masse-ressort 134 est adapté à fournir un signal électrique v2, par exemple un courant ou une tension, représentatif du déplacement relatif de la masse sismique 140 par rapport au sol. 15 Dans le mode de réalisation représenté en figure 18, les éléments de suspension 148A, 148B, 152A et 152B sont identiques. Toutefois, les éléments de suspension 148A, 148B, 152A et 152B pourraient être différents. Les systèmes masse-ressort 132, 134 ont des 20 caractéristiques différentes, par exemple des fréquences de résonance différentes et/ou des termes d'amortissement différents. Ceci peut être obtenu en utilisant des masses sismiques 136, 140 différentes et/ou des éléments de suspension 148A, 148B, 152A, 152B différents. 25 Si on appelle H1 la fonction de transfert du système masse-ressort 132 et H2 la fonction de transfert du système masse-ressort 134 définie de façon analogue à la fonction de transfert H et dans le cas où les capteurs de déplacement sans contact des systèmes masse-ressort 132, 134 sont des capteurs de 30 déplacement capacitifs identiques de fonction de transfert C constante, alors la fonction de transfert P' entre la somme des signaux électriques v1+v2 et le mouvement du sol y est donnée par la relation (5) suivante, dans le domaine de Laplace : vl + V2 (s) = = C(1-11 H2 - 2) (5) y B12271 - 05645-01 24 La fonction de transfert A' entre la somme des signaux électriques v1+v2 et l'accélération ÿ du sol est donnée par la relation (6) suivante, dans le domaine de Laplace : V C(Hi H2 - 2) A' (s) = = (6) s2 On bénéficie ainsi des résonances de chaque système masse-ressort 132, 134. La figure 19 est une vue de dessous partielle et schématique d'un mode de réalisation de l'élément de suspension 160. L'élément de suspension 160 correspond à un circuit imprimé. Une piste conductrice 162 s'étend sur une face de l'élément de suspension 160 et se prolonge par un plot conducteur 164. La piste conductrice 162 et le plot conducteur 164 sont, par exemple, en cuivre. La piste conductrice 162 peut être reliée, à son extrémité opposée au plot 164, au module de polarisation et de traitement 54. Le plot conducteur 162 correspond à une électrode du capteur de déplacement capacitif. L'autre électrode du capteur de déplacement capacitif peut également correspondre à une piste conductrice d'un circuit imprimé. La figure 20 représente un autre mode de réalisation d'un capteur sismique 170 plus compact. Les éléments communs aux modes de réalisation des capteurs sismiques 10 et 120 décrits précédemment respectivement en relation avec les figures 2 et 16 sont désignés par les mêmes références. Les éléments de suspension 122A, 122B sont fixés par collage au centre à la masse sismique 14. Dans ce mode de réalisation, le capteur de déplacement capacitif 24 est situé au-dessus du système masse-ressort 17. L'électrode basse 42 est fixée par collage à l'élément de suspension 122A et l'électrode haute 40 est fixée par collage à un élément de suspension de réglage 173. Le réglage de la position verticale du capteur de distance relative 24 est effectué par appui sur un élément d'appui 177 collé à l'élément de suspension 173. B12271 - 05645-01 25 Le capteur sismique 170 comprend un corps cylindrique 174 comprenant un fond 175, une portion latérale cylindrique 176 et un capot 178. La portion latérale 176 comprend un épaulement 180 sur lequel repose le bord extérieur de l'élément de 5 suspension 122B. Une entretoise 182 repose sur le bord extérieur de l'élément de suspension 122A. Le bord extérieur de l'élément de suspension 173 repose sur l'entretoise 182. Le capot 178 est maintenu en appui contre l'élément de suspension 173 par le serrage des vis, seules les ouvertures 179 pour le passage des 10 vis étant représentées en figure 20. Les éléments de suspension 122A, 122B peuvent être d'un autre type que ceux représentés en figure 13. Dans le mode de réalisation représenté en figure 20, les éléments de suspension 122A, 122B, et 173 sont identiques. Toutefois, les 15 éléments de suspension 122A, 122B, et 173 peuvent être différents. Selon un mode de réalisation les électrodes 40 et 42 sont orientées perpendiculairement l'une par rapport à l'autre. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. 