FR 3009437 A1 20150206 FR 1301831 A 20130730 MICROBATTERIE AU LITHIUM PROTEGEE PAR UN CAPOT Domaine technique de l'invention L'invention est relative à une microbatterie au lithium, et plus particulièrement 5 au système d'encapsulation qui protège les couches actives de l'environnement extérieur. État de la technique Une microbatterie au lithium comporte classiquement deux électrodes (positive et négative) séparées par un électrolyte. L'électrode positive est 10 formée dans un matériau ayant une bonne conductivité ionique, par exemple l'oxysulfure de titane (TiOS). L'électrolyte est un isolant électrique ayant une forte conductivité ionique, tel que l'oxynitrure de lithium et de phosphore (LiPON). Enfin, la nature de l'électrode négative varie en fonction de la technologie de la microbatterie. 15 Dans les microbatteries dites « lithium-ion », l'électrode négative est constituée d'un matériau lithié, c'est-à-dire un matériau dans lequel est inséré des ions lithium. Dans les microbatteries « lithium-métal », l'électrode négative est exclusivement formée de lithium. Les matériaux contenant du lithium sont très sensibles à l'air, et en particulier 20 à l'oxygène et l'humidité. Pour éviter qu'ils s'oxydent, ils doivent être recouverts d'une barrière de protection inerte et étanche. La maîtrise de l'encapsulation est un facteur primordial qui conditionne l'efficacité dans le temps des microbatteries. La qualité d'un système d'encapsulation peut être évaluée selon trois 25 critères : le niveau de barrière : les performances de la barrière de protection sont définies par le taux de perméation des espèces oxydantes. Pour les microbatteries au lithium, le niveau barrière recherché se situe généralement entre 10-4 et 10-5 g/m2/jour. 30 la tenue mécanique : le système d'encapsulation doit être capable d'accommoder les variations volumiques de la microbatterie, lors des cycles de charge et de décharge. A défaut, l'expansion ou la contraction de la microbatterie peut entraîner des dommages mécaniques dans les électrodes, se traduisant par une diminution irréversible de la capacité électrique. la compatibilité physico-chimique : le système d'encapsulation doit être compatible chimiquement avec les matériaux contenant du lithium et sa réalisation ne doit pas endommager les couches actives. Les solutions d'encapsulation d'une microbatterie au lithium peuvent être 10 réparties en deux catégories : l'encapsulation en couches minces et l'encapsulation par élément rapporté. Les solutions d'encapsulation par élément rapporté consistent à coller un capot, par exemple en verre ou en matériau polymère laminé, au-dessus des couches actives de la microbatterie. Ce type d'encapsulation satisfait aux 15 trois critères précités, le niveau de barrière étant particulièrement élevé. En effet, compte tenu son épaisseur, le taux de perméation du capot vis-à-vis des espèces oxydantes est inférieur à celui d'un empilement de couches minces en polymère, métal et/ou céramique. La figure 1 représente schématiquement une microbatterie au lithium munie 20 d'un système d'encapsulation par élément rapporté, tel que décrit dans le document US2006/0216589. La microbatterie comprend un empilement 2 de couches actives, formé sur un substrat 4. L'empilement 2 est contenu dans une cavité 6 délimitée par le substrat 4 et par un capot 8 faisant face au substrat. Un cordon de colle 10 25 en résine époxy solidarise le capot 8 au substrat 4, autour de l'empilement 2. Dans cette configuration, le substrat 6 et le capot 8 forment les faces principales de la microbatterie, respectivement inférieure et supérieure. Comme ils sont étanches aux espèces oxydant le lithium, la protection surfacique de la microbatterie est totale. Par contre, pour assurer 30 simultanément le maintien du capot 8 sur le substrat 4 et une protection des flancs de la microbatterie, le cordon de colle 10 occupe une vaste zone autour de l'empilement 2. Une surface importante du substrat est ainsi dédiée à la cavité 6 et au cordon de scellement 10, au détriment de la surface utile de la microbatterie. Résumé de l'invention On constate qu'il existe un besoin de prévoir une microbatterie au lithium à l'encombrement réduit, avec