FR 2982084 A1 20130503 FR 1159896 A 20111102 - 1 - Procédé de fabrication d'électrodes de batteries entièrement solides Domaine de l'invention La présente invention appartient au domaine des batteries et notamment des batteries à ions de lithium. Elle concerne plus particulièrement les électrodes de batteries à ions de lithium entièrement solides, et un nouveau procédé de fabrication de telles électrodes de batteries. État de la technique La batterie idéale pour l'alimentation des dispositifs électriques autonomes (tels que : téléphone et ordinateurs portables, outils portatifs, capteurs autonomes) ou bien pour la traction des véhicules électriques présenterait une durée de vie élevée, serait capable de stocker à la fois de grandes quantités d'énergie et de puissance, et ne présenterait pas de risque de surchauffe voire d'explosion. Actuellement ces dispositifs électriques sont alimentés essentiellement par des batteries à ions de lithium (appelées ici « batteries Li-ion »), qui présentent la meilleure densité d'énergie parmi les différentes technologies de stockage proposées. Cependant, il existe différentes architectures et compositions chimiques d'électrodes permettant de réaliser des batteries Li-ion. Les modes de fabrication des batteries Li-ion sont présentés dans de nombreux articles et brevets, et l'ouvrage « Advances in Lithium-Ion Batteries » (ed. W. van Schalkwijk et B. Scrosati), paru en 2002 (Kluever Academic / Plenum Publishers) en donne un bon état des lieux. Les électrodes des batteries Li-ion peuvent être fabriquées à l'aide de techniques de revêtement (notamment : roll coating, doctor blade, tape casting). Avec ces procédés, les matériaux actifs servant à réaliser les électrodes sont sous forme de poudres dont la taille moyenne des particules se situe entre 5 et 15 pm de diamètre. Ces particules sont intégrées dans une encre qui est constituée de ces particules et déposée à la surface d'un substrat. Ces techniques permettent de réaliser des dépôts d'épaisseurs comprises entre 50 et 400 pm. En fonction de l'épaisseur des dépôts, de leurs porosités et de la taille des particules actives, la puissance et énergie de la batterie peuvent être modulées. - 2 - Les encres (ou pâtes) déposées pour former les électrodes contiennent des particules de matériaux actifs, mais également des liants (organiques), de la poudre de carbone permettant d'assurer le contact électrique entre les particules, et des solvants qui sont évaporés lors de l'étape de séchage des électrodes. Pour améliorer la qualité des contacts électriques entre les particules et compacter les dépôts, une étape de calandrage est réalisée sur les électrodes. Après cette étape de compression, les particules actives des électrodes occupent environ 60% du volume du dépôt, ce qui signifie qu'il reste généralement 40% de porosités entre les particules. Le contact entre chacune des particules est essentiellement ponctuel et la structure de l'électrode est poreuse. Les porosités sont remplies par un électrolyte, qui peut être liquide (solvant aprotique dans lequel un sel de lithium est dissous) ou sous forme de gel plus ou moins polymérisé imprégné d'un sel de lithium. Les épaisseurs des électrodes de batteries li-ion étant généralement comprises entre 50 et 400 pm, le transport des ions lithium dans l'épaisseur de l'électrode s'effectue via les porosités qui sont remplies d'électrolyte (contenant des sels de lithium). En fonction de la quantité et de la taille des porosités, la vitesse de diffusion du lithium dans l'épaisseur de l'électrode varie. Pour assurer le bon fonctionnement de la batterie, les ions lithium doivent diffuser à la fois dans l'épaisseur de la particule et dans l'épaisseur de l'électrode (ie. du revêtement). La diffusion dans la particule de matériau actif, est plus lente que dans l'électrolyte. Aussi, pour garantir de bonnes performances en puissances des batteries, la taille des particules doit être réduite, et dans les batteries li-ion standard elle se situe entre 5 et 15 pm. D'autre part, en fonction de l'épaisseur des dépôts, des tailles et densité de particules actives contenues dans l'encre, les puissances et énergies de la batterie peuvent être modulées. L'augmentation des densités d'énergie se fait nécessairement au détriment de la densité de puissance. Les cellules batterie de fortes puissances nécessitent d'utiliser des électrodes et séparateurs de faibles épaisseurs et très poreux, alors que l'accroissement de la densité d'énergie demande au contraire d'accroitre ces mêmes épaisseurs et de réduire le taux de porosité. L'article "Optimization of Porosity and Thickness of a Battery Electrode by Means of a Reaction-Zone Model" par John Newman, paru dans J. Electrochem. Soc., Vol. 142, No.1 en janvier 1995, démontre les effets respectifs des épaisseurs d'électrodes et de leur porosité sur leur régime de décharge (puissance) et densité d'énergie. - 3 - Cependant l'augmentation de la porosité dans les électrodes tend à détériorer la densité d'énergie de la batterie. Pour accroitre la densité d'énergie des électrodes, il est être nécessaire de réduire la porosité. Cependant, dans les batteries Li-ion actuelles, ce sont essentiellement les porosités remplies d'électrolyte situées entre les particules actives qui permettent d'assurer la diffusion des ions lithium dans l'électrode. En l'absence de porosités remplies d'électrolyte, le transport des ions lithium d'une particule à l'autre se fait uniquement au niveau des contacts entre les particules, ce contact étant sensiblement ponctuel. La résistance au transport des ions lithium est telle que la batterie ne peut pas fonctionner. En outre, pour fonctionner convenablement, les porosités des électrodes doivent être remplies d'électrolyte. Ce remplissage n'est possible que si les porosités sont ouvertes. De plus, en fonction de la taille des porosités, de leur tortuosité, l'imprégnation de l'électrode avec l'électrolyte peut devenir très difficile, voire impossible. Lorsque le taux de porosité, imprégné d'électrolyte, diminue, la résistance électrique du dépôt diminue et sa résistance ionique augmente. Lorsque la porosité descend en dessous de 30% voire 20%, la résistance ionique augmente fortement car certaines porosités sont alors susceptibles de se refermer, ce qui empêche le mouillage de l'électrode par l'électrolyte. Par conséquent, dès lors que l'on cherche à réaliser des films d'électrodes sans porosités pour augmenter la densité d'énergie, il convient de limiter l'épaisseur de ces films à moins de 20 pm, et de préférence moins de 10 pm, afin de permettre la diffusion rapide des ions lithium dans le solide, sans perte de puissance. Or, les techniques actuelles de dépôt décrites ci-dessus ne permettent pas de maîtriser précisément l'épaisseur de dépôt. De plus les extraits secs utilisés et les viscosités des encres associées ne permettent pas de descendre en dessous de 20 pm d'épaisseur. Un autre mode de réalisation de films d'électrodes a été proposé. Il s'agit de déposer par voie sous vide un film mince de matériaux d'électrode à insertion du lithium. Cette technique permet d'obtenir des films denses, sans porosités, ayant par conséquent d'excellentes densités d'énergie, et tenues en températures. L'absence de porosités permet d'assurer le transport des ions lithium par diffusion à travers le film, sans avoir recours à l'utilisation d'électrolytes organiques à base de polymères ou de solvant contenant des sels de lithium. De tels films peuvent recouvrir la totalité de l'électrode, y compris ses bords. De tels films totalement inorganiques confèrent d'excellentes performances en vieillissement, sécurité et tenue en température. - 4 - Le dépôt par PVD est la technologie la plus utilisée actuellement pour la fabrication des microbatteries en couches minces. En effet, ces applications nécessitent des films exempts de porosité et d'autres défauts ponctuels pour garantir une faible résistivité électrique, et la bonne conduction ionique nécessaires au bon fonctionnement des dispositifs. La vitesse de dépôt obtenue avec de telles technologies est de l'ordre de 0,1 