FR 2842298 A1 20040116 FR 0308531 A 20030711 i Domaine de l'invention La présente invention concerne un procédé de nettoyage d'un élément de mesure balayé par une veine de gaz, cet élément étant logé dans la tubulure d'aspiration d'un moteur à combustion interne et porté par une membrane mince, en ayant au moins un élément chauffant alors que la membrane est montée de façon à pouvoir osciller. Les débitmètres massiques d'air à film chaud s'utilisent par exemple dans les véhicules automobiles par exemple dans la tubulure d'aspiration ou d'alimentation du moteur. Au cours de l'opération chimi10 que de combustion, les rapports massiques de carburant et d'air comburant interviennent dans une très large mesure. C'est pourquoi dans la tubulure d'aspiration/tubulure d'alimentation du moteur à combustion interne, on détermine le débit massique de l'air aspiré/air comprimé. A côté de procédés de mesure de volume et de pression statique, on peut également utiliser un procédé mesurant le débit massique de la veine d'air. Etat de la technique Dans la tubulure d'aspiration des moteurs à combustion actuels, on installe des débitmètres massiques d'air à film chaud micro20 mécanique travaillant selon le principe thermique. Ces débitmètres sont de très petite dimension et leur encombrement est très faible. Les résistances de chauffage et de mesure de ces débitmètres de dimension très réduite sont réalisées sous la forme de minces couches de Pt sur une puce en silicium servant de support. La puce applique pour de tels débitmètres massiques d'air, pour le découplage thermique, une zone amincie mécaniquement sous la forme d'une membrane de support. La puce est obtenue par sciage d'une plaquette de silicium. La puce comprend un cadre en silicium avec le cas échéant réalisation d'appui et d'une membrane de mesure avec des résistances de mesure et des résistances chauffantes. La zone de surface centrale de la membrane constitue l'élément de membrane. Une résistance chauffante du débitmètre est régulée par un ou plusieurs capteurs de température de chauffage étroitement rapprochés et par un capteur de température d'air ambiant qui se trouve dans une zone marginale de la puce SI, et possède une épaisseur de matière plus grande. Dans le cas des débitmètres massiques d'air à film chaud, le courant de chauffage n'est pas utilisé comme signal de sortie, mais on utilise la différence de température entre les deux capteurs de tempéra- ture pour le milieu gazeux à mesurer comme par exemple l'air de combustion. L'un des capteurs de température se trouve en amont et l'autre en aval de la résistance chauffante dans le sens de l'écoulement des fluides ou de la veine de gaz à mesurer. Contrairement à la veine de gaz, la grandeur de sortie reproduit le débit avec un signe algébrique correct même si le débit n'est pas linéaire. Dans des applications d'un débitmètre massique d'air à film chaud, micromécanique, on peut le cas échéant avoir une contamination de la puce de mesure avec de l'eau, les particules de poussières ou dans le cas o celui-ci est utilisé dans un moteur à combustion interne, avec de l'huile du moteur. Ces contaminations peuvent influencer fortement le signal de mesure de l'élément de capteur de sorte qu'il dépasse la plage des tolérances spécifiques et nécessite le remplacement prématuré de l'élément de mesure ou de l'ensemble de l'appareil. Dans des conditions d'encombrement réduit du moteur à combustion interne, qui se traduisent par un rapprochement très grand entre le point d'embouchure de la ventilation du carter de vilebrequin dans la tubulure d'aspiration et la position du débitmètre massique à film chaud, on cherche à éviter la contamination de l'élément de capteur du débitmètre massique à film 20 chaud par une grille d'évacuation du côté amont et une grille de condensation d'huile du côté aval. Ces moyens permettent certes d'augmenter la robustesse de l'élément de mesure du débitmètre massique d'air à film chaud, mais ne permettent pas d'exclure totalement une dérive de la caractéristique de l'élément de mesure du débitmètre massique d'air à film chaud par encrassage par dépôt d'huile. Exposé de l'invention La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et concerne à cet effet un procédé du type défini ci-dessus, caractérisé par une alimentation périodique, par intervalles soit par un appareil de commande soit par un circuit propre à l'élément de mesure, d'au moins un élément chauffant de l'élément de mesure, ou encore par un générateur d'oscillation particulier ou l'injection