FR 2834229 A1 20030704 FR 0214043 A 20021108 condensation d'un composé carbonylé et d'un ester phosphonique. METHODE ET DISPOSITIF POUR OPERATIONS MULTIPLES DE NETTOYAGE ET DE SECHAGE SOUS VIDE EN VASE CLOS DOMAINE DE L' INVENTION Le présent document décrit une méthode et un dispositif pour mener des opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide en un même processus sans l'utilisation d'un système de vide, de réaupérer le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. et de réaupérer la solution de nettoyage et la solution de réaupération afin de protéger l'environnement et d'économiser de l'énergie. Le dispositifcomporte au moins un dispositif de vide par pompage, au moins une chambre sous vide rattachée au dispositif de vide par pompage, au moins une unité de contrôle de chaleur pour vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage, au moins une unité d'échappement de chaleur pour condenser les vapeurs de la solution de nettoyage, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement. Le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est réalisé avec le dispositif de vide par pompage, de facon que la chambre de nettoyage, qui nest pas complètement remplie de solution de nettoyage, devienne une chambre sous vide avec une pression d'air et de gaz de solution de nettoyage très basse, réduisant au minimum l' influence de la pression atmosphérique sur les opérations rénliséss avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide. La présente invention se base sur les lois physiques suivantes: les points d'ébullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturée est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les pressions de vapeurs saturées de deux chambres sousvide de températures différentes, quipermet dutiliser directement la chambre de nettoyage hermétique pour réaliser le séchage par chauffage sous vide ou le séchage par congélation sous vide après le nettoyage à sec ou le dégraissage en phase liquide. Les opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide peuvent donc être effectuées en un seul processus, et le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. la solution de nettoyage et la solution de réaupération peuvent être récupérées afin de protéger l'environnement et d'économiser de l'énergie. DESCRIPTION Dans un processus courant de nettoyage et séchage, on utilise habituellement une ou plusieurs chambres de travail, dans laquelle ou lesquelles une pièce usinée est nettoyée avant dêtre transférée vers une autre plate-forme de travail pour y être séchée. Pour des pièces particulièrement sensibles à la chaleur, le séchage sous vide est particulièrement recommandé. Quand une pièce nettoyée est déplacoe et exposse à l'atmosphère extérieure, elle peut être à nouveau souillée par des particules. Il est donc souhaitable de développer une méthode complète de nettoyage et séchage sous vide d'une pièce, dans la même chambre de nettoyage, sans avoir à utiliser un système de vide coûteux, afin de réduire considérablement les coûts de production. Des solutions chimiques sont souvent utiliséss dans le processus de nettoyage pour éliminer toutes substances réaiduelles de la surface de la pièce à nettoyer, telles que particules, oxydes, impuretés, films gras, etc. I1 est alors possible d'avoir des fuites de substances dangereuses dues à la vaporisation lors du processus de nettoyage. Ces substances dangereuses sont sujettes à exploser et à s'enflammer, causant de sérieux dommages et pertes, voire même affectant la santé des opérateurs. On peut donc voir qu'un système de nettoyage en vase clos présente des avantages indéniables par rapport à un système de nettoyage ouvert conventionnel, il permet de réduire la consommation en solutions chimiques et en eau, de réduire l'émission et la production de gaz et d'eaux de rejet. Les systèmes de nettoyage connus combinent une solution de nettoyage introduite dans une chambre de nettoyage hermétiquement close à des équipements de nettoyage qui décontaminent la surface de la pièce. A la fin du nettoyage, la solution de nettoyage est récupérée et la pièce est retirse de la chambre de nettoyage puis transférée vers une autre plate-forme de travail pour y être séchée. Dans les processus connus de nettoyage à sec. un système de vide est utilisé pour extraire l'air de la chambre de nettoyage afin d'y créer du vide. Un gaz est ensuite introduit dans la chambre, et réagit chimiquement avec la pièce à nettoyer, afin de réduire l'oxydation de surface. Le gaz est ensuite récupéré, et la pièce est lavée avec de l'eau pure pour créer une surface parfaitement propre et dogagée de toutes particules, recouverte d'un film d'oxydation naturelle. L'utilisation d'un système de vide augmente cependant considérablement les coûts de nettoyage. Dans les processus connus de séchage par chauf$age sous vide, une pompe à vide est utilisoe pour extraire l'air de la chambre de travail afin dy créer un niveau de vide suffisant. La chambre de travail sous vide est alors amenée à la température juste nécessaire pour que l'humidité et les substances volatiles soient vaporisées en vapeurs qui sont extraites par la pempe à vide, séchant ainsi la pièce. Afin de protéger l'équipement du système de vide de la chaleur et des vapeurs ainsi produites, il est nocessaire d' installer un compresseur réfrigérant sur la chambre de travail connoctée à la pempe à vide, pour condenser ces vapeurs en liquide. Pour ces raisons, loprocessus existant de séchage par chauffage sous vide est une mauvaise conception. Dans les processus connus de séchage par congélation sous vide, la pièce à sécher est préalablement congelée afin de geler l'humidité de la pièce à nettoyer. Une chambre de séchage sous vide est ensuite utilisée pour créor du vide et réduire la pression environnante, de façon à sécher la pièce à nettoyer par sublimation et extraction de l'humidité gelée. L, inconvénient de ce processus est qu'il nécessite un compresseur réfrigérant pour geler la pièce, de même qu'une pompe à vide pour créer le vide dans la chambre de séchage sous vide. A ce stade, l'eau de la pièce à sécher ===n'a pas été/n'est plus=== entièrement gelée, et le gaz extrait par le système de vide contient des vapeurs d'eaux saturées. Les vapeurs saturées ont tendance à former des gouttelettes de condensation susceptibles d'endommager les pièces et composants du système de vide. Bien qu'il soit possible d' installer un système de congélation avant la pompe à vide pour geler les vapeurs saturées contenues dans l'air extrait de la chambre de séchage sous vide, les coûts de séchage en seraient augmentés. Pour ces raisons, le processus existant de séchage par congélation sous vide n'est pas une conception parfaite. Dans les processus existants, les opérations de nettoyage et de séchage sous vide sont menées séparément dans des environnements différents. Une pièce ou un produit ne peut doncêtre nettoyépuis séché sous vide dans une même chambre de nettoyage, avec pour conséquences des coûts de productions largement augmentés et un surcroît de manipulations au cours des opérations de nettoyage et séchage sous vide. L'inventeur se propose donc d'essayer de développer une méthode etun dispositifaméliorés qui permettront de mener des opérations multiples de nettoyage et de séchage sous vide tout en éliminantles inconvénients existants dans les techniques conventionnelles de nettoyage et de séchage sous vide sus-mentionnses. BREVE DESCRIPTION DE L' INVENTION Le principal objectif de la présente invention est une méthode et un dispositif de nettoyage et de séchage sous vide pour mener des opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide en vase clos en un même processus sans l'utilisation d'un système de vide, de réaupérer le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. et de réaupérer la soIution de nettoyage et la solution de réaupération afin de protéger l'environnement et d'économiser de l'énergie. Le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide comporte au moins un dispositif de vide par pompage, au moins une chambre sous vide rattachée au dispositif de vide par pompage, au moins une unité de contrôle de chaleur pour vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage, au moins une unité d'échappement de chaleur pour condenser les vapeurs de la solution de nettoyage, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement. L'unité de contrôle de chaleur vaporise la solution de nettoyage, ou la sublime, selon qu'elle est àl'étatliquide ou solide, dans la chambre de nettoyage sous vide, et l'unité d'échappement de chaleur re-condense la solution de nettoyage vaporisée de la chambre de nettoyage sous vide qui retourne à l'état liquide ou solide. Le dispositif de vide par pompage utilise le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d' air pour créer du vide dans la chambre de nettoyage, de façon à ce que la chambre de nettoyage devienne une chambre sous vide avec une pression d'air et de gaz de solution de nettoyage très basse, réduisant au minimum l' influence de la pression atmosphérique sur les opérations réalisoes avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide. La présente invention se base sur les lois physiques suivantes: les points d'ébullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturce est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les pressions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes. Une unité de contrôle de chaleur et une unité d'échappement de chaleur sont util isoes pour réguler la température et la press ion dans la chambre de nettoyage sous vide, l'unité de contrôle de chaleur introduisant de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération utilisoe pour vaporiser la solution de nettoyage présente sur la pièce à nettoyer. Avec ce dispositif, les opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide peuvent donc être effectuses dans la même chambre de nettoyage; il estdonc possible de récupérer le gaz àbasse pression utilisé pour le nettoyage à sec. de même que la solution de nettoyage et la solution de récupération. Un autre objectif de la présente invention est de proposer une méthode et un dispositifde nettoyage et deséchagesous vide qui augmente le niveau de vide de la chambre de nettoyage en utilisant une pompe aspirante générale pour réduire la pression dans une chambre inférieure hermétiquement close plutôt que d'utiliser un système de vide. Lorsque le vide a été fait dans la chambre de nettoyage, celui-ci devient une chambre de nettoyage sous vide avec des pressions d'air et de gaz de solution de nettoyage très basses. L' influence de la pression atmosphérique sur les opérations de séchage par chauffage sous vide et de séchage par congélation sous vide est minimisoe, réduisant efficacement les coûts du processus de nettoyage et séchage. Le présent document décrit une méthode et un dispositif de nettoyage et de séchage sous vide pour mener des opérations -de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide en vase clos en un même processus sans l'utilisation d'un système de vide, de récupérer le gaz à basse pression utilisépourle nettoyage àsec, et de récupérer la solution de nettoyage et la solution de réaupération afin de protéger l'environnement et d'économiser de l'énergie. Le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide comporte au moins un dispositif de vide par pompage, au moins une chambre sous vide rattachée au dispositif de vide par pompage, au moins une unité de contrôle de chaleur pour vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage, au moins une unité d'échappement de chaleur pour condenser les -vapeurs de la solution de nettoyage, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement. L'unité de contrôle de chaleur vaporise la solution de nettoyage, ou la sublime, selon quelle est à l'état liquide ousolide, dans la chambre de nettoyage sous vide, et l'unité - d'échappement de chaleur re-condense la solution de nettoyage vaporisée de la chambre de nettoyage sous vide qui retourne à l'état liquide ou solide. Le dispositif de vide par pompage utilise le principe selon lequel une pression est exercoe sur une colonne de liquide pour extraire la solution de nettoyage de la chambre de nettoyage, de façon à ce que la chambre de nettoyage devienne une chambre sous vide avec des pressions d'air et de gaz de solution de nettoyage très basses. I1 existe une pression d'air très faible due au fait que l'air dissous dans la solution de nettoyage se diffuse dans le volume vide de la chambre de nettoyage lorsque le liquide en est vidé afin de faire le vide. C'est pourquoi il est utile d'utiliser une solution nettoyante à faible absorption dair comme solution de nettoyage du processus de vide par pompage afin de minimiser l' influence de la pression de l'air sur l'ensemble du processus. La présente invention se base sur les lois physiques suivantes: les points d'ébullitiondes liquides sont pluabas lorsquelapression est basse; la pression de la vapeur saturse est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un di fférentiel de press ion entre les pressions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes. Une unité de contrôle de chaleur et une unité d'échappement de chaleur sont utilisoes pour réquler la 2 0 température et la press ion dans la chambre de nettoyage sous vide, l'unité de contrôle de chaleur introduisant de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération utilisoe pour vaporiser la solution de nettoyage présente sur la pièce à nettoyer. Avec ce dispositif, les opérations de dograissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par aongélation sous videpeuvent donc être effectuéss dans la même chambre de nettoyage; il est donc possible d'obtenir des chambres sous vide intermédiaire, de récupérer le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. de même que la solution de nettoyage et la solution de réaupération afin de protéger l'environnement et d'économiser de l'énergie. En résumé, par l'utilisation du processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air sur le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention, les opérations de 1} dégraissage en phase liquide et séchage par chauffage sous vide, 2} dégraissage en phase liquide et séchage par congélation sous vide, et 3} dograissage en phase liquide et nettoyage à sec. peuvent être réalisoes dans un seul et même dispositif; et-, par l'utilisationd'une unité de contrôle de chaleur et d'une unité d'échappement de chaleur, les opérations de 4) séchage par chauffage sous vide, 5) séchage par congélation sous vide, 6) réaupération de solution de nettoyage et de solution de réaupération, et 7) obtention de chambres sous vide intermédiaire permettant de récupérer le gaz à basse pression utilisé au cours du nettoyage à sec. peuvent être menées directement dans le même dispositif. Dispositif de nettoyage et de séchaqe sous vide