pm à 1 pm par heure. Les techniques de dépôt PVD permettent d'obtenir des dépôts de très bonne qualité, ne contenant quasiment pas de défauts ponctuels, et permettent de réaliser des dépôts à des températures relativement faibles. Cependant, du fait de la différence de vitesse d'évaporation entre les différents éléments, il est difficile de déposer des alliages complexes avec de telles techniques, et de maîtriser la stoechiométrie du dépôt. Cette technique est parfaitement adaptée à la réalisation de couches minces, mais dès que l'on cherche à augmenter l'épaisseur de dépôt (a titre d'exemple des épaisseurs supérieures à 5 pm), des croissances colonnaires apparaissent, et le temps de dépôt devient trop important pour envisager une utilisation industrielle dans le domaine des microbatteries en couches minces. De plus, les techniques de dépôt sous vide utilisées pour réaliser de tels films sont très couteuses et difficiles à mettre en oeuvre industriellement sur de larges surfaces, avec une productivité élevée. Les autres technologies actuellement disponibles pour réaliser des couches minces, comprennent des modes de réalisation basés sur la densification de dépôts compacts de particules. Parmi ces techniques on peut citer la réalisation de dépôts par voie sol-gel. Cette technique consiste à déposer sur la surface d'un substrat un réseau polymérique obtenu après des étapes d'hydrolyse, polymérisation et condensation. La transition sol-gel apparait durant l'évaporation du solvant qui accélère les processus réactionnels en surface. Cette technique permet de réaliser des dépôts compacts de très faible épaisseur. Les films ainsi obtenus ont une épaisseur de l'ordre de la centaine de nanomètres. Ces épaisseurs sont alors trop faibles pour permettre un stockage d'énergie raisonnable dans les applications de batteries. Pour accroître l'épaisseur du dépôt sans induire de risques d'apparition de fissures ou craquelures, il convient de procéder par étapes successives. De ce fait, cette technique pose des problèmes de productivité industrielle, dès lors que l'on cherche à augmenter l'épaisseur du dépôt. Les techniques d'impression utilisant des encres fluides peuvent permettre de réaliser des dépôts minces. Cependant, la fluidité des encres dépend de la teneur en extraits - 5 - secs, des tailles de particules, de la nature du solvant et d'éventuels composés organiques dissous dans cette encre. Pour réaliser des dépôts en couches minces, il est nécessaire de réduire l'extrait sec, et de ne pas avoir des tailles de particules trop faibles (des tailles supérieures à la centaine de nanomètres). En revanche, cette augmentation de la quantité de solvant conduit à accroitre les risques de former des fissures, cavités et agglomérats dans le dépôt, pendant les phases de séchage. Les dépôts deviennent alors extrêmement difficiles à compacter. La compaction finale du dépôt est obtenue par évaporation du solvant contenu dans l'encre. Cette étape de séchage est difficile à maitriser car les régions de plus faibles densités, avec des porosités localement plus faibles, sécheront plus vite que les zones de plus fortes densités. Les effets capillaires induits par ces différences locales de niveau de séchage conduiront les zones de plus fortes densités, encore imprégnées, à se regrouper. La densification de ces dépôts ne peut être effectuée qu'à l'aide de compaction sous de très fortes pressions (d'autant plus élevées que la taille des particules sera faibles) et/ou de frittage à des températures élevées, proches de la température de fusion du matériau constituant les particules. Il est nécessaire de chauffer à des températures très élevées pour arriver à densifier la structure initialement poreuse. Les paliers de montée en température sont délicats à maitriser si l'on veut que le retreint liée au comblement de toutes ces porosités dans l'épaisseur du dépôt ne donne pas lieu à des fissures. De plus, tous les substrats ne supportent pas de telles températures. Il existe enfin une dernière alternative pour le dépôt de matériaux en couches minces dans des dispositifs électrochimiques et en particulier les batteries. Il s'agit du dépôt de particules par électrophorèse. Par exemple, le brevet US 6,887,361 (University of California) décrit un procédé pour former une membrane poreuse céramique sur un substrat de dispositif électrochimique à l'état solide. Le dépôt est réalisé par électrophorèse d'une suspension de particules de céramique dans de l'alcool isopropylique, suivi d'un séchage et d'un frittage. Le procédé est applicable essentiellement aux piles à combustible à oxyde solide (SOFC). Dans ce brevet, on ne cherche pas à obtenir un film dense, exempt de porosités. Les demandes de brevet US 2007/184345, WO 2007/061928, US 2008/286651 et VVO 2010/011569 (Infinite Power Solutions) décrivent des dispositifs électrochimiques comprenant une cathode déposée par des techniques autres qu'un dépôt sous vide ; elles décrivent notamment le dépôt d'une couche cathodique par électrophorèse à partir d'une poudre de taille micronique de LiCo02 ; cette couche comporte cependant des cavités, et elle doit être densifiée par un frittage à haute température, proche de la - 6 - température de fusion du matériau déposé. Les autres parties de la batterie sont obtenues par dépôt sous vide. Le brevet US 7,790,967 (3G Solar Ltd) décrit également le dépôt d'une électrode nanoporeuse en TiO2 par électrophorèse à partir d'une suspension de nanoparticules de Ti02; L'épaisseur de l'électrode est de l'ordre de 10 pm. Le brevet JP 4501247 (DENSO) décrit un procédé de fabrication d'une électrode pour une batterie dans lequel une couche d'un matériau actif est formée par électrophorèse. Plus précisément, ce brevet décrit un procédé dans lequel un collecteur de charge est plongé dans une solution comprenant une matière active dans un solvant, ce procédé étant une partie d'un procédé plus général de fabrication d'une électrode pour batterie. L'électrophorèse de ladite matière active contenue dans la solution s'effectue en générant un gradient de potentiel électrique dans cette solution, la matière active formant une couche de matériau actif sur la surface du collecteur, et adhérant à ladite surface de collecteur. La fabrication de cathodes pour batteries Li-ion par ce procédé est mentionnée. Les techniques employées pour réaliser l'anode et l'électrolyte ne sont pas indiquées. Les cathodes obtenues dans ce brevet sont poreuses. Objets de l'invention Un premier but de l'invention consiste à réaliser des couches d'électrodes (anode et/ou cathode) pour batterie Li-ion, comportant peu de défauts. Un autre but de l'invention est de fabriquer des couches d'électrode pour batterie Li-ion industriellement, à grande échelle, et sur de grandes surfaces à moindre cout. Un autre but de l'invention est de réaliser des couches de grande précision géométrique, avec une très faible quantité de défauts et avec des vitesses de dépôt élevées, pouvant servir à la réalisation de films d'électrode pour batteries. Ces buts sont atteints grâce à un procédé de fabrication d'une couche mince d'électrode (anode ou cathode) dans une batterie entièrement solide, comprenant les étapes successives de : a) Approvisionnement d'un substrat, b) Dépôt d'une couche d'électrode par électrophorèse, à partir d'une suspension contenant des particules de matériaux d'électrode, sur ledit substrat, c) Séchage de la couche obtenue à l'étape précédente, d) Densification thermique de la couche d'électrode obtenue à l'étape précédente par frittage, le frittage étant effectué à une température TR qui, de préférence, - 7 - ne dépasse pas 0,7 fois la température de fusion (exprimée en °C), encore plus préférentiellement ne dépasse par 0,5 fois la température de fusion (exprimée en °C) et très préférentiellement ne dépasse par 0,3 fois la température de fusion (exprimée en °C) du matériau d'électrode le plus fusible.. Le terme « température de fusion » inclut ici la température de décomposition pour le cas des substances qui n'ont pas de point de fusion. Avantageusement, le procédé de fabrication d'électrode comprend