FR 2977034 A1 20121228 FR 1155432 A 20110621 « CAPTEUR DE MESURE CALORIMETRIQUE DIFFERENTIELLE ET PROCEDE DE FABRICATION » L'invention concerne le domaine de la calorimétrie et, plus 5 particulièrement, un capteur de mesure calorimétrique différentielle et son procédé de fabrication. On connaît déjà de nombreux calorimètres qui ont tous pour objectif de mesurer les quantités de chaleur mises en jeu lors d'une réaction chimique ou d'une transformation de la matière. 10 En effet, par exemple lors d'une transformation physique, telle qu'une transition de phase, un échange de chaleur se produit entre la matière et l'environnement extérieur, dont le sens dépend de la nature endothermique ou exothermique du processus de transition. En conséquence, la mesure des quantités de chaleur permet 15 d'accéder à des informations sur l'état structural de la matière. C'est pourquoi les calorimètres sont utilisés dans de nombreux domaines scientifiques, en particulier la physique et la chimie, et donc dans l'industrie. Sont notamment concernées la métallurgie, pour l'étude des réactions d'oxydoréduction et des transitions thermiques, la chimie des 20 polymères ou encore la biochimie et l'industrie agroalimentaire. En particulier, en biophysique, la calorimétrie est la seule méthode qui permette d'accéder de manière directe à des données thermodynamiques (stabilité thermodynamique, énergie libre, entropie, etc...) Les calorimètres connus mettent en oeuvre différentes 25 méthodes, notamment la calorimétrie différentielle à balayage, la calorimétrie adiabatique, la calorimétrie isotherme ou encore la calorimétrie à courant alternatif ou calorimétrie AC (« Alternative Current» dans la terminologie anglaise). La présente demande de brevet s'intéresse à la calorimétrie 30 différentielle à balayage qui a été utilisée pour concevoir la cellule de mesure selon l'invention. Cette technique d'analyse consiste à mesurer les différences des échanges de chaleur entre un échantillon à analyser et une référence. Une mesure différentielle présente l'avantage d'éliminer la majeure partie des dérives thermiques dues à l'environnement, sans ajouter de bruit au système. Ainsi, elle permet de détecter uniquement le signal induit par la transformation thermodynamique à étudier. A titre d'exemple, dans le domaine des sciences du vivant, pour étudier l'évolution thermodynamique d'une protéine, deux cellules identiques sont réalisées, ces cellules étant combinées à l'environnement de façon thermiquement équivalente. L'une d'elle est remplie avec un volume de solution tampon, constituant la référence, l'autre étant remplie avec une solution comprenant la solution tampon et la protéine, constituant l'échantillon. En pratique, les deux cellules sont placées dans un four dont la température évolue de façon déterminée, généralement selon des rampes. Celle-ci va entraîner une transformation physique de l'échantillon et donc un flux de chaleur échangé entre l'échantillon et le four. Une mesure différentielle entre les deux cellules de mesure permet de déterminer la différence de flux de chaleur entre l'échantillon et la référence et d'obtenir donc directement le signal utile engendré par la protéine. Les appareils connus utilisent généralement la technique de calorimétrie différentielle à balayage ou DSC (« Differential Scanning Calorimetry » dans la terminologie anglaise) dans laquelle est prévu un étalonnage préalable à la mesure et un balayage d'un gaz inerte pour éviter toute réaction de l'échantillon avec l'atmosphère du four. Ces appareils ont longtemps apporté satisfaction car ils permettent non seulement de mesurer la quantité de chaleur absorbée ou libérée au cours d'une transition de phase mais également d'observer des changements de phase plus compliqués, comme les transitions vitreuses. On peut notamment citer les calorimètres commercialisés par les sociétés Setaram, Mettler Toledo, Netzsch, TA instruments ou MicroCal pour les plus importantes, avec uniquement des calorimètres DSC dédiés aux sciences du vivant chez TA instruments ou MicroCal. Ces derniers présentent cependant des inconvénients qui tiennent notamment au volume minimum de l'échantillon, nécessaire pour réaliser une mesure. En effet, bien que le volume dans la zone de mesure ne soit que de quelques centaines de microlitres, le volume minimum est de l'ordre du millilitre, pour tenir compte à la fois du volume de la cellule de mesure et du volume minimum nécessaire à l'amenée du produit dans la cellule. Ce volume minimum se révèle prohibitif dans le domaine des sciences du vivant ou dans le domaine pharmaceutique, dans lesquels les 1 o échantillons à étudier sont disponibles en très faibles quantités, notamment du fait du coût de leur synthèse. De plus, il est préférable que la concentration de molécules d'échantillon soit relativement faible, de façon à limiter les problèmes d'interaction biochimique et d'agrégation. Enfin, avec les calorimètres connus, la vitesse des rampes de 15 température prévues dans le four est limitée à 2°C/min, car des rampes trop importantes conduiraient à des gradients de température dans l'échantillon, et donc à des mesures peu fiables. Ceci constitue un obstacle pour observer certains événements cinétiques induits par des vitesses rapides, comme les transitions vitreuses. 20 La société Mettler Toledo a récemment commercialisé un calorimètre de type DSC pouvant travailler avec des quantités infimes d'échantillons et des vitesses de scan allant jusqu'à 105 K/s, mais ces instruments sont uniquement adaptés à des mesures sur des échantillons solides. 