un dispositif d'encapsulation performant et compact. On tend à satisfaire ce besoin en prévoyant une microbatterie au lithium comprenant un empilement de couches actives contenant du lithium et un capot de protection couvrant l'empilement de couches actives. Le capot de 10 protection est fixé à l'empilement de couches actives au moyen d'une couche de colle et une couche tampon en alumine est disposée entre l'empilement de couches actives et la couche de colle. Dans un mode de réalisation préférentiel, la couche tampon en alumine couvre entièrement l'empilement de couches actives afin de protéger 15 efficacement les flancs de la microbatterie. L'empilement comporte avantageusement une électrode en lithium métallique en contact avec la couche tampon en alumine. On prévoit également un procédé de fabrication d'une telle microbatterie. Le procédé comprend le dépôt d'une couche d'alumine sur un empilement de 20 couches actives contenant du lithium, le dépôt d'une couche en matériau polymérisable sur la couche d'alumine, une étape consistant à couvrir l'empilement de couches actives et la couche en matériau polymérisable par un capot de protection et la réticulation du matériau polymérisable pour coller le capot à l'empilement de couches actives. 25 De préférence, la couche d'alumine est obtenue par dépôt de couches atomiques (ALD). Ainsi, le dépôt d'alumine sur l'empilement de couches actives est homogène et la couche obtenue est imperméable aux espèces chimiques qui pourraient oxyder les couches actives. Le dépôt de couches atomiques est avantageusement réalisé à partir d'un 30 premier précurseur contenant de l'aluminium et d'un deuxième précurseur contenant de l'eau. Les premier et deuxième précurseurs sont notamment utilisés de façon successive, en commençant par le premier précurseur. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la 5 description qui va suivre de modes particuliers de réalisation donnés à titre d'exemples non limitatifs et illustrés à l'aide des dessins annexés, dans lesquels : - la figure 1, précédemment décrite, est une représentation schématique d'une microbatterie au lithium selon l'art antérieur ; 10 la figure 2 est un graphique montrant les taux de réticulation et d'adhérence d'une couche de colle déposée au-dessus d'une couche de lithium, avec une couche tampon en silice, nitrure de silicium ou alumine interposée entre la couche de colle et la couche de lithium ; la figure 3 représente un mode de réalisation préférentiel d'une 15 microbatterie au lithium munie d'une couche tampon en alumine selon l'invention ; - la figure 4 est un diagramme d'impédance de la microbatterie au lithium selon la figure 3, avant et après dépôt de la couche d'alumine ; et 20 - les figures 5 à 9 représentent des étapes d'un procédé de fabrication d'une microbatterie au lithium selon l'invention. Description d'un mode de réalisation préféré de l'invention Afin de réduire l'encombrement du système d'encapsulation, une solution consisterait à coller le capot de protection directement sur l'empilement des 25 couches actives de la microbatterie, plutôt qu'à sa périphérie. Les colles couramment utilisées pour le report du capot sont des matériaux polymérisables. Or, le lithium contenu dans les couches actives inhibe la polymérisation des colles. Cette solution n'est donc pas envisageable, à moins de prévoir une couche tampon adéquate qui bloquerait la diffusion du 30 lithium vers le matériau polymérisable. Après plusieurs essais, il a été découvert qu'une couche en alumine remplissait parfaitement cette fonction. Pour ces essais, on a considéré plusieurs échantillons comprenant chacun une couche tampon. Chaque échantillon comporte une couche de lithium, recouverte de la couche tampon puis d'une couche de colle. Seule la nature de la couche tampon varie entre les échantillons. Les couches tampon à l'étude sont en silice (SiO2), en nitrure de silicium (Si3N4) et en alumine (A1203), et mesurent entre 30 nm à 300 nm d'épaisseur environ. La colle est une résine d'époxyde couramment utilisé dans les solutions d'encapsulation par report de capot. Elle est commercialisée par la société Epoxy Technology sous la référence 0G146-178. La figure 2 représente, à titre de comparaison, les taux d'adhérence et de réticulation de la couche de colle disposée sur les différentes couches tampon susmentionnées. 