FR 2879483 A1 20060623 FR 0413578 A 20041220 i La présente invention concerne un procédé pour augmenter l'hydrophobicité d'un revêtement externe d'un dispositif d'analyse chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, un tel dispositif et des procédés pour sa fabrication. Les dispositifs d'analyse chimique et/ou biologique, tels que des puces à microréacteurs, sont notamment conçus pour procurer une densité élevée de sites pour cette analyse. Ces dispositifs comportent typiquement un substrat pourvu de micro-cuvettes, dont chacune est destinée à contenir et à localiser un volume déterminé d'un réactif déterminé, 1.0 typiquement délivré sous forme de gouttes d'un réactif à base d'oligonucléotides, en vue d'une réaction chimique et/ou biologique mise en oeuvre lors de l'analyse. On peut par exemple citer le document de Brevet FRA-2 781 886 au nom de la Demanderesse pour la description d'un tel dispositif. Or, ces réactions chimiques et/ou biologiques, par exemple de type PCR ( Polymerase Chain Reaction ), imposent de disposer d'un volume de goutte minimum dans chaque micro-cuvette pour que la polymérase puisse agir. On sait que la fixation des oligonuléotides est d'autant plus importante que le volume de réactif déposé dans chaque cuvette est plus élevé, ce qui a conduit à augmenter ce volume sans modifier la densité surfacique de sites sur la biopuce. A cet effet, on a cherché à augmenter la hauteur de chaque micro- cuvette, par exemple en déposant des polymères photosensibles épais sur la biopuce, ou bien en fixant sur cette dernière des plaques gravées de verre, de silicium ou de plastique. Cette augmentation de la hauteur des micro-cuvettes présente l'inconvénient d'y générer potentiellement des bulles d'air et des effets de capillarité indésirables lors de leur remplissage, ce qui pénalise la fixation précitée et également le rinçage et la vidange de ces microcuvettes. De plus, cette augmentation de hauteur contribue à ralentir la diffusion des espèces cibles venant réagir spécifiquement lors de l'analyse avec les réactifs fixés dans le fond des micro-cuvettes. Afin d'augmenter le volume de réactif introduit dans les micro- cuvettes sans modifier la hauteur de celles-ci, on a déposé par le passé des matériaux hydrophobes et des matériaux hydrophiles respectivement sur les bords des micro-cuvettes, d'une part, et sur leurs parois latérales et leurs fonds, d'autre part, comme indiqué dans le document de Brevet FRA-2 783 179 au nom de la Demanderesse. Ces matériaux hydrophobes sont obtenus par un procédé de silanisation utilisant divers solvants pendant une durée de plusieurs heures et un traitement chimique des surfaces à traiter, par exemple au moyen de soude ou d'eau bouillante. Un inconvénient potentiel de ce procédé de silanisation réside dans le fait que ces solvants et ce traitement chimique sont susceptibles d'endommager la structure de la bio-puce, notamment les contacts électriques en métal et les éventuels polymères photosensibles qu'elle comporte. De plus, la fixation de silanes inhérente à ce procédé requiert l'ajout préalable d'une couche intermédiaire de silice ou de nitrure de silicium sur les bords des micro-cuvettes, lorsque ces bords sont de type polymérique. Un but de la présente invention est de remédier à ces inconvénients, et ce but est atteint en ce que la Demanderesse a découvert d'une manière surprenante que, si l'on soumet à un traitement par un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, un revêtement externe biocompatible et ajouré d'un dispositif d'analyse chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, comportant un substrat recouvert par ce revêtement, lequel entoure une pluralité de cuvettes d'analyse destinées à fixer des réactifs chimiques et/ou biologiques en vue de constituer des sites d'analyse, alors on parvient à augmenter d'une manière significative l'hydrophobicité de ce revêtement en y déposant un film hydrophobe, de sorte que l'on optimise le volume du réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette. On notera que cette hydrophobicité nettement accrue permet d'augmenter très nettement le volume de réactif effectivement localisé dans chaque cuvette, de par l'accentuation de la courbure supérieure de la goutte de réactif ancrée dans chaque cuvette du fait de la forte hydrophobicité des bords externes de cette dernière, en comparaison du volume du même réactif qui aurait été localisé dans des cuvettes identiques entourées par le même revêtement non traité. On notera également que ce film hydrophobe formant les bords externes des cuvettes permet d'assurer un remplissage simultané et optimisé d'une multitude de