25 Les documents EP-1 351 052 et US-6 079 873 décrivent des dispositifs calorimétriques obtenus par des techniques de micro et nanofabrication qui sont adaptés à des mesures calorimétriques sur des échantillons de faible volume. Cependant, aucune réalisation industrielle de ces dispositifs 30 n'est disponible. Par ailleurs, le dispositif décrit dans le document EP-1 351 052 ne permet pas de mettre en oeuvre une analyse calorimétrique différentielle à balayage. En effet, il est dédié à la détection calorimétrique d'interactions biochimiques ou biologiques réalisées à température constante. Le dispositif décrit dans le document US-6 079 873 comprend deux plateformes suspendues, en silicium, qui servent de support pour l'échantillon et la référence. Des éléments actifs thermométriques et chauffants sont prévus. Ces plateformes sont obtenues par gravure d'un substrat. Les deux zones de mesure sont isolées thermiquement l'une de l'autre par une arête constituée par une partie du substrat qui reste intacte. L'épaisseur de cette arête doit être la plus faible possible, ce qui réduit la 1 o résistance mécanique du dispositif. Par ailleurs, le document souligne des problèmes d'isolation thermique entre les deux zones de mesure. De plus, la température différentielle est mesurée au moyen de deux thermopiles montées en opposition et constituées de quelques thermocouples. La sensibilité volt/degré est relativement faible. 15 Ce dispositif est limité dans ses applications car il ne permet pas la mesure d'échantillons biologiques en solution aqueuse. En effet, il n'est pas conçu pour recevoir un échantillon liquide. Il faudrait que celui-ci ne présente qu'un volume très réduit. Cependant, dans ce cas, l'échantillon s'évaporerait très vite en générant des effets thermiques parasites dus à l'évaporation. 20 Enfin, l'échantillon et la référence sont posés sur les plateformes. Il en résulte des couplages thermiques trop faibles provoquant des gradients de température perturbant la mesure pour des rampes de température élevées, car la chaleur n'a pas alors le temps de se propager dans tout l'échantillon. L'invention a pour objet de pallier ces inconvénients en 25 proposant un capteur de mesure calorimétrique différentielle performant, conçu pour de très faibles volumes d'échantillon solide ou liquide et fonctionnant avec des rampes de température beaucoup plus importantes que les calorimètres disponibles aujourd'hui sur le marché, tout en présentant une résolution du même ordre. 3o Ainsi, l'invention concerne un capteur de mesure calorimétrique différentiel comprenant deux cellules, une cellule thermométrique et une autre cellule, chaque cellule comprenant : une membrane en un matériau à faible conductivité thermique, avec une première face et une deuxième face, des moyens de support de la membrane, en un matériau présentant un fort coefficient de diffusivité thermique, typiquement supérieur ou égal 1 cm2/s, en contact avec ladite première face de la membrane, la cellule thermométrique comprenant au moins un élément actif thermométrique situé sur ladite première face de la membrane, et les deux cellules étant destinées à être assemblées de telle sorte que les deuxièmes faces des membranes desdites cellules sont en vis-à-vis, un échantillon placé entre les deux membranes pouvant ainsi être en contact direct avec lesdites deuxièmes faces. Ainsi, les éléments actifs ne sont jamais en contact direct avec l'échantillon faisant l'objet de la mesure. Dans un mode préféré de réalisation, l'autre cellule est une cellule de chauffage, au moins un élément actif de chauffage étant situé sur ladite première face de la membrane de cette autre cellule, de telle sorte que ledit au moins élément actif de chauffage est sensiblement aligné avec ledit au moins un élément actif thermométrique, lorsque les deux cellules sont assemblées, l'échantillon pouvant alors être placé entre deux éléments actifs de chacune des deux cellules. De façon générale, le capteur de mesure selon l'invention est destiné à être placé dans un four qui permet de réguler la température à l'intérieur du capteur et éventuellement, d'appliquer des rampes de température. Lorsque le capteur comprend une cellule de chauffage, le four peut être utilisé pour chauffer à une température constante l'échantillon placé à l'intérieur du capteur. La cellule de chauffage permet alors d'appliquer quasi instantanément des rampes de température à l'échantillon. De façon préférée, chaque cellule comprend au moins deux 30 éléments actifs. Ceci permet une mesure différentielle. Dans ce cas, un échantillon faisant l'objet de la mesure est placé en contact direct avec les deuxièmes faces des membranes entre un élément actif de chauffage de la cellule de chauffage et un élément actif thermométrique de la cellule thermométrique en regard, tandis qu'une référence est placée entre l'autre élément actif de chauffage de la cellule de chauffage et l'autre élément actif thermométrique de la cellule thermométrique. De façon avantageuse, la deuxième face de la membrane d'au moins une cellule comporte, en regard dudit au moins un élément actif, une couche en un matériau présentant une forte conductivité thermique, typiquement supérieure à 1 Watt par centimètre et par kelvin (W/cm.K). Cette couche est notamment réalisée en or et elle permet d'homogénéiser la température de chaque élément actif thermométrique. De façon avantageuse, lesdits moyens de support sont situés en périphérie de la membrane. Cette disposition permet d'isoler thermiquement les éléments 15 actifs de chaque cellule par rapport auxdits moyens de support, au moyen de la membrane. De préférence, ledit au moins un élément actif de chaque cellule est enrobé dans une couche de matériau isolant thermiquement. La présence de cette couche assure également une protection 20 mécanique des éléments actifs de la cellule. Par ailleurs, le capteur de mesure selon l'invention comporte, pour chaque cellule, un moyen de fermeture prévu en vis-à-vis de la première face de la membrane, un espace libre étant ménagé entre ledit moyen de fermeture et ledit au moins un élément actif de la cellule. 