en outre une étape de compaction mécanique (typiquement par compression) de la couche séchée, effectuée avant ou simultanément à l'étape de densification thermique. La combinaison de l'application d'une pression et d'un traitement thermique permet de réaliser la densification thermique à des températures plus basses que si elle est effectuée seule. De préférence, l'étape de compaction mécanique est réalisée par application d'une pression de compression supérieure à 250 MPa, de préférence supérieure à 400 MPa et encore plus préférentiellement supérieure à 500 MPa. Dans certains modes de réalisation de l'invention, l'étape de densification thermique et/ou de compaction mécanique est réalisée sous vide, afin d'éviter l'oxydation du substrat métallique. Ledit substrat peut être un substrat conducteur. De préférence, la taille moyenne D50 des particules de matériau d'électrode est inférieure à 1 pm, de préférence inférieure à 100 nm et encore plus préférentiellement inférieure ou égale à 30 nm. Ladite électrode peut être une anode ou une cathode. De préférence, les nanoparticules utilisées pour la réalisation du film mince d'électrode, et notamment de cathode sont choisies, de manière non exhaustive, parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : LiMn2O4, LiCo02, LiNiO2, LiMn1,5Ni0,504, LiMn1,5N10,5- xXx04 (X = AI, Fe, Cr, Co, Rh, Nd, autres terres rares' et 0 Description des figures Les figures 1(a),(b),(c) et (d) montrent de manière schématique des couches formées par empilement de particules de forme approximativement isotrope. La figure 1(e) montre un film déposé par PVD sur un substrat. La figure 1(a) montre de manière schématique un dépôt compact de particules 2 sur un substrat 1. Toutes les particules 2 sont en contact avec leurs premiers voisins 2a, 2b, 2c, 2d. Les porosités 3 se situent entre les particules 2. Sur cette figure (ainsi que sur les figures 1(b), 1(c) et 1(d)), on a volontairement représenté un empilement moins dense que l'empilement hexagonal compact, afin de rendre mieux visible les porosités 3 entre les particules 2. La figure 1(b) montre de manière schématique un dépôt compact de particules 2 tel qu'il peut être obtenu en utilisant le procédé selon l'invention. La figure 1(c) montre un dépôt de particules 2 sur un substrat, le dépôt présentant des défauts. Ces défauts sont essentiellement des cavités 6 liées à la présence d'agglomérats 5 ; ces cavités 6 représentent donc une porosité inter-agglomérat, contrairement à la porosité intra-agglomérat 3 qui se situe à une échelle géométrique beaucoup plus fine. Dans le cas d'un dépôt par le procédé selon l'invention, ces agglomérats 5 se forment lorsque la suspension utilisée n'est pas suffisamment stable. -10- La figure 1(d) montre un dépôt de particules avec des fissures apparues après séchage ; ces fissures peuvent être des fissures ouvertes (débouchantes) 7 ou des fissures internes (non débouchantes) 8. La figure 1(e) illustre un dépôt dense 4 tel qu'il peut être obtenu par des techniques de type PVD ; la porosité de ces dépôts denses est proche de 0% car ils ne sont pas formées par empilement de particules. Les figures 2 à 6 illustrent des modes de réalisation de l'invention. Les figures 2a, 2a', 2b, 2b', montrent les produits obtenus à différents étapes d'un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention. Les figures 3a, 3a', 3b, 3b', montrent les produits obtenus à différents étapes d'un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention. Les figures 4a, 4b, 4c, 4d montrent les produits obtenus à différents étapes d'un autre mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, dans lequel le substrat sur lequel on dépose les électrodes est une bande de polymère métallisé. Les figures 5a, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f montrent les produits obtenus à différents étapes d'un autre mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, dans lequel le substrat sur lequel on dépose les électrodes est constitué d'une feuille métallique recouverte sur ses deux faces de polymère photosensible, pouvant servir à réaliser une épargne. Les figures 6a, 6b, 6c, 6d montrent les produits obtenus à différentes étapes d'un autre mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, dans lequel le substrat sur lequel on dépose les électrodes est un substrat isolant comportant des zones métallisées. Les diagrammes de la figure 7 et de la figure 11 présentent des modes de réalisation typiques du procédé selon l'invention. Les figures 8a et 8b représentent de manière schématique des dispositifs pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. La figure 9 illustre le principe de fonctionnement des dépôts par électrophorèse La figure 10 est une représentation schématique d'un dépôt de nanoparticules de deux tailles différentes. Les figures 12a, 12b, 12c représentent des chemins de diffusion du lithium dans différentes configurations d'assemblages de particules. La figure 12d représente l'évolution de la porosité en fonction de la densité du dépôt. Liste de références 1 Substrat 2,2a,2b,2c,2d Particules 3 Pore 4 Film obtenu par dépôt PVD Agglomérat 6 Cavité 7 Fissure débouchante 8 Fissure non débouchante 9 Masque isolant 17 Particules de taille inférieure à celle des particules 2 24 Cathode 26 Alimentation électrique 27 Contre-électrode 28 Dépôt 29 Suspension colloïdale 30 Particules 41 Dérouleur 42 Suspension colloïdale 43 Contre-électrode 44 Substrat (feuillard) 45 Four de séchage 46 Dispositif de compaction mécanique 47 Séchage du substrat revêtu du film déposé par électrophorèse 50 Tranche du substrat 60 Substrat (film polymère métallisé) (figures 4a, à 4d) 61, 61a, 61b Film polymère 62 Couche métallique du substrat 60 ou du « sandwich » 70 63 Couche de cathode 64a, 64b Epargne 65 Substrat isolant 66 Couche d'électrolyte 67 Couche d'anode 68a, 68b Films métalliques sur substrat isolant 65 70 Film métallique recouvert de résine photosensible sur ses deux faces (figures 5a à 5f) 76 Zone de contact surfacique entre les particules et l'électrolyte contenu dans les porosités (chemin de diffusion peu résistif) 77 Zone de contact ponctuel entre les particules (la diffusion du lithium étant limitée sur ce contact ponctuel) -12- Soudure des particules durant la densification ayant donné lieu à 78 l'apparition de chemins de diffusion dans le solide, pour le transport des charges électriques (électrons et ions) 79 Phase fusible ayant consolidé les particules entre elles Description détaillée de l'invention Dans le cadre de la présente invention, on entend par « dépôt électrophorétique » ou « dépôt par électrophorèse » une couche déposée par un procédé de dépôt de particules électriquement chargées en surface, préalablement mises en suspension dans un milieu liquide, sur un substrat, le déplacement des particules vers la surface du substrat étant généré par l'application d'un champ électrique entre deux électrodes placées dans la suspension, l'une des électrodes constituant le substrat conducteur sur lequel le dépôt est effectué, l'autre électrode (« contre-électrode ») étant posée dans la phase liquide. Un dépôt compact de particules se forme sur le substrat, si le potentiel zêta présente une valeur appropriée comme il sera expliqué ci-dessous. Dans le cadre du présent document, la taille d'une particule est sa plus grande dimension. Ainsi, une « nanoparticule » est une particule dont au moins une des dimensions est inférieure à 100 nm. La « taille de particules » ou « taille moyenne de particules » d'une poudre ou d'un ensemble de particules est donnée en D50. Le « potentiel zêta » d'une suspension est défini comme la différence de potentiel existant entre le sein de la solution, et le plan de cisaillement de la particule. Il est représentatif de la stabilité d'une suspension. Le plan de cisaillement (ou rayon hydrodynamique) correspond à une sphère imaginaire autour de la particule dans laquelle le solvant bouge avec la particule lorsque les particules se déplacent dans la solution. La base théorique et la détermination du potentiel zêta sont connues de l'électrochimiste qui développe des