micro-cuvettes (typiquement plusieurs milliers), par trempage et retrait du dispositif d'analyse dans un unique réactif, par exemple à base d'oligonucléotides en vue d'une réaction de type Polymerase Chain Reaction (PCR). En effet, la forte hydrophobicité des bords externes des cuvettes se traduit par le fait que le réactif ne mouille pratiquement pas ces bords, ce qui a pour effet de le repousser immédiatement vers l'intérieur des cuvettes adjacentes en évitant la présence de toute goutte résiduelle sur ces bords qui pourrait contaminer des cuvettes voisines par pontage . On peut ainsi se passer d'un robot de type micro-dispenseur pour un versement contrôlé du réactif dans chaque cuvette. On notera en outre que ce traitement par plasma selon l'invention permet de déposer directement ledit film hydrophobe sur ledit revêtement, sans dépôt préalable d'une couche intermédiaire à base de silice ou de nitrure de silicium, par exemple, telle que celle précitée en relation avec un traitement hydrophobe par silanisation. A titre de substrat utilisable dans ledit dispositif d'analyse, on peut citer tout substrat minéral ou organique, biocompatible et typiquement hydrophile pouvant être de type actif ou passif (i.e. avec ou sans système électronique intégré, respectivement). A titre de matériau utilisable pour constituer ledit revêtement recouvrant partiellement ledit substrat, on peut également citer tout matériau minéral ou organique, biocompatible et typiquement hydrophile. A titre de matériaux utilisables pour constituer indépendamment ledit substrat et ledit revêtement, on peut par exemple citer des matériaux à base de verre, de silicium ou d'un polymère tel qu'un polymère thermoplastique, thermodurcissable ou un élastomère. Selon un mode particulièrement avantageux de réalisation de l'invention, le matériau hydrophile qui est utilisé pour constituer ledit revêtement est à base d'au moins un polymère photosensible réticulé qui peut être par exemple: - un polymère thermoplastique, de préférence un polyimide, tel qu'un polyimide réticulé de dénomination probimide , ou - un polymère thermodurcissable, tel qu'une résine photosensible positive ou négative qui est sensible à des rayonnements 20 ultraviolets, avantageusement une résine époxy de dénomination Su8 . Selon un mode de réalisation de l'invention, ledit plasma organique utilisé pour le traitement de surface est avantageusement choisi dans le groupe constitué par des plasmas de C4F8, de CF4, de C2F6, de C3F8 et de C5F8, pour l'obtention dudit film hydrophobe qui comprend alors des groupes CF2. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, ledit plasma organique est un plasma d'octaméthyltétrasiloxane (OMCTS), pour l'obtention dudit film hydrophobe qui comprend alors des groupes SiOxCy. Selon une autre caractéristique de l'invention, ledit plasma organique est utilisé à froid dans le domaine des radiofréquences, et il est mis en oeuvre pendant une durée pouvant par exemple varier de 30 secondes à environ 1 minute dans un réacteur à plasma fonctionnant de préférence dans le domaine des radiofréquences. Ledit film hydrophobe obtenu grâce à ce traitement par 5 plasma peut être constitué d'une ou plusieurs monocouches présentant une épaisseur totale allant de 50 nm à 1 pm. Un autre aspect de la présente invention est de proposer un dispositif d'analyse chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, qui soit susceptible d'être obtenu par le procédé mentionné ci-dessus pour augmenter l'hydrophobicité du revêtement externe du dispositif d'analyse. Selon cet aspect de l'invention, ledit dispositif comporte: - un substrat organique ou minéral, - un revêtement biocornpatible organique ou minéral, tel qu'une plaque, qui recouvre ledit substrat en présentant des perforations, chaque perforation définissant une cuvette dont une paroi latérale et un fond sont respectivement formés par ledit revêtement et ledit substrat, chaque cuvette étant destinée à fixer un réactif chimique et/ou biologique en vue de constituer un site d'analyse, et - un film hydrophobe qui recouvre ledit revêtement, à l'exception desdites parois latérales de cuvettes, et qui présente des groupes CF2 ou des groupes SiOXCy, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette. On notera que la présence de ces groupes CF2 ou SiOXC, dans le film hydrophobe recouvrant le revêtement permet à elle seule d'augmenter d'une manière significative l'hydrophobicité de ce revêtement, lequel est prévu de préférence hydrophile à l'instar du substrat, de sorte que l'on peut optimiser le volume dudit réactif localisé dans chaque cuvette. On notera également que ladite paroi latérale de chaque cuvette peut présenter, à titre non limitatif, une forme par exemple cylindrique, tronconique ou prismatique, la géométrie cylindrique étant préférée. 