FR 2982086 A1 20130503 FR 1159898 A 20111102 - 1 - Procédé de fabrication de micro-batteries en couches minces à ions de lithium, et micro-batteries obtenues par ce procédé Domaine de l'invention La présente invention appartient au domaine des batteries et notamment des micro- batteries. Elle concerne plus particulièrement les micro-batteries à ions de lithium entièrement solides, et un nouveau procédé de fabrication de telles micro-batteries en couches minces. État de la technique Récemment, l'utilisation des techniques de micro-fabrication a permis de réaliser des capteurs de tailles micrométriques. Ces capteurs sont utilisés en réseau afin de détecter et suivre des événements ou paramètres sur de larges espaces. L'alimentation de tous ces capteurs distribués en réseaux ne pouvant être réalisée par des connexions filaires, de nombreux développements visent à en réaliser des versions totalement autonomes. Ces capteurs sont équipés de sources de puissance et d'énergie embarquées, devant leur permettre de fonctionner pendant 10 à 20 ans. Bien que ces micro-capteurs existent depuis de nombreuses années, les sources de micro-stockage de l'énergie restent toujours au stade de développement et des premiers prototypes commencent à apparaître sur le marché. Ces microbatteries sont associées dans les capteurs à des dispositifs de production d'énergie. En effet, les mini cellules photovoltaïques, générateurs thermoélectriques, piézoélectriques manquent de puissance, si bien qu'il est nécessaire de leur associer des micro-batteries qui assurent la fonction de réserve d'énergie et de puissance pour faire fonctionner le capteur. La taille des micro-batteries doit être proche de celle des composants électroniques, aussi, les techniques conventionnelles de fabrication des batteries, comme par exemple celles utilisées pour faire des piles boutons, ne peuvent plus être utilisées. Ces techniques conventionnelles de fabrication ne permettent pas de faire de dispositifs de tailles sub-millimétriques, aussi, la diminution de volume, la miniaturisation des piles boutons, se traduisent par une diminution exponentielle de leur densité d'énergie. - 2 - Comme pour l'alimentation des capteurs autonomes, il existe de nombreuses autres applications pour lesquelles la réalisation de micro-batteries de très fines épaisseurs serait intéressante. Il s'agit principalement du développement des cartes à puces dites « intelligentes » et des étiquettes RFI D. De plus toutes les applications de « power back-up » qui jusqu'à présent utilisaient des piles boutons, peuvent avantageusement utiliser des micro-batteries rechargeables pour assurer cette fonction, réduisant ainsi la taille du dispositif de stockage d'énergie. Différentes techniques de dépôt sous vide ont été utilisées pour la fabrication de microbatteries en couches minces. En particulier, le dépôt par PVD est la technologie la plus utilisée actuellement pour la fabrication de ces microbatteries en couches minces. L'absence d'électrolyte à base de solvant ou de polymères dans ces batteries leur confère la tenue en température exigée par les étapes d'assemblage par soudure à vague sur les cartes électroniques. Cette absence d'électrolyte organique impose de réaliser des films en couche mince exempts de porosité et d'autres défauts ponctuels pour garantir une faible résistivité électrique, et la bonne conduction ionique nécessaires au bon fonctionnement des dispositifs. La réalisation de telles micro-batteries, dotées de films minces denses, sans porosité leur confère d'excellente densité d'énergie et de puissance qui restent néanmoins fonction de l'épaisseur des électrodes. Cependant, les techniques de dépôt sous vide utilisées pour réaliser de tels films sont très couteuses et difficiles à mettre en oeuvre industriellement sur de larges surfaces, avec une productivité élevée. Ces techniques nécessitent par ailleurs de travailler sur un substrat, souvent à base de silice, ce qui tend à diminuer la densité d'énergie, et de puissance de la batterie lorsqu'elle est de très faible dimension. Par ailleurs, il est nécessaire d'utiliser des masques de dépôt couteux, et le rendement d'utilisation des matières première est faible. Les matériaux pulvérisés sous vide se trouvent également déposés sur les masques ainsi que sur les parois du réacteur. Les autres technologies actuellement disponibles pour réaliser des couches minces, comprennent des modes de réalisation basés sur la densification de dépôts compacts de particules: Parmi ces techniques on peut citer la réalisation de dépôts par voie sol-gel. Cette technique consiste à déposer sur la surface d'un substrat un réseau polymérique obtenu après des étapes d'hydrolyse, polymérisation et condensation. La - 3 - transition sol-gel apparait durant l'évaporation du solvant qui accélère les processus réactionnel en surface. Cette technique permet de réaliser des dépôts compacts de très faible épaisseur. Les films ainsi obtenus ont une épaisseur de l'ordre de la centaine de nanomètres, ce qui est insuffisant pour permettre à la batterie de disposer de suffisamment d'autonomie. Pour accroître l'épaisseur du dépôt sans induire de risques d'apparition de fissures ou craquelures, il convient de procéder par étapes successives. De ce fait, cette technique pose des problèmes de productivité industrielle, dès lors que l'on cherche à augmenter l'épaisseur du dépôt. Les techniques d'encrage peuvent être mises en oeuvre pour obtenir des dépôts de quelques microns d'épais. Pour cela, il est nécessaire de disposer d'une encre fluide. La fluidité des encres dépend de la teneur en extraits secs, des tailles de particules, de la nature du solvant et d'éventuels composés organiques dissous dans cette encre. La viscosité des encres augmente lorsque la concentration en particules augmente, ou que pour un extrait sec donné, la taille des particules diminue. Par ailleurs, l'augmentation de la quantité de solvant conduit à accroitre les risques de former des fissures, cavités et agglomérats dans le dépôt, pendant les phases de séchage. Les dépôts deviennent alors extrêmement difficiles à compacter. La compaction finale du dépôt est obtenue par évaporation du solvant contenu dans l'encre. Cette étape de séchage est difficile à maitriser car les régions de plus faibles densités, sécheront plus vite que les zones de plus fortes densités. Les effets capillaires induits par ces différences locales de niveau de séchage conduiront les zones de plus fortes densités, encore imprégnées, à se regrouper. Ceci conduit après séchage à la formation de cavité, d'agglomérats. L'élimination de ces défauts par compaction ne peut être effectuée qu'à l'aide de compaction sous de très fortes pressions (d'autant plus élevées que la taille des particules sera faibles) et/ou de frittage à des températures élevées, proches de la température de fusion du matériau constituant les particules. Aussi, il est nécessaire de chauffer à des températures très élevées pour arriver à densifier la structure initialement poreuse. Les paliers de montée en température sont délicats à maitriser si l'on veut que le retreint liée au comblement de toutes ces porosités dans l'épaisseur du dépôt ne donne pas lieu à des fissures. De plus, tous les substrats ne supportent pas de telles températures, de surcroît les techniques actuelles de dépôt en phase liquide décrites ci-dessus ne permettent pas de maîtriser précisément l'épaisseur de dépôt. - 4 - Comme pour les technologies de dépôt sous vide, la réalisation de dépôts localisés, avec une bonne résolution spatiale, nécessite d'utiliser des masques de dépôt. Les encres sont alors enduites sur le substrat recouvert de ce masque (stencil) et les encres se trouvent aussi bien déposées sur le substrat que sur la surface du masque ayant servi à épargner localement le substrat. Il existe enfin une dernière alternative pour le dépôt de matériaux en couches minces dans des dispositifs électrochimiques et en particulier les batteries. Il s'agit du dépôt de particules par électrophorèse. Par exemple, le brevet US 7,662,265 (Massachusetts Institute of Technology) décrit la fabrication de dispositifs électrochimiques en couches minces (entre autres des piles) par électrophorèse, dans lequel une des électrodes (anode ou cathode) et l'électrolyte solide sont obtenus simultanément, l'autre électrode étant formée préalablement au dépôt électrophorétique. De nombreux matériaux de cathode sont mentionnés, en particulier LiCoO2, et LiFePO4, les