25 Ainsi, avec le capteur de mesure selon l'invention, les éléments actifs thermométriques et chauffants sont situés du même côté que les moyens de support de la membrane, ce qui accroit leur résistance. L'invention concerne un calorimètre différentiel comprenant un capteur de mesure selon l'invention, un four dans lequel est disposé ledit 30 capteur, ainsi qu'un moyen de refroidissement. Ce calorimètre comprend avantageusement des moyens d'alimentation en un gaz sous pression qui sont en communication fluidique avec les espaces libres ménagés dans le capteur de mesure. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un 5 capteur de mesure selon l'invention consistant à réaliser deux cellules, une cellule thermométrique et une autre cellule, la réalisation de la cellule thermométrique comprenant les étapes suivantes : (a) fixation d'une membrane en un matériau à faible conductivité thermique sur une bague en matériau céramique, 10 (b) réalisation d'au moins un élément actif sur une première face de la membrane, ladite bague étant en contact avec une deuxième face de la membrane, (c) fixation sur la première face de la membrane, de moyens de support en un matériau présentant un fort coefficient de diffusivité thermique, et 15 l'autre cellule étant obtenue en réalisation l'étape (c) précédente, (d) retrait de ladite bague, l'autre cellule étant obtenue en réalisant l'étape (c) précédente et les cellules étant destinées à être assemblées, de telle sorte que les deuxièmes faces des membranes respectives desdites cellules sont en 20 vis-à-vis. Dans un mode préféré de mise en oeuvre du procédé, l'autre cellule est une cellule de chauffage qui est obtenue en mettant en oeuvre les étapes (a) à (d) précédentes, au moins un élément actif de chauffage étant réalisé au cours de l'étape (b). 25 Le procédé selon l'invention comporte avantageusement une étape complémentaire consistant à déposer, avant l'étape (c), une couche de résine isolante thermiquement, de façon à enrober ledit au moins un élément actif d'au moins une des deux cellules. Par ailleurs, le procédé comporte avantageusement une autre 30 étape complémentaire, avant l'étape (c), consistant à déposer sur la deuxième face d'une membrane d'au moins une des deux cellules, et en regard dudit au s moins un élément actif de ladite cellule, une couche en un matériau présentant une forte conductivité thermique. Pour la réalisation de la cellule thermométrique, l'étape (b) comprend, de préférence, les étapes suivantes : (bel) une étape de dépôt d'une couche de métal, (b2) une étape de lithographie et (b3) une étape de gravure ionique. De préférence, le métal déposé lors de l'étape (III) présente un coefficient de température élevé, typiquement supérieur à 2.10"3K"'. Pour la réalisation d'une cellule chauffante, l'étape (b) comprend, de préférence, les étapes suivantes : (b'l) une étape de dépôt d'une couche de métal, (b'2) une étape de lithographie et (b'3) une étape de gravure humide. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, avantages et caractéristiques de celle-ci apparaîtront plus clairement à la lecture de la description qui suit et qui est faite au regard des dessins annexés, sur lesquels : la figure 1 est une vue en perspective représentant schématiquement les deux cellules d'un exemple de capteur de mesure selon l'invention, la figure 2 est une vue en coupe des deux cellules d'un capteur de mesure selon l'invention, et les figures 3 à 6 représentent schématiquement les étapes de réalisation d'une cellule d'un capteur selon l'invention. Les éléments communs aux différentes figures seront désignés par les mêmes références. La figure 1 montre schématiquement et en perspective, une cellule thermométrique 1 et une cellule chauffante 2. Chacune de ces cellules comporte une membrane 10, 20. Cette membrane est supportée par des moyens 11, 21. Dans l'exemple illustré, ces moyens de support présentent la forme d'une bague positionnée en périphérie de la membrane 10, 20. En pratique, la bague 11, 21 est fixée sur une première face 100, 200 de la membrane. Sur cette même première face, la membrane 10, 20 comporte deux éléments actifs : les éléments thermométriques 12 et 13 et les éléments 5 chauffants 22 et 23. L'invention n'est pas limitée au mode de réalisation illustré et les moyens de support pourraient présenter une autre forme. Cependant, la forme annulaire illustrée à la figure 1 permet d'obtenir une symétrie thermique. En tout état de cause, la forme retenue doit permettre d'isoler thermiquement 10 les éléments actifs des moyens de support. Par ailleurs, les éléments actifs thermométriques doivent être isolés thermiquement l'un de l'autre, comme les éléments chauffants. Comme cela apparaîtra lors de la description ultérieure du procédé de réalisation, les éléments actifs thermométriques et les éléments 15 actifs chauffants sont des résistances métalliques lithographiées dans des couches minces, lesquelles permettent une réponse thermique très rapide. En pratique, un seul élément actif est nécessaire sur chaque membrane. En effet, il suffit que le capteur selon l'invention puisse réaliser des mesures sur un échantillon déterminé. Dans ce cas, le signal de mesure 20 obtenu pour l'échantillon peut être comparé à de simples données préalablement enregistrées, pour obtenir une mesure différentielle. Un capteur permettant de réaliser des mesures à la fois sur un échantillon et sur une référence sera cependant plus performant. Dans ce cas, on bénéficie des atouts du principe de mesure différentielle comme décrit précédemment. 