FR 3002854 A1 20140912 FR 1352117 A 20130308 SOURCE D'ENERGIE IMPLANTABL: ULTR. L'invention porte sur une source d'énergie implantable comprenant un sous-système de stockage d'énergie tel qu'une batterie, et de préférence également un sous-système de récupération d'énergie tel qu'un module photovoltaïque permettant de charger ou recharger ledit sous-système de stockage d'énergie. Une telle source d'énergie peut servir à l'alimentation d'un dispositif médical, également implantable. L'alimentation en énergie électrique des dispositifs médicaux implantables (tels que les stimulateurs cardiaques, les défibrillateurs cardiaques, les moniteurs cardiaques, les neurostimulateurs, les pompes, les capteurs biomédicaux, etc.) est généralement assurée par des batteries primaires (non rechargeables). La batterie primaire et le dispositif médical à alimenter sont généralement encapsulés dans un boîtier en titane ou en acier inoxydable, ce boîtier étant destiné à être implanté sous la peau du patient. La batterie primaire se présente sous la forme d'un objet mécaniquement rigide et relativement volumineux, qui occupe une part significative du volume total du boîtier implantable. Par exemple, la batterie d'un stimulateur cardiaque est typiquement un objet de volume 5 cm3, présentant une épaisseur comprise entre 0,5 cm et 1 cm, et occupant la moitié du volume du boîtier implantable. La durée de vie de la batterie primaire, qui est fonction de sa capacité énergétique et de la puissance moyenne consommée par le dispositif médical implantable, est généralement comprise entre 1 et 10 ans. Une fois déchargée, la batterie primaire doit être remplacée, ce qui implique une opération chirurgicale. Au cours des dernières années, de nouveaux concepts plus avantageux ont été démontrés dans le domaine des sources d'énergie pour dispositifs médicaux implantables. Le document « A wireless near-infrared energy system for medical implants », K. Murakawa et al., IEEE Engineering in Medicine and Biology 18, 70 1999, décrit une source d'énergie implantable comprenant un module photovoltaïque et une batterie secondaire (rechargeable), le module photovoltaïque étant connecté électriquement à la batterie secondaire afin de pouvoir la recharger. Cette source d'énergie est destinée à être implantée sous la peau du patient. Un dispositif externe émet de la lumière dans le proche infrarouge pour effectuer un éclairage transcutané du module photovoltaïque implanté, la peau étant relativement transparente dans le proche infrarouge. Le module photovoltaïque implanté ainsi illuminé sous infrarouge génère une puissance électrique permettant de recharger la batterie secondaire implantée. Autrement dit, la batterie secondaire peut être rechargée par transfert transcutané d'énergie, sans opération chirurgicale. Ce type de source d'énergie implantable présente l'avantage de posséder une plus grande durée de vie que les batteries 10 primaires. En effet, la durée de vie n'est plus limitée par la capacité énergétique de la batterie, mais par le nombre maximum de cycles de charge-décharge supporté par la batterie, qui peut être de l'ordre de plusieurs milliers pour des batteries à électrolyte solide. Cependant, la problématique de l'encombrement et de la 15 rigidité mécanique de la source d'énergie implantable demeure. Le document US 6,961,619 décrit un module photovoltaïque implantable, encapsulé par laminage de feuilles de polymère, le module et son encapsulation se présentant sous la forme d'un objet ultrafin (quelques centaines de microns d'épaisseur). Ce document permet donc de réduire 20 l'encombrement du sous-système de récupération d'énergie, mais ne propose aucune solution pour réduire l'encombrement du système complet qui doit comprendre le sous-système de récupération d'énergie mais aussi le sous-système de stockage d'énergie, et éventuellement un sous-système de gestion d'énergie et un sous-système de communication. De plus, la 25 technique d'encapsulation proposée par le document (laminage de feuilles de polymère) n'assure pas une bonne herméticité, car les matériaux polymères sont connus pour être de mauvaises barrières à l'humidité et à l'oxygène. Cela entraîne un risque de dégradation dans le temps du module photovoltaïque implanté en conditions in vivo. Enfin, le module photovoltaïque 30 implantable décrit par le document peut se présenter sous la forme d'un objet de relativement grande surface (plusieurs cm2 voire plusieurs dizaines de cm2), ce qui peut poser un problème de mauvaise vascularisation des tissus biologiques du patient et entraîner une nécrose de ces tissus. L'article de N. J. Dudney « Thin Film Micro-Batteries », The Electrochemical Society Interface, automne 2008, pages 44 - 48, décrit des batteries électrochimiques en couches minces, présentant une épaisseur de seulement quelques dizaines de micromètres, tandis que le document US 2002/0092558 décrit un dispositif ultrafin intégrant des cellules photovoltaïques à couches minces et des batteries, également à couches minces. Ces documents ne concernent pas des dispositifs implantables. L'invention vise à résoudre les problèmes posés par l'art antérieur précité, et en particulier celui de la mauvaise vascularisation des tissus biologiques dans lesquels est logée une source d'énergie implantable ultrafine présentant une surface relativement importante. D'une manière plus générale, l'invention vise à assurer une meilleure compatibilité de la source 15 d'énergie implantable avec l'organisme hôte, humain ou animal. Conformément à l'invention, ces buts sont atteints par une source d'énergie implantable comprenant au moins un sous-système de stockage d'énergie réalisé sous la forme d'un empilement de couches minces sur un substrat, caractérisée en ce que ledit sous-système de stockage 20 d'énergie présente une pluralité d'ouvertures traversantes pour permettre le développement et le passage de vaisseaux sanguins. Avantageusement, chaque dite ouverture peut présenter une surface comprise entre 0,01 mm2 et 4 mm2. En outre, l'espacement entre lesdites ouvertures peut avantageusement être compris entre 1 mm et 1 cm. 25 Une telle source d'énergie implantable peut présenter un revêtement biocompatible recouvrant au moins une partie de sa surface comprenant la surface intérieure desdites ouvertures. En particulier, la source d'énergie peut comporter une couche extérieure en matière organique biocompatible et une couche intérieure en matière inorganique imperméable à 30 l'humidité et à l'oxygène. Ledit revêtement biocompatible peut être sensiblement transparent au moins dans une plage spectrale du visible ou du proche infrarouge ; cela est important si, comme cela sera discuté plus loin, la source d'énergie intègre un module photovoltaïque. Afin de faciliter le développement des vaisseaux sanguins à travers la source d'énergie, lesdites ouvertures peuvent être remplies en tout 5 ou en partie d'un gel favorisant la croissance cellulaire. Ledit sous-système de stockage d'énergie peut présenter une pluralité de régions actives séparées par des régions d'interconnexion, au moins certaines desdites ouvertures étant pratiquées dans lesdites régions actives et/ou dans lesdites régions d'interconnexion. 