d'ultrasons pour faire vibrer la membrane. Avantageusement l'alimentation périodique par intervalles 35 d'au moins un élément chauffant, ou de tous les composants alimentés de l'élément de mesure se fait par mise en marche/coupure séquentielle de l'appareil de commande. L'invention permet, grâce à une alimentation périodique par intervalles d'un élément chauffant de l'élément de capteur, de nettoyer simplement la membrane servant de support comme par exemple une membrane diélectrique contaminée par des particules de poussières, des résidus d'huile de moteur, des gouttelettes d'eau qui s'accrochent ou des produits de contamination analogues, sans nécessiter de dispositif de nettoyage distinct. La puce de mesure portée par la membrane peut être excitée par une alimentation périodique de l'élément chauffant pour vibrer. L'augmentation de température produite par le courant de chauffage 1o se traduit par une certaine dilatation thermique de la membrane très mince portant les éléments de mesure (résistances). Comme la membrane est très mince sur la puce de mesure, différents moyens liés à sa structure permettent de produire une déformation bombée brève de la membrane. Le circuit propre au capteur est activé dans la période de poursuite de commande après la coupure du moteur à combustion interne et est utilisé dans cette période pour nettoyer la membrane, et le circuit propre au capteur assure une activation de l'alimentation périodique par intervalles d'au moins un élément chauffant de l'élément de mesure dans des intervalles de temps prédéterminés. Soit l'alimentation périodique par intervalles est assurée par un modulateur de tension dans l'appareil de commande ou monté dans le circuit propre au capteur de l'élément de mesure, soit l'alimentation périodique par intervalles est faite par un générateur de fréquences dans l'appareil de commande ou intégré au circuit propre au capteur. Une possibilité pour produire une déformation bombée, brève de la membrane, consiste à réaliser la membrane à partir de plusieurs couches ayant chacune un coefficient de dilatation de température différent. Une variation de température dans le cas d'une membrane ainsi réalisée, par le chauffage des résistances, produit immédiatement une déformation locale. Comme la matière de la membrane est très mince, sa capacité calorifique est très faible si bien que la déformation bombée et sa neutralisation se font très rapidement, indépendamment des intervalles d'alimentation électrique et des intervalles de coupure d'alimentation, de l'ordre de la milliseconde. La matière de la membrane qui reçoit l'élément de mesure dans une plage de mesure peut également être excitée par des ultrasons injectés mécaniquement dans la matière de la membrane ou dans la puce de mesure. Lorsqu'on injecte des ultrasons dans l'élément de capteur ou sa puce de mesure ou sa matière de support, on obtient un effet de nettoyage. Ces vibrations par ultrasons peuvent également être appliquées par des structures séparées prévues en plus des résistances de mesure sur la zone de mesure de la membrane. Pour cela, on peut utiliser par exemple des couches piézo-électriques. L'allongement mécanique engendré de la matière de la membrane recevant la puce de mesure (provoqué par une alimentation périodique par intervalles d'un élément chauffant ou de tous les chemins conducteurs à la surface de la puce de mesure, ou par l'injection 1o d'ultrasons ou la génération de ceux-ci de manière interne), produit une accélération de la membrane et des résistances de mesure qu'elle porte dans la direction de la normale à la surface. Ces accélérations dans cette direction détachent les parties encrassées accrochées à la membrane comme également de la zone des résistances de mesure. Grâce au net15 toyage de la matière de la membrane avec les résistances de mesure fixées à celle-ci, on réduit considérablement la déviation du signal de mesure pendant la durée de vie du débitmètre massique d'air à film chaud, micromécanique. La vitesse d'encrassage de la puce de mesure à la surface de la membrane peut ainsi être réduite considérablement, ce qui évite le remplacement prématuré du débitmètre massique d'air du fait de la dérive, c'est-à-dire du décalage de sa caractéristique. Par exemple, si l'alimentation périodique par intervalles d'au moins un élément chauffant ou de tous les chemins conducteurs de l'élément de mesure, génère des variations brusques de température dans la membrane munie de l'élément de mesure, les variations brusques de température produites dans des intervalles de temps inférieurs à quelques ms, permettent de générer des fréquences d'excitation de la membrane de plusieurs centaines de kHz, en particulier des amplitudes d'oscillation maximales à la fréquence de résonance de 200 kHz. De préférence les intervalles d'alimentation d'au moins un élément chauffant se font à un niveau de courant de chauffage constant et suivant une première durée et sont interrompus par des intervalles de coupure dont la durée dépasse la durée des intervalles d'alimentation. Par exemple, dans une zone de chauffage de l'élément de mesure, on génère des dépassements de température de la zone de chauffage de 180'C audessus de la température ambiante. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'un exemple de réalisation représenté schématiquement dans les dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une coupe d'un débitmètre massique d'air à film chaud, - la figure 2 montre une variante de réalisation d'un élément de mesure alimenté par un intervalle, cet élément étant intégré dans un débitmètre massique à film chaud installé dans la tubulure d'aspiration d'un moteur à combustion interne, - la figure 3 montre les intervalles d'alimentation et les intervalles de coupure d'alimentation d'un ou plusieurs éléments chauffants alimentés électriquement dans l'élément de mesure. Description de modes de réalisation La figure 1 montre un élément de mesure 1 correspondant à un débitmètre massique d'air à film chaud. L'élément de mesure 1 et la zone intérieure d'une membrane 5 dont la surface supérieure porte une puce de mesure 26; entre le côté inférieur de l'élément de mesure 1 ou la membrane 5 de celui-ci et le logement de montage 2, on a un espace libre permettant des oscillations. La puce de mesure 26 est placée dans le lo20 gement de mesure 2. La référence 4 désigne la normale à la surface de la membrane 5. Le côté supérieur de l'élément de mesure 1 tourné vers une veine de gaz schématisée par la flèche 12 comme par exemple la veine massique d'air aspiré par un moteur à combustion interne, comporte une résistance chauffante 6. La résistance chauffante 6 peut être alimentée en 25 tension par un appareil de commande 20 relié à une source de tension externe comme par exemple la batterie du véhicule. De part et d'autre de la résistance chauffante 6 dans l'élément de mesure 1, on a un premier capteur de température de chauffage 7 et un second capteur de température de chauffage 8. Pour permettre une saisie aussi précise que possible de la température de chauffage obtenue qui pour le fonctionnement du débitmètre peut dépasser de 180'C la température de l'air aspiré, jusqu'à atteindre des valeurs maximales de l'ordre de 300'C, le premier capteur de température de chauffage 7 et le second capteur de température de chauffage 8 sont installés aussi près que possible de la résistance chauffante 6 de l'élément de mesure 1. La température de chauffage obtenue est alors prise en amont par rapport à la position de la résistance chauffante 6 et en aval par rapport à cette position de la résistance 6 de l'élément de mesure 1. A une distance plus grande, de part et d'autre du premier et du second capteur de température 7, 8 on a des capteurs de température 10, 11. De façon analogue à la disposition des capteurs de température 7, 8 on a une résistance chauffante 6 en amont des capteurs de température 10 et l'autre résistance chauffante 6 est en aval des capteurs de température 1 1. L'élément de mesure 1 comporte également sur le côté tourné vers la membrane 5, un capteur de température 9 pour mesurer le débit massique d'air 12. La membrane 5 qui comporte la résistance chauffante 6, le premier capteur de température de chauffage 7 et le second capteur de température de chauffage 8, peut être réalisée avec des épaisseurs de matière différentes comme le montre la figure 1; de plus la membrane 5 (voir figure 2) peut également avoir une épaisseur de matière constante égale à l'épaisseur de matière 15. Alors que la résistance chauffante 6 et les capteurs de température 7, 8 au voisinage de celle-ci ainsi que les capteurs de température 10, 11 plus éloignés de celle-ci se trouvent dans une zone de la membrane 5 ayant une seconde épaisseur 16 plus grande, la matière de la membrane 5 qui peut par exemple être une matière diélectrique, présente entre ses surfaces d'appui 17, 18 dans le logement de montage 2, une première épaisseur 15 beaucoup plus faible que la seconde épaisseur 16 au niveau de la résistance chauffante 6 et à celle-ci sont associés le premier et le second