électrolytes solides mentionnés sont des électrolytes polymères. Le brevet US 6,887,361 (University of California) décrit un procédé pour former un revêtement céramique sur un substrat de dispositif électrochimique à l'état solide. Le dépôt est réalisé par électrophorèse d'une suspension de particules de céramique dans de l'alcool isopropylique, suivi d'un séchage et d'un frittage. Le procédé est applicable essentiellement aux cellules à combustible à oxyde solide (SOFC). Les demandes de brevet US 2007/184345, WO 2007/061928, US 2008/286651 et VVO 2010/011569 (Infinite Power Solutions) décrivent des dispositifs électrochimiques comprenant une cathode déposée par des techniques autres qu'un dépôt sous vide ; elles décrivent notamment le dépôt d'une couche cathodique par électrophorèse à partir d'une poudre de taille micronique de LiCo02 ; cette couche comporte cependant des cavités, et elle doit être densifiée par un frittage à haute température. Les autres parties de la batterie sont obtenues par dépôt sous vide. Le brevet US 7,790,967 (3G Solar Ltd) décrit le dépôt d'une électrode nanoporeuse en TiO2 par électrophorèse à partir d'une suspension de nanoparticules de Ti02; L'épaisseur de l'électrode est de l'ordre de 10 pm. Certains documents décrivent l'utilisation de l'électrophorèse pour la réalisation de certaines parties de batteries en couches minces ; dans ces documents, l'électrophorèse conduit à des couches poreuses. Le brevet JP 4501247 (DENSO) décrit un procédé de fabrication d'une électrode pour une batterie dans lequel une couche d'un matériau actif est formée par électrophorèse. Plus précisément, ce brevet décrit un procédé dans lequel un collecteur de charge est - 5 - plongé dans une solution comprenant une matière active dans un solvant, ce procédé étant une partie d'un procédé plus général de fabrication d'une électrode pour batterie. L'électrophorèse de ladite matière active contenue dans la solution s'effectue en générant un gradient de potentiel électrique dans cette solution, la matière active formant une couche de matériau actif sur la surface du collecteur, et adhérant à ladite surface de collecteur. La fabrication de cathodes poreuses pour batteries Li-ion par ce procédé est mentionnée. Les techniques employées pour réaliser l'anode et l'électrolyte ne sont pas indiquées. La demande de brevet JP 2002-042792 (DENSO) décrit un procédé de dépôt d'un électrolyte solide sur une électrode d'une batterie, le dépôt étant effectué par électrophorèse. Aucune densification n'est effectuée après le dépôt ; le dépôt est poreux. Les électrolytes visés sont essentiellement les électrolytes polymères, ainsi que le iodure de lithium. Objets de l'invention Un premier but de la présente invention est la fabrication de batteries en couches minces entièrement solides dont les couches possèdent une grande précision géométrique, notamment une épaisseur contrôlée avec précision, et un très faible nombre de défauts, par un procédé assurant une vitesse de dépôt élevée et présentant un coût d'investissement et d'exploitation peu élevé. Un autre but de l'invention est de fabriquer des batteries en couches minces par un procédé facile à mettre en oeuvre industriellement et peu polluant. Encore un autre but de l'invention est de disposer d'un procédé permettant de réaliser très simplement des couches minces de compositions chimiques variées. Un autre but est de fabriquer des batteries présentant à la fois une meilleure densité de puissance et une meilleure densité d'énergie. Encore un autre but est de fabriquer des batteries à durée de vie améliorée pouvant résister à des expositions en températures élevées sans se détériorer. Encore un autre but est de fabriquer des batteries rechargeables. Encore un autre but est de fabriquer des batteries minces dont l'épaisseur ne dépasse pas quelques dizaines voire centaines de micromètres, et qui peuvent être intégrées sur des cartes électroniques, cartes à puce, étiquettes RFI D et d'autres dispositifs de petite taille et/ou souples. - 6 - Ces objectifs sont atteints grâce à un procédé de fabrication de batteries en couches minces entièrement solides, lesdites batteries comprenant une couche de matériaux d'anode (« couche d'anode ») en contact électrique avec un collecteur anodique, une couche de matériaux d'électrolyte solide (« couche d'électrolyte ») et une couche de matériaux de cathode (« couche de cathode ») en contact électrique avec un collecteur cathodique, dans lequel procédé : une première couche d'électrode (cathode ou anode) est déposée par électrophorèse sur une zone conductrice d'un substrat, ledit substrat, ou ses éléments conducteurs, pouvant servir comme collecteur du de ladite électrode (courant cathodique ou anodique) de la batterie ; la couche d'électrolyte est déposée par électrophorèse sur ladite première couche d'électrode ; une seconde couche d'électrode (anode ou cathode) est soit déposée sur la couche d'électrolyte par électrophorèse ou par un autre procédé, tel qu'un procédé de dépôt sous vide. Ledit procédé comprend en outre une étape dite de densification des couches déposées par électrophorèse ou bien plusieurs étapes dites de densification réalisées successivement après chaque dépôt de couches par électrophorèse. Ces étapes de densification ont pour effet d'augmenter la densité des couches déposées par électrophorèse. La (les) densification(s) peut(vent) être effectuée(s) après le dépôt de la couche de cathode et/ou après le dépôt de la couche d'électrolyte, et/ou après le dépôt de la couche d'anode. On préfère qu'elle soit effectuée après le dépôt de la couche de cathode et/ou après le dépôt de la couche d'électrolyte, si la couche d'anode est déposée par une technique autre que l'électrophorèse, ou après le dépôt de la couche d'anode si la couche d'anode est déposée par électrophorèse. Ladite densification peut se faire par un procédé mécanique, par exemple par un passage entre deux rouleaux, par pressage, de préférence isostatique, ou par choc, ou encore par un traitement thermique, ou bien par combinaison de ces procédés. Dans un mode de réalisation, l'étape de densification thermique, et éventuellement aussi l'étape de densification mécanique, est réalisée sous vide ou sous gaz inerte. La densification thermique peut être précédée ou accompagnée d'une ou plusieurs étapes de densification mécanique. Dans un mode de réalisation avantageux, ladite une étape de densification est effectuée à une température TR qui, de préférence, ne dépasse pas 0,7 fois la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C), et de préférence ne - 7 - dépasse par 0,5 fois (et encore plus préférentiellement ne dépasse pas 0,3 fois) la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C): - du matériau déposé par électrophorèse, lorsque l'on cherche à densifier une seule couche - du matériau le plus fusible co-déposé par électrophorèse, lorsque l'on cherche à densifier une couche contenant des particules de différentes compositions chimiques - des matériaux de la couche la plus réfractaire lorsque plusieurs couches sont à densifier simultanément. En tout état de cause, il est avantageux de ne pas dépasser 600°C, et on préfère de ne pas dépasser 500°C voire 400°C. Plus particulièrement, le procédé de fabrication de batteries en couches minces entièrement solides selon l'invention comprend les étapes de : (a) Approvisionnement d'une première suspension colloïdale « SP+ » contenant des particules « P+ » dite de « matériaux de cathode » ; (b) Approvisionnement d'une deuxième suspension colloïdale « SPn » de particules « Pn » dite de « matériaux d'électrolyte solide »; (c) Approvisionnement d'un substrat isolant revêtu totalement ou partiellement de surfaces conductrices; (d) Immersion du substrat, pouvant être localement épargné par un masque isolant, dans un bain de ladite suspension SP+ contenant des particules P+ de matériaux de cathode en présence d'une contre-électrode, suivi de l'application d'une tension électrique entre ledit substrat et ladite contre-électrode de manière à obtenir un dépôt électrophorétique contenant des particules P+ de matériaux de cathode sur ledit substrat, pour obtenir un premier produit intermédiaire BP+ ; (e) Immersion dudit premier produit intermédiaire BP+, pouvant être localement épargné par un masque isolant, dans un bain de ladite suspension SPn de particules Pn de matériaux d'électrolyte en présence d'une contre- électrode, suivi de l'application d'une tension électrique