Le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide comporte au moins un dispositif de vide par pompage, au moins une chambre sous vide rattachée au dispositif de vide par pompage, au moins une unité de contrôle de chaleur pour vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage, au moins une unité d'échappement de chaleur pour condenser les vapeurs de la solution de nettoyage, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement. Le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide comporte également une chambre de nettoyage qui peut 1} être séparé du dispositif de vide par pompage afin de servir de chambre sous vide indépendante; 2} servir de chambre pour le nettoyage à sec. le dégraissage en phase liquide, le séchage par chauffage sous vide, le séchage par congélation sous vide, et la récupération de la solution de nettoyage et de la solution de réaupération; 3} être équipé d'équipements accessoires, tels qu'unités de contrôle de chaleur et unités d'échappement de chaleur, selon les besoins; 4} être connocté aux chambres sous vide par des tuyaux de raccordement; 5} être raccordé à un récipient de réaupération ayant une press ion interne normale; et 6} être raccordé à une chambre de nettoyage faisant partie dun autre dispositif de vide par pompage. De par le différentiel de pression de vapeur saturée dû à la différence de température entre la chambre de nettoyage - sous vide et les chambres sous vide, la solution de nettoyage dans la chambre de nettoyage sous vide absorbe la chaleur de vaporisation et passe à l'état gazeux, et s'évacue vers les chambres sous vide. Les unités d'échappement de chaleur sont disposées sur les tuyaux de raccordemententre lachambre denettoyage sous vide etles chambres sous vide et condensent la solution de nettoyage à l'état gaseux en solution de nettoyage à l'état liquide qui est réaupérée et stockée dans les chambres sous vide. Les chambres sous vide peuvent également servir à récupérer le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. Lors des opérations de séchage par chauffage sous vide et de récupération de solution de nettoyage ou de solution de récupération, ou lors de l'utilisation de solution nettoyante à faible absorption d'air ou de la production de chambres sous vide intermédiaire, l'unité de contr81e de chaleur réqule la température selon la courbe d'équilibre liquide-gazeux de la solution de nettoyage. Et, lors de l'opération de séchage par congélation sous vide, l'unité de contrôle de chaleur et l'unité déchappement de chaleur réqulent la température selon la courbe d'équilibre solide-gaseux de la solution de nettoyage. Lorsque le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide est équipé deplusieurs chambres de nettoyage, ces chambres de nettoyage peuvent étre interaonnectées par des portes de communication étanches, et despièces à nettoyerpeuvent étre transférées dune chambre de nettoyage à l'autre par l'utilisation dun ruhan transporteur, et on obtient ainsi un dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série. Dispositif de vide nar pompane Le dispositif de vide par pompage comporte un tuyau de raccordement ayant une fonction de contrôle par valve. Le tuyau de raccordement relie une chambre de nettoyage à une chambre inférieure ayant des hauteurs différentes. La chambre de nettoyage et la chambre inférieure sont toutes deux des chambres hermétiques et peuvent être scellées. La chambre inférieure peut être scellée et a une grande capacité et un diamètre important au niveau de la surface du liquide. La chambre inférieure n'est pas complètement remplie de solution de nettoyage, et sa pression interne dépend de nombreux facteurs, y compris la différence de hauteur entre la chambre de nettoyage et la chambre inférieure, ladensité de la solution de nettoyage utilisée dans les opérations de nettoyage et séchage, et les volumes de lachambre de nettoyage et de la chambre inférieure. Afin de pouvoir transférer toute la solution de nettoyage dans la chambre inférieure lorsque sa densité est très basse et la différence de hauteur entre la chambre de nettoyage et la chambre inférieure est très faible, la pression interne de la chambre inférieure est généralement beaucoup plus basse que lapression atmosphérique. Lachambre inférieure est connoctée à une pompe aspirante pour faire passer la solution de nettoyage de la chambre inférieure dans un récipient de récupération ayant une pression interne normale ou encore dans une chambre de traitement ultérieur. Lorsque la chambre inférieure est scellée, il est possible d'abaisser sa pression interne en actionnant la pompe aspirante, abaissant ainsi le niveau du liquide dans la chambre inférieure. Processus de vide nar pompae- Le processus de vide par pompage de la présente invention est basé sur la technique de production de vide de Torricelli selon lequel- une pression s'exerce sur la surface d'un liquide. La pression interne de la chambre inférieure dépend de la différence de hauteur entre la chambre de nettoyage et la chambre inférieure, la densité de la solution de nettoyage, et le volume de la chambre inférieure, et est réqulée par une pompe aspirante. Lorsque la chambre de nettoyage a été remplie de solution de nettoyage puis scellée, et qu'une valve sur le tuyau de raccordement a été ouverte, la solution de nettoyage de la chambre de nettoyage s'écoule par le tuyau de raccordement dans la chambre inférieure scellé, et la pression dans la chambre inférieure scellé augmente en même temps que la quantité de solution de nettoyage. Lorsque la solution de nettoyage a fini de s'écouler, la hauteur statique correspond alors à la hauteur de solution de nettoyage maintenue par la pression à la surface du liquide dans la chambre inférieure scellé 31. La valve du tuyau de raccordement est alors refermoe et la pompe aspirante est relancoe afin de vider la solution de nettoyage de la chambre inférieure scellée dans le récipient de réaupération ou la chambre de traitement ultérieur. La pression interne de lachambre inférieure scellée est alors rétablie en vue du prochain cycle d'opérations. Les procédures ci-dessus sont répétées jusqu'à ce que la hauteur statique de solution de nettoyage à laquelle la solution de nettoyage arrête de s'écouler soit acceptable. Déoraissage en phase liquide et séchaqe Par chauffage sous vide enchaînés Lorsque le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention est configuré pour le dégraissage en phase liquide, le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisé pour obtenir un niveau de vide dans la chambre de nettoyage correspondant aux besoins rsels. La chambre de nettoyage sous vide est alors utilisse pour réaliser le séchage par chauffage sous vide, de façon à ce que toute humidité résiduelle ou solvant organique dans la chambre de nettoyage soit vaporisé et réaupéré dans la chambre sous vide, et la pièce nettoyée ne présente aucune trace de séchage ou de particules. Dégraissage en Phase liquide et séchane par conuélation sous vide enchaînés Le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisé pour obtenir un niveau de vide dans la chambre de nettoyage du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention, de façon à pouvoir utiliser directement la chambre de nettoyage sous vide pour la prochaine opération de séchage par congélation sous vide. Les opérations de dégraissage en phase liquide et de séchage par congélation sous vide peuvent donc être enchaînées sans utiliser de système de vide. Dénraissage en phase liquide et nettovane à sec enchaînés Après avoir obtenu le vide dans la chambre de nettoyage du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention avec le processus de vide par pompage, une valve connectant la chambre de nettoyage sous vide et un réservoir de gaz pour le nettoyage à sec est ouverte pour que le gaz de nettoyage puisse passer du réservoir de gaz dans la chambre de nettoyage sous vide par un tuyau de raccordement. La valve est refermée suffisamment vite pour garder une pression gaseuse basse dans la chambre de nettoyage sous vide. Lorsque le nettoyage à sec estterminé, la valve connectant la chambre de nettoyage à la chambre sous vide est ouverte, et la solution de nettoyage est introduite par le fond de la chambre de nettoyage. Le niveau montant de solution de nettoyage expulse le gaz à basse pression qui est réaupéré et stocké dans la chambre sous vide. Lorsque la chambre de nettoyage est entièrement remplie de solution de nettoyage, la valve connectant la chambre de nettoyage à la chambre sous vide est fermée, complétant la réaupération du gaz à basse pression utilisé lors du nettoyage à sec. Solution nettovante à faible absorption d'air Lorsque le processus de vide par pompage est utilisé sur le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention pour faire le vide dans la chambre de nettoyage, la surface de la solution de nettoyage dans la chambre de nettoyage est immobile et recouvre l'unité de contrôle de chaleur de la chambre de nettoyage. Lorsque celle-ci est chauffée, la solution de nettoyage se met à bouillir. Ltair dissout dans la solution de nettoyage se dogage alors dans le volume vide de la chambre de nettoyage. Une pression normale a alors été rétablie dans la chambre de nettoyage, et le récipient de réaupération, dont la pression est normale également, est utilisé pour collecter la solution de nettoyage de la chambre de nettoyage exempte d'air. L'unité de contrôle de chaleur réqule la température selon la courbe d'équilibre liquide-gazeux de la solution de nettoyage. Etant donné gue le point d'ébullition de la solution de nettoyage baisse avec la pression de la chambre de nettoyage, la présente invention peut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération pour vaporiser la solution de nettoyage. La chambre de nettoyage a un diamètre important au niveau de la surface du liquide de sorte à augmenter la surface de vaporisation. Séchane par chauffaqe sous vide Lorsque le processus de vide par pompage est utilisé sur le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention, la chambre de nettoyage devient une chambre de nettoyage sous vide avec une pression d'air et de gaz de solution de nettoyage très basse. En utilisant le principe selon lequel d'une différence de température résulte un différentiel de pression de vapeur saturée, la chambre sous vide est connoctée à la chambre de nettoyage, et l'unité d'échappement de chaleur du tuyau de raccordement entre la chambre de nettoyage et la chambre sous vide condense la vapeur de solution de nettoyage s'écoulant vers la chambre sous vide, o celle-ci peut alors être récupérée et stockée. L'unité de contrôle de chaleur fournit la chaleur de vaporisation pour vaporiser la solution de nettoyage présente sur la pièce nettoyée. Sans changer la température de l'unité de contrôle de chaleur, lorsque la pression interne de la chambre de nettoyage ne change plus, l'équilibre entre la température et la pression interne de la chambre de nettoyage a atteint la courbe d'équilibre liquide-gazeux de la solution de nettoyage. Si la pression interne de la chambre de nettoyage n'atteint pas la pression de vapeur saturce à cette température, la pièce à sécher peut absorber la chaleur de vaporisation de l'unité de contrôle de chaleur pour vaporiser la solution de nettoyage restante. Pour finir de vaporiser la solution de nettoyage présente sur la pièce nettoyée, le principe de press ion différentielle sus-mentionné est utilisé pour diriger les vapeurs vers l'unité déchappement de chaleur du tuyau de raccordement de la chambre sous vide, qui condense alors la solution de nettoyage à l'état gazeux enlO solution de nettoyage à l'état liquide qui est récupérse et stockée dans la chambre sous vide. De cette façon, la pression interne de la chambre de nettoyage est touj ours maintenue en dessous de la pression de vapeur saturée à la température de vaporisation. Etant donné que le point débullition des liquides baisse avec la pression, l'unité de contrôle de chaleurpeut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de récupération pour vaporiser la solution de nettoyage. Lorsque la solution de nettoyage est utilisée dans le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air, l'opération de séchage par chanffage sous vide n'est pas soumise à l' influence de la pression de l'air, permettant un différentiel de pression entre la chambre sous vide et la chambre de nettoyage sous vide, et l'utilisation dune énergie thermique moins élevoe. Séchage par congélation sous vide En utilisant le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention, on peut obtenir un niveau de vide dans la chambre de nettoyage, laquelladevient alors une chambre de nettoyage sous vide avec une pression d'air et de gaz de solution de nettoyage très basse. L'unité de contrôle de chaleur et l'unité déchappementde chaleurde la chambre de nettoyage réqulent la température selon la courbe d'équilibre solide-gazeux de la solution de nettoyage. L'unité de contrôle de chaleur contrôle la température de la pièce à sécher, c'est-à- dire que l'unité de contrôle de chaleur est capable dabaisser la température de la pièce à sécher de façon à solidifier la solution de nettoyage, puis de fournir la chaleur de sublimation pour sublimer la solution de nettoyage àl'état solide présente surla pièce. L'unité déchappement de chaleur contrôle la pression dans la chambre de nettoyage sous vide, c'est-à-dire qu'elle est capable de condenser la solution de nettoyage sublimée en solution de nettoyage à l'état solide et de fournir la chaleur de sublimation pour sublimer la solution de nettoyage à l'état solide restant dans la chambre de nettoyage sous vide. Au cours du séchage par congélation sous vide d'une pièce dans la chambre de nettoyage, lorsque la température de l'unité de contrôle de chaleur dans la chambre de nettoyage ne change pas et que le taux de sublimation est égal au taux de condensation, la pression interne de la chambre de nettoyage ne change plus, c'est-à-dire que l'équilibre entre la température et la pression interne de la chambre de nettoyage a atteint la courbe d'équilibre solide-gazeux de la solution de nettoyage. Lorsque l'unité de contrôle de chaleur est à sa température de sublimation, et si la pression interne de la chambre de nettoyage n'atteint pas lO la pression de vapeur saturce à cette température, la pièce à sécher peut absorber la chaleur de sublimation de l'unité de contrôle de chaleur pour sublimer la solution de nettoyage à l'état solide présente sur la pièce. Afin de continuer la sublimation lorsque la pression d'air dans la chambre de nettoyage est très basse, l'unité déchappement de chaleur est utilisée pour condenser à l'état solide la solution de nettoyage précédemment sublimée, de façon à touj ours maintenir la pression interne de la chambre de nettoyage plus basse que la pression de vapeur saturée à température de sublimation. L'unité de contrôle de chaleur est capable