dépôts par électrophorèse ; il peut être déduit de la mobilité électrophorétique. Pour la mesure directe du potentiel zêta, il existe différentes techniques et dispositifs commercialisés. Lorsque l'extrait sec est faible, on peut mesurer le potentiel zêta à l'aide d'un équipement de type Zetasizer Nano ZS de la société Malvern. Cet équipement mesure à l'aide de dispositifs optiques les vitesses de déplacement des particules en fonction du champ électrique qui leur est appliquée. Aussi, il faut que la solution soit très diluée pour permettre le passage de la lumière. Lorsque l'extrait sec est plus important, il est possible de mesurer le potentiel zêta à l'aide de techniques d'acoustophorèse, en utilisant par exemple un dispositif appelé « acoustosizer » de la société Colloidal Dynamics. La vitesse des particules est alors mesurée par des techniques acoustiques. -13- On entend par « dispersant » un composé apte à stabiliser la suspension colloïdale et notamment à éviter que les particules ne s'agglomèrent. On entend par « frittage » un processus faisant évoluer par traitement thermique un système constitué de particules individuelles (ou un aggloméré poreux), en l'absence de pression externe exercée ou sous l'effet d'une telle pression, de sorte qu'au moins certaines des propriétés du système (sinon toutes) soient modifiées dans le sens d'une réduction de l'énergie libre globale du système. Parallèlement, cette évolution entraîne une diminution importante (sinon complète) de la porosité initiale. Enfin, le processus suppose qu'au moins une phase solide existe constamment pendant tout le traitement thermique, de façon à conserver une certaine stabilité de forme et de dimension au système considéré. Le procédé selon l'invention comprend l'étape essentielle de dépôt électrophorétique de particules de matériaux de cathode et/ou d'anode. Un tel procédé permet de réduire de manière significative la quantité de défauts dans les couches obtenues par rapport aux procédés connus, notamment les grandes porosités, cavités, craquelures et agglomérats ; la qualité des couches déposées est meilleure lorsque la suspension à partir de laquelle le dépôt est effectué est suffisamment stable. Le procédé selon l'invention permet le dépôt de couches d'électrodes. Ces couches ont une épaisseur généralement inférieure à environ 20 pm, de préférence inférieure à environ 10 pm, et encore plus préférentiellement inférieure à 5 pm. Le procédé de fabrication de batteries en couches minces entièrement solides selon la présente invention présente une alternative avantageuse aux techniques connues, et particulièrement aux techniques de dépôt PVD, en permettant de faire des dépôts très denses, à basse température, sur de grandes surfaces de substrat, avec des vitesses de dépôt élevées, des épaisseurs contrôlables facilement et de manière très précise (en fonction de la taille des particules), sur un large intervalle d'épaisseur pouvant aller du dixième de micron à plusieurs dizaines voire centaines de microns, sans induire d'investissements très couteux dans des machines complexes et peu productives. Les figures la à le illustrent les différences entre les porosités 3 intra agglomérats, situées entre les particules 2, et que nous appellerons dans ce document « porosités », et les porosités 6 inter agglomérats, situées entre les agglomérats 5 et que nous appellerons « cavités » 6. Un dépôt compact est un dépôt qui ne comporte pas de cavités, ni de fissures. En revanche, il comporte des porosités dont le taux s'exprime en pourcentage et se calcule de la manière suivante : -14- Porosité [%] = [(densité du matériau massif - densité vraie)/densité vraie] x 100 sachant que la « densité vraie » est la densité mesurée sur la couche déposée et que la densité du matériau massif est la densité massive du matériau déposé, en faisant abstraction de la présence de particules dont l'empilement forme une porosité. Nous décrivons ici en détail chacune des étapes du procédé selon l'invention. Préparation des suspensions De manière à avoir un dépôt parfaitement homogène en épaisseur, sans rugosité, et avec peu de défauts et le plus compact possible à l'issue du procédé de dépôt par électrophorèse, le dépôt est préférentiellement réalisé à partir de suspensions colloïdales SP+ ou SP- très stables. La stabilité des suspensions dépend de la taille des particules P+, P-, ainsi que de la nature du solvant utilisé et du stabilisant ayant servi à stabiliser la suspension colloïdale. On entend par « SP+ » une suspension colloïdale contenant des particules « P+ » de matériaux permettant d'obtenir un film de cathode, par « SP- » une suspension colloïdale contenant des particules P- de matériaux permettant d'obtenir un film d'anode. Afin de faciliter la densification ultérieure éventuelle du dépôt et de garantir la possibilité de faire des dépôts en couches minces avec des épaisseurs et des profils (rugosité) très précis, des suspensions colloïdales contenant des particules de taille nanométriques sont préférées. Ces particules ont de préférence une taille de particules moyenne D50 inférieure à 100 nm, et plus préférentiellement (surtout dans le cas où la suspension comporte des particules de matériaux à point de fusion élevés) inférieure à 30 nm. En effet, avec des particules de faibles dimensions, la densification du dépôt est grandement facilitée dès lors que le dépôt est compact. La réalisation de dépôts électrophorétiques à partir de suspensions colloïdales stables permet d'éviter la formation de pores, de cavités et d'amas préjudiciables à la densification du dépôt. De plus, avec cette technique, il est possible d'obtenir des dépôts ayant une excellente compacité, sans nécessairement avoir obligatoirement recours à des pressages mécaniques, et quelle que soit la taille des particules déposées. La stabilité des suspensions peut être exprimée par leur potentiel zêta. Dans le cadre de la présente invention, la suspension est considérée comme stable lorsque son potentiel zêta est supérieur à 40 mV, et très stable lorsqu'il est supérieur à 60 mV. En revanche, lorsque le potentiel zêta est inférieur à 20 mV, des agglomérats de particules -15- peuvent apparaitre. Aussi, pour garantir la bonne compacité du film mince, les dépôts sont de préférence réalisés à partir de suspensions colloïdales ayant un potentiel zêta supérieur à 40 mV, et encore plus préférentiellement 60 mV (en valeur absolue). Les suspensions colloïdales destinées à être utilisées en électrophorèse comportent un solvant isolant électrique, qui peut être un solvant organique, ou de l'eau déminéralisée, ou un mélange de solvants, et des particules à déposer ; les suspensions colloïdales peuvent également comporter un ou plusieurs stabilisants. Dans une suspension stable, les particules ne s'agglomèrent pas entre elles pour créer des amas susceptibles d'induire des cavités, agglomérats et/ou défauts importants dans le dépôt. Les particules restent isolées dans la suspension. Aussi, dans un mode de réalisation de la présente invention, la stabilité de la suspension nécessaire à l'obtention d'un dépôt compact est obtenue grâce à l'ajout de stabilisants. Le stabilisant permet d'éviter la floculation des poudres et la formation d'agglomérats. Il peut agir par un effet électrostatique ou par un effet stérique. La stabilisation électrostatique est basée sur les interactions électrostatiques entre des charges et est obtenue par la distribution d'espèces chargées (ions) dans la solution. La stabilisation électrostatique est contrôlée par la charge de surface des particules ; elle peut par conséquent dépendre du pH. La stabilisation stérique met en oeuvre des polymères, tensio-actifs non ioniques voire des protéines, qui, ajoutés à la suspension, viennent s'absorber à la surface des particules pour causer la répulsion par encombrement de l'espace inter-particulaire. Une combinaison des deux mécanismes de stabilisation est également possible. Dans le cadre de la présente invention, on préfère la stabilisation électrostatique qui est facile à mettre en oeuvre, réversible, peu onéreuse, et qui facilite les processus