10 La source d'énergie implantable peut comprendre également au moins un sous-système de récupération d'énergie relié audit sous-système de stockage d'énergie de manière à en permettre le chargement, ledit sous-système de récupération d'énergie étant à son tour réalisé sous la forme d'un empilement de couches minces sur un substrat et présentant une pluralité 15 desdites ouvertures traversantes. En particulier, ledit sous-système de récupération d'énergie peut être choisi parmi un module photovoltaïque à couches minces et une bobine en spirale en couches minces. En variante, ledit sous-système de récupération d'énergie peut être par exemple un générateur piézoélectrique, produisant de l'énergie électrique à partir des 20 mouvements de l'organisme hôte, ou un générateur thermoélectrique, produisant de l'énergie électrique à partir de gradients de température à l'intérieur de l'organisme hôte. Tout comme le sous-système de stockage de l'énergie, ledit sous-système de récupération d'énergie peut présenter au moins une région 25 active et au moins une région non active ou d'interconnexion, au moins certaines desdites ouvertures étant pratiquées dans ladite ou lesdites régions actives et/ou dans ladite ou lesdites régions d'interconnexion. Selon différents modes de réalisation - Ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-30 système de récupération d'énergie peuvent comprendre des empilements de couches minces déposés ou transférées sur des substrats respectifs et être à leur tour empilés pour former une source d'énergie d'un seul tenant. - Ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie peuvent être empilés sur un substrat commun pour former une source d'énergie d'un seul tenant. - Ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie peuvent comprendre des empilements de couches minces déposés ou transférées sur deux faces opposées d'un substrat commun pour former une source d'énergie d'un seul tenant. En variante, ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie peuvent être agencés côte à côté, 10 auquel cas la source d'énergie peut ne pas être d'un seul tenant. Avantageusement, ledit ou chaque dit substrat peut être souple ou conformable pour s'adapter plus facilement à l'organise hôte et engendrer moins de désagréments et lésions internes. Avantageusement, une telle source d'énergie implantable 15 peut présenter sur la totalité de sa surface, ou sur au moins 80% de cette dernière s'il comprend aussi des sous-systèmes difficilement réalisables en couches minces, une épaisseur inférieure ou égale à 1 mm (et donc « ultrafine »). Un autre objet de l'invention est un dispositif implantable 20 comportant une source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes ainsi qu'un appareil médical relié audit sous-système de stockage d'énergie pour être alimenté. Avantageusement, ledit dispositif médical peut à son tour être ultrafin. D'autres caractéristiques, détails et avantages de l'invention 25 ressortiront à la lecture de la description faite en référence aux dessins annexés donnés à titre d'exemple et qui représentent, respectivement - la figure 1, une vue en coupe d'une source d'énergie implantable comprenant un module photovoltaïque en couches minces, - la figure 2, une vue de dessus de la même source 30 d'énergie , - la figure 3, une vue en coupe d'une source d'énergie implantable comprenant une bobine en spirale en couches minces , - la figure 4, une vue de dessus de la même source d'énergie ; - la figure 5, une vue en coupe d'une source d'énergie implantable comprenant une batterie électrique en couches minces ; - la figure 6, une vue de dessus de la même source d'énergie, - la figure 7, une vue en coupe d'une source d'énergie implantable comprenant une module photovoltaïque en couches minces et une batterie, également en couches minces , - la figure 8, une vue en coupe d'un empilement de couches minces constituant un revêtement permettant l'encapsulation d'une source d'énergie implantable: - les figures 9 à 13, différentes variantes d'une source d'énergie implantable comprenant un module photovoltaïque en couches 15 minces et une batterie, également en couches minces ; - les figures 14 et 15, différentes manières d'agencer des ouvertures traversantes dans un module photovoltaïque d'une source d'énergie implantable - la figure 16, une manière d'agencer des ouvertures 20 traversantes dans une bobine en spirale d'une source d'énergie implantable ; - la figure 17, une manière d'agencer des ouvertures traversantes dans une batterie d'une source d'énergie implantable ; et - la figure 18, une vue en coupe d'une source d'énergie implantable comprenant une module photovoltaïque en couches minces et 25 une batterie, également en couches minces, présentant des ouvertures (ou trous) traversantes. Un dispositif implantable de type actif, tel qu'un stimulateur, défibrillateur et/ou moniteur cardiaque, un neurostirnulateur, une pompe, un capteur, etc., comporte nécessairement une source d'énergie également 30 implantable. Une telle source d'énergie comprend au moins un sous-système de stockage d'énergie électrique - généralement une batterie - alimentant un appareil médical, et de préférence également un sous-système de récupération d'énergie permettant de recharger le sous-système de stockage. Le sous-système de récupération d'énergie de la source d'énergie implantable rechargeable peut comprendre un module photovoltaïque en couches minces, tel que le module photovoltaïque 11 illustré à la figure 1 (vue en coupe) et à la figure 2 (vue de dessus). On entend par « couches minces » des couches d'épaisseur inférieure ou égale à 500 pm, de préférence à 200 pm, de manière encore préférée à 100 pm. Dans ce cas la source d'énergie implantable rechargeable peut être rechargée par 10 transfert transcutané d'énergie lumineuse, de préférence par lumière proche infrarouge (c'est-à-dire dans la plage spectrale allant de 700 à 1200 nm). Le module photovoltaïque 11 est de forme rectangulaire, de longueur notée LPV et de largeur notée lpv. Avantageusement, la longueur Lpv et la largeur /pv sont comprises entre 100 pm et 10 cm, c'est-à-dire que la surface du module 15 photovoltaïque 11 est comprise entre 0,01 mm2 et 100 cm2. De préférence, la longueur Lpv et largeur Ipv sont comprises entre 1 et 5 cm, c'est-à-dire que la surface du module photovoltaïque 11 est comprise entre 1 et 25 cm2. Le module photovoltaïque 11 est constitué d'un substrat 12 sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces 13. Le substrat 12 est 20 par exemple une plaquette de silicium, une plaquette de verre, une feuille de métal (acier inoxydable, titane, etc.) ou une feuille de polymère (polyéthylène, polytetrafluoroéthylène, polyimide, polyester, etc.). Avantageusement, le substrat 12 est un substrat mécaniquement souple ou conformable, tel qu'une feuille de métal ou une feuille de polymère. Avantageusement, l'épaisseur du 25 substrat 12, notée Epv, est inférieure à 200 pm, de préférence inférieure à 50 pm. L'empilement de couches minces 13 comprend des matériaux pour former des électrodes (métaux, oxydes transparents conducteurs, etc.) et des matériaux absorbeurs de lumière [silicium monocristallin ou poly-cristallin (Si), phosphure d'indium monocristallin (InP), alliage silicium-germanium amorphe 30 (a-SiGe), silicium microcristallin (pc-Si), Cu(ln,Ga)(Se,S)2 (C1GS), Cu2ZnSn(Se,S)4 (CZTS), etc.]. L'empilement de couches minces 13 peut également comprendre des matériaux pour former des interconnexions électriques (métaux). L'empilement de couches minces 13 peut également comprendre des couches ayant seulement un rôle mécanique (par exemple un rôle de support ou un rôle d'adhésion). Les couches minces de l'empilement 13 peuvent être déposées sur le substrat 12 par des techniques de dépôt de couches minces (dépôt physique en phase vapeur, dépôt chimique en phase vapeur, électro-dépôt, dépôt par enduction ou impression, etc.). Les couches minces de l'empilement 13 peuvent être également transférées sur le substrat 12 par des techniques de transfert de couches minces (par exemple par un procédé de laminage à l'aide d'un matériau adhésif). Les couches minces de l'empilement 13 peuvent être structurées, lors d'une étape de dépôt ou de transfert de couches minces (par exemple par dépôt de couches minces à travers un pochoir, ou par dépôt de couches minces par impression), ou après une étape de dépôt ou de transfert de couches minces (par exemple par photolithographie, gravure chimique, gravure plasma, gravure mécanique ou gravure laser). Avantageusement, l'épaisseur maximale de l'empilement de couches minces 13, notée epv, est inférieure à 50 pm, de préférence inférieure à 5 pm. L'empilement de couches minces 13 se subdivise en zones actives, telles que la zone 14, et en zones d'interconnexion, telles que la zone 15. Les zones actives se présentent sous la forme de rectangles, de longueur notée Wpv et de largeur notée wpv. Avantageusement, la longueur Wpv et la largeur wpv sont comprises entre 100 pm et 10 cm, c'est-à-dire que la surface d'une zone active est comprise entre 0,01 mm2 et 100 cm2. De préférence, la longueur Wpv et la largeur wpv sont supérieures à 1 mm, c'est-à-dire que la surface d'une zone active est supérieure à 1 mm2. Les zones d'interconnexion se présentent sous la forme de bandes rectangulaires, de largeur notée spi,, avantageusement inférieure à 1 cm, de préférence inférieure à 1 mm. Seules les zones actives contribuent à la génération de puissance électrique. Chaque zone active correspond à une cellule photovoltaïque. Les