de gelerlapièce à sécher à son point eutectique le plus bas. Au cours de la congélation de la pièce à sécher par l'unité de contrôle de chaleur, il est nécessaire déviter que la pression interne de la chambre de nettoyage baisse en même temps que la température, ce qui résulterait en une congélation incomplète. L'unité d'échappement de chaleur doit donc vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage restantdans la chambre de nettoyage pour maintenir la pression interne de la chambre de nettoyage plus basse que la pression de vapeur saturce à la température nécessaire pour amener la pièce à sécher à son point eutectique le plus bas. Après que la pièce à sécher a été gelée, le liquide à l'intérieur de la pièce forme des cristaux visibles à l'_il nu. Ces cristaux laissent des vides après sublimation, permettant aux cristaux plus intérieurs de se sublimer également, le tout augmentant l'efficacité du séchage. La pièce à sécherest donc gelée àl'avance àpression normale, et le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisé pour faire le vide dans la chambre de nettoyage avant le séchage par congélation sous vide. Lorsque la solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisée comme solution de nettoyage dans le processus de vide par pompage, il n'y aura dans la chambre de nettoyage sous vide que lapressionde la vapeur de solution de nettoyage. L,opération de séchage par congélation sous vide n'est donc pas affectée par la pression de l'air, et la sublimation et la condensation de la solution de nettoyage dans la pièce à sécher sont contrôlées par la température. Dans le cas o l'unité d'échappement de chaleur serait capable d'accélérer le flux de vapeurs de solution de nettoyage, ces vapeurs peuvent se condenser plus rapidement à l'étatsolide afin d'accélérer le séchage par congélation sous vide. Séchage par congélation sous vide à plusieurs chambres en série Dans le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série de la présente invention, l'unité de contrôle de chaleur de la première chambre de nettoyage sert à pré-gelerlapièce à nettoyer qui doitêtre séchée à pression normale, le vide a été fait dans la deuxième chambre de nettoyage avec le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air, laquelle chambre de nettoyage sert pour le séchage par congélation sous vide, et la troisième chambre denettoyage sert à faire sortir la pièce séchée. Après que la pression normale a été rétablie dans la troisième chambre de nettoyage et que la pièce séchée en soit sortie, le vide y est fait à nouveau en utilisant le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air. Après que la pièce à sécher a été gelue, le liquide à lintérieur de la pièce forme des cristaux visibles à l'_il nu. Ces cristaux laissent des vides après sublimation, permettant aux cristaux plus intérieurs de se sublimer également, le tout augmentant l'efficacité du séchage. La pièce à sécher est donc pré-gelée à pression normale, puis seulement soumise au séchage par congélation sous vide. Après que la pièce a été nettoyée dans la première chambre de nettoyage, l'unité de contrôle de chaleur est activée à pression normale afin de pré-geler la pièce à sécher. Ensuite, on fait le vide dans la première chambre de nettoyage avec le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption dair à basse température, on ouvre laporte de communication étanche et on fait passer la pièce nettoyée dans la deuxième chambre de nettoyage, sous vide également, on referme la porte de communication étanche, on abaisse la température de la pièce à sécher en dessous de son point eutectique le plus bas, et on rénlise le séchage par congélation sous vide. Après que le séchage par congélation sous vide est terminé, on ouvre l'autre porte de communication étanche et on fait passer la pièce séchée dans la troisième chambre de nettoyage sous vide, et on referme la porte de communication étanche. Lorsque la pression normale a été rétablie dans la troisième chambre de nettoyage, on peut en enlever la pièce séchée. Récupération de la solution de nettoyage et de la solution de réaupération - Dans le dispositif de nettoyage et de séchage par le vide de la présente invention, on utilise une première chambre de nettoyage comme chambre de vaporisation pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de récupération, et une deuxième chambre de nettoyage sert de chambre de réaupération pour réaupérer la solution de nettoyage ou la solution de réaupération propre. La chambre de vaporisation comporte une unité de contrôle de chaleur qui fournit la chaleur de vaporisation pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de réaupération. Etant donné que le différentiel de température entre la chambre de réaupération et la chambre de vaporisation résulte en un différentiel de pression de vapeur saturée, les vapeurs de la chambre de vaporisation sont entraînées vers l'unité déchappement de chaleur, qui les condensent en liquide, lequel est alors récupéré dans la chambre de réaupération. La réaupération de solution de nettoyage ou de solution de récupération utilise le processus de vide par pompage, faisant le vide dans la chambre de vaporisation. Le niveau -de solution de nettoyage se stabilise dans la chambre de vaporisation et recouvre l'unité de contrôle de chaleur. Le processus de vide par pompage avec de la solution de nettoyage ou de la solution de réaupération est utilisé pour faire le vide dans lachambre de réaupération. Lorsque la solution de nettoyage ou la solution de récupération dans la chambre de vaporisation absorbe la chaleur de vaporisation de l'unité de contrôle de chaleur, et que l'unité d'échappement de chaleur condense les vapeurs produites en solution de nettoyage ou solution de récupération propre qui est récupérée dans la chambre de récupération, la chambre de vaporisation peut être réqulièrement réapprovisionnée en solution de nettoyage ou solution de réaupération, et la chambre de réaupération peut être régulièrement vidée dans un récipient de réaupération à pression normale. Le processus de vide par pompage est alors réutilisé pour refaire le vide dans la chambre de récupération afin de continuer à réaupérer la solution de nettoyage ou la solution de réaupération. Etant donné que le point d'ébullition de la solution de nettoyage ou de la solution de réaupération à récupérer baisse avec la pression, l'unité de contrôle de chaleur peut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de réaupération. Ainsi, l'environnement est protégé et on économise de l'énergie. Obtention d'une chambre sous vide intermédiaire Dans le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide, le processus de vide par absorption de solution de nettoyage à faible absorption d'air peut être utilisé pour faire le vide dans deux chambres de nettoyage, l'une d'elles pouvant être détachée du dispositif de vide par pompage pour servir de chambre sous vide, et l'autre servant à récupérer le liquide condensé. Etant donné que le différentiel de température entre deux chambres résulte en un différentiel de pression de vapeur saturée, le liquide restant dans la chambre sous vide absorbe la chaleur de vaporisation et ses vapeurs vont vers l'unité d'échappement de chaleur qui les condense en liquide qui est réaupéré par la chambre de nettoyage sous vide. Etant donné que le point d'ébullition des liquides baisse avec la pression, l'unité de contrôle de chaleur peut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de récupération pour vaporiser la solution de nettoyage restantdans la chambre sous vide. En augmentant la température et en réduisant les vapeurs dans la chambre sous vide, celle-ci ne contient finalement qu'une - quantité minime de vapeur sèche. On scelle la chambre sous vide et on la détache du dispositif de vide par pompage, et sa température redescend alors. La température ayant baissé, le vide dans la chambre sous vide est proche du vide intermédiaire. BREVE DESCRIPTION DES SCHEMAS La structure et les moyens techniques adoptés pour la présente invention en vue de réaliser les objectifs sus-mentionnés seront plus faciles à comprendre par la lecture de la description détaillée des conceptions privilégiées qui suit et des schémas qui l'accompagnent: Fig. 1: diagramme conceptuel montrant le dispositif de vide par pompage de la présente invention et la méthode de mise en _uvre du processus de vide par pompage; Fig. 2: diagramme conceptuel montrant le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide selon la présente invention; Fig. 3: diagramme conceptuel montrant le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série selon la présente invention; Fig. 4: diagramme conceptuel montrant la méthode de production et de réaupération de la solution nettoyante à lO faible absorption d'air du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention; Fig. 5: diagramme conceptuel montrant la méthode de réaupération de la solution de nettoyage et de la solution de réaupération du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention; Fig. 6: diagramme conceptuel montrant la méthode de séchage par chauffage sous vide du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention; Fig.7: diagramme conceptuel montrantla méthode deséchage par congélation sous vide du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention; Fig. 8: diagramme conceptuel montrant la méthode de séchage par congélation sous vide du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série de la présente invention; Fig. 9: diagramme conceptuel montrant la méthode d'obtention d'une chambre sous vide intermédiaire du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention; Fig. 10: diagramme conceptuel montrant la méthode d'utilisation de plusieurs solution de nettoyage et gaz pour le nettoyage à sec et le dégraissage en phase liquide du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention; et Fig. 11: diagramme conceptuel montrant que la présente invention comprend plusieurs chambres de travail connoctées à une chambre supérieure commune et une chambre inférieure commune. DESCRIPTION DETAILLEE DES CONCEPTIONS PRIVILEGIEES Le présent document décrit une méthode et un dispositif pour mener des opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide en vase clos en un même processus sans l'utilisation dun système de vide, de récupérer le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. et de réaupérer la solution de nettoyage et la solution de réaupération afin de protéger l'environnement et d'économiser de l'énergie. Dans les descriptions qui suivent, les mêmes numéros de référence identifient des pièces similaires de la présente invention. Reportez-vous à la Fig. 1, diagramme conceptuel montrant le dispositif de vide par pompage selon la présente invention et la méthode dimplémentation du processus de vide par pompage du dispositif de vide par pompage. Onvoit que le dispositif de vide par pompage est monté sur une plate-forme de travail divisée en trois niveaux, appelés niveau supérieur 10, niveau intermédiaire 20, et niveau inférieur 30. La différence de hauteur entre le niveau supérieur 10 et le niveau inférieur 30 est fixe. Le niveau intermédiaire 20 comporte un mécanisme élévateur 22 permettant dajuster la hauteur du niveau intermédiaire 20 par rapport au niveau inférieur 30. Une chambre supérieure 11 est disposée sur le niveau supérieur 10 de la plate-forme. La chambre supérieure 11 est remplie de solution de nettoyage propre. Un tuyau de la chambre supérieure 12 achemine la solution de nettoyage de la chambre supérieure 11 à une chambre de nettoyage 21. Un tuyau d'échappement 14 peut connocter le fond de la chambre supérieure 11 au fond de la chambre de nettoyage 21 si nocessaire, de façon à pouvoir aj outer de la solution de nettoyage de la chambre supérieure 11 dans la chambre de nettoyage 21 par le tuyau déchappement 14, chassant ainsi le gaz présent dans la chambre de nettoyage 21. L'extrémité inférieure du tuyau de la chambre supérieure 12 estconnecté,e à une unité decontrôle des flux supérieurs 23, que traverse la solution de nettoyage allant de la chambre supérieure 11 dans la chambre de nettoyage 21. Une valve de la chambre supérieure 13 est disposée sur le tuyau de la chambre supérieure 12 ou au fond de la chambre supérieure 11 et contrôle le flux descendant de solution de nettoyage depuis la chambre supérieure 11 vers la chambre de nettoyage 21. La chambre de nettoyage 21 est disposée sur le niveau intermédiaire 20 de la plate-forme. La chambre de nettoyage 21 est une chambre hermétique qui peut être scellée lorsqu'on souhaite y traiter la pièce à nettoyer. Des ouvertures se trouvent sur la chambre de nettoyage 21 afin de pouvoir y faire entrer ou sortir la pièce à nettoyer, de même que divers accessoires dont la nature dépendra des besoins. L'unité de contrôle des flux supérieurs 23 est placée au sommet de la chambre de nettoyage 21 à l'arrivée du tuyau de la chambre supérieure 12. Une unité de contrôle des flux inférieurs 24 est placée au fond de la chambre de nettoyage 21 à l'arrivoe d'un tuyau de la chambre inférieure 32, lequel achemine la solution de nettoyage de la chambre de nettoyage 21 à une chambre inférieure 31 disposé,sur le niveau inférieur 30 de la plate-forme. Une valve de la chambre inférieure 33 est disposée sur le tuyau de la chambre inférieure 32 ou sur la chambre inférieure 31 en dessous de la surface du liquide 34 et contrôle le flux descendant de solution de nettoyage depuis la chambre de nettoyage 21 vers la chambre inférieure 31. La chambre inférieure 31 est une chambre hermétique qui peut être scellée. La chambre inférieure 31 a une grande capacité et un diamètre important au niveau de la surface du liquide 34, et elle n'est pas complètement remplie de solution de nettoyage. La chambre inférieure 31 peut être équipée de divers outils et accessoires selon les besoins. L'extrémité inférieure du tuyau de la chambre inférieure 32 est connectée à la base de la chambre inférieure 31 et achemine la solution de nettoyage de la chambre de nettoyage 21 dans la chambre inférieure 31. Un tuyau de pompe 52 connocte la partie inférieure de la chambre inférieure 31 à une pompe aspirante 53. Une valve d'échappement 35 est disposée vers le sommet de la chambre inférieure 31 à l'extérieur de la solution de nettoyage, et régule la pression interne de la chambre inférieure 31. Un condenseur (non montré) peut se trouver à l'intérieur de la chambre inférieure 31 selon les besoins afin de maintenir une pression à la surface du liquide dans la chambre inférieure 31. Par le tuyau de pompe 52, la pompe-aspirante 53 pompe la solution de nettoyage de la chambre inférieure 31 dans une chambre de traitement ultérieur 51 avec une pression interne normale, ou de la chambre de traitement ultérieur 51 dans la chambre inférieure 31, ceci afin de réquler la hauteur et la pression exercée sur la surface du liquide 34 dans la chambre inférieure 