25 Par ailleurs, on comprend également que plusieurs éléments actifs pourraient être réalisés sur chaque membrane. Ceci est rendu facile par les techniques de microfabrication qui sont utilisées pour réaliser les cellules et qui seront décrites dans la suite de la description. Un capteur selon l'invention avec un nombre considérable d'éléments actifs permettrait des 30 mesures calorimétriques en parallèle sur un nombre important d'échantillons. Ceci est intéressant dans le domaine de la biologie, en particulier dans le domaine de la conception de médicaments. io Les références 18 et 28 désignent des fils de contact, permettant de relier les éléments actifs de chaque cellule aux contacts (non illustrés sur la figure 1). D'autres caractéristiques du capteur selon l'invention vont 5 maintenant être décrites en référence à la figure 2. Cette figure illustre les deux cellules 1 et 2 du capteur dans leur position respective, avant leur assemblage, l'assemblage étant réalisé selon les flèches F. Par rapport à la figure 1, la cellule thermométrique 1 a été 10 retournée, de telle sorte que ce sont les deuxièmes faces 101 et 201 des membranes 10 et 20 qui sont directement en vis-à-vis l'une de l'autre. Par ailleurs, sur les moyens de support 11, 21 de chaque cellule, sont disposés des moyens de fermeture 14, 24 (non illustrés sur la figure 1). La figure 2 montre un mode préféré de réalisation du capteur 15 selon l'invention, dans lequel les éléments actifs 12, 13 et 22, 23 de chaque cellule 1, 2 sont enrobés dans une couche de résine 15, 25. Cette couche de résine n'est pas illustrée sur la figure 1. La figure 2 montre que les dimensions des moyens de fermeture 14, 24 et de la couche de résine 15, 25 sont choisies de telle sorte 20 qu'un espace libre 16, 26 est ménagé entre la couche de résine 15, 25 et les moyens de fermeture 14, 24. L'intérêt de cet espace sera expliqué dans la suite de la description. Enfin, les références 17, 27 désignent les contacts auxquels sont reliés les fils 18, 28. Ils sont accessibles au travers de trous traversants 110, 25 210 ménagés dans les moyens de support 11, 21. Les membranes 10, 20 sont réalisées en un matériau à faible conductivité thermique, inférieure à 10 mW/cm.K. Elles peuvent être typiquement réalisées en Kapton®, commercialisé par la société DuPont. Ce matériau présente une conductivité 30 thermique À de 1,2 mW/cm.K et une capacité calorifique de 0,52 mJ/K. li Le Kapton® présente l'avantage d'être stable sur une large plage de température (de - 269°C à 400°C) et de présenter une grande inertie chimique. On peut utiliser un autre polyimide, tel que celui commercialisé 5 sous la dénomination Upilexe par la société Ube Industries, lequel présente une conductivité thermique de 3 mW/cm.K. Cette membrane présente une épaisseur micrométrique, typiquement comprise entre 10 et 100 pm. Dans cette gamme de valeurs, la membrane est suffisamment résistante, tout en restant peu conductrice et en 10 présentant une capacité calorifique adaptée à la mesure d'échantillons de faible volume. Ainsi, la membrane permet d'assurer une bonne isolation thermique tout en présentant une résistance mécanique suffisante. La membrane pourrait également être réalisée en verre,: sa 15 conductivité thermique serait alors d'environ 10 mW/cm.K. Par ailleurs, les moyens de support 11, 21 sont réalisés en un matériau présentant un fort coefficient de diffusivité thermique, typiquement supérieur à 1 W/cm.K. Le matériau qui sera utilisé de préférence est le cuivre car il 20 présente une très bonne conductivité thermique (d'environ 4 W/cm.K), tout en ayant un coût de fabrication raisonnable. Les moyens de fermeture 14, 24 peuvent également être réalisés en cuivre. Par ailleurs, les moyens de fermeture 14, 24 comportent chacun 25 un perçage qui n'est pas illustré sur la figure 2, ce perçage étant en communication avec chacun des espaces 16, 26. Ces perçages permettront, lors de l'utilisation du capteur selon l'invention, d'injecter un gaz, notamment de l'azote, sous pression atmosphérique, dans les espaces 16 et 26. 