30 Selon d'autres caractéristiques du dispositif selon l'invention: - ledit revêtement est avantageusement à base d'au moins un polymère photosensible réticulé de type thermoplastique ou thermodurcissable, tel qu'un polyimide ou une résine époxy, et - ledit film hydrophobe présente avantageusement une épaisseur allant de 50 nm à 1 dam. Selon un premier exemple de mise en oeuvre de l'invention, 10 un procédé de fabrication selon l'invention dudit dispositif d'analyse comprend les étapes successives suivantes: (i) on recouvre ledit substrat par ladite plaque, (ii) on dépose sur ledit fond de chaque cuvette une couche de protection qui est destinée à protéger ledit substrat vis-à-vis d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, (iii) on dépose ledit film hydrophobe à la fois sur ladite plaque et sur ladite couche de protection recouvrant chaque fond de cuvette, par un traitement de surface au moyen dudit plasma organique, puis (iv) on élimine ladite couche de protection revêtue dudit film, pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film uniquement sur une face externe de ladite plaque. Conformément à ce premier exemple selon l'invention: - ladite couche de protection peut être déposée à l'étape (ii) par spoting , et elle est de préférence à base d'au moins un composé choisi dans le groupe constitué par l'alcool polyvinylique, des résines photosensibles, telles que des résines époxy, et des sucres, tels que le saccharose ou un tréhalose et ladite couche de protection est éliminée à l'étape (iv) par la technique de lift off , au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau. 30 Selon un second exemple de mise en oeuvre de l'invention, un procédé de fabrication selon l'invention dudit dispositif d'analyse comprend les étapes successives suivantes: (i) on recouvre ledit substrat par ladite plaque, (ii) on dépose ledit film hydrophobe à la fois sur ladite plaque et sur ledit fond de chaque cuvette, par un traitement de surface mis en oeuvre au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, (iii) on insole puis on développe, sur une partie dudit film hydrophobe qui recouvre ladite plaque, une couche de protection qui est destinée à protéger ce film vis-à-vis d'un plasma d'oxygène et qui est à base d'au moins une résine photosensible, telle qu'une résine époxy, (iv) on élimine l'autre partie dudit film hydrophobe qui recouvre le fond de chaque cuvette, par un traitement de l'ensemble obtenu 15 en (iii) au moyen dudit plasma d'oxygène, puis (v) on élimine ladite couche de protection déposée en (iii), pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film uniquement sur une face externe de ladite plaque. Conformément à ce second exemple selon l'invention, ladite couche de protection est éliminée au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau. Les caractéristiques précitées de la présente invention, ainsi que d'autres, seront mieux comprises à la lecture de la description suivante de plusieurs exemples de réalisation de l'invention, donnés à titre illustratif et non limitatif, ladite description étant réalisée en relation avec les dessins joints, parmi lesquels: la figure 1 est une vue schématique en section transversale d'un dispositif d'analyse selon l'invention dans une première phase de son procédé de fabrication selon un premier exemple de réalisation de l'invention, la figure 2 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 1 dans une seconde phase de son procédé de fabrication selon ledit premier exemple, la figure 3 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 1 dans une troisième phase de son procédé de fabrication selon ledit premier exemple, la figure 4 est une vue schématique en section transversale d'un dispositif d'analyse selon l'invention dans une première phase de son procédé de fabrication selon un second exemple de réalisation de l'invention, la figure 5 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 4 dans une seconde phase de son procédé de fabrication selon ledit second exemple, la figure 6 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 4 dans une troisième phase de son procédé de fabrication selon ledit second exemple, la figure 7 est une vue schématique en section transversale 20 du dispositif d'analyse de la figure 4 dans une quatrième phase de son procédé de fabrication selon ledit second exemple, la figure 8 est un graphique à barres illustrant les angles de contact (en degrés) obtenus pour des gouttes d'eau déposées sur deux revêtements