15 Les résultats montrent que le taux de réticulation de la colle 0G146-178 est bien meilleur lorsque celle-ci est déposée sur une couche tampon en alumine, plutôt qu'une couche tampon en oxyde ou nitrure de silicium. En effet, le taux de réticulation de la colle sur la couche d'alumine avoisine 99 %, tandis que sur les couches en SiO2 et Si3N4, il atteint respectivement 20 40 % et 50 %. Par ailleurs, la couche de colle 0G146-178 adhère parfaitement à la couche tampon en alumine (taux d'adhérence d'environ 95 %), à la différence de celle déposée sur les couches en silice et nitrure de silicium (0 % et 5 % respectivement). Des résultats similaires ont été obtenus avec de nombreuses variantes de 25 couches tampon, notamment en oxycarbure de silicium (SiOxCy), en oxynitrure de silicium (SiOxNy), ou avec des systèmes multicouches (Si02/Si3N4 par exemple). Une couche tampon en alumine permet donc la polymérisation complète de la colle, à la différence des couches tampon à base de silice et/ou de nitrure 30 de silicium. Autrement dit, la couche en alumine est quasiment imperméable aux ions lithium, inhibiteurs de polymérisation. La figure 3 représente schématiquement une microbatterie au lithium dont l'encombrement est réduit grâce à l'utilisation d'une couche tampon en alumine. La microbatterie comprend classiquement un empilement 2 de couches 5 actives déposées sur un substrat 4. Les couches actives de la microbatterie désignent ici les électrodes négative et positive (anode et cathode) et l'électrolyte situé entre les deux électrodes. L'électrode positive est formée d'une couche en matériau d'insertion du lithium, tel que l'oxysulfure de titane TiOS, le pentoxyde de vanadium V205 10 ou le disulfure de titane TiS2. La couche d'électrolyte est, de préférence, constituée d'oxynitrure de lithium et de phosphore (LiPON). Enfin, l'anode est formée d'un matériau contenant du lithium, par exemple en lithium pur, i.e. sous forme métallique (batterie Li-métal), ou en un matériau d'insertion (Ni02, SnO, Si, Ge, C...) lithié (batterie lithium-ion). 15 La microbatterie de la figure 3 comprend également un dispositif d'encapsulation 12 formé sur l'empilement 2. Le dispositif d'encapsulation 12 vise à protéger les couches actives de l'oxydation, et plus particulièrement l'électrode située en haut de l'empilement 2, à l'opposé du substrat 4. L'électrode supérieure est en effet la couche active la plus exposée aux 20 espèces oxydantes. C'est aussi celle qui, en général, contient le plus de lithium, à savoir l'anode. Cette configuration particulière des électrodes rend encore plus critique l'étape d'encapsulation. Le dispositif d'encapsulation 12 comporte un capot de protection 8 et une couche de colle 10', en matériau polymère, pour fixer le capot à 25 l'empilement 2 de couches actives. En outre, il comporte une couche d'alumine 14, interposée entre la couche de colle 10' et l'empilement 2. La couche d'alumine 14 est disposée en contact avec une ou plusieurs couches actives contenant du lithium. Elle joue le rôle de couche tampon entre la couche de colle 10' et ces couches actives, en bloquant la diffusion 30 des ions lithium. Elle permet ainsi une réticulation complète de la couche de colle 10', et donc, la fixation du capot 8 sur l'empilement 2. Par ailleurs, la couche 14 est inerte chimiquement vis-à-vis des constituants des couches actives, et du lithium en particulier. L'épaisseur de la couche 14 est avantageusement comprise entre 5 nm et 50 nm. En choisissant une épaisseur dans cette plage, on obtient un bon compromis entre l'encombrement du dispositif d'encapsulation et le blocage des ions lithium. Le capot 8 couvre la face supérieure de l'empilement 2. Il assure donc, en coopération avec le substrat 4, la protection surfacique de la microbatterie. Le capot 8 peut être en verre, métal, céramique ou en polymère laminé. Son épaisseur est, de préférence, comprise entre 50 pm et 1000 pm. La couche d'alumine 14 et la couche de colle 10' sont avantageusement 10 disposées sur toute la face supérieure