30 La présence de ce gaz sous pression exercera une force sur les faces des membranes avec lesquelles il est en contact, ce qui assurera un bon contact thermique entre les deux membranes 10 et 20, celles-ci prenant en sandwich l'échantillon ou la référence, lorsque les deux cellules seront assemblées. Ceci permettra de mieux enfermer l'échantillon et la référence disposés entre les deux membranes. Dans l'exemple illustré à la figure 2, la hauteur des deux moyens de fermeture 14 et 24 est différente. En pratique, la hauteur du moyen de fermeture 14 de la cellule thermométrique est adaptée de façon à créer une conduction thermique de valeur prédéterminée via le gaz entre la membrane 10 et le moyen de fermeture 14. C'est ce qui déterminera la constante de temps thermique de la mesure. La hauteur du moyen de fermeture 24 de la cellule de chauffage 2 est adaptée de façon à créer une conduction thermique de valeur négligeable via le gaz entre la membrane 20 et le moyen de fermeture 24. Les moyens de fermeture 14, 24 illustrés à la figure 2 pourraient être omis. Dans ce cas, la chaleur du four serait directement transmise à l'échantillon et à la référence placés entre les deux membranes du capteur. Lorsqu'ils sont présents, la conduction thermique entre l'environnement extérieur, typiquement un four, d'une part et l'échantillon et la référence, d'autre part, s'effectue par l'intermédiaire de ces moyens et du gaz présent dans les espaces 16, 26. On peut encore noter que, grâce aux moyens de fermeture et au gaz, la constante de temps du capteur peut être réglée en modifiant la pression du gaz et le volume des espaces 16, 26, soit la distance entre les moyens de fermeture et la membrane 10, 20. Ainsi, le gaz sous pression a deux fonctions : d'une part, enfermer l'échantillon et la référence entre les deux membranes et donc assurer un couplage thermique important et d'autre part, faciliter la conduction de la chaleur depuis l'environnement extérieur au capteur, vers l'échantillon et la référence. La conduction thermique est réalisée au travers du gaz, même si celui-ci n'est pas sous pression. La conduction ne se produirait plus qu'en cas de vide secondaire, avec des pressions de l'ordre de 10-5 ou 10"6 mbar. La figure 2 illustre, en regard de chacun des éléments actifs 12 et 13 de la cellule thermométrique, une couche 121 et 131. Cette couche est réalisée en un matériau présentant une forte conductivité thermique, typiquement supérieure à 1 W/cm.K. Le matériau utilisé est typiquement de l'or. Ces deux couches 121 et 131 sont situées sur la face 101 de la membrane 10, soit sur la face opposée à la face 100 qui reçoit les éléments actifs 12 et 13. Cependant, l'invention n'est pas limitée à ce mode de réalisation et ces couches en matériau à forte conductivité thermique pourraient également être prévues sur la face 201 de la membrane 20, en regard des éléments actifs 22 et 23. De telles couches pourraient également être prévues sur les deux faces 101, 201 des membranes 1-0 et 20. Le capteur selon l'invention est utilisé de la façon suivante : Un échantillon 3 est placé sur l'élément 121 de la cellule thermométrique 1, tandis qu'une référence 4 est placée sur l'élément 131 de la cellule 1. Les deux cellules sont ensuite assemblées en déplaçant par exemple la cellule 2 selon les flèches F puis en les fixant ensemble lorsque la membrane 20 vient en contact avec les éléments 121 et 131. Ainsi, l'échantillon et la référence sont en contact avec les deuxièmes faces 101 et 201 des membranes 10 et 20. Par contre, les éléments actifs de chaque cellule ne sont jamais en contact avec l'échantillon ou la référence, puisqu'ils sont séparés d'eux par une membrane 10, 20. Cette dernière les protège de tout contact avec un liquide (ou un solide), malgré sa faible épaisseur. Par ailleurs, la membrane 10, 20 isole thermiquement l'échantillon ou la référence des moyens de support 11, 21 et également l'échantillon de la référence, ce qui contribue à augmenter la résolution du capteur. Par contre, un élément thermométrique 12, 13 est en bon contact thermique avec l'élément de chauffage correspondant 22, 23. Dans la mesure où le matériau constitutif des membranes présente une faible conductivité thermique, il n'est pas nécessaire de les structurer pour les rendre plus isolantes et leur tenue mécanique s'en trouve renforcée. L'épaisseur des membranes est ainsi plus importante que celle des plateformes décrites dans le document US-6 079 873. Sur les figures 1 et 2, a été représenté un capteur comprenant une cellule thermométrique 1 et une cellule de chauffage 2. Cependant, le capteur pourrait fonctionner sans que la cellule 2 ne comporte d'éléments actifs de chauffage. Dans ce cas, le chauffage de l'échantillon et de la référence, si elle est prévue, sera assuré par le four dans lequel le capteur est destiné à être placé. Lorsque le chauffage est assuré par le four seul, la température de l'échantillon et de la référence suit la rampe de température appliquée par le four avec un certain retard. Par contre, lorsque le chauffage est assuré à la fois par le four et par la cellule de chauffage, la température de l'échantillon et de la référence suit quasi instantanément la rampe de température appliquée par le four. Ceci permet d'appliquer des rampes de température beaucoup plus rapides. Les étapes de réalisation d'une cellule thermométrique d'un capteur selon l'invention vont maintenant être décrites en référence aux figures 3 à 6. La figure 3 illustre la membrane 10 de la cellule thermométrique. En pratique, cette membrane est obtenue par une découpe à l'emporte-pièce dans une feuille de polyimide, notamment une feuille de Kaptone. Comme illustré sur la figure 1, cette membrane 10 est de forme circulaire. Toute autre forme pourrait être choisie, la forme circulaire 25 présentant l'avantage d'une symétrie thermique. La référence 11' désigne une bague en un matériau céramique. De façon plus générale, la bague peut être réalisée en tout matériau usinable et présentant un très faible coefficient de dilatation thermique, typiquement inférieur à 10"5 /°C. 30 Cette bague peut notamment être réalisée en Macor® qui est une céramique commercialisée par la société Corning Incorporated. Ce matériau