ultérieurs de consolidation. Lorsque l'eau est utilisée comme solvant, des tensions de dépôt inférieures à 5 V doivent être privilégiées. En effet, au-delà de 5 V l'eau risque de subir une électrolyse donnant lieu à des productions de gaz sur les électrodes qui rendent les dépôts poreux et diminuent leur adhérence sur le substrat. Par ailleurs, les réactions galvaniques en milieu aqueux donnent lieu à la formation de cations métalliques susceptibles de polluer les dépôts. Dans un mode de réalisation préféré, les dépôts se font en phase solvantée. Il est ainsi possible de travailler à des valeurs de tension plus élevées, augmentant ainsi les vitesses de dépôts. Selon l'invention, les nanoparticules utilisées pour la réalisation du film mince de cathode peuvent être choisies de manière préférée mais non exhaustive parmi un ou -16- plusieurs des matériaux suivants : LiMn2O4, LiCoO2, LiNi02, LiMn1,5Nio,504, LiMn1,5Nio,5_ xXx04(X = Al, Fe, Cr, Co, Rh, Nd, autres terres rares' et 0 La conductivité électrique de la suspension peut être contrôlée pour obtenir un gradient de potentiel important entre les deux électrodes, sans risque de claquage diélectrique. De préférence la conductivité de la suspension colloïdale est comprise entre 1 et 20 pS/cm. Des acides et bases fortes peuvent être ajoutés en faible quantité pour contrôler la conductivité de la suspension et charger les surfaces des particules. Pour obtenir une suspension stable, avec des particules de tailles nanométriques sans agglomérats, il peut être nécessaire de réaliser une étape de broyage et/ou de dispersion des poudres, préalablement à la mise en suspension des nanoparticules, afin de désagglomérer les particules et éventuellement d'ajuster leur taille (pour obtenir une taille moyenne inférieure à 100 nm ou même inférieure à 30 nm) et de réduire la dispersion de taille. Des ultrasons peuvent également être mis en oeuvre pour aider à la désagglomération et à la mise en suspension des particules. Les défauts créés dans les particules pendant les étapes de broyage dispersion, sont également susceptibles de diminuer la température de densification, au même titre que la réalisation de compressions mécaniques. Dépôt des couches Selon l'invention, la couche d'électrode est déposée par voie électrophorétique. Le dépôt électrophorétique de particules se fait par l'application d'un champ électrique entre le substrat sur lequel est réalisé le dépôt et une contre-électrode, permettant de mettre les particules chargées de la suspension colloïdale en mouvement, et de les -18- déposer sur le substrat. L'absence de liants et d'autres solvants déposés en surface avec les particules permet d'obtenir des dépôts très compacts. La compacité obtenue grâce au dépôt électrophorétique, et l'absence de composés organiques en grande quantité dans le dépôt permet de limiter voire d'éviter les risques de craquelures ou d'apparition d'autres défauts dans le dépôt pendant les étapes de séchage. D'autre part, du fait que le dépôt obtenu par électrophorèse ne contient pas de liants, ou d'autres composés organiques, le procédé selon la présente invention ne nécessite pas d'étapes de brulage, ou d'évaporation de composés corrosifs ou nocifs. Or, l'accroissement des contraintes économiques et environnementales impose de réduire les rejets dans l'atmosphère, ainsi la présente invention répond bien à ces contraintes. De plus, ces étapes de déliantage conduisent à l'apparition de nombreux défauts dans le dépôt d'électrode. De plus la vitesse de dépôt peut être très élevée en fonction du champ électrique appliqué et de la mobilité électrophorétique des particules de la suspension. Pour une tension appliquée de 200 V, des vitesses de dépôt de l'ordre de 10 pm/min peuvent être obtenues. La figure 9 illustre le principe de fonctionnement des dépôts par électrophorèse. L'inventeur a constaté que cette technique permet de réaliser des dépôts sur de très larges surfaces avec une excellente homogénéité (sous réserve que les concentrations en particules et champs électriques soient homogènes sur la surface du substrat). Elle se prête aussi bien à un procédé continu en bande, c'est-à-dire le substrat est avantageusement une bande ; pendant le dépôt par électrophorèse, la bande est avantageusement stationnaire par rapport à la phase liquide. Le substrat peut être une feuille ou une bande présentant une surface conductrice. A titre d'exemple, un feuillard de cuivre ou aluminium, d'une épaisseur qui peut être par exemple de 6 pm, peut être utilisé, ou une bande polymère présentant un dépôt de surface électriquement conducteur. L'épaisseur de chacune des couches de cathode et d'anode est de préférence comprise entre 5 pm et 20 pm. Après le dépôt de la couche et son séchage, et avant l'éventuelle étape de frittage par traitement thermique, on peut effectuer une étape de compaction mécanique (par exemple par pressage) afin de compacter davantage les particules et induire des déformations des particules qui faciliteront encore plus la densification ultérieure. -19- Le dépôt par électrophorèse peut être mis en oeuvre dans un procédé de type « batch » (statique) ou dans un procédé continu. Les figures 8a et 8b illustrent différents modes de réalisation de dépôts par électrophorèse, pour réaliser aussi bien des bandes minces ou bien des revêtements sur substrat conducteur. Lors du dépôt électrophorétique, une alimentation stabilisée permet d'appliquer une tension entre le substrat conducteur et deux électrodes situées de part et autre de ce substrat. Cette tension peut être continue ou alternative. Un suivi précis des courants obtenus permet de suivre et de contrôler précisément les épaisseurs déposées. Lorsque les couches déposées sont isolantes, en fonction de leur épaisseur, elles peuvent affecter la valeur du champ électrique, aussi, dans ce cas, on privilégie un mode de dépôt en courant contrôlé. En fonction de la résistivité de l'interface, la valeur du champ électrique est modifiée. La figure 8a montre de manière schématique une installation pour mettre en oeuvre le procédé selon l'invention. L'alimentation électrique située entre les contre-électrodes 43 et le substrat conducteur 44 n'est pas représentée. On applique un champ électrique entre les deux contre-électrodes 43 et le substrat 44 pour déposer des particules de la suspension colloïdale 42 sur les deux faces du substrat 44. Le bobineau de feuillard (bande) conducteur électrique 44 servant de substrat est déroulé à partir d'un dérouleur 41. Après le dépôt la couche déposée est séchée dans un four de séchage 45 puis consolidé par compaction mécanique à l'aide d'un moyen de compaction 46 approprié. La compaction peut être réalisée sous atmosphère contrôlée et pour des températures comprises entre la température ambiante et la température de fusion des matériaux déposés. La représentation de la figure 8a est intéressante pour la fabrication de dépôts de matériaux actifs sur des collecteurs de courant servant à réaliser des électrodes de batterie. Cependant, on peut se limiter à revêtir qu'une seule face du substrat. Aussi, la figure 8b représente un dispositif pour réaliser un revêtement sur une seule face conductrice, sans compaction mécanique. Par ailleurs cette technique de dépôt permet un recouvrement parfait de la surface quelle que soit sa géométrie, la présence de défauts d'aspérité. L'absence de contacts mécaniques permet de réaliser ces dépôts sur des surfaces extrêmement larges. En effet, avec des techniques de dépôts connues comme le roll coat, doctor blade etc. il est difficile de garantir une parfaite homogénéité d'épaisseur sur des substrats larges, ce qui fait que lignes de revêtement sont souvent limitées en -20- largeur. A titre d'exemple, lorsque l'on souhaite réaliser des dépôts de batteries Li-ion de puissance, autrement dit des dépôts de fines épaisseurs, la largeur maximale de bande se situe aux alentours de 200 à 300 mm, ce qui limite fortement la capacité de production des lignes de revêtement selon l'état de la technique. Lorsque des matériaux peu ou pas conducteurs électriques sont déposés par électrophorèse sur la surface d'un substrat, les éventuelles zones moins bien revêtues, sont plus conductrices et concentrent ainsi localement une vitesse de dépôt plus importante qui tend à compenser voir effacer le défaut. Les dépôts obtenus sont ainsi intrinsèquement d'excellente qualité, avec peu de défauts et très homogènes. Le diagramme de la figure 7 présente un mode de réalisation typique du procédé selon l'invention : 1° étape : Préparation des suspensions. Dans une première étape on prépare une suspension colloïdale à partir des poudres de la composition chimique du revêtement (de la couche mince) souhaitée. 