de l'empilement 2. Le capot de protection 8 est ainsi fixé solidement et durablement à l'empilement. En plus de son rôle de colle, la couche 10' en matériau polymère absorbe les variations de volume de la microbatterie lors des cycles de charge et de décharge. Pendant ces variations volumiques, la couche d'alumine 14 est 15 faiblement contrainte ( A cet égard, on a cherché à savoir si l'utilisation d'une couche d'alumine en contact avec les couches actives ne modifiait pas la signature électrique de la microbatterie. La figure 4 représente le diagramme d'impédance électrique de la 5 microbatterie, ou diagramme de Nyquist, avant et après formation de la couche d'alumine. On ne constate aucune modification du spectre d'impédance causée par la couche en alumine. Dans le mode de réalisation préférentiel de la figure 3, la couche d'alumine 14 recouvre entièrement l'empilement 2 de couches actives, c'est- 10 à-dire la face supérieure et les faces latérales de l'empilement. La couche d'alumine est capable de bloquer, en plus des ions lithium, les espèces oxydantes telles que l'oxygène et l'eau. La couche d'alumine assure alors une protection des flancs de la microbatterie, en plus de son rôle de tampon. Dans les dispositifs de l'art antérieur, la protection latérale de la microbatterie 15 est souvent négligée. Par exemple, dans le document US2006/0216589 (Fig.1), les flancs de la microbatterie ne sont pas suffisamment protégés, car la colle utilisée pour sceller le capot ne constitue pas une barrière avec le niveau requis pour l'encapsulation d'une microbatterie au lithium (10-4 g/m2/j). Dans la microbatterie de la figure 3, la protection latérale est au contraire 20 satisfaisante, car la couche d'alumine dispose d'un bon niveau de barrière, supérieure au niveau minium requis. Le niveau de barrière global du dispositif d'encapsulation 12 atteint alors une valeur de 5.10-5 g/m2/j. Cette protection des flancs de la microbatterie est d'ailleurs d'autant plus avantageuse que la surface de la microbatterie est faible. En effet, la 25 diffusion des espèces oxydantes au travers des flancs devient aussi importante que la diffusion par la face supérieure, pour des microbatteries de petite surface. Il est donc préférable de couvrir les faces latérales de l'empilement avec la couche d'alumine, dans le cas de microbatteries au lithium de faibles dimensions. 30 La couche d'alumine ayant de bonnes propriétés barrière, elle pourrait assurer seule la protection en face supérieure de la microbatterie. On préfère toutefois utiliser un capot, car la protection surfacique est dans ce cas totale. Le capot est en effet imperméable à l'oxygène et l'humidité, comme le substrat. De préférence, l'électrode supérieure, située immédiatement sous la couche d'alumine 14, est formée exclusivement de lithium. On privilégie ainsi les 5 microbatteries de la technologie Li-métal, car le capot de protection satisfait pleinement aux exigences d'encapsulation fortes de cette technologie. En effet, l'électrode supérieure en lithium métallique nécessite une encapsulation optimale, qui peut être obtenue par l'association d'un capot et d'une couche tampon en alumine. On peut alors profiter pleinement des 10 avantages apportés par cette technologie : forte densité énergétique, tension nominale plus élevée et mise en oeuvre plus facile que la technologie Li-ion. Les figures 5 à 9 représentent des étapes de fabrication d'une microbatterie au lithium munie d'un dispositif d'encapsulation 12 selon la figure 3. L'étape de la figure 5 correspond à la formation de l'empilement 2 de couches 15 actives et les étapes des figures 6 à 9 correspondent à la formation et à la délimitation du dispositif d'encapsulation. La figure 5 représente le substrat 4 de départ et des collecteurs de courant 16a et 16b formés sur une face du substrat 4. Le substrat 4, par exemple, en silicium, polymère ou verre, mesure entre 100 pm et 1000 pm d'épaisseur. 