hydrophiles non traités et:sur ces deux mêmes revêtements rendus hydrophobes conformément à l'invention, et la figure 9 est un graphique à barres illustrant les volumes d'eau déposés avant débordement (en pL) dans trois micro-cuvettes de capacités différentes (en pL), pour un dispositif d'analyse non conforme à l'invention et pour un autre dispositif d'analyse conforme à l'invention. Comme illustré aux figures 3 et 7, un dispositif d'analyse 1 chimique et/ou biologique selon l'invention, tel qu'une biopuce, comporte: - un substrat 2, - une plaque 3 biocompatible qui recouvre le substrat 2 en présentant des perforations, chaque perforation définissant une micro-cuvette 4 dont une paroi latérale 5 de forme cylindrique et un fond 6 sont respectivement formés par la plaque 3 et le substrat 2, chaque micro-cuvette 4 étant destinée à fixer un réactif chinnique et/ou biologique en vue de constituer un site d'analyse, et - un film hydrophobe 7 qui recouvre la plaque 3, à l'exception des parois latérales 5 des micro-cuvettes 4. Comme illustré aux figures 1 à 3, un procédé de fabrication du dispositif d'analyse 1 selon un premier exemple de mise en oeuvre de 15 l'invention comprend les étapes successives suivantes: (i) on dépose par un appareil de spoting 8, sur le fond 6 de chaque micro-cuvette 4, une couche de protection 9 (voir figure 1) qui est destinée à protéger le substrat 2 vis-à-vis du plasma utilisé à l'étape (ii) et qui est de préférence à base d'alcool polyvinylique, d'une résine photosensible ou d'un sucre, (ii) on dépose le film hydrophobe 7, 7' à la fois sur la plaque 3 et sur la couche de protection 9 recouvrant les fonds 6 (voir figure 2), par un traitement de surface au moyen d'un plasma froid fluorocarboné ou à groupes siloxanes; ce traitement est mis en oeuvre dans un réacteur à plasma de dénomination commerciale NEXTRAL NE110 qui utilise, dans une enceinte sous vide maintenue à une pression de 60 mTorr, un générateur de radiofréquences, puis (iii) on élimine par lift off , au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau, la couche de protection 9 revêtue du film 7', pour obtenir le dispositif 1 illustré à la figure 3 qui comporte le film 7 recouvrant uniquement la plaque 3. io Comme illustré aux figures 4 à 7, un procédé de fabrication du dispositif d'analyse 1 selon un second exemple de mise en oeuvre de l'invention comprend les étapes successives suivantes: (i) on dépose le film hydrophobe 7, 7" à la fois sur la plaque 3 et sur le fond 6 de chaque micro-cuvette 4 (voir figure 4), par un traitement de surface qui est mis en oeuvre comme décrit dans le premier exemple ci-dessus au moyen d'un plasma froid fluorocarboné ou à groupes siloxanes, (ii) on insole puis on développe, sur la partie du film 7 qui recouvre la plaque 3, une couche de protection 10 (voir figure 5) qui est destinée à protéger ce film 7 vis-à-vis d'un plasma d'oxygène PO2 et qui est à base d'une résine photosensible, (iii) on élimine l'autre partie du film hydrophobe 7" qui recouvre les fonds 6, par un traitement de l'ensemble obtenu en (ii) au moyen du plasma d'oxygène PO2 (voir figure 6) mis en oeuvre dans un réacteur NEXTRAL NE110 qui utilise, dans une enceinte sous vide maintenue à une pression de 10 mTorr, un générateur de radiofréquences, puis (iv) on élimine au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau la couche 10 déposée en (ii), pour obtenir le dispositif 1 illustré à la figure 7 qui comporte le film hydrophobe 7 recouvrant uniquement la plaque 3. Essais de mouillaqe et de remplissage des micro-cuvettes: 1) Essais de mouillage: Pour les essais décrits ci-après en relation avec la figure 8, on a procédé à des mesures de mouillage: - de deux différents revêtements hydrophiles témoin Ti et T2 à base de polymères photosensibles qui sont utilisables dans le dispositif d'analyse 1 selon l'invention et qui n'ont pas été traités (chacun de ces deux revêtements étant dépourvu de tout film hydrophobe à sa surface), et - de ces deux mêmes revêtements ayant été traités par un plasma selon l'invention, de sorte à être tous deux recouverts du film hydrophobe de l'invention pour donner respectivement deux stratifiés 11 et 12. Le premier revêtement hydrophile témoin Ti est à base d'un polyimide de type probimide recuit, qui est commercialisé par la société OLIN MATERIALS sous la dénomination Polyimide 7520 . Le second revêtement hydrophile témoin T2 est à base d'une résine époxy commercialisée par la société MICROCHEM sous la dénomination SU-8 . Le premier stratifié selon l'invention 11 est constitué dudit revêtement Ti ayant été traité par un plasma froid fluorocarboné de CF4 (octafluorocyclobutane) pendant