capteur de température de chauffage 7, 8 ainsi que les capteurs de température 10, 11 prévus en amont et en aval de la résis25 tance chauffante 6 à la surface de la membrane 5. L'espace libre 3 entre le logement de montage 2 de la membrane 5 permet sa déformation en direction de la normale 4 à la surface de la membrane 5 lorsque les pistes conductrices 6, 7, 8, 10, 11 sont alimentées par intervalle, ces pistes étant prévues dans une zone ayant une seconde épaisseur de matière 16 pour la matière 5 de la membrane. De plus sur le côté supérieur de la matière 5 de la membrane, sur le côté tourné vers le débit massique d'air 12 à mesurer, on a un circuit de capteurs 22a, 22b. Alors que la référence 22a désigne un circuit propre au capteur, prévu sur le côté supérieur de la membrane 5, le circuit 22b pro35 pre au capteur peut également être déporté par rapport à la membrane 5. L'appareil de commande 20 relié à une alimentation en tension externe et comportant un interrupteur marche/arrêt 21, permet une alimentation périodique par l'intervalle de la résistance chauffante 6 ou des capteurs de température 6, 7, 8, 10, 11. L'alimentation périodique par intervalle peut concerner seulement l'élément chauffant 6. Mais on peut également avoir une alimentation périodique par intervalle par les pistes conductrices de la surface de la membrane 5 des capteurs de température 7, 8 ou 10, 11. Une alimentation périodique par intervalle des pistes conductrices 6, 7, 8, 10, 11 peut se faire par exemple par une coupure/branchement séquentiel de l'interrupteur 21 de l'appareil de commande 20. Ainsi les éléments alimentés en tension installés sur la face supérieure de la membrane 5 c'est-à-dire la résistance chauffante 6 1o ou les capteurs de température 7, 8 ainsi que les capteurs de température , 11 peuvent recevoir une tension variant périodiquement. Les éléments installés sur la membrane 5 et alimentés en tension comme la résistance chauffante 6 et les capteurs de température de chauffage 7, 8 ainsi que les capteurs de température 10, 1 1 peuvent être appliqués par exemple par un procédé de pulvérisation. A côté d'un branchement avec coupure séquentielle par un interrupteur de l'appareil de commande 20 on peut également avoir une alimentation périodique par intervalle des éléments ou pistes conductrices 6, 7, 8, 10, 11 déposées à la vapeur; pour cela, un modulateur de tension de l'appareil de commande 20 assure une alimentation périodique par intervalle. L'appareil de commande 20 permet d'alimenter les pistes conductrices 6, 7, 8, 10, Il de la surface de l'élément de mesure 1 soit séparément soit par groupe pour que l'alimentation en tension périodique, par intervalle, soit limitée ou étendue à différentes zones de la membrane 25 5 réalisée dans la seconde épaisseur de matière 16. A la place du modulateur de tension 23, l'appareil de commande 20 peut également comporter un modulateur de fréquence 24 qui permet également une alimentation périodique par intervalle des pistes conductrices 6, 7, 8, 10, 11 à la surface de la membrane 5. Les composants de l'appareil de commande 20 selon la figure 1 à savoir le modulateur de tension 23 ou modulateur de fréquences 24 peuvent également être intégrés dans le circuit 22a, 22b propre au capteur à la surface de la membrane 5 au niveau du premier ou du second appui; on peut également les déporter (voir la position 22b à la fi35 gure 1). Selon une variante de réalisation du procédé de l'invention, le circuit 22 propre au capteur est tel qu'il intègre une horloge permettant une alimentation périodique par l'intervalle d'un ou plusieurs composants 6, 7, 8, 10, 11 de l'élément de mesure 1. L'excitation en oscillation de la membrane 5 peut se faire à des intervalles cycliques présélectionnés pour éliminer les contaminations du côté de la membrane 5 tournée vers le débit massique 11 à mesurer et ainsi de la surface de l'élément de mesure 1. Le premier capteur de température de chauffage 7 et le second capteur de température de chauffage 8 peuvent être réalisés par exemple sous la forme de chemin conducteur ou de piste conductrice dans l'élément de mesure 1 ayant une résistance ohmique variant en fonction de la température. Le premier capteur de température de chauffage 7 et le second capteur de température de chauffage 8 sont très près de la résistance de chauffage 6 de l'élément de mesure 1. Pendant le fonctionnement c'est-à-dire pour une alimentation en tension de la résistance chauffante 6 de l'élément de mesure 1, cette résistance chauffante 6 atteint une température