31. Une valve de pompe 54 se trouve à la base de la chambre inférieure 31 ou sur le tuyau de pompe 52 et contrôle le flux de solution de nettoyage que la pompe aspirante 53 fait entrer et sortir de la chambre inférieure 31. Comme mentionné précédemment, l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 est-placée au sommet de la chambre de nettoyage 21 pour contrôler le flux de solution de nettoyage ou de gaz entrant et sortant de la chambre de nettoyage 21. Plusieurs valves de contrôle ou éléments similaires peuvent être ajoutés à l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 selon les besoins afin de contrôler le flux de solution de nettoyage ou de gaz entrant et sortant de la chambre de nettoyage 21. D'autres éléments peuvent également être ajoutés pour fonctionner en conjonction avec les outils et accessoires de la chambre de nettoyage 21. Les valves de contrôle de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 peuvent être raccordées à d'autres accessoires, tels que des chambres sous vide et autres chambres de réaupération avec une pression interne normale, ou au tuyau de la chambre supérieure 12 attaché par un raccord fixe ou détachable. Comme mentionné précédemment, l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 est placoe à la base de la chambre de nettoyage 21 pour contrôler le flux de solution de nettoyage ou de gaz entrant et sortant de la chambre de nettoyage 21. Plusieurs valves de contrôle ou éléments similaires peuvent être ajoutés à l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 selon les besoins afin de contrôler le flux de solution de nettoyage ou de gaz entrant et sortant de la chambre de nettoyage 21. D'autres éléments peuvent également être ajoutés pour fonctionner en conjonction avec les outils et accessoires de la chambre de nettoyage 21. Les valves de contrôle de l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 peuvent être raccordéss à d'autres accessoires, tels que des chambres sous vide et autres chambres de réaupération avec une pression interne normale, ou au tuyau de la chambre inférieure 32 attaché par un raccord fixe ou détachable. Comme mentionné précédemment, le tuyau d'échappement 14 connocte la chambre supérieure 11 à l'unité de contrôle des fluxinférieurs 24 de la chambre de nettoyage 21 pour amener la solution de nettoyage de la chambresupérieure 11 au fond de la chambre de nettoyage 21 de façon à expulser le gaz qu'il contient. Le tuyau déchappement 14 peut n'être pas nécessaire et sa présence dépendra des besoins réels. La configuration de l'état initial du dispositif de vide par pompage de la Fig. 1 comprend les étapes suivantes: 1. Rassembler les données de densité de la solution de nettoyage à utiliser, du volume de la chambre de nettoyage 21, et du volume de la chambre inférieure 31; régler la différence de hauteur entre le niveau intermédiaire 20 et le niveau inférieur 30 de la plate-forme; et caleuler la pression dans la chambre inférieure 31; 2.Alimenter la chambre inférieure 31 en solution de nettoyage-en ouvrant la valve de pompe 54, la valve d'échappement 35 et la valve de la chambre inférieure 33, en démarrant la pompe aspirante 53 pour aspirer la solution de nettoyage de la chambre de traitement ultérieur 51 à pression normale dans la chambre inférieure 31 jusqu'à atteindre le niveau de liquide souhaité, puis refermer la valve d'échappement 35; 3.Alimenter la chambre supérieure 11 en solution de nettoyage en fermant la valve de la chambre supérieure 13, en remplissant la chambre supérieure 11 avec la solution de nettoyage, puis ré-alimenter réqulièrement la chambre supérieure 11 afin dy maintenir une hauteur de liquide constante; 4. Réquler la pression à la surface du liquide 34 dans la chambre inférieure 31 en fermant la valve de la chambre inférieure 33, et en démarrant lapompe aspirante53 pour aspirer la solution de nettoyage de la chambre inférieure 31 dans la chambre de traitement ultérieur 51. La pression à la surface du liquide 34 dans la chambre inférieure 31 baisse lorsque celle-ci s'abaisse Lorsque la pression à la surface du liquide 34 de la chambre inférieure 31 atteint une valeur prédéterminée, fermer la pompe aspirante 53 et la valve de pompe 54; 5.Utiliser le macanisme élévateur 22 pour régler la différence de hauteur entre le niveau intermédiaire 20 et le niveau inférieur 30 de la plate-forme. Le processus de vide par pompage sur le dispositif de vide par pompagecomprend les étapes suivantes: 1.Amener le dispositif de vide par pompage à son état initial ou à l'état final d'une autre opération; 2. Remplir la chambre de nettoyage 21 de solution de nettoyage en ouvrant la valve de la chambre supérieure 13, fermantla valve de lachambre inférieure 33, ouvrant la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23, ce qui connocte la chambre de nettoyage 21 au tuyau de la chambre supérieure 12, et en ouvrant la valve de lunité de contrôle des flux inférieurs 24, ce qui connecte la chambre de nettoyage 21 au tuyau de la chambre inférieure 32. Sous l' influence de la gravité ou de la pression atmosphérique, ou bien parce que la chambre de nettoyage 21 est sous vide, la solution de nettoyage s-'écoule ou est aspirée de la chambre supérieure 11 dans la chambre de nettoyage 21 et remplit le tuyau de la chambre supérieure 12, la chambre de nettoyage 21, et le tuyau de la chambre inférieure 32; 3. Produire le vide dans la chambre de nettoyage 21 en fermant la valve de la chambre supérieure 13 et en ouvrant la valve de la chambre inférieure 33. La solution de nettoyage de la chambre de nettoyage 21 sécoule dans la chambre inférieure 31. Lorsque la solution de nettoyage atteint son équilibre, la hauteur statique de la solution de nettoyage est la hauteur de solution de nettoyage ayant la même densité maintenue par la pression exercoe sur la surface du liquide 34 dans la chambre inférieure 31. Autrement dit, lorsque la solution de nettoyage de la chambre denettoyage 21 entre dans la chambre inférieure 31 et fait monter la surface du liquide 34 dans la chambre inférieure 31, la pression dans la chambre inférieure 31 augmente afin de maintenir le niveau de solution de nettoyage enéquilibre. Lorsque la chambre de nettoyage 21 a été complètement vidé de solution de nettoyage, la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 au tuyau de la chambre supérieure 12 peut étre fermée si nécessaire, et la valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 au tuyau de la chambre inférieure 32 est fermoe, de façon que la chambre de nettoyage 21 devienne une chambre de nettoyage sous vide; 4.Vider le surplus de solution de nettoyage de la chambre inférieure 31 afin de réduire la pression exercoe sur la surface du liquide 34. Etant donné que la solution de nettoyage dans le tuyau de la chambre supérieure 12, la chambre de nettoyage 21 et le tuyau de la chambre inférieure 32 se vide plus ou moins complètement dans la chambre inférieure 31 lorsque le vide est fait dans la chambre de nettoyage 21, la surface du liquide 34 de la chambre inférieure 31 s'élève et la pression qui s'y exerce augmente. Pour vider le surplus de solution de nettoyage, fermez la valve de la chambre inférieure 33 de la chambre inférieure 31, ouvrez la valve de pompe 54 et démarrez la pompe aspirante 53 afin d' aspirer la solution de nettoyage de la chambre inférieure 31 dans la chambre de traitement ultérieur 51 jusqu'à ce que la pression désirse à la surface du liquide 34 soit rétablie, puis fermez la valve de pompe 54; 5.Les étapes ci-dessus constituent un cycle du processus de vide par pompage pour obtenir le vide dans la chambre de nettoyage 21, de façon à préparer un prochain cycle du processus de vide par pompage. Dans le cas o la hauteur statique de solution de nettoyage n'atteindrait pas le niveau voulu, répétez l'étape 3 ci-dessus. Pour que la solution de nettoyage puisse être vidée dans un récipient de réaupération avec une pression normale (non montré), sur le dispositif de vide par pompage de la Fig. 1 se trouve également une valve d'aération (non montrce) dans l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 pour laisser entrer de l'air dans la chambre de nettoyage 21, etune valve (nonmontrée) dans l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 reliée à un tuyau menant au récipient de récupération. La réaupération de solution de nettoyage dans le récipient de réaupération compreud les étapes suivantes: 1.Ouvrir la valve daération de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 pourrétablir la pression normale dans la chambre de nettoyage 21; 2. Ouvrir la valve reliant l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 au récipient de récupération pour faire s'écouler la solution de nettoyage de la chambre de nettoyage 21 dans le récipient de réaupération jusqu'à avoir complètement vidé la chambre de nettoyage 21, puis fermer la valve d'aération de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 et la valve reliant l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 au récipient de réaupération. Veuillez vous reporter à la Fig. 2, diagramme conceptuel montrant le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide selon la présente invention. Sur la figure, le dispositif comporte deux dispositifs de vide par pompage tels que sur la Fig. 1, plusieurs chambres sous vide 25 rattachées au dispositif de vide par pompage, plusieurs unités de contrôle de chaleur 60 pour vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage, plusieurs unités d'échappement de chaleur 80 pour condenser les vapeurs de la solution de nettoyage, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement. Les unités de contrôle des flux supérieurs 23 et unités de contrôle des flux inférieurs 24 du dispositif de vide par pompage sont détachables et permettent donc de séparer les chambres de nettoyage 21A et 21B des chambres sous vide 25. Par ailleurs, les chambres de nettoyage 21A et 21B sont prévus pour mener des opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide, et de réaupérer et stocker la solution de nettoyage et la solution de réaupération. La chambre de nettoyage 21A du premier dispositif de vide par pompage est raccordée à la chambre de nettoyage 21B du deuxième dispositif de vide par pompage par un tuyau, sur lequel se trouve une unité d'échappement de chaleur 80, laquelle condense les vapeurs de solution de nettoyage qui y passent en solution de nettoyage à l'état liquide. Les chambres de nettoyage 21A et 21B sont raccordées aux chambres sous vide 25 des deux dispositifs de vide par pompage par des tuyaux, sur lesquels se trouvent des unités d'échappement de chaleur 80, lesquelles condensent les vapeurs de solution de nettoyage qui y passent en solution de nettoyage à l'état liquide. Les chambres de nettoyage 21A et 21B sont équipées dunités d'échappement de chaleur qui condensent la solution de nettoyage à l'état gazeux - en solution de nettoyage à l'état liquide ou solide, et d'unités de contrôle de chaleur qui vaporisent la solution de nettoyage des chambres de nettoyage, ou la subliment, selon qu'elle est à l'état liquide ou solide. Lorsque le processus de vide par absorption de solution de nettoyage à faible absorption d'air est utilisé pour faire le vide dans les chambres de nettoyage, il n'y aura dans les chambres de nettoyage sous vide qu'une pression d'air et de vapeur de solution de nettoyage très basse. L. influence de la pression atmosphérique sur le processus est donc minimisée. La présente invention se base également sur les lois physiques suivantes: les points d ébullition des liquides sont plus baslorsque lapression est basse; la pression de la vapeur saturée est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les press ions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes; le liquide dans les chambres de nettoyage 21A et 21B absorbe donc la chaleur nécessaire à sa vaporisation; les vapeurs ainsiproduites sont condensées en solution de nettoyage propre et à basse température par les unités d'échappement de chaleur 80 connectéss aux chambres sous vide 25; la solution de nettoyage re- condensée peut alors être récupérée dans les chambres sous vide 25. Le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide montré sur la Fig. 2 et décrit ci-dessus peut être utilisé pour le séchage par chauffage sous vide, séchage par congélation sous vide, la récupération de solution de nettoyage ou de solution de réaupération, ou la production de chambre sous vide intermédiaire ou de solution nettoyante à faible absorption d'air. Pour réaupérer le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec en utilisant le dispositif de nettoyage et - de séchage sous vide de la Fig. 2, la chambre de nettoyage 21B est. raccordée à une chambre sous vide 25 par un tuyau branché à une valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23, et à un réservoirdogaz 26 par un autre tuyau branché à une autre valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23. La réaupération de gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec comprend les étapes suivantes: 1.Faire le vide dans la chambre de nettoyage 21B en réalisant le processus de vide par pompage en amenant le dispositif de vide par pompage à son état initial ou à l'état final d'une autre opération qui laisse également la chambre de nettoyage 21B sous vide; 2. Remplir la chambre de nettoyage 21B de gaz en ouvrant la valve dans l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 qui connacte le réservoir de gaz 26, puis refermer cette valve quand la quantité de gaz dans la chambre de nettoyage 21B est suffisante, la chambre de nettoyage 21B étant maintenant une chambre à basse pression remplie de gaz; 3.Après le nettoyage à sec. évacuer le gaz à basse pression de la chambre de nettoyage 21B en ouvrant la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 connectant à la chambre sous vide 25 et la valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 à laquelle est branché le tuyau d'échappement 14! de sorte que la solution de nettoyage soit amenée par le fond de la chambre de nettoyage 21B et expulse le gaz à basse pression dans la chambre sous vide; 4. Refermer la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 connoctant à la chambre sous vide 25. Reportez-vous à la Fig. 3, diagramme conceptuel montrant un modèle de dispositifde nettoyage et deséchage sous vide à plusieurs chambres en série selon la présente invention. Dans le modèle représenté, le dispositif comporte trois chambres de nettoyage 821A, 821B et 821C. Ce dispositif comporte des composants similaires à ceux du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la Fig. 2, mais en diffère par l' addition des portes de communication étanches B et C qui connoctent les chambres de nettoyage 821A, 821B et 821C, et des portes de communication étanches A et D respectivement comme entrée et sortie, lesquelles - quatre portes de communication étanches permettent de faire entrer, traverser, et ressortir, au moyen d'un ruhan transporteur, une pièce à nettoyer 90. Les chambres de nettoyage 821B et 821C sont de par leur état initial sous vide, vide obtenu par l'utilisation du processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air de la présente invention. Le nettoyage et séchage sous vide sur le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série de la Fig. 3 comprend les étapes suivantes: 1. 