entre ledit substrat et ladite contre-électrode de manière à obtenir un dépôt électrophorétique de particules Pn de matériaux d'électrolyte sur la surface de la couche de cathode dudit produit intermédiaire BP+, obtenant ainsi un second produit intermédiaire BP+Pn ; - 8 - cathode dudit produit intermédiaire BP+, obtenant ainsi un second produit intermédiaire BP+Pn ; (f) Dépôt d'une couche d'anode sur la couche d'électrolyte dudit second produit intermédiaire BP+Pn, pouvant être localement épargné par un masque, soit par dépôt sous vide ou par électrophorèse à partir d'une troisième suspension colloïdale « SP- » contenant des particules « P- » dite de « matériaux d'anode », pour obtenir un troisième produit intermédiaire BP+PnP-. Sur la couche d'anode dudit produit troisième intermédiaire BP+PnP- on dépose ensuite une couche de collecteur de courant anodique pour terminer la micro-batterie. Lorsqu'une anode en lithium ou alliage de lithium métallique est déposée comme anode, cette dernière peut également servir de collecteur de courant et assurer la connexion sur une terminaison préalablement déposée sur le substrat. Avantageusement lesdites particules P+ et/ou P- et/ou Pn sont des nanoparticules. Le substrat peut être un isolant avec des zones métallisées, Ces métallisations pouvant servir de collecteurs de courant ou bien de terminaisons électriques. Dans un mode de réalisation, le dépôt par électrophorèse est effectué de préférence avec une suspension colloïdale de particules de taille inférieure à 1 pm, de préférence inférieure à 100 nm, ou même inférieure à 30 nm. L'utilisation de nanoparticules, et de préférence de taille inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 30 nm, permet d'obtenir des couches minces présentant une grande densité après densification. Cette densité atteint avantageusement 85%, de manière préférée 90%, et de manière encore plus préférée 95% de la densité théorique du corps massif. Avantageusement, la porosité d'au moins une des couches après densification est inférieure à 15%, préférentiellement inférieure à 10% et encore plus préférentiellement inférieure à 5%. Dans le procédé selon l'invention, de préférence, la taille moyenne D50 des nanoparticules de matériau de cathode et/ou de matériau d'électrolyte solide et/ou, le cas échéant, de matériau d'anode est inférieure à 1 pm, de manière préférée inférieure à 100 nm, mains on préfère encore plus les nanoparticules de dimensions inférieures à 50 nm et le plus préférentiellement inférieures à 30 nm. Ceci permet de densifier les couches minces par voie thermique à une température plus basse. Dans ce but, on préfère des particules présentant une forme approximativement sphérique ou une forme de cube. - 9 - durée de vie de la batterie, probablement parce que le déséquilibre local de la batterie diminue. La durée du traitement thermique devrait être adaptée pour éviter le risque de croissance excessive (« parasitaire ») de certains grains. Un autre but de l'invention est d'obtenir à l'issue du dépôt par électrophorèse, des couches de très forte compacité, exemptes notamment, de cavités, fissures et agglomérats, afin de faciliter la densification à basse température. De préférence, le potentiel zêta des suspensions colloïdales approvisionnées SP+, SPet/ou SPn aux étapes (a), (b) et (c) est supérieur à 40 mV, et encore plus préférentiellement supérieur à 60 mV, afin d'avoir des suspensions stables ne contenant pas d'agglomérats de particules pouvant conduire à des défauts dans les couches déposées. Ces suspensions peuvent contenir un stabilisant stérique ou, de préférence, électrostatique. Le dépôt électrophorétique des nanoparticules peut être facilité grâce à une étape de dépôt d'un composé destiné à abaisser le potentiel Zêta sur les bandes conductrices préalablement à l'étape de dépôt des particules P+, P- et ou Pn. Un autre but de l'invention est le dépôt de films minces de compositions chimiques très variées, pouvant associer plusieurs phases et ce afin d'accroitre les fonctionnalités des dépôts. Ce but est atteint grâce à l'utilisation de la technique d'électrophorèse qui permet aisément de déposer des couches à partir de suspensions de mélanges de particules. Un autre but de l'invention est de pouvoir contrôler très précisément les épaisseurs déposées (dans une gamme d'épaisseur pouvant aller de quelques centaines de nanomètres à quelques dizaines voire centaine de micromètre). Plus précisément, on souhaite disposer d'un procédé qui assure une parfaite homogénéité de l'épaisseur sur toute la surface du dépôt, ainsi qu'une excellente reproductivité et répétabilité à l'échelle industrielle. Encore un autre but est d'économiser au mieux la matière première. Ces objectifs sont atteints par l'utilisation de l'électrophorèse pour la préparation de la couche de cathode, de la couche d'électrolyte, et avantageusement aussi de la couche d'anode, et par le contrôle précis du courant de dépôt tout au long du dépôt par électrophorèse. Dans un mode de réalisation avantageux, l'épaisseur de la couche d'anode et/ou de cathode après densification est inférieure à 20 pm, préférentiellement inférieur à 10 pm, et encore plus préférentiellement inférieure à 5 pm. -10- Encore un autre but est de proposer une nouvelle micro-batterie en couches minces, facile à préparer sur un substrat rigide ou souple, de très grande fiabilité, de grande durée de vie et faible autodécharge, pouvant être rechargée et présentant de très grandes densités de stockage énergétique. Ce but est atteint par une micro-batterie en couches minces entièrement solides fabriquée par le procédé décrit ci-dessus, dans un quelconque de ses modes de réalisation et variantes, comprenant un empilement successif des couches suivantes : une couche d'électrode cathodique déposée sur un collecteur de courant cathodique, une couche d'électrolyte, une couche d'électrode anodique, qui sera reliée directement ou indirectement à un collecteur de courant anodique. Description des figures Les figures 1(a),(b),(c) et (d) montrent de manière schématique des couches formées par empilement de particules de forme approximativement isotrope. La figure 1(e) montre un film déposé par PVD sur un substrat. La figure 1(a) montre de manière schématique un dépôt compact de particules 2 sur un substrat 1. Toutes les particules 2 sont en contact avec leurs premiers voisins 2a, 2b, 2c, 2d. Les porosités 3 se situent entre les particules 2. La figure 1(b) montre de manière schématique un dépôt compact de particules 2 tel qu'il peut être obtenu en utilisant le procédé selon l'invention. La figure 1(c) montre un dépôt de particules 2 sur un substrat, le dépôt présentant des défauts. Ces défauts sont essentiellement des cavités 6 liées à la présence d'agglomérats 5 ; ces cavités 6 représentent donc une porosité inter-agglomérat, contrairement à la porosité intra-agglomérat 3 qui se situe à une échelle géométrique beaucoup plus fine. Dans le cas d'un dépôt par le procédé selon l'invention, ces agglomérats 5 se forment lorsque la suspension utilisée n'est pas suffisamment stable. La figure 1(d) montre un dépôt de particules avec des fissures apparues après séchage ; ces fissures peuvent être des fissures ouvertes (débouchantes) 7 ou des fissures internes (non débouchantes) 8. La figure 1(e) illustre un dépôt dense 4 tel qu'il peut être obtenu par des techniques de type PVD ; la porosité de ces dépôts denses est proche de 0% car ils ne sont pas formées par empilement de particules. Les figures 2 illustrent un mode de réalisation de l'invention. Les figures 2a, 2b, 2c, 2d montrent les produits obtenus à différentes étapes d'un autre mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, dans lequel le substrat sur lequel on dépose les électrodes est une plaque de substrat isolant comportant des zones métallisées. Dans ce mode de réalisation, l'anode est un film de lithium déposé sous vide qui sert également de collecteur de courant relié à une terminaison négative, préalablement déposée sur le substrat. La figure 3 illustre le procédé de dépôt par électrophorèse à travers un masque isolant. Le diagramme de la figure 4 présente un mode de réalisation typique du procédé selon l'invention. Les figures 5 représentent un autre mode de réalisation typique du procédé selon l'invention. Les figures 6a, 6b, 6c, 6d représentent des chemins de diffusion du lithium dans différentes configurations d'assemblages de particules. Repères utilisés sur les figures : 1 Substrat 2,2a,2b,2c,2d