de 180'C au-delà de la température de la veine massique d'air aspi15 ré 12. Dans les conditions maximales, la résistance chauffante 6 atteint des températures d'environ 300'C. Une alimentation périodique par intervalle d'un ou plusieurs ou de tous les composants en forme de résistance ohmique réalisés sous la forme de pistes conductrices, permet une dilatation thermique de la membrane 25 qui a une première épaisseur très mince 15 dans les zones de part et d'autre de l'élément de mesure 1. Grâce à des coefficients de dilatation de température différents dans la matière 5 de la membrane, de structure stratifiée, on peut avoir des variations locales d'ondulation entre le côté supérieur de la membrane et les éléments chauffants, alimentés 6, 7, 8, 10, 11 qui s'y trouvent par rapport à la face inférieure de la membrane. Ainsi on aura une forme bombée ou un débattement de la membrane 5 dans la direction de la normale 4 à la surface. Lorsqu'on coupe la tension d'alimentation d'un ou plusieurs composants 6, 7, 8, 10, 11 réalisés sous la forme de chemin conducteur avec une résistance oh30 mique dépendant de la température, la forme bombée se neutralise immédiatement. Du fait de la faible capacité calorifique de la matière de la membrane 5 dans ces zones de très faible épaisseur de matière 15, les débattements de la matière 5 de la membrane dans la direction de la normale 4 à la surface se font très rapidement; cela signifie que ces variations se font dans l'ordre des millisecondes. Ainsi on atteint des accélérations désignées par la référence 19 dans la direction de la normale 5 à la surface, et qui a été établie sur le côté supérieur de la membrane 5. Du fait de l'alimentation périodique par l'intervalle de la résistance chauffante 6 ainsi que d'un ou plusieurs composants 7, 8, 10, 11 réalisés sous la forme de chemin conducteur avec une résistance ohmique variable en fonction de la température, on aura sur la matière de la mem5 brane 5, les oscillations périodiques au niveau de l'épaisseur 15 de la membrane. Du fait des accélérations 19 qui s'établissent dans la direction de la normale 4 à la surface de la matière de la membrane 5, le débattement de la membrane 5 décroche les parties encrassées. Le débattement de la membrane 5 permet de détacher les particules de saletés ou les rési10 dus d'huile de moteur ou les gouttelettes d'eau qui s'accrochent et leur évacuation dans la veine d'air massique 12 qui balaie l'élément de mesure 1. Selon une autre variante, le chauffage total à la fois des capteurs de température 7, 8, 10, 11 réalisés sous la forme de chemin conducteur de résistance dépendant de la température ainsi que l'alimentation en tension de la résistance chauffante 6 peuvent être commandés par un circuit 22 propre au capteur. Le circuit 22 propre au capteur est activé dans la poursuite du fonctionnement de l'appareil de commande; cela correspond à l'arrêt du moteur à combustion interne et à la phase de refroidissement dans la tubulure d'aspiration qui commence à partir du moment de l'arrêt. Le circuit 22a ou 22b propre au capteur peut dans un débit mètre massique d'air, être logé dans un volume séparé, et sert à faire fonctionner le dispositif de chauffage et à amplifier les signaux de différence de température correspondant au signal de débit massique 25 d'air pendant le fonctionnement du moteur à combustion interne. Après l'arrêt du moteur à combustion interne, l'appareil de commande d'allumage et d'injection centrale, combinée continue de fonctionner et assure différentes fonctions encore un certain temps après la coupure par la clef de contact. Cet intervalle de temps peut aller de quelques secondes à plusieurs minutes. Le débitmètre massique d'air peut également continuer de fonctionner dans cet intervalle de temps (en étant initialisé par l'appareil de commande du moteur) et activer son circuit de nettoyage interne pour passer en mode de nettoyage. Comme déjà indiqué, on peut assurer une alimentation en tension périodique à l'aide d'un modulateur de tension 23 de l'appareil de commande 20 ou d'un circuit 22 intégré au capteur. La périodicité de la tension d'alimentation peut également se faire par un modulateur de fréquences 24 intégré à l'appareil de commande 20 ou au circuit 22 propre au capteur. Ces deux possibilités ont en commun que l'alimentation périodique par intervalle de la résistance chauffante 6 ou des éléments de saisie de température 7, 8, 10, 11 sous forme de piste conductrice en une matière ayant une résistance ohmique dépendant de la température, per5 mette des variations de température dans des intervalles de l'ordre de la milliseconde. Du fait des variations de température ainsi obtenues dans la matière 5 de la membrane en particulier dans sa zone correspondant à la première épaisseur de matière 15, faible, on peut atteindre des fréquences d'excitation de la membrane 5 de l'ordre de quelques centaines de hertz. 1o Cela permet en particulier d'obtenir des variations brusques de température de l'ordre de la milliseconde, c'est-à-dire qu'un débattement de la membrane 5 en direction de la normale 4 à la surface se fait en l'espace d'une fraction de seconde, de même que le rappel de la membrane 5 à partir de sa position déformée dans sa position initiale lors de la coupure de l'alimentation périodique, par intervalle. La plus grande amplitude d'oscillation à laquelle est exposée la membrane se situe dans le domaine de la fréquence de résonance de la membrane 5 c'est-à-dire à environ kHz. Le procédé de nettoyage selon l'invention par alimentation périodique par l'intervalle d'une résistance chauffante 6 ou de capteurs de température 7, 8, 10, 11 réalisés sous la forme de pistes conductrices à résistance ohmique dépendant de la température, permet de nettoyer l'élément de mesure 1 pour enlever les particules de poussière, les résidus d'huile du moteur ou les gouttelettes d'eau si cet élément de mesure est installé dans la tubulure d'aspiration d'un moteur à combustion interne. Ce nettoyage permet de réduire significativement les déviations du signal de mesure pendant la durée de vie du débitmètre massique d'air. Comme la vitesse d'encrassage est considérablement réduite par l'application du procédé de l'invention, on évite le remplacement à court terme du débit30 mètre massique d'air. La figure 2 montre une variante de réalisation d'un élément de mesure alimenté qui est intégré dans un débitmètre massique d'air à film chaud, installé dans la tubulure d'aspiration d'un moteur à combustion interne. La figure 2 montre schématiquement un segment d'une tubulure d'aspiration 30 d'un moteur à combustion interne. Cette tubulure reçoit un débitmètre massique d'air à film chaud 31 comportant un appareil de commande 20, intégré avec un circuit 22 propre au capteur. L'extrémité inférieure de l'appareil de commande 20 comporte le logement de montage 2 pour l'élément de mesure 1. La veine d'air aspirée passant sur l'élément de mesure 1 est désignée par la référence 32. Le côté amont 34 de la tubulure d'aspiration 30 présentée ici sous une forme tubulaire, reçoit une structure de grille 33. La section avale non représentée de la tubulure d'aspiration 30 de forme tubulaire peut également comporter un insert constitué par une structure de grille 33 placée dans la section de passage de la tubulure d'aspiration 30. Au-dessus de la représentation de la tubulure d'aspiration 30 essentiellement tubulaire représentée à la figure 2 pour le moteur à combustion interne, on a représenté l'élément de mesure 1 à une échelle considérablement augmentée. La référence 36 désigne la zone de chauffage entre le premier capteur de température de chauffage 7 et un autre capteur de température de chauffage 8. Par rapport à la direction d'écoulement correspondant au débit massique d'air QLM, le premier capteur de température de chauffage 7 de préférence réalisé sous la forme d'un chemin conducteur sur l'élément de capteur, se trouve en amont alors que le second capteur de température de chauffage 8 également réalisé sous la forme d'un chemin conducteur se trouve en aval de la zone de chauffage 36. La membrane 5 portant le premier et le second capteur de température 7, 8 réalisés sous la forme de chemin conducteur ainsi que la résistance chauffante, a une épaisseur réduite dans la zone des composants alimentés en courant en délimitant un espace libre 3. Au niveau d'un premier appui 17 et d'un second appui 18, la membrane 5 a une plus forte épaisseur. La température détectée par le premier capteur de température 7 porte la référence Ti. La température détectée par le second capteur de température de chauffage 8 en aval de la résistance chauffante 6 porte la référence T2. La figure 3 représente les intervalles d'alimentation en cou30 rant et les intervalles de coupure de courant d'un ou plusieurs éléments chauffants réalisés dans l'élément de mesure. La courbe d'alimentation est représentée suivant l'axe du temps. L'alimentation de la résistance chauffante 6 de l'élément de mesure 1 se fait pendant les intervalles d'alimentation 40 de durée 41. La durée de chauffage de l'élément chauffant 6 pendant une phase d'alimentation est par exemple de 40 millisecondes. La période d'alimentation 40 est suivie d'une période de coupure de durée de préférence double de la durée d'alimentation 41. La durée de la pose d'alimentation 41 est représentée par la référence 42 sur l'axe des temps. L'intervalle de coupure 42 qui correspond sensiblement au double de la durée 41 de la période d'alimentation 40 se poursuit de nouveau par un intervalle d'alimentation dont la durée est d'environ 40 millisecondes. Ensuite on a de nouveau un intervalle de coupure de durée 42 double par rapport à la durée 41 de l'intervalle d'alimentation. Pendant les intervalles d'alimentation 40 lorsque la résistance chauffante 6 de l'élément de mesure 1 est alimentée, cette résistance recevra le niveau d'alimentation portant la référence 43. Ce niveau d'alimentation est identique dans toutes les phases d'alimentation 40. L'alimentation 41, 42 brève, par intervalles de la résistance chauffante 6 de l'élément de mesure 1 se traduit par une température excessive dans la zone de chauffage 36 par rapport à l'environnement, ce dépassement de température correspondant à environ 180'C. On arrive ainsi à une stratification de la température dans la veine d'air 12 traversant un canal de dérivation. Les gouttelettes d'huile contenues dans l'air ou le brouillard d'huile de l'air sont ainsi évacuées de la résistance chauffante 6 alimentée par intervalles, ou sont vaporisées par l'élément de mesure 1. On évite ainsi que les particules d'huiles contenues dans l'air soient aspirées à la surface d'éléments de mesure 1, pendant les coupures d'alimentation prolongées de la résistance chauffante 6 comme cela a été habituel jusqu'alors et qui correspondait dans le capteur de débit massique d'air à film chaud actuel par une poursuite du fonctionnement de l'appareil de commande activé, le moteur à combustion interne étant cou25 pé, pendant une période de 1 à 30 minutes. Le tourbillon de convection qui se produit en cas d'alimentation prolongée, à gauche et à droite à côté de la résistance chauffante 6, alimentée, ne se produise pas dans le cas d'une résistance chauffante 6 alimentée périodiquement par l'intervalle 41, 42. Du fait des spirales de convection résultant de l'alimentation continue prolongée, on favorisait plutôt l'encrassage de la surface de l'élément de mesure 1. Une alimentation 41, 42 par intervalles de la résistance chauffante 6 dans la zone de chauffage 36 de l'élément de mesure 1 se fait jusqu'à l'évacuation par condensation complète des gouttelettes d'huile de l'air dans un inter35 valle de 10 minutes en commençant directement au moment de la coupure du moteur à combustion interne. La durée des intervalles de coupure 42 découle de la durée de refroidissement de la résistance chauffante 6 et ainsi de l'instant à partir duquel une période d'alimentation 40 précédente ne permet plus d'éliminer les gouttelettes d'huile contenues dans l'air de la résistance chauffante 6 ou de la surface de l'élément de mesure 1. La durée 42 de l'intervalle de coupure entre les phases d'alimentation 40 correspond ainsi au double de la durée 41 de la phase d'alimentation 40. Le procédé selon l'invention permet ainsi avec des moyens réduits, d'éviter la contamination de la surface d'un élément de mesure 1 par de l'huile ou autre particule transportée par l'air aspiré pendant la phase d'arrêt du moteur à combustion interne. On évite ainsi une dérive de la caractéristique de l'élément de mesure 1 par l'encrassage de la sur10 face de l'élément de mesure 1 exposé au débit massique d'air 12 QLM. N 0 M E N C L A T U R E 1. Elément de mesure (zone de surface moyenne de la membrane 2. Logement de montage de la puce de mesure 3. Espace libre 4. Normale à la surface 5. Membrane 6. Résistance chauffante 7. Premier capteur de température de chauffage (piste ou chemin conducteur) 8. Second capteur de température de chauffage (piste ou chemin conducteur) 9. Capteur de température de l'air 10. Capteur de température amont (chemin conducteur) il. Capteur de température aval (chemin conducteur) 12. Débitmètre massique d'air (QLM) s Emplacement de la mesure t Température 15. Première épaisseur de la membrane 5 16. Autre épaisseur en option de la membrane 5 17. Premier appui 18. Deuxième appui 19. Direction de l'accélération 20. Appareil de commande 21. Circuit marche / arrêt 22a. Circuit propre au capteur sur la membrane 22b Circuit propre au capteur, déporté 23. Modulateur de tension 24. Modulateur de fréquence 25. Alimentation en tension 26. Puce de mesure 30. Tubulure d'aspiration 31. Débitmètre massique d'air à film chaud 32. Elément de mesure 1 balayé par l'air 33. Structure de grille 34. Côté amont 35. Côté aval 36. Zone de chauffage 40. Intervalle d'alimentation 41. Durée de l'intervalle d'alimentation 42. Durée de l'intervalle de coupure 43. Intensité du courant de chauffage REVENDICATIONS ) Procédé de nettoyage d'un élément de mesure (1) balayé par une veine de gaz (12), cet élément étant logé dans la tubulure d'aspiration (30) d'un moteur à combustion interne et porté par une membrane mince (5), en ayant au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) alors que la membrane (5) est montée de façon à pouvoir osciller, caractérisé par une alimentation (41, 42) périodique, par intervalles soit par un appareil de commande (20) soit par un circuit (22) propre à l'élément de mesure (1), d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) de l'élément de mesure (1), ou encore par un générateur d'oscillation particulier ou l'injection d'ultrasons pour faire vibrer la membrane (5). 2 ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) se fait par mise en marche/coupure (21) séquentielle de l'appareil de commande (20). 30) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles de tous les composants alimentés (6, 7, 8, 10, 11) de l'élément de mesure (1) se fait par mise en marche/coupure séquentielle (21) de l'appareil de commande (20). ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) de l'élément de mesure (1), par le comportement en dilatation thermique interne, avec des coefficients de dilatation thermique localement différents de la matière (5) de la membrane, provoque son accélération (10) dans la direction de la normale (4) à la surface de la membrane (5). 50) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit (22a, 22b) propre au capteur est activé dans la période de poursuite de commande après la coupure du moteur à combustion interne et est utilisé dans cette période pour nettoyer la membrane (5). 60) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit (22) propre au capteur assure une activation de l'alimentation (41, 42) périodique par intervalles d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) de l'élément de mesure (1) dans des intervalles de temps prédé10 terminés. ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles est assurée par un mo15 dulateur de tension (23) dans l'appareil de commande (20). 8 ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles est assurée par un mo20 dulateur de tension (23) monté dans le circuit (22) propre au capteur de l'élément de mesure (1). ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles est faite par un générateur de fréquences (24) dans l'appareil de commande (20). ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles se fait par un générateur de fréquence (24) intégré au circuit (22) propre au capteur. 11 ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alimentation périodique (41, 42) par intervalles d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) ou de tous les chemins conducteurs de l'élément de mesure (1), génère des variations brusques de température dans la membrane (5) munie de l'élément de mesure (1). ) Procédé selon la revendication 1 1, caractérisé en ce que les variations brusques de température produites dans des intervalles de temps inférieurs à quelques ms, permettent de générer des fréquences d'excitation de la membrane (5) de plusieurs centaines de kHz. 13 ) Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que les variations brusques de température qui se produisent dans un inter1o valle de temps de quelques ms, génèrent dans la membrane (5), des amplitudes d'oscillation maximales à la fréquence de résonance de 200 kHz. 14 ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les intervalles d'alimentation (40) d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) se font à un niveau de courant de chauffage (43) constant et suivant une première durée (41). ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les intervalles d'alimentation (40) d'au moins un élément chauffant (6, 7, 8, 10, 11) de l'élément de mesure (1) sont interrompus par des intervalles de coupure dont la durée (42) dépasse la durée (41) des intervalles d'alimentation (40). ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que dans une zone de chauffage (36) de l'élément de mesure (1), on génère des dépassements de température de la zone de chauffage (36) de 180'C au30 dessus de la température ambiante.