0uvrir la porte de communication étanche A et utiliser le ruhan transporteur pour amener la pièce à nettoyer dans la première chambre de nettoyage 821A qui a une pression interne normale, puis refermer la porte de communication étanche A; 2. Utiliser le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption dair pour faire le vide dans la première chambre de nettoyage 821A lorsque la pièce a été préparée; ouvrir la porte de communication étanche B et utiliser le ruhan transporteur pour amener lapièce à nettoyer dans la deuxièmachambre denettoyage 821B, puis refermer la porte de communication étanche B; 3. Ouvrir la porte de communication étanche D lorsque la pression interne de la troisième chambre de nettoyage 821C est normale et utiliser le ruban transporteur pour faire sortir la pièce nettoyée de la troisième chambre de nettoyage 821C; et utiliser alors le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air pour faire le vide dans la troisième chambre de nettoyage 821C. Veuillez vous reporter à la Fig. 4, diagramme conceptuel montrant la méthode de production et de récupération de la solution nettoyante à faible absorption d'air du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention. Comme on le voit sur la Fig. 4, lorsque le processus de vide par pompage est utilisé pour faire le vide dans la chambre de nettoyage 21, la surface de la solution de nettoyage dans la chambre de nettoyage 21 est immobile et recouvre l'unité de contrôle de chaleur 60. Le dispositif de la Fig. 4 comprend les points importants suivants: 1.Etant donné que le point débullition des liquides baisse avec la pression, l'unité de contrôle de chaleur 60 peut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération pour chauffer la solution de nettoyage dans la chambre de nettoyage; 2.La chambre de nettoyage 21 a un diamètre important au niveau de la surface du liquide de sorte à faciliter la vaporisation de la solution de nettoyage; S 3.Un récipient de réaupération 95 avec une pression normale est raccordé à une valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 par un tuyau. La méthode de production et de récupération de la solution nettoyante à faible absorption dair avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la Fig. 4 comprend les étapes suivantes: 1.Amener le dispositif de vide par pompage du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à son état initial ou à l'état final dune autre opération, de facon que la pression à la surface du liquide 34 de la chambre inférieure 31 puisse maintenir la hauteur de solution de nettoyage statique dans la chambre de nettoyage 21 pour recouvrir l'unité de contrôle de chaleur 60; 2. Réaliser le processus de vide par pompage afin de faire le vide dans la partie non remplie de la chambre de nettoyage 21; 3.Utiliser l'unité de contrôle de chaleur 60 pour amener la solution de nettoyage dans la chambre de nettoyage 21 à ébullition, et laisser bouillir jusqu'à ce que la pression dans la chambre de nettoyage 21 n'augmente plus; 4.Ouvrir une valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 23 pour ramener la pression normale de la chambre de nettoyage 21, et ouvrir la valve reliant l'unité de contrôle des flux inférieurs 24 au récipient de récupération 95 pour faire s'écouler la solution nettoyante à faible absorption d'air de la chambre de nettoyage 21 dans le récipient de réaupération jusqu'à avoir complètement vidé la chambre de nettoyage 21; refermer alors ces deux valves. Reportez-vous à la Fig. 5, diagramme conceptuel montrant la méthode de réaupération de la solution de nettoyage et de la solution de réaupération qui fait partie du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention. Le processus de vide par pompage est utilisé pour faire le vide dans deuxchambres de nettoyage; les points débullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturée est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les pressions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes, lequel différentiel est utilisé pour la réaupération de solution de nettoyage ou de solution de réaupération. Afin de réaupérer la solution de nettoyage et la solution de récupération avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention, l'une des deux chambres de nettoyage du dispositif sert de chambre de vaporisation 121 pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de réaupération, et l'autre chambre de nettoyage sert de chambre de récupération 221 pour stocker la solution de nettoyage ou la solution de réaupération. Etant donné que le point déébullition des liquides baisse avec la pression, l'unité de contrôle de chaleur 60 se trouvant au fond de la chambre de vaporisation 121 peut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de récupération pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de réaupération dans lachambre de vaporisationl21; Lachambre de vaporisation 121 présente une unité de contrôle des flux supérieurs 123 raccordée à une unité de contrôle des flux supérieurs 223 de la chambre de récupération 221 par un tuyau de condensation 82, au milieu duquel se trouve une unité déchappement de chaleur 80 qui condense les vapeurs qui la traversent en liquide. Un récipient de récupération avec une pression normale (non montré) est raccordé à une valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 224 de la chambre de réaupération 221. Au cours de la vaporisation, la chambre sous vide 121 peut être re-remplie si nécessaire à partir de la chambre supérieure 111 avec la solution de nettoyage ou la solution de récupération réaupérse, de façon à maintenir une certaine hauteur de liquide dans la chambre de vaporisation 121. Il est à noter que la température de la chambre sous vide 121 est plus élevée que celle de la chambre de réaupération 221, et que l'unité de contrôle de chaleur 60 régule la température selon la courbe d'équilibre liquide-gazeux de la solution de nettoyage. Pour éviter que le différentiel de press ion entre la chambre de vaporisation 121 et la chambre de réaupération 221ne soit diminué par de la solution de nettoyage à faible absorption d'air ou de la solution de récupération, les opérations de production de la solution de nettoyage à faible absorption dair peuvent être effectuéss à l'avance afin denlever l'air dissous dans la solution de nettoyage ou la solution de récupération récupérée. La réaupération de solution de nettoyage et de solution de réaupération comprend les étapes suivantes: 1.Amener la chambre de vaporisation 121 du dispositif de vide par pompage à son état initial, de façon que la pression à la surface duliquide de la chambre inférieure 131 puisse maintenir la hauteur de solution de nettoyage statique dans la chambre de vaporisation 121 pour recouvrir l'unité de contrôle de chaleur 60; 2. Amener la chambre de réaupération 221 du dispositif de vide par pompage à son état initial, de façon que la pression àla surface du liquide de lachambre inférieure 231 puisse faire le vide dans la chambre de récupération 221 pour en faire une chambre sous vide; 3.Utiliser la solution de nettoyage ou la solution de récupération réaupérse et le dispositif de vide par pompage de la chambre de vaporisation 121 pour faire le vide dans la partie non remplie de la chambre de vaporisation 121; 4.Utiliser de la solution de nettoyage ou de la solution de réaupération propre à basse température et le dispositif de vide par pompage de la chambre de récupération 221 pour faire le vide dans la chambre de réaupération 221;. 5. Ouvrir la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 123 qui raccorde le tuyau de condensation 82 à la chambre de vaporisation 121 et la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs223 qui raccorde le tuyau de condensation 82 à la chambre de réaupération 221, utiliser l'unité de contrôle de chaleur 60 pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de réaupération de la chambre de vaporisation 121 et qui doit 8tre récupérée. Etant donné que le différentiel de température entre la chambre de récupération 221 et la chambre de vaporisation 121 résulte en un différentiel de pression de vapeur saturse, les vapeurs de la chambre de vaporisation 121 sont entranses dans le tuyau de condensation 82 et l'unité déchappement de chaleur 80 les condensent en solution de nettoyage ou solution de récupération propre et à basse température qui s'écoulent dans la chambre de récupération 221; 6. Lorsque la chambre de réaupération 221 est saturée, fermer la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 223 qui raccorde le tuyau de condensation 82 à la chambre de réaupération 221 et ouvrir la valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 224 connectée à la chambre de réaupération 221, de façon à rétablir la pression normale dans la chambre de réaupération; ouvrir la valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 224 connoctant le récipient de réaupération 221 au récipient de réaupération à pression normale pour faire s'écouler complètement la solution de nettoyage ou la solution de récupération propre dans le récipient de récupération; fermer la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 223 connoctée à la chambre de récupération 221 et la valve de l'unité de contrôle des flux inférieurs 224 connectant le récipient de réaupération 221 au récipient de récupération; utiliser de la solution de nettoyage ou de la solution de récupération propre à basse température et le dispositif de vide par pompage de la chambre de récupération 221 pour faire le vide dans la chambre de récupération 221; puis ouvrir la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 223 qui raccorde le tuyau de condensation 82 à la chambre de réaupération 221 de façon à continuer la réaupération de solution de nettoyage et de solution de récupération. Veuillez vous reporter à la Fig. 6, diagramme conceptuel montrant la méthode de séchage par chauffage sous vide qui fait partie du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention. Le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisé pour faire le vide dans les chambres de nettoyage, et on utilise les lois physiques suivantes pour sécherlapièce: les points d'ébullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturée est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les pressions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes. Etant donné que le point d'ébullition des liquides baisse avec la pression, l'unité de contrôle de chaleur 60 se trouvant au fond de la chambre de nettoyage 321 peut utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de récupération pour vaporiser la solution de nettoyage ou la solution de réaupération dans la chambre de nettoyage 321. Une chambre sous vide 25 est connecté à une valve d'une unité de contrôle des flux supérieurs 323 de la chambre de nettoyage 321 par un tuyau de condensation 82, au milieu duquel se trouve une unité déchappement de chaleur 80 qui condense en liquide les vapeurs qui la traversent. I1 est à noter que l'unité de contrôle de chaleur 60 réqule la température selon la courbe d'équilibre liquide-gazeux de la solution de nettoyage, et que la température de la chambre de nettoyage 221 est plus élevoe que celle de la chambre sous vide 25. Le séchage par chauffage sous vide sur le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la Fig. 6 comprend les étapes suivantes: 1.Faire le vide dans la chambre de nettoyage 321 en réalisant le processus de vide par pompage en amenant -le dispositif de vide par pompage du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à son état initial ou à l'état final d'une autre opération qui laisse également la chambre de nettoyage 321 sous vide; 2.0uvrir la valve de l'unité de contrôle des flux supérieurs 323 qui raccorde la chambre de nettoyage 321 au tuyau de condensation 82, puis utiliser l'unité de contrôle de chaleur 60 pour vaporiser la solution de nettoyage restant sur la pièce à sécher 90. Etant donné que le différentiel de température entre la chambre de nettoyage 321 et la chambre sous vide 25 résulte en un différentiel de pression de vapeur saturée, les vapeurs de la chambre de nettoyage 321 sont entraînées dans le tuyau de condensation 82 et l'unité d'échappement de chaleur 80 les condensent en solution de nettoyage propre et à basse température qui est réaupérée dans la chambre sous vide 25; 3.Continuer la récupération de solution de nettoyage jusqu'à ce que la pression interne dans la chambre de nettoyage 321 ne monte plus. Le séchage par chauffage sous vide est terminé. Veuillez vous reporter à la Fig. 7, diagramme conceptuel montrant la méthode de séchage par congélation sous vide qui fait partie du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention. Le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisé pour faire le vide dans la chambre de nettoyage, et l'unité de contrôle de chaleur et l'unité d'échappement de chaleur sont utilisées alternativement pour contrôler la température nécessaire pour sécher la pièce. Le rôle de l'unité de contrôle de chaleur 60 est d'abaisser la température de la pièce à sécher 90 en dessous de son point eutectique le plus bas et pour fournir la chaleur de sublimation pour la sécher par sublimation. Le rôle de l'unité d'échappement de chaleur 80 est de condenser à l'état solide les vapeurs produites par la sublimation, de façon à maintenir la pression interne de la chambre de nettoyage 521 en dessous de la pression de vapeur saturée à la température de sublimation. L'unité de contrôle de chaleur et l'unité déchappement de chaleur régulent la température selon la courbe d'équilibre solide-gaseux de la solution de nettoyage utilisée pour le séchage par congélation sous vide. Le séchage par congélation sous vide avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la Fig. 7 comprend les étapes suivantes: 1.Faire le vide dans la chambre de nettoyage 521 en utilisant la solution de nettoyage à faible absorption d'air et le processus de vide par pompage pour amener le dispositif de vide par pompage du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à son état initial ou à l'état final d'une autre opération qui laisse également la chambre de nettoyage 521 sous vide; 2. Activer l'unité de contrôle de chaleur 60 pour abaisser la température de la pièce 90 en dessous de son point eutectique le plus bas, activer l'unité d'échappement de chaleur 80 pour vaporiser la solution de nettoyage restant dans la chambre de nettoyage 521, de façon à y obtenir une pression de vapeur supérieure à