FR 2849013 A1 20040625 FR 0216274 A 20021220 Composant d'encapsulation de micro-systèmes électromécaniques intégrés et procédé de réalisation du composant Domaine technique de l'invention L'invention concerne un composant d'encapsulation de microsystèmes électromécaniques intégrés dans une cavité, comportant un substrat, dans lequel est formée la cavité, un capot présentant une face avant et une face 10 arrière, disposée sur le substrat, et des moyens de scellement du capot sur le substrat destinés à rendre la cavité étanche. tat de la technique La technologie des micro-systèmes électromécaniques intégrés ( Afin de réduire les cots de fabrication, on cherche à appliquer de façon toujours plus poussée le principe de fabrication collective, sur lequel repose toute la puissance des micro-technologies Ainsi, on cherche à fabriquer des 25 puces les plus petites possibles pour en avoir le plus grand nombre possible sur un même substrat. La fabrication collective est d'autant plus intéressante si elle comporte toutes les étapes de la fabrication Cependant, souvent certaines étapes de la fabrication sont effectuées collectivement, tandis que d'autres étapes sont effectuées individuellement sur chaque puce L'étape de scellement par exemple est très coteuse si elle est réalisée au niveau de la puce individuelle après découpe du substrat. Comme représenté sur la figure 1, un MEMS actuel est typiquement constitué d'un substrat 1 et de micro-systèmes électromécaniques 2 intégrés dans une cavité du substrat 1 Afin de protéger les micro-systèmes, un capot 3 est fixé sur le substrat 1 par des moyens de scellement 4 destinés à rendre la cavité 10 étanche. On cherche à développer des procédés qui soient à la fois collectifs sur tranche, peu consommateurs de surface de silicium (pour réduire la taille des puces), 15 capables de garantir une très bonne herméticité de longue durée et dans des environnements sévères de température et d'humidité, peu générateurs de contraintes parasites, flexibles au niveau de la conception du MEMS lui-même, de préférence réalisables à basse température ( Une première technique connue consiste à sceller un capot par un cordon de 25 matériau polymère L'intérêt de cette solution est que la forme du cordon peut être définie par des techniques de photolithographie, qui permettent de réaliser des cordons de très petite largeur (quelques dizaines de micromètres), peu consommateurs de surface de puce Le scellement peut de plus être effectué par des moyens simples à basse température L'inconvénient majeur est qu'il est impossible de garantir, avec un polymère, une très bonne herméticité, notamment au vide Les polymères résistent d'autre part mal aux agressions de l'environnement. Une deuxième technique, très utilisée aujourd'hui, consiste à utiliser un cordon de verre fusible déposé par sérigraphie On trouve des verres fusibles à 450 C et cette technique assure une bonne herméticité Elle présente cependant l'inconvénient important de conduire à des cordons de très grande largeur (quelques centaines de micromètres), ce qui devient inacceptable pour les 10 produits de grande diffusion Par exemple, la surface des puces pour capteur d'accélération de la prochaine génération sera de l'ordre du millimètre au carré. Or, la largeur du cordon est liée à la technique de dépôt de la pâte de verre par sérigraphie et il est donc difficile d'espérer réduire cette largeur. Une troisième technique, plus intégrée, consiste à remplacer le capot par une couche mince déposée Le déroulement typique d'un procédé de ce type comporte un dépôt d'une couche sacrificielle, le dépôt de la couche mince servant de capot et l'enlèvement de la couche sacrificielle La couche capot est souvent en silicium polycristallin, matériau quelquefois utilisé également pour le 20 MEMS lui-même Cette technique représente l'intérêt d'une très grande miniaturisation et donc d'un cot potentiel très bas Elle utilise un scellement minéral, donc hermétique Un inconvénient important est cependant que le capot doit être déposé avant que la couche sacrificielle de libération mécanique du MEMS ne soit gravée La couche capot ne peut en effet pas être déposée en 25 l'air L'attaque de libération du capot doit donc se faire à travers des