FR 2876995 A1 20060428 FR 0411408 A 20041026 Microsystème comportant un pont déformable Domaine technique de l'invention L'invention concerne un microsystème comportant un pont déformable et des moyens d'actionnement destinés à déformer le pont déformable de manière à ce qu'une face inférieure du pont vienne en contact avec au moins un élément de contact formé sur un substrat, le pont étant rattaché par ses extrémités au substrat, les moyens d'actionnement comportant au moins une électrode d'actionnement solidaire du pont et disposée, entre le centre du pont et une des extrémités, vis-à-vis d'une contre-électrode solidaire du substrat. État de la technique Les microsystèmes comportant un pont déformable micro-mécanique sont utilisés, par exemple, pour réaliser des commutateurs radiofréquence ou pour réaliser des miroirs mobiles, par exemple en optique adaptative, en imagerie ou dans des dispositifs de télécommunication optique. Comme représenté à la figure 1, un commutateur, par exemple, comporte typiquement un pont 1 déformable rattaché par ses extrémités 2 au substrat 3. Le commutateur comporte, de plus, un actionneur pour déformer le pont 1 déformable de manière à ce qu'une face inférieure du pont vienne en contact avec au moins un élément 4 de contact formé sur un substrat 3. La face inférieure du pont 1 comporte généralement un élément conducteur 5 qui permet d'établir un contact électrique avec l'élément de contact 4. Par exemple, deux éléments 4 de contact peuvent être constitués par deux tronçons d'une ligne radiofréquence qui sont reliés par l'élément conducteur 5. L'actionneur représenté à la figure 1 comporte deux électrodes 6 d'actionnement solidaires du pont 1 et disposées entre le centre C du pont 1 et respectivement une des extrémités 2. Chacune des électrodes 6 d'actionnement est disposée vis-à-vis d'une contre-électrode 7 solidaire du substrat 3. Lorsqu'une tension électrique d'actionnement est appliquée entre les électrodes 6 d'actionnement et les contre-électrodes 7, une force électrostatique attractive o entre chacune des électrodes 6 et l'électrode 7 correspondante provoque la déformation du pont 1 et permet, ainsi, d'établir le contact entre la face inférieure du pont 1 et l'élément 4 de contact. Sur la figure 1, les électrodes 6 d'actionnement sont disposées à une face supérieure du pont 1. Ainsi, les électrodes 6 d'actionnement n'entrent pas en contact électrique avec les contre-électrodes 7, lorsque le pont se déforme. Les électrodes 6 d'actionnement peuvent également être disposées à la face inférieure du pont 1. Dans ce dernier cas, afin d'éviter que les électrodes 6 n'entrent en contact électrique avec les contre-électrodes 7, une couche isolante est généralement disposée sur les contre-électrodes 7 ou sur les électrodes 6 d'actionnement. Actuellement, la tension électrique nécessaire pour actionner un commutateur micro-mécanique est typiquement de l'ordre de 40V. Or, la tension électrique disponible dans un appareil portable est généralement de l'ordre de 3V. On cherche alors à concevoir des commutateurs micromécaniques fonctionnant à basse tension électrique. Afin de réduire la tension électrique nécessaire pour la commutation, il serait effectivement possible d'augmenter la longueur du pont et de réduire l'épaisseur du pont. Or, l'épaisseur et la longueur du pont ne peuvent pas être choisies arbitrairement, car elles déterminent les fréquences propres de vibration du pont et, ainsi, la période de commutation caractéristique du pont, c'est-à-dire la vitesse à laquelle fonctionne le commutateur. En effet, un pont ayant une longueur importante et une épaisseur faible présente un temps de commutation longue et une souplesse trop importante qui peut nuire au fonctionnement attendu, par exemple par l'intermédiaire d'une autocommutation liée à des o vibrations. Objet de l'invention L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et de réaliser un microsystème fonctionnant à basse tension, tout en présentant un temps de commutation court. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que l'électrode d'actionnement comporte, transversalement au pont, une zone centrale disposée sur le pont et au moins une aile latérale souple en saillie. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'aile latérale est rattachée à la zone centrale par une zone de liaison plus étroite, disposée d'un côté de l'aile le plus proche du centre du pont. L'aile latérale peut, par exemple, former un serpentin. Selon un autre mode de réalisation particulier de l'invention, l'aile latérale a une forme rectangulaire étroite. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le microsystème comporte au moins deux électrodes d'actionnement disposées respectivement de part et d'autre du centre du pont. Selon un mode de réalisation préférentiel de l'invention, chaque électrode d'actionnement comporte au moins une paire d'ailes latérales disposées respectivement de part et d'autre de la zone centrale correspondante. Selon un autre mode de réalisation particulier de l'invention, chaque électrode d'actionnement comporte au moins deux ailes latérales faisant saillie du même côté de la zone centrale. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: Les figures 1 et 2 illustrent schématiquement, respectivement en coupe selon l'axe A-A et en vue de dessus, un commutateur selon l'art antérieur. Les figures 3 et 4 représentent, en vue de dessus, deux modes de réalisation particuliers d'un commutateur selon l'invention. Les figures 5 à 8 illustrent quatre modes de réalisation particuliers d'une électrode d'actionnement d'un commutateur selon l'invention. Description de modes particuliers de réalisation Sur la figure 3 est représenté un axe longitudinal L du pont 1, passant par les deux extrémités 2 du pont 1, et un axe transversal T disposé perpendiculairement à l'axe longitudinal L, dans un plan parallèle au substrat 3. L'intersection des axes transversal T et longitudinal L correspond au centre C du pont 1. Le commutateur représenté à la figure 3 comporte deux électrodes 6 d'actionnement, notamment une première électrode d'actionnement 6a disposée à gauche du centre C du pont, sur la figure 3, et une seconde électrode d'actionnement 6b disposée à droite du centre C du pont, sur la figure 3. Ainsi, les deux électrodes 6 d'actionnement sont disposées, longitudinalement, respectivement de part et d'autre du centre C du pont. Chaque électrode d'actionnement 6 comporte, transversalement au pont 1, une zone centrale 8, disposée sur le pont 1. Chaque zone centrale 8 peut, par exemple, être disposée à la face supérieure du pont 1 ou à la face inférieure du pont 1. Les zones centrales 8 sont solidaires du pont 1 et disposées, de préférence, entre deux couches isolantes, de manière à être enterrées dans le pont 1. De plus, sur la figure 3, chaque électrode d'actionnement 6 comporte, transversalement au pont 1, deux ailes 9 latérales en saillie, constituant une paire d'ailes latérales. Sur la figure 3, les deux ailes 9 latérales de chaque électrode 6 d'actionnement sont disposées respectivement de part et d'autre de la zone centrale 8 correspondante et, ainsi, de part et d'autre de l'axe longitudinal L. Les électrodes 6 d'actionnement sont sensiblement planes et disposées dans un plan parallèle au substrat 3. Chaque aile 9 latérale est rattachée à la zone centrale 8 correspondante par une zone de liaison 10 plus étroite, disposée d'un côté de l'aile 9 le plus proche du centre C du pont 1. Ainsi, sur la figure 3, la zone de liaison 10a, rattachant l'aile 9a latérale à la zone centrale 8a de l'électrode 6a de gauche, est disposée sur le côté droit de l'aile 9a et la zone de liaison 10b, rattachant l'aile 9b à la zone centrale 8b de l'électrode 6b de droite, est disposée sur le côté gauche de l'aile 9b. Ainsi, l'électrode 6b de droite présente la forme de la lettre majuscule E. En effet, sur la figure 3, l'électrode centrale 8b et les ailes 9b forment trois io rectangles parallèles, par rapport à leurs axes longitudinaux, et reliés par les zones de liaison 10b qui forment la barre verticale de la lettre majuscule E. L'électrode 6a de gauche présente, de façon analogue, la forme inversée de la lettre majuscule E. Dans le mode de réalisation particulier représenté à la figure 4, chaque électrode 6 d'actionnement comporte une seule aile 9 latérale. L'aile 9a latérale de l'électrode 6a et l'aile 9b de l'électrode 6b font saillie du même côté de l'axe longitudinal L. L'électrode 6 d'actionnement représentée à la figure 5 comporte deux ailes 9 latérales faisant saillie du même côté de la zone centrale 8. L'électrode 6 d'actionnement représentée à la figure 6 comporte quatre ailes 9 latérales faisant saillie, deux part deux, respectivement de part et d'autre de la zone centrale 8. Les électrodes 6 d'actionnement représentées aux figures 5 et 6 sont destinées à être situées à gauche du centre C du pont 1, de manière à ce que les zones de liaison 10 soient disposées du côté de l'aile correspondante le plus proche du centre C du pont, notamment du côté droit de chaque aile 9, comme représenté aux figures 5 et 6. Ainsi, les ailes 9 latérales des électrodes 6 d'actionnement représentées sur les figures 3 à 6 comportent chacune une extrémité libre 12 disposée du côté de l'aile correspondante le plus éloigné du centre C du pont. Lorsqu'une tension électrique d'actionnement est appliquée entre les électrodes 6 d'actionnement et les contre-électrodes 7, les extrémités libres 12 des ailes 9 latérales fléchissent en direction du substrat 3 et, ainsi, la force attractive électrostatique aux io extrémités libres 12 augmente. Ainsi, les extrémités libres 12 fléchissent davantage et entraînent le pont 1 en direction du substrat 3, la force correspondante entre les ailes 9 et le pont 1 étant transmise par l'intermédiaire des zones de liaison 