Particules 3 Pore 4 Film obtenu par dépôt PVD 5 Agglomérat 6 Cavité 7 Fissure débouchante 8 Fissure non débouchante 13 Collecteur d'anode 20 Substrat 21 Anode 22 Electrolyte 23 Couche métallique 24 Cathode 25 Fil de connexion 26 Collecteur cathodique 27 Surfaces métallisées 28 Terminaison électrique anodique 30 Particule chargée en surface 31 Nanoparticule en mouvement sous l'influence du champ électrique -12- 42 Suspension colloïdale 43 Contre-électrode 44 Substrat 45 Surface métallique sur le substrat 46 Masque isolant 47 Source de tension 63 Couche de cathode 65 Substrat isolant 66 Couche d'électrolyte 67 Couche d'anode 68a, 68b Films métalliques sur substrat isolant 65 76 Zone de contact surfacique entre les particules et l'électrolyte contenu dans les porosités (chemin de diffusion peu résistif) 77 Zone de contact ponctuel entre les particules (la diffusion du lithium étant limitée sur ce contact ponctuel) 78 Soudure des particules durant la densification ayant donné lieu à l'apparition de chemins de diffusion dans le solide, pour le transport des charges électriques (électrons et ions) 79 Phase plus fusible ayant consolidée les particules entre elles Description détaillée de l'invention Dans le cadre de la présente invention, on entend par « dépôt électrophorétique » ou « dépôt par électrophorèse » une couche déposée par un procédé de dépôt de particules électriquement chargées en surface, préalablement mises en suspension dans un milieu liquide, sur un substrat conducteur, le déplacement des particules vers la surface du substrat étant généré par l'application d'un champ électrique entre deux électrodes placées dans la suspension, l'une des électrodes constituant le substrat conducteur sur lequel le dépôt est effectué, l'autre électrode (« contre-électrode ») étant posée dans la phase liquide. Un dépôt compact de particules se forme sur le substrat, si le potentiel zêta présente une valeur appropriée comme il sera expliqué ci-dessous. Dans le cadre du présent document, la taille d'une particule est sa plus grande dimension. Ainsi, une « nanoparticule » est une particule dont au moins une de ses dimensions est inférieure à 100 nm. La « taille de particules » ou « taille moyenne de particules » d'une poudre ou d'un ensemble des particules est donnée en D50. -13- Le « potentiel zêta » d'une suspension est défini comme la différence de potentiel existant entre le sein de la solution, et le plan de cisaillement de la particule. Il est représentatif de la stabilité d'une suspension. Le plan de cisaillement (ou rayon hydrodynamique) correspond à une sphère imaginaire autour de la particule dans laquelle le solvant bouge avec la particule lorsque les particules se déplacent dans la solution. La base théorique et la détermination du potentiel zêta sont connues de l'électrochimiste qui développe des dépôts par électrophorèse ; il peut être déduit de la mobilité électrophorétique. Pour la mesure directe du potentiel zêta, il existe différentes techniques et dispositifs commercialisés. Lorsque l'extrait sec est faible, on peut mesurer le potentiel zêta à l'aide d'un équipement de type Zetasizer Nano ZS de la société Malvern. Cet équipement mesure à l'aide de dispositifs optiques les vitesses de déplacement des particules en fonction du champ électrique qui leur est appliquée. Aussi, il faut que la solution soit très diluée pour permettre le passage de la lumière. Lorsque l'extrait sec est plus important, il est possible de mesurer le potentiel zêta à l'aide de techniques d'acoustophorèse, en utilisant par exemple un dispositif appelé « acoustosizer » de la société Colloidal Dynamics. La vitesse des particules est alors mesurée par des techniques acoustiques. On entend par « dispersant » un composé apte à stabiliser la suspension colloïdale et notamment à éviter que les particules ne s'agglomèrent. Le terme micro-batterie se réfère ici non pas à la taille totale du dispositif mais uniquement à son épaisseur. En effet, une micro-batterie à ion de lithium est toujours micrométrique, mais elle peut avoir une longueur et largeur beaucoup plus importantes, en fonction des besoins du dispositif qu'elle alimente, par exemple de plusieurs millimètres voire de plusieurs centimètres. Le procédé selon l'invention comprend les étapes essentielles de dépôt électrophorétique de particules de matériaux de cathode, d'anode et d'électrolyte solide. Un tel procédé permet de réduire de manière significative la quantité de défauts dans les couches obtenues par rapport aux procédés connus, notamment les grandes porosités, cavités, craquelures et agglomérats ; la qualité des couches déposées est meilleure lorsque la suspension à partir de laquelle le dépôt est effectué est suffisamment stable. Le procédé selon l'invention permet le dépôt de couches minces d'électrodes et/ou d'électrolyte. Ces couches ont une épaisseur généralement inférieure à environ 20 pm, de préférence inférieure à environ 10 pm, et encore plus préférentiellement inférieure à 35 5 pm. -14- Le procédé de fabrication de batteries en couches minces entièrement solides selon la présente invention présente une alternative avantageuse aux techniques connues, et particulièrement aux techniques de dépôt PVD, en permettant de faire des dépôts très denses, à basse température, sur de grandes surfaces de substrat, avec des vitesses de dépôt élevées, des épaisseurs contrôlables facilement et de manière très précise (en fonction de la taille des particules), sur un large intervalle d'épaisseur pouvant aller du dixième de micron à plusieurs dizaines voire centaines de microns, sans induire d'investissements très couteux dans des machines complexes et peu productives. Les figures la à le illustrent les différences entre les porosités 3 intra agglomérats, situées entre les particules 2, et que nous appellerons dans ce document « porosités », et les porosités 6 inter agglomérats, situées entre les agglomérats 5 et que nous appellerons « cavités » 6. Un dépôt compact est un dépôt qui ne comporte pas de cavités, ni de fissures. En revanche, il comporte des porosités dont le taux s'exprime en pourcentage et se calcule de la manière suivante : Porosité [%] = [(densité du matériau massif - densité vraie)/densité vraie] x 100 sachant que la « densité vraie » est la densité mesurée sur la couche déposée et que la densité du matériau massif est la densité massive du matériau déposé, en faisant abstraction de la présence de particules dont l'empilement forme une porosité. Nous décrivons ici en détail chacune des étapes du procédé selon l'invention. Préparation des suspensions De manière à avoir un dépôt parfaitement homogène en épaisseur, sans rugosité, et avec peu de défauts et le plus compact possible à l'issue du procédé de dépôt par électrophorèse, le dépôt est préférentiellement réalisé à partir de suspensions colloïdales SP+, SP-, SPn très stables. La stabilité des suspensions dépend de la taille des particules P+, P-, Pn, ainsi que de la nature du solvant utilisé et du stabilisant ayant servi à stabiliser la suspension colloïdale. L'approvisionnement de ces suspensions colloïdales correspond aux étapes (a), (b) et (c) d'un mode de réalisation principal du procédé selon l'invention. On entend par « SP+ » une suspension colloïdale contenant des particules « P+ » de matériaux permettant d'obtenir un film de cathode, par « SP-« une suspension colloïdale contenant des particules « P-« de matériaux permettant d'obtenir un film -15- d'anode, par « SPn » une suspension colloïdale de particules « Pn » de matériaux permettant d'obtenir un film d'électrolyte. Afin de faciliter la densification ultérieure éventuelle du dépôt et garantir la possibilité de faire des dépôts en couches minces avec des épaisseurs et des profils (rugosité) très précis, des suspensions colloïdales contenant des particules de taille nanométriques sont préférées. Ces particules ont de préférence une taille de particules moyenne D50 inférieure à 100 nm, et plus préférentiellement (surtout dans le cas où la suspension comporte des particules de matériaux à point de fusion élevés) inférieure à 30 nm. En effet, avec des particules de faibles dimensions, la densification du dépôt est grandement facilitée dès lors que le dépôt est compact. On peut également utiliser des particules ayant une forme parallélépipédique. La réalisation de dépôts électrophorétiques à partir de suspensions colloïdales stables permet d'éviter la formation de pores, cavités et d'amas préjudiciables à