trous dans le capot, ce qui est très compliqué et demande une conception très particulière du MEMS Cette contrainte réduit fortement la liberté de conception du MEMS lui-même Un autre inconvénient est la faible épaisseur du capot (quelques micromètres), qui dans certains cas peut se déformer sous l'effet de la pression extérieure. Objet de l'invention L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et, plus particulièrement, de proposer un procédé de fabrication de micro-systèmes électromécaniques intégrés minimisant les problèmes de fabrication collective, d'encombrement, 10 d'herméticité, de dilatation thermique et de solidité du capot tout en réduisant les contraintes de conception du MEMS et le cot de fabrication. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que le capot comporte au moins une rainure traversant le capot et délimitant dans le capot une zone 15 périphérique et une zone centrale, recouvrant totalement la cavité, un matériau de scellement étant disposé au fond de la rainure. L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un composant dans lequel le scellement est réalisé par: une première étape, de creusement dans le capot d'au moins une rainure traversant le capot et délimitant dans le capot une zone centrale et une zone périphérique, une seconde étape, de mise en contact du substrat et du capot, de manière à ce que la zone centrale recouvre totalement une cavité du 25 substrat, une troisième étape, de scellement par dépôt d'un matériau de scellement au fond de la rainure. Selon un autre procédé de réalisation d'un composant selon l'invention, le scellement est réalisé par: une première étape, de creusement dans la face avant du capot ( 3) d'au moins une rainure ( 9) ayant une profondeur inférieure à l'épaisseur du capot 5 ( 3) et délimitant dans le capot ( 3) une zone centrale ( 6) et une zone périphérique ( 7), une seconde étape, de remplissage au moins partiel de la rainure ( 9) par de la poudre de verre et fusion du verre ( 4), une troisième étape, d'enlèvement d'une épaisseur suffisante de la face 10 arrière du capot ( 3), pour découvrir le verre contenu dans la rainure ( 9), une quatrième étape, de mise en contact du substrat ( 1) et du capot ( 3) de manière à ce que la zone centrale ( 6) recouvre totalement la cavité du substrat, et de scellement par fusion du verre ( 4). Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention 20 donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: La figure 1 représente une vue en coupe d'un composant comportant des microsystèmes électromécaniques intégrés selon l'art antérieur. Les figures 2 et 3 représentent deux étapes d'un mode particulier de réalisation d'un procédé selon l'invention. Les figures 4 et 5 représentent un mode de réalisation particulier d'un capot selon l'invention respectivement en vue de dessous et en vue de dessus. Les figures 6 et 7 représentent deux étapes d'un mode particulier de réalisation d'un procédé selon l'invention, permettant une connexion du substrat. La figure 8 est une représentation d'un mode particulier de réalisation d'un composant selon l'invention, dans lequel le capot comporte une cavité. La figure 9 est une représentation d'un mode particulier de réalisation d'un composant selon l'invention, dans lequel le capot comporte une couche isolante. Les figures 10 à 13 représentent différentes étapes d'un mode particulier de réalisation d'un procédé selon l'invention. La figure 14 est une représentation d'un mode particulier de réalisation d'un 10 composant selon l'invention, dans lequel le capot comporte un sillon. Description de modes particuliers de réalisation. La figure 2 représente un composant comportant un substrat 1 et des microsystèmes électromécaniques 2 intégrés dans une cavité à la face supérieure du substrat 1 Le capot 3, disposé avec sa face arrière sur le substrat 1, comporte au moins une rainure 5, par exemple annulaire, traversant le capot 3 et délimitant dans le capot 3 une zone périphérique 7 et une zone centrale 6, 20 recouvrant totalement la cavité. Pour rendre la cavité étanche, un matériau de scellement 4 est disposé au moins au fond de la rainure 5 Sur la figure 3, une couche de matériau de scellement 4 est déposée sur la face avant du capot 