20 Les collecteurs de courant 16a et 16b sont en matériau électriquement conducteur, par exemple en titane, tungstène ou en or. Ces collecteurs sont déposés sous forme de couches minces (200 nm environ), par dépôt physique en phase vapeur (PVD, « Physical Vapor Deposition » en anglais) par exemple. Ils sont destinés à former les bornes électriques de la 25 microbatterie, en contact avec l'anode et la cathode. La cathode 18, l'électrolyte 20 et l'anode 22 sont ensuite déposés successivement sur le substrat 4 et les collecteurs de courant métalliques 16a et 16b. La cathode 18, en TiOS, V205 ou TiS2, est déposée sur une partie du 30 collecteur cathodique 16a, par exemple par évaporation sous vide ou par pulvérisation cathodique. La couche d'électrolyte 20 en LiPON est déposée sur la cathode 18, ainsi que sur une partie du collecteur anodique 16b et sur la zone du substrat 4 séparant les collecteurs 16a et 16b. Le dépôt de l'électrolyte 20 est, par exemple, réalisé par pulvérisation cathodique de manière à obtenir une couche en LiPON exempte de défauts. Enfin, l'anode 22 est déposée sur la couche d'électrolyte 20 et le collecteur de courant anodique 16b. De préférence, l'anode 22 est formée de lithium métallique et déposée par évaporation sous vide. A l'étape de la figure 6, une couche d'alumine 14, ou oxyde d'aluminium, est déposée sur l'empilement 2 de couches actives, et notamment les surfaces libres de l'électrolyte 20 et l'anode 22. Dans un mode de mise en oeuvre préférentiel, la couche d'alumine 14 est obtenue par dépôt de couches atomiques (ALD, « Atomic Layer Deposition » en anglais). Le dépôt de l'alumine par ALD procure de nombreux avantages en comparaison des autres techniques de dépôt de couches minces, type CVD (« Chemical Vapor Deposition ») ou PVD (« Physical Vapor Deposition »). Cette technique permet notamment d'obtenir un dépôt conforme, c'est-à-dire d'une épaisseur sensiblement constante (variation de l'épaisseur de moins de 1 %). Les couches actives au lithium sont alors couvertes de façon homogène. Par ailleurs, une couche en alumine déposée par ALD est dense, ce qui favorise le blocage des ions lithium. Comme représenté sur la figure 6, la couche d'alumine déposée par ALD 20 recouvre la totalité du substrat 4 et de l'empilement 2, à savoir les collecteurs 16a, 16b, l'électrolyte 20 et l'anode 22. Le mode opératoire décrit ci-dessous a permis d'obtenir une couche d'alumine disposant d'excellentes propriétés barrière, tant pour le blocage du lithium que pour le blocage de ses espèces oxydantes. 25 Dans ce mode de mise en oeuvre, le dépôt ALD est réalisé à partir d'un premier précurseur organométallique contenant de l'aluminium, tel que le triméthyl-aluminium (TMA), et d'un deuxième précurseur contenant de l'eau, par exemple de l'eau dé-ionisée. La température du dépôt est, de préférence, choisie entre 80 °C et 150 °C, soit une température bien 30 inférieure à la température de fusion du lithium (environ 180 °C). On sait que la réaction de l'eau avec le lithium des couches actives est néfaste pour le fonctionnement de la microbatterie, c'est pourquoi on souhaite la protéger avec un dispositif d'encapsulation. L'eau est un oxydant majeur du lithium et, par conséquent, son utilisation comme précurseur dans le procédé ALD paraît inopportun. Pourtant, on constate de façon surprenante que le précurseur à base d'eau ne provoque aucune oxydation des couches actives pendant le dépôt ALD. Les microbatteries au lithium fabriquées selon ce mode opératoire ne présentent aucun dommage et sont électriquement fonctionnelles. Les deux précurseurs sont avantageusement introduits de manière séquentielle et cyclique, en commençant par le TMA. D'une part, cela permet aux molécules de chaque précurseur d'occuper les sites vacants pour former une couche atomique, avant l'introduction du précurseur suivant. D'autre part, cela laisse la possibilité de faire évacuer les molécules qui n'ont pas réagi, ainsi que les produits de réaction. Ainsi, chaque période d'introduction d'un précurseur est avantageusement suivie d'une période de purge, avant d'introduire le précurseur suivant. En d'autres termes, le dépôt ALD est 15 réalisé par une succession de cycles, dont le nombre dépend de l'épaisseur de la couche d'alumine. Chaque cycle comprend : une période d'introduction du TMA, par exemple de 40 secondes ; une période de purge, par exemple de 40 secondes également ; une période d'introduction de l'eau dé-ionisée (ex. 40 s) ; et 20 une période de purge (ex. 40 s). L'épaisseur de la couche d'alumine peut être contrôlée en ajustant le nombre de cycles. L'épaisseur optimale de la couche d'alumine est d'environ 50 nm, ce qui correspond par exemple à environ 500 cycles de 4 fois 40 s. La température optimale du dépôt est de l'ordre 80 °C. La couche d'alumine 25 obtenue dans ces conditions préférentielles présente les meilleures performances barrière et les couches actives au lithium sous-jacentes ne sont pas impactées. Après que la couche d'alumine 14 ait été formée (Fig.6), une couche de colle est déposée sur la couche d'alumine, avant le report du capot sur 30 l'empilement. Cette étape est représentée à la figure 7. Une couche de colle 10' est déposée sur la couche d'alumine 14. Elle est, de préférence, déposée pleine plaque, c'est-à-dire sur toute la surface de l'empilement 2 et du substrat 4. A la différence de la couche d'alumine 14, l'épaisseur de la couche 10' n'est pas constante. En effet, la couche 10' compense les variations de hauteur dues à l'empilement 2, de sorte à obtenir une face supérieure sensiblement plane, idéale pour le report ultérieur du capot. La colle utilisée pour fixer le capot sur l'empilement est formée d'un matériau polymérisable. Par matériau polymérisable, on entend une solution comprenant des monomères (ou prépolymères) et au moins un amorceur de polymérisation, de préférence de type cationique. Les monomères à base d'éthers vinyliques ou les monomères hétérocycliques (époxydes, lactones, éthers cycliques, époxysilicones...) peuvent être utilisés. Les monomères époxydes et éthers vinyliques étant particulièrement réactifs, ils seront privilégiés de manière à obtenir une polymérisation rapide. Certains produits du commerce, appelés communément résines photo-polymérisables ou thermodurcissables, comprennent ces monomères, notamment ceux commercialisés par la société Epoxy Technology sous la dénomination « OG » (0G146-178, UVO-114, 0G115, 0G114-4, 0G146) et sous la dénomination « Epo-Tek » (Epo-Tek-330, Epo-Tek-360). Les produits de la série « OG » sont réticulés par rayons UV tandis que les produits de la série « Epo-Tek » sont réticulés par voie thermique. Avantageusement, le matériau polymérisable a une viscosité inférieure à 1000 cPs (centipoise). Ainsi, la couche 10' épouse parfaitement les formes 25 de l'empilement 2. La couche de matériau polymérisable 10' est, de préférence, déposée sur l'ensemble d'un substrat par dépôt à la tournette. Cette technique est facile à mettre en oeuvre, bien adaptée aux matériaux polymères et permet en outre de contrôler simplement l'épaisseur de couche polymère. 30 L'épaisseur de la couche 10' est, de préférence, comprise entre 2 pm et 20 pm en fonction de la vitesse et la durée de rotation de la tournette. A titre d'exemple, une couche 10' de résine 0G146-178, de 10 pm d'épaisseur, est obtenue par dépôt à la tournette, à une vitesse de 1200 trs/min pendant 40 s. A la figure 8, le capot 8 est positionné sur la couche 10' en matériau polymérisable, en regard de l'empilement 2 de couches actives. De préférence, le capot 8 repose entièrement sur la couche 10'. Puis, le matériau polymérisable 10' est réticulé, thermiquement ou par rayons ultraviolets (300-500 nm) dans le cas d'un capot transparent, en verre par exemple. L'exposition aux rayons UV ou le traitement thermique permet le durcissement de la résine et la fixation du capot 8 sur l'empilement 2. De préférence, la réticulation des polymères thermosensibles s'effectue à une température comprise entre 80 °C et 150 °C pour éviter de dégrader les couches de lithium et la réticulation des polymères photosensibles s'opère par une exposition aux ultraviolets avec une densité de puissance de 100 mW/cm2 pendant une durée inférieure à 10 mn. Par exemple, sur la figure 8, la couche de résine 0G146-178 de 10 pm d'épaisseur est durcie après 5 min d'exposition UV à travers le capot 8. Enfin, l'étape de la figure 9 consiste à graver successivement la couche de polymère durci 10' et la couche d'alumine 14 sur les bords de la microbatterie, afin de libérer une partie des collecteurs 16a et 16b. La couche 10' est avantageusement gravée de façon