zones d'interconnexion permettent d'interconnecter électriquement deux cellules photovoltaïques définis sur le même substrat 12. L'interconnexion peut se faire par interconnexion monolithique (c'est-à-dire par structuration des couches minces via un jeu de 3 tranchées, généralement désignées par P1, P2 et P3, comme décrit par exemple dans le document «Transparent electrode requirements for thin film solar cell modules », M. W. Rowell et al., Energy Environ. Sci. 4, 131, 2010). Dans ce cas il s'agit d'une interconnexion en série. L'interconnexion peut également se faire par des fils ou pistes métalliques. Dans ce cas il peut s'agir d'une interconnexion en série ou en parallèle. Le module photovoltaïque 11 est donc constitué d'un ensemble de cellules photovoltaïques interconnectées en série ou en parallèle. La tension et le courant du module photovoltaïque 11 dépendent du nombre de cellules photovoltaïques que comprend le module et 10 du schéma d'interconnexion (série ou parallèle). Une interconnexion en série favorise des tensions élevées et des courants faibles, tandis qu'une interconnexion en parallèle favorise des tensions faibles et des courants élevés. Un procédé particulièrement avantageux pour fabriquer le 15 module photovoltaïque 11 comprend les étapes suivantes : 1) Déposer sur le substrat 12 une électrode arrière par dépôt physique ou chimique en phase vapeur. 2) Structurer l'électrode arrière par gravure laser, pour définir des tranchées P1 d'interconnexion monolithique. 20 3) Déposer un absorbeur par dépôt physique ou chimique en phase vapeur. 4) Structurer l'absorbeur par gravure laser ou mécanique, pour définir des tranchées P2 d'interconnexion monolithique. 25 5) Déposer une électrode avant par dépôt physique ou chimique en phase vapeur. 6) Structurer l'électrode avant par gravure laser ou mécanique, pour définir des tranchées P3 d'interconnexion monolithique. 30 A titre d'exemple, considérons une cellule photovoltaïque en couches minces implantée sous la peau d'un patient, et qui reçoit un éclairement proche infrarouge (c'est-à-dire dans la plage spectrale allant de 3002 854 10 750 à 1200 nm) de densité de puissance de l'ordre de quelques mW/cm2 ou quelques dizaines de mW/cm2 (valeur typique de densité de puissance infrarouge qui peut être transmise à travers la peau humaine sans risque de brûlure). Dans ces conditions, la cellule photovoltaïque produit généralement une tension au point de puissance maximum de l'ordre de quelques centaines de mV, et un courant au point de puissance maximum de l'ordre de quelques mA/cm2 ou quelques dizaines de mA/cm2. Plus précisément, considérons une cellule photovoltaïque implantée à base de couches minces de CIGS, et qui reçoit un éclairement proche infrarouge de longueur d'onde 850 nrn et de densité de puissance 2 mW/cm2. Dans ces conditions, la cellule photovoltaïque CIGS peut produire une tension au point de puissance maximum d'environ 400 mV, un courant au point de puissance maximum d'environ 1,5 mA/cm2, soit une puissance électrique maximum d'environ 0,6 mW/cm2. Considérons un module photovoltaïque 11 à base de couches minces de CIGS, présentant les dimensions suivantes : Lpv = 50 mm, Ipv = 53 mm, Wpv = Lpv = 50 mm, wpv= 8 mm, et spv= 1 mm. Dans ce cas, le module photovoltaïque 11 comprend 6 cellules photovoltaïques CIGS, chaque cellule ayant une surface active de 4 cm2. Considérons un schéma d'interconnexion en série. Une fois implanté, le module photovoltaïque 11 peut donc produire une tension au point de puissance maximum d'environ 2.4 V, un courant au point de puissance maximum d'environ 6 mA, soit une puissance électrique maximum d'environ 14 mW. La forme du module photovoltaïque n'est pas nécessairement rectangulaire. En particulier, le module photovoltaïque peut présenter des bords arrondis. La forme des zones actives n'est pas nécessairement rectangulaire. La forme des zones d'interconnexion n'est pas nécessairement une bande rectangulaire. Le sous-système de récupération d'énergie de la source d'énergie implantable rechargeable peut comprendre un ensemble de modules photovoltaïques en couches minces. Chaque module photovoltaïque est constitué d'un substrat sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces. Les différents modules photovoltaïques peuvent être positionnés dans un même plan. Les différents modules photovoltaïques peuvent être interconnectés électriquement en série ou en parallèle. Ceci permet d'augmenter la tension ou le courant du sous-système de récupération d'énergie. Le sous-système de récupération d'énergie de la source d'énergie implantable rechargeable peut comprendre une bobine en spirale en couches minces, telle que la bobine 31 illustrée à la figure 3 (vue en coupe) et à la figure 4 (vue de dessus). Dans ce cas la source d'énergie implantable rechargeable peut être rechargée par transfert transcutané d'énergie par couplage inductif. La bobine 31 est de forme rectangulaire, de longueur notée I-Bos et de largeur notée !BOB. Avantageusement, la longueur 1-Bos et la largeur 'BOB sont comprises entre 100 pm et 10 cm, c'est-à-dire que la surface de la bobine 31 est comprise entre 0,01 mm2 et 100 cm2. De préférence, la longueur LB0B et largeur !BOB sont comprises entre 1 et 5 cm, c'est-à-dire que la surface de la bobine 31 est comprise entre 1 et 25 cm2. La bobine 31 est constituée d'un substrat 32 sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces 33. Le substrat 32 est par exemple une plaquette de verre ou une feuille de polymère (polyéthylène, polytetrafluoroéthylène, polyimide, polyester, etc.). Avantageusement, le substrat 32 est un substrat mécaniquement souple ou conformable, tel qu'une feuille de polymère. Avantageusement, l'épaisseur du substrat 32, notée EBOB, est inférieure à 200 pm, de préférence inférieure à 50 pm. Les couches minces de l'empilement 33 peuvent être déposées sur le substrat 32 par des techniques de dépôt de couches minces (dépôt physique en phase vapeur, dépôt chimique en phase vapeur, électro-dépôt, dépôt par enduction ou impression, etc.). Les couches minces de l'empilement 33 peuvent être également transférées sur le substrat 32 par des techniques de transfert de couches minces (par exemple par un procédé de laminage à l'aide d'un matériau adhésif). Les couches minces de l'empilement 33 peuvent être structurées, lors d'une étape de dépôt ou de transfert de couches minces (par exemple par dépôt de couches minces à travers un pochoir, ou par dépôt de couches minces par impression), ou après une étape de dépôt ou de transfert de couches minces (par exemple par photolithographie, gravure chimique, gravure plasma, gravure mécanique ou gravure laser). Avantageusement, l'épaisseur maximale de l'empilement de couches minces 33, notée eBOB, est inférieure à 100 pm, de préférence inférieure à 50 pm. L'empilement de couches minces 33 comprend une piste métallique 34 en forme de spirale. La largeur des segments de la piste 34 est notée WBOB, l'espacement entre les segments de la piste 34 est noté sBoB. Avantageusement, les distances WBoB et SBoB sont comprises entre quelques pm et quelques mm. La forme de la bobine en spirale n'est pas nécessairement 10 rectangulaire. En particulier, la bobine en spirale peut présenter des bords arrondis. Le sous-système de stockage d'énergie de la source d'énergie implantable rechargeable peut comprendre une batterie secondaire en couches minces, telle que la batterie secondaire 51 illustrée à la figure 5 15 (vue en coupe) et à la figure 6 (vue de dessus). La batterie secondaire 51 est de forme rectangulaire, de longueur notée LBAT et de largeur notée 'BAT. Avantageusement, la longueur LBAT et la largeur 'BAT sont comprises entre 100 pm et 10 cm, c'est-à-dire que la surface de la batterie secondaire 51 est comprise entre 0,01 mm2 et 100 cm2. De préférence, la longueur LBAT et 20 largeur 'BAT sont comprises entre 1 et 5 cm, c'est-à-dire que la surface de la batterie secondaire 51 est comprise entre 1 et 25 cm2. La batterie secondaire 51 est constituée d'un substrat 52 sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces 53. Le substrat 52 est par exemple une plaquette de silicium, une plaquette de verre, une feuille de métal (acier 25 inoxydable, titane, etc.) ou une feuille de polymère (polyéthylène, polytetrafluoroéthylène, polyimide, polyester, etc.). Avantageusement, le substrat 52 est un substrat mécaniquement souple ou conformable, tel qu'une feuille de métal ou une feuille de polymère. Avantageusement, l'épaisseur du substrat 52, notée EBAT, est inférieure à 200 pm, de préférence inférieure à 50 30 pm. L'empilement de couches minces 53 comprend des matériaux collecteurs de courant (métaux), des matériaux pour former des cathodes (TiOxSy, LiCo02, LiMn204, LiFePO4, V205, etc.), des matériaux pour former des électrolytes (électrolytes solides tel que le Lipon, qui est un matériau à base de lithium, phosphore, oxygène et azote), et des matériaux pour former des anodes (Li, ou alliage de Li avec C, Si, Ge, Sn). L'empilement de couches minces 53 peut également comprendre des matériaux pour former des interconnexions électriques (métaux). L'empilement de couches minces 53 peut également comprendre des couches ayant seulement un rôle mécanique (par exemple un rôle de support ou un rôle d'adhésion). Les couches minces de l'empilement 53 peuvent être déposées sur le substrat 52 par des techniques de dépôt de couches minces (dépôt physique en phase vapeur, dépôt chimique en phase vapeur, électro-dépôt, dépôt par enduction ou impression, etc.). Les couches minces de l'empilement 53 peuvent être également transférées sur le substrat 52 par des techniques de transfert de couches minces (par exemple par un procédé de laminage à l'aide d'un matériau adhésif). Les couches minces de l'empilement 53 peuvent être structurées, lors d'une étape de dépôt ou de transfert de couches minces (par exemple par dépôt de couches minces à travers un pochoir, ou par dépôt de couches minces par impression), ou après une étape de dépôt ou de transfert de couches minces (par exemple par photolithographie, gravure chimique, gravure plasma, gravure mécanique ou gravure laser). Avantageusement, l'épaisseur maximale de l'empilement de couches minces 53, notée eBar, est inférieure à 50 pm, de préférence inférieure à 20 pm. L'empilement de couches minces 53 se subdivise en zones actives, telles que la zone 54, et en zones d'interconnexion, telles que la zone 55. Les zones actives se présentent sous la forme de rectangles, de longueur notée WBAT et de largeur notée WBAT. Avantageusement, la longueur WBAT et la largeur WBAT sont comprises entre 100 pm et 10 cm, c'est-à-dire que la surface d'une zone active est comprise entre 0,01 mm2 et 100 cm2. De préférence, la longueur WBAT et la largeur WBAT sont supérieures à 1 mm, c'est-à-dire que la surface d'une zone active est supérieure à 1 mm2. Les zones d'interconnexion se présentent sous la forme de bandes rectangulaires, de largeur notée SBAT, avantageusement inférieure à 1 cm, de préférence inférieure à 1 mm. Seules les zones actives contribuent au stockage d'énergie électrique. Chaque zone active correspond à une cellule électrochimique. Les zones d'interconnexion permettent d'interconnecter électriquement deux cellules électrochimiques définies sur le même substrat 52. L'interconnexion électrique peut se faire par des fils ou pistes métalliques. Il peut s'agir d'une interconnexion en série ou en parallèle. La batterie secondaire 51 est donc constituée d'un ensemble de cellules électrochimiques interconnectées en série ou en parallèle. La tension et la capacité de la batterie secondaire 51 dépendent du nombre de cellules électrochimiques que comprend la batterie secondaire (ce nombre est supérieur ou égal à 1) et du schéma d'interconnexion (série ou parallèle). Une interconnexion en série favorise des tensions élevées et des capacités faibles, tandis qu'une interconnexion en parallèle favorise des tensions faibles et des capacités élevées. Un procédé particulièrement avantageux pour fabriquer la batterie secondaire 51 comprend les étapes suivantes : 1) Transférer sur le substrat 52 une couche métallique par laminage à l'aide d'un matériau adhésif. 2) Structurer la couche métallique par gravure chimique, pour définir des interconnexions électriques. 3) Fabriquer plusieurs cellules électrochimiques, chaque cellule électrochimique étant constituée d'une feuille de polymère sur laquelle ont été déposés successivement un collecteur de courant arrière, une cathode, un électrolyte solide, une anode, et un collecteur de courant avant. 4) Tester séparément chaque cellule électrochimique, pour déterminer quelles sont les cellules fonctionnelles (c'est-à-dire les cellules répondant à un cahier des charges en termes de performances électriques). 5) Transférer les cellules électrochimiques fonctionnelles sur le substrat 52 par laminage à l'aide d'un matériau adhésif, et connecter électriquement ces cellules aux zones d'interconnexion définies à l'étape n°2. Un tel procédé est avantageux car le rendement de fabrication d'une cellule électrochimique (c'est-à-dire la fraction de cellule fonctionnelle) peut être relativement faible, typiquement inférieur à 80%. Une cellule électrochimique en couches minces présente 5 généralement une tension de quelques volts et une capacité de quelques centaines de pA.h/cnn2, soit une capacité énergétique pouvant être de l'ordre de quelques mW.h/cm2. Plus précisément, une cellule électrochimique à base d'un empilement de couches minces TiOxSy/Lipon/Li peut présenter une tension d'environ 2,5 V, une capacité d'environ 300 pA.h/cm2, soit une 10 capacité énergétique d'environ 750 pW.h/cm2. Considérons une batterie secondaire 51 à base d'un empilement de couches minces TiOxSy/Lipon/Li, présentant les dimensions suivantes : LBAT = 50 mm, !BAT = 44 mm, WBAT = 4,1 mm, watt-1- = 8 mm, et SBAT = 1 mm. Dans ce cas, la batterie secondaire 51 comprend 50 cellules électrochimiques, chaque cellule électrochimique ayant 15 une surface active de 0,328 cm2. Considérons un schéma d'interconnexion en parallèle. La batterie secondaire 51 peut donc présenter une tension d'environ 2,5 V, une capacité d'environ 4,9 mA.h, soit une capacité énergétique d'environ 12 mW.h. La forme de la batterie secondaire n'est pas nécessairement 20 rectangulaire. En particulier, la batterie secondaire peut présenter des bords arrondis. La forme des zones actives n'est pas nécessairement rectangulaire. La forme des zones d'interconnexion n'est pas nécessairement une bande rectangulaire. Le sous-système de stockage d'énergie de la source 25 d'énergie implantable rechargeable peut comprendre un ensemble de batteries secondaires en couches minces. Chaque batterie secondaire est constituée d'un substrat sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces. Les différentes batteries secondaires peuvent être empilées les unes sur les autres, ou positionnées dans un même plan. Les 30 différentes batteries secondaires peuvent être interconnectées électriquement en série ou en parallèle. Ceci permet d'augmenter la tension ou la capacité du sous-système de stockage d'énergie. Une source d'énergie implantable rechargeable 71 peut comprendre un assemblage du module photovoltaïque en couches minces 11 et de la batterie secondaire en couches minces 51, comme illustré à la figure 7 (vue en coupe). Le module photovoltaïque 11 est connecté électriquement à la batterie secondaire 51 afin de pouvoir recharger la batterie secondaire 51. Dans le cas illustré à la figure 7, le module photovoltaïque 11 est positionné au-dessus de la batterie secondaire 51. Les dimensions de la batterie secondaire 51 sont avantageusement égales aux dimensions du module photovoltaïque 11, c'est-à-dire que LBAT = Lpv et (BAT = lpv. Dans le cas illustré à la figure 7, le module photovoltaïque 11 et la batterie secondaire 51 sont assemblés tête-bêche, la face arrière du substrat 12 (c'est-à-dire la face ne supportant pas l'empilement de couches minces 13) étant fixée contre la face arrière du substrat 52 (c'est-à-dire la face ne supportant pas l'empilement de couches minces 53). La fixation peut se faire par laminage à l'aide d'une feuille de polymère adhésive 72 (polyimide, polyester, polyacrylique, etc.). L'interconnexion électrique entre le module photovoltaïque 11 et la batterie secondaire 51 peut se faire par des techniques connues dans le domaine des circuits imprimés, par exemple par des vies (de l'anglais « vertical interconnect access », c'est-à-dire accès d'interconnexion vertical). L'ensemble constitué par le module photovoltaïque 11 et la batterie secondaire 51 est encapsulé par un empilement de couches 73. Avantageusement, l'épaisseur maximale de l'empilement 73, notée eENC, est inférieure à 200 pm (de préférence inférieure à 50 pm). L'épaisseur maximale de la source d'énergie implantable rechargeable 71 est environ égale à EPV epv + EBAT eBAT + 2 x eENC. Avantageusement, l'épaisseur maximale de la source d'énergie implantable rechargeable 71 est inférieure à 1 mm, de préférence inférieure à 300 pm. A titre d'exemple, considérons une source d'énergie implantable rechargeable 71 comprenant un module photovoltaïque 11 à base de couches minces de ClGS, et une batterie secondaire 51 à base d'un empilement de couches minces TiOxSy/Lipon/Li. Le module photovoltaïque 11 est connecté électriquement à la batterie secondaire 51 afin de pouvoir recharger la batterie secondaire 51 Nous avons vu précédemment que le module photovoltaïque 51, recevant un éclairement proche infrarouge de longueur d'onde 850 nm et de densité de puissance 2 nnWfcm2, peut produire une tension au point de puissance maximum d'environ 2,4 V, un courant au point de puissance maximum d'environ 6 mA, soit une puissance électrique maximum d'environ 14 mW. Nous avons également vu précédemment que la batterie secondaire peut présenter une tension d'environ 2,5 V, une capacité d'environ 4,9 mA.h, soit une capacité énergétique d'environ 12 mW.h. Le module photovoltaïque est donc capable de recharger complètement la 10 batterie secondaire en environ 50 minutes. Autrement dit la source d'énergie implantable rechargeable peut être rechargée complètement en environ 50 minutes. Si la source d'énergie implantable rechargeable alimente un dispositif médical implantable tel qu'un stimulateur cardiaque consommant une puissance électrique moyenne de valeur typique 30 pW, alors l'autonomie 15 de la source d'énergie implantable rechargeable (c'est-à-dire la durée maximale entre deux recharges) est environ de 16 jours. Une autonomie supérieure peut être obtenue en utilisant un empilement de plusieurs batteries secondaires en couches minces. L'empilement de couches 73 assurant l'encapsulation 20 comprend au moins deux couches, comme illustré à la figure 8 (vue en coupe). La couche externe 81, c'est-à-dire la couche destinée à être en contact avec les tissus biologiques, est constituée d'un matériau biocompatible, qui peut être un matériau polymère biocompatible (parylène, polysiloxanes, etc.) ou un matériau inorganique biocompatible (alumine, 25 zircone, etc.). Outre la biocompatibilité, l'avantage du parylène, des polysiloxanes, de l'alumine et de la zircone est de présenter une bonne transparence au rayonnement proche infrarouge. Cependant, le parylène et les polysiloxanes, comme la plupart des matériaux polymères, sont des mauvaises barrières à l'humidité et à l'oxygène. Une simple couche mince 30 d'alumine ou de zircone n'est également pas une excellente barrière à l'humidité et à l'oxygène, du fait de la présence de défauts. Les couches internes 82, c'est-à-dire les couches qui ne sont pas destinées à être en contact avec les tissus biologiques, renforcent la barrière à l'humidité et à l'oxygène. Avantageusement, les couches internes 82 consistent en un empilement de couches, des couches organiques (par exemple à base d'acrylates) alternant avec des couches inorganiques non métalliques (par exemple à base d'alumine, oxyde de silicium, nitrure de silicium, carbure de silicium) ou avec des couches métalliques extrêmement minces (d'épaisseur inférieure à 10 nm). Outre le fait de constituer une barrière efficace à l'humidité et à l'oxygène, l'avantage de ce type d'empilement est de présenter une bonne transparence au rayonnement proche infrarouge. Les couches internes 82 ne sont pas nécessairement biocompatibles, ce qui permet un vaste choix de matériaux ou de combinaisons de matériaux. Le procédé permettant d'encapsuler l'ensemble constitué par le module photovoltaïque 11 et la batterie secondaire 51 peut être un procédé de laminage ou un procédé de dépôt de couches minces, ou une combinaison 15 des deux. Parmi les procédés de dépôt de couches minces, les procédés de dépôt chimique en phase vapeur et les procédés de dépôt de couches atomiques (en anglais « atomic layer deposition », ALD) sont à privilégier, car ils permettent d'obtenir des couches minces conformes, c'est-à-dire des couches minces dont l'épaisseur est sensiblement constante quelle que soit 20 l'orientation spatiale de la surface sur laquelle elles sont déposées (par exemple, l'épaisseur déposée sur une surface horizontale est proche de celle déposée sur une surface verticale). La manière d'assembler le module photovoltaïque 11 avec la batterie secondaire 51 peut être différente de celle illustrée à la figure 7. Par 25 exemple, dans le cas de la source d'énergie implantable rechargeable 91 illustrée à la figure 9 (vue en coupe), la face arrière du substrat 12 est fixée contre la face avant du substrat 52 (c'est-à-dire la face supportant l'empilement de couches minces 53). Par rapport à la source d'énergie implantable rechargeable 71 illustrée à la figure 7, la source d'énergie 30 implantable rechargeable 91 présente l'avantage suivant : le substrat 52 (en particulier s'il s'agit d'un substrat métallique biocompatible tel qu'un substrat en titane ou en acier inoxydable, ou un substrat en polymère dont la face arrière est recouverte d'une couche métallique biocompatible) peut jouer le rôle d'une couche biocompatible, barrière à l'humidité et à l'oxygène, assurant une excellente protection de l'empilement de couches minces 53. Par conséquent, il n'est pas forcément nécessaire d'étendre l'empilement de couches 73 à la face arrière du substrat 52, ce qui rend plus aisé le procédé d'encapsulation. Ainsi, dans le cas de la source d'énergie implantable rechargeable 101 illustrée à la figure 10 (vue en coupe), l'empilement de couches 102 assurant l'encapsulation ne recouvre pas la face arrière du substrat 52. Notons également que dans cette configuration le substrat 12 et l'empilement de couches minces 13 peuvent jouer le rôle de couches barrières à l'humidité et à l'oxygène, renforçant ainsi la protection de l'empilement de couches minces 53. Généralement, l'empilement de couches minces 53 de la batterie secondaire est plus sensible à l'humidité et à l'oxygène que l'empilement de couches minces 13 du module photovoltaïque, en particulier du fait de la présence de lithium. Alternativement, une source d'énergie implantable rechargeable 111 peut comprendre un module photovoltaïque en couches minces et une batterie secondaire en couches minces qui sont fabriquées sur les deux faces opposées d'un même substrat 112 d'épaisseur notée E, comme illustré à la figure 11 (vue en coupe). Un empilement de couches minces 113 d'épaisseur maximale notée epv a été déposé ou transféré sur une face du substrat 112 pour former le module photovoltaïque, et un empilement de couches minces 114 d'épaisseur maximale notée eBAT a été déposé ou transféré sur l'autre face du substrat 112 pour former la batterie secondaire. L'ensemble constitué par le module photovoltaïque et la batterie secondaire est encapsulé par un empilement de couches 115, d'épaisseur maximale notée eENc. Par rapport aux sources d'énergie implantables rechargeables 71, 91 et 101 illustrées aux figures 7, 9 et 10, la source d'énergie implantable rechargeable 111 présente l'avantage de pouvoir être plus fine, car l'épaisseur d'un substrat est économisée. Ainsi l'épaisseur maximale de la source d'énergie implantable rechargeable 111 est environ égale à E epv+ eBAT ± 2 x eENC, Alternativement, une source d'énergie implantable rechargeable 121 peut comprendre un module photovoltaïque en couches minces et une batterie secondaire en couches minces qui sont fabriquées sur la même face d'un même substrat 122 d'épaisseur notée E, comme illustré à la figure 12 (vue en coupe). Un empilement de couches minces 123 d'épaisseur maximale notée eBAT a été déposé ou transféré sur le substrat 122 pour former la batterie secondaire, puis une couche de planarisation 124 a été déposée ou transférée sur l'empilement 123, puis un empilement de couches minces 125 d'épaisseur maximale notée epv a été déposé ou 10 transféré sur la couche 124 pour former le module photovoltaïque. L'ensemble constitué par le module photovoltaïque et la batterie secondaire est encapsulé par un empilement de couches 126, d'épaisseur maximale notée eENC. Par rapport aux sources d'énergie implantables rechargeables 71, 91 et 101 illustrées aux figures 7, 9 et 10, la source d'énergie