la pression - de vapeur saturée à la température de l'unité de contrôle de chaleur 60; 3.Lorsque la température de la pièce à sécher 90 est en dessous de soo point eutectique le plus bas, fournir avec l'unité de contrôle de chaleur 60 la chaleur de sublimation afin de sublimer la solution de nettoyage à l'état solide de la pièce à sécher 90, et utiliser l'unitd d'Achappement de obaleur 80 pour condenser l'6tat solide la solution de nettoYage l'4tat gazeux produite par la sublimation, de fagon obteuir une pression de vapeur daus la cha^ re de nettoyage 521 infArieure la pression de vapeur saturde la teprature de sublimation. Reportez-vous la Fig. 8, diagramme conceptuel montrant le dispositif de nettoyage et de schage sous vide plusieurs chambres en srie de la prdente invention et la mAthode de sAchage par congAlation sous vide du dispositif de nettoyage et de schage sous vide plusieurs chambres en srie. Le processus de vide par pompage de solution nettoYante faible absorptign dair estutilis pour faire le vide dans chaque chambre de nettoyage, et la prd-conglation et la condensation des vapeurs sublimes sont utilises alternativement pour contrler la tempArature ncessaire pour sAcher la pice. Comme le montre la figure B. trois chambres de nettoyage 521A, 521B, et 521C -sont connedtds en sAries par des portes de communication Atanches A, B. C et D, et ont respectivement duip6s des unitds de contrle de chaleur 60A, 60B et 60C, et des unitds d'4chappement de chaleur BO. La premibre chambre de nettoyage 521^ est utilise pour prd- geler la pice nettoY4e scher, la deuxiAme cb _ re de nettoyage 521B est utilise pour le sAchage par conglation sous vide, et la troiside chambre de nettoyage 521C permet de faire sortir la pice 90 sche. S7 Le séchage par congélation sous vide avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série de la présente invention comprend les étapes suivantes: 1.Nettoyer la pièce 90 dans la première chambre de nettoyage 521A, activer l'unité de contrôle de chaleur A à pression normale pour pré-geler la pièce 90, et utiliser le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'airà basse température pour faire le vide dans la première chambre de nettoyage 521A; 2.0uvrir la porte de communication étanche B pour faire passer la pièce 90 dans la deuxième chambre de nettoyage 521B, laquelle est déjà sous vide, et fermer la porte de communication étanche B pour y réaliser le séchage par congé l at i on s ous vide; 3. Lorsque la pièce 90 est entièrement sèche, ouvrir la porte de communication étanche C pour faire passer la pièce sèche 90 dans la troisième chambre de nettoyage 521C, fermer la porte de communication étanche C, rétablir une pression d'air normale dans la chambre de nettoyage521C, ouvrir laporte de communication étanche D pour faire sortir la pièce 90, puis utiliser le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption dair pour faire le vide dans la troisième chambre de nettoyage 521C. Reportez-vous à la Fig. 9, diagramme conceptuel montrant laméthode pour obtenirune chambre sous vide intermédiaire qui fait partie du dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention. Le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air est utilisé pour faire le vide dans les deux chambres de nettoyage, et on utilise les lois physiques suivantes pour obtenir une chambre sous vide intermédiaire: les points débullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturée est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un dif férentiel de press ion entre les pres s ions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes. Comme le montre la Fig. 9, l'une des deux chambres de nettoyage sous vide est une chambre sous vide 25 qui peut être détachée du tuyau de la chambre supérieure 12 et du tuyau de la chambre inférieure 32 qui y sont connoctés, ce qui permet dobtenir une chambre sous vide 25 indépendante La chambre sous vide 25 est équipée extérieurement dunités de contrôle de chaleur 60 qui produisent la température nécessaire au niveau de vide que l'on souhaite avoir dans la chambre sous vide 25. La chambre sous vide est connectée à une autre chambre de nettoyage 21 par un tuyau de condensation 82. Une unité d'échappement de chaleur 80 se trouve au milieu du tuyau de condensation 82 et condense les vapeurs qui la traversent en liquide. L'unité de contrôle de chaleur 60 régule la température selon la courbe d'équilibre liquide-gazeux de la solution de nettoyage, et la température de la chambre sous vide 25 est plus élevée que celle de la chambre de nettoyage 21. L'obtention de la chambre sous vide intermédiaire avec le dispositif de nettoyage et de séchage sous vide de la présente invention comprend les étapes suivantes: 1.Amenerla chambre sous vide 25 et lachambre de nettoyage 21 du dispositif de vide par pompage à leur état initial enutilisantle processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption dair pour faire le vide dans les deux chambres; 2. Utiliser les unités de contrôle de chaleur 60 pour vaporiser la solution de nettoyage restant dans la chambre sous vide 25 et pour chauffer davantage les vapeurs de la chambre sous vide 25 afin de les assécher. Etant donné que le différentiel de température entre la chambre de nettoyage 21 et la chambre sous vide 25 résulte en un différentiel de pression, les vapeurs sont entraînses dans le tuyau de condensation 82 etl'unité d'échappement de chaleur 80 les condensent en solution de nettoyage propre et à basse température qui est récupérée dans la chambre de nettoyage 21; 3.Lorsque la température interne de la chambre sous vide ne monte plus, détacher la chambre sous vide 25 du dispositif de vide par pompage et du tuyau de condensation 82, et la laisser refroidir de façon obtenir du vide intermédiaire. Reportez-vous la Fig. 10, diagramme conceptuel montrant comment la présente invention est utilisée pour le nettoyage à sec et le dégraissage en phase liquide avec différents types de solution de nettoyage A, B et C. Lorsqu'une pièce à nettoyer dans la chambre de nettoyage doit être traitée avec plusieurs types de solution de nettoyage successivement, le dispositifcomportealors des chambres supérieures et des chambres inférieures * différentes pour chaque type de solution de nettoyage. Chaque chambre supérieure contient un type particulier de solution de nettoyage qui est amenée à la chambre de nettoyage selon laprocédure définie pour nettoyerlapièce Le processus de vide par pompage est utilisé pour faire le vide dans la chambre de nettoyage. Les solutions de nettoyage sont réaupérces dans leur chambre inférieure respective ou bien directement dans leur récipient de réaupération à pression normale respectif. Dans le modèle illustré sur la Fig. 10, il y a trois chambres supérieures 711A, 711B, et 711C raccordéss à une unité de contrôle des flux supérieurs 723 dune chambre de nettoyage 721 par les tuyaux de la chambre supérieure 712 correspondants, et trois chambres inférieures 731A, 731B, et 731C raccordées à une unité de contrôle des flux inférieurs 724 de la chambre de nettoyage 721 par les tuyaux de la chambre supérieure 732A, 732B et 732C correspondants. L'unité de contrôle des flux supérieurs 723 de la chambre de nettoyage 721 comporte une valve dadmission pour pouvoir rétablir une pression normale dans la chambre de nettoyage 721. L,unité de contrôle des flux inférieurs 724 de la chambre de nettoyage 721 présente plusieurs valves connoctant la chambre de nettoyage 721 à trois récipients de réaupération A, B et C à pression normale, permettant de récupérer les différents types de solution de nettoyage et les conserver dans leur récipient de réaupération respectif. Le dispositif de la Fig. 10 peut être considéré comme une combinaison de plusieurs dispositifs de vide par pompage. Après avoir rassemblé les donnses de densité de chaque type de solution de nettoyage et des volumes de chaque chambre inférieure 731A, 731B et 731C, il est possible de configurer chaque type de solution de nettoyage en suivant les mêmes étapes que pour configurer l'état initial du dispositif de vide par pompage. La configuration de l'état initial du dispositif de la Fig. comprend les étapes suivantes: 1. Utiliser le processus de vide par pompage pour faire le vide dans la chambre de nettoyage 721, suivre la procédure de nettoyage, puis laisser s'écouler les solutions de nettoyage A, B et C de la chambre de nettoyage721dans leurs chambres inférieures731A,731B et 731C respectives; 2.Utiliser les pompes aspirantes pour aspirer les troppleins de solution de nettoyage des chambres inférieures 731A, 731B et 731C dans leurs récipients de récupération A, B et C respectifs de façon à rétablir les pressions initiales dans les chambres inférieures 731A, 731B et 731C. Les autres opérations avec le dispositif de la Fig. 10 sont les mêmes que celles décrites dans les différents paragraphes ci-dessus. Reportez-vous à la Fig. 11, diagramme conceptuel montrant que la présente invention comprend plusieurs chambres de travail connectées à une chambre supérieure commune et une chambre inférieure commune. Le modèle illustré sur la Fig. 11 comporte une chambre supérieure 611, trois chambres de nettoyage 621A, 621B et 621C, etune chambre inférieure 631 Les volumes des chambres de nettoyage 621A, 621B et 621C peuvent être différents. La chambre supérieure 611 et la chambre inférieure 631 sont raccordées à chacune des chambres de nettoyage 621A, 621B et 621C de façon à ce qu'ils puissent fonctionner comme trois dispositifs de vide par pompage indépendants. La configuration de l'état initial du dispositif de la Fig. 11 comprend les étapes suivantes: 1. Rassembler les données de densité de chaque type de solution de nettoyage et des volumes de chacune des chambres de nettoyage 621A, 621B, 621C et de la chambre inférieure 631; régler la différence de hauteur entre la plus grosse des chambres de nettoyage et la chambre inférieure; calculer la pression dans la chambre inférieure 631; et utiliser la valeur obtenue à la surface du liquide dans la chambre inférieure 631 pour calauler la différence de hauteur entre les autres chambres de nettoyage et la chambre inférieure; 2.Alimenter la chambre inférieure 631 en solution de nettoyage en ouvrant la valve de pompe 634, la valve déchappement 635 et la valve de la chambre inférieure 633, en démarrant la pompe aspirante 653 pour aspirer la solution de nettoyage de la chambre de traitement ultérieur dans la chambre inférieure 631 jusqu'à atteindre le niveau de liquide souhaité, puis refermer la valve d'échappement 635; 3.Alimenter la chambre supérieure 611 en solution de nettoyage en fermant toutes les valves de la chambre supérieure 613, en remplissant lachambre supérieure 611 avec la solution de nettoyage, puis ré-alimenter réqulièrement la chambre supérieure 611 afin d'y maintenir une hauteur de liquide constante; 4. Réguler la pression à la surface du liquide 634 dans la chambre inférieure 631 en fermant toutes les valves de la chambre inférieure 633, et en démarrant la pompe aspirante 653 pour aspirer la solution de nettoyage de la chambre inférieure 631 dans la chambre de traitement ultérieur ayant une pression normale. La pression à la surface du liquide 634 dans la chambre inférieure 631 baisse lorsque celle-ci sabaisse. Lorsque la pression à la surface du liquide 634 de la chambre inférieure 631 atteint une valeur prédéterminée, fermer la pompe aspirante 653 et la valve de pompe 654; 5. Utiliser les mécanismes élévateurs pour ajuster la différence de hauteur entre le niveau inférieur et chacune des chambres de nettoyage 621A, 621B et 621C. En fonction des besoins réels et de la procédure à suivre, utiliser le processus de vide par pompage pour faire levide dans chacune des chambres de nettoyage 621A, 621B et 621C. Après que le vide a été fait dans les chambres de nettoyage, la solution de nettoyage s'écoule des trois chambres de nettoyage sous vide dans la chambre inférieure 631. Utiliser la pompe aspirante 653 pour vider le surplus de solution de nettoyage de la chambre inférieure 631 dans la chambre de traitement ultérieur réqulièrement, de facon à rétablir la pression initiale dans la chambre inférieure 631. En résumé, la présente invention est un dispositif de nettoyage et de séchage sous vide comportant un ou plusieursdispositifs de vide par pompage, une ou plusieurs chambres sous vide préparées par les dispositifs de vide par pompage, une ou plusieurs unités de contrôle de chaleur pour vaporiser ou sublimer de la solution de nettoyage, une ou plusieurs unités d'échappement de chaleur pour condenser des vapeurs, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement. En utilisant le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air sur le dispositif de vide par pompage, chaque chambre de nettoyage du dispositif peut devenir une chambre de nettoyage sous vide avec une pression dair et de gaz de solution de nettoyage très basse dans sa partie non remplie. La présente invention se base également sur les lois physiques suivantes: les points débullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturse est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les pressions de vapeurs saturses de deux chambres sous vide de températures différentes, quipermet d'utiliser la chambre de nettoyage en vase clos pour réaliser le séchage par chauffage sous vide ou le séchage par congélation sous vide ou d'autres opérations directement après le nettoyage à sec ou le dograissage en phase liquide. Ainsi, plusieurs opérations, y compris les opérations de dégraissage en phase liquide, nettoyage àsec, séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide, peuvent donc être effectuées en un seul processus, et le gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec. la solution de nettoyage et la solution de récupération peuvent être réaupérées. lO Bien que la présente invention ait été décrite en faisant référence à certaines conceptions privilégises, de nombreuses altérations et modifications peuvent être effectuées sur ces conceptions sans s'éloigner de l' esprit de l' invention qui n'estlimitée que par les revendications en annexe. La méthode et le dispositif de la présente invention pour réaliser des opérations multiples de nettoyage et de séchage sous vide en vase clos présente les avantages suivants par rapport à d'autres méthodes et dispositifs connus dans les techniques actuelles: La présente invention utilise une pompe aspirante pour réduire la pression de la chambre inférieure scellée afin daugmenter le niveau de vide dans la chambre de nettoyage plutôt que d'utiliser un système de vide. Ceci permet à la présente invention de réduire les coûts efficacement. La présente invention utilise le processus de vide par pompage pour enchaîner (1) le dégraissage en phase liquide et le séchage par chauffage sous vide, (2) le dégraissage en phase liquide et le séchage par congélation sous vide, et (3) le dograissage en phase liquide