anisotrope et sélective, en utilisant le capot 8 comme masque de gravure. Cette gravure est, de préférence, mise en oeuvre par un plasma d'oxygène 02 ou d'un mélange gazeux d'oxygène (02) et gaz fluoré (SF6). Dans le cas de la résine 0G146178 de 10 pm d'épaisseur, la couche 10' est par exemple gravée jusqu'à la couche d'alumine 14 après application d'un plasma 02 (90 sccm)/SF6 (10 sccm) à une puissance de 100 W pendant 10 mn. La couche 14 en alumine peut être réalisée par voie sèche ou humide. Les solutions de gravure humide sont typiquement à base d'acide fluorhydrique (HF). Un mélange d'acide nitrique, d'acide phosphorique et d'acide acétique (HNO3/H3PO4/CH3COOH) peut également être employé. La gravure d'une couche en alumine de 50 nm d'épaisseur est, par exemple, réalisée en plongeant le substrat dans un bain d'HF pendant 2 min ou dans un mélange de HNO3 (1-5%)/H3PO4 (65-75%)/CH3COOH (5-10%) dilué dans l'eau pendant 12 min. Les solutions de gravure sèche consistent en un plasma chloré, par exemple BCI2, CCI4, CHCI3 ou SiCl4. De nombreuses variantes et modifications de la microbatterie au lithium et de son procédé de fabrication apparaitront à l'homme du métier. En particulier, le collage du capot 8 pourra être réalisé au niveau des faces latérales de l'empilement 2, plutôt qu'en face supérieure. Un cordon de colle de moins de 100 pm de hauteur peut être formé autour du composant, par exemple au moyen d'une seringue à débit et ouverture commandés. A la différence de l'art antérieur, le cordon de colle sera disposé en contact avec l'empilement de couches actives, en ayant au préalable recouvert les flancs de l'empilement par la couche d'alumine. Cet agencement permet de réduire l'épaisseur de la microbatterie de quelques micromètres, pour certaines applications dans lesquelles les contraintes d'intégration sont fortes. L'encapsulation de la microbatterie est, pour autant, optimisée car le capot et la couche d'alumine assurent respectivement la protection surfacique et la protection des flancs de la microbatterie. REVENDICATIONS1. Microbatterie au lithium comprenant un empilement (2) de couches actives (18, 20, 22) contenant du lithium et un capot de protection (8) couvrant l'empilement de couches actives, caractérisée en ce que le capot de protection est fixé à l'empilement de couches actives au moyen d'une couche de colle (10') et en ce qu'elle comporte une couche tampon (14) en alumine disposée entre l'empilement (2) de couches actives et la couche de colle (10'). 2. Microbatterie selon la revendication 1, dans laquelle la couche tampon (14) en alumine couvre entièrement l'empilement de couches actives. 3. Microbatterie selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle l'empilement (2) de couches actives comporte une électrode (22) en lithium métallique en contact avec la couche tampon (14) en alumine. 4. Microbatterie selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle la couche tampon (14) en alumine a une épaisseur comprise entre 5 nm et 50 nm. 5. Procédé de fabrication d'une microbatterie au lithium, comprenant les étapes suivantes : - prévoir un empilement (2) de couches actives (18, 20, 22) contenant du lithium ; - déposer une couche d'alumine (14) sur l'empilement de couches actives ; - déposer une couche en matériau polymérisable (10') sur la couche d'alumine ; couvrir l'empilement (2) de couches actives et la couche en matériau polymérisable (10') par un capot de protection (8) ; et réticuler le matériau polymérisable pour coller le capot (8) à l'empilement (2) de couches actives. 6. Procédé selon la revendication 5, dans lequel la couche d'alumine (14) est obtenue par dépôt de couches atomiques. 7. Procédé selon la revendication 6, dans lequel le dépôt de couches atomiques est réalisé à partir d'un premier précurseur contenant de l'aluminium et d'un deuxième précurseur contenant de l'eau. 8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel les premier et deuxième précurseurs sont utilisés de façon successive, en commençant par le premier précurseur. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, dans lequel le dépôt de couches atomiques est réalisé à une température comprise entre 80 °C et 150 °C.