FR 2850218 A1 20040723 FR 0400263 A 20040113 Actionneur piézoactif à déplacement amplifié amorti Domaine technique de l'invention L'invention concerne un actionneur piézoactif à déplacement amplifié comprenant: - un premier sous-ensemble constitué par un amplificateur mécanique de déplacement agencé selon une coquille à au moins deux branches en matériau élastique déformable, ayant un grand axe et un petit axe s'étendant i 0 perpendiculairement l'un par rapport à l'autre, une interface avec une charge et une interface avec une base, respectivement placées aux sommets du petit axe de la coquille et destinées à l'actionnement de la charge par rapport à la base, définissant un axe d'actionnement, - un deuxième sous-ensemble équipé d'éléments piézoactifs linéaires montés à l'intérieur de la coquille dans la direction du grand axe, et excités électriquement par un circuit d'alimentation pour produire une déformation longitudinale du grand axe et induire une déformation du petit axe destinée à générer à l'interface avec la charge un déplacement dont la composante le long du petit axe est amplifiée. tat de la technique Un actionneur piézoactif à déplacement amplifié a été proposé dans le document 25 FR 2740276. D'une manière générale, un actionneur est un dispositif destiné à assurer des fonctions d'actionnement d'une charge fixée à l'un de ses interfaces. Ces fonctions comprennent le déplacement de la charge, son positionnement ou sa stabilisation. L'actionnement de la charge s'effectue par le biais de deux points d'actionnement, auxquels correspondent des interfaces mécaniques de l'actionneur, et qui définissent l'axe d'actionnement. L'un de ses points d'actionnement est fixé à l charge alors que l'autre point est fixé à une base jouant le rôle de masse mécanique, pour contrer les forces de réaction. L'actionnement est réalisé par la déformation de l'actionneur entre les deux points d'actionnement. Il s'effectue suivant au moins une direction appelée direction d'actionnement, correspondant à un degré de liberté de l'actionneur. D'une manière plus particulière, l'actionneur amplifié du document FR 2740276 comprend une coquille de section approximativement elliptique et un ou plusieurs éléments linéaires piézoélectriques, placés sur un grand axe de la coquille. L'actionneur ne présente pas de couvercle fermant les deux flancs de coquille. Dans cet actionneur, la coquille est utilisée pour assurer une précontrainte mécanique des éléments piézoactifs. Cette coquille sert aussi à produire un déplacement amplifié dans la direction du petit axe, soit la direction d'actionnement, à partir d'un point d'actionnement situé sur un des sommets du petit axe. Le 15 second point d'actionnement est situé sur le sommet opposé du petit axe dans le mode d'utilisation courant. Cet actionneur est capable de fournir deux degrés de liberté dans le cas o le deuxième point d'actionnement est au centre de l'actionneur: En plus de 20 l'actionnement principal dans la direction du petit axe, un déplacement auxiliaire non amplifié est produit dans une direction orthogonale au petit axe, dans le plan principal de la coquille. Ce mode d'utilisation de l'actionneur nécessitant un point d'actionnement central est contraignant car il n'est pas compatible avec le précédent et ne permet pas de récupérer toute la déformation de l'actionneur. 25 Les actionneurs piézoélectriques amplifiés peuvent poser le problème d'une tenue insuffisante aux efforts extérieurs dynamiques et d'une aptitude insuffisante en amortissement mécanique. En effet, les actionneurs piézoélectriques amplifiés montrent parfois des facteurs de qualité importants: ceux-ci peuvent limiter la tenue 30 des actionneurs sous des sollicitations d'efforts dynamiques extérieurs. Il peut donc être utile de réduire le facteur de qualité mécanique. C'est aussi le cas en positionnement. Par exemple avec une excitation électrique en échelon ou lors d'une vibration parasite à la base, le déplacement de l'actionneur se stabilise avec d'autant moins d'oscillations que le facteur de qualité est bas. Dans les applications visant à utiliser l'actionneur pour de l'amortissement ou du contrôle de vibration de structure, il est également intéressant de disposer d'un actionneur à faible facteur de qualité. Par ailleurs, dans le cas d'une coquille à fort rapport d'amplification, le niveau de précontrainte appliqué aux éléments piézoactifs ne doit pas dépasser la limite élastique du matériau de la coquille. Il est possible d'ajouter un dispositif auxiliaire de précontrainte sur la coquille pour augmenter les performances. Plusieurs dispositifs de précontrainte de composants piézoélectriques sont connus de l'homme de l'art. Ils sont pour la plupart appliqués aux actionneurs piézoactifs directs. Par exemple, le brevet DE 19650900 propose un ressort formé d'un fil d'acier présentant plusieurs convolutions et placé en parallèle avec le composant 1 5 piézoélectrique. Il propose aussi un soufflet à symétrie de révolution présentant des convolutions, à l'intérieur duquel est placé le composant piézoélectrique. La raideur du ressort ou du soufflet, ainsi que les ajustements de la coquille, permettent d'appliquer une précontrainte aux composants piézoélectriques. Un actionneur piézoactif direct précontraint par l'intermédiaire de l'un des moyens précédents et placés à l'intérieur de l'amplificateur mécanique présente deux inconvénients: - la liaison mécanique entre lactionneur piézoactif direct précontraint et l'amplificateur mécanique doit supporter un effort de traction important égal à 25 l'effort de précontrainte et conduit à une liaison encombrante, - cette solution est difficilement compatible avec la possibilité de piloter le degré de liberté en translation de l'actionneur piézoactif amplifié. Des actionneurs piézoélectriques amplifiés, dans lesquels la précontrainte du 30 composant piézoélectrique est assurée par un dispositif auxiliaire, existent déjà. Par exemple, le document DEl 9625921 décrit un actionneur électrostrictif amplifié, dans lequel la précontrainte est assurée par un ressort agissant sur le petit axe de l'amplificateur. Lorsque l'amplificateur possède un ratio d'amplification élevé, celui-ci ne peut pas transmettre l'effort de précontrainte à l'élément piézoactif avec une bonne efficacité. Un actionneur piézoélectrique amplifié, dans lequel la précontrainte de l'élément 5 piézoactif est effectuée avec un câble réalisé dans un matériau à mémoire de forme, est également connu (commercialisé par Dynamic Structure Materials-). Cependant, les attaches de câble sont difficiles à maîtriser, surtout dans les petites dimensions. 1 0 La présence de ces moyens supplémentaires doit de plus tenir compte du pilotage à plusieurs degrés de liberté de l'actionneur. Objet de l'invention 1 5 L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et, plus particulièrement, d'améliorer les capacités d'amortissement d'un actionneur piezoactif et sa tenue aux efforts extérieurs dynamiques. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que l'actionneur comporte, au moins sensiblement le long de l'axe d'actionnement, au moins une zone en matériau élastomère, destinée à amortir des déformations de l'actionneur et à augmenter la capacité de l'actionneur à supporter des efforts extérieurs, l'actionneur comportant au moins un espace libre, adjacent à la zone en matériau élastomère, dans une 25 direction orthogonale à l'axe d'actionnement. Selon un mode de réalisation particulier, la zone en matériau élastomère est disposée entre les éléments piézoactifs et les branches de la coquille au centre de la coquille, le long du petit axe. Selon un autre mode de réalisation particulier, la zone en matériau élastomère remplit entièrement l'espace entre les éléments piézoactifs et les branches de la coquille, l'espace libre étant disposé dans la direction perpendiculaire au plan défini par les petit et grand axes. Selon un développement de l'invention, la zone en matériau élastomère s'appuie au centre de la coquille sur un mécanisme de rattrapage de jeu. Selon un mode de réalisation particulier, deux zones en matériau élastomère sont disposées sensiblement parallèlement au petit axe, respectivement de part et d'autre du deuxième sous-ensemble, de manière à relier des faces intérieures des branches. 1 0 Selon un autre mode de réalisation particulier, deux zones en matériau élastomère sont disposées sensiblement parallèlement à l'axe d'actionnement, respectivement de part et d'autre des premier et deuxième sous-ensembles, de manière à relier la charge et la base. 1 5 Selon un autre mode de réalisation particulier, moins deux zones en matériau élastomère sont disposées sensiblement dans le plan des grand et petit axes, respectivement entre la coquille et la charge et entre la coquille et la base. La zone en matériau élastomère peut être disposée à l'extérieur de la coquille en 2 0 contact avec les branches de la coquille et un autre corps. Trois actionneurs peuvent être agencés de manière à former un mécanisme isostatique à six degrés de liberté. Quatre actionneurs peuvent agencés de manière à former un mécanisme à deux degrés de liberté de rotation et un degré de liberté de translation, un mécanisme à deux degrés de liberté de translation ou un mécanisme à deux degrés de liberté de translation et un degré de liberté de rotation. L'actionneur peut être agencé de manière à amortir des vibrations d'une structure à laquelle il est fixé. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description 5 qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: La figure 1 présente un actionneur piézoactif amplifié selon l'art antérieur, décrit dans le document FR 2740276. La figure 2 présente un actionneur piézoactif amplifié à deux degrés de liberté 1 0 selon l'art antérieur, décrit dans le document FR 2740276. Les figures 3 à 6 représentent quatre modes de réalisation particulier d'un actionneur selon l'invention. La figure 7 représente un actionneur piézoactif amplifié comportant un dispositif additionnel de précontrainte. 1 5 La figure 8 représente un actionneur piézoélectrique amplifié permettant de fournir deux degrés de liberté. La figure 9 représente un actionneur piézoélectrique amplifié fournissant deux degrés de liberté et comportant un système additionnel de précharge parallèle. La figure 10 représente une vue en perspective d'un actionneur de positionnement 20 fournissant six degrés de liberté, à l'aide de trois actionneurs piézoélectriques amplifiés à deux degrés de liberté. La figure 11 représente une vue en perspective d'un actionneur de positionnement fournissant trois degrés de liberté, à l'aide de quatre actionneurs piézoélectriques amplifiés, dans lequel les pivots de flexion sont encollés dans les actionneurs. La figure 12 est une vue en perspective d'un actionneur de positionnement fournissant trois degrés de liberté, à l'aide de quatre actionneurs piézoélectriques amplifiés, dans lequel les actionneurs sont connectés à une plate forme mobile à l'aide de vis à ressort. La figure 13 représente un actionneur de positionnement fournissant deux degrés 30 de liberté, amorti à base de quatre actionneurs piézoélectriques amplifiés. La figure 14 représente un actionneur de positionnement fournissant trois degrés de liberté, amorti à base de quatre actionneurs piézoélectriques amplifiés. La figure 15 représente un mode de réalisation particulier -d'un actionneur piézoélectrique, comportant une masse d'inertie. Description de modes particuliers de réalisation En référence à la figure 1, l'actionneur piézoactif 10 comporte un premier sousensemble 12 formé par un amplificateur mécanique 14 de déplacement agencé selon une coquille à deux branches ni et n2, chaque branche étant approximativement semi-elliptique, par exemple en anse de panier symétrique. L'amplificateur mécanique 14 est constitué d'un ou plusieurs matériaux élastiques 10 déformables, par exemple de l'alliage d'acier, d'aluminium ou de titane ou un matériau composite, et est dépourvu de zones d'amincissement. La coquille elliptique de l'amplificateur mécanique 14 possède un grand axe 16 s'étendant dans la direction x, et un petit axe 17 perpendiculaire au grand axe 16, et s'étendant dans la direction z. Le second sousensemble 18 inclut des éléments piézoactifs 20, 20a et éventuellement un dispositif de rattrapage de jeu 22, agencés conjointement à l'intérieur de l'amplificateur mécanique 14. Les éléments piézoactifs 20, 20a sont formés par des bâtonnets rectilignes alignés selon le grand axe 16 à l'intérieur de la coquille, et susceptibles d'être soumis à un changement de longueur par application d'une excitation électrique. Ils sont à base de matériaux piézoélectriques, magnétostrictifs ou électrostrictifs. Les deux sous-ensembles 12 et 18 sont connectés à des points de jonction A et A' opposés, la longueur du second sous-ensemble 18 étant éventuellement ajustée à l'encombrement disponible grâce au dispositif de rattrapage de jeu 22 intervenant lors du montage de l'actionneur 10. 30 Dans l'exemple de la figure 1, le dispositif de rattrapage de jeu 22 est situé dans la zone centrale entre les deux éléments piézoactifs 20, 20a. Dans le mode de fonctionnement courant, les points d'actionnement pour la charge et la base fixe sont respectivement les points C et C', disposés aux sommets du petit axe 17. La droite passant par ces points C et C' forme un l'axe D d'actionnement. L'alimentation des matériaux piézoactifs 20, 20a provoque leur 5 déformation suivant le grand axe 16 qui produit un déplacement relatif du point C par rapport à C', suivant une course amplifiée par rapport à celles de matériaux piézoactifs. La course du point C s'effectue dans l'axe D d'actionnement. La figure 2 représente le mode de fonctionnement de l'actionneur de la figure 1, 1 0 avec un mouvement à deux degrés de liberté. Le système est alors fixé au centre B de l'actionneur, à partir d'un organe du dispositif de rattrapage de jeu 22. L'excitation électrique des deux éléments piézoactifs 20, 20a s'effectue au moyen d'un circuit d'alimentation 25 à deux voies indépendantes, chaque voie étant apte à i 5 appliquer un signal de tension VI, V2 pour commander les éléments piézoactifs 20, 20a. La direction de déplacement du point C de la coquille de l'amplificateur 14 dépend de la nature des signaux de tension appliquée aux bâtonnets, par exemple suite au réglage de la phase, ou de l'amplitude. Pour réduire le facteur de qualité parfois important des actionneurs piézoélectriques amplifiés, il peut être intéressant d'utiliser un matériau amortissant en combinaison avec le mécanisme d'amplification. On peut par exemple utiliser un matériau élastomère ou polymère, présentant un comportement viscoélastique, c'est-à-dire un matériau présentant à la fois un module de Young faible et un facteur 25 d'amortissement élevé. En agissant de manière à provoquer des déformations de l'élastomère suivant une direction z, on obtient un effet d'amortissement lié aux pertes mécaniques associées à la déformation suivant cet axe z. Si l'élastomère est libre de se déformer dans une direction orthogonale x, à l'axe de déformation forcée z, il se déformera aussi suivant cet axe x, par effet de Poisson, qui est 30 important dans les matériaux élastomères. Ces déformations induites suivant x produisent un effet d'amortissement additionnel à celui produit par la déformation suivant l'axe z. A l'inverse si l'élastomère n'est pas libre de se déformer dans au moins une direction orthogonale à l'axe z, par exemple à cause de parois, ces effets d'amortissement additionnels ne sont pas produits. De plus, la raideur apparente suivant l'axe z est augmentée. Dans un actionneur, cette augmentation de raideur ajoutée tend à réduire la course de l'actionneur en mode statique, ce qui n'est pas souhaitable. Dans un actionneur, il est donc important pour optimiser l'utilisation du matériau élastomère, de lui laisser une direction libre mécaniquement. Sur la figure 3, une interface 28 avec la charge Ll et une interface 29 avec la base L2, respectivement placées aux sommets C, C' du petit axe de la coquille et destinées à l'actionnement de la charge Ll par rapport à la base L2, définissent un axe D d'actionnement. 1 0 L'actionneur piézoactif selon l'invention comporte, au moins sensiblement le long de l'axe d'actionnement D, au moins une zone en matériau élastomère, destinée à amortir des déformations de l'actionneur 10 et à augmenter la capacité de l'actionneur à supporter des efforts extérieurs, l'actionneur comportant au moins un 1 5 espace libre, adjacent à la zone en matériau élastomère, dans une direction orthogonale à l'axe d'actionnement D. Un moyen d'amortissement de structures piézoélectriques à coquille sensiblement elliptique est connu de l'homme de l'art. Par exemple, dans le EP0363032 portant 20 sur des transducteurs piézo-électriques flextensional sonar pour application sous marine, se pose le problème de la tenue à la pression hydrostatique en cas de forte d'immersion. Pour compenser les efforts statiques de pression s'exerçant sur toute la surface de la coquille et sur les couvercles fermant les deux cotés de la coquille, ce transducteur utilise une cavité fluide de Helmholtz, placée à l'intérieur du 25 transducteur et reliée au milieu fluide externe par des canaux, traversant les couvercles du transducteur. Cette cavité est remplie soit par de l'eau, soit par des élastomères, ce qui offre l'avantage supplémentaire d'amortir la résonance du mode de résonateur de Helmholtz. Le surcroît de masse d à l'élastomère n'est en rien pénalisant car le système est immergé. Le remplissage complet d'une cavité 30 Helmholtz interne au transducteur par un élastomère est adapté à un transducteur immergé dont le but est de produire de l'énergie acoustique par l'intermédiaire de la surface de sa coquille. 1 0 A l'inverse, dans un actionneur, afin de ne pas augmenter sa masse totale et de ne pas diminuer son temps de réponse, il est important de ne placer de l'élastomère que dans des zones particulières o ses propriétés d'amortissement seront utilisées de manière optimale en combinaison avec ses fonctions d'actionnement. 5 De plus, pour permettre une utilisation optimale en amortissement de l'élastomère, compte tenu de leur fort coefficient de Poisson, il est important de lui laisser au moins une des trois directions libres, lui permettant de s'étendre dans cette direction lors de sollicitations dans l'une ou l'autre des directions non libres. Du point de vue de la simplicité de réalisation de ces zones en élastomère, il est de plus opportun 1 0 de les placer dans des zones plus accessibles pour réduire les cots de fabrication. Une première méthode consiste à placer deux pièces 30a de matériau élastomère ou bien polymère, suivant le petit axe 17 de la coquille, représenté sur la figure 3. Dans ce cas, l'actionneur piézoélectrique amplifié en fonctionnement comprime ou 15 allonge le matériau amortissant suivant la direction d'actionnement 17, entre les points C et C', placés sur les interfaces 28 et 29. Le matériau élastomère est libre de se déformer par effet de Poisson suivant les deux directions perpendiculaires au petit axe 17, ce qui permet d'obtenir le maximum d'effet amortissant de la part de l'élastomère. De plus, entre les points C et C', la déformation de l'actionneur est 20 maximale, et est bien supérieure à la déformation entre A, placé à l'interface 26 entre la coquille et l'élément piézoactif 20, et A', placé à l'interface 26b entre l coquille et l'élément piézoactif 20a. L'utilisation du matériau élastomère 30a entre C et C' conduit donc à une optimisation en terme de rapport efficacité d'amortissement sur volume de matériau nécessaire. Elle permet de plus une 25 limitation de la masse ajoutée, ce qui est avantageux pour le temps de réponse de l'actionneur. D'une manière générale, le matériau élastomère peut s'étendre aux zones 30b et 30c, adjacentes à la zone 30a et disposées entre les branches de la coquille et les éléments piézoactifs, en prenant appui sur les éléments piézoactifs 20, 20a. Le matériau élastomère peut occuper le volume complémentaire situé 30 entre la coquille 12 et le sous-ensemble d'actionnement 18, en notant que ce volume reste ouvert dans la direction perpendiculaire, laissant à l'élastomère cette direction libre pour se déformer par effet Poisson et amortir efficacement. Ainsi, les zones 30a, 30b et 30c en matériau élastomère remplissent entièrement l'espace entre les éléments piézoactifs 20, 20a et les branches ni, n2 de la coquille, 1 1 l'espace libre étant disposé dans la direction perpendiculaire au plan défini par les petit 17 et grand 16 axes. Dans une forme préférée de réalisation, le matériau élastomère se limite à la zone 5 30a le long du petit axe 17 et ne prend appui que sur les cales à rattrapage de jeu 22a et 22b en matériaux inactifs ce qui évite de se préoccuper de la compatibilité chimique et de l'adhésion entre les matériaux piézoactifs et les matériaux élastomères. 1i0 Une seconde méthode consiste à placer deux pièces symétriques 32 de matériau élastomère ou bien polymère, sensiblement parallèlement au petit axe 17 de la coquille 31, comme représenté sur la figure 4, sans s'appuyer sur les cales 22 ou le matériau actif 20. Les deux pièces symétriques 32 de matériau élastomère sont disposés respectivement de part et d'autre du deuxième sous-ensemble 18, de 15 manière à relier des faces intérieures des branches ni et n2. Comme dans le cas précédant, l'actionneur piézoélectrique amplifié en fonctionnement en contraction suivant son petit axe 17 comprime le matériau amortissant suivant la direction d'actionnement 17, entre les points C et C'. D'autres méthodes consistent à placer le matériau amortissant entre la structure sur laquelle est fixé l'actionneur et la coquille 31 de l'actionneur ou entre les coquilles de deux actionneurs voisins dans un même mécanisme, en faisant agir le matériau amortissant suivant la direction d'actionnement de l'actionneur. La figure 5 présente une méthode de ce type, o le matériau amortisseur 33 est mis en oeuvre sous forme de deux pièces 33 fixées sensiblement parallèlement à l'axe d'actionnement D, respectivement de part et d'autre des premier 12 et deuxième 18 sous-ensembles, de manière à relier la charge Li et la base L2. Les pièces 33 sont fixées indirectement à l'actionneur, via les pièces Ll et L2, qui 30 jouent le rôle de pièces de liaison. En terme d'amortissement, cette configuration est pratiquement identique à celle de la figure 4: Le matériau amortissant est placé longitudinalement suivant la direction d'actionnement de l'actionneur. Son efficacité est donc similaire. Il est évident que le même effet serait obtenu avec une pluralité d'éléments 33 placés en parallèle. 1 2 La figure 6 présente une autre méthode de ce type, o le matériau amortisseur est mis en oeuvre sous forme de douze zones 34 en matériau élastomère disposées sensiblement dans le plan des grand 16 et petit 17 axes, respectivement entre la 5 coquille 31 et la charge Ll et entre la coquille 31 et la base L2. Pour limiter les cots, il est possible de limiter le matériau amortisseur aux zones 34a, disposées le long de l'axe D d'actionnement, en le réalisant sous forme de plots ou de bagues élastomères surmoulés le long des interfaces 28, 29 de l'actionneur. Pour augmenter le rapport efficacité sur volume d'élastomère, il est préférable de ne 1 0 placer le matériau amortisseur qu'en zones 34c aux extrémités de la coquille 31. De plus le matériau élastomère peut être disposé dans des zones intermédiaires, entre les zones 34a et 34c. En terme d'amortissement, cette configuration est pratiquement identique à celles des figures 3, 4 et 5: Le matériau amortissant est placé longitudinalement suivant la direction d'actionnement de l'actionneur. Il est 1 5 comprimé lorsque l'actionneur se comprime suivant son petit axe 17. Son efficacité est donc similaire. Avec l'une ou l'autre des formes de réalisation présentées dans les figures 3 à 6, il en résulte un actionneur présentant un facteur de qualité de cinq environ, qui est 20 donc capable de supporter des sollicitations de niveau élevé à des fréquences au voisinage de la fréquence de résonance du système formé par l'actionneur avec sa charge mécanique. Il est évident que les configurations des figures 3 à 6 peuvent être combinées 25 entre elles pour augmenter la capacité d'amortissement de l'actionneur. On peut également, pour augmenter la capacité de ['actionneur à supporter des efforts extérieurs plus élevés, augmenter la précharge des composants piézoélectriques. Cette précharge est normalement assurée par la coquille 31 de 30 l'actionneur, mais sa valeur est limitée en pratique par la limite élastique du matériau de la coquille 31. Il peut donc être intéressant d'ajouter un dispositif 35 de précontrainte supplémentaire disposé en parallèle du grand axe 16 de l'actionneur de manière à augmenter la capacité de l'actionneur à supporter des efforts extérieurs. La figure 7 représente un actionneur avec un dispositif 35 de 1 3 précontrainte supplémentaire. Pour utiliser un tel système, l'utilisation d'une coquille 31 extrudée est particulièrement utile. Ainsi, deux ressorts lampion peuvent être connectés à la coquille 31 suivant son grand axe pour augmenter la précontrainte sur les composants piézoactifs. Les améliorations citées précédemment restent compatibles avec la capacité pour un actionneur piézoactif amplifié à générer un second degré de liberté suivant la direction du grand axe de la coquille 31 amplificatrice. 1 0 Ainsi, il est possible de concevoir un actionneur piézoactif amplifié générant deux degrés de liberté, avec des points d'actionnement se situant aux sommets C sur l'interface 28 et C' sur l'interface 29 du petit axe 17. Pour cela, il est important que le centre de l'actionneur soit libre de se mouvoir suivant le petit axe 17 de l'actionneur, mais bloqué suivant la direction de son grand axe 16. Cette possibilité est 15 compatible avec le système d'amortissement précédemment décrit. Un actionneur fournissant deux degrés de liberté, comportant un dispositif 36 mécanique agissant au centre 37 de l'actionneur en autorisant un mouvement du centre de l'actionneur dans la direction Z normale à l'actionneur et empêchant un mouvement dans la direction X tangentielle à l'actionneur est représenté à la figure 8. Par exemple, le 2 0 dispositif mécanique peut comporter deux lames souples disposées parallèlement au grand axe de l'actionneur et liant la base de l'actionneur d'une part, et le centre de l'actionneur d'autre part. Deux directions d'actionnement suivant les axes X et Z sont obtenues au niveau du point d'actionnement C par rapport au point C', en jouant sur les signaux de tension appliquée aux bâtonnets 20 et 20a, 25 par exemple sur leurs amplitudes et leurs phases. Par ailleurs, on constatera que la possibilité pour le centre de l'actionneur de se mouvoir suivant le petit axe 17 de l'actionneur d'unepart, et l'interdiction de se mouvoir suivant son grand axe 16, est compatible avec le système de précharge 30 parallèle précédemment décrit. Un actionneur avec un dispositif 35 de précontrainte supplémentaire constitué de ressorts 38 liés au centre 37 de l'actionneur et comportant un dispositif 36 mécanique agissant au centre de l'actionneur, est représenté à la figure 9. 1 4 La structure des actionneurs des figures 8 et 9 est également compatible avec la présence de pièces élastomères telles que décrites pour les figures 3 à 6, et permet d'amortir l'actionneur dans ses deux directions d'actionnement. Des pièces élastomères se déforment alors en dilatation compression pour l'actionnement suivant Z et en cisaillement pour l'actionnement suivant X. Les améliorations décrites précédemment sont compatibles avec l'agencement de plusieurs actionneurs pour former des mécanismes à plusieurs degrés de libertés. Ainsi, trois actionneurs disposés en tripode peuvent former un actionneur à trois i o degrés de liberté. En référence à la figure 10, trois actionneurs 10 à deux degrés de libertés disposés en tripode peuvent former un mécanisme 39 à six degrés de liberté. Ces agencements ont l'avantage de former des mécanismes isostatiques, particulièrement intéressants dans le domaine de l'optique. En effet, pour de tels dispositifs, il importe particulièrement de ne pas déformer le miroir. Il est toutefois i 5 nécessaire de placer des pivots de découplage entre les actionneurs piézoélectriques amplifiés et le porte miroir. Les figures 11 et 12 représentent des mécanismes 40 fournissant deux degrés de rotation et un degré de translation à l'aide de quatre actionneurs 10. Le problème 20 de l'hyperstatisme peut alors être résolu de plusieurs façons, qui visent à obtenir quatre liaisons élastiques de même longueur. En référence à la figure 11, dans un premier agencement, la liaison 41 entre le pivot et l'actionneur piézoélectrique amplifié, peut être encollée. Une solution alternative, représentée à la figure 12, consiste à connecter les actionneurs au porte-miroir par l'intermédiaire de vis 42 à 25 ressorts (vis de Prony). La figure 13 présente un actionneur à deux degrés de translation à l'aide de quatre actionneurs 10. L'interface mécanique 44 permet de fixer entre eux les interfaces 28 des actionneurs 10 et de fixer la charge mécanique LI. Cet interface mécanique 30 peut être creux pour y placer une lentille optique et laisser passer la lumière. La configuration des actionneurs 10 en push-pull permet d'obtenir un actionneur compensé thermiquement et centré mécaniquement vis-à-vis des directions d'actionnement X et Y. La zone en élastomère 43, disposée sensiblement dans le plan des petits et grands axes des actionneurs 10, entre les actionneurs 10 et 1 5 l'interface mécanique 44, peut être réalisée par surmoulage. Chaque portion d'élastomère 43a amortit l'actionneur correspondant 10a de manière similaire à la configuration décrite en figure 6, et respectivement pour les portions 43b, 43c, 43d avec les actionneurs 1Ob, 1Oc, 1d. Comme dans la configuration de la figure 6, de 5 l'élastomère peut également être placé (non-représenté) entre la coquille 31 de l'actionneur 10 et le cadre fixé à l'interface 29, ce cadre assurant le rôle de base fixe L2. Dans la configuration représentée à la figure 14, les directions d'actionnement de 1 0 deux actionneurs opposés 1 Oa et 1 Oc, et 1Ob et 1 Od sont parallèles et écartés d'une même distance. Elles permettent la génération d'un mouvement de rotation limitée de l'interface mécanique 44 autour de l'axe Z, par exemple lorsque les actionneurs 10 sont tous alimentés de manière à produire un déplacement identique. Lorsque le déplacement de chaque actionneur d'une paire 10a,1 Oc ou 15 1Ob, 10d est opposé, un déplacement linéaire suivant X ou Y est obtenu. Dans cette configuration, les pièces en élastomère 45a, 45b, 45c et 45d sont placées suivant les directions d'actionnement de chaque actionneur 1 Oa,1 Ob, 1 Oc, 1 Od pour amortir ses actionneurs et incidemment l'ensemble du mécanisme. Les mécanismes des figures 10 à 14 ainsi que tout autre mécanisme peuvent bénéficier de matériaux amortisseurs placés à l'intérieur des actionneurs tels décrits en référence aux figures 3 à 6, mais aussi de matériaux amortisseurs agissant en relation avec la coquille 31 des actionneurs 10. Ce cas est illustré sur la figure 13, o les matériaux amortisseurs 43 sont placés entre la coquille 31 des actionneurs 10 et 2 5 l'interface 44 portant la charge ou entre deux actionneurs 10 voisins. La figure 15 illustre une application des actionneurs en tant qu'amortisseur de vibration de structure. L'actionneur 10 est fixé entre la structure à amortir 46, jouant le rôle de la charge L1 et une masse d'inertie 47, jouant en dynamique le rôle de la 30 base L2. Le matériau amortisseur 48 peut être placé à l'extérieur de la coquille 31, ou à défaut être placé à l'intérieur de la coquille 31 des actionneurs tels que décrits en figure 3 à 6. L'actionneur 10 peut être un actionneur à deux degrés de liberté tel que décrit précédemment à la figure 8 ou 9 pour contrôler des vibrations de la structure 46 suivant les axes x et z. Revendications 1. Actionneur (10) piézoactif à déplacement amplifié comprenant un premier sousensemble (12) constitué par un amplificateur mécanique (14) de déplacement 5 agencé selon une coquille à au moins deux branches (nl et n2) en matériau élastique déformable, ayant un grand axe (16) et un petit axe (17) s'étendant perpendiculairement l'un par rapport à l'autre, une interface (28) avec une charge (L1) et une interface (29) avec une base (L2), respectivement placées aux sommets (C, C') du petit axe de la coquille et destinées à l'actionnement de la 10 charge (LI) par rapport à la base (L2) , définissant un axe (D) d'actionnement, et un deuxième sous-ensemble (18) équipé d'éléments piézoactifs (20 et 20a) linéaires montés à l'intérieur de la coquille dans la direction du grand axe (16), et excités électriquement par un circuit d'alimentation (25) pour produire une déformation longitudinale du grand axe (16) et induire une déformation du petit axe (17) 15 destinée à générer à l'interface (28) avec la charge (L1) un déplacement dont la composante le long du petit axe (17) est amplifiée, actionneur caractérisé en ce qu'il comporte, au moins sensiblement le long de l'axe d'actionnement (D), au moins une zone (30, 32, 33, 34, 43, 45, 48) en matériau élastomère, destinée à amortir des déformations de l'actionneur (10) et à augmenter la capacité de l'actionneur à 20 supporter des efforts extérieurs, l'actionneur comportant au moins un espace libre, adjacent à la zone en matériau élastomère (30, 32, 33, 34, 43, 45, 48), dans une direction orthogonale à l'axe d'actionnement (D). 2. Actionneur piézoactif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zone 25 (30a, 30b) en matériau élastomère est disposée entre les éléments piézoactifs (20 et 20a) et les branches (nl et n2) de la coquille au centre de la coquille, le long du petit axe (17). 3. Actionneur piézoactif selon la revendication 2, caractérisé en ce que la zone 30 (30a, 30b, 30c) en matériau élastomère remplit entièrement l'espace entre les éléments piézoactifs (20 et 20a) et les branches (nl et n2) de la coquille, l'espace libre étant disposé dans la direction perpendiculaire au plan défini par les petit (17) et grand (16) axes. 4. Actionneur piézoactif selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que la zone (30a) en matériau élastomère s'appuie au centre de la coquille sur un mécanisme de rattrapage de jeu (22a, 22b). 5. Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que deux zones (32) en matériau élastomère sont disposées sensiblement parallèlement au petit axe (17), respectivement de part et d'autre du deuxième sous-ensemble (18), de manière à relier des faces intérieures des branches (nl et n2). 1 0 6. Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que deux zones (33) en matériau élastomère sont disposées sensiblement parallèlement à l'axe d'actionnement (D), respectivement de part et d'autre des premier (12) et deuxième (18) sousensembles, de manière à relier la 15 charge (L1) et la base (L2). 7. Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'au moins deux zones (34) en matériau élastomère sont disposées sensiblement dans le plan des grand (16) et petit (17) axes, 2 o respectivement entre la coquille et la charge (L1) et entre la coquille et la base (L2). 8. Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la zone (43) en matériau élastomère est disposée à l'extérieur de la coquille en contact avec les branches (nl et n2) de la coquille et un 25 autre corps (44, 10, L1, L2). 9. Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'actionneur comporte un dispositif (35) de précontrainte supplémentaire disposé en parallèle du grand axe (16) de l'actionneur de manière 30 à augmenter la capacité de l'actionneur à supporter des efforts extérieurs. 1 O.Actionneur piézoactif selon la revendication 9, caractérisé en ce que le dispositif (35) de précontrainte supplémentaire comporte deux ressorts. 11.Actionneur piézoactif selon l'une des revendications 9 et 10, caractérisé en ce que le dispositif (35) de précontrainte supplémentaire est également lié au centre (37) de l'actionneur. 12.Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 1 1, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif (36) mécanique agissant au centre de l'actionneur en autorisant un mouvement du centre (37) de l'actionneur dans une direction normale à l'actionneur et empêchant un mouvement dans une direction tangentielle à l'actionneur, de façon à permettre deux degrés de liberté. 10 13.Actionneur piézoactif selon la revendication 12, caractérisé en ce que le dispositif (36) mécanique comporte deux lames souples disposées parallèlement au grand axe (16) de l'actionneur et liant la base (L2) de l'actionneur, d'une part, et le centre (37) de l'actionneur d'autre part. 14.Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que trois actionneurs (10) sont agencés de manière à former un mécanisme (39) isostatique à six degrés de liberté. 15.Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que quatre actionneurs (10) sont agencés de manière à former un mécanisme (40) à deux degrés de liberté de rotation et un degré de liberté de translation. 16.Actionneur piézoactif selon la revendication 15, caractérisé en ce que des pivots de flexion (41) sont encollés dans les actionneurs de manière à éviter l'hyperstaticité de l'actionneur. 17.Actionneur piézoactif selon la revendication 15, caractérisé en ce que les 30 actionneurs sont connectés à un plateau mobile par l'intermédiaire de vis (42) à ressort de manière à éviter l'hyperstaticité de l'actionneur. 18.Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que quatre actionneurs (10) sont agencés de manière à former un mécanisme à deux degrés de liberté de translation. 19.Actionneur piézoactifs selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que quatre actionneurs (10) sont agencés de manière à former un mécanisme à deux degrés de liberté de translation et un degré de liberté de rotation. 20.Actionneur piézoactif selon l'une quelconque des revendications 1 à 19, caractérisé en ce qu'il est agencé de manière à amortir des vibrations d'une structure (44) à laquelle il est fixé.