FR 2854248 A1 20041029 FR 0304911 A 20030422 FILTRE OPTIQUE RECONFIGURABLE La présente invention concerne le domaine des filtres optiques disposés dans des guides d'onde optique. Les filtres optiques, tels que les réseaux de Bragg photo-inscrits dans des guides optiques, trouvent des applications de plus en plus importantes dans les systèmes optiques, o ils sont utilisés pour des applications telles que la sélection de longueur d'onde, l'égalisation de gain ou la compensation de dispersion chromatique par exemple. Un guide d'onde est classiquement composé d'un coeur optique, ayant pour fonction de transmettre et éventuellement d'amplifier un signal optique, entouré d'une gaine optique, ayant pour fonction de confiner le signal optique dans le coeur. A cet effet, les indices de réfraction du coeur ni et de la gaine n2 sont tels que nl>n2. Ainsi, le coeur et la gaine forment un guide d'onde. Comme cela est bien connu, la 15 propagation d'un signal optique dans un guide d'onde monomode se décompose en un mode fondamental guidé dans le coeur et en des modes secondaires guidés sur une certaine distance dans l'ensemble coeur-gaine optique, appelés également modes de gaine. La gaine est elle- même entourée d'un milieu extérieur d'indice de réfraction n3 > ou Le coeur et/ou la gaine du guide peuvent être dopés de manière à être rendus photosensibles pour une inscription de réseau de Bragg, par exemple avec du germanium (Ge). De manière classique, un réseau de Bragg est composé d'une 25 perturbation périodique de l'indice de réfraction dans le guide qui forme un réseau d'indice. Cette perturbation d'indice est obtenue par une irradiation localisée du guide à travers un masque de phase qui détermine le pas A du réseau. L'intensité et la modulation de l'irradiation lors de l'inscription définissent un réseau de Bragg caractérisé par la relation dite de Bragg, avec A le pas du réseau et neff l'indice 30 effectif du mode fondamental guidé dans le coeur du guide optique XB = 2 A. neff. Cette relation caractérise un réseau de Bragg à pas courts. Un réseau à pas courts perpendiculaire à l'axe de la fibre constitue un filtre spectral réflecteur centré 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\SIlle\Fi 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc sur la longueur d'onde de Bragg ?UB. Ce filtre est classiquement utilisé pour des applications de filtrage, ou de multiplexage permettant l'ajout ou l'extraction d'une longueur d'onde de transmission. Le réseau ou les réseaux de Bragg sont alors associés à un ou plusieurs composants à plusieurs voies entrée-sortie, par exemple des circulateurs optiques ou des coupleurs. Les réseaux de Bragg ont fait l'objet de nombreux développements. Ainsi, des réseaux, dit chirpés, dont le pas A varie le long du réseau sont classiquement utilisés pour des applications de compensation de la dispersion chromatique. Par ailleurs, les réseaux en angle ou réseaux inclinés, connus sous le terme 10 de SBG pour Slanted Bragg Grating en anglais, ou les réseaux à long pas, connus sous le terme de LPG pour Long Period Grating en anglais, sont classiquement utilisés pour des applications d'égalisation de gain. De tels réseaux sont conçus pour permettre un couplage du mode fondamental dans les modes de gaine permettant un filtrage sans réflexion aux longueurs d'onde de couplage et permettent de 15 s'affranchir des isolateurs optiques. Les filtres optiques sont intégrés dans des systèmes optiques et sont généralement associés à des amplificateurs optiques disposés dans des répéteurs optiques répartis régulièrement le long de lignes de transmission. Les amplificateurs optiques ne fournissent généralement pas une amplification égale pour toutes les 20 longueurs d'onde des signaux transmis sur les différents canaux d'une même ligne de transmission. En particulier, avec le développement des applications de transmission par multiplexage en longueur d'onde (WDM, pour Wavelength Division Multiplexing) sur de larges bandes spectrales, les disparités d'amplification sur une bande passante donnée ont tendance à s'accentuer. Il est donc nécessaire d'associer 25 aux amplificateurs en ligne des filtres égaliseurs de gain qui permettent de rétablir les disparités d'amplification des différents canaux de transmission d'un système optique. En outre, en particulier pour ces réseaux WDM installés sur des liaisons longues distances et à haut débit, il est nécessaire de gérer la dispersion chromatique, l'objectif étant d'obtenir, pour toutes les valeurs de longueur d'onde du 30 multiplex, une dispersion chromatique cumulée sensiblement nulle sur la liaison, de sorte à limiter l'élargissement des impulsions. Ainsi, des compensateurs de dispersion chromatique à réseau de Bragg peuvent-ils être insérés dans la ligne de transmission. 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\Salle\Fi 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc Or, un système optique est souvent évolutif et il n'est pas rare que les paramètres d'un composant optique, tel qu'un égaliseur de gain ou un compensateur de dispersion, ne soient plus du tout adaptés aux spécifications requises par les systèmes de transmission réels. Par exemple, une telle évolution peut 5 être due à un vieillissement, à une variation de température, à des interventions localisées sur la ligne ou à des ajouts de modules optiques ou de canaux optiques de transmission après l'installation de la ligne. Les paramètres préalablement fixés des différents composants du système optique deviennent alors inadaptés. En outre, pour les applications de routage optique, il y a un besoin de filtres 10 spectraux que l'on puisse activer à une longueur d'onde donnée afin par exemple de commuter le signal à cette longueur d'onde. Cela peut par exemple être un filtre que l'on place à une longueur d'onde correspondant à un canal, le signal associé à cette longueur d'onde est alors extrait, ou que l'on place entre deux longueurs d'onde correspondants à deux canaux adjacents, et le signal est alors transmis sans aucune 15 modification. Mais lorsque les canaux sont proches spectralement (≤ 50 GHz), il devient difficile de placer le filtre entre deux canaux sans en modifier leurs transmissions. L'idéal serait donc de disposer d'un filtre que l'on active ou non en fonction du besoin. Il est donc nécessaire de réaliser, entre autre, des filtres optiques qui 20 permettent d'accorder dynamiquement leur réponse spectrale pour correspondre aux évolutions des conditions de fonctionnement des systèmes optiques dans lesquels ils sont disposés, ou des filtres " agiles " ou reconfigurables qui permettent d'être activés ou non pour des applications de routage optique Il existe déjà de nombreux filtres optiques accordables par commande 25 externe. En effet, une action localisée sur le guide ou son milieu extérieur peut modifier l'indice effectif du guide localement et de là même la réponse du filtre selon la relation de Bragg précédemment citée. Les filtres accordables connus sont le plus souvent soumis à une contrainte thermique (avec un élément Peltier ou un élément chauffant) ou à une contrainte 30 mécanique (tel qu'un activateur piézoélectrique ou autre). De telles contraintes permettent, selon les modes de réalisation, de décaler la longueur d'onde du filtre et/ou d'introduire ou modifier une variation du pas (chirp). 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi $\Salle\F I 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc Ces filtres accordables connus nécessitent une commande externe, souvent massive. Ces solutions sont assez encombrantes et présentent généralement un temps de réponse élevé pour l'accord du filtre. Par ailleurs, des recherches sont en cours pour induire des effets non 5 linéaires dans un guide d'onde par une méthode dite de " poling "> afin de pouvoir modifier ultérieurement l'indice de réfraction du guide d'onde dynamiquement. La méthode de " poling "> consiste à créer, au sein du matériau dont l'indice de réfraction doit être modifié, une direction et un sens privilégié qui augmentent la susceptibilité non-linéaire d'ordre 2. Une première méthode consiste à appliquer un champ électrique élevé sur une zone du guide qui est simultanément insolée par irradiation aux ultraviolets. Cette méthode, dite de " poling " optique, est décrite en particulier dans la publication de S. Matsumoto et ai, " Crystallization and optical nonlinearity in GeO2SiO2 glass poled with ArF excimer-laser irradiation ", Journal of Applied Physics, Vol. 15 88, N. 12, p. 6993 (2000) . Une autre méthode connue de " poling >" consiste à appliquer le champ électrique sur une zone de guide qui est simultanément soumise à une température très élevée. Cette méthode, dite de " poling > thermique est décrite en particulier dans la publication de A.C. Liu et al. " Improved nonlinear coefficient (0.7 pm/V) in silica 20 thermally poled at high voltage and temperature ", Electronics Letters, Vol. 36, N. 6, p. 555 (2000). Sur la portion de guide ayant subi le " Néanmoins, cette solution pour réaliser des filtres optiques accordables présente des problèmes techniques de mise en oeuvre. En particulier, le champ 30 électrique de commande externe appliqué à la zone " polée " nécessite la mise en place d'électrodes à l'intérieur du guide, ce qui crée une biréfringence dans le cas d'une fibre optique. 104682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\Salle\F 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc D'autre part, bien que le " poling " thermique présente une évolution maîtrisée dans le temps, l'effet induit est encore de valeur faible pour être utilisé dans les systèmes optiques. Quant au " poling " optique, l'effet induit est très instable et donc encore très loin de pouvoir être utilisé. En outre, une augmentation périodique 5 du %2 permettant la création ou la modification d'une variation d'indice non linéaire périodique avec une période correspondant à un filtrage aux longueurs d'onde des télécommunications (- 530 nm pour une longueur d'onde vers l.5 pLm) ne peut être obtenue qu'avec le " poling " optique. En effet, seule l'irradiation laser permet d'obtenir une telle résolution, et non l'application d'une forte température. L'objet de la présente invention est donc de répondre aux inconvénients de l'art antérieur et de proposer un filtre optique accordable qui s'affranchisse des commandes externes non optiques pour l'accordabilité. A cet effet, l'invention propose d'utiliser une commande optique basée sur l'effet Kerr qui est lié à la susceptibilité d'ordre 3 du matériau constituant le guide 15 optique. Le guide est donc préparé par incorporation de nanoparticules de semiconducteur adaptées pour présenter une susceptibilité d'ordre 3 donnée à une fréquence donnée, puis une commande optique est appliquée par couplage longitudinal dans le guide afin d'entraîner une variation d'indice proportionnelle à ladite susceptibilité d'ordre 3 par effet Kerr. 20 Plus particulièrement, la présente invention concerne un filtre optique accordable comprenant un réseau d'indice réalisé dans un guide d'onde définissant une direction longitudinale de propagation d'un signal optique incident, ledit réseau étant défini par une pluralité de paramètres optiques, caractérisé en ce que le guide 25 optique contient des nanoparticules de semiconducteur et en ce que le réseau d'indice est composé d'une variation d'indice de réfraction dans le guide qui est au moins partiellement induite par un effet Kerr lié à la susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (X3) desdcites nanoparticules, au moins un desdits paramètres dudit réseau d'indice étant modifié par application d'une commande optique couplée dans le guide et se 30 propageant longitudinalement dans ledit guide. Selon un mode de réalisation, la variation d'indice de réfraction dans le guide est partiellement induite par une photo-inscription à effet permanent par irradiation ultraviolette (UV). 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\Salle\F 1 04682\PREMDEP\AiDMIN\depot.doc Selon un autre mode de réalisation, la variation d'indice de réfraction dans le guide est totalement induite par l'effet non linéaire. Selon un mode de mise en oeuvre, la commande optique a une longueur d'onde distincte de la longueur d'onde du signal optique incident dans le guide et une puissance supérieure à la celle du signal optique incident dans le guide. Selon les applications, les nanoparticules de semiconducteurs contenues dans le guide d'onde sont composés de Si-Ge ou de matériaux Il-VI ou 111V ou d'éléments de tellures. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un filtre optique 10 accordable constitué par un réseau d'indice disposé dans un guide d'onde optique, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - insertion de nanoparticules de semiconducteur dans le guide d'onde; - ajustement de la taille et de la forme desdites nanoparticules de manière à obtenir une susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (%3) élevée sur une 15 portion du guide; - application d'une commande optique couplée longitudinalement dans le guide de manière à modifier un paramètre du réseau d'indice par effet Kerr. Selon un mode de réalisation, le procédé comporte en outre une étape de 20 photo-inscription d'un réseau de Bragg dans la portion de guide contenant les narnoparticules. Selon les modes de réalisation, les nanoparticules présentant une susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (x3) élevée sont réparties continûment ou périodiquement sur la portion de guide. L'invention peut s'appliquer à un système optique comportant une liaison optique et au moins un filtre optique accordable selon l'invention, la commande optique étant couplée au guide d'onde depuis ladite liaison optique. Les particularités et avantages de la présente invention apparaîtront plus 30 clairement à la lecture de la description qui suit, donnée à titre d'exemple illustratif et non limitatif. 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\Saille\F 1 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc La présente invention consiste à commander optiquement un réseau d'indice pour accorder au moins un paramètre de ce réseau afin de modifier la réponse spectrale du filtre optique constitué par ce réseau. On rappelle que les paramètres de la réponse spectrale d'un filtre optique 5 sont la longueur d'onde et le contraste. Dans le cas d'un filtre à réseau d'indice, ces paramètres sont liés pour le premier à l'indice effectif nef du guide et au pas A du réseau; et pour le second à la modulation d'indice Anmod du réseau. L'indice effectif neff du guide est lié à l'indice de réfraction n du matériau du guide et à la variation d'indice de réfraction moyenne Anmoy induite le long de la portion de guide 10 comportant le réseau, et la modulation d'indice Anmod est liée aux variations d'indice autour de la valeur de la variation d'indice de réfraction moyenne Anmoy. Ainsi, la modification de l'un ou l'autre de ces paramètres du réseau (Anmoy, Anmod, A) entraîne une modification de la réponse spectrale du filtre, soit par un décalage de la longueur d'onde, soit par une modification du contraste. Selon l'invention, le filtre est constitué par un réseau d'indice réalisé dans un guide d'onde comportant des nanoparticules de semiconducteur qui induisent dans le coeur et/ou la gaine du guide une susceptibilité diélectrique d'ordre 3, X3. Les nanoparticules de semiconducteur présentent un X3 de valeur importante lorsque leur taille RNP est beaucoup plus petite que le rayon de l'exciton du Bohr RBohr. 20 Il a été établi que X3 augmente proportionnellement à [RBohr/RNp]6 et peut atteindre une valeur 3 à 4 fois plus élevée que celle d'un semiconducteur massif. Ces résultats ont été publiés par S. Lettieri et al, " Nonresonant Kerr effect in microporous silicon: Nonbulk dispersive behavior of below bond gap X3(X) ", Journal of applied Physics, Vol. 91, N. 9, p. 5564 (2002). Ainsi, en ajustant de manière adéquate la taille des nanoparticules de semiconducteur incorporées dans le coeur et/ou la gaine du guide, ainsi que la fraction de volume du guide occupé par ces nanoparticules (le taux de remplissage), il est possible créer dans une portion du guide optique une susceptibilité d'ordre trois X3 qui introduit un effet non-linéaire. La taille des nanoparticules va déterminer en particulier la fréquence de la commande optique l(wo). Ces nanoparticules seront effectivement excitées par un signal lumineux de forte intensité pour une fréquence w0 donnée. La dissymétrie introduite par X3 dans le guide provoque une variation de l'indice de réfraction par 104682/MK/OOCD \\NTRBURO4\dpi$\Salle\F] 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc Effet Kerr sous l'action de la commande I(wo). Il a été simulé qu'une commande optique d'environ 1OOmW peut induire une variation d'indice An de l'ordre de 10O' dans une zone du guide présentant un X3 élevé. Le filtre selon l'invention est constitué par un réseau d'indice réalisé dans un 5 guide comportant des nanoparticules de semiconducteur. Selon l'invention, au moins un paramètre du réseau d'indice est accordé par une modification des propriétés diélectriques du guide, en particulier par une excitation de %3 au moyen d'une commande optique l(wo) couplée longitudinalement dans le guide. La disposition des nanoparticules le long du guide optique définit des zones 10 de non-linéarité qui peuvent être continues ou périodiques selon les applications envisagées. Selon un mode de réalisation, un réseau d'indice peut être photo-inscrit dans une zone photosensible du guide, de manière classique, introduisant un An mod et/ou un Anmoy* Des nanoparticules de semiconducteur sont réparties de manière 15 continue dans cette zone du guide. Une commande optique adaptée aux dites nanoparticules l(wo) induit un effet non linéaire lié à la susceptibilité diélectrique d'ordre trois, X3 des nanoparticules qui entraîne une modification de An,1,, et/ou Anmod par effet Kerr, modifiant ainsi la longueur d'onde et/ou le contraste du filtre. Selon un autre mode de réalisation, des nanoparticules sont réparties de 20 manière périodique sur une zone du guide et la commande optique adaptée aux dites nanoparticules l(wo) induit un effet non linéaire lié à la susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (%3) des nanoparticules qui modifie ou génère un Anmod et/ou un Anmoy par effet Kerr, modifiant ou créant ainsi un filtre à réseau d'indice. Selon ce mode de réalisation, dans le cas o la modulation d'indice est créée, le réseau d'indice est 25 dans un état latent tant que la commande optique n'est pas appliquée, c'est à dire que l'on peut introduire un filtre optique sur commande, par exemple pour ajouter ou enlever un canal dans un signal multiplexé. La commande optique est couplée dans le guide optique de manière 30 connue et similaire au couplage d'un signal de pompe dans un amplificateur à fibre dopée. La commande optique est émise à une longueur d'onde correspondante à la fréquence d'excitation (wo) des nanoparticules de semiconducteur, cette longueur d'onde X(wo) étant distincte de celle du signal incident; et avec une puissance PI(wo) 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\Salle\FI 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc fortement supérieure à la puissance du signal optique incident. Ainsi, les propriétés diélectriques du guide ne sont pas modifiées par le signal optique de transmission mais seulement par le signal de commande dont la puissance excite les nanoparticules de semiconducteur et provoque une augmentation de X. Le filtre selon l'invention doit donc de préférence être disposé éloigné de la sortie des amplificateurs optiques et ne doit pas être disposé dans des systèmes optiques transmettant des signaux de forte puissance, la puissance du signal de commande étant généralement de quelques centaines de mW. Les nanoparticules de semiconducteur sont choisies de manière à présenter une susceptibilité d'ordre trois y3 élevée et peuvent être composées de Si-Ge, de matériaux Il-VI ou 111-V ou d'éléments de tellure par exemple. Les nanoparticules peuvent être incorporées directement dans la matrice (en silice) du guide, avec un rayon RNP largement inférieur à RBOhr, à partir de techniques classiques, telles que 15 dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou sol-gel. Pour certaines compositions de semiconducteurs, les nanoparticules peuvent être fabriquées par traitement thermique ou irradiation laser du guide qui a été préalablement dopé avec les matériaux correspondants. La taille des nanoparticules, qui détermine la fréquence de la commande optique d'activation de X3 peut être adaptée par irradiation laser. Selon les modes de réalisation, les nanoparticules sont disposées dans le guide de manière continue sur une zone ou de manière périodique. Une distribution périodique peut être obtenue par un procédé de nucléation ou par une destruction d'une distribution homogène en grossissant certaines nanoparticules jusqu'à une taille supérieure à RBOhr, ce qui les rend inactive à la commande d'activation. On a ainsi fabriqué un filtre optique accordable constitué d'un réseau d'indice reconfigurable sur commande optique. Le temps de réponse d'accord du filtre est considérablement réduit, de l'ordre de quelques picosecondes. La commande optique est couplée dans le guide longitudinalement, ce qui permet de s'affranchir des commandes électriques, thermiques ou mécaniques de l'art 30 antérieur. Le filtre est en outre totalement intégré au guide, ce qui limite les pertes d'insertion, et indépendant de la polarisation lorsque réalisé dans une fibre optique. 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\Salle\F 1 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc REVENDICATIONS 1. Filtre optique accordable comprenant un réseau d'indice réalisé dans un guide d'onde définissant une direction longitudinale de propagation d'un signal optique incident, ledit réseau étant défini par une pluralité de paramètres 5 optiques, caractérisé en ce que le guide optique contient des nanoparticules de semiconducteur et en ce que le réseau d'indice est composé d'une variation d'indice de réfraction dans le guide qui est au moins partiellement induite par un effet Kerr lié à la susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (X3) desdites nanoparticules, au moins un desdits paramètres dudit réseau d'indice étant 10 modifié par application d'une commande optique couplée dans le guide et se propageant longitudinalement dans ledit guide. 2. Filtre optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la variation d'indice de réfraction dans le guide est partiellement induite par une photoinscription permanente par irradiation ultraviolette (UV). 3. Filtre optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la variation d'indice de réfraction dans le guide est totalement induite par l'effet non linéaire. 4. Filtre optique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la commande optique a une longueur d'onde distincte de la longueur d'onde 20 du signal optique incident dans le guide. 5. Filtre optique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la commande optique a une puissance supérieure à la celle du signal optique incident dans le guide. 6. Filtre optique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que 25 les nanoparticules de semiconducteurs contenues dans le guide d'onde sont composés de Si-Ge ou de matériaux Il-VI ou 111-V ou d'éléments de tellures. 7. Procédé de réalisation d'un filtre optique accordable constitué par un réseau d'indice disposé dans un guide d'onde optique, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - insertion de nanoparticules de semiconducteur dans le guide d'onde; - ajustement de la taille et de la forme desdites nanoparticules de manière à obtenir une susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (X3) élevée sur une portion du guide; - application d'une commande optique couplée longitudinalement dans le 35 guide de manière à modifier un paramètre du réseau d'indice par effet Kerr. 1 04682/MK/OOCD \\NTRBUR04\dpi$\SaIlle\Fi 04682\PREMDEP\ADMIN\depot.doc 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une étape de photo-inscription d'un réseau de Bragg dans la portion de guide contenant les nanoparticules. 9. Procédé selon l'une des revendications 7 à 8, caractérisé en ce que les 5 nanoparticules présentant une susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (X3) élevée sont réparties continûment sur la portion de guide. 10. Procédé selon l'une des revendications 7 à 8, caractérisé en ce que les nanoparticules présentant une susceptibilité diélectrique d'ordre 3 (X3) élevée sont réparties périodiquement sur la portion de guide. 11. Système optique comportant une liaison optique et au moins un filtre optique accordable selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la commande optique est couplée au guide d'onde depuis ladite liaison optique. 104682/MK/OOCD \\NTRBURO4\dpi$\Saille\F 04682\PREMD E P\ADMIN\depot.doc