10. Les zones de liaison 10 étant disposées du côté de l'aile 9 le plus proche du centre C du pont, le couple mécanique appliqué au pont 1 par les ailes 9 fléchies est maximal. L'ajout des ailes 9 latérales selon l'invention permet d'obtenir un commutateur ayant une tension électrique d'actionnement de l'ordre de 15V au lieu de 40V pour un commutateur comparable sans ailes. Une aile 9 comportant une extrémité libre 12 présente automatiquement une raideur plus faible qu'une aile ayant deux extrémités fixées. Par ailleurs, le choix du matériau des ailes 9 et de l'épaisseur des ailes 9 permet d'adapter la raideur des ailes. Les ailes 9 latérales sont, de préférence, enterrées entre deux couches isolantes. L'épaisseur de ces couches isolantes contribue également à la raideur des ailes 9 latérales. De préférence, l'ensemble des ailes 9 latérales, des zones centrales 8 et des couches isolantes associées est constitué par un même empilement de couches comportant au moins une couche conductrice et les couches isolantes. La forme géométrique des ailes 9 peut être quelconque. En particulier, comme représenté à la figure 7, une aile 9 peut former un serpentin, ayant une extrémité libre 12 disposée près du centre 13 de l'aile 9. Comme précédemment, l'aile 9 est rattachée à la zone centrale 8 correspondante par une zone de liaison 10 plus étroite, disposée du côté de l'aile 9 le plus proche du centre C du pont 1, notamment sur le côté droit de l'aile 9, sur la figure 7. Dans ce cas, l'aile 9 a une longueur développée maximale pour un encombrement très réduit. On peut également envisager d'associer, à une électrode, plusieurs ailes 9 sous forme de serpentin. Dans tous les cas, les ailes 9 latérales doivent présenter une certaine souplesse, permettant le fléchissement de leurs extrémités libres 12. Dans les modes de réalisation décrits ci-dessus, la souplesse est apportée essentiellement par la zone de liaison 10 plus étroite. Dans une autre variante de l'invention, représentée à la figure 8, l'électrode 6 d'actionnement comporte plusieurs ailes latérales 9 rectangulaires étroites, ayant chacune une longueur très supérieure à sa largeur. La souplesse de chaque aile 9 est alors due au fait que l'aile latérale 9 soit longue et étroite. Sur la figure 8, l'électrode 6 comporte quatre ailes 9 centrales longues et quatre ailes 9 périphériques courtes, formant un peigne de chaque côté de l'électrode 6. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation représentés. En particulier, le nombre d'électrodes 6 d'actionnement peut être quelconque. Par exemple, une électrode 6 d'actionnement unique peut être suffisante, mais on peut également envisager la réalisation de plusieurs électrodes 6 d'actionnement de chaque côté du centre C du pont. De plus, on peut envisager toute combinaison des différentes électrodes 6 d'actionnement représentées. Par ailleurs, l'invention s'applique à tout type de microsystèmes comportant un pont déformable, par exemple les commutateurs, les miroirs mobiles, etc... Revendications 1. Microsystème comportant un pont (1) déformable et des moyens d'actionnement destinés à déformer le pont (1) déformable de manière à ce qu'une face inférieure du pont vienne en contact avec au moins un élément de contact (4) formé sur un substrat (3), le pont (1) étant rattaché par ses extrémités (2) au substrat (3), les moyens d'actionnement comportant au moins une électrode (6) d'actionnement solidaire du pont (1) et disposée, entre le centre (C) du pont et une des extrémités (2), vis-àvis d'une contre-électrode (7) solidaire du substrat (3), microsystème caractérisé en ce que l'électrode (6) d'actionnement comporte, transversalement au pont (1), une zone centrale (8) disposée sur le pont (1) et au moins une aile (9) latérale souple en saillie. 2. Microsystème selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'aile (9) latérale est rattachée à la zone centrale (8) par une zone de liaison (10) plus étroite, disposée d'un côté de l'aile (9) le plus proche du centre (C) du pont. 3. Microsystème selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'aile (9) latérale forme un serpentin. 4. Microsystème selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'aile (9) 25 latérale a une forme rectangulaire étroite. 5. Microsystème selon l'une quelconque des revendication 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux électrodes (6) d'actionnement disposées respectivement de part et d'autre du centre (C) du pont. 6. Microsystème selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que chaque électrode (6) d'actionnement comporte au moins une paire d'ailes (9) latérales disposées respectivement de part et d'autre de la zone centrale (8) correspondante. 7. Microsystème selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que chaque électrode (6) d'actionnement comporte au moins deux ailes (9) latérales faisant saillie du même côté de la zone centrale (8).