peut être utilisé à haute température. Il présente une conductivité thermique moyenne (À = 1,46 W/m/°C) et une faible diffusivité thermique (a = 7,3.10"7m2/s). Il présente également un faible coefficient d'expansion thermique (114.10-'/°C de 20 à 600°C) ce qui lui permet de rester rigide et de ne pas se déformer à haute température. Enfin, il présente une grande inertie chimique. II n'interfère donc pas avec les étapes de microfabrication qui sont mises en ceuvre, notamment pour réaliser les éléments actifs des cellules. La membrane 10 est destinée à être collée sur la bague en 10 céramique 11'. Sur la première face 100 de la membrane 10 sont ensuite réalisés les éléments actifs 12 et 13 de la cellule thermométrique, illustrés sur la figure 4. Ces éléments actifs sont obtenus grâce aux étapes suivantes 15 Une couche de métal va tout d'abord être déposée sur la membrane 10. A titre d'exemple, le matériau utilisé est du platine qui est déposé par pulvérisation magnétron. D'autres matériaux pourraient être utilisés. De façon générale, 20 un métal stable chimiquement et présentant un coefficient de température élevée convient pour cette application. De façon préférée, une couche dite d'accroche est déposée sur la membrane 10, avant le dépôt du platine. Cette couche d'accroche peut notamment être constituée d'un alliage de tungstène et de titane. Le chrome 25 est aussi parfaitement adapté. L'épaisseur de la couche de platine est typiquement de 0,36 Nm, tandis que celle de la couche d'accroche est typiquement de 0,01 pm. Le platine en couche mince présente un coefficient de température assez élevé (a = 2 à 3.10"3K"1), ce qui lui confère une grande 30 sensibilité thermique. C'est pourquoi ce métal est très fréquemment utilisé lors de l'élaboration de thermomètres. De plus, sa grande inertie chimique lui confère une stabilité dans le temps très grande même à des températures élevées, ce qui n'est pas le cas des thermocouples en général. L'étape suivante est une étape de lithographie qui permet d'obtenir, sur la couche de platine, le motif souhaité. Celui-ci est protégé par 5 le dépôt d'une couche de résine, qui est ensuite durcie. La dernière étape est une étape de gravure ionique, grâce à laquelle la couche métallique est éliminée de la surface de la membrane, dans les zones non recouvertes par le motif. De préférence, les éléments thermométriques 12 et 13 10 présentent la forme d'un disque et sont situés dans la partie centrale de la membrane 10. La forme d'un disque est préférée car elle assure une symétrie thermique. Cependant, d'autres formes pourraient être envisagées. Par ailleurs, en étant situés dans la partie centrale de la membrane, les 15 éléments 12 et 13 sont isolés sensiblement de façon identique par rapport à la bague 11. Les éléments thermométriques obtenus présentent une très faible capacité calorifique, qui est de 0,652 mJ/K. Au cours de cette étape de lithographie, sont également réalisés 20 les contacts 17 et les fils de contact 18. Une étape de soudage intervient ultérieurement pour assurer le contact électrique entre les fils et les contacts. Les deux éléments thermométriques peuvent être montés selon un schéma de type pont de Wheastone pour obtenir directement la température différentielle entre l'échantillon et la référence. 25 L'étape suivante du procédé consiste à déposer une couche de résine sur l'ensemble de la première face 100 de la membrane 10, à l'exception des zones de la membrane supportant les contacts 17. Cette couche de résine 15 permet d'isoler électriquement les éléments thermométriques 12 et 13 et d'assurer une protection mécanique. 30 Cette résine peut notamment être un polyimide photosensible qui se durcit après une étape de recuit. A titre d'exemple, on peut citer le polyimide PoliFuji 2210 A®, commercialisé par la société Fujifilm. A l'issue des étapes qui viennent d'être décrites, on obtient le produit illustré à la figure 4. La figure 5 illustre une autre étape, dans laquelle sont réalisés, sur la deuxième face 101 de la membrane 10, des éléments permettant d'homogénéiser la température de chaque élément thermométrique 12 et 13. Ces éléments 121, 131 seront, dans la suite de la description, dénommés éléments isothermes. Ces éléments isothermes sont obtenus en plaçant un masque sur la deuxième face 101 puis en déposant, notamment par pulvérisation 10 magnétron, une couche métallique. De préférence, une couche d'un matériau d'accroche, par exemple en WTi, sera déposée avant la couche de métal. Le masque permet de réaliser les deux éléments isothermes 121, 131 en regard des deux éléments thermométriques 12 et 13. 15 Le métal utilisé est, de préférence, de l'or. L'épaisseur du matériau d'accroche est typiquement de 0,01 pm et celle de la couche d'or de 0,5 pm. Le produit alors obtenu est illustré à la figure 5. Ainsi, toutes les étapes de fabrication des éléments constitutifs du capteur sont réalisées alors que la membrane est fixée sur une bague en 20 céramique. Du fait de son faible coefficient d'extension thermique, cette bague 11' reste rigide et ne se déforme pas à haute température. En conséquence, la membrane 10 ne subira pas de contrainte d'étirement au cours des différentes étapes qui viennent d'être décrites au regard des 25 figures 3 à 5. Cela ne serait pas le cas si la membrane 10 était directement fixée sur la bague en cuivre 11. La figure 6 illustre la dernière étape du procédé, dans laquelle la bague en cuivre 11 est collée sur la première face 100 de la membrane 10. 