la densification du dépôt. De plus, avec cette technique, il est possible d'obtenir des dépôts ayant une excellente compacité, sans nécessairement avoir obligatoirement recours à des pressages mécaniques, des déliantages, et ce, quelle que soit la taille des particules déposées. Cette forte compacité du dépôt est obtenue bien que les suspensions soient très diluées, avec de faibles extraits secs. La stabilité des suspensions peut être exprimée par leur potentiel zêta. Dans le cadre de la présente invention, la suspension est considérée comme stable lorsque son potentiel zêta est supérieur à 40 mV, et très stable lorsqu'il est supérieur à 60 mV. En revanche, lorsque le potentiel zêta est inférieur à 20 mV, des agglomérats de particules peuvent apparaitre. Aussi, pour garantir la bonne compacité du film mince, les dépôts sont de préférence réalisés à partir de suspensions colloïdales ayant un potentiel zêta supérieur à 40 mV, et encore plus préférentiellement 60 mV (en valeur absolue). Les suspensions colloïdales destinées à être utilisées en électrophorèse comportent un solvant isolant électrique, qui peut être un solvant organique, ou de l'eau déminéralisée, ou un mélange de solvants, et des particules à déposer ; les suspensions colloïdales peuvent également comporter un ou plusieurs stabilisants. Dans une suspension stable, les particules ne s'agglomèrent pas entre elles pour créer des amas susceptibles d'induire des cavités, agglomérats et/ou défauts importants dans le dépôt. Les particules restent isolées dans la suspension. Aussi, dans un mode de réalisation de la présente invention, la stabilité de la suspension nécessaire à l'obtention d'un dépôt compact est obtenue grâce à l'ajout de stabilisants. -16- Le stabilisant permet d'éviter la floculation des poudres et la formation d'agglomérats. Il peut agir par un effet électrostatique ou par un effet stérique. La stabilisation électrostatique est basée sur les interactions électrostatiques entre des charges et est obtenue par la distribution d'espèces chargées (ions) dans la solution. La stabilisation électrostatique est contrôlée par la concentration en ions ; elle peut par conséquent dépendre du pH. La stabilisation stérique met en oeuvre des polymères, tensio-actifs non ioniques voire des protéines, qui, ajoutés à la suspension, viennent s'absorber à la surface des particules pour causer la répulsion par encombrement de l'espace interparticulaire. Une combinaison des deux mécanismes de stabilisation est également possible. Dans le cadre de la présente invention, on préfère la stabilisation électrostatique qui est facile à mettre en oeuvre, réversible, peu onéreuse, et qui facilite les processus ultérieurs de consolidation. Lorsque l'eau est utilisée comme solvant, des tensions de dépôt inférieures à 5 V doivent être privilégiées. En effet, au-delà de 5 V l'eau risque de subir une électrolyse donnant lieu à des productions de gaz sur les électrodes qui rendent les dépôts poreux et diminuent leur adhérence sur le substrat. Par ailleurs, les réactions galvaniques en milieu aqueux donnent lieu à la formation de cations métalliques susceptibles de polluer les dépôts. Dans un mode de réalisation préféré, les dépôts se font en phase solvantée. Il est ainsi possible de travailler à des valeurs de tension plus élevées, augmentant ainsi les vitesses de dépôts. Selon l'invention, les nanoparticules utilisées pour la réalisation du film mince de cathode sont choisies de manière préférée, parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : LiMn2O4, LiCoO2, LiNiO2, LiMn1,5Ni0,504, LiMn1,5Ni0,5_xXx04 (X = Al, Fe, Cr, Co, Rh, Nd, autres terres rares' et 0 Dépôt des couches par électrophorèse Selon l'invention, au moins la couche de cathode et la couche d'électrolyte sont déposées par voie électrophorétique. Le dépôt électrophorétique de particules se fait par l'application d'un champ électrique entre le substrat sur lequel est réalisé le dépôt et une contre-électrode, permettant de mettre les particules chargées de la suspension colloïdale en mouvement, et de les déposer sur le substrat. L'absence de liants et d'autres solvants déposés en surface avec les particules permet d'obtenir des dépôts très compacts. La compacité obtenue grâce au dépôt électrophorétique, et l'absence de composés organiques en grande quantité dans le dépôt permet de limiter voire d'éviter les risques de craquelures ou d'apparition d'autres défauts dans le dépôt pendant les étapes de séchage. D'autre part, du fait que le dépôt obtenu par électrophorèse ne contient pas de liants, ou d'autres composés organiques, le procédé selon la présente invention ne nécessite pas d'étapes de brulage, ou d'évaporation de composés corrosifs ou nocifs. Or, l'accroissement des contraintes économiques et environnementales impose de réduire les rejets dans l'atmosphère, ainsi la présente invention répond bien à ces contraintes. Par ailleurs, le brulage de ces composés organiques tend à créer des zones vides, des cavités dans le dépôt qui seront par la suite difficiles à combler. Ces étapes de déliantage peuvent également conduire à polluer les surfaces des particules déposées. -19- De plus la vitesse de dépôt peut être très élevée en fonction du champ électrique appliqué et de la mobilité électrophorétique des particules de la suspension. Pour une tension appliquée de 200 V, des vitesses de dépôt de l'ordre de 10 pm/min peuvent être obtenues. La figure 3 illustre le principe de fonctionnement des dépôts par électrophorèse. L'inventeur a constaté que cette technique permet de réaliser des dépôts sur de très larges surfaces avec une excellente homogénéité et une très grande précision (sous réserve que les concentrations en particules et champs électriques soient homogènes sur la surface du substrat). Cette technique permet également de recouvrir des surfaces tridimensionnelles. L'épaisseur de chacune des couches de cathode, anode et électrolyte solide est de préférence comprise entre 1 pm et 10 pm. Après le dépôt de la couche et avant l'éventuelle étape de frittage par traitement thermique, on peut effectuer une étape de densification mécanique (par exemple par pressage) afin de compacter davantage les particules et induire des déformations des particules qui faciliteront encore plus la densification ultérieure. Le dépôt par électrophorèse peut être mis en oeuvre dans un procédé de type « batch » (statique) ou dans un procédé continu. Lors du dépôt électrophorétique, une alimentation stabilisée permet d'appliquer une tension entre le substrat conducteur et une contre électrode située dans la suspension colloidale. Cette tension peut être continue ou alternative. Un suivi précis des courants obtenus permet de suivre et de contrôler précisément les épaisseurs déposées. Lorsque les couches déposées sont isolantes, en fonction de leur épaisseur, elles peuvent affecter la valeur du champ électrique, aussi, dans ce cas, on privilégie un mode de dépôt en courant contrôlé. En fonction de la résistivité de l'interface, la valeur du champ électrique est modifiée. Par ailleurs cette technique de dépôts permet un recouvrement parfait de la surface quelle que soit sa géométrie, la présence de défauts d'aspérité. Elle permet par conséquent de garantir les propriétés diélectriques du film d'électrolyte. Lorsque des matériaux peu ou pas conducteurs électriques sont déposés sur la surface d'un substrat, les éventuelles zones moins bien revêtues, sont plus conductrices et concentrent ainsi localement une vitesse de dépôt plus importante qui tend à compenser voir effacer le défaut. Les dépôts obtenus sont ainsi intrinsèquement d'excellente qualité, avec peu de défauts et très homogènes. -20- Le diagramme de la figure 4 présente un mode de réalisation typique du procédé selon l'invention, représenté ici pour chacune des couches : 1° étape : Préparation des suspensions. On utilise des poudres de la composition chimique du revêtement (de la couche mince) que l'on souhaite déposer. 2° étape : Immersion du substrat dans la suspension colloïdale. La suspension colloïdale peut recouvrir la totalité de la surface du substrat. Dans un mode de réalisation particulier, un masque peut être appliqué sur la surface du substrat de manière à limiter la surface en contact de la suspension et par voie de conséquence réduire la surface de dépôt. 