environ 1 minute dans ledit réacteur à plasma NEXTRAL NE110 qui utilise, dans une enceinte sous vide maintenue à 60 mTorr, un générateur de radiofréquences réglé à 512 MHz. Ce stratifié 11 est ainsi pourvu d'un film hydrophobe selon l'invention présentant des groupes CF2 et une épaisseur de quelques centaines de nm. Le second stratifié selon l'invention 12 est constitué dudit revêtement T2 ayant été traité dans les mêmes conditions par ce même plasma froid de CF4, pour l'obtention d'un film hydrophobe présentant également des groupes CF2 et une épaisseur analogue à celle du film de 11. On a quantifié le mouillage des revêtements Ti, T2 et des stratifiés 11, 12 par la méthode dite de la goutte d'eau, bien connue de l'homme du métier. Cette méthode consiste à déposer une goutte d'eau sur la surface à tester au moyen d'une micro-seringue et à mesurer, avec une caméra de prise de vue incorporée à un dispositif de marque DIGIDROP , l'angle de contact entre la base de la goutte sur la surface et la tangente extérieure à cette surface. De manière connue, une surface est considérée comme hydrophobe si l'angle de contact mesuré est supérieur à 90 , et hydrophile si cet angle de contact est inférieur à 90 . Le graphique de la figure 8 illustre les angles de contact moyens 0 obtenus (en degrés ) pour chaque revêtement T1, T2 et stratifié 11, 12. Ce graphique montre que les angles de contact relatifs aux revêtements témoin Ti et T2 sont compris entre 60 et 80 , témoignant du caractère hydrophile de ces revêtements à base de polymères photosensibles, alors que les angles de contact moyens relatifs aux stratifiés 11 et 12 incorporant le film hydrophobe déposé par plasma de CF4 sont supérieurs à 100 . En d'autres termes, le traitement par plasma selon l'invention permet de rendre très hydrophobe une plaque de revêtement 3 pour un dispositif d'analyse 1, tel qu'une biopuce. 2) Essais de remplissage: On a quantifié l'optimisation du volume d'eau Ve effectivement localisé avant débordement dans trois types de micro-cuvettes 4 de différents 2 5 volumes Vc qui sont formées à la surface de biopuces B11 selon l'invention, lesquelles sont fabriquées selon les premier ou second exemples précités et incorporent ainsi chacune un film hydrophobe 7 sur les bords des micro-cuvettes 4 formés sur la plaque de revêtement 3. La plaque 3, de type probimide , et le film 7 à groupes CF2 sont identiques à ceux dudit stratifié 3 0 11 selon l'invention. On a comparé les résultats de volumes Ve = f(Vc) obtenus avec ces trois biopuces B11, aux résultats correspondants obtenus avec trois biopuces témoin BT1, lesquelles se différencient uniquement des biopuces B11 en ce qu'elles ne comportent pas de film hydrophobe 7 à la surface hydrophile de la plaque 3, à l'instar dudit revêtement témoin Ti à base de probimide . Le graphique de la figure 9 illustre les volumes d'eau moyens Ve (en pL) localisés avant débordement dans chaque micro-cuvette 4 de biopuce témoin BT1 et selon l'invention B11, lorsque les micro- cuvettes 4 présentent chacune une capacité Vc de 0,1 pL, de 0,5 pL et de 1 pL. Ce graphique montre que le traitement par plasma selon l'invention permet de multiplier au moins par deux, voire par trois, le volume d'eau Ve localisé dans chaque micro-cuvette 4 (Ve passe de 5 à environ 15 pL lorsque Vc = 1 pL), de par l'accentuation de la courbure supérieure des gouttes d'eau en forme de dôme qui sont respectivement ancrées dans les micro-cuvettes 4 en raison de la forte hydrophobicité des bords externes 7 de ces dernières, en comparaison du volume d'eau Ve localisé dans chaque micro-cuvette 4 entourée par la plaque 3 non traitée. On notera en outre que Ile film hydrophobe 7 déposé selon l'invention permet d'assurer un remplissage simultané et optimisé de milliers de micro-cuvettes 4, par trempage partiel et retrait de la biopuce 1 dans un réactif, du fait de cette forte hydrophobicité des bords 7 précités. On peut ainsi se passer d'un robot de type micro- dispenseur pour un versement contrôlé du réactif dans les micro-cuvettes 4, et l'on évite la présence de gouttes résiduelles de réactif sur ces bords 7 qui est susceptible de contaminer des micro-cuvettes 4 voisines par pontage . REVENDICATIONS 1. Procédé pour augmenter l'hydrophobicité d'un revêtement externe (3) biocompatible et ajouré d'un dispositif d'analyse (1) chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, ledit dispositif comportant un substrat (2) et ledit revêtement qui recouvre ledit substrat en entourant une pluralité de cuvettes d'analyse (4) destinées à fixer des réactifs chimiques et/ou biologiques en vue de constituer des sites d'analyse, caractérisé en ce qu'il comprend un traitement dudit l0 revêtement au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, pour le dépôt d'un film hydrophobe (7) sur ledit revêtement, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit plasma organique est choisi dans le groupe constitué par les plasmas de C4F8, de CF4, de C2F6, de C3F8 et de C5F8, pour l'obtention dudit film (7) qui comprend des groupes CF2. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit plasma organique est un plasma d'octaméthyltétrasiloxane, pour 20 l'obtention dudit film (7) qui comprend des groupes SiOXCy. 4. Procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit revêtement (3) est à base d'au moins un polymère photosensible réticulé de type thermoplastique ou thermodurcissable, tel qu'un polyimide ou une résine époxy. 5. Procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit plasma est utilisé à froid dans le domaine des radiofréquences. 6. Procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit film hydrophobe (7) présente une épaisseur allant 30 de 50 nm à 1 pm. 7. Dispositif d'analyse (1) chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, susceptible d'être obtenu par un procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte: - un substrat (2), - un revêtement (3) biocompatible, tel qu'une plaque, qui recouvre ledit substrat en présentant des perforations, chaque perforation définissant une cuvette (4) dont une paroi latérale (5) et un fond (6) sont respectivement formés par ledit revêtement et ledit substrat, chaque cuvette étant destinée à fixer un réactif chimique et/ou biologique en vue de constituer un site d'analyse, et - un film (7) qui présente une hydrophobicité supérieure à celle(s) dudit substrat et dudit revêtement et qui recouvre ledit revêtement, à l'exception desdites parois latérales de cuvettes, caractérisé en ce que ledit film présente des groupes CF2 ou 15 des groupes SiOXC,, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette. 8. Dispositif d'analyse (1) selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit revêtement (3) est à base d'au moins un polymère photosensible réticulé de type thermoplastique ou thermodurcissable, tel qu'un polyimide ou une résine époxy. 9. Dispositif d'analyse (1) selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce que ledit film hydrophobe (7) présente une épaisseur allant de 50 nm à 1 pm. 10. Procédé de fabrication d'un dispositif d'analyse (1) selon 25 une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes: (i) on recouvre ledit substrat (2) par ledit revêtement (3), (ii) on dépose sur ledit fond (6) de chaque cuvette (4) une couche de protection (9) qui est destinée à protéger ledit substrat vis-à-vis d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, (iii) on dépose ledit film hydrophobe (7, 7') à la fois sur ledit revêtement et sur ladite couche de protection recouvrant chaque fond de cuvette, par un traitement de surface au moyen dudit plasma organique, puis (iv) on élimine ladite couche de protection revêtue dudit film (7'), pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film (7) uniquement sur une face externe dudit revêtement. 11. Procédé de fabrication selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite couche de protection (9) déposée à l'étape (ii) est à base d'au moins un composé choisi dans le groupe constitué par l'alcool polyvinylique, des résines photosensibles et des sucres. 12. Procédé de fabrication d'un dispositif d'analyse (1) selon une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes: (i) on recouvre ledit substrat (2) par ledit revêtement (3), (ii) on dépose ledit film hydrophobe (7, 7") à la fois sur ledit revêtement et sur ledit fond (6) de chaque cuvette (4), par un traitement de surface mis en oeuvre au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, (iii) on insole puis on développe, sur une partie dudit film hydrophobe (7) qui recouvre ledit revêtement, une couche de protection (10) qui est destinée à protéger ce film vis-à-vis d'un plasma d'oxygène et qui est à base d'au moins une résine photosensible, (iv) on élimine l'autre partie dudit film hydrophobe (7") qui recouvre ledit fond de chaque cuvette, par un traitement de l'ensemble obtenu 25 en (iii) au moyen dudit plasma d'oxygène, puis (v) on élimine ladite couche de protection déposée en (iii), pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film (7) uniquement sur une face externe dudit revêtement. 13. Procédé de fabrication selon une des revendications 10 à 30 12, caractérisé en ce que ladite couche de protection (9 ou 10) est éliminée au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau.