FR 2855655 A1 20041203 FR 0306324 A 20030526 i Détecteur de rayonnement infrarouge photovoltalque à grille conductrice indépendante et tridimensionnelle Domaine technique de l'invention L'invention concerne un détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque comportant, sur une face avant d'un substrat transparent au rayonnement considéré, un empilement de couches en matériaux semi- conducteurs 10 absorbants, un réseau de canaux délimitant dans l'empilement de couches des pixels, et une couche isolante recouvrant au moins le fond et les flancs des canaux. État de la technique Un détecteur de rayonnement infrarouge multispectral photovoltaïque à semiconducteur est typiquement constitué d'un circuit de détection et d'un circuit de lecture: - Le circuit de détection est réalisé dans un matériau semi-conducteur, absorbant le rayonnement dans une ou plusieurs bandes infrarouges de longueurs d'onde de coupure distinctes, et comporte des photodiodes collectant le courant des photo-porteurs générés. - Le circuit de lecture réalise un multiplexage des photodiodes du circuit de 25 détection ou une interconnexion du circuit de détection avec un circuit extérieur. La présente invention concerne le circuit de détection d'un tel détecteur. Plusieurs types de détection multispectrale peuvent être distingués, notamment une détection à cohérence temporelle, à cohérence spatiale ou à cohérence spatio-temporelle: - La détection à cohérence temporelle est obtenue lorsque l'acquisition des 5 différentes bandes spectrales est effectuée simultanément. Ceci nécessite au moins une connexion électrique par bande spectrale. - La détection à cohérence spatiale est obtenue par un réseau de pixels séparés, comportant chacun plusieurs zones sensibles semi-conductrices correspondant aux différentes bandes spectrales, superposées et centrées 10 les unes par rapport aux autres. A chaque zone sensible est associée une photodiode qui est typiquement constituée par une jonction du type PN. La cohérence spatiale est obtenue lorsque les volumes de collection des différentes jonctions sont centrés les uns par rapport aux autres. Chaque jonction doit être séparée électriquement des jonctions des pixels voisins. - La détection de type cohérence spatio-temporelle est obtenue par la combinaison des deux cas précédents et impose les contraintes précédentes sur un même circuit. Les détecteurs sont en général sous forme matricielle (d'une ou plusieurs 20 colonnes), les points élémentaires sont appelés pixels. Ces pixels sont des zones définies à la surface du détecteur qui sont dédiées soit à la détection (pixel dit " actif ") soit à d'autres fonctions (pixel dit " inactif ") comme la reprise du contact substrat. Généralement les pixels sont séparés physiquement les uns des autres par des zones de séparation inter-pixel, créées par gravure de 25 canaux dans le matériau entre les pixels voisins, puis dépôt d'un isolant sur la surface du matériau. La gravure des canaux engendre plusieurs problèmes: - Les canaux entre des pixels voisins étant en général de largeur nonnégligeable en regard de la largeur des pixels, il s'ensuit une perte de surface utile et du rendement quantique du détecteur. - Des fuites possibles des photons par les flancs ou le fond des canaux et des réflexions à l'extérieur du détecteur peuvent introduire une diaphotie extrapixel (détection d'un photon destiné à un pixel par un pixel voisin) ou intrapixel (détection d'un photon destiné à une bande spectrale dans une zone sensible correspondant à une autre bande spectrale). - Le procédé de gravure dégrade généralement les propriétés électriques du matériau absorbant à proximité des flancs des canaux. Objet de l'invention L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et, en particulier, d'optimiser le rendement quantique et de minimiser la diaphotie d'un détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque à semi-conducteur. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que le détecteur comporte une couche électriquement conductrice recouvrant la couche isolante au fond et sur les flancs des canaux et électriquement indépendante des matériaux semiconducteurs. Selon un développement de l'invention, la couche électriquement conductrice est polarisée en tension. L'invention a également pour but un procédé de réalisation d'un détecteur de 25 rayonnement infrarouge photovoltaïque selon l'invention, comportant le dépôt sur une face avant d'un substrat, transparent au rayonnement considéré, d'un empilement de couches en matériaux semi-conducteurs absorbants, la délimitation d'un réseau de pixels par gravure de canaux dans l'empilement de couches en matériaux semi-conducteurs, le dépôt d'une couche isolante, recouvrant au moins le fond et les flancs des canaux, et le dépôt d'une couche électriquement conductrice recouvrant la couche isolante au fond et sur les flancs des canaux délimitant au moins une partie des pixels. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention 10 donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: Les figures 1 et 2 représentent un mode de réalisation particulier d'un détecteur selon l'invention, respectivement en coupe selon l'axe AA et en vue de dessus. 15 La figure 3 représente un mode de réalisation particulier d'un pixel d'un détecteur selon l'invention. Description de modes particuliers de réalisation Les figures 1 et 2 représentent un détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque permettant une détection à cohérence spatiale. Un réseau de pixels actifs 2 et inactifs (2', 2") est disposé sur une face avant d'un substrat 1 transparent au rayonnement considéré. Chaque pixel est délimité dans un 25 empilement de couches 3-6 en matériaux semi- conducteurs absorbants, et séparé des pixels voisins par des canaux 7, sensiblement concaves, creusés dans l'empilement de couches 3-6 de manière à former un réseau de canaux 7 communicants perpendiculaires les uns aux autres (figure 2). Les fonds et les flancs des canaux sont recouverts par une couche isolante 8, qui recouvre également la face avant des pixels inactifs 2' et 2", disposés aux extrémités du détecteur (à gauche et à droite sur les figures 1 et 2). Les faces avant des pixels actifs 2 sont partiellement recouvertes par la couche 5 isolante 8 sur une première zone, périphérique, de la face avant, laissant au centre de chaque pixel actif 2 une deuxième zone, centrale, qui est recouverte par une couche métallique 9 débordant sur la couche isolante 8 à la périphérie de la zone centrale et permettant de récupérer le signal électrique délivré par le pixel. Une couche électriquement conductrice 10 recouvre la couche isolante 8 au fond et sur les flancs des canaux 7 d'une majeure partie du réseau de canaux et sur la face avant d'un pixel inactif 2', situé à droite sur les figures 1 et 2. La couche électriquement conductrice 10 constitue ainsi une grille conductrice 15 tridimensionnelle et indépendante des matériaux semi-conducteurs. Sur les pixels sont disposées des bornes de connexion 11 et 11', respectivement en contact avec les couches métalliques 9 disposées sur les pixels actifs 2, et avec la couche conductrice 10, en contact avec le pixel inactif 2' situé à droite sur les figures 1 et 2. La borne 11 permet de gérer électriquement le pixel actif et la 20 borne 11' permet de polariser en tension la couche électriquement conductrice 10. Avantageusement, les bornes 1 1 et 11' sont identiques. Le pixel inactif 2" est indépendant du reste de la structure: il permet la reprise du contact des couches internes. Un canal situé à une extrémité du détecteur (à 25 gauche sur les figures 1 et 2) comporte une couche de connexion électrique 12 permettant de polariser la couche arrière 3 de l'empilement de couches 3-6 en matériaux semi-conducteurs. La couche de connexion électrique 12 remplit un orifice traversant la couche isolante 8 au fond du canal d'extrémité adjacent à un pixel inactif 2' et recouvre la couche isolante 8 sur les flancs du canal et en partie sur la face avant du pixel inactif 2'. Ainsi, la couche arrière 3 peut être polarisée par l'intermédiaire d'une borne de connexion 1 1 associée. La couche de connexion électrique 12 n'est pas en contact électrique avec la couche électriquement conductrice 10. Les pixels représentés à la figure 1 permettent une détection bispectrale, c'està-dire la détection de deux bandes spectrales différentes. Les couches absorbantes 3 et 4 ont une longueur d'onde de coupure commune, inférieure aux longueurs d'onde de coupure des couches 5 et 6. A l'interface des couches 10 3 et 4, d'une part, et à l'interface des couches 5 et 6, d'autre part, des jonctions de type PN sont créées par dopage opposé des couches respectives. Afin d'obtenir un détecteur multispectral, une pluralité de jonctions PN peut être empilée sur la face avant du substrat 1 par ordre croissant de longueur d'onde de coupure des matériaux constituant les jonctions PN. Ainsi, I'empilement des 15 couches en matériaux semi-conducteurs peut être un empilement multiple alternant des couches de dopage N (couches 3 et 6 par exemple) et de dopage P (couches 4 et 5 par exemple), par exemple de type NPPNNP. Dans le mode de réalisation particulier représenté, la couche 6 associée à un pixel actif 2 est formée par dopage de la partie centrale de la couche 5 correspondante. La lecture du détecteur bi-spectral représenté à la figure 1 est effectuée en appliquant des tensions électriques appropriées entre la couche arrière 3 de l'empilement par l'intermédiaire de la couche de connexion électrique 12, et les bornes 1 1 des pixels actifs 2. Un autre mode de réalisation particulier d'un pixel actif 2, représenté à la figure 3, permet de distinguer simultanément deux bandes spectrales par l'intermédiaire de deux bornes de connexion 1 1a et 11b associées au même pixel, et, ainsi, une détection à cohérence spatio-temporelle. Une première borne 1 la est en contact électrique avec la couche 6, et une deuxième borne 11 b est en contact électrique avec la couche 5, respectivement par l'intermédiaire d'une couche métallique 9a recouvrant une deuxième zone, en contact avec la couche 6, et une couche métallique 9b recouvrant une troisième 5 zone, en contact avec la couche 5, du pixel actif 2. La première borne 11a permet de polariser la jonction PN correspondant aux couches 5 et 6, tandis que la deuxième borne 1 1b permet de polariser la jonction PN correspondant aux couches 3 et 4. La couche électriquement conductrice 10 présente plusieurs avantages: Des photons se propageant en direction de l'espace entre deux pixels voisins sont concentrés sur le centre d'un pixel, ce qui permet d'augmenter le rendement du détecteur. La couche joue le rôle de guide d'onde. Son efficacité dépend de la géométrie des canaux qui doit aussi être adaptée à 15 la géométrie des zones sensibles du pixel. - Le passage de photons non-absorbés dans l'espace entre les pixels étant limité, les problèmes de diaphotie extra pixel et intra-pixel sont réduits. - La polarisation de la couche conductrice 10 permet de modifier la configuration du champ électrique à l'intérieur d'un pixel et la structure de 20 bande à proximité des flancs d'un pixel. Ainsi, les photo- porteurs peuvent être repoussés en direction des jonctions, ce qui permet d'augmenter le rendement du détecteur. Une tension optimale peut être choisie en fonction de la géométrie des pixels et des jonctions et en fonction d'autres tensions appliquées au détecteur. Une procédé de réalisation d'un détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque bi-spectral selon les figures 1 et 2 comporte le dépôt de l'empilement de couches 3-6 en matériaux semi-conducteurs absorbants sur la face avant du substrat 1. Les matériaux des couches peuvent être, de préférence, du type CdxHgl.xTe et être déposées par épitaxie par jets moléculaires, procédé qui permet de contrôler finement l'évolution de la composition d'une couche en fonction de l'épaisseur de l'épitaxie. Une première couche 3 de CdO,4Hgo,6Te dopé N et une deuxième couche 4 de CdO, 4Hgo,6Te 5 dopé P peuvent former une première jonction PN. Les deux matériaux ayant une longueur d'onde de coupure de 31zm, les couches 3 et 4 permettent de détecter une première bande spectrale. Sur la face avant de la couche 4 est déposée une couche 5 de Cdo3Hg07Te dopé P, permettant d'absorber une deuxième bande spectrale ayant une longueur d'onde de coupure de 5gm. 10 Dans cette couche 5 une jonction PN est réalisée par une étape d'implantation ionique, de manière à créer, à l'intérieur de la couche 5, une couche 6 dopée N. L'invention peut s'appliquer à d'autres détecteurs. Par exemple, les détecteurs à base de composés Il-VI (comme le CdHgTe) peuvent être intéressant: Cd 15 ZnTe, ZbSe, etc... Les détecteurs à base de composé 11II1-V sont aussi concernés; ils peuvent être choisis parmi GaAs, InSb, InAsSb, InGaAs, etc... Enfin les sels de plomb peuvent aussi convenir. L'empilement des couches 3-6 obtenu par les étapes de dépôt et d'implantation 20 couvre uniformément toute la surface du substrat 1. Une gravure de canaux 7 dans l'empilement permet de délimiter le réseau de pixels actifs 2 et inactifs 2'. Une couche isolante 8 est ensuite déposée sur la majeure partie de la surface du détecteur, notamment sur la face avant des pixels, les fonds et les flancs des canaux 7, sauf sur une zone centrale de la face avant des pixels, o une couche 25 métallique 9, 9a ou 9b, est déposée en contact avec la couche 6 ou avec la couche 5 (figure 3) pour relier les pixels aux bornes de connexion 1 1. Chaque pixel obtenu est constitué de deux photodiodes en opposition (NPPN), dont le fonctionnement est géré par la tension appliquée entre la couche arrière 3 et les bornes de connexion 11. Le pas du réseau de pixels peut être de l'ordre de 30 gm. Un dépôt métallique permet ensuite d'obtenir la couche électriquement 5 conductrice 10, recouvrant la couche isolante 8 au fond et sur les flancs des canaux d'une partie du réseau sans être en contact avec les parties conductrices (9a, 9b, 12) elles-mêmes en contact avec les couches semiconductrices. Cette couche électriquement conductrice 10 peut être elle-même un empilement de couches (non-représenté) afin de favoriser son adhérence, sa 10 conductivité, ses propriétés optiques, etc... Elle peut être réalisée à partir de matériaux comme Au, Ti, AI, Pd, Pt, etc... L'empilement des couches en matériaux semi-conducteurs peut comporter, entre deux jonctions PN, une couche semi-conductrice supplémentaire 13 15 (figure 3) présentant un gap semi-conducteur supérieur aux gaps desdits matériaux semi-conducteurs et servant ainsi de barrière électrique aux photoporteurs, ce qui permet de limiter davantage la diaphotie intrapixel. Il est à noter que l'épaisseur des couches ayant la longueur d'onde de coupure 20 la plus faible, doit être suffisante pour absorber un maximum de photons de longueur d'onde inférieure afin de limiter une diaphotie directe, c'est-à-dire une détection des photons dans une couche supérieure sans réflexion sur les flancs de gravure ou sur un élément extérieur au circuit de détection. Revendications 1. Détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque comportant, sur une face avant d'un substrat (1) transparent au rayonnement considéré, un 5 empilement de couches (3-6) en matériaux semi-conducteurs absorbants, un réseau de canaux (7) délimitant dans l'empilement de couches (3-6) des pixels (2, 2', 2"), et une couche isolante (8) recouvrant au moins le fond et les flancs des canaux (7), détecteur caractérisé en ce qu'il comporte une couche électriquement conductrice (10) recouvrant la couche isolante (8) au fond et sur 10 les flancs des canaux (7) et électriquement indépendante des matériaux semiconducteurs. 2. Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche électriquement conductrice (10) est connectée à une borne de connexion (11'). 3. Détecteur selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la couche isolante (8) recouvre également, au moins partiellement, la face avant d'au moins un pixel (2'). 4. Détecteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que la couche électriquement conductrice (10) recouvre au moins une partie de la couche isolante (8) recouvrant, au moins partiellement, la face avant d'un pixel (2'). 5. Détecteur selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'une borne de 25 connexion (11') est située sur la couche électriquement conductrice (10), à la face avant d'un pixel (2'). 6. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que l'empilement des couches (3-6) en matériaux semi-conducteurs absorbants forme au moins deux jonctions PN ayant des longueurs d'onde de coupure différentes, empilées sur la face avant du substrat (1) par ordre croissant de longueur d'onde de coupure. 7. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'empilement des couches (3-6) en matériaux semi-conducteurs comporte, entre deux jonctions PN, une couche semi-conductrice supplémentaire (13) présentant un gap semi-conducteur supérieur aux gaps desdits matériaux semi-conducteurs. 8. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les matériaux semi-conducteurs sont choisis parmi CdHgTe, InSb, InGaAs. 9. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la couche électriquement conductrice (10) comprend un empilement de plusieurs couches. 10. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en 20 ce que la couche électriquement conductrice (10) comprend au moins un matériau choisi parmi Au, Ti, AI, Pt, Pd. 11. Procédé de réalisation d'un détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, comportant le 25 dépôt sur une face avant d'un substrat (1), transparent au rayonnement considéré, d'un empilement de couches (3-6) en matériaux semi-conducteurs absorbants, la délimitation d'un réseau de pixels (2, 2', 2") par gravure de canaux (7) dans l'empilement de couches (3-6) en matériaux semi-conducteurs, le dépôt d'une couche isolante (8), recouvrant au moins le fond et les flancs des canaux (7), et le dépôt d'une couche électriquement conductrice (10) recouvrant la couche isolante (8) au fond et sur les flancs des canaux (7) délimitant au moins une partie des pixels (2, 2', 2"). 12. Procédé d'utilisation d'un détecteur de rayonnement infrarouge photovoltaïque selon l'une quelconque des revendication 1 à 10, caractérisé en ce que la couche électriquement conductrice (10) est polarisée en tension.