30 La bague 11' peut alors être éliminée. A l'issue de cette étape, on obtient la cellule thermométrique 1, illustrée aux figures 1 et 2. Ainsi, l'utilisation, au cours du procédé de réalisation, d'une bague en céramique, permet de réaliser sans aucune contrainte les éléments thermométriques 12 et 13. De plus, après fixation de la bague de cuivre, ces éléments seront protégés, non seulement par la présence de la couche de résine 15, mais également par la bague 11 elle-même. Les étapes de réalisation d'une cellule de chauffage selon l'invention sont très similaires aux étapes de réalisation d'une cellule thermométrique qui viennent d'être décrites. La description sera donc simplifiée en ce qui concerne une i o cellule de chauffage, seules les différences par rapport au procédé décrit précédemment étant mises en évidence. Ainsi, sur la première face 200 de la membrane 20 sera déposée une couche de métal, notamment par pulvérisation magnétron. Le métal déposé est, de préférence, un alliage de cuivre et? de 15 nickel. Avec une proportion de 80 % de cuivre et 20 % de nickel, cet alliage présente un coefficient de température assez faible (quelques centaines de ppm par degré), ce qui en fait un matériau adéquat pour un chauffage. Ce métal peut être déposé directement sur la première face 200 de la membrane 20. 20 Les éléments actifs de chauffage 22 et 23 sont également obtenus par un processus de microphotolithographie. Cependant, la dernière étape consistant à enlever la partie de la couche métallique qui n'appartient pas au motif est réalisée par gravure humide, c'est-à-dire une gravure obtenue en effectuant une attaque chimique 25 en solution aqueuse. Cet alliage présente l'avantage d'avoir une résistivité qui varie peu en fonction de la température et son coefficient de température vaut environ 1,2.10-4K-1 de la température ambiante à 100°C. En conséquence, un courant d'amplitude constante sera converti en puissance calorifique 30 quasiment constante, sur de grandes plages de température. Dans cet exemple de réalisation, la capacité calorifique des éléments actifs de chauffage 22 et 23 est de 0,648 mJ/K. Lorsque la cellule 2 associée à la cellule thermométrique 1 ne comporte pas d'élément de chauffage, sa réalisation est considérablement simplifiée. En effet, elle est obtenue en fixant, sur la première face 200 de la membrane, les moyens de support 21. On constate ainsi que la capacité calorifique de la membrane, des éléments thermométriques et des éléments de chauffage est très faible, ce qui favorise la diffusion et la conductivité thermique. Ainsi, il est possible de réduire la taille des échantillons tout en ayant une bonne résolution. De plus, dans la mesure où la taille des échantillons est de l'ordre du microlitre, les rampes de température peuvent être importantes et aller jusqu'à une centaine de degrés par minute, sans que des gradients de température n'apparaissent. Par ailleurs, il convient de noter que la sensibilité de la mesure obtenue dépend non seulement du coefficient de température des éléments thermométriques, mais également de leur polarisation (tension ou courant). La sensibilité du capteur peut donc être adaptée à la physico-chimie de l'échantillon, ce qui lui confère un autre avantage par rapport aux capteurs existants. A titre d'exemple, la sensibilité de la mesure peut être adaptée en faisant varier la polarisation des thermomètres. Pour des transitions à détecter importantes, on choisira une sensibilité moins importante, alors que pour des évènements thermiques très fins à détecter, on choisira une sensibilité plus grande en polarisant plus fortement le thermomètre. Bien sûr dans ce cas, la puissance générée par le ou les thermomètres sera plus grande et la différence de température entre les zones sensibles et le support sera plus importante. Ainsi, lorsque les thermomètres sont montés selon un schéma type pont de Wheaststone, une forte polarisation du pont de Wheastone donne une forte sensibilité en volt par degré. Au contraire, dans le cas des thermopiles (capteurs passifs), la sensibilité dépend uniquement du nombre de couples utilisé et on ne peut 3o plus choisir la sensibilité une fois que le capteur est réalisé. Enfin, l'utilisation d'une bague en matériau céramique lors des étapes de microfabrication des éléments actifs de chauffage, permet de protéger la membrane 20 de toute contrainte. Le capteur qui vient d'être décrit peut être utilisé dans un 5 calorimètre différentiel, en association avec un four dans lequel est placé le capteur. Les essais effectués montrent que le capteur selon l'invention permet d'obtenir des vitesses de rampe de température comprises en 0,001 et 100°C/min, dans une gamme de températures comprise entre -20 et 170°C. 10 Par ailleurs, le volume de l'échantillon ou de la référence est compris entre 0,001 et 0,01 ml. Les essais montrent également que le capteur selon l'invention présente une plus grande sensibilité en puissance que les calorimètres connus. 15 Ces essais consistent à placer un échantillon identique entre les deux membranes du capteur et entre les deux paires d'éléments actifs, la température étant de 30°C. Chaque cellule de chauffage est alimentée pendant 2 minutes, trois valeurs différentes de puissance thermique étant dissipées (0,01 mW, 20 0,3 mW et 1 mW), correspondant à des énergies dissipées de 1,2 36 et 120 mJ. La tension de sortie de pont est mesurée au niveau des éléments thermométriques, il s'agit d'une mesure différentielle. Les résultats obtenus conduisent à une sensibilité en puissance du capteur d'environ 25 2,5 mV/mW, alors que les capteurs connus présentent une sensibilité de l'ordre de 100 pV/mW. Les signes de référence insérés après les caractéristiques techniques figurant dans les revendications ont pour seul but de faciliter la compréhension de ces dernières et ne sauraient en limiter la portée. 