implantable rechargeable zs 121 présente l'avantage de pouvoir être plus fine, car l'épaisseur d'un substrat est économisée. Ainsi l'épaisseur maximale de la source d'énergie implantable rechargeable 121 est environ égale à + epv + eatur + 2 X eEnrc. Par rapport à la source d'énergie implantable rechargeable 111 illustrée à la figure 11, la source d'énergie implantable rechargeable 121 présente 20 l'avantage suivant : le substrat 122 (en particulier s'il s'agit d'un substrat métallique biocompatible tel qu'un substrat en titane ou en acier inoxydable, ou un substrat en polymère dont la face arrière est recouverte d'une couche métallique biocompatible) peut jouer le rôle d'une couche biocompatible, barrière à l'humidité et à l'oxygène, assurant une excellente protection de 25 l'empilement de couches minces 123. Par conséquent, il n'est pas forcément nécessaire d'étendre l'empilement de couches 126 à la face arrière du substrat 122, ce qui rend plus aisé le procédé d'encapsulation. Notons également que dans cette configuration l'empilement de couches minces 125 peut jouer le rôle d'une couche barrière à l'humidité et à l'oxygène, renforçant 30 ainsi la protection de l'empilement de couches minces 123. Le module photovoltaïque 11 n'est pas nécessairement positionné au-dessus de la batterie secondaire 51, mais peut également être positionné dans le même plan que la batterie secondaire 51, comme dans le cas de la source d'énergie implantable rechargeable 131 illustrée à la figure 13 (vue de dessus). Les dimensions de la batterie secondaire 51 ne sont pas nécessairement égales à celles du module photovoltaïque 11. Les sources d'énergie implantables rechargeables 71, 91, 101, 111, 121 et 131 se présentent sous la forme d'objets ultrafins, avantageusement mécaniquement souples ou conformables. Ainsi, les sources d'énergie implantables rechargeables 71, 91, 101, 111, 121 et 131 peuvent être implantées dans des zones accessibles à une source d'énergie 10 conventionnelle encombrante et mécaniquement rigide, mais avec l'avantage d'améliorer considérablement le confort du patient, par exemple : sous la peau au niveau de la poitrine, pour alimenter un stimulateur cardiaque, un capteur cardiaque, un stimulateur neuronal, ou un stimulateur vagal, 15 - sous la peau au niveau de l'abdomen, pour alimenter un stimulateur médullaire ou une pompe. Les sources d'énergie implantables rechargeables 71, 91, 101, 111, 121 et 131 peuvent également être implantées dans des zones du corps humain difficilement accessibles à une source d'énergie conventionnelle 20 encombrante et mécaniquement rigide. Par exemple, les sources d'énergie implantables rechargeables 71, 91, 101, 111, 121 et 131 peuvent être implantées : - sous la peau au niveau de la tête, pour alimenter un stimulateur neuronal, 25 - sous la peau au niveau du cou ou de la nuque, pour alimenter un stimulateur vagal, - partiellement ou en totalité enroulées autour du nerf vague au niveau du cou, pour alimenter un stimulateur vagal. Dans ces exemples, le système à alimenter (système de 30 stimulation électrique) peut être intégré avec la source d'énergie implantable rechargeable, dans un seul et unique objet ultrafin, avantageusement mécaniquement souple ou conformable. Dans ces exemples, il est important de noter que la source d'énergie implantable rechargeable est implantée à proximité de la zone à stimuler électriquement (cerveau dans le cas de la stimulation neuronale, nerf vague dans le cas de la stimulation vagale). Au contraire, une source d'énergie conventionnelle encombrante et 5 mécaniquement rigide ne peut être implantée que relativement loin de la zone à stimuler électriquement (typiquement la source d'énergie conventionnelle d'un stimulateur neuronal ou d'un stimulateur vagal est implantée au niveau de la poitrine). Par conséquent, l'utilisation de sources d'énergies implantables rechargeables selon l'invention permet de réduire 10 considérablement la longueur des sondes transportant les impulsions électriques thérapeutiques, ce qui présente de nombreux avantages, par exemple en termes d'opération chirurgicale, confort pour le patient, et compatibilité à l'imagerie par résonance magnétique (IRM). La source d'énergie implantable rechargeable 131 peut être 15 implantée sous la peau au niveau de la tête pour alimenter un stimulateur neuronal, le module photovoltaïque 11 étant positionné sous la peau du front, et la batterie secondaire 51 étant partiellement ou en totalité positionnée sous le cuir chevelu. Ce positionnement de la source d'énergie implantable rechargeable 131 présente les avantages suivants : 20 - Le module photovoltaïque 11 peut recevoir une forte densité de puissance lumineuse, car le module photovoltaïque 11 est positionné dans une zone sans cheveu. Ceci permet d'assurer une recharge rapide de la source d'énergie implantable rechargeable 131. - L'épaisseur de la partie de la source d'énergie implantable 25 rechargeable 131 positionnée au niveau du front peut être extrêmement faible, car cette partie positionnée au niveau du front comprend seulement le module photovoltaïque 11 et non pas un empilement du module photovoltaïque 11 et de la batterie secondaire 51. Ceci est favorable pour le patient du point de vue du confort et de l'esthétisme, le front étant une zone 30 du corps particulièrement visible. - La surface de la batterie secondaire 51 peut être relativement grande, notamment plus grande que celle du module photovoltaïque 11, car chez l'homme la surface disponible sous le cuir chevelu est plus grande que la surface disponible sous la peau du front. Ceci permet d'utiliser une batterie secondaire 51 de grande capacité énergétique, et donc d'assurer une grande autonomie à la source d'énergie implantable rechargeable 131. Notons que l'épaisseur de la batterie secondaire peut être relativement grande, notamment plus grande que celle du module photovoltaïque, car la batterie secondaire est positionnée dans une zone généralement couverte de cheveux, donc une augmentation de son épaisseur ne nuit pas au patient du point de vue de l'esthétisme. Ainsi, la batterie secondaire peut être remplacée par un empilement de batteries secondaires. Ceci permet d'augmenter la capacité énergétique du sous-système de stockage d'énergie et donc d'augmenter l'autonomie de la source d'énergie implantable rechargeable. La surface des sources d'énergie implantables rechargeables doit être relativement grande afin d'assurer une autonomie suffisante entre deux recharges. Par exemple, pour une batterie secondaire en couches minces de capacité énergétique de valeur typique 1 mW.h/cm2, et un dispositif médical implantable tel qu'un stimulateur cardiaque consommant une puissance moyenne de valeur typique 30 pW, la surface de la source d'énergie doit être de 30 cm2 afin d'assurer une autonomie de 1000 h soit environ 40 jours. Or les objets de grande surface destinés à être implantés sous la peau présentent le risque de provoquer une mauvaise vascularisation de la peau, ce qui peut entraîner une nécrose. La géométrie d'une source d'énergie implantable rechargeable peut être adaptée afin de surmonter ce problème de mauvaise vascularisation de la peau. Plus précisément, des ouvertures traversant de part en part la source d'énergie dans la direction de son épaisseur peuvent être aménagés afin de permettre le passage de vaisseaux sanguins à travers la source d'énergie. La figure 14 (vue de dessus) illustre une manière d'aménager des trous ou ouvertures dans un module photovoltaïque en couches minces du sous-système de récupération d'énergie. Dans le cas illustré à la figure 14, les trous sont aménagés dans les zones actives du module photovoltaïque. La figure 14 représente une zone active 141 d'un module photovoltaïque, de longueur notée Wpv et de largeur notée wpv. Des trous, tels que le trou 142, sont aménagés dans la zone active 141. Les trous traversent de part en part le module photovoltaïque dans la direction de son épaisseur. Les trous sont de forme rectangulaire, de longueur notée a et de largeur notée b. Les trous sont régulièrement espacés, avec une période notée p dans la direction de la longueur du module photovoltaïque ; la période p (plus généralement, l'espacement entre les trous ou ouvertures, qui peut être variable) est généralement comprise entre 1 mm et 1 cm. Typiquement, les vaisseaux sanguins irriguant la peau humaine ont un