et le nettoyage à sec. et utilise des unités de contrôle de chaleur et des unités déchappement de chaleur pour réaupérer la solution nettoyante à faible absorption d'air au cours du séchage par chauffage sous vide et du séchage par congélation sous lO vide, pour réaupérer la solution de nettoyage et la solution de réaupération utilisées pour le dégraissage en phase liquide, et pour obtenir des chambres sous vide intermédiaire et de récupérer le gaz à bas se press ion - utilisé pour le nettoyage à sec afin de protéger l'environnement. Après avoir fait le vide dans la chambre de nettoyage avec le processus de vide par pompage, la présente invention se base sur le fait que les points débullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse, de facon à pouvoir utiliser de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de récupération pour le séchage par chauffage sous vide, pour réaupérer la solution de nettoyage et la solution de récupération, et pour obtenir des chambres sous vide intermédiaire afin déconomiser de l'énergie. La présente invention utilise le processus de vide par pompage pour amener la chambre de nettoyage à une pression d'air et de gaz de solution de nettoyage très basse; l'unité de contrôle de chaleur utilise de l'énergie thermique à basse température pour vaporiser la solution de nettoyage ou autres liquides dans la chambre de nettoyage sous vide, puis l'utilisation de l'unité d'échappement de chaleur en conjonction avec l'application du principe de différentiel de pression condense les vapeurs de solution de nettoyage ou d'autres vapeurs en liquide qui est alors réaupéré dans la chambre sous vide; il est ainsi possible de réaliser les opérations de séchage par chauffage sous vide, de réaupération de solution de nettoyage et de solution de réaupération, et d'obtention de chambre sous vide intermédiaire à des coûts de fabrication et de matériels réduits. La présente invention utilise le processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption d'air pour faire le vide dans la chambre de nettoyage de façon que la seule pression qui s'y exerce vienne de la vapeur de solution de nettoyage, et utilise lunité de contrôle de chaleur pour contrôler la température de la pièce à sécher et l'unité déchappement de chaleur pour contrôler la pression à l'intérieur de la chambre de nettoyage sous vide, de façon à pouvoir réaliser le séchage par congélation sous vide à des coûts de fabrication et de matériels réduits. Revendications: 1.Une méthode pour mener des opérations multiples de dégraissage en phase liquide, nettoyage à sec. séchage par chauffage sous vide et séchage par congélation sous vide en vase clos en un même processus sans l'utilisation dun système de vide, de réaupérer le gaz à basse pression utilisé pour le dit nettoyage à sec. et de récupérer la solution de nettoyage et la solution de réaupération afin de protoger l'environnement et d'économiser de l'énergie, présentant les caractéristiques suivantes: propose un dispositif de nettoyage et de séchage sous vide ou un dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à chambres multiples en série qui comporte au moins un dispositif de vide par pompage, au moins une chambre sous vide rattachée au dispositif de vide par pompage, au moins une unité de contrôle de chaleur pour vaporiser ou sublimer la solution de nettoyage, au moins une unité d'échappement de chaleur pour condenser les vapeurs de la solution de nettoyage, ainsi que divers accessoires, tels que des tuyaux de raccordement; enutilisantle processus de vide par pompage de solution nettoyante à faible absorption dair avec le dispositif de vide par pompage, la chambre de nettoyage, qui n'est pas complètement remplie de solution de nettoyage, devient une chambre sous vide avec une pression d'air et de gaz de solution de nettoyage très basse, réduisant au minimum l' influence de la pression atmosphérique sur les opérations rénlisées avec le dispositifde nettoyage S et de séchage sous vide; et prend avantage de lois physiques - les points d'ébullition des liquides sont plus bas lorsque la pression est basse; la pression de la vapeur saturée est moindre lorsque la température est moindre; et il existe un différentiel de pression entre les pressions de vapeurs saturées de deux chambres sous vide de températures différentes - en conjonction avec au moins une unité de contrôle de chaleur et au moins une unité d'échappement de chaleur, permettant d'utiliser ladite chambre de nettoyage hermétique directement après le nettoyage à sec ou le dograissage en phase liquide pour réaliser le séchage par chauffage sous vide, le séchage par congélation sous vide, l'obtention de chambres sous vide intermédiaire, la réaupération dudit gaz à basse pression utilisé pour le nettoyage à sec et desdites solution de nettoyage et solution de réaupération. 2. La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle chacun desdits dispositifs de nettoyage et de séchage sous vide comporte unochambre de nettoyage, une chambre inférieure situse sous ladite chambre de nettoyage, ces chambres étant placées à des hauteurs différentes, un tuyau de raccordement équipé de valves relie entre elles lesdites chambres, de plus ces deux chambres hermétiquement closes et peuvent être scellées d'une manière prédéterminée; ladite chambre de nettoyage peut être équipée de divers accessoires suivant les besoins réels; ladite chambre inférieure a une grande capacité et un diamètre important au niveau de la surface du liquide et elle n'est pas complètement remplie de ladite solution de nettoyage, et ladite chambre inférieure a une pression interne a une pression interne qui dépend de la différence de hauteur entre ladite chambre de nettoyage et ladite chambre inférieure, une dite solution de nettoyage ayant une densité spécifique, un volume de ladite chambre de nettoyage et le volume de ladite chambre inférieure, et une pression qui est plus basse que la normale pour permettre de vider complètement ladite solution de nettoyage de la chambre de nettoyage vers ladite chambre inférieure, et ladite chambre inférieure étant équipée d'une pompe aspirante pour aspirer ladite solution de nettoyage de la chambre inférieure dans un récipient de- récupération à pression normale ou une chambre de traitement ultérieuret aspirant ladite solution de nettoyagodudit récipient de récupération ou de ladite chambre de \ traitement ultérieur vers ladite chambre inférieure et réquler ainsi la hauteur et la pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure. 3.La méthode telle que revendiquée dans la revendication l, dans laquelle il estutilisé au moins deux dispositifs de vide par pompage et dans laquelle ladite chambre de nettoyage du premier des dispositifs de vide par pompage est connectée et communique avec la chambre de nettoyage du deuxième des dispositifs de vide par pompage par un premier tuyau et sur lequel tuyau au moins une unité d'échappement de chaleur est placée dans une position prédéterminée pour condenser les vapeurs de la dite solution de nettoyage en liquide. Ladite chambre de nettoyage des dits deux dispositif de vide par pompage étant connectée à la chambre sous vide produite par ladit dispositif de vide par pompage via des tuyaux secondaires, et l'unité d'échappement de chaleur est aussi installée sur les tuyaux secondaires à des positions prédéterminées pour condenser les vapeurs de ladite solution de nettoyage en liquide; Ladite unité d'échappement de chaleur est aussi placée dans ladite chambre de nettoyage des dits deux dispositifs de vide par pompage pour condenser ladite solution de nettoyage d'un état gazeux en liquide ou à c l'état solide; et ladite unité de contrôle de chaleur étant placée dans ladite chambre de nettoyage des dits deux dispositif de vide par pompage pour vaporiser ladite solution de nettoyage en état liquide dans ladite chambre de nettoyages ou sublimer ladite solution de nettoyage en état solide dans ladite chambre de nettoyage. 4.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 3, dans laquelle ledit processus de vide par pompage inclut les étapes suivantes: a. Amener au moins l'un des dits dispositifs de vide par pompage à son état initial ou à l'état final d'une autre opération; b. Remplir ladite chambre de nettoyage avec ladite solution de nettoyage et puis sceller ladite chambre de nettoyage; c. Faire le vide dans ladite chambre de nettoyage en ouvrant ladite valve sur ladit tuyau de raccordement et faire entrer ladite solution de nettoyage dans ladite chambre de nettoyage dans ladite chambre inférieure qui est scellée; dans laquelle la hauteur de ladite solution de nettoyage qui est dans un état statique est la hauteur de la solution de nettoyage de la même densité qui peut être maintenue sous la pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure scellée; d. Pomper l'excès de ladite solution de nettoyage hors de la chambre inférieure scellée et réduire ladite pression à la surface du liquide à l'intérieur en fermant ladite valve sur ledit tuyau de raccordement, démarrer ladite pompe aspirante pour lO aspirer ladite solution de nettoyage hors de la dite chambre inférieure vers ledit récipient de réaupération ou ladite chambre de traitement ultérieur jusqu'à ce que ladite pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure atteigne une pression prédéterminée, et puis fermer ladite pompe aspirante et sceller ladite chambre inférieure; et e. Retourner à l'étape (c) jusqu'à ce que le niveau statique de la solution de nettoyage atteigne la hauteur requise. 5.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 4, dans laquelle l'état initial dudit dispositif de vide par pompage est réglé par les étapes suivantes: f. Rassembler les données sur la densité de ladite solution de nettoyage à utiliser, sur le volume de ladite chambre de nettoyage, et sur le volume de ladite chambre inférieure; régler la différence de hauteur entre ladite chambre de nettoyage et ladite chambre inférieure; et calouler la pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure; g. Alimenter en ladite solution de nettoyage ladite chambre inférieure en ouvrant ladite valve sur ledit tuyau de raccordement, démarrer ladite pompe aspirante pour aspirer ladite solution de nettoyage dudit récipient de réaupération ou de ladite chambre de traitement ultérieur vers ladite chambre inférieure, qui a alors une pression interne normale, jusqu'à ce que le niveau de liquide prédéterminé soit atteint dans ladite chambre inférieure, et fermer ladite valve sur ledit tuyau de raccordement pour sceller ladite chambre inférieure; h. Régler ladite pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure en démarrant ladite pompe aspirante pour aspirer ladite solution de nettoyage de ladite chambre inférieure scellée vers ledit récipient de récupération ou vers ladite chambre de traitement ultérieur, et fermer ladite pompe aspirante quand la pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure scellée atteint la pression prédéterminse; et i. Ajuster ladite différence de hauteur entre ladite chambre de nettoyage et ladite chambre inférieure. 6.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de dégraissage en phase liquide et ladite opération de séchage par chauffage sous vide sontliées par lesétapes suivantes: terminer l adite opérat ion de dégrai s sage en phase liquide, et puis mettre en _uvre ledit processus de vide par pompage pour produire le vide dans ladite chambre de nettoyage, et puis réaliser ladite opération de séchage par chauffage sous vide dans la chambre de nettoyage sous vide. 7.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de dégraissage en phase liquide et ladite opération de séchage par congélation sous vide sont liées par les étapes suivantes: terminer ladite opération de dégraissage en phase liquide, et puis utiliser ladite solution de nettoyage à faible absorption d'air et ledit processus de vide par pompage pour produire le vide dans ladite chambre de nettoyage, et puis réaliser ladite opération de séchage par congélation sous vide dans la chambre de nettoyage sous vide. 8.La méthode telle que revendiquce dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de dograissage en phase liquide etladite opération de nettoyage à secsont liées par les étapes suivantes: terminer ladite opération de dégraissage en phase liquide, et puis mettre en _uvre ledit processus de vide par pompage pour produire le vide dans ladite chambre de nettoyage, et puis réaliser ladite opération de nettoyage à sec dans la chambre de nettoyage sous vide. 9.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de nettoyage à sec et ladite récupération des gaz à basse pression utilisés dans ledit nettoyage à sec sont mises en _uvre par les étapes suivantes: j. Faire le vide dans la dite chambre de nettoyage en mettant en _uvre ledit processus de vide par pompage, ce qui laisse a chambre de nettoyage sous vide, k. Remplir ladite chambre de nettoyage sous vide obtenu dans étape (a) avec le gaz utilisé pour ledit nettoyage à sec. de façon à ce que ladite chambre de nettoyage devienne une chambre ayant une pression basse, remplie avec ledit gaz; et Après avoir terminé ladite opération de nettoyage à sec. introduire par le bas ladite solution de nettoyage dans ladite chambre de nettoyage via le fond de celle-ci de façon à faire monter la surface du liquide dans ladite chambre de nettoyage et ainsi expulser ledit gaz à basse pression de ladite chambre de nettoyage vers l'une au moins des dites chambres sous vide connectées, de façon à ce que ledit gaz à basse pression soit complètement réaupéré. lO.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite solution de nettoyage à faible absorption dair est produite par les étapes suivantes: m. Régler la pression à la surface du liquide pour ladite chambre inférieure, de façon à ce que le niveau de liquide de ladite solution de nettoyage devienne statique dans ladite chambre de nettoyage et recouvre ladite unité de contrôle de chaleur installée dans ladite chambre de nettoyage; n. Mettre en _uvre ledit processus de vide par pompage pour produire pour produire le vide dans une partie du volume de ladite chambre de nettoyage; o. Utiliser ladite unité de contrôle de chaleur pour chauffer ladite solution de nettoyage dans ladite chambre de nettoyage pour faire bouillir ladite surface du liquide dans ladite chambre de nettoyage; faire chauffer ladite solution de nettoyagejusqu'à ce que la pression dans ladite chambre de nettoyage cesse de monter, et p. Ramener ladite chambre de nettoyage à une pression normale en pompant ladite solution de nettoyage à faible absorption d'air dans un récipient de réaupération ayant une pression interne normale, connecté à ladite ladite chambre de nettoyage. ll.