20 Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, même si dans les modes de réalisation décrits précédemment la masse sismique a une forme cylindrique à base circulaire, la forme de la masse sismique peut être différente. A titre d'exemple, la masse sismique peut avoir une 25 forme sphérique ou tronconique. Divers modes de réalisation avec diverses variantes ont été décrits ci-dessus. On notera que l'homme de l'art pourra combiner divers éléments de ces divers modes de réalisation et variantes sans faire preuve d'activité inventive. REVENDICATIONS1. Capteur sismique (10 ; 60 ; 120 ; 170) pour ondes sismiques de fréquences comprises entre 0,05 Hz et 500 Hz comprenant une masse (14 ; 136, 140), au moins un élément de suspension (16A, 16B ; 122A, 122B ; 148A, 148B, 152A, 152B) de la masse relié à un corps de capteur (11 ; 174) et un dispositif de mesure (27 ; 110) du déplacement de la masse par rapport au corps de capteur, l'ensemble formé par la masse et l'élément de suspension ayant une fréquence de résonance comprise entre 5 Hz et 300 Hz. 2. Capteur sismique selon la revendication 1, dans lequel le dispositif de mesure (27 ; 110) fournit au moins un premier signal, le capteur sismique comprenant, en outre, un module de traitement (62, 64, 66) adapté à fournir un deuxième signal (vC) égal au premier signal corrigé à partir de l'inverse de la fonction de transfert du capteur sismique. 3. Capteur sismique selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'élément de suspension (16A, 16B ; 122A, 122B ; 148A, 148B, 152A, 152B) comprend un anneau extérieur (30A, 30B ; 92 ; 102), une portion centrale (32A, 32B ; 94 ; 104) reliée à la masse (14 ; 136, 140) et au moins deux bras (34A, 34B ; 96 ; 106) reliant l'anneau extérieur à la portion centrale. 4. Capteur sismique selon la revendication 3, dans lequel chaque bras (34A, 34B) est sensiblement rectiligne. 5. Capteur sismique selon la revendication 3, 25 comprenant un réseau de bras interconnectés (106) reliant l'anneau extérieur (102) à la portion centrale (104). 6. Capteur sismique selon la revendication 3, dans lequel chaque bras (96) s'étend selon une spirale. 7. Capteur sismique selon l'une quelconque des 30 revendications 1 à 6, comprenant deux éléments de suspension (16A, 16B ; 122A, 122B ; 148A, 148B ; 152A, 152B), la masse (14 ; 136, 140) étant maintenue entre les deux éléments de suspension.B12271 - 05645-01 27 8. Capteur sismique selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le dispositif de mesure (27 ; 110) comprend un capteur sans contact (24) du déplacement de la masse (14 ; 136, 140) par rapport au corps de capteur (11 ; 174). 9. Capteur sismique selon la revendication 8, dans lequel le capteur sans contact (24) est un capteur de déplacement capacitif, optique, magnétique ou inductif. 10. Capteur sismique selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel l'élément de suspension (16A, 16B ; 122A, 122B ; 148A, 148B, 152A, 152B) est en un matériau choisi parmi le groupe comprenant l'acier, l'aluminium et un matériau composite. 11. Capteur sismique selon la revendication 10, dans lequel l'élément de suspension (16A, 16B ; 122A, 122B ; 148A, 148B, 152A, 152B) correspond à un circuit imprimé. 12. Capteur sismique selon les revendications 9 et 11, dans lequel le capteur sans contact est un capteur de déplacement capacitif et dans lequel l'élément de suspension (16A, 16B ; 122A, 122B ; 148A, 148B, 152A, 152B) comprend une piste conductrice (162) se prolongeant par un plot conducteur (164) formant une électrode du capteur de déplacement capacitif. 13. Capteur sismique selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, comprenant, en outre, une masse supplémentaire (140) et au moins un élément de suspension supplémentaire (152A, 152B) de la masse supplémentaire relié au support (12) et un dispositif de mesure supplémentaire du déplacement de la masse supplémentaire par rapport au support, l'ensemble formé par la masse supplémentaire et l'élément de suspension supplémentaire ayant une fréquence de résonance comprise entre 5 Hz et 300 Hz. 14. Capteur sismique selon la revendication 13, dans lequel la masse (136) est traversée par une ouverture (138) et dans lequel la masse supplémentaire (140) est au moins en partie 35 logée dans l'ouverture et distante de la masse.B12271 - 05645-01 28 15. Système (70) de stabilisation dynamique d'une structure (72), comprenant au moins : un capteur sismique (10 ; 60 ; 120 ; 170) selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, adapté à fournir un signal (v, vC) représentatif des mouvements du sol (74) et/ou de la structure ; un module de traitement (76, 78, 80) adapté à fournir un signal de commande (C) ; et un actionneur (82) relié à la structure, recevant le 10 signal de commande et adapté à déplacer la structure pour compenser les mouvements du sol.