diamètre de l'ordre de quelques dizaines ou centaines de microns, et une densité de l'ordre de quelques vaisseaux par mm2 ou quelques dizaines de vaisseaux par mm2. Par conséquent, la longueur a et la largeur b d'un trou sont avantageusement comprises entre 100 prn et 2 mm, c'est-à-dire que la surface d'un trou est avantageusement comprise entre 0,01 mm2 et 4 mm2. Dans le cas typique où WPV = 50 mm et où wpv = 8 mm, la surface de la zone active 141 est égale à 400 mm2. Dans ce cas, si la période p vaut par exemple 5 mm, alors une dizaine de trous sont aménagés dans la zone active 141, ce qui signifie que la fraction trouée de la zone active 141 est inférieure ou égale à environ 10%. Une telle configuration permet de limiter la baisse de surface de zone active dans le module photovoltaïque (et donc la baisse de puissance électrique générée sous un éclairement donné), tout en offrant une surface suffisante aux vaisseaux sanguins pour traverser le module photovoltaïque. La manière d'aménager des trous dans un module photovoltaïque en couches minces peut être différente de celle illustrée à la figure 14. Par exemple, dans le cas illustré à la figure 15 (vue de dessus), les trous sont aménagés dans les zones d'interconnexion du module photovoltaïque en couches minces. Par rapport à la configuration illustrée à la figure 14, la configuration illustrée à la figure 15 présente l'avantage de ne pas réduire la surface active du module photovoltaïque. Ainsi l'effet des trous sur 3002 854 25 les performances électriques du module photovoltaïque est minimisé. La figure 15 représente un module photovoltaïque en couches minces 151 de forme rectangulaire, de longueur notée L et de largeur notée I. Les zones actives, telles que la zone 152, se présentent sous la forme de rectangles, de 5 longueur notée Wpv et de largeur notée wpv. Les zones d'interconnexion, telles que la zone 153, se présentent sous la forme de bandes rectangulaires, de largeur notée spv. Des trous, tels que le trou 154, sont aménagés dans les zones d'interconnexion du module photovoltaïque 151. Les trous traversent de part en part le module photovoltaïque 151 dans la direction de son 10 épaisseur. Les trous sont de forme rectangulaire, de longueur notée a et de largeur notée b. Les trous sont régulièrement espacés, avec une période notée p dans la direction de la longueur du module photovoltaïque 151. La longueur a et la largeur b d'un trou sont avantageusement comprises entre 100 pm et 1 mm, c'est-à-dire que la surface d'un trou est avantageusement 15 comprise entre 0,01 mnr9 et 1 mm2. Dans le cas typique où L = 50 mm et où spv = 1 mm, la surface d'une zone d'interconnexion (dans la direction de la longueur du module photovoltaïque 151) est égale à 50 mm2. Dans ce cas, si la période p vaut par exemple 5 mm, alors une dizaine de trous sont aménagés dans une zone d'interconnexion donnée, ce qui signifie que la 20 fraction trouée d'une zone d'interconnexion donnée est inférieure ou égale à environ 20%. Une telle configuration permet d'effectuer une bonne interconnexion électrique entre deux zones actives adjacentes, tout en offrant une surface suffisante aux vaisseaux sanguins pour traverser le module photovoltaïque 151. 25 La figure 16 (vue de dessus) illustre une manière d'aménager des trous dans une bobine en spirale en couches minces du sous-système de récupération d'énergie. La figure 16 représente une bobine en spirale en couches minces 161 de forme rectangulaire, de longueur notée LB0B et de largeur notée lace La piste métallique 162 se présente en forme de spirale. 30 La largeur des segments de la piste 162 est notée WBog, l'espacement entre les segments de la piste 162 est noté SgoB. Des trous, tels que le trou 163, sont aménagés dans les zones non couvertes par la piste métallique 162. Ainsi l'effet des trous sur les performances électriques de la bobine 161 est minimisé. Les trous sont de forme rectangulaire, de longueur notée a et de largeur notée b. Les trous sont régulièrement espacés, avec une période notée p dans les directions de la longueur et de la largeur de la bobine en spirale 161. La longueur a et la largeur b d'un trou sont avantageusement comprises entre 100 pm et 2 mm, c'est-à-dire que la surface d'un trou est avantageusement comprise entre 0,01 mm2 et 4 mm2. La largeur b d'un trou est avantageusement inférieure à l'espacement SBOB, et la période p est avantageusement supérieure à la largeur wBos, afin que les trous puissent 10 être aménagés dans les zones situées entre deux segments de la piste 162. La figure 17 (vue de dessus) illustre une manière d'aménager les trous dans une batterie secondaire en couches minces du sous-système de stockage d'énergie. Dans le cas illustré à la figure 17, les trous sont aménagés dans les zones d'interconnexion de la batterie secondaire. Ainsi 15 l'effet des trous sur les performances électriques de la batterie secondaire est minimisé. La figure 17 représente une batterie secondaire en couches minces 171, qui présente une forme et des dimensions identiques à celles du module photovoltaïque 151, c'est-à-dire un rectangle de longueur L et de largeur I. Les zones actives, telles que la zone 172, sont de forme rectangulaire, de 20 longueur notée WBAT et de largeur notée WBAT. Les zones d'interconnexion, telles que la zone 173, se présentent sous la forme de bandes rectangulaires, de largeur notée SBAT. Des trous, tels que le trou 174, sont aménagés dans les zones d'interconnexion de la batterie secondaire 171. Les trous traversent de part en part la batterie secondaire dans la direction de son épaisseur. Les 25 trous aménagés dans la batterie secondaire 171 présentent une forme et des dimensions identiques à celles des trous aménagés dans le module photovoltaïque 151, c'est-à-dire des rectangles de longueur a et de largeur b. Les trous aménagés dans la batterie secondaire 171 sont régulièrement espacés, avec une période égale à celle des trous aménagés dans le module 30 photovoltaïque 151, c'est-à-dire une période p. Une source d'énergie implantable rechargeable 181 peut comprendre un assemblage du module photovoltaïque en couches minces 151 et de la batterie secondaire en couches minces 171. comme illustré à la figure 18 (vue en coupe). Le module photovoltaïque 151 est connecté électriquement à la batterie secondaire 171 afin de pouvoir recharger la batterie secondaire 171. Le module photovoltaïque 151 est constitué d'un substrat 155 sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces 156. Des trous, tels que le trou 154, traversent de part en part le module photovoltaïque 151 dans la direction de son épaisseur. La batterie secondaire 171 est constituée d'un substrat 175 sur lequel a été déposé ou transféré un empilement de couches minces 176. Des trous, tels que le trou 174, traversent de part en part la batterie secondaire 171 dans la direction de son épaisseur. Les trous traversant la batterie secondaire 171 présente une forme, des dimensions, et un espacement identiques à ceux des trous traversant le module photovoltaïque 151. Les trous traversant le module photovoltaïque 151 et les trous traversant la batterie secondaire 171 sont alignés, et contribuent ainsi à former des trous traversant de part en part la source d'énergie implantable rechargeable 181 dans la direction de son épaisseur. L'ensemble constitué par le module photovoltaïque 151 et la batterie secondaire 171 est encapsulé par un empilement de couches 182. Avantageusement, l'empilement de couches 182 encapsule également les surfaces internes des trous traversant la source d'énergie implantable rechargeable 181. Ceci permet à la source d'énergie implantable rechargeable 181 de présenter une bonne résistance à l'humidité et à l'oxygène. Afin de former l'empilement de couches 182 sur les surfaces internes des trous, les procédés de dépôt chimique en phase vapeur et les procédés de dépôt de couches atomiques (atomic layer deposition, ALD) sont à privilégier, car ils permettent d'obtenir des couches minces conformes. La forme des trous traversant la source d'énergie implantable rechargeable peut être différente de la forme représentée aux figures 14, 15, 16, 17 et 18. Par exemple, les trous peuvent être de forme circulaire, ce qui peut faciliter le procédé de formation des trous. Les trous ne sont pas nécessairement régulièrement espacés, mais peuvent être positionnés de manière non régulière