3° étape : Application d'un champ électrique entre le substrat et une contre-électrode située dans la suspension colloïdale. Ce champ électrique peut être constant et / ou variable (alternatif). Le sens moyen du champ électrique, c'est-à-dire du potentiel appliqué aux électrodes est adapté à la charge de la particule à déposer (cataphorèse ou anaphorèse). 4° étape : Séchage. Les conditions de séchage dépendent de l'épaisseur déposée ainsi que de la nature du solvant. Il est possible d'effectuer une étape de densification mécanique sur la couche humide avant séchage, par exemple par calandrage ou compression statique ; cela peut permettre d'améliorer la qualité de la couche, mais ne remplace pas la densification à sec. 5° étape : Densification. La densification est réalisée par densification mécanique et/ou traitement thermique. La densification peut être réalisée après le dépôt de chaque nouvelle couche ou sur plusieurs couches à la fois. La figure 5 représente un autre mode de réalisation du procédé selon l'invention. Densification du dépôt Avantageusement, les couches déposées sont densifiées, afin de réduire la taux de porosité du revêtement. Cette étape de densification du dépôt peut être réalisée : par un moyen mécanique, en particulier par compression isostatique. La pression appliquée est de préférence supérieure à 250 MPa et de préférence supérieure à 400 MPa ; une valeur de l'ordre de 500 MPa donne de très bons résultats ; - 21 - - par un traitement thermique. La température dépend fortement de la composition chimique des poudres déposées. Il convient par ailleurs de maintenir une atmosphère contrôlée afin d'éviter l'oxydation du revêtement ; - par une combinaison de moyens thermiques et mécaniques, en particulier par frittage sous pression ; Le substrat est composé d'un matériau isolant avec des zones métallisées, conductrices et généralement métallique. On préfère éviter de le chauffer à des températures élevées lors de la fabrication de la batterie, afin d'éviter tout risque d'oxydation et de détérioration des propriétés de surfaces. La réduction de l'oxydation de surface est particulièrement bénéfique pour diminuer des résistances de contact électrique, point essentiel au fonctionnement de dispositifs de stockage et/ou production d'énergie. L'obtention de couches électrophorétiques de très bonne qualité tel que décrit ci-dessus, et en particulier de couches compactes, permet de réduire la durée et la température des traitements thermiques et de limiter le retreint de ces traitements, et d'obtenir une structure nanocristalline homogène. Ceci contribue à l'obtention de couches denses sans défauts. L'inventeur a constaté que plus la taille des particules déposées diminue, plus la pression de compaction de ces dépôts doit être élevée, et plus la température du traitement thermique peut être diminuée. Il est ainsi possible de réaliser des dépôts en couches minces, ou relativement épaisses, avec des taux de porosité inférieure à 5% voire 2% sans avoir recours à des températures et/ou durées de traitement thermiques importants. Par ailleurs, cette technologie de compaction des dépôts à faible température réduit considérablement les risques de rétreint. Aussi, il n'est plus nécessaire d'avoir recours à des cycles de traitement thermique très complexes et couteux pour consolider les dépôts d'électrodes et d'électrolyte des batteries. Durant la phase de densification mécanique et/ou thermique il peut être avantageux de travailler sous vide, ou sous atmosphère inerte afin d'éviter l'apparition de pollution sur les surfaces des particules qui pourraient nuire au mécanisme de densification des particules entre-elles. Pour des tailles de particules telles que celles utilisées dans le procédé selon l'invention, c'est l'augmentation des énergies de surface qui devient la principale force motrice de la densification par traitement thermique; cela se traduit par une forte baisse des températures de densification lorsque la taille des particules diminue. Cependant, pour que cette réduction des températures de consolidation soit effective, il est -22- nécessaire que les particules soient au préalable compactées mécaniquement, et/ou déposées avec un empilement compact. C'est la multiplication des contacts mécaniques entre ces particules qui permet de faciliter les processus diffusionnels à l'origine de la densification. Aussi, pour compacter les dépôts, des pressages sont généralement appliqués. Cette technique de compaction par pressage (calandrage) est bien adaptée aux dépôts constitués de particules de tailles microniques ou supérieures. En effet, le compactage mécanique de nanoparticules est beaucoup plus difficile à réaliser que celui de particules de tailles micrométriques, et nécessite des pressions très élevées. Le nombre de contacts entre particules augmente avec la diminution de leurs tailles, ce qui se traduit par un frottement qui dissipe l'essentiel des efforts de compression. La présence d'agglomérats, de cavités inter-agglomérats influence également la densification. Plus leurs tailles augmentent, plus la distance de diffusion augmente et plus la température de densification est élevée pour obtenir une bonne densification. Ainsi, avec des nanoparticules déposées par électrophorèse on peut s'approcher de la densité théorique géométrique d'un empilement cubique à faces centrées (68%) voire d'un empilement hexagonal compact (74%) sans étape de compaction mécanique. Un tel résultat n'est pas possible par les techniques d'encrage. Le dépôt de nanoparticules par la technique des encres mentionnée ci-dessus est très difficile en couche mince car la diminution de la taille des particules conduit à l'augmentation de la viscosité des suspensions. Il faut alors diminuer l'extrait sec en augmentant la proportion de solvant ; on observe alors que l'élimination d'une grande quantité de solvant des couches crues induit des pores et cavités, qu'il sera quasiment impossible de colmater sans avoir recours à des températures et/ou pressions extrêmes. La forte compacité du dépôt obtenu par électrophorèse, et la faible quantité de solvant à évaporer limite très sensiblement le risque d'apparition de fissures après séchage. Par ailleurs, la faible taille des particules, leur grande surface spécifique tend à faciliter les étapes de consolidation par un traitement thermique (appelé parfois dans ce contexte : « frittage »). La densification du dépôt peut ainsi être réalisée à des températures proches de 0,7 Tf voire, 0,5Tf, ou 0,3Tf où Tf est la température de fusion (exprimée en °C) du matériau massif de composition chimique identique à celle de la particule déposée. Le terme « température de fusion » englobe ici la température de décomposition pour le cas des substances qui n'ont pas de point de fusion. Lorsque la couche est composée d'un mélange de matériaux, la température de traitement thermique st choisie par rapport à la température de fusion du matériau le -23- plus fusible, c'est à dire ayant la température de fusion la plus basse. Pour réduire encore cette température de densification, il est également possible d'appliquer une compression mécanique à ce dépôt afin d'accroitre davantage sa compacité, et/ou créer des défauts ponctuels qui vont contribuer à accélérer le processus de densification, d'obtention de couches minces sans porosités. Un tel procédé de fabrication de couches minces peut être utilisé directement sur des substrats comme polymères métallisés, des feuillards en aluminium, ayant de faibles températures de fusion. Les nanoparticules étant très sensibles aux pollutions de surfaces, il est cependant préférable de réaliser ces traitements de consolidation sous vide, ou bien sous atmosphère inerte. La figure 2a représente l'approvisionnement d'un substrat, ici sous forme d'une plaque isolante 65 revêtue partiellement de films métalliques 68a, 68b correspondant à un mode de réalisation principal de l'invention. La figure 2b représente le dépôt par électrophorèse des nanoparticules de cathode 63 sur la partie métallique du substrat 68a. La figure 2c représente le dépôt par électrophorèse des nanoparticules d'électrolyte 66 sur la partie métallique du substrat 68a recouverte de cathode 63. La figure 2d représente une vue en coupe de la batterie après dépôt du film mince 20 d'anode. Dans cet exemple, l'anode est obtenue par évaporation d'un film de lithium métallique qui sert à la fois d'anode mais également à assurer le contact électrique avec le collecteur de courant anodique déposé sur le substrat. La figure 3 représente la vue en coupe du procédé de dépôt par électrophorèse des 25 nanoparticules 30 de matériau