30 REVENDICATIONS1. Capteur de mesure calorimétrique différentiel comprenant deux cellules, une cellule thermométrique (1) et une autre cellule (2), chaque cellule 5 comprenant : une membrane (10, 20) en un matériau à faible conductivité thermique, avec une première face et une deuxième face et des moyens de support (11, 21) de la membrane, en un matériau présentant un fort coefficient de diffusivité thermique, en contact avec 10 la première face (100, 200) de la membrane, la cellule thermométrique (1) comprenant au moins un élément actif thermométrique (12, 13) situé sur ladite première face (100) de la membrane (10) et les deux cellules (1, 2) étant destinées à être assemblées de telle sorte que les deuxièmes faces (101, 201) des membranes desdites 15 cellules soient en vis-à-vis, un échantillon placé entre les deux membranes pouvant ainsi être directement en contact avec lesdites deuxièmes faces (101, 201). 2. Capteur selon la revendication 1, dans lequel l'autre cellule (2) est une 20 cellule de chauffage, au moins un élément actif de chauffage (22, 23) étant situé sur ladite première face (200) de la membrane (20) de cette autre cellule, de telle sorte que ledit au moins élément actif de chauffage est sensiblement aligné avec ledit au moins un élément actif thermométrique (12, 13) de la cellule thermométrique (1), lorsque les deux cellules sont 25 assemblées, un échantillon pouvant alors être placé entre deux éléments actifs de chacune des deux cellules. 3. Capteur selon la revendication 1 ou 2 dans lequel chaque cellule (1, 2) comprend au moins deux éléments actifs. 4. Capteur selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la deuxième face (101, 201) de la membrane (10, 20) d'au moins une cellule comporte, en 30regard dudit au moins un élément actif (12, 13 ; 22, 23), une couche (121, 131) en un matériau présentant une forte conductivité thermique. 5. Capteur selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel lesdits moyens 5 de support (11, 21) sont situés en périphérie de la membrane (10, 20). 6. Capteur selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel ledit au moins un élément actif (12, 13 ; 22, 23) de chaque cellule (1, 2) est enrobé dans une couche (15, 25) de matériau isolant thermiquement. 10 7. Capteur selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel, pour chaque cellule (1, 2), un moyen de fermeture (14, 24) est prévu en vis-à-vis de la première face (100, 200) de la membrane (10, 20), un espace libre (16, 26) étant ménagé entre ledit moyen de fermeture et ledit au moins un élément 15 actif de la cellule. 8. Calorimètre différentiel comprenant un capteur de mesure selon l'une des revendications 1 à 7, un four dans lequel est disposé ledit capteur ainsi qu'un moyen de refroidissement. 20 9. Procédé de fabrication d'un capteur de mesure selon l'une des revendications 1 à 7, consistant à réaliser deux cellules, une cellule thermométrique et une autre cellule, la réalisation de la cellule thermométrique comprenant les étapes suivantes : 25 (a) fixation d'une membrane (10) en un matériau à faible conductivité thermique sur une bague (11') en matériau céramique, (b) réalisation d'au moins un élément actif (12, 13) sur une première face (100) de la membrane (10), la dite bague (11') étant en contact avec une deuxième face (101) de la membrane, 30 (c) fixation sur la première face (100) de la membrane, de moyens de support (11) en un matériau présentant un fort coefficient de diffusivité thermique et (d) retrait de ladite bague (11'),l'autre cellule étant obtenue en réalisant l'étape (c) précédente et les cellules étant destinées à être assemblées, de telle sorte que les deuxièmes faces des membranes respectives desdites cellules sont en vis-à-vis. 10. Procédé selon la revendication 9, dans lequel l'autre cellule est une cellule de chauffage (2) qui est obtenue en mettant en oeuvre les étapes (a) à (d) précédentes, au moins un élément actif de chauffage étant réalisé au cours de l'étape (b). 11. Procédé selon la revendication 9 ou 10 comprenant une étape complémentaire consistant à déposer, avant l'étape (c), une couche (15, 25) de résine isolante thermique, de façon à enrober ledit au moins un élément actif d'au moins une des deux cellules (1, 2). 12. Procédé selon une des revendications 9 à 11, comprenant une autre étape complémentaire, avant l'étape (c), consistant à déposer sur la deuxième face (101, 201) d'une membrane (10, 20) d'au moins une des deux cellules (1, 2), et en regard dudit au moins un élément actif correspondant (12, 13 ; 22, 23), une couche (121, 131) présentant une forte conductivité thermique. 13. Procédé selon l'une des revendications 9 à 12 dans lequel, pour la réalisation de la cellule thermométrique (1), l'étape (b) comprend les étapes suivantes : (bl) une étape de dépôt d'une couche de métal, (b2) une étape de lithographie, et (b3) une étape de gravure ionique. 14. Procédé selon l'une des revendications 9 à 13, dans lequel, pour la réalisation d'une cellule chauffante, l'étape (b) comprend les étapes 30 suivantes : (b'l) une étape de dépôt d'une couche de métal, (b'2) une étape de lithographie, et (b'3) une étape de gravure humide.