FR 2840414 A1 20031205 FR 0206853 A 20020604 appareils de creation d'image par l'arriere du support visuel, aux retro- projecteurs. Composant de filtrage optique L'invention concerne les filtres optiques selectifs en longueur d'onde, permettant de iaisser passer la lumiere d'une bande spectrale optique etroite, centree autour d'une longueur d'onde, et de reflechir les longueurs d'onde situees en dehors de cette bande. On peut prevoir l' ajuste me nt de l a lo ngueur d' onde centra l e de la ban de spectra l e etroite pa r des moyens electriques. Le mot lumiere est entendu au sens large et inclut notamment des bandes spectrales dans l'infrarouge comme on le verra ci-apres, une o application principale de ['invention etant le filtrage de lumiere dans les differentes bandes de telecommunications par fibres optiques comprises entre 1,3 et 1,61 micrometres. L'interet de ces bandes de 1,3 a 1,61 micrometres resulte de ce que les fibres optiques actuelles, en verre, presentent une faible attenuation et que les signaux optiques peuvent done etre transmis sur de tres grandes distances. Dans ce qui suit, on expliquera ['invention a propos de cette bande spectrale, etant entendu que ['invention est transposable a d'autres bandes si le besoin s'en fait sentir, en utilisant les materiaux adaptes a ces bandes differentes. Dans un reseau de telecommunications par fibre optique, on peut utiliser un cable de plusieurs fibres optiques pour realiser plusieurs canaux de transmission differents; on peut aussi effectuer un multiplexage temporel des informations pour atteindre le meme but; mais la tendance actuelle, pour un accroissement plus important de la capacite de debit d'informations du reseau, est de transmettre simultanement sur la meme fibre optique plusieurs longueurs d'onde lumineuses modulees independamment les unes des autres et definissant chacune un canal d/information. La norme ITU (International Telecommunications Union) 692 propose de definir des canaux adjacents de largeur de bande spectrale optique 100 GHz, centres sur N frequences optiques normalisees adjacentes dont les valeurs vent 200 terahertz, 199, 9 terahertz, 199,8 terahertz, etc., correspondent a N longueurs d'onde de 1,52 micrometres jusquta 1,61 micrometres. Sur un canal de cette largeur de bande on peut effectuer une modulation de lumiere de 10 a 40 Giga bits par seconde sans trop de risque d'interference avec les canaux de - bandes spectrales immediatement adjacentes (en utilisant des impulsions de modulation de forme gaussienne pour minimiser la bande passante occupee par cette modulation). Cette technique de multiplexage frequentiel est appelee DWDM, de l'anglais "Dense Wavelength Division Multiplexing". Dans un reseau de telecommunications, le probleme est done de pouvoir recueillir la lumiere correspondent a un canal determine sans perturber la lumiere des canaux voisins. Par exemple, a un nceud de transmission du reseau, affecte a ['emission et a la reception d'informations du canal i, il faut pouvoir recueillir la lumiere a une frequence centrale F o (longueur d'onde j) sans gener la transmission de la lumiere modulant les frequences centrales F. a FN, alors que ces frequences optiques vent tres rapprochees les unes des autres. Pour cela, on a besoin de restiser des composants de filtrage optique tres selectifs en longueur d'onde lumineuse, capables de laisser passer la frequence optique centrale F' et les frequences situees dans une bande etroite inferieure a 50 GHz de part et d'autre de cette frequence, et d'arreter les autres bandes. A la sortie d'un tel filtre, on ne recueille que la lumiere du canal i et on peut la demoduler pour recueillir ['information utile, ou l'envoyer dans une autre branche du reseau. On a deja propose de realiser des composants de filtrage fonctionnant sur le principe des interferometres de Fabry-Perot, realises par depots de couches semi-conductrices separees les unes des autres par des lames d'air d'epaisseurs calibrees en rapport avec la longueur d'onde a selectionner. Un interferometre comprend en pratique deux miroirs a couches dielectriques superposees (miroirs de Bragg), a fort coefficient de reflexion, separes par une lame transparente d'epaisseur optique k./2 (epaisseur reelle k. \/2 si la lame est une lame d'air) ou k est un entier definissant l'ordre du filtre interferometrique. Le phosphure d'indium (InP) est bi en adapte a ces real isations en raison notam ment de sa transparence pour les longueurs d'onde considerees, de son indice de refraction tres eleve, et de la possibilite de deposer des couches epitaxiales d'epaisseur bien controlee. Si les epaisseurs de