cathodique contenues dans une suspension colloïdale 42 autour d'un masque isolant 46 sur un substrat 44 présentant une surface métallisée 45. Les particules chargées 31 se déposent sous l'influence d'un champ électrique généré par la source de tension 47 sur la surface métallisée 45 du substrat 44. Cette figure illustre le principe de fonctionnement des dépôts par électrophorèse, et 30 correspond également à la réalisation de la figure 2b. La figure 5 représente, étape par étape, un autre exemple, de réalisation, dérivé de celui de la figure 2, mais dans lequel la couche anodique 21 n'est pas métallique, mais par exemple en Li4Ti5O12. Un fil de connexion 25 établit la liaison électrique entre le -24- collecteur anodique 13, typiquement une couche de métal déposée sur la couche anodique 21, et un dépôt métallique 28 servant de terminaison électrique sur lequel le courant peut être dérivé (par exemple par contact mécanique ou par soudure avec un élément métallique) vers le composant consommateur, le deuxième contact pouvant être relié à la couche métallique 23 agissant comme collecteur de courant cathodique. La figure 6a représente le chemin de diffusion du lithium dans un empilement compact de particules imprégné d'électrolyte. Il existe une zone de contact surfacique 76 entre les particules et l'électrolyte contenu dans les porosités. Le chemin de diffusion peu résistif. Il existe également une zone de contact ponctuel 77 entre les particules. La diffusion du lithium sur ce contact ponctuel est limitée. La figure 6b représente l'évolution de l'interface entre les particules pendant la consolidation. Le chemin de diffusion 78 peut être assuré en phase solide, sans recours à un électrolyte liquide dans les porosités La figure 6c représente la structure obtenue après densification d'un dépôt composite contenant une phase «fusible» 79. La figure 6d montre de manière schématique l'influence de la densification sur le type de porosité. Ce point peut justifier que nos batteries aient des porosités inférieure à 30%. A ce niveau, elles sont fermées et ne peuvent plus être imprégnées d'électrolyte. Plus la porosité est faible meilleures seront les performances (VVh/l, Wh/kg) si en la batterie est en couches minces. L'électrophorèse permet de déposer des couches de compositions difficiles voire impossibles à obtenir par voie sous vide ; par exemple, on peut incorporer des polymères dans une phase minérale, ou déposer des composés de type spinelle (LiMn2O4), olivine (LiFePO4) difficilement accessibles par dépôt sous vide. Il convient de noter que si l'on effectue la densification de la cathode ou de l'électrolyte avant le dépôt électrophorétique de la couche suivante (en l'occurrence : électrolyte ou anode), il y a un risque que le lithium migre vers la surface sur laquelle s'effectue le dépôt électrophorétique : le potentiel appliqué notamment à la couche d'électrolyte pour déposer par voie électrophorétique la couche d'anode est très supérieur au potentiel de charge de la batterie formée, ce qui risque de détruire la batterie formée. Il convient par conséquent d'adapter la charge de surface des particules à déposer ainsi que le sens du champ électrique afin d'éviter toute migration des ions lithium des couches minces déposées. -25- Les microbatteries susceptibles d'être obtenues par le procédé selon l'invention se distinguent des batteries connues par plusieurs particularités structurelles. L'électrolyte est entièrement solide. Les couches peuvent présenter une composition qui ne peut pas être obtenue par dépôt sous vide. Le taux de porosité des couches d'anode, de cathode et d'électrolyte solide, exprimé par le rapport entre la densité réelle et la densité théorique des couches est élevé et peut atteindre 0,9 voire 0,95. La taille des grains peut être beaucoup plus faible que dans les batteries à couches minces déposées par des encres, car la couche déposée par électrophorèse est plus compacte et peu être densifiée à basse température. Avantageusement, dans les batteries selon l'invention, tous les collecteurs sont en aluminium, qui est moins coûteux que le cuivre ou l'argent. Dans les batteries selon l'état de la technique, l'utilisation de l'aluminium n'est souvent pas possible ou limité à la cathode, soit car leur fabrication implique des températures trop élevées par rapport au point de fusion de l'aluminium soit car une anode en aluminium risquerait d'être attaqué par les sels de lithium qui s'y déposent. Le fait de n'employer au sein d'une même batterie qu'un seul matériau pour les collecteurs facilite leur recyclage. Une autre caractéristique structurelle des batteries selon l'invention est que la couche d'électrolyte recouvre, au moins sur un côté, la tranche des couches d'anodes et de 20 cathode. Une dernière caractéristique structurelle des batteries selon l'invention est leur stabilité dimensionnelle pendant leur utilisation : dans certains matériaux d'anode (notamment comme le Li4Ti5012), qui sont difficilement accessibles par dépôt sous vide, l'insertion du lithium ne conduit pas à une variation de l'épaisseur. Cela améliore la durée de vie 25 de batteries, surtout de celles fabriquées par empilement de plusieurs structures « collecteur / anode / électrolyte / cathode / collecteur ». L'invention présente de nombreux avantages. Le procédé de fabrication des couches d'anode, d'électrolyte solide et de cathode par électrophorèse est simple, rapide, peu onéreux. Le procédé n'a pas besoin d'être mis en oeuvre dans une atmosphère sèche, 30 contrairement aux procédés selon l'état de la technique mettant en oeuvre des sels de lithium ou de lithium métallique, très sensibles à l'humidité. Les batteries obtenues présentent une forte densité de puissance ; elles présentent également une forte densité d'énergie (environ deux fois plus que les batteries à ions de lithium connues) dû au très faible taux de porosité, et à la faible épaisseur des films d'électrolyte. 35 L'absence de sels de lithium corrosifs dans les électrolytes, ainsi que la possibilité de -26- substituer les anodes à base de lithium métallique par des matériaux à insertion améliore la durée de vie de la batterie, diminue le risque de court-circuit interne et améliore également sa résistance à la température ; de ce fait, les batteries selon l'invention peuvent subir une opération de soudage à la vague. Ainsi, les batteries selon l'invention présentent un meilleur niveau de sécurité. Par ailleurs, leur taux d'autodécharge est plus faible, car la couche d'électrolyte ne présente pas de défauts, de porosités et recouvre les bords des électrodes. Le procédé selon l'invention peut être mis en oeuvre de la manière suivante. 1- Préparation de la suspension colloïdale SP+ Pour obtenir la suspension SP+ de particules P+ de matériau de cathode, on synthétise une poudre de LiMn2O4 constituée d'amas de nanoparticules. Pour cela on utilise la méthode de Pechini décrite dans l'article « Synthesis and Electrochemical Studies of Spinel Phase LiMn2O4 Cathode Materials Prepared by the Pechini Process », W. Liu, G.C. Farrington, F. Chaput, B. Dunn, J. Electrochem. Soc., vol.143, No.3, 1996.. Après l'étape de calcination à 600°C, la poudre contient des amas dont la taille est comprise entre 50 nm et 100 nm. Cette poudre est ensuite mise en suspension dans de l'éthanol avec un extrait sec de LiMn2O4 égal à 20 g/I. La suspension SP+ est introduite dans le bol d'un broyeur à billes préalablement rempli de billes en céramiques de diamètre 0,1 mm. Le broyage pendant 2 heures en présence de quelques centaines de ppm d'agent complexant, par exemple de l'acide polyacrylique permet d'obtenir une solution colloïdale présentant des particules (D50) dont la taille est égale à 10 nm. Le potentiel zêta de la suspension s'élève à environ 65 mV. 2- Dépôt du film de cathode Les particules de LiMn2O4 contenues dans la suspension sont par la suite déposées sur un la zone métallisée du substrat (Cf. fig. 2b). Le dépôt est réalisé localement du fait de l'utilisation d'un masque isolant (Cf. fig. 2b et 3). Le dépôt est réalisé en appliquant entre la zone métallisée du substrat sur laquelle sera réalisée le dépôt et une contre-électrode, tous deux immergés dans la suspension colloïdale, une tension de 100 V jusqu'à obtenir un dépôt de 5 pm d'épaisseur. Ce dépôt est ensuite séché pendant 1 heure à 90°C. -27- Le dépôt est ensuite compacté par une compression isostatique, puis recuit sous vide à 500°C pendant 900 secondes. 