2° étape : Mise en contact de la surface à revêtir et de la suspension colloïdale, typiquement par immersion du substrat métallique dans la suspension colloïdale. La suspension colloïdale peut recouvrir la totalité de la surface du substrat. Dans un mode de réalisation particulier, un masque peut être appliqué sur la surface du substrat de manière à limiter la surface en contact de la suspension et par voie de conséquence réduire la surface de dépôt. 3° étape : Application d'un champ électrique entre la surface à revêtir et une contre électrode également située dans la suspension colloïdale le temps nécessaire pour obtenir la quantité déposée souhaitée. Ce champ électrique peut être constant et / ou variable (alternatif). Le sens moyen du champ électrique, c'est-à-dire du potentiel appliqué aux électrodes est adapté à la charge de la particule à déposer. 4° étape : Séchage du revêtement. Les conditions de séchage dépendent de l'épaisseur déposée ainsi que de la nature du solvant. 5° étape : Densification du dépôt par frittage et/ou compaction mécanique. Densification du dépôt Avantageusement, les couches déposées sont densifiées, afin de minimiser les cavités, pores, fissures et autres défauts de compacité. Cette étape de densification du dépôt peut être réalisée : - 21 - - par un traitement thermique. La température dépend fortement de la composition chimique des poudres déposées. Il convient par ailleurs de maintenir une atmosphère contrôlée afin d'éviter l'oxydation du revêtement ; - par une combinaison de moyens thermiques et mécaniques, en particulier par frittage sous pression ; D'une manière générale, pour la température de densification, on préfère ne pas dépasser 600°C, encore plus préférentiellement on ne dépasse pas 500°C. Particulièrement avantageusement, la température est comprise entre 180°C et 400°C. La densification à de telles températures nécessite que le film obtenu à l'issue du dépôt soit compact, c'est-à-dire sans méso porosités (fissures, cavités), agrégats. Ceci est permis par le procédé de dépôt par électrophorèse tel que décrit plus haut. De plus il est nécessaire que les particules déposées soient de tailles nanométriques tel que décrit plus haut, et préférentiellement de taille inférieure à 50 nm, plus préférentiellement inférieure à 30 nm. D'autre part, la température de traitement thermique dépend également de l'application ou non d'une pression, la pression pouvant être appliquée avant ou pendant le traitement thermique. Lorsqu'une pression est appliquée, la température de traitement thermique peut être abaissée. Dans tous les cas, la pression appliquée est avantageusement supérieure à 250 MPa et de préférence supérieure à 400 MPa ; une valeur de l'ordre de 500 MPa donne de très bons résultats. Le substrat des couches d'électrodes est de préférence composé d'un matériau conducteur électrique généralement métallique. Lorsque le substrat est métallique, on préfère éviter de le chauffer à des températures élevées lors de la fabrication de la batterie, afin d'éviter tout risque d'oxydation et de détérioration des propriétés de surfaces. La réduction de l'oxydation de surface est particulièrement bénéfique pour diminuer des résistances de contact électrique, point essentiel au fonctionnement de dispositifs de stockage et/ou production d'énergie. L'obtention de couches électrophorétiques de très bonne qualité tel que décrit ci- dessus, et en particulier de couches compactes, permet de réduire la durée et la température des traitements thermiques et de limiter le retreint de ces traitements, et d'obtenir une structure nanocristalline homogène Ceci contribue à l'obtention de couches denses sans défauts. -22- L'inventeur a constaté que plus la taille des particules déposées diminue, plus la pression de compaction de ces dépôts doit être élevée, et plus la température du traitement thermique peut être diminuée. Il est ainsi possible de réaliser des dépôts en couches minces, ou relativement épaisses, avec des taux de porosité inférieure à 5% voire 2% sans avoir recours à des températures et/ou durées de traitement thermiques importants. Par ailleurs, cette technologie de compaction des dépôts à faible température réduit considérablement les risques de rétreint. Aussi, il n'est plus nécessaire d'avoir recours à des cycles de traitement thermique très complexes et couteux pour consolider les dépôts de céramiques des films d'électrodes des batteries. Durant la ou les phase(s) de densification thermique et/ou compaction mécanique il peut être avantageux de travailler sous vide, ou sous atmosphère inerte afin d'éviter l'apparition de pollution sur les surfaces des particules qui pourraient nuire au mécanisme de densification des particules entre-elles. Pour des tailles de particules telles que celles utilisées dans le procédé selon l'invention, c'est l'augmentation des énergies de surface qui devient la principale force motrice de la densification par traitement thermique; cela se traduit par une forte baisse des températures de densification lorsque la taille des particules diminue. Cependant, pour que cette réduction des températures de consolidation soit effective, il est nécessaire que les particules soient au préalable compactées mécaniquement, et/ou déposées avec un empilement compact. C'est la multiplication des contacts mécaniques entre ces particules permet de faciliter les processus diffusionnels à l'origine de la densification. Aussi, pour compacter les dépôts, des pressages sont généralement appliqués. Cette technique de compaction par pressage (calandrage) est bien adaptée aux dépôts constitués de particules de tailles microniques ou supérieures. En effet, la compaction mécanique de nanoparticules est beaucoup plus difficile à réaliser que celui de particules de tailles micrométriques, et nécessite des pressions très élevées. Le nombre de contacts entre particules augmente avec la diminution de leurs tailles, ce qui se traduit par un frottement qui dissipe l'essentiel des efforts de compression. La présence d'agglomérats, de cavités inter-agglomérats influence également la densification. Plus leurs tailles augmentent, plus la distance de diffusion augmente et plus la température de densification est élevée pour obtenir une bonne densification. Ainsi, avec des nanoparticules déposées par électrophorèse on peut s'approcher de la densité théorique géométrique d'un empilement compact (74%) sans étape de compaction mécanique. -23- Un tel résultat n'est pas possible par les techniques d'encrage. Le dépôt de nanoparticules par la technique des encres mentionnée ci-dessus est très difficile en couche mince car la diminution de la taille des particules conduit à l'augmentation de la viscosité des suspensions. Il faut alors diminuer l'extrait sec en augmentant la proportion de solvant ; on observe alors que l'élimination d'une grande quantité de solvant des couches crues induit des pores et cavités, qu'il sera quasiment impossible de colmater sans avoir recours à des températures et/ou pressions extrêmes. La forte compacité du dépôt obtenu par électrophorèse, et la faible quantité de solvant à évaporer limite très sensiblement le risque d'apparition de fissures après séchage. Par ailleurs, la faible taille des particules, leur grande surface spécifique tend à faciliter les étapes de consolidation par un traitement thermique (appelé parfois dans ce contexte : « frittage »). La densification du dépôt peut ainsi être réalisée à des températures inférieures à 0,7 Tf, préférentiellement 