couches et les intervalles entre couches vent tres bien controles, et si les materiaux ont un fort indice de refraction, un tel filtre s'avere tres selectif. U ne tel le rea li sation est decrite dans [' article de A. Spisser et autres, "Highly Selective 1.55 micrometer InP/airgap micromachined Fabry- Perot filter for optical communications" dans Electronics Letters, N@34(5) , pages 453-454, 1998. D'autres realisations ont ete proposees, en silicium micro-usine, et en alliages a base d'arseniure de gallium. A cause des imperfections dans la realisation des composants de filtrage et a cause de la largeur spectrale due a la modulation du signal, une fraction de la lumiere autour de la longueur centrale est reflechie par le composant de filtrage, ce qui n'est acceptable que si cette fraction est lo inferieure a environ 1% du signal, car ce serait une cause de brouillage du signal reflechi, notamment lorsqu'on ajoute au rayonnement reflechi par le composant un rayonnement de remplacement module sensiblement autour de la meme longueur centrale. Pour satisfaire cette exigence avec des composants de filtrage fixes, on peut utiliser deux filtres disposes de telle facon que le rayonnement reflechi par le premier filtre est a nouveau reflechi sur le second filtre. Cette disposition supprime les residue de rayonnement lumineux centre autour de la longueur centrale dans le canal de sortie du composant, et ne pose pas de gros probleme optique, car ces composants de filtrage o vent larges et fonctionnent done avec des faisceaux peu ouverts, pour lesquels la grande longueur de Rayleigh autorise le repliement de la trajectoire. Les longueurs d'onde centrales des canaux vent definies par des normes (norme UIT 692 pour le Dense Wavelength Division Multiplexing). 2 Dans le cas Dense Wavelength Division Multiplexing", ou les canaux vent separes par a peine plus que leur largeur spectrale, chaque source lumineuse formant un canal, comme par exemple un laser, est imperativement verrouille sur une frequence UIT, a quelques GHz pres, grace a une reference externe. Pour des communications a course distance et nombre reduit de canaux; on utilise souvent un autre concept ou les canaux vent bien plus espaces, par exemple de 20 nm (=2500 GHz). Ce dernier concept est egalement defini par la norme UIT 692 avec ['appellation de "Coarse Wavelength Division Multiplexing". L'espacement est alors largement superieur aux derives et fluctuations thermiques ou autres par exemple de la frequence d'emission du laser. Ces derives vent de l'ordre de quelques centaines de GHz. On peut alors utiliser des lasers beaucoup moins couteux, car affranchis de l'asservissement en frequence. II n'y a bien entendu aucune correlation entre la longueur d'onde extraite et celle du rayonnement de remplacement. Avec un filtre accordable a bande etroite et pour-quite de la longueur d'onde incidente, on peut extraire un rayonnement de longueur d'onde centrale donnee, mais on ne peut injecter un rayonnement de remplacement dans le canal laisse vacant, car le filtre n'est en general pas transparent au rayonnement de remplacement. Le principe decrit plus haut est done difficilement applicable, car le second filtre, accorde o sur la longueur d'onde du rayonnement de remplacement, ne rejettera pas les residue de rayonnement lumineux centre autour de la longueur centrale du rayonnement extrait. Le probleme est done de trouver une configuration qui permette d'utiliser un filtre accordable a bande etroite et pour-quite de longueur d'onde dans un multiplexeur, en offrant une bonne rejection de la longueur d'onde extraite et une bonne injection de la longueur d'onde de remplacement. L' invention a pour but de resoudre ce probleme en proposant un composant de filtrage optique realisant un double passage dans un meme filtre. Plus precisement ['invention a pour objet un composant de filtrage optique comportant un filtre selectif en longueur d'onde apte a transmettre la lumiere d'une bande spectrale optique etroite centree autour d'une longueur d'onde donnee et apte a reflechir la lumiere dont la longueur d'onde est hors de ladite bande, un guide d'entree conduisant un rayonnement lumineux vers le fiitre, caracterise en ce que le guide d'entree conduit le rayonnement vers le filtre pour y effectuer un premier passage, et en ce que le composant comporte des moyens de renvoi d'une premiere partie du rayonnement reflechi par le filtre iors du premier passage pour y effectuer un second passage. On note que la premiere partie du rayonnement est la plus grande partie du rayonnement. Plus precisement, le rayonnement comporte plusieurs canaux centre chacun autour d'une longueur d'onde. Le filtre permet d'extraire un des canaux et de reflechir les autres. Ces autres canaux forment la premiere partie du rayonnement. Avantageusement, le composant comporte des moyens pour accorder la longueur d'onde donnee. Autrement dit ['invention trouve un avantage particulier dans le cas ou le filtre est accordable. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparatront a la lecture de la description detaillee d'un mode de realisation de ['invention donne a titre d'exemple, description illustree par le dessin joint dans lequel: - la figure 1 represente un exemple de chemin optique dans un composant de filtrage optique conforme a ['invention. o - les figures 2, 3 et 4 representent des exemples de guides d'onde permettant de realiser des moyens de renvoi; - la figure 5 illustre l'alignement des moyens de renvoi avec le filtre; - la figure 6 illustre ['injection d'un rayonnement de remplacement en sortie du composant optique de filtrage. Le composant de filtrage optique represente sur la figure 1 comporte un filtre 1 selectif en longueur d'onde apte a transmettre la lumiere d'une bande spectrale optique etroite et a reflechir la lumiere dont la longueur d'onde est hors de cette bande. Le filtre 1 est. par exemple, realise conformement a ['article de A. Spisser cite plus haut. Le composant comporte, en outre, un gu id e d' entree 2 co nduisa nt un rayonnement 3 lumineux vers le filtre 1 pour y effectuer un premier passage. A ['issue de ce premier passage, une premiere partie 4 du rayonnement 3 est reflechie par le filtre 1 tandis qu'une seconde partie 5 du rayonnement 3 est transmise par le filtre 1 conformement a ia selectivite du filtre 1. Le composant comporte, de plus, des moyens de renvoi 6. Ces moyens 6 collectent la premiere partie 4 du rayonnement 3 pour la renvoyer vers le filtre 1 afin d'y eKectuer un second passage. En sortie des moyens de renvoi 6, le trajet de la premiere partie 4 du rayonnement 3 est materialise par le segment 7. Le composant de filtrage optique comporte un premier guide de sortie et des moyens de focalisation associes conduisant la seconde partie 5 du rayonnement 3. Une troisieme partie 9 du rayonnement 3 est transmise par le filtre 1 lors du second passage. Cette troisieme partie 9 constitue un residu elimine de la premiere partie 4 du rayonnement 3. Le composant de filtrage optique comporte egalement un second guide de sortie 10 conduisant une quatrieme partie 11 du rayonnement 3 partie 11 reflechie par le filtre 1 lors du deuxieme passage dans le filtre 1. La quatrieme partie 11 du rayonnement 3 est formee par la premiere partie 4 a laquelle on a enleve la troisieme partie 9. Avantageusement, les moyens de renvoi 6 orientent la premiere partie 4 du rayonnement 3 vers le filtre 1, avec la meme incidence que le guide d'entree 2. La longueur d'onde centrale de la bande spectrale optique transmise par le filtre 1 depend de ['orientation ou incidence avec laquelle un o rayonnement penetre dans le filtre 1. Autrement dit l'egalite des incidences permet de conserver au filtre une meme fonction de transfert lors des deux passages dans le filtre. On comprend alors l'avantage procure par une incidence egale du rayonnement 3 et de sa quatribme partie 4 lors de son trajet 7. L'egalite des incidences n'est bien entendue effective qu'aux tolerances de realisation pres. L'egalite des incidences au cours des deux passages doit etre precise si on souhaite un pic de transmission etroit du filtre 1. Par exemple, si on a une largeur spectrale a mi-hauteur du pic de transmision de 0,5 nm, un deplacement maximal de 0.1 nm est tolerable entre les deux passages. Ceci correspond a une variation dtincidence de quelques milliradians pour des incidences proches d'une incidence perpendiculaire au filtre 1. Pour que le rayonnement incident sur le filtre soit raisonnablement collimate, le composant comporte avantageusement une lentille 12 disposee entre, d'une part, le filtre 1 et, d'autre part, le guide d'entree 2, les moyens de renvoi 6 et le second guide de sortie 10. Avec une lentille 12 de course focale (distance focale de l'ordre du milimetre) comme celle que l'on utilise dans les composants pour fibres optiques, il n'est pas envisageable de placer des fibres optiques dans un plan, comme par exemple le plan focal de la lentille 12, en respectant l'identite d'incidence decrite plus haut, car le diametre des fibres est trop grand. On pourrait imaginer de denuder les fibres jusqu'au ccour, mais la manipulation en devient extremement delicate. L'objet du mode de realisation decrit plus loin permet de pallier ce probleme en utilisant