3- Préparation de la suspension colloïdale SPn Pour réaliser la suspension colloïdale contenant des particules de l'électrolyte, on synthétise tout d'abord des poudres nanométriques du Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3 en utilisant le procédé décrit dans la publication « Thin-film lithium-ion battery derived from Li1,3A10oTi1,e04)3 sintered pellets » par Xiao et al, paru dans Trans. Nonferrous Me. Soc. China 16 (2006), p. 281-285. On dissout en quantité stoechiométrique le Li(CH3- C00).2H20 et Al(NO3)3.9H20 dans CH3OCH2CH2OH, puis on ajoute à ce mélange sous agitation PO(0C4H9)4. Après avoir ajouté la quantité stoechiométrique d'eau déminéralisée pour l'hydrolyse des alkoxydes, la suspension obtenue est séchée à 140°C pendant 4 heures pour former un gel de Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3. Ce gel est par la suite calciné à 900°C pendant 2 heures et pour obtenir une poudre agglomérée de Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3; cette poudre est ensuite mise en suspension dans de l'éthanol avec une concentration égale à 20 g/I. La suspension est introduite dans le bol d'un broyeur à billes préalablement rempli de billes en céramiques de diamètre 0,1 mm. Le broyage pendant 3 heures en présence d'un peu d'acide polyacrylique qui joue le rôle d'agent complexant permet d'obtenir une solution colloïdale présentant des particules dont la taille D50 est égale à 15 nm. Le potentiel zêta de la suspension est de l'ordre de 60 mV. 4- Dépôt de la couche d'électrolyte Les particules de Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3 obtenues dans la suspension sont par la suite déposées sur le dépôt de LiMn2O4, densifié, en appliquant entre le substrat et un contre-électrode, tous deux immergés dans la suspension colloïdale, une tension de 100 V jusqu'à obtenir un dépôt de 1,5 pm d'épaisseur. La cathode (LiMn2O4) revêtue du film mince de nanoparticules d'électrolyte. On fait sécher la couche d'électrolyte à 90°C. Le dépôt est ensuite compacté par une compression isostatique, puis recuit sous vide 30 à 350°C pendant 900 secondes. 6- Dépôt du film d'anode -28- Le substrat avec les dépôts de cathode et d'électrolyte est ensuite placé dans une enceinte sous vide, et l'anode en lithium est déposée localement sur une surface couvrant sur l'électrolyte le vis-à-vis de la cathode ainsi que la terminaison électrique déposée sur le substrat. Lorsqu'une anode en lithium métallique est utilisée, une couche d'encapsulation doit être déposée pour protéger la cellule batterie des agressions externes.10 REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication de micro-batteries en couches minces entièrement solides, lesdites micro-batteries comprenant une couche de matériaux d'anode (« couche d'anode »), une couche de matériaux d'électrolyte solide (« couche d'électrolyte ») et une couche de matériaux de cathode (« couche de cathode ») en contact électrique avec un collecteur cathodique, caractérisé en ce que - une première couche d'électrode (cathode ou anode) est déposée par électrophorèse sur un substrat qui est conducteur ou présentant au moins une zone conductrice, ledit substrat ou ladite au moins une zone conductrice pouvant servir comme collecteur du courant de ladite électrode (courant cathodique ou anodique) de la micro-batterie, - la couche d'électrolyte est déposée par électrophorèse sur ladite première couche d'électrode, - une seconde couche d'électrode (anode ou cathode) est déposée sur la couche d'électrolyte par électrophorèse ou par un procédé de dépôt sous vide. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une étape dite de densification pour augmenter la densité d'au moins une des couches (et de préférence de toutes les couches) déposées par électrophorèse. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel l'étape de densification est effectuée : - après le dépôt de la couche de cathode et/ou après le dépôt de la couche d'électrolyte, si la couche d'anode est déposée par une technique autre que l'électrophorèse, - après le dépôt de la couche d'anode si la couche d'anode est déposée par électrophorèse.-30- 4. Procédé selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que ladite densification est une densification mécanique et/ou une densification thermique. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite étape de densification thermique est effectuée à une température TR ne dépassant pas 0,7 fois la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C), et de préférence ne dépassant par 0,5 fois (et encore plus préférentiellement ne dépassant pas 0,3 fois) la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C) du matériau d'anode, de cathode ou d'électrolyte le plus fusible qui est soumis à ce traitement, et encore plus préférentiellement ne dépassant pas 600°C. 6. Procédé selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que l'étape de densification thermique, et éventuellement aussi l'étape de densification mécanique, est réalisée sous vide ou sous gaz inerte. 7. Procédé de fabrication de batteries en couches minces entièrement solides selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant les étapes de : (a) Approvisionnement d'une première suspension colloïdale « SP+ » contenant des particules « P+ » dite de « matériaux de cathode » ; (b) Approvisionnement d'une deuxième suspension colloïdale « SPn » de particules « Pn » dite de « matériaux d'électrolyte solide » ; (c) Approvisionnement d'un substrat isolant revêtu totalement ou partiellement de surfaces conductrices ; (d) Immersion du substrat, pouvant être localement épargné par un masque isolant, dans un bain de ladite suspension SP+ contenant des particules P+ de matériaux de cathode en présence d'une contre-électrode, suivi de l'application d'une tension électrique entre ledit premier substrat conducteur et ladite contre-électrode de manière à obtenir un dépôt électrophorétique contenant des particules P+ de matériaux de cathode sur ledit substrat de matériau conducteur, pour obtenir un premier produit intermédiaire BP+ ; (e) Immersion dudit produit intermédiaire BP+, pouvant être localement épargné par un masque isolant, dans un bain de ladite suspension SPn de particules Pn de matériaux d'électrolyte en présence d'une contre-électrode, suivi de- 31 - l'application d'une tension électrique entre ledit substrat et ladite contre-électrode de manière à obtenir un dépôt électrophorétique de particules Pn de matériaux d'électrolyte sur la surface de la couche de cathode dudit produit intermédiaire BP+, obtenant ainsi un second produit intermédiaire BP+Pn ; (f) Dépôt d'une couche d'anode sur la couche d'électrolyte dudit produit intermédiaire BP+Pn, pouvant être localement épargné par un masque, soit par dépôt sous vide soit ou par électrophorèse à partir d'une troisième suspension colloïdale « SP- » contenant des particules « P- » dite de « matériaux d'anode », pour obtenir un troisième produit intermédiaire BP+PnP-. 8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel on dépose sur la couche d'anode dudit produit intermédiaire BP+PnP- une couche de collecteur de courant anodique. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que la taille moyenne D50 des particules de matériau de cathode et/ou de matériau d'électrolyte solide et/ou, le cas échéant, de matériau d'anode présentes dans lesdites solution colloïdales déposés par électrophorèse est inférieure à 1 pm, de préférence inférieure à 100 nm et encore plus préférentiellement inférieure ou égale à 30 nm. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 9 caractérisé en ce que le potentiel zêta des suspensions SP+, SP- et/ou SPn est supérieure à 40 mV, et de préférence supérieur à 60 mV. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 10 caractérisé en ce que les suspensions SP+, SP- et/ou SPn contiennent en outre un stabilisant stérique ou, de préférence, électrostatique. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que lesdites couches de cathode, d'électrolyte et d'anode présentent une porosité inférieure à 20%, de préférence inférieure à 10% et encore plus préférentiellement inférieure à 5%.-32- 13. Batterie en couches minces entièrement solides susceptible d'être fabriquée par le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, comprenant un empilement successif des couches suivantes - une couche de collecteur de courant cathodique, - une couche cathodique, - une couche d'électrolyte, - une couche anodique, - une couche de collecteur de courant anodique. 10