3, recouvrant la totalité de 25 cette face avant, les parois et le fond de la rainure 5 Le capot 3 peut comporter des rainures supplémentaires (non-représentées) dans la zone centrale 6, permettant de réaliser des scellements supplémentaires sur des socles disposés dans la cavité vis-à-vis de la rainure supplémentaire. La rainure 5 n'est pas nécessairement annulaire Elle peut avoir des périmètres internes et externes carrés, circulaires ou d'une forme plus complexe, l'essentiel étant que la rainure forme une boucle fermée, pour que le matériau de scellement 4 entoure complètement la cavité, afin d'obtenir l'étanchéité. Les figures 4 et 5 représentent une rainure dont les périmètres interne et externe sont carrés La zone centrale 6 peut être reliée à la zone périphérique 7, à la face avant du capot, par des bras 8 solidaires du capot Ces bras peuvent être obtenus en gravant des rainures nondébouchantes sur la face arrière du 10 capot, puis par une gravure de la face arrière pour délimiter la forme des bras 8. Ainsi, à la face arrière du capot, la rainure 5 forme une boucle complète (figure 4), tandis qu'à la face avant cette boucle est interrompue par les bras 8 (figure 5). Le matériau de scellement 4 peut être minéral, métallique ou isolant Un scellement peut aussi comporter plusieurs couches de matériaux différents Les principaux procédés utilisables pour l'introduction du matériau de scellement 4 dans les rainures 5 sont le dépôt par vapeur chimique (" ,) et le dépôt d'une couche de verre fusible. 20 L'évaporation sous vide est également envisageable Sa directivité complique cependant le procédé de dépôt du fait d'effets d'ombrage et il est alors nécessaire de faire varier l'orientation des substrats en cours de dépôt (utilisation bien connue de planétaires) pour que toutes les zones utiles soient 25 couvertes. Le matériau de scellement déposé par CVD peut être choisi parmi les matériaux les plus classiques des procédés de la microélectronique: oxyde de silicium, nitrure de silicium, polysilicium, tungstène, etc Parmi tous les procédés de type CVD, le dépôt par vapeur chimique à basse pression ( ,) est particulièrement adapté, parce qu'il présente un bon pouvoir couvrant dans les rainures Il peut cependant nécessiter des températures élevées qui, dans certains cas, ne sont pas 5 acceptables Une variante possible à basse température est un procédé plasma à base de tétraéthoxysilane (" PETEOS CVD: plasma enhanced tetra- ethylortho-silicate chemical vapor deposition,) qui offre un bon compromis entre qualité de couche, conformité de la couche au substrat et température de dépôt (en dessous de 450 C). Au moment du scellement, le substrat 1 et le capot 3 doivent être suffisamment proches l'un de l'autre (quelques micromètres) pour que la couche déposée assure l'étanchéité On peut à cet effet appliquer une tension électrique entre le substrat 1 et le capot 3 pour les mettre en contact par des forces 15 électrostatiques. Comme représenté à la figure 6, la zone périphérique 7 du capot 3 peut comporter au moins un orifice 10 traversant le capot 3 et par lequel passe un fil 11 de connexion électrique au substrat 1 Pour éviter, que l'orifice 10 ne soit 20 bouché pendant le dépôt du matériau de scellement 4, un orifice 10 d'une profondeur inférieure à l'épaisseur initiale du capot 3 peut être usiné dans la face arrière du capot 3 (figure 7) Ainsi, pendant le dépôt du matériau de scellement, I'orifice 10 est protégé par le capot 3 Après le dépôt, le capot 3 est aminci sur sa face avant de manière à découvrir l'orifice 10 Le fil 11 de 25 connexion au substrat peut ensuite être mis en place. La figure 8 montre un mode de réalisation particulier, dans lequel la zone centrale 6 du capot 3 comporte une cavité supplémentaire 12 à la face arrière du capot, permettant d'augmenter l'espace utile des microsystèmes électromécaniques 2 intégrés. Comme représenté à la figure 9, le capot 3 peut comprendre une couche 5 isolante 14 dans les rainures 5 et sur les faces avant et arrière, de façon à isoler électriquement le capot 5 du matériau de scellement 4 La couche isolante 14 peut être déposée autour des zones centrale 6 et périphérique 7 du capot après le creusement des rainures 5 Un moyen connu pour réaliser la couche isolante 14 est une oxydation thermique du capot 3 Le matériau de scellement 4, s'il est 10 électriquement conducteur, peut alors servir d'interconnexion électrique entre le substrat 1 et des éléments disposés sur le capot 3. Le scellement d'un composant selon la figure 3 est illustré sur les figures 2 et 3. Une première étape consiste à creuser dans le capot 3 au moins une rainure 5 15 traversant le capot 3 et délimitant dans le capot 3 une zone centrale 6 et une zone périphérique 7, comme représenté à la figure 2 L'usinage des rainures de la largeur du scellement souhaitée s'effectue, de manière connue, typiquement par gravure ionique réactive du matériau du capot, typiquement du silicium Une seconde étape consiste à mettre en contact le substrat 1 et le capot 3, de 20 manière à ce que la zone centrale 6 soit disposée en regard de la cavité du substrat, de manière à la recouvrir totalement, comme représenté à la figure 2. Puis, dans une troisième étape, représentée à la figure 3, le matériau de scellement 4 est déposé au moins au fond de la rainure 5 Ensuite les différentes puces sont découpées. Dans le cas d'un scellement en verre fusible, un autre procédé de réalisation peut être envisagé, représenté aux figures 10 à 13 Une première étape consiste alors à creuser dans la face avant du capot 3 au moins une rainure 9 ayant une profondeur inférieure à l'épaisseur du capot 3 Le capot doit donc avoir une épaisseur supérieure à l'épaisseur finale souhaitée Ensuite, comme représenté à la figure 11, la rainure 9 est remplit au moins partiellement par de la poudre de verre et le verre est chauffé pour faire fondre le verre 4 dans la rainure 9 Une troisième étape, représentée à la figure 12, consiste à enlever de 5 la face arrière du capot 3, une épaisseur suffisante pour découvrir le verre ( 4 a) contenu dans la rainure 9 Puis, dans une quatrième étape, représentée à la figure 13, le substrat 1 et le capot 3 sont mis en contact et l'étape de scellement est effectuée par fusion du verre 4 Dans cette variante de procédé, une étape supplémentaire peut consister dans la gravure sélective de la face arrière du 10 capot 3 entre les troisième et quatrième étapes de manière à ce que le verre 4 contenu dans la rainure fasse saillie comme représenté en 4 b Lors de l'étape de scellement, cette partie en saillie s'étale sur une largeur légèrement supérieure à la largeur de la rainure 5. On peut également combiner le dépôt CVD et le verre fusible, une première couche mince étant déposée par CVD pour assurer un minimum de tenue mécanique et le verre fusible étant introduit ensuite dans les rainures pour parfaire l'étanchéité. La figure 14 représente un composant avec un capot comportant un sillon 13 entre une cavité 12 et une rainure 5 Le sillon 13 est creusé dans la face arrière du capot 3 avant l'étape de mise en contact du substrat 1 et du capot 3 Ainsi, lors du dépôt du scellement (par CVD par exemple), le sillon empêche localement le bouchage complet, de manière à laisser un passage entre la 25 cavité et la rainure Ceci permet un bouchage ultérieur sous atmosphère contrôlée. Dans un autre procédé de réalisation, on rajoute une étape de creusement d'un trou dans le capot 3, permettant également un bouchage ultérieur sous atmosphère contrôlée Le bouchage peut être effectué par tous moyens connus tels que scellement d'un substrat additionnel, fusion d'une bille en étain et plomb ou de verre fusible. Revendications 1 Composant d'encapsulation de micro-systèmes électromécaniques ( 2) intégrés dans une cavité, comportant un substrat ( 1), dans lequel est formée la cavité, un capot ( 3) présentant une face avant et une face arrière, disposée sur le substrat ( 1), et des moyens de scellement ( 4) du capot ( 3) 10 sur le substrat ( 1) destinés à rendre la cavité étanche, composant caractérisé en ce que le capot ( 3) comporte au moins une rainure ( 5) traversant le capot ( 3) et délimitant dans le capot ( 3) une zone périphérique ( 7) et une zone centrale ( 6) recouvrant totalement la cavité, un matériau de scellement ( 4) étant disposé au fond de la rainure ( 5). 2 Composant d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zone centrale ( 6) est reliée à la zone périphérique ( 7), à la face avant du capot ( 3), par des bras ( 8) solidaires du capot ( 3). 