les trots dimensions. On salt realiser des guides d'onde pour des longueurs d'onde de l'ordre de 1500 nm, bien adaptes aux fibres optiques, par des moyens de photolithographie sur une plaque de verre qui assurent une precision de positionnement bien meilleure que le micron et echange d'ions pour modifier localement l'indice de refraction. En particulier, on salt realiser deux guides paralleles enterres a environ 10,um de profondeur, et distants l'un de l'autre de quelques dizaines de microns comme illustre sur la figure 2. On salt aussi realiser des courbes de 5 mm de rayon environ, comme illustre sur la figure 3, ce qui permet de realiser un renvoi de faisceau. Un tel renvoi peut aussi 0 etre realise par polissage de deux faces a 45 et reflexion totaie (diedre), comme le montre la figure 4. En assemblant une plaque telle que decrite sur la figure 2 et une plaque telle que decrite sur la figure 3 en superposant les guides d'onde, on peut realiser les moyens de renvoi 6. Le meme resultat peut etre obtenu en assemblant une plaque telle que decrite sur la figure 2 et une plaque telle que decrite sur la figure 4. II est alors necessaire de positionner precisement les extremites d'entree et de sortie des guides des moyens de renvoi 6 dans le plan focal de la lentille 12. Avantageusement, les moyens de renvoi 6, le guide d'entree 2 et le second guide de sortie 10 vent immobilises entre eux de fa,con a former un bloc 13 comportant une face 14 en regard avec le filtre 1. La lentille 12 est situee entre la face 14 et le filtre 1. L'assemblage du bloc 13 est. par exemple, realise par collage de plaques de verre ou des guides d'onde ont ete realises. Le collage se fait dans un plan 15 perpendiculaire a la face 14. Les guides d'onde vent realises a quelques dizaines de microns du plan 1S, ce qui permet une bonne isolation des guides entre eux. On peut ameliorer cette isolation en deposant avant collage une couche opaque, par exemple de metal ou de resine chargee, sur une face d'une plaque de verre, face formant le plan 15. Avantageusement, la lentille 12 est a gradient d'indice bien connue sous le nom de lentille GRIN. Ce type de lentille presente l'avantage de comporter deux faces planes. Avantageusement, on peut choisir une lentille 12 telle que son plan focal objet soit confondu avec une face d'entree de la lentille 12. Cela permet de positionner la lentille 12 sur la face 14 du bloc 13, par exemple en observant au microscope la face 14 a travers la lentille 12. Le positionnement de la lentille 12 est delicat, et peut se faire de la maniere suivante: Tout d'abord, la lentille 12 (de type GRIN ou autre) est positionnee en translation, selon des axes x et y contenus dans le plan de la face 14, puis immobilisee par rapport au bloc 13 contenant les guides par des moyens mecaniques en prenant comme reference des faces du bloc 13 qui vent par construction localisees precisement par rapport aux guides. Ce o positionnement est possible avec une tolerance meilleure qu'une dizaine de microns. On peut de la meme maniere, avant l'immobilisation de la lentille 12, positionner un capillaire dans lequel la lentille 12 peut coulisser pour le position nement en translation suivant un axe z perpendicula ire aux axes x et Y Ensuite, un faisceau de lumiere est injecte par le guide d'entree 2, et le filtre 1 est positionne en translation approximativement suivant les axes x et y sur le faisceau collimate en observant par des moyens optiques une face arriere 25 du filtre 1, par exemple au moyen d'une camera infrarouge. La face arriere 25 du filtre 1 est opposee a celle recevant le rayonnement 3. Puis ['orientation en rotation du filtre 1 autour des axes x et y, suivant respectivement des angles et l, est obtenue par alignement actif selon les algorithmes classiques, par exemple en utilisant un balayage en spirale pour la recherche et l'optimisation du signal re,cu. En effet, I'image 15 du guide d'entree 2 dans le plan focal de la lentille 12 apres la premiere reflexion sur le filtre 1 est symetrique du guide d'entree 2 par rapport a ['impact de la normale 16 au filtre 1 passant par le centre de la lentille 12, comme le montre la figure 5. De meme, I'image 17 de la sortie 18 des moyens de renvoi 6 qui ramene la quatrieme partie 4 du rayonnement 3 dans le plan focal en vue du second passage dans le filtre 1 est egalement symmetrique de la sortie 18 des moyens de renvoi 6 par rapport a ['impact de la normale 16 au filtre 1. Ce schema montre que l'alignement des deux passages dans le fiitre 1 peut se faire comme en simple passage, puisqu'il n'y a pas de degre de liberte supplementaire. Lorsque ['optimum