0,5Tf, voire 0,3Tf où Tf est la température de fusion (exprimée en °C) du matériau massif de composition chimique identique à celle de la particule déposée. Lorsque la couche d'électrode est composée d'un mélange de matériaux, la température de traitement thermique est choisie par rapport à la température de fusion du matériau le plus fusible, c'est-à-dire ayant la température de fusion la plus basse. Pour réduire encore cette température de densification, il est également possible d'appliquer une compression mécanique à ce dépôt afin d'accroitre davantage sa compacité, et/ou créer des défauts ponctuels qui vont contribuer à accélérer le processus de densification, d'obtention de couches minces sans porosités. Un tel procédé de fabrication de couches d'électrode peut être utilisé directement sur des substrats comme des feuillards en aluminium, ayant de faibles températures de 25 fusion. Les nanoparticules étant très sensibles aux pollutions de surfaces, il est cependant préférable de réaliser ces traitements de consolidation sous vide, ou bien sous atmosphère inerte. Le procédé selon l'invention peut être utilisé dans la fabrication d'une batterie Li-ion. 30 Pour illustrer un tel mode de réalisation, les étapes de fabrication sont décrites ci- dessous en référence à la figure 11. Aux étapes 1.A et 1.B on dépose par électrophorèse un film de cathode et d'anode, respectivement, sur un substrat conducteur. Ce dépôt peut être effectué sur les deux faces du substrat conducteur. Aux étapes 2.A et 2.B on sèche le film déposé par 35 électrophorèse. Aux étapes 3.A et 3.B on le densifie par un moyen mécanique et/ou -24- thermique. Cette densification permet d'obtenir une densité supérieure à 90% de la densité théorique du corps massif, voire supérieure à 95%. Avec les techniques électrophorétiques, il est possible d'obtenir des dépôts ayant une très bonne compacité de départ. Ainsi, un tel dépôt ne présente qu'un faible retreint lors de la densification par traitement thermique, et il y a peu ou pas de défauts dans les films, même lorsqu'ils sont réalisés sur de larges surfaces et de fortes épaisseurs. Par ailleurs, l'étape de densification par traitement thermique est réalisée d'autant plus facilement à faible température, pour des temps courts, que le film de départ est compact avec des particules de faibles dimensions. Pour accroitre davantage la compacité avant frittage, il est avantageux d'utiliser des particules de faibles dimensions ( La figure 2a représente l'approvisionnement d'un substrat, ici sous forme de feuillard métallique 1. La figure 2a' représente l'approvisionnement d'un substrat, ici sous forme de feuillard métallique 1, dans cette étape une protection partielle de la surface du substrat 1 à l'aide d'un masque isolant 9 est réalisée. Ce masque peut être un film polymère strippable. Les figures 2b et 2b' représentent le dépôt par électrophorèse des nanoparticules de cathode 24 sur les parties conductrices du substrat 1. Sur la figure 2b le dépôt se fait sur toute la surface, et sur les deux faces, du substrat 1, alors que sur la figure 2b' une partie du substrat est protégée par le masque isolant 9. Le produit obtenu par le procédé selon les figures 2a à 2b' correspond au cas où le substrat est approvisionné sous forme de bande. Les figures 3a à 3b' représentent des produits identiques à ceux des figures 2a à 2b', hormis que la couche de cathode recouvre en plus une tranche du substrat. Pour chacun des modes de réalisation des figures 2 à 3, le feuillard de substrat métallique peut être remplacé par un film de polymère métallisé, le film étant « strippable », c'est-à-dire qu'il peut être dissous dans une solution appropriée, ou pelable. La figure 4a représente l'approvisionnement d'un substrat 60, ici sous forme de film polymère « strippable » 61 revêtu d'une couche métallique 62,. La figure 4b représente le dépôt par électrophorèse des nanoparticules de cathode 63 sur les parties conductrices du substrat 60 . La figure 4c représente le strippage (ou pelage) du film polymère. -26- La figure 4d représente le dépôt des nanoparticules de cathode 63 sur la couche métallique 62 mise à nu dans l'étape de la figure 4c. La figure 5a représente l'approvisionnement d'un substrat 70, ici sous forme d'un film métallique 62 revêtu sur ses deux faces d'un film de résine polymère photosensible 61a, 61b. La figure 5b représente l'épargne réalisé avec le polymère 61a partiellement insolé et développé sur l'une des faces du film métallique 62, avec réalisation d'une épargne 64a. La figure 5c représente le dépôt par électrophorèse des nanoparticules de cathode 63 sur les parties conductrices du substrat 60 (partie non recouverte de polymère ou résine photosensible). La figure 5d représente l'épargne réalisée avec le polymère 61b partiellement insolé et développé sur l'autre face du film métallique 62, avec réalisation d'une épargne 64b. La figure 5e représente le dépôt par électrophorèse des nanoparticules de cathode 63 sur les parties conductrices du substrat 60 (partie du film métallique 62 non recouverte de polymère ou résine photosensible, ni de particules de cathode 63). La figure 5f représente le stripage des épargnes 64a, 64b. La figure 6a représente l'approvisionnement d'un substrat, ici sous forme d'une plaque isolante 65 revêtue partiellement de films métalliques 68a, 68b correspondant à l'étape d) du mode de réalisation principal de l'invention. La figure 6b représente le dépôt par électrophorèse des nanoparticules de cathode 63 sur la partie métallique du substrat 68a. La figure 6c représente le dépôt d'un film d'électrolyte 66 sur la partie métallique du substrat 68a recouverte de cathode 63,. La figure 6d représente une vue en coupe de la batterie après dépôt du film mince d'anode. La figure 10 représente le dépôt compact de nanoparticules de tailles non-homogènes 2, 17. Un tel empilement pouvant être obtenu directement par co-dépôt d'un mélange de nanoparticules de tailles différentes ou par dépôt successifs de particules de tailles 30 différentes. La figure 12a représente le chemin de diffusion du lithium dans un empilement compact de particules imprégné d'électrolyte. Il existe une zone de contact surfacique 76 entre les particules et l'électrolyte contenu dans les porosités. Le chemin de -27- diffusion peu résistif. Il existe également une zone de contact ponctuel 77 entre les particules. La diffusion du lithium sur ce contact ponctuel est limitée. La figure 12b représente l'évolution de l'interface entre les particules pendant la consolidation. Le chemin de diffusion 78 peut être assuré en phase solide, sans recours à un électrolyte liquide dans les porosités La figure 12c représente la structure obtenue après densification d'un dépôt composite contenant une phase «fusible» 79. La figure 12d montre de manière schématique l'influence de la densification sur le type de porosité. Ce point peut justifier que nos batteries aient des porosités inférieures à 30%. A ce niveau, elles sont fermées et ne peuvent plus être imprégnées d'électrolyte. Plus la porosité est faible meilleures seront les performances (VVh/l, Wh/kg) si en la batterie est en couches minces. L'électrophorèse permet de déposer des couches de compositions difficiles voire impossibles à obtenir par voie sous vide ; par exemple, on peut incorporer des polymères dans une phase minérale, ou déposer des composés de type spinelle (LiMn2O4) ou olivine (LiMPO4 avec M=Fe, Co, Mn, Ni ...) difficilement accessibles par dépôt sous vide. Les électrodes susceptibles d'être obtenues par le procédé selon l'invention se distinguent des électrodes connues par plusieurs particularités structurelles. L'électrode est de préférence entièrement solide, et peut présenter une composition qui ne peut pas être obtenue par dépôt sous vide. Le taux de porosité des couches d'anode et/ou de cathode, exprimé par le rapport différence entre densité théorique des couches et densité réelle / densité théorique des couches, est faible et peut être inférieure à 10% voire 5%, alors que les procédés connus conduisent à un taux de porosité qui reste en général supérieur