3 Composant d'encapsulation selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le capot ( 3) comporte au moins une rainure supplémentaire dans la zone centrale ( 6). 4 Composant d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 25 3, caractérisé en ce que la zone périphérique ( 7) du capot ( 3) comporte au moins un orifice ( 10) traversant le capot ( 3) par lequel passe un fil ( 11) de connexion électrique au substrat ( 1). Composant d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le matériau de scellement ( 4) comporte une couche de verre fusible. 6 Composant d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le capot ( 3) comporte une couche isolante disposée dans les rainures ( 5), de manière à isoler électriquement le matériau de scellement ( 4) du capot ( 3). 7 Composant d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la zone centrale ( 6) du capot ( 3) comporte au moins une cavité supplémentaire ( 12) à la face arrière du capot. 8 Procédé de réalisation d'un composant d'encapsulation selon l'une 15 quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte: une première étape, de creusement dans le capot ( 3) d'au moins une rainure ( 5) traversant le capot ( 3) et délimitant dans le capot ( 3) une zone centrale ( 6) et une zone périphérique ( 7), une seconde étape, de mise en contact du substrat ( 1) et du capot ( 3), de 20 manière à ce que la zone centrale ( 6) recouvre totalement une cavité du substrat, une troisième étape, de scellement par dépôt d'un matériau de scellement au fond de la rainure ( 5). 9 Procédé de réalisation selon la revendication 8, caractérisé en ce que le dépôt du matériau de scellement ( 4) comporte le dépôt d'une couche mince. 10.Procédé de réalisation selon la revendication 9, caractérisé en ce que le dépôt de la couche mince est réalisé par un procédé de type CVD. 11.Procédé de réalisation d'un composant d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte: une première étape, de creusement dans la face avant du capot ( 3) d'au 5 moins une rainure ( 9) ayant une profondeur inférieure à l'épaisseur du capot ( 3) et délimitant dans le capot ( 3) une zone centrale ( 6) et une zone périphérique ( 7), une seconde étape, de remplissage au moins partiel de la rainure ( 9) par de la poudre de verre et fusion du verre ( 4), une troisième étape, d'enlèvement d'une épaisseur suffisante de la face arrière du capot ( 3) pour découvrir le verre contenu dans la rainure ( 9) , une quatrième étape, de mise en contact du substrat ( 1) et du capot ( 3) de manière à ce que la zone centrale ( 6) recouvre totalement la cavité du substrat, et de scellement par fusion du verre ( 4). 12.Procédé de réalisation selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comporte une étape de gravure sélective de la face arrière du capot ( 3) entre les troisième et quatrième étapes de manière à ce que le verre ( 4) contenu dans la rainure fasse saillie ( 4 b). 13 Procédé de réalisation selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, caractérisé en ce que la mise en contact du substrat ( 1) et du capot ( 3) est effectuée par application d'une tension électrique entre le substrat ( 1) et le capot ( 3). 14 Procédé de réalisation selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, caractérisé en ce qu'il comporte, dans la première étape, I'usinage, dans la face arrière du capot ( 3), d'un orifice ( 10) d'une profondeur inférieure à l'épaisseur du capot ( 3), et une étape d'amincissement de la face avant du capot ( 3) après l'étape de scellement. Procédé de réalisation selon l'une quelconque des revendications 8 à 14, 5 caractérisé en ce qu'il comporte, avant l'étape de mise en contact du substrat ( 1) et du capot ( 3), une étape de creusement d'un sillon ( 13) dans la face arrière du capot ( 3), empêchant localement un bouchage complet par le matériau de scellement ( 4) pendant l'étape de scellement, permettant un bouchage ultérieur sous atmosphère contrôlée. 16 Procédé de réalisation selon l'une quelconque des revendications 8 à 15, caractérisé en ce qu'il comporte une étape de creusement d'un trou dans le capot ( 3), permettant un bouchage ultérieur sous atmosphère contrôlée.