dans le plan de la source d'énergie implantable rechargeable. Les surfaces internes des trous peuvent être couvertes d'un 5 gel favorisant la croissance cellulaire, tel que le « Matrigel ». Les trous peuvent également être remplis d'un tel gel. La source implantable peut également comprendre un sous-système de traitement de données, qui peut à son tour comprendre des circuits électroniques discrets ou intégrés, du type microprocesseur, microcontrôleur ou mémoires. La source implantable peut également comprendre un sous-système de gestion d'énergie. Le sous-système de gestion d'énergie peut comprendre des circuits électroniques discrets ou intégrés, dédiés par exemple à la conversion DC-DC (utile dans le cas où le sous-système de 15 récupération d'énergie fournit une puissance électrique en courant continu avec une tension trop petite ou trop grande pour recharger efficacement le sous-système de stockage d'énergie) ou à la conversion AC-DC (utile dans le cas où le sous-système de récupération d'énergie fournit une puissance électrique en courant alternatif, qu'il faut convertir en puissance électrique en 20 courant continu afin de pouvoir recharger le sous-système de stockage d'énergie) ou de manière plus générale à l'optimisation de la recharge du sous-système de stockage d'énergie ou à l'optimisation de l'alimentation en énergie du dispositif médical implantable. La source implantable peut également comprendre un sous- 25 système de communication. Le sous-système de communication peut comprendre des composants dédiés à l'échange d'informations avec d'autres systèmes de communication situés à l'extérieur ou l'intérieur du corps du patient. L'échange d'informations peut se faire par ondes lumineuses (de préférence par lumière proche infrarouge) ou ondes électromagnétiques (de 30 préférence par ondes électromagnétiques radio ou micro-ondes) ou ondes mécaniques (de préférence par ondes ultrasonores). Ainsi le sous-système de communication peut comprendre des composants tels que des diodes électroluminescentes (pour l'échange d'informations par ondes lumineuses) ou des antennes (pour l'échange d'informations par ondes électromagnétiques) ou des transducteurs piézoélectriques (pour l'échange d'informations par ondes mécaniques). La plupart des sous-systèmes du dispositif implantable peuvent se présenter sous la forme d'objets ultrafins. Cependant, certains sous-systèmes peuvent être difficilement intégrés sous la forme d'un objet ultrafin. C'est par exemple le cas de certains sous-systèmes de gestion d'énergie faisant appel à des circuits électroniques relativement volumineux, en particulier des composants électroniques discrets (condensateurs, bobines). Par conséquent, dans certains modes de réalisation de l'invention, le dispositif implantable peut comprendre à la fois des zones ultrafines, qui représentant une fraction majoritaire de sa surface totale, et des zones sensiblement plus épaisses, représentant une fraction minoritaire de la surface totale. Avantageusement, l'épaisseur maximale des zones ultrafines est inférieure à 1 mm (de préférence inférieure à 300 pm) et l'épaisseur maximale des zones plus épaisses est inférieure à 5 mm (de préférence inférieure à 1 mm). Avantageusement, les zones ultrafines représentent plus de 80% de la surface totale du dispositif, ou au moins de sa source d'énergie. Cette solution permet de conserver un confort maximal au patient tout en profitant des fonctionnalités de sous-systèmes difficilement intégrables sous la forme d'objets ultrafins. REVENDICATIONS1. Source d'énergie implantable comprenant au moins un sous-système de stockage d'énergie (171) réalisé sous la forme d'un empilement de couches minces (175) sur un substrat (176), caractérisée en ce que ledit sous-système de stockage d'énergie présente une pluralité d'ouvertures traversantes (174) pour permettre le développement et le passage de vaisseaux sanguins. 2. Source d'énergie implantable selon la revendication 1, dans laquelle chaque dite ouverture présente une surface comprise entre 0,01 m'in' et 4 mm2. 3. Source d'énergie implantable selon l'une des 15 revendications précédentes, dans laquelle l'espacement entre lesdites ouvertures est compris entre 1 mm et 1 cm. 4. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes, présentant un revêtement biocompatible (73, 20 182) recouvrant au moins une partie de sa surface comprenant la surface intérieure desdites ouvertures. 5. Source d'énergie implantable selon la revendication 4, dans laquelle ledit revêtement biocompatible comporte une couche extérieure 25 (81) en matière organique biocompatible et une couche intérieure (82) en matière inorganique imperméable à l'humidité et à l'oxygène. 6. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 4 ou 5, dans laquelle ledit revêtement biocompatible est 30 sensiblement transparent au moins dans une plage spectrale du visible ou du proche infrarouge. 7. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle lesdites ouvertures sont remplies en tout ou en partie d'un gel favorisant la croissance cellulaire. 8. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle ledit sous-système de stockage d'énergie présente une pluralité de régions actives (172) séparées par des régions d'interconnexion (173), au moins certaines desdites ouvertures étant pratiquées dans lesdites régions actives. 9. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle ledit sous-système de stockage d'énergie présente une pluralité de régions actives (172) séparées par des régions d'interconnexion (173), au moins certaines desdites ouvertures étant pratiquées dans lesdites régions d'interconnexion. 10. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes, comprenant également au moins un sous-système de récupération d'énergie (151, 161) relié audit sous-système de stockage d'énergie de manière à en permettre le chargement, ledit sous-système de récupération d'énergie étant à son tour réalisé sous la forme d'un empilement de couches minces (156) sur un substrat (155) et présentant une pluralité desdites ouvertures traversantes (174). 11. Source d'énergie implantable selon la revendication 10, dans laquelle ledit sous-système de récupération d'énergie est choisi parmi un module photovoltaïque à couches minces (151) et une bobine en spirale en couches minces (161). 12. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 10 ou 11, dans laquelle ledit sous-système de récupération d'énergie présente au moins une région active (152, 162) et au moins unerégion non active ou d'interconnexion (153), au moins certaines desdites ouvertures étant pratiquées dans ladite ou lesdites régions actives. 13. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 10 à 12, dans laquelle ledit sous-système de récupération d'énergie présente au moins une région active (152, 162) et au moins une région non active ou d'interconnexion (153), au moins certaines desdites ouvertures étant pratiquées dans ladite ou lesdites régions non active ou d'interconnexion. 10 14. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 10 à 13, dans laquelle ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie comprennent des empilements de couches minces déposés ou transférés sur des substrats 15 respectifs (12, 52) et sont à leur tour empilés. 15. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 10 à 13, dans laquelle ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie sont empilés sur un 20 substrat commun (122). 16. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 10 à 13, dans laquelle ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie comprennent des 25 empilements de couches minces déposés ou transférés sur deux faces opposées d'un substrat commun (12). 17. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle ledit ou chaque dit substrat est 30 souple ou conformable. 18. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications 10 à 13, dans laquelle ledit sous-système de stockage d'énergie et ledit sous-système de récupération d'énergie sont agencés côte à côté. 19. Source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes présentant, sur au moins 80% de sa surface, une épaisseur inférieure ou égale à 1 mm. 20. Dispositif implantable comportant une source d'énergie implantable selon l'une des revendications précédentes ainsi qu'un appareil médical relié audit sous-système de stockage d'énergie pour être alimenté.