à 20%. La taille des grains peut être beaucoup plus faible que dans les batteries à couches minces déposées par des encres, car la couche déposée par électrophorèse est plus dense, même avant densification. Dans un mode de réalisation particulier, l'électrode est composée uniquement de matériaux inorganiques qui ne contiennent ni sels de lithium ni liquides ioniques imprégnés, ce qui permet d'éviter les problèmes de corrosion sur les collecteurs de courant, qui peuvent alors être tous deux composés d'aluminium, moins coûteux que le cuivre ou l'argent. Dans les batteries selon l'état de la technique, l'utilisation de l'aluminium n'est souvent pas possible ou limitée à la cathode, soit parce que leur fabrication implique des températures trop élevées par rapport au point de fusion de -28- l'aluminium soit parce que un collecteur en aluminium risquerait d'être corrodé par les sels de lithium contenus dans les électrolytes et par les tensions extrêmes auxquels sont soumis les collecteurs dans les batteries. Le fait de n'employer au sein d'une même batterie qu'un seul matériau pour les collecteurs facilite leur recyclage. L'invention présente de nombreux avantages. Le procédé de fabrication des couches d'anode et de cathode par électrophorèse est simple, rapide, peu onéreux. De plus, dans des modes de réalisation avantageux de l'invention, la couche d'électrode ne contient pas de matériaux organiques ni de sels de lithium. Dans ce cas, le procédé selon l'invention n'a pas besoin d'être mis en oeuvre dans une atmosphère sèche, contrairement aux procédés selon l'état de la technique mettant en oeuvre des sels de lithium ou de lithium métallique, très sensibles à l'humidité. L'absence de sels de lithium corrosifs améliore la durée de vie de la batterie, diminue le risque de court-circuit interne et améliore également sa résistance à la température ; de ce fait, les batteries comportant une couche d'électrode déposée par le procédé selon l'invention peuvent subir une opération de soudage à la vague, contrairement aux batteries à ions de lithium en couches minces connues. Ainsi, les batteries selon l'invention présentent un meilleur niveau de sécurité. Exemples Le procédé selon l'invention peut être mis en oeuvre selon les exemples présentés ci-20 dessous. Film de cathode 1- Préparation de la suspension colloïdale SP+ Pour obtenir la suspension SP+ de particules P+ de matériau de cathode, on synthétise une poudre de LiMn2O4 constituée d'amas de nanoparticules. Pour cela on 25 utilise la méthode de Pechini décrite dans l'article « Synthesis and Electrochemical Studies of Spinel Phase LiMn2O4 Cathode Materials Prepared by the Pechini Process », W. Liu, G.C. Farrington, F. Chaput, B. Dunn, J. Electrochem. Soc., vol.143, No.3, 1996.. Après l'étape de calcination à 600°C, la poudre contient des amas dont la taille est comprise entre 50 nm et 100 nm. 30 Cette poudre est ensuite mise en suspension de l'éthanol avec une concentration de g/I. La suspension SP+ est introduite dans le bol d'un broyeur à billes préalablement rempli de billes en céramiques de diamètre 0,1 mm. Le broyage pendant 2 heures en -29- présence d'acide polyacrylique servant d'agent complexant, ce qui permet d'obtenir une solution colloïdale présentant des particules (D50) dont la taille est égale à 10 nm. Le potentiel zêta de la suspension s'élève à environ 65 mV. 2- Dépôt du film de cathode Les particules de LiMn2O4 contenues dans la suspension sont par la suite déposées sur un substrat constitué d'une feuille de cuivre de 100 pm d'épaisseur. Le dépôt est réalisé en appliquant entre le substrat et une contre-électrode, tous deux immergés dans la suspension colloïdale, une tension de 100 V jusqu'à obtenir un dépôt de 8 pm d'épaisseur. Ce dépôt est ensuite compacté sous une pression de 500 MPa, séché pendant 1 heure à 90°C avant d'être densifié par un traitement thermique de 500°C, réalisé sous vide pendant 1 heure. Le dépôt ainsi obtenu présente une porosité inférieure à 10%. Film d'anode 1- Préparation de la suspension colloïdale SP- Dans un premier temps une poudre de Li4Ti5O12 constituée d'amas de particules de taille nanométrique est synthétisée selon le procédé décrit dans l'article « Phase-pure nanocrystalline Li4Ti5O12 for a lithium-ion battety » de M. Kalbac et al., J Solid State Elecrtochem (2003) 8 : 2-6. La synthèse s'effectue par mélange sous argon d'une solution de LiOEt à 0,9M et de butoxyde de titane(IV) dans l'éthanol. Le mélange est réalisé avec le rapport stoechiométrique du Li/Ti = 4:5. La solution obtenue est par la suite hydrolysée avec une solution aqueuse à 4% de polyéthylène glycol. Le mélange est ensuite mélangé pendant 11 heures avant d'être évaporé a 40°C jusqu'à obtenir une pâte visqueuse. Après calcination à 500°C, une poudre de Li4Ti5O12 est obtenue. Cette poudre est ensuite mise en suspension de l'éthanol avec une concentration égale à 20 g/I. La suspension est introduite dans le bol d'un broyeur à billes préalablement rempli de billes en céramiques de diamètre 0,1 mm. Le broyage pendant 3 heures en présence de quelques millilitres d'acide polyacrylique qui sert d'agent complexant, ce qui permet d'obtenir une solution colloïdale présentant des particules dont la taille (D50) est égale à environ 8 nm. Le potentiel zêta de la suspension est égal à 60 mV. 2- Dépôt du film d'anode Les particules de Li4Ti5O12 contenues dans la suspension sont par la suite déposées sur un substrat constitué d'une feuille de cuivre de 100 pm d'épaisseur. Le dépôt est -30- réalisé en appliquant entre le substrat et une contre-électrode, tous deux immergés dans la suspension colloïdale, une tension de 200 V jusqu'à obtenir un dépôt de 8 pm d'épaisseur. Ce dépôt est ensuite compacté sous une pression de 500 MPa, séché pendant 1 heure à 90°C avant d'être densifié par un traitement thermique à 450°C, réalisée sous vide pendant 2 heures. Le dépôt ainsi obtenu présente une porosité inférieure a 10%. REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une couche d'électrode dans une batterie entièrement solide, comprenant les étapes de : a) Approvisionnement d'un substrat, de préférence conducteur, b) Dépôt d'une couche d'électrode par électrophorèse, à partir d'une suspension contenant des particules de matériau d'électrode, sur ledit substrat, c) Séchage de la couche obtenue à l'étape précédente, d) Densification thermique de la couche d'électrode obtenue à l'étape précédente par frittage, le frittage étant effectué à une température TR qui, de préférence, ne dépasse pas 0,7 fois la température de fusion (exprimée en °C), encore plus préférentiellement ne dépasse par 0,5 fois la température de fusion (exprimée en °C) et très préférentiellement ne dépasse par 0,3 fois la température de fusion (exprimée en °C) du matériau d'électrode le plus fusible. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de compaction mécanique de la couche séchée, effectuée avant ou simultanément à l'étape de frittage. 3. Procédé selon la revendication 2 caractérisé en ce que l'étape de compaction mécanique est réalisée par application d'une pression de compression supérieure à 250 MPa, de préférence supérieure à 400 MPa et encore plus préférentiellement supérieure à 500 MPa. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'étape de densification thermique et/ou mécanique est réalisée sous vide. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la taille moyenne D50 des particules de matériau d'électrode est inférieure à 1 pm, de préférence inférieure à 100 nm et encore plus préférentiellement inférieure ou égale à 30 nm.-32- 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la couche d'électrode déposée a une épaisseur inférieure à 20 pm, de préférence inférieure à environ 10 pm, et encore plus préférentiellement inférieure à 5 pm. 7 Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les nanoparticules utilisées pour la réalisation de la couche d'électrode peuvent être choisies parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : LiMn2O4, LiCoO2, LiNiO2, LiMn1,5Nio,504, LiMn1,5Ni0,5_xXx04 (X = Al, Fe, Cr, Co, Rh, Nd, autres terres rares' et 0