suivant les angles et est trouve, on recherche le maximum de signal suivant les directions x et y et on immobilise le filtre 1. Avantageusement, le composant comporte des moyens pour 6 inserer un rayonnement de remplacement dont la longueur d'onde est sensiblement centree sur la longueur d'onde donnee du rayonnement extrait dans le second guide de sortie 10. Autrement dit, ie composant comporte des moyens pour inserer un rayonnement de remplacement dans le canal libere par le rayonnement extrait. o L'insertion d'un rayonnement de remplacement a une longueur d'onde voisine de la longueur d'onde extraite (mats necessairement decorrelee de celle-ci puisque les sources de rayonnement extra it et de remplacement vent distantes et puisqu'on n'exerce aucun controle sur leurs derives diverges) necessite un coupleur 20 dans le second guide de sortie 10. Le coupleur 20 est aisement realisable dans la technologie de guides enterres deja utilisee dans ['invention pour realiser les guides du bloc 13, comme le decrit la fig 6. Cette technique est decrite sur le site Internet a WWW. teemphotonics. com '> page a waveguide technology >> Une fibre de sortie 21 devra ensuite etre positionnee de fa,con active a la sortie du coupleur 20. La technique des guides optiques dans le verre stapplique egalement aux verres dopes aux terres rares, qui permettent d'amplifier le rayonnement optique lorsqu'ils vent excites par une longueur d'onde plus course provenant d'un laser de pompe. Cette technique est decrite dans I'article de D. Barbier public en 1998: > article cite sur le site Intemet > a la page: technical articles >> On peut realiser les guides dans un verre dope aux terres rares pour compenser les pertes d'insertion du composant sans ajouter de composant optique supplementaire sur le trajet. II faut pour cela disposer sur un des cotes du composant d'une entree optique capable de transporter un faisceau de pompe jusqu'aux guides ou circule le rayonnement, et prevoir un trajet commun de la longueur appropriee, de l'ordre d'une dizaine de centimetres. est noter qua, dens ce cats, une straggle approphAe de conke- rdalon pout permeate d'udRser les moyens d'accord du f ltre 1 pour Agalement asseir puissance de pomps e1 ainsl assurer an niveau constant du rayonnement extras a 284041 4 REVENDICATIONS 1. Composant de filtrage optique comportant un filtre (1) selectif en longueur d'onde apte a transmettre la lumiere d'une bande spectrale optique etroite centree autour d'une longueur d'onde donnee et apte a reflechir la lumiere dont la longueur d'onde est hors de ladite bande, un guide d'entree (2) conduisant un rayonnement lumineux (3) vers le filtre (1), caracterise en ce que le guide d'entree (2) conduit le rayonnement (3) vers le filtre (1) pour y effectuer un premier passage, et en ce que le composant comporte des moyens de renvoi (6) d'une premiere partie (4) du rayonnement (3) reflechi par le filtre (1) lors du premier passage pour y o effectuer un second passage. 2. Composant de filtrage optique selon la revendication 1, caracterise en ce qu'il comporte un second guide de sortie (10) conduisant une quatrieme partie (11) du rayonnement reflechi par le filtre (1) lors du deuxieme passage. 3. C om posant de filtrage optiq u e sel on la revendi cati on 2, caracterise en ce qu'il comporte une lentille (12) disposee entre, d'une part, le filtre (1) et, d'autre part, le guide d'entree (2), les moyens de renvoi (6) et le second guide de sortie (10). 4. Composant de filtrage optique selon la revendication 3, caracterise en ce que la lentille (12) est a gradient d'indice. 5. Composant de filtrage optique selon la revendication 4, caracterise en ce que la lentille (12) est telle que son plan focal objet soit confondu avec une face d'entree de la lentille (12). 6. Composant de filtrage optique selon l'une des revendications precedentes, caracterise en ce que les moyens de renvoi (6) orientent la premiere partie (4) du rayonnement (3) vers le filtre (1), avec la meme incidence que le guide d'entree (2). 7. Composant de filtrage optique selon l'une des revendications precedentes, caracterise en ce qu'il comporte des moyens pour accorder la longueur d'onde donnee. 8. Composant de filtrage optique selon l'une des revendications precedentes, caracterise en ce qu'il comporte des moyens (20) pour inserer un rayonnement de remplacement dont la longueur est sensiblement centree sur la longueur d'onde donnee. lo 9. Composant de filtrage optique selon l'une des revendications precedentes, caracteri se en ce que l es moyen s de renvoi (6) vent reali ses par des moyens de photolithographie sur une plaque de verre et echange