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de séchage par chauffage sous vide est réalisée selon les étapes suivantes: q. Faire le vide dans la dite chambre de nettoyage en mettant en _uvre leditprocessus de vide par pompage, ce qui laisse la chambre de nettoyage sous vide, et r. Utiliser ladite unité de contrôle de chaleur pour fournir de la chaleur, de facon à ce que ladite solution de nettoyage restante sur la pièce à nettoyer sèche dans la dite chambre de nettoyage absorbe la chaleur fournie par ladite unité de contrôle de chaleur et se vaporise; comme une différence de température entre ladite chambre de nettoyage et ladite chambre sous vide produit un différentiel dans les pressions de vapeur saturée, ladite solution de nettoyage vaporisée dans ladite chambre de nettoyage se déplace vers l'unité d'échappement de chaleur connectée à l'une au moins des dites chambres sous vide et se condense en une solution de nettoyage propre et de basse température qui s'écoule dans ladite chambre sous vide et est récupérée; et s. Récupérer la solution de nettoyage propre et de basse température jusqu'à ce que la pression dans ladite chambre de nettoyage ne monte plus. 12.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de séchage par congélation sous vide est réalisé selon les étapes suivantes: t. Faire le vide dans la dite chambre de nettoyage en mettant en _uvre ladit processus de vide par pompage, ce qui laisse la chambre de nettoyage sous vide, et u. Utiliser ladite unité de contrôle de chaleur pour contrôler la température de la pièce à sécher dans ladite chambre de nettoyage et diminuer ladite température jusqu'à un point plus bas que le point eutectique de ladite pièce; utiliser ladite unité d'échappement de chaleur pour contrôler la pression dans ladite chambre de nettoyage sous vide obtainue à l'étape (a) et fournir la chaleur de vaporisation pour vaporiser ladite solution de nettoyage restant dans ladite chambre de nettoyage sous vide, de facon à ce que la presion de la vapeur dans ladite chambre de nettoyage soit plus importante que la vapeur de la pression saturée à une température déterminée pour ladite unité de contrôle de chaleur; et v. Quand la pièce à sécher atteint une température plus basse que ce point eutectique le plus bas, régler ladite unité de contrôle de chaleur pour qu'elle produise une température de sublimation pour sublimer ladite solution de nettoyage à l'état solide dans la pièce à sécher, et utiliser ladite unité déchappement de chaleur pour condenser les vapeurs de ladite solution de nettoyage produite lors de la sublimation en une solution de nettoyage à l'état solide de nouveau, de façon à ce que la pression interne de ladite chambre de nettoyage soit touj ours sous la pression de vapeur saturée à ladite température de sublimation; et w. Continuer les opérations ci-dessus jusqu'à ce que la pression dans ladite chambre de nettoyage ne monte plus 13. La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle la réaupération de la solution de nettoyage et de la solution de réaupération sont réalisées selon les étapes suivantes: x. Utiliser au moins une des dites chambre de nettoyage comme chambre de vaporisation pour vaporiser ladite solution de nettoyage ou ladite solution de réaupération, et utiliser une autre des dites chambre de nettoyage comme chambre de récupération pour récupération la solution de nettoyage propre et la solution de réaupération; y. Régler la pression à la surface du liquide de ladite chambre inférieure connectée à ladite chambre de vaporisation, de façon à ce que la hauteur de ladite solution de nettoyage ou de ladite solution de récupération devienne statique dans ladite chambre de vaporisation et recouvre l'unité de contrôle de chaleur disposée à l'intérieur; et régler la pression à la surface du liquide dans ladite chambre inférieure connecté à ladite chambre de récupération, de façon à ce que la dite chambre de réaupération puisse devenir une chambre complètement sous vide; z. utiliser ladite solution de nettoYage ou ladite solution de rAcupAration qui doit atre rcup4de et ladit processus de vide par p _ age sur ladit dispositif de vide par pompage de ladite chambre de vaporisation pour produire le vide dans une partie du volume de ladite cha^ re de vaporisation; et utiliser de la solution de nettoyage propre et de basse tep4rature et ledit processus de vide par pompage sur ledit dispositif de vide par pompage de ladite chambre de rcupAration pour que l'enseble de ladite chambre de rcupration devlenne une chambre sous vide; 1S aa. utiliser l'unitd de contrale de chaleur dans ladite chambre de vaporisation pour chauffer ladite solution de nettoyage ou ladite solution de rAcupAration qui est dans ladite chambre de vaporisation et qui doit tre rAcuprde, de fagon ce que ladite solution de nettoYage ou ladite solution de rdoupration qui doit tre rcuprde absorbent la chaleur de vaporlsation et soient vaporises; et comme Une diffrence de tempArature entre ladite chambre de rcupration et ladite 2S chambre de vaporisation cause un diffArentiel de pression de vapeur saturde, ladite solution de nettoYage vaporise dans ladite chambre de vaporisation va se diriger vers l'unitd d'échappement de chaleur connectée à ladite chambre de réaupération et va se condenser en une solution de nettoyage propre ou solution qui s'écoulera dans ladite chambre de réaupération. 14.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite chambre sous vide intermédiaire est produite par les étapes suivantes: bb.Utiliser une au moins des chambre de nettoyage comme chambre sous vide et une autre desdites chambre de nettoyage comme chambre de réaupération, dans laquelle ladite chambre sous vide est détachable dudit dispositif de vide par pompage; cc.Faire le vide dans ladite chambre sous vide et ladite chambre de récupération en utilisant ledit processus de vide par pompage; dd.Utiliser une unité de contrôle de chaleur dans ladite chambre sous vide pour vaporiser ladite solution de nettoyage restant dans ladite chambre sous vide, et chauffer les vapeurs produites dans ladite chambre sous vide pour les sécher; comme une différence de température entre ladite chambre sous vide et ladite chambre de récupération résulte en un différentiel de pression saturée, ladite solution de nettoyage vaporisée dans ladite chambre sous vide se déplace vers l'unité d'échappement de chaleur connectée à ladite chambre de réaupération et se condense en une solution de nettoyage propre qui s'écoule dans ladite chambre de réaupération; et ee.Quand la pression interne de ladite chambre sous vide n'augmente plus, sceller et détacher ladite chambre sous vide dudit dispositif de vide par pompage, et laisser ladite chambre sous vide détachée se refroidir, de façon à ce que un vide intermédiaire soit produit dans ladite chambre sous vide. 15.La méthode telle que revendiquse dans la revendication 1, dans laquelle ledit dispositif de nettoyage et de séchage sous vide à plusieurs chambres en série est composé de plusieurs chambres de nettoyage étant connectées en série l'une à l'autre via plusieurs portes de communication étanches, et un ruban transporteur pour transférer une pièce à nettoyer dune chambre de nettoyage à lautre. 16.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 1, dans laquelle ladite opération de séchage par congélation sous vide est réalisée sur ledit dispositif denettoyage et deséchage sous videsplusieurs chambres en série en suivant les étapes suivantes: ff. Placer la deuxième et la troisième des dites plusieurs chambres de nettoyage dans un état initial en utilisant ladite solution de nettoyage à faible absorption d'air et ledit processus de vide par pompage sur lesdites deuxième et troisième chambres de nettoyage pour produire le vide à l'intérieur, de facon à ce que lesdites deuxième et troisième chambres de nettoyage deviennent des chambres de nettoyage sous vide; gg. Faire entrer ladite pièce à sécher dans la première desdites plusieurs chambres de nettoyage, et activer l'unité de contrôle de chaleur dans ladite première chambre de nettoyage à pression normal, de façon à ce que ladite pièce à sécher soit pré-gelée; en utilisant une basse température, la solution de nettoyage à faible absorption d'air et ledit processus de vide par pompage pour produire le vide dans ladite première chambre de nettoyage; ouvrir la deuxième desdites plusieurs portes de communication étanches située entre ladite première et deuxième chambres de nettoyages pour transférer ladite pièce à sécher de ladite première dans ladite deuxième chambre de nettoyage sous vide; et alors fermer ladite deuxième porte de communication étanche; hh.Réaliser ladite opération de séchage par congélation sous vide sur ladite pièce à sécher dans ladite deuxième chambre de nettoyage sous vide; après avoir terminé ladite opération de séchage par congélation sous vide, ouvrir la troisième desdites plusieurs portes de communication étanche situce entre ladite deuxième et troisième chambre de nettoyage sous vide, de façon à ce que ladite pièce séchée soit transférée de ladite deuxième chambre vers ladite troisième chambre de nettoyage sous vide; et alors fermer ladite troisième porte de communication étanche; et ii.Ramener ladite troisième chambre de nettoyage sous vide à une pression interne normale et retirer ladite pièce séchée hors de ladite troisième chambre de nettoyage; et utiliser ladite solution de nettoyage à faible absorption d'air et ledit processus de vide par pompage pour produire le vide dans ladite troisième chambre de nettoyage, de facon à ce que ladite troisième chambre de nettoyage redevienne de nouveau une chambre sous vide. 17.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 12, comprenant également les étapes suivantes avant de réaliser ladite opération de séchage par congélation sous vide: activer ladite unité de contrôle de chaleur sous pression normal pour pré-geler ladite pièce à sécher, de façon à ce que le liquide dans ladite pièce à sécher se change en crystaux de grande taille après avoir été gelé, et utiliser une basse température, la solution de nettoyage à faible absorption d'air et ledit processus de vide par pompage pour produire le vide dans ladite chambre de nettoyage. 18.La méthode telle que revendiquée dans la revendication , dans laquelle ladite unité de contrôle de chaleur réqule la température sur la courbe d'équilibre liquide-gazeux de ladite solution de nettoyage en utilisant ladite méthode, et ladite unité de contrôle de chaleur peut introduire de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération. l9.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 11, dans laquelle ladite unité de contrôle de chaleur réqule la température sur la courbe d'équilibre liquide-gazeux de ladite solution de nettoyage en utilisant ladite méthode, et ladite unité de contrôle de chaleur peut introduire de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de récupération. 20.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 13, dans laquelle ladite unité de contrôle de chaleur régule la température sur la courbe d'équilibre liquide-gazeux de ladite solution de nettoyage utilisant ladite méthode, et ladite unité de contrôle de chaleur peut introduire de l'énergie thermique à basse température ou chaleur de réaupération. 21.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 14, dans laquelle ladite unité de contrôle de chaleur régule la température sur la courbe d'équilibre liquide-gazeux de ladite solution de nettoyage utilisant ladite méthode, et ladite unité de contrôle de chaleur peut introduire de l'énergie thermique à lO basse température ou chaleur de réaupération. 22.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 12, dans laquelle ladite unité de contrôle de chaleur et ladite unité d'échappement de chaleur régulent la température sur la courbe d'équilibre solide-gazeux de ladite solution de nettoyage utilisant ladite méthode. 23.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 16, dans laquelie ladite unité de contrôle de chaleur et ladite unité d'échappement de chaleur réqulent la température sur la courbe d'équilibre solide-gazeux de ladite solution de nettoyage utilisant ladite méthode. 24.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 10, dans laquelle ladite chambre de nettoyage est une chambre ayant un diamètre important au niveau de la surface du liquide de sorte à augmenter la zone de vaporisation. 25.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 11, dans laquelle ladite chambre de nettoyage a une température plus haute que celle dans ladite chambre sous vide. 26.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 14, dans laquelle ladite chambre sous vide a une température plus haute que celle dans ladite chambre de réaupération. 27.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 13, dans laquelle ladite chambre de vaporisation a une température plus haute que celle dans ladite chambre de réaupération. 28. La méthode telle que revendiquée dans la revendication 13, dans laquelle l'étape de production de ladite solution de nettoyage à faible absorption d'air est utilisoe avant ladite étape (a) pour enlever l'air dissous dans ladite solution de nettoyage ou ladite solution de réaupération qui doit être réaupérée. 29.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 13, dans laquelle quand ladite chambre de réaupération est saturée et que ladite solution de nettoyage condensée, propre et de basse température arrête de s'écouler dans ladite chambre de récupération, ladite chambre de réaupération retourne à une pression normale et ladite solution de nettoyage propre dans ladite chambre de réaupération est drainée dans un récipient de récupération ayant une pression interne normale connocté à ladite chambre de réaupération; et ladite solution de nettoyage complètement draince et ledit processus de vide par pompage étant utilisé pour produire le vide dans ladite chambre de réaupération, de façon à ce que ladite chambre de récupération en entier devienne une chambre sous vide pour faciliter la récupération ultérieure de ladite solution de nettoyage. 30.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 13, dans laquelle ladite chambre de vaporisation est réqulièrement réapprovisionnée avec ladite solution de nettoyage ou ladite solution de réaupération réaupéré lors de la vaporisation, de fac,on à maintenir ladite hauteur de la surface du 1iquide dans ladite chambre de vaporisation. 31.La méthode telle que revendiquée dans la revendication 12, dans laquelle ladite unité déchappement de chaleur pour réaliser ladite opération de séchage par congélation sous vide est disposée avec des moyens pour accélérer l'écoulement de ladite solution de nettoyage gaseuse, de fa,con à obtenir une vitesse de séchage plus rapide. t 32.Laméthode telle que revendiquée dans la revendication 16, dans laquelle ladite unité d'échappement de chaleur pour réaliser ladite opération de séchage par congelation sous vide est dispose avec des moyens pour